0.000000e+00,1.010101e+00,2.000000e+00,2.020202e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,6.000000e+00,6.060606e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,1.000000e+01,1.010101e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.400000e+01,1.414141e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.800000e+01,1.818182e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.200000e+01,2.222222e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.600000e+01,2.626263e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,3.000000e+01,3.030303e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.400000e+01,3.434343e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.737374e+01,3.800000e+01,3.838384e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.141414e+01,4.200000e+01,4.242424e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.545455e+01,4.600000e+01,4.646465e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.949495e+01,5.000000e+01,5.050505e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.353535e+01,5.400000e+01,5.454545e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.757576e+01,5.800000e+01,5.858586e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.161616e+01,6.200000e+01,6.262626e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.565657e+01,6.600000e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.969697e+01,7.000000e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.373737e+01,7.400000e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.777778e+01,7.800000e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.181818e+01,8.200000e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.585859e+01,8.600000e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.989899e+01,9.000000e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.393939e+01,9.400000e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.797980e+01,9.800000e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.020000e+02,1.040000e+02,1.060000e+02,1.080000e+02,1.100000e+02,1.120000e+02,1.140000e+02,1.160000e+02,1.180000e+02,1.200000e+02,1.220000e+02,1.240000e+02,1.260000e+02,1.280000e+02,1.300000e+02,1.320000e+02,1.340000e+02,1.360000e+02,1.380000e+02,1.400000e+02,1.420000e+02,1.440000e+02,1.460000e+02,1.480000e+02,1.500000e+02,1.520000e+02,1.540000e+02,1.560000e+02,1.580000e+02,1.600000e+02,1.620000e+02,1.640000e+02,1.660000e+02,1.680000e+02,1.700000e+02,1.720000e+02,1.740000e+02,1.760000e+02,1.780000e+02,1.800000e+02,1.820000e+02,1.840000e+02,1.860000e+02,1.880000e+02,1.900000e+02,1.920000e+02,1.940000e+02,1.960000e+02,1.980000e+02
0.000000e+00,6.117386e-11,6.704570e-09,7.193625e-09,1.325918e-07,1.066615e-06,1.151242e-06,6.244239e-06,2.219349e-05,2.385032e-05,6.916593e-05,1.519007e-04,1.614609e-04,3.184017e-04,5.243279e-04,5.511572e-04,8.623239e-04,1.196837e-03,1.246446e-03,1.692032e-03,2.112967e-03,2.184033e-03,2.706104e-03,3.156218e-03,3.242358e-03,3.778510e-03,4.209551e-03,4.302513e-03,4.804783e-03,5.186052e-03,5.278142e-03,5.717598e-03,6.034779e-03,6.120039e-03,6.483891e-03,6.734354e-03,6.808798e-03,7.095329e-03,7.283367e-03,7.344728e-03,7.558710e-03,7.691969e-03,7.739288e-03,7.888651e-03,7.975844e-03,8.009064e-03,8.102796e-03,8.152432e-03,8.172072e-03,8.219032e-03,8.238796e-03,8.245715e-03,8.254044e-03,8.250579e-03,8.245818e-03,8.222712e-03,8.201598e-03,8.186276e-03,8.137942e-03,8.103783e-03,8.079028e-03,8.010744e-03,7.967288e-03,7.934201e-03,7.850414e-03,7.800678e-03,7.760310e-03,7.664735e-03,7.611125e-03,7.564462e-03,7.460192e-03,7.404608e-03,7.352567e-03,7.242165e-03,7.186091e-03,7.129517e-03,7.015100e-03,6.959680e-03,6.899347e-03,6.782651e-03,6.728753e-03,6.665366e-03,6.547810e-03,6.496075e-03,6.430271e-03,6.313009e-03,6.263898e-03,6.196254e-03,6.080215e-03,6.034041e-03,5.965075e-03,5.851000e-03,5.807961e-03,5.738135e-03,5.626609e-03,5.586810e-03,5.516535e-03,5.408011e-03,5.371482e-03,5.301124e-03,5.195946e-03,5.162661e-03,5.092542e-03,4.990963e-03,4.960852e-03,4.891254e-03,4.793450e-03,4.766410e-03,4.697580e-03,4.603666e-03,4.579571e-03,4.511723e-03,4.421761e-03,4.400466e-03,4.333785e-03,4.247796e-03,4.229144e-03,4.163789e-03,4.081758e-03,4.065588e-03,4.001691e-03,3.923576e-03,3.909721e-03,3.847396e-03,3.773134e-03,3.761428e-03,3.700768e-03,3.630277e-03,3.620556e-03,3.561636e-03,3.494821e-03,3.486925e-03,3.429806e-03,3.366561e-03,3.360333e-03,3.305060e-03,3.245274e-03,3.240564e-03,3.187171e-03,3.130724e-03,3.127389e-03,3.075900e-03,3.022669e-03,3.020573e-03,2.971001e-03,2.920864e-03,2.919877e-03,2.872227e-03,2.825059e-03,2.735879e-03,2.652098e-03,2.573479e-03,2.499792e-03,2.430810e-03,2.366312e-03,2.306086e-03,2.249922e-03,2.197622e-03,2.148990e-03,2.103840e-03,2.061993e-03,2.023276e-03,1.987523e-03,1.954576e-03,1.924281e-03,1.896494e-03,1.871074e-03,1.847887e-03,1.826806e-03,1.807709e-03,1.790480e-03,1.775006e-03,1.761182e-03,1.748905e-03,1.738081e-03,1.728616e-03,1.720422e-03,1.713417e-03,1.707519e-03,1.702654e-03,1.698750e-03,1.695737e-03,1.693551e-03,1.692130e-03,1.691414e-03,1.691349e-03,1.691881e-03,1.692961e-03,1.694540e-03,1.696574e-03,1.699021e-03,1.701841e-03,1.704995e-03,1.708448e-03,1.712166e-03,1.716119e-03,1.720276e-03,1.724609e-03
0.000000e+00,3.554260e-09,5.208672e-08,5.444511e-08,3.500668e-07,1.231364e-06,1.285678e-06,3.086839e-06,5.261614e-06,5.405550e-06,7.786648e-06,9.879147e-06,1.005523e-05,1.217255e-05,1.394564e-05,1.413503e-05,1.594761e-05,1.742424e-05,1.761730e-05,1.915149e-05,2.036813e-05,2.055753e-05,2.184257e-05,2.283354e-05,2.301350e-05,2.407702e-05,2.487347e-05,2.503955e-05,2.590723e-05,2.653704e-05,2.668594e-05,2.738127e-05,2.786916e-05,2.799852e-05,2.854274e-05,2.891044e-05,2.901867e-05,2.943078e-05,2.969719e-05,2.978337e-05,3.008046e-05,3.026213e-05,3.032583e-05,3.052307e-05,3.063430e-05,3.067553e-05,3.078637e-05,3.083951e-05,3.085859e-05,3.089498e-05,3.090066e-05,3.089818e-05,3.087068e-05,3.083805e-05,3.081481e-05,3.073276e-05,3.066965e-05,3.062659e-05,3.049824e-05,3.041134e-05,3.034951e-05,3.018211e-05,3.007710e-05,2.999764e-05,2.979760e-05,2.967930e-05,2.958338e-05,2.935631e-05,2.922878e-05,2.911761e-05,2.886844e-05,2.873509e-05,2.860988e-05,2.834293e-05,2.820660e-05,2.806853e-05,2.778758e-05,2.765064e-05,2.750089e-05,2.720923e-05,2.707359e-05,2.691331e-05,2.661381e-05,2.648105e-05,2.631134e-05,2.600648e-05,2.587786e-05,2.569978e-05,2.539173e-05,2.526823e-05,2.508279e-05,2.477340e-05,2.465580e-05,2.446396e-05,2.415483e-05,2.404369e-05,2.384636e-05,2.353886e-05,2.343458e-05,2.323262e-05,2.292791e-05,2.283076e-05,2.262497e-05,2.232404e-05,2.223418e-05,2.202532e-05,2.172899e-05,2.164647e-05,2.143522e-05,2.114419e-05,2.106898e-05,2.085601e-05,2.057083e-05,2.050285e-05,2.028876e-05,2.000990e-05,1.994899e-05,1.973434e-05,1.946216e-05,1.940814e-05,1.919344e-05,1.892823e-05,1.888087e-05,1.866659e-05,1.840857e-05,1.836762e-05,1.815420e-05,1.790351e-05,1.786871e-05,1.765653e-05,1.741327e-05,1.738433e-05,1.717376e-05,1.693799e-05,1.691462e-05,1.670598e-05,1.647771e-05,1.645961e-05,1.625318e-05,1.603239e-05,1.601927e-05,1.581533e-05,1.560196e-05,1.559351e-05,1.539229e-05,1.518628e-05,1.518219e-05,1.498390e-05,1.478515e-05,1.440216e-05,1.403298e-05,1.367734e-05,1.333497e-05,1.300555e-05,1.268876e-05,1.238430e-05,1.209182e-05,1.181100e-05,1.154149e-05,1.128296e-05,1.103507e-05,1.079749e-05,1.056989e-05,1.035193e-05,1.014331e-05,9.943698e-06,9.752790e-06,9.570280e-06,9.395873e-06,9.229278e-06,9.070212e-06,8.918401e-06,8.773576e-06,8.635479e-06,8.503855e-06,8.378459e-06,8.259055e-06,8.145411e-06,8.037304e-06,7.934519e-06,7.836845e-06,7.744082e-06,7.656034e-06,7.572511e-06,7.493332e-06,7.418320e-06,7.347305e-06,7.280124e-06,7.216617e-06,7.156632e-06,7.100022e-06,7.046644e-06,6.996361e-06,6.949042e-06,6.904560e-06,6.862791e-06,6.823618e-06,6.786927e-06
0.000000e+00,1.242247e-09,1.574623e-08,1.642630e-08,9.926189e-08,3.413162e-07,3.560929e-07,8.356528e-07,1.394484e-06,1.431110e-06,2.036339e-06,2.571233e-06,2.616474e-06,3.163822e-06,3.627525e-06,3.677372e-06,4.157763e-06,4.553932e-06,4.606076e-06,5.023516e-06,5.358764e-06,5.411320e-06,5.770760e-06,6.051703e-06,6.103111e-06,6.409641e-06,6.642608e-06,6.691603e-06,6.950225e-06,7.141124e-06,7.186704e-06,7.402202e-06,7.556447e-06,7.597839e-06,7.774696e-06,7.897186e-06,7.933809e-06,8.076173e-06,8.171300e-06,8.202738e-06,8.314413e-06,8.386088e-06,8.412065e-06,8.496521e-06,8.548211e-06,8.568568e-06,8.628956e-06,8.663727e-06,8.678401e-06,8.717580e-06,8.738129e-06,8.747139e-06,8.767691e-06,8.776388e-06,8.779819e-06,8.784076e-06,8.782994e-06,8.780987e-06,8.771048e-06,8.761995e-06,8.754733e-06,8.732489e-06,8.717038e-06,8.704739e-06,8.671885e-06,8.651400e-06,8.634307e-06,8.592365e-06,8.568022e-06,8.546398e-06,8.496729e-06,8.469540e-06,8.443662e-06,8.387484e-06,8.358314e-06,8.328467e-06,8.266866e-06,8.236452e-06,8.202924e-06,8.136867e-06,8.105831e-06,8.068912e-06,7.999260e-06,7.968126e-06,7.928103e-06,7.855618e-06,7.824821e-06,7.781977e-06,7.707335e-06,7.677233e-06,7.631844e-06,7.555642e-06,7.526526e-06,7.478860e-06,7.401623e-06,7.373728e-06,7.324044e-06,7.246231e-06,7.219739e-06,7.168285e-06,7.090301e-06,7.065352e-06,7.012365e-06,6.934560e-06,6.911256e-06,6.856962e-06,6.779642e-06,6.758051e-06,6.702664e-06,6.626091e-06,6.606255e-06,6.549978e-06,6.474377e-06,6.456315e-06,6.399337e-06,6.324902e-06,6.308611e-06,6.251112e-06,6.178004e-06,6.163467e-06,6.105612e-06,6.033967e-06,6.021152e-06,5.963097e-06,5.893027e-06,5.881891e-06,5.823779e-06,5.755375e-06,5.745867e-06,5.687832e-06,5.621166e-06,5.613225e-06,5.555390e-06,5.490517e-06,5.484080e-06,5.426557e-06,5.363519e-06,5.358516e-06,5.301408e-06,5.240232e-06,5.236591e-06,5.179994e-06,5.120697e-06,5.118344e-06,5.062342e-06,5.004930e-06,5.003792e-06,4.948461e-06,4.892933e-06,4.785755e-06,4.682228e-06,4.582313e-06,4.485962e-06,4.393118e-06,4.303716e-06,4.217688e-06,4.134959e-06,4.055450e-06,3.979082e-06,3.905769e-06,3.835427e-06,3.767970e-06,3.703310e-06,3.641360e-06,3.582034e-06,3.525245e-06,3.470906e-06,3.418934e-06,3.369243e-06,3.321754e-06,3.276383e-06,3.233053e-06,3.191686e-06,3.152207e-06,3.114542e-06,3.078619e-06,3.044370e-06,3.011725e-06,2.980621e-06,2.950993e-06,2.922779e-06,2.895920e-06,2.870358e-06,2.846038e-06,2.822907e-06,2.800911e-06,2.780002e-06,2.760131e-06,2.741252e-06,2.723320e-06,2.706292e-06,2.690127e-06,2.674785e-06,2.660229e-06,2.646421e-06,2.633326e-06,2.620912e-06,2.609145e-06
0.000000e+00,9.673959e-11,9.203622e-09,9.850841e-09,1.643591e-07,1.233875e-06,1.328220e-06,6.734359e-06,2.232359e-05,2.387634e-05,6.359673e-05,1.280245e-04,1.350123e-04,2.405528e-04,3.608240e-04,3.753794e-04,5.302743e-04,6.750805e-04,6.950662e-04,8.609177e-04,9.993254e-04,1.021260e-03,1.171815e-03,1.288920e-03,1.310185e-03,1.435339e-03,1.527989e-03,1.547142e-03,1.646011e-03,1.716271e-03,1.732665e-03,1.807969e-03,1.859415e-03,1.872836e-03,1.928170e-03,1.964380e-03,1.974833e-03,2.013640e-03,2.037744e-03,2.045342e-03,2.070632e-03,2.085227e-03,2.090142e-03,2.104451e-03,2.111657e-03,2.114086e-03,2.119528e-03,2.121058e-03,2.121213e-03,2.119536e-03,2.116765e-03,2.114859e-03,2.107509e-03,2.101540e-03,2.097782e-03,2.085948e-03,2.077661e-03,2.072251e-03,2.056912e-03,2.047005e-03,2.040132e-03,2.022094e-03,2.011120e-03,2.002961e-03,1.982882e-03,1.971275e-03,1.961992e-03,1.940413e-03,1.928514e-03,1.918256e-03,1.895618e-03,1.883687e-03,1.872590e-03,1.849253e-03,1.837492e-03,1.825679e-03,1.801934e-03,1.790493e-03,1.778076e-03,1.754159e-03,1.743149e-03,1.730228e-03,1.706328e-03,1.695831e-03,1.682494e-03,1.658762e-03,1.648832e-03,1.635161e-03,1.611718e-03,1.602390e-03,1.588456e-03,1.565395e-03,1.556689e-03,1.542555e-03,1.519951e-03,1.511874e-03,1.497597e-03,1.475505e-03,1.468055e-03,1.453685e-03,1.432147e-03,1.425315e-03,1.410897e-03,1.389941e-03,1.383713e-03,1.369286e-03,1.348934e-03,1.343291e-03,1.328890e-03,1.309154e-03,1.304074e-03,1.289729e-03,1.270616e-03,1.266076e-03,1.251815e-03,1.233326e-03,1.229300e-03,1.215148e-03,1.197279e-03,1.193743e-03,1.179719e-03,1.162465e-03,1.159392e-03,1.145516e-03,1.128868e-03,1.126233e-03,1.112520e-03,1.096468e-03,1.094244e-03,1.080709e-03,1.065240e-03,1.063403e-03,1.050058e-03,1.035160e-03,1.033685e-03,1.020540e-03,1.006197e-03,1.005062e-03,9.921268e-04,9.783247e-04,9.775050e-04,9.647874e-04,9.515111e-04,9.509854e-04,9.384919e-04,9.257259e-04,9.254731e-04,9.132093e-04,9.009381e-04,8.773504e-04,8.546799e-04,8.328970e-04,8.119727e-04,7.918782e-04,7.725855e-04,7.540670e-04,7.362960e-04,7.192463e-04,7.028924e-04,6.872098e-04,6.721745e-04,6.577630e-04,6.439530e-04,6.307225e-04,6.180504e-04,6.059163e-04,5.943003e-04,5.831832e-04,5.725466e-04,5.623726e-04,5.526438e-04,5.433436e-04,5.344558e-04,5.259648e-04,5.178556e-04,5.101137e-04,5.027250e-04,4.956759e-04,4.889535e-04,4.825450e-04,4.764383e-04,4.706216e-04,4.650836e-04,4.598134e-04,4.548004e-04,4.500343e-04,4.455054e-04,4.412043e-04,4.371216e-04,4.332486e-04,4.295768e-04,4.260981e-04,4.228043e-04,4.196880e-04,4.167418e-04,4.139586e-04,4.113314e-04,4.088538e-04
0.000000e+00,4.872450e-11,5.613218e-09,6.024420e-09,1.100196e-07,8.697986e-07,9.385211e-07,5.139667e-06,1.903521e-05,2.053072e-05,6.423000e-05,1.543301e-04,1.654400e-04,3.648920e-04,6.684615e-04,7.111580e-04,1.255432e-03,1.936915e-03,2.046301e-03,3.125423e-03,4.308490e-03,4.524500e-03,6.263579e-03,7.993269e-03,8.350534e-03,1.078148e-02,1.302164e-02,1.354187e-02,1.660803e-02,1.926044e-02,1.994889e-02,2.352788e-02,2.645893e-02,2.730464e-02,3.123671e-02,3.430240e-02,3.528096e-02,3.939486e-02,4.245981e-02,4.353744e-02,4.767013e-02,5.061941e-02,5.175731e-02,5.576672e-02,5.851155e-02,5.966972e-02,6.344134e-02,6.592002e-02,6.706034e-02,7.050905e-02,7.268485e-02,7.377321e-02,7.684182e-02,7.869927e-02,7.970682e-02,8.236283e-02,8.390323e-02,8.480692e-02,8.703826e-02,8.827531e-02,8.905791e-02,9.086854e-02,9.182447e-02,9.247419e-02,9.388002e-02,9.458225e-02,9.509214e-02,9.611741e-02,9.659596e-02,9.696326e-02,9.763753e-02,9.792305e-02,9.814840e-02,9.850421e-02,9.862660e-02,9.871339e-02,9.878439e-02,9.877185e-02,9.872558e-02,9.854522e-02,9.842368e-02,9.825142e-02,9.785205e-02,9.764486e-02,9.735476e-02,9.676696e-02,9.649482e-02,9.609576e-02,9.534800e-02,9.502893e-02,9.453021e-02,9.364863e-02,9.329815e-02,9.270920e-02,9.171756e-02,9.134883e-02,9.067907e-02,8.959880e-02,8.922285e-02,8.848154e-02,8.733181e-02,8.695773e-02,8.615385e-02,8.495166e-02,8.458684e-02,8.372899e-02,8.248938e-02,8.213970e-02,8.123609e-02,7.997223e-02,7.964225e-02,7.870065e-02,7.742405e-02,7.711719e-02,7.614490e-02,7.486554e-02,7.458427e-02,7.358810e-02,7.231458e-02,7.206052e-02,7.104682e-02,6.978652e-02,6.956058e-02,6.853524e-02,6.729442e-02,6.709695e-02,6.606538e-02,6.484932e-02,6.468018e-02,6.364735e-02,6.246046e-02,6.231910e-02,6.128957e-02,6.013549e-02,6.002103e-02,5.899895e-02,5.788063e-02,5.779197e-02,5.678111e-02,5.570090e-02,5.563671e-02,5.464046e-02,5.360019e-02,5.355901e-02,5.258043e-02,5.158147e-02,5.156171e-02,5.060355e-02,4.964686e-02,4.781581e-02,4.606933e-02,4.440764e-02,4.283054e-02,4.133740e-02,3.992730e-02,3.859901e-02,3.735108e-02,3.618183e-02,3.508941e-02,3.407184e-02,3.312699e-02,3.225264e-02,3.144649e-02,3.070617e-02,3.002922e-02,2.941317e-02,2.885550e-02,2.835366e-02,2.790509e-02,2.750722e-02,2.715745e-02,2.685322e-02,2.659196e-02,2.637111e-02,2.618814e-02,2.604056e-02,2.592589e-02,2.584171e-02,2.578563e-02,2.575533e-02,2.574852e-02,2.576301e-02,2.579664e-02,2.584735e-02,2.591313e-02,2.599209e-02,2.608238e-02,2.618227e-02,2.629011e-02,2.640434e-02,2.652350e-02,2.664622e-02,2.677122e-02,2.689734e-02,2.702348e-02,2.714868e-02,2.727204e-02,2.739275e-02
0.000000e+00,3.161043e-10,2.825523e-08,3.018947e-08,4.565190e-07,3.142760e-06,3.372658e-06,1.605472e-05,5.108708e-05,5.451951e-05,1.405759e-04,2.762316e-04,2.907625e-04,5.075280e-04,7.507058e-04,7.799711e-04,1.090357e-03,1.380333e-03,1.420445e-03,1.755088e-03,2.038075e-03,2.083347e-03,2.398144e-03,2.649101e-03,2.695374e-03,2.972988e-03,3.185450e-03,3.230251e-03,3.467224e-03,3.642534e-03,3.684428e-03,3.882639e-03,4.024635e-03,4.062756e-03,4.225730e-03,4.338714e-03,4.372518e-03,4.504063e-03,4.592132e-03,4.621280e-03,4.725044e-03,4.791897e-03,4.816195e-03,4.895530e-03,4.944443e-03,4.963809e-03,5.021749e-03,5.055592e-03,5.070032e-03,5.109301e-03,5.130579e-03,5.140167e-03,5.163205e-03,5.174093e-03,5.178958e-03,5.187941e-03,5.190324e-03,5.190638e-03,5.187507e-03,5.183011e-03,5.178978e-03,5.165459e-03,5.155484e-03,5.147333e-03,5.124961e-03,5.110706e-03,5.098683e-03,5.068820e-03,5.051310e-03,5.035672e-03,4.999524e-03,4.979630e-03,4.960642e-03,4.919276e-03,4.897735e-03,4.875661e-03,4.830020e-03,4.807454e-03,4.782560e-03,4.733475e-03,4.710401e-03,4.682947e-03,4.631149e-03,4.607997e-03,4.578240e-03,4.524370e-03,4.501492e-03,4.469680e-03,4.414300e-03,4.391982e-03,4.358353e-03,4.301953e-03,4.280425e-03,4.245207e-03,4.188214e-03,4.167654e-03,4.131067e-03,4.073851e-03,4.054396e-03,4.016646e-03,3.959526e-03,3.941277e-03,3.902560e-03,3.845811e-03,3.828838e-03,3.789338e-03,3.733195e-03,3.717540e-03,3.677431e-03,3.622092e-03,3.607778e-03,3.567220e-03,3.512853e-03,3.499885e-03,3.459027e-03,3.405773e-03,3.394137e-03,3.353120e-03,3.301094e-03,3.290766e-03,3.249718e-03,3.199014e-03,3.189960e-03,3.149000e-03,3.099692e-03,3.091869e-03,3.051105e-03,3.003252e-03,2.996612e-03,2.956143e-03,2.909788e-03,2.904277e-03,2.864194e-03,2.819367e-03,2.814927e-03,2.775313e-03,2.732034e-03,2.728606e-03,2.689534e-03,2.647813e-03,2.645335e-03,2.606872e-03,2.566710e-03,2.565120e-03,2.527326e-03,2.488718e-03,2.487953e-03,2.450881e-03,2.413814e-03,2.342669e-03,2.274480e-03,2.209197e-03,2.146767e-03,2.087130e-03,2.030221e-03,1.975974e-03,1.924319e-03,1.875182e-03,1.828491e-03,1.784172e-03,1.742149e-03,1.702347e-03,1.664691e-03,1.629107e-03,1.595520e-03,1.563858e-03,1.534049e-03,1.506022e-03,1.479707e-03,1.455037e-03,1.431946e-03,1.410367e-03,1.390238e-03,1.371497e-03,1.354083e-03,1.337939e-03,1.323007e-03,1.309231e-03,1.296559e-03,1.284938e-03,1.274319e-03,1.264651e-03,1.255888e-03,1.247985e-03,1.240896e-03,1.234580e-03,1.228994e-03,1.224100e-03,1.219858e-03,1.216232e-03,1.213186e-03,1.210686e-03,1.208697e-03,1.207190e-03,1.206131e-03,1.205494e-03,1.205248e-03,1.205366e-03
0.000000e+00,8.094982e-10,1.088859e-08,1.136745e-08,6.983663e-08,2.418190e-07,2.524509e-07,6.104940e-07,1.057341e-06,1.087352e-06,1.588675e-06,2.034188e-06,2.071824e-06,2.525837e-06,2.907953e-06,2.948869e-06,3.341432e-06,3.662580e-06,3.704661e-06,4.039849e-06,4.306696e-06,4.348324e-06,4.631405e-06,4.850522e-06,4.890394e-06,5.126564e-06,5.304067e-06,5.341156e-06,5.535371e-06,5.676855e-06,5.710373e-06,5.867277e-06,5.977790e-06,6.007155e-06,6.131031e-06,6.215078e-06,6.239882e-06,6.334637e-06,6.396204e-06,6.416183e-06,6.485357e-06,6.527948e-06,6.542953e-06,6.589737e-06,6.616436e-06,6.626423e-06,6.653690e-06,6.667180e-06,6.672180e-06,6.682499e-06,6.685115e-06,6.685223e-06,6.680893e-06,6.674657e-06,6.670020e-06,6.653089e-06,6.639750e-06,6.630555e-06,6.602848e-06,6.583912e-06,6.570375e-06,6.533519e-06,6.510277e-06,6.492639e-06,6.448075e-06,6.421630e-06,6.400146e-06,6.349152e-06,6.320442e-06,6.295377e-06,6.239086e-06,6.208905e-06,6.180530e-06,6.119942e-06,6.088955e-06,6.057542e-06,5.993538e-06,5.962304e-06,5.928123e-06,5.861478e-06,5.830455e-06,5.793773e-06,5.725167e-06,5.694734e-06,5.655809e-06,5.585837e-06,5.556298e-06,5.515382e-06,5.444563e-06,5.416160e-06,5.373495e-06,5.302280e-06,5.275201e-06,5.231018e-06,5.159799e-06,5.134187e-06,5.088706e-06,5.017818e-06,4.993775e-06,4.947206e-06,4.876937e-06,4.854534e-06,4.807073e-06,4.737670e-06,4.716946e-06,4.668779e-06,4.600449e-06,4.581423e-06,4.532723e-06,4.465640e-06,4.448308e-06,4.399237e-06,4.333546e-06,4.317889e-06,4.268596e-06,4.204416e-06,4.190401e-06,4.141027e-06,4.078451e-06,4.066035e-06,4.016706e-06,3.955810e-06,3.944940e-06,3.895776e-06,3.836615e-06,3.827232e-06,3.778340e-06,3.720956e-06,3.712994e-06,3.664473e-06,3.608894e-06,3.602286e-06,3.554224e-06,3.500464e-06,3.495139e-06,3.447617e-06,3.395682e-06,3.391567e-06,3.344659e-06,3.294544e-06,3.291566e-06,3.245336e-06,3.197030e-06,3.195117e-06,3.149622e-06,3.103106e-06,3.102185e-06,3.057477e-06,3.012728e-06,2.926691e-06,2.844014e-06,2.764629e-06,2.688461e-06,2.615434e-06,2.545467e-06,2.478476e-06,2.414375e-06,2.353078e-06,2.294498e-06,2.238547e-06,2.185138e-06,2.134184e-06,2.085600e-06,2.039300e-06,1.995201e-06,1.953221e-06,1.913280e-06,1.875300e-06,1.839204e-06,1.804917e-06,1.772367e-06,1.741483e-06,1.712197e-06,1.684442e-06,1.658154e-06,1.633271e-06,1.609733e-06,1.587481e-06,1.566460e-06,1.546616e-06,1.527896e-06,1.510250e-06,1.493631e-06,1.477990e-06,1.463284e-06,1.449470e-06,1.436506e-06,1.424352e-06,1.412971e-06,1.402325e-06,1.392379e-06,1.383101e-06,1.374457e-06,1.366416e-06,1.358949e-06,1.352027e-06,1.345623e-06,1.339710e-06
0.000000e+00,1.930758e-11,2.466517e-09,2.655739e-09,5.782068e-08,5.231861e-07,5.668986e-07,3.317117e-06,1.231214e-05,1.326004e-05,3.966572e-05,8.945188e-05,9.531121e-05,1.941961e-04,3.307535e-04,3.490644e-04,5.695463e-04,8.223332e-04,8.611613e-04,1.225100e-03,1.593898e-03,1.658573e-03,2.155500e-03,2.615770e-03,2.707354e-03,3.304021e-03,3.819077e-03,3.934582e-03,4.587975e-03,5.119927e-03,5.253518e-03,5.921284e-03,6.437911e-03,6.582360e-03,7.228989e-03,7.706693e-03,7.854626e-03,8.453931e-03,8.877955e-03,9.022707e-03,9.557821e-03,9.920997e-03,1.005709e-02,1.051915e-02,1.082009e-02,1.094337e-02,1.132971e-02,1.157099e-02,1.167862e-02,1.199094e-02,1.217759e-02,1.226784e-02,1.251070e-02,1.264898e-02,1.272107e-02,1.290062e-02,1.299721e-02,1.305106e-02,1.317417e-02,1.323565e-02,1.327170e-02,1.334538e-02,1.337786e-02,1.339691e-02,1.342791e-02,1.343690e-02,1.343997e-02,1.343458e-02,1.342491e-02,1.341315e-02,1.337704e-02,1.335289e-02,1.332752e-02,1.326576e-02,1.323065e-02,1.319289e-02,1.310995e-02,1.306685e-02,1.301791e-02,1.291767e-02,1.286903e-02,1.281007e-02,1.269589e-02,1.264375e-02,1.257585e-02,1.245064e-02,1.239665e-02,1.232086e-02,1.218709e-02,1.213259e-02,1.204986e-02,1.190967e-02,1.185571e-02,1.176695e-02,1.162214e-02,1.156957e-02,1.147561e-02,1.132771e-02,1.127718e-02,1.117878e-02,1.102911e-02,1.098111e-02,1.087898e-02,1.072863e-02,1.068352e-02,1.057830e-02,1.042819e-02,1.038623e-02,1.027851e-02,1.012943e-02,1.009079e-02,9.981105e-03,9.833685e-03,9.798454e-03,9.687302e-03,9.542077e-03,9.510293e-03,9.398117e-03,9.255521e-03,9.227174e-03,9.114379e-03,8.974768e-03,8.949806e-03,8.836760e-03,8.700416e-03,8.678760e-03,8.565794e-03,8.432940e-03,8.414485e-03,8.301899e-03,8.172705e-03,8.157327e-03,8.045390e-03,7.919982e-03,7.907547e-03,7.796501e-03,7.674965e-03,7.665327e-03,7.555389e-03,7.437782e-03,7.430788e-03,7.322152e-03,7.208504e-03,7.203999e-03,7.096837e-03,6.987152e-03,6.984978e-03,6.879444e-03,6.773708e-03,6.570139e-03,6.374191e-03,6.185765e-03,6.004742e-03,5.830988e-03,5.664358e-03,5.504696e-03,5.351838e-03,5.205617e-03,5.065861e-03,4.932394e-03,4.805040e-03,4.683623e-03,4.567965e-03,4.457891e-03,4.353228e-03,4.253802e-03,4.159445e-03,4.069989e-03,3.985270e-03,3.905127e-03,3.829402e-03,3.757939e-03,3.690587e-03,3.627198e-03,3.567626e-03,3.511731e-03,3.459374e-03,3.410419e-03,3.364736e-03,3.322196e-03,3.282672e-03,3.246044e-03,3.212191e-03,3.180997e-03,3.152349e-03,3.126136e-03,3.102250e-03,3.080586e-03,3.061041e-03,3.043516e-03,3.027914e-03,3.014140e-03,3.002101e-03,2.991707e-03,2.982873e-03,2.975511e-03,2.969541e-03,2.964882e-03
0.000000e+00,5.378734e-11,5.878348e-09,6.307638e-09,1.171246e-07,9.467955e-07,1.021915e-06,5.495347e-06,1.901920e-05,2.039201e-05,5.647478e-05,1.180949e-04,1.249848e-04,2.336937e-04,3.678994e-04,3.848776e-04,5.754300e-04,7.701118e-04,7.982591e-04,1.044072e-03,1.266302e-03,1.302978e-03,1.565666e-03,1.783335e-03,1.824119e-03,2.071936e-03,2.263839e-03,2.304382e-03,2.518258e-03,2.674684e-03,2.711679e-03,2.883828e-03,3.003314e-03,3.034705e-03,3.164905e-03,3.250639e-03,3.275438e-03,3.367575e-03,3.424741e-03,3.442730e-03,3.502382e-03,3.536559e-03,3.548003e-03,3.581022e-03,3.597366e-03,3.602793e-03,3.614584e-03,3.617501e-03,3.617562e-03,3.612797e-03,3.605885e-03,3.601257e-03,3.583818e-03,3.569926e-03,3.561263e-03,3.534295e-03,3.515637e-03,3.503541e-03,3.469555e-03,3.447821e-03,3.432833e-03,3.393812e-03,3.370281e-03,3.352879e-03,3.310377e-03,3.286004e-03,3.266607e-03,3.221835e-03,3.197325e-03,3.176295e-03,3.130194e-03,3.106060e-03,3.083711e-03,3.037007e-03,3.013615e-03,2.990219e-03,2.943469e-03,2.921075e-03,2.896864e-03,2.850496e-03,2.829268e-03,2.804444e-03,2.758779e-03,2.738825e-03,2.713560e-03,2.668839e-03,2.650216e-03,2.624660e-03,2.581060e-03,2.563790e-03,2.538072e-03,2.495721e-03,2.479799e-03,2.454029e-03,2.413014e-03,2.398417e-03,2.372690e-03,2.333069e-03,2.319759e-03,2.294157e-03,2.255961e-03,2.243890e-03,2.218484e-03,2.181727e-03,2.170841e-03,2.145691e-03,2.110374e-03,2.100613e-03,2.075772e-03,2.041882e-03,2.033187e-03,2.008698e-03,1.976215e-03,1.968523e-03,1.944425e-03,1.913322e-03,1.906570e-03,1.882896e-03,1.853141e-03,1.847269e-03,1.824046e-03,1.795603e-03,1.790552e-03,1.767803e-03,1.740634e-03,1.736345e-03,1.714089e-03,1.688155e-03,1.684573e-03,1.662825e-03,1.638086e-03,1.635157e-03,1.613929e-03,1.590344e-03,1.588016e-03,1.567320e-03,1.544847e-03,1.543072e-03,1.522914e-03,1.501512e-03,1.500245e-03,1.480631e-03,1.460260e-03,1.459455e-03,1.440389e-03,1.421008e-03,1.420625e-03,1.402108e-03,1.383679e-03,1.348543e-03,1.315143e-03,1.283409e-03,1.253272e-03,1.224667e-03,1.197528e-03,1.171793e-03,1.147404e-03,1.124300e-03,1.102428e-03,1.081733e-03,1.062162e-03,1.043668e-03,1.026200e-03,1.009714e-03,9.941657e-04,9.795116e-04,9.657112e-04,9.527254e-04,9.405164e-04,9.290481e-04,9.182857e-04,9.081959e-04,8.987469e-04,8.899079e-04,8.816496e-04,8.739437e-04,8.667632e-04,8.600823e-04,8.538761e-04,8.481207e-04,8.427934e-04,8.378722e-04,8.333364e-04,8.291657e-04,8.253409e-04,8.218438e-04,8.186567e-04,8.157626e-04,8.131455e-04,8.107899e-04,8.086811e-04,8.068049e-04,8.051478e-04,8.036969e-04,8.024399e-04,8.013650e-04,8.004610e-04,7.997170e-04
0.000000e+00,2.503062e-11,3.233053e-09,3.481476e-09,7.658450e-08,7.072890e-07,7.670922e-07,4.577250e-06,1.715905e-05,1.848837e-05,5.570028e-05,1.267582e-04,1.351941e-04,2.796465e-04,4.848064e-04,5.127631e-04,8.567762e-04,1.266274e-03,1.330480e-03,1.947922e-03,2.600613e-03,2.717732e-03,3.642978e-03,4.538824e-03,4.721439e-03,5.946166e-03,7.052015e-03,7.306214e-03,8.787463e-03,1.004872e-02,1.037345e-02,1.204618e-02,1.339903e-02,1.378683e-02,1.557641e-02,1.695770e-02,1.739626e-02,1.922854e-02,2.058252e-02,2.105649e-02,2.286475e-02,2.414664e-02,2.463943e-02,2.636829e-02,2.754546e-02,2.804069e-02,2.964765e-02,3.069915e-02,3.118174e-02,3.263702e-02,3.355208e-02,3.400896e-02,3.529427e-02,3.607040e-02,3.649086e-02,3.759764e-02,3.823863e-02,3.861443e-02,3.954186e-02,4.005593e-02,4.038121e-02,4.113435e-02,4.153257e-02,4.180361e-02,4.239170e-02,4.268669e-02,4.290164e-02,4.333667e-02,4.354163e-02,4.370018e-02,4.399570e-02,4.412368e-02,4.422680e-02,4.439705e-02,4.446049e-02,4.451005e-02,4.456932e-02,4.457970e-02,4.457832e-02,4.454042e-02,4.450814e-02,4.445889e-02,4.433690e-02,4.427118e-02,4.417747e-02,4.398351e-02,4.389242e-02,4.375779e-02,4.350297e-02,4.339345e-02,4.322152e-02,4.291584e-02,4.279380e-02,4.258816e-02,4.224060e-02,4.211099e-02,4.187514e-02,4.149367e-02,4.136064e-02,4.109795e-02,4.068961e-02,4.055654e-02,4.027022e-02,3.984121e-02,3.971083e-02,3.940392e-02,3.895962e-02,3.883412e-02,3.850947e-02,3.805457e-02,3.793564e-02,3.759592e-02,3.713448e-02,3.702342e-02,3.667111e-02,3.620663e-02,3.610437e-02,3.574178e-02,3.527726e-02,3.518446e-02,3.481371e-02,3.435172e-02,3.426877e-02,3.389183e-02,3.343455e-02,3.336166e-02,3.298033e-02,3.252960e-02,3.246679e-02,3.208273e-02,3.164009e-02,3.158727e-02,3.120199e-02,3.076872e-02,3.072567e-02,3.034055e-02,2.991771e-02,2.988412e-02,2.950041e-02,2.908886e-02,2.906435e-02,2.868321e-02,2.828362e-02,2.826776e-02,2.789022e-02,2.750312e-02,2.749544e-02,2.712243e-02,2.674822e-02,2.602668e-02,2.533123e-02,2.466209e-02,2.401932e-02,2.340288e-02,2.281258e-02,2.224816e-02,2.170927e-02,2.119548e-02,2.070631e-02,2.024122e-02,1.979965e-02,1.938099e-02,1.898459e-02,1.860980e-02,1.825594e-02,1.792233e-02,1.760826e-02,1.731303e-02,1.703595e-02,1.677630e-02,1.653338e-02,1.630651e-02,1.609498e-02,1.589812e-02,1.571526e-02,1.554574e-02,1.538891e-02,1.524414e-02,1.511080e-02,1.498829e-02,1.487602e-02,1.477342e-02,1.467991e-02,1.459497e-02,1.451807e-02,1.444869e-02,1.438636e-02,1.433058e-02,1.428092e-02,1.423692e-02,1.419818e-02,1.416428e-02,1.413484e-02,1.410950e-02,1.408789e-02,1.406970e-02,1.405459e-02,1.404228e-02
0.000000e+00,1.655466e-10,1.646372e-08,1.764027e-08,3.088842e-07,2.377627e-06,2.560843e-06,1.303156e-05,4.273476e-05,4.565952e-05,1.190790e-04,2.347378e-04,2.471238e-04,4.320490e-04,6.402204e-04,6.653392e-04,9.327171e-04,1.184141e-03,1.219041e-03,1.511271e-03,1.759734e-03,1.799582e-03,2.077301e-03,2.299345e-03,2.340334e-03,2.586468e-03,2.775007e-03,2.814773e-03,3.025129e-03,3.180734e-03,3.217914e-03,3.393785e-03,3.519741e-03,3.553552e-03,3.698086e-03,3.798294e-03,3.828280e-03,3.945017e-03,4.023242e-03,4.049151e-03,4.141500e-03,4.201135e-03,4.222846e-03,4.293926e-03,4.337950e-03,4.355439e-03,4.408044e-03,4.439044e-03,4.452360e-03,4.488970e-03,4.509179e-03,4.518423e-03,4.541233e-03,4.552570e-03,4.557884e-03,4.568829e-03,4.572937e-03,4.574494e-03,4.575279e-03,4.573563e-03,4.571557e-03,4.563679e-03,4.557337e-03,4.551975e-03,4.536751e-03,4.526797e-03,4.518297e-03,4.496882e-03,4.484177e-03,4.472759e-03,4.446164e-03,4.431432e-03,4.417318e-03,4.386428e-03,4.370277e-03,4.353687e-03,4.319275e-03,4.302214e-03,4.283361e-03,4.246102e-03,4.228553e-03,4.207646e-03,4.168128e-03,4.150437e-03,4.127676e-03,4.086410e-03,4.068862e-03,4.044440e-03,4.001869e-03,3.984695e-03,3.958794e-03,3.915302e-03,3.898684e-03,3.871477e-03,3.827397e-03,3.811479e-03,3.783131e-03,3.738746e-03,3.723639e-03,3.694303e-03,3.649858e-03,3.635645e-03,3.605465e-03,3.561170e-03,3.547908e-03,3.517019e-03,3.473053e-03,3.460780e-03,3.429308e-03,3.385819e-03,3.374558e-03,3.342618e-03,3.299734e-03,3.289491e-03,3.257192e-03,3.215018e-03,3.205791e-03,3.173232e-03,3.131855e-03,3.123630e-03,3.090903e-03,3.050394e-03,3.043150e-03,3.010340e-03,2.970754e-03,2.964465e-03,2.931648e-03,2.893031e-03,2.887665e-03,2.854913e-03,2.817299e-03,2.812819e-03,2.780196e-03,2.743610e-03,2.739980e-03,2.707545e-03,2.672003e-03,2.669183e-03,2.636988e-03,2.602501e-03,2.600449e-03,2.568543e-03,2.535114e-03,2.533788e-03,2.502215e-03,2.469843e-03,2.469201e-03,2.437999e-03,2.406679e-03,2.346206e-03,2.287760e-03,2.231313e-03,2.176834e-03,2.124288e-03,2.073634e-03,2.024834e-03,1.977843e-03,1.932619e-03,1.889114e-03,1.847285e-03,1.807083e-03,1.768462e-03,1.731376e-03,1.695778e-03,1.661622e-03,1.628861e-03,1.597451e-03,1.567348e-03,1.538507e-03,1.510886e-03,1.484442e-03,1.459134e-03,1.434922e-03,1.411767e-03,1.389630e-03,1.368474e-03,1.348263e-03,1.328960e-03,1.310533e-03,1.292947e-03,1.276170e-03,1.260171e-03,1.244919e-03,1.230384e-03,1.216538e-03,1.203353e-03,1.190802e-03,1.178859e-03,1.167500e-03,1.156699e-03,1.146433e-03,1.136680e-03,1.127418e-03,1.118624e-03,1.110280e-03,1.102365e-03,1.094861e-03,1.087748e-03
0.000000e+00,2.699536e-10,2.469348e-08,2.640704e-08,4.131701e-07,2.801692e-06,3.001427e-06,1.341959e-05,3.963387e-05,4.209525e-05,1.006846e-04,1.864386e-04,1.953208e-04,3.229892e-04,4.580226e-04,4.738001e-04,6.357807e-04,7.792087e-04,7.984987e-04,9.545318e-04,1.079909e-03,1.099423e-03,1.230994e-03,1.330706e-03,1.348583e-03,1.452425e-03,1.527813e-03,1.543237e-03,1.621957e-03,1.676906e-03,1.689596e-03,1.747157e-03,1.785676e-03,1.795596e-03,1.835805e-03,1.861368e-03,1.868606e-03,1.894752e-03,1.910219e-03,1.914926e-03,1.929751e-03,1.937432e-03,1.939792e-03,1.945559e-03,1.947302e-03,1.947514e-03,1.946077e-03,1.943357e-03,1.941626e-03,1.934503e-03,1.928489e-03,1.925017e-03,1.913446e-03,1.905064e-03,1.900042e-03,1.885033e-03,1.875013e-03,1.868624e-03,1.851000e-03,1.839911e-03,1.832326e-03,1.812753e-03,1.801043e-03,1.792416e-03,1.771437e-03,1.759449e-03,1.749924e-03,1.727977e-03,1.715975e-03,1.705682e-03,1.683119e-03,1.671305e-03,1.660359e-03,1.637466e-03,1.625987e-03,1.614496e-03,1.591499e-03,1.580464e-03,1.568521e-03,1.545602e-03,1.535089e-03,1.522777e-03,1.500079e-03,1.490139e-03,1.477534e-03,1.455169e-03,1.445834e-03,1.433004e-03,1.411058e-03,1.402345e-03,1.389348e-03,1.367888e-03,1.359802e-03,1.346691e-03,1.325766e-03,1.318302e-03,1.305124e-03,1.284771e-03,1.277918e-03,1.264713e-03,1.244956e-03,1.238698e-03,1.225504e-03,1.206359e-03,1.200676e-03,1.187524e-03,1.169000e-03,1.163869e-03,1.150787e-03,1.132887e-03,1.128283e-03,1.115297e-03,1.098019e-03,1.093918e-03,1.081049e-03,1.064387e-03,1.060763e-03,1.048031e-03,1.031977e-03,1.028802e-03,1.016224e-03,1.000768e-03,9.980171e-04,9.856064e-04,9.707361e-04,9.683836e-04,9.561536e-04,9.418554e-04,9.398762e-04,9.278379e-04,9.140974e-04,9.124669e-04,9.006300e-04,8.874319e-04,8.861268e-04,8.744992e-04,8.618280e-04,8.608255e-04,8.494143e-04,8.372542e-04,8.365325e-04,8.253435e-04,8.136785e-04,8.132169e-04,8.022550e-04,7.910691e-04,7.908478e-04,7.801169e-04,7.693944e-04,7.488263e-04,7.291136e-04,7.102266e-04,6.921365e-04,6.748151e-04,6.582348e-04,6.423689e-04,6.271913e-04,6.126768e-04,5.988008e-04,5.855394e-04,5.728697e-04,5.607694e-04,5.492168e-04,5.381912e-04,5.276723e-04,5.176407e-04,5.080776e-04,4.989647e-04,4.902846e-04,4.820203e-04,4.741554e-04,4.666742e-04,4.595615e-04,4.528026e-04,4.463832e-04,4.402899e-04,4.345093e-04,4.290287e-04,4.238360e-04,4.189193e-04,4.142671e-04,4.098685e-04,4.057130e-04,4.017902e-04,3.980903e-04,3.946038e-04,3.913216e-04,3.882349e-04,3.853350e-04,3.826139e-04,3.800636e-04,3.776765e-04,3.754452e-04,3.733628e-04,3.714222e-04,3.696171e-04,3.679411e-04,3.663880e-04
0.000000e+00,8.620773e-10,1.063885e-07,1.143875e-07,2.302772e-06,1.978639e-05,2.141182e-05,1.240025e-04,4.715107e-04,5.090593e-04,1.605534e-03,3.854588e-03,4.131138e-03,9.084339e-03,1.662108e-02,1.768278e-02,3.127378e-02,4.846092e-02,5.123788e-02,7.889911e-02,1.097577e-01,1.154496e-01,1.618921e-01,2.091215e-01,2.190001e-01,2.872963e-01,3.518412e-01,3.670448e-01,4.582565e-01,5.393339e-01,5.607038e-01,6.739429e-01,7.693592e-01,7.973399e-01,9.301012e-01,1.036698e+00,1.071303e+00,1.219923e+00,1.334038e+00,1.374869e+00,1.535006e+00,1.652870e+00,1.699178e+00,1.866238e+00,1.984292e+00,2.035056e+00,2.204545e+00,2.319648e+00,2.373665e+00,2.541442e+00,2.650994e+00,2.706967e+00,2.869410e+00,2.971403e+00,3.028015e+00,3.182111e+00,3.275122e+00,3.331103e+00,3.474476e+00,3.557618e+00,3.611793e+00,3.742690e+00,3.815550e+00,3.866872e+00,3.984112e+00,4.046670e+00,4.094244e+00,4.197157e+00,4.249706e+00,4.292794e+00,4.381144e+00,4.424215e+00,4.462240e+00,4.536151e+00,4.570443e+00,4.602981e+00,4.662863e+00,4.689184e+00,4.715954e+00,4.762434e+00,4.781649e+00,4.802501e+00,4.836367e+00,4.849361e+00,4.864256e+00,4.886402e+00,4.894049e+00,4.903046e+00,4.914432e+00,4.917570e+00,4.920809e+00,4.922425e+00,4.921843e+00,4.919529e+00,4.912366e+00,4.908791e+00,4.901181e+00,4.886211e+00,4.880302e+00,4.867692e+00,4.845853e+00,4.838200e+00,4.820916e+00,4.793098e+00,4.784222e+00,4.762608e+00,4.729647e+00,4.720003e+00,4.694412e+00,4.657087e+00,4.647063e+00,4.617854e+00,4.576882e+00,4.566809e+00,4.534337e+00,4.490374e+00,4.480526e+00,4.445142e+00,4.398783e+00,4.389388e+00,4.351432e+00,4.303215e+00,4.294453e+00,4.254253e+00,4.204660e+00,4.196674e+00,4.154543e+00,4.104004e+00,4.096900e+00,4.053138e+00,4.002035e+00,3.995890e+00,3.950778e+00,3.899446e+00,3.894312e+00,3.848114e+00,3.796849e+00,3.792753e+00,3.745717e+00,3.694777e+00,3.691728e+00,3.644084e+00,3.593692e+00,3.591683e+00,3.543646e+00,3.493992e+00,3.493004e+00,3.444771e+00,3.396020e+00,3.301013e+00,3.208218e+00,3.117830e+00,3.030010e+00,2.944885e+00,2.862556e+00,2.783097e+00,2.706562e+00,2.632983e+00,2.562377e+00,2.494743e+00,2.430071e+00,2.368334e+00,2.309500e+00,2.253525e+00,2.200357e+00,2.149941e+00,2.102213e+00,2.057104e+00,2.014543e+00,1.974455e+00,1.936762e+00,1.901383e+00,1.868235e+00,1.837237e+00,1.808303e+00,1.781349e+00,1.756289e+00,1.733040e+00,1.711516e+00,1.691634e+00,1.673312e+00,1.656466e+00,1.641018e+00,1.626889e+00,1.614001e+00,1.602278e+00,1.591649e+00,1.582042e+00,1.573387e+00,1.565618e+00,1.558671e+00,1.552484e+00,1.546997e+00,1.542154e+00,1.537900e+00,1.534184e+00,1.530956e+00,1.528169e+00
0.000000e+00,3.989651e-09,4.522691e-08,4.704423e-08,2.509057e-07,8.065054e-07,8.401080e-07,1.958082e-06,3.352825e-06,3.446558e-06,4.998651e-06,6.337982e-06,6.448880e-06,7.755681e-06,8.807834e-06,8.917741e-06,9.943474e-06,1.074157e-05,1.084324e-05,1.162744e-05,1.221703e-05,1.230604e-05,1.288840e-05,1.330966e-05,1.338331e-05,1.379892e-05,1.408586e-05,1.414278e-05,1.442184e-05,1.460276e-05,1.464251e-05,1.481063e-05,1.490876e-05,1.493157e-05,1.501022e-05,1.504448e-05,1.505105e-05,1.505813e-05,1.504381e-05,1.503514e-05,1.498544e-05,1.493487e-05,1.491212e-05,1.481796e-05,1.474101e-05,1.470548e-05,1.457697e-05,1.448148e-05,1.443449e-05,1.427992e-05,1.417212e-05,1.411496e-05,1.394114e-05,1.382590e-05,1.375985e-05,1.357234e-05,1.345345e-05,1.337972e-05,1.318302e-05,1.306342e-05,1.298314e-05,1.278091e-05,1.266283e-05,1.257705e-05,1.237222e-05,1.225732e-05,1.216701e-05,1.196194e-05,1.185143e-05,1.175748e-05,1.155403e-05,1.144876e-05,1.135196e-05,1.115160e-05,1.105214e-05,1.095321e-05,1.075707e-05,1.066377e-05,1.056336e-05,1.037229e-05,1.028533e-05,1.018401e-05,9.998659e-06,9.918062e-06,9.816350e-06,9.637177e-06,9.562879e-06,9.461220e-06,9.288540e-06,9.220397e-06,9.119185e-06,8.953190e-06,8.890998e-06,8.790579e-06,8.631366e-06,8.574882e-06,8.475555e-06,8.323144e-06,8.272096e-06,8.174121e-06,8.028470e-06,7.982571e-06,7.886169e-06,7.747189e-06,7.706138e-06,7.611500e-06,7.479064e-06,7.442560e-06,7.349844e-06,7.223796e-06,7.191538e-06,7.100878e-06,6.981041e-06,6.952734e-06,6.864239e-06,6.750421e-06,6.725776e-06,6.639535e-06,6.531531e-06,6.510272e-06,6.426356e-06,6.323955e-06,6.305814e-06,6.224277e-06,6.127265e-06,6.111987e-06,6.032868e-06,5.941030e-06,5.928374e-06,5.851698e-06,5.764819e-06,5.754555e-06,5.680339e-06,5.598205e-06,5.590119e-06,5.518366e-06,5.440769e-06,5.434656e-06,5.365363e-06,5.292099e-06,5.287770e-06,5.220925e-06,5.151794e-06,5.149070e-06,5.084656e-06,5.019465e-06,5.018181e-06,4.956173e-06,4.894734e-06,4.778378e-06,4.668769e-06,4.565580e-06,4.468495e-06,4.377211e-06,4.291437e-06,4.210895e-06,4.135319e-06,4.064454e-06,3.998057e-06,3.935896e-06,3.877750e-06,3.823407e-06,3.772665e-06,3.725333e-06,3.681227e-06,3.640174e-06,3.602007e-06,3.566569e-06,3.533709e-06,3.503285e-06,3.475160e-06,3.449205e-06,3.425298e-06,3.403321e-06,3.383164e-06,3.364721e-06,3.347892e-06,3.332582e-06,3.318701e-06,3.306162e-06,3.294885e-06,3.284792e-06,3.275811e-06,3.267871e-06,3.260907e-06,3.254856e-06,3.249659e-06,3.245261e-06,3.241607e-06,3.238649e-06,3.236339e-06,3.234631e-06,3.233482e-06,3.232854e-06,3.232708e-06,3.233008e-06,3.233719e-06,3.234811e-06
0.000000e+00,2.946529e-09,4.259787e-08,4.452705e-08,2.952691e-07,1.100166e-06,1.151472e-06,2.901470e-06,5.036103e-06,5.176397e-06,7.472202e-06,9.447527e-06,9.611832e-06,1.156263e-05,1.315874e-05,1.332707e-05,1.491563e-05,1.617758e-05,1.634027e-05,1.761277e-05,1.859394e-05,1.874426e-05,1.974525e-05,2.049245e-05,2.062559e-05,2.139452e-05,2.194803e-05,2.206074e-05,2.263239e-05,2.302675e-05,2.311708e-05,2.352194e-05,2.378662e-05,2.385364e-05,2.411837e-05,2.427836e-05,2.432193e-05,2.446968e-05,2.454604e-05,2.456662e-05,2.461737e-05,2.462772e-05,2.462620e-05,2.459707e-05,2.455606e-05,2.453363e-05,2.443925e-05,2.435899e-05,2.431704e-05,2.416987e-05,2.406035e-05,2.400037e-05,2.381097e-05,2.368036e-05,2.360392e-05,2.338125e-05,2.323619e-05,2.314486e-05,2.289647e-05,2.274235e-05,2.263769e-05,2.236995e-05,2.221108e-05,2.209459e-05,2.181283e-05,2.165267e-05,2.152578e-05,2.123446e-05,2.107571e-05,2.093981e-05,2.064265e-05,2.048740e-05,2.034376e-05,2.004385e-05,1.989370e-05,1.974354e-05,1.944340e-05,1.929956e-05,1.914397e-05,1.884569e-05,1.870900e-05,1.854901e-05,1.825429e-05,1.812532e-05,1.796187e-05,1.767206e-05,1.755118e-05,1.738512e-05,1.710130e-05,1.698869e-05,1.682080e-05,1.654381e-05,1.643951e-05,1.627049e-05,1.600098e-05,1.590491e-05,1.573539e-05,1.547383e-05,1.538583e-05,1.521638e-05,1.496311e-05,1.488296e-05,1.471407e-05,1.446931e-05,1.439672e-05,1.422886e-05,1.399274e-05,1.392740e-05,1.376095e-05,1.353350e-05,1.347507e-05,1.331038e-05,1.309159e-05,1.303972e-05,1.287710e-05,1.266688e-05,1.262120e-05,1.246091e-05,1.225915e-05,1.221930e-05,1.206156e-05,1.186810e-05,1.183372e-05,1.167873e-05,1.149339e-05,1.146411e-05,1.131204e-05,1.113462e-05,1.111009e-05,1.096108e-05,1.079135e-05,1.077124e-05,1.062539e-05,1.046313e-05,1.044711e-05,1.030451e-05,1.014948e-05,1.013723e-05,9.997965e-06,9.849911e-06,9.841137e-06,9.705255e-06,9.563934e-06,9.558350e-06,9.425887e-06,9.291052e-06,9.288388e-06,9.159368e-06,9.030773e-06,8.785032e-06,8.550698e-06,8.327312e-06,8.114427e-06,7.911606e-06,7.718425e-06,7.534472e-06,7.359349e-06,7.192669e-06,7.034061e-06,6.883167e-06,6.739642e-06,6.603154e-06,6.473384e-06,6.350026e-06,6.232788e-06,6.121387e-06,6.015554e-06,5.915032e-06,5.819574e-06,5.728944e-06,5.642915e-06,5.561272e-06,5.483809e-06,5.410329e-06,5.340644e-06,5.274574e-06,5.211947e-06,5.152600e-06,5.096377e-06,5.043129e-06,4.992712e-06,4.944992e-06,4.899840e-06,4.857132e-06,4.816750e-06,4.778583e-06,4.742523e-06,4.708470e-06,4.676324e-06,4.645994e-06,4.617391e-06,4.590432e-06,4.565035e-06,4.541125e-06,4.518628e-06,4.497475e-06,4.477600e-06,4.458940e-06
0.000000e+00,1.090983e-09,7.667450e-08,8.172214e-08,1.138509e-06,7.001164e-06,7.465023e-06,2.896486e-05,7.162820e-05,7.512528e-05,1.441044e-04,2.183138e-04,2.249557e-04,3.077969e-04,3.796849e-04,3.874333e-04,4.619370e-04,5.228786e-04,5.308538e-04,5.942581e-04,6.445564e-04,6.523871e-04,7.055196e-04,7.464975e-04,7.539396e-04,7.979258e-04,8.308756e-04,8.377481e-04,8.736662e-04,8.997567e-04,9.059282e-04,9.347711e-04,9.550406e-04,9.604206e-04,9.830908e-04,9.984528e-04,1.002984e-03,1.020292e-03,1.031541e-03,1.035193e-03,1.047854e-03,1.055671e-03,1.058432e-03,1.067076e-03,1.072055e-03,1.073932e-03,1.079133e-03,1.081789e-03,1.082806e-03,1.085067e-03,1.085838e-03,1.086024e-03,1.085782e-03,1.085040e-03,1.084433e-03,1.082068e-03,1.080127e-03,1.078769e-03,1.074616e-03,1.071745e-03,1.069682e-03,1.064034e-03,1.060456e-03,1.057736e-03,1.050847e-03,1.046753e-03,1.043424e-03,1.035519e-03,1.031066e-03,1.027179e-03,1.018451e-03,1.013772e-03,1.009375e-03,9.999921e-04,9.951967e-04,9.903378e-04,9.804464e-04,9.756237e-04,9.703495e-04,9.600764e-04,9.552992e-04,9.496543e-04,9.391086e-04,9.344355e-04,9.284628e-04,9.177385e-04,9.132159e-04,9.069560e-04,8.961338e-04,8.917977e-04,8.852891e-04,8.744379e-04,8.703158e-04,8.635947e-04,8.527732e-04,8.488851e-04,8.419856e-04,8.312433e-04,8.276032e-04,8.205569e-04,8.099357e-04,8.065522e-04,7.993886e-04,7.889234e-04,7.858010e-04,7.785475e-04,7.682672e-04,7.654067e-04,7.580885e-04,7.480168e-04,7.454163e-04,7.380568e-04,7.282128e-04,7.258679e-04,7.184886e-04,7.088874e-04,7.067919e-04,6.994122e-04,6.900656e-04,6.882119e-04,6.808498e-04,6.717665e-04,6.701457e-04,6.628174e-04,6.540036e-04,6.526060e-04,6.453262e-04,6.367860e-04,6.356014e-04,6.283834e-04,6.201188e-04,6.191363e-04,6.119923e-04,6.040038e-04,6.032125e-04,5.961530e-04,5.884397e-04,5.878285e-04,5.808633e-04,5.734230e-04,5.729810e-04,5.661183e-04,5.589482e-04,5.586642e-04,5.519117e-04,5.450078e-04,5.448711e-04,5.382354e-04,5.315931e-04,5.188206e-04,5.065431e-04,4.947491e-04,4.834268e-04,4.725640e-04,4.621479e-04,4.521658e-04,4.426047e-04,4.334515e-04,4.246934e-04,4.163174e-04,4.083106e-04,4.006605e-04,3.933546e-04,3.863806e-04,3.797267e-04,3.733811e-04,3.673322e-04,3.615690e-04,3.560806e-04,3.508563e-04,3.458860e-04,3.411596e-04,3.366675e-04,3.324003e-04,3.283489e-04,3.245044e-04,3.208585e-04,3.174029e-04,3.141296e-04,3.110311e-04,3.080999e-04,3.053289e-04,3.027112e-04,3.002402e-04,2.979096e-04,2.957131e-04,2.936448e-04,2.916991e-04,2.898705e-04,2.881537e-04,2.865436e-04,2.850353e-04,2.836242e-04,2.823057e-04,2.810755e-04,2.799294e-04,2.788635e-04,2.778739e-04
0.000000e+00,1.501932e-10,1.499436e-08,1.605971e-08,2.712266e-07,1.995701e-06,2.145715e-06,1.053095e-05,3.396431e-05,3.627293e-05,9.482933e-05,1.896136e-04,1.999344e-04,3.574115e-04,5.412171e-04,5.638052e-04,8.090686e-04,1.046881e-03,1.080385e-03,1.365192e-03,1.612753e-03,1.652872e-03,1.935347e-03,2.164414e-03,2.206977e-03,2.464158e-03,2.662786e-03,2.704836e-03,2.928065e-03,3.093934e-03,3.133647e-03,3.321870e-03,3.456998e-03,3.493313e-03,3.648726e-03,3.756634e-03,3.788949e-03,3.914849e-03,3.999307e-03,4.027297e-03,4.127143e-03,4.191691e-03,4.215207e-03,4.292270e-03,4.340070e-03,4.359078e-03,4.416332e-03,4.450148e-03,4.464696e-03,4.504796e-03,4.527021e-03,4.537219e-03,4.562518e-03,4.575213e-03,4.581213e-03,4.593790e-03,4.598717e-03,4.600707e-03,4.602393e-03,4.601061e-03,4.599249e-03,4.591654e-03,4.585349e-03,4.579960e-03,4.564499e-03,4.554312e-03,4.545581e-03,4.523496e-03,4.510350e-03,4.498517e-03,4.470897e-03,4.455572e-03,4.440876e-03,4.408676e-03,4.391824e-03,4.374504e-03,4.338556e-03,4.320723e-03,4.301012e-03,4.262043e-03,4.243683e-03,4.221807e-03,4.180451e-03,4.161936e-03,4.138113e-03,4.094921e-03,4.076555e-03,4.050994e-03,4.006444e-03,3.988473e-03,3.961374e-03,3.915880e-03,3.898500e-03,3.870052e-03,3.823971e-03,3.807336e-03,3.777716e-03,3.731357e-03,3.715583e-03,3.684960e-03,3.638586e-03,3.623761e-03,3.592292e-03,3.546129e-03,3.532313e-03,3.500145e-03,3.454384e-03,3.441617e-03,3.408887e-03,3.363690e-03,3.351992e-03,3.318827e-03,3.274330e-03,3.263708e-03,3.230227e-03,3.186542e-03,3.176990e-03,3.143300e-03,3.100521e-03,3.092023e-03,3.058224e-03,3.016426e-03,3.008957e-03,2.975142e-03,2.934385e-03,2.927914e-03,2.894167e-03,2.854498e-03,2.848989e-03,2.815387e-03,2.776842e-03,2.772255e-03,2.738869e-03,2.701472e-03,2.697765e-03,2.664657e-03,2.628426e-03,2.625553e-03,2.592782e-03,2.557726e-03,2.555641e-03,2.523258e-03,2.489379e-03,2.488036e-03,2.456089e-03,2.423384e-03,2.422736e-03,2.391265e-03,2.359728e-03,2.298992e-03,2.240500e-03,2.184220e-03,2.130115e-03,2.078141e-03,2.028256e-03,1.980412e-03,1.934560e-03,1.890648e-03,1.848626e-03,1.808440e-03,1.770038e-03,1.733366e-03,1.698371e-03,1.665000e-03,1.633202e-03,1.602924e-03,1.574114e-03,1.546724e-03,1.520702e-03,1.496001e-03,1.472573e-03,1.450372e-03,1.429351e-03,1.409467e-03,1.390677e-03,1.372937e-03,1.356207e-03,1.340448e-03,1.325619e-03,1.311684e-03,1.298605e-03,1.286348e-03,1.274877e-03,1.264159e-03,1.254162e-03,1.244854e-03,1.236205e-03,1.228185e-03,1.220765e-03,1.213919e-03,1.207618e-03,1.201838e-03,1.196554e-03,1.191741e-03,1.187376e-03,1.183436e-03,1.179901e-03,1.176748e-03
0.000000e+00,1.521337e-09,1.964822e-08,2.049445e-08,1.217807e-07,4.147569e-07,4.328368e-07,1.049381e-06,1.851216e-06,1.906149e-06,2.830737e-06,3.649538e-06,3.718240e-06,4.539577e-06,5.218960e-06,5.291008e-06,5.974929e-06,6.523912e-06,6.595097e-06,7.155470e-06,7.592533e-06,7.659933e-06,8.112217e-06,8.454415e-06,8.515873e-06,8.874269e-06,9.136625e-06,9.190596e-06,9.467865e-06,9.663469e-06,9.708911e-06,9.916404e-06,1.005657e-05,1.009285e-05,1.024059e-05,1.033504e-05,1.036183e-05,1.045863e-05,1.051567e-05,1.053292e-05,1.058649e-05,1.061319e-05,1.062103e-05,1.063811e-05,1.064046e-05,1.063918e-05,1.062563e-05,1.060871e-05,1.059871e-05,1.055962e-05,1.052769e-05,1.050946e-05,1.044925e-05,1.040590e-05,1.037996e-05,1.030247e-05,1.025068e-05,1.021761e-05,1.012614e-05,1.006839e-05,1.002878e-05,9.926187e-06,9.864529e-06,9.818974e-06,9.707708e-06,9.643826e-06,9.592914e-06,9.475080e-06,9.410344e-06,9.354653e-06,9.232050e-06,9.167564e-06,9.107653e-06,8.981814e-06,8.918458e-06,8.854860e-06,8.727090e-06,8.665552e-06,8.598778e-06,8.470176e-06,8.410986e-06,8.341516e-06,8.213009e-06,8.156565e-06,8.084848e-06,7.957210e-06,7.903797e-06,7.830255e-06,7.704128e-06,7.653939e-06,7.578960e-06,7.454872e-06,7.408024e-06,7.331970e-06,7.210350e-06,7.166898e-06,7.090098e-06,6.971291e-06,6.931238e-06,6.853996e-06,6.738273e-06,6.701582e-06,6.624173e-06,6.511742e-06,6.478344e-06,6.401018e-06,6.292033e-06,6.261833e-06,6.184815e-06,6.079386e-06,6.052269e-06,5.975762e-06,5.873957e-06,5.849795e-06,5.773980e-06,5.675835e-06,5.654490e-06,5.579526e-06,5.485051e-06,5.466376e-06,5.392406e-06,5.301585e-06,5.285430e-06,5.212579e-06,5.125378e-06,5.111592e-06,5.039968e-06,4.956336e-06,4.944768e-06,4.874465e-06,4.794337e-06,4.784838e-06,4.715935e-06,4.639239e-06,4.631662e-06,4.564227e-06,4.490878e-06,4.485081e-06,4.419170e-06,4.349080e-06,4.344925e-06,4.280583e-06,4.213657e-06,4.211012e-06,4.148276e-06,4.084415e-06,4.083153e-06,4.022050e-06,3.961155e-06,3.844819e-06,3.733947e-06,3.628341e-06,3.527803e-06,3.432137e-06,3.341151e-06,3.254655e-06,3.172463e-06,3.094396e-06,3.020277e-06,2.949934e-06,2.883204e-06,2.819924e-06,2.759942e-06,2.703106e-06,2.649273e-06,2.598305e-06,2.550068e-06,2.504435e-06,2.461283e-06,2.420493e-06,2.381954e-06,2.345556e-06,2.311197e-06,2.278778e-06,2.248204e-06,2.219384e-06,2.192233e-06,2.166667e-06,2.142608e-06,2.119981e-06,2.098714e-06,2.078738e-06,2.059990e-06,2.042405e-06,2.025926e-06,2.010495e-06,1.996059e-06,1.982567e-06,1.969969e-06,1.958220e-06,1.947275e-06,1.937092e-06,1.927632e-06,1.918855e-06,1.910726e-06,1.903210e-06,1.896274e-06,1.889888e-06
0.000000e+00,1.123766e-09,1.546038e-08,1.613430e-08,9.402986e-08,2.994421e-07,3.114733e-07,6.935856e-07,1.139838e-06,1.169207e-06,1.652660e-06,2.073056e-06,2.108215e-06,2.528099e-06,2.875339e-06,2.912178e-06,3.262084e-06,3.543328e-06,3.579827e-06,3.867453e-06,4.092241e-06,4.126950e-06,4.360225e-06,4.537241e-06,4.569091e-06,4.755268e-06,4.892145e-06,4.920379e-06,5.065947e-06,5.169294e-06,5.193402e-06,5.304086e-06,5.379588e-06,5.399254e-06,5.480076e-06,5.532584e-06,5.547650e-06,5.603002e-06,5.636658e-06,5.647087e-06,5.680796e-06,5.699111e-06,5.704961e-06,5.720355e-06,5.726300e-06,5.727699e-06,5.727665e-06,5.723747e-06,5.720876e-06,5.707915e-06,5.696244e-06,5.689322e-06,5.665598e-06,5.647940e-06,5.637211e-06,5.604595e-06,5.582427e-06,5.568152e-06,5.528255e-06,5.502805e-06,5.485253e-06,5.439466e-06,5.411753e-06,5.391193e-06,5.340711e-06,5.311572e-06,5.288275e-06,5.234122e-06,5.204244e-06,5.178472e-06,5.121527e-06,5.091467e-06,5.063475e-06,5.004488e-06,4.974695e-06,4.944727e-06,4.884339e-06,4.855170e-06,4.823459e-06,4.762211e-06,4.733946e-06,4.700711e-06,4.639065e-06,4.611919e-06,4.577368e-06,4.515710e-06,4.489844e-06,4.454171e-06,4.392826e-06,4.368358e-06,4.331742e-06,4.270982e-06,4.247989e-06,4.210600e-06,4.150647e-06,4.129179e-06,4.091171e-06,4.032211e-06,4.012289e-06,3.973806e-06,3.915988e-06,3.897615e-06,3.858788e-06,3.802231e-06,3.785394e-06,3.746343e-06,3.691142e-06,3.675811e-06,3.636647e-06,3.582873e-06,3.569012e-06,3.529834e-06,3.477541e-06,3.465103e-06,3.426003e-06,3.375228e-06,3.364160e-06,3.325221e-06,3.275988e-06,3.266234e-06,3.227530e-06,3.179850e-06,3.171350e-06,3.132948e-06,3.086823e-06,3.079515e-06,3.041475e-06,2.996901e-06,2.990722e-06,2.953097e-06,2.910060e-06,2.904947e-06,2.867785e-06,2.826268e-06,2.822157e-06,2.785501e-06,2.745479e-06,2.742310e-06,2.706196e-06,2.667644e-06,2.665354e-06,2.629815e-06,2.592702e-06,2.591232e-06,2.556297e-06,2.520591e-06,2.519884e-06,2.485577e-06,2.451244e-06,2.385243e-06,2.321811e-06,2.260876e-06,2.202365e-06,2.146205e-06,2.092324e-06,2.040648e-06,1.991105e-06,1.943625e-06,1.898137e-06,1.854572e-06,1.812864e-06,1.772947e-06,1.734756e-06,1.698229e-06,1.663305e-06,1.629925e-06,1.598031e-06,1.567567e-06,1.538481e-06,1.510718e-06,1.484229e-06,1.458965e-06,1.434878e-06,1.411923e-06,1.390055e-06,1.369231e-06,1.349411e-06,1.330555e-06,1.312624e-06,1.295582e-06,1.279392e-06,1.264021e-06,1.249436e-06,1.235604e-06,1.222495e-06,1.210079e-06,1.198328e-06,1.187215e-06,1.176712e-06,1.166795e-06,1.157440e-06,1.148621e-06,1.140318e-06,1.132507e-06,1.125168e-06,1.118282e-06,1.111827e-06,1.105786e-06
0.000000e+00,3.026844e-09,4.090919e-08,4.270471e-08,2.586919e-07,8.484272e-07,8.826607e-07,1.911045e-06,2.982593e-06,3.049990e-06,4.128719e-06,5.035214e-06,5.110011e-06,5.991818e-06,6.704491e-06,6.779150e-06,7.478317e-06,8.025744e-06,8.095724e-06,8.637591e-06,9.047722e-06,9.109867e-06,9.518247e-06,9.815847e-06,9.868104e-06,1.016449e-05,1.037095e-05,1.041213e-05,1.061540e-05,1.074881e-05,1.077836e-05,1.090479e-05,1.098027e-05,1.099813e-05,1.106158e-05,1.109162e-05,1.109807e-05,1.111030e-05,1.110518e-05,1.110072e-05,1.107162e-05,1.103975e-05,1.102507e-05,1.096297e-05,1.091118e-05,1.088705e-05,1.079891e-05,1.073274e-05,1.070000e-05,1.059165e-05,1.051555e-05,1.047506e-05,1.035135e-05,1.026891e-05,1.022152e-05,1.008649e-05,1.000052e-05,9.947076e-06,9.804048e-06,9.716783e-06,9.658089e-06,9.509819e-06,9.422989e-06,9.359803e-06,9.208548e-06,9.123477e-06,9.056514e-06,8.904114e-06,8.821799e-06,8.751721e-06,8.599668e-06,8.520835e-06,8.448253e-06,8.297743e-06,8.222902e-06,8.148375e-06,8.000359e-06,7.929848e-06,7.853883e-06,7.709108e-06,7.643123e-06,7.566178e-06,7.425218e-06,7.363848e-06,7.286336e-06,7.149622e-06,7.092869e-06,7.015156e-06,6.883002e-06,6.830800e-06,6.753214e-06,6.625835e-06,6.578070e-06,6.500898e-06,6.378429e-06,6.334947e-06,6.258444e-06,6.140952e-06,6.101574e-06,6.025958e-06,5.913460e-06,5.877986e-06,5.803450e-06,5.695916e-06,5.664136e-06,5.590842e-06,5.488209e-06,5.459907e-06,5.387995e-06,5.290172e-06,5.265127e-06,5.194714e-06,5.101590e-06,5.079584e-06,5.010767e-06,4.922212e-06,4.903031e-06,4.835890e-06,4.751764e-06,4.735199e-06,4.669796e-06,4.589949e-06,4.575799e-06,4.512184e-06,4.436460e-06,4.424532e-06,4.362740e-06,4.290982e-06,4.281090e-06,4.221146e-06,4.153193e-06,4.145163e-06,4.087082e-06,4.022774e-06,4.016441e-06,3.960228e-06,3.899406e-06,3.894613e-06,3.840267e-06,3.782774e-06,3.779376e-06,3.726888e-06,3.672571e-06,3.670430e-06,3.619786e-06,3.568495e-06,3.567485e-06,3.518664e-06,3.470255e-06,3.378465e-06,3.291850e-06,3.210152e-06,3.133126e-06,3.060533e-06,2.992147e-06,2.927750e-06,2.867134e-06,2.810100e-06,2.756458e-06,2.706028e-06,2.658638e-06,2.614124e-06,2.572330e-06,2.533109e-06,2.496319e-06,2.461827e-06,2.429506e-06,2.399236e-06,2.370903e-06,2.344399e-06,2.319621e-06,2.296472e-06,2.274860e-06,2.254698e-06,2.235904e-06,2.218399e-06,2.202109e-06,2.186965e-06,2.172899e-06,2.159851e-06,2.147760e-06,2.136570e-06,2.126228e-06,2.116685e-06,2.107892e-06,2.099805e-06,2.092382e-06,2.085583e-06,2.079369e-06,2.073706e-06,2.068559e-06,2.063897e-06,2.059689e-06,2.055908e-06,2.052526e-06,2.049518e-06,2.046860e-06,2.044530e-06
0.000000e+00,3.463191e-09,4.089764e-08,4.258731e-08,2.385341e-07,7.946717e-07,8.288835e-07,1.991227e-06,3.490814e-06,3.593332e-06,5.324275e-06,6.874361e-06,7.005351e-06,8.583450e-06,9.906904e-06,1.004829e-05,1.140117e-05,1.250253e-05,1.264644e-05,1.378926e-05,1.469419e-05,1.483494e-05,1.578878e-05,1.652284e-05,1.665598e-05,1.744156e-05,1.802824e-05,1.815037e-05,1.878708e-05,1.924755e-05,1.935616e-05,1.986188e-05,2.021496e-05,2.030828e-05,2.069922e-05,2.096149e-05,2.103834e-05,2.132910e-05,2.151506e-05,2.157477e-05,2.177843e-05,2.190069e-05,2.194299e-05,2.207121e-05,2.214073e-05,2.216567e-05,2.222882e-05,2.225505e-05,2.226295e-05,2.227023e-05,2.226132e-05,2.225269e-05,2.221225e-05,2.217519e-05,2.215071e-05,2.206976e-05,2.201052e-05,2.197098e-05,2.185587e-05,2.177955e-05,2.172583e-05,2.158217e-05,2.149310e-05,2.142613e-05,2.125885e-05,2.116067e-05,2.108142e-05,2.089485e-05,2.079064e-05,2.070009e-05,2.049802e-05,2.039033e-05,2.028947e-05,2.007521e-05,1.996617e-05,1.985598e-05,1.963243e-05,1.952379e-05,1.940521e-05,1.917489e-05,1.906805e-05,1.894202e-05,1.870711e-05,1.860322e-05,1.847063e-05,1.823301e-05,1.813298e-05,1.799467e-05,1.775598e-05,1.766049e-05,1.751729e-05,1.727892e-05,1.718848e-05,1.704116e-05,1.680430e-05,1.671929e-05,1.656857e-05,1.633423e-05,1.625490e-05,1.610147e-05,1.587049e-05,1.579698e-05,1.564147e-05,1.541456e-05,1.534693e-05,1.518993e-05,1.496770e-05,1.490592e-05,1.474798e-05,1.453089e-05,1.447489e-05,1.431653e-05,1.410498e-05,1.405463e-05,1.389630e-05,1.369058e-05,1.364573e-05,1.348787e-05,1.328822e-05,1.324866e-05,1.309166e-05,1.289824e-05,1.286376e-05,1.270798e-05,1.252090e-05,1.249126e-05,1.233703e-05,1.215636e-05,1.213133e-05,1.197892e-05,1.180469e-05,1.178400e-05,1.163369e-05,1.146589e-05,1.144929e-05,1.130130e-05,1.113990e-05,1.112712e-05,1.098167e-05,1.082660e-05,1.081739e-05,1.067465e-05,1.052582e-05,1.051993e-05,1.038007e-05,1.023738e-05,1.023456e-05,1.009771e-05,9.961044e-06,9.699147e-06,9.448601e-06,9.209125e-06,8.980423e-06,8.762194e-06,8.554127e-06,8.355909e-06,8.167225e-06,7.987757e-06,7.817192e-06,7.655216e-06,7.501519e-06,7.355798e-06,7.217750e-06,7.087082e-06,6.963505e-06,6.846736e-06,6.736502e-06,6.632534e-06,6.534570e-06,6.442358e-06,6.355651e-06,6.274211e-06,6.197806e-06,6.126213e-06,6.059216e-06,5.996604e-06,5.938176e-06,5.883737e-06,5.833099e-06,5.786080e-06,5.742506e-06,5.702208e-06,5.665023e-06,5.630797e-06,5.599378e-06,5.570622e-06,5.544392e-06,5.520552e-06,5.498976e-06,5.479541e-06,5.462128e-06,5.446624e-06,5.432922e-06,5.420917e-06,5.410509e-06,5.401603e-06,5.394108e-06,5.387937e-06
0.000000e+00,4.029409e-09,1.366979e-07,1.441709e-07,1.298127e-06,5.652992e-06,5.947084e-06,1.694868e-05,3.318920e-05,3.436389e-05,5.500962e-05,7.423939e-05,7.588130e-05,9.581443e-05,1.127417e-04,1.145622e-04,1.321129e-04,1.465961e-04,1.485032e-04,1.637806e-04,1.760667e-04,1.779945e-04,1.911949e-04,2.015356e-04,2.034305e-04,2.147489e-04,2.233781e-04,2.251964e-04,2.348174e-04,2.419478e-04,2.436546e-04,2.517491e-04,2.575726e-04,2.591402e-04,2.658652e-04,2.705531e-04,2.719602e-04,2.774594e-04,2.811644e-04,2.823954e-04,2.867995e-04,2.896578e-04,2.907013e-04,2.941293e-04,2.962612e-04,2.971101e-04,2.996700e-04,3.011828e-04,3.018334e-04,3.036237e-04,3.046119e-04,3.050633e-04,3.061730e-04,3.067195e-04,3.069730e-04,3.074824e-04,3.076602e-04,3.077193e-04,3.077009e-04,3.075743e-04,3.074437e-04,3.069632e-04,3.065881e-04,3.062742e-04,3.053907e-04,3.048159e-04,3.043259e-04,3.030927e-04,3.023609e-04,3.017028e-04,3.001677e-04,2.993157e-04,2.984982e-04,2.967043e-04,2.957638e-04,2.947959e-04,2.927820e-04,2.917804e-04,2.906713e-04,2.884720e-04,2.874328e-04,2.861919e-04,2.838383e-04,2.827812e-04,2.814181e-04,2.789379e-04,2.778798e-04,2.764039e-04,2.738219e-04,2.727769e-04,2.711974e-04,2.685356e-04,2.675153e-04,2.658414e-04,2.631194e-04,2.621336e-04,2.603741e-04,2.576094e-04,2.566657e-04,2.548292e-04,2.520372e-04,2.511418e-04,2.492367e-04,2.464309e-04,2.455886e-04,2.436228e-04,2.408152e-04,2.400295e-04,2.380107e-04,2.352119e-04,2.344853e-04,2.324208e-04,2.296398e-04,2.289741e-04,2.268707e-04,2.241155e-04,2.235114e-04,2.213759e-04,2.186534e-04,2.181111e-04,2.159495e-04,2.132657e-04,2.127848e-04,2.106031e-04,2.079630e-04,2.075427e-04,2.053463e-04,2.027541e-04,2.023932e-04,2.001874e-04,1.976468e-04,1.973437e-04,1.951331e-04,1.926470e-04,1.924000e-04,1.901892e-04,1.877600e-04,1.875669e-04,1.853601e-04,1.829898e-04,1.828485e-04,1.806495e-04,1.783394e-04,1.782477e-04,1.760600e-04,1.738114e-04,1.737667e-04,1.715937e-04,1.694072e-04,1.651700e-04,1.610556e-04,1.570639e-04,1.531946e-04,1.494466e-04,1.458189e-04,1.423101e-04,1.389185e-04,1.356422e-04,1.324793e-04,1.294274e-04,1.264844e-04,1.236479e-04,1.209154e-04,1.182843e-04,1.157522e-04,1.133164e-04,1.109743e-04,1.087233e-04,1.065608e-04,1.044842e-04,1.024909e-04,1.005783e-04,9.874397e-05,9.698537e-05,9.530005e-05,9.368562e-05,9.213970e-05,9.065998e-05,8.924421e-05,8.789016e-05,8.659569e-05,8.535869e-05,8.417711e-05,8.304894e-05,8.197226e-05,8.094516e-05,7.996583e-05,7.903246e-05,7.814335e-05,7.729681e-05,7.649121e-05,7.572500e-05,7.499664e-05,7.430466e-05,7.364764e-05,7.302419e-05,7.243299e-05,7.187275e-05
0.000000e+00,1.368625e-09,1.468334e-08,1.526580e-08,8.211743e-08,2.781741e-07,2.905598e-07,7.302112e-07,1.342196e-06,1.385444e-06,2.130556e-06,2.805711e-06,2.862624e-06,3.543565e-06,4.105570e-06,4.165026e-06,4.727549e-06,5.176138e-06,5.234080e-06,5.688147e-06,6.039412e-06,6.093324e-06,6.453081e-06,6.722605e-06,6.770731e-06,7.049416e-06,7.250946e-06,7.292100e-06,7.501573e-06,7.647003e-06,7.680450e-06,7.831184e-06,7.930696e-06,7.956062e-06,8.057220e-06,8.119466e-06,8.136647e-06,8.196194e-06,8.228475e-06,8.237579e-06,8.262401e-06,8.270854e-06,8.272143e-06,8.268178e-06,8.257935e-06,8.251783e-06,8.224136e-06,8.199470e-06,8.186331e-06,8.139378e-06,8.103835e-06,8.084212e-06,8.021697e-06,7.978202e-06,7.952630e-06,7.877748e-06,7.828700e-06,7.797728e-06,7.713198e-06,7.660555e-06,7.624731e-06,7.532860e-06,7.478207e-06,7.438070e-06,7.340809e-06,7.285419e-06,7.241489e-06,7.140486e-06,7.085367e-06,7.038145e-06,6.934780e-06,6.880723e-06,6.830680e-06,6.726109e-06,6.673722e-06,6.621305e-06,6.516486e-06,6.466226e-06,6.411850e-06,6.307575e-06,6.259775e-06,6.203824e-06,6.100742e-06,6.055632e-06,5.998460e-06,5.897096e-06,5.854823e-06,5.796755e-06,5.697530e-06,5.658172e-06,5.599505e-06,5.502751e-06,5.466332e-06,5.407333e-06,5.313306e-06,5.279807e-06,5.220719e-06,5.129611e-06,5.098978e-06,5.040018e-06,4.951967e-06,4.924120e-06,4.865482e-06,4.780580e-06,4.755420e-06,4.697275e-06,4.615577e-06,4.592990e-06,4.535490e-06,4.457016e-06,4.436878e-06,4.380156e-06,4.304904e-06,4.287082e-06,4.231254e-06,4.159197e-06,4.143558e-06,4.088723e-06,4.019818e-06,4.006225e-06,3.952469e-06,3.886658e-06,3.874974e-06,3.822369e-06,3.759584e-06,3.749676e-06,3.698282e-06,3.638443e-06,3.630181e-06,3.580047e-06,3.523070e-06,3.516327e-06,3.467491e-06,3.413287e-06,3.407942e-06,3.360434e-06,3.308909e-06,3.304844e-06,3.258688e-06,3.209746e-06,3.206850e-06,3.162060e-06,3.115605e-06,3.113772e-06,3.070357e-06,3.026292e-06,3.025423e-06,2.983386e-06,2.941613e-06,2.862158e-06,2.786873e-06,2.715578e-06,2.648098e-06,2.584260e-06,2.523898e-06,2.466851e-06,2.412962e-06,2.362080e-06,2.314061e-06,2.268765e-06,2.226057e-06,2.185810e-06,2.147898e-06,2.112206e-06,2.078620e-06,2.047031e-06,2.017337e-06,1.989441e-06,1.963247e-06,1.938667e-06,1.915616e-06,1.894012e-06,1.873779e-06,1.854843e-06,1.837135e-06,1.820587e-06,1.805138e-06,1.790727e-06,1.777297e-06,1.764795e-06,1.753168e-06,1.742369e-06,1.732350e-06,1.723069e-06,1.714483e-06,1.706553e-06,1.699242e-06,1.692515e-06,1.686337e-06,1.680676e-06,1.675503e-06,1.670789e-06,1.666506e-06,1.662630e-06,1.659136e-06,1.656000e-06,1.653200e-06,1.650718e-06
0.000000e+00,1.648020e-10,1.613363e-08,1.728052e-08,2.944677e-07,2.156651e-06,2.316894e-06,1.095426e-05,3.320600e-05,3.529788e-05,8.463619e-05,1.549612e-04,1.621206e-04,2.626088e-04,3.640710e-04,3.755957e-04,4.896248e-04,5.833810e-04,5.954133e-04,6.870756e-04,7.525254e-04,7.619747e-04,8.199241e-04,8.564664e-04,8.622775e-04,8.911604e-04,9.064475e-04,9.089299e-04,9.178465e-04,9.199559e-04,9.199035e-04,9.167718e-04,9.116041e-04,9.097982e-04,9.000391e-04,8.912665e-04,8.883063e-04,8.752136e-04,8.649238e-04,8.612191e-04,8.466616e-04,8.359740e-04,8.317897e-04,8.167839e-04,8.062714e-04,8.017742e-04,7.868536e-04,7.767929e-04,7.720879e-04,7.575236e-04,7.480373e-04,7.431923e-04,7.291155e-04,7.202466e-04,7.153070e-04,7.017753e-04,6.935269e-04,6.885251e-04,6.755582e-04,6.679141e-04,6.628744e-04,6.504721e-04,6.434067e-04,6.383486e-04,6.265005e-04,6.199844e-04,6.149238e-04,6.036139e-04,5.976160e-04,5.925663e-04,5.817760e-04,5.762651e-04,5.712380e-04,5.609473e-04,5.558930e-04,5.508987e-04,5.410872e-04,5.364605e-04,5.315080e-04,5.221560e-04,5.179290e-04,5.130263e-04,5.041141e-04,5.002605e-04,4.954148e-04,4.869235e-04,4.834182e-04,4.786358e-04,4.705473e-04,4.673666e-04,4.626534e-04,4.549499e-04,4.520716e-04,4.474325e-04,4.400971e-04,4.375001e-04,4.329396e-04,4.259559e-04,4.236204e-04,4.191422e-04,4.124945e-04,4.104018e-04,4.060092e-04,3.996825e-04,3.978149e-04,3.935109e-04,3.874907e-04,3.858318e-04,3.816186e-04,3.758911e-04,3.744252e-04,3.703049e-04,3.648567e-04,3.635694e-04,3.595434e-04,3.543619e-04,3.532393e-04,3.493091e-04,3.443820e-04,3.434114e-04,3.395777e-04,3.348934e-04,3.340627e-04,3.303263e-04,3.258735e-04,3.251716e-04,3.215326e-04,3.173008e-04,3.167169e-04,3.131756e-04,3.091546e-04,3.086789e-04,3.052352e-04,3.014151e-04,3.010384e-04,2.976919e-04,2.940634e-04,2.937771e-04,2.905273e-04,2.870814e-04,2.868775e-04,2.837237e-04,2.804520e-04,2.803229e-04,2.772644e-04,2.741587e-04,2.740974e-04,2.711330e-04,2.681856e-04,2.625729e-04,2.572455e-04,2.521899e-04,2.473934e-04,2.428440e-04,2.385298e-04,2.344400e-04,2.305637e-04,2.268910e-04,2.234121e-04,2.201179e-04,2.169995e-04,2.140484e-04,2.112568e-04,2.086168e-04,2.061211e-04,2.037629e-04,2.015354e-04,1.994322e-04,1.974473e-04,1.955749e-04,1.938094e-04,1.921456e-04,1.905784e-04,1.891031e-04,1.877150e-04,1.864098e-04,1.851834e-04,1.840316e-04,1.829508e-04,1.819374e-04,1.809878e-04,1.800989e-04,1.792674e-04,1.784904e-04,1.777651e-04,1.770886e-04,1.764586e-04,1.758724e-04,1.753278e-04,1.748224e-04,1.743543e-04,1.739213e-04,1.735216e-04,1.731532e-04,1.728145e-04,1.725038e-04,1.722195e-04,1.719601e-04
0.000000e+00,2.450034e-10,2.353204e-08,2.516964e-08,3.917832e-07,2.684192e-06,2.879104e-06,1.356399e-05,4.343073e-05,4.640417e-05,1.239105e-04,2.568577e-04,2.718168e-04,5.098572e-04,8.070638e-04,8.448140e-04,1.269563e-03,1.704077e-03,1.766875e-03,2.314746e-03,2.809330e-03,2.890929e-03,3.475800e-03,3.962186e-03,4.053642e-03,4.612822e-03,5.051730e-03,5.145363e-03,5.646264e-03,6.022301e-03,6.112782e-03,6.543810e-03,6.855352e-03,6.939358e-03,7.300184e-03,7.551929e-03,7.627508e-03,7.922822e-03,8.121702e-03,8.187756e-03,8.423994e-03,8.577264e-03,8.633221e-03,8.817084e-03,8.931552e-03,8.977177e-03,9.115027e-03,9.196805e-03,9.232089e-03,9.329746e-03,9.384209e-03,9.409309e-03,9.472017e-03,9.503849e-03,9.519042e-03,9.551490e-03,9.564748e-03,9.570405e-03,9.576770e-03,9.574954e-03,9.571514e-03,9.555511e-03,9.541632e-03,9.529585e-03,9.494512e-03,9.471149e-03,9.451021e-03,9.399801e-03,9.369157e-03,9.341497e-03,9.276718e-03,9.240664e-03,9.206034e-03,9.129982e-03,9.090101e-03,9.049066e-03,8.963758e-03,8.921382e-03,8.874502e-03,8.781715e-03,8.737955e-03,8.685785e-03,8.587077e-03,8.542855e-03,8.485933e-03,8.382672e-03,8.338744e-03,8.277593e-03,8.170974e-03,8.127954e-03,8.063075e-03,7.954138e-03,7.912517e-03,7.844389e-03,7.734039e-03,7.694203e-03,7.623282e-03,7.512301e-03,7.474546e-03,7.401263e-03,7.290325e-03,7.254870e-03,7.179632e-03,7.069317e-03,7.036315e-03,6.959503e-03,6.850303e-03,6.819851e-03,6.741822e-03,6.634155e-03,6.606306e-03,6.527391e-03,6.421609e-03,6.396375e-03,6.316882e-03,6.213277e-03,6.190640e-03,6.110854e-03,6.009667e-03,5.989582e-03,5.909765e-03,5.811191e-03,5.793592e-03,5.713985e-03,5.618181e-03,5.602984e-03,5.523809e-03,5.430894e-03,5.418003e-03,5.339460e-03,5.249525e-03,5.238834e-03,5.161105e-03,5.074214e-03,5.065609e-03,4.988861e-03,4.905054e-03,4.898416e-03,4.822797e-03,4.742095e-03,4.737302e-03,4.662947e-03,4.585352e-03,4.582281e-03,4.509308e-03,4.434811e-03,4.433337e-03,4.361853e-03,4.290429e-03,4.153495e-03,4.022454e-03,3.897211e-03,3.777658e-03,3.663675e-03,3.555135e-03,3.451905e-03,3.353845e-03,3.260813e-03,3.172661e-03,3.089242e-03,3.010407e-03,2.936005e-03,2.865888e-03,2.799907e-03,2.737914e-03,2.679763e-03,2.625312e-03,2.574417e-03,2.526940e-03,2.482743e-03,2.441691e-03,2.403654e-03,2.368501e-03,2.336107e-03,2.306348e-03,2.279104e-03,2.254258e-03,2.231694e-03,2.211301e-03,2.192971e-03,2.176597e-03,2.162076e-03,2.149309e-03,2.138197e-03,2.128646e-03,2.120565e-03,2.113864e-03,2.108458e-03,2.104262e-03,2.101197e-03,2.099184e-03,2.098148e-03,2.098015e-03,2.098717e-03,2.100186e-03,2.102357e-03,2.105168e-03,2.108559e-03
0.000000e+00,7.757588e-09,9.520385e-08,9.907656e-08,5.260191e-07,1.655894e-06,1.723815e-06,4.021836e-06,7.136906e-06,7.360132e-06,1.133608e-05,1.515698e-05,1.548736e-05,1.952564e-05,2.296985e-05,2.334011e-05,2.690280e-05,2.982906e-05,3.021321e-05,3.327917e-05,3.572820e-05,3.611096e-05,3.871957e-05,4.074646e-05,4.111612e-05,4.331178e-05,4.496994e-05,4.531736e-05,4.714283e-05,4.848019e-05,4.879809e-05,5.029269e-05,5.135281e-05,5.163573e-05,5.283596e-05,5.365776e-05,5.390170e-05,5.484088e-05,5.545885e-05,5.566105e-05,5.636939e-05,5.681401e-05,5.697275e-05,5.747761e-05,5.777573e-05,5.789016e-05,5.821625e-05,5.839147e-05,5.846146e-05,5.863107e-05,5.870404e-05,5.873009e-05,5.876325e-05,5.875202e-05,5.873508e-05,5.864983e-05,5.857010e-05,5.851155e-05,5.832405e-05,5.818944e-05,5.809096e-05,5.781570e-05,5.763801e-05,5.750151e-05,5.715145e-05,5.694083e-05,5.676841e-05,5.635512e-05,5.612029e-05,5.591417e-05,5.544799e-05,5.519638e-05,5.495888e-05,5.444899e-05,5.418690e-05,5.392037e-05,5.337495e-05,5.310771e-05,5.281452e-05,5.224079e-05,5.197286e-05,5.165537e-05,5.105975e-05,5.079482e-05,5.045535e-05,4.984349e-05,4.958459e-05,4.922542e-05,4.860230e-05,4.835188e-05,4.797522e-05,4.734520e-05,4.710522e-05,4.671319e-05,4.608009e-05,4.585207e-05,4.544672e-05,4.481387e-05,4.459894e-05,4.418224e-05,4.355251e-05,4.335150e-05,4.292530e-05,4.230118e-05,4.211463e-05,4.168069e-05,4.106432e-05,4.089254e-05,4.045252e-05,3.984572e-05,3.968881e-05,3.924428e-05,3.864858e-05,3.850649e-05,3.805891e-05,3.747558e-05,3.734812e-05,3.689885e-05,3.632896e-05,3.621582e-05,3.576611e-05,3.521052e-05,3.511129e-05,3.466234e-05,3.412172e-05,3.403593e-05,3.358880e-05,3.306369e-05,3.299080e-05,3.254648e-05,3.203727e-05,3.197670e-05,3.153611e-05,3.104306e-05,3.099420e-05,3.055815e-05,3.008143e-05,3.004365e-05,2.961290e-05,2.915257e-05,2.912521e-05,2.870044e-05,2.825650e-05,2.823891e-05,2.782072e-05,2.739309e-05,2.738462e-05,2.697355e-05,2.656208e-05,2.577094e-05,2.501078e-05,2.428107e-05,2.358124e-05,2.291065e-05,2.226863e-05,2.165449e-05,2.106748e-05,2.050686e-05,1.997185e-05,1.946168e-05,1.897557e-05,1.851273e-05,1.807239e-05,1.765377e-05,1.725610e-05,1.687863e-05,1.652061e-05,1.618131e-05,1.586001e-05,1.555601e-05,1.526863e-05,1.499721e-05,1.474107e-05,1.449961e-05,1.427220e-05,1.405825e-05,1.385718e-05,1.366843e-05,1.349146e-05,1.332576e-05,1.317081e-05,1.302613e-05,1.289124e-05,1.276571e-05,1.264908e-05,1.254095e-05,1.244090e-05,1.234855e-05,1.226352e-05,1.218546e-05,1.211401e-05,1.204885e-05,1.198966e-05,1.193613e-05,1.188796e-05,1.184489e-05,1.180663e-05,1.177293e-05
0.000000e+00,2.673490e-09,3.279808e-08,3.417420e-08,1.964124e-07,6.561344e-07,6.840428e-07,1.600759e-06,2.703824e-06,2.776731e-06,3.975717e-06,5.013152e-06,5.099624e-06,6.128347e-06,6.972917e-06,7.062148e-06,7.905738e-06,8.577924e-06,8.664724e-06,9.344780e-06,9.870711e-06,9.951421e-06,1.048993e-05,1.089330e-05,1.096532e-05,1.138234e-05,1.168387e-05,1.174544e-05,1.205880e-05,1.227631e-05,1.232633e-05,1.255167e-05,1.270035e-05,1.273823e-05,1.288919e-05,1.298192e-05,1.300748e-05,1.309585e-05,1.314348e-05,1.315684e-05,1.319284e-05,1.320451e-05,1.320603e-05,1.319844e-05,1.318180e-05,1.317199e-05,1.312841e-05,1.308983e-05,1.306933e-05,1.299625e-05,1.294102e-05,1.291054e-05,1.281351e-05,1.274602e-05,1.270634e-05,1.259014e-05,1.251402e-05,1.246593e-05,1.233465e-05,1.225285e-05,1.219716e-05,1.205428e-05,1.196922e-05,1.190673e-05,1.175520e-05,1.166884e-05,1.160030e-05,1.144261e-05,1.135648e-05,1.128265e-05,1.112090e-05,1.103623e-05,1.095780e-05,1.079376e-05,1.071151e-05,1.062915e-05,1.046430e-05,1.038517e-05,1.029951e-05,1.013507e-05,1.005961e-05,9.971228e-06,9.808211e-06,9.736799e-06,9.646226e-06,9.485460e-06,9.418343e-06,9.326081e-06,9.168237e-06,9.105560e-06,9.012064e-06,8.857679e-06,8.799505e-06,8.705190e-06,8.554687e-06,8.501008e-06,8.406252e-06,8.259955e-06,8.210713e-06,8.115857e-06,7.974008e-06,7.929098e-06,7.834450e-06,7.697220e-06,7.656509e-06,7.562345e-06,7.429846e-06,7.393175e-06,7.299740e-06,7.172036e-06,7.139227e-06,7.046739e-06,6.923850e-06,6.894715e-06,6.803366e-06,6.685280e-06,6.659621e-06,6.569580e-06,6.456254e-06,6.433872e-06,6.345285e-06,6.236654e-06,6.217347e-06,6.130339e-06,6.026320e-06,6.009888e-06,5.924569e-06,5.825060e-06,5.811307e-06,5.727767e-06,5.632660e-06,5.621393e-06,5.539709e-06,5.448882e-06,5.439915e-06,5.360149e-06,5.273475e-06,5.266630e-06,5.188830e-06,5.106178e-06,5.101281e-06,5.025486e-06,4.946720e-06,4.943609e-06,4.869846e-06,4.794829e-06,4.793347e-06,4.721635e-06,4.650229e-06,4.513989e-06,4.384361e-06,4.261084e-06,4.143900e-06,4.032558e-06,3.926811e-06,3.826419e-06,3.731148e-06,3.640774e-06,3.555076e-06,3.473843e-06,3.396871e-06,3.323964e-06,3.254932e-06,3.189593e-06,3.127774e-06,3.069305e-06,3.014027e-06,2.961785e-06,2.912433e-06,2.865829e-06,2.821837e-06,2.780331e-06,2.741185e-06,2.704283e-06,2.669512e-06,2.636765e-06,2.605940e-06,2.576940e-06,2.549671e-06,2.524045e-06,2.499977e-06,2.477388e-06,2.456200e-06,2.436341e-06,2.417742e-06,2.400335e-06,2.384059e-06,2.368854e-06,2.354662e-06,2.341431e-06,2.329107e-06,2.317642e-06,2.306991e-06,2.297108e-06,2.287952e-06,2.279482e-06,2.271662e-06,2.264454e-06
0.000000e+00,4.351526e-11,5.119754e-09,5.497005e-09,1.025313e-07,8.311019e-07,8.977905e-07,5.063481e-06,1.924259e-05,2.078537e-05,6.646348e-05,1.623252e-04,1.742417e-04,3.906229e-04,7.265905e-04,7.743658e-04,1.392704e-03,2.187458e-03,2.316875e-03,3.617650e-03,5.088272e-03,5.361335e-03,7.606458e-03,9.915507e-03,1.040126e-02,1.378200e-02,1.700823e-02,1.777202e-02,2.238146e-02,2.651352e-02,2.760751e-02,3.343521e-02,3.838204e-02,3.983845e-02,4.678127e-02,5.239169e-02,5.421936e-02,6.210153e-02,6.818716e-02,7.037125e-02,7.896813e-02,8.532526e-02,8.782936e-02,9.689097e-02,1.033190e-01,1.060890e-01,1.153605e-01,1.216759e-01,1.246445e-01,1.338827e-01,1.399279e-01,1.430200e-01,1.520052e-01,1.576538e-01,1.607910e-01,1.693345e-01,1.744929e-01,1.775975e-01,1.855460e-01,1.901518e-01,1.931507e-01,2.003865e-01,2.044060e-01,2.072328e-01,2.136731e-01,2.170973e-01,2.196945e-01,2.252880e-01,2.281284e-01,2.304478e-01,2.351715e-01,2.374553e-01,2.394591e-01,2.433135e-01,2.450798e-01,2.467399e-01,2.497453e-01,2.510409e-01,2.523386e-01,2.545304e-01,2.554069e-01,2.563324e-01,2.577575e-01,2.582686e-01,2.588195e-01,2.595329e-01,2.597323e-01,2.599130e-01,2.599752e-01,2.599145e-01,2.597352e-01,2.592091e-01,2.589374e-01,2.584128e-01,2.573622e-01,2.569248e-01,2.560732e-01,2.545613e-01,2.539992e-01,2.528418e-01,2.509297e-01,2.502796e-01,2.488396e-01,2.465856e-01,2.458795e-01,2.441814e-01,2.416403e-01,2.409060e-01,2.389750e-01,2.361978e-01,2.354589e-01,2.333204e-01,2.303540e-01,2.296300e-01,2.273093e-01,2.241965e-01,2.235035e-01,2.210253e-01,2.178047e-01,2.171555e-01,2.145435e-01,2.112499e-01,2.106542e-01,2.079316e-01,2.045957e-01,2.040608e-01,2.012492e-01,1.978983e-01,1.974292e-01,1.945491e-01,1.912071e-01,1.908068e-01,1.878775e-01,1.845650e-01,1.842349e-01,1.812742e-01,1.780092e-01,1.777492e-01,1.747737e-01,1.715713e-01,1.713802e-01,1.684051e-01,1.652782e-01,1.651539e-01,1.621931e-01,1.591523e-01,1.590920e-01,1.561581e-01,1.532123e-01,1.475295e-01,1.420551e-01,1.367980e-01,1.317649e-01,1.269601e-01,1.223866e-01,1.180455e-01,1.139366e-01,1.100586e-01,1.064092e-01,1.029852e-01,9.978265e-02,9.679699e-02,9.402310e-02,9.145543e-02,8.908801e-02,8.691457e-02,8.492856e-02,8.312317e-02,8.149144e-02,8.002622e-02,7.872026e-02,7.756619e-02,7.655659e-02,7.568397e-02,7.494083e-02,7.431965e-02,7.381294e-02,7.341325e-02,7.311319e-02,7.290542e-02,7.278273e-02,7.273802e-02,7.276433e-02,7.285484e-02,7.300294e-02,7.320218e-02,7.344634e-02,7.372942e-02,7.404569e-02,7.438964e-02,7.475604e-02,7.513994e-02,7.553669e-02,7.594192e-02,7.635155e-02,7.676182e-02,7.716927e-02,7.757074e-02
0.000000e+00,1.662333e-10,1.379268e-08,1.471393e-08,2.043611e-07,1.280963e-06,1.369172e-06,5.917393e-06,1.746360e-05,1.856135e-05,4.536284e-05,8.659449e-05,9.098239e-05,1.560853e-04,2.284007e-04,2.370461e-04,3.278429e-04,4.109787e-04,4.223367e-04,5.156506e-04,5.924403e-04,6.045365e-04,6.871521e-04,7.510672e-04,7.626557e-04,8.308341e-04,8.813689e-04,8.918318e-04,9.459784e-04,9.846391e-04,9.936868e-04,1.035398e-03,1.064054e-03,1.071553e-03,1.102579e-03,1.122979e-03,1.128881e-03,1.150840e-03,1.164504e-03,1.168813e-03,1.183134e-03,1.191358e-03,1.194113e-03,1.202039e-03,1.205915e-03,1.207181e-03,1.209788e-03,1.210231e-03,1.210091e-03,1.208305e-03,1.206079e-03,1.204629e-03,1.199246e-03,1.194985e-03,1.192327e-03,1.184029e-03,1.178256e-03,1.174497e-03,1.163866e-03,1.157011e-03,1.152259e-03,1.139791e-03,1.132206e-03,1.126566e-03,1.112683e-03,1.104654e-03,1.098230e-03,1.083288e-03,1.075044e-03,1.067934e-03,1.052236e-03,1.043959e-03,1.036258e-03,1.020058e-03,1.011891e-03,1.003688e-03,9.871965e-04,9.792508e-04,9.706282e-04,9.540230e-04,9.463823e-04,9.374172e-04,9.208439e-04,9.135697e-04,9.043329e-04,8.879113e-04,8.810468e-04,8.716033e-04,8.554307e-04,8.490040e-04,8.394130e-04,8.235677e-04,8.175949e-04,8.079100e-04,7.924537e-04,7.869411e-04,7.772107e-04,7.621914e-04,7.571374e-04,7.474047e-04,7.328583e-04,7.282554e-04,7.185589e-04,7.045117e-04,7.003474e-04,6.907212e-04,6.771909e-04,6.734494e-04,6.639234e-04,6.509208e-04,6.475836e-04,6.381841e-04,6.257139e-04,6.227607e-04,6.135102e-04,6.015725e-04,5.989818e-04,5.898997e-04,5.784904e-04,5.762401e-04,5.673429e-04,5.564549e-04,5.545224e-04,5.458239e-04,5.354472e-04,5.338103e-04,5.253218e-04,5.154445e-04,5.140813e-04,5.058119e-04,4.964204e-04,4.953094e-04,4.872663e-04,4.783458e-04,4.774664e-04,4.696549e-04,4.611896e-04,4.605220e-04,4.529459e-04,4.449195e-04,4.444448e-04,4.371064e-04,4.295022e-04,4.292023e-04,4.221027e-04,4.149038e-04,4.147618e-04,4.079011e-04,4.010903e-04,3.881551e-04,3.759235e-04,3.643637e-04,3.534445e-04,3.431352e-04,3.334063e-04,3.242291e-04,3.155757e-04,3.074196e-04,2.997351e-04,2.924974e-04,2.856830e-04,2.792693e-04,2.732347e-04,2.675587e-04,2.622216e-04,2.572047e-04,2.524904e-04,2.480617e-04,2.439027e-04,2.399981e-04,2.363335e-04,2.328954e-04,2.296707e-04,2.266473e-04,2.238135e-04,2.211585e-04,2.186718e-04,2.163438e-04,2.141651e-04,2.121270e-04,2.102214e-04,2.084403e-04,2.067766e-04,2.052233e-04,2.037738e-04,2.024220e-04,2.011621e-04,1.999887e-04,1.988965e-04,1.978807e-04,1.969368e-04,1.960605e-04,1.952476e-04,1.944943e-04,1.937971e-04,1.931525e-04,1.925573e-04,1.920086e-04
0.000000e+00,2.912806e-11,3.300378e-09,3.539620e-09,6.163995e-08,4.647377e-07,5.006318e-07,2.665953e-06,9.847005e-06,1.062621e-05,3.386526e-05,8.376388e-05,9.005277e-05,2.064919e-04,3.926852e-04,4.195237e-04,7.722138e-04,1.235051e-03,1.311109e-03,2.082774e-03,2.965812e-03,3.130614e-03,4.492247e-03,5.900641e-03,6.197562e-03,8.267470e-03,1.024511e-02,1.071331e-02,1.353678e-02,1.606271e-02,1.673040e-02,2.027818e-02,2.327647e-02,2.415670e-02,2.833623e-02,3.169271e-02,3.278194e-02,3.745517e-02,4.103561e-02,4.231461e-02,4.731744e-02,5.098394e-02,5.242034e-02,5.758043e-02,6.120413e-02,6.275602e-02,6.790725e-02,7.137695e-02,7.299667e-02,7.798958e-02,8.121656e-02,8.285439e-02,8.756274e-02,9.048230e-02,9.208965e-02,9.641354e-02,9.898428e-02,1.005162e-01,1.043827e-01,1.065841e-01,1.080011e-01,1.113626e-01,1.131921e-01,1.144611e-01,1.172929e-01,1.187616e-01,1.198567e-01,1.221535e-01,1.232835e-01,1.241858e-01,1.259579e-01,1.267785e-01,1.274757e-01,1.287460e-01,1.292908e-01,1.297768e-01,1.305770e-01,1.308819e-01,1.311560e-01,1.315239e-01,1.316250e-01,1.316910e-01,1.316680e-01,1.316004e-01,1.314657e-01,1.310950e-01,1.308917e-01,1.305667e-01,1.298915e-01,1.295826e-01,1.290799e-01,1.281423e-01,1.277550e-01,1.270887e-01,1.259288e-01,1.254870e-01,1.246721e-01,1.233275e-01,1.228519e-01,1.219039e-01,1.204094e-01,1.199175e-01,1.188519e-01,1.172390e-01,1.167454e-01,1.155777e-01,1.138749e-01,1.133915e-01,1.121367e-01,1.103693e-01,1.099056e-01,1.085780e-01,1.067683e-01,1.063317e-01,1.049449e-01,1.031124e-01,1.027085e-01,1.012751e-01,9.943692e-02,9.906950e-02,9.760143e-02,9.577201e-02,9.544361e-02,9.395177e-02,9.214353e-02,9.185550e-02,9.034990e-02,8.857326e-02,8.832601e-02,8.681577e-02,8.507940e-02,8.487255e-02,8.336594e-02,8.167697e-02,8.150948e-02,8.001394e-02,7.837813e-02,7.824848e-02,7.677069e-02,7.519261e-02,7.509887e-02,7.364477e-02,7.212794e-02,7.206792e-02,7.064278e-02,6.918983e-02,6.916110e-02,6.776955e-02,6.638232e-02,6.373420e-02,6.121819e-02,5.883481e-02,5.658375e-02,5.446401e-02,5.247399e-02,5.061163e-02,4.887445e-02,4.725963e-02,4.576409e-02,4.438451e-02,4.311739e-02,4.195906e-02,4.090573e-02,3.995350e-02,3.909839e-02,3.833634e-02,3.766325e-02,3.707494e-02,3.656724e-02,3.613593e-02,3.577677e-02,3.548555e-02,3.525802e-02,3.508997e-02,3.497722e-02,3.491561e-02,3.490105e-02,3.492948e-02,3.499694e-02,3.509952e-02,3.523344e-02,3.539500e-02,3.558063e-02,3.578687e-02,3.601043e-02,3.624814e-02,3.649699e-02,3.675413e-02,3.701690e-02,3.728280e-02,3.754949e-02,3.781485e-02,3.807692e-02,3.833391e-02,3.858423e-02,3.882647e-02,3.905939e-02,3.928191e-02
0.000000e+00,3.175630e-09,3.710041e-08,3.863021e-08,2.177838e-07,7.364090e-07,7.686006e-07,1.875225e-06,3.330894e-06,3.431159e-06,5.129883e-06,6.655086e-06,6.784106e-06,8.340900e-06,9.651078e-06,9.791351e-06,1.113696e-05,1.223744e-05,1.238161e-05,1.352979e-05,1.444361e-05,1.458614e-05,1.555531e-05,1.630538e-05,1.644186e-05,1.725026e-05,1.785787e-05,1.798484e-05,1.864975e-05,1.913423e-05,1.924902e-05,1.978647e-05,2.016514e-05,2.026577e-05,2.069041e-05,2.097864e-05,2.106372e-05,2.138886e-05,2.160023e-05,2.166884e-05,2.190652e-05,2.205299e-05,2.210462e-05,2.226570e-05,2.235775e-05,2.239222e-05,2.248647e-05,2.253326e-05,2.255066e-05,2.258686e-05,2.259638e-05,2.259703e-05,2.258303e-05,2.256220e-05,2.254662e-05,2.248945e-05,2.244427e-05,2.241309e-05,2.231903e-05,2.225468e-05,2.220866e-05,2.208331e-05,2.200423e-05,2.194422e-05,2.179255e-05,2.170255e-05,2.162943e-05,2.145588e-05,2.135818e-05,2.127289e-05,2.108138e-05,2.097871e-05,2.088221e-05,2.067621e-05,2.057089e-05,2.046414e-05,2.024671e-05,2.014065e-05,2.002461e-05,1.979845e-05,1.969323e-05,1.956884e-05,1.933633e-05,1.923324e-05,1.910144e-05,1.886464e-05,1.876473e-05,1.862640e-05,1.838713e-05,1.829123e-05,1.814723e-05,1.790707e-05,1.781580e-05,1.766697e-05,1.742726e-05,1.734112e-05,1.718824e-05,1.695016e-05,1.686948e-05,1.671329e-05,1.647785e-05,1.640285e-05,1.624405e-05,1.601210e-05,1.594290e-05,1.578217e-05,1.555442e-05,1.549106e-05,1.532900e-05,1.510606e-05,1.504851e-05,1.488570e-05,1.466805e-05,1.461623e-05,1.445321e-05,1.424125e-05,1.419502e-05,1.403227e-05,1.382633e-05,1.378552e-05,1.362350e-05,1.342382e-05,1.338821e-05,1.322734e-05,1.303409e-05,1.300348e-05,1.284412e-05,1.265745e-05,1.263157e-05,1.247408e-05,1.229404e-05,1.227266e-05,1.211734e-05,1.194397e-05,1.192682e-05,1.177394e-05,1.160725e-05,1.159405e-05,1.144387e-05,1.128381e-05,1.127431e-05,1.112704e-05,1.097354e-05,1.096747e-05,1.082330e-05,1.067629e-05,1.067338e-05,1.053248e-05,1.039185e-05,1.012263e-05,9.865482e-06,9.620113e-06,9.386225e-06,9.163505e-06,8.951628e-06,8.750260e-06,8.559061e-06,8.377689e-06,8.205801e-06,8.043054e-06,7.889106e-06,7.743620e-06,7.606262e-06,7.476703e-06,7.354622e-06,7.239702e-06,7.131636e-06,7.030123e-06,6.934871e-06,6.845597e-06,6.762023e-06,6.683885e-06,6.610922e-06,6.542884e-06,6.479532e-06,6.420631e-06,6.365959e-06,6.315299e-06,6.268445e-06,6.225197e-06,6.185365e-06,6.148765e-06,6.115221e-06,6.084565e-06,6.056636e-06,6.031280e-06,6.008349e-06,5.987703e-06,5.969207e-06,5.952734e-06,5.938160e-06,5.925370e-06,5.914252e-06,5.904701e-06,5.896616e-06,5.889901e-06,5.884466e-06,5.880225e-06
0.000000e+00,1.843212e-10,1.564473e-08,1.670785e-08,2.486538e-07,1.650344e-06,1.766938e-06,7.784740e-06,2.249945e-05,2.385386e-05,5.498960e-05,9.767606e-05,1.019456e-04,1.609239e-04,2.195634e-04,2.262195e-04,2.926911e-04,3.492945e-04,3.567806e-04,4.164723e-04,4.635773e-04,4.708582e-04,5.197037e-04,5.565384e-04,5.631346e-04,6.014486e-04,6.293032e-04,6.350108e-04,6.642027e-04,6.846609e-04,6.893973e-04,7.109477e-04,7.254404e-04,7.291839e-04,7.444108e-04,7.541446e-04,7.569098e-04,7.669393e-04,7.729112e-04,7.747360e-04,7.805170e-04,7.835432e-04,7.844805e-04,7.868077e-04,7.875524e-04,7.876641e-04,7.872007e-04,7.862024e-04,7.855551e-04,7.828530e-04,7.805468e-04,7.792087e-04,7.747265e-04,7.714624e-04,7.695013e-04,7.636195e-04,7.596777e-04,7.571596e-04,7.501930e-04,7.457972e-04,7.427848e-04,7.349939e-04,7.303211e-04,7.268738e-04,7.184731e-04,7.136628e-04,7.098359e-04,7.010020e-04,6.961628e-04,6.920076e-04,6.828854e-04,6.781012e-04,6.736648e-04,6.643727e-04,6.597073e-04,6.550329e-04,6.456671e-04,6.411681e-04,6.362948e-04,6.269334e-04,6.226352e-04,6.175986e-04,6.083043e-04,6.042309e-04,5.990630e-04,5.898859e-04,5.860530e-04,5.807827e-04,5.717623e-04,5.681790e-04,5.628322e-04,5.539993e-04,5.506695e-04,5.452694e-04,5.366476e-04,5.335711e-04,5.281384e-04,5.197454e-04,5.169188e-04,5.114718e-04,5.033202e-04,5.007379e-04,4.952930e-04,4.873916e-04,4.850460e-04,4.796176e-04,4.719718e-04,4.698541e-04,4.644550e-04,4.570675e-04,4.551679e-04,4.498094e-04,4.426806e-04,4.409889e-04,4.356808e-04,4.288094e-04,4.273149e-04,4.220658e-04,4.154492e-04,4.141410e-04,4.089585e-04,4.025927e-04,4.014601e-04,3.963507e-04,3.902310e-04,3.892632e-04,3.842325e-04,3.783536e-04,3.775400e-04,3.725928e-04,3.669487e-04,3.662792e-04,3.614196e-04,3.560039e-04,3.554685e-04,3.507000e-04,3.455062e-04,3.450954e-04,3.404208e-04,3.354421e-04,3.351467e-04,3.305684e-04,3.257979e-04,3.256092e-04,3.211290e-04,3.165598e-04,3.164695e-04,3.120888e-04,3.077141e-04,2.993298e-04,2.913034e-04,2.836221e-04,2.762731e-04,2.692439e-04,2.625226e-04,2.560972e-04,2.499563e-04,2.440889e-04,2.384841e-04,2.331315e-04,2.280210e-04,2.231429e-04,2.184877e-04,2.140465e-04,2.098104e-04,2.057710e-04,2.019203e-04,1.982503e-04,1.947537e-04,1.914231e-04,1.882517e-04,1.852326e-04,1.823596e-04,1.796264e-04,1.770272e-04,1.745561e-04,1.722078e-04,1.699769e-04,1.678585e-04,1.658476e-04,1.639397e-04,1.621303e-04,1.604151e-04,1.587900e-04,1.572510e-04,1.557944e-04,1.544165e-04,1.531139e-04,1.518831e-04,1.507211e-04,1.496247e-04,1.485911e-04,1.476172e-04,1.467006e-04,1.458385e-04,1.450285e-04,1.442682e-04,1.435552e-04
0.000000e+00,1.840370e-11,2.002303e-09,2.146678e-09,3.743358e-08,2.867626e-07,3.090690e-07,1.647259e-06,5.930452e-06,6.383454e-06,1.921433e-05,4.418544e-05,4.716918e-05,9.835422e-05,1.704158e-04,1.801396e-04,2.976302e-04,4.322269e-04,4.528300e-04,6.445137e-04,8.355092e-04,8.686234e-04,1.118968e-03,1.344053e-03,1.388029e-03,1.667732e-03,1.899421e-03,1.950104e-03,2.227781e-03,2.442188e-03,2.494340e-03,2.744502e-03,2.925582e-03,2.974193e-03,3.180531e-03,3.320593e-03,3.361730e-03,3.516978e-03,3.615129e-03,3.646278e-03,3.750300e-03,3.810193e-03,3.830229e-03,3.887618e-03,3.915340e-03,3.924273e-03,3.942139e-03,3.944580e-03,3.943224e-03,3.929524e-03,3.913327e-03,3.902974e-03,3.865407e-03,3.836376e-03,3.818529e-03,3.763906e-03,3.726778e-03,3.702955e-03,3.636941e-03,3.595375e-03,3.566985e-03,3.494065e-03,3.450754e-03,3.419031e-03,3.342613e-03,3.299449e-03,3.265429e-03,3.188005e-03,3.146253e-03,3.110778e-03,3.034107e-03,2.994559e-03,2.958290e-03,2.883564e-03,2.846672e-03,2.810121e-03,2.738109e-03,2.704086e-03,2.667642e-03,2.598806e-03,2.567706e-03,2.531660e-03,2.466245e-03,2.438017e-03,2.402583e-03,2.340685e-03,2.315213e-03,2.280547e-03,2.222161e-03,2.199294e-03,2.165509e-03,2.110567e-03,2.090133e-03,2.057309e-03,2.005702e-03,1.987522e-03,1.955714e-03,1.907310e-03,1.891206e-03,1.860451e-03,1.815102e-03,1.800903e-03,1.771224e-03,1.728779e-03,1.716319e-03,1.687729e-03,1.648034e-03,1.637158e-03,1.609659e-03,1.572564e-03,1.563125e-03,1.536715e-03,1.502073e-03,1.493935e-03,1.468604e-03,1.436274e-03,1.429310e-03,1.405047e-03,1.374891e-03,1.368985e-03,1.345772e-03,1.317660e-03,1.312704e-03,1.290522e-03,1.264329e-03,1.260224e-03,1.239051e-03,1.214659e-03,1.211313e-03,1.191125e-03,1.168422e-03,1.165752e-03,1.146523e-03,1.125402e-03,1.123331e-03,1.105034e-03,1.085395e-03,1.083855e-03,1.066461e-03,1.048210e-03,1.047136e-03,1.030618e-03,1.013663e-03,1.012998e-03,9.973262e-04,9.815853e-04,9.812765e-04,9.664211e-04,9.518142e-04,9.244646e-04,8.990894e-04,8.755589e-04,8.537511e-04,8.335518e-04,8.148536e-04,7.975561e-04,7.815652e-04,7.667926e-04,7.531557e-04,7.405774e-04,7.289853e-04,7.183118e-04,7.084937e-04,6.994719e-04,6.911911e-04,6.835996e-04,6.766493e-04,6.702951e-04,6.644948e-04,6.592091e-04,6.544013e-04,6.500370e-04,6.460842e-04,6.425131e-04,6.392958e-04,6.364061e-04,6.338199e-04,6.315144e-04,6.294685e-04,6.276624e-04,6.260779e-04,6.246976e-04,6.235056e-04,6.224871e-04,6.216280e-04,6.209156e-04,6.203377e-04,6.198831e-04,6.195413e-04,6.193026e-04,6.191581e-04,6.190992e-04,6.191181e-04,6.192077e-04,6.193610e-04,6.195719e-04,6.198346e-04,6.201436e-04
0.000000e+00,2.079209e-10,2.782721e-09,2.903596e-09,1.698984e-08,5.490324e-08,5.715150e-08,1.300225e-07,2.183641e-07,2.242629e-07,3.217027e-07,4.056193e-07,4.125651e-07,4.944198e-07,5.603798e-07,5.672755e-07,6.317136e-07,6.819993e-07,6.884180e-07,7.380602e-07,7.755857e-07,7.812702e-07,8.186310e-07,8.458874e-07,8.506790e-07,8.779085e-07,8.969603e-07,9.007729e-07,9.196874e-07,9.322317e-07,9.350322e-07,9.471542e-07,9.545773e-07,9.563708e-07,9.629712e-07,9.664010e-07,9.672193e-07,9.693558e-07,9.697070e-07,9.695999e-07,9.681513e-07,9.661628e-07,9.651916e-07,9.608864e-07,9.571533e-07,9.553861e-07,9.488275e-07,9.438271e-07,9.413350e-07,9.330214e-07,9.271349e-07,9.239894e-07,9.143320e-07,9.078623e-07,9.041335e-07,8.934705e-07,8.866568e-07,8.824122e-07,8.710213e-07,8.640509e-07,8.593544e-07,8.474628e-07,8.404810e-07,8.353926e-07,8.231855e-07,8.163040e-07,8.108792e-07,7.985072e-07,7.918098e-07,7.860999e-07,7.736845e-07,7.672335e-07,7.612854e-07,7.489241e-07,7.427639e-07,7.366202e-07,7.243909e-07,7.185518e-07,7.122513e-07,7.002151e-07,6.947165e-07,6.882941e-07,6.764987e-07,6.713509e-07,6.648380e-07,6.533199e-07,6.485264e-07,6.419512e-07,6.307377e-07,6.262968e-07,6.196843e-07,6.087951e-07,6.047010e-07,5.980735e-07,5.875222e-07,5.837658e-07,5.771433e-07,5.669383e-07,5.635084e-07,5.569084e-07,5.470541e-07,5.439379e-07,5.373758e-07,5.278734e-07,5.250569e-07,5.185463e-07,5.093941e-07,5.068626e-07,5.004156e-07,4.916098e-07,4.893484e-07,4.829754e-07,4.745107e-07,4.725042e-07,4.662141e-07,4.580837e-07,4.563172e-07,4.501178e-07,4.423142e-07,4.407727e-07,4.346708e-07,4.271854e-07,4.258547e-07,4.198559e-07,4.126798e-07,4.115457e-07,4.056549e-07,3.987787e-07,3.978278e-07,3.920490e-07,3.854631e-07,3.846824e-07,3.790189e-07,3.727137e-07,3.720907e-07,3.665452e-07,3.605109e-07,3.600339e-07,3.546084e-07,3.488353e-07,3.484930e-07,3.431892e-07,3.376677e-07,3.374494e-07,3.322684e-07,3.269891e-07,3.268847e-07,3.218273e-07,3.167808e-07,3.071201e-07,2.978853e-07,2.890597e-07,2.806268e-07,2.725711e-07,2.648771e-07,2.575301e-07,2.505158e-07,2.438205e-07,2.374310e-07,2.313345e-07,2.255187e-07,2.199718e-07,2.146826e-07,2.096400e-07,2.048336e-07,2.002534e-07,1.958897e-07,1.917333e-07,1.877753e-07,1.840073e-07,1.804209e-07,1.770084e-07,1.737624e-07,1.706755e-07,1.677409e-07,1.649521e-07,1.623026e-07,1.597864e-07,1.573977e-07,1.551309e-07,1.529807e-07,1.509419e-07,1.490098e-07,1.471795e-07,1.454466e-07,1.438068e-07,1.422559e-07,1.407901e-07,1.394055e-07,1.380985e-07,1.368657e-07,1.357037e-07,1.346093e-07,1.335795e-07,1.326113e-07,1.317021e-07,1.308491e-07,1.300497e-07
0.000000e+00,2.299993e-10,2.167050e-08,2.319641e-08,3.863809e-07,2.814377e-06,3.023801e-06,1.442736e-05,4.435007e-05,4.718520e-05,1.145734e-04,2.116438e-04,2.215837e-04,3.624919e-04,5.084746e-04,5.253796e-04,6.976345e-04,8.488444e-04,8.691287e-04,1.033063e-03,1.164968e-03,1.185540e-03,1.324742e-03,1.431024e-03,1.450172e-03,1.562090e-03,1.644232e-03,1.661150e-03,1.748190e-03,1.809767e-03,1.824103e-03,1.889782e-03,1.934462e-03,1.946086e-03,1.993826e-03,2.024849e-03,2.033759e-03,2.066590e-03,2.086697e-03,2.092969e-03,2.113498e-03,2.124969e-03,2.128730e-03,2.139174e-03,2.143886e-03,2.145295e-03,2.147524e-03,2.147016e-03,2.146250e-03,2.141834e-03,2.137358e-03,2.134602e-03,2.124855e-03,2.117424e-03,2.112866e-03,2.098886e-03,2.089318e-03,2.083142e-03,2.065841e-03,2.054794e-03,2.047175e-03,2.027313e-03,2.015309e-03,2.006415e-03,1.984622e-03,1.972076e-03,1.962064e-03,1.938861e-03,1.926100e-03,1.915118e-03,1.890934e-03,1.878214e-03,1.866397e-03,1.841587e-03,1.829102e-03,1.816575e-03,1.791428e-03,1.779326e-03,1.766203e-03,1.740954e-03,1.729345e-03,1.715729e-03,1.690571e-03,1.679532e-03,1.665517e-03,1.640601e-03,1.630186e-03,1.615855e-03,1.591306e-03,1.581547e-03,1.566978e-03,1.542893e-03,1.533808e-03,1.519068e-03,1.495521e-03,1.487115e-03,1.472266e-03,1.449316e-03,1.441584e-03,1.426680e-03,1.404369e-03,1.397299e-03,1.382390e-03,1.360749e-03,1.354323e-03,1.339451e-03,1.318501e-03,1.312697e-03,1.297901e-03,1.277654e-03,1.272448e-03,1.257761e-03,1.238223e-03,1.233587e-03,1.219039e-03,1.200210e-03,1.196115e-03,1.181734e-03,1.163610e-03,1.160027e-03,1.145835e-03,1.128407e-03,1.125307e-03,1.111324e-03,1.094582e-03,1.091935e-03,1.078178e-03,1.062109e-03,1.059886e-03,1.046371e-03,1.030961e-03,1.029133e-03,1.015873e-03,1.001104e-03,9.996444e-04,9.866496e-04,9.725057e-04,9.713874e-04,9.586675e-04,9.451306e-04,9.443278e-04,9.318903e-04,9.189422e-04,9.184303e-04,9.062815e-04,8.939035e-04,8.936588e-04,8.818037e-04,8.699774e-04,8.473499e-04,8.257403e-04,8.051132e-04,7.854335e-04,7.666668e-04,7.487794e-04,7.317384e-04,7.155117e-04,7.000681e-04,6.853773e-04,6.714097e-04,6.581369e-04,6.455311e-04,6.335656e-04,6.222144e-04,6.114527e-04,6.012561e-04,5.916014e-04,5.824661e-04,5.738284e-04,5.656674e-04,5.579629e-04,5.506954e-04,5.438461e-04,5.373971e-04,5.313308e-04,5.256306e-04,5.202802e-04,5.152641e-04,5.105673e-04,5.061755e-04,5.020748e-04,4.982517e-04,4.946935e-04,4.913879e-04,4.883228e-04,4.854869e-04,4.828692e-04,4.804591e-04,4.782464e-04,4.762213e-04,4.743745e-04,4.726968e-04,4.711796e-04,4.698146e-04,4.685937e-04,4.675093e-04,4.665539e-04,4.657204e-04
0.000000e+00,2.484990e-09,3.158669e-08,3.294173e-08,1.966976e-07,6.766220e-07,7.062461e-07,1.702492e-06,2.948819e-06,3.032677e-06,4.433323e-06,5.674536e-06,5.779162e-06,7.038060e-06,8.092636e-06,8.205271e-06,9.282926e-06,1.016025e-05,1.027490e-05,1.118548e-05,1.190679e-05,1.201900e-05,1.277971e-05,1.336547e-05,1.347175e-05,1.409913e-05,1.456801e-05,1.466567e-05,1.517506e-05,1.554378e-05,1.563080e-05,1.603623e-05,1.631959e-05,1.639453e-05,1.670870e-05,1.691971e-05,1.698159e-05,1.721592e-05,1.736599e-05,1.741422e-05,1.757892e-05,1.767799e-05,1.771230e-05,1.781651e-05,1.787320e-05,1.789359e-05,1.794546e-05,1.796725e-05,1.797391e-05,1.798067e-05,1.797403e-05,1.796734e-05,1.793542e-05,1.790591e-05,1.788635e-05,1.782147e-05,1.777386e-05,1.774204e-05,1.764924e-05,1.758762e-05,1.754420e-05,1.742796e-05,1.735579e-05,1.730150e-05,1.716576e-05,1.708601e-05,1.702159e-05,1.686982e-05,1.678497e-05,1.671120e-05,1.654646e-05,1.645860e-05,1.637626e-05,1.620123e-05,1.611208e-05,1.602195e-05,1.583898e-05,1.574999e-05,1.565282e-05,1.546396e-05,1.537630e-05,1.527285e-05,1.507988e-05,1.499450e-05,1.488547e-05,1.468996e-05,1.460760e-05,1.449369e-05,1.429698e-05,1.421823e-05,1.410010e-05,1.390334e-05,1.382864e-05,1.370693e-05,1.351110e-05,1.344079e-05,1.331607e-05,1.312204e-05,1.305632e-05,1.292917e-05,1.273763e-05,1.267665e-05,1.254759e-05,1.235916e-05,1.230296e-05,1.217248e-05,1.198765e-05,1.193625e-05,1.180480e-05,1.162399e-05,1.157733e-05,1.144533e-05,1.126888e-05,1.122687e-05,1.109471e-05,1.092288e-05,1.088540e-05,1.075344e-05,1.058644e-05,1.055333e-05,1.042190e-05,1.025987e-05,1.023098e-05,1.010038e-05,9.943435e-06,9.918562e-06,9.789062e-06,9.637272e-06,9.616228e-06,9.488072e-06,9.341467e-06,9.324049e-06,9.197458e-06,9.056042e-06,9.042043e-06,8.917214e-06,8.780966e-06,8.770177e-06,8.647286e-06,8.516160e-06,8.508374e-06,8.387575e-06,8.261512e-06,8.256521e-06,8.137951e-06,8.016871e-06,8.014475e-06,7.898250e-06,7.782064e-06,7.559098e-06,7.345367e-06,7.140648e-06,6.944707e-06,6.757301e-06,6.578181e-06,6.407094e-06,6.243784e-06,6.087996e-06,5.939472e-06,5.797960e-06,5.663207e-06,5.534964e-06,5.412988e-06,5.297038e-06,5.186880e-06,5.082285e-06,4.983028e-06,4.888893e-06,4.799667e-06,4.715144e-06,4.635126e-06,4.559419e-06,4.487838e-06,4.420202e-06,4.356336e-06,4.296074e-06,4.239252e-06,4.185717e-06,4.135317e-06,4.087908e-06,4.043351e-06,4.001514e-06,3.962269e-06,3.925491e-06,3.891065e-06,3.858876e-06,3.828816e-06,3.800782e-06,3.774674e-06,3.750396e-06,3.727858e-06,3.706972e-06,3.687654e-06,3.669825e-06,3.653408e-06,3.638331e-06,3.624523e-06,3.611918e-06
0.000000e+00,4.252430e-11,4.864227e-09,5.225202e-09,1.019488e-07,8.447085e-07,9.121978e-07,4.923494e-06,1.696121e-05,1.817910e-05,5.010124e-05,1.045749e-04,1.106728e-04,2.071872e-04,3.272233e-04,3.424816e-04,5.148642e-04,6.931454e-04,7.191043e-04,9.478072e-04,1.157760e-03,1.192713e-03,1.445706e-03,1.659090e-03,1.699478e-03,1.947886e-03,2.144135e-03,2.186079e-03,2.410464e-03,2.578342e-03,2.618579e-03,2.808923e-03,2.944569e-03,2.980776e-03,3.134024e-03,3.238246e-03,3.269008e-03,3.386393e-03,3.462441e-03,3.487062e-03,3.572034e-03,3.624109e-03,3.642405e-03,3.699295e-03,3.731692e-03,3.743814e-03,3.777045e-03,3.793724e-03,3.800021e-03,3.813721e-03,3.818128e-03,3.819059e-03,3.816888e-03,3.811925e-03,3.807997e-03,3.793111e-03,3.781166e-03,3.772897e-03,3.747965e-03,3.730975e-03,3.718873e-03,3.686128e-03,3.665646e-03,3.650193e-03,3.611488e-03,3.588747e-03,3.570394e-03,3.527258e-03,3.503226e-03,3.482392e-03,3.436078e-03,3.411510e-03,3.388574e-03,3.340110e-03,3.315584e-03,3.290894e-03,3.241113e-03,3.217067e-03,3.190935e-03,3.140512e-03,3.117272e-03,3.089979e-03,3.039457e-03,3.017259e-03,2.989055e-03,2.938869e-03,2.917876e-03,2.888985e-03,2.839479e-03,2.819798e-03,2.790418e-03,2.741862e-03,2.723554e-03,2.693861e-03,2.646462e-03,2.629553e-03,2.599703e-03,2.553618e-03,2.538108e-03,2.508235e-03,2.463580e-03,2.449447e-03,2.419672e-03,2.376527e-03,2.363735e-03,2.334159e-03,2.292579e-03,2.281078e-03,2.251793e-03,2.211807e-03,2.201542e-03,2.172623e-03,2.134244e-03,2.125152e-03,2.096667e-03,2.059891e-03,2.051907e-03,2.023912e-03,1.988724e-03,1.981781e-03,1.954322e-03,1.920699e-03,1.914729e-03,1.887847e-03,1.855756e-03,1.850692e-03,1.824418e-03,1.793823e-03,1.789599e-03,1.763961e-03,1.734819e-03,1.731370e-03,1.706388e-03,1.678655e-03,1.675920e-03,1.651610e-03,1.625239e-03,1.623159e-03,1.599532e-03,1.574476e-03,1.572993e-03,1.550058e-03,1.526266e-03,1.525328e-03,1.503089e-03,1.480513e-03,1.480067e-03,1.458526e-03,1.437117e-03,1.396381e-03,1.357768e-03,1.321185e-03,1.286544e-03,1.253758e-03,1.222742e-03,1.193416e-03,1.165700e-03,1.139519e-03,1.114800e-03,1.091471e-03,1.069467e-03,1.048722e-03,1.029174e-03,1.010765e-03,9.934367e-04,9.771358e-04,9.618105e-04,9.474111e-04,9.338906e-04,9.212039e-04,9.093082e-04,8.981625e-04,8.877279e-04,8.779671e-04,8.688449e-04,8.603275e-04,8.523829e-04,8.449806e-04,8.380915e-04,8.316880e-04,8.257437e-04,8.202337e-04,8.151343e-04,8.104227e-04,8.060774e-04,8.020781e-04,7.984053e-04,7.950406e-04,7.919663e-04,7.891658e-04,7.866233e-04,7.843238e-04,7.822529e-04,7.803970e-04,7.787433e-04,7.772796e-04,7.759942e-04,7.748761e-04
0.000000e+00,6.792403e-09,1.165554e-07,1.220004e-07,8.277657e-07,3.030842e-06,3.169650e-06,7.939752e-06,1.406128e-05,1.447583e-05,2.141093e-05,2.755314e-05,2.807040e-05,3.428761e-05,3.948610e-05,4.004080e-05,4.534240e-05,4.965031e-05,5.021270e-05,5.467378e-05,5.819993e-05,5.874782e-05,6.245664e-05,6.530535e-05,6.582145e-05,6.886278e-05,7.112914e-05,7.160034e-05,7.405301e-05,7.582217e-05,7.623881e-05,7.817489e-05,7.952217e-05,7.987752e-05,8.136211e-05,8.235360e-05,8.264327e-05,8.373478e-05,8.442810e-05,8.464967e-05,8.540023e-05,8.584541e-05,8.599805e-05,8.645404e-05,8.669438e-05,8.677849e-05,8.698108e-05,8.705391e-05,8.707092e-05,8.705658e-05,8.699397e-05,8.694610e-05,8.674705e-05,8.657647e-05,8.646653e-05,8.611122e-05,8.585612e-05,8.568737e-05,8.520086e-05,8.488118e-05,8.465719e-05,8.406152e-05,8.369413e-05,8.341870e-05,8.273322e-05,8.233232e-05,8.200934e-05,8.125100e-05,8.082849e-05,8.046192e-05,7.964553e-05,7.921130e-05,7.880507e-05,7.794355e-05,7.750577e-05,7.706377e-05,7.616834e-05,7.573370e-05,7.525971e-05,7.434012e-05,7.391401e-05,7.341168e-05,7.247635e-05,7.206309e-05,7.153593e-05,7.059210e-05,7.019506e-05,6.964642e-05,6.870032e-05,6.832206e-05,6.775513e-05,6.681206e-05,6.645449e-05,6.587224e-05,6.493671e-05,6.460116e-05,6.400642e-05,6.308222e-05,6.276953e-05,6.216493e-05,6.125524e-05,6.096586e-05,6.035384e-05,5.946130e-05,5.919535e-05,5.857816e-05,5.770491e-05,5.746223e-05,5.684198e-05,5.598976e-05,5.576998e-05,5.514858e-05,5.431874e-05,5.412130e-05,5.350052e-05,5.269412e-05,5.251832e-05,5.189975e-05,5.111757e-05,5.096260e-05,5.034770e-05,4.959026e-05,4.945525e-05,4.884533e-05,4.811296e-05,4.799695e-05,4.739320e-05,4.668605e-05,4.658805e-05,4.599151e-05,4.530958e-05,4.522859e-05,4.464021e-05,4.398337e-05,4.391837e-05,4.333898e-05,4.270698e-05,4.265695e-05,4.208728e-05,4.147979e-05,4.144373e-05,4.088441e-05,4.030102e-05,4.027793e-05,3.972950e-05,3.916974e-05,3.915866e-05,3.862159e-05,3.808493e-05,3.705565e-05,3.606968e-05,3.512582e-05,3.422284e-05,3.335948e-05,3.253446e-05,3.174650e-05,3.099433e-05,3.027666e-05,2.959224e-05,2.893982e-05,2.831818e-05,2.772612e-05,2.716246e-05,2.662606e-05,2.611580e-05,2.563060e-05,2.516940e-05,2.473119e-05,2.431497e-05,2.391980e-05,2.354474e-05,2.318891e-05,2.285146e-05,2.253155e-05,2.222840e-05,2.194124e-05,2.166933e-05,2.141199e-05,2.116852e-05,2.093828e-05,2.072065e-05,2.051504e-05,2.032087e-05,2.013761e-05,1.996472e-05,1.980171e-05,1.964811e-05,1.950345e-05,1.936731e-05,1.923925e-05,1.911889e-05,1.900585e-05,1.889977e-05,1.880028e-05,1.870708e-05,1.861983e-05,1.853825e-05,1.846204e-05
0.000000e+00,2.839093e-10,2.238035e-08,2.386335e-08,3.300160e-07,2.080557e-06,2.223673e-06,9.451278e-06,2.664305e-05,2.820665e-05,6.356093e-05,1.104869e-04,1.150890e-04,1.769914e-04,2.354572e-04,2.418978e-04,3.039850e-04,3.535600e-04,3.598811e-04,4.082232e-04,4.436430e-04,4.488890e-04,4.823817e-04,5.055195e-04,5.094525e-04,5.309029e-04,5.448353e-04,5.474954e-04,5.599195e-04,5.672691e-04,5.687836e-04,5.746183e-04,5.773644e-04,5.778833e-04,5.789759e-04,5.785657e-04,5.782383e-04,5.759653e-04,5.734453e-04,5.724104e-04,5.677905e-04,5.639103e-04,5.622917e-04,5.560730e-04,5.513654e-04,5.492707e-04,5.420013e-04,5.368425e-04,5.343639e-04,5.264431e-04,5.210954e-04,5.183106e-04,5.100277e-04,5.046721e-04,5.016463e-04,4.932103e-04,4.879690e-04,4.847566e-04,4.763160e-04,4.712689e-04,4.679145e-04,4.595738e-04,4.547714e-04,4.513122e-04,4.431445e-04,4.386162e-04,4.350827e-04,4.271369e-04,4.228971e-04,4.193147e-04,4.116227e-04,4.076760e-04,4.040656e-04,3.966470e-04,3.929904e-04,3.893693e-04,3.822342e-04,3.788603e-04,3.752427e-04,3.683951e-04,3.652936e-04,3.616913e-04,3.551307e-04,3.522891e-04,3.487121e-04,3.424342e-04,3.398391e-04,3.362955e-04,3.302941e-04,3.279315e-04,3.244280e-04,3.186954e-04,3.165515e-04,3.130938e-04,3.076212e-04,3.056821e-04,3.022750e-04,2.970530e-04,2.953053e-04,2.919527e-04,2.869717e-04,2.854025e-04,2.821075e-04,2.773578e-04,2.759548e-04,2.727201e-04,2.681920e-04,2.669435e-04,2.637712e-04,2.594552e-04,2.583499e-04,2.552417e-04,2.511285e-04,2.501561e-04,2.471134e-04,2.431940e-04,2.423443e-04,2.393681e-04,2.356338e-04,2.348977e-04,2.319887e-04,2.284309e-04,2.277996e-04,2.249584e-04,2.215691e-04,2.210345e-04,2.182612e-04,2.150327e-04,2.145869e-04,2.118817e-04,2.088065e-04,2.084425e-04,2.058052e-04,2.028761e-04,2.025871e-04,2.000175e-04,1.972278e-04,1.970075e-04,1.945053e-04,1.918484e-04,1.916910e-04,1.892555e-04,1.867252e-04,1.866253e-04,1.842559e-04,1.818463e-04,1.817987e-04,1.794948e-04,1.772001e-04,1.728190e-04,1.686451e-04,1.646689e-04,1.608810e-04,1.572726e-04,1.538354e-04,1.505614e-04,1.474429e-04,1.444727e-04,1.416437e-04,1.389495e-04,1.363836e-04,1.339400e-04,1.316131e-04,1.293973e-04,1.272874e-04,1.252786e-04,1.233659e-04,1.215450e-04,1.198114e-04,1.181612e-04,1.165904e-04,1.150953e-04,1.136723e-04,1.123180e-04,1.110292e-04,1.098029e-04,1.086361e-04,1.075260e-04,1.064700e-04,1.054654e-04,1.045100e-04,1.036013e-04,1.027373e-04,1.019158e-04,1.011347e-04,1.003923e-04,9.968663e-05,9.901604e-05,9.837888e-05,9.777355e-05,9.719858e-05,9.665252e-05,9.613404e-05,9.564181e-05,9.517463e-05,9.473129e-05,9.431069e-05,9.391175e-05
0.000000e+00,3.939094e-09,5.024104e-08,5.238095e-08,3.112994e-07,1.093094e-06,1.142543e-06,2.885425e-06,5.266355e-06,5.432819e-06,8.273255e-06,1.081625e-05,1.102971e-05,1.357521e-05,1.566536e-05,1.588593e-05,1.796717e-05,1.961897e-05,1.983176e-05,2.149412e-05,2.277297e-05,2.296861e-05,2.426902e-05,2.523644e-05,2.540844e-05,2.639924e-05,2.710898e-05,2.725306e-05,2.798086e-05,2.847929e-05,2.859290e-05,2.909876e-05,2.942540e-05,2.950739e-05,2.982710e-05,3.001541e-05,3.006566e-05,3.023025e-05,3.030837e-05,3.032755e-05,3.036377e-05,3.035526e-05,3.034463e-05,3.027546e-05,3.019991e-05,3.016116e-05,3.000628e-05,2.987993e-05,2.981500e-05,2.959122e-05,2.942745e-05,2.933849e-05,2.906010e-05,2.886988e-05,2.875910e-05,2.843826e-05,2.823051e-05,2.810015e-05,2.774713e-05,2.752907e-05,2.738136e-05,2.700482e-05,2.678221e-05,2.661932e-05,2.622653e-05,2.600395e-05,2.582796e-05,2.542499e-05,2.520600e-05,2.501888e-05,2.461078e-05,2.439814e-05,2.420174e-05,2.379268e-05,2.358842e-05,2.338447e-05,2.297787e-05,2.278349e-05,2.257358e-05,2.217222e-05,2.198873e-05,2.177434e-05,2.138045e-05,2.120851e-05,2.099097e-05,2.060630e-05,2.044625e-05,2.022677e-05,1.985270e-05,1.970465e-05,1.948433e-05,1.912189e-05,1.898576e-05,1.876557e-05,1.841552e-05,1.829106e-05,1.807187e-05,1.773473e-05,1.762160e-05,1.740418e-05,1.708027e-05,1.697803e-05,1.676306e-05,1.645255e-05,1.636071e-05,1.614876e-05,1.585167e-05,1.576969e-05,1.556127e-05,1.527753e-05,1.520484e-05,1.500039e-05,1.472982e-05,1.466585e-05,1.446573e-05,1.420808e-05,1.415225e-05,1.395677e-05,1.371173e-05,1.366347e-05,1.347288e-05,1.324011e-05,1.319885e-05,1.301334e-05,1.279247e-05,1.275767e-05,1.257740e-05,1.236802e-05,1.233915e-05,1.216422e-05,1.196591e-05,1.194248e-05,1.177297e-05,1.158530e-05,1.156682e-05,1.140279e-05,1.122532e-05,1.121134e-05,1.105279e-05,1.088509e-05,1.087518e-05,1.072211e-05,1.056374e-05,1.055750e-05,1.040987e-05,1.026041e-05,1.025746e-05,1.011524e-05,9.974258e-06,9.707081e-06,9.455151e-06,9.217712e-06,8.994033e-06,8.783407e-06,8.585155e-06,8.398625e-06,8.223193e-06,8.058262e-06,7.903259e-06,7.757641e-06,7.620889e-06,7.492509e-06,7.372033e-06,7.259014e-06,7.153030e-06,7.053679e-06,6.960581e-06,6.873377e-06,6.791726e-06,6.715304e-06,6.643809e-06,6.576951e-06,6.514458e-06,6.456074e-06,6.401556e-06,6.350674e-06,6.303212e-06,6.258967e-06,6.217747e-06,6.179369e-06,6.143664e-06,6.110470e-06,6.079635e-06,6.051017e-06,6.024480e-06,5.999898e-06,5.977151e-06,5.956128e-06,5.936721e-06,5.918831e-06,5.902364e-06,5.887233e-06,5.873353e-06,5.860646e-06,5.849040e-06,5.838464e-06,5.828853e-06,5.820146e-06
0.000000e+00,2.992743e-09,1.843899e-07,1.959672e-07,2.433844e-06,1.431583e-05,1.525353e-05,5.929447e-05,1.499299e-04,1.575155e-04,3.106243e-04,4.806654e-04,4.960871e-04,6.908037e-04,8.631554e-04,8.819218e-04,1.064371e-03,1.216528e-03,1.236652e-03,1.398563e-03,1.529666e-03,1.550311e-03,1.692230e-03,1.804121e-03,1.824696e-03,1.948098e-03,2.042798e-03,2.062826e-03,2.169271e-03,2.248720e-03,2.267815e-03,2.358835e-03,2.424841e-03,2.442694e-03,2.519748e-03,2.573967e-03,2.590337e-03,2.654789e-03,2.698720e-03,2.713422e-03,2.766538e-03,2.801529e-03,2.814427e-03,2.857368e-03,2.884625e-03,2.895626e-03,2.929456e-03,2.950056e-03,2.959101e-03,2.984793e-03,2.999693e-03,3.006754e-03,3.025196e-03,3.035244e-03,3.040319e-03,3.052317e-03,3.058267e-03,3.061373e-03,3.067661e-03,3.070176e-03,3.071350e-03,3.072596e-03,3.072261e-03,3.071553e-03,3.068362e-03,3.065689e-03,3.063162e-03,3.056083e-03,3.051523e-03,3.047250e-03,3.036778e-03,3.030724e-03,3.024782e-03,3.011368e-03,3.004161e-03,2.996637e-03,2.980685e-03,2.972621e-03,2.963603e-03,2.945479e-03,2.936815e-03,2.926395e-03,2.906429e-03,2.897384e-03,2.885655e-03,2.864143e-03,2.854904e-03,2.841960e-03,2.819169e-03,2.809896e-03,2.795830e-03,2.771999e-03,2.762826e-03,2.747730e-03,2.723074e-03,2.714112e-03,2.698078e-03,2.672787e-03,2.664129e-03,2.647245e-03,2.621492e-03,2.613212e-03,2.595565e-03,2.569500e-03,2.561659e-03,2.543332e-03,2.517092e-03,2.509736e-03,2.490810e-03,2.464513e-03,2.457677e-03,2.438230e-03,2.411984e-03,2.405693e-03,2.385798e-03,2.359694e-03,2.353965e-03,2.333694e-03,2.307815e-03,2.302655e-03,2.282075e-03,2.256492e-03,2.251905e-03,2.231081e-03,2.205855e-03,2.201837e-03,2.180829e-03,2.156014e-03,2.152557e-03,2.131422e-03,2.107064e-03,2.104157e-03,2.082949e-03,2.059086e-03,2.056714e-03,2.035483e-03,2.012148e-03,2.010293e-03,1.989088e-03,1.966307e-03,1.964950e-03,1.943813e-03,1.921609e-03,1.920727e-03,1.899701e-03,1.878091e-03,1.877662e-03,1.856784e-03,1.835782e-03,1.795108e-03,1.755653e-03,1.717427e-03,1.680433e-03,1.644670e-03,1.610132e-03,1.576812e-03,1.544698e-03,1.513776e-03,1.484028e-03,1.455437e-03,1.427981e-03,1.401639e-03,1.376387e-03,1.352201e-03,1.329056e-03,1.306925e-03,1.285782e-03,1.265601e-03,1.246353e-03,1.228012e-03,1.210549e-03,1.193937e-03,1.178149e-03,1.163157e-03,1.148933e-03,1.135452e-03,1.122686e-03,1.110610e-03,1.099196e-03,1.088420e-03,1.078257e-03,1.068682e-03,1.059671e-03,1.051201e-03,1.043248e-03,1.035790e-03,1.028806e-03,1.022274e-03,1.016173e-03,1.010483e-03,1.005185e-03,1.000259e-03,9.956871e-04,9.914516e-04,9.875351e-04,9.839208e-04,9.805927e-04,9.775353e-04
0.000000e+00,6.813329e-09,1.061170e-07,1.108779e-07,7.344614e-07,2.865788e-06,3.007899e-06,8.318919e-06,1.604588e-05,1.659436e-05,2.598578e-05,3.436197e-05,3.506189e-05,4.336070e-05,5.010035e-05,5.080717e-05,5.743102e-05,6.262318e-05,6.328738e-05,6.843555e-05,7.234059e-05,7.293316e-05,7.683476e-05,7.968894e-05,8.019138e-05,8.305057e-05,8.505497e-05,8.545646e-05,8.745008e-05,8.877375e-05,8.906940e-05,9.034951e-05,9.113341e-05,9.132275e-05,9.201890e-05,9.237957e-05,9.246531e-05,9.268713e-05,9.272030e-05,9.270739e-05,9.254721e-05,9.233108e-05,9.222594e-05,9.176125e-05,9.135935e-05,9.116932e-05,9.046490e-05,8.992858e-05,8.966149e-05,8.877135e-05,8.814185e-05,8.780571e-05,8.677473e-05,8.608495e-05,8.568771e-05,8.455305e-05,8.382903e-05,8.337842e-05,8.217074e-05,8.143290e-05,8.093629e-05,7.968075e-05,7.894492e-05,7.840926e-05,7.712643e-05,7.640466e-05,7.583643e-05,7.454301e-05,7.384433e-05,7.324951e-05,7.195895e-05,7.128992e-05,7.067400e-05,6.939705e-05,6.876224e-05,6.813021e-05,6.687535e-05,6.627777e-05,6.563412e-05,6.440796e-05,6.384934e-05,6.319812e-05,6.200569e-05,6.148679e-05,6.083161e-05,5.967666e-05,5.919745e-05,5.854151e-05,5.742671e-05,5.698659e-05,5.633271e-05,5.525985e-05,5.485777e-05,5.420841e-05,5.317858e-05,5.281316e-05,5.217048e-05,5.118417e-05,5.085379e-05,5.021965e-05,4.927688e-05,4.897977e-05,4.835577e-05,4.745618e-05,4.719047e-05,4.657795e-05,4.572089e-05,4.548467e-05,4.488476e-05,4.406934e-05,4.386068e-05,4.327433e-05,4.249947e-05,4.231647e-05,4.174445e-05,4.100895e-05,4.084972e-05,4.029264e-05,3.959520e-05,3.945794e-05,3.891627e-05,3.825552e-05,3.813848e-05,3.761258e-05,3.698710e-05,3.688862e-05,3.637872e-05,3.578708e-05,3.570557e-05,3.521183e-05,3.465259e-05,3.458654e-05,3.410902e-05,3.358076e-05,3.352877e-05,3.306746e-05,3.256876e-05,3.252948e-05,3.208432e-05,3.161379e-05,3.158599e-05,3.115684e-05,3.071314e-05,3.069566e-05,3.028236e-05,2.986416e-05,2.985593e-05,2.945825e-05,2.906429e-05,2.831836e-05,2.761581e-05,2.695442e-05,2.633205e-05,2.574665e-05,2.519627e-05,2.467902e-05,2.419314e-05,2.373693e-05,2.330876e-05,2.290709e-05,2.253047e-05,2.217751e-05,2.184688e-05,2.153734e-05,2.124771e-05,2.097685e-05,2.072370e-05,2.048725e-05,2.026655e-05,2.006069e-05,1.986883e-05,1.969013e-05,1.952385e-05,1.936926e-05,1.922567e-05,1.909243e-05,1.896894e-05,1.885461e-05,1.874890e-05,1.865130e-05,1.856130e-05,1.847847e-05,1.840235e-05,1.833254e-05,1.826866e-05,1.821033e-05,1.815721e-05,1.810898e-05,1.806532e-05,1.802595e-05,1.799060e-05,1.795901e-05,1.793093e-05,1.790613e-05,1.788441e-05,1.786555e-05,1.784936e-05,1.783567e-05
0.000000e+00,1.858652e-09,1.019564e-07,1.083170e-07,1.334802e-06,7.423253e-06,7.880953e-06,2.727686e-05,6.001654e-05,6.247657e-05,1.065589e-04,1.479725e-04,1.514896e-04,1.936906e-04,2.286058e-04,2.323030e-04,2.673273e-04,2.953373e-04,2.989621e-04,3.274378e-04,3.495731e-04,3.529807e-04,3.758063e-04,3.930289e-04,3.961178e-04,4.141065e-04,4.272504e-04,4.299521e-04,4.438229e-04,4.536036e-04,4.558760e-04,4.662579e-04,4.732837e-04,4.751049e-04,4.825439e-04,4.873287e-04,4.886928e-04,4.936607e-04,4.966361e-04,4.975483e-04,5.004492e-04,5.019758e-04,5.024500e-04,5.036304e-04,5.040083e-04,5.040643e-04,5.038203e-04,5.032992e-04,5.029610e-04,5.015447e-04,5.003311e-04,4.996250e-04,4.972515e-04,4.955153e-04,4.944694e-04,4.913209e-04,4.892019e-04,4.878446e-04,4.840761e-04,4.816884e-04,4.800480e-04,4.757906e-04,4.732271e-04,4.713313e-04,4.666957e-04,4.640315e-04,4.619070e-04,4.569867e-04,4.542819e-04,4.519543e-04,4.468278e-04,4.441303e-04,4.416236e-04,4.363569e-04,4.337044e-04,4.310413e-04,4.256894e-04,4.231110e-04,4.203127e-04,4.149216e-04,4.124394e-04,4.095255e-04,4.041331e-04,4.017636e-04,3.987522e-04,3.933899e-04,3.911448e-04,3.880525e-04,3.827459e-04,3.806330e-04,3.774752e-04,3.722451e-04,3.702692e-04,3.670598e-04,3.619230e-04,3.600863e-04,3.568380e-04,3.518077e-04,3.501103e-04,3.468347e-04,3.419213e-04,3.403619e-04,3.370694e-04,3.322807e-04,3.308566e-04,3.275566e-04,3.228985e-04,3.216061e-04,3.183072e-04,3.137835e-04,3.126186e-04,3.093282e-04,3.049417e-04,3.038993e-04,3.006244e-04,2.963764e-04,2.954512e-04,2.921978e-04,2.880887e-04,2.872752e-04,2.840488e-04,2.800781e-04,2.793706e-04,2.761761e-04,2.723425e-04,2.717354e-04,2.685769e-04,2.648788e-04,2.643664e-04,2.612476e-04,2.576827e-04,2.572594e-04,2.541836e-04,2.507495e-04,2.504096e-04,2.473797e-04,2.440735e-04,2.438118e-04,2.408302e-04,2.376489e-04,2.374600e-04,2.345288e-04,2.314692e-04,2.313480e-04,2.284692e-04,2.255279e-04,2.254696e-04,2.226445e-04,2.198182e-04,2.143870e-04,2.091693e-04,2.041585e-04,1.993479e-04,1.947308e-04,1.903007e-04,1.860511e-04,1.819759e-04,1.780688e-04,1.743237e-04,1.707349e-04,1.672966e-04,1.640032e-04,1.608495e-04,1.578300e-04,1.549399e-04,1.521742e-04,1.495281e-04,1.469970e-04,1.445766e-04,1.422626e-04,1.400508e-04,1.379373e-04,1.359181e-04,1.339897e-04,1.321484e-04,1.303908e-04,1.287136e-04,1.271135e-04,1.255876e-04,1.241328e-04,1.227463e-04,1.214253e-04,1.201672e-04,1.189694e-04,1.178296e-04,1.167452e-04,1.157141e-04,1.147341e-04,1.138030e-04,1.129189e-04,1.120797e-04,1.112837e-04,1.105290e-04,1.098139e-04,1.091367e-04,1.084958e-04,1.078897e-04,1.073169e-04
0.000000e+00,5.395805e-11,6.116918e-09,6.568829e-09,1.256818e-07,1.022154e-06,1.103146e-06,5.908485e-06,2.054663e-05,2.204734e-05,6.239093e-05,1.343710e-04,1.426106e-04,2.765681e-04,4.500929e-04,4.725787e-04,7.319669e-04,1.008738e-03,1.049646e-03,1.415825e-03,1.760054e-03,1.818034e-03,2.242938e-03,2.607978e-03,2.677714e-03,3.110947e-03,3.458292e-03,3.533098e-03,3.936660e-03,4.242334e-03,4.316082e-03,4.667579e-03,4.920842e-03,4.988860e-03,5.278858e-03,5.478236e-03,5.537459e-03,5.765268e-03,5.914666e-03,5.963404e-03,6.133340e-03,6.239175e-03,6.276765e-03,6.395484e-03,6.464880e-03,6.491351e-03,6.566206e-03,6.606021e-03,6.621839e-03,6.659964e-03,6.676329e-03,6.682206e-03,6.690087e-03,6.688254e-03,6.685027e-03,6.668340e-03,6.652693e-03,6.641242e-03,6.604850e-03,6.578983e-03,6.560187e-03,6.508194e-03,6.475019e-03,6.449726e-03,6.385569e-03,6.347424e-03,6.316434e-03,6.242974e-03,6.201717e-03,6.165780e-03,6.085389e-03,6.042487e-03,6.002291e-03,5.916931e-03,5.873529e-03,5.829709e-03,5.740992e-03,5.697975e-03,5.651109e-03,5.560360e-03,5.518399e-03,5.469013e-03,5.377313e-03,5.336910e-03,5.285478e-03,5.193705e-03,5.155223e-03,5.102172e-03,5.011038e-03,4.974728e-03,4.920444e-03,4.830517e-03,4.796543e-03,4.741369e-03,4.653099e-03,4.621555e-03,4.565796e-03,4.479536e-03,4.450458e-03,4.394387e-03,4.310407e-03,4.283789e-03,4.227647e-03,4.146150e-03,4.121953e-03,4.065952e-03,3.987084e-03,3.965243e-03,3.909570e-03,3.833431e-03,3.813862e-03,3.758681e-03,3.685332e-03,3.667937e-03,3.613391e-03,3.542862e-03,3.527535e-03,3.473746e-03,3.406042e-03,3.392670e-03,3.339745e-03,3.274849e-03,3.263316e-03,3.211346e-03,3.149226e-03,3.139415e-03,3.088477e-03,3.029087e-03,3.020879e-03,2.971040e-03,2.914322e-03,2.907604e-03,2.858916e-03,2.804806e-03,2.799466e-03,2.751974e-03,2.700401e-03,2.696329e-03,2.650069e-03,2.600959e-03,2.598051e-03,2.553050e-03,2.506324e-03,2.504479e-03,2.460760e-03,2.416337e-03,2.415460e-03,2.373036e-03,2.330837e-03,2.250452e-03,2.174147e-03,2.101767e-03,2.033157e-03,1.968166e-03,1.906647e-03,1.848455e-03,1.793450e-03,1.741496e-03,1.692461e-03,1.646218e-03,1.602644e-03,1.561620e-03,1.523031e-03,1.486767e-03,1.452722e-03,1.420795e-03,1.390887e-03,1.362904e-03,1.336756e-03,1.312356e-03,1.289621e-03,1.268471e-03,1.248829e-03,1.230622e-03,1.213780e-03,1.198234e-03,1.183920e-03,1.170776e-03,1.158743e-03,1.147762e-03,1.137779e-03,1.128742e-03,1.120600e-03,1.113305e-03,1.106810e-03,1.101071e-03,1.096045e-03,1.091692e-03,1.087971e-03,1.084846e-03,1.082280e-03,1.080240e-03,1.078691e-03,1.077602e-03,1.076943e-03,1.076684e-03,1.076798e-03,1.077259e-03
0.000000e+00,5.724558e-10,5.724765e-08,6.144969e-08,1.163836e-06,8.641456e-06,9.264791e-06,3.905403e-05,9.830698e-05,1.031503e-04,1.993036e-04,3.056037e-04,3.153015e-04,4.388567e-04,5.496714e-04,5.617902e-04,6.797997e-04,7.780650e-04,7.910273e-04,8.948776e-04,9.782649e-04,9.913293e-04,1.080597e-03,1.150252e-03,1.162985e-03,1.238827e-03,1.296369e-03,1.308460e-03,1.372223e-03,1.419227e-03,1.430444e-03,1.483442e-03,1.521352e-03,1.531524e-03,1.574984e-03,1.605097e-03,1.614105e-03,1.649153e-03,1.672616e-03,1.680382e-03,1.708034e-03,1.725857e-03,1.732337e-03,1.753506e-03,1.766570e-03,1.771745e-03,1.787247e-03,1.796317e-03,1.800192e-03,1.810752e-03,1.816494e-03,1.819088e-03,1.825352e-03,1.828340e-03,1.829688e-03,1.832228e-03,1.832959e-03,1.833102e-03,1.832427e-03,1.831327e-03,1.830317e-03,1.826876e-03,1.824311e-03,1.822205e-03,1.816395e-03,1.812678e-03,1.809536e-03,1.801709e-03,1.797108e-03,1.792992e-03,1.783458e-03,1.778199e-03,1.773174e-03,1.762205e-03,1.756483e-03,1.750612e-03,1.738450e-03,1.732425e-03,1.725772e-03,1.712628e-03,1.706438e-03,1.699064e-03,1.685124e-03,1.678882e-03,1.670849e-03,1.656277e-03,1.650076e-03,1.641443e-03,1.626380e-03,1.620299e-03,1.611121e-03,1.595695e-03,1.589794e-03,1.580127e-03,1.564445e-03,1.558775e-03,1.548671e-03,1.532828e-03,1.527429e-03,1.516936e-03,1.501014e-03,1.495916e-03,1.485081e-03,1.469153e-03,1.464378e-03,1.453245e-03,1.437371e-03,1.432935e-03,1.421546e-03,1.405780e-03,1.401692e-03,1.390086e-03,1.374473e-03,1.370739e-03,1.358952e-03,1.343531e-03,1.340153e-03,1.328219e-03,1.313023e-03,1.309998e-03,1.297949e-03,1.283004e-03,1.280329e-03,1.268195e-03,1.253525e-03,1.251191e-03,1.238999e-03,1.224623e-03,1.222622e-03,1.210399e-03,1.196331e-03,1.194654e-03,1.182422e-03,1.168675e-03,1.167310e-03,1.155092e-03,1.141675e-03,1.140609e-03,1.128426e-03,1.115345e-03,1.114566e-03,1.102436e-03,1.089697e-03,1.089191e-03,1.077131e-03,1.064737e-03,1.064491e-03,1.052516e-03,1.040469e-03,1.017126e-03,9.944598e-04,9.724674e-04,9.511431e-04,9.304799e-04,9.104698e-04,8.911033e-04,8.723703e-04,8.542599e-04,8.367604e-04,8.198599e-04,8.035459e-04,7.878056e-04,7.726260e-04,7.579941e-04,7.438965e-04,7.303201e-04,7.172515e-04,7.046776e-04,6.925852e-04,6.809613e-04,6.697930e-04,6.590675e-04,6.487724e-04,6.388951e-04,6.294236e-04,6.203458e-04,6.116500e-04,6.033247e-04,5.953585e-04,5.877404e-04,5.804595e-04,5.735052e-04,5.668671e-04,5.605350e-04,5.544991e-04,5.487497e-04,5.432772e-04,5.380726e-04,5.331266e-04,5.284307e-04,5.239761e-04,5.197545e-04,5.157578e-04,5.119781e-04,5.084075e-04,5.050386e-04,5.018640e-04,4.988765e-04
0.000000e+00,1.475634e-10,1.307557e-08,1.396173e-08,2.015684e-07,1.327976e-06,1.423179e-06,6.654359e-06,2.137459e-05,2.284020e-05,6.065317e-05,1.232304e-04,1.300930e-04,2.350935e-04,3.570511e-04,3.719362e-04,5.315987e-04,6.823833e-04,7.032727e-04,8.770449e-04,1.022230e-03,1.045217e-03,1.202565e-03,1.324080e-03,1.346026e-03,1.474180e-03,1.567619e-03,1.586742e-03,1.684146e-03,1.751716e-03,1.767239e-03,1.837083e-03,1.883096e-03,1.894817e-03,1.941584e-03,1.970472e-03,1.978485e-03,2.006554e-03,2.022204e-03,2.026747e-03,2.039943e-03,2.045563e-03,2.046941e-03,2.048465e-03,2.046629e-03,2.045172e-03,2.037650e-03,2.030395e-03,2.026434e-03,2.011999e-03,2.000919e-03,1.994775e-03,1.975147e-03,1.961483e-03,1.953458e-03,1.930018e-03,1.914727e-03,1.905101e-03,1.878954e-03,1.862768e-03,1.851796e-03,1.823823e-03,1.807293e-03,1.795207e-03,1.766105e-03,1.749647e-03,1.736653e-03,1.706973e-03,1.690888e-03,1.677171e-03,1.647343e-03,1.631850e-03,1.617572e-03,1.587932e-03,1.573180e-03,1.558485e-03,1.529288e-03,1.515377e-03,1.500390e-03,1.471832e-03,1.458819e-03,1.443649e-03,1.415874e-03,1.403788e-03,1.388530e-03,1.361641e-03,1.350487e-03,1.335224e-03,1.309293e-03,1.299060e-03,1.283860e-03,1.258934e-03,1.249597e-03,1.234522e-03,1.210627e-03,1.202152e-03,1.187252e-03,1.164398e-03,1.156747e-03,1.142065e-03,1.120251e-03,1.113379e-03,1.098952e-03,1.078165e-03,1.072028e-03,1.057885e-03,1.038107e-03,1.032658e-03,1.018824e-03,1.000029e-03,9.952216e-04,9.817158e-04,9.638764e-04,9.596646e-04,9.465030e-04,9.295874e-04,9.259266e-04,9.131213e-04,8.970962e-04,8.939433e-04,8.815033e-04,8.663340e-04,8.636479e-04,8.515795e-04,8.372310e-04,8.349723e-04,8.232795e-04,8.097164e-04,8.078481e-04,7.965329e-04,7.837203e-04,7.822073e-04,7.712700e-04,7.591733e-04,7.579828e-04,7.474220e-04,7.360075e-04,7.351087e-04,7.249218e-04,7.141567e-04,7.135209e-04,7.037043e-04,6.935567e-04,6.931570e-04,6.837061e-04,6.741451e-04,6.739568e-04,6.648663e-04,6.558623e-04,6.388175e-04,6.227689e-04,6.076650e-04,5.934568e-04,5.800972e-04,5.675415e-04,5.557470e-04,5.446730e-04,5.342809e-04,5.245338e-04,5.153967e-04,5.068365e-04,4.988214e-04,4.913217e-04,4.843087e-04,4.777557e-04,4.716368e-04,4.659280e-04,4.606061e-04,4.556494e-04,4.510372e-04,4.467499e-04,4.427690e-04,4.390769e-04,4.356569e-04,4.324933e-04,4.295711e-04,4.268763e-04,4.243954e-04,4.221158e-04,4.200255e-04,4.181131e-04,4.163679e-04,4.147798e-04,4.133392e-04,4.120369e-04,4.108644e-04,4.098135e-04,4.088766e-04,4.080464e-04,4.073160e-04,4.066790e-04,4.061293e-04,4.056610e-04,4.052686e-04,4.049472e-04,4.046916e-04,4.044974e-04,4.043602e-04
0.000000e+00,1.080130e-08,1.531886e-07,1.596099e-07,9.198185e-07,3.249857e-06,3.400071e-06,8.909078e-06,1.715011e-05,1.775860e-05,2.872219e-05,3.919921e-05,4.009519e-05,5.088373e-05,5.982071e-05,6.076576e-05,6.969263e-05,7.678435e-05,7.769813e-05,8.483795e-05,9.033159e-05,9.117210e-05,9.675970e-05,1.009179e-04,1.016574e-04,1.059190e-04,1.089743e-04,1.095948e-04,1.127324e-04,1.148849e-04,1.153761e-04,1.175670e-04,1.189865e-04,1.193437e-04,1.207420e-04,1.215722e-04,1.217952e-04,1.225342e-04,1.228957e-04,1.229876e-04,1.231821e-04,1.231756e-04,1.231422e-04,1.228907e-04,1.226001e-04,1.224487e-04,1.218357e-04,1.213304e-04,1.210696e-04,1.201670e-04,1.195040e-04,1.191432e-04,1.180122e-04,1.172382e-04,1.167871e-04,1.154796e-04,1.146325e-04,1.141008e-04,1.126607e-04,1.117710e-04,1.111684e-04,1.096325e-04,1.087246e-04,1.080605e-04,1.064596e-04,1.055528e-04,1.048361e-04,1.031958e-04,1.023051e-04,1.015442e-04,9.988599e-05,9.902258e-05,9.822554e-05,9.656679e-05,9.573918e-05,9.491330e-05,9.326827e-05,9.248251e-05,9.163457e-05,9.001474e-05,8.927493e-05,8.841109e-05,8.682562e-05,8.613424e-05,8.526011e-05,8.371614e-05,8.307443e-05,8.219506e-05,8.069806e-05,8.010623e-05,7.922614e-05,7.778016e-05,7.723764e-05,7.636083e-05,7.496873e-05,7.447434e-05,7.360434e-05,7.226800e-05,7.182009e-05,7.095998e-05,6.968045e-05,6.927704e-05,6.842951e-05,6.720716e-05,6.684603e-05,6.601336e-05,6.484800e-05,6.452678e-05,6.371093e-05,6.260193e-05,6.231815e-05,6.152075e-05,6.046710e-05,6.021828e-05,5.944066e-05,5.844108e-05,5.822474e-05,5.746798e-05,5.652096e-05,5.633465e-05,5.559960e-05,5.470347e-05,5.454481e-05,5.383211e-05,5.298506e-05,5.285176e-05,5.216185e-05,5.136201e-05,5.125187e-05,5.058505e-05,4.983047e-05,4.974141e-05,4.909780e-05,4.838654e-05,4.831657e-05,4.769619e-05,4.702628e-05,4.697355e-05,4.637630e-05,4.574578e-05,4.570855e-05,4.513423e-05,4.454118e-05,4.451783e-05,4.396615e-05,4.340869e-05,4.339772e-05,4.286832e-05,4.234459e-05,4.135498e-05,4.042550e-05,3.955292e-05,3.873410e-05,3.796603e-05,3.724584e-05,3.657080e-05,3.593828e-05,3.534581e-05,3.479101e-05,3.427165e-05,3.378561e-05,3.333087e-05,3.290554e-05,3.250782e-05,3.213601e-05,3.178852e-05,3.146385e-05,3.116057e-05,3.087735e-05,3.061293e-05,3.036614e-05,3.013586e-05,2.992106e-05,2.972074e-05,2.953400e-05,2.935996e-05,2.919783e-05,2.904683e-05,2.890626e-05,2.877545e-05,2.865377e-05,2.854064e-05,2.843550e-05,2.833785e-05,2.824720e-05,2.816309e-05,2.808511e-05,2.801286e-05,2.794596e-05,2.788407e-05,2.782687e-05,2.777404e-05,2.772531e-05,2.768040e-05,2.763908e-05,2.760109e-05,2.756623e-05,2.753429e-05
0.000000e+00,1.483823e-11,1.976787e-09,2.129755e-09,4.788907e-08,4.536106e-07,4.926338e-07,3.076490e-06,1.227204e-05,1.328132e-05,4.323756e-05,1.058480e-04,1.136039e-04,2.537541e-04,4.699300e-04,5.005907e-04,8.965269e-04,1.404415e-03,1.487096e-03,2.318511e-03,3.260269e-03,3.435400e-03,4.878839e-03,6.370147e-03,6.684752e-03,8.882710e-03,1.099353e-02,1.149510e-02,1.453669e-02,1.728393e-02,1.801445e-02,2.192769e-02,2.527743e-02,2.626842e-02,3.102186e-02,3.489785e-02,3.616712e-02,4.167789e-02,4.597317e-02,4.752330e-02,5.366869e-02,5.825811e-02,6.007647e-02,6.670692e-02,7.145871e-02,7.351887e-02,8.047051e-02,8.525601e-02,8.751994e-02,9.462581e-02,9.932695e-02,1.017478e-01,1.088470e-01,1.133614e-01,1.158865e-01,1.228313e-01,1.270751e-01,1.296488e-01,1.363093e-01,1.402186e-01,1.427852e-01,1.490521e-01,1.525824e-01,1.550882e-01,1.608743e-01,1.639992e-01,1.663942e-01,1.716341e-01,1.743432e-01,1.765830e-01,1.812320e-01,1.835288e-01,1.855749e-01,1.896073e-01,1.915063e-01,1.933270e-01,1.967337e-01,1.982580e-01,1.998286e-01,2.026147e-01,2.037938e-01,2.050963e-01,2.072787e-01,2.081459e-01,2.091687e-01,2.107737e-01,2.113648e-01,2.121022e-01,2.131631e-01,2.135147e-01,2.139662e-01,2.145215e-01,2.146697e-01,2.148395e-01,2.149309e-01,2.149105e-01,2.148067e-01,2.144777e-01,2.143212e-01,2.139551e-01,2.132499e-01,2.129874e-01,2.123729e-01,2.113350e-01,2.109938e-01,2.101468e-01,2.088185e-01,2.084229e-01,2.073604e-01,2.057824e-01,2.053536e-01,2.040939e-01,2.023042e-01,2.018606e-01,2.004222e-01,1.984565e-01,1.980136e-01,1.964153e-01,1.943065e-01,1.938773e-01,1.921376e-01,1.899157e-01,1.895107e-01,1.876478e-01,1.853402e-01,1.849677e-01,1.829991e-01,1.806303e-01,1.802967e-01,1.782392e-01,1.758311e-01,1.755412e-01,1.734107e-01,1.709827e-01,1.707396e-01,1.685512e-01,1.661203e-01,1.659260e-01,1.636937e-01,1.612748e-01,1.611300e-01,1.588669e-01,1.564729e-01,1.563775e-01,1.540956e-01,1.517376e-01,1.516907e-01,1.494012e-01,1.470886e-01,1.425871e-01,1.381998e-01,1.339374e-01,1.298089e-01,1.258212e-01,1.219796e-01,1.182880e-01,1.147489e-01,1.113636e-01,1.081325e-01,1.050554e-01,1.021308e-01,9.935713e-02,9.673184e-02,9.425211e-02,9.191471e-02,8.971603e-02,8.765223e-02,8.571922e-02,8.391271e-02,8.222828e-02,8.066142e-02,7.920748e-02,7.786181e-02,7.661967e-02,7.547636e-02,7.442716e-02,7.346743e-02,7.259252e-02,7.179789e-02,7.107905e-02,7.043158e-02,6.985116e-02,6.933358e-02,6.887472e-02,6.847061e-02,6.811737e-02,6.781128e-02,6.754873e-02,6.732627e-02,6.714057e-02,6.698845e-02,6.686688e-02,6.677297e-02,6.670398e-02,6.665729e-02,6.663047e-02,6.662119e-02,6.662728e-02
0.000000e+00,5.219127e-11,5.284597e-09,5.661920e-09,9.850022e-08,7.665014e-07,8.263939e-07,4.362303e-06,1.501842e-05,1.610085e-05,4.455563e-05,9.287799e-05,9.824921e-05,1.820583e-04,2.831582e-04,2.957740e-04,4.349470e-04,5.730626e-04,5.927297e-04,7.616404e-04,9.105158e-04,9.347839e-04,1.106479e-03,1.246410e-03,1.272442e-03,1.429702e-03,1.550823e-03,1.576392e-03,1.711498e-03,1.810967e-03,1.834634e-03,1.945849e-03,2.024532e-03,2.045481e-03,2.134043e-03,2.194323e-03,2.212151e-03,2.280469e-03,2.325121e-03,2.339676e-03,2.390440e-03,2.422125e-03,2.433406e-03,2.469193e-03,2.490284e-03,2.498380e-03,2.521515e-03,2.534051e-03,2.539107e-03,2.551632e-03,2.557338e-03,2.559531e-03,2.563213e-03,2.563534e-03,2.563059e-03,2.559420e-03,2.555557e-03,2.552620e-03,2.542962e-03,2.535911e-03,2.530722e-03,2.516156e-03,2.506737e-03,2.499503e-03,2.480980e-03,2.469866e-03,2.460788e-03,2.439114e-03,2.426855e-03,2.416129e-03,2.391989e-03,2.379029e-03,2.366840e-03,2.340815e-03,2.327513e-03,2.314036e-03,2.286617e-03,2.273259e-03,2.258660e-03,2.230260e-03,2.217071e-03,2.201503e-03,2.172470e-03,2.159626e-03,2.143231e-03,2.113855e-03,2.101491e-03,2.084402e-03,2.054925e-03,2.043140e-03,2.025477e-03,1.996101e-03,1.984966e-03,1.966839e-03,1.937729e-03,1.927294e-03,1.908805e-03,1.880096e-03,1.870390e-03,1.851631e-03,1.823433e-03,1.814470e-03,1.795524e-03,1.767925e-03,1.759707e-03,1.740651e-03,1.713717e-03,1.706239e-03,1.687138e-03,1.660925e-03,1.654170e-03,1.635086e-03,1.609632e-03,1.603580e-03,1.584568e-03,1.559900e-03,1.554527e-03,1.535634e-03,1.511772e-03,1.507048e-03,1.488318e-03,1.465272e-03,1.461168e-03,1.442637e-03,1.420412e-03,1.416894e-03,1.398597e-03,1.377191e-03,1.374227e-03,1.356192e-03,1.335599e-03,1.333155e-03,1.315408e-03,1.295617e-03,1.293660e-03,1.276223e-03,1.257223e-03,1.255719e-03,1.238611e-03,1.220384e-03,1.219303e-03,1.202539e-03,1.185069e-03,1.184378e-03,1.167971e-03,1.151240e-03,1.150909e-03,1.134871e-03,1.118858e-03,1.088183e-03,1.058845e-03,1.030800e-03,1.004008e-03,9.784240e-04,9.540069e-04,9.307146e-04,9.085056e-04,8.873390e-04,8.671750e-04,8.479744e-04,8.296993e-04,8.123124e-04,7.957777e-04,7.800603e-04,7.651263e-04,7.509428e-04,7.374781e-04,7.247018e-04,7.125841e-04,7.010967e-04,6.902121e-04,6.799039e-04,6.701466e-04,6.609160e-04,6.521883e-04,6.439411e-04,6.361528e-04,6.288024e-04,6.218699e-04,6.153363e-04,6.091831e-04,6.033926e-04,5.979480e-04,5.928330e-04,5.880320e-04,5.835303e-04,5.793135e-04,5.753679e-04,5.716805e-04,5.682387e-04,5.650306e-04,5.620447e-04,5.592699e-04,5.566959e-04,5.543124e-04,5.521099e-04,5.500793e-04,5.482116e-04
0.000000e+00,9.027046e-10,5.709079e-08,6.071827e-08,7.637678e-07,4.313060e-06,4.583794e-06,1.653960e-05,3.898329e-05,4.078835e-05,7.575760e-05,1.122224e-04,1.154289e-04,1.546212e-04,1.874130e-04,1.908790e-04,2.235116e-04,2.492382e-04,2.525378e-04,2.781872e-04,2.977536e-04,3.007334e-04,3.204453e-04,3.349987e-04,3.375761e-04,3.523606e-04,3.628856e-04,3.650154e-04,3.757394e-04,3.830512e-04,3.847146e-04,3.921085e-04,3.968769e-04,3.980741e-04,4.027514e-04,4.055236e-04,4.062682e-04,4.087413e-04,4.099622e-04,4.102767e-04,4.109711e-04,4.110000e-04,4.109125e-04,4.101809e-04,4.093079e-04,4.088496e-04,4.069849e-04,4.054431e-04,4.046468e-04,4.018902e-04,3.998660e-04,3.987650e-04,3.953163e-04,3.929584e-04,3.915851e-04,3.876085e-04,3.850347e-04,3.834201e-04,3.790504e-04,3.763531e-04,3.745269e-04,3.698748e-04,3.671265e-04,3.651164e-04,3.602720e-04,3.575286e-04,3.553602e-04,3.503974e-04,3.477015e-04,3.453984e-04,3.403767e-04,3.377604e-04,3.353442e-04,3.303117e-04,3.277984e-04,3.252887e-04,3.202839e-04,3.178903e-04,3.153048e-04,3.103583e-04,3.080956e-04,3.054504e-04,3.005864e-04,2.984613e-04,2.957708e-04,2.910079e-04,2.890240e-04,2.863010e-04,2.816534e-04,2.798115e-04,2.770676e-04,2.725459e-04,2.708449e-04,2.680902e-04,2.637020e-04,2.621391e-04,2.593827e-04,2.551332e-04,2.537045e-04,2.509544e-04,2.468468e-04,2.455474e-04,2.428108e-04,2.388465e-04,2.376713e-04,2.349542e-04,2.311336e-04,2.300767e-04,2.273846e-04,2.237069e-04,2.227623e-04,2.201000e-04,2.165635e-04,2.157252e-04,2.130968e-04,2.096993e-04,2.089610e-04,2.063701e-04,2.031088e-04,2.024645e-04,1.999143e-04,1.967858e-04,1.962297e-04,1.937226e-04,1.907237e-04,1.902497e-04,1.877881e-04,1.849149e-04,1.845176e-04,1.821033e-04,1.793521e-04,1.790260e-04,1.766605e-04,1.740274e-04,1.737673e-04,1.714519e-04,1.689329e-04,1.687338e-04,1.664695e-04,1.640606e-04,1.639178e-04,1.617054e-04,1.594027e-04,1.593117e-04,1.571517e-04,1.549513e-04,1.549078e-04,1.528006e-04,1.506987e-04,1.466770e-04,1.428355e-04,1.391672e-04,1.356653e-04,1.323230e-04,1.291340e-04,1.260921e-04,1.231912e-04,1.204255e-04,1.177893e-04,1.152773e-04,1.128842e-04,1.106051e-04,1.084350e-04,1.063694e-04,1.044037e-04,1.025337e-04,1.007552e-04,9.906432e-05,9.745719e-05,9.593017e-05,9.447977e-05,9.310261e-05,9.179548e-05,9.055529e-05,8.937905e-05,8.826394e-05,8.720722e-05,8.620629e-05,8.525863e-05,8.436185e-05,8.351364e-05,8.271181e-05,8.195425e-05,8.123892e-05,8.056391e-05,7.992735e-05,7.932746e-05,7.876255e-05,7.823100e-05,7.773124e-05,7.726177e-05,7.682119e-05,7.640811e-05,7.602124e-05,7.565933e-05,7.532117e-05,7.500562e-05,7.471160e-05
0.000000e+00,2.517262e-10,2.513765e-08,2.693446e-08,4.635889e-07,3.387427e-06,3.638421e-06,1.712991e-05,5.185413e-05,5.512096e-05,1.323921e-04,2.435440e-04,2.549423e-04,4.169282e-04,5.852349e-04,6.047256e-04,8.027938e-04,9.748776e-04,9.977555e-04,1.180067e-03,1.322305e-03,1.344031e-03,1.487020e-03,1.590527e-03,1.608555e-03,1.709487e-03,1.777970e-03,1.791391e-03,1.856168e-03,1.896985e-03,1.905790e-03,1.942161e-03,1.962474e-03,1.967048e-03,1.982046e-03,1.987713e-03,1.988578e-03,1.987895e-03,1.983394e-03,1.981092e-03,1.969123e-03,1.957777e-03,1.952817e-03,1.932892e-03,1.917128e-03,1.909970e-03,1.884585e-03,1.866157e-03,1.857202e-03,1.828218e-03,1.808381e-03,1.797977e-03,1.766775e-03,1.746419e-03,1.734863e-03,1.702460e-03,1.682207e-03,1.669752e-03,1.636897e-03,1.617171e-03,1.604031e-03,1.571269e-03,1.552353e-03,1.538707e-03,1.506429e-03,1.488503e-03,1.474503e-03,1.442986e-03,1.426155e-03,1.411927e-03,1.381363e-03,1.365677e-03,1.351328e-03,1.321844e-03,1.307317e-03,1.292934e-03,1.264610e-03,1.251227e-03,1.236885e-03,1.209765e-03,1.197494e-03,1.183255e-03,1.157356e-03,1.146154e-03,1.132067e-03,1.107388e-03,1.097203e-03,1.083313e-03,1.059837e-03,1.050613e-03,1.036953e-03,1.014655e-03,1.006334e-03,9.929348e-04,9.717826e-04,9.643052e-04,9.511895e-04,9.311458e-04,9.244543e-04,9.116414e-04,8.926659e-04,8.867038e-04,8.742089e-04,8.562598e-04,8.509724e-04,8.388077e-04,8.218421e-04,8.171774e-04,8.053521e-04,7.893270e-04,7.852353e-04,7.737562e-04,7.586292e-04,7.550636e-04,7.439355e-04,7.296648e-04,7.265810e-04,7.158069e-04,7.023518e-04,6.997083e-04,6.892897e-04,6.766107e-04,6.743684e-04,6.643054e-04,6.523643e-04,6.504869e-04,6.407782e-04,6.295382e-04,6.279918e-04,6.186354e-04,6.080612e-04,6.068139e-04,5.978070e-04,5.878647e-04,5.868873e-04,5.782260e-04,5.688831e-04,5.681482e-04,5.598283e-04,5.510539e-04,5.505362e-04,5.425527e-04,5.343172e-04,5.339932e-04,5.263406e-04,5.186160e-04,5.184640e-04,5.111365e-04,5.038957e-04,4.902383e-04,4.774437e-04,4.654666e-04,4.542635e-04,4.437933e-04,4.340168e-04,4.248967e-04,4.163976e-04,4.084859e-04,4.011295e-04,3.942981e-04,3.879628e-04,3.820962e-04,3.766723e-04,3.716662e-04,3.670544e-04,3.628147e-04,3.589257e-04,3.553675e-04,3.521207e-04,3.491674e-04,3.464901e-04,3.440725e-04,3.418990e-04,3.399549e-04,3.382262e-04,3.366994e-04,3.353620e-04,3.342019e-04,3.332078e-04,3.323688e-04,3.316747e-04,3.311158e-04,3.306827e-04,3.303669e-04,3.301599e-04,3.300539e-04,3.300415e-04,3.301157e-04,3.302696e-04,3.304971e-04,3.307922e-04,3.311491e-04,3.315626e-04,3.320276e-04,3.325394e-04,3.330935e-04,3.336856e-04,3.343117e-04
0.000000e+00,3.933196e-11,4.071257e-09,4.360979e-09,7.338352e-08,5.494012e-07,5.916269e-07,3.081118e-06,1.077047e-05,1.156725e-05,3.332744e-05,7.296789e-05,7.754096e-05,1.523589e-04,2.497370e-04,2.623546e-04,4.074935e-04,5.609989e-04,5.835369e-04,7.832696e-04,9.673406e-04,9.979590e-04,1.218652e-03,1.402627e-03,1.437133e-03,1.646513e-03,1.807644e-03,1.841491e-03,2.018373e-03,2.145318e-03,2.174945e-03,2.310239e-03,2.400988e-03,2.424285e-03,2.517854e-03,2.576049e-03,2.592231e-03,2.649023e-03,2.680767e-03,2.690003e-03,2.716994e-03,2.728773e-03,2.731785e-03,2.736067e-03,2.733655e-03,2.731405e-03,2.719215e-03,2.707275e-03,2.700757e-03,2.677140e-03,2.659198e-03,2.649324e-03,2.618135e-03,2.596735e-03,2.584280e-03,2.548357e-03,2.525270e-03,2.510869e-03,2.472234e-03,2.448652e-03,2.432805e-03,2.392868e-03,2.369570e-03,2.352665e-03,2.312390e-03,2.289866e-03,2.272205e-03,2.232238e-03,2.210786e-03,2.192598e-03,2.153367e-03,2.133151e-03,2.114613e-03,2.076390e-03,2.057491e-03,2.038740e-03,2.001694e-03,1.984135e-03,1.965279e-03,1.929512e-03,1.913281e-03,1.894406e-03,1.859969e-03,1.845030e-03,1.826207e-03,1.793121e-03,1.779426e-03,1.760710e-03,1.728974e-03,1.716467e-03,1.697907e-03,1.667504e-03,1.656124e-03,1.637759e-03,1.608665e-03,1.598349e-03,1.580214e-03,1.552396e-03,1.543081e-03,1.525204e-03,1.498628e-03,1.490252e-03,1.472658e-03,1.447284e-03,1.439786e-03,1.422496e-03,1.398284e-03,1.391607e-03,1.374639e-03,1.351549e-03,1.345635e-03,1.329005e-03,1.306996e-03,1.301792e-03,1.285512e-03,1.264544e-03,1.259999e-03,1.244080e-03,1.224112e-03,1.220177e-03,1.204629e-03,1.185622e-03,1.182250e-03,1.167080e-03,1.148995e-03,1.146143e-03,1.131357e-03,1.114157e-03,1.111783e-03,1.097385e-03,1.081033e-03,1.079099e-03,1.065092e-03,1.049553e-03,1.048021e-03,1.034407e-03,1.019647e-03,1.018483e-03,1.005264e-03,9.912488e-04,9.904195e-04,9.775948e-04,9.642935e-04,9.637687e-04,9.513374e-04,9.387188e-04,9.384699e-04,9.264304e-04,9.144648e-04,8.916974e-04,8.701137e-04,8.496616e-04,8.302913e-04,8.119546e-04,7.946054e-04,7.781993e-04,7.626938e-04,7.480480e-04,7.342227e-04,7.211803e-04,7.088846e-04,6.973010e-04,6.863964e-04,6.761389e-04,6.664981e-04,6.574446e-04,6.489505e-04,6.409889e-04,6.335341e-04,6.265614e-04,6.200473e-04,6.139691e-04,6.083051e-04,6.030347e-04,5.981380e-04,5.935959e-04,5.893904e-04,5.855039e-04,5.819199e-04,5.786223e-04,5.755959e-04,5.728262e-04,5.702992e-04,5.680015e-04,5.659204e-04,5.640438e-04,5.623600e-04,5.608578e-04,5.595266e-04,5.583564e-04,5.573373e-04,5.564603e-04,5.557164e-04,5.550973e-04,5.545949e-04,5.542016e-04,5.539103e-04,5.537138e-04
0.000000e+00,1.670539e-10,1.460400e-08,1.558724e-08,2.179803e-07,1.364248e-06,1.458424e-06,6.381445e-06,1.928424e-05,2.053275e-05,5.180346e-05,1.019652e-04,1.074154e-04,1.902582e-04,2.857472e-04,2.973586e-04,4.212126e-04,5.366547e-04,5.524975e-04,6.824877e-04,7.880250e-04,8.044217e-04,9.138906e-04,9.944867e-04,1.008607e-03,1.087911e-03,1.141727e-03,1.152246e-03,1.202712e-03,1.234053e-03,1.240736e-03,1.267853e-03,1.282405e-03,1.285569e-03,1.295286e-03,1.298104e-03,1.298268e-03,1.295630e-03,1.290636e-03,1.288343e-03,1.277243e-03,1.267293e-03,1.263041e-03,1.246344e-03,1.233450e-03,1.227665e-03,1.207435e-03,1.192981e-03,1.186018e-03,1.163720e-03,1.148647e-03,1.140797e-03,1.117461e-03,1.102394e-03,1.093891e-03,1.070234e-03,1.055577e-03,1.046612e-03,1.023126e-03,1.009134e-03,9.998578e-04,9.768752e-04,9.636978e-04,9.542321e-04,9.319717e-04,9.196862e-04,9.101283e-04,8.887281e-04,8.773635e-04,8.677911e-04,8.473317e-04,8.368851e-04,8.273600e-04,8.078820e-04,7.983293e-04,7.889009e-04,7.704170e-04,7.617208e-04,7.524283e-04,7.349311e-04,7.270461e-04,7.179203e-04,7.013894e-04,6.942661e-04,6.853312e-04,6.697375e-04,6.633246e-04,6.545996e-04,6.399083e-04,6.341547e-04,6.256541e-04,6.118271e-04,6.066828e-04,5.984174e-04,5.854150e-04,5.808318e-04,5.728095e-04,5.605911e-04,5.565232e-04,5.487496e-04,5.372749e-04,5.336789e-04,5.261573e-04,5.153870e-04,5.122222e-04,5.049543e-04,4.948499e-04,4.920782e-04,4.850644e-04,4.755888e-04,4.731748e-04,4.664142e-04,4.575318e-04,4.554426e-04,4.489332e-04,4.406100e-04,4.388151e-04,4.325542e-04,4.247579e-04,4.232291e-04,4.172133e-04,4.099130e-04,4.086243e-04,4.028496e-04,3.960160e-04,3.949435e-04,3.894054e-04,3.830109e-04,3.821325e-04,3.768260e-04,3.708445e-04,3.701400e-04,3.650600e-04,3.594665e-04,3.589175e-04,3.540583e-04,3.488297e-04,3.484190e-04,3.437751e-04,3.388892e-04,3.386013e-04,3.341668e-04,3.296028e-04,3.294235e-04,3.251924e-04,3.209308e-04,3.208470e-04,3.168133e-04,3.128356e-04,3.053549e-04,2.983727e-04,2.918585e-04,2.857838e-04,2.801216e-04,2.748466e-04,2.699348e-04,2.653638e-04,2.611124e-04,2.571608e-04,2.534903e-04,2.500833e-04,2.469232e-04,2.439945e-04,2.412826e-04,2.387737e-04,2.364549e-04,2.343141e-04,2.323398e-04,2.305214e-04,2.288487e-04,2.273123e-04,2.259033e-04,2.246134e-04,2.234347e-04,2.223599e-04,2.213819e-04,2.204945e-04,2.196914e-04,2.189669e-04,2.183157e-04,2.177328e-04,2.172134e-04,2.167531e-04,2.163477e-04,2.159934e-04,2.156865e-04,2.154235e-04,2.152014e-04,2.150170e-04,2.148676e-04,2.147505e-04,2.146633e-04,2.146037e-04,2.145694e-04,2.145586e-04,2.145692e-04,2.145996e-04,2.146481e-04
0.000000e+00,3.294894e-10,4.640568e-09,4.851089e-09,3.145090e-08,1.086164e-07,1.131884e-07,2.512486e-07,3.936232e-07,4.025166e-07,5.441014e-07,6.621399e-07,6.718443e-07,7.858519e-07,8.774398e-07,8.870047e-07,9.762877e-07,1.045797e-06,1.054655e-06,1.123001e-06,1.174407e-06,1.182167e-06,1.232940e-06,1.269640e-06,1.276052e-06,1.312189e-06,1.337064e-06,1.341986e-06,1.366035e-06,1.381501e-06,1.384879e-06,1.399023e-06,1.407092e-06,1.408930e-06,1.415027e-06,1.417354e-06,1.417705e-06,1.417322e-06,1.415263e-06,1.414207e-06,1.408660e-06,1.403315e-06,1.400955e-06,1.391343e-06,1.383603e-06,1.380052e-06,1.367290e-06,1.357868e-06,1.353246e-06,1.338092e-06,1.327559e-06,1.321984e-06,1.305065e-06,1.293870e-06,1.287462e-06,1.269292e-06,1.257789e-06,1.250661e-06,1.231662e-06,1.220122e-06,1.212381e-06,1.192897e-06,1.181529e-06,1.173276e-06,1.153582e-06,1.142542e-06,1.133870e-06,1.114189e-06,1.103590e-06,1.094583e-06,1.075091e-06,1.065012e-06,1.055748e-06,1.036584e-06,1.027078e-06,1.017626e-06,9.988964e-07,9.899936e-07,9.804160e-07,9.622018e-07,9.539169e-07,9.442688e-07,9.266292e-07,9.189635e-07,9.092935e-07,8.922702e-07,8.852153e-07,8.755662e-07,8.591866e-07,8.527265e-07,8.431354e-07,8.274153e-07,8.215288e-07,8.120277e-07,7.969732e-07,7.916351e-07,7.822515e-07,7.678614e-07,7.630440e-07,7.538012e-07,7.400684e-07,7.357425e-07,7.266600e-07,7.135726e-07,7.097084e-07,7.008024e-07,6.883450e-07,6.849124e-07,6.761960e-07,6.643506e-07,6.613198e-07,6.528036e-07,6.415500e-07,6.388922e-07,6.305844e-07,6.199012e-07,6.175882e-07,6.094949e-07,5.993598e-07,5.973648e-07,5.894902e-07,5.798804e-07,5.781778e-07,5.705246e-07,5.614172e-07,5.599827e-07,5.525523e-07,5.439243e-07,5.427349e-07,5.355275e-07,5.273563e-07,5.263907e-07,5.194052e-07,5.116687e-07,5.109067e-07,5.041415e-07,4.968181e-07,4.962408e-07,4.896933e-07,4.827620e-07,4.823522e-07,4.760192e-07,4.694598e-07,4.692012e-07,4.630790e-07,4.568720e-07,4.567496e-07,4.508341e-07,4.449608e-07,4.337997e-07,4.232327e-07,4.132277e-07,4.037542e-07,3.947831e-07,3.862869e-07,3.782393e-07,3.706155e-07,3.633920e-07,3.565465e-07,3.500580e-07,3.439065e-07,3.380732e-07,3.325404e-07,3.272913e-07,3.223100e-07,3.175817e-07,3.130922e-07,3.088282e-07,3.047772e-07,3.009274e-07,2.972677e-07,2.937875e-07,2.904769e-07,2.873267e-07,2.843280e-07,2.814726e-07,2.787527e-07,2.761608e-07,2.736901e-07,2.713340e-07,2.690863e-07,2.669413e-07,2.648935e-07,2.629377e-07,2.610691e-07,2.592830e-07,2.575751e-07,2.559414e-07,2.543780e-07,2.528812e-07,2.514477e-07,2.500742e-07,2.487576e-07,2.474952e-07,2.462840e-07,2.451217e-07,2.440057e-07,2.429338e-07
0.000000e+00,4.467173e-10,6.282588e-09,6.566560e-09,4.184014e-08,1.387542e-07,1.442714e-07,3.029097e-07,4.596346e-07,4.693825e-07,6.250149e-07,7.560425e-07,7.668841e-07,8.951755e-07,9.996424e-07,1.010634e-06,1.114083e-06,1.195831e-06,1.206336e-06,1.288178e-06,1.350810e-06,1.360361e-06,1.423605e-06,1.470324e-06,1.478595e-06,1.525978e-06,1.559586e-06,1.566366e-06,1.600330e-06,1.623239e-06,1.628409e-06,1.651102e-06,1.665365e-06,1.668875e-06,1.682163e-06,1.689510e-06,1.691367e-06,1.696860e-06,1.698739e-06,1.698986e-06,1.698066e-06,1.695684e-06,1.694395e-06,1.688245e-06,1.682601e-06,1.679868e-06,1.669496e-06,1.661414e-06,1.657343e-06,1.643606e-06,1.633760e-06,1.628466e-06,1.612089e-06,1.601030e-06,1.594628e-06,1.576225e-06,1.564398e-06,1.557006e-06,1.537092e-06,1.524854e-06,1.516588e-06,1.495595e-06,1.483230e-06,1.474201e-06,1.452490e-06,1.440221e-06,1.430535e-06,1.408406e-06,1.396406e-06,1.386164e-06,1.363865e-06,1.352263e-06,1.341559e-06,1.319293e-06,1.308188e-06,1.297108e-06,1.275040e-06,1.264500e-06,1.253124e-06,1.231389e-06,1.221459e-06,1.209862e-06,1.188565e-06,1.179273e-06,1.167520e-06,1.146744e-06,1.138103e-06,1.126255e-06,1.106064e-06,1.098074e-06,1.086185e-06,1.066627e-06,1.059281e-06,1.047398e-06,1.028506e-06,1.021789e-06,1.009956e-06,9.917524e-07,9.856426e-07,9.738982e-07,9.563956e-07,9.508693e-07,9.392459e-07,9.224495e-07,9.174794e-07,9.060059e-07,8.899143e-07,8.854714e-07,8.741728e-07,8.587792e-07,8.548336e-07,8.437310e-07,8.290248e-07,8.255458e-07,8.146572e-07,8.006243e-07,7.975815e-07,7.869218e-07,7.735454e-07,7.709089e-07,7.604904e-07,7.477518e-07,7.454920e-07,7.353246e-07,7.232036e-07,7.212923e-07,7.113834e-07,6.998588e-07,6.982686e-07,6.886242e-07,6.776740e-07,6.763788e-07,6.670027e-07,6.566047e-07,6.555797e-07,6.464743e-07,6.366059e-07,6.358276e-07,6.269940e-07,6.176330e-07,6.170791e-07,6.085172e-07,5.996413e-07,5.992911e-07,5.909997e-07,5.825870e-07,5.824211e-07,5.743980e-07,5.664273e-07,5.512691e-07,5.369071e-07,5.233027e-07,5.104192e-07,4.982206e-07,4.866728e-07,4.757428e-07,4.653991e-07,4.556113e-07,4.463507e-07,4.375897e-07,4.293020e-07,4.214626e-07,4.140479e-07,4.070350e-07,4.004025e-07,3.941301e-07,3.881982e-07,3.825887e-07,3.772839e-07,3.722674e-07,3.675236e-07,3.630376e-07,3.587955e-07,3.547839e-07,3.509904e-07,3.474030e-07,3.440105e-07,3.408023e-07,3.377683e-07,3.348990e-07,3.321854e-07,3.296190e-07,3.271918e-07,3.248963e-07,3.227252e-07,3.206718e-07,3.187297e-07,3.168928e-07,3.151555e-07,3.135123e-07,3.119582e-07,3.104883e-07,3.090981e-07,3.077832e-07,3.065397e-07,3.053636e-07,3.042514e-07,3.031997e-07
0.000000e+00,1.371993e-09,8.207940e-08,8.718907e-08,1.069487e-06,6.351078e-06,6.771785e-06,2.688715e-05,6.946004e-05,7.306613e-05,1.465054e-04,2.282467e-04,2.356209e-04,3.276531e-04,4.068909e-04,4.153676e-04,4.960551e-04,5.607736e-04,5.691471e-04,6.348506e-04,6.857776e-04,6.936024e-04,7.458878e-04,7.851619e-04,7.921866e-04,8.329562e-04,8.625648e-04,8.686279e-04,8.996066e-04,9.212663e-04,9.262715e-04,9.489766e-04,9.641510e-04,9.680522e-04,9.838047e-04,9.937295e-04,9.965178e-04,1.006455e-03,1.012165e-03,1.013860e-03,1.018959e-03,1.021321e-03,1.021963e-03,1.023065e-03,1.022802e-03,1.022445e-03,1.020270e-03,1.017983e-03,1.016696e-03,1.011863e-03,1.008048e-03,1.005902e-03,9.989329e-04,9.939944e-04,9.910648e-04,9.823978e-04,9.766641e-04,9.730249e-04,9.630310e-04,9.567694e-04,9.524942e-04,9.414860e-04,9.349115e-04,9.300724e-04,9.183136e-04,9.115987e-04,9.062647e-04,8.939757e-04,8.872563e-04,8.814927e-04,8.688575e-04,8.622400e-04,8.561085e-04,8.432804e-04,8.368467e-04,8.304049e-04,8.175106e-04,8.113224e-04,8.046235e-04,7.917670e-04,7.858692e-04,7.789623e-04,7.662286e-04,7.606526e-04,7.535828e-04,7.410403e-04,7.358066e-04,7.286148e-04,7.163186e-04,7.114387e-04,7.041622e-04,6.921554e-04,6.876337e-04,6.803063e-04,6.686222e-04,6.644575e-04,6.571093e-04,6.457729e-04,6.419596e-04,6.346177e-04,6.236473e-04,6.201764e-04,6.128649e-04,6.022728e-04,5.991326e-04,5.918729e-04,5.816665e-04,5.788435e-04,5.716544e-04,5.618372e-04,5.593167e-04,5.522148e-04,5.427869e-04,5.405531e-04,5.335529e-04,5.245117e-04,5.225484e-04,5.156623e-04,5.070031e-04,5.052939e-04,4.985326e-04,4.902488e-04,4.887775e-04,4.821499e-04,4.742337e-04,4.729839e-04,4.664979e-04,4.589402e-04,4.578962e-04,4.515580e-04,4.443489e-04,4.434953e-04,4.373101e-04,4.304391e-04,4.297611e-04,4.237330e-04,4.171892e-04,4.166726e-04,4.108047e-04,4.045768e-04,4.042081e-04,3.985027e-04,3.925794e-04,3.923456e-04,3.868042e-04,3.811741e-04,3.810630e-04,3.756864e-04,3.703381e-04,3.601492e-04,3.504745e-04,3.412927e-04,3.325832e-04,3.243255e-04,3.165000e-04,3.090876e-04,3.020695e-04,2.954281e-04,2.891458e-04,2.832062e-04,2.775931e-04,2.722911e-04,2.672855e-04,2.625619e-04,2.581069e-04,2.539074e-04,2.499508e-04,2.462253e-04,2.427193e-04,2.394221e-04,2.363231e-04,2.334123e-04,2.306804e-04,2.281180e-04,2.257167e-04,2.234681e-04,2.213644e-04,2.193979e-04,2.175617e-04,2.158487e-04,2.142525e-04,2.127670e-04,2.113861e-04,2.101043e-04,2.089162e-04,2.078168e-04,2.068010e-04,2.058644e-04,2.050026e-04,2.042113e-04,2.034865e-04,2.028246e-04,2.022218e-04,2.016748e-04,2.011802e-04,2.007351e-04,2.003364e-04,1.999814e-04
0.000000e+00,2.469091e-08,5.037885e-07,5.272325e-07,3.434399e-06,1.201703e-05,1.254738e-05,3.066763e-05,5.481447e-05,5.650832e-05,8.570180e-05,1.119932e-04,1.141896e-04,1.401249e-04,1.609729e-04,1.631457e-04,1.833636e-04,1.990057e-04,2.009918e-04,2.162550e-04,2.276548e-04,2.293691e-04,2.405359e-04,2.485487e-04,2.499428e-04,2.577624e-04,2.631016e-04,2.641531e-04,2.692595e-04,2.725089e-04,2.732133e-04,2.761340e-04,2.777665e-04,2.781322e-04,2.793076e-04,2.797068e-04,2.797511e-04,2.795454e-04,2.790194e-04,2.787653e-04,2.774788e-04,2.762738e-04,2.757475e-04,2.736271e-04,2.719385e-04,2.711680e-04,2.684157e-04,2.663979e-04,2.654114e-04,2.621923e-04,2.599662e-04,2.587916e-04,2.552395e-04,2.528993e-04,2.515631e-04,2.477865e-04,2.454045e-04,2.439317e-04,2.400181e-04,2.376490e-04,2.360631e-04,2.320822e-04,2.297669e-04,2.280892e-04,2.240964e-04,2.218647e-04,2.201147e-04,2.161537e-04,2.140263e-04,2.122218e-04,2.083263e-04,2.063173e-04,2.044738e-04,2.006699e-04,1.987877e-04,1.969193e-04,1.932263e-04,1.914751e-04,1.895943e-04,1.860262e-04,1.844071e-04,1.825246e-04,1.790914e-04,1.776029e-04,1.757282e-04,1.724363e-04,1.710751e-04,1.692164e-04,1.660692e-04,1.648307e-04,1.629950e-04,1.599940e-04,1.588728e-04,1.570661e-04,1.542109e-04,1.532008e-04,1.514281e-04,1.487170e-04,1.478115e-04,1.460770e-04,1.435072e-04,1.426996e-04,1.410068e-04,1.385747e-04,1.378583e-04,1.362100e-04,1.339114e-04,1.332796e-04,1.316779e-04,1.295083e-04,1.289545e-04,1.274013e-04,1.253557e-04,1.248737e-04,1.233702e-04,1.214435e-04,1.210273e-04,1.195743e-04,1.177613e-04,1.174054e-04,1.160033e-04,1.142990e-04,1.139978e-04,1.126470e-04,1.110460e-04,1.107945e-04,1.094949e-04,1.079923e-04,1.077857e-04,1.065369e-04,1.051277e-04,1.049616e-04,1.037633e-04,1.024426e-04,1.023129e-04,1.011644e-04,9.992752e-05,9.983032e-05,9.873087e-05,9.757334e-05,9.750511e-05,9.645384e-05,9.537129e-05,9.532875e-05,9.432467e-05,9.331295e-05,9.329307e-05,9.233514e-05,9.139025e-05,8.961283e-05,8.795369e-05,8.640602e-05,8.496338e-05,8.361964e-05,8.236897e-05,8.120584e-05,8.012503e-05,7.912159e-05,7.819083e-05,7.732831e-05,7.652985e-05,7.579149e-05,7.510948e-05,7.448030e-05,7.390063e-05,7.336731e-05,7.287739e-05,7.242807e-05,7.201672e-05,7.164086e-05,7.129816e-05,7.098641e-05,7.070354e-05,7.044760e-05,7.021677e-05,7.000931e-05,6.982360e-05,6.965811e-05,6.951143e-05,6.938218e-05,6.926913e-05,6.917106e-05,6.908688e-05,6.901554e-05,6.895605e-05,6.890750e-05,6.886903e-05,6.883982e-05,6.881913e-05,6.880625e-05,6.880052e-05,6.880131e-05,6.880806e-05,6.882022e-05,6.883730e-05,6.885881e-05,6.888434e-05,6.891346e-05
0.000000e+00,7.131909e-10,9.450582e-09,9.861112e-09,5.859734e-08,1.953559e-07,2.036344e-07,4.773403e-07,8.146868e-07,8.372775e-07,1.211926e-06,1.538315e-06,1.565538e-06,1.889137e-06,2.154090e-06,2.182031e-06,2.445580e-06,2.654682e-06,2.681617e-06,2.892027e-06,3.053881e-06,3.078640e-06,3.243205e-06,3.365615e-06,3.387377e-06,3.512719e-06,3.602484e-06,3.620703e-06,3.712708e-06,3.775680e-06,3.790029e-06,3.853873e-06,3.895045e-06,3.905370e-06,3.945568e-06,3.969167e-06,3.975446e-06,3.995911e-06,4.005494e-06,4.007807e-06,4.011914e-06,4.010459e-06,4.008959e-06,3.999611e-06,3.989599e-06,3.984493e-06,3.964178e-06,3.947668e-06,3.939197e-06,3.910041e-06,3.888732e-06,3.877162e-06,3.840978e-06,3.816264e-06,3.801872e-06,3.760197e-06,3.733214e-06,3.716282e-06,3.670429e-06,3.642101e-06,3.622911e-06,3.573981e-06,3.545047e-06,3.523871e-06,3.472793e-06,3.443839e-06,3.420941e-06,3.368491e-06,3.339977e-06,3.315605e-06,3.262430e-06,3.234710e-06,3.209100e-06,3.155737e-06,3.129079e-06,3.102452e-06,3.049343e-06,3.023940e-06,2.996500e-06,2.944004e-06,2.919993e-06,2.891928e-06,2.840335e-06,2.817803e-06,2.789285e-06,2.738827e-06,2.717823e-06,2.689008e-06,2.639866e-06,2.620407e-06,2.591437e-06,2.543750e-06,2.525828e-06,2.496830e-06,2.450699e-06,2.434289e-06,2.405375e-06,2.360873e-06,2.345931e-06,2.317204e-06,2.274377e-06,2.260851e-06,2.232398e-06,2.191273e-06,2.179101e-06,2.151001e-06,2.111585e-06,2.100701e-06,2.073022e-06,2.035309e-06,2.025642e-06,1.998441e-06,1.962413e-06,1.953890e-06,1.927218e-06,1.892847e-06,1.885395e-06,1.859293e-06,1.826545e-06,1.820091e-06,1.794593e-06,1.763427e-06,1.757900e-06,1.733035e-06,1.703404e-06,1.698733e-06,1.674523e-06,1.646380e-06,1.642498e-06,1.618961e-06,1.592252e-06,1.589095e-06,1.566242e-06,1.540916e-06,1.538421e-06,1.516262e-06,1.492264e-06,1.490372e-06,1.468911e-06,1.446187e-06,1.444844e-06,1.424081e-06,1.402577e-06,1.401729e-06,1.381664e-06,1.361327e-06,1.360926e-06,1.341553e-06,1.322329e-06,1.285839e-06,1.251357e-06,1.218787e-06,1.188037e-06,1.159015e-06,1.131636e-06,1.105816e-06,1.081475e-06,1.058536e-06,1.036925e-06,1.016573e-06,9.974121e-07,9.793783e-07,9.624106e-07,9.464512e-07,9.314448e-07,9.173390e-07,9.040839e-07,8.916324e-07,8.799396e-07,8.689631e-07,8.586626e-07,8.489999e-07,8.399391e-07,8.314460e-07,8.234882e-07,8.160352e-07,8.090582e-07,8.025297e-07,7.964241e-07,7.907170e-07,7.853852e-07,7.804072e-07,7.757622e-07,7.714310e-07,7.673952e-07,7.636376e-07,7.601418e-07,7.568925e-07,7.538751e-07,7.510760e-07,7.484823e-07,7.460816e-07,7.438627e-07,7.418145e-07,7.399270e-07,7.381903e-07,7.365954e-07,7.351338e-07
0.000000e+00,3.449100e-10,3.272822e-08,3.506111e-08,6.139448e-07,4.577105e-06,4.916942e-06,2.256298e-05,6.346249e-05,6.706932e-05,1.450430e-04,2.424374e-04,2.517928e-04,3.764147e-04,4.946998e-04,5.078975e-04,6.380718e-04,7.475228e-04,7.619546e-04,8.769957e-04,9.680685e-04,9.821922e-04,1.077412e-03,1.149908e-03,1.162968e-03,1.239375e-03,1.295618e-03,1.307228e-03,1.367137e-03,1.409749e-03,1.419702e-03,1.465493e-03,1.496857e-03,1.505052e-03,1.538886e-03,1.561065e-03,1.567471e-03,1.591247e-03,1.605989e-03,1.610627e-03,1.625989e-03,1.634762e-03,1.637688e-03,1.646048e-03,1.650076e-03,1.651371e-03,1.653936e-03,1.654235e-03,1.653998e-03,1.651793e-03,1.649203e-03,1.647540e-03,1.641440e-03,1.636652e-03,1.633676e-03,1.624419e-03,1.617998e-03,1.613824e-03,1.602036e-03,1.594446e-03,1.589186e-03,1.575395e-03,1.567010e-03,1.560775e-03,1.545427e-03,1.536550e-03,1.529445e-03,1.512915e-03,1.503788e-03,1.495915e-03,1.478516e-03,1.469334e-03,1.460785e-03,1.442782e-03,1.433695e-03,1.424560e-03,1.406171e-03,1.397298e-03,1.387659e-03,1.369067e-03,1.360498e-03,1.350431e-03,1.331787e-03,1.323588e-03,1.313164e-03,1.294591e-03,1.286812e-03,1.276094e-03,1.257695e-03,1.250367e-03,1.239415e-03,1.221272e-03,1.214417e-03,1.203283e-03,1.185462e-03,1.179091e-03,1.167823e-03,1.150378e-03,1.144492e-03,1.133136e-03,1.116107e-03,1.110703e-03,1.099297e-03,1.082716e-03,1.077786e-03,1.066366e-03,1.050255e-03,1.045787e-03,1.034386e-03,1.018761e-03,1.014739e-03,1.003385e-03,9.882579e-04,9.846649e-04,9.733824e-04,9.587592e-04,9.555760e-04,9.443886e-04,9.302707e-04,9.274775e-04,9.164053e-04,9.027915e-04,9.003677e-04,8.894284e-04,8.763147e-04,8.742396e-04,8.634489e-04,8.508291e-04,8.490818e-04,8.384534e-04,8.263196e-04,8.248797e-04,8.144253e-04,8.027682e-04,8.016154e-04,7.913455e-04,7.801546e-04,7.792692e-04,7.691925e-04,7.584565e-04,7.578195e-04,7.479436e-04,7.376506e-04,7.372434e-04,7.275745e-04,7.177121e-04,7.175170e-04,7.080604e-04,6.986160e-04,6.805153e-04,6.631899e-04,6.466147e-04,6.307647e-04,6.156150e-04,6.011413e-04,5.873194e-04,5.741258e-04,5.615375e-04,5.495318e-04,5.380869e-04,5.271813e-04,5.167943e-04,5.069057e-04,4.974961e-04,4.885464e-04,4.800385e-04,4.719546e-04,4.642776e-04,4.569910e-04,4.500788e-04,4.435257e-04,4.373167e-04,4.314377e-04,4.258747e-04,4.206145e-04,4.156444e-04,4.109519e-04,4.065252e-04,4.023529e-04,3.984240e-04,3.947277e-04,3.912541e-04,3.879931e-04,3.849355e-04,3.820721e-04,3.793942e-04,3.768934e-04,3.745616e-04,3.723911e-04,3.703744e-04,3.685043e-04,3.667739e-04,3.651766e-04,3.637060e-04,3.623560e-04,3.611207e-04,3.599945e-04,3.589718e-04
0.000000e+00,8.695466e-10,1.444374e-08,1.512950e-08,1.017400e-07,3.389729e-07,3.524639e-07,7.419314e-07,1.129229e-06,1.153386e-06,1.540264e-06,1.868051e-06,1.895273e-06,2.218776e-06,2.484385e-06,2.512466e-06,2.778224e-06,2.990454e-06,3.017897e-06,3.233260e-06,3.400324e-06,3.426008e-06,3.597752e-06,3.726904e-06,3.750018e-06,3.884247e-06,3.981810e-06,4.001795e-06,4.103935e-06,4.175357e-06,4.191859e-06,4.266681e-06,4.316618e-06,4.329441e-06,4.381108e-06,4.413514e-06,4.422585e-06,4.454712e-06,4.472928e-06,4.478270e-06,4.493985e-06,4.500824e-06,4.502531e-06,4.504533e-06,4.502355e-06,4.500574e-06,4.491190e-06,4.481968e-06,4.476883e-06,4.458115e-06,4.443493e-06,4.435314e-06,4.408877e-06,4.390221e-06,4.379173e-06,4.346540e-06,4.324975e-06,4.311292e-06,4.273720e-06,4.250173e-06,4.234091e-06,4.192651e-06,4.167878e-06,4.149630e-06,4.105236e-06,4.079849e-06,4.059663e-06,4.013089e-06,3.987581e-06,3.965677e-06,3.917577e-06,3.892340e-06,3.868928e-06,3.819855e-06,3.795197e-06,3.770475e-06,3.720893e-06,3.697051e-06,3.671207e-06,3.621504e-06,3.598658e-06,3.571865e-06,3.522364e-06,3.500644e-06,3.473065e-06,3.424030e-06,3.403528e-06,3.375313e-06,3.326963e-06,3.307736e-06,3.279024e-06,3.231536e-06,3.213616e-06,3.184534e-06,3.138050e-06,3.121448e-06,3.092111e-06,3.046742e-06,3.031450e-06,3.001964e-06,2.957796e-06,2.943794e-06,2.914254e-06,2.871352e-06,2.858607e-06,2.829100e-06,2.787509e-06,2.775983e-06,2.746585e-06,2.706336e-06,2.695982e-06,2.666764e-06,2.627874e-06,2.618642e-06,2.589666e-06,2.552141e-06,2.543977e-06,2.515298e-06,2.479135e-06,2.471984e-06,2.443651e-06,2.408841e-06,2.402646e-06,2.374701e-06,2.341228e-06,2.335933e-06,2.308414e-06,2.276255e-06,2.271804e-06,2.244743e-06,2.213873e-06,2.210212e-06,2.183637e-06,2.154027e-06,2.151100e-06,2.125036e-06,2.096656e-06,2.094411e-06,2.068877e-06,2.041693e-06,2.040080e-06,2.015093e-06,1.989070e-06,1.988041e-06,1.963615e-06,1.938718e-06,1.938225e-06,1.914370e-06,1.890563e-06,1.844984e-06,1.801418e-06,1.759794e-06,1.720043e-06,1.682096e-06,1.645885e-06,1.611345e-06,1.578410e-06,1.547017e-06,1.517104e-06,1.488612e-06,1.461483e-06,1.435661e-06,1.411091e-06,1.387721e-06,1.365500e-06,1.344379e-06,1.324311e-06,1.305250e-06,1.287153e-06,1.269978e-06,1.253684e-06,1.238233e-06,1.223587e-06,1.209709e-06,1.196567e-06,1.184126e-06,1.172355e-06,1.161224e-06,1.150703e-06,1.140765e-06,1.131382e-06,1.122529e-06,1.114181e-06,1.106315e-06,1.098908e-06,1.091939e-06,1.085386e-06,1.079230e-06,1.073452e-06,1.068034e-06,1.062958e-06,1.058208e-06,1.053768e-06,1.049622e-06,1.045757e-06,1.042157e-06,1.038810e-06,1.035703e-06
0.000000e+00,2.602956e-09,1.161393e-07,1.227709e-07,1.227650e-06,6.254969e-06,6.630285e-06,2.290730e-05,5.237017e-05,5.467882e-05,9.789817e-05,1.410028e-04,1.447497e-04,1.905692e-04,2.295532e-04,2.337353e-04,2.738763e-04,3.066997e-04,3.109981e-04,3.452091e-04,3.724052e-04,3.766442e-04,4.054427e-04,4.276970e-04,4.317428e-04,4.556799e-04,4.736374e-04,4.773855e-04,4.969873e-04,5.112370e-04,5.146086e-04,5.303680e-04,5.414409e-04,5.443788e-04,5.567495e-04,5.651182e-04,5.675837e-04,5.769799e-04,5.830628e-04,5.850320e-04,5.918288e-04,5.959927e-04,5.974546e-04,6.019890e-04,6.045542e-04,6.055074e-04,6.080810e-04,6.093259e-04,6.097771e-04,6.106591e-04,6.108244e-04,6.107868e-04,6.102166e-04,6.095102e-04,6.090018e-04,6.071922e-04,6.057924e-04,6.048351e-04,6.019746e-04,6.000342e-04,5.986525e-04,5.949079e-04,5.925570e-04,5.907776e-04,5.862961e-04,5.836452e-04,5.814958e-04,5.764071e-04,5.735495e-04,5.710586e-04,5.654769e-04,5.624907e-04,5.596871e-04,5.537125e-04,5.506628e-04,5.475751e-04,5.412953e-04,5.382361e-04,5.348923e-04,5.283839e-04,5.253592e-04,5.217867e-04,5.151162e-04,5.121618e-04,5.083870e-04,5.016123e-04,4.987565e-04,4.948048e-04,4.879760e-04,4.852410e-04,4.811367e-04,4.742968e-04,4.716994e-04,4.674655e-04,4.606513e-04,4.582039e-04,4.538621e-04,4.471052e-04,4.448163e-04,4.403870e-04,4.337138e-04,4.315888e-04,4.270911e-04,4.205241e-04,4.185655e-04,4.140172e-04,4.075748e-04,4.057830e-04,4.012006e-04,3.948982e-04,3.932716e-04,3.886704e-04,3.825202e-04,3.810560e-04,3.764500e-04,3.704619e-04,3.691557e-04,3.645578e-04,3.587393e-04,3.575860e-04,3.530079e-04,3.473647e-04,3.463584e-04,3.418107e-04,3.363467e-04,3.354808e-04,3.309733e-04,3.256909e-04,3.249587e-04,3.204999e-04,3.154004e-04,3.147946e-04,3.103924e-04,3.054758e-04,3.049892e-04,3.006505e-04,2.959160e-04,2.955411e-04,2.912720e-04,2.867180e-04,2.864476e-04,2.822534e-04,2.778775e-04,2.777043e-04,2.735897e-04,2.693892e-04,2.693060e-04,2.652750e-04,2.612464e-04,2.535186e-04,2.461147e-04,2.390268e-04,2.322461e-04,2.257639e-04,2.195710e-04,2.136584e-04,2.080166e-04,2.026366e-04,1.975090e-04,1.926246e-04,1.879745e-04,1.835496e-04,1.793413e-04,1.753410e-04,1.715402e-04,1.679309e-04,1.645050e-04,1.612548e-04,1.581730e-04,1.552521e-04,1.524851e-04,1.498654e-04,1.473863e-04,1.450416e-04,1.428251e-04,1.407310e-04,1.387536e-04,1.368877e-04,1.351279e-04,1.334693e-04,1.319070e-04,1.304366e-04,1.290536e-04,1.277538e-04,1.265332e-04,1.253879e-04,1.243142e-04,1.233086e-04,1.223678e-04,1.214884e-04,1.206674e-04,1.199019e-04,1.191890e-04,1.185262e-04,1.179107e-04,1.173402e-04,1.168123e-04,1.163249e-04
0.000000e+00,3.230475e-11,3.902685e-09,4.193408e-09,8.098241e-08,6.640576e-07,7.172637e-07,3.984942e-06,1.473299e-05,1.588321e-05,4.912977e-05,1.164945e-04,1.247367e-04,2.714546e-04,4.925320e-04,5.235198e-04,9.176053e-04,1.410534e-03,1.489709e-03,2.272429e-03,3.134850e-03,3.292850e-03,4.571111e-03,5.853417e-03,6.119617e-03,7.942827e-03,9.640799e-03,1.003750e-02,1.239329e-02,1.445494e-02,1.499358e-02,1.781651e-02,2.015631e-02,2.083602e-02,2.402290e-02,2.653769e-02,2.734590e-02,3.077263e-02,3.335597e-02,3.427042e-02,3.780712e-02,4.036016e-02,4.135170e-02,4.487475e-02,4.731334e-02,4.834892e-02,5.174916e-02,5.400750e-02,5.505296e-02,5.824045e-02,6.027202e-02,6.129444e-02,6.420037e-02,6.597685e-02,6.694630e-02,6.952272e-02,7.103174e-02,7.192248e-02,7.414058e-02,7.538291e-02,7.617400e-02,7.802152e-02,7.900798e-02,7.968350e-02,8.116174e-02,8.191037e-02,8.245926e-02,8.358014e-02,8.411369e-02,8.452936e-02,8.531262e-02,8.565638e-02,8.593620e-02,8.640687e-02,8.658708e-02,8.673174e-02,8.691814e-02,8.696063e-02,8.697359e-02,8.690565e-02,8.683506e-02,8.672192e-02,8.642991e-02,8.626904e-02,8.603704e-02,8.555057e-02,8.532005e-02,8.497757e-02,8.432492e-02,8.404304e-02,8.359923e-02,8.280690e-02,8.248962e-02,8.195404e-02,8.104649e-02,8.070747e-02,8.008984e-02,7.908937e-02,7.874013e-02,7.805011e-02,7.697680e-02,7.662690e-02,7.587395e-02,7.474575e-02,7.440295e-02,7.359618e-02,7.242895e-02,7.209944e-02,7.124754e-02,7.005522e-02,6.974380e-02,6.885499e-02,6.764970e-02,6.735997e-02,6.644195e-02,6.523417e-02,6.496868e-02,6.402861e-02,6.282734e-02,6.258778e-02,6.163228e-02,6.044517e-02,6.023246e-02,5.926762e-02,5.810111e-02,5.791558e-02,5.694696e-02,5.580641e-02,5.564788e-02,5.468055e-02,5.357037e-02,5.343825e-02,5.247677e-02,5.140055e-02,5.129391e-02,5.034241e-02,4.930298e-02,4.922065e-02,4.828281e-02,4.728239e-02,4.722300e-02,4.630211e-02,4.534232e-02,4.530436e-02,4.440332e-02,4.348534e-02,4.346719e-02,4.258856e-02,4.171314e-02,4.004312e-02,3.845744e-02,3.695590e-02,3.553788e-02,3.420240e-02,3.294814e-02,3.177358e-02,3.067696e-02,2.965634e-02,2.870968e-02,2.783480e-02,2.702946e-02,2.629136e-02,2.561814e-02,2.500741e-02,2.445672e-02,2.396363e-02,2.352566e-02,2.314036e-02,2.280523e-02,2.251779e-02,2.227557e-02,2.207609e-02,2.191688e-02,2.179549e-02,2.170948e-02,2.165641e-02,2.163388e-02,2.163951e-02,2.167095e-02,2.172588e-02,2.180204e-02,2.189719e-02,2.200915e-02,2.213581e-02,2.227512e-02,2.242508e-02,2.258379e-02,2.274942e-02,2.292021e-02,2.309452e-02,2.327079e-02,2.344754e-02,2.362343e-02,2.379718e-02,2.396764e-02,2.413376e-02,2.429458e-02,2.444926e-02
0.000000e+00,8.191982e-09,1.231866e-07,1.288829e-07,8.613005e-07,3.004631e-06,3.131114e-06,6.935411e-06,1.094205e-05,1.119797e-05,1.538567e-05,1.906718e-05,1.937874e-05,2.315541e-05,2.636877e-05,2.671508e-05,3.006209e-05,3.283605e-05,3.320213e-05,3.614134e-05,3.851340e-05,3.888624e-05,4.144360e-05,4.345200e-05,4.382047e-05,4.602405e-05,4.770677e-05,4.806160e-05,4.994042e-05,5.133404e-05,5.166773e-05,5.325061e-05,5.438948e-05,5.469602e-05,5.601071e-05,5.692648e-05,5.720122e-05,5.827387e-05,5.899535e-05,5.923476e-05,6.008975e-05,6.064292e-05,6.084445e-05,6.150432e-05,6.191258e-05,6.207453e-05,6.256002e-05,6.284421e-05,6.296558e-05,6.329574e-05,6.347446e-05,6.355485e-05,6.374708e-05,6.383685e-05,6.387640e-05,6.394660e-05,6.396203e-05,6.396130e-05,6.392396e-05,6.387795e-05,6.383786e-05,6.370615e-05,6.361004e-05,6.353181e-05,6.331770e-05,6.318144e-05,6.306652e-05,6.278087e-05,6.261314e-05,6.246318e-05,6.211581e-05,6.192419e-05,6.174097e-05,6.134078e-05,6.113181e-05,6.091724e-05,6.047226e-05,6.025159e-05,6.000765e-05,5.952512e-05,5.929760e-05,5.902631e-05,5.851276e-05,5.828251e-05,5.798594e-05,5.744722e-05,5.721774e-05,5.689793e-05,5.633931e-05,5.611351e-05,5.577252e-05,5.519868e-05,5.497900e-05,5.461884e-05,5.403399e-05,5.382240e-05,5.344507e-05,5.285295e-05,5.265105e-05,5.225846e-05,5.166238e-05,5.147142e-05,5.106545e-05,5.046836e-05,5.028930e-05,4.987176e-05,4.927624e-05,4.910977e-05,4.868239e-05,4.809073e-05,4.793732e-05,4.750176e-05,4.691595e-05,4.677587e-05,4.633373e-05,4.575550e-05,4.562886e-05,4.518163e-05,4.461248e-05,4.449924e-05,4.404836e-05,4.348958e-05,4.338959e-05,4.293640e-05,4.238908e-05,4.230207e-05,4.184784e-05,4.131291e-05,4.123853e-05,4.078446e-05,4.026267e-05,4.020051e-05,3.974771e-05,3.923970e-05,3.918929e-05,3.873878e-05,3.824506e-05,3.820588e-05,3.775863e-05,3.727958e-05,3.725107e-05,3.680797e-05,3.634388e-05,3.632547e-05,3.588734e-05,3.543840e-05,3.542950e-05,3.499709e-05,3.456342e-05,3.372736e-05,3.292132e-05,3.214518e-05,3.139874e-05,3.068170e-05,2.999369e-05,2.933428e-05,2.870297e-05,2.809924e-05,2.752249e-05,2.697212e-05,2.644749e-05,2.594792e-05,2.547275e-05,2.502126e-05,2.459275e-05,2.418651e-05,2.380181e-05,2.343794e-05,2.309418e-05,2.276982e-05,2.246414e-05,2.217644e-05,2.190603e-05,2.165222e-05,2.141434e-05,2.119173e-05,2.098373e-05,2.078971e-05,2.060906e-05,2.044115e-05,2.028540e-05,2.014123e-05,2.000809e-05,1.988541e-05,1.977267e-05,1.966937e-05,1.957498e-05,1.948905e-05,1.941109e-05,1.934066e-05,1.927732e-05,1.922064e-05,1.917024e-05,1.912571e-05,1.908668e-05,1.905280e-05,1.902371e-05,1.899909e-05
0.000000e+00,1.107429e-08,1.996746e-07,2.089324e-07,1.330231e-06,4.440183e-06,4.626414e-06,1.074420e-05,1.837537e-05,1.889378e-05,2.762777e-05,3.542950e-05,3.608813e-05,4.401704e-05,5.066020e-05,5.136964e-05,5.815560e-05,6.367714e-05,6.439849e-05,7.012529e-05,7.465851e-05,7.536345e-05,8.013995e-05,8.381413e-05,8.448031e-05,8.840951e-05,9.134182e-05,9.195199e-05,9.513118e-05,9.742804e-05,9.796946e-05,1.004881e-04,1.022439e-04,1.027075e-04,1.046466e-04,1.059443e-04,1.063239e-04,1.077565e-04,1.086687e-04,1.089607e-04,1.099520e-04,1.105421e-04,1.107449e-04,1.113532e-04,1.116762e-04,1.117900e-04,1.120674e-04,1.121709e-04,1.121970e-04,1.121897e-04,1.121149e-04,1.120558e-04,1.118050e-04,1.115873e-04,1.114463e-04,1.109884e-04,1.106582e-04,1.104393e-04,1.098065e-04,1.093897e-04,1.090972e-04,1.083181e-04,1.078368e-04,1.074755e-04,1.065753e-04,1.060480e-04,1.056229e-04,1.046237e-04,1.040663e-04,1.035824e-04,1.025036e-04,1.019293e-04,1.013917e-04,1.002504e-04,9.967005e-05,9.908373e-05,9.789501e-05,9.731758e-05,9.668754e-05,9.546435e-05,9.489719e-05,9.422827e-05,9.298193e-05,9.243094e-05,9.172780e-05,9.046814e-05,8.993796e-05,8.920508e-05,8.794059e-05,8.743480e-05,8.667647e-05,8.541442e-05,8.493571e-05,8.415598e-05,8.290260e-05,8.245288e-05,8.165560e-05,8.041618e-05,7.999671e-05,7.918546e-05,7.796447e-05,7.757596e-05,7.675414e-05,7.555530e-05,7.519801e-05,7.436874e-05,7.319515e-05,7.286895e-05,7.203515e-05,7.088932e-05,7.059378e-05,6.975815e-05,6.864209e-05,6.837653e-05,6.754154e-05,6.645684e-05,6.622036e-05,6.538829e-05,6.433614e-05,6.412770e-05,6.330062e-05,6.228189e-05,6.210031e-05,6.128010e-05,6.029536e-05,6.013939e-05,5.932775e-05,5.837733e-05,5.824564e-05,5.744411e-05,5.652810e-05,5.641933e-05,5.562928e-05,5.474760e-05,5.466037e-05,5.388301e-05,5.303543e-05,5.296835e-05,5.220476e-05,5.139089e-05,5.134259e-05,5.059370e-05,4.981306e-05,4.978217e-05,4.904881e-05,4.830080e-05,4.828601e-05,4.756887e-05,4.685283e-05,4.548126e-05,4.416981e-05,4.291690e-05,4.172089e-05,4.058009e-05,3.949278e-05,3.845724e-05,3.747170e-05,3.653443e-05,3.564369e-05,3.479776e-05,3.399495e-05,3.323359e-05,3.251203e-05,3.182867e-05,3.118195e-05,3.057034e-05,2.999236e-05,2.944656e-05,2.893154e-05,2.844595e-05,2.798847e-05,2.755784e-05,2.715283e-05,2.677227e-05,2.641501e-05,2.607996e-05,2.576607e-05,2.547233e-05,2.519776e-05,2.494143e-05,2.470244e-05,2.447993e-05,2.427309e-05,2.408111e-05,2.390324e-05,2.373876e-05,2.358699e-05,2.344724e-05,2.331890e-05,2.320135e-05,2.309402e-05,2.299636e-05,2.290783e-05,2.282794e-05,2.275620e-05,2.269215e-05,2.263537e-05,2.258542e-05
0.000000e+00,5.746759e-09,1.925797e-07,2.028876e-07,1.767313e-06,7.842293e-06,8.262844e-06,2.467247e-05,5.060514e-05,5.253999e-05,8.743152e-05,1.207181e-04,1.235669e-04,1.579991e-04,1.868293e-04,1.899005e-04,2.191752e-04,2.428372e-04,2.459169e-04,2.702628e-04,2.893943e-04,2.923574e-04,3.123429e-04,3.276012e-04,3.303563e-04,3.465281e-04,3.585020e-04,3.609823e-04,3.738365e-04,3.830424e-04,3.852013e-04,3.951812e-04,4.020676e-04,4.038745e-04,4.113732e-04,4.163267e-04,4.177639e-04,4.231278e-04,4.264809e-04,4.275409e-04,4.310746e-04,4.331119e-04,4.337956e-04,4.357665e-04,4.367313e-04,4.370458e-04,4.376882e-04,4.377874e-04,4.377448e-04,4.372635e-04,4.366730e-04,4.362889e-04,4.348627e-04,4.337310e-04,4.330239e-04,4.308087e-04,4.292612e-04,4.282511e-04,4.253826e-04,4.235247e-04,4.222328e-04,4.188291e-04,4.167488e-04,4.151970e-04,4.113604e-04,4.091308e-04,4.073413e-04,4.031604e-04,4.008421e-04,3.988367e-04,3.943880e-04,3.920309e-04,3.898309e-04,3.851806e-04,3.828249e-04,3.804512e-04,3.756560e-04,3.733345e-04,3.708070e-04,3.659155e-04,3.636541e-04,3.609919e-04,3.560458e-04,3.538646e-04,3.510859e-04,3.461205e-04,3.440351e-04,3.411569e-04,3.362021e-04,3.342241e-04,3.312624e-04,3.263435e-04,3.244809e-04,3.214507e-04,3.165888e-04,3.148469e-04,3.117622e-04,3.069748e-04,3.053567e-04,3.022302e-04,2.975318e-04,2.960385e-04,2.928823e-04,2.882845e-04,2.869155e-04,2.837406e-04,2.792527e-04,2.780064e-04,2.748227e-04,2.704521e-04,2.693257e-04,2.661424e-04,2.618947e-04,2.608846e-04,2.577101e-04,2.535894e-04,2.526915e-04,2.495333e-04,2.455423e-04,2.447520e-04,2.416169e-04,2.377574e-04,2.370697e-04,2.339639e-04,2.302365e-04,2.296463e-04,2.265753e-04,2.229800e-04,2.224820e-04,2.194506e-04,2.159868e-04,2.155755e-04,2.125881e-04,2.092543e-04,2.089245e-04,2.059850e-04,2.027795e-04,2.025258e-04,1.996374e-04,1.965581e-04,1.963753e-04,1.935410e-04,1.905854e-04,1.904684e-04,1.876906e-04,1.848559e-04,1.847999e-04,1.820807e-04,1.793641e-04,1.741551e-04,1.691669e-04,1.643930e-04,1.598270e-04,1.554625e-04,1.512928e-04,1.473115e-04,1.435120e-04,1.398880e-04,1.364332e-04,1.331413e-04,1.300063e-04,1.270222e-04,1.241831e-04,1.214835e-04,1.189178e-04,1.164807e-04,1.141669e-04,1.119715e-04,1.098896e-04,1.079164e-04,1.060474e-04,1.042781e-04,1.026045e-04,1.010223e-04,9.952762e-05,9.811667e-05,9.678577e-05,9.553140e-05,9.435019e-05,9.323885e-05,9.219428e-05,9.121344e-05,9.029344e-05,8.943151e-05,8.862498e-05,8.787127e-05,8.716792e-05,8.651258e-05,8.590297e-05,8.533691e-05,8.481232e-05,8.432719e-05,8.387960e-05,8.346771e-05,8.308976e-05,8.274404e-05,8.242893e-05,8.214288e-05
0.000000e+00,1.683523e-10,2.300195e-08,2.479709e-08,5.706283e-07,5.411509e-06,5.874958e-06,3.612089e-05,1.411549e-04,1.525569e-04,4.858602e-04,1.167919e-03,1.251642e-03,2.748242e-03,5.021322e-03,5.341462e-03,9.442257e-03,1.464058e-02,1.548204e-02,2.388876e-02,3.332004e-02,3.506556e-02,4.937327e-02,6.403631e-02,6.711689e-02,8.853621e-02,1.089637e-01,1.138002e-01,1.430051e-01,1.692248e-01,1.761746e-01,2.132635e-01,2.448451e-01,2.541620e-01,2.987023e-01,3.348556e-01,3.466655e-01,3.977893e-01,4.374814e-01,4.517754e-01,5.082979e-01,5.503705e-01,5.670099e-01,6.275515e-01,6.708226e-01,6.895553e-01,7.526531e-01,7.959982e-01,8.164804e-01,8.806816e-01,9.230918e-01,9.449133e-01,1.008848e+00,1.049466e+00,1.072176e+00,1.134607e+00,1.172747e+00,1.195876e+00,1.255736e+00,1.290883e+00,1.313967e+00,1.370369e+00,1.402175e+00,1.424769e+00,1.477014e+00,1.505281e+00,1.526975e+00,1.574544e+00,1.599205e+00,1.619633e+00,1.662174e+00,1.683271e+00,1.702117e+00,1.739429e+00,1.757092e+00,1.774092e+00,1.806103e+00,1.820529e+00,1.835472e+00,1.862222e+00,1.873656e+00,1.886385e+00,1.908004e+00,1.916723e+00,1.927129e+00,1.943817e+00,1.950116e+00,1.958135e+00,1.970150e+00,1.974328e+00,1.979938e+00,1.987575e+00,1.989930e+00,1.993143e+00,1.996726e+00,1.997545e+00,1.998406e+00,1.998270e+00,1.997826e+00,1.996404e+00,1.992894e+00,1.991437e+00,1.987825e+00,1.981283e+00,1.979046e+00,1.973351e+00,1.964113e+00,1.961303e+00,1.953649e+00,1.942038e+00,1.938841e+00,1.929358e+00,1.915684e+00,1.912262e+00,1.901088e+00,1.885643e+00,1.882137e+00,1.869415e+00,1.852470e+00,1.849001e+00,1.834873e+00,1.816683e+00,1.813351e+00,1.797960e+00,1.778758e+00,1.775645e+00,1.759133e+00,1.739134e+00,1.736307e+00,1.718810e+00,1.698208e+00,1.695719e+00,1.677371e+00,1.656341e+00,1.654229e+00,1.635158e+00,1.613860e+00,1.612152e+00,1.592480e+00,1.571054e+00,1.569767e+00,1.549612e+00,1.528183e+00,1.527327e+00,1.506796e+00,1.485477e+00,1.485051e+00,1.464250e+00,1.443137e+00,1.401754e+00,1.361051e+00,1.321157e+00,1.282180e+00,1.244212e+00,1.207332e+00,1.171600e+00,1.137069e+00,1.103778e+00,1.071756e+00,1.041023e+00,1.011593e+00,9.834692e-01,9.566519e-01,9.311341e-01,9.069045e-01,8.839470e-01,8.622421e-01,8.417666e-01,8.224947e-01,8.043978e-01,7.874453e-01,7.716047e-01,7.568419e-01,7.431214e-01,7.304068e-01,7.186606e-01,7.078449e-01,6.979210e-01,6.888502e-01,6.805934e-01,6.731115e-01,6.663657e-01,6.603171e-01,6.549276e-01,6.501591e-01,6.459743e-01,6.423366e-01,6.392101e-01,6.365595e-01,6.343507e-01,6.325504e-01,6.311264e-01,6.300475e-01,6.292836e-01,6.288058e-01,6.285863e-01,6.285987e-01,6.288177e-01
0.000000e+00,4.069578e-09,1.175543e-07,1.237985e-07,8.839104e-07,2.343121e-06,2.408242e-06,3.984633e-06,5.324392e-06,5.404887e-06,6.661505e-06,7.684415e-06,7.767717e-06,8.737752e-06,9.505238e-06,9.584749e-06,1.032060e-05,1.088481e-05,1.095610e-05,1.150107e-05,1.190417e-05,1.196445e-05,1.235442e-05,1.263074e-05,1.267843e-05,1.294328e-05,1.312065e-05,1.315513e-05,1.331959e-05,1.342045e-05,1.344172e-05,1.352614e-05,1.356849e-05,1.357700e-05,1.359808e-05,1.359624e-05,1.359271e-05,1.356396e-05,1.352927e-05,1.351459e-05,1.344705e-05,1.338845e-05,1.336360e-05,1.326623e-05,1.319076e-05,1.315675e-05,1.303677e-05,1.294994e-05,1.290775e-05,1.277100e-05,1.267709e-05,1.262770e-05,1.247887e-05,1.238117e-05,1.232548e-05,1.216835e-05,1.206939e-05,1.200824e-05,1.184581e-05,1.174749e-05,1.168166e-05,1.151633e-05,1.142009e-05,1.135029e-05,1.118396e-05,1.109082e-05,1.101770e-05,1.085185e-05,1.076257e-05,1.068671e-05,1.052251e-05,1.043759e-05,1.035950e-05,1.019786e-05,1.011761e-05,1.003777e-05,9.879372e-06,9.803981e-06,9.722797e-06,9.568153e-06,9.497692e-06,9.415535e-06,9.265020e-06,9.199477e-06,9.116675e-06,8.970553e-06,8.909855e-06,8.826697e-06,8.685142e-06,8.629170e-06,8.545912e-06,8.409025e-06,8.357624e-06,8.274492e-06,8.142319e-06,8.095315e-06,8.012506e-06,7.885048e-06,7.842248e-06,7.759937e-06,7.637161e-06,7.598364e-06,7.516704e-06,7.398549e-06,7.363548e-06,7.282673e-06,7.169056e-06,7.137645e-06,7.057672e-06,6.948495e-06,6.920468e-06,6.841498e-06,6.736653e-06,6.711807e-06,6.633929e-06,6.533297e-06,6.511436e-06,6.434726e-06,6.338184e-06,6.319116e-06,6.243639e-06,6.151060e-06,6.134601e-06,6.060413e-06,5.971668e-06,5.957643e-06,5.884791e-06,5.799750e-06,5.787989e-06,5.716512e-06,5.635047e-06,5.625388e-06,5.555321e-06,5.477302e-06,5.469593e-06,5.400961e-06,5.326265e-06,5.320359e-06,5.253183e-06,5.181685e-06,5.177445e-06,5.111741e-06,5.043322e-06,5.040616e-06,4.976397e-06,4.910938e-06,4.909644e-06,4.846916e-06,4.784304e-06,4.664381e-06,4.549664e-06,4.439951e-06,4.335044e-06,4.234755e-06,4.138899e-06,4.047300e-06,3.959787e-06,3.876198e-06,3.796372e-06,3.720159e-06,3.647412e-06,3.577991e-06,3.511758e-06,3.448586e-06,3.388347e-06,3.330922e-06,3.276195e-06,3.224055e-06,3.174395e-06,3.127112e-06,3.082108e-06,3.039287e-06,2.998559e-06,2.959837e-06,2.923035e-06,2.888075e-06,2.854877e-06,2.823368e-06,2.793476e-06,2.765132e-06,2.738271e-06,2.712828e-06,2.688744e-06,2.665960e-06,2.644419e-06,2.624068e-06,2.604856e-06,2.586732e-06,2.569648e-06,2.553560e-06,2.538423e-06,2.524194e-06,2.510835e-06,2.498304e-06,2.486566e-06,2.475584e-06,2.465325e-06,2.455754e-06
0.000000e+00,6.196108e-11,8.106416e-09,8.729037e-09,1.902685e-07,1.750404e-06,1.898962e-06,1.161185e-05,4.589002e-05,4.965033e-05,1.615701e-04,3.972341e-04,4.265526e-04,9.595760e-04,1.789707e-03,1.908005e-03,3.444535e-03,5.433095e-03,5.758247e-03,9.045134e-03,1.279818e-02,1.349897e-02,1.930315e-02,2.534436e-02,2.662378e-02,3.560421e-02,4.428942e-02,4.636106e-02,5.898150e-02,7.045862e-02,7.352198e-02,9.000792e-02,1.042154e-01,1.084344e-01,1.287676e-01,1.454597e-01,1.509470e-01,1.748877e-01,1.936759e-01,2.004833e-01,2.276092e-01,2.480091e-01,2.561251e-01,2.858786e-01,3.073562e-01,3.167081e-01,3.484454e-01,3.704577e-01,3.809187e-01,4.139550e-01,4.359836e-01,4.473821e-01,4.810308e-01,5.026060e-01,5.147366e-01,5.483412e-01,5.690586e-01,5.816936e-01,6.146513e-01,6.341807e-01,6.470811e-01,6.788593e-01,6.969471e-01,7.098728e-01,7.400186e-01,7.564865e-01,7.692046e-01,7.973491e-01,8.120885e-01,8.243807e-01,8.502380e-01,8.632023e-01,8.748697e-01,8.982335e-01,9.094293e-01,9.202964e-01,9.410338e-01,9.505117e-01,9.604290e-01,9.784726e-01,9.863180e-01,9.951624e-01,1.010502e+00,1.016826e+00,1.024502e+00,1.037176e+00,1.042109e+00,1.048545e+00,1.058632e+00,1.062314e+00,1.067465e+00,1.075074e+00,1.077652e+00,1.081494e+00,1.086760e+00,1.088380e+00,1.090910e+00,1.093984e+00,1.094792e+00,1.096024e+00,1.097070e+00,1.097201e+00,1.097165e+00,1.096353e+00,1.095939e+00,1.094676e+00,1.092179e+00,1.091338e+00,1.088903e+00,1.084892e+00,1.083733e+00,1.080187e+00,1.074830e+00,1.073451e+00,1.068861e+00,1.062321e+00,1.060809e+00,1.055247e+00,1.047678e+00,1.046108e+00,1.039650e+00,1.031198e+00,1.029634e+00,1.022357e+00,1.013160e+00,1.011657e+00,1.003638e+00,9.938226e-01,9.924266e-01,9.837422e-01,9.734252e-01,9.721725e-01,9.628983e-01,9.521871e-01,9.511068e-01,9.413160e-01,9.303082e-01,9.294223e-01,9.191856e-01,9.079692e-01,9.072937e-01,8.966788e-01,8.853331e-01,8.848783e-01,8.739497e-01,8.625454e-01,8.623172e-01,8.511359e-01,8.397358e-01,8.172448e-01,7.949419e-01,7.729121e-01,7.512292e-01,7.299565e-01,7.091481e-01,6.888492e-01,6.690978e-01,6.499244e-01,6.313537e-01,6.134046e-01,5.960914e-01,5.794236e-01,5.634073e-01,5.480447e-01,5.333354e-01,5.192760e-01,5.058608e-01,4.930822e-01,4.809307e-01,4.693955e-01,4.584641e-01,4.481232e-01,4.383584e-01,4.291546e-01,4.204957e-01,4.123654e-01,4.047468e-01,3.976224e-01,3.909749e-01,3.847863e-01,3.790389e-01,3.737146e-01,3.687954e-01,3.642635e-01,3.601009e-01,3.562901e-01,3.528134e-01,3.496536e-01,3.467936e-01,3.442168e-01,3.419066e-01,3.398470e-01,3.380223e-01,3.364171e-01,3.350167e-01,3.338066e-01,3.327728e-01,3.319017e-01
0.000000e+00,8.495115e-10,9.229522e-09,9.598070e-09,5.184618e-08,1.749210e-07,1.826875e-07,4.606614e-07,8.628190e-07,8.921060e-07,1.414169e-06,1.909392e-06,1.951822e-06,2.465825e-06,2.897877e-06,2.943984e-06,3.384156e-06,3.740734e-06,3.787190e-06,4.154778e-06,4.444006e-06,4.488826e-06,4.791264e-06,5.022271e-06,5.063985e-06,5.308816e-06,5.489998e-06,5.527510e-06,5.721745e-06,5.860597e-06,5.893117e-06,6.043144e-06,6.146275e-06,6.173264e-06,6.284839e-06,6.358026e-06,6.379154e-06,6.457423e-06,6.505688e-06,6.520792e-06,6.570342e-06,6.598034e-06,6.607089e-06,6.631988e-06,6.642854e-06,6.645944e-06,6.649811e-06,6.647085e-06,6.644385e-06,6.630418e-06,6.616865e-06,6.608613e-06,6.579629e-06,6.557600e-06,6.544086e-06,6.502564e-06,6.474058e-06,6.455607e-06,6.403725e-06,6.370432e-06,6.347396e-06,6.287063e-06,6.250402e-06,6.223145e-06,6.156030e-06,6.117186e-06,6.086083e-06,6.013642e-06,5.973599e-06,5.939024e-06,5.862523e-06,5.822090e-06,5.784414e-06,5.704950e-06,5.664785e-06,5.624368e-06,5.542889e-06,5.503520e-06,5.460715e-06,5.378036e-06,5.339881e-06,5.295024e-06,5.211843e-06,5.175228e-06,5.128639e-06,5.045551e-06,5.010718e-06,4.962702e-06,4.880210e-06,4.847336e-06,4.798178e-06,4.716704e-06,4.685908e-06,4.635875e-06,4.555771e-06,4.527125e-06,4.476465e-06,4.398022e-06,4.371559e-06,4.320501e-06,4.243955e-06,4.219674e-06,4.168430e-06,4.093969e-06,4.071844e-06,4.020608e-06,3.948379e-06,3.928361e-06,3.877309e-06,3.807423e-06,3.789450e-06,3.738741e-06,3.671278e-06,3.655270e-06,3.605049e-06,3.540062e-06,3.525933e-06,3.476327e-06,3.413847e-06,3.401502e-06,3.352626e-06,3.292663e-06,3.282004e-06,3.233958e-06,3.176506e-06,3.167429e-06,3.120302e-06,3.065340e-06,3.057744e-06,3.011611e-06,2.959107e-06,2.952888e-06,2.907816e-06,2.857726e-06,2.852783e-06,2.808825e-06,2.761100e-06,2.757333e-06,2.714536e-06,2.669119e-06,2.666430e-06,2.624832e-06,2.581659e-06,2.579955e-06,2.539584e-06,2.498589e-06,2.497780e-06,2.458658e-06,2.419773e-06,2.345794e-06,2.275702e-06,2.209354e-06,2.146606e-06,2.087314e-06,2.031337e-06,1.978532e-06,1.928763e-06,1.881891e-06,1.837786e-06,1.796318e-06,1.757362e-06,1.720794e-06,1.686499e-06,1.654362e-06,1.624274e-06,1.596128e-06,1.569825e-06,1.545267e-06,1.522360e-06,1.501016e-06,1.481150e-06,1.462679e-06,1.445526e-06,1.429618e-06,1.414882e-06,1.401254e-06,1.388667e-06,1.377062e-06,1.366381e-06,1.356568e-06,1.347573e-06,1.339345e-06,1.331838e-06,1.325007e-06,1.318811e-06,1.313209e-06,1.308165e-06,1.303642e-06,1.299607e-06,1.296029e-06,1.292877e-06,1.290123e-06,1.287740e-06,1.285704e-06,1.283989e-06,1.282575e-06,1.281440e-06,1.280564e-06
0.000000e+00,6.878921e-09,1.318949e-07,1.383728e-07,9.747886e-07,3.340256e-06,3.478601e-06,7.681443e-06,1.214204e-05,1.242544e-05,1.702306e-05,2.100064e-05,2.133451e-05,2.534746e-05,2.871141e-05,2.907112e-05,3.251846e-05,3.533425e-05,3.570296e-05,3.863804e-05,4.097269e-05,4.133677e-05,4.381186e-05,4.572709e-05,4.607557e-05,4.813971e-05,4.969132e-05,5.001557e-05,5.171396e-05,5.295184e-05,5.324519e-05,5.461907e-05,5.558751e-05,5.584496e-05,5.693176e-05,5.766991e-05,5.788790e-05,5.872142e-05,5.926376e-05,5.943991e-05,6.005060e-05,6.042741e-05,6.056034e-05,6.097561e-05,6.121340e-05,6.130257e-05,6.154710e-05,6.166913e-05,6.171473e-05,6.181067e-05,6.183714e-05,6.183988e-05,6.180702e-05,6.175546e-05,6.171650e-05,6.157252e-05,6.145814e-05,6.137901e-05,6.113972e-05,6.097564e-05,6.085816e-05,6.053765e-05,6.033515e-05,6.018133e-05,5.979214e-05,5.956089e-05,5.937288e-05,5.892617e-05,5.867441e-05,5.845449e-05,5.796016e-05,5.769490e-05,5.744538e-05,5.691220e-05,5.663932e-05,5.636256e-05,5.579827e-05,5.552272e-05,5.522106e-05,5.463251e-05,5.435839e-05,5.403414e-05,5.342735e-05,5.315804e-05,5.281346e-05,5.219371e-05,5.193195e-05,5.156926e-05,5.094117e-05,5.068915e-05,5.031046e-05,4.967808e-05,4.943751e-05,4.904489e-05,4.841170e-05,4.818391e-05,4.777929e-05,4.714834e-05,4.693428e-05,4.651952e-05,4.589343e-05,4.569375e-05,4.527062e-05,4.465162e-05,4.446673e-05,4.403689e-05,4.342688e-05,4.325697e-05,4.282197e-05,4.222255e-05,4.206764e-05,4.162895e-05,4.104146e-05,4.090141e-05,4.046037e-05,3.988592e-05,3.976046e-05,3.931834e-05,3.875783e-05,3.864660e-05,3.820457e-05,3.765871e-05,3.756125e-05,3.712040e-05,3.658974e-05,3.650556e-05,3.606685e-05,3.555181e-05,3.548034e-05,3.504470e-05,3.454556e-05,3.448620e-05,3.405444e-05,3.357138e-05,3.352352e-05,3.309639e-05,3.262949e-05,3.259249e-05,3.217067e-05,3.171993e-05,3.169314e-05,3.127723e-05,3.084257e-05,3.082535e-05,3.041591e-05,2.999720e-05,2.998890e-05,2.958639e-05,2.918344e-05,2.840855e-05,2.766371e-05,2.694837e-05,2.626190e-05,2.560364e-05,2.497289e-05,2.436892e-05,2.379100e-05,2.323837e-05,2.271025e-05,2.220588e-05,2.172448e-05,2.126529e-05,2.082754e-05,2.041046e-05,2.001333e-05,1.963540e-05,1.927594e-05,1.893427e-05,1.860967e-05,1.830149e-05,1.800906e-05,1.773174e-05,1.746892e-05,1.721999e-05,1.698437e-05,1.676149e-05,1.655080e-05,1.635178e-05,1.616390e-05,1.598669e-05,1.581966e-05,1.566235e-05,1.551432e-05,1.537515e-05,1.524442e-05,1.512174e-05,1.500674e-05,1.489905e-05,1.479831e-05,1.470420e-05,1.461640e-05,1.453458e-05,1.445847e-05,1.438777e-05,1.432221e-05,1.426154e-05,1.420550e-05,1.415385e-05
0.000000e+00,4.705723e-10,6.075903e-09,6.341987e-09,3.946370e-08,1.395121e-07,1.457308e-07,3.532711e-07,6.024892e-07,6.187900e-07,8.831627e-07,1.105615e-06,1.123861e-06,1.337046e-06,1.506213e-06,1.523749e-06,1.686084e-06,1.810567e-06,1.826297e-06,1.946532e-06,2.035470e-06,2.048769e-06,2.134825e-06,2.195823e-06,2.206356e-06,2.264871e-06,2.304108e-06,2.311743e-06,2.348218e-06,2.370675e-06,2.375426e-06,2.394392e-06,2.404067e-06,2.406047e-06,2.411221e-06,2.411287e-06,2.410670e-06,2.405077e-06,2.398054e-06,2.395054e-06,2.381155e-06,2.369027e-06,2.363874e-06,2.343659e-06,2.327979e-06,2.320910e-06,2.295987e-06,2.277963e-06,2.269211e-06,2.240871e-06,2.221437e-06,2.211226e-06,2.180505e-06,2.160375e-06,2.148915e-06,2.116638e-06,2.096355e-06,2.083839e-06,2.050662e-06,2.030629e-06,2.017236e-06,1.983676e-06,1.964189e-06,1.950080e-06,1.916540e-06,1.897810e-06,1.883131e-06,1.849924e-06,1.832096e-06,1.816977e-06,1.784342e-06,1.767511e-06,1.752065e-06,1.720185e-06,1.704404e-06,1.688733e-06,1.657739e-06,1.643032e-06,1.627226e-06,1.597213e-06,1.583580e-06,1.567717e-06,1.538749e-06,1.526174e-06,1.510321e-06,1.482439e-06,1.470893e-06,1.455108e-06,1.428333e-06,1.417778e-06,1.402113e-06,1.376449e-06,1.366843e-06,1.351340e-06,1.326783e-06,1.318076e-06,1.302773e-06,1.279307e-06,1.271451e-06,1.256378e-06,1.233981e-06,1.226925e-06,1.212108e-06,1.190754e-06,1.184447e-06,1.169909e-06,1.149566e-06,1.143958e-06,1.129716e-06,1.110351e-06,1.105395e-06,1.091463e-06,1.073041e-06,1.068689e-06,1.055079e-06,1.037565e-06,1.033771e-06,1.020491e-06,1.003849e-06,1.000571e-06,9.876279e-07,9.718200e-07,9.690177e-07,9.564160e-07,9.414069e-07,9.390415e-07,9.267839e-07,9.125382e-07,9.105734e-07,8.986611e-07,8.851441e-07,8.835459e-07,8.719788e-07,8.591568e-07,8.578932e-07,8.466700e-07,8.345104e-07,8.335516e-07,8.226701e-07,8.111414e-07,8.104594e-07,7.999166e-07,7.889883e-07,7.885572e-07,7.783493e-07,7.679923e-07,7.677880e-07,7.579104e-07,7.480968e-07,7.294310e-07,7.117402e-07,6.949764e-07,6.790935e-07,6.640477e-07,6.497971e-07,6.363018e-07,6.235239e-07,6.114271e-07,5.999770e-07,5.891410e-07,5.788877e-07,5.691876e-07,5.600125e-07,5.513357e-07,5.431316e-07,5.353761e-07,5.280462e-07,5.211201e-07,5.145770e-07,5.083972e-07,5.025621e-07,4.970538e-07,4.918554e-07,4.869510e-07,4.823253e-07,4.779638e-07,4.738529e-07,4.699794e-07,4.663311e-07,4.628962e-07,4.596635e-07,4.566224e-07,4.537630e-07,4.510756e-07,4.485512e-07,4.461812e-07,4.439575e-07,4.418723e-07,4.399181e-07,4.380882e-07,4.363757e-07,4.347745e-07,4.332786e-07,4.318824e-07,4.305803e-07,4.293675e-07,4.282390e-07,4.271903e-07
0.000000e+00,2.716371e-09,4.848040e-08,5.083335e-08,3.571832e-07,1.252723e-06,1.306054e-06,2.957443e-06,4.760102e-06,4.876034e-06,6.775719e-06,8.444764e-06,8.585878e-06,1.029459e-05,1.174585e-05,1.190213e-05,1.341150e-05,1.466141e-05,1.482632e-05,1.615040e-05,1.721946e-05,1.738757e-05,1.854167e-05,1.944964e-05,1.961642e-05,2.061549e-05,2.138076e-05,2.154244e-05,2.240070e-05,2.304009e-05,2.319359e-05,2.392430e-05,2.445309e-05,2.459593e-05,2.521141e-05,2.564337e-05,2.577357e-05,2.628513e-05,2.663263e-05,2.674867e-05,2.716672e-05,2.744090e-05,2.754167e-05,2.787581e-05,2.808659e-05,2.817131e-05,2.843025e-05,2.858646e-05,2.865461e-05,2.884629e-05,2.895578e-05,2.900709e-05,2.913875e-05,2.920848e-05,2.924291e-05,2.932114e-05,2.935728e-05,2.937494e-05,2.940574e-05,2.941375e-05,2.941490e-05,2.940371e-05,2.938839e-05,2.937342e-05,2.932520e-05,2.929079e-05,2.926017e-05,2.917941e-05,2.912961e-05,2.908392e-05,2.897468e-05,2.891275e-05,2.885261e-05,2.871858e-05,2.864734e-05,2.857342e-05,2.841794e-05,2.833986e-05,2.825287e-05,2.807895e-05,2.799615e-05,2.789684e-05,2.770719e-05,2.762152e-05,2.751062e-05,2.730771e-05,2.722072e-05,2.709900e-05,2.688503e-05,2.679808e-05,2.666629e-05,2.644325e-05,2.635746e-05,2.621636e-05,2.598604e-05,2.590236e-05,2.575268e-05,2.551668e-05,2.543590e-05,2.527838e-05,2.503813e-05,2.496089e-05,2.479624e-05,2.455302e-05,2.447984e-05,2.430875e-05,2.406370e-05,2.399498e-05,2.381813e-05,2.357226e-05,2.350832e-05,2.332634e-05,2.308056e-05,2.302162e-05,2.283514e-05,2.259025e-05,2.253646e-05,2.234607e-05,2.210276e-05,2.205422e-05,2.186048e-05,2.161938e-05,2.157612e-05,2.137958e-05,2.114122e-05,2.110322e-05,2.090441e-05,2.066925e-05,2.063647e-05,2.043586e-05,2.020431e-05,2.017666e-05,1.997471e-05,1.974713e-05,1.972449e-05,1.952165e-05,1.929832e-05,1.928055e-05,1.907722e-05,1.885841e-05,1.884535e-05,1.864192e-05,1.842782e-05,1.841930e-05,1.821613e-05,1.800691e-05,1.800275e-05,1.780018e-05,1.759597e-05,1.719918e-05,1.681255e-05,1.643619e-05,1.607017e-05,1.571453e-05,1.536926e-05,1.503434e-05,1.470970e-05,1.439527e-05,1.409094e-05,1.379659e-05,1.351209e-05,1.323729e-05,1.297202e-05,1.271611e-05,1.246939e-05,1.223167e-05,1.200275e-05,1.178244e-05,1.157054e-05,1.136685e-05,1.117115e-05,1.098325e-05,1.080294e-05,1.063002e-05,1.046427e-05,1.030550e-05,1.015351e-05,1.000808e-05,9.869038e-06,9.736172e-06,9.609295e-06,9.488217e-06,9.372753e-06,9.262719e-06,9.157937e-06,9.058231e-06,8.963428e-06,8.873359e-06,8.787861e-06,8.706771e-06,8.629932e-06,8.557191e-06,8.488397e-06,8.423406e-06,8.362074e-06,8.304263e-06,8.249839e-06,8.198669e-06
0.000000e+00,1.495158e-08,2.947393e-07,3.089673e-07,2.153104e-06,7.666044e-06,8.003437e-06,1.914435e-05,3.270929e-05,3.361351e-05,4.865075e-05,6.195969e-05,6.308334e-05,7.664186e-05,8.806947e-05,8.929445e-05,1.010640e-04,1.107197e-04,1.119871e-04,1.221032e-04,1.301878e-04,1.314519e-04,1.400707e-04,1.467728e-04,1.479957e-04,1.552637e-04,1.607580e-04,1.619101e-04,1.679689e-04,1.724150e-04,1.734730e-04,1.784535e-04,1.819942e-04,1.829405e-04,1.869624e-04,1.897248e-04,1.905464e-04,1.937185e-04,1.958151e-04,1.965032e-04,1.989240e-04,2.004542e-04,2.010032e-04,2.027618e-04,2.038130e-04,2.042200e-04,2.053968e-04,2.060456e-04,2.063103e-04,2.069774e-04,2.072908e-04,2.074146e-04,2.076371e-04,2.076737e-04,2.076596e-04,2.074957e-04,2.073063e-04,2.071585e-04,2.066604e-04,2.062892e-04,2.060131e-04,2.052275e-04,2.047126e-04,2.043140e-04,2.032826e-04,2.026570e-04,2.021426e-04,2.009026e-04,2.001944e-04,1.995710e-04,1.981557e-04,1.973890e-04,1.966639e-04,1.951026e-04,1.942979e-04,1.934784e-04,1.917973e-04,1.909720e-04,1.900653e-04,1.882878e-04,1.874563e-04,1.864699e-04,1.846164e-04,1.837908e-04,1.827318e-04,1.808205e-04,1.800107e-04,1.788863e-04,1.769330e-04,1.761471e-04,1.749641e-04,1.729829e-04,1.722275e-04,1.709925e-04,1.689957e-04,1.682758e-04,1.669951e-04,1.649934e-04,1.643129e-04,1.629927e-04,1.609954e-04,1.603572e-04,1.590032e-04,1.570183e-04,1.564244e-04,1.550422e-04,1.530765e-04,1.525282e-04,1.511228e-04,1.491825e-04,1.486803e-04,1.472567e-04,1.453466e-04,1.448907e-04,1.434534e-04,1.415778e-04,1.411677e-04,1.397210e-04,1.378835e-04,1.375185e-04,1.360663e-04,1.342698e-04,1.339487e-04,1.324948e-04,1.307417e-04,1.304633e-04,1.290110e-04,1.273032e-04,1.270659e-04,1.256184e-04,1.239572e-04,1.237594e-04,1.223197e-04,1.207061e-04,1.205461e-04,1.191167e-04,1.175515e-04,1.174273e-04,1.160107e-04,1.144943e-04,1.144041e-04,1.130024e-04,1.115350e-04,1.114768e-04,1.100921e-04,1.086735e-04,1.086454e-04,1.072794e-04,1.059095e-04,1.032683e-04,1.007208e-04,9.826568e-05,9.590147e-05,9.362650e-05,9.143896e-05,8.933692e-05,8.731834e-05,8.538112e-05,8.352312e-05,8.174212e-05,8.003590e-05,7.840221e-05,7.683881e-05,7.534346e-05,7.391393e-05,7.254802e-05,7.124354e-05,6.999834e-05,6.881032e-05,6.767739e-05,6.659753e-05,6.556875e-05,6.458912e-05,6.365673e-05,6.276976e-05,6.192641e-05,6.112493e-05,6.036365e-05,5.964092e-05,5.895515e-05,5.830481e-05,5.768842e-05,5.710452e-05,5.655174e-05,5.602872e-05,5.553419e-05,5.506688e-05,5.462559e-05,5.420916e-05,5.381648e-05,5.344646e-05,5.309807e-05,5.277032e-05,5.246223e-05,5.217290e-05,5.190143e-05,5.164698e-05,5.140872e-05
0.000000e+00,4.597007e-10,5.878859e-09,6.131229e-09,3.595388e-08,1.194565e-07,1.245049e-07,2.906801e-07,4.928595e-07,5.063019e-07,7.282193e-07,9.209682e-07,9.370503e-07,1.128495e-06,1.285826e-06,1.302458e-06,1.459812e-06,1.585390e-06,1.601622e-06,1.728955e-06,1.827676e-06,1.842849e-06,1.944292e-06,2.020568e-06,2.034219e-06,2.113512e-06,2.171177e-06,2.182996e-06,2.243443e-06,2.285779e-06,2.295573e-06,2.340057e-06,2.369851e-06,2.377521e-06,2.408542e-06,2.428143e-06,2.433660e-06,2.453373e-06,2.464754e-06,2.468143e-06,2.478399e-06,2.483212e-06,2.484538e-06,2.486925e-06,2.486547e-06,2.485900e-06,2.481777e-06,2.477352e-06,2.474845e-06,2.465372e-06,2.457849e-06,2.453605e-06,2.439773e-06,2.429934e-06,2.424085e-06,2.406735e-06,2.395223e-06,2.387903e-06,2.367753e-06,2.355094e-06,2.346436e-06,2.324093e-06,2.310715e-06,2.300852e-06,2.276830e-06,2.263077e-06,2.252136e-06,2.226869e-06,2.213019e-06,2.201121e-06,2.174975e-06,2.161248e-06,2.148508e-06,2.121790e-06,2.108357e-06,2.094885e-06,2.067852e-06,2.054846e-06,2.040743e-06,2.013607e-06,2.001128e-06,1.986489e-06,1.959429e-06,1.947550e-06,1.932462e-06,1.905622e-06,1.894395e-06,1.878939e-06,1.852439e-06,1.841896e-06,1.826146e-06,1.800082e-06,1.790242e-06,1.774266e-06,1.748715e-06,1.739585e-06,1.723445e-06,1.698467e-06,1.690044e-06,1.673795e-06,1.649439e-06,1.641713e-06,1.625407e-06,1.601706e-06,1.594661e-06,1.578343e-06,1.555323e-06,1.548940e-06,1.532651e-06,1.510329e-06,1.504583e-06,1.488361e-06,1.466748e-06,1.461613e-06,1.445490e-06,1.424589e-06,1.420039e-06,1.404045e-06,1.383856e-06,1.379861e-06,1.364021e-06,1.344540e-06,1.341070e-06,1.325409e-06,1.306627e-06,1.303654e-06,1.288191e-06,1.270099e-06,1.267593e-06,1.252346e-06,1.234930e-06,1.232863e-06,1.217848e-06,1.201095e-06,1.199437e-06,1.184667e-06,1.168561e-06,1.167286e-06,1.152772e-06,1.137297e-06,1.136378e-06,1.122130e-06,1.107268e-06,1.106679e-06,1.092705e-06,1.078439e-06,1.078156e-06,1.064463e-06,1.050774e-06,1.024497e-06,9.992893e-07,9.751163e-07,9.519425e-07,9.297334e-07,9.084548e-07,8.880733e-07,8.685559e-07,8.498708e-07,8.319865e-07,8.148729e-07,7.985003e-07,7.828400e-07,7.678643e-07,7.535464e-07,7.398603e-07,7.267808e-07,7.142837e-07,7.023456e-07,6.909438e-07,6.800568e-07,6.696634e-07,6.597435e-07,6.502776e-07,6.412471e-07,6.326339e-07,6.244207e-07,6.165909e-07,6.091284e-07,6.020180e-07,5.952447e-07,5.887945e-07,5.826536e-07,5.768089e-07,5.712479e-07,5.659585e-07,5.609291e-07,5.561485e-07,5.516061e-07,5.472916e-07,5.431951e-07,5.393072e-07,5.356189e-07,5.321214e-07,5.288064e-07,5.256659e-07,5.226922e-07,5.198780e-07,5.172162e-07
0.000000e+00,6.102834e-11,6.915043e-09,7.427643e-09,1.443233e-07,1.178653e-06,1.271605e-06,6.634265e-06,2.182322e-05,2.331491e-05,6.080685e-05,1.207738e-04,1.272838e-04,2.266886e-04,3.435543e-04,3.580021e-04,5.161720e-04,6.716703e-04,6.937257e-04,8.823529e-04,1.047344e-03,1.074108e-03,1.262151e-03,1.413253e-03,1.441096e-03,1.607060e-03,1.731673e-03,1.757545e-03,1.891218e-03,1.985751e-03,2.007669e-03,2.107174e-03,2.173498e-03,2.190488e-03,2.258675e-03,2.301139e-03,2.312974e-03,2.354700e-03,2.378260e-03,2.385172e-03,2.405669e-03,2.414929e-03,2.417393e-03,2.421457e-03,2.420291e-03,2.418874e-03,2.410558e-03,2.402047e-03,2.397322e-03,2.379892e-03,2.366405e-03,2.358907e-03,2.334930e-03,2.318243e-03,2.308452e-03,2.279905e-03,2.261333e-03,2.249664e-03,2.218056e-03,2.198556e-03,2.185366e-03,2.151839e-03,2.132095e-03,2.117689e-03,2.083099e-03,2.063598e-03,2.048230e-03,2.013219e-03,1.994297e-03,1.978185e-03,1.943229e-03,1.925112e-03,1.908439e-03,1.873889e-03,1.856724e-03,1.839643e-03,1.805755e-03,1.789629e-03,1.772270e-03,1.739226e-03,1.724183e-03,1.706656e-03,1.674586e-03,1.660639e-03,1.643037e-03,1.612026e-03,1.599166e-03,1.581567e-03,1.551671e-03,1.539872e-03,1.522345e-03,1.493595e-03,1.482821e-03,1.465422e-03,1.437829e-03,1.428037e-03,1.410814e-03,1.384377e-03,1.375519e-03,1.358514e-03,1.333221e-03,1.325247e-03,1.308493e-03,1.284325e-03,1.277183e-03,1.260710e-03,1.237641e-03,1.231279e-03,1.215112e-03,1.193113e-03,1.187480e-03,1.171638e-03,1.150678e-03,1.145723e-03,1.130225e-03,1.110269e-03,1.105945e-03,1.090803e-03,1.071817e-03,1.068077e-03,1.053302e-03,1.035250e-03,1.032049e-03,1.017652e-03,1.000498e-03,9.977942e-04,9.837801e-04,9.674890e-04,9.652418e-04,9.516161e-04,9.361527e-04,9.343242e-04,9.210901e-04,9.064200e-04,9.049742e-04,8.921338e-04,8.782233e-04,8.771264e-04,8.646803e-04,8.514967e-04,8.507170e-04,8.386647e-04,8.261763e-04,8.256838e-04,8.140239e-04,8.021999e-04,8.019667e-04,7.906969e-04,7.795076e-04,7.582504e-04,7.381409e-04,7.191271e-04,7.011587e-04,6.841877e-04,6.681678e-04,6.530546e-04,6.388056e-04,6.253801e-04,6.127388e-04,6.008445e-04,5.896613e-04,5.791548e-04,5.692924e-04,5.600426e-04,5.513755e-04,5.432623e-04,5.356755e-04,5.285890e-04,5.219778e-04,5.158178e-04,5.100862e-04,5.047611e-04,4.998217e-04,4.952480e-04,4.910209e-04,4.871223e-04,4.835348e-04,4.802418e-04,4.772275e-04,4.744767e-04,4.719752e-04,4.697090e-04,4.676652e-04,4.658311e-04,4.641948e-04,4.627449e-04,4.614706e-04,4.603616e-04,4.594078e-04,4.586000e-04,4.579292e-04,4.573869e-04,4.569648e-04,4.566554e-04,4.564511e-04,4.563451e-04,4.563307e-04,4.564014e-04
0.000000e+00,2.180036e-10,2.023053e-08,2.163385e-08,3.373092e-07,2.302036e-06,2.467503e-06,1.124300e-05,3.400229e-05,3.617331e-05,8.908268e-05,1.698600e-04,1.784210e-04,3.050947e-04,4.459993e-04,4.629110e-04,6.419111e-04,8.086808e-04,8.317170e-04,1.023551e-03,1.185157e-03,1.210944e-03,1.389638e-03,1.531150e-03,1.557134e-03,1.712202e-03,1.829786e-03,1.854444e-03,1.983982e-03,2.078745e-03,2.101241e-03,2.206805e-03,2.281449e-03,2.301334e-03,2.385511e-03,2.442981e-03,2.460015e-03,2.525501e-03,2.568526e-03,2.582597e-03,2.631898e-03,2.662884e-03,2.673964e-03,2.709323e-03,2.730350e-03,2.738470e-03,2.761869e-03,2.774721e-03,2.779955e-03,2.793135e-03,2.799332e-03,2.801790e-03,2.806276e-03,2.807113e-03,2.806926e-03,2.804051e-03,2.800628e-03,2.797944e-03,2.788876e-03,2.782120e-03,2.777100e-03,2.762855e-03,2.753549e-03,2.746362e-03,2.727827e-03,2.716628e-03,2.707443e-03,2.685389e-03,2.672846e-03,2.661834e-03,2.636932e-03,2.623500e-03,2.610830e-03,2.583661e-03,2.569717e-03,2.555553e-03,2.526620e-03,2.512473e-03,2.496973e-03,2.466712e-03,2.452611e-03,2.435929e-03,2.404713e-03,2.390860e-03,2.373142e-03,2.341291e-03,2.327846e-03,2.309228e-03,2.277018e-03,2.264106e-03,2.244718e-03,2.212383e-03,2.200096e-03,2.180061e-03,2.147799e-03,2.136208e-03,2.115639e-03,2.083618e-03,2.072769e-03,2.051772e-03,2.020132e-03,2.010056e-03,1.988729e-03,1.957588e-03,1.948300e-03,1.926733e-03,1.896186e-03,1.887691e-03,1.865967e-03,1.836093e-03,1.828384e-03,1.806580e-03,1.777441e-03,1.770505e-03,1.748689e-03,1.720335e-03,1.714151e-03,1.692388e-03,1.664856e-03,1.659400e-03,1.637745e-03,1.611063e-03,1.606306e-03,1.584813e-03,1.558998e-03,1.554909e-03,1.533623e-03,1.508689e-03,1.505233e-03,1.484197e-03,1.460147e-03,1.457291e-03,1.436541e-03,1.413376e-03,1.411084e-03,1.390653e-03,1.368369e-03,1.366605e-03,1.346521e-03,1.325109e-03,1.323838e-03,1.304127e-03,1.283574e-03,1.282761e-03,1.263445e-03,1.243738e-03,1.243348e-03,1.224446e-03,1.205567e-03,1.169384e-03,1.134762e-03,1.101659e-03,1.070036e-03,1.039849e-03,1.011055e-03,9.836096e-04,9.574691e-04,9.325894e-04,9.089266e-04,8.864374e-04,8.650789e-04,8.448090e-04,8.255865e-04,8.073710e-04,7.901230e-04,7.738040e-04,7.583766e-04,7.438043e-04,7.300519e-04,7.170851e-04,7.048707e-04,6.933765e-04,6.825716e-04,6.724259e-04,6.629106e-04,6.539975e-04,6.456598e-04,6.378716e-04,6.306077e-04,6.238441e-04,6.175577e-04,6.117259e-04,6.063275e-04,6.013418e-04,5.967488e-04,5.925295e-04,5.886656e-04,5.851395e-04,5.819342e-04,5.790335e-04,5.764218e-04,5.740841e-04,5.720061e-04,5.701740e-04,5.685745e-04,5.671950e-04,5.660234e-04,5.650479e-04
0.000000e+00,7.269981e-11,7.393495e-09,7.919828e-09,1.348883e-07,1.019967e-06,1.098403e-06,5.657318e-06,1.920358e-05,2.057564e-05,5.668820e-05,1.185832e-04,1.255133e-04,2.348979e-04,3.697458e-04,3.867793e-04,5.775151e-04,7.716326e-04,7.996471e-04,1.043937e-03,1.264585e-03,1.301017e-03,1.562455e-03,1.780286e-03,1.821283e-03,2.072144e-03,2.269159e-03,2.311184e-03,2.535843e-03,2.704164e-03,2.744599e-03,2.936725e-03,3.074930e-03,3.112076e-03,3.270913e-03,3.380907e-03,3.413771e-03,3.541357e-03,3.626412e-03,3.654481e-03,3.753998e-03,3.817714e-03,3.840780e-03,3.915684e-03,3.961499e-03,3.979546e-03,4.033165e-03,4.064164e-03,4.077300e-03,4.112670e-03,4.131542e-03,4.139949e-03,4.159773e-03,4.168822e-03,4.172733e-03,4.179386e-03,4.180572e-03,4.180250e-03,4.175808e-03,4.170786e-03,4.166513e-03,4.152784e-03,4.142945e-03,4.135013e-03,4.113565e-03,4.100075e-03,4.088778e-03,4.060968e-03,4.044797e-03,4.030427e-03,3.997428e-03,3.979382e-03,3.962223e-03,3.925048e-03,3.905791e-03,3.886120e-03,3.845642e-03,3.825717e-03,3.803801e-03,3.760769e-03,3.740620e-03,3.716709e-03,3.671770e-03,3.651754e-03,3.626089e-03,3.579795e-03,3.560197e-03,3.533005e-03,3.485828e-03,3.466872e-03,3.438365e-03,3.390709e-03,3.372566e-03,3.342943e-03,3.295147e-03,3.277947e-03,3.247392e-03,3.199745e-03,3.183581e-03,3.152266e-03,3.105010e-03,3.089943e-03,3.058027e-03,3.011363e-03,2.997433e-03,2.965060e-03,2.919156e-03,2.906379e-03,2.873685e-03,2.828677e-03,2.817054e-03,2.784160e-03,2.740159e-03,2.729678e-03,2.696696e-03,2.653790e-03,2.644427e-03,2.611458e-03,2.569715e-03,2.561438e-03,2.528574e-03,2.488046e-03,2.480817e-03,2.448140e-03,2.408865e-03,2.402640e-03,2.370226e-03,2.332229e-03,2.326960e-03,2.294876e-03,2.258170e-03,2.253809e-03,2.222114e-03,2.186706e-03,2.183201e-03,2.151946e-03,2.117834e-03,2.115133e-03,2.084367e-03,2.051542e-03,2.049592e-03,2.019355e-03,1.987804e-03,1.986555e-03,1.956882e-03,1.926586e-03,1.925986e-03,1.896909e-03,1.867847e-03,1.812089e-03,1.758661e-03,1.707509e-03,1.658573e-03,1.611793e-03,1.567107e-03,1.524452e-03,1.483764e-03,1.444979e-03,1.408033e-03,1.372863e-03,1.339407e-03,1.307603e-03,1.277391e-03,1.248710e-03,1.221503e-03,1.195713e-03,1.171284e-03,1.148164e-03,1.126299e-03,1.105638e-03,1.086133e-03,1.067736e-03,1.050400e-03,1.034081e-03,1.018736e-03,1.004322e-03,9.907998e-04,9.781303e-04,9.662759e-04,9.552003e-04,9.448688e-04,9.352478e-04,9.263048e-04,9.180088e-04,9.103297e-04,9.032386e-04,8.967078e-04,8.907105e-04,8.852210e-04,8.802145e-04,8.756673e-04,8.715566e-04,8.678603e-04,8.645573e-04,8.616273e-04,8.590509e-04,8.568093e-04,8.548844e-04
0.000000e+00,2.031680e-10,2.452953e-09,2.555873e-09,1.462553e-08,4.915738e-08,5.128987e-08,1.245743e-07,2.222356e-07,2.290326e-07,3.448701e-07,4.482891e-07,4.569496e-07,5.598985e-07,6.438990e-07,6.527310e-07,7.357254e-07,8.010931e-07,8.094769e-07,8.746424e-07,9.243119e-07,9.318693e-07,9.817777e-07,1.018476e-06,1.024956e-06,1.061954e-06,1.088045e-06,1.093290e-06,1.119446e-06,1.136943e-06,1.140870e-06,1.157982e-06,1.168584e-06,1.171167e-06,1.180785e-06,1.185914e-06,1.187168e-06,1.190622e-06,1.191461e-06,1.191432e-06,1.189857e-06,1.187382e-06,1.186138e-06,1.180498e-06,1.175515e-06,1.173139e-06,1.164250e-06,1.157419e-06,1.154002e-06,1.142553e-06,1.134411e-06,1.130050e-06,1.116624e-06,1.107604e-06,1.102397e-06,1.087481e-06,1.077932e-06,1.071978e-06,1.055980e-06,1.046180e-06,1.039573e-06,1.022834e-06,1.013001e-06,1.005833e-06,9.886347e-07,9.789388e-07,9.712962e-07,9.538706e-07,9.444414e-07,9.364053e-07,9.189434e-07,9.098775e-07,9.015235e-07,8.841802e-07,8.755472e-07,8.669448e-07,8.498450e-07,8.416926e-07,8.329056e-07,8.161485e-07,8.085069e-07,7.995931e-07,7.832564e-07,7.761414e-07,7.671533e-07,7.512966e-07,7.447130e-07,7.356974e-07,7.203651e-07,7.143088e-07,7.053076e-07,6.905314e-07,6.849913e-07,6.760417e-07,6.618427e-07,6.568028e-07,6.479373e-07,6.343278e-07,6.297682e-07,6.210153e-07,6.080004e-07,6.038984e-07,5.952828e-07,5.828617e-07,5.791929e-07,5.707356e-07,5.589027e-07,5.556417e-07,5.473605e-07,5.361064e-07,5.332271e-07,5.251371e-07,5.144491e-07,5.119255e-07,5.040389e-07,4.939024e-07,4.917087e-07,4.840354e-07,4.744335e-07,4.725446e-07,4.650923e-07,4.560071e-07,4.543986e-07,4.471732e-07,4.385857e-07,4.372342e-07,4.302397e-07,4.221304e-07,4.210137e-07,4.142526e-07,4.066015e-07,4.056984e-07,3.991720e-07,3.919591e-07,3.912496e-07,3.849579e-07,3.781633e-07,3.776285e-07,3.715704e-07,3.651745e-07,3.647969e-07,3.589705e-07,3.529538e-07,3.527169e-07,3.471195e-07,3.414631e-07,3.413518e-07,3.359800e-07,3.306656e-07,3.206235e-07,3.111917e-07,3.023379e-07,2.940307e-07,2.862402e-07,2.789377e-07,2.720959e-07,2.656887e-07,2.596911e-07,2.540795e-07,2.488314e-07,2.439256e-07,2.393416e-07,2.350604e-07,2.310638e-07,2.273348e-07,2.238569e-07,2.206151e-07,2.175948e-07,2.147823e-07,2.121648e-07,2.097303e-07,2.074672e-07,2.053648e-07,2.034129e-07,2.016022e-07,1.999236e-07,1.983686e-07,1.969295e-07,1.955986e-07,1.943691e-07,1.932343e-07,1.921881e-07,1.912247e-07,1.903387e-07,1.895249e-07,1.887785e-07,1.880951e-07,1.874705e-07,1.869007e-07,1.863820e-07,1.859108e-07,1.854841e-07,1.850987e-07,1.847517e-07,1.844405e-07,1.841627e-07,1.839157e-07,1.836976e-07
0.000000e+00,2.634829e-09,3.254467e-08,3.391235e-08,1.944021e-07,6.535183e-07,6.818500e-07,1.654136e-06,2.945977e-06,3.035698e-06,4.561344e-06,5.921276e-06,6.035242e-06,7.392730e-06,8.506148e-06,8.623621e-06,9.732198e-06,1.061261e-05,1.072609e-05,1.161346e-05,1.229746e-05,1.240225e-05,1.310003e-05,1.362103e-05,1.371389e-05,1.425050e-05,1.463725e-05,1.471608e-05,1.511641e-05,1.539334e-05,1.545690e-05,1.574255e-05,1.593029e-05,1.597801e-05,1.616757e-05,1.628340e-05,1.631521e-05,1.642463e-05,1.648300e-05,1.649923e-05,1.654216e-05,1.655510e-05,1.655633e-05,1.654443e-05,1.652192e-05,1.650893e-05,1.645212e-05,1.640240e-05,1.637610e-05,1.628282e-05,1.621266e-05,1.617405e-05,1.605145e-05,1.596642e-05,1.591652e-05,1.577066e-05,1.567531e-05,1.561515e-05,1.545116e-05,1.534915e-05,1.527977e-05,1.510197e-05,1.499627e-05,1.491866e-05,1.473068e-05,1.462366e-05,1.453879e-05,1.434367e-05,1.423719e-05,1.414597e-05,1.394626e-05,1.384180e-05,1.374508e-05,1.354290e-05,1.344158e-05,1.334016e-05,1.313727e-05,1.303992e-05,1.293457e-05,1.273239e-05,1.263965e-05,1.253104e-05,1.233077e-05,1.224306e-05,1.213183e-05,1.193443e-05,1.185202e-05,1.173875e-05,1.154498e-05,1.146803e-05,1.135325e-05,1.116372e-05,1.109229e-05,1.097648e-05,1.079166e-05,1.072572e-05,1.060932e-05,1.042956e-05,1.036904e-05,1.025244e-05,1.007801e-05,1.002277e-05,9.906314e-06,9.737394e-06,9.687263e-06,9.571275e-06,9.407980e-06,9.362766e-06,9.247523e-06,9.089911e-06,9.049399e-06,8.935149e-06,8.783234e-06,8.747197e-06,8.634159e-06,8.487915e-06,8.456120e-06,8.344486e-06,8.203856e-06,8.176064e-06,8.066003e-06,7.930905e-06,7.906878e-06,7.798536e-06,7.668869e-06,7.648371e-06,7.541873e-06,7.417517e-06,7.400317e-06,7.295770e-06,7.176597e-06,7.162468e-06,7.059964e-06,6.945834e-06,6.934557e-06,6.834171e-06,6.724937e-06,6.716302e-06,6.618095e-06,6.513607e-06,6.507412e-06,6.411434e-06,6.311538e-06,6.307589e-06,6.213879e-06,6.118420e-06,6.116533e-06,6.025120e-06,5.933941e-06,5.759513e-06,5.592952e-06,5.433962e-06,5.282257e-06,5.137553e-06,4.999573e-06,4.868050e-06,4.742722e-06,4.623335e-06,4.509644e-06,4.401411e-06,4.298407e-06,4.200411e-06,4.107210e-06,4.018597e-06,3.934374e-06,3.854353e-06,3.778349e-06,3.706187e-06,3.637698e-06,3.572721e-06,3.511100e-06,3.452686e-06,3.397337e-06,3.344914e-06,3.295288e-06,3.248332e-06,3.203926e-06,3.161954e-06,3.122307e-06,3.084877e-06,3.049565e-06,3.016272e-06,2.984907e-06,2.955380e-06,2.927606e-06,2.901504e-06,2.876995e-06,2.854007e-06,2.832466e-06,2.812305e-06,2.793459e-06,2.775865e-06,2.759463e-06,2.744196e-06,2.730010e-06,2.716852e-06,2.704673e-06,2.693424e-06
0.000000e+00,7.975795e-09,9.781091e-08,1.017418e-07,5.149816e-07,1.522900e-06,1.581384e-06,3.491502e-06,5.983538e-06,6.160661e-06,9.325578e-06,1.242716e-05,1.269878e-05,1.605117e-05,1.892780e-05,1.923633e-05,2.218536e-05,2.456966e-05,2.487953e-05,2.732282e-05,2.923260e-05,2.952740e-05,3.150783e-05,3.300910e-05,3.327905e-05,3.485561e-05,3.601295e-05,3.625147e-05,3.747978e-05,3.835013e-05,3.855291e-05,3.948249e-05,4.011490e-05,4.027935e-05,4.095368e-05,4.139012e-05,4.151503e-05,4.197231e-05,4.224859e-05,4.233381e-05,4.260728e-05,4.275376e-05,4.279996e-05,4.291856e-05,4.296088e-05,4.296936e-05,4.295817e-05,4.291795e-05,4.289044e-05,4.277120e-05,4.266658e-05,4.260515e-05,4.239663e-05,4.224278e-05,4.214971e-05,4.186812e-05,4.167767e-05,4.155536e-05,4.121465e-05,4.099807e-05,4.084899e-05,4.046114e-05,4.022705e-05,4.005368e-05,3.962898e-05,3.938443e-05,3.918922e-05,3.873644e-05,3.848718e-05,3.827250e-05,3.779914e-05,3.754980e-05,3.731794e-05,3.683036e-05,3.658461e-05,3.633776e-05,3.584136e-05,3.560208e-05,3.534231e-05,3.484163e-05,3.461105e-05,3.434030e-05,3.383917e-05,3.361894e-05,3.333903e-05,3.284063e-05,3.263197e-05,3.234460e-05,3.185155e-05,3.165528e-05,3.136201e-05,3.087649e-05,3.069313e-05,3.039540e-05,2.991916e-05,2.974896e-05,2.944810e-05,2.898255e-05,2.882556e-05,2.852277e-05,2.806902e-05,2.792512e-05,2.762150e-05,2.718041e-05,2.704935e-05,2.674589e-05,2.631809e-05,2.619953e-05,2.589712e-05,2.548307e-05,2.537655e-05,2.507600e-05,2.467599e-05,2.458104e-05,2.428306e-05,2.389725e-05,2.381333e-05,2.351856e-05,2.314700e-05,2.307354e-05,2.278255e-05,2.242519e-05,2.236161e-05,2.207489e-05,2.173161e-05,2.167733e-05,2.139531e-05,2.106593e-05,2.102036e-05,2.074341e-05,2.042768e-05,2.039025e-05,2.011868e-05,1.981633e-05,1.978646e-05,1.952055e-05,1.923127e-05,1.920840e-05,1.894838e-05,1.867182e-05,1.865542e-05,1.840147e-05,1.813727e-05,1.812682e-05,1.787910e-05,1.762688e-05,1.762189e-05,1.738050e-05,1.713988e-05,1.668004e-05,1.624160e-05,1.582380e-05,1.542589e-05,1.504711e-05,1.468671e-05,1.434398e-05,1.401819e-05,1.370865e-05,1.341468e-05,1.313563e-05,1.287084e-05,1.261971e-05,1.238163e-05,1.215602e-05,1.194232e-05,1.174000e-05,1.154853e-05,1.136742e-05,1.119619e-05,1.103437e-05,1.088152e-05,1.073723e-05,1.060107e-05,1.047267e-05,1.035165e-05,1.023766e-05,1.013034e-05,1.002937e-05,9.934438e-06,9.845247e-06,9.761509e-06,9.682950e-06,9.609308e-06,9.540334e-06,9.475789e-06,9.415445e-06,9.359085e-06,9.306501e-06,9.257496e-06,9.211880e-06,9.169473e-06,9.130103e-06,9.093607e-06,9.059827e-06,9.028616e-06,8.999832e-06,8.973338e-06,8.949007e-06
0.000000e+00,1.088766e-08,1.815498e-07,1.897933e-07,1.199585e-06,4.125288e-06,4.304826e-06,1.040614e-05,1.850249e-05,1.907035e-05,2.889294e-05,3.788820e-05,3.865019e-05,4.780882e-05,5.542978e-05,5.623973e-05,6.394328e-05,7.014706e-05,7.095291e-05,7.730964e-05,8.228605e-05,8.305516e-05,8.823003e-05,9.216436e-05,9.287303e-05,9.702086e-05,1.000770e-04,1.007083e-04,1.039681e-04,1.062887e-04,1.068310e-04,1.093259e-04,1.110339e-04,1.114798e-04,1.133181e-04,1.145188e-04,1.148645e-04,1.161412e-04,1.169246e-04,1.171689e-04,1.179670e-04,1.184097e-04,1.185536e-04,1.189455e-04,1.191126e-04,1.191586e-04,1.192075e-04,1.191540e-04,1.191059e-04,1.188667e-04,1.186391e-04,1.185016e-04,1.180219e-04,1.176595e-04,1.174378e-04,1.167590e-04,1.162945e-04,1.159943e-04,1.151522e-04,1.146130e-04,1.142403e-04,1.132659e-04,1.126746e-04,1.122355e-04,1.111554e-04,1.105310e-04,1.100313e-04,1.088686e-04,1.082265e-04,1.076722e-04,1.064467e-04,1.057993e-04,1.051962e-04,1.039247e-04,1.032822e-04,1.026358e-04,1.013329e-04,1.007034e-04,1.000190e-04,9.869698e-05,9.808684e-05,9.736941e-05,9.603871e-05,9.545278e-05,9.470708e-05,9.337654e-05,9.281849e-05,9.204895e-05,9.072600e-05,9.019846e-05,8.940923e-05,8.810005e-05,8.760482e-05,8.679974e-05,8.550946e-05,8.504762e-05,8.423027e-05,8.296310e-05,8.253516e-05,8.170882e-05,8.046818e-05,8.007417e-05,7.924186e-05,7.803048e-05,7.767006e-05,7.683456e-05,7.565456e-05,7.532708e-05,7.449090e-05,7.334393e-05,7.304849e-05,7.221394e-05,7.110119e-05,7.083672e-05,7.000587e-05,6.892816e-05,6.869343e-05,6.786817e-05,6.682600e-05,6.661971e-05,6.580170e-05,6.479532e-05,6.461607e-05,6.380684e-05,6.283624e-05,6.268260e-05,6.188349e-05,6.094850e-05,6.081902e-05,6.003120e-05,5.913149e-05,5.902470e-05,5.824924e-05,5.738432e-05,5.729878e-05,5.653659e-05,5.570589e-05,5.564016e-05,5.489205e-05,5.409488e-05,5.404758e-05,5.331422e-05,5.254986e-05,5.251962e-05,5.180160e-05,5.106924e-05,5.105476e-05,5.035257e-05,4.965138e-05,4.830780e-05,4.702230e-05,4.579312e-05,4.461847e-05,4.349659e-05,4.242569e-05,4.140402e-05,4.042983e-05,3.950139e-05,3.861704e-05,3.777510e-05,3.697396e-05,3.621204e-05,3.548781e-05,3.479975e-05,3.414644e-05,3.352645e-05,3.293841e-05,3.238102e-05,3.185298e-05,3.135307e-05,3.088008e-05,3.043287e-05,3.001032e-05,2.961137e-05,2.923499e-05,2.888017e-05,2.854597e-05,2.823147e-05,2.793578e-05,2.765804e-05,2.739745e-05,2.715321e-05,2.692456e-05,2.671079e-05,2.651120e-05,2.632511e-05,2.615188e-05,2.599091e-05,2.584159e-05,2.570335e-05,2.557567e-05,2.545800e-05,2.534986e-05,2.525075e-05,2.516023e-05,2.507786e-05,2.500320e-05,2.493585e-05
0.000000e+00,1.521481e-08,2.867719e-07,3.007702e-07,2.109024e-06,7.132669e-06,7.418422e-06,1.567426e-05,2.400665e-05,2.453289e-05,3.308444e-05,4.053247e-05,4.116027e-05,4.874054e-05,5.514620e-05,5.583405e-05,6.245541e-05,6.790458e-05,6.862098e-05,7.434890e-05,7.893890e-05,7.965744e-05,8.456235e-05,8.838323e-05,8.908101e-05,9.323147e-05,9.637268e-05,9.703166e-05,1.004992e-04,1.030452e-04,1.036511e-04,1.065043e-04,1.085326e-04,1.090746e-04,1.113776e-04,1.129583e-04,1.134282e-04,1.152406e-04,1.164365e-04,1.168285e-04,1.182048e-04,1.190718e-04,1.193821e-04,1.203721e-04,1.209599e-04,1.211863e-04,1.218353e-04,1.221875e-04,1.223294e-04,1.226785e-04,1.228339e-04,1.228917e-04,1.229779e-04,1.229703e-04,1.229455e-04,1.228024e-04,1.226615e-04,1.225563e-04,1.222143e-04,1.219659e-04,1.217831e-04,1.212694e-04,1.209360e-04,1.206791e-04,1.200182e-04,1.196192e-04,1.192920e-04,1.185058e-04,1.180580e-04,1.176645e-04,1.167727e-04,1.162906e-04,1.158349e-04,1.148553e-04,1.143510e-04,1.138377e-04,1.127858e-04,1.122698e-04,1.117033e-04,1.105933e-04,1.100743e-04,1.094589e-04,1.083032e-04,1.077886e-04,1.071288e-04,1.059384e-04,1.054343e-04,1.047345e-04,1.035192e-04,1.030304e-04,1.022947e-04,1.010632e-04,1.005937e-04,9.982639e-05,9.858615e-05,9.813914e-05,9.734410e-05,9.610181e-05,9.567963e-05,9.486071e-05,9.362216e-05,9.322657e-05,9.238742e-05,9.115765e-05,9.078986e-05,8.993395e-05,8.871732e-05,8.837806e-05,8.750869e-05,8.630892e-05,8.599853e-05,8.511882e-05,8.393910e-05,8.365759e-05,8.277044e-05,8.161347e-05,8.136055e-05,8.046872e-05,7.933673e-05,7.911190e-05,7.821794e-05,7.711278e-05,7.691533e-05,7.602162e-05,7.494479e-05,7.477385e-05,7.388260e-05,7.283530e-05,7.268988e-05,7.180312e-05,7.078626e-05,7.066527e-05,6.978487e-05,6.879910e-05,6.870139e-05,6.782907e-05,6.687485e-05,6.679920e-05,6.593651e-05,6.501410e-05,6.495926e-05,6.410763e-05,6.321712e-05,6.318183e-05,6.234253e-05,6.148385e-05,6.146684e-05,6.064103e-05,5.981401e-05,5.822280e-05,5.669251e-05,5.522227e-05,5.381107e-05,5.245776e-05,5.116114e-05,4.991989e-05,4.873263e-05,4.759796e-05,4.651439e-05,4.548045e-05,4.449462e-05,4.355538e-05,4.266121e-05,4.181059e-05,4.100199e-05,4.023394e-05,3.950494e-05,3.881353e-05,3.815829e-05,3.753779e-05,3.695067e-05,3.639558e-05,3.587119e-05,3.537623e-05,3.490946e-05,3.446964e-05,3.405562e-05,3.366624e-05,3.330039e-05,3.295701e-05,3.263506e-05,3.233353e-05,3.205147e-05,3.178792e-05,3.154200e-05,3.131284e-05,3.109960e-05,3.090147e-05,3.071769e-05,3.054750e-05,3.039021e-05,3.024511e-05,3.011156e-05,2.998891e-05,2.987657e-05,2.977396e-05,2.968051e-05,2.959571e-05
0.000000e+00,7.594250e-10,9.349904e-09,9.749343e-09,5.892891e-08,2.084503e-07,2.178098e-07,5.338182e-07,9.230480e-07,9.489421e-07,1.378014e-06,1.754972e-06,1.786659e-06,2.167105e-06,2.484775e-06,2.518653e-06,2.842309e-06,3.105174e-06,3.139487e-06,3.411685e-06,3.626928e-06,3.660386e-06,3.887036e-06,4.061400e-06,4.093025e-06,4.279686e-06,4.419216e-06,4.448286e-06,4.600027e-06,4.710045e-06,4.736043e-06,4.857403e-06,4.942538e-06,4.965112e-06,5.060115e-06,5.124369e-06,5.143301e-06,5.215503e-06,5.262322e-06,5.277501e-06,5.330028e-06,5.362368e-06,5.373767e-06,5.409359e-06,5.429749e-06,5.437404e-06,5.458462e-06,5.469060e-06,5.473059e-06,5.481683e-06,5.484327e-06,5.484793e-06,5.482817e-06,5.479069e-06,5.476155e-06,5.465179e-06,5.456362e-06,5.450239e-06,5.431660e-06,5.418894e-06,5.409746e-06,5.384779e-06,5.369005e-06,5.357024e-06,5.326728e-06,5.308738e-06,5.294119e-06,5.259412e-06,5.239869e-06,5.222806e-06,5.184487e-06,5.163942e-06,5.144628e-06,5.103390e-06,5.082301e-06,5.060922e-06,5.017364e-06,4.996107e-06,4.972845e-06,4.927486e-06,4.906369e-06,4.881398e-06,4.834685e-06,4.813958e-06,4.787443e-06,4.739762e-06,4.719625e-06,4.691724e-06,4.643406e-06,4.624016e-06,4.594878e-06,4.546208e-06,4.527688e-06,4.497454e-06,4.448673e-06,4.431115e-06,4.399917e-06,4.351233e-06,4.334705e-06,4.302665e-06,4.254253e-06,4.238801e-06,4.206035e-06,4.158044e-06,4.143696e-06,4.110312e-06,4.062866e-06,4.049636e-06,4.015733e-06,3.968936e-06,3.956827e-06,3.922497e-06,3.876435e-06,3.865438e-06,3.830767e-06,3.785510e-06,3.775609e-06,3.740677e-06,3.696281e-06,3.687455e-06,3.652333e-06,3.608844e-06,3.601065e-06,3.565821e-06,3.523274e-06,3.516510e-06,3.481207e-06,3.439626e-06,3.433844e-06,3.398537e-06,3.357942e-06,3.353104e-06,3.317846e-06,3.278250e-06,3.274317e-06,3.239155e-06,3.200564e-06,3.197498e-06,3.162475e-06,3.124890e-06,3.122651e-06,3.087808e-06,3.051227e-06,3.049775e-06,3.015147e-06,2.979565e-06,2.978858e-06,2.944479e-06,2.909887e-06,2.842840e-06,2.777694e-06,2.714420e-06,2.652988e-06,2.593366e-06,2.535517e-06,2.479407e-06,2.424999e-06,2.372253e-06,2.321132e-06,2.271597e-06,2.223608e-06,2.177127e-06,2.132115e-06,2.088533e-06,2.046343e-06,2.005508e-06,1.965991e-06,1.927754e-06,1.890761e-06,1.854979e-06,1.820371e-06,1.786904e-06,1.754545e-06,1.723261e-06,1.693021e-06,1.663794e-06,1.635550e-06,1.608260e-06,1.581894e-06,1.556425e-06,1.531825e-06,1.508070e-06,1.485132e-06,1.462986e-06,1.441609e-06,1.420977e-06,1.401067e-06,1.381856e-06,1.363323e-06,1.345447e-06,1.328207e-06,1.311584e-06,1.295558e-06,1.280111e-06,1.265224e-06,1.250880e-06,1.237062e-06,1.223752e-06
0.000000e+00,7.765237e-09,2.368768e-07,2.503083e-07,2.291689e-06,8.397054e-06,8.734624e-06,1.797128e-05,2.680233e-05,2.735333e-05,3.624390e-05,4.391210e-05,4.455569e-05,5.229401e-05,5.878704e-05,5.948179e-05,6.614522e-05,7.159571e-05,7.230996e-05,7.800049e-05,8.253338e-05,8.324081e-05,8.805445e-05,9.178486e-05,9.246420e-05,9.649215e-05,9.952514e-05,1.001596e-04,1.034870e-04,1.059174e-04,1.064941e-04,1.091996e-04,1.111120e-04,1.116214e-04,1.137766e-04,1.152462e-04,1.156814e-04,1.173512e-04,1.184441e-04,1.188006e-04,1.200434e-04,1.208178e-04,1.210929e-04,1.219613e-04,1.224677e-04,1.226604e-04,1.232013e-04,1.234842e-04,1.235946e-04,1.238501e-04,1.239479e-04,1.239772e-04,1.239849e-04,1.239309e-04,1.238813e-04,1.236745e-04,1.234976e-04,1.233718e-04,1.229803e-04,1.227056e-04,1.225067e-04,1.219571e-04,1.216059e-04,1.213374e-04,1.206533e-04,1.202439e-04,1.199098e-04,1.191120e-04,1.186602e-04,1.182645e-04,1.173716e-04,1.168907e-04,1.164373e-04,1.154657e-04,1.149670e-04,1.144603e-04,1.134244e-04,1.129174e-04,1.123614e-04,1.112741e-04,1.107666e-04,1.101655e-04,1.090381e-04,1.085367e-04,1.078944e-04,1.067368e-04,1.062469e-04,1.055674e-04,1.043882e-04,1.039142e-04,1.032012e-04,1.020080e-04,1.015534e-04,1.008105e-04,9.961011e-05,9.917754e-05,9.840827e-05,9.720634e-05,9.679788e-05,9.600556e-05,9.480710e-05,9.442426e-05,9.361204e-05,9.242137e-05,9.206517e-05,9.123603e-05,9.005687e-05,8.972792e-05,8.888468e-05,8.772019e-05,8.741876e-05,8.656407e-05,8.541694e-05,8.514302e-05,8.427936e-05,8.315185e-05,8.290519e-05,8.203488e-05,8.092888e-05,8.070903e-05,7.983423e-05,7.875129e-05,7.855763e-05,7.768036e-05,7.662174e-05,7.645352e-05,7.557566e-05,7.454236e-05,7.439872e-05,7.352201e-05,7.251479e-05,7.239482e-05,7.152085e-05,7.054029e-05,7.044297e-05,6.957322e-05,6.861971e-05,6.854402e-05,6.767983e-05,6.675362e-05,6.669849e-05,6.584111e-05,6.494229e-05,6.490662e-05,6.405718e-05,6.318576e-05,6.316847e-05,6.232799e-05,6.148385e-05,5.985242e-05,5.827370e-05,5.674705e-05,5.527176e-05,5.384701e-05,5.247189e-05,5.114546e-05,4.986670e-05,4.863457e-05,4.744798e-05,4.630584e-05,4.520701e-05,4.415037e-05,4.313478e-05,4.215911e-05,4.122221e-05,4.032298e-05,3.946028e-05,3.863303e-05,3.784012e-05,3.708050e-05,3.635310e-05,3.565690e-05,3.499087e-05,3.435404e-05,3.374544e-05,3.316411e-05,3.260913e-05,3.207960e-05,3.157465e-05,3.109341e-05,3.063506e-05,3.019879e-05,2.978381e-05,2.938936e-05,2.901469e-05,2.865908e-05,2.832184e-05,2.800228e-05,2.769975e-05,2.741361e-05,2.714323e-05,2.688802e-05,2.664741e-05,2.642081e-05,2.620769e-05,2.600752e-05,2.581979e-05,2.564400e-05
0.000000e+00,3.641185e-10,5.120161e-09,5.352129e-09,3.498050e-08,1.261714e-07,1.318649e-07,3.225377e-07,5.547619e-07,5.702043e-07,8.277289e-07,1.058157e-06,1.077754e-06,1.316196e-06,1.520253e-06,1.542309e-06,1.756180e-06,1.934503e-06,1.958118e-06,2.148499e-06,2.303286e-06,2.327720e-06,2.496181e-06,2.629666e-06,2.654283e-06,2.802427e-06,2.916751e-06,2.941008e-06,3.070416e-06,3.167595e-06,3.191033e-06,3.303232e-06,3.385137e-06,3.407375e-06,3.503808e-06,3.572150e-06,3.592870e-06,3.674887e-06,3.731232e-06,3.750179e-06,3.819061e-06,3.864857e-06,3.881834e-06,3.938780e-06,3.975323e-06,3.990175e-06,4.036284e-06,4.064747e-06,4.077358e-06,4.113643e-06,4.135081e-06,4.145372e-06,4.172770e-06,4.188133e-06,4.196055e-06,4.215433e-06,4.225574e-06,4.231105e-06,4.243260e-06,4.248942e-06,4.252083e-06,4.257748e-06,4.259655e-06,4.260426e-06,4.260278e-06,4.259018e-06,4.257458e-06,4.252116e-06,4.248232e-06,4.244393e-06,4.234426e-06,4.228399e-06,4.222345e-06,4.208275e-06,4.200532e-06,4.192336e-06,4.174642e-06,4.165558e-06,4.155303e-06,4.134423e-06,4.124328e-06,4.112102e-06,4.088437e-06,4.077622e-06,4.063518e-06,4.037434e-06,4.026150e-06,4.010266e-06,3.982096e-06,3.970565e-06,3.953000e-06,3.923049e-06,3.911458e-06,3.892313e-06,3.860859e-06,3.849372e-06,3.828749e-06,3.796044e-06,3.784798e-06,3.762800e-06,3.729072e-06,3.718185e-06,3.694912e-06,3.660369e-06,3.649938e-06,3.625490e-06,3.590320e-06,3.580426e-06,3.554902e-06,3.519275e-06,3.509982e-06,3.483478e-06,3.447546e-06,3.438907e-06,3.411516e-06,3.375418e-06,3.367470e-06,3.339284e-06,3.303143e-06,3.295917e-06,3.267023e-06,3.230951e-06,3.224464e-06,3.194949e-06,3.159043e-06,3.153308e-06,3.123253e-06,3.087601e-06,3.082622e-06,3.052106e-06,3.016786e-06,3.012561e-06,2.981659e-06,2.946740e-06,2.943260e-06,2.912045e-06,2.877587e-06,2.874841e-06,2.843381e-06,2.809437e-06,2.807409e-06,2.775768e-06,2.742384e-06,2.741055e-06,2.709295e-06,2.676510e-06,2.675858e-06,2.644038e-06,2.611885e-06,2.549195e-06,2.487834e-06,2.427842e-06,2.369250e-06,2.312083e-06,2.256358e-06,2.202087e-06,2.149278e-06,2.097931e-06,2.048047e-06,1.999618e-06,1.952635e-06,1.907087e-06,1.862958e-06,1.820232e-06,1.778890e-06,1.738911e-06,1.700272e-06,1.662949e-06,1.626919e-06,1.592154e-06,1.558630e-06,1.526318e-06,1.495190e-06,1.465220e-06,1.436379e-06,1.408638e-06,1.381969e-06,1.356344e-06,1.331735e-06,1.308113e-06,1.285450e-06,1.263719e-06,1.242892e-06,1.222943e-06,1.203845e-06,1.185571e-06,1.168096e-06,1.151395e-06,1.135442e-06,1.120215e-06,1.105687e-06,1.091838e-06,1.078642e-06,1.066080e-06,1.054127e-06,1.042765e-06,1.031970e-06,1.021725e-06
0.000000e+00,6.038613e-09,2.421638e-07,2.554325e-07,2.308685e-06,1.096256e-05,1.159275e-05,3.813907e-05,8.437242e-05,8.793570e-05,1.536362e-04,2.180214e-04,2.235916e-04,2.915952e-04,3.494880e-04,3.557077e-04,4.155316e-04,4.646456e-04,4.710917e-04,5.225209e-04,5.635700e-04,5.699821e-04,6.136476e-04,6.475222e-04,6.536937e-04,6.902979e-04,7.178690e-04,7.236369e-04,7.538851e-04,7.759730e-04,7.812130e-04,8.057864e-04,8.231446e-04,8.277653e-04,8.473036e-04,8.606115e-04,8.645489e-04,8.796419e-04,8.895044e-04,8.927170e-04,9.039020e-04,9.108531e-04,9.133182e-04,9.210808e-04,9.255896e-04,9.272993e-04,9.320771e-04,9.345534e-04,9.355123e-04,9.376978e-04,9.384984e-04,9.387212e-04,9.386657e-04,9.381003e-04,9.376096e-04,9.356271e-04,9.339635e-04,9.327881e-04,9.291587e-04,9.266277e-04,9.248011e-04,9.197742e-04,9.165739e-04,9.141333e-04,9.079306e-04,9.042301e-04,9.012152e-04,8.940335e-04,8.899768e-04,8.864288e-04,8.784422e-04,8.741511e-04,8.701121e-04,8.614748e-04,8.570515e-04,8.525640e-04,8.434117e-04,8.389416e-04,8.340477e-04,8.244999e-04,8.200536e-04,8.147947e-04,8.049565e-04,8.005915e-04,7.950082e-04,7.849713e-04,7.807342e-04,7.748657e-04,7.647100e-04,7.606377e-04,7.545217e-04,7.443169e-04,7.404380e-04,7.341107e-04,7.239169e-04,7.202527e-04,7.137484e-04,7.036174e-04,7.001833e-04,6.935347e-04,6.835106e-04,6.803169e-04,6.735546e-04,6.636752e-04,6.607275e-04,6.538804e-04,6.441774e-04,6.414779e-04,6.345728e-04,6.250727e-04,6.226205e-04,6.156825e-04,6.064071e-04,6.041986e-04,5.972509e-04,5.882180e-04,5.862476e-04,5.793118e-04,5.705353e-04,5.687959e-04,5.618915e-04,5.533825e-04,5.518654e-04,5.450105e-04,5.367771e-04,5.354728e-04,5.286838e-04,5.207316e-04,5.196296e-04,5.129215e-04,5.052540e-04,5.043435e-04,4.977296e-04,4.903485e-04,4.896183e-04,4.831107e-04,4.760160e-04,4.754546e-04,4.690640e-04,4.622543e-04,4.618502e-04,4.555862e-04,4.490589e-04,4.488007e-04,4.426716e-04,4.364232e-04,4.362996e-04,4.303126e-04,4.243386e-04,4.129080e-04,4.019969e-04,3.915935e-04,3.816849e-04,3.722580e-04,3.632988e-04,3.547932e-04,3.467267e-04,3.390849e-04,3.318529e-04,3.250163e-04,3.185605e-04,3.124710e-04,3.067336e-04,3.013343e-04,2.962593e-04,2.914951e-04,2.870286e-04,2.828468e-04,2.789372e-04,2.752876e-04,2.718862e-04,2.687215e-04,2.657823e-04,2.630579e-04,2.605379e-04,2.582122e-04,2.560712e-04,2.541054e-04,2.523059e-04,2.506640e-04,2.491714e-04,2.478201e-04,2.466023e-04,2.455107e-04,2.445383e-04,2.436782e-04,2.429238e-04,2.422691e-04,2.417080e-04,2.412347e-04,2.408440e-04,2.405305e-04,2.402892e-04,2.401155e-04,2.400048e-04,2.399527e-04,2.399552e-04,2.400083e-04
0.000000e+00,5.475011e-09,1.742171e-07,1.837285e-07,1.693990e-06,7.644924e-06,8.051592e-06,2.296622e-05,4.287285e-05,4.422264e-05,6.676331e-05,8.669263e-05,8.837097e-05,1.085570e-04,1.254667e-04,1.272733e-04,1.445678e-04,1.586633e-04,1.605067e-04,1.751599e-04,1.867858e-04,1.885962e-04,2.008826e-04,2.103620e-04,2.120839e-04,2.222631e-04,2.298898e-04,2.314807e-04,2.397949e-04,2.458336e-04,2.472618e-04,2.539346e-04,2.586211e-04,2.598643e-04,2.650993e-04,2.686414e-04,2.696853e-04,2.736657e-04,2.762455e-04,2.770815e-04,2.799714e-04,2.817471e-04,2.823719e-04,2.843172e-04,2.854255e-04,2.858398e-04,2.869699e-04,2.875288e-04,2.877361e-04,2.881653e-04,2.882763e-04,2.882827e-04,2.881120e-04,2.878618e-04,2.876752e-04,2.869933e-04,2.864560e-04,2.860858e-04,2.849709e-04,2.842096e-04,2.836657e-04,2.821864e-04,2.812546e-04,2.805480e-04,2.787645e-04,2.777072e-04,2.768490e-04,2.748139e-04,2.736693e-04,2.726707e-04,2.704301e-04,2.692299e-04,2.681021e-04,2.656962e-04,2.644668e-04,2.632211e-04,2.606849e-04,2.594480e-04,2.580952e-04,2.554591e-04,2.542327e-04,2.527832e-04,2.500736e-04,2.488722e-04,2.473361e-04,2.445759e-04,2.434111e-04,2.417980e-04,2.390070e-04,2.378878e-04,2.362070e-04,2.334020e-04,2.323356e-04,2.305956e-04,2.277913e-04,2.267828e-04,2.249920e-04,2.222006e-04,2.212539e-04,2.194199e-04,2.166521e-04,2.157695e-04,2.138995e-04,2.111642e-04,2.103472e-04,2.084479e-04,2.057525e-04,2.050017e-04,2.030794e-04,2.004301e-04,1.997454e-04,1.978058e-04,1.952077e-04,1.945882e-04,1.926368e-04,1.900941e-04,1.895385e-04,1.875803e-04,1.850961e-04,1.846029e-04,1.826423e-04,1.802194e-04,1.797866e-04,1.778279e-04,1.754682e-04,1.750936e-04,1.731405e-04,1.708453e-04,1.705266e-04,1.685827e-04,1.663530e-04,1.660876e-04,1.641562e-04,1.619924e-04,1.617778e-04,1.598616e-04,1.577639e-04,1.575975e-04,1.556992e-04,1.536675e-04,1.535466e-04,1.516686e-04,1.497024e-04,1.496245e-04,1.477688e-04,1.458676e-04,1.458299e-04,1.439985e-04,1.421614e-04,1.386173e-04,1.351955e-04,1.318937e-04,1.287095e-04,1.256404e-04,1.226837e-04,1.198366e-04,1.170963e-04,1.144601e-04,1.119250e-04,1.094882e-04,1.071468e-04,1.048979e-04,1.027388e-04,1.006666e-04,9.867864e-05,9.677216e-05,9.494450e-05,9.319308e-05,9.151535e-05,8.990881e-05,8.837103e-05,8.689964e-05,8.549234e-05,8.414687e-05,8.286105e-05,8.163275e-05,8.045991e-05,7.934052e-05,7.827264e-05,7.725439e-05,7.628393e-05,7.535950e-05,7.447937e-05,7.364190e-05,7.284547e-05,7.208852e-05,7.136955e-05,7.068710e-05,7.003977e-05,6.942619e-05,6.884505e-05,6.829507e-05,6.777503e-05,6.728374e-05,6.682004e-05,6.638284e-05,6.597106e-05,6.558366e-05
0.000000e+00,3.060339e-11,4.131948e-09,4.454519e-09,1.038705e-07,1.003250e-06,1.089692e-06,6.679511e-06,2.534464e-05,2.732261e-05,8.290835e-05,1.898230e-04,2.025691e-04,4.222352e-04,7.378993e-04,7.811950e-04,1.318584e-03,1.967735e-03,2.070329e-03,3.066796e-03,4.137402e-03,4.331205e-03,5.878757e-03,7.402826e-03,7.716388e-03,9.843014e-03,1.179675e-02,1.225014e-02,1.492273e-02,1.723829e-02,1.784024e-02,2.097769e-02,2.355945e-02,2.430676e-02,2.779683e-02,3.053734e-02,3.141598e-02,3.513183e-02,3.792491e-02,3.891228e-02,4.272617e-02,4.547611e-02,4.654376e-02,5.033719e-02,5.296434e-02,5.408072e-02,5.775095e-02,6.019405e-02,6.132695e-02,6.479032e-02,6.700662e-02,6.812517e-02,7.131807e-02,7.328182e-02,7.435794e-02,7.723593e-02,7.893595e-02,7.994529e-02,8.248126e-02,8.391828e-02,8.484079e-02,8.702243e-02,8.820620e-02,8.902613e-02,9.085313e-02,9.179990e-02,9.250577e-02,9.398734e-02,9.471766e-02,9.530191e-02,9.645423e-02,9.699105e-02,9.744959e-02,9.829372e-02,9.866095e-02,9.899268e-02,9.955279e-02,9.977422e-02,9.998053e-02,1.002825e-01,1.003809e-01,1.004652e-01,1.005354e-01,1.005322e-01,1.004994e-01,1.003638e-01,1.002787e-01,1.001349e-01,9.981876e-02,9.966923e-02,9.942139e-02,9.894858e-02,9.875030e-02,9.840590e-02,9.779874e-02,9.756537e-02,9.713223e-02,9.641130e-02,9.615463e-02,9.564066e-02,9.482480e-02,9.455487e-02,9.396798e-02,9.307425e-02,9.279952e-02,9.214747e-02,9.119126e-02,9.091872e-02,9.020906e-02,8.920413e-02,8.893951e-02,8.817952e-02,8.713810e-02,8.688597e-02,8.608260e-02,8.501555e-02,8.477949e-02,8.393934e-02,8.285620e-02,8.263893e-02,8.176823e-02,8.067739e-02,8.048088e-02,7.958550e-02,7.849426e-02,7.831983e-02,7.740526e-02,7.631997e-02,7.616841e-02,7.523976e-02,7.416590e-02,7.403752e-02,7.309955e-02,7.204181e-02,7.193655e-02,7.099366e-02,6.995604e-02,6.987351e-02,6.892978e-02,6.791565e-02,6.785520e-02,6.691435e-02,6.592653e-02,6.588731e-02,6.495277e-02,6.399358e-02,6.397455e-02,6.304944e-02,6.212077e-02,6.032904e-02,5.860174e-02,5.694066e-02,5.534702e-02,5.382158e-02,5.236470e-02,5.097634e-02,4.965614e-02,4.840347e-02,4.721744e-02,4.609695e-02,4.504072e-02,4.404730e-02,4.311512e-02,4.224246e-02,4.142752e-02,4.066843e-02,3.996322e-02,3.930990e-02,3.870644e-02,3.815075e-02,3.764075e-02,3.717433e-02,3.674940e-02,3.636384e-02,3.601559e-02,3.570257e-02,3.542276e-02,3.517414e-02,3.495475e-02,3.476266e-02,3.459599e-02,3.445291e-02,3.433165e-02,3.423048e-02,3.414773e-02,3.408182e-02,3.403120e-02,3.399439e-02,3.397000e-02,3.395668e-02,3.395316e-02,3.395824e-02,3.397079e-02,3.398973e-02,3.401408e-02,3.404288e-02,3.407529e-02,3.411050e-02
0.000000e+00,4.545872e-09,1.362254e-07,1.433374e-07,1.183805e-06,5.021579e-06,5.282194e-06,1.528321e-05,3.097435e-05,3.214995e-05,5.351849e-05,7.411508e-05,7.588251e-05,9.726232e-05,1.151606e-04,1.170662e-04,1.352156e-04,1.498636e-04,1.517685e-04,1.668146e-04,1.786215e-04,1.804488e-04,1.927639e-04,2.021545e-04,2.038491e-04,2.137890e-04,2.211414e-04,2.226637e-04,2.305486e-04,2.361916e-04,2.375146e-04,2.436283e-04,2.478457e-04,2.489522e-04,2.535446e-04,2.565795e-04,2.574603e-04,2.607504e-04,2.628104e-04,2.634625e-04,2.656413e-04,2.669032e-04,2.673283e-04,2.685623e-04,2.691762e-04,2.693797e-04,2.698140e-04,2.699066e-04,2.698967e-04,2.696570e-04,2.693356e-04,2.691223e-04,2.683178e-04,2.676724e-04,2.672674e-04,2.659932e-04,2.650997e-04,2.645153e-04,2.628530e-04,2.617745e-04,2.610239e-04,2.590444e-04,2.578334e-04,2.569297e-04,2.546939e-04,2.533940e-04,2.523503e-04,2.499109e-04,2.485578e-04,2.473870e-04,2.447892e-04,2.434123e-04,2.421270e-04,2.394093e-04,2.380324e-04,2.366446e-04,2.338404e-04,2.324825e-04,2.310038e-04,2.281413e-04,2.268175e-04,2.252589e-04,2.223620e-04,2.210842e-04,2.194559e-04,2.165451e-04,2.153222e-04,2.136340e-04,2.107264e-04,2.095652e-04,2.078261e-04,2.049363e-04,2.038416e-04,2.020600e-04,1.991999e-04,1.981748e-04,1.963586e-04,1.935382e-04,1.925845e-04,1.907409e-04,1.879684e-04,1.870867e-04,1.852224e-04,1.825045e-04,1.816948e-04,1.798159e-04,1.771578e-04,1.764191e-04,1.745312e-04,1.719372e-04,1.712682e-04,1.693764e-04,1.668496e-04,1.662483e-04,1.643573e-04,1.619001e-04,1.613642e-04,1.594783e-04,1.570922e-04,1.566194e-04,1.547422e-04,1.524284e-04,1.520158e-04,1.501510e-04,1.479099e-04,1.475547e-04,1.457052e-04,1.435370e-04,1.432363e-04,1.414050e-04,1.393092e-04,1.390601e-04,1.372495e-04,1.352256e-04,1.350251e-04,1.332373e-04,1.312844e-04,1.311297e-04,1.293667e-04,1.274837e-04,1.273718e-04,1.256353e-04,1.238210e-04,1.237492e-04,1.220406e-04,1.202936e-04,1.202590e-04,1.185797e-04,1.168985e-04,1.136647e-04,1.105543e-04,1.075641e-04,1.046907e-04,1.019307e-04,9.928088e-05,9.673769e-05,9.429778e-05,9.195781e-05,8.971447e-05,8.756452e-05,8.550474e-05,8.353202e-05,8.164328e-05,7.983554e-05,7.810588e-05,7.645146e-05,7.486952e-05,7.335738e-05,7.191244e-05,7.053218e-05,6.921415e-05,6.795599e-05,6.675542e-05,6.561021e-05,6.451823e-05,6.347741e-05,6.248576e-05,6.154136e-05,6.064233e-05,5.978690e-05,5.897332e-05,5.819994e-05,5.746514e-05,5.676737e-05,5.610515e-05,5.547702e-05,5.488161e-05,5.431758e-05,5.378364e-05,5.327856e-05,5.280114e-05,5.235023e-05,5.192473e-05,5.152358e-05,5.114574e-05,5.079023e-05,5.045611e-05,5.014245e-05
0.000000e+00,9.797938e-09,3.901764e-07,4.122671e-07,4.149417e-06,2.078208e-05,2.198436e-05,6.940525e-05,1.393864e-04,1.443254e-04,2.291078e-04,3.063656e-04,3.129361e-04,3.925990e-04,4.601841e-04,4.674503e-04,5.374689e-04,5.951862e-04,6.027802e-04,6.635469e-04,7.123050e-04,7.199443e-04,7.721531e-04,8.129061e-04,8.203573e-04,8.647418e-04,8.984162e-04,9.054909e-04,9.427865e-04,9.702565e-04,9.768070e-04,1.007726e-03,1.029798e-03,1.035712e-03,1.060927e-03,1.078335e-03,1.083529e-03,1.103665e-03,1.117064e-03,1.121480e-03,1.137112e-03,1.147089e-03,1.150691e-03,1.162342e-03,1.169414e-03,1.172183e-03,1.180327e-03,1.184952e-03,1.186883e-03,1.191951e-03,1.194528e-03,1.195628e-03,1.198007e-03,1.198889e-03,1.199175e-03,1.199215e-03,1.198708e-03,1.198205e-03,1.196219e-03,1.194589e-03,1.193328e-03,1.189599e-03,1.187077e-03,1.185094e-03,1.179874e-03,1.176659e-03,1.173995e-03,1.167509e-03,1.163773e-03,1.160469e-03,1.152920e-03,1.148809e-03,1.144909e-03,1.136477e-03,1.132116e-03,1.127665e-03,1.118510e-03,1.114004e-03,1.109047e-03,1.099311e-03,1.094750e-03,1.089333e-03,1.079142e-03,1.074598e-03,1.068766e-03,1.058232e-03,1.053766e-03,1.047563e-03,1.036784e-03,1.032445e-03,1.025914e-03,1.014975e-03,1.010805e-03,1.003986e-03,9.929642e-04,9.889915e-04,9.819259e-04,9.708868e-04,9.671358e-04,9.598611e-04,9.488622e-04,9.453503e-04,9.379026e-04,9.269937e-04,9.237325e-04,9.161463e-04,9.053701e-04,9.023669e-04,8.946744e-04,8.840676e-04,8.813254e-04,8.735574e-04,8.631508e-04,8.606694e-04,8.528545e-04,8.426743e-04,8.404507e-04,8.326155e-04,8.226832e-04,8.207123e-04,8.128817e-04,8.032150e-04,8.014895e-04,7.936865e-04,7.842995e-04,7.828109e-04,7.750567e-04,7.659604e-04,7.646988e-04,7.570128e-04,7.482156e-04,7.471702e-04,7.395703e-04,7.310781e-04,7.302373e-04,7.227399e-04,7.145563e-04,7.139083e-04,7.065279e-04,6.986548e-04,6.981874e-04,6.909372e-04,6.833749e-04,6.830757e-04,6.759676e-04,6.687148e-04,6.685713e-04,6.616159e-04,6.546702e-04,6.413658e-04,6.286500e-04,6.165129e-04,6.049434e-04,5.939293e-04,5.834573e-04,5.735134e-04,5.640831e-04,5.551512e-04,5.467025e-04,5.387212e-04,5.311915e-04,5.240976e-04,5.174235e-04,5.111533e-04,5.052713e-04,4.997619e-04,4.946097e-04,4.897996e-04,4.853168e-04,4.811466e-04,4.772749e-04,4.736877e-04,4.703714e-04,4.673130e-04,4.644995e-04,4.619186e-04,4.595581e-04,4.574065e-04,4.554524e-04,4.536850e-04,4.520937e-04,4.506686e-04,4.493998e-04,4.482780e-04,4.472941e-04,4.464397e-04,4.457064e-04,4.450864e-04,4.445720e-04,4.441560e-04,4.438316e-04,4.435922e-04,4.434315e-04,4.433435e-04,4.433226e-04,4.433633e-04,4.434607e-04,4.436098e-04
0.000000e+00,1.215122e-08,2.870477e-07,3.015055e-07,2.336847e-06,9.301672e-06,9.754989e-06,2.579270e-05,4.693717e-05,4.838070e-05,7.273115e-05,9.465042e-05,9.651320e-05,1.191297e-04,1.383933e-04,1.404697e-04,1.605391e-04,1.771767e-04,1.793728e-04,1.970135e-04,2.112645e-04,2.135061e-04,2.288964e-04,2.410067e-04,2.432313e-04,2.565575e-04,2.667636e-04,2.689196e-04,2.803621e-04,2.888835e-04,2.909288e-04,3.006621e-04,3.077022e-04,3.096033e-04,3.177921e-04,3.235358e-04,3.252666e-04,3.320637e-04,3.366781e-04,3.382185e-04,3.437650e-04,3.474000e-04,3.487354e-04,3.531607e-04,3.559499e-04,3.570704e-04,3.604928e-04,3.625555e-04,3.634549e-04,3.659823e-04,3.674242e-04,3.680996e-04,3.698302e-04,3.707452e-04,3.711964e-04,3.722195e-04,3.726905e-04,3.729198e-04,3.733164e-04,3.734163e-04,3.734277e-04,3.732713e-04,3.730645e-04,3.728637e-04,3.722208e-04,3.717636e-04,3.713576e-04,3.702883e-04,3.696301e-04,3.690266e-04,3.675854e-04,3.667691e-04,3.659769e-04,3.642128e-04,3.632759e-04,3.623042e-04,3.602615e-04,3.592364e-04,3.580948e-04,3.558134e-04,3.547279e-04,3.534263e-04,3.509421e-04,3.498203e-04,3.483687e-04,3.457138e-04,3.445762e-04,3.429847e-04,3.401881e-04,3.390521e-04,3.373306e-04,3.344183e-04,3.332985e-04,3.314570e-04,3.284521e-04,3.273607e-04,3.254089e-04,3.223322e-04,3.212794e-04,3.192267e-04,3.160967e-04,3.150906e-04,3.129463e-04,3.097793e-04,3.088266e-04,3.065996e-04,3.034104e-04,3.025162e-04,3.002150e-04,2.970165e-04,2.961847e-04,2.938177e-04,2.906213e-04,2.898548e-04,2.874298e-04,2.842456e-04,2.835463e-04,2.810709e-04,2.779077e-04,2.772767e-04,2.747581e-04,2.716237e-04,2.710613e-04,2.685063e-04,2.654075e-04,2.649135e-04,2.623287e-04,2.592713e-04,2.588450e-04,2.562365e-04,2.532255e-04,2.528658e-04,2.502393e-04,2.472791e-04,2.469845e-04,2.443455e-04,2.414396e-04,2.412084e-04,2.385621e-04,2.357136e-04,2.355436e-04,2.328948e-04,2.301062e-04,2.299953e-04,2.273485e-04,2.246220e-04,2.245678e-04,2.219271e-04,2.192643e-04,2.140874e-04,2.090392e-04,2.041210e-04,1.993337e-04,1.946776e-04,1.901527e-04,1.857585e-04,1.814944e-04,1.773594e-04,1.733522e-04,1.694713e-04,1.657152e-04,1.620819e-04,1.585696e-04,1.551761e-04,1.518994e-04,1.487373e-04,1.456873e-04,1.427472e-04,1.399146e-04,1.371871e-04,1.345622e-04,1.320375e-04,1.296105e-04,1.272788e-04,1.250400e-04,1.228917e-04,1.208313e-04,1.188566e-04,1.169653e-04,1.151548e-04,1.134231e-04,1.117677e-04,1.101865e-04,1.086773e-04,1.072378e-04,1.058661e-04,1.045599e-04,1.033172e-04,1.021360e-04,1.010144e-04,9.995042e-05,9.894212e-05,9.798766e-05,9.708524e-05,9.623307e-05,9.542940e-05,9.467253e-05,9.396079e-05
0.000000e+00,3.821607e-11,4.241362e-09,4.551158e-09,8.429048e-08,6.897486e-07,7.452784e-07,4.184368e-06,1.547304e-05,1.667102e-05,5.041334e-05,1.147900e-04,1.223860e-04,2.504281e-04,4.257816e-04,4.491331e-04,7.272370e-04,1.039442e-03,1.086809e-03,1.523806e-03,1.954917e-03,2.029408e-03,2.591606e-03,3.097610e-03,3.196733e-03,3.830735e-03,4.362673e-03,4.480132e-03,5.132655e-03,5.649695e-03,5.777633e-03,6.406139e-03,6.880268e-03,7.011005e-03,7.586717e-03,8.002237e-03,8.129256e-03,8.635905e-03,8.986734e-03,9.105050e-03,9.535981e-03,9.822574e-03,9.928713e-03,1.028383e-02,1.051057e-02,1.060235e-02,1.088561e-02,1.105886e-02,1.113515e-02,1.135267e-02,1.147955e-02,1.153994e-02,1.169878e-02,1.178636e-02,1.183100e-02,1.193838e-02,1.199324e-02,1.202265e-02,1.208548e-02,1.211356e-02,1.212848e-02,1.215316e-02,1.215966e-02,1.216098e-02,1.215328e-02,1.214268e-02,1.213136e-02,1.209642e-02,1.207254e-02,1.204959e-02,1.199192e-02,1.195797e-02,1.192439e-02,1.184794e-02,1.180664e-02,1.176342e-02,1.167162e-02,1.162519e-02,1.157329e-02,1.146911e-02,1.141941e-02,1.135974e-02,1.124576e-02,1.119429e-02,1.112772e-02,1.100615e-02,1.095415e-02,1.088151e-02,1.075425e-02,1.070270e-02,1.062476e-02,1.049344e-02,1.044313e-02,1.036062e-02,1.022664e-02,1.017817e-02,1.009177e-02,9.956309e-03,9.910160e-03,9.820495e-03,9.684564e-03,9.641076e-03,9.548728e-03,9.413183e-03,9.372603e-03,9.278108e-03,9.143667e-03,9.106158e-03,9.010010e-03,8.877274e-03,8.842929e-03,8.745583e-03,8.615049e-03,8.583905e-03,8.485775e-03,8.357853e-03,8.329899e-03,8.231365e-03,8.106385e-03,8.081576e-03,7.982981e-03,7.861210e-03,7.839469e-03,7.741125e-03,7.622771e-03,7.603998e-03,7.506188e-03,7.391408e-03,7.375485e-03,7.278462e-03,7.167372e-03,7.154167e-03,7.058159e-03,6.950838e-03,6.940211e-03,6.845421e-03,6.741916e-03,6.733719e-03,6.640328e-03,6.540659e-03,6.534740e-03,6.442908e-03,6.347072e-03,6.343279e-03,6.253147e-03,6.161123e-03,6.159302e-03,6.070993e-03,5.982744e-03,5.813511e-03,5.651487e-03,5.496538e-03,5.348512e-03,5.207247e-03,5.072572e-03,4.944307e-03,4.822268e-03,4.706266e-03,4.596111e-03,4.491610e-03,4.392571e-03,4.298803e-03,4.210117e-03,4.126323e-03,4.047238e-03,3.972679e-03,3.902467e-03,3.836427e-03,3.774389e-03,3.716185e-03,3.661652e-03,3.610632e-03,3.562970e-03,3.518516e-03,3.477124e-03,3.438654e-03,3.402967e-03,3.369933e-03,3.339421e-03,3.311308e-03,3.285474e-03,3.261803e-03,3.240182e-03,3.220503e-03,3.202663e-03,3.186559e-03,3.172096e-03,3.159180e-03,3.147721e-03,3.137632e-03,3.128831e-03,3.121237e-03,3.114775e-03,3.109370e-03,3.104952e-03,3.101454e-03,3.098810e-03,3.096959e-03
0.000000e+00,3.229434e-09,5.456236e-08,5.703783e-08,3.347948e-07,1.003239e-06,1.040564e-06,2.171755e-06,3.423847e-06,3.504365e-06,4.781247e-06,5.789480e-06,5.868658e-06,6.748709e-06,7.383024e-06,7.445296e-06,7.988478e-06,8.361368e-06,8.405563e-06,8.719618e-06,8.921951e-06,8.949730e-06,9.111527e-06,9.204072e-06,9.217801e-06,9.279030e-06,9.301707e-06,9.303810e-06,9.299169e-06,9.278164e-06,9.270842e-06,9.223518e-06,9.175902e-06,9.161018e-06,9.086458e-06,9.023312e-06,9.002385e-06,8.910877e-06,8.839381e-06,8.813624e-06,8.712003e-06,8.636771e-06,8.607137e-06,8.499942e-06,8.423923e-06,8.391162e-06,8.281401e-06,8.206456e-06,8.171147e-06,8.060797e-06,7.988072e-06,7.950672e-06,7.841032e-06,7.771214e-06,7.732084e-06,7.623995e-06,7.557472e-06,7.516899e-06,7.410900e-06,7.347863e-06,7.306081e-06,7.202507e-06,7.143024e-06,7.100226e-06,6.999275e-06,6.943334e-06,6.899681e-06,6.801462e-06,6.748999e-06,6.704629e-06,6.609189e-06,6.560111e-06,6.515143e-06,6.422489e-06,6.376683e-06,6.331223e-06,6.241336e-06,6.198678e-06,6.152819e-06,6.065662e-06,6.026023e-06,5.979852e-06,5.895375e-06,5.858624e-06,5.812217e-06,5.730365e-06,5.696372e-06,5.649801e-06,5.570512e-06,5.539149e-06,5.492481e-06,5.415691e-06,5.386833e-06,5.340127e-06,5.265772e-06,5.239297e-06,5.192610e-06,5.120624e-06,5.096414e-06,5.049798e-06,4.980116e-06,4.958057e-06,4.911562e-06,4.844119e-06,4.824101e-06,4.777772e-06,4.712504e-06,4.694421e-06,4.648301e-06,4.585145e-06,4.568895e-06,4.523023e-06,4.461919e-06,4.447403e-06,4.401817e-06,4.342702e-06,4.329828e-06,4.284561e-06,4.227378e-06,4.216055e-06,4.171139e-06,4.115830e-06,4.105972e-06,4.061436e-06,4.007944e-06,3.999468e-06,3.955340e-06,3.903611e-06,3.896438e-06,3.852743e-06,3.802722e-06,3.796776e-06,3.753537e-06,3.705174e-06,3.700382e-06,3.657620e-06,3.610864e-06,3.607157e-06,3.564892e-06,3.519693e-06,3.517005e-06,3.475254e-06,3.431564e-06,3.429832e-06,3.388612e-06,3.346385e-06,3.345548e-06,3.304873e-06,3.264063e-06,3.185294e-06,3.109154e-06,3.035565e-06,2.964447e-06,2.895724e-06,2.829321e-06,2.765166e-06,2.703190e-06,2.643326e-06,2.585505e-06,2.529667e-06,2.475747e-06,2.423686e-06,2.373426e-06,2.324910e-06,2.278083e-06,2.232893e-06,2.189287e-06,2.147215e-06,2.106630e-06,2.067484e-06,2.029731e-06,1.993327e-06,1.958229e-06,1.924397e-06,1.891789e-06,1.860366e-06,1.830091e-06,1.800927e-06,1.772839e-06,1.745791e-06,1.719751e-06,1.694685e-06,1.670564e-06,1.647356e-06,1.625031e-06,1.603561e-06,1.582919e-06,1.563078e-06,1.544011e-06,1.525693e-06,1.508100e-06,1.491207e-06,1.474993e-06,1.459435e-06,1.444511e-06,1.430199e-06,1.416481e-06,1.403336e-06
0.000000e+00,4.647644e-10,3.956164e-08,4.231474e-08,6.959661e-07,4.854374e-06,5.196653e-06,2.139925e-05,5.321036e-05,5.578957e-05,1.063480e-04,1.608513e-04,1.657532e-04,2.272055e-04,2.807732e-04,2.865436e-04,3.418227e-04,3.865651e-04,3.923769e-04,4.381459e-04,4.738213e-04,4.793187e-04,5.161734e-04,5.440150e-04,5.490118e-04,5.781344e-04,5.994457e-04,6.038306e-04,6.263750e-04,6.423149e-04,6.460253e-04,6.630228e-04,6.745841e-04,6.775918e-04,6.899410e-04,6.979610e-04,7.002633e-04,7.087369e-04,7.139142e-04,7.155259e-04,7.207817e-04,7.236952e-04,7.246437e-04,7.272403e-04,7.283684e-04,7.286892e-04,7.290987e-04,7.288347e-04,7.285685e-04,7.271900e-04,7.258565e-04,7.250471e-04,7.222167e-04,7.200773e-04,7.187693e-04,7.147696e-04,7.120388e-04,7.102771e-04,7.053459e-04,7.021975e-04,7.000258e-04,6.943624e-04,6.909368e-04,6.883972e-04,6.821683e-04,6.785781e-04,6.757107e-04,6.690562e-04,6.653912e-04,6.622337e-04,6.552698e-04,6.516007e-04,6.481885e-04,6.410118e-04,6.373940e-04,6.337598e-04,6.264508e-04,6.229271e-04,6.191012e-04,6.117261e-04,6.083287e-04,6.043390e-04,5.969524e-04,5.937053e-04,5.895773e-04,5.822238e-04,5.791441e-04,5.749011e-04,5.676172e-04,5.647162e-04,5.603796e-04,5.531946e-04,5.504794e-04,5.460683e-04,5.390058e-04,5.364798e-04,5.320117e-04,5.250902e-04,5.227540e-04,5.182448e-04,5.114787e-04,5.093307e-04,5.047946e-04,4.981948e-04,4.962316e-04,4.916814e-04,4.852561e-04,4.834730e-04,4.789202e-04,4.726750e-04,4.710662e-04,4.665213e-04,4.604599e-04,4.590189e-04,4.544911e-04,4.486155e-04,4.473353e-04,4.428330e-04,4.371437e-04,4.360170e-04,4.315475e-04,4.260442e-04,4.250634e-04,4.206333e-04,4.153145e-04,4.144720e-04,4.100872e-04,4.049508e-04,4.042389e-04,3.999045e-04,3.949477e-04,3.943589e-04,3.900796e-04,3.852991e-04,3.848259e-04,3.806056e-04,3.759980e-04,3.756331e-04,3.714754e-04,3.670367e-04,3.667730e-04,3.626809e-04,3.584070e-04,3.582377e-04,3.542139e-04,3.501006e-04,3.500191e-04,3.460658e-04,3.421086e-04,3.344978e-04,3.271778e-04,3.201401e-04,3.133760e-04,3.068770e-04,3.006344e-04,2.946401e-04,2.888857e-04,2.833633e-04,2.780648e-04,2.729827e-04,2.681094e-04,2.634377e-04,2.589603e-04,2.546705e-04,2.505614e-04,2.466265e-04,2.428596e-04,2.392544e-04,2.358050e-04,2.325058e-04,2.293510e-04,2.263354e-04,2.234536e-04,2.207008e-04,2.180719e-04,2.155623e-04,2.131674e-04,2.108829e-04,2.087044e-04,2.066280e-04,2.046495e-04,2.027653e-04,2.009716e-04,1.992648e-04,1.976415e-04,1.960985e-04,1.946324e-04,1.932403e-04,1.919191e-04,1.906659e-04,1.894781e-04,1.883530e-04,1.872879e-04,1.862804e-04,1.853281e-04,1.844287e-04,1.835800e-04,1.827798e-04
0.000000e+00,2.524603e-09,2.064401e-07,2.209654e-07,3.573041e-06,2.173682e-05,2.309190e-05,7.620634e-05,1.522883e-04,1.575889e-04,2.473730e-04,3.266715e-04,3.332775e-04,4.114230e-04,4.747290e-04,4.813654e-04,5.435844e-04,5.924561e-04,5.987192e-04,6.473897e-04,6.845122e-04,6.901661e-04,7.275695e-04,7.551871e-04,7.600781e-04,7.881316e-04,8.080965e-04,8.121355e-04,8.324641e-04,8.463132e-04,8.494620e-04,8.634464e-04,8.724507e-04,8.747088e-04,8.835162e-04,8.887190e-04,8.901129e-04,8.947222e-04,8.969741e-04,8.975478e-04,8.987751e-04,8.987645e-04,8.985730e-04,8.970948e-04,8.953761e-04,8.944801e-04,8.908553e-04,8.878724e-04,8.863351e-04,8.810237e-04,8.771308e-04,8.750152e-04,8.683951e-04,8.638731e-04,8.612405e-04,8.536212e-04,8.486920e-04,8.456006e-04,8.372356e-04,8.320729e-04,8.285777e-04,8.196734e-04,8.144127e-04,8.105646e-04,8.012891e-04,7.960347e-04,7.918808e-04,7.823702e-04,7.772018e-04,7.727849e-04,7.631495e-04,7.581267e-04,7.534860e-04,7.438142e-04,7.389807e-04,7.341517e-04,7.245143e-04,7.199015e-04,7.149161e-04,7.053694e-04,7.009983e-04,6.958853e-04,6.864736e-04,6.823577e-04,6.771429e-04,6.679007e-04,6.640469e-04,6.587536e-04,6.497073e-04,6.461182e-04,6.407668e-04,6.319364e-04,6.286105e-04,6.232198e-04,6.146198e-04,6.115529e-04,6.061391e-04,5.977798e-04,5.949655e-04,5.895434e-04,5.814313e-04,5.788618e-04,5.734444e-04,5.655833e-04,5.632496e-04,5.578484e-04,5.502398e-04,5.481320e-04,5.427574e-04,5.354009e-04,5.335087e-04,5.281697e-04,5.210634e-04,5.193764e-04,5.140811e-04,5.072219e-04,5.057293e-04,5.004849e-04,4.938688e-04,4.925600e-04,4.873727e-04,4.809951e-04,4.798597e-04,4.747349e-04,4.685905e-04,4.676181e-04,4.625608e-04,4.566440e-04,4.558246e-04,4.508389e-04,4.451438e-04,4.444678e-04,4.395573e-04,4.340778e-04,4.335357e-04,4.287037e-04,4.234335e-04,4.230164e-04,4.182656e-04,4.131984e-04,4.128975e-04,4.082303e-04,4.033598e-04,4.031670e-04,3.985852e-04,3.939050e-04,3.938124e-04,3.893177e-04,3.848217e-04,3.761828e-04,3.678841e-04,3.599138e-04,3.522607e-04,3.449137e-04,3.378619e-04,3.310949e-04,3.246024e-04,3.183745e-04,3.124015e-04,3.066741e-04,3.011831e-04,2.959197e-04,2.908755e-04,2.860422e-04,2.814118e-04,2.769766e-04,2.727292e-04,2.686622e-04,2.647688e-04,2.610423e-04,2.574760e-04,2.540638e-04,2.507996e-04,2.476774e-04,2.446918e-04,2.418371e-04,2.391082e-04,2.364999e-04,2.340075e-04,2.316260e-04,2.293511e-04,2.271782e-04,2.251032e-04,2.231220e-04,2.212306e-04,2.194252e-04,2.177023e-04,2.160582e-04,2.144895e-04,2.129931e-04,2.115658e-04,2.102045e-04,2.089063e-04,2.076684e-04,2.064881e-04,2.053628e-04,2.042901e-04,2.032675e-04
0.000000e+00,3.038112e-09,5.726828e-08,6.012455e-08,4.483730e-07,1.605564e-06,1.672998e-06,3.640951e-06,5.642989e-06,5.770002e-06,7.846308e-06,9.676736e-06,9.832087e-06,1.172235e-05,1.334279e-05,1.351819e-05,1.522197e-05,1.664715e-05,1.683622e-05,1.836354e-05,1.960951e-05,1.980656e-05,2.116792e-05,2.225035e-05,2.245034e-05,2.365656e-05,2.459073e-05,2.478933e-05,2.585142e-05,2.665205e-05,2.684557e-05,2.777448e-05,2.845545e-05,2.864081e-05,2.944716e-05,3.002143e-05,3.019607e-05,3.088999e-05,3.136951e-05,3.153132e-05,3.212238e-05,3.251806e-05,3.266538e-05,3.316251e-05,3.348431e-05,3.361582e-05,3.402734e-05,3.428428e-05,3.439899e-05,3.473263e-05,3.493290e-05,3.503007e-05,3.529302e-05,3.544397e-05,3.552313e-05,3.572202e-05,3.583031e-05,3.589120e-05,3.603214e-05,3.610375e-05,3.614628e-05,3.623494e-05,3.627522e-05,3.629945e-05,3.634105e-05,3.635479e-05,3.636094e-05,3.636027e-05,3.635174e-05,3.634013e-05,3.630160e-05,3.627463e-05,3.624568e-05,3.617334e-05,3.613130e-05,3.608551e-05,3.598309e-05,3.592899e-05,3.586692e-05,3.573782e-05,3.567432e-05,3.559658e-05,3.544394e-05,3.537336e-05,3.528062e-05,3.510731e-05,3.503169e-05,3.492465e-05,3.473327e-05,3.465441e-05,3.453377e-05,3.432673e-05,3.424619e-05,3.411269e-05,3.389217e-05,3.381130e-05,3.366568e-05,3.343367e-05,3.335362e-05,3.319662e-05,3.295495e-05,3.287671e-05,3.270908e-05,3.245939e-05,3.238380e-05,3.220627e-05,3.195007e-05,3.187783e-05,3.169113e-05,3.142978e-05,3.136147e-05,3.116631e-05,3.090104e-05,3.083713e-05,3.063423e-05,3.036615e-05,3.030703e-05,3.009705e-05,2.982717e-05,2.977312e-05,2.955674e-05,2.928597e-05,2.923721e-05,2.901506e-05,2.874421e-05,2.870089e-05,2.847360e-05,2.820341e-05,2.816562e-05,2.793378e-05,2.766489e-05,2.763268e-05,2.739688e-05,2.712987e-05,2.710323e-05,2.686401e-05,2.659941e-05,2.657830e-05,2.633619e-05,2.607445e-05,2.605879e-05,2.581429e-05,2.555582e-05,2.554551e-05,2.529911e-05,2.504425e-05,2.503917e-05,2.479132e-05,2.454038e-05,2.404967e-05,2.356751e-05,2.309428e-05,2.263031e-05,2.217588e-05,2.173120e-05,2.129645e-05,2.087176e-05,2.045723e-05,2.005290e-05,1.965882e-05,1.927497e-05,1.890133e-05,1.853786e-05,1.818447e-05,1.784110e-05,1.750763e-05,1.718395e-05,1.686992e-05,1.656541e-05,1.627027e-05,1.598435e-05,1.570747e-05,1.543946e-05,1.518016e-05,1.492938e-05,1.468695e-05,1.445267e-05,1.422637e-05,1.400786e-05,1.379694e-05,1.359344e-05,1.339716e-05,1.320793e-05,1.302555e-05,1.284984e-05,1.268062e-05,1.251772e-05,1.236095e-05,1.221014e-05,1.206513e-05,1.192573e-05,1.179178e-05,1.166313e-05,1.153960e-05,1.142105e-05,1.130731e-05,1.119824e-05,1.109369e-05
0.000000e+00,9.185453e-11,9.912135e-09,1.063797e-08,1.975319e-07,1.526230e-06,1.642506e-06,8.052995e-06,2.509407e-05,2.672096e-05,6.604240e-05,1.248868e-04,1.310544e-04,2.211386e-04,3.192493e-04,3.308950e-04,4.525024e-04,5.629273e-04,5.779414e-04,7.004067e-04,7.994810e-04,8.148915e-04,9.182089e-04,9.951252e-04,1.008714e-03,1.085926e-03,1.139526e-03,1.150163e-03,1.202240e-03,1.235867e-03,1.243237e-03,1.274350e-03,1.292529e-03,1.296777e-03,1.311666e-03,1.318594e-03,1.320074e-03,1.322955e-03,1.322031e-03,1.321156e-03,1.315420e-03,1.309220e-03,1.306395e-03,1.294642e-03,1.285052e-03,1.280642e-03,1.264812e-03,1.253185e-03,1.247505e-03,1.229026e-03,1.216314e-03,1.209632e-03,1.189544e-03,1.176410e-03,1.168948e-03,1.148003e-03,1.134902e-03,1.126843e-03,1.105581e-03,1.092815e-03,1.084311e-03,1.063113e-03,1.050878e-03,1.042053e-03,1.021187e-03,1.009603e-03,1.000559e-03,9.802084e-04,9.693447e-04,9.601640e-04,9.404507e-04,9.303372e-04,9.210877e-04,9.020899e-04,8.927317e-04,8.834687e-04,8.652322e-04,8.566170e-04,8.473857e-04,8.299326e-04,8.220366e-04,8.128740e-04,7.962099e-04,7.890022e-04,7.799385e-04,7.640573e-04,7.575027e-04,7.485626e-04,7.334498e-04,7.275105e-04,7.187139e-04,7.043492e-04,6.989867e-04,6.903497e-04,6.767091e-04,6.718850e-04,6.634206e-04,6.504777e-04,6.461545e-04,6.378732e-04,6.256003e-04,6.217418e-04,6.136517e-04,6.020204e-04,5.985918e-04,5.906992e-04,5.796811e-04,5.766494e-04,5.689590e-04,5.585259e-04,5.558598e-04,5.483750e-04,5.384995e-04,5.361696e-04,5.288926e-04,5.195477e-04,5.175263e-04,5.104583e-04,5.016181e-04,4.998794e-04,4.930208e-04,4.846602e-04,4.831799e-04,4.765303e-04,4.686252e-04,4.673809e-04,4.609392e-04,4.534666e-04,4.524371e-04,4.462019e-04,4.391397e-04,4.383056e-04,4.322747e-04,4.256018e-04,4.249449e-04,4.191160e-04,4.128123e-04,4.123158e-04,4.066860e-04,4.007324e-04,4.003806e-04,3.949469e-04,3.893251e-04,3.891036e-04,3.838627e-04,3.785553e-04,3.784507e-04,3.733990e-04,3.683896e-04,3.588893e-04,3.499207e-04,3.414558e-04,3.334682e-04,3.259329e-04,3.188259e-04,3.121247e-04,3.058077e-04,2.998546e-04,2.942461e-04,2.889638e-04,2.839902e-04,2.793090e-04,2.749044e-04,2.707615e-04,2.668665e-04,2.632057e-04,2.597667e-04,2.565375e-04,2.535066e-04,2.506633e-04,2.479974e-04,2.454992e-04,2.431595e-04,2.409696e-04,2.389213e-04,2.370068e-04,2.352187e-04,2.335500e-04,2.319941e-04,2.305446e-04,2.291956e-04,2.279415e-04,2.267769e-04,2.256967e-04,2.246962e-04,2.237708e-04,2.229162e-04,2.221284e-04,2.214035e-04,2.207378e-04,2.201279e-04,2.195705e-04,2.190626e-04,2.186011e-04,2.181834e-04,2.178068e-04,2.174688e-04,2.171671e-04
0.000000e+00,9.894619e-12,1.179381e-09,1.267179e-09,2.466957e-08,2.061223e-07,2.228271e-07,1.263663e-06,4.747354e-06,5.122469e-06,1.602847e-05,3.818740e-05,4.089442e-05,8.879264e-05,1.598558e-04,1.697144e-04,2.931455e-04,4.431593e-04,4.668601e-04,6.961144e-04,9.395711e-04,9.832671e-04,1.327764e-03,1.659177e-03,1.726395e-03,2.173723e-03,2.571903e-03,2.662610e-03,3.184750e-03,3.620402e-03,3.731197e-03,4.292815e-03,4.735648e-03,4.860672e-03,5.426336e-03,5.850006e-03,5.982110e-03,6.521180e-03,6.905864e-03,7.037703e-03,7.526834e-03,7.859851e-03,7.984728e-03,8.408490e-03,8.683706e-03,8.796110e-03,9.146378e-03,9.362944e-03,9.458796e-03,9.733479e-03,9.894388e-03,9.971062e-03,1.017261e-02,1.028332e-02,1.033952e-02,1.047346e-02,1.054076e-02,1.057630e-02,1.065002e-02,1.068113e-02,1.069669e-02,1.071843e-02,1.072043e-02,1.071731e-02,1.069542e-02,1.067483e-02,1.065475e-02,1.059723e-02,1.055981e-02,1.052469e-02,1.043886e-02,1.038952e-02,1.034136e-02,1.023370e-02,1.017650e-02,1.011728e-02,9.993375e-03,9.931595e-03,9.863170e-03,9.727732e-03,9.663945e-03,9.588034e-03,9.444950e-03,9.381127e-03,9.299268e-03,9.151693e-03,9.089301e-03,9.002854e-03,8.853309e-03,8.793406e-03,8.703552e-03,8.554018e-03,8.497334e-03,8.405086e-03,8.257086e-03,8.204091e-03,8.110307e-03,7.964993e-03,7.915959e-03,7.821359e-03,7.679586e-03,7.634636e-03,7.539822e-03,7.402202e-03,7.361349e-03,7.266824e-03,7.133777e-03,7.096953e-03,7.003132e-03,6.874935e-03,6.842011e-03,6.749230e-03,6.626041e-03,6.596852e-03,6.505383e-03,6.387267e-03,6.361621e-03,6.271687e-03,6.158640e-03,6.136334e-03,6.048111e-03,5.940082e-03,5.920901e-03,5.834533e-03,5.731438e-03,5.715168e-03,5.630766e-03,5.532488e-03,5.518918e-03,5.436568e-03,5.342971e-03,5.331894e-03,5.251661e-03,5.162598e-03,5.153814e-03,5.075746e-03,4.991063e-03,4.984381e-03,4.908511e-03,4.828048e-03,4.823286e-03,4.749634e-03,4.673229e-03,4.670214e-03,4.598791e-03,4.526280e-03,4.524850e-03,4.455657e-03,4.386879e-03,4.255995e-03,4.131892e-03,4.014276e-03,3.902858e-03,3.797359e-03,3.697509e-03,3.603045e-03,3.513718e-03,3.429283e-03,3.349508e-03,3.274168e-03,3.203048e-03,3.135942e-03,3.072652e-03,3.012987e-03,2.956767e-03,2.903818e-03,2.853974e-03,2.807075e-03,2.762969e-03,2.721513e-03,2.682567e-03,2.645999e-03,2.611682e-03,2.579498e-03,2.549330e-03,2.521069e-03,2.494611e-03,2.469857e-03,2.446712e-03,2.425085e-03,2.404892e-03,2.386050e-03,2.368481e-03,2.352112e-03,2.336873e-03,2.322697e-03,2.309519e-03,2.297281e-03,2.285925e-03,2.275396e-03,2.265642e-03,2.256616e-03,2.248271e-03,2.240563e-03,2.233450e-03,2.226893e-03,2.220854e-03,2.215299e-03
0.000000e+00,1.281642e-09,2.493654e-08,2.614456e-08,1.747307e-07,5.694561e-07,5.920013e-07,1.263160e-06,1.963095e-06,2.007458e-06,2.726930e-06,3.349532e-06,3.401807e-06,4.030363e-06,4.557725e-06,4.614148e-06,5.155294e-06,5.597968e-06,5.655987e-06,6.118373e-06,6.486977e-06,6.544535e-06,6.936479e-06,7.240686e-06,7.296140e-06,7.625371e-06,7.873882e-06,7.925948e-06,8.199561e-06,8.400124e-06,8.447822e-06,8.672259e-06,8.831717e-06,8.874322e-06,9.055384e-06,9.179747e-06,9.216744e-06,9.359630e-06,9.454157e-06,9.485203e-06,9.594559e-06,9.663838e-06,9.688734e-06,9.768703e-06,9.816726e-06,9.835390e-06,9.889662e-06,9.919896e-06,9.932339e-06,9.964194e-06,9.979646e-06,9.985955e-06,9.998307e-06,1.000158e-05,1.000190e-05,9.997340e-06,9.990673e-06,9.985203e-06,9.966030e-06,9.951361e-06,9.940329e-06,9.908578e-06,9.887569e-06,9.871228e-06,9.828703e-06,9.802778e-06,9.781402e-06,9.729698e-06,9.700073e-06,9.673946e-06,9.614475e-06,9.582186e-06,9.551598e-06,9.485607e-06,9.451530e-06,9.416776e-06,9.345362e-06,9.310238e-06,9.271609e-06,9.195743e-06,9.160194e-06,9.117976e-06,9.038510e-06,9.003054e-06,8.957530e-06,8.875213e-06,8.840281e-06,8.791723e-06,8.707213e-06,8.673157e-06,8.621828e-06,8.535703e-06,8.502807e-06,8.448962e-06,8.361725e-06,8.330219e-06,8.274100e-06,8.186191e-06,8.156254e-06,8.098093e-06,8.009895e-06,7.981664e-06,7.921680e-06,7.833525e-06,7.807102e-06,7.745503e-06,7.657680e-06,7.633134e-06,7.570117e-06,7.482873e-06,7.460249e-06,7.396001e-06,7.309549e-06,7.288868e-06,7.223563e-06,7.138086e-06,7.119353e-06,7.053155e-06,6.968805e-06,6.952008e-06,6.885070e-06,6.801980e-06,6.787094e-06,6.719560e-06,6.637837e-06,6.624827e-06,6.556832e-06,6.476566e-06,6.465389e-06,6.397057e-06,6.318322e-06,6.308927e-06,6.240375e-06,6.163229e-06,6.155559e-06,6.086897e-06,6.011387e-06,6.005382e-06,5.936708e-06,5.862868e-06,5.858464e-06,5.789873e-06,5.717728e-06,5.714860e-06,5.646437e-06,5.576003e-06,5.574603e-06,5.506429e-06,5.437715e-06,5.304203e-06,5.174062e-06,5.047280e-06,4.923834e-06,4.803696e-06,4.686829e-06,4.573193e-06,4.462744e-06,4.355432e-06,4.251207e-06,4.150013e-06,4.051794e-06,3.956493e-06,3.864051e-06,3.774409e-06,3.687504e-06,3.603278e-06,3.521670e-06,3.442618e-06,3.366063e-06,3.291945e-06,3.220204e-06,3.150781e-06,3.083620e-06,3.018663e-06,2.955853e-06,2.895135e-06,2.836456e-06,2.779761e-06,2.724999e-06,2.672118e-06,2.621068e-06,2.571801e-06,2.524267e-06,2.478420e-06,2.434214e-06,2.391604e-06,2.350547e-06,2.310999e-06,2.272920e-06,2.236267e-06,2.201002e-06,2.167085e-06,2.134479e-06,2.103147e-06,2.073053e-06,2.044161e-06,2.016438e-06,1.989850e-06
0.000000e+00,2.928982e-09,4.069445e-08,4.251635e-08,2.668190e-07,8.966216e-07,9.336515e-07,2.063829e-06,3.281485e-06,3.359833e-06,4.650058e-06,5.797657e-06,5.895401e-06,7.088764e-06,8.117656e-06,8.229353e-06,9.317779e-06,1.023325e-05,1.035506e-05,1.134240e-05,1.215254e-05,1.228107e-05,1.317245e-05,1.388568e-05,1.401793e-05,1.481895e-05,1.544361e-05,1.557693e-05,1.629332e-05,1.683743e-05,1.696952e-05,1.760694e-05,1.807809e-05,1.820695e-05,1.877090e-05,1.917619e-05,1.930010e-05,1.979584e-05,2.014188e-05,2.025936e-05,2.069189e-05,2.098479e-05,2.109461e-05,2.146868e-05,2.171408e-05,2.181521e-05,2.213530e-05,2.233838e-05,2.242998e-05,2.270029e-05,2.286583e-05,2.294722e-05,2.317171e-05,2.330405e-05,2.337470e-05,2.355709e-05,2.366021e-05,2.371974e-05,2.386351e-05,2.394103e-05,2.398919e-05,2.409758e-05,2.415282e-05,2.418943e-05,2.426549e-05,2.430145e-05,2.432646e-05,2.437302e-05,2.439241e-05,2.440585e-05,2.442557e-05,2.443085e-05,2.443281e-05,2.442816e-05,2.442155e-05,2.441219e-05,2.438546e-05,2.436897e-05,2.434851e-05,2.430185e-05,2.427727e-05,2.424598e-05,2.418138e-05,2.415030e-05,2.410850e-05,2.402780e-05,2.399167e-05,2.393970e-05,2.384462e-05,2.380472e-05,2.374295e-05,2.363508e-05,2.359254e-05,2.352137e-05,2.340218e-05,2.335800e-05,2.327786e-05,2.314872e-05,2.310377e-05,2.301509e-05,2.287726e-05,2.283232e-05,2.273553e-05,2.259018e-05,2.254591e-05,2.244148e-05,2.228969e-05,2.224667e-05,2.213505e-05,2.197780e-05,2.193652e-05,2.181818e-05,2.165639e-05,2.161726e-05,2.149265e-05,2.132716e-05,2.129054e-05,2.116012e-05,2.099170e-05,2.095787e-05,2.082209e-05,2.065146e-05,2.062064e-05,2.047996e-05,2.030775e-05,2.028014e-05,2.013498e-05,1.996179e-05,1.993751e-05,1.978831e-05,1.961468e-05,1.959384e-05,1.944102e-05,1.926744e-05,1.925009e-05,1.909406e-05,1.892098e-05,1.890715e-05,1.874830e-05,1.857612e-05,1.856581e-05,1.840454e-05,1.823363e-05,1.822681e-05,1.806348e-05,1.789417e-05,1.789079e-05,1.772578e-05,1.755836e-05,1.723004e-05,1.690630e-05,1.658756e-05,1.627419e-05,1.596651e-05,1.566482e-05,1.536936e-05,1.508033e-05,1.479791e-05,1.452226e-05,1.425348e-05,1.399167e-05,1.373690e-05,1.348921e-05,1.324864e-05,1.301519e-05,1.278885e-05,1.256960e-05,1.235740e-05,1.215221e-05,1.195396e-05,1.176258e-05,1.157799e-05,1.140010e-05,1.122882e-05,1.106404e-05,1.090566e-05,1.075355e-05,1.060760e-05,1.046769e-05,1.033369e-05,1.020548e-05,1.008292e-05,9.965872e-06,9.854211e-06,9.747797e-06,9.646495e-06,9.550166e-06,9.458674e-06,9.371880e-06,9.289647e-06,9.211839e-06,9.138319e-06,9.068954e-06,9.003608e-06,8.942149e-06,8.884447e-06,8.830370e-06,8.779792e-06
0.000000e+00,2.078551e-09,4.451091e-08,4.675169e-08,3.358125e-07,1.114088e-06,1.157392e-06,2.370764e-06,3.540079e-06,3.612528e-06,4.769738e-06,5.748382e-06,5.829652e-06,6.795855e-06,7.590207e-06,7.674271e-06,8.470903e-06,9.108836e-06,9.191470e-06,9.841381e-06,1.034770e-05,1.042574e-05,1.094938e-05,1.134563e-05,1.141683e-05,1.183236e-05,1.213717e-05,1.219998e-05,1.252340e-05,1.275267e-05,1.280612e-05,1.305137e-05,1.321861e-05,1.326218e-05,1.344131e-05,1.355784e-05,1.359132e-05,1.371460e-05,1.378993e-05,1.381336e-05,1.388964e-05,1.393171e-05,1.394534e-05,1.398224e-05,1.399777e-05,1.400199e-05,1.400606e-05,1.400058e-05,1.399584e-05,1.397260e-05,1.395070e-05,1.393751e-05,1.389165e-05,1.385712e-05,1.383603e-05,1.377156e-05,1.372753e-05,1.369910e-05,1.361942e-05,1.356846e-05,1.353325e-05,1.344125e-05,1.338546e-05,1.334403e-05,1.324217e-05,1.318329e-05,1.313617e-05,1.302652e-05,1.296595e-05,1.291366e-05,1.279798e-05,1.273685e-05,1.267987e-05,1.255966e-05,1.249887e-05,1.243767e-05,1.231418e-05,1.225446e-05,1.218947e-05,1.206376e-05,1.200567e-05,1.193730e-05,1.181027e-05,1.175424e-05,1.168286e-05,1.155525e-05,1.150163e-05,1.142759e-05,1.130002e-05,1.124905e-05,1.117268e-05,1.104567e-05,1.099752e-05,1.091912e-05,1.079311e-05,1.074789e-05,1.066773e-05,1.054306e-05,1.050085e-05,1.041918e-05,1.029616e-05,1.025698e-05,1.017404e-05,1.005288e-05,1.001673e-05,9.932739e-06,9.813645e-06,9.780492e-06,9.695639e-06,9.578756e-06,9.548553e-06,9.463022e-06,9.348465e-06,9.321148e-06,9.235104e-06,9.122960e-06,9.098453e-06,9.012047e-06,8.902379e-06,8.880596e-06,8.793968e-06,8.686821e-06,8.667669e-06,8.580945e-06,8.476345e-06,8.459727e-06,8.373023e-06,8.270982e-06,8.256799e-06,8.170222e-06,8.070740e-06,8.058888e-06,7.972535e-06,7.875603e-06,7.865979e-06,7.779939e-06,7.685539e-06,7.678041e-06,7.592396e-06,7.500502e-06,7.495028e-06,7.409852e-06,7.320435e-06,7.316884e-06,7.232244e-06,7.145269e-06,7.143542e-06,7.059501e-06,6.974929e-06,6.810966e-06,6.651569e-06,6.496651e-06,6.346121e-06,6.199886e-06,6.057854e-06,5.919931e-06,5.786021e-06,5.656031e-06,5.529866e-06,5.407434e-06,5.288642e-06,5.173399e-06,5.061615e-06,4.953203e-06,4.848075e-06,4.746146e-06,4.647333e-06,4.551552e-06,4.458725e-06,4.368773e-06,4.281619e-06,4.197187e-06,4.115405e-06,4.036201e-06,3.959505e-06,3.885250e-06,3.813368e-06,3.743795e-06,3.676468e-06,3.611325e-06,3.548306e-06,3.487353e-06,3.428408e-06,3.371417e-06,3.316324e-06,3.263077e-06,3.211625e-06,3.161918e-06,3.113908e-06,3.067546e-06,3.022787e-06,2.979586e-06,2.937899e-06,2.897684e-06,2.858898e-06,2.821502e-06,2.785456e-06,2.750723e-06
0.000000e+00,1.773790e-09,1.274042e-07,1.357619e-07,1.860709e-06,1.140004e-05,1.215644e-05,4.721549e-05,1.159091e-04,1.214875e-04,2.305150e-04,3.467247e-04,3.571024e-04,4.863815e-04,5.983466e-04,6.103987e-04,7.260678e-04,8.203151e-04,8.326197e-04,9.301665e-04,1.007149e-03,1.019097e-03,1.099864e-03,1.161729e-03,1.172918e-03,1.238692e-03,1.287490e-03,1.297607e-03,1.350065e-03,1.387647e-03,1.396459e-03,1.437168e-03,1.465211e-03,1.472559e-03,1.502985e-03,1.522999e-03,1.528788e-03,1.550292e-03,1.563621e-03,1.567809e-03,1.581636e-03,1.589464e-03,1.592053e-03,1.599326e-03,1.602681e-03,1.603706e-03,1.605428e-03,1.605195e-03,1.604714e-03,1.601773e-03,1.598706e-03,1.596798e-03,1.589972e-03,1.584710e-03,1.581464e-03,1.571434e-03,1.564516e-03,1.560030e-03,1.547391e-03,1.539267e-03,1.533644e-03,1.518909e-03,1.509954e-03,1.503298e-03,1.486914e-03,1.477438e-03,1.469853e-03,1.452204e-03,1.442457e-03,1.434047e-03,1.415459e-03,1.405646e-03,1.396509e-03,1.377263e-03,1.367548e-03,1.357781e-03,1.338116e-03,1.328627e-03,1.318319e-03,1.298437e-03,1.289275e-03,1.278512e-03,1.258584e-03,1.249824e-03,1.238688e-03,1.218856e-03,1.210553e-03,1.199118e-03,1.179500e-03,1.171693e-03,1.160028e-03,1.140723e-03,1.133435e-03,1.121605e-03,1.102691e-03,1.095936e-03,1.083999e-03,1.065541e-03,1.059321e-03,1.047331e-03,1.029379e-03,1.023691e-03,1.011695e-03,9.942883e-04,9.891211e-04,9.771647e-04,9.603307e-04,9.556698e-04,9.437914e-04,9.275509e-04,9.233777e-04,9.116124e-04,8.959783e-04,8.922716e-04,8.806502e-04,8.656293e-04,8.623660e-04,8.509159e-04,8.365098e-04,8.336654e-04,8.224104e-04,8.086166e-04,8.061660e-04,7.951267e-04,7.819388e-04,7.798566e-04,7.690505e-04,7.564593e-04,7.547201e-04,7.441622e-04,7.321561e-04,7.307348e-04,7.204375e-04,7.090029e-04,7.078749e-04,6.978485e-04,6.869702e-04,6.861118e-04,6.763642e-04,6.660260e-04,6.654142e-04,6.559515e-04,6.461363e-04,6.457491e-04,6.365759e-04,6.272659e-04,6.270822e-04,6.182016e-04,6.093784e-04,5.926023e-04,5.767178e-04,5.616893e-04,5.474812e-04,5.340584e-04,5.213866e-04,5.094321e-04,4.981621e-04,4.875445e-04,4.775484e-04,4.681437e-04,4.593015e-04,4.509939e-04,4.431939e-04,4.358758e-04,4.290146e-04,4.225867e-04,4.165693e-04,4.109405e-04,4.056796e-04,4.007668e-04,3.961830e-04,3.919102e-04,3.879311e-04,3.842294e-04,3.807895e-04,3.775965e-04,3.746363e-04,3.718955e-04,3.693613e-04,3.670217e-04,3.648652e-04,3.628809e-04,3.610585e-04,3.593881e-04,3.578605e-04,3.564669e-04,3.551989e-04,3.540487e-04,3.530088e-04,3.520721e-04,3.512319e-04,3.504820e-04,3.498162e-04,3.492290e-04,3.487150e-04,3.482691e-04,3.478865e-04,3.475629e-04
0.000000e+00,8.362404e-09,2.020817e-07,2.117918e-07,1.487540e-06,5.791233e-06,6.077570e-06,1.700224e-05,3.458934e-05,3.594550e-05,6.180920e-05,8.898235e-05,9.140290e-05,1.214381e-04,1.471964e-04,1.499520e-04,1.762136e-04,1.973442e-04,2.000836e-04,2.216289e-04,2.383960e-04,2.409779e-04,2.582739e-04,2.713205e-04,2.736595e-04,2.872722e-04,2.972031e-04,2.992420e-04,3.096921e-04,3.170358e-04,3.187380e-04,3.264879e-04,3.316986e-04,3.330432e-04,3.384987e-04,3.419641e-04,3.429430e-04,3.464585e-04,3.485075e-04,3.491222e-04,3.510058e-04,3.519166e-04,3.521760e-04,3.526949e-04,3.527016e-04,3.526201e-04,3.520055e-04,3.513046e-04,3.509007e-04,3.493520e-04,3.481077e-04,3.474024e-04,3.450916e-04,3.434403e-04,3.424565e-04,3.395313e-04,3.375860e-04,3.363477e-04,3.329347e-04,3.307883e-04,3.293196e-04,3.255273e-04,3.232557e-04,3.215808e-04,3.175014e-04,3.151662e-04,3.133086e-04,3.090206e-04,3.066713e-04,3.046539e-04,3.002237e-04,2.978996e-04,2.957441e-04,2.912278e-04,2.889596e-04,2.866865e-04,2.821311e-04,2.799424e-04,2.775713e-04,2.730160e-04,2.709243e-04,2.684732e-04,2.639505e-04,2.619685e-04,2.594543e-04,2.549908e-04,2.531272e-04,2.505653e-04,2.461827e-04,2.444427e-04,2.418473e-04,2.375631e-04,2.359492e-04,2.333334e-04,2.291612e-04,2.276739e-04,2.250493e-04,2.209999e-04,2.196377e-04,2.170149e-04,2.130962e-04,2.118564e-04,2.092450e-04,2.054626e-04,2.043415e-04,2.017500e-04,1.981077e-04,1.971006e-04,1.945364e-04,1.910365e-04,1.901382e-04,1.876081e-04,1.842513e-04,1.834563e-04,1.809660e-04,1.777520e-04,1.770545e-04,1.746090e-04,1.715366e-04,1.709306e-04,1.685343e-04,1.656015e-04,1.650809e-04,1.627375e-04,1.599416e-04,1.595005e-04,1.572130e-04,1.545510e-04,1.541836e-04,1.519546e-04,1.494229e-04,1.491234e-04,1.469550e-04,1.445498e-04,1.443127e-04,1.422064e-04,1.399238e-04,1.397437e-04,1.377008e-04,1.355365e-04,1.354085e-04,1.334298e-04,1.313795e-04,1.312987e-04,1.293847e-04,1.274441e-04,1.274059e-04,1.255568e-04,1.237216e-04,1.202375e-04,1.169453e-04,1.138365e-04,1.109032e-04,1.081374e-04,1.055315e-04,1.030778e-04,1.007691e-04,9.859843e-05,9.655893e-05,9.464408e-05,9.284757e-05,9.116337e-05,8.958567e-05,8.810891e-05,8.672778e-05,8.543720e-05,8.423231e-05,8.310848e-05,8.206128e-05,8.108651e-05,8.018016e-05,7.933840e-05,7.855761e-05,7.783433e-05,7.716529e-05,7.654735e-05,7.597758e-05,7.545314e-05,7.497139e-05,7.452978e-05,7.412592e-05,7.375755e-05,7.342250e-05,7.311873e-05,7.284433e-05,7.259745e-05,7.237637e-05,7.217945e-05,7.200515e-05,7.185199e-05,7.171860e-05,7.160367e-05,7.150596e-05,7.142431e-05,7.135761e-05,7.130483e-05,7.126498e-05,7.123713e-05
0.000000e+00,6.706159e-09,1.301411e-07,1.363063e-07,9.199077e-07,3.290899e-06,3.439254e-06,8.602551e-06,1.561853e-05,1.611044e-05,2.450984e-05,3.197942e-05,3.260263e-05,3.998216e-05,4.596554e-05,4.659272e-05,5.246834e-05,5.707267e-05,5.766164e-05,6.222668e-05,6.568970e-05,6.621524e-05,6.967594e-05,7.220826e-05,7.265412e-05,7.519200e-05,7.697207e-05,7.732875e-05,7.910067e-05,8.027818e-05,8.054133e-05,8.168170e-05,8.238115e-05,8.255030e-05,8.317338e-05,8.349762e-05,8.357504e-05,8.377741e-05,8.381085e-05,8.380077e-05,8.366368e-05,8.347523e-05,8.338314e-05,8.297469e-05,8.262032e-05,8.245253e-05,8.182963e-05,8.135460e-05,8.111782e-05,8.032790e-05,7.976857e-05,7.946968e-05,7.855210e-05,7.793750e-05,7.758333e-05,7.657080e-05,7.592402e-05,7.552120e-05,7.444062e-05,7.377972e-05,7.333459e-05,7.220817e-05,7.154731e-05,7.106589e-05,6.991185e-05,6.926184e-05,6.874974e-05,6.758288e-05,6.695188e-05,6.641428e-05,6.524662e-05,6.464061e-05,6.408229e-05,6.292345e-05,6.234668e-05,6.177198e-05,6.062960e-05,6.008493e-05,5.949779e-05,5.837787e-05,5.786703e-05,5.727100e-05,5.617819e-05,5.570203e-05,5.510031e-05,5.403812e-05,5.359683e-05,5.299226e-05,5.196327e-05,5.155651e-05,5.095161e-05,4.995764e-05,4.958463e-05,4.898164e-05,4.802385e-05,4.768354e-05,4.708443e-05,4.616349e-05,4.585459e-05,4.526108e-05,4.437722e-05,4.409830e-05,4.351188e-05,4.266501e-05,4.241453e-05,4.183650e-05,4.102624e-05,4.080262e-05,4.023407e-05,3.945984e-05,3.926145e-05,3.870334e-05,3.796437e-05,3.778961e-05,3.724272e-05,3.653814e-05,3.638540e-05,3.585039e-05,3.517922e-05,3.504695e-05,3.452437e-05,3.388555e-05,3.377225e-05,3.326250e-05,3.265494e-05,3.255915e-05,3.206259e-05,3.148515e-05,3.140548e-05,3.092235e-05,3.037389e-05,3.030902e-05,2.983949e-05,2.931886e-05,2.926754e-05,2.881171e-05,2.831777e-05,2.827882e-05,2.783675e-05,2.736836e-05,2.734066e-05,2.691234e-05,2.646841e-05,2.645090e-05,2.603628e-05,2.561571e-05,2.560742e-05,2.520642e-05,2.480816e-05,2.405112e-05,2.333435e-05,2.265597e-05,2.201419e-05,2.140724e-05,2.083346e-05,2.029124e-05,1.977903e-05,1.929537e-05,1.883883e-05,1.840807e-05,1.800179e-05,1.761878e-05,1.725784e-05,1.691787e-05,1.659779e-05,1.629659e-05,1.601330e-05,1.574699e-05,1.549680e-05,1.526188e-05,1.504145e-05,1.483474e-05,1.464103e-05,1.445965e-05,1.428995e-05,1.413130e-05,1.398312e-05,1.384486e-05,1.371598e-05,1.359598e-05,1.348439e-05,1.338074e-05,1.328462e-05,1.319560e-05,1.311330e-05,1.303736e-05,1.296741e-05,1.290313e-05,1.284421e-05,1.279033e-05,1.274122e-05,1.269661e-05,1.265625e-05,1.261987e-05,1.258727e-05,1.255821e-05,1.253250e-05,1.250993e-05
0.000000e+00,4.839069e-10,7.432946e-09,7.769284e-09,4.748323e-08,1.530164e-07,1.591840e-07,3.532870e-07,5.753818e-07,5.899053e-07,8.297908e-07,1.042279e-06,1.060297e-06,1.279073e-06,1.465771e-06,1.485925e-06,1.681103e-06,1.843521e-06,1.865009e-06,2.038084e-06,2.178546e-06,2.200691e-06,2.353153e-06,2.473680e-06,2.495879e-06,2.629273e-06,2.731972e-06,2.753734e-06,2.869652e-06,2.956492e-06,2.977408e-06,3.077368e-06,3.150153e-06,3.169886e-06,3.255306e-06,3.315681e-06,3.333957e-06,3.406158e-06,3.455614e-06,3.472214e-06,3.532419e-06,3.572303e-06,3.587056e-06,3.636396e-06,3.667922e-06,3.680700e-06,3.720218e-06,3.744479e-06,3.755189e-06,3.785844e-06,3.803820e-06,3.812404e-06,3.835078e-06,3.847646e-06,3.854071e-06,3.869576e-06,3.877519e-06,3.881778e-06,3.890855e-06,3.894873e-06,3.896978e-06,3.900309e-06,3.901023e-06,3.901004e-06,3.899212e-06,3.897176e-06,3.895076e-06,3.888731e-06,3.884433e-06,3.880308e-06,3.869932e-06,3.863804e-06,3.857721e-06,3.843788e-06,3.836210e-06,3.828243e-06,3.811188e-06,3.802495e-06,3.792722e-06,3.772941e-06,3.763424e-06,3.751932e-06,3.729784e-06,3.719698e-06,3.706576e-06,3.682387e-06,3.671953e-06,3.657291e-06,3.631360e-06,3.620768e-06,3.604659e-06,3.577255e-06,3.566669e-06,3.549207e-06,3.520573e-06,3.510132e-06,3.491409e-06,3.461768e-06,3.451590e-06,3.431698e-06,3.401249e-06,3.391432e-06,3.370464e-06,3.339386e-06,3.330011e-06,3.308056e-06,3.276512e-06,3.267646e-06,3.244791e-06,3.212927e-06,3.204623e-06,3.180952e-06,3.148898e-06,3.141197e-06,3.116794e-06,3.084668e-06,3.077599e-06,3.052544e-06,3.020449e-06,3.014036e-06,2.988405e-06,2.956434e-06,2.950689e-06,2.924557e-06,2.892793e-06,2.887722e-06,2.861159e-06,2.829674e-06,2.825279e-06,2.798352e-06,2.767210e-06,2.763486e-06,2.736261e-06,2.705518e-06,2.702455e-06,2.674993e-06,2.644697e-06,2.642284e-06,2.614642e-06,2.584836e-06,2.583056e-06,2.555289e-06,2.526009e-06,2.524844e-06,2.497005e-06,2.468281e-06,2.467710e-06,2.439847e-06,2.411706e-06,2.356876e-06,2.303254e-06,2.250870e-06,2.199745e-06,2.149894e-06,2.101330e-06,2.054057e-06,2.008077e-06,1.963389e-06,1.919987e-06,1.877862e-06,1.837004e-06,1.797400e-06,1.759033e-06,1.721888e-06,1.685945e-06,1.651184e-06,1.617585e-06,1.585125e-06,1.553781e-06,1.523530e-06,1.494349e-06,1.466212e-06,1.439095e-06,1.412973e-06,1.387822e-06,1.363615e-06,1.340329e-06,1.317939e-06,1.296420e-06,1.275747e-06,1.255896e-06,1.236844e-06,1.218567e-06,1.201041e-06,1.184244e-06,1.168154e-06,1.152747e-06,1.138003e-06,1.123901e-06,1.110419e-06,1.097537e-06,1.085236e-06,1.073496e-06,1.062298e-06,1.051623e-06,1.041455e-06,1.031774e-06,1.022564e-06
0.000000e+00,4.145548e-09,6.071167e-08,6.337458e-08,3.741767e-07,1.229644e-06,1.281452e-06,3.034571e-06,5.369659e-06,5.533875e-06,8.373007e-06,1.096063e-05,1.117915e-05,1.379740e-05,1.596439e-05,1.619404e-05,1.837142e-05,2.011497e-05,2.034073e-05,2.211497e-05,2.349471e-05,2.370713e-05,2.512976e-05,2.620251e-05,2.639481e-05,2.751361e-05,2.832944e-05,2.849688e-05,2.935470e-05,2.995701e-05,3.009654e-05,3.073127e-05,3.115739e-05,3.126723e-05,3.171217e-05,3.199394e-05,3.207336e-05,3.235756e-05,3.252202e-05,3.257107e-05,3.271978e-05,3.278980e-05,3.280914e-05,3.284424e-05,3.283907e-05,3.282980e-05,3.277022e-05,3.270600e-05,3.266956e-05,3.253162e-05,3.242188e-05,3.235991e-05,3.215769e-05,3.201365e-05,3.192796e-05,3.167353e-05,3.150453e-05,3.139700e-05,3.110075e-05,3.091447e-05,3.078701e-05,3.045781e-05,3.026056e-05,3.011508e-05,2.976055e-05,2.955747e-05,2.939584e-05,2.902244e-05,2.881768e-05,2.864172e-05,2.825495e-05,2.805183e-05,2.786329e-05,2.746779e-05,2.726892e-05,2.706945e-05,2.666916e-05,2.647657e-05,2.626773e-05,2.586593e-05,2.568116e-05,2.546442e-05,2.506384e-05,2.488803e-05,2.466476e-05,2.426768e-05,2.410163e-05,2.387309e-05,2.348139e-05,2.332561e-05,2.309297e-05,2.270817e-05,2.256296e-05,2.232730e-05,2.195063e-05,2.181610e-05,2.157840e-05,2.121083e-05,2.108695e-05,2.084811e-05,2.049039e-05,2.037701e-05,2.013783e-05,1.979054e-05,1.968740e-05,1.944863e-05,1.911217e-05,1.901896e-05,1.878125e-05,1.845591e-05,1.837224e-05,1.813619e-05,1.782213e-05,1.774760e-05,1.751374e-05,1.721102e-05,1.714519e-05,1.691398e-05,1.662260e-05,1.656500e-05,1.633687e-05,1.605675e-05,1.600692e-05,1.578221e-05,1.551323e-05,1.547070e-05,1.524974e-05,1.499170e-05,1.495601e-05,1.473907e-05,1.449177e-05,1.446245e-05,1.424976e-05,1.401297e-05,1.398957e-05,1.378133e-05,1.355478e-05,1.353687e-05,1.333324e-05,1.311664e-05,1.310380e-05,1.290492e-05,1.269799e-05,1.268981e-05,1.249578e-05,1.229821e-05,1.229431e-05,1.210521e-05,1.191670e-05,1.155639e-05,1.121277e-05,1.088525e-05,1.057322e-05,1.027610e-05,9.993313e-06,9.724284e-06,9.468461e-06,9.225305e-06,8.994290e-06,8.774904e-06,8.566653e-06,8.369058e-06,8.181657e-06,8.004002e-06,7.835664e-06,7.676226e-06,7.525291e-06,7.382472e-06,7.247402e-06,7.119727e-06,6.999105e-06,6.885211e-06,6.777732e-06,6.676368e-06,6.580832e-06,6.490848e-06,6.406154e-06,6.326497e-06,6.251637e-06,6.181342e-06,6.115392e-06,6.053576e-06,5.995692e-06,5.941549e-06,5.890961e-06,5.843753e-06,5.799756e-06,5.758811e-06,5.720765e-06,5.685470e-06,5.652787e-06,5.622583e-06,5.594731e-06,5.569108e-06,5.545600e-06,5.524096e-06,5.504490e-06,5.486681e-06
0.000000e+00,5.259908e-10,4.186344e-08,4.464671e-08,6.224897e-07,3.938727e-06,4.210164e-06,1.796552e-05,5.100234e-05,5.402654e-05,1.231362e-04,2.166958e-04,2.259701e-04,3.522760e-04,4.740908e-04,4.876565e-04,6.199577e-04,7.277072e-04,7.415931e-04,8.490265e-04,9.293447e-04,9.413769e-04,1.019197e-03,1.074205e-03,1.083683e-03,1.136239e-03,1.171418e-03,1.178266e-03,1.211075e-03,1.231487e-03,1.235853e-03,1.253664e-03,1.263327e-03,1.265446e-03,1.272029e-03,1.274007e-03,1.274142e-03,1.272426e-03,1.269023e-03,1.267441e-03,1.259678e-03,1.252611e-03,1.249566e-03,1.237479e-03,1.228019e-03,1.223743e-03,1.208644e-03,1.197725e-03,1.192429e-03,1.175312e-03,1.163613e-03,1.157480e-03,1.139096e-03,1.127106e-03,1.120299e-03,1.101211e-03,1.089276e-03,1.081936e-03,1.062563e-03,1.050926e-03,1.043171e-03,1.023825e-03,1.012648e-03,1.004581e-03,9.854865e-04,9.748747e-04,9.665829e-04,9.479036e-04,9.379203e-04,9.294771e-04,9.113267e-04,9.020042e-04,8.934717e-04,8.759275e-04,8.672759e-04,8.587064e-04,8.418179e-04,8.338318e-04,8.252691e-04,8.090650e-04,8.017277e-04,7.932087e-04,7.777018e-04,7.709897e-04,7.625448e-04,7.477369e-04,7.416212e-04,7.332761e-04,7.191598e-04,7.136091e-04,7.053849e-04,6.919473e-04,6.869285e-04,6.788426e-04,6.660661e-04,6.615459e-04,6.536125e-04,6.414766e-04,6.374217e-04,6.296526e-04,6.181348e-04,6.145128e-04,6.069172e-04,5.959939e-04,5.927734e-04,5.853587e-04,5.750056e-04,5.721565e-04,5.649285e-04,5.551213e-04,5.526148e-04,5.455778e-04,5.362922e-04,5.341014e-04,5.272584e-04,5.184706e-04,5.165697e-04,5.099228e-04,5.016094e-04,4.999743e-04,4.935246e-04,4.856630e-04,4.842712e-04,4.780190e-04,4.705872e-04,4.694175e-04,4.633624e-04,4.563394e-04,4.553720e-04,4.495132e-04,4.428788e-04,4.420953e-04,4.364312e-04,4.301658e-04,4.295491e-04,4.240779e-04,4.181630e-04,4.176971e-04,4.124166e-04,4.068343e-04,4.065045e-04,4.014120e-04,3.961454e-04,3.959379e-04,3.910306e-04,3.860635e-04,3.859656e-04,3.812404e-04,3.765574e-04,3.676843e-04,3.593188e-04,3.514348e-04,3.440074e-04,3.370129e-04,3.304287e-04,3.242335e-04,3.184068e-04,3.129292e-04,3.077825e-04,3.029490e-04,2.984123e-04,2.941563e-04,2.901663e-04,2.864279e-04,2.829277e-04,2.796527e-04,2.765907e-04,2.737302e-04,2.710602e-04,2.685701e-04,2.662502e-04,2.640909e-04,2.620833e-04,2.602191e-04,2.584899e-04,2.568884e-04,2.554071e-04,2.540393e-04,2.527784e-04,2.516181e-04,2.505527e-04,2.495765e-04,2.486844e-04,2.478711e-04,2.471321e-04,2.464629e-04,2.458590e-04,2.453166e-04,2.448318e-04,2.444010e-04,2.440207e-04,2.436876e-04,2.433988e-04,2.431513e-04,2.429423e-04,2.427693e-04,2.426298e-04,2.425214e-04
0.000000e+00,1.335696e-11,1.558836e-09,1.673866e-09,3.171183e-08,2.630841e-07,2.844570e-07,1.635755e-06,6.288312e-06,6.796186e-06,2.186588e-05,5.344710e-05,5.736181e-05,1.279567e-04,2.358665e-04,2.510616e-04,4.448786e-04,6.875455e-04,7.264801e-04,1.110242e-03,1.530182e-03,1.606763e-03,2.222279e-03,2.832661e-03,2.958512e-03,3.812867e-03,4.597151e-03,4.778875e-03,5.846792e-03,6.766283e-03,7.004288e-03,8.237147e-03,9.241201e-03,9.529950e-03,1.086669e-02,1.190212e-02,1.223133e-02,1.360824e-02,1.462630e-02,1.498260e-02,1.634065e-02,1.730129e-02,1.766992e-02,1.895933e-02,1.983301e-02,2.019930e-02,2.138172e-02,2.214947e-02,2.249998e-02,2.354885e-02,2.420115e-02,2.452444e-02,2.542406e-02,2.595920e-02,2.624617e-02,2.699017e-02,2.741232e-02,2.765636e-02,2.824579e-02,2.856328e-02,2.876014e-02,2.920161e-02,2.942530e-02,2.957284e-02,2.987680e-02,3.001883e-02,3.011671e-02,3.029598e-02,3.036880e-02,3.041812e-02,3.048673e-02,3.050244e-02,3.050538e-02,3.047766e-02,3.044750e-02,3.040705e-02,3.029697e-02,3.023108e-02,3.015072e-02,2.997148e-02,2.987879e-02,2.976228e-02,2.952601e-02,2.941419e-02,2.926540e-02,2.898304e-02,2.885855e-02,2.868134e-02,2.836258e-02,2.823077e-02,2.802886e-02,2.768216e-02,2.754739e-02,2.732430e-02,2.695698e-02,2.682273e-02,2.658175e-02,2.620005e-02,2.606903e-02,2.581320e-02,2.542241e-02,2.529670e-02,2.502878e-02,2.463332e-02,2.451447e-02,2.423696e-02,2.384053e-02,2.372962e-02,2.344478e-02,2.305040e-02,2.294816e-02,2.265801e-02,2.226816e-02,2.217503e-02,2.188135e-02,2.149802e-02,2.141420e-02,2.111859e-02,2.074339e-02,2.066889e-02,2.037274e-02,2.000692e-02,1.994161e-02,1.964618e-02,1.929070e-02,1.923433e-02,1.894070e-02,1.859630e-02,1.854854e-02,1.825765e-02,1.792486e-02,1.788533e-02,1.759802e-02,1.727720e-02,1.724545e-02,1.696245e-02,1.665381e-02,1.662939e-02,1.635132e-02,1.605499e-02,1.603741e-02,1.576483e-02,1.548082e-02,1.546958e-02,1.520295e-02,1.493120e-02,1.492583e-02,1.466554e-02,1.440593e-02,1.390960e-02,1.343642e-02,1.298597e-02,1.255772e-02,1.215114e-02,1.176565e-02,1.140066e-02,1.105555e-02,1.072970e-02,1.042248e-02,1.013327e-02,9.861436e-03,9.606356e-03,9.367410e-03,9.143985e-03,8.935479e-03,8.741295e-03,8.560848e-03,8.393564e-03,8.238877e-03,8.096236e-03,7.965096e-03,7.844928e-03,7.735211e-03,7.635437e-03,7.545109e-03,7.463743e-03,7.390864e-03,7.326010e-03,7.268732e-03,7.218590e-03,7.175157e-03,7.138019e-03,7.106773e-03,7.081027e-03,7.060402e-03,7.044533e-03,7.033063e-03,7.025652e-03,7.021970e-03,7.021700e-03,7.024537e-03,7.030189e-03,7.038378e-03,7.048837e-03,7.061312e-03,7.075561e-03,7.091357e-03,7.108482e-03
0.000000e+00,8.724109e-10,1.069542e-08,1.114832e-08,6.486663e-08,2.187328e-07,2.281519e-07,5.414833e-07,9.234007e-07,9.486708e-07,1.363166e-06,1.719007e-06,1.748514e-06,2.097468e-06,2.380770e-06,2.410518e-06,2.689865e-06,2.909780e-06,2.937988e-06,3.157320e-06,3.324692e-06,3.350182e-06,3.518757e-06,3.643090e-06,3.665089e-06,3.791088e-06,3.880483e-06,3.898529e-06,3.989057e-06,4.050332e-06,4.064198e-06,4.125356e-06,4.164190e-06,4.173827e-06,4.210803e-06,4.231894e-06,4.237379e-06,4.254561e-06,4.261772e-06,4.263270e-06,4.264352e-06,4.260845e-06,4.258580e-06,4.246662e-06,4.235013e-06,4.229248e-06,4.206928e-06,4.189227e-06,4.180245e-06,4.149693e-06,4.127629e-06,4.115722e-06,4.078746e-06,4.053678e-06,4.039139e-06,3.997243e-06,3.970256e-06,3.953370e-06,3.907802e-06,3.879757e-06,3.860799e-06,3.812594e-06,3.784169e-06,3.763399e-06,3.713409e-06,3.685132e-06,3.662796e-06,3.611720e-06,3.583996e-06,3.560322e-06,3.508733e-06,3.481870e-06,3.457068e-06,3.405432e-06,3.379655e-06,3.353919e-06,3.302612e-06,3.278081e-06,3.251588e-06,3.200913e-06,3.177737e-06,3.150648e-06,3.100844e-06,3.079089e-06,3.051549e-06,3.002805e-06,2.982505e-06,2.954646e-06,2.907105e-06,2.888268e-06,2.860208e-06,2.813979e-06,2.796592e-06,2.768438e-06,2.723600e-06,2.707634e-06,2.679480e-06,2.636088e-06,2.621503e-06,2.593434e-06,2.551522e-06,2.538268e-06,2.510359e-06,2.469946e-06,2.457969e-06,2.430285e-06,2.391375e-06,2.380614e-06,2.353214e-06,2.315801e-06,2.306195e-06,2.279130e-06,2.243198e-06,2.234683e-06,2.207998e-06,2.173525e-06,2.166038e-06,2.139771e-06,2.106729e-06,2.100205e-06,2.074390e-06,2.042747e-06,2.037125e-06,2.011791e-06,1.981512e-06,1.976729e-06,1.951901e-06,1.922948e-06,1.918946e-06,1.894643e-06,1.866977e-06,1.863699e-06,1.839939e-06,1.813519e-06,1.810910e-06,1.787706e-06,1.762491e-06,1.760500e-06,1.737863e-06,1.713812e-06,1.712387e-06,1.690327e-06,1.667398e-06,1.666492e-06,1.645014e-06,1.623166e-06,1.622735e-06,1.601844e-06,1.581037e-06,1.541320e-06,1.503509e-06,1.467528e-06,1.433305e-06,1.400770e-06,1.369854e-06,1.340490e-06,1.312614e-06,1.286163e-06,1.261079e-06,1.237301e-06,1.214775e-06,1.193447e-06,1.173264e-06,1.154177e-06,1.136137e-06,1.119098e-06,1.103016e-06,1.087848e-06,1.073553e-06,1.060091e-06,1.047424e-06,1.035516e-06,1.024333e-06,1.013840e-06,1.004006e-06,9.947988e-07,9.861899e-07,9.781507e-07,9.706539e-07,9.636733e-07,9.571840e-07,9.511619e-07,9.455840e-07,9.404284e-07,9.356738e-07,9.313001e-07,9.272878e-07,9.236184e-07,9.202741e-07,9.172378e-07,9.144934e-07,9.120251e-07,9.098180e-07,9.078579e-07,9.061310e-07,9.046243e-07,9.033254e-07,9.022221e-07
0.000000e+00,2.225711e-11,2.677633e-09,2.879410e-09,5.825431e-08,4.828094e-07,5.211294e-07,2.767624e-06,9.436223e-06,1.011102e-05,2.792678e-05,5.887960e-05,6.238011e-05,1.184829e-04,1.895460e-04,1.986510e-04,3.022614e-04,4.102860e-04,4.260501e-04,5.649548e-04,6.919921e-04,7.130528e-04,8.643741e-04,9.899801e-04,1.013492e-03,1.155880e-03,1.265149e-03,1.288068e-03,1.407647e-03,1.493236e-03,1.513179e-03,1.604048e-03,1.664757e-03,1.680299e-03,1.742470e-03,1.780834e-03,1.791438e-03,1.828299e-03,1.848492e-03,1.854264e-03,1.870584e-03,1.877051e-03,1.878482e-03,1.879123e-03,1.875837e-03,1.873589e-03,1.862862e-03,1.853055e-03,1.847822e-03,1.829242e-03,1.815370e-03,1.807795e-03,1.784062e-03,1.767907e-03,1.758542e-03,1.731655e-03,1.714457e-03,1.703756e-03,1.675142e-03,1.657736e-03,1.646061e-03,1.616715e-03,1.599641e-03,1.587273e-03,1.557871e-03,1.541465e-03,1.528619e-03,1.499608e-03,1.484069e-03,1.470910e-03,1.442580e-03,1.428010e-03,1.414664e-03,1.387194e-03,1.373635e-03,1.360197e-03,1.333692e-03,1.321148e-03,1.307691e-03,1.282203e-03,1.270652e-03,1.257233e-03,1.232784e-03,1.222192e-03,1.208855e-03,1.185444e-03,1.175765e-03,1.162547e-03,1.140158e-03,1.131344e-03,1.118273e-03,1.096883e-03,1.088883e-03,1.075982e-03,1.055561e-03,1.048326e-03,1.035613e-03,1.016128e-03,1.009608e-03,9.970995e-04,9.785173e-04,9.726638e-04,9.603729e-04,9.426576e-04,9.374253e-04,9.253625e-04,9.084790e-04,9.038242e-04,8.919984e-04,8.759121e-04,8.717931e-04,8.602115e-04,8.448884e-04,8.412661e-04,8.299344e-04,8.153415e-04,8.121787e-04,8.011015e-04,7.872067e-04,7.844685e-04,7.736493e-04,7.604216e-04,7.580751e-04,7.475163e-04,7.349259e-04,7.329402e-04,7.226434e-04,7.106616e-04,7.090077e-04,6.989737e-04,6.875728e-04,6.862237e-04,6.764525e-04,6.656061e-04,6.645363e-04,6.550274e-04,6.447100e-04,6.438957e-04,6.346480e-04,6.248353e-04,6.242543e-04,6.152661e-04,6.059348e-04,6.055664e-04,5.968356e-04,5.879632e-04,5.877881e-04,5.793123e-04,5.708775e-04,5.547946e-04,5.395010e-04,5.249601e-04,5.111367e-04,4.979974e-04,4.855102e-04,4.736445e-04,4.623711e-04,4.516622e-04,4.414912e-04,4.318327e-04,4.226624e-04,4.139572e-04,4.056951e-04,3.978550e-04,3.904168e-04,3.833615e-04,3.766707e-04,3.703271e-04,3.643140e-04,3.586156e-04,3.532168e-04,3.481032e-04,3.432611e-04,3.386774e-04,3.343397e-04,3.302361e-04,3.263552e-04,3.226862e-04,3.192189e-04,3.159435e-04,3.128505e-04,3.099311e-04,3.071768e-04,3.045795e-04,3.021316e-04,2.998255e-04,2.976545e-04,2.956117e-04,2.936908e-04,2.918858e-04,2.901908e-04,2.886005e-04,2.871095e-04,2.857129e-04,2.844059e-04,2.831839e-04,2.820427e-04,2.809781e-04
0.000000e+00,1.568582e-10,1.372947e-08,1.465903e-08,2.098255e-07,1.330359e-06,1.422344e-06,6.174269e-06,1.829312e-05,1.944934e-05,4.789198e-05,9.241672e-05,9.720691e-05,1.693309e-04,2.513942e-04,2.613153e-04,3.664994e-04,4.636196e-04,4.768864e-04,5.852444e-04,6.726748e-04,6.862254e-04,7.765698e-04,8.431101e-04,8.547899e-04,9.206712e-04,9.658811e-04,9.747985e-04,1.018187e-03,1.045966e-03,1.052030e-03,1.077548e-03,1.092421e-03,1.095898e-03,1.108134e-03,1.113924e-03,1.115191e-03,1.117884e-03,1.117487e-03,1.116920e-03,1.112902e-03,1.108412e-03,1.106348e-03,1.097698e-03,1.090598e-03,1.087326e-03,1.075550e-03,1.066880e-03,1.062640e-03,1.048823e-03,1.039303e-03,1.034294e-03,1.019217e-03,1.009345e-03,1.003730e-03,9.879505e-04,9.780644e-04,9.719773e-04,9.558933e-04,9.462190e-04,9.397679e-04,9.236598e-04,9.143445e-04,9.076175e-04,8.916818e-04,8.828169e-04,8.758859e-04,8.602575e-04,8.518960e-04,8.448194e-04,8.295900e-04,8.217583e-04,8.145843e-04,7.998140e-04,7.925200e-04,7.852882e-04,7.710141e-04,7.642535e-04,7.569969e-04,7.432402e-04,7.370003e-04,7.297464e-04,7.165166e-04,7.107791e-04,7.035508e-04,6.908486e-04,6.855919e-04,6.784084e-04,6.662286e-04,6.614291e-04,6.543068e-04,6.426403e-04,6.382734e-04,6.312263e-04,6.200612e-04,6.161021e-04,6.091418e-04,5.984642e-04,5.948883e-04,5.880248e-04,5.778196e-04,5.746028e-04,5.678447e-04,5.580962e-04,5.552151e-04,5.485698e-04,5.392617e-04,5.366939e-04,5.301676e-04,5.212835e-04,5.190075e-04,5.126054e-04,5.041293e-04,5.021246e-04,4.958511e-04,4.877669e-04,4.860140e-04,4.798728e-04,4.721649e-04,4.706454e-04,4.646395e-04,4.572927e-04,4.559890e-04,4.501208e-04,4.431202e-04,4.420158e-04,4.362873e-04,4.296185e-04,4.286978e-04,4.231104e-04,4.167594e-04,4.160077e-04,4.105624e-04,4.045159e-04,4.039194e-04,3.986167e-04,3.928616e-04,3.924074e-04,3.872476e-04,3.817716e-04,3.814473e-04,3.764304e-04,3.712213e-04,3.710157e-04,3.661413e-04,3.611876e-04,3.610898e-04,3.563573e-04,3.516479e-04,3.426690e-04,3.341332e-04,3.260210e-04,3.183140e-04,3.109944e-04,3.040451e-04,2.974498e-04,2.911928e-04,2.852590e-04,2.796341e-04,2.743042e-04,2.692560e-04,2.644769e-04,2.599548e-04,2.556779e-04,2.516351e-04,2.478158e-04,2.442096e-04,2.408068e-04,2.375979e-04,2.345741e-04,2.317267e-04,2.290473e-04,2.265282e-04,2.241618e-04,2.219409e-04,2.198585e-04,2.179079e-04,2.160830e-04,2.143775e-04,2.127857e-04,2.113020e-04,2.099211e-04,2.086379e-04,2.074476e-04,2.063454e-04,2.053269e-04,2.043880e-04,2.035244e-04,2.027323e-04,2.020081e-04,2.013480e-04,2.007488e-04,2.002072e-04,1.997200e-04,1.992843e-04,1.988974e-04,1.985564e-04,1.982588e-04
0.000000e+00,3.001083e-10,5.630571e-09,5.903085e-09,3.912115e-08,1.200877e-07,1.243446e-07,2.363011e-07,3.330922e-07,3.387460e-07,4.235015e-07,4.868647e-07,4.917780e-07,5.460304e-07,5.847855e-07,5.885717e-07,6.213840e-07,6.435411e-07,6.461337e-07,6.642144e-07,6.753233e-07,6.767908e-07,6.848356e-07,6.886884e-07,6.891593e-07,6.904350e-07,6.896052e-07,6.892265e-07,6.860029e-07,6.822371e-07,6.811535e-07,6.750012e-07,6.694716e-07,6.678133e-07,6.598110e-07,6.532982e-07,6.511770e-07,6.420623e-07,6.350818e-07,6.325911e-07,6.228654e-07,6.157531e-07,6.129692e-07,6.029713e-07,5.959427e-07,5.929277e-07,5.828844e-07,5.760743e-07,5.728784e-07,5.629397e-07,5.564291e-07,5.530926e-07,5.433561e-07,5.371901e-07,5.337456e-07,5.242729e-07,5.184731e-07,5.149471e-07,5.057751e-07,5.003479e-07,4.967619e-07,4.879110e-07,4.828527e-07,4.792245e-07,4.707038e-07,4.660047e-07,4.623491e-07,4.541602e-07,4.498068e-07,4.461361e-07,4.382756e-07,4.342522e-07,4.305770e-07,4.230384e-07,4.193284e-07,4.156575e-07,4.084321e-07,4.050184e-07,4.013597e-07,3.944376e-07,3.913032e-07,3.876632e-07,3.810339e-07,3.781622e-07,3.745468e-07,3.681994e-07,3.655744e-07,3.619887e-07,3.559122e-07,3.535186e-07,3.499671e-07,3.441507e-07,3.419736e-07,3.384603e-07,3.328934e-07,3.309190e-07,3.274473e-07,3.221195e-07,3.203345e-07,3.169075e-07,3.118088e-07,3.102007e-07,3.068210e-07,3.019417e-07,3.004988e-07,2.971687e-07,2.924996e-07,2.912105e-07,2.879321e-07,2.834641e-07,2.823185e-07,2.790935e-07,2.748180e-07,2.738059e-07,2.706358e-07,2.665446e-07,2.656566e-07,2.625426e-07,2.586278e-07,2.578552e-07,2.547984e-07,2.510524e-07,2.503868e-07,2.473881e-07,2.438036e-07,2.432373e-07,2.402972e-07,2.368673e-07,2.363931e-07,2.335121e-07,2.302301e-07,2.298410e-07,2.270195e-07,2.238790e-07,2.235687e-07,2.208069e-07,2.178017e-07,2.175642e-07,2.148620e-07,2.119864e-07,2.118159e-07,2.091735e-07,2.064218e-07,2.063130e-07,2.037301e-07,2.010970e-07,2.010449e-07,1.985213e-07,1.960017e-07,1.911736e-07,1.865515e-07,1.821265e-07,1.778903e-07,1.738346e-07,1.699519e-07,1.662347e-07,1.626759e-07,1.592687e-07,1.560067e-07,1.528836e-07,1.498936e-07,1.470308e-07,1.442899e-07,1.416656e-07,1.391530e-07,1.367473e-07,1.344440e-07,1.322385e-07,1.301269e-07,1.281050e-07,1.261691e-07,1.243155e-07,1.225406e-07,1.208412e-07,1.192139e-07,1.176558e-07,1.161639e-07,1.147353e-07,1.133675e-07,1.120577e-07,1.108035e-07,1.096026e-07,1.084527e-07,1.073517e-07,1.062975e-07,1.052880e-07,1.043214e-07,1.033959e-07,1.025098e-07,1.016614e-07,1.008490e-07,1.000712e-07,9.932654e-08,9.861357e-08,9.793099e-08,9.727752e-08,9.665192e-08,9.605303e-08
0.000000e+00,2.997897e-10,2.890687e-08,3.095476e-08,5.228387e-07,3.826463e-06,4.111703e-06,1.969245e-05,6.102924e-05,6.497830e-05,1.602958e-04,3.017833e-04,3.165181e-04,5.298614e-04,7.591578e-04,7.862374e-04,1.068416e-03,1.325786e-03,1.361032e-03,1.652586e-03,1.896584e-03,1.935471e-03,2.205165e-03,2.419731e-03,2.459290e-03,2.696829e-03,2.879071e-03,2.917572e-03,3.121773e-03,3.273554e-03,3.309932e-03,3.482680e-03,3.607168e-03,3.640708e-03,3.784726e-03,3.885251e-03,3.915450e-03,4.033581e-03,4.113293e-03,4.139802e-03,4.234776e-03,4.296552e-03,4.319141e-03,4.393509e-03,4.439935e-03,4.458468e-03,4.514578e-03,4.547953e-03,4.562375e-03,4.602369e-03,4.624728e-03,4.635047e-03,4.660871e-03,4.674005e-03,4.680281e-03,4.693694e-03,4.699174e-03,4.701508e-03,4.704100e-03,4.703297e-03,4.701826e-03,4.695025e-03,4.689133e-03,4.684018e-03,4.669110e-03,4.659165e-03,4.650588e-03,4.628725e-03,4.615622e-03,4.603779e-03,4.575994e-03,4.560501e-03,4.545600e-03,4.512816e-03,4.495591e-03,4.477846e-03,4.440885e-03,4.422492e-03,4.402118e-03,4.361715e-03,4.342626e-03,4.319841e-03,4.276649e-03,4.257264e-03,4.232283e-03,4.186879e-03,4.167532e-03,4.140566e-03,4.093464e-03,4.074428e-03,4.045685e-03,3.997336e-03,3.978834e-03,3.948515e-03,3.899317e-03,3.881530e-03,3.849827e-03,3.800129e-03,3.783197e-03,3.750297e-03,3.700403e-03,3.684435e-03,3.650514e-03,3.600692e-03,3.585766e-03,3.550993e-03,3.501471e-03,3.487643e-03,3.452176e-03,3.403153e-03,3.390457e-03,3.354446e-03,3.306093e-03,3.294545e-03,3.258131e-03,3.210592e-03,3.200193e-03,3.163507e-03,3.116903e-03,3.107643e-03,3.070807e-03,3.025241e-03,3.017097e-03,2.980225e-03,2.935779e-03,2.928722e-03,2.891920e-03,2.848661e-03,2.842654e-03,2.806017e-03,2.764000e-03,2.759000e-03,2.722619e-03,2.681882e-03,2.677844e-03,2.641798e-03,2.602372e-03,2.599247e-03,2.563610e-03,2.525514e-03,2.523250e-03,2.488088e-03,2.451334e-03,2.449877e-03,2.415251e-03,2.379842e-03,2.379140e-03,2.345103e-03,2.311035e-03,2.245548e-03,2.182654e-03,2.122323e-03,2.064513e-03,2.009180e-03,1.956273e-03,1.905738e-03,1.857516e-03,1.811548e-03,1.767770e-03,1.726117e-03,1.686524e-03,1.648926e-03,1.613254e-03,1.579444e-03,1.547428e-03,1.517141e-03,1.488518e-03,1.461495e-03,1.436009e-03,1.411999e-03,1.389403e-03,1.368163e-03,1.348221e-03,1.329521e-03,1.312008e-03,1.295630e-03,1.280334e-03,1.266070e-03,1.252791e-03,1.240450e-03,1.229001e-03,1.218401e-03,1.208608e-03,1.199581e-03,1.191281e-03,1.183671e-03,1.176714e-03,1.170377e-03,1.164624e-03,1.159425e-03,1.154749e-03,1.150565e-03,1.146846e-03,1.143565e-03,1.140695e-03,1.138213e-03,1.136094e-03,1.134315e-03
0.000000e+00,6.065607e-10,9.427143e-09,9.857443e-09,6.156832e-08,2.025585e-07,2.108827e-07,4.749699e-07,7.792279e-07,7.991308e-07,1.126743e-06,1.413766e-06,1.437924e-06,1.728700e-06,1.972819e-06,1.998937e-06,2.249377e-06,2.454129e-06,2.480955e-06,2.694633e-06,2.864807e-06,2.891365e-06,3.072082e-06,3.212170e-06,3.237688e-06,3.389054e-06,3.503133e-06,3.527012e-06,3.652361e-06,3.744072e-06,3.765858e-06,3.868224e-06,3.940785e-06,3.960144e-06,4.042265e-06,4.098501e-06,4.115200e-06,4.179529e-06,4.221915e-06,4.235799e-06,4.284530e-06,4.315222e-06,4.326208e-06,4.361296e-06,4.382169e-06,4.390227e-06,4.413414e-06,4.426097e-06,4.431241e-06,4.444075e-06,4.449977e-06,4.452258e-06,4.456115e-06,4.456454e-06,4.455949e-06,4.452049e-06,4.447875e-06,4.444685e-06,4.434111e-06,4.426325e-06,4.420566e-06,4.404276e-06,4.393653e-06,4.385452e-06,4.364294e-06,4.351496e-06,4.340989e-06,4.315712e-06,4.301302e-06,4.288630e-06,4.259898e-06,4.244353e-06,4.229661e-06,4.198055e-06,4.181780e-06,4.165211e-06,4.131247e-06,4.114580e-06,4.096277e-06,4.060407e-06,4.043633e-06,4.023737e-06,3.986358e-06,3.969709e-06,3.948357e-06,3.909817e-06,3.893488e-06,3.870814e-06,3.831418e-06,3.815565e-06,3.791696e-06,3.751710e-06,3.736458e-06,3.711518e-06,3.671173e-06,3.656622e-06,3.630727e-06,3.590226e-06,3.576451e-06,3.549713e-06,3.509230e-06,3.496287e-06,3.468813e-06,3.428497e-06,3.416427e-06,3.388315e-06,3.348297e-06,3.337125e-06,3.308470e-06,3.268860e-06,3.258600e-06,3.229490e-06,3.190383e-06,3.181038e-06,3.151557e-06,3.113030e-06,3.104597e-06,3.074821e-06,3.036943e-06,3.029409e-06,2.999411e-06,2.962237e-06,2.955584e-06,2.925432e-06,2.889006e-06,2.883214e-06,2.852969e-06,2.817328e-06,2.812370e-06,2.782091e-06,2.747264e-06,2.743113e-06,2.712853e-06,2.678861e-06,2.675485e-06,2.645294e-06,2.612154e-06,2.609521e-06,2.579444e-06,2.547167e-06,2.545244e-06,2.515323e-06,2.483914e-06,2.482666e-06,2.452940e-06,2.422402e-06,2.421796e-06,2.392299e-06,2.362631e-06,2.305166e-06,2.249389e-06,2.195285e-06,2.142834e-06,2.092014e-06,2.042800e-06,1.995165e-06,1.949080e-06,1.904514e-06,1.861435e-06,1.819812e-06,1.779610e-06,1.740797e-06,1.703338e-06,1.667200e-06,1.632347e-06,1.598747e-06,1.566366e-06,1.535169e-06,1.505124e-06,1.476198e-06,1.448360e-06,1.421576e-06,1.395817e-06,1.371051e-06,1.347250e-06,1.324382e-06,1.302420e-06,1.281335e-06,1.261101e-06,1.241690e-06,1.223077e-06,1.205235e-06,1.188140e-06,1.171768e-06,1.156096e-06,1.141100e-06,1.126758e-06,1.113048e-06,1.099950e-06,1.087442e-06,1.075506e-06,1.064120e-06,1.053268e-06,1.042930e-06,1.033088e-06,1.023726e-06,1.014826e-06,1.006372e-06
0.000000e+00,4.191275e-10,5.588701e-09,5.832851e-09,3.501397e-08,1.167686e-07,1.216837e-07,2.808877e-07,4.680431e-07,4.802964e-07,6.805926e-07,8.526259e-07,8.669225e-07,1.036515e-06,1.175052e-06,1.189650e-06,1.327278e-06,1.436409e-06,1.450464e-06,1.560264e-06,1.644756e-06,1.657686e-06,1.743685e-06,1.807754e-06,1.819158e-06,1.884948e-06,1.932221e-06,1.941838e-06,1.990558e-06,2.024113e-06,2.031791e-06,2.066172e-06,2.088610e-06,2.094286e-06,2.116679e-06,2.130181e-06,2.133853e-06,2.146274e-06,2.152660e-06,2.154370e-06,2.158527e-06,2.159287e-06,2.159112e-06,2.156474e-06,2.152875e-06,2.150921e-06,2.142742e-06,2.135814e-06,2.132197e-06,2.119531e-06,2.110117e-06,2.104964e-06,2.088702e-06,2.077493e-06,2.070933e-06,2.051831e-06,2.039387e-06,2.031552e-06,2.010244e-06,1.997021e-06,1.988039e-06,1.965061e-06,1.951423e-06,1.941420e-06,1.917219e-06,1.903457e-06,1.892552e-06,1.867504e-06,1.853848e-06,1.842154e-06,1.816572e-06,1.803200e-06,1.790824e-06,1.764968e-06,1.752017e-06,1.739058e-06,1.713142e-06,1.700714e-06,1.687265e-06,1.661466e-06,1.649635e-06,1.635781e-06,1.610243e-06,1.599060e-06,1.584880e-06,1.559718e-06,1.549216e-06,1.534781e-06,1.510089e-06,1.500285e-06,1.485661e-06,1.461512e-06,1.452412e-06,1.437657e-06,1.414108e-06,1.405708e-06,1.390876e-06,1.367970e-06,1.360257e-06,1.345397e-06,1.323165e-06,1.316124e-06,1.301279e-06,1.279742e-06,1.273350e-06,1.258559e-06,1.237731e-06,1.231963e-06,1.217260e-06,1.197148e-06,1.191977e-06,1.177394e-06,1.157998e-06,1.153396e-06,1.138959e-06,1.120275e-06,1.116212e-06,1.101945e-06,1.083967e-06,1.080414e-06,1.066338e-06,1.049055e-06,1.045981e-06,1.032115e-06,1.015515e-06,1.012890e-06,9.992497e-07,9.833165e-07,9.811122e-07,9.677112e-07,9.524295e-07,9.506173e-07,9.374671e-07,9.228195e-07,9.213719e-07,9.084823e-07,8.944508e-07,8.933414e-07,8.807204e-07,8.672863e-07,8.664896e-07,8.541439e-07,8.412882e-07,8.407799e-07,8.287147e-07,8.164183e-07,8.161752e-07,8.043945e-07,7.926382e-07,7.701320e-07,7.486196e-07,7.280649e-07,7.084323e-07,6.896868e-07,6.717942e-07,6.547214e-07,6.384359e-07,6.229063e-07,6.081022e-07,5.939939e-07,5.805531e-07,5.677520e-07,5.555642e-07,5.439639e-07,5.329263e-07,5.224277e-07,5.124451e-07,5.029564e-07,4.939405e-07,4.853769e-07,4.772460e-07,4.695291e-07,4.622080e-07,4.552654e-07,4.486846e-07,4.424497e-07,4.365454e-07,4.309569e-07,4.256702e-07,4.206717e-07,4.159485e-07,4.114882e-07,4.072789e-07,4.033092e-07,3.995681e-07,3.960452e-07,3.927304e-07,3.896142e-07,3.866874e-07,3.839412e-07,3.813670e-07,3.789569e-07,3.767031e-07,3.745982e-07,3.726352e-07,3.708072e-07,3.691077e-07,3.675306e-07
0.000000e+00,6.948203e-10,1.573951e-08,1.652493e-08,1.090620e-07,3.029146e-07,3.121908e-07,5.472160e-07,7.595458e-07,7.726575e-07,9.830561e-07,1.163248e-06,1.178326e-06,1.359055e-06,1.509843e-06,1.525927e-06,1.679638e-06,1.804573e-06,1.820887e-06,1.950359e-06,2.052798e-06,2.068725e-06,2.176632e-06,2.259648e-06,2.274704e-06,2.363533e-06,2.429875e-06,2.443687e-06,2.515706e-06,2.567810e-06,2.580104e-06,2.637366e-06,2.677372e-06,2.687949e-06,2.732287e-06,2.762059e-06,2.770788e-06,2.803839e-06,2.825004e-06,2.831806e-06,2.855033e-06,2.869003e-06,2.873842e-06,2.888541e-06,2.896538e-06,2.899416e-06,2.906740e-06,2.909823e-06,2.910768e-06,2.911738e-06,2.910815e-06,2.909878e-06,2.905399e-06,2.901251e-06,2.898501e-06,2.889372e-06,2.882669e-06,2.878188e-06,2.865116e-06,2.856431e-06,2.850310e-06,2.833916e-06,2.823735e-06,2.816072e-06,2.796906e-06,2.785641e-06,2.776538e-06,2.755082e-06,2.743080e-06,2.732642e-06,2.709319e-06,2.696872e-06,2.685204e-06,2.660384e-06,2.647736e-06,2.634941e-06,2.608950e-06,2.596300e-06,2.582481e-06,2.555601e-06,2.543116e-06,2.528372e-06,2.500850e-06,2.488662e-06,2.473090e-06,2.445141e-06,2.433357e-06,2.417048e-06,2.388857e-06,2.377561e-06,2.360605e-06,2.332331e-06,2.321588e-06,2.304069e-06,2.275850e-06,2.265707e-06,2.247703e-06,2.219657e-06,2.210149e-06,2.191736e-06,2.163962e-06,2.155109e-06,2.136358e-06,2.108942e-06,2.100756e-06,2.081732e-06,2.054744e-06,2.047229e-06,2.027993e-06,2.001493e-06,1.994646e-06,1.975256e-06,1.949292e-06,1.943102e-06,1.923611e-06,1.898222e-06,1.892676e-06,1.873133e-06,1.848351e-06,1.843432e-06,1.823882e-06,1.799730e-06,1.795417e-06,1.775902e-06,1.752399e-06,1.748670e-06,1.729227e-06,1.706386e-06,1.703215e-06,1.683879e-06,1.661708e-06,1.659070e-06,1.639873e-06,1.618376e-06,1.616244e-06,1.597215e-06,1.576392e-06,1.574741e-06,1.555905e-06,1.535754e-06,1.534556e-06,1.515937e-06,1.496453e-06,1.495680e-06,1.477299e-06,1.458475e-06,1.458102e-06,1.439978e-06,1.421805e-06,1.386768e-06,1.352971e-06,1.320389e-06,1.288996e-06,1.258766e-06,1.229669e-06,1.201677e-06,1.174761e-06,1.148890e-06,1.124035e-06,1.100165e-06,1.077251e-06,1.055261e-06,1.034168e-06,1.013942e-06,9.945537e-07,9.759753e-07,9.581791e-07,9.411380e-07,9.248255e-07,9.092158e-07,8.942836e-07,8.800045e-07,8.663545e-07,8.533104e-07,8.408496e-07,8.289504e-07,8.175914e-07,8.067522e-07,7.964128e-07,7.865540e-07,7.771571e-07,7.682041e-07,7.596776e-07,7.515608e-07,7.438373e-07,7.364916e-07,7.295083e-07,7.228731e-07,7.165716e-07,7.105904e-07,7.049163e-07,6.995366e-07,6.944392e-07,6.896124e-07,6.850449e-07,6.807256e-07,6.766443e-07,6.727907e-07
0.000000e+00,1.878770e-11,2.431106e-09,2.618009e-09,5.691756e-08,5.055608e-07,5.471954e-07,3.093460e-06,1.104532e-05,1.186623e-05,3.415159e-05,7.481482e-05,7.954047e-05,1.583220e-04,2.655474e-04,2.798495e-04,4.513046e-04,6.469742e-04,6.769875e-04,9.580927e-04,1.242900e-03,1.292862e-03,1.676991e-03,2.033236e-03,2.104173e-03,2.566691e-03,2.966338e-03,3.055993e-03,3.563206e-03,3.975975e-03,4.079573e-03,4.596790e-03,4.995893e-03,5.107261e-03,5.604263e-03,5.969400e-03,6.082043e-03,6.535860e-03,6.854012e-03,6.961958e-03,7.357527e-03,7.622314e-03,7.720629e-03,8.050111e-03,8.260468e-03,8.345503e-03,8.606924e-03,8.765579e-03,8.834981e-03,9.030677e-03,9.142736e-03,9.195324e-03,9.330467e-03,9.402260e-03,9.437816e-03,9.519188e-03,9.557411e-03,9.576453e-03,9.611498e-03,9.622639e-03,9.626193e-03,9.622358e-03,9.612340e-03,9.601752e-03,9.566050e-03,9.540058e-03,9.516838e-03,9.455603e-03,9.418030e-03,9.383733e-03,9.302512e-03,9.256978e-03,9.213122e-03,9.116649e-03,9.066070e-03,9.014085e-03,8.906331e-03,8.853009e-03,8.794205e-03,8.678442e-03,8.624156e-03,8.559708e-03,8.438598e-03,8.384697e-03,8.315647e-03,8.191331e-03,8.138814e-03,8.066074e-03,7.940253e-03,7.889844e-03,7.814205e-03,7.688224e-03,7.640424e-03,7.562572e-03,7.437480e-03,7.392624e-03,7.313150e-03,7.189759e-03,7.148048e-03,7.067462e-03,6.946392e-03,6.907929e-03,6.826667e-03,6.708387e-03,6.673198e-03,6.591638e-03,6.476494e-03,6.444550e-03,6.363016e-03,6.251258e-03,6.222488e-03,6.141262e-03,6.033062e-03,6.007365e-03,5.926688e-03,5.822160e-03,5.799413e-03,5.719494e-03,5.618701e-03,5.598768e-03,5.519788e-03,5.422756e-03,5.405490e-03,5.327605e-03,5.234330e-03,5.219580e-03,5.142924e-03,5.053376e-03,5.040987e-03,4.965676e-03,4.879809e-03,4.869627e-03,4.795759e-03,4.713509e-03,4.705383e-03,4.633042e-03,4.554337e-03,4.548116e-03,4.477373e-03,4.402128e-03,4.397668e-03,4.328582e-03,4.256709e-03,4.253869e-03,4.186488e-03,4.117894e-03,4.116538e-03,4.050902e-03,3.985487e-03,3.860524e-03,3.741453e-03,3.628077e-03,3.520200e-03,3.417628e-03,3.320166e-03,3.227627e-03,3.139821e-03,3.056568e-03,2.977689e-03,2.903010e-03,2.832361e-03,2.765578e-03,2.702502e-03,2.642977e-03,2.586855e-03,2.533991e-03,2.484243e-03,2.437478e-03,2.393565e-03,2.352376e-03,2.313792e-03,2.277694e-03,2.243970e-03,2.212511e-03,2.183212e-03,2.155971e-03,2.130691e-03,2.107279e-03,2.085645e-03,2.065700e-03,2.047362e-03,2.030550e-03,2.015186e-03,2.001196e-03,1.988508e-03,1.977052e-03,1.966762e-03,1.957573e-03,1.949426e-03,1.942259e-03,1.936016e-03,1.930643e-03,1.926087e-03,1.922297e-03,1.919224e-03,1.916823e-03,1.915047e-03,1.913855e-03
0.000000e+00,6.470969e-09,1.763916e-07,1.856244e-07,1.524597e-06,6.167723e-06,6.470535e-06,1.727497e-05,3.190967e-05,3.292206e-05,5.006964e-05,6.540351e-05,6.669656e-05,8.224058e-05,9.523196e-05,9.661766e-05,1.098566e-04,1.206090e-04,1.220125e-04,1.331455e-04,1.419476e-04,1.433156e-04,1.525808e-04,1.597051e-04,1.609967e-04,1.686144e-04,1.743008e-04,1.754844e-04,1.816550e-04,1.861189e-04,1.871722e-04,1.920795e-04,1.955103e-04,1.964179e-04,2.002260e-04,2.027881e-04,2.035404e-04,2.063952e-04,2.082310e-04,2.088228e-04,2.108532e-04,2.120853e-04,2.125150e-04,2.138348e-04,2.145687e-04,2.148377e-04,2.155470e-04,2.158730e-04,2.159848e-04,2.161717e-04,2.161671e-04,2.161270e-04,2.158688e-04,2.155993e-04,2.154140e-04,2.147784e-04,2.143001e-04,2.139769e-04,2.130234e-04,2.123837e-04,2.119307e-04,2.107111e-04,2.099501e-04,2.093759e-04,2.079356e-04,2.070869e-04,2.064001e-04,2.047787e-04,2.038705e-04,2.030800e-04,2.013119e-04,2.003677e-04,1.994821e-04,1.975973e-04,1.966364e-04,1.956642e-04,1.936888e-04,1.927272e-04,1.916767e-04,1.896331e-04,1.886839e-04,1.875629e-04,1.854707e-04,1.845442e-04,1.833606e-04,1.812364e-04,1.803410e-04,1.791018e-04,1.769602e-04,1.761023e-04,1.748146e-04,1.726678e-04,1.718523e-04,1.705225e-04,1.683811e-04,1.676116e-04,1.662459e-04,1.641188e-04,1.633978e-04,1.620018e-04,1.598967e-04,1.592258e-04,1.578049e-04,1.557279e-04,1.551079e-04,1.536671e-04,1.516236e-04,1.510547e-04,1.495985e-04,1.475928e-04,1.470746e-04,1.456074e-04,1.436431e-04,1.431749e-04,1.417005e-04,1.397804e-04,1.393610e-04,1.378832e-04,1.360094e-04,1.356375e-04,1.341595e-04,1.323338e-04,1.320078e-04,1.305327e-04,1.287563e-04,1.284744e-04,1.270050e-04,1.252788e-04,1.250391e-04,1.235778e-04,1.219023e-04,1.217029e-04,1.202521e-04,1.186274e-04,1.184664e-04,1.170282e-04,1.154543e-04,1.153295e-04,1.139057e-04,1.123824e-04,1.122918e-04,1.108842e-04,1.094109e-04,1.093525e-04,1.079626e-04,1.065389e-04,1.065107e-04,1.051397e-04,1.037649e-04,1.011136e-04,9.855517e-05,9.608769e-05,9.370922e-05,9.141770e-05,8.921102e-05,8.708702e-05,8.504349e-05,8.307823e-05,8.118902e-05,7.937364e-05,7.762988e-05,7.595556e-05,7.434852e-05,7.280663e-05,7.132779e-05,6.990995e-05,6.855110e-05,6.724925e-05,6.600249e-05,6.480893e-05,6.366674e-05,6.257412e-05,6.152936e-05,6.053074e-05,5.957664e-05,5.866544e-05,5.779562e-05,5.696566e-05,5.617411e-05,5.541955e-05,5.470063e-05,5.401601e-05,5.336441e-05,5.274460e-05,5.215537e-05,5.159556e-05,5.106405e-05,5.055976e-05,5.008162e-05,4.962863e-05,4.919981e-05,4.879421e-05,4.841091e-05,4.804903e-05,4.770771e-05,4.738613e-05,4.708349e-05,4.679903e-05
0.000000e+00,2.945938e-09,4.833645e-08,5.060560e-08,3.395291e-07,1.183193e-06,1.233973e-06,2.845003e-06,4.657882e-06,4.774922e-06,6.683760e-06,8.335732e-06,8.474050e-06,1.013045e-05,1.150879e-05,1.165557e-05,1.305585e-05,1.419059e-05,1.433855e-05,1.551084e-05,1.643587e-05,1.657947e-05,1.755078e-05,1.829608e-05,1.843106e-05,1.922632e-05,1.981899e-05,1.994225e-05,2.058421e-05,2.104795e-05,2.115728e-05,2.166622e-05,2.202157e-05,2.211551e-05,2.250935e-05,2.277401e-05,2.285167e-05,2.314616e-05,2.333534e-05,2.339628e-05,2.360526e-05,2.373195e-05,2.377612e-05,2.391168e-05,2.398700e-05,2.401459e-05,2.408732e-05,2.412071e-05,2.413216e-05,2.415128e-05,2.415079e-05,2.414669e-05,2.412026e-05,2.409270e-05,2.407375e-05,2.400879e-05,2.395992e-05,2.392690e-05,2.382951e-05,2.376419e-05,2.371795e-05,2.359344e-05,2.351576e-05,2.345715e-05,2.331015e-05,2.322352e-05,2.315343e-05,2.298792e-05,2.289521e-05,2.281451e-05,2.263398e-05,2.253754e-05,2.244709e-05,2.225453e-05,2.215634e-05,2.205696e-05,2.185498e-05,2.175663e-05,2.164915e-05,2.143998e-05,2.134278e-05,2.122796e-05,2.101353e-05,2.091853e-05,2.079712e-05,2.057909e-05,2.048713e-05,2.035981e-05,2.013961e-05,2.005134e-05,1.991879e-05,1.969763e-05,1.961355e-05,1.947638e-05,1.925529e-05,1.917578e-05,1.903458e-05,1.881444e-05,1.873976e-05,1.859507e-05,1.837663e-05,1.830696e-05,1.815928e-05,1.794317e-05,1.787860e-05,1.772842e-05,1.751515e-05,1.745571e-05,1.730347e-05,1.709347e-05,1.703916e-05,1.688526e-05,1.667890e-05,1.662966e-05,1.647447e-05,1.627203e-05,1.622777e-05,1.607164e-05,1.587335e-05,1.583395e-05,1.567721e-05,1.548325e-05,1.544858e-05,1.529152e-05,1.510203e-05,1.507192e-05,1.491481e-05,1.472989e-05,1.470418e-05,1.454727e-05,1.436698e-05,1.434550e-05,1.418902e-05,1.401341e-05,1.399597e-05,1.384013e-05,1.366920e-05,1.365563e-05,1.350061e-05,1.333437e-05,1.332447e-05,1.317046e-05,1.300887e-05,1.300246e-05,1.284961e-05,1.269265e-05,1.268953e-05,1.253799e-05,1.238561e-05,1.209058e-05,1.180432e-05,1.152668e-05,1.125752e-05,1.099668e-05,1.074400e-05,1.049929e-05,1.026239e-05,1.003311e-05,9.811273e-06,9.596700e-06,9.389206e-06,9.188611e-06,8.994733e-06,8.807395e-06,8.626420e-06,8.451633e-06,8.282863e-06,8.119942e-06,7.962702e-06,7.810982e-06,7.664623e-06,7.523468e-06,7.387365e-06,7.256165e-06,7.129723e-06,7.007896e-06,6.890546e-06,6.777539e-06,6.668742e-06,6.564027e-06,6.463270e-06,6.366348e-06,6.273145e-06,6.183544e-06,6.097433e-06,6.014704e-06,5.935251e-06,5.858971e-06,5.785763e-06,5.715532e-06,5.648181e-06,5.583619e-06,5.521758e-06,5.462509e-06,5.405790e-06,5.351517e-06,5.299613e-06,5.249998e-06
0.000000e+00,6.210617e-10,9.770814e-09,1.022643e-08,6.721140e-08,2.238338e-07,2.328153e-07,4.970438e-07,7.691631e-07,7.864144e-07,1.066923e-06,1.310954e-06,1.331500e-06,1.579222e-06,1.788046e-06,1.810443e-06,2.025798e-06,2.202732e-06,2.225975e-06,2.411675e-06,2.560330e-06,2.583595e-06,2.742422e-06,2.866212e-06,2.888830e-06,3.023474e-06,3.125551e-06,3.146990e-06,3.259990e-06,3.343214e-06,3.363062e-06,3.456768e-06,3.523705e-06,3.541648e-06,3.618212e-06,3.671141e-06,3.686949e-06,3.748321e-06,3.789255e-06,3.802769e-06,3.850709e-06,3.881420e-06,3.892539e-06,3.928631e-06,3.950674e-06,3.959343e-06,3.985010e-06,3.999745e-06,4.005951e-06,4.022466e-06,4.031082e-06,4.034842e-06,4.043347e-06,4.046877e-06,4.048236e-06,4.049750e-06,4.049094e-06,4.048116e-06,4.043551e-06,4.039489e-06,4.036256e-06,4.026423e-06,4.019629e-06,4.014234e-06,3.999859e-06,3.990915e-06,3.983460e-06,3.965189e-06,3.954594e-06,3.945188e-06,3.923594e-06,3.911778e-06,3.900533e-06,3.876127e-06,3.863454e-06,3.850487e-06,3.823722e-06,3.810504e-06,3.795930e-06,3.767207e-06,3.753706e-06,3.737641e-06,3.707316e-06,3.693753e-06,3.676310e-06,3.644698e-06,3.631257e-06,3.612549e-06,3.579928e-06,3.566761e-06,3.546895e-06,3.513510e-06,3.500742e-06,3.479825e-06,3.445890e-06,3.433622e-06,3.411754e-06,3.377459e-06,3.365771e-06,3.343049e-06,3.308560e-06,3.297514e-06,3.274030e-06,3.239493e-06,3.229134e-06,3.204978e-06,3.170517e-06,3.160881e-06,3.136136e-06,3.101861e-06,3.092969e-06,3.067715e-06,3.033719e-06,3.025585e-06,2.999896e-06,2.966262e-06,2.958890e-06,2.932836e-06,2.899633e-06,2.893021e-06,2.866668e-06,2.833955e-06,2.828095e-06,2.801507e-06,2.769334e-06,2.764212e-06,2.737446e-06,2.705854e-06,2.701455e-06,2.674565e-06,2.643588e-06,2.639892e-06,2.612929e-06,2.582595e-06,2.579579e-06,2.552590e-06,2.522920e-06,2.520561e-06,2.493589e-06,2.464601e-06,2.462873e-06,2.435958e-06,2.407664e-06,2.406540e-06,2.379720e-06,2.352129e-06,2.351580e-06,2.324890e-06,2.298007e-06,2.245824e-06,2.195032e-06,2.145628e-06,2.097603e-06,2.050946e-06,2.005642e-06,1.961675e-06,1.919025e-06,1.877672e-06,1.837593e-06,1.798766e-06,1.761164e-06,1.724763e-06,1.689537e-06,1.655460e-06,1.622505e-06,1.590644e-06,1.559852e-06,1.530100e-06,1.501363e-06,1.473613e-06,1.446823e-06,1.420969e-06,1.396023e-06,1.371961e-06,1.348756e-06,1.326385e-06,1.304824e-06,1.284048e-06,1.264034e-06,1.244759e-06,1.226202e-06,1.208340e-06,1.191152e-06,1.174617e-06,1.158715e-06,1.143426e-06,1.128731e-06,1.114612e-06,1.101049e-06,1.088026e-06,1.075524e-06,1.063528e-06,1.052019e-06,1.040984e-06,1.030406e-06,1.020270e-06,1.010561e-06,1.001266e-06
0.000000e+00,1.285792e-09,1.545285e-08,1.610311e-08,9.402493e-08,3.213083e-07,3.352576e-07,7.932631e-07,1.332630e-06,1.367838e-06,1.942223e-06,2.434372e-06,2.475226e-06,2.959249e-06,3.353683e-06,3.395189e-06,3.785891e-06,4.094870e-06,4.134606e-06,4.444537e-06,4.682384e-06,4.718729e-06,4.959982e-06,5.139065e-06,5.170873e-06,5.353925e-06,5.484917e-06,5.511501e-06,5.645795e-06,5.737842e-06,5.758845e-06,5.852534e-06,5.913296e-06,5.928602e-06,5.988652e-06,6.024489e-06,6.034159e-06,6.066480e-06,6.082643e-06,6.086859e-06,6.096440e-06,6.097245e-06,6.096273e-06,6.087317e-06,6.076294e-06,6.070455e-06,6.046491e-06,6.026520e-06,6.016166e-06,5.980154e-06,5.953574e-06,5.939075e-06,5.893492e-06,5.862196e-06,5.843923e-06,5.790840e-06,5.756354e-06,5.734673e-06,5.675818e-06,5.639364e-06,5.614632e-06,5.551444e-06,5.513996e-06,5.486552e-06,5.420228e-06,5.382554e-06,5.352719e-06,5.284252e-06,5.246955e-06,5.215032e-06,5.145243e-06,5.108785e-06,5.075055e-06,5.004621e-06,4.969356e-06,4.934080e-06,4.863557e-06,4.829746e-06,4.793165e-06,4.723006e-06,4.690837e-06,4.653173e-06,4.583747e-06,4.553348e-06,4.514802e-06,4.446405e-06,4.417856e-06,4.378614e-06,4.311482e-06,4.284825e-06,4.245056e-06,4.179374e-06,4.154619e-06,4.114475e-06,4.050388e-06,4.027521e-06,3.987140e-06,3.924756e-06,3.903745e-06,3.863253e-06,3.802649e-06,3.783448e-06,3.742957e-06,3.684188e-06,3.666738e-06,3.626350e-06,3.569449e-06,3.553685e-06,3.513489e-06,3.458473e-06,3.444323e-06,3.404401e-06,3.351272e-06,3.338662e-06,3.299085e-06,3.247836e-06,3.236686e-06,3.197520e-06,3.148131e-06,3.138364e-06,3.099664e-06,3.052110e-06,3.043647e-06,3.005463e-06,2.959713e-06,2.952476e-06,2.914852e-06,2.870869e-06,2.864781e-06,2.827755e-06,2.785499e-06,2.780485e-06,2.744090e-06,2.703517e-06,2.699506e-06,2.663770e-06,2.624836e-06,2.621756e-06,2.586703e-06,2.549361e-06,2.547145e-06,2.512796e-06,2.476997e-06,2.475581e-06,2.441952e-06,2.407649e-06,2.406971e-06,2.374076e-06,2.341220e-06,2.278236e-06,2.217924e-06,2.160193e-06,2.104953e-06,2.052113e-06,2.001586e-06,1.953287e-06,1.907132e-06,1.863041e-06,1.820933e-06,1.780734e-06,1.742368e-06,1.705763e-06,1.670849e-06,1.637560e-06,1.605830e-06,1.575596e-06,1.546797e-06,1.519375e-06,1.493274e-06,1.468438e-06,1.444817e-06,1.422358e-06,1.401014e-06,1.380738e-06,1.361485e-06,1.343212e-06,1.325877e-06,1.309439e-06,1.293862e-06,1.279107e-06,1.265139e-06,1.251925e-06,1.239431e-06,1.227626e-06,1.216480e-06,1.205963e-06,1.196049e-06,1.186710e-06,1.177920e-06,1.169655e-06,1.161892e-06,1.154608e-06,1.147780e-06,1.141389e-06,1.135414e-06,1.129836e-06,1.124636e-06,1.119797e-06
0.000000e+00,6.114861e-09,9.702229e-08,1.012398e-07,6.085095e-07,2.153515e-06,2.252423e-06,5.859807e-06,1.130732e-05,1.171599e-05,1.930754e-05,2.702066e-05,2.770084e-05,3.612382e-05,4.341424e-05,4.420206e-05,5.181706e-05,5.811704e-05,5.894722e-05,6.560087e-05,7.095488e-05,7.179515e-05,7.754983e-05,8.205894e-05,8.288528e-05,8.782179e-05,9.158596e-05,9.237918e-05,9.657667e-05,9.968802e-05,1.004328e-04,1.039654e-04,1.065073e-04,1.071916e-04,1.101277e-04,1.121749e-04,1.127895e-04,1.151917e-04,1.168107e-04,1.173487e-04,1.192741e-04,1.205242e-04,1.209808e-04,1.224811e-04,1.234149e-04,1.237869e-04,1.249094e-04,1.255735e-04,1.258592e-04,1.266466e-04,1.270819e-04,1.272811e-04,1.277720e-04,1.280148e-04,1.281280e-04,1.283574e-04,1.284395e-04,1.284681e-04,1.284676e-04,1.284169e-04,1.283630e-04,1.281611e-04,1.280020e-04,1.278683e-04,1.274908e-04,1.272444e-04,1.270341e-04,1.265039e-04,1.261889e-04,1.259053e-04,1.252434e-04,1.248757e-04,1.245228e-04,1.237479e-04,1.233414e-04,1.229229e-04,1.220518e-04,1.216184e-04,1.211384e-04,1.201862e-04,1.197361e-04,1.191985e-04,1.181787e-04,1.177205e-04,1.171296e-04,1.160541e-04,1.155952e-04,1.149549e-04,1.138346e-04,1.133810e-04,1.126955e-04,1.115399e-04,1.110968e-04,1.103699e-04,1.091875e-04,1.087592e-04,1.079947e-04,1.067931e-04,1.063829e-04,1.055845e-04,1.043704e-04,1.039810e-04,1.031524e-04,1.019317e-04,1.015652e-04,1.007098e-04,9.948771e-05,9.914568e-05,9.826671e-05,9.704783e-05,9.673139e-05,9.583207e-05,9.462035e-05,9.433024e-05,9.341355e-05,9.221246e-05,9.194907e-05,9.101785e-05,8.983042e-05,8.959385e-05,8.865080e-05,8.747960e-05,8.726972e-05,8.631737e-05,8.516462e-05,8.498109e-05,8.402182e-05,8.288941e-05,8.273172e-05,8.176777e-05,8.065727e-05,8.052477e-05,7.955823e-05,7.847095e-05,7.836288e-05,7.739570e-05,7.633271e-05,7.624821e-05,7.528220e-05,7.424437e-05,7.418250e-05,7.321936e-05,7.220734e-05,7.216713e-05,7.120841e-05,7.022270e-05,7.020312e-05,6.925028e-05,6.829122e-05,6.643191e-05,6.462542e-05,6.287179e-05,6.117088e-05,5.952239e-05,5.792588e-05,5.638080e-05,5.488649e-05,5.344219e-05,5.204710e-05,5.070032e-05,4.940093e-05,4.814794e-05,4.694033e-05,4.577707e-05,4.465710e-05,4.357934e-05,4.254270e-05,4.154611e-05,4.058846e-05,3.966867e-05,3.878567e-05,3.793837e-05,3.712573e-05,3.634669e-05,3.560022e-05,3.488531e-05,3.420095e-05,3.354618e-05,3.292004e-05,3.232157e-05,3.174987e-05,3.120404e-05,3.068320e-05,3.018651e-05,2.971311e-05,2.926222e-05,2.883303e-05,2.842479e-05,2.803673e-05,2.766815e-05,2.731833e-05,2.698660e-05,2.667228e-05,2.637473e-05,2.609333e-05,2.582747e-05,2.557657e-05,2.534006e-05
0.000000e+00,1.403235e-09,1.842696e-08,1.921002e-08,1.059448e-07,3.188024e-07,3.308200e-07,6.953337e-07,1.095134e-06,1.120988e-06,1.545155e-06,1.917070e-06,1.948444e-06,2.327235e-06,2.647127e-06,2.681464e-06,3.011890e-06,3.283745e-06,3.319484e-06,3.605271e-06,3.834392e-06,3.870279e-06,4.115457e-06,4.306802e-06,4.341789e-06,4.550259e-06,4.708542e-06,4.741815e-06,4.917372e-06,5.046889e-06,5.077807e-06,5.223956e-06,5.328553e-06,5.356622e-06,5.476567e-06,5.559666e-06,5.584518e-06,5.681168e-06,5.745801e-06,5.767175e-06,5.843164e-06,5.892008e-06,5.909730e-06,5.967438e-06,6.002851e-06,6.016823e-06,6.058395e-06,6.082447e-06,6.092635e-06,6.120000e-06,6.134506e-06,6.140923e-06,6.155816e-06,6.162364e-06,6.165068e-06,6.169046e-06,6.169018e-06,6.168099e-06,6.162558e-06,6.157158e-06,6.152734e-06,6.138923e-06,6.129197e-06,6.121405e-06,6.100443e-06,6.087293e-06,6.076287e-06,6.049173e-06,6.033381e-06,6.019324e-06,5.986951e-06,5.969185e-06,5.952251e-06,5.915413e-06,5.896248e-06,5.876614e-06,5.836021e-06,5.815945e-06,5.793791e-06,5.750072e-06,5.729500e-06,5.705004e-06,5.658720e-06,5.638002e-06,5.611343e-06,5.562989e-06,5.542417e-06,5.513770e-06,5.463788e-06,5.443603e-06,5.413140e-06,5.361918e-06,5.342321e-06,5.310208e-06,5.258089e-06,5.239241e-06,5.205638e-06,5.152925e-06,5.134955e-06,5.100016e-06,5.046975e-06,5.029983e-06,4.993858e-06,4.940720e-06,4.924783e-06,4.887613e-06,4.834584e-06,4.819755e-06,4.781676e-06,4.728931e-06,4.715249e-06,4.676387e-06,4.624081e-06,4.611567e-06,4.572045e-06,4.520310e-06,4.508972e-06,4.468905e-06,4.417855e-06,4.407690e-06,4.367185e-06,4.316918e-06,4.307914e-06,4.267074e-06,4.217671e-06,4.209809e-06,4.168729e-06,4.120261e-06,4.113514e-06,4.072283e-06,4.024807e-06,4.019144e-06,3.977845e-06,3.931409e-06,3.926794e-06,3.885507e-06,3.840147e-06,3.836542e-06,3.795338e-06,3.751085e-06,3.748447e-06,3.707394e-06,3.664271e-06,3.662558e-06,3.621719e-06,3.579741e-06,3.578907e-06,3.538340e-06,3.497518e-06,3.418403e-06,3.341568e-06,3.267009e-06,3.194717e-06,3.124678e-06,3.056870e-06,2.991269e-06,2.927847e-06,2.866573e-06,2.807413e-06,2.750330e-06,2.695286e-06,2.642243e-06,2.591159e-06,2.541992e-06,2.494700e-06,2.449239e-06,2.405568e-06,2.363641e-06,2.323415e-06,2.284848e-06,2.247894e-06,2.212513e-06,2.178659e-06,2.146292e-06,2.115369e-06,2.085849e-06,2.057690e-06,2.030854e-06,2.005299e-06,1.980988e-06,1.957881e-06,1.935941e-06,1.915130e-06,1.895414e-06,1.876755e-06,1.859119e-06,1.842472e-06,1.826780e-06,1.812011e-06,1.798131e-06,1.785110e-06,1.772917e-06,1.761521e-06,1.750894e-06,1.741006e-06,1.731829e-06,1.723335e-06,1.715499e-06
0.000000e+00,2.800973e-09,1.139775e-07,1.201839e-07,1.059907e-06,5.024617e-06,5.317853e-06,1.833394e-05,4.432465e-05,4.651124e-05,9.141755e-05,1.425151e-04,1.471778e-04,2.060336e-04,2.577407e-04,2.633359e-04,3.173059e-04,3.616579e-04,3.674751e-04,4.138285e-04,4.507344e-04,4.564911e-04,4.956300e-04,5.259132e-04,5.314224e-04,5.640456e-04,5.885537e-04,5.936732e-04,6.204742e-04,6.399895e-04,6.446115e-04,6.662420e-04,6.814707e-04,6.855163e-04,7.025781e-04,7.141500e-04,7.175647e-04,7.306068e-04,7.390795e-04,7.418288e-04,7.513487e-04,7.572121e-04,7.592784e-04,7.657240e-04,7.694069e-04,7.707860e-04,7.745594e-04,7.764354e-04,7.771342e-04,7.785953e-04,7.789887e-04,7.790229e-04,7.784930e-04,7.776844e-04,7.770769e-04,7.748423e-04,7.730737e-04,7.718526e-04,7.681680e-04,7.656472e-04,7.638448e-04,7.589363e-04,7.558411e-04,7.534926e-04,7.475608e-04,7.440424e-04,7.411852e-04,7.344073e-04,7.305939e-04,7.272664e-04,7.197992e-04,7.157987e-04,7.120400e-04,7.040212e-04,6.999240e-04,6.957730e-04,6.873239e-04,6.832048e-04,6.787003e-04,6.699270e-04,6.658475e-04,6.610272e-04,6.520226e-04,6.480326e-04,6.429334e-04,6.337783e-04,6.299177e-04,6.245748e-04,6.153394e-04,6.116397e-04,6.060870e-04,5.968318e-04,5.933168e-04,5.875867e-04,5.783638e-04,5.750512e-04,5.691743e-04,5.600282e-04,5.569302e-04,5.509352e-04,5.419039e-04,5.390282e-04,5.329422e-04,5.240575e-04,5.214081e-04,5.152563e-04,5.065447e-04,5.041222e-04,4.979281e-04,4.894116e-04,4.872143e-04,4.809996e-04,4.726959e-04,4.707196e-04,4.645043e-04,4.564278e-04,4.546667e-04,4.484691e-04,4.406307e-04,4.390776e-04,4.329146e-04,4.253225e-04,4.239692e-04,4.178559e-04,4.105160e-04,4.093534e-04,4.033036e-04,3.962195e-04,3.952380e-04,3.892641e-04,3.824376e-04,3.816271e-04,3.757402e-04,3.691717e-04,3.685219e-04,3.627318e-04,3.564202e-04,3.559208e-04,3.502361e-04,3.441790e-04,3.438196e-04,3.382480e-04,3.324421e-04,3.322125e-04,3.267604e-04,3.212018e-04,3.210919e-04,3.157650e-04,3.104489e-04,3.002733e-04,2.905541e-04,2.812796e-04,2.724373e-04,2.640145e-04,2.559981e-04,2.483745e-04,2.411304e-04,2.342523e-04,2.277268e-04,2.215405e-04,2.156803e-04,2.101332e-04,2.048865e-04,1.999277e-04,1.952446e-04,1.908253e-04,1.866582e-04,1.827321e-04,1.790363e-04,1.755600e-04,1.722933e-04,1.692262e-04,1.663493e-04,1.636534e-04,1.611298e-04,1.587701e-04,1.565660e-04,1.545099e-04,1.525944e-04,1.508122e-04,1.491565e-04,1.476208e-04,1.461988e-04,1.448845e-04,1.436722e-04,1.425564e-04,1.415319e-04,1.405937e-04,1.397372e-04,1.389576e-04,1.382508e-04,1.376126e-04,1.370391e-04,1.365266e-04,1.360715e-04,1.356704e-04,1.353201e-04,1.350177e-04
0.000000e+00,2.582047e-09,3.351582e-08,3.493419e-08,1.954325e-07,6.179940e-07,6.429477e-07,1.448015e-06,2.411728e-06,2.475786e-06,3.538774e-06,4.474309e-06,4.552985e-06,5.497725e-06,6.286396e-06,6.370474e-06,7.173261e-06,7.824369e-06,7.909279e-06,8.581968e-06,9.112455e-06,9.194760e-06,9.750842e-06,1.017653e-05,1.025350e-05,1.070598e-05,1.104178e-05,1.111143e-05,1.147285e-05,1.173224e-05,1.179313e-05,1.207500e-05,1.226986e-05,1.232104e-05,1.253372e-05,1.267446e-05,1.271534e-05,1.286810e-05,1.296377e-05,1.299405e-05,1.309513e-05,1.315353e-05,1.317316e-05,1.322985e-05,1.325770e-05,1.326680e-05,1.328553e-05,1.328859e-05,1.328746e-05,1.327389e-05,1.325707e-05,1.324609e-05,1.320521e-05,1.317269e-05,1.315234e-05,1.308850e-05,1.304383e-05,1.301465e-05,1.293168e-05,1.287786e-05,1.284042e-05,1.274164e-05,1.268121e-05,1.263609e-05,1.252444e-05,1.245948e-05,1.240731e-05,1.228530e-05,1.221758e-05,1.215896e-05,1.202881e-05,1.195978e-05,1.189531e-05,1.175891e-05,1.168976e-05,1.162003e-05,1.147904e-05,1.141073e-05,1.133631e-05,1.119215e-05,1.112545e-05,1.104688e-05,1.090078e-05,1.083630e-05,1.075411e-05,1.060710e-05,1.054532e-05,1.045999e-05,1.031298e-05,1.025425e-05,1.016626e-05,1.001999e-05,9.964565e-06,9.874346e-06,9.729465e-06,9.677521e-06,9.585483e-06,9.442521e-06,9.394166e-06,9.300690e-06,9.160091e-06,9.115374e-06,9.020814e-06,8.882941e-06,8.841864e-06,8.746547e-06,8.611697e-06,8.574224e-06,8.478451e-06,8.346860e-06,8.312923e-06,8.216971e-06,8.088824e-06,8.058331e-06,7.962453e-06,7.837889e-06,7.810729e-06,7.715156e-06,7.594276e-06,7.570323e-06,7.475264e-06,7.358136e-06,7.337253e-06,7.242899e-06,7.129561e-06,7.111603e-06,7.018125e-06,6.908592e-06,6.893409e-06,6.800961e-06,6.695227e-06,6.682666e-06,6.591384e-06,6.489425e-06,6.479332e-06,6.389340e-06,6.291117e-06,6.283340e-06,6.194745e-06,6.100208e-06,6.094594e-06,6.007493e-06,5.916582e-06,5.912982e-06,5.827457e-06,5.740102e-06,5.738373e-06,5.654496e-06,5.570619e-06,5.409566e-06,5.255048e-06,5.106894e-06,4.964929e-06,4.828972e-06,4.698843e-06,4.574361e-06,4.455344e-06,4.341612e-06,4.232985e-06,4.129287e-06,4.030346e-06,3.935990e-06,3.846052e-06,3.760370e-06,3.678784e-06,3.601139e-06,3.527285e-06,3.457074e-06,3.390364e-06,3.327017e-06,3.266900e-06,3.209883e-06,3.155841e-06,3.104653e-06,3.056203e-06,3.010376e-06,2.967065e-06,2.926164e-06,2.887572e-06,2.851192e-06,2.816929e-06,2.784693e-06,2.754397e-06,2.725956e-06,2.699290e-06,2.674320e-06,2.650973e-06,2.629176e-06,2.608860e-06,2.589958e-06,2.572407e-06,2.556144e-06,2.541110e-06,2.527249e-06,2.514506e-06,2.502829e-06,2.492166e-06,2.482470e-06
0.000000e+00,7.980495e-11,7.939278e-09,8.502716e-09,1.446466e-07,1.101292e-06,1.186357e-06,6.150831e-06,2.089591e-05,2.238396e-05,6.111534e-05,1.257825e-04,1.329080e-04,2.429023e-04,3.733473e-04,3.894898e-04,5.659815e-04,7.388045e-04,7.632606e-04,9.720273e-04,1.154516e-03,1.184160e-03,1.393284e-03,1.563219e-03,1.594812e-03,1.785710e-03,1.933017e-03,1.964173e-03,2.129293e-03,2.251582e-03,2.280796e-03,2.418825e-03,2.517393e-03,2.543792e-03,2.656264e-03,2.733789e-03,2.756899e-03,2.846391e-03,2.905856e-03,2.925445e-03,2.994755e-03,3.039004e-03,3.054995e-03,3.106808e-03,3.138394e-03,3.150810e-03,3.187579e-03,3.208731e-03,3.217662e-03,3.241572e-03,3.254206e-03,3.259791e-03,3.272768e-03,3.278518e-03,3.280924e-03,3.284653e-03,3.284903e-03,3.284320e-03,3.280267e-03,3.276183e-03,3.272812e-03,3.262251e-03,3.254812e-03,3.248859e-03,3.232893e-03,3.222918e-03,3.214592e-03,3.194175e-03,3.182344e-03,3.171850e-03,3.147807e-03,3.134686e-03,3.122224e-03,3.095265e-03,3.081317e-03,3.067082e-03,3.037818e-03,3.023425e-03,3.007602e-03,2.976557e-03,2.962029e-03,2.944795e-03,2.912419e-03,2.898004e-03,2.879525e-03,2.846203e-03,2.832099e-03,2.812533e-03,2.778592e-03,2.764955e-03,2.744448e-03,2.710166e-03,2.697115e-03,2.675805e-03,2.641418e-03,2.629043e-03,2.607056e-03,2.572763e-03,2.561127e-03,2.538581e-03,2.504548e-03,2.493695e-03,2.470699e-03,2.437066e-03,2.427022e-03,2.403676e-03,2.370555e-03,2.361333e-03,2.337728e-03,2.305216e-03,2.296816e-03,2.273036e-03,2.241206e-03,2.233621e-03,2.209742e-03,2.178656e-03,2.171869e-03,2.147961e-03,2.117666e-03,2.111656e-03,2.087781e-03,2.058312e-03,2.053053e-03,2.029268e-03,2.000653e-03,1.996114e-03,1.972471e-03,1.944726e-03,1.940876e-03,1.917420e-03,1.890556e-03,1.887362e-03,1.864135e-03,1.838156e-03,1.835583e-03,1.812621e-03,1.787527e-03,1.785539e-03,1.762875e-03,1.738661e-03,1.737222e-03,1.714885e-03,1.691543e-03,1.690618e-03,1.668633e-03,1.646151e-03,1.645706e-03,1.624095e-03,1.602459e-03,1.560849e-03,1.520841e-03,1.482399e-03,1.445487e-03,1.410065e-03,1.376091e-03,1.343526e-03,1.312327e-03,1.282452e-03,1.253860e-03,1.226508e-03,1.200356e-03,1.175364e-03,1.151490e-03,1.128696e-03,1.106943e-03,1.086194e-03,1.066411e-03,1.047559e-03,1.029602e-03,1.012507e-03,9.962410e-04,9.807714e-04,9.660674e-04,9.520987e-04,9.388363e-04,9.262518e-04,9.143180e-04,9.030084e-04,8.922975e-04,8.821607e-04,8.725741e-04,8.635147e-04,8.549604e-04,8.468898e-04,8.392822e-04,8.321178e-04,8.253773e-04,8.190424e-04,8.130951e-04,8.075184e-04,8.022956e-04,7.974110e-04,7.928492e-04,7.885954e-04,7.846354e-04,7.809557e-04,7.775429e-04,7.743846e-04
0.000000e+00,3.214490e-10,3.500888e-08,3.759927e-08,7.202295e-07,5.558900e-06,5.977589e-06,2.820711e-05,8.262306e-05,8.758392e-05,1.999921e-04,3.517414e-04,3.668811e-04,5.766353e-04,7.877136e-04,8.118833e-04,1.055835e-03,1.267240e-03,1.295437e-03,1.522005e-03,1.702563e-03,1.730571e-03,1.918855e-03,2.060916e-03,2.086325e-03,2.233483e-03,2.339734e-03,2.361396e-03,2.471397e-03,2.547461e-03,2.564915e-03,2.643372e-03,2.694998e-03,2.708140e-03,2.760508e-03,2.792758e-03,2.801679e-03,2.832767e-03,2.849884e-03,2.854794e-03,2.868698e-03,2.874165e-03,2.875339e-03,2.875499e-03,2.872140e-03,2.869893e-03,2.859172e-03,2.849264e-03,2.843927e-03,2.824694e-03,2.810055e-03,2.801962e-03,2.776173e-03,2.758250e-03,2.747727e-03,2.716986e-03,2.696920e-03,2.684279e-03,2.649901e-03,2.628585e-03,2.614120e-03,2.577178e-03,2.555305e-03,2.539290e-03,2.500653e-03,2.478756e-03,2.461443e-03,2.421815e-03,2.400294e-03,2.381913e-03,2.341862e-03,2.321014e-03,2.301773e-03,2.261749e-03,2.241789e-03,2.221878e-03,2.182238e-03,2.163314e-03,2.142900e-03,2.103925e-03,2.086133e-03,2.065366e-03,2.027271e-03,2.010666e-03,1.989679e-03,1.952628e-03,1.937234e-03,1.916145e-03,1.880257e-03,1.866073e-03,1.844985e-03,1.810346e-03,1.797352e-03,1.776354e-03,1.743021e-03,1.731184e-03,1.710354e-03,1.678360e-03,1.667636e-03,1.647043e-03,1.616404e-03,1.606743e-03,1.586443e-03,1.557158e-03,1.548505e-03,1.528548e-03,1.500606e-03,1.492902e-03,1.473329e-03,1.446710e-03,1.439896e-03,1.420743e-03,1.395418e-03,1.389435e-03,1.370728e-03,1.346665e-03,1.341454e-03,1.323218e-03,1.300378e-03,1.295882e-03,1.278134e-03,1.256477e-03,1.252640e-03,1.235396e-03,1.214879e-03,1.211648e-03,1.194917e-03,1.175497e-03,1.172821e-03,1.156610e-03,1.138243e-03,1.136074e-03,1.120387e-03,1.103029e-03,1.101320e-03,1.086159e-03,1.069766e-03,1.068475e-03,1.053840e-03,1.038368e-03,1.037454e-03,1.023342e-03,1.008750e-03,1.008175e-03,9.945816e-04,9.808272e-04,9.805563e-04,9.674765e-04,9.545196e-04,9.299887e-04,9.068899e-04,8.851522e-04,8.647075e-04,8.454899e-04,8.274367e-04,8.104874e-04,7.945846e-04,7.796731e-04,7.657003e-04,7.526162e-04,7.403731e-04,7.289255e-04,7.182300e-04,7.082455e-04,6.989327e-04,6.902545e-04,6.821755e-04,6.746620e-04,6.676821e-04,6.612056e-04,6.552035e-04,6.496487e-04,6.445151e-04,6.397783e-04,6.354149e-04,6.314027e-04,6.277209e-04,6.243496e-04,6.212698e-04,6.184639e-04,6.159148e-04,6.136065e-04,6.115240e-04,6.096528e-04,6.079794e-04,6.064909e-04,6.051750e-04,6.040204e-04,6.030160e-04,6.021517e-04,6.014177e-04,6.008048e-04,6.003043e-04,5.999080e-04,5.996082e-04,5.993975e-04,5.992692e-04,5.992166e-04
0.000000e+00,5.095358e-10,5.794858e-09,6.031746e-09,3.339695e-08,1.109549e-07,1.157259e-07,2.781018e-07,4.891349e-07,5.036252e-07,7.488801e-07,9.687167e-07,9.872857e-07,1.210844e-06,1.398105e-06,1.418099e-06,1.609296e-06,1.764800e-06,1.785111e-06,1.946322e-06,2.073890e-06,2.093725e-06,2.228108e-06,2.331486e-06,2.350233e-06,2.460838e-06,2.543436e-06,2.560631e-06,2.650284e-06,2.715139e-06,2.730440e-06,2.801708e-06,2.851497e-06,2.864663e-06,2.919851e-06,2.956920e-06,2.967792e-06,3.008970e-06,3.035360e-06,3.043846e-06,3.072849e-06,3.090322e-06,3.096383e-06,3.114828e-06,3.124909e-06,3.128550e-06,3.137886e-06,3.141896e-06,3.143160e-06,3.144674e-06,3.143755e-06,3.142719e-06,3.137578e-06,3.132734e-06,3.129505e-06,3.118735e-06,3.110799e-06,3.105487e-06,3.089967e-06,3.079645e-06,3.072369e-06,3.052875e-06,3.040767e-06,3.031654e-06,3.008865e-06,2.995474e-06,2.984657e-06,2.959170e-06,2.944921e-06,2.932533e-06,2.904869e-06,2.890116e-06,2.876292e-06,2.846906e-06,2.831942e-06,2.816812e-06,2.786102e-06,2.771167e-06,2.754861e-06,2.723171e-06,2.708464e-06,2.691107e-06,2.658736e-06,2.644413e-06,2.626125e-06,2.593333e-06,2.579520e-06,2.560415e-06,2.527424e-06,2.514217e-06,2.494406e-06,2.461406e-06,2.448879e-06,2.428464e-06,2.395618e-06,2.383823e-06,2.362902e-06,2.330349e-06,2.319322e-06,2.297986e-06,2.265841e-06,2.255605e-06,2.233939e-06,2.202301e-06,2.192864e-06,2.170947e-06,2.139896e-06,2.131258e-06,2.109164e-06,2.078766e-06,2.070919e-06,2.048716e-06,2.019025e-06,2.011953e-06,1.989703e-06,1.960761e-06,1.954445e-06,1.932205e-06,1.904044e-06,1.898460e-06,1.876283e-06,1.848927e-06,1.844046e-06,1.821980e-06,1.795446e-06,1.791238e-06,1.769326e-06,1.743624e-06,1.740059e-06,1.718340e-06,1.693474e-06,1.690518e-06,1.669027e-06,1.644999e-06,1.642619e-06,1.621387e-06,1.598192e-06,1.596354e-06,1.575410e-06,1.553040e-06,1.551711e-06,1.531080e-06,1.509526e-06,1.508672e-06,1.488375e-06,1.467624e-06,1.467213e-06,1.447270e-06,1.427307e-06,1.388924e-06,1.352030e-06,1.316590e-06,1.282566e-06,1.249922e-06,1.218617e-06,1.188612e-06,1.159867e-06,1.132341e-06,1.105996e-06,1.080790e-06,1.056686e-06,1.033644e-06,1.011626e-06,9.905941e-07,9.705128e-07,9.513459e-07,9.330585e-07,9.156169e-07,8.989879e-07,8.831396e-07,8.680410e-07,8.536618e-07,8.399730e-07,8.269464e-07,8.145547e-07,8.027717e-07,7.915719e-07,7.809310e-07,7.708253e-07,7.612321e-07,7.521295e-07,7.434964e-07,7.353127e-07,7.275588e-07,7.202161e-07,7.132664e-07,7.066925e-07,7.004778e-07,6.946063e-07,6.890628e-07,6.838326e-07,6.789015e-07,6.742560e-07,6.698831e-07,6.657705e-07,6.619061e-07,6.582786e-07,6.548769e-07
0.000000e+00,1.029861e-09,6.073352e-08,6.438994e-08,6.913548e-07,3.719049e-06,3.956200e-06,1.557312e-05,4.304838e-05,4.556736e-05,1.033457e-04,1.813733e-04,1.890579e-04,2.925326e-04,3.904822e-04,4.013147e-04,5.067832e-04,5.934319e-04,6.047222e-04,6.936711e-04,7.628467e-04,7.734810e-04,8.445246e-04,8.978245e-04,9.073480e-04,9.625365e-04,1.002498e-03,1.010665e-03,1.052283e-03,1.081239e-03,1.087908e-03,1.118027e-03,1.137992e-03,1.143096e-03,1.163542e-03,1.176235e-03,1.179763e-03,1.192132e-03,1.199009e-03,1.200995e-03,1.206672e-03,1.208957e-03,1.209464e-03,1.209645e-03,1.208358e-03,1.207473e-03,1.203184e-03,1.199171e-03,1.196997e-03,1.189112e-03,1.183069e-03,1.179715e-03,1.168978e-03,1.161476e-03,1.157058e-03,1.144098e-03,1.135599e-03,1.130231e-03,1.115579e-03,1.106457e-03,1.100252e-03,1.084353e-03,1.074906e-03,1.067975e-03,1.051201e-03,1.041665e-03,1.034110e-03,1.016773e-03,1.007330e-03,9.992518e-04,9.816059e-04,9.723984e-04,9.638877e-04,9.461447e-04,9.372774e-04,9.284197e-04,9.107514e-04,9.023011e-04,8.931746e-04,8.757200e-04,8.677398e-04,8.584156e-04,8.412858e-04,8.338098e-04,8.243525e-04,8.076349e-04,8.006819e-04,7.911497e-04,7.749116e-04,7.684884e-04,7.589332e-04,7.432254e-04,7.373293e-04,7.277972e-04,7.126561e-04,7.072769e-04,6.978086e-04,6.832593e-04,6.783812e-04,6.690122e-04,6.550700e-04,6.506732e-04,6.414344e-04,6.281063e-04,6.241679e-04,6.150859e-04,6.023727e-04,5.988679e-04,5.899654e-04,5.778622e-04,5.747650e-04,5.660610e-04,5.545590e-04,5.518427e-04,5.433531e-04,5.324397e-04,5.300777e-04,5.218153e-04,5.114756e-04,5.094414e-04,5.014164e-04,4.916332e-04,4.899011e-04,4.821213e-04,4.728760e-04,4.714211e-04,4.638923e-04,4.551651e-04,4.539635e-04,4.466895e-04,4.384601e-04,4.374889e-04,4.304720e-04,4.227197e-04,4.219572e-04,4.151981e-04,4.079019e-04,4.073278e-04,4.008259e-04,3.939650e-04,3.935601e-04,3.873139e-04,3.808675e-04,3.806138e-04,3.746208e-04,3.685686e-04,3.684495e-04,3.627061e-04,3.570284e-04,3.463128e-04,3.362661e-04,3.268529e-04,3.180391e-04,3.097920e-04,3.020801e-04,2.948735e-04,2.881434e-04,2.818624e-04,2.760045e-04,2.705450e-04,2.654603e-04,2.607281e-04,2.563274e-04,2.522381e-04,2.484413e-04,2.449191e-04,2.416546e-04,2.386318e-04,2.358358e-04,2.332523e-04,2.308680e-04,2.286702e-04,2.266471e-04,2.247876e-04,2.230810e-04,2.215175e-04,2.200878e-04,2.187832e-04,2.175953e-04,2.165166e-04,2.155396e-04,2.146577e-04,2.138643e-04,2.131535e-04,2.125197e-04,2.119574e-04,2.114617e-04,2.110281e-04,2.106520e-04,2.103293e-04,2.100563e-04,2.098293e-04,2.096449e-04,2.094999e-04,2.093915e-04,2.093166e-04,2.092729e-04,2.092578e-04
0.000000e+00,6.075246e-10,4.087747e-08,4.344839e-08,5.188271e-07,2.939918e-06,3.130922e-06,1.243900e-05,3.408986e-05,3.606224e-05,8.137216e-05,1.439921e-04,1.502865e-04,2.375557e-04,3.246170e-04,3.345122e-04,4.336118e-04,5.187946e-04,5.301507e-04,6.218154e-04,6.960469e-04,7.077138e-04,7.876513e-04,8.502640e-04,8.617316e-04,9.301757e-04,9.822768e-04,9.932445e-04,1.051208e-03,1.094083e-03,1.104333e-03,1.152881e-03,1.187731e-03,1.197101e-03,1.237236e-03,1.265148e-03,1.273516e-03,1.306163e-03,1.328107e-03,1.335387e-03,1.361390e-03,1.378226e-03,1.384363e-03,1.404489e-03,1.416975e-03,1.421939e-03,1.436878e-03,1.445682e-03,1.449462e-03,1.459839e-03,1.465546e-03,1.468148e-03,1.474523e-03,1.477647e-03,1.479091e-03,1.481971e-03,1.482959e-03,1.483276e-03,1.483114e-03,1.482354e-03,1.481584e-03,1.478784e-03,1.476614e-03,1.474805e-03,1.469730e-03,1.466441e-03,1.463643e-03,1.456619e-03,1.452463e-03,1.448731e-03,1.440047e-03,1.435239e-03,1.430632e-03,1.420546e-03,1.415270e-03,1.409847e-03,1.398588e-03,1.393001e-03,1.386822e-03,1.374595e-03,1.368829e-03,1.361954e-03,1.348940e-03,1.343107e-03,1.335594e-03,1.321954e-03,1.316146e-03,1.308055e-03,1.293930e-03,1.288224e-03,1.279610e-03,1.265125e-03,1.259583e-03,1.250502e-03,1.235767e-03,1.230439e-03,1.220944e-03,1.206055e-03,1.200981e-03,1.191121e-03,1.176163e-03,1.171374e-03,1.161198e-03,1.146244e-03,1.141762e-03,1.131316e-03,1.116430e-03,1.112271e-03,1.101598e-03,1.086834e-03,1.083008e-03,1.072149e-03,1.057555e-03,1.054067e-03,1.043061e-03,1.028677e-03,1.025528e-03,1.014411e-03,1.000271e-03,9.974589e-04,9.862643e-04,9.723970e-04,9.699162e-04,9.586754e-04,9.451046e-04,9.429476e-04,9.316896e-04,9.184348e-04,9.165921e-04,9.053439e-04,8.924204e-04,8.908810e-04,8.796674e-04,8.670874e-04,8.658391e-04,8.546828e-04,8.424555e-04,8.414850e-04,8.304071e-04,8.185388e-04,8.178325e-04,8.068519e-04,7.953469e-04,7.948905e-04,7.840246e-04,7.728851e-04,7.726641e-04,7.619285e-04,7.511548e-04,7.303610e-04,7.102786e-04,6.909010e-04,6.722197e-04,6.542248e-04,6.369045e-04,6.202463e-04,6.042364e-04,5.888603e-04,5.741028e-04,5.599484e-04,5.463810e-04,5.333843e-04,5.209419e-04,5.090374e-04,4.976541e-04,4.867757e-04,4.763857e-04,4.664681e-04,4.570069e-04,4.479863e-04,4.393909e-04,4.312055e-04,4.234153e-04,4.160057e-04,4.089626e-04,4.022721e-04,3.959208e-04,3.898955e-04,3.841837e-04,3.787728e-04,3.736508e-04,3.688062e-04,3.642277e-04,3.599043e-04,3.558255e-04,3.519811e-04,3.483613e-04,3.449564e-04,3.417572e-04,3.387550e-04,3.359410e-04,3.333071e-04,3.308453e-04,3.285478e-04,3.264073e-04,3.244166e-04,3.225689e-04,3.208576e-04
0.000000e+00,2.481232e-11,3.695537e-09,3.991284e-09,9.742797e-08,9.173027e-07,9.945687e-07,5.831759e-06,2.151348e-05,2.316306e-05,6.928715e-05,1.577017e-04,1.682355e-04,3.496961e-04,6.102538e-04,6.459714e-04,1.088860e-03,1.622715e-03,1.706970e-03,2.523707e-03,3.398035e-03,3.555968e-03,4.813517e-03,6.046035e-03,6.298910e-03,8.007860e-03,9.568864e-03,9.929921e-03,1.204938e-02,1.387374e-02,1.434622e-02,1.679719e-02,1.879958e-02,1.937677e-02,2.205809e-02,2.414712e-02,2.481381e-02,2.761682e-02,2.970597e-02,3.044081e-02,3.326084e-02,3.527567e-02,3.605364e-02,3.879792e-02,4.067971e-02,4.147456e-02,4.406668e-02,4.577352e-02,4.655971e-02,4.894133e-02,5.044717e-02,5.120142e-02,5.333195e-02,5.462462e-02,5.532685e-02,5.718184e-02,5.826047e-02,5.889433e-02,6.046316e-02,6.133553e-02,6.188851e-02,6.317174e-02,6.385176e-02,6.431514e-02,6.532191e-02,6.582743e-02,6.619591e-02,6.694159e-02,6.729262e-02,6.756387e-02,6.806801e-02,6.828529e-02,6.845951e-02,6.874408e-02,6.884806e-02,6.892749e-02,6.901558e-02,6.902571e-02,6.901415e-02,6.892894e-02,6.886317e-02,6.876560e-02,6.852962e-02,6.840416e-02,6.822635e-02,6.786097e-02,6.769018e-02,6.743843e-02,6.696351e-02,6.675990e-02,6.644076e-02,6.587453e-02,6.564882e-02,6.526893e-02,6.462786e-02,6.438911e-02,6.395502e-02,6.325387e-02,6.300962e-02,6.252770e-02,6.177958e-02,6.153602e-02,6.101240e-02,6.022885e-02,5.999098e-02,5.943147e-02,5.862261e-02,5.839437e-02,5.780445e-02,5.697904e-02,5.676348e-02,5.614825e-02,5.531386e-02,5.511325e-02,5.447747e-02,5.364060e-02,5.345656e-02,5.280462e-02,5.197080e-02,5.180441e-02,5.114034e-02,5.031429e-02,5.016615e-02,4.949364e-02,4.867930e-02,4.854965e-02,4.787209e-02,4.707275e-02,4.696151e-02,4.628196e-02,4.550035e-02,4.540719e-02,4.472845e-02,4.396677e-02,4.389118e-02,4.321575e-02,4.247579e-02,4.241708e-02,4.174724e-02,4.103040e-02,4.098777e-02,4.032555e-02,3.963291e-02,3.960546e-02,3.895269e-02,3.828505e-02,3.827183e-02,3.763013e-02,3.698803e-02,3.575485e-02,3.457267e-02,3.344161e-02,3.236149e-02,3.133193e-02,3.035237e-02,2.942206e-02,2.854016e-02,2.770568e-02,2.691756e-02,2.617465e-02,2.547576e-02,2.481962e-02,2.420493e-02,2.363038e-02,2.309461e-02,2.259624e-02,2.213390e-02,2.170620e-02,2.131175e-02,2.094915e-02,2.061701e-02,2.031396e-02,2.003862e-02,1.978963e-02,1.956565e-02,1.936534e-02,1.918740e-02,1.903054e-02,1.889348e-02,1.877499e-02,1.867385e-02,1.858888e-02,1.851891e-02,1.846282e-02,1.841953e-02,1.838796e-02,1.836710e-02,1.835597e-02,1.835362e-02,1.835913e-02,1.837166e-02,1.839037e-02,1.841447e-02,1.844323e-02,1.847593e-02,1.851193e-02,1.855061e-02,1.859138e-02
0.000000e+00,1.024224e-10,9.978566e-09,1.068027e-08,1.740259e-07,1.247490e-06,1.340204e-06,6.494646e-06,2.087410e-05,2.229120e-05,5.824059e-05,1.163287e-04,1.226408e-04,2.185401e-04,3.293190e-04,3.428362e-04,4.880903e-04,6.259822e-04,6.451516e-04,8.052676e-04,9.398936e-04,9.612721e-04,1.107984e-03,1.221580e-03,1.242105e-03,1.361882e-03,1.448945e-03,1.466711e-03,1.556780e-03,1.618656e-03,1.632773e-03,1.695664e-03,1.736335e-03,1.746563e-03,1.786620e-03,1.810510e-03,1.816966e-03,1.838677e-03,1.849776e-03,1.852755e-03,1.860120e-03,1.861739e-03,1.861609e-03,1.857978e-03,1.852756e-03,1.849905e-03,1.837998e-03,1.827991e-03,1.822800e-03,1.804794e-03,1.791581e-03,1.784407e-03,1.762020e-03,1.746799e-03,1.737969e-03,1.712550e-03,1.696220e-03,1.686026e-03,1.658627e-03,1.641853e-03,1.630556e-03,1.601990e-03,1.585258e-03,1.573086e-03,1.543980e-03,1.527637e-03,1.514789e-03,1.485618e-03,1.469906e-03,1.456555e-03,1.427678e-03,1.412757e-03,1.399052e-03,1.370734e-03,1.356706e-03,1.342772e-03,1.315207e-03,1.302127e-03,1.288073e-03,1.261398e-03,1.249288e-03,1.235204e-03,1.209511e-03,1.198368e-03,1.184331e-03,1.159677e-03,1.149480e-03,1.135554e-03,1.111970e-03,1.102687e-03,1.088925e-03,1.066422e-03,1.058012e-03,1.044457e-03,1.023030e-03,1.015446e-03,1.002135e-03,9.817671e-04,9.749612e-04,9.619207e-04,9.425885e-04,9.365096e-04,9.237630e-04,9.054358e-04,9.000335e-04,8.875983e-04,8.702412e-04,8.654660e-04,8.533551e-04,8.369305e-04,8.327344e-04,8.209574e-04,8.054260e-04,8.017630e-04,7.903261e-04,7.756480e-04,7.724744e-04,7.613813e-04,7.475163e-04,7.447906e-04,7.340428e-04,7.209510e-04,7.186343e-04,7.082312e-04,6.958737e-04,6.939295e-04,6.838689e-04,6.722075e-04,6.706017e-04,6.608802e-04,6.498781e-04,6.485792e-04,6.391922e-04,6.288138e-04,6.277926e-04,6.187345e-04,6.089459e-04,6.081752e-04,5.994399e-04,5.902083e-04,5.896630e-04,5.812436e-04,5.725381e-04,5.721951e-04,5.640843e-04,5.558751e-04,5.557133e-04,5.479034e-04,5.401623e-04,5.254896e-04,5.116452e-04,4.985820e-04,4.862553e-04,4.746227e-04,4.636444e-04,4.532826e-04,4.435018e-04,4.342682e-04,4.255502e-04,4.173179e-04,4.095432e-04,4.021996e-04,3.952619e-04,3.887066e-04,3.825117e-04,3.766561e-04,3.711202e-04,3.658855e-04,3.609345e-04,3.562509e-04,3.518192e-04,3.476248e-04,3.436541e-04,3.398942e-04,3.363330e-04,3.329590e-04,3.297616e-04,3.267306e-04,3.238565e-04,3.211303e-04,3.185437e-04,3.160887e-04,3.137578e-04,3.115440e-04,3.094407e-04,3.074417e-04,3.055411e-04,3.037333e-04,3.020133e-04,3.003760e-04,2.988169e-04,2.973317e-04,2.959162e-04,2.945665e-04,2.932792e-04,2.920507e-04,2.908779e-04,2.897576e-04
0.000000e+00,1.753479e-09,1.100727e-07,1.169128e-07,1.357000e-06,7.306727e-06,7.758756e-06,2.818623e-05,6.972586e-05,7.325953e-05,1.475822e-04,2.369117e-04,2.453223e-04,3.547687e-04,4.548215e-04,4.658008e-04,5.727015e-04,6.614269e-04,6.730999e-04,7.663157e-04,8.407321e-04,8.523531e-04,9.314562e-04,9.927771e-04,1.003945e-03,1.070158e-03,1.120008e-03,1.130434e-03,1.185107e-03,1.225029e-03,1.234500e-03,1.278921e-03,1.310312e-03,1.318671e-03,1.354033e-03,1.378141e-03,1.385279e-03,1.412667e-03,1.430595e-03,1.436442e-03,1.456838e-03,1.469554e-03,1.474074e-03,1.488359e-03,1.496710e-03,1.499892e-03,1.508860e-03,1.513585e-03,1.515441e-03,1.519804e-03,1.521545e-03,1.522106e-03,1.522497e-03,1.521810e-03,1.521118e-03,1.518101e-03,1.515464e-03,1.513573e-03,1.507651e-03,1.503476e-03,1.500448e-03,1.492067e-03,1.486706e-03,1.482608e-03,1.472163e-03,1.465917e-03,1.460821e-03,1.448663e-03,1.441785e-03,1.435766e-03,1.422203e-03,1.414910e-03,1.408042e-03,1.393347e-03,1.385819e-03,1.378178e-03,1.362591e-03,1.354976e-03,1.346638e-03,1.330368e-03,1.322790e-03,1.313828e-03,1.297059e-03,1.289619e-03,1.280103e-03,1.262997e-03,1.255776e-03,1.245775e-03,1.228470e-03,1.221531e-03,1.211111e-03,1.193728e-03,1.187121e-03,1.176345e-03,1.158988e-03,1.152749e-03,1.141677e-03,1.124434e-03,1.118590e-03,1.107278e-03,1.090225e-03,1.084793e-03,1.073292e-03,1.056494e-03,1.051483e-03,1.039845e-03,1.023355e-03,1.018768e-03,1.007037e-03,9.909001e-04,9.867355e-04,9.749540e-04,9.592067e-04,9.554577e-04,9.436654e-04,9.283367e-04,9.249935e-04,9.132263e-04,8.983393e-04,8.953891e-04,8.836799e-04,8.692521e-04,8.666799e-04,8.550588e-04,8.411027e-04,8.388919e-04,8.273860e-04,8.139103e-04,8.120430e-04,8.006768e-04,7.876863e-04,7.861438e-04,7.749392e-04,7.624356e-04,7.611986e-04,7.501752e-04,7.381574e-04,7.372064e-04,7.263814e-04,7.148461e-04,7.141616e-04,7.035501e-04,6.924920e-04,6.920546e-04,6.816699e-04,6.710818e-04,6.708724e-04,6.607258e-04,6.505994e-04,6.312175e-04,6.127066e-04,5.950451e-04,5.782103e-04,5.621784e-04,5.469250e-04,5.324250e-04,5.186534e-04,5.055846e-04,4.931933e-04,4.814544e-04,4.703427e-04,4.598337e-04,4.499031e-04,4.405271e-04,4.316824e-04,4.233463e-04,4.154966e-04,4.081117e-04,4.011709e-04,3.946538e-04,3.885407e-04,3.828129e-04,3.774519e-04,3.724401e-04,3.677606e-04,3.633970e-04,3.593335e-04,3.555551e-04,3.520472e-04,3.487959e-04,3.457879e-04,3.430105e-04,3.404514e-04,3.380988e-04,3.359417e-04,3.339692e-04,3.321712e-04,3.305379e-04,3.290600e-04,3.277286e-04,3.265352e-04,3.254717e-04,3.245304e-04,3.237040e-04,3.229856e-04,3.223684e-04,3.218462e-04,3.214128e-04
0.000000e+00,3.145277e-11,4.441118e-09,4.791717e-09,1.143617e-07,1.101590e-06,1.196167e-06,7.312009e-06,2.800400e-05,3.021796e-05,9.350875e-05,2.187989e-04,2.339509e-04,5.000088e-04,8.938383e-04,9.486569e-04,1.641478e-03,2.502635e-03,2.640735e-03,4.005827e-03,5.513481e-03,5.790365e-03,8.039939e-03,1.031563e-02,1.079059e-02,1.406791e-02,1.715909e-02,1.788678e-02,2.225144e-02,2.613256e-02,2.715610e-02,3.258569e-02,3.717045e-02,3.851690e-02,4.491928e-02,5.007798e-02,5.175641e-02,5.898713e-02,6.456505e-02,6.656669e-02,7.444779e-02,8.028157e-02,8.258169e-02,9.091903e-02,9.684988e-02,9.941069e-02,1.080085e-01,1.138918e-01,1.166658e-01,1.253379e-01,1.310490e-01,1.339826e-01,1.425604e-01,1.479979e-01,1.510345e-01,1.593715e-01,1.644580e-01,1.675408e-01,1.755152e-01,1.801961e-01,1.832704e-01,1.907854e-01,1.950268e-01,1.980420e-01,2.050248e-01,2.088107e-01,2.117211e-01,2.181209e-01,2.214507e-01,2.242164e-01,2.300019e-01,2.328867e-01,2.354740e-01,2.406307e-01,2.430908e-01,2.454722e-01,2.499998e-01,2.520622e-01,2.542161e-01,2.581253e-01,2.598216e-01,2.617321e-01,2.650425e-01,2.664068e-01,2.680630e-01,2.708010e-01,2.718686e-01,2.732643e-01,2.754610e-01,2.762670e-01,2.773999e-01,2.790898e-01,2.796686e-01,2.805398e-01,2.817592e-01,2.821434e-01,2.827571e-01,2.835429e-01,2.837634e-01,2.841258e-01,2.845152e-01,2.846003e-01,2.847199e-01,2.847491e-01,2.847250e-01,2.846116e-01,2.843159e-01,2.842059e-01,2.838704e-01,2.832835e-01,2.831087e-01,2.825630e-01,2.817167e-01,2.814957e-01,2.807521e-01,2.796765e-01,2.794257e-01,2.784969e-01,2.772199e-01,2.769535e-01,2.758522e-01,2.744000e-01,2.741301e-01,2.728693e-01,2.712658e-01,2.710029e-01,2.695951e-01,2.678624e-01,2.676152e-01,2.660729e-01,2.642312e-01,2.640069e-01,2.623421e-01,2.604099e-01,2.602145e-01,2.584389e-01,2.564329e-01,2.562711e-01,2.543959e-01,2.523313e-01,2.522066e-01,2.502427e-01,2.481332e-01,2.480485e-01,2.460061e-01,2.438641e-01,2.438211e-01,2.417100e-01,2.395465e-01,2.352446e-01,2.309328e-01,2.266271e-01,2.223414e-01,2.180879e-01,2.138776e-01,2.097201e-01,2.056235e-01,2.015952e-01,1.976412e-01,1.937670e-01,1.899769e-01,1.862747e-01,1.826634e-01,1.791454e-01,1.757227e-01,1.723965e-01,1.691680e-01,1.660377e-01,1.630056e-01,1.600718e-01,1.572358e-01,1.544969e-01,1.518542e-01,1.493067e-01,1.468530e-01,1.444918e-01,1.422214e-01,1.400402e-01,1.379463e-01,1.359379e-01,1.340130e-01,1.321695e-01,1.304054e-01,1.287185e-01,1.271066e-01,1.255676e-01,1.240991e-01,1.226991e-01,1.213652e-01,1.200951e-01,1.188867e-01,1.177378e-01,1.166461e-01,1.156094e-01,1.146255e-01,1.136925e-01,1.128080e-01,1.119702e-01
0.000000e+00,5.872412e-09,1.830252e-07,1.930253e-07,1.781520e-06,7.954366e-06,8.372497e-06,2.360872e-05,4.392652e-05,4.530190e-05,6.812595e-05,8.802050e-05,8.968287e-05,1.095157e-04,1.258931e-04,1.276294e-04,1.441119e-04,1.573469e-04,1.590636e-04,1.725841e-04,1.831402e-04,1.847692e-04,1.957102e-04,2.040027e-04,2.054937e-04,2.142019e-04,2.205943e-04,2.219117e-04,2.286961e-04,2.335031e-04,2.346230e-04,2.397564e-04,2.432482e-04,2.441561e-04,2.478778e-04,2.502853e-04,2.509739e-04,2.534931e-04,2.550126e-04,2.554807e-04,2.569793e-04,2.577776e-04,2.580282e-04,2.586644e-04,2.588826e-04,2.589221e-04,2.588332e-04,2.585901e-04,2.584275e-04,2.577326e-04,2.571281e-04,2.567742e-04,2.555761e-04,2.546939e-04,2.541606e-04,2.525484e-04,2.514585e-04,2.507586e-04,2.488090e-04,2.475694e-04,2.467160e-04,2.444951e-04,2.431539e-04,2.421603e-04,2.397247e-04,2.383214e-04,2.372006e-04,2.345993e-04,2.331661e-04,2.319310e-04,2.292054e-04,2.277684e-04,2.264314e-04,2.236172e-04,2.221974e-04,2.207703e-04,2.178977e-04,2.165116e-04,2.150057e-04,2.121004e-04,2.107609e-04,2.091869e-04,2.062704e-04,2.049874e-04,2.033554e-04,2.004459e-04,1.992265e-04,1.975459e-04,1.946586e-04,1.935081e-04,1.917874e-04,1.889350e-04,1.878566e-04,1.861041e-04,1.832969e-04,1.822925e-04,1.805156e-04,1.777621e-04,1.768325e-04,1.750380e-04,1.723449e-04,1.714898e-04,1.696841e-04,1.670567e-04,1.662752e-04,1.644639e-04,1.619065e-04,1.611969e-04,1.593853e-04,1.569009e-04,1.562610e-04,1.544539e-04,1.520447e-04,1.514722e-04,1.496737e-04,1.473412e-04,1.468333e-04,1.450474e-04,1.427923e-04,1.423460e-04,1.405762e-04,1.383988e-04,1.380110e-04,1.362603e-04,1.341605e-04,1.338282e-04,1.320993e-04,1.300765e-04,1.297963e-04,1.280918e-04,1.261450e-04,1.259139e-04,1.242358e-04,1.223638e-04,1.221787e-04,1.205289e-04,1.187305e-04,1.185882e-04,1.169683e-04,1.152419e-04,1.151394e-04,1.135508e-04,1.118947e-04,1.118292e-04,1.102731e-04,1.086855e-04,1.086541e-04,1.071315e-04,1.056106e-04,1.026950e-04,9.990347e-05,9.723223e-05,9.467743e-05,9.223525e-05,8.990188e-05,8.767352e-05,8.554647e-05,8.351705e-05,8.158167e-05,7.973680e-05,7.797900e-05,7.630494e-05,7.471134e-05,7.319505e-05,7.175299e-05,7.038219e-05,6.907975e-05,6.784289e-05,6.666890e-05,6.555519e-05,6.449923e-05,6.349860e-05,6.255096e-05,6.165405e-05,6.080570e-05,6.000382e-05,5.924638e-05,5.853146e-05,5.785719e-05,5.722178e-05,5.662349e-05,5.606069e-05,5.553177e-05,5.503520e-05,5.456952e-05,5.413332e-05,5.372523e-05,5.334397e-05,5.298827e-05,5.265695e-05,5.234886e-05,5.206288e-05,5.179797e-05,5.155311e-05,5.132733e-05,5.111969e-05,5.092930e-05,5.075531e-05
0.000000e+00,3.659971e-11,4.327136e-09,4.646374e-09,8.625599e-08,6.805798e-07,7.340416e-07,3.955127e-06,1.436604e-05,1.547587e-05,4.755369e-05,1.129940e-04,1.210440e-04,2.656050e-04,4.867814e-04,5.180302e-04,9.194297e-04,1.429454e-03,1.512027e-03,2.336120e-03,3.257455e-03,3.427517e-03,4.815601e-03,6.226969e-03,6.522043e-03,8.560128e-03,1.048242e-02,1.093460e-02,1.364196e-02,1.604030e-02,1.667110e-02,2.000410e-02,2.279971e-02,2.361726e-02,2.748215e-02,3.056818e-02,3.156667e-02,3.583619e-02,3.909347e-02,4.025448e-02,4.478463e-02,4.809490e-02,4.938981e-02,5.403401e-02,5.728958e-02,5.868264e-02,6.330292e-02,6.641282e-02,6.786429e-02,7.233867e-02,7.523163e-02,7.670061e-02,8.092746e-02,8.355245e-02,8.499933e-02,8.889914e-02,9.122420e-02,9.261251e-02,9.612766e-02,9.813765e-02,9.943532e-02,1.025285e-01,1.042223e-01,1.054024e-01,1.080542e-01,1.094418e-01,1.104829e-01,1.126890e-01,1.137885e-01,1.146747e-01,1.164430e-01,1.172781e-01,1.179985e-01,1.193464e-01,1.199444e-01,1.204929e-01,1.214446e-01,1.218344e-01,1.222088e-01,1.227933e-01,1.230040e-01,1.232060e-01,1.234550e-01,1.235149e-01,1.235488e-01,1.234956e-01,1.234315e-01,1.233039e-01,1.229819e-01,1.228185e-01,1.225380e-01,1.219800e-01,1.217397e-01,1.213159e-01,1.205533e-01,1.202562e-01,1.196997e-01,1.187623e-01,1.184257e-01,1.177479e-01,1.166632e-01,1.163023e-01,1.155146e-01,1.143082e-01,1.139359e-01,1.130498e-01,1.117448e-01,1.113718e-01,1.103986e-01,1.090161e-01,1.086513e-01,1.076021e-01,1.061609e-01,1.058114e-01,1.046968e-01,1.032137e-01,1.028853e-01,1.017154e-01,1.002054e-01,9.990223e-02,9.868681e-02,9.716283e-02,9.688816e-02,9.563627e-02,9.410979e-02,9.386572e-02,9.258587e-02,9.106681e-02,9.085465e-02,8.955474e-02,8.805165e-02,8.787197e-02,8.655936e-02,8.507956e-02,8.493233e-02,8.361379e-02,8.216347e-02,8.204815e-02,8.072991e-02,7.931427e-02,7.922993e-02,7.791766e-02,7.654103e-02,7.648639e-02,7.518526e-02,7.385116e-02,7.382470e-02,7.253941e-02,7.125065e-02,6.876879e-02,6.638261e-02,6.409462e-02,6.190652e-02,5.981924e-02,5.783310e-02,5.594786e-02,5.416279e-02,5.247674e-02,5.088821e-02,4.939538e-02,4.799618e-02,4.668831e-02,4.546928e-02,4.433644e-02,4.328703e-02,4.231816e-02,4.142686e-02,4.061009e-02,3.986479e-02,3.918782e-02,3.857606e-02,3.802634e-02,3.753553e-02,3.710049e-02,3.671809e-02,3.638526e-02,3.609894e-02,3.585613e-02,3.565387e-02,3.548928e-02,3.535951e-02,3.526182e-02,3.519353e-02,3.515202e-02,3.513478e-02,3.513940e-02,3.516353e-02,3.520495e-02,3.526152e-02,3.533121e-02,3.541210e-02,3.550236e-02,3.560029e-02,3.570427e-02,3.581282e-02,3.592453e-02,3.603812e-02,3.615241e-02
0.000000e+00,8.386656e-12,1.472632e-09,1.596217e-09,4.455867e-08,4.344157e-07,4.708614e-07,2.644398e-06,8.994328e-06,9.627370e-06,2.600576e-05,5.386510e-05,5.700265e-05,1.074611e-04,1.725837e-04,1.810569e-04,2.798537e-04,3.879413e-04,4.041793e-04,5.527450e-04,6.979208e-04,7.229190e-04,9.110753e-04,1.079921e-03,1.112959e-03,1.324027e-03,1.500764e-03,1.539736e-03,1.755776e-03,1.926200e-03,1.968234e-03,2.173704e-03,2.327272e-03,2.369346e-03,2.552904e-03,2.683266e-03,2.722687e-03,2.877537e-03,2.982094e-03,3.016772e-03,3.140126e-03,3.219141e-03,3.247681e-03,3.339811e-03,3.395434e-03,3.417109e-03,3.480343e-03,3.515757e-03,3.530398e-03,3.568236e-03,3.587003e-03,3.594861e-03,3.611285e-03,3.616908e-03,3.618512e-03,3.617510e-03,3.613165e-03,3.609206e-03,3.594471e-03,3.582884e-03,3.574118e-03,3.548894e-03,3.532305e-03,3.519484e-03,3.486507e-03,3.466692e-03,3.450521e-03,3.412027e-03,3.390355e-03,3.371467e-03,3.329235e-03,3.306729e-03,3.285675e-03,3.241090e-03,3.218496e-03,3.195742e-03,3.149861e-03,3.127707e-03,3.103643e-03,3.057257e-03,3.035904e-03,3.010848e-03,2.964539e-03,2.944224e-03,2.918437e-03,2.872628e-03,2.853494e-03,2.827187e-03,2.782177e-03,2.764305e-03,2.737648e-03,2.693644e-03,2.677067e-03,2.650198e-03,2.607338e-03,2.592056e-03,2.565086e-03,2.523459e-03,2.509451e-03,2.482472e-03,2.442133e-03,2.429362e-03,2.402449e-03,2.363424e-03,2.351846e-03,2.325061e-03,2.287360e-03,2.276922e-03,2.250320e-03,2.213938e-03,2.204586e-03,2.178211e-03,2.143134e-03,2.134812e-03,2.108703e-03,2.074912e-03,2.067563e-03,2.041754e-03,2.009223e-03,2.002791e-03,1.977311e-03,1.946012e-03,1.940443e-03,1.915318e-03,1.885221e-03,1.880460e-03,1.855712e-03,1.826785e-03,1.822782e-03,1.798431e-03,1.770642e-03,1.767345e-03,1.743409e-03,1.716724e-03,1.714085e-03,1.690579e-03,1.664965e-03,1.662939e-03,1.639875e-03,1.615299e-03,1.613841e-03,1.591230e-03,1.567660e-03,1.566727e-03,1.544580e-03,1.521981e-03,1.521534e-03,1.499857e-03,1.478199e-03,1.436660e-03,1.396857e-03,1.358731e-03,1.322222e-03,1.287275e-03,1.253835e-03,1.221847e-03,1.191260e-03,1.162022e-03,1.134085e-03,1.107399e-03,1.081920e-03,1.057601e-03,1.034400e-03,1.012274e-03,9.911826e-04,9.710858e-04,9.519457e-04,9.337254e-04,9.163893e-04,8.999030e-04,8.842331e-04,8.693476e-04,8.552154e-04,8.418065e-04,8.290921e-04,8.170443e-04,8.056361e-04,7.948415e-04,7.846354e-04,7.749937e-04,7.658931e-04,7.573109e-04,7.492255e-04,7.416160e-04,7.344620e-04,7.277443e-04,7.214438e-04,7.155426e-04,7.100231e-04,7.048685e-04,7.000626e-04,6.955897e-04,6.914347e-04,6.875831e-04,6.840209e-04,6.807345e-04,6.777109e-04,6.749377e-04
0.000000e+00,1.341863e-09,2.214574e-08,2.319286e-08,1.562914e-07,5.395425e-07,5.623779e-07,1.274696e-06,2.056102e-06,2.106113e-06,2.917062e-06,3.613018e-06,3.671059e-06,4.363269e-06,4.935050e-06,4.995697e-06,5.571774e-06,6.035002e-06,6.095141e-06,6.569333e-06,6.940387e-06,6.997727e-06,7.383528e-06,7.676902e-06,7.729758e-06,8.039251e-06,8.267485e-06,8.314655e-06,8.558447e-06,8.732298e-06,8.772967e-06,8.960392e-06,9.089088e-06,9.122757e-06,9.261967e-06,9.353377e-06,9.379796e-06,9.477894e-06,9.538694e-06,9.557801e-06,9.620950e-06,9.656792e-06,9.668674e-06,9.702214e-06,9.717875e-06,9.722725e-06,9.731281e-06,9.730782e-06,9.728879e-06,9.716447e-06,9.703169e-06,9.694847e-06,9.664879e-06,9.641653e-06,9.627286e-06,9.582758e-06,9.551951e-06,9.531936e-06,9.475414e-06,9.438995e-06,9.413742e-06,9.347430e-06,9.307032e-06,9.276953e-06,9.202748e-06,9.159717e-06,9.125221e-06,9.044749e-06,9.000192e-06,8.961678e-06,8.876330e-06,8.831149e-06,8.789002e-06,8.699969e-06,8.654892e-06,8.609483e-06,8.517779e-06,8.473392e-06,8.425072e-06,8.331561e-06,8.288327e-06,8.237428e-06,8.142842e-06,8.101121e-06,8.047957e-06,7.952915e-06,7.912982e-06,7.857846e-06,7.762869e-06,7.724929e-06,7.668093e-06,7.573619e-06,7.537817e-06,7.479537e-06,7.385929e-06,7.352361e-06,7.292871e-06,7.200432e-06,7.169154e-06,7.108672e-06,7.017649e-06,6.988685e-06,6.927411e-06,6.838005e-06,6.811351e-06,6.749470e-06,6.661843e-06,6.637474e-06,6.575155e-06,6.489434e-06,6.467308e-06,6.404705e-06,6.320989e-06,6.301050e-06,6.238304e-06,6.156666e-06,6.138847e-06,6.076088e-06,5.996580e-06,5.980808e-06,5.918151e-06,5.840808e-06,5.827002e-06,5.764555e-06,5.689395e-06,5.677471e-06,5.615330e-06,5.542359e-06,5.532230e-06,5.470481e-06,5.399694e-06,5.391273e-06,5.329995e-06,5.261378e-06,5.254576e-06,5.193839e-06,5.127371e-06,5.122099e-06,5.061966e-06,4.997619e-06,4.993791e-06,4.934319e-06,4.872059e-06,4.869590e-06,4.810829e-06,4.750619e-06,4.749425e-06,4.691419e-06,4.633219e-06,4.520889e-06,4.412348e-06,4.307507e-06,4.206274e-06,4.108555e-06,4.014256e-06,3.923282e-06,3.835541e-06,3.750937e-06,3.669377e-06,3.590770e-06,3.515026e-06,3.442055e-06,3.371770e-06,3.304086e-06,3.238919e-06,3.176189e-06,3.115815e-06,3.057720e-06,3.001829e-06,2.948067e-06,2.896365e-06,2.846651e-06,2.798860e-06,2.752926e-06,2.708784e-06,2.666375e-06,2.625638e-06,2.586516e-06,2.548953e-06,2.512894e-06,2.478287e-06,2.445082e-06,2.413229e-06,2.382681e-06,2.353392e-06,2.325317e-06,2.298414e-06,2.272640e-06,2.247955e-06,2.224322e-06,2.201701e-06,2.180057e-06,2.159354e-06,2.139558e-06,2.120638e-06,2.102560e-06,2.085294e-06,2.068811e-06
0.000000e+00,3.854845e-11,4.273001e-09,4.586893e-09,8.616187e-08,6.885659e-07,7.425811e-07,3.907285e-06,1.338820e-05,1.435366e-05,4.008113e-05,8.532580e-05,9.046469e-05,1.730793e-04,2.779280e-04,2.913606e-04,4.441127e-04,6.032188e-04,6.264362e-04,8.312300e-04,1.019322e-03,1.050626e-03,1.277064e-03,1.467847e-03,1.503940e-03,1.725900e-03,1.901358e-03,1.938891e-03,2.140048e-03,2.291180e-03,2.327519e-03,2.500267e-03,2.624504e-03,2.657876e-03,2.800387e-03,2.898814e-03,2.928166e-03,3.041790e-03,3.117176e-03,3.141973e-03,3.229503e-03,3.285150e-03,3.305201e-03,3.369889e-03,3.409054e-03,3.424377e-03,3.469441e-03,3.495081e-03,3.505823e-03,3.534223e-03,3.548916e-03,3.555300e-03,3.569670e-03,3.575615e-03,3.577909e-03,3.580549e-03,3.579594e-03,3.578088e-03,3.570984e-03,3.564673e-03,3.559665e-03,3.544526e-03,3.534139e-03,3.525931e-03,3.504218e-03,3.490814e-03,3.479699e-03,3.452663e-03,3.437111e-03,3.423375e-03,3.392081e-03,3.375091e-03,3.359008e-03,3.324364e-03,3.306514e-03,3.288343e-03,3.251121e-03,3.232876e-03,3.212861e-03,3.173715e-03,3.155448e-03,3.133819e-03,3.093302e-03,3.075307e-03,3.052278e-03,3.010856e-03,2.993363e-03,2.969132e-03,2.927197e-03,2.910382e-03,2.885132e-03,2.843013e-03,2.827008e-03,2.800908e-03,2.758878e-03,2.743777e-03,2.716981e-03,2.675268e-03,2.661136e-03,2.633785e-03,2.592575e-03,2.579452e-03,2.551676e-03,2.511121e-03,2.499027e-03,2.470942e-03,2.431165e-03,2.420104e-03,2.391816e-03,2.352916e-03,2.342878e-03,2.314484e-03,2.276536e-03,2.267503e-03,2.239088e-03,2.202151e-03,2.194095e-03,2.165737e-03,2.129854e-03,2.122742e-03,2.094510e-03,2.059711e-03,2.053505e-03,2.025461e-03,1.991765e-03,1.986425e-03,1.958625e-03,1.926041e-03,1.921524e-03,1.894015e-03,1.862546e-03,1.858807e-03,1.831633e-03,1.801273e-03,1.798268e-03,1.771466e-03,1.742207e-03,1.739889e-03,1.713492e-03,1.685319e-03,1.683646e-03,1.657682e-03,1.630576e-03,1.629503e-03,1.603997e-03,1.577939e-03,1.577423e-03,1.552396e-03,1.527362e-03,1.479273e-03,1.433105e-03,1.388807e-03,1.346325e-03,1.305605e-03,1.266592e-03,1.229231e-03,1.193467e-03,1.159246e-03,1.126514e-03,1.095219e-03,1.065309e-03,1.036732e-03,1.009441e-03,9.833852e-04,9.585192e-04,9.347968e-04,9.121739e-04,8.906074e-04,8.700557e-04,8.504787e-04,8.318375e-04,8.140944e-04,7.972132e-04,7.811590e-04,7.658980e-04,7.513976e-04,7.376265e-04,7.245546e-04,7.121527e-04,7.003929e-04,6.892483e-04,6.786929e-04,6.687019e-04,6.592514e-04,6.503181e-04,6.418800e-04,6.339159e-04,6.264051e-04,6.193281e-04,6.126660e-04,6.064005e-04,6.005142e-04,5.949903e-04,5.898128e-04,5.849660e-04,5.804352e-04,5.762060e-04,5.722647e-04
0.000000e+00,3.074007e-10,2.463159e-08,2.625906e-08,3.564458e-07,2.242510e-06,2.398423e-06,1.059308e-05,3.192432e-05,3.396744e-05,8.386417e-05,1.593978e-04,1.673196e-04,2.822594e-04,4.048980e-04,4.192539e-04,5.666945e-04,6.971881e-04,7.147333e-04,8.566849e-04,9.709541e-04,9.887723e-04,1.109296e-03,1.201265e-03,1.217830e-03,1.314647e-03,1.385715e-03,1.400355e-03,1.475701e-03,1.529046e-03,1.541472e-03,1.598441e-03,1.637245e-03,1.647350e-03,1.688892e-03,1.715938e-03,1.723715e-03,1.752419e-03,1.770048e-03,1.775558e-03,1.793641e-03,1.803795e-03,1.807138e-03,1.816481e-03,1.820763e-03,1.822066e-03,1.824258e-03,1.823981e-03,1.823390e-03,1.819769e-03,1.816009e-03,1.813676e-03,1.805368e-03,1.798998e-03,1.795081e-03,1.783030e-03,1.774761e-03,1.769414e-03,1.754412e-03,1.744815e-03,1.738190e-03,1.720899e-03,1.710435e-03,1.702676e-03,1.683648e-03,1.672683e-03,1.663928e-03,1.643623e-03,1.632448e-03,1.622826e-03,1.601625e-03,1.590467e-03,1.580098e-03,1.558317e-03,1.547352e-03,1.536347e-03,1.514247e-03,1.503609e-03,1.492070e-03,1.469864e-03,1.459652e-03,1.447674e-03,1.425537e-03,1.415823e-03,1.403489e-03,1.381562e-03,1.372395e-03,1.359784e-03,1.338180e-03,1.329593e-03,1.316774e-03,1.295584e-03,1.287592e-03,1.274628e-03,1.253922e-03,1.246532e-03,1.233480e-03,1.213313e-03,1.206521e-03,1.193431e-03,1.173843e-03,1.167638e-03,1.154557e-03,1.135578e-03,1.129945e-03,1.116912e-03,1.098562e-03,1.093481e-03,1.080531e-03,1.062822e-03,1.058271e-03,1.045437e-03,1.028375e-03,1.024328e-03,1.011637e-03,9.952225e-04,9.916547e-04,9.791309e-04,9.633606e-04,9.602449e-04,9.479097e-04,9.327762e-04,9.300857e-04,9.179576e-04,9.034510e-04,9.011588e-04,8.892535e-04,8.753618e-04,8.734412e-04,8.617725e-04,8.484818e-04,8.469068e-04,8.354861e-04,8.227814e-04,8.215268e-04,8.103637e-04,7.982288e-04,7.972701e-04,7.863726e-04,7.747909e-04,7.741046e-04,7.634792e-04,7.524332e-04,7.519968e-04,7.416486e-04,7.311209e-04,7.309129e-04,7.208458e-04,7.108187e-04,6.916800e-04,6.734626e-04,6.561329e-04,6.396577e-04,6.240043e-04,6.091409e-04,5.950362e-04,5.816599e-04,5.689825e-04,5.569752e-04,5.456101e-04,5.348604e-04,5.246999e-04,5.151034e-04,5.060467e-04,4.975062e-04,4.894593e-04,4.818842e-04,4.747599e-04,4.680660e-04,4.617831e-04,4.558925e-04,4.503761e-04,4.452166e-04,4.403973e-04,4.359023e-04,4.317160e-04,4.278238e-04,4.242114e-04,4.208652e-04,4.177721e-04,4.149196e-04,4.122956e-04,4.098885e-04,4.076873e-04,4.056813e-04,4.038603e-04,4.022145e-04,4.007347e-04,3.994117e-04,3.982370e-04,3.972024e-04,3.963000e-04,3.955222e-04,3.948618e-04,3.943119e-04,3.938659e-04,3.935175e-04,3.932606e-04
0.000000e+00,3.694261e-11,6.029735e-09,6.529035e-09,1.825961e-07,1.908025e-06,2.075456e-06,1.280188e-05,4.761532e-05,5.125561e-05,1.519734e-04,3.423995e-04,3.649801e-04,7.527407e-04,1.309237e-03,1.385650e-03,2.337109e-03,3.494979e-03,3.678851e-03,5.476922e-03,7.432102e-03,7.788477e-03,1.065947e-02,1.352820e-02,1.412321e-02,1.819964e-02,2.200452e-02,2.289532e-02,2.820395e-02,3.288024e-02,3.410721e-02,4.057606e-02,4.598997e-02,4.757208e-02,5.504904e-02,6.102105e-02,6.295442e-02,7.123097e-02,7.755909e-02,7.981819e-02,8.865368e-02,9.513355e-02,9.767438e-02,1.068177e-01,1.132581e-01,1.160225e-01,1.252298e-01,1.314635e-01,1.343836e-01,1.434314e-01,1.493211e-01,1.523245e-01,1.610183e-01,1.664589e-01,1.694725e-01,1.776514e-01,1.825700e-01,1.855235e-01,1.930618e-01,1.974150e-01,2.002436e-01,2.070501e-01,2.108200e-01,2.134667e-01,2.194821e-01,2.226725e-01,2.250886e-01,2.302818e-01,2.329135e-01,2.350599e-01,2.394240e-01,2.415308e-01,2.433774e-01,2.469256e-01,2.485499e-01,2.500758e-01,2.528369e-01,2.540269e-01,2.552191e-01,2.572340e-01,2.580408e-01,2.588939e-01,2.602120e-01,2.606872e-01,2.612021e-01,2.618785e-01,2.620726e-01,2.622558e-01,2.623488e-01,2.623097e-01,2.621723e-01,2.617411e-01,2.615136e-01,2.610701e-01,2.601739e-01,2.597988e-01,2.590667e-01,2.577626e-01,2.572768e-01,2.562753e-01,2.546181e-01,2.540541e-01,2.528040e-01,2.508454e-01,2.502315e-01,2.487544e-01,2.465424e-01,2.459030e-01,2.442207e-01,2.417996e-01,2.411551e-01,2.392894e-01,2.366997e-01,2.360674e-01,2.340397e-01,2.313180e-01,2.307118e-01,2.285429e-01,2.257222e-01,2.251532e-01,2.228632e-01,2.199729e-01,2.194498e-01,2.170578e-01,2.141240e-01,2.136532e-01,2.111772e-01,2.082229e-01,2.078090e-01,2.052660e-01,2.023112e-01,2.019570e-01,1.993629e-01,1.964251e-01,1.961321e-01,1.935017e-01,1.905960e-01,1.903644e-01,1.877113e-01,1.848507e-01,1.846798e-01,1.820167e-01,1.792119e-01,1.791004e-01,1.764387e-01,1.736990e-01,1.736446e-01,1.709949e-01,1.683280e-01,1.631632e-01,1.581606e-01,1.533282e-01,1.486722e-01,1.441971e-01,1.399060e-01,1.358004e-01,1.318811e-01,1.281475e-01,1.245984e-01,1.212318e-01,1.180449e-01,1.150346e-01,1.121971e-01,1.095284e-01,1.070239e-01,1.046788e-01,1.024883e-01,1.004472e-01,9.854996e-02,9.679130e-02,9.516560e-02,9.366724e-02,9.229056e-02,9.102990e-02,8.987959e-02,8.883402e-02,8.788760e-02,8.703483e-02,8.627026e-02,8.558856e-02,8.498449e-02,8.445294e-02,8.398892e-02,8.358759e-02,8.324425e-02,8.295436e-02,8.271353e-02,8.251757e-02,8.236242e-02,8.224422e-02,8.215930e-02,8.210414e-02,8.207543e-02,8.207004e-02,8.208500e-02,8.211755e-02,8.216509e-02,8.222520e-02
0.000000e+00,5.947341e-11,6.583085e-09,7.068531e-09,1.365095e-07,1.132629e-06,1.223212e-06,6.590299e-06,2.245161e-05,2.403886e-05,6.483009e-05,1.319892e-04,1.393656e-04,2.533214e-04,3.895009e-04,4.064620e-04,5.936548e-04,7.801593e-04,8.068062e-04,1.036753e-03,1.241182e-03,1.274668e-03,1.512894e-03,1.708718e-03,1.745308e-03,1.967358e-03,2.139473e-03,2.175918e-03,2.369048e-03,2.511747e-03,2.545751e-03,2.705730e-03,2.819026e-03,2.849195e-03,2.976698e-03,3.063392e-03,3.089008e-03,3.187029e-03,3.250930e-03,3.271723e-03,3.344074e-03,3.389068e-03,3.405050e-03,3.455586e-03,3.485229e-03,3.496573e-03,3.528851e-03,3.546226e-03,3.553202e-03,3.570357e-03,3.578067e-03,3.580990e-03,3.585723e-03,3.585924e-03,3.585131e-03,3.579741e-03,3.574203e-03,3.570037e-03,3.556463e-03,3.546632e-03,3.539426e-03,3.519298e-03,3.506343e-03,3.496420e-03,3.471102e-03,3.455966e-03,3.443631e-03,3.414264e-03,3.397703e-03,3.383241e-03,3.350777e-03,3.333393e-03,3.317070e-03,3.282299e-03,3.264567e-03,3.246628e-03,3.210207e-03,3.192498e-03,3.173170e-03,3.135640e-03,3.118242e-03,3.097729e-03,3.059538e-03,3.042669e-03,3.021159e-03,2.982674e-03,2.966498e-03,2.944159e-03,2.905681e-03,2.890313e-03,2.867300e-03,2.829070e-03,2.814594e-03,2.791042e-03,2.753259e-03,2.739725e-03,2.715759e-03,2.678579e-03,2.666015e-03,2.641747e-03,2.605292e-03,2.593711e-03,2.569239e-03,2.533606e-03,2.523002e-03,2.498414e-03,2.463678e-03,2.454036e-03,2.429412e-03,2.395626e-03,2.386922e-03,2.362331e-03,2.329533e-03,2.321737e-03,2.297241e-03,2.265458e-03,2.258534e-03,2.234188e-03,2.203434e-03,2.197345e-03,2.173196e-03,2.143476e-03,2.138182e-03,2.114273e-03,2.085586e-03,2.081044e-03,2.057412e-03,2.029750e-03,2.025918e-03,2.002597e-03,1.975947e-03,1.972783e-03,1.949799e-03,1.924147e-03,1.921609e-03,1.898986e-03,1.874312e-03,1.872359e-03,1.850119e-03,1.826402e-03,1.824993e-03,1.803154e-03,1.780370e-03,1.779468e-03,1.758043e-03,1.736168e-03,1.735735e-03,1.714738e-03,1.693746e-03,1.653450e-03,1.614797e-03,1.577734e-03,1.542211e-03,1.508176e-03,1.475578e-03,1.444368e-03,1.414496e-03,1.385915e-03,1.358576e-03,1.332435e-03,1.307446e-03,1.283566e-03,1.260753e-03,1.238966e-03,1.218165e-03,1.198311e-03,1.179367e-03,1.161298e-03,1.144068e-03,1.127644e-03,1.111994e-03,1.097086e-03,1.082890e-03,1.069376e-03,1.056518e-03,1.044287e-03,1.032659e-03,1.021606e-03,1.011107e-03,1.001136e-03,9.916726e-04,9.826941e-04,9.741802e-04,9.661108e-04,9.584667e-04,9.512295e-04,9.443814e-04,9.379053e-04,9.317847e-04,9.260040e-04,9.205478e-04,9.154016e-04,9.105514e-04,9.059838e-04,9.016856e-04,8.976447e-04,8.938489e-04,8.902868e-04
0.000000e+00,1.104446e-09,2.196313e-08,2.304290e-08,1.555803e-07,4.683996e-07,4.844001e-07,9.087468e-07,1.311720e-06,1.337046e-06,1.750012e-06,2.113775e-06,2.144660e-06,2.520672e-06,2.843309e-06,2.878246e-06,3.217723e-06,3.501812e-06,3.539506e-06,3.844025e-06,4.092454e-06,4.131741e-06,4.403162e-06,4.618954e-06,4.658823e-06,4.899275e-06,5.085481e-06,5.125066e-06,5.336743e-06,5.496285e-06,5.534845e-06,5.719900e-06,5.855519e-06,5.892426e-06,6.052925e-06,6.167163e-06,6.201888e-06,6.339790e-06,6.434988e-06,6.467093e-06,6.584243e-06,6.662548e-06,6.691673e-06,6.789803e-06,6.853177e-06,6.879037e-06,6.959765e-06,7.009997e-06,7.032367e-06,7.097208e-06,7.135922e-06,7.154638e-06,7.204998e-06,7.233670e-06,7.248615e-06,7.285806e-06,7.305771e-06,7.316874e-06,7.342113e-06,7.354576e-06,7.361805e-06,7.376222e-06,7.382270e-06,7.385626e-06,7.390269e-06,7.390879e-06,7.390392e-06,7.386231e-06,7.382281e-06,7.378007e-06,7.365938e-06,7.358212e-06,7.350231e-06,7.331083e-06,7.320280e-06,7.308688e-06,7.283228e-06,7.269971e-06,7.254880e-06,7.223814e-06,7.208655e-06,7.190191e-06,7.154168e-06,7.137596e-06,7.115894e-06,7.075514e-06,7.057959e-06,7.033164e-06,6.988976e-06,6.970815e-06,6.943077e-06,6.895588e-06,6.877150e-06,6.846625e-06,6.796298e-06,6.777867e-06,6.744714e-06,6.691974e-06,6.673796e-06,6.638175e-06,6.583411e-06,6.565697e-06,6.527770e-06,6.471337e-06,6.454265e-06,6.414194e-06,6.356417e-06,6.340136e-06,6.298080e-06,6.239254e-06,6.223888e-06,6.180007e-06,6.120400e-06,6.106049e-06,6.060497e-06,6.000355e-06,5.987097e-06,5.940029e-06,5.879571e-06,5.867468e-06,5.819032e-06,5.758459e-06,5.747556e-06,5.697897e-06,5.637389e-06,5.627716e-06,5.576976e-06,5.516695e-06,5.508268e-06,5.456582e-06,5.396674e-06,5.389500e-06,5.337001e-06,5.277595e-06,5.271670e-06,5.218484e-06,5.159696e-06,5.155008e-06,5.101257e-06,5.043190e-06,5.039718e-06,4.985518e-06,4.928263e-06,4.925982e-06,4.871444e-06,4.815081e-06,4.813958e-06,4.759189e-06,4.703787e-06,4.595588e-06,4.489467e-06,4.385513e-06,4.283799e-06,4.184390e-06,4.087333e-06,3.992670e-06,3.900429e-06,3.810632e-06,3.723292e-06,3.638413e-06,3.555996e-06,3.476032e-06,3.398509e-06,3.323411e-06,3.250716e-06,3.180398e-06,3.112429e-06,3.046777e-06,2.983408e-06,2.922285e-06,2.863370e-06,2.806622e-06,2.752000e-06,2.699461e-06,2.648960e-06,2.600453e-06,2.553894e-06,2.509237e-06,2.466437e-06,2.425447e-06,2.386219e-06,2.348709e-06,2.312868e-06,2.278652e-06,2.246014e-06,2.214909e-06,2.185292e-06,2.157118e-06,2.130342e-06,2.104923e-06,2.080816e-06,2.057979e-06,2.036371e-06,2.015951e-06,1.996679e-06,1.978515e-06,1.961420e-06,1.945358e-06
0.000000e+00,1.005906e-09,1.773056e-08,1.859188e-08,1.310373e-07,4.523549e-07,4.708989e-07,1.011305e-06,1.557689e-06,1.592137e-06,2.150787e-06,2.635697e-06,2.676506e-06,3.168516e-06,3.583318e-06,3.627813e-06,4.055712e-06,4.407366e-06,4.453567e-06,4.822721e-06,5.118248e-06,5.164498e-06,5.480207e-06,5.726200e-06,5.771136e-06,6.038545e-06,6.241135e-06,6.283665e-06,6.507689e-06,6.672495e-06,6.711770e-06,6.897012e-06,7.029107e-06,7.064476e-06,7.215176e-06,7.319092e-06,7.350078e-06,7.470106e-06,7.549867e-06,7.576136e-06,7.669003e-06,7.728164e-06,7.749500e-06,7.818379e-06,7.860065e-06,7.876353e-06,7.924101e-06,7.951057e-06,7.962264e-06,7.991451e-06,8.006078e-06,8.012237e-06,8.025170e-06,8.029565e-06,8.030765e-06,8.029512e-06,8.025500e-06,8.021873e-06,8.008287e-06,7.997453e-06,7.989167e-06,7.964905e-06,7.948623e-06,7.935870e-06,7.902413e-06,7.881869e-06,7.864863e-06,7.823532e-06,7.799746e-06,7.778715e-06,7.730690e-06,7.704536e-06,7.679718e-06,7.626047e-06,7.598273e-06,7.569910e-06,7.511527e-06,7.482767e-06,7.451105e-06,7.388839e-06,7.359628e-06,7.324912e-06,7.259498e-06,7.230287e-06,7.192758e-06,7.124847e-06,7.096009e-06,7.055906e-06,6.986072e-06,6.957917e-06,6.915472e-06,6.844223e-06,6.817002e-06,6.772438e-06,6.700221e-06,6.674136e-06,6.627670e-06,6.554876e-06,6.530087e-06,6.481926e-06,6.408899e-06,6.385527e-06,6.335871e-06,6.262910e-06,6.241045e-06,6.190082e-06,6.117448e-06,6.097153e-06,6.045063e-06,5.972981e-06,5.954295e-06,5.901249e-06,5.829913e-06,5.812856e-06,5.759014e-06,5.688591e-06,5.673165e-06,5.618679e-06,5.549310e-06,5.535504e-06,5.480515e-06,5.412320e-06,5.400111e-06,5.344751e-06,5.277831e-06,5.267185e-06,5.211580e-06,5.146017e-06,5.136894e-06,5.081158e-06,5.017019e-06,5.009371e-06,4.953613e-06,4.890951e-06,4.884726e-06,4.829045e-06,4.767903e-06,4.763045e-06,4.707532e-06,4.647940e-06,4.644389e-06,4.589131e-06,4.531111e-06,4.528806e-06,4.473881e-06,4.417445e-06,4.416324e-06,4.361803e-06,4.306958e-06,4.200709e-06,4.097569e-06,3.997521e-06,3.900536e-06,3.806583e-06,3.715620e-06,3.627604e-06,3.542485e-06,3.460210e-06,3.380724e-06,3.303968e-06,3.229883e-06,3.158407e-06,3.089477e-06,3.023029e-06,2.959001e-06,2.897329e-06,2.837947e-06,2.780793e-06,2.725805e-06,2.672918e-06,2.622071e-06,2.573205e-06,2.526257e-06,2.481170e-06,2.437886e-06,2.396347e-06,2.356499e-06,2.318286e-06,2.281656e-06,2.246557e-06,2.212937e-06,2.180748e-06,2.149942e-06,2.120472e-06,2.092291e-06,2.065356e-06,2.039624e-06,2.015052e-06,1.991601e-06,1.969229e-06,1.947899e-06,1.927575e-06,1.908218e-06,1.889795e-06,1.872272e-06,1.855615e-06,1.839792e-06,1.824773e-06
0.000000e+00,3.840607e-10,7.815453e-09,8.194511e-09,5.319792e-08,1.609715e-07,1.667076e-07,3.247599e-07,4.790302e-07,4.887496e-07,6.471031e-07,7.861537e-07,7.979366e-07,9.410816e-07,1.063452e-06,1.076677e-06,1.204933e-06,1.311910e-06,1.326080e-06,1.440361e-06,1.533339e-06,1.548023e-06,1.649313e-06,1.729653e-06,1.744478e-06,1.833763e-06,1.902754e-06,1.917404e-06,1.995634e-06,2.054475e-06,2.068680e-06,2.136760e-06,2.186552e-06,2.200086e-06,2.258863e-06,2.300614e-06,2.313290e-06,2.363556e-06,2.398184e-06,2.409847e-06,2.452338e-06,2.480676e-06,2.491202e-06,2.526603e-06,2.549408e-06,2.558699e-06,2.587642e-06,2.605597e-06,2.613578e-06,2.636650e-06,2.650375e-06,2.656994e-06,2.674739e-06,2.684790e-06,2.690011e-06,2.702932e-06,2.709812e-06,2.713616e-06,2.722174e-06,2.726332e-06,2.728712e-06,2.733335e-06,2.735176e-06,2.736139e-06,2.737219e-06,2.737104e-06,2.736665e-06,2.734564e-06,2.732816e-06,2.731000e-06,2.726051e-06,2.722956e-06,2.719795e-06,2.712304e-06,2.708117e-06,2.703649e-06,2.693897e-06,2.688845e-06,2.683112e-06,2.671356e-06,2.665639e-06,2.658689e-06,2.645167e-06,2.638960e-06,2.630843e-06,2.615770e-06,2.609228e-06,2.599997e-06,2.583572e-06,2.576829e-06,2.566539e-06,2.548943e-06,2.542117e-06,2.530824e-06,2.512222e-06,2.505415e-06,2.493175e-06,2.473720e-06,2.467018e-06,2.453889e-06,2.433717e-06,2.427195e-06,2.413234e-06,2.392471e-06,2.386192e-06,2.371456e-06,2.350216e-06,2.344232e-06,2.328777e-06,2.307163e-06,2.301518e-06,2.285399e-06,2.263506e-06,2.258234e-06,2.241505e-06,2.219417e-06,2.214548e-06,2.197262e-06,2.175056e-06,2.170610e-06,2.152818e-06,2.130563e-06,2.126557e-06,2.108308e-06,2.086067e-06,2.082510e-06,2.063853e-06,2.041681e-06,2.038581e-06,2.019563e-06,1.997510e-06,1.994868e-06,1.975533e-06,1.953643e-06,1.951459e-06,1.931850e-06,1.910164e-06,1.908434e-06,1.888592e-06,1.867143e-06,1.865860e-06,1.845825e-06,1.824645e-06,1.823801e-06,1.803610e-06,1.782726e-06,1.782310e-06,1.761998e-06,1.741434e-06,1.701214e-06,1.661685e-06,1.622879e-06,1.584818e-06,1.547526e-06,1.511017e-06,1.475307e-06,1.440405e-06,1.406318e-06,1.373050e-06,1.340604e-06,1.308980e-06,1.278175e-06,1.248186e-06,1.219008e-06,1.190633e-06,1.163054e-06,1.136262e-06,1.110247e-06,1.084998e-06,1.060503e-06,1.036750e-06,1.013726e-06,9.914195e-07,9.698153e-07,9.489000e-07,9.286596e-07,9.090799e-07,8.901465e-07,8.718448e-07,8.541604e-07,8.370787e-07,8.205853e-07,8.046657e-07,7.893057e-07,7.744909e-07,7.602074e-07,7.464412e-07,7.331785e-07,7.204057e-07,7.081096e-07,6.962768e-07,6.848944e-07,6.739497e-07,6.634301e-07,6.533235e-07,6.436178e-07,6.343011e-07,6.253621e-07
0.000000e+00,1.228079e-10,1.129318e-08,1.207308e-08,1.869233e-07,1.301847e-06,1.397483e-06,6.686065e-06,2.139406e-05,2.284253e-05,5.950490e-05,1.181807e-04,1.245036e-04,2.191071e-04,3.247507e-04,3.373651e-04,4.690383e-04,5.873290e-04,6.032434e-04,7.309460e-04,8.307813e-04,8.459682e-04,9.449360e-04,1.014777e-03,1.026708e-03,1.091676e-03,1.133312e-03,1.141150e-03,1.176890e-03,1.196870e-03,1.200794e-03,1.214711e-03,1.219731e-03,1.220337e-03,1.219175e-03,1.214559e-03,1.212525e-03,1.201490e-03,1.191052e-03,1.186996e-03,1.169815e-03,1.156142e-03,1.150582e-03,1.129820e-03,1.114608e-03,1.107955e-03,1.085334e-03,1.069665e-03,1.062238e-03,1.038892e-03,1.023437e-03,1.015479e-03,9.921409e-04,9.772983e-04,9.689931e-04,9.461249e-04,9.321180e-04,9.236054e-04,9.014878e-04,8.884271e-04,8.798120e-04,8.586075e-04,8.465336e-04,8.378954e-04,8.176894e-04,8.065983e-04,7.979975e-04,7.788236e-04,7.686852e-04,7.601676e-04,7.420271e-04,7.327962e-04,7.243973e-04,7.072715e-04,6.988953e-04,6.906420e-04,6.744998e-04,6.669218e-04,6.588352e-04,6.436378e-04,6.368010e-04,6.288971e-04,6.146022e-04,6.084508e-04,6.007420e-04,5.873053e-04,5.817855e-04,5.742810e-04,5.616581e-04,5.567188e-04,5.494255e-04,5.375724e-04,5.331655e-04,5.260881e-04,5.149622e-04,5.110425e-04,5.041842e-04,4.937442e-04,4.902699e-04,4.836323e-04,4.738388e-04,4.707706e-04,4.643543e-04,4.551697e-04,4.524714e-04,4.462759e-04,4.376643e-04,4.353025e-04,4.293264e-04,4.212538e-04,4.191975e-04,4.134387e-04,4.058731e-04,4.040936e-04,3.985494e-04,3.914603e-04,3.899314e-04,3.845985e-04,3.779572e-04,3.766548e-04,3.715296e-04,3.653090e-04,3.642107e-04,3.592890e-04,3.534636e-04,3.525491e-04,3.478266e-04,3.423722e-04,3.416228e-04,3.370948e-04,3.319888e-04,3.313874e-04,3.270490e-04,3.222701e-04,3.218009e-04,3.176471e-04,3.131752e-04,3.128238e-04,3.088496e-04,3.046658e-04,3.044192e-04,3.006193e-04,2.967058e-04,2.965520e-04,2.929212e-04,2.892613e-04,2.891894e-04,2.857224e-04,2.823004e-04,2.758561e-04,2.698290e-04,2.641935e-04,2.589255e-04,2.540022e-04,2.494023e-04,2.451059e-04,2.410940e-04,2.373491e-04,2.338546e-04,2.305948e-04,2.275551e-04,2.247218e-04,2.220820e-04,2.196235e-04,2.173350e-04,2.152058e-04,2.132260e-04,2.113860e-04,2.096770e-04,2.080909e-04,2.066197e-04,2.052562e-04,2.039935e-04,2.028253e-04,2.017454e-04,2.007482e-04,1.998285e-04,1.989811e-04,1.982015e-04,1.974853e-04,1.968283e-04,1.962266e-04,1.956767e-04,1.951752e-04,1.947188e-04,1.943046e-04,1.939298e-04,1.935917e-04,1.932879e-04,1.930160e-04,1.927740e-04,1.925597e-04,1.923712e-04,1.922068e-04,1.920649e-04,1.919437e-04,1.918419e-04,1.917580e-04
0.000000e+00,1.656931e-11,2.726068e-09,2.951522e-09,8.110785e-08,8.275398e-07,8.994214e-07,5.475965e-06,2.031538e-05,2.186882e-05,6.494649e-05,1.466845e-04,1.563926e-04,3.234198e-04,5.637941e-04,5.968428e-04,1.008977e-03,1.511717e-03,1.591652e-03,2.374500e-03,3.227845e-03,3.383595e-03,4.640462e-03,5.899816e-03,6.161431e-03,7.957312e-03,9.638914e-03,1.003333e-02,1.238930e-02,1.447224e-02,1.501992e-02,1.791525e-02,2.034847e-02,2.106125e-02,2.444033e-02,2.715180e-02,2.803200e-02,3.181345e-02,3.471952e-02,3.576013e-02,3.984634e-02,4.286000e-02,4.404569e-02,4.833159e-02,5.136908e-02,5.267767e-02,5.705811e-02,6.004367e-02,6.144798e-02,6.582342e-02,6.869232e-02,7.016194e-02,7.444248e-02,7.714256e-02,7.864561e-02,8.275355e-02,8.524555e-02,8.675024e-02,9.062134e-02,9.287839e-02,9.435423e-02,9.793800e-02,9.994454e-02,1.013634e-01,1.046226e-01,1.063729e-01,1.077095e-01,1.106194e-01,1.121158e-01,1.133486e-01,1.158951e-01,1.171466e-01,1.182577e-01,1.204365e-01,1.214571e-01,1.224322e-01,1.242468e-01,1.250542e-01,1.258827e-01,1.273432e-01,1.279571e-01,1.286320e-01,1.297534e-01,1.301951e-01,1.307123e-01,1.315138e-01,1.318047e-01,1.321631e-01,1.326661e-01,1.328277e-01,1.330286e-01,1.332566e-01,1.333092e-01,1.333561e-01,1.333332e-01,1.332963e-01,1.331942e-01,1.329452e-01,1.328365e-01,1.325921e-01,1.321410e-01,1.319770e-01,1.315979e-01,1.309684e-01,1.307635e-01,1.302582e-01,1.294729e-01,1.292403e-01,1.286178e-01,1.276981e-01,1.274490e-01,1.267188e-01,1.256848e-01,1.254289e-01,1.246006e-01,1.234708e-01,1.232165e-01,1.222996e-01,1.210912e-01,1.208453e-01,1.198494e-01,1.185780e-01,1.183463e-01,1.172805e-01,1.159603e-01,1.157472e-01,1.146207e-01,1.132646e-01,1.130736e-01,1.118949e-01,1.105143e-01,1.103480e-01,1.091254e-01,1.077305e-01,1.075908e-01,1.063320e-01,1.049319e-01,1.048199e-01,1.035322e-01,1.021348e-01,1.020511e-01,1.007415e-01,9.935375e-02,9.929838e-02,9.797316e-02,9.660110e-02,9.657375e-02,9.523886e-02,9.388765e-02,9.124898e-02,8.866531e-02,8.614297e-02,8.368720e-02,8.130225e-02,7.899148e-02,7.675749e-02,7.460219e-02,7.252685e-02,7.053224e-02,6.861862e-02,6.678586e-02,6.503345e-02,6.336056e-02,6.176610e-02,6.024875e-02,5.880696e-02,5.743904e-02,5.614316e-02,5.491736e-02,5.375957e-02,5.266765e-02,5.163942e-02,5.067262e-02,4.976498e-02,4.891420e-02,4.811797e-02,4.737400e-02,4.667997e-02,4.603362e-02,4.543267e-02,4.487492e-02,4.435816e-02,4.388025e-02,4.343908e-02,4.303259e-02,4.265878e-02,4.231570e-02,4.200145e-02,4.171421e-02,4.145221e-02,4.121374e-02,4.099715e-02,4.080087e-02,4.062338e-02,4.046325e-02,4.031908e-02,4.018957e-02,4.007347e-02
0.000000e+00,8.311114e-09,1.368209e-07,1.432067e-07,9.964278e-07,3.829558e-06,4.013615e-06,1.060371e-05,1.958377e-05,2.020427e-05,3.060923e-05,3.963213e-05,4.037717e-05,4.911284e-05,5.607312e-05,5.679583e-05,6.349714e-05,6.865223e-05,6.930490e-05,7.430573e-05,7.802285e-05,7.858043e-05,8.220293e-05,8.479137e-05,8.524072e-05,8.775507e-05,8.946538e-05,8.980153e-05,9.143046e-05,9.246371e-05,9.268737e-05,9.361351e-05,9.413022e-05,9.424590e-05,9.461789e-05,9.474508e-05,9.475958e-05,9.469811e-05,9.453624e-05,9.445783e-05,9.406067e-05,9.368869e-05,9.352628e-05,9.287232e-05,9.235195e-05,9.211463e-05,9.126741e-05,9.064670e-05,9.034337e-05,8.935389e-05,8.866998e-05,8.830916e-05,8.721826e-05,8.649966e-05,8.608933e-05,8.492960e-05,8.419796e-05,8.374552e-05,8.254281e-05,8.181440e-05,8.132659e-05,8.010137e-05,7.938821e-05,7.887114e-05,7.763945e-05,7.695024e-05,7.640941e-05,7.518376e-05,7.452459e-05,7.396491e-05,7.275495e-05,7.212991e-05,7.155572e-05,7.036881e-05,6.978040e-05,6.919557e-05,6.803719e-05,6.748674e-05,6.689466e-05,6.576884e-05,6.525677e-05,6.466042e-05,6.356999e-05,6.309602e-05,6.249801e-05,6.144485e-05,6.100821e-05,6.041080e-05,5.939606e-05,5.899561e-05,5.840077e-05,5.742500e-05,5.705933e-05,5.646876e-05,5.553204e-05,5.519959e-05,5.461477e-05,5.371683e-05,5.341591e-05,5.283809e-05,5.197839e-05,5.170728e-05,5.113754e-05,5.031531e-05,5.007225e-05,4.951149e-05,4.872584e-05,4.850907e-05,4.795808e-05,4.720796e-05,4.701579e-05,4.647520e-05,4.575952e-05,4.559026e-05,4.506062e-05,4.437821e-05,4.423026e-05,4.371200e-05,4.306168e-05,4.293350e-05,4.242696e-05,4.180753e-05,4.169763e-05,4.120309e-05,4.061336e-05,4.052034e-05,4.003801e-05,3.947677e-05,3.939931e-05,3.892934e-05,3.839543e-05,3.833225e-05,3.787475e-05,3.736701e-05,3.731694e-05,3.687195e-05,3.638927e-05,3.635118e-05,3.591872e-05,3.546001e-05,3.543286e-05,3.501290e-05,3.457711e-05,3.455991e-05,3.415239e-05,3.373850e-05,3.373034e-05,3.333519e-05,3.294222e-05,3.219370e-05,3.148300e-05,3.080840e-05,3.016825e-05,2.956096e-05,2.898504e-05,2.843901e-05,2.792149e-05,2.743115e-05,2.696670e-05,2.652694e-05,2.611070e-05,2.571685e-05,2.534434e-05,2.499214e-05,2.465927e-05,2.434482e-05,2.404788e-05,2.376761e-05,2.350320e-05,2.325387e-05,2.301888e-05,2.279753e-05,2.258913e-05,2.239306e-05,2.220868e-05,2.203543e-05,2.187272e-05,2.172004e-05,2.157686e-05,2.144271e-05,2.131713e-05,2.119966e-05,2.108988e-05,2.098740e-05,2.089183e-05,2.080281e-05,2.071998e-05,2.064301e-05,2.057159e-05,2.050542e-05,2.044420e-05,2.038767e-05,2.033556e-05,2.028764e-05,2.024365e-05,2.020338e-05,2.016661e-05,2.013315e-05
0.000000e+00,4.497928e-10,5.543021e-09,5.780012e-09,3.465111e-08,1.212685e-07,1.266888e-07,3.120663e-07,5.476219e-07,5.634754e-07,8.266798e-07,1.056038e-06,1.075164e-06,1.302458e-06,1.488471e-06,1.508082e-06,1.693030e-06,1.839731e-06,1.858626e-06,2.006230e-06,2.119787e-06,2.137161e-06,2.252678e-06,2.338674e-06,2.353973e-06,2.442167e-06,2.505452e-06,2.518315e-06,2.583401e-06,2.628127e-06,2.638347e-06,2.684009e-06,2.713694e-06,2.721183e-06,2.750608e-06,2.768212e-06,2.772969e-06,2.788899e-06,2.796893e-06,2.798984e-06,2.803767e-06,2.804209e-06,2.803746e-06,2.799384e-06,2.793977e-06,2.791107e-06,2.779306e-06,2.769454e-06,2.764343e-06,2.746551e-06,2.733407e-06,2.726234e-06,2.703675e-06,2.688180e-06,2.679131e-06,2.652842e-06,2.635762e-06,2.625025e-06,2.595880e-06,2.577832e-06,2.565590e-06,2.534322e-06,2.515800e-06,2.502230e-06,2.469454e-06,2.450849e-06,2.436122e-06,2.402351e-06,2.383971e-06,2.368248e-06,2.333910e-06,2.315990e-06,2.299423e-06,2.264868e-06,2.247587e-06,2.230316e-06,2.195833e-06,2.179323e-06,2.161478e-06,2.127302e-06,2.111656e-06,2.093355e-06,2.059676e-06,2.044953e-06,2.026304e-06,1.993273e-06,1.979509e-06,1.960612e-06,1.928348e-06,1.915558e-06,1.896503e-06,1.865097e-06,1.853281e-06,1.834147e-06,1.803669e-06,1.792814e-06,1.773674e-06,1.744173e-06,1.734257e-06,1.715174e-06,1.686684e-06,1.677676e-06,1.658708e-06,1.631250e-06,1.623113e-06,1.604311e-06,1.577894e-06,1.570590e-06,1.551997e-06,1.526621e-06,1.520108e-06,1.501763e-06,1.477421e-06,1.471655e-06,1.453592e-06,1.430271e-06,1.425208e-06,1.407454e-06,1.385137e-06,1.380733e-06,1.363313e-06,1.341977e-06,1.338188e-06,1.321124e-06,1.300745e-06,1.297528e-06,1.280836e-06,1.261387e-06,1.258701e-06,1.242394e-06,1.223848e-06,1.221652e-06,1.205742e-06,1.188068e-06,1.186324e-06,1.170819e-06,1.153987e-06,1.152658e-06,1.137564e-06,1.121544e-06,1.120595e-06,1.105917e-06,1.090677e-06,1.090075e-06,1.075815e-06,1.061324e-06,1.061038e-06,1.047197e-06,1.033426e-06,1.007180e-06,9.822429e-07,9.585590e-07,9.360739e-07,9.147347e-07,8.944902e-07,8.752909e-07,8.570890e-07,8.398382e-07,8.234944e-07,8.080147e-07,7.933584e-07,7.794861e-07,7.663601e-07,7.539446e-07,7.422048e-07,7.311080e-07,7.206226e-07,7.107184e-07,7.013668e-07,6.925403e-07,6.842127e-07,6.763591e-07,6.689557e-07,6.619797e-07,6.554097e-07,6.492249e-07,6.434057e-07,6.379336e-07,6.327907e-07,6.279600e-07,6.234255e-07,6.191719e-07,6.151845e-07,6.114495e-07,6.079536e-07,6.046843e-07,6.016296e-07,5.987783e-07,5.961195e-07,5.936429e-07,5.913387e-07,5.891977e-07,5.872111e-07,5.853705e-07,5.836679e-07,5.820958e-07,5.806469e-07,5.793145e-07
0.000000e+00,5.662360e-10,3.780269e-08,4.022434e-08,5.170875e-07,3.059265e-06,3.260166e-06,1.282978e-05,3.368255e-05,3.550625e-05,7.490364e-05,1.238020e-04,1.284582e-04,1.895601e-04,2.459707e-04,2.521824e-04,3.128274e-04,3.633527e-04,3.700120e-04,4.232967e-04,4.659909e-04,4.726728e-04,5.182833e-04,5.538235e-04,5.603165e-04,5.989705e-04,6.282821e-04,6.344402e-04,6.669144e-04,6.908587e-04,6.965738e-04,7.235904e-04,7.429342e-04,7.481278e-04,7.703408e-04,7.857585e-04,7.903758e-04,8.083711e-04,8.204515e-04,8.244572e-04,8.387571e-04,8.480124e-04,8.513868e-04,8.624554e-04,8.693300e-04,8.720659e-04,8.803148e-04,8.851929e-04,8.872931e-04,8.930863e-04,8.962999e-04,8.977749e-04,9.014344e-04,9.032694e-04,9.041359e-04,9.059461e-04,9.066485e-04,9.069277e-04,9.071396e-04,9.069205e-04,9.066372e-04,9.054723e-04,9.045125e-04,9.036938e-04,9.013475e-04,8.998016e-04,8.984762e-04,8.951204e-04,8.931202e-04,8.913178e-04,8.871039e-04,8.847613e-04,8.825120e-04,8.775733e-04,8.749831e-04,8.723171e-04,8.667707e-04,8.640130e-04,8.609599e-04,8.549086e-04,8.520506e-04,8.486395e-04,8.421736e-04,8.392714e-04,8.355307e-04,8.287292e-04,8.258295e-04,8.217865e-04,8.147186e-04,8.118598e-04,8.075407e-04,8.002669e-04,7.974805e-04,7.929104e-04,7.854835e-04,7.827948e-04,7.779976e-04,7.704635e-04,7.678927e-04,7.628911e-04,7.552899e-04,7.528528e-04,7.476683e-04,7.400345e-04,7.377431e-04,7.323959e-04,7.247596e-04,7.226227e-04,7.171320e-04,7.095191e-04,7.075428e-04,7.019264e-04,6.943590e-04,6.925472e-04,6.868219e-04,6.793192e-04,6.776737e-04,6.718552e-04,6.644334e-04,6.629544e-04,6.570574e-04,6.497304e-04,6.484169e-04,6.424551e-04,6.352343e-04,6.340842e-04,6.280704e-04,6.209655e-04,6.199757e-04,6.139217e-04,6.069408e-04,6.061074e-04,6.000244e-04,5.931739e-04,5.924925e-04,5.863907e-04,5.796758e-04,5.791416e-04,5.730305e-04,5.664554e-04,5.660632e-04,5.599515e-04,5.535193e-04,5.532635e-04,5.471595e-04,5.408724e-04,5.407474e-04,5.346586e-04,5.285182e-04,5.165778e-04,5.049270e-04,4.935657e-04,4.824930e-04,4.717071e-04,4.612058e-04,4.509861e-04,4.410448e-04,4.313782e-04,4.219824e-04,4.128530e-04,4.039857e-04,3.953758e-04,3.870186e-04,3.789091e-04,3.710425e-04,3.634136e-04,3.560175e-04,3.488491e-04,3.419034e-04,3.351753e-04,3.286599e-04,3.223522e-04,3.162473e-04,3.103403e-04,3.046264e-04,2.991010e-04,2.937594e-04,2.885969e-04,2.836091e-04,2.787916e-04,2.741400e-04,2.696500e-04,2.653175e-04,2.611384e-04,2.571086e-04,2.532242e-04,2.494814e-04,2.458764e-04,2.424054e-04,2.390650e-04,2.358514e-04,2.327614e-04,2.297915e-04,2.269384e-04,2.241988e-04,2.215696e-04,2.190478e-04,2.166303e-04
0.000000e+00,4.093279e-11,5.302523e-09,5.711706e-09,1.233435e-07,1.045654e-06,1.128984e-06,5.982118e-06,2.016476e-05,2.158821e-05,5.873329e-05,1.221398e-04,1.292535e-04,2.422864e-04,3.838548e-04,4.019164e-04,6.068423e-04,8.202592e-04,8.514482e-04,1.127430e-03,1.382691e-03,1.425370e-03,1.735960e-03,2.000448e-03,2.050799e-03,2.362815e-03,2.612585e-03,2.666403e-03,2.957373e-03,3.179058e-03,3.232795e-03,3.490795e-03,3.679262e-03,3.730356e-03,3.951104e-03,4.106345e-03,4.153151e-03,4.336956e-03,4.461630e-03,4.503214e-03,4.652763e-03,4.750608e-03,4.786526e-03,4.905473e-03,4.980441e-03,5.010575e-03,5.102784e-03,5.158593e-03,5.183021e-03,5.252168e-03,5.292137e-03,5.311059e-03,5.360478e-03,5.387476e-03,5.401159e-03,5.433789e-03,5.450259e-03,5.459007e-03,5.477410e-03,5.485411e-03,5.489550e-03,5.495940e-03,5.497201e-03,5.497057e-03,5.493340e-03,5.489301e-03,5.485199e-03,5.473011e-03,5.464872e-03,5.457128e-03,5.437874e-03,5.426630e-03,5.415548e-03,5.390430e-03,5.376904e-03,5.362775e-03,5.332823e-03,5.317695e-03,5.300793e-03,5.266889e-03,5.250716e-03,5.231299e-03,5.194197e-03,5.177436e-03,5.155745e-03,5.116091e-03,5.099111e-03,5.075372e-03,5.033715e-03,5.016816e-03,4.991237e-03,4.948048e-03,4.931470e-03,4.904245e-03,4.859922e-03,4.843855e-03,4.815164e-03,4.770048e-03,4.754640e-03,4.724646e-03,4.679025e-03,4.664390e-03,4.633246e-03,4.587365e-03,4.573589e-03,4.541434e-03,4.495499e-03,4.482643e-03,4.449604e-03,4.403790e-03,4.391896e-03,4.358092e-03,4.312545e-03,4.301639e-03,4.267177e-03,4.222018e-03,4.212114e-03,4.177093e-03,4.132424e-03,4.123523e-03,4.088033e-03,4.043939e-03,4.036035e-03,4.000159e-03,3.956709e-03,3.949788e-03,3.913602e-03,3.870851e-03,3.864895e-03,3.828468e-03,3.786463e-03,3.781448e-03,3.744843e-03,3.703618e-03,3.699518e-03,3.662795e-03,3.622378e-03,3.619163e-03,3.582374e-03,3.542787e-03,3.540426e-03,3.503621e-03,3.464879e-03,3.463338e-03,3.426563e-03,3.388675e-03,3.387922e-03,3.351217e-03,3.314190e-03,3.242150e-03,3.171802e-03,3.103139e-03,3.036154e-03,2.970833e-03,2.907162e-03,2.845121e-03,2.784690e-03,2.725848e-03,2.668572e-03,2.612836e-03,2.558617e-03,2.505888e-03,2.454622e-03,2.404795e-03,2.356378e-03,2.309346e-03,2.263670e-03,2.219325e-03,2.176283e-03,2.134519e-03,2.094005e-03,2.054717e-03,2.016628e-03,1.979712e-03,1.943946e-03,1.909303e-03,1.875760e-03,1.843293e-03,1.811877e-03,1.781490e-03,1.752108e-03,1.723709e-03,1.696270e-03,1.669770e-03,1.644187e-03,1.619500e-03,1.595687e-03,1.572729e-03,1.550604e-03,1.529293e-03,1.508776e-03,1.489033e-03,1.470047e-03,1.451797e-03,1.434265e-03,1.417433e-03,1.401284e-03,1.385798e-03
0.000000e+00,7.414514e-09,3.707799e-07,3.942664e-07,4.610554e-06,2.065098e-05,2.166579e-05,5.342942e-05,8.773484e-05,8.993535e-05,1.261292e-04,1.583436e-04,1.610910e-04,1.946967e-04,2.237817e-04,2.269462e-04,2.578619e-04,2.839863e-04,2.874715e-04,3.158049e-04,3.391749e-04,3.428936e-04,3.687701e-04,3.895942e-04,3.934680e-04,4.170208e-04,4.355035e-04,4.394625e-04,4.608265e-04,4.771643e-04,4.811463e-04,5.004546e-04,5.148335e-04,5.187835e-04,5.361645e-04,5.487590e-04,5.526283e-04,5.682050e-04,5.791779e-04,5.829239e-04,5.968136e-04,6.063164e-04,6.099020e-04,6.222162e-04,6.303898e-04,6.337828e-04,6.446274e-04,6.516022e-04,6.547751e-04,6.642501e-04,6.701467e-04,6.730762e-04,6.812763e-04,6.862062e-04,6.888727e-04,6.958872e-04,6.999532e-04,7.023408e-04,7.082539e-04,7.115507e-04,7.136466e-04,7.185379e-04,7.211526e-04,7.229467e-04,7.268911e-04,7.289037e-04,7.303888e-04,7.334568e-04,7.349407e-04,7.361117e-04,7.383696e-04,7.393920e-04,7.402461e-04,7.417563e-04,7.423786e-04,7.429148e-04,7.437360e-04,7.440143e-04,7.442335e-04,7.444207e-04,7.444061e-04,7.443104e-04,7.439153e-04,7.436544e-04,7.432475e-04,7.423187e-04,7.418535e-04,7.411402e-04,7.397232e-04,7.390919e-04,7.380782e-04,7.362155e-04,7.354527e-04,7.341452e-04,7.318769e-04,7.310137e-04,7.294200e-04,7.267835e-04,7.258477e-04,7.239761e-04,7.210064e-04,7.200231e-04,7.178824e-04,7.146121e-04,7.136037e-04,7.112032e-04,7.076630e-04,7.066492e-04,7.039987e-04,7.002171e-04,6.992155e-04,6.963249e-04,6.923286e-04,6.913547e-04,6.882344e-04,6.840482e-04,6.831155e-04,6.797759e-04,6.754230e-04,6.745432e-04,6.709949e-04,6.664968e-04,6.656802e-04,6.619338e-04,6.573107e-04,6.565657e-04,6.526321e-04,6.479025e-04,6.472365e-04,6.431263e-04,6.383076e-04,6.377266e-04,6.334504e-04,6.285586e-04,6.280677e-04,6.236360e-04,6.186861e-04,6.182890e-04,6.137123e-04,6.087181e-04,6.084178e-04,6.037064e-04,5.986805e-04,5.984792e-04,5.936433e-04,5.885975e-04,5.884965e-04,5.835460e-04,5.784912e-04,5.684831e-04,5.584904e-04,5.485299e-04,5.386170e-04,5.287657e-04,5.189889e-04,5.092983e-04,4.997047e-04,4.902175e-04,4.808457e-04,4.715969e-04,4.624784e-04,4.534963e-04,4.446562e-04,4.359631e-04,4.274211e-04,4.190341e-04,4.108052e-04,4.027372e-04,3.948321e-04,3.870919e-04,3.795179e-04,3.721111e-04,3.648723e-04,3.578018e-04,3.508997e-04,3.441658e-04,3.375997e-04,3.312007e-04,3.249679e-04,3.189003e-04,3.129966e-04,3.072555e-04,3.016754e-04,2.962546e-04,2.909913e-04,2.858837e-04,2.809296e-04,2.761271e-04,2.714740e-04,2.669680e-04,2.626068e-04,2.583881e-04,2.543095e-04,2.503684e-04,2.465626e-04,2.428893e-04,2.393462e-04,2.359306e-04
0.000000e+00,1.839532e-10,1.578983e-08,1.686890e-08,2.556450e-07,1.716892e-06,1.838894e-06,8.180697e-06,2.397395e-05,2.544591e-05,5.999664e-05,1.090832e-04,1.140766e-04,1.841611e-04,2.552150e-04,2.633311e-04,3.446187e-04,4.137665e-04,4.228802e-04,4.950905e-04,5.512717e-04,5.598741e-04,6.169007e-04,6.589741e-04,6.664096e-04,7.089101e-04,7.389569e-04,7.450108e-04,7.753339e-04,7.958339e-04,8.004747e-04,8.209860e-04,8.340974e-04,8.373725e-04,8.500918e-04,8.575613e-04,8.595566e-04,8.661387e-04,8.693515e-04,8.701724e-04,8.719581e-04,8.720043e-04,8.717652e-04,8.698350e-04,8.675668e-04,8.663835e-04,8.616040e-04,8.576845e-04,8.556696e-04,8.487351e-04,8.436782e-04,8.409386e-04,8.324035e-04,8.266048e-04,8.232399e-04,8.135459e-04,8.073079e-04,8.034087e-04,7.929064e-04,7.864587e-04,7.821080e-04,7.710748e-04,7.645898e-04,7.598615e-04,7.485160e-04,7.421209e-04,7.370810e-04,7.255942e-04,7.193817e-04,7.140888e-04,7.025941e-04,6.966296e-04,6.911355e-04,6.797355e-04,6.740637e-04,6.684136e-04,6.571868e-04,6.518360e-04,6.460697e-04,6.350750e-04,6.300616e-04,6.242136e-04,6.134945e-04,6.088253e-04,6.029256e-04,5.925133e-04,5.881881e-04,5.822629e-04,5.721786e-04,5.681923e-04,5.622640e-04,5.525215e-04,5.488649e-04,5.429529e-04,5.335597e-04,5.302212e-04,5.243424e-04,5.153014e-04,5.122675e-04,5.064362e-04,4.977464e-04,4.950026e-04,4.892311e-04,4.808889e-04,4.784198e-04,4.727185e-04,4.647180e-04,4.625081e-04,4.568857e-04,4.492195e-04,4.472533e-04,4.417173e-04,4.343767e-04,4.326387e-04,4.271954e-04,4.201710e-04,4.186464e-04,4.133009e-04,4.065825e-04,4.052568e-04,4.000133e-04,3.935907e-04,3.924500e-04,3.873119e-04,3.811744e-04,3.802053e-04,3.751755e-04,3.693124e-04,3.685023e-04,3.635827e-04,3.579836e-04,3.573203e-04,3.525125e-04,3.471669e-04,3.466391e-04,3.419441e-04,3.368417e-04,3.364387e-04,3.318572e-04,3.269880e-04,3.266995e-04,3.222318e-04,3.175861e-04,3.174025e-04,3.130485e-04,3.086168e-04,3.085292e-04,3.042887e-04,3.000618e-04,2.919829e-04,2.842759e-04,2.769245e-04,2.699134e-04,2.632277e-04,2.568531e-04,2.507758e-04,2.449828e-04,2.394615e-04,2.341997e-04,2.291859e-04,2.244090e-04,2.198585e-04,2.155242e-04,2.113964e-04,2.074658e-04,2.037236e-04,2.001613e-04,1.967708e-04,1.935444e-04,1.904745e-04,1.875542e-04,1.847766e-04,1.821354e-04,1.796242e-04,1.772373e-04,1.749689e-04,1.728137e-04,1.707665e-04,1.688223e-04,1.669766e-04,1.652247e-04,1.635623e-04,1.619855e-04,1.604901e-04,1.590726e-04,1.577292e-04,1.564567e-04,1.552516e-04,1.541110e-04,1.530317e-04,1.520110e-04,1.510461e-04,1.501344e-04,1.492735e-04,1.484610e-04,1.476945e-04,1.469720e-04,1.462914e-04
0.000000e+00,3.032578e-09,5.300817e-08,5.553666e-08,3.710187e-07,1.207191e-06,1.253655e-06,2.561608e-06,3.834847e-06,3.913980e-06,5.179020e-06,6.247915e-06,6.336567e-06,7.388622e-06,8.250314e-06,8.341300e-06,9.201228e-06,9.886327e-06,9.974799e-06,1.066804e-05,1.120432e-05,1.128663e-05,1.183593e-05,1.224751e-05,1.232101e-05,1.274667e-05,1.305456e-05,1.311744e-05,1.343759e-05,1.365995e-05,1.371111e-05,1.394178e-05,1.409421e-05,1.413310e-05,1.428835e-05,1.438410e-05,1.441059e-05,1.450265e-05,1.455290e-05,1.456716e-05,1.460652e-05,1.462057e-05,1.462300e-05,1.461871e-05,1.460442e-05,1.459563e-05,1.455553e-05,1.451940e-05,1.450007e-05,1.443077e-05,1.437815e-05,1.434904e-05,1.425616e-05,1.419141e-05,1.415331e-05,1.404160e-05,1.396833e-05,1.392203e-05,1.379552e-05,1.371663e-05,1.366291e-05,1.352499e-05,1.344284e-05,1.338247e-05,1.323601e-05,1.315250e-05,1.308622e-05,1.293365e-05,1.285027e-05,1.277878e-05,1.262209e-05,1.254003e-05,1.246399e-05,1.230487e-05,1.222503e-05,1.214507e-05,1.198491e-05,1.190798e-05,1.182467e-05,1.166461e-05,1.159112e-05,1.150498e-05,1.134598e-05,1.127627e-05,1.118780e-05,1.103063e-05,1.096495e-05,1.087460e-05,1.071987e-05,1.065837e-05,1.056656e-05,1.041477e-05,1.035751e-05,1.026460e-05,1.011615e-05,1.006314e-05,9.969474e-06,9.824650e-06,9.775841e-06,9.681730e-06,9.540762e-06,9.496071e-06,9.401787e-06,9.264838e-06,9.224153e-06,9.129943e-06,8.997122e-06,8.960306e-06,8.866392e-06,8.737765e-06,8.704667e-06,8.611246e-06,8.486840e-06,8.457297e-06,8.364546e-06,8.244360e-06,8.218201e-06,8.126275e-06,8.010282e-06,7.987333e-06,7.896369e-06,7.784522e-06,7.764608e-06,7.674726e-06,7.566962e-06,7.549908e-06,7.461213e-06,7.357456e-06,7.343088e-06,7.255672e-06,7.155836e-06,7.143986e-06,7.057926e-06,6.961916e-06,6.952419e-06,6.867782e-06,6.775498e-06,6.768195e-06,6.685038e-06,6.596375e-06,6.591112e-06,6.509483e-06,6.424333e-06,6.420963e-06,6.340899e-06,6.259153e-06,6.257535e-06,6.179068e-06,6.100616e-06,5.949990e-06,5.805445e-06,5.666769e-06,5.533755e-06,5.406196e-06,5.283893e-06,5.166650e-06,5.054274e-06,4.946580e-06,4.843388e-06,4.744521e-06,4.649810e-06,4.559090e-06,4.472203e-06,4.388995e-06,4.309317e-06,4.233027e-06,4.159987e-06,4.090065e-06,4.023132e-06,3.959067e-06,3.897750e-06,3.839069e-06,3.782914e-06,3.729180e-06,3.677767e-06,3.628577e-06,3.581517e-06,3.536499e-06,3.493437e-06,3.452248e-06,3.412853e-06,3.375177e-06,3.339147e-06,3.304694e-06,3.271750e-06,3.240251e-06,3.210137e-06,3.181347e-06,3.153826e-06,3.127520e-06,3.102375e-06,3.078343e-06,3.055375e-06,3.033427e-06,3.012453e-06,2.992412e-06,2.973264e-06,2.954969e-06
0.000000e+00,4.861633e-11,5.997775e-09,6.448131e-09,1.292906e-07,1.116180e-06,1.208421e-06,7.119730e-06,2.769308e-05,2.994423e-05,9.686920e-05,2.377068e-04,2.552230e-04,5.734025e-04,1.067798e-03,1.138141e-03,2.049510e-03,3.223481e-03,3.414918e-03,5.342994e-03,7.530865e-03,7.937981e-03,1.129489e-02,1.476394e-02,1.549571e-02,2.060659e-02,2.551123e-02,2.667607e-02,3.373418e-02,4.010073e-02,4.179228e-02,5.084369e-02,5.857865e-02,6.086468e-02,7.181599e-02,8.072896e-02,8.364451e-02,9.628526e-02,1.061186e-01,1.096634e-01,1.236961e-01,1.341554e-01,1.382948e-01,1.533668e-01,1.641481e-01,1.688173e-01,1.845507e-01,1.953626e-01,2.004722e-01,2.164892e-01,2.270689e-01,2.325119e-01,2.484548e-01,2.585788e-01,2.642370e-01,2.797831e-01,2.892723e-01,2.950233e-01,3.098940e-01,3.186148e-01,3.243376e-01,3.383029e-01,3.461657e-01,3.517450e-01,3.646251e-01,3.715800e-01,3.769104e-01,3.885739e-01,3.946058e-01,3.995939e-01,4.099543e-01,4.150769e-01,4.196433e-01,4.286541e-01,4.329041e-01,4.369837e-01,4.446333e-01,4.480647e-01,4.516072e-01,4.579131e-01,4.605921e-01,4.635611e-01,4.685641e-01,4.705649e-01,4.729371e-01,4.766966e-01,4.780971e-01,4.798612e-01,4.824503e-01,4.833295e-01,4.844848e-01,4.859860e-01,4.864213e-01,4.869763e-01,4.874783e-01,4.875438e-01,4.875147e-01,4.871088e-01,4.868741e-01,4.862834e-01,4.850617e-01,4.845907e-01,4.834661e-01,4.815192e-01,4.808699e-01,4.792429e-01,4.766588e-01,4.758830e-01,4.737879e-01,4.706506e-01,4.697937e-01,4.672666e-01,4.636553e-01,4.627568e-01,4.598351e-01,4.558237e-01,4.549173e-01,4.516384e-01,4.472955e-01,4.464095e-01,4.428109e-01,4.381993e-01,4.373569e-01,4.334754e-01,4.286525e-01,4.278725e-01,4.237437e-01,4.187613e-01,4.180585e-01,4.137168e-01,4.086214e-01,4.080070e-01,4.034853e-01,3.983184e-01,3.978004e-01,3.931299e-01,3.879285e-01,3.875120e-01,3.827222e-01,3.775187e-01,3.772067e-01,3.723250e-01,3.671480e-01,3.669413e-01,3.619936e-01,3.568677e-01,3.567655e-01,3.517757e-01,3.467224e-01,3.368488e-01,3.271763e-01,3.177314e-01,3.085363e-01,2.996091e-01,2.909644e-01,2.826138e-01,2.745658e-01,2.668267e-01,2.594005e-01,2.522893e-01,2.454936e-01,2.390122e-01,2.328429e-01,2.269821e-01,2.214255e-01,2.161677e-01,2.112027e-01,2.065239e-01,2.021241e-01,1.979956e-01,1.941305e-01,1.905204e-01,1.871566e-01,1.840304e-01,1.811327e-01,1.784546e-01,1.759867e-01,1.737199e-01,1.716449e-01,1.697525e-01,1.680335e-01,1.664788e-01,1.650793e-01,1.638262e-01,1.627107e-01,1.617241e-01,1.608582e-01,1.601046e-01,1.594553e-01,1.589026e-01,1.584389e-01,1.580570e-01,1.577497e-01,1.575103e-01,1.573324e-01,1.572096e-01,1.571361e-01,1.571063e-01
0.000000e+00,4.117871e-09,1.987023e-07,2.105757e-07,2.252445e-06,1.069928e-05,1.128320e-05,3.316944e-05,6.399307e-05,6.614000e-05,1.025080e-04,1.347652e-04,1.374662e-04,1.696593e-04,1.961419e-04,1.989420e-04,2.254374e-04,2.465822e-04,2.493151e-04,2.707481e-04,2.873539e-04,2.899050e-04,3.069478e-04,3.197438e-04,3.220318e-04,3.353043e-04,3.449343e-04,3.469050e-04,3.569652e-04,3.639873e-04,3.656082e-04,3.729490e-04,3.778403e-04,3.790952e-04,3.841466e-04,3.873108e-04,3.881960e-04,3.913296e-04,3.931059e-04,3.936271e-04,3.951625e-04,3.958347e-04,3.960042e-04,3.962156e-04,3.960200e-04,3.958551e-04,3.949768e-04,3.941093e-04,3.936305e-04,3.918625e-04,3.904853e-04,3.897151e-04,3.872275e-04,3.854737e-04,3.844358e-04,3.813733e-04,3.793520e-04,3.780704e-04,3.745554e-04,3.723554e-04,3.708541e-04,3.669902e-04,3.646834e-04,3.629856e-04,3.588603e-04,3.565043e-04,3.546326e-04,3.503193e-04,3.479600e-04,3.459357e-04,3.414960e-04,3.391695e-04,3.370130e-04,3.324983e-04,3.302325e-04,3.279626e-04,3.234157e-04,3.212318e-04,3.188663e-04,3.143224e-04,3.122361e-04,3.097913e-04,3.052795e-04,3.033020e-04,3.007930e-04,2.963369e-04,2.944756e-04,2.919161e-04,2.875349e-04,2.857943e-04,2.831969e-04,2.789057e-04,2.772879e-04,2.746641e-04,2.704748e-04,2.689799e-04,2.663401e-04,2.622619e-04,2.608885e-04,2.582420e-04,2.542818e-04,2.530273e-04,2.503825e-04,2.465451e-04,2.454061e-04,2.427705e-04,2.390592e-04,2.380315e-04,2.354118e-04,2.318284e-04,2.309073e-04,2.283094e-04,2.248547e-04,2.240352e-04,2.214643e-04,2.181381e-04,2.174149e-04,2.148758e-04,2.116770e-04,2.110449e-04,2.085414e-04,2.054685e-04,2.049220e-04,2.024578e-04,1.995086e-04,1.990424e-04,1.966203e-04,1.937923e-04,1.934012e-04,1.910239e-04,1.883143e-04,1.879931e-04,1.856627e-04,1.830684e-04,1.828121e-04,1.805304e-04,1.780481e-04,1.778519e-04,1.756205e-04,1.732468e-04,1.731061e-04,1.709261e-04,1.686575e-04,1.685679e-04,1.664402e-04,1.642733e-04,1.642304e-04,1.621558e-04,1.600869e-04,1.561304e-04,1.523542e-04,1.487514e-04,1.453155e-04,1.420399e-04,1.389182e-04,1.359444e-04,1.331123e-04,1.304160e-04,1.278499e-04,1.254085e-04,1.230865e-04,1.208787e-04,1.187802e-04,1.167863e-04,1.148922e-04,1.130937e-04,1.113865e-04,1.097665e-04,1.082299e-04,1.067727e-04,1.053916e-04,1.040829e-04,1.028434e-04,1.016700e-04,1.005596e-04,9.950921e-05,9.851616e-05,9.757775e-05,9.669142e-05,9.585475e-05,9.506540e-05,9.432113e-05,9.361982e-05,9.295941e-05,9.233796e-05,9.175360e-05,9.120455e-05,9.068911e-05,9.020564e-05,8.975259e-05,8.932847e-05,8.893186e-05,8.856140e-05,8.821579e-05,8.789380e-05,8.759425e-05,8.731600e-05,8.705798e-05
0.000000e+00,2.290206e-11,2.551209e-09,2.735328e-09,4.694349e-08,3.477635e-07,3.742969e-07,1.942922e-06,6.970097e-06,7.506883e-06,2.313767e-05,5.550758e-05,5.951943e-05,1.321986e-04,2.445761e-04,2.605091e-04,4.655826e-04,7.260076e-04,7.680858e-04,1.186183e-03,1.649093e-03,1.733991e-03,2.420620e-03,3.107525e-03,3.249757e-03,4.219729e-03,5.115699e-03,5.323922e-03,6.551442e-03,7.612693e-03,7.887922e-03,9.316395e-03,1.048247e-02,1.081815e-02,1.237356e-02,1.357933e-02,1.396278e-02,1.556638e-02,1.675139e-02,1.716588e-02,1.874408e-02,1.985840e-02,2.028543e-02,2.177614e-02,2.278307e-02,2.320433e-02,2.456008e-02,2.543643e-02,2.583534e-02,2.702392e-02,2.775865e-02,2.812134e-02,2.912468e-02,2.971671e-02,3.003247e-02,3.084451e-02,3.130022e-02,3.156167e-02,3.218579e-02,3.251666e-02,3.271947e-02,3.316598e-02,3.338646e-02,3.352904e-02,3.381280e-02,3.393869e-02,3.402164e-02,3.416014e-02,3.420732e-02,3.423295e-02,3.424475e-02,3.422831e-02,3.420016e-02,3.410374e-02,3.403748e-02,3.395990e-02,3.377288e-02,3.366898e-02,3.354677e-02,3.328542e-02,3.315438e-02,3.299249e-02,3.267145e-02,3.252211e-02,3.232549e-02,3.195765e-02,3.179731e-02,3.157071e-02,3.116727e-02,3.100181e-02,3.074972e-02,3.032026e-02,3.015437e-02,2.988091e-02,2.943354e-02,2.927084e-02,2.897982e-02,2.852131e-02,2.836457e-02,2.805940e-02,2.759539e-02,2.744664e-02,2.713041e-02,2.666551e-02,2.652620e-02,2.620164e-02,2.573964e-02,2.561072e-02,2.528027e-02,2.482422e-02,2.470627e-02,2.437210e-02,2.392446e-02,2.381774e-02,2.348177e-02,2.304447e-02,2.294902e-02,2.261293e-02,2.218750e-02,2.210317e-02,2.176845e-02,2.135604e-02,2.128253e-02,2.095049e-02,2.055199e-02,2.048889e-02,2.016068e-02,1.977671e-02,1.972355e-02,1.940018e-02,1.903118e-02,1.898741e-02,1.866977e-02,1.831600e-02,1.828104e-02,1.796990e-02,1.763149e-02,1.760475e-02,1.730077e-02,1.697774e-02,1.695861e-02,1.666238e-02,1.635466e-02,1.634251e-02,1.605454e-02,1.576197e-02,1.575619e-02,1.547690e-02,1.519928e-02,1.467129e-02,1.417164e-02,1.369972e-02,1.325485e-02,1.283629e-02,1.244331e-02,1.207513e-02,1.173095e-02,1.140997e-02,1.111139e-02,1.083440e-02,1.057817e-02,1.034191e-02,1.012479e-02,9.926018e-03,9.744786e-03,9.580303e-03,9.431785e-03,9.298453e-03,9.179538e-03,9.074281e-03,8.981932e-03,8.901752e-03,8.833013e-03,8.775000e-03,8.727010e-03,8.688355e-03,8.658362e-03,8.636370e-03,8.621740e-03,8.613847e-03,8.612084e-03,8.615867e-03,8.624628e-03,8.637824e-03,8.654930e-03,8.675447e-03,8.698899e-03,8.724831e-03,8.752815e-03,8.782447e-03,8.813348e-03,8.845163e-03,8.877563e-03,8.910244e-03,8.942925e-03,8.975352e-03,9.007292e-03,9.038537e-03
0.000000e+00,4.337792e-09,6.399326e-08,6.684008e-08,4.061368e-07,1.340546e-06,1.396213e-06,3.184309e-06,5.275319e-06,5.412445e-06,7.664250e-06,9.619057e-06,9.782537e-06,1.173534e-05,1.335111e-05,1.352256e-05,1.515147e-05,1.646105e-05,1.663101e-05,1.797029e-05,1.901668e-05,1.917821e-05,2.026331e-05,2.108585e-05,2.123371e-05,2.209693e-05,2.272998e-05,2.286035e-05,2.353110e-05,2.400548e-05,2.411586e-05,2.462097e-05,2.496350e-05,2.505237e-05,2.541561e-05,2.564932e-05,2.571592e-05,2.595819e-05,2.610279e-05,2.614698e-05,2.628655e-05,2.635881e-05,2.638088e-05,2.643370e-05,2.644784e-05,2.644847e-05,2.642841e-05,2.639642e-05,2.637653e-05,2.629563e-05,2.622762e-05,2.618832e-05,2.605703e-05,2.596146e-05,2.590400e-05,2.573133e-05,2.561528e-05,2.554097e-05,2.533472e-05,2.520405e-05,2.511426e-05,2.488114e-05,2.474070e-05,2.463679e-05,2.438257e-05,2.423634e-05,2.411969e-05,2.384930e-05,2.370054e-05,2.357246e-05,2.329013e-05,2.314146e-05,2.300323e-05,2.271258e-05,2.256609e-05,2.241894e-05,2.212302e-05,2.198036e-05,2.182547e-05,2.152687e-05,2.138931e-05,2.122777e-05,2.092868e-05,2.079719e-05,2.063004e-05,2.033227e-05,2.020756e-05,2.003575e-05,1.974084e-05,1.962339e-05,1.944783e-05,1.915702e-05,1.904714e-05,1.886865e-05,1.858297e-05,1.848082e-05,1.830017e-05,1.802044e-05,1.792606e-05,1.774395e-05,1.747084e-05,1.738418e-05,1.720124e-05,1.693526e-05,1.685619e-05,1.667300e-05,1.641455e-05,1.634287e-05,1.615996e-05,1.590931e-05,1.584478e-05,1.566263e-05,1.541997e-05,1.536233e-05,1.518135e-05,1.494680e-05,1.489575e-05,1.471633e-05,1.448994e-05,1.444515e-05,1.426763e-05,1.404939e-05,1.401054e-05,1.383522e-05,1.362509e-05,1.359184e-05,1.341898e-05,1.321686e-05,1.318888e-05,1.301871e-05,1.282450e-05,1.280145e-05,1.263418e-05,1.244771e-05,1.242928e-05,1.226506e-05,1.208619e-05,1.207204e-05,1.191104e-05,1.173957e-05,1.172940e-05,1.157173e-05,1.140747e-05,1.140098e-05,1.124675e-05,1.108950e-05,1.108639e-05,1.093568e-05,1.078523e-05,1.049708e-05,1.022153e-05,9.958142e-06,9.706507e-06,9.466201e-06,9.236811e-06,9.017926e-06,8.809147e-06,8.610078e-06,8.420335e-06,8.239544e-06,8.067341e-06,7.903373e-06,7.747295e-06,7.598778e-06,7.457500e-06,7.323152e-06,7.195435e-06,7.074061e-06,6.958752e-06,6.849243e-06,6.745276e-06,6.646606e-06,6.552995e-06,6.464216e-06,6.380051e-06,6.300291e-06,6.224735e-06,6.153191e-06,6.085476e-06,6.021412e-06,5.960830e-06,5.903570e-06,5.849476e-06,5.798401e-06,5.750201e-06,5.704743e-06,5.661897e-06,5.621538e-06,5.583549e-06,5.547816e-06,5.514232e-06,5.482691e-06,5.453097e-06,5.425354e-06,5.399372e-06,5.375066e-06,5.352352e-06,5.331153e-06
0.000000e+00,5.594817e-09,1.107401e-07,1.160903e-07,7.672063e-07,2.458372e-06,2.553760e-06,5.351625e-06,8.191789e-06,8.368825e-06,1.118234e-05,1.352096e-05,1.371295e-05,1.596549e-05,1.777137e-05,1.795980e-05,1.971739e-05,2.108462e-05,2.125882e-05,2.260331e-05,2.361570e-05,2.376870e-05,2.477152e-05,2.549945e-05,2.562702e-05,2.634923e-05,2.685103e-05,2.695101e-05,2.744416e-05,2.776772e-05,2.783943e-05,2.814664e-05,2.833093e-05,2.837475e-05,2.853189e-05,2.860843e-05,2.862546e-05,2.866218e-05,2.865636e-05,2.864815e-05,2.858893e-05,2.852114e-05,2.848953e-05,2.835452e-05,2.824104e-05,2.818801e-05,2.799375e-05,2.784754e-05,2.777513e-05,2.753520e-05,2.736653e-05,2.727673e-05,2.700222e-05,2.681917e-05,2.671393e-05,2.641391e-05,2.622283e-05,2.610401e-05,2.578589e-05,2.559170e-05,2.546104e-05,2.513079e-05,2.493726e-05,2.479636e-05,2.445884e-05,2.426884e-05,2.411920e-05,2.377833e-05,2.359402e-05,2.343699e-05,2.309587e-05,2.291880e-05,2.275561e-05,2.241676e-05,2.224801e-05,2.207980e-05,2.174517e-05,2.158549e-05,2.141325e-05,2.108438e-05,2.093420e-05,2.075884e-05,2.043690e-05,2.029644e-05,2.011878e-05,1.980465e-05,1.967396e-05,1.949470e-05,1.918905e-05,1.906803e-05,1.888783e-05,1.859111e-05,1.847956e-05,1.829899e-05,1.801152e-05,1.790918e-05,1.772875e-05,1.745070e-05,1.735724e-05,1.717740e-05,1.690886e-05,1.682393e-05,1.664507e-05,1.638602e-05,1.630923e-05,1.613171e-05,1.588210e-05,1.581305e-05,1.563717e-05,1.539689e-05,1.533517e-05,1.516120e-05,1.493008e-05,1.487528e-05,1.470346e-05,1.448131e-05,1.443303e-05,1.426357e-05,1.405019e-05,1.400803e-05,1.384110e-05,1.363626e-05,1.359983e-05,1.343559e-05,1.323904e-05,1.320797e-05,1.304655e-05,1.285805e-05,1.283198e-05,1.267348e-05,1.249279e-05,1.247136e-05,1.231589e-05,1.214274e-05,1.212562e-05,1.197326e-05,1.180739e-05,1.179428e-05,1.164508e-05,1.148625e-05,1.147683e-05,1.133085e-05,1.117881e-05,1.117280e-05,1.103007e-05,1.088457e-05,1.088170e-05,1.074226e-05,1.060306e-05,1.033644e-05,1.008137e-05,9.837426e-06,9.604183e-06,9.381228e-06,9.168165e-06,8.964607e-06,8.770183e-06,8.584533e-06,8.407309e-06,8.238175e-06,8.076810e-06,7.922900e-06,7.776147e-06,7.636260e-06,7.502962e-06,7.375984e-06,7.255069e-06,7.139967e-06,7.030441e-06,6.926261e-06,6.827206e-06,6.733063e-06,6.643627e-06,6.558704e-06,6.478103e-06,6.401643e-06,6.329150e-06,6.260456e-06,6.195399e-06,6.133825e-06,6.075585e-06,6.020536e-06,5.968540e-06,5.919465e-06,5.873184e-06,5.829575e-06,5.788522e-06,5.749911e-06,5.713634e-06,5.679588e-06,5.647673e-06,5.617792e-06,5.589855e-06,5.563772e-06,5.539460e-06,5.516835e-06,5.495821e-06,5.476342e-06
0.000000e+00,5.279708e-09,7.141413e-08,7.448517e-08,4.392012e-07,1.485616e-06,1.549995e-06,3.738498e-06,6.575575e-06,6.769957e-06,1.005313e-05,1.299486e-05,1.324371e-05,1.624818e-05,1.878022e-05,1.905154e-05,2.165705e-05,2.379211e-05,2.407214e-05,2.630523e-05,2.808671e-05,2.836496e-05,3.025988e-05,3.173044e-05,3.199844e-05,3.358889e-05,3.478814e-05,3.503920e-05,3.635709e-05,3.732106e-05,3.754998e-05,3.862498e-05,3.938604e-05,3.958890e-05,4.044823e-05,4.103518e-05,4.120914e-05,4.187755e-05,4.231594e-05,4.245909e-05,4.295908e-05,4.327144e-05,4.338260e-05,4.373440e-05,4.394042e-05,4.401900e-05,4.424068e-05,4.435759e-05,4.440355e-05,4.451149e-05,4.455442e-05,4.456816e-05,4.457705e-05,4.455921e-05,4.454149e-05,4.446466e-05,4.439767e-05,4.434965e-05,4.419923e-05,4.409308e-05,4.401603e-05,4.380256e-05,4.366579e-05,4.356113e-05,4.329398e-05,4.313393e-05,4.300320e-05,4.269076e-05,4.251369e-05,4.235851e-05,4.200821e-05,4.181946e-05,4.164149e-05,4.125992e-05,4.106402e-05,4.086496e-05,4.045798e-05,4.025874e-05,4.004028e-05,3.961308e-05,3.941369e-05,3.917751e-05,3.873466e-05,3.853776e-05,3.828552e-05,3.783104e-05,3.763878e-05,3.737210e-05,3.690952e-05,3.672365e-05,3.644409e-05,3.597652e-05,3.579843e-05,3.550749e-05,3.503763e-05,3.486840e-05,3.456753e-05,3.409773e-05,3.393816e-05,3.362875e-05,3.316105e-05,3.301172e-05,3.269506e-05,3.223121e-05,3.209253e-05,3.176986e-05,3.131136e-05,3.118354e-05,3.085603e-05,3.040416e-05,3.028727e-05,2.995602e-05,2.951186e-05,2.940588e-05,2.907191e-05,2.863637e-05,2.854116e-05,2.820542e-05,2.777924e-05,2.769458e-05,2.735797e-05,2.694175e-05,2.686738e-05,2.653070e-05,2.612493e-05,2.606051e-05,2.572453e-05,2.532959e-05,2.527474e-05,2.494017e-05,2.455632e-05,2.451064e-05,2.417811e-05,2.380556e-05,2.376862e-05,2.343872e-05,2.307759e-05,2.304895e-05,2.272220e-05,2.237255e-05,2.235175e-05,2.202864e-05,2.169047e-05,2.167706e-05,2.135802e-05,2.103128e-05,2.102480e-05,2.071022e-05,2.039482e-05,1.978689e-05,1.920073e-05,1.863600e-05,1.809232e-05,1.756927e-05,1.706640e-05,1.658325e-05,1.611933e-05,1.567413e-05,1.524714e-05,1.483784e-05,1.444570e-05,1.407020e-05,1.371082e-05,1.336703e-05,1.303832e-05,1.272417e-05,1.242410e-05,1.213759e-05,1.186417e-05,1.160337e-05,1.135471e-05,1.111776e-05,1.089206e-05,1.067718e-05,1.047272e-05,1.027827e-05,1.009343e-05,9.917819e-06,9.751074e-06,9.592836e-06,9.442760e-06,9.300513e-06,9.165771e-06,9.038225e-06,8.917574e-06,8.803529e-06,8.695811e-06,8.594151e-06,8.498291e-06,8.407981e-06,8.322981e-06,8.243061e-06,8.167998e-06,8.097580e-06,8.031600e-06,7.969861e-06,7.912173e-06,7.858355e-06
0.000000e+00,9.175214e-09,2.813202e-07,2.969114e-07,2.627507e-06,1.014969e-05,1.060568e-05,2.462714e-05,3.912806e-05,4.002139e-05,5.395070e-05,6.509699e-05,6.599324e-05,7.628112e-05,8.420487e-05,8.501371e-05,9.238112e-05,9.787113e-05,9.855396e-05,1.036831e-04,1.073615e-04,1.079018e-04,1.113270e-04,1.136666e-04,1.140616e-04,1.161960e-04,1.175542e-04,1.178093e-04,1.189708e-04,1.196157e-04,1.197412e-04,1.201733e-04,1.203056e-04,1.203136e-04,1.202025e-04,1.199719e-04,1.198754e-04,1.193630e-04,1.188806e-04,1.186923e-04,1.178867e-04,1.172348e-04,1.169668e-04,1.159503e-04,1.151898e-04,1.148529e-04,1.136884e-04,1.128641e-04,1.124684e-04,1.112032e-04,1.103479e-04,1.099019e-04,1.085723e-04,1.077096e-04,1.072210e-04,1.058540e-04,1.050008e-04,1.044763e-04,1.030923e-04,1.022605e-04,1.017059e-04,1.003203e-04,9.951817e-05,9.893838e-05,9.756259e-05,9.679562e-05,9.619501e-05,9.483744e-05,9.410906e-05,9.349141e-05,9.215821e-05,9.147040e-05,9.083895e-05,8.953454e-05,8.888815e-05,8.824575e-05,8.697321e-05,8.636831e-05,8.571742e-05,8.447881e-05,8.391491e-05,8.325771e-05,8.205434e-05,8.153053e-05,8.086890e-05,7.970151e-05,7.921661e-05,7.855223e-05,7.742109e-05,7.697371e-05,7.630808e-05,7.521314e-05,7.480180e-05,7.413622e-05,7.307720e-05,7.270032e-05,7.203599e-05,7.101242e-05,7.066840e-05,7.000636e-05,6.901762e-05,6.870486e-05,6.804605e-05,6.709144e-05,6.680834e-05,6.615361e-05,6.523234e-05,6.497733e-05,6.432744e-05,6.343869e-05,6.321024e-05,6.256589e-05,6.170880e-05,6.150542e-05,6.086723e-05,6.004093e-05,5.986118e-05,5.922971e-05,5.843332e-05,5.827581e-05,5.765157e-05,5.688422e-05,5.674761e-05,5.613105e-05,5.539186e-05,5.527487e-05,5.466641e-05,5.395451e-05,5.385591e-05,5.325593e-05,5.257047e-05,5.248909e-05,5.189792e-05,5.123806e-05,5.117277e-05,5.059070e-05,4.995564e-05,4.990536e-05,4.933267e-05,4.872159e-05,4.868530e-05,4.812221e-05,4.753435e-05,4.751107e-05,4.695780e-05,4.639238e-05,4.638118e-05,4.583791e-05,4.529420e-05,4.424871e-05,4.324335e-05,4.227679e-05,4.134773e-05,4.045493e-05,3.959716e-05,3.877326e-05,3.798207e-05,3.722249e-05,3.649343e-05,3.579387e-05,3.512278e-05,3.447920e-05,3.386216e-05,3.327076e-05,3.270410e-05,3.216133e-05,3.164160e-05,3.114411e-05,3.066807e-05,3.021274e-05,2.977737e-05,2.936125e-05,2.896370e-05,2.858406e-05,2.822166e-05,2.787590e-05,2.754617e-05,2.723188e-05,2.693248e-05,2.664740e-05,2.637612e-05,2.611812e-05,2.587292e-05,2.564003e-05,2.541898e-05,2.520932e-05,2.501063e-05,2.482247e-05,2.464445e-05,2.447616e-05,2.431722e-05,2.416727e-05,2.402595e-05,2.389291e-05,2.376782e-05,2.365036e-05,2.354021e-05,2.343708e-05
0.000000e+00,5.250588e-11,5.687494e-09,6.100404e-09,1.100137e-07,8.595073e-07,9.264908e-07,4.862007e-06,1.677825e-05,1.799866e-05,5.077612e-05,1.091165e-04,1.157826e-04,2.238090e-04,3.628132e-04,3.807534e-04,5.865855e-04,8.040839e-04,8.360547e-04,1.120295e-03,1.384409e-03,1.428606e-03,1.749974e-03,2.022484e-03,2.074160e-03,2.392360e-03,2.643795e-03,2.697494e-03,2.984248e-03,3.197893e-03,3.248939e-03,3.489297e-03,3.659139e-03,3.704216e-03,3.893505e-03,4.020504e-03,4.057653e-03,4.197643e-03,4.286447e-03,4.314790e-03,4.410608e-03,4.467300e-03,4.486722e-03,4.544787e-03,4.575573e-03,4.586443e-03,4.613272e-03,4.623819e-03,4.626781e-03,4.628388e-03,4.623572e-03,4.619409e-03,4.601060e-03,4.584918e-03,4.574455e-03,4.540612e-03,4.516406e-03,4.500461e-03,4.454841e-03,4.425163e-03,4.404513e-03,4.350161e-03,4.317040e-03,4.292404e-03,4.231796e-03,4.196797e-03,4.168834e-03,4.103965e-03,4.068285e-03,4.037588e-03,3.970059e-03,3.934596e-03,3.901695e-03,3.832778e-03,3.798191e-03,3.763557e-03,3.694255e-03,3.661020e-03,3.625069e-03,3.556169e-03,3.524615e-03,3.487709e-03,3.419822e-03,3.390163e-03,3.352622e-03,3.286210e-03,3.258574e-03,3.220674e-03,3.156087e-03,3.130533e-03,3.092513e-03,3.030005e-03,3.006541e-03,2.968607e-03,2.908355e-03,2.886951e-03,2.849279e-03,2.791402e-03,2.772000e-03,2.734740e-03,2.679304e-03,2.661825e-03,2.625103e-03,2.572140e-03,2.556493e-03,2.520415e-03,2.469923e-03,2.456006e-03,2.420659e-03,2.372614e-03,2.360321e-03,2.325777e-03,2.280136e-03,2.269359e-03,2.235677e-03,2.192382e-03,2.183012e-03,2.150237e-03,2.109222e-03,2.101153e-03,2.069319e-03,2.030509e-03,2.023637e-03,1.992771e-03,1.956085e-03,1.950311e-03,1.920430e-03,1.885785e-03,1.881014e-03,1.852128e-03,1.819439e-03,1.815580e-03,1.787695e-03,1.756876e-03,1.753844e-03,1.726959e-03,1.697924e-03,1.695639e-03,1.669750e-03,1.642415e-03,1.640801e-03,1.615899e-03,1.590181e-03,1.589169e-03,1.565242e-03,1.541061e-03,1.540585e-03,1.517618e-03,1.494896e-03,1.451954e-03,1.411616e-03,1.373746e-03,1.338211e-03,1.304885e-03,1.273647e-03,1.244384e-03,1.216984e-03,1.191345e-03,1.167366e-03,1.144954e-03,1.124019e-03,1.104477e-03,1.086248e-03,1.069255e-03,1.053426e-03,1.038693e-03,1.024992e-03,1.012262e-03,1.000445e-03,9.894861e-04,9.793343e-04,9.699412e-04,9.612605e-04,9.532490e-04,9.458658e-04,9.390721e-04,9.328314e-04,9.271093e-04,9.218732e-04,9.170925e-04,9.127383e-04,9.087834e-04,9.052020e-04,9.019699e-04,8.990643e-04,8.964636e-04,8.941478e-04,8.920973e-04,8.902942e-04,8.887215e-04,8.873633e-04,8.862044e-04,8.852307e-04,8.844291e-04,8.837868e-04,8.832923e-04,8.829343e-04,8.827025e-04
0.000000e+00,2.288370e-09,2.892897e-08,3.016525e-08,1.801526e-07,6.286038e-07,6.566967e-07,1.628307e-06,2.906847e-06,2.994504e-06,4.463878e-06,5.747116e-06,5.853726e-06,7.113127e-06,8.131221e-06,8.237800e-06,9.234985e-06,1.001472e-05,1.011435e-05,1.088565e-05,1.146963e-05,1.155817e-05,1.214054e-05,1.256599e-05,1.264084e-05,1.306649e-05,1.336466e-05,1.342436e-05,1.372078e-05,1.391759e-05,1.396155e-05,1.415201e-05,1.426881e-05,1.429705e-05,1.440114e-05,1.445540e-05,1.446839e-05,1.450253e-05,1.450851e-05,1.450700e-05,1.448491e-05,1.445418e-05,1.443912e-05,1.437224e-05,1.431414e-05,1.428662e-05,1.418444e-05,1.410651e-05,1.406766e-05,1.393807e-05,1.384632e-05,1.379729e-05,1.364681e-05,1.354604e-05,1.348797e-05,1.332198e-05,1.321596e-05,1.314995e-05,1.297287e-05,1.286459e-05,1.279166e-05,1.260712e-05,1.249887e-05,1.242001e-05,1.223097e-05,1.212449e-05,1.204061e-05,1.184947e-05,1.174610e-05,1.165802e-05,1.146671e-05,1.136741e-05,1.127592e-05,1.108598e-05,1.099144e-05,1.089722e-05,1.070989e-05,1.062055e-05,1.052424e-05,1.034047e-05,1.025663e-05,1.015878e-05,9.979323e-06,9.901106e-06,9.802237e-06,9.627642e-06,9.555081e-06,9.455641e-06,9.286317e-06,9.219354e-06,9.119744e-06,8.955977e-06,8.894492e-06,8.795063e-06,8.637038e-06,8.580861e-06,8.481926e-06,8.329745e-06,8.278673e-06,8.180503e-06,8.034202e-06,7.988007e-06,7.890838e-06,7.750402e-06,7.708839e-06,7.612877e-06,7.478245e-06,7.441064e-06,7.346483e-06,7.217564e-06,7.184507e-06,7.091458e-06,6.968133e-06,6.938945e-06,6.847554e-06,6.729685e-06,6.704113e-06,6.614486e-06,6.501919e-06,6.479718e-06,6.391942e-06,6.284513e-06,6.265443e-06,6.179590e-06,6.077128e-06,6.060960e-06,5.977085e-06,5.879415e-06,5.865928e-06,5.784074e-06,5.691018e-06,5.680002e-06,5.600201e-06,5.511581e-06,5.502838e-06,5.425111e-06,5.340749e-06,5.334090e-06,5.258451e-06,5.178172e-06,5.173419e-06,5.099871e-06,5.023505e-06,5.020490e-06,4.949031e-06,4.876408e-06,4.874975e-06,4.805596e-06,4.736554e-06,4.604918e-06,4.479765e-06,4.360805e-06,4.247758e-06,4.140352e-06,4.038327e-06,3.941435e-06,3.849436e-06,3.762099e-06,3.679206e-06,3.600545e-06,3.525916e-06,3.455126e-06,3.387991e-06,3.324336e-06,3.263994e-06,3.206804e-06,3.152614e-06,3.101280e-06,3.052661e-06,3.006627e-06,2.963051e-06,2.921813e-06,2.882799e-06,2.845900e-06,2.811013e-06,2.778038e-06,2.746882e-06,2.717455e-06,2.689671e-06,2.663450e-06,2.638714e-06,2.615389e-06,2.593406e-06,2.572698e-06,2.553200e-06,2.534854e-06,2.517600e-06,2.501385e-06,2.486156e-06,2.471863e-06,2.458460e-06,2.445901e-06,2.434144e-06,2.423148e-06,2.412874e-06,2.403285e-06,2.394346e-06,2.386024e-06
0.000000e+00,7.846424e-10,5.383175e-08,5.724420e-08,7.049999e-07,4.156591e-06,4.434021e-06,1.825150e-05,5.065088e-05,5.357485e-05,1.187100e-04,2.026708e-04,2.107851e-04,3.186571e-04,4.198763e-04,4.310812e-04,5.407298e-04,6.319896e-04,6.439838e-04,7.394833e-04,8.151995e-04,8.269703e-04,9.066495e-04,9.678184e-04,9.788956e-04,1.044135e-03,1.092707e-03,1.102800e-03,1.155315e-03,1.193172e-03,1.202085e-03,1.243501e-03,1.272327e-03,1.279932e-03,1.311730e-03,1.333001e-03,1.339224e-03,1.362728e-03,1.377726e-03,1.382537e-03,1.398925e-03,1.408753e-03,1.412153e-03,1.422464e-03,1.428068e-03,1.430084e-03,1.435228e-03,1.437414e-03,1.438095e-03,1.438870e-03,1.438322e-03,1.437728e-03,1.434832e-03,1.432127e-03,1.430332e-03,1.424370e-03,1.419997e-03,1.417077e-03,1.408578e-03,1.402947e-03,1.398985e-03,1.388406e-03,1.381857e-03,1.376939e-03,1.364677e-03,1.357496e-03,1.351706e-03,1.338104e-03,1.330524e-03,1.323946e-03,1.309301e-03,1.301514e-03,1.294231e-03,1.278796e-03,1.270959e-03,1.263050e-03,1.247044e-03,1.239282e-03,1.230823e-03,1.214432e-03,1.206846e-03,1.197909e-03,1.181292e-03,1.173959e-03,1.164614e-03,1.147905e-03,1.140885e-03,1.131194e-03,1.114508e-03,1.107845e-03,1.097869e-03,1.081300e-03,1.075026e-03,1.064820e-03,1.048448e-03,1.042584e-03,1.032200e-03,1.016091e-03,1.010647e-03,1.000133e-03,9.843396e-04,9.793221e-04,9.687210e-04,9.532869e-04,9.486940e-04,9.380459e-04,9.230054e-04,9.188310e-04,9.081722e-04,8.935520e-04,8.897863e-04,8.791498e-04,8.649697e-04,8.616000e-04,8.510154e-04,8.372898e-04,8.343011e-04,8.237953e-04,8.105335e-04,8.079092e-04,7.975059e-04,7.847132e-04,7.824355e-04,7.721560e-04,7.598341e-04,7.578845e-04,7.477475e-04,7.358954e-04,7.342548e-04,7.242770e-04,7.128910e-04,7.115402e-04,7.017360e-04,6.908104e-04,6.897304e-04,6.801123e-04,6.696396e-04,6.688115e-04,6.593902e-04,6.493617e-04,6.487670e-04,6.395516e-04,6.299574e-04,6.295780e-04,6.205762e-04,6.114054e-04,6.112241e-04,6.024420e-04,5.936831e-04,5.769321e-04,5.609472e-04,5.457042e-04,5.311784e-04,5.173451e-04,5.041795e-04,4.916573e-04,4.797540e-04,4.684459e-04,4.577094e-04,4.475216e-04,4.378601e-04,4.287029e-04,4.200289e-04,4.118174e-04,4.040484e-04,3.967026e-04,3.897612e-04,3.832063e-04,3.770204e-04,3.711868e-04,3.656892e-04,3.605122e-04,3.556408e-04,3.510607e-04,3.467582e-04,3.427199e-04,3.389332e-04,3.353860e-04,3.320666e-04,3.289638e-04,3.260670e-04,3.233660e-04,3.208509e-04,3.185123e-04,3.163414e-04,3.143296e-04,3.124686e-04,3.107506e-04,3.091683e-04,3.077143e-04,3.063819e-04,3.051646e-04,3.040561e-04,3.030506e-04,3.021423e-04,3.013258e-04,3.005959e-04,2.999478e-04
0.000000e+00,1.459400e-09,9.164406e-08,9.736832e-08,1.160388e-06,6.435586e-06,6.840740e-06,2.526781e-05,6.234854e-05,6.545783e-05,1.290222e-04,2.011752e-04,2.077637e-04,2.908910e-04,3.634345e-04,3.712299e-04,4.456448e-04,5.055183e-04,5.132733e-04,5.741815e-04,6.214674e-04,6.287397e-04,6.773932e-04,7.140277e-04,7.205906e-04,7.587617e-04,7.865964e-04,7.923117e-04,8.216197e-04,8.422500e-04,8.470388e-04,8.688965e-04,8.836694e-04,8.874965e-04,9.031191e-04,9.131613e-04,9.160237e-04,9.264498e-04,9.327002e-04,9.346186e-04,9.407332e-04,9.439696e-04,9.449811e-04,9.475349e-04,9.483999e-04,9.485531e-04,9.481815e-04,9.472039e-04,9.465544e-04,9.437950e-04,9.414089e-04,9.400165e-04,9.353228e-04,9.318828e-04,9.298092e-04,9.235633e-04,9.193586e-04,9.166654e-04,9.091891e-04,9.044539e-04,9.012017e-04,8.927652e-04,8.876886e-04,8.839360e-04,8.747658e-04,8.694993e-04,8.653019e-04,8.555875e-04,8.502517e-04,8.456622e-04,8.355619e-04,8.302516e-04,8.253195e-04,8.149649e-04,8.097542e-04,8.045254e-04,7.940258e-04,7.889713e-04,7.834884e-04,7.729338e-04,7.680780e-04,7.623804e-04,7.518449e-04,7.472189e-04,7.413424e-04,7.308865e-04,7.265120e-04,7.204895e-04,7.101624e-04,7.060534e-04,6.999150e-04,6.897562e-04,6.859206e-04,6.796936e-04,6.697342e-04,6.661754e-04,6.598843e-04,6.501490e-04,6.468660e-04,6.405332e-04,6.310409e-04,6.280300e-04,6.216755e-04,6.124401e-04,6.096953e-04,6.033372e-04,5.943688e-04,5.918820e-04,5.855366e-04,5.768418e-04,5.746039e-04,5.682856e-04,5.598685e-04,5.578691e-04,5.515909e-04,5.434531e-04,5.416815e-04,5.354549e-04,5.275961e-04,5.260410e-04,5.198762e-04,5.122946e-04,5.109446e-04,5.048506e-04,4.975433e-04,4.963867e-04,4.903716e-04,4.833344e-04,4.823599e-04,4.764306e-04,4.696588e-04,4.688549e-04,4.630176e-04,4.565056e-04,4.558614e-04,4.501213e-04,4.438632e-04,4.433679e-04,4.377296e-04,4.317190e-04,4.313623e-04,4.258297e-04,4.200600e-04,4.198317e-04,4.144082e-04,4.088726e-04,4.087631e-04,4.034515e-04,3.981431e-04,3.879582e-04,3.781949e-04,3.688397e-04,3.598791e-04,3.513001e-04,3.430894e-04,3.352345e-04,3.277226e-04,3.205417e-04,3.136797e-04,3.071251e-04,3.008664e-04,2.948928e-04,2.891935e-04,2.837583e-04,2.785770e-04,2.736399e-04,2.689377e-04,2.644613e-04,2.602018e-04,2.561509e-04,2.523001e-04,2.486418e-04,2.451681e-04,2.418717e-04,2.387455e-04,2.357826e-04,2.329763e-04,2.303202e-04,2.278082e-04,2.254343e-04,2.231927e-04,2.210779e-04,2.190847e-04,2.172077e-04,2.154421e-04,2.137831e-04,2.122260e-04,2.107664e-04,2.094001e-04,2.081229e-04,2.069309e-04,2.058202e-04,2.047871e-04,2.038281e-04,2.029398e-04,2.021189e-04,2.013622e-04,2.006666e-04
0.000000e+00,5.774469e-12,6.633741e-10,7.124591e-10,1.378414e-08,1.159459e-07,1.253724e-07,7.105496e-07,2.623979e-06,2.826457e-06,8.509110e-06,1.931496e-05,2.058920e-05,4.207367e-05,7.154043e-05,7.546865e-05,1.223157e-04,1.750088e-04,1.830091e-04,2.568463e-04,3.296551e-04,3.422242e-04,4.369032e-04,5.217211e-04,5.382789e-04,6.436242e-04,7.311024e-04,7.502858e-04,8.558272e-04,9.380127e-04,9.581217e-04,1.055403e-03,1.126894e-03,1.146281e-03,1.229731e-03,1.287755e-03,1.305072e-03,1.371919e-03,1.415837e-03,1.430149e-03,1.479849e-03,1.510490e-03,1.521276e-03,1.554815e-03,1.573854e-03,1.580946e-03,1.600207e-03,1.609673e-03,1.613173e-03,1.620431e-03,1.622379e-03,1.622565e-03,1.620143e-03,1.616454e-03,1.613708e-03,1.603769e-03,1.596057e-03,1.590800e-03,1.575236e-03,1.564818e-03,1.557472e-03,1.537864e-03,1.525773e-03,1.516731e-03,1.494356e-03,1.481379e-03,1.470991e-03,1.446853e-03,1.433567e-03,1.422136e-03,1.397003e-03,1.383819e-03,1.371600e-03,1.346049e-03,1.333253e-03,1.320457e-03,1.294913e-03,1.282691e-03,1.269492e-03,1.244259e-03,1.232730e-03,1.219267e-03,1.194560e-03,1.183790e-03,1.170176e-03,1.146144e-03,1.136161e-03,1.122488e-03,1.099227e-03,1.090037e-03,1.076377e-03,1.053950e-03,1.045540e-03,1.031952e-03,1.010392e-03,1.002738e-03,9.892717e-04,9.685939e-04,9.616643e-04,9.483587e-04,9.285652e-04,9.223243e-04,9.092115e-04,8.902943e-04,8.847038e-04,8.718101e-04,8.537545e-04,8.487750e-04,8.361223e-04,8.189085e-04,8.145007e-04,8.021071e-04,7.857123e-04,7.818373e-04,7.697175e-04,7.541165e-04,7.507364e-04,7.389024e-04,7.240685e-04,7.211467e-04,7.096077e-04,6.955133e-04,6.930146e-04,6.817781e-04,6.683952e-04,6.662861e-04,6.553576e-04,6.426582e-04,6.409069e-04,6.302903e-04,6.182468e-04,6.168231e-04,6.065209e-04,5.951058e-04,5.939811e-04,5.839947e-04,5.731809e-04,5.723284e-04,5.626578e-04,5.524190e-04,5.518136e-04,5.424580e-04,5.327685e-04,5.323865e-04,5.233443e-04,5.141791e-04,5.139984e-04,5.052671e-04,4.966022e-04,4.801522e-04,4.646042e-04,4.499158e-04,4.360462e-04,4.229561e-04,4.106079e-04,3.989655e-04,3.879943e-04,3.776612e-04,3.679346e-04,3.587842e-04,3.501812e-04,3.420981e-04,3.345085e-04,3.273873e-04,3.207106e-04,3.144557e-04,3.086007e-04,3.031251e-04,2.980090e-04,2.932338e-04,2.887814e-04,2.846350e-04,2.807783e-04,2.771959e-04,2.738730e-04,2.707958e-04,2.679509e-04,2.653257e-04,2.629082e-04,2.606869e-04,2.586509e-04,2.567898e-04,2.550938e-04,2.535535e-04,2.521600e-04,2.509048e-04,2.497799e-04,2.487775e-04,2.478904e-04,2.471117e-04,2.464347e-04,2.458531e-04,2.453610e-04,2.449528e-04,2.446231e-04,2.443667e-04,2.441788e-04,2.440548e-04
0.000000e+00,9.899666e-09,3.131134e-07,3.299498e-07,2.913871e-06,1.271374e-05,1.337554e-05,3.766057e-05,7.096190e-05,7.325692e-05,1.119186e-04,1.462223e-04,1.491057e-04,1.836658e-04,2.124072e-04,2.154649e-04,2.445947e-04,2.681312e-04,2.711944e-04,2.954111e-04,3.144430e-04,3.173908e-04,3.372756e-04,3.524605e-04,3.552027e-04,3.713029e-04,3.832297e-04,3.857011e-04,3.985152e-04,4.077012e-04,4.098569e-04,4.198310e-04,4.267253e-04,4.285365e-04,4.360662e-04,4.410560e-04,4.425068e-04,4.479392e-04,4.513555e-04,4.524401e-04,4.560808e-04,4.582069e-04,4.589276e-04,4.610423e-04,4.621182e-04,4.624828e-04,4.633031e-04,4.635324e-04,4.635534e-04,4.632806e-04,4.628353e-04,4.625283e-04,4.613373e-04,4.603624e-04,4.597454e-04,4.577879e-04,4.564051e-04,4.554975e-04,4.529049e-04,4.512160e-04,4.500382e-04,4.469240e-04,4.450141e-04,4.435868e-04,4.400492e-04,4.379886e-04,4.363324e-04,4.324561e-04,4.303030e-04,4.284383e-04,4.242961e-04,4.220981e-04,4.200448e-04,4.156992e-04,4.134951e-04,4.112724e-04,4.067770e-04,4.045982e-04,4.022244e-04,3.976251e-04,3.954965e-04,3.929890e-04,3.883249e-04,3.862661e-04,3.836413e-04,3.789457e-04,3.769717e-04,3.742452e-04,3.695462e-04,3.676684e-04,3.648547e-04,3.601760e-04,3.584025e-04,3.555152e-04,3.508767e-04,3.492131e-04,3.462647e-04,3.416830e-04,3.401328e-04,3.371350e-04,3.326238e-04,3.311884e-04,3.281521e-04,3.237225e-04,3.224022e-04,3.193373e-04,3.149985e-04,3.137922e-04,3.107079e-04,3.064670e-04,3.053727e-04,3.022773e-04,2.981401e-04,2.971551e-04,2.940563e-04,2.900270e-04,2.891479e-04,2.860528e-04,2.821344e-04,2.813575e-04,2.782723e-04,2.744671e-04,2.737882e-04,2.707189e-04,2.670279e-04,2.664427e-04,2.633944e-04,2.598184e-04,2.593223e-04,2.562998e-04,2.528386e-04,2.524271e-04,2.494346e-04,2.460876e-04,2.457560e-04,2.427973e-04,2.395635e-04,2.393072e-04,2.363858e-04,2.332638e-04,2.330782e-04,2.301971e-04,2.271852e-04,2.270658e-04,2.242277e-04,2.213240e-04,2.212665e-04,2.184736e-04,2.156760e-04,2.102902e-04,2.051043e-04,2.001136e-04,1.953132e-04,1.906980e-04,1.862629e-04,1.820028e-04,1.779126e-04,1.739871e-04,1.702212e-04,1.666100e-04,1.631485e-04,1.598318e-04,1.566551e-04,1.536137e-04,1.507029e-04,1.479184e-04,1.452558e-04,1.427106e-04,1.402788e-04,1.379562e-04,1.357390e-04,1.336233e-04,1.316054e-04,1.296815e-04,1.278483e-04,1.261022e-04,1.244401e-04,1.228586e-04,1.213546e-04,1.199252e-04,1.185674e-04,1.172784e-04,1.160554e-04,1.148959e-04,1.137972e-04,1.127569e-04,1.117725e-04,1.108418e-04,1.099625e-04,1.091324e-04,1.083495e-04,1.076117e-04,1.069171e-04,1.062638e-04,1.056499e-04,1.050738e-04,1.045336e-04,1.040278e-04
0.000000e+00,3.667108e-09,4.723975e-08,4.925660e-08,2.909904e-07,1.000505e-06,1.044659e-06,2.565865e-06,4.565735e-06,4.702700e-06,6.985638e-06,8.948328e-06,9.109803e-06,1.099728e-05,1.249407e-05,1.264914e-05,1.408390e-05,1.518354e-05,1.532249e-05,1.638491e-05,1.717175e-05,1.728954e-05,1.805310e-05,1.859659e-05,1.869073e-05,1.921611e-05,1.957185e-05,1.964157e-05,1.997823e-05,2.019036e-05,2.023607e-05,2.042407e-05,2.052742e-05,2.055026e-05,2.062187e-05,2.064381e-05,2.064539e-05,2.062661e-05,2.058856e-05,2.057073e-05,2.048242e-05,2.040110e-05,2.036582e-05,2.022461e-05,2.011291e-05,2.006211e-05,1.988126e-05,1.974916e-05,1.968470e-05,1.947480e-05,1.932997e-05,1.925363e-05,1.902307e-05,1.887134e-05,1.878474e-05,1.854014e-05,1.838591e-05,1.829056e-05,1.803717e-05,1.788374e-05,1.778099e-05,1.752293e-05,1.737271e-05,1.726378e-05,1.700425e-05,1.685898e-05,1.674496e-05,1.648646e-05,1.634736e-05,1.622922e-05,1.597366e-05,1.584156e-05,1.572015e-05,1.546900e-05,1.534439e-05,1.522047e-05,1.497482e-05,1.485798e-05,1.473222e-05,1.449286e-05,1.438388e-05,1.425688e-05,1.402438e-05,1.392322e-05,1.379548e-05,1.357023e-05,1.347674e-05,1.334871e-05,1.313097e-05,1.304493e-05,1.291702e-05,1.270690e-05,1.262805e-05,1.250060e-05,1.229814e-05,1.222619e-05,1.209950e-05,1.190468e-05,1.183930e-05,1.171364e-05,1.152636e-05,1.146722e-05,1.134281e-05,1.116296e-05,1.110972e-05,1.098676e-05,1.081418e-05,1.076650e-05,1.064517e-05,1.047969e-05,1.043724e-05,1.031768e-05,1.015910e-05,1.012155e-05,1.000390e-05,9.852022e-06,9.819049e-06,9.703415e-06,9.558026e-06,9.529330e-06,9.415803e-06,9.276691e-06,9.251977e-06,9.140636e-06,9.007585e-06,8.986572e-06,8.877484e-06,8.750280e-06,8.732699e-06,8.625918e-06,8.504347e-06,8.489944e-06,8.385514e-06,8.269367e-06,8.257899e-06,8.155855e-06,8.044927e-06,8.036163e-06,7.936533e-06,7.830623e-06,7.824346e-06,7.727148e-06,7.626060e-06,7.622066e-06,7.527312e-06,7.430857e-06,7.428951e-06,7.336649e-06,7.244643e-06,7.068791e-06,6.901057e-06,6.741116e-06,6.588652e-06,6.443360e-06,6.304947e-06,6.173130e-06,6.047638e-06,5.928207e-06,5.814586e-06,5.706531e-06,5.603810e-06,5.506197e-06,5.413477e-06,5.325443e-06,5.241894e-06,5.162639e-06,5.087494e-06,5.016283e-06,4.948834e-06,4.884986e-06,4.824580e-06,4.767467e-06,4.713501e-06,4.662545e-06,4.614465e-06,4.569132e-06,4.526425e-06,4.486224e-06,4.448417e-06,4.412895e-06,4.379555e-06,4.348295e-06,4.319020e-06,4.291639e-06,4.266061e-06,4.242204e-06,4.219985e-06,4.199328e-06,4.180156e-06,4.162398e-06,4.145987e-06,4.130855e-06,4.116940e-06,4.104181e-06,4.092521e-06,4.081903e-06,4.072275e-06,4.063585e-06
0.000000e+00,9.842588e-10,6.426685e-08,6.825406e-08,7.771353e-07,4.178376e-06,4.439962e-06,1.668626e-05,4.343887e-05,4.580493e-05,9.821574e-05,1.668398e-04,1.735736e-04,2.647679e-04,3.527033e-04,3.625454e-04,4.596412e-04,5.411415e-04,5.518765e-04,6.374101e-04,7.051830e-04,7.157084e-04,7.868488e-04,8.413072e-04,8.511526e-04,9.090233e-04,9.519720e-04,9.608813e-04,1.007138e-03,1.040375e-03,1.048187e-03,1.084400e-03,1.109517e-03,1.116130e-03,1.143706e-03,1.162076e-03,1.167437e-03,1.187613e-03,1.200414e-03,1.204504e-03,1.218364e-03,1.226599e-03,1.229428e-03,1.237918e-03,1.242440e-03,1.244039e-03,1.247983e-03,1.249514e-03,1.249930e-03,1.250045e-03,1.249194e-03,1.248484e-03,1.245393e-03,1.242673e-03,1.240905e-03,1.235147e-03,1.230990e-03,1.228234e-03,1.220277e-03,1.215043e-03,1.211375e-03,1.201622e-03,1.195610e-03,1.191106e-03,1.179908e-03,1.173366e-03,1.168102e-03,1.155758e-03,1.148892e-03,1.142941e-03,1.129711e-03,1.122687e-03,1.116124e-03,1.102229e-03,1.095182e-03,1.088076e-03,1.073706e-03,1.066745e-03,1.059162e-03,1.044481e-03,1.037690e-03,1.029695e-03,1.014838e-03,1.008286e-03,9.999386e-04,9.850227e-04,9.787592e-04,9.701152e-04,9.552385e-04,9.493010e-04,9.404129e-04,9.256572e-04,9.200719e-04,9.109883e-04,8.964217e-04,8.912055e-04,8.819713e-04,8.676498e-04,8.628119e-04,8.534686e-04,8.394379e-04,8.349813e-04,8.255668e-04,8.118635e-04,8.077863e-04,7.983352e-04,7.849882e-04,7.812843e-04,7.718281e-04,7.588597e-04,7.555198e-04,7.460871e-04,7.335138e-04,7.305262e-04,7.211428e-04,7.089763e-04,7.063273e-04,6.970162e-04,6.852640e-04,6.829385e-04,6.737205e-04,6.623865e-04,6.603686e-04,6.512621e-04,6.403473e-04,6.386203e-04,6.296415e-04,6.191443e-04,6.176913e-04,6.088546e-04,5.987714e-04,5.975752e-04,5.888931e-04,5.792184e-04,5.782621e-04,5.697455e-04,5.604725e-04,5.597392e-04,5.513974e-04,5.425181e-04,5.419915e-04,5.338323e-04,5.253378e-04,5.250020e-04,5.170321e-04,5.089126e-04,5.087521e-04,5.009769e-04,4.932223e-04,4.783920e-04,4.642402e-04,4.507453e-04,4.378856e-04,4.256392e-04,4.139844e-04,4.028996e-04,3.923635e-04,3.823551e-04,3.728538e-04,3.638394e-04,3.552923e-04,3.471932e-04,3.395236e-04,3.322653e-04,3.254008e-04,3.189131e-04,3.127858e-04,3.070032e-04,3.015499e-04,2.964112e-04,2.915728e-04,2.870212e-04,2.827433e-04,2.787263e-04,2.749581e-04,2.714272e-04,2.681223e-04,2.650328e-04,2.621483e-04,2.594589e-04,2.569553e-04,2.546283e-04,2.524693e-04,2.504700e-04,2.486224e-04,2.469188e-04,2.453521e-04,2.439152e-04,2.426014e-04,2.414044e-04,2.403180e-04,2.393364e-04,2.384541e-04,2.376656e-04,2.369658e-04,2.363499e-04,2.358132e-04,2.353513e-04
0.000000e+00,3.317226e-11,4.214928e-09,4.536621e-09,9.751876e-08,8.924996e-07,9.679864e-07,5.836650e-06,2.236330e-05,2.413409e-05,7.471755e-05,1.741920e-04,1.861574e-04,3.942597e-04,6.966160e-04,7.382545e-04,1.256849e-03,1.885415e-03,1.984839e-03,2.950595e-03,3.987065e-03,4.174475e-03,5.668093e-03,7.133513e-03,7.434292e-03,9.467662e-03,1.132563e-02,1.175542e-02,1.427854e-02,1.645048e-02,1.701298e-02,1.993094e-02,2.231489e-02,2.300208e-02,2.619460e-02,2.868225e-02,2.947626e-02,3.281520e-02,3.530473e-02,3.618063e-02,3.954341e-02,4.194767e-02,4.287645e-02,4.615503e-02,4.840565e-02,4.935696e-02,5.246268e-02,5.451089e-02,5.545530e-02,5.832057e-02,6.013610e-02,6.104677e-02,6.362454e-02,6.519304e-02,6.604676e-02,6.830836e-02,6.962842e-02,7.040615e-02,7.233860e-02,7.341864e-02,7.410568e-02,7.570864e-02,7.656405e-02,7.714986e-02,7.843268e-02,7.908338e-02,7.956123e-02,8.054027e-02,8.100863e-02,8.137509e-02,8.207141e-02,8.238073e-02,8.263520e-02,8.307268e-02,8.324604e-02,8.339019e-02,8.359413e-02,8.365355e-02,8.369088e-02,8.368680e-02,8.365278e-02,8.358813e-02,8.340100e-02,8.329218e-02,8.313138e-02,8.278506e-02,8.261809e-02,8.236764e-02,8.188452e-02,8.167404e-02,8.134088e-02,8.074167e-02,8.050040e-02,8.009165e-02,7.939531e-02,7.913413e-02,7.865697e-02,7.788069e-02,7.760880e-02,7.707033e-02,7.622956e-02,7.595465e-02,7.536181e-02,7.447035e-02,7.419875e-02,7.355824e-02,7.262836e-02,7.236519e-02,7.168343e-02,7.072597e-02,7.047528e-02,6.975837e-02,6.878287e-02,6.854780e-02,6.780153e-02,6.681631e-02,6.659922e-02,6.582902e-02,6.484134e-02,6.464390e-02,6.385484e-02,6.287098e-02,6.269427e-02,6.189111e-02,6.091648e-02,6.076111e-02,5.994825e-02,5.898747e-02,5.885361e-02,5.803513e-02,5.709212e-02,5.697963e-02,5.615927e-02,5.523734e-02,5.514578e-02,5.432701e-02,5.342889e-02,5.335759e-02,5.254356e-02,5.167153e-02,5.161964e-02,5.081323e-02,4.996908e-02,4.993562e-02,4.913945e-02,4.832463e-02,4.830849e-02,4.752491e-02,4.674053e-02,4.523342e-02,4.378835e-02,4.240604e-02,4.108680e-02,3.983062e-02,3.863718e-02,3.750588e-02,3.643592e-02,3.542631e-02,3.447587e-02,3.358329e-02,3.274714e-02,3.196589e-02,3.123792e-02,3.056154e-02,2.993502e-02,2.935655e-02,2.882431e-02,2.833643e-02,2.789105e-02,2.748628e-02,2.712021e-02,2.679097e-02,2.649665e-02,2.623538e-02,2.600530e-02,2.580457e-02,2.563136e-02,2.548388e-02,2.536038e-02,2.525913e-02,2.517846e-02,2.511671e-02,2.507229e-02,2.504366e-02,2.502933e-02,2.502784e-02,2.503782e-02,2.505793e-02,2.508691e-02,2.512356e-02,2.516671e-02,2.521530e-02,2.526831e-02,2.532477e-02,2.538380e-02,2.544457e-02,2.550631e-02,2.556832e-02
0.000000e+00,4.509859e-10,3.615350e-08,3.859807e-08,5.800487e-07,3.938549e-06,4.220314e-06,1.889143e-05,5.490904e-05,5.821564e-05,1.334172e-04,2.337385e-04,2.436067e-04,3.773871e-04,5.069483e-04,5.215146e-04,6.663011e-04,7.898421e-04,8.062837e-04,9.389438e-04,1.046461e-03,1.063376e-03,1.179441e-03,1.270603e-03,1.287327e-03,1.387344e-03,1.463736e-03,1.479849e-03,1.565205e-03,1.628585e-03,1.643772e-03,1.715900e-03,1.767909e-03,1.781928e-03,1.842183e-03,1.884310e-03,1.896979e-03,1.946616e-03,1.980195e-03,1.991380e-03,2.031548e-03,2.057769e-03,2.067379e-03,2.099124e-03,2.119041e-03,2.127020e-03,2.151292e-03,2.165838e-03,2.172157e-03,2.189818e-03,2.199814e-03,2.204469e-03,2.216295e-03,2.222462e-03,2.225470e-03,2.232161e-03,2.235131e-03,2.236525e-03,2.238712e-03,2.239039e-03,2.238864e-03,2.237114e-03,2.235278e-03,2.233590e-03,2.228413e-03,2.224834e-03,2.221697e-03,2.213551e-03,2.208593e-03,2.204076e-03,2.193371e-03,2.187349e-03,2.181527e-03,2.168630e-03,2.161812e-03,2.154763e-03,2.140003e-03,2.132623e-03,2.124425e-03,2.108096e-03,2.100352e-03,2.091084e-03,2.073449e-03,2.065508e-03,2.055251e-03,2.036544e-03,2.028547e-03,2.017379e-03,1.997807e-03,1.989874e-03,1.977873e-03,1.957621e-03,1.949850e-03,1.937091e-03,1.916323e-03,1.908794e-03,1.895351e-03,1.874211e-03,1.866990e-03,1.852934e-03,1.831550e-03,1.824689e-03,1.810087e-03,1.788572e-03,1.782110e-03,1.767028e-03,1.745480e-03,1.739449e-03,1.723949e-03,1.702455e-03,1.696875e-03,1.681017e-03,1.659652e-03,1.654537e-03,1.638376e-03,1.617206e-03,1.612564e-03,1.596154e-03,1.575233e-03,1.571066e-03,1.554457e-03,1.533836e-03,1.530141e-03,1.513380e-03,1.493098e-03,1.489870e-03,1.473001e-03,1.453094e-03,1.450323e-03,1.433386e-03,1.413883e-03,1.411557e-03,1.394591e-03,1.375516e-03,1.373620e-03,1.356662e-03,1.338034e-03,1.336553e-03,1.319635e-03,1.301469e-03,1.300386e-03,1.283539e-03,1.265847e-03,1.265144e-03,1.248396e-03,1.231186e-03,1.230845e-03,1.214221e-03,1.197500e-03,1.165119e-03,1.133703e-03,1.103254e-03,1.073766e-03,1.045234e-03,1.017648e-03,9.909970e-04,9.652680e-04,9.404464e-04,9.165162e-04,8.934602e-04,8.712606e-04,8.498985e-04,8.293546e-04,8.096093e-04,7.906424e-04,7.724336e-04,7.549626e-04,7.382087e-04,7.221517e-04,7.067712e-04,6.920469e-04,6.779590e-04,6.644876e-04,6.516132e-04,6.393167e-04,6.275792e-04,6.163822e-04,6.057076e-04,5.955376e-04,5.858547e-04,5.766421e-04,5.678831e-04,5.595615e-04,5.516615e-04,5.441679e-04,5.370655e-04,5.303399e-04,5.239769e-04,5.179627e-04,5.122839e-04,5.069275e-04,5.018809e-04,4.971318e-04,4.926685e-04,4.884792e-04,4.845529e-04,4.808787e-04,4.774462e-04
0.000000e+00,4.551152e-09,1.923561e-07,2.036765e-07,2.180051e-06,1.065590e-05,1.125107e-05,3.388500e-05,6.594071e-05,6.816305e-05,1.054801e-04,1.380214e-04,1.407211e-04,1.725755e-04,1.982868e-04,2.009768e-04,2.261320e-04,2.457847e-04,2.482945e-04,2.677138e-04,2.823998e-04,2.846247e-04,2.992462e-04,3.099084e-04,3.117819e-04,3.224204e-04,3.298509e-04,3.313359e-04,3.386890e-04,3.435464e-04,3.446277e-04,3.492880e-04,3.521162e-04,3.527947e-04,3.552621e-04,3.565069e-04,3.567948e-04,3.574887e-04,3.575139e-04,3.574313e-04,3.567024e-04,3.558031e-04,3.553750e-04,3.535157e-04,3.519304e-04,3.511851e-04,3.484383e-04,3.463586e-04,3.453257e-04,3.418930e-04,3.394723e-04,3.381817e-04,3.342296e-04,3.315898e-04,3.300710e-04,3.257369e-04,3.229741e-04,3.212555e-04,3.166522e-04,3.138415e-04,3.119502e-04,3.071701e-04,3.043694e-04,3.023308e-04,2.974491e-04,2.947026e-04,2.925403e-04,2.876179e-04,2.849586e-04,2.826943e-04,2.777802e-04,2.752320e-04,2.728855e-04,2.680189e-04,2.655985e-04,2.631880e-04,2.583996e-04,2.561180e-04,2.536597e-04,2.489736e-04,2.468373e-04,2.443458e-04,2.397803e-04,2.377922e-04,2.352806e-04,2.308495e-04,2.290095e-04,2.264894e-04,2.222026e-04,2.205087e-04,2.179905e-04,2.138546e-04,2.123031e-04,2.097958e-04,2.058150e-04,2.044011e-04,2.019127e-04,1.980891e-04,1.968070e-04,1.943443e-04,1.906783e-04,1.895217e-04,1.870908e-04,1.835814e-04,1.825438e-04,1.801497e-04,1.767949e-04,1.758693e-04,1.735164e-04,1.703134e-04,1.694929e-04,1.671850e-04,1.641302e-04,1.634079e-04,1.611481e-04,1.582376e-04,1.576068e-04,1.553976e-04,1.526269e-04,1.520810e-04,1.499245e-04,1.472891e-04,1.468218e-04,1.447196e-04,1.422147e-04,1.418198e-04,1.397732e-04,1.373939e-04,1.370656e-04,1.350755e-04,1.328169e-04,1.325498e-04,1.306168e-04,1.284740e-04,1.282628e-04,1.263872e-04,1.243553e-04,1.241951e-04,1.223771e-04,1.204514e-04,1.203375e-04,1.185770e-04,1.167527e-04,1.166808e-04,1.149775e-04,1.132501e-04,1.132160e-04,1.115696e-04,1.099347e-04,1.068283e-04,1.038887e-04,1.011081e-04,9.847897e-05,9.599398e-05,9.364618e-05,9.142891e-05,8.933575e-05,8.736058e-05,8.549754e-05,8.374104e-05,8.208574e-05,8.052654e-05,7.905857e-05,7.767721e-05,7.637804e-05,7.515685e-05,7.400964e-05,7.293259e-05,7.192206e-05,7.097462e-05,7.008696e-05,6.925596e-05,6.847865e-05,6.775219e-05,6.707391e-05,6.644123e-05,6.585174e-05,6.530311e-05,6.479316e-05,6.431980e-05,6.388103e-05,6.347498e-05,6.309986e-05,6.275395e-05,6.243565e-05,6.214342e-05,6.187580e-05,6.163141e-05,6.140892e-05,6.120709e-05,6.102474e-05,6.086073e-05,6.071399e-05,6.058352e-05,6.046834e-05,6.036755e-05,6.028027e-05,6.020568e-05
0.000000e+00,1.405303e-09,2.307159e-08,2.414415e-08,1.539393e-07,4.986293e-07,5.184017e-07,1.111407e-06,1.735411e-06,1.775011e-06,2.416610e-06,2.969898e-06,3.016245e-06,3.571999e-06,4.035849e-06,4.085331e-06,4.558313e-06,4.942868e-06,4.993096e-06,5.391804e-06,5.707419e-06,5.756506e-06,6.089205e-06,6.345354e-06,6.391830e-06,6.666226e-06,6.871406e-06,6.914156e-06,7.137295e-06,7.299026e-06,7.337231e-06,7.515468e-06,7.640347e-06,7.673427e-06,7.812450e-06,7.906223e-06,7.933801e-06,8.038671e-06,8.106328e-06,8.128183e-06,8.203393e-06,8.249248e-06,8.265294e-06,8.314820e-06,8.342597e-06,8.352849e-06,8.380205e-06,8.393109e-06,8.397664e-06,8.405951e-06,8.406731e-06,8.405752e-06,8.397708e-06,8.388722e-06,8.382421e-06,8.360453e-06,8.343711e-06,8.332334e-06,8.298562e-06,8.275779e-06,8.259600e-06,8.215886e-06,8.188515e-06,8.167826e-06,8.115803e-06,8.085074e-06,8.060175e-06,8.001274e-06,7.968218e-06,7.939414e-06,7.874889e-06,7.840373e-06,7.807970e-06,7.738912e-06,7.703657e-06,7.667955e-06,7.595320e-06,7.559921e-06,7.521215e-06,7.445833e-06,7.410778e-06,7.369354e-06,7.291945e-06,7.257631e-06,7.213763e-06,7.134953e-06,7.101699e-06,7.055650e-06,6.975979e-06,6.944034e-06,6.896057e-06,6.815991e-06,6.785549e-06,6.735881e-06,6.655819e-06,6.627025e-06,6.575891e-06,6.496176e-06,6.469134e-06,6.416745e-06,6.337667e-06,6.312447e-06,6.259003e-06,6.180808e-06,6.157450e-06,6.103136e-06,6.026032e-06,6.004551e-06,5.949540e-06,5.873700e-06,5.854092e-06,5.798546e-06,5.724112e-06,5.706358e-06,5.650426e-06,5.577513e-06,5.561579e-06,5.505399e-06,5.434103e-06,5.419943e-06,5.363643e-06,5.294036e-06,5.281598e-06,5.225295e-06,5.157432e-06,5.146656e-06,5.090458e-06,5.024380e-06,5.015202e-06,4.959207e-06,4.894942e-06,4.887292e-06,4.831591e-06,4.769155e-06,4.762962e-06,4.707637e-06,4.647037e-06,4.642228e-06,4.587354e-06,4.528587e-06,4.525090e-06,4.470734e-06,4.413791e-06,4.411532e-06,4.357755e-06,4.302622e-06,4.301528e-06,4.248385e-06,4.195041e-06,4.092023e-06,3.992423e-06,3.896180e-06,3.803231e-06,3.713507e-06,3.626938e-06,3.543449e-06,3.462964e-06,3.385408e-06,3.310702e-06,3.238769e-06,3.169530e-06,3.102909e-06,3.038828e-06,2.977211e-06,2.917982e-06,2.861069e-06,2.806397e-06,2.753895e-06,2.703493e-06,2.655122e-06,2.608715e-06,2.564208e-06,2.521535e-06,2.480636e-06,2.441448e-06,2.403913e-06,2.367975e-06,2.333576e-06,2.300664e-06,2.269185e-06,2.239089e-06,2.210326e-06,2.182849e-06,2.156610e-06,2.131566e-06,2.107671e-06,2.084885e-06,2.063167e-06,2.042476e-06,2.022775e-06,2.004026e-06,1.986194e-06,1.969245e-06,1.953144e-06,1.937859e-06,1.923359e-06,1.909614e-06,1.896595e-06
0.000000e+00,4.436120e-11,4.903050e-09,5.257594e-09,9.176461e-08,6.943816e-07,7.479002e-07,3.920455e-06,1.395883e-05,1.501821e-05,4.508763e-05,1.042785e-04,1.114123e-04,2.356035e-04,4.154252e-04,4.400815e-04,7.444914e-04,1.106493e-03,1.163060e-03,1.703210e-03,2.265439e-03,2.365310e-03,3.143283e-03,3.878110e-03,4.025726e-03,4.997281e-03,5.847928e-03,6.040025e-03,7.134763e-03,8.034956e-03,8.262127e-03,9.403444e-03,1.029216e-02,1.054139e-02,1.166045e-02,1.248991e-02,1.274712e-02,1.379007e-02,1.452822e-02,1.478011e-02,1.571012e-02,1.633955e-02,1.657487e-02,1.737084e-02,1.788598e-02,1.809605e-02,1.874979e-02,1.915367e-02,1.933245e-02,1.984532e-02,2.014654e-02,2.029042e-02,2.067029e-02,2.088054e-02,2.098791e-02,2.124655e-02,2.137879e-02,2.144965e-02,2.160077e-02,2.166799e-02,2.170350e-02,2.176138e-02,2.177579e-02,2.177792e-02,2.175650e-02,2.172913e-02,2.170036e-02,2.161261e-02,2.155313e-02,2.149621e-02,2.135393e-02,2.127060e-02,2.118839e-02,2.100205e-02,2.090179e-02,2.079717e-02,2.057589e-02,2.046443e-02,2.034018e-02,2.009184e-02,1.997384e-02,1.983258e-02,1.956394e-02,1.944314e-02,1.928735e-02,1.900412e-02,1.888348e-02,1.871546e-02,1.842248e-02,1.830430e-02,1.812617e-02,1.782747e-02,1.771351e-02,1.752720e-02,1.722615e-02,1.711771e-02,1.692499e-02,1.662438e-02,1.652239e-02,1.632486e-02,1.602698e-02,1.593207e-02,1.573118e-02,1.543789e-02,1.535046e-02,1.514750e-02,1.486032e-02,1.478053e-02,1.457667e-02,1.429681e-02,1.422470e-02,1.402098e-02,1.374938e-02,1.368485e-02,1.348220e-02,1.321958e-02,1.316243e-02,1.296167e-02,1.270858e-02,1.265854e-02,1.246039e-02,1.221720e-02,1.217396e-02,1.197905e-02,1.174600e-02,1.170919e-02,1.151808e-02,1.129531e-02,1.126453e-02,1.107770e-02,1.086525e-02,1.084010e-02,1.065795e-02,1.045579e-02,1.043585e-02,1.025873e-02,1.006676e-02,1.005162e-02,9.879825e-03,9.697886e-03,9.687127e-03,9.520895e-03,9.348799e-03,9.342016e-03,9.181541e-03,9.019062e-03,9.015860e-03,8.861296e-03,8.708179e-03,8.418449e-03,8.146117e-03,7.890606e-03,7.651324e-03,7.427670e-03,7.219036e-03,7.024819e-03,6.844415e-03,6.677229e-03,6.522674e-03,6.380174e-03,6.249163e-03,6.129090e-03,6.019417e-03,5.919621e-03,5.829192e-03,5.747637e-03,5.674476e-03,5.609246e-03,5.551497e-03,5.500794e-03,5.456720e-03,5.418866e-03,5.386843e-03,5.360273e-03,5.338791e-03,5.322046e-03,5.309702e-03,5.301432e-03,5.296926e-03,5.295883e-03,5.298015e-03,5.303047e-03,5.310714e-03,5.320764e-03,5.332956e-03,5.347060e-03,5.362858e-03,5.380141e-03,5.398712e-03,5.418384e-03,5.438982e-03,5.460338e-03,5.482298e-03,5.504714e-03,5.527449e-03,5.550376e-03,5.573378e-03,5.596344e-03
0.000000e+00,6.000972e-09,1.866499e-07,1.970817e-07,1.894544e-06,8.400190e-06,8.830006e-06,2.344757e-05,4.067012e-05,4.178630e-05,5.998436e-05,7.572709e-05,7.704560e-05,9.284616e-05,1.060155e-04,1.074193e-04,1.208251e-04,1.317074e-04,1.331275e-04,1.443891e-04,1.532882e-04,1.546708e-04,1.640304e-04,1.712203e-04,1.725230e-04,1.802020e-04,1.859276e-04,1.871186e-04,1.933214e-04,1.978010e-04,1.988568e-04,2.037689e-04,2.071942e-04,2.080990e-04,2.118864e-04,2.144248e-04,2.151682e-04,2.179792e-04,2.197756e-04,2.203522e-04,2.223180e-04,2.234978e-04,2.239059e-04,2.251429e-04,2.258139e-04,2.260548e-04,2.266655e-04,2.269204e-04,2.269977e-04,2.270725e-04,2.269906e-04,2.269098e-04,2.265283e-04,2.261773e-04,2.259452e-04,2.251772e-04,2.246148e-04,2.242393e-04,2.231460e-04,2.224210e-04,2.219107e-04,2.205458e-04,2.196996e-04,2.190633e-04,2.174740e-04,2.165412e-04,2.157881e-04,2.140154e-04,2.130251e-04,2.121646e-04,2.102442e-04,2.092206e-04,2.082619e-04,2.062250e-04,2.051882e-04,2.041402e-04,2.020139e-04,2.009802e-04,1.998518e-04,1.976595e-04,1.966423e-04,1.954421e-04,1.932041e-04,1.922140e-04,1.909500e-04,1.886839e-04,1.877294e-04,1.864094e-04,1.841301e-04,1.832177e-04,1.818491e-04,1.795695e-04,1.787042e-04,1.772939e-04,1.750249e-04,1.742101e-04,1.727648e-04,1.705157e-04,1.697539e-04,1.682796e-04,1.660582e-04,1.653507e-04,1.638532e-04,1.616661e-04,1.610136e-04,1.594981e-04,1.573507e-04,1.567532e-04,1.552247e-04,1.531213e-04,1.525783e-04,1.510414e-04,1.489856e-04,1.484959e-04,1.469548e-04,1.449496e-04,1.445119e-04,1.429704e-04,1.410179e-04,1.406306e-04,1.390923e-04,1.371940e-04,1.368552e-04,1.353233e-04,1.334804e-04,1.331882e-04,1.316656e-04,1.298789e-04,1.296310e-04,1.281204e-04,1.263902e-04,1.261844e-04,1.246882e-04,1.230146e-04,1.228488e-04,1.213691e-04,1.197518e-04,1.196236e-04,1.181625e-04,1.166011e-04,1.165083e-04,1.150675e-04,1.135613e-04,1.135017e-04,1.120826e-04,1.106310e-04,1.106022e-04,1.092063e-04,1.078082e-04,1.051178e-04,1.025288e-04,1.000391e-04,9.764609e-05,9.534749e-05,9.314076e-05,9.102332e-05,8.899260e-05,8.704601e-05,8.518095e-05,8.339485e-05,8.168516e-05,8.004934e-05,7.848491e-05,7.698941e-05,7.556045e-05,7.419567e-05,7.289278e-05,7.164951e-05,7.046369e-05,6.933318e-05,6.825591e-05,6.722985e-05,6.625305e-05,6.532362e-05,6.443970e-05,6.359953e-05,6.280136e-05,6.204354e-05,6.132444e-05,6.064250e-05,5.999621e-05,5.938412e-05,5.880480e-05,5.825692e-05,5.773915e-05,5.725023e-05,5.678895e-05,5.635412e-05,5.594462e-05,5.555935e-05,5.519726e-05,5.485734e-05,5.453862e-05,5.424016e-05,5.396105e-05,5.370042e-05,5.345745e-05,5.323132e-05
0.000000e+00,2.983471e-10,2.714994e-08,2.904794e-08,4.768572e-07,3.440780e-06,3.694892e-06,1.728847e-05,5.155057e-05,5.472254e-05,1.276766e-04,2.274262e-04,2.373919e-04,3.751149e-04,5.126166e-04,5.282839e-04,6.856335e-04,8.211566e-04,8.392029e-04,9.842566e-04,1.100347e-03,1.118433e-03,1.240863e-03,1.334593e-03,1.351520e-03,1.450810e-03,1.524166e-03,1.539336e-03,1.617776e-03,1.673735e-03,1.686827e-03,1.747169e-03,1.788611e-03,1.799455e-03,1.844303e-03,1.873775e-03,1.882299e-03,1.913988e-03,1.933681e-03,1.939884e-03,1.960465e-03,1.972245e-03,1.976179e-03,1.987440e-03,1.992883e-03,1.994637e-03,1.998128e-03,1.998557e-03,1.998248e-03,1.995305e-03,1.991826e-03,1.989587e-03,1.981360e-03,1.974893e-03,1.970871e-03,1.958346e-03,1.949652e-03,1.943997e-03,1.928018e-03,1.917724e-03,1.910589e-03,1.891876e-03,1.880494e-03,1.872031e-03,1.851196e-03,1.839145e-03,1.829501e-03,1.807065e-03,1.794680e-03,1.783997e-03,1.760399e-03,1.747950e-03,1.736364e-03,1.711975e-03,1.699673e-03,1.687311e-03,1.662443e-03,1.650453e-03,1.637436e-03,1.612349e-03,1.600797e-03,1.587235e-03,1.562145e-03,1.551124e-03,1.537122e-03,1.512206e-03,1.501782e-03,1.487434e-03,1.462840e-03,1.453058e-03,1.438451e-03,1.414296e-03,1.405182e-03,1.390396e-03,1.366774e-03,1.358341e-03,1.343447e-03,1.320433e-03,1.312681e-03,1.297744e-03,1.275395e-03,1.268316e-03,1.253394e-03,1.231752e-03,1.225330e-03,1.210476e-03,1.189571e-03,1.183785e-03,1.169044e-03,1.148897e-03,1.143722e-03,1.129134e-03,1.109757e-03,1.105163e-03,1.090766e-03,1.072161e-03,1.068120e-03,1.053943e-03,1.036110e-03,1.032589e-03,1.018660e-03,1.001591e-03,9.985583e-04,9.848998e-04,9.685841e-04,9.660081e-04,9.526399e-04,9.370634e-04,9.349118e-04,9.218504e-04,9.069964e-04,9.052378e-04,8.924966e-04,8.783463e-04,8.769502e-04,8.645401e-04,8.510730e-04,8.500101e-04,8.379395e-04,8.251341e-04,8.243761e-04,8.126513e-04,8.004854e-04,8.000053e-04,7.886307e-04,7.770815e-04,7.768536e-04,7.658320e-04,7.548765e-04,7.340290e-04,7.142664e-04,6.955443e-04,6.778190e-04,6.610476e-04,6.451881e-04,6.301996e-04,6.160423e-04,6.026777e-04,5.900685e-04,5.781786e-04,5.669734e-04,5.564195e-04,5.464849e-04,5.371387e-04,5.283513e-04,5.200947e-04,5.123416e-04,5.050662e-04,4.982438e-04,4.918507e-04,4.858646e-04,4.802638e-04,4.750281e-04,4.701378e-04,4.655744e-04,4.613202e-04,4.573585e-04,4.536731e-04,4.502491e-04,4.470718e-04,4.441275e-04,4.414033e-04,4.388867e-04,4.365659e-04,4.344297e-04,4.324676e-04,4.306695e-04,4.290259e-04,4.275276e-04,4.261662e-04,4.249334e-04,4.238215e-04,4.228232e-04,4.219316e-04,4.211401e-04,4.204425e-04,4.198328e-04,4.193055e-04
0.000000e+00,8.381355e-09,4.225850e-07,4.493991e-07,5.275384e-06,2.280075e-05,2.385414e-05,5.451456e-05,8.512008e-05,8.703996e-05,1.180926e-04,1.449841e-04,1.472462e-04,1.745181e-04,1.975167e-04,1.999844e-04,2.237253e-04,2.432512e-04,2.458177e-04,2.663349e-04,2.827735e-04,2.853472e-04,3.029244e-04,3.166301e-04,3.191347e-04,3.340455e-04,3.453489e-04,3.477227e-04,3.602307e-04,3.694373e-04,3.716320e-04,3.819870e-04,3.893751e-04,3.913539e-04,3.997884e-04,4.056081e-04,4.073440e-04,4.140718e-04,4.185460e-04,4.200203e-04,4.252359e-04,4.285621e-04,4.297626e-04,4.336423e-04,4.359945e-04,4.369148e-04,4.396177e-04,4.411486e-04,4.417868e-04,4.434560e-04,4.442995e-04,4.446574e-04,4.454216e-04,4.456945e-04,4.457772e-04,4.457516e-04,4.455557e-04,4.453706e-04,4.446585e-04,4.440821e-04,4.436386e-04,4.423325e-04,4.414520e-04,4.407609e-04,4.389434e-04,4.378250e-04,4.368983e-04,4.346429e-04,4.333435e-04,4.321938e-04,4.295664e-04,4.281346e-04,4.267753e-04,4.238343e-04,4.223117e-04,4.207564e-04,4.175538e-04,4.159756e-04,4.142380e-04,4.108200e-04,4.092161e-04,4.073098e-04,4.037173e-04,4.021128e-04,4.000513e-04,3.963205e-04,3.947361e-04,3.925328e-04,3.886957e-04,3.871486e-04,3.848163e-04,3.809012e-04,3.794054e-04,3.769566e-04,3.729883e-04,3.715549e-04,3.690017e-04,3.650020e-04,3.636400e-04,3.609940e-04,3.569820e-04,3.556981e-04,3.529703e-04,3.489627e-04,3.477618e-04,3.449629e-04,3.409741e-04,3.398597e-04,3.369996e-04,3.330423e-04,3.320165e-04,3.291048e-04,3.251897e-04,3.242537e-04,3.212993e-04,3.174357e-04,3.165895e-04,3.136009e-04,3.097967e-04,3.090397e-04,3.060248e-04,3.022867e-04,3.016175e-04,2.985838e-04,2.949173e-04,2.943342e-04,2.912885e-04,2.876984e-04,2.871989e-04,2.841479e-04,2.806378e-04,2.802194e-04,2.771690e-04,2.737420e-04,2.734016e-04,2.703575e-04,2.670159e-04,2.667505e-04,2.637178e-04,2.604635e-04,2.602696e-04,2.572532e-04,2.540873e-04,2.539616e-04,2.509659e-04,2.478892e-04,2.478281e-04,2.448573e-04,2.418701e-04,2.360878e-04,2.304807e-04,2.250481e-04,2.197884e-04,2.146998e-04,2.097804e-04,2.050277e-04,2.004390e-04,1.960115e-04,1.917421e-04,1.876278e-04,1.836651e-04,1.798508e-04,1.761814e-04,1.726534e-04,1.692633e-04,1.660077e-04,1.628829e-04,1.598855e-04,1.570119e-04,1.542586e-04,1.516222e-04,1.490994e-04,1.466866e-04,1.443806e-04,1.421782e-04,1.400761e-04,1.380711e-04,1.361602e-04,1.343403e-04,1.326085e-04,1.309618e-04,1.293973e-04,1.279124e-04,1.265042e-04,1.251702e-04,1.239076e-04,1.227140e-04,1.215870e-04,1.205240e-04,1.195228e-04,1.185810e-04,1.176964e-04,1.168669e-04,1.160903e-04,1.153646e-04,1.146878e-04,1.140578e-04,1.134729e-04
0.000000e+00,5.887567e-09,1.067356e-07,1.118643e-07,7.637449e-07,2.617464e-06,2.726914e-06,6.087752e-06,9.658430e-06,9.883078e-06,1.346398e-05,1.644349e-05,1.668792e-05,1.955214e-05,2.184222e-05,2.208078e-05,2.430175e-05,2.602319e-05,2.624206e-05,2.792679e-05,2.918897e-05,2.937912e-05,3.062041e-05,3.151448e-05,3.167038e-05,3.254721e-05,3.314881e-05,3.326765e-05,3.384711e-05,3.421870e-05,3.429971e-05,3.463840e-05,3.483115e-05,3.487501e-05,3.502035e-05,3.507584e-05,3.508424e-05,3.507564e-05,3.502740e-05,3.500266e-05,3.487270e-05,3.474763e-05,3.469245e-05,3.446797e-05,3.428747e-05,3.420474e-05,3.390769e-05,3.368868e-05,3.358131e-05,3.322968e-05,3.298556e-05,3.285645e-05,3.246491e-05,3.220609e-05,3.205802e-05,3.163845e-05,3.137300e-05,3.120858e-05,3.077056e-05,3.050464e-05,3.032630e-05,2.987754e-05,2.961580e-05,2.942580e-05,2.897245e-05,2.871834e-05,2.851872e-05,2.806569e-05,2.782169e-05,2.761432e-05,2.716543e-05,2.693326e-05,2.671980e-05,2.627806e-05,2.605883e-05,2.584079e-05,2.540849e-05,2.520289e-05,2.498160e-05,2.456047e-05,2.436878e-05,2.414543e-05,2.373673e-05,2.355897e-05,2.333459e-05,2.293921e-05,2.277519e-05,2.255071e-05,2.216923e-05,2.201862e-05,2.179484e-05,2.142760e-05,2.128993e-05,2.106755e-05,2.071471e-05,2.058945e-05,2.036907e-05,2.003062e-05,1.991718e-05,1.969933e-05,1.937514e-05,1.927289e-05,1.905800e-05,1.874785e-05,1.865615e-05,1.844461e-05,1.814820e-05,1.806642e-05,1.785854e-05,1.757554e-05,1.750303e-05,1.729909e-05,1.702909e-05,1.696524e-05,1.676545e-05,1.650805e-05,1.645225e-05,1.625679e-05,1.601156e-05,1.596322e-05,1.577224e-05,1.553872e-05,1.549729e-05,1.531089e-05,1.508864e-05,1.505359e-05,1.487185e-05,1.466042e-05,1.463124e-05,1.445423e-05,1.425316e-05,1.422938e-05,1.405712e-05,1.386600e-05,1.384715e-05,1.367967e-05,1.349805e-05,1.348372e-05,1.332101e-05,1.314847e-05,1.313826e-05,1.298032e-05,1.281645e-05,1.280999e-05,1.265678e-05,1.250119e-05,1.249812e-05,1.234961e-05,1.220193e-05,1.192067e-05,1.165367e-05,1.140026e-05,1.115980e-05,1.093168e-05,1.071531e-05,1.051013e-05,1.031559e-05,1.013120e-05,9.956461e-06,9.790901e-06,9.634075e-06,9.485559e-06,9.344946e-06,9.211849e-06,9.085898e-06,8.966743e-06,8.854047e-06,8.747491e-06,8.646771e-06,8.551598e-06,8.461696e-06,8.376800e-06,8.296661e-06,8.221042e-06,8.149712e-06,8.082461e-06,8.019079e-06,7.959373e-06,7.903159e-06,7.850255e-06,7.800497e-06,7.753720e-06,7.709775e-06,7.668515e-06,7.629801e-06,7.593503e-06,7.559493e-06,7.527655e-06,7.497873e-06,7.470040e-06,7.444055e-06,7.419818e-06,7.397238e-06,7.376225e-06,7.356696e-06,7.338572e-06,7.321776e-06,7.306236e-06
0.000000e+00,4.207450e-11,5.467667e-09,5.886818e-09,1.277712e-07,1.176660e-06,1.276664e-06,7.827422e-06,3.092723e-05,3.345646e-05,1.083590e-04,2.645128e-04,2.838354e-04,6.324904e-04,1.168932e-03,1.244914e-03,2.224323e-03,3.476823e-03,3.680385e-03,5.723079e-03,8.029074e-03,8.457128e-03,1.197731e-02,1.560163e-02,1.636479e-02,2.168447e-02,2.677577e-02,2.798335e-02,3.528974e-02,4.186737e-02,4.361331e-02,5.294565e-02,6.090945e-02,6.326146e-02,7.452002e-02,8.367403e-02,8.666695e-02,9.963615e-02,1.097185e-01,1.133518e-01,1.277303e-01,1.384434e-01,1.426825e-01,1.581150e-01,1.691525e-01,1.739324e-01,1.900387e-01,2.011074e-01,2.063388e-01,2.227392e-01,2.335746e-01,2.391500e-01,2.554850e-01,2.658617e-01,2.716626e-01,2.876069e-01,2.973439e-01,3.032471e-01,3.185188e-01,3.274804e-01,3.333636e-01,3.477293e-01,3.558236e-01,3.615700e-01,3.748458e-01,3.820205e-01,3.875227e-01,3.995726e-01,4.058106e-01,4.109727e-01,4.217056e-01,4.270185e-01,4.317585e-01,4.411232e-01,4.455462e-01,4.497960e-01,4.577766e-01,4.613623e-01,4.650684e-01,4.716781e-01,4.744920e-01,4.776150e-01,4.828911e-01,4.850068e-01,4.875204e-01,4.915190e-01,4.930146e-01,4.949047e-01,4.976963e-01,4.986512e-01,4.999143e-01,5.015796e-01,5.020721e-01,5.027142e-01,5.033405e-01,5.034459e-01,5.034813e-01,5.031595e-01,5.029488e-01,5.023982e-01,5.012204e-01,5.007593e-01,4.996490e-01,4.977065e-01,4.970548e-01,4.954153e-01,4.927972e-01,4.920085e-01,4.898736e-01,4.866654e-01,4.857871e-01,4.831928e-01,4.794755e-01,4.785491e-01,4.755326e-01,4.713826e-01,4.704435e-01,4.670431e-01,4.625312e-01,4.616096e-01,4.578633e-01,4.530551e-01,4.521759e-01,4.481216e-01,4.430771e-01,4.422606e-01,4.379352e-01,4.327091e-01,4.319714e-01,4.274110e-01,4.220526e-01,4.214061e-01,4.166451e-01,4.111989e-01,4.106525e-01,4.057239e-01,4.002295e-01,3.997894e-01,3.947245e-01,3.892171e-01,3.888867e-01,3.837151e-01,3.782258e-01,3.780066e-01,3.727560e-01,3.673120e-01,3.672034e-01,3.618997e-01,3.565247e-01,3.460117e-01,3.356998e-01,3.256192e-01,3.157952e-01,3.062490e-01,2.969979e-01,2.880556e-01,2.794329e-01,2.711377e-01,2.631755e-01,2.555496e-01,2.482615e-01,2.413109e-01,2.346960e-01,2.284138e-01,2.224600e-01,2.168294e-01,2.115160e-01,2.065129e-01,2.018127e-01,1.974073e-01,1.932882e-01,1.894465e-01,1.858730e-01,1.825582e-01,1.794924e-01,1.766658e-01,1.740683e-01,1.716900e-01,1.695207e-01,1.675504e-01,1.657691e-01,1.641667e-01,1.627334e-01,1.614593e-01,1.603349e-01,1.593507e-01,1.584975e-01,1.577661e-01,1.571478e-01,1.566340e-01,1.562164e-01,1.558868e-01,1.556376e-01,1.554613e-01,1.553507e-01,1.552990e-01,1.552996e-01,1.553463e-01
0.000000e+00,3.738874e-09,6.920622e-08,7.245056e-08,4.481097e-07,1.354103e-06,1.403252e-06,2.789731e-06,4.173198e-06,4.260684e-06,5.687194e-06,6.939100e-06,7.045089e-06,8.331080e-06,9.427565e-06,9.545885e-06,1.069112e-05,1.164292e-05,1.176873e-05,1.278082e-05,1.360051e-05,1.372962e-05,1.461749e-05,1.531796e-05,1.544682e-05,1.622002e-05,1.681384e-05,1.693949e-05,1.760761e-05,1.810668e-05,1.822668e-05,1.879896e-05,1.921427e-05,1.932664e-05,1.981185e-05,2.015346e-05,2.025662e-05,2.066292e-05,2.093993e-05,2.103264e-05,2.136760e-05,2.158823e-05,2.166954e-05,2.194013e-05,2.211175e-05,2.218098e-05,2.239361e-05,2.252285e-05,2.257951e-05,2.274008e-05,2.283283e-05,2.287666e-05,2.299055e-05,2.305209e-05,2.308297e-05,2.315510e-05,2.319013e-05,2.320807e-05,2.324294e-05,2.325562e-05,2.326076e-05,2.326249e-05,2.325650e-05,2.324907e-05,2.322140e-05,2.319999e-05,2.318032e-05,2.312665e-05,2.309270e-05,2.306115e-05,2.298458e-05,2.294062e-05,2.289763e-05,2.280097e-05,2.274920e-05,2.269524e-05,2.258105e-05,2.252340e-05,2.245897e-05,2.232957e-05,2.226772e-05,2.219335e-05,2.205083e-05,2.198625e-05,2.190248e-05,2.174874e-05,2.168266e-05,2.159004e-05,2.142680e-05,2.136032e-05,2.125940e-05,2.108821e-05,2.102223e-05,2.091357e-05,2.073582e-05,2.067113e-05,2.055527e-05,2.037222e-05,2.030946e-05,2.018695e-05,1.999973e-05,1.993945e-05,1.981081e-05,1.962044e-05,1.956308e-05,1.942883e-05,1.923621e-05,1.918212e-05,1.904277e-05,1.884871e-05,1.879818e-05,1.865421e-05,1.845944e-05,1.841268e-05,1.826456e-05,1.806973e-05,1.802688e-05,1.787507e-05,1.768074e-05,1.764192e-05,1.748685e-05,1.729353e-05,1.725880e-05,1.710089e-05,1.690902e-05,1.687840e-05,1.671804e-05,1.652802e-05,1.650150e-05,1.633907e-05,1.615124e-05,1.612879e-05,1.596463e-05,1.577930e-05,1.576084e-05,1.559532e-05,1.541273e-05,1.539819e-05,1.523161e-05,1.505200e-05,1.504127e-05,1.487395e-05,1.469749e-05,1.469047e-05,1.452268e-05,1.434955e-05,1.434610e-05,1.417812e-05,1.400844e-05,1.367770e-05,1.335406e-05,1.303767e-05,1.272862e-05,1.242699e-05,1.213283e-05,1.184616e-05,1.156698e-05,1.129527e-05,1.103099e-05,1.077409e-05,1.052450e-05,1.028215e-05,1.004696e-05,9.818816e-06,9.597627e-06,9.383276e-06,9.175649e-06,8.974625e-06,8.780080e-06,8.591888e-06,8.409918e-06,8.234042e-06,8.064127e-06,7.900040e-06,7.741648e-06,7.588817e-06,7.441414e-06,7.299307e-06,7.162364e-06,7.030455e-06,6.903452e-06,6.781226e-06,6.663652e-06,6.550607e-06,6.441968e-06,6.337615e-06,6.237430e-06,6.141297e-06,6.049102e-06,5.960734e-06,5.876083e-06,5.795042e-06,5.717505e-06,5.643371e-06,5.572538e-06,5.504908e-06,5.440385e-06,5.378875e-06
0.000000e+00,5.368987e-11,7.007006e-09,7.544668e-09,1.633830e-07,1.483824e-06,1.608696e-06,9.657231e-06,3.746336e-05,4.048582e-05,1.293045e-04,3.129442e-04,3.356047e-04,7.434119e-04,1.368958e-03,1.457460e-03,2.596990e-03,4.052208e-03,4.288576e-03,6.658971e-03,9.332528e-03,9.828597e-03,1.390604e-02,1.810083e-02,1.898374e-02,2.513486e-02,3.101690e-02,3.241135e-02,4.084304e-02,4.842605e-02,5.043764e-02,6.118153e-02,7.033864e-02,7.304109e-02,8.596456e-02,9.645673e-02,9.988411e-02,1.147182e-01,1.262301e-01,1.303742e-01,1.467502e-01,1.589263e-01,1.637382e-01,1.812258e-01,1.937030e-01,1.990984e-01,2.172412e-01,2.296748e-01,2.355409e-01,2.538871e-01,2.659692e-01,2.721734e-01,2.902990e-01,3.017708e-01,3.081688e-01,3.256948e-01,3.363525e-01,3.427961e-01,3.593993e-01,3.690946e-01,3.754389e-01,3.908571e-01,3.994948e-01,4.056037e-01,4.196362e-01,4.271692e-01,4.329195e-01,4.454255e-01,4.518476e-01,4.571325e-01,4.680254e-01,4.733646e-01,4.780948e-01,4.873369e-01,4.916478e-01,4.957526e-01,5.033475e-01,5.067042e-01,5.101312e-01,5.161171e-01,5.186071e-01,5.213216e-01,5.257640e-01,5.274827e-01,5.294659e-01,5.324512e-01,5.334973e-01,5.347452e-01,5.363748e-01,5.368468e-01,5.373679e-01,5.377532e-01,5.377464e-01,5.375600e-01,5.368180e-01,5.364222e-01,5.355567e-01,5.338060e-01,5.331046e-01,5.315954e-01,5.289540e-01,5.280224e-01,5.259104e-01,5.224927e-01,5.213986e-01,5.187285e-01,5.146441e-01,5.134467e-01,5.102657e-01,5.056179e-01,5.043684e-01,5.007251e-01,4.956102e-01,4.943521e-01,4.902956e-01,4.848025e-01,4.835720e-01,4.791511e-01,4.733608e-01,4.721878e-01,4.674501e-01,4.614362e-01,4.603440e-01,4.553356e-01,4.491640e-01,4.481709e-01,4.429359e-01,4.366653e-01,4.357847e-01,4.303650e-01,4.240472e-01,4.232885e-01,4.177233e-01,4.114039e-01,4.107726e-01,4.050989e-01,3.988174e-01,3.983162e-01,3.925681e-01,3.863586e-01,3.859875e-01,3.801965e-01,3.740883e-01,3.738451e-01,3.680401e-01,3.620578e-01,3.619388e-01,3.561463e-01,3.503103e-01,3.389942e-01,3.280187e-01,3.174063e-01,3.071746e-01,2.973364e-01,2.879011e-01,2.788744e-01,2.702590e-01,2.620553e-01,2.542613e-01,2.468730e-01,2.398849e-01,2.332901e-01,2.270803e-01,2.212464e-01,2.157783e-01,2.106655e-01,2.058965e-01,2.014597e-01,1.973430e-01,1.935339e-01,1.900200e-01,1.867884e-01,1.838264e-01,1.811213e-01,1.786603e-01,1.764307e-01,1.744199e-01,1.726156e-01,1.710056e-01,1.695779e-01,1.683208e-01,1.672229e-01,1.662729e-01,1.654602e-01,1.647742e-01,1.642049e-01,1.637424e-01,1.633774e-01,1.631010e-01,1.629045e-01,1.627798e-01,1.627192e-01,1.627154e-01,1.627613e-01,1.628505e-01,1.629768e-01,1.631347e-01,1.633187e-01
0.000000e+00,6.373995e-11,8.066419e-09,8.691763e-09,1.960120e-07,1.738692e-06,1.879396e-06,9.925414e-06,3.155489e-05,3.360923e-05,8.275005e-05,1.553829e-04,1.629751e-04,2.740810e-04,3.964907e-04,4.111663e-04,5.667909e-04,7.126988e-04,7.329402e-04,9.023323e-04,1.046058e-03,1.069061e-03,1.228761e-03,1.355292e-03,1.378494e-03,1.516500e-03,1.620294e-03,1.641926e-03,1.754572e-03,1.835642e-03,1.854684e-03,1.942795e-03,2.003639e-03,2.019608e-03,2.085909e-03,2.129774e-03,2.142520e-03,2.190256e-03,2.220330e-03,2.229902e-03,2.262205e-03,2.281311e-03,2.287864e-03,2.307527e-03,2.318044e-03,2.321789e-03,2.331200e-03,2.335084e-03,2.336257e-03,2.337418e-03,2.336252e-03,2.335097e-03,2.329669e-03,2.324725e-03,2.321477e-03,2.310830e-03,2.303121e-03,2.298009e-03,2.283267e-03,2.273595e-03,2.266833e-03,2.248915e-03,2.237917e-03,2.229701e-03,2.209359e-03,2.197534e-03,2.188044e-03,2.165894e-03,2.153630e-03,2.143032e-03,2.119573e-03,2.107171e-03,2.095616e-03,2.071253e-03,2.058945e-03,2.046566e-03,2.021629e-03,2.009591e-03,1.996509e-03,1.971265e-03,1.959626e-03,1.945951e-03,1.920614e-03,1.909470e-03,1.895298e-03,1.870041e-03,1.859459e-03,1.844877e-03,1.819837e-03,1.809862e-03,1.794949e-03,1.770235e-03,1.760894e-03,1.745718e-03,1.721416e-03,1.712723e-03,1.697345e-03,1.673521e-03,1.665479e-03,1.649955e-03,1.626658e-03,1.619262e-03,1.603641e-03,1.580910e-03,1.574147e-03,1.558472e-03,1.536334e-03,1.530190e-03,1.514500e-03,1.492974e-03,1.487428e-03,1.471758e-03,1.450854e-03,1.445884e-03,1.430265e-03,1.409990e-03,1.405572e-03,1.390030e-03,1.370385e-03,1.366494e-03,1.351054e-03,1.332036e-03,1.328646e-03,1.313330e-03,1.294935e-03,1.292020e-03,1.276847e-03,1.259065e-03,1.256600e-03,1.241587e-03,1.224410e-03,1.222368e-03,1.207530e-03,1.190946e-03,1.189304e-03,1.174654e-03,1.158650e-03,1.157382e-03,1.142932e-03,1.127496e-03,1.126579e-03,1.112339e-03,1.097457e-03,1.096868e-03,1.082847e-03,1.068505e-03,1.068221e-03,1.054427e-03,1.040610e-03,1.014008e-03,9.883850e-04,9.637139e-04,9.399660e-04,9.171134e-04,8.951287e-04,8.739847e-04,8.536548e-04,8.341131e-04,8.153339e-04,7.972925e-04,7.799646e-04,7.633264e-04,7.473551e-04,7.320281e-04,7.173237e-04,7.032208e-04,6.896988e-04,6.767377e-04,6.643183e-04,6.524218e-04,6.410299e-04,6.301251e-04,6.196903e-04,6.097090e-04,6.001650e-04,5.910430e-04,5.823278e-04,5.740049e-04,5.660602e-04,5.584801e-04,5.512514e-04,5.443613e-04,5.377974e-04,5.315479e-04,5.256010e-04,5.199456e-04,5.145709e-04,5.094664e-04,5.046219e-04,5.000276e-04,4.956740e-04,4.915519e-04,4.876524e-04,4.839670e-04,4.804873e-04,4.772052e-04,4.741129e-04,4.712030e-04
0.000000e+00,2.403053e-10,2.968915e-08,3.196653e-08,6.821142e-07,5.623035e-06,6.058708e-06,2.963214e-05,8.867623e-05,9.412864e-05,2.206127e-04,4.000787e-04,4.185252e-04,6.841861e-04,9.708208e-04,1.004911e-03,1.364230e-03,1.699356e-03,1.745836e-03,2.135760e-03,2.469385e-03,2.523144e-03,2.900173e-03,3.204982e-03,3.261611e-03,3.604218e-03,3.869824e-03,3.926219e-03,4.226855e-03,4.451913e-03,4.506050e-03,4.764169e-03,4.951277e-03,5.001853e-03,5.219899e-03,5.373022e-03,5.419190e-03,5.600646e-03,5.723985e-03,5.765191e-03,5.913739e-03,6.011289e-03,6.047180e-03,6.166369e-03,6.241765e-03,6.272131e-03,6.365251e-03,6.421738e-03,6.446482e-03,6.516538e-03,6.556984e-03,6.576098e-03,6.625809e-03,6.652740e-03,6.666285e-03,6.698107e-03,6.713735e-03,6.721829e-03,6.737973e-03,6.744230e-03,6.747036e-03,6.749489e-03,6.748060e-03,6.745777e-03,6.736323e-03,6.728670e-03,6.721525e-03,6.701762e-03,6.689153e-03,6.677392e-03,6.648754e-03,6.632281e-03,6.616166e-03,6.579932e-03,6.560537e-03,6.540337e-03,6.497652e-03,6.476141e-03,6.452132e-03,6.404017e-03,6.381075e-03,6.353534e-03,6.300898e-03,6.277108e-03,6.246310e-03,6.189962e-03,6.165814e-03,6.132032e-03,6.072689e-03,6.048592e-03,6.012093e-03,5.950392e-03,5.926686e-03,5.887727e-03,5.824231e-03,5.801193e-03,5.760028e-03,5.695233e-03,5.673087e-03,5.629956e-03,5.564299e-03,5.543225e-03,5.498359e-03,5.432224e-03,5.412359e-03,5.365979e-03,5.299702e-03,5.281149e-03,5.233467e-03,5.167341e-03,5.150174e-03,5.101387e-03,5.035666e-03,5.019933e-03,4.970231e-03,4.905135e-03,4.890863e-03,4.840423e-03,4.776140e-03,4.763339e-03,4.712327e-03,4.649019e-03,4.637681e-03,4.586253e-03,4.524058e-03,4.514162e-03,4.462464e-03,4.401497e-03,4.393013e-03,4.341181e-03,4.281538e-03,4.274427e-03,4.222588e-03,4.164347e-03,4.158562e-03,4.106832e-03,4.050057e-03,4.045547e-03,3.994034e-03,3.938774e-03,3.935483e-03,3.884287e-03,3.830581e-03,3.828449e-03,3.777662e-03,3.725536e-03,3.724502e-03,3.674208e-03,3.623681e-03,3.526009e-03,3.431495e-03,3.340135e-03,3.251915e-03,3.166811e-03,3.084793e-03,3.005820e-03,2.929848e-03,2.856829e-03,2.786707e-03,2.719427e-03,2.654927e-03,2.593146e-03,2.534019e-03,2.477482e-03,2.423467e-03,2.371908e-03,2.322737e-03,2.275886e-03,2.231288e-03,2.188875e-03,2.148581e-03,2.110340e-03,2.074086e-03,2.039754e-03,2.007281e-03,1.976604e-03,1.947662e-03,1.920393e-03,1.894738e-03,1.870639e-03,1.848038e-03,1.826880e-03,1.807109e-03,1.788672e-03,1.771516e-03,1.755591e-03,1.740845e-03,1.727230e-03,1.714698e-03,1.703203e-03,1.692698e-03,1.683140e-03,1.674486e-03,1.666692e-03,1.659719e-03,1.653526e-03,1.648075e-03,1.643327e-03
0.000000e+00,5.410278e-11,6.288623e-09,6.750995e-09,1.249949e-07,1.000534e-06,1.080101e-06,5.982697e-06,2.239681e-05,2.417349e-05,7.654347e-05,1.859747e-04,1.995521e-04,4.452058e-04,8.234358e-04,8.769232e-04,1.563168e-03,2.430848e-03,2.570795e-03,3.959341e-03,5.495139e-03,5.776838e-03,8.057256e-03,1.034478e-02,1.081943e-02,1.406719e-02,1.708601e-02,1.779043e-02,2.196669e-02,2.561219e-02,2.656327e-02,3.153930e-02,3.565403e-02,3.684792e-02,4.243829e-02,4.684287e-02,4.825747e-02,5.425195e-02,5.876966e-02,6.036901e-02,6.655787e-02,7.103120e-02,7.277046e-02,7.896208e-02,8.326165e-02,8.509179e-02,9.112269e-02,9.515038e-02,9.702204e-02,1.027612e-01,1.064493e-01,1.083158e-01,1.136649e-01,1.169726e-01,1.187917e-01,1.236826e-01,1.265917e-01,1.283270e-01,1.327175e-01,1.352277e-01,1.368490e-01,1.407186e-01,1.428427e-01,1.443257e-01,1.476713e-01,1.494315e-01,1.507580e-01,1.535894e-01,1.550140e-01,1.561706e-01,1.585073e-01,1.596279e-01,1.606061e-01,1.624741e-01,1.633239e-01,1.641190e-01,1.655486e-01,1.661609e-01,1.667713e-01,1.677954e-01,1.682021e-01,1.686293e-01,1.692816e-01,1.695132e-01,1.697606e-01,1.700748e-01,1.701596e-01,1.702324e-01,1.702415e-01,1.702054e-01,1.701101e-01,1.698460e-01,1.697124e-01,1.694567e-01,1.689496e-01,1.687396e-01,1.683318e-01,1.676102e-01,1.673424e-01,1.667914e-01,1.658818e-01,1.655726e-01,1.648877e-01,1.638149e-01,1.634786e-01,1.626693e-01,1.614561e-01,1.611051e-01,1.601808e-01,1.588483e-01,1.584931e-01,1.574635e-01,1.560309e-01,1.556804e-01,1.545549e-01,1.530397e-01,1.527015e-01,1.514893e-01,1.499075e-01,1.495877e-01,1.482980e-01,1.466641e-01,1.463677e-01,1.450092e-01,1.433363e-01,1.430672e-01,1.416484e-01,1.399484e-01,1.397096e-01,1.382388e-01,1.365221e-01,1.363158e-01,1.348008e-01,1.330771e-01,1.329047e-01,1.313530e-01,1.296307e-01,1.294930e-01,1.279119e-01,1.261984e-01,1.260958e-01,1.244920e-01,1.227941e-01,1.227263e-01,1.211062e-01,1.194297e-01,1.193963e-01,1.177659e-01,1.161160e-01,1.128945e-01,1.097396e-01,1.066579e-01,1.036551e-01,1.007362e-01,9.790509e-02,9.516500e-02,9.251856e-02,8.996775e-02,8.751400e-02,8.515822e-02,8.290089e-02,8.074207e-02,7.868143e-02,7.671837e-02,7.485194e-02,7.308095e-02,7.140397e-02,6.981933e-02,6.832521e-02,6.691959e-02,6.560031e-02,6.436508e-02,6.321149e-02,6.213705e-02,6.113915e-02,6.021514e-02,5.936229e-02,5.857782e-02,5.785894e-02,5.720281e-02,5.660659e-02,5.606741e-02,5.558242e-02,5.514879e-02,5.476369e-02,5.442433e-02,5.412796e-02,5.387185e-02,5.365335e-02,5.346984e-02,5.331876e-02,5.319765e-02,5.310408e-02,5.303571e-02,5.299029e-02,5.296565e-02,5.295969e-02,5.297041e-02
0.000000e+00,1.307998e-10,1.293719e-08,1.385153e-08,2.304181e-07,1.691875e-06,1.819317e-06,8.976850e-06,2.900577e-05,3.097449e-05,8.060329e-05,1.600714e-04,1.686825e-04,2.994966e-04,4.514772e-04,4.701316e-04,6.726058e-04,8.690132e-04,8.966995e-04,1.132218e-03,1.337116e-03,1.370328e-03,1.604106e-03,1.793421e-03,1.828551e-03,2.040347e-03,2.203159e-03,2.237514e-03,2.419072e-03,2.552875e-03,2.584742e-03,2.734722e-03,2.841130e-03,2.869514e-03,2.989804e-03,3.072006e-03,3.096375e-03,3.190055e-03,3.251571e-03,3.271679e-03,3.342067e-03,3.386236e-03,3.402012e-03,3.452270e-03,3.482073e-03,3.493558e-03,3.526554e-03,3.544581e-03,3.551894e-03,3.570175e-03,3.578648e-03,3.581958e-03,3.587767e-03,3.588577e-03,3.588091e-03,3.583388e-03,3.578137e-03,3.574087e-03,3.560586e-03,3.550626e-03,3.543259e-03,3.522453e-03,3.508920e-03,3.498493e-03,3.471681e-03,3.455526e-03,3.442298e-03,3.410608e-03,3.392622e-03,3.376854e-03,3.341263e-03,3.322101e-03,3.304047e-03,3.265402e-03,3.245601e-03,3.225511e-03,3.184541e-03,3.164540e-03,3.142651e-03,3.099985e-03,3.080136e-03,3.056678e-03,3.012853e-03,2.993436e-03,2.968626e-03,2.924103e-03,2.905339e-03,2.879381e-03,2.834550e-03,2.816606e-03,2.789693e-03,2.744887e-03,2.727888e-03,2.700199e-03,2.655695e-03,2.639729e-03,2.611432e-03,2.567462e-03,2.552588e-03,2.523835e-03,2.480592e-03,2.466843e-03,2.437774e-03,2.395417e-03,2.382804e-03,2.353551e-03,2.312206e-03,2.300727e-03,2.271408e-03,2.231178e-03,2.220814e-03,2.191536e-03,2.152500e-03,2.143223e-03,2.114084e-03,2.076301e-03,2.068075e-03,2.039161e-03,2.002674e-03,1.995455e-03,1.966845e-03,1.931681e-03,1.925422e-03,1.897185e-03,1.863361e-03,1.858011e-03,1.830209e-03,1.797730e-03,1.793236e-03,1.765922e-03,1.734785e-03,1.731093e-03,1.704314e-03,1.674508e-03,1.671564e-03,1.645361e-03,1.616869e-03,1.614617e-03,1.589026e-03,1.561825e-03,1.560214e-03,1.535262e-03,1.509328e-03,1.508303e-03,1.484016e-03,1.459318e-03,1.458830e-03,1.435227e-03,1.411733e-03,1.366947e-03,1.324403e-03,1.284029e-03,1.245753e-03,1.209503e-03,1.175203e-03,1.142780e-03,1.112161e-03,1.083274e-03,1.056048e-03,1.030412e-03,1.006298e-03,9.836389e-04,9.623707e-04,9.424297e-04,9.237549e-04,9.062869e-04,8.899685e-04,8.747445e-04,8.605615e-04,8.473682e-04,8.351153e-04,8.237552e-04,8.132425e-04,8.035334e-04,7.945860e-04,7.863600e-04,7.788171e-04,7.719203e-04,7.656344e-04,7.599258e-04,7.547623e-04,7.501131e-04,7.459488e-04,7.422415e-04,7.389644e-04,7.360920e-04,7.336000e-04,7.314653e-04,7.296658e-04,7.281805e-04,7.269895e-04,7.260736e-04,7.254150e-04,7.249962e-04,7.248012e-04,7.248142e-04,7.250206e-04,7.254064e-04
0.000000e+00,2.541161e-11,3.125669e-09,3.360648e-09,6.788484e-08,5.889101e-07,6.376056e-07,3.744546e-06,1.444252e-05,1.560660e-05,4.990854e-05,1.210437e-04,1.298248e-04,2.876232e-04,5.283685e-04,5.622916e-04,9.961959e-04,1.543372e-03,1.631595e-03,2.507528e-03,3.478821e-03,3.657334e-03,5.106898e-03,6.569169e-03,6.873612e-03,8.965967e-03,1.092475e-02,1.138367e-02,1.411819e-02,1.652340e-02,1.715356e-02,2.046742e-02,2.322795e-02,2.403216e-02,2.781607e-02,3.081719e-02,3.178451e-02,3.590096e-02,3.902045e-02,4.012804e-02,4.442841e-02,4.754947e-02,4.876548e-02,5.310409e-02,5.612414e-02,5.741100e-02,6.165531e-02,6.449113e-02,6.580873e-02,6.984580e-02,7.243544e-02,7.374394e-02,7.748358e-02,7.978596e-02,8.104806e-02,8.442355e-02,8.641650e-02,8.759901e-02,9.056595e-02,9.224340e-02,9.331830e-02,9.585225e-02,9.722108e-02,9.816599e-02,1.002596e-01,1.013363e-01,1.021346e-01,1.037943e-01,1.046024e-01,1.052429e-01,1.064859e-01,1.070530e-01,1.075295e-01,1.083809e-01,1.087368e-01,1.090476e-01,1.095377e-01,1.097127e-01,1.098597e-01,1.100223e-01,1.100460e-01,1.100343e-01,1.099044e-01,1.098046e-01,1.096416e-01,1.092545e-01,1.090570e-01,1.087518e-01,1.081419e-01,1.078697e-01,1.074329e-01,1.066329e-01,1.063067e-01,1.057495e-01,1.047901e-01,1.044275e-01,1.037617e-01,1.026711e-01,1.022873e-01,1.015247e-01,1.003286e-01,9.993628e-02,9.908854e-02,9.781006e-02,9.741979e-02,9.649828e-02,9.515805e-02,9.477832e-02,9.379393e-02,9.241018e-02,9.204769e-02,9.101078e-02,8.959945e-02,8.925934e-02,8.817964e-02,8.675456e-02,8.644063e-02,8.532719e-02,8.390030e-02,8.361521e-02,8.247643e-02,8.105792e-02,8.080333e-02,7.964693e-02,7.824545e-02,7.802222e-02,7.685528e-02,7.547806e-02,7.528638e-02,7.411532e-02,7.276840e-02,7.260789e-02,7.143853e-02,7.012684e-02,6.999670e-02,6.883430e-02,6.756181e-02,6.746090e-02,6.631015e-02,6.508002e-02,6.500691e-02,6.387201e-02,6.268666e-02,6.263973e-02,6.152441e-02,6.038564e-02,6.036311e-02,5.927067e-02,5.817973e-02,5.609134e-02,5.409886e-02,5.220257e-02,5.040211e-02,4.869668e-02,4.708503e-02,4.556555e-02,4.413634e-02,4.279525e-02,4.153992e-02,4.036782e-02,3.927630e-02,3.826258e-02,3.732382e-02,3.645713e-02,3.565954e-02,3.492808e-02,3.425977e-02,3.365161e-02,3.310063e-02,3.260388e-02,3.215842e-02,3.176138e-02,3.140990e-02,3.110119e-02,3.083252e-02,3.060122e-02,3.040467e-02,3.024036e-02,3.010581e-02,2.999864e-02,2.991658e-02,2.985739e-02,2.981897e-02,2.979927e-02,2.979636e-02,2.980840e-02,2.983362e-02,2.987038e-02,2.991710e-02,2.997232e-02,3.003466e-02,3.010283e-02,3.017566e-02,3.025203e-02,3.033093e-02,3.041143e-02,3.049268e-02,3.057392e-02
0.000000e+00,2.232721e-09,1.319789e-07,1.402373e-07,1.728704e-06,9.837399e-06,1.045957e-05,3.791626e-05,8.792277e-05,9.183740e-05,1.649651e-04,2.372396e-04,2.434653e-04,3.184915e-04,3.802991e-04,3.868005e-04,4.478014e-04,4.956512e-04,5.017724e-04,5.492088e-04,5.851779e-04,5.906349e-04,6.265561e-04,6.528247e-04,6.574482e-04,6.837555e-04,7.021976e-04,7.058919e-04,7.242415e-04,7.364344e-04,7.391597e-04,7.509747e-04,7.582315e-04,7.599889e-04,7.664803e-04,7.698844e-04,7.707041e-04,7.728941e-04,7.733318e-04,7.732642e-04,7.720103e-04,7.702028e-04,7.693111e-04,7.653296e-04,7.618600e-04,7.602148e-04,7.541020e-04,7.494387e-04,7.471145e-04,7.393645e-04,7.338816e-04,7.309538e-04,7.219751e-04,7.159696e-04,7.125119e-04,7.026400e-04,6.963448e-04,6.924286e-04,6.819402e-04,6.755377e-04,6.712307e-04,6.603507e-04,6.539803e-04,6.493459e-04,6.382575e-04,6.320253e-04,6.271220e-04,6.159723e-04,6.099561e-04,6.048378e-04,5.937445e-04,5.880001e-04,5.827155e-04,5.717713e-04,5.663368e-04,5.609299e-04,5.502070e-04,5.451062e-04,5.396163e-04,5.291700e-04,5.244161e-04,5.188783e-04,5.087500e-04,5.043473e-04,4.987925e-04,4.890121e-04,4.849584e-04,4.794139e-04,4.700020e-04,4.662902e-04,4.607797e-04,4.517493e-04,4.483685e-04,4.429126e-04,4.342705e-04,4.312071e-04,4.258235e-04,4.175714e-04,4.148101e-04,4.095138e-04,4.016497e-04,3.991738e-04,3.939777e-04,3.864961e-04,3.842885e-04,3.792031e-04,3.720964e-04,3.701396e-04,3.651736e-04,3.584322e-04,3.567087e-04,3.518692e-04,3.454819e-04,3.439747e-04,3.392671e-04,3.332219e-04,3.319144e-04,3.273430e-04,3.216271e-04,3.205032e-04,3.160711e-04,3.106714e-04,3.097158e-04,3.054249e-04,3.003281e-04,2.995263e-04,2.953776e-04,2.905702e-04,2.899084e-04,2.859024e-04,2.813710e-04,2.808363e-04,2.769726e-04,2.727041e-04,2.722842e-04,2.685620e-04,2.645434e-04,2.642271e-04,2.606450e-04,2.568637e-04,2.566404e-04,2.531964e-04,2.496403e-04,2.495003e-04,2.461923e-04,2.428496e-04,2.427838e-04,2.396092e-04,2.364685e-04,2.305332e-04,2.249574e-04,2.197215e-04,2.148068e-04,2.101954e-04,2.058705e-04,2.018157e-04,1.980159e-04,1.944564e-04,1.911235e-04,1.880041e-04,1.850857e-04,1.823568e-04,1.798062e-04,1.774234e-04,1.751986e-04,1.731224e-04,1.711860e-04,1.693811e-04,1.676998e-04,1.661347e-04,1.646788e-04,1.633256e-04,1.620689e-04,1.609027e-04,1.598215e-04,1.588202e-04,1.578939e-04,1.570379e-04,1.562479e-04,1.555198e-04,1.548498e-04,1.542342e-04,1.536695e-04,1.531527e-04,1.526806e-04,1.522504e-04,1.518594e-04,1.515051e-04,1.511851e-04,1.508972e-04,1.506393e-04,1.504093e-04,1.502055e-04,1.500261e-04,1.498694e-04,1.497339e-04,1.496181e-04,1.495207e-04
0.000000e+00,1.462031e-08,2.972438e-07,3.116478e-07,2.330692e-06,9.482117e-06,9.955831e-06,2.678064e-05,4.824121e-05,4.967130e-05,7.332269e-05,9.405424e-05,9.579639e-05,1.167180e-04,1.342017e-04,1.360672e-04,1.538974e-04,1.683858e-04,1.702772e-04,1.852775e-04,1.971286e-04,1.989693e-04,2.114225e-04,2.209764e-04,2.227060e-04,2.328869e-04,2.404586e-04,2.420309e-04,2.502011e-04,2.560772e-04,2.574585e-04,2.638613e-04,2.682983e-04,2.694655e-04,2.743238e-04,2.775484e-04,2.784866e-04,2.820017e-04,2.842124e-04,2.849141e-04,2.872664e-04,2.886358e-04,2.890986e-04,2.904488e-04,2.911263e-04,2.913526e-04,2.918435e-04,2.919578e-04,2.919533e-04,2.917116e-04,2.913733e-04,2.911465e-04,2.902842e-04,2.895879e-04,2.891495e-04,2.877654e-04,2.867915e-04,2.861534e-04,2.843339e-04,2.831505e-04,2.823258e-04,2.801469e-04,2.788115e-04,2.778138e-04,2.753421e-04,2.739028e-04,2.727462e-04,2.700398e-04,2.685368e-04,2.672354e-04,2.643449e-04,2.628115e-04,2.613793e-04,2.583489e-04,2.568123e-04,2.552631e-04,2.521308e-04,2.506132e-04,2.489602e-04,2.457591e-04,2.442783e-04,2.425344e-04,2.392928e-04,2.378628e-04,2.360404e-04,2.327827e-04,2.314142e-04,2.295250e-04,2.262720e-04,2.249731e-04,2.230281e-04,2.197974e-04,2.185740e-04,2.165836e-04,2.133900e-04,2.122459e-04,2.102198e-04,2.070758e-04,2.060133e-04,2.039606e-04,2.008765e-04,1.998965e-04,1.978256e-04,1.948098e-04,1.939122e-04,1.918308e-04,1.888901e-04,1.880738e-04,1.859891e-04,1.831289e-04,1.823921e-04,1.803106e-04,1.775351e-04,1.768755e-04,1.748032e-04,1.721154e-04,1.715301e-04,1.694723e-04,1.668745e-04,1.663604e-04,1.643221e-04,1.618155e-04,1.613692e-04,1.593548e-04,1.569402e-04,1.565581e-04,1.545716e-04,1.522490e-04,1.519275e-04,1.499722e-04,1.477413e-04,1.474766e-04,1.455558e-04,1.434156e-04,1.432041e-04,1.413204e-04,1.392699e-04,1.391077e-04,1.372636e-04,1.353012e-04,1.351848e-04,1.333822e-04,1.315063e-04,1.314321e-04,1.296728e-04,1.278814e-04,1.278460e-04,1.261314e-04,1.244224e-04,1.211573e-04,1.180461e-04,1.150843e-04,1.122674e-04,1.095904e-04,1.070488e-04,1.046377e-04,1.023525e-04,1.001884e-04,9.814083e-05,9.620521e-05,9.437709e-05,9.265207e-05,9.102588e-05,8.949435e-05,8.805342e-05,8.669913e-05,8.542767e-05,8.423531e-05,8.311847e-05,8.207366e-05,8.109754e-05,8.018685e-05,7.933848e-05,7.854941e-05,7.781674e-05,7.713768e-05,7.650954e-05,7.592974e-05,7.539580e-05,7.490534e-05,7.445606e-05,7.404578e-05,7.367239e-05,7.333388e-05,7.302832e-05,7.275385e-05,7.250870e-05,7.229117e-05,7.209965e-05,7.193259e-05,7.178849e-05,7.166595e-05,7.156360e-05,7.148017e-05,7.141441e-05,7.136514e-05,7.133127e-05,7.131168e-05
0.000000e+00,1.085954e-09,1.264375e-08,1.317085e-08,7.687452e-08,2.719796e-07,2.844174e-07,7.245510e-07,1.317867e-06,1.358766e-06,2.046787e-06,2.652023e-06,2.702521e-06,3.301817e-06,3.790291e-06,3.841652e-06,4.324460e-06,4.705106e-06,4.753961e-06,5.134062e-06,5.424336e-06,5.468556e-06,5.761044e-06,5.976761e-06,6.014920e-06,6.233360e-06,6.388136e-06,6.419345e-06,6.575642e-06,6.681044e-06,6.704830e-06,6.809300e-06,6.875060e-06,6.891271e-06,6.952797e-06,6.987055e-06,6.995774e-06,7.021960e-06,7.031488e-06,7.032978e-06,7.030297e-06,7.020666e-06,7.015302e-06,6.989264e-06,6.965090e-06,6.953340e-06,6.908596e-06,6.873637e-06,6.856014e-06,6.796490e-06,6.753802e-06,6.730844e-06,6.659831e-06,6.611886e-06,6.584139e-06,6.504399e-06,6.453181e-06,6.421185e-06,6.335022e-06,6.282110e-06,6.246389e-06,6.155723e-06,6.102363e-06,6.063420e-06,5.969842e-06,5.917003e-06,5.875314e-06,5.780133e-06,5.728560e-06,5.684568e-06,5.588860e-06,5.539109e-06,5.493228e-06,5.397868e-06,5.350346e-06,5.302957e-06,5.208652e-06,5.163643e-06,5.115094e-06,5.022407e-06,4.980094e-06,4.930702e-06,4.840077e-06,4.800566e-06,4.750617e-06,4.662398e-06,4.625731e-06,4.575483e-06,4.489928e-06,4.456098e-06,4.405781e-06,4.323081e-06,4.292041e-06,4.241860e-06,4.162144e-06,4.133819e-06,4.083955e-06,4.007307e-06,3.981599e-06,3.932211e-06,3.858672e-06,3.835470e-06,3.786695e-06,3.716277e-06,3.695455e-06,3.647414e-06,3.580099e-06,3.561527e-06,3.514323e-06,3.450073e-06,3.433617e-06,3.387336e-06,3.326097e-06,3.311621e-06,3.266338e-06,3.208041e-06,3.195410e-06,3.151186e-06,3.095752e-06,3.084834e-06,3.041717e-06,2.989060e-06,2.979726e-06,2.937756e-06,2.887783e-06,2.879910e-06,2.839117e-06,2.791732e-06,2.785200e-06,2.745605e-06,2.700711e-06,2.695406e-06,2.657025e-06,2.614521e-06,2.610335e-06,2.573176e-06,2.532963e-06,2.529794e-06,2.493859e-06,2.455838e-06,2.453591e-06,2.418877e-06,2.382951e-06,2.381535e-06,2.348036e-06,2.314108e-06,2.313440e-06,2.281145e-06,2.249123e-06,2.188405e-06,2.131115e-06,2.077085e-06,2.026153e-06,1.978164e-06,1.932969e-06,1.890425e-06,1.850394e-06,1.812745e-06,1.777352e-06,1.744096e-06,1.712863e-06,1.683544e-06,1.656035e-06,1.630238e-06,1.606060e-06,1.583411e-06,1.562207e-06,1.542368e-06,1.523818e-06,1.506485e-06,1.490301e-06,1.475200e-06,1.461121e-06,1.448007e-06,1.435802e-06,1.424454e-06,1.413914e-06,1.404135e-06,1.395073e-06,1.386686e-06,1.378935e-06,1.371782e-06,1.365191e-06,1.359130e-06,1.353567e-06,1.348472e-06,1.343817e-06,1.339574e-06,1.335720e-06,1.332229e-06,1.329080e-06,1.326252e-06,1.323723e-06,1.321476e-06,1.319492e-06,1.317754e-06,1.316247e-06,1.314955e-06
0.000000e+00,5.294954e-10,3.816549e-08,4.060505e-08,5.011671e-07,2.900382e-06,3.091624e-06,1.259367e-05,3.545636e-05,3.757618e-05,8.759162e-05,1.603523e-04,1.678824e-04,2.760185e-04,3.899468e-04,4.032110e-04,5.386701e-04,6.574875e-04,6.733939e-04,8.015786e-04,9.042616e-04,9.202468e-04,1.028292e-03,1.110770e-03,1.125641e-03,1.212714e-03,1.276883e-03,1.290137e-03,1.358595e-03,1.407367e-03,1.418772e-03,1.471321e-03,1.507413e-03,1.516859e-03,1.555962e-03,1.581708e-03,1.589166e-03,1.616966e-03,1.634332e-03,1.639823e-03,1.658164e-03,1.668795e-03,1.672383e-03,1.682843e-03,1.688110e-03,1.689881e-03,1.693808e-03,1.694849e-03,1.694911e-03,1.693453e-03,1.691209e-03,1.689680e-03,1.683816e-03,1.679061e-03,1.676067e-03,1.666625e-03,1.659999e-03,1.655666e-03,1.643350e-03,1.635372e-03,1.629826e-03,1.615232e-03,1.606326e-03,1.599692e-03,1.583321e-03,1.573831e-03,1.566226e-03,1.548504e-03,1.538704e-03,1.530243e-03,1.511524e-03,1.501635e-03,1.492424e-03,1.473009e-03,1.463204e-03,1.453343e-03,1.433481e-03,1.423894e-03,1.413477e-03,1.393376e-03,1.384110e-03,1.373224e-03,1.353057e-03,1.344189e-03,1.332913e-03,1.312823e-03,1.304408e-03,1.292816e-03,1.272919e-03,1.264996e-03,1.253155e-03,1.233545e-03,1.226138e-03,1.214109e-03,1.194863e-03,1.187984e-03,1.175823e-03,1.157002e-03,1.150654e-03,1.138411e-03,1.120061e-03,1.114242e-03,1.101962e-03,1.084120e-03,1.078819e-03,1.066543e-03,1.049236e-03,1.044439e-03,1.032204e-03,1.015450e-03,1.011140e-03,9.989776e-04,9.827892e-04,9.789465e-04,9.668864e-04,9.512701e-04,9.478730e-04,9.359408e-04,9.208985e-04,9.179244e-04,9.061427e-04,8.916725e-04,8.890982e-04,8.774868e-04,8.635839e-04,8.613855e-04,8.499619e-04,8.366186e-04,8.347726e-04,8.235517e-04,8.107584e-04,8.092415e-04,7.982361e-04,7.859817e-04,7.847708e-04,7.739920e-04,7.622638e-04,7.613368e-04,7.507938e-04,7.395784e-04,7.389135e-04,7.286140e-04,7.178970e-04,7.174735e-04,7.074238e-04,6.971906e-04,6.969883e-04,6.871934e-04,6.774287e-04,6.587648e-04,6.409667e-04,6.240043e-04,6.078480e-04,5.924682e-04,5.778359e-04,5.639226e-04,5.507003e-04,5.381416e-04,5.262199e-04,5.149092e-04,5.041844e-04,4.940210e-04,4.843955e-04,4.752850e-04,4.666674e-04,4.585213e-04,4.508260e-04,4.435616e-04,4.367090e-04,4.302497e-04,4.241661e-04,4.184410e-04,4.130581e-04,4.080016e-04,4.032562e-04,3.988075e-04,3.946413e-04,3.907445e-04,3.871039e-04,3.837074e-04,3.805430e-04,3.775993e-04,3.748656e-04,3.723313e-04,3.699864e-04,3.678214e-04,3.658270e-04,3.639945e-04,3.623154e-04,3.607817e-04,3.593856e-04,3.581198e-04,3.569772e-04,3.559511e-04,3.550349e-04,3.542226e-04,3.535082e-04,3.528861e-04
0.000000e+00,1.384620e-11,1.928610e-09,2.079930e-09,4.774974e-08,4.343711e-07,4.704946e-07,2.715747e-06,9.987671e-06,1.075405e-05,3.226330e-05,7.368516e-05,7.862638e-05,1.637401e-04,2.856135e-04,3.022771e-04,5.079799e-04,7.537270e-04,7.923033e-04,1.163521e-03,1.555911e-03,1.626283e-03,2.181562e-03,2.717772e-03,2.826879e-03,3.556739e-03,4.212783e-03,4.363170e-03,5.236315e-03,5.975396e-03,6.165015e-03,7.137360e-03,7.918250e-03,8.141169e-03,9.164407e-03,9.947925e-03,1.019551e-02,1.122367e-02,1.197673e-02,1.223895e-02,1.323251e-02,1.393002e-02,1.419659e-02,1.512455e-02,1.574965e-02,1.601090e-02,1.685119e-02,1.739450e-02,1.764202e-02,1.838087e-02,1.883922e-02,1.906612e-02,1.969686e-02,2.007181e-02,2.027288e-02,2.079452e-02,2.109097e-02,2.126260e-02,2.167837e-02,2.190336e-02,2.204338e-02,2.235947e-02,2.252118e-02,2.262866e-02,2.285313e-02,2.296014e-02,2.303515e-02,2.317706e-02,2.323784e-02,2.328121e-02,2.334996e-02,2.337249e-02,2.338563e-02,2.339051e-02,2.338210e-02,2.336682e-02,2.331670e-02,2.328386e-02,2.324220e-02,2.314530e-02,2.309373e-02,2.302788e-02,2.289171e-02,2.282630e-02,2.273849e-02,2.256979e-02,2.249469e-02,2.238711e-02,2.219186e-02,2.211053e-02,2.198534e-02,2.176878e-02,2.168409e-02,2.154332e-02,2.131002e-02,2.122430e-02,2.106987e-02,2.082379e-02,2.073892e-02,2.057262e-02,2.031716e-02,2.023463e-02,2.005813e-02,1.979621e-02,1.971716e-02,1.953200e-02,1.926609e-02,1.919140e-02,1.899899e-02,1.873118e-02,1.866149e-02,1.846312e-02,1.819519e-02,1.813096e-02,1.792779e-02,1.766123e-02,1.760273e-02,1.739584e-02,1.713189e-02,1.707929e-02,1.686963e-02,1.660931e-02,1.656268e-02,1.635113e-02,1.609528e-02,1.605457e-02,1.584193e-02,1.559123e-02,1.555635e-02,1.534332e-02,1.509832e-02,1.506912e-02,1.485634e-02,1.461748e-02,1.459377e-02,1.438182e-02,1.414942e-02,1.413098e-02,1.392037e-02,1.369469e-02,1.368126e-02,1.347245e-02,1.325368e-02,1.324500e-02,1.303840e-02,1.282664e-02,1.282244e-02,1.261842e-02,1.241375e-02,1.201898e-02,1.163814e-02,1.127115e-02,1.091790e-02,1.057824e-02,1.025196e-02,9.938842e-03,9.638646e-03,9.351110e-03,9.075959e-03,8.812911e-03,8.561672e-03,8.321944e-03,8.093428e-03,7.875823e-03,7.668826e-03,7.472137e-03,7.285458e-03,7.108493e-03,6.940950e-03,6.782540e-03,6.632980e-03,6.491987e-03,6.359288e-03,6.234610e-03,6.117686e-03,6.008254e-03,5.906057e-03,5.810840e-03,5.722355e-03,5.640356e-03,5.564601e-03,5.494855e-03,5.430883e-03,5.372456e-03,5.319348e-03,5.271336e-03,5.228202e-03,5.189730e-03,5.155709e-03,5.125928e-03,5.100184e-03,5.078274e-03,5.060000e-03,5.045166e-03,5.033581e-03,5.025057e-03,5.019409e-03,5.016458e-03
0.000000e+00,9.165786e-11,1.120964e-08,1.204703e-08,2.347286e-07,1.941349e-06,2.097668e-06,1.176925e-05,4.404342e-05,4.752666e-05,1.499149e-04,3.643155e-04,3.910287e-04,8.792520e-04,1.647828e-03,1.757994e-03,3.199297e-03,5.084523e-03,5.394299e-03,8.542465e-03,1.216287e-02,1.284102e-02,1.847547e-02,2.436287e-02,2.561171e-02,3.439000e-02,4.289190e-02,4.492068e-02,5.728167e-02,6.851931e-02,7.151747e-02,8.763946e-02,1.015120e-01,1.056273e-01,1.254310e-01,1.416499e-01,1.469738e-01,1.701554e-01,1.882947e-01,1.948553e-01,2.209364e-01,2.404861e-01,2.482484e-01,2.766313e-01,2.970474e-01,3.059185e-01,3.359398e-01,3.566863e-01,3.665241e-01,3.975019e-01,4.180819e-01,4.287071e-01,4.599789e-01,4.799565e-01,4.911636e-01,5.221152e-01,5.411278e-01,5.526970e-01,5.827818e-01,6.005451e-01,6.122528e-01,6.410034e-01,6.573106e-01,6.689380e-01,6.959714e-01,7.106882e-01,7.220289e-01,7.470459e-01,7.601028e-01,7.709677e-01,7.937492e-01,8.051326e-01,8.153541e-01,8.357546e-01,8.454966e-01,8.549307e-01,8.728700e-01,8.810395e-01,8.895666e-01,9.050210e-01,9.117144e-01,9.192394e-01,9.322330e-01,9.375661e-01,9.440177e-01,9.546134e-01,9.587146e-01,9.640436e-01,9.723350e-01,9.753391e-01,9.795169e-01,9.856211e-01,9.876651e-01,9.906811e-01,9.947320e-01,9.959503e-01,9.978103e-01,9.999533e-01,1.000476e+00,1.001199e+00,1.001586e+00,1.001535e+00,1.001154e+00,9.999397e-01,9.994290e-01,9.979832e-01,9.953225e-01,9.944564e-01,9.919953e-01,9.880391e-01,9.869120e-01,9.834904e-01,9.783852e-01,9.770810e-01,9.727584e-01,9.666442e-01,9.652370e-01,9.600758e-01,9.530854e-01,9.516394e-01,9.457041e-01,9.379621e-01,9.365325e-01,9.298886e-01,9.215115e-01,9.201448e-01,9.128579e-01,9.039536e-01,9.026884e-01,8.948234e-01,8.854911e-01,8.843588e-01,8.759795e-01,8.663102e-01,8.653354e-01,8.565039e-01,8.465803e-01,8.457820e-01,8.365583e-01,8.264555e-01,8.258472e-01,8.162890e-01,8.060747e-01,8.056654e-01,7.958279e-01,7.855628e-01,7.853574e-01,7.752930e-01,7.650313e-01,7.447833e-01,7.246986e-01,7.048522e-01,6.853097e-01,6.661282e-01,6.473567e-01,6.290373e-01,6.112053e-01,5.938902e-01,5.771161e-01,5.609021e-01,5.452631e-01,5.302099e-01,5.157498e-01,5.018869e-01,4.886224e-01,4.759549e-01,4.638811e-01,4.523951e-01,4.414896e-01,4.311557e-01,4.213828e-01,4.121594e-01,4.034729e-01,3.953095e-01,3.876549e-01,3.804941e-01,3.738113e-01,3.675905e-01,3.618152e-01,3.564685e-01,3.515336e-01,3.469933e-01,3.428304e-01,3.390277e-01,3.355681e-01,3.324345e-01,3.296100e-01,3.270780e-01,3.248220e-01,3.228258e-01,3.210736e-01,3.195499e-01,3.182396e-01,3.171279e-01,3.162005e-01,3.154437e-01,3.148441e-01,3.143887e-01
0.000000e+00,6.210065e-09,1.392972e-07,1.459701e-07,1.028646e-06,3.966625e-06,4.159192e-06,1.125619e-05,2.175931e-05,2.252554e-05,3.609372e-05,4.868445e-05,4.974710e-05,6.239752e-05,7.269551e-05,7.377547e-05,8.389230e-05,9.181738e-05,9.283101e-05,1.006881e-04,1.066526e-04,1.075584e-04,1.135313e-04,1.179158e-04,1.186896e-04,1.231097e-04,1.262328e-04,1.268618e-04,1.300103e-04,1.321342e-04,1.326140e-04,1.347268e-04,1.360657e-04,1.363977e-04,1.376712e-04,1.383986e-04,1.385881e-04,1.391853e-04,1.394411e-04,1.394962e-04,1.395515e-04,1.394486e-04,1.393787e-04,1.390030e-04,1.386316e-04,1.384472e-04,1.377316e-04,1.371635e-04,1.368752e-04,1.358949e-04,1.351876e-04,1.348062e-04,1.336228e-04,1.328216e-04,1.323573e-04,1.310210e-04,1.301615e-04,1.296241e-04,1.281758e-04,1.272856e-04,1.266844e-04,1.251574e-04,1.242581e-04,1.236015e-04,1.220228e-04,1.211308e-04,1.204267e-04,1.188182e-04,1.179459e-04,1.172015e-04,1.155806e-04,1.147372e-04,1.139590e-04,1.123398e-04,1.115320e-04,1.107258e-04,1.091194e-04,1.083517e-04,1.075228e-04,1.059380e-04,1.052134e-04,1.043666e-04,1.028102e-04,1.021304e-04,1.012700e-04,9.974711e-05,9.911293e-05,9.824261e-05,9.675727e-05,9.616867e-05,9.529182e-05,9.384685e-05,9.330323e-05,9.242285e-05,9.102023e-05,9.052058e-05,8.963931e-05,8.828033e-05,8.782331e-05,8.694348e-05,8.562887e-05,8.521291e-05,8.433657e-05,8.306660e-05,8.268997e-05,8.181894e-05,8.059353e-05,8.025438e-05,7.939026e-05,7.820901e-05,7.790548e-05,7.704964e-05,7.591197e-05,7.564213e-05,7.479579e-05,7.370091e-05,7.346287e-05,7.262708e-05,7.157408e-05,7.136595e-05,7.054163e-05,6.952948e-05,6.934943e-05,6.853736e-05,6.756499e-05,6.741122e-05,6.661208e-05,6.567834e-05,6.554913e-05,6.476348e-05,6.386720e-05,6.376088e-05,6.298921e-05,6.212920e-05,6.204418e-05,6.128688e-05,6.046195e-05,6.039670e-05,5.965411e-05,5.886306e-05,5.881613e-05,5.808851e-05,5.733016e-05,5.730016e-05,5.658772e-05,5.586090e-05,5.584652e-05,5.514942e-05,5.445298e-05,5.311735e-05,5.183749e-05,5.061131e-05,4.943678e-05,4.831195e-05,4.723490e-05,4.620379e-05,4.521683e-05,4.427229e-05,4.336851e-05,4.250388e-05,4.167686e-05,4.088594e-05,4.012970e-05,3.940674e-05,3.871573e-05,3.805538e-05,3.742447e-05,3.682181e-05,3.624625e-05,3.569669e-05,3.517208e-05,3.467140e-05,3.419369e-05,3.373798e-05,3.330340e-05,3.288907e-05,3.249416e-05,3.211787e-05,3.175942e-05,3.141810e-05,3.109317e-05,3.078397e-05,3.048983e-05,3.021014e-05,2.994428e-05,2.969168e-05,2.945177e-05,2.922403e-05,2.900794e-05,2.880300e-05,2.860875e-05,2.842473e-05,2.825049e-05,2.808563e-05,2.792973e-05,2.778241e-05,2.764331e-05,2.751205e-05
0.000000e+00,1.670379e-10,1.545965e-08,1.651963e-08,2.446420e-07,1.616658e-06,1.732192e-06,8.028286e-06,2.562726e-05,2.738136e-05,7.307845e-05,1.508721e-04,1.595656e-04,2.962683e-04,4.630388e-04,4.839437e-04,7.153592e-04,9.456866e-04,9.784912e-04,1.259943e-03,1.507180e-03,1.547379e-03,1.830762e-03,2.060183e-03,2.102691e-03,2.358195e-03,2.553311e-03,2.594294e-03,2.809513e-03,2.966355e-03,3.003445e-03,3.176404e-03,3.297239e-03,3.329162e-03,3.462762e-03,3.552212e-03,3.578390e-03,3.677289e-03,3.740437e-03,3.760704e-03,3.829854e-03,3.871467e-03,3.885907e-03,3.929968e-03,3.954237e-03,3.963079e-03,3.986212e-03,3.996708e-03,4.000273e-03,4.006102e-03,4.005820e-03,4.004478e-03,3.996121e-03,3.987548e-03,3.981695e-03,3.961815e-03,3.947000e-03,3.937047e-03,3.907914e-03,3.888541e-03,3.874898e-03,3.838444e-03,3.815889e-03,3.798963e-03,3.756836e-03,3.732219e-03,3.712409e-03,3.666004e-03,3.640227e-03,3.617914e-03,3.568404e-03,3.542180e-03,3.517718e-03,3.466080e-03,3.439968e-03,3.413691e-03,3.360735e-03,3.335164e-03,3.307379e-03,3.253775e-03,3.229073e-03,3.200061e-03,3.146362e-03,3.122768e-03,3.092789e-03,3.039445e-03,3.017131e-03,2.986421e-03,2.933798e-03,2.912879e-03,2.881651e-03,2.830043e-03,2.810586e-03,2.779034e-03,2.728674e-03,2.710712e-03,2.679008e-03,2.630076e-03,2.613613e-03,2.581912e-03,2.534546e-03,2.519561e-03,2.488001e-03,2.442300e-03,2.428756e-03,2.397458e-03,2.353490e-03,2.341337e-03,2.310406e-03,2.268214e-03,2.257391e-03,2.226919e-03,2.186525e-03,2.176965e-03,2.147032e-03,2.108440e-03,2.100070e-03,2.070745e-03,2.033943e-03,2.026689e-03,1.998028e-03,1.962994e-03,1.956781e-03,1.928833e-03,1.895534e-03,1.890286e-03,1.863089e-03,1.831486e-03,1.827128e-03,1.800714e-03,1.770762e-03,1.767222e-03,1.741615e-03,1.713262e-03,1.710470e-03,1.685689e-03,1.658882e-03,1.656771e-03,1.632828e-03,1.607512e-03,1.606016e-03,1.582919e-03,1.559036e-03,1.558095e-03,1.535847e-03,1.513339e-03,1.512896e-03,1.491496e-03,1.470305e-03,1.430210e-03,1.392500e-03,1.357064e-03,1.323795e-03,1.292589e-03,1.263342e-03,1.235957e-03,1.210338e-03,1.186393e-03,1.164033e-03,1.143173e-03,1.123732e-03,1.105632e-03,1.088798e-03,1.073158e-03,1.058647e-03,1.045197e-03,1.032749e-03,1.021244e-03,1.010625e-03,1.000841e-03,9.918410e-04,9.835777e-04,9.760062e-04,9.690836e-04,9.627698e-04,9.570264e-04,9.518173e-04,9.471083e-04,9.428670e-04,9.390630e-04,9.356674e-04,9.326530e-04,9.299939e-04,9.276660e-04,9.256463e-04,9.239133e-04,9.224467e-04,9.212272e-04,9.202367e-04,9.194584e-04,9.188762e-04,9.184750e-04,9.182406e-04,9.181598e-04,9.182201e-04,9.184097e-04,9.187176e-04,9.191334e-04
0.000000e+00,4.186230e-10,2.961017e-08,3.149551e-08,3.880625e-07,2.274350e-06,2.425911e-06,1.002663e-05,2.827281e-05,2.994647e-05,6.820315e-05,1.195927e-04,1.246456e-04,1.925476e-04,2.562671e-04,2.632495e-04,3.301043e-04,3.828215e-04,3.894962e-04,4.401495e-04,4.767584e-04,4.821374e-04,5.161523e-04,5.392207e-04,5.430943e-04,5.638747e-04,5.769138e-04,5.793408e-04,5.902528e-04,5.961571e-04,5.972815e-04,6.010135e-04,6.019668e-04,6.019593e-04,6.005616e-04,5.981697e-04,5.972035e-04,5.922154e-04,5.876439e-04,5.858822e-04,5.784489e-04,5.725349e-04,5.701255e-04,5.610923e-04,5.544301e-04,5.515032e-04,5.414897e-04,5.344960e-04,5.311639e-04,5.206208e-04,5.135831e-04,5.099411e-04,4.991931e-04,4.923054e-04,4.884341e-04,4.777121e-04,4.711011e-04,4.670675e-04,4.565336e-04,4.502781e-04,4.461380e-04,4.359030e-04,4.300477e-04,4.258469e-04,4.159840e-04,4.105496e-04,4.063258e-04,3.968808e-04,3.918714e-04,3.876553e-04,3.786538e-04,3.740625e-04,3.698790e-04,3.613322e-04,3.571445e-04,3.530137e-04,3.449225e-04,3.411191e-04,3.370571e-04,3.294151e-04,3.259740e-04,3.219936e-04,3.147892e-04,3.116871e-04,3.077983e-04,3.010167e-04,2.982299e-04,2.944403e-04,2.880645e-04,2.855693e-04,2.818847e-04,2.758963e-04,2.736700e-04,2.700946e-04,2.644748e-04,2.624952e-04,2.590320e-04,2.537616e-04,2.520081e-04,2.486589e-04,2.437190e-04,2.421719e-04,2.389375e-04,2.343097e-04,2.329507e-04,2.298312e-04,2.254977e-04,2.243096e-04,2.213047e-04,2.172480e-04,2.162151e-04,2.133236e-04,2.095274e-04,2.086350e-04,2.058556e-04,2.023041e-04,2.015386e-04,1.988695e-04,1.955479e-04,1.948968e-04,1.923359e-04,1.892300e-04,1.886819e-04,1.862269e-04,1.833233e-04,1.828678e-04,1.805162e-04,1.778023e-04,1.774296e-04,1.751788e-04,1.726428e-04,1.723442e-04,1.701914e-04,1.678219e-04,1.675894e-04,1.655318e-04,1.633185e-04,1.631447e-04,1.611794e-04,1.591122e-04,1.589905e-04,1.571146e-04,1.551843e-04,1.551085e-04,1.533192e-04,1.515170e-04,1.514816e-04,1.497758e-04,1.480936e-04,1.449293e-04,1.419745e-04,1.392159e-04,1.366409e-04,1.342377e-04,1.319955e-04,1.299037e-04,1.279529e-04,1.261337e-04,1.244379e-04,1.228574e-04,1.213847e-04,1.200129e-04,1.187354e-04,1.175460e-04,1.164391e-04,1.154092e-04,1.144513e-04,1.135607e-04,1.127330e-04,1.119639e-04,1.112498e-04,1.105869e-04,1.099718e-04,1.094015e-04,1.088728e-04,1.083831e-04,1.079297e-04,1.075102e-04,1.071223e-04,1.067639e-04,1.064330e-04,1.061278e-04,1.058465e-04,1.055874e-04,1.053492e-04,1.051302e-04,1.049293e-04,1.047451e-04,1.045765e-04,1.044225e-04,1.042820e-04,1.041540e-04,1.040377e-04,1.039323e-04,1.038369e-04,1.037509e-04,1.036736e-04,1.036044e-04
0.000000e+00,2.625027e-11,3.880054e-09,4.190698e-09,1.040248e-07,1.009969e-06,1.096466e-06,6.622083e-06,2.498170e-05,2.693251e-05,8.228438e-05,1.910005e-04,2.041164e-04,4.340289e-04,7.740365e-04,8.213735e-04,1.420194e-03,2.166221e-03,2.286039e-03,3.472988e-03,4.788889e-03,5.031081e-03,7.004253e-03,9.009300e-03,9.428810e-03,1.233241e-02,1.508406e-02,1.573350e-02,1.964124e-02,2.313254e-02,2.405566e-02,2.896816e-02,3.313531e-02,3.436221e-02,4.021419e-02,4.494982e-02,4.649430e-02,5.316758e-02,5.833604e-02,6.019488e-02,6.753383e-02,7.298585e-02,7.513979e-02,8.296671e-02,8.855205e-02,9.096793e-02,9.909690e-02,1.046741e-01,1.073078e-01,1.155561e-01,1.209996e-01,1.237989e-01,1.319957e-01,1.371997e-01,1.401082e-01,1.481007e-01,1.529813e-01,1.559404e-01,1.635975e-01,1.680928e-01,1.710451e-01,1.782592e-01,1.823280e-01,1.852188e-01,1.919058e-01,1.955256e-01,1.983048e-01,2.044032e-01,2.075677e-01,2.101909e-01,2.156600e-01,2.183761e-01,2.208051e-01,2.256227e-01,2.279082e-01,2.301114e-01,2.342712e-01,2.361516e-01,2.381040e-01,2.416130e-01,2.431197e-01,2.448028e-01,2.476789e-01,2.488467e-01,2.502480e-01,2.525174e-01,2.533832e-01,2.544954e-01,2.561908e-01,2.567919e-01,2.576128e-01,2.587712e-01,2.591443e-01,2.596759e-01,2.603371e-01,2.605176e-01,2.607654e-01,2.609710e-01,2.609921e-01,2.609646e-01,2.607565e-01,2.606490e-01,2.603572e-01,2.597768e-01,2.595689e-01,2.590256e-01,2.581133e-01,2.578303e-01,2.570497e-01,2.558442e-01,2.555087e-01,2.545060e-01,2.530441e-01,2.526758e-01,2.514670e-01,2.497831e-01,2.493991e-01,2.480005e-01,2.461268e-01,2.457418e-01,2.441696e-01,2.421358e-01,2.417622e-01,2.400325e-01,2.378660e-01,2.375139e-01,2.356426e-01,2.333682e-01,2.330461e-01,2.310486e-01,2.286890e-01,2.284034e-01,2.262945e-01,2.238700e-01,2.236260e-01,2.214200e-01,2.189489e-01,2.187504e-01,2.164608e-01,2.139594e-01,2.138090e-01,2.114485e-01,2.089315e-01,2.088307e-01,2.064115e-01,2.038916e-01,2.038413e-01,2.013747e-01,1.988632e-01,1.939165e-01,1.890184e-01,1.841839e-01,1.794261e-01,1.747559e-01,1.701827e-01,1.657143e-01,1.613573e-01,1.571168e-01,1.529970e-01,1.490011e-01,1.451314e-01,1.413895e-01,1.377761e-01,1.342917e-01,1.309359e-01,1.277080e-01,1.246069e-01,1.216311e-01,1.187789e-01,1.160482e-01,1.134366e-01,1.109418e-01,1.085612e-01,1.062918e-01,1.041308e-01,1.020752e-01,1.001220e-01,9.826806e-02,9.651013e-02,9.484504e-02,9.326959e-02,9.178055e-02,9.037470e-02,8.904885e-02,8.779980e-02,8.662441e-02,8.551958e-02,8.448222e-02,8.350933e-02,8.259793e-02,8.174512e-02,8.094805e-02,8.020393e-02,7.951007e-02,7.886380e-02,7.826258e-02,7.770391e-02,7.718538e-02
0.000000e+00,2.122874e-09,4.322598e-08,4.540919e-08,3.373092e-07,1.164317e-06,1.210970e-06,2.524782e-06,3.802630e-06,3.882206e-06,5.159034e-06,6.246679e-06,6.337313e-06,7.418580e-06,8.313034e-06,8.408006e-06,9.311257e-06,1.003918e-05,1.013380e-05,1.088077e-05,1.146640e-05,1.155698e-05,1.216695e-05,1.263127e-05,1.271495e-05,1.320502e-05,1.356634e-05,1.364099e-05,1.402651e-05,1.430092e-05,1.436502e-05,1.465980e-05,1.486136e-05,1.491393e-05,1.513034e-05,1.527129e-05,1.531179e-05,1.546087e-05,1.555179e-05,1.558002e-05,1.567151e-05,1.572148e-05,1.573751e-05,1.578000e-05,1.579679e-05,1.580089e-05,1.580191e-05,1.579211e-05,1.578472e-05,1.575084e-05,1.572004e-05,1.570170e-05,1.563863e-05,1.559153e-05,1.556287e-05,1.547559e-05,1.541617e-05,1.537786e-05,1.527069e-05,1.520225e-05,1.515501e-05,1.503168e-05,1.495698e-05,1.490153e-05,1.476529e-05,1.468659e-05,1.462365e-05,1.447727e-05,1.439645e-05,1.432672e-05,1.417257e-05,1.409116e-05,1.401532e-05,1.385546e-05,1.377468e-05,1.369340e-05,1.352957e-05,1.345041e-05,1.336433e-05,1.319802e-05,1.312124e-05,1.303096e-05,1.286344e-05,1.278965e-05,1.269573e-05,1.252807e-05,1.245773e-05,1.236070e-05,1.219381e-05,1.212723e-05,1.202759e-05,1.186223e-05,1.179964e-05,1.169786e-05,1.153464e-05,1.147619e-05,1.137269e-05,1.121214e-05,1.115788e-05,1.105308e-05,1.089561e-05,1.084557e-05,1.073981e-05,1.058577e-05,1.053991e-05,1.043354e-05,1.028319e-05,1.024143e-05,1.013476e-05,9.988308e-06,9.950558e-06,9.843866e-06,9.701467e-06,9.667598e-06,9.561138e-06,9.422903e-06,9.392773e-06,9.286778e-06,9.152777e-06,9.126232e-06,9.020910e-06,8.891182e-06,8.868059e-06,8.763598e-06,8.638155e-06,8.618283e-06,8.514851e-06,8.393681e-06,8.376887e-06,8.274637e-06,8.157707e-06,8.143817e-06,8.042881e-06,7.930145e-06,7.918985e-06,7.819482e-06,7.710878e-06,7.702278e-06,7.604312e-06,7.499767e-06,7.493558e-06,7.397222e-06,7.296655e-06,7.292673e-06,7.198045e-06,7.101368e-06,7.099454e-06,7.006601e-06,6.913721e-06,6.735285e-06,6.563951e-06,6.399520e-06,6.241790e-06,6.090557e-06,5.945617e-06,5.806768e-06,5.673809e-06,5.546540e-06,5.424766e-06,5.308294e-06,5.196936e-06,5.090506e-06,4.988826e-06,4.891719e-06,4.799014e-06,4.710545e-06,4.626151e-06,4.545675e-06,4.468966e-06,4.395876e-06,4.326263e-06,4.259990e-06,4.196924e-06,4.136937e-06,4.079904e-06,4.025705e-06,3.974227e-06,3.925356e-06,3.878986e-06,3.835013e-06,3.793337e-06,3.753864e-06,3.716499e-06,3.681155e-06,3.647744e-06,3.616186e-06,3.586400e-06,3.558310e-06,3.531842e-06,3.506926e-06,3.483494e-06,3.461480e-06,3.440821e-06,3.421457e-06,3.403330e-06,3.386384e-06,3.370565e-06,3.355821e-06
0.000000e+00,3.323847e-11,4.373176e-09,4.714750e-09,1.092469e-07,1.004209e-06,1.087388e-06,6.048664e-06,2.044200e-05,2.186441e-05,5.790267e-05,1.164987e-04,1.229256e-04,2.225825e-04,3.432630e-04,3.584404e-04,5.282817e-04,7.019065e-04,7.270794e-04,9.481514e-04,1.150521e-03,1.184198e-03,1.428088e-03,1.634280e-03,1.673383e-03,1.914615e-03,2.106278e-03,2.147391e-03,2.368378e-03,2.535056e-03,2.575204e-03,2.766329e-03,2.903938e-03,2.940901e-03,3.098616e-03,3.207264e-03,3.239589e-03,3.364250e-03,3.446373e-03,3.473248e-03,3.567380e-03,3.626446e-03,3.647533e-03,3.714643e-03,3.754366e-03,3.769657e-03,3.813514e-03,3.837433e-03,3.847129e-03,3.871375e-03,3.882650e-03,3.887082e-03,3.895034e-03,3.896392e-03,3.895960e-03,3.890542e-03,3.884275e-03,3.879409e-03,3.863145e-03,3.851150e-03,3.842288e-03,3.817332e-03,3.801160e-03,3.788732e-03,3.756902e-03,3.737811e-03,3.722225e-03,3.685049e-03,3.664047e-03,3.645691e-03,3.604442e-03,3.582334e-03,3.561567e-03,3.517308e-03,3.494729e-03,3.471884e-03,3.425495e-03,3.402939e-03,3.378322e-03,3.330531e-03,3.308381e-03,3.282270e-03,3.233677e-03,3.212222e-03,3.184873e-03,3.135970e-03,3.115425e-03,3.087067e-03,3.038256e-03,3.018775e-03,2.989617e-03,2.941223e-03,2.922912e-03,2.893140e-03,2.845426e-03,2.828349e-03,2.798133e-03,2.751308e-03,2.735501e-03,2.704992e-03,2.659220e-03,2.644694e-03,2.614025e-03,2.569434e-03,2.556179e-03,2.525472e-03,2.482158e-03,2.470149e-03,2.439511e-03,2.397545e-03,2.386746e-03,2.356271e-03,2.315701e-03,2.306069e-03,2.275840e-03,2.236696e-03,2.228181e-03,2.198272e-03,2.160570e-03,2.153117e-03,2.123592e-03,2.087336e-03,2.080886e-03,2.051800e-03,2.016984e-03,2.011479e-03,1.982881e-03,1.949489e-03,1.944870e-03,1.916801e-03,1.884811e-03,1.881019e-03,1.853514e-03,1.822901e-03,1.819877e-03,1.792964e-03,1.763697e-03,1.761384e-03,1.735089e-03,1.707133e-03,1.705476e-03,1.679818e-03,1.653137e-03,1.652083e-03,1.627078e-03,1.601633e-03,1.601130e-03,1.576791e-03,1.552542e-03,1.506241e-03,1.462147e-03,1.420181e-03,1.380265e-03,1.342319e-03,1.306268e-03,1.272035e-03,1.239545e-03,1.208727e-03,1.179510e-03,1.151825e-03,1.125605e-03,1.100787e-03,1.077308e-03,1.055108e-03,1.034129e-03,1.014315e-03,9.956125e-04,9.779701e-04,9.613382e-04,9.456691e-04,9.309171e-04,9.170386e-04,9.039914e-04,8.917356e-04,8.802326e-04,8.694456e-04,8.593394e-04,8.498802e-04,8.410360e-04,8.327759e-04,8.250705e-04,8.178916e-04,8.112126e-04,8.050076e-04,7.992524e-04,7.939234e-04,7.889984e-04,7.844561e-04,7.802763e-04,7.764396e-04,7.729275e-04,7.697224e-04,7.668076e-04,7.641670e-04,7.617853e-04,7.596481e-04,7.577415e-04,7.560522e-04
0.000000e+00,3.235418e-10,2.913463e-08,3.117734e-08,5.189419e-07,3.737373e-06,4.010728e-06,1.814388e-05,5.108472e-05,5.400255e-05,1.173384e-04,1.966889e-04,2.043117e-04,3.057913e-04,4.020271e-04,4.127655e-04,5.187992e-04,6.083014e-04,6.201409e-04,7.149624e-04,7.907526e-04,8.025777e-04,8.829043e-04,9.448920e-04,9.561480e-04,1.022642e-03,1.072397e-03,1.082767e-03,1.136911e-03,1.176180e-03,1.185460e-03,1.228782e-03,1.259174e-03,1.267232e-03,1.301145e-03,1.324081e-03,1.330839e-03,1.356612e-03,1.373326e-03,1.378746e-03,1.397506e-03,1.409065e-03,1.413141e-03,1.425883e-03,1.433198e-03,1.435950e-03,1.443547e-03,1.447400e-03,1.448865e-03,1.452081e-03,1.453135e-03,1.453364e-03,1.452869e-03,1.451687e-03,1.450742e-03,1.447118e-03,1.444176e-03,1.442124e-03,1.435880e-03,1.431579e-03,1.428494e-03,1.420070e-03,1.414747e-03,1.410704e-03,1.400485e-03,1.394420e-03,1.389495e-03,1.377813e-03,1.371242e-03,1.365509e-03,1.352652e-03,1.345767e-03,1.339302e-03,1.325518e-03,1.318480e-03,1.311353e-03,1.296857e-03,1.289795e-03,1.282076e-03,1.267053e-03,1.260071e-03,1.251826e-03,1.236433e-03,1.229617e-03,1.220908e-03,1.205282e-03,1.198695e-03,1.189583e-03,1.173838e-03,1.167532e-03,1.158071e-03,1.142306e-03,1.136320e-03,1.126562e-03,1.110859e-03,1.105219e-03,1.095214e-03,1.079643e-03,1.074369e-03,1.064161e-03,1.048780e-03,1.043882e-03,1.033513e-03,1.018371e-03,1.013854e-03,1.003363e-03,9.884990e-04,9.843638e-04,9.737861e-04,9.592320e-04,9.554747e-04,9.448428e-04,9.306243e-04,9.272378e-04,9.165814e-04,9.027186e-04,8.996933e-04,8.890396e-04,8.755476e-04,8.728719e-04,8.622455e-04,8.491355e-04,8.467963e-04,8.362195e-04,8.234990e-04,8.214820e-04,8.109751e-04,7.986486e-04,7.969387e-04,7.865200e-04,7.745894e-04,7.731711e-04,7.628569e-04,7.513220e-04,7.501794e-04,7.399843e-04,7.288430e-04,7.279601e-04,7.178971e-04,7.071457e-04,7.065068e-04,6.965875e-04,6.862210e-04,6.858103e-04,6.760448e-04,6.660573e-04,6.658595e-04,6.562567e-04,6.466413e-04,6.281413e-04,6.103440e-04,5.932329e-04,5.767909e-04,5.610004e-04,5.458433e-04,5.313016e-04,5.173569e-04,5.039910e-04,4.911858e-04,4.789232e-04,4.671853e-04,4.559548e-04,4.452143e-04,4.349471e-04,4.251364e-04,4.157663e-04,4.068209e-04,3.982849e-04,3.901433e-04,3.823818e-04,3.749860e-04,3.679425e-04,3.612379e-04,3.548594e-04,3.487945e-04,3.430312e-04,3.375578e-04,3.323631e-04,3.274363e-04,3.227667e-04,3.183442e-04,3.141591e-04,3.102018e-04,3.064632e-04,3.029345e-04,2.996071e-04,2.964729e-04,2.935239e-04,2.907526e-04,2.881514e-04,2.857134e-04,2.834317e-04,2.812996e-04,2.793109e-04,2.774593e-04,2.757390e-04,2.741442e-04,2.726695e-04
0.000000e+00,7.066208e-09,1.040350e-07,1.086938e-07,6.952745e-07,2.489722e-06,2.602028e-06,6.410266e-06,1.115390e-05,1.147043e-05,1.670514e-05,2.126557e-05,2.164669e-05,2.619155e-05,2.993803e-05,3.033472e-05,3.409409e-05,3.710295e-05,3.749248e-05,4.055325e-05,4.293288e-05,4.329919e-05,4.575216e-05,4.760155e-05,4.793303e-05,4.986158e-05,5.126784e-05,5.155649e-05,5.303538e-05,5.407410e-05,5.431478e-05,5.541017e-05,5.614619e-05,5.633604e-05,5.710589e-05,5.759441e-05,5.773232e-05,5.822705e-05,5.851483e-05,5.860102e-05,5.886435e-05,5.899077e-05,5.902649e-05,5.909619e-05,5.909435e-05,5.908158e-05,5.899019e-05,5.888778e-05,5.882901e-05,5.860453e-05,5.842464e-05,5.832277e-05,5.798929e-05,5.775112e-05,5.760924e-05,5.718739e-05,5.690679e-05,5.672814e-05,5.623557e-05,5.592562e-05,5.571345e-05,5.516524e-05,5.483659e-05,5.459413e-05,5.400307e-05,5.366438e-05,5.339479e-05,5.277181e-05,5.243012e-05,5.213646e-05,5.149086e-05,5.115174e-05,5.083694e-05,5.017650e-05,4.984435e-05,4.951117e-05,4.884244e-05,4.852066e-05,4.817169e-05,4.750017e-05,4.719133e-05,4.682901e-05,4.615926e-05,4.586526e-05,4.549185e-05,4.482765e-05,4.454983e-05,4.416742e-05,4.351187e-05,4.325110e-05,4.286162e-05,4.221725e-05,4.197404e-05,4.157926e-05,4.094811e-05,4.072264e-05,4.032419e-05,3.970786e-05,3.950010e-05,3.909944e-05,3.849919e-05,3.830888e-05,3.790735e-05,3.732413e-05,3.715087e-05,3.674968e-05,3.618416e-05,3.602743e-05,3.562768e-05,3.508033e-05,3.493952e-05,3.454218e-05,3.401327e-05,3.388772e-05,3.349365e-05,3.298333e-05,3.287231e-05,3.248230e-05,3.199055e-05,3.189331e-05,3.150805e-05,3.103475e-05,3.095054e-05,3.057062e-05,3.011559e-05,3.004363e-05,2.966959e-05,2.923255e-05,2.917207e-05,2.880438e-05,2.838499e-05,2.833525e-05,2.797430e-05,2.757219e-05,2.753245e-05,2.717857e-05,2.679332e-05,2.676286e-05,2.641635e-05,2.604752e-05,2.602565e-05,2.568674e-05,2.533387e-05,2.531992e-05,2.498880e-05,2.465142e-05,2.464475e-05,2.432159e-05,2.399919e-05,2.338229e-05,2.279310e-05,2.223064e-05,2.169398e-05,2.118218e-05,2.069430e-05,2.022945e-05,1.978672e-05,1.936527e-05,1.896423e-05,1.858278e-05,1.822014e-05,1.787551e-05,1.754816e-05,1.723736e-05,1.694242e-05,1.666264e-05,1.639738e-05,1.614602e-05,1.590795e-05,1.568259e-05,1.546937e-05,1.526776e-05,1.507723e-05,1.489730e-05,1.472749e-05,1.456733e-05,1.441639e-05,1.427424e-05,1.414047e-05,1.401471e-05,1.389657e-05,1.378570e-05,1.368175e-05,1.358440e-05,1.349334e-05,1.340826e-05,1.332887e-05,1.325489e-05,1.318607e-05,1.312215e-05,1.306288e-05,1.300803e-05,1.295738e-05,1.291072e-05,1.286785e-05,1.282856e-05,1.279268e-05,1.276002e-05
0.000000e+00,4.406666e-09,1.719940e-07,1.818627e-07,1.882911e-06,9.270473e-06,9.791918e-06,2.942658e-05,5.609427e-05,5.789798e-05,8.758512e-05,1.128125e-04,1.148840e-04,1.390966e-04,1.583251e-04,1.603197e-04,1.788016e-04,1.930060e-04,1.948036e-04,2.085721e-04,2.188000e-04,2.203337e-04,2.302954e-04,2.374110e-04,2.386461e-04,2.455571e-04,2.502596e-04,2.511842e-04,2.556680e-04,2.585175e-04,2.591353e-04,2.617006e-04,2.631418e-04,2.634666e-04,2.645260e-04,2.649098e-04,2.649616e-04,2.648482e-04,2.644505e-04,2.642527e-04,2.632345e-04,2.622699e-04,2.618471e-04,2.601391e-04,2.587756e-04,2.581530e-04,2.559273e-04,2.542946e-04,2.534961e-04,2.508899e-04,2.490873e-04,2.481360e-04,2.452585e-04,2.433620e-04,2.422788e-04,2.392163e-04,2.372834e-04,2.360879e-04,2.329086e-04,2.309823e-04,2.296920e-04,2.264497e-04,2.245617e-04,2.231923e-04,2.199290e-04,2.181020e-04,2.166678e-04,2.134159e-04,2.116659e-04,2.101795e-04,2.069641e-04,2.053020e-04,2.037744e-04,2.006145e-04,1.990468e-04,1.974879e-04,1.943977e-04,1.929281e-04,1.913465e-04,1.883364e-04,1.869661e-04,1.853694e-04,1.824469e-04,1.811754e-04,1.795701e-04,1.767401e-04,1.755657e-04,1.739576e-04,1.712232e-04,1.701430e-04,1.685373e-04,1.659000e-04,1.649107e-04,1.633116e-04,1.607720e-04,1.598697e-04,1.582811e-04,1.558386e-04,1.550191e-04,1.534443e-04,1.510978e-04,1.503570e-04,1.487987e-04,1.465465e-04,1.458799e-04,1.443407e-04,1.421808e-04,1.415841e-04,1.400661e-04,1.379960e-04,1.374650e-04,1.359699e-04,1.339871e-04,1.335176e-04,1.320470e-04,1.301488e-04,1.297368e-04,1.282919e-04,1.264756e-04,1.261171e-04,1.246991e-04,1.229617e-04,1.226531e-04,1.212628e-04,1.196017e-04,1.193393e-04,1.179775e-04,1.163897e-04,1.161703e-04,1.148375e-04,1.133203e-04,1.131406e-04,1.118373e-04,1.103879e-04,1.102448e-04,1.089715e-04,1.075872e-04,1.074779e-04,1.062346e-04,1.049129e-04,1.048346e-04,1.036216e-04,1.023600e-04,1.023101e-04,1.011274e-04,9.992340e-05,9.989961e-05,9.874725e-05,9.759841e-05,9.540205e-05,9.330619e-05,9.130665e-05,8.939940e-05,8.758057e-05,8.584642e-05,8.419338e-05,8.261800e-05,8.111696e-05,7.968710e-05,7.832535e-05,7.702880e-05,7.579463e-05,7.462015e-05,7.350277e-05,7.244001e-05,7.142949e-05,7.046894e-05,6.955617e-05,6.868908e-05,6.786567e-05,6.708400e-05,6.634224e-05,6.563862e-05,6.497143e-05,6.433907e-05,6.373996e-05,6.317262e-05,6.263561e-05,6.212758e-05,6.164721e-05,6.119324e-05,6.076446e-05,6.035973e-05,5.997795e-05,5.961804e-05,5.927901e-05,5.895988e-05,5.865971e-05,5.837763e-05,5.811278e-05,5.786435e-05,5.763155e-05,5.741364e-05,5.720990e-05,5.701965e-05,5.684223e-05,5.667703e-05,5.652342e-05
0.000000e+00,2.447696e-11,4.668964e-09,5.070766e-09,1.552239e-07,1.603387e-06,1.740585e-06,9.985579e-06,3.413191e-05,3.654138e-05,9.911935e-05,2.067514e-04,2.189657e-04,4.177821e-04,6.804230e-04,7.150584e-04,1.126198e-03,1.590483e-03,1.661482e-03,2.325747e-03,3.000016e-03,3.118618e-03,4.035089e-03,4.894071e-03,5.066324e-03,6.200530e-03,7.197733e-03,7.423838e-03,8.721105e-03,9.801622e-03,1.007663e-02,1.147474e-02,1.258504e-02,1.290026e-02,1.433888e-02,1.543281e-02,1.577738e-02,1.720384e-02,1.824539e-02,1.860767e-02,1.997969e-02,2.094339e-02,2.131206e-02,2.259827e-02,2.346826e-02,2.383301e-02,2.501214e-02,2.578054e-02,2.613251e-02,2.719191e-02,2.785700e-02,2.818892e-02,2.912284e-02,2.968737e-02,2.999356e-02,3.080150e-02,3.127124e-02,3.154748e-02,3.223270e-02,3.261527e-02,3.285864e-02,3.342698e-02,3.373096e-02,3.393960e-02,3.439851e-02,3.463282e-02,3.480580e-02,3.516361e-02,3.533703e-02,3.547414e-02,3.573956e-02,3.586048e-02,3.596206e-02,3.614379e-02,3.622003e-02,3.628686e-02,3.639334e-02,3.643205e-02,3.646525e-02,3.650453e-02,3.651216e-02,3.651307e-02,3.649269e-02,3.647502e-02,3.644514e-02,3.637212e-02,3.633424e-02,3.627522e-02,3.615600e-02,3.610239e-02,3.601593e-02,3.585643e-02,3.579101e-02,3.567885e-02,3.548446e-02,3.541061e-02,3.527450e-02,3.505012e-02,3.497075e-02,3.481244e-02,3.456252e-02,3.448012e-02,3.430135e-02,3.402988e-02,3.394657e-02,3.374903e-02,3.345965e-02,3.337721e-02,3.316255e-02,3.285851e-02,3.277841e-02,3.254826e-02,3.223249e-02,3.215595e-02,3.191185e-02,3.158697e-02,3.151499e-02,3.125844e-02,3.092681e-02,3.086016e-02,3.059261e-02,3.025633e-02,3.019561e-02,2.991843e-02,2.957937e-02,2.952504e-02,2.923956e-02,2.889939e-02,2.885176e-02,2.855923e-02,2.821942e-02,2.817868e-02,2.788029e-02,2.754215e-02,2.750840e-02,2.720529e-02,2.686997e-02,2.684322e-02,2.653644e-02,2.620495e-02,2.618513e-02,2.587571e-02,2.554893e-02,2.553591e-02,2.522479e-02,2.490348e-02,2.489708e-02,2.458516e-02,2.426998e-02,2.365574e-02,2.305533e-02,2.246957e-02,2.189914e-02,2.134460e-02,2.080638e-02,2.028483e-02,1.978019e-02,1.929265e-02,1.882230e-02,1.836917e-02,1.793323e-02,1.751441e-02,1.711258e-02,1.672759e-02,1.635922e-02,1.600726e-02,1.567143e-02,1.535147e-02,1.504706e-02,1.475789e-02,1.448361e-02,1.422387e-02,1.397831e-02,1.374656e-02,1.352823e-02,1.332295e-02,1.313031e-02,1.294992e-02,1.278139e-02,1.262432e-02,1.247831e-02,1.234295e-02,1.221786e-02,1.210263e-02,1.199688e-02,1.190021e-02,1.181224e-02,1.173259e-02,1.166087e-02,1.159672e-02,1.153978e-02,1.148968e-02,1.144606e-02,1.140859e-02,1.137692e-02,1.135073e-02,1.132968e-02,1.131346e-02
0.000000e+00,7.360563e-09,1.379173e-07,1.446759e-07,1.028347e-06,3.536594e-06,3.680847e-06,7.886597e-06,1.214841e-05,1.241699e-05,1.676436e-05,2.051943e-05,2.083448e-05,2.461967e-05,2.779029e-05,2.812918e-05,3.137570e-05,3.402561e-05,3.437248e-05,3.713260e-05,3.932674e-05,3.966879e-05,4.199321e-05,4.379053e-05,4.411743e-05,4.605305e-05,4.750734e-05,4.781120e-05,4.940259e-05,5.056253e-05,5.083745e-05,5.212551e-05,5.303425e-05,5.327601e-05,5.429775e-05,5.499326e-05,5.519901e-05,5.598764e-05,5.650309e-05,5.667106e-05,5.725626e-05,5.762050e-05,5.774983e-05,5.815800e-05,5.839604e-05,5.848661e-05,5.874118e-05,5.887466e-05,5.892690e-05,5.904865e-05,5.909619e-05,5.911101e-05,5.911831e-05,5.909596e-05,5.907459e-05,5.898368e-05,5.890519e-05,5.884915e-05,5.867437e-05,5.855149e-05,5.846248e-05,5.821645e-05,5.805921e-05,5.793906e-05,5.763292e-05,5.744984e-05,5.730047e-05,5.694400e-05,5.674228e-05,5.656566e-05,5.616745e-05,5.595317e-05,5.575127e-05,5.531888e-05,5.509712e-05,5.487191e-05,5.441193e-05,5.418694e-05,5.394036e-05,5.345856e-05,5.323385e-05,5.296779e-05,5.246923e-05,5.224767e-05,5.196396e-05,5.145302e-05,5.123696e-05,5.093735e-05,5.041785e-05,5.020917e-05,4.989535e-05,4.937061e-05,4.917078e-05,4.884436e-05,4.831724e-05,4.812739e-05,4.778989e-05,4.726288e-05,4.708386e-05,4.673672e-05,4.621192e-05,4.604435e-05,4.568893e-05,4.516817e-05,4.501243e-05,4.465002e-05,4.413483e-05,4.399116e-05,4.362294e-05,4.311464e-05,4.298310e-05,4.261020e-05,4.210989e-05,4.199045e-05,4.161391e-05,4.112249e-05,4.101501e-05,4.063581e-05,4.015404e-05,4.005828e-05,3.967732e-05,3.920581e-05,3.912150e-05,3.873962e-05,3.827885e-05,3.820564e-05,3.782361e-05,3.737397e-05,3.731147e-05,3.693001e-05,3.649178e-05,3.643958e-05,3.605933e-05,3.563272e-05,3.559038e-05,3.521197e-05,3.479710e-05,3.476417e-05,3.438814e-05,3.398509e-05,3.396110e-05,3.358796e-05,3.319674e-05,3.318122e-05,3.281144e-05,3.243203e-05,3.242450e-05,3.205850e-05,3.169082e-05,3.098001e-05,3.029181e-05,2.962594e-05,2.898208e-05,2.835986e-05,2.775888e-05,2.717873e-05,2.661899e-05,2.607920e-05,2.555890e-05,2.505764e-05,2.457493e-05,2.411032e-05,2.366331e-05,2.323345e-05,2.282025e-05,2.242325e-05,2.204199e-05,2.167602e-05,2.132486e-05,2.098810e-05,2.066528e-05,2.035598e-05,2.005978e-05,1.977626e-05,1.950503e-05,1.924568e-05,1.899784e-05,1.876111e-05,1.853515e-05,1.831957e-05,1.811405e-05,1.791823e-05,1.773178e-05,1.755438e-05,1.738571e-05,1.722547e-05,1.707335e-05,1.692906e-05,1.679233e-05,1.666287e-05,1.654042e-05,1.642472e-05,1.631551e-05,1.621256e-05,1.611561e-05,1.602445e-05,1.593884e-05,1.585857e-05
0.000000e+00,1.244930e-11,1.656441e-09,1.784810e-09,4.064882e-08,3.932175e-07,4.274502e-07,2.733438e-06,1.113093e-05,1.206107e-05,3.998203e-05,9.911404e-05,1.064729e-04,2.399906e-04,4.466788e-04,4.760138e-04,8.547068e-04,1.339478e-03,1.418261e-03,2.208293e-03,3.098510e-03,3.263538e-03,4.617966e-03,6.007425e-03,6.299361e-03,8.328378e-03,1.026094e-02,1.071803e-02,1.347356e-02,1.594009e-02,1.659263e-02,2.006574e-02,2.301048e-02,2.387692e-02,2.800443e-02,3.133669e-02,3.242167e-02,3.709803e-02,4.070564e-02,4.199982e-02,4.709111e-02,5.085327e-02,5.233460e-02,5.769233e-02,6.149039e-02,6.312639e-02,6.859954e-02,7.232515e-02,7.407572e-02,7.952047e-02,8.308093e-02,8.490132e-02,9.018809e-02,9.350931e-02,9.535301e-02,1.003709e-01,1.033983e-01,1.052194e-01,1.098787e-01,1.125763e-01,1.143319e-01,1.185644e-01,1.209135e-01,1.225646e-01,1.263231e-01,1.283195e-01,1.298328e-01,1.330890e-01,1.347408e-01,1.360888e-01,1.388313e-01,1.401559e-01,1.413172e-01,1.435489e-01,1.445705e-01,1.455300e-01,1.472652e-01,1.480125e-01,1.487606e-01,1.500228e-01,1.505272e-01,1.510595e-01,1.518787e-01,1.521725e-01,1.524892e-01,1.529001e-01,1.530153e-01,1.531206e-01,1.531604e-01,1.531278e-01,1.530291e-01,1.527363e-01,1.525848e-01,1.522919e-01,1.517053e-01,1.514612e-01,1.509860e-01,1.501433e-01,1.498302e-01,1.491861e-01,1.481234e-01,1.477624e-01,1.469635e-01,1.457148e-01,1.453241e-01,1.443851e-01,1.429821e-01,1.425771e-01,1.415129e-01,1.399845e-01,1.395783e-01,1.384035e-01,1.367762e-01,1.363794e-01,1.351084e-01,1.334057e-01,1.330270e-01,1.316735e-01,1.299167e-01,1.295628e-01,1.281399e-01,1.263475e-01,1.260235e-01,1.245436e-01,1.227319e-01,1.224416e-01,1.209161e-01,1.190993e-01,1.188451e-01,1.172847e-01,1.154751e-01,1.152584e-01,1.136730e-01,1.118809e-01,1.117024e-01,1.101010e-01,1.083352e-01,1.081946e-01,1.065855e-01,1.048535e-01,1.047501e-01,1.031406e-01,1.014484e-01,1.013812e-01,9.977807e-02,9.813066e-02,9.809795e-02,9.650720e-02,9.490858e-02,9.181953e-02,8.883576e-02,8.596094e-02,8.319757e-02,8.054723e-02,7.801063e-02,7.558779e-02,7.327810e-02,7.108045e-02,6.899327e-02,6.701465e-02,6.514234e-02,6.337386e-02,6.170649e-02,6.013739e-02,5.866353e-02,5.728180e-02,5.598900e-02,5.478184e-02,5.365703e-02,5.261122e-02,5.164106e-02,5.074322e-02,4.991437e-02,4.915120e-02,4.845047e-02,4.780894e-02,4.722346e-02,4.669092e-02,4.620828e-02,4.577256e-02,4.538088e-02,4.503043e-02,4.471848e-02,4.444240e-02,4.419964e-02,4.398774e-02,4.380436e-02,4.364724e-02,4.351421e-02,4.340321e-02,4.331230e-02,4.323959e-02,4.318334e-02,4.314186e-02,4.311361e-02,4.309709e-02,4.309093e-02,4.309384e-02
0.000000e+00,4.980345e-10,4.608515e-08,4.932509e-08,8.152204e-07,5.746501e-06,6.160931e-06,2.728328e-05,7.593766e-05,8.024238e-05,1.739998e-04,2.926821e-04,3.041573e-04,4.580318e-04,6.055367e-04,6.220692e-04,7.858465e-04,9.244588e-04,9.427931e-04,1.089399e-03,1.206020e-03,1.224149e-03,1.346682e-03,1.440334e-03,1.457238e-03,1.556354e-03,1.629556e-03,1.644692e-03,1.722958e-03,1.778793e-03,1.791857e-03,1.852079e-03,1.893452e-03,1.904281e-03,1.949089e-03,1.978561e-03,1.987091e-03,2.018842e-03,2.038618e-03,2.044858e-03,2.065622e-03,2.077574e-03,2.081584e-03,2.093162e-03,2.098865e-03,2.100742e-03,2.104684e-03,2.105458e-03,2.105322e-03,2.102962e-03,2.099902e-03,2.097891e-03,2.090370e-03,2.084385e-03,2.080644e-03,2.068936e-03,2.060773e-03,2.055453e-03,2.040386e-03,2.030660e-03,2.023911e-03,2.006189e-03,1.995398e-03,1.987369e-03,1.967587e-03,1.956137e-03,1.946970e-03,1.925633e-03,1.913848e-03,1.903680e-03,1.881210e-03,1.869351e-03,1.858311e-03,1.835065e-03,1.823334e-03,1.811544e-03,1.787818e-03,1.776375e-03,1.763948e-03,1.739990e-03,1.728954e-03,1.715995e-03,1.692010e-03,1.681470e-03,1.668076e-03,1.644231e-03,1.634251e-03,1.620510e-03,1.596944e-03,1.587567e-03,1.573560e-03,1.550383e-03,1.541634e-03,1.527435e-03,1.504736e-03,1.496628e-03,1.482302e-03,1.460151e-03,1.452686e-03,1.438294e-03,1.416743e-03,1.409913e-03,1.395508e-03,1.374599e-03,1.368390e-03,1.354021e-03,1.333781e-03,1.328175e-03,1.313884e-03,1.294333e-03,1.289307e-03,1.275131e-03,1.256281e-03,1.251809e-03,1.237782e-03,1.219636e-03,1.215691e-03,1.201842e-03,1.184400e-03,1.180953e-03,1.167308e-03,1.150564e-03,1.147587e-03,1.134166e-03,1.118112e-03,1.115574e-03,1.102397e-03,1.087020e-03,1.084894e-03,1.071977e-03,1.057263e-03,1.055519e-03,1.042874e-03,1.028807e-03,1.027418e-03,1.015057e-03,1.001619e-03,1.000558e-03,9.884892e-04,9.756622e-04,9.749021e-04,9.631333e-04,9.508976e-04,9.504142e-04,9.389503e-04,9.272862e-04,9.270557e-04,9.159003e-04,9.047877e-04,8.835711e-04,8.633667e-04,8.441357e-04,8.258399e-04,8.084415e-04,7.919037e-04,7.761903e-04,7.612664e-04,7.470977e-04,7.336512e-04,7.208949e-04,7.087979e-04,6.973304e-04,6.864636e-04,6.761699e-04,6.664226e-04,6.571963e-04,6.484665e-04,6.402095e-04,6.324029e-04,6.250251e-04,6.180553e-04,6.114739e-04,6.052619e-04,5.994012e-04,5.938745e-04,5.886653e-04,5.837578e-04,5.791369e-04,5.747882e-04,5.706981e-04,5.668534e-04,5.632416e-04,5.598508e-04,5.566696e-04,5.536871e-04,5.508932e-04,5.482778e-04,5.458316e-04,5.435457e-04,5.414116e-04,5.394211e-04,5.375666e-04,5.358406e-04,5.342362e-04,5.327467e-04,5.313657e-04,5.300873e-04,5.289057e-04
0.000000e+00,5.970721e-09,2.292442e-07,2.423499e-07,2.491110e-06,1.227044e-05,1.296267e-05,3.913517e-05,7.506551e-05,7.752315e-05,1.187769e-04,1.554064e-04,1.584930e-04,1.956150e-04,2.266919e-04,2.300103e-04,2.617545e-04,2.875917e-04,2.909679e-04,3.177780e-04,3.390086e-04,3.423107e-04,3.646888e-04,3.819089e-04,3.850319e-04,4.034562e-04,4.172114e-04,4.200743e-04,4.349952e-04,4.457804e-04,4.483235e-04,4.601599e-04,4.684185e-04,4.706004e-04,4.797367e-04,4.858618e-04,4.876559e-04,4.944401e-04,4.987757e-04,5.001673e-04,5.049116e-04,5.077581e-04,5.087426e-04,5.117259e-04,5.133431e-04,5.139233e-04,5.153927e-04,5.160041e-04,5.161888e-04,5.163628e-04,5.161604e-04,5.159629e-04,5.150341e-04,5.141819e-04,5.136189e-04,5.117570e-04,5.103947e-04,5.094855e-04,5.068395e-04,5.050857e-04,5.038515e-04,5.005521e-04,4.985071e-04,4.969699e-04,4.931317e-04,4.908799e-04,4.890625e-04,4.847857e-04,4.823976e-04,4.803230e-04,4.756949e-04,4.732292e-04,4.709203e-04,4.660170e-04,4.635222e-04,4.610014e-04,4.558890e-04,4.534048e-04,4.506939e-04,4.454296e-04,4.429882e-04,4.401084e-04,4.347418e-04,4.323688e-04,4.293403e-04,4.239139e-04,4.216296e-04,4.184717e-04,4.130221e-04,4.108420e-04,4.075730e-04,4.021315e-04,4.000671e-04,3.967042e-04,3.912973e-04,3.893569e-04,3.859164e-04,3.805666e-04,3.787556e-04,3.752525e-04,3.699786e-04,3.683001e-04,3.647487e-04,3.595663e-04,3.580213e-04,3.544347e-04,3.493568e-04,3.479449e-04,3.443352e-04,3.393722e-04,3.380917e-04,3.344700e-04,3.296303e-04,3.284783e-04,3.248549e-04,3.201452e-04,3.191180e-04,3.155023e-04,3.109273e-04,3.100206e-04,3.064212e-04,3.019846e-04,3.011935e-04,2.976182e-04,2.933224e-04,2.926417e-04,2.890975e-04,2.849439e-04,2.843680e-04,2.808614e-04,2.768503e-04,2.763738e-04,2.729104e-04,2.690416e-04,2.686586e-04,2.652436e-04,2.615161e-04,2.612209e-04,2.578588e-04,2.542712e-04,2.540582e-04,2.507529e-04,2.473033e-04,2.471667e-04,2.439218e-04,2.406079e-04,2.405423e-04,2.373609e-04,2.341800e-04,2.280744e-04,2.222196e-04,2.166094e-04,2.112375e-04,2.060972e-04,2.011818e-04,1.964845e-04,1.919983e-04,1.877166e-04,1.836324e-04,1.797391e-04,1.760299e-04,1.724982e-04,1.691377e-04,1.659419e-04,1.629047e-04,1.600200e-04,1.572819e-04,1.546847e-04,1.522228e-04,1.498907e-04,1.476832e-04,1.455951e-04,1.436215e-04,1.417577e-04,1.399990e-04,1.383409e-04,1.367791e-04,1.353094e-04,1.339278e-04,1.326304e-04,1.314135e-04,1.302734e-04,1.292068e-04,1.282101e-04,1.272803e-04,1.264142e-04,1.256088e-04,1.248612e-04,1.241688e-04,1.235288e-04,1.229387e-04,1.223961e-04,1.218985e-04,1.214438e-04,1.210298e-04,1.206543e-04,1.203155e-04,1.200112e-04
0.000000e+00,3.123408e-09,6.312040e-08,6.623774e-08,4.491300e-07,1.358536e-06,1.405188e-06,2.622144e-06,3.721095e-06,3.788133e-06,4.847357e-06,5.727684e-06,5.800155e-06,6.653826e-06,7.343862e-06,7.416210e-06,8.094788e-06,8.628187e-06,8.696566e-06,9.228067e-06,9.633581e-06,9.695349e-06,1.010402e-05,1.040580e-05,1.045925e-05,1.076581e-05,1.098397e-05,1.102810e-05,1.125013e-05,1.140125e-05,1.143558e-05,1.158785e-05,1.168557e-05,1.171001e-05,1.180490e-05,1.186039e-05,1.187513e-05,1.192305e-05,1.194545e-05,1.195085e-05,1.196051e-05,1.195725e-05,1.195383e-05,1.193247e-05,1.190961e-05,1.189795e-05,1.185164e-05,1.181406e-05,1.179479e-05,1.172856e-05,1.168022e-05,1.165399e-05,1.157204e-05,1.151611e-05,1.148356e-05,1.138936e-05,1.132839e-05,1.129015e-05,1.118658e-05,1.112260e-05,1.107925e-05,1.096871e-05,1.090332e-05,1.085544e-05,1.073989e-05,1.067433e-05,1.062246e-05,1.050352e-05,1.043878e-05,1.038340e-05,1.026241e-05,1.019924e-05,1.014081e-05,1.001885e-05,9.957801e-06,9.896745e-06,9.774701e-06,9.716194e-06,9.652895e-06,9.531487e-06,9.475813e-06,9.410621e-06,9.290427e-06,9.237784e-06,9.171018e-06,9.052497e-06,9.003005e-06,8.934955e-06,8.818472e-06,8.772192e-06,8.703119e-06,8.588957e-06,8.545900e-06,8.476041e-06,8.364417e-06,8.324557e-06,8.254126e-06,8.145201e-06,8.108483e-06,8.037672e-06,7.931563e-06,7.897911e-06,7.826892e-06,7.723677e-06,7.692998e-06,7.621928e-06,7.521654e-06,7.493842e-06,7.422860e-06,7.325550e-06,7.300493e-06,7.229724e-06,7.135380e-06,7.112958e-06,7.042514e-06,6.951122e-06,6.931212e-06,6.861195e-06,6.772726e-06,6.755206e-06,6.685704e-06,6.600119e-06,6.584865e-06,6.515959e-06,6.433211e-06,6.420102e-06,6.351863e-06,6.271898e-06,6.260813e-06,6.193304e-06,6.116064e-06,6.106885e-06,6.040163e-06,5.965584e-06,5.958199e-06,5.892312e-06,5.820330e-06,5.814626e-06,5.749620e-06,5.680167e-06,5.676039e-06,5.611952e-06,5.544958e-06,5.542303e-06,5.479168e-06,5.414566e-06,5.413285e-06,5.351132e-06,5.288851e-06,5.168866e-06,5.053197e-06,4.941713e-06,4.834285e-06,4.730784e-06,4.631087e-06,4.535070e-06,4.442614e-06,4.353604e-06,4.267925e-06,4.185467e-06,4.106123e-06,4.029787e-06,3.956360e-06,3.885742e-06,3.817838e-06,3.752555e-06,3.689804e-06,3.629498e-06,3.571552e-06,3.515885e-06,3.462417e-06,3.411074e-06,3.361779e-06,3.314463e-06,3.269055e-06,3.225489e-06,3.183699e-06,3.143623e-06,3.105200e-06,3.068372e-06,3.033082e-06,2.999275e-06,2.966897e-06,2.935899e-06,2.906229e-06,2.877840e-06,2.850685e-06,2.824721e-06,2.799903e-06,2.776189e-06,2.753539e-06,2.731915e-06,2.711277e-06,2.691591e-06,2.672819e-06,2.654928e-06,2.637886e-06,2.621659e-06
0.000000e+00,5.394343e-10,7.722264e-09,8.065099e-09,4.843113e-08,1.558260e-07,1.620699e-07,3.542562e-07,5.648424e-07,5.783903e-07,7.995729e-07,9.918514e-07,1.007998e-06,1.201975e-06,1.364306e-06,1.381644e-06,1.547562e-06,1.682709e-06,1.700376e-06,1.840750e-06,1.952024e-06,1.969342e-06,2.086804e-06,2.177338e-06,2.193774e-06,2.290868e-06,2.363533e-06,2.378680e-06,2.457779e-06,2.515153e-06,2.528711e-06,2.591996e-06,2.636368e-06,2.648127e-06,2.697572e-06,2.730951e-06,2.740772e-06,2.778146e-06,2.802284e-06,2.810087e-06,2.836967e-06,2.853383e-06,2.859134e-06,2.876920e-06,2.886928e-06,2.890632e-06,2.900563e-06,2.905296e-06,2.906986e-06,2.910158e-06,2.910589e-06,2.910321e-06,2.907702e-06,2.904665e-06,2.902514e-06,2.894957e-06,2.889164e-06,2.885217e-06,2.873471e-06,2.865530e-06,2.859884e-06,2.844610e-06,2.835035e-06,2.827794e-06,2.809570e-06,2.798798e-06,2.790066e-06,2.769401e-06,2.757798e-06,2.747684e-06,2.725022e-06,2.712895e-06,2.701509e-06,2.677237e-06,2.664843e-06,2.652291e-06,2.626749e-06,2.614299e-06,2.600685e-06,2.574168e-06,2.561836e-06,2.547262e-06,2.520027e-06,2.507953e-06,2.492517e-06,2.464786e-06,2.453084e-06,2.436880e-06,2.408845e-06,2.397603e-06,2.380721e-06,2.352547e-06,2.341835e-06,2.324359e-06,2.296189e-06,2.286058e-06,2.268068e-06,2.240024e-06,2.230512e-06,2.212083e-06,2.184269e-06,2.175399e-06,2.156603e-06,2.129106e-06,2.120892e-06,2.101795e-06,2.074689e-06,2.067138e-06,2.047802e-06,2.021148e-06,2.014258e-06,1.994740e-06,1.968590e-06,1.962353e-06,1.942707e-06,1.917101e-06,1.911506e-06,1.891781e-06,1.866754e-06,1.861784e-06,1.842025e-06,1.817602e-06,1.813238e-06,1.793489e-06,1.769689e-06,1.765911e-06,1.746208e-06,1.723048e-06,1.719831e-06,1.700210e-06,1.677698e-06,1.675019e-06,1.655513e-06,1.633655e-06,1.631488e-06,1.612126e-06,1.590925e-06,1.589243e-06,1.570052e-06,1.549507e-06,1.548285e-06,1.529289e-06,1.509397e-06,1.508608e-06,1.489829e-06,1.470584e-06,1.470203e-06,1.451661e-06,1.433056e-06,1.397151e-06,1.362470e-06,1.328990e-06,1.296690e-06,1.265545e-06,1.235530e-06,1.206617e-06,1.178781e-06,1.151994e-06,1.126228e-06,1.101456e-06,1.077650e-06,1.054781e-06,1.032823e-06,1.011748e-06,9.915297e-07,9.721410e-07,9.535561e-07,9.357492e-07,9.186952e-07,9.023696e-07,8.867483e-07,8.718078e-07,8.575251e-07,8.438780e-07,8.308446e-07,8.184037e-07,8.065347e-07,7.952175e-07,7.844325e-07,7.741608e-07,7.643841e-07,7.550843e-07,7.462442e-07,7.378471e-07,7.298764e-07,7.223165e-07,7.151520e-07,7.083681e-07,7.019502e-07,6.958846e-07,6.901576e-07,6.847562e-07,6.796677e-07,6.748799e-07,6.703808e-07,6.661590e-07,6.622033e-07,6.585029e-07
0.000000e+00,5.850009e-10,4.554968e-08,4.856437e-08,6.645872e-07,4.049637e-06,4.320127e-06,1.743840e-05,4.693815e-05,4.956414e-05,1.078914e-04,1.842759e-04,1.917656e-04,2.931113e-04,3.906661e-04,4.015681e-04,5.087938e-04,5.980559e-04,6.097407e-04,7.020461e-04,7.739518e-04,7.850029e-04,8.587570e-04,9.139756e-04,9.238304e-04,9.808787e-04,1.022146e-03,1.030580e-03,1.073588e-03,1.103589e-03,1.110516e-03,1.141930e-03,1.162942e-03,1.168350e-03,1.190254e-03,1.204149e-03,1.208076e-03,1.222215e-03,1.230521e-03,1.233033e-03,1.240861e-03,1.244816e-03,1.246000e-03,1.248725e-03,1.249329e-03,1.249283e-03,1.247904e-03,1.245965e-03,1.244793e-03,1.240139e-03,1.236304e-03,1.234111e-03,1.226865e-03,1.221654e-03,1.218542e-03,1.209269e-03,1.203095e-03,1.199163e-03,1.188329e-03,1.181520e-03,1.176863e-03,1.164850e-03,1.157664e-03,1.152370e-03,1.139493e-03,1.132133e-03,1.126284e-03,1.112799e-03,1.105422e-03,1.099093e-03,1.085211e-03,1.077938e-03,1.071197e-03,1.057089e-03,1.050011e-03,1.042921e-03,1.028726e-03,1.021910e-03,1.014529e-03,1.000357e-03,9.938523e-04,9.862316e-04,9.721728e-04,9.660126e-04,9.581982e-04,9.443237e-04,9.385297e-04,9.305632e-04,9.169290e-04,9.115131e-04,9.034319e-04,8.900814e-04,8.850484e-04,8.768857e-04,8.638520e-04,8.592008e-04,8.509865e-04,8.382943e-04,8.340193e-04,8.257799e-04,8.134469e-04,8.095392e-04,8.012983e-04,7.893365e-04,7.857847e-04,7.775633e-04,7.659801e-04,7.627710e-04,7.545877e-04,7.433867e-04,7.405058e-04,7.323771e-04,7.215588e-04,7.189908e-04,7.109312e-04,7.004936e-04,6.982228e-04,6.902451e-04,6.801844e-04,6.781947e-04,6.703101e-04,6.606208e-04,6.588963e-04,6.511148e-04,6.417901e-04,6.403149e-04,6.326451e-04,6.236775e-04,6.224361e-04,6.148854e-04,6.062666e-04,6.052439e-04,5.978188e-04,5.895398e-04,5.887211e-04,5.814273e-04,5.734788e-04,5.728500e-04,5.656922e-04,5.580648e-04,5.576122e-04,5.505944e-04,5.432785e-04,5.429890e-04,5.361147e-04,5.291005e-04,5.289617e-04,5.222336e-04,5.155115e-04,5.026195e-04,4.902674e-04,4.784368e-04,4.671098e-04,4.562688e-04,4.458966e-04,4.359765e-04,4.264921e-04,4.174274e-04,4.087671e-04,4.004962e-04,3.926000e-04,3.850646e-04,3.778763e-04,3.710218e-04,3.644884e-04,3.582637e-04,3.523358e-04,3.466932e-04,3.413247e-04,3.362195e-04,3.313673e-04,3.267580e-04,3.223819e-04,3.182298e-04,3.142926e-04,3.105615e-04,3.070283e-04,3.036847e-04,3.005231e-04,2.975359e-04,2.947158e-04,2.920559e-04,2.895494e-04,2.871897e-04,2.849707e-04,2.828862e-04,2.809305e-04,2.790980e-04,2.773832e-04,2.757809e-04,2.742862e-04,2.728941e-04,2.716000e-04,2.703995e-04,2.692881e-04,2.682619e-04,2.673166e-04,2.664486e-04
0.000000e+00,1.495907e-10,1.432079e-08,1.532554e-08,2.514368e-07,1.846157e-06,1.985471e-06,9.823375e-06,3.163509e-05,3.376430e-05,8.654802e-05,1.679393e-04,1.765568e-04,3.033129e-04,4.421014e-04,4.585786e-04,6.303178e-04,7.854200e-04,8.064290e-04,9.769785e-04,1.113807e-03,1.134993e-03,1.276326e-03,1.380730e-03,1.399101e-03,1.503059e-03,1.574790e-03,1.588982e-03,1.658246e-03,1.702776e-03,1.712513e-03,1.753519e-03,1.777392e-03,1.782958e-03,1.802408e-03,1.811398e-03,1.813304e-03,1.816926e-03,1.815591e-03,1.814401e-03,1.806713e-03,1.798466e-03,1.794718e-03,1.779151e-03,1.766474e-03,1.760649e-03,1.739756e-03,1.724424e-03,1.716939e-03,1.692596e-03,1.675861e-03,1.667066e-03,1.640640e-03,1.623372e-03,1.613563e-03,1.586042e-03,1.568835e-03,1.558254e-03,1.530346e-03,1.513597e-03,1.502443e-03,1.474650e-03,1.458615e-03,1.447054e-03,1.419726e-03,1.404562e-03,1.392726e-03,1.366103e-03,1.351897e-03,1.339896e-03,1.314137e-03,1.300927e-03,1.288849e-03,1.264053e-03,1.251844e-03,1.239762e-03,1.215987e-03,1.204760e-03,1.192733e-03,1.170005e-03,1.159726e-03,1.147802e-03,1.126125e-03,1.116753e-03,1.104971e-03,1.084335e-03,1.075820e-03,1.064211e-03,1.044593e-03,1.036886e-03,1.025475e-03,1.006847e-03,9.998957e-04,9.887022e-04,9.710310e-04,9.647836e-04,9.538245e-04,9.370733e-04,9.314799e-04,9.207679e-04,9.048988e-04,8.999112e-04,8.894563e-04,8.744307e-04,8.700029e-04,8.598124e-04,8.455919e-04,8.416801e-04,8.317597e-04,8.183063e-04,8.148694e-04,8.052226e-04,7.924995e-04,7.894986e-04,7.801279e-04,7.680991e-04,7.654979e-04,7.564043e-04,7.450352e-04,7.427997e-04,7.339834e-04,7.232406e-04,7.213392e-04,7.127990e-04,7.026508e-04,7.010538e-04,6.927882e-04,6.832039e-04,6.818839e-04,6.738905e-04,6.648410e-04,6.637725e-04,6.560484e-04,6.475059e-04,6.466651e-04,6.392068e-04,6.311448e-04,6.305099e-04,6.233135e-04,6.157068e-04,6.152574e-04,6.083187e-04,6.011434e-04,6.008607e-04,5.941751e-04,5.874084e-04,5.872750e-04,5.808377e-04,5.744579e-04,5.623689e-04,5.509697e-04,5.402238e-04,5.300967e-04,5.205555e-04,5.115691e-04,5.031078e-04,4.951436e-04,4.876499e-04,4.806014e-04,4.739742e-04,4.677454e-04,4.618937e-04,4.563984e-04,4.512404e-04,4.464010e-04,4.418630e-04,4.376098e-04,4.336258e-04,4.298960e-04,4.264065e-04,4.231439e-04,4.200955e-04,4.172493e-04,4.145941e-04,4.121189e-04,4.098138e-04,4.076689e-04,4.056752e-04,4.038240e-04,4.021070e-04,4.005166e-04,3.990453e-04,3.976861e-04,3.964326e-04,3.952783e-04,3.942175e-04,3.932446e-04,3.923542e-04,3.915413e-04,3.908012e-04,3.901294e-04,3.895217e-04,3.889741e-04,3.884828e-04,3.880442e-04,3.876550e-04,3.873119e-04,3.870119e-04
0.000000e+00,1.298630e-10,1.135257e-08,1.212262e-08,1.769634e-07,1.170435e-06,1.253935e-06,5.732803e-06,1.767537e-05,1.883030e-05,4.739304e-05,9.154068e-05,9.621997e-05,1.649126e-04,2.393374e-04,2.480915e-04,3.380203e-04,4.168031e-04,4.272715e-04,5.102389e-04,5.739068e-04,5.835065e-04,6.455521e-04,6.888509e-04,6.962123e-04,7.361606e-04,7.616944e-04,7.665032e-04,7.885064e-04,8.009553e-04,8.034321e-04,8.124494e-04,8.160537e-04,8.165957e-04,8.167671e-04,8.147112e-04,8.137234e-04,8.081018e-04,8.025974e-04,8.004322e-04,7.911532e-04,7.836808e-04,7.806253e-04,7.691446e-04,7.606727e-04,7.569532e-04,7.442479e-04,7.353979e-04,7.311890e-04,7.179061e-04,7.090686e-04,7.045042e-04,6.910682e-04,6.824832e-04,6.776661e-04,6.643529e-04,6.561629e-04,6.511723e-04,6.381594e-04,6.304442e-04,6.253425e-04,6.127438e-04,6.055433e-04,6.003799e-04,5.882631e-04,5.815888e-04,5.764016e-04,5.648007e-04,5.586455e-04,5.534630e-04,5.423896e-04,5.367357e-04,5.315798e-04,5.210320e-04,5.158555e-04,5.107434e-04,5.007107e-04,4.959848e-04,4.909301e-04,4.813972e-04,4.770940e-04,4.721075e-04,4.630565e-04,4.591484e-04,4.542393e-04,4.456508e-04,4.421107e-04,4.372861e-04,4.291400e-04,4.259416e-04,4.212075e-04,4.134836e-04,4.106022e-04,4.059634e-04,3.986419e-04,3.960539e-04,3.915142e-04,3.845756e-04,3.822587e-04,3.778212e-04,3.712466e-04,3.691799e-04,3.648471e-04,3.586183e-04,3.567824e-04,3.525560e-04,3.466557e-04,3.450321e-04,3.409134e-04,3.353250e-04,3.338967e-04,3.298865e-04,3.245941e-04,3.233452e-04,3.194440e-04,3.144324e-04,3.133480e-04,3.095557e-04,3.048106e-04,3.038770e-04,3.001934e-04,2.957010e-04,2.949053e-04,2.913299e-04,2.870771e-04,2.864075e-04,2.829395e-04,2.789140e-04,2.783592e-04,2.749977e-04,2.711876e-04,2.707375e-04,2.674812e-04,2.638755e-04,2.635203e-04,2.603679e-04,2.569560e-04,2.566871e-04,2.536370e-04,2.504087e-04,2.502178e-04,2.472685e-04,2.442143e-04,2.440938e-04,2.412436e-04,2.383543e-04,2.382973e-04,2.355442e-04,2.328113e-04,2.276198e-04,2.227074e-04,2.180598e-04,2.136631e-04,2.095045e-04,2.055713e-04,2.018521e-04,1.983355e-04,1.950111e-04,1.918688e-04,1.888991e-04,1.860930e-04,1.834419e-04,1.809377e-04,1.785727e-04,1.763396e-04,1.742315e-04,1.722418e-04,1.703643e-04,1.685930e-04,1.669224e-04,1.653471e-04,1.638622e-04,1.624628e-04,1.611444e-04,1.599027e-04,1.587337e-04,1.576334e-04,1.565982e-04,1.556247e-04,1.547095e-04,1.538495e-04,1.530418e-04,1.522835e-04,1.515721e-04,1.509049e-04,1.502796e-04,1.496940e-04,1.491458e-04,1.486330e-04,1.481538e-04,1.477062e-04,1.472886e-04,1.468993e-04,1.465367e-04,1.461995e-04,1.458860e-04,1.455952e-04,1.453256e-04
0.000000e+00,6.834924e-10,1.032444e-08,1.078950e-08,6.551210e-08,2.085420e-07,2.167496e-07,4.650921e-07,7.337251e-07,7.510731e-07,1.037330e-06,1.292337e-06,1.314060e-06,1.579217e-06,1.807666e-06,1.832453e-06,2.073826e-06,2.276563e-06,2.303516e-06,2.521759e-06,2.700497e-06,2.728824e-06,2.925007e-06,3.081620e-06,3.110622e-06,3.285996e-06,3.422394e-06,3.451462e-06,3.607356e-06,3.725406e-06,3.754015e-06,3.891771e-06,3.993251e-06,4.020951e-06,4.141877e-06,4.228455e-06,4.254864e-06,4.360218e-06,4.433442e-06,4.458238e-06,4.549214e-06,4.610515e-06,4.633430e-06,4.711159e-06,4.761853e-06,4.782668e-06,4.848212e-06,4.889504e-06,4.908043e-06,4.962401e-06,4.995393e-06,5.011520e-06,5.055625e-06,5.081323e-06,5.094935e-06,5.129661e-06,5.148978e-06,5.160006e-06,5.186167e-06,5.199934e-06,5.208333e-06,5.226689e-06,5.235659e-06,5.241410e-06,5.252667e-06,5.257519e-06,5.260624e-06,5.265440e-06,5.266789e-06,5.267267e-06,5.266253e-06,5.264650e-06,5.262539e-06,5.256261e-06,5.252201e-06,5.247550e-06,5.236534e-06,5.230463e-06,5.223333e-06,5.208066e-06,5.200380e-06,5.190843e-06,5.171775e-06,5.162827e-06,5.150964e-06,5.128511e-06,5.118614e-06,5.104512e-06,5.079059e-06,5.068491e-06,5.052241e-06,5.024143e-06,5.013148e-06,4.994848e-06,4.964433e-06,4.953225e-06,4.932974e-06,4.900544e-06,4.889309e-06,4.867211e-06,4.833042e-06,4.821942e-06,4.798101e-06,4.762449e-06,4.751623e-06,4.726143e-06,4.689242e-06,4.678810e-06,4.651797e-06,4.613860e-06,4.603922e-06,4.575481e-06,4.536706e-06,4.527346e-06,4.497580e-06,4.458147e-06,4.449435e-06,4.418447e-06,4.378519e-06,4.370509e-06,4.338401e-06,4.298128e-06,4.290865e-06,4.257734e-06,4.217252e-06,4.210768e-06,4.176712e-06,4.136145e-06,4.130465e-06,4.095577e-06,4.055036e-06,4.050175e-06,4.014548e-06,3.974135e-06,3.970099e-06,3.933821e-06,3.893628e-06,3.890418e-06,3.853576e-06,3.813684e-06,3.811296e-06,3.773971e-06,3.734454e-06,3.732878e-06,3.695150e-06,3.656074e-06,3.655295e-06,3.617242e-06,3.578665e-06,3.503092e-06,3.428668e-06,3.355472e-06,3.283577e-06,3.213042e-06,3.143921e-06,3.076257e-06,3.010088e-06,2.945444e-06,2.882351e-06,2.820825e-06,2.760882e-06,2.702530e-06,2.645773e-06,2.590613e-06,2.537047e-06,2.485068e-06,2.434670e-06,2.385839e-06,2.338563e-06,2.292826e-06,2.248610e-06,2.205896e-06,2.164663e-06,2.124890e-06,2.086554e-06,2.049629e-06,2.014092e-06,1.979917e-06,1.947077e-06,1.915546e-06,1.885296e-06,1.856300e-06,1.828530e-06,1.801958e-06,1.776555e-06,1.752294e-06,1.729146e-06,1.707083e-06,1.686077e-06,1.666099e-06,1.647122e-06,1.629118e-06,1.612060e-06,1.595920e-06,1.580671e-06,1.566287e-06,1.552740e-06,1.540006e-06
0.000000e+00,9.279628e-09,1.792289e-07,1.881852e-07,1.475391e-06,5.882552e-06,6.163583e-06,1.540493e-05,2.585595e-05,2.652343e-05,3.727525e-05,4.637892e-05,4.713256e-05,5.604909e-05,6.330570e-05,6.406903e-05,7.125233e-05,7.692939e-05,7.765913e-05,8.334675e-05,8.770426e-05,8.836933e-05,9.277786e-05,9.604170e-05,9.662036e-05,9.994187e-05,1.023065e-04,1.027846e-04,1.051882e-04,1.068196e-04,1.071893e-04,1.088224e-04,1.098614e-04,1.101194e-04,1.111099e-04,1.116746e-04,1.118213e-04,1.122790e-04,1.124684e-04,1.125067e-04,1.125260e-04,1.124222e-04,1.123570e-04,1.120182e-04,1.116893e-04,1.115268e-04,1.108985e-04,1.104005e-04,1.101478e-04,1.092881e-04,1.086669e-04,1.083315e-04,1.072896e-04,1.065827e-04,1.061725e-04,1.049899e-04,1.042275e-04,1.037504e-04,1.024621e-04,1.016687e-04,1.011322e-04,9.976755e-05,9.896253e-05,9.837419e-05,9.695771e-05,9.615630e-05,9.552320e-05,9.407530e-05,9.328937e-05,9.261822e-05,9.115578e-05,9.039436e-05,8.969145e-05,8.822836e-05,8.749818e-05,8.676934e-05,8.531694e-05,8.462281e-05,8.387344e-05,8.244089e-05,8.178611e-05,8.102113e-05,7.961577e-05,7.900236e-05,7.822627e-05,7.685389e-05,7.628287e-05,7.549974e-05,7.416481e-05,7.363641e-05,7.284993e-05,7.155581e-05,7.106962e-05,7.028308e-05,6.903223e-05,6.858736e-05,6.780368e-05,6.659777e-05,6.619296e-05,6.541475e-05,6.425481e-05,6.388852e-05,6.311807e-05,6.200460e-05,6.167510e-05,6.091441e-05,5.984747e-05,5.955288e-05,5.880370e-05,5.778299e-05,5.752137e-05,5.678520e-05,5.581014e-05,5.557948e-05,5.485760e-05,5.392737e-05,5.372569e-05,5.301918e-05,5.213277e-05,5.195807e-05,5.126784e-05,5.042411e-05,5.027446e-05,4.960125e-05,4.879893e-05,4.867245e-05,4.801684e-05,4.725462e-05,4.714947e-05,4.651193e-05,4.578842e-05,4.570287e-05,4.508373e-05,4.439750e-05,4.432988e-05,4.372938e-05,4.307900e-05,4.302773e-05,4.244600e-05,4.183003e-05,4.179360e-05,4.123071e-05,4.064771e-05,4.062472e-05,4.008065e-05,3.952919e-05,3.951832e-05,3.899299e-05,3.847169e-05,3.748216e-05,3.654713e-05,3.566409e-05,3.483057e-05,3.404421e-05,3.330272e-05,3.260389e-05,3.194561e-05,3.132584e-05,3.074263e-05,3.019412e-05,2.967851e-05,2.919410e-05,2.873925e-05,2.831242e-05,2.791211e-05,2.753691e-05,2.718548e-05,2.685653e-05,2.654885e-05,2.626127e-05,2.599269e-05,2.574208e-05,2.550842e-05,2.529079e-05,2.508827e-05,2.490002e-05,2.472524e-05,2.456315e-05,2.441303e-05,2.427419e-05,2.414598e-05,2.402778e-05,2.391899e-05,2.381908e-05,2.372750e-05,2.364377e-05,2.356740e-05,2.349796e-05,2.343503e-05,2.337821e-05,2.332710e-05,2.328137e-05,2.324066e-05,2.320466e-05,2.317306e-05,2.314558e-05,2.312195e-05,2.310190e-05
0.000000e+00,4.818378e-09,7.405628e-08,7.749426e-08,5.229569e-07,1.874473e-06,1.957143e-06,4.611391e-06,7.633614e-06,7.829846e-06,1.105349e-05,1.388360e-05,1.412244e-05,1.700700e-05,1.944432e-05,1.970600e-05,2.222476e-05,2.429762e-05,2.457016e-05,2.674955e-05,2.849673e-05,2.877037e-05,3.064002e-05,3.209903e-05,3.236577e-05,3.395475e-05,3.516051e-05,3.541387e-05,3.674982e-05,3.773424e-05,3.796905e-05,3.907775e-05,3.986965e-05,4.008188e-05,4.098713e-05,4.161234e-05,4.179894e-05,4.252251e-05,4.300408e-05,4.316281e-05,4.372459e-05,4.408299e-05,4.421235e-05,4.463041e-05,4.488379e-05,4.498288e-05,4.527365e-05,4.543805e-05,4.550646e-05,4.568483e-05,4.577439e-05,4.581215e-05,4.589162e-05,4.591878e-05,4.592628e-05,4.591902e-05,4.589468e-05,4.587260e-05,4.578963e-05,4.572334e-05,4.567259e-05,4.552384e-05,4.542392e-05,4.534561e-05,4.514001e-05,4.501368e-05,4.490907e-05,4.465468e-05,4.450820e-05,4.437865e-05,4.408270e-05,4.392147e-05,4.376843e-05,4.343739e-05,4.326604e-05,4.309103e-05,4.273071e-05,4.255319e-05,4.235774e-05,4.197335e-05,4.179301e-05,4.157868e-05,4.117483e-05,4.099450e-05,4.076284e-05,4.034367e-05,4.016570e-05,3.991825e-05,3.948744e-05,3.931378e-05,3.905205e-05,3.861284e-05,3.844510e-05,3.817055e-05,3.772583e-05,3.756527e-05,3.727934e-05,3.683165e-05,3.667927e-05,3.638334e-05,3.593493e-05,3.579149e-05,3.548689e-05,3.503969e-05,3.490576e-05,3.459376e-05,3.414950e-05,3.402545e-05,3.370726e-05,3.326740e-05,3.315347e-05,3.283024e-05,3.239608e-05,3.229235e-05,3.196518e-05,3.153780e-05,3.144427e-05,3.111417e-05,3.069451e-05,3.061108e-05,3.027902e-05,2.986787e-05,2.979434e-05,2.946123e-05,2.905924e-05,2.899537e-05,2.866205e-05,2.826977e-05,2.821525e-05,2.788251e-05,2.750036e-05,2.745485e-05,2.712342e-05,2.675175e-05,2.671488e-05,2.638542e-05,2.602449e-05,2.599585e-05,2.566900e-05,2.531898e-05,2.529816e-05,2.497448e-05,2.463550e-05,2.462206e-05,2.430207e-05,2.397419e-05,2.396769e-05,2.365187e-05,2.333510e-05,2.272425e-05,2.213500e-05,2.156718e-05,2.102053e-05,2.049477e-05,1.998954e-05,1.950447e-05,1.903916e-05,1.859318e-05,1.816607e-05,1.775736e-05,1.736658e-05,1.699322e-05,1.663680e-05,1.629680e-05,1.597274e-05,1.566409e-05,1.537037e-05,1.509108e-05,1.482572e-05,1.457380e-05,1.433485e-05,1.410840e-05,1.389398e-05,1.369114e-05,1.349944e-05,1.331844e-05,1.314772e-05,1.298687e-05,1.283549e-05,1.269319e-05,1.255958e-05,1.243431e-05,1.231701e-05,1.220733e-05,1.210495e-05,1.200954e-05,1.192079e-05,1.183839e-05,1.176205e-05,1.169148e-05,1.162642e-05,1.156661e-05,1.151179e-05,1.146171e-05,1.141614e-05,1.137486e-05,1.133764e-05,1.130429e-05
0.000000e+00,4.504693e-10,7.348818e-09,7.699097e-09,5.324048e-08,1.842202e-07,1.918171e-07,4.151247e-07,6.438042e-07,6.582739e-07,8.932682e-07,1.097325e-06,1.114488e-06,1.321217e-06,1.495125e-06,1.513755e-06,1.692626e-06,1.839183e-06,1.858404e-06,2.011674e-06,2.133927e-06,2.153020e-06,2.283021e-06,2.383873e-06,2.402249e-06,2.511266e-06,2.593424e-06,2.610618e-06,2.700834e-06,2.766772e-06,2.782423e-06,2.855878e-06,2.907830e-06,2.921670e-06,2.980250e-06,3.020215e-06,3.032051e-06,3.077478e-06,3.107213e-06,3.116910e-06,3.150712e-06,3.171760e-06,3.179233e-06,3.202811e-06,3.216559e-06,3.221786e-06,3.236457e-06,3.244120e-06,3.247107e-06,3.254008e-06,3.256632e-06,3.257412e-06,3.257561e-06,3.256053e-06,3.254681e-06,3.248989e-06,3.244138e-06,3.240688e-06,3.229971e-06,3.222457e-06,3.217019e-06,3.202003e-06,3.192412e-06,3.185085e-06,3.166419e-06,3.155256e-06,3.146147e-06,3.124407e-06,3.112101e-06,3.101325e-06,3.077022e-06,3.063940e-06,3.051611e-06,3.025200e-06,3.011651e-06,2.997889e-06,2.969771e-06,2.956015e-06,2.940936e-06,2.911467e-06,2.897720e-06,2.881442e-06,2.850934e-06,2.837376e-06,2.820013e-06,2.788741e-06,2.775518e-06,2.757181e-06,2.725387e-06,2.712616e-06,2.693413e-06,2.661308e-06,2.649084e-06,2.629118e-06,2.596886e-06,2.585279e-06,2.564651e-06,2.532450e-06,2.521516e-06,2.500319e-06,2.468288e-06,2.458064e-06,2.436388e-06,2.404645e-06,2.395157e-06,2.373086e-06,2.341734e-06,2.332995e-06,2.310609e-06,2.279733e-06,2.271747e-06,2.249122e-06,2.218793e-06,2.211558e-06,2.188762e-06,2.159041e-06,2.152546e-06,2.129645e-06,2.100583e-06,2.094811e-06,2.071865e-06,2.043501e-06,2.038434e-06,2.015499e-06,1.987864e-06,1.983478e-06,1.960605e-06,1.933725e-06,1.929992e-06,1.907229e-06,1.881121e-06,1.878015e-06,1.855405e-06,1.830081e-06,1.827570e-06,1.805153e-06,1.780621e-06,1.778675e-06,1.756486e-06,1.732748e-06,1.731336e-06,1.709407e-06,1.686463e-06,1.685554e-06,1.663914e-06,1.641759e-06,1.641320e-06,1.619997e-06,1.598624e-06,1.557449e-06,1.517772e-06,1.479570e-06,1.442815e-06,1.407478e-06,1.373527e-06,1.340928e-06,1.309647e-06,1.279649e-06,1.250897e-06,1.223356e-06,1.196987e-06,1.171756e-06,1.147624e-06,1.124557e-06,1.102517e-06,1.081470e-06,1.061381e-06,1.042214e-06,1.023937e-06,1.006517e-06,9.899211e-07,9.741182e-07,9.590779e-07,9.447703e-07,9.311666e-07,9.182388e-07,9.059596e-07,8.943026e-07,8.832424e-07,8.727543e-07,8.628144e-07,8.533996e-07,8.444878e-07,8.360573e-07,8.280876e-07,8.205586e-07,8.134510e-07,8.067465e-07,8.004270e-07,7.944755e-07,7.888755e-07,7.836110e-07,7.786668e-07,7.740283e-07,7.696813e-07,7.656123e-07,7.618084e-07,7.582570e-07
0.000000e+00,3.292428e-10,2.863909e-08,3.060343e-08,4.613332e-07,2.988400e-06,3.194572e-06,1.347934e-05,3.754690e-05,3.972781e-05,8.921441e-05,1.561988e-04,1.628735e-04,2.548185e-04,3.459294e-04,3.562584e-04,4.593169e-04,5.470106e-04,5.586090e-04,6.511380e-04,7.242700e-04,7.355872e-04,8.116328e-04,8.691513e-04,8.794699e-04,9.395331e-04,9.833527e-04,9.923495e-04,1.038468e-03,1.070901e-03,1.078425e-03,1.112732e-03,1.135880e-03,1.141870e-03,1.166288e-03,1.181945e-03,1.186401e-03,1.202596e-03,1.212268e-03,1.215229e-03,1.224629e-03,1.229566e-03,1.231098e-03,1.234917e-03,1.236151e-03,1.236341e-03,1.235606e-03,1.233984e-03,1.232927e-03,1.228505e-03,1.224719e-03,1.222519e-03,1.215138e-03,1.209754e-03,1.206516e-03,1.196791e-03,1.190266e-03,1.186094e-03,1.174541e-03,1.167244e-03,1.162240e-03,1.149290e-03,1.141516e-03,1.135779e-03,1.121789e-03,1.113773e-03,1.107394e-03,1.092662e-03,1.084589e-03,1.077655e-03,1.062428e-03,1.054440e-03,1.047032e-03,1.031514e-03,1.023721e-03,1.015914e-03,1.000271e-03,9.927567e-04,9.846182e-04,9.689868e-04,9.618112e-04,9.534041e-04,9.378948e-04,9.310998e-04,9.224812e-04,9.071830e-04,9.007965e-04,8.920178e-04,8.770011e-04,8.710392e-04,8.621468e-04,8.474669e-04,8.419365e-04,8.329720e-04,8.186713e-04,8.135721e-04,8.045727e-04,7.906830e-04,7.860091e-04,7.770079e-04,7.635521e-04,7.592932e-04,7.503195e-04,7.373130e-04,7.334556e-04,7.245352e-04,7.119876e-04,7.085157e-04,6.996715e-04,6.875873e-04,6.844834e-04,6.757352e-04,6.641149e-04,6.613604e-04,6.527254e-04,6.415659e-04,6.391415e-04,6.306347e-04,6.199303e-04,6.178164e-04,6.094506e-04,5.991935e-04,5.973707e-04,5.891567e-04,5.793375e-04,5.777864e-04,5.697333e-04,5.603413e-04,5.590432e-04,5.511586e-04,5.421820e-04,5.411185e-04,5.334085e-04,5.248349e-04,5.239884e-04,5.164580e-04,5.082744e-04,5.076280e-04,5.002809e-04,4.924742e-04,4.920116e-04,4.848508e-04,4.774074e-04,4.771133e-04,4.701406e-04,4.630471e-04,4.629070e-04,4.561236e-04,4.493666e-04,4.364663e-04,4.241808e-04,4.124851e-04,4.013547e-04,3.907660e-04,3.806959e-04,3.711218e-04,3.620223e-04,3.533762e-04,3.451635e-04,3.373646e-04,3.299608e-04,3.229342e-04,3.162674e-04,3.099439e-04,3.039478e-04,2.982639e-04,2.928775e-04,2.877748e-04,2.829422e-04,2.783672e-04,2.740374e-04,2.699413e-04,2.660676e-04,2.624058e-04,2.589456e-04,2.556773e-04,2.525918e-04,2.496801e-04,2.469338e-04,2.443448e-04,2.419055e-04,2.396086e-04,2.374470e-04,2.354141e-04,2.335036e-04,2.317095e-04,2.300258e-04,2.284472e-04,2.269684e-04,2.255843e-04,2.242902e-04,2.230815e-04,2.219540e-04,2.209034e-04,2.199259e-04,2.190177e-04,2.181752e-04,2.173950e-04
0.000000e+00,7.725707e-12,1.045724e-09,1.127637e-09,2.634597e-08,2.488641e-07,2.699829e-07,1.609311e-06,5.995354e-06,6.456803e-06,1.926854e-05,4.330701e-05,4.613065e-05,9.370058e-05,1.592778e-04,1.680668e-04,2.738721e-04,3.951773e-04,4.138112e-04,5.884794e-04,7.654626e-04,7.964931e-04,1.034786e-03,1.255192e-03,1.299000e-03,1.583903e-03,1.828963e-03,1.883786e-03,2.192814e-03,2.442800e-03,2.505318e-03,2.816007e-03,3.054006e-03,3.120130e-03,3.413570e-03,3.627299e-03,3.692890e-03,3.955340e-03,4.137444e-03,4.198839e-03,4.421925e-03,4.569380e-03,4.623695e-03,4.803739e-03,4.916835e-03,4.962070e-03,5.099055e-03,5.180334e-03,5.215344e-03,5.311810e-03,5.365117e-03,5.389491e-03,5.449546e-03,5.479297e-03,5.493205e-03,5.521738e-03,5.532393e-03,5.536422e-03,5.538521e-03,5.534252e-03,5.529262e-03,5.509827e-03,5.494335e-03,5.481335e-03,5.444841e-03,5.421280e-03,5.401331e-03,5.351716e-03,5.322683e-03,5.296834e-03,5.237455e-03,5.205034e-03,5.174275e-03,5.107926e-03,5.073743e-03,5.038977e-03,4.967936e-03,4.933229e-03,4.895258e-03,4.821348e-03,4.787036e-03,4.746564e-03,4.671221e-03,4.637965e-03,4.595595e-03,4.519927e-03,4.488186e-03,4.444428e-03,4.369280e-03,4.339355e-03,4.294639e-03,4.220641e-03,4.192714e-03,4.147399e-03,4.075010e-03,4.049174e-03,4.003555e-03,3.933102e-03,3.909387e-03,3.863707e-03,3.795413e-03,3.773798e-03,3.728258e-03,3.662267e-03,3.642700e-03,3.597462e-03,3.533858e-03,3.516266e-03,3.471465e-03,3.410286e-03,3.394579e-03,3.350323e-03,3.291574e-03,3.277655e-03,3.234033e-03,3.177692e-03,3.165457e-03,3.122541e-03,3.068569e-03,3.057915e-03,3.015762e-03,2.964106e-03,2.954929e-03,2.913585e-03,2.864184e-03,2.856383e-03,2.815886e-03,2.768673e-03,2.762149e-03,2.722528e-03,2.677433e-03,2.672091e-03,2.633369e-03,2.590317e-03,2.586067e-03,2.548260e-03,2.507179e-03,2.503934e-03,2.467055e-03,2.427869e-03,2.425548e-03,2.389604e-03,2.352242e-03,2.350766e-03,2.315764e-03,2.280152e-03,2.279448e-03,2.245389e-03,2.211457e-03,2.146657e-03,2.084918e-03,2.026113e-03,1.970118e-03,1.916815e-03,1.866089e-03,1.817828e-03,1.771927e-03,1.728282e-03,1.686795e-03,1.647370e-03,1.609917e-03,1.574347e-03,1.540576e-03,1.508524e-03,1.478114e-03,1.449270e-03,1.421922e-03,1.396001e-03,1.371442e-03,1.348183e-03,1.326164e-03,1.305327e-03,1.285616e-03,1.266981e-03,1.249369e-03,1.232734e-03,1.217028e-03,1.202208e-03,1.188232e-03,1.175059e-03,1.162651e-03,1.150970e-03,1.139982e-03,1.129653e-03,1.119950e-03,1.110842e-03,1.102301e-03,1.094299e-03,1.086807e-03,1.079800e-03,1.073254e-03,1.067146e-03,1.061453e-03,1.056153e-03,1.051227e-03,1.046655e-03,1.042418e-03,1.038498e-03
0.000000e+00,2.303506e-09,3.940178e-08,4.125216e-08,2.602873e-07,7.774679e-07,8.044733e-07,1.531238e-06,2.220488e-06,2.263451e-06,2.956467e-06,3.554099e-06,3.604255e-06,4.207179e-06,4.712697e-06,4.766753e-06,5.284752e-06,5.707688e-06,5.763050e-06,6.203554e-06,6.553617e-06,6.608175e-06,6.978798e-06,7.265198e-06,7.317266e-06,7.625358e-06,7.856532e-06,7.904790e-06,8.157214e-06,8.340772e-06,8.384210e-06,8.587284e-06,8.730002e-06,8.767874e-06,8.927352e-06,9.035229e-06,9.067005e-06,9.188065e-06,9.266369e-06,9.291701e-06,9.379023e-06,9.432384e-06,9.451080e-06,9.508868e-06,9.541337e-06,9.553330e-06,9.585358e-06,9.600466e-06,9.605794e-06,9.615438e-06,9.616258e-06,9.615043e-06,9.605322e-06,9.594519e-06,9.586949e-06,9.560558e-06,9.540434e-06,9.526750e-06,9.486092e-06,9.458633e-06,9.439118e-06,9.386331e-06,9.353240e-06,9.328207e-06,9.265193e-06,9.227927e-06,9.197710e-06,9.126154e-06,9.085953e-06,9.050899e-06,8.972297e-06,8.930211e-06,8.890676e-06,8.806348e-06,8.763261e-06,8.719604e-06,8.630717e-06,8.587365e-06,8.539943e-06,8.447524e-06,8.404521e-06,8.353685e-06,8.258636e-06,8.216483e-06,8.162577e-06,8.065690e-06,8.024793e-06,7.968150e-06,7.870117e-06,7.830800e-06,7.771742e-06,7.673165e-06,7.635680e-06,7.574517e-06,7.475918e-06,7.440457e-06,7.377483e-06,7.279315e-06,7.246016e-06,7.181511e-06,7.084162e-06,7.053120e-06,6.987350e-06,6.891151e-06,6.862422e-06,6.795637e-06,6.700871e-06,6.674479e-06,6.606914e-06,6.513818e-06,6.489761e-06,6.421635e-06,6.330409e-06,6.308662e-06,6.240180e-06,6.150986e-06,6.131505e-06,6.062859e-06,5.975830e-06,5.958558e-06,5.889923e-06,5.805163e-06,5.790030e-06,5.721570e-06,5.639162e-06,5.626087e-06,5.557952e-06,5.477955e-06,5.466853e-06,5.399181e-06,5.321637e-06,5.312415e-06,5.245330e-06,5.170265e-06,5.162827e-06,5.096445e-06,5.023872e-06,5.018119e-06,4.952544e-06,4.882460e-06,4.878295e-06,4.813618e-06,4.746014e-06,4.743336e-06,4.679643e-06,4.614498e-06,4.613207e-06,4.550573e-06,4.487860e-06,4.367229e-06,4.251241e-06,4.139810e-06,4.032846e-06,3.930250e-06,3.831918e-06,3.737745e-06,3.647619e-06,3.561428e-06,3.479059e-06,3.400396e-06,3.325326e-06,3.253733e-06,3.185504e-06,3.120526e-06,3.058688e-06,2.999878e-06,2.943991e-06,2.890919e-06,2.840559e-06,2.792809e-06,2.747571e-06,2.704747e-06,2.664243e-06,2.625968e-06,2.589832e-06,2.555750e-06,2.523637e-06,2.493411e-06,2.464995e-06,2.438311e-06,2.413286e-06,2.389848e-06,2.367929e-06,2.347461e-06,2.328380e-06,2.310624e-06,2.294132e-06,2.278848e-06,2.264715e-06,2.251679e-06,2.239689e-06,2.228694e-06,2.218647e-06,2.209502e-06,2.201213e-06,2.193738e-06,2.187036e-06,2.181067e-06
0.000000e+00,1.208216e-10,1.674157e-08,1.807640e-08,4.253554e-07,3.489895e-06,3.752093e-06,1.675092e-05,4.453220e-05,4.690229e-05,9.673931e-05,1.573772e-04,1.631685e-04,2.402340e-04,3.136091e-04,3.218199e-04,4.030584e-04,4.716171e-04,4.806638e-04,5.527209e-04,6.095324e-04,6.183103e-04,6.771604e-04,7.214630e-04,7.293856e-04,7.753105e-04,8.085649e-04,8.153611e-04,8.500010e-04,8.741298e-04,8.796947e-04,9.048904e-04,9.216929e-04,9.260098e-04,9.434442e-04,9.544527e-04,9.575541e-04,9.686696e-04,9.751457e-04,9.770923e-04,9.830968e-04,9.860639e-04,9.869330e-04,9.888278e-04,9.891103e-04,9.889875e-04,9.875991e-04,9.858579e-04,9.848323e-04,9.808408e-04,9.776039e-04,9.757642e-04,9.697287e-04,9.654159e-04,9.628484e-04,9.552269e-04,9.501706e-04,9.469575e-04,9.381249e-04,9.325870e-04,9.288053e-04,9.190678e-04,9.132533e-04,9.089746e-04,8.985818e-04,8.926500e-04,8.879400e-04,8.770947e-04,8.711683e-04,8.660871e-04,8.549538e-04,8.491261e-04,8.437281e-04,8.324396e-04,8.267802e-04,8.211149e-04,8.097778e-04,8.043380e-04,7.984496e-04,7.871493e-04,7.819652e-04,7.758937e-04,7.646979e-04,7.597941e-04,7.535750e-04,7.425369e-04,7.379287e-04,7.315938e-04,7.207549e-04,7.164503e-04,7.100280e-04,6.994199e-04,6.954213e-04,6.889367e-04,6.785834e-04,6.748889e-04,6.683644e-04,6.582833e-04,6.548877e-04,6.483431e-04,6.385463e-04,6.354419e-04,6.288948e-04,6.193901e-04,6.165674e-04,6.100332e-04,6.008249e-04,5.982733e-04,5.917657e-04,5.828554e-04,5.805632e-04,5.740941e-04,5.654813e-04,5.634362e-04,5.570164e-04,5.486985e-04,5.468883e-04,5.405269e-04,5.325002e-04,5.309122e-04,5.246173e-04,5.168769e-04,5.154986e-04,5.092775e-04,5.018175e-04,5.006368e-04,4.944954e-04,4.873095e-04,4.863143e-04,4.802581e-04,4.733394e-04,4.725180e-04,4.665516e-04,4.598928e-04,4.592340e-04,4.533613e-04,4.469551e-04,4.464480e-04,4.406723e-04,4.345111e-04,4.341452e-04,4.284695e-04,4.225456e-04,4.223110e-04,4.167375e-04,4.110433e-04,4.109305e-04,4.054611e-04,3.999891e-04,3.894720e-04,3.793650e-04,3.696540e-04,3.603251e-04,3.513648e-04,3.427599e-04,3.344977e-04,3.265657e-04,3.189519e-04,3.116445e-04,3.046321e-04,2.979038e-04,2.914490e-04,2.852575e-04,2.793192e-04,2.736247e-04,2.681648e-04,2.629304e-04,2.579131e-04,2.531045e-04,2.484966e-04,2.440818e-04,2.398527e-04,2.358020e-04,2.319230e-04,2.282090e-04,2.246535e-04,2.212506e-04,2.179942e-04,2.148786e-04,2.118985e-04,2.090484e-04,2.063233e-04,2.037184e-04,2.012289e-04,1.988502e-04,1.965782e-04,1.944084e-04,1.923370e-04,1.903600e-04,1.884737e-04,1.866745e-04,1.849590e-04,1.833237e-04,1.817656e-04,1.802815e-04,1.788685e-04,1.775237e-04,1.762444e-04
0.000000e+00,6.382581e-09,2.856351e-07,3.019248e-07,2.930576e-06,1.395308e-05,1.474369e-05,4.730411e-05,1.034081e-04,1.077695e-04,1.897648e-04,2.728363e-04,2.801278e-04,3.702530e-04,4.484470e-04,4.569261e-04,5.392903e-04,6.080849e-04,6.171995e-04,6.906978e-04,7.504546e-04,7.598859e-04,8.248875e-04,8.763524e-04,8.858381e-04,9.428805e-04,9.868419e-04,9.961615e-04,1.045829e-03,1.083061e-03,1.092031e-03,1.134914e-03,1.166150e-03,1.174620e-03,1.211289e-03,1.237211e-03,1.245058e-03,1.276059e-03,1.297292e-03,1.304418e-03,1.330259e-03,1.347373e-03,1.353702e-03,1.374860e-03,1.388371e-03,1.393845e-03,1.410762e-03,1.421138e-03,1.425715e-03,1.438801e-03,1.446461e-03,1.450115e-03,1.459748e-03,1.465072e-03,1.467787e-03,1.474317e-03,1.477642e-03,1.479416e-03,1.483163e-03,1.484792e-03,1.485631e-03,1.486891e-03,1.487096e-03,1.487011e-03,1.486057e-03,1.485076e-03,1.484090e-03,1.481170e-03,1.479217e-03,1.477354e-03,1.472697e-03,1.469960e-03,1.467251e-03,1.461065e-03,1.457711e-03,1.454189e-03,1.446666e-03,1.442839e-03,1.438542e-03,1.429856e-03,1.425683e-03,1.420650e-03,1.410960e-03,1.406553e-03,1.400824e-03,1.390275e-03,1.385729e-03,1.379346e-03,1.368069e-03,1.363468e-03,1.356474e-03,1.344589e-03,1.340003e-03,1.332441e-03,1.320056e-03,1.315544e-03,1.307459e-03,1.294672e-03,1.290285e-03,1.281717e-03,1.268617e-03,1.264397e-03,1.255390e-03,1.242055e-03,1.238037e-03,1.228632e-03,1.215135e-03,1.211346e-03,1.201583e-03,1.187989e-03,1.184450e-03,1.174368e-03,1.160735e-03,1.157462e-03,1.147101e-03,1.133479e-03,1.130485e-03,1.119881e-03,1.106316e-03,1.103608e-03,1.092796e-03,1.079330e-03,1.076912e-03,1.065927e-03,1.052595e-03,1.050469e-03,1.039342e-03,1.026175e-03,1.024339e-03,1.013102e-03,1.000129e-03,9.985795e-04,9.872621e-04,9.745065e-04,9.732372e-04,9.618675e-04,9.493499e-04,9.483539e-04,9.369583e-04,9.246966e-04,9.239651e-04,9.125687e-04,9.005780e-04,9.001013e-04,8.887276e-04,8.770205e-04,8.767878e-04,8.654591e-04,8.540459e-04,8.318926e-04,8.103417e-04,7.894033e-04,7.690849e-04,7.493913e-04,7.303251e-04,7.118865e-04,6.940740e-04,6.768846e-04,6.603134e-04,6.443544e-04,6.290005e-04,6.142435e-04,6.000742e-04,5.864830e-04,5.734592e-04,5.609919e-04,5.490695e-04,5.376801e-04,5.268115e-04,5.164511e-04,5.065863e-04,4.972042e-04,4.882919e-04,4.798364e-04,4.718246e-04,4.642436e-04,4.570803e-04,4.503220e-04,4.439557e-04,4.379688e-04,4.323487e-04,4.270831e-04,4.221596e-04,4.175661e-04,4.132909e-04,4.093221e-04,4.056482e-04,4.022580e-04,3.991403e-04,3.962843e-04,3.936793e-04,3.913148e-04,3.891806e-04,3.872668e-04,3.855635e-04,3.840611e-04,3.827504e-04,3.816223e-04
0.000000e+00,7.113432e-09,1.086519e-07,1.135789e-07,7.393184e-07,2.656882e-06,2.776641e-06,6.810798e-06,1.175236e-05,1.207951e-05,1.747529e-05,2.219199e-05,2.258802e-05,2.734091e-05,3.130909e-05,3.173230e-05,3.577570e-05,3.905918e-05,3.948769e-05,4.288537e-05,4.556892e-05,4.598570e-05,4.880532e-05,5.096875e-05,5.136045e-05,5.366678e-05,5.538295e-05,5.573945e-05,5.759294e-05,5.892726e-05,5.924112e-05,6.069718e-05,6.170764e-05,6.197367e-05,6.308249e-05,6.382001e-05,6.403490e-05,6.484157e-05,6.535061e-05,6.551255e-05,6.605737e-05,6.637657e-05,6.648499e-05,6.680386e-05,6.696665e-05,6.702195e-05,6.714677e-05,6.718199e-05,6.718538e-05,6.714441e-05,6.707683e-05,6.703011e-05,6.684834e-05,6.669915e-05,6.660461e-05,6.630409e-05,6.609140e-05,6.595165e-05,6.555185e-05,6.529102e-05,6.510895e-05,6.462694e-05,6.433093e-05,6.410956e-05,6.356033e-05,6.324008e-05,6.298253e-05,6.237922e-05,6.204384e-05,6.175326e-05,6.110733e-05,6.076439e-05,6.044392e-05,5.976535e-05,5.942106e-05,5.907378e-05,5.837124e-05,5.803068e-05,5.765960e-05,5.694059e-05,5.660782e-05,5.621583e-05,5.548683e-05,5.516508e-05,5.475496e-05,5.402151e-05,5.371328e-05,5.328767e-05,5.255453e-05,5.226170e-05,5.182310e-05,5.109430e-05,5.081823e-05,5.036899e-05,4.964795e-05,4.938956e-05,4.893189e-05,4.822146e-05,4.798130e-05,4.751725e-05,4.681980e-05,4.659812e-05,4.612960e-05,4.544708e-05,4.524389e-05,4.477265e-05,4.410664e-05,4.392171e-05,4.344937e-05,4.280111e-05,4.263407e-05,4.216212e-05,4.153258e-05,4.138292e-05,4.091270e-05,4.030260e-05,4.016971e-05,3.970244e-05,3.911229e-05,3.899548e-05,3.853226e-05,3.796239e-05,3.786089e-05,3.740272e-05,3.685328e-05,3.676632e-05,3.631408e-05,3.578511e-05,3.571187e-05,3.526634e-05,3.475775e-05,3.469740e-05,3.425928e-05,3.377088e-05,3.372259e-05,3.329248e-05,3.282400e-05,3.278695e-05,3.236537e-05,3.191649e-05,3.188986e-05,3.147726e-05,3.104757e-05,3.103058e-05,3.062733e-05,3.021641e-05,3.020828e-05,2.981469e-05,2.942205e-05,2.867094e-05,2.795394e-05,2.727000e-05,2.661807e-05,2.599707e-05,2.540591e-05,2.484351e-05,2.430879e-05,2.380070e-05,2.331817e-05,2.286018e-05,2.242571e-05,2.201379e-05,2.162343e-05,2.125372e-05,2.090373e-05,2.057259e-05,2.025944e-05,1.996347e-05,1.968386e-05,1.941986e-05,1.917074e-05,1.893577e-05,1.871428e-05,1.850562e-05,1.830915e-05,1.812427e-05,1.795042e-05,1.778702e-05,1.763357e-05,1.748955e-05,1.735448e-05,1.722790e-05,1.710937e-05,1.699848e-05,1.689481e-05,1.679799e-05,1.670766e-05,1.662347e-05,1.654509e-05,1.647220e-05,1.640451e-05,1.634173e-05,1.628360e-05,1.622985e-05,1.618023e-05,1.613453e-05,1.609251e-05,1.605397e-05
0.000000e+00,2.274373e-09,3.494871e-08,3.653009e-08,2.254366e-07,7.444580e-07,7.754470e-07,1.784354e-06,3.002560e-06,3.083361e-06,4.408079e-06,5.535799e-06,5.628637e-06,6.716671e-06,7.584617e-06,7.674853e-06,8.512929e-06,9.159679e-06,9.241713e-06,9.871605e-06,1.034160e-05,1.041226e-05,1.087252e-05,1.120295e-05,1.126048e-05,1.158350e-05,1.180465e-05,1.184829e-05,1.206095e-05,1.219726e-05,1.222698e-05,1.235139e-05,1.242246e-05,1.243870e-05,1.249299e-05,1.251446e-05,1.251796e-05,1.251694e-05,1.250122e-05,1.249292e-05,1.244861e-05,1.240552e-05,1.238645e-05,1.230862e-05,1.224589e-05,1.221711e-05,1.211368e-05,1.203735e-05,1.199992e-05,1.187727e-05,1.179207e-05,1.174700e-05,1.161028e-05,1.151987e-05,1.146813e-05,1.132148e-05,1.122866e-05,1.117115e-05,1.101788e-05,1.092479e-05,1.086234e-05,1.070510e-05,1.061334e-05,1.054671e-05,1.038761e-05,1.029836e-05,1.022822e-05,1.006892e-05,9.983046e-06,9.910023e-06,9.751819e-06,9.669911e-06,9.594559e-06,9.438464e-06,9.360915e-06,9.283728e-06,9.130519e-06,9.057565e-06,8.978983e-06,8.829246e-06,8.761002e-06,8.681416e-06,8.535584e-06,8.472071e-06,8.391827e-06,8.250209e-06,8.191380e-06,8.110784e-06,7.973592e-06,7.919349e-06,7.838667e-06,7.706034e-06,7.656238e-06,7.575709e-06,7.447702e-06,7.402188e-06,7.322017e-06,7.198655e-06,7.157240e-06,7.077610e-06,6.958873e-06,6.921363e-06,6.842431e-06,6.728268e-06,6.694461e-06,6.616365e-06,6.506701e-06,6.476393e-06,6.399253e-06,6.293996e-06,6.266985e-06,6.190904e-06,6.089948e-06,6.066033e-06,5.991099e-06,5.894328e-06,5.873314e-06,5.799604e-06,5.706896e-06,5.688594e-06,5.616172e-06,5.527400e-06,5.511626e-06,5.440547e-06,5.355582e-06,5.342160e-06,5.272470e-06,5.191180e-06,5.179943e-06,5.111680e-06,5.033936e-06,5.024723e-06,4.957916e-06,4.883589e-06,4.876248e-06,4.810922e-06,4.739884e-06,4.734271e-06,4.670444e-06,4.602570e-06,4.598547e-06,4.536232e-06,4.471401e-06,4.468838e-06,4.408045e-06,4.346137e-06,4.344913e-06,4.285646e-06,4.226544e-06,4.113512e-06,4.005605e-06,3.902615e-06,3.804344e-06,3.710601e-06,3.621198e-06,3.535959e-06,3.454710e-06,3.377287e-06,3.303530e-06,3.233285e-06,3.166406e-06,3.102751e-06,3.042184e-06,2.984574e-06,2.929797e-06,2.877731e-06,2.828261e-06,2.781276e-06,2.736670e-06,2.694340e-06,2.654188e-06,2.616119e-06,2.580045e-06,2.545877e-06,2.513532e-06,2.482932e-06,2.453999e-06,2.426660e-06,2.400843e-06,2.376483e-06,2.353513e-06,2.331871e-06,2.311498e-06,2.292338e-06,2.274333e-06,2.257434e-06,2.241587e-06,2.226747e-06,2.212865e-06,2.199897e-06,2.187801e-06,2.176536e-06,2.166062e-06,2.156341e-06,2.147339e-06,2.139019e-06,2.131349e-06,2.124297e-06
0.000000e+00,6.981115e-09,1.133109e-07,1.181415e-07,6.798167e-07,2.330212e-06,2.434340e-06,6.148617e-06,1.151395e-05,1.190620e-05,1.895632e-05,2.565901e-05,2.622593e-05,3.286930e-05,3.798305e-05,3.849724e-05,4.306657e-05,4.629091e-05,4.667811e-05,4.946508e-05,5.130021e-05,5.155528e-05,5.306166e-05,5.394734e-05,5.408136e-05,5.469702e-05,5.494978e-05,5.497857e-05,5.498493e-05,5.482556e-05,5.476580e-05,5.436290e-05,5.394382e-05,5.381128e-05,5.314028e-05,5.256577e-05,5.237450e-05,5.153447e-05,5.087524e-05,5.063734e-05,4.969743e-05,4.900096e-05,4.872663e-05,4.773480e-05,4.703247e-05,4.673016e-05,4.571946e-05,4.503160e-05,4.470826e-05,4.370115e-05,4.304054e-05,4.270186e-05,4.171342e-05,4.108766e-05,4.073827e-05,3.977837e-05,3.919158e-05,3.883525e-05,3.791008e-05,3.736399e-05,3.700378e-05,3.611701e-05,3.561182e-05,3.525022e-05,3.440372e-05,3.393861e-05,3.357767e-05,3.277210e-05,3.234560e-05,3.198697e-05,3.122214e-05,3.083240e-05,3.047744e-05,2.975262e-05,2.939757e-05,2.904739e-05,2.836145e-05,2.803894e-05,2.769444e-05,2.704601e-05,2.675387e-05,2.641579e-05,2.580338e-05,2.553947e-05,2.520840e-05,2.463043e-05,2.439266e-05,2.406908e-05,2.352396e-05,2.331036e-05,2.299465e-05,2.248076e-05,2.228945e-05,2.198190e-05,2.149768e-05,2.132687e-05,2.102771e-05,2.057162e-05,2.041964e-05,2.012902e-05,1.969957e-05,1.956486e-05,1.928290e-05,1.887866e-05,1.875976e-05,1.848651e-05,1.810611e-05,1.800166e-05,1.773714e-05,1.737928e-05,1.728801e-05,1.703221e-05,1.669563e-05,1.661638e-05,1.636925e-05,1.605277e-05,1.598444e-05,1.574591e-05,1.544839e-05,1.538999e-05,1.515996e-05,1.488035e-05,1.483093e-05,1.460930e-05,1.434657e-05,1.430528e-05,1.409191e-05,1.384510e-05,1.381116e-05,1.360591e-05,1.337411e-05,1.334678e-05,1.314948e-05,1.293183e-05,1.291044e-05,1.272095e-05,1.251663e-05,1.250056e-05,1.231869e-05,1.212693e-05,1.211562e-05,1.194118e-05,1.176127e-05,1.175419e-05,1.158701e-05,1.141824e-05,1.141492e-05,1.125480e-05,1.109653e-05,1.079782e-05,1.051765e-05,1.025494e-05,1.000868e-05,9.777904e-06,9.561714e-06,9.359253e-06,9.169717e-06,8.992345e-06,8.826421e-06,8.671270e-06,8.526253e-06,8.390769e-06,8.264252e-06,8.146167e-06,8.036011e-06,7.933308e-06,7.837612e-06,7.748500e-06,7.665576e-06,7.588464e-06,7.516813e-06,7.450289e-06,7.388580e-06,7.331390e-06,7.278443e-06,7.229476e-06,7.184244e-06,7.142514e-06,7.104068e-06,7.068701e-06,7.036219e-06,7.006441e-06,6.979195e-06,6.954319e-06,6.931663e-06,6.911083e-06,6.892445e-06,6.875623e-06,6.860499e-06,6.846961e-06,6.834904e-06,6.824230e-06,6.814846e-06,6.806664e-06,6.799604e-06,6.793588e-06,6.788544e-06,6.784404e-06
0.000000e+00,1.611671e-09,3.609052e-08,3.795517e-08,2.873035e-07,9.482323e-07,9.835098e-07,1.937396e-06,2.854108e-06,2.911804e-06,3.852846e-06,4.681746e-06,4.752118e-06,5.608896e-06,6.344290e-06,6.423947e-06,7.198317e-06,7.846973e-06,7.933091e-06,8.629361e-06,9.198201e-06,9.288233e-06,9.910838e-06,1.040664e-05,1.049833e-05,1.105187e-05,1.148128e-05,1.157266e-05,1.206188e-05,1.243131e-05,1.252070e-05,1.295029e-05,1.326582e-05,1.335180e-05,1.372636e-05,1.399366e-05,1.407504e-05,1.439893e-05,1.462325e-05,1.469905e-05,1.497641e-05,1.516256e-05,1.523197e-05,1.546668e-05,1.561906e-05,1.568144e-05,1.587713e-05,1.599974e-05,1.605459e-05,1.621464e-05,1.631111e-05,1.635806e-05,1.648560e-05,1.655924e-05,1.659801e-05,1.669598e-05,1.674976e-05,1.678018e-05,1.685127e-05,1.688789e-05,1.690987e-05,1.695659e-05,1.697848e-05,1.699201e-05,1.701668e-05,1.702600e-05,1.703114e-05,1.703590e-05,1.703462e-05,1.703146e-05,1.701830e-05,1.700815e-05,1.699686e-05,1.696760e-05,1.695016e-05,1.693092e-05,1.688724e-05,1.686390e-05,1.683694e-05,1.678040e-05,1.675240e-05,1.671798e-05,1.665001e-05,1.661843e-05,1.657682e-05,1.649873e-05,1.646455e-05,1.641605e-05,1.632906e-05,1.629312e-05,1.623804e-05,1.614325e-05,1.610630e-05,1.604495e-05,1.594339e-05,1.590607e-05,1.583880e-05,1.573139e-05,1.569427e-05,1.562139e-05,1.550900e-05,1.547256e-05,1.539441e-05,1.527782e-05,1.524248e-05,1.515939e-05,1.503931e-05,1.500541e-05,1.491773e-05,1.479481e-05,1.476265e-05,1.467070e-05,1.454553e-05,1.451535e-05,1.441945e-05,1.429259e-05,1.426458e-05,1.416506e-05,1.403698e-05,1.401131e-05,1.390847e-05,1.377962e-05,1.375640e-05,1.365055e-05,1.352134e-05,1.350066e-05,1.339209e-05,1.326289e-05,1.324481e-05,1.313381e-05,1.300493e-05,1.298948e-05,1.287633e-05,1.274808e-05,1.273528e-05,1.262024e-05,1.249288e-05,1.248271e-05,1.236604e-05,1.223980e-05,1.223225e-05,1.211421e-05,1.198930e-05,1.198432e-05,1.186513e-05,1.174174e-05,1.173928e-05,1.161918e-05,1.149748e-05,1.125919e-05,1.102467e-05,1.079414e-05,1.056779e-05,1.034577e-05,1.012823e-05,9.915280e-06,9.707006e-06,9.503480e-06,9.304757e-06,9.110874e-06,8.921854e-06,8.737707e-06,8.558430e-06,8.384010e-06,8.214425e-06,8.049642e-06,7.889622e-06,7.734319e-06,7.583680e-06,7.437647e-06,7.296157e-06,7.159142e-06,7.026532e-06,6.898253e-06,6.774227e-06,6.654376e-06,6.538618e-06,6.426871e-06,6.319051e-06,6.215073e-06,6.114852e-06,6.018302e-06,5.925337e-06,5.835870e-06,5.749816e-06,5.667088e-06,5.587602e-06,5.511273e-06,5.438017e-06,5.367750e-06,5.300392e-06,5.235859e-06,5.174073e-06,5.114953e-06,5.058423e-06,5.004404e-06,4.952822e-06,4.903603e-06
0.000000e+00,4.846569e-10,3.568652e-08,3.805654e-08,5.445555e-07,3.490045e-06,3.729347e-06,1.545969e-05,4.144397e-05,4.370680e-05,9.170476e-05,1.490031e-04,1.543512e-04,2.232493e-04,2.852931e-04,2.920567e-04,3.575123e-04,4.113295e-04,4.183767e-04,4.743752e-04,5.187175e-04,5.256121e-04,5.723184e-04,6.082438e-04,6.147586e-04,6.531988e-04,6.819156e-04,6.878961e-04,7.190957e-04,7.416941e-04,7.470306e-04,7.719209e-04,7.893561e-04,7.939747e-04,8.133879e-04,8.264901e-04,8.303454e-04,8.450211e-04,8.545084e-04,8.575781e-04,8.681697e-04,8.746596e-04,8.769394e-04,8.840221e-04,8.880439e-04,8.895437e-04,8.936223e-04,8.956283e-04,8.963686e-04,8.978860e-04,8.982615e-04,8.982711e-04,8.976144e-04,8.966867e-04,8.960005e-04,8.935083e-04,8.915546e-04,8.902115e-04,8.861791e-04,8.834335e-04,8.814753e-04,8.761600e-04,8.728192e-04,8.702893e-04,8.639151e-04,8.601440e-04,8.570863e-04,8.498479e-04,8.457838e-04,8.422421e-04,8.343083e-04,8.300652e-04,8.260828e-04,8.175997e-04,8.132715e-04,8.088906e-04,7.999846e-04,7.956478e-04,7.909089e-04,7.816889e-04,7.774057e-04,7.723478e-04,7.629074e-04,7.587273e-04,7.533876e-04,7.438072e-04,7.397694e-04,7.341830e-04,7.245311e-04,7.206658e-04,7.148659e-04,7.052009e-04,7.015309e-04,6.955485e-04,6.859200e-04,6.824617e-04,6.763259e-04,6.667755e-04,6.635400e-04,6.572778e-04,6.478406e-04,6.448347e-04,6.384712e-04,6.291762e-04,6.264031e-04,6.199615e-04,6.108325e-04,6.082924e-04,6.017941e-04,5.928506e-04,5.905414e-04,5.840059e-04,5.752636e-04,5.731810e-04,5.666265e-04,5.580975e-04,5.562358e-04,5.496788e-04,5.413725e-04,5.397249e-04,5.331802e-04,5.251034e-04,5.236620e-04,5.171433e-04,5.093008e-04,5.080570e-04,5.015766e-04,4.939712e-04,4.929160e-04,4.864850e-04,4.791181e-04,4.782420e-04,4.718705e-04,4.647420e-04,4.640357e-04,4.577324e-04,4.508413e-04,4.502951e-04,4.440681e-04,4.374121e-04,4.370165e-04,4.308728e-04,4.244493e-04,4.241947e-04,4.181406e-04,4.119458e-04,4.118231e-04,4.058640e-04,3.998939e-04,3.883987e-04,3.773281e-04,3.666723e-04,3.564209e-04,3.465635e-04,3.370891e-04,3.279867e-04,3.192455e-04,3.108542e-04,3.028019e-04,2.950777e-04,2.876709e-04,2.805707e-04,2.737668e-04,2.672488e-04,2.610068e-04,2.550309e-04,2.493117e-04,2.438397e-04,2.386059e-04,2.336016e-04,2.288181e-04,2.242471e-04,2.198807e-04,2.157111e-04,2.117306e-04,2.079321e-04,2.043085e-04,2.008530e-04,1.975590e-04,1.944201e-04,1.914303e-04,1.885837e-04,1.858745e-04,1.832972e-04,1.808467e-04,1.785177e-04,1.763053e-04,1.742049e-04,1.722118e-04,1.703218e-04,1.685304e-04,1.668338e-04,1.652279e-04,1.637091e-04,1.622735e-04,1.609179e-04,1.596388e-04,1.584330e-04
0.000000e+00,6.774209e-10,1.053422e-08,1.101766e-08,6.937289e-08,2.223521e-07,2.309568e-07,4.797364e-07,7.310429e-07,7.468713e-07,1.002752e-06,1.223058e-06,1.241503e-06,1.462537e-06,1.646726e-06,1.666353e-06,1.853674e-06,2.005476e-06,2.025261e-06,2.181880e-06,2.305176e-06,2.324285e-06,2.453229e-06,2.551682e-06,2.569454e-06,2.673692e-06,2.750718e-06,2.766648e-06,2.849011e-06,2.907723e-06,2.921447e-06,2.984594e-06,3.027796e-06,3.039065e-06,3.085441e-06,3.115616e-06,3.124278e-06,3.156100e-06,3.175426e-06,3.181405e-06,3.200666e-06,3.211040e-06,3.214325e-06,3.222803e-06,3.225868e-06,3.226495e-06,3.225774e-06,3.222943e-06,3.220990e-06,3.212473e-06,3.204958e-06,3.200532e-06,3.185459e-06,3.174295e-06,3.167526e-06,3.146990e-06,3.133056e-06,3.124091e-06,3.099053e-06,3.083092e-06,3.072088e-06,3.043391e-06,3.026027e-06,3.013148e-06,2.981530e-06,2.963283e-06,2.948697e-06,2.914800e-06,2.896102e-06,2.879977e-06,2.844359e-06,2.825564e-06,2.808067e-06,2.771213e-06,2.752607e-06,2.733900e-06,2.696227e-06,2.678042e-06,2.658282e-06,2.620148e-06,2.602564e-06,2.581902e-06,2.543614e-06,2.526771e-06,2.505350e-06,2.467169e-06,2.451171e-06,2.429126e-06,2.391272e-06,2.376194e-06,2.353653e-06,2.316310e-06,2.302200e-06,2.279281e-06,2.242602e-06,2.229489e-06,2.206304e-06,2.170414e-06,2.158309e-06,2.134958e-06,2.099958e-06,2.088858e-06,2.065435e-06,2.031407e-06,2.021297e-06,1.997887e-06,1.964891e-06,1.955747e-06,1.932429e-06,1.900512e-06,1.892303e-06,1.869146e-06,1.838339e-06,1.831029e-06,1.808096e-06,1.778420e-06,1.771968e-06,1.749315e-06,1.720781e-06,1.715143e-06,1.692819e-06,1.665428e-06,1.660558e-06,1.638607e-06,1.612354e-06,1.608206e-06,1.586665e-06,1.561538e-06,1.558065e-06,1.536967e-06,1.512949e-06,1.510103e-06,1.489476e-06,1.466545e-06,1.464282e-06,1.444149e-06,1.422280e-06,1.420553e-06,1.400933e-06,1.380100e-06,1.378866e-06,1.359773e-06,1.339945e-06,1.339162e-06,1.320609e-06,1.301755e-06,1.301383e-06,1.283377e-06,1.265465e-06,1.231343e-06,1.198953e-06,1.168227e-06,1.139100e-06,1.111507e-06,1.085380e-06,1.060658e-06,1.037276e-06,1.015173e-06,9.942890e-07,9.745663e-07,9.559482e-07,9.383803e-07,9.218099e-07,9.061864e-07,8.914609e-07,8.775868e-07,8.645191e-07,8.522151e-07,8.406336e-07,8.297355e-07,8.194834e-07,8.098419e-07,8.007769e-07,7.922562e-07,7.842493e-07,7.767269e-07,7.696615e-07,7.630269e-07,7.567983e-07,7.509521e-07,7.454661e-07,7.403193e-07,7.354916e-07,7.309643e-07,7.267196e-07,7.227407e-07,7.190117e-07,7.155177e-07,7.122445e-07,7.091787e-07,7.063080e-07,7.036203e-07,7.011046e-07,6.987503e-07,6.965476e-07,6.944871e-07,6.925601e-07,6.907584e-07
0.000000e+00,4.722778e-11,5.043447e-09,5.411448e-09,1.007542e-07,8.072936e-07,8.706359e-07,4.541161e-06,1.507861e-05,1.611975e-05,4.237072e-05,8.409373e-05,8.858560e-05,1.560997e-04,2.328342e-04,2.421261e-04,3.411614e-04,4.339310e-04,4.467352e-04,5.527705e-04,6.405446e-04,6.543525e-04,7.479919e-04,8.189172e-04,8.315577e-04,9.040445e-04,9.550835e-04,9.652912e-04,1.015714e-03,1.048773e-03,1.056088e-03,1.087375e-03,1.106137e-03,1.110611e-03,1.126823e-03,1.135048e-03,1.136984e-03,1.141988e-03,1.142845e-03,1.142635e-03,1.139632e-03,1.135558e-03,1.133593e-03,1.125052e-03,1.117831e-03,1.114464e-03,1.102218e-03,1.093115e-03,1.088644e-03,1.074022e-03,1.063912e-03,1.058586e-03,1.042535e-03,1.032018e-03,1.026035e-03,1.009224e-03,9.986976e-04,9.922192e-04,9.751156e-04,9.648400e-04,9.579934e-04,9.409186e-04,9.310587e-04,9.239454e-04,9.071182e-04,8.977725e-04,8.904733e-04,8.740401e-04,8.652626e-04,8.578419e-04,8.418971e-04,8.337109e-04,8.262200e-04,8.108213e-04,8.032290e-04,7.957092e-04,7.808892e-04,7.738805e-04,7.663650e-04,7.521385e-04,7.456945e-04,7.382103e-04,7.245797e-04,7.186762e-04,7.112452e-04,6.982045e-04,6.928143e-04,6.854545e-04,6.729919e-04,6.680865e-04,6.608128e-04,6.489128e-04,6.444631e-04,6.372876e-04,6.259324e-04,6.219097e-04,6.148424e-04,6.040126e-04,6.003889e-04,5.934381e-04,5.831137e-04,5.798619e-04,5.730343e-04,5.631950e-04,5.602892e-04,5.535905e-04,5.442159e-04,5.416316e-04,5.350662e-04,5.261365e-04,5.238501e-04,5.174217e-04,5.089172e-04,5.069069e-04,5.006182e-04,4.925200e-04,4.907648e-04,4.846180e-04,4.769077e-04,4.753882e-04,4.693847e-04,4.620446e-04,4.607425e-04,4.548832e-04,4.478963e-04,4.467943e-04,4.410798e-04,4.344297e-04,4.335118e-04,4.279421e-04,4.216131e-04,4.208641e-04,4.154390e-04,4.094161e-04,4.088220e-04,4.035408e-04,3.978096e-04,3.973572e-04,3.922191e-04,3.867658e-04,3.864429e-04,3.814466e-04,3.762581e-04,3.760533e-04,3.711973e-04,3.662611e-04,3.661637e-04,3.614465e-04,3.567506e-04,3.477917e-04,3.392654e-04,3.311513e-04,3.234300e-04,3.160827e-04,3.090918e-04,3.024402e-04,2.961120e-04,2.900916e-04,2.843645e-04,2.789165e-04,2.737345e-04,2.688057e-04,2.641181e-04,2.596600e-04,2.554205e-04,2.513892e-04,2.475561e-04,2.439117e-04,2.404469e-04,2.371532e-04,2.340223e-04,2.310464e-04,2.282182e-04,2.255304e-04,2.229764e-04,2.205497e-04,2.182442e-04,2.160542e-04,2.139739e-04,2.119982e-04,2.101221e-04,2.083407e-04,2.066495e-04,2.050441e-04,2.035204e-04,2.020745e-04,2.007026e-04,1.994011e-04,1.981667e-04,1.969961e-04,1.958862e-04,1.948342e-04,1.938371e-04,1.928924e-04,1.919975e-04,1.911501e-04,1.903477e-04,1.895882e-04
0.000000e+00,1.700478e-09,1.108351e-07,1.178479e-07,1.477458e-06,8.828911e-06,9.417565e-06,3.805926e-05,1.015272e-04,1.070702e-04,2.252631e-04,3.678186e-04,3.812048e-04,5.549889e-04,7.139108e-04,7.313960e-04,9.024891e-04,1.046056e-03,1.065073e-03,1.218184e-03,1.342212e-03,1.361742e-03,1.495977e-03,1.601774e-03,1.621225e-03,1.737850e-03,1.827309e-03,1.846224e-03,1.946716e-03,2.021679e-03,2.039690e-03,2.125501e-03,2.187685e-03,2.204496e-03,2.277010e-03,2.327986e-03,2.343368e-03,2.403883e-03,2.445080e-03,2.458856e-03,2.508576e-03,2.541279e-03,2.553322e-03,2.593358e-03,2.618719e-03,2.628940e-03,2.660311e-03,2.679357e-03,2.687703e-03,2.711339e-03,2.724984e-03,2.731430e-03,2.748181e-03,2.757237e-03,2.761782e-03,2.772420e-03,2.777604e-03,2.780269e-03,2.785498e-03,2.787443e-03,2.788265e-03,2.788722e-03,2.787986e-03,2.787014e-03,2.783280e-03,2.780352e-03,2.777649e-03,2.770246e-03,2.765555e-03,2.761191e-03,2.750596e-03,2.744513e-03,2.738567e-03,2.725207e-03,2.718058e-03,2.710612e-03,2.694875e-03,2.686941e-03,2.678082e-03,2.660316e-03,2.651839e-03,2.641656e-03,2.622175e-03,2.613362e-03,2.601945e-03,2.581033e-03,2.572061e-03,2.559501e-03,2.537409e-03,2.528429e-03,2.514815e-03,2.491772e-03,2.482908e-03,2.468330e-03,2.444538e-03,2.435896e-03,2.420441e-03,2.396082e-03,2.387747e-03,2.371500e-03,2.346734e-03,2.338777e-03,2.321821e-03,2.296792e-03,2.289266e-03,2.271681e-03,2.246517e-03,2.239465e-03,2.221328e-03,2.196140e-03,2.189595e-03,2.170979e-03,2.145867e-03,2.139850e-03,2.120825e-03,2.095875e-03,2.090400e-03,2.071035e-03,2.046322e-03,2.041396e-03,2.021753e-03,1.997343e-03,1.992967e-03,1.973107e-03,1.949057e-03,1.945227e-03,1.925205e-03,1.901564e-03,1.898271e-03,1.878142e-03,1.854951e-03,1.852183e-03,1.831997e-03,1.809289e-03,1.807032e-03,1.786835e-03,1.764640e-03,1.762876e-03,1.742711e-03,1.721053e-03,1.719763e-03,1.699671e-03,1.678568e-03,1.677730e-03,1.657749e-03,1.637216e-03,1.636808e-03,1.616972e-03,1.597019e-03,1.558379e-03,1.520898e-03,1.484581e-03,1.449426e-03,1.415431e-03,1.382588e-03,1.350885e-03,1.320309e-03,1.290843e-03,1.262470e-03,1.235170e-03,1.208921e-03,1.183701e-03,1.159487e-03,1.136253e-03,1.113975e-03,1.092628e-03,1.072185e-03,1.052620e-03,1.033907e-03,1.016021e-03,9.989348e-04,9.826225e-04,9.670585e-04,9.522175e-04,9.380742e-04,9.246041e-04,9.117827e-04,8.995863e-04,8.879915e-04,8.769753e-04,8.665155e-04,8.565902e-04,8.471781e-04,8.382585e-04,8.298111e-04,8.218164e-04,8.142552e-04,8.071091e-04,8.003601e-04,7.939908e-04,7.879844e-04,7.823244e-04,7.769952e-04,7.719815e-04,7.672686e-04,7.628422e-04,7.586887e-04,7.547947e-04
0.000000e+00,5.274686e-11,6.294600e-09,6.767215e-09,1.367009e-07,1.156889e-06,1.250113e-06,6.818583e-06,2.359902e-05,2.530106e-05,7.024269e-05,1.484091e-04,1.572690e-04,3.001609e-04,4.841383e-04,5.079777e-04,7.838215e-04,1.080814e-03,1.124993e-03,1.524031e-03,1.905309e-03,1.970136e-03,2.450646e-03,2.871163e-03,2.952312e-03,3.462316e-03,3.878500e-03,3.968977e-03,4.462193e-03,4.841436e-03,4.933649e-03,5.376866e-03,5.699860e-03,5.787096e-03,6.161172e-03,6.420147e-03,6.497309e-03,6.794868e-03,6.990373e-03,7.054150e-03,7.276184e-03,7.413850e-03,7.462542e-03,7.615187e-03,7.703158e-03,7.736333e-03,7.828339e-03,7.875490e-03,7.893620e-03,7.934578e-03,7.949429e-03,7.953559e-03,7.952814e-03,7.942974e-03,7.934472e-03,7.900524e-03,7.872457e-03,7.852821e-03,7.793064e-03,7.752079e-03,7.722813e-03,7.643484e-03,7.593827e-03,7.556365e-03,7.462613e-03,7.407608e-03,7.363271e-03,7.259275e-03,7.201480e-03,7.151460e-03,7.040572e-03,6.981919e-03,6.927275e-03,6.812157e-03,6.754081e-03,6.695742e-03,6.578491e-03,6.522035e-03,6.460813e-03,6.343067e-03,6.288970e-03,6.225570e-03,6.108598e-03,6.057361e-03,5.992394e-03,5.877170e-03,5.829113e-03,5.763109e-03,5.650370e-03,5.605677e-03,5.539092e-03,5.429391e-03,5.388140e-03,5.321367e-03,5.215105e-03,5.177295e-03,5.110673e-03,5.008128e-03,4.973702e-03,4.907518e-03,4.808878e-03,4.777734e-03,4.712235e-03,4.617611e-03,4.589619e-03,4.525016e-03,4.434459e-03,4.409468e-03,4.345940e-03,4.259454e-03,4.237300e-03,4.174994e-03,4.092547e-03,4.073058e-03,4.012099e-03,3.933631e-03,3.916631e-03,3.857121e-03,3.782548e-03,3.767864e-03,3.709886e-03,3.639109e-03,3.626567e-03,3.570188e-03,3.503094e-03,3.492526e-03,3.437796e-03,3.374265e-03,3.365510e-03,3.312468e-03,3.252372e-03,3.245273e-03,3.193946e-03,3.137155e-03,3.131565e-03,3.081968e-03,3.028351e-03,3.024128e-03,2.976270e-03,2.925693e-03,2.922706e-03,2.876587e-03,2.828918e-03,2.827040e-03,2.782654e-03,2.737763e-03,2.736879e-03,2.694214e-03,2.651974e-03,2.572080e-03,2.496961e-03,2.426386e-03,2.360133e-03,2.297986e-03,2.239739e-03,2.185192e-03,2.134154e-03,2.086442e-03,2.041880e-03,2.000301e-03,1.961544e-03,1.925456e-03,1.891891e-03,1.860710e-03,1.831779e-03,1.804972e-03,1.780169e-03,1.757255e-03,1.736121e-03,1.716662e-03,1.698781e-03,1.682384e-03,1.667380e-03,1.653686e-03,1.641221e-03,1.629908e-03,1.619674e-03,1.610451e-03,1.602173e-03,1.594778e-03,1.588206e-03,1.582403e-03,1.577315e-03,1.572891e-03,1.569084e-03,1.565850e-03,1.563144e-03,1.560927e-03,1.559161e-03,1.557808e-03,1.556836e-03,1.556212e-03,1.555905e-03,1.555887e-03,1.556130e-03,1.556610e-03,1.557301e-03,1.558182e-03
0.000000e+00,3.618973e-09,6.459330e-08,6.761837e-08,4.252970e-07,1.342448e-06,1.394557e-06,2.961068e-06,4.620974e-06,4.726042e-06,6.412551e-06,7.834033e-06,7.951456e-06,9.337586e-06,1.046094e-05,1.057884e-05,1.168534e-05,1.255570e-05,1.266728e-05,1.353440e-05,1.419529e-05,1.429587e-05,1.496031e-05,1.544938e-05,1.553579e-05,1.602983e-05,1.637908e-05,1.644940e-05,1.680100e-05,1.703738e-05,1.709062e-05,1.732383e-05,1.746988e-05,1.750574e-05,1.764110e-05,1.771552e-05,1.773425e-05,1.778921e-05,1.780749e-05,1.780969e-05,1.779906e-05,1.777391e-05,1.776045e-05,1.769674e-05,1.763862e-05,1.761055e-05,1.750430e-05,1.742172e-05,1.738019e-05,1.724027e-05,1.714017e-05,1.708639e-05,1.692025e-05,1.680822e-05,1.674341e-05,1.655728e-05,1.643780e-05,1.636317e-05,1.616226e-05,1.603890e-05,1.595563e-05,1.574425e-05,1.561983e-05,1.552902e-05,1.531076e-05,1.518748e-05,1.509019e-05,1.486799e-05,1.474753e-05,1.464474e-05,1.442101e-05,1.430464e-05,1.419728e-05,1.397399e-05,1.386264e-05,1.375155e-05,1.353029e-05,1.342461e-05,1.331055e-05,1.309260e-05,1.299301e-05,1.287669e-05,1.266305e-05,1.256982e-05,1.245188e-05,1.224333e-05,1.215656e-05,1.203757e-05,1.183471e-05,1.175441e-05,1.163487e-05,1.143815e-05,1.136423e-05,1.124461e-05,1.105433e-05,1.098663e-05,1.086734e-05,1.068370e-05,1.062203e-05,1.050343e-05,1.032654e-05,1.027066e-05,1.015306e-05,9.982981e-06,9.932620e-06,9.816299e-06,9.653007e-06,9.607890e-06,9.493087e-06,9.336519e-06,9.296357e-06,9.183278e-06,9.033334e-06,8.997835e-06,8.886655e-06,8.743205e-06,8.712076e-06,8.602946e-06,8.465836e-06,8.438788e-06,8.331833e-06,8.200891e-06,8.177643e-06,8.072965e-06,7.948008e-06,7.928287e-06,7.825969e-06,7.706802e-06,7.690345e-06,7.590454e-06,7.476877e-06,7.463431e-06,7.366019e-06,7.257828e-06,7.247154e-06,7.152255e-06,7.049247e-06,7.041116e-06,6.948754e-06,6.850725e-06,6.844920e-06,6.755109e-06,6.661856e-06,6.658175e-06,6.570917e-06,6.482242e-06,6.480492e-06,6.395783e-06,6.311491e-06,6.150800e-06,5.998058e-06,5.852912e-06,5.715022e-06,5.584059e-06,5.459705e-06,5.341655e-06,5.229614e-06,5.123300e-06,5.022443e-06,4.926782e-06,4.836069e-06,4.750067e-06,4.668548e-06,4.591294e-06,4.518099e-06,4.448764e-06,4.383100e-06,4.320927e-06,4.262074e-06,4.206376e-06,4.153678e-06,4.103830e-06,4.056692e-06,4.012128e-06,3.970010e-06,3.930216e-06,3.892629e-06,3.857139e-06,3.823640e-06,3.792032e-06,3.762220e-06,3.734112e-06,3.707623e-06,3.682671e-06,3.659176e-06,3.637066e-06,3.616269e-06,3.596718e-06,3.578349e-06,3.561101e-06,3.544917e-06,3.529742e-06,3.515523e-06,3.502211e-06,3.489759e-06,3.478121e-06,3.467255e-06,3.457120e-06
0.000000e+00,1.754136e-11,2.173741e-09,2.337184e-09,4.710715e-08,4.092804e-07,4.432395e-07,2.635128e-06,1.036354e-05,1.121475e-05,3.678532e-05,9.145121e-05,9.829882e-05,2.237742e-04,4.211694e-04,4.494118e-04,8.176466e-04,1.296300e-03,1.374684e-03,2.167921e-03,3.074293e-03,3.243521e-03,4.644307e-03,6.100081e-03,6.408048e-03,8.566170e-03,1.064734e-02,1.114288e-02,1.415469e-02,1.688347e-02,1.761024e-02,2.151045e-02,2.485740e-02,2.584888e-02,3.061227e-02,3.450490e-02,3.578118e-02,4.133079e-02,4.566544e-02,4.723167e-02,5.345062e-02,5.810502e-02,5.995150e-02,6.669598e-02,7.154079e-02,7.364428e-02,8.075590e-02,8.566434e-02,8.799020e-02,9.530698e-02,1.001621e-01,1.026669e-01,1.100320e-01,1.147316e-01,1.173661e-01,1.246346e-01,1.290941e-01,1.318056e-01,1.388491e-01,1.430025e-01,1.457378e-01,1.524467e-01,1.562467e-01,1.589537e-01,1.652389e-01,1.686552e-01,1.712851e-01,1.770774e-01,1.800953e-01,1.826034e-01,1.878530e-01,1.904707e-01,1.928179e-01,1.974922e-01,1.997191e-01,2.018718e-01,2.059542e-01,2.078079e-01,2.097387e-01,2.132259e-01,2.147307e-01,2.164178e-01,2.193178e-01,2.205024e-01,2.219302e-01,2.242601e-01,2.251560e-01,2.263139e-01,2.280982e-01,2.287382e-01,2.296206e-01,2.308892e-01,2.313064e-01,2.319122e-01,2.326985e-01,2.329254e-01,2.332572e-01,2.335975e-01,2.336651e-01,2.337287e-01,2.336605e-01,2.335980e-01,2.334021e-01,2.329632e-01,2.327977e-01,2.323531e-01,2.315811e-01,2.313371e-01,2.306563e-01,2.295879e-01,2.292876e-01,2.283845e-01,2.270548e-01,2.267178e-01,2.256072e-01,2.240499e-01,2.236934e-01,2.223908e-01,2.206374e-01,2.202761e-01,2.187974e-01,2.168776e-01,2.165242e-01,2.148852e-01,2.128265e-01,2.124914e-01,2.107079e-01,2.085356e-01,2.082275e-01,2.063153e-01,2.040525e-01,2.037784e-01,2.017526e-01,1.994204e-01,1.991856e-01,1.970610e-01,1.946787e-01,1.944872e-01,1.922778e-01,1.898626e-01,1.897173e-01,1.874368e-01,1.850041e-01,1.849067e-01,1.825679e-01,1.801316e-01,1.800829e-01,1.776981e-01,1.752703e-01,1.704906e-01,1.657628e-01,1.611035e-01,1.565272e-01,1.520463e-01,1.476713e-01,1.434111e-01,1.392732e-01,1.352634e-01,1.313866e-01,1.276465e-01,1.240456e-01,1.205858e-01,1.172679e-01,1.140921e-01,1.110582e-01,1.081650e-01,1.054110e-01,1.027945e-01,1.003129e-01,9.796377e-02,9.574404e-02,9.365055e-02,9.167988e-02,8.982844e-02,8.809249e-02,8.646818e-02,8.495153e-02,8.353853e-02,8.222510e-02,8.100713e-02,7.988049e-02,7.884107e-02,7.788476e-02,7.700748e-02,7.620522e-02,7.547399e-02,7.480989e-02,7.420907e-02,7.366779e-02,7.318235e-02,7.274920e-02,7.236486e-02,7.202596e-02,7.172923e-02,7.147154e-02,7.124983e-02,7.106121e-02,7.090288e-02
0.000000e+00,8.272025e-10,1.494962e-08,1.565926e-08,9.907528e-08,2.919721e-07,3.019212e-07,5.652510e-07,8.082559e-07,8.232227e-07,1.061993e-06,1.264040e-06,1.280836e-06,1.480778e-06,1.645576e-06,1.663041e-06,1.828840e-06,1.962049e-06,1.979338e-06,2.115647e-06,2.222327e-06,2.238817e-06,2.349834e-06,2.434376e-06,2.449624e-06,2.539050e-06,2.605210e-06,2.618914e-06,2.689961e-06,2.740918e-06,2.752884e-06,2.808324e-06,2.846755e-06,2.856874e-06,2.899083e-06,2.927235e-06,2.935459e-06,2.966474e-06,2.986228e-06,2.992560e-06,3.014119e-06,3.027048e-06,3.031523e-06,3.045113e-06,3.052528e-06,3.055207e-06,3.062097e-06,3.065091e-06,3.066053e-06,3.067324e-06,3.066804e-06,3.066140e-06,3.062713e-06,3.059434e-06,3.057240e-06,3.049901e-06,3.044487e-06,3.040862e-06,3.030279e-06,3.023247e-06,3.018293e-06,3.005034e-06,2.996809e-06,2.990624e-06,2.975174e-06,2.966106e-06,2.958786e-06,2.941555e-06,2.931930e-06,2.923568e-06,2.904906e-06,2.894959e-06,2.885642e-06,2.865845e-06,2.855766e-06,2.845577e-06,2.824897e-06,2.814839e-06,2.803856e-06,2.782504e-06,2.772591e-06,2.760887e-06,2.739045e-06,2.729373e-06,2.717016e-06,2.694836e-06,2.685483e-06,2.672537e-06,2.650148e-06,2.641173e-06,2.627696e-06,2.605206e-06,2.596654e-06,2.582700e-06,2.560199e-06,2.552104e-06,2.537723e-06,2.515289e-06,2.507673e-06,2.492912e-06,2.470607e-06,2.463487e-06,2.448389e-06,2.426267e-06,2.419652e-06,2.404255e-06,2.382360e-06,2.376253e-06,2.360594e-06,2.338963e-06,2.333362e-06,2.317475e-06,2.296137e-06,2.291039e-06,2.274955e-06,2.253933e-06,2.249331e-06,2.233078e-06,2.212392e-06,2.208276e-06,2.191881e-06,2.171547e-06,2.167906e-06,2.151393e-06,2.131421e-06,2.128243e-06,2.111635e-06,2.092035e-06,2.089306e-06,2.072624e-06,2.053403e-06,2.051109e-06,2.034372e-06,2.015532e-06,2.013659e-06,1.996885e-06,1.978430e-06,1.976962e-06,1.960168e-06,1.942099e-06,1.941021e-06,1.924222e-06,1.906538e-06,1.905834e-06,1.889046e-06,1.871746e-06,1.871401e-06,1.854636e-06,1.837717e-06,1.804777e-06,1.772573e-06,1.741097e-06,1.710342e-06,1.680297e-06,1.650953e-06,1.622300e-06,1.594325e-06,1.567019e-06,1.540371e-06,1.514368e-06,1.488999e-06,1.464253e-06,1.440118e-06,1.416583e-06,1.393635e-06,1.371265e-06,1.349460e-06,1.328209e-06,1.307501e-06,1.287326e-06,1.267671e-06,1.248527e-06,1.229883e-06,1.211729e-06,1.194054e-06,1.176848e-06,1.160102e-06,1.143805e-06,1.127948e-06,1.112522e-06,1.097517e-06,1.082924e-06,1.068735e-06,1.054940e-06,1.041531e-06,1.028500e-06,1.015838e-06,1.003536e-06,9.915882e-07,9.799851e-07,9.687195e-07,9.577838e-07,9.471707e-07,9.368729e-07,9.268832e-07,9.171946e-07,9.078004e-07,8.986937e-07
0.000000e+00,9.744111e-09,2.034100e-07,2.135965e-07,1.593063e-06,5.731876e-06,5.977481e-06,1.338098e-05,2.103703e-05,2.151798e-05,2.924678e-05,3.582626e-05,3.637395e-05,4.289888e-05,4.828157e-05,4.885216e-05,5.426871e-05,5.861862e-05,5.918291e-05,6.362788e-05,6.709942e-05,6.763526e-05,7.123521e-05,7.396532e-05,7.445639e-05,7.732592e-05,7.943453e-05,7.986939e-05,8.211085e-05,8.370178e-05,8.407286e-05,8.577656e-05,8.693888e-05,8.724170e-05,8.848672e-05,8.929635e-05,8.952883e-05,9.038404e-05,9.090537e-05,9.106724e-05,9.159226e-05,9.187963e-05,9.197204e-05,9.221856e-05,9.231783e-05,9.234296e-05,9.235561e-05,9.230531e-05,9.226612e-05,9.208343e-05,9.191585e-05,9.181583e-05,9.147099e-05,9.121309e-05,9.105606e-05,9.057767e-05,9.025190e-05,9.004194e-05,8.945454e-05,8.907948e-05,8.882069e-05,8.814524e-05,8.773621e-05,8.743269e-05,8.668717e-05,8.625672e-05,8.591251e-05,8.511225e-05,8.467063e-05,8.428966e-05,8.344775e-05,8.300325e-05,8.258930e-05,8.171687e-05,8.127616e-05,8.083283e-05,7.993934e-05,7.950770e-05,7.903840e-05,7.813184e-05,7.771341e-05,7.722135e-05,7.630847e-05,7.590642e-05,7.539462e-05,7.448109e-05,7.409779e-05,7.356906e-05,7.265961e-05,7.229677e-05,7.175372e-05,7.085230e-05,7.051110e-05,6.995615e-05,6.906601e-05,6.874717e-05,6.818255e-05,6.730636e-05,6.701021e-05,6.643798e-05,6.557790e-05,6.530450e-05,6.472655e-05,6.388431e-05,6.363347e-05,6.305152e-05,6.222848e-05,6.199982e-05,6.141546e-05,6.061267e-05,6.040564e-05,5.982031e-05,5.903855e-05,5.885252e-05,5.826752e-05,5.750733e-05,5.734155e-05,5.675807e-05,5.601982e-05,5.587349e-05,5.529261e-05,5.457648e-05,5.444876e-05,5.387145e-05,5.317750e-05,5.306750e-05,5.249463e-05,5.182280e-05,5.172963e-05,5.116198e-05,5.051212e-05,5.043487e-05,4.987316e-05,4.924503e-05,4.918281e-05,4.862766e-05,4.802096e-05,4.797288e-05,4.742484e-05,4.683922e-05,4.680441e-05,4.626398e-05,4.569904e-05,4.567665e-05,4.514427e-05,4.459956e-05,4.458877e-05,4.406481e-05,4.353989e-05,4.252910e-05,4.155543e-05,4.061793e-05,3.971560e-05,3.884744e-05,3.801247e-05,3.720970e-05,3.643813e-05,3.569681e-05,3.498476e-05,3.430104e-05,3.364473e-05,3.301492e-05,3.241072e-05,3.183126e-05,3.127570e-05,3.074322e-05,3.023300e-05,2.974427e-05,2.927627e-05,2.882827e-05,2.839955e-05,2.798941e-05,2.759719e-05,2.722224e-05,2.686392e-05,2.652162e-05,2.619475e-05,2.588274e-05,2.558504e-05,2.530111e-05,2.503043e-05,2.477250e-05,2.452685e-05,2.429300e-05,2.407049e-05,2.385891e-05,2.365781e-05,2.346680e-05,2.328549e-05,2.311349e-05,2.295043e-05,2.279597e-05,2.264975e-05,2.251146e-05,2.238077e-05,2.225737e-05,2.214097e-05,2.203129e-05
0.000000e+00,6.056078e-11,6.713009e-09,7.205926e-09,1.365053e-07,1.123128e-06,1.213044e-06,6.622183e-06,2.320918e-05,2.490378e-05,6.984848e-05,1.476906e-04,1.564537e-04,2.958596e-04,4.702270e-04,4.924308e-04,7.435163e-04,1.003179e-03,1.040959e-03,1.373263e-03,1.677193e-03,1.727664e-03,2.091724e-03,2.396854e-03,2.454384e-03,2.806499e-03,3.082350e-03,3.141011e-03,3.452863e-03,3.683770e-03,3.738771e-03,3.996935e-03,4.178606e-03,4.226729e-03,4.428426e-03,4.563471e-03,4.602943e-03,4.751639e-03,4.846008e-03,4.876154e-03,4.978281e-03,5.038989e-03,5.059872e-03,5.122769e-03,5.156636e-03,5.168762e-03,5.199552e-03,5.212626e-03,5.216738e-03,5.221804e-03,5.219177e-03,5.216117e-03,5.200924e-03,5.186743e-03,5.177364e-03,5.146466e-03,5.124036e-03,5.109160e-03,5.066286e-03,5.038205e-03,5.018596e-03,4.966765e-03,4.935047e-03,4.911398e-03,4.853037e-03,4.819229e-03,4.792165e-03,4.729216e-03,4.694497e-03,4.664574e-03,4.598583e-03,4.563837e-03,4.531548e-03,4.463742e-03,4.429626e-03,4.395406e-03,4.326754e-03,4.293745e-03,4.257976e-03,4.189241e-03,4.157679e-03,4.120698e-03,4.052476e-03,4.022591e-03,3.984692e-03,3.917447e-03,3.889386e-03,3.850828e-03,3.784913e-03,3.758760e-03,3.719770e-03,3.655454e-03,3.631242e-03,3.592016e-03,3.529498e-03,3.507224e-03,3.467936e-03,3.407358e-03,3.386991e-03,3.347790e-03,3.289250e-03,3.270737e-03,3.231753e-03,3.175312e-03,3.158587e-03,3.119935e-03,3.065625e-03,3.050610e-03,3.012386e-03,2.960218e-03,2.946830e-03,2.909118e-03,2.859083e-03,2.847232e-03,2.810106e-03,2.762180e-03,2.751777e-03,2.715297e-03,2.669447e-03,2.660400e-03,2.624620e-03,2.580803e-03,2.573022e-03,2.537985e-03,2.496152e-03,2.489549e-03,2.455291e-03,2.415389e-03,2.409878e-03,2.376430e-03,2.338400e-03,2.333898e-03,2.301285e-03,2.265068e-03,2.261495e-03,2.229735e-03,2.195270e-03,2.192550e-03,2.161658e-03,2.128884e-03,2.126943e-03,2.096931e-03,2.065784e-03,2.064555e-03,2.035429e-03,2.005849e-03,2.005265e-03,1.977030e-03,1.948955e-03,1.895509e-03,1.844810e-03,1.796748e-03,1.751213e-03,1.708099e-03,1.667302e-03,1.628723e-03,1.592265e-03,1.557835e-03,1.525341e-03,1.494698e-03,1.465822e-03,1.438632e-03,1.413050e-03,1.389001e-03,1.366415e-03,1.345221e-03,1.325354e-03,1.306751e-03,1.289349e-03,1.273091e-03,1.257921e-03,1.243784e-03,1.230630e-03,1.218407e-03,1.207070e-03,1.196572e-03,1.186870e-03,1.177922e-03,1.169687e-03,1.162129e-03,1.155209e-03,1.148893e-03,1.143147e-03,1.137939e-03,1.133239e-03,1.129016e-03,1.125242e-03,1.121891e-03,1.118937e-03,1.116355e-03,1.114121e-03,1.112214e-03,1.110612e-03,1.109295e-03,1.108243e-03,1.107437e-03,1.106860e-03,1.106495e-03
0.000000e+00,1.804575e-10,1.856771e-08,1.990262e-08,3.470651e-07,2.562486e-06,2.753785e-06,1.318462e-05,4.088761e-05,4.354394e-05,1.083826e-04,2.072684e-04,2.177391e-04,3.726089e-04,5.449607e-04,5.656593e-04,7.848568e-04,9.890129e-04,1.017181e-03,1.251099e-03,1.446659e-03,1.477681e-03,1.690768e-03,1.856530e-03,1.886610e-03,2.063331e-03,2.193564e-03,2.220390e-03,2.358130e-03,2.454999e-03,2.477441e-03,2.579519e-03,2.648035e-03,2.665701e-03,2.737362e-03,2.782944e-03,2.795850e-03,2.842448e-03,2.869986e-03,2.878359e-03,2.904695e-03,2.918303e-03,2.922475e-03,2.932629e-03,2.935656e-03,2.936003e-03,2.933361e-03,2.928486e-03,2.925398e-03,2.912740e-03,2.902089e-03,2.895950e-03,2.875539e-03,2.860790e-03,2.851967e-03,2.825646e-03,2.808112e-03,2.796949e-03,2.766211e-03,2.746915e-03,2.733733e-03,2.699784e-03,2.679517e-03,2.664608e-03,2.628423e-03,2.607791e-03,2.591423e-03,2.553782e-03,2.533246e-03,2.515658e-03,2.477190e-03,2.457092e-03,2.438501e-03,2.399704e-03,2.380295e-03,2.360896e-03,2.322164e-03,2.303624e-03,2.283587e-03,2.245233e-03,2.227681e-03,2.207161e-03,2.169425e-03,2.152940e-03,2.132071e-03,2.095139e-03,2.079762e-03,2.058664e-03,2.022676e-03,2.008423e-03,1.987201e-03,1.952260e-03,1.939126e-03,1.917871e-03,1.884050e-03,1.872016e-03,1.850808e-03,1.818156e-03,1.807189e-03,1.786099e-03,1.754645e-03,1.744707e-03,1.723795e-03,1.693553e-03,1.684598e-03,1.663917e-03,1.634887e-03,1.626867e-03,1.606462e-03,1.578637e-03,1.571501e-03,1.551409e-03,1.524773e-03,1.518468e-03,1.498724e-03,1.473255e-03,1.467729e-03,1.448360e-03,1.424031e-03,1.419233e-03,1.400262e-03,1.377044e-03,1.372923e-03,1.354370e-03,1.332230e-03,1.328737e-03,1.310617e-03,1.289521e-03,1.286608e-03,1.268934e-03,1.248847e-03,1.246470e-03,1.229252e-03,1.210138e-03,1.208253e-03,1.191498e-03,1.173322e-03,1.171887e-03,1.155601e-03,1.138326e-03,1.137303e-03,1.121489e-03,1.105080e-03,1.104432e-03,1.089091e-03,1.073513e-03,1.073205e-03,1.058338e-03,1.043557e-03,1.015420e-03,9.887331e-04,9.634331e-04,9.394604e-04,9.167570e-04,8.952670e-04,8.749363e-04,8.557129e-04,8.375468e-04,8.203896e-04,8.041952e-04,7.889190e-04,7.745186e-04,7.609528e-04,7.481825e-04,7.361701e-04,7.248795e-04,7.142763e-04,7.043272e-04,6.950008e-04,6.862666e-04,6.780957e-04,6.704604e-04,6.633340e-04,6.566912e-04,6.505077e-04,6.447602e-04,6.394266e-04,6.344855e-04,6.299166e-04,6.257005e-04,6.218186e-04,6.182532e-04,6.149873e-04,6.120047e-04,6.092899e-04,6.068280e-04,6.046051e-04,6.026074e-04,6.008223e-04,5.992373e-04,5.978407e-04,5.966213e-04,5.955684e-04,5.946718e-04,5.939217e-04,5.933090e-04,5.928247e-04,5.924604e-04
0.000000e+00,3.179270e-09,5.643612e-08,5.909955e-08,3.725212e-07,1.097533e-06,1.134731e-06,2.117665e-06,3.033629e-06,3.090497e-06,4.005677e-06,4.792527e-06,4.858481e-06,5.650372e-06,6.312972e-06,6.383749e-06,7.061171e-06,7.613081e-06,7.685239e-06,8.258582e-06,8.713096e-06,8.783834e-06,9.263606e-06,9.633346e-06,9.700463e-06,1.009690e-05,1.039351e-05,1.045533e-05,1.077807e-05,1.101206e-05,1.106733e-05,1.132523e-05,1.150590e-05,1.155376e-05,1.175483e-05,1.189039e-05,1.193024e-05,1.208169e-05,1.217929e-05,1.221079e-05,1.231907e-05,1.238494e-05,1.240795e-05,1.247879e-05,1.251833e-05,1.253286e-05,1.257136e-05,1.258922e-05,1.259542e-05,1.260610e-05,1.260630e-05,1.260439e-05,1.259125e-05,1.257725e-05,1.256755e-05,1.253412e-05,1.250885e-05,1.249174e-05,1.244115e-05,1.240713e-05,1.238302e-05,1.231799e-05,1.227736e-05,1.224668e-05,1.216965e-05,1.212421e-05,1.208742e-05,1.200050e-05,1.195177e-05,1.190933e-05,1.181437e-05,1.176362e-05,1.171600e-05,1.161462e-05,1.156290e-05,1.151057e-05,1.140418e-05,1.135238e-05,1.129577e-05,1.118561e-05,1.113442e-05,1.107398e-05,1.096112e-05,1.091113e-05,1.084726e-05,1.073263e-05,1.068430e-05,1.061742e-05,1.050181e-05,1.045549e-05,1.038597e-05,1.027008e-05,1.022605e-05,1.015426e-05,1.003867e-05,9.997134e-06,9.923419e-06,9.808628e-06,9.769723e-06,9.694403e-06,9.580841e-06,9.544656e-06,9.468032e-06,9.356057e-06,9.322638e-06,9.244991e-06,9.134902e-06,9.104260e-06,9.025851e-06,8.917895e-06,8.890012e-06,8.811084e-06,8.705463e-06,8.680295e-06,8.601072e-06,8.497947e-06,8.475433e-06,8.396120e-06,8.295619e-06,8.275681e-06,8.196468e-06,8.098688e-06,8.081235e-06,8.002296e-06,7.907307e-06,7.892240e-06,7.813734e-06,7.721584e-06,7.708798e-06,7.630867e-06,7.541585e-06,7.530968e-06,7.453743e-06,7.367341e-06,7.358780e-06,7.282378e-06,7.198852e-06,7.192232e-06,7.116759e-06,7.036094e-06,7.031299e-06,6.956850e-06,6.879019e-06,6.875935e-06,6.802593e-06,6.727561e-06,6.726075e-06,6.653915e-06,6.581640e-06,6.442539e-06,6.308670e-06,6.179922e-06,6.056178e-06,5.937316e-06,5.823210e-06,5.713729e-06,5.608744e-06,5.508121e-06,5.411729e-06,5.319433e-06,5.231103e-06,5.146608e-06,5.065819e-06,4.988609e-06,4.914853e-06,4.844428e-06,4.777213e-06,4.713093e-06,4.651951e-06,4.593677e-06,4.538161e-06,4.485298e-06,4.434984e-06,4.387121e-06,4.341610e-06,4.298358e-06,4.257275e-06,4.218272e-06,4.181263e-06,4.146167e-06,4.112904e-06,4.081397e-06,4.051572e-06,4.023357e-06,3.996683e-06,3.971484e-06,3.947694e-06,3.925253e-06,3.904100e-06,3.884178e-06,3.865432e-06,3.847808e-06,3.831256e-06,3.815725e-06,3.801169e-06,3.787541e-06,3.774798e-06,3.762899e-06
0.000000e+00,3.543531e-10,5.747990e-09,6.021116e-09,4.123109e-08,1.409165e-07,1.466490e-07,3.130337e-07,4.789427e-07,4.892773e-07,6.542197e-07,7.927754e-07,8.042212e-07,9.394142e-07,1.049144e-06,1.060670e-06,1.168979e-06,1.254351e-06,1.265309e-06,1.350578e-06,1.415724e-06,1.425652e-06,1.491342e-06,1.539831e-06,1.548413e-06,1.597578e-06,1.632461e-06,1.639501e-06,1.674804e-06,1.698669e-06,1.704064e-06,1.727815e-06,1.742837e-06,1.746553e-06,1.760737e-06,1.768732e-06,1.770789e-06,1.777100e-06,1.779576e-06,1.780031e-06,1.779913e-06,1.778111e-06,1.777050e-06,1.771722e-06,1.766664e-06,1.764186e-06,1.754679e-06,1.747199e-06,1.743416e-06,1.730596e-06,1.721371e-06,1.716401e-06,1.700996e-06,1.690573e-06,1.684533e-06,1.667152e-06,1.655970e-06,1.648978e-06,1.630128e-06,1.618536e-06,1.610705e-06,1.590807e-06,1.579083e-06,1.570520e-06,1.549923e-06,1.538280e-06,1.529088e-06,1.508080e-06,1.496684e-06,1.486957e-06,1.465772e-06,1.454748e-06,1.444574e-06,1.423404e-06,1.412843e-06,1.402302e-06,1.381303e-06,1.371268e-06,1.360436e-06,1.339729e-06,1.330265e-06,1.319207e-06,1.298891e-06,1.290022e-06,1.278800e-06,1.258950e-06,1.250688e-06,1.239355e-06,1.220029e-06,1.212376e-06,1.200981e-06,1.182221e-06,1.175169e-06,1.163756e-06,1.145591e-06,1.139127e-06,1.127733e-06,1.110184e-06,1.104289e-06,1.092948e-06,1.076026e-06,1.070677e-06,1.059419e-06,1.043127e-06,1.038301e-06,1.027151e-06,1.011489e-06,1.007159e-06,9.961392e-07,9.811004e-07,9.772409e-07,9.663698e-07,9.519446e-07,9.485277e-07,9.378219e-07,9.239981e-07,9.209966e-07,9.104696e-07,8.972325e-07,8.946197e-07,8.842828e-07,8.716163e-07,8.693660e-07,8.592285e-07,8.471150e-07,8.452020e-07,8.352713e-07,8.236927e-07,8.220926e-07,8.123745e-07,8.013119e-07,8.000014e-07,7.905002e-07,7.799347e-07,7.788915e-07,7.696104e-07,7.595227e-07,7.587257e-07,7.496667e-07,7.400378e-07,7.394672e-07,7.306312e-07,7.214423e-07,7.210792e-07,7.124663e-07,7.036988e-07,7.035256e-07,6.951353e-07,6.867711e-07,6.707813e-07,6.555226e-07,6.409625e-07,6.270698e-07,6.138140e-07,6.011659e-07,5.890977e-07,5.775823e-07,5.665940e-07,5.561080e-07,5.461007e-07,5.365495e-07,5.274328e-07,5.187299e-07,5.104213e-07,5.024881e-07,4.949124e-07,4.876773e-07,4.807664e-07,4.741643e-07,4.678563e-07,4.618284e-07,4.560671e-07,4.505599e-07,4.452945e-07,4.402596e-07,4.354442e-07,4.308378e-07,4.264306e-07,4.222131e-07,4.181765e-07,4.143121e-07,4.106118e-07,4.070681e-07,4.036734e-07,4.004209e-07,3.973039e-07,3.943161e-07,3.914515e-07,3.887043e-07,3.860692e-07,3.835410e-07,3.811147e-07,3.787857e-07,3.765495e-07,3.744019e-07,3.723388e-07,3.703564e-07,3.684510e-07
0.000000e+00,1.071613e-09,1.896826e-08,1.986876e-08,1.281506e-07,3.921739e-07,4.061959e-07,7.877868e-07,1.151771e-06,1.174432e-06,1.538915e-06,1.851256e-06,1.877374e-06,2.190102e-06,2.450421e-06,2.478148e-06,2.742692e-06,2.956996e-06,2.984925e-06,3.206026e-06,3.380155e-06,3.407153e-06,3.589438e-06,3.728803e-06,3.753982e-06,3.901847e-06,4.011367e-06,4.034054e-06,4.151585e-06,4.235674e-06,4.255377e-06,4.346321e-06,4.408885e-06,4.425265e-06,4.493009e-06,4.537473e-06,4.550313e-06,4.597895e-06,4.627247e-06,4.636433e-06,4.666567e-06,4.683399e-06,4.688898e-06,4.703997e-06,4.710550e-06,4.712398e-06,4.714604e-06,4.712810e-06,4.711091e-06,4.702303e-06,4.693818e-06,4.688660e-06,4.670556e-06,4.656799e-06,4.648359e-06,4.622418e-06,4.604598e-06,4.593058e-06,4.560584e-06,4.539725e-06,4.525283e-06,4.487422e-06,4.464389e-06,4.447252e-06,4.405009e-06,4.380530e-06,4.360912e-06,4.315167e-06,4.289847e-06,4.267965e-06,4.219485e-06,4.193827e-06,4.169895e-06,4.119351e-06,4.093766e-06,4.067997e-06,4.015968e-06,3.990792e-06,3.963391e-06,3.910381e-06,3.885882e-06,3.857048e-06,3.803491e-06,3.779879e-06,3.749803e-06,3.696071e-06,3.673510e-06,3.642374e-06,3.588786e-06,3.567397e-06,3.535374e-06,3.482200e-06,3.462069e-06,3.429321e-06,3.376790e-06,3.357973e-06,3.324654e-06,3.272957e-06,3.255487e-06,3.221738e-06,3.171033e-06,3.154922e-06,3.120875e-06,3.071294e-06,3.056535e-06,3.022314e-06,2.973960e-06,2.960536e-06,2.926252e-06,2.879209e-06,2.867089e-06,2.832847e-06,2.787179e-06,2.776323e-06,2.742217e-06,2.697971e-06,2.688334e-06,2.654449e-06,2.611659e-06,2.603189e-06,2.569604e-06,2.528290e-06,2.520932e-06,2.487717e-06,2.447888e-06,2.441585e-06,2.408803e-06,2.370460e-06,2.365152e-06,2.332859e-06,2.295995e-06,2.291621e-06,2.259866e-06,2.224468e-06,2.220968e-06,2.189796e-06,2.155843e-06,2.153158e-06,2.122605e-06,2.090074e-06,2.088145e-06,2.058244e-06,2.027107e-06,2.025876e-06,1.996656e-06,1.966882e-06,1.966293e-06,1.937776e-06,1.909331e-06,1.854923e-06,1.802996e-06,1.753478e-06,1.706293e-06,1.661366e-06,1.618618e-06,1.577975e-06,1.539359e-06,1.502695e-06,1.467909e-06,1.434927e-06,1.403677e-06,1.374089e-06,1.346094e-06,1.319625e-06,1.294617e-06,1.271007e-06,1.248734e-06,1.227738e-06,1.207961e-06,1.189349e-06,1.171848e-06,1.155406e-06,1.139974e-06,1.125504e-06,1.111950e-06,1.099269e-06,1.087417e-06,1.076353e-06,1.066040e-06,1.056440e-06,1.047516e-06,1.039235e-06,1.031563e-06,1.024469e-06,1.017924e-06,1.011897e-06,1.006363e-06,1.001294e-06,9.966647e-07,9.924521e-07,9.886328e-07,9.851851e-07,9.820880e-07,9.793216e-07,9.768670e-07,9.747059e-07,9.728211e-07,9.711962e-07
0.000000e+00,2.719731e-10,3.619577e-09,3.775900e-09,2.176697e-08,6.903394e-08,7.179896e-08,1.596659e-07,2.626311e-07,2.694110e-07,3.807925e-07,4.771584e-07,4.851961e-07,5.809360e-07,6.597589e-07,6.681015e-07,7.471400e-07,8.103748e-07,8.185598e-07,8.828667e-07,9.328538e-07,9.405480e-07,9.920686e-07,1.030908e-06,1.037869e-06,1.078365e-06,1.107890e-06,1.113949e-06,1.144988e-06,1.166779e-06,1.171827e-06,1.194788e-06,1.210199e-06,1.214171e-06,1.230260e-06,1.240445e-06,1.243315e-06,1.253582e-06,1.259518e-06,1.261288e-06,1.266644e-06,1.269158e-06,1.269849e-06,1.271086e-06,1.270872e-06,1.270525e-06,1.268326e-06,1.265970e-06,1.264636e-06,1.259593e-06,1.255585e-06,1.253324e-06,1.245947e-06,1.240695e-06,1.237572e-06,1.228299e-06,1.222140e-06,1.218222e-06,1.207428e-06,1.200642e-06,1.195999e-06,1.184008e-06,1.176823e-06,1.171523e-06,1.158609e-06,1.151212e-06,1.145324e-06,1.131721e-06,1.124261e-06,1.117851e-06,1.103758e-06,1.096357e-06,1.089486e-06,1.075072e-06,1.067823e-06,1.060551e-06,1.045957e-06,1.038934e-06,1.031319e-06,1.016664e-06,1.009923e-06,1.002016e-06,9.873997e-07,9.809833e-07,9.728340e-07,9.583381e-07,9.522747e-07,9.439288e-07,9.296215e-07,9.239302e-07,9.154299e-07,9.013664e-07,8.960582e-07,8.874421e-07,8.736669e-07,8.687460e-07,8.600495e-07,8.465978e-07,8.420631e-07,8.333184e-07,8.202174e-07,8.160636e-07,8.072998e-07,7.945701e-07,7.907883e-07,7.820318e-07,7.696882e-07,7.662672e-07,7.575417e-07,7.455942e-07,7.425207e-07,7.338473e-07,7.223020e-07,7.195612e-07,7.109588e-07,6.998181e-07,6.973943e-07,6.888796e-07,6.781431e-07,6.760200e-07,6.676078e-07,6.572728e-07,6.554337e-07,6.471369e-07,6.371986e-07,6.356267e-07,6.274565e-07,6.179087e-07,6.165874e-07,6.085534e-07,5.993885e-07,5.983014e-07,5.904118e-07,5.816211e-07,5.807522e-07,5.730140e-07,5.645881e-07,5.639218e-07,5.563408e-07,5.482696e-07,5.477909e-07,5.403718e-07,5.326448e-07,5.323393e-07,5.250859e-07,5.176923e-07,5.175461e-07,5.104613e-07,5.033901e-07,4.898497e-07,4.769034e-07,4.645297e-07,4.527074e-07,4.414154e-07,4.306330e-07,4.203402e-07,4.105171e-07,4.011446e-07,3.922039e-07,3.836769e-07,3.755461e-07,3.677946e-07,3.604059e-07,3.533642e-07,3.466545e-07,3.402619e-07,3.341725e-07,3.283726e-07,3.228495e-07,3.175905e-07,3.125838e-07,3.078178e-07,3.032818e-07,2.989651e-07,2.948577e-07,2.909501e-07,2.872330e-07,2.836976e-07,2.803356e-07,2.771390e-07,2.741000e-07,2.712114e-07,2.684661e-07,2.658576e-07,2.633793e-07,2.610253e-07,2.587897e-07,2.566670e-07,2.546519e-07,2.527394e-07,2.509246e-07,2.492029e-07,2.475701e-07,2.460219e-07,2.445543e-07,2.431634e-07,2.418458e-07,2.405978e-07
0.000000e+00,5.297361e-10,8.091376e-09,8.461678e-09,5.326441e-08,1.728527e-07,1.797121e-07,3.842844e-07,5.965469e-07,6.098960e-07,8.237391e-07,1.003948e-06,1.018848e-06,1.194966e-06,1.338094e-06,1.353140e-06,1.494633e-06,1.606346e-06,1.620700e-06,1.732541e-06,1.818213e-06,1.831289e-06,1.918009e-06,1.982286e-06,1.993693e-06,2.059266e-06,2.106094e-06,2.115585e-06,2.163446e-06,2.196140e-06,2.203583e-06,2.236675e-06,2.258002e-06,2.263350e-06,2.284187e-06,2.296442e-06,2.299710e-06,2.310422e-06,2.315516e-06,2.316771e-06,2.319177e-06,2.318682e-06,2.318019e-06,2.313645e-06,2.308845e-06,2.306380e-06,2.296518e-06,2.288467e-06,2.284330e-06,2.270064e-06,2.259622e-06,2.253949e-06,2.236192e-06,2.224055e-06,2.216984e-06,2.196501e-06,2.183231e-06,2.174901e-06,2.152331e-06,2.138379e-06,2.128924e-06,2.104803e-06,2.090529e-06,2.080078e-06,2.054850e-06,2.040537e-06,2.029211e-06,2.003246e-06,1.989116e-06,1.977030e-06,1.950633e-06,1.936856e-06,1.924118e-06,1.897541e-06,1.884245e-06,1.870953e-06,1.844402e-06,1.831683e-06,1.817929e-06,1.791571e-06,1.779495e-06,1.765362e-06,1.739333e-06,1.727944e-06,1.713510e-06,1.687917e-06,1.677242e-06,1.662576e-06,1.637506e-06,1.627557e-06,1.612722e-06,1.588240e-06,1.579019e-06,1.564072e-06,1.540228e-06,1.531726e-06,1.516718e-06,1.493550e-06,1.485752e-06,1.470731e-06,1.448264e-06,1.441150e-06,1.426156e-06,1.404408e-06,1.397954e-06,1.383023e-06,1.362002e-06,1.356182e-06,1.341347e-06,1.321057e-06,1.315842e-06,1.301132e-06,1.281571e-06,1.276930e-06,1.262372e-06,1.243533e-06,1.239436e-06,1.225051e-06,1.206925e-06,1.203342e-06,1.189150e-06,1.171724e-06,1.168624e-06,1.154643e-06,1.137903e-06,1.135256e-06,1.121500e-06,1.105430e-06,1.103206e-06,1.089689e-06,1.074271e-06,1.072443e-06,1.059174e-06,1.044392e-06,1.042931e-06,1.029920e-06,1.015753e-06,1.014633e-06,1.001888e-06,9.883189e-07,9.875141e-07,9.750409e-07,9.620494e-07,9.615356e-07,9.493395e-07,9.369064e-07,9.366605e-07,9.247452e-07,9.128512e-07,8.900707e-07,8.682823e-07,8.474499e-07,8.275384e-07,8.085131e-07,7.903403e-07,7.729873e-07,7.564222e-07,7.406142e-07,7.255331e-07,7.111501e-07,6.974371e-07,6.843671e-07,6.719138e-07,6.600521e-07,6.487577e-07,6.380070e-07,6.277776e-07,6.180478e-07,6.087965e-07,6.000037e-07,5.916500e-07,5.837168e-07,5.761862e-07,5.690410e-07,5.622647e-07,5.558413e-07,5.497557e-07,5.439931e-07,5.385394e-07,5.333811e-07,5.285053e-07,5.238994e-07,5.195515e-07,5.154501e-07,5.115841e-07,5.079429e-07,5.045164e-07,5.012949e-07,4.982688e-07,4.954294e-07,4.927678e-07,4.902759e-07,4.879457e-07,4.857696e-07,4.837402e-07,4.818507e-07,4.800943e-07,4.784644e-07
0.000000e+00,7.559048e-09,1.220908e-07,1.276708e-07,8.184483e-07,2.802444e-06,2.921953e-06,6.751713e-06,1.108682e-05,1.136333e-05,1.575020e-05,1.931040e-05,1.959724e-05,2.288878e-05,2.541733e-05,2.567488e-05,2.801406e-05,2.974690e-05,2.996162e-05,3.156714e-05,3.270797e-05,3.287456e-05,3.392262e-05,3.462751e-05,3.474521e-05,3.537169e-05,3.575770e-05,3.582848e-05,3.613881e-05,3.629538e-05,3.632302e-05,3.639890e-05,3.639292e-05,3.638194e-05,3.628568e-05,3.616679e-05,3.612189e-05,3.590082e-05,3.570563e-05,3.563137e-05,3.532126e-05,3.507662e-05,3.497722e-05,3.460506e-05,3.433054e-05,3.420982e-05,3.379587e-05,3.350566e-05,3.336700e-05,3.292647e-05,3.263072e-05,3.247710e-05,3.202132e-05,3.172724e-05,3.156123e-05,3.109864e-05,3.081127e-05,3.063510e-05,3.017192e-05,2.989467e-05,2.971025e-05,2.925104e-05,2.898615e-05,2.879511e-05,2.834317e-05,2.809204e-05,2.789579e-05,2.745345e-05,2.721684e-05,2.701658e-05,2.658550e-05,2.636373e-05,2.616049e-05,2.574176e-05,2.553481e-05,2.532949e-05,2.492380e-05,2.473144e-05,2.452480e-05,2.413255e-05,2.395440e-05,2.374710e-05,2.336846e-05,2.320402e-05,2.299664e-05,2.263161e-05,2.248032e-05,2.227336e-05,2.192182e-05,2.178308e-05,2.157697e-05,2.123872e-05,2.111191e-05,2.090702e-05,2.058179e-05,2.046628e-05,2.026296e-05,1.995043e-05,1.984559e-05,1.964412e-05,1.934395e-05,1.924918e-05,1.904982e-05,1.876164e-05,1.867633e-05,1.847931e-05,1.820274e-05,1.812632e-05,1.793183e-05,1.766649e-05,1.759841e-05,1.740663e-05,1.715214e-05,1.709185e-05,1.690293e-05,1.665891e-05,1.660591e-05,1.641998e-05,1.618606e-05,1.613987e-05,1.595704e-05,1.573284e-05,1.569299e-05,1.551337e-05,1.529854e-05,1.526460e-05,1.508827e-05,1.488245e-05,1.485399e-05,1.468102e-05,1.448389e-05,1.446052e-05,1.429097e-05,1.410218e-05,1.408352e-05,1.391744e-05,1.373668e-05,1.372239e-05,1.355981e-05,1.338677e-05,1.337651e-05,1.321747e-05,1.305184e-05,1.304529e-05,1.288982e-05,1.273132e-05,1.272818e-05,1.257628e-05,1.242463e-05,1.213411e-05,1.185611e-05,1.159014e-05,1.133573e-05,1.109242e-05,1.085978e-05,1.063739e-05,1.042483e-05,1.022172e-05,1.002768e-05,9.842350e-06,9.665377e-06,9.496429e-06,9.335182e-06,9.181327e-06,9.034563e-06,8.894606e-06,8.761177e-06,8.634013e-06,8.512857e-06,8.397463e-06,8.287597e-06,8.183030e-06,8.083545e-06,7.988932e-06,7.898990e-06,7.813523e-06,7.732347e-06,7.655281e-06,7.582155e-06,7.512801e-06,7.447061e-06,7.384783e-06,7.325819e-06,7.270028e-06,7.217275e-06,7.167429e-06,7.120364e-06,7.075961e-06,7.034104e-06,6.994681e-06,6.957585e-06,6.922715e-06,6.889971e-06,6.859260e-06,6.830489e-06,6.803572e-06,6.778424e-06,6.754966e-06
0.000000e+00,1.232574e-09,2.164500e-08,2.267575e-08,1.490835e-07,4.772565e-07,4.955337e-07,1.019155e-06,1.542907e-06,1.575807e-06,2.107040e-06,2.564185e-06,2.602472e-06,3.061640e-06,3.445014e-06,3.485923e-06,3.877101e-06,4.195392e-06,4.236985e-06,4.567318e-06,4.828969e-06,4.869675e-06,5.145671e-06,5.358289e-06,5.396880e-06,5.624806e-06,5.795337e-06,5.830880e-06,6.016463e-06,6.151044e-06,6.182844e-06,6.331242e-06,6.435254e-06,6.462812e-06,6.578644e-06,6.656786e-06,6.679767e-06,6.767151e-06,6.823512e-06,6.841714e-06,6.904317e-06,6.942444e-06,6.955774e-06,6.996851e-06,7.019817e-06,7.028270e-06,7.050709e-06,7.061165e-06,7.064807e-06,7.071165e-06,7.071397e-06,7.070348e-06,7.062889e-06,7.054861e-06,7.049286e-06,7.030009e-06,7.015402e-06,7.005499e-06,6.976169e-06,6.956421e-06,6.942410e-06,6.904585e-06,6.880919e-06,6.863037e-06,6.818087e-06,6.791542e-06,6.770036e-06,6.719167e-06,6.690620e-06,6.665744e-06,6.610015e-06,6.580201e-06,6.552211e-06,6.492549e-06,6.462086e-06,6.431233e-06,6.368453e-06,6.337851e-06,6.304385e-06,6.239196e-06,6.208875e-06,6.173040e-06,6.106061e-06,6.076364e-06,6.038394e-06,5.970164e-06,5.941368e-06,5.901488e-06,5.832475e-06,5.804798e-06,5.763226e-06,5.693833e-06,5.667445e-06,5.624386e-06,5.554963e-06,5.529992e-06,5.485640e-06,5.416486e-06,5.393024e-06,5.347565e-06,5.278936e-06,5.257045e-06,5.210653e-06,5.142765e-06,5.122483e-06,5.075320e-06,5.008358e-06,4.989701e-06,4.941919e-06,4.876037e-06,4.859002e-06,4.810744e-06,4.746069e-06,4.730642e-06,4.682038e-06,4.618675e-06,4.604827e-06,4.556001e-06,4.494035e-06,4.481728e-06,4.432793e-06,4.372290e-06,4.361479e-06,4.312540e-06,4.253552e-06,4.244186e-06,4.195338e-06,4.137904e-06,4.129926e-06,4.081257e-06,4.025403e-06,4.018754e-06,3.970346e-06,3.916089e-06,3.910707e-06,3.862633e-06,3.809980e-06,3.805802e-06,3.758129e-06,3.707081e-06,3.704043e-06,3.656832e-06,3.607382e-06,3.605420e-06,3.558726e-06,3.510861e-06,3.509912e-06,3.463784e-06,3.417489e-06,3.328112e-06,3.241738e-06,3.158315e-06,3.077788e-06,3.000099e-06,2.925186e-06,2.852984e-06,2.783429e-06,2.716451e-06,2.651985e-06,2.589960e-06,2.530309e-06,2.472964e-06,2.417855e-06,2.364916e-06,2.314080e-06,2.265282e-06,2.218456e-06,2.173539e-06,2.130470e-06,2.089186e-06,2.049629e-06,2.011740e-06,1.975462e-06,1.940741e-06,1.907521e-06,1.875752e-06,1.845381e-06,1.816359e-06,1.788638e-06,1.762171e-06,1.736913e-06,1.712821e-06,1.689851e-06,1.667962e-06,1.647114e-06,1.627269e-06,1.608389e-06,1.590438e-06,1.573380e-06,1.557183e-06,1.541812e-06,1.527237e-06,1.513426e-06,1.500351e-06,1.487981e-06,1.476291e-06,1.465252e-06,1.454839e-06
0.000000e+00,5.781240e-09,1.755615e-07,1.850899e-07,1.695372e-06,7.629516e-06,8.034186e-06,2.279610e-05,4.224202e-05,4.355173e-05,6.534185e-05,8.458305e-05,8.620543e-05,1.057616e-04,1.222202e-04,1.239834e-04,1.409126e-04,1.547844e-04,1.566039e-04,1.711132e-04,1.826884e-04,1.844962e-04,1.968079e-04,2.063613e-04,2.081022e-04,2.184324e-04,2.262200e-04,2.278502e-04,2.364060e-04,2.426631e-04,2.441489e-04,2.511256e-04,2.560648e-04,2.573814e-04,2.629595e-04,2.667711e-04,2.679012e-04,2.722456e-04,2.750978e-04,2.760299e-04,2.792897e-04,2.813308e-04,2.820584e-04,2.843678e-04,2.857273e-04,2.862481e-04,2.877278e-04,2.885191e-04,2.888340e-04,2.895923e-04,2.899139e-04,2.900268e-04,2.901605e-04,2.900980e-04,2.900146e-04,2.896095e-04,2.892365e-04,2.889642e-04,2.880969e-04,2.874771e-04,2.870245e-04,2.857630e-04,2.849507e-04,2.843275e-04,2.827322e-04,2.817740e-04,2.809904e-04,2.791147e-04,2.780504e-04,2.771169e-04,2.750082e-04,2.738712e-04,2.727988e-04,2.704987e-04,2.693175e-04,2.681170e-04,2.656624e-04,2.644606e-04,2.631429e-04,2.605660e-04,2.593634e-04,2.579390e-04,2.552685e-04,2.540812e-04,2.525606e-04,2.498211e-04,2.486625e-04,2.470556e-04,2.442689e-04,2.431495e-04,2.414660e-04,2.386511e-04,2.375792e-04,2.358284e-04,2.330017e-04,2.319838e-04,2.301745e-04,2.273501e-04,2.263910e-04,2.245316e-04,2.217218e-04,2.208249e-04,2.189232e-04,2.161383e-04,2.153059e-04,2.133694e-04,2.106183e-04,2.098515e-04,2.078872e-04,2.051775e-04,2.044767e-04,2.024910e-04,1.998290e-04,1.991939e-04,1.971928e-04,1.945837e-04,1.940134e-04,1.920027e-04,1.894507e-04,1.889438e-04,1.869285e-04,1.844371e-04,1.839919e-04,1.819769e-04,1.795487e-04,1.791631e-04,1.771528e-04,1.747898e-04,1.744616e-04,1.724600e-04,1.701638e-04,1.698905e-04,1.679013e-04,1.656727e-04,1.654517e-04,1.634783e-04,1.613180e-04,1.611466e-04,1.591919e-04,1.571001e-04,1.569756e-04,1.550424e-04,1.530189e-04,1.529386e-04,1.510293e-04,1.490737e-04,1.490349e-04,1.471518e-04,1.452634e-04,1.416224e-04,1.381101e-04,1.347243e-04,1.314627e-04,1.283224e-04,1.253010e-04,1.223953e-04,1.196024e-04,1.169194e-04,1.143430e-04,1.118702e-04,1.094979e-04,1.072228e-04,1.050419e-04,1.029521e-04,1.009503e-04,9.903354e-05,9.719887e-05,9.544337e-05,9.376420e-05,9.215859e-05,9.062382e-05,8.915726e-05,8.775634e-05,8.641855e-05,8.514147e-05,8.392274e-05,8.276009e-05,8.165129e-05,8.059422e-05,7.958680e-05,7.862703e-05,7.771298e-05,7.684278e-05,7.601464e-05,7.522681e-05,7.447763e-05,7.376549e-05,7.308882e-05,7.244613e-05,7.183599e-05,7.125700e-05,7.070784e-05,7.018721e-05,6.969389e-05,6.922670e-05,6.878449e-05,6.836616e-05,6.797067e-05
0.000000e+00,7.087951e-10,7.279942e-08,7.819134e-08,1.499906e-06,1.099288e-05,1.177779e-05,4.891559e-05,1.217450e-04,1.276511e-04,2.436267e-04,3.693764e-04,3.807365e-04,5.240606e-04,6.506835e-04,6.644359e-04,7.974799e-04,9.071515e-04,9.215470e-04,1.036283e-03,1.127627e-03,1.141871e-03,1.238690e-03,1.313566e-03,1.327184e-03,1.407809e-03,1.468366e-03,1.481015e-03,1.547237e-03,1.595470e-03,1.606896e-03,1.660393e-03,1.698092e-03,1.708113e-03,1.750420e-03,1.779168e-03,1.787662e-03,1.820167e-03,1.841355e-03,1.848247e-03,1.872197e-03,1.887039e-03,1.892294e-03,1.908800e-03,1.918353e-03,1.921966e-03,1.932023e-03,1.937200e-03,1.939193e-03,1.943684e-03,1.945276e-03,1.945692e-03,1.945402e-03,1.944092e-03,1.942989e-03,1.938617e-03,1.934990e-03,1.932439e-03,1.924600e-03,1.919156e-03,1.915237e-03,1.904476e-03,1.897643e-03,1.892439e-03,1.879237e-03,1.871376e-03,1.864977e-03,1.849757e-03,1.841173e-03,1.833671e-03,1.816804e-03,1.807753e-03,1.799239e-03,1.781052e-03,1.771748e-03,1.762314e-03,1.743093e-03,1.733713e-03,1.723449e-03,1.703443e-03,1.694133e-03,1.683127e-03,1.662553e-03,1.653430e-03,1.641767e-03,1.620814e-03,1.611974e-03,1.599735e-03,1.578566e-03,1.570082e-03,1.557344e-03,1.536102e-03,1.528030e-03,1.514868e-03,1.493673e-03,1.486056e-03,1.472540e-03,1.451495e-03,1.444363e-03,1.430559e-03,1.409751e-03,1.403123e-03,1.389092e-03,1.368597e-03,1.362483e-03,1.348282e-03,1.328160e-03,1.322563e-03,1.308246e-03,1.288550e-03,1.283466e-03,1.269082e-03,1.249853e-03,1.245274e-03,1.230870e-03,1.212141e-03,1.208055e-03,1.193672e-03,1.175469e-03,1.171861e-03,1.157537e-03,1.139880e-03,1.136731e-03,1.122502e-03,1.105405e-03,1.102696e-03,1.088593e-03,1.072066e-03,1.069775e-03,1.055826e-03,1.039875e-03,1.037980e-03,1.024212e-03,1.008838e-03,1.007316e-03,9.937514e-04,9.789527e-04,9.777812e-04,9.644405e-04,9.502136e-04,9.493691e-04,9.362704e-04,9.226092e-04,9.220685e-04,9.092278e-04,8.961241e-04,8.958648e-04,8.832956e-04,8.707398e-04,8.466728e-04,8.236410e-04,8.016199e-04,7.805834e-04,7.605045e-04,7.413554e-04,7.231077e-04,7.057326e-04,6.892012e-04,6.734847e-04,6.585542e-04,6.443811e-04,6.309374e-04,6.181951e-04,6.061270e-04,5.947064e-04,5.839070e-04,5.737034e-04,5.640707e-04,5.549846e-04,5.464217e-04,5.383592e-04,5.307749e-04,5.236476e-04,5.169565e-04,5.106817e-04,5.048040e-04,4.993046e-04,4.941659e-04,4.893704e-04,4.849017e-04,4.807438e-04,4.768814e-04,4.732997e-04,4.699847e-04,4.669227e-04,4.641009e-04,4.615066e-04,4.591279e-04,4.569535e-04,4.549723e-04,4.531739e-04,4.515482e-04,4.500858e-04,4.487773e-04,4.476140e-04,4.465876e-04,4.456901e-04,4.449139e-04
0.000000e+00,8.198693e-10,1.267628e-08,1.326150e-08,8.612165e-08,2.958201e-07,3.085147e-07,7.248616e-07,1.228245e-06,1.261597e-06,1.809915e-06,2.283100e-06,2.322477e-06,2.790256e-06,3.173483e-06,3.213936e-06,3.596123e-06,3.900415e-06,3.939701e-06,4.247490e-06,4.485609e-06,4.522166e-06,4.766246e-06,4.949355e-06,4.982084e-06,5.171880e-06,5.309524e-06,5.337686e-06,5.481410e-06,5.581692e-06,5.604832e-06,5.709590e-06,5.779331e-06,5.797212e-06,5.869122e-06,5.914078e-06,5.926635e-06,5.970972e-06,5.995964e-06,6.003260e-06,6.024544e-06,6.033602e-06,6.035794e-06,6.037908e-06,6.034397e-06,6.031713e-06,6.017974e-06,6.004686e-06,5.997399e-06,5.970644e-06,5.949894e-06,5.938310e-06,5.900956e-06,5.874653e-06,5.859095e-06,5.813203e-06,5.782919e-06,5.763717e-06,5.711041e-06,5.678059e-06,5.655545e-06,5.597572e-06,5.562937e-06,5.537436e-06,5.475426e-06,5.439983e-06,5.411809e-06,5.346827e-06,5.311250e-06,5.280706e-06,5.213650e-06,5.178475e-06,5.145847e-06,5.077470e-06,5.043115e-06,5.008675e-06,4.939606e-06,4.906395e-06,4.870395e-06,4.801160e-06,4.769335e-06,4.732011e-06,4.663046e-06,4.632783e-06,4.594354e-06,4.526016e-06,4.497437e-06,4.458104e-06,4.390686e-06,4.363870e-06,4.323819e-06,4.257557e-06,4.232546e-06,4.191946e-06,4.127029e-06,4.103836e-06,4.062842e-06,3.999419e-06,3.978034e-06,3.936787e-06,3.874972e-06,3.855367e-06,3.813995e-06,3.753873e-06,3.736006e-06,3.694622e-06,3.636256e-06,3.620073e-06,3.578782e-06,3.522211e-06,3.507650e-06,3.466546e-06,3.411793e-06,3.398788e-06,3.357953e-06,3.305027e-06,3.293506e-06,3.253015e-06,3.201914e-06,3.191802e-06,3.151720e-06,3.102431e-06,3.093654e-06,3.054039e-06,3.006540e-06,2.999023e-06,2.959927e-06,2.914191e-06,2.907858e-06,2.869325e-06,2.825320e-06,2.820097e-06,2.782167e-06,2.739855e-06,2.735670e-06,2.698376e-06,2.657718e-06,2.654500e-06,2.617871e-06,2.578824e-06,2.576506e-06,2.540566e-06,2.503086e-06,2.501602e-06,2.466371e-06,2.430412e-06,2.429700e-06,2.395196e-06,2.360711e-06,2.294543e-06,2.231105e-06,2.170308e-06,2.112061e-06,2.056276e-06,2.002865e-06,1.951743e-06,1.902826e-06,1.856032e-06,1.811281e-06,1.768496e-06,1.727601e-06,1.688523e-06,1.651192e-06,1.615538e-06,1.581496e-06,1.549001e-06,1.517992e-06,1.488409e-06,1.460194e-06,1.433292e-06,1.407649e-06,1.383213e-06,1.359936e-06,1.337770e-06,1.316668e-06,1.296586e-06,1.277483e-06,1.259316e-06,1.242047e-06,1.225638e-06,1.210054e-06,1.195258e-06,1.181217e-06,1.167900e-06,1.155275e-06,1.143313e-06,1.131985e-06,1.121264e-06,1.111124e-06,1.101540e-06,1.092486e-06,1.083941e-06,1.075881e-06,1.068286e-06,1.061135e-06,1.054408e-06,1.048086e-06,1.042151e-06
0.000000e+00,1.132827e-08,3.897556e-07,4.123432e-07,4.159841e-06,1.805116e-05,1.893348e-05,4.671679e-05,7.671826e-05,7.863599e-05,1.100162e-04,1.376475e-04,1.399898e-04,1.684480e-04,1.927783e-04,1.954079e-04,2.209075e-04,2.421718e-04,2.449879e-04,2.676902e-04,2.861436e-04,2.890560e-04,3.091277e-04,3.250199e-04,3.279491e-04,3.455645e-04,3.591408e-04,3.620190e-04,3.773578e-04,3.888559e-04,3.916261e-04,4.048684e-04,4.145135e-04,4.171287e-04,4.284497e-04,4.364513e-04,4.388733e-04,4.484401e-04,4.549911e-04,4.571894e-04,4.651594e-04,4.704357e-04,4.723866e-04,4.789065e-04,4.830679e-04,4.847532e-04,4.899598e-04,4.931507e-04,4.945577e-04,4.985776e-04,5.009282e-04,5.020485e-04,5.049988e-04,5.066261e-04,5.074552e-04,5.094438e-04,5.104527e-04,5.109893e-04,5.121157e-04,5.125999e-04,5.128457e-04,5.132013e-04,5.132441e-04,5.132032e-04,5.128716e-04,5.125474e-04,5.122257e-04,5.112839e-04,5.106584e-04,5.100637e-04,5.085819e-04,5.077135e-04,5.068548e-04,5.048976e-04,5.038373e-04,5.027250e-04,5.003512e-04,4.991442e-04,4.977895e-04,4.950527e-04,4.937384e-04,4.921531e-04,4.891023e-04,4.877149e-04,4.859115e-04,4.825912e-04,4.811606e-04,4.791517e-04,4.756026e-04,4.741544e-04,4.719531e-04,4.682119e-04,4.667680e-04,4.643874e-04,4.604875e-04,4.590666e-04,4.565198e-04,4.524914e-04,4.511091e-04,4.484091e-04,4.442795e-04,4.429490e-04,4.401086e-04,4.359024e-04,4.346344e-04,4.316663e-04,4.274056e-04,4.262089e-04,4.231253e-04,4.188300e-04,4.177114e-04,4.145243e-04,4.102124e-04,4.091770e-04,4.058981e-04,4.015854e-04,4.006371e-04,3.972776e-04,3.929782e-04,3.921197e-04,3.886904e-04,3.844170e-04,3.836495e-04,3.801609e-04,3.759246e-04,3.752488e-04,3.717107e-04,3.675213e-04,3.669369e-04,3.633588e-04,3.592250e-04,3.587309e-04,3.551218e-04,3.510510e-04,3.506458e-04,3.470142e-04,3.430129e-04,3.426944e-04,3.390485e-04,3.351222e-04,3.348879e-04,3.312353e-04,3.273888e-04,3.272358e-04,3.235837e-04,3.198209e-04,3.197461e-04,3.161013e-04,3.124255e-04,3.052794e-04,2.983122e-04,2.915271e-04,2.849266e-04,2.785123e-04,2.722851e-04,2.662452e-04,2.603922e-04,2.547253e-04,2.492431e-04,2.439439e-04,2.388255e-04,2.338855e-04,2.291212e-04,2.245297e-04,2.201078e-04,2.158522e-04,2.117594e-04,2.078259e-04,2.040479e-04,2.004217e-04,1.969434e-04,1.936093e-04,1.904154e-04,1.873578e-04,1.844326e-04,1.816360e-04,1.789639e-04,1.764127e-04,1.739784e-04,1.716574e-04,1.694459e-04,1.673402e-04,1.653368e-04,1.634321e-04,1.616226e-04,1.599049e-04,1.582758e-04,1.567318e-04,1.552699e-04,1.538868e-04,1.525797e-04,1.513454e-04,1.501811e-04,1.490840e-04,1.480514e-04,1.470806e-04,1.461690e-04,1.453141e-04
0.000000e+00,5.761568e-11,6.763821e-09,7.261655e-09,1.347346e-07,1.086665e-06,1.173700e-06,6.620753e-06,2.536648e-05,2.742206e-05,8.920586e-05,2.222414e-04,2.389858e-04,5.478605e-04,1.038407e-03,1.108876e-03,2.031399e-03,3.236167e-03,3.433775e-03,5.435667e-03,7.723940e-03,8.151010e-03,1.168209e-02,1.534213e-02,1.611499e-02,2.151647e-02,2.670112e-02,2.793214e-02,3.538578e-02,4.209831e-02,4.387975e-02,5.339603e-02,6.150543e-02,6.389796e-02,7.533234e-02,8.460509e-02,8.763179e-02,1.007172e-01,1.108549e-01,1.145004e-01,1.288863e-01,1.395616e-01,1.437754e-01,1.590659e-01,1.699532e-01,1.746553e-01,1.904427e-01,2.012408e-01,2.063296e-01,2.222213e-01,2.326686e-01,2.380281e-01,2.536658e-01,2.635490e-01,2.690565e-01,2.841289e-01,2.932852e-01,2.988182e-01,3.130670e-01,3.213833e-01,3.268243e-01,3.400465e-01,3.474551e-01,3.526960e-01,3.647419e-01,3.712144e-01,3.761593e-01,3.869288e-01,3.924698e-01,3.970365e-01,4.064733e-01,4.111136e-01,4.152347e-01,4.233201e-01,4.271102e-01,4.307328e-01,4.374793e-01,4.404837e-01,4.435691e-01,4.490143e-01,4.513064e-01,4.538290e-01,4.580296e-01,4.596878e-01,4.616337e-01,4.646607e-01,4.657647e-01,4.671306e-01,4.690648e-01,4.696932e-01,4.704848e-01,4.714130e-01,4.716414e-01,4.718718e-01,4.718838e-01,4.717832e-01,4.714718e-01,4.706582e-01,4.702940e-01,4.694652e-01,4.679150e-01,4.673469e-01,4.660289e-01,4.638283e-01,4.631098e-01,4.613335e-01,4.585648e-01,4.577431e-01,4.555415e-01,4.522825e-01,4.513988e-01,4.488059e-01,4.451292e-01,4.442189e-01,4.412693e-01,4.372424e-01,4.363356e-01,4.330639e-01,4.287487e-01,4.278705e-01,4.243109e-01,4.197640e-01,4.189349e-01,4.151208e-01,4.103936e-01,4.096302e-01,4.055939e-01,4.007327e-01,4.000478e-01,3.958204e-01,3.908669e-01,3.902702e-01,3.858814e-01,3.808727e-01,3.803709e-01,3.758490e-01,3.708181e-01,3.704155e-01,3.657871e-01,3.607630e-01,3.604619e-01,3.557521e-01,3.507603e-01,3.505611e-01,3.457933e-01,3.408562e-01,3.407578e-01,3.359538e-01,3.310906e-01,3.215929e-01,3.122933e-01,3.032160e-01,2.943813e-01,2.858058e-01,2.775031e-01,2.694839e-01,2.617563e-01,2.543261e-01,2.471973e-01,2.403718e-01,2.338503e-01,2.276317e-01,2.217139e-01,2.160937e-01,2.107669e-01,2.057285e-01,2.009727e-01,1.964931e-01,1.922827e-01,1.883343e-01,1.846401e-01,1.811918e-01,1.779811e-01,1.749995e-01,1.722381e-01,1.696880e-01,1.673401e-01,1.651856e-01,1.632153e-01,1.614201e-01,1.597910e-01,1.583192e-01,1.569957e-01,1.558120e-01,1.547594e-01,1.538295e-01,1.530141e-01,1.523053e-01,1.516952e-01,1.511763e-01,1.507412e-01,1.503831e-01,1.500950e-01,1.498704e-01,1.497032e-01,1.495873e-01,1.495172e-01,1.494875e-01
0.000000e+00,1.612060e-10,1.614148e-08,1.730005e-08,3.079189e-07,2.385696e-06,2.569242e-06,1.287585e-05,4.073327e-05,4.339702e-05,1.073851e-04,2.013796e-04,2.111170e-04,3.513219e-04,5.007079e-04,5.182698e-04,7.002084e-04,8.642059e-04,8.864945e-04,1.068977e-03,1.218621e-03,1.242166e-03,1.402806e-03,1.526834e-03,1.549290e-03,1.681120e-03,1.778409e-03,1.798492e-03,1.902007e-03,1.975381e-03,1.992474e-03,2.070799e-03,2.124062e-03,2.137912e-03,2.194724e-03,2.231551e-03,2.242109e-03,2.280893e-03,2.304510e-03,2.311845e-03,2.335684e-03,2.348817e-03,2.353072e-03,2.364620e-03,2.369534e-03,2.370894e-03,2.372410e-03,2.370968e-03,2.369645e-03,2.363037e-03,2.356767e-03,2.352987e-03,2.339863e-03,2.330008e-03,2.324003e-03,2.305713e-03,2.293279e-03,2.285278e-03,2.262954e-03,2.248752e-03,2.238977e-03,2.213563e-03,2.198242e-03,2.186908e-03,2.159190e-03,2.143266e-03,2.130573e-03,2.101205e-03,2.085083e-03,2.071222e-03,2.040744e-03,2.024738e-03,2.009884e-03,1.978743e-03,1.963095e-03,1.947411e-03,1.915971e-03,1.900863e-03,1.884497e-03,1.853056e-03,1.838621e-03,1.821708e-03,1.790508e-03,1.776839e-03,1.759503e-03,1.728736e-03,1.715895e-03,1.698246e-03,1.668066e-03,1.656088e-03,1.638227e-03,1.608753e-03,1.597655e-03,1.579670e-03,1.550995e-03,1.540776e-03,1.522747e-03,1.494939e-03,1.485587e-03,1.467584e-03,1.440693e-03,1.432187e-03,1.414272e-03,1.388329e-03,1.380640e-03,1.362869e-03,1.337894e-03,1.330989e-03,1.313408e-03,1.289411e-03,1.283252e-03,1.265903e-03,1.242883e-03,1.237430e-03,1.220349e-03,1.198299e-03,1.193512e-03,1.176729e-03,1.155635e-03,1.151473e-03,1.135014e-03,1.114859e-03,1.111281e-03,1.095167e-03,1.075930e-03,1.072894e-03,1.057143e-03,1.038801e-03,1.036268e-03,1.020895e-03,1.003420e-03,1.001352e-03,9.863688e-04,9.697339e-04,9.680930e-04,9.535084e-04,9.376851e-04,9.364364e-04,9.222566e-04,9.072157e-04,9.063254e-04,8.925550e-04,8.782671e-04,8.777032e-04,8.643446e-04,8.507802e-04,8.505125e-04,8.375665e-04,8.246964e-04,8.001987e-04,7.769641e-04,7.549385e-04,7.340691e-04,7.143044e-04,6.955947e-04,6.778918e-04,6.611492e-04,6.453218e-04,6.303666e-04,6.162420e-04,6.029081e-04,5.903268e-04,5.784614e-04,5.672768e-04,5.567395e-04,5.468173e-04,5.374797e-04,5.286974e-04,5.204424e-04,5.126881e-04,5.054090e-04,4.985809e-04,4.921807e-04,4.861863e-04,4.805767e-04,4.753321e-04,4.704332e-04,4.658620e-04,4.616013e-04,4.576346e-04,4.539462e-04,4.505213e-04,4.473456e-04,4.444059e-04,4.416891e-04,4.391831e-04,4.368764e-04,4.347579e-04,4.328171e-04,4.310440e-04,4.294292e-04,4.279637e-04,4.266388e-04,4.254464e-04,4.243789e-04,4.234288e-04,4.225892e-04,4.218534e-04
0.000000e+00,7.388035e-11,9.295210e-09,1.001111e-08,2.191005e-07,1.895879e-06,2.047875e-06,1.076756e-05,3.484243e-05,3.717259e-05,9.463177e-05,1.841757e-04,1.937955e-04,3.393147e-04,5.086788e-04,5.295631e-04,7.582038e-04,9.840879e-04,1.016291e-03,1.294111e-03,1.541777e-03,1.582469e-03,1.873420e-03,2.115091e-03,2.160559e-03,2.439026e-03,2.658428e-03,2.705354e-03,2.957237e-03,3.147390e-03,3.193294e-03,3.412849e-03,3.572531e-03,3.615744e-03,3.802184e-03,3.933147e-03,3.972625e-03,4.127684e-03,4.232943e-03,4.268076e-03,4.394565e-03,4.477468e-03,4.507935e-03,4.608970e-03,4.672765e-03,4.698434e-03,4.777067e-03,4.824714e-03,4.845577e-03,4.904639e-03,4.938755e-03,4.954890e-03,4.996934e-03,5.019800e-03,5.031341e-03,5.058647e-03,5.072233e-03,5.079356e-03,5.093940e-03,5.099936e-03,5.102844e-03,5.106484e-03,5.106338e-03,5.105251e-03,5.099513e-03,5.094460e-03,5.089612e-03,5.075870e-03,5.066959e-03,5.058589e-03,5.038052e-03,5.026175e-03,5.014524e-03,4.988253e-03,4.974161e-03,4.959470e-03,4.928393e-03,4.912721e-03,4.895225e-03,4.860157e-03,4.843437e-03,4.823366e-03,4.785019e-03,4.767694e-03,4.745272e-03,4.704269e-03,4.686707e-03,4.662147e-03,4.619032e-03,4.601535e-03,4.575043e-03,4.530290e-03,4.513106e-03,4.484877e-03,4.438899e-03,4.422226e-03,4.392445e-03,4.345600e-03,4.329597e-03,4.298440e-03,4.251037e-03,4.235829e-03,4.203460e-03,4.155769e-03,4.141449e-03,4.108023e-03,4.060276e-03,4.046913e-03,4.012576e-03,3.964971e-03,3.952614e-03,3.917501e-03,3.870207e-03,3.858887e-03,3.823125e-03,3.776287e-03,3.766019e-03,3.729725e-03,3.683467e-03,3.674254e-03,3.637538e-03,3.591961e-03,3.583797e-03,3.546760e-03,3.501952e-03,3.494821e-03,3.457556e-03,3.413588e-03,3.407468e-03,3.370062e-03,3.326992e-03,3.321854e-03,3.284388e-03,3.242261e-03,3.238075e-03,3.200621e-03,3.159475e-03,3.156205e-03,3.118830e-03,3.078692e-03,3.076300e-03,3.039067e-03,2.999958e-03,2.998404e-03,2.961368e-03,2.923301e-03,2.922545e-03,2.885758e-03,2.848742e-03,2.777001e-03,2.707324e-03,2.639702e-03,2.574121e-03,2.510562e-03,2.449002e-03,2.389412e-03,2.331762e-03,2.276019e-03,2.222146e-03,2.170107e-03,2.119863e-03,2.071374e-03,2.024600e-03,1.979500e-03,1.936032e-03,1.894155e-03,1.853827e-03,1.815008e-03,1.777656e-03,1.741730e-03,1.707191e-03,1.673999e-03,1.642115e-03,1.611500e-03,1.582117e-03,1.553928e-03,1.526897e-03,1.500989e-03,1.476169e-03,1.452402e-03,1.429656e-03,1.407897e-03,1.387095e-03,1.367217e-03,1.348234e-03,1.330117e-03,1.312835e-03,1.296363e-03,1.280671e-03,1.265733e-03,1.251525e-03,1.238019e-03,1.225192e-03,1.213020e-03,1.201479e-03,1.190547e-03,1.180202e-03,1.170422e-03
0.000000e+00,1.031162e-10,1.093938e-08,1.173345e-08,2.129411e-07,1.657309e-06,1.785294e-06,9.073228e-06,2.953195e-05,3.153495e-05,8.149221e-05,1.597022e-04,1.680656e-04,2.928121e-04,4.328211e-04,4.496613e-04,6.276782e-04,7.919337e-04,8.144038e-04,9.984343e-04,1.147663e-03,1.170847e-03,1.325644e-03,1.439595e-03,1.459549e-03,1.571479e-03,1.647182e-03,1.661938e-03,1.732439e-03,1.775854e-03,1.785055e-03,1.822076e-03,1.841603e-03,1.845790e-03,1.858339e-03,1.861606e-03,1.861653e-03,1.857420e-03,1.850286e-03,1.847083e-03,1.831860e-03,1.818453e-03,1.812768e-03,1.790647e-03,1.773735e-03,1.766186e-03,1.739949e-03,1.721333e-03,1.712397e-03,1.683904e-03,1.664734e-03,1.654775e-03,1.625254e-03,1.606249e-03,1.595540e-03,1.565793e-03,1.547391e-03,1.536142e-03,1.506691e-03,1.489152e-03,1.477523e-03,1.448702e-03,1.432165e-03,1.420279e-03,1.392296e-03,1.376829e-03,1.364783e-03,1.337764e-03,1.323386e-03,1.311258e-03,1.285275e-03,1.271974e-03,1.259825e-03,1.234912e-03,1.222658e-03,1.210538e-03,1.186703e-03,1.175453e-03,1.163405e-03,1.140641e-03,1.130347e-03,1.118405e-03,1.096693e-03,1.087304e-03,1.075498e-03,1.054813e-03,1.046276e-03,1.034630e-03,1.014941e-03,1.007202e-03,9.957373e-04,9.770108e-04,9.700179e-04,9.587524e-04,9.409532e-04,9.346562e-04,9.236042e-04,9.066962e-04,9.010464e-04,8.902202e-04,8.741670e-04,8.691179e-04,8.585277e-04,8.432930e-04,8.388002e-04,8.284542e-04,8.140024e-04,8.100240e-04,7.999288e-04,7.862247e-04,7.827211e-04,7.728816e-04,7.598911e-04,7.568250e-04,7.472450e-04,7.349349e-04,7.322710e-04,7.229530e-04,7.112913e-04,7.089967e-04,6.999421e-04,6.888978e-04,6.869416e-04,6.781509e-04,6.676942e-04,6.660475e-04,6.575204e-04,6.476225e-04,6.462584e-04,6.379937e-04,6.286271e-04,6.275205e-04,6.195164e-04,6.106549e-04,6.097822e-04,6.020363e-04,5.936546e-04,5.929941e-04,5.855036e-04,5.775775e-04,5.771089e-04,5.698704e-04,5.623769e-04,5.620815e-04,5.550912e-04,5.480082e-04,5.478686e-04,5.411225e-04,5.344290e-04,5.217234e-04,5.097144e-04,4.983660e-04,4.876445e-04,4.775172e-04,4.679533e-04,4.589236e-04,4.503999e-04,4.423559e-04,4.347661e-04,4.276066e-04,4.208546e-04,4.144883e-04,4.084873e-04,4.028318e-04,3.975034e-04,3.924844e-04,3.877580e-04,3.833083e-04,3.791202e-04,3.751794e-04,3.714723e-04,3.679860e-04,3.647082e-04,3.616273e-04,3.587324e-04,3.560129e-04,3.534590e-04,3.510612e-04,3.488107e-04,3.466990e-04,3.447181e-04,3.428605e-04,3.411188e-04,3.394864e-04,3.379568e-04,3.365238e-04,3.351817e-04,3.339249e-04,3.327484e-04,3.316472e-04,3.306166e-04,3.296522e-04,3.287500e-04,3.279059e-04,3.271162e-04,3.263774e-04,3.256862e-04,3.250395e-04
0.000000e+00,1.752680e-09,1.959218e-08,2.038485e-08,1.139965e-07,3.986718e-07,4.168671e-07,1.065857e-06,1.959384e-06,2.021832e-06,3.087146e-06,4.043686e-06,4.124209e-06,5.087920e-06,5.884746e-06,5.969157e-06,6.769067e-06,7.408816e-06,7.491583e-06,8.141320e-06,8.645465e-06,8.722969e-06,9.241096e-06,9.630446e-06,9.700085e-06,1.010412e-05,1.039720e-05,1.045716e-05,1.076297e-05,1.097601e-05,1.102510e-05,1.124689e-05,1.139390e-05,1.143147e-05,1.158179e-05,1.167482e-05,1.170060e-05,1.179049e-05,1.183982e-05,1.185388e-05,1.189300e-05,1.190732e-05,1.190995e-05,1.190671e-05,1.189339e-05,1.188508e-05,1.184676e-05,1.181198e-05,1.179333e-05,1.172625e-05,1.167516e-05,1.164688e-05,1.155649e-05,1.149339e-05,1.145624e-05,1.134722e-05,1.127566e-05,1.123043e-05,1.110680e-05,1.102970e-05,1.097719e-05,1.084239e-05,1.076212e-05,1.070313e-05,1.056009e-05,1.047857e-05,1.041389e-05,1.026509e-05,1.018385e-05,1.011422e-05,9.961771e-06,9.882016e-06,9.808172e-06,9.653830e-06,9.576496e-06,9.499112e-06,9.344355e-06,9.270149e-06,9.189864e-06,9.035916e-06,8.965352e-06,8.882762e-06,8.730630e-06,8.664069e-06,8.579724e-06,8.430227e-06,8.367899e-06,8.282304e-06,8.136101e-06,8.078131e-06,7.991748e-06,7.849359e-06,7.795788e-06,7.709035e-06,7.570862e-06,7.521662e-06,7.434917e-06,7.301262e-06,7.256351e-06,7.169952e-06,7.041031e-06,7.000286e-06,6.914534e-06,6.790489e-06,6.753757e-06,6.668918e-06,6.549832e-06,6.516935e-06,6.433241e-06,6.319147e-06,6.289891e-06,6.207545e-06,6.098430e-06,6.072611e-06,5.991788e-06,5.887605e-06,5.865013e-06,5.785862e-06,5.686537e-06,5.666960e-06,5.589604e-06,5.495038e-06,5.478265e-06,5.402808e-06,5.312884e-06,5.298708e-06,5.225233e-06,5.139820e-06,5.128039e-06,5.056610e-06,4.975567e-06,4.965985e-06,4.896651e-06,4.819826e-06,4.812257e-06,4.745053e-06,4.672291e-06,4.666556e-06,4.601502e-06,4.532644e-06,4.528573e-06,4.465678e-06,4.400564e-06,4.397998e-06,4.337262e-06,4.275730e-06,4.274517e-06,4.215930e-06,4.157822e-06,4.047604e-06,3.943563e-06,3.845403e-06,3.752836e-06,3.665582e-06,3.583372e-06,3.505943e-06,3.433046e-06,3.364438e-06,3.299887e-06,3.239174e-06,3.182085e-06,3.128419e-06,3.077984e-06,3.030596e-06,2.986082e-06,2.944276e-06,2.905023e-06,2.868172e-06,2.833584e-06,2.801125e-06,2.770670e-06,2.742099e-06,2.715301e-06,2.690169e-06,2.666603e-06,2.644509e-06,2.623797e-06,2.604385e-06,2.586193e-06,2.569147e-06,2.553176e-06,2.538216e-06,2.524203e-06,2.511081e-06,2.498793e-06,2.487289e-06,2.476520e-06,2.466441e-06,2.457009e-06,2.448184e-06,2.439928e-06,2.432207e-06,2.424986e-06,2.418235e-06,2.411924e-06,2.406026e-06,2.400516e-06,2.395369e-06
0.000000e+00,3.077836e-09,1.441845e-07,1.525481e-07,1.548348e-06,7.636626e-06,8.079554e-06,2.663929e-05,5.941660e-05,6.199281e-05,1.108395e-04,1.604004e-04,1.647223e-04,2.174433e-04,2.618430e-04,2.665712e-04,3.115557e-04,3.477501e-04,3.524472e-04,3.894482e-04,4.183363e-04,4.227933e-04,4.527178e-04,4.753780e-04,4.794497e-04,5.032077e-04,5.206167e-04,5.242002e-04,5.426249e-04,5.556416e-04,5.586684e-04,5.725069e-04,5.818770e-04,5.843058e-04,5.942206e-04,6.005856e-04,6.023968e-04,6.089707e-04,6.128790e-04,6.140696e-04,6.178127e-04,6.197307e-04,6.203109e-04,6.216677e-04,6.219905e-04,6.219799e-04,6.213376e-04,6.203987e-04,6.198247e-04,6.175195e-04,6.155994e-04,6.144945e-04,6.108177e-04,6.081518e-04,6.065521e-04,6.017559e-04,5.985400e-04,5.964837e-04,5.907859e-04,5.871826e-04,5.847094e-04,5.782975e-04,5.744410e-04,5.715906e-04,5.646258e-04,5.606258e-04,5.574374e-04,5.500570e-04,5.460023e-04,5.425142e-04,5.348358e-04,5.307978e-04,5.270467e-04,5.191698e-04,5.152051e-04,5.112262e-04,5.032355e-04,4.993884e-04,4.952153e-04,4.871819e-04,4.834863e-04,4.791503e-04,4.711340e-04,4.676149e-04,4.631454e-04,4.551958e-04,4.518712e-04,4.472956e-04,4.394539e-04,4.363355e-04,4.316791e-04,4.239788e-04,4.210737e-04,4.163598e-04,4.088280e-04,4.061390e-04,4.013889e-04,3.940472e-04,3.915740e-04,3.868071e-04,3.796722e-04,3.774118e-04,3.726458e-04,3.657305e-04,3.636779e-04,3.589286e-04,3.522421e-04,3.503907e-04,3.456724e-04,3.392209e-04,3.375629e-04,3.328883e-04,3.266755e-04,3.252023e-04,3.205827e-04,3.146102e-04,3.133124e-04,3.087579e-04,3.030254e-04,3.018933e-04,2.974125e-04,2.919186e-04,2.909422e-04,2.865428e-04,2.812843e-04,2.804538e-04,2.761422e-04,2.711154e-04,2.704208e-04,2.662027e-04,2.614027e-04,2.608342e-04,2.567142e-04,2.521358e-04,2.516839e-04,2.476659e-04,2.433030e-04,2.429586e-04,2.390457e-04,2.348921e-04,2.346462e-04,2.308408e-04,2.268900e-04,2.267341e-04,2.230381e-04,2.192834e-04,2.192093e-04,2.156240e-04,2.120584e-04,2.052680e-04,1.988246e-04,1.927148e-04,1.869251e-04,1.814426e-04,1.762543e-04,1.713476e-04,1.667102e-04,1.623302e-04,1.581959e-04,1.542960e-04,1.506198e-04,1.471566e-04,1.438964e-04,1.408295e-04,1.379464e-04,1.352382e-04,1.326963e-04,1.303124e-04,1.280786e-04,1.259873e-04,1.240313e-04,1.222036e-04,1.204977e-04,1.189072e-04,1.174261e-04,1.160487e-04,1.147695e-04,1.135833e-04,1.124850e-04,1.114700e-04,1.105338e-04,1.096720e-04,1.088806e-04,1.081556e-04,1.074934e-04,1.068905e-04,1.063435e-04,1.058492e-04,1.054046e-04,1.050068e-04,1.046531e-04,1.043409e-04,1.040677e-04,1.038312e-04,1.036292e-04,1.034595e-04,1.033202e-04,1.032093e-04
0.000000e+00,5.532098e-11,5.924068e-09,6.353957e-09,1.161232e-07,9.386510e-07,1.013444e-06,5.528551e-06,1.955090e-05,2.099401e-05,5.966828e-05,1.276167e-04,1.353111e-04,2.584373e-04,4.136101e-04,4.334305e-04,6.582274e-04,8.916776e-04,9.257108e-04,1.225731e-03,1.501173e-03,1.547014e-03,1.878609e-03,2.157967e-03,2.210807e-03,2.535592e-03,2.791979e-03,2.846763e-03,3.139832e-03,3.359203e-03,3.411812e-03,3.660958e-03,3.838917e-03,3.886500e-03,4.088411e-03,4.226358e-03,4.267201e-03,4.423754e-03,4.525943e-03,4.559197e-03,4.674800e-03,4.746502e-03,4.771905e-03,4.851876e-03,4.898381e-03,4.916056e-03,4.965749e-03,4.991903e-03,5.002199e-03,5.026584e-03,5.036610e-03,5.040010e-03,5.043509e-03,5.040985e-03,5.038040e-03,5.024492e-03,5.012398e-03,5.003687e-03,4.976380e-03,4.957168e-03,4.943269e-03,4.904994e-03,4.880662e-03,4.862143e-03,4.815255e-03,4.787420e-03,4.764825e-03,4.711304e-03,4.681265e-03,4.655107e-03,4.596611e-03,4.565400e-03,4.536162e-03,4.474075e-03,4.442508e-03,4.410637e-03,4.346111e-03,4.314821e-03,4.280733e-03,4.214720e-03,4.184195e-03,4.148269e-03,4.081557e-03,4.052164e-03,4.014747e-03,3.947982e-03,3.919987e-03,3.881395e-03,3.815103e-03,3.788693e-03,3.749212e-03,3.683817e-03,3.659115e-03,3.619002e-03,3.554844e-03,3.531920e-03,3.491408e-03,3.428754e-03,3.407639e-03,3.366933e-03,3.305990e-03,3.286680e-03,3.245964e-03,3.186889e-03,3.169356e-03,3.128793e-03,3.071700e-03,3.055896e-03,3.015629e-03,2.960597e-03,2.946460e-03,2.906614e-03,2.853691e-03,2.841148e-03,2.801834e-03,2.751046e-03,2.740016e-03,2.701327e-03,2.652678e-03,2.643076e-03,2.605095e-03,2.558573e-03,2.550311e-03,2.513106e-03,2.468687e-03,2.461676e-03,2.425306e-03,2.382953e-03,2.377105e-03,2.341617e-03,2.301286e-03,2.296514e-03,2.261948e-03,2.223589e-03,2.219807e-03,2.186195e-03,2.149752e-03,2.146877e-03,2.114244e-03,2.079656e-03,2.077610e-03,2.045973e-03,2.013179e-03,2.011885e-03,1.981258e-03,1.950193e-03,1.949580e-03,1.919969e-03,1.890569e-03,1.834724e-03,1.781920e-03,1.732032e-03,1.684935e-03,1.640508e-03,1.598633e-03,1.559193e-03,1.522076e-03,1.487173e-03,1.454378e-03,1.423591e-03,1.394711e-03,1.367646e-03,1.342304e-03,1.318598e-03,1.296445e-03,1.275765e-03,1.256482e-03,1.238521e-03,1.221814e-03,1.206294e-03,1.191897e-03,1.178561e-03,1.166230e-03,1.154847e-03,1.144360e-03,1.134719e-03,1.125876e-03,1.117786e-03,1.110406e-03,1.103693e-03,1.097609e-03,1.092118e-03,1.087182e-03,1.082770e-03,1.078848e-03,1.075386e-03,1.072356e-03,1.069730e-03,1.067482e-03,1.065588e-03,1.064024e-03,1.062768e-03,1.061798e-03,1.061096e-03,1.060641e-03,1.060417e-03,1.060406e-03,1.060592e-03
0.000000e+00,5.522554e-09,1.127917e-07,1.182984e-07,7.845503e-07,2.405691e-06,2.491691e-06,4.826504e-06,7.038694e-06,7.175877e-06,9.373529e-06,1.124327e-05,1.139903e-05,1.325681e-05,1.479241e-05,1.495535e-05,1.650371e-05,1.774910e-05,1.791078e-05,1.918520e-05,2.018146e-05,2.033529e-05,2.136915e-05,2.215345e-05,2.229453e-05,2.311886e-05,2.372435e-05,2.384917e-05,2.449213e-05,2.494784e-05,2.505403e-05,2.554077e-05,2.587184e-05,2.595791e-05,2.631064e-05,2.653865e-05,2.660384e-05,2.684205e-05,2.698544e-05,2.702953e-05,2.717025e-05,2.724471e-05,2.726792e-05,2.732600e-05,2.734484e-05,2.734772e-05,2.733607e-05,2.731054e-05,2.729388e-05,2.722373e-05,2.716331e-05,2.712806e-05,2.700914e-05,2.692180e-05,2.686906e-05,2.670978e-05,2.660219e-05,2.653313e-05,2.634078e-05,2.621850e-05,2.613431e-05,2.591518e-05,2.578281e-05,2.568473e-05,2.544422e-05,2.530559e-05,2.519483e-05,2.493761e-05,2.479582e-05,2.467357e-05,2.440364e-05,2.426123e-05,2.412867e-05,2.384945e-05,2.370847e-05,2.356670e-05,2.328111e-05,2.314320e-05,2.299329e-05,2.270382e-05,2.257025e-05,2.241322e-05,2.212198e-05,2.199374e-05,2.183054e-05,2.153931e-05,2.141714e-05,2.124866e-05,2.095894e-05,2.084339e-05,2.067047e-05,2.038351e-05,2.027493e-05,2.009835e-05,1.981520e-05,1.971381e-05,1.953429e-05,1.925581e-05,1.916171e-05,1.897993e-05,1.870681e-05,1.862002e-05,1.843659e-05,1.816939e-05,1.808984e-05,1.790533e-05,1.764450e-05,1.757206e-05,1.738699e-05,1.713287e-05,1.706736e-05,1.688220e-05,1.663505e-05,1.657626e-05,1.639145e-05,1.615144e-05,1.609913e-05,1.591506e-05,1.568232e-05,1.563621e-05,1.545324e-05,1.522783e-05,1.518765e-05,1.500610e-05,1.478804e-05,1.475349e-05,1.457366e-05,1.436293e-05,1.433372e-05,1.415586e-05,1.395242e-05,1.392825e-05,1.375259e-05,1.355635e-05,1.353692e-05,1.336368e-05,1.317454e-05,1.315956e-05,1.298892e-05,1.280677e-05,1.279595e-05,1.262806e-05,1.245277e-05,1.244583e-05,1.228085e-05,1.211226e-05,1.210892e-05,1.194697e-05,1.178494e-05,1.147357e-05,1.117449e-05,1.088738e-05,1.061190e-05,1.034771e-05,1.009449e-05,9.851882e-06,9.619569e-06,9.397216e-06,9.184498e-06,8.981095e-06,8.786692e-06,8.600981e-06,8.423660e-06,8.254435e-06,8.093019e-06,7.939130e-06,7.792498e-06,7.652857e-06,7.519950e-06,7.393526e-06,7.273343e-06,7.159166e-06,7.050767e-06,6.947926e-06,6.850427e-06,6.758065e-06,6.670639e-06,6.587955e-06,6.509825e-06,6.436069e-06,6.366512e-06,6.300983e-06,6.239319e-06,6.181362e-06,6.126959e-06,6.075962e-06,6.028230e-06,5.983623e-06,5.942010e-06,5.903262e-06,5.867254e-06,5.833868e-06,5.802988e-06,5.774501e-06,5.748302e-06,5.724285e-06,5.702350e-06,5.682402e-06
0.000000e+00,1.063494e-08,3.247390e-07,3.426142e-07,2.985655e-06,1.153367e-05,1.205603e-05,2.841028e-05,4.603161e-05,4.714563e-05,6.503425e-05,8.018160e-05,8.143776e-05,9.633838e-05,1.085293e-04,1.098155e-04,1.219612e-04,1.316201e-04,1.328661e-04,1.426176e-04,1.501449e-04,1.512988e-04,1.589885e-04,1.647359e-04,1.657607e-04,1.716850e-04,1.759567e-04,1.768274e-04,1.812494e-04,1.843071e-04,1.850085e-04,1.881583e-04,1.902244e-04,1.907487e-04,1.928261e-04,1.940885e-04,1.944337e-04,1.956116e-04,1.962285e-04,1.963968e-04,1.968239e-04,1.969277e-04,1.969249e-04,1.967291e-04,1.964304e-04,1.962642e-04,1.955555e-04,1.949463e-04,1.946264e-04,1.934986e-04,1.926553e-04,1.921923e-04,1.907259e-04,1.897114e-04,1.891165e-04,1.873801e-04,1.862461e-04,1.855311e-04,1.835829e-04,1.823716e-04,1.815480e-04,1.794378e-04,1.781835e-04,1.772627e-04,1.750323e-04,1.737626e-04,1.727556e-04,1.704407e-04,1.691774e-04,1.680950e-04,1.657253e-04,1.644857e-04,1.633380e-04,1.609386e-04,1.597360e-04,1.585324e-04,1.561242e-04,1.549688e-04,1.537183e-04,1.513186e-04,1.502178e-04,1.489286e-04,1.465517e-04,1.455107e-04,1.441906e-04,1.418480e-04,1.408703e-04,1.395263e-04,1.372276e-04,1.363150e-04,1.349537e-04,1.327064e-04,1.318596e-04,1.304870e-04,1.282968e-04,1.275158e-04,1.261371e-04,1.240087e-04,1.232924e-04,1.219125e-04,1.198493e-04,1.191961e-04,1.178195e-04,1.158238e-04,1.152317e-04,1.138624e-04,1.119356e-04,1.114023e-04,1.100437e-04,1.081868e-04,1.077098e-04,1.063650e-04,1.045782e-04,1.041546e-04,1.028264e-04,1.011095e-04,1.007365e-04,9.942737e-05,9.777975e-05,9.745435e-05,9.616643e-05,9.458714e-05,9.430646e-05,9.304157e-05,9.152938e-05,9.129051e-05,9.005024e-05,8.860375e-05,8.840382e-05,8.718951e-05,8.580712e-05,8.564336e-05,8.445615e-05,8.313615e-05,8.300583e-05,8.184667e-05,8.058724e-05,8.048777e-05,7.935741e-05,7.815668e-05,7.808555e-05,7.698459e-05,7.584064e-05,7.579546e-05,7.472436e-05,7.363524e-05,7.361373e-05,7.257281e-05,7.153656e-05,6.956017e-05,6.768078e-05,6.589468e-05,6.419820e-05,6.258775e-05,6.105980e-05,5.961094e-05,5.823782e-05,5.693721e-05,5.570598e-05,5.454107e-05,5.343955e-05,5.239860e-05,5.141548e-05,5.048755e-05,4.961230e-05,4.878727e-05,4.801014e-05,4.727865e-05,4.659066e-05,4.594408e-05,4.533695e-05,4.476736e-05,4.423350e-05,4.373361e-05,4.326604e-05,4.282918e-05,4.242151e-05,4.204158e-05,4.168797e-05,4.135937e-05,4.105449e-05,4.077211e-05,4.051107e-05,4.027027e-05,4.004862e-05,3.984513e-05,3.965883e-05,3.948878e-05,3.933412e-05,3.919399e-05,3.906760e-05,3.895418e-05,3.885299e-05,3.876336e-05,3.868460e-05,3.861609e-05,3.855723e-05,3.850744e-05
0.000000e+00,2.920727e-11,3.581880e-09,3.849974e-09,7.569180e-08,6.326338e-07,6.838850e-07,3.882111e-06,1.468781e-05,1.586003e-05,5.053092e-05,1.235987e-04,1.327176e-04,2.994408e-04,5.614264e-04,5.989118e-04,1.087812e-03,1.723563e-03,1.827678e-03,2.881069e-03,4.083609e-03,4.307962e-03,6.162664e-03,8.085286e-03,8.491351e-03,1.133031e-02,1.405712e-02,1.470482e-02,1.862867e-02,2.216520e-02,2.310417e-02,2.812257e-02,3.240193e-02,3.366489e-02,3.970292e-02,4.460130e-02,4.620040e-02,5.311438e-02,5.847058e-02,6.039647e-02,6.799423e-02,7.362911e-02,7.585237e-02,8.391403e-02,8.964752e-02,9.212178e-02,1.004187e-01,1.060830e-01,1.087490e-01,1.170592e-01,1.225080e-01,1.252982e-01,1.334183e-01,1.385321e-01,1.413751e-01,1.491280e-01,1.538163e-01,1.566405e-01,1.638801e-01,1.680808e-01,1.708182e-01,1.774305e-01,1.811082e-01,1.836966e-01,1.895997e-01,1.927418e-01,1.951268e-01,2.002683e-01,2.028820e-01,2.050178e-01,2.093718e-01,2.114793e-01,2.133297e-01,2.168932e-01,2.185282e-01,2.200663e-01,2.228550e-01,2.240592e-01,2.252669e-01,2.273114e-01,2.281313e-01,2.289989e-01,2.303412e-01,2.308256e-01,2.313508e-01,2.320410e-01,2.322390e-01,2.324257e-01,2.325192e-01,2.324783e-01,2.323361e-01,2.318911e-01,2.316564e-01,2.311991e-01,2.302749e-01,2.298881e-01,2.291331e-01,2.277882e-01,2.272871e-01,2.262543e-01,2.245454e-01,2.239638e-01,2.226750e-01,2.206562e-01,2.200235e-01,2.185017e-01,2.162237e-01,2.155654e-01,2.138341e-01,2.113440e-01,2.106815e-01,2.087643e-01,2.061053e-01,2.054564e-01,2.033767e-01,2.005879e-01,1.999672e-01,1.977476e-01,1.948643e-01,1.942831e-01,1.919456e-01,1.889990e-01,1.884662e-01,1.860316e-01,1.830496e-01,1.825716e-01,1.800594e-01,1.770664e-01,1.766475e-01,1.740761e-01,1.710933e-01,1.707361e-01,1.681226e-01,1.651683e-01,1.648739e-01,1.622341e-01,1.593238e-01,1.590921e-01,1.564405e-01,1.535873e-01,1.534172e-01,1.507671e-01,1.479822e-01,1.478715e-01,1.452349e-01,1.425273e-01,1.424736e-01,1.398613e-01,1.372384e-01,1.321781e-01,1.273021e-01,1.226174e-01,1.181292e-01,1.138408e-01,1.097540e-01,1.058693e-01,1.021861e-01,9.870272e-02,9.541684e-02,9.232532e-02,8.942448e-02,8.671013e-02,8.417766e-02,8.182213e-02,7.963830e-02,7.762069e-02,7.576364e-02,7.406132e-02,7.250778e-02,7.109697e-02,6.982277e-02,6.867902e-02,6.765952e-02,6.675805e-02,6.596841e-02,6.528442e-02,6.469993e-02,6.420886e-02,6.380516e-02,6.348290e-02,6.323623e-02,6.305941e-02,6.294682e-02,6.289297e-02,6.289254e-02,6.294034e-02,6.303137e-02,6.316080e-02,6.332401e-02,6.351654e-02,6.373418e-02,6.397290e-02,6.422891e-02,6.449863e-02,6.477870e-02,6.506600e-02,6.535762e-02,6.565090e-02
0.000000e+00,5.379320e-11,7.368001e-09,7.944838e-09,1.860045e-07,1.788316e-06,1.941956e-06,1.187411e-05,4.531503e-05,4.888160e-05,1.503318e-04,3.497467e-04,3.737918e-04,7.946711e-04,1.415187e-03,1.501424e-03,2.589718e-03,3.940102e-03,4.156521e-03,6.294704e-03,8.655074e-03,9.088513e-03,1.261003e-02,1.617294e-02,1.691665e-02,2.204960e-02,2.689282e-02,2.803320e-02,3.487497e-02,4.096101e-02,4.256632e-02,5.108365e-02,5.827711e-02,6.038984e-02,7.043596e-02,7.852994e-02,8.116309e-02,9.250418e-02,1.012490e-01,1.043860e-01,1.167306e-01,1.258602e-01,1.294576e-01,1.424849e-01,1.517390e-01,1.557309e-01,1.691151e-01,1.782552e-01,1.825593e-01,1.959885e-01,2.048089e-01,2.093317e-01,2.225223e-01,2.308556e-01,2.354987e-01,2.482044e-01,2.559232e-01,2.605881e-01,2.726043e-01,2.796205e-01,2.842125e-01,2.953778e-01,3.016388e-01,3.060705e-01,3.162656e-01,3.217499e-01,3.259432e-01,3.350878e-01,3.398000e-01,3.436879e-01,3.517362e-01,3.557018e-01,3.592288e-01,3.661651e-01,3.694254e-01,3.725477e-01,3.783815e-01,3.809889e-01,3.836740e-01,3.884349e-01,3.904495e-01,3.926756e-01,3.964090e-01,3.978946e-01,3.996494e-01,4.024125e-01,4.034345e-01,4.047144e-01,4.065724e-01,4.071952e-01,4.080040e-01,4.090273e-01,4.093130e-01,4.096607e-01,4.099224e-01,4.099292e-01,4.098310e-01,4.094049e-01,4.091870e-01,4.086623e-01,4.076211e-01,4.072278e-01,4.062991e-01,4.047134e-01,4.041888e-01,4.028810e-01,4.008183e-01,4.002016e-01,3.985412e-01,3.960652e-01,3.953907e-01,3.934052e-01,3.905756e-01,3.898728e-01,3.875901e-01,3.844620e-01,3.837560e-01,3.812041e-01,3.778285e-01,3.771403e-01,3.743468e-01,3.707700e-01,3.701169e-01,3.671087e-01,3.633729e-01,3.627689e-01,3.595721e-01,3.557152e-01,3.551713e-01,3.518109e-01,3.478671e-01,3.473916e-01,3.438914e-01,3.398911e-01,3.394899e-01,3.358727e-01,3.318428e-01,3.315201e-01,3.278071e-01,3.237714e-01,3.235293e-01,3.197407e-01,3.157201e-01,3.155595e-01,3.117139e-01,3.077266e-01,3.076470e-01,3.037619e-01,2.998237e-01,2.921169e-01,2.845501e-01,2.771435e-01,2.699137e-01,2.628748e-01,2.560383e-01,2.494134e-01,2.430072e-01,2.368252e-01,2.308712e-01,2.251475e-01,2.196554e-01,2.143950e-01,2.093652e-01,2.045643e-01,1.999900e-01,1.956389e-01,1.915075e-01,1.875915e-01,1.838862e-01,1.803866e-01,1.770874e-01,1.739830e-01,1.710676e-01,1.683350e-01,1.657793e-01,1.633940e-01,1.611727e-01,1.591092e-01,1.571968e-01,1.554292e-01,1.537997e-01,1.523021e-01,1.509298e-01,1.496765e-01,1.485360e-01,1.475022e-01,1.465689e-01,1.457303e-01,1.449805e-01,1.443139e-01,1.437250e-01,1.432085e-01,1.427591e-01,1.423719e-01,1.420421e-01,1.417650e-01,1.415362e-01,1.413514e-01
0.000000e+00,1.024444e-08,2.560178e-07,2.692409e-07,2.154557e-06,8.290976e-06,8.671693e-06,2.098531e-05,3.499070e-05,3.589212e-05,5.048625e-05,6.292670e-05,6.395971e-05,7.621970e-05,8.625302e-05,8.731157e-05,9.730455e-05,1.052467e-04,1.062708e-04,1.142812e-04,1.204577e-04,1.214039e-04,1.277038e-04,1.324050e-04,1.332425e-04,1.380779e-04,1.415565e-04,1.422646e-04,1.458535e-04,1.483264e-04,1.488923e-04,1.514254e-04,1.530769e-04,1.534942e-04,1.551374e-04,1.561238e-04,1.563909e-04,1.572879e-04,1.577405e-04,1.578594e-04,1.581344e-04,1.581638e-04,1.581394e-04,1.578993e-04,1.575977e-04,1.574369e-04,1.567735e-04,1.562177e-04,1.559288e-04,1.549210e-04,1.541748e-04,1.537670e-04,1.524824e-04,1.515984e-04,1.510816e-04,1.495778e-04,1.485993e-04,1.479834e-04,1.463096e-04,1.452716e-04,1.445669e-04,1.427647e-04,1.416957e-04,1.409120e-04,1.390169e-04,1.379399e-04,1.370868e-04,1.351285e-04,1.340615e-04,1.331483e-04,1.311518e-04,1.301090e-04,1.291444e-04,1.271306e-04,1.261228e-04,1.251149e-04,1.231012e-04,1.221364e-04,1.210931e-04,1.190938e-04,1.181779e-04,1.171062e-04,1.151329e-04,1.142699e-04,1.131764e-04,1.112387e-04,1.104309e-04,1.093217e-04,1.074271e-04,1.066759e-04,1.055564e-04,1.037109e-04,1.030165e-04,1.018918e-04,1.000999e-04,9.946171e-05,9.833623e-05,9.660144e-05,9.601830e-05,9.489613e-05,9.322080e-05,9.269109e-05,9.157584e-05,8.996155e-05,8.948328e-05,8.837815e-05,8.682578e-05,8.639669e-05,8.530451e-05,8.381436e-05,8.343201e-05,8.235528e-05,8.092716e-05,8.058900e-05,7.952986e-05,7.816319e-05,7.786662e-05,7.682693e-05,7.552080e-05,7.526317e-05,7.424452e-05,7.299777e-05,7.277647e-05,7.178020e-05,7.059145e-05,7.040390e-05,6.943113e-05,6.829884e-05,6.814253e-05,6.719416e-05,6.611667e-05,6.598918e-05,6.506593e-05,6.404149e-05,6.394047e-05,6.304289e-05,6.206968e-05,6.199291e-05,6.112140e-05,6.019757e-05,6.014291e-05,5.929774e-05,5.842142e-05,5.838685e-05,5.756815e-05,5.673746e-05,5.672107e-05,5.592889e-05,5.514196e-05,5.364592e-05,5.222940e-05,5.088895e-05,4.962116e-05,4.842273e-05,4.729046e-05,4.622122e-05,4.521202e-05,4.425996e-05,4.336224e-05,4.251618e-05,4.171920e-05,4.096884e-05,4.026271e-05,3.959855e-05,3.897421e-05,3.838760e-05,3.783675e-05,3.731979e-05,3.683490e-05,3.638039e-05,3.595461e-05,3.555603e-05,3.518316e-05,3.483461e-05,3.450904e-05,3.420518e-05,3.392183e-05,3.365785e-05,3.341215e-05,3.318371e-05,3.297156e-05,3.277475e-05,3.259243e-05,3.242375e-05,3.226793e-05,3.212421e-05,3.199191e-05,3.187034e-05,3.175886e-05,3.165689e-05,3.156384e-05,3.147919e-05,3.140242e-05,3.133305e-05,3.127063e-05,3.121473e-05,3.116493e-05,3.112086e-05
0.000000e+00,1.821556e-11,2.618724e-09,2.829736e-09,7.270395e-08,7.077768e-07,7.674805e-07,4.323724e-06,1.438544e-05,1.536303e-05,3.947547e-05,7.691346e-05,8.092240e-05,1.412270e-04,2.105393e-04,2.190154e-04,3.106879e-04,3.990099e-04,4.114008e-04,5.159967e-04,6.053966e-04,6.197042e-04,7.185654e-04,7.956697e-04,8.096226e-04,8.909273e-04,9.495639e-04,9.614372e-04,1.020852e-03,1.060561e-03,1.069439e-03,1.107857e-03,1.131341e-03,1.137013e-03,1.157943e-03,1.169010e-03,1.171721e-03,1.179394e-03,1.181720e-03,1.181940e-03,1.180250e-03,1.176855e-03,1.175108e-03,1.167195e-03,1.160320e-03,1.157089e-03,1.145276e-03,1.136478e-03,1.132160e-03,1.118070e-03,1.108369e-03,1.103273e-03,1.087985e-03,1.078024e-03,1.072378e-03,1.056586e-03,1.046750e-03,1.040716e-03,1.024850e-03,1.015361e-03,1.009053e-03,9.933742e-04,9.843492e-04,9.778498e-04,9.625080e-04,9.540043e-04,9.473695e-04,9.324494e-04,9.244873e-04,9.177586e-04,9.033044e-04,8.958834e-04,8.890916e-04,8.751229e-04,8.682306e-04,8.613996e-04,8.479217e-04,8.415392e-04,8.346884e-04,8.216982e-04,8.158038e-04,8.089492e-04,7.964392e-04,7.910099e-04,7.841657e-04,7.721257e-04,7.671378e-04,7.603162e-04,7.487340e-04,7.441640e-04,7.373758e-04,7.262382e-04,7.220632e-04,7.153181e-04,7.046119e-04,7.008094e-04,6.941164e-04,6.838281e-04,6.803767e-04,6.737437e-04,6.638598e-04,6.607388e-04,6.541731e-04,6.446801e-04,6.418695e-04,6.353776e-04,6.262623e-04,6.237431e-04,6.173309e-04,6.085801e-04,6.063341e-04,6.000068e-04,5.916079e-04,5.896177e-04,5.833801e-04,5.753204e-04,5.735695e-04,5.674257e-04,5.596930e-04,5.581657e-04,5.521194e-04,5.447019e-04,5.433830e-04,5.374375e-04,5.303235e-04,5.291991e-04,5.233571e-04,5.165354e-04,5.155918e-04,5.098558e-04,5.033155e-04,5.025399e-04,4.969120e-04,4.906425e-04,4.900229e-04,4.845046e-04,4.784958e-04,4.780206e-04,4.726135e-04,4.668553e-04,4.665137e-04,4.612188e-04,4.557017e-04,4.554835e-04,4.503016e-04,4.450163e-04,4.449118e-04,4.398436e-04,4.347812e-04,4.250746e-04,4.157759e-04,4.068692e-04,3.983392e-04,3.901714e-04,3.823516e-04,3.748661e-04,3.677017e-04,3.608458e-04,3.542862e-04,3.480112e-04,3.420093e-04,3.362697e-04,3.307818e-04,3.255356e-04,3.205214e-04,3.157296e-04,3.111515e-04,3.067782e-04,3.026014e-04,2.986131e-04,2.948056e-04,2.911714e-04,2.877034e-04,2.843947e-04,2.812388e-04,2.782292e-04,2.753599e-04,2.726250e-04,2.700188e-04,2.675359e-04,2.651712e-04,2.629195e-04,2.607761e-04,2.587364e-04,2.567959e-04,2.549504e-04,2.531957e-04,2.515278e-04,2.499431e-04,2.484379e-04,2.470087e-04,2.456521e-04,2.443650e-04,2.431441e-04,2.419867e-04,2.408898e-04,2.398507e-04,2.388667e-04
0.000000e+00,2.343513e-11,3.245832e-09,3.500956e-09,8.381773e-08,8.354505e-07,9.087943e-07,5.814977e-06,2.313120e-05,2.501417e-05,7.995510e-05,1.918342e-04,2.055354e-04,4.499094e-04,8.204180e-04,8.725975e-04,1.541612e-03,2.392168e-03,2.530145e-03,3.913212e-03,5.474469e-03,5.764489e-03,8.153527e-03,1.062229e-02,1.114342e-02,1.478894e-02,1.829948e-02,1.913522e-02,2.421681e-02,2.882771e-02,3.005727e-02,3.666899e-02,4.236289e-02,4.405348e-02,5.220181e-02,5.889423e-02,6.109528e-02,7.070626e-02,7.825967e-02,8.099915e-02,9.193137e-02,1.001714e-01,1.034544e-01,1.155149e-01,1.242464e-01,1.280555e-01,1.410162e-01,1.500379e-01,1.543350e-01,1.679487e-01,1.770645e-01,1.817940e-01,1.958080e-01,2.048368e-01,2.099288e-01,2.240964e-01,2.328783e-01,2.382528e-01,2.523423e-01,2.607419e-01,2.663124e-01,2.801136e-01,2.880226e-01,2.936998e-01,3.070281e-01,3.143645e-01,3.200593e-01,3.327580e-01,3.394656e-01,3.450920e-01,3.570330e-01,3.630785e-01,3.685559e-01,3.796391e-01,3.850100e-01,3.902643e-01,4.004163e-01,4.051175e-01,4.100828e-01,4.192545e-01,4.233053e-01,4.279245e-01,4.360887e-01,4.395201e-01,4.437450e-01,4.508937e-01,4.537452e-01,4.575368e-01,4.636784e-01,4.659957e-01,4.693239e-01,4.744803e-01,4.763132e-01,4.791560e-01,4.833604e-01,4.847606e-01,4.871040e-01,4.903982e-01,4.914179e-01,4.932550e-01,4.956873e-01,4.963782e-01,4.977084e-01,4.993319e-01,4.997435e-01,5.005719e-01,5.014428e-01,5.016225e-01,5.019589e-01,5.021349e-01,5.021268e-01,5.019853e-01,5.015247e-01,5.013695e-01,5.007675e-01,4.997282e-01,4.994630e-01,4.984208e-01,4.968592e-01,4.965177e-01,4.950574e-01,4.930285e-01,4.926403e-01,4.907859e-01,4.883423e-01,4.879335e-01,4.857102e-01,4.829018e-01,4.824952e-01,4.799288e-01,4.768027e-01,4.764178e-01,4.735345e-01,4.701350e-01,4.697882e-01,4.666143e-01,4.629825e-01,4.626875e-01,4.592491e-01,4.554233e-01,4.551910e-01,4.515138e-01,4.475291e-01,4.473683e-01,4.434773e-01,4.393661e-01,4.392834e-01,4.352030e-01,4.309949e-01,4.225562e-01,4.140160e-01,4.054180e-01,3.968017e-01,3.882025e-01,3.796521e-01,3.711786e-01,3.628066e-01,3.545580e-01,3.464519e-01,3.385047e-01,3.307307e-01,3.231417e-01,3.157481e-01,3.085580e-01,3.015784e-01,2.948144e-01,2.882703e-01,2.819487e-01,2.758514e-01,2.699793e-01,2.643323e-01,2.589096e-01,2.537096e-01,2.487304e-01,2.439691e-01,2.394226e-01,2.350873e-01,2.309593e-01,2.270343e-01,2.233076e-01,2.197743e-01,2.164296e-01,2.132680e-01,2.102842e-01,2.074728e-01,2.048281e-01,2.023444e-01,2.000160e-01,1.978372e-01,1.958023e-01,1.939054e-01,1.921408e-01,1.905028e-01,1.889858e-01,1.875841e-01,1.862924e-01,1.851051e-01,1.840170e-01
0.000000e+00,9.844457e-12,1.316217e-09,1.418759e-09,3.298618e-08,3.199162e-07,3.475778e-07,2.149843e-06,8.233500e-06,8.880758e-06,2.713364e-05,6.230579e-05,6.649692e-05,1.385754e-04,2.416117e-04,2.556961e-04,4.296566e-04,6.379470e-04,6.707023e-04,9.868058e-04,1.322788e-03,1.383247e-03,1.862458e-03,2.328778e-03,2.424085e-03,3.065201e-03,3.646664e-03,3.780633e-03,4.563349e-03,5.232303e-03,5.404865e-03,6.295658e-03,7.018152e-03,7.225552e-03,8.184074e-03,8.925250e-03,9.160759e-03,1.014541e-02,1.087345e-02,1.112832e-02,1.210043e-02,1.278898e-02,1.305345e-02,1.397996e-02,1.460921e-02,1.487342e-02,1.572823e-02,1.628500e-02,1.653971e-02,1.730404e-02,1.778122e-02,1.801830e-02,1.868032e-02,1.907592e-02,1.928869e-02,1.984266e-02,2.015872e-02,2.034209e-02,2.078734e-02,2.102882e-02,2.117926e-02,2.151908e-02,2.169291e-02,2.180836e-02,2.204893e-02,2.216312e-02,2.224283e-02,2.239227e-02,2.245529e-02,2.249957e-02,2.256715e-02,2.258741e-02,2.259746e-02,2.259297e-02,2.257844e-02,2.255613e-02,2.248936e-02,2.244737e-02,2.239502e-02,2.227543e-02,2.221254e-02,2.213278e-02,2.196922e-02,2.189115e-02,2.178678e-02,2.158738e-02,2.149902e-02,2.137286e-02,2.114494e-02,2.105039e-02,2.090524e-02,2.065527e-02,2.055789e-02,2.039645e-02,2.013008e-02,2.003258e-02,1.985740e-02,1.957952e-02,1.948404e-02,1.929748e-02,1.901224e-02,1.892043e-02,1.872468e-02,1.843559e-02,1.834868e-02,1.814572e-02,1.785572e-02,1.777458e-02,1.756620e-02,1.727771e-02,1.720293e-02,1.699075e-02,1.670575e-02,1.663769e-02,1.642313e-02,1.614323e-02,1.608205e-02,1.586638e-02,1.559286e-02,1.553857e-02,1.532292e-02,1.505678e-02,1.500929e-02,1.479463e-02,1.453665e-02,1.449576e-02,1.428297e-02,1.403371e-02,1.399918e-02,1.378899e-02,1.354889e-02,1.352039e-02,1.331347e-02,1.308279e-02,1.305999e-02,1.285690e-02,1.263582e-02,1.261834e-02,1.241957e-02,1.220817e-02,1.219564e-02,1.200160e-02,1.179987e-02,1.179190e-02,1.160295e-02,1.141082e-02,1.140703e-02,1.122347e-02,1.104083e-02,1.069302e-02,1.036324e-02,1.005108e-02,9.756093e-03,9.477795e-03,9.215671e-03,8.969189e-03,8.737802e-03,8.520952e-03,8.318077e-03,8.128611e-03,7.951986e-03,7.787641e-03,7.635016e-03,7.493561e-03,7.362734e-03,7.242000e-03,7.130835e-03,7.028728e-03,6.935176e-03,6.849694e-03,6.771805e-03,6.701050e-03,6.636982e-03,6.579171e-03,6.527198e-03,6.480661e-03,6.439175e-03,6.402366e-03,6.369879e-03,6.341373e-03,6.316521e-03,6.295014e-03,6.276555e-03,6.260864e-03,6.247676e-03,6.236738e-03,6.227813e-03,6.220680e-03,6.215128e-03,6.210961e-03,6.207997e-03,6.206067e-03,6.205011e-03,6.204684e-03,6.204952e-03,6.205692e-03,6.206790e-03,6.208144e-03
0.000000e+00,3.900385e-10,4.873390e-09,5.083784e-09,3.108740e-08,1.097927e-07,1.147034e-07,2.797623e-07,4.800297e-07,4.931676e-07,7.064981e-07,8.862434e-07,9.009963e-07,1.073509e-06,1.210612e-06,1.224835e-06,1.356602e-06,1.457749e-06,1.470535e-06,1.568284e-06,1.640579e-06,1.651386e-06,1.721262e-06,1.770695e-06,1.779218e-06,1.826453e-06,1.857959e-06,1.864066e-06,1.893062e-06,1.910673e-06,1.914358e-06,1.928787e-06,1.935766e-06,1.937109e-06,1.940011e-06,1.938979e-06,1.938118e-06,1.931995e-06,1.925044e-06,1.922154e-06,1.909058e-06,1.897847e-06,1.893121e-06,1.874721e-06,1.860560e-06,1.854200e-06,1.831862e-06,1.815777e-06,1.807984e-06,1.782811e-06,1.765596e-06,1.756565e-06,1.729443e-06,1.711709e-06,1.701624e-06,1.673264e-06,1.655473e-06,1.644507e-06,1.615477e-06,1.597975e-06,1.586285e-06,1.557032e-06,1.540071e-06,1.527803e-06,1.498677e-06,1.482436e-06,1.469721e-06,1.440994e-06,1.425595e-06,1.412547e-06,1.384427e-06,1.369945e-06,1.356670e-06,1.329310e-06,1.315788e-06,1.302375e-06,1.275889e-06,1.263340e-06,1.249870e-06,1.224336e-06,1.212756e-06,1.199298e-06,1.174767e-06,1.164135e-06,1.150749e-06,1.127249e-06,1.117535e-06,1.104271e-06,1.081815e-06,1.072979e-06,1.059882e-06,1.038469e-06,1.030468e-06,1.017573e-06,9.971902e-07,9.899771e-07,9.773156e-07,9.579431e-07,9.514697e-07,9.390663e-07,9.206780e-07,9.148956e-07,9.027705e-07,8.853358e-07,8.801963e-07,8.683654e-07,8.518507e-07,8.473070e-07,8.357826e-07,8.201521e-07,8.161587e-07,8.049499e-07,7.901667e-07,7.866800e-07,7.757931e-07,7.618197e-07,7.587983e-07,7.482371e-07,7.350359e-07,7.324406e-07,7.222068e-07,7.097407e-07,7.075346e-07,6.976283e-07,6.858606e-07,6.840092e-07,6.744288e-07,6.633240e-07,6.617949e-07,6.525376e-07,6.420610e-07,6.408243e-07,6.318861e-07,6.220045e-07,6.210322e-07,6.124083e-07,6.030895e-07,6.023558e-07,5.940406e-07,5.852539e-07,5.847349e-07,5.767222e-07,5.684382e-07,5.681119e-07,5.603950e-07,5.525856e-07,5.524318e-07,5.450035e-07,5.376420e-07,5.236929e-07,5.105369e-07,4.981293e-07,4.864274e-07,4.753909e-07,4.649818e-07,4.551640e-07,4.459035e-07,4.371682e-07,4.289279e-07,4.211538e-07,4.138191e-07,4.068983e-07,4.003675e-07,3.942041e-07,3.883869e-07,3.828959e-07,3.777121e-07,3.728179e-07,3.681964e-07,3.638321e-07,3.597100e-07,3.558162e-07,3.521375e-07,3.486617e-07,3.453769e-07,3.422724e-07,3.393377e-07,3.365632e-07,3.339397e-07,3.314587e-07,3.291119e-07,3.268918e-07,3.247912e-07,3.228033e-07,3.209218e-07,3.191407e-07,3.174542e-07,3.158572e-07,3.143445e-07,3.129115e-07,3.115537e-07,3.102669e-07,3.090472e-07,3.078909e-07,3.067944e-07,3.057545e-07,3.047681e-07,3.038321e-07
0.000000e+00,1.019293e-08,2.355880e-07,2.474923e-07,1.981783e-06,8.249556e-06,8.665395e-06,2.348197e-05,4.270883e-05,4.400413e-05,6.560506e-05,8.473317e-05,8.634672e-05,1.057894e-04,1.221268e-04,1.238748e-04,1.406330e-04,1.543229e-04,1.561153e-04,1.703788e-04,1.817153e-04,1.834821e-04,1.954838e-04,2.047560e-04,2.064414e-04,2.164115e-04,2.238885e-04,2.254488e-04,2.336065e-04,2.395337e-04,2.409357e-04,2.474855e-04,2.520838e-04,2.533031e-04,2.584329e-04,2.618974e-04,2.629168e-04,2.667945e-04,2.692965e-04,2.701046e-04,2.728836e-04,2.745751e-04,2.751662e-04,2.769874e-04,2.780056e-04,2.783803e-04,2.793744e-04,2.798371e-04,2.799979e-04,2.802768e-04,2.802843e-04,2.802361e-04,2.798994e-04,2.795388e-04,2.792888e-04,2.784252e-04,2.777715e-04,2.773285e-04,2.760172e-04,2.751347e-04,2.745088e-04,2.728200e-04,2.717639e-04,2.709662e-04,2.689621e-04,2.677793e-04,2.668214e-04,2.645571e-04,2.632872e-04,2.621812e-04,2.597054e-04,2.583819e-04,2.571401e-04,2.544955e-04,2.531464e-04,2.517810e-04,2.490054e-04,2.476538e-04,2.461768e-04,2.433031e-04,2.419681e-04,2.403915e-04,2.374485e-04,2.361454e-04,2.344807e-04,2.314936e-04,2.302347e-04,2.284929e-04,2.254836e-04,2.242785e-04,2.224704e-04,2.194576e-04,2.183136e-04,2.164492e-04,2.134491e-04,2.123718e-04,2.104607e-04,2.074871e-04,2.064800e-04,2.045313e-04,2.015960e-04,2.006614e-04,1.986837e-04,1.957966e-04,1.949356e-04,1.929367e-04,1.901060e-04,1.893189e-04,1.873062e-04,1.845388e-04,1.838247e-04,1.818051e-04,1.791065e-04,1.784642e-04,1.764440e-04,1.738185e-04,1.732460e-04,1.712310e-04,1.686821e-04,1.681771e-04,1.661726e-04,1.637029e-04,1.632626e-04,1.612735e-04,1.588848e-04,1.585064e-04,1.565370e-04,1.542304e-04,1.539107e-04,1.519650e-04,1.497410e-04,1.494769e-04,1.475584e-04,1.454171e-04,1.452053e-04,1.433171e-04,1.412582e-04,1.410953e-04,1.392403e-04,1.372631e-04,1.371457e-04,1.353263e-04,1.334297e-04,1.333546e-04,1.315729e-04,1.297557e-04,1.297197e-04,1.279775e-04,1.262381e-04,1.229067e-04,1.197219e-04,1.166801e-04,1.137773e-04,1.110095e-04,1.083726e-04,1.058623e-04,1.034744e-04,1.012046e-04,9.904877e-05,9.700254e-05,9.506178e-05,9.322236e-05,9.148023e-05,8.983141e-05,8.827202e-05,8.679826e-05,8.540644e-05,8.409298e-05,8.285439e-05,8.168728e-05,8.058841e-05,7.955460e-05,7.858280e-05,7.767009e-05,7.681363e-05,7.601069e-05,7.525866e-05,7.455501e-05,7.389733e-05,7.328330e-05,7.271069e-05,7.217739e-05,7.168134e-05,7.122061e-05,7.079331e-05,7.039767e-05,7.003198e-05,6.969462e-05,6.938403e-05,6.909873e-05,6.883731e-05,6.859841e-05,6.838076e-05,6.818313e-05,6.800436e-05,6.784334e-05,6.769901e-05,6.757038e-05
0.000000e+00,1.088129e-08,1.537258e-07,1.604123e-07,1.000057e-06,3.709945e-06,3.886524e-06,1.032322e-05,1.947460e-05,2.012260e-05,3.126429e-05,4.132356e-05,4.217059e-05,5.230079e-05,6.066212e-05,6.154697e-05,6.992293e-05,7.660979e-05,7.747411e-05,8.425308e-05,8.950560e-05,9.031253e-05,9.570335e-05,9.975046e-05,1.004740e-04,1.046704e-04,1.077134e-04,1.083359e-04,1.115111e-04,1.137239e-04,1.142341e-04,1.165408e-04,1.180724e-04,1.184643e-04,1.200360e-04,1.210131e-04,1.212848e-04,1.222377e-04,1.227673e-04,1.229200e-04,1.233551e-04,1.235276e-04,1.235647e-04,1.235690e-04,1.234600e-04,1.233868e-04,1.230353e-04,1.227079e-04,1.225307e-04,1.218878e-04,1.213945e-04,1.211205e-04,1.202415e-04,1.196258e-04,1.192626e-04,1.181946e-04,1.174923e-04,1.170477e-04,1.158312e-04,1.150714e-04,1.145535e-04,1.132227e-04,1.124293e-04,1.118459e-04,1.104298e-04,1.096220e-04,1.089806e-04,1.075039e-04,1.066970e-04,1.060050e-04,1.044885e-04,1.036944e-04,1.029588e-04,1.014199e-04,1.006481e-04,9.987536e-05,9.832856e-05,9.758619e-05,9.678250e-05,9.523990e-05,9.453216e-05,9.370324e-05,9.217478e-05,9.150539e-05,9.065655e-05,8.915036e-05,8.852175e-05,8.765786e-05,8.618051e-05,8.559412e-05,8.471963e-05,8.327637e-05,8.273277e-05,8.185176e-05,8.044670e-05,7.994581e-05,7.906196e-05,7.769823e-05,7.723946e-05,7.635609e-05,7.503603e-05,7.461834e-05,7.373845e-05,7.246368e-05,7.208574e-05,7.121199e-05,6.998357e-05,6.964380e-05,6.877857e-05,6.759706e-05,6.729373e-05,6.643910e-05,6.530467e-05,6.503590e-05,6.419372e-05,6.310617e-05,6.287004e-05,6.204191e-05,6.100079e-05,6.079533e-05,5.998264e-05,5.898726e-05,5.881049e-05,5.801443e-05,5.706392e-05,5.691390e-05,5.613548e-05,5.522883e-05,5.510362e-05,5.434369e-05,5.347976e-05,5.337750e-05,5.263674e-05,5.181432e-05,5.173320e-05,5.101217e-05,5.022997e-05,5.016825e-05,4.946739e-05,4.872408e-05,4.868009e-05,4.799971e-05,4.729394e-05,4.726610e-05,4.660643e-05,4.593683e-05,4.592362e-05,4.528480e-05,4.464999e-05,4.344256e-05,4.229867e-05,4.121573e-05,4.019118e-05,3.922253e-05,3.830733e-05,3.744320e-05,3.662784e-05,3.585902e-05,3.513457e-05,3.445241e-05,3.381052e-05,3.320698e-05,3.263991e-05,3.210753e-05,3.160812e-05,3.114004e-05,3.070170e-05,3.029160e-05,2.990829e-05,2.955039e-05,2.921656e-05,2.890556e-05,2.861617e-05,2.834724e-05,2.809767e-05,2.786641e-05,2.765247e-05,2.745489e-05,2.727275e-05,2.710520e-05,2.695141e-05,2.681060e-05,2.668201e-05,2.656494e-05,2.645871e-05,2.636267e-05,2.627622e-05,2.619877e-05,2.612976e-05,2.606869e-05,2.601503e-05,2.596833e-05,2.592813e-05,2.589400e-05,2.586554e-05,2.584237e-05,2.582412e-05,2.581045e-05
0.000000e+00,7.598305e-09,1.699985e-07,1.784890e-07,1.346934e-06,5.193285e-06,5.439818e-06,1.407572e-05,2.549611e-05,2.628062e-05,3.957949e-05,5.161040e-05,5.263426e-05,6.507795e-05,7.569311e-05,7.683813e-05,8.791414e-05,9.710882e-05,9.832345e-05,1.080885e-04,1.159897e-04,1.172336e-04,1.257846e-04,1.325266e-04,1.337664e-04,1.412031e-04,1.469114e-04,1.481188e-04,1.545378e-04,1.593309e-04,1.604832e-04,1.659777e-04,1.699642e-04,1.710428e-04,1.756998e-04,1.789785e-04,1.799687e-04,1.838689e-04,1.865287e-04,1.874191e-04,1.906370e-04,1.927578e-04,1.935398e-04,1.961437e-04,1.977971e-04,1.984645e-04,2.005171e-04,2.017670e-04,2.023158e-04,2.038743e-04,2.047777e-04,2.052057e-04,2.063223e-04,2.069298e-04,2.072361e-04,2.079586e-04,2.083151e-04,2.085004e-04,2.088721e-04,2.090174e-04,2.090833e-04,2.091436e-04,2.091130e-04,2.090619e-04,2.088468e-04,2.086711e-04,2.085064e-04,2.080484e-04,2.077549e-04,2.074803e-04,2.068091e-04,2.064216e-04,2.060415e-04,2.051839e-04,2.047232e-04,2.042422e-04,2.032224e-04,2.027067e-04,2.021299e-04,2.009699e-04,2.004150e-04,1.997473e-04,1.984669e-04,1.978864e-04,1.971332e-04,1.957504e-04,1.951560e-04,1.943226e-04,1.928535e-04,1.922552e-04,1.913469e-04,1.898061e-04,1.892123e-04,1.882344e-04,1.866350e-04,1.860530e-04,1.850108e-04,1.833645e-04,1.828002e-04,1.816988e-04,1.800162e-04,1.794746e-04,1.783191e-04,1.766096e-04,1.760946e-04,1.748898e-04,1.731619e-04,1.726768e-04,1.714275e-04,1.696886e-04,1.692360e-04,1.679468e-04,1.662036e-04,1.657852e-04,1.644605e-04,1.627190e-04,1.623362e-04,1.609803e-04,1.592456e-04,1.588993e-04,1.575162e-04,1.557931e-04,1.554837e-04,1.540773e-04,1.523697e-04,1.520973e-04,1.506713e-04,1.489829e-04,1.487473e-04,1.473052e-04,1.456390e-04,1.454398e-04,1.439849e-04,1.423436e-04,1.421802e-04,1.407156e-04,1.391014e-04,1.389729e-04,1.375016e-04,1.359166e-04,1.358220e-04,1.343468e-04,1.327925e-04,1.327307e-04,1.312542e-04,1.297321e-04,1.297018e-04,1.282265e-04,1.267376e-04,1.238401e-04,1.210106e-04,1.182502e-04,1.155597e-04,1.129397e-04,1.103904e-04,1.079118e-04,1.055036e-04,1.031657e-04,1.008975e-04,9.869835e-05,9.656751e-05,9.450410e-05,9.250720e-05,9.057575e-05,8.870867e-05,8.690480e-05,8.516295e-05,8.348188e-05,8.186033e-05,8.029702e-05,7.879062e-05,7.733985e-05,7.594335e-05,7.459982e-05,7.330791e-05,7.206631e-05,7.087370e-05,6.972876e-05,6.863020e-05,6.757674e-05,6.656712e-05,6.560007e-05,6.467436e-05,6.378880e-05,6.294217e-05,6.213331e-05,6.136106e-05,6.062430e-05,5.992191e-05,5.925282e-05,5.861596e-05,5.801029e-05,5.743479e-05,5.688848e-05,5.637037e-05,5.587953e-05,5.541502e-05,5.497594e-05
0.000000e+00,4.550442e-09,5.809299e-08,6.054204e-08,3.539765e-07,1.230954e-06,1.286042e-06,3.190718e-06,5.660736e-06,5.828249e-06,8.620306e-06,1.106441e-05,1.126866e-05,1.370212e-05,1.570360e-05,1.591523e-05,1.791758e-05,1.951534e-05,1.972182e-05,2.134097e-05,2.259505e-05,2.278767e-05,2.407405e-05,2.503921e-05,2.521169e-05,2.621159e-05,2.693602e-05,2.708413e-05,2.783910e-05,2.836464e-05,2.848571e-05,2.903258e-05,2.939510e-05,2.948777e-05,2.985878e-05,3.008878e-05,3.015262e-05,3.037580e-05,3.049904e-05,3.053437e-05,3.063396e-05,3.067207e-05,3.067976e-05,3.067662e-05,3.064771e-05,3.062900e-05,3.054103e-05,3.046015e-05,3.041657e-05,3.025916e-05,3.013882e-05,3.007208e-05,2.985840e-05,2.970898e-05,2.962090e-05,2.936216e-05,2.919213e-05,2.908456e-05,2.879032e-05,2.860662e-05,2.848143e-05,2.815978e-05,2.796805e-05,2.782707e-05,2.748488e-05,2.728966e-05,2.713466e-05,2.677775e-05,2.658266e-05,2.641535e-05,2.604859e-05,2.585649e-05,2.567848e-05,2.530597e-05,2.511908e-05,2.493190e-05,2.455705e-05,2.437706e-05,2.418214e-05,2.380780e-05,2.363596e-05,2.343462e-05,2.306312e-05,2.290032e-05,2.269379e-05,2.232706e-05,2.217390e-05,2.196331e-05,2.160289e-05,2.145972e-05,2.124611e-05,2.089324e-05,2.076023e-05,2.054454e-05,2.020021e-05,2.007736e-05,1.986044e-05,1.952540e-05,1.941259e-05,1.919523e-05,1.887005e-05,1.876706e-05,1.854995e-05,1.823503e-05,1.814157e-05,1.792535e-05,1.762096e-05,1.753669e-05,1.732191e-05,1.702821e-05,1.695273e-05,1.673990e-05,1.645696e-05,1.638986e-05,1.617940e-05,1.590721e-05,1.584804e-05,1.564036e-05,1.537883e-05,1.532716e-05,1.512259e-05,1.487160e-05,1.482697e-05,1.462581e-05,1.438517e-05,1.434714e-05,1.414964e-05,1.391915e-05,1.388729e-05,1.369366e-05,1.347309e-05,1.344694e-05,1.325738e-05,1.304646e-05,1.302563e-05,1.284027e-05,1.263874e-05,1.262282e-05,1.244180e-05,1.224937e-05,1.223797e-05,1.206138e-05,1.187776e-05,1.187051e-05,1.169843e-05,1.152332e-05,1.151986e-05,1.135236e-05,1.118546e-05,1.086672e-05,1.056306e-05,1.027392e-05,9.998733e-06,9.736946e-06,9.488022e-06,9.251433e-06,9.026667e-06,8.813227e-06,8.610629e-06,8.418406e-06,8.236105e-06,8.063291e-06,7.899542e-06,7.744453e-06,7.597634e-06,7.458709e-06,7.327318e-06,7.203115e-06,7.085767e-06,6.974955e-06,6.870374e-06,6.771730e-06,6.678743e-06,6.591144e-06,6.508675e-06,6.431091e-06,6.358156e-06,6.289644e-06,6.225340e-06,6.165039e-06,6.108542e-06,6.055662e-06,6.006220e-06,5.960043e-06,5.916968e-06,5.876837e-06,5.839503e-06,5.804821e-06,5.772656e-06,5.742878e-06,5.715363e-06,5.689992e-06,5.666653e-06,5.645238e-06,5.625644e-06,5.607775e-06,5.591536e-06,5.576839e-06
0.000000e+00,3.821789e-10,3.190677e-08,3.405652e-08,4.978968e-07,3.372446e-06,3.616871e-06,1.688970e-05,5.220068e-05,5.557855e-05,1.368122e-04,2.553560e-04,2.675377e-04,4.404307e-04,6.193437e-04,6.400298e-04,8.504065e-04,1.034604e-03,1.059295e-03,1.258869e-03,1.419750e-03,1.444889e-03,1.615518e-03,1.746620e-03,1.770336e-03,1.909682e-03,2.012893e-03,2.034267e-03,2.144963e-03,2.224137e-03,2.242688e-03,2.328357e-03,2.387380e-03,2.402854e-03,2.467023e-03,2.509377e-03,2.521662e-03,2.567523e-03,2.596227e-03,2.605315e-03,2.635697e-03,2.653335e-03,2.659291e-03,2.676673e-03,2.685435e-03,2.688382e-03,2.694920e-03,2.696652e-03,2.696754e-03,2.694317e-03,2.690565e-03,2.688011e-03,2.678209e-03,2.670261e-03,2.665255e-03,2.649469e-03,2.638390e-03,2.631146e-03,2.610558e-03,2.597223e-03,2.587956e-03,2.563572e-03,2.548698e-03,2.537620e-03,2.510298e-03,2.494467e-03,2.481787e-03,2.452252e-03,2.435932e-03,2.421847e-03,2.390713e-03,2.374279e-03,2.358979e-03,2.326761e-03,2.310505e-03,2.294169e-03,2.261299e-03,2.245451e-03,2.228244e-03,2.195083e-03,2.179814e-03,2.161891e-03,2.128736e-03,2.114176e-03,2.095679e-03,2.062775e-03,2.049013e-03,2.030074e-03,1.997619e-03,1.984716e-03,1.965453e-03,1.933609e-03,1.921600e-03,1.902120e-03,1.871015e-03,1.859915e-03,1.840317e-03,1.810049e-03,1.799859e-03,1.780230e-03,1.750875e-03,1.741581e-03,1.721998e-03,1.693612e-03,1.685193e-03,1.665726e-03,1.638347e-03,1.630773e-03,1.611482e-03,1.585134e-03,1.578370e-03,1.559309e-03,1.534006e-03,1.528011e-03,1.509227e-03,1.484972e-03,1.479705e-03,1.461238e-03,1.438024e-03,1.433444e-03,1.415327e-03,1.393144e-03,1.389205e-03,1.371469e-03,1.350297e-03,1.346956e-03,1.329625e-03,1.309445e-03,1.306658e-03,1.289751e-03,1.270537e-03,1.268263e-03,1.251796e-03,1.233520e-03,1.231718e-03,1.215703e-03,1.198337e-03,1.196967e-03,1.181414e-03,1.164926e-03,1.163951e-03,1.148866e-03,1.133225e-03,1.132608e-03,1.117995e-03,1.103168e-03,1.102875e-03,1.088736e-03,1.074691e-03,1.047992e-03,1.022716e-03,9.988011e-04,9.761867e-04,9.548137e-04,9.346246e-04,9.155632e-04,8.975755e-04,8.806088e-04,8.646128e-04,8.495388e-04,8.353399e-04,8.219714e-04,8.093904e-04,7.975556e-04,7.864279e-04,7.759696e-04,7.661451e-04,7.569200e-04,7.482621e-04,7.401402e-04,7.325250e-04,7.253885e-04,7.187040e-04,7.124464e-04,7.065916e-04,7.011169e-04,6.960006e-04,6.912223e-04,6.867625e-04,6.826029e-04,6.787261e-04,6.751155e-04,6.717554e-04,6.686312e-04,6.657288e-04,6.630349e-04,6.605371e-04,6.582234e-04,6.560827e-04,6.541043e-04,6.522784e-04,6.505953e-04,6.490462e-04,6.476227e-04,6.463167e-04,6.451209e-04,6.440280e-04,6.430313e-04
0.000000e+00,1.352486e-08,2.100318e-07,2.194751e-07,1.437420e-06,5.332285e-06,5.579433e-06,1.391634e-05,2.394441e-05,2.460296e-05,3.544698e-05,4.495492e-05,4.575574e-05,5.540353e-05,6.351680e-05,6.438553e-05,7.272122e-05,7.954192e-05,8.043573e-05,8.755577e-05,9.322439e-05,9.410869e-05,1.001221e-04,1.047766e-04,1.056235e-04,1.106401e-04,1.144106e-04,1.151984e-04,1.193243e-04,1.223305e-04,1.230428e-04,1.263777e-04,1.287276e-04,1.293522e-04,1.319880e-04,1.337777e-04,1.343061e-04,1.363264e-04,1.376408e-04,1.380677e-04,1.395480e-04,1.404617e-04,1.407842e-04,1.417925e-04,1.423708e-04,1.425880e-04,1.431851e-04,1.434848e-04,1.435975e-04,1.438380e-04,1.439086e-04,1.439190e-04,1.438518e-04,1.437361e-04,1.436474e-04,1.433161e-04,1.430512e-04,1.428675e-04,1.423108e-04,1.419286e-04,1.416547e-04,1.409073e-04,1.404351e-04,1.400763e-04,1.391689e-04,1.386298e-04,1.381917e-04,1.371512e-04,1.365651e-04,1.360533e-04,1.349037e-04,1.342871e-04,1.337075e-04,1.324697e-04,1.318367e-04,1.311950e-04,1.298877e-04,1.292498e-04,1.285518e-04,1.271912e-04,1.265581e-04,1.258095e-04,1.244100e-04,1.237893e-04,1.229957e-04,1.215696e-04,1.209678e-04,1.201345e-04,1.186928e-04,1.181148e-04,1.172468e-04,1.157988e-04,1.152485e-04,1.143508e-04,1.129047e-04,1.123849e-04,1.114622e-04,1.100250e-04,1.095378e-04,1.085945e-04,1.071721e-04,1.067188e-04,1.057591e-04,1.043566e-04,1.039381e-04,1.029658e-04,1.015875e-04,1.012040e-04,1.002227e-04,9.887219e-05,9.852349e-05,9.753671e-05,9.621691e-05,9.590257e-05,9.491341e-05,9.362672e-05,9.334596e-05,9.235733e-05,9.110566e-05,9.085748e-05,8.987207e-05,8.865688e-05,8.844012e-05,8.746037e-05,8.628276e-05,8.609612e-05,8.512426e-05,8.398502e-05,8.382706e-05,8.286514e-05,8.176474e-05,8.163400e-05,8.068386e-05,7.962254e-05,7.951748e-05,7.858078e-05,7.755856e-05,7.747762e-05,7.655584e-05,7.557256e-05,7.551418e-05,7.460864e-05,7.366398e-05,7.362659e-05,7.273846e-05,7.183196e-05,7.181402e-05,7.094432e-05,7.007540e-05,6.840948e-05,6.681483e-05,6.528991e-05,6.383304e-05,6.244248e-05,6.111641e-05,5.985297e-05,5.865024e-05,5.750632e-05,5.641926e-05,5.538712e-05,5.440798e-05,5.347992e-05,5.260105e-05,5.176950e-05,5.098343e-05,5.024105e-05,4.954059e-05,4.888033e-05,4.825858e-05,4.767370e-05,4.712411e-05,4.660826e-05,4.612464e-05,4.567180e-05,4.524833e-05,4.485288e-05,4.448413e-05,4.414080e-05,4.382168e-05,4.352557e-05,4.325135e-05,4.299791e-05,4.276422e-05,4.254924e-05,4.235202e-05,4.217162e-05,4.200713e-05,4.185772e-05,4.172254e-05,4.160081e-05,4.149177e-05,4.139471e-05,4.130892e-05,4.123376e-05,4.116858e-05,4.111278e-05,4.106579e-05,4.102706e-05
0.000000e+00,1.025077e-10,9.689767e-09,1.036632e-08,1.677985e-07,1.232523e-06,1.326061e-06,6.688256e-06,2.218831e-05,2.373154e-05,6.306629e-05,1.264294e-04,1.332832e-04,2.367004e-04,3.548764e-04,3.692288e-04,5.229078e-04,6.684760e-04,6.887328e-04,8.585744e-04,1.002934e-03,1.026052e-03,1.186670e-03,1.314159e-03,1.337572e-03,1.477159e-03,1.582663e-03,1.604728e-03,1.720169e-03,1.803958e-03,1.823745e-03,1.915937e-03,1.980330e-03,1.997348e-03,2.068635e-03,2.116457e-03,2.130473e-03,2.183528e-03,2.217517e-03,2.228449e-03,2.265857e-03,2.288471e-03,2.296341e-03,2.320458e-03,2.333833e-03,2.338731e-03,2.351652e-03,2.357618e-03,2.359682e-03,2.363250e-03,2.363356e-03,2.362756e-03,2.358574e-03,2.354123e-03,2.351051e-03,2.340509e-03,2.332589e-03,2.327247e-03,2.311543e-03,2.301057e-03,2.293655e-03,2.273819e-03,2.261510e-03,2.252257e-03,2.229170e-03,2.215647e-03,2.204748e-03,2.179162e-03,2.164918e-03,2.152572e-03,2.125125e-03,2.110559e-03,2.096956e-03,2.068188e-03,2.053615e-03,2.038935e-03,2.009301e-03,1.994969e-03,1.979381e-03,1.949262e-03,1.935363e-03,1.919024e-03,1.888738e-03,1.875414e-03,1.858469e-03,1.828279e-03,1.815635e-03,1.798219e-03,1.768339e-03,1.756447e-03,1.738682e-03,1.709288e-03,1.698194e-03,1.680191e-03,1.651422e-03,1.641151e-03,1.623010e-03,1.594977e-03,1.585537e-03,1.567347e-03,1.540136e-03,1.531520e-03,1.513362e-03,1.487037e-03,1.479229e-03,1.461173e-03,1.435779e-03,1.428754e-03,1.410863e-03,1.386431e-03,1.380159e-03,1.362488e-03,1.339035e-03,1.333480e-03,1.316075e-03,1.293609e-03,1.288733e-03,1.271636e-03,1.250154e-03,1.245916e-03,1.229161e-03,1.208655e-03,1.205015e-03,1.188631e-03,1.169085e-03,1.166001e-03,1.150012e-03,1.131406e-03,1.128838e-03,1.113262e-03,1.095573e-03,1.093481e-03,1.078333e-03,1.061535e-03,1.059879e-03,1.045171e-03,1.029235e-03,1.027979e-03,1.013719e-03,9.986147e-04,9.977214e-04,9.839147e-04,9.696110e-04,9.690469e-04,9.556955e-04,9.421604e-04,9.418935e-04,9.289975e-04,9.161988e-04,8.919004e-04,8.689363e-04,8.472453e-04,8.267672e-04,8.074433e-04,7.892165e-04,7.720315e-04,7.558346e-04,7.405744e-04,7.262011e-04,7.126673e-04,6.999273e-04,6.879376e-04,6.766566e-04,6.660449e-04,6.560646e-04,6.466801e-04,6.378571e-04,6.295637e-04,6.217690e-04,6.144443e-04,6.075621e-04,6.010965e-04,5.950231e-04,5.893188e-04,5.839617e-04,5.789312e-04,5.742080e-04,5.697738e-04,5.656113e-04,5.617043e-04,5.580375e-04,5.545965e-04,5.513678e-04,5.483387e-04,5.454971e-04,5.428317e-04,5.403321e-04,5.379882e-04,5.357906e-04,5.337306e-04,5.317998e-04,5.299906e-04,5.282956e-04,5.267079e-04,5.252210e-04,5.238291e-04,5.225262e-04,5.213072e-04
0.000000e+00,4.656682e-10,5.400813e-09,5.624813e-09,3.201225e-08,1.081899e-07,1.128901e-07,2.717975e-07,4.721057e-07,4.855424e-07,7.064693e-07,8.937323e-07,9.090626e-07,1.087351e-06,1.227282e-06,1.241687e-06,1.373920e-06,1.473664e-06,1.486143e-06,1.580379e-06,1.648474e-06,1.658509e-06,1.722255e-06,1.765841e-06,1.773190e-06,1.812744e-06,1.837597e-06,1.842211e-06,1.862765e-06,1.873505e-06,1.875464e-06,1.881262e-06,1.881548e-06,1.881016e-06,1.875497e-06,1.868203e-06,1.865394e-06,1.851328e-06,1.838696e-06,1.833853e-06,1.813462e-06,1.797225e-06,1.790597e-06,1.765649e-06,1.747135e-06,1.738968e-06,1.710865e-06,1.691086e-06,1.681618e-06,1.651470e-06,1.631186e-06,1.620639e-06,1.589318e-06,1.569094e-06,1.557675e-06,1.525859e-06,1.506105e-06,1.494001e-06,1.462215e-06,1.443221e-06,1.430603e-06,1.399252e-06,1.381219e-06,1.368239e-06,1.337623e-06,1.320672e-06,1.307458e-06,1.277789e-06,1.261988e-06,1.248655e-06,1.220085e-06,1.205461e-06,1.192106e-06,1.164736e-06,1.151285e-06,1.137991e-06,1.111882e-06,1.099578e-06,1.086418e-06,1.061601e-06,1.050405e-06,1.037436e-06,1.013920e-06,1.003779e-06,9.910522e-07,9.688268e-07,9.596825e-07,9.472383e-07,9.262790e-07,9.180697e-07,9.059405e-07,8.862130e-07,8.788747e-07,8.670864e-07,8.485495e-07,8.420184e-07,8.305908e-07,8.131984e-07,8.074117e-07,7.963597e-07,7.800621e-07,7.749590e-07,7.642926e-07,7.490383e-07,7.445605e-07,7.342860e-07,7.200227e-07,7.161148e-07,7.062353e-07,6.929107e-07,6.895206e-07,6.800362e-07,6.675992e-07,6.646780e-07,6.555868e-07,6.439868e-07,6.414890e-07,6.327872e-07,6.219757e-07,6.198589e-07,6.115407e-07,6.014706e-07,5.996959e-07,5.917541e-07,5.823801e-07,5.809114e-07,5.733379e-07,5.646169e-07,5.634210e-07,5.562069e-07,5.480978e-07,5.471444e-07,5.402799e-07,5.327437e-07,5.320052e-07,5.254800e-07,5.184799e-07,5.179310e-07,5.117347e-07,5.052358e-07,5.048535e-07,4.989750e-07,4.929445e-07,4.927079e-07,4.871364e-07,4.815432e-07,4.814335e-07,4.761576e-07,4.709727e-07,4.612717e-07,4.522799e-07,4.439497e-07,4.362367e-07,4.290990e-07,4.224976e-07,4.163958e-07,4.107596e-07,4.055567e-07,4.007573e-07,3.963335e-07,3.922591e-07,3.885097e-07,3.850625e-07,3.818963e-07,3.789913e-07,3.763288e-07,3.738917e-07,3.716639e-07,3.696302e-07,3.677768e-07,3.660905e-07,3.645592e-07,3.631716e-07,3.619170e-07,3.607857e-07,3.597685e-07,3.588569e-07,3.580429e-07,3.573191e-07,3.566787e-07,3.561153e-07,3.556228e-07,3.551958e-07,3.548291e-07,3.545180e-07,3.542579e-07,3.540447e-07,3.538746e-07,3.537441e-07,3.536498e-07,3.535887e-07,3.535579e-07,3.535548e-07,3.535769e-07,3.536219e-07,3.536878e-07,3.537726e-07,3.538745e-07
0.000000e+00,4.287537e-09,3.620619e-07,3.877614e-07,6.328071e-06,3.783617e-05,4.015481e-05,1.295536e-04,2.569814e-04,2.659402e-04,4.209045e-04,5.648882e-04,5.772664e-04,7.290600e-04,8.604896e-04,8.747770e-04,1.014166e-03,1.131632e-03,1.147278e-03,1.274227e-03,1.378577e-03,1.395149e-03,1.510192e-03,1.602396e-03,1.619509e-03,1.723262e-03,1.804304e-03,1.821617e-03,1.914741e-03,1.985589e-03,2.002805e-03,2.085977e-03,2.147564e-03,2.164426e-03,2.238315e-03,2.291522e-03,2.307808e-03,2.373064e-03,2.418717e-03,2.434238e-03,2.491481e-03,2.530346e-03,2.544942e-03,2.594764e-03,2.627549e-03,2.641086e-03,2.684044e-03,2.711402e-03,2.723770e-03,2.760391e-03,2.782921e-03,2.794032e-03,2.824811e-03,2.843062e-03,2.852845e-03,2.878247e-03,2.892722e-03,2.901126e-03,2.921586e-03,2.932744e-03,2.939730e-03,2.955657e-03,2.963916e-03,2.969461e-03,2.981235e-03,2.986975e-03,2.991068e-03,2.999047e-03,3.002613e-03,3.005254e-03,3.009769e-03,3.011474e-03,3.012670e-03,3.014032e-03,3.014159e-03,3.013927e-03,3.012426e-03,3.011229e-03,3.009594e-03,3.005498e-03,3.003206e-03,3.000199e-03,2.993759e-03,2.990578e-03,2.986235e-03,2.977683e-03,2.973798e-03,2.968157e-03,2.957711e-03,2.953285e-03,2.946392e-03,2.934251e-03,2.929432e-03,2.921334e-03,2.907685e-03,2.902600e-03,2.893347e-03,2.878362e-03,2.873127e-03,2.862771e-03,2.846610e-03,2.841325e-03,2.829918e-03,2.812730e-03,2.807482e-03,2.795079e-03,2.776999e-03,2.771864e-03,2.758522e-03,2.739677e-03,2.734720e-03,2.720493e-03,2.700999e-03,2.696277e-03,2.681221e-03,2.661184e-03,2.656744e-03,2.640915e-03,2.620435e-03,2.616316e-03,2.599768e-03,2.578935e-03,2.575169e-03,2.557957e-03,2.536854e-03,2.533468e-03,2.515646e-03,2.494349e-03,2.491362e-03,2.472982e-03,2.451561e-03,2.448988e-03,2.430103e-03,2.408621e-03,2.406473e-03,2.387132e-03,2.365648e-03,2.363930e-03,2.344183e-03,2.322749e-03,2.321465e-03,2.301359e-03,2.280023e-03,2.279171e-03,2.258753e-03,2.237559e-03,2.237136e-03,2.216450e-03,2.195436e-03,2.154142e-03,2.113317e-03,2.073017e-03,2.033292e-03,1.994187e-03,1.955743e-03,1.917992e-03,1.880965e-03,1.844689e-03,1.809183e-03,1.774468e-03,1.740559e-03,1.707466e-03,1.675200e-03,1.643767e-03,1.613172e-03,1.583417e-03,1.554501e-03,1.526424e-03,1.499182e-03,1.472771e-03,1.447184e-03,1.422414e-03,1.398452e-03,1.375290e-03,1.352916e-03,1.331319e-03,1.310488e-03,1.290410e-03,1.271071e-03,1.252458e-03,1.234558e-03,1.217354e-03,1.200833e-03,1.184980e-03,1.169779e-03,1.155214e-03,1.141271e-03,1.127932e-03,1.115183e-03,1.103008e-03,1.091391e-03,1.080315e-03,1.069766e-03,1.059727e-03,1.050183e-03,1.041118e-03,1.032518e-03,1.024366e-03
0.000000e+00,2.168398e-11,3.355319e-09,3.628942e-09,9.650357e-08,9.793172e-07,1.064372e-06,6.473213e-06,2.386059e-05,2.566941e-05,7.524637e-05,1.673237e-04,1.781357e-04,3.612507e-04,6.178813e-04,6.526794e-04,1.079056e-03,1.584315e-03,1.663430e-03,2.423757e-03,3.227662e-03,3.372008e-03,4.513826e-03,5.622292e-03,5.848632e-03,7.370077e-03,8.749048e-03,9.066721e-03,1.092287e-02,1.250992e-02,1.291947e-02,1.503500e-02,1.675285e-02,1.724637e-02,1.952967e-02,2.129832e-02,2.186092e-02,2.421666e-02,2.596240e-02,2.657440e-02,2.891310e-02,3.057421e-02,3.121337e-02,3.345776e-02,3.498722e-02,3.563081e-02,3.771916e-02,3.908501e-02,3.971152e-02,4.159864e-02,4.278285e-02,4.337320e-02,4.502972e-02,4.602613e-02,4.656441e-02,4.797502e-02,4.878686e-02,4.926070e-02,5.042183e-02,5.105929e-02,5.145986e-02,5.237719e-02,5.285514e-02,5.317696e-02,5.386300e-02,5.419910e-02,5.443964e-02,5.491160e-02,5.512470e-02,5.528393e-02,5.556189e-02,5.567091e-02,5.575084e-02,5.585623e-02,5.587929e-02,5.588349e-02,5.583802e-02,5.579191e-02,5.572509e-02,5.554987e-02,5.544971e-02,5.531732e-02,5.503227e-02,5.489140e-02,5.469930e-02,5.432282e-02,5.415274e-02,5.390700e-02,5.345580e-02,5.326625e-02,5.297294e-02,5.246193e-02,5.226105e-02,5.192604e-02,5.136835e-02,5.116280e-02,5.079171e-02,5.019879e-02,4.999393e-02,4.959204e-02,4.897375e-02,4.877381e-02,4.834603e-02,4.771082e-02,4.751907e-02,4.706990e-02,4.642492e-02,4.624381e-02,4.577738e-02,4.512864e-02,4.495993e-02,4.447996e-02,4.383249e-02,4.367740e-02,4.318726e-02,4.254521e-02,4.240447e-02,4.190718e-02,4.127395e-02,4.114794e-02,4.064621e-02,4.002458e-02,3.991338e-02,3.940961e-02,3.880179e-02,3.870524e-02,3.820157e-02,3.760934e-02,3.752708e-02,3.702543e-02,3.645014e-02,3.638170e-02,3.588374e-02,3.532644e-02,3.527122e-02,3.477844e-02,3.423989e-02,3.419722e-02,3.371093e-02,3.319166e-02,3.316081e-02,3.268216e-02,3.218250e-02,3.216272e-02,3.169271e-02,3.121282e-02,3.120333e-02,3.074284e-02,3.028276e-02,2.940090e-02,2.855745e-02,2.775194e-02,2.698377e-02,2.625225e-02,2.555658e-02,2.489589e-02,2.426926e-02,2.367570e-02,2.311421e-02,2.258375e-02,2.208326e-02,2.161166e-02,2.116788e-02,2.075083e-02,2.035942e-02,1.999259e-02,1.964925e-02,1.932835e-02,1.902884e-02,1.874970e-02,1.848991e-02,1.824849e-02,1.802447e-02,1.781689e-02,1.762486e-02,1.744746e-02,1.728384e-02,1.713315e-02,1.699459e-02,1.686736e-02,1.675073e-02,1.664396e-02,1.654636e-02,1.645727e-02,1.637605e-02,1.630211e-02,1.623486e-02,1.617377e-02,1.611831e-02,1.606800e-02,1.602237e-02,1.598100e-02,1.594348e-02,1.590943e-02,1.587849e-02,1.585033e-02,1.582464e-02,1.580113e-02
0.000000e+00,2.193136e-11,2.720527e-09,2.925724e-09,5.965148e-08,5.165212e-07,5.590240e-07,3.230137e-06,1.215482e-05,1.311126e-05,4.065136e-05,9.584539e-05,1.025557e-04,2.209853e-04,3.971565e-04,4.217046e-04,7.318738e-04,1.116419e-03,1.177949e-03,1.783928e-03,2.448504e-03,2.570038e-03,3.551866e-03,4.535674e-03,4.739894e-03,6.139373e-03,7.445000e-03,7.750469e-03,9.568609e-03,1.116639e-02,1.158496e-02,1.378701e-02,1.562360e-02,1.615919e-02,1.868347e-02,2.069150e-02,2.134002e-02,2.410776e-02,2.621466e-02,2.696488e-02,2.988934e-02,3.202436e-02,3.285928e-02,3.585335e-02,3.795254e-02,3.885105e-02,4.183293e-02,4.384223e-02,4.478080e-02,4.767786e-02,4.955458e-02,5.050879e-02,5.325981e-02,5.497282e-02,5.591870e-02,5.847480e-02,6.000389e-02,6.091897e-02,6.324357e-02,6.457828e-02,6.544236e-02,6.751044e-02,6.864856e-02,6.944419e-02,7.124115e-02,7.218714e-02,7.289993e-02,7.442012e-02,7.518354e-02,7.580222e-02,7.704749e-02,7.764160e-02,7.815794e-02,7.913615e-02,7.957664e-02,7.998528e-02,8.070891e-02,8.101284e-02,8.131104e-02,8.179596e-02,8.198092e-02,8.216823e-02,8.243261e-02,8.251601e-02,8.259399e-02,8.265738e-02,8.265600e-02,8.262784e-02,8.251045e-02,8.244003e-02,8.231027e-02,8.203233e-02,8.190736e-02,8.168159e-02,8.126292e-02,8.109649e-02,8.078108e-02,8.024073e-02,8.004448e-02,7.964636e-02,7.900234e-02,7.878647e-02,7.831288e-02,7.758202e-02,7.735528e-02,7.681365e-02,7.601149e-02,7.578132e-02,7.517910e-02,7.431987e-02,7.409247e-02,7.343702e-02,7.253361e-02,7.231406e-02,7.161253e-02,7.067653e-02,7.046886e-02,6.972818e-02,6.876991e-02,6.857726e-02,6.780400e-02,6.683260e-02,6.665732e-02,6.585770e-02,6.488120e-02,6.472492e-02,6.390482e-02,6.293020e-02,6.279398e-02,6.195885e-02,6.099216e-02,6.087653e-02,6.003143e-02,5.907784e-02,5.898292e-02,5.813250e-02,5.719642e-02,5.712196e-02,5.627050e-02,5.535560e-02,5.530107e-02,5.445247e-02,5.356180e-02,5.352644e-02,5.268421e-02,5.182026e-02,5.180313e-02,5.097045e-02,5.013520e-02,4.852585e-02,4.697750e-02,4.549189e-02,4.407016e-02,4.271293e-02,4.142037e-02,4.019225e-02,3.902800e-02,3.792677e-02,3.688746e-02,3.590875e-02,3.498916e-02,3.412705e-02,3.332068e-02,3.256818e-02,3.186762e-02,3.121703e-02,3.061437e-02,3.005757e-02,2.954457e-02,2.907327e-02,2.864160e-02,2.824750e-02,2.788893e-02,2.756387e-02,2.727034e-02,2.700640e-02,2.677016e-02,2.655978e-02,2.637346e-02,2.620947e-02,2.606614e-02,2.594185e-02,2.583505e-02,2.574426e-02,2.566807e-02,2.560512e-02,2.555412e-02,2.551387e-02,2.548322e-02,2.546109e-02,2.544646e-02,2.543838e-02,2.543598e-02,2.543842e-02,2.544495e-02,2.545487e-02,2.546753e-02,2.548233e-02
0.000000e+00,6.891659e-12,7.587544e-10,8.137790e-10,1.452016e-08,1.135812e-07,1.225070e-07,6.627986e-07,2.410336e-06,2.595983e-06,7.892143e-06,1.833080e-05,1.958632e-05,4.131104e-05,7.230607e-05,7.651508e-05,1.277368e-04,1.870380e-04,1.961609e-04,2.815014e-04,3.672222e-04,3.821432e-04,4.954421e-04,5.979847e-04,6.180887e-04,7.464669e-04,8.534733e-04,8.769635e-04,1.006207e-03,1.106693e-03,1.131235e-03,1.249587e-03,1.336016e-03,1.359347e-03,1.459136e-03,1.527747e-03,1.548072e-03,1.625717e-03,1.675857e-03,1.692010e-03,1.747188e-03,1.780294e-03,1.791727e-03,1.826271e-03,1.844908e-03,1.851579e-03,1.868478e-03,1.875602e-03,1.877822e-03,1.880465e-03,1.878942e-03,1.877234e-03,1.868913e-03,1.861258e-03,1.856235e-03,1.839871e-03,1.828144e-03,1.820429e-03,1.798453e-03,1.784254e-03,1.774424e-03,1.748765e-03,1.733283e-03,1.721844e-03,1.693978e-03,1.678063e-03,1.665439e-03,1.636456e-03,1.620691e-03,1.607225e-03,1.577906e-03,1.562672e-03,1.548635e-03,1.519524e-03,1.505056e-03,1.490661e-03,1.462120e-03,1.448552e-03,1.433959e-03,1.406225e-03,1.393620e-03,1.378951e-03,1.352167e-03,1.340541e-03,1.325890e-03,1.300135e-03,1.289475e-03,1.274910e-03,1.250221e-03,1.240496e-03,1.226070e-03,1.202456e-03,1.193623e-03,1.179376e-03,1.156825e-03,1.148835e-03,1.134798e-03,1.113289e-03,1.106092e-03,1.092289e-03,1.071791e-03,1.065336e-03,1.051786e-03,1.032265e-03,1.026502e-03,1.013219e-03,9.946398e-04,9.895198e-04,9.765171e-04,9.588420e-04,9.543187e-04,9.416054e-04,9.247978e-04,9.208268e-04,9.084102e-04,8.924334e-04,8.889727e-04,8.768583e-04,8.616764e-04,8.586864e-04,8.468787e-04,8.324568e-04,8.299001e-04,8.184022e-04,8.047066e-04,8.025480e-04,7.913617e-04,7.783596e-04,7.765662e-04,7.656924e-04,7.533523e-04,7.518931e-04,7.413317e-04,7.296232e-04,7.284692e-04,7.182195e-04,7.071134e-04,7.062376e-04,6.962979e-04,6.857661e-04,6.851430e-04,6.755112e-04,6.655267e-04,6.651329e-04,6.558062e-04,6.463431e-04,6.461565e-04,6.371315e-04,6.281651e-04,6.111124e-04,5.949536e-04,5.796461e-04,5.651491e-04,5.514234e-04,5.384318e-04,5.261386e-04,5.145098e-04,5.035129e-04,4.931168e-04,4.832919e-04,4.740100e-04,4.652442e-04,4.569687e-04,4.491591e-04,4.417921e-04,4.348454e-04,4.282979e-04,4.221293e-04,4.163205e-04,4.108531e-04,4.057098e-04,4.008739e-04,3.963296e-04,3.920619e-04,3.880564e-04,3.842997e-04,3.807786e-04,3.774809e-04,3.743949e-04,3.715093e-04,3.688136e-04,3.662977e-04,3.639519e-04,3.617673e-04,3.597349e-04,3.578467e-04,3.560948e-04,3.544717e-04,3.529704e-04,3.515841e-04,3.503064e-04,3.491312e-04,3.480529e-04,3.470658e-04,3.461648e-04,3.453450e-04,3.446017e-04,3.439303e-04
0.000000e+00,3.441897e-10,2.547216e-08,2.714859e-08,3.771108e-07,2.411801e-06,2.578615e-06,1.095940e-05,3.038732e-05,3.211927e-05,6.994018e-05,1.170266e-04,1.214960e-04,1.797238e-04,2.324697e-04,2.381980e-04,2.930608e-04,3.369922e-04,3.426423e-04,3.865356e-04,4.198614e-04,4.249166e-04,4.581800e-04,4.824968e-04,4.867775e-04,5.111556e-04,5.282921e-04,5.317334e-04,5.488970e-04,5.604082e-04,5.629997e-04,5.743635e-04,5.815149e-04,5.832807e-04,5.900169e-04,5.938263e-04,5.948122e-04,5.978840e-04,5.991637e-04,5.994286e-04,5.996229e-04,5.990168e-04,5.986264e-04,5.965827e-04,5.945987e-04,5.936209e-04,5.898572e-04,5.868934e-04,5.853957e-04,5.803300e-04,5.766967e-04,5.747439e-04,5.687125e-04,5.646501e-04,5.623031e-04,5.555757e-04,5.512689e-04,5.485842e-04,5.413763e-04,5.369658e-04,5.339950e-04,5.264783e-04,5.220700e-04,5.188599e-04,5.111701e-04,5.068425e-04,5.034352e-04,4.956791e-04,4.914893e-04,4.879223e-04,4.801834e-04,4.761716e-04,4.724783e-04,4.648211e-04,4.610144e-04,4.572242e-04,4.496983e-04,4.461138e-04,4.422526e-04,4.348950e-04,4.315420e-04,4.276324e-04,4.204706e-04,4.173526e-04,4.134144e-04,4.064678e-04,4.035837e-04,3.996341e-04,3.929160e-04,3.902615e-04,3.863154e-04,3.798340e-04,3.774025e-04,3.734728e-04,3.672325e-04,3.650156e-04,3.611133e-04,3.551153e-04,3.531035e-04,3.492381e-04,3.434812e-04,3.416643e-04,3.378439e-04,3.323252e-04,3.306926e-04,3.269241e-04,3.216391e-04,3.201800e-04,3.164691e-04,3.114124e-04,3.101161e-04,3.064676e-04,3.016330e-04,3.004889e-04,2.969069e-04,2.922875e-04,2.912854e-04,2.877731e-04,2.833619e-04,2.824918e-04,2.790519e-04,2.748414e-04,2.740940e-04,2.707285e-04,2.667113e-04,2.660774e-04,2.627880e-04,2.589566e-04,2.584274e-04,2.552153e-04,2.515623e-04,2.511297e-04,2.479956e-04,2.445136e-04,2.441700e-04,2.411144e-04,2.377963e-04,2.375343e-04,2.345574e-04,2.313961e-04,2.312088e-04,2.283106e-04,2.252993e-04,2.251804e-04,2.223606e-04,2.194927e-04,2.194361e-04,2.166941e-04,2.139633e-04,2.087502e-04,2.037851e-04,1.990568e-04,1.945546e-04,1.902683e-04,1.861879e-04,1.823041e-04,1.786078e-04,1.750903e-04,1.717434e-04,1.685592e-04,1.655301e-04,1.626489e-04,1.599087e-04,1.573030e-04,1.548254e-04,1.524700e-04,1.502310e-04,1.481029e-04,1.460807e-04,1.441592e-04,1.423338e-04,1.405999e-04,1.389533e-04,1.373897e-04,1.359053e-04,1.344964e-04,1.331593e-04,1.318907e-04,1.306873e-04,1.295460e-04,1.284639e-04,1.274381e-04,1.264660e-04,1.255450e-04,1.246727e-04,1.238467e-04,1.230649e-04,1.223250e-04,1.216252e-04,1.209634e-04,1.203379e-04,1.197468e-04,1.191886e-04,1.186615e-04,1.181643e-04,1.176953e-04,1.172532e-04,1.168366e-04
0.000000e+00,4.850860e-11,4.853806e-09,5.199622e-09,8.912893e-08,6.688324e-07,7.197174e-07,3.606895e-06,1.184779e-05,1.266703e-05,3.366487e-05,6.803205e-05,7.178249e-05,1.288686e-04,1.946124e-04,2.025969e-04,2.876249e-04,3.666583e-04,3.774881e-04,4.661793e-04,5.379185e-04,5.490364e-04,6.230045e-04,6.770749e-04,6.865017e-04,7.390968e-04,7.743295e-04,7.811565e-04,8.135331e-04,8.331962e-04,8.373237e-04,8.537025e-04,8.620724e-04,8.638149e-04,8.687160e-04,8.695364e-04,8.693424e-04,8.665060e-04,8.625871e-04,8.608956e-04,8.530878e-04,8.463776e-04,8.435610e-04,8.327080e-04,8.244963e-04,8.208498e-04,8.082472e-04,7.993616e-04,7.951111e-04,7.816117e-04,7.725706e-04,7.678856e-04,7.540416e-04,7.451606e-04,7.401668e-04,7.263300e-04,7.177945e-04,7.125853e-04,6.989753e-04,6.908880e-04,6.855330e-04,6.722836e-04,6.646951e-04,6.592463e-04,6.464353e-04,6.393640e-04,6.338610e-04,6.215305e-04,6.149751e-04,6.094484e-04,5.976175e-04,5.915650e-04,5.860386e-04,5.747113e-04,5.691417e-04,5.636345e-04,5.528058e-04,5.476954e-04,5.422224e-04,5.318811e-04,5.272042e-04,5.217779e-04,5.119089e-04,5.076397e-04,5.022699e-04,4.928566e-04,4.889692e-04,4.836644e-04,4.746890e-04,4.711585e-04,4.659259e-04,4.573704e-04,4.541729e-04,4.490183e-04,4.408650e-04,4.379777e-04,4.329063e-04,4.251376e-04,4.225388e-04,4.175548e-04,4.101538e-04,4.078231e-04,4.029302e-04,3.958801e-04,3.937983e-04,3.889995e-04,3.822845e-04,3.804334e-04,3.757312e-04,3.693359e-04,3.676985e-04,3.630949e-04,3.570047e-04,3.555650e-04,3.510616e-04,3.452623e-04,3.440054e-04,3.396034e-04,3.340816e-04,3.329934e-04,3.286937e-04,3.234364e-04,3.225038e-04,3.183069e-04,3.133019e-04,3.125125e-04,3.084186e-04,3.036542e-04,3.029965e-04,2.990057e-04,2.944705e-04,2.939338e-04,2.900459e-04,2.857292e-04,2.853033e-04,2.815178e-04,2.774094e-04,2.770851e-04,2.734014e-04,2.694914e-04,2.692599e-04,2.656772e-04,2.619564e-04,2.618094e-04,2.583268e-04,2.547862e-04,2.547163e-04,2.513325e-04,2.479637e-04,2.415359e-04,2.354175e-04,2.295942e-04,2.240522e-04,2.187782e-04,2.137596e-04,2.089846e-04,2.044417e-04,2.001199e-04,1.960088e-04,1.920986e-04,1.883798e-04,1.848434e-04,1.814808e-04,1.782837e-04,1.752444e-04,1.723555e-04,1.696098e-04,1.670005e-04,1.645213e-04,1.621659e-04,1.599285e-04,1.578035e-04,1.557856e-04,1.538697e-04,1.520510e-04,1.503248e-04,1.486868e-04,1.471328e-04,1.456587e-04,1.442608e-04,1.429354e-04,1.416792e-04,1.404886e-04,1.393608e-04,1.382926e-04,1.372812e-04,1.363238e-04,1.354180e-04,1.345611e-04,1.337509e-04,1.329852e-04,1.322617e-04,1.315785e-04,1.309335e-04,1.303250e-04,1.297512e-04,1.292103e-04,1.287009e-04
0.000000e+00,4.827441e-10,6.716380e-09,7.011591e-09,4.154655e-08,1.336094e-07,1.390051e-07,3.088457e-07,5.016194e-07,5.141070e-07,7.171043e-07,8.905809e-07,9.049815e-07,1.075735e-06,1.215220e-06,1.229923e-06,1.368617e-06,1.478756e-06,1.492956e-06,1.604045e-06,1.689785e-06,1.702932e-06,1.790600e-06,1.856246e-06,1.867970e-06,1.935897e-06,1.985110e-06,1.995176e-06,2.046543e-06,2.082398e-06,2.090677e-06,2.128205e-06,2.153264e-06,2.159704e-06,2.185704e-06,2.202089e-06,2.206694e-06,2.223124e-06,2.232590e-06,2.235405e-06,2.243918e-06,2.247909e-06,2.249008e-06,2.250995e-06,2.250697e-06,2.250171e-06,2.246803e-06,2.243188e-06,2.241140e-06,2.233409e-06,2.227275e-06,2.223817e-06,2.212554e-06,2.204548e-06,2.199792e-06,2.185693e-06,2.176344e-06,2.170401e-06,2.154051e-06,2.143784e-06,2.136764e-06,2.118655e-06,2.107814e-06,2.099823e-06,2.080364e-06,2.069224e-06,2.060360e-06,2.039892e-06,2.028671e-06,2.019029e-06,1.997837e-06,1.986706e-06,1.976374e-06,1.954693e-06,1.943787e-06,1.932845e-06,1.910873e-06,1.900295e-06,1.888818e-06,1.866717e-06,1.856545e-06,1.844603e-06,1.822507e-06,1.812797e-06,1.800455e-06,1.778472e-06,1.769265e-06,1.756580e-06,1.734800e-06,1.726123e-06,1.713150e-06,1.691645e-06,1.683514e-06,1.670300e-06,1.649129e-06,1.641552e-06,1.628142e-06,1.607350e-06,1.600327e-06,1.586762e-06,1.566385e-06,1.559911e-06,1.546227e-06,1.526294e-06,1.520358e-06,1.506590e-06,1.487120e-06,1.481711e-06,1.467888e-06,1.448896e-06,1.443998e-06,1.430148e-06,1.411645e-06,1.407241e-06,1.393388e-06,1.375379e-06,1.371450e-06,1.357617e-06,1.340104e-06,1.336632e-06,1.322840e-06,1.305823e-06,1.302786e-06,1.289053e-06,1.272530e-06,1.269909e-06,1.256252e-06,1.240218e-06,1.237992e-06,1.224426e-06,1.208875e-06,1.207025e-06,1.193563e-06,1.178488e-06,1.176993e-06,1.163647e-06,1.149040e-06,1.147881e-06,1.134663e-06,1.120515e-06,1.119673e-06,1.106592e-06,1.092894e-06,1.092350e-06,1.079416e-06,1.066156e-06,1.065893e-06,1.053113e-06,1.040283e-06,1.015498e-06,9.915196e-07,9.683261e-07,9.458972e-07,9.242122e-07,9.032507e-07,8.829926e-07,8.634179e-07,8.445069e-07,8.262404e-07,8.085994e-07,7.915653e-07,7.751201e-07,7.592460e-07,7.439257e-07,7.291424e-07,7.148795e-07,7.011210e-07,6.878514e-07,6.750554e-07,6.627183e-07,6.508257e-07,6.393637e-07,6.283187e-07,6.176775e-07,6.074273e-07,5.975558e-07,5.880508e-07,5.789006e-07,5.700940e-07,5.616198e-07,5.534673e-07,5.456263e-07,5.380866e-07,5.308385e-07,5.238725e-07,5.171794e-07,5.107503e-07,5.045767e-07,4.986500e-07,4.929623e-07,4.875056e-07,4.822723e-07,4.772549e-07,4.724465e-07,4.678399e-07,4.634284e-07,4.592055e-07,4.551649e-07
0.000000e+00,7.739536e-10,1.092820e-08,1.139773e-08,6.250045e-08,1.843202e-07,1.911290e-07,3.962204e-07,6.176188e-07,6.317341e-07,8.586033e-07,1.049217e-06,1.064912e-06,1.249419e-06,1.397722e-06,1.413211e-06,1.557792e-06,1.670345e-06,1.684688e-06,1.795370e-06,1.878649e-06,1.891225e-06,1.973557e-06,2.033158e-06,2.043583e-06,2.102429e-06,2.143075e-06,2.151138e-06,2.190670e-06,2.216284e-06,2.221908e-06,2.245664e-06,2.259481e-06,2.262683e-06,2.273646e-06,2.278315e-06,2.279179e-06,2.279850e-06,2.277520e-06,2.276173e-06,2.268615e-06,2.261014e-06,2.257607e-06,2.243537e-06,2.232061e-06,2.226766e-06,2.207634e-06,2.193433e-06,2.186445e-06,2.163465e-06,2.147438e-06,2.138940e-06,2.113088e-06,2.095941e-06,2.086111e-06,2.058189e-06,2.040475e-06,2.029485e-06,2.000148e-06,1.982297e-06,1.970309e-06,1.940089e-06,1.922431e-06,1.909597e-06,1.878930e-06,1.861712e-06,1.848173e-06,1.817404e-06,1.800809e-06,1.786694e-06,1.756103e-06,1.740262e-06,1.725687e-06,1.695495e-06,1.680496e-06,1.665569e-06,1.635947e-06,1.621847e-06,1.606663e-06,1.577745e-06,1.564572e-06,1.549217e-06,1.521102e-06,1.508867e-06,1.493418e-06,1.466179e-06,1.454875e-06,1.439399e-06,1.413088e-06,1.402696e-06,1.387254e-06,1.361903e-06,1.352397e-06,1.337040e-06,1.312668e-06,1.304014e-06,1.288788e-06,1.265401e-06,1.257561e-06,1.242506e-06,1.220101e-06,1.213035e-06,1.198184e-06,1.176751e-06,1.170415e-06,1.155799e-06,1.135322e-06,1.129672e-06,1.115315e-06,1.095772e-06,1.090767e-06,1.076688e-06,1.058057e-06,1.053652e-06,1.039870e-06,1.022122e-06,1.018275e-06,1.004805e-06,9.879111e-07,9.845826e-07,9.714339e-07,9.553653e-07,9.525158e-07,9.396977e-07,9.244233e-07,9.220154e-07,9.095344e-07,8.950232e-07,8.930213e-07,8.808819e-07,8.671028e-07,8.654733e-07,8.536783e-07,8.406005e-07,8.393115e-07,8.278621e-07,8.154554e-07,8.144769e-07,8.033729e-07,7.916075e-07,7.909115e-07,7.801517e-07,7.689985e-07,7.685586e-07,7.581408e-07,7.475717e-07,7.473632e-07,7.372842e-07,7.272718e-07,7.082328e-07,6.901963e-07,6.731144e-07,6.569410e-07,6.416317e-07,6.271442e-07,6.134379e-07,6.004738e-07,5.882150e-07,5.766260e-07,5.656731e-07,5.553239e-07,5.455480e-07,5.363159e-07,5.276000e-07,5.193736e-07,5.116117e-07,5.042902e-07,4.973865e-07,4.908787e-07,4.847464e-07,4.789700e-07,4.735310e-07,4.684115e-07,4.635950e-07,4.590655e-07,4.548078e-07,4.508076e-07,4.470514e-07,4.435261e-07,4.402194e-07,4.371199e-07,4.342163e-07,4.314982e-07,4.289556e-07,4.265791e-07,4.243597e-07,4.222889e-07,4.203586e-07,4.185612e-07,4.168894e-07,4.153364e-07,4.138955e-07,4.125607e-07,4.113260e-07,4.101858e-07,4.091350e-07,4.081684e-07,4.072813e-07
0.000000e+00,7.725103e-10,9.635218e-09,1.004087e-08,5.633726e-08,1.795251e-07,1.868137e-07,4.220618e-07,7.038960e-07,7.225903e-07,1.030110e-06,1.294314e-06,1.316194e-06,1.574380e-06,1.783022e-06,1.804869e-06,2.009371e-06,2.169410e-06,2.189868e-06,2.348317e-06,2.468373e-06,2.486582e-06,2.606413e-06,2.694021e-06,2.709440e-06,2.797176e-06,2.858693e-06,2.871018e-06,2.932257e-06,2.972972e-06,2.982076e-06,3.021563e-06,3.045835e-06,3.051715e-06,3.073444e-06,3.084842e-06,3.087587e-06,3.094905e-06,3.096341e-06,3.096099e-06,3.091806e-06,3.085647e-06,3.082609e-06,3.069039e-06,3.057199e-06,3.051580e-06,3.030675e-06,3.014697e-06,3.006725e-06,2.980097e-06,2.961219e-06,2.951124e-06,2.920109e-06,2.899315e-06,2.887327e-06,2.853028e-06,2.831101e-06,2.817439e-06,2.780766e-06,2.758321e-06,2.743196e-06,2.704896e-06,2.682408e-06,2.666019e-06,2.626702e-06,2.604540e-06,2.587070e-06,2.547235e-06,2.525675e-06,2.507296e-06,2.467344e-06,2.446591e-06,2.427460e-06,2.387716e-06,2.367917e-06,2.348176e-06,2.308898e-06,2.290153e-06,2.269933e-06,2.231324e-06,2.213696e-06,2.193113e-06,2.155333e-06,2.138854e-06,2.118015e-06,2.081184e-06,2.065867e-06,2.044865e-06,2.009075e-06,1.994911e-06,1.973830e-06,1.939145e-06,1.926114e-06,1.905031e-06,1.871495e-06,1.859565e-06,1.838544e-06,1.806184e-06,1.795317e-06,1.774418e-06,1.743247e-06,1.733398e-06,1.712672e-06,1.682692e-06,1.673814e-06,1.653305e-06,1.624509e-06,1.616551e-06,1.596299e-06,1.568672e-06,1.561583e-06,1.541622e-06,1.515144e-06,1.508873e-06,1.489231e-06,1.463877e-06,1.458374e-06,1.439075e-06,1.414818e-06,1.410032e-06,1.391098e-06,1.367907e-06,1.363788e-06,1.345237e-06,1.323080e-06,1.319582e-06,1.301428e-06,1.280271e-06,1.277348e-06,1.259602e-06,1.239412e-06,1.237021e-06,1.219692e-06,1.200434e-06,1.198533e-06,1.181629e-06,1.163268e-06,1.161818e-06,1.145343e-06,1.127845e-06,1.126808e-06,1.110766e-06,1.094097e-06,1.093439e-06,1.077831e-06,1.061958e-06,1.061644e-06,1.046471e-06,1.031362e-06,1.002528e-06,9.750838e-07,9.489699e-07,9.241298e-07,9.005083e-07,8.780526e-07,8.567115e-07,8.364356e-07,8.171777e-07,7.988922e-07,7.815354e-07,7.650653e-07,7.494416e-07,7.346257e-07,7.205807e-07,7.072711e-07,6.946630e-07,6.827241e-07,6.714231e-07,6.607305e-07,6.506178e-07,6.410578e-07,6.320245e-07,6.234933e-07,6.154402e-07,6.078426e-07,6.006790e-07,5.939285e-07,5.875714e-07,5.815889e-07,5.759629e-07,5.706761e-07,5.657122e-07,5.610555e-07,5.566908e-07,5.526040e-07,5.487812e-07,5.452095e-07,5.418765e-07,5.387702e-07,5.358793e-07,5.331931e-07,5.307011e-07,5.283936e-07,5.262610e-07,5.242945e-07,5.224853e-07,5.208255e-07,5.193070e-07
0.000000e+00,5.699529e-09,6.363625e-08,6.616982e-08,3.469491e-07,1.105887e-06,1.151907e-06,2.710277e-06,4.767301e-06,4.910764e-06,7.376762e-06,9.629906e-06,9.821492e-06,1.214064e-05,1.409991e-05,1.430998e-05,1.632777e-05,1.798141e-05,1.819828e-05,1.992746e-05,2.130636e-05,2.152166e-05,2.298728e-05,2.412379e-05,2.433082e-05,2.555866e-05,2.648354e-05,2.667704e-05,2.769200e-05,2.843341e-05,2.860934e-05,2.943463e-05,3.001791e-05,3.017323e-05,3.083023e-05,3.127800e-05,3.141052e-05,3.191874e-05,3.225103e-05,3.235931e-05,3.273644e-05,3.297094e-05,3.305412e-05,3.331616e-05,3.346841e-05,3.352615e-05,3.368753e-05,3.377115e-05,3.380352e-05,3.387720e-05,3.390408e-05,3.391149e-05,3.390914e-05,3.388962e-05,3.387276e-05,3.380482e-05,3.374788e-05,3.370765e-05,3.358346e-05,3.349684e-05,3.343432e-05,3.326222e-05,3.315261e-05,3.306900e-05,3.285641e-05,3.272953e-05,3.262612e-05,3.237968e-05,3.224041e-05,3.211856e-05,3.184413e-05,3.169661e-05,3.155770e-05,3.126050e-05,3.110822e-05,3.095367e-05,3.063829e-05,3.048417e-05,3.031538e-05,2.998589e-05,2.983236e-05,2.965071e-05,2.931068e-05,2.915974e-05,2.896659e-05,2.861916e-05,2.847242e-05,2.826909e-05,2.791700e-05,2.777574e-05,2.756350e-05,2.720915e-05,2.707438e-05,2.685446e-05,2.649991e-05,2.637239e-05,2.614595e-05,2.579300e-05,2.567329e-05,2.544144e-05,2.509162e-05,2.498011e-05,2.474388e-05,2.439852e-05,2.429542e-05,2.405581e-05,2.371601e-05,2.362142e-05,2.337935e-05,2.304605e-05,2.295997e-05,2.271630e-05,2.239028e-05,2.231260e-05,2.206814e-05,2.175002e-05,2.168059e-05,2.143606e-05,2.112637e-05,2.106496e-05,2.082105e-05,2.052019e-05,2.046651e-05,2.022385e-05,1.993212e-05,1.988587e-05,1.964504e-05,1.936265e-05,1.932349e-05,1.908500e-05,1.881211e-05,1.877969e-05,1.854401e-05,1.828070e-05,1.825463e-05,1.802219e-05,1.776849e-05,1.774840e-05,1.751957e-05,1.727544e-05,1.726095e-05,1.703608e-05,1.680147e-05,1.679218e-05,1.657157e-05,1.634636e-05,1.634191e-05,1.612581e-05,1.590988e-05,1.549581e-05,1.509936e-05,1.472014e-05,1.435775e-05,1.401177e-05,1.368173e-05,1.336719e-05,1.306766e-05,1.278267e-05,1.251173e-05,1.225437e-05,1.201008e-05,1.177840e-05,1.155886e-05,1.135097e-05,1.115429e-05,1.096836e-05,1.079273e-05,1.062698e-05,1.047067e-05,1.032341e-05,1.018479e-05,1.005443e-05,9.931947e-06,9.816979e-06,9.709175e-06,9.608196e-06,9.513714e-06,9.425414e-06,9.342990e-06,9.266151e-06,9.194614e-06,9.128108e-06,9.066374e-06,9.009161e-06,8.956231e-06,8.907353e-06,8.862309e-06,8.820887e-06,8.782886e-06,8.748113e-06,8.716384e-06,8.687524e-06,8.661363e-06,8.637742e-06,8.616508e-06,8.597514e-06,8.580622e-06,8.565698e-06
0.000000e+00,1.280320e-11,1.643872e-09,1.770310e-09,3.918581e-08,3.640197e-07,3.949117e-07,2.383589e-06,9.100562e-06,9.818116e-06,3.017488e-05,6.956569e-05,7.425570e-05,1.545042e-04,2.676085e-04,2.829202e-04,4.692909e-04,6.864312e-04,7.200419e-04,1.037739e-03,1.363640e-03,1.421128e-03,1.865559e-03,2.280711e-03,2.363641e-03,2.905992e-03,3.376325e-03,3.481992e-03,4.080479e-03,4.567975e-03,4.690338e-03,5.300973e-03,5.771517e-03,5.902664e-03,6.486799e-03,6.914423e-03,7.046018e-03,7.574271e-03,7.942399e-03,8.066805e-03,8.520107e-03,8.820822e-03,8.931811e-03,9.300577e-03,9.532897e-03,9.625965e-03,9.908300e-03,1.007616e-02,1.014854e-02,1.034816e-02,1.045854e-02,1.050901e-02,1.063325e-02,1.069464e-02,1.072324e-02,1.078146e-02,1.080270e-02,1.081043e-02,1.081270e-02,1.080229e-02,1.079077e-02,1.074705e-02,1.071264e-02,1.068388e-02,1.060343e-02,1.055162e-02,1.050780e-02,1.039889e-02,1.033519e-02,1.027850e-02,1.014826e-02,1.007715e-02,1.000968e-02,9.864121e-03,9.789113e-03,9.712814e-03,9.556871e-03,9.480669e-03,9.397289e-03,9.234956e-03,9.159580e-03,9.070662e-03,8.905109e-03,8.832028e-03,8.738912e-03,8.572615e-03,8.502856e-03,8.406690e-03,8.241553e-03,8.175800e-03,8.077560e-03,7.915022e-03,7.853695e-03,7.754204e-03,7.595333e-03,7.538654e-03,7.438602e-03,7.284170e-03,7.232212e-03,7.132173e-03,6.982720e-03,6.935447e-03,6.835899e-03,6.691782e-03,6.649083e-03,6.550424e-03,6.411863e-03,6.373571e-03,6.276128e-03,6.143236e-03,6.109151e-03,6.013195e-03,5.886003e-03,5.855900e-03,5.761654e-03,5.640132e-03,5.613775e-03,5.521420e-03,5.405492e-03,5.382638e-03,5.292321e-03,5.181877e-03,5.162284e-03,5.074125e-03,4.969029e-03,4.952458e-03,4.866552e-03,4.766652e-03,4.752870e-03,4.669290e-03,4.574422e-03,4.563203e-03,4.482005e-03,4.391996e-03,4.383126e-03,4.304350e-03,4.219023e-03,4.212296e-03,4.135970e-03,4.055146e-03,4.050367e-03,3.976507e-03,3.900006e-03,3.896990e-03,3.825601e-03,3.753247e-03,3.751821e-03,3.682900e-03,3.614517e-03,3.484744e-03,3.362174e-03,3.246488e-03,3.137377e-03,3.034541e-03,2.937688e-03,2.846540e-03,2.760827e-03,2.680288e-03,2.604675e-03,2.533747e-03,2.467274e-03,2.405037e-03,2.346823e-03,2.292431e-03,2.241666e-03,2.194342e-03,2.150282e-03,2.109317e-03,2.071283e-03,2.036026e-03,2.003396e-03,1.973253e-03,1.945459e-03,1.919886e-03,1.896409e-03,1.874911e-03,1.855277e-03,1.837400e-03,1.821176e-03,1.806508e-03,1.793300e-03,1.781463e-03,1.770912e-03,1.761563e-03,1.753340e-03,1.746168e-03,1.739975e-03,1.734694e-03,1.730261e-03,1.726614e-03,1.723695e-03,1.721449e-03,1.719822e-03,1.718765e-03,1.718229e-03,1.718170e-03,1.718546e-03,1.719315e-03
0.000000e+00,8.798891e-12,1.030679e-09,1.106576e-09,2.055666e-08,1.647112e-07,1.778109e-07,9.840798e-07,3.674944e-06,3.965683e-06,1.251307e-05,3.032169e-05,3.252981e-05,7.249972e-05,1.342250e-04,1.429758e-04,2.557396e-04,3.995578e-04,4.228758e-04,6.559204e-04,9.169434e-04,9.651643e-04,1.359142e-03,1.760350e-03,1.844304e-03,2.424847e-03,2.973482e-03,3.102690e-03,3.877552e-03,4.565799e-03,4.747113e-03,5.707225e-03,6.515341e-03,6.752167e-03,7.874910e-03,8.775293e-03,9.067383e-03,1.032074e-02,1.128192e-02,1.162560e-02,1.297229e-02,1.396231e-02,1.435102e-02,1.575207e-02,1.674101e-02,1.716598e-02,1.858362e-02,1.954529e-02,1.999631e-02,2.139592e-02,2.230882e-02,2.277492e-02,2.412641e-02,2.497402e-02,2.544415e-02,2.672258e-02,2.749328e-02,2.795679e-02,2.914255e-02,2.982922e-02,3.027626e-02,3.135494e-02,3.195439e-02,3.237619e-02,3.333815e-02,3.385043e-02,3.423947e-02,3.507929e-02,3.550704e-02,3.585715e-02,3.657301e-02,3.692084e-02,3.722717e-02,3.782023e-02,3.809412e-02,3.835309e-02,3.882689e-02,3.903372e-02,3.924297e-02,3.960286e-02,3.975000e-02,3.990824e-02,4.016090e-02,4.025586e-02,4.036275e-02,4.051577e-02,4.056597e-02,4.062201e-02,4.068353e-02,4.069609e-02,4.070244e-02,4.068087e-02,4.066249e-02,4.062092e-02,4.052468e-02,4.048155e-02,4.039424e-02,4.023162e-02,4.016936e-02,4.003884e-02,3.981785e-02,3.974148e-02,3.957055e-02,3.929881e-02,3.921279e-02,3.900441e-02,3.868910e-02,3.859729e-02,3.835454e-02,3.800235e-02,3.790808e-02,3.763407e-02,3.725117e-02,3.715726e-02,3.685509e-02,3.644716e-02,3.635596e-02,3.602868e-02,3.560088e-02,3.551430e-02,3.516491e-02,3.472190e-02,3.464149e-02,3.427287e-02,3.381882e-02,3.374577e-02,3.336069e-02,3.289935e-02,3.283456e-02,3.243564e-02,3.197032e-02,3.191442e-02,3.150415e-02,3.103779e-02,3.099117e-02,3.057189e-02,3.010704e-02,3.006992e-02,2.964382e-02,2.918272e-02,2.915513e-02,2.872424e-02,2.826883e-02,2.825068e-02,2.781689e-02,2.736881e-02,2.735989e-02,2.692494e-02,2.648561e-02,2.563023e-02,2.479578e-02,2.398390e-02,2.319594e-02,2.243296e-02,2.169580e-02,2.098506e-02,2.030116e-02,1.964434e-02,1.901471e-02,1.841225e-02,1.783685e-02,1.728828e-02,1.676624e-02,1.627036e-02,1.580022e-02,1.535535e-02,1.493523e-02,1.453930e-02,1.416698e-02,1.381767e-02,1.349074e-02,1.318554e-02,1.290141e-02,1.263769e-02,1.239369e-02,1.216873e-02,1.196210e-02,1.177312e-02,1.160107e-02,1.144527e-02,1.130499e-02,1.117955e-02,1.106823e-02,1.097034e-02,1.088519e-02,1.081207e-02,1.075032e-02,1.069924e-02,1.065818e-02,1.062646e-02,1.060345e-02,1.058850e-02,1.058100e-02,1.058032e-02,1.058587e-02,1.059708e-02,1.061338e-02,1.063423e-02
0.000000e+00,1.067518e-08,2.859766e-07,3.008374e-07,2.546514e-06,1.114445e-05,1.173125e-05,3.359636e-05,6.401051e-05,6.611394e-05,1.017778e-04,1.340245e-04,1.367695e-04,1.701622e-04,1.987131e-04,2.017973e-04,2.316819e-04,2.565670e-04,2.598600e-04,2.863857e-04,3.079198e-04,3.113162e-04,3.347102e-04,3.532171e-04,3.566270e-04,3.771257e-04,3.929177e-04,3.962650e-04,4.141030e-04,4.274745e-04,4.306962e-04,4.461000e-04,4.573239e-04,4.603681e-04,4.735525e-04,4.828788e-04,4.857034e-04,4.968695e-04,5.045259e-04,5.070975e-04,5.164323e-04,5.226247e-04,5.249173e-04,5.325940e-04,5.375083e-04,5.395025e-04,5.456811e-04,5.494843e-04,5.511664e-04,5.559940e-04,5.588365e-04,5.601978e-04,5.638102e-04,5.658262e-04,5.668623e-04,5.693840e-04,5.706936e-04,5.714038e-04,5.729489e-04,5.736591e-04,5.740456e-04,5.747187e-04,5.749246e-04,5.749923e-04,5.748890e-04,5.746748e-04,5.744308e-04,5.736386e-04,5.730789e-04,5.725322e-04,5.711308e-04,5.702915e-04,5.694525e-04,5.675147e-04,5.664537e-04,5.653339e-04,5.629261e-04,5.616941e-04,5.603063e-04,5.574888e-04,5.561302e-04,5.544875e-04,5.513154e-04,5.498688e-04,5.479850e-04,5.445082e-04,5.430071e-04,5.408964e-04,5.371602e-04,5.356332e-04,5.333099e-04,5.293554e-04,5.278273e-04,5.253058e-04,5.211701e-04,5.196618e-04,5.169567e-04,5.126734e-04,5.112025e-04,5.083279e-04,5.039274e-04,5.025087e-04,4.994786e-04,4.949882e-04,4.936338e-04,4.904621e-04,4.859062e-04,4.846260e-04,4.813261e-04,4.767270e-04,4.755287e-04,4.721137e-04,4.674909e-04,4.663805e-04,4.628631e-04,4.582344e-04,4.572163e-04,4.536087e-04,4.489898e-04,4.480671e-04,4.443811e-04,4.397858e-04,4.389604e-04,4.352072e-04,4.306480e-04,4.299206e-04,4.261111e-04,4.215989e-04,4.209693e-04,4.171138e-04,4.126582e-04,4.121255e-04,4.082339e-04,4.038431e-04,4.034059e-04,3.994875e-04,3.951688e-04,3.948250e-04,3.908886e-04,3.866483e-04,3.863952e-04,3.824492e-04,3.782926e-04,3.781272e-04,3.741796e-04,3.701111e-04,3.700302e-04,3.660883e-04,3.621118e-04,3.543782e-04,3.468347e-04,3.394851e-04,3.323325e-04,3.253791e-04,3.186262e-04,3.120745e-04,3.057239e-04,2.995739e-04,2.936234e-04,2.878708e-04,2.823143e-04,2.769516e-04,2.717800e-04,2.667968e-04,2.619989e-04,2.573829e-04,2.529453e-04,2.486827e-04,2.445912e-04,2.406671e-04,2.369063e-04,2.333051e-04,2.298593e-04,2.265648e-04,2.234178e-04,2.204140e-04,2.175494e-04,2.148200e-04,2.122218e-04,2.097506e-04,2.074027e-04,2.051741e-04,2.030608e-04,2.010591e-04,1.991652e-04,1.973754e-04,1.956861e-04,1.940937e-04,1.925946e-04,1.911855e-04,1.898629e-04,1.886236e-04,1.874644e-04,1.863819e-04,1.853733e-04,1.844355e-04,1.835654e-04,1.827604e-04
0.000000e+00,6.013490e-09,2.943491e-07,3.117869e-07,3.342960e-06,1.698812e-05,1.798450e-05,5.905778e-05,1.268451e-04,1.319294e-04,2.237506e-04,3.121900e-04,3.198280e-04,4.132789e-04,4.934066e-04,5.020568e-04,5.857377e-04,6.551622e-04,6.643276e-04,7.379419e-04,7.973832e-04,8.067287e-04,8.708511e-04,9.212345e-04,9.304805e-04,9.857944e-04,1.028058e-03,1.036973e-03,1.084199e-03,1.119255e-03,1.127652e-03,1.167510e-03,1.196215e-03,1.203947e-03,1.237132e-03,1.260279e-03,1.267230e-03,1.294399e-03,1.312709e-03,1.318793e-03,1.340558e-03,1.354680e-03,1.359835e-03,1.376760e-03,1.387278e-03,1.391463e-03,1.404067e-03,1.411500e-03,1.414691e-03,1.423450e-03,1.428262e-03,1.430451e-03,1.435799e-03,1.438399e-03,1.439592e-03,1.441924e-03,1.442677e-03,1.442887e-03,1.442565e-03,1.441789e-03,1.441040e-03,1.438390e-03,1.436367e-03,1.434689e-03,1.430009e-03,1.426985e-03,1.424415e-03,1.417972e-03,1.414161e-03,1.410740e-03,1.402778e-03,1.398366e-03,1.394139e-03,1.384876e-03,1.380026e-03,1.375038e-03,1.364672e-03,1.359522e-03,1.353822e-03,1.342531e-03,1.337200e-03,1.330838e-03,1.318781e-03,1.313370e-03,1.306396e-03,1.293717e-03,1.288312e-03,1.280775e-03,1.267601e-03,1.262273e-03,1.254224e-03,1.240670e-03,1.235478e-03,1.226965e-03,1.213132e-03,1.208126e-03,1.199195e-03,1.185175e-03,1.180392e-03,1.171091e-03,1.156963e-03,1.152435e-03,1.142808e-03,1.128643e-03,1.124394e-03,1.114483e-03,1.100343e-03,1.096390e-03,1.086237e-03,1.072177e-03,1.068531e-03,1.058175e-03,1.044243e-03,1.040911e-03,1.030391e-03,1.016627e-03,1.013612e-03,1.002962e-03,9.894036e-04,9.867053e-04,9.759591e-04,9.626358e-04,9.602510e-04,9.494402e-04,9.363782e-04,9.343011e-04,9.234553e-04,9.106765e-04,9.088993e-04,8.980463e-04,8.855688e-04,8.840819e-04,8.732477e-04,8.610863e-04,8.598791e-04,8.490876e-04,8.372542e-04,8.363147e-04,8.255883e-04,8.140921e-04,8.134077e-04,8.027671e-04,7.916148e-04,7.911723e-04,7.806364e-04,7.698328e-04,7.696186e-04,7.592048e-04,7.487527e-04,7.285780e-04,7.090945e-04,6.903000e-04,6.721899e-04,6.547577e-04,6.379952e-04,6.218928e-04,6.064398e-04,5.916240e-04,5.774327e-04,5.638523e-04,5.508687e-04,5.384672e-04,5.266328e-04,5.153501e-04,5.046036e-04,4.943776e-04,4.846565e-04,4.754245e-04,4.666660e-04,4.583654e-04,4.505073e-04,4.430764e-04,4.360577e-04,4.294363e-04,4.231976e-04,4.173274e-04,4.118114e-04,4.066360e-04,4.017878e-04,3.972534e-04,3.930201e-04,3.890754e-04,3.854069e-04,3.820029e-04,3.788517e-04,3.759420e-04,3.732630e-04,3.708039e-04,3.685545e-04,3.665047e-04,3.646450e-04,3.629657e-04,3.614579e-04,3.601128e-04,3.589218e-04,3.578767e-04,3.569695e-04,3.561926e-04
0.000000e+00,6.281836e-10,4.924576e-08,5.254090e-08,7.401648e-07,4.497429e-06,4.794304e-06,1.882582e-05,4.900249e-05,5.162985e-05,1.083340e-04,1.790501e-04,1.858088e-04,2.746432e-04,3.560778e-04,3.649543e-04,4.500408e-04,5.179587e-04,5.266603e-04,5.938711e-04,6.443053e-04,6.519006e-04,7.014544e-04,7.371461e-04,7.433755e-04,7.784993e-04,8.027757e-04,8.076024e-04,8.313881e-04,8.470138e-04,8.504864e-04,8.654590e-04,8.745970e-04,8.768056e-04,8.849692e-04,8.892887e-04,8.903435e-04,8.932776e-04,8.940610e-04,8.940806e-04,8.930263e-04,8.912545e-04,8.903573e-04,8.862879e-04,8.827085e-04,8.810076e-04,8.746842e-04,8.698648e-04,8.674659e-04,8.594836e-04,8.538533e-04,8.508525e-04,8.416747e-04,8.355560e-04,8.320401e-04,8.220280e-04,8.156619e-04,8.117082e-04,8.011421e-04,7.947070e-04,7.903837e-04,7.794807e-04,7.731073e-04,7.684747e-04,7.574024e-04,7.511851e-04,7.462958e-04,7.351829e-04,7.291880e-04,7.240881e-04,7.130326e-04,7.073056e-04,7.020350e-04,6.911113e-04,6.856815e-04,6.802753e-04,6.695389e-04,6.644238e-04,6.589122e-04,6.484041e-04,6.436123e-04,6.380219e-04,6.277716e-04,6.233046e-04,6.176584e-04,6.076866e-04,6.035415e-04,5.978596e-04,5.881800e-04,5.843499e-04,5.786499e-04,5.692708e-04,5.657465e-04,5.600437e-04,5.509692e-04,5.477398e-04,5.420476e-04,5.332787e-04,5.303321e-04,5.246622e-04,5.161974e-04,5.135206e-04,5.078834e-04,4.997193e-04,4.972991e-04,4.917037e-04,4.838354e-04,4.816584e-04,4.761128e-04,4.685345e-04,4.665876e-04,4.610987e-04,4.538038e-04,4.520737e-04,4.466478e-04,4.396291e-04,4.381032e-04,4.327456e-04,4.259956e-04,4.246614e-04,4.193770e-04,4.128879e-04,4.117334e-04,4.065263e-04,4.002903e-04,3.993041e-04,3.941779e-04,3.881870e-04,3.873579e-04,3.823158e-04,3.765623e-04,3.758797e-04,3.709245e-04,3.654005e-04,3.648543e-04,3.599884e-04,3.546862e-04,3.542667e-04,3.494920e-04,3.444041e-04,3.441022e-04,3.394205e-04,3.345395e-04,3.343463e-04,3.297591e-04,3.250777e-04,3.249851e-04,3.204935e-04,3.160047e-04,3.073919e-04,2.991336e-04,2.912172e-04,2.836306e-04,2.763617e-04,2.693993e-04,2.627321e-04,2.563494e-04,2.502409e-04,2.443965e-04,2.388065e-04,2.334615e-04,2.283525e-04,2.234707e-04,2.188077e-04,2.143553e-04,2.101057e-04,2.060512e-04,2.021845e-04,1.984986e-04,1.949866e-04,1.916419e-04,1.884582e-04,1.854292e-04,1.825491e-04,1.798122e-04,1.772128e-04,1.747457e-04,1.724058e-04,1.701880e-04,1.680876e-04,1.660999e-04,1.642205e-04,1.624450e-04,1.607693e-04,1.591893e-04,1.577012e-04,1.563012e-04,1.549857e-04,1.537513e-04,1.525944e-04,1.515120e-04,1.505007e-04,1.495577e-04,1.486799e-04,1.478645e-04,1.471089e-04,1.464103e-04,1.457662e-04
0.000000e+00,1.722743e-11,1.853436e-09,1.986103e-09,3.330437e-08,2.410538e-07,2.591467e-07,1.298125e-06,4.448460e-06,4.775259e-06,1.385145e-05,3.119116e-05,3.325387e-05,6.860173e-05,1.185665e-04,1.253369e-04,2.077273e-04,3.034455e-04,3.182205e-04,4.572055e-04,5.983692e-04,6.231119e-04,8.127323e-04,9.871403e-04,1.021660e-03,1.244752e-03,1.434435e-03,1.476559e-03,1.711694e-03,1.898789e-03,1.945109e-03,2.172295e-03,2.342680e-03,2.389411e-03,2.593335e-03,2.737994e-03,2.781672e-03,2.952722e-03,3.067525e-03,3.105425e-03,3.239279e-03,3.323955e-03,3.354264e-03,3.450751e-03,3.507644e-03,3.529427e-03,3.591214e-03,3.624132e-03,3.637200e-03,3.668584e-03,3.681910e-03,3.686627e-03,3.692606e-03,3.690685e-03,3.687783e-03,3.673385e-03,3.660164e-03,3.650578e-03,3.620458e-03,3.599303e-03,3.584044e-03,3.542270e-03,3.515923e-03,3.495986e-03,3.445960e-03,3.416571e-03,3.392880e-03,3.337355e-03,3.306548e-03,3.279926e-03,3.221066e-03,3.190033e-03,3.161189e-03,3.100654e-03,3.070239e-03,3.039772e-03,2.978808e-03,2.949585e-03,2.917991e-03,2.857514e-03,2.829855e-03,2.797540e-03,2.738207e-03,2.712333e-03,2.679629e-03,2.621900e-03,2.597927e-03,2.565100e-03,2.509290e-03,2.487255e-03,2.454522e-03,2.400834e-03,2.380723e-03,2.348259e-03,2.296817e-03,2.278579e-03,2.246526e-03,2.197394e-03,2.180954e-03,2.149427e-03,2.102627e-03,2.087897e-03,2.056990e-03,2.012512e-03,1.999393e-03,1.969183e-03,1.926995e-03,1.915384e-03,1.885933e-03,1.845986e-03,1.835780e-03,1.807138e-03,1.769372e-03,1.760468e-03,1.732673e-03,1.697022e-03,1.689317e-03,1.662400e-03,1.628789e-03,1.622187e-03,1.596169e-03,1.564521e-03,1.558926e-03,1.533824e-03,1.504059e-03,1.499381e-03,1.475204e-03,1.447240e-03,1.443395e-03,1.420147e-03,1.393904e-03,1.390811e-03,1.368491e-03,1.343889e-03,1.341472e-03,1.320076e-03,1.297033e-03,1.295223e-03,1.274742e-03,1.253182e-03,1.251911e-03,1.232334e-03,1.212180e-03,1.211388e-03,1.192702e-03,1.173880e-03,1.173510e-03,1.155697e-03,1.138136e-03,1.105131e-03,1.074365e-03,1.045712e-03,1.019054e-03,9.942744e-04,9.712651e-04,9.499215e-04,9.301446e-04,9.118402e-04,8.949189e-04,8.792959e-04,8.648910e-04,8.516281e-04,8.394354e-04,8.282448e-04,8.179921e-04,8.086167e-04,8.000613e-04,7.922720e-04,7.851978e-04,7.787906e-04,7.730052e-04,7.677990e-04,7.631318e-04,7.589658e-04,7.552654e-04,7.519970e-04,7.491293e-04,7.466325e-04,7.444787e-04,7.426419e-04,7.410972e-04,7.398218e-04,7.387938e-04,7.379928e-04,7.373998e-04,7.369969e-04,7.367672e-04,7.366951e-04,7.367658e-04,7.369655e-04,7.372813e-04,7.377013e-04,7.382142e-04,7.388095e-04,7.394775e-04,7.402091e-04,7.409958e-04,7.418298e-04
0.000000e+00,1.002345e-10,1.041992e-08,1.117288e-08,2.029595e-07,1.626313e-06,1.754719e-06,9.328775e-06,3.178746e-05,3.404258e-05,9.221610e-05,1.881148e-04,1.986298e-04,3.603245e-04,5.515197e-04,5.751795e-04,8.342178e-04,1.088915e-03,1.125063e-03,1.434870e-03,1.707662e-03,1.752162e-03,2.067677e-03,2.326224e-03,2.374515e-03,2.667906e-03,2.896281e-03,2.944818e-03,3.203547e-03,3.396915e-03,3.443350e-03,3.664146e-03,3.823394e-03,3.866297e-03,4.050439e-03,4.178830e-03,4.217370e-03,4.367977e-03,4.469457e-03,4.503180e-03,4.623901e-03,4.702361e-03,4.731043e-03,4.825479e-03,4.884473e-03,4.908044e-03,4.979532e-03,5.022202e-03,5.040695e-03,5.092243e-03,5.121326e-03,5.134847e-03,5.169138e-03,5.186997e-03,5.195709e-03,5.215118e-03,5.223785e-03,5.227888e-03,5.234512e-03,5.235730e-03,5.235452e-03,5.231141e-03,5.226396e-03,5.221985e-03,5.208365e-03,5.198923e-03,5.190639e-03,5.169141e-03,5.156075e-03,5.144185e-03,5.116064e-03,5.100283e-03,5.085054e-03,5.051413e-03,5.033681e-03,5.015380e-03,4.977181e-03,4.958139e-03,4.937027e-03,4.895116e-03,4.875297e-03,4.851629e-03,4.806741e-03,4.786588e-03,4.760611e-03,4.713388e-03,4.693263e-03,4.665213e-03,4.616216e-03,4.596414e-03,4.566517e-03,4.516229e-03,4.496987e-03,4.465458e-03,4.414300e-03,4.395807e-03,4.362848e-03,4.311184e-03,4.293584e-03,4.259387e-03,4.207530e-03,4.190934e-03,4.155678e-03,4.103895e-03,4.088382e-03,4.052237e-03,4.000757e-03,3.986381e-03,3.949504e-03,3.898522e-03,3.885316e-03,3.847852e-03,3.797532e-03,3.785511e-03,3.747596e-03,3.698077e-03,3.687241e-03,3.649001e-03,3.600396e-03,3.590733e-03,3.552284e-03,3.504687e-03,3.496176e-03,3.457624e-03,3.411112e-03,3.403722e-03,3.365166e-03,3.319800e-03,3.313496e-03,3.275025e-03,3.230851e-03,3.225591e-03,3.187287e-03,3.144341e-03,3.140081e-03,3.102019e-03,3.060326e-03,3.057018e-03,3.019266e-03,2.978842e-03,2.976437e-03,2.939056e-03,2.899909e-03,2.898356e-03,2.861402e-03,2.823534e-03,2.822784e-03,2.786305e-03,2.749713e-03,2.679130e-03,2.611012e-03,2.545329e-03,2.482045e-03,2.421119e-03,2.362507e-03,2.306161e-03,2.252030e-03,2.200060e-03,2.150199e-03,2.102390e-03,2.056577e-03,2.012703e-03,1.970712e-03,1.930546e-03,1.892149e-03,1.855466e-03,1.820440e-03,1.787017e-03,1.755143e-03,1.724765e-03,1.695830e-03,1.668289e-03,1.642092e-03,1.617188e-03,1.593532e-03,1.571076e-03,1.549775e-03,1.529586e-03,1.510466e-03,1.492373e-03,1.475266e-03,1.459106e-03,1.443856e-03,1.429477e-03,1.415935e-03,1.403195e-03,1.391222e-03,1.379985e-03,1.369451e-03,1.359590e-03,1.350373e-03,1.341771e-03,1.333756e-03,1.326302e-03,1.319383e-03,1.312973e-03,1.307050e-03,1.301589e-03
0.000000e+00,6.107865e-10,6.330751e-08,6.795808e-08,1.190961e-06,7.392345e-06,7.858155e-06,2.668198e-05,5.599317e-05,5.813866e-05,9.620837e-05,1.317485e-04,1.347514e-04,1.703406e-04,1.988034e-04,2.017477e-04,2.288562e-04,2.493960e-04,2.519730e-04,2.715199e-04,2.857987e-04,2.879204e-04,3.015645e-04,3.111524e-04,3.128019e-04,3.219422e-04,3.280651e-04,3.292586e-04,3.349912e-04,3.385792e-04,3.393503e-04,3.425199e-04,3.442706e-04,3.446608e-04,3.459133e-04,3.463470e-04,3.463998e-04,3.462269e-04,3.457295e-04,3.454875e-04,3.442624e-04,3.431196e-04,3.426222e-04,3.406279e-04,3.390502e-04,3.383330e-04,3.357838e-04,3.339258e-04,3.330205e-04,3.300783e-04,3.280533e-04,3.269876e-04,3.237749e-04,3.216655e-04,3.204632e-04,3.170724e-04,3.149381e-04,3.136199e-04,3.101206e-04,3.080041e-04,3.065877e-04,3.030323e-04,3.009638e-04,2.994642e-04,2.958919e-04,2.938923e-04,2.923226e-04,2.887626e-04,2.868461e-04,2.852174e-04,2.816915e-04,2.798671e-04,2.781890e-04,2.747132e-04,2.729863e-04,2.712671e-04,2.678530e-04,2.662262e-04,2.644730e-04,2.611290e-04,2.596032e-04,2.578223e-04,2.545541e-04,2.531285e-04,2.513253e-04,2.481368e-04,2.468098e-04,2.449892e-04,2.418829e-04,2.406520e-04,2.388182e-04,2.357955e-04,2.346578e-04,2.328146e-04,2.298758e-04,2.288282e-04,2.269790e-04,2.241241e-04,2.231630e-04,2.213110e-04,2.185393e-04,2.176611e-04,2.158090e-04,2.131196e-04,2.123207e-04,2.104709e-04,2.078626e-04,2.071395e-04,2.052943e-04,2.027657e-04,2.021147e-04,2.002762e-04,1.978256e-04,1.972432e-04,1.954134e-04,1.930391e-04,1.925219e-04,1.907024e-04,1.884028e-04,1.879473e-04,1.861398e-04,1.839130e-04,1.835160e-04,1.817219e-04,1.795662e-04,1.792245e-04,1.774452e-04,1.753586e-04,1.750692e-04,1.733059e-04,1.712867e-04,1.710466e-04,1.693005e-04,1.673468e-04,1.671532e-04,1.654253e-04,1.635354e-04,1.633855e-04,1.616767e-04,1.598488e-04,1.597401e-04,1.580512e-04,1.562835e-04,1.562134e-04,1.545453e-04,1.528361e-04,1.528022e-04,1.511556e-04,1.495032e-04,1.463132e-04,1.432291e-04,1.402476e-04,1.373659e-04,1.345810e-04,1.318900e-04,1.292901e-04,1.267786e-04,1.243527e-04,1.220101e-04,1.197480e-04,1.175640e-04,1.154559e-04,1.134211e-04,1.114575e-04,1.095629e-04,1.077352e-04,1.059722e-04,1.042719e-04,1.026324e-04,1.010518e-04,9.952828e-05,9.805995e-05,9.664512e-05,9.528208e-05,9.396920e-05,9.270487e-05,9.148756e-05,9.031575e-05,8.918799e-05,8.810286e-05,8.705899e-05,8.605505e-05,8.508974e-05,8.416180e-05,8.327003e-05,8.241324e-05,8.159028e-05,8.080005e-05,8.004146e-05,7.931348e-05,7.861509e-05,7.794530e-05,7.730317e-05,7.668777e-05,7.609820e-05,7.553360e-05,7.499313e-05,7.447596e-05
0.000000e+00,3.154899e-09,7.997217e-08,8.410492e-08,6.526102e-07,2.422894e-06,2.532326e-06,6.198991e-06,1.081832e-05,1.113068e-05,1.631400e-05,2.076436e-05,2.113095e-05,2.542619e-05,2.885147e-05,2.920761e-05,3.251668e-05,3.507378e-05,3.539848e-05,3.789574e-05,3.976585e-05,4.004771e-05,4.189013e-05,4.322227e-05,4.345531e-05,4.477249e-05,4.568606e-05,4.586799e-05,4.676554e-05,4.735547e-05,4.748649e-05,4.805003e-05,4.839149e-05,4.847343e-05,4.877219e-05,4.892452e-05,4.896025e-05,4.905011e-05,4.906003e-05,4.905300e-05,4.897900e-05,4.888322e-05,4.883715e-05,4.863556e-05,4.846283e-05,4.838150e-05,4.808150e-05,4.785426e-05,4.774139e-05,4.736641e-05,4.710212e-05,4.696124e-05,4.653008e-05,4.624224e-05,4.607667e-05,4.560439e-05,4.530342e-05,4.511623e-05,4.461489e-05,4.430876e-05,4.410275e-05,4.358195e-05,4.327666e-05,4.305437e-05,4.252173e-05,4.222181e-05,4.198554e-05,4.144712e-05,4.115588e-05,4.090767e-05,4.036824e-05,4.008805e-05,3.982976e-05,3.929305e-05,3.902559e-05,3.875884e-05,3.822775e-05,3.797410e-05,3.770035e-05,3.717712e-05,3.693795e-05,3.665849e-05,3.614483e-05,3.592047e-05,3.563645e-05,3.513362e-05,3.492415e-05,3.463659e-05,3.414553e-05,3.395082e-05,3.366062e-05,3.318198e-05,3.300177e-05,3.270974e-05,3.224396e-05,3.207788e-05,3.178472e-05,3.133207e-05,3.117967e-05,3.088603e-05,3.044662e-05,3.030741e-05,3.001384e-05,2.958769e-05,2.946113e-05,2.916814e-05,2.875517e-05,2.864072e-05,2.834875e-05,2.794883e-05,2.784591e-05,2.755537e-05,2.716831e-05,2.707636e-05,2.678759e-05,2.641316e-05,2.633162e-05,2.604495e-05,2.568289e-05,2.561121e-05,2.532691e-05,2.497694e-05,2.491457e-05,2.463290e-05,2.429472e-05,2.424115e-05,2.396233e-05,2.363564e-05,2.359036e-05,2.331458e-05,2.299907e-05,2.296158e-05,2.268903e-05,2.238438e-05,2.235421e-05,2.208504e-05,2.179094e-05,2.176763e-05,2.150199e-05,2.121812e-05,2.120124e-05,2.093924e-05,2.066529e-05,2.065444e-05,2.039619e-05,2.013185e-05,2.012662e-05,1.987221e-05,1.961719e-05,1.912559e-05,1.865125e-05,1.819361e-05,1.775214e-05,1.732632e-05,1.691563e-05,1.651958e-05,1.613770e-05,1.576950e-05,1.541454e-05,1.507238e-05,1.474259e-05,1.442476e-05,1.411848e-05,1.382336e-05,1.353904e-05,1.326515e-05,1.300133e-05,1.274725e-05,1.250257e-05,1.226697e-05,1.204014e-05,1.182179e-05,1.161163e-05,1.140937e-05,1.121474e-05,1.102749e-05,1.084735e-05,1.067409e-05,1.050746e-05,1.034724e-05,1.019320e-05,1.004514e-05,9.902838e-06,9.766099e-06,9.634730e-06,9.508542e-06,9.387354e-06,9.270992e-06,9.159287e-06,9.052074e-06,8.949196e-06,8.850499e-06,8.755837e-06,8.665065e-06,8.578047e-06,8.494649e-06,8.414742e-06,8.338202e-06
0.000000e+00,8.069159e-10,7.020840e-08,7.512239e-08,1.177680e-06,7.182678e-06,7.642181e-06,2.726272e-05,6.075049e-05,6.329968e-05,1.100033e-04,1.553370e-04,1.592215e-04,2.057748e-04,2.436459e-04,2.475966e-04,2.842946e-04,3.125492e-04,3.161261e-04,3.435337e-04,3.639193e-04,3.669799e-04,3.868979e-04,4.011918e-04,4.036816e-04,4.176860e-04,4.273205e-04,4.292301e-04,4.385999e-04,4.447031e-04,4.460512e-04,4.518125e-04,4.552652e-04,4.560879e-04,4.590588e-04,4.605439e-04,4.608861e-04,4.617124e-04,4.617543e-04,4.616642e-04,4.608537e-04,4.598543e-04,4.593801e-04,4.573310e-04,4.555961e-04,4.547839e-04,4.518072e-04,4.495690e-04,4.484616e-04,4.448003e-04,4.422340e-04,4.408704e-04,4.367135e-04,4.339510e-04,4.323662e-04,4.278607e-04,4.250005e-04,4.232256e-04,4.184858e-04,4.156010e-04,4.136634e-04,4.087778e-04,4.059219e-04,4.038459e-04,3.988827e-04,3.960946e-04,3.939014e-04,3.889133e-04,3.862205e-04,3.839286e-04,3.789559e-04,3.763775e-04,3.740031e-04,3.690766e-04,3.666251e-04,3.641823e-04,3.593252e-04,3.570083e-04,3.545096e-04,3.497393e-04,3.475610e-04,3.450173e-04,3.403464e-04,3.383080e-04,3.357289e-04,3.311667e-04,3.292674e-04,3.266613e-04,3.222141e-04,3.204517e-04,3.178261e-04,3.134981e-04,3.118693e-04,3.092307e-04,3.050245e-04,3.035253e-04,3.008796e-04,2.967963e-04,2.954220e-04,2.927746e-04,2.888143e-04,2.875600e-04,2.849154e-04,2.810775e-04,2.799381e-04,2.773005e-04,2.735838e-04,2.725539e-04,2.699272e-04,2.663300e-04,2.654044e-04,2.627918e-04,2.593121e-04,2.584856e-04,2.558903e-04,2.525257e-04,2.517931e-04,2.492177e-04,2.459658e-04,2.453220e-04,2.427692e-04,2.396272e-04,2.390674e-04,2.365393e-04,2.335046e-04,2.330240e-04,2.305226e-04,2.275924e-04,2.271863e-04,2.247135e-04,2.218851e-04,2.215490e-04,2.191065e-04,2.163770e-04,2.161067e-04,2.136959e-04,2.110625e-04,2.108539e-04,2.084762e-04,2.059361e-04,2.057852e-04,2.034417e-04,2.009923e-04,2.008953e-04,1.985872e-04,1.962256e-04,1.961789e-04,1.939071e-04,1.916308e-04,1.872461e-04,1.830197e-04,1.789468e-04,1.750225e-04,1.712424e-04,1.676019e-04,1.640965e-04,1.607221e-04,1.574744e-04,1.543493e-04,1.513430e-04,1.484516e-04,1.456714e-04,1.429987e-04,1.404301e-04,1.379621e-04,1.355915e-04,1.333150e-04,1.311296e-04,1.290321e-04,1.270197e-04,1.250895e-04,1.232388e-04,1.214649e-04,1.197652e-04,1.181372e-04,1.165785e-04,1.150866e-04,1.136593e-04,1.122945e-04,1.109898e-04,1.097434e-04,1.085530e-04,1.074169e-04,1.063330e-04,1.052995e-04,1.043148e-04,1.033769e-04,1.024843e-04,1.016354e-04,1.008285e-04,1.000622e-04,9.933503e-05,9.864547e-05,9.799219e-05,9.737385e-05,9.678914e-05,9.623681e-05,9.571565e-05
0.000000e+00,3.330179e-09,1.646931e-07,1.742181e-07,1.743220e-06,8.865224e-06,9.401962e-06,3.349404e-05,8.116598e-05,8.511858e-05,1.643678e-04,2.513621e-04,2.591970e-04,3.573311e-04,4.430267e-04,4.522948e-04,5.417717e-04,6.155098e-04,6.252001e-04,7.025985e-04,7.644846e-04,7.741609e-04,8.401319e-04,8.914163e-04,9.007711e-04,9.563402e-04,9.983058e-04,1.007099e-03,1.053301e-03,1.087150e-03,1.095196e-03,1.133021e-03,1.159849e-03,1.167008e-03,1.197382e-03,1.218180e-03,1.224355e-03,1.248131e-03,1.263783e-03,1.268906e-03,1.286863e-03,1.298149e-03,1.302182e-03,1.315030e-03,1.322640e-03,1.325568e-03,1.333947e-03,1.338485e-03,1.340310e-03,1.344794e-03,1.346787e-03,1.347528e-03,1.348634e-03,1.348541e-03,1.348227e-03,1.346418e-03,1.344637e-03,1.343309e-03,1.338998e-03,1.335874e-03,1.333578e-03,1.327136e-03,1.322964e-03,1.319755e-03,1.311511e-03,1.306546e-03,1.302479e-03,1.292727e-03,1.287185e-03,1.282321e-03,1.271321e-03,1.265386e-03,1.259786e-03,1.247769e-03,1.241596e-03,1.235322e-03,1.222492e-03,1.216211e-03,1.209325e-03,1.195862e-03,1.189581e-03,1.182143e-03,1.168206e-03,1.162013e-03,1.154084e-03,1.139810e-03,1.133778e-03,1.125415e-03,1.110927e-03,1.105112e-03,1.096372e-03,1.081775e-03,1.076222e-03,1.067159e-03,1.052544e-03,1.047287e-03,1.037951e-03,1.023399e-03,1.018463e-03,1.008903e-03,9.944801e-04,9.898824e-04,9.801442e-04,9.659088e-04,9.616596e-04,9.517861e-04,9.377873e-04,9.338912e-04,9.239226e-04,9.102015e-04,9.066585e-04,8.966323e-04,8.832229e-04,8.800292e-04,8.699802e-04,8.569103e-04,8.540588e-04,8.440190e-04,8.313110e-04,8.287918e-04,8.187908e-04,8.064622e-04,8.042637e-04,7.943285e-04,7.823925e-04,7.805012e-04,7.706565e-04,7.591224e-04,7.575239e-04,7.477919e-04,7.366660e-04,7.353447e-04,7.257456e-04,7.150311e-04,7.139710e-04,7.045229e-04,6.942207e-04,6.934055e-04,6.841243e-04,6.742331e-04,6.736462e-04,6.645463e-04,6.550628e-04,6.546877e-04,6.457816e-04,6.367011e-04,6.365215e-04,6.278200e-04,6.191364e-04,6.025188e-04,5.866533e-04,5.715230e-04,5.571096e-04,5.433938e-04,5.303557e-04,5.179745e-04,5.062293e-04,4.950986e-04,4.845612e-04,4.745956e-04,4.651804e-04,4.562945e-04,4.479170e-04,4.400272e-04,4.326049e-04,4.256303e-04,4.190839e-04,4.129469e-04,4.072008e-04,4.018277e-04,3.968103e-04,3.921317e-04,3.877757e-04,3.837265e-04,3.799689e-04,3.764881e-04,3.732702e-04,3.703016e-04,3.675690e-04,3.650601e-04,3.627627e-04,3.606652e-04,3.587567e-04,3.570264e-04,3.554642e-04,3.540603e-04,3.528056e-04,3.516911e-04,3.507082e-04,3.498491e-04,3.491058e-04,3.484711e-04,3.479380e-04,3.474997e-04,3.471501e-04,3.468829e-04,3.466926e-04,3.465736e-04
0.000000e+00,3.765683e-10,3.643244e-08,3.900622e-08,6.272257e-07,4.106280e-06,4.388329e-06,1.821031e-05,4.965694e-05,5.247439e-05,1.158266e-04,2.011826e-04,2.097067e-04,3.279202e-04,4.469703e-04,4.606049e-04,5.983123e-04,7.179962e-04,7.340054e-04,8.632863e-04,9.675174e-04,9.838179e-04,1.094622e-03,1.180034e-03,1.195518e-03,1.286756e-03,1.354681e-03,1.368793e-03,1.442175e-03,1.495033e-03,1.507474e-03,1.565254e-03,1.605455e-03,1.616060e-03,1.660409e-03,1.690095e-03,1.698786e-03,1.731647e-03,1.752665e-03,1.759418e-03,1.782499e-03,1.796421e-03,1.801259e-03,1.816045e-03,1.824204e-03,1.827179e-03,1.834960e-03,1.838480e-03,1.839668e-03,1.841562e-03,1.841387e-03,1.840882e-03,1.837853e-03,1.834778e-03,1.832682e-03,1.825564e-03,1.820251e-03,1.816676e-03,1.806186e-03,1.799188e-03,1.794248e-03,1.781005e-03,1.772779e-03,1.766590e-03,1.751126e-03,1.742050e-03,1.734725e-03,1.717495e-03,1.707880e-03,1.699532e-03,1.680926e-03,1.671025e-03,1.661761e-03,1.642113e-03,1.632130e-03,1.622053e-03,1.601647e-03,1.591747e-03,1.580955e-03,1.560033e-03,1.550346e-03,1.538932e-03,1.517697e-03,1.508324e-03,1.496374e-03,1.475000e-03,1.466017e-03,1.453613e-03,1.432245e-03,1.423710e-03,1.410927e-03,1.389685e-03,1.381639e-03,1.368546e-03,1.347532e-03,1.340001e-03,1.326663e-03,1.305959e-03,1.298960e-03,1.285435e-03,1.265108e-03,1.258647e-03,1.244990e-03,1.225094e-03,1.219170e-03,1.205430e-03,1.186009e-03,1.180615e-03,1.166838e-03,1.147924e-03,1.143050e-03,1.129274e-03,1.110894e-03,1.106523e-03,1.092787e-03,1.074958e-03,1.071073e-03,1.057409e-03,1.040143e-03,1.036724e-03,1.023162e-03,1.006467e-03,1.003492e-03,9.900586e-04,9.739369e-04,9.713841e-04,9.581020e-04,9.425533e-04,9.403993e-04,9.272898e-04,9.123103e-04,9.105318e-04,8.976132e-04,8.831968e-04,8.817706e-04,8.690591e-04,8.551977e-04,8.541006e-04,8.416101e-04,8.282938e-04,8.275034e-04,8.152460e-04,8.024638e-04,8.019580e-04,7.899440e-04,7.776835e-04,7.774409e-04,7.656791e-04,7.539273e-04,7.313908e-04,7.098044e-04,6.891402e-04,6.693702e-04,6.504662e-04,6.323998e-04,6.151427e-04,5.986671e-04,5.829452e-04,5.679501e-04,5.536551e-04,5.400341e-04,5.270621e-04,5.147142e-04,5.029664e-04,4.917951e-04,4.811776e-04,4.710918e-04,4.615164e-04,4.524309e-04,4.438152e-04,4.356503e-04,4.279174e-04,4.205987e-04,4.136767e-04,4.071350e-04,4.009573e-04,3.951282e-04,3.896329e-04,3.844569e-04,3.795866e-04,3.750085e-04,3.707099e-04,3.666786e-04,3.629026e-04,3.593707e-04,3.560720e-04,3.529958e-04,3.501321e-04,3.474713e-04,3.450039e-04,3.427211e-04,3.406141e-04,3.386748e-04,3.368952e-04,3.352676e-04,3.337847e-04,3.324395e-04,3.312251e-04
0.000000e+00,1.005003e-10,1.092261e-08,1.171703e-08,2.139266e-07,1.705775e-06,1.840317e-06,9.827303e-06,3.402228e-05,3.648709e-05,1.018415e-04,2.155528e-04,2.284067e-04,4.343305e-04,6.954887e-04,7.290148e-04,1.112162e-03,1.515894e-03,1.575256e-03,2.104163e-03,2.598688e-03,2.681832e-03,3.290567e-03,3.813627e-03,3.913649e-03,4.536338e-03,5.037957e-03,5.146357e-03,5.734001e-03,6.183047e-03,6.292002e-03,6.815259e-03,7.197124e-03,7.300507e-03,7.745978e-03,8.057536e-03,8.151084e-03,8.516134e-03,8.761034e-03,8.842099e-03,9.130419e-03,9.315677e-03,9.382851e-03,9.601341e-03,9.735188e-03,9.787945e-03,9.944750e-03,1.003542e-02,1.007383e-02,1.017722e-02,1.023234e-02,1.025687e-02,1.031466e-02,1.034099e-02,1.035235e-02,1.037163e-02,1.037503e-02,1.037406e-02,1.036114e-02,1.034659e-02,1.033423e-02,1.029462e-02,1.026631e-02,1.024352e-02,1.018202e-02,1.014343e-02,1.011117e-02,1.003193e-02,9.985957e-03,9.945172e-03,9.851735e-03,9.800761e-03,9.752376e-03,9.647800e-03,9.593761e-03,9.538659e-03,9.425555e-03,9.370022e-03,9.309043e-03,9.189636e-03,9.133869e-03,9.067807e-03,8.943990e-03,8.888986e-03,8.818587e-03,8.691965e-03,8.638502e-03,8.564462e-03,8.436389e-03,8.385064e-03,8.308029e-03,8.179643e-03,8.130899e-03,8.051468e-03,7.923719e-03,7.877873e-03,7.796595e-03,7.670274e-03,7.627538e-03,7.544919e-03,7.420674e-03,7.381173e-03,7.297674e-03,7.176035e-03,7.139826e-03,7.055865e-03,6.937257e-03,6.904339e-03,6.820296e-03,6.705054e-03,6.675382e-03,6.591598e-03,6.479982e-03,6.453474e-03,6.370255e-03,6.262458e-03,6.239005e-03,6.156625e-03,6.052783e-03,6.032256e-03,5.950956e-03,5.851160e-03,5.833413e-03,5.753407e-03,5.657706e-03,5.642584e-03,5.564059e-03,5.472468e-03,5.459809e-03,5.382928e-03,5.295433e-03,5.285070e-03,5.209973e-03,5.126536e-03,5.118303e-03,5.045108e-03,4.965672e-03,4.959402e-03,4.888209e-03,4.812701e-03,4.808232e-03,4.739124e-03,4.667455e-03,4.664628e-03,4.597672e-03,4.529747e-03,4.528407e-03,4.463655e-03,4.399368e-03,4.277298e-03,4.161972e-03,4.053161e-03,3.950632e-03,3.854148e-03,3.763472e-03,3.678368e-03,3.598604e-03,3.523949e-03,3.454176e-03,3.389065e-03,3.328398e-03,3.271966e-03,3.219563e-03,3.170991e-03,3.126057e-03,3.084575e-03,3.046366e-03,3.011256e-03,2.979080e-03,2.949676e-03,2.922890e-03,2.898575e-03,2.876589e-03,2.856795e-03,2.839062e-03,2.823266e-03,2.809288e-03,2.797013e-03,2.786332e-03,2.777141e-03,2.769340e-03,2.762836e-03,2.757536e-03,2.753357e-03,2.750214e-03,2.748031e-03,2.746734e-03,2.746252e-03,2.746519e-03,2.747471e-03,2.749049e-03,2.751196e-03,2.753858e-03,2.756984e-03,2.760528e-03,2.764443e-03,2.768688e-03,2.773222e-03
0.000000e+00,1.201903e-08,2.812461e-07,2.956334e-07,2.160296e-06,7.107463e-06,7.380214e-06,1.502099e-05,2.247451e-05,2.294022e-05,3.044336e-05,3.688720e-05,3.742659e-05,4.389263e-05,4.928758e-05,4.986301e-05,5.536252e-05,5.983222e-05,6.041587e-05,6.504717e-05,6.871049e-05,6.927994e-05,7.313700e-05,7.610274e-05,7.664040e-05,7.981139e-05,8.217787e-05,8.267033e-05,8.523670e-05,8.709163e-05,8.752903e-05,8.956494e-05,9.098571e-05,9.136112e-05,9.293339e-05,9.398779e-05,9.429669e-05,9.546511e-05,9.621215e-05,9.645198e-05,9.726983e-05,9.776068e-05,9.793047e-05,9.844504e-05,9.872396e-05,9.882400e-05,9.907720e-05,9.918229e-05,9.921389e-05,9.924278e-05,9.920677e-05,9.917202e-05,9.900931e-05,9.886025e-05,9.876183e-05,9.843636e-05,9.819819e-05,9.803923e-05,9.757638e-05,9.726947e-05,9.705340e-05,9.647549e-05,9.611708e-05,9.584755e-05,9.517417e-05,9.477883e-05,9.445961e-05,9.370790e-05,9.328785e-05,9.292277e-05,9.210774e-05,9.167320e-05,9.126607e-05,9.040081e-05,8.996024e-05,8.951482e-05,8.861075e-05,8.817112e-05,8.769109e-05,8.675813e-05,8.632511e-05,8.581403e-05,8.486079e-05,8.443895e-05,8.390026e-05,8.293416e-05,8.252713e-05,8.196409e-05,8.099155e-05,8.060215e-05,8.001789e-05,7.904440e-05,7.867476e-05,7.807224e-05,7.710250e-05,7.675418e-05,7.613618e-05,7.517419e-05,7.484825e-05,7.421738e-05,7.326651e-05,7.296361e-05,7.232231e-05,7.138541e-05,7.110586e-05,7.045641e-05,6.953584e-05,6.927965e-05,6.862417e-05,6.772186e-05,6.748884e-05,6.682930e-05,6.594683e-05,6.573657e-05,6.507476e-05,6.421339e-05,6.402535e-05,6.336295e-05,6.252365e-05,6.235715e-05,6.169569e-05,6.087921e-05,6.073347e-05,6.007434e-05,5.928120e-05,5.915539e-05,5.849988e-05,5.773043e-05,5.762365e-05,5.697290e-05,5.622733e-05,5.613866e-05,5.549373e-05,5.477209e-05,5.470058e-05,5.406240e-05,5.336464e-05,5.330933e-05,5.267876e-05,5.200471e-05,5.196465e-05,5.134244e-05,5.069187e-05,5.066609e-05,5.005292e-05,4.942551e-05,4.941308e-05,4.880955e-05,4.820493e-05,4.704085e-05,4.591997e-05,4.484136e-05,4.380403e-05,4.280695e-05,4.184908e-05,4.092933e-05,4.004661e-05,3.919982e-05,3.838788e-05,3.760969e-05,3.686416e-05,3.615021e-05,3.546679e-05,3.481286e-05,3.418739e-05,3.358937e-05,3.301783e-05,3.247181e-05,3.195037e-05,3.145259e-05,3.097760e-05,3.052453e-05,3.009255e-05,2.968083e-05,2.928861e-05,2.891510e-05,2.855958e-05,2.822134e-05,2.789967e-05,2.759391e-05,2.730342e-05,2.702758e-05,2.676578e-05,2.651744e-05,2.628200e-05,2.605892e-05,2.584769e-05,2.564779e-05,2.545876e-05,2.528011e-05,2.511141e-05,2.495221e-05,2.480211e-05,2.466071e-05,2.452762e-05,2.440247e-05,2.428489e-05,2.417456e-05
0.000000e+00,1.214360e-11,1.464239e-09,1.573138e-09,3.041072e-08,2.551622e-07,2.760079e-07,1.605679e-06,6.263124e-06,6.776203e-06,2.224517e-05,5.558173e-05,5.977495e-05,1.370106e-04,2.593641e-04,2.769197e-04,5.064507e-04,8.057510e-04,8.548166e-04,1.351709e-03,1.919631e-03,2.025643e-03,2.902544e-03,3.812382e-03,4.004639e-03,5.349652e-03,6.642915e-03,6.950303e-03,8.814075e-03,1.049622e-02,1.094321e-02,1.333488e-02,1.537793e-02,1.598154e-02,1.887136e-02,2.122078e-02,2.198875e-02,2.531491e-02,2.789817e-02,2.882842e-02,3.250582e-02,3.524106e-02,3.632215e-02,4.025153e-02,4.305525e-02,4.426759e-02,4.834396e-02,5.113704e-02,5.245463e-02,5.657431e-02,5.928640e-02,6.067874e-02,6.474486e-02,6.731703e-02,6.875107e-02,7.267734e-02,7.506338e-02,7.650535e-02,8.021851e-02,8.238505e-02,8.380202e-02,8.724288e-02,8.916873e-02,9.052987e-02,9.365349e-02,9.532838e-02,9.660593e-02,9.938098e-02,1.008040e-01,1.019739e-01,1.043815e-01,1.055596e-01,1.066019e-01,1.086342e-01,1.095799e-01,1.104789e-01,1.121375e-01,1.128681e-01,1.136122e-01,1.149064e-01,1.154421e-01,1.160238e-01,1.169689e-01,1.173315e-01,1.177469e-01,1.183631e-01,1.185752e-01,1.188236e-01,1.191345e-01,1.192184e-01,1.193021e-01,1.193332e-01,1.193106e-01,1.192344e-01,1.190125e-01,1.189038e-01,1.186743e-01,1.182265e-01,1.180506e-01,1.176761e-01,1.170295e-01,1.168033e-01,1.162933e-01,1.154740e-01,1.152129e-01,1.145777e-01,1.136106e-01,1.133279e-01,1.125786e-01,1.114872e-01,1.111944e-01,1.103421e-01,1.091485e-01,1.088554e-01,1.079114e-01,1.066357e-01,1.063504e-01,1.053260e-01,1.039868e-01,1.037157e-01,1.026221e-01,1.012359e-01,1.009844e-01,9.983208e-02,9.841407e-02,9.818610e-02,9.698523e-02,9.554872e-02,9.534716e-02,9.410749e-02,9.266431e-02,9.249112e-02,9.122176e-02,8.978228e-02,8.963859e-02,8.834811e-02,8.692134e-02,8.680758e-02,8.550391e-02,8.409762e-02,8.401363e-02,8.270412e-02,8.132492e-02,8.127007e-02,7.996144e-02,7.861495e-02,7.858820e-02,7.728661e-02,7.597747e-02,7.344570e-02,7.099919e-02,6.864295e-02,6.638080e-02,6.421552e-02,6.214897e-02,6.018222e-02,5.831560e-02,5.654887e-02,5.488121e-02,5.331138e-02,5.183774e-02,5.045830e-02,4.917080e-02,4.797271e-02,4.686132e-02,4.583374e-02,4.488696e-02,4.401785e-02,4.322321e-02,4.249980e-02,4.184432e-02,4.125345e-02,4.072388e-02,4.025230e-02,3.983543e-02,3.947003e-02,3.915289e-02,3.888087e-02,3.865090e-02,3.845997e-02,3.830516e-02,3.818361e-02,3.809259e-02,3.802943e-02,3.799158e-02,3.797660e-02,3.798213e-02,3.800594e-02,3.804591e-02,3.810001e-02,3.816635e-02,3.824313e-02,3.832867e-02,3.842140e-02,3.851987e-02,3.862273e-02,3.872871e-02,3.883669e-02
0.000000e+00,7.748867e-09,2.491446e-07,2.630385e-07,2.150005e-06,6.484184e-06,6.693040e-06,1.198054e-05,1.674680e-05,1.704063e-05,2.174555e-05,2.575840e-05,2.609344e-05,3.010011e-05,3.342920e-05,3.378350e-05,3.716118e-05,3.989414e-05,4.025012e-05,4.306667e-05,4.528309e-05,4.562661e-05,4.794531e-05,4.971743e-05,5.003757e-05,5.191768e-05,5.331063e-05,5.359926e-05,5.509532e-05,5.616691e-05,5.641820e-05,5.757960e-05,5.838052e-05,5.859056e-05,5.946151e-05,6.003586e-05,6.020227e-05,6.082206e-05,6.120796e-05,6.132958e-05,6.173299e-05,6.196329e-05,6.203994e-05,6.225762e-05,6.236052e-05,6.239278e-05,6.245174e-05,6.245134e-05,6.244042e-05,6.236436e-05,6.228124e-05,6.222876e-05,6.203848e-05,6.189013e-05,6.179808e-05,6.151180e-05,6.131302e-05,6.118362e-05,6.081726e-05,6.058057e-05,6.041619e-05,5.998366e-05,5.971958e-05,5.952269e-05,5.903611e-05,5.875342e-05,5.852654e-05,5.799645e-05,5.770247e-05,5.744811e-05,5.688366e-05,5.658444e-05,5.630508e-05,5.571422e-05,5.541471e-05,5.511277e-05,5.450235e-05,5.420659e-05,5.388441e-05,5.326034e-05,5.297156e-05,5.263140e-05,5.199877e-05,5.171952e-05,5.136353e-05,5.072669e-05,5.045897e-05,5.008918e-05,4.945186e-05,4.919716e-05,4.881550e-05,4.818085e-05,4.794026e-05,4.754855e-05,4.691923e-05,4.669351e-05,4.629344e-05,4.567169e-05,4.546131e-05,4.505446e-05,4.444215e-05,4.424732e-05,4.383516e-05,4.323383e-05,4.305459e-05,4.263848e-05,4.204939e-05,4.188560e-05,4.146680e-05,4.089095e-05,4.074236e-05,4.032203e-05,3.976022e-05,3.962646e-05,3.920566e-05,3.865849e-05,3.853912e-05,3.811882e-05,3.758674e-05,3.748125e-05,3.706234e-05,3.654566e-05,3.645349e-05,3.603677e-05,3.553569e-05,3.545624e-05,3.504244e-05,3.455704e-05,3.448971e-05,3.407949e-05,3.360978e-05,3.355394e-05,3.314789e-05,3.269379e-05,3.264881e-05,3.224745e-05,3.180884e-05,3.177408e-05,3.137790e-05,3.095458e-05,3.092942e-05,3.053882e-05,3.013057e-05,3.011439e-05,2.972975e-05,2.933630e-05,2.932851e-05,2.895014e-05,2.857120e-05,2.784187e-05,2.713988e-05,2.646454e-05,2.581516e-05,2.519105e-05,2.459146e-05,2.401569e-05,2.346300e-05,2.293268e-05,2.242399e-05,2.193624e-05,2.146872e-05,2.102073e-05,2.059161e-05,2.018069e-05,1.978733e-05,1.941088e-05,1.905074e-05,1.870630e-05,1.837698e-05,1.806222e-05,1.776146e-05,1.747417e-05,1.719984e-05,1.693796e-05,1.668805e-05,1.644965e-05,1.622230e-05,1.600557e-05,1.579904e-05,1.560229e-05,1.541495e-05,1.523662e-05,1.506695e-05,1.490558e-05,1.475218e-05,1.460642e-05,1.446798e-05,1.433657e-05,1.421189e-05,1.409367e-05,1.398162e-05,1.387551e-05,1.377506e-05,1.368005e-05,1.359025e-05,1.350542e-05,1.342536e-05,1.334987e-05
0.000000e+00,3.357502e-09,6.640580e-08,6.970635e-08,5.052851e-07,1.764401e-06,1.837587e-06,3.992555e-06,6.199768e-06,6.339345e-06,8.604431e-06,1.056891e-05,1.073406e-05,1.272266e-05,1.439534e-05,1.457455e-05,1.629605e-05,1.770824e-05,1.789361e-05,1.937352e-05,2.055675e-05,2.074181e-05,2.200425e-05,2.298700e-05,2.316643e-05,2.423373e-05,2.504180e-05,2.521139e-05,2.610452e-05,2.676145e-05,2.691800e-05,2.765653e-05,2.818346e-05,2.832460e-05,2.892647e-05,2.934217e-05,2.946627e-05,2.994790e-05,3.026902e-05,3.037503e-05,3.075113e-05,3.099217e-05,3.107947e-05,3.136317e-05,3.153677e-05,3.160515e-05,3.180817e-05,3.192530e-05,3.197483e-05,3.210757e-05,3.217773e-05,3.220870e-05,3.228039e-05,3.231176e-05,3.232466e-05,3.234345e-05,3.234309e-05,3.233854e-05,3.231163e-05,3.228559e-05,3.226431e-05,3.219807e-05,3.215154e-05,3.211431e-05,3.201435e-05,3.195175e-05,3.189941e-05,3.177066e-05,3.169577e-05,3.162918e-05,3.147599e-05,3.139202e-05,3.131205e-05,3.113824e-05,3.104791e-05,3.095542e-05,3.076436e-05,3.066994e-05,3.056580e-05,3.036043e-05,3.026386e-05,3.014890e-05,2.993181e-05,2.983468e-05,2.970973e-05,2.948318e-05,2.938681e-05,2.925266e-05,2.901863e-05,2.892413e-05,2.878152e-05,2.854174e-05,2.845001e-05,2.829967e-05,2.805566e-05,2.796740e-05,2.781002e-05,2.756308e-05,2.747888e-05,2.731512e-05,2.706640e-05,2.698669e-05,2.681717e-05,2.656766e-05,2.649278e-05,2.631808e-05,2.606864e-05,2.599885e-05,2.581952e-05,2.557089e-05,2.550634e-05,2.532290e-05,2.507572e-05,2.501653e-05,2.482947e-05,2.458428e-05,2.453049e-05,2.434027e-05,2.409754e-05,2.404916e-05,2.385619e-05,2.361632e-05,2.357331e-05,2.337801e-05,2.314133e-05,2.310361e-05,2.290635e-05,2.267314e-05,2.264064e-05,2.244176e-05,2.221226e-05,2.218485e-05,2.198468e-05,2.175907e-05,2.173662e-05,2.153547e-05,2.131392e-05,2.129628e-05,2.109443e-05,2.087705e-05,2.086407e-05,2.066179e-05,2.044867e-05,2.044019e-05,2.023771e-05,2.002893e-05,2.002478e-05,1.982234e-05,1.961795e-05,1.921976e-05,1.883026e-05,1.844944e-05,1.807730e-05,1.771379e-05,1.735886e-05,1.701244e-05,1.667445e-05,1.634479e-05,1.602336e-05,1.571004e-05,1.540472e-05,1.510728e-05,1.481758e-05,1.453550e-05,1.426089e-05,1.399363e-05,1.373358e-05,1.348059e-05,1.323453e-05,1.299527e-05,1.276266e-05,1.253656e-05,1.231684e-05,1.210336e-05,1.189599e-05,1.169459e-05,1.149904e-05,1.130920e-05,1.112495e-05,1.094616e-05,1.077271e-05,1.060448e-05,1.044134e-05,1.028318e-05,1.012989e-05,9.981340e-06,9.837431e-06,9.698052e-06,9.563094e-06,9.432453e-06,9.306025e-06,9.183710e-06,9.065407e-06,8.951020e-06,8.840453e-06,8.733614e-06,8.630410e-06,8.530752e-06
0.000000e+00,3.034327e-09,3.850429e-07,4.142610e-07,8.575922e-06,7.468209e-05,8.084163e-05,4.701012e-04,1.791978e-03,1.935108e-03,6.135659e-03,1.483714e-02,1.591277e-02,3.531939e-02,6.519331e-02,6.942593e-02,1.239940e-01,1.937667e-01,2.051030e-01,3.187860e-01,4.469419e-01,4.707094e-01,6.659128e-01,8.664435e-01,9.086141e-01,1.202079e+00,1.482205e+00,1.548548e+00,1.949216e+00,2.308918e+00,2.404248e+00,2.912834e+00,3.345638e+00,3.473265e+00,4.083029e+00,4.577489e+00,4.738912e+00,5.437110e+00,5.978518e+00,6.173344e+00,6.942964e+00,7.515011e+00,7.741055e+00,8.562537e+00,9.148731e+00,9.402253e+00,1.025505e+01,1.083983e+01,1.111585e+01,1.197970e+01,1.254918e+01,1.284183e+01,1.369772e+01,1.424023e+01,1.454311e+01,1.537401e+01,1.588028e+01,1.618677e+01,1.697802e+01,1.744119e+01,1.774476e+01,1.848431e+01,1.889984e+01,1.919430e+01,1.987270e+01,2.023816e+01,2.051780e+01,2.112816e+01,2.144290e+01,2.170265e+01,2.224042e+01,2.250534e+01,2.274086e+01,2.320360e+01,2.342077e+01,2.362849e+01,2.401559e+01,2.418805e+01,2.436515e+01,2.467758e+01,2.480897e+01,2.495343e+01,2.519340e+01,2.528783e+01,2.539831e+01,2.556906e+01,2.563084e+01,2.570668e+01,2.581222e+01,2.584572e+01,2.588685e+01,2.593175e+01,2.594128e+01,2.594816e+01,2.593734e+01,2.592703e+01,2.590058e+01,2.583917e+01,2.581291e+01,2.575442e+01,2.564762e+01,2.560900e+01,2.552007e+01,2.537306e+01,2.532534e+01,2.520783e+01,2.502563e+01,2.497174e+01,2.482767e+01,2.461514e+01,2.455763e+01,2.438918e+01,2.415092e+01,2.409203e+01,2.390144e+01,2.364178e+01,2.358339e+01,2.337295e+01,2.309593e+01,2.303962e+01,2.281163e+01,2.252095e+01,2.246802e+01,2.222474e+01,2.192381e+01,2.187527e+01,2.161893e+01,2.131083e+01,2.126748e+01,2.100021e+01,2.068773e+01,2.065014e+01,2.037400e+01,2.005961e+01,2.002816e+01,1.974511e+01,1.943102e+01,1.940592e+01,1.911782e+01,1.880595e+01,1.878730e+01,1.849586e+01,1.818791e+01,1.817564e+01,1.788249e+01,1.757992e+01,1.757390e+01,1.728052e+01,1.698457e+01,1.640978e+01,1.585130e+01,1.531062e+01,1.478889e+01,1.428703e+01,1.380575e+01,1.334551e+01,1.290664e+01,1.248925e+01,1.209337e+01,1.171887e+01,1.136552e+01,1.103300e+01,1.072091e+01,1.042879e+01,1.015611e+01,9.902297e+00,9.666745e+00,9.448810e+00,9.247825e+00,9.063103e+00,8.893945e+00,8.739642e+00,8.599481e+00,8.472747e+00,8.358727e+00,8.256715e+00,8.166011e+00,8.085926e+00,8.015785e+00,7.954925e+00,7.902699e+00,7.858480e+00,7.821657e+00,7.791639e+00,7.767859e+00,7.749768e+00,7.736840e+00,7.728573e+00,7.724488e+00,7.724129e+00,7.727065e+00,7.732886e+00,7.741208e+00,7.751671e+00,7.763938e+00,7.777693e+00,7.792646e+00,7.808526e+00
0.000000e+00,1.956741e-10,1.828467e-08,1.956076e-08,3.147638e-07,2.242972e-06,2.408743e-06,1.149484e-05,3.609597e-05,3.848150e-05,9.755498e-05,1.892062e-04,1.989607e-04,3.435274e-04,5.041317e-04,5.233674e-04,7.262872e-04,9.141400e-04,9.399957e-04,1.154456e-03,1.333998e-03,1.362558e-03,1.559828e-03,1.715320e-03,1.743807e-03,1.913409e-03,2.041586e-03,2.068420e-03,2.209141e-03,2.311817e-03,2.336157e-03,2.450192e-03,2.530627e-03,2.552024e-03,2.642443e-03,2.704005e-03,2.722222e-03,2.792103e-03,2.837859e-03,2.852791e-03,2.904952e-03,2.937581e-03,2.949212e-03,2.986161e-03,3.007970e-03,3.016348e-03,3.040291e-03,3.053253e-03,3.058472e-03,3.071342e-03,3.077134e-03,3.079324e-03,3.082811e-03,3.082855e-03,3.082172e-03,3.077749e-03,3.073248e-03,3.069863e-03,3.058812e-03,3.050780e-03,3.044876e-03,3.028313e-03,3.017599e-03,3.009366e-03,2.988260e-03,2.975576e-03,2.965204e-03,2.940395e-03,2.926332e-03,2.914012e-03,2.886226e-03,2.871275e-03,2.857192e-03,2.827057e-03,2.811619e-03,2.795956e-03,2.764013e-03,2.748417e-03,2.731346e-03,2.698062e-03,2.682572e-03,2.664260e-03,2.630033e-03,2.614861e-03,2.595467e-03,2.560638e-03,2.545950e-03,2.525622e-03,2.490483e-03,2.476407e-03,2.455284e-03,2.420082e-03,2.406715e-03,2.384927e-03,2.349869e-03,2.337280e-03,2.314951e-03,2.280212e-03,2.268448e-03,2.245689e-03,2.211414e-03,2.200504e-03,2.177419e-03,2.143730e-03,2.133686e-03,2.110371e-03,2.077365e-03,2.068189e-03,2.044732e-03,2.012488e-03,2.004171e-03,1.980651e-03,1.949233e-03,1.941757e-03,1.918248e-03,1.887705e-03,1.881045e-03,1.857613e-03,1.827981e-03,1.822110e-03,1.798814e-03,1.770119e-03,1.765004e-03,1.741899e-03,1.714158e-03,1.709764e-03,1.686898e-03,1.660120e-03,1.656409e-03,1.633825e-03,1.608013e-03,1.604948e-03,1.582684e-03,1.557835e-03,1.555377e-03,1.533467e-03,1.509575e-03,1.507684e-03,1.486157e-03,1.463211e-03,1.461849e-03,1.440731e-03,1.418716e-03,1.417845e-03,1.397159e-03,1.376057e-03,1.375640e-03,1.355405e-03,1.335198e-03,1.296480e-03,1.259444e-03,1.224044e-03,1.190235e-03,1.157969e-03,1.127199e-03,1.097877e-03,1.069954e-03,1.043383e-03,1.018115e-03,9.941044e-04,9.713038e-04,9.496681e-04,9.291527e-04,9.097139e-04,8.913091e-04,8.738970e-04,8.574371e-04,8.418903e-04,8.272185e-04,8.133849e-04,8.003538e-04,7.880907e-04,7.765622e-04,7.657360e-04,7.555811e-04,7.460674e-04,7.371659e-04,7.288487e-04,7.210890e-04,7.138607e-04,7.071390e-04,7.008999e-04,6.951202e-04,6.897779e-04,6.848514e-04,6.803204e-04,6.761650e-04,6.723664e-04,6.689064e-04,6.657675e-04,6.629329e-04,6.603866e-04,6.581131e-04,6.560977e-04,6.543261e-04,6.527847e-04,6.514605e-04,6.503411e-04
0.000000e+00,2.187730e-11,2.592189e-09,2.784250e-09,5.331819e-08,4.437813e-07,4.798285e-07,2.749260e-06,1.048161e-05,1.132073e-05,3.598067e-05,8.692733e-05,9.320443e-05,2.056909e-04,3.764599e-04,4.004579e-04,7.062985e-04,1.089626e-03,1.151228e-03,1.760292e-03,2.431080e-03,2.553911e-03,3.546803e-03,4.541211e-03,4.747435e-03,6.157949e-03,7.468628e-03,7.774447e-03,9.587546e-03,1.117022e-02,1.158312e-02,1.374313e-02,1.552862e-02,1.604651e-02,1.847005e-02,2.037722e-02,2.098919e-02,2.357878e-02,2.552567e-02,2.621375e-02,2.886965e-02,3.078169e-02,3.152313e-02,3.415229e-02,3.596736e-02,3.673697e-02,3.925893e-02,4.092968e-02,4.170196e-02,4.405198e-02,4.554612e-02,4.629697e-02,4.842696e-02,4.972603e-02,5.043396e-02,5.231182e-02,5.340924e-02,5.405614e-02,5.566411e-02,5.656282e-02,5.713436e-02,5.846681e-02,5.917686e-02,5.966252e-02,6.072354e-02,6.125993e-02,6.165277e-02,6.245385e-02,6.283461e-02,6.313099e-02,6.368887e-02,6.393350e-02,6.413255e-02,6.446740e-02,6.459572e-02,6.469892e-02,6.483279e-02,6.486404e-02,6.487472e-02,6.483040e-02,6.478261e-02,6.470548e-02,6.450553e-02,6.439519e-02,6.423599e-02,6.390214e-02,6.374398e-02,6.350910e-02,6.306180e-02,6.286875e-02,6.256495e-02,6.202308e-02,6.180626e-02,6.144047e-02,6.082120e-02,6.059004e-02,6.016914e-02,5.948793e-02,5.925029e-02,5.878099e-02,5.805156e-02,5.781389e-02,5.730265e-02,5.653709e-02,5.630457e-02,5.575751e-02,5.496638e-02,5.474311e-02,5.416597e-02,5.335841e-02,5.314752e-02,5.254565e-02,5.172952e-02,5.153334e-02,5.091169e-02,5.009371e-02,4.991387e-02,4.927699e-02,4.846285e-02,4.830043e-02,4.765247e-02,4.684695e-02,4.670255e-02,4.604729e-02,4.525439e-02,4.512821e-02,4.446906e-02,4.369207e-02,4.358399e-02,4.292406e-02,4.216565e-02,4.207532e-02,4.141738e-02,4.067973e-02,4.060657e-02,3.995312e-02,3.923793e-02,3.918122e-02,3.853449e-02,3.784309e-02,3.780199e-02,3.716396e-02,3.649733e-02,3.647092e-02,3.584335e-02,3.520219e-02,3.518950e-02,3.457394e-02,3.395870e-02,3.277913e-02,3.165100e-02,3.057425e-02,2.954856e-02,2.857342e-02,2.764812e-02,2.677181e-02,2.594354e-02,2.516225e-02,2.442679e-02,2.373596e-02,2.308851e-02,2.248314e-02,2.191851e-02,2.139328e-02,2.090607e-02,2.045549e-02,2.004016e-02,1.965869e-02,1.930969e-02,1.899175e-02,1.870350e-02,1.844355e-02,1.821055e-02,1.800312e-02,1.781993e-02,1.765965e-02,1.752097e-02,1.740260e-02,1.730326e-02,1.722172e-02,1.715674e-02,1.710712e-02,1.707171e-02,1.704937e-02,1.703898e-02,1.703948e-02,1.704983e-02,1.706902e-02,1.709611e-02,1.713017e-02,1.717031e-02,1.721570e-02,1.726554e-02,1.731908e-02,1.737560e-02,1.743444e-02,1.749498e-02,1.755663e-02
0.000000e+00,4.175529e-09,7.678035e-08,8.046476e-08,5.497831e-07,1.920861e-06,2.003987e-06,4.703464e-06,7.866602e-06,8.073234e-06,1.144982e-05,1.435599e-05,1.459798e-05,1.747547e-05,1.983727e-05,2.008681e-05,2.244659e-05,2.432812e-05,2.457119e-05,2.647677e-05,2.795222e-05,2.817881e-05,2.969206e-05,3.082752e-05,3.103047e-05,3.220726e-05,3.306035e-05,3.323483e-05,3.412486e-05,3.474522e-05,3.488827e-05,3.553527e-05,3.596525e-05,3.607535e-05,3.651739e-05,3.679284e-05,3.686959e-05,3.713961e-05,3.729069e-05,3.733451e-05,3.746087e-05,3.751284e-05,3.752477e-05,3.753182e-05,3.750574e-05,3.748724e-05,3.739584e-05,3.730922e-05,3.726205e-05,3.709000e-05,3.695733e-05,3.688346e-05,3.664594e-05,3.647917e-05,3.638066e-05,3.609061e-05,3.589955e-05,3.577853e-05,3.544696e-05,3.523962e-05,3.509820e-05,3.473441e-05,3.451731e-05,3.435757e-05,3.396946e-05,3.374783e-05,3.357176e-05,3.316598e-05,3.294400e-05,3.275353e-05,3.233567e-05,3.211665e-05,3.191359e-05,3.148834e-05,3.127485e-05,3.106092e-05,3.063219e-05,3.042618e-05,3.020298e-05,2.977403e-05,2.957698e-05,2.934599e-05,2.891948e-05,2.873245e-05,2.849505e-05,2.807319e-05,2.789688e-05,2.765434e-05,2.723891e-05,2.707377e-05,2.682725e-05,2.641968e-05,2.626594e-05,2.601649e-05,2.561793e-05,2.547563e-05,2.522422e-05,2.483555e-05,2.470459e-05,2.445210e-05,2.407400e-05,2.395416e-05,2.370138e-05,2.333434e-05,2.322533e-05,2.297297e-05,2.261733e-05,2.251879e-05,2.226748e-05,2.192346e-05,2.183498e-05,2.158530e-05,2.125301e-05,2.117413e-05,2.092659e-05,2.060605e-05,2.053631e-05,2.029136e-05,1.998251e-05,1.992144e-05,1.967947e-05,1.938220e-05,1.932930e-05,1.909066e-05,1.880482e-05,1.875961e-05,1.852461e-05,1.824999e-05,1.821198e-05,1.798089e-05,1.771725e-05,1.768598e-05,1.745902e-05,1.720611e-05,1.718111e-05,1.695847e-05,1.671603e-05,1.669685e-05,1.647870e-05,1.624642e-05,1.623265e-05,1.601912e-05,1.579671e-05,1.578791e-05,1.557912e-05,1.536627e-05,1.536206e-05,1.515809e-05,1.495449e-05,1.456461e-05,1.419180e-05,1.383548e-05,1.349505e-05,1.316994e-05,1.285956e-05,1.256336e-05,1.228079e-05,1.201132e-05,1.175444e-05,1.150964e-05,1.127643e-05,1.105435e-05,1.084293e-05,1.064173e-05,1.045033e-05,1.026831e-05,1.009529e-05,9.930870e-06,9.774694e-06,9.626404e-06,9.485661e-06,9.352136e-06,9.225516e-06,9.105498e-06,8.991791e-06,8.884117e-06,8.782208e-06,8.685806e-06,8.594666e-06,8.508551e-06,8.427234e-06,8.350496e-06,8.278130e-06,8.209935e-06,8.145720e-06,8.085301e-06,8.028501e-06,7.975152e-06,7.925092e-06,7.878167e-06,7.834227e-06,7.793132e-06,7.754744e-06,7.718935e-06,7.685578e-06,7.654555e-06,7.625752e-06,7.599060e-06
0.000000e+00,9.107260e-10,1.067283e-08,1.111062e-08,6.056917e-08,1.947800e-07,2.028863e-07,4.748102e-07,8.254972e-07,8.495509e-07,1.252537e-06,1.599942e-06,1.628448e-06,1.959744e-06,2.218883e-06,2.245494e-06,2.489083e-06,2.671864e-06,2.694662e-06,2.866276e-06,2.989557e-06,3.007662e-06,3.122227e-06,3.199996e-06,3.213051e-06,3.282914e-06,3.326324e-06,3.334318e-06,3.369508e-06,3.387346e-06,3.390497e-06,3.399084e-06,3.398212e-06,3.396876e-06,3.385307e-06,3.371043e-06,3.365651e-06,3.339045e-06,3.315479e-06,3.306496e-06,3.268899e-06,3.239152e-06,3.227047e-06,3.181642e-06,3.148079e-06,3.133304e-06,3.082581e-06,3.046976e-06,3.029957e-06,2.975856e-06,2.939525e-06,2.920653e-06,2.864676e-06,2.828578e-06,2.808210e-06,2.751507e-06,2.716329e-06,2.694785e-06,2.638232e-06,2.604450e-06,2.582012e-06,2.526266e-06,2.494198e-06,2.471114e-06,2.416659e-06,2.386502e-06,2.362989e-06,2.310174e-06,2.282033e-06,2.258277e-06,2.207346e-06,2.181257e-06,2.157421e-06,2.108533e-06,2.084486e-06,2.060706e-06,2.013957e-06,1.991904e-06,1.968298e-06,1.923734e-06,1.903603e-06,1.880267e-06,1.837897e-06,1.819600e-06,1.796617e-06,1.756419e-06,1.739857e-06,1.717294e-06,1.679229e-06,1.664296e-06,1.642208e-06,1.606218e-06,1.592808e-06,1.571240e-06,1.537256e-06,1.525262e-06,1.504249e-06,1.472197e-06,1.461514e-06,1.441082e-06,1.410882e-06,1.401408e-06,1.381578e-06,1.353148e-06,1.344786e-06,1.325571e-06,1.298827e-06,1.291485e-06,1.272895e-06,1.247754e-06,1.241344e-06,1.223383e-06,1.199763e-06,1.194203e-06,1.176873e-06,1.154693e-06,1.149907e-06,1.133204e-06,1.112387e-06,1.108303e-06,1.092223e-06,1.072695e-06,1.069245e-06,1.053782e-06,1.035469e-06,1.032594e-06,1.017738e-06,1.000572e-06,9.982127e-07,9.839541e-07,9.678689e-07,9.659737e-07,9.523006e-07,9.372337e-07,9.357541e-07,9.226536e-07,9.085456e-07,9.074369e-07,8.948956e-07,8.816900e-07,8.809115e-07,8.689152e-07,8.565584e-07,8.560727e-07,8.446069e-07,8.330484e-07,8.328211e-07,8.218709e-07,8.110628e-07,7.907088e-07,7.716753e-07,7.538830e-07,7.372574e-07,7.217279e-07,7.072284e-07,6.936964e-07,6.810729e-07,6.693027e-07,6.583336e-07,6.481165e-07,6.386053e-07,6.297565e-07,6.215294e-07,6.138854e-07,6.067885e-07,6.002046e-07,5.941019e-07,5.884503e-07,5.832214e-07,5.783889e-07,5.739277e-07,5.698144e-07,5.660268e-07,5.625444e-07,5.593476e-07,5.564181e-07,5.537386e-07,5.512932e-07,5.490665e-07,5.470442e-07,5.452131e-07,5.435604e-07,5.420745e-07,5.407441e-07,5.395588e-07,5.385089e-07,5.375851e-07,5.367789e-07,5.360821e-07,5.354870e-07,5.349867e-07,5.345744e-07,5.342437e-07,5.339888e-07,5.338042e-07,5.336847e-07,5.336253e-07,5.336217e-07
0.000000e+00,4.934917e-10,6.205770e-09,6.471123e-09,3.773141e-08,1.241630e-07,1.293359e-07,2.965798e-07,4.940142e-07,5.069919e-07,7.200076e-07,9.043824e-07,9.197713e-07,1.103215e-06,1.254459e-06,1.270480e-06,1.422393e-06,1.544137e-06,1.559911e-06,1.683989e-06,1.780652e-06,1.795550e-06,1.895472e-06,1.971023e-06,1.984588e-06,2.063682e-06,2.121580e-06,2.133492e-06,2.194710e-06,2.237934e-06,2.247983e-06,2.293915e-06,2.325011e-06,2.333072e-06,2.365979e-06,2.387112e-06,2.393128e-06,2.414976e-06,2.427982e-06,2.431949e-06,2.444441e-06,2.450870e-06,2.452822e-06,2.457431e-06,2.458586e-06,2.458588e-06,2.456589e-06,2.453567e-06,2.451708e-06,2.444200e-06,2.437923e-06,2.434304e-06,2.422239e-06,2.413474e-06,2.408209e-06,2.392404e-06,2.381793e-06,2.375002e-06,2.356168e-06,2.344243e-06,2.336051e-06,2.314791e-06,2.301987e-06,2.292515e-06,2.269344e-06,2.256018e-06,2.245387e-06,2.220746e-06,2.207189e-06,2.195515e-06,2.169779e-06,2.156224e-06,2.143620e-06,2.117110e-06,2.103744e-06,2.090317e-06,2.063303e-06,2.050275e-06,2.036125e-06,2.008837e-06,1.996261e-06,1.981486e-06,1.954116e-06,1.942078e-06,1.926768e-06,1.899478e-06,1.888042e-06,1.872280e-06,1.845205e-06,1.834415e-06,1.818280e-06,1.791530e-06,1.781417e-06,1.764980e-06,1.738648e-06,1.729226e-06,1.712555e-06,1.686715e-06,1.677991e-06,1.661145e-06,1.635857e-06,1.627827e-06,1.610864e-06,1.586175e-06,1.578829e-06,1.561800e-06,1.537746e-06,1.531069e-06,1.514020e-06,1.490629e-06,1.484602e-06,1.467576e-06,1.444866e-06,1.439467e-06,1.422502e-06,1.400486e-06,1.395690e-06,1.378820e-06,1.357506e-06,1.353285e-06,1.336543e-06,1.315932e-06,1.312259e-06,1.295672e-06,1.275763e-06,1.272610e-06,1.256203e-06,1.236990e-06,1.234328e-06,1.218123e-06,1.199600e-06,1.197400e-06,1.181418e-06,1.163574e-06,1.161808e-06,1.146065e-06,1.128889e-06,1.127529e-06,1.112041e-06,1.095519e-06,1.094538e-06,1.079318e-06,1.063436e-06,1.062807e-06,1.047868e-06,1.032610e-06,1.032307e-06,1.017658e-06,1.003008e-06,9.748772e-07,9.478822e-07,9.219903e-07,8.971683e-07,8.733831e-07,8.506017e-07,8.287914e-07,8.079199e-07,7.879555e-07,7.688670e-07,7.506238e-07,7.331959e-07,7.165542e-07,7.006702e-07,6.855162e-07,6.710654e-07,6.572914e-07,6.441691e-07,6.316737e-07,6.197814e-07,6.084691e-07,5.977145e-07,5.874959e-07,5.777926e-07,5.685842e-07,5.598513e-07,5.515751e-07,5.437373e-07,5.363204e-07,5.293075e-07,5.226823e-07,5.164289e-07,5.105321e-07,5.049773e-07,4.997504e-07,4.948376e-07,4.902259e-07,4.859026e-07,4.818554e-07,4.780725e-07,4.745428e-07,4.712551e-07,4.681990e-07,4.653642e-07,4.627412e-07,4.603203e-07,4.580926e-07,4.560492e-07,4.541818e-07
0.000000e+00,9.818414e-10,1.154047e-07,1.238897e-07,2.275086e-06,1.798365e-05,1.940540e-05,1.068718e-04,4.021470e-04,4.343489e-04,1.399924e-03,3.489122e-03,3.753449e-03,8.676866e-03,1.663540e-02,1.778948e-02,3.308340e-02,5.344268e-02,5.681446e-02,9.137452e-02,1.315898e-01,1.391642e-01,2.024780e-01,2.691970e-01,2.834082e-01,3.837704e-01,4.816204e-01,5.050495e-01,6.483665e-01,7.793983e-01,8.144624e-01,1.003697e+00,1.167367e+00,1.216057e+00,1.451183e+00,1.644694e+00,1.708390e+00,1.986703e+00,2.205527e+00,2.284891e+00,2.601507e+00,2.839973e+00,2.934922e+00,3.283366e+00,3.535214e+00,3.644956e+00,4.017740e+00,4.276606e+00,4.399716e+00,4.788871e+00,5.048671e+00,5.183200e+00,5.580727e+00,5.835933e+00,5.979531e+00,6.377758e+00,6.623586e+00,6.773633e+00,7.165477e+00,7.397988e+00,7.551712e+00,7.930869e+00,8.146998e+00,8.301591e+00,8.662640e+00,8.860178e+00,9.012892e+00,9.351345e+00,9.528885e+00,9.677110e+00,9.989413e+00,1.014627e+01,1.028759e+01,1.057109e+01,1.070719e+01,1.083946e+01,1.109234e+01,1.120814e+01,1.132947e+01,1.155068e+01,1.164705e+01,1.175586e+01,1.194501e+01,1.202316e+01,1.211816e+01,1.227544e+01,1.233680e+01,1.241702e+01,1.254311e+01,1.258928e+01,1.265400e+01,1.275000e+01,1.278265e+01,1.283146e+01,1.289876e+01,1.291961e+01,1.295232e+01,1.299258e+01,1.300331e+01,1.301998e+01,1.303501e+01,1.303728e+01,1.303814e+01,1.302989e+01,1.302526e+01,1.301073e+01,1.298120e+01,1.297113e+01,1.294178e+01,1.289299e+01,1.287884e+01,1.283534e+01,1.276932e+01,1.275229e+01,1.269544e+01,1.261416e+01,1.259534e+01,1.252599e+01,1.243138e+01,1.241173e+01,1.233080e+01,1.222468e+01,1.220503e+01,1.211347e+01,1.199759e+01,1.197864e+01,1.187744e+01,1.175342e+01,1.173577e+01,1.162592e+01,1.149529e+01,1.147942e+01,1.136189e+01,1.122606e+01,1.121235e+01,1.108812e+01,1.094838e+01,1.093714e+01,1.080715e+01,1.066469e+01,1.065611e+01,1.052128e+01,1.037717e+01,1.037139e+01,1.023260e+01,1.008781e+01,1.008492e+01,9.943010e+00,9.798400e+00,9.513379e+00,9.231211e+00,8.953085e+00,8.680035e+00,8.412953e+00,8.152595e+00,7.899596e+00,7.654479e+00,7.417666e+00,7.189486e+00,6.970187e+00,6.759941e+00,6.558851e+00,6.366966e+00,6.184277e+00,6.010732e+00,5.846235e+00,5.690659e+00,5.543841e+00,5.405595e+00,5.275710e+00,5.153959e+00,5.040096e+00,4.933862e+00,4.834991e+00,4.743205e+00,4.658221e+00,4.579754e+00,4.507514e+00,4.441211e+00,4.380556e+00,4.325261e+00,4.275041e+00,4.229615e+00,4.188706e+00,4.152042e+00,4.119358e+00,4.090396e+00,4.064902e+00,4.042633e+00,4.023353e+00,4.006833e+00,3.992853e+00,3.981203e+00,3.971679e+00,3.964090e+00,3.958250e+00,3.953985e+00,3.951128e+00
0.000000e+00,2.281156e-09,1.147653e-07,1.217653e-07,1.419658e-06,7.552449e-06,8.004181e-06,2.658183e-05,5.647354e-05,5.866786e-05,9.714622e-05,1.323032e-04,1.352593e-04,1.704555e-04,1.992383e-04,2.022690e-04,2.308075e-04,2.533899e-04,2.562952e-04,2.789669e-04,2.963837e-04,2.990468e-04,3.167450e-04,3.299146e-04,3.322574e-04,3.457662e-04,3.554677e-04,3.574411e-04,3.674392e-04,3.743287e-04,3.759063e-04,3.829771e-04,3.876034e-04,3.887761e-04,3.934179e-04,3.962372e-04,3.970084e-04,3.996446e-04,4.010340e-04,4.014161e-04,4.024050e-04,4.026751e-04,4.026869e-04,4.023308e-04,4.017363e-04,4.014004e-04,3.999539e-04,3.987029e-04,3.980446e-04,3.957216e-04,3.939837e-04,3.930296e-04,3.900095e-04,3.879220e-04,3.866990e-04,3.831323e-04,3.808061e-04,3.793407e-04,3.753529e-04,3.728770e-04,3.711950e-04,3.668908e-04,3.643360e-04,3.624621e-04,3.579287e-04,3.553510e-04,3.533086e-04,3.486181e-04,3.460613e-04,3.438722e-04,3.390844e-04,3.365823e-04,3.342670e-04,3.294309e-04,3.270091e-04,3.245863e-04,3.197423e-04,3.174197e-04,3.149069e-04,3.100876e-04,3.078780e-04,3.052910e-04,3.005229e-04,2.984354e-04,2.957888e-04,2.910932e-04,2.891335e-04,2.864403e-04,2.818340e-04,2.800052e-04,2.772774e-04,2.727734e-04,2.710762e-04,2.683246e-04,2.639330e-04,2.623664e-04,2.596005e-04,2.553288e-04,2.538904e-04,2.511191e-04,2.469725e-04,2.456591e-04,2.428899e-04,2.388721e-04,2.376794e-04,2.349194e-04,2.310324e-04,2.299558e-04,2.272111e-04,2.234558e-04,2.224902e-04,2.197663e-04,2.161425e-04,2.152826e-04,2.125843e-04,2.090913e-04,2.083315e-04,2.056631e-04,2.022993e-04,2.016342e-04,1.989993e-04,1.957626e-04,1.951866e-04,1.925885e-04,1.894765e-04,1.889842e-04,1.864257e-04,1.834356e-04,1.830217e-04,1.805052e-04,1.776340e-04,1.772933e-04,1.748209e-04,1.720653e-04,1.717929e-04,1.693663e-04,1.667231e-04,1.665140e-04,1.641347e-04,1.616004e-04,1.614501e-04,1.591193e-04,1.566906e-04,1.565945e-04,1.543132e-04,1.519865e-04,1.519405e-04,1.497095e-04,1.474814e-04,1.432105e-04,1.391213e-04,1.352072e-04,1.314619e-04,1.278791e-04,1.244529e-04,1.211772e-04,1.180463e-04,1.150547e-04,1.121968e-04,1.094676e-04,1.068618e-04,1.043747e-04,1.020014e-04,9.973746e-05,9.757843e-05,9.552009e-05,9.355835e-05,9.168927e-05,8.990907e-05,8.821411e-05,8.660089e-05,8.506602e-05,8.360628e-05,8.221855e-05,8.089983e-05,7.964725e-05,7.845804e-05,7.732954e-05,7.625920e-05,7.524457e-05,7.428329e-05,7.337310e-05,7.251182e-05,7.169737e-05,7.092774e-05,7.020101e-05,6.951533e-05,6.886892e-05,6.826007e-05,6.768716e-05,6.714860e-05,6.664289e-05,6.616857e-05,6.572426e-05,6.530861e-05,6.492034e-05,6.455823e-05,6.422108e-05
0.000000e+00,6.353971e-11,8.198818e-09,8.838023e-09,2.044517e-07,1.874840e-06,2.029681e-06,1.117840e-05,3.711675e-05,3.964484e-05,1.022787e-04,2.001882e-04,2.107087e-04,3.697350e-04,5.544065e-04,5.771435e-04,8.255415e-04,1.069974e-03,1.104740e-03,1.403810e-03,1.669052e-03,1.712501e-03,2.022033e-03,2.277513e-03,2.325401e-03,2.617359e-03,2.845631e-03,2.894234e-03,3.153662e-03,3.347720e-03,3.394313e-03,3.615639e-03,3.774857e-03,3.817663e-03,4.000805e-03,4.127778e-03,4.165749e-03,4.313350e-03,4.411963e-03,4.444554e-03,4.560354e-03,4.634753e-03,4.661748e-03,4.749721e-03,4.803827e-03,4.825224e-03,4.889168e-03,4.926492e-03,4.942420e-03,4.985796e-03,5.009389e-03,5.020064e-03,5.045943e-03,5.058416e-03,5.064107e-03,5.075183e-03,5.078749e-03,5.079757e-03,5.078374e-03,5.074898e-03,5.071542e-03,5.059734e-03,5.050779e-03,5.043388e-03,5.022912e-03,5.009783e-03,4.998684e-03,4.971056e-03,4.954838e-03,4.940353e-03,4.906877e-03,4.888468e-03,4.870909e-03,4.832708e-03,4.812845e-03,4.792513e-03,4.750548e-03,4.729837e-03,4.707018e-03,4.662114e-03,4.641046e-03,4.616012e-03,4.568875e-03,4.547847e-03,4.520854e-03,4.472087e-03,4.451414e-03,4.422703e-03,4.372818e-03,4.352750e-03,4.322544e-03,4.271979e-03,4.252708e-03,4.221216e-03,4.170340e-03,4.152012e-03,4.119428e-03,4.068553e-03,4.051275e-03,4.017779e-03,3.967165e-03,3.951012e-03,3.916768e-03,3.866635e-03,3.851654e-03,3.816814e-03,3.767344e-03,3.753561e-03,3.718263e-03,3.669605e-03,3.657027e-03,3.621401e-03,3.573676e-03,3.562297e-03,3.526457e-03,3.479764e-03,3.469565e-03,3.433618e-03,3.388034e-03,3.378986e-03,3.343029e-03,3.298615e-03,3.290684e-03,3.254803e-03,3.211603e-03,3.204748e-03,3.169023e-03,3.127071e-03,3.121248e-03,3.085750e-03,3.045065e-03,3.040226e-03,3.005020e-03,2.965615e-03,2.961710e-03,2.926853e-03,2.888733e-03,2.885711e-03,2.851254e-03,2.814416e-03,2.812226e-03,2.778216e-03,2.742651e-03,2.741242e-03,2.707719e-03,2.673416e-03,2.672736e-03,2.639737e-03,2.606678e-03,2.543030e-03,2.481751e-03,2.422794e-03,2.366109e-03,2.311643e-03,2.259342e-03,2.209150e-03,2.161009e-03,2.114862e-03,2.070651e-03,2.028318e-03,1.987805e-03,1.949054e-03,1.912010e-03,1.876616e-03,1.842818e-03,1.810561e-03,1.779792e-03,1.750459e-03,1.722513e-03,1.695902e-03,1.670580e-03,1.646498e-03,1.623611e-03,1.601875e-03,1.581246e-03,1.561681e-03,1.543140e-03,1.525584e-03,1.508973e-03,1.493270e-03,1.478440e-03,1.464445e-03,1.451254e-03,1.438832e-03,1.427148e-03,1.416171e-03,1.405870e-03,1.396218e-03,1.387185e-03,1.378745e-03,1.370872e-03,1.363540e-03,1.356725e-03,1.350403e-03,1.344552e-03,1.339149e-03,1.334174e-03,1.329605e-03
0.000000e+00,8.989956e-11,9.660041e-09,1.035511e-08,1.800548e-07,1.377969e-06,1.484956e-06,7.846947e-06,2.769257e-05,2.975743e-05,8.655705e-05,1.917362e-04,2.040008e-04,4.082148e-04,6.833740e-04,7.197648e-04,1.150103e-03,1.628424e-03,1.700662e-03,2.363908e-03,3.013578e-03,3.125439e-03,3.966417e-03,4.718886e-03,4.865835e-03,5.802398e-03,6.583863e-03,6.755896e-03,7.708118e-03,8.458342e-03,8.643374e-03,9.548681e-03,1.022732e-02,1.041375e-02,1.123080e-02,1.181617e-02,1.199431e-02,1.270071e-02,1.318547e-02,1.334805e-02,1.393573e-02,1.432214e-02,1.446421e-02,1.493478e-02,1.523072e-02,1.534933e-02,1.571021e-02,1.592629e-02,1.602005e-02,1.628168e-02,1.642936e-02,1.649802e-02,1.667200e-02,1.676247e-02,1.680655e-02,1.690451e-02,1.694809e-02,1.696865e-02,1.700159e-02,1.700744e-02,1.700586e-02,1.698383e-02,1.695991e-02,1.693777e-02,1.686979e-02,1.682290e-02,1.678188e-02,1.667590e-02,1.661177e-02,1.655358e-02,1.641654e-02,1.633997e-02,1.626630e-02,1.610425e-02,1.601921e-02,1.593171e-02,1.574988e-02,1.565964e-02,1.555990e-02,1.536280e-02,1.527002e-02,1.515956e-02,1.495106e-02,1.485788e-02,1.473815e-02,1.452158e-02,1.442970e-02,1.430206e-02,1.408025e-02,1.399103e-02,1.385676e-02,1.363212e-02,1.354657e-02,1.340686e-02,1.318144e-02,1.310033e-02,1.295629e-02,1.273181e-02,1.265570e-02,1.250835e-02,1.228624e-02,1.221550e-02,1.206579e-02,1.184725e-02,1.178210e-02,1.163088e-02,1.141690e-02,1.135744e-02,1.120550e-02,1.099687e-02,1.094309e-02,1.079115e-02,1.058851e-02,1.054034e-02,1.038904e-02,1.019287e-02,1.015017e-02,1.000009e-02,9.810784e-03,9.773344e-03,9.625010e-03,9.442830e-03,9.410423e-03,9.264289e-03,9.089423e-03,9.061787e-03,8.918259e-03,8.750816e-03,8.727672e-03,8.587105e-03,8.427129e-03,8.408182e-03,8.270885e-03,8.118365e-03,8.103317e-03,7.969554e-03,7.824433e-03,7.812982e-03,7.682978e-03,7.545162e-03,7.537008e-03,7.410953e-03,7.280315e-03,7.275163e-03,7.153211e-03,7.029600e-03,7.027163e-03,6.909438e-03,6.792679e-03,6.571353e-03,6.362799e-03,6.166609e-03,5.982364e-03,5.809635e-03,5.647985e-03,5.496978e-03,5.356176e-03,5.225145e-03,5.103458e-03,4.990690e-03,4.886430e-03,4.790270e-03,4.701817e-03,4.620684e-03,4.546497e-03,4.478894e-03,4.417523e-03,4.362044e-03,4.312128e-03,4.267460e-03,4.227734e-03,4.192654e-03,4.161939e-03,4.135317e-03,4.112525e-03,4.093313e-03,4.077440e-03,4.064675e-03,4.054797e-03,4.047595e-03,4.042867e-03,4.040418e-03,4.040064e-03,4.041629e-03,4.044945e-03,4.049852e-03,4.056198e-03,4.063838e-03,4.072635e-03,4.082460e-03,4.093189e-03,4.104707e-03,4.116903e-03,4.129674e-03,4.142924e-03,4.156562e-03,4.170502e-03,4.184665e-03
0.000000e+00,1.052772e-10,1.379227e-08,1.487565e-08,3.552828e-07,3.351181e-06,3.631371e-06,2.030910e-05,6.762405e-05,7.222630e-05,1.858148e-04,3.623245e-04,3.812423e-04,6.665626e-04,9.972364e-04,1.037946e-03,1.483174e-03,1.923007e-03,1.985767e-03,2.528342e-03,3.014595e-03,3.094795e-03,3.671415e-03,4.155535e-03,4.247241e-03,4.813944e-03,5.267539e-03,5.365491e-03,5.897712e-03,6.307713e-03,6.407895e-03,6.894421e-03,7.256939e-03,7.356469e-03,7.793788e-03,8.109690e-03,8.206523e-03,8.595087e-03,8.867404e-03,8.960068e-03,9.302169e-03,9.534744e-03,9.622158e-03,9.920841e-03,1.011768e-02,1.019904e-02,1.045756e-02,1.062253e-02,1.069722e-02,1.091882e-02,1.105555e-02,1.112312e-02,1.131088e-02,1.142270e-02,1.148282e-02,1.163965e-02,1.172960e-02,1.178205e-02,1.191068e-02,1.198150e-02,1.202616e-02,1.212910e-02,1.218330e-02,1.222010e-02,1.229971e-02,1.233952e-02,1.236847e-02,1.242692e-02,1.245437e-02,1.247555e-02,1.251484e-02,1.253174e-02,1.254526e-02,1.256726e-02,1.257523e-02,1.258125e-02,1.258767e-02,1.258817e-02,1.258689e-02,1.257930e-02,1.257362e-02,1.256526e-02,1.254512e-02,1.253442e-02,1.251922e-02,1.248789e-02,1.247318e-02,1.245142e-02,1.241011e-02,1.239230e-02,1.236425e-02,1.231412e-02,1.229400e-02,1.225996e-02,1.220203e-02,1.218031e-02,1.214058e-02,1.207583e-02,1.205310e-02,1.200799e-02,1.193729e-02,1.191409e-02,1.186391e-02,1.178806e-02,1.176485e-02,1.170991e-02,1.162965e-02,1.160682e-02,1.154744e-02,1.146344e-02,1.144133e-02,1.137781e-02,1.129069e-02,1.126958e-02,1.120223e-02,1.111255e-02,1.109267e-02,1.102178e-02,1.093006e-02,1.091161e-02,1.083748e-02,1.074417e-02,1.072730e-02,1.065023e-02,1.055575e-02,1.054059e-02,1.046084e-02,1.036559e-02,1.035223e-02,1.027008e-02,1.017439e-02,1.016290e-02,1.007861e-02,9.982800e-03,9.973221e-03,9.887041e-03,9.791397e-03,9.783752e-03,9.695931e-03,9.600703e-03,9.594998e-03,9.505770e-03,9.411186e-03,9.407411e-03,9.317002e-03,9.223265e-03,9.221395e-03,9.130021e-03,9.037313e-03,8.855487e-03,8.676203e-03,8.499712e-03,8.326235e-03,8.155965e-03,7.989069e-03,7.825689e-03,7.665945e-03,7.509941e-03,7.357758e-03,7.209463e-03,7.065108e-03,6.924729e-03,6.788351e-03,6.655988e-03,6.527641e-03,6.403305e-03,6.282964e-03,6.166595e-03,6.054167e-03,5.945646e-03,5.840988e-03,5.740147e-03,5.643071e-03,5.549705e-03,5.459989e-03,5.373861e-03,5.291255e-03,5.212104e-03,5.136337e-03,5.063883e-03,4.994668e-03,4.928618e-03,4.865656e-03,4.805707e-03,4.748691e-03,4.694531e-03,4.643149e-03,4.594466e-03,4.548404e-03,4.504883e-03,4.463825e-03,4.425152e-03,4.388787e-03,4.354651e-03,4.322668e-03,4.292762e-03,4.264858e-03,4.238882e-03
0.000000e+00,6.720147e-09,1.059964e-07,1.106127e-07,6.809152e-07,2.507643e-06,2.626931e-06,7.032493e-06,1.356221e-05,1.403724e-05,2.240215e-05,3.013107e-05,3.078489e-05,3.861703e-05,4.508709e-05,4.577177e-05,5.225174e-05,5.742278e-05,5.809099e-05,6.333021e-05,6.738737e-05,6.801046e-05,7.217146e-05,7.529319e-05,7.585108e-05,7.908524e-05,8.142865e-05,8.190779e-05,8.435056e-05,8.605140e-05,8.644332e-05,8.821394e-05,8.938815e-05,8.968837e-05,9.089087e-05,9.163693e-05,9.184414e-05,9.256925e-05,9.297051e-05,9.308579e-05,9.341199e-05,9.353854e-05,9.356476e-05,9.355980e-05,9.347032e-05,9.341167e-05,9.313386e-05,9.287729e-05,9.273887e-05,9.223827e-05,9.185526e-05,9.164277e-05,9.096226e-05,9.048637e-05,9.020589e-05,8.938210e-05,8.884095e-05,8.849870e-05,8.756287e-05,8.697897e-05,8.658122e-05,8.555986e-05,8.495150e-05,8.450439e-05,8.341997e-05,8.280183e-05,8.231133e-05,8.118282e-05,8.056657e-05,8.003840e-05,7.888173e-05,7.827653e-05,7.771612e-05,7.654461e-05,7.595752e-05,7.536998e-05,7.419473e-05,7.363107e-05,7.302115e-05,7.185132e-05,7.131497e-05,7.068710e-05,6.953018e-05,6.902385e-05,6.838210e-05,6.724419e-05,6.676961e-05,6.611770e-05,6.500370e-05,6.456181e-05,6.390314e-05,6.281689e-05,6.240801e-05,6.174567e-05,6.069014e-05,6.031409e-05,5.965085e-05,5.862827e-05,5.828448e-05,5.762281e-05,5.663480e-05,5.632237e-05,5.566451e-05,5.471213e-05,5.442994e-05,5.377784e-05,5.286174e-05,5.260851e-05,5.196390e-05,5.108433e-05,5.085864e-05,5.022304e-05,4.937997e-05,4.918033e-05,4.855504e-05,4.774817e-05,4.757307e-05,4.695922e-05,4.618804e-05,4.603592e-05,4.543446e-05,4.469831e-05,4.456764e-05,4.397938e-05,4.327746e-05,4.316672e-05,4.259232e-05,4.192373e-05,4.183143e-05,4.127143e-05,4.063518e-05,4.055990e-05,4.001472e-05,3.940977e-05,3.935012e-05,3.882008e-05,3.824536e-05,3.820003e-05,3.768535e-05,3.713975e-05,3.710747e-05,3.660830e-05,3.609070e-05,3.607028e-05,3.558669e-05,3.509598e-05,3.508630e-05,3.461829e-05,3.415334e-05,3.326926e-05,3.243194e-05,3.163931e-05,3.088933e-05,3.018003e-05,2.950951e-05,2.887589e-05,2.827739e-05,2.771229e-05,2.717892e-05,2.667568e-05,2.620106e-05,2.575357e-05,2.533183e-05,2.493448e-05,2.456026e-05,2.420793e-05,2.387635e-05,2.356439e-05,2.327100e-05,2.299519e-05,2.273599e-05,2.249251e-05,2.226387e-05,2.204927e-05,2.184793e-05,2.165910e-05,2.148211e-05,2.131627e-05,2.116098e-05,2.101562e-05,2.087965e-05,2.075253e-05,2.063375e-05,2.052284e-05,2.041934e-05,2.032283e-05,2.023291e-05,2.014919e-05,2.007132e-05,1.999894e-05,1.993174e-05,1.986942e-05,1.981168e-05,1.975825e-05,1.970888e-05,1.966332e-05,1.962134e-05,1.958273e-05
0.000000e+00,2.926208e-11,3.518214e-09,3.782952e-09,7.693920e-08,6.561504e-07,7.093391e-07,3.934450e-06,1.397281e-05,1.500855e-05,4.302122e-05,9.341412e-05,9.920721e-05,1.939880e-04,3.182376e-04,3.344474e-04,5.230480e-04,7.271725e-04,7.575664e-04,1.031864e-03,1.292862e-03,1.337076e-03,1.662872e-03,1.944637e-03,1.998591e-03,2.334128e-03,2.602816e-03,2.660544e-03,2.970427e-03,3.202519e-03,3.258042e-03,3.519307e-03,3.703110e-03,3.751669e-03,3.953912e-03,4.087374e-03,4.125931e-03,4.268494e-03,4.355848e-03,4.383030e-03,4.471427e-03,4.520101e-03,4.535860e-03,4.578652e-03,4.596997e-03,4.602167e-03,4.608724e-03,4.604631e-03,4.600536e-03,4.579674e-03,4.559890e-03,4.548033e-03,4.507331e-03,4.477241e-03,4.459099e-03,4.404691e-03,4.368381e-03,4.345288e-03,4.281914e-03,4.242356e-03,4.215451e-03,4.146651e-03,4.105933e-03,4.076153e-03,4.004494e-03,3.964030e-03,3.932126e-03,3.859427e-03,3.820144e-03,3.786708e-03,3.714230e-03,3.676709e-03,3.642205e-03,3.570808e-03,3.535390e-03,3.500180e-03,3.430436e-03,3.397302e-03,3.361670e-03,3.293955e-03,3.263175e-03,3.227349e-03,3.161896e-03,3.133471e-03,3.097631e-03,3.034579e-03,3.008463e-03,2.972757e-03,2.912177e-03,2.888295e-03,2.852846e-03,2.794764e-03,2.773021e-03,2.737931e-03,2.682342e-03,2.662633e-03,2.627989e-03,2.574864e-03,2.557079e-03,2.522955e-03,2.472251e-03,2.456278e-03,2.422737e-03,2.374398e-03,2.360124e-03,2.327220e-03,2.281185e-03,2.268498e-03,2.236276e-03,2.192476e-03,2.181267e-03,2.149767e-03,2.108130e-03,2.098295e-03,2.067548e-03,2.028002e-03,2.019439e-03,1.989473e-03,1.951942e-03,1.944554e-03,1.915390e-03,1.879799e-03,1.873493e-03,1.845150e-03,1.811424e-03,1.806112e-03,1.778602e-03,1.746667e-03,1.742266e-03,1.715599e-03,1.685382e-03,1.681812e-03,1.655996e-03,1.627425e-03,1.624612e-03,1.599651e-03,1.572656e-03,1.570530e-03,1.546424e-03,1.520938e-03,1.519432e-03,1.496181e-03,1.472137e-03,1.471190e-03,1.448791e-03,1.426126e-03,1.425680e-03,1.404127e-03,1.382780e-03,1.342373e-03,1.304348e-03,1.268595e-03,1.235010e-03,1.203493e-03,1.173948e-03,1.146280e-03,1.120402e-03,1.096227e-03,1.073674e-03,1.052664e-03,1.033121e-03,1.014972e-03,9.981490e-04,9.825841e-04,9.682138e-04,9.549766e-04,9.428138e-04,9.316690e-04,9.214882e-04,9.122193e-04,9.038129e-04,8.962211e-04,8.893983e-04,8.833007e-04,8.778863e-04,8.731148e-04,8.689477e-04,8.653481e-04,8.622804e-04,8.597110e-04,8.576072e-04,8.559381e-04,8.546739e-04,8.537862e-04,8.532480e-04,8.530332e-04,8.531172e-04,8.534764e-04,8.540881e-04,8.549311e-04,8.559849e-04,8.572302e-04,8.586484e-04,8.602222e-04,8.619350e-04,8.637710e-04,8.657155e-04,8.677545e-04
0.000000e+00,1.298069e-10,1.714144e-08,1.848009e-08,4.038419e-07,3.220947e-06,3.463753e-06,1.605038e-05,4.541490e-05,4.802821e-05,1.055732e-04,1.801279e-04,1.874332e-04,2.868749e-04,3.844074e-04,3.954474e-04,5.056580e-04,5.996181e-04,6.120552e-04,7.112539e-04,7.894405e-04,8.015043e-04,8.821796e-04,9.425851e-04,9.533492e-04,1.015472e-03,1.060116e-03,1.069199e-03,1.115253e-03,1.147063e-03,1.154363e-03,1.187226e-03,1.208944e-03,1.214495e-03,1.236765e-03,1.250685e-03,1.254582e-03,1.268435e-03,1.276397e-03,1.278767e-03,1.285975e-03,1.289431e-03,1.290413e-03,1.292402e-03,1.292490e-03,1.292226e-03,1.290140e-03,1.287749e-03,1.286373e-03,1.281129e-03,1.276948e-03,1.274590e-03,1.266919e-03,1.261483e-03,1.258261e-03,1.248747e-03,1.242469e-03,1.238492e-03,1.227599e-03,1.220796e-03,1.216161e-03,1.204260e-03,1.197175e-03,1.191970e-03,1.179355e-03,1.172171e-03,1.166474e-03,1.153379e-03,1.146236e-03,1.140116e-03,1.126726e-03,1.119725e-03,1.113245e-03,1.099706e-03,1.092923e-03,1.086137e-03,1.072563e-03,1.066053e-03,1.059008e-03,1.045490e-03,1.039290e-03,1.032028e-03,1.018636e-03,1.012770e-03,1.005329e-03,9.921185e-04,9.866011e-04,9.790141e-04,9.660253e-04,9.608639e-04,9.531597e-04,9.404242e-04,9.356200e-04,9.278245e-04,9.153655e-04,9.109155e-04,9.030514e-04,8.908856e-04,8.867835e-04,8.788710e-04,8.670100e-04,8.632472e-04,8.553044e-04,8.437555e-04,8.403215e-04,8.323644e-04,8.211317e-04,8.180150e-04,8.100579e-04,7.991430e-04,7.963311e-04,7.883868e-04,7.777891e-04,7.752692e-04,7.673492e-04,7.570665e-04,7.548253e-04,7.469401e-04,7.369690e-04,7.349933e-04,7.271520e-04,7.174881e-04,7.157647e-04,7.079759e-04,6.986139e-04,6.971299e-04,6.894009e-04,6.803352e-04,6.790777e-04,6.714154e-04,6.626399e-04,6.615965e-04,6.540071e-04,6.455152e-04,6.446738e-04,6.371628e-04,6.289479e-04,6.282966e-04,6.208691e-04,6.129245e-04,6.124520e-04,6.051124e-04,5.974311e-04,5.971266e-04,5.898789e-04,5.824541e-04,5.823069e-04,5.751550e-04,5.679798e-04,5.541318e-04,5.407500e-04,5.278212e-04,5.153327e-04,5.032720e-04,4.916268e-04,4.803849e-04,4.695347e-04,4.590644e-04,4.489630e-04,4.392193e-04,4.298227e-04,4.207627e-04,4.120292e-04,4.036122e-04,3.955022e-04,3.876896e-04,3.801654e-04,3.729208e-04,3.659470e-04,3.592357e-04,3.527788e-04,3.465682e-04,3.405964e-04,3.348559e-04,3.293392e-04,3.240395e-04,3.189499e-04,3.140636e-04,3.093742e-04,3.048754e-04,3.005611e-04,2.964254e-04,2.924625e-04,2.886668e-04,2.850328e-04,2.815554e-04,2.782293e-04,2.750497e-04,2.720115e-04,2.691103e-04,2.663413e-04,2.637002e-04,2.611826e-04,2.587844e-04,2.565016e-04,2.543301e-04,2.522661e-04,2.503060e-04
0.000000e+00,4.120486e-10,7.157666e-09,7.491774e-09,4.681276e-08,1.456270e-07,1.511465e-07,3.120863e-07,4.723429e-07,4.821414e-07,6.337226e-07,7.527862e-07,7.622471e-07,8.693568e-07,9.495989e-07,9.576561e-07,1.029664e-06,1.081347e-06,1.087629e-06,1.133520e-06,1.164643e-06,1.169051e-06,1.195708e-06,1.212192e-06,1.214782e-06,1.227389e-06,1.233580e-06,1.234490e-06,1.236922e-06,1.235993e-06,1.235406e-06,1.230564e-06,1.224827e-06,1.222934e-06,1.212978e-06,1.204101e-06,1.201092e-06,1.187618e-06,1.176800e-06,1.172850e-06,1.157039e-06,1.145131e-06,1.140400e-06,1.123117e-06,1.110721e-06,1.105347e-06,1.087226e-06,1.074761e-06,1.068866e-06,1.050366e-06,1.038119e-06,1.031807e-06,1.013259e-06,1.001422e-06,9.947810e-07,9.764219e-07,9.651172e-07,9.582227e-07,9.402174e-07,9.295193e-07,9.224342e-07,9.048961e-07,8.948437e-07,8.876216e-07,8.706254e-07,8.612336e-07,8.539193e-07,8.375119e-07,8.287785e-07,8.214097e-07,8.056173e-07,7.975286e-07,7.901374e-07,7.749712e-07,7.675059e-07,7.601190e-07,7.455797e-07,7.387115e-07,7.313516e-07,7.174321e-07,7.111320e-07,7.038183e-07,6.905065e-07,6.847439e-07,6.774926e-07,6.647724e-07,6.595163e-07,6.523411e-07,6.401939e-07,6.354135e-07,6.283259e-07,6.167320e-07,6.123971e-07,6.054070e-07,5.943457e-07,5.904271e-07,5.835427e-07,5.729928e-07,5.694626e-07,5.626908e-07,5.526313e-07,5.494627e-07,5.428093e-07,5.332194e-07,5.303870e-07,5.238568e-07,5.147162e-07,5.121960e-07,5.057928e-07,4.970816e-07,4.948509e-07,4.885779e-07,4.802770e-07,4.783144e-07,4.721742e-07,4.642649e-07,4.625503e-07,4.565446e-07,4.490091e-07,4.475238e-07,4.416541e-07,4.344752e-07,4.332014e-07,4.274684e-07,4.206298e-07,4.195509e-07,4.139552e-07,4.074410e-07,4.065416e-07,4.010832e-07,3.948784e-07,3.941439e-07,3.888227e-07,3.829127e-07,3.823296e-07,3.771450e-07,3.715162e-07,3.710718e-07,3.660230e-07,3.606622e-07,3.603447e-07,3.554307e-07,3.503253e-07,3.501237e-07,3.453432e-07,3.404813e-07,3.403853e-07,3.357368e-07,3.311070e-07,3.222674e-07,3.138461e-07,3.058236e-07,2.981812e-07,2.909014e-07,2.839670e-07,2.773620e-07,2.710709e-07,2.650792e-07,2.593728e-07,2.539383e-07,2.487630e-07,2.438348e-07,2.391421e-07,2.346738e-07,2.304195e-07,2.263691e-07,2.225131e-07,2.188422e-07,2.153479e-07,2.120219e-07,2.088562e-07,2.058433e-07,2.029761e-07,2.002476e-07,1.976514e-07,1.951813e-07,1.928312e-07,1.905957e-07,1.884692e-07,1.864466e-07,1.845231e-07,1.826939e-07,1.809547e-07,1.793011e-07,1.777292e-07,1.762351e-07,1.748151e-07,1.734657e-07,1.721836e-07,1.709656e-07,1.698087e-07,1.687099e-07,1.676666e-07,1.666761e-07,1.657358e-07,1.648435e-07,1.639968e-07,1.631936e-07
0.000000e+00,1.259702e-08,2.700376e-07,2.832036e-07,2.032769e-06,7.550050e-06,7.897755e-06,1.992115e-05,3.584713e-05,3.694925e-05,5.568831e-05,7.252232e-05,7.394340e-05,9.103332e-05,1.053180e-04,1.068414e-04,1.213916e-04,1.331997e-04,1.347402e-04,1.469509e-04,1.565910e-04,1.580878e-04,1.682135e-04,1.759819e-04,1.773885e-04,1.856707e-04,1.918348e-04,1.931155e-04,1.997754e-04,2.045720e-04,2.057005e-04,2.109383e-04,2.145757e-04,2.155338e-04,2.195295e-04,2.221900e-04,2.229657e-04,2.258805e-04,2.277229e-04,2.283097e-04,2.302871e-04,2.314492e-04,2.318448e-04,2.330126e-04,2.336135e-04,2.338191e-04,2.342907e-04,2.344331e-04,2.344527e-04,2.343287e-04,2.341009e-04,2.339407e-04,2.333098e-04,2.327876e-04,2.324555e-04,2.313962e-04,2.306441e-04,2.301491e-04,2.287307e-04,2.278036e-04,2.271559e-04,2.254391e-04,2.243837e-04,2.235938e-04,2.216323e-04,2.204875e-04,2.195664e-04,2.174071e-04,2.162058e-04,2.151646e-04,2.128485e-04,2.116181e-04,2.104678e-04,2.080308e-04,2.067936e-04,2.055453e-04,2.030185e-04,2.017930e-04,2.004573e-04,1.978679e-04,1.966689e-04,1.952562e-04,1.926275e-04,1.914669e-04,1.899870e-04,1.873393e-04,1.862262e-04,1.846887e-04,1.820393e-04,1.809807e-04,1.793946e-04,1.767582e-04,1.757592e-04,1.741331e-04,1.715223e-04,1.705864e-04,1.689283e-04,1.663536e-04,1.654829e-04,1.638003e-04,1.612705e-04,1.604663e-04,1.587660e-04,1.562885e-04,1.555507e-04,1.538394e-04,1.514201e-04,1.507481e-04,1.490317e-04,1.466753e-04,1.460680e-04,1.443519e-04,1.420622e-04,1.415178e-04,1.398070e-04,1.375869e-04,1.371032e-04,1.354023e-04,1.332538e-04,1.328285e-04,1.311417e-04,1.290662e-04,1.286965e-04,1.270276e-04,1.250259e-04,1.247090e-04,1.230613e-04,1.211337e-04,1.208668e-04,1.192432e-04,1.173896e-04,1.171697e-04,1.155729e-04,1.137928e-04,1.136168e-04,1.120492e-04,1.103418e-04,1.102068e-04,1.086704e-04,1.070346e-04,1.069376e-04,1.054342e-04,1.038688e-04,1.038069e-04,1.023380e-04,1.008414e-04,1.008118e-04,9.937870e-05,9.794941e-05,9.521630e-05,9.260902e-05,9.012396e-05,8.775737e-05,8.550546e-05,8.336440e-05,8.133032e-05,7.939939e-05,7.756778e-05,7.583170e-05,7.418742e-05,7.263127e-05,7.115966e-05,6.976907e-05,6.845607e-05,6.721731e-05,6.604956e-05,6.494966e-05,6.391456e-05,6.294130e-05,6.202704e-05,6.116903e-05,6.036460e-05,5.961120e-05,5.890636e-05,5.824772e-05,5.763301e-05,5.706002e-05,5.652668e-05,5.603096e-05,5.557095e-05,5.514480e-05,5.475073e-05,5.438707e-05,5.405218e-05,5.374454e-05,5.346266e-05,5.320512e-05,5.297059e-05,5.275777e-05,5.256545e-05,5.239245e-05,5.223766e-05,5.210001e-05,5.197849e-05,5.187215e-05,5.178006e-05,5.170135e-05,5.163519e-05
0.000000e+00,2.551755e-11,3.089665e-09,3.323160e-09,6.933362e-08,6.134172e-07,6.642043e-07,3.826741e-06,1.398595e-05,1.504612e-05,4.408106e-05,9.715221e-05,1.032944e-04,2.045893e-04,3.390770e-04,3.567386e-04,5.639409e-04,7.914407e-04,8.255879e-04,1.136884e-03,1.438328e-03,1.489909e-03,1.874807e-03,2.214931e-03,2.280882e-03,2.697500e-03,3.040012e-03,3.114756e-03,3.523907e-03,3.840406e-03,3.917607e-03,4.289996e-03,4.562775e-03,4.636657e-03,4.954519e-03,5.175632e-03,5.241693e-03,5.497301e-03,5.666072e-03,5.721293e-03,5.914285e-03,6.034655e-03,6.077393e-03,6.212104e-03,6.290427e-03,6.320153e-03,6.403433e-03,6.446919e-03,6.463913e-03,6.503577e-03,6.519304e-03,6.524381e-03,6.528213e-03,6.522593e-03,6.516871e-03,6.492050e-03,6.470589e-03,6.455330e-03,6.408175e-03,6.375438e-03,6.351930e-03,6.287821e-03,6.247479e-03,6.216963e-03,6.140365e-03,6.095304e-03,6.058933e-03,5.973484e-03,5.925932e-03,5.884748e-03,5.793374e-03,5.745012e-03,5.699941e-03,5.604962e-03,5.557037e-03,5.508891e-03,5.412130e-03,5.365545e-03,5.315030e-03,5.217902e-03,5.173289e-03,5.121015e-03,5.024606e-03,4.982392e-03,4.928881e-03,4.834016e-03,4.794467e-03,4.740164e-03,4.647458e-03,4.610721e-03,4.556008e-03,4.465909e-03,4.432042e-03,4.377239e-03,4.290065e-03,4.259059e-03,4.204439e-03,4.120405e-03,4.092202e-03,4.037996e-03,3.957237e-03,3.931745e-03,3.878145e-03,3.800732e-03,3.777837e-03,3.725003e-03,3.650959e-03,3.630528e-03,3.578595e-03,3.507904e-03,3.489798e-03,3.438876e-03,3.371495e-03,3.355567e-03,3.305746e-03,3.241611e-03,3.227716e-03,3.179069e-03,3.118098e-03,3.106090e-03,3.058675e-03,3.000775e-03,2.990513e-03,2.944374e-03,2.889446e-03,2.880792e-03,2.835964e-03,2.783901e-03,2.776724e-03,2.733230e-03,2.683924e-03,2.678097e-03,2.635954e-03,2.589294e-03,2.584699e-03,2.543915e-03,2.499791e-03,2.496314e-03,2.456893e-03,2.415194e-03,2.412730e-03,2.374668e-03,2.335288e-03,2.333736e-03,2.297028e-03,2.259861e-03,2.259128e-03,2.223761e-03,2.188705e-03,2.122271e-03,2.059638e-03,2.000623e-03,1.945050e-03,1.892751e-03,1.843563e-03,1.797331e-03,1.753905e-03,1.713142e-03,1.674907e-03,1.639069e-03,1.605504e-03,1.574093e-03,1.544723e-03,1.517285e-03,1.491678e-03,1.467802e-03,1.445566e-03,1.424879e-03,1.405658e-03,1.387821e-03,1.371293e-03,1.356000e-03,1.341874e-03,1.328847e-03,1.316858e-03,1.305847e-03,1.295757e-03,1.286535e-03,1.278128e-03,1.270490e-03,1.263573e-03,1.257333e-03,1.251729e-03,1.246722e-03,1.242273e-03,1.238348e-03,1.234912e-03,1.231933e-03,1.229381e-03,1.227228e-03,1.225445e-03,1.224006e-03,1.222889e-03,1.222068e-03,1.221523e-03,1.221232e-03,1.221175e-03,1.221336e-03
0.000000e+00,5.737332e-10,4.957646e-08,5.301051e-08,8.348905e-07,5.561527e-06,5.948126e-06,2.494658e-05,6.717673e-05,7.087259e-05,1.502904e-04,2.477116e-04,2.569292e-04,3.768761e-04,4.853560e-04,4.971190e-04,6.094156e-04,6.985634e-04,7.099565e-04,7.977226e-04,8.632573e-04,8.730962e-04,9.370317e-04,9.827199e-04,9.906528e-04,1.035074e-03,1.065366e-03,1.071335e-03,1.100382e-03,1.119000e-03,1.123066e-03,1.140151e-03,1.150030e-03,1.152317e-03,1.160171e-03,1.163591e-03,1.164253e-03,1.165046e-03,1.163767e-03,1.162975e-03,1.158420e-03,1.153792e-03,1.151717e-03,1.143164e-03,1.136220e-03,1.133027e-03,1.121538e-03,1.113060e-03,1.108905e-03,1.095312e-03,1.085893e-03,1.080920e-03,1.065872e-03,1.055957e-03,1.050295e-03,1.034300e-03,1.024215e-03,1.017983e-03,1.001431e-03,9.914187e-04,9.847192e-04,9.679132e-04,9.581455e-04,9.510705e-04,9.342410e-04,9.248389e-04,9.174685e-04,9.007908e-04,8.918359e-04,8.842405e-04,8.678457e-04,8.593900e-04,8.516304e-04,8.356148e-04,8.276875e-04,8.198163e-04,8.042493e-04,7.968630e-04,7.889259e-04,7.738559e-04,7.670109e-04,7.590470e-04,7.445055e-04,7.381932e-04,7.302361e-04,7.162421e-04,7.104473e-04,7.025258e-04,6.890884e-04,6.837916e-04,6.759303e-04,6.630509e-04,6.582297e-04,6.504493e-04,6.381238e-04,6.337537e-04,6.260721e-04,6.142918e-04,6.103478e-04,6.027799e-04,5.915330e-04,5.879895e-04,5.805478e-04,5.698203e-04,5.666517e-04,5.593467e-04,5.491229e-04,5.463044e-04,5.391446e-04,5.294078e-04,5.269151e-04,5.199078e-04,5.106404e-04,5.084504e-04,5.016012e-04,4.927855e-04,4.908757e-04,4.841891e-04,4.758073e-04,4.741563e-04,4.676358e-04,4.596702e-04,4.582579e-04,4.519060e-04,4.443390e-04,4.431463e-04,4.369648e-04,4.297793e-04,4.287881e-04,4.227782e-04,4.159574e-04,4.151508e-04,4.093128e-04,4.028406e-04,4.022026e-04,3.965366e-04,3.903971e-04,3.899130e-04,3.844183e-04,3.785965e-04,3.782521e-04,3.729279e-04,3.674091e-04,3.671914e-04,3.620365e-04,3.568067e-04,3.567035e-04,3.517162e-04,3.467619e-04,3.373411e-04,3.284170e-04,3.199662e-04,3.119664e-04,3.043962e-04,2.972354e-04,2.904643e-04,2.840643e-04,2.780177e-04,2.723075e-04,2.669174e-04,2.618320e-04,2.570364e-04,2.525166e-04,2.482591e-04,2.442510e-04,2.404801e-04,2.369347e-04,2.336036e-04,2.304763e-04,2.275424e-04,2.247925e-04,2.222171e-04,2.198076e-04,2.175555e-04,2.154527e-04,2.134918e-04,2.116653e-04,2.099664e-04,2.083883e-04,2.069248e-04,2.055699e-04,2.043178e-04,2.031631e-04,2.021005e-04,2.011250e-04,2.002320e-04,1.994169e-04,1.986754e-04,1.980034e-04,1.973970e-04,1.968524e-04,1.963662e-04,1.959350e-04,1.955555e-04,1.952247e-04,1.949396e-04,1.946976e-04,1.944959e-04
0.000000e+00,6.901194e-09,1.458225e-07,1.532183e-07,1.152886e-06,4.057758e-06,4.225384e-06,9.084556e-06,1.391270e-05,1.421347e-05,1.902498e-05,2.309440e-05,2.343208e-05,2.744154e-05,3.072857e-05,3.107581e-05,3.435920e-05,3.697716e-05,3.731538e-05,3.996693e-05,4.202005e-05,4.233536e-05,4.444112e-05,4.602119e-05,4.630361e-05,4.794115e-05,4.912820e-05,4.937098e-05,5.060928e-05,5.147223e-05,5.167120e-05,5.257094e-05,5.316867e-05,5.332169e-05,5.393569e-05,5.431788e-05,5.442430e-05,5.479811e-05,5.500661e-05,5.506691e-05,5.523980e-05,5.530965e-05,5.532520e-05,5.533092e-05,5.529138e-05,5.526415e-05,5.513157e-05,5.500698e-05,5.493933e-05,5.469315e-05,5.450369e-05,5.439828e-05,5.405958e-05,5.382189e-05,5.368152e-05,5.326825e-05,5.299602e-05,5.282358e-05,5.235101e-05,5.205544e-05,5.185379e-05,5.133489e-05,5.102509e-05,5.079706e-05,5.024280e-05,4.992612e-05,4.967445e-05,4.909413e-05,4.877647e-05,4.850378e-05,4.790521e-05,4.759124e-05,4.730004e-05,4.668978e-05,4.638317e-05,4.607580e-05,4.545935e-05,4.516292e-05,4.484159e-05,4.422354e-05,4.393941e-05,4.360616e-05,4.299031e-05,4.272003e-05,4.237677e-05,4.176625e-05,4.151089e-05,4.115939e-05,4.055676e-05,4.031701e-05,3.995888e-05,3.936621e-05,3.914246e-05,3.877918e-05,3.819814e-05,3.799050e-05,3.762343e-05,3.705534e-05,3.686374e-05,3.649411e-05,3.593997e-05,3.576417e-05,3.539310e-05,3.485368e-05,3.469332e-05,3.432183e-05,3.379766e-05,3.365229e-05,3.328129e-05,3.277276e-05,3.264184e-05,3.227215e-05,3.177948e-05,3.166243e-05,3.129479e-05,3.081808e-05,3.071427e-05,3.034935e-05,2.988858e-05,2.979738e-05,2.943575e-05,2.899084e-05,2.891159e-05,2.855379e-05,2.812456e-05,2.805660e-05,2.770309e-05,2.728932e-05,2.723200e-05,2.688318e-05,2.648460e-05,2.643727e-05,2.609350e-05,2.570981e-05,2.567184e-05,2.533343e-05,2.496428e-05,2.493506e-05,2.460228e-05,2.424732e-05,2.422625e-05,2.389932e-05,2.355818e-05,2.354467e-05,2.322380e-05,2.289608e-05,2.288959e-05,2.257493e-05,2.226025e-05,2.165587e-05,2.107568e-05,2.051891e-05,1.998478e-05,1.947254e-05,1.898143e-05,1.851073e-05,1.805970e-05,1.762764e-05,1.721387e-05,1.681771e-05,1.643851e-05,1.607563e-05,1.572847e-05,1.539641e-05,1.507890e-05,1.477537e-05,1.448527e-05,1.420809e-05,1.394333e-05,1.369049e-05,1.344911e-05,1.321874e-05,1.299893e-05,1.278928e-05,1.258936e-05,1.239881e-05,1.221723e-05,1.204427e-05,1.187958e-05,1.172282e-05,1.157368e-05,1.143183e-05,1.129699e-05,1.116887e-05,1.104718e-05,1.093167e-05,1.082208e-05,1.071816e-05,1.061968e-05,1.052641e-05,1.043813e-05,1.035463e-05,1.027571e-05,1.020118e-05,1.013084e-05,1.006453e-05,1.000206e-05,9.943280e-06
0.000000e+00,1.433974e-09,8.474055e-08,9.000256e-08,1.063601e-06,5.760546e-06,6.114444e-06,2.164827e-05,5.108595e-05,5.348080e-05,1.007070e-04,1.514644e-04,1.559930e-04,2.121217e-04,2.601739e-04,2.653130e-04,3.143123e-04,3.538202e-04,3.589514e-04,3.994114e-04,4.310699e-04,4.359622e-04,4.688838e-04,4.939304e-04,4.984451e-04,5.249001e-04,5.444428e-04,5.484869e-04,5.694275e-04,5.844144e-04,5.879290e-04,6.041842e-04,6.154195e-04,6.183721e-04,6.306590e-04,6.388209e-04,6.411991e-04,6.501352e-04,6.557935e-04,6.575997e-04,6.637149e-04,6.673461e-04,6.685938e-04,6.723412e-04,6.743430e-04,6.750534e-04,6.768199e-04,6.775231e-04,6.777229e-04,6.778385e-04,6.775177e-04,6.772369e-04,6.759828e-04,6.748656e-04,6.741360e-04,6.717516e-04,6.700258e-04,6.688805e-04,6.655694e-04,6.633897e-04,6.618616e-04,6.577968e-04,6.552902e-04,6.534117e-04,6.487401e-04,6.460106e-04,6.438131e-04,6.386593e-04,6.357913e-04,6.333051e-04,6.277746e-04,6.248365e-04,6.220901e-04,6.162722e-04,6.133191e-04,6.103396e-04,6.043096e-04,6.013853e-04,5.981980e-04,5.920195e-04,5.891586e-04,5.857874e-04,5.795138e-04,5.767432e-04,5.732100e-04,5.668863e-04,5.642266e-04,5.605519e-04,5.542154e-04,5.516820e-04,5.478846e-04,5.415666e-04,5.391705e-04,5.352680e-04,5.289944e-04,5.267432e-04,5.227514e-04,5.165437e-04,5.144419e-04,5.103757e-04,5.042514e-04,5.023014e-04,4.981742e-04,4.921475e-04,4.903497e-04,4.861740e-04,4.802563e-04,4.786097e-04,4.743967e-04,4.685972e-04,4.670994e-04,4.628595e-04,4.571853e-04,4.558331e-04,4.515758e-04,4.460322e-04,4.448215e-04,4.405554e-04,4.351465e-04,4.340729e-04,4.298059e-04,4.245343e-04,4.235927e-04,4.193320e-04,4.141995e-04,4.133848e-04,4.091369e-04,4.041444e-04,4.034510e-04,3.992220e-04,3.943696e-04,3.937920e-04,3.895871e-04,3.848744e-04,3.844070e-04,3.802313e-04,3.756574e-04,3.752944e-04,3.711524e-04,3.667159e-04,3.664518e-04,3.623475e-04,3.580467e-04,3.578761e-04,3.538131e-04,3.496461e-04,3.495635e-04,3.455452e-04,3.415099e-04,3.337108e-04,3.261614e-04,3.188568e-04,3.117917e-04,3.049608e-04,2.983589e-04,2.919805e-04,2.858202e-04,2.798725e-04,2.741320e-04,2.685934e-04,2.632515e-04,2.581008e-04,2.531363e-04,2.483529e-04,2.437456e-04,2.393094e-04,2.350396e-04,2.309315e-04,2.269803e-04,2.231817e-04,2.195311e-04,2.160242e-04,2.126569e-04,2.094250e-04,2.063245e-04,2.033514e-04,2.005019e-04,1.977723e-04,1.951589e-04,1.926581e-04,1.902666e-04,1.879808e-04,1.857976e-04,1.837137e-04,1.817259e-04,1.798312e-04,1.780267e-04,1.763093e-04,1.746764e-04,1.731251e-04,1.716528e-04,1.702567e-04,1.689345e-04,1.676836e-04,1.665015e-04,1.653859e-04,1.643346e-04,1.633452e-04
0.000000e+00,2.172896e-09,2.359406e-08,2.451437e-08,1.227119e-07,3.749751e-07,3.900108e-07,8.951999e-07,1.575678e-06,1.624425e-06,2.495550e-06,3.339883e-06,3.413143e-06,4.308795e-06,5.068806e-06,5.150116e-06,5.927483e-06,6.558199e-06,6.640418e-06,7.291358e-06,7.804058e-06,7.883557e-06,8.420430e-06,8.831118e-06,8.905350e-06,9.341589e-06,9.665176e-06,9.732273e-06,1.008038e-05,1.033012e-05,1.038874e-05,1.066004e-05,1.084754e-05,1.089679e-05,1.110138e-05,1.123676e-05,1.127608e-05,1.142299e-05,1.151499e-05,1.154411e-05,1.164133e-05,1.169751e-05,1.171640e-05,1.177098e-05,1.179784e-05,1.180664e-05,1.182483e-05,1.182793e-05,1.182693e-05,1.181421e-05,1.179830e-05,1.178790e-05,1.174911e-05,1.171823e-05,1.169891e-05,1.163829e-05,1.159587e-05,1.156817e-05,1.148942e-05,1.143837e-05,1.140285e-05,1.130922e-05,1.125197e-05,1.120924e-05,1.110357e-05,1.104214e-05,1.099282e-05,1.087757e-05,1.081365e-05,1.075834e-05,1.063565e-05,1.057064e-05,1.050995e-05,1.038168e-05,1.031670e-05,1.025122e-05,1.011896e-05,1.005494e-05,9.985243e-06,9.850380e-06,9.788041e-06,9.714669e-06,9.578383e-06,9.518301e-06,9.441774e-06,9.305074e-06,9.247684e-06,9.168496e-06,9.032237e-06,8.977863e-06,8.896477e-06,8.761380e-06,8.710250e-06,8.627098e-06,8.493769e-06,8.446027e-06,8.361516e-06,8.230454e-06,8.186182e-06,8.100685e-06,7.972302e-06,7.931526e-06,7.845388e-06,7.720018e-06,7.682718e-06,7.596258e-06,7.474165e-06,7.440286e-06,7.353793e-06,7.235184e-06,7.204640e-06,7.118378e-06,7.003408e-06,6.976091e-06,6.890300e-06,6.779076e-06,6.754862e-06,6.669755e-06,6.562350e-06,6.541100e-06,6.456870e-06,6.353323e-06,6.334889e-06,6.251710e-06,6.152032e-06,6.136262e-06,6.054285e-06,5.958464e-06,5.945202e-06,5.864561e-06,5.772564e-06,5.761652e-06,5.682462e-06,5.594241e-06,5.585522e-06,5.507884e-06,5.423373e-06,5.416692e-06,5.340691e-06,5.259817e-06,5.255021e-06,5.180730e-06,5.103408e-06,5.100352e-06,5.027827e-06,4.953966e-06,4.952506e-06,4.881800e-06,4.811305e-06,4.676553e-06,4.548048e-06,4.425583e-06,4.308949e-06,4.197936e-06,4.092335e-06,3.991940e-06,3.896546e-06,3.805952e-06,3.719957e-06,3.638369e-06,3.560997e-06,3.487658e-06,3.418174e-06,3.352370e-06,3.290079e-06,3.231139e-06,3.175393e-06,3.122692e-06,3.072889e-06,3.025847e-06,2.981431e-06,2.939513e-06,2.899970e-06,2.862684e-06,2.827543e-06,2.794440e-06,2.763270e-06,2.733937e-06,2.706345e-06,2.680406e-06,2.656035e-06,2.633149e-06,2.611672e-06,2.591529e-06,2.572650e-06,2.554969e-06,2.538422e-06,2.522948e-06,2.508489e-06,2.494991e-06,2.482403e-06,2.470674e-06,2.459757e-06,2.449609e-06,2.440186e-06,2.431449e-06,2.423359e-06,2.415881e-06
0.000000e+00,2.019272e-11,3.387196e-09,3.668730e-09,1.000929e-07,9.694902e-07,1.050636e-06,5.864866e-06,1.975316e-05,2.112767e-05,5.628974e-05,1.149773e-04,1.215243e-04,2.255836e-04,3.573838e-04,3.743734e-04,5.703566e-04,7.812086e-04,8.126218e-04,1.097380e-03,1.371758e-03,1.418674e-03,1.769141e-03,2.080186e-03,2.140718e-03,2.525238e-03,2.844703e-03,2.914889e-03,3.302541e-03,3.606993e-03,3.681948e-03,4.047857e-03,4.321133e-03,4.396029e-03,4.723205e-03,4.956340e-03,5.027036e-03,5.305987e-03,5.495882e-03,5.559230e-03,5.786526e-03,5.934240e-03,5.988129e-03,6.164676e-03,6.273841e-03,6.317101e-03,6.446555e-03,6.522121e-03,6.554338e-03,6.641843e-03,6.689187e-03,6.710511e-03,6.761794e-03,6.786155e-03,6.797125e-03,6.817895e-03,6.824050e-03,6.825442e-03,6.821034e-03,6.813151e-03,6.805866e-03,6.781056e-03,6.762660e-03,6.747641e-03,6.706581e-03,6.680579e-03,6.658757e-03,6.604980e-03,6.573727e-03,6.545987e-03,6.482450e-03,6.447821e-03,6.414982e-03,6.344134e-03,6.307602e-03,6.270409e-03,6.194257e-03,6.156964e-03,6.116087e-03,6.036264e-03,5.999083e-03,5.955119e-03,5.872946e-03,5.836534e-03,5.790012e-03,5.706552e-03,5.671395e-03,5.622780e-03,5.538885e-03,5.505330e-03,5.455035e-03,5.371380e-03,5.339671e-03,5.288056e-03,5.205178e-03,5.175473e-03,5.122855e-03,5.041177e-03,5.013568e-03,4.960227e-03,4.880075e-03,4.854606e-03,4.800785e-03,4.722411e-03,4.699084e-03,4.644999e-03,4.568591e-03,4.547382e-03,4.493221e-03,4.418919e-03,4.399778e-03,4.345708e-03,4.273609e-03,4.256473e-03,4.202639e-03,4.132808e-03,4.117600e-03,4.064128e-03,3.996605e-03,3.983240e-03,3.930243e-03,3.865043e-03,3.853430e-03,3.801005e-03,3.738128e-03,3.728175e-03,3.676407e-03,3.615837e-03,3.607448e-03,3.556411e-03,3.498122e-03,3.491204e-03,3.440962e-03,3.384919e-03,3.379376e-03,3.329985e-03,3.276147e-03,3.271887e-03,3.223394e-03,3.171714e-03,3.168647e-03,3.121093e-03,3.071519e-03,3.069557e-03,3.022977e-03,2.975455e-03,2.974515e-03,2.928937e-03,2.883409e-03,2.796130e-03,2.712564e-03,2.632596e-03,2.556114e-03,2.483002e-03,2.413149e-03,2.346444e-03,2.282777e-03,2.222043e-03,2.164136e-03,2.108955e-03,2.056399e-03,2.006373e-03,1.958783e-03,1.913535e-03,1.870544e-03,1.829721e-03,1.790984e-03,1.754253e-03,1.719449e-03,1.686497e-03,1.655324e-03,1.625859e-03,1.598034e-03,1.571783e-03,1.547043e-03,1.523751e-03,1.501849e-03,1.481279e-03,1.461985e-03,1.443915e-03,1.427015e-03,1.411237e-03,1.396532e-03,1.382853e-03,1.370156e-03,1.358396e-03,1.347532e-03,1.337523e-03,1.328331e-03,1.319916e-03,1.312243e-03,1.305277e-03,1.298983e-03,1.293328e-03,1.288280e-03,1.283810e-03,1.279887e-03,1.276482e-03
0.000000e+00,1.289865e-08,2.648092e-07,2.776872e-07,1.906759e-06,6.561565e-06,6.841190e-06,1.591935e-05,2.675629e-05,2.747319e-05,3.931074e-05,4.965795e-05,5.052587e-05,6.092581e-05,6.958026e-05,7.050156e-05,7.928530e-05,8.639233e-05,8.731800e-05,9.464200e-05,1.004057e-04,1.012990e-04,1.073299e-04,1.119409e-04,1.127741e-04,1.176693e-04,1.212991e-04,1.220516e-04,1.259552e-04,1.287553e-04,1.294125e-04,1.324542e-04,1.345567e-04,1.351089e-04,1.374040e-04,1.389235e-04,1.393650e-04,1.410157e-04,1.420509e-04,1.423788e-04,1.434754e-04,1.441111e-04,1.443253e-04,1.449470e-04,1.452559e-04,1.453580e-04,1.455746e-04,1.456186e-04,1.456120e-04,1.454844e-04,1.453164e-04,1.452053e-04,1.447871e-04,1.444518e-04,1.442414e-04,1.435793e-04,1.431148e-04,1.428108e-04,1.419455e-04,1.413836e-04,1.409923e-04,1.399594e-04,1.393269e-04,1.388546e-04,1.376850e-04,1.370043e-04,1.364574e-04,1.351780e-04,1.344676e-04,1.338526e-04,1.324866e-04,1.317619e-04,1.310850e-04,1.296526e-04,1.289262e-04,1.281937e-04,1.267122e-04,1.259942e-04,1.252120e-04,1.236964e-04,1.229950e-04,1.221687e-04,1.206318e-04,1.199534e-04,1.190886e-04,1.175414e-04,1.168910e-04,1.159927e-04,1.144445e-04,1.138259e-04,1.128990e-04,1.113578e-04,1.107736e-04,1.098226e-04,1.082950e-04,1.077472e-04,1.067764e-04,1.052680e-04,1.047577e-04,1.037711e-04,1.022865e-04,1.018143e-04,1.008154e-04,9.935853e-05,9.892436e-05,9.791669e-05,9.649058e-05,9.609418e-05,9.508082e-05,9.368796e-05,9.332865e-05,9.231248e-05,9.095481e-05,9.063166e-05,8.961531e-05,8.829430e-05,8.800619e-05,8.699205e-05,8.570879e-05,8.545443e-05,8.444470e-05,8.319991e-05,8.297791e-05,8.197455e-05,8.076868e-05,8.057755e-05,7.958235e-05,7.841558e-05,7.825379e-05,7.726836e-05,7.614065e-05,7.600664e-05,7.503242e-05,7.394357e-05,7.383575e-05,7.287403e-05,7.182368e-05,7.174048e-05,7.079241e-05,6.978006e-05,6.971992e-05,6.878650e-05,6.781156e-05,6.777295e-05,6.685507e-05,6.591684e-05,6.589827e-05,6.499670e-05,6.409443e-05,6.235990e-05,6.069301e-05,5.909206e-05,5.755529e-05,5.608089e-05,5.466704e-05,5.331191e-05,5.201366e-05,5.077048e-05,4.958055e-05,4.844208e-05,4.735331e-05,4.631252e-05,4.531799e-05,4.436807e-05,4.346113e-05,4.259559e-05,4.176989e-05,4.098255e-05,4.023208e-05,3.951709e-05,3.883618e-05,3.818803e-05,3.757134e-05,3.698487e-05,3.642739e-05,3.589774e-05,3.539479e-05,3.491744e-05,3.446465e-05,3.403538e-05,3.362866e-05,3.324354e-05,3.287910e-05,3.253447e-05,3.220878e-05,3.190123e-05,3.161102e-05,3.133740e-05,3.107962e-05,3.083699e-05,3.060883e-05,3.039448e-05,3.019331e-05,3.000473e-05,2.982814e-05,2.966299e-05,2.950874e-05,2.936487e-05
0.000000e+00,1.616400e-11,2.156212e-09,2.323638e-09,5.210547e-08,4.711049e-07,5.101794e-07,2.915464e-06,1.048329e-05,1.126664e-05,3.259233e-05,7.162225e-05,7.616242e-05,1.519028e-04,2.550265e-04,2.687799e-04,4.335828e-04,6.214383e-04,6.502291e-04,9.195570e-04,1.191805e-03,1.239496e-03,1.605487e-03,1.943803e-03,2.011039e-03,2.448334e-03,2.824604e-03,2.908805e-03,3.383657e-03,3.768107e-03,3.864303e-03,4.342691e-03,4.709560e-03,4.811555e-03,5.264567e-03,5.594950e-03,5.696419e-03,6.102844e-03,6.385277e-03,6.480587e-03,6.827347e-03,7.056991e-03,7.141686e-03,7.422927e-03,7.600070e-03,7.671052e-03,7.886590e-03,8.015024e-03,8.070515e-03,8.224148e-03,8.309710e-03,8.349068e-03,8.447037e-03,8.496457e-03,8.519932e-03,8.569683e-03,8.589761e-03,8.598236e-03,8.607507e-03,8.604592e-03,8.599357e-03,8.575567e-03,8.555272e-03,8.537826e-03,8.487718e-03,8.454810e-03,8.426717e-03,8.356185e-03,8.314578e-03,8.277370e-03,8.191413e-03,8.144241e-03,8.099348e-03,8.002109e-03,7.951815e-03,7.900536e-03,7.795382e-03,7.743837e-03,7.687321e-03,7.576951e-03,7.525554e-03,7.464805e-03,7.351353e-03,7.301129e-03,7.237011e-03,7.122145e-03,7.073825e-03,7.007079e-03,6.892092e-03,6.846177e-03,6.777435e-03,6.663321e-03,6.620141e-03,6.549941e-03,6.437458e-03,6.397212e-03,6.326016e-03,6.215737e-03,6.178526e-03,6.106728e-03,5.999078e-03,5.964931e-03,5.892867e-03,5.788158e-03,5.757047e-03,5.685008e-03,5.583464e-03,5.555324e-03,5.483562e-03,5.385334e-03,5.360072e-03,5.288806e-03,5.193994e-03,5.171497e-03,5.100915e-03,5.009577e-03,4.989717e-03,4.919986e-03,4.832143e-03,4.814784e-03,4.746048e-03,4.661696e-03,4.646697e-03,4.579081e-03,4.498195e-03,4.485413e-03,4.419028e-03,4.341566e-03,4.330857e-03,4.265797e-03,4.191704e-03,4.182925e-03,4.119273e-03,4.048486e-03,4.041497e-03,3.979324e-03,3.911769e-03,3.906433e-03,3.845800e-03,3.781399e-03,3.777584e-03,3.718544e-03,3.657213e-03,3.654792e-03,3.597387e-03,3.539042e-03,3.537890e-03,3.482157e-03,3.426710e-03,3.321081e-03,3.220828e-03,3.125780e-03,3.035765e-03,2.950611e-03,2.870152e-03,2.794221e-03,2.722656e-03,2.655297e-03,2.591990e-03,2.532580e-03,2.476921e-03,2.424865e-03,2.376271e-03,2.331002e-03,2.288922e-03,2.249899e-03,2.213807e-03,2.180520e-03,2.149916e-03,2.121877e-03,2.096287e-03,2.073033e-03,2.052006e-03,2.033098e-03,2.016204e-03,2.001223e-03,1.988054e-03,1.976602e-03,1.966771e-03,1.958470e-03,1.951609e-03,1.946100e-03,1.941859e-03,1.938803e-03,1.936851e-03,1.935927e-03,1.935954e-03,1.936860e-03,1.938574e-03,1.941027e-03,1.944154e-03,1.947890e-03,1.952176e-03,1.956953e-03,1.962164e-03,1.967756e-03,1.973677e-03,1.979880e-03
0.000000e+00,2.687315e-09,1.468613e-07,1.555095e-07,1.559568e-06,7.580274e-06,8.022701e-06,2.740762e-05,6.579958e-05,6.904644e-05,1.371725e-04,2.188746e-04,2.265523e-04,3.260393e-04,4.160500e-04,4.258622e-04,5.206601e-04,5.982577e-04,6.083891e-04,6.886035e-04,7.516928e-04,7.614625e-04,8.273192e-04,8.775235e-04,8.865786e-04,9.396522e-04,9.788400e-04,9.869432e-04,1.028841e-03,1.058728e-03,1.065719e-03,1.097933e-03,1.120038e-03,1.125818e-03,1.149693e-03,1.165342e-03,1.169858e-03,1.186594e-03,1.196926e-03,1.200164e-03,1.210817e-03,1.216811e-03,1.218784e-03,1.224283e-03,1.226771e-03,1.227514e-03,1.228669e-03,1.228359e-03,1.227924e-03,1.225448e-03,1.222939e-03,1.221392e-03,1.215901e-03,1.211697e-03,1.209110e-03,1.201141e-03,1.195660e-03,1.192110e-03,1.182126e-03,1.175719e-03,1.171286e-03,1.159685e-03,1.152641e-03,1.147407e-03,1.134533e-03,1.127090e-03,1.121136e-03,1.107284e-03,1.099638e-03,1.093042e-03,1.078467e-03,1.070774e-03,1.063613e-03,1.048530e-03,1.040917e-03,1.033264e-03,1.017856e-03,1.010422e-03,1.002347e-03,9.867705e-04,9.795922e-04,9.711603e-04,9.555460e-04,9.486815e-04,9.399549e-04,9.244118e-04,9.179036e-04,9.089396e-04,8.935587e-04,8.874362e-04,8.782879e-04,8.631440e-04,8.574259e-04,8.481423e-04,8.332965e-04,8.279926e-04,8.186187e-04,8.041199e-04,7.992328e-04,7.898097e-04,7.756965e-04,7.712231e-04,7.617878e-04,7.480901e-04,7.440228e-04,7.346089e-04,7.213490e-04,7.176764e-04,7.083142e-04,6.955078e-04,6.922158e-04,6.829323e-04,6.705897e-04,6.676623e-04,6.584813e-04,6.466081e-04,6.440276e-04,6.349704e-04,6.235682e-04,6.213160e-04,6.124011e-04,6.014683e-04,5.995253e-04,5.907688e-04,5.803011e-04,5.786477e-04,5.700635e-04,5.600543e-04,5.586711e-04,5.502711e-04,5.407118e-04,5.395796e-04,5.313739e-04,5.222546e-04,5.213546e-04,5.133512e-04,5.046608e-04,5.039747e-04,4.961805e-04,4.879069e-04,4.874170e-04,4.798371e-04,4.719678e-04,4.716571e-04,4.642956e-04,4.568171e-04,4.566695e-04,4.495291e-04,4.424281e-04,4.289063e-04,4.160773e-04,4.039144e-04,3.923910e-04,3.814810e-04,3.711583e-04,3.613978e-04,3.521747e-04,3.434648e-04,3.352447e-04,3.274919e-04,3.201842e-04,3.133005e-04,3.068204e-04,3.007241e-04,2.949929e-04,2.896084e-04,2.845534e-04,2.798110e-04,2.753653e-04,2.712011e-04,2.673036e-04,2.636589e-04,2.602538e-04,2.570753e-04,2.541115e-04,2.513507e-04,2.487820e-04,2.463947e-04,2.441790e-04,2.421252e-04,2.402244e-04,2.384678e-04,2.368474e-04,2.353553e-04,2.339842e-04,2.327269e-04,2.315768e-04,2.305275e-04,2.295731e-04,2.287078e-04,2.279261e-04,2.272230e-04,2.265934e-04,2.260328e-04,2.255368e-04,2.251012e-04,2.247221e-04,2.243956e-04
0.000000e+00,9.106816e-09,1.288192e-07,1.343527e-07,7.921553e-07,2.708318e-06,2.827292e-06,6.909986e-06,1.223627e-05,1.260106e-05,1.874845e-05,2.421643e-05,2.467648e-05,3.019160e-05,3.477478e-05,3.526196e-05,3.989731e-05,4.363257e-05,4.411788e-05,4.794628e-05,5.094249e-05,5.140538e-05,5.451773e-05,5.688017e-05,5.730522e-05,5.978902e-05,6.161341e-05,6.198946e-05,6.392596e-05,6.529757e-05,6.561700e-05,6.708011e-05,6.807380e-05,6.833186e-05,6.938786e-05,7.006856e-05,7.026278e-05,7.097044e-05,7.139405e-05,7.152376e-05,7.193487e-05,7.214921e-05,7.221512e-05,7.237512e-05,7.242088e-05,7.242473e-05,7.237316e-05,7.228473e-05,7.222905e-05,7.200051e-05,7.180709e-05,7.169506e-05,7.131970e-05,7.104582e-05,7.088097e-05,7.038496e-05,7.005117e-05,6.983734e-05,6.924340e-05,6.886686e-05,6.860805e-05,6.793582e-05,6.753069e-05,6.723089e-05,6.649714e-05,6.607503e-05,6.573822e-05,6.495746e-05,6.452786e-05,6.415794e-05,6.334254e-05,6.291314e-05,6.251389e-05,6.167442e-05,6.125133e-05,6.082637e-05,5.997182e-05,5.955989e-05,5.911267e-05,5.825066e-05,5.785362e-05,5.738740e-05,5.652436e-05,5.614504e-05,5.566288e-05,5.480419e-05,5.444464e-05,5.394941e-05,5.309955e-05,5.276120e-05,5.225554e-05,5.141822e-05,5.110195e-05,5.058834e-05,4.976658e-05,4.947285e-05,4.895354e-05,4.814978e-05,4.787870e-05,4.735577e-05,4.657194e-05,4.632332e-05,4.579867e-05,4.503628e-05,4.480973e-05,4.428506e-05,4.354525e-05,4.334017e-05,4.281704e-05,4.210062e-05,4.191630e-05,4.139611e-05,4.070361e-05,4.053921e-05,4.002321e-05,3.935496e-05,3.920957e-05,3.869888e-05,3.805499e-05,3.792767e-05,3.742327e-05,3.680370e-05,3.669346e-05,3.619622e-05,3.560078e-05,3.550662e-05,3.501731e-05,3.444571e-05,3.436663e-05,3.388589e-05,3.333775e-05,3.327275e-05,3.280116e-05,3.227601e-05,3.222412e-05,3.176216e-05,3.125947e-05,3.121973e-05,3.076780e-05,3.028700e-05,3.025850e-05,2.981693e-05,2.935742e-05,2.933925e-05,2.890831e-05,2.846945e-05,2.846078e-05,2.804067e-05,2.762180e-05,2.682104e-05,2.605719e-05,2.532895e-05,2.463500e-05,2.397406e-05,2.334485e-05,2.274612e-05,2.217662e-05,2.163517e-05,2.112058e-05,2.063171e-05,2.016747e-05,1.972677e-05,1.930858e-05,1.891190e-05,1.853576e-05,1.817923e-05,1.784141e-05,1.752145e-05,1.721852e-05,1.693182e-05,1.666059e-05,1.640410e-05,1.616166e-05,1.593258e-05,1.571624e-05,1.551201e-05,1.531932e-05,1.513760e-05,1.496632e-05,1.480496e-05,1.465305e-05,1.451010e-05,1.437568e-05,1.424937e-05,1.413075e-05,1.401944e-05,1.391508e-05,1.381732e-05,1.372581e-05,1.364024e-05,1.356031e-05,1.348572e-05,1.341621e-05,1.335150e-05,1.329136e-05,1.323553e-05,1.318379e-05,1.313593e-05
0.000000e+00,5.494428e-09,6.534814e-08,6.801225e-08,3.730095e-07,1.238489e-06,1.292056e-06,3.142428e-06,5.625662e-06,5.799091e-06,8.778003e-06,1.149977e-05,1.173135e-05,1.453709e-05,1.691090e-05,1.716561e-05,1.961405e-05,2.162334e-05,2.188706e-05,2.399143e-05,2.567200e-05,2.593463e-05,2.772424e-05,2.911438e-05,2.936785e-05,3.087288e-05,3.200871e-05,3.224661e-05,3.349607e-05,3.441077e-05,3.462810e-05,3.564925e-05,3.637284e-05,3.656582e-05,3.738383e-05,3.794315e-05,3.810904e-05,3.874696e-05,3.916591e-05,3.930282e-05,3.978162e-05,4.008131e-05,4.018810e-05,4.052680e-05,4.072588e-05,4.080203e-05,4.101784e-05,4.113264e-05,4.117811e-05,4.128651e-05,4.133133e-05,4.134650e-05,4.136140e-05,4.134871e-05,4.133431e-05,4.126820e-05,4.120885e-05,4.116586e-05,4.102994e-05,4.093331e-05,4.086293e-05,4.066720e-05,4.054141e-05,4.044500e-05,4.019842e-05,4.005043e-05,3.992946e-05,3.964000e-05,3.947579e-05,3.933181e-05,3.900657e-05,3.883123e-05,3.866585e-05,3.831114e-05,3.812897e-05,3.794382e-05,3.756523e-05,3.737986e-05,3.717659e-05,3.677906e-05,3.659352e-05,3.637375e-05,3.596166e-05,3.577844e-05,3.554376e-05,3.512096e-05,3.494212e-05,3.469409e-05,3.426395e-05,3.409114e-05,3.383128e-05,3.339676e-05,3.323129e-05,3.296104e-05,3.252472e-05,3.236760e-05,3.208835e-05,3.165247e-05,3.150447e-05,3.121756e-05,3.078405e-05,3.064570e-05,3.035238e-05,2.992291e-05,2.979456e-05,2.949602e-05,2.907202e-05,2.895386e-05,2.865122e-05,2.823390e-05,2.812599e-05,2.782030e-05,2.741066e-05,2.731296e-05,2.700519e-05,2.660409e-05,2.651645e-05,2.620752e-05,2.581564e-05,2.573784e-05,2.542858e-05,2.504648e-05,2.497824e-05,2.466945e-05,2.429757e-05,2.423855e-05,2.393093e-05,2.356960e-05,2.351945e-05,2.321365e-05,2.286312e-05,2.282143e-05,2.251806e-05,2.217848e-05,2.214483e-05,2.184443e-05,2.151590e-05,2.148986e-05,2.119291e-05,2.087546e-05,2.085659e-05,2.056354e-05,2.025714e-05,2.024500e-05,1.995624e-05,1.966081e-05,1.965496e-05,1.937084e-05,1.908628e-05,1.853870e-05,1.801188e-05,1.750547e-05,1.701903e-05,1.655214e-05,1.610432e-05,1.567508e-05,1.526391e-05,1.487028e-05,1.449367e-05,1.413355e-05,1.378938e-05,1.346062e-05,1.314675e-05,1.284725e-05,1.256158e-05,1.228924e-05,1.202974e-05,1.178257e-05,1.154726e-05,1.132333e-05,1.111034e-05,1.090783e-05,1.071538e-05,1.053256e-05,1.035898e-05,1.019423e-05,1.003794e-05,9.889740e-06,9.749278e-06,9.616211e-06,9.490212e-06,9.370962e-06,9.258159e-06,9.151507e-06,9.050728e-06,8.955548e-06,8.865710e-06,8.780964e-06,8.701071e-06,8.625801e-06,8.554936e-06,8.488265e-06,8.425586e-06,8.366707e-06,8.311443e-06,8.259618e-06,8.211061e-06,8.165613e-06
0.000000e+00,1.920540e-09,1.775980e-07,1.900289e-07,2.734856e-06,1.416117e-05,1.495889e-05,4.494804e-05,8.747358e-05,9.044362e-05,1.403251e-04,1.825721e-04,1.859702e-04,2.243771e-04,2.527282e-04,2.555424e-04,2.803653e-04,2.977613e-04,2.998483e-04,3.148890e-04,3.248545e-04,3.262479e-04,3.345564e-04,3.395654e-04,3.403403e-04,3.440416e-04,3.457843e-04,3.460305e-04,3.466159e-04,3.462479e-04,3.460548e-04,3.445609e-04,3.428633e-04,3.423115e-04,3.394533e-04,3.369496e-04,3.361081e-04,3.323767e-04,3.294164e-04,3.283425e-04,3.240744e-04,3.208889e-04,3.196294e-04,3.150544e-04,3.117955e-04,3.103881e-04,3.056625e-04,3.024287e-04,3.009037e-04,2.961332e-04,2.929869e-04,2.913685e-04,2.866240e-04,2.836036e-04,2.819113e-04,2.772398e-04,2.743675e-04,2.726171e-04,2.680491e-04,2.653367e-04,2.635408e-04,2.590957e-04,2.565478e-04,2.547168e-04,2.504062e-04,2.480227e-04,2.461655e-04,2.419957e-04,2.397737e-04,2.378974e-04,2.338710e-04,2.318058e-04,2.299166e-04,2.260339e-04,2.241194e-04,2.222226e-04,2.184823e-04,2.167119e-04,2.148121e-04,2.112116e-04,2.095784e-04,2.076797e-04,2.042157e-04,2.027128e-04,2.008187e-04,1.974876e-04,1.961080e-04,1.942215e-04,1.910194e-04,1.897563e-04,1.878803e-04,1.848032e-04,1.836498e-04,1.817869e-04,1.788305e-04,1.777806e-04,1.759329e-04,1.730931e-04,1.721405e-04,1.703100e-04,1.675828e-04,1.667216e-04,1.649102e-04,1.622914e-04,1.615161e-04,1.597254e-04,1.572111e-04,1.565162e-04,1.547476e-04,1.523340e-04,1.517146e-04,1.499694e-04,1.476527e-04,1.471038e-04,1.453832e-04,1.431598e-04,1.426768e-04,1.409818e-04,1.388482e-04,1.384268e-04,1.367583e-04,1.347111e-04,1.343471e-04,1.327058e-04,1.307417e-04,1.304312e-04,1.288180e-04,1.269338e-04,1.266731e-04,1.250883e-04,1.232810e-04,1.230666e-04,1.215109e-04,1.197774e-04,1.196060e-04,1.180797e-04,1.164172e-04,1.162857e-04,1.147892e-04,1.131949e-04,1.131003e-04,1.116338e-04,1.101052e-04,1.100447e-04,1.086083e-04,1.071427e-04,1.071137e-04,1.057077e-04,1.043026e-04,1.016068e-04,9.902174e-05,9.654310e-05,9.416676e-05,9.188872e-05,8.970511e-05,8.761226e-05,8.560658e-05,8.368465e-05,8.184316e-05,8.007895e-05,7.838897e-05,7.677026e-05,7.522001e-05,7.373549e-05,7.231410e-05,7.095333e-05,6.965074e-05,6.840402e-05,6.721094e-05,6.606934e-05,6.497716e-05,6.393241e-05,6.293318e-05,6.197763e-05,6.106401e-05,6.019060e-05,5.935579e-05,5.855800e-05,5.779573e-05,5.706752e-05,5.637199e-05,5.570780e-05,5.507365e-05,5.446832e-05,5.389061e-05,5.333939e-05,5.281355e-05,5.231204e-05,5.183384e-05,5.137798e-05,5.094353e-05,5.052958e-05,5.013527e-05,4.975977e-05,4.940228e-05,4.906204e-05,4.873830e-05,4.843035e-05
0.000000e+00,4.740408e-09,2.259888e-07,2.388353e-07,2.249726e-06,1.057921e-05,1.118067e-05,3.654615e-05,8.283495e-05,8.656615e-05,1.599143e-04,2.385175e-04,2.455030e-04,3.312772e-04,4.029377e-04,4.104767e-04,4.809343e-04,5.356215e-04,5.425685e-04,5.959548e-04,6.358164e-04,6.418094e-04,6.808407e-04,7.088419e-04,7.137136e-04,7.410419e-04,7.597100e-04,7.633884e-04,7.812672e-04,7.926700e-04,7.951471e-04,8.054545e-04,8.112649e-04,8.125770e-04,8.168662e-04,8.184283e-04,8.186409e-04,8.181900e-04,8.165782e-04,8.157749e-04,8.116321e-04,8.077002e-04,8.059752e-04,7.989971e-04,7.934203e-04,7.908720e-04,7.817566e-04,7.750654e-04,7.717925e-04,7.611068e-04,7.537149e-04,7.498138e-04,7.380162e-04,7.302438e-04,7.258061e-04,7.132658e-04,7.053578e-04,7.004692e-04,6.874820e-04,6.796229e-04,6.743630e-04,6.611646e-04,6.534916e-04,6.479331e-04,6.347096e-04,6.273216e-04,6.215302e-04,6.084269e-04,6.013928e-04,5.954277e-04,5.825570e-04,5.759221e-04,5.698360e-04,5.572835e-04,5.510755e-04,5.449154e-04,5.327452e-04,5.269770e-04,5.207838e-04,5.090407e-04,5.037144e-04,4.975239e-04,4.862400e-04,4.813502e-04,4.751938e-04,4.643886e-04,4.599229e-04,4.538269e-04,4.435106e-04,4.394530e-04,4.334406e-04,4.236167e-04,4.199480e-04,4.140380e-04,4.047034e-04,4.014024e-04,3.956112e-04,3.867593e-04,3.838039e-04,3.781449e-04,3.697651e-04,3.671326e-04,3.616166e-04,3.536960e-04,3.513637e-04,3.459995e-04,3.385234e-04,3.364690e-04,3.312634e-04,3.242155e-04,3.224173e-04,3.173755e-04,3.107390e-04,3.091760e-04,3.043016e-04,2.980590e-04,2.967113e-04,2.920067e-04,2.861403e-04,2.849889e-04,2.804553e-04,2.749474e-04,2.739744e-04,2.696122e-04,2.644454e-04,2.636340e-04,2.594426e-04,2.545997e-04,2.539342e-04,2.499125e-04,2.453767e-04,2.448424e-04,2.409885e-04,2.367437e-04,2.363270e-04,2.326385e-04,2.286690e-04,2.283572e-04,2.248314e-04,2.211221e-04,2.209036e-04,2.175375e-04,2.140739e-04,2.139378e-04,2.107279e-04,2.074963e-04,2.074328e-04,2.043755e-04,2.013625e-04,1.957024e-04,1.904288e-04,1.855193e-04,1.809527e-04,1.767089e-04,1.727687e-04,1.691141e-04,1.657280e-04,1.625942e-04,1.596974e-04,1.570231e-04,1.545578e-04,1.522885e-04,1.502032e-04,1.482903e-04,1.465391e-04,1.449394e-04,1.434815e-04,1.421565e-04,1.409558e-04,1.398713e-04,1.388954e-04,1.380211e-04,1.372416e-04,1.365506e-04,1.359421e-04,1.354105e-04,1.349505e-04,1.345572e-04,1.342257e-04,1.339518e-04,1.337313e-04,1.335602e-04,1.334350e-04,1.333520e-04,1.333082e-04,1.333004e-04,1.333257e-04,1.333815e-04,1.334652e-04,1.335745e-04,1.337070e-04,1.338608e-04,1.340338e-04,1.342243e-04,1.344304e-04,1.346505e-04,1.348832e-04,1.351270e-04
0.000000e+00,4.225626e-10,5.676640e-09,5.930758e-09,3.858490e-08,1.410004e-07,1.474406e-07,3.632557e-07,6.239610e-07,6.412222e-07,9.282839e-07,1.184263e-06,1.206003e-06,1.470157e-06,1.695672e-06,1.720015e-06,1.955705e-06,2.151677e-06,2.177588e-06,2.386094e-06,2.555062e-06,2.581685e-06,2.764835e-06,2.909417e-06,2.936024e-06,3.095734e-06,3.218464e-06,3.244440e-06,3.382614e-06,3.485878e-06,3.510714e-06,3.629188e-06,3.715197e-06,3.738472e-06,3.838988e-06,3.909769e-06,3.931146e-06,4.015340e-06,4.072738e-06,4.091946e-06,4.161332e-06,4.207020e-06,4.223855e-06,4.279852e-06,4.315344e-06,4.329651e-06,4.373565e-06,4.400218e-06,4.411893e-06,4.444926e-06,4.463962e-06,4.472940e-06,4.496201e-06,4.508711e-06,4.514963e-06,4.529468e-06,4.536426e-06,4.539951e-06,4.546635e-06,4.548912e-06,4.549736e-06,4.549457e-06,4.547825e-06,4.545996e-06,4.539539e-06,4.534682e-06,4.530267e-06,4.518352e-06,4.510876e-06,4.503957e-06,4.487239e-06,4.477677e-06,4.468348e-06,4.447426e-06,4.436247e-06,4.424612e-06,4.400033e-06,4.387646e-06,4.373816e-06,4.346079e-06,4.332840e-06,4.316934e-06,4.286489e-06,4.272708e-06,4.254847e-06,4.222106e-06,4.208050e-06,4.188359e-06,4.153694e-06,4.139591e-06,4.118196e-06,4.081945e-06,4.067987e-06,4.045016e-06,4.007482e-06,3.993835e-06,3.969412e-06,3.930871e-06,3.917671e-06,3.891921e-06,3.852620e-06,3.839979e-06,3.813025e-06,3.773186e-06,3.761195e-06,3.733155e-06,3.692979e-06,3.681709e-06,3.652701e-06,3.612364e-06,3.601872e-06,3.572007e-06,3.531669e-06,3.521994e-06,3.491383e-06,3.451184e-06,3.442354e-06,3.411101e-06,3.371166e-06,3.363199e-06,3.331404e-06,3.291842e-06,3.284744e-06,3.252505e-06,3.213413e-06,3.207183e-06,3.174589e-06,3.136052e-06,3.130680e-06,3.097819e-06,3.059909e-06,3.055382e-06,3.022337e-06,2.985116e-06,2.981414e-06,2.948262e-06,2.911784e-06,2.908883e-06,2.875696e-06,2.840007e-06,2.837879e-06,2.804727e-06,2.769863e-06,2.768478e-06,2.735425e-06,2.701417e-06,2.700741e-06,2.667847e-06,2.634720e-06,2.570452e-06,2.507967e-06,2.447284e-06,2.388415e-06,2.331366e-06,2.276133e-06,2.222710e-06,2.171085e-06,2.121240e-06,2.073155e-06,2.026805e-06,1.982163e-06,1.939200e-06,1.897884e-06,1.858180e-06,1.820054e-06,1.783469e-06,1.748387e-06,1.714771e-06,1.682580e-06,1.651776e-06,1.622319e-06,1.594169e-06,1.567288e-06,1.541635e-06,1.517171e-06,1.493858e-06,1.471657e-06,1.450531e-06,1.430441e-06,1.411352e-06,1.393227e-06,1.376031e-06,1.359730e-06,1.344290e-06,1.329678e-06,1.315861e-06,1.302808e-06,1.290489e-06,1.278875e-06,1.267935e-06,1.257642e-06,1.247969e-06,1.238890e-06,1.230378e-06,1.222409e-06,1.214960e-06,1.208006e-06,1.201525e-06
0.000000e+00,2.872177e-09,4.430177e-08,4.636013e-08,3.090947e-07,1.077514e-06,1.123373e-06,2.533751e-06,4.048530e-06,4.145425e-06,5.729324e-06,7.118243e-06,7.235633e-06,8.656888e-06,9.863858e-06,9.993822e-06,1.124887e-05,1.228780e-05,1.242484e-05,1.352466e-05,1.441185e-05,1.455128e-05,1.550767e-05,1.625894e-05,1.639681e-05,1.722163e-05,1.785203e-05,1.798503e-05,1.868986e-05,1.921342e-05,1.933889e-05,1.993483e-05,2.036450e-05,2.048030e-05,2.097780e-05,2.132532e-05,2.142976e-05,2.183851e-05,2.211450e-05,2.220630e-05,2.253527e-05,2.274926e-05,2.282749e-05,2.308492e-05,2.324544e-05,2.330945e-05,2.350289e-05,2.361754e-05,2.366695e-05,2.380329e-05,2.387885e-05,2.391347e-05,2.399900e-05,2.404147e-05,2.406132e-05,2.410179e-05,2.411648e-05,2.412171e-05,2.412233e-05,2.411393e-05,2.410483e-05,2.407034e-05,2.404298e-05,2.401994e-05,2.395464e-05,2.391194e-05,2.387543e-05,2.378323e-05,2.372836e-05,2.367893e-05,2.356335e-05,2.349907e-05,2.343731e-05,2.330155e-05,2.323026e-05,2.315680e-05,2.300375e-05,2.292752e-05,2.284304e-05,2.267529e-05,2.259592e-05,2.250108e-05,2.232097e-05,2.223999e-05,2.213549e-05,2.194514e-05,2.186385e-05,2.175038e-05,2.155167e-05,2.147118e-05,2.134943e-05,2.114406e-05,2.106528e-05,2.093594e-05,2.072542e-05,2.064912e-05,2.051285e-05,2.029855e-05,2.022534e-05,2.008281e-05,1.986593e-05,1.979633e-05,1.964816e-05,1.942977e-05,1.936416e-05,1.921099e-05,1.899203e-05,1.893073e-05,1.877313e-05,1.855446e-05,1.849767e-05,1.833621e-05,1.811857e-05,1.806644e-05,1.790168e-05,1.768571e-05,1.763833e-05,1.747079e-05,1.725705e-05,1.721446e-05,1.704462e-05,1.683362e-05,1.679580e-05,1.662414e-05,1.641629e-05,1.638319e-05,1.621016e-05,1.600583e-05,1.597737e-05,1.580338e-05,1.560288e-05,1.557896e-05,1.540440e-05,1.520799e-05,1.518846e-05,1.501371e-05,1.482161e-05,1.480633e-05,1.463173e-05,1.444411e-05,1.443292e-05,1.425879e-05,1.407579e-05,1.406852e-05,1.389515e-05,1.371689e-05,1.371335e-05,1.354103e-05,1.336759e-05,1.303134e-05,1.270469e-05,1.238768e-05,1.208030e-05,1.178251e-05,1.149427e-05,1.121550e-05,1.094608e-05,1.068590e-05,1.043482e-05,1.019269e-05,9.959346e-06,9.734626e-06,9.518347e-06,9.310324e-06,9.110367e-06,8.918283e-06,8.733874e-06,8.556943e-06,8.387289e-06,8.224712e-06,8.069014e-06,7.919994e-06,7.777456e-06,7.641204e-06,7.511044e-06,7.386786e-06,7.268241e-06,7.155225e-06,7.047555e-06,6.945053e-06,6.847545e-06,6.754859e-06,6.666827e-06,6.583287e-06,6.504077e-06,6.429044e-06,6.358034e-06,6.290899e-06,6.227496e-06,6.167684e-06,6.111326e-06,6.058291e-06,6.008448e-06,5.961674e-06,5.917846e-06,5.876846e-06,5.838561e-06,5.802878e-06
0.000000e+00,1.948867e-08,5.770466e-07,6.075394e-07,5.195464e-06,2.232932e-05,2.348328e-05,6.589534e-05,1.244213e-04,1.284697e-04,1.970337e-04,2.586757e-04,2.639010e-04,3.271507e-04,3.807304e-04,3.864888e-04,4.419673e-04,4.876966e-04,4.937139e-04,5.418734e-04,5.805354e-04,5.865950e-04,6.280291e-04,6.604027e-04,6.663253e-04,7.016318e-04,7.284538e-04,7.340934e-04,7.638518e-04,7.858046e-04,7.910443e-04,8.158039e-04,8.335100e-04,8.382586e-04,8.585318e-04,8.725537e-04,8.767422e-04,8.930028e-04,9.038442e-04,9.074218e-04,9.201032e-04,9.282141e-04,9.311468e-04,9.406475e-04,9.464287e-04,9.486959e-04,9.553778e-04,9.591829e-04,9.607752e-04,9.649664e-04,9.671080e-04,9.680256e-04,9.700237e-04,9.707769e-04,9.710281e-04,9.711027e-04,9.707088e-04,9.703084e-04,9.687030e-04,9.673735e-04,9.663415e-04,9.632761e-04,9.611952e-04,9.595562e-04,9.552288e-04,9.525568e-04,9.503385e-04,9.449275e-04,9.418033e-04,9.390359e-04,9.327017e-04,9.292450e-04,9.259608e-04,9.188472e-04,9.151608e-04,9.113932e-04,9.036291e-04,8.998007e-04,8.955838e-04,8.872845e-04,8.833886e-04,8.787569e-04,8.700254e-04,8.661248e-04,8.611128e-04,8.520408e-04,8.481879e-04,8.428297e-04,8.334987e-04,8.297368e-04,8.240660e-04,8.145484e-04,8.109129e-04,8.049621e-04,7.953221e-04,7.918413e-04,7.856425e-04,7.759364e-04,7.726326e-04,7.662165e-04,7.564942e-04,7.533844e-04,7.467805e-04,7.370855e-04,7.341821e-04,7.274187e-04,7.177891e-04,7.151006e-04,7.082048e-04,6.986736e-04,6.962050e-04,6.892025e-04,6.797982e-04,6.775518e-04,6.704669e-04,6.612141e-04,6.591896e-04,6.520451e-04,6.429648e-04,6.411598e-04,6.339775e-04,6.250872e-04,6.234976e-04,6.162977e-04,6.076124e-04,6.062326e-04,5.990341e-04,5.905658e-04,5.893891e-04,5.822098e-04,5.739684e-04,5.729872e-04,5.658434e-04,5.578367e-04,5.570425e-04,5.499496e-04,5.421835e-04,5.415675e-04,5.345394e-04,5.270183e-04,5.265709e-04,5.196208e-04,5.123475e-04,5.120592e-04,5.051988e-04,4.981750e-04,4.980358e-04,4.912761e-04,4.845022e-04,4.714580e-04,4.589009e-04,4.468271e-04,4.352316e-04,4.241082e-04,4.134498e-04,4.032484e-04,3.934954e-04,3.841814e-04,3.752966e-04,3.668310e-04,3.587739e-04,3.511147e-04,3.438423e-04,3.369457e-04,3.304137e-04,3.242350e-04,3.183985e-04,3.128929e-04,3.077070e-04,3.028299e-04,2.982504e-04,2.939578e-04,2.899414e-04,2.861905e-04,2.826948e-04,2.794440e-04,2.764282e-04,2.736374e-04,2.710621e-04,2.686927e-04,2.665200e-04,2.645349e-04,2.627287e-04,2.610927e-04,2.596185e-04,2.582980e-04,2.571232e-04,2.560863e-04,2.551798e-04,2.543965e-04,2.537293e-04,2.531712e-04,2.527156e-04,2.523561e-04,2.520866e-04,2.519009e-04,2.517933e-04,2.517582e-04
0.000000e+00,5.602621e-09,9.104255e-08,9.523533e-08,6.222810e-07,2.185413e-06,2.281671e-06,5.512567e-06,9.547239e-06,9.817052e-06,1.425142e-05,1.803471e-05,1.834666e-05,2.201200e-05,2.495325e-05,2.526019e-05,2.812359e-05,3.035234e-05,3.063648e-05,3.283135e-05,3.448765e-05,3.473837e-05,3.638525e-05,3.758624e-05,3.779739e-05,3.899799e-05,3.983951e-05,4.000818e-05,4.084721e-05,4.140700e-05,4.153255e-05,4.208004e-05,4.242066e-05,4.250402e-05,4.281751e-05,4.298913e-05,4.303225e-05,4.315887e-05,4.320152e-05,4.320697e-05,4.318524e-05,4.313077e-05,4.310150e-05,4.296282e-05,4.283649e-05,4.277558e-05,4.254553e-05,4.236731e-05,4.227785e-05,4.197723e-05,4.176283e-05,4.164787e-05,4.129356e-05,4.105529e-05,4.091770e-05,4.052338e-05,4.027084e-05,4.011333e-05,3.969006e-05,3.943067e-05,3.925577e-05,3.881246e-05,3.855192e-05,3.836192e-05,3.790576e-05,3.764840e-05,3.744541e-05,3.698215e-05,3.673118e-05,3.651712e-05,3.605134e-05,3.580915e-05,3.558573e-05,3.512108e-05,3.488935e-05,3.465812e-05,3.419747e-05,3.397735e-05,3.373970e-05,3.328530e-05,3.307753e-05,3.283470e-05,3.238828e-05,3.219327e-05,3.194637e-05,3.150926e-05,3.132716e-05,3.107719e-05,3.065036e-05,3.048115e-05,3.022897e-05,2.981315e-05,2.965663e-05,2.940304e-05,2.899873e-05,2.885461e-05,2.860030e-05,2.820781e-05,2.807573e-05,2.782131e-05,2.744083e-05,2.732036e-05,2.706639e-05,2.669798e-05,2.658864e-05,2.633561e-05,2.597925e-05,2.588055e-05,2.562889e-05,2.528449e-05,2.519592e-05,2.494602e-05,2.461343e-05,2.453448e-05,2.428667e-05,2.396570e-05,2.389586e-05,2.365045e-05,2.334087e-05,2.327963e-05,2.303689e-05,2.273845e-05,2.268531e-05,2.244548e-05,2.215791e-05,2.211240e-05,2.187567e-05,2.159870e-05,2.156034e-05,2.132692e-05,2.106025e-05,2.102859e-05,2.079862e-05,2.054196e-05,2.051657e-05,2.029020e-05,2.004325e-05,2.002370e-05,1.980105e-05,1.956352e-05,1.954942e-05,1.933059e-05,1.910219e-05,1.909314e-05,1.887823e-05,1.865866e-05,1.865431e-05,1.844340e-05,1.823237e-05,1.782676e-05,1.743695e-05,1.706241e-05,1.670263e-05,1.635710e-05,1.602535e-05,1.570688e-05,1.540125e-05,1.510800e-05,1.482671e-05,1.455694e-05,1.429830e-05,1.405038e-05,1.381281e-05,1.358521e-05,1.336723e-05,1.315851e-05,1.295872e-05,1.276754e-05,1.258466e-05,1.240976e-05,1.224256e-05,1.208277e-05,1.193012e-05,1.178434e-05,1.164518e-05,1.151239e-05,1.138572e-05,1.126495e-05,1.114986e-05,1.104022e-05,1.093584e-05,1.083650e-05,1.074202e-05,1.065220e-05,1.056687e-05,1.048585e-05,1.040897e-05,1.033606e-05,1.026698e-05,1.020156e-05,1.013966e-05,1.008114e-05,1.002586e-05,9.973693e-06,9.924507e-06,9.878179e-06,9.834592e-06,9.793630e-06
0.000000e+00,2.407496e-11,2.628663e-09,2.817559e-09,4.776713e-08,3.484225e-07,3.746898e-07,1.893536e-06,6.571245e-06,7.061174e-06,2.092863e-05,4.846329e-05,5.181226e-05,1.111266e-04,1.999170e-04,2.123206e-04,3.692300e-04,5.633401e-04,5.942951e-04,8.970315e-04,1.223859e-03,1.282993e-03,1.753304e-03,2.211297e-03,2.304722e-03,2.930116e-03,3.491007e-03,3.619205e-03,4.359435e-03,4.979103e-03,5.136874e-03,5.937048e-03,6.567744e-03,6.745656e-03,7.549154e-03,8.148740e-03,8.335187e-03,9.092885e-03,9.629854e-03,9.813031e-03,1.048813e-02,1.094299e-02,1.111238e-02,1.168161e-02,1.204583e-02,1.219312e-02,1.264555e-02,1.291932e-02,1.303871e-02,1.337338e-02,1.356296e-02,1.365114e-02,1.387425e-02,1.398959e-02,1.404542e-02,1.416777e-02,1.422055e-02,1.424462e-02,1.427944e-02,1.428164e-02,1.427578e-02,1.423714e-02,1.420006e-02,1.416696e-02,1.406858e-02,1.400235e-02,1.394517e-02,1.379973e-02,1.371304e-02,1.363510e-02,1.345388e-02,1.335390e-02,1.325849e-02,1.305117e-02,1.294368e-02,1.283395e-02,1.260866e-02,1.249816e-02,1.237699e-02,1.214042e-02,1.203033e-02,1.190030e-02,1.165783e-02,1.155067e-02,1.141405e-02,1.116991e-02,1.106747e-02,1.092624e-02,1.068374e-02,1.058721e-02,1.044304e-02,1.020469e-02,1.011484e-02,9.969157e-03,9.736829e-03,9.654044e-03,9.508048e-03,9.283097e-03,9.207529e-03,9.062210e-03,8.845581e-03,8.777185e-03,8.633363e-03,8.425678e-03,8.364271e-03,8.222619e-03,8.024249e-03,7.969552e-03,7.830616e-03,7.641741e-03,7.593415e-03,7.457635e-03,7.278287e-03,7.235950e-03,7.103679e-03,6.933776e-03,6.897025e-03,6.768537e-03,6.607911e-03,6.576335e-03,6.451841e-03,6.300263e-03,6.273451e-03,6.153109e-03,6.010306e-03,5.987857e-03,5.871780e-03,5.737451e-03,5.718976e-03,5.607239e-03,5.481061e-03,5.466187e-03,5.358834e-03,5.240472e-03,5.228846e-03,5.125892e-03,5.015006e-03,5.006293e-03,4.907731e-03,4.803982e-03,4.797867e-03,4.703672e-03,4.606720e-03,4.602911e-03,4.513042e-03,4.422555e-03,4.420777e-03,4.335178e-03,4.250832e-03,4.092459e-03,3.945060e-03,3.808058e-03,3.680898e-03,3.563045e-03,3.453989e-03,3.353238e-03,3.260327e-03,3.174808e-03,3.096255e-03,3.024263e-03,2.958447e-03,2.898438e-03,2.843886e-03,2.794461e-03,2.749845e-03,2.709738e-03,2.673856e-03,2.641927e-03,2.613694e-03,2.588912e-03,2.567350e-03,2.548787e-03,2.533014e-03,2.519832e-03,2.509052e-03,2.500497e-03,2.493996e-03,2.489389e-03,2.486523e-03,2.485253e-03,2.485444e-03,2.486966e-03,2.489696e-03,2.493518e-03,2.498324e-03,2.504011e-03,2.510482e-03,2.517645e-03,2.525415e-03,2.533711e-03,2.542457e-03,2.551583e-03,2.561024e-03,2.570717e-03,2.580605e-03,2.590636e-03,2.600760e-03,2.610933e-03
0.000000e+00,7.768602e-09,2.235525e-07,2.358592e-07,2.050923e-06,7.786127e-06,8.128246e-06,1.839687e-05,2.898882e-05,2.965516e-05,4.038381e-05,4.954592e-05,5.030972e-05,5.942310e-05,6.696197e-05,6.776238e-05,7.537425e-05,8.150793e-05,8.230519e-05,8.859983e-05,9.353671e-05,9.430059e-05,9.944757e-05,1.033710e-04,1.040788e-04,1.082302e-04,1.113001e-04,1.119356e-04,1.152270e-04,1.175820e-04,1.181341e-04,1.206849e-04,1.224442e-04,1.229057e-04,1.248209e-04,1.260863e-04,1.264535e-04,1.278249e-04,1.286832e-04,1.289548e-04,1.298620e-04,1.303871e-04,1.305638e-04,1.310763e-04,1.313305e-04,1.314145e-04,1.315926e-04,1.316288e-04,1.316234e-04,1.315192e-04,1.313819e-04,1.312912e-04,1.309499e-04,1.306767e-04,1.305052e-04,1.299661e-04,1.295881e-04,1.293410e-04,1.286377e-04,1.281813e-04,1.278636e-04,1.270254e-04,1.265124e-04,1.261295e-04,1.251815e-04,1.246299e-04,1.241869e-04,1.231508e-04,1.225757e-04,1.220778e-04,1.209721e-04,1.203856e-04,1.198378e-04,1.186785e-04,1.180906e-04,1.174977e-04,1.162985e-04,1.157172e-04,1.150838e-04,1.138564e-04,1.132882e-04,1.126187e-04,1.113729e-04,1.108228e-04,1.101213e-04,1.088657e-04,1.083376e-04,1.076079e-04,1.063496e-04,1.058465e-04,1.050923e-04,1.038374e-04,1.033614e-04,1.025861e-04,1.013397e-04,1.008923e-04,1.000990e-04,9.886522e-05,9.844744e-05,9.763911e-05,9.642150e-05,9.603377e-05,9.521309e-05,9.401456e-05,9.365701e-05,9.282647e-05,9.164937e-05,9.132182e-05,9.048372e-05,8.932994e-05,8.903195e-05,8.818841e-05,8.705945e-05,8.679040e-05,8.594335e-05,8.484037e-05,8.459949e-05,8.375071e-05,8.267456e-05,8.246096e-05,8.161207e-05,8.056336e-05,8.037606e-05,7.952853e-05,7.850765e-05,7.834561e-05,7.750079e-05,7.650797e-05,7.637009e-05,7.552920e-05,7.456450e-05,7.444968e-05,7.361384e-05,7.267719e-05,7.258429e-05,7.175450e-05,7.084572e-05,7.077362e-05,6.995079e-05,6.906962e-05,6.901718e-05,6.820213e-05,6.734823e-05,6.731435e-05,6.650781e-05,6.568077e-05,6.566437e-05,6.486700e-05,6.406637e-05,6.251941e-05,6.102247e-05,5.957450e-05,5.817437e-05,5.682096e-05,5.551312e-05,5.424970e-05,5.302953e-05,5.185143e-05,5.071425e-05,4.961683e-05,4.855801e-05,4.753668e-05,4.655173e-05,4.560206e-05,4.468660e-05,4.380431e-05,4.295415e-05,4.213513e-05,4.134625e-05,4.058658e-05,3.985517e-05,3.915111e-05,3.847353e-05,3.782156e-05,3.719437e-05,3.659115e-05,3.601109e-05,3.545345e-05,3.491747e-05,3.440243e-05,3.390763e-05,3.343239e-05,3.297605e-05,3.253796e-05,3.211751e-05,3.171410e-05,3.132714e-05,3.095606e-05,3.060032e-05,3.025938e-05,2.993274e-05,2.961989e-05,2.932034e-05,2.903364e-05,2.875932e-05,2.849696e-05,2.824611e-05,2.800637e-05
0.000000e+00,6.162988e-10,4.301221e-08,4.584540e-08,6.484510e-07,4.100054e-06,4.376893e-06,1.744482e-05,4.392791e-05,4.611419e-05,8.943724e-05,1.361256e-04,1.402964e-04,1.920839e-04,2.365339e-04,2.412910e-04,2.866471e-04,3.231736e-04,3.279123e-04,3.652200e-04,3.943233e-04,3.988124e-04,4.289525e-04,4.517904e-04,4.558970e-04,4.798892e-04,4.975206e-04,5.011576e-04,5.199156e-04,5.332488e-04,5.363623e-04,5.506834e-04,5.604896e-04,5.630512e-04,5.736259e-04,5.805550e-04,5.825557e-04,5.899783e-04,5.945758e-04,5.960209e-04,6.008015e-04,6.035235e-04,6.044289e-04,6.070039e-04,6.082303e-04,6.086195e-04,6.093618e-04,6.094084e-04,6.093100e-04,6.085374e-04,6.076656e-04,6.071115e-04,6.050947e-04,6.035205e-04,6.025444e-04,5.995134e-04,5.974144e-04,5.960506e-04,5.922009e-04,5.897226e-04,5.880054e-04,5.835023e-04,5.807633e-04,5.787263e-04,5.737098e-04,5.708065e-04,5.684821e-04,5.630703e-04,5.600802e-04,5.574992e-04,5.517917e-04,5.487768e-04,5.459685e-04,5.400488e-04,5.370583e-04,5.340500e-04,5.279882e-04,5.250605e-04,5.218779e-04,5.157324e-04,5.128970e-04,5.095638e-04,5.033832e-04,5.006625e-04,4.972006e-04,4.910251e-04,4.884355e-04,4.848649e-04,4.787276e-04,4.762806e-04,4.726199e-04,4.665478e-04,4.642509e-04,4.605168e-04,4.545319e-04,4.523894e-04,4.485973e-04,4.427170e-04,4.407307e-04,4.368944e-04,4.311326e-04,4.293022e-04,4.254344e-04,4.198019e-04,4.181253e-04,4.142373e-04,4.087424e-04,4.072165e-04,4.033185e-04,3.979670e-04,3.965875e-04,3.926888e-04,3.874849e-04,3.862470e-04,3.823557e-04,3.773020e-04,3.762003e-04,3.723238e-04,3.674215e-04,3.664501e-04,3.625951e-04,3.578445e-04,3.569974e-04,3.531696e-04,3.485701e-04,3.478411e-04,3.440457e-04,3.395959e-04,3.389789e-04,3.352204e-04,3.309185e-04,3.304072e-04,3.266897e-04,3.225333e-04,3.221216e-04,3.184485e-04,3.144348e-04,3.141167e-04,3.104913e-04,3.066172e-04,3.063869e-04,3.028117e-04,2.990740e-04,2.989258e-04,2.954031e-04,2.917983e-04,2.917269e-04,2.882586e-04,2.847832e-04,2.780877e-04,2.716333e-04,2.654129e-04,2.594193e-04,2.536452e-04,2.480838e-04,2.427279e-04,2.375709e-04,2.326061e-04,2.278268e-04,2.232267e-04,2.187994e-04,2.145390e-04,2.104394e-04,2.064950e-04,2.027001e-04,1.990496e-04,1.955380e-04,1.921604e-04,1.889118e-04,1.857876e-04,1.827831e-04,1.798941e-04,1.771161e-04,1.744452e-04,1.718774e-04,1.694088e-04,1.670357e-04,1.647547e-04,1.625622e-04,1.604550e-04,1.584299e-04,1.564838e-04,1.546138e-04,1.528170e-04,1.510906e-04,1.494321e-04,1.478389e-04,1.463085e-04,1.448386e-04,1.434269e-04,1.420712e-04,1.407693e-04,1.395193e-04,1.383192e-04,1.371671e-04,1.360612e-04,1.349998e-04,1.339811e-04
0.000000e+00,4.251767e-10,3.648368e-08,3.901490e-08,6.346748e-07,4.511852e-06,4.839439e-06,2.164181e-05,6.031653e-05,6.371601e-05,1.364705e-04,2.248612e-04,2.331953e-04,3.416349e-04,4.403579e-04,4.511362e-04,5.550930e-04,6.394262e-04,6.503506e-04,7.358855e-04,8.017047e-04,8.117639e-04,8.785276e-04,9.280829e-04,9.368860e-04,9.875769e-04,1.023922e-03,1.031311e-03,1.068750e-03,1.094581e-03,1.100505e-03,1.127138e-03,1.144684e-03,1.149157e-03,1.167029e-03,1.178099e-03,1.181176e-03,1.191983e-03,1.198035e-03,1.199797e-03,1.204935e-03,1.207140e-03,1.207683e-03,1.208300e-03,1.207590e-03,1.207020e-03,1.204056e-03,1.201176e-03,1.199598e-03,1.193821e-03,1.189362e-03,1.186881e-03,1.178920e-03,1.173348e-03,1.170064e-03,1.160430e-03,1.154111e-03,1.150120e-03,1.139229e-03,1.132451e-03,1.127841e-03,1.116031e-03,1.109015e-03,1.103868e-03,1.091413e-03,1.084331e-03,1.078721e-03,1.065841e-03,1.058824e-03,1.052819e-03,1.039692e-03,1.032837e-03,1.026497e-03,1.013266e-03,1.006645e-03,1.000026e-03,9.868029e-04,9.804683e-04,9.736187e-04,9.604933e-04,9.544802e-04,9.474441e-04,9.344867e-04,9.288180e-04,9.216344e-04,9.088993e-04,9.035880e-04,8.962916e-04,8.838204e-04,8.788719e-04,8.714934e-04,8.593173e-04,8.547312e-04,8.472977e-04,8.354394e-04,8.312107e-04,8.237464e-04,8.122218e-04,8.083422e-04,8.008681e-04,7.896875e-04,7.861465e-04,7.786814e-04,7.678506e-04,7.646357e-04,7.571960e-04,7.467175e-04,7.438151e-04,7.364153e-04,7.262888e-04,7.236846e-04,7.163373e-04,7.065600e-04,7.042392e-04,6.969557e-04,6.875231e-04,6.854708e-04,6.782607e-04,6.691670e-04,6.673684e-04,6.602403e-04,6.514785e-04,6.499188e-04,6.428800e-04,6.344427e-04,6.331076e-04,6.261645e-04,6.180434e-04,6.169189e-04,6.100772e-04,6.022636e-04,6.013361e-04,5.946005e-04,5.870857e-04,5.863423e-04,5.797169e-04,5.724917e-04,5.719199e-04,5.654081e-04,5.584636e-04,5.580513e-04,5.516560e-04,5.449830e-04,5.447189e-04,5.384425e-04,5.320322e-04,5.319053e-04,5.257498e-04,5.195932e-04,5.077655e-04,4.964056e-04,4.854970e-04,4.750240e-04,4.649708e-04,4.553225e-04,4.460642e-04,4.371819e-04,4.286615e-04,4.204899e-04,4.126540e-04,4.051413e-04,3.979397e-04,3.910376e-04,3.844236e-04,3.780868e-04,3.720168e-04,3.662034e-04,3.606367e-04,3.553074e-04,3.502063e-04,3.453246e-04,3.406539e-04,3.361860e-04,3.319131e-04,3.278274e-04,3.239218e-04,3.201891e-04,3.166227e-04,3.132159e-04,3.099624e-04,3.068562e-04,3.038914e-04,3.010624e-04,2.983637e-04,2.957901e-04,2.933367e-04,2.909984e-04,2.887707e-04,2.866491e-04,2.846292e-04,2.827068e-04,2.808780e-04,2.791389e-04,2.774857e-04,2.759149e-04,2.744230e-04,2.730067e-04,2.716628e-04
0.000000e+00,1.117411e-08,2.375997e-07,2.495977e-07,1.971338e-06,7.783354e-06,8.149516e-06,1.998051e-05,3.332648e-05,3.418966e-05,4.835961e-05,6.081401e-05,6.186629e-05,7.459364e-05,8.537658e-05,8.653597e-05,9.771304e-05,1.069364e-04,1.081508e-04,1.178771e-04,1.256941e-04,1.269200e-04,1.353085e-04,1.418700e-04,1.430712e-04,1.502371e-04,1.556878e-04,1.568347e-04,1.628921e-04,1.673677e-04,1.684369e-04,1.734957e-04,1.771210e-04,1.780945e-04,1.822580e-04,1.851460e-04,1.860102e-04,1.893741e-04,1.916263e-04,1.923715e-04,1.950235e-04,1.967302e-04,1.973499e-04,1.993698e-04,2.006112e-04,2.011014e-04,2.025620e-04,2.034087e-04,2.037679e-04,2.047347e-04,2.052492e-04,2.054774e-04,2.060100e-04,2.062467e-04,2.063458e-04,2.064975e-04,2.065045e-04,2.064772e-04,2.062964e-04,2.061153e-04,2.059658e-04,2.054956e-04,2.051629e-04,2.048957e-04,2.041753e-04,2.037224e-04,2.033429e-04,2.024070e-04,2.018613e-04,2.013753e-04,2.002552e-04,1.996402e-04,1.990537e-04,1.977774e-04,1.971132e-04,1.964325e-04,1.950250e-04,1.943287e-04,1.935603e-04,1.920438e-04,1.913301e-04,1.904803e-04,1.888747e-04,1.881560e-04,1.872312e-04,1.855541e-04,1.848406e-04,1.838471e-04,1.821141e-04,1.814144e-04,1.803585e-04,1.785836e-04,1.779046e-04,1.767923e-04,1.749876e-04,1.743351e-04,1.731721e-04,1.713485e-04,1.707270e-04,1.695190e-04,1.676859e-04,1.670989e-04,1.658513e-04,1.640170e-04,1.634671e-04,1.621850e-04,1.603569e-04,1.598459e-04,1.585342e-04,1.567186e-04,1.562478e-04,1.549112e-04,1.531134e-04,1.526835e-04,1.513264e-04,1.495512e-04,1.491623e-04,1.477888e-04,1.460402e-04,1.456923e-04,1.443063e-04,1.425878e-04,1.422801e-04,1.408854e-04,1.391997e-04,1.389316e-04,1.375315e-04,1.358811e-04,1.356516e-04,1.342492e-04,1.326361e-04,1.324438e-04,1.310423e-04,1.294680e-04,1.293117e-04,1.279137e-04,1.263795e-04,1.262576e-04,1.248657e-04,1.233724e-04,1.232835e-04,1.219000e-04,1.204484e-04,1.203908e-04,1.190179e-04,1.176084e-04,1.175804e-04,1.162200e-04,1.148528e-04,1.122083e-04,1.096466e-04,1.071674e-04,1.047699e-04,1.024533e-04,1.002165e-04,9.805836e-05,9.597754e-05,9.397260e-05,9.204201e-05,9.018416e-05,8.839739e-05,8.668000e-05,8.503024e-05,8.344634e-05,8.192653e-05,8.046901e-05,7.907200e-05,7.773372e-05,7.645238e-05,7.522624e-05,7.405355e-05,7.293260e-05,7.186171e-05,7.083920e-05,6.986344e-05,6.893284e-05,6.804583e-05,6.720088e-05,6.639649e-05,6.563119e-05,6.490357e-05,6.421222e-05,6.355581e-05,6.293301e-05,6.234253e-05,6.178314e-05,6.125363e-05,6.075283e-05,6.027959e-05,5.983280e-05,5.941141e-05,5.901438e-05,5.864069e-05,5.828937e-05,5.795950e-05,5.765014e-05,5.736043e-05,5.708951e-05
0.000000e+00,1.321495e-09,1.014099e-07,1.081594e-07,1.557297e-06,1.026628e-05,1.098601e-05,4.678009e-05,1.249103e-04,1.315894e-04,2.699750e-04,4.311391e-04,4.461187e-04,6.397706e-04,8.168475e-04,8.363732e-04,1.028044e-03,1.189776e-03,1.211260e-03,1.384720e-03,1.525831e-03,1.548097e-03,1.701460e-03,1.822709e-03,1.845035e-03,1.979109e-03,2.082187e-03,2.104006e-03,2.220068e-03,2.306794e-03,2.327649e-03,2.427112e-03,2.499290e-03,2.518818e-03,2.603130e-03,2.662481e-03,2.680403e-03,2.750987e-03,2.799111e-03,2.815219e-03,2.873428e-03,2.911787e-03,2.925930e-03,2.973031e-03,3.002944e-03,3.015022e-03,3.052184e-03,3.074834e-03,3.084786e-03,3.113083e-03,3.129521e-03,3.137321e-03,3.157734e-03,3.168895e-03,3.174546e-03,3.187968e-03,3.194678e-03,3.198205e-03,3.205449e-03,3.208436e-03,3.209885e-03,3.211687e-03,3.211592e-03,3.211024e-03,3.208052e-03,3.205436e-03,3.202923e-03,3.195780e-03,3.191134e-03,3.186760e-03,3.175991e-03,3.169741e-03,3.163596e-03,3.149691e-03,3.142208e-03,3.134388e-03,3.117790e-03,3.109392e-03,3.099997e-03,3.081104e-03,3.072068e-03,3.061199e-03,3.040367e-03,3.030928e-03,3.018688e-03,2.996239e-03,2.986597e-03,2.973090e-03,2.949310e-03,2.939635e-03,2.924962e-03,2.900108e-03,2.890542e-03,2.874804e-03,2.849104e-03,2.839765e-03,2.823060e-03,2.796719e-03,2.787704e-03,2.770127e-03,2.743327e-03,2.734713e-03,2.716358e-03,2.689259e-03,2.681109e-03,2.662065e-03,2.634810e-03,2.627172e-03,2.607525e-03,2.580239e-03,2.573148e-03,2.552980e-03,2.525774e-03,2.519255e-03,2.498644e-03,2.471615e-03,2.465683e-03,2.444705e-03,2.417937e-03,2.412601e-03,2.391326e-03,2.364892e-03,2.360153e-03,2.338648e-03,2.312611e-03,2.308465e-03,2.286793e-03,2.261207e-03,2.257644e-03,2.235865e-03,2.210777e-03,2.207784e-03,2.185952e-03,2.161401e-03,2.158961e-03,2.137130e-03,2.113147e-03,2.111241e-03,2.089459e-03,2.066072e-03,2.064678e-03,2.042990e-03,2.020220e-03,2.019315e-03,1.997764e-03,1.975626e-03,1.975187e-03,1.953811e-03,1.932319e-03,1.890730e-03,1.850433e-03,1.811433e-03,1.773732e-03,1.737327e-03,1.702211e-03,1.668373e-03,1.635800e-03,1.604475e-03,1.574380e-03,1.545494e-03,1.517795e-03,1.491259e-03,1.465862e-03,1.441577e-03,1.418379e-03,1.396239e-03,1.375130e-03,1.355025e-03,1.335894e-03,1.317710e-03,1.300443e-03,1.284066e-03,1.268550e-03,1.253867e-03,1.239989e-03,1.226888e-03,1.214538e-03,1.202911e-03,1.191981e-03,1.181722e-03,1.172107e-03,1.163113e-03,1.154714e-03,1.146886e-03,1.139606e-03,1.132850e-03,1.126595e-03,1.120821e-03,1.115505e-03,1.110626e-03,1.106164e-03,1.102098e-03,1.098411e-03,1.095083e-03,1.092095e-03,1.089430e-03,1.087072e-03,1.085002e-03
0.000000e+00,1.789295e-09,1.131915e-07,1.202631e-07,1.390166e-06,7.150309e-06,7.573634e-06,2.570044e-05,5.979520e-05,6.260368e-05,1.199627e-04,1.867037e-04,1.929274e-04,2.734467e-04,3.466248e-04,3.546393e-04,4.325363e-04,4.969967e-04,5.054634e-04,5.729469e-04,6.266439e-04,6.350140e-04,6.918697e-04,7.357911e-04,7.437744e-04,7.910009e-04,8.264269e-04,8.338216e-04,8.725040e-04,9.006432e-04,9.073044e-04,9.384614e-04,9.603810e-04,9.662021e-04,9.907439e-04,1.007384e-03,1.012294e-03,1.031050e-03,1.043240e-03,1.047197e-03,1.060912e-03,1.069373e-03,1.072359e-03,1.081697e-03,1.087057e-03,1.089072e-03,1.094624e-03,1.097425e-03,1.098484e-03,1.100775e-03,1.101485e-03,1.101614e-03,1.101110e-03,1.100131e-03,1.099366e-03,1.096479e-03,1.094155e-03,1.092539e-03,1.087632e-03,1.084257e-03,1.081838e-03,1.075232e-03,1.071057e-03,1.067886e-03,1.059865e-03,1.055101e-03,1.051231e-03,1.042043e-03,1.036870e-03,1.032354e-03,1.022218e-03,1.016785e-03,1.011680e-03,1.000786e-03,9.952181e-04,9.895770e-04,9.780927e-04,9.724931e-04,9.663692e-04,9.544406e-04,9.488933e-04,9.423384e-04,9.300922e-04,9.246654e-04,9.177294e-04,9.052756e-04,9.000236e-04,8.927543e-04,8.801877e-04,8.751530e-04,8.675962e-04,8.549985e-04,8.502134e-04,8.424122e-04,8.298534e-04,8.253418e-04,8.173369e-04,8.048765e-04,8.006550e-04,7.924848e-04,7.801733e-04,7.762522e-04,7.679525e-04,7.558321e-04,7.522169e-04,7.438209e-04,7.319270e-04,7.286187e-04,7.201574e-04,7.085189e-04,7.055150e-04,6.970171e-04,6.856574e-04,6.829527e-04,6.744443e-04,6.633822e-04,6.609691e-04,6.524744e-04,6.417243e-04,6.395934e-04,6.311345e-04,6.207073e-04,6.188478e-04,6.104446e-04,6.003480e-04,5.987480e-04,5.904186e-04,5.806575e-04,5.793044e-04,5.710652e-04,5.616422e-04,5.605228e-04,5.523884e-04,5.433039e-04,5.424047e-04,5.343882e-04,5.256409e-04,5.249484e-04,5.170613e-04,5.086486e-04,5.081491e-04,5.004017e-04,4.923194e-04,4.919996e-04,4.844006e-04,4.766439e-04,4.764904e-04,4.690477e-04,4.616104e-04,4.473472e-04,4.336867e-04,4.206145e-04,4.081149e-04,3.961720e-04,3.847693e-04,3.738901e-04,3.635177e-04,3.536351e-04,3.442255e-04,3.352721e-04,3.267584e-04,3.186681e-04,3.109852e-04,3.036939e-04,2.967788e-04,2.902250e-04,2.840177e-04,2.781428e-04,2.725864e-04,2.673351e-04,2.623759e-04,2.576963e-04,2.532841e-04,2.491276e-04,2.452153e-04,2.415365e-04,2.380805e-04,2.348373e-04,2.317970e-04,2.289504e-04,2.262883e-04,2.238021e-04,2.214836e-04,2.193246e-04,2.173176e-04,2.154551e-04,2.137302e-04,2.121361e-04,2.106662e-04,2.093144e-04,2.080747e-04,2.069414e-04,2.059091e-04,2.049725e-04,2.041266e-04,2.033667e-04,2.026881e-04,2.020865e-04
0.000000e+00,7.177788e-10,5.704823e-08,6.089215e-08,8.970350e-07,5.865619e-06,6.273203e-06,2.658922e-05,7.291119e-05,7.701009e-05,1.659508e-04,2.761132e-04,2.865642e-04,4.228254e-04,5.465038e-04,5.599490e-04,6.888028e-04,7.920004e-04,8.052674e-04,9.082405e-04,9.862562e-04,9.980734e-04,1.075690e-03,1.132243e-03,1.142179e-03,1.198627e-03,1.238140e-03,1.246055e-03,1.285403e-03,1.311643e-03,1.317529e-03,1.343209e-03,1.359220e-03,1.363147e-03,1.377977e-03,1.386187e-03,1.388273e-03,1.394552e-03,1.396888e-03,1.397279e-03,1.396870e-03,1.394848e-03,1.393703e-03,1.388115e-03,1.382925e-03,1.380407e-03,1.370853e-03,1.363427e-03,1.359696e-03,1.347153e-03,1.338212e-03,1.333420e-03,1.318673e-03,1.308774e-03,1.303066e-03,1.286739e-03,1.276311e-03,1.269818e-03,1.252412e-03,1.241778e-03,1.234622e-03,1.216534e-03,1.205938e-03,1.198228e-03,1.179772e-03,1.169395e-03,1.161229e-03,1.142653e-03,1.132625e-03,1.124091e-03,1.105587e-03,1.095999e-03,1.087176e-03,1.068891e-03,1.059806e-03,1.050762e-03,1.032812e-03,1.024266e-03,1.015063e-03,9.975324e-04,9.895464e-04,9.802367e-04,9.631889e-04,9.557694e-04,9.464002e-04,9.298796e-04,9.230228e-04,9.136348e-04,8.976719e-04,8.913667e-04,8.819955e-04,8.666092e-04,8.608390e-04,8.515153e-04,8.367155e-04,8.314597e-04,8.222103e-04,8.079997e-04,8.032352e-04,7.940831e-04,7.804591e-04,7.761609e-04,7.671259e-04,7.540814e-04,7.502239e-04,7.413228e-04,7.288473e-04,7.254045e-04,7.166517e-04,7.047325e-04,7.016783e-04,6.930860e-04,6.817085e-04,6.790174e-04,6.705958e-04,6.597439e-04,6.573911e-04,6.491486e-04,6.388057e-04,6.367670e-04,6.287107e-04,6.188593e-04,6.171115e-04,6.092470e-04,5.998695e-04,5.983906e-04,5.907223e-04,5.818009e-04,5.805697e-04,5.731010e-04,5.646181e-04,5.636146e-04,5.563480e-04,5.482861e-04,5.474912e-04,5.404284e-04,5.327704e-04,5.321663e-04,5.253081e-04,5.180373e-04,5.176071e-04,5.109540e-04,5.040539e-04,5.037817e-04,4.973333e-04,4.907882e-04,4.906590e-04,4.844146e-04,4.782090e-04,4.664024e-04,4.552112e-04,4.446082e-04,4.345671e-04,4.250627e-04,4.160709e-04,4.075683e-04,3.995326e-04,3.919422e-04,3.847766e-04,3.780159e-04,3.716414e-04,3.656347e-04,3.599786e-04,3.546563e-04,3.496518e-04,3.449500e-04,3.405361e-04,3.363962e-04,3.325168e-04,3.288852e-04,3.254890e-04,3.223165e-04,3.193565e-04,3.165982e-04,3.140314e-04,3.116462e-04,3.094333e-04,3.073836e-04,3.054886e-04,3.037401e-04,3.021303e-04,3.006516e-04,2.992969e-04,2.980595e-04,2.969327e-04,2.959103e-04,2.949865e-04,2.941556e-04,2.934121e-04,2.927509e-04,2.921671e-04,2.916560e-04,2.912131e-04,2.908343e-04,2.905154e-04,2.902527e-04,2.900424e-04,2.898811e-04
0.000000e+00,4.521232e-11,5.185440e-09,5.569119e-09,1.050807e-07,8.179111e-07,8.807816e-07,4.454510e-06,1.472905e-05,1.575840e-05,4.269256e-05,8.905451e-05,9.428078e-05,1.777764e-04,2.830879e-04,2.965580e-04,4.496430e-04,6.091723e-04,6.324701e-04,8.382363e-04,1.027664e-03,1.059231e-03,1.287878e-03,1.480876e-03,1.517415e-03,1.742236e-03,1.919983e-03,1.957995e-03,2.161543e-03,2.314149e-03,2.350782e-03,2.524489e-03,2.648828e-03,2.682119e-03,2.823650e-03,2.920652e-03,2.949433e-03,3.060078e-03,3.132661e-03,3.156360e-03,3.239155e-03,3.290931e-03,3.309382e-03,3.367974e-03,3.402558e-03,3.415848e-03,3.453887e-03,3.474569e-03,3.482937e-03,3.503791e-03,3.513429e-03,3.517194e-03,3.523841e-03,3.524847e-03,3.524373e-03,3.519387e-03,3.513766e-03,3.509430e-03,3.495007e-03,3.484404e-03,3.476581e-03,3.454579e-03,3.440334e-03,3.429390e-03,3.401373e-03,3.384571e-03,3.370855e-03,3.338135e-03,3.319649e-03,3.303489e-03,3.267166e-03,3.247692e-03,3.229395e-03,3.190386e-03,3.170478e-03,3.150329e-03,3.109398e-03,3.089488e-03,3.067752e-03,3.025534e-03,3.005958e-03,2.982875e-03,2.939894e-03,2.920909e-03,2.896700e-03,2.853391e-03,2.835188e-03,2.810055e-03,2.766771e-03,2.749489e-03,2.723613e-03,2.680646e-03,2.664381e-03,2.637927e-03,2.595510e-03,2.580323e-03,2.553440e-03,2.511761e-03,2.497685e-03,2.470508e-03,2.429715e-03,2.416763e-03,2.389410e-03,2.349618e-03,2.337785e-03,2.310363e-03,2.271662e-03,2.260927e-03,2.233532e-03,2.195986e-03,2.186321e-03,2.159036e-03,2.122692e-03,2.114060e-03,2.086960e-03,2.051846e-03,2.044204e-03,2.017355e-03,1.983489e-03,1.976790e-03,1.950249e-03,1.917635e-03,1.911832e-03,1.885648e-03,1.854284e-03,1.849324e-03,1.823542e-03,1.793417e-03,1.789249e-03,1.763906e-03,1.735003e-03,1.731575e-03,1.706703e-03,1.679001e-03,1.676264e-03,1.651890e-03,1.625363e-03,1.623266e-03,1.599414e-03,1.574034e-03,1.572529e-03,1.549216e-03,1.524953e-03,1.523994e-03,1.501236e-03,1.478057e-03,1.477599e-03,1.455408e-03,1.433280e-03,1.390973e-03,1.350609e-03,1.312124e-03,1.275449e-03,1.240518e-03,1.207267e-03,1.175631e-03,1.145547e-03,1.116953e-03,1.089790e-03,1.063998e-03,1.039521e-03,1.016305e-03,9.942952e-04,9.734410e-04,9.536926e-04,9.350019e-04,9.173228e-04,9.006108e-04,8.848230e-04,8.699182e-04,8.558569e-04,8.426008e-04,8.301136e-04,8.183600e-04,8.073063e-04,7.969203e-04,7.871709e-04,7.780284e-04,7.694642e-04,7.614510e-04,7.539626e-04,7.469739e-04,7.404608e-04,7.344004e-04,7.287704e-04,7.235498e-04,7.187183e-04,7.142566e-04,7.101461e-04,7.063690e-04,7.029083e-04,6.997478e-04,6.968718e-04,6.942656e-04,6.919148e-04,6.898058e-04,6.879256e-04,6.862617e-04
0.000000e+00,2.674436e-10,3.247256e-09,3.384077e-09,1.952007e-08,6.594636e-08,6.881787e-08,1.675306e-07,2.985423e-07,3.076195e-07,4.614175e-07,5.974775e-07,6.088278e-07,7.433090e-07,8.525006e-07,8.639557e-07,9.713783e-07,1.055725e-06,1.066529e-06,1.150398e-06,1.214232e-06,1.223940e-06,1.288050e-06,1.335225e-06,1.343561e-06,1.391244e-06,1.425005e-06,1.431812e-06,1.465922e-06,1.488966e-06,1.494176e-06,1.517130e-06,1.531683e-06,1.535291e-06,1.549126e-06,1.557010e-06,1.559060e-06,1.565484e-06,1.568188e-06,1.568753e-06,1.569192e-06,1.567924e-06,1.567098e-06,1.562742e-06,1.558480e-06,1.556371e-06,1.548208e-06,1.541740e-06,1.538460e-06,1.527311e-06,1.519269e-06,1.514932e-06,1.501476e-06,1.492365e-06,1.487084e-06,1.471881e-06,1.462100e-06,1.455984e-06,1.439496e-06,1.429360e-06,1.422513e-06,1.405119e-06,1.394874e-06,1.387393e-06,1.369404e-06,1.359238e-06,1.351214e-06,1.332881e-06,1.322940e-06,1.314456e-06,1.295984e-06,1.286374e-06,1.277507e-06,1.259062e-06,1.249861e-06,1.240680e-06,1.222393e-06,1.213656e-06,1.204225e-06,1.186199e-06,1.177961e-06,1.168337e-06,1.150656e-06,1.142937e-06,1.133171e-06,1.115897e-06,1.108707e-06,1.098844e-06,1.082024e-06,1.075364e-06,1.065445e-06,1.049115e-06,1.042975e-06,1.033038e-06,1.017220e-06,1.011590e-06,1.001666e-06,9.863775e-07,9.812405e-07,9.713574e-07,9.566069e-07,9.519438e-07,9.421268e-07,9.279174e-07,9.237073e-07,9.139783e-07,9.003086e-07,8.965292e-07,8.869071e-07,8.737722e-07,8.704006e-07,8.609019e-07,8.482940e-07,8.453069e-07,8.359459e-07,8.238549e-07,8.212291e-07,8.120180e-07,8.004322e-07,7.981449e-07,7.890941e-07,7.780004e-07,7.760292e-07,7.671475e-07,7.565319e-07,7.548552e-07,7.461499e-07,7.359977e-07,7.345945e-07,7.260717e-07,7.163679e-07,7.152182e-07,7.068826e-07,6.976120e-07,6.966965e-07,6.885521e-07,6.796991e-07,6.789997e-07,6.710493e-07,6.625987e-07,6.620979e-07,6.543436e-07,6.462802e-07,6.459616e-07,6.384048e-07,6.307136e-07,6.305617e-07,6.232031e-07,6.158695e-07,6.018570e-07,5.884970e-07,5.757628e-07,5.636286e-07,5.520696e-07,5.410614e-07,5.305808e-07,5.206053e-07,5.111130e-07,5.020832e-07,4.934957e-07,4.853313e-07,4.775712e-07,4.701977e-07,4.631936e-07,4.565426e-07,4.502288e-07,4.442372e-07,4.385532e-07,4.331630e-07,4.280532e-07,4.232112e-07,4.186246e-07,4.142818e-07,4.101717e-07,4.062834e-07,4.026068e-07,3.991319e-07,3.958495e-07,3.927505e-07,3.898262e-07,3.870686e-07,3.844696e-07,3.820218e-07,3.797180e-07,3.775512e-07,3.755149e-07,3.736028e-07,3.718089e-07,3.701273e-07,3.685526e-07,3.670796e-07,3.657032e-07,3.644185e-07,3.632211e-07,3.621066e-07,3.610707e-07,3.601094e-07,3.592190e-07
0.000000e+00,2.296136e-10,3.374809e-09,3.531090e-09,2.405141e-08,8.910530e-08,9.319708e-08,2.292476e-07,3.891169e-07,3.995024e-07,5.683765e-07,7.125321e-07,7.244818e-07,8.658596e-07,9.807757e-07,9.928511e-07,1.106334e-06,1.195799e-06,1.207283e-06,1.296649e-06,1.364928e-06,1.375332e-06,1.444178e-06,1.494986e-06,1.503977e-06,1.555467e-06,1.591973e-06,1.599336e-06,1.636230e-06,1.661126e-06,1.666746e-06,1.691444e-06,1.707004e-06,1.710842e-06,1.725420e-06,1.733551e-06,1.735623e-06,1.741863e-06,1.744153e-06,1.744518e-06,1.743940e-06,1.741704e-06,1.740451e-06,1.734347e-06,1.728666e-06,1.725902e-06,1.715367e-06,1.707128e-06,1.702973e-06,1.688930e-06,1.678853e-06,1.673433e-06,1.656658e-06,1.645328e-06,1.638769e-06,1.619914e-06,1.607798e-06,1.600228e-06,1.579836e-06,1.567309e-06,1.558850e-06,1.537373e-06,1.524729e-06,1.515499e-06,1.493312e-06,1.480780e-06,1.470890e-06,1.448303e-06,1.436060e-06,1.425614e-06,1.402879e-06,1.391056e-06,1.380150e-06,1.357474e-06,1.346168e-06,1.334891e-06,1.312439e-06,1.301719e-06,1.290152e-06,1.268058e-06,1.257967e-06,1.246183e-06,1.224551e-06,1.215115e-06,1.203181e-06,1.182092e-06,1.173321e-06,1.161298e-06,1.140812e-06,1.132707e-06,1.120646e-06,1.100809e-06,1.093359e-06,1.081309e-06,1.062151e-06,1.055339e-06,1.043341e-06,1.024883e-06,1.018688e-06,1.006778e-06,9.890296e-07,9.834252e-07,9.716370e-07,9.546005e-07,9.495589e-07,9.379194e-07,9.215919e-07,9.170834e-07,9.056162e-07,8.899895e-07,8.859833e-07,8.747087e-07,8.597705e-07,8.562359e-07,8.451710e-07,8.309060e-07,8.278121e-07,8.169710e-07,8.033615e-07,8.006782e-07,7.900725e-07,7.770990e-07,7.747969e-07,7.644359e-07,7.520777e-07,7.501284e-07,7.400192e-07,7.282547e-07,7.266309e-07,7.167789e-07,7.055861e-07,7.042617e-07,6.946706e-07,6.840270e-07,6.829774e-07,6.736496e-07,6.635327e-07,6.627345e-07,6.536710e-07,6.440587e-07,6.434898e-07,6.346904e-07,6.255608e-07,6.252005e-07,6.166643e-07,6.079958e-07,6.078247e-07,5.995498e-07,5.913213e-07,5.756505e-07,5.607734e-07,5.466526e-07,5.332519e-07,5.205364e-07,5.084728e-07,4.970288e-07,4.861737e-07,4.758782e-07,4.661140e-07,4.568544e-07,4.480737e-07,4.397477e-07,4.318529e-07,4.243673e-07,4.172700e-07,4.105408e-07,4.041609e-07,3.981121e-07,3.923774e-07,3.869404e-07,3.817858e-07,3.768988e-07,3.722656e-07,3.678730e-07,3.637086e-07,3.597604e-07,3.560172e-07,3.524684e-07,3.491040e-07,3.459143e-07,3.428902e-07,3.400233e-07,3.373053e-07,3.347285e-07,3.322856e-07,3.299698e-07,3.277744e-07,3.256932e-07,3.237204e-07,3.218503e-07,3.200777e-07,3.183976e-07,3.168051e-07,3.152959e-07,3.138656e-07,3.125102e-07,3.112259e-07,3.100090e-07
0.000000e+00,3.474341e-10,5.598773e-09,5.856599e-09,3.665090e-08,1.183755e-07,1.231211e-07,2.706448e-07,4.346572e-07,4.451520e-07,6.133154e-07,7.532533e-07,7.647086e-07,8.985671e-07,1.005056e-06,1.016120e-06,1.118870e-06,1.198196e-06,1.208263e-06,1.285635e-06,1.343492e-06,1.352203e-06,1.409074e-06,1.450090e-06,1.457253e-06,1.497647e-06,1.525540e-06,1.531078e-06,1.558289e-06,1.576030e-06,1.579948e-06,1.596658e-06,1.606607e-06,1.608962e-06,1.617347e-06,1.621372e-06,1.622255e-06,1.624078e-06,1.623652e-06,1.623173e-06,1.619857e-06,1.616139e-06,1.614418e-06,1.607111e-06,1.601009e-06,1.598167e-06,1.587793e-06,1.580017e-06,1.576173e-06,1.563475e-06,1.554575e-06,1.549846e-06,1.535418e-06,1.525821e-06,1.520312e-06,1.504633e-06,1.494666e-06,1.488476e-06,1.471929e-06,1.461844e-06,1.455065e-06,1.437954e-06,1.427940e-06,1.420654e-06,1.403219e-06,1.393415e-06,1.385697e-06,1.368128e-06,1.358636e-06,1.350551e-06,1.332998e-06,1.323890e-06,1.315498e-06,1.298076e-06,1.289402e-06,1.280755e-06,1.263554e-06,1.255346e-06,1.246491e-06,1.229580e-06,1.221855e-06,1.212834e-06,1.196264e-06,1.189031e-06,1.179879e-06,1.163688e-06,1.156947e-06,1.147696e-06,1.131911e-06,1.125655e-06,1.116336e-06,1.100974e-06,1.095193e-06,1.085829e-06,1.070903e-06,1.065583e-06,1.056197e-06,1.041712e-06,1.036837e-06,1.027448e-06,1.013406e-06,1.008959e-06,9.995841e-07,9.859828e-07,9.819451e-07,9.726005e-07,9.594358e-07,9.557885e-07,9.464871e-07,9.337528e-07,9.304767e-07,9.212306e-07,9.089186e-07,9.059948e-07,8.968145e-07,8.849160e-07,8.823256e-07,8.732204e-07,8.617254e-07,8.594503e-07,8.504283e-07,8.393265e-07,8.373487e-07,8.284173e-07,8.176979e-07,8.160002e-07,8.071656e-07,7.968176e-07,7.953834e-07,7.866512e-07,7.766636e-07,7.754770e-07,7.668520e-07,7.572137e-07,7.562593e-07,7.477458e-07,7.384458e-07,7.377089e-07,7.293108e-07,7.203381e-07,7.198049e-07,7.115251e-07,7.028692e-07,7.025262e-07,6.943677e-07,6.860180e-07,6.858525e-07,6.778176e-07,6.697639e-07,6.542407e-07,6.392641e-07,6.248155e-07,6.108769e-07,5.974310e-07,5.844609e-07,5.719501e-07,5.598830e-07,5.482441e-07,5.370186e-07,5.261922e-07,5.157511e-07,5.056818e-07,4.959715e-07,4.866075e-07,4.775779e-07,4.688710e-07,4.604755e-07,4.523806e-07,4.445757e-07,4.370507e-07,4.297959e-07,4.228018e-07,4.160592e-07,4.095594e-07,4.032939e-07,3.972544e-07,3.914330e-07,3.858221e-07,3.804143e-07,3.752024e-07,3.701797e-07,3.653394e-07,3.606751e-07,3.561807e-07,3.518501e-07,3.476777e-07,3.436578e-07,3.397850e-07,3.360543e-07,3.324605e-07,3.289988e-07,3.256646e-07,3.224534e-07,3.193608e-07,3.163827e-07,3.135149e-07,3.107535e-07,3.080949e-07
0.000000e+00,5.490785e-09,2.284202e-07,2.413632e-07,2.258276e-06,9.854786e-06,1.036873e-05,2.982282e-05,5.951883e-05,6.171372e-05,1.012016e-04,1.390307e-04,1.422825e-04,1.817868e-04,2.151678e-04,2.187411e-04,2.529772e-04,2.808978e-04,2.845492e-04,3.135671e-04,3.365741e-04,3.401548e-04,3.644392e-04,3.831499e-04,3.865458e-04,4.065978e-04,4.215912e-04,4.247147e-04,4.410119e-04,4.528140e-04,4.556001e-04,4.685851e-04,4.776657e-04,4.800680e-04,4.901449e-04,4.969196e-04,4.989075e-04,5.064426e-04,5.112768e-04,5.128324e-04,5.181550e-04,5.213677e-04,5.224836e-04,5.258874e-04,5.277552e-04,5.284321e-04,5.301794e-04,5.309420e-04,5.311877e-04,5.315122e-04,5.313768e-04,5.312042e-04,5.303126e-04,5.294569e-04,5.288831e-04,5.269588e-04,5.255353e-04,5.245804e-04,5.217860e-04,5.199245e-04,5.186112e-04,5.150895e-04,5.129006e-04,5.112525e-04,5.071297e-04,5.047064e-04,5.027487e-04,4.981354e-04,4.955564e-04,4.933143e-04,4.883079e-04,4.856385e-04,4.831375e-04,4.778229e-04,4.751174e-04,4.723827e-04,4.668341e-04,4.641371e-04,4.611933e-04,4.554753e-04,4.528230e-04,4.496941e-04,4.438627e-04,4.412840e-04,4.379930e-04,4.320965e-04,4.296144e-04,4.261833e-04,4.202633e-04,4.178953e-04,4.143452e-04,4.084373e-04,4.061965e-04,4.025471e-04,3.966817e-04,3.945774e-04,3.908474e-04,3.850500e-04,3.830883e-04,3.792951e-04,3.735874e-04,3.717717e-04,3.679315e-04,3.623313e-04,3.606627e-04,3.567906e-04,3.513126e-04,3.497905e-04,3.459004e-04,3.405566e-04,3.391787e-04,3.352834e-04,3.300831e-04,3.288460e-04,3.249573e-04,3.199077e-04,3.188072e-04,3.149357e-04,3.100423e-04,3.090731e-04,3.052285e-04,3.004951e-04,2.996516e-04,2.958426e-04,2.912714e-04,2.905476e-04,2.867820e-04,2.823743e-04,2.817638e-04,2.780485e-04,2.738044e-04,2.733006e-04,2.696419e-04,2.655607e-04,2.651570e-04,2.615603e-04,2.576403e-04,2.573301e-04,2.538002e-04,2.500393e-04,2.498161e-04,2.463569e-04,2.427525e-04,2.426099e-04,2.392250e-04,2.357738e-04,2.357055e-04,2.323979e-04,2.290964e-04,2.227753e-04,2.167346e-04,2.109662e-04,2.054617e-04,2.002129e-04,1.952109e-04,1.904473e-04,1.859133e-04,1.816004e-04,1.775001e-04,1.736041e-04,1.699040e-04,1.663917e-04,1.630595e-04,1.598996e-04,1.569046e-04,1.540670e-04,1.513800e-04,1.488367e-04,1.464305e-04,1.441551e-04,1.420043e-04,1.399722e-04,1.380533e-04,1.362419e-04,1.345330e-04,1.329215e-04,1.314026e-04,1.299717e-04,1.286244e-04,1.273565e-04,1.261640e-04,1.250430e-04,1.239899e-04,1.230012e-04,1.220735e-04,1.212036e-04,1.203886e-04,1.196255e-04,1.189116e-04,1.182443e-04,1.176211e-04,1.170396e-04,1.164975e-04,1.159927e-04,1.155233e-04,1.150871e-04,1.146825e-04,1.143076e-04
0.000000e+00,1.751828e-09,2.788491e-08,2.918510e-08,1.898072e-07,6.146770e-07,6.383791e-07,1.313383e-06,1.987793e-06,2.030350e-06,2.722228e-06,3.325817e-06,3.376749e-06,3.992476e-06,4.513981e-06,4.570052e-06,5.110649e-06,5.556829e-06,5.615573e-06,6.086012e-06,6.464049e-06,6.523332e-06,6.928933e-06,7.246159e-06,7.304227e-06,7.650617e-06,7.914060e-06,7.969486e-06,8.262187e-06,8.478390e-06,8.530033e-06,8.774295e-06,8.949239e-06,8.996201e-06,9.196928e-06,9.336015e-06,9.377609e-06,9.539329e-06,9.647407e-06,9.683127e-06,9.809996e-06,9.891395e-06,9.920886e-06,1.001671e-05,1.007528e-05,1.009832e-05,1.016655e-05,1.020571e-05,1.022219e-05,1.026599e-05,1.028876e-05,1.029866e-05,1.032089e-05,1.032993e-05,1.033332e-05,1.033657e-05,1.033424e-05,1.033123e-05,1.031786e-05,1.030620e-05,1.029698e-05,1.026911e-05,1.024992e-05,1.023472e-05,1.019426e-05,1.016912e-05,1.014817e-05,1.009687e-05,1.006713e-05,1.004073e-05,9.980133e-06,9.946976e-06,9.915423e-06,9.846933e-06,9.811370e-06,9.774978e-06,9.699854e-06,9.662753e-06,9.621845e-06,9.541217e-06,9.503318e-06,9.458221e-06,9.373097e-06,9.335026e-06,9.286069e-06,9.197350e-06,9.159633e-06,9.107142e-06,9.015633e-06,8.978706e-06,8.923002e-06,8.829418e-06,8.793639e-06,8.735039e-06,8.640014e-06,8.605674e-06,8.544484e-06,8.448579e-06,8.415909e-06,8.352425e-06,8.256138e-06,8.225315e-06,8.159825e-06,8.063589e-06,8.034748e-06,7.967526e-06,7.871724e-06,7.844958e-06,7.776268e-06,7.681233e-06,7.656602e-06,7.586693e-06,7.492715e-06,7.470251e-06,7.399361e-06,7.306688e-06,7.286397e-06,7.214751e-06,7.123598e-06,7.105465e-06,7.033275e-06,6.943823e-06,6.927817e-06,6.855281e-06,6.767683e-06,6.753758e-06,6.681062e-06,6.595446e-06,6.583542e-06,6.510862e-06,6.427331e-06,6.417379e-06,6.344876e-06,6.263515e-06,6.255440e-06,6.183264e-06,6.104137e-06,6.097856e-06,6.026146e-06,5.949302e-06,5.944728e-06,5.873613e-06,5.799086e-06,5.796129e-06,5.725727e-06,5.653538e-06,5.652106e-06,5.582523e-06,5.512683e-06,5.377865e-06,5.247638e-06,5.121974e-06,5.000831e-06,4.884157e-06,4.771888e-06,4.663953e-06,4.560272e-06,4.460761e-06,4.365328e-06,4.273880e-06,4.186320e-06,4.102546e-06,4.022457e-06,3.945949e-06,3.872918e-06,3.803259e-06,3.736868e-06,3.673639e-06,3.613470e-06,3.556258e-06,3.501901e-06,3.450300e-06,3.401356e-06,3.354971e-06,3.311053e-06,3.269507e-06,3.230242e-06,3.193170e-06,3.158205e-06,3.125261e-06,3.094256e-06,3.065111e-06,3.037748e-06,3.012091e-06,2.988066e-06,2.965603e-06,2.944633e-06,2.925089e-06,2.906906e-06,2.890023e-06,2.874377e-06,2.859912e-06,2.846571e-06,2.834299e-06,2.823044e-06,2.812755e-06,2.803384e-06,2.794883e-06
0.000000e+00,5.868797e-10,7.020287e-08,7.554311e-08,1.442934e-06,9.421981e-06,1.003538e-05,3.572008e-05,7.767273e-05,8.079915e-05,1.369387e-04,1.897357e-04,1.941854e-04,2.464872e-04,2.873919e-04,2.915582e-04,3.291933e-04,3.566567e-04,3.600254e-04,3.849134e-04,4.022096e-04,4.047026e-04,4.201527e-04,4.302630e-04,4.319235e-04,4.405826e-04,4.457043e-04,4.466160e-04,4.504388e-04,4.521456e-04,4.524057e-04,4.528187e-04,4.522291e-04,4.519351e-04,4.499737e-04,4.478776e-04,4.471204e-04,4.435327e-04,4.404846e-04,4.393445e-04,4.346690e-04,4.310554e-04,4.296021e-04,4.242247e-04,4.203129e-04,4.186052e-04,4.128016e-04,4.087750e-04,4.068622e-04,4.008282e-04,3.968107e-04,3.947337e-04,3.886077e-04,3.846818e-04,3.824743e-04,3.763534e-04,3.725722e-04,3.702618e-04,3.642134e-04,3.606099e-04,3.582196e-04,3.522897e-04,3.488828e-04,3.464314e-04,3.406508e-04,3.374494e-04,3.349526e-04,3.293409e-04,3.263475e-04,3.238184e-04,3.183873e-04,3.155999e-04,3.130493e-04,3.078054e-04,3.052189e-04,3.026560e-04,2.976015e-04,2.952090e-04,2.926417e-04,2.877763e-04,2.855697e-04,2.830046e-04,2.783259e-04,2.762965e-04,2.737393e-04,2.692438e-04,2.673825e-04,2.648381e-04,2.605212e-04,2.588190e-04,2.562917e-04,2.521483e-04,2.505961e-04,2.480897e-04,2.441144e-04,2.427035e-04,2.402211e-04,2.364084e-04,2.351302e-04,2.326748e-04,2.290189e-04,2.278652e-04,2.254393e-04,2.219346e-04,2.208976e-04,2.185033e-04,2.151442e-04,2.142163e-04,2.118557e-04,2.086366e-04,2.078108e-04,2.054855e-04,2.024010e-04,2.016705e-04,1.993819e-04,1.964269e-04,1.957853e-04,1.935347e-04,1.907041e-04,1.901452e-04,1.879338e-04,1.852226e-04,1.847407e-04,1.825693e-04,1.799728e-04,1.795625e-04,1.774319e-04,1.749455e-04,1.746017e-04,1.725125e-04,1.701318e-04,1.698495e-04,1.678023e-04,1.655230e-04,1.652978e-04,1.632929e-04,1.611110e-04,1.609385e-04,1.589762e-04,1.568876e-04,1.567638e-04,1.548443e-04,1.528454e-04,1.527663e-04,1.508898e-04,1.489768e-04,1.489390e-04,1.471055e-04,1.452749e-04,1.417674e-04,1.384102e-04,1.351972e-04,1.321224e-04,1.291804e-04,1.263657e-04,1.236730e-04,1.210974e-04,1.186341e-04,1.162786e-04,1.140263e-04,1.118730e-04,1.098147e-04,1.078474e-04,1.059674e-04,1.041712e-04,1.024551e-04,1.008160e-04,9.925063e-05,9.775592e-05,9.632896e-05,9.496691e-05,9.366709e-05,9.242690e-05,9.124386e-05,9.011557e-05,8.903974e-05,8.801418e-05,8.703677e-05,8.610550e-05,8.521842e-05,8.437367e-05,8.356946e-05,8.280408e-05,8.207589e-05,8.138329e-05,8.072479e-05,8.009893e-05,7.950431e-05,7.893960e-05,7.840352e-05,7.789484e-05,7.741238e-05,7.695500e-05,7.652162e-05,7.611121e-05,7.572276e-05,7.535531e-05,7.500795e-05
0.000000e+00,1.618020e-09,3.008002e-08,3.156683e-08,2.301461e-07,8.183802e-07,8.530988e-07,1.895446e-06,2.980669e-06,3.049398e-06,4.163927e-06,5.128142e-06,5.209072e-06,6.181633e-06,6.996507e-06,7.083613e-06,7.918065e-06,8.599093e-06,8.688225e-06,9.397322e-06,9.960730e-06,1.004853e-05,1.064496e-05,1.110584e-05,1.118963e-05,1.168548e-05,1.205761e-05,1.213531e-05,1.254182e-05,1.283758e-05,1.290760e-05,1.323510e-05,1.346549e-05,1.352667e-05,1.378454e-05,1.395928e-05,1.401081e-05,1.420748e-05,1.433509e-05,1.437646e-05,1.451953e-05,1.460745e-05,1.463839e-05,1.473465e-05,1.478940e-05,1.480982e-05,1.486534e-05,1.489256e-05,1.490255e-05,1.492274e-05,1.492733e-05,1.492711e-05,1.491680e-05,1.490299e-05,1.489287e-05,1.485634e-05,1.482778e-05,1.480816e-05,1.474923e-05,1.470906e-05,1.468038e-05,1.460242e-05,1.455333e-05,1.451609e-05,1.442210e-05,1.436637e-05,1.432111e-05,1.421374e-05,1.415331e-05,1.410057e-05,1.398215e-05,1.391867e-05,1.385900e-05,1.373160e-05,1.366645e-05,1.360041e-05,1.346584e-05,1.340017e-05,1.332830e-05,1.318816e-05,1.312292e-05,1.304577e-05,1.290145e-05,1.283742e-05,1.275551e-05,1.260824e-05,1.254605e-05,1.245989e-05,1.231073e-05,1.225088e-05,1.216097e-05,1.201083e-05,1.195372e-05,1.186051e-05,1.171021e-05,1.165613e-05,1.156008e-05,1.141029e-05,1.135947e-05,1.126099e-05,1.111231e-05,1.106489e-05,1.096439e-05,1.081733e-05,1.077339e-05,1.067124e-05,1.052622e-05,1.048582e-05,1.038236e-05,1.023975e-05,1.020288e-05,1.009845e-05,9.958533e-06,9.925167e-06,9.820065e-06,9.683098e-06,9.653172e-06,9.547683e-06,9.413862e-06,9.387293e-06,9.281677e-06,9.151161e-06,9.127848e-06,9.022345e-06,8.895255e-06,8.875083e-06,8.769914e-06,8.646341e-06,8.629183e-06,8.524551e-06,8.404556e-06,8.390278e-06,8.286367e-06,8.169990e-06,8.158452e-06,8.055429e-06,7.942686e-06,7.933746e-06,7.831762e-06,7.722654e-06,7.716165e-06,7.615358e-06,7.509868e-06,7.505686e-06,7.406178e-06,7.304277e-06,7.302257e-06,7.204156e-06,7.105803e-06,6.916231e-06,6.733431e-06,6.557281e-06,6.387646e-06,6.224382e-06,6.067339e-06,5.916361e-06,5.771287e-06,5.631954e-06,5.498197e-06,5.369849e-06,5.246745e-06,5.128719e-06,5.015605e-06,4.907242e-06,4.803470e-06,4.704129e-06,4.609064e-06,4.518125e-06,4.431161e-06,4.348028e-06,4.268584e-06,4.192690e-06,4.120213e-06,4.051022e-06,3.984990e-06,3.921995e-06,3.861918e-06,3.804642e-06,3.750058e-06,3.698057e-06,3.648534e-06,3.601390e-06,3.556527e-06,3.513851e-06,3.473273e-06,3.434704e-06,3.398062e-06,3.363265e-06,3.330235e-06,3.298898e-06,3.269182e-06,3.241017e-06,3.214337e-06,3.189078e-06,3.165177e-06,3.142576e-06,3.121219e-06,3.101049e-06
0.000000e+00,5.898178e-09,1.374717e-07,1.443242e-07,1.144793e-06,4.969285e-06,5.233586e-06,1.541707e-05,3.056657e-05,3.164767e-05,5.036758e-05,6.762086e-05,6.909521e-05,8.705099e-05,1.023982e-04,1.040545e-04,1.200822e-04,1.333934e-04,1.351522e-04,1.492939e-04,1.607386e-04,1.625406e-04,1.749270e-04,1.846925e-04,1.864883e-04,1.972593e-04,2.055263e-04,2.072748e-04,2.165691e-04,2.235077e-04,2.251755e-04,2.331266e-04,2.388940e-04,2.404541e-04,2.471884e-04,2.519279e-04,2.533590e-04,2.589942e-04,2.628356e-04,2.641212e-04,2.687663e-04,2.718263e-04,2.729543e-04,2.767092e-04,2.790923e-04,2.800540e-04,2.830106e-04,2.848102e-04,2.856001e-04,2.878423e-04,2.891413e-04,2.897565e-04,2.913609e-04,2.922332e-04,2.926730e-04,2.937093e-04,2.942204e-04,2.944859e-04,2.950178e-04,2.952255e-04,2.953194e-04,2.954045e-04,2.953599e-04,2.952862e-04,2.949770e-04,2.947249e-04,2.944888e-04,2.938328e-04,2.934126e-04,2.930199e-04,2.920603e-04,2.915065e-04,2.909637e-04,2.897395e-04,2.890823e-04,2.883964e-04,2.869428e-04,2.862083e-04,2.853868e-04,2.837358e-04,2.829464e-04,2.819970e-04,2.801774e-04,2.793527e-04,2.782832e-04,2.763208e-04,2.754776e-04,2.742959e-04,2.722140e-04,2.713665e-04,2.700804e-04,2.679001e-04,2.670603e-04,2.656777e-04,2.634177e-04,2.625957e-04,2.611243e-04,2.588015e-04,2.580057e-04,2.564531e-04,2.540826e-04,2.533199e-04,2.516933e-04,2.492885e-04,2.485645e-04,2.468712e-04,2.444441e-04,2.437632e-04,2.420100e-04,2.395712e-04,2.389367e-04,2.371303e-04,2.346893e-04,2.341038e-04,2.322505e-04,2.298156e-04,2.292807e-04,2.273867e-04,2.249653e-04,2.244821e-04,2.225531e-04,2.201516e-04,2.197206e-04,2.177622e-04,2.153862e-04,2.150073e-04,2.130248e-04,2.106791e-04,2.103521e-04,2.083503e-04,2.060392e-04,2.057632e-04,2.037469e-04,2.014740e-04,2.012478e-04,1.992214e-04,1.969898e-04,1.968122e-04,1.947798e-04,1.925920e-04,1.924615e-04,1.904270e-04,1.882852e-04,1.882000e-04,1.861670e-04,1.840729e-04,1.840313e-04,1.820032e-04,1.799582e-04,1.759831e-04,1.721075e-04,1.683327e-04,1.646594e-04,1.610879e-04,1.576182e-04,1.542499e-04,1.509826e-04,1.478153e-04,1.447470e-04,1.417765e-04,1.389024e-04,1.361232e-04,1.334372e-04,1.308428e-04,1.283380e-04,1.259210e-04,1.235899e-04,1.213428e-04,1.191775e-04,1.170922e-04,1.150846e-04,1.131529e-04,1.112949e-04,1.095087e-04,1.077922e-04,1.061433e-04,1.045602e-04,1.030408e-04,1.015832e-04,1.001855e-04,9.884581e-05,9.756233e-05,9.633323e-05,9.515675e-05,9.403114e-05,9.295472e-05,9.192582e-05,9.094284e-05,9.000418e-05,8.910832e-05,8.825375e-05,8.743901e-05,8.666268e-05,8.592338e-05,8.521976e-05,8.455052e-05,8.391438e-05,8.331011e-05
0.000000e+00,2.356501e-09,2.993890e-08,3.122171e-08,1.853558e-07,6.338175e-07,6.613913e-07,1.575893e-06,2.670690e-06,2.742310e-06,3.904419e-06,4.883098e-06,4.963406e-06,5.902214e-06,6.647957e-06,6.725311e-06,7.441893e-06,7.992111e-06,8.061688e-06,8.593938e-06,8.988175e-06,9.047169e-06,9.429194e-06,9.700319e-06,9.747167e-06,1.000763e-05,1.018251e-05,1.021657e-05,1.037944e-05,1.047992e-05,1.050121e-05,1.058642e-05,1.063014e-05,1.063915e-05,1.066314e-05,1.066423e-05,1.066175e-05,1.063800e-05,1.060765e-05,1.059463e-05,1.053411e-05,1.048117e-05,1.045865e-05,1.037025e-05,1.030164e-05,1.027070e-05,1.016157e-05,1.008264e-05,1.004432e-05,9.920203e-06,9.835093e-06,9.790377e-06,9.655856e-06,9.567721e-06,9.517545e-06,9.376253e-06,9.287472e-06,9.232695e-06,9.087507e-06,8.999850e-06,8.941254e-06,8.794430e-06,8.709187e-06,8.647476e-06,8.500775e-06,8.418861e-06,8.354666e-06,8.209447e-06,8.131490e-06,8.065373e-06,7.922671e-06,7.849073e-06,7.781533e-06,7.642124e-06,7.573114e-06,7.504588e-06,7.369043e-06,7.304720e-06,7.235591e-06,7.104315e-06,7.044678e-06,6.975283e-06,6.848550e-06,6.793526e-06,6.724156e-06,6.602133e-06,6.551596e-06,6.482502e-06,6.365277e-06,6.319063e-06,6.250464e-06,6.138060e-06,6.095977e-06,6.028059e-06,5.920450e-06,5.882293e-06,5.815215e-06,5.712334e-06,5.677887e-06,5.611784e-06,5.513538e-06,5.482581e-06,5.417567e-06,5.323840e-06,5.296155e-06,5.232325e-06,5.142987e-06,5.118357e-06,5.055789e-06,4.970697e-06,4.948913e-06,4.887672e-06,4.806676e-06,4.787534e-06,4.727671e-06,4.650618e-06,4.633924e-06,4.575478e-06,4.502213e-06,4.487782e-06,4.430784e-06,4.361152e-06,4.348806e-06,4.293278e-06,4.227125e-06,4.216698e-06,4.162655e-06,4.099830e-06,4.091163e-06,4.038613e-06,3.978968e-06,3.971914e-06,3.920858e-06,3.864249e-06,3.858669e-06,3.809105e-06,3.755393e-06,3.751157e-06,3.703078e-06,3.652127e-06,3.649112e-06,3.602507e-06,3.554188e-06,3.552282e-06,3.507137e-06,3.461324e-06,3.460420e-06,3.416718e-06,3.373291e-06,3.290670e-06,3.212340e-06,3.138093e-06,3.067731e-06,3.001065e-06,2.937913e-06,2.878104e-06,2.821472e-06,2.767860e-06,2.717119e-06,2.669106e-06,2.623685e-06,2.580727e-06,2.540108e-06,2.501712e-06,2.465427e-06,2.431146e-06,2.398769e-06,2.368199e-06,2.339345e-06,2.312120e-06,2.286441e-06,2.262230e-06,2.239411e-06,2.217914e-06,2.197671e-06,2.178617e-06,2.160691e-06,2.143835e-06,2.127994e-06,2.113114e-06,2.099147e-06,2.086044e-06,2.073761e-06,2.062254e-06,2.051482e-06,2.041406e-06,2.031991e-06,2.023200e-06,2.015000e-06,2.007360e-06,2.000249e-06,1.993639e-06,1.987503e-06,1.981814e-06,1.976549e-06,1.971684e-06,1.967196e-06,1.963065e-06
0.000000e+00,5.636798e-10,7.285570e-09,7.604620e-09,4.713662e-08,1.654602e-07,1.727867e-07,4.167331e-07,7.119260e-07,7.314795e-07,1.055756e-06,1.342642e-06,1.366887e-06,1.659859e-06,1.907479e-06,1.934065e-06,2.189952e-06,2.400543e-06,2.428233e-06,2.649686e-06,2.827277e-06,2.855098e-06,3.045242e-06,3.193721e-06,3.220878e-06,3.382743e-06,3.505695e-06,3.531547e-06,3.667980e-06,3.768662e-06,3.792700e-06,3.906342e-06,3.987683e-06,4.009512e-06,4.102791e-06,4.167410e-06,4.186733e-06,4.261867e-06,4.312093e-06,4.328697e-06,4.387703e-06,4.425601e-06,4.439344e-06,4.484053e-06,4.511446e-06,4.522242e-06,4.554305e-06,4.572801e-06,4.580618e-06,4.601536e-06,4.612553e-06,4.617399e-06,4.628527e-06,4.633305e-06,4.635225e-06,4.637782e-06,4.637409e-06,4.636473e-06,4.631559e-06,4.626982e-06,4.623285e-06,4.611885e-06,4.603929e-06,4.597581e-06,4.580581e-06,4.569959e-06,4.561085e-06,4.539278e-06,4.526605e-06,4.515340e-06,4.489437e-06,4.475244e-06,4.461728e-06,4.432364e-06,4.417105e-06,4.401485e-06,4.369226e-06,4.353289e-06,4.335713e-06,4.301065e-06,4.284777e-06,4.265394e-06,4.228807e-06,4.212444e-06,4.191403e-06,4.153276e-06,4.137069e-06,4.114515e-06,4.075202e-06,4.059341e-06,4.035417e-06,3.995232e-06,3.979872e-06,3.954717e-06,3.913936e-06,3.899202e-06,3.872951e-06,3.831818e-06,3.817808e-06,3.790590e-06,3.749317e-06,3.736108e-06,3.708047e-06,3.666821e-06,3.654469e-06,3.625682e-06,3.584666e-06,3.573208e-06,3.543809e-06,3.503143e-06,3.492605e-06,3.462699e-06,3.422505e-06,3.412899e-06,3.382587e-06,3.342969e-06,3.334295e-06,3.303672e-06,3.264718e-06,3.256970e-06,3.226124e-06,3.187908e-06,3.181071e-06,3.150085e-06,3.112670e-06,3.106722e-06,3.075675e-06,3.039111e-06,3.034027e-06,3.002989e-06,2.967318e-06,2.963069e-06,2.932107e-06,2.897362e-06,2.893913e-06,2.863089e-06,2.829295e-06,2.826612e-06,2.795982e-06,2.763156e-06,2.761202e-06,2.730818e-06,2.698972e-06,2.697709e-06,2.667619e-06,2.636760e-06,2.636148e-06,2.606395e-06,2.576525e-06,2.518838e-06,2.463078e-06,2.409230e-06,2.357272e-06,2.307180e-06,2.258924e-06,2.212473e-06,2.167791e-06,2.124841e-06,2.083582e-06,2.043976e-06,2.005979e-06,1.969549e-06,1.934643e-06,1.901216e-06,1.869225e-06,1.838626e-06,1.809375e-06,1.781428e-06,1.754743e-06,1.729277e-06,1.704988e-06,1.681835e-06,1.659778e-06,1.638775e-06,1.618790e-06,1.599784e-06,1.581719e-06,1.564560e-06,1.548271e-06,1.532818e-06,1.518168e-06,1.504288e-06,1.491147e-06,1.478715e-06,1.466961e-06,1.455857e-06,1.445376e-06,1.435491e-06,1.426175e-06,1.417405e-06,1.409154e-06,1.401401e-06,1.394123e-06,1.387298e-06,1.380904e-06,1.374923e-06,1.369334e-06,1.364119e-06
0.000000e+00,3.547700e-09,1.102840e-07,1.159606e-07,8.871713e-07,3.403138e-06,3.565042e-06,9.397586e-06,1.790226e-05,1.852722e-05,2.986337e-05,4.092571e-05,4.188145e-05,5.345870e-05,6.308641e-05,6.410421e-05,7.370563e-05,8.131109e-05,8.228945e-05,8.992105e-05,9.577854e-05,9.667373e-05,1.026196e-04,1.070406e-04,1.078269e-04,1.123592e-04,1.156135e-04,1.162754e-04,1.196304e-04,1.219442e-04,1.224744e-04,1.248539e-04,1.264150e-04,1.268115e-04,1.283864e-04,1.293495e-04,1.296144e-04,1.305284e-04,1.310203e-04,1.311584e-04,1.315323e-04,1.316569e-04,1.316750e-04,1.316097e-04,1.314517e-04,1.313576e-04,1.309379e-04,1.305658e-04,1.303682e-04,1.296647e-04,1.291342e-04,1.288420e-04,1.279136e-04,1.272696e-04,1.268916e-04,1.257873e-04,1.250658e-04,1.246108e-04,1.233713e-04,1.226010e-04,1.220774e-04,1.207365e-04,1.199401e-04,1.193558e-04,1.179415e-04,1.171371e-04,1.164995e-04,1.150348e-04,1.142362e-04,1.135523e-04,1.120562e-04,1.112741e-04,1.105503e-04,1.090383e-04,1.082809e-04,1.075232e-04,1.060079e-04,1.052812e-04,1.044948e-04,1.029865e-04,1.022947e-04,1.014848e-04,9.999158e-05,9.933770e-05,9.850855e-05,9.703714e-05,9.642293e-05,9.557864e-05,9.413419e-05,9.356058e-05,9.270480e-05,9.129134e-05,9.075856e-05,8.989457e-05,8.851516e-05,8.802294e-05,8.715368e-05,8.581060e-05,8.535822e-05,8.448632e-05,8.318119e-05,8.276764e-05,8.189547e-05,8.062936e-05,8.025338e-05,7.938303e-05,7.815657e-05,7.781674e-05,7.695006e-05,7.576352e-05,7.545829e-05,7.459693e-05,7.345027e-05,7.317803e-05,7.232346e-05,7.121641e-05,7.097549e-05,7.012899e-05,6.906108e-05,6.884983e-05,6.801252e-05,6.698313e-05,6.679986e-05,6.597274e-05,6.498113e-05,6.482421e-05,6.400812e-05,6.305347e-05,6.292127e-05,6.211696e-05,6.119836e-05,6.108932e-05,6.029743e-05,5.941393e-05,5.932653e-05,5.854760e-05,5.769821e-05,5.763098e-05,5.686548e-05,5.604917e-05,5.600071e-05,5.524902e-05,5.446478e-05,5.443374e-05,5.369618e-05,5.294297e-05,5.292806e-05,5.220489e-05,5.148169e-05,5.009262e-05,4.875892e-05,4.747864e-05,4.624989e-05,4.507083e-05,4.393965e-05,4.285458e-05,4.181391e-05,4.081597e-05,3.985916e-05,3.894191e-05,3.806270e-05,3.722008e-05,3.641264e-05,3.563900e-05,3.489786e-05,3.418794e-05,3.350802e-05,3.285692e-05,3.223350e-05,3.163667e-05,3.106539e-05,3.051862e-05,2.999541e-05,2.949481e-05,2.901591e-05,2.855785e-05,2.811980e-05,2.770095e-05,2.730053e-05,2.691781e-05,2.655205e-05,2.620259e-05,2.586876e-05,2.554993e-05,2.524550e-05,2.495487e-05,2.467749e-05,2.441282e-05,2.416033e-05,2.391954e-05,2.368997e-05,2.347115e-05,2.326264e-05,2.306403e-05,2.287490e-05,2.269486e-05,2.252354e-05,2.236058e-05
0.000000e+00,7.728478e-09,1.640449e-07,1.720902e-07,1.243288e-06,4.620141e-06,4.833099e-06,1.220133e-05,2.188604e-05,2.254965e-05,3.366698e-05,4.338270e-05,4.419117e-05,5.376835e-05,6.155794e-05,6.237643e-05,7.006734e-05,7.612843e-05,7.690630e-05,8.295839e-05,8.758128e-05,8.828570e-05,9.294665e-05,9.638705e-05,9.699600e-05,1.004849e-04,1.029610e-04,1.034609e-04,1.059684e-04,1.076648e-04,1.080484e-04,1.097390e-04,1.108101e-04,1.110754e-04,1.120900e-04,1.126643e-04,1.128127e-04,1.132712e-04,1.134553e-04,1.134908e-04,1.134949e-04,1.133766e-04,1.133050e-04,1.129408e-04,1.125920e-04,1.124205e-04,1.117606e-04,1.112399e-04,1.109763e-04,1.100817e-04,1.094371e-04,1.090896e-04,1.080115e-04,1.072815e-04,1.068583e-04,1.056398e-04,1.048555e-04,1.043649e-04,1.030417e-04,1.022278e-04,1.016778e-04,1.002799e-04,9.945594e-05,9.885412e-05,9.740616e-05,9.658753e-05,9.594110e-05,9.446354e-05,9.366195e-05,9.297768e-05,9.148730e-05,9.071167e-05,8.999582e-05,8.850631e-05,8.776316e-05,8.702153e-05,8.554396e-05,8.483795e-05,8.407582e-05,8.261910e-05,8.195334e-05,8.117556e-05,7.974676e-05,7.912313e-05,7.833409e-05,7.693874e-05,7.635812e-05,7.556178e-05,7.420412e-05,7.366664e-05,7.286655e-05,7.154975e-05,7.105493e-05,7.025427e-05,6.898058e-05,6.852747e-05,6.772907e-05,6.650002e-05,6.608730e-05,6.529367e-05,6.411016e-05,6.373629e-05,6.294961e-05,6.181205e-05,6.147527e-05,6.069748e-05,5.960586e-05,5.930430e-05,5.853709e-05,5.749105e-05,5.722278e-05,5.646758e-05,5.546651e-05,5.522957e-05,5.448763e-05,5.353069e-05,5.332309e-05,5.259547e-05,5.168168e-05,5.150147e-05,5.078905e-05,4.991728e-05,4.976256e-05,4.906607e-05,4.823511e-05,4.810401e-05,4.742406e-05,4.663260e-05,4.652334e-05,4.586039e-05,4.510710e-05,4.501796e-05,4.437239e-05,4.365590e-05,4.358524e-05,4.295729e-05,4.227623e-05,4.222249e-05,4.161236e-05,4.096534e-05,4.092704e-05,4.033482e-05,3.972047e-05,3.969623e-05,3.912195e-05,3.853893e-05,3.852742e-05,3.797106e-05,3.741802e-05,3.636550e-05,3.536738e-05,3.442125e-05,3.352478e-05,3.267571e-05,3.187186e-05,3.111113e-05,3.039148e-05,2.971098e-05,2.906775e-05,2.846000e-05,2.788602e-05,2.734415e-05,2.683283e-05,2.635056e-05,2.589588e-05,2.546744e-05,2.506391e-05,2.468406e-05,2.432668e-05,2.399063e-05,2.367485e-05,2.337828e-05,2.309994e-05,2.283891e-05,2.259428e-05,2.236520e-05,2.215087e-05,2.195052e-05,2.176340e-05,2.158883e-05,2.142614e-05,2.127470e-05,2.113390e-05,2.100319e-05,2.088201e-05,2.076984e-05,2.066621e-05,2.057063e-05,2.048268e-05,2.040192e-05,2.032796e-05,2.026041e-05,2.019892e-05,2.014313e-05,2.009273e-05,2.004741e-05,2.000686e-05,1.997082e-05
0.000000e+00,2.773517e-09,4.249909e-08,4.446485e-08,2.996864e-07,1.087098e-06,1.135812e-06,2.716928e-06,4.501241e-06,4.614744e-06,6.419849e-06,7.899037e-06,8.019017e-06,9.406518e-06,1.048859e-05,1.059976e-05,1.161954e-05,1.238920e-05,1.248562e-05,1.321591e-05,1.374762e-05,1.382643e-05,1.433146e-05,1.468353e-05,1.474374e-05,1.507458e-05,1.529218e-05,1.533403e-05,1.553100e-05,1.564894e-05,1.567340e-05,1.576821e-05,1.581311e-05,1.582159e-05,1.583899e-05,1.583114e-05,1.582523e-05,1.578450e-05,1.573921e-05,1.572054e-05,1.563662e-05,1.556548e-05,1.553563e-05,1.542007e-05,1.533171e-05,1.529216e-05,1.515382e-05,1.505467e-05,1.500675e-05,1.485245e-05,1.474727e-05,1.469220e-05,1.452714e-05,1.441944e-05,1.435826e-05,1.418644e-05,1.407877e-05,1.401243e-05,1.383688e-05,1.373106e-05,1.366038e-05,1.348340e-05,1.338072e-05,1.330640e-05,1.312974e-05,1.303108e-05,1.295375e-05,1.277870e-05,1.268465e-05,1.260483e-05,1.243235e-05,1.234327e-05,1.226143e-05,1.209223e-05,1.200831e-05,1.192486e-05,1.175943e-05,1.168074e-05,1.159603e-05,1.143473e-05,1.136125e-05,1.127559e-05,1.111865e-05,1.105030e-05,1.096395e-05,1.081152e-05,1.074818e-05,1.066137e-05,1.051352e-05,1.045503e-05,1.036798e-05,1.022473e-05,1.017090e-05,1.008379e-05,9.945134e-06,9.895778e-06,9.808761e-06,9.674654e-06,9.629571e-06,9.542796e-06,9.413169e-06,9.372156e-06,9.285752e-06,9.160523e-06,9.123377e-06,9.037458e-06,8.916532e-06,8.883053e-06,8.797721e-06,8.680996e-06,8.650987e-06,8.566333e-06,8.453703e-06,8.426971e-06,8.343078e-06,8.234431e-06,8.210791e-06,8.127733e-06,8.022957e-06,8.002230e-06,7.920073e-06,7.819054e-06,7.801067e-06,7.719871e-06,7.622497e-06,7.607083e-06,7.526902e-06,7.433060e-06,7.420061e-06,7.340943e-06,7.250523e-06,7.239786e-06,7.161774e-06,7.074667e-06,7.066046e-06,6.989178e-06,6.905279e-06,6.898635e-06,6.822945e-06,6.742149e-06,6.737350e-06,6.662867e-06,6.585073e-06,6.581992e-06,6.508743e-06,6.433852e-06,6.432369e-06,6.360377e-06,6.288292e-06,6.149580e-06,6.016053e-06,5.887539e-06,5.763871e-06,5.644886e-06,5.530427e-06,5.420340e-06,5.314476e-06,5.212694e-06,5.114852e-06,5.020817e-06,4.930459e-06,4.843649e-06,4.760268e-06,4.680195e-06,4.603316e-06,4.529520e-06,4.458701e-06,4.390753e-06,4.325577e-06,4.263075e-06,4.203153e-06,4.145721e-06,4.090689e-06,4.037973e-06,3.987490e-06,3.939161e-06,3.892909e-06,3.848658e-06,3.806338e-06,3.765878e-06,3.727211e-06,3.690271e-06,3.654996e-06,3.621324e-06,3.589197e-06,3.558558e-06,3.529352e-06,3.501525e-06,3.475027e-06,3.449806e-06,3.425816e-06,3.403009e-06,3.381341e-06,3.360769e-06,3.341250e-06,3.322744e-06,3.305212e-06,3.288616e-06
0.000000e+00,1.662763e-10,2.156875e-08,2.322288e-08,5.022559e-07,4.536810e-06,4.916734e-06,2.910037e-05,1.105279e-04,1.192594e-04,3.703515e-04,8.722080e-04,9.331533e-04,2.007919e-03,3.606581e-03,3.829450e-03,6.648769e-03,1.015330e-02,1.071498e-02,1.625940e-02,2.236415e-02,2.348304e-02,3.254757e-02,4.167129e-02,4.356985e-02,5.661942e-02,6.884994e-02,7.171862e-02,8.884471e-02,1.039631e-01,1.079335e-01,1.288840e-01,1.464336e-01,1.515639e-01,1.758148e-01,1.951870e-01,2.014583e-01,2.283012e-01,2.488181e-01,2.561406e-01,2.847686e-01,3.057519e-01,3.139766e-01,3.435587e-01,3.643814e-01,3.733150e-01,4.030540e-01,4.231738e-01,4.325947e-01,4.617683e-01,4.807456e-01,4.904192e-01,5.184056e-01,5.359090e-01,5.456005e-01,5.718913e-01,5.876938e-01,5.971797e-01,6.213818e-01,6.353519e-01,6.444274e-01,6.662591e-01,6.783471e-01,6.868321e-01,7.061130e-01,7.163370e-01,7.240791e-01,7.407178e-01,7.491491e-01,7.560253e-01,7.700059e-01,7.767550e-01,7.826713e-01,7.940396e-01,7.992446e-01,8.041347e-01,8.129856e-01,8.168017e-01,8.206254e-01,8.270907e-01,8.296812e-01,8.324211e-01,8.366586e-01,8.381880e-01,8.398469e-01,8.420317e-01,8.426611e-01,8.432591e-01,8.435762e-01,8.434588e-01,8.430302e-01,8.416683e-01,8.409466e-01,8.395373e-01,8.366835e-01,8.354881e-01,8.331526e-01,8.289893e-01,8.274374e-01,8.242370e-01,8.189382e-01,8.171339e-01,8.131340e-01,8.068642e-01,8.048983e-01,8.001671e-01,7.930794e-01,7.910297e-01,7.856366e-01,7.778723e-01,7.758049e-01,7.698189e-01,7.615070e-01,7.594770e-01,7.529660e-01,7.442234e-01,7.422756e-01,7.353056e-01,7.262373e-01,7.244077e-01,7.170420e-01,7.077416e-01,7.060580e-01,6.983569e-01,6.889073e-01,6.873906e-01,6.794110e-01,6.698850e-01,6.685499e-01,6.603453e-01,6.508065e-01,6.496626e-01,6.412825e-01,6.317861e-01,6.308385e-01,6.223291e-01,6.129224e-01,6.121723e-01,6.035761e-01,5.942996e-01,5.937454e-01,5.851013e-01,5.759891e-01,5.756265e-01,5.669702e-01,5.580510e-01,5.578737e-01,5.492375e-01,5.405350e-01,5.236502e-01,5.072512e-01,4.913634e-01,4.760063e-01,4.611944e-01,4.469379e-01,4.332431e-01,4.201132e-01,4.075484e-01,3.955468e-01,3.841041e-01,3.732146e-01,3.628710e-01,3.530645e-01,3.437856e-01,3.350237e-01,3.267673e-01,3.190044e-01,3.117225e-01,3.049083e-01,2.985484e-01,2.926288e-01,2.871354e-01,2.820537e-01,2.773689e-01,2.730663e-01,2.691306e-01,2.655469e-01,2.622998e-01,2.593740e-01,2.567542e-01,2.544250e-01,2.523713e-01,2.505777e-01,2.490291e-01,2.477107e-01,2.466075e-01,2.457050e-01,2.449889e-01,2.444450e-01,2.440597e-01,2.438194e-01,2.437112e-01,2.437223e-01,2.438406e-01,2.440543e-01,2.443520e-01,2.447230e-01,2.451569e-01
0.000000e+00,1.511085e-11,2.153354e-09,2.323426e-09,5.505839e-08,5.231006e-07,5.677329e-07,3.452879e-06,1.336911e-05,1.444289e-05,4.581714e-05,1.101948e-04,1.181149e-04,2.602025e-04,4.773277e-04,5.080026e-04,9.024442e-04,1.405438e-03,1.487100e-03,2.305836e-03,3.229294e-03,3.400672e-03,4.809974e-03,6.261330e-03,6.567024e-03,8.698980e-03,1.074144e-02,1.122620e-02,1.416189e-02,1.680883e-02,1.751207e-02,2.127575e-02,2.449378e-02,2.544529e-02,3.000693e-02,3.372436e-02,3.494143e-02,4.022472e-02,4.434250e-02,4.582867e-02,5.172180e-02,5.612487e-02,5.787004e-02,6.423738e-02,6.880497e-02,7.078657e-02,7.747970e-02,8.209386e-02,8.427880e-02,9.114626e-02,9.569835e-02,9.804536e-02,1.049406e-01,1.093357e-01,1.117979e-01,1.185851e-01,1.227446e-01,1.252719e-01,1.318304e-01,1.356930e-01,1.382346e-01,1.444612e-01,1.479827e-01,1.504888e-01,1.562989e-01,1.594513e-01,1.618750e-01,1.672028e-01,1.699724e-01,1.722707e-01,1.770686e-01,1.794543e-01,1.815890e-01,1.858260e-01,1.878369e-01,1.897756e-01,1.934355e-01,1.950890e-01,1.968049e-01,1.998847e-01,2.012046e-01,2.026768e-01,2.051844e-01,2.061987e-01,2.074119e-01,2.093644e-01,2.101040e-01,2.110482e-01,2.124700e-01,2.129670e-01,2.136373e-01,2.145582e-01,2.148453e-01,2.152411e-01,2.156950e-01,2.158040e-01,2.159288e-01,2.159521e-01,2.159137e-01,2.157742e-01,2.154049e-01,2.152478e-01,2.148537e-01,2.141304e-01,2.138812e-01,2.132444e-01,2.122053e-01,2.118882e-01,2.110224e-01,2.097051e-01,2.093416e-01,2.082621e-01,2.067025e-01,2.063118e-01,2.050348e-01,2.032673e-01,2.028659e-01,2.014081e-01,1.994650e-01,1.990670e-01,1.974457e-01,1.953573e-01,1.949746e-01,1.932068e-01,1.910010e-01,1.906434e-01,1.887463e-01,1.864487e-01,1.861240e-01,1.841142e-01,1.817482e-01,1.814625e-01,1.793562e-01,1.769430e-01,1.767007e-01,1.745134e-01,1.720720e-01,1.718763e-01,1.696230e-01,1.671703e-01,1.670231e-01,1.647177e-01,1.622687e-01,1.621709e-01,1.598267e-01,1.573947e-01,1.573462e-01,1.549756e-01,1.525720e-01,1.478685e-01,1.432529e-01,1.387399e-01,1.343419e-01,1.300691e-01,1.259299e-01,1.219308e-01,1.180769e-01,1.143720e-01,1.108184e-01,1.074177e-01,1.041702e-01,1.010756e-01,9.813274e-02,9.533996e-02,9.269499e-02,9.019506e-02,8.783704e-02,8.561739e-02,8.353236e-02,8.157795e-02,7.974998e-02,7.804413e-02,7.645599e-02,7.498100e-02,7.361459e-02,7.235214e-02,7.118901e-02,7.012058e-02,6.914226e-02,6.824952e-02,6.743786e-02,6.670287e-02,6.604021e-02,6.544564e-02,6.491500e-02,6.444426e-02,6.402949e-02,6.366687e-02,6.335272e-02,6.308349e-02,6.285573e-02,6.266617e-02,6.251164e-02,6.238912e-02,6.229572e-02,6.222870e-02,6.218545e-02,6.216350e-02
0.000000e+00,7.222671e-09,1.188238e-07,1.240434e-07,7.518785e-07,2.622548e-06,2.740303e-06,6.899113e-06,1.272170e-05,1.313683e-05,2.032595e-05,2.676025e-05,2.729350e-05,3.352013e-05,3.840906e-05,3.891144e-05,4.351154e-05,4.696548e-05,4.739656e-05,5.064511e-05,5.298601e-05,5.333065e-05,5.551981e-05,5.701905e-05,5.727241e-05,5.864191e-05,5.951263e-05,5.967597e-05,6.041696e-05,6.082419e-05,6.090253e-05,6.116605e-05,6.123659e-05,6.123708e-05,6.114175e-05,6.097237e-05,6.090317e-05,6.054172e-05,6.020578e-05,6.007535e-05,5.951989e-05,5.907268e-05,5.888926e-05,5.819570e-05,5.767858e-05,5.744997e-05,5.666148e-05,5.610514e-05,5.583849e-05,5.498822e-05,5.441520e-05,5.411698e-05,5.323029e-05,5.265694e-05,5.233293e-05,5.142904e-05,5.086696e-05,5.052224e-05,4.961568e-05,4.907301e-05,4.871207e-05,4.781369e-05,4.729582e-05,4.692251e-05,4.604021e-05,4.555055e-05,4.516825e-05,4.430786e-05,4.384841e-05,4.346002e-05,4.262554e-05,4.219712e-05,4.180510e-05,4.099925e-05,4.060193e-05,4.020840e-05,3.943288e-05,3.906613e-05,3.867288e-05,3.792856e-05,3.759146e-05,3.720001e-05,3.648725e-05,3.617863e-05,3.579025e-05,3.510894e-05,3.482744e-05,3.444322e-05,3.379295e-05,3.353713e-05,3.315796e-05,3.253808e-05,3.230644e-05,3.193308e-05,3.134275e-05,3.113377e-05,3.076685e-05,3.020513e-05,3.001734e-05,2.965735e-05,2.912323e-05,2.895516e-05,2.860252e-05,2.809494e-05,2.794519e-05,2.760023e-05,2.711811e-05,2.698533e-05,2.664830e-05,2.619055e-05,2.607347e-05,2.574456e-05,2.531009e-05,2.520750e-05,2.488686e-05,2.447460e-05,2.438536e-05,2.407307e-05,2.368200e-05,2.360502e-05,2.330114e-05,2.293025e-05,2.286453e-05,2.256907e-05,2.221738e-05,2.216197e-05,2.187493e-05,2.154150e-05,2.149553e-05,2.121686e-05,2.090079e-05,2.086343e-05,2.059308e-05,2.029350e-05,2.026398e-05,2.000186e-05,1.971796e-05,1.969558e-05,1.944159e-05,1.917257e-05,1.915666e-05,1.891070e-05,1.865580e-05,1.864575e-05,1.840769e-05,1.816620e-05,1.816144e-05,1.793115e-05,1.770239e-05,1.726731e-05,1.685499e-05,1.646428e-05,1.609406e-05,1.574330e-05,1.541099e-05,1.509619e-05,1.479801e-05,1.451558e-05,1.424811e-05,1.399482e-05,1.375499e-05,1.352792e-05,1.331295e-05,1.310946e-05,1.291686e-05,1.273459e-05,1.256211e-05,1.239892e-05,1.224455e-05,1.209853e-05,1.196043e-05,1.182984e-05,1.170638e-05,1.158968e-05,1.147939e-05,1.137517e-05,1.127672e-05,1.118373e-05,1.109591e-05,1.101302e-05,1.093477e-05,1.086095e-05,1.079131e-05,1.072564e-05,1.066373e-05,1.060539e-05,1.055044e-05,1.049869e-05,1.044998e-05,1.040415e-05,1.036105e-05,1.032054e-05,1.028248e-05,1.024674e-05,1.021321e-05,1.018177e-05,1.015230e-05,1.012471e-05
0.000000e+00,3.774850e-09,4.588118e-08,4.777759e-08,2.657880e-07,8.742806e-07,9.113904e-07,2.158493e-06,3.739389e-06,3.846429e-06,5.634579e-06,7.209086e-06,7.341146e-06,8.921205e-06,1.023122e-05,1.037035e-05,1.169323e-05,1.275810e-05,1.289639e-05,1.398685e-05,1.483979e-05,1.497152e-05,1.585711e-05,1.652922e-05,1.665015e-05,1.735696e-05,1.787643e-05,1.798356e-05,1.853564e-05,1.892728e-05,1.901859e-05,1.943748e-05,1.972284e-05,1.979710e-05,2.010190e-05,2.029947e-05,2.035607e-05,2.056353e-05,2.068913e-05,2.072793e-05,2.085269e-05,2.091977e-05,2.094100e-05,2.099582e-05,2.101576e-05,2.101992e-05,2.101589e-05,2.099830e-05,2.098611e-05,2.093284e-05,2.088581e-05,2.085814e-05,2.076394e-05,2.069427e-05,2.065206e-05,2.052415e-05,2.043748e-05,2.038177e-05,2.022636e-05,2.012741e-05,2.005925e-05,1.988168e-05,1.977435e-05,1.969480e-05,1.949968e-05,1.938719e-05,1.929731e-05,1.908858e-05,1.897353e-05,1.887436e-05,1.865541e-05,1.853993e-05,1.843246e-05,1.820617e-05,1.809197e-05,1.797716e-05,1.774599e-05,1.763442e-05,1.751319e-05,1.727922e-05,1.717132e-05,1.704452e-05,1.680952e-05,1.670611e-05,1.657456e-05,1.633999e-05,1.624166e-05,1.610611e-05,1.587322e-05,1.578040e-05,1.564156e-05,1.541137e-05,1.532433e-05,1.518286e-05,1.495623e-05,1.487513e-05,1.473163e-05,1.450924e-05,1.443415e-05,1.428918e-05,1.407158e-05,1.400248e-05,1.385655e-05,1.364419e-05,1.358101e-05,1.343458e-05,1.322780e-05,1.317042e-05,1.302391e-05,1.282297e-05,1.277121e-05,1.262502e-05,1.243010e-05,1.238377e-05,1.223824e-05,1.204946e-05,1.200834e-05,1.186378e-05,1.168122e-05,1.164508e-05,1.150177e-05,1.132545e-05,1.129404e-05,1.115224e-05,1.098215e-05,1.095522e-05,1.081515e-05,1.065125e-05,1.062855e-05,1.049041e-05,1.033262e-05,1.031389e-05,1.017787e-05,1.002611e-05,1.001110e-05,9.877330e-06,9.731498e-06,9.719958e-06,9.588583e-06,9.448554e-06,9.440243e-06,9.311377e-06,9.177020e-06,9.171703e-06,9.045445e-06,8.916618e-06,8.914069e-06,8.790501e-06,8.667057e-06,8.430375e-06,8.203724e-06,7.986799e-06,7.779296e-06,7.580907e-06,7.391329e-06,7.210259e-06,7.037399e-06,6.872457e-06,6.715144e-06,6.565177e-06,6.422282e-06,6.286190e-06,6.156638e-06,6.033373e-06,5.916147e-06,5.804720e-06,5.698860e-06,5.598343e-06,5.502950e-06,5.412473e-06,5.326707e-06,5.245456e-06,5.168532e-06,5.095752e-06,5.026940e-06,4.961927e-06,4.900549e-06,4.842649e-06,4.788077e-06,4.736687e-06,4.688339e-06,4.642898e-06,4.600234e-06,4.560224e-06,4.522747e-06,4.487690e-06,4.454940e-06,4.424393e-06,4.395947e-06,4.369503e-06,4.344967e-06,4.322250e-06,4.301265e-06,4.281929e-06,4.264161e-06,4.247886e-06,4.233031e-06,4.219524e-06
0.000000e+00,1.337661e-09,2.021519e-08,2.112750e-08,1.284767e-07,4.081028e-07,4.241861e-07,9.171030e-07,1.454330e-06,1.488619e-06,2.041387e-06,2.510042e-06,2.548869e-06,3.008701e-06,3.383727e-06,3.423229e-06,3.795548e-06,4.090742e-06,4.128763e-06,4.425844e-06,4.654573e-06,4.689591e-06,4.922630e-06,5.096449e-06,5.127412e-06,5.306222e-06,5.434959e-06,5.461182e-06,5.594262e-06,5.686205e-06,5.707289e-06,5.801952e-06,5.864051e-06,5.879815e-06,5.942323e-06,5.980386e-06,5.990813e-06,6.026518e-06,6.045383e-06,6.050578e-06,6.064043e-06,6.067725e-06,6.067883e-06,6.062991e-06,6.054816e-06,6.050193e-06,6.030245e-06,6.012956e-06,6.003847e-06,5.971643e-06,5.947499e-06,5.934228e-06,5.892149e-06,5.863002e-06,5.845904e-06,5.795956e-06,5.763316e-06,5.742729e-06,5.686613e-06,5.651706e-06,5.627965e-06,5.567112e-06,5.530927e-06,5.504356e-06,5.439971e-06,5.403299e-06,5.374210e-06,5.307303e-06,5.270772e-06,5.239462e-06,5.170877e-06,5.134979e-06,5.101726e-06,5.032167e-06,4.997282e-06,4.962348e-06,4.892399e-06,4.858814e-06,4.822442e-06,4.752586e-06,4.720514e-06,4.682929e-06,4.613562e-06,4.583152e-06,4.544563e-06,4.476007e-06,4.447360e-06,4.407957e-06,4.340472e-06,4.313648e-06,4.273604e-06,4.207399e-06,4.182424e-06,4.141899e-06,4.077138e-06,4.054012e-06,4.013149e-06,3.949959e-06,3.928661e-06,3.887592e-06,3.826068e-06,3.806561e-06,3.765404e-06,3.705614e-06,3.687849e-06,3.646710e-06,3.588701e-06,3.572620e-06,3.531595e-06,3.475395e-06,3.460933e-06,3.420106e-06,3.365729e-06,3.352814e-06,3.312264e-06,3.259708e-06,3.248268e-06,3.208061e-06,3.157318e-06,3.147277e-06,3.107473e-06,3.058523e-06,3.049806e-06,3.010460e-06,2.963276e-06,2.955808e-06,2.916965e-06,2.871517e-06,2.865223e-06,2.826925e-06,2.783177e-06,2.777984e-06,2.740266e-06,2.698179e-06,2.694016e-06,2.656908e-06,2.616441e-06,2.613238e-06,2.576767e-06,2.537876e-06,2.535567e-06,2.499756e-06,2.462396e-06,2.460917e-06,2.425784e-06,2.389909e-06,2.389199e-06,2.354759e-06,2.320323e-06,2.254201e-06,2.190742e-06,2.129858e-06,2.071461e-06,2.015466e-06,1.961786e-06,1.910340e-06,1.861046e-06,1.813826e-06,1.768603e-06,1.725301e-06,1.683850e-06,1.644178e-06,1.606217e-06,1.569903e-06,1.535171e-06,1.501960e-06,1.470210e-06,1.439865e-06,1.410870e-06,1.383171e-06,1.356717e-06,1.331458e-06,1.307348e-06,1.284340e-06,1.262390e-06,1.241457e-06,1.221498e-06,1.202475e-06,1.184350e-06,1.167087e-06,1.150651e-06,1.135008e-06,1.120125e-06,1.105973e-06,1.092520e-06,1.079739e-06,1.067601e-06,1.056081e-06,1.045152e-06,1.034790e-06,1.024972e-06,1.015675e-06,1.006877e-06,9.985571e-07,9.906956e-07,9.832729e-07,9.762705e-07,9.696706e-07
0.000000e+00,1.074409e-10,1.076506e-08,1.153675e-08,2.013354e-07,1.493571e-06,1.605188e-06,7.663777e-06,2.352222e-05,2.502839e-05,6.120550e-05,1.147578e-04,1.203379e-04,2.012873e-04,2.886249e-04,2.989583e-04,4.067750e-04,5.051392e-04,5.185961e-04,6.296269e-04,7.219397e-04,7.365819e-04,8.374664e-04,9.167381e-04,9.312425e-04,1.017516e-03,1.082659e-03,1.096295e-03,1.167820e-03,1.220060e-03,1.232456e-03,1.290622e-03,1.331782e-03,1.342757e-03,1.389293e-03,1.421174e-03,1.430649e-03,1.467218e-03,1.491416e-03,1.499370e-03,1.527453e-03,1.545333e-03,1.551787e-03,1.572670e-03,1.585385e-03,1.590380e-03,1.605172e-03,1.613685e-03,1.617282e-03,1.626931e-03,1.632050e-03,1.634321e-03,1.639639e-03,1.642036e-03,1.643059e-03,1.644741e-03,1.644976e-03,1.644832e-03,1.643470e-03,1.642008e-03,1.640781e-03,1.636882e-03,1.634108e-03,1.631880e-03,1.625876e-03,1.622110e-03,1.618961e-03,1.611221e-03,1.606725e-03,1.602733e-03,1.593571e-03,1.588563e-03,1.583802e-03,1.573486e-03,1.568141e-03,1.562681e-03,1.551440e-03,1.545904e-03,1.539811e-03,1.527839e-03,1.522228e-03,1.515564e-03,1.503026e-03,1.497434e-03,1.490258e-03,1.477294e-03,1.471797e-03,1.464162e-03,1.450890e-03,1.445547e-03,1.437503e-03,1.424024e-03,1.418882e-03,1.410474e-03,1.396873e-03,1.391968e-03,1.383239e-03,1.369588e-03,1.364946e-03,1.355936e-03,1.342294e-03,1.337934e-03,1.328678e-03,1.315097e-03,1.311031e-03,1.301563e-03,1.288084e-03,1.284321e-03,1.274670e-03,1.261329e-03,1.257873e-03,1.248068e-03,1.234893e-03,1.231745e-03,1.221810e-03,1.208825e-03,1.205982e-03,1.195943e-03,1.183167e-03,1.180625e-03,1.170501e-03,1.157950e-03,1.155703e-03,1.145515e-03,1.133201e-03,1.131242e-03,1.121008e-03,1.108940e-03,1.107260e-03,1.096997e-03,1.085182e-03,1.083773e-03,1.073496e-03,1.061939e-03,1.060791e-03,1.050514e-03,1.039219e-03,1.038321e-03,1.028056e-03,1.017026e-03,1.016368e-03,1.006128e-03,9.953625e-04,9.949346e-04,9.847294e-04,9.742286e-04,9.740199e-04,9.638598e-04,9.536227e-04,9.337399e-04,9.143672e-04,8.954995e-04,8.771306e-04,8.592537e-04,8.418615e-04,8.249464e-04,8.085000e-04,7.925142e-04,7.769802e-04,7.618895e-04,7.472330e-04,7.330019e-04,7.191873e-04,7.057802e-04,6.927718e-04,6.801532e-04,6.679157e-04,6.560506e-04,6.445493e-04,6.334034e-04,6.226045e-04,6.121445e-04,6.020152e-04,5.922086e-04,5.827170e-04,5.735327e-04,5.646481e-04,5.560558e-04,5.477486e-04,5.397194e-04,5.319611e-04,5.244669e-04,5.172302e-04,5.102443e-04,5.035028e-04,4.969995e-04,4.907281e-04,4.846827e-04,4.788572e-04,4.732459e-04,4.678432e-04,4.626434e-04,4.576412e-04,4.528313e-04,4.482083e-04,4.437674e-04,4.395033e-04,4.354114e-04
0.000000e+00,6.610110e-10,4.575191e-08,4.869486e-08,6.382253e-07,3.970503e-06,4.242118e-06,1.777373e-05,4.841967e-05,5.110739e-05,1.084329e-04,1.774471e-04,1.839203e-04,2.678295e-04,3.442470e-04,3.526275e-04,4.342426e-04,5.020448e-04,5.109708e-04,5.823018e-04,6.393190e-04,6.482293e-04,7.089329e-04,7.560600e-04,7.646500e-04,8.156346e-04,8.540904e-04,8.621429e-04,9.044274e-04,9.353792e-04,9.427337e-04,9.772985e-04,1.001808e-03,1.008349e-03,1.036103e-03,1.055119e-03,1.060768e-03,1.082540e-03,1.096898e-03,1.101605e-03,1.118142e-03,1.128576e-03,1.132316e-03,1.144287e-03,1.151436e-03,1.154204e-03,1.162207e-03,1.166624e-03,1.168430e-03,1.172997e-03,1.175163e-03,1.176027e-03,1.177632e-03,1.177959e-03,1.177915e-03,1.176975e-03,1.175819e-03,1.174904e-03,1.171791e-03,1.169456e-03,1.167716e-03,1.162757e-03,1.159505e-03,1.156986e-03,1.150471e-03,1.146522e-03,1.143276e-03,1.135459e-03,1.131000e-03,1.127078e-03,1.118186e-03,1.113375e-03,1.108830e-03,1.099057e-03,1.094029e-03,1.088912e-03,1.078433e-03,1.073296e-03,1.067659e-03,1.056625e-03,1.051472e-03,1.045365e-03,1.033908e-03,1.028812e-03,1.022284e-03,1.010520e-03,1.005543e-03,9.986402e-04,9.866686e-04,9.818590e-04,9.746264e-04,9.625340e-04,9.579296e-04,9.504100e-04,9.382717e-04,9.339015e-04,9.261352e-04,9.140154e-04,9.099009e-04,9.019260e-04,8.898798e-04,8.860361e-04,8.778884e-04,8.659627e-04,8.623992e-04,8.541124e-04,8.423468e-04,8.390687e-04,8.306741e-04,8.191018e-04,8.161104e-04,8.076370e-04,7.962858e-04,7.935791e-04,7.850540e-04,7.739466e-04,7.715202e-04,7.629683e-04,7.521231e-04,7.499704e-04,7.414147e-04,7.308463e-04,7.289591e-04,7.204207e-04,7.101403e-04,7.085091e-04,7.000073e-04,6.900235e-04,6.886377e-04,6.801902e-04,6.705087e-04,6.693572e-04,6.609799e-04,6.516045e-04,6.506754e-04,6.423829e-04,6.333154e-04,6.325967e-04,6.244020e-04,6.156426e-04,6.151219e-04,6.070368e-04,5.985842e-04,5.982493e-04,5.902842e-04,5.821360e-04,5.819746e-04,5.741388e-04,5.662917e-04,5.511926e-04,5.366681e-04,5.227075e-04,5.092995e-04,4.964315e-04,4.840907e-04,4.722637e-04,4.609367e-04,4.500955e-04,4.397260e-04,4.298138e-04,4.203448e-04,4.113045e-04,4.026789e-04,3.944540e-04,3.866160e-04,3.791513e-04,3.720465e-04,3.652886e-04,3.588647e-04,3.527624e-04,3.469695e-04,3.414740e-04,3.362644e-04,3.313296e-04,3.266585e-04,3.222406e-04,3.180656e-04,3.141236e-04,3.104050e-04,3.069003e-04,3.036007e-04,3.004973e-04,2.975818e-04,2.948461e-04,2.922824e-04,2.898829e-04,2.876406e-04,2.855483e-04,2.835992e-04,2.817869e-04,2.801050e-04,2.785476e-04,2.771087e-04,2.757828e-04,2.745644e-04,2.734485e-04,2.724299e-04,2.715040e-04
0.000000e+00,2.064908e-08,3.488998e-07,3.643431e-07,2.297109e-06,8.543659e-06,8.950339e-06,2.360362e-05,4.363605e-05,4.502333e-05,6.861144e-05,9.000899e-05,9.183188e-05,1.140107e-04,1.329650e-04,1.350114e-04,1.548206e-04,1.712809e-04,1.734560e-04,1.909456e-04,2.050952e-04,2.073222e-04,2.226223e-04,2.346706e-04,2.368845e-04,2.501487e-04,2.603095e-04,2.624560e-04,2.738471e-04,2.823276e-04,2.843626e-04,2.940427e-04,3.010382e-04,3.029262e-04,3.110510e-04,3.167412e-04,3.184541e-04,3.251709e-04,3.297197e-04,3.312357e-04,3.366818e-04,3.402376e-04,3.415407e-04,3.458431e-04,3.485394e-04,3.496184e-04,3.528949e-04,3.548518e-04,3.556996e-04,3.580585e-04,3.593832e-04,3.599963e-04,3.615367e-04,3.623246e-04,3.627025e-04,3.635154e-04,3.638513e-04,3.639962e-04,3.641647e-04,3.641238e-04,3.640398e-04,3.636398e-04,3.632885e-04,3.629818e-04,3.620824e-04,3.614792e-04,3.609574e-04,3.596216e-04,3.588178e-04,3.580895e-04,3.563747e-04,3.554151e-04,3.544901e-04,3.524481e-04,3.513718e-04,3.502606e-04,3.479386e-04,3.467794e-04,3.454928e-04,3.429334e-04,3.417206e-04,3.402700e-04,3.375118e-04,3.362704e-04,3.346674e-04,3.317450e-04,3.304962e-04,3.287525e-04,3.256972e-04,3.244592e-04,3.225863e-04,3.194263e-04,3.182140e-04,3.162236e-04,3.129841e-04,3.118099e-04,3.097134e-04,3.064169e-04,3.052911e-04,3.030995e-04,2.997661e-04,2.986968e-04,2.964211e-04,2.930687e-04,2.920621e-04,2.897129e-04,2.863574e-04,2.854184e-04,2.830057e-04,2.796611e-04,2.787931e-04,2.763267e-04,2.730054e-04,2.722105e-04,2.696999e-04,2.664127e-04,2.656922e-04,2.631461e-04,2.599025e-04,2.592567e-04,2.566837e-04,2.534918e-04,2.529202e-04,2.503284e-04,2.471952e-04,2.466968e-04,2.440937e-04,2.410253e-04,2.405985e-04,2.379913e-04,2.349927e-04,2.346353e-04,2.320307e-04,2.291062e-04,2.288159e-04,2.262201e-04,2.233732e-04,2.231471e-04,2.205661e-04,2.177995e-04,2.176348e-04,2.150739e-04,2.123898e-04,2.122833e-04,2.097476e-04,2.071477e-04,2.070961e-04,2.045902e-04,2.020755e-04,1.972230e-04,1.925395e-04,1.880251e-04,1.836791e-04,1.795004e-04,1.754877e-04,1.716388e-04,1.679515e-04,1.644231e-04,1.610506e-04,1.578311e-04,1.547610e-04,1.518369e-04,1.490553e-04,1.464123e-04,1.439041e-04,1.415268e-04,1.392766e-04,1.371495e-04,1.351414e-04,1.332486e-04,1.314669e-04,1.297926e-04,1.282217e-04,1.267503e-04,1.253748e-04,1.240914e-04,1.228964e-04,1.217862e-04,1.207573e-04,1.198063e-04,1.189297e-04,1.181243e-04,1.173868e-04,1.167142e-04,1.161033e-04,1.155513e-04,1.150551e-04,1.146121e-04,1.142194e-04,1.138746e-04,1.135750e-04,1.133181e-04,1.131016e-04,1.129233e-04,1.127807e-04,1.126719e-04,1.125948e-04,1.125474e-04
0.000000e+00,7.861419e-09,1.967359e-07,2.063061e-07,1.508771e-06,6.182602e-06,6.500993e-06,1.879060e-05,3.780180e-05,3.919751e-05,6.387930e-05,8.686154e-05,8.881518e-05,1.123477e-04,1.319833e-04,1.340724e-04,1.539581e-04,1.699884e-04,1.720714e-04,1.885033e-04,2.013632e-04,2.033499e-04,2.167070e-04,2.268443e-04,2.286680e-04,2.393234e-04,2.471473e-04,2.487597e-04,2.570598e-04,2.629350e-04,2.643027e-04,2.705633e-04,2.748103e-04,2.759123e-04,2.804168e-04,2.833144e-04,2.841399e-04,2.871413e-04,2.889305e-04,2.894765e-04,2.911970e-04,2.920823e-04,2.923511e-04,2.929845e-04,2.931412e-04,2.931401e-04,2.928577e-04,2.924349e-04,2.921752e-04,2.911292e-04,2.902566e-04,2.897540e-04,2.880806e-04,2.868660e-04,2.861369e-04,2.839498e-04,2.824823e-04,2.815437e-04,2.789413e-04,2.772947e-04,2.761641e-04,2.732318e-04,2.714672e-04,2.701627e-04,2.669738e-04,2.651416e-04,2.636809e-04,2.602985e-04,2.584397e-04,2.568403e-04,2.533188e-04,2.514664e-04,2.497454e-04,2.461308e-04,2.443112e-04,2.424848e-04,2.388166e-04,2.370503e-04,2.351342e-04,2.314455e-04,2.297485e-04,2.277573e-04,2.240761e-04,2.224601e-04,2.204076e-04,2.167573e-04,2.152307e-04,2.131299e-04,2.095298e-04,2.080983e-04,2.059610e-04,2.024270e-04,2.010939e-04,1.989311e-04,1.954761e-04,1.942428e-04,1.920646e-04,1.886989e-04,1.875653e-04,1.853809e-04,1.821124e-04,1.810772e-04,1.788949e-04,1.757298e-04,1.747906e-04,1.726181e-04,1.695607e-04,1.687144e-04,1.665584e-04,1.636117e-04,1.628548e-04,1.607213e-04,1.578872e-04,1.572154e-04,1.551098e-04,1.523891e-04,1.517981e-04,1.497250e-04,1.471176e-04,1.466029e-04,1.445665e-04,1.420715e-04,1.416283e-04,1.396323e-04,1.372483e-04,1.368720e-04,1.349193e-04,1.326445e-04,1.323304e-04,1.304235e-04,1.282557e-04,1.279991e-04,1.261403e-04,1.240767e-04,1.238732e-04,1.220643e-04,1.201021e-04,1.199473e-04,1.181896e-04,1.163258e-04,1.162155e-04,1.145100e-04,1.127414e-04,1.126717e-04,1.110192e-04,1.093426e-04,1.093095e-04,1.077106e-04,1.061225e-04,1.031041e-04,1.002477e-04,9.754685e-05,9.499499e-05,9.258576e-05,9.031289e-05,8.817024e-05,8.615184e-05,8.425186e-05,8.246467e-05,8.078481e-05,7.920702e-05,7.772621e-05,7.633749e-05,7.503618e-05,7.381775e-05,7.267790e-05,7.161247e-05,7.061752e-05,6.968926e-05,6.882408e-05,6.801853e-05,6.726934e-05,6.657336e-05,6.592763e-05,6.532930e-05,6.477569e-05,6.426423e-05,6.379248e-05,6.335814e-05,6.295902e-05,6.259303e-05,6.225820e-05,6.195266e-05,6.167464e-05,6.142245e-05,6.119452e-05,6.098932e-05,6.080544e-05,6.064154e-05,6.049633e-05,6.036861e-05,6.025724e-05,6.016115e-05,6.007932e-05,6.001079e-05,5.995466e-05,5.991007e-05,5.987621e-05
0.000000e+00,1.118099e-09,1.336044e-08,1.391974e-08,8.078210e-08,2.810923e-07,2.937743e-07,7.459751e-07,1.389789e-06,1.436106e-06,2.248788e-06,3.001678e-06,3.065630e-06,3.835966e-06,4.479333e-06,4.547844e-06,5.200884e-06,5.728854e-06,5.797587e-06,6.341106e-06,6.768463e-06,6.834674e-06,7.281447e-06,7.622790e-06,7.684450e-06,8.046554e-06,8.314877e-06,8.370484e-06,8.658811e-06,8.865471e-06,8.913957e-06,9.138214e-06,9.293090e-06,9.333748e-06,9.502580e-06,9.614190e-06,9.646581e-06,9.767506e-06,9.843121e-06,9.867027e-06,9.946712e-06,9.992638e-06,1.000804e-05,1.005243e-05,1.007417e-05,1.008127e-05,1.009579e-05,1.009808e-05,1.009714e-05,1.008638e-05,1.007312e-05,1.006449e-05,1.003240e-05,1.000692e-05,9.990992e-06,9.941065e-06,9.906167e-06,9.883378e-06,9.818639e-06,9.776687e-06,9.747507e-06,9.670595e-06,9.623565e-06,9.588477e-06,9.501687e-06,9.451231e-06,9.410724e-06,9.316050e-06,9.263536e-06,9.218096e-06,9.117263e-06,9.063817e-06,9.013923e-06,8.908422e-06,8.854961e-06,8.801079e-06,8.692193e-06,8.639461e-06,8.582039e-06,8.470871e-06,8.419460e-06,8.358926e-06,8.246422e-06,8.196794e-06,8.133558e-06,8.020521e-06,7.973035e-06,7.907480e-06,7.794594e-06,7.749515e-06,7.682005e-06,7.569846e-06,7.527364e-06,7.458238e-06,7.347291e-06,7.307531e-06,7.237105e-06,7.127772e-06,7.090808e-06,7.019374e-06,6.911987e-06,6.877848e-06,6.805679e-06,6.700508e-06,6.669188e-06,6.596531e-06,6.493794e-06,6.465257e-06,6.392342e-06,6.292210e-06,6.266397e-06,6.193433e-06,6.096038e-06,6.072871e-06,6.000049e-06,5.905486e-06,5.884876e-06,5.812367e-06,5.720704e-06,5.702548e-06,5.630509e-06,5.541788e-06,5.525975e-06,5.454546e-06,5.368787e-06,5.355203e-06,5.284510e-06,5.201713e-06,5.190240e-06,5.120395e-06,5.040548e-06,5.031065e-06,4.962166e-06,4.885242e-06,4.877629e-06,4.809765e-06,4.735724e-06,4.729863e-06,4.663109e-06,4.591906e-06,4.587679e-06,4.522102e-06,4.453682e-06,4.450974e-06,4.386631e-06,4.320933e-06,4.319633e-06,4.256573e-06,4.193532e-06,4.072540e-06,3.956517e-06,3.845322e-06,3.738812e-06,3.636838e-06,3.539254e-06,3.445914e-06,3.356671e-06,3.271380e-06,3.189900e-06,3.112090e-06,3.037812e-06,2.966932e-06,2.899319e-06,2.834846e-06,2.773387e-06,2.714822e-06,2.659034e-06,2.605910e-06,2.555339e-06,2.507216e-06,2.461438e-06,2.417906e-06,2.376525e-06,2.337203e-06,2.299852e-06,2.264386e-06,2.230725e-06,2.198788e-06,2.168501e-06,2.139790e-06,2.112587e-06,2.086823e-06,2.062435e-06,2.039361e-06,2.017542e-06,1.996920e-06,1.977443e-06,1.959057e-06,1.941713e-06,1.925362e-06,1.909960e-06,1.895462e-06,1.881826e-06,1.869012e-06,1.856981e-06,1.845697e-06,1.835124e-06,1.825229e-06
0.000000e+00,1.968596e-10,2.459595e-08,2.645405e-08,5.456600e-07,4.867005e-06,5.276125e-06,3.197362e-05,1.263090e-04,1.366600e-04,4.442018e-04,1.087879e-03,1.167633e-03,2.608084e-03,4.825240e-03,5.139202e-03,9.182944e-03,1.434451e-02,1.518236e-02,2.357523e-02,3.302058e-02,3.477079e-02,4.913086e-02,6.386048e-02,6.695560e-02,8.847399e-02,1.089847e-01,1.138386e-01,1.431239e-01,1.693764e-01,1.763282e-01,2.133770e-01,2.448555e-01,2.541295e-01,2.983854e-01,3.342099e-01,3.458933e-01,3.963587e-01,4.354149e-01,4.494529e-01,5.048213e-01,5.458862e-01,5.620915e-01,6.208807e-01,6.627299e-01,6.808023e-01,7.414723e-01,7.829630e-01,8.025146e-01,8.635654e-01,9.036940e-01,9.242772e-01,9.843218e-01,1.022258e+00,1.043393e+00,1.101207e+00,1.136307e+00,1.157508e+00,1.212061e+00,1.243869e+00,1.264662e+00,1.315130e+00,1.343361e+00,1.363308e+00,1.409067e+00,1.433595e+00,1.452300e+00,1.492922e+00,1.513750e+00,1.530871e+00,1.566104e+00,1.583342e+00,1.598595e+00,1.628340e+00,1.642183e+00,1.655345e+00,1.679633e+00,1.690337e+00,1.701241e+00,1.720215e+00,1.728074e+00,1.736612e+00,1.750497e+00,1.755830e+00,1.761944e+00,1.771032e+00,1.774165e+00,1.777845e+00,1.782473e+00,1.783733e+00,1.785008e+00,1.785545e+00,1.785246e+00,1.784181e+00,1.781013e+00,1.779450e+00,1.776139e+00,1.769658e+00,1.767105e+00,1.761666e+00,1.752259e+00,1.748966e+00,1.741533e+00,1.729580e+00,1.725769e+00,1.716491e+00,1.702354e+00,1.698220e+00,1.687256e+00,1.671278e+00,1.666990e+00,1.654502e+00,1.637006e+00,1.632707e+00,1.618862e+00,1.600143e+00,1.595954e+00,1.580916e+00,1.561247e+00,1.557266e+00,1.541198e+00,1.520827e+00,1.517131e+00,1.500191e+00,1.479342e+00,1.475990e+00,1.458330e+00,1.437203e+00,1.434238e+00,1.416004e+00,1.394776e+00,1.392228e+00,1.373557e+00,1.352384e+00,1.350270e+00,1.331290e+00,1.310308e+00,1.308636e+00,1.289467e+00,1.268794e+00,1.267560e+00,1.248314e+00,1.228051e+00,1.227245e+00,1.208024e+00,1.188255e+00,1.187863e+00,1.168761e+00,1.149557e+00,1.112446e+00,1.076627e+00,1.042173e+00,1.009142e+00,9.775744e-01,9.474972e-01,9.189237e-01,8.918564e-01,8.662882e-01,8.422034e-01,8.195793e-01,7.983864e-01,7.785905e-01,7.601526e-01,7.430301e-01,7.271772e-01,7.125459e-01,6.990861e-01,6.867464e-01,6.754742e-01,6.652166e-01,6.559201e-01,6.475314e-01,6.399976e-01,6.332661e-01,6.272854e-01,6.220047e-01,6.173745e-01,6.133466e-01,6.098739e-01,6.069111e-01,6.044145e-01,6.023422e-01,6.006537e-01,5.993109e-01,5.982770e-01,5.975176e-01,5.969999e-01,5.966932e-01,5.965685e-01,5.965989e-01,5.967593e-01,5.970266e-01,5.973792e-01,5.977976e-01,5.982638e-01,5.987616e-01,5.992763e-01,5.997947e-01
0.000000e+00,6.923329e-11,8.901451e-09,9.580182e-09,2.015171e-07,1.771405e-06,1.917991e-06,1.119608e-05,4.272199e-05,4.613564e-05,1.463261e-04,3.539429e-04,3.796133e-04,8.428893e-04,1.556233e-03,1.657303e-03,2.960124e-03,4.625000e-03,4.895378e-03,7.604760e-03,1.065459e-02,1.121969e-02,1.585493e-02,2.060614e-02,2.160399e-02,2.853611e-02,3.513460e-02,3.669482e-02,4.609772e-02,5.451167e-02,5.673738e-02,6.858299e-02,7.862695e-02,8.158254e-02,9.566553e-02,1.070407e-01,1.107458e-01,1.267245e-01,1.390635e-01,1.434929e-01,1.609351e-01,1.738434e-01,1.789310e-01,1.973583e-01,2.104485e-01,2.160947e-01,2.350200e-01,2.479373e-01,2.540173e-01,2.729748e-01,2.854131e-01,2.917864e-01,3.103532e-01,3.220647e-01,3.285833e-01,3.463927e-01,3.571898e-01,3.637058e-01,3.804551e-01,3.902089e-01,3.965811e-01,4.120326e-01,4.206680e-01,4.267662e-01,4.407461e-01,4.482345e-01,4.539434e-01,4.663363e-01,4.726883e-01,4.779093e-01,4.886525e-01,4.939095e-01,4.985618e-01,5.076378e-01,5.118648e-01,5.158857e-01,5.233145e-01,5.265930e-01,5.299370e-01,5.357692e-01,5.381915e-01,5.408295e-01,5.451390e-01,5.468032e-01,5.487206e-01,5.515991e-01,5.526045e-01,5.538002e-01,5.553512e-01,5.557957e-01,5.562797e-01,5.566143e-01,5.565916e-01,5.563835e-01,5.556165e-01,5.552146e-01,5.543419e-01,5.525886e-01,5.518885e-01,5.503849e-01,5.477589e-01,5.468339e-01,5.447380e-01,5.413490e-01,5.402644e-01,5.376181e-01,5.335708e-01,5.323843e-01,5.292317e-01,5.246246e-01,5.233858e-01,5.197725e-01,5.146974e-01,5.134486e-01,5.094206e-01,5.039622e-01,5.027390e-01,4.983417e-01,4.925776e-01,4.914091e-01,4.866874e-01,4.806879e-01,4.795976e-01,4.745949e-01,4.684234e-01,4.674296e-01,4.621876e-01,4.559009e-01,4.550174e-01,4.495758e-01,4.432242e-01,4.424608e-01,4.368572e-01,4.304852e-01,4.298481e-01,4.241179e-01,4.177645e-01,4.172571e-01,4.114333e-01,4.051322e-01,4.047553e-01,3.988686e-01,3.926491e-01,3.924014e-01,3.864801e-01,3.803673e-01,3.802457e-01,3.743159e-01,3.683309e-01,3.566929e-01,3.453616e-01,3.343612e-01,3.237112e-01,3.134267e-01,3.035192e-01,2.939965e-01,2.848637e-01,2.761232e-01,2.677752e-01,2.598180e-01,2.522481e-01,2.450606e-01,2.382493e-01,2.318071e-01,2.257259e-01,2.199968e-01,2.146103e-01,2.095564e-01,2.048246e-01,2.004042e-01,1.962840e-01,1.924529e-01,1.888994e-01,1.856122e-01,1.825796e-01,1.797901e-01,1.772323e-01,1.748949e-01,1.727664e-01,1.708359e-01,1.690923e-01,1.675248e-01,1.661230e-01,1.648764e-01,1.637749e-01,1.628089e-01,1.619686e-01,1.612450e-01,1.606291e-01,1.601122e-01,1.596862e-01,1.593431e-01,1.590753e-01,1.588755e-01,1.587369e-01,1.586529e-01,1.586173e-01,1.586243e-01
0.000000e+00,1.280610e-10,1.618541e-08,1.743098e-08,3.763772e-07,3.182452e-06,3.434233e-06,1.765764e-05,5.619916e-05,5.990221e-05,1.504417e-04,2.898570e-04,3.047550e-04,5.288238e-04,7.873878e-04,8.191461e-04,1.165440e-03,1.505581e-03,1.553947e-03,1.970183e-03,2.340059e-03,2.400753e-03,2.834300e-03,3.194124e-03,3.261818e-03,3.676574e-03,4.003760e-03,4.073812e-03,4.450400e-03,4.735515e-03,4.804473e-03,5.135108e-03,5.376566e-03,5.442074e-03,5.725622e-03,5.925801e-03,5.986326e-03,6.224971e-03,6.387903e-03,6.442474e-03,6.639827e-03,6.770015e-03,6.818048e-03,6.978159e-03,7.080001e-03,7.121167e-03,7.248052e-03,7.325610e-03,7.359763e-03,7.457205e-03,7.514125e-03,7.541249e-03,7.612721e-03,7.652231e-03,7.672409e-03,7.721060e-03,7.745993e-03,7.759382e-03,7.788048e-03,7.800878e-03,7.807693e-03,7.818919e-03,7.821800e-03,7.822298e-03,7.818367e-03,7.813165e-03,7.807638e-03,7.790591e-03,7.778920e-03,7.767681e-03,7.739340e-03,7.722592e-03,7.705974e-03,7.667965e-03,7.647335e-03,7.625678e-03,7.579453e-03,7.555962e-03,7.529614e-03,7.476464e-03,7.450983e-03,7.420290e-03,7.361363e-03,7.334629e-03,7.299937e-03,7.236253e-03,7.208887e-03,7.170536e-03,7.102999e-03,7.075520e-03,7.033842e-03,6.963252e-03,6.936090e-03,6.891407e-03,6.818473e-03,6.791980e-03,6.744604e-03,6.669948e-03,6.644410e-03,6.594641e-03,6.518811e-03,6.494455e-03,6.442578e-03,6.366056e-03,6.343058e-03,6.289348e-03,6.212553e-03,6.191048e-03,6.135763e-03,6.059063e-03,6.039145e-03,5.982532e-03,5.906244e-03,5.887979e-03,5.830268e-03,5.754668e-03,5.738093e-03,5.679503e-03,5.604827e-03,5.589955e-03,5.530690e-03,5.457140e-03,5.443966e-03,5.384219e-03,5.311965e-03,5.300469e-03,5.240417e-03,5.169605e-03,5.159751e-03,5.099560e-03,5.030309e-03,5.022053e-03,4.961876e-03,4.894284e-03,4.887572e-03,4.827552e-03,4.761699e-03,4.756469e-03,4.696738e-03,4.632685e-03,4.628871e-03,4.569550e-03,4.507345e-03,4.504876e-03,4.446077e-03,4.385753e-03,4.384556e-03,4.326379e-03,4.267960e-03,4.155118e-03,4.046039e-03,3.940722e-03,3.839147e-03,3.741287e-03,3.647103e-03,3.556546e-03,3.469563e-03,3.386093e-03,3.306069e-03,3.229421e-03,3.156075e-03,3.085955e-03,3.018981e-03,2.955074e-03,2.894151e-03,2.836129e-03,2.780927e-03,2.728460e-03,2.678646e-03,2.631403e-03,2.586648e-03,2.544300e-03,2.504280e-03,2.466508e-03,2.430906e-03,2.397399e-03,2.365909e-03,2.336364e-03,2.308692e-03,2.282820e-03,2.258679e-03,2.236202e-03,2.215321e-03,2.195972e-03,2.178092e-03,2.161617e-03,2.146489e-03,2.132647e-03,2.120035e-03,2.108597e-03,2.098278e-03,2.089026e-03,2.080789e-03,2.073516e-03,2.067160e-03,2.061673e-03,2.057009e-03,2.053123e-03
0.000000e+00,1.472428e-08,3.542319e-07,3.723875e-07,3.097860e-06,1.335327e-05,1.404405e-05,3.899028e-05,7.160565e-05,7.379783e-05,1.101485e-04,1.419518e-04,1.446164e-04,1.764859e-04,2.029048e-04,2.057108e-04,2.323928e-04,2.538759e-04,2.566661e-04,2.786691e-04,2.958802e-04,2.985384e-04,3.164059e-04,3.299608e-04,3.323988e-04,3.466390e-04,3.570899e-04,3.592429e-04,3.703214e-04,3.781569e-04,3.799799e-04,3.883180e-04,3.939661e-04,3.954302e-04,4.014053e-04,4.052376e-04,4.063271e-04,4.102747e-04,4.126123e-04,4.133220e-04,4.155389e-04,4.166576e-04,4.169906e-04,4.177385e-04,4.178739e-04,4.178396e-04,4.173476e-04,4.167003e-04,4.163132e-04,4.147837e-04,4.135244e-04,4.128029e-04,4.104123e-04,4.086852e-04,4.076505e-04,4.045535e-04,4.024797e-04,4.011547e-04,3.974856e-04,3.951666e-04,3.935753e-04,3.894509e-04,3.869707e-04,3.851377e-04,3.806593e-04,3.780874e-04,3.760375e-04,3.712923e-04,3.686852e-04,3.664425e-04,3.615053e-04,3.589089e-04,3.564969e-04,3.514321e-04,3.488828e-04,3.463244e-04,3.411866e-04,3.387131e-04,3.360301e-04,3.308658e-04,3.284903e-04,3.257034e-04,3.205519e-04,3.182908e-04,3.154195e-04,3.103137e-04,3.081789e-04,3.052414e-04,3.002088e-04,2.982081e-04,2.952214e-04,2.902845e-04,2.884226e-04,2.854025e-04,2.805795e-04,2.788585e-04,2.758193e-04,2.711251e-04,2.695447e-04,2.664998e-04,2.619458e-04,2.605040e-04,2.574654e-04,2.530605e-04,2.517540e-04,2.487326e-04,2.444832e-04,2.433075e-04,2.403132e-04,2.362236e-04,2.351735e-04,2.322150e-04,2.282879e-04,2.273576e-04,2.244426e-04,2.206792e-04,2.198623e-04,2.169978e-04,2.133981e-04,2.126880e-04,2.098799e-04,2.064428e-04,2.058327e-04,2.030863e-04,1.998098e-04,1.992930e-04,1.966127e-04,1.934941e-04,1.930637e-04,1.904533e-04,1.874893e-04,1.871388e-04,1.846013e-04,1.817882e-04,1.815109e-04,1.790490e-04,1.763826e-04,1.761724e-04,1.737878e-04,1.712637e-04,1.711145e-04,1.688089e-04,1.664224e-04,1.663283e-04,1.641028e-04,1.618491e-04,1.618047e-04,1.596599e-04,1.575340e-04,1.535067e-04,1.497131e-04,1.461434e-04,1.427882e-04,1.396380e-04,1.366835e-04,1.339155e-04,1.313252e-04,1.289040e-04,1.266433e-04,1.245352e-04,1.225717e-04,1.207453e-04,1.190486e-04,1.174746e-04,1.160167e-04,1.146683e-04,1.134232e-04,1.122756e-04,1.112198e-04,1.102504e-04,1.093622e-04,1.085504e-04,1.078103e-04,1.071374e-04,1.065276e-04,1.059769e-04,1.054813e-04,1.050375e-04,1.046419e-04,1.042912e-04,1.039826e-04,1.037130e-04,1.034797e-04,1.032802e-04,1.031120e-04,1.029728e-04,1.028605e-04,1.027729e-04,1.027082e-04,1.026647e-04,1.026404e-04,1.026340e-04,1.026438e-04,1.026685e-04,1.027067e-04,1.027572e-04,1.028189e-04,1.028906e-04
0.000000e+00,4.887905e-11,5.911695e-09,6.352104e-09,1.237374e-07,1.046304e-06,1.132095e-06,6.616620e-06,2.579406e-05,2.790125e-05,9.104075e-05,2.255840e-04,2.424130e-04,5.501943e-04,1.032880e-03,1.101829e-03,1.998949e-03,3.161163e-03,3.351154e-03,5.269679e-03,7.454413e-03,7.861600e-03,1.122492e-02,1.470893e-02,1.544471e-02,2.059031e-02,2.553749e-02,2.671358e-02,3.384799e-02,4.029424e-02,4.200856e-02,5.119240e-02,5.905396e-02,6.137970e-02,7.253521e-02,8.163122e-02,8.460988e-02,9.754272e-02,1.076240e-01,1.112627e-01,1.256905e-01,1.364692e-01,1.407409e-01,1.563240e-01,1.674995e-01,1.723470e-01,1.887161e-01,1.999969e-01,2.053375e-01,2.221188e-01,2.332381e-01,2.389699e-01,2.558041e-01,2.665307e-01,2.725387e-01,2.890957e-01,2.992395e-01,3.054020e-01,3.213902e-01,3.308044e-01,3.369984e-01,3.521705e-01,3.607506e-01,3.668565e-01,3.810120e-01,3.886927e-01,3.945982e-01,4.075821e-01,4.143330e-01,4.199359e-01,4.316369e-01,4.374574e-01,4.426675e-01,4.530144e-01,4.579285e-01,4.626687e-01,4.716257e-01,4.756768e-01,4.798840e-01,4.874459e-01,4.906918e-01,4.943166e-01,5.005041e-01,5.030127e-01,5.060189e-01,5.108737e-01,5.127193e-01,5.150831e-01,5.186636e-01,5.199237e-01,5.216330e-01,5.240102e-01,5.247624e-01,5.258153e-01,5.270693e-01,5.273900e-01,5.277937e-01,5.280106e-01,5.279727e-01,5.277424e-01,5.270116e-01,5.266838e-01,5.258409e-01,5.242531e-01,5.236988e-01,5.222707e-01,5.199159e-01,5.191929e-01,5.172109e-01,5.141774e-01,5.133375e-01,5.108365e-01,5.072092e-01,5.062983e-01,5.033157e-01,4.991758e-01,4.982338e-01,4.948085e-01,4.902325e-01,4.892939e-01,4.854658e-01,4.805255e-01,4.796191e-01,4.754285e-01,4.701906e-01,4.693405e-01,4.648273e-01,4.593533e-01,4.585790e-01,4.537827e-01,4.481288e-01,4.474454e-01,4.424045e-01,4.366219e-01,4.360409e-01,4.307926e-01,4.249276e-01,4.244572e-01,4.190373e-01,4.131314e-01,4.127767e-01,4.072192e-01,4.013094e-01,4.010732e-01,3.954104e-01,3.895296e-01,3.894123e-01,3.836745e-01,3.778517e-01,3.664422e-01,3.552278e-01,3.442465e-01,3.335306e-01,3.231073e-01,3.129992e-01,3.032246e-01,2.937982e-01,2.847311e-01,2.760313e-01,2.677043e-01,2.597530e-01,2.521783e-01,2.449789e-01,2.381521e-01,2.316937e-01,2.255982e-01,2.198589e-01,2.144682e-01,2.094177e-01,2.046984e-01,2.003004e-01,1.962137e-01,1.924275e-01,1.889310e-01,1.857130e-01,1.827621e-01,1.800667e-01,1.776154e-01,1.753964e-01,1.733982e-01,1.716093e-01,1.700181e-01,1.686133e-01,1.673837e-01,1.663184e-01,1.654065e-01,1.646375e-01,1.640010e-01,1.634871e-01,1.630861e-01,1.627884e-01,1.625849e-01,1.624669e-01,1.624261e-01,1.624542e-01,1.625436e-01,1.626870e-01,1.628774e-01
0.000000e+00,1.292670e-11,1.552868e-09,1.668567e-09,3.264534e-08,2.770724e-07,2.998008e-07,1.747557e-06,6.764971e-06,7.313720e-06,2.363358e-05,5.797273e-05,6.223967e-05,1.395174e-04,2.586674e-04,2.755322e-04,4.922676e-04,7.672962e-04,8.117590e-04,1.254427e-03,1.747074e-03,1.837763e-03,2.575412e-03,3.321201e-03,3.476637e-03,4.546130e-03,5.548945e-03,5.784082e-03,7.186471e-03,8.421650e-03,8.745498e-03,1.045011e-02,1.187202e-02,1.228658e-02,1.423909e-02,1.578999e-02,1.629032e-02,1.842197e-02,2.004014e-02,2.061527e-02,2.285141e-02,2.447755e-02,2.511190e-02,2.737892e-02,2.896062e-02,2.963556e-02,3.186600e-02,3.336025e-02,3.405568e-02,3.619141e-02,3.756566e-02,3.826141e-02,4.025532e-02,4.148733e-02,4.216425e-02,4.398067e-02,4.505764e-02,4.569843e-02,4.731266e-02,4.822994e-02,4.881971e-02,5.021703e-02,5.097657e-02,5.150312e-02,5.267740e-02,5.328623e-02,5.374014e-02,5.469238e-02,5.516120e-02,5.553577e-02,5.627259e-02,5.661451e-02,5.690557e-02,5.743785e-02,5.766731e-02,5.787294e-02,5.821459e-02,5.834657e-02,5.846680e-02,5.863369e-02,5.868298e-02,5.871952e-02,5.872860e-02,5.870940e-02,5.866527e-02,5.853387e-02,5.845942e-02,5.833869e-02,5.808399e-02,5.796637e-02,5.777390e-02,5.741250e-02,5.726253e-02,5.700371e-02,5.655135e-02,5.637855e-02,5.605911e-02,5.553052e-02,5.534312e-02,5.496897e-02,5.437770e-02,5.418273e-02,5.375981e-02,5.311822e-02,5.292154e-02,5.245572e-02,5.177495e-02,5.158140e-02,5.107839e-02,5.036839e-02,5.018186e-02,4.964714e-02,4.891672e-02,4.874027e-02,4.817906e-02,4.743597e-02,4.727193e-02,4.668913e-02,4.594012e-02,4.579019e-02,4.519040e-02,4.444131e-02,4.430664e-02,4.369411e-02,4.294995e-02,4.283124e-02,4.220991e-02,4.147495e-02,4.137251e-02,4.074596e-02,4.002378e-02,3.993761e-02,3.930915e-02,3.860273e-02,3.853257e-02,3.790516e-02,3.721698e-02,3.716234e-02,3.653868e-02,3.587072e-02,3.583098e-02,3.521348e-02,3.456733e-02,3.454172e-02,3.393255e-02,3.330943e-02,3.329708e-02,3.269817e-02,3.209899e-02,3.094880e-02,2.984743e-02,2.879538e-02,2.779281e-02,2.683960e-02,2.593537e-02,2.507952e-02,2.427129e-02,2.350976e-02,2.279388e-02,2.212250e-02,2.149438e-02,2.090823e-02,2.036267e-02,1.985631e-02,1.938770e-02,1.895537e-02,1.855784e-02,1.819362e-02,1.786120e-02,1.755909e-02,1.728578e-02,1.703979e-02,1.681965e-02,1.662390e-02,1.645111e-02,1.629986e-02,1.616876e-02,1.605647e-02,1.596165e-02,1.588302e-02,1.581932e-02,1.576933e-02,1.573190e-02,1.570587e-02,1.569018e-02,1.568377e-02,1.568566e-02,1.569489e-02,1.571057e-02,1.573186e-02,1.575794e-02,1.578807e-02,1.582154e-02,1.585770e-02,1.589595e-02,1.593572e-02,1.597650e-02,1.601782e-02
0.000000e+00,3.543234e-09,1.237700e-07,1.302687e-07,1.058921e-06,4.499839e-06,4.736707e-06,1.410040e-05,2.977763e-05,3.100211e-05,5.460356e-05,7.977960e-05,8.203710e-05,1.101639e-04,1.342724e-04,1.368404e-04,1.611272e-04,1.803525e-04,1.828204e-04,2.020089e-04,2.166406e-04,2.188677e-04,2.335875e-04,2.444352e-04,2.463539e-04,2.573408e-04,2.651359e-04,2.667098e-04,2.746097e-04,2.799644e-04,2.811776e-04,2.865392e-04,2.899583e-04,2.908098e-04,2.940949e-04,2.959923e-04,2.964912e-04,2.980871e-04,2.988005e-04,2.989634e-04,2.991940e-04,2.989983e-04,2.988464e-04,2.979821e-04,2.971000e-04,2.966574e-04,2.949233e-04,2.935342e-04,2.928263e-04,2.904087e-04,2.886565e-04,2.877094e-04,2.847637e-04,2.827640e-04,2.816035e-04,2.782580e-04,2.761025e-04,2.747539e-04,2.711152e-04,2.688765e-04,2.673637e-04,2.635193e-04,2.612542e-04,2.596002e-04,2.556227e-04,2.533756e-04,2.516020e-04,2.475512e-04,2.453552e-04,2.434816e-04,2.394039e-04,2.372836e-04,2.353279e-04,2.312617e-04,2.292346e-04,2.272128e-04,2.231881e-04,2.212667e-04,2.191936e-04,2.152346e-04,2.134266e-04,2.113156e-04,2.074407e-04,2.057507e-04,2.036135e-04,1.998371e-04,1.982669e-04,1.961142e-04,1.924470e-04,1.909962e-04,1.888375e-04,1.852873e-04,1.839540e-04,1.817976e-04,1.783696e-04,1.771507e-04,1.750040e-04,1.717014e-04,1.705929e-04,1.684622e-04,1.652867e-04,1.642841e-04,1.621750e-04,1.591270e-04,1.582250e-04,1.561426e-04,1.532214e-04,1.524147e-04,1.503630e-04,1.475670e-04,1.468502e-04,1.448328e-04,1.421597e-04,1.415272e-04,1.395471e-04,1.369943e-04,1.364406e-04,1.345004e-04,1.320647e-04,1.315845e-04,1.296863e-04,1.273642e-04,1.269521e-04,1.250976e-04,1.228857e-04,1.225367e-04,1.207273e-04,1.186216e-04,1.183309e-04,1.165676e-04,1.145643e-04,1.143273e-04,1.126108e-04,1.107061e-04,1.105183e-04,1.088493e-04,1.070392e-04,1.068964e-04,1.052750e-04,1.035558e-04,1.034541e-04,1.018806e-04,1.002483e-04,1.001839e-04,9.865821e-05,9.710928e-05,9.707871e-05,9.560062e-05,9.413133e-05,9.133486e-05,8.868257e-05,8.616796e-05,8.378473e-05,8.152680e-05,7.938835e-05,7.736375e-05,7.544760e-05,7.363474e-05,7.192019e-05,7.029921e-05,6.876726e-05,6.731999e-05,6.595326e-05,6.466309e-05,6.344571e-05,6.229751e-05,6.121504e-05,6.019501e-05,5.923430e-05,5.832992e-05,5.747903e-05,5.667893e-05,5.592702e-05,5.522087e-05,5.455812e-05,5.393655e-05,5.335405e-05,5.280859e-05,5.229825e-05,5.182122e-05,5.137575e-05,5.096019e-05,5.057296e-05,5.021258e-05,4.987761e-05,4.956671e-05,4.927858e-05,4.901201e-05,4.876584e-05,4.853894e-05,4.833029e-05,4.813886e-05,4.796373e-05,4.780397e-05,4.765874e-05,4.752722e-05,4.740864e-05,4.730225e-05
0.000000e+00,1.674975e-11,2.082603e-09,2.240057e-09,4.621686e-08,4.057886e-07,4.394354e-07,2.575482e-06,9.810032e-06,1.058959e-05,3.319010e-05,7.888209e-05,8.445656e-05,1.832135e-04,3.308630e-04,3.514814e-04,6.126221e-04,9.375122e-04,9.895844e-04,1.503449e-03,2.068780e-03,2.172338e-03,3.010698e-03,3.853590e-03,4.028889e-03,5.233058e-03,6.360787e-03,6.625212e-03,8.203449e-03,9.596457e-03,9.962307e-03,1.189318e-02,1.351147e-02,1.398475e-02,1.622351e-02,1.801406e-02,1.859417e-02,2.108014e-02,2.298372e-02,2.366391e-02,2.632748e-02,2.828445e-02,2.905267e-02,3.182140e-02,3.377595e-02,3.461601e-02,3.741941e-02,3.932238e-02,4.021528e-02,4.298824e-02,4.479882e-02,4.572392e-02,4.840906e-02,5.009539e-02,5.103156e-02,5.358049e-02,5.511957e-02,5.604613e-02,5.841994e-02,5.979703e-02,6.069453e-02,6.286366e-02,6.407134e-02,6.492213e-02,6.686580e-02,6.790288e-02,6.869148e-02,7.039689e-02,7.126727e-02,7.198061e-02,7.344195e-02,7.415347e-02,7.478096e-02,7.599834e-02,7.656178e-02,7.709533e-02,7.807371e-02,7.850185e-02,7.893573e-02,7.968402e-02,7.999085e-02,8.032155e-02,8.085159e-02,8.105166e-02,8.127767e-02,8.160351e-02,8.171139e-02,8.183298e-02,8.197011e-02,8.200002e-02,8.201899e-02,8.198379e-02,8.194923e-02,8.186869e-02,8.167791e-02,8.159151e-02,8.141562e-02,8.108599e-02,8.095929e-02,8.069308e-02,8.024095e-02,8.008441e-02,7.973354e-02,7.917472e-02,7.899761e-02,7.856824e-02,7.791777e-02,7.772823e-02,7.722683e-02,7.649886e-02,7.630393e-02,7.573714e-02,7.494485e-02,7.475049e-02,7.412503e-02,7.328059e-02,7.309179e-02,7.241432e-02,7.152887e-02,7.134971e-02,7.062679e-02,6.971047e-02,6.954420e-02,6.878220e-02,6.784414e-02,6.769328e-02,6.689833e-02,6.594671e-02,6.581313e-02,6.499110e-02,6.403319e-02,6.391817e-02,6.307461e-02,6.211684e-02,6.202117e-02,6.116131e-02,6.020931e-02,6.013334e-02,5.926208e-02,5.832075e-02,5.826448e-02,5.738637e-02,5.645992e-02,5.642304e-02,5.554230e-02,5.463433e-02,5.461627e-02,5.373677e-02,5.285032e-02,5.113034e-02,4.946055e-02,4.784441e-02,4.628460e-02,4.478318e-02,4.334166e-02,4.196099e-02,4.064171e-02,3.938397e-02,3.818755e-02,3.705196e-02,3.597645e-02,3.496003e-02,3.400153e-02,3.309963e-02,3.225286e-02,3.145965e-02,3.071833e-02,3.002715e-02,2.938432e-02,2.878798e-02,2.823626e-02,2.772726e-02,2.725906e-02,2.682975e-02,2.643744e-02,2.608021e-02,2.575621e-02,2.546358e-02,2.520049e-02,2.496517e-02,2.475587e-02,2.457089e-02,2.440856e-02,2.426729e-02,2.414551e-02,2.404173e-02,2.395448e-02,2.388239e-02,2.382411e-02,2.377837e-02,2.374396e-02,2.371972e-02,2.370454e-02,2.369741e-02,2.369734e-02,2.370341e-02,2.371477e-02,2.373061e-02
0.000000e+00,1.659699e-09,6.431938e-08,6.782117e-08,6.129841e-07,2.974795e-06,3.149823e-06,1.082235e-05,2.550108e-05,2.669900e-05,5.018423e-05,7.478843e-05,7.694495e-05,1.031889e-04,1.250431e-04,1.273514e-04,1.490983e-04,1.662840e-04,1.684921e-04,1.856929e-04,1.988653e-04,2.008759e-04,2.142106e-04,2.241003e-04,2.258564e-04,2.359613e-04,2.431940e-04,2.446623e-04,2.520860e-04,2.571839e-04,2.583489e-04,2.635581e-04,2.669535e-04,2.678121e-04,2.712008e-04,2.732488e-04,2.738072e-04,2.757073e-04,2.766997e-04,2.769706e-04,2.776608e-04,2.778354e-04,2.778354e-04,2.775456e-04,2.770923e-04,2.768395e-04,2.757606e-04,2.748344e-04,2.743488e-04,2.726421e-04,2.713720e-04,2.706767e-04,2.684842e-04,2.669745e-04,2.660919e-04,2.635253e-04,2.618564e-04,2.608070e-04,2.579575e-04,2.561929e-04,2.549959e-04,2.519391e-04,2.501287e-04,2.488025e-04,2.456002e-04,2.437829e-04,2.423448e-04,2.390478e-04,2.372537e-04,2.357194e-04,2.323692e-04,2.306212e-04,2.290053e-04,2.256355e-04,2.239504e-04,2.222664e-04,2.189042e-04,2.172944e-04,2.155543e-04,2.122216e-04,2.106956e-04,2.089105e-04,2.056247e-04,2.041878e-04,2.023676e-04,1.991424e-04,1.977979e-04,1.959515e-04,1.927973e-04,1.915464e-04,1.896818e-04,1.866068e-04,1.854492e-04,1.835737e-04,1.805838e-04,1.795182e-04,1.776381e-04,1.747375e-04,1.737617e-04,1.718826e-04,1.690741e-04,1.681853e-04,1.663123e-04,1.635975e-04,1.627923e-04,1.609299e-04,1.583095e-04,1.575843e-04,1.557363e-04,1.532102e-04,1.525612e-04,1.507311e-04,1.482986e-04,1.477218e-04,1.459126e-04,1.435726e-04,1.430639e-04,1.412782e-04,1.390291e-04,1.385847e-04,1.368247e-04,1.346646e-04,1.342804e-04,1.325482e-04,1.304750e-04,1.301472e-04,1.284444e-04,1.264558e-04,1.261807e-04,1.245086e-04,1.226022e-04,1.223762e-04,1.207360e-04,1.189094e-04,1.187289e-04,1.171217e-04,1.153723e-04,1.152340e-04,1.136606e-04,1.119858e-04,1.118865e-04,1.103474e-04,1.087448e-04,1.086814e-04,1.071773e-04,1.056442e-04,1.056139e-04,1.041449e-04,1.026789e-04,9.987163e-05,9.718741e-05,9.462156e-05,9.216955e-05,8.982698e-05,8.758955e-05,8.545310e-05,8.341362e-05,8.146719e-05,7.961007e-05,7.783860e-05,7.614928e-05,7.453874e-05,7.300370e-05,7.154104e-05,7.014773e-05,6.882087e-05,6.755767e-05,6.635543e-05,6.521158e-05,6.412364e-05,6.308922e-05,6.210604e-05,6.117191e-05,6.028471e-05,5.944241e-05,5.864309e-05,5.788486e-05,5.716595e-05,5.648463e-05,5.583926e-05,5.522827e-05,5.465013e-05,5.410339e-05,5.358666e-05,5.309861e-05,5.263794e-05,5.220345e-05,5.179394e-05,5.140828e-05,5.104540e-05,5.070426e-05,5.038387e-05,5.008326e-05,4.980154e-05,4.953782e-05,4.929126e-05,4.906107e-05,4.884648e-05
0.000000e+00,1.047849e-08,2.141256e-07,2.245441e-07,1.641692e-06,6.323361e-06,6.624554e-06,1.719802e-05,3.107805e-05,3.202119e-05,4.769871e-05,6.126905e-05,6.239393e-05,7.566708e-05,8.638507e-05,8.750677e-05,9.800026e-05,1.062048e-04,1.072531e-04,1.153699e-04,1.215170e-04,1.224492e-04,1.285828e-04,1.330668e-04,1.338560e-04,1.383473e-04,1.414977e-04,1.421292e-04,1.452683e-04,1.473581e-04,1.478258e-04,1.498578e-04,1.511111e-04,1.514156e-04,1.525461e-04,1.531462e-04,1.532924e-04,1.536937e-04,1.537899e-04,1.537860e-04,1.536015e-04,1.533139e-04,1.531697e-04,1.525178e-04,1.519436e-04,1.516701e-04,1.506491e-04,1.498663e-04,1.494752e-04,1.481670e-04,1.472382e-04,1.467412e-04,1.452135e-04,1.441888e-04,1.435981e-04,1.419083e-04,1.408281e-04,1.401552e-04,1.383492e-04,1.372441e-04,1.364995e-04,1.346144e-04,1.335079e-04,1.327016e-04,1.307679e-04,1.296781e-04,1.288192e-04,1.268612e-04,1.258017e-04,1.248987e-04,1.229362e-04,1.219170e-04,1.209776e-04,1.190265e-04,1.180547e-04,1.170859e-04,1.151587e-04,1.142391e-04,1.132473e-04,1.113539e-04,1.104895e-04,1.094804e-04,1.076284e-04,1.068208e-04,1.057995e-04,1.039948e-04,1.032443e-04,1.022154e-04,1.004622e-04,9.976850e-05,9.873608e-05,9.703753e-05,9.639943e-05,9.536710e-05,9.372518e-05,9.314113e-05,9.211208e-05,9.052801e-05,8.999606e-05,8.897310e-05,8.744741e-05,8.696537e-05,8.595095e-05,8.448366e-05,8.404914e-05,8.304542e-05,8.163609e-05,8.124664e-05,8.025548e-05,7.890335e-05,7.855643e-05,7.757944e-05,7.628347e-05,7.597656e-05,7.501513e-05,7.377409e-05,7.350469e-05,7.255999e-05,7.137247e-05,7.113812e-05,7.021115e-05,6.907564e-05,6.887396e-05,6.796554e-05,6.688046e-05,6.670914e-05,6.581997e-05,6.478365e-05,6.464047e-05,6.377110e-05,6.278189e-05,6.266473e-05,6.181559e-05,6.087178e-05,6.077862e-05,5.995005e-05,5.904997e-05,5.897888e-05,5.817112e-05,5.731308e-05,5.726226e-05,5.647546e-05,5.565783e-05,5.562553e-05,5.485979e-05,5.408094e-05,5.406556e-05,5.332089e-05,5.257925e-05,5.116358e-05,4.981564e-05,4.853258e-05,4.731164e-05,4.615016e-05,4.504559e-05,4.399542e-05,4.299730e-05,4.204891e-05,4.114806e-05,4.029262e-05,3.948056e-05,3.870994e-05,3.797887e-05,3.728557e-05,3.662831e-05,3.600545e-05,3.541541e-05,3.485669e-05,3.432783e-05,3.382745e-05,3.335423e-05,3.290691e-05,3.248427e-05,3.208515e-05,3.170844e-05,3.135309e-05,3.101808e-05,3.070245e-05,3.040526e-05,3.012563e-05,2.986271e-05,2.961569e-05,2.938381e-05,2.916632e-05,2.896251e-05,2.877171e-05,2.859327e-05,2.842658e-05,2.827105e-05,2.812611e-05,2.799123e-05,2.786589e-05,2.774961e-05,2.764191e-05,2.754234e-05,2.745048e-05,2.736593e-05,2.728828e-05
0.000000e+00,4.085625e-11,5.267374e-09,5.670068e-09,1.219440e-07,1.116372e-06,1.211035e-06,7.402015e-06,2.921652e-05,3.160524e-05,1.023821e-04,2.500654e-04,2.683468e-04,5.983317e-04,1.106199e-03,1.178137e-03,2.105328e-03,3.290689e-03,3.483296e-03,5.415404e-03,7.595241e-03,7.999738e-03,1.132474e-02,1.474573e-02,1.546581e-02,2.048296e-02,2.528156e-02,2.641932e-02,3.330058e-02,3.949204e-02,4.113501e-02,4.991417e-02,5.740280e-02,5.961402e-02,7.019634e-02,7.879830e-02,8.161040e-02,9.379479e-02,1.032661e-01,1.066792e-01,1.201864e-01,1.302510e-01,1.342339e-01,1.487356e-01,1.591100e-01,1.636035e-01,1.787493e-01,1.891622e-01,1.940850e-01,2.095248e-01,2.197315e-01,2.249855e-01,2.403876e-01,2.501793e-01,2.556559e-01,2.707198e-01,2.799280e-01,2.855141e-01,2.999787e-01,3.084764e-01,3.140593e-01,3.277072e-01,3.354075e-01,3.408792e-01,3.535380e-01,3.603905e-01,3.656513e-01,3.771922e-01,3.831784e-01,3.881388e-01,3.984740e-01,4.036022e-01,4.081850e-01,4.172634e-01,4.215638e-01,4.257046e-01,4.335074e-01,4.370266e-01,4.406741e-01,4.472095e-01,4.500060e-01,4.531217e-01,4.584205e-01,4.605608e-01,4.631183e-01,4.672291e-01,4.687843e-01,4.707684e-01,4.737533e-01,4.747960e-01,4.762017e-01,4.781327e-01,4.787349e-01,4.795659e-01,4.805216e-01,4.807527e-01,4.810204e-01,4.810832e-01,4.810090e-01,4.807310e-01,4.799850e-01,4.796665e-01,4.788659e-01,4.773946e-01,4.768875e-01,4.755914e-01,4.734766e-01,4.728313e-01,4.710698e-01,4.683903e-01,4.676513e-01,4.654569e-01,4.622878e-01,4.614942e-01,4.589007e-01,4.553128e-01,4.544981e-01,4.515403e-01,4.475994e-01,4.467923e-01,4.435052e-01,4.392723e-01,4.384967e-01,4.349147e-01,4.304459e-01,4.297214e-01,4.258785e-01,4.212248e-01,4.205671e-01,4.164963e-01,4.117040e-01,4.111252e-01,4.068583e-01,4.019690e-01,4.014780e-01,3.970454e-01,3.920963e-01,3.916995e-01,3.871299e-01,3.821541e-01,3.818554e-01,3.771761e-01,3.722027e-01,3.720040e-01,3.672404e-01,3.622952e-01,3.621965e-01,3.573725e-01,3.524776e-01,3.428864e-01,3.334561e-01,3.242154e-01,3.151883e-01,3.063949e-01,2.978516e-01,2.895716e-01,2.815652e-01,2.738402e-01,2.664021e-01,2.592543e-01,2.523985e-01,2.458349e-01,2.395623e-01,2.335783e-01,2.278792e-01,2.224609e-01,2.173181e-01,2.124450e-01,2.078352e-01,2.034819e-01,1.993778e-01,1.955154e-01,1.918867e-01,1.884839e-01,1.852987e-01,1.823228e-01,1.795479e-01,1.769654e-01,1.745672e-01,1.723448e-01,1.702899e-01,1.683943e-01,1.666500e-01,1.650490e-01,1.635834e-01,1.622457e-01,1.610283e-01,1.599239e-01,1.589255e-01,1.580262e-01,1.572193e-01,1.564985e-01,1.558575e-01,1.552903e-01,1.547913e-01,1.543550e-01,1.539761e-01,1.536496e-01
0.000000e+00,1.968864e-11,2.326164e-09,2.497680e-09,4.670152e-08,3.812879e-07,4.120767e-07,2.363582e-06,9.207764e-06,9.964490e-06,3.298694e-05,8.347025e-05,8.987759e-05,2.093312e-04,4.020012e-04,4.298769e-04,7.978630e-04,1.284299e-03,1.364546e-03,2.182901e-03,3.127438e-03,3.304565e-03,4.777181e-03,6.315979e-03,6.642259e-03,8.933600e-03,1.114845e-02,1.167628e-02,1.488610e-02,1.779494e-02,1.856952e-02,2.272392e-02,2.628439e-02,2.733812e-02,3.239317e-02,3.651416e-02,3.786321e-02,4.371651e-02,4.827332e-02,4.991645e-02,5.642255e-02,6.127229e-02,6.319150e-02,7.017811e-02,7.517350e-02,7.733614e-02,8.461914e-02,8.961945e-02,9.198112e-02,9.937720e-02,1.042562e-01,1.067641e-01,1.141006e-01,1.187515e-01,1.213478e-01,1.284697e-01,1.328075e-01,1.354328e-01,1.422068e-01,1.461690e-01,1.487646e-01,1.550819e-01,1.586274e-01,1.611377e-01,1.669138e-01,1.700205e-01,1.723951e-01,1.775692e-01,1.802319e-01,1.824262e-01,1.869591e-01,1.891864e-01,1.911629e-01,1.950349e-01,1.968462e-01,1.985744e-01,2.017827e-01,2.032057e-01,2.046624e-01,2.072178e-01,2.082860e-01,2.094547e-01,2.113798e-01,2.121300e-01,2.130008e-01,2.143266e-01,2.147976e-01,2.153665e-01,2.161307e-01,2.163614e-01,2.166296e-01,2.168742e-01,2.169028e-01,2.168758e-01,2.166460e-01,2.165088e-01,2.161961e-01,2.155381e-01,2.152689e-01,2.146833e-01,2.136435e-01,2.132735e-01,2.124301e-01,2.110543e-01,2.106115e-01,2.095272e-01,2.078596e-01,2.073690e-01,2.060621e-01,2.041450e-01,2.036282e-01,2.021182e-01,1.999912e-01,1.994669e-01,1.977735e-01,1.954738e-01,1.949578e-01,1.931009e-01,1.906628e-01,1.901680e-01,1.881673e-01,1.856221e-01,1.851592e-01,1.830341e-01,1.804101e-01,1.799874e-01,1.777566e-01,1.750795e-01,1.747032e-01,1.723847e-01,1.696776e-01,1.693521e-01,1.669631e-01,1.642462e-01,1.639745e-01,1.615312e-01,1.588225e-01,1.586061e-01,1.561237e-01,1.534387e-01,1.532781e-01,1.507708e-01,1.481231e-01,1.480177e-01,1.454986e-01,1.428999e-01,1.428482e-01,1.403295e-01,1.377896e-01,1.328587e-01,1.280695e-01,1.234334e-01,1.189596e-01,1.146554e-01,1.105260e-01,1.065752e-01,1.028054e-01,9.921789e-02,9.581267e-02,9.258898e-02,8.954520e-02,8.667905e-02,8.398764e-02,8.146760e-02,7.911508e-02,7.692591e-02,7.489558e-02,7.301932e-02,7.129219e-02,6.970900e-02,6.826448e-02,6.695321e-02,6.576968e-02,6.470832e-02,6.376350e-02,6.292958e-02,6.220088e-02,6.157178e-02,6.103664e-02,6.058988e-02,6.022597e-02,5.993945e-02,5.972492e-02,5.957709e-02,5.949078e-02,5.946091e-02,5.948255e-02,5.955089e-02,5.966129e-02,5.980925e-02,5.999044e-02,6.020072e-02,6.043611e-02,6.069285e-02,6.096734e-02,6.125619e-02,6.155622e-02,6.186445e-02
0.000000e+00,1.398570e-09,1.892296e-08,1.974814e-08,1.160830e-07,3.684938e-07,3.829742e-07,8.176274e-07,1.275244e-06,1.304240e-06,1.772019e-06,2.170961e-06,2.204144e-06,2.598787e-06,2.923009e-06,2.957288e-06,3.281642e-06,3.540497e-06,3.573952e-06,3.836274e-06,4.039391e-06,4.070580e-06,4.278787e-06,4.434867e-06,4.462744e-06,4.624210e-06,4.741003e-06,4.764854e-06,4.886254e-06,4.970521e-06,4.989898e-06,5.077181e-06,5.134747e-06,5.149409e-06,5.207804e-06,5.243637e-06,5.253505e-06,5.287574e-06,5.305880e-06,5.310999e-06,5.324698e-06,5.329023e-06,5.329528e-06,5.326280e-06,5.319596e-06,5.315690e-06,5.298442e-06,5.283235e-06,5.275169e-06,5.246456e-06,5.224792e-06,5.212847e-06,5.174844e-06,5.148432e-06,5.132911e-06,5.087478e-06,5.057727e-06,5.038941e-06,4.987666e-06,4.955729e-06,4.933992e-06,4.878228e-06,4.845042e-06,4.820663e-06,4.761559e-06,4.727880e-06,4.701159e-06,4.639686e-06,4.606118e-06,4.577345e-06,4.514324e-06,4.481341e-06,4.450793e-06,4.386910e-06,4.354882e-06,4.322818e-06,4.258649e-06,4.227855e-06,4.194521e-06,4.130542e-06,4.101190e-06,4.066812e-06,4.003418e-06,3.975653e-06,3.940442e-06,3.877955e-06,3.851872e-06,3.816023e-06,3.754703e-06,3.730359e-06,3.694048e-06,3.634103e-06,3.611519e-06,3.574910e-06,3.516503e-06,3.495676e-06,3.458915e-06,3.402172e-06,3.383075e-06,3.346296e-06,3.291308e-06,3.273902e-06,3.237224e-06,3.184057e-06,3.168287e-06,3.131817e-06,3.080513e-06,3.066316e-06,3.030150e-06,2.980732e-06,2.968038e-06,2.932260e-06,2.884734e-06,2.873468e-06,2.838152e-06,2.792511e-06,2.782596e-06,2.747806e-06,2.704033e-06,2.695389e-06,2.661183e-06,2.619250e-06,2.611799e-06,2.578224e-06,2.538097e-06,2.531759e-06,2.498857e-06,2.460496e-06,2.455194e-06,2.423000e-06,2.386359e-06,2.382019e-06,2.350561e-06,2.315592e-06,2.312141e-06,2.281441e-06,2.248095e-06,2.245461e-06,2.215539e-06,2.183762e-06,2.181880e-06,2.152749e-06,2.122486e-06,2.121291e-06,2.092961e-06,2.064160e-06,2.063591e-06,2.036068e-06,2.008673e-06,1.956430e-06,1.906760e-06,1.859557e-06,1.814721e-06,1.772151e-06,1.731752e-06,1.693427e-06,1.657087e-06,1.622641e-06,1.590005e-06,1.559094e-06,1.529830e-06,1.502134e-06,1.475934e-06,1.451158e-06,1.427739e-06,1.405610e-06,1.384709e-06,1.364977e-06,1.346355e-06,1.328790e-06,1.312229e-06,1.296622e-06,1.281921e-06,1.268080e-06,1.255058e-06,1.242811e-06,1.231300e-06,1.220489e-06,1.210341e-06,1.200821e-06,1.191898e-06,1.183540e-06,1.175719e-06,1.168405e-06,1.161573e-06,1.155197e-06,1.149252e-06,1.143717e-06,1.138568e-06,1.133786e-06,1.129351e-06,1.125243e-06,1.121446e-06,1.117941e-06,1.114714e-06,1.111748e-06,1.109029e-06,1.106544e-06
0.000000e+00,3.214321e-10,3.484239e-08,3.741071e-08,6.764000e-07,4.648147e-06,4.971439e-06,2.054544e-05,5.397334e-05,5.685426e-05,1.180249e-04,1.928770e-04,2.000137e-04,2.945388e-04,3.837799e-04,3.937331e-04,4.921282e-04,5.755374e-04,5.866077e-04,6.756767e-04,7.475073e-04,7.587756e-04,8.358258e-04,8.959778e-04,9.069744e-04,9.724656e-04,1.022143e-03,1.032580e-03,1.087605e-03,1.128155e-03,1.137829e-03,1.183527e-03,1.216200e-03,1.224964e-03,1.262395e-03,1.288311e-03,1.296060e-03,1.326189e-03,1.346336e-03,1.352999e-03,1.376697e-03,1.391941e-03,1.397476e-03,1.415523e-03,1.426623e-03,1.431011e-03,1.444105e-03,1.451722e-03,1.454962e-03,1.463728e-03,1.468437e-03,1.470544e-03,1.475540e-03,1.477840e-03,1.478840e-03,1.480562e-03,1.480886e-03,1.480816e-03,1.479705e-03,1.478425e-03,1.477328e-03,1.473778e-03,1.471216e-03,1.469142e-03,1.463502e-03,1.459934e-03,1.456935e-03,1.449515e-03,1.445178e-03,1.441310e-03,1.432385e-03,1.427479e-03,1.422799e-03,1.412611e-03,1.407307e-03,1.401873e-03,1.390636e-03,1.385078e-03,1.378946e-03,1.366850e-03,1.361160e-03,1.354387e-03,1.341598e-03,1.335877e-03,1.328519e-03,1.315184e-03,1.309514e-03,1.301625e-03,1.287873e-03,1.282324e-03,1.273955e-03,1.259899e-03,1.254526e-03,1.245728e-03,1.231466e-03,1.226313e-03,1.217134e-03,1.202753e-03,1.197855e-03,1.188340e-03,1.173914e-03,1.169297e-03,1.159490e-03,1.145084e-03,1.140768e-03,1.130710e-03,1.116379e-03,1.112376e-03,1.102105e-03,1.087899e-03,1.084218e-03,1.073770e-03,1.059728e-03,1.056372e-03,1.045782e-03,1.031940e-03,1.028910e-03,1.018209e-03,1.004595e-03,1.001887e-03,9.911058e-04,9.777453e-04,9.753546e-04,9.645192e-04,9.514320e-04,9.493512e-04,9.384876e-04,9.256898e-04,9.239100e-04,9.130418e-04,9.005464e-04,8.990573e-04,8.882061e-04,8.760231e-04,8.748136e-04,8.639993e-04,8.521363e-04,8.511942e-04,8.404352e-04,8.288972e-04,8.282102e-04,8.175232e-04,8.063135e-04,8.058686e-04,7.952687e-04,7.843890e-04,7.841731e-04,7.736743e-04,7.631245e-04,7.427210e-04,7.229585e-04,7.038313e-04,6.853317e-04,6.674510e-04,6.501791e-04,6.335050e-04,6.174170e-04,6.019026e-04,5.869489e-04,5.725427e-04,5.586702e-04,5.453179e-04,5.324716e-04,5.201175e-04,5.082415e-04,4.968298e-04,4.858686e-04,4.753441e-04,4.652430e-04,4.555518e-04,4.462575e-04,4.373473e-04,4.288085e-04,4.206288e-04,4.127962e-04,4.052989e-04,3.981254e-04,3.912646e-04,3.847055e-04,3.784376e-04,3.724505e-04,3.667342e-04,3.612789e-04,3.560754e-04,3.511143e-04,3.463869e-04,3.418845e-04,3.375987e-04,3.335216e-04,3.296452e-04,3.259620e-04,3.224648e-04,3.191463e-04,3.159998e-04,3.130186e-04,3.101964e-04,3.075269e-04,3.050041e-04
0.000000e+00,1.301995e-11,1.576187e-09,1.693839e-09,3.349013e-08,2.907702e-07,3.150016e-07,1.899358e-06,7.596278e-06,8.228522e-06,2.737520e-05,6.858007e-05,7.374622e-05,1.682735e-04,3.161266e-04,3.371915e-04,6.099937e-04,9.601843e-04,1.017120e-03,1.587749e-03,2.229232e-03,2.347923e-03,3.319101e-03,4.309757e-03,4.517173e-03,5.951914e-03,7.307651e-03,7.626819e-03,9.539264e-03,1.123483e-02,1.168092e-02,1.403834e-02,1.601557e-02,1.659369e-02,1.932551e-02,2.150488e-02,2.220955e-02,2.521956e-02,2.751192e-02,2.832804e-02,3.150693e-02,3.382361e-02,3.472827e-02,3.796473e-02,4.022512e-02,4.119004e-02,4.437941e-02,4.651582e-02,4.750980e-02,5.056016e-02,5.252028e-02,5.351157e-02,5.634731e-02,5.809471e-02,5.905292e-02,6.161619e-02,6.312944e-02,6.402707e-02,6.627765e-02,6.754850e-02,6.836198e-02,7.027599e-02,7.130708e-02,7.201732e-02,7.358522e-02,7.438766e-02,7.498032e-02,7.620454e-02,7.679559e-02,7.726090e-02,7.815340e-02,7.855430e-02,7.888683e-02,7.946670e-02,7.970092e-02,7.989905e-02,8.019040e-02,8.028215e-02,8.034757e-02,8.037766e-02,8.035081e-02,8.028789e-02,8.008557e-02,7.996279e-02,7.977804e-02,7.937257e-02,7.917479e-02,7.887633e-02,7.829635e-02,7.804245e-02,7.763949e-02,7.691239e-02,7.661902e-02,7.612147e-02,7.527289e-02,7.495443e-02,7.437255e-02,7.342609e-02,7.309475e-02,7.243885e-02,7.141588e-02,7.108178e-02,7.036198e-02,6.928165e-02,6.895303e-02,6.817911e-02,6.705833e-02,6.674175e-02,6.592301e-02,6.477660e-02,6.447711e-02,6.362230e-02,6.246308e-02,6.218444e-02,6.130168e-02,6.014063e-02,5.988548e-02,5.898226e-02,5.782869e-02,5.759873e-02,5.668187e-02,5.554359e-02,5.533973e-02,5.441545e-02,5.329892e-02,5.312145e-02,5.219532e-02,5.110583e-02,5.095449e-02,5.003152e-02,4.897331e-02,4.884745e-02,4.793207e-02,4.690851e-02,4.680715e-02,4.590328e-02,4.491693e-02,4.483885e-02,4.394995e-02,4.300273e-02,4.294653e-02,4.207561e-02,4.116885e-02,4.113301e-02,4.028268e-02,3.941725e-02,3.940016e-02,3.857268e-02,3.774904e-02,3.618003e-02,3.469294e-02,3.328713e-02,3.196153e-02,3.071480e-02,2.954532e-02,2.845128e-02,2.743069e-02,2.648144e-02,2.560135e-02,2.478812e-02,2.403943e-02,2.335291e-02,2.272616e-02,2.215677e-02,2.164233e-02,2.118041e-02,2.076859e-02,2.040447e-02,2.008565e-02,1.980974e-02,1.957438e-02,1.937722e-02,1.921594e-02,1.908824e-02,1.899187e-02,1.892459e-02,1.888420e-02,1.886856e-02,1.887556e-02,1.890314e-02,1.894931e-02,1.901211e-02,1.908966e-02,1.918016e-02,1.928185e-02,1.939307e-02,1.951222e-02,1.963779e-02,1.976835e-02,1.990256e-02,2.003916e-02,2.017698e-02,2.031493e-02,2.045203e-02,2.058736e-02,2.072012e-02,2.084955e-02,2.097502e-02
0.000000e+00,2.464655e-11,2.989095e-09,3.213742e-09,6.426503e-08,5.339986e-07,5.767074e-07,3.141763e-06,1.115167e-05,1.198472e-05,3.495333e-05,7.787458e-05,8.291124e-05,1.675769e-04,2.835293e-04,2.989932e-04,4.836619e-04,6.920094e-04,7.237024e-04,1.016922e-03,1.307262e-03,1.357499e-03,1.736969e-03,2.078453e-03,2.145284e-03,2.571781e-03,2.927697e-03,3.005969e-03,3.438124e-03,3.776581e-03,3.859677e-03,4.263429e-03,4.562250e-03,4.643633e-03,4.995968e-03,5.243214e-03,5.317436e-03,5.606221e-03,5.798373e-03,5.861518e-03,6.083372e-03,6.222778e-03,6.272499e-03,6.430138e-03,6.522607e-03,6.557911e-03,6.657705e-03,6.710625e-03,6.731569e-03,6.781634e-03,6.802685e-03,6.810049e-03,6.818928e-03,6.815304e-03,6.810312e-03,6.786143e-03,6.764155e-03,6.748251e-03,6.698340e-03,6.663283e-03,6.637981e-03,6.568611e-03,6.524770e-03,6.491540e-03,6.407951e-03,6.358696e-03,6.318910e-03,6.225371e-03,6.173293e-03,6.128185e-03,6.028109e-03,5.975152e-03,5.925812e-03,5.821886e-03,5.769477e-03,5.716851e-03,5.611162e-03,5.560318e-03,5.505219e-03,5.399368e-03,5.350792e-03,5.293912e-03,5.189110e-03,5.143265e-03,5.085189e-03,4.982340e-03,4.939504e-03,4.880727e-03,4.780490e-03,4.740807e-03,4.681746e-03,4.584592e-03,4.548107e-03,4.489109e-03,4.395362e-03,4.362049e-03,4.303404e-03,4.213276e-03,4.183054e-03,4.125007e-03,4.038620e-03,4.011375e-03,3.954127e-03,3.871537e-03,3.847131e-03,3.790849e-03,3.712061e-03,3.690339e-03,3.635162e-03,3.560141e-03,3.540941e-03,3.486981e-03,3.415664e-03,3.398819e-03,3.346168e-03,3.278470e-03,3.263815e-03,3.212544e-03,3.148364e-03,3.135735e-03,3.085902e-03,3.025129e-03,3.014367e-03,2.966015e-03,2.908529e-03,2.899481e-03,2.852642e-03,2.798320e-03,2.790838e-03,2.745532e-03,2.694249e-03,2.688194e-03,2.644436e-03,2.596063e-03,2.591303e-03,2.549098e-03,2.503509e-03,2.499921e-03,2.459266e-03,2.416338e-03,2.413803e-03,2.374693e-03,2.334301e-03,2.332711e-03,2.295134e-03,2.257161e-03,2.256413e-03,2.220353e-03,2.184682e-03,2.117299e-03,2.054050e-03,1.994731e-03,1.939145e-03,1.887104e-03,1.838424e-03,1.792934e-03,1.750465e-03,1.710860e-03,1.673967e-03,1.639640e-03,1.607742e-03,1.578140e-03,1.550709e-03,1.525330e-03,1.501888e-03,1.480275e-03,1.460388e-03,1.442129e-03,1.425404e-03,1.410124e-03,1.396205e-03,1.383567e-03,1.372133e-03,1.361831e-03,1.352592e-03,1.344350e-03,1.337042e-03,1.330611e-03,1.324999e-03,1.320153e-03,1.316024e-03,1.312561e-03,1.309721e-03,1.307460e-03,1.305736e-03,1.304511e-03,1.303749e-03,1.303413e-03,1.303472e-03,1.303894e-03,1.304649e-03,1.305710e-03,1.307049e-03,1.308642e-03,1.310466e-03,1.312497e-03,1.314716e-03,1.317102e-03
0.000000e+00,5.396258e-09,1.032775e-07,1.080084e-07,7.303574e-07,2.923224e-06,3.072187e-06,8.782148e-06,1.734221e-05,1.795568e-05,2.853782e-05,3.808617e-05,3.888867e-05,4.846207e-05,5.632391e-05,5.715348e-05,6.498056e-05,7.119212e-05,7.199231e-05,7.824417e-05,8.305508e-05,8.379124e-05,8.868643e-05,9.233144e-05,9.297998e-05,9.671940e-05,9.940362e-05,9.994933e-05,1.027117e-04,1.046114e-04,1.050457e-04,1.069881e-04,1.082532e-04,1.085729e-04,1.098318e-04,1.105888e-04,1.107942e-04,1.114875e-04,1.118420e-04,1.119366e-04,1.121646e-04,1.122037e-04,1.121925e-04,1.120395e-04,1.118347e-04,1.117239e-04,1.112621e-04,1.108725e-04,1.106695e-04,1.099603e-04,1.094354e-04,1.091487e-04,1.082469e-04,1.076274e-04,1.072656e-04,1.062147e-04,1.055320e-04,1.051029e-04,1.039387e-04,1.032181e-04,1.027294e-04,1.014818e-04,1.007431e-04,1.002021e-04,9.889606e-05,9.815505e-05,9.756870e-05,9.622471e-05,9.549356e-05,9.486834e-05,9.350342e-05,9.279144e-05,9.213341e-05,9.076144e-05,9.007561e-05,8.939034e-05,8.802263e-05,8.736801e-05,8.666059e-05,8.530628e-05,8.468640e-05,8.396152e-05,8.262794e-05,8.204508e-05,8.130697e-05,7.999990e-05,7.945535e-05,7.870785e-05,7.743178e-05,7.692603e-05,7.617257e-05,7.493093e-05,7.446385e-05,7.370751e-05,7.250284e-05,7.207384e-05,7.131736e-05,7.015145e-05,6.975955e-05,6.900539e-05,6.787942e-05,6.752338e-05,6.677370e-05,6.568834e-05,6.536671e-05,6.462340e-05,6.357889e-05,6.329009e-05,6.255480e-05,6.155106e-05,6.129341e-05,6.056758e-05,5.960425e-05,5.937603e-05,5.866092e-05,5.773742e-05,5.753689e-05,5.683356e-05,5.594913e-05,5.577456e-05,5.508391e-05,5.423767e-05,5.408735e-05,5.341016e-05,5.260111e-05,5.247336e-05,5.181026e-05,5.103733e-05,5.093053e-05,5.028204e-05,4.954410e-05,4.945670e-05,4.882322e-05,4.811912e-05,4.804962e-05,4.743148e-05,4.676002e-05,4.670700e-05,4.610444e-05,4.546443e-05,4.542652e-05,4.483970e-05,4.422995e-05,4.420587e-05,4.363489e-05,4.305421e-05,4.304274e-05,4.248763e-05,4.193487e-05,4.088000e-05,3.987596e-05,3.892060e-05,3.801185e-05,3.714768e-05,3.632615e-05,3.554535e-05,3.480347e-05,3.409875e-05,3.342950e-05,3.279410e-05,3.219098e-05,3.161865e-05,3.107567e-05,3.056066e-05,3.007232e-05,2.960937e-05,2.917062e-05,2.875491e-05,2.836114e-05,2.798826e-05,2.763526e-05,2.730118e-05,2.698512e-05,2.668619e-05,2.640356e-05,2.613643e-05,2.588405e-05,2.564570e-05,2.542068e-05,2.520834e-05,2.500804e-05,2.481920e-05,2.464125e-05,2.447363e-05,2.431584e-05,2.416738e-05,2.402778e-05,2.389660e-05,2.377341e-05,2.365781e-05,2.354941e-05,2.344784e-05,2.335276e-05,2.326382e-05,2.318072e-05,2.310314e-05,2.303081e-05,2.296345e-05
0.000000e+00,5.195478e-10,1.135580e-08,1.192604e-08,8.169153e-08,2.358272e-07,2.433459e-07,4.362865e-07,6.134192e-07,6.244259e-07,8.020621e-07,9.557527e-07,9.686819e-07,1.124553e-06,1.255971e-06,1.270068e-06,1.405631e-06,1.517013e-06,1.531644e-06,1.648510e-06,1.742006e-06,1.756632e-06,1.856411e-06,1.934070e-06,1.948246e-06,2.032530e-06,2.096278e-06,2.109647e-06,2.179973e-06,2.231586e-06,2.243867e-06,2.301681e-06,2.342770e-06,2.353749e-06,2.400392e-06,2.432404e-06,2.441920e-06,2.478624e-06,2.502846e-06,2.510786e-06,2.538673e-06,2.556247e-06,2.562538e-06,2.582625e-06,2.594562e-06,2.599164e-06,2.612375e-06,2.619564e-06,2.622467e-06,2.629637e-06,2.632862e-06,2.634075e-06,2.635957e-06,2.635899e-06,2.635453e-06,2.632724e-06,2.629982e-06,2.627922e-06,2.621192e-06,2.616285e-06,2.612669e-06,2.602484e-06,2.595863e-06,2.590759e-06,2.577608e-06,2.569663e-06,2.563143e-06,2.547467e-06,2.538533e-06,2.530677e-06,2.512867e-06,2.503231e-06,2.494123e-06,2.474528e-06,2.464436e-06,2.454160e-06,2.433092e-06,2.422752e-06,2.411394e-06,2.389131e-06,2.378718e-06,2.366365e-06,2.343153e-06,2.332813e-06,2.319551e-06,2.295608e-06,2.285463e-06,2.271374e-06,2.246894e-06,2.237042e-06,2.222210e-06,2.197362e-06,2.187885e-06,2.172388e-06,2.147322e-06,2.138283e-06,2.122198e-06,2.097046e-06,2.088493e-06,2.071895e-06,2.046771e-06,2.038741e-06,2.021699e-06,1.996702e-06,1.989221e-06,1.971803e-06,1.947020e-06,1.940105e-06,1.922373e-06,1.897879e-06,1.891538e-06,1.873554e-06,1.849412e-06,1.843646e-06,1.825466e-06,1.801730e-06,1.796538e-06,1.778215e-06,1.754930e-06,1.750302e-06,1.731886e-06,1.709090e-06,1.705014e-06,1.686552e-06,1.664277e-06,1.660738e-06,1.642272e-06,1.620542e-06,1.617522e-06,1.599093e-06,1.577928e-06,1.575407e-06,1.557052e-06,1.536467e-06,1.534424e-06,1.516176e-06,1.496182e-06,1.494595e-06,1.476486e-06,1.457089e-06,1.455935e-06,1.437993e-06,1.419198e-06,1.418452e-06,1.400704e-06,1.382511e-06,1.382150e-06,1.364619e-06,1.347027e-06,1.313076e-06,1.280287e-06,1.248648e-06,1.218143e-06,1.188753e-06,1.160458e-06,1.133236e-06,1.107066e-06,1.081921e-06,1.057777e-06,1.034608e-06,1.012389e-06,9.910916e-07,9.706902e-07,9.511577e-07,9.324673e-07,9.145925e-07,8.975069e-07,8.811844e-07,8.655992e-07,8.507261e-07,8.365401e-07,8.230169e-07,8.101325e-07,7.978637e-07,7.861875e-07,7.750818e-07,7.645250e-07,7.544959e-07,7.449741e-07,7.359396e-07,7.273733e-07,7.192563e-07,7.115706e-07,7.042985e-07,6.974231e-07,6.909280e-07,6.847972e-07,6.790154e-07,6.735678e-07,6.684401e-07,6.636184e-07,6.590895e-07,6.548405e-07,6.508590e-07,6.471331e-07,6.436513e-07,6.404026e-07,6.373764e-07
0.000000e+00,4.874364e-10,1.042627e-08,1.095468e-08,7.865730e-08,2.436669e-07,2.520867e-07,4.718502e-07,6.739277e-07,6.864141e-07,8.864255e-07,1.056942e-06,1.071172e-06,1.241243e-06,1.382407e-06,1.397423e-06,1.540499e-06,1.656170e-06,1.671231e-06,1.790345e-06,1.884028e-06,1.898543e-06,1.996497e-06,2.071334e-06,2.084851e-06,2.164224e-06,2.223022e-06,2.235205e-06,2.298351e-06,2.343585e-06,2.354193e-06,2.403232e-06,2.437065e-06,2.445941e-06,2.482762e-06,2.507067e-06,2.514115e-06,2.540395e-06,2.556795e-06,2.561972e-06,2.579192e-06,2.589077e-06,2.592381e-06,2.601843e-06,2.606401e-06,2.607862e-06,2.610705e-06,2.610953e-06,2.610623e-06,2.607848e-06,2.604649e-06,2.602599e-06,2.595080e-06,2.589164e-06,2.585480e-06,2.573979e-06,2.565966e-06,2.560741e-06,2.545923e-06,2.536334e-06,2.529668e-06,2.512112e-06,2.501384e-06,2.493381e-06,2.473591e-06,2.462087e-06,2.452851e-06,2.431264e-06,2.419287e-06,2.408923e-06,2.385916e-06,2.373717e-06,2.362325e-06,2.338227e-06,2.326009e-06,2.313690e-06,2.288781e-06,2.276711e-06,2.263561e-06,2.238084e-06,2.226294e-06,2.212404e-06,2.186569e-06,2.175164e-06,2.160622e-06,2.134605e-06,2.123666e-06,2.108556e-06,2.082509e-06,2.072099e-06,2.056497e-06,2.030549e-06,2.020711e-06,2.004692e-06,1.978951e-06,1.969718e-06,1.953349e-06,1.927906e-06,1.919295e-06,1.902642e-06,1.877572e-06,1.869594e-06,1.852714e-06,1.828080e-06,1.820736e-06,1.803685e-06,1.779538e-06,1.772823e-06,1.755651e-06,1.732032e-06,1.725936e-06,1.708689e-06,1.685629e-06,1.680138e-06,1.662860e-06,1.640384e-06,1.635480e-06,1.618209e-06,1.596336e-06,1.591999e-06,1.574770e-06,1.553513e-06,1.549720e-06,1.532567e-06,1.511933e-06,1.508661e-06,1.491612e-06,1.471605e-06,1.468830e-06,1.451913e-06,1.432533e-06,1.430229e-06,1.413467e-06,1.394712e-06,1.392854e-06,1.376269e-06,1.358134e-06,1.356697e-06,1.340307e-06,1.322785e-06,1.321744e-06,1.305567e-06,1.288649e-06,1.287979e-06,1.272030e-06,1.255706e-06,1.255383e-06,1.239675e-06,1.223934e-06,1.193609e-06,1.164382e-06,1.136228e-06,1.109119e-06,1.083027e-06,1.057926e-06,1.033785e-06,1.010578e-06,9.882754e-07,9.668493e-07,9.462720e-07,9.265158e-07,9.075540e-07,8.893599e-07,8.719075e-07,8.551714e-07,8.391267e-07,8.237491e-07,8.090150e-07,7.949012e-07,7.813856e-07,7.684464e-07,7.560625e-07,7.442135e-07,7.328797e-07,7.220418e-07,7.116812e-07,7.017799e-07,6.923207e-07,6.832865e-07,6.746613e-07,6.664292e-07,6.585753e-07,6.510848e-07,6.439437e-07,6.371384e-07,6.306556e-07,6.244828e-07,6.186077e-07,6.130185e-07,6.077039e-07,6.026528e-07,5.978549e-07,5.932998e-07,5.889778e-07,5.848794e-07,5.809956e-07,5.773176e-07,5.738370e-07
0.000000e+00,4.140790e-09,4.744978e-08,4.934686e-08,2.567898e-07,8.015911e-07,8.342301e-07,1.932090e-06,3.399916e-06,3.504144e-06,5.337527e-06,7.057379e-06,7.204183e-06,8.974601e-06,1.044946e-05,1.060605e-05,1.209241e-05,1.328434e-05,1.343877e-05,1.465318e-05,1.559862e-05,1.574427e-05,1.672056e-05,1.745794e-05,1.759026e-05,1.836126e-05,1.892505e-05,1.904097e-05,1.963612e-05,2.005566e-05,2.015310e-05,2.059794e-05,2.089848e-05,2.097629e-05,2.129338e-05,2.149643e-05,2.155412e-05,2.176306e-05,2.188684e-05,2.192445e-05,2.204222e-05,2.210209e-05,2.212005e-05,2.216134e-05,2.217020e-05,2.216924e-05,2.214671e-05,2.211539e-05,2.209645e-05,2.202101e-05,2.195856e-05,2.192271e-05,2.180374e-05,2.171768e-05,2.166610e-05,2.151166e-05,2.140823e-05,2.134214e-05,2.115913e-05,2.104346e-05,2.096410e-05,2.075843e-05,2.063476e-05,2.054336e-05,2.032007e-05,2.019183e-05,2.008961e-05,1.985298e-05,1.972296e-05,1.961109e-05,1.936478e-05,1.923520e-05,1.911481e-05,1.886189e-05,1.873453e-05,1.860667e-05,1.834975e-05,1.822599e-05,1.809167e-05,1.783294e-05,1.771383e-05,1.757401e-05,1.731529e-05,1.720162e-05,1.705716e-05,1.679998e-05,1.669232e-05,1.654405e-05,1.628965e-05,1.618838e-05,1.603705e-05,1.578647e-05,1.569182e-05,1.553812e-05,1.529219e-05,1.520428e-05,1.504885e-05,1.480823e-05,1.472707e-05,1.457048e-05,1.433570e-05,1.426122e-05,1.410400e-05,1.387547e-05,1.380754e-05,1.365017e-05,1.342817e-05,1.336661e-05,1.320953e-05,1.299429e-05,1.293888e-05,1.278247e-05,1.257411e-05,1.252462e-05,1.236923e-05,1.216783e-05,1.212399e-05,1.196993e-05,1.177551e-05,1.173705e-05,1.158459e-05,1.139714e-05,1.136377e-05,1.121316e-05,1.103261e-05,1.100405e-05,1.085550e-05,1.068177e-05,1.065772e-05,1.051142e-05,1.034441e-05,1.032459e-05,1.018070e-05,1.002027e-05,1.000441e-05,9.863070e-06,9.709067e-06,9.696884e-06,9.558221e-06,9.410491e-06,9.401725e-06,9.265835e-06,9.124211e-06,9.118609e-06,8.985575e-06,8.849883e-06,8.847199e-06,8.717090e-06,8.587151e-06,8.338114e-06,8.099734e-06,7.871656e-06,7.653524e-06,7.444989e-06,7.245703e-06,7.055327e-06,6.873527e-06,6.699977e-06,6.534358e-06,6.376360e-06,6.225681e-06,6.082027e-06,5.945115e-06,5.814669e-06,5.690425e-06,5.572125e-06,5.459522e-06,5.352376e-06,5.250457e-06,5.153543e-06,5.061420e-06,4.973883e-06,4.890734e-06,4.811782e-06,4.736846e-06,4.665749e-06,4.598323e-06,4.534405e-06,4.473842e-06,4.416482e-06,4.362184e-06,4.310809e-06,4.262226e-06,4.216309e-06,4.172936e-06,4.131992e-06,4.093364e-06,4.056947e-06,4.022637e-06,3.990336e-06,3.959951e-06,3.931391e-06,3.904570e-06,3.879406e-06,3.855818e-06,3.833732e-06,3.813074e-06,3.793774e-06
0.000000e+00,3.226437e-11,4.406722e-09,4.752028e-09,1.127196e-07,1.116553e-06,1.214349e-06,7.755120e-06,3.089969e-05,3.341908e-05,1.068941e-04,2.557715e-04,2.739281e-04,5.953155e-04,1.075370e-03,1.142398e-03,1.991588e-03,3.049284e-03,3.218953e-03,4.895437e-03,6.744002e-03,7.083053e-03,9.832107e-03,1.260257e-02,1.317946e-02,1.714768e-02,2.087114e-02,2.174502e-02,2.696595e-02,3.157980e-02,3.279220e-02,3.919417e-02,4.456231e-02,4.613244e-02,5.355951e-02,5.949803e-02,6.142150e-02,6.965979e-02,7.596213e-02,7.821259e-02,8.701645e-02,9.347479e-02,9.600747e-02,1.051225e-01,1.115438e-01,1.143001e-01,1.234813e-01,1.296979e-01,1.326102e-01,1.416348e-01,1.475104e-01,1.505070e-01,1.591828e-01,1.646140e-01,1.676230e-01,1.757926e-01,1.807083e-01,1.836612e-01,1.912025e-01,1.955610e-01,1.983948e-01,2.052202e-01,2.090052e-01,2.116647e-01,2.177177e-01,2.209336e-01,2.233721e-01,2.286237e-01,2.312916e-01,2.334713e-01,2.379160e-01,2.400690e-01,2.419611e-01,2.456120e-01,2.472919e-01,2.488760e-01,2.517615e-01,2.530150e-01,2.542786e-01,2.564382e-01,2.573148e-01,2.582522e-01,2.597333e-01,2.602829e-01,2.608946e-01,2.617498e-01,2.620211e-01,2.623128e-01,2.625977e-01,2.626369e-01,2.626185e-01,2.623895e-01,2.622399e-01,2.619247e-01,2.612379e-01,2.609390e-01,2.603428e-01,2.592528e-01,2.588401e-01,2.579809e-01,2.565397e-01,2.560448e-01,2.549417e-01,2.531987e-01,2.526492e-01,2.513221e-01,2.493232e-01,2.487430e-01,2.472124e-01,2.449999e-01,2.444092e-01,2.426955e-01,2.403083e-01,2.397241e-01,2.378474e-01,2.353210e-01,2.347572e-01,2.327372e-01,2.301036e-01,2.295715e-01,2.274272e-01,2.247150e-01,2.242234e-01,2.219732e-01,2.192079e-01,2.187637e-01,2.164248e-01,2.136292e-01,2.132371e-01,2.108260e-01,2.080200e-01,2.076833e-01,2.052155e-01,2.024166e-01,2.021372e-01,1.996271e-01,1.968505e-01,1.966291e-01,1.940902e-01,1.913491e-01,1.911853e-01,1.886300e-01,1.859356e-01,1.858284e-01,1.832683e-01,1.806302e-01,1.805777e-01,1.780233e-01,1.754495e-01,1.704571e-01,1.656118e-01,1.609224e-01,1.563958e-01,1.520372e-01,1.478503e-01,1.438374e-01,1.399995e-01,1.363366e-01,1.328479e-01,1.295316e-01,1.263853e-01,1.234059e-01,1.205899e-01,1.179333e-01,1.154316e-01,1.130803e-01,1.108745e-01,1.088089e-01,1.068783e-01,1.050773e-01,1.034005e-01,1.018425e-01,1.003976e-01,9.906048e-02,9.782569e-02,9.668789e-02,9.564181e-02,9.468230e-02,9.380430e-02,9.300291e-02,9.227335e-02,9.161102e-02,9.101143e-02,9.047030e-02,8.998348e-02,8.954701e-02,8.915709e-02,8.881011e-02,8.850263e-02,8.823136e-02,8.799321e-02,8.778524e-02,8.760468e-02,8.744895e-02,8.731558e-02,8.720231e-02,8.710698e-02,8.702762e-02
0.000000e+00,3.250855e-11,4.556777e-09,4.917539e-09,1.211453e-07,1.232210e-06,1.341261e-06,8.696758e-06,3.486644e-05,3.771665e-05,1.207398e-04,2.883234e-04,3.087122e-04,6.683040e-04,1.202080e-03,1.276364e-03,2.213528e-03,3.372832e-03,3.558138e-03,5.381140e-03,7.377397e-03,7.742205e-03,1.068713e-02,1.363486e-02,1.424644e-02,1.843497e-02,2.233927e-02,2.325232e-02,2.868391e-02,3.345347e-02,3.470244e-02,4.126968e-02,4.674292e-02,4.833839e-02,5.585422e-02,6.182881e-02,6.375765e-02,7.198573e-02,7.824547e-02,8.047370e-02,8.915647e-02,9.549256e-02,9.796981e-02,1.068514e-01,1.130772e-01,1.157418e-01,1.245850e-01,1.305446e-01,1.333288e-01,1.419256e-01,1.474978e-01,1.503322e-01,1.585100e-01,1.636080e-01,1.664252e-01,1.740486e-01,1.786175e-01,1.813554e-01,1.883249e-01,1.923378e-01,1.949409e-01,2.011905e-01,2.046437e-01,2.070647e-01,2.125573e-01,2.154653e-01,2.176654e-01,2.223886e-01,2.247796e-01,2.267287e-01,2.306900e-01,2.326019e-01,2.342781e-01,2.375005e-01,2.389773e-01,2.403660e-01,2.428845e-01,2.439733e-01,2.450669e-01,2.469246e-01,2.476734e-01,2.484698e-01,2.497151e-01,2.501714e-01,2.506734e-01,2.513579e-01,2.515668e-01,2.517816e-01,2.519578e-01,2.519619e-01,2.518995e-01,2.516198e-01,2.514581e-01,2.511313e-01,2.504465e-01,2.501542e-01,2.495776e-01,2.485364e-01,2.481453e-01,2.473346e-01,2.459832e-01,2.455209e-01,2.444929e-01,2.428743e-01,2.423651e-01,2.411371e-01,2.392909e-01,2.387557e-01,2.373450e-01,2.353079e-01,2.347644e-01,2.331882e-01,2.309937e-01,2.304568e-01,2.287320e-01,2.264103e-01,2.258922e-01,2.240355e-01,2.216139e-01,2.211245e-01,2.191518e-01,2.166549e-01,2.162022e-01,2.141288e-01,2.115785e-01,2.111686e-01,2.090090e-01,2.064249e-01,2.060622e-01,2.038305e-01,2.012299e-01,2.009175e-01,1.986268e-01,1.960248e-01,1.957648e-01,1.934273e-01,1.908374e-01,1.906307e-01,1.882581e-01,1.856920e-01,1.855385e-01,1.831417e-01,1.806095e-01,1.805086e-01,1.780976e-01,1.756081e-01,1.755586e-01,1.731428e-01,1.707034e-01,1.659561e-01,1.613273e-01,1.568261e-01,1.524598e-01,1.482342e-01,1.441539e-01,1.402222e-01,1.364414e-01,1.328128e-01,1.293370e-01,1.260137e-01,1.228420e-01,1.198203e-01,1.169467e-01,1.142186e-01,1.116333e-01,1.091876e-01,1.068779e-01,1.047005e-01,1.026516e-01,1.007270e-01,9.892258e-02,9.723389e-02,9.565658e-02,9.418620e-02,9.281828e-02,9.154834e-02,9.037191e-02,8.928456e-02,8.828189e-02,8.735958e-02,8.651336e-02,8.573906e-02,8.503259e-02,8.438998e-02,8.380735e-02,8.328093e-02,8.280710e-02,8.238232e-02,8.200321e-02,8.166652e-02,8.136911e-02,8.110798e-02,8.088029e-02,8.068331e-02,8.051443e-02,8.037120e-02,8.025129e-02,8.015250e-02
0.000000e+00,9.127935e-12,1.058374e-09,1.136781e-09,2.210156e-08,1.883619e-07,2.038304e-07,1.181307e-06,4.461467e-06,4.812344e-06,1.480185e-05,3.420487e-05,3.651627e-05,7.601112e-05,1.313845e-04,1.388513e-04,2.291805e-04,3.332109e-04,3.492053e-04,4.990730e-04,6.505441e-04,6.770431e-04,8.798365e-04,1.066177e-03,1.103063e-03,1.341657e-03,1.545020e-03,1.590270e-03,1.843605e-03,2.046302e-03,2.096668e-03,2.344946e-03,2.532741e-03,2.584526e-03,2.812152e-03,2.975534e-03,3.025233e-03,3.221829e-03,3.355888e-03,3.400600e-03,3.560751e-03,3.664331e-03,3.701957e-03,3.824296e-03,3.898916e-03,3.928177e-03,4.014267e-03,4.063084e-03,4.083437e-03,4.136706e-03,4.163691e-03,4.175186e-03,4.200040e-03,4.209345e-03,4.212457e-03,4.213622e-03,4.209203e-03,4.204692e-03,4.186777e-03,4.172158e-03,4.160934e-03,4.128150e-03,4.106321e-03,4.089347e-03,4.045374e-03,4.018783e-03,3.997008e-03,3.944957e-03,3.915543e-03,3.889856e-03,3.832277e-03,3.801527e-03,3.772728e-03,3.711660e-03,3.680684e-03,3.649474e-03,3.586518e-03,3.556117e-03,3.523098e-03,3.459482e-03,3.430217e-03,3.395898e-03,3.332545e-03,3.304787e-03,3.269592e-03,3.207184e-03,3.181165e-03,3.145443e-03,3.084471e-03,3.060318e-03,3.024355e-03,2.965164e-03,2.942926e-03,2.906956e-03,2.849777e-03,2.829452e-03,2.793664e-03,2.738646e-03,2.720192e-03,2.684741e-03,2.631967e-03,2.615319e-03,2.580330e-03,2.529837e-03,2.514912e-03,2.480488e-03,2.432279e-03,2.418985e-03,2.385207e-03,2.339262e-03,2.327500e-03,2.294435e-03,2.250715e-03,2.240385e-03,2.208088e-03,2.166540e-03,2.157543e-03,2.126056e-03,2.086620e-03,2.078858e-03,2.048216e-03,2.010826e-03,2.004202e-03,1.974432e-03,1.939017e-03,1.933440e-03,1.904562e-03,1.871050e-03,1.866432e-03,1.838461e-03,1.806777e-03,1.803035e-03,1.775980e-03,1.746051e-03,1.743105e-03,1.716972e-03,1.688724e-03,1.686500e-03,1.661290e-03,1.634650e-03,1.633077e-03,1.608788e-03,1.583686e-03,1.582697e-03,1.559326e-03,1.535691e-03,1.535225e-03,1.512763e-03,1.490527e-03,1.448474e-03,1.408939e-03,1.371803e-03,1.336946e-03,1.304256e-03,1.273623e-03,1.244943e-03,1.218114e-03,1.193041e-03,1.169630e-03,1.147792e-03,1.127442e-03,1.108500e-03,1.090886e-03,1.074528e-03,1.059354e-03,1.045297e-03,1.032293e-03,1.020279e-03,1.009197e-03,9.989924e-04,9.896111e-04,9.810030e-04,9.731201e-04,9.659167e-04,9.593495e-04,9.533774e-04,9.479613e-04,9.430640e-04,9.386504e-04,9.346872e-04,9.311427e-04,9.279871e-04,9.251920e-04,9.227307e-04,9.205778e-04,9.187095e-04,9.171032e-04,9.157375e-04,9.145926e-04,9.136494e-04,9.128903e-04,9.122985e-04,9.118584e-04,9.115554e-04,9.113755e-04,9.113060e-04,9.113349e-04,9.114509e-04
0.000000e+00,2.018804e-11,2.549325e-09,2.743115e-09,5.803928e-08,5.263699e-07,5.708083e-07,3.453052e-06,1.340968e-05,1.448730e-05,4.576591e-05,1.088063e-04,1.164764e-04,2.517785e-04,4.526076e-04,4.805480e-04,8.327618e-04,1.267616e-03,1.337032e-03,2.018563e-03,2.762080e-03,2.897650e-03,3.988726e-03,5.075179e-03,5.299907e-03,6.832967e-03,8.252834e-03,8.583649e-03,1.054222e-02,1.224917e-02,1.269420e-02,1.502116e-02,1.694392e-02,1.750161e-02,2.011181e-02,2.216689e-02,2.282660e-02,2.562013e-02,2.772280e-02,2.846651e-02,3.134039e-02,3.341289e-02,3.421742e-02,3.707462e-02,3.905138e-02,3.989068e-02,4.264618e-02,4.447637e-02,4.532372e-02,4.790798e-02,4.955599e-02,5.038576e-02,5.274593e-02,5.419044e-02,5.497941e-02,5.707904e-02,5.831116e-02,5.903945e-02,6.085698e-02,6.187796e-02,6.252948e-02,6.405621e-02,6.487506e-02,6.543766e-02,6.667544e-02,6.730675e-02,6.777208e-02,6.873094e-02,6.919283e-02,6.955606e-02,7.025206e-02,7.056460e-02,7.082397e-02,7.127722e-02,7.146111e-02,7.161746e-02,7.185054e-02,7.192609e-02,7.198239e-02,7.201899e-02,7.200549e-02,7.196631e-02,7.183026e-02,7.174547e-02,7.161661e-02,7.133105e-02,7.119100e-02,7.097906e-02,7.056596e-02,7.038476e-02,7.009686e-02,6.957666e-02,6.936656e-02,6.901003e-02,6.840142e-02,6.817286e-02,6.775506e-02,6.707493e-02,6.683668e-02,6.636481e-02,6.562823e-02,6.538748e-02,6.486851e-02,6.408877e-02,6.385138e-02,6.329191e-02,6.248067e-02,6.225129e-02,6.165755e-02,6.082490e-02,6.060712e-02,5.998489e-02,5.913954e-02,5.893607e-02,5.829070e-02,5.744008e-02,5.725287e-02,5.658927e-02,5.573971e-02,5.557007e-02,5.489274e-02,5.404955e-02,5.389827e-02,5.321127e-02,5.237889e-02,5.224632e-02,5.155335e-02,5.073546e-02,5.062161e-02,4.992599e-02,4.912560e-02,4.903020e-02,4.833491e-02,4.755446e-02,4.747699e-02,4.678473e-02,4.602614e-02,4.596595e-02,4.527909e-02,4.454388e-02,4.450015e-02,4.382082e-02,4.311013e-02,4.308197e-02,4.241203e-02,4.172670e-02,4.171312e-02,4.105426e-02,4.039483e-02,3.912786e-02,3.791254e-02,3.674892e-02,3.563674e-02,3.457549e-02,3.356449e-02,3.260288e-02,3.168965e-02,3.082369e-02,3.000378e-02,2.922865e-02,2.849693e-02,2.780723e-02,2.715811e-02,2.654812e-02,2.597577e-02,2.543958e-02,2.493805e-02,2.446970e-02,2.403305e-02,2.362663e-02,2.324899e-02,2.289871e-02,2.257438e-02,2.227462e-02,2.199808e-02,2.174346e-02,2.150946e-02,2.129484e-02,2.109839e-02,2.091893e-02,2.075534e-02,2.060651e-02,2.047140e-02,2.034898e-02,2.023830e-02,2.013843e-02,2.004847e-02,1.996759e-02,1.989498e-02,1.982988e-02,1.977158e-02,1.971939e-02,1.967267e-02,1.963083e-02,1.959329e-02,1.955955e-02,1.952910e-02,1.950149e-02
0.000000e+00,2.699154e-10,4.080444e-09,4.267793e-09,2.759409e-08,9.501672e-08,9.909669e-08,2.311690e-07,3.859565e-07,3.961351e-07,5.647176e-07,7.142601e-07,7.269338e-07,8.806354e-07,1.011460e-06,1.025561e-06,1.161894e-06,1.274988e-06,1.289923e-06,1.409969e-06,1.507071e-06,1.522356e-06,1.627411e-06,1.710225e-06,1.725453e-06,1.816798e-06,1.886917e-06,1.901750e-06,1.980608e-06,2.039500e-06,2.053659e-06,2.121181e-06,2.170182e-06,2.183441e-06,2.240696e-06,2.281015e-06,2.293194e-06,2.341171e-06,2.373897e-06,2.384854e-06,2.424461e-06,2.450571e-06,2.460200e-06,2.492271e-06,2.512641e-06,2.520864e-06,2.546162e-06,2.561572e-06,2.568339e-06,2.587562e-06,2.598707e-06,2.603988e-06,2.617770e-06,2.625271e-06,2.629055e-06,2.637980e-06,2.642387e-06,2.644678e-06,2.649276e-06,2.651076e-06,2.651892e-06,2.652644e-06,2.652268e-06,2.651639e-06,2.648983e-06,2.646812e-06,2.644775e-06,2.639111e-06,2.635478e-06,2.632080e-06,2.623768e-06,2.618967e-06,2.614258e-06,2.603628e-06,2.597916e-06,2.591952e-06,2.579300e-06,2.572901e-06,2.565741e-06,2.551337e-06,2.544445e-06,2.536150e-06,2.520238e-06,2.513021e-06,2.503655e-06,2.486455e-06,2.479058e-06,2.468686e-06,2.450395e-06,2.442943e-06,2.431628e-06,2.412426e-06,2.405025e-06,2.392831e-06,2.372880e-06,2.365618e-06,2.352610e-06,2.332055e-06,2.325007e-06,2.311246e-06,2.290216e-06,2.283445e-06,2.268994e-06,2.247606e-06,2.241162e-06,2.226079e-06,2.204438e-06,2.198361e-06,2.182706e-06,2.160904e-06,2.155227e-06,2.139054e-06,2.117175e-06,2.111922e-06,2.095286e-06,2.073404e-06,2.068592e-06,2.051544e-06,2.029723e-06,2.025365e-06,2.007955e-06,1.986254e-06,1.982356e-06,1.964632e-06,1.943100e-06,1.939664e-06,1.921671e-06,1.900354e-06,1.897380e-06,1.879160e-06,1.858097e-06,1.855578e-06,1.837173e-06,1.816397e-06,1.814328e-06,1.795775e-06,1.775315e-06,1.773686e-06,1.755023e-06,1.734904e-06,1.733702e-06,1.714963e-06,1.695206e-06,1.694420e-06,1.675636e-06,1.656259e-06,1.655873e-06,1.637076e-06,1.618092e-06,1.581102e-06,1.544920e-06,1.509562e-06,1.475038e-06,1.441356e-06,1.408520e-06,1.376531e-06,1.345388e-06,1.315087e-06,1.285623e-06,1.256989e-06,1.229176e-06,1.202175e-06,1.175974e-06,1.150562e-06,1.125925e-06,1.102049e-06,1.078922e-06,1.056527e-06,1.034851e-06,1.013877e-06,9.935899e-07,9.739744e-07,9.550144e-07,9.366941e-07,9.189975e-07,9.019089e-07,8.854124e-07,8.694925e-07,8.541337e-07,8.393207e-07,8.250383e-07,8.112716e-07,7.980061e-07,7.852271e-07,7.729206e-07,7.610727e-07,7.496697e-07,7.386982e-07,7.281451e-07,7.179977e-07,7.082435e-07,6.988703e-07,6.898660e-07,6.812192e-07,6.729184e-07,6.649526e-07,6.573110e-07,6.499832e-07
0.000000e+00,1.176215e-11,1.349669e-09,1.448548e-09,2.651048e-08,2.096480e-07,2.261880e-07,1.230739e-06,4.502100e-06,4.851088e-06,1.489444e-05,3.507085e-05,3.752645e-05,8.084831e-05,1.449948e-04,1.538948e-04,2.654662e-04,4.015498e-04,4.231034e-04,6.323566e-04,8.560702e-04,8.963816e-04,1.215830e-03,1.525799e-03,1.588976e-03,2.012000e-03,2.392270e-03,2.479381e-03,2.984318e-03,3.410189e-03,3.519167e-03,4.075843e-03,4.519938e-03,4.646170e-03,5.222191e-03,5.659130e-03,5.796392e-03,6.361890e-03,6.771113e-03,6.912543e-03,7.443034e-03,7.809959e-03,7.948891e-03,8.426491e-03,8.742463e-03,8.873026e-03,9.286453e-03,9.547961e-03,9.665430e-03,1.000925e-02,1.021681e-02,1.031774e-02,1.059123e-02,1.074820e-02,1.083042e-02,1.103635e-02,1.114788e-02,1.121032e-02,1.135382e-02,1.142597e-02,1.146849e-02,1.155607e-02,1.159515e-02,1.161833e-02,1.165709e-02,1.166921e-02,1.167416e-02,1.167129e-02,1.166205e-02,1.165020e-02,1.161253e-02,1.158693e-02,1.155988e-02,1.149372e-02,1.145601e-02,1.141545e-02,1.132640e-02,1.128018e-02,1.122778e-02,1.112072e-02,1.106894e-02,1.100628e-02,1.088541e-02,1.083042e-02,1.075899e-02,1.062784e-02,1.057152e-02,1.049268e-02,1.035418e-02,1.029798e-02,1.021294e-02,1.006952e-02,1.001455e-02,9.924404e-03,9.778040e-03,9.725121e-03,9.630828e-03,9.483127e-03,9.432856e-03,9.335261e-03,9.187517e-03,9.140307e-03,9.040152e-03,8.893395e-03,8.849518e-03,8.747451e-03,8.602499e-03,8.562113e-03,8.458702e-03,8.316199e-03,8.279376e-03,8.175115e-03,8.035560e-03,8.002305e-03,7.897629e-03,7.761406e-03,7.731673e-03,7.626961e-03,7.494358e-03,7.468063e-03,7.363648e-03,7.234875e-03,7.211905e-03,7.108078e-03,6.983285e-03,6.963506e-03,6.860521e-03,6.739805e-03,6.723069e-03,6.621150e-03,6.504566e-03,6.490715e-03,6.390058e-03,6.277627e-03,6.266498e-03,6.167272e-03,6.058988e-03,6.050415e-03,5.952768e-03,5.848603e-03,5.842418e-03,5.746480e-03,5.646386e-03,5.642424e-03,5.548306e-03,5.452223e-03,5.450321e-03,5.358118e-03,5.265972e-03,5.089223e-03,4.919903e-03,4.757834e-03,4.602828e-03,4.454690e-03,4.313223e-03,4.178229e-03,4.049507e-03,3.926859e-03,3.810086e-03,3.698994e-03,3.593390e-03,3.493084e-03,3.397891e-03,3.307631e-03,3.222126e-03,3.141203e-03,3.064695e-03,2.992438e-03,2.924273e-03,2.860045e-03,2.799604e-03,2.742805e-03,2.689507e-03,2.639571e-03,2.592866e-03,2.549261e-03,2.508631e-03,2.470856e-03,2.435815e-03,2.403397e-03,2.373487e-03,2.345980e-03,2.320769e-03,2.297753e-03,2.276833e-03,2.257911e-03,2.240896e-03,2.225694e-03,2.212218e-03,2.200381e-03,2.190100e-03,2.181293e-03,2.173880e-03,2.167784e-03,2.162931e-03,2.159246e-03,2.156660e-03,2.155102e-03
0.000000e+00,1.368636e-09,1.527672e-08,1.589283e-08,8.656958e-08,2.890134e-07,3.015940e-07,7.359580e-07,1.310368e-06,1.350000e-06,2.022182e-06,2.624980e-06,2.675844e-06,3.286984e-06,3.796519e-06,3.850762e-06,4.367631e-06,4.785157e-06,4.839474e-06,5.268555e-06,5.605145e-06,5.657210e-06,6.007767e-06,6.274464e-06,6.322509e-06,6.603656e-06,6.810641e-06,6.853361e-06,7.073691e-06,7.230134e-06,7.266620e-06,7.434031e-06,7.548052e-06,7.577714e-06,7.699366e-06,7.778078e-06,7.800591e-06,7.882905e-06,7.932484e-06,7.947733e-06,7.996419e-06,8.022189e-06,8.030223e-06,8.050328e-06,8.056848e-06,8.057845e-06,8.053812e-06,8.044972e-06,8.039204e-06,8.014932e-06,7.994035e-06,7.981849e-06,7.940750e-06,7.910586e-06,7.892379e-06,7.837431e-06,7.800345e-06,7.776552e-06,7.710347e-06,7.668303e-06,7.639377e-06,7.564166e-06,7.518793e-06,7.485200e-06,7.402931e-06,7.355576e-06,7.317780e-06,7.230137e-06,7.181901e-06,7.140362e-06,7.048791e-06,7.000568e-06,6.955733e-06,6.861475e-06,6.813979e-06,6.766280e-06,6.670393e-06,6.624187e-06,6.574037e-06,6.477420e-06,6.432941e-06,6.380731e-06,6.284143e-06,6.241719e-06,6.187816e-06,6.091895e-06,6.051761e-06,5.996511e-06,5.901786e-06,5.864105e-06,5.807828e-06,5.714736e-06,5.679607e-06,5.622598e-06,5.531495e-06,5.498966e-06,5.441498e-06,5.352670e-06,5.322745e-06,5.265067e-06,5.178739e-06,5.151390e-06,5.093728e-06,5.010072e-06,4.985244e-06,4.927802e-06,4.846945e-06,4.824562e-06,4.767523e-06,4.689555e-06,4.669522e-06,4.613052e-06,4.538027e-06,4.520242e-06,4.464485e-06,4.392430e-06,4.376778e-06,4.321863e-06,4.252783e-06,4.239145e-06,4.185184e-06,4.119060e-06,4.107314e-06,4.054404e-06,3.991205e-06,3.981228e-06,3.929451e-06,3.869129e-06,3.860798e-06,3.810225e-06,3.752722e-06,3.745915e-06,3.696604e-06,3.641853e-06,3.636452e-06,3.588450e-06,3.536376e-06,3.532267e-06,3.485611e-06,3.436134e-06,3.433206e-06,3.387924e-06,3.340961e-06,3.339108e-06,3.295221e-06,3.250683e-06,3.249804e-06,3.207325e-06,3.165124e-06,3.084893e-06,3.008935e-06,2.937076e-06,2.869143e-06,2.804964e-06,2.744373e-06,2.687205e-06,2.633299e-06,2.582500e-06,2.534657e-06,2.489624e-06,2.447260e-06,2.407429e-06,2.370002e-06,2.334851e-06,2.301858e-06,2.270908e-06,2.241890e-06,2.214699e-06,2.189236e-06,2.165404e-06,2.143113e-06,2.122276e-06,2.102811e-06,2.084640e-06,2.067689e-06,2.051887e-06,2.037167e-06,2.023466e-06,2.010725e-06,1.998886e-06,1.987896e-06,1.977703e-06,1.968260e-06,1.959522e-06,1.951445e-06,1.943990e-06,1.937118e-06,1.930792e-06,1.924979e-06,1.919647e-06,1.914766e-06,1.910306e-06,1.906242e-06,1.902547e-06,1.899198e-06,1.896172e-06,1.893448e-06,1.891007e-06
0.000000e+00,6.410512e-10,7.381481e-09,7.686151e-09,4.365622e-08,1.495989e-07,1.562297e-07,3.850881e-07,6.823003e-07,7.025241e-07,1.041359e-06,1.340587e-06,1.365693e-06,1.665897e-06,1.914322e-06,1.940673e-06,2.190882e-06,2.391859e-06,2.417934e-06,2.623358e-06,2.783862e-06,2.808642e-06,2.975119e-06,3.101363e-06,3.124070e-06,3.256753e-06,3.354248e-06,3.374354e-06,3.477991e-06,3.551553e-06,3.568713e-06,3.647505e-06,3.701275e-06,3.715287e-06,3.772921e-06,3.810431e-06,3.821208e-06,3.860897e-06,3.885142e-06,3.892684e-06,3.917214e-06,3.930723e-06,3.935091e-06,3.946871e-06,3.951769e-06,3.953074e-06,3.954179e-06,3.952248e-06,3.950633e-06,3.942848e-06,3.935575e-06,3.931206e-06,3.916063e-06,3.904686e-06,3.897746e-06,3.876558e-06,3.862104e-06,3.852780e-06,3.826671e-06,3.809988e-06,3.798471e-06,3.768403e-06,3.750188e-06,3.736669e-06,3.703460e-06,3.684284e-06,3.668949e-06,3.633297e-06,3.613623e-06,3.596653e-06,3.559152e-06,3.539355e-06,3.520920e-06,3.482072e-06,3.462451e-06,3.442716e-06,3.402948e-06,3.383740e-06,3.362858e-06,3.322528e-06,3.303916e-06,3.282033e-06,3.241443e-06,3.223569e-06,3.200820e-06,3.160222e-06,3.143191e-06,3.119701e-06,3.079306e-06,3.063192e-06,3.039079e-06,2.999060e-06,2.983915e-06,2.959285e-06,2.919786e-06,2.905640e-06,2.880593e-06,2.841730e-06,2.828597e-06,2.803223e-06,2.765092e-06,2.752972e-06,2.727355e-06,2.690029e-06,2.678914e-06,2.653130e-06,2.616668e-06,2.606539e-06,2.580657e-06,2.545104e-06,2.535937e-06,2.510019e-06,2.475408e-06,2.467172e-06,2.441276e-06,2.407629e-06,2.400292e-06,2.374470e-06,2.341801e-06,2.335327e-06,2.309625e-06,2.277941e-06,2.272291e-06,2.246751e-06,2.216054e-06,2.211188e-06,2.185849e-06,2.156135e-06,2.152014e-06,2.126909e-06,2.098169e-06,2.094752e-06,2.069912e-06,2.042134e-06,2.039383e-06,2.014834e-06,1.988005e-06,1.985879e-06,1.961645e-06,1.935749e-06,1.934210e-06,1.910312e-06,1.885330e-06,1.884340e-06,1.860798e-06,1.836710e-06,1.836232e-06,1.813061e-06,1.789846e-06,1.745141e-06,1.702073e-06,1.660599e-06,1.620675e-06,1.582257e-06,1.545299e-06,1.509759e-06,1.475593e-06,1.442757e-06,1.411209e-06,1.380908e-06,1.351812e-06,1.323882e-06,1.297079e-06,1.271364e-06,1.246701e-06,1.223052e-06,1.200384e-06,1.178661e-06,1.157851e-06,1.137922e-06,1.118841e-06,1.100580e-06,1.083108e-06,1.066397e-06,1.050419e-06,1.035149e-06,1.020559e-06,1.006626e-06,9.933245e-07,9.806318e-07,9.685253e-07,9.569831e-07,9.459841e-07,9.355081e-07,9.255352e-07,9.160466e-07,9.070237e-07,8.984489e-07,8.903051e-07,8.825757e-07,8.752447e-07,8.682966e-07,8.617167e-07,8.554904e-07,8.496040e-07,8.440438e-07,8.387972e-07,8.338514e-07
0.000000e+00,1.129796e-11,1.523565e-09,1.642121e-09,3.785124e-08,3.674480e-07,3.994221e-07,2.540433e-06,1.022717e-05,1.107220e-05,3.614861e-05,8.840684e-05,9.486630e-05,2.111813e-04,3.894820e-04,4.146871e-04,7.387552e-04,1.151500e-03,1.218441e-03,1.888430e-03,2.641686e-03,2.781207e-03,3.925527e-03,5.098768e-03,5.345252e-03,7.058534e-03,8.691077e-03,9.077347e-03,1.140731e-02,1.349506e-02,1.404775e-02,1.699204e-02,1.949186e-02,2.022799e-02,2.373849e-02,2.657703e-02,2.750209e-02,3.149378e-02,3.457814e-02,3.568563e-02,4.004756e-02,4.327577e-02,4.454799e-02,4.915450e-02,5.242467e-02,5.383441e-02,5.855533e-02,6.177277e-02,6.328559e-02,6.799470e-02,7.107695e-02,7.265363e-02,7.723513e-02,8.011490e-02,8.171394e-02,8.606691e-02,8.869331e-02,9.027318e-02,9.431417e-02,9.665258e-02,9.817365e-02,1.018377e-01,1.038687e-01,1.052947e-01,1.085353e-01,1.102526e-01,1.115521e-01,1.143398e-01,1.157486e-01,1.168950e-01,1.192160e-01,1.203303e-01,1.213028e-01,1.231569e-01,1.239974e-01,1.247809e-01,1.261789e-01,1.267710e-01,1.273557e-01,1.283175e-01,1.286894e-01,1.290707e-01,1.296229e-01,1.298042e-01,1.299820e-01,1.301563e-01,1.301764e-01,1.301545e-01,1.299855e-01,1.298732e-01,1.296586e-01,1.291829e-01,1.289650e-01,1.285677e-01,1.278220e-01,1.275235e-01,1.269552e-01,1.259760e-01,1.256191e-01,1.248933e-01,1.237156e-01,1.233201e-01,1.224513e-01,1.211083e-01,1.206912e-01,1.196944e-01,1.182171e-01,1.177931e-01,1.166835e-01,1.151002e-01,1.146813e-01,1.134740e-01,1.118107e-01,1.114067e-01,1.101164e-01,1.083964e-01,1.080150e-01,1.066558e-01,1.048997e-01,1.045470e-01,1.031324e-01,1.013583e-01,1.010385e-01,9.958119e-02,9.780481e-02,9.752089e-02,9.603254e-02,9.426751e-02,9.402114e-02,9.251259e-02,9.077043e-02,9.056235e-02,8.904346e-02,8.733388e-02,8.716396e-02,8.564370e-02,8.397474e-02,8.384218e-02,8.232861e-02,8.070680e-02,8.061030e-02,7.911061e-02,7.754118e-02,7.747897e-02,7.599953e-02,7.448655e-02,7.445659e-02,7.300301e-02,7.154954e-02,6.876243e-02,6.609840e-02,6.355925e-02,6.114572e-02,5.885757e-02,5.669379e-02,5.465273e-02,5.273216e-02,5.092942e-02,4.924150e-02,4.766509e-02,4.619666e-02,4.483250e-02,4.356878e-02,4.240157e-02,4.132691e-02,4.034079e-02,3.943918e-02,3.861810e-02,3.787356e-02,3.720163e-02,3.659845e-02,3.606019e-02,3.558310e-02,3.516353e-02,3.479790e-02,3.448270e-02,3.421455e-02,3.399013e-02,3.380625e-02,3.365982e-02,3.354783e-02,3.346742e-02,3.341580e-02,3.339032e-02,3.338845e-02,3.340773e-02,3.344587e-02,3.350066e-02,3.357002e-02,3.365199e-02,3.374470e-02,3.384642e-02,3.395553e-02,3.407050e-02,3.418994e-02,3.431254e-02,3.443710e-02,3.456254e-02
0.000000e+00,4.378720e-11,5.771195e-09,6.214696e-09,1.341858e-07,1.201086e-06,1.301229e-06,7.673902e-06,2.937602e-05,3.172432e-05,1.004657e-04,2.422413e-04,2.597347e-04,5.748396e-04,1.059396e-03,1.128060e-03,2.014203e-03,3.150341e-03,3.335280e-03,5.195081e-03,7.302214e-03,7.694137e-03,1.092537e-02,1.426569e-02,1.497061e-02,1.989792e-02,2.463391e-02,2.575988e-02,3.259258e-02,3.877121e-02,4.041533e-02,4.923096e-02,5.678865e-02,5.902658e-02,6.977466e-02,7.855562e-02,8.143452e-02,9.395385e-02,1.037352e-01,1.072704e-01,1.213136e-01,1.318317e-01,1.360065e-01,1.512672e-01,1.622420e-01,1.670105e-01,1.831491e-01,1.943045e-01,1.995955e-01,2.162626e-01,2.273421e-01,2.330648e-01,2.499194e-01,2.606969e-01,2.667467e-01,2.834710e-01,2.937569e-01,3.000210e-01,3.163302e-01,3.259743e-01,3.323370e-01,3.479852e-01,3.568765e-01,3.632237e-01,3.780069e-01,3.860714e-01,3.922944e-01,4.060510e-01,4.132478e-01,4.192462e-01,4.318549e-01,4.381724e-01,4.438560e-01,4.552332e-01,4.606838e-01,4.659741e-01,4.760701e-01,4.806856e-01,4.855163e-01,4.943110e-01,4.981380e-01,5.024554e-01,5.099537e-01,5.130498e-01,5.168123e-01,5.230400e-01,5.254700e-01,5.286474e-01,5.336471e-01,5.354799e-01,5.380530e-01,5.418803e-01,5.431863e-01,5.451454e-01,5.478656e-01,5.487150e-01,5.500591e-01,5.517444e-01,5.522050e-01,5.529407e-01,5.536675e-01,5.538042e-01,5.539445e-01,5.537915e-01,5.536647e-01,5.532283e-01,5.522746e-01,5.519403e-01,5.509501e-01,5.492740e-01,5.487830e-01,5.472656e-01,5.449436e-01,5.443417e-01,5.423263e-01,5.394319e-01,5.387597e-01,5.362778e-01,5.328812e-01,5.321742e-01,5.292586e-01,5.254262e-01,5.247153e-01,5.213995e-01,5.171936e-01,5.165050e-01,5.128231e-01,5.083019e-01,5.076577e-01,5.036436e-01,4.988610e-01,4.982793e-01,4.939665e-01,4.889721e-01,4.884676e-01,4.838891e-01,4.787284e-01,4.783126e-01,4.735004e-01,4.682150e-01,4.678962e-01,4.628815e-01,4.575089e-01,4.572933e-01,4.521057e-01,4.466800e-01,4.465713e-01,4.412395e-01,4.357914e-01,4.250079e-01,4.142699e-01,4.036205e-01,3.930982e-01,3.827362e-01,3.725638e-01,3.626061e-01,3.528849e-01,3.434184e-01,3.342222e-01,3.253087e-01,3.166880e-01,3.083681e-01,3.003545e-01,2.926512e-01,2.852605e-01,2.781832e-01,2.714188e-01,2.649655e-01,2.588205e-01,2.529801e-01,2.474396e-01,2.421938e-01,2.372366e-01,2.325616e-01,2.281616e-01,2.240293e-01,2.201567e-01,2.165358e-01,2.131582e-01,2.100153e-01,2.070984e-01,2.043987e-01,2.019072e-01,1.996150e-01,1.975131e-01,1.955927e-01,1.938447e-01,1.922605e-01,1.908312e-01,1.895485e-01,1.884037e-01,1.873886e-01,1.864953e-01,1.857156e-01,1.850421e-01,1.844672e-01,1.839836e-01,1.835844e-01
0.000000e+00,1.509696e-11,1.954917e-09,2.105645e-09,4.729863e-08,4.501471e-07,4.888769e-07,3.023416e-06,1.171078e-05,1.264236e-05,3.917082e-05,9.082498e-05,9.699801e-05,2.032774e-04,3.549081e-04,3.755832e-04,6.297535e-04,9.311588e-04,9.782767e-04,1.429318e-03,1.901970e-03,1.986337e-03,2.648181e-03,3.281356e-03,3.409531e-03,4.261552e-03,5.019813e-03,5.192664e-03,6.189339e-03,7.024015e-03,7.236858e-03,8.319998e-03,9.179823e-03,9.423625e-03,1.053318e-02,1.137197e-02,1.163503e-02,1.271678e-02,1.349781e-02,1.376742e-02,1.477744e-02,1.547495e-02,1.573884e-02,1.664515e-02,1.724404e-02,1.749134e-02,1.827374e-02,1.876804e-02,1.898991e-02,1.963853e-02,2.002943e-02,2.021928e-02,2.073266e-02,2.102643e-02,2.117993e-02,2.156291e-02,2.176909e-02,2.188395e-02,2.214573e-02,2.227561e-02,2.235127e-02,2.250375e-02,2.256918e-02,2.260649e-02,2.266290e-02,2.267550e-02,2.267635e-02,2.265023e-02,2.262084e-02,2.258784e-02,2.249239e-02,2.243072e-02,2.236696e-02,2.221452e-02,2.212905e-02,2.203786e-02,2.183963e-02,2.173756e-02,2.162233e-02,2.138827e-02,2.127558e-02,2.113963e-02,2.087841e-02,2.075997e-02,2.060646e-02,2.032551e-02,2.020520e-02,2.003710e-02,1.974268e-02,1.962352e-02,1.944354e-02,1.914087e-02,1.902516e-02,1.883575e-02,1.852915e-02,1.841858e-02,1.822194e-02,1.791489e-02,1.781066e-02,1.760872e-02,1.730405e-02,1.720696e-02,1.700142e-02,1.670134e-02,1.661188e-02,1.640423e-02,1.611049e-02,1.602888e-02,1.582042e-02,1.553434e-02,1.546064e-02,1.525247e-02,1.497503e-02,1.490913e-02,1.470221e-02,1.443415e-02,1.437582e-02,1.417096e-02,1.391276e-02,1.386172e-02,1.365961e-02,1.341158e-02,1.336748e-02,1.316870e-02,1.293101e-02,1.289346e-02,1.269850e-02,1.247119e-02,1.243978e-02,1.224906e-02,1.203208e-02,1.200639e-02,1.182023e-02,1.161347e-02,1.159307e-02,1.141176e-02,1.121504e-02,1.119952e-02,1.102326e-02,1.083636e-02,1.082530e-02,1.065428e-02,1.047695e-02,1.046996e-02,1.030430e-02,1.013626e-02,1.013295e-02,9.972757e-03,9.813710e-03,9.511646e-03,9.226151e-03,8.956605e-03,8.702388e-03,8.462879e-03,8.237465e-03,8.025540e-03,7.826508e-03,7.639786e-03,7.464808e-03,7.301018e-03,7.147878e-03,7.004868e-03,6.871483e-03,6.747234e-03,6.631649e-03,6.524276e-03,6.424675e-03,6.332426e-03,6.247124e-03,6.168379e-03,6.095818e-03,6.029083e-03,5.967831e-03,5.911733e-03,5.860475e-03,5.813756e-03,5.771289e-03,5.732799e-03,5.698026e-03,5.666720e-03,5.638643e-03,5.613570e-03,5.591286e-03,5.571587e-03,5.554280e-03,5.539181e-03,5.526117e-03,5.514924e-03,5.505445e-03,5.497536e-03,5.491057e-03,5.485879e-03,5.481880e-03,5.478946e-03,5.476967e-03,5.475845e-03,5.475485e-03,5.475800e-03
0.000000e+00,7.501633e-09,9.786456e-08,1.019644e-07,5.870378e-07,2.033461e-06,2.124940e-06,5.365080e-06,9.844982e-06,1.016010e-05,1.556149e-05,2.042413e-05,2.083324e-05,2.572292e-05,2.975492e-05,3.018141e-05,3.421634e-05,3.743415e-05,3.784980e-05,4.110693e-05,4.362635e-05,4.401299e-05,4.659238e-05,4.852376e-05,4.886849e-05,5.086354e-05,5.230456e-05,5.259858e-05,5.409346e-05,5.512907e-05,5.536690e-05,5.643643e-05,5.713973e-05,5.731850e-05,5.802849e-05,5.846185e-05,5.858074e-05,5.898861e-05,5.920484e-05,5.926456e-05,5.942014e-05,5.946371e-05,5.946612e-05,5.941247e-05,5.932062e-05,5.926845e-05,5.904263e-05,5.884643e-05,5.874297e-05,5.837681e-05,5.810205e-05,5.795097e-05,5.747173e-05,5.713970e-05,5.694491e-05,5.637588e-05,5.600407e-05,5.576959e-05,5.513061e-05,5.473329e-05,5.446313e-05,5.377105e-05,5.335978e-05,5.305791e-05,5.232699e-05,5.191105e-05,5.158130e-05,5.082360e-05,5.041034e-05,5.005640e-05,4.928201e-05,4.887720e-05,4.850256e-05,4.771996e-05,4.732803e-05,4.693596e-05,4.615217e-05,4.577646e-05,4.537004e-05,4.459086e-05,4.423377e-05,4.381584e-05,4.304604e-05,4.270924e-05,4.228243e-05,4.152585e-05,4.121038e-05,4.077710e-05,4.003684e-05,3.974325e-05,3.930569e-05,3.858418e-05,3.831263e-05,3.787278e-05,3.717189e-05,3.692222e-05,3.648187e-05,3.580301e-05,3.557479e-05,3.513557e-05,3.447974e-05,3.427235e-05,3.383569e-05,3.320357e-05,3.301627e-05,3.258345e-05,3.197541e-05,3.180733e-05,3.137948e-05,3.079568e-05,3.064587e-05,3.022399e-05,2.966438e-05,2.953186e-05,2.911680e-05,2.858118e-05,2.846494e-05,2.805743e-05,2.754547e-05,2.744448e-05,2.704517e-05,2.655642e-05,2.646966e-05,2.607908e-05,2.561302e-05,2.553948e-05,2.515808e-05,2.471412e-05,2.465283e-05,2.428096e-05,2.385846e-05,2.380846e-05,2.344643e-05,2.304470e-05,2.300508e-05,2.265310e-05,2.227145e-05,2.224134e-05,2.189956e-05,2.153727e-05,2.151583e-05,2.118438e-05,2.084071e-05,2.082715e-05,2.050608e-05,2.018031e-05,2.017388e-05,1.986321e-05,1.955461e-05,1.896793e-05,1.841247e-05,1.788687e-05,1.738982e-05,1.692001e-05,1.647620e-05,1.605718e-05,1.566176e-05,1.528882e-05,1.493726e-05,1.460605e-05,1.429417e-05,1.400066e-05,1.372459e-05,1.346509e-05,1.322129e-05,1.299240e-05,1.277764e-05,1.257628e-05,1.238761e-05,1.221096e-05,1.204571e-05,1.189124e-05,1.174697e-05,1.161236e-05,1.148689e-05,1.137005e-05,1.126138e-05,1.116043e-05,1.106677e-05,1.098000e-05,1.089974e-05,1.082562e-05,1.075729e-05,1.069444e-05,1.063674e-05,1.058390e-05,1.053564e-05,1.049171e-05,1.045183e-05,1.041579e-05,1.038334e-05,1.035428e-05,1.032841e-05,1.030552e-05,1.028545e-05,1.026800e-05,1.025304e-05,1.024038e-05
0.000000e+00,7.606393e-09,2.941280e-07,3.113736e-07,3.143179e-06,1.360024e-05,1.427649e-05,3.682156e-05,6.301177e-05,6.470676e-05,9.234989e-05,1.163020e-04,1.183105e-04,1.424152e-04,1.625636e-04,1.647148e-04,1.852965e-04,2.020598e-04,2.042515e-04,2.216690e-04,2.354843e-04,2.376354e-04,2.522347e-04,2.635008e-04,2.655477e-04,2.776521e-04,2.867283e-04,2.886225e-04,2.985298e-04,3.057359e-04,3.074417e-04,3.154223e-04,3.210396e-04,3.225320e-04,3.288282e-04,3.331028e-04,3.343652e-04,3.391940e-04,3.423395e-04,3.433623e-04,3.469154e-04,3.491166e-04,3.498956e-04,3.523429e-04,3.537589e-04,3.542945e-04,3.557858e-04,3.565538e-04,3.568497e-04,3.575171e-04,3.577547e-04,3.578172e-04,3.577772e-04,3.575850e-04,3.574227e-04,3.567777e-04,3.562418e-04,3.558646e-04,3.547046e-04,3.538982e-04,3.533172e-04,3.517211e-04,3.507066e-04,3.499336e-04,3.479707e-04,3.468006e-04,3.458477e-04,3.435789e-04,3.422977e-04,3.411773e-04,3.386556e-04,3.373006e-04,3.360252e-04,3.332970e-04,3.318994e-04,3.304811e-04,3.275870e-04,3.261727e-04,3.246235e-04,3.215989e-04,3.201891e-04,3.185207e-04,3.153963e-04,3.140085e-04,3.122321e-04,3.090346e-04,3.076830e-04,3.058093e-04,3.025618e-04,3.012577e-04,2.992970e-04,2.960195e-04,2.947716e-04,2.927337e-04,2.894435e-04,2.882587e-04,2.861526e-04,2.828646e-04,2.817479e-04,2.795825e-04,2.763093e-04,2.752641e-04,2.730476e-04,2.698000e-04,2.688288e-04,2.665688e-04,2.633561e-04,2.624601e-04,2.601637e-04,2.569935e-04,2.561731e-04,2.538472e-04,2.507261e-04,2.499809e-04,2.476316e-04,2.445649e-04,2.438941e-04,2.415272e-04,2.385194e-04,2.379215e-04,2.355424e-04,2.325970e-04,2.320703e-04,2.296840e-04,2.268039e-04,2.263461e-04,2.239573e-04,2.211446e-04,2.207536e-04,2.183664e-04,2.156228e-04,2.152959e-04,2.129143e-04,2.102410e-04,2.099757e-04,2.076032e-04,2.050010e-04,2.047943e-04,2.024344e-04,1.999035e-04,1.997528e-04,1.974084e-04,1.949490e-04,1.948514e-04,1.925253e-04,1.901371e-04,1.900897e-04,1.877845e-04,1.854672e-04,1.809826e-04,1.766346e-04,1.724214e-04,1.683411e-04,1.643915e-04,1.605703e-04,1.568751e-04,1.533034e-04,1.498525e-04,1.465198e-04,1.433026e-04,1.401981e-04,1.372036e-04,1.343162e-04,1.315334e-04,1.288522e-04,1.262701e-04,1.237842e-04,1.213920e-04,1.190908e-04,1.168781e-04,1.147513e-04,1.127079e-04,1.107455e-04,1.088616e-04,1.070540e-04,1.053203e-04,1.036582e-04,1.020656e-04,1.005403e-04,9.908028e-05,9.768337e-05,9.634762e-05,9.507107e-05,9.385181e-05,9.268799e-05,9.157778e-05,9.051943e-05,8.951121e-05,8.855144e-05,8.763849e-05,8.677076e-05,8.594670e-05,8.516480e-05,8.442359e-05,8.372163e-05,8.305751e-05,8.242990e-05,8.183745e-05
0.000000e+00,7.994451e-09,4.024087e-07,4.280848e-07,5.130529e-06,2.269310e-05,2.376376e-05,5.535687e-05,8.744407e-05,8.947182e-05,1.225100e-04,1.515012e-04,1.539569e-04,1.837809e-04,2.092657e-04,2.120195e-04,2.387204e-04,2.609836e-04,2.639319e-04,2.877027e-04,3.070307e-04,3.100818e-04,3.311188e-04,3.477894e-04,3.508639e-04,3.693674e-04,3.836487e-04,3.866791e-04,4.028486e-04,4.149942e-04,4.179241e-04,4.319531e-04,4.421989e-04,4.449816e-04,4.570543e-04,4.656169e-04,4.682143e-04,4.785034e-04,4.855804e-04,4.879619e-04,4.966283e-04,5.023988e-04,5.045401e-04,5.117330e-04,5.163588e-04,5.182415e-04,5.240987e-04,5.277259e-04,5.293364e-04,5.339850e-04,5.367446e-04,5.380738e-04,5.416309e-04,5.436408e-04,5.446831e-04,5.472563e-04,5.486219e-04,5.493751e-04,5.510632e-04,5.518789e-04,5.523434e-04,5.532373e-04,5.535870e-04,5.537657e-04,5.539486e-04,5.539072e-04,5.538049e-04,5.533530e-04,5.529869e-04,5.526101e-04,5.515931e-04,5.509613e-04,5.503179e-04,5.487997e-04,5.479540e-04,5.470530e-04,5.450918e-04,5.440782e-04,5.429295e-04,5.405787e-04,5.394373e-04,5.380515e-04,5.353595e-04,5.341257e-04,5.325138e-04,5.295250e-04,5.282295e-04,5.264031e-04,5.231577e-04,5.218271e-04,5.197980e-04,5.163327e-04,5.149899e-04,5.127701e-04,5.091182e-04,5.077831e-04,5.053845e-04,5.015762e-04,5.002656e-04,4.977001e-04,4.937628e-04,4.924909e-04,4.897704e-04,4.857289e-04,4.845077e-04,4.816438e-04,4.775205e-04,4.763598e-04,4.733640e-04,4.691791e-04,4.680869e-04,4.649703e-04,4.607421e-04,4.597248e-04,4.564984e-04,4.522431e-04,4.513058e-04,4.479800e-04,4.437125e-04,4.428588e-04,4.394439e-04,4.351772e-04,4.344097e-04,4.309155e-04,4.266615e-04,4.259818e-04,4.224179e-04,4.181869e-04,4.175958e-04,4.139711e-04,4.097726e-04,4.092700e-04,4.055934e-04,4.014355e-04,4.010209e-04,3.973006e-04,3.931905e-04,3.928628e-04,3.891067e-04,3.850507e-04,3.848083e-04,3.810239e-04,3.770276e-04,3.768684e-04,3.730630e-04,3.691311e-04,3.690528e-04,3.652330e-04,3.613697e-04,3.538261e-04,3.464281e-04,3.391805e-04,3.320875e-04,3.251522e-04,3.183772e-04,3.117643e-04,3.053147e-04,2.990291e-04,2.929078e-04,2.869504e-04,2.811564e-04,2.755247e-04,2.700541e-04,2.647431e-04,2.595898e-04,2.545923e-04,2.497483e-04,2.450555e-04,2.405114e-04,2.361134e-04,2.318587e-04,2.277447e-04,2.237683e-04,2.199267e-04,2.162170e-04,2.126362e-04,2.091811e-04,2.058489e-04,2.026365e-04,1.995409e-04,1.965591e-04,1.936880e-04,1.909247e-04,1.882662e-04,1.857097e-04,1.832523e-04,1.808911e-04,1.786232e-04,1.764460e-04,1.743568e-04,1.723528e-04,1.704313e-04,1.685900e-04,1.668261e-04,1.651373e-04,1.635211e-04,1.619751e-04,1.604971e-04
0.000000e+00,2.639773e-11,3.034895e-09,3.257080e-09,5.943461e-08,4.713053e-07,5.086460e-07,2.802027e-06,1.042281e-05,1.124344e-05,3.516584e-05,8.409715e-05,9.009949e-05,1.970139e-04,3.576216e-04,3.800610e-04,6.637657e-04,1.014471e-03,1.070401e-03,1.617950e-03,2.211140e-03,2.318781e-03,3.179023e-03,4.024890e-03,4.198533e-03,5.371311e-03,6.439699e-03,6.686238e-03,8.127988e-03,9.360332e-03,9.678033e-03,1.131565e-02,1.263965e-02,1.301884e-02,1.476523e-02,1.610777e-02,1.653275e-02,1.830025e-02,1.959652e-02,2.004799e-02,2.175797e-02,2.295669e-02,2.341416e-02,2.500264e-02,2.606792e-02,2.651167e-02,2.793165e-02,2.884245e-02,2.925506e-02,3.047632e-02,3.122451e-02,3.159169e-02,3.259908e-02,3.318679e-02,3.349785e-02,3.428867e-02,3.472550e-02,3.497332e-02,3.555452e-02,3.585501e-02,3.603577e-02,3.642118e-02,3.660261e-02,3.671536e-02,3.692326e-02,3.700394e-02,3.705010e-02,3.710120e-02,3.709921e-02,3.708198e-02,3.699783e-02,3.693017e-02,3.685405e-02,3.665585e-02,3.653792e-02,3.640825e-02,3.611609e-02,3.596139e-02,3.578398e-02,3.541630e-02,3.523636e-02,3.501717e-02,3.459046e-02,3.439492e-02,3.413981e-02,3.366858e-02,3.346529e-02,3.317991e-02,3.267670e-02,3.247194e-02,3.216159e-02,3.163705e-02,3.143571e-02,3.110528e-02,3.056834e-02,3.037413e-02,3.002806e-02,2.948611e-02,2.930175e-02,2.894402e-02,2.840313e-02,2.823050e-02,2.786466e-02,2.732971e-02,2.717006e-02,2.679925e-02,2.627414e-02,2.612817e-02,2.575513e-02,2.524291e-02,2.511091e-02,2.473804e-02,2.424105e-02,2.412300e-02,2.375238e-02,2.327239e-02,2.316799e-02,2.280140e-02,2.233969e-02,2.224849e-02,2.188748e-02,2.144493e-02,2.136631e-02,2.101219e-02,2.058937e-02,2.052264e-02,2.017653e-02,1.977371e-02,1.971812e-02,1.938095e-02,1.899822e-02,1.895297e-02,1.862552e-02,1.826279e-02,1.822707e-02,1.790998e-02,1.756701e-02,1.754000e-02,1.723380e-02,1.691025e-02,1.689114e-02,1.659624e-02,1.629167e-02,1.627968e-02,1.599641e-02,1.571032e-02,1.570469e-02,1.543327e-02,1.516512e-02,1.465984e-02,1.418765e-02,1.374734e-02,1.333763e-02,1.295727e-02,1.260498e-02,1.227950e-02,1.197955e-02,1.170391e-02,1.145135e-02,1.122067e-02,1.101072e-02,1.082034e-02,1.064844e-02,1.049394e-02,1.035579e-02,1.023300e-02,1.012458e-02,1.002960e-02,9.947159e-03,9.876379e-03,9.816428e-03,9.766503e-03,9.725833e-03,9.693684e-03,9.669349e-03,9.652157e-03,9.641467e-03,9.636668e-03,9.637180e-03,9.642451e-03,9.651962e-03,9.665219e-03,9.681758e-03,9.701140e-03,9.722955e-03,9.746819e-03,9.772372e-03,9.799281e-03,9.827234e-03,9.855945e-03,9.885149e-03,9.914605e-03,9.944091e-03,9.973405e-03,1.000237e-02,1.003081e-02,1.005860e-02,1.008559e-02
0.000000e+00,1.244408e-10,1.155371e-08,1.235142e-08,1.882855e-07,1.261631e-06,1.351686e-06,6.138760e-06,1.871795e-05,1.992794e-05,4.976607e-05,9.608467e-05,1.010254e-04,1.744605e-04,2.562093e-04,2.659887e-04,3.686234e-04,4.621047e-04,4.748030e-04,5.780265e-04,6.607905e-04,6.735813e-04,7.586011e-04,8.208748e-04,8.317661e-04,8.928877e-04,9.343889e-04,9.425127e-04,9.816084e-04,1.006082e-03,1.011336e-03,1.032900e-03,1.044802e-03,1.047460e-03,1.056084e-03,1.059256e-03,1.059720e-03,1.059202e-03,1.056569e-03,1.055246e-03,1.048467e-03,1.042133e-03,1.039385e-03,1.028438e-03,1.019867e-03,1.015997e-03,1.002370e-03,9.925603e-04,9.878162e-04,9.725518e-04,9.621768e-04,9.567569e-04,9.405819e-04,9.300891e-04,9.241520e-04,9.075714e-04,8.972545e-04,8.909270e-04,8.742911e-04,8.643393e-04,8.577243e-04,8.412763e-04,8.318073e-04,8.249879e-04,8.088922e-04,7.999730e-04,7.930159e-04,7.773800e-04,7.690425e-04,7.620009e-04,7.468912e-04,7.391438e-04,7.320602e-04,7.175148e-04,7.103509e-04,7.032600e-04,6.892986e-04,6.827019e-04,6.756322e-04,6.622609e-04,6.562090e-04,6.491839e-04,6.363997e-04,6.308669e-04,6.239062e-04,6.117006e-04,6.066593e-04,5.997795e-04,5.881392e-04,5.835609e-04,5.767757e-04,5.656847e-04,5.615406e-04,5.548617e-04,5.443021e-04,5.405643e-04,5.340013e-04,5.239543e-04,5.205953e-04,5.141563e-04,5.046024e-04,5.015959e-04,4.952876e-04,4.862069e-04,4.835276e-04,4.773553e-04,4.687280e-04,4.663519e-04,4.603202e-04,4.521270e-04,4.500314e-04,4.441438e-04,4.363657e-04,4.345290e-04,4.287882e-04,4.214066e-04,4.198085e-04,4.142165e-04,4.072134e-04,4.058349e-04,4.003930e-04,3.937509e-04,3.925740e-04,3.872831e-04,3.809853e-04,3.799932e-04,3.748536e-04,3.688840e-04,3.680609e-04,3.630725e-04,3.574153e-04,3.567466e-04,3.519088e-04,3.465492e-04,3.460212e-04,3.413330e-04,3.362567e-04,3.358566e-04,3.313169e-04,3.265103e-04,3.262260e-04,3.218334e-04,3.172832e-04,3.171038e-04,3.128565e-04,3.085503e-04,3.084654e-04,3.043615e-04,3.002872e-04,2.925468e-04,2.852229e-04,2.782949e-04,2.717433e-04,2.655496e-04,2.596960e-04,2.541655e-04,2.489420e-04,2.440101e-04,2.393553e-04,2.349636e-04,2.308217e-04,2.269170e-04,2.232374e-04,2.197715e-04,2.165085e-04,2.134378e-04,2.105498e-04,2.078349e-04,2.052843e-04,2.028895e-04,2.006424e-04,1.985352e-04,1.965609e-04,1.947122e-04,1.929828e-04,1.913662e-04,1.898565e-04,1.884481e-04,1.871356e-04,1.859137e-04,1.847777e-04,1.837230e-04,1.827450e-04,1.818397e-04,1.810031e-04,1.802313e-04,1.795208e-04,1.788683e-04,1.782704e-04,1.777241e-04,1.772264e-04,1.767746e-04,1.763662e-04,1.759984e-04,1.756691e-04,1.753758e-04,1.751166e-04,1.748894e-04
0.000000e+00,1.053173e-08,4.270678e-07,4.527471e-07,4.742749e-06,1.924485e-05,2.009377e-05,4.429295e-05,6.806112e-05,6.954917e-05,9.361350e-05,1.144655e-04,1.162204e-04,1.373872e-04,1.552502e-04,1.571675e-04,1.756173e-04,1.907961e-04,1.927914e-04,2.087430e-04,2.215242e-04,2.235253e-04,2.371910e-04,2.478459e-04,2.497929e-04,2.613833e-04,2.701685e-04,2.720133e-04,2.817334e-04,2.888870e-04,2.905922e-04,2.986369e-04,3.043761e-04,3.059132e-04,3.124649e-04,3.169854e-04,3.183339e-04,3.235600e-04,3.270360e-04,3.281814e-04,3.322347e-04,3.348206e-04,3.357541e-04,3.387727e-04,3.406044e-04,3.413216e-04,3.434303e-04,3.446272e-04,3.451270e-04,3.464382e-04,3.471047e-04,3.473891e-04,3.480037e-04,3.482309e-04,3.483044e-04,3.483128e-04,3.481800e-04,3.480489e-04,3.475320e-04,3.471079e-04,3.467800e-04,3.458102e-04,3.451542e-04,3.446385e-04,3.432803e-04,3.424436e-04,3.417499e-04,3.400608e-04,3.390872e-04,3.382258e-04,3.362571e-04,3.351842e-04,3.341658e-04,3.319629e-04,3.308226e-04,3.296582e-04,3.272613e-04,3.260807e-04,3.247812e-04,3.222261e-04,3.210279e-04,3.196041e-04,3.169224e-04,3.157254e-04,3.141881e-04,3.114077e-04,3.102276e-04,3.085873e-04,3.057326e-04,3.045823e-04,3.028490e-04,2.999415e-04,2.988314e-04,2.970149e-04,2.940735e-04,2.930118e-04,2.911215e-04,2.881627e-04,2.871557e-04,2.852006e-04,2.822386e-04,2.812913e-04,2.792799e-04,2.763272e-04,2.754430e-04,2.733832e-04,2.704505e-04,2.696317e-04,2.675314e-04,2.646278e-04,2.638757e-04,2.617419e-04,2.588755e-04,2.581906e-04,2.560301e-04,2.532073e-04,2.525894e-04,2.504085e-04,2.476350e-04,2.470834e-04,2.448879e-04,2.421684e-04,2.416818e-04,2.394772e-04,2.368154e-04,2.363923e-04,2.341837e-04,2.315827e-04,2.312210e-04,2.290130e-04,2.264753e-04,2.261729e-04,2.239699e-04,2.214972e-04,2.212518e-04,2.190576e-04,2.166514e-04,2.164604e-04,2.142788e-04,2.119400e-04,2.118007e-04,2.096350e-04,2.073641e-04,2.072739e-04,2.051271e-04,2.029242e-04,2.028805e-04,2.007553e-04,1.986203e-04,1.944929e-04,1.904971e-04,1.866317e-04,1.828949e-04,1.792846e-04,1.757988e-04,1.724350e-04,1.691907e-04,1.660631e-04,1.630496e-04,1.601473e-04,1.573533e-04,1.546646e-04,1.520784e-04,1.495915e-04,1.472012e-04,1.449043e-04,1.426981e-04,1.405797e-04,1.385461e-04,1.365946e-04,1.347225e-04,1.329270e-04,1.312056e-04,1.295555e-04,1.279744e-04,1.264597e-04,1.250090e-04,1.236200e-04,1.222904e-04,1.210181e-04,1.198008e-04,1.186365e-04,1.175232e-04,1.164589e-04,1.154418e-04,1.144699e-04,1.135415e-04,1.126550e-04,1.118086e-04,1.110007e-04,1.102298e-04,1.094944e-04,1.087931e-04,1.081244e-04,1.074871e-04,1.068797e-04,1.063012e-04,1.057502e-04
0.000000e+00,2.132141e-09,3.065307e-08,3.203213e-08,2.038891e-07,7.148177e-07,7.464486e-07,1.821880e-06,3.211627e-06,3.306653e-06,4.902505e-06,6.305592e-06,6.422695e-06,7.813651e-06,8.950153e-06,9.069857e-06,1.019758e-05,1.109059e-05,1.120551e-05,1.210257e-05,1.279192e-05,1.289734e-05,1.359788e-05,1.411907e-05,1.421176e-05,1.474603e-05,1.512934e-05,1.520725e-05,1.560150e-05,1.587248e-05,1.593441e-05,1.621121e-05,1.639127e-05,1.643671e-05,1.661539e-05,1.672240e-05,1.675135e-05,1.684842e-05,1.689728e-05,1.691011e-05,1.693968e-05,1.694277e-05,1.694012e-05,1.691419e-05,1.688173e-05,1.686445e-05,1.679323e-05,1.673365e-05,1.670270e-05,1.659485e-05,1.651508e-05,1.647151e-05,1.633436e-05,1.624006e-05,1.618495e-05,1.602471e-05,1.592049e-05,1.585494e-05,1.567683e-05,1.556644e-05,1.549150e-05,1.529995e-05,1.518637e-05,1.510310e-05,1.490180e-05,1.478742e-05,1.469682e-05,1.448886e-05,1.437556e-05,1.427857e-05,1.406654e-05,1.395578e-05,1.385331e-05,1.363935e-05,1.353224e-05,1.342511e-05,1.321099e-05,1.310836e-05,1.299735e-05,1.278453e-05,1.268698e-05,1.257281e-05,1.236246e-05,1.227040e-05,1.215372e-05,1.194680e-05,1.186048e-05,1.174189e-05,1.153916e-05,1.145871e-05,1.133876e-05,1.114082e-05,1.106627e-05,1.094545e-05,1.075275e-05,1.068406e-05,1.056282e-05,1.037571e-05,1.031275e-05,1.019150e-05,1.001023e-05,9.952853e-06,9.831945e-06,9.656675e-06,9.604686e-06,9.484445e-06,9.315271e-06,9.268452e-06,9.149163e-06,8.986125e-06,8.944238e-06,8.826155e-06,8.669246e-06,8.632042e-06,8.515387e-06,8.364563e-06,8.331787e-06,8.216754e-06,8.071939e-06,8.043333e-06,7.930092e-06,7.791185e-06,7.766492e-06,7.655188e-06,7.522069e-06,7.501035e-06,7.391794e-06,7.264327e-06,7.246704e-06,7.139632e-06,7.017669e-06,7.003215e-06,6.898401e-06,6.781786e-06,6.770269e-06,6.667784e-06,6.556354e-06,6.547550e-06,6.447454e-06,6.341041e-06,6.334734e-06,6.237073e-06,6.135507e-06,6.131494e-06,6.036302e-06,5.939413e-06,5.937499e-06,5.844800e-06,5.752418e-06,5.575925e-06,5.407693e-06,5.247404e-06,5.094745e-06,4.949410e-06,4.811101e-06,4.679527e-06,4.554407e-06,4.435467e-06,4.322445e-06,4.215083e-06,4.113138e-06,4.016371e-06,3.924553e-06,3.837466e-06,3.754897e-06,3.676644e-06,3.602511e-06,3.532312e-06,3.465868e-06,3.403006e-06,3.343562e-06,3.287378e-06,3.234302e-06,3.184191e-06,3.136905e-06,3.092312e-06,3.050286e-06,3.010705e-06,2.973453e-06,2.938420e-06,2.905500e-06,2.874592e-06,2.845600e-06,2.818430e-06,2.792995e-06,2.769212e-06,2.746998e-06,2.726279e-06,2.706979e-06,2.689031e-06,2.672365e-06,2.656920e-06,2.642633e-06,2.629448e-06,2.617308e-06,2.606161e-06,2.595955e-06,2.586643e-06
0.000000e+00,1.131411e-10,1.160133e-08,1.243349e-08,2.175802e-07,1.662238e-06,1.789990e-06,9.124136e-06,3.036154e-05,3.248362e-05,8.717873e-05,1.775791e-04,1.875081e-04,3.403739e-04,5.210540e-04,5.433790e-04,7.870100e-04,1.024710e-03,1.058269e-03,1.343825e-03,1.591863e-03,1.631992e-03,1.913599e-03,2.140213e-03,2.182091e-03,2.433223e-03,2.624466e-03,2.664593e-03,2.875166e-03,3.028574e-03,3.064862e-03,3.234230e-03,3.352819e-03,3.384207e-03,3.515946e-03,3.604642e-03,3.630703e-03,3.729763e-03,3.793704e-03,3.814386e-03,3.885784e-03,3.929650e-03,3.945106e-03,3.993423e-03,4.021236e-03,4.031735e-03,4.060963e-03,4.076086e-03,4.081958e-03,4.095501e-03,4.100709e-03,4.102311e-03,4.103045e-03,4.100609e-03,4.098310e-03,4.088658e-03,4.080431e-03,4.074600e-03,4.056597e-03,4.044081e-03,4.035075e-03,4.010420e-03,3.994826e-03,3.982986e-03,3.953093e-03,3.935390e-03,3.921035e-03,3.887079e-03,3.868040e-03,3.851468e-03,3.814423e-03,3.794661e-03,3.776147e-03,3.736822e-03,3.716819e-03,3.696615e-03,3.655677e-03,3.635809e-03,3.614146e-03,3.572147e-03,3.552702e-03,3.529793e-03,3.487187e-03,3.468384e-03,3.444421e-03,3.401579e-03,3.383581e-03,3.358737e-03,3.315962e-03,3.298886e-03,3.273317e-03,3.230857e-03,3.214781e-03,3.188630e-03,3.146682e-03,3.131657e-03,3.105052e-03,3.063776e-03,3.049828e-03,3.022883e-03,2.982403e-03,2.969541e-03,2.942360e-03,2.902774e-03,2.890991e-03,2.863665e-03,2.825048e-03,2.814326e-03,2.786938e-03,2.749346e-03,2.739659e-03,2.712282e-03,2.675755e-03,2.667069e-03,2.639770e-03,2.604333e-03,2.596611e-03,2.569448e-03,2.535117e-03,2.528317e-03,2.501342e-03,2.468124e-03,2.462204e-03,2.435463e-03,2.403357e-03,2.398271e-03,2.371805e-03,2.340805e-03,2.336508e-03,2.310353e-03,2.280447e-03,2.276895e-03,2.251082e-03,2.222255e-03,2.219401e-03,2.193960e-03,2.166193e-03,2.163994e-03,2.138948e-03,2.112220e-03,2.110633e-03,2.086003e-03,2.060292e-03,2.059274e-03,2.035080e-03,2.010361e-03,2.009871e-03,1.986128e-03,1.962376e-03,1.916738e-03,1.872906e-03,1.830829e-03,1.790454e-03,1.751730e-03,1.714605e-03,1.679028e-03,1.644948e-03,1.612317e-03,1.581085e-03,1.551204e-03,1.522629e-03,1.495312e-03,1.469211e-03,1.444280e-03,1.420479e-03,1.397767e-03,1.376102e-03,1.355446e-03,1.335762e-03,1.317013e-03,1.299163e-03,1.282179e-03,1.266026e-03,1.250672e-03,1.236086e-03,1.222237e-03,1.209097e-03,1.196636e-03,1.184827e-03,1.173643e-03,1.163059e-03,1.153049e-03,1.143590e-03,1.134658e-03,1.126230e-03,1.118285e-03,1.110802e-03,1.103760e-03,1.097139e-03,1.090921e-03,1.085087e-03,1.079620e-03,1.074503e-03,1.069718e-03,1.065251e-03,1.061086e-03,1.057208e-03,1.053603e-03
0.000000e+00,5.971814e-11,6.598767e-09,7.078092e-09,1.252220e-07,9.368781e-07,1.007907e-06,5.052252e-06,1.692408e-05,1.813118e-05,5.055530e-05,1.090862e-04,1.158534e-04,2.276555e-04,3.768112e-04,3.964533e-04,6.276192e-04,8.826020e-04,9.209559e-04,1.271382e-03,1.611855e-03,1.670216e-03,2.106607e-03,2.493626e-03,2.568835e-03,3.045341e-03,3.439206e-03,3.525455e-03,3.999834e-03,4.369914e-03,4.460680e-03,4.901785e-03,5.229068e-03,5.318446e-03,5.707327e-03,5.982933e-03,6.066274e-03,6.394124e-03,6.616475e-03,6.690517e-03,6.955724e-03,7.127769e-03,7.190496e-03,7.395932e-03,7.522997e-03,7.573379e-03,7.724342e-03,7.812681e-03,7.850416e-03,7.953236e-03,8.009153e-03,8.034435e-03,8.095615e-03,8.124983e-03,8.138328e-03,8.164063e-03,8.172116e-03,8.174235e-03,8.170182e-03,8.161449e-03,8.153162e-03,8.124353e-03,8.102680e-03,8.084857e-03,8.035699e-03,8.004309e-03,7.977834e-03,7.912146e-03,7.873714e-03,7.839457e-03,7.760529e-03,7.717256e-03,7.676065e-03,7.586717e-03,7.540401e-03,7.493086e-03,7.395728e-03,7.347824e-03,7.295155e-03,7.191840e-03,7.143515e-03,7.086217e-03,6.978686e-03,6.930865e-03,6.869616e-03,6.759344e-03,6.712747e-03,6.648179e-03,6.536406e-03,6.491584e-03,6.424283e-03,6.312046e-03,6.269413e-03,6.199914e-03,6.088082e-03,6.047930e-03,5.976728e-03,5.866016e-03,5.828546e-03,5.756092e-03,5.647087e-03,5.612419e-03,5.539120e-03,5.432298e-03,5.400489e-03,5.326716e-03,5.222458e-03,5.193513e-03,5.119598e-03,5.018201e-03,4.992085e-03,4.918326e-03,4.820021e-03,4.796666e-03,4.723328e-03,4.628284e-03,4.607598e-03,4.534918e-03,4.443253e-03,4.425127e-03,4.353310e-03,4.265103e-03,4.249411e-03,4.178641e-03,4.093931e-03,4.080540e-03,4.010975e-03,3.929773e-03,3.918545e-03,3.850321e-03,3.772613e-03,3.763405e-03,3.696640e-03,3.622391e-03,3.615060e-03,3.549853e-03,3.479011e-03,3.473417e-03,3.409850e-03,3.342351e-03,3.338354e-03,3.276496e-03,3.212263e-03,3.209727e-03,3.149633e-03,3.088583e-03,3.087378e-03,3.029091e-03,2.971132e-03,2.860807e-03,2.756213e-03,2.657154e-03,2.563435e-03,2.474858e-03,2.391225e-03,2.312342e-03,2.238016e-03,2.168059e-03,2.102286e-03,2.040516e-03,1.982575e-03,1.928293e-03,1.877505e-03,1.830052e-03,1.785780e-03,1.744542e-03,1.706195e-03,1.670601e-03,1.637629e-03,1.607153e-03,1.579051e-03,1.553205e-03,1.529505e-03,1.507842e-03,1.488114e-03,1.470222e-03,1.454072e-03,1.439573e-03,1.426637e-03,1.415183e-03,1.405128e-03,1.396399e-03,1.388919e-03,1.382620e-03,1.377434e-03,1.373295e-03,1.370142e-03,1.367914e-03,1.366555e-03,1.366010e-03,1.366226e-03,1.367152e-03,1.368740e-03,1.370943e-03,1.373715e-03,1.377015e-03,1.380801e-03,1.385032e-03
0.000000e+00,5.472076e-10,4.958530e-08,5.305838e-08,8.819628e-07,6.406510e-06,6.878710e-06,3.160555e-05,9.041056e-05,9.566572e-05,2.106677e-04,3.555969e-04,3.695022e-04,5.533474e-04,7.239525e-04,7.426732e-04,9.231591e-04,1.068026e-03,1.086587e-03,1.229439e-03,1.335350e-03,1.351141e-03,1.452690e-03,1.523660e-03,1.535797e-03,1.602403e-03,1.646066e-03,1.654440e-03,1.693719e-03,1.717069e-03,1.721887e-03,1.740424e-03,1.749050e-03,1.750647e-03,1.753718e-03,1.751907e-03,1.750666e-03,1.742393e-03,1.733380e-03,1.729692e-03,1.713258e-03,1.699460e-03,1.693701e-03,1.671553e-03,1.654758e-03,1.647277e-03,1.621278e-03,1.602797e-03,1.593910e-03,1.565477e-03,1.546259e-03,1.536246e-03,1.506445e-03,1.487166e-03,1.476272e-03,1.445899e-03,1.427032e-03,1.415471e-03,1.385114e-03,1.366978e-03,1.354933e-03,1.325020e-03,1.307824e-03,1.295451e-03,1.266288e-03,1.250155e-03,1.237586e-03,1.209387e-03,1.194382e-03,1.181727e-03,1.154633e-03,1.140775e-03,1.128127e-03,1.102226e-03,1.089507e-03,1.076942e-03,1.052281e-03,1.040667e-03,1.028249e-03,1.004845e-03,9.942911e-04,9.820704e-04,9.599199e-04,9.503702e-04,9.383886e-04,9.174696e-04,9.088643e-04,8.971548e-04,8.774347e-04,8.697111e-04,8.582994e-04,8.397379e-04,8.328326e-04,8.217387e-04,8.042899e-04,7.981407e-04,7.873793e-04,7.709943e-04,7.655409e-04,7.551224e-04,7.397507e-04,7.349354e-04,7.248665e-04,7.104571e-04,7.062249e-04,6.965097e-04,6.830117e-04,6.793111e-04,6.699507e-04,6.573144e-04,6.540971e-04,6.450907e-04,6.332677e-04,6.304885e-04,6.218337e-04,6.107772e-04,6.083943e-04,6.000870e-04,5.897522e-04,5.877269e-04,5.797620e-04,5.701059e-04,5.684025e-04,5.607737e-04,5.517555e-04,5.503411e-04,5.430416e-04,5.346225e-04,5.334668e-04,5.264891e-04,5.186323e-04,5.177077e-04,5.110436e-04,5.037144e-04,5.029954e-04,4.966366e-04,4.898021e-04,4.892656e-04,4.832033e-04,4.768327e-04,4.764575e-04,4.706829e-04,4.647468e-04,4.645138e-04,4.590177e-04,4.534889e-04,4.533803e-04,4.481539e-04,4.430064e-04,4.333442e-04,4.243487e-04,4.159777e-04,4.081916e-04,4.009530e-04,3.942271e-04,3.879808e-04,3.821835e-04,3.768063e-04,3.718219e-04,3.672049e-04,3.629316e-04,3.589794e-04,3.553274e-04,3.519560e-04,3.488466e-04,3.459821e-04,3.433460e-04,3.409233e-04,3.386998e-04,3.366619e-04,3.347973e-04,3.330943e-04,3.315417e-04,3.301294e-04,3.288476e-04,3.276874e-04,3.266403e-04,3.256983e-04,3.248541e-04,3.241006e-04,3.234315e-04,3.228405e-04,3.223221e-04,3.218708e-04,3.214818e-04,3.211502e-04,3.208718e-04,3.206425e-04,3.204585e-04,3.203162e-04,3.202123e-04,3.201436e-04,3.201074e-04,3.201008e-04,3.201213e-04,3.201667e-04,3.202346e-04,3.203230e-04
0.000000e+00,3.090743e-11,3.741905e-09,4.023294e-09,8.031880e-08,6.575246e-07,7.094511e-07,3.750895e-06,1.283843e-05,1.376332e-05,3.847199e-05,8.243666e-05,8.747731e-05,1.698472e-04,2.778474e-04,2.919492e-04,4.562886e-04,6.347561e-04,6.613856e-04,9.023880e-04,1.132885e-03,1.172051e-03,1.461793e-03,1.714131e-03,1.762653e-03,2.066036e-03,2.311255e-03,2.364242e-03,2.650776e-03,2.868093e-03,2.920488e-03,3.169571e-03,3.347856e-03,3.395478e-03,3.596772e-03,3.732955e-03,3.772949e-03,3.924263e-03,4.020700e-03,4.051547e-03,4.156059e-03,4.218067e-03,4.239345e-03,4.303122e-03,4.337122e-03,4.349191e-03,4.379358e-03,4.391692e-03,4.395388e-03,4.398963e-03,4.395271e-03,4.391660e-03,4.374934e-03,4.359901e-03,4.350109e-03,4.318382e-03,4.295717e-03,4.280819e-03,4.238369e-03,4.210905e-03,4.191867e-03,4.142041e-03,4.111874e-03,4.089528e-03,4.034880e-03,4.003524e-03,3.978573e-03,3.921016e-03,3.889542e-03,3.862562e-03,3.803510e-03,3.772652e-03,3.744114e-03,3.684591e-03,3.654840e-03,3.625124e-03,3.565869e-03,3.537540e-03,3.506955e-03,3.448491e-03,3.421774e-03,3.390568e-03,3.333262e-03,3.308260e-03,3.276636e-03,3.220740e-03,3.197492e-03,3.165616e-03,3.111299e-03,3.089804e-03,3.057814e-03,3.005183e-03,2.985411e-03,2.953421e-03,2.902540e-03,2.884440e-03,2.852548e-03,2.803450e-03,2.786960e-03,2.755247e-03,2.707941e-03,2.692992e-03,2.661528e-03,2.616004e-03,2.602520e-03,2.571365e-03,2.527604e-03,2.515507e-03,2.484713e-03,2.442684e-03,2.431897e-03,2.401509e-03,2.361176e-03,2.351621e-03,2.321677e-03,2.283001e-03,2.274602e-03,2.245137e-03,2.208072e-03,2.200754e-03,2.171797e-03,2.136299e-03,2.129991e-03,2.101566e-03,2.067586e-03,2.062219e-03,2.034348e-03,2.001840e-03,1.997346e-03,1.970049e-03,1.938962e-03,1.935279e-03,1.908570e-03,1.878858e-03,1.875924e-03,1.849816e-03,1.821431e-03,1.819188e-03,1.793692e-03,1.766587e-03,1.764981e-03,1.740105e-03,1.714234e-03,1.713211e-03,1.688962e-03,1.664279e-03,1.663792e-03,1.640174e-03,1.616635e-03,1.571658e-03,1.528779e-03,1.487917e-03,1.448995e-03,1.411938e-03,1.376673e-03,1.343130e-03,1.311240e-03,1.280939e-03,1.252161e-03,1.224846e-03,1.198934e-03,1.174368e-03,1.151093e-03,1.129055e-03,1.108202e-03,1.088486e-03,1.069858e-03,1.052273e-03,1.035685e-03,1.020053e-03,1.005334e-03,9.914900e-04,9.784818e-04,9.662728e-04,9.548273e-04,9.441113e-04,9.340918e-04,9.247370e-04,9.160165e-04,9.079007e-04,9.003614e-04,8.933713e-04,8.869041e-04,8.809345e-04,8.754382e-04,8.703917e-04,8.657724e-04,8.615588e-04,8.577299e-04,8.542655e-04,8.511465e-04,8.483542e-04,8.458707e-04,8.436789e-04,8.417622e-04,8.401049e-04,8.386917e-04,8.375081e-04
0.000000e+00,2.668646e-09,1.087700e-07,1.146917e-07,1.007819e-06,4.679499e-06,4.945266e-06,1.610935e-05,3.564838e-05,3.715913e-05,6.476818e-05,9.038956e-05,9.249857e-05,1.165311e-04,1.342807e-04,1.360347e-04,1.514003e-04,1.620142e-04,1.632762e-04,1.722772e-04,1.781212e-04,1.789280e-04,1.836645e-04,1.864284e-04,1.868458e-04,1.887673e-04,1.895744e-04,1.896716e-04,1.897576e-04,1.893478e-04,1.891883e-04,1.880972e-04,1.869546e-04,1.865931e-04,1.847649e-04,1.832039e-04,1.826851e-04,1.804127e-04,1.786354e-04,1.779953e-04,1.754720e-04,1.736074e-04,1.728740e-04,1.702270e-04,1.683560e-04,1.675513e-04,1.648636e-04,1.630358e-04,1.621769e-04,1.595020e-04,1.577470e-04,1.568471e-04,1.542188e-04,1.525531e-04,1.516224e-04,1.490621e-04,1.474941e-04,1.465407e-04,1.440605e-04,1.425929e-04,1.416234e-04,1.392309e-04,1.378640e-04,1.368836e-04,1.345820e-04,1.333131e-04,1.323264e-04,1.301169e-04,1.289429e-04,1.279532e-04,1.258350e-04,1.247514e-04,1.237619e-04,1.217334e-04,1.207357e-04,1.197488e-04,1.178076e-04,1.168910e-04,1.159090e-04,1.140522e-04,1.132119e-04,1.122366e-04,1.104613e-04,1.096928e-04,1.087257e-04,1.070290e-04,1.063278e-04,1.053704e-04,1.037491e-04,1.031109e-04,1.021645e-04,1.006157e-04,1.000365e-04,9.910211e-05,9.762288e-05,9.709864e-05,9.617735e-05,9.476480e-05,9.429192e-05,9.338455e-05,9.203590e-05,9.161090e-05,9.071820e-05,8.943078e-05,8.905036e-05,8.817299e-05,8.694420e-05,8.660525e-05,8.574378e-05,8.457113e-05,8.427072e-05,8.342565e-05,8.230674e-05,8.204209e-05,8.121383e-05,8.014635e-05,7.991486e-05,7.910375e-05,7.808550e-05,7.788472e-05,7.709105e-05,7.611988e-05,7.594750e-05,7.517149e-05,7.424537e-05,7.409923e-05,7.334105e-05,7.245802e-05,7.233607e-05,7.159584e-05,7.075403e-05,7.065436e-05,6.993215e-05,6.912975e-05,6.905057e-05,6.834642e-05,6.758171e-05,6.752133e-05,6.683522e-05,6.610655e-05,6.606339e-05,6.539529e-05,6.470107e-05,6.467365e-05,6.402349e-05,6.336220e-05,6.334913e-05,6.271682e-05,6.208699e-05,6.088449e-05,5.973901e-05,5.864803e-05,5.760916e-05,5.662009e-05,5.567862e-05,5.478263e-05,5.393011e-05,5.311911e-05,5.234777e-05,5.161433e-05,5.091709e-05,5.025441e-05,4.962474e-05,4.902659e-05,4.845853e-05,4.791919e-05,4.740728e-05,4.692153e-05,4.646076e-05,4.602381e-05,4.560960e-05,4.521707e-05,4.484523e-05,4.449311e-05,4.415980e-05,4.384442e-05,4.354614e-05,4.326414e-05,4.299768e-05,4.274600e-05,4.250842e-05,4.228427e-05,4.207289e-05,4.187369e-05,4.168607e-05,4.150948e-05,4.134339e-05,4.118728e-05,4.104066e-05,4.090308e-05,4.077409e-05,4.065326e-05,4.054018e-05,4.043448e-05,4.033578e-05,4.024372e-05,4.015798e-05,4.007823e-05
0.000000e+00,1.595415e-09,1.166316e-07,1.245502e-07,1.865329e-06,1.133314e-05,1.205746e-05,4.268655e-05,9.312541e-05,9.687244e-05,1.637584e-04,2.267458e-04,2.321105e-04,2.966240e-04,3.501106e-04,3.557764e-04,4.094449e-04,4.523472e-04,4.578976e-04,5.014847e-04,5.353477e-04,5.405593e-04,5.754582e-04,6.017786e-04,6.064981e-04,6.339758e-04,6.540454e-04,6.581698e-04,6.793400e-04,6.942623e-04,6.977286e-04,7.135609e-04,7.242707e-04,7.270463e-04,7.383791e-04,7.456637e-04,7.477394e-04,7.552940e-04,7.598131e-04,7.611972e-04,7.655920e-04,7.678968e-04,7.686104e-04,7.703745e-04,7.709239e-04,7.709972e-04,7.705825e-04,7.697573e-04,7.692266e-04,7.670183e-04,7.651338e-04,7.640394e-04,7.603654e-04,7.576816e-04,7.560659e-04,7.512050e-04,7.479353e-04,7.458417e-04,7.400304e-04,7.363495e-04,7.338211e-04,7.272598e-04,7.233098e-04,7.203888e-04,7.132470e-04,7.091427e-04,7.058700e-04,6.982906e-04,6.941243e-04,6.905389e-04,6.826423e-04,6.784873e-04,6.746261e-04,6.665134e-04,6.624275e-04,6.583252e-04,6.500808e-04,6.461088e-04,6.417979e-04,6.334923e-04,6.296682e-04,6.251787e-04,6.168704e-04,6.132196e-04,6.085794e-04,6.003165e-04,5.968569e-04,5.920917e-04,5.839139e-04,5.806577e-04,5.757910e-04,5.677303e-04,5.646850e-04,5.597383e-04,5.518207e-04,5.489896e-04,5.439826e-04,5.362286e-04,5.336121e-04,5.285627e-04,5.209884e-04,5.185845e-04,5.135088e-04,5.061265e-04,5.039311e-04,4.988437e-04,4.916625e-04,4.896702e-04,4.845844e-04,4.776106e-04,4.758147e-04,4.707423e-04,4.639802e-04,4.623732e-04,4.573248e-04,4.507766e-04,4.493504e-04,4.443357e-04,4.380020e-04,4.367482e-04,4.317755e-04,4.256559e-04,4.245656e-04,4.196426e-04,4.137353e-04,4.127999e-04,4.079332e-04,4.022356e-04,4.014463e-04,3.966418e-04,3.911508e-04,3.904987e-04,3.857616e-04,3.804733e-04,3.799500e-04,3.752848e-04,3.701950e-04,3.697920e-04,3.652027e-04,3.603067e-04,3.600160e-04,3.555059e-04,3.507989e-04,3.506126e-04,3.461846e-04,3.416615e-04,3.415720e-04,3.372285e-04,3.328843e-04,3.245392e-04,3.165265e-04,3.088359e-04,3.014571e-04,2.943800e-04,2.875944e-04,2.810905e-04,2.748586e-04,2.688891e-04,2.631727e-04,2.577003e-04,2.524631e-04,2.474525e-04,2.426600e-04,2.380776e-04,2.336974e-04,2.295118e-04,2.255133e-04,2.216948e-04,2.180494e-04,2.145705e-04,2.112514e-04,2.080861e-04,2.050685e-04,2.021928e-04,1.994533e-04,1.968446e-04,1.943616e-04,1.919992e-04,1.897526e-04,1.876170e-04,1.855880e-04,1.836612e-04,1.818324e-04,1.800976e-04,1.784529e-04,1.768947e-04,1.754191e-04,1.740229e-04,1.727027e-04,1.714551e-04,1.702773e-04,1.691661e-04,1.681187e-04,1.671323e-04,1.662043e-04,1.653321e-04,1.645132e-04,1.637454e-04
0.000000e+00,2.282653e-09,4.517617e-08,4.744126e-08,3.552023e-07,1.290608e-06,1.346735e-06,3.069545e-06,4.881352e-06,4.994944e-06,6.803355e-06,8.307306e-06,8.430717e-06,9.877546e-06,1.103570e-05,1.115644e-05,1.228164e-05,1.315560e-05,1.326687e-05,1.412494e-05,1.477019e-05,1.486764e-05,1.550585e-05,1.596853e-05,1.604956e-05,1.650793e-05,1.682598e-05,1.688930e-05,1.720131e-05,1.740568e-05,1.745092e-05,1.764446e-05,1.776022e-05,1.778769e-05,1.788585e-05,1.793326e-05,1.794371e-05,1.796558e-05,1.796090e-05,1.795535e-05,1.791652e-05,1.787264e-05,1.785226e-05,1.776548e-05,1.769276e-05,1.765882e-05,1.753465e-05,1.744133e-05,1.739514e-05,1.724228e-05,1.713503e-05,1.707800e-05,1.690389e-05,1.678797e-05,1.672138e-05,1.653176e-05,1.641112e-05,1.633616e-05,1.613564e-05,1.601336e-05,1.593113e-05,1.572346e-05,1.560186e-05,1.551337e-05,1.530155e-05,1.518239e-05,1.508859e-05,1.487503e-05,1.475963e-05,1.466136e-05,1.444799e-05,1.433728e-05,1.423530e-05,1.402363e-05,1.391827e-05,1.381327e-05,1.360449e-05,1.350490e-05,1.339751e-05,1.319254e-05,1.309898e-05,1.298976e-05,1.278930e-05,1.270187e-05,1.259130e-05,1.239588e-05,1.231459e-05,1.220312e-05,1.201310e-05,1.193788e-05,1.182589e-05,1.164154e-05,1.157224e-05,1.146009e-05,1.128156e-05,1.121802e-05,1.110599e-05,1.093338e-05,1.087537e-05,1.076374e-05,1.059707e-05,1.054436e-05,1.043337e-05,1.027262e-05,1.022496e-05,1.011480e-05,9.959907e-06,9.917056e-06,9.807907e-06,9.658777e-06,9.620470e-06,9.512488e-06,9.369010e-06,9.334989e-06,9.228309e-06,9.090351e-06,9.060365e-06,8.955101e-06,8.822521e-06,8.796322e-06,8.692573e-06,8.565217e-06,8.542566e-06,8.440415e-06,8.318126e-06,8.298790e-06,8.198309e-06,8.080924e-06,8.064682e-06,7.965930e-06,7.853285e-06,7.839923e-06,7.742948e-06,7.634880e-06,7.624196e-06,7.529038e-06,7.425382e-06,7.417183e-06,7.323873e-06,7.224469e-06,7.218571e-06,7.127133e-06,7.031824e-06,7.028053e-06,6.938504e-06,6.847134e-06,6.845326e-06,6.757677e-06,6.670096e-06,6.502075e-06,6.340984e-06,6.186552e-06,6.038518e-06,5.896629e-06,5.760638e-06,5.630311e-06,5.505420e-06,5.385746e-06,5.271077e-06,5.161212e-06,5.055953e-06,4.955114e-06,4.858515e-06,4.765982e-06,4.677349e-06,4.592457e-06,4.511150e-06,4.433283e-06,4.358715e-06,4.287308e-06,4.218934e-06,4.153468e-06,4.090789e-06,4.030783e-06,3.973340e-06,3.918353e-06,3.865722e-06,3.815349e-06,3.767140e-06,3.721007e-06,3.676863e-06,3.634626e-06,3.594217e-06,3.555561e-06,3.518585e-06,3.483219e-06,3.449397e-06,3.417054e-06,3.386129e-06,3.356563e-06,3.328301e-06,3.301287e-06,3.275469e-06,3.250799e-06,3.227228e-06,3.204711e-06,3.183203e-06,3.162663e-06
0.000000e+00,4.975514e-09,6.571139e-08,6.848493e-08,3.789510e-07,1.190633e-06,1.238807e-06,2.837787e-06,4.936513e-06,5.084566e-06,7.677060e-06,1.009097e-05,1.029595e-05,1.274856e-05,1.475658e-05,1.496750e-05,1.694466e-05,1.849331e-05,1.869126e-05,2.022359e-05,2.138305e-05,2.155872e-05,2.271317e-05,2.355470e-05,2.370251e-05,2.454126e-05,2.512618e-05,2.524293e-05,2.581999e-05,2.619969e-05,2.628396e-05,2.664546e-05,2.686260e-05,2.691425e-05,2.709932e-05,2.718909e-05,2.720893e-05,2.725065e-05,2.724193e-05,2.723144e-05,2.715769e-05,2.707412e-05,2.703525e-05,2.686947e-05,2.673028e-05,2.666525e-05,2.642709e-05,2.624784e-05,2.615906e-05,2.586491e-05,2.565814e-05,2.554806e-05,2.521160e-05,2.498730e-05,2.485838e-05,2.449096e-05,2.425708e-05,2.411170e-05,2.372272e-05,2.348547e-05,2.332594e-05,2.292311e-05,2.268733e-05,2.251581e-05,2.210547e-05,2.187483e-05,2.169336e-05,2.128064e-05,2.105789e-05,2.086835e-05,2.045742e-05,2.024454e-05,2.004866e-05,1.964283e-05,1.944122e-05,1.924057e-05,1.884247e-05,1.865300e-05,1.844902e-05,1.806068e-05,1.788386e-05,1.767782e-05,1.730080e-05,1.713683e-05,1.692989e-05,1.656533e-05,1.641416e-05,1.620733e-05,1.585605e-05,1.571745e-05,1.551162e-05,1.517416e-05,1.504776e-05,1.484373e-05,1.452040e-05,1.440574e-05,1.420418e-05,1.389510e-05,1.379164e-05,1.359315e-05,1.329830e-05,1.320545e-05,1.301052e-05,1.272976e-05,1.264690e-05,1.245597e-05,1.218906e-05,1.211555e-05,1.192897e-05,1.167561e-05,1.161082e-05,1.142888e-05,1.118869e-05,1.113200e-05,1.095493e-05,1.072750e-05,1.067831e-05,1.050629e-05,1.029118e-05,1.024888e-05,1.008206e-05,9.878813e-06,9.842842e-06,9.681314e-06,9.489446e-06,9.459262e-06,9.303090e-06,9.122124e-06,9.097212e-06,8.946429e-06,8.775882e-06,8.755757e-06,8.610366e-06,8.449761e-06,8.433966e-06,8.293950e-06,8.142815e-06,8.130923e-06,7.996241e-06,7.854116e-06,7.845727e-06,7.716325e-06,7.582758e-06,7.577502e-06,7.453307e-06,7.327863e-06,7.325394e-06,7.206322e-06,7.088579e-06,6.866259e-06,6.657669e-06,6.462074e-06,6.278769e-06,6.107082e-06,5.946371e-06,5.796022e-06,5.655454e-06,5.524111e-06,5.401469e-06,5.287027e-06,5.180312e-06,5.080875e-06,4.988291e-06,4.902158e-06,4.822096e-06,4.747745e-06,4.678764e-06,4.614833e-06,4.555649e-06,4.500924e-06,4.450390e-06,4.403790e-06,4.360884e-06,4.321446e-06,4.285260e-06,4.252125e-06,4.221852e-06,4.194260e-06,4.169182e-06,4.146456e-06,4.125934e-06,4.107475e-06,4.090944e-06,4.076217e-06,4.063176e-06,4.051709e-06,4.041712e-06,4.033086e-06,4.025739e-06,4.019584e-06,4.014538e-06,4.010523e-06,4.007469e-06,4.005305e-06,4.003968e-06,4.003397e-06,4.003535e-06,4.004330e-06
0.000000e+00,1.405671e-11,1.756610e-09,1.889546e-09,3.914669e-08,3.466053e-07,3.755233e-07,2.234645e-06,8.678400e-06,9.380756e-06,3.009992e-05,7.306165e-05,7.836110e-05,1.734320e-04,3.179463e-04,3.382646e-04,5.973290e-04,9.222157e-04,9.744376e-04,1.490877e-03,2.059805e-03,2.163996e-03,3.006290e-03,3.849966e-03,4.024939e-03,5.221746e-03,6.333885e-03,6.593382e-03,8.131861e-03,9.474816e-03,9.825170e-03,1.165799e-02,1.317299e-02,1.361242e-02,1.566875e-02,1.728691e-02,1.780614e-02,2.000323e-02,2.165499e-02,2.223875e-02,2.449194e-02,2.611402e-02,2.674300e-02,2.897333e-02,3.051299e-02,3.116581e-02,3.330496e-02,3.472202e-02,3.537702e-02,3.737000e-02,3.863701e-02,3.927368e-02,4.107961e-02,4.218088e-02,4.278096e-02,4.437251e-02,4.530242e-02,4.585050e-02,4.721253e-02,4.797355e-02,4.845743e-02,4.958512e-02,5.018579e-02,5.059650e-02,5.149331e-02,5.194638e-02,5.227803e-02,5.295375e-02,5.327457e-02,5.352407e-02,5.399300e-02,5.419819e-02,5.436485e-02,5.464420e-02,5.475066e-02,5.483577e-02,5.494441e-02,5.496854e-02,5.497501e-02,5.493245e-02,5.488964e-02,5.482157e-02,5.464713e-02,5.455145e-02,5.441380e-02,5.412610e-02,5.399011e-02,5.378841e-02,5.340494e-02,5.323965e-02,5.297974e-02,5.251666e-02,5.233152e-02,5.201936e-02,5.149133e-02,5.129436e-02,5.093586e-02,5.035605e-02,5.015389e-02,4.975481e-02,4.913489e-02,4.893299e-02,4.849885e-02,4.784907e-02,4.765179e-02,4.718778e-02,4.651705e-02,4.632782e-02,4.583881e-02,4.515483e-02,4.497626e-02,4.446675e-02,4.377609e-02,4.361010e-02,4.308425e-02,4.239251e-02,4.224046e-02,4.170205e-02,4.101394e-02,4.087669e-02,4.032917e-02,3.964863e-02,3.952664e-02,3.897313e-02,3.830340e-02,3.819683e-02,3.764012e-02,3.698387e-02,3.689259e-02,3.633520e-02,3.569459e-02,3.561828e-02,3.506246e-02,3.443919e-02,3.437736e-02,3.382511e-02,3.322052e-02,3.317257e-02,3.262567e-02,3.204076e-02,3.200599e-02,3.146600e-02,3.090152e-02,3.087916e-02,3.034746e-02,2.980391e-02,2.979315e-02,2.927095e-02,2.874864e-02,2.774597e-02,2.678523e-02,2.586622e-02,2.498860e-02,2.415183e-02,2.335526e-02,2.259811e-02,2.187953e-02,2.119859e-02,2.055429e-02,1.994562e-02,1.937150e-02,1.883086e-02,1.832260e-02,1.784559e-02,1.739873e-02,1.698089e-02,1.659098e-02,1.622787e-02,1.589048e-02,1.557771e-02,1.528851e-02,1.502180e-02,1.477656e-02,1.455175e-02,1.434638e-02,1.415945e-02,1.399002e-02,1.383712e-02,1.369984e-02,1.357728e-02,1.346855e-02,1.337282e-02,1.328924e-02,1.321701e-02,1.315536e-02,1.310352e-02,1.306076e-02,1.302639e-02,1.299972e-02,1.298011e-02,1.296692e-02,1.295957e-02,1.295749e-02,1.296013e-02,1.296697e-02,1.297753e-02,1.299134e-02,1.300797e-02
0.000000e+00,3.718937e-09,1.548986e-07,1.635541e-07,1.537527e-06,7.303695e-06,7.718844e-06,2.487190e-05,5.421143e-05,5.646833e-05,9.808993e-05,1.385833e-04,1.420543e-04,1.838169e-04,2.182867e-04,2.219230e-04,2.561846e-04,2.832929e-04,2.867790e-04,3.139683e-04,3.348333e-04,3.380218e-04,3.591972e-04,3.749377e-04,3.777363e-04,3.938633e-04,4.054344e-04,4.077869e-04,4.197005e-04,4.279047e-04,4.297828e-04,4.381992e-04,4.437059e-04,4.451019e-04,4.506311e-04,4.539943e-04,4.549155e-04,4.580736e-04,4.597496e-04,4.602138e-04,4.614355e-04,4.617979e-04,4.618298e-04,4.614800e-04,4.608335e-04,4.604623e-04,4.588462e-04,4.574382e-04,4.566954e-04,4.540680e-04,4.520988e-04,4.510170e-04,4.475908e-04,4.452215e-04,4.438333e-04,4.397849e-04,4.371449e-04,4.354821e-04,4.309582e-04,4.281505e-04,4.262435e-04,4.213657e-04,4.184717e-04,4.163497e-04,4.112183e-04,4.083020e-04,4.059921e-04,4.006899e-04,3.978011e-04,3.953285e-04,3.899234e-04,3.871001e-04,3.844883e-04,3.790358e-04,3.763066e-04,3.735771e-04,3.681225e-04,3.655084e-04,3.626809e-04,3.572606e-04,3.547765e-04,3.518689e-04,3.465124e-04,3.441682e-04,3.411968e-04,3.359274e-04,3.337291e-04,3.307086e-04,3.255445e-04,3.234951e-04,3.204388e-04,3.153943e-04,3.134941e-04,3.104139e-04,3.054998e-04,3.037474e-04,3.006540e-04,2.958782e-04,2.942706e-04,2.911737e-04,2.865416e-04,2.850747e-04,2.819828e-04,2.774981e-04,2.761671e-04,2.730878e-04,2.687524e-04,2.675519e-04,2.644920e-04,2.603066e-04,2.592307e-04,2.561962e-04,2.521605e-04,2.512030e-04,2.481992e-04,2.443119e-04,2.434666e-04,2.404982e-04,2.367575e-04,2.360181e-04,2.330892e-04,2.294926e-04,2.288528e-04,2.259670e-04,2.225116e-04,2.219652e-04,2.191256e-04,2.158082e-04,2.153492e-04,2.125586e-04,2.093758e-04,2.089983e-04,2.062589e-04,2.032070e-04,2.029054e-04,2.002193e-04,1.972946e-04,1.970633e-04,1.944321e-04,1.916308e-04,1.914646e-04,1.888897e-04,1.862079e-04,1.861018e-04,1.835843e-04,1.810181e-04,1.809674e-04,1.785083e-04,1.760539e-04,1.713537e-04,1.668597e-04,1.625646e-04,1.584612e-04,1.545426e-04,1.508020e-04,1.472329e-04,1.438288e-04,1.405835e-04,1.374909e-04,1.345451e-04,1.317406e-04,1.290718e-04,1.265333e-04,1.241201e-04,1.218272e-04,1.196499e-04,1.175834e-04,1.156234e-04,1.137655e-04,1.120057e-04,1.103399e-04,1.087642e-04,1.072750e-04,1.058687e-04,1.045418e-04,1.032911e-04,1.021133e-04,1.010054e-04,9.996434e-05,9.898734e-05,9.807163e-05,9.721455e-05,9.641357e-05,9.566622e-05,9.497015e-05,9.432307e-05,9.372279e-05,9.316720e-05,9.265427e-05,9.218204e-05,9.174863e-05,9.135223e-05,9.099108e-05,9.066352e-05,9.036791e-05,9.010271e-05,8.986643e-05,8.965761e-05
0.000000e+00,2.267161e-10,1.958111e-08,2.091880e-08,3.167717e-07,2.141215e-06,2.294328e-06,1.032827e-05,3.056754e-05,3.246077e-05,7.699804e-05,1.403559e-04,1.468038e-04,2.374209e-04,3.296736e-04,3.402452e-04,4.466119e-04,5.379174e-04,5.500168e-04,6.464879e-04,7.223737e-04,7.340648e-04,8.121018e-04,8.703446e-04,8.807043e-04,9.403599e-04,9.830573e-04,9.917217e-04,1.035492e-03,1.065509e-03,1.072364e-03,1.102998e-03,1.122956e-03,1.128005e-03,1.147951e-03,1.160045e-03,1.163353e-03,1.174683e-03,1.180701e-03,1.182372e-03,1.186811e-03,1.188195e-03,1.188354e-03,1.187324e-03,1.185230e-03,1.184013e-03,1.178685e-03,1.174034e-03,1.171580e-03,1.162915e-03,1.156438e-03,1.152887e-03,1.141672e-03,1.133948e-03,1.129433e-03,1.116313e-03,1.107795e-03,1.102443e-03,1.087940e-03,1.078979e-03,1.072909e-03,1.057446e-03,1.048314e-03,1.041636e-03,1.025555e-03,1.016457e-03,1.009271e-03,9.928450e-04,9.839358e-04,9.763325e-04,9.597821e-04,9.511755e-04,9.432371e-04,9.267357e-04,9.185121e-04,9.103118e-04,8.939951e-04,8.862090e-04,8.778121e-04,8.617858e-04,8.544721e-04,8.459365e-04,8.302816e-04,8.234590e-04,8.148360e-04,7.996125e-04,7.932876e-04,7.846220e-04,7.698736e-04,7.640438e-04,7.553750e-04,7.411322e-04,7.357880e-04,7.271500e-04,7.134321e-04,7.085589e-04,6.999812e-04,6.867990e-04,6.823784e-04,6.738864e-04,6.612436e-04,6.572549e-04,6.488703e-04,6.367654e-04,6.331861e-04,6.249275e-04,6.133545e-04,6.101612e-04,6.020441e-04,5.909937e-04,5.881627e-04,5.802001e-04,5.696601e-04,5.671678e-04,5.593703e-04,5.493269e-04,5.471501e-04,5.395263e-04,5.299644e-04,5.280803e-04,5.206372e-04,5.115405e-04,5.099273e-04,5.026702e-04,4.940219e-04,4.926585e-04,4.855914e-04,4.773743e-04,4.762407e-04,4.693663e-04,4.615632e-04,4.606404e-04,4.539605e-04,4.465541e-04,4.458241e-04,4.393396e-04,4.323127e-04,4.317586e-04,4.254694e-04,4.188055e-04,4.184112e-04,4.123168e-04,4.059994e-04,4.057502e-04,3.998492e-04,3.938623e-04,3.937442e-04,3.880349e-04,3.823632e-04,3.715778e-04,3.613600e-04,3.516824e-04,3.425191e-04,3.338449e-04,3.256358e-04,3.178689e-04,3.105222e-04,3.035747e-04,2.970064e-04,2.907983e-04,2.849319e-04,2.793902e-04,2.741564e-04,2.692150e-04,2.645509e-04,2.601499e-04,2.559985e-04,2.520837e-04,2.483934e-04,2.449160e-04,2.416403e-04,2.385559e-04,2.356528e-04,2.329216e-04,2.303532e-04,2.279391e-04,2.256712e-04,2.235417e-04,2.215434e-04,2.196693e-04,2.179129e-04,2.162678e-04,2.147281e-04,2.132882e-04,2.119427e-04,2.106865e-04,2.095149e-04,2.084232e-04,2.074072e-04,2.064626e-04,2.055856e-04,2.047724e-04,2.040196e-04,2.033239e-04,2.026819e-04,2.020908e-04,2.015476e-04,2.010498e-04
0.000000e+00,5.155437e-10,5.512578e-08,5.917269e-08,1.113346e-06,8.655781e-06,9.314969e-06,4.523605e-05,1.375623e-04,1.461933e-04,3.483459e-04,6.359453e-04,6.653805e-04,1.084955e-03,1.527118e-03,1.578942e-03,2.115404e-03,2.600187e-03,2.666287e-03,3.210434e-03,3.662002e-03,3.733614e-03,4.227230e-03,4.615623e-03,4.686758e-03,5.110382e-03,5.430846e-03,5.497987e-03,5.850458e-03,6.108098e-03,6.169239e-03,6.456054e-03,6.658764e-03,6.712747e-03,6.941187e-03,7.097036e-03,7.143208e-03,7.320579e-03,7.436966e-03,7.474999e-03,7.608080e-03,7.691544e-03,7.721345e-03,7.816228e-03,7.872436e-03,7.894081e-03,7.956170e-03,7.989996e-03,8.003683e-03,8.037736e-03,8.053345e-03,8.059368e-03,8.069556e-03,8.070495e-03,8.069212e-03,8.059189e-03,8.048465e-03,8.040282e-03,8.013237e-03,7.993394e-03,7.978748e-03,7.937466e-03,7.910649e-03,7.889995e-03,7.836903e-03,7.804913e-03,7.778716e-03,7.715927e-03,7.680271e-03,7.648996e-03,7.578351e-03,7.540281e-03,7.504391e-03,7.427486e-03,7.388039e-03,7.347984e-03,7.266206e-03,7.226233e-03,7.182451e-03,7.096998e-03,7.057191e-03,7.010105e-03,6.922012e-03,6.882929e-03,6.832942e-03,6.743102e-03,6.705185e-03,6.652682e-03,6.561859e-03,6.525454e-03,6.470797e-03,6.379648e-03,6.345017e-03,6.288549e-03,6.197629e-03,6.164965e-03,6.107007e-03,6.016790e-03,5.986227e-03,5.927078e-03,5.837962e-03,5.809584e-03,5.749524e-03,5.661841e-03,5.635694e-03,5.574981e-03,5.489006e-03,5.465099e-03,5.403972e-03,5.319931e-03,5.298249e-03,5.236927e-03,5.155001e-03,5.135504e-03,5.074189e-03,4.994523e-03,4.977153e-03,4.916030e-03,4.838735e-03,4.823421e-03,4.762658e-03,4.687816e-03,4.674477e-03,4.614225e-03,4.541895e-03,4.530440e-03,4.470836e-03,4.401055e-03,4.391388e-03,4.332557e-03,4.265343e-03,4.257364e-03,4.199415e-03,4.134771e-03,4.128378e-03,4.071410e-03,4.009326e-03,4.004414e-03,3.948515e-03,3.888970e-03,3.885437e-03,3.830682e-03,3.773644e-03,3.771389e-03,3.717845e-03,3.663275e-03,3.662196e-03,3.609923e-03,3.557775e-03,3.458027e-03,3.362848e-03,3.272123e-03,3.185736e-03,3.103563e-03,3.025477e-03,2.951352e-03,2.881058e-03,2.814464e-03,2.751442e-03,2.691862e-03,2.635595e-03,2.582515e-03,2.532497e-03,2.485419e-03,2.441159e-03,2.399598e-03,2.360623e-03,2.324119e-03,2.289975e-03,2.258086e-03,2.228345e-03,2.200652e-03,2.174907e-03,2.151014e-03,2.128881e-03,2.108418e-03,2.089537e-03,2.072154e-03,2.056187e-03,2.041558e-03,2.028191e-03,2.016012e-03,2.004951e-03,1.994940e-03,1.985913e-03,1.977809e-03,1.970565e-03,1.964126e-03,1.958434e-03,1.953438e-03,1.949086e-03,1.945329e-03,1.942123e-03,1.939421e-03,1.937183e-03,1.935368e-03,1.933939e-03,1.932859e-03
0.000000e+00,8.033487e-09,1.043349e-07,1.086876e-07,6.011671e-07,1.931063e-06,2.011239e-06,4.717821e-06,8.357216e-06,8.616900e-06,1.322679e-05,1.763308e-05,1.801251e-05,2.261803e-05,2.648293e-05,2.689425e-05,3.080564e-05,3.394994e-05,3.435777e-05,3.756844e-05,4.007243e-05,4.045854e-05,4.304927e-05,4.500917e-05,4.536116e-05,4.741384e-05,4.891666e-05,4.922586e-05,5.081475e-05,5.193629e-05,5.219695e-05,5.338791e-05,5.419345e-05,5.440211e-05,5.525309e-05,5.579852e-05,5.595354e-05,5.651532e-05,5.684829e-05,5.694949e-05,5.726641e-05,5.742744e-05,5.747573e-05,5.758647e-05,5.760985e-05,5.760703e-05,5.754524e-05,5.745993e-05,5.740839e-05,5.720325e-05,5.703355e-05,5.693615e-05,5.661295e-05,5.637920e-05,5.623911e-05,5.581967e-05,5.553878e-05,5.535931e-05,5.486243e-05,5.454849e-05,5.433313e-05,5.377512e-05,5.343970e-05,5.319188e-05,5.258663e-05,5.223920e-05,5.196235e-05,5.132176e-05,5.096997e-05,5.066741e-05,5.000161e-05,4.965159e-05,4.932652e-05,4.864413e-05,4.830078e-05,4.795627e-05,4.726461e-05,4.693172e-05,4.657067e-05,4.587586e-05,4.555631e-05,4.518146e-05,4.448862e-05,4.418455e-05,4.379842e-05,4.311183e-05,4.282474e-05,4.242971e-05,4.175287e-05,4.148377e-05,4.108202e-05,4.041782e-05,4.016728e-05,3.976082e-05,3.911155e-05,3.887980e-05,3.847046e-05,3.783795e-05,3.762492e-05,3.721438e-05,3.660004e-05,3.640544e-05,3.599520e-05,3.540009e-05,3.522349e-05,3.481490e-05,3.423979e-05,3.408058e-05,3.367487e-05,3.312025e-05,3.297774e-05,3.257599e-05,3.204215e-05,3.191559e-05,3.151875e-05,3.100580e-05,3.089435e-05,3.050328e-05,3.001116e-05,2.991399e-05,2.952941e-05,2.905796e-05,2.897419e-05,2.859675e-05,2.814568e-05,2.807445e-05,2.770468e-05,2.727364e-05,2.721409e-05,2.685246e-05,2.644101e-05,2.639228e-05,2.603917e-05,2.564683e-05,2.560811e-05,2.526383e-05,2.489006e-05,2.486055e-05,2.452537e-05,2.416960e-05,2.414854e-05,2.382263e-05,2.348430e-05,2.347094e-05,2.315445e-05,2.283294e-05,2.282660e-05,2.251962e-05,2.221433e-05,2.163295e-05,2.108128e-05,2.055811e-05,2.006230e-05,1.959269e-05,1.914815e-05,1.872757e-05,1.832989e-05,1.795406e-05,1.759908e-05,1.726395e-05,1.694775e-05,1.664955e-05,1.636849e-05,1.610371e-05,1.585442e-05,1.561983e-05,1.539921e-05,1.519184e-05,1.499704e-05,1.481417e-05,1.464260e-05,1.448174e-05,1.433102e-05,1.418991e-05,1.405790e-05,1.393449e-05,1.381922e-05,1.371165e-05,1.361136e-05,1.351795e-05,1.343103e-05,1.335025e-05,1.327527e-05,1.320575e-05,1.314139e-05,1.308190e-05,1.302699e-05,1.297641e-05,1.292990e-05,1.288722e-05,1.284815e-05,1.281248e-05,1.278000e-05,1.275053e-05,1.272387e-05,1.269987e-05,1.267835e-05,1.265916e-05
0.000000e+00,1.095963e-10,1.115350e-08,1.194219e-08,1.952139e-07,1.400873e-06,1.505584e-06,7.464215e-06,2.509570e-05,2.689695e-05,7.554294e-05,1.636818e-04,1.738643e-04,3.413126e-04,5.618207e-04,5.906002e-04,9.249265e-04,1.284993e-03,1.338423e-03,1.818534e-03,2.272324e-03,2.348962e-03,2.912294e-03,3.398722e-03,3.491928e-03,4.073244e-03,4.542625e-03,4.644169e-03,5.195280e-03,5.617168e-03,5.719643e-03,6.212489e-03,6.573062e-03,6.670843e-03,7.093156e-03,7.389699e-03,7.478974e-03,7.828650e-03,8.064671e-03,8.143112e-03,8.423680e-03,8.605580e-03,8.671929e-03,8.889574e-03,9.024673e-03,9.078403e-03,9.240219e-03,9.335734e-03,9.376802e-03,9.489884e-03,9.552455e-03,9.581128e-03,9.652127e-03,9.687641e-03,9.704389e-03,9.739344e-03,9.752918e-03,9.758338e-03,9.762638e-03,9.758662e-03,9.753433e-03,9.731839e-03,9.714052e-03,9.698900e-03,9.655597e-03,9.627162e-03,9.602842e-03,9.541493e-03,9.505075e-03,9.472349e-03,9.396157e-03,9.353985e-03,9.313614e-03,9.225370e-03,9.179301e-03,9.132032e-03,9.034166e-03,8.985738e-03,8.932298e-03,8.826919e-03,8.777392e-03,8.718484e-03,8.607417e-03,8.557816e-03,8.494112e-03,8.378934e-03,8.330083e-03,8.262222e-03,8.144291e-03,8.096843e-03,8.025432e-03,7.905913e-03,7.860376e-03,7.785984e-03,7.665872e-03,7.622628e-03,7.545788e-03,7.425926e-03,7.385256e-03,7.306466e-03,7.187570e-03,7.149668e-03,7.069389e-03,6.952061e-03,6.917047e-03,6.835709e-03,6.720447e-03,6.688384e-03,6.606379e-03,6.493595e-03,6.464492e-03,6.382180e-03,6.272209e-03,6.246038e-03,6.163748e-03,6.056857e-03,6.033557e-03,5.951587e-03,5.847985e-03,5.827469e-03,5.746091e-03,5.645938e-03,5.628097e-03,5.547555e-03,5.450965e-03,5.435679e-03,5.356190e-03,5.263242e-03,5.250376e-03,5.172135e-03,5.082875e-03,5.072288e-03,4.995467e-03,4.909912e-03,4.901458e-03,4.826209e-03,4.744354e-03,4.737886e-03,4.664341e-03,4.586161e-03,4.581528e-03,4.509803e-03,4.435254e-03,4.432310e-03,4.362502e-03,4.291530e-03,4.290129e-03,4.222322e-03,4.154858e-03,4.026353e-03,3.904452e-03,3.788983e-03,3.679763e-03,3.576602e-03,3.479306e-03,3.387675e-03,3.301510e-03,3.220610e-03,3.144775e-03,3.073804e-03,3.007502e-03,2.945675e-03,2.888131e-03,2.834683e-03,2.785149e-03,2.739349e-03,2.697110e-03,2.658262e-03,2.622640e-03,2.590084e-03,2.560440e-03,2.533557e-03,2.509291e-03,2.487501e-03,2.468052e-03,2.450812e-03,2.435657e-03,2.422464e-03,2.411117e-03,2.401503e-03,2.393514e-03,2.387046e-03,2.382000e-03,2.378280e-03,2.375793e-03,2.374453e-03,2.374174e-03,2.374876e-03,2.376483e-03,2.378920e-03,2.382118e-03,2.386009e-03,2.390531e-03,2.395622e-03,2.401225e-03,2.407285e-03,2.413750e-03,2.420572e-03
0.000000e+00,7.906262e-09,1.706586e-07,1.791084e-07,1.258434e-06,4.314076e-06,4.495665e-06,1.029584e-05,1.704097e-05,1.748057e-05,2.459146e-05,3.054312e-05,3.103010e-05,3.670993e-05,4.120766e-05,4.167362e-05,4.598594e-05,4.929344e-05,4.971158e-05,5.291083e-05,5.528334e-05,5.563881e-05,5.794557e-05,5.959096e-05,5.987636e-05,6.147201e-05,6.255623e-05,6.276923e-05,6.380104e-05,6.445542e-05,6.459708e-05,6.518387e-05,6.551172e-05,6.558523e-05,6.582247e-05,6.590484e-05,6.591470e-05,6.587902e-05,6.577932e-05,6.573071e-05,6.548342e-05,6.525093e-05,6.514927e-05,6.473918e-05,6.441225e-05,6.426300e-05,6.372971e-05,6.333856e-05,6.314726e-05,6.252254e-05,6.209014e-05,6.186182e-05,6.117068e-05,6.071470e-05,6.045407e-05,5.971635e-05,5.925010e-05,5.896143e-05,5.819280e-05,5.772635e-05,5.741357e-05,5.662649e-05,5.616736e-05,5.583400e-05,5.503825e-05,5.459194e-05,5.424117e-05,5.344443e-05,5.301488e-05,5.264955e-05,5.185783e-05,5.144777e-05,5.107042e-05,5.028833e-05,4.989956e-05,4.951243e-05,4.874349e-05,4.837707e-05,4.798217e-05,4.722905e-05,4.688550e-05,4.648460e-05,4.574925e-05,4.542866e-05,4.502333e-05,4.430715e-05,4.400932e-05,4.360095e-05,4.290491e-05,4.262938e-05,4.221919e-05,4.154391e-05,4.129006e-05,4.087916e-05,4.022498e-05,3.999207e-05,3.958141e-05,3.894846e-05,3.873567e-05,3.832610e-05,3.771432e-05,3.752077e-05,3.711306e-05,3.652227e-05,3.634706e-05,3.594187e-05,3.537178e-05,3.521399e-05,3.481192e-05,3.426218e-05,3.412089e-05,3.372246e-05,3.319264e-05,3.306695e-05,3.267262e-05,3.216227e-05,3.205128e-05,3.166147e-05,3.117008e-05,3.107293e-05,3.068799e-05,3.021507e-05,3.013090e-05,2.975117e-05,2.929617e-05,2.922419e-05,2.884994e-05,2.841233e-05,2.835175e-05,2.798323e-05,2.756249e-05,2.751255e-05,2.714997e-05,2.674556e-05,2.670556e-05,2.634911e-05,2.596050e-05,2.592974e-05,2.557959e-05,2.520625e-05,2.518409e-05,2.484037e-05,2.448181e-05,2.446762e-05,2.413044e-05,2.378615e-05,2.377934e-05,2.344881e-05,2.311830e-05,2.248358e-05,2.187427e-05,2.128949e-05,2.072839e-05,2.019012e-05,1.967390e-05,1.917893e-05,1.870447e-05,1.824978e-05,1.781416e-05,1.739692e-05,1.699740e-05,1.661496e-05,1.624898e-05,1.589887e-05,1.556404e-05,1.524395e-05,1.493805e-05,1.464582e-05,1.436676e-05,1.410039e-05,1.384623e-05,1.360384e-05,1.337277e-05,1.315261e-05,1.294295e-05,1.274339e-05,1.255355e-05,1.237308e-05,1.220160e-05,1.203879e-05,1.188430e-05,1.173783e-05,1.159906e-05,1.146770e-05,1.134345e-05,1.122605e-05,1.111522e-05,1.101070e-05,1.091224e-05,1.081961e-05,1.073257e-05,1.065089e-05,1.057435e-05,1.050275e-05,1.043589e-05,1.037356e-05,1.031559e-05,1.026178e-05
0.000000e+00,5.084936e-09,6.159235e-08,6.418525e-08,3.791134e-07,1.336700e-06,1.397057e-06,3.468100e-06,6.097189e-06,6.274588e-06,9.251409e-06,1.192015e-05,1.214672e-05,1.489478e-05,1.723093e-05,1.748245e-05,1.991016e-05,2.191741e-05,2.218196e-05,2.430312e-05,2.601118e-05,2.627935e-05,2.811655e-05,2.955675e-05,2.982073e-05,3.139788e-05,3.260054e-05,3.285397e-05,3.419483e-05,3.518839e-05,3.542616e-05,3.655351e-05,3.736410e-05,3.758222e-05,3.851745e-05,3.916878e-05,3.936417e-05,4.012713e-05,4.064049e-05,4.081089e-05,4.141981e-05,4.181424e-05,4.195806e-05,4.242963e-05,4.272209e-05,4.283831e-05,4.318774e-05,4.339327e-05,4.348137e-05,4.372250e-05,4.385442e-05,4.391428e-05,4.405968e-05,4.412973e-05,4.416157e-05,4.422265e-05,4.424116e-05,4.424549e-05,4.423255e-05,4.420858e-05,4.418615e-05,4.410851e-05,4.405000e-05,4.400174e-05,4.386783e-05,4.378170e-05,4.370868e-05,4.352609e-05,4.341834e-05,4.332176e-05,4.309732e-05,4.297317e-05,4.285430e-05,4.259416e-05,4.245810e-05,4.231827e-05,4.202793e-05,4.188381e-05,4.172440e-05,4.140883e-05,4.125993e-05,4.108233e-05,4.074594e-05,4.059506e-05,4.040066e-05,4.004742e-05,3.989690e-05,3.968710e-05,3.932053e-05,3.917232e-05,3.894849e-05,3.857173e-05,3.842747e-05,3.819094e-05,3.780678e-05,3.766777e-05,3.741986e-05,3.703077e-05,3.689808e-05,3.664005e-05,3.624822e-05,3.612268e-05,3.585575e-05,3.546310e-05,3.534533e-05,3.507068e-05,3.467889e-05,3.456935e-05,3.428810e-05,3.389866e-05,3.379766e-05,3.351088e-05,3.312506e-05,3.303279e-05,3.274149e-05,3.236041e-05,3.227694e-05,3.198208e-05,3.160670e-05,3.153200e-05,3.123448e-05,3.086562e-05,3.079960e-05,3.050028e-05,3.013863e-05,3.008112e-05,2.978081e-05,2.942694e-05,2.937773e-05,2.907716e-05,2.873157e-05,2.869038e-05,2.839026e-05,2.805333e-05,2.801988e-05,2.772084e-05,2.739288e-05,2.736684e-05,2.706949e-05,2.675073e-05,2.673176e-05,2.643665e-05,2.612728e-05,2.611500e-05,2.582264e-05,2.552277e-05,2.551683e-05,2.522768e-05,2.493738e-05,2.437674e-05,2.383490e-05,2.331178e-05,2.280723e-05,2.232109e-05,2.185312e-05,2.140304e-05,2.097055e-05,2.055534e-05,2.015703e-05,1.977526e-05,1.940964e-05,1.905976e-05,1.872522e-05,1.840560e-05,1.810046e-05,1.780939e-05,1.753196e-05,1.726774e-05,1.701630e-05,1.677721e-05,1.655007e-05,1.633445e-05,1.612995e-05,1.593616e-05,1.575268e-05,1.557914e-05,1.541515e-05,1.526034e-05,1.511433e-05,1.497679e-05,1.484736e-05,1.472570e-05,1.461150e-05,1.450441e-05,1.440415e-05,1.431040e-05,1.422288e-05,1.414130e-05,1.406538e-05,1.399487e-05,1.392950e-05,1.386903e-05,1.381321e-05,1.376182e-05,1.371463e-05,1.367143e-05,1.363201e-05,1.359616e-05
0.000000e+00,4.996078e-10,3.888061e-08,4.149426e-08,6.119190e-07,3.993276e-06,4.268616e-06,1.755872e-05,4.536103e-05,4.769464e-05,9.504910e-05,1.483053e-04,1.531644e-04,2.146628e-04,2.687855e-04,2.746298e-04,3.306792e-04,3.760745e-04,3.819711e-04,4.284063e-04,4.646047e-04,4.701839e-04,5.076038e-04,5.359049e-04,5.409884e-04,5.706542e-04,5.924168e-04,5.969021e-04,6.200149e-04,6.364252e-04,6.402555e-04,6.578683e-04,6.699278e-04,6.730790e-04,6.860964e-04,6.946417e-04,6.971129e-04,7.063057e-04,7.120304e-04,7.138374e-04,7.198577e-04,7.233338e-04,7.245036e-04,7.279009e-04,7.295984e-04,7.301651e-04,7.314018e-04,7.317056e-04,7.317079e-04,7.311722e-04,7.303973e-04,7.298760e-04,7.278938e-04,7.262968e-04,7.252937e-04,7.221381e-04,7.199279e-04,7.184841e-04,7.143840e-04,7.117299e-04,7.098856e-04,7.050326e-04,7.020713e-04,6.998650e-04,6.944193e-04,6.912607e-04,6.887288e-04,6.828241e-04,6.795564e-04,6.767331e-04,6.704811e-04,6.671742e-04,6.640913e-04,6.575849e-04,6.542941e-04,6.509812e-04,6.442977e-04,6.410661e-04,6.375505e-04,6.307541e-04,6.276150e-04,6.239218e-04,6.170656e-04,6.140441e-04,6.101964e-04,6.033241e-04,6.004390e-04,5.964577e-04,5.896053e-04,5.868700e-04,5.827744e-04,5.759714e-04,5.733949e-04,5.692025e-04,5.624729e-04,5.600608e-04,5.557874e-04,5.491506e-04,5.469058e-04,5.425660e-04,5.360373e-04,5.339605e-04,5.295675e-04,5.231593e-04,5.212492e-04,5.168150e-04,5.105367e-04,5.087909e-04,5.043263e-04,4.981854e-04,4.966003e-04,4.921152e-04,4.861170e-04,4.846882e-04,4.801916e-04,4.743399e-04,4.730625e-04,4.685624e-04,4.628597e-04,4.617282e-04,4.572321e-04,4.516799e-04,4.506885e-04,4.462031e-04,4.408017e-04,4.399445e-04,4.354758e-04,4.302252e-04,4.294962e-04,4.250497e-04,4.199490e-04,4.193419e-04,4.149227e-04,4.099705e-04,4.094793e-04,4.050919e-04,4.002865e-04,3.999052e-04,3.955536e-04,3.908928e-04,3.906155e-04,3.863035e-04,3.817850e-04,3.816058e-04,3.773368e-04,3.729581e-04,3.728712e-04,3.686483e-04,3.644066e-04,3.562065e-04,3.482653e-04,3.405771e-04,3.331361e-04,3.259363e-04,3.189718e-04,3.122367e-04,3.057251e-04,2.994312e-04,2.933491e-04,2.874731e-04,2.817978e-04,2.763174e-04,2.710266e-04,2.659201e-04,2.609926e-04,2.562391e-04,2.516545e-04,2.472340e-04,2.429727e-04,2.388662e-04,2.349097e-04,2.310989e-04,2.274295e-04,2.238972e-04,2.204980e-04,2.172278e-04,2.140827e-04,2.110591e-04,2.081531e-04,2.053611e-04,2.026798e-04,2.001056e-04,1.976353e-04,1.952656e-04,1.929934e-04,1.908156e-04,1.887293e-04,1.867316e-04,1.848196e-04,1.829907e-04,1.812422e-04,1.795715e-04,1.779760e-04,1.764534e-04,1.750012e-04,1.736172e-04,1.722990e-04,1.710446e-04
0.000000e+00,4.389812e-10,3.077440e-08,3.275476e-08,4.219131e-07,2.510779e-06,2.676792e-06,1.063308e-05,2.779203e-05,2.926758e-05,5.990807e-05,9.449000e-05,9.758134e-05,1.348389e-04,1.636165e-04,1.664472e-04,1.905344e-04,2.057776e-04,2.074723e-04,2.185536e-04,2.244827e-04,2.251930e-04,2.286019e-04,2.296598e-04,2.297143e-04,2.292152e-04,2.279527e-04,2.275956e-04,2.252033e-04,2.229011e-04,2.222843e-04,2.190128e-04,2.162974e-04,2.155127e-04,2.118728e-04,2.090524e-04,2.081561e-04,2.044083e-04,2.016343e-04,2.006617e-04,1.969390e-04,1.942827e-04,1.932563e-04,1.896249e-04,1.871177e-04,1.860526e-04,1.825447e-04,1.801979e-04,1.791046e-04,1.757343e-04,1.735486e-04,1.724348e-04,1.692066e-04,1.671778e-04,1.660494e-04,1.629628e-04,1.610841e-04,1.599458e-04,1.569976e-04,1.552612e-04,1.541170e-04,1.513028e-04,1.497006e-04,1.485538e-04,1.458687e-04,1.443925e-04,1.432462e-04,1.406849e-04,1.393269e-04,1.381836e-04,1.357410e-04,1.344935e-04,1.333557e-04,1.310264e-04,1.298824e-04,1.287519e-04,1.265309e-04,1.254835e-04,1.243623e-04,1.222447e-04,1.212875e-04,1.201771e-04,1.181583e-04,1.172851e-04,1.161871e-04,1.142624e-04,1.134676e-04,1.123831e-04,1.105483e-04,1.098265e-04,1.087567e-04,1.070075e-04,1.063537e-04,1.052996e-04,1.036320e-04,1.030414e-04,1.020038e-04,1.004140e-04,9.988212e-05,9.886183e-05,9.734626e-05,9.686888e-05,9.586647e-05,9.442161e-05,9.399483e-05,9.301084e-05,9.163335e-05,9.125351e-05,9.028836e-05,8.897507e-05,8.863872e-05,8.769275e-05,8.644065e-05,8.614456e-05,8.521805e-05,8.402424e-05,8.376539e-05,8.285853e-05,8.172026e-05,8.149584e-05,8.060876e-05,7.952340e-05,7.933077e-05,7.846356e-05,7.742861e-05,7.726529e-05,7.641796e-05,7.543104e-05,7.529473e-05,7.446727e-05,7.352610e-05,7.341465e-05,7.260699e-05,7.170940e-05,7.162081e-05,7.083283e-05,6.997677e-05,6.990915e-05,6.914072e-05,6.832421e-05,6.827583e-05,6.752677e-05,6.674795e-05,6.671718e-05,6.598729e-05,6.524436e-05,6.522968e-05,6.451874e-05,6.381001e-05,6.245499e-05,6.116158e-05,5.992690e-05,5.874820e-05,5.762285e-05,5.654836e-05,5.552235e-05,5.454255e-05,5.360680e-05,5.271305e-05,5.185934e-05,5.104380e-05,5.026466e-05,4.952021e-05,4.880884e-05,4.812903e-05,4.747929e-05,4.685824e-05,4.626455e-05,4.569695e-05,4.515423e-05,4.463525e-05,4.413892e-05,4.366418e-05,4.321005e-05,4.277558e-05,4.235987e-05,4.196205e-05,4.158132e-05,4.121689e-05,4.086801e-05,4.053398e-05,4.021413e-05,3.990780e-05,3.961440e-05,3.933333e-05,3.906404e-05,3.880599e-05,3.855869e-05,3.832165e-05,3.809441e-05,3.787653e-05,3.766759e-05,3.746721e-05,3.727499e-05,3.709057e-05,3.691362e-05,3.674380e-05,3.658080e-05
0.000000e+00,1.779675e-09,9.753320e-08,1.034071e-07,1.122793e-06,5.703292e-06,6.039677e-06,2.032250e-05,4.621155e-05,4.828059e-05,8.845585e-05,1.308281e-04,1.345808e-04,1.807718e-04,2.198390e-04,2.239892e-04,2.632538e-04,2.944544e-04,2.984723e-04,3.298384e-04,3.539351e-04,3.576188e-04,3.820887e-04,4.002788e-04,4.035122e-04,4.221358e-04,4.354809e-04,4.381914e-04,4.518973e-04,4.613081e-04,4.634579e-04,4.730627e-04,4.793101e-04,4.808872e-04,4.870935e-04,4.908207e-04,4.918314e-04,4.952386e-04,4.969782e-04,4.974420e-04,4.985585e-04,4.987500e-04,4.986954e-04,4.979512e-04,4.969548e-04,4.964165e-04,4.941743e-04,4.922847e-04,4.913009e-04,4.878660e-04,4.853227e-04,4.839336e-04,4.795621e-04,4.765588e-04,4.748050e-04,4.697113e-04,4.664039e-04,4.643256e-04,4.586885e-04,4.552012e-04,4.528372e-04,4.468055e-04,4.432367e-04,4.406242e-04,4.343211e-04,4.307479e-04,4.279218e-04,4.214492e-04,4.179308e-04,4.149240e-04,4.083652e-04,4.049470e-04,4.017897e-04,3.952128e-04,3.919281e-04,3.886482e-04,3.821084e-04,3.789813e-04,3.756042e-04,3.691457e-04,3.661925e-04,3.627414e-04,3.563992e-04,3.536301e-04,3.501259e-04,3.439275e-04,3.413478e-04,3.378093e-04,3.317758e-04,3.293870e-04,3.258308e-04,3.199779e-04,3.177784e-04,3.142196e-04,3.085585e-04,3.065446e-04,3.029963e-04,2.975345e-04,2.957007e-04,2.921744e-04,2.869167e-04,2.852560e-04,2.817620e-04,2.767104e-04,2.752151e-04,2.717621e-04,2.669168e-04,2.655786e-04,2.621742e-04,2.575336e-04,2.563437e-04,2.529945e-04,2.485558e-04,2.475054e-04,2.442168e-04,2.399762e-04,2.390564e-04,2.358329e-04,2.317857e-04,2.309877e-04,2.278333e-04,2.239742e-04,2.232894e-04,2.202071e-04,2.165304e-04,2.159504e-04,2.129427e-04,2.094424e-04,2.089592e-04,2.060279e-04,2.026977e-04,2.023037e-04,1.994502e-04,1.962837e-04,1.959714e-04,1.931967e-04,1.901875e-04,1.899500e-04,1.872545e-04,1.843962e-04,1.842270e-04,1.816109e-04,1.788970e-04,1.787900e-04,1.762531e-04,1.736775e-04,1.736267e-04,1.711688e-04,1.687253e-04,1.640740e-04,1.596615e-04,1.554767e-04,1.515089e-04,1.477479e-04,1.441836e-04,1.408066e-04,1.376077e-04,1.345781e-04,1.317094e-04,1.289936e-04,1.264230e-04,1.239902e-04,1.216884e-04,1.195108e-04,1.174511e-04,1.155033e-04,1.136615e-04,1.119204e-04,1.102748e-04,1.087196e-04,1.072502e-04,1.058622e-04,1.045513e-04,1.033136e-04,1.021450e-04,1.010422e-04,1.000015e-04,9.901983e-05,9.809399e-05,9.722108e-05,9.639830e-05,9.562302e-05,9.489273e-05,9.420505e-05,9.355773e-05,9.294864e-05,9.237574e-05,9.183712e-05,9.133096e-05,9.085554e-05,9.040920e-05,8.999041e-05,8.959769e-05,8.922965e-05,8.888497e-05,8.856239e-05,8.826073e-05,8.797886e-05
0.000000e+00,4.019126e-09,5.611516e-08,5.855032e-08,3.643164e-07,1.347925e-06,1.411731e-06,3.700060e-06,6.783455e-06,6.993575e-06,1.045789e-05,1.338180e-05,1.362018e-05,1.638043e-05,1.853138e-05,1.875206e-05,2.077212e-05,2.229010e-05,2.247975e-05,2.391132e-05,2.494676e-05,2.509960e-05,2.607389e-05,2.674611e-05,2.686030e-05,2.748207e-05,2.788364e-05,2.795987e-05,2.831204e-05,2.851434e-05,2.855487e-05,2.870271e-05,2.876032e-05,2.876828e-05,2.876278e-05,2.871717e-05,2.869606e-05,2.857681e-05,2.845927e-05,2.841266e-05,2.821029e-05,2.804425e-05,2.797558e-05,2.771368e-05,2.751658e-05,2.742905e-05,2.712560e-05,2.691026e-05,2.680674e-05,2.647540e-05,2.625116e-05,2.613418e-05,2.578535e-05,2.555905e-05,2.543092e-05,2.507260e-05,2.484914e-05,2.471188e-05,2.435008e-05,2.413299e-05,2.398841e-05,2.362803e-05,2.341995e-05,2.326978e-05,2.291427e-05,2.271663e-05,2.256213e-05,2.221380e-05,2.202744e-05,2.186970e-05,2.153017e-05,2.135552e-05,2.119548e-05,2.086585e-05,2.070299e-05,2.054146e-05,2.022245e-05,2.007127e-05,1.990894e-05,1.960099e-05,1.946123e-05,1.929867e-05,1.900200e-05,1.887325e-05,1.871098e-05,1.842562e-05,1.830744e-05,1.814588e-05,1.787176e-05,1.776366e-05,1.760319e-05,1.734013e-05,1.724160e-05,1.708252e-05,1.683029e-05,1.674079e-05,1.658338e-05,1.634170e-05,1.626071e-05,1.610519e-05,1.587375e-05,1.580075e-05,1.564732e-05,1.542579e-05,1.536028e-05,1.520909e-05,1.499714e-05,1.493863e-05,1.478983e-05,1.458710e-05,1.453513e-05,1.438885e-05,1.419499e-05,1.414911e-05,1.400544e-05,1.382011e-05,1.377989e-05,1.363891e-05,1.346177e-05,1.342682e-05,1.328859e-05,1.311931e-05,1.308924e-05,1.295383e-05,1.279208e-05,1.276654e-05,1.263398e-05,1.247944e-05,1.245809e-05,1.232841e-05,1.218080e-05,1.216331e-05,1.203653e-05,1.189555e-05,1.188162e-05,1.175776e-05,1.162312e-05,1.161248e-05,1.149154e-05,1.136297e-05,1.135535e-05,1.123733e-05,1.111457e-05,1.110972e-05,1.099462e-05,1.087741e-05,1.087510e-05,1.076290e-05,1.065102e-05,1.043702e-05,1.023268e-05,1.003757e-05,9.851302e-06,9.673487e-06,9.503760e-06,9.341770e-06,9.187180e-06,9.039669e-06,8.898928e-06,8.764660e-06,8.636584e-06,8.514428e-06,8.397933e-06,8.286851e-06,8.180943e-06,8.079982e-06,7.983751e-06,7.892040e-06,7.804650e-06,7.721390e-06,7.642077e-06,7.566536e-06,7.494599e-06,7.426106e-06,7.360904e-06,7.298846e-06,7.239790e-06,7.183604e-06,7.130158e-06,7.079329e-06,7.030999e-06,6.985056e-06,6.941392e-06,6.899903e-06,6.860492e-06,6.823063e-06,6.787527e-06,6.753797e-06,6.721791e-06,6.691430e-06,6.662638e-06,6.635342e-06,6.609475e-06,6.584970e-06,6.561764e-06,6.539796e-06,6.519009e-06,6.499348e-06
0.000000e+00,3.615282e-11,5.868932e-09,6.351233e-09,1.681780e-07,1.628138e-06,1.765315e-06,1.010495e-05,3.547906e-05,3.806574e-05,1.073926e-04,2.327026e-04,2.472657e-04,4.913652e-04,8.290035e-04,8.745475e-04,1.429805e-03,2.083702e-03,2.185841e-03,3.165367e-03,4.198698e-03,4.384115e-03,5.850457e-03,7.274560e-03,7.565533e-03,9.523755e-03,1.130299e-02,1.171356e-02,1.411835e-02,1.618319e-02,1.671745e-02,1.948710e-02,2.174927e-02,2.240148e-02,2.543349e-02,2.779956e-02,2.855562e-02,3.174056e-02,3.412221e-02,3.496178e-02,3.819402e-02,4.051468e-02,4.141358e-02,4.459861e-02,4.679687e-02,4.772926e-02,5.078781e-02,5.281838e-02,5.375864e-02,5.662831e-02,5.846125e-02,5.938541e-02,6.202052e-02,6.363940e-02,6.452608e-02,6.689625e-02,6.829586e-02,6.912682e-02,7.121502e-02,7.239893e-02,7.315937e-02,7.495957e-02,7.593788e-02,7.661634e-02,7.813127e-02,7.891853e-02,7.950673e-02,8.074574e-02,8.135930e-02,8.185185e-02,8.282904e-02,8.328766e-02,8.368166e-02,8.441432e-02,8.473716e-02,8.503184e-02,8.553917e-02,8.574502e-02,8.594135e-02,8.624347e-02,8.635023e-02,8.645059e-02,8.656776e-02,8.659211e-02,8.659996e-02,8.655206e-02,8.650922e-02,8.642885e-02,8.623497e-02,8.613865e-02,8.597494e-02,8.565313e-02,8.551552e-02,8.527375e-02,8.484084e-02,8.467265e-02,8.435832e-02,8.382990e-02,8.364043e-02,8.325916e-02,8.264951e-02,8.244674e-02,8.200419e-02,8.132629e-02,8.111702e-02,8.061876e-02,7.988439e-02,7.967432e-02,7.912582e-02,7.834557e-02,7.813944e-02,7.754599e-02,7.672935e-02,7.653105e-02,7.589774e-02,7.505318e-02,7.486583e-02,7.419754e-02,7.333260e-02,7.315864e-02,7.246002e-02,7.158136e-02,7.142268e-02,7.069811e-02,6.981164e-02,6.966959e-02,6.892323e-02,6.803411e-02,6.790964e-02,6.714540e-02,6.625815e-02,6.615183e-02,6.537336e-02,6.449194e-02,6.440402e-02,6.361475e-02,6.274258e-02,6.267304e-02,6.187616e-02,6.101619e-02,6.096481e-02,6.016328e-02,5.931803e-02,5.928439e-02,5.848097e-02,5.765260e-02,5.763612e-02,5.683336e-02,5.602368e-02,5.445014e-02,5.291806e-02,5.142951e-02,4.998615e-02,4.858927e-02,4.723984e-02,4.593853e-02,4.468575e-02,4.348169e-02,4.232635e-02,4.121953e-02,4.016090e-02,3.915000e-02,3.818623e-02,3.726889e-02,3.639719e-02,3.557027e-02,3.478718e-02,3.404694e-02,3.334850e-02,3.269077e-02,3.207262e-02,3.149288e-02,3.095038e-02,3.044389e-02,2.997220e-02,2.953406e-02,2.912821e-02,2.875340e-02,2.840836e-02,2.809183e-02,2.780254e-02,2.753924e-02,2.730069e-02,2.708563e-02,2.689285e-02,2.672113e-02,2.656927e-02,2.643611e-02,2.632048e-02,2.622127e-02,2.613735e-02,2.606767e-02,2.601116e-02,2.596682e-02,2.593365e-02,2.591070e-02,2.589705e-02,2.589183e-02
0.000000e+00,5.083728e-09,1.727296e-07,1.817560e-07,1.490659e-06,6.589849e-06,6.950749e-06,2.179893e-05,4.795006e-05,5.002364e-05,9.005932e-05,1.319580e-04,1.356566e-04,1.811062e-04,2.196045e-04,2.237064e-04,2.627004e-04,2.939958e-04,2.980502e-04,3.299239e-04,3.547211e-04,3.585395e-04,3.841208e-04,4.034234e-04,4.068850e-04,4.270396e-04,4.417568e-04,4.447804e-04,4.602916e-04,4.712120e-04,4.737463e-04,4.853062e-04,4.931047e-04,4.951217e-04,5.033337e-04,5.085832e-04,5.100730e-04,5.154611e-04,5.186451e-04,5.196110e-04,5.226279e-04,5.241538e-04,5.246097e-04,5.256469e-04,5.258561e-04,5.258235e-04,5.252176e-04,5.243955e-04,5.239012e-04,5.219412e-04,5.203253e-04,5.193995e-04,5.163335e-04,5.141206e-04,5.127959e-04,5.088359e-04,5.061884e-04,5.044985e-04,4.998256e-04,4.968769e-04,4.948556e-04,4.896242e-04,4.864831e-04,4.841640e-04,4.785052e-04,4.752600e-04,4.726756e-04,4.667008e-04,4.634223e-04,4.606041e-04,4.544071e-04,4.511517e-04,4.481296e-04,4.417897e-04,4.386015e-04,4.354039e-04,4.289873e-04,4.259006e-04,4.225539e-04,4.161161e-04,4.131565e-04,4.096856e-04,4.032725e-04,4.004588e-04,3.968865e-04,3.905361e-04,3.878814e-04,3.842289e-04,3.779720e-04,3.754847e-04,3.717715e-04,3.656330e-04,3.633177e-04,3.595616e-04,3.535615e-04,3.514198e-04,3.476368e-04,3.417908e-04,3.398216e-04,3.360265e-04,3.303465e-04,3.285471e-04,3.247530e-04,3.192478e-04,3.176137e-04,3.138325e-04,3.085084e-04,3.070341e-04,3.032764e-04,2.981373e-04,2.968165e-04,2.930917e-04,2.881399e-04,2.869654e-04,2.832819e-04,2.785179e-04,2.774824e-04,2.738476e-04,2.692708e-04,2.683666e-04,2.647869e-04,2.603954e-04,2.596147e-04,2.560957e-04,2.518870e-04,2.512220e-04,2.477685e-04,2.437393e-04,2.431823e-04,2.397985e-04,2.359449e-04,2.354883e-04,2.321775e-04,2.284953e-04,2.281317e-04,2.248969e-04,2.213814e-04,2.211036e-04,2.179473e-04,2.145935e-04,2.143948e-04,2.113186e-04,2.081215e-04,2.079952e-04,2.050008e-04,2.019552e-04,2.018951e-04,1.989834e-04,1.960841e-04,1.905521e-04,1.852888e-04,1.802841e-04,1.755280e-04,1.710107e-04,1.667225e-04,1.626538e-04,1.587957e-04,1.551390e-04,1.516751e-04,1.483956e-04,1.452924e-04,1.423575e-04,1.395835e-04,1.369629e-04,1.344888e-04,1.321544e-04,1.299532e-04,1.278789e-04,1.259256e-04,1.240875e-04,1.223591e-04,1.207351e-04,1.192105e-04,1.177803e-04,1.164401e-04,1.151852e-04,1.140116e-04,1.129151e-04,1.118919e-04,1.109382e-04,1.100505e-04,1.092255e-04,1.084599e-04,1.077505e-04,1.070946e-04,1.064891e-04,1.059316e-04,1.054193e-04,1.049500e-04,1.045211e-04,1.041305e-04,1.037762e-04,1.034559e-04,1.031680e-04,1.029104e-04,1.026814e-04,1.024794e-04,1.023028e-04
0.000000e+00,1.783012e-09,3.000021e-08,3.137854e-08,1.922963e-07,6.070710e-07,6.308997e-07,1.363309e-06,2.171869e-06,2.224007e-06,3.074359e-06,3.810166e-06,3.871758e-06,4.609000e-06,5.221873e-06,5.287097e-06,5.908859e-06,6.411921e-06,6.477450e-06,6.996025e-06,7.404336e-06,7.467648e-06,7.895271e-06,8.222538e-06,8.281715e-06,8.629679e-06,8.888094e-06,8.941721e-06,9.220267e-06,9.420531e-06,9.467609e-06,9.685911e-06,9.837341e-06,9.877209e-06,1.004342e-05,1.015407e-05,1.018634e-05,1.030765e-05,1.038445e-05,1.040895e-05,1.049170e-05,1.054059e-05,1.055731e-05,1.060706e-05,1.063310e-05,1.064217e-05,1.066378e-05,1.067132e-05,1.067297e-05,1.067071e-05,1.066341e-05,1.065794e-05,1.063552e-05,1.061648e-05,1.060425e-05,1.056489e-05,1.053674e-05,1.051814e-05,1.046465e-05,1.042957e-05,1.040502e-05,1.033983e-05,1.029969e-05,1.026961e-05,1.019484e-05,1.015116e-05,1.011599e-05,1.003347e-05,9.987531e-06,9.947689e-06,9.859009e-06,9.811864e-06,9.767771e-06,9.674293e-06,9.626807e-06,9.578870e-06,9.481773e-06,9.434648e-06,9.383256e-06,9.283553e-06,9.237351e-06,9.182880e-06,9.081437e-06,9.036607e-06,8.979410e-06,8.876969e-06,8.833859e-06,8.774272e-06,8.671464e-06,8.630340e-06,8.568679e-06,8.466040e-06,8.427099e-06,8.363659e-06,8.261640e-06,8.225021e-06,8.160078e-06,8.059060e-06,8.024852e-06,7.958664e-06,7.858962e-06,7.827215e-06,7.760020e-06,7.661897e-06,7.632628e-06,7.564646e-06,7.468315e-06,7.441514e-06,7.372949e-06,7.278585e-06,7.254218e-06,7.185257e-06,7.092997e-06,7.071016e-06,7.001831e-06,6.911782e-06,6.892123e-06,6.822870e-06,6.735113e-06,6.717702e-06,6.648525e-06,6.563118e-06,6.547871e-06,6.478902e-06,6.395884e-06,6.382713e-06,6.314070e-06,6.233464e-06,6.222275e-06,6.154066e-06,6.075879e-06,6.066577e-06,5.998900e-06,5.923127e-06,5.915616e-06,5.848557e-06,5.775186e-06,5.769368e-06,5.703007e-06,5.632013e-06,5.627791e-06,5.562198e-06,5.493553e-06,5.490832e-06,5.426070e-06,5.359738e-06,5.358423e-06,5.294547e-06,5.230487e-06,5.106942e-06,4.987695e-06,4.872651e-06,4.761710e-06,4.654771e-06,4.551728e-06,4.452477e-06,4.356911e-06,4.264924e-06,4.176410e-06,4.091264e-06,4.009383e-06,3.930664e-06,3.855006e-06,3.782310e-06,3.712480e-06,3.645420e-06,3.581037e-06,3.519241e-06,3.459943e-06,3.403058e-06,3.348501e-06,3.296192e-06,3.246050e-06,3.198000e-06,3.151966e-06,3.107877e-06,3.065662e-06,3.025253e-06,2.986584e-06,2.949592e-06,2.914215e-06,2.880393e-06,2.848069e-06,2.817186e-06,2.787691e-06,2.759531e-06,2.732656e-06,2.707017e-06,2.682566e-06,2.659259e-06,2.637051e-06,2.615900e-06,2.595764e-06,2.576604e-06,2.558381e-06,2.541060e-06,2.524603e-06,2.508976e-06
0.000000e+00,4.800385e-10,3.501978e-08,3.732614e-08,5.211750e-07,3.322191e-06,3.550608e-06,1.487177e-05,4.039353e-05,4.263261e-05,9.048641e-05,1.481901e-04,1.535974e-04,2.234551e-04,2.864921e-04,2.933615e-04,3.597245e-04,4.140285e-04,4.211158e-04,4.771955e-04,5.212537e-04,5.280725e-04,5.740130e-04,6.090150e-04,6.153274e-04,6.523279e-04,6.796617e-04,6.853168e-04,7.145820e-04,7.354971e-04,7.403965e-04,7.630183e-04,7.786037e-04,7.826902e-04,7.996404e-04,8.108343e-04,8.140826e-04,8.262168e-04,8.338204e-04,8.362296e-04,8.442948e-04,8.489871e-04,8.505743e-04,8.552183e-04,8.575713e-04,8.583667e-04,8.601490e-04,8.606423e-04,8.606853e-04,8.600869e-04,8.591208e-04,8.584570e-04,8.558908e-04,8.537981e-04,8.524765e-04,8.482957e-04,8.453519e-04,8.434237e-04,8.379304e-04,8.343630e-04,8.318799e-04,8.253314e-04,8.213270e-04,8.183399e-04,8.109561e-04,8.066673e-04,8.032266e-04,7.951943e-04,7.907449e-04,7.868986e-04,7.783759e-04,7.738658e-04,7.696599e-04,7.607810e-04,7.562893e-04,7.517672e-04,7.426443e-04,7.382336e-04,7.334361e-04,7.241641e-04,7.198831e-04,7.148481e-04,7.055059e-04,7.013914e-04,6.961541e-04,6.868077e-04,6.828872e-04,6.774804e-04,6.681845e-04,6.644775e-04,6.589313e-04,6.497309e-04,6.462505e-04,6.405924e-04,6.315241e-04,6.282781e-04,6.225333e-04,6.136267e-04,6.106187e-04,6.048102e-04,5.960890e-04,5.933192e-04,5.874678e-04,5.789507e-04,5.764164e-04,5.705411e-04,5.622422e-04,5.599387e-04,5.540566e-04,5.459865e-04,5.439074e-04,5.380338e-04,5.301999e-04,5.283377e-04,5.224863e-04,5.148936e-04,5.132396e-04,5.074227e-04,5.000739e-04,4.986189e-04,4.928475e-04,4.857435e-04,4.844778e-04,4.787617e-04,4.719018e-04,4.708155e-04,4.651633e-04,4.585457e-04,4.576288e-04,4.520481e-04,4.456698e-04,4.449124e-04,4.394098e-04,4.332670e-04,4.326591e-04,4.272404e-04,4.213288e-04,4.208609e-04,4.155310e-04,4.098457e-04,4.095081e-04,4.042714e-04,3.988069e-04,3.985906e-04,3.934508e-04,3.882015e-04,3.880976e-04,3.830575e-04,3.780175e-04,3.683388e-04,3.590496e-04,3.501378e-04,3.415914e-04,3.333983e-04,3.255466e-04,3.180247e-04,3.108209e-04,3.039239e-04,2.973224e-04,2.910057e-04,2.849632e-04,2.791845e-04,2.736595e-04,2.683787e-04,2.633324e-04,2.585117e-04,2.539076e-04,2.495117e-04,2.453156e-04,2.413115e-04,2.374915e-04,2.338483e-04,2.303747e-04,2.270639e-04,2.239092e-04,2.209043e-04,2.180428e-04,2.153191e-04,2.127273e-04,2.102619e-04,2.079178e-04,2.056898e-04,2.035730e-04,2.015628e-04,1.996547e-04,1.978444e-04,1.961276e-04,1.945004e-04,1.929589e-04,1.914996e-04,1.901187e-04,1.888130e-04,1.875791e-04,1.864140e-04,1.853146e-04,1.842779e-04,1.833013e-04,1.823821e-04
0.000000e+00,4.714229e-09,5.891071e-08,6.138697e-08,3.607013e-07,1.280863e-06,1.339796e-06,3.462475e-06,6.495197e-06,6.712604e-06,1.051092e-05,1.402481e-05,1.432397e-05,1.794212e-05,2.098931e-05,2.131535e-05,2.443975e-05,2.698968e-05,2.732335e-05,2.997722e-05,3.208477e-05,3.241311e-05,3.464272e-05,3.636454e-05,3.667747e-05,3.852845e-05,3.991662e-05,4.020633e-05,4.172131e-05,4.282256e-05,4.308313e-05,4.430108e-05,4.515691e-05,4.538400e-05,4.634028e-05,4.698728e-05,4.717791e-05,4.790447e-05,4.837485e-05,4.852714e-05,4.905271e-05,4.937464e-05,4.948764e-05,4.983800e-05,5.003603e-05,5.010955e-05,5.030774e-05,5.040324e-05,5.043771e-05,5.050432e-05,5.051580e-05,5.051214e-05,5.046550e-05,5.040896e-05,5.036847e-05,5.022492e-05,5.011414e-05,5.003844e-05,4.981247e-05,4.965927e-05,4.955021e-05,4.925469e-05,4.906918e-05,4.892876e-05,4.857509e-05,4.836587e-05,4.819621e-05,4.779446e-05,4.756880e-05,4.737208e-05,4.693115e-05,4.669519e-05,4.647362e-05,4.600133e-05,4.576019e-05,4.551599e-05,4.501921e-05,4.477714e-05,4.451249e-05,4.399725e-05,4.375774e-05,4.347479e-05,4.294634e-05,4.271223e-05,4.241306e-05,4.187599e-05,4.164954e-05,4.133615e-05,4.079445e-05,4.057744e-05,4.025175e-05,3.970885e-05,3.950265e-05,3.916649e-05,3.862535e-05,3.843096e-05,3.808606e-05,3.754921e-05,3.736734e-05,3.701534e-05,3.648494e-05,3.631602e-05,3.595846e-05,3.543633e-05,3.528059e-05,3.491891e-05,3.440656e-05,3.426405e-05,3.389959e-05,3.339829e-05,3.326891e-05,3.290290e-05,3.241366e-05,3.229719e-05,3.193078e-05,3.145444e-05,3.135053e-05,3.098479e-05,3.052198e-05,3.043025e-05,3.006612e-05,2.961733e-05,2.953731e-05,2.917569e-05,2.874126e-05,2.867243e-05,2.831412e-05,2.789429e-05,2.783610e-05,2.748181e-05,2.707670e-05,2.702858e-05,2.667897e-05,2.628861e-05,2.624998e-05,2.590562e-05,2.552997e-05,2.550024e-05,2.516164e-05,2.480060e-05,2.477917e-05,2.444680e-05,2.410019e-05,2.408647e-05,2.376071e-05,2.342832e-05,2.342175e-05,2.310295e-05,2.278453e-05,2.217427e-05,2.159037e-05,2.103218e-05,2.049904e-05,1.999024e-05,1.950505e-05,1.904273e-05,1.860254e-05,1.818373e-05,1.778554e-05,1.740722e-05,1.704805e-05,1.670728e-05,1.638419e-05,1.607809e-05,1.578827e-05,1.551406e-05,1.525480e-05,1.500986e-05,1.477860e-05,1.456043e-05,1.435475e-05,1.416100e-05,1.397863e-05,1.380711e-05,1.364594e-05,1.349462e-05,1.335267e-05,1.321965e-05,1.309512e-05,1.297865e-05,1.286985e-05,1.276832e-05,1.267370e-05,1.258564e-05,1.250379e-05,1.242782e-05,1.235744e-05,1.229233e-05,1.223222e-05,1.217684e-05,1.212593e-05,1.207924e-05,1.203654e-05,1.199760e-05,1.196220e-05,1.193016e-05,1.190126e-05,1.187534e-05
0.000000e+00,2.143868e-09,2.645395e-08,2.757560e-08,1.631389e-07,5.702521e-07,5.958812e-07,1.490634e-06,2.692343e-06,2.775775e-06,4.194218e-06,5.462936e-06,5.569594e-06,6.844874e-06,7.898144e-06,8.009683e-06,9.066444e-06,9.911490e-06,1.002082e-05,1.087916e-05,1.154539e-05,1.164784e-05,1.233301e-05,1.284834e-05,1.294056e-05,1.347609e-05,1.386519e-05,1.394488e-05,1.435192e-05,1.463625e-05,1.470190e-05,1.499922e-05,1.519723e-05,1.524799e-05,1.545206e-05,1.557948e-05,1.561503e-05,1.574025e-05,1.581045e-05,1.583084e-05,1.588973e-05,1.591403e-05,1.591963e-05,1.592309e-05,1.591103e-05,1.590244e-05,1.585987e-05,1.581944e-05,1.579741e-05,1.571694e-05,1.565482e-05,1.562021e-05,1.550884e-05,1.543058e-05,1.538434e-05,1.524809e-05,1.515829e-05,1.510139e-05,1.494542e-05,1.484786e-05,1.478130e-05,1.461003e-05,1.450780e-05,1.443257e-05,1.424977e-05,1.414537e-05,1.406244e-05,1.387131e-05,1.376676e-05,1.367706e-05,1.348032e-05,1.337721e-05,1.328165e-05,1.308158e-05,1.298117e-05,1.288059e-05,1.267912e-05,1.258236e-05,1.247756e-05,1.227629e-05,1.218389e-05,1.207564e-05,1.187590e-05,1.178838e-05,1.167735e-05,1.148024e-05,1.139794e-05,1.128479e-05,1.109120e-05,1.101433e-05,1.089965e-05,1.071029e-05,1.063894e-05,1.052327e-05,1.033872e-05,1.027290e-05,1.015673e-05,9.977413e-06,9.917067e-06,9.800843e-06,9.627092e-06,9.572096e-06,9.456218e-06,9.288269e-06,9.238461e-06,9.123285e-06,8.961296e-06,8.916480e-06,8.802325e-06,8.646387e-06,8.606341e-06,8.493491e-06,8.343638e-06,8.308126e-06,8.196827e-06,8.053049e-06,8.021823e-06,7.912291e-06,7.774537e-06,7.747345e-06,7.639767e-06,7.507956e-06,7.484542e-06,7.379077e-06,7.253102e-06,7.233213e-06,7.129997e-06,7.009729e-06,6.993116e-06,6.892262e-06,6.777558e-06,6.763977e-06,6.665577e-06,6.556279e-06,6.545495e-06,6.449623e-06,6.345565e-06,6.337352e-06,6.244063e-06,6.145073e-06,6.139212e-06,6.048550e-06,5.954449e-06,5.950735e-06,5.862726e-06,5.773336e-06,5.771572e-06,5.686233e-06,5.601371e-06,5.439783e-06,5.286460e-06,5.141058e-06,5.003239e-06,4.872672e-06,4.749036e-06,4.632015e-06,4.521306e-06,4.416613e-06,4.317651e-06,4.224146e-06,4.135833e-06,4.052459e-06,3.973778e-06,3.899557e-06,3.829572e-06,3.763608e-06,3.701460e-06,3.642932e-06,3.587838e-06,3.535999e-06,3.487245e-06,3.441414e-06,3.398353e-06,3.357913e-06,3.319956e-06,3.284349e-06,3.250966e-06,3.219687e-06,3.190397e-06,3.162989e-06,3.137360e-06,3.113412e-06,3.091053e-06,3.070196e-06,3.050757e-06,3.032657e-06,3.015822e-06,3.000180e-06,2.985664e-06,2.972211e-06,2.959760e-06,2.948254e-06,2.937640e-06,2.927865e-06,2.918880e-06,2.910641e-06,2.903104e-06,2.896227e-06
0.000000e+00,6.946284e-10,6.872309e-09,7.129383e-09,3.368832e-08,9.978892e-08,1.036839e-07,2.327727e-07,4.026487e-07,4.146731e-07,6.266049e-07,8.265499e-07,8.436086e-07,1.047371e-06,1.211477e-06,1.228456e-06,1.384378e-06,1.501571e-06,1.516186e-06,1.626131e-06,1.705077e-06,1.716674e-06,1.790155e-06,1.840254e-06,1.848698e-06,1.894206e-06,1.922982e-06,1.928362e-06,1.952651e-06,1.965864e-06,1.968384e-06,1.976710e-06,1.978717e-06,1.978639e-06,1.975063e-06,1.969148e-06,1.966763e-06,1.954425e-06,1.943052e-06,1.938650e-06,1.919968e-06,1.904976e-06,1.898836e-06,1.875649e-06,1.858380e-06,1.850750e-06,1.824442e-06,1.805886e-06,1.796993e-06,1.768658e-06,1.749585e-06,1.739664e-06,1.710187e-06,1.691139e-06,1.680378e-06,1.650372e-06,1.631719e-06,1.620281e-06,1.590204e-06,1.572201e-06,1.560226e-06,1.530420e-06,1.513236e-06,1.500848e-06,1.471563e-06,1.455305e-06,1.442609e-06,1.414024e-06,1.398752e-06,1.385839e-06,1.358080e-06,1.343821e-06,1.330768e-06,1.303921e-06,1.290675e-06,1.277551e-06,1.251668e-06,1.239420e-06,1.226280e-06,1.201391e-06,1.190111e-06,1.177005e-06,1.153122e-06,1.142773e-06,1.129743e-06,1.106864e-06,1.097404e-06,1.084484e-06,1.062599e-06,1.053982e-06,1.041203e-06,1.020291e-06,1.012470e-06,9.998564e-07,9.798937e-07,9.728213e-07,9.603955e-07,9.413543e-07,9.349831e-07,9.227627e-07,9.046128e-07,8.988968e-07,8.868966e-07,8.696061e-07,8.645007e-07,8.527330e-07,8.362693e-07,8.317317e-07,8.202067e-07,8.045370e-07,8.005262e-07,7.892519e-07,7.743434e-07,7.708205e-07,7.598034e-07,7.456238e-07,7.425519e-07,7.317969e-07,7.183146e-07,7.156589e-07,7.051695e-07,6.923537e-07,6.900813e-07,6.798600e-07,6.676808e-07,6.657609e-07,6.558090e-07,6.442375e-07,6.426411e-07,6.329593e-07,6.219675e-07,6.206675e-07,6.112555e-07,6.008166e-07,5.997875e-07,5.906444e-07,5.807326e-07,5.799507e-07,5.710750e-07,5.616655e-07,5.611087e-07,5.524983e-07,5.435675e-07,5.432151e-07,5.348674e-07,5.263925e-07,5.262253e-07,5.181374e-07,5.100968e-07,4.947889e-07,4.802628e-07,4.664813e-07,4.534089e-07,4.410117e-07,4.292576e-07,4.181156e-07,4.075564e-07,3.975520e-07,3.880756e-07,3.791018e-07,3.706064e-07,3.625661e-07,3.549589e-07,3.477639e-07,3.409611e-07,3.345312e-07,3.284562e-07,3.227188e-07,3.173025e-07,3.121915e-07,3.073709e-07,3.028265e-07,2.985445e-07,2.945122e-07,2.907172e-07,2.871477e-07,2.837926e-07,2.806411e-07,2.776832e-07,2.749092e-07,2.723098e-07,2.698763e-07,2.676003e-07,2.654739e-07,2.634895e-07,2.616398e-07,2.599180e-07,2.583175e-07,2.568320e-07,2.554557e-07,2.541828e-07,2.530079e-07,2.519259e-07,2.509320e-07,2.500213e-07,2.491895e-07,2.484324e-07,2.477458e-07
0.000000e+00,6.050979e-09,2.324589e-07,2.458830e-07,2.343414e-06,9.567417e-06,1.002325e-05,2.509313e-05,4.275069e-05,4.389793e-05,6.258630e-05,7.868149e-05,8.002566e-05,9.608433e-05,1.093952e-04,1.108099e-04,1.242770e-04,1.351483e-04,1.365627e-04,1.477426e-04,1.565282e-04,1.578891e-04,1.670718e-04,1.740885e-04,1.753563e-04,1.828047e-04,1.883296e-04,1.894755e-04,1.954241e-04,1.996977e-04,2.007020e-04,2.053580e-04,2.085872e-04,2.094374e-04,2.129822e-04,2.153427e-04,2.160313e-04,2.186213e-04,2.202632e-04,2.207876e-04,2.225630e-04,2.236164e-04,2.239778e-04,2.250597e-04,2.256331e-04,2.258350e-04,2.263280e-04,2.265134e-04,2.265611e-04,2.265555e-04,2.264306e-04,2.263307e-04,2.259050e-04,2.255350e-04,2.252954e-04,2.245178e-04,2.239577e-04,2.235867e-04,2.225158e-04,2.218115e-04,2.213179e-04,2.200047e-04,2.191946e-04,2.185872e-04,2.170755e-04,2.161914e-04,2.154791e-04,2.138068e-04,2.128751e-04,2.120667e-04,2.102663e-04,2.093086e-04,2.084126e-04,2.065121e-04,2.055462e-04,2.045708e-04,2.025942e-04,2.016344e-04,2.005875e-04,1.985554e-04,1.976133e-04,1.965022e-04,1.944322e-04,1.935169e-04,1.923489e-04,1.902558e-04,1.893745e-04,1.881561e-04,1.860527e-04,1.852110e-04,1.839484e-04,1.818455e-04,1.810473e-04,1.797463e-04,1.776530e-04,1.769012e-04,1.755674e-04,1.734913e-04,1.727878e-04,1.714261e-04,1.693735e-04,1.687195e-04,1.673346e-04,1.653107e-04,1.647067e-04,1.633029e-04,1.613121e-04,1.607579e-04,1.593393e-04,1.573850e-04,1.568801e-04,1.554502e-04,1.535354e-04,1.530789e-04,1.516411e-04,1.497679e-04,1.493587e-04,1.479162e-04,1.460862e-04,1.457229e-04,1.442784e-04,1.424929e-04,1.421740e-04,1.407301e-04,1.389901e-04,1.387138e-04,1.372729e-04,1.355788e-04,1.353434e-04,1.339077e-04,1.322598e-04,1.320636e-04,1.306349e-04,1.290332e-04,1.288743e-04,1.274546e-04,1.258989e-04,1.257755e-04,1.243662e-04,1.228563e-04,1.227664e-04,1.213690e-04,1.199044e-04,1.198463e-04,1.184622e-04,1.170422e-04,1.170141e-04,1.156444e-04,1.142684e-04,1.116080e-04,1.090312e-04,1.065364e-04,1.041218e-04,1.017858e-04,9.952633e-05,9.734168e-05,9.522996e-05,9.318926e-05,9.121771e-05,8.931342e-05,8.747454e-05,8.569921e-05,8.398562e-05,8.233200e-05,8.073657e-05,7.919762e-05,7.771345e-05,7.628241e-05,7.490287e-05,7.357324e-05,7.229199e-05,7.105759e-05,6.986859e-05,6.872354e-05,6.762106e-05,6.655979e-05,6.553841e-05,6.455564e-05,6.361023e-05,6.270096e-05,6.182666e-05,6.098619e-05,6.017843e-05,5.940231e-05,5.865678e-05,5.794083e-05,5.725347e-05,5.659375e-05,5.596074e-05,5.535353e-05,5.477127e-05,5.421310e-05,5.367819e-05,5.316577e-05,5.267505e-05,5.220530e-05,5.175578e-05,5.132579e-05
0.000000e+00,6.198992e-09,1.197784e-07,1.256054e-07,8.669999e-07,2.896454e-06,3.012293e-06,6.375714e-06,9.632954e-06,9.829738e-06,1.285729e-05,1.522875e-05,1.541743e-05,1.756015e-05,1.917869e-05,1.934217e-05,2.081465e-05,2.188993e-05,2.202217e-05,2.300327e-05,2.369139e-05,2.379118e-05,2.441449e-05,2.482894e-05,2.489776e-05,2.526206e-05,2.548471e-05,2.552538e-05,2.570312e-05,2.579259e-05,2.580841e-05,2.585246e-05,2.585049e-05,2.584480e-05,2.579357e-05,2.572980e-05,2.570570e-05,2.558707e-05,2.548248e-05,2.544272e-05,2.527692e-05,2.514634e-05,2.509332e-05,2.489502e-05,2.474889e-05,2.468465e-05,2.446446e-05,2.431011e-05,2.423636e-05,2.400198e-05,2.384453e-05,2.376270e-05,2.351970e-05,2.336269e-05,2.327397e-05,2.302637e-05,2.287224e-05,2.277762e-05,2.252835e-05,2.237874e-05,2.227905e-05,2.203019e-05,2.188619e-05,2.178212e-05,2.153517e-05,2.139747e-05,2.128961e-05,2.104565e-05,2.091465e-05,2.080349e-05,2.056329e-05,2.043920e-05,2.032517e-05,2.008925e-05,1.997215e-05,1.985562e-05,1.962434e-05,1.951419e-05,1.939549e-05,1.916910e-05,1.906580e-05,1.894521e-05,1.872385e-05,1.862727e-05,1.850505e-05,1.828881e-05,1.819876e-05,1.807515e-05,1.786406e-05,1.778035e-05,1.765555e-05,1.744961e-05,1.737203e-05,1.724624e-05,1.704543e-05,1.697376e-05,1.684716e-05,1.665142e-05,1.658544e-05,1.645819e-05,1.626746e-05,1.620695e-05,1.607921e-05,1.589341e-05,1.583815e-05,1.571006e-05,1.552912e-05,1.547889e-05,1.535058e-05,1.517442e-05,1.512900e-05,1.500060e-05,1.482912e-05,1.478831e-05,1.465994e-05,1.449304e-05,1.445663e-05,1.432841e-05,1.416600e-05,1.413379e-05,1.400581e-05,1.384781e-05,1.381960e-05,1.369197e-05,1.353827e-05,1.351387e-05,1.338668e-05,1.323719e-05,1.321643e-05,1.308977e-05,1.294439e-05,1.292708e-05,1.280103e-05,1.265967e-05,1.264564e-05,1.252029e-05,1.238285e-05,1.237194e-05,1.224735e-05,1.211375e-05,1.210579e-05,1.198203e-05,1.185217e-05,1.184702e-05,1.172416e-05,1.159795e-05,1.159545e-05,1.147354e-05,1.135091e-05,1.111323e-05,1.088225e-05,1.065780e-05,1.043973e-05,1.022787e-05,1.002208e-05,9.822201e-06,9.628091e-06,9.439604e-06,9.256599e-06,9.078938e-06,8.906487e-06,8.739114e-06,8.576689e-06,8.419088e-06,8.266186e-06,8.117864e-06,7.974004e-06,7.834491e-06,7.699215e-06,7.568065e-06,7.440934e-06,7.317719e-06,7.198317e-06,7.082630e-06,6.970560e-06,6.862013e-06,6.756897e-06,6.655122e-06,6.556599e-06,6.461244e-06,6.368972e-06,6.279701e-06,6.193353e-06,6.109849e-06,6.029115e-06,5.951074e-06,5.875657e-06,5.802792e-06,5.732411e-06,5.664446e-06,5.598832e-06,5.535506e-06,5.474406e-06,5.415470e-06,5.358639e-06,5.303857e-06,5.251065e-06,5.200210e-06
0.000000e+00,1.583026e-10,1.549137e-08,1.658252e-08,2.689036e-07,1.875566e-06,2.011924e-06,9.356752e-06,2.903219e-05,3.094454e-05,7.896185e-05,1.561618e-04,1.645600e-04,2.925882e-04,4.414406e-04,4.596636e-04,6.561514e-04,8.436204e-04,8.697450e-04,1.088527e-03,1.273305e-03,1.302725e-03,1.505292e-03,1.663117e-03,1.691748e-03,1.859695e-03,1.982949e-03,2.008255e-03,2.137578e-03,2.227705e-03,2.248457e-03,2.342048e-03,2.403902e-03,2.419683e-03,2.482753e-03,2.521790e-03,2.532628e-03,2.570622e-03,2.591816e-03,2.597967e-03,2.615804e-03,2.623352e-03,2.625182e-03,2.627058e-03,2.624377e-03,2.622303e-03,2.611706e-03,2.601531e-03,2.595982e-03,2.575778e-03,2.560274e-03,2.551675e-03,2.524201e-03,2.505067e-03,2.493826e-03,2.460978e-03,2.439540e-03,2.426039e-03,2.389352e-03,2.366630e-03,2.351224e-03,2.311931e-03,2.288706e-03,2.271720e-03,2.230811e-03,2.207670e-03,2.189399e-03,2.147661e-03,2.125042e-03,2.105752e-03,2.063808e-03,2.042025e-03,2.021952e-03,1.980292e-03,1.959564e-03,1.938920e-03,1.897920e-03,1.878394e-03,1.857364e-03,1.817314e-03,1.799076e-03,1.777823e-03,1.738938e-03,1.722031e-03,1.700697e-03,1.663134e-03,1.647565e-03,1.626274e-03,1.590140e-03,1.575894e-03,1.554750e-03,1.520116e-03,1.507156e-03,1.486249e-03,1.453155e-03,1.441431e-03,1.420838e-03,1.389299e-03,1.378752e-03,1.358536e-03,1.328548e-03,1.319114e-03,1.299328e-03,1.270871e-03,1.262482e-03,1.243170e-03,1.216214e-03,1.208799e-03,1.189995e-03,1.164502e-03,1.157991e-03,1.139723e-03,1.115647e-03,1.109971e-03,1.092260e-03,1.069550e-03,1.064643e-03,1.047503e-03,1.026107e-03,1.021904e-03,1.005346e-03,9.852082e-04,9.816484e-04,9.656784e-04,9.467428e-04,9.437674e-04,9.283875e-04,9.105984e-04,9.081524e-04,8.933617e-04,8.766636e-04,8.746953e-04,8.604903e-04,8.448284e-04,8.432898e-04,8.296645e-04,8.149854e-04,8.138316e-04,8.007782e-04,7.870301e-04,7.862195e-04,7.737285e-04,7.608611e-04,7.603553e-04,7.484160e-04,7.363812e-04,7.361446e-04,7.247451e-04,7.134964e-04,6.923236e-04,6.725429e-04,6.540749e-04,6.368437e-04,6.207775e-04,6.058081e-04,5.918705e-04,5.789034e-04,5.668487e-04,5.556515e-04,5.452597e-04,5.356244e-04,5.266992e-04,5.184404e-04,5.108068e-04,5.037595e-04,4.972619e-04,4.912794e-04,4.857797e-04,4.807319e-04,4.761074e-04,4.718790e-04,4.680211e-04,4.645097e-04,4.613222e-04,4.584374e-04,4.558351e-04,4.534967e-04,4.514043e-04,4.495414e-04,4.478924e-04,4.464424e-04,4.451778e-04,4.440855e-04,4.431534e-04,4.423699e-04,4.417244e-04,4.412067e-04,4.408074e-04,4.405175e-04,4.403287e-04,4.402331e-04,4.402234e-04,4.402928e-04,4.404347e-04,4.406431e-04,4.409123e-04,4.412370e-04,4.416123e-04
0.000000e+00,8.249934e-10,7.008488e-08,7.491548e-08,1.177280e-06,7.988597e-06,8.551336e-06,3.633692e-05,9.656386e-05,1.017077e-04,2.081878e-04,3.312566e-04,3.425967e-04,4.868117e-04,6.134131e-04,6.269885e-04,7.555146e-04,8.565324e-04,8.693964e-04,9.682236e-04,1.041752e-03,1.052772e-03,1.124254e-03,1.175153e-03,1.183970e-03,1.233174e-03,1.266495e-03,1.273028e-03,1.304590e-03,1.324518e-03,1.328820e-03,1.346583e-03,1.356454e-03,1.358660e-03,1.365751e-03,1.368197e-03,1.368488e-03,1.367431e-03,1.364505e-03,1.363084e-03,1.355896e-03,1.349186e-03,1.346264e-03,1.334541e-03,1.325262e-03,1.321043e-03,1.306045e-03,1.295116e-03,1.289793e-03,1.272503e-03,1.260617e-03,1.254366e-03,1.235549e-03,1.223219e-03,1.216200e-03,1.196449e-03,1.184051e-03,1.176407e-03,1.156175e-03,1.143981e-03,1.135839e-03,1.115474e-03,1.103674e-03,1.095144e-03,1.074907e-03,1.063633e-03,1.054811e-03,1.034898e-03,1.024234e-03,1.015204e-03,9.957576e-04,9.857527e-04,9.765860e-04,9.577100e-04,9.483885e-04,9.391473e-04,9.209122e-04,9.122793e-04,9.030165e-04,8.854690e-04,8.775161e-04,8.682767e-04,8.514443e-04,8.441530e-04,8.349752e-04,8.188710e-04,8.122163e-04,8.031323e-04,7.877583e-04,7.817104e-04,7.727473e-04,7.580971e-04,7.526239e-04,7.438043e-04,7.298651e-04,7.249328e-04,7.162753e-04,7.030301e-04,6.986043e-04,6.901243e-04,6.775525e-04,6.735991e-04,6.653090e-04,6.533880e-04,6.498736e-04,6.417833e-04,6.304889e-04,6.273812e-04,6.194984e-04,6.088056e-04,6.060734e-04,5.984041e-04,5.882874e-04,5.859011e-04,5.784494e-04,5.688836e-04,5.668150e-04,5.595838e-04,5.505437e-04,5.487662e-04,5.417571e-04,5.332179e-04,5.317067e-04,5.249202e-04,5.168579e-04,5.155894e-04,5.090253e-04,5.014166e-04,5.003689e-04,4.940260e-04,4.868482e-04,4.860009e-04,4.798775e-04,4.731088e-04,4.724428e-04,4.665368e-04,4.601562e-04,4.596539e-04,4.539623e-04,4.479499e-04,4.475949e-04,4.421144e-04,4.364510e-04,4.362280e-04,4.309552e-04,4.256224e-04,4.255174e-04,4.204484e-04,4.154288e-04,4.059294e-04,3.969880e-04,3.885751e-04,3.806622e-04,3.732226e-04,3.662308e-04,3.596625e-04,3.534946e-04,3.477055e-04,3.422742e-04,3.371813e-04,3.324079e-04,3.279364e-04,3.237501e-04,3.198330e-04,3.161702e-04,3.127472e-04,3.095505e-04,3.065674e-04,3.037857e-04,3.011939e-04,2.987811e-04,2.965370e-04,2.944518e-04,2.925162e-04,2.907214e-04,2.890593e-04,2.875219e-04,2.861019e-04,2.847921e-04,2.835859e-04,2.824771e-04,2.814596e-04,2.805279e-04,2.796766e-04,2.789008e-04,2.781955e-04,2.775563e-04,2.769791e-04,2.764597e-04,2.759943e-04,2.755795e-04,2.752117e-04,2.748879e-04,2.746049e-04,2.743600e-04,2.741504e-04,2.739737e-04,2.738275e-04
0.000000e+00,1.013186e-08,2.890909e-07,3.045372e-07,2.604902e-06,1.061691e-05,1.113189e-05,2.850740e-05,4.913538e-05,5.047535e-05,7.225332e-05,9.090019e-05,9.245167e-05,1.109087e-04,1.260869e-04,1.276930e-04,1.429086e-04,1.550846e-04,1.566610e-04,1.690515e-04,1.786916e-04,1.801763e-04,1.901264e-04,1.976400e-04,1.989881e-04,2.068429e-04,2.125863e-04,2.137674e-04,2.198334e-04,2.241135e-04,2.251082e-04,2.296547e-04,2.327332e-04,2.335315e-04,2.367930e-04,2.388915e-04,2.394897e-04,2.416683e-04,2.429728e-04,2.433725e-04,2.446425e-04,2.453090e-04,2.455155e-04,2.460261e-04,2.461851e-04,2.462063e-04,2.460854e-04,2.458453e-04,2.456909e-04,2.450479e-04,2.444988e-04,2.441798e-04,2.431079e-04,2.423242e-04,2.418521e-04,2.404308e-04,2.394738e-04,2.388606e-04,2.371573e-04,2.360773e-04,2.353350e-04,2.334069e-04,2.322451e-04,2.313853e-04,2.292812e-04,2.280708e-04,2.271049e-04,2.248659e-04,2.236339e-04,2.225729e-04,2.202337e-04,2.190016e-04,2.178558e-04,2.154458e-04,2.142307e-04,2.130098e-04,2.105535e-04,2.093688e-04,2.080821e-04,2.056002e-04,2.044562e-04,2.031121e-04,2.006218e-04,1.995263e-04,1.981329e-04,1.956485e-04,1.946072e-04,1.931717e-04,1.907051e-04,1.897219e-04,1.882512e-04,1.858121e-04,1.848896e-04,1.833899e-04,1.809863e-04,1.801259e-04,1.786030e-04,1.762413e-04,1.754434e-04,1.739025e-04,1.715878e-04,1.708523e-04,1.692982e-04,1.670345e-04,1.663606e-04,1.647976e-04,1.625881e-04,1.619744e-04,1.604066e-04,1.582535e-04,1.576984e-04,1.561293e-04,1.540344e-04,1.535360e-04,1.519690e-04,1.499332e-04,1.494894e-04,1.479273e-04,1.459514e-04,1.455598e-04,1.440055e-04,1.420897e-04,1.417480e-04,1.402039e-04,1.383480e-04,1.380538e-04,1.365220e-04,1.347257e-04,1.344766e-04,1.329591e-04,1.312218e-04,1.310154e-04,1.295139e-04,1.278349e-04,1.276686e-04,1.261847e-04,1.245631e-04,1.244346e-04,1.229698e-04,1.214045e-04,1.213114e-04,1.198669e-04,1.183568e-04,1.182969e-04,1.168738e-04,1.154177e-04,1.153888e-04,1.139881e-04,1.125847e-04,1.098820e-04,1.072782e-04,1.047707e-04,1.023569e-04,1.000342e-04,9.779992e-05,9.565153e-05,9.358644e-05,9.160212e-05,8.969608e-05,8.786585e-05,8.610903e-05,8.442328e-05,8.280628e-05,8.125578e-05,7.976960e-05,7.834560e-05,7.698167e-05,7.567581e-05,7.442603e-05,7.323040e-05,7.208708e-05,7.099424e-05,6.995012e-05,6.895301e-05,6.800125e-05,6.709324e-05,6.622741e-05,6.540223e-05,6.461626e-05,6.386805e-05,6.315622e-05,6.247945e-05,6.183642e-05,6.122588e-05,6.064661e-05,6.009743e-05,5.957718e-05,5.908477e-05,5.861911e-05,5.817917e-05,5.776394e-05,5.737243e-05,5.700370e-05,5.665683e-05,5.633094e-05,5.602517e-05,5.573868e-05,5.547067e-05
0.000000e+00,1.097649e-10,1.266076e-08,1.360651e-08,2.657137e-07,2.082345e-06,2.241147e-06,1.092182e-05,3.361346e-05,3.576334e-05,8.736137e-05,1.642854e-04,1.723628e-04,2.911341e-04,4.228668e-04,4.387059e-04,6.071466e-04,7.657625e-04,7.878163e-04,9.728641e-04,1.130627e-03,1.155949e-03,1.332408e-03,1.473176e-03,1.499100e-03,1.654131e-03,1.771861e-03,1.796544e-03,1.926051e-03,2.020464e-03,2.042816e-03,2.147287e-03,2.220637e-03,2.240086e-03,2.321926e-03,2.377252e-03,2.393550e-03,2.455709e-03,2.496043e-03,2.509133e-03,2.554521e-03,2.582596e-03,2.592533e-03,2.623787e-03,2.641955e-03,2.648860e-03,2.668288e-03,2.678529e-03,2.682566e-03,2.692152e-03,2.696116e-03,2.697470e-03,2.698910e-03,2.697963e-03,2.696831e-03,2.691565e-03,2.686834e-03,2.683416e-03,2.672666e-03,2.665075e-03,2.659572e-03,2.644373e-03,2.634679e-03,2.627285e-03,2.608511e-03,2.597329e-03,2.588234e-03,2.566623e-03,2.554454e-03,2.543835e-03,2.520011e-03,2.507258e-03,2.495283e-03,2.469772e-03,2.456756e-03,2.443586e-03,2.416826e-03,2.403806e-03,2.389586e-03,2.361949e-03,2.349124e-03,2.333992e-03,2.305787e-03,2.293315e-03,2.277397e-03,2.248881e-03,2.236880e-03,2.220293e-03,2.191681e-03,2.180240e-03,2.163090e-03,2.134560e-03,2.123742e-03,2.106126e-03,2.077823e-03,2.067671e-03,2.049679e-03,2.021722e-03,2.012263e-03,1.993976e-03,1.966461e-03,1.957709e-03,1.939199e-03,1.912205e-03,1.904162e-03,1.885496e-03,1.859084e-03,1.851744e-03,1.832982e-03,1.807199e-03,1.800549e-03,1.781746e-03,1.756629e-03,1.750652e-03,1.731855e-03,1.707431e-03,1.702105e-03,1.683359e-03,1.659645e-03,1.654945e-03,1.636291e-03,1.613298e-03,1.609198e-03,1.590669e-03,1.568404e-03,1.564876e-03,1.546504e-03,1.524968e-03,1.521982e-03,1.503796e-03,1.482985e-03,1.480512e-03,1.462536e-03,1.442445e-03,1.440456e-03,1.422711e-03,1.403332e-03,1.401797e-03,1.384304e-03,1.365624e-03,1.364514e-03,1.347290e-03,1.329297e-03,1.328585e-03,1.311644e-03,1.294325e-03,1.293982e-03,1.277337e-03,1.260676e-03,1.228638e-03,1.197835e-03,1.168235e-03,1.139804e-03,1.112510e-03,1.086318e-03,1.061196e-03,1.037109e-03,1.014026e-03,9.919131e-04,9.707388e-04,9.504718e-04,9.310813e-04,9.125372e-04,8.948103e-04,8.778719e-04,8.616942e-04,8.462501e-04,8.315131e-04,8.174577e-04,8.040589e-04,7.912927e-04,7.791357e-04,7.675651e-04,7.565590e-04,7.460962e-04,7.361559e-04,7.267183e-04,7.177641e-04,7.092745e-04,7.012316e-04,6.936177e-04,6.864161e-04,6.796104e-04,6.731848e-04,6.671241e-04,6.614135e-04,6.560387e-04,6.509861e-04,6.462422e-04,6.417942e-04,6.376298e-04,6.337369e-04,6.301040e-04,6.267199e-04,6.235737e-04,6.206552e-04,6.179541e-04,6.154609e-04
0.000000e+00,2.317815e-09,3.757349e-08,3.933499e-08,2.607298e-07,8.755826e-07,9.112227e-07,1.976200e-06,3.070794e-06,3.139060e-06,4.222401e-06,5.119445e-06,5.192919e-06,6.052787e-06,6.738976e-06,6.810397e-06,7.474830e-06,7.989322e-06,8.054714e-06,8.558050e-06,8.935329e-06,8.992204e-06,9.363927e-06,9.632461e-06,9.679393e-06,9.944233e-06,1.012724e-05,1.016357e-05,1.034207e-05,1.045831e-05,1.048395e-05,1.059304e-05,1.065762e-05,1.067282e-05,1.072642e-05,1.075140e-05,1.075668e-05,1.076616e-05,1.076118e-05,1.075719e-05,1.073186e-05,1.070456e-05,1.069206e-05,1.063949e-05,1.059593e-05,1.057570e-05,1.050205e-05,1.044700e-05,1.041982e-05,1.033011e-05,1.026731e-05,1.023395e-05,1.013223e-05,1.006460e-05,1.002578e-05,9.915343e-06,9.845154e-06,9.801564e-06,9.685041e-06,9.614032e-06,9.566303e-06,9.445824e-06,9.375319e-06,9.324030e-06,9.201300e-06,9.132289e-06,9.077970e-06,8.954344e-06,8.887558e-06,8.830689e-06,8.707242e-06,8.643203e-06,8.584214e-06,8.461792e-06,8.400860e-06,8.340140e-06,8.219402e-06,8.161810e-06,8.099704e-06,7.981157e-06,7.927038e-06,7.863856e-06,7.747884e-06,7.697297e-06,7.633313e-06,7.520201e-06,7.473143e-06,7.408601e-06,7.298555e-06,7.254979e-06,7.190097e-06,7.083255e-06,7.043083e-06,6.978051e-06,6.874500e-06,6.837630e-06,6.772617e-06,6.672406e-06,6.638716e-06,6.573871e-06,6.477013e-06,6.446372e-06,6.381828e-06,6.288309e-06,6.260578e-06,6.196450e-06,6.106238e-06,6.081272e-06,6.017661e-06,5.930707e-06,5.908362e-06,5.845357e-06,5.761598e-06,5.741730e-06,5.679410e-06,5.598775e-06,5.581242e-06,5.519673e-06,5.442085e-06,5.426748e-06,5.365990e-06,5.291367e-06,5.278090e-06,5.218195e-06,5.146451e-06,5.135103e-06,5.076114e-06,5.007162e-06,4.997617e-06,4.939572e-06,4.873323e-06,4.865462e-06,4.808392e-06,4.744757e-06,4.738464e-06,4.682396e-06,4.621287e-06,4.616452e-06,4.561409e-06,4.502740e-06,4.499257e-06,4.445257e-06,4.388941e-06,4.386712e-06,4.333769e-06,4.279722e-06,4.278652e-06,4.226778e-06,4.174918e-06,4.075351e-06,3.979800e-06,3.888117e-06,3.800157e-06,3.715782e-06,3.634855e-06,3.557248e-06,3.482833e-06,3.411488e-06,3.343097e-06,3.277545e-06,3.214722e-06,3.154524e-06,3.096849e-06,3.041598e-06,2.988677e-06,2.937996e-06,2.889466e-06,2.843004e-06,2.798528e-06,2.755960e-06,2.715226e-06,2.676252e-06,2.638969e-06,2.603310e-06,2.569211e-06,2.536609e-06,2.505446e-06,2.475663e-06,2.447207e-06,2.420022e-06,2.394059e-06,2.369269e-06,2.345604e-06,2.323019e-06,2.301470e-06,2.280915e-06,2.261315e-06,2.242629e-06,2.224822e-06,2.207856e-06,2.191698e-06,2.176315e-06,2.161674e-06,2.147745e-06,2.134499e-06,2.121907e-06,2.109942e-06,2.098578e-06
0.000000e+00,3.953538e-10,5.614265e-08,6.055052e-08,1.383290e-06,1.255252e-05,1.359844e-05,7.945816e-05,3.003331e-04,3.241084e-04,1.017335e-03,2.446113e-03,2.622681e-03,5.815659e-03,1.076646e-02,1.147143e-02,2.063081e-02,3.250853e-02,3.445379e-02,5.416777e-02,7.678169e-02,8.101563e-02,1.162073e-01,1.530490e-01,1.608767e-01,2.160461e-01,2.697438e-01,2.825975e-01,3.612513e-01,4.332603e-01,4.525524e-01,5.568630e-01,6.473770e-01,6.743605e-01,8.050408e-01,9.130709e-01,9.487257e-01,1.105074e+00,1.228639e+00,1.273592e+00,1.453655e+00,1.590033e+00,1.644515e+00,1.845325e+00,1.991317e+00,2.055154e+00,2.273000e+00,2.425181e+00,2.497813e+00,2.728508e+00,2.883451e+00,2.963977e+00,3.203107e+00,3.357560e+00,3.444791e+00,3.687939e+00,3.838958e+00,3.931487e+00,4.174406e+00,4.319444e+00,4.415711e+00,4.654467e+00,4.791426e+00,4.889790e+00,5.120855e+00,5.248104e+00,5.346898e+00,5.567218e+00,5.683584e+00,5.781176e+00,5.988201e+00,6.092941e+00,6.187781e+00,6.379470e+00,6.472232e+00,6.562881e+00,6.737689e+00,6.818459e+00,6.903624e+00,7.060473e+00,7.129525e+00,7.208073e+00,7.346313e+00,7.404155e+00,7.475127e+00,7.594492e+00,7.641811e+00,7.704426e+00,7.804982e+00,7.842598e+00,7.896250e+00,7.978348e+00,8.007171e+00,8.051423e+00,8.115648e+00,8.136639e+00,8.171216e+00,8.218342e+00,8.232482e+00,8.257255e+00,8.288201e+00,8.296462e+00,8.311437e+00,8.327230e+00,8.330558e+00,8.335858e+00,8.337600e+00,8.336893e+00,8.332744e+00,8.321580e+00,8.317680e+00,8.304398e+00,8.281490e+00,8.275172e+00,8.253146e+00,8.219654e+00,8.211624e+00,8.181300e+00,8.138365e+00,8.129253e+00,8.091125e+00,8.039853e+00,8.030216e+00,7.984814e+00,7.926266e+00,7.916590e+00,7.864463e+00,7.799650e+00,7.790349e+00,7.732064e+00,7.661936e+00,7.653360e+00,7.589488e+00,7.514935e+00,7.507372e+00,7.438483e+00,7.360330e+00,7.354010e+00,7.280667e+00,7.199676e+00,7.194778e+00,7.117532e+00,7.034400e+00,7.031057e+00,6.950441e+00,6.865804e+00,6.864105e+00,6.780633e+00,6.695066e+00,6.524970e+00,6.354741e+00,6.185203e+00,6.017084e+00,5.851026e+00,5.687586e+00,5.527250e+00,5.370432e+00,5.217481e+00,5.068693e+00,4.924308e+00,4.784520e+00,4.649479e+00,4.519298e+00,4.394055e+00,4.273796e+00,4.158542e+00,4.048287e+00,3.943007e+00,3.842656e+00,3.747173e+00,3.656481e+00,3.570493e+00,3.489109e+00,3.412221e+00,3.339712e+00,3.271459e+00,3.207335e+00,3.147205e+00,3.090934e+00,3.038383e+00,2.989411e+00,2.943876e+00,2.901635e+00,2.862545e+00,2.826464e+00,2.793251e+00,2.762765e+00,2.734869e+00,2.709427e+00,2.686303e+00,2.665367e+00,2.646491e+00,2.629550e+00,2.614420e+00,2.600985e+00,2.589128e+00,2.578739e+00,2.569710e+00
0.000000e+00,6.445204e-10,8.742222e-09,9.129427e-09,5.684443e-08,1.974369e-07,2.060809e-07,4.918902e-07,8.348086e-07,8.574332e-07,1.230594e-06,1.556725e-06,1.584085e-06,1.911922e-06,2.184656e-06,2.213681e-06,2.490298e-06,2.713926e-06,2.743037e-06,2.973215e-06,3.154118e-06,3.182135e-06,3.371057e-06,3.515193e-06,3.541204e-06,3.693756e-06,3.806513e-06,3.829843e-06,3.950547e-06,4.036728e-06,4.056897e-06,4.149873e-06,4.213703e-06,4.230395e-06,4.299333e-06,4.344485e-06,4.357508e-06,4.405698e-06,4.435364e-06,4.444638e-06,4.475012e-06,4.491940e-06,4.497464e-06,4.512599e-06,4.519145e-06,4.520984e-06,4.523151e-06,4.521328e-06,4.519598e-06,4.510791e-06,4.502313e-06,4.497166e-06,4.479133e-06,4.465455e-06,4.457072e-06,4.431342e-06,4.413693e-06,4.402275e-06,4.370184e-06,4.349598e-06,4.335358e-06,4.298068e-06,4.275413e-06,4.258569e-06,4.217095e-06,4.193089e-06,4.173866e-06,4.129085e-06,4.104326e-06,4.082943e-06,4.035617e-06,4.010594e-06,3.987271e-06,3.938056e-06,3.913167e-06,3.888114e-06,3.837575e-06,3.813141e-06,3.786562e-06,3.735185e-06,3.711459e-06,3.683549e-06,3.631749e-06,3.608928e-06,3.579873e-06,3.528002e-06,3.506236e-06,3.476211e-06,3.424567e-06,3.403966e-06,3.373135e-06,3.321971e-06,3.302610e-06,3.271127e-06,3.220652e-06,3.202580e-06,3.170589e-06,3.120976e-06,3.104217e-06,3.071849e-06,3.023241e-06,3.007801e-06,2.975180e-06,2.927691e-06,2.913560e-06,2.880798e-06,2.834519e-06,2.821674e-06,2.788874e-06,2.743877e-06,2.732285e-06,2.699540e-06,2.655877e-06,2.645499e-06,2.612895e-06,2.570602e-06,2.561391e-06,2.529005e-06,2.488108e-06,2.480013e-06,2.447914e-06,2.408425e-06,2.401392e-06,2.369643e-06,2.331566e-06,2.325539e-06,2.294194e-06,2.257525e-06,2.252447e-06,2.221555e-06,2.186282e-06,2.182096e-06,2.151701e-06,2.117806e-06,2.114454e-06,2.084594e-06,2.052056e-06,2.049482e-06,2.020188e-06,1.988982e-06,1.987131e-06,1.958431e-06,1.928527e-06,1.927345e-06,1.899263e-06,1.870631e-06,1.870065e-06,1.842621e-06,1.815226e-06,1.762763e-06,1.712606e-06,1.664683e-06,1.618924e-06,1.575256e-06,1.533607e-06,1.493905e-06,1.456080e-06,1.420061e-06,1.385780e-06,1.353168e-06,1.322160e-06,1.292692e-06,1.264700e-06,1.238125e-06,1.212905e-06,1.188985e-06,1.166309e-06,1.144822e-06,1.124474e-06,1.105214e-06,1.086994e-06,1.069768e-06,1.053490e-06,1.038119e-06,1.023612e-06,1.009930e-06,9.970351e-07,9.848905e-07,9.734612e-07,9.627134e-07,9.526151e-07,9.431353e-07,9.342443e-07,9.259140e-07,9.181170e-07,9.108275e-07,9.040205e-07,8.976723e-07,8.917602e-07,8.862622e-07,8.811578e-07,8.764268e-07,8.720504e-07,8.680104e-07,8.642894e-07,8.608708e-07,8.577388e-07,8.548783e-07
0.000000e+00,9.100106e-11,1.089006e-08,1.170210e-08,2.300063e-07,1.948378e-06,2.107463e-06,1.208402e-05,4.552462e-05,4.911773e-05,1.529539e-04,3.617231e-04,3.871093e-04,8.343379e-04,1.495596e-03,1.587333e-03,2.738339e-03,4.146525e-03,4.370099e-03,6.549226e-03,8.897098e-03,9.322228e-03,1.271393e-02,1.604422e-02,1.672781e-02,2.134772e-02,2.556549e-02,2.654054e-02,3.225927e-02,3.717449e-02,3.844633e-02,4.503670e-02,5.041255e-02,5.196089e-02,5.914752e-02,6.474109e-02,6.652553e-02,7.402590e-02,7.961626e-02,8.158311e-02,8.913612e-02,9.454013e-02,9.662911e-02,1.040118e-01,1.090901e-01,1.112399e-01,1.182747e-01,1.229310e-01,1.250834e-01,1.316384e-01,1.358146e-01,1.379173e-01,1.439026e-01,1.475727e-01,1.495808e-01,1.549425e-01,1.581050e-01,1.599816e-01,1.646952e-01,1.673669e-01,1.690830e-01,1.731470e-01,1.753572e-01,1.768911e-01,1.803210e-01,1.821070e-01,1.834435e-01,1.862667e-01,1.876700e-01,1.887997e-01,1.910519e-01,1.921155e-01,1.930336e-01,1.947552e-01,1.955219e-01,1.962276e-01,1.974614e-01,1.979722e-01,1.984678e-01,1.992575e-01,1.995510e-01,1.998413e-01,2.002298e-01,2.003416e-01,2.004334e-01,2.004622e-01,2.004246e-01,2.003262e-01,2.000349e-01,1.998770e-01,1.995977e-01,1.990234e-01,1.987711e-01,1.983209e-01,1.974984e-01,1.971745e-01,1.965641e-01,1.955255e-01,1.951499e-01,1.943901e-01,1.931649e-01,1.927551e-01,1.918568e-01,1.904723e-01,1.900429e-01,1.890174e-01,1.874981e-01,1.870620e-01,1.859201e-01,1.842886e-01,1.838563e-01,1.826088e-01,1.808855e-01,1.804660e-01,1.791234e-01,1.773267e-01,1.769273e-01,1.754998e-01,1.736464e-01,1.732728e-01,1.717703e-01,1.698751e-01,1.695322e-01,1.679641e-01,1.660405e-01,1.657317e-01,1.641072e-01,1.621670e-01,1.618950e-01,1.602227e-01,1.582768e-01,1.580433e-01,1.563315e-01,1.543891e-01,1.541951e-01,1.524517e-01,1.505213e-01,1.503672e-01,1.485996e-01,1.466884e-01,1.465741e-01,1.447893e-01,1.429037e-01,1.428286e-01,1.410331e-01,1.391788e-01,1.391419e-01,1.373420e-01,1.355238e-01,1.319824e-01,1.285250e-01,1.251574e-01,1.218846e-01,1.187106e-01,1.156386e-01,1.126710e-01,1.098096e-01,1.070554e-01,1.044091e-01,1.018707e-01,9.943993e-02,9.711595e-02,9.489768e-02,9.278367e-02,9.077222e-02,8.886139e-02,8.704902e-02,8.533278e-02,8.371015e-02,8.217852e-02,8.073513e-02,7.937716e-02,7.810169e-02,7.690576e-02,7.578633e-02,7.474040e-02,7.376488e-02,7.285675e-02,7.201296e-02,7.123051e-02,7.050642e-02,6.983776e-02,6.922161e-02,6.865516e-02,6.813560e-02,6.766023e-02,6.722639e-02,6.683152e-02,6.647313e-02,6.614881e-02,6.585624e-02,6.559319e-02,6.535750e-02,6.514713e-02,6.496010e-02,6.479453e-02,6.464865e-02,6.452074e-02
0.000000e+00,7.169266e-09,1.586867e-07,1.668509e-07,1.270532e-06,4.400628e-06,4.577032e-06,9.567633e-06,1.448931e-05,1.479826e-05,1.979658e-05,2.411862e-05,2.448163e-05,2.884871e-05,3.251616e-05,3.290874e-05,3.667552e-05,3.975875e-05,4.016294e-05,4.338446e-05,4.595225e-05,4.635311e-05,4.908140e-05,5.119620e-05,5.158132e-05,5.386464e-05,5.558342e-05,5.594287e-05,5.782720e-05,5.920234e-05,5.952845e-05,6.105710e-05,6.213611e-05,6.242320e-05,6.363643e-05,6.446193e-05,6.470601e-05,6.564077e-05,6.625065e-05,6.644911e-05,6.713901e-05,6.756667e-05,6.771806e-05,6.819346e-05,6.846823e-05,6.857202e-05,6.886020e-05,6.900767e-05,6.906411e-05,6.918953e-05,6.923197e-05,6.924191e-05,6.922641e-05,6.918313e-05,6.914790e-05,6.901097e-05,6.889865e-05,6.881996e-05,6.857894e-05,6.841194e-05,6.829178e-05,6.796210e-05,6.775276e-05,6.759333e-05,6.718867e-05,6.694753e-05,6.675117e-05,6.628367e-05,6.601969e-05,6.578884e-05,6.526922e-05,6.499001e-05,6.472716e-05,6.416489e-05,6.387684e-05,6.358450e-05,6.298794e-05,6.269640e-05,6.237705e-05,6.175355e-05,6.146296e-05,6.111906e-05,6.047507e-05,6.018907e-05,5.982300e-05,5.916418e-05,5.888575e-05,5.849983e-05,5.783110e-05,5.756263e-05,5.715907e-05,5.648474e-05,5.622809e-05,5.580905e-05,5.513285e-05,5.488945e-05,5.445695e-05,5.378210e-05,5.355301e-05,5.310899e-05,5.243827e-05,5.222425e-05,5.177053e-05,5.110632e-05,5.090781e-05,5.044613e-05,4.979044e-05,4.960771e-05,4.913967e-05,4.849421e-05,4.832731e-05,4.785442e-05,4.722063e-05,4.706944e-05,4.659312e-05,4.597217e-05,4.583647e-05,4.535802e-05,4.475089e-05,4.463032e-05,4.415096e-05,4.355841e-05,4.345255e-05,4.297339e-05,4.239604e-05,4.230439e-05,4.182647e-05,4.126478e-05,4.118677e-05,4.071104e-05,4.016533e-05,4.010039e-05,3.962770e-05,3.909820e-05,3.904570e-05,3.857685e-05,3.806367e-05,3.802297e-05,3.755867e-05,3.706185e-05,3.703230e-05,3.657319e-05,3.609269e-05,3.607364e-05,3.562031e-05,3.515603e-05,3.514682e-05,3.469979e-05,3.425156e-05,3.338749e-05,3.255415e-05,3.175103e-05,3.097754e-05,3.023307e-05,2.951697e-05,2.882855e-05,2.816711e-05,2.753191e-05,2.692224e-05,2.633734e-05,2.577647e-05,2.523888e-05,2.472384e-05,2.423060e-05,2.375845e-05,2.330665e-05,2.287450e-05,2.246131e-05,2.206640e-05,2.168910e-05,2.132876e-05,2.098474e-05,2.065642e-05,2.034320e-05,2.004450e-05,1.975973e-05,1.948835e-05,1.922982e-05,1.898362e-05,1.874925e-05,1.852621e-05,1.831404e-05,1.811228e-05,1.792048e-05,1.773823e-05,1.756510e-05,1.740071e-05,1.724467e-05,1.709661e-05,1.695618e-05,1.682303e-05,1.669683e-05,1.657726e-05,1.646403e-05,1.635683e-05,1.625539e-05,1.615942e-05,1.606868e-05
0.000000e+00,3.991547e-11,5.240336e-09,5.649387e-09,1.311929e-07,1.220707e-06,1.322762e-06,7.521414e-06,2.604245e-05,2.789769e-05,7.572654e-05,1.554695e-04,1.643149e-04,3.032060e-04,4.745783e-04,4.963213e-04,7.419508e-04,9.966852e-04,1.033876e-03,1.362929e-03,1.667542e-03,1.718514e-03,2.089856e-03,2.406555e-03,2.466880e-03,2.840759e-03,3.139809e-03,3.204173e-03,3.551373e-03,3.814544e-03,3.878091e-03,4.181395e-03,4.400525e-03,4.459483e-03,4.711483e-03,4.885449e-03,4.937258e-03,5.137234e-03,5.269088e-03,5.312249e-03,5.463431e-03,5.558259e-03,5.592096e-03,5.699673e-03,5.763221e-03,5.787641e-03,5.857484e-03,5.895371e-03,5.910662e-03,5.948585e-03,5.965914e-03,5.972599e-03,5.983981e-03,5.985190e-03,5.983925e-03,5.973547e-03,5.962389e-03,5.953887e-03,5.925902e-03,5.905488e-03,5.890480e-03,5.848435e-03,5.821312e-03,5.800516e-03,5.747409e-03,5.715639e-03,5.689742e-03,5.628092e-03,5.593331e-03,5.562982e-03,5.494892e-03,5.458454e-03,5.424259e-03,5.351479e-03,5.314399e-03,5.276914e-03,5.200893e-03,5.163975e-03,5.123715e-03,5.045648e-03,5.009508e-03,4.966940e-03,4.887810e-03,4.852912e-03,4.808459e-03,4.729068e-03,4.695752e-03,4.649800e-03,4.570799e-03,4.539304e-03,4.492198e-03,4.414112e-03,4.384598e-03,4.336648e-03,4.259897e-03,4.232457e-03,4.183942e-03,4.108855e-03,4.083535e-03,4.034701e-03,3.961534e-03,3.938337e-03,3.889404e-03,3.818351e-03,3.797251e-03,3.748412e-03,3.679616e-03,3.660561e-03,3.611987e-03,3.545547e-03,3.528470e-03,3.480311e-03,3.416291e-03,3.401108e-03,3.353496e-03,3.291931e-03,3.278552e-03,3.231599e-03,3.172500e-03,3.160828e-03,3.114632e-03,3.057990e-03,3.047925e-03,3.002569e-03,2.948361e-03,2.939799e-03,2.895355e-03,2.843543e-03,2.836384e-03,2.792911e-03,2.743448e-03,2.737590e-03,2.695138e-03,2.647968e-03,2.643313e-03,2.601923e-03,2.556986e-03,2.553438e-03,2.513141e-03,2.470372e-03,2.467839e-03,2.428660e-03,2.387990e-03,2.386384e-03,2.348342e-03,2.309699e-03,2.308937e-03,2.272044e-03,2.235357e-03,2.165505e-03,2.099240e-03,2.036423e-03,1.976914e-03,1.920577e-03,1.867281e-03,1.816894e-03,1.769290e-03,1.724346e-03,1.681943e-03,1.641965e-03,1.604302e-03,1.568845e-03,1.535492e-03,1.504143e-03,1.474702e-03,1.447077e-03,1.421181e-03,1.396928e-03,1.374239e-03,1.353034e-03,1.333240e-03,1.314786e-03,1.297603e-03,1.281627e-03,1.266795e-03,1.253048e-03,1.240329e-03,1.228584e-03,1.217759e-03,1.207807e-03,1.198680e-03,1.190332e-03,1.182720e-03,1.175804e-03,1.169543e-03,1.163901e-03,1.158842e-03,1.154331e-03,1.150336e-03,1.146826e-03,1.143771e-03,1.141144e-03,1.138918e-03,1.137066e-03,1.135565e-03,1.134392e-03,1.133524e-03,1.132941e-03
0.000000e+00,1.676645e-09,2.969774e-08,3.113508e-08,2.184860e-07,7.697068e-07,8.025440e-07,1.809570e-06,2.885221e-06,2.953679e-06,4.063713e-06,5.019872e-06,5.099843e-06,6.056792e-06,6.852203e-06,6.936859e-06,7.744012e-06,8.397337e-06,8.482461e-06,9.156300e-06,9.687114e-06,9.769441e-06,1.032561e-05,1.075138e-05,1.082838e-05,1.128113e-05,1.161734e-05,1.168710e-05,1.204939e-05,1.230974e-05,1.237092e-05,1.265450e-05,1.285102e-05,1.290273e-05,1.311806e-05,1.326115e-05,1.330283e-05,1.345928e-05,1.355808e-05,1.358953e-05,1.369550e-05,1.375780e-05,1.377902e-05,1.384181e-05,1.387428e-05,1.388545e-05,1.391145e-05,1.391976e-05,1.392119e-05,1.391598e-05,1.390496e-05,1.389705e-05,1.386552e-05,1.383923e-05,1.382246e-05,1.376885e-05,1.373073e-05,1.370562e-05,1.363363e-05,1.358657e-05,1.355368e-05,1.346651e-05,1.341292e-05,1.337282e-05,1.327325e-05,1.321515e-05,1.316840e-05,1.305883e-05,1.299789e-05,1.294506e-05,1.282757e-05,1.276515e-05,1.270680e-05,1.258318e-05,1.252041e-05,1.245708e-05,1.232885e-05,1.226665e-05,1.219884e-05,1.206734e-05,1.200643e-05,1.193464e-05,1.180100e-05,1.174196e-05,1.166665e-05,1.153182e-05,1.147510e-05,1.139671e-05,1.126152e-05,1.120746e-05,1.112641e-05,1.099154e-05,1.094038e-05,1.085706e-05,1.072310e-05,1.067503e-05,1.058978e-05,1.045722e-05,1.041234e-05,1.032551e-05,1.019475e-05,1.015312e-05,1.006502e-05,9.936392e-06,9.898030e-06,9.808938e-06,9.682719e-06,9.647606e-06,9.557788e-06,9.434193e-06,9.402283e-06,9.311978e-06,9.191180e-06,9.162404e-06,9.071833e-06,8.953965e-06,8.928235e-06,8.837600e-06,8.722759e-06,8.699976e-06,8.609460e-06,8.497715e-06,8.477767e-06,8.387537e-06,8.278932e-06,8.261702e-06,8.171908e-06,8.066466e-06,8.051831e-06,7.962609e-06,7.860334e-06,7.848168e-06,7.759640e-06,7.660522e-06,7.650697e-06,7.562974e-06,7.466989e-06,7.459378e-06,7.372558e-06,7.279671e-06,7.274146e-06,7.188317e-06,7.098484e-06,7.094922e-06,7.010161e-06,6.923332e-06,6.921611e-06,6.837985e-06,6.754104e-06,6.592285e-06,6.436029e-06,6.285206e-06,6.139679e-06,5.999312e-06,5.863962e-06,5.733490e-06,5.607753e-06,5.486610e-06,5.369921e-06,5.257546e-06,5.149350e-06,5.045197e-06,4.944953e-06,4.848491e-06,4.755681e-06,4.666400e-06,4.580528e-06,4.497946e-06,4.418539e-06,4.342196e-06,4.268809e-06,4.198273e-06,4.130485e-06,4.065346e-06,4.002761e-06,3.942638e-06,3.884886e-06,3.829418e-06,3.776151e-06,3.725004e-06,3.675898e-06,3.628757e-06,3.583509e-06,3.540083e-06,3.498410e-06,3.458425e-06,3.420064e-06,3.383266e-06,3.347973e-06,3.314126e-06,3.281672e-06,3.250556e-06,3.220729e-06,3.192140e-06,3.164742e-06,3.138490e-06,3.113340e-06,3.089248e-06
0.000000e+00,9.104474e-10,6.412537e-08,6.830203e-08,9.210497e-07,5.598671e-06,5.968498e-06,2.307731e-05,5.683874e-05,5.960039e-05,1.141070e-04,1.730256e-04,1.783149e-04,2.444285e-04,3.018403e-04,3.080203e-04,3.672750e-04,4.154238e-04,4.216982e-04,4.713258e-04,5.103352e-04,5.163767e-04,5.571216e-04,5.882233e-04,5.938387e-04,6.267995e-04,6.512073e-04,6.562642e-04,6.824798e-04,7.012702e-04,7.056796e-04,7.260834e-04,7.401905e-04,7.438975e-04,7.593153e-04,7.695419e-04,7.725178e-04,7.836742e-04,7.907062e-04,7.929428e-04,8.004710e-04,8.048913e-04,8.063964e-04,8.108475e-04,8.131504e-04,8.139438e-04,8.157967e-04,8.163996e-04,8.165098e-04,8.161797e-04,8.154341e-04,8.148960e-04,8.127424e-04,8.109435e-04,8.097963e-04,8.061299e-04,8.035246e-04,8.018102e-04,7.968994e-04,7.936934e-04,7.914552e-04,7.855312e-04,7.818951e-04,7.791770e-04,7.724386e-04,7.685134e-04,7.653588e-04,7.579768e-04,7.538779e-04,7.503293e-04,7.424501e-04,7.382718e-04,7.343705e-04,7.261190e-04,7.219373e-04,7.177224e-04,7.092051e-04,7.050806e-04,7.005897e-04,6.918972e-04,6.878781e-04,6.831467e-04,6.743556e-04,6.704789e-04,6.655401e-04,6.567148e-04,6.530086e-04,6.478934e-04,6.390883e-04,6.355734e-04,6.303108e-04,6.215711e-04,6.182619e-04,6.128786e-04,6.042418e-04,6.011477e-04,5.956684e-04,5.871653e-04,5.842914e-04,5.787388e-04,5.703946e-04,5.677427e-04,5.621377e-04,5.539726e-04,5.515415e-04,5.459032e-04,5.379330e-04,5.357196e-04,5.300651e-04,5.223022e-04,5.203013e-04,5.146465e-04,5.071000e-04,5.053053e-04,4.996643e-04,4.923407e-04,4.907447e-04,4.851303e-04,4.780339e-04,4.766284e-04,4.710522e-04,4.641854e-04,4.629616e-04,4.574338e-04,4.507975e-04,4.497463e-04,4.442761e-04,4.378695e-04,4.369817e-04,4.315772e-04,4.253986e-04,4.246648e-04,4.193331e-04,4.133800e-04,4.127908e-04,4.075384e-04,4.018072e-04,4.013535e-04,3.961857e-04,3.906725e-04,3.903452e-04,3.852667e-04,3.799670e-04,3.797572e-04,3.747722e-04,3.696809e-04,3.695802e-04,3.646920e-04,3.598041e-04,3.504183e-04,3.414121e-04,3.327743e-04,3.244937e-04,3.165589e-04,3.089587e-04,3.016819e-04,2.947173e-04,2.880539e-04,2.816811e-04,2.755882e-04,2.697648e-04,2.642010e-04,2.588867e-04,2.538126e-04,2.489692e-04,2.443475e-04,2.399388e-04,2.357347e-04,2.317269e-04,2.279075e-04,2.242689e-04,2.208037e-04,2.175048e-04,2.143653e-04,2.113786e-04,2.085384e-04,2.058384e-04,2.032729e-04,2.008362e-04,1.985227e-04,1.963273e-04,1.942448e-04,1.922705e-04,1.903997e-04,1.886279e-04,1.869509e-04,1.853644e-04,1.838645e-04,1.824475e-04,1.811096e-04,1.798474e-04,1.786575e-04,1.775367e-04,1.764818e-04,1.754900e-04,1.745583e-04,1.736840e-04,1.728645e-04
0.000000e+00,1.484467e-09,1.985637e-07,2.139236e-07,4.756461e-06,4.395203e-05,4.767824e-05,2.897245e-04,1.134411e-03,1.226610e-03,3.951749e-03,9.634191e-03,1.033812e-02,2.306942e-02,4.274814e-02,4.554269e-02,8.169078e-02,1.281871e-01,1.357671e-01,2.121232e-01,2.988486e-01,3.149992e-01,4.483405e-01,5.864667e-01,6.156464e-01,8.198542e-01,1.016471e+00,1.063257e+00,1.347454e+00,1.604804e+00,1.673333e+00,2.041073e+00,2.356670e+00,2.450171e+00,2.899486e+00,3.266819e+00,3.387289e+00,3.911336e+00,4.320893e+00,4.468928e+00,5.056992e+00,5.497379e+00,5.672149e+00,6.310791e+00,6.769797e+00,6.969144e+00,7.643339e+00,8.108845e+00,8.329466e+00,9.023636e+00,9.484330e+00,9.722019e+00,1.042090e+01,1.086678e+01,1.111669e+01,1.180600e+01,1.222870e+01,1.248562e+01,1.315256e+01,1.354548e+01,1.380407e+01,1.443763e+01,1.479596e+01,1.505096e+01,1.564207e+01,1.596270e+01,1.620916e+01,1.675071e+01,1.703206e+01,1.726543e+01,1.775226e+01,1.799411e+01,1.821036e+01,1.863909e+01,1.884230e+01,1.903801e+01,1.940688e+01,1.957322e+01,1.974559e+01,2.005423e+01,2.018616e+01,2.033301e+01,2.058227e+01,2.068271e+01,2.080248e+01,2.099421e+01,2.106640e+01,2.115811e+01,2.129491e+01,2.134223e+01,2.140544e+01,2.149054e+01,2.151640e+01,2.155113e+01,2.158818e+01,2.159594e+01,2.160265e+01,2.159557e+01,2.158843e+01,2.156794e+01,2.152081e+01,2.150178e+01,2.145521e+01,2.137216e+01,2.134400e+01,2.127270e+01,2.115784e+01,2.112305e+01,2.102857e+01,2.088588e+01,2.084670e+01,2.073073e+01,2.056405e+01,2.052243e+01,2.038674e+01,2.019970e+01,2.015733e+01,2.000377e+01,1.979978e+01,1.975808e+01,1.958852e+01,1.937074e+01,1.933091e+01,1.914719e+01,1.891855e+01,1.888155e+01,1.868550e+01,1.844867e+01,1.841524e+01,1.820865e+01,1.796603e+01,1.793677e+01,1.772134e+01,1.747511e+01,1.745042e+01,1.722780e+01,1.697988e+01,1.696003e+01,1.673178e+01,1.648389e+01,1.646903e+01,1.623660e+01,1.599025e+01,1.598042e+01,1.574517e+01,1.550166e+01,1.549681e+01,1.526002e+01,1.502049e+01,1.455341e+01,1.409721e+01,1.365329e+01,1.322277e+01,1.280658e+01,1.240543e+01,1.201987e+01,1.165027e+01,1.129689e+01,1.095985e+01,1.063916e+01,1.033474e+01,1.004643e+01,9.773981e+00,9.517114e+00,9.275476e+00,9.048676e+00,8.836288e+00,8.637852e+00,8.452888e+00,8.280894e+00,8.121353e+00,7.973740e+00,7.837522e+00,7.712164e+00,7.597128e+00,7.491882e+00,7.395895e+00,7.308645e+00,7.229616e+00,7.158305e+00,7.094218e+00,7.036874e+00,6.985807e+00,6.940566e+00,6.900715e+00,6.865832e+00,6.835515e+00,6.809378e+00,6.787051e+00,6.768183e+00,6.752441e+00,6.739508e+00,6.729086e+00,6.720894e+00,6.714668e+00,6.710162e+00,6.707145e+00,6.705405e+00
0.000000e+00,2.224109e-09,8.447904e-08,8.917418e-08,8.565116e-07,4.197040e-06,4.440129e-06,1.455566e-05,3.179216e-05,3.310584e-05,5.690754e-05,7.926929e-05,8.115169e-05,1.034036e-04,1.212295e-04,1.230810e-04,1.402383e-04,1.534162e-04,1.550831e-04,1.678444e-04,1.773192e-04,1.787398e-04,1.879691e-04,1.945669e-04,1.957131e-04,2.021353e-04,2.065188e-04,2.073827e-04,2.115876e-04,2.142812e-04,2.148688e-04,2.173328e-04,2.187493e-04,2.190752e-04,2.201814e-04,2.206441e-04,2.207280e-04,2.207833e-04,2.205441e-04,2.204084e-04,2.196576e-04,2.189119e-04,2.185797e-04,2.172180e-04,2.161167e-04,2.156109e-04,2.137929e-04,2.124519e-04,2.117945e-04,2.096429e-04,2.081507e-04,2.073621e-04,2.049736e-04,2.033972e-04,2.024963e-04,1.999471e-04,1.983370e-04,1.973407e-04,1.946905e-04,1.930841e-04,1.920079e-04,1.893032e-04,1.877279e-04,1.865854e-04,1.838623e-04,1.823378e-04,1.811410e-04,1.784274e-04,1.769672e-04,1.757269e-04,1.730439e-04,1.716571e-04,1.703825e-04,1.677462e-04,1.664383e-04,1.651377e-04,1.625597e-04,1.613337e-04,1.600142e-04,1.575030e-04,1.563598e-04,1.550277e-04,1.525893e-04,1.515284e-04,1.501889e-04,1.478273e-04,1.468471e-04,1.455050e-04,1.432224e-04,1.423206e-04,1.409799e-04,1.387775e-04,1.379511e-04,1.366153e-04,1.344932e-04,1.337390e-04,1.324111e-04,1.303688e-04,1.296835e-04,1.283660e-04,1.264024e-04,1.257822e-04,1.244775e-04,1.225910e-04,1.220325e-04,1.207424e-04,1.189312e-04,1.184307e-04,1.171569e-04,1.154189e-04,1.149729e-04,1.137168e-04,1.120499e-04,1.116550e-04,1.104177e-04,1.088196e-04,1.084726e-04,1.072551e-04,1.057234e-04,1.054210e-04,1.042241e-04,1.027566e-04,1.024958e-04,1.013203e-04,9.991451e-05,9.969239e-05,9.853876e-05,9.719244e-05,9.700628e-05,9.587499e-05,9.458583e-05,9.443301e-05,9.332442e-05,9.209019e-05,9.196824e-05,9.088260e-05,8.970112e-05,8.960771e-05,8.854521e-05,8.741436e-05,8.734730e-05,8.630806e-05,8.522579e-05,8.518299e-05,8.416707e-05,8.313140e-05,8.311092e-05,8.211831e-05,8.112733e-05,7.922862e-05,7.741130e-05,7.567202e-05,7.400756e-05,7.241481e-05,7.089081e-05,6.943269e-05,6.803771e-05,6.670323e-05,6.542673e-05,6.420578e-05,6.303806e-05,6.192134e-05,6.085348e-05,5.983242e-05,5.885622e-05,5.792298e-05,5.703089e-05,5.617823e-05,5.536333e-05,5.458462e-05,5.384055e-05,5.312968e-05,5.245060e-05,5.180198e-05,5.118252e-05,5.059099e-05,5.002622e-05,4.948707e-05,4.897245e-05,4.848133e-05,4.801271e-05,4.756564e-05,4.713919e-05,4.673250e-05,4.634472e-05,4.597504e-05,4.562270e-05,4.528696e-05,4.496710e-05,4.466244e-05,4.437234e-05,4.409617e-05,4.383333e-05,4.358325e-05,4.334537e-05,4.311918e-05,4.290417e-05,4.269985e-05
0.000000e+00,2.736116e-10,3.348356e-08,3.602094e-08,6.956017e-07,4.902961e-06,5.246761e-06,2.173858e-05,5.645126e-05,5.940497e-05,1.210458e-04,1.941283e-04,2.009678e-04,2.892666e-04,3.681182e-04,3.765978e-04,4.564993e-04,5.179246e-04,5.255944e-04,5.828430e-04,6.228813e-04,6.286413e-04,6.641135e-04,6.869469e-04,6.906514e-04,7.096594e-04,7.205378e-04,7.224286e-04,7.300889e-04,7.331901e-04,7.336015e-04,7.337703e-04,7.320131e-04,7.312607e-04,7.266195e-04,7.219454e-04,7.202946e-04,7.126514e-04,7.063234e-04,7.039867e-04,6.945419e-04,6.873700e-04,6.845126e-04,6.740575e-04,6.665553e-04,6.633048e-04,6.523585e-04,6.448476e-04,6.413018e-04,6.302021e-04,6.228791e-04,6.191129e-04,6.080770e-04,6.010579e-04,5.971283e-04,5.862938e-04,5.796434e-04,5.755950e-04,5.650485e-04,5.587989e-04,5.546666e-04,5.444588e-04,5.386209e-04,5.344321e-04,5.245913e-04,5.191629e-04,5.149396e-04,5.054785e-04,5.004490e-04,4.962086e-04,4.871297e-04,4.824838e-04,4.782408e-04,4.695408e-04,4.652610e-04,4.610276e-04,4.526990e-04,4.487661e-04,4.445525e-04,4.365854e-04,4.329801e-04,4.287950e-04,4.211784e-04,4.178814e-04,4.137325e-04,4.064543e-04,4.034467e-04,3.993405e-04,3.923880e-04,3.896515e-04,3.855936e-04,3.789541e-04,3.764711e-04,3.724665e-04,3.661276e-04,3.638814e-04,3.599343e-04,3.538837e-04,3.518584e-04,3.479725e-04,3.421980e-04,3.403785e-04,3.365570e-04,3.310469e-04,3.294189e-04,3.256647e-04,3.204076e-04,3.189577e-04,3.152730e-04,3.102581e-04,3.089735e-04,3.053602e-04,3.005768e-04,2.994456e-04,2.959054e-04,2.913434e-04,2.903543e-04,2.868885e-04,2.825382e-04,2.816805e-04,2.782901e-04,2.741421e-04,2.734059e-04,2.700917e-04,2.661369e-04,2.655129e-04,2.622755e-04,2.585053e-04,2.579846e-04,2.548243e-04,2.512304e-04,2.508049e-04,2.477218e-04,2.442964e-04,2.439583e-04,2.409523e-04,2.376877e-04,2.374299e-04,2.345008e-04,2.313898e-04,2.312055e-04,2.283529e-04,2.253885e-04,2.252714e-04,2.224949e-04,2.196705e-04,2.196147e-04,2.169136e-04,2.142228e-04,2.090838e-04,2.041863e-04,1.995193e-04,1.950725e-04,1.908358e-04,1.867997e-04,1.829550e-04,1.792930e-04,1.758055e-04,1.724844e-04,1.693221e-04,1.663114e-04,1.634453e-04,1.607171e-04,1.581206e-04,1.556497e-04,1.532986e-04,1.510618e-04,1.489340e-04,1.469102e-04,1.449855e-04,1.431555e-04,1.414157e-04,1.397619e-04,1.381901e-04,1.366966e-04,1.352776e-04,1.339297e-04,1.326496e-04,1.314342e-04,1.302803e-04,1.291852e-04,1.281460e-04,1.271602e-04,1.262252e-04,1.253386e-04,1.244982e-04,1.237017e-04,1.229471e-04,1.222324e-04,1.215557e-04,1.209152e-04,1.203092e-04,1.197360e-04,1.191940e-04,1.186818e-04,1.181979e-04,1.177410e-04,1.173097e-04
0.000000e+00,5.187193e-09,1.169781e-07,1.230612e-07,9.909368e-07,3.787883e-06,3.959775e-06,9.371950e-06,1.527642e-05,1.565324e-05,2.176784e-05,2.704017e-05,2.748141e-05,3.276555e-05,3.716434e-05,3.763290e-05,4.210436e-05,4.572932e-05,4.620203e-05,4.994755e-05,5.290304e-05,5.336186e-05,5.646503e-05,5.884537e-05,5.927633e-05,6.181414e-05,6.370338e-05,6.409598e-05,6.613854e-05,6.761094e-05,6.795760e-05,6.956811e-05,7.068864e-05,7.098419e-05,7.221922e-05,7.304454e-05,7.328580e-05,7.419569e-05,7.477464e-05,7.495992e-05,7.558883e-05,7.596336e-05,7.609218e-05,7.647913e-05,7.668537e-05,7.675829e-05,7.693789e-05,7.700721e-05,7.702581e-05,7.702912e-05,7.698821e-05,7.695449e-05,7.680811e-05,7.667949e-05,7.659583e-05,7.632308e-05,7.612586e-05,7.599497e-05,7.561623e-05,7.536655e-05,7.519131e-05,7.472434e-05,7.443579e-05,7.421923e-05,7.367958e-05,7.336356e-05,7.310877e-05,7.250997e-05,7.217601e-05,7.188609e-05,7.123987e-05,7.089587e-05,7.057387e-05,6.989044e-05,6.954289e-05,6.919180e-05,6.848000e-05,6.813422e-05,6.775693e-05,6.702438e-05,6.668467e-05,6.628397e-05,6.553724e-05,6.520704e-05,6.478559e-05,6.403032e-05,6.371232e-05,6.327264e-05,6.251367e-05,6.220995e-05,6.175442e-05,6.099586e-05,6.070797e-05,6.023885e-05,5.948419e-05,5.921323e-05,5.873261e-05,5.798481e-05,5.773152e-05,5.724138e-05,5.650290e-05,5.626771e-05,5.576987e-05,5.504277e-05,5.482586e-05,5.432201e-05,5.360798e-05,5.340931e-05,5.290102e-05,5.220144e-05,5.202079e-05,5.150952e-05,5.082549e-05,5.066253e-05,5.014958e-05,4.948198e-05,4.933623e-05,4.882284e-05,4.817232e-05,4.804325e-05,4.753052e-05,4.689756e-05,4.678457e-05,4.627351e-05,4.565844e-05,4.556087e-05,4.505240e-05,4.445543e-05,4.437257e-05,4.386753e-05,4.328873e-05,4.321989e-05,4.271902e-05,4.215839e-05,4.210282e-05,4.160681e-05,4.106425e-05,4.102123e-05,4.053067e-05,4.000603e-05,3.997483e-05,3.949027e-05,3.898332e-05,3.896323e-05,3.848513e-05,3.799561e-05,3.798591e-05,3.751470e-05,3.704232e-05,3.613181e-05,3.525368e-05,3.440721e-05,3.359163e-05,3.280614e-05,3.204995e-05,3.132223e-05,3.062217e-05,2.994893e-05,2.930169e-05,2.867965e-05,2.808199e-05,2.750792e-05,2.695665e-05,2.642742e-05,2.591948e-05,2.543208e-05,2.496452e-05,2.451608e-05,2.408608e-05,2.367387e-05,2.327879e-05,2.290022e-05,2.253756e-05,2.219020e-05,2.185759e-05,2.153917e-05,2.123441e-05,2.094278e-05,2.066379e-05,2.039696e-05,2.014183e-05,1.989793e-05,1.966484e-05,1.944213e-05,1.922941e-05,1.902629e-05,1.883237e-05,1.864732e-05,1.847077e-05,1.830238e-05,1.814185e-05,1.798884e-05,1.784307e-05,1.770423e-05,1.757206e-05,1.744628e-05,1.732664e-05,1.721288e-05
0.000000e+00,1.134580e-08,2.124994e-07,2.226545e-07,1.489172e-06,5.028849e-06,5.238811e-06,1.192767e-05,1.969738e-05,2.020761e-05,2.863497e-05,3.606252e-05,3.668969e-05,4.426506e-05,5.066539e-05,5.135249e-05,5.796520e-05,6.340632e-05,6.412166e-05,6.984168e-05,7.442702e-05,7.514518e-05,8.005198e-05,8.388135e-05,8.458151e-05,8.875264e-05,9.191843e-05,9.258372e-05,9.609241e-05,9.867872e-05,9.929575e-05,1.022100e-04,1.042923e-04,1.048505e-04,1.072322e-04,1.088779e-04,1.093693e-04,1.112754e-04,1.125452e-04,1.129641e-04,1.144477e-04,1.153957e-04,1.157382e-04,1.168468e-04,1.175204e-04,1.177842e-04,1.185608e-04,1.190019e-04,1.191861e-04,1.196695e-04,1.199151e-04,1.200198e-04,1.202453e-04,1.203278e-04,1.203539e-04,1.203533e-04,1.203011e-04,1.202505e-04,1.200525e-04,1.198906e-04,1.197656e-04,1.193960e-04,1.191460e-04,1.189494e-04,1.184314e-04,1.181121e-04,1.178473e-04,1.172019e-04,1.168296e-04,1.164999e-04,1.157459e-04,1.153346e-04,1.149439e-04,1.140979e-04,1.136597e-04,1.132118e-04,1.122890e-04,1.118341e-04,1.113329e-04,1.103468e-04,1.098838e-04,1.093335e-04,1.082958e-04,1.078323e-04,1.072366e-04,1.061582e-04,1.057002e-04,1.050631e-04,1.039535e-04,1.035060e-04,1.028314e-04,1.016988e-04,1.012661e-04,1.005577e-04,9.940963e-05,9.899498e-05,9.825637e-05,9.709941e-05,9.670546e-05,9.594019e-05,9.478004e-05,9.440881e-05,9.362023e-05,9.246193e-05,9.211490e-05,9.130624e-05,9.015418e-05,8.983238e-05,8.900670e-05,8.786469e-05,8.756876e-05,8.672896e-05,8.560029e-05,8.533053e-05,8.447936e-05,8.336685e-05,8.312329e-05,8.226334e-05,8.116939e-05,8.095179e-05,8.008551e-05,7.901215e-05,7.882010e-05,7.794975e-05,7.689868e-05,7.673158e-05,7.585930e-05,7.483191e-05,7.468905e-05,7.381680e-05,7.281422e-05,7.269477e-05,7.182440e-05,7.084752e-05,7.075055e-05,6.988375e-05,6.893325e-05,6.885778e-05,6.799613e-05,6.707249e-05,6.701750e-05,6.616242e-05,6.526598e-05,6.523041e-05,6.438322e-05,6.351415e-05,6.349691e-05,6.265880e-05,6.181717e-05,6.019112e-05,5.861851e-05,5.709891e-05,5.563175e-05,5.421633e-05,5.285184e-05,5.153740e-05,5.027203e-05,4.905469e-05,4.788429e-05,4.675969e-05,4.567974e-05,4.464324e-05,4.364902e-05,4.269585e-05,4.178253e-05,4.090783e-05,4.007055e-05,3.926948e-05,3.850344e-05,3.777126e-05,3.707177e-05,3.640384e-05,3.576636e-05,3.515823e-05,3.457839e-05,3.402579e-05,3.349941e-05,3.299825e-05,3.252136e-05,3.206779e-05,3.163663e-05,3.122698e-05,3.083801e-05,3.046885e-05,3.011872e-05,2.978683e-05,2.947242e-05,2.917477e-05,2.889316e-05,2.862691e-05,2.837537e-05,2.813790e-05,2.791388e-05,2.770273e-05,2.750388e-05,2.731677e-05,2.714088e-05,2.697571e-05
0.000000e+00,7.222521e-12,1.078630e-09,1.166025e-09,3.064133e-08,3.098558e-07,3.366795e-07,2.022435e-06,7.298912e-06,7.839774e-06,2.231787e-05,4.815817e-05,5.113177e-05,1.001827e-04,1.660224e-04,1.747555e-04,2.789125e-04,3.970701e-04,4.151567e-04,5.843299e-04,7.556282e-04,7.856901e-04,1.017109e-03,1.232378e-03,1.275336e-03,1.556291e-03,1.800403e-03,1.855353e-03,2.167619e-03,2.423612e-03,2.488143e-03,2.812114e-03,3.064282e-03,3.135011e-03,3.452706e-03,3.688404e-03,3.761537e-03,4.058348e-03,4.268680e-03,4.340503e-03,4.605879e-03,4.785630e-03,4.852851e-03,5.080249e-03,5.227366e-03,5.287327e-03,5.473712e-03,5.588598e-03,5.639357e-03,5.784499e-03,5.869280e-03,5.909606e-03,6.015340e-03,6.073211e-03,6.102510e-03,6.172045e-03,6.206741e-03,6.224954e-03,6.262301e-03,6.277694e-03,6.285180e-03,6.294696e-03,6.294524e-03,6.291944e-03,6.278000e-03,6.265694e-03,6.253907e-03,6.220663e-03,6.199244e-03,6.179221e-03,6.130480e-03,6.102534e-03,6.075288e-03,6.014434e-03,5.982116e-03,5.948653e-03,5.878623e-03,5.843684e-03,5.804966e-03,5.728251e-03,5.692081e-03,5.649000e-03,5.567683e-03,5.531361e-03,5.484728e-03,5.400520e-03,5.364863e-03,5.315403e-03,5.229688e-03,5.195297e-03,5.143650e-03,5.057534e-03,5.024835e-03,4.971556e-03,4.885909e-03,4.855190e-03,4.800760e-03,4.716257e-03,4.687696e-03,4.632528e-03,4.549683e-03,4.523376e-03,4.467820e-03,4.387020e-03,4.362998e-03,4.307352e-03,4.228876e-03,4.207124e-03,4.151641e-03,4.075687e-03,4.056153e-03,4.001047e-03,3.927747e-03,3.910357e-03,3.855807e-03,3.785241e-03,3.769902e-03,3.716059e-03,3.648268e-03,3.634876e-03,3.581868e-03,3.516859e-03,3.505305e-03,3.453238e-03,3.390997e-03,3.381166e-03,3.330129e-03,3.270622e-03,3.262400e-03,3.212466e-03,3.155647e-03,3.148918e-03,3.100151e-03,3.045961e-03,3.040614e-03,2.993062e-03,2.941437e-03,2.937361e-03,2.891067e-03,2.841934e-03,2.839025e-03,2.794020e-03,2.747306e-03,2.745462e-03,2.701772e-03,2.657398e-03,2.656522e-03,2.614166e-03,2.572054e-03,2.491903e-03,2.415914e-03,2.343934e-03,2.275810e-03,2.211391e-03,2.150531e-03,2.093082e-03,2.038905e-03,1.987861e-03,1.939815e-03,1.894635e-03,1.852196e-03,1.812374e-03,1.775049e-03,1.740106e-03,1.707433e-03,1.676922e-03,1.648470e-03,1.621975e-03,1.597341e-03,1.574474e-03,1.553284e-03,1.533685e-03,1.515594e-03,1.498929e-03,1.483615e-03,1.469577e-03,1.456744e-03,1.445047e-03,1.434422e-03,1.424804e-03,1.416134e-03,1.408354e-03,1.401409e-03,1.395245e-03,1.389812e-03,1.385062e-03,1.380947e-03,1.377424e-03,1.374450e-03,1.371985e-03,1.369991e-03,1.368432e-03,1.367272e-03,1.366478e-03,1.366020e-03,1.365867e-03,1.365991e-03,1.366367e-03
0.000000e+00,1.897516e-10,1.450023e-08,1.545148e-08,2.083367e-07,1.302445e-06,1.392069e-06,5.973287e-06,1.723065e-05,1.827603e-05,4.271792e-05,7.720445e-05,8.069956e-05,1.295753e-04,1.789914e-04,1.846428e-04,2.415456e-04,2.907534e-04,2.973234e-04,3.503522e-04,3.931913e-04,3.999084e-04,4.457715e-04,4.814584e-04,4.879684e-04,5.266353e-04,5.558328e-04,5.619508e-04,5.941060e-04,6.176830e-04,6.232914e-04,6.496916e-04,6.684641e-04,6.734831e-04,6.948337e-04,7.095258e-04,7.139023e-04,7.308390e-04,7.420832e-04,7.457854e-04,7.588752e-04,7.672211e-04,7.702342e-04,7.799809e-04,7.859043e-04,7.882267e-04,7.950760e-04,7.989860e-04,8.006266e-04,8.049703e-04,8.072184e-04,8.081939e-04,8.103788e-04,8.112675e-04,8.116015e-04,8.119343e-04,8.117238e-04,8.114455e-04,8.102000e-04,8.091150e-04,8.082588e-04,8.056787e-04,8.039105e-04,8.025125e-04,7.988092e-04,7.965180e-04,7.946146e-04,7.899715e-04,7.872920e-04,7.849200e-04,7.794974e-04,7.765426e-04,7.737385e-04,7.676759e-04,7.645403e-04,7.613401e-04,7.547597e-04,7.515221e-04,7.479613e-04,7.409697e-04,7.376950e-04,7.338078e-04,7.264971e-04,7.232384e-04,7.190576e-04,7.115080e-04,7.083085e-04,7.038656e-04,6.961465e-04,6.930409e-04,6.883659e-04,6.805375e-04,6.775530e-04,6.726743e-04,6.647882e-04,6.619457e-04,6.568902e-04,6.489903e-04,6.463057e-04,6.410982e-04,6.332223e-04,6.307068e-04,6.253708e-04,6.175509e-04,6.152122e-04,6.097696e-04,6.020329e-04,5.998754e-04,5.943465e-04,5.867156e-04,5.847412e-04,5.791449e-04,5.716386e-04,5.698471e-04,5.642007e-04,5.568345e-04,5.552239e-04,5.495434e-04,5.423300e-04,5.408969e-04,5.351969e-04,5.281464e-04,5.268862e-04,5.211803e-04,5.143004e-04,5.132077e-04,5.075082e-04,5.008049e-04,4.998736e-04,4.941916e-04,4.876691e-04,4.868925e-04,4.812382e-04,4.748994e-04,4.742706e-04,4.686531e-04,4.624996e-04,4.620114e-04,4.564390e-04,4.504713e-04,4.501162e-04,4.445965e-04,4.388142e-04,4.385849e-04,4.331243e-04,4.275263e-04,4.274153e-04,4.220199e-04,4.166045e-04,4.061480e-04,3.960407e-04,3.862766e-04,3.768491e-04,3.677511e-04,3.589751e-04,3.505134e-04,3.423578e-04,3.345003e-04,3.269324e-04,3.196459e-04,3.126324e-04,3.058836e-04,2.993911e-04,2.931469e-04,2.871429e-04,2.813711e-04,2.758237e-04,2.704932e-04,2.653719e-04,2.604528e-04,2.557286e-04,2.511924e-04,2.468376e-04,2.426575e-04,2.386457e-04,2.347963e-04,2.311031e-04,2.275603e-04,2.241625e-04,2.209041e-04,2.177799e-04,2.147850e-04,2.119143e-04,2.091631e-04,2.065269e-04,2.040014e-04,2.015821e-04,1.992651e-04,1.970465e-04,1.949223e-04,1.928890e-04,1.909429e-04,1.890808e-04,1.872993e-04,1.855953e-04,1.839657e-04,1.824076e-04,1.809181e-04
0.000000e+00,1.476384e-09,1.669163e-08,1.737010e-08,9.551707e-08,3.188891e-07,3.327438e-07,8.108406e-07,1.445657e-06,1.489636e-06,2.239686e-06,2.919574e-06,2.977284e-06,3.675242e-06,4.264235e-06,4.327354e-06,4.933283e-06,5.429313e-06,5.494324e-06,6.012253e-06,6.424656e-06,6.488992e-06,6.926503e-06,7.265134e-06,7.326748e-06,7.691648e-06,7.965814e-06,8.023085e-06,8.322886e-06,8.541139e-06,8.592818e-06,8.834580e-06,9.004653e-06,9.049807e-06,9.240058e-06,9.368863e-06,9.406825e-06,9.551560e-06,9.645282e-06,9.675625e-06,9.780326e-06,9.844411e-06,9.866889e-06,9.936485e-06,9.975707e-06,9.990231e-06,1.002918e-05,1.004773e-05,1.005434e-05,1.006666e-05,1.006819e-05,1.006704e-05,1.005633e-05,1.004403e-05,1.003534e-05,1.000484e-05,9.981468e-06,9.965544e-06,9.918138e-06,9.886072e-06,9.863269e-06,9.801544e-06,9.762830e-06,9.733538e-06,9.659795e-06,9.616184e-06,9.580824e-06,9.497109e-06,9.450091e-06,9.409104e-06,9.317235e-06,9.268071e-06,9.221905e-06,9.123491e-06,9.073239e-06,9.022348e-06,8.918810e-06,8.868354e-06,8.813190e-06,8.705780e-06,8.655847e-06,8.596855e-06,8.486673e-06,8.437857e-06,8.375473e-06,8.263481e-06,8.216259e-06,8.150905e-06,8.037942e-06,7.992690e-06,7.924774e-06,7.811569e-06,7.768575e-06,7.698486e-06,7.585669e-06,7.545147e-06,7.473255e-06,7.361368e-06,7.323467e-06,7.250123e-06,7.139627e-06,7.104443e-06,7.029978e-06,6.921266e-06,6.888847e-06,6.813572e-06,6.706972e-06,6.677330e-06,6.601534e-06,6.497319e-06,6.470431e-06,6.394384e-06,6.292778e-06,6.268595e-06,6.192546e-06,6.093728e-06,6.072182e-06,5.996360e-06,5.900472e-06,5.881474e-06,5.806091e-06,5.713239e-06,5.696689e-06,5.621935e-06,5.532196e-06,5.517984e-06,5.444035e-06,5.357459e-06,5.345466e-06,5.272478e-06,5.189094e-06,5.179196e-06,5.107310e-06,5.027126e-06,5.019195e-06,4.948539e-06,4.871544e-06,4.865454e-06,4.796137e-06,4.722309e-06,4.717929e-06,4.650050e-06,4.579351e-06,4.576555e-06,4.510199e-06,4.442582e-06,4.441245e-06,4.376484e-06,4.311892e-06,4.188376e-06,4.070563e-06,3.958310e-06,3.851466e-06,3.749872e-06,3.653367e-06,3.561784e-06,3.474956e-06,3.392715e-06,3.314892e-06,3.241319e-06,3.171831e-06,3.106263e-06,3.044454e-06,2.986245e-06,2.931481e-06,2.880011e-06,2.831688e-06,2.786367e-06,2.743910e-06,2.704183e-06,2.667053e-06,2.632395e-06,2.600088e-06,2.570014e-06,2.542060e-06,2.516117e-06,2.492081e-06,2.469853e-06,2.449334e-06,2.430435e-06,2.413065e-06,2.397142e-06,2.382583e-06,2.369313e-06,2.357257e-06,2.346345e-06,2.336509e-06,2.327688e-06,2.319818e-06,2.312843e-06,2.306706e-06,2.301357e-06,2.296745e-06,2.292822e-06,2.289544e-06,2.286867e-06,2.284753e-06,2.283161e-06
0.000000e+00,9.974201e-09,1.152542e-07,1.198815e-07,6.546877e-07,2.258464e-06,2.361306e-06,6.113093e-06,1.163359e-05,1.203581e-05,1.918280e-05,2.596559e-05,2.654946e-05,3.368120e-05,3.978257e-05,4.044046e-05,4.679558e-05,5.205376e-05,5.274690e-05,5.830468e-05,6.277989e-05,6.348245e-05,6.829497e-05,7.206634e-05,7.275744e-05,7.688515e-05,8.003073e-05,8.069328e-05,8.419689e-05,8.679030e-05,8.741052e-05,9.034843e-05,9.245749e-05,9.302442e-05,9.545184e-05,9.713838e-05,9.764357e-05,9.961198e-05,1.009319e-04,1.013690e-04,1.029260e-04,1.039294e-04,1.042940e-04,1.054834e-04,1.062152e-04,1.065044e-04,1.073664e-04,1.078665e-04,1.080786e-04,1.086499e-04,1.089538e-04,1.090886e-04,1.094026e-04,1.095417e-04,1.095996e-04,1.096869e-04,1.096890e-04,1.096714e-04,1.095596e-04,1.094490e-04,1.093579e-04,1.090723e-04,1.088704e-04,1.087084e-04,1.082717e-04,1.079973e-04,1.077674e-04,1.072002e-04,1.068695e-04,1.065750e-04,1.058961e-04,1.055232e-04,1.051677e-04,1.043938e-04,1.039910e-04,1.035783e-04,1.027246e-04,1.023023e-04,1.018362e-04,1.009164e-04,1.004835e-04,9.996812e-05,9.899432e-05,9.855846e-05,9.799772e-05,9.698091e-05,9.654841e-05,9.594633e-05,9.489630e-05,9.447245e-05,9.383299e-05,9.275845e-05,9.234759e-05,9.167463e-05,9.058334e-05,9.018898e-05,8.948631e-05,8.838514e-05,8.801008e-05,8.728137e-05,8.617640e-05,8.582278e-05,8.507157e-05,8.396815e-05,8.363757e-05,8.286729e-05,8.177009e-05,8.146367e-05,8.067757e-05,7.959068e-05,7.930913e-05,7.851032e-05,7.743730e-05,7.718096e-05,7.637240e-05,7.531630e-05,7.508521e-05,7.426968e-05,7.323313e-05,7.302708e-05,7.220721e-05,7.119242e-05,7.101098e-05,7.018924e-05,6.919808e-05,6.904064e-05,6.821934e-05,6.725335e-05,6.711915e-05,6.630044e-05,6.536088e-05,6.524905e-05,6.443492e-05,6.352279e-05,6.343234e-05,6.262466e-05,6.174070e-05,6.167060e-05,6.087106e-05,6.001584e-05,5.996499e-05,5.917515e-05,5.834905e-05,5.831631e-05,5.753760e-05,5.674083e-05,5.672505e-05,5.595876e-05,5.519140e-05,5.371530e-05,5.229650e-05,5.093451e-05,4.962872e-05,4.837833e-05,4.718245e-05,4.604006e-05,4.495006e-05,4.391127e-05,4.292244e-05,4.198229e-05,4.108948e-05,4.024265e-05,3.944042e-05,3.868138e-05,3.796412e-05,3.728724e-05,3.664932e-05,3.604898e-05,3.548483e-05,3.495548e-05,3.445960e-05,3.399585e-05,3.356292e-05,3.315954e-05,3.278443e-05,3.243639e-05,3.211420e-05,3.181671e-05,3.154277e-05,3.129128e-05,3.106116e-05,3.085137e-05,3.066091e-05,3.048878e-05,3.033405e-05,3.019580e-05,3.007314e-05,2.996523e-05,2.987122e-05,2.979034e-05,2.972182e-05,2.966492e-05,2.961893e-05,2.958318e-05,2.955702e-05,2.953981e-05,2.953097e-05,2.952990e-05
0.000000e+00,2.625140e-09,1.544340e-07,1.642883e-07,2.020952e-06,1.019378e-05,1.076721e-05,3.257391e-05,6.403013e-05,6.624802e-05,1.041963e-04,1.382114e-04,1.410665e-04,1.751307e-04,2.031722e-04,2.061378e-04,2.342075e-04,2.566303e-04,2.595306e-04,2.823038e-04,2.999935e-04,3.027158e-04,3.209437e-04,3.346873e-04,3.371512e-04,3.514925e-04,3.619623e-04,3.641132e-04,3.751493e-04,3.829225e-04,3.847272e-04,3.929645e-04,3.985292e-04,3.999700e-04,4.058450e-04,4.096118e-04,4.106831e-04,4.145709e-04,4.168836e-04,4.175888e-04,4.198109e-04,4.209569e-04,4.213060e-04,4.221374e-04,4.223563e-04,4.223640e-04,4.220399e-04,4.215307e-04,4.212153e-04,4.199363e-04,4.188642e-04,4.182458e-04,4.161831e-04,4.146846e-04,4.137847e-04,4.110841e-04,4.092716e-04,4.081123e-04,4.048977e-04,4.028635e-04,4.014667e-04,3.978435e-04,3.956629e-04,3.940504e-04,3.901079e-04,3.878420e-04,3.860349e-04,3.818487e-04,3.795467e-04,3.775652e-04,3.731991e-04,3.709006e-04,3.687639e-04,3.642718e-04,3.620080e-04,3.597341e-04,3.551612e-04,3.529564e-04,3.505624e-04,3.459466e-04,3.438197e-04,3.413214e-04,3.366942e-04,3.346593e-04,3.320715e-04,3.274593e-04,3.255266e-04,3.228629e-04,3.182872e-04,3.164638e-04,3.137368e-04,3.092155e-04,3.075059e-04,3.047271e-04,3.002747e-04,2.986812e-04,2.958613e-04,2.914894e-04,2.900129e-04,2.871614e-04,2.828793e-04,2.815191e-04,2.786450e-04,2.744599e-04,2.732142e-04,2.703255e-04,2.662430e-04,2.651093e-04,2.622134e-04,2.582374e-04,2.572126e-04,2.543159e-04,2.504494e-04,2.495297e-04,2.466384e-04,2.428831e-04,2.420644e-04,2.391839e-04,2.355408e-04,2.348189e-04,2.319539e-04,2.284233e-04,2.277937e-04,2.249487e-04,2.215301e-04,2.209883e-04,2.181672e-04,2.148597e-04,2.144011e-04,2.116074e-04,2.084099e-04,2.080299e-04,2.052668e-04,2.021776e-04,2.018716e-04,1.991419e-04,1.961591e-04,1.959228e-04,1.932289e-04,1.903505e-04,1.901795e-04,1.875235e-04,1.847473e-04,1.846373e-04,1.820213e-04,1.793449e-04,1.792919e-04,1.767175e-04,1.741384e-04,1.691719e-04,1.643875e-04,1.597802e-04,1.553450e-04,1.510768e-04,1.469706e-04,1.430215e-04,1.392247e-04,1.355752e-04,1.320685e-04,1.286998e-04,1.254647e-04,1.223587e-04,1.193776e-04,1.165172e-04,1.137733e-04,1.111421e-04,1.086197e-04,1.062022e-04,1.038862e-04,1.016680e-04,9.954433e-05,9.751180e-05,9.556724e-05,9.370754e-05,9.192970e-05,9.023082e-05,8.860810e-05,8.705880e-05,8.558031e-05,8.417008e-05,8.282565e-05,8.154463e-05,8.032474e-05,7.916375e-05,7.805951e-05,7.700994e-05,7.601304e-05,7.506685e-05,7.416951e-05,7.331920e-05,7.251417e-05,7.175271e-05,7.103319e-05,7.035402e-05,6.971368e-05,6.911068e-05,6.854358e-05,6.801101e-05
0.000000e+00,2.229702e-11,3.376101e-09,3.650112e-09,9.480514e-08,9.318887e-07,1.011434e-06,5.953393e-06,2.131717e-05,2.289010e-05,6.493470e-05,1.397193e-04,1.483051e-04,2.893886e-04,4.773443e-04,5.021670e-04,7.965188e-04,1.127114e-03,1.177442e-03,1.645038e-03,2.113319e-03,2.195013e-03,2.819493e-03,3.393997e-03,3.507962e-03,4.248199e-03,4.884660e-03,5.027128e-03,5.831550e-03,6.484843e-03,6.648708e-03,7.466721e-03,8.098426e-03,8.274876e-03,9.063799e-03,9.645570e-03,9.825534e-03,1.055354e-02,1.106747e-02,1.124266e-02,1.188899e-02,1.232627e-02,1.248979e-02,1.304336e-02,1.340229e-02,1.354888e-02,1.400629e-02,1.429011e-02,1.441615e-02,1.477956e-02,1.499466e-02,1.509799e-02,1.537324e-02,1.552768e-02,1.560735e-02,1.580248e-02,1.590489e-02,1.596093e-02,1.608501e-02,1.614394e-02,1.617707e-02,1.623941e-02,1.626284e-02,1.627428e-02,1.628388e-02,1.627899e-02,1.627029e-02,1.623552e-02,1.620862e-02,1.618148e-02,1.610995e-02,1.606641e-02,1.602263e-02,1.592108e-02,1.586544e-02,1.580678e-02,1.568111e-02,1.561713e-02,1.554533e-02,1.540063e-02,1.533137e-02,1.524808e-02,1.508868e-02,1.501662e-02,1.492337e-02,1.475298e-02,1.468009e-02,1.457829e-02,1.440001e-02,1.432784e-02,1.421879e-02,1.403522e-02,1.396496e-02,1.384984e-02,1.366314e-02,1.359570e-02,1.347557e-02,1.328754e-02,1.322357e-02,1.309940e-02,1.291150e-02,1.285147e-02,1.272413e-02,1.253756e-02,1.248179e-02,1.235204e-02,1.216778e-02,1.211644e-02,1.198498e-02,1.180382e-02,1.175700e-02,1.162444e-02,1.144698e-02,1.140469e-02,1.127157e-02,1.109831e-02,1.106049e-02,1.092729e-02,1.075860e-02,1.072515e-02,1.059231e-02,1.042846e-02,1.039923e-02,1.026712e-02,1.010832e-02,1.008315e-02,9.952094e-03,9.798470e-03,9.777172e-03,9.647468e-03,9.499099e-03,9.481472e-03,9.353373e-03,9.210293e-03,9.196130e-03,9.069857e-03,8.932061e-03,8.921151e-03,8.796895e-03,8.664348e-03,8.656478e-03,8.534404e-03,8.407047e-03,8.402006e-03,8.282256e-03,8.160008e-03,8.157589e-03,8.040281e-03,7.923049e-03,7.698180e-03,7.482757e-03,7.276540e-03,7.079277e-03,6.890708e-03,6.710566e-03,6.538582e-03,6.374486e-03,6.218007e-03,6.068878e-03,5.926833e-03,5.791610e-03,5.662951e-03,5.540604e-03,5.424322e-03,5.313863e-03,5.208992e-03,5.109481e-03,5.015106e-03,4.925650e-03,4.840905e-03,4.760666e-03,4.684736e-03,4.612926e-03,4.545050e-03,4.480931e-03,4.420396e-03,4.363279e-03,4.309421e-03,4.258666e-03,4.210867e-03,4.165879e-03,4.123565e-03,4.083793e-03,4.046434e-03,4.011366e-03,3.978471e-03,3.947636e-03,3.918752e-03,3.891716e-03,3.866427e-03,3.842789e-03,3.820711e-03,3.800105e-03,3.780888e-03,3.762978e-03,3.746299e-03,3.730777e-03,3.716344e-03
0.000000e+00,4.108096e-09,1.455435e-07,1.534822e-07,1.433480e-06,6.968232e-06,7.368582e-06,2.352107e-05,4.847612e-05,5.026187e-05,8.072626e-05,1.074091e-04,1.096090e-04,1.352891e-04,1.555407e-04,1.576303e-04,1.768672e-04,1.914673e-04,1.933014e-04,2.072274e-04,2.174058e-04,2.189172e-04,2.286173e-04,2.353915e-04,2.365507e-04,2.429186e-04,2.470998e-04,2.479022e-04,2.516642e-04,2.538932e-04,2.543510e-04,2.560935e-04,2.568729e-04,2.570089e-04,2.572018e-04,2.569231e-04,2.567657e-04,2.557837e-04,2.547495e-04,2.543300e-04,2.524706e-04,2.509137e-04,2.502638e-04,2.477607e-04,2.458567e-04,2.450065e-04,2.420415e-04,2.399233e-04,2.389014e-04,2.356175e-04,2.333851e-04,2.322179e-04,2.287279e-04,2.264579e-04,2.251712e-04,2.215673e-04,2.193165e-04,2.179328e-04,2.142818e-04,2.120887e-04,2.106271e-04,2.069793e-04,2.048705e-04,2.033478e-04,1.997409e-04,1.977344e-04,1.961655e-04,1.926276e-04,1.907345e-04,1.891322e-04,1.856835e-04,1.839100e-04,1.822853e-04,1.789405e-04,1.772889e-04,1.756515e-04,1.724203e-04,1.708903e-04,1.692484e-04,1.661369e-04,1.647262e-04,1.630867e-04,1.600984e-04,1.588032e-04,1.571722e-04,1.543083e-04,1.531240e-04,1.515066e-04,1.487668e-04,1.476881e-04,1.460884e-04,1.434711e-04,1.424924e-04,1.409142e-04,1.384168e-04,1.375323e-04,1.359784e-04,1.335980e-04,1.328017e-04,1.312746e-04,1.290075e-04,1.282937e-04,1.267956e-04,1.246378e-04,1.240009e-04,1.225333e-04,1.204808e-04,1.199153e-04,1.184795e-04,1.165281e-04,1.160289e-04,1.146258e-04,1.127714e-04,1.123333e-04,1.109638e-04,1.092021e-04,1.088205e-04,1.074851e-04,1.058119e-04,1.054825e-04,1.041815e-04,1.025928e-04,1.023112e-04,1.010449e-04,9.953676e-05,9.929908e-05,9.806746e-05,9.663605e-05,9.643862e-05,9.524161e-05,9.388325e-05,9.372263e-05,9.256007e-05,9.127120e-05,9.114417e-05,9.001579e-05,8.879301e-05,8.869657e-05,8.760204e-05,8.644208e-05,8.637345e-05,8.531236e-05,8.421211e-05,8.416870e-05,8.314058e-05,8.209705e-05,8.207646e-05,8.108081e-05,8.009116e-05,7.820747e-05,7.642032e-05,7.472488e-05,7.311654e-05,7.159093e-05,7.014388e-05,6.877144e-05,6.746982e-05,6.623547e-05,6.506498e-05,6.395511e-05,6.290280e-05,6.190514e-05,6.095935e-05,6.006280e-05,5.921300e-05,5.840758e-05,5.764428e-05,5.692096e-05,5.623560e-05,5.558627e-05,5.497114e-05,5.438846e-05,5.383660e-05,5.331397e-05,5.281910e-05,5.235058e-05,5.190705e-05,5.148726e-05,5.108999e-05,5.071409e-05,5.035847e-05,5.002210e-05,4.970400e-05,4.940324e-05,4.911892e-05,4.885021e-05,4.859631e-05,4.835646e-05,4.812995e-05,4.791608e-05,4.771422e-05,4.752374e-05,4.734406e-05,4.717462e-05,4.701490e-05,4.686440e-05,4.672264e-05,4.658916e-05
0.000000e+00,5.825939e-10,9.281674e-09,9.714575e-09,6.385315e-08,2.168293e-07,2.258613e-07,5.043494e-07,8.074785e-07,8.269516e-07,1.145508e-06,1.424334e-06,1.447854e-06,1.731910e-06,1.971975e-06,1.997755e-06,2.245951e-06,2.450301e-06,2.477175e-06,2.692133e-06,2.864528e-06,2.891535e-06,3.076092e-06,3.220161e-06,3.246506e-06,3.403473e-06,3.522625e-06,3.547667e-06,3.679747e-06,3.777115e-06,3.800346e-06,3.910078e-06,3.988506e-06,4.009533e-06,4.099276e-06,4.161318e-06,4.179846e-06,4.251756e-06,4.299686e-06,4.315502e-06,4.371560e-06,4.407413e-06,4.420378e-06,4.462383e-06,4.487952e-06,4.497982e-06,4.527563e-06,4.544429e-06,4.551494e-06,4.570126e-06,4.579682e-06,4.583791e-06,4.592806e-06,4.596274e-06,4.597470e-06,4.598068e-06,4.596515e-06,4.594870e-06,4.588132e-06,4.582492e-06,4.578097e-06,4.564997e-06,4.556080e-06,4.549048e-06,4.530458e-06,4.518968e-06,4.509423e-06,4.486128e-06,4.472671e-06,4.460749e-06,4.433451e-06,4.418550e-06,4.404391e-06,4.373718e-06,4.357821e-06,4.341572e-06,4.308085e-06,4.291572e-06,4.273382e-06,4.237580e-06,4.220774e-06,4.200792e-06,4.163122e-06,4.146293e-06,4.124668e-06,4.085524e-06,4.068899e-06,4.045778e-06,4.005510e-06,3.989275e-06,3.964800e-06,3.923719e-06,3.908025e-06,3.882336e-06,3.840715e-06,3.825684e-06,3.798915e-06,3.756994e-06,3.742722e-06,3.715003e-06,3.672992e-06,3.659552e-06,3.631007e-06,3.589091e-06,3.576535e-06,3.547283e-06,3.505621e-06,3.493986e-06,3.464139e-06,3.422869e-06,3.412178e-06,3.381842e-06,3.341084e-06,3.331345e-06,3.300621e-06,3.260477e-06,3.251690e-06,3.220672e-06,3.181227e-06,3.173383e-06,3.142161e-06,3.103488e-06,3.096570e-06,3.065225e-06,3.027384e-06,3.021370e-06,2.989979e-06,2.953020e-06,2.947882e-06,2.916517e-06,2.880479e-06,2.876186e-06,2.844912e-06,2.809825e-06,2.806343e-06,2.775223e-06,2.741110e-06,2.738402e-06,2.707491e-06,2.674368e-06,2.672397e-06,2.641745e-06,2.609623e-06,2.608349e-06,2.578004e-06,2.546887e-06,2.546270e-06,2.516274e-06,2.486164e-06,2.428024e-06,2.371839e-06,2.317590e-06,2.265253e-06,2.214802e-06,2.166204e-06,2.119424e-06,2.074425e-06,2.031166e-06,1.989608e-06,1.949706e-06,1.911416e-06,1.874695e-06,1.839497e-06,1.805777e-06,1.773489e-06,1.742588e-06,1.713029e-06,1.684767e-06,1.657759e-06,1.631960e-06,1.607329e-06,1.583823e-06,1.561400e-06,1.540022e-06,1.519647e-06,1.500239e-06,1.481760e-06,1.464173e-06,1.447443e-06,1.431535e-06,1.416417e-06,1.402056e-06,1.388420e-06,1.375479e-06,1.363204e-06,1.351567e-06,1.340540e-06,1.330096e-06,1.320211e-06,1.310858e-06,1.302016e-06,1.293660e-06,1.285769e-06,1.278322e-06,1.271297e-06,1.264676e-06,1.258440e-06,1.252569e-06
0.000000e+00,3.859535e-09,5.752628e-08,6.019052e-08,4.083530e-07,1.459969e-06,1.522971e-06,3.438611e-06,5.454881e-06,5.582736e-06,7.652902e-06,9.433758e-06,9.582640e-06,1.136328e-05,1.284152e-05,1.299871e-05,1.449562e-05,1.570398e-05,1.586114e-05,1.710230e-05,1.807549e-05,1.822598e-05,1.923885e-05,2.000879e-05,2.014742e-05,2.095802e-05,2.155394e-05,2.167682e-05,2.230974e-05,2.275809e-05,2.286250e-05,2.334055e-05,2.366495e-05,2.374913e-05,2.409319e-05,2.431442e-05,2.437742e-05,2.460628e-05,2.474245e-05,2.478394e-05,2.491436e-05,2.498110e-05,2.500125e-05,2.504813e-05,2.505890e-05,2.505826e-05,2.503471e-05,2.500093e-05,2.498035e-05,2.489787e-05,2.482925e-05,2.478977e-05,2.465841e-05,2.456315e-05,2.450597e-05,2.433450e-05,2.421947e-05,2.414590e-05,2.394193e-05,2.381287e-05,2.372426e-05,2.349440e-05,2.335608e-05,2.325380e-05,2.300378e-05,2.286011e-05,2.274556e-05,2.248027e-05,2.233446e-05,2.220899e-05,2.193268e-05,2.178731e-05,2.165224e-05,2.136850e-05,2.122564e-05,2.108224e-05,2.079416e-05,2.065543e-05,2.050491e-05,2.021508e-05,2.008172e-05,1.992522e-05,1.963584e-05,1.950878e-05,1.934739e-05,1.906028e-05,1.894019e-05,1.877490e-05,1.849160e-05,1.837892e-05,1.821067e-05,1.793240e-05,1.782741e-05,1.765704e-05,1.738482e-05,1.728763e-05,1.711595e-05,1.685059e-05,1.676119e-05,1.658890e-05,1.633102e-05,1.624933e-05,1.607708e-05,1.582717e-05,1.575299e-05,1.558137e-05,1.533977e-05,1.527288e-05,1.510241e-05,1.486936e-05,1.480947e-05,1.464063e-05,1.441625e-05,1.436305e-05,1.419625e-05,1.398062e-05,1.393377e-05,1.376936e-05,1.356247e-05,1.352161e-05,1.335993e-05,1.316171e-05,1.312649e-05,1.296779e-05,1.277814e-05,1.274818e-05,1.259271e-05,1.241147e-05,1.238643e-05,1.223437e-05,1.206136e-05,1.204088e-05,1.189240e-05,1.172742e-05,1.171114e-05,1.156637e-05,1.140920e-05,1.139679e-05,1.125584e-05,1.110623e-05,1.109737e-05,1.096031e-05,1.081802e-05,1.081240e-05,1.067928e-05,1.054404e-05,1.054137e-05,1.041223e-05,1.028379e-05,1.003913e-05,9.806895e-06,9.586562e-06,9.377632e-06,9.179606e-06,8.991997e-06,8.814331e-06,8.646144e-06,8.486988e-06,8.336426e-06,8.194040e-06,8.059424e-06,7.932188e-06,7.811959e-06,7.698377e-06,7.591100e-06,7.489798e-06,7.394156e-06,7.303877e-06,7.218672e-06,7.138271e-06,7.062414e-06,6.990855e-06,6.923359e-06,6.859705e-06,6.799680e-06,6.743085e-06,6.689729e-06,6.639432e-06,6.592023e-06,6.547341e-06,6.505234e-06,6.465555e-06,6.428169e-06,6.392945e-06,6.359762e-06,6.328504e-06,6.299062e-06,6.271331e-06,6.245215e-06,6.220622e-06,6.197463e-06,6.175658e-06,6.155129e-06,6.135803e-06,6.117610e-06,6.100486e-06,6.084369e-06,6.069201e-06
0.000000e+00,3.155710e-10,4.005840e-09,4.179293e-09,2.535365e-08,8.784190e-08,9.170478e-08,2.215927e-07,3.823621e-07,3.930317e-07,5.671126e-07,7.136698e-07,7.256596e-07,8.652489e-07,9.752563e-07,9.866168e-07,1.091356e-06,1.171099e-06,1.181136e-06,1.257526e-06,1.313610e-06,1.321961e-06,1.375744e-06,1.413554e-06,1.420051e-06,1.455940e-06,1.479760e-06,1.484365e-06,1.506180e-06,1.519391e-06,1.522153e-06,1.532971e-06,1.538228e-06,1.539249e-06,1.541536e-06,1.540909e-06,1.540323e-06,1.536048e-06,1.531145e-06,1.529103e-06,1.519835e-06,1.511901e-06,1.508557e-06,1.495543e-06,1.485533e-06,1.481040e-06,1.465267e-06,1.453916e-06,1.448419e-06,1.430669e-06,1.418535e-06,1.412171e-06,1.393062e-06,1.380567e-06,1.373462e-06,1.353479e-06,1.340939e-06,1.333207e-06,1.312732e-06,1.300381e-06,1.292129e-06,1.271460e-06,1.259465e-06,1.250783e-06,1.230147e-06,1.218625e-06,1.209596e-06,1.189166e-06,1.178197e-06,1.168892e-06,1.148801e-06,1.138435e-06,1.128918e-06,1.109264e-06,1.099529e-06,1.089857e-06,1.070711e-06,1.061617e-06,1.051839e-06,1.033252e-06,1.024800e-06,1.014957e-06,9.969626e-07,9.891412e-07,9.792727e-07,9.618916e-07,9.546843e-07,9.448220e-07,9.280656e-07,9.214509e-07,9.116230e-07,8.954942e-07,8.894475e-07,8.796785e-07,8.641744e-07,8.586688e-07,8.489800e-07,8.340929e-07,8.291009e-07,8.195105e-07,8.052295e-07,8.007227e-07,7.912466e-07,7.775580e-07,7.735082e-07,7.641598e-07,7.510480e-07,7.474274e-07,7.382182e-07,7.256662e-07,7.224477e-07,7.133875e-07,7.013776e-07,6.985347e-07,6.896319e-07,6.781458e-07,6.756532e-07,6.669146e-07,6.559338e-07,6.537672e-07,6.451986e-07,6.347045e-07,6.328408e-07,6.244468e-07,6.144209e-07,6.128380e-07,6.046223e-07,5.950465e-07,5.937235e-07,5.856891e-07,5.765455e-07,5.754625e-07,5.676116e-07,5.588829e-07,5.580211e-07,5.503552e-07,5.420243e-07,5.413662e-07,5.338862e-07,5.259368e-07,5.254658e-07,5.181721e-07,5.105881e-07,5.102885e-07,5.031811e-07,4.959473e-07,4.958043e-07,4.888829e-07,4.819842e-07,4.688001e-07,4.562250e-07,4.442328e-07,4.327987e-07,4.218986e-07,4.115095e-07,4.016093e-07,3.921766e-07,3.831912e-07,3.746335e-07,3.664848e-07,3.587272e-07,3.513435e-07,3.443172e-07,3.376326e-07,3.312746e-07,3.252286e-07,3.194809e-07,3.140182e-07,3.088278e-07,3.038976e-07,2.992159e-07,2.947715e-07,2.905539e-07,2.865529e-07,2.827586e-07,2.791617e-07,2.757534e-07,2.725250e-07,2.694683e-07,2.665756e-07,2.638393e-07,2.612524e-07,2.588078e-07,2.564991e-07,2.543201e-07,2.522646e-07,2.503270e-07,2.485017e-07,2.467836e-07,2.451676e-07,2.436489e-07,2.422229e-07,2.408853e-07,2.396318e-07,2.384584e-07,2.373612e-07,2.363368e-07,2.353814e-07
0.000000e+00,1.102331e-11,1.290068e-09,1.385933e-09,2.715608e-08,2.305822e-07,2.494041e-07,1.419037e-06,5.223848e-06,5.624840e-06,1.680829e-05,3.791415e-05,4.039739e-05,8.223472e-05,1.397235e-04,1.474045e-04,2.393694e-04,3.436370e-04,3.595436e-04,5.072602e-04,6.544595e-04,6.800193e-04,8.738995e-04,1.049536e-03,1.084031e-03,1.305055e-03,1.490603e-03,1.531533e-03,1.758268e-03,1.936650e-03,1.980543e-03,2.194277e-03,2.352873e-03,2.396110e-03,2.583421e-03,2.714874e-03,2.754316e-03,2.907562e-03,3.009209e-03,3.042526e-03,3.159080e-03,3.231751e-03,3.257520e-03,3.338475e-03,3.385207e-03,3.402831e-03,3.451655e-03,3.476584e-03,3.486131e-03,3.507512e-03,3.515068e-03,3.517070e-03,3.516067e-03,3.510449e-03,3.505724e-03,3.487204e-03,3.472096e-03,3.461596e-03,3.429910e-03,3.408368e-03,3.393069e-03,3.351911e-03,3.326361e-03,3.307187e-03,3.259567e-03,3.231857e-03,3.209641e-03,3.157930e-03,3.129427e-03,3.104888e-03,3.050903e-03,3.022573e-03,2.996313e-03,2.941405e-03,2.913909e-03,2.886423e-03,2.831575e-03,2.805348e-03,2.777035e-03,2.722949e-03,2.698254e-03,2.669434e-03,2.616588e-03,2.593569e-03,2.564491e-03,2.513204e-03,2.491919e-03,2.462779e-03,2.413254e-03,2.393703e-03,2.364657e-03,2.317010e-03,2.299156e-03,2.270327e-03,2.224615e-03,2.208398e-03,2.179880e-03,2.136120e-03,2.121464e-03,2.093333e-03,2.051514e-03,2.038335e-03,2.010653e-03,1.970742e-03,1.958953e-03,1.931770e-03,1.893724e-03,1.883235e-03,1.856590e-03,1.820356e-03,1.811081e-03,1.785007e-03,1.750528e-03,1.742381e-03,1.716904e-03,1.684120e-03,1.677019e-03,1.652160e-03,1.621008e-03,1.614874e-03,1.590650e-03,1.561068e-03,1.555824e-03,1.532248e-03,1.504173e-03,1.499749e-03,1.476829e-03,1.450200e-03,1.446528e-03,1.424270e-03,1.399025e-03,1.396041e-03,1.374450e-03,1.350531e-03,1.348174e-03,1.327251e-03,1.304598e-03,1.302813e-03,1.282557e-03,1.261114e-03,1.259846e-03,1.240256e-03,1.219968e-03,1.219168e-03,1.200238e-03,1.181053e-03,1.180674e-03,1.162399e-03,1.144265e-03,1.109842e-03,1.077313e-03,1.046588e-03,1.017581e-03,9.902092e-04,9.643927e-04,9.400556e-04,9.171249e-04,8.955312e-04,8.752075e-04,8.560904e-04,8.381190e-04,8.212352e-04,8.053837e-04,7.905115e-04,7.765685e-04,7.635064e-04,7.512796e-04,7.398445e-04,7.291596e-04,7.191853e-04,7.098840e-04,7.012199e-04,6.931589e-04,6.856685e-04,6.787178e-04,6.722775e-04,6.663196e-04,6.608176e-04,6.557462e-04,6.510813e-04,6.468001e-04,6.428809e-04,6.393030e-04,6.360467e-04,6.330934e-04,6.304253e-04,6.280257e-04,6.258785e-04,6.239685e-04,6.222812e-04,6.208030e-04,6.195209e-04,6.184224e-04,6.174958e-04,6.167301e-04,6.161146e-04,6.156393e-04,6.152947e-04
0.000000e+00,4.139071e-09,5.712373e-08,5.969269e-08,3.873278e-07,1.365885e-06,1.424812e-06,3.250313e-06,5.235464e-06,5.363142e-06,7.457910e-06,9.302566e-06,9.458684e-06,1.135061e-05,1.295917e-05,1.313245e-05,1.480634e-05,1.619248e-05,1.637534e-05,1.784293e-05,1.902676e-05,1.921280e-05,2.048872e-05,2.149073e-05,2.167457e-05,2.277424e-05,2.361437e-05,2.379159e-05,2.473045e-05,2.542751e-05,2.559452e-05,2.638743e-05,2.695876e-05,2.711269e-05,2.777372e-05,2.823514e-05,2.837376e-05,2.891598e-05,2.928178e-05,2.940341e-05,2.983894e-05,3.012196e-05,3.022536e-05,3.056536e-05,3.077710e-05,3.086147e-05,3.111615e-05,3.126687e-05,3.133174e-05,3.151046e-05,3.160927e-05,3.165446e-05,3.176577e-05,3.182075e-05,3.184634e-05,3.189801e-05,3.191633e-05,3.192258e-05,3.192171e-05,3.190965e-05,3.189702e-05,3.185003e-05,3.181315e-05,3.178222e-05,3.169496e-05,3.163809e-05,3.158957e-05,3.146732e-05,3.139471e-05,3.132939e-05,3.117692e-05,3.109225e-05,3.101099e-05,3.083263e-05,3.073909e-05,3.064281e-05,3.044244e-05,3.034278e-05,3.023241e-05,3.001354e-05,2.991011e-05,2.978663e-05,2.955241e-05,2.944722e-05,2.931159e-05,2.906485e-05,2.895960e-05,2.881280e-05,2.855606e-05,2.845217e-05,2.829517e-05,2.803069e-05,2.792934e-05,2.776310e-05,2.749288e-05,2.739505e-05,2.722049e-05,2.694634e-05,2.685279e-05,2.667082e-05,2.639431e-05,2.630568e-05,2.611717e-05,2.583971e-05,2.575646e-05,2.556225e-05,2.528507e-05,2.520755e-05,2.500846e-05,2.473265e-05,2.466110e-05,2.445788e-05,2.418439e-05,2.411896e-05,2.391236e-05,2.364200e-05,2.358276e-05,2.337347e-05,2.310695e-05,2.305390e-05,2.284259e-05,2.258051e-05,2.253359e-05,2.232086e-05,2.206376e-05,2.202286e-05,2.180930e-05,2.155760e-05,2.152258e-05,2.130873e-05,2.106279e-05,2.103347e-05,2.081984e-05,2.057995e-05,2.055613e-05,2.034318e-05,2.010959e-05,2.009104e-05,1.987921e-05,1.965209e-05,1.963856e-05,1.942825e-05,1.920774e-05,1.919899e-05,1.899057e-05,1.877676e-05,1.877252e-05,1.856632e-05,1.835927e-05,1.795931e-05,1.757264e-05,1.719921e-05,1.683894e-05,1.649168e-05,1.615728e-05,1.583554e-05,1.552624e-05,1.522914e-05,1.494399e-05,1.467052e-05,1.440844e-05,1.415746e-05,1.391728e-05,1.368760e-05,1.346810e-05,1.325847e-05,1.305841e-05,1.286760e-05,1.268574e-05,1.251251e-05,1.234762e-05,1.219076e-05,1.204165e-05,1.189999e-05,1.176549e-05,1.163789e-05,1.151690e-05,1.140227e-05,1.129373e-05,1.119103e-05,1.109393e-05,1.100220e-05,1.091559e-05,1.083390e-05,1.075689e-05,1.068437e-05,1.061613e-05,1.055197e-05,1.049170e-05,1.043515e-05,1.038214e-05,1.033250e-05,1.028606e-05,1.024267e-05,1.020218e-05,1.016444e-05,1.012932e-05,1.009668e-05
0.000000e+00,1.039314e-10,1.530018e-08,1.652587e-08,4.160752e-07,4.173017e-06,4.537733e-06,2.861612e-05,1.123635e-04,1.214292e-04,3.847384e-04,9.178361e-04,9.829500e-04,2.140060e-03,3.883186e-03,4.127815e-03,7.249333e-03,1.118564e-02,1.182135e-02,1.815717e-02,2.524221e-02,2.655161e-02,3.726858e-02,4.823056e-02,5.053161e-02,6.651720e-02,8.174671e-02,8.535095e-02,1.071059e-01,1.266291e-01,1.318033e-01,1.594140e-01,1.829260e-01,1.898629e-01,2.230323e-01,2.499666e-01,2.587676e-01,2.968820e-01,3.264940e-01,3.371626e-01,3.793755e-01,4.108258e-01,4.232713e-01,4.685900e-01,5.010174e-01,5.150656e-01,5.624306e-01,5.950113e-01,6.104197e-01,6.587727e-01,6.907625e-01,7.072381e-01,7.555746e-01,7.863364e-01,8.035540e-01,8.509620e-01,8.799800e-01,8.975995e-01,9.432838e-01,9.701670e-01,9.878487e-01,1.031145e+00,1.055622e+00,1.073039e+00,1.113417e+00,1.135328e+00,1.152177e+00,1.189237e+00,1.208516e+00,1.224526e+00,1.257990e+00,1.274656e+00,1.289588e+00,1.319291e+00,1.333426e+00,1.347082e+00,1.372954e+00,1.384692e+00,1.396911e+00,1.418965e+00,1.428477e+00,1.439137e+00,1.457455e+00,1.464936e+00,1.473952e+00,1.488668e+00,1.494328e+00,1.501647e+00,1.512939e+00,1.516994e+00,1.522594e+00,1.530667e+00,1.533333e+00,1.537217e+00,1.542301e+00,1.543784e+00,1.545980e+00,1.548314e+00,1.548813e+00,1.549366e+00,1.549196e+00,1.548894e+00,1.547866e+00,1.545436e+00,1.544502e+00,1.541967e+00,1.537518e+00,1.536104e+00,1.532146e+00,1.525909e+00,1.524152e+00,1.518861e+00,1.511056e+00,1.509076e+00,1.502546e+00,1.493381e+00,1.491282e+00,1.483610e+00,1.473280e+00,1.471151e+00,1.462436e+00,1.451120e+00,1.449037e+00,1.439375e+00,1.427239e+00,1.425264e+00,1.414751e+00,1.401945e+00,1.400129e+00,1.388857e+00,1.375519e+00,1.373903e+00,1.361961e+00,1.348213e+00,1.346829e+00,1.334302e+00,1.320254e+00,1.319125e+00,1.306095e+00,1.291846e+00,1.290989e+00,1.277531e+00,1.263169e+00,1.262594e+00,1.248780e+00,1.234381e+00,1.234093e+00,1.219989e+00,1.205621e+00,1.177297e+00,1.149222e+00,1.121486e+00,1.094163e+00,1.067319e+00,1.041007e+00,1.015273e+00,9.901527e-01,9.656771e-01,9.418691e-01,9.187466e-01,8.963224e-01,8.746050e-01,8.535992e-01,8.333064e-01,8.137250e-01,7.948510e-01,7.766784e-01,7.591989e-01,7.424029e-01,7.262793e-01,7.108158e-01,6.959993e-01,6.818155e-01,6.682496e-01,6.552864e-01,6.429099e-01,6.311039e-01,6.198520e-01,6.091374e-01,5.989433e-01,5.892529e-01,5.800492e-01,5.713154e-01,5.630347e-01,5.551904e-01,5.477659e-01,5.407450e-01,5.341115e-01,5.278496e-01,5.219435e-01,5.163780e-01,5.111381e-01,5.062090e-01,5.015764e-01,4.972261e-01,4.931446e-01,4.893186e-01,4.857350e-01
0.000000e+00,5.599941e-10,7.116349e-08,7.657189e-08,1.600171e-06,1.412503e-05,1.529921e-05,9.031275e-05,3.489073e-04,3.770845e-04,1.211217e-03,2.960409e-03,3.177794e-03,7.125020e-03,1.325599e-02,1.412810e-02,2.542147e-02,3.995046e-02,4.231758e-02,6.612551e-02,9.307158e-02,9.807786e-02,1.392703e-01,1.816868e-01,1.906159e-01,2.528139e-01,3.122500e-01,3.263322e-01,4.114024e-01,4.877831e-01,5.080239e-01,6.159768e-01,7.077820e-01,7.348402e-01,8.640151e-01,9.686266e-01,1.002750e+00,1.150166e+00,1.264271e+00,1.305285e+00,1.467057e+00,1.587036e+00,1.634381e+00,1.806130e+00,1.928379e+00,1.981170e+00,2.158381e+00,2.279566e+00,2.336671e+00,2.514986e+00,2.632201e+00,2.692328e+00,2.867756e+00,2.978619e+00,3.040397e+00,3.209452e+00,3.312143e+00,3.374193e+00,3.533971e+00,3.627213e+00,3.688210e+00,3.836412e+00,3.919432e+00,3.978151e+00,4.113071e+00,4.185537e+00,4.240884e+00,4.361367e+00,4.423320e+00,4.474356e+00,4.579742e+00,4.631517e+00,4.677468e+00,4.767522e+00,4.809681e+00,4.849938e+00,4.924785e+00,4.958053e+00,4.992168e+00,5.052220e+00,5.077426e+00,5.105103e+00,5.150998e+00,5.169030e+00,5.190109e+00,5.222653e+00,5.234419e+00,5.248862e+00,5.268977e+00,5.275373e+00,5.283248e+00,5.291931e+00,5.293819e+00,5.295284e+00,5.293569e+00,5.291762e+00,5.287047e+00,5.275978e+00,5.271224e+00,5.260618e+00,5.241223e+00,5.234205e+00,5.218042e+00,5.191320e+00,5.182648e+00,5.161294e+00,5.128198e+00,5.118411e+00,5.092256e+00,5.053685e+00,5.043253e+00,5.012698e+00,4.969494e+00,4.958817e+00,4.924270e+00,4.877211e+00,4.866630e+00,4.828496e+00,4.778296e+00,4.768092e+00,4.726772e+00,4.674081e+00,4.664484e+00,4.620368e+00,4.565774e+00,4.556966e+00,4.510430e+00,4.454462e+00,4.446583e+00,4.397987e+00,4.341118e+00,4.334272e+00,4.283958e+00,4.226607e+00,4.220865e+00,4.169156e+00,4.111693e+00,4.107097e+00,4.054298e+00,3.997047e+00,3.993618e+00,3.940011e+00,3.883256e+00,3.880992e+00,3.826842e+00,3.770826e+00,3.769710e+00,3.715260e+00,3.660193e+00,3.552804e+00,3.447845e+00,3.345572e+00,3.246194e+00,3.149880e+00,3.056764e+00,2.966947e+00,2.880502e+00,2.797479e+00,2.717902e+00,2.641780e+00,2.569103e+00,2.499846e+00,2.433972e+00,2.371430e+00,2.312164e+00,2.256105e+00,2.203180e+00,2.153309e+00,2.106406e+00,2.062382e+00,2.021144e+00,1.982595e+00,1.946638e+00,1.913174e+00,1.882102e+00,1.853321e+00,1.826728e+00,1.802224e+00,1.779708e+00,1.759079e+00,1.740240e+00,1.723093e+00,1.707543e+00,1.693496e+00,1.680861e+00,1.669549e+00,1.659473e+00,1.650549e+00,1.642695e+00,1.635834e+00,1.629889e+00,1.624787e+00,1.620460e+00,1.616839e+00,1.613863e+00,1.611470e+00,1.609603e+00,1.608208e+00
0.000000e+00,1.072343e-08,2.155436e-07,2.260126e-07,1.606195e-06,5.947487e-06,6.222443e-06,1.585041e-05,2.885904e-05,2.976672e-05,4.535635e-05,5.968470e-05,6.091114e-05,7.589293e-05,8.877974e-05,9.017567e-05,1.037398e-04,1.150881e-04,1.165935e-04,1.287532e-04,1.386701e-04,1.402381e-04,1.510689e-04,1.596769e-04,1.612670e-04,1.708544e-04,1.782758e-04,1.798531e-04,1.882852e-04,1.946375e-04,1.961724e-04,2.035364e-04,2.089305e-04,2.103980e-04,2.167780e-04,2.213170e-04,2.226963e-04,2.281725e-04,2.319513e-04,2.332253e-04,2.378732e-04,2.409788e-04,2.421337e-04,2.460239e-04,2.485357e-04,2.495605e-04,2.527593e-04,2.547494e-04,2.556357e-04,2.582045e-04,2.597385e-04,2.604802e-04,2.624763e-04,2.636133e-04,2.642062e-04,2.656827e-04,2.664763e-04,2.669181e-04,2.679243e-04,2.684227e-04,2.687126e-04,2.692939e-04,2.695405e-04,2.696790e-04,2.698778e-04,2.699114e-04,2.699001e-04,2.697554e-04,2.696109e-04,2.694525e-04,2.690002e-04,2.687086e-04,2.684066e-04,2.676799e-04,2.672689e-04,2.668275e-04,2.658569e-04,2.653510e-04,2.647750e-04,2.635886e-04,2.630095e-04,2.623041e-04,2.609277e-04,2.602946e-04,2.594654e-04,2.579229e-04,2.572524e-04,2.563055e-04,2.546185e-04,2.539253e-04,2.528668e-04,2.510553e-04,2.503522e-04,2.491885e-04,2.472707e-04,2.465686e-04,2.453061e-04,2.432987e-04,2.426071e-04,2.412523e-04,2.391705e-04,2.384974e-04,2.370568e-04,2.349146e-04,2.342668e-04,2.327468e-04,2.305566e-04,2.299397e-04,2.283469e-04,2.261202e-04,2.255389e-04,2.238793e-04,2.216267e-04,2.210845e-04,2.193645e-04,2.170952e-04,2.165952e-04,2.148207e-04,2.125432e-04,2.120875e-04,2.102645e-04,2.079864e-04,2.075765e-04,2.057106e-04,2.034389e-04,2.030758e-04,2.011726e-04,1.989133e-04,1.985976e-04,1.966622e-04,1.944208e-04,1.941526e-04,1.921903e-04,1.899716e-04,1.897505e-04,1.877661e-04,1.855745e-04,1.853998e-04,1.833980e-04,1.812374e-04,1.811083e-04,1.790935e-04,1.769670e-04,1.768823e-04,1.748588e-04,1.727695e-04,1.727279e-04,1.706997e-04,1.686499e-04,1.646527e-04,1.607399e-04,1.569145e-04,1.531791e-04,1.495356e-04,1.459857e-04,1.425305e-04,1.391707e-04,1.359068e-04,1.327390e-04,1.296671e-04,1.266907e-04,1.238093e-04,1.210220e-04,1.183278e-04,1.157257e-04,1.132144e-04,1.107925e-04,1.084586e-04,1.062110e-04,1.040481e-04,1.019682e-04,9.996955e-05,9.805033e-05,9.620870e-05,9.444278e-05,9.275069e-05,9.113051e-05,8.958035e-05,8.809829e-05,8.668242e-05,8.533085e-05,8.404168e-05,8.281304e-05,8.164309e-05,8.052998e-05,7.947192e-05,7.846711e-05,7.751380e-05,7.661027e-05,7.575482e-05,7.494578e-05,7.418154e-05,7.346049e-05,7.278106e-05,7.214173e-05,7.154102e-05,7.097745e-05,7.044960e-05
0.000000e+00,6.422709e-09,9.545213e-08,9.975283e-08,6.225022e-07,2.051680e-06,2.134684e-06,4.629885e-06,7.201167e-06,7.360998e-06,9.882198e-06,1.194231e-05,1.210973e-05,1.405208e-05,1.557652e-05,1.573368e-05,1.718023e-05,1.827830e-05,1.841625e-05,1.946333e-05,2.022783e-05,2.034125e-05,2.106828e-05,2.157455e-05,2.166099e-05,2.213443e-05,2.244321e-05,2.250217e-05,2.277649e-05,2.293611e-05,2.296839e-05,2.308781e-05,2.313637e-05,2.314360e-05,2.314373e-05,2.311099e-05,2.309529e-05,2.300463e-05,2.291371e-05,2.287740e-05,2.271863e-05,2.258733e-05,2.253281e-05,2.232392e-05,2.216588e-05,2.209550e-05,2.185067e-05,2.167625e-05,2.159222e-05,2.132262e-05,2.113963e-05,2.104402e-05,2.075835e-05,2.057259e-05,2.046729e-05,2.017234e-05,1.998809e-05,1.987480e-05,1.957580e-05,1.939613e-05,1.927636e-05,1.897734e-05,1.880440e-05,1.867949e-05,1.838347e-05,1.821871e-05,1.808985e-05,1.779911e-05,1.764345e-05,1.751166e-05,1.722785e-05,1.708182e-05,1.694799e-05,1.667231e-05,1.653611e-05,1.640102e-05,1.613428e-05,1.600790e-05,1.587222e-05,1.561494e-05,1.549822e-05,1.536251e-05,1.511499e-05,1.500764e-05,1.487240e-05,1.463475e-05,1.453642e-05,1.440205e-05,1.417428e-05,1.408454e-05,1.395140e-05,1.373339e-05,1.365181e-05,1.352019e-05,1.331175e-05,1.323786e-05,1.310801e-05,1.290890e-05,1.284225e-05,1.271436e-05,1.252432e-05,1.246444e-05,1.233869e-05,1.215740e-05,1.210385e-05,1.198037e-05,1.180752e-05,1.175986e-05,1.163877e-05,1.147402e-05,1.143184e-05,1.131321e-05,1.115624e-05,1.111913e-05,1.100304e-05,1.085352e-05,1.082111e-05,1.070760e-05,1.056519e-05,1.053713e-05,1.042623e-05,1.029063e-05,1.026657e-05,1.015831e-05,1.002919e-05,1.000882e-05,9.903203e-06,9.780272e-06,9.763301e-06,9.660324e-06,9.543287e-06,9.529435e-06,9.429091e-06,9.317668e-06,9.306676e-06,9.208950e-06,9.102871e-06,9.094497e-06,8.999367e-06,8.898374e-06,8.892393e-06,8.799832e-06,8.703679e-06,8.699881e-06,8.609857e-06,8.518308e-06,8.516499e-06,8.428976e-06,8.341806e-06,8.175379e-06,8.016819e-06,7.865742e-06,7.721786e-06,7.584603e-06,7.453863e-06,7.329254e-06,7.210478e-06,7.097250e-06,6.989301e-06,6.886375e-06,6.788229e-06,6.694631e-06,6.605360e-06,6.520209e-06,6.438977e-06,6.361477e-06,6.287528e-06,6.216960e-06,6.149611e-06,6.085326e-06,6.023959e-06,5.965370e-06,5.909427e-06,5.856003e-06,5.804980e-06,5.756243e-06,5.709684e-06,5.665200e-06,5.622693e-06,5.582069e-06,5.543241e-06,5.506124e-06,5.470637e-06,5.436705e-06,5.404254e-06,5.373217e-06,5.343527e-06,5.315121e-06,5.287940e-06,5.261928e-06,5.237031e-06,5.213197e-06,5.190378e-06,5.168527e-06,5.147600e-06,5.127555e-06,5.108351e-06,5.089951e-06
0.000000e+00,5.605158e-09,3.238442e-07,3.438995e-07,3.620808e-06,1.523334e-05,1.597659e-05,4.130282e-05,7.286613e-05,7.497610e-05,1.099872e-04,1.407103e-04,1.432899e-04,1.742301e-04,2.000273e-04,2.027765e-04,2.290187e-04,2.502938e-04,2.530677e-04,2.750378e-04,2.923564e-04,2.950430e-04,3.131956e-04,3.270926e-04,3.296056e-04,3.443800e-04,3.553471e-04,3.576221e-04,3.694310e-04,3.779098e-04,3.799011e-04,3.891223e-04,3.955027e-04,3.971797e-04,4.041537e-04,4.087763e-04,4.101203e-04,4.151509e-04,4.183107e-04,4.193128e-04,4.226691e-04,4.246203e-04,4.252792e-04,4.271989e-04,4.281602e-04,4.284807e-04,4.291736e-04,4.293320e-04,4.293237e-04,4.289739e-04,4.284889e-04,4.281646e-04,4.269338e-04,4.259413e-04,4.253168e-04,4.233466e-04,4.219613e-04,4.210542e-04,4.184686e-04,4.167879e-04,4.156169e-04,4.125241e-04,4.106291e-04,4.092137e-04,4.057078e-04,4.036666e-04,4.020266e-04,3.981893e-04,3.960585e-04,3.942136e-04,3.901158e-04,3.879420e-04,3.859115e-04,3.816148e-04,3.794360e-04,3.772390e-04,3.727965e-04,3.706437e-04,3.682985e-04,3.637558e-04,3.616538e-04,3.591780e-04,3.545743e-04,3.525426e-04,3.499529e-04,3.453217e-04,3.433753e-04,3.406876e-04,3.360574e-04,3.342077e-04,3.314369e-04,3.268319e-04,3.250871e-04,3.222474e-04,3.176879e-04,3.160535e-04,3.131579e-04,3.086610e-04,3.071403e-04,3.042009e-04,2.997807e-04,2.983752e-04,2.954034e-04,2.910714e-04,2.897811e-04,2.867872e-04,2.825528e-04,2.813764e-04,2.783702e-04,2.742408e-04,2.731761e-04,2.701663e-04,2.661477e-04,2.651917e-04,2.621863e-04,2.582830e-04,2.574321e-04,2.544384e-04,2.506532e-04,2.499034e-04,2.469281e-04,2.432632e-04,2.426099e-04,2.396589e-04,2.361154e-04,2.355541e-04,2.326328e-04,2.292110e-04,2.287368e-04,2.258500e-04,2.225496e-04,2.221576e-04,2.193096e-04,2.161298e-04,2.158151e-04,2.130097e-04,2.099490e-04,2.097067e-04,2.069472e-04,2.040039e-04,2.038292e-04,2.011186e-04,1.982907e-04,1.981788e-04,1.955196e-04,1.928047e-04,1.927510e-04,1.901454e-04,1.875409e-04,1.825435e-04,1.777533e-04,1.731645e-04,1.687715e-04,1.645683e-04,1.605491e-04,1.567078e-04,1.530386e-04,1.495355e-04,1.461928e-04,1.430046e-04,1.399655e-04,1.370697e-04,1.343120e-04,1.316870e-04,1.291897e-04,1.268149e-04,1.245578e-04,1.224137e-04,1.203780e-04,1.184462e-04,1.166142e-04,1.148776e-04,1.132326e-04,1.116752e-04,1.102017e-04,1.088085e-04,1.074922e-04,1.062493e-04,1.050767e-04,1.039713e-04,1.029301e-04,1.019502e-04,1.010289e-04,1.001635e-04,9.935152e-05,9.859045e-05,9.787798e-05,9.721184e-05,9.658987e-05,9.601001e-05,9.547025e-05,9.496869e-05,9.450348e-05,9.407289e-05,9.367521e-05,9.330884e-05,9.297222e-05,9.266387e-05
0.000000e+00,8.128596e-09,2.668114e-07,2.811553e-07,2.190243e-06,7.631785e-06,7.953251e-06,1.807865e-05,2.956003e-05,3.030496e-05,4.249296e-05,5.310205e-05,5.399343e-05,6.471142e-05,7.369826e-05,7.465924e-05,8.386856e-05,9.138938e-05,9.237403e-05,1.002106e-04,1.064414e-04,1.074129e-04,1.140150e-04,1.191213e-04,1.200501e-04,1.255506e-04,1.296838e-04,1.305474e-04,1.350705e-04,1.383669e-04,1.391481e-04,1.428076e-04,1.453884e-04,1.460748e-04,1.489740e-04,1.509457e-04,1.515286e-04,1.537604e-04,1.552165e-04,1.556903e-04,1.573379e-04,1.583598e-04,1.587218e-04,1.598594e-04,1.605181e-04,1.607673e-04,1.614611e-04,1.618182e-04,1.619555e-04,1.622644e-04,1.623731e-04,1.624009e-04,1.623772e-04,1.622834e-04,1.622050e-04,1.618951e-04,1.616384e-04,1.614579e-04,1.609031e-04,1.605175e-04,1.602397e-04,1.594763e-04,1.589908e-04,1.586209e-04,1.576811e-04,1.571206e-04,1.566640e-04,1.555762e-04,1.549617e-04,1.544241e-04,1.532135e-04,1.525628e-04,1.519500e-04,1.506386e-04,1.499666e-04,1.492843e-04,1.478916e-04,1.472108e-04,1.464648e-04,1.450078e-04,1.443285e-04,1.435243e-04,1.420180e-04,1.413487e-04,1.404919e-04,1.389492e-04,1.382970e-04,1.373927e-04,1.358251e-04,1.351955e-04,1.342488e-04,1.326662e-04,1.320635e-04,1.310793e-04,1.294902e-04,1.289180e-04,1.279008e-04,1.263126e-04,1.257733e-04,1.247275e-04,1.231468e-04,1.226421e-04,1.215718e-04,1.200039e-04,1.195351e-04,1.184442e-04,1.168939e-04,1.164615e-04,1.153537e-04,1.138248e-04,1.134292e-04,1.123079e-04,1.108037e-04,1.104446e-04,1.093129e-04,1.078363e-04,1.075134e-04,1.063743e-04,1.049274e-04,1.046399e-04,1.034961e-04,1.020809e-04,1.018278e-04,1.006820e-04,9.929980e-05,9.908022e-05,9.793460e-05,9.658662e-05,9.639929e-05,9.525606e-05,9.394312e-05,9.378675e-05,9.264792e-05,9.137058e-05,9.124384e-05,9.011120e-05,8.886984e-05,8.877131e-05,8.764654e-05,8.644132e-05,8.636958e-05,8.525418e-05,8.408511e-05,8.403872e-05,8.293407e-05,8.180100e-05,8.177852e-05,8.068584e-05,7.958852e-05,7.746806e-05,7.541630e-05,7.343225e-05,7.151480e-05,6.966273e-05,6.787473e-05,6.614944e-05,6.448542e-05,6.288122e-05,6.133534e-05,5.984625e-05,5.841244e-05,5.703236e-05,5.570450e-05,5.442733e-05,5.319933e-05,5.201903e-05,5.088494e-05,4.979562e-05,4.874963e-05,4.774559e-05,4.678212e-05,4.585789e-05,4.497158e-05,4.412192e-05,4.330766e-05,4.252760e-05,4.178055e-05,4.106537e-05,4.038094e-05,3.972617e-05,3.910003e-05,3.850148e-05,3.792955e-05,3.738326e-05,3.686171e-05,3.636398e-05,3.588920e-05,3.543654e-05,3.500518e-05,3.459433e-05,3.420322e-05,3.383112e-05,3.347733e-05,3.314114e-05,3.282189e-05,3.251895e-05,3.223169e-05,3.195951e-05
0.000000e+00,2.775106e-11,3.352198e-09,3.602919e-09,7.143016e-08,6.073158e-07,6.569619e-07,3.775785e-06,1.429307e-05,1.542790e-05,4.849467e-05,1.159468e-04,1.242083e-04,2.710957e-04,4.912795e-04,5.220216e-04,9.105711e-04,1.391037e-03,1.467705e-03,2.219169e-03,3.035420e-03,3.183800e-03,4.372705e-03,5.547317e-03,5.789154e-03,7.429031e-03,8.933152e-03,9.281668e-03,1.133090e-02,1.309817e-02,1.355622e-02,1.593396e-02,1.787792e-02,1.843841e-02,2.104279e-02,2.307234e-02,2.372014e-02,2.644405e-02,2.847481e-02,2.918926e-02,3.193205e-02,3.389304e-02,3.465062e-02,3.732529e-02,3.916198e-02,3.993858e-02,4.247528e-02,4.414979e-02,4.492244e-02,4.726925e-02,4.875884e-02,4.950695e-02,5.162869e-02,5.292333e-02,5.362938e-02,5.550552e-02,5.660522e-02,5.725505e-02,5.887714e-02,5.978931e-02,6.037209e-02,6.174112e-02,6.247823e-02,6.298626e-02,6.411023e-02,6.468791e-02,6.511627e-02,6.600808e-02,6.644358e-02,6.678972e-02,6.746549e-02,6.777654e-02,6.803988e-02,6.851751e-02,6.872150e-02,6.890306e-02,6.920123e-02,6.931469e-02,6.941669e-02,6.955407e-02,6.959230e-02,6.961792e-02,6.961266e-02,6.958957e-02,6.954261e-02,6.941197e-02,6.934001e-02,6.922478e-02,6.898491e-02,6.887506e-02,6.869610e-02,6.836193e-02,6.822376e-02,6.798580e-02,6.757099e-02,6.741279e-02,6.712059e-02,6.663756e-02,6.646640e-02,6.612470e-02,6.558467e-02,6.540653e-02,6.501998e-02,6.443301e-02,6.425291e-02,6.382600e-02,6.320109e-02,6.302318e-02,6.256027e-02,6.190543e-02,6.173309e-02,6.123834e-02,6.056068e-02,6.039664e-02,5.987401e-02,5.917981e-02,5.902622e-02,5.847947e-02,5.777427e-02,5.763276e-02,5.706544e-02,5.635410e-02,5.622588e-02,5.564133e-02,5.492812e-02,5.481403e-02,5.421540e-02,5.350403e-02,5.340459e-02,5.279482e-02,5.208851e-02,5.200398e-02,5.138581e-02,5.068735e-02,5.061776e-02,4.999375e-02,4.930554e-02,4.925074e-02,4.862326e-02,4.794735e-02,4.790701e-02,4.727827e-02,4.661641e-02,4.659009e-02,4.596214e-02,4.531578e-02,4.530294e-02,4.467765e-02,4.404801e-02,4.282737e-02,4.164266e-02,4.049520e-02,3.938602e-02,3.831587e-02,3.728526e-02,3.629449e-02,3.534370e-02,3.443284e-02,3.356173e-02,3.273006e-02,3.193741e-02,3.118326e-02,3.046701e-02,2.978799e-02,2.914545e-02,2.853859e-02,2.796656e-02,2.742847e-02,2.692339e-02,2.645036e-02,2.600839e-02,2.559648e-02,2.521360e-02,2.485870e-02,2.453075e-02,2.422868e-02,2.395143e-02,2.369794e-02,2.346715e-02,2.325799e-02,2.306942e-02,2.290039e-02,2.274988e-02,2.261686e-02,2.250034e-02,2.239932e-02,2.231286e-02,2.223999e-02,2.217980e-02,2.213140e-02,2.209390e-02,2.206646e-02,2.204827e-02,2.203853e-02,2.203649e-02,2.204142e-02,2.205262e-02,2.206941e-02
0.000000e+00,6.429762e-10,3.843700e-08,4.075841e-08,4.344635e-07,2.222597e-06,2.357120e-06,8.437630e-06,2.096611e-05,2.204199e-05,4.496801e-05,7.301850e-05,7.567005e-05,1.099321e-04,1.400993e-04,1.432986e-04,1.729064e-04,1.949600e-04,1.976705e-04,2.176182e-04,2.313021e-04,2.332550e-04,2.452080e-04,2.528434e-04,2.540781e-04,2.603932e-04,2.639820e-04,2.646018e-04,2.670802e-04,2.680299e-04,2.681423e-04,2.680494e-04,2.673160e-04,2.670184e-04,2.652293e-04,2.634554e-04,2.628314e-04,2.599482e-04,2.575631e-04,2.566821e-04,2.531174e-04,2.504058e-04,2.493242e-04,2.453598e-04,2.425088e-04,2.412720e-04,2.370996e-04,2.342306e-04,2.328746e-04,2.286232e-04,2.258133e-04,2.243667e-04,2.201227e-04,2.174199e-04,2.159056e-04,2.117268e-04,2.091593e-04,2.075956e-04,2.035194e-04,2.011024e-04,1.995037e-04,1.955530e-04,1.932927e-04,1.916706e-04,1.878590e-04,1.857560e-04,1.841198e-04,1.804544e-04,1.785061e-04,1.768636e-04,1.733477e-04,1.715490e-04,1.699067e-04,1.665402e-04,1.648848e-04,1.632478e-04,1.600285e-04,1.585090e-04,1.568816e-04,1.538061e-04,1.524150e-04,1.508008e-04,1.478647e-04,1.465943e-04,1.449964e-04,1.421949e-04,1.410379e-04,1.394589e-04,1.367870e-04,1.357359e-04,1.341780e-04,1.316306e-04,1.306784e-04,1.291435e-04,1.267154e-04,1.258556e-04,1.243452e-04,1.220315e-04,1.212575e-04,1.197730e-04,1.175687e-04,1.168745e-04,1.154171e-04,1.133173e-04,1.126973e-04,1.112680e-04,1.092680e-04,1.087167e-04,1.073162e-04,1.054116e-04,1.049240e-04,1.035530e-04,1.017394e-04,1.013107e-04,9.996969e-05,9.824291e-05,9.786868e-05,9.655805e-05,9.491411e-05,9.459015e-05,9.331015e-05,9.174522e-05,9.146761e-05,9.021841e-05,8.872882e-05,8.849388e-05,8.727558e-05,8.585781e-05,8.566211e-05,8.447470e-05,8.312540e-05,8.296572e-05,8.180912e-05,8.052509e-05,8.039843e-05,7.927252e-05,7.805067e-05,7.795423e-05,7.685882e-05,7.569623e-05,7.562739e-05,7.456223e-05,7.345611e-05,7.341244e-05,7.237722e-05,7.132491e-05,7.130413e-05,7.029853e-05,6.929747e-05,6.738769e-05,6.557024e-05,6.384078e-05,6.219516e-05,6.062944e-05,5.913984e-05,5.772276e-05,5.637479e-05,5.509265e-05,5.387322e-05,5.271354e-05,5.161077e-05,5.056221e-05,4.956529e-05,4.861756e-05,4.771668e-05,4.686043e-05,4.604668e-05,4.527341e-05,4.453869e-05,4.384069e-05,4.317766e-05,4.254793e-05,4.194991e-05,4.138210e-05,4.084305e-05,4.033138e-05,3.984579e-05,3.938504e-05,3.894793e-05,3.853334e-05,3.814019e-05,3.776746e-05,3.741415e-05,3.707935e-05,3.676217e-05,3.646177e-05,3.617733e-05,3.590809e-05,3.565332e-05,3.541233e-05,3.518445e-05,3.496905e-05,3.476554e-05,3.457333e-05,3.439188e-05,3.422068e-05,3.405922e-05,3.390704e-05
0.000000e+00,5.365402e-10,3.710632e-08,3.943997e-08,4.643523e-07,2.610708e-06,2.780883e-06,1.125113e-05,3.182570e-05,3.374148e-05,7.896020e-05,1.439192e-04,1.505568e-04,2.439140e-04,3.384241e-04,3.491902e-04,4.566005e-04,5.473981e-04,5.593340e-04,6.537553e-04,7.271961e-04,7.384539e-04,8.132673e-04,8.687778e-04,8.786258e-04,9.351952e-04,9.755379e-04,9.837086e-04,1.024888e-03,1.053014e-03,1.059419e-03,1.087936e-03,1.106383e-03,1.111026e-03,1.129226e-03,1.140093e-03,1.143030e-03,1.152887e-03,1.157884e-03,1.159208e-03,1.162368e-03,1.162878e-03,1.162707e-03,1.160536e-03,1.157674e-03,1.156136e-03,1.149766e-03,1.144428e-03,1.141658e-03,1.132023e-03,1.124922e-03,1.121054e-03,1.108924e-03,1.100625e-03,1.095791e-03,1.081797e-03,1.072746e-03,1.067072e-03,1.051731e-03,1.042275e-03,1.035880e-03,1.019612e-03,1.010021e-03,1.003014e-03,9.861618e-04,9.766395e-04,9.691242e-04,9.519627e-04,9.426636e-04,9.347325e-04,9.174828e-04,9.085200e-04,9.002574e-04,8.830953e-04,8.745490e-04,8.660311e-04,8.490953e-04,8.410196e-04,8.323145e-04,8.157124e-04,8.081412e-04,7.993094e-04,7.831235e-04,7.760745e-04,7.671699e-04,7.514618e-04,7.449403e-04,7.360102e-04,7.208244e-04,7.148262e-04,7.059119e-04,6.912788e-04,6.857926e-04,6.769301e-04,6.628692e-04,6.578783e-04,6.490988e-04,6.356204e-04,6.311044e-04,6.224347e-04,6.095416e-04,6.054775e-04,5.969404e-04,5.846297e-04,5.809929e-04,5.726077e-04,5.608720e-04,5.576370e-04,5.494199e-04,5.382481e-04,5.353889e-04,5.273532e-04,5.167315e-04,5.142225e-04,5.063790e-04,4.962916e-04,4.941076e-04,4.864650e-04,4.768946e-04,4.750108e-04,4.675758e-04,4.585040e-04,4.568970e-04,4.496745e-04,4.410824e-04,4.397294e-04,4.327229e-04,4.245911e-04,4.234706e-04,4.166822e-04,4.089913e-04,4.080828e-04,4.015136e-04,3.942443e-04,3.935286e-04,3.871785e-04,3.803116e-04,3.797707e-04,3.736389e-04,3.671558e-04,3.667727e-04,3.608576e-04,3.547399e-04,3.544988e-04,3.487981e-04,3.430281e-04,3.429144e-04,3.374253e-04,3.319856e-04,3.216801e-04,3.119664e-04,3.028145e-04,2.941956e-04,2.860819e-04,2.784470e-04,2.712657e-04,2.645139e-04,2.581686e-04,2.522082e-04,2.466117e-04,2.413594e-04,2.364327e-04,2.318136e-04,2.274854e-04,2.234320e-04,2.196382e-04,2.160895e-04,2.127724e-04,2.096739e-04,2.067818e-04,2.040845e-04,2.015709e-04,1.992308e-04,1.970541e-04,1.950317e-04,1.931547e-04,1.914148e-04,1.898041e-04,1.883150e-04,1.869406e-04,1.856742e-04,1.845094e-04,1.834402e-04,1.824611e-04,1.815666e-04,1.807518e-04,1.800117e-04,1.793420e-04,1.787383e-04,1.781967e-04,1.777132e-04,1.772842e-04,1.769064e-04,1.765766e-04,1.762917e-04,1.760487e-04,1.758450e-04,1.756781e-04
0.000000e+00,3.188078e-11,3.617740e-09,3.882232e-09,7.125632e-08,5.767120e-07,6.230323e-07,3.520308e-06,1.335525e-05,1.442165e-05,4.568636e-05,1.097707e-04,1.176203e-04,2.567873e-04,4.636200e-04,4.923278e-04,8.519117e-04,1.289278e-03,1.358414e-03,2.027749e-03,2.739899e-03,2.867881e-03,3.878816e-03,4.854877e-03,5.053298e-03,6.377951e-03,7.563628e-03,7.834652e-03,9.401935e-03,1.071965e-02,1.105633e-02,1.277357e-02,1.414112e-02,1.452957e-02,1.630124e-02,1.764487e-02,1.806706e-02,1.980754e-02,2.106897e-02,2.150546e-02,2.314596e-02,2.428450e-02,2.471662e-02,2.620734e-02,2.719897e-02,2.761024e-02,2.891950e-02,2.975421e-02,3.013115e-02,3.124288e-02,3.192140e-02,3.225380e-02,3.316429e-02,3.369490e-02,3.397574e-02,3.469041e-02,3.508617e-02,3.531125e-02,3.584175e-02,3.611830e-02,3.628582e-02,3.664767e-02,3.682159e-02,3.693168e-02,3.714237e-02,3.723002e-02,3.728428e-02,3.736195e-02,3.737875e-02,3.737984e-02,3.734230e-02,3.730229e-02,3.725358e-02,3.711776e-02,3.703342e-02,3.693875e-02,3.672029e-02,3.660246e-02,3.646591e-02,3.617898e-02,3.603694e-02,3.586267e-02,3.551994e-02,3.536151e-02,3.515362e-02,3.476630e-02,3.459797e-02,3.436045e-02,3.393834e-02,3.376542e-02,3.350210e-02,3.305370e-02,3.288051e-02,3.259498e-02,3.212764e-02,3.195760e-02,3.165326e-02,3.117327e-02,3.100904e-02,3.068903e-02,3.020177e-02,3.004539e-02,2.971262e-02,2.922264e-02,2.907563e-02,2.873278e-02,2.824391e-02,2.810732e-02,2.775685e-02,2.727231e-02,2.714683e-02,2.679098e-02,2.631346e-02,2.619948e-02,2.584029e-02,2.537197e-02,2.526964e-02,2.490896e-02,2.445165e-02,2.436091e-02,2.400041e-02,2.355554e-02,2.347617e-02,2.311735e-02,2.268608e-02,2.261773e-02,2.226194e-02,2.184514e-02,2.178738e-02,2.143583e-02,2.103414e-02,2.098646e-02,2.064020e-02,2.025410e-02,2.021593e-02,1.987592e-02,1.950570e-02,1.947642e-02,1.914348e-02,1.878930e-02,1.876830e-02,1.844316e-02,1.810505e-02,1.809169e-02,1.777496e-02,1.745287e-02,1.744651e-02,1.713874e-02,1.683252e-02,1.624934e-02,1.569645e-02,1.517327e-02,1.467912e-02,1.421326e-02,1.377489e-02,1.336319e-02,1.297731e-02,1.261636e-02,1.227947e-02,1.196572e-02,1.167423e-02,1.140408e-02,1.115439e-02,1.092427e-02,1.071284e-02,1.051923e-02,1.034261e-02,1.018213e-02,1.003698e-02,9.906352e-03,9.789472e-03,9.685574e-03,9.593912e-03,9.513763e-03,9.444422e-03,9.385203e-03,9.335444e-03,9.294501e-03,9.261750e-03,9.236590e-03,9.218442e-03,9.206744e-03,9.200960e-03,9.200573e-03,9.205086e-03,9.214027e-03,9.226943e-03,9.243401e-03,9.262993e-03,9.285328e-03,9.310039e-03,9.336778e-03,9.365218e-03,9.395051e-03,9.425992e-03,9.457772e-03,9.490142e-03,9.522873e-03
0.000000e+00,2.084106e-11,2.370196e-09,2.542525e-09,4.501781e-08,3.476436e-07,3.748880e-07,2.046349e-06,7.688381e-06,8.303494e-06,2.668199e-05,6.596952e-05,7.089866e-05,1.614076e-04,3.039737e-04,3.243594e-04,5.894814e-04,9.317577e-04,9.875401e-04,1.547888e-03,2.179434e-03,2.296389e-03,3.253860e-03,4.230616e-03,4.435061e-03,5.848197e-03,7.181355e-03,7.494856e-03,9.370304e-03,1.102851e-02,1.146404e-02,1.376053e-02,1.567998e-02,1.624006e-02,1.887962e-02,2.097714e-02,2.165379e-02,2.453562e-02,2.672118e-02,2.749737e-02,3.051123e-02,3.269814e-02,3.354994e-02,3.658729e-02,3.869929e-02,3.959850e-02,4.256061e-02,4.453602e-02,4.545265e-02,4.825583e-02,5.004911e-02,5.095359e-02,5.353168e-02,5.511324e-02,5.597813e-02,5.828313e-02,5.963773e-02,6.043899e-02,6.243999e-02,6.356457e-02,6.428226e-02,6.596362e-02,6.686477e-02,6.748343e-02,6.884239e-02,6.953382e-02,7.004243e-02,7.108655e-02,7.158687e-02,7.197862e-02,7.272329e-02,7.305399e-02,7.332583e-02,7.379202e-02,7.397591e-02,7.412804e-02,7.434033e-02,7.440023e-02,7.443555e-02,7.442047e-02,7.437838e-02,7.430192e-02,7.408667e-02,7.396308e-02,7.378148e-02,7.339293e-02,7.320645e-02,7.292750e-02,7.239146e-02,7.215864e-02,7.179088e-02,7.113157e-02,7.086682e-02,7.041915e-02,6.965894e-02,6.937455e-02,6.885602e-02,6.801521e-02,6.772152e-02,6.714108e-02,6.623792e-02,6.594345e-02,6.530978e-02,6.436044e-02,6.407204e-02,6.339345e-02,6.241213e-02,6.213521e-02,6.141954e-02,6.041857e-02,6.015727e-02,5.941185e-02,5.840186e-02,5.815923e-02,5.739086e-02,5.638092e-02,5.615908e-02,5.537398e-02,5.437179e-02,5.417206e-02,5.337595e-02,5.238793e-02,5.221102e-02,5.140906e-02,5.044055e-02,5.028662e-02,4.948348e-02,4.853883e-02,4.840763e-02,4.760750e-02,4.669025e-02,4.658116e-02,4.578778e-02,4.490072e-02,4.481288e-02,4.402959e-02,4.317487e-02,4.310721e-02,4.233695e-02,4.151619e-02,4.146750e-02,4.071287e-02,3.992721e-02,3.989615e-02,3.915940e-02,3.840960e-02,3.839478e-02,3.767789e-02,3.696434e-02,3.560518e-02,3.431718e-02,3.309983e-02,3.195225e-02,3.087329e-02,2.986157e-02,2.891551e-02,2.803336e-02,2.721327e-02,2.645328e-02,2.575134e-02,2.510537e-02,2.451322e-02,2.397272e-02,2.348169e-02,2.303793e-02,2.263926e-02,2.228348e-02,2.196844e-02,2.169196e-02,2.145194e-02,2.124625e-02,2.107285e-02,2.092969e-02,2.081477e-02,2.072615e-02,2.066190e-02,2.062018e-02,2.059915e-02,2.059706e-02,2.061220e-02,2.064292e-02,2.068762e-02,2.074477e-02,2.081290e-02,2.089061e-02,2.097655e-02,2.106946e-02,2.116813e-02,2.127142e-02,2.137826e-02,2.148766e-02,2.159869e-02,2.171048e-02,2.182226e-02,2.193328e-02,2.204289e-02,2.215050e-02,2.225558e-02
0.000000e+00,6.619679e-09,1.916211e-07,2.016064e-07,1.559253e-06,5.781015e-06,6.043891e-06,1.498416e-05,2.642536e-05,2.719931e-05,3.998026e-05,5.082034e-05,5.170621e-05,6.198691e-05,7.002946e-05,7.085629e-05,7.844031e-05,8.415919e-05,8.487501e-05,9.028830e-05,9.421590e-05,9.479662e-05,9.850503e-05,1.010713e-04,1.015079e-04,1.038898e-04,1.054327e-04,1.057262e-04,1.070845e-04,1.078674e-04,1.080246e-04,1.085998e-04,1.088257e-04,1.088572e-04,1.088386e-04,1.086626e-04,1.085808e-04,1.081164e-04,1.076569e-04,1.074743e-04,1.066798e-04,1.060261e-04,1.057553e-04,1.047203e-04,1.039396e-04,1.035924e-04,1.023866e-04,1.015291e-04,1.011164e-04,9.979341e-05,9.889648e-05,9.842811e-05,9.702945e-05,9.612046e-05,9.560527e-05,9.416253e-05,9.326143e-05,9.270733e-05,9.124490e-05,9.036589e-05,8.977980e-05,8.831600e-05,8.746897e-05,8.685696e-05,8.540565e-05,8.459725e-05,8.396461e-05,8.253603e-05,8.177044e-05,8.112177e-05,7.972343e-05,7.900303e-05,7.834233e-05,7.697961e-05,7.630543e-05,7.563618e-05,7.431280e-05,7.368490e-05,7.301010e-05,7.172855e-05,7.114625e-05,7.046853e-05,6.923029e-05,6.869242e-05,6.801402e-05,6.681984e-05,6.632488e-05,6.564778e-05,6.449783e-05,6.404403e-05,6.336992e-05,6.226395e-05,6.184939e-05,6.117975e-05,6.011716e-05,5.973988e-05,5.907597e-05,5.805596e-05,5.771393e-05,5.705686e-05,5.607842e-05,5.576964e-05,5.512036e-05,5.418239e-05,5.390487e-05,5.326420e-05,5.236549e-05,5.211730e-05,5.148595e-05,5.062526e-05,5.040452e-05,4.978309e-05,4.895913e-05,4.876405e-05,4.815305e-05,4.736453e-05,4.719338e-05,4.659325e-05,4.583887e-05,4.569000e-05,4.510109e-05,4.437958e-05,4.425141e-05,4.367403e-05,4.298414e-05,4.287519e-05,4.230958e-05,4.165006e-05,4.155891e-05,4.100528e-05,4.037494e-05,4.030026e-05,3.975874e-05,3.915641e-05,3.909692e-05,3.856764e-05,3.799218e-05,3.794670e-05,3.742973e-05,3.688003e-05,3.684745e-05,3.634282e-05,3.581783e-05,3.579708e-05,3.530481e-05,3.480351e-05,3.479360e-05,3.431368e-05,3.383507e-05,3.291963e-05,3.204548e-05,3.121089e-05,3.041421e-05,2.965383e-05,2.892823e-05,2.823594e-05,2.757554e-05,2.694567e-05,2.634503e-05,2.577238e-05,2.522652e-05,2.470629e-05,2.421061e-05,2.373840e-05,2.328867e-05,2.286044e-05,2.245278e-05,2.206481e-05,2.169566e-05,2.134453e-05,2.101062e-05,2.069319e-05,2.039153e-05,2.010493e-05,1.983274e-05,1.957433e-05,1.932909e-05,1.909645e-05,1.887585e-05,1.866675e-05,1.846865e-05,1.828107e-05,1.810352e-05,1.793557e-05,1.777679e-05,1.762676e-05,1.748510e-05,1.735142e-05,1.722538e-05,1.710661e-05,1.699480e-05,1.688962e-05,1.679077e-05,1.669797e-05,1.661093e-05,1.652939e-05,1.645310e-05,1.638180e-05
0.000000e+00,1.943789e-09,2.585914e-08,2.699293e-08,1.659879e-07,5.758038e-07,6.010936e-07,1.448567e-06,2.497651e-06,2.567931e-06,3.743368e-06,4.796765e-06,4.886365e-06,5.976662e-06,6.909997e-06,7.010898e-06,7.989470e-06,8.805619e-06,8.913711e-06,9.785244e-06,1.049393e-05,1.060581e-05,1.137720e-05,1.198852e-05,1.210126e-05,1.277981e-05,1.330353e-05,1.341466e-05,1.400762e-05,1.445300e-05,1.456043e-05,1.507480e-05,1.545040e-05,1.555240e-05,1.599484e-05,1.630853e-05,1.640367e-05,1.678039e-05,1.703936e-05,1.712647e-05,1.744330e-05,1.765406e-05,1.773223e-05,1.799456e-05,1.816304e-05,1.823155e-05,1.844439e-05,1.857593e-05,1.863426e-05,1.880225e-05,1.890166e-05,1.894944e-05,1.907685e-05,1.914848e-05,1.918548e-05,1.927627e-05,1.932400e-05,1.935013e-05,1.940793e-05,1.943526e-05,1.945051e-05,1.947868e-05,1.948871e-05,1.949319e-05,1.949480e-05,1.949032e-05,1.948420e-05,1.946208e-05,1.944557e-05,1.942908e-05,1.938583e-05,1.935949e-05,1.933293e-05,1.927093e-05,1.923670e-05,1.920040e-05,1.912184e-05,1.908144e-05,1.903577e-05,1.894265e-05,1.889758e-05,1.884295e-05,1.873710e-05,1.868869e-05,1.862552e-05,1.850861e-05,1.845801e-05,1.838674e-05,1.826029e-05,1.820850e-05,1.812960e-05,1.799500e-05,1.794289e-05,1.785680e-05,1.771532e-05,1.766363e-05,1.757083e-05,1.742360e-05,1.737297e-05,1.727391e-05,1.712200e-05,1.707296e-05,1.696810e-05,1.681245e-05,1.676544e-05,1.665525e-05,1.649670e-05,1.645210e-05,1.633701e-05,1.617635e-05,1.613444e-05,1.601490e-05,1.585283e-05,1.581386e-05,1.569029e-05,1.552742e-05,1.549157e-05,1.536438e-05,1.520130e-05,1.516869e-05,1.503829e-05,1.487549e-05,1.484621e-05,1.471299e-05,1.455092e-05,1.452503e-05,1.438936e-05,1.422841e-05,1.420594e-05,1.406817e-05,1.390871e-05,1.388963e-05,1.375012e-05,1.359246e-05,1.357675e-05,1.343581e-05,1.328023e-05,1.326783e-05,1.312578e-05,1.297251e-05,1.296335e-05,1.282048e-05,1.266974e-05,1.266374e-05,1.252034e-05,1.237230e-05,1.236936e-05,1.222568e-05,1.208050e-05,1.179745e-05,1.152041e-05,1.124958e-05,1.098508e-05,1.072704e-05,1.047553e-05,1.023063e-05,9.992348e-06,9.760712e-06,9.535713e-06,9.317325e-06,9.105509e-06,8.900214e-06,8.701375e-06,8.508916e-06,8.322754e-06,8.142795e-06,7.968940e-06,7.801084e-06,7.639115e-06,7.482919e-06,7.332377e-06,7.187367e-06,7.047766e-06,6.913449e-06,6.784287e-06,6.660154e-06,6.540922e-06,6.426462e-06,6.316647e-06,6.211350e-06,6.110444e-06,6.013805e-06,5.921307e-06,5.832829e-06,5.748250e-06,5.667449e-06,5.590312e-06,5.516720e-06,5.446563e-06,5.379727e-06,5.316105e-06,5.255590e-06,5.198076e-06,5.143462e-06,5.091646e-06,5.042533e-06,4.996026e-06,4.952032e-06
0.000000e+00,1.249620e-09,8.312855e-08,8.840533e-08,1.076184e-06,5.838190e-06,6.196896e-06,2.203721e-05,5.296610e-05,5.554891e-05,1.089330e-04,1.718935e-04,1.777891e-04,2.542331e-04,3.237692e-04,3.313792e-04,4.052186e-04,4.660866e-04,4.740623e-04,5.374536e-04,5.876484e-04,5.954514e-04,6.482954e-04,6.889145e-04,6.962771e-04,7.396939e-04,7.720929e-04,7.788355e-04,8.139801e-04,8.393960e-04,8.453919e-04,8.733215e-04,8.928419e-04,8.980055e-04,9.196672e-04,9.342387e-04,9.385171e-04,9.547530e-04,9.651947e-04,9.685613e-04,9.801168e-04,9.871344e-04,9.895838e-04,9.971165e-04,1.001316e-03,1.002860e-03,1.006949e-03,1.008850e-03,1.009511e-03,1.010665e-03,1.010711e-03,1.010524e-03,1.009190e-03,1.007757e-03,1.006763e-03,1.003333e-03,1.000740e-03,9.989855e-04,9.938009e-04,9.903195e-04,9.878536e-04,9.812133e-04,9.770702e-04,9.739450e-04,9.661094e-04,9.614949e-04,9.577631e-04,9.489588e-04,9.440315e-04,9.397457e-04,9.301695e-04,9.250606e-04,9.202727e-04,9.100950e-04,9.049124e-04,8.996731e-04,8.890412e-04,8.838727e-04,8.782309e-04,8.672718e-04,8.621882e-04,8.561910e-04,8.450136e-04,8.400711e-04,8.337632e-04,8.224611e-04,8.177036e-04,8.111272e-04,7.997799e-04,7.952411e-04,7.884361e-04,7.771112e-04,7.728157e-04,7.658195e-04,7.545740e-04,7.505393e-04,7.433866e-04,7.322683e-04,7.285056e-04,7.212289e-04,7.102774e-04,7.067929e-04,6.994220e-04,6.886701e-04,6.854657e-04,6.780283e-04,6.675025e-04,6.645768e-04,6.570981e-04,6.468198e-04,6.441686e-04,6.366717e-04,6.266576e-04,6.242745e-04,6.167806e-04,6.070434e-04,6.049203e-04,5.974484e-04,5.879974e-04,5.861246e-04,5.786919e-04,5.695334e-04,5.679005e-04,5.605226e-04,5.516603e-04,5.502561e-04,5.429469e-04,5.343826e-04,5.331955e-04,5.259674e-04,5.177009e-04,5.167189e-04,5.095829e-04,5.016126e-04,5.008237e-04,4.937894e-04,4.861122e-04,4.855043e-04,4.785801e-04,4.711920e-04,4.707532e-04,4.639465e-04,4.568423e-04,4.565611e-04,4.498781e-04,4.430522e-04,4.429171e-04,4.363631e-04,4.298092e-04,4.172245e-04,4.051493e-04,3.935693e-04,3.824699e-04,3.718362e-04,3.616532e-04,3.519057e-04,3.425788e-04,3.336574e-04,3.251269e-04,3.169727e-04,3.091806e-04,3.017365e-04,2.946268e-04,2.878382e-04,2.813578e-04,2.751729e-04,2.692715e-04,2.636417e-04,2.582720e-04,2.531514e-04,2.482694e-04,2.436155e-04,2.391800e-04,2.349533e-04,2.309263e-04,2.270901e-04,2.234362e-04,2.199567e-04,2.166436e-04,2.134894e-04,2.104871e-04,2.076297e-04,2.049107e-04,2.023237e-04,1.998626e-04,1.975218e-04,1.952958e-04,1.931791e-04,1.911667e-04,1.892539e-04,1.874359e-04,1.857083e-04,1.840670e-04,1.825077e-04,1.810267e-04,1.796203e-04,1.782849e-04,1.770171e-04
0.000000e+00,1.923309e-11,2.324781e-09,2.498945e-09,4.990833e-08,4.262036e-07,4.610729e-07,2.645446e-06,9.949267e-06,1.073337e-05,3.337890e-05,7.888460e-05,8.441635e-05,1.817928e-04,3.254720e-04,3.453756e-04,5.945301e-04,8.980092e-04,9.460658e-04,1.412811e-03,1.912647e-03,2.002842e-03,2.719295e-03,3.417790e-03,3.560597e-03,4.521015e-03,5.391091e-03,5.591367e-03,6.759806e-03,7.756002e-03,8.012609e-03,9.334899e-03,1.040463e-02,1.071130e-02,1.212648e-02,1.321878e-02,1.356558e-02,1.501456e-02,1.608551e-02,1.646047e-02,1.789154e-02,1.890681e-02,1.929734e-02,2.066877e-02,2.160413e-02,2.199809e-02,2.327882e-02,2.411924e-02,2.450571e-02,2.567465e-02,2.641285e-02,2.678252e-02,2.782717e-02,2.846191e-02,2.880724e-02,2.972210e-02,3.025652e-02,3.057171e-02,3.135660e-02,3.179684e-02,3.207771e-02,3.273635e-02,3.309037e-02,3.333414e-02,3.387293e-02,3.414962e-02,3.435473e-02,3.478170e-02,3.499026e-02,3.515610e-02,3.548023e-02,3.562970e-02,3.575645e-02,3.598708e-02,3.608603e-02,3.617445e-02,3.632086e-02,3.637725e-02,3.642856e-02,3.649974e-02,3.652081e-02,3.653654e-02,3.654102e-02,3.653328e-02,3.651519e-02,3.646096e-02,3.643016e-02,3.638016e-02,3.627456e-02,3.622576e-02,3.614585e-02,3.599562e-02,3.593321e-02,3.582541e-02,3.563668e-02,3.556448e-02,3.543082e-02,3.520915e-02,3.513040e-02,3.497290e-02,3.472328e-02,3.464076e-02,3.446140e-02,3.418832e-02,3.410436e-02,3.390505e-02,3.361255e-02,3.352912e-02,3.331171e-02,3.300339e-02,3.292210e-02,3.268838e-02,3.236745e-02,3.228963e-02,3.204131e-02,3.171062e-02,3.163733e-02,3.137604e-02,3.103815e-02,3.097022e-02,3.069752e-02,3.035467e-02,3.029276e-02,3.001011e-02,2.966430e-02,2.960888e-02,2.931768e-02,2.897066e-02,2.892207e-02,2.862363e-02,2.827695e-02,2.823539e-02,2.793096e-02,2.758597e-02,2.755154e-02,2.724228e-02,2.690017e-02,2.687287e-02,2.655989e-02,2.622168e-02,2.620146e-02,2.588577e-02,2.555235e-02,2.553907e-02,2.522163e-02,2.489378e-02,2.488726e-02,2.456896e-02,2.424733e-02,2.362042e-02,2.300746e-02,2.240926e-02,2.182645e-02,2.125956e-02,2.070900e-02,2.017508e-02,1.965801e-02,1.915794e-02,1.867493e-02,1.820900e-02,1.776009e-02,1.732812e-02,1.691295e-02,1.651439e-02,1.613225e-02,1.576630e-02,1.541626e-02,1.508186e-02,1.476280e-02,1.445877e-02,1.416944e-02,1.389446e-02,1.363350e-02,1.338619e-02,1.315217e-02,1.293107e-02,1.272253e-02,1.252617e-02,1.234161e-02,1.216848e-02,1.200640e-02,1.185500e-02,1.171390e-02,1.158273e-02,1.146112e-02,1.134870e-02,1.124510e-02,1.114997e-02,1.106295e-02,1.098369e-02,1.091183e-02,1.084704e-02,1.078898e-02,1.073731e-02,1.069171e-02,1.065186e-02,1.061745e-02,1.058817e-02
0.000000e+00,1.326650e-10,1.688962e-08,1.817195e-08,3.756532e-07,3.247694e-06,3.514195e-06,2.022096e-05,7.632607e-05,8.237391e-05,2.588720e-04,6.219088e-04,6.666614e-04,1.471726e-03,2.706474e-03,2.881163e-03,5.130032e-03,8.000276e-03,8.466270e-03,1.313594e-02,1.839522e-02,1.937020e-02,2.737464e-02,3.559337e-02,3.732134e-02,4.934357e-02,6.081608e-02,6.353282e-02,7.993803e-02,9.466394e-02,9.856649e-02,1.193861e-01,1.371039e-01,1.423287e-01,1.672941e-01,1.875428e-01,1.941543e-01,2.227585e-01,2.449492e-01,2.529372e-01,2.845072e-01,3.079912e-01,3.172757e-01,3.510441e-01,3.751694e-01,3.856117e-01,4.207785e-01,4.449340e-01,4.563486e-01,4.921319e-01,5.157768e-01,5.279463e-01,5.636194e-01,5.863007e-01,5.989892e-01,6.339053e-01,6.552643e-01,6.682295e-01,7.018362e-01,7.216081e-01,7.346120e-01,7.664565e-01,7.844642e-01,7.972813e-01,8.270099e-01,8.431544e-01,8.555774e-01,8.829298e-01,8.971791e-01,9.090234e-01,9.338243e-01,9.462012e-01,9.573073e-01,9.794559e-01,9.900267e-01,1.000261e+00,1.019720e+00,1.028584e+00,1.037839e+00,1.054625e+00,1.061904e+00,1.070095e+00,1.084268e+00,1.090099e+00,1.097167e+00,1.108819e+00,1.113348e+00,1.119254e+00,1.128502e+00,1.131877e+00,1.136600e+00,1.143581e+00,1.145949e+00,1.149484e+00,1.154346e+00,1.155850e+00,1.158207e+00,1.161105e+00,1.161878e+00,1.163080e+00,1.164172e+00,1.164342e+00,1.164420e+00,1.163863e+00,1.163545e+00,1.162541e+00,1.160490e+00,1.159790e+00,1.157749e+00,1.154354e+00,1.153369e+00,1.150342e+00,1.145748e+00,1.144562e+00,1.140605e+00,1.134948e+00,1.133637e+00,1.128808e+00,1.122216e+00,1.120846e+00,1.115204e+00,1.107799e+00,1.106427e+00,1.100031e+00,1.091927e+00,1.090601e+00,1.083513e+00,1.074813e+00,1.073574e+00,1.065853e+00,1.056656e+00,1.055537e+00,1.047243e+00,1.037636e+00,1.036665e+00,1.027855e+00,1.017921e+00,1.017120e+00,1.007851e+00,9.976632e-01,9.970486e-01,9.873749e-01,9.770020e-01,9.765855e-01,9.665599e-01,9.560632e-01,9.558528e-01,9.455258e-01,9.349609e-01,9.140095e-01,8.930882e-01,8.722770e-01,8.516474e-01,8.312628e-01,8.111791e-01,7.914453e-01,7.721040e-01,7.531920e-01,7.347410e-01,7.167774e-01,6.993233e-01,6.823968e-01,6.660120e-01,6.501798e-01,6.349080e-01,6.202015e-01,6.060626e-01,5.924915e-01,5.794861e-01,5.670424e-01,5.551549e-01,5.438165e-01,5.330188e-01,5.227520e-01,5.130056e-01,5.037680e-01,4.950267e-01,4.867688e-01,4.789806e-01,4.716478e-01,4.647560e-01,4.582904e-01,4.522357e-01,4.465768e-01,4.412982e-01,4.363845e-01,4.318203e-01,4.275901e-01,4.236788e-01,4.200712e-01,4.167522e-01,4.137073e-01,4.109219e-01,4.083818e-01,4.060731e-01,4.039822e-01,4.020960e-01,4.004016e-01
0.000000e+00,1.165038e-10,1.426902e-08,1.534085e-08,3.109070e-07,2.744070e-06,2.973907e-06,1.798102e-05,7.149007e-05,7.739959e-05,2.550416e-04,6.335591e-04,6.808308e-04,1.542360e-03,2.884184e-03,3.075116e-03,5.546439e-03,8.720903e-03,9.237555e-03,1.442649e-02,2.028604e-02,2.137342e-02,3.030905e-02,3.949414e-02,4.142619e-02,5.487434e-02,6.771526e-02,7.075693e-02,8.913067e-02,1.056323e-01,1.100067e-01,1.333533e-01,1.532341e-01,1.590991e-01,1.871376e-01,2.098968e-01,2.173315e-01,2.495177e-01,2.745103e-01,2.835117e-01,3.191130e-01,3.456219e-01,3.561086e-01,3.942777e-01,4.215741e-01,4.333956e-01,4.732365e-01,5.006271e-01,5.135769e-01,5.541983e-01,5.810592e-01,5.948891e-01,6.354466e-01,6.612442e-01,6.756786e-01,7.154045e-01,7.397062e-01,7.544562e-01,7.926787e-01,8.151547e-01,8.299304e-01,8.660836e-01,8.865035e-01,9.010241e-01,9.346513e-01,9.528758e-01,9.668780e-01,9.976295e-01,1.013600e+00,1.026844e+00,1.054471e+00,1.068196e+00,1.080471e+00,1.104816e+00,1.116362e+00,1.127488e+00,1.148475e+00,1.157951e+00,1.167779e+00,1.185404e+00,1.192952e+00,1.201365e+00,1.215683e+00,1.221468e+00,1.228382e+00,1.239494e+00,1.243697e+00,1.249055e+00,1.257105e+00,1.259910e+00,1.263685e+00,1.268842e+00,1.270438e+00,1.272624e+00,1.275082e+00,1.275652e+00,1.276267e+00,1.276232e+00,1.275952e+00,1.275032e+00,1.272719e+00,1.271754e+00,1.269350e+00,1.264979e+00,1.263480e+00,1.259660e+00,1.253446e+00,1.251554e+00,1.246392e+00,1.238549e+00,1.236387e+00,1.229969e+00,1.220702e+00,1.218381e+00,1.210797e+00,1.200302e+00,1.197918e+00,1.189263e+00,1.177726e+00,1.175362e+00,1.165733e+00,1.153327e+00,1.151053e+00,1.140548e+00,1.127435e+00,1.125308e+00,1.114025e+00,1.100353e+00,1.098421e+00,1.086455e+00,1.072362e+00,1.070660e+00,1.058106e+00,1.043716e+00,1.042271e+00,1.029220e+00,1.014644e+00,1.013476e+00,1.000015e+00,9.853543e-01,9.844742e-01,9.706859e-01,9.560303e-01,9.554447e-01,9.414075e-01,9.268359e-01,9.265451e-01,9.123329e-01,8.979147e-01,8.696751e-01,8.419316e-01,8.147745e-01,7.882800e-01,7.625123e-01,7.375238e-01,7.133568e-01,6.900442e-01,6.676107e-01,6.460735e-01,6.254434e-01,6.057251e-01,5.869184e-01,5.690186e-01,5.520171e-01,5.359018e-01,5.206577e-01,5.062671e-01,4.927104e-01,4.799661e-01,4.680110e-01,4.568209e-01,4.463704e-01,4.366337e-01,4.275839e-01,4.191940e-01,4.114366e-01,4.042843e-01,3.977094e-01,3.916846e-01,3.861826e-01,3.811764e-01,3.766394e-01,3.725454e-01,3.688687e-01,3.655840e-01,3.626668e-01,3.600930e-01,3.578394e-01,3.558834e-01,3.542030e-01,3.527772e-01,3.515855e-01,3.506085e-01,3.498274e-01,3.492243e-01,3.487821e-01,3.484845e-01,3.483160e-01
0.000000e+00,3.629156e-10,3.381783e-08,3.623227e-08,6.409099e-07,4.793023e-06,5.148600e-06,2.349225e-05,6.508662e-05,6.869472e-05,1.445821e-04,2.345184e-04,2.429120e-04,3.511764e-04,4.485808e-04,4.591623e-04,5.607532e-04,6.425715e-04,6.531308e-04,7.354733e-04,7.983893e-04,8.079658e-04,8.712216e-04,9.177708e-04,9.259970e-04,9.730599e-04,1.006411e-03,1.013141e-03,1.046919e-03,1.069822e-03,1.075015e-03,1.098000e-03,1.112718e-03,1.116396e-03,1.130679e-03,1.139052e-03,1.141284e-03,1.148605e-03,1.152123e-03,1.153004e-03,1.154807e-03,1.154664e-03,1.154309e-03,1.151779e-03,1.148929e-03,1.147458e-03,1.141564e-03,1.136759e-03,1.134294e-03,1.125825e-03,1.119655e-03,1.116314e-03,1.105905e-03,1.098832e-03,1.094726e-03,1.082890e-03,1.075269e-03,1.070502e-03,1.057652e-03,1.049755e-03,1.044422e-03,1.030886e-03,1.022921e-03,1.017110e-03,1.003150e-03,9.952726e-04,9.890597e-04,9.748840e-04,9.672083e-04,9.606640e-04,9.464356e-04,9.390443e-04,9.322308e-04,9.180777e-04,9.110284e-04,9.040010e-04,8.900224e-04,8.833531e-04,8.761606e-04,8.624321e-04,8.561658e-04,8.488512e-04,8.354301e-04,8.295782e-04,8.221793e-04,8.091078e-04,8.036731e-04,7.962230e-04,7.835313e-04,7.785098e-04,7.710377e-04,7.587463e-04,7.541293e-04,7.466604e-04,7.347823e-04,7.305574e-04,7.231138e-04,7.116559e-04,7.078083e-04,7.004092e-04,6.893736e-04,6.858867e-04,6.785487e-04,6.679336e-04,6.647899e-04,6.575273e-04,6.473283e-04,6.445095e-04,6.373348e-04,6.275450e-04,6.250327e-04,6.179566e-04,6.085674e-04,6.063433e-04,5.993748e-04,5.903764e-04,5.884225e-04,5.815693e-04,5.729509e-04,5.712496e-04,5.645183e-04,5.562686e-04,5.548029e-04,5.481989e-04,5.403061e-04,5.390594e-04,5.325872e-04,5.250393e-04,5.239960e-04,5.176592e-04,5.104441e-04,5.095892e-04,5.033907e-04,4.964962e-04,4.958154e-04,4.897575e-04,4.831717e-04,4.826514e-04,4.767358e-04,4.704469e-04,4.700742e-04,4.643021e-04,4.582985e-04,4.580612e-04,4.524332e-04,4.467036e-04,4.465904e-04,4.411068e-04,4.356401e-04,4.251894e-04,4.152180e-04,4.057062e-04,3.966350e-04,3.879860e-04,3.797414e-04,3.718843e-04,3.643980e-04,3.572669e-04,3.504756e-04,3.440096e-04,3.378548e-04,3.319977e-04,3.264254e-04,3.211253e-04,3.160857e-04,3.112950e-04,3.067423e-04,3.024171e-04,2.983092e-04,2.944091e-04,2.907074e-04,2.871953e-04,2.838643e-04,2.807063e-04,2.777133e-04,2.748781e-04,2.721933e-04,2.696522e-04,2.672482e-04,2.649749e-04,2.628264e-04,2.607970e-04,2.588810e-04,2.570732e-04,2.553686e-04,2.537623e-04,2.522497e-04,2.508263e-04,2.494879e-04,2.482305e-04,2.470501e-04,2.459431e-04,2.449059e-04,2.439350e-04,2.430273e-04,2.421795e-04,2.413889e-04,2.406524e-04
0.000000e+00,2.010000e-09,2.808823e-08,2.932930e-08,1.806282e-07,6.266309e-07,6.543888e-07,1.613574e-06,2.893329e-06,2.982222e-06,4.498603e-06,5.868732e-06,5.984729e-06,7.383578e-06,8.558132e-06,8.683682e-06,9.885769e-06,1.086557e-05,1.099370e-05,1.201206e-05,1.281970e-05,1.294543e-05,1.379840e-05,1.445609e-05,1.457551e-05,1.528113e-05,1.580934e-05,1.591946e-05,1.649456e-05,1.691170e-05,1.701027e-05,1.747028e-05,1.779267e-05,1.787807e-05,1.823697e-05,1.847897e-05,1.855011e-05,1.882047e-05,1.899466e-05,1.905087e-05,1.924395e-05,1.936129e-05,1.940225e-05,1.952812e-05,1.959815e-05,1.962381e-05,1.969143e-05,1.972239e-05,1.973296e-05,1.975029e-05,1.974933e-05,1.974518e-05,1.971929e-05,1.969255e-05,1.967420e-05,1.961137e-05,1.956412e-05,1.953220e-05,1.943798e-05,1.937475e-05,1.932996e-05,1.920927e-05,1.913389e-05,1.907700e-05,1.893417e-05,1.884993e-05,1.878173e-05,1.862058e-05,1.853023e-05,1.845156e-05,1.827545e-05,1.818132e-05,1.809300e-05,1.790488e-05,1.780891e-05,1.771176e-05,1.751423e-05,1.741802e-05,1.731286e-05,1.710818e-05,1.701305e-05,1.690067e-05,1.669081e-05,1.659784e-05,1.647902e-05,1.626569e-05,1.617573e-05,1.605120e-05,1.583590e-05,1.574962e-05,1.562011e-05,1.540412e-05,1.532205e-05,1.518821e-05,1.497263e-05,1.489516e-05,1.475763e-05,1.454343e-05,1.447081e-05,1.433021e-05,1.411817e-05,1.405060e-05,1.390748e-05,1.369830e-05,1.363586e-05,1.349076e-05,1.328500e-05,1.322772e-05,1.308114e-05,1.287928e-05,1.282713e-05,1.267952e-05,1.248195e-05,1.243487e-05,1.228665e-05,1.209368e-05,1.205155e-05,1.190312e-05,1.171501e-05,1.167768e-05,1.152940e-05,1.134633e-05,1.131366e-05,1.116585e-05,1.098798e-05,1.095976e-05,1.081273e-05,1.064015e-05,1.061620e-05,1.047023e-05,1.030298e-05,1.028310e-05,1.013843e-05,9.976561e-06,9.960522e-06,9.817383e-06,9.660890e-06,9.648486e-06,9.507077e-06,9.355934e-06,9.346950e-06,9.207450e-06,9.061611e-06,9.055832e-06,8.918401e-06,8.777804e-06,8.775018e-06,8.639798e-06,8.504364e-06,8.243699e-06,7.992834e-06,7.751562e-06,7.519663e-06,7.296908e-06,7.083056e-06,6.877864e-06,6.681082e-06,6.492459e-06,6.311744e-06,6.138685e-06,5.973032e-06,5.814536e-06,5.662953e-06,5.518041e-06,5.379564e-06,5.247288e-06,5.120988e-06,5.000440e-06,4.885429e-06,4.775744e-06,4.671180e-06,4.571538e-06,4.476625e-06,4.386253e-06,4.300243e-06,4.218418e-06,4.140610e-06,4.066655e-06,3.996394e-06,3.929676e-06,3.866353e-06,3.806283e-06,3.749331e-06,3.695365e-06,3.644257e-06,3.595887e-06,3.550137e-06,3.506894e-06,3.466050e-06,3.427501e-06,3.391147e-06,3.356892e-06,3.324643e-06,3.294311e-06,3.265812e-06,3.239064e-06,3.213988e-06,3.190509e-06
0.000000e+00,3.907487e-11,4.507095e-09,4.836521e-09,8.667065e-08,6.617616e-07,7.128709e-07,3.743723e-06,1.339244e-05,1.441696e-05,4.396991e-05,1.043481e-04,1.117909e-04,2.459431e-04,4.524361e-04,4.816920e-04,8.585764e-04,1.339037e-03,1.416904e-03,2.194398e-03,3.063199e-03,3.223426e-03,4.529001e-03,5.851710e-03,6.127589e-03,8.026630e-03,9.807291e-03,1.022467e-02,1.271197e-02,1.489881e-02,1.547143e-02,1.847973e-02,2.098090e-02,2.170858e-02,2.512598e-02,2.782814e-02,2.869743e-02,3.238710e-02,3.517227e-02,3.615880e-02,3.997689e-02,4.273528e-02,4.380700e-02,4.761662e-02,5.025488e-02,5.137554e-02,5.505621e-02,5.750165e-02,5.863393e-02,6.208699e-02,6.428852e-02,6.539669e-02,6.854731e-02,7.047415e-02,7.152596e-02,7.432253e-02,7.596153e-02,7.692944e-02,7.934152e-02,8.069390e-02,8.155574e-02,8.357102e-02,8.464893e-02,8.538804e-02,8.700895e-02,8.783226e-02,8.843727e-02,8.967759e-02,9.027111e-02,9.073546e-02,9.161721e-02,9.200838e-02,9.232974e-02,9.288046e-02,9.309755e-02,9.327711e-02,9.352764e-02,9.359838e-02,9.364018e-02,9.362286e-02,9.357353e-02,9.348382e-02,9.323109e-02,9.308591e-02,9.287257e-02,9.241598e-02,9.219678e-02,9.186882e-02,9.123834e-02,9.096440e-02,9.053154e-02,8.975510e-02,8.944315e-02,8.891545e-02,8.801870e-02,8.768302e-02,8.707064e-02,8.607679e-02,8.572938e-02,8.504234e-02,8.397222e-02,8.362302e-02,8.287106e-02,8.174321e-02,8.140026e-02,8.059274e-02,7.942346e-02,7.909319e-02,7.823895e-02,7.704251e-02,7.672987e-02,7.583725e-02,7.462602e-02,7.433474e-02,7.341151e-02,7.219617e-02,7.192891e-02,7.098228e-02,6.977195e-02,6.953049e-02,6.856711e-02,6.736954e-02,6.715488e-02,6.618086e-02,6.500257e-02,6.481510e-02,6.383602e-02,6.268245e-02,6.252205e-02,6.154297e-02,6.041861e-02,6.028475e-02,5.931027e-02,5.821877e-02,5.811057e-02,5.714484e-02,5.608912e-02,5.600547e-02,5.505219e-02,5.403455e-02,5.397411e-02,5.303662e-02,5.205879e-02,5.202010e-02,5.110136e-02,5.016459e-02,5.014606e-02,4.924869e-02,4.835384e-02,4.664455e-02,4.501873e-02,4.347637e-02,4.201702e-02,4.063986e-02,3.934375e-02,3.812727e-02,3.698877e-02,3.592644e-02,3.493827e-02,3.402213e-02,3.317579e-02,3.239691e-02,3.168310e-02,3.103189e-02,3.044077e-02,2.990720e-02,2.942861e-02,2.900241e-02,2.862601e-02,2.829680e-02,2.801221e-02,2.776964e-02,2.756655e-02,2.740039e-02,2.726867e-02,2.716891e-02,2.709870e-02,2.705565e-02,2.703746e-02,2.704185e-02,2.706664e-02,2.710970e-02,2.716897e-02,2.724249e-02,2.732838e-02,2.742482e-02,2.753010e-02,2.764261e-02,2.776082e-02,2.788330e-02,2.800871e-02,2.813582e-02,2.826348e-02,2.839065e-02,2.851638e-02,2.863980e-02,2.876017e-02,2.887678e-02
0.000000e+00,2.543380e-10,3.139223e-08,3.376213e-08,6.972484e-07,6.197868e-06,6.716385e-06,4.011546e-05,1.554169e-04,1.679301e-04,5.336540e-04,1.280122e-03,1.371524e-03,2.997277e-03,5.441670e-03,5.783915e-03,1.013241e-02,1.556987e-02,1.644367e-02,2.509490e-02,3.466356e-02,3.642144e-02,5.070395e-02,6.514720e-02,6.816064e-02,8.894352e-02,1.085295e-01,1.131380e-01,1.407650e-01,1.653135e-01,1.717852e-01,2.061040e-01,2.350719e-01,2.435781e-01,2.840222e-01,3.166112e-01,3.272154e-01,3.729084e-01,4.081716e-01,4.208296e-01,4.706917e-01,5.076272e-01,5.221967e-01,5.750417e-01,6.126676e-01,6.289227e-01,6.835394e-01,7.209487e-01,7.385981e-01,7.938150e-01,8.302123e-01,8.489183e-01,9.036505e-01,9.383718e-01,9.577694e-01,1.011050e+00,1.043571e+00,1.063284e+00,1.114283e+00,1.144217e+00,1.163875e+00,1.211907e+00,1.238996e+00,1.258243e+00,1.302766e+00,1.326870e+00,1.345376e+00,1.385988e+00,1.407063e+00,1.424534e+00,1.460959e+00,1.479048e+00,1.495224e+00,1.527301e+00,1.542514e+00,1.557176e+00,1.584844e+00,1.597343e+00,1.610313e+00,1.633597e+00,1.643580e+00,1.654721e+00,1.673716e+00,1.681409e+00,1.690621e+00,1.705481e+00,1.711124e+00,1.718345e+00,1.729268e+00,1.733106e+00,1.738307e+00,1.745523e+00,1.747800e+00,1.750980e+00,1.754745e+00,1.755699e+00,1.756885e+00,1.757468e+00,1.757324e+00,1.756565e+00,1.754244e+00,1.753214e+00,1.750576e+00,1.745630e+00,1.743908e+00,1.739476e+00,1.732181e+00,1.729943e+00,1.723813e+00,1.714438e+00,1.711844e+00,1.704122e+00,1.692927e+00,1.690116e+00,1.680914e+00,1.668144e+00,1.665239e+00,1.654675e+00,1.640562e+00,1.637667e+00,1.625860e+00,1.610622e+00,1.607826e+00,1.594897e+00,1.578735e+00,1.576111e+00,1.562181e+00,1.545281e+00,1.542890e+00,1.528076e+00,1.510608e+00,1.508496e+00,1.492915e+00,1.475034e+00,1.473237e+00,1.457000e+00,1.438845e+00,1.437389e+00,1.420602e+00,1.402300e+00,1.401201e+00,1.383967e+00,1.365630e+00,1.364896e+00,1.347312e+00,1.329038e+00,1.328673e+00,1.310830e+00,1.292708e+00,1.257152e+00,1.222141e+00,1.187790e+00,1.154196e+00,1.121444e+00,1.089602e+00,1.058726e+00,1.028863e+00,1.000046e+00,9.723020e-01,9.456480e-01,9.200941e-01,8.956443e-01,8.722965e-01,8.500438e-01,8.288748e-01,8.087744e-01,7.897241e-01,7.717025e-01,7.546859e-01,7.386484e-01,7.235625e-01,7.093991e-01,6.961282e-01,6.837186e-01,6.721387e-01,6.613561e-01,6.513383e-01,6.420527e-01,6.334665e-01,6.255471e-01,6.182622e-01,6.115796e-01,6.054680e-01,5.998960e-01,5.948334e-01,5.902502e-01,5.861174e-01,5.824066e-01,5.790903e-01,5.761418e-01,5.735354e-01,5.712461e-01,5.692501e-01,5.675243e-01,5.660467e-01,5.647964e-01,5.637531e-01,5.628979e-01
0.000000e+00,6.070354e-10,4.550953e-08,4.847727e-08,6.414848e-07,3.922875e-06,4.188320e-06,1.739823e-05,4.811182e-05,5.087357e-05,1.124422e-04,1.927817e-04,2.006297e-04,3.065350e-04,4.086170e-04,4.200755e-04,5.337913e-04,6.305211e-04,6.433687e-04,7.467533e-04,8.301061e-04,8.431776e-04,9.325142e-04,1.002193e-03,1.014923e-03,1.090684e-03,1.148074e-03,1.160121e-03,1.223567e-03,1.270235e-03,1.281356e-03,1.333811e-03,1.371223e-03,1.381243e-03,1.423950e-03,1.453423e-03,1.462217e-03,1.496316e-03,1.519017e-03,1.526503e-03,1.553023e-03,1.569978e-03,1.576109e-03,1.595978e-03,1.608085e-03,1.612840e-03,1.626890e-03,1.634933e-03,1.638314e-03,1.647289e-03,1.651951e-03,1.653980e-03,1.658543e-03,1.660416e-03,1.661127e-03,1.661872e-03,1.661469e-03,1.660910e-03,1.658364e-03,1.656126e-03,1.654353e-03,1.648986e-03,1.645293e-03,1.642368e-03,1.634597e-03,1.629776e-03,1.625765e-03,1.615960e-03,1.610290e-03,1.605264e-03,1.593752e-03,1.587469e-03,1.581499e-03,1.568571e-03,1.561875e-03,1.555033e-03,1.540945e-03,1.534004e-03,1.526363e-03,1.511340e-03,1.504295e-03,1.495926e-03,1.480166e-03,1.473134e-03,1.464106e-03,1.447784e-03,1.440861e-03,1.431241e-03,1.414510e-03,1.407773e-03,1.397626e-03,1.380619e-03,1.374130e-03,1.363519e-03,1.346352e-03,1.340160e-03,1.329144e-03,1.311918e-03,1.306061e-03,1.294695e-03,1.277497e-03,1.272002e-03,1.260341e-03,1.243246e-03,1.238131e-03,1.226226e-03,1.209298e-03,1.204576e-03,1.192474e-03,1.175767e-03,1.171444e-03,1.159188e-03,1.142749e-03,1.138825e-03,1.126458e-03,1.110326e-03,1.106798e-03,1.094358e-03,1.078564e-03,1.075426e-03,1.062949e-03,1.047519e-03,1.044762e-03,1.032280e-03,1.017235e-03,1.014847e-03,1.002390e-03,9.877485e-04,9.857150e-04,9.733125e-04,9.590853e-04,9.573921e-04,9.450690e-04,9.312655e-04,9.298969e-04,9.176764e-04,9.043028e-04,9.032422e-04,8.911455e-04,8.782051e-04,8.774356e-04,8.654819e-04,8.529759e-04,8.524802e-04,8.406869e-04,8.286144e-04,8.283752e-04,8.167578e-04,8.051163e-04,7.826963e-04,7.611057e-04,7.403325e-04,7.203632e-04,7.011829e-04,6.827753e-04,6.651230e-04,6.482082e-04,6.320122e-04,6.165158e-04,6.016997e-04,5.875443e-04,5.740298e-04,5.611366e-04,5.488450e-04,5.371356e-04,5.259889e-04,5.153861e-04,5.053083e-04,4.957371e-04,4.866543e-04,4.780424e-04,4.698838e-04,4.621617e-04,4.548595e-04,4.479612e-04,4.414511e-04,4.353139e-04,4.295348e-04,4.240994e-04,4.189939e-04,4.142046e-04,4.097184e-04,4.055226e-04,4.016050e-04,3.979535e-04,3.945568e-04,3.914036e-04,3.884832e-04,3.857853e-04,3.832997e-04,3.810168e-04,3.789273e-04,3.770220e-04,3.752924e-04,3.737301e-04,3.723268e-04,3.710749e-04,3.699669e-04
0.000000e+00,3.253180e-10,2.649179e-08,2.824923e-08,3.842710e-07,2.369000e-06,2.530570e-06,1.077906e-05,3.137589e-05,3.331732e-05,8.008706e-05,1.502483e-04,1.576081e-04,2.646909e-04,3.793725e-04,3.927978e-04,5.301803e-04,6.501363e-04,6.660808e-04,7.928615e-04,8.912351e-04,9.062090e-04,1.004403e-03,1.075111e-03,1.087399e-03,1.156083e-03,1.202641e-03,1.211770e-03,1.255908e-03,1.283861e-03,1.289919e-03,1.315126e-03,1.329451e-03,1.332727e-03,1.343784e-03,1.348391e-03,1.349234e-03,1.349898e-03,1.347733e-03,1.346492e-03,1.339641e-03,1.332882e-03,1.329886e-03,1.317700e-03,1.307944e-03,1.303491e-03,1.287614e-03,1.276023e-03,1.270376e-03,1.252044e-03,1.239457e-03,1.232846e-03,1.212980e-03,1.199995e-03,1.192617e-03,1.171902e-03,1.158937e-03,1.150960e-03,1.129898e-03,1.117242e-03,1.108808e-03,1.087767e-03,1.075613e-03,1.066842e-03,1.046087e-03,1.034557e-03,1.025550e-03,1.005267e-03,9.944327e-04,9.852727e-04,9.655917e-04,9.554890e-04,9.462459e-04,9.272520e-04,9.178915e-04,9.086235e-04,8.903700e-04,8.817437e-04,8.724985e-04,8.550138e-04,8.471014e-04,8.379183e-04,8.212131e-04,8.139863e-04,8.048976e-04,7.889702e-04,7.823957e-04,7.734279e-04,7.582672e-04,7.523087e-04,7.434834e-04,7.290717e-04,7.236916e-04,7.150262e-04,7.013411e-04,6.965015e-04,6.880101e-04,6.750265e-04,6.706900e-04,6.623836e-04,6.500746e-04,6.462050e-04,6.380922e-04,6.264296e-04,6.229920e-04,6.150795e-04,6.040348e-04,6.009961e-04,5.932886e-04,5.828337e-04,5.801623e-04,5.726632e-04,5.627701e-04,5.604363e-04,5.531477e-04,5.437892e-04,5.417651e-04,5.346881e-04,5.258377e-04,5.240972e-04,5.172319e-04,5.088642e-04,5.073828e-04,5.007285e-04,4.928189e-04,4.915740e-04,4.851295e-04,4.776544e-04,4.766247e-04,4.703881e-04,4.633251e-04,4.624909e-04,4.564600e-04,4.497875e-04,4.491306e-04,4.433026e-04,4.370002e-04,4.365037e-04,4.308754e-04,4.249236e-04,4.245719e-04,4.191401e-04,4.135203e-04,4.132988e-04,4.080598e-04,4.027545e-04,4.026499e-04,3.976000e-04,3.925923e-04,3.830947e-04,3.741275e-04,3.656626e-04,3.576733e-04,3.501343e-04,3.430216e-04,3.363123e-04,3.299850e-04,3.240192e-04,3.183955e-04,3.130956e-04,3.081019e-04,3.033981e-04,2.989684e-04,2.947981e-04,2.908732e-04,2.871803e-04,2.837069e-04,2.804410e-04,2.773713e-04,2.744871e-04,2.717783e-04,2.692353e-04,2.668489e-04,2.646106e-04,2.625121e-04,2.605459e-04,2.587044e-04,2.569809e-04,2.553687e-04,2.538616e-04,2.524538e-04,2.511396e-04,2.499137e-04,2.487712e-04,2.477074e-04,2.467178e-04,2.457980e-04,2.449442e-04,2.441524e-04,2.434192e-04,2.427411e-04,2.421149e-04,2.415375e-04,2.410061e-04,2.405179e-04,2.400703e-04,2.396610e-04,2.392876e-04
0.000000e+00,1.344799e-11,1.806684e-09,1.947863e-09,4.440004e-08,3.978374e-07,4.304473e-07,2.379827e-06,8.182438e-06,8.765964e-06,2.395494e-05,4.972146e-05,5.260404e-05,9.830272e-05,1.554435e-04,1.627333e-04,2.454773e-04,3.317017e-04,3.443022e-04,4.556955e-04,5.583520e-04,5.754593e-04,6.992421e-04,8.033151e-04,8.229484e-04,9.430126e-04,1.036699e-03,1.056548e-03,1.161393e-03,1.238010e-03,1.256089e-03,1.339806e-03,1.397277e-03,1.412247e-03,1.473539e-03,1.512933e-03,1.524132e-03,1.564701e-03,1.588747e-03,1.596066e-03,1.619126e-03,1.631104e-03,1.634803e-03,1.644007e-03,1.647066e-03,1.647607e-03,1.646406e-03,1.643227e-03,1.641141e-03,1.632471e-03,1.625169e-03,1.620978e-03,1.607172e-03,1.597328e-03,1.591493e-03,1.574317e-03,1.563059e-03,1.555964e-03,1.536702e-03,1.524805e-03,1.516757e-03,1.496316e-03,1.484295e-03,1.475534e-03,1.454537e-03,1.442724e-03,1.433429e-03,1.412295e-03,1.400897e-03,1.391204e-03,1.370211e-03,1.359349e-03,1.349360e-03,1.328687e-03,1.318426e-03,1.308220e-03,1.287981e-03,1.278353e-03,1.267987e-03,1.248253e-03,1.239265e-03,1.228788e-03,1.209601e-03,1.201247e-03,1.190696e-03,1.172079e-03,1.164345e-03,1.153751e-03,1.135715e-03,1.128582e-03,1.117971e-03,1.100519e-03,1.093964e-03,1.083359e-03,1.066490e-03,1.060487e-03,1.049909e-03,1.033615e-03,1.028140e-03,1.017606e-03,1.001879e-03,9.969054e-04,9.864318e-04,9.712617e-04,9.667643e-04,9.563657e-04,9.417407e-04,9.376938e-04,9.273835e-04,9.132909e-04,9.096698e-04,8.994596e-04,8.858862e-04,8.826666e-04,8.725673e-04,8.594995e-04,8.566579e-04,8.466793e-04,8.341031e-04,8.316168e-04,8.217675e-04,8.096690e-04,8.075162e-04,7.978040e-04,7.861689e-04,7.843284e-04,7.747604e-04,7.635747e-04,7.620263e-04,7.526085e-04,7.418582e-04,7.405825e-04,7.313204e-04,7.209917e-04,7.199702e-04,7.108686e-04,7.009478e-04,7.001627e-04,6.912258e-04,6.816995e-04,6.811341e-04,6.723655e-04,6.632204e-04,6.628585e-04,6.542612e-04,6.454846e-04,6.453109e-04,6.368875e-04,6.284667e-04,6.123019e-04,5.967929e-04,5.819172e-04,5.676523e-04,5.539768e-04,5.408697e-04,5.283107e-04,5.162800e-04,5.047584e-04,4.937276e-04,4.831693e-04,4.730664e-04,4.634019e-04,4.541596e-04,4.453238e-04,4.368791e-04,4.288109e-04,4.211050e-04,4.137475e-04,4.067252e-04,4.000254e-04,3.936354e-04,3.875435e-04,3.817381e-04,3.762079e-04,3.709422e-04,3.659306e-04,3.611631e-04,3.566299e-04,3.523218e-04,3.482296e-04,3.443448e-04,3.406588e-04,3.371636e-04,3.338513e-04,3.307145e-04,3.277458e-04,3.249382e-04,3.222850e-04,3.197796e-04,3.174157e-04,3.151872e-04,3.130884e-04,3.111135e-04,3.092571e-04,3.075140e-04,3.058791e-04,3.043476e-04,3.029147e-04
0.000000e+00,5.875479e-09,1.877949e-07,1.979925e-07,1.817718e-06,8.312124e-06,8.761438e-06,2.572518e-05,4.977469e-05,5.145013e-05,7.986784e-05,1.052802e-04,1.074222e-04,1.331592e-04,1.546480e-04,1.569387e-04,1.788095e-04,1.965484e-04,1.988620e-04,2.171947e-04,2.316608e-04,2.339065e-04,2.490938e-04,2.607410e-04,2.628494e-04,2.752627e-04,2.844999e-04,2.864190e-04,2.963994e-04,3.035891e-04,3.052811e-04,3.131370e-04,3.185975e-04,3.200368e-04,3.260459e-04,3.300549e-04,3.312256e-04,3.356339e-04,3.384315e-04,3.393252e-04,3.423511e-04,3.441448e-04,3.447597e-04,3.465962e-04,3.475642e-04,3.479031e-04,3.487204e-04,3.490156e-04,3.490854e-04,3.490331e-04,3.487861e-04,3.485965e-04,3.478062e-04,3.471283e-04,3.466912e-04,3.452783e-04,3.442639e-04,3.435929e-04,3.416586e-04,3.403878e-04,3.394975e-04,3.371302e-04,3.356703e-04,3.345760e-04,3.318530e-04,3.302606e-04,3.289779e-04,3.259666e-04,3.242890e-04,3.228336e-04,3.195925e-04,3.178688e-04,3.162562e-04,3.128365e-04,3.110988e-04,3.093443e-04,3.057900e-04,3.040647e-04,3.021831e-04,2.985324e-04,2.968407e-04,2.948461e-04,2.911320e-04,2.894907e-04,2.873969e-04,2.836475e-04,2.820700e-04,2.798898e-04,2.761294e-04,2.746257e-04,2.723714e-04,2.686206e-04,2.671981e-04,2.648813e-04,2.611576e-04,2.598216e-04,2.574531e-04,2.537712e-04,2.525250e-04,2.501149e-04,2.464871e-04,2.453326e-04,2.428903e-04,2.393268e-04,2.382646e-04,2.357988e-04,2.323080e-04,2.313375e-04,2.288562e-04,2.254450e-04,2.245648e-04,2.220755e-04,2.187491e-04,2.179573e-04,2.154668e-04,2.122294e-04,2.115233e-04,2.090377e-04,2.058925e-04,2.052691e-04,2.027942e-04,1.997434e-04,1.991993e-04,1.967403e-04,1.937852e-04,1.933169e-04,1.908784e-04,1.880199e-04,1.876236e-04,1.852098e-04,1.824480e-04,1.821199e-04,1.797346e-04,1.770693e-04,1.768054e-04,1.744520e-04,1.718824e-04,1.716789e-04,1.693604e-04,1.668855e-04,1.667385e-04,1.644574e-04,1.620759e-04,1.619816e-04,1.597404e-04,1.574506e-04,1.574052e-04,1.552059e-04,1.530060e-04,1.487802e-04,1.447238e-04,1.408327e-04,1.371024e-04,1.335287e-04,1.301068e-04,1.268323e-04,1.237005e-04,1.207069e-04,1.178470e-04,1.151161e-04,1.125100e-04,1.100241e-04,1.076542e-04,1.053961e-04,1.032456e-04,1.011988e-04,9.925157e-05,9.740025e-05,9.564108e-05,9.397044e-05,9.238484e-05,9.088088e-05,8.945528e-05,8.810484e-05,8.682650e-05,8.561727e-05,8.447429e-05,8.339478e-05,8.237605e-05,8.141553e-05,8.051072e-05,7.965922e-05,7.885872e-05,7.810698e-05,7.740186e-05,7.674129e-05,7.612329e-05,7.554593e-05,7.500737e-05,7.450584e-05,7.403964e-05,7.360712e-05,7.320672e-05,7.283691e-05,7.249624e-05,7.218331e-05,7.189678e-05,7.163536e-05
0.000000e+00,8.219084e-09,1.604915e-07,1.682104e-07,1.138216e-06,3.892010e-06,4.056739e-06,9.350919e-06,1.556122e-05,1.597070e-05,2.276642e-05,2.881237e-05,2.932550e-05,3.555794e-05,4.087639e-05,4.145041e-05,4.700711e-05,5.162623e-05,5.223688e-05,5.715012e-05,6.113078e-05,6.175791e-05,6.607177e-05,6.947680e-05,7.010337e-05,7.386440e-05,7.675463e-05,7.736638e-05,8.062073e-05,8.305339e-05,8.363855e-05,8.643060e-05,8.845841e-05,8.900734e-05,9.137888e-05,9.305003e-05,9.355497e-05,9.554500e-05,9.690317e-05,9.735801e-05,9.900269e-05,1.000873e-04,1.004874e-04,1.018201e-04,1.026667e-04,1.030085e-04,1.040600e-04,1.047004e-04,1.049816e-04,1.057802e-04,1.062429e-04,1.064621e-04,1.070336e-04,1.073442e-04,1.075007e-04,1.078690e-04,1.080501e-04,1.081439e-04,1.083307e-04,1.084026e-04,1.084344e-04,1.084596e-04,1.084401e-04,1.084109e-04,1.082927e-04,1.081977e-04,1.081091e-04,1.078640e-04,1.077075e-04,1.075613e-04,1.072045e-04,1.069987e-04,1.067970e-04,1.063422e-04,1.060980e-04,1.058432e-04,1.053029e-04,1.050297e-04,1.047242e-04,1.041097e-04,1.038158e-04,1.034622e-04,1.027839e-04,1.024764e-04,1.020773e-04,1.013446e-04,1.010296e-04,1.005878e-04,9.980911e-05,9.949188e-05,9.901028e-05,9.819318e-05,9.787825e-05,9.735953e-05,9.651097e-05,9.620214e-05,9.564906e-05,9.477526e-05,9.447572e-05,9.389099e-05,9.299756e-05,9.270994e-05,9.209623e-05,9.118820e-05,9.091466e-05,9.027459e-05,8.935646e-05,8.909872e-05,8.843483e-05,8.751064e-05,8.727004e-05,8.658479e-05,8.565814e-05,8.543571e-05,8.473148e-05,8.380557e-05,8.360204e-05,8.288111e-05,8.195877e-05,8.177462e-05,8.103919e-05,8.012295e-05,7.995842e-05,7.921060e-05,7.830265e-05,7.815782e-05,7.739961e-05,7.650191e-05,7.637668e-05,7.560998e-05,7.472421e-05,7.461835e-05,7.384497e-05,7.297261e-05,7.288576e-05,7.210743e-05,7.124972e-05,7.118144e-05,7.039977e-05,6.955781e-05,6.950755e-05,6.872407e-05,6.789876e-05,6.786592e-05,6.708207e-05,6.627417e-05,6.625811e-05,6.547523e-05,6.468537e-05,6.314874e-05,6.164903e-05,6.018685e-05,5.876264e-05,5.737669e-05,5.602913e-05,5.471999e-05,5.344915e-05,5.221642e-05,5.102153e-05,4.986410e-05,4.874371e-05,4.765987e-05,4.661204e-05,4.559964e-05,4.462205e-05,4.367861e-05,4.276865e-05,4.189146e-05,4.104633e-05,4.023253e-05,3.944932e-05,3.869595e-05,3.797167e-05,3.727572e-05,3.660737e-05,3.596585e-05,3.535042e-05,3.476035e-05,3.419490e-05,3.365335e-05,3.313499e-05,3.263911e-05,3.216503e-05,3.171206e-05,3.127954e-05,3.086681e-05,3.047324e-05,3.009818e-05,2.974104e-05,2.940121e-05,2.907810e-05,2.877114e-05,2.847978e-05,2.820346e-05,2.794165e-05,2.769384e-05,2.745953e-05,2.723822e-05
0.000000e+00,8.996789e-09,1.728985e-07,1.805252e-07,1.080969e-06,3.811396e-06,3.987438e-06,1.053288e-05,2.083538e-05,2.162621e-05,3.670082e-05,5.258986e-05,5.400853e-05,7.163363e-05,8.672547e-05,8.833542e-05,1.036066e-04,1.157686e-04,1.173352e-04,1.295608e-04,1.389392e-04,1.403712e-04,1.498672e-04,1.569020e-04,1.581497e-04,1.653158e-04,1.704234e-04,1.714572e-04,1.766600e-04,1.802007e-04,1.810046e-04,1.845660e-04,1.868449e-04,1.874134e-04,1.896112e-04,1.908838e-04,1.912188e-04,1.922914e-04,1.927708e-04,1.928799e-04,1.930306e-04,1.928921e-04,1.927862e-04,1.921869e-04,1.915757e-04,1.912689e-04,1.900661e-04,1.891016e-04,1.886097e-04,1.869283e-04,1.857082e-04,1.850482e-04,1.829938e-04,1.815979e-04,1.807877e-04,1.784512e-04,1.769452e-04,1.760026e-04,1.734589e-04,1.718933e-04,1.708352e-04,1.681455e-04,1.665603e-04,1.654025e-04,1.626178e-04,1.610440e-04,1.598018e-04,1.569643e-04,1.554260e-04,1.541136e-04,1.512576e-04,1.497727e-04,1.484033e-04,1.455570e-04,1.441386e-04,1.427244e-04,1.399106e-04,1.385679e-04,1.371200e-04,1.343568e-04,1.330959e-04,1.316244e-04,1.289261e-04,1.277503e-04,1.262645e-04,1.236420e-04,1.225527e-04,1.210607e-04,1.185223e-04,1.175194e-04,1.160284e-04,1.135803e-04,1.126621e-04,1.111788e-04,1.088249e-04,1.079892e-04,1.065191e-04,1.042619e-04,1.035056e-04,1.020537e-04,9.989447e-05,9.921390e-05,9.778439e-05,9.572330e-05,9.511452e-05,9.371107e-05,9.174742e-05,9.120625e-05,8.983197e-05,8.796433e-05,8.748651e-05,8.614399e-05,8.437040e-05,8.395163e-05,8.264298e-05,8.096106e-05,8.059708e-05,7.932398e-05,7.773101e-05,7.741764e-05,7.618141e-05,7.467443e-05,7.440763e-05,7.320926e-05,7.178512e-05,7.156101e-05,7.040119e-05,6.905665e-05,6.887151e-05,6.775068e-05,6.648244e-05,6.633275e-05,6.525110e-05,6.405582e-05,6.393825e-05,6.289578e-05,6.177014e-05,6.168155e-05,6.067809e-05,5.961880e-05,5.955627e-05,5.859147e-05,5.759529e-05,5.755608e-05,5.662949e-05,5.569328e-05,5.567485e-05,5.478589e-05,5.390656e-05,5.224540e-05,5.068573e-05,4.922214e-05,4.784942e-05,4.656256e-05,4.535680e-05,4.422757e-05,4.317053e-05,4.218154e-05,4.125666e-05,4.039216e-05,3.958449e-05,3.883031e-05,3.812644e-05,3.746986e-05,3.685774e-05,3.628741e-05,3.575631e-05,3.526208e-05,3.480244e-05,3.437529e-05,3.397861e-05,3.361053e-05,3.326926e-05,3.295314e-05,3.266060e-05,3.239016e-05,3.214043e-05,3.191009e-05,3.169793e-05,3.150278e-05,3.132356e-05,3.115925e-05,3.100890e-05,3.087159e-05,3.074650e-05,3.063281e-05,3.052979e-05,3.043674e-05,3.035300e-05,3.027795e-05,3.021101e-05,3.015165e-05,3.009935e-05,3.005363e-05,3.001405e-05,2.998018e-05,2.995163e-05,2.992802e-05
0.000000e+00,9.939352e-10,8.184975e-08,8.729053e-08,1.193635e-06,7.423033e-06,7.933010e-06,3.421804e-05,1.005543e-04,1.068227e-04,2.577556e-04,4.832613e-04,5.068737e-04,8.508543e-04,1.223511e-03,1.267647e-03,1.728487e-03,2.149665e-03,2.207381e-03,2.685101e-03,3.085398e-03,3.149252e-03,3.592731e-03,3.946600e-03,4.011974e-03,4.405573e-03,4.709040e-03,4.773350e-03,5.115782e-03,5.372021e-03,5.433685e-03,5.728032e-03,5.941935e-03,5.999858e-03,6.250214e-03,6.426763e-03,6.480135e-03,6.690634e-03,6.834477e-03,6.882691e-03,7.057253e-03,7.172615e-03,7.215228e-03,7.357491e-03,7.448177e-03,7.484880e-03,7.598198e-03,7.667610e-03,7.698214e-03,7.785663e-03,7.836838e-03,7.861249e-03,7.925644e-03,7.961282e-03,7.979491e-03,8.023403e-03,8.045897e-03,8.057965e-03,8.083737e-03,8.095203e-03,8.101251e-03,8.111016e-03,8.113320e-03,8.113516e-03,8.109212e-03,8.103996e-03,8.098546e-03,8.081935e-03,8.070635e-03,8.059779e-03,8.032456e-03,8.016328e-03,8.000329e-03,7.963740e-03,7.943875e-03,7.923016e-03,7.878467e-03,7.855811e-03,7.830387e-03,7.779057e-03,7.754428e-03,7.724743e-03,7.667696e-03,7.641791e-03,7.608155e-03,7.546348e-03,7.519765e-03,7.482489e-03,7.416781e-03,7.390024e-03,7.349418e-03,7.280582e-03,7.254074e-03,7.210444e-03,7.139169e-03,7.113261e-03,7.066910e-03,6.993812e-03,6.968793e-03,6.920013e-03,6.845642e-03,6.821743e-03,6.770821e-03,6.695665e-03,6.673069e-03,6.620281e-03,6.544771e-03,6.523619e-03,6.469231e-03,6.393750e-03,6.374144e-03,6.318411e-03,6.243293e-03,6.225305e-03,6.168469e-03,6.094008e-03,6.077682e-03,6.019974e-03,5.946427e-03,5.931781e-03,5.873421e-03,5.801009e-03,5.788041e-03,5.729237e-03,5.658150e-03,5.646842e-03,5.587788e-03,5.518189e-03,5.508508e-03,5.449387e-03,5.381413e-03,5.373314e-03,5.314297e-03,5.248064e-03,5.241490e-03,5.182737e-03,5.118338e-03,5.113227e-03,5.054887e-03,4.992398e-03,4.988680e-03,4.930888e-03,4.870370e-03,4.867970e-03,4.810854e-03,4.752350e-03,4.751190e-03,4.694866e-03,4.638407e-03,4.529665e-03,4.424985e-03,4.324372e-03,4.227815e-03,4.135288e-03,4.046751e-03,3.962154e-03,3.881439e-03,3.804536e-03,3.731371e-03,3.661863e-03,3.595925e-03,3.533466e-03,3.474392e-03,3.418606e-03,3.366007e-03,3.316496e-03,3.269970e-03,3.226326e-03,3.185460e-03,3.147270e-03,3.111653e-03,3.078506e-03,3.047728e-03,3.019220e-03,2.992883e-03,2.968619e-03,2.946335e-03,2.925935e-03,2.907329e-03,2.890427e-03,2.875141e-03,2.861388e-03,2.849084e-03,2.838148e-03,2.828503e-03,2.820073e-03,2.812785e-03,2.806567e-03,2.801352e-03,2.797073e-03,2.793668e-03,2.791075e-03,2.789236e-03,2.788094e-03,2.787597e-03,2.787691e-03,2.788329e-03,2.789463e-03
0.000000e+00,8.194946e-10,9.359233e-09,9.740336e-09,5.299980e-08,1.717818e-07,1.789829e-07,4.200861e-07,7.271845e-07,7.481349e-07,1.101263e-06,1.416005e-06,1.442518e-06,1.760788e-06,2.025928e-06,2.054151e-06,2.323127e-06,2.540551e-06,2.568853e-06,2.792614e-06,2.968474e-06,2.995711e-06,3.179413e-06,3.319636e-06,3.344951e-06,3.493509e-06,3.603452e-06,3.626219e-06,3.744155e-06,3.828552e-06,3.848334e-06,3.939718e-06,4.002699e-06,4.019212e-06,4.087670e-06,4.132811e-06,4.145892e-06,4.194632e-06,4.225012e-06,4.234596e-06,4.266444e-06,4.284699e-06,4.290797e-06,4.308235e-06,4.316620e-06,4.319302e-06,4.324505e-06,4.324938e-06,4.324320e-06,4.319190e-06,4.313298e-06,4.309530e-06,4.295726e-06,4.284886e-06,4.278141e-06,4.257111e-06,4.242481e-06,4.232950e-06,4.205951e-06,4.188503e-06,4.176386e-06,4.144510e-06,4.125057e-06,4.110560e-06,4.074754e-06,4.053969e-06,4.037297e-06,3.998380e-06,3.976820e-06,3.958178e-06,3.916855e-06,3.894975e-06,3.874563e-06,3.831442e-06,3.809611e-06,3.787622e-06,3.743225e-06,3.721741e-06,3.698360e-06,3.653132e-06,3.632231e-06,3.607635e-06,3.561956e-06,3.541821e-06,3.516176e-06,3.470369e-06,3.451138e-06,3.424603e-06,3.378940e-06,3.360716e-06,3.333437e-06,3.288147e-06,3.271002e-06,3.243116e-06,3.198389e-06,3.182369e-06,3.154004e-06,3.109997e-06,3.095126e-06,3.066400e-06,3.023242e-06,3.009529e-06,2.980550e-06,2.938345e-06,2.925782e-06,2.896649e-06,2.855480e-06,2.844049e-06,2.814854e-06,2.774784e-06,2.764459e-06,2.735283e-06,2.696361e-06,2.687107e-06,2.658027e-06,2.620286e-06,2.612064e-06,2.583146e-06,2.546610e-06,2.539376e-06,2.510682e-06,2.475363e-06,2.469071e-06,2.440655e-06,2.406557e-06,2.401159e-06,2.373070e-06,2.340191e-06,2.335636e-06,2.307918e-06,2.276248e-06,2.272488e-06,2.245178e-06,2.214703e-06,2.211689e-06,2.184820e-06,2.155523e-06,2.153204e-06,2.126806e-06,2.098664e-06,2.096994e-06,2.071091e-06,2.044080e-06,2.043011e-06,2.017625e-06,1.991719e-06,1.991207e-06,1.966355e-06,1.941526e-06,1.893912e-06,1.848307e-06,1.804650e-06,1.762881e-06,1.722937e-06,1.684759e-06,1.648284e-06,1.613453e-06,1.580206e-06,1.548484e-06,1.518229e-06,1.489386e-06,1.461899e-06,1.435716e-06,1.410782e-06,1.387049e-06,1.364467e-06,1.342989e-06,1.322568e-06,1.303160e-06,1.284723e-06,1.267214e-06,1.250594e-06,1.234824e-06,1.219868e-06,1.205689e-06,1.192254e-06,1.179529e-06,1.167482e-06,1.156084e-06,1.145305e-06,1.135117e-06,1.125493e-06,1.116407e-06,1.107834e-06,1.099752e-06,1.092136e-06,1.084965e-06,1.078219e-06,1.071877e-06,1.065920e-06,1.060330e-06,1.055088e-06,1.050179e-06,1.045586e-06,1.041294e-06,1.037288e-06,1.033554e-06,1.030078e-06
0.000000e+00,9.569267e-11,1.098247e-08,1.180567e-08,2.356242e-07,1.895458e-06,2.042128e-06,1.018261e-05,3.176932e-05,3.381937e-05,8.282285e-05,1.545752e-04,1.620053e-04,2.689127e-04,3.823977e-04,3.956872e-04,5.323472e-04,6.532591e-04,6.694710e-04,7.996547e-04,9.022108e-04,9.179286e-04,1.021543e-03,1.096472e-03,1.109486e-03,1.181955e-03,1.230485e-03,1.239901e-03,1.284682e-03,1.312053e-03,1.317825e-03,1.340864e-03,1.352765e-03,1.355260e-03,1.362342e-03,1.363567e-03,1.363294e-03,1.359154e-03,1.353344e-03,1.350818e-03,1.339054e-03,1.328832e-03,1.324515e-03,1.307753e-03,1.294950e-03,1.289235e-03,1.269352e-03,1.255221e-03,1.248431e-03,1.226747e-03,1.212129e-03,1.204527e-03,1.181962e-03,1.167412e-03,1.159208e-03,1.136395e-03,1.122269e-03,1.113629e-03,1.090999e-03,1.077516e-03,1.068575e-03,1.046414e-03,1.033700e-03,1.024562e-03,1.003058e-03,9.911771e-04,9.819277e-04,9.611948e-04,9.501701e-04,9.408754e-04,9.209813e-04,9.108072e-04,9.015205e-04,8.824979e-04,8.731517e-04,8.639157e-04,8.457738e-04,8.372217e-04,8.280705e-04,8.108027e-04,8.030046e-04,7.939661e-04,7.775551e-04,7.704676e-04,7.615636e-04,7.459849e-04,7.395631e-04,7.308115e-04,7.160359e-04,7.102353e-04,7.016503e-04,6.876464e-04,6.824233e-04,6.740161e-04,6.607511e-04,6.560636e-04,6.478431e-04,6.352838e-04,6.310916e-04,6.230649e-04,6.111781e-04,6.074432e-04,5.996154e-04,5.883687e-04,5.850551e-04,5.774301e-04,5.667919e-04,5.638659e-04,5.564463e-04,5.463859e-04,5.438160e-04,5.366033e-04,5.270914e-04,5.248480e-04,5.178429e-04,5.088511e-04,5.069067e-04,5.001091e-04,4.916105e-04,4.899393e-04,4.833486e-04,4.753173e-04,4.738956e-04,4.675103e-04,4.599217e-04,4.587274e-04,4.525457e-04,4.453765e-04,4.443890e-04,4.384085e-04,4.316364e-04,4.308367e-04,4.250549e-04,4.186587e-04,4.180291e-04,4.124430e-04,4.064027e-04,4.059269e-04,4.005332e-04,3.948297e-04,3.944927e-04,3.892878e-04,3.839032e-04,3.836910e-04,3.786714e-04,3.735883e-04,3.734881e-04,3.686498e-04,3.638521e-04,3.547527e-04,3.461612e-04,3.380504e-04,3.303945e-04,3.231690e-04,3.163507e-04,3.099178e-04,3.038495e-04,2.981261e-04,2.927289e-04,2.876402e-04,2.828435e-04,2.783228e-04,2.740632e-04,2.700504e-04,2.662712e-04,2.627127e-04,2.593629e-04,2.562104e-04,2.532446e-04,2.504550e-04,2.478322e-04,2.453670e-04,2.430506e-04,2.408750e-04,2.388324e-04,2.369155e-04,2.351173e-04,2.334313e-04,2.318512e-04,2.303712e-04,2.289857e-04,2.276895e-04,2.264776e-04,2.253452e-04,2.242880e-04,2.233016e-04,2.223822e-04,2.215259e-04,2.207292e-04,2.199886e-04,2.193011e-04,2.186635e-04,2.180731e-04,2.175270e-04,2.170228e-04,2.165580e-04,2.161304e-04,2.157378e-04
0.000000e+00,3.286763e-10,2.200596e-08,2.340178e-08,2.941362e-07,1.781659e-06,1.902240e-06,7.930939e-06,2.195595e-05,2.321061e-05,5.065775e-05,8.455870e-05,8.774301e-05,1.284586e-04,1.637957e-04,1.675291e-04,2.021048e-04,2.280695e-04,2.312850e-04,2.551972e-04,2.719489e-04,2.743713e-04,2.894311e-04,2.993403e-04,3.009736e-04,3.095322e-04,3.146511e-04,3.155708e-04,3.194889e-04,3.213285e-04,3.216290e-04,3.222835e-04,3.219249e-04,3.217024e-04,3.200985e-04,3.183081e-04,3.176531e-04,3.145201e-04,3.118366e-04,3.108301e-04,3.066938e-04,3.034924e-04,3.022048e-04,2.974421e-04,2.939815e-04,2.924723e-04,2.873515e-04,2.838074e-04,2.821267e-04,2.768373e-04,2.733270e-04,2.715161e-04,2.661903e-04,2.627902e-04,2.608828e-04,2.556120e-04,2.523695e-04,2.503934e-04,2.452393e-04,2.421820e-04,2.401597e-04,2.351626e-04,2.323046e-04,2.302543e-04,2.254395e-04,2.227855e-04,2.207219e-04,2.161040e-04,2.136524e-04,2.115875e-04,2.071734e-04,2.049187e-04,2.028621e-04,1.986536e-04,1.965877e-04,1.945472e-04,1.905423e-04,1.886555e-04,1.866375e-04,1.828317e-04,1.811138e-04,1.791233e-04,1.755106e-04,1.739509e-04,1.719919e-04,1.685653e-04,1.671532e-04,1.652290e-04,1.619809e-04,1.607059e-04,1.588191e-04,1.557416e-04,1.545938e-04,1.527464e-04,1.498315e-04,1.488014e-04,1.469949e-04,1.442347e-04,1.433133e-04,1.415490e-04,1.389357e-04,1.381145e-04,1.363932e-04,1.339194e-04,1.331905e-04,1.315127e-04,1.291712e-04,1.285270e-04,1.268932e-04,1.246770e-04,1.241107e-04,1.225209e-04,1.204234e-04,1.199285e-04,1.183828e-04,1.163977e-04,1.159682e-04,1.144664e-04,1.125876e-04,1.122181e-04,1.107599e-04,1.089818e-04,1.086669e-04,1.072519e-04,1.055690e-04,1.053041e-04,1.039319e-04,1.023391e-04,1.021196e-04,1.007896e-04,9.928208e-05,9.910395e-05,9.781548e-05,9.638865e-05,9.624811e-05,9.500050e-05,9.364998e-05,9.354353e-05,9.233605e-05,9.105771e-05,9.098212e-05,8.981399e-05,8.860394e-05,8.855623e-05,8.742664e-05,8.628119e-05,8.625860e-05,8.516672e-05,8.408238e-05,8.202108e-05,8.006857e-05,7.821903e-05,7.646697e-05,7.480717e-05,7.323473e-05,7.174497e-05,7.033351e-05,6.899617e-05,6.772901e-05,6.652830e-05,6.539050e-05,6.431228e-05,6.329047e-05,6.232209e-05,6.140429e-05,6.053441e-05,5.970992e-05,5.892841e-05,5.818761e-05,5.748538e-05,5.681968e-05,5.618860e-05,5.559031e-05,5.502308e-05,5.448529e-05,5.397540e-05,5.349194e-05,5.303353e-05,5.259885e-05,5.218668e-05,5.179584e-05,5.142521e-05,5.107375e-05,5.074046e-05,5.042439e-05,5.012466e-05,4.984042e-05,4.957086e-05,4.931523e-05,4.907282e-05,4.884294e-05,4.862494e-05,4.841822e-05,4.822220e-05,4.803634e-05,4.786010e-05,4.769301e-05,4.753459e-05
0.000000e+00,4.510755e-11,4.433739e-09,4.745381e-09,7.714415e-08,5.583090e-07,6.002619e-07,2.990377e-06,9.986006e-06,1.069354e-05,2.938799e-05,6.173751e-05,6.537526e-05,1.229337e-04,1.936928e-04,2.025859e-04,3.011472e-04,3.990800e-04,4.129866e-04,5.315781e-04,6.342297e-04,6.507433e-04,7.653927e-04,8.554508e-04,8.718126e-04,9.676415e-04,1.037440e-03,1.051670e-03,1.123584e-03,1.172592e-03,1.183702e-03,1.232752e-03,1.263944e-03,1.271699e-03,1.301608e-03,1.318963e-03,1.323563e-03,1.338604e-03,1.345855e-03,1.347698e-03,1.351720e-03,1.351917e-03,1.351450e-03,1.347569e-03,1.343026e-03,1.340672e-03,1.331269e-03,1.323670e-03,1.319799e-03,1.306638e-03,1.297182e-03,1.292104e-03,1.276468e-03,1.265991e-03,1.259960e-03,1.242773e-03,1.231849e-03,1.225071e-03,1.206991e-03,1.196011e-03,1.188650e-03,1.170144e-03,1.159369e-03,1.151556e-03,1.132954e-03,1.122552e-03,1.114395e-03,1.095926e-03,1.086005e-03,1.077587e-03,1.059410e-03,1.050032e-03,1.041423e-03,1.023647e-03,1.014844e-03,1.006100e-03,9.887963e-04,9.805803e-04,9.717472e-04,9.549617e-04,9.473308e-04,9.384464e-04,9.222063e-04,9.151487e-04,9.062448e-04,8.905639e-04,8.840620e-04,8.751649e-04,8.600479e-04,8.540800e-04,8.452122e-04,8.306568e-04,8.251988e-04,8.163797e-04,8.023789e-04,7.974057e-04,7.886515e-04,7.751948e-04,7.706807e-04,7.620056e-04,7.490804e-04,7.449995e-04,7.364156e-04,7.240078e-04,7.203349e-04,7.118530e-04,6.999473e-04,6.966579e-04,6.882870e-04,6.768680e-04,6.739381e-04,6.656863e-04,6.547379e-04,6.521446e-04,6.440188e-04,6.335251e-04,6.312463e-04,6.232527e-04,6.131977e-04,6.112124e-04,6.033562e-04,5.937242e-04,5.920124e-04,5.842979e-04,5.750736e-04,5.736162e-04,5.660473e-04,5.572155e-04,5.559944e-04,5.485744e-04,5.401204e-04,5.391183e-04,5.318499e-04,5.237594e-04,5.229601e-04,5.158454e-04,5.081045e-04,5.074926e-04,5.005333e-04,4.931286e-04,4.926895e-04,4.858870e-04,4.788054e-04,4.785254e-04,4.718806e-04,4.651095e-04,4.649757e-04,4.584891e-04,4.520164e-04,4.396246e-04,4.277780e-04,4.164553e-04,4.056357e-04,3.952994e-04,3.854271e-04,3.760004e-04,3.670013e-04,3.584129e-04,3.502185e-04,3.424022e-04,3.349489e-04,3.278437e-04,3.210726e-04,3.146219e-04,3.084785e-04,3.026298e-04,2.970637e-04,2.917687e-04,2.867335e-04,2.819473e-04,2.773998e-04,2.730811e-04,2.689816e-04,2.650921e-04,2.614039e-04,2.579084e-04,2.545975e-04,2.514633e-04,2.484984e-04,2.456954e-04,2.430475e-04,2.405480e-04,2.381904e-04,2.359687e-04,2.338768e-04,2.319091e-04,2.300601e-04,2.283246e-04,2.266974e-04,2.251739e-04,2.237493e-04,2.224192e-04,2.211792e-04,2.200253e-04,2.189535e-04,2.179599e-04,2.170411e-04,2.161933e-04
0.000000e+00,1.138997e-11,1.615300e-09,1.743413e-09,4.185009e-08,3.918981e-07,4.247509e-07,2.445941e-06,8.725238e-06,9.369840e-06,2.668970e-05,5.773824e-05,6.131455e-05,1.202644e-04,1.990582e-04,2.094730e-04,3.329788e-04,4.714946e-04,4.925508e-04,6.876818e-04,8.820499e-04,9.158397e-04,1.172874e-03,1.407242e-03,1.453482e-03,1.751678e-03,2.004939e-03,2.061213e-03,2.375928e-03,2.627521e-03,2.690033e-03,2.998299e-03,3.231747e-03,3.296188e-03,3.579916e-03,3.784196e-03,3.846469e-03,4.093583e-03,4.262985e-03,4.319688e-03,4.523842e-03,4.657001e-03,4.705652e-03,4.865196e-03,4.963859e-03,5.002930e-03,5.119621e-03,5.187453e-03,5.216267e-03,5.294037e-03,5.335643e-03,5.354210e-03,5.398132e-03,5.418344e-03,5.427169e-03,5.442683e-03,5.446095e-03,5.446003e-03,5.438406e-03,5.429115e-03,5.421103e-03,5.395230e-03,5.376715e-03,5.361839e-03,5.321903e-03,5.297013e-03,5.276308e-03,5.225858e-03,5.196855e-03,5.171279e-03,5.113222e-03,5.081854e-03,5.052268e-03,4.988933e-03,4.956517e-03,4.923672e-03,4.856886e-03,4.824394e-03,4.788930e-03,4.720110e-03,4.688239e-03,4.650697e-03,4.580923e-03,4.550161e-03,4.510990e-03,4.441077e-03,4.411755e-03,4.371332e-03,4.301889e-03,4.274221e-03,4.232857e-03,4.164335e-03,4.138448e-03,4.096405e-03,4.029136e-03,4.005092e-03,3.962587e-03,3.896811e-03,3.874630e-03,3.831848e-03,3.767736e-03,3.747404e-03,3.704504e-03,3.642176e-03,3.623658e-03,3.580775e-03,3.520315e-03,3.503557e-03,3.460810e-03,3.402270e-03,3.387209e-03,3.344703e-03,3.288114e-03,3.274679e-03,3.232507e-03,3.177882e-03,3.165996e-03,3.124239e-03,3.071578e-03,3.061163e-03,3.019894e-03,2.969185e-03,2.960161e-03,2.919446e-03,2.870670e-03,2.862955e-03,2.822852e-03,2.775984e-03,2.769498e-03,2.730058e-03,2.685065e-03,2.679729e-03,2.640998e-03,2.597846e-03,2.593580e-03,2.555599e-03,2.514248e-03,2.510978e-03,2.473782e-03,2.434190e-03,2.431842e-03,2.395462e-03,2.357586e-03,2.356088e-03,2.320550e-03,2.284345e-03,2.283629e-03,2.248957e-03,2.214375e-03,2.148236e-03,2.085120e-03,2.024935e-03,1.967591e-03,1.912995e-03,1.861058e-03,1.811691e-03,1.764808e-03,1.720321e-03,1.678148e-03,1.638205e-03,1.600413e-03,1.564692e-03,1.530966e-03,1.499161e-03,1.469203e-03,1.441023e-03,1.414550e-03,1.389720e-03,1.366465e-03,1.344723e-03,1.324432e-03,1.305533e-03,1.287967e-03,1.271678e-03,1.256611e-03,1.242713e-03,1.229931e-03,1.218216e-03,1.207517e-03,1.197789e-03,1.188984e-03,1.181058e-03,1.173967e-03,1.167668e-03,1.162121e-03,1.157286e-03,1.153124e-03,1.149597e-03,1.146669e-03,1.144304e-03,1.142469e-03,1.141131e-03,1.140256e-03,1.139816e-03,1.139778e-03,1.140116e-03,1.140800e-03,1.141804e-03
0.000000e+00,5.447141e-10,4.196777e-08,4.473538e-08,6.147904e-07,3.882712e-06,4.149930e-06,1.755912e-05,4.865625e-05,5.143388e-05,1.125716e-04,1.905587e-04,1.980915e-04,2.985623e-04,3.936409e-04,4.042167e-04,5.081605e-04,5.951197e-04,6.065652e-04,6.977247e-04,7.699184e-04,7.811266e-04,8.568427e-04,9.147412e-04,9.252011e-04,9.866266e-04,1.032138e-03,1.041570e-03,1.090475e-03,1.125540e-03,1.133770e-03,1.171863e-03,1.198212e-03,1.205138e-03,1.233958e-03,1.253090e-03,1.258661e-03,1.279567e-03,1.292767e-03,1.296972e-03,1.311153e-03,1.319512e-03,1.322368e-03,1.330858e-03,1.335300e-03,1.336846e-03,1.340542e-03,1.341845e-03,1.342139e-03,1.341817e-03,1.340634e-03,1.339743e-03,1.336073e-03,1.332954e-03,1.330951e-03,1.324512e-03,1.319913e-03,1.316880e-03,1.308170e-03,1.302472e-03,1.298489e-03,1.287937e-03,1.281454e-03,1.276605e-03,1.264578e-03,1.257569e-03,1.251935e-03,1.238749e-03,1.231426e-03,1.225086e-03,1.211010e-03,1.203546e-03,1.196577e-03,1.181841e-03,1.174374e-03,1.166849e-03,1.151648e-03,1.144289e-03,1.136278e-03,1.120777e-03,1.113613e-03,1.105181e-03,1.089521e-03,1.082618e-03,1.073827e-03,1.058125e-03,1.051534e-03,1.042441e-03,1.026796e-03,1.020554e-03,1.011211e-03,9.957045e-04,9.898362e-04,9.802935e-04,9.649930e-04,9.595146e-04,9.498169e-04,9.347776e-04,9.296974e-04,9.198863e-04,9.051528e-04,9.004729e-04,8.905861e-04,8.761940e-04,8.719115e-04,8.619835e-04,8.479606e-04,8.440685e-04,8.341305e-04,8.204979e-04,8.169862e-04,8.070665e-04,7.938397e-04,7.906960e-04,7.808200e-04,7.680097e-04,7.652196e-04,7.554103e-04,7.430230e-04,7.405711e-04,7.308487e-04,7.188877e-04,7.167574e-04,7.071402e-04,6.956058e-04,6.937801e-04,6.842841e-04,6.731741e-04,6.716356e-04,6.622749e-04,6.515853e-04,6.503165e-04,6.411037e-04,6.308286e-04,6.298124e-04,6.207582e-04,6.108905e-04,6.101098e-04,6.012235e-04,5.917550e-04,5.911931e-04,5.824827e-04,5.734044e-04,5.730452e-04,5.645175e-04,5.558195e-04,5.556474e-04,5.473079e-04,5.389801e-04,5.230227e-04,5.077542e-04,4.931535e-04,4.791990e-04,4.658693e-04,4.531429e-04,4.409987e-04,4.294157e-04,4.183734e-04,4.078514e-04,3.978301e-04,3.882902e-04,3.792129e-04,3.705799e-04,3.623736e-04,3.545766e-04,3.471723e-04,3.401446e-04,3.334779e-04,3.271572e-04,3.211679e-04,3.154960e-04,3.101281e-04,3.050511e-04,3.002525e-04,2.957203e-04,2.914428e-04,2.874089e-04,2.836079e-04,2.800294e-04,2.766637e-04,2.735011e-04,2.705325e-04,2.677492e-04,2.651427e-04,2.627050e-04,2.604283e-04,2.583051e-04,2.563283e-04,2.544910e-04,2.527867e-04,2.512091e-04,2.497521e-04,2.484098e-04,2.471768e-04,2.460477e-04,2.450173e-04,2.440808e-04,2.432334e-04
0.000000e+00,6.857297e-09,1.232995e-07,1.287868e-07,7.998668e-07,2.865282e-06,2.997081e-06,7.712694e-06,1.441622e-05,1.489722e-05,2.326836e-05,3.073973e-05,3.135321e-05,3.840100e-05,4.373381e-05,4.426930e-05,4.904283e-05,5.244525e-05,5.285681e-05,5.584552e-05,5.784847e-05,5.813003e-05,5.981650e-05,6.083855e-05,6.099679e-05,6.175020e-05,6.209766e-05,6.214500e-05,6.223980e-05,6.213362e-05,6.208479e-05,6.172276e-05,6.132036e-05,6.119023e-05,6.051826e-05,5.993073e-05,5.973328e-05,5.885774e-05,5.816293e-05,5.791081e-05,5.690865e-05,5.616065e-05,5.586493e-05,5.479122e-05,5.402708e-05,5.369728e-05,5.259128e-05,5.183585e-05,5.148006e-05,5.036931e-05,4.963881e-05,4.926378e-05,4.816739e-05,4.747201e-05,4.708336e-05,4.601431e-05,4.535996e-05,4.496235e-05,4.392919e-05,4.331887e-05,4.291614e-05,4.192424e-05,4.135894e-05,4.095424e-05,4.000668e-05,3.948598e-05,3.908190e-05,3.818012e-05,3.770274e-05,3.730139e-05,3.644569e-05,3.600979e-05,3.561289e-05,3.480277e-05,3.440614e-05,3.401508e-05,3.324949e-05,3.288976e-05,3.250567e-05,3.178321e-05,3.145794e-05,3.108170e-05,3.040072e-05,3.010748e-05,2.973982e-05,2.909853e-05,2.883493e-05,2.847640e-05,2.787297e-05,2.763672e-05,2.728775e-05,2.672029e-05,2.650921e-05,2.617012e-05,2.563678e-05,2.544881e-05,2.511982e-05,2.461878e-05,2.445198e-05,2.413323e-05,2.366272e-05,2.351527e-05,2.320683e-05,2.276515e-05,2.263536e-05,2.233727e-05,2.192278e-05,2.180907e-05,2.152129e-05,2.113243e-05,2.103335e-05,2.075582e-05,2.039109e-05,2.030529e-05,2.003790e-05,1.969590e-05,1.962213e-05,1.936476e-05,1.904414e-05,1.898125e-05,1.873374e-05,1.843323e-05,1.838017e-05,1.814233e-05,1.786073e-05,1.781652e-05,1.758817e-05,1.732435e-05,1.728810e-05,1.706901e-05,1.682190e-05,1.679278e-05,1.658275e-05,1.635133e-05,1.632860e-05,1.612739e-05,1.591071e-05,1.589368e-05,1.570105e-05,1.549821e-05,1.548625e-05,1.530197e-05,1.511212e-05,1.510466e-05,1.492847e-05,1.475082e-05,1.474733e-05,1.457898e-05,1.441278e-05,1.409963e-05,1.380657e-05,1.353236e-05,1.327585e-05,1.303594e-05,1.281160e-05,1.260189e-05,1.240587e-05,1.222271e-05,1.205159e-05,1.189178e-05,1.174254e-05,1.160323e-05,1.147322e-05,1.135192e-05,1.123877e-05,1.113326e-05,1.103490e-05,1.094324e-05,1.085785e-05,1.077832e-05,1.070428e-05,1.063538e-05,1.057127e-05,1.051166e-05,1.045624e-05,1.040474e-05,1.035691e-05,1.031251e-05,1.027130e-05,1.023309e-05,1.019766e-05,1.016484e-05,1.013445e-05,1.010633e-05,1.008032e-05,1.005628e-05,1.003408e-05,1.001360e-05,9.994711e-06,9.977310e-06,9.961294e-06,9.946568e-06,9.933041e-06,9.920630e-06,9.909257e-06,9.898848e-06,9.889337e-06,9.880658e-06
0.000000e+00,4.508197e-09,1.105819e-07,1.160428e-07,8.904742e-07,3.784906e-06,3.984432e-06,1.178638e-05,2.412316e-05,2.503819e-05,4.125428e-05,5.608866e-05,5.732724e-05,7.190612e-05,8.354318e-05,8.475105e-05,9.594175e-05,1.045360e-04,1.056231e-04,1.139438e-04,1.201180e-04,1.210434e-04,1.270497e-04,1.313355e-04,1.320790e-04,1.362368e-04,1.390628e-04,1.396181e-04,1.423092e-04,1.440174e-04,1.443875e-04,1.459227e-04,1.467838e-04,1.469776e-04,1.476084e-04,1.478355e-04,1.478656e-04,1.477945e-04,1.475545e-04,1.474356e-04,1.468252e-04,1.462483e-04,1.459957e-04,1.449760e-04,1.441631e-04,1.437921e-04,1.424671e-04,1.414960e-04,1.410215e-04,1.394737e-04,1.384043e-04,1.378402e-04,1.361353e-04,1.350129e-04,1.343722e-04,1.325621e-04,1.314208e-04,1.307153e-04,1.288408e-04,1.277061e-04,1.269466e-04,1.250397e-04,1.239304e-04,1.231264e-04,1.212121e-04,1.201414e-04,1.193016e-04,1.173990e-04,1.163763e-04,1.155081e-04,1.136320e-04,1.126632e-04,1.117735e-04,1.099348e-04,1.090236e-04,1.081181e-04,1.063251e-04,1.054732e-04,1.045571e-04,1.028154e-04,1.020234e-04,1.011011e-04,9.941481e-05,9.868194e-05,9.775733e-05,9.612910e-05,9.545406e-05,9.453050e-05,9.296177e-05,9.234268e-05,9.142306e-05,8.991444e-05,8.934905e-05,8.843587e-05,8.698728e-05,8.647309e-05,8.556850e-05,8.417934e-05,8.371373e-05,8.281955e-05,8.148884e-05,8.106910e-05,8.018689e-05,7.891335e-05,7.853677e-05,7.766785e-05,7.644998e-05,7.611387e-05,7.525934e-05,7.409550e-05,7.379724e-05,7.295802e-05,7.184646e-05,7.158349e-05,7.076036e-05,6.969926e-05,6.946913e-05,6.866271e-05,6.765024e-05,6.745060e-05,6.666139e-05,6.569570e-05,6.552430e-05,6.475270e-05,6.383194e-05,6.368665e-05,6.293296e-05,6.205532e-05,6.193412e-05,6.119856e-05,6.036224e-05,6.026323e-05,5.954593e-05,5.874921e-05,5.867059e-05,5.797164e-05,5.721281e-05,5.715290e-05,5.647231e-05,5.574973e-05,5.570694e-05,5.504469e-05,5.435679e-05,5.432962e-05,5.368564e-05,5.303087e-05,5.301794e-05,5.239212e-05,5.176901e-05,5.058006e-05,4.944841e-05,4.837149e-05,4.734686e-05,4.637213e-05,4.544506e-05,4.456348e-05,4.372532e-05,4.292858e-05,4.217138e-05,4.145190e-05,4.076839e-05,4.011922e-05,3.950277e-05,3.891755e-05,3.836210e-05,3.783504e-05,3.733505e-05,3.686085e-05,3.641125e-05,3.598510e-05,3.558128e-05,3.519875e-05,3.483651e-05,3.449360e-05,3.416910e-05,3.386213e-05,3.357186e-05,3.329750e-05,3.303828e-05,3.279348e-05,3.256240e-05,3.234438e-05,3.213879e-05,3.194502e-05,3.176251e-05,3.159069e-05,3.142905e-05,3.127709e-05,3.113433e-05,3.100031e-05,3.087460e-05,3.075679e-05,3.064647e-05,3.054328e-05,3.044686e-05,3.035685e-05,3.027294e-05,3.019481e-05
0.000000e+00,8.662901e-11,7.577705e-09,8.092696e-09,1.187331e-07,7.815417e-07,8.369342e-07,3.772568e-06,1.148112e-05,1.222349e-05,3.060434e-05,5.940670e-05,6.249524e-05,1.086627e-04,1.604294e-04,1.666380e-04,2.319263e-04,2.915606e-04,2.996756e-04,3.658411e-04,4.193124e-04,4.276280e-04,4.834343e-04,5.251695e-04,5.325759e-04,5.749838e-04,6.049336e-04,6.109530e-04,6.409680e-04,6.610695e-04,6.655902e-04,6.853922e-04,6.978456e-04,7.009222e-04,7.126880e-04,7.193979e-04,7.211507e-04,7.267247e-04,7.292087e-04,7.297797e-04,7.306438e-04,7.300741e-04,7.296079e-04,7.269294e-04,7.241999e-04,7.228356e-04,7.175269e-04,7.133142e-04,7.111803e-04,7.039514e-04,6.987645e-04,6.959776e-04,6.873798e-04,6.815994e-04,6.782643e-04,6.687241e-04,6.626323e-04,6.588412e-04,6.486875e-04,6.424919e-04,6.383262e-04,6.278126e-04,6.216643e-04,6.171951e-04,6.065155e-04,6.005218e-04,5.958106e-04,5.851121e-04,5.793475e-04,5.744477e-04,5.638414e-04,5.583559e-04,5.533136e-04,5.428823e-04,5.377075e-04,5.325624e-04,5.223669e-04,5.175204e-04,5.123064e-04,5.023901e-04,4.978790e-04,4.926252e-04,4.830180e-04,4.788421e-04,4.735734e-04,4.642952e-04,4.604487e-04,4.551863e-04,4.462489e-04,4.427223e-04,4.374844e-04,4.288936e-04,4.256747e-04,4.204767e-04,4.122333e-04,4.093081e-04,4.041630e-04,3.962646e-04,3.936182e-04,3.885370e-04,3.809784e-04,3.785951e-04,3.735871e-04,3.663612e-04,3.642253e-04,3.592984e-04,3.523965e-04,3.504925e-04,3.456531e-04,3.390656e-04,3.373781e-04,3.326316e-04,3.263484e-04,3.248625e-04,3.202132e-04,3.142235e-04,3.129251e-04,3.083765e-04,3.026695e-04,3.015447e-04,2.970997e-04,2.916644e-04,2.907001e-04,2.863608e-04,2.811863e-04,2.803702e-04,2.761382e-04,2.712138e-04,2.705341e-04,2.664104e-04,2.617255e-04,2.611711e-04,2.571564e-04,2.527007e-04,2.522613e-04,2.483558e-04,2.441193e-04,2.437850e-04,2.399887e-04,2.359616e-04,2.357232e-04,2.320357e-04,2.282088e-04,2.280577e-04,2.244784e-04,2.208425e-04,2.207707e-04,2.172988e-04,2.138451e-04,2.072646e-04,2.010133e-04,1.950760e-04,1.894383e-04,1.840863e-04,1.790065e-04,1.741863e-04,1.696135e-04,1.652763e-04,1.611637e-04,1.572649e-04,1.535698e-04,1.500686e-04,1.467522e-04,1.436115e-04,1.406382e-04,1.378241e-04,1.351616e-04,1.326434e-04,1.302623e-04,1.280118e-04,1.258855e-04,1.238772e-04,1.219812e-04,1.201919e-04,1.185041e-04,1.169128e-04,1.154132e-04,1.140007e-04,1.126709e-04,1.114198e-04,1.102434e-04,1.091379e-04,1.080998e-04,1.071256e-04,1.062121e-04,1.053562e-04,1.045549e-04,1.038055e-04,1.031053e-04,1.024518e-04,1.018424e-04,1.012750e-04,1.007473e-04,1.002572e-04,9.980284e-05,9.938222e-05,9.899358e-05,9.863521e-05
0.000000e+00,2.344027e-09,4.290799e-08,4.501928e-08,3.265727e-07,1.162563e-06,1.211981e-06,2.688172e-06,4.190338e-06,4.284033e-06,5.779055e-06,7.034937e-06,7.138734e-06,8.365986e-06,9.364607e-06,9.469689e-06,1.045928e-05,1.124289e-05,1.134377e-05,1.213155e-05,1.273770e-05,1.283048e-05,1.344785e-05,1.390838e-05,1.399043e-05,1.446454e-05,1.480630e-05,1.487598e-05,1.523017e-05,1.547565e-05,1.553207e-05,1.578628e-05,1.595418e-05,1.599702e-05,1.616820e-05,1.627404e-05,1.630337e-05,1.640582e-05,1.646234e-05,1.647855e-05,1.652431e-05,1.654200e-05,1.654564e-05,1.654486e-05,1.653230e-05,1.652409e-05,1.648529e-05,1.644952e-05,1.643024e-05,1.636060e-05,1.630737e-05,1.627786e-05,1.618343e-05,1.611745e-05,1.607858e-05,1.596446e-05,1.588951e-05,1.584212e-05,1.571251e-05,1.563162e-05,1.557651e-05,1.543491e-05,1.535052e-05,1.528846e-05,1.513782e-05,1.505185e-05,1.498359e-05,1.482633e-05,1.474033e-05,1.466655e-05,1.450470e-05,1.441986e-05,1.434120e-05,1.417643e-05,1.409367e-05,1.401073e-05,1.384441e-05,1.376445e-05,1.367777e-05,1.351106e-05,1.343441e-05,1.334451e-05,1.317833e-05,1.310538e-05,1.301271e-05,1.284782e-05,1.277882e-05,1.268381e-05,1.252083e-05,1.245595e-05,1.235899e-05,1.219841e-05,1.213774e-05,1.203919e-05,1.188140e-05,1.182497e-05,1.172513e-05,1.157045e-05,1.151823e-05,1.141741e-05,1.126606e-05,1.121799e-05,1.111645e-05,1.096862e-05,1.092462e-05,1.082259e-05,1.067840e-05,1.063836e-05,1.053607e-05,1.039561e-05,1.035940e-05,1.025704e-05,1.012037e-05,1.008785e-05,9.985604e-06,9.852742e-06,9.823768e-06,9.721788e-06,9.592739e-06,9.567158e-06,9.465592e-06,9.340341e-06,9.317997e-06,9.216978e-06,9.095493e-06,9.076229e-06,8.975875e-06,8.858112e-06,8.841772e-06,8.742190e-06,8.628095e-06,8.614526e-06,8.515811e-06,8.405322e-06,8.394371e-06,8.296611e-06,8.189660e-06,8.181179e-06,8.084451e-06,7.980965e-06,7.974811e-06,7.879184e-06,7.779087e-06,7.775118e-06,7.680655e-06,7.583868e-06,7.581949e-06,7.488705e-06,7.395147e-06,7.214555e-06,7.040012e-06,6.871359e-06,6.708436e-06,6.551086e-06,6.399152e-06,6.252478e-06,6.110914e-06,5.974310e-06,5.842520e-06,5.715399e-06,5.592809e-06,5.474611e-06,5.360672e-06,5.250862e-06,5.145053e-06,5.043122e-06,4.944948e-06,4.850415e-06,4.759407e-06,4.671815e-06,4.587530e-06,4.506448e-06,4.428466e-06,4.353488e-06,4.281415e-06,4.212156e-06,4.145620e-06,4.081720e-06,4.020369e-06,3.961486e-06,3.904990e-06,3.850803e-06,3.798850e-06,3.749058e-06,3.701356e-06,3.655674e-06,3.611946e-06,3.570107e-06,3.530093e-06,3.491845e-06,3.455302e-06,3.420407e-06,3.387105e-06,3.355341e-06,3.325063e-06,3.296220e-06,3.268762e-06,3.242642e-06
0.000000e+00,1.588137e-11,1.822980e-09,1.957729e-09,3.749181e-08,3.071909e-07,3.316813e-07,1.799407e-06,6.337784e-06,6.806308e-06,1.953993e-05,4.271246e-05,4.539396e-05,8.965031e-05,1.484864e-04,1.562161e-04,2.468815e-04,3.462665e-04,3.611605e-04,4.965673e-04,6.269179e-04,6.491352e-04,8.140107e-04,9.582252e-04,9.860118e-04,1.160087e-03,1.301136e-03,1.331646e-03,1.496777e-03,1.622118e-03,1.652342e-03,1.796006e-03,1.898764e-03,1.926193e-03,2.042004e-03,2.120192e-03,2.143121e-03,2.229695e-03,2.284688e-03,2.302240e-03,2.361535e-03,2.396555e-03,2.408536e-03,2.444308e-03,2.463261e-03,2.469960e-03,2.486603e-03,2.493326e-03,2.495315e-03,2.497117e-03,2.494985e-03,2.492958e-03,2.483704e-03,2.475474e-03,2.470139e-03,2.452958e-03,2.440762e-03,2.432775e-03,2.410127e-03,2.395551e-03,2.385479e-03,2.359229e-03,2.343408e-03,2.331721e-03,2.303245e-03,2.286969e-03,2.274046e-03,2.244329e-03,2.228127e-03,2.214264e-03,2.183994e-03,2.168213e-03,2.153638e-03,2.123295e-03,2.108154e-03,2.093045e-03,2.062954e-03,2.048583e-03,2.033075e-03,2.003451e-03,1.989919e-03,1.974116e-03,1.945099e-03,1.932438e-03,1.916421e-03,1.888100e-03,1.876315e-03,1.860149e-03,1.832579e-03,1.821659e-03,1.805397e-03,1.778609e-03,1.768533e-03,1.752218e-03,1.726227e-03,1.716968e-03,1.700637e-03,1.675448e-03,1.666975e-03,1.650660e-03,1.626271e-03,1.618550e-03,1.602279e-03,1.578682e-03,1.571679e-03,1.555477e-03,1.532661e-03,1.526342e-03,1.510231e-03,1.488184e-03,1.482513e-03,1.466515e-03,1.445220e-03,1.440165e-03,1.424296e-03,1.403738e-03,1.399264e-03,1.383543e-03,1.363705e-03,1.359780e-03,1.344221e-03,1.325086e-03,1.321678e-03,1.306295e-03,1.287844e-03,1.284923e-03,1.269729e-03,1.251944e-03,1.249481e-03,1.234486e-03,1.217350e-03,1.215315e-03,1.200531e-03,1.184025e-03,1.182391e-03,1.167827e-03,1.151933e-03,1.150674e-03,1.136338e-03,1.121038e-03,1.120129e-03,1.106028e-03,1.091305e-03,1.090722e-03,1.076863e-03,1.062698e-03,1.062418e-03,1.048806e-03,1.035184e-03,1.008987e-03,9.837961e-04,9.595789e-04,9.363048e-04,9.139438e-04,8.924665e-04,8.718445e-04,8.520498e-04,8.330554e-04,8.148348e-04,7.973625e-04,7.806134e-04,7.645632e-04,7.491886e-04,7.344664e-04,7.203746e-04,7.068916e-04,6.939963e-04,6.816686e-04,6.698887e-04,6.586374e-04,6.478962e-04,6.376472e-04,6.278728e-04,6.185562e-04,6.096809e-04,6.012310e-04,5.931912e-04,5.855464e-04,5.782822e-04,5.713844e-04,5.648396e-04,5.586344e-04,5.527561e-04,5.471923e-04,5.419309e-04,5.369604e-04,5.322693e-04,5.278469e-04,5.236825e-04,5.197657e-04,5.160867e-04,5.126359e-04,5.094038e-04,5.063814e-04,5.035601e-04,5.009312e-04,4.984866e-04,4.962184e-04
0.000000e+00,1.137549e-09,6.384031e-08,6.765697e-08,7.212312e-07,3.791772e-06,4.026247e-06,1.478717e-05,3.690443e-05,3.877310e-05,7.698246e-05,1.197213e-04,1.235703e-04,1.711892e-04,2.111223e-04,2.153135e-04,2.542524e-04,2.840533e-04,2.878047e-04,3.163289e-04,3.372233e-04,3.403306e-04,3.603193e-04,3.743543e-04,3.767658e-04,3.900943e-04,3.989641e-04,4.006836e-04,4.088715e-04,4.138957e-04,4.149583e-04,4.192110e-04,4.214085e-04,4.218668e-04,4.231359e-04,4.232885e-04,4.232047e-04,4.222384e-04,4.209432e-04,4.203824e-04,4.177638e-04,4.154694e-04,4.144941e-04,4.106710e-04,4.077124e-04,4.063810e-04,4.016999e-04,3.983285e-04,3.966960e-04,3.914310e-04,3.878393e-04,3.859581e-04,3.803223e-04,3.766482e-04,3.745627e-04,3.687124e-04,3.650525e-04,3.628003e-04,3.568518e-04,3.532743e-04,3.508884e-04,3.449290e-04,3.414808e-04,3.389896e-04,3.330841e-04,3.297963e-04,3.272243e-04,3.214202e-04,3.183123e-04,3.156805e-04,3.100122e-04,3.070950e-04,3.044214e-04,2.989129e-04,2.961909e-04,2.934909e-04,2.881584e-04,2.856315e-04,2.829181e-04,2.777719e-04,2.754367e-04,2.727212e-04,2.677671e-04,2.656180e-04,2.629100e-04,2.581503e-04,2.561802e-04,2.534878e-04,2.489223e-04,2.471232e-04,2.444532e-04,2.400798e-04,2.384428e-04,2.358012e-04,2.316164e-04,2.301326e-04,2.275242e-04,2.235235e-04,2.221838e-04,2.196129e-04,2.157910e-04,2.145865e-04,2.120565e-04,2.084078e-04,2.073297e-04,2.048435e-04,2.013620e-04,2.004018e-04,1.979618e-04,1.946414e-04,1.937909e-04,1.913991e-04,1.882335e-04,1.874850e-04,1.851430e-04,1.821261e-04,1.814721e-04,1.791811e-04,1.763067e-04,1.757401e-04,1.735013e-04,1.707633e-04,1.702775e-04,1.680914e-04,1.654841e-04,1.650728e-04,1.629400e-04,1.604576e-04,1.601149e-04,1.580356e-04,1.556726e-04,1.553929e-04,1.533673e-04,1.511183e-04,1.508965e-04,1.489245e-04,1.467844e-04,1.466155e-04,1.446969e-04,1.426608e-04,1.425402e-04,1.406749e-04,1.387379e-04,1.386614e-04,1.368488e-04,1.350065e-04,1.349701e-04,1.332098e-04,1.314577e-04,1.281160e-04,1.249371e-04,1.219134e-04,1.190377e-04,1.163032e-04,1.137033e-04,1.112316e-04,1.088822e-04,1.066492e-04,1.045273e-04,1.025111e-04,1.005957e-04,9.877638e-05,9.704850e-05,9.540776e-05,9.385002e-05,9.237134e-05,9.096795e-05,8.963627e-05,8.837288e-05,8.717451e-05,8.603806e-05,8.496057e-05,8.393920e-05,8.297127e-05,8.205420e-05,8.118556e-05,8.036301e-05,7.958433e-05,7.884739e-05,7.815019e-05,7.749080e-05,7.686739e-05,7.627820e-05,7.572158e-05,7.519593e-05,7.469975e-05,7.423160e-05,7.379010e-05,7.337395e-05,7.298191e-05,7.261277e-05,7.226542e-05,7.193878e-05,7.163181e-05,7.134355e-05,7.107305e-05,7.081944e-05,7.058186e-05
0.000000e+00,2.689832e-11,3.288520e-09,3.536970e-09,7.289084e-08,6.309615e-07,6.825997e-07,3.865817e-06,1.405979e-05,1.512642e-05,4.458365e-05,9.937173e-05,1.057739e-04,2.127203e-04,3.577070e-04,3.769484e-04,6.054840e-04,8.612925e-04,9.000614e-04,1.257331e-03,1.609039e-03,1.669720e-03,2.126615e-03,2.535746e-03,2.615602e-03,3.123605e-03,3.545349e-03,3.637820e-03,4.146421e-03,4.542231e-03,4.639032e-03,5.106995e-03,5.450429e-03,5.543466e-03,5.943391e-03,6.220750e-03,6.303382e-03,6.621542e-03,6.829647e-03,6.897259e-03,7.130980e-03,7.273955e-03,7.324000e-03,7.478255e-03,7.564441e-03,7.596147e-03,7.680386e-03,7.719915e-03,7.733858e-03,7.759513e-03,7.762634e-03,7.760283e-03,7.739018e-03,7.715105e-03,7.698434e-03,7.641082e-03,7.598148e-03,7.569327e-03,7.485337e-03,7.429897e-03,7.391080e-03,7.288327e-03,7.225468e-03,7.178659e-03,7.063476e-03,6.997032e-03,6.944012e-03,6.821345e-03,6.754109e-03,6.696413e-03,6.570026e-03,6.503965e-03,6.442881e-03,6.315571e-03,6.252017e-03,6.188604e-03,6.062405e-03,6.002210e-03,5.937333e-03,5.813684e-03,5.757353e-03,5.691704e-03,5.571595e-03,5.519382e-03,5.453517e-03,5.337599e-03,5.289583e-03,5.223943e-03,5.112624e-03,5.068763e-03,5.003697e-03,4.897203e-03,4.857378e-03,4.793165e-03,4.691593e-03,4.655632e-03,4.592490e-03,4.495848e-03,4.463547e-03,4.401651e-03,4.309881e-03,4.281023e-03,4.220511e-03,4.133513e-03,4.107871e-03,4.048853e-03,3.966496e-03,3.943844e-03,3.886404e-03,3.808536e-03,3.788650e-03,3.732853e-03,3.659311e-03,3.641975e-03,3.587869e-03,3.518484e-03,3.503491e-03,3.451111e-03,3.385709e-03,3.372861e-03,3.322232e-03,3.260638e-03,3.249748e-03,3.200883e-03,3.142925e-03,3.133815e-03,3.086721e-03,3.032228e-03,3.024733e-03,2.979406e-03,2.928213e-03,2.922178e-03,2.878609e-03,2.830555e-03,2.825833e-03,2.784010e-03,2.738936e-03,2.735393e-03,2.695296e-03,2.653052e-03,2.650561e-03,2.612168e-03,2.572608e-03,2.571052e-03,2.534336e-03,2.497319e-03,2.496591e-03,2.461523e-03,2.426914e-03,2.361768e-03,2.300909e-03,2.244107e-03,2.191140e-03,2.141795e-03,2.095872e-03,2.053177e-03,2.013529e-03,1.976752e-03,1.942680e-03,1.911157e-03,1.882032e-03,1.855163e-03,1.830414e-03,1.807658e-03,1.786772e-03,1.767641e-03,1.750155e-03,1.734211e-03,1.719709e-03,1.706557e-03,1.694665e-03,1.683951e-03,1.674334e-03,1.665741e-03,1.658099e-03,1.651341e-03,1.645405e-03,1.640231e-03,1.635760e-03,1.631942e-03,1.628724e-03,1.626059e-03,1.623903e-03,1.622213e-03,1.620951e-03,1.620077e-03,1.619559e-03,1.619362e-03,1.619456e-03,1.619812e-03,1.620403e-03,1.621204e-03,1.622191e-03,1.623343e-03,1.624638e-03,1.626058e-03,1.627585e-03,1.629203e-03
0.000000e+00,1.338438e-09,2.458215e-08,2.576270e-08,1.705845e-07,5.435131e-07,5.640965e-07,1.141334e-06,1.695020e-06,1.729112e-06,2.269374e-06,2.719299e-06,2.756350e-06,3.192888e-06,3.545901e-06,3.582924e-06,3.930330e-06,4.203675e-06,4.238739e-06,4.511533e-06,4.720045e-06,4.751844e-06,4.962571e-06,5.118678e-06,5.146383e-06,5.305735e-06,5.419736e-06,5.442877e-06,5.559871e-06,5.640238e-06,5.658611e-06,5.740815e-06,5.794468e-06,5.808051e-06,5.861750e-06,5.894317e-06,5.903219e-06,5.933646e-06,5.949695e-06,5.954116e-06,5.965615e-06,5.968847e-06,5.969041e-06,5.965210e-06,5.958610e-06,5.954864e-06,5.938678e-06,5.924651e-06,5.917266e-06,5.891184e-06,5.871661e-06,5.860940e-06,5.826995e-06,5.803522e-06,5.789766e-06,5.749632e-06,5.723444e-06,5.706939e-06,5.662000e-06,5.634078e-06,5.615098e-06,5.566491e-06,5.537611e-06,5.516413e-06,5.465075e-06,5.435847e-06,5.412668e-06,5.359366e-06,5.330267e-06,5.305327e-06,5.250692e-06,5.222089e-06,5.195589e-06,5.140136e-06,5.112311e-06,5.084436e-06,5.028585e-06,5.001747e-06,4.972667e-06,4.916758e-06,4.891063e-06,4.860929e-06,4.805241e-06,4.780797e-06,4.749749e-06,4.694504e-06,4.671385e-06,4.639549e-06,4.584925e-06,4.563176e-06,4.530666e-06,4.476804e-06,4.456447e-06,4.423368e-06,4.370380e-06,4.351419e-06,4.317864e-06,4.265837e-06,4.248262e-06,4.214316e-06,4.163315e-06,4.147107e-06,4.112846e-06,4.062921e-06,4.048050e-06,4.013546e-06,3.964730e-06,3.951162e-06,3.916478e-06,3.868794e-06,3.856490e-06,3.821683e-06,3.775147e-06,3.764064e-06,3.729187e-06,3.683803e-06,3.673896e-06,3.638997e-06,3.594766e-06,3.585989e-06,3.551110e-06,3.508027e-06,3.500333e-06,3.465515e-06,3.423571e-06,3.416912e-06,3.382191e-06,3.341373e-06,3.335702e-06,3.301111e-06,3.261403e-06,3.256675e-06,3.222244e-06,3.183630e-06,3.179798e-06,3.145554e-06,3.108014e-06,3.105034e-06,3.071003e-06,3.034517e-06,3.032345e-06,2.998550e-06,2.963097e-06,2.961689e-06,2.928152e-06,2.893710e-06,2.893026e-06,2.859765e-06,2.826312e-06,2.761504e-06,2.698557e-06,2.637428e-06,2.578073e-06,2.520447e-06,2.464509e-06,2.410214e-06,2.357522e-06,2.306390e-06,2.256778e-06,2.208645e-06,2.161953e-06,2.116663e-06,2.072738e-06,2.030139e-06,1.988833e-06,1.948783e-06,1.909954e-06,1.872315e-06,1.835831e-06,1.800471e-06,1.766204e-06,1.733000e-06,1.700829e-06,1.669662e-06,1.639472e-06,1.610230e-06,1.581911e-06,1.554488e-06,1.527937e-06,1.502232e-06,1.477350e-06,1.453268e-06,1.429963e-06,1.407413e-06,1.385596e-06,1.364492e-06,1.344080e-06,1.324342e-06,1.305256e-06,1.286806e-06,1.268972e-06,1.251737e-06,1.235084e-06,1.218996e-06,1.203456e-06,1.188450e-06,1.173961e-06,1.159975e-06
0.000000e+00,9.386019e-11,1.123112e-08,1.206497e-08,2.326989e-07,1.960567e-06,2.121277e-06,1.241961e-05,4.858840e-05,5.256999e-05,1.721190e-04,4.272604e-04,4.591754e-04,1.042340e-03,1.954380e-03,2.084410e-03,3.771059e-03,5.943603e-03,6.297576e-03,9.855856e-03,1.387680e-02,1.462299e-02,2.075209e-02,2.704368e-02,2.836566e-02,3.755140e-02,4.629372e-02,4.836020e-02,6.080606e-02,7.192820e-02,7.486760e-02,9.049063e-02,1.037078e-01,1.075917e-01,1.260621e-01,1.409363e-01,1.457721e-01,1.665758e-01,1.825817e-01,1.883146e-01,2.108222e-01,2.274079e-01,2.339279e-01,2.574601e-01,2.740956e-01,2.812494e-01,3.051312e-01,3.213427e-01,3.289476e-01,3.525496e-01,3.679415e-01,3.757981e-01,3.985652e-01,4.128293e-01,4.207346e-01,4.422022e-01,4.551189e-01,4.628762e-01,4.826772e-01,4.941101e-01,5.015376e-01,5.194016e-01,5.292880e-01,5.362243e-01,5.519713e-01,5.603103e-01,5.666181e-01,5.801494e-01,5.869897e-01,5.925581e-01,6.038448e-01,6.092726e-01,6.140168e-01,6.230879e-01,6.272163e-01,6.310769e-01,6.380075e-01,6.409663e-01,6.439076e-01,6.488082e-01,6.507362e-01,6.527436e-01,6.557502e-01,6.567887e-01,6.578664e-01,6.591318e-01,6.594194e-01,6.595873e-01,6.592743e-01,6.589432e-01,6.582342e-01,6.565091e-01,6.556825e-01,6.541403e-01,6.511689e-01,6.499595e-01,6.476354e-01,6.435795e-01,6.420884e-01,6.390400e-01,6.340545e-01,6.323709e-01,6.286596e-01,6.228905e-01,6.210920e-01,6.167814e-01,6.103650e-01,6.085176e-01,6.036726e-01,5.967343e-01,5.948937e-01,5.895788e-01,5.822333e-01,5.804451e-01,5.747239e-01,5.670750e-01,5.653759e-01,5.593100e-01,5.514508e-01,5.498696e-01,5.435183e-01,5.355319e-01,5.340901e-01,5.275099e-01,5.194696e-01,5.181825e-01,5.114269e-01,5.033970e-01,5.022746e-01,4.953937e-01,4.874300e-01,4.864777e-01,4.795181e-01,4.716691e-01,4.708881e-01,4.638932e-01,4.561999e-01,4.555883e-01,4.485980e-01,4.410953e-01,4.406484e-01,4.336991e-01,4.264159e-01,4.261270e-01,4.192518e-01,4.122120e-01,4.120725e-01,4.053013e-01,3.985240e-01,3.855124e-01,3.730612e-01,3.611876e-01,3.499027e-01,3.392127e-01,3.291191e-01,3.196197e-01,3.107087e-01,3.023774e-01,2.946145e-01,2.874064e-01,2.807379e-01,2.745919e-01,2.689501e-01,2.637930e-01,2.591004e-01,2.548515e-01,2.510247e-01,2.475985e-01,2.445509e-01,2.418600e-01,2.395040e-01,2.374613e-01,2.357104e-01,2.342304e-01,2.330008e-01,2.320016e-01,2.312136e-01,2.306178e-01,2.301963e-01,2.299319e-01,2.298079e-01,2.298088e-01,2.299195e-01,2.301261e-01,2.304152e-01,2.307746e-01,2.311926e-01,2.316585e-01,2.321625e-01,2.326955e-01,2.332491e-01,2.338158e-01,2.343888e-01,2.349620e-01,2.355300e-01,2.360880e-01,2.366318e-01,2.371578e-01
0.000000e+00,1.179723e-08,2.068795e-07,2.166034e-07,1.468618e-06,5.300660e-06,5.539430e-06,1.358566e-05,2.351571e-05,2.417700e-05,3.515657e-05,4.486907e-05,4.568963e-05,5.560267e-05,6.397818e-05,6.487724e-05,7.352832e-05,8.064326e-05,8.157832e-05,8.905140e-05,9.503555e-05,9.597212e-05,1.023650e-04,1.073449e-04,1.082544e-04,1.136641e-04,1.177589e-04,1.186179e-04,1.231389e-04,1.264593e-04,1.272497e-04,1.309724e-04,1.336204e-04,1.343283e-04,1.373380e-04,1.394059e-04,1.400211e-04,1.423965e-04,1.439668e-04,1.444822e-04,1.462956e-04,1.474419e-04,1.478532e-04,1.491704e-04,1.499577e-04,1.502625e-04,1.511434e-04,1.516288e-04,1.518268e-04,1.523256e-04,1.525595e-04,1.526518e-04,1.528171e-04,1.528435e-04,1.528325e-04,1.527083e-04,1.525656e-04,1.524545e-04,1.520804e-04,1.518018e-04,1.515947e-04,1.510061e-04,1.506205e-04,1.503222e-04,1.495506e-04,1.490829e-04,1.486985e-04,1.477724e-04,1.472438e-04,1.467787e-04,1.457233e-04,1.451520e-04,1.446119e-04,1.434497e-04,1.428511e-04,1.422417e-04,1.409926e-04,1.403798e-04,1.397068e-04,1.383886e-04,1.377723e-04,1.370417e-04,1.356698e-04,1.350591e-04,1.342764e-04,1.328646e-04,1.322670e-04,1.314376e-04,1.299982e-04,1.294195e-04,1.285489e-04,1.270922e-04,1.265372e-04,1.256305e-04,1.241659e-04,1.236383e-04,1.227004e-04,1.212358e-04,1.207384e-04,1.197740e-04,1.183165e-04,1.178512e-04,1.168647e-04,1.154201e-04,1.149883e-04,1.139840e-04,1.125574e-04,1.121598e-04,1.111415e-04,1.097374e-04,1.093743e-04,1.083457e-04,1.069675e-04,1.066388e-04,1.056035e-04,1.042542e-04,1.039595e-04,1.029205e-04,1.016027e-04,1.013411e-04,1.003014e-04,9.901701e-05,9.878766e-05,9.774997e-05,9.650059e-05,9.630234e-05,9.526915e-05,9.405591e-05,9.388752e-05,9.286108e-05,9.168483e-05,9.154493e-05,9.052731e-05,8.938861e-05,8.927577e-05,8.826881e-05,8.716796e-05,8.708071e-05,8.608608e-05,8.502317e-05,8.495999e-05,8.397919e-05,8.295410e-05,8.291349e-05,8.194782e-05,8.096028e-05,8.094072e-05,7.999137e-05,7.904095e-05,7.721320e-05,7.545627e-05,7.376881e-05,7.214933e-05,7.059622e-05,6.910776e-05,6.768219e-05,6.631768e-05,6.501237e-05,6.376435e-05,6.257174e-05,6.143262e-05,6.034510e-05,5.930729e-05,5.831735e-05,5.737343e-05,5.647373e-05,5.561649e-05,5.479999e-05,5.402255e-05,5.328252e-05,5.257833e-05,5.190841e-05,5.127129e-05,5.066550e-05,5.008966e-05,4.954241e-05,4.902245e-05,4.852853e-05,4.805944e-05,4.761402e-05,4.719116e-05,4.678979e-05,4.640888e-05,4.604745e-05,4.570456e-05,4.537931e-05,4.507083e-05,4.477829e-05,4.450092e-05,4.423795e-05,4.398867e-05,4.375240e-05,4.352847e-05,4.331626e-05,4.311518e-05,4.292465e-05,4.274415e-05,4.257315e-05
0.000000e+00,2.210926e-10,2.117146e-08,2.266855e-08,3.879925e-07,2.987224e-06,3.218344e-06,1.650293e-05,5.407534e-05,5.774968e-05,1.485249e-04,2.870923e-04,3.016803e-04,5.150729e-04,7.475970e-04,7.752126e-04,1.064343e-03,1.329479e-03,1.365844e-03,1.666743e-03,1.918135e-03,1.958119e-03,2.234481e-03,2.452790e-03,2.492851e-03,2.731930e-03,2.913382e-03,2.951468e-03,3.151831e-03,3.298785e-03,3.333728e-03,3.498041e-03,3.614614e-03,3.645729e-03,3.777770e-03,3.868252e-03,3.895131e-03,3.998752e-03,4.067118e-03,4.089535e-03,4.168342e-03,4.218129e-03,4.235992e-03,4.293260e-03,4.327566e-03,4.340881e-03,4.379546e-03,4.401057e-03,4.409907e-03,4.432581e-03,4.443615e-03,4.448143e-03,4.457139e-03,4.459687e-03,4.460078e-03,4.457440e-03,4.453202e-03,4.449674e-03,4.437203e-03,4.427627e-03,4.420422e-03,4.399700e-03,4.386014e-03,4.375385e-03,4.347802e-03,4.331041e-03,4.317253e-03,4.284023e-03,4.265058e-03,4.248376e-03,4.210561e-03,4.190118e-03,4.170808e-03,4.129334e-03,4.108014e-03,4.086338e-03,4.042009e-03,4.020308e-03,3.996519e-03,3.950032e-03,3.928355e-03,3.902698e-03,3.854657e-03,3.833328e-03,3.806038e-03,3.756961e-03,3.736240e-03,3.707539e-03,3.657873e-03,3.637960e-03,3.608059e-03,3.558186e-03,3.539235e-03,3.508333e-03,3.458575e-03,3.440698e-03,3.408980e-03,3.359611e-03,3.342888e-03,3.310526e-03,3.261776e-03,3.246255e-03,3.213410e-03,3.165471e-03,3.151178e-03,3.117997e-03,3.071025e-03,3.057968e-03,3.024587e-03,2.978710e-03,2.966878e-03,2.933421e-03,2.888742e-03,2.878112e-03,2.844693e-03,2.801291e-03,2.791831e-03,2.758552e-03,2.716488e-03,2.708158e-03,2.675111e-03,2.634429e-03,2.627181e-03,2.594450e-03,2.555179e-03,2.548961e-03,2.516620e-03,2.478777e-03,2.473536e-03,2.441651e-03,2.405242e-03,2.400922e-03,2.369550e-03,2.334573e-03,2.331115e-03,2.300309e-03,2.266753e-03,2.264099e-03,2.233902e-03,2.201751e-03,2.199844e-03,2.170294e-03,2.139525e-03,2.138309e-03,2.109438e-03,2.080025e-03,2.079444e-03,2.051280e-03,2.023193e-03,1.969493e-03,1.918276e-03,1.869472e-03,1.823007e-03,1.778806e-03,1.736792e-03,1.696887e-03,1.659014e-03,1.623096e-03,1.589057e-03,1.556821e-03,1.526315e-03,1.497465e-03,1.470200e-03,1.444452e-03,1.420153e-03,1.397236e-03,1.375640e-03,1.355301e-03,1.336162e-03,1.318164e-03,1.301252e-03,1.285373e-03,1.270477e-03,1.256513e-03,1.243434e-03,1.231196e-03,1.219754e-03,1.209067e-03,1.199096e-03,1.189802e-03,1.181149e-03,1.173102e-03,1.165628e-03,1.158695e-03,1.152273e-03,1.146333e-03,1.140848e-03,1.135791e-03,1.131138e-03,1.126865e-03,1.122949e-03,1.119369e-03,1.116105e-03,1.113137e-03,1.110447e-03,1.108018e-03,1.105832e-03,1.103875e-03
0.000000e+00,8.622984e-12,1.046636e-09,1.125813e-09,2.361447e-08,2.106104e-07,2.281332e-07,1.327208e-06,4.892646e-06,5.266137e-06,1.553567e-05,3.437345e-05,3.655494e-05,7.250681e-05,1.200861e-04,1.263182e-04,1.991199e-04,2.783595e-04,2.901885e-04,3.972270e-04,4.994667e-04,5.168180e-04,6.449203e-04,7.560166e-04,7.773187e-04,9.099822e-04,1.016426e-03,1.039318e-03,1.162323e-03,1.254571e-03,1.276652e-03,1.380617e-03,1.453805e-03,1.473145e-03,1.553702e-03,1.606855e-03,1.622207e-03,1.678938e-03,1.713656e-03,1.724448e-03,1.759479e-03,1.778698e-03,1.784900e-03,1.801643e-03,1.808712e-03,1.810663e-03,1.812898e-03,1.811004e-03,1.809248e-03,1.800553e-03,1.792430e-03,1.787587e-03,1.771049e-03,1.758882e-03,1.751565e-03,1.729684e-03,1.715128e-03,1.705888e-03,1.680594e-03,1.664848e-03,1.654156e-03,1.626878e-03,1.610774e-03,1.599015e-03,1.570781e-03,1.554875e-03,1.542354e-03,1.513879e-03,1.498526e-03,1.485477e-03,1.457246e-03,1.442660e-03,1.429263e-03,1.401592e-03,1.387889e-03,1.374282e-03,1.347371e-03,1.334605e-03,1.320890e-03,1.294859e-03,1.283041e-03,1.269296e-03,1.244211e-03,1.233328e-03,1.219613e-03,1.195504e-03,1.185525e-03,1.171886e-03,1.148759e-03,1.139646e-03,1.126121e-03,1.103969e-03,1.095677e-03,1.082296e-03,1.061099e-03,1.053583e-03,1.040371e-03,1.020106e-03,1.013320e-03,1.000297e-03,9.809362e-04,9.748344e-04,9.620171e-04,9.435319e-04,9.380698e-04,9.254729e-04,9.078325e-04,9.029672e-04,8.906031e-04,8.737768e-04,8.694671e-04,8.573461e-04,8.413032e-04,8.375098e-04,8.256406e-04,8.103507e-04,8.070362e-04,7.954261e-04,7.808592e-04,7.779881e-04,7.666426e-04,7.527692e-04,7.503079e-04,7.392317e-04,7.260230e-04,7.239397e-04,7.131362e-04,7.005644e-04,6.988291e-04,6.883007e-04,6.763386e-04,6.749231e-04,6.646715e-04,6.532928e-04,6.521706e-04,6.421963e-04,6.313758e-04,6.305218e-04,6.208249e-04,6.105378e-04,6.099289e-04,6.005085e-04,5.907313e-04,5.903453e-04,5.812003e-04,5.719101e-04,5.717267e-04,5.628552e-04,5.540301e-04,5.372141e-04,5.212391e-04,5.060670e-04,4.916612e-04,4.779867e-04,4.650099e-04,4.526986e-04,4.410220e-04,4.299506e-04,4.194563e-04,4.095120e-04,4.000920e-04,3.911715e-04,3.827271e-04,3.747361e-04,3.671772e-04,3.600297e-04,3.532740e-04,3.468914e-04,3.408640e-04,3.351748e-04,3.298074e-04,3.247463e-04,3.199766e-04,3.154842e-04,3.112556e-04,3.072778e-04,3.035386e-04,3.000262e-04,2.967294e-04,2.936376e-04,2.907406e-04,2.880286e-04,2.854924e-04,2.831231e-04,2.809123e-04,2.788520e-04,2.769345e-04,2.751525e-04,2.734990e-04,2.719674e-04,2.705513e-04,2.692447e-04,2.680419e-04,2.669373e-04,2.659257e-04,2.650021e-04,2.641618e-04,2.634002e-04
0.000000e+00,3.039081e-09,6.250264e-08,6.555546e-08,4.251489e-07,1.218868e-06,1.258319e-06,2.274021e-06,3.186426e-06,3.242100e-06,4.122092e-06,4.853648e-06,4.913867e-06,5.623014e-06,6.195711e-06,6.255713e-06,6.817940e-06,7.258896e-06,7.315341e-06,7.753224e-06,8.086002e-06,8.136563e-06,8.469995e-06,8.714677e-06,8.757836e-06,9.004084e-06,9.177574e-06,9.212437e-06,9.386308e-06,9.502697e-06,9.528838e-06,9.642915e-06,9.713860e-06,9.731195e-06,9.796114e-06,9.831211e-06,9.839907e-06,9.864625e-06,9.871746e-06,9.872145e-06,9.864191e-06,9.849771e-06,9.842336e-06,9.808025e-06,9.777305e-06,9.762574e-06,9.707189e-06,9.664420e-06,9.642973e-06,9.570932e-06,9.519548e-06,9.491984e-06,9.406967e-06,9.349727e-06,9.316645e-06,9.221716e-06,9.160826e-06,9.122813e-06,9.020515e-06,8.957726e-06,8.915346e-06,8.807784e-06,8.744474e-06,8.698262e-06,8.587173e-06,8.524413e-06,8.474874e-06,8.361687e-06,8.300301e-06,8.247904e-06,8.133788e-06,8.074396e-06,8.019576e-06,7.905483e-06,7.848542e-06,7.791701e-06,7.678401e-06,7.624235e-06,7.565738e-06,7.453850e-06,7.402676e-06,7.342858e-06,7.232873e-06,7.184822e-06,7.123988e-06,7.016290e-06,6.971428e-06,6.909851e-06,6.804737e-06,6.763075e-06,6.701003e-06,6.598698e-06,6.560205e-06,6.497861e-06,6.398528e-06,6.363142e-06,6.300726e-06,6.204478e-06,6.172111e-06,6.109801e-06,6.016709e-06,5.987256e-06,5.925211e-06,5.835313e-06,5.808656e-06,5.747017e-06,5.660322e-06,5.636334e-06,5.575226e-06,5.491723e-06,5.470272e-06,5.409805e-06,5.329463e-06,5.310414e-06,5.250684e-06,5.173457e-06,5.156674e-06,5.097767e-06,5.023599e-06,5.008946e-06,4.950936e-06,4.879760e-06,4.867105e-06,4.810055e-06,4.741800e-06,4.731013e-06,4.674977e-06,4.609566e-06,4.600519e-06,4.545546e-06,4.482896e-06,4.475469e-06,4.421597e-06,4.361626e-06,4.355701e-06,4.302962e-06,4.245585e-06,4.241050e-06,4.189472e-06,4.134603e-06,4.131349e-06,4.080955e-06,4.028507e-06,4.026434e-06,3.977239e-06,3.927129e-06,3.926138e-06,3.878155e-06,3.830298e-06,3.738752e-06,3.651342e-06,3.567912e-06,3.488312e-06,3.412394e-06,3.340014e-06,3.271032e-06,3.205315e-06,3.142731e-06,3.083153e-06,3.026460e-06,2.972532e-06,2.921258e-06,2.872526e-06,2.826230e-06,2.782269e-06,2.740545e-06,2.700962e-06,2.663430e-06,2.627861e-06,2.594171e-06,2.562279e-06,2.532107e-06,2.503581e-06,2.476627e-06,2.451178e-06,2.427167e-06,2.404529e-06,2.383205e-06,2.363133e-06,2.344260e-06,2.326529e-06,2.309889e-06,2.294290e-06,2.279683e-06,2.266024e-06,2.253267e-06,2.241369e-06,2.230292e-06,2.219994e-06,2.210439e-06,2.201592e-06,2.193416e-06,2.185880e-06,2.178952e-06,2.172601e-06,2.166798e-06,2.161515e-06,2.156726e-06
0.000000e+00,2.458953e-09,3.153306e-08,3.289710e-08,1.983241e-07,6.721263e-07,7.006721e-07,1.612173e-06,2.650356e-06,2.717683e-06,3.818381e-06,4.773129e-06,4.853112e-06,5.811127e-06,6.608202e-06,6.693052e-06,7.502004e-06,8.156451e-06,8.241680e-06,8.915890e-06,9.446242e-06,9.528424e-06,1.008299e-05,1.050666e-05,1.058318e-05,1.103244e-05,1.136514e-05,1.143406e-05,1.179117e-05,1.204681e-05,1.210674e-05,1.238355e-05,1.257428e-05,1.262427e-05,1.283141e-05,1.296782e-05,1.300731e-05,1.315422e-05,1.324548e-05,1.327420e-05,1.336916e-05,1.342309e-05,1.344095e-05,1.349129e-05,1.351463e-05,1.352179e-05,1.353398e-05,1.353256e-05,1.352932e-05,1.350923e-05,1.348816e-05,1.347501e-05,1.342783e-05,1.339135e-05,1.336879e-05,1.329892e-05,1.325059e-05,1.321919e-05,1.313050e-05,1.307334e-05,1.303369e-05,1.292955e-05,1.286608e-05,1.281881e-05,1.270217e-05,1.263450e-05,1.258025e-05,1.245366e-05,1.238355e-05,1.232294e-05,1.218863e-05,1.211752e-05,1.205120e-05,1.191109e-05,1.184016e-05,1.176872e-05,1.162449e-05,1.155469e-05,1.147874e-05,1.133180e-05,1.126390e-05,1.118399e-05,1.103560e-05,1.097018e-05,1.088687e-05,1.073805e-05,1.067557e-05,1.058937e-05,1.044102e-05,1.038183e-05,1.029321e-05,1.014610e-05,1.009041e-05,9.999843e-06,9.854590e-06,9.802570e-06,9.710472e-06,9.567607e-06,9.519338e-06,9.426104e-06,9.286060e-06,9.241569e-06,9.147564e-06,9.010696e-06,8.969963e-06,8.875525e-06,8.742114e-06,8.705082e-06,8.610518e-06,8.480786e-06,8.447367e-06,8.352960e-06,8.227076e-06,8.197156e-06,8.103163e-06,7.981249e-06,7.954697e-06,7.861352e-06,7.743490e-06,7.720163e-06,7.627675e-06,7.513915e-06,7.493657e-06,7.402215e-06,7.292578e-06,7.275227e-06,7.185000e-06,7.079480e-06,7.064870e-06,6.976009e-06,6.874580e-06,6.862545e-06,6.775181e-06,6.677800e-06,6.668172e-06,6.582422e-06,6.489030e-06,6.481644e-06,6.397608e-06,6.308136e-06,6.302830e-06,6.220594e-06,6.134961e-06,6.131575e-06,6.051215e-06,5.969332e-06,5.967713e-06,5.889289e-06,5.811062e-06,5.661429e-06,5.518616e-06,5.382416e-06,5.252621e-06,5.129020e-06,5.011402e-06,4.899556e-06,4.793271e-06,4.692341e-06,4.596561e-06,4.505729e-06,4.419649e-06,4.338126e-06,4.260975e-06,4.188010e-06,4.119055e-06,4.053936e-06,3.992486e-06,3.934543e-06,3.879950e-06,3.828555e-06,3.780212e-06,3.734781e-06,3.692125e-06,3.652114e-06,3.614623e-06,3.579530e-06,3.546719e-06,3.516078e-06,3.487502e-06,3.460887e-06,3.436134e-06,3.413151e-06,3.391845e-06,3.372131e-06,3.353927e-06,3.337152e-06,3.321732e-06,3.307594e-06,3.294669e-06,3.282890e-06,3.272195e-06,3.262524e-06,3.253819e-06,3.246024e-06,3.239089e-06,3.232963e-06,3.227598e-06,3.222950e-06
0.000000e+00,2.702558e-10,3.446651e-09,3.595699e-09,2.179152e-08,7.661106e-08,8.006724e-08,2.014452e-07,3.670596e-07,3.786660e-07,5.778735e-07,7.588292e-07,7.741594e-07,9.589567e-07,1.113872e-06,1.130412e-06,1.288561e-06,1.417143e-06,1.433934e-06,1.567180e-06,1.672588e-06,1.688975e-06,1.799992e-06,1.885421e-06,1.900919e-06,1.992399e-06,2.060734e-06,2.074961e-06,2.149152e-06,2.202842e-06,2.215512e-06,2.274550e-06,2.315829e-06,2.326750e-06,2.372568e-06,2.403387e-06,2.412435e-06,2.446754e-06,2.468805e-06,2.475909e-06,2.500258e-06,2.515005e-06,2.520141e-06,2.535873e-06,2.544578e-06,2.547755e-06,2.556067e-06,2.559814e-06,2.561071e-06,2.563017e-06,2.562739e-06,2.562135e-06,2.558645e-06,2.555136e-06,2.552749e-06,2.544641e-06,2.538581e-06,2.534498e-06,2.522491e-06,2.514457e-06,2.508776e-06,2.493502e-06,2.483983e-06,2.476806e-06,2.458818e-06,2.448225e-06,2.439659e-06,2.419441e-06,2.408122e-06,2.398272e-06,2.376249e-06,2.364491e-06,2.353466e-06,2.330007e-06,2.318050e-06,2.305954e-06,2.281381e-06,2.269422e-06,2.256358e-06,2.230950e-06,2.219150e-06,2.205218e-06,2.179219e-06,2.167707e-06,2.153003e-06,2.126620e-06,2.115500e-06,2.100115e-06,2.073530e-06,2.062882e-06,2.046903e-06,2.020270e-06,2.010155e-06,1.993665e-06,1.967117e-06,1.957580e-06,1.940655e-06,1.914305e-06,1.905376e-06,1.888091e-06,1.862034e-06,1.853732e-06,1.836154e-06,1.810470e-06,1.802806e-06,1.784999e-06,1.759754e-06,1.752729e-06,1.734751e-06,1.710002e-06,1.703610e-06,1.685518e-06,1.661308e-06,1.655539e-06,1.637382e-06,1.613748e-06,1.608588e-06,1.590412e-06,1.567381e-06,1.562812e-06,1.544661e-06,1.522255e-06,1.518256e-06,1.500168e-06,1.478402e-06,1.474950e-06,1.456961e-06,1.435847e-06,1.432917e-06,1.415060e-06,1.394602e-06,1.392169e-06,1.374473e-06,1.354674e-06,1.352713e-06,1.335205e-06,1.316064e-06,1.314547e-06,1.297250e-06,1.278763e-06,1.277665e-06,1.260601e-06,1.242763e-06,1.242056e-06,1.225245e-06,1.208046e-06,1.207706e-06,1.191164e-06,1.174596e-06,1.142705e-06,1.112011e-06,1.082487e-06,1.054109e-06,1.026848e-06,1.000676e-06,9.755632e-07,9.514807e-07,9.283986e-07,9.062872e-07,8.851166e-07,8.648573e-07,8.454799e-07,8.269556e-07,8.092558e-07,7.923524e-07,7.762180e-07,7.608256e-07,7.461489e-07,7.321621e-07,7.188401e-07,7.061584e-07,6.940933e-07,6.826215e-07,6.717206e-07,6.613687e-07,6.515447e-07,6.422280e-07,6.333987e-07,6.250376e-07,6.171259e-07,6.096457e-07,6.025794e-07,5.959101e-07,5.896216e-07,5.836981e-07,5.781243e-07,5.728855e-07,5.679675e-07,5.633567e-07,5.590398e-07,5.550040e-07,5.512370e-07,5.477270e-07,5.444625e-07,5.414326e-07,5.386265e-07,5.360340e-07,5.336453e-07
0.000000e+00,2.088436e-10,1.843555e-08,1.969165e-08,2.907402e-07,1.918797e-06,2.054885e-06,9.259250e-06,2.809726e-05,2.990583e-05,7.441150e-05,1.432636e-04,1.505923e-04,2.591148e-04,3.789409e-04,3.932024e-04,5.419421e-04,6.760101e-04,6.941279e-04,8.407014e-04,9.575366e-04,9.755605e-04,1.095336e-03,1.183297e-03,1.198731e-03,1.285828e-03,1.345696e-03,1.357519e-03,1.415111e-03,1.452016e-03,1.460067e-03,1.493854e-03,1.513353e-03,1.517864e-03,1.533376e-03,1.540196e-03,1.541544e-03,1.543396e-03,1.541240e-03,1.539843e-03,1.531686e-03,1.523359e-03,1.519627e-03,1.504283e-03,1.491878e-03,1.486191e-03,1.465821e-03,1.450879e-03,1.443582e-03,1.419830e-03,1.403476e-03,1.394873e-03,1.368982e-03,1.352029e-03,1.342387e-03,1.315290e-03,1.298315e-03,1.287864e-03,1.260259e-03,1.243664e-03,1.232602e-03,1.205003e-03,1.189060e-03,1.177556e-03,1.150339e-03,1.135223e-03,1.123419e-03,1.096854e-03,1.082672e-03,1.070689e-03,1.044962e-03,1.031769e-03,1.019706e-03,9.949446e-04,9.827559e-04,9.706980e-04,9.469812e-04,9.357887e-04,9.238050e-04,9.011768e-04,8.909531e-04,8.791009e-04,8.575789e-04,8.482848e-04,8.366105e-04,8.161932e-04,8.077813e-04,7.963229e-04,7.769942e-04,7.694129e-04,7.582005e-04,7.399343e-04,7.331297e-04,7.221871e-04,7.049499e-04,6.988676e-04,6.882133e-04,6.719671e-04,6.665534e-04,6.562012e-04,6.409049e-04,6.361075e-04,6.260675e-04,6.116783e-04,6.074473e-04,5.977262e-04,5.842005e-04,5.804883e-04,5.710903e-04,5.583848e-04,5.551463e-04,5.460732e-04,5.341450e-04,5.313381e-04,5.225897e-04,5.113971e-04,5.089824e-04,5.005570e-04,4.900595e-04,4.880003e-04,4.798949e-04,4.700535e-04,4.683157e-04,4.605261e-04,4.513034e-04,4.498555e-04,4.423767e-04,4.337371e-04,4.325500e-04,4.253761e-04,4.172855e-04,4.163324e-04,4.094571e-04,4.018831e-04,4.011394e-04,3.945558e-04,3.874678e-04,3.869109e-04,3.806118e-04,3.739807e-04,3.735898e-04,3.675677e-04,3.613660e-04,3.611223e-04,3.553694e-04,3.495713e-04,3.494573e-04,3.439657e-04,3.385467e-04,3.283450e-04,3.188095e-04,3.098996e-04,3.015775e-04,2.938072e-04,2.865552e-04,2.797896e-04,2.734807e-04,2.676004e-04,2.621222e-04,2.570215e-04,2.522749e-04,2.478605e-04,2.437576e-04,2.399470e-04,2.364104e-04,2.331308e-04,2.300920e-04,2.272790e-04,2.246777e-04,2.222746e-04,2.200574e-04,2.180142e-04,2.161339e-04,2.144064e-04,2.128217e-04,2.113707e-04,2.100449e-04,2.088361e-04,2.077369e-04,2.067400e-04,2.058387e-04,2.050269e-04,2.042985e-04,2.036481e-04,2.030704e-04,2.025606e-04,2.021140e-04,2.017263e-04,2.013936e-04,2.011120e-04,2.008779e-04,2.006880e-04,2.005391e-04,2.004284e-04,2.003529e-04,2.003102e-04,2.002978e-04,2.003134e-04
0.000000e+00,8.284064e-10,7.287238e-08,7.805110e-08,1.320984e-06,8.882461e-06,9.490878e-06,3.755736e-05,9.086169e-05,9.510580e-05,1.763100e-04,2.605531e-04,2.680108e-04,3.605417e-04,4.406914e-04,4.493452e-04,5.328395e-04,6.016380e-04,6.106815e-04,6.829502e-04,7.407992e-04,7.498508e-04,8.116185e-04,8.597117e-04,8.684924e-04,9.207091e-04,9.602148e-04,9.685012e-04,1.012097e-03,1.044101e-03,1.051718e-03,1.087582e-03,1.113082e-03,1.119897e-03,1.148867e-03,1.168766e-03,1.174685e-03,1.197538e-03,1.212647e-03,1.217606e-03,1.235057e-03,1.246092e-03,1.250053e-03,1.262749e-03,1.270345e-03,1.273290e-03,1.281816e-03,1.286530e-03,1.288458e-03,1.293342e-03,1.295660e-03,1.296586e-03,1.298301e-03,1.298646e-03,1.298594e-03,1.297564e-03,1.296304e-03,1.295308e-03,1.291913e-03,1.289365e-03,1.287465e-03,1.282044e-03,1.278483e-03,1.275724e-03,1.268578e-03,1.264240e-03,1.260672e-03,1.252069e-03,1.247155e-03,1.242830e-03,1.233010e-03,1.227691e-03,1.222661e-03,1.211835e-03,1.206257e-03,1.200577e-03,1.188932e-03,1.183217e-03,1.176941e-03,1.164642e-03,1.158891e-03,1.152072e-03,1.139266e-03,1.133565e-03,1.126255e-03,1.113070e-03,1.107487e-03,1.099738e-03,1.086285e-03,1.080876e-03,1.072737e-03,1.059116e-03,1.053925e-03,1.045444e-03,1.031740e-03,1.026802e-03,1.018023e-03,1.004310e-03,9.996517e-04,9.906179e-04,9.769610e-04,9.726005e-04,9.633531e-04,9.498071e-04,9.457571e-04,9.363347e-04,9.229468e-04,9.192147e-04,9.096533e-04,8.964636e-04,8.930523e-04,8.833860e-04,8.704281e-04,8.673369e-04,8.575971e-04,8.448993e-04,8.421242e-04,8.323404e-04,8.199257e-04,8.174604e-04,8.076598e-04,7.955468e-04,7.933831e-04,7.835906e-04,7.717943e-04,7.699219e-04,7.601607e-04,7.486924e-04,7.471001e-04,7.373914e-04,7.262594e-04,7.249350e-04,7.152979e-04,7.045080e-04,7.034384e-04,6.938905e-04,6.834461e-04,6.826181e-04,6.731751e-04,6.630776e-04,6.624773e-04,6.531536e-04,6.434027e-04,6.430163e-04,6.338246e-04,6.244185e-04,6.242321e-04,6.151837e-04,6.061193e-04,5.886703e-04,5.718754e-04,5.557236e-04,5.402025e-04,5.252986e-04,5.109976e-04,4.972843e-04,4.841431e-04,4.715581e-04,4.595130e-04,4.479913e-04,4.369765e-04,4.264520e-04,4.164014e-04,4.068084e-04,3.976569e-04,3.889310e-04,3.806151e-04,3.726939e-04,3.651523e-04,3.579758e-04,3.511500e-04,3.446609e-04,3.384951e-04,3.326394e-04,3.270811e-04,3.218077e-04,3.168073e-04,3.120684e-04,3.075798e-04,3.033307e-04,2.993105e-04,2.955094e-04,2.919176e-04,2.885258e-04,2.853249e-04,2.823065e-04,2.794621e-04,2.767837e-04,2.742638e-04,2.718949e-04,2.696700e-04,2.675822e-04,2.656252e-04,2.637925e-04,2.620783e-04,2.604767e-04,2.589824e-04,2.575900e-04
0.000000e+00,1.598020e-10,1.458056e-08,1.558977e-08,2.462231e-07,1.763884e-06,1.895540e-06,9.266813e-06,2.986122e-05,3.188210e-05,8.242297e-05,1.613582e-04,1.697603e-04,2.940277e-04,4.313805e-04,4.477822e-04,6.202301e-04,7.790686e-04,8.008799e-04,9.814046e-04,1.132106e-03,1.156051e-03,1.321294e-03,1.451420e-03,1.475253e-03,1.617147e-03,1.724415e-03,1.746879e-03,1.864745e-03,1.950833e-03,1.971256e-03,2.067023e-03,2.134683e-03,2.152699e-03,2.228940e-03,2.280967e-03,2.296385e-03,2.355649e-03,2.394581e-03,2.407315e-03,2.451934e-03,2.479990e-03,2.490026e-03,2.522078e-03,2.541166e-03,2.548546e-03,2.569857e-03,2.581607e-03,2.586410e-03,2.598580e-03,2.604380e-03,2.606714e-03,2.611137e-03,2.612161e-03,2.612153e-03,2.610045e-03,2.607285e-03,2.605076e-03,2.597491e-03,2.591781e-03,2.587520e-03,2.575376e-03,2.567415e-03,2.561256e-03,2.545344e-03,2.535716e-03,2.527813e-03,2.508822e-03,2.498011e-03,2.488518e-03,2.467039e-03,2.455448e-03,2.444512e-03,2.421057e-03,2.409016e-03,2.396783e-03,2.371791e-03,2.359569e-03,2.346177e-03,2.320027e-03,2.307840e-03,2.293421e-03,2.266436e-03,2.254459e-03,2.239139e-03,2.211594e-03,2.199966e-03,2.183860e-03,2.155992e-03,2.144818e-03,2.128038e-03,2.100045e-03,2.089406e-03,2.072055e-03,2.044106e-03,2.034061e-03,2.016233e-03,1.988470e-03,1.979060e-03,1.960845e-03,1.933385e-03,1.924636e-03,1.906114e-03,1.879055e-03,1.870982e-03,1.852228e-03,1.825651e-03,1.818257e-03,1.799340e-03,1.773310e-03,1.766590e-03,1.747574e-03,1.722143e-03,1.716086e-03,1.697027e-03,1.672236e-03,1.666826e-03,1.647777e-03,1.623657e-03,1.618874e-03,1.599881e-03,1.576455e-03,1.572276e-03,1.553383e-03,1.530666e-03,1.527065e-03,1.508309e-03,1.486312e-03,1.483261e-03,1.464677e-03,1.443405e-03,1.440876e-03,1.422495e-03,1.401946e-03,1.399911e-03,1.381759e-03,1.361932e-03,1.360362e-03,1.342464e-03,1.323351e-03,1.322216e-03,1.304593e-03,1.286186e-03,1.285457e-03,1.268128e-03,1.250415e-03,1.250064e-03,1.233045e-03,1.216014e-03,1.183279e-03,1.151830e-03,1.121636e-03,1.092665e-03,1.064883e-03,1.038256e-03,1.012751e-03,9.883313e-04,9.649638e-04,9.426137e-04,9.212471e-04,9.008302e-04,8.813301e-04,8.627141e-04,8.449505e-04,8.280080e-04,8.118563e-04,7.964657e-04,7.818073e-04,7.678531e-04,7.545758e-04,7.419490e-04,7.299469e-04,7.185449e-04,7.077189e-04,6.974455e-04,6.877024e-04,6.784678e-04,6.697207e-04,6.614408e-04,6.536087e-04,6.462055e-04,6.392129e-04,6.326135e-04,6.263903e-04,6.205270e-04,6.150080e-04,6.098181e-04,6.049427e-04,6.003680e-04,5.960803e-04,5.920668e-04,5.883148e-04,5.848125e-04,5.815482e-04,5.785109e-04,5.756898e-04,5.730746e-04,5.706556e-04
0.000000e+00,5.700003e-09,1.256126e-07,1.319226e-07,9.204821e-07,2.855019e-06,2.956191e-06,5.636566e-06,8.078350e-06,8.226965e-06,1.056295e-05,1.248166e-05,1.263852e-05,1.447231e-05,1.593364e-05,1.608564e-05,1.749888e-05,1.859195e-05,1.873079e-05,1.979860e-05,2.059769e-05,2.071803e-05,2.150357e-05,2.206972e-05,2.216852e-05,2.272504e-05,2.310829e-05,2.318422e-05,2.355612e-05,2.379699e-05,2.384991e-05,2.407387e-05,2.420493e-05,2.423550e-05,2.434159e-05,2.438885e-05,2.439825e-05,2.441102e-05,2.439515e-05,2.438487e-05,2.432429e-05,2.426164e-05,2.423332e-05,2.411561e-05,2.401906e-05,2.397441e-05,2.381269e-05,2.369235e-05,2.363307e-05,2.343795e-05,2.330171e-05,2.322943e-05,2.300945e-05,2.286345e-05,2.277972e-05,2.254177e-05,2.239073e-05,2.229698e-05,2.204659e-05,2.189412e-05,2.179168e-05,2.153325e-05,2.138209e-05,2.127216e-05,2.100922e-05,2.086141e-05,2.074509e-05,2.048042e-05,2.033746e-05,2.021574e-05,1.995153e-05,1.981448e-05,1.968824e-05,1.942623e-05,1.929582e-05,1.916585e-05,1.890737e-05,1.878406e-05,1.865106e-05,1.839714e-05,1.828120e-05,1.814581e-05,1.789722e-05,1.778875e-05,1.765152e-05,1.740883e-05,1.730782e-05,1.716925e-05,1.693287e-05,1.683923e-05,1.669976e-05,1.646996e-05,1.638352e-05,1.624353e-05,1.602049e-05,1.594104e-05,1.580088e-05,1.558469e-05,1.551197e-05,1.537195e-05,1.516264e-05,1.509638e-05,1.495676e-05,1.475430e-05,1.469423e-05,1.455524e-05,1.435957e-05,1.430538e-05,1.416724e-05,1.397825e-05,1.392965e-05,1.379256e-05,1.361013e-05,1.356682e-05,1.343093e-05,1.325492e-05,1.321662e-05,1.308206e-05,1.291233e-05,1.287875e-05,1.274566e-05,1.258203e-05,1.255289e-05,1.242139e-05,1.226369e-05,1.223873e-05,1.210890e-05,1.195697e-05,1.193593e-05,1.180786e-05,1.166153e-05,1.164415e-05,1.151792e-05,1.137699e-05,1.136305e-05,1.123871e-05,1.110303e-05,1.109229e-05,1.096991e-05,1.083930e-05,1.083154e-05,1.071116e-05,1.058545e-05,1.058047e-05,1.046212e-05,1.034115e-05,1.033875e-05,1.022247e-05,1.010607e-05,9.882111e-06,9.666577e-06,9.459171e-06,9.259608e-06,9.067609e-06,8.882905e-06,8.705235e-06,8.534347e-06,8.369995e-06,8.211943e-06,8.059963e-06,7.913834e-06,7.773342e-06,7.638282e-06,7.508454e-06,7.383667e-06,7.263735e-06,7.148479e-06,7.037727e-06,6.931313e-06,6.829076e-06,6.730862e-06,6.636520e-06,6.545908e-06,6.458887e-06,6.375321e-06,6.295084e-06,6.218050e-06,6.144099e-06,6.073117e-06,6.004990e-06,5.939613e-06,5.876882e-06,5.816696e-06,5.758961e-06,5.703582e-06,5.650472e-06,5.599543e-06,5.550713e-06,5.503903e-06,5.459034e-06,5.416034e-06,5.374830e-06,5.335353e-06,5.297538e-06,5.261319e-06,5.226637e-06,5.193431e-06,5.161644e-06
0.000000e+00,5.461854e-10,5.514884e-08,5.919321e-08,1.108373e-06,8.212569e-06,8.810129e-06,3.844450e-05,1.019007e-04,1.072802e-04,2.182293e-04,3.474113e-04,3.594439e-04,5.154253e-04,6.585316e-04,6.743205e-04,8.291807e-04,9.593896e-04,9.766371e-04,1.115360e-03,1.227412e-03,1.245020e-03,1.365725e-03,1.460407e-03,1.477766e-03,1.581504e-03,1.660643e-03,1.677323e-03,1.765613e-03,1.831081e-03,1.846756e-03,1.921128e-03,1.974671e-03,1.989091e-03,2.050995e-03,2.094199e-03,2.107178e-03,2.157961e-03,2.192245e-03,2.203652e-03,2.244545e-03,2.271175e-03,2.280921e-03,2.313045e-03,2.333140e-03,2.341173e-03,2.365543e-03,2.380086e-03,2.386386e-03,2.403917e-03,2.413775e-03,2.418344e-03,2.429861e-03,2.435791e-03,2.438653e-03,2.444896e-03,2.447560e-03,2.448756e-03,2.450390e-03,2.450365e-03,2.449948e-03,2.447568e-03,2.445354e-03,2.443387e-03,2.437528e-03,2.433560e-03,2.430112e-03,2.421251e-03,2.415903e-03,2.411052e-03,2.399615e-03,2.393211e-03,2.387036e-03,2.373403e-03,2.366219e-03,2.358802e-03,2.343313e-03,2.335585e-03,2.327011e-03,2.309966e-03,2.301895e-03,2.292247e-03,2.273916e-03,2.265672e-03,2.255032e-03,2.235652e-03,2.227377e-03,2.215827e-03,2.195609e-03,2.187422e-03,2.175043e-03,2.154172e-03,2.146170e-03,2.133039e-03,2.111681e-03,2.103945e-03,2.090135e-03,2.068435e-03,2.061028e-03,2.046613e-03,2.024698e-03,2.017670e-03,2.002719e-03,1.980700e-03,1.974091e-03,1.958667e-03,1.936643e-03,1.930481e-03,1.914648e-03,1.892702e-03,1.887007e-03,1.870824e-03,1.849031e-03,1.843815e-03,1.827338e-03,1.805761e-03,1.801030e-03,1.784312e-03,1.763004e-03,1.758761e-03,1.741849e-03,1.720858e-03,1.717098e-03,1.700040e-03,1.679405e-03,1.676120e-03,1.658959e-03,1.638712e-03,1.635894e-03,1.618670e-03,1.598838e-03,1.596473e-03,1.579223e-03,1.559830e-03,1.557903e-03,1.540662e-03,1.521723e-03,1.520218e-03,1.503018e-03,1.484549e-03,1.483449e-03,1.466319e-03,1.448329e-03,1.447615e-03,1.430582e-03,1.413080e-03,1.412732e-03,1.395822e-03,1.378811e-03,1.345855e-03,1.313868e-03,1.282846e-03,1.252783e-03,1.223672e-03,1.195502e-03,1.168260e-03,1.141933e-03,1.116504e-03,1.091957e-03,1.068274e-03,1.045436e-03,1.023424e-03,1.002218e-03,9.817986e-04,9.621448e-04,9.432363e-04,9.250524e-04,9.075727e-04,8.907766e-04,8.746439e-04,8.591543e-04,8.442880e-04,8.300254e-04,8.163470e-04,8.032340e-04,7.906676e-04,7.786297e-04,7.671022e-04,7.560677e-04,7.455090e-04,7.354096e-04,7.257530e-04,7.165235e-04,7.077056e-04,6.992843e-04,6.912449e-04,6.835732e-04,6.762555e-04,6.692782e-04,6.626285e-04,6.562937e-04,6.502615e-04,6.445202e-04,6.390582e-04,6.338643e-04,6.289279e-04,6.242384e-04,6.197859e-04
0.000000e+00,4.259022e-09,8.220621e-08,8.616258e-08,6.029051e-07,2.205436e-06,2.306185e-06,5.795456e-06,1.041467e-05,1.073296e-05,1.610517e-05,2.086768e-05,2.126705e-05,2.603676e-05,2.997430e-05,3.039141e-05,3.434577e-05,3.751265e-05,3.792276e-05,4.114656e-05,4.365470e-05,4.404095e-05,4.662879e-05,4.858167e-05,4.893190e-05,5.097100e-05,5.245980e-05,5.276563e-05,5.433422e-05,5.543798e-05,5.569403e-05,5.686126e-05,5.764776e-05,5.785101e-05,5.867738e-05,5.920427e-05,5.935351e-05,5.989164e-05,6.020773e-05,6.030314e-05,6.059860e-05,6.074502e-05,6.078784e-05,6.088000e-05,6.089131e-05,6.088356e-05,6.080637e-05,6.071151e-05,6.065573e-05,6.043841e-05,6.026151e-05,6.016067e-05,5.982831e-05,5.958943e-05,5.944670e-05,5.902081e-05,5.873656e-05,5.855525e-05,5.805425e-05,5.773830e-05,5.752176e-05,5.696138e-05,5.662492e-05,5.637647e-05,5.577011e-05,5.542226e-05,5.514515e-05,5.450421e-05,5.415231e-05,5.384969e-05,5.318381e-05,5.283374e-05,5.250861e-05,5.182595e-05,5.148237e-05,5.113755e-05,5.044498e-05,5.011149e-05,4.974968e-05,4.905295e-05,4.873231e-05,4.835600e-05,4.765991e-05,4.735416e-05,4.696568e-05,4.627421e-05,4.598481e-05,4.558631e-05,4.490273e-05,4.463065e-05,4.422412e-05,4.355109e-05,4.329692e-05,4.288418e-05,4.222385e-05,4.198784e-05,4.157055e-05,4.092465e-05,4.070678e-05,4.028647e-05,3.965632e-05,3.945640e-05,3.903443e-05,3.842105e-05,3.823871e-05,3.781633e-05,3.722045e-05,3.705521e-05,3.663353e-05,3.605568e-05,3.590693e-05,3.548696e-05,3.492745e-05,3.479455e-05,3.437718e-05,3.383618e-05,3.371840e-05,3.330444e-05,3.278197e-05,3.267858e-05,3.226873e-05,3.176470e-05,3.167495e-05,3.126982e-05,3.078405e-05,3.070717e-05,3.030731e-05,2.983955e-05,2.977477e-05,2.938067e-05,2.893058e-05,2.887716e-05,2.848921e-05,2.805645e-05,2.801365e-05,2.763220e-05,2.721636e-05,2.718345e-05,2.680881e-05,2.640944e-05,2.638573e-05,2.601814e-05,2.563480e-05,2.561963e-05,2.525929e-05,2.489150e-05,2.488422e-05,2.453130e-05,2.417858e-05,2.350175e-05,2.285279e-05,2.223074e-05,2.163467e-05,2.106364e-05,2.051673e-05,1.999304e-05,1.949170e-05,1.901182e-05,1.855259e-05,1.811318e-05,1.769281e-05,1.729071e-05,1.690613e-05,1.653836e-05,1.618671e-05,1.585051e-05,1.552912e-05,1.522192e-05,1.492831e-05,1.464773e-05,1.437961e-05,1.412343e-05,1.387869e-05,1.364489e-05,1.342157e-05,1.320827e-05,1.300457e-05,1.281006e-05,1.262433e-05,1.244701e-05,1.227774e-05,1.211616e-05,1.196195e-05,1.181478e-05,1.167435e-05,1.154037e-05,1.141255e-05,1.129063e-05,1.117435e-05,1.106346e-05,1.095773e-05,1.085693e-05,1.076085e-05,1.066928e-05,1.058203e-05,1.049890e-05,1.041971e-05,1.034430e-05
0.000000e+00,7.345099e-10,1.017459e-07,1.097431e-07,2.615411e-06,2.580823e-05,2.806272e-05,1.784576e-04,7.108295e-04,7.688716e-04,2.468264e-03,5.937961e-03,6.362844e-03,1.392649e-02,2.532981e-02,2.692958e-02,4.731948e-02,7.296233e-02,7.709650e-02,1.181998e-01,1.639717e-01,1.724110e-01,2.412795e-01,3.113892e-01,3.260680e-01,4.277198e-01,5.240946e-01,5.468426e-01,6.837080e-01,8.059497e-01,8.382628e-01,1.010150e+00,1.155854e+00,1.198734e+00,1.403138e+00,1.568401e+00,1.622271e+00,1.854871e+00,2.034844e+00,2.099535e+00,2.354757e+00,2.544170e+00,2.618958e+00,2.890518e+00,3.084112e+00,3.167800e+00,3.449179e+00,3.642040e+00,3.733058e+00,4.017889e+00,4.205677e+00,4.302190e+00,4.584552e+00,4.763631e+00,4.863652e+00,5.138260e+00,5.305762e+00,5.407247e+00,5.669580e+00,5.823396e+00,5.924333e+00,6.170680e+00,6.309420e+00,6.407897e+00,6.635361e+00,6.758280e+00,6.852543e+00,7.059005e+00,7.165911e+00,7.254398e+00,7.438456e+00,7.529619e+00,7.610986e+00,7.771872e+00,7.847928e+00,7.921060e+00,8.058562e+00,8.120429e+00,8.184444e+00,8.298820e+00,8.347612e+00,8.401851e+00,8.493733e+00,8.530689e+00,8.574703e+00,8.645023e+00,8.671451e+00,8.704985e+00,8.754904e+00,8.772134e+00,8.795113e+00,8.825960e+00,8.835301e+00,8.847803e+00,8.861012e+00,8.863725e+00,8.865961e+00,8.863030e+00,8.860306e+00,8.852599e+00,8.835048e+00,8.827989e+00,8.810755e+00,8.780096e+00,8.769712e+00,8.743440e+00,8.701149e+00,8.688347e+00,8.653582e+00,8.601084e+00,8.586669e+00,8.543996e+00,8.482647e+00,8.467325e+00,8.417356e+00,8.348434e+00,8.332813e+00,8.276177e+00,8.200874e+00,8.185472e+00,8.122801e+00,8.042223e+00,8.027473e+00,7.959394e+00,7.874557e+00,7.860813e+00,7.787944e+00,7.699776e+00,7.687321e+00,7.610263e+00,7.519605e+00,7.508658e+00,7.427990e+00,7.335599e+00,7.326324e+00,7.242602e+00,7.149157e+00,7.141666e+00,7.055416e+00,6.961521e+00,6.955885e+00,6.867605e+00,6.773794e+00,6.770045e+00,6.680204e+00,6.586945e+00,6.585084e+00,6.494119e+00,6.401822e+00,6.220972e+00,6.043147e+00,5.868873e+00,5.698591e+00,5.532673e+00,5.371419e+00,5.215077e+00,5.063836e+00,4.917843e+00,4.777200e+00,4.641973e+00,4.512196e+00,4.387875e+00,4.268991e+00,4.155502e+00,4.047348e+00,3.944452e+00,3.846724e+00,3.754060e+00,3.666348e+00,3.583465e+00,3.505282e+00,3.431665e+00,3.362472e+00,3.297559e+00,3.236779e+00,3.179982e+00,3.127016e+00,3.077729e+00,3.031968e+00,2.989581e+00,2.950416e+00,2.914321e+00,2.881149e+00,2.850750e+00,2.822981e+00,2.797697e+00,2.774759e+00,2.754030e+00,2.735375e+00,2.718665e+00,2.703772e+00,2.690574e+00,2.678951e+00,2.668788e+00,2.659975e+00,2.652404e+00,2.645974e+00,2.640585e+00
0.000000e+00,9.679829e-10,1.201449e-08,1.252147e-08,7.110391e-08,2.297987e-07,2.392170e-07,5.390104e-07,8.823101e-07,9.046075e-07,1.268214e-06,1.580727e-06,1.606742e-06,1.916027e-06,2.169751e-06,2.196549e-06,2.449829e-06,2.651546e-06,2.677586e-06,2.881537e-06,3.039167e-06,3.063348e-06,3.224620e-06,3.345335e-06,3.366879e-06,3.491570e-06,3.581669e-06,3.600061e-06,3.693636e-06,3.758567e-06,3.773497e-06,3.840767e-06,3.885178e-06,3.896501e-06,3.941677e-06,3.969512e-06,3.977204e-06,4.003929e-06,4.018501e-06,4.022634e-06,4.034034e-06,4.038086e-06,4.038780e-06,4.037480e-06,4.033277e-06,4.030699e-06,4.018989e-06,4.008476e-06,4.002863e-06,3.982767e-06,3.967531e-06,3.959113e-06,3.932278e-06,3.913598e-06,3.902613e-06,3.870437e-06,3.849356e-06,3.836043e-06,3.799702e-06,3.777066e-06,3.761661e-06,3.722148e-06,3.698639e-06,3.681372e-06,3.639522e-06,3.615683e-06,3.596773e-06,3.553284e-06,3.529544e-06,3.509200e-06,3.464655e-06,3.441350e-06,3.419769e-06,3.374652e-06,3.352038e-06,3.329404e-06,3.284115e-06,3.262387e-06,3.238868e-06,3.193736e-06,3.173033e-06,3.148787e-06,3.104079e-06,3.084499e-06,3.059669e-06,3.015603e-06,2.997208e-06,2.971925e-06,2.928674e-06,2.911501e-06,2.885884e-06,2.843585e-06,2.827645e-06,2.801803e-06,2.760561e-06,2.745850e-06,2.719879e-06,2.679773e-06,2.666271e-06,2.640259e-06,2.601348e-06,2.589026e-06,2.563051e-06,2.525374e-06,2.514193e-06,2.488324e-06,2.451905e-06,2.441822e-06,2.416121e-06,2.380973e-06,2.371939e-06,2.346461e-06,2.312584e-06,2.304548e-06,2.279341e-06,2.246728e-06,2.239638e-06,2.214743e-06,2.183381e-06,2.177183e-06,2.152637e-06,2.122506e-06,2.117146e-06,2.092981e-06,2.064056e-06,2.059483e-06,2.035725e-06,2.007979e-06,2.004141e-06,1.980812e-06,1.954216e-06,1.951062e-06,1.928182e-06,1.902702e-06,1.900185e-06,1.877769e-06,1.853373e-06,1.851444e-06,1.829505e-06,1.806157e-06,1.804773e-06,1.783321e-06,1.760987e-06,1.760104e-06,1.739147e-06,1.717792e-06,1.717369e-06,1.696912e-06,1.676500e-06,1.637427e-06,1.600084e-06,1.564405e-06,1.530324e-06,1.497779e-06,1.466707e-06,1.437048e-06,1.408744e-06,1.381737e-06,1.355975e-06,1.331403e-06,1.307970e-06,1.285628e-06,1.264329e-06,1.244029e-06,1.224682e-06,1.206247e-06,1.188685e-06,1.171955e-06,1.156022e-06,1.140850e-06,1.126404e-06,1.112652e-06,1.099564e-06,1.087108e-06,1.075257e-06,1.063982e-06,1.053259e-06,1.043061e-06,1.033366e-06,1.024149e-06,1.015390e-06,1.007067e-06,9.991602e-07,9.916505e-07,9.845196e-07,9.777502e-07,9.713255e-07,9.652297e-07,9.594474e-07,9.539642e-07,9.487662e-07,9.438400e-07,9.391730e-07,9.347531e-07,9.305688e-07,9.266089e-07,9.228629e-07,9.193209e-07
0.000000e+00,5.364179e-09,1.506003e-07,1.584393e-07,1.352227e-06,6.014573e-06,6.334388e-06,1.816379e-05,3.419723e-05,3.529135e-05,5.362353e-05,6.986035e-05,7.122709e-05,8.764595e-05,1.013605e-04,1.028231e-04,1.167915e-04,1.281266e-04,1.296052e-04,1.413227e-04,1.505682e-04,1.520033e-04,1.617055e-04,1.691413e-04,1.704867e-04,1.784022e-04,1.842845e-04,1.855055e-04,1.918477e-04,1.964064e-04,1.974777e-04,2.024420e-04,2.058805e-04,2.067848e-04,2.105481e-04,2.130450e-04,2.137714e-04,2.164914e-04,2.182006e-04,2.187428e-04,2.205586e-04,2.216137e-04,2.219698e-04,2.230059e-04,2.235232e-04,2.236953e-04,2.240661e-04,2.241488e-04,2.241428e-04,2.239484e-04,2.236823e-04,2.235047e-04,2.228316e-04,2.222894e-04,2.219483e-04,2.208727e-04,2.201165e-04,2.196212e-04,2.182096e-04,2.172919e-04,2.166525e-04,2.149635e-04,2.139286e-04,2.131555e-04,2.112405e-04,2.101255e-04,2.092295e-04,2.071332e-04,2.059691e-04,2.049611e-04,2.027225e-04,2.015349e-04,2.004257e-04,1.980787e-04,1.968887e-04,1.956889e-04,1.932630e-04,1.920876e-04,1.908074e-04,1.883279e-04,1.871809e-04,1.858302e-04,1.833191e-04,1.822113e-04,1.807995e-04,1.782755e-04,1.772152e-04,1.757513e-04,1.732305e-04,1.722239e-04,1.707165e-04,1.682125e-04,1.672642e-04,1.657212e-04,1.632454e-04,1.623583e-04,1.607873e-04,1.583492e-04,1.575252e-04,1.559331e-04,1.535408e-04,1.527805e-04,1.511738e-04,1.488336e-04,1.481370e-04,1.465216e-04,1.442390e-04,1.436052e-04,1.419866e-04,1.397656e-04,1.391933e-04,1.375766e-04,1.354204e-04,1.349078e-04,1.332975e-04,1.312084e-04,1.307534e-04,1.291536e-04,1.271334e-04,1.267336e-04,1.251481e-04,1.231977e-04,1.228504e-04,1.212826e-04,1.194026e-04,1.191051e-04,1.175579e-04,1.157484e-04,1.154979e-04,1.139740e-04,1.122346e-04,1.120282e-04,1.105300e-04,1.088601e-04,1.086950e-04,1.072245e-04,1.056230e-04,1.054964e-04,1.040554e-04,1.025212e-04,1.024302e-04,1.010203e-04,9.955212e-05,9.949407e-05,9.811639e-05,9.671271e-05,9.668496e-05,9.534066e-05,9.399982e-05,9.143533e-05,8.898803e-05,8.665437e-05,8.443069e-05,8.231331e-05,8.029854e-05,7.838265e-05,7.656198e-05,7.483287e-05,7.319171e-05,7.163497e-05,7.015918e-05,6.876095e-05,6.743696e-05,6.618402e-05,6.499898e-05,6.387882e-05,6.282060e-05,6.182148e-05,6.087873e-05,5.998969e-05,5.915182e-05,5.836267e-05,5.761989e-05,5.692121e-05,5.626446e-05,5.564755e-05,5.506850e-05,5.452537e-05,5.401636e-05,5.353970e-05,5.309372e-05,5.267682e-05,5.228748e-05,5.192424e-05,5.158570e-05,5.127054e-05,5.097751e-05,5.070538e-05,5.045303e-05,5.021934e-05,5.000330e-05,4.980391e-05,4.962022e-05,4.945135e-05,4.929644e-05,4.915470e-05,4.902535e-05,4.890767e-05
0.000000e+00,2.794388e-10,6.896777e-09,7.251711e-09,4.984413e-08,1.336289e-07,1.374523e-07,2.312237e-07,3.118749e-07,3.167341e-07,3.927023e-07,4.546365e-07,4.596824e-07,5.184528e-07,5.649554e-07,5.697726e-07,6.143416e-07,6.484866e-07,6.527984e-07,6.857232e-07,7.100229e-07,7.136506e-07,7.370715e-07,7.535929e-07,7.564361e-07,7.721563e-07,7.825928e-07,7.846089e-07,7.941374e-07,7.998660e-07,8.010546e-07,8.056447e-07,8.077762e-07,8.081655e-07,8.088507e-07,8.082746e-07,8.079116e-07,8.055394e-07,8.029633e-07,8.019065e-07,7.971685e-07,7.931523e-07,7.914658e-07,7.849246e-07,7.799082e-07,7.776585e-07,7.697697e-07,7.640968e-07,7.613499e-07,7.524813e-07,7.464184e-07,7.432378e-07,7.336852e-07,7.274369e-07,7.238827e-07,7.138828e-07,7.076046e-07,7.037326e-07,6.934738e-07,6.872821e-07,6.831437e-07,6.727751e-07,6.667554e-07,6.623973e-07,6.520359e-07,6.462493e-07,6.417137e-07,6.314506e-07,6.259393e-07,6.212639e-07,6.111687e-07,6.059599e-07,6.011783e-07,5.913040e-07,5.864134e-07,5.815553e-07,5.719407e-07,5.673753e-07,5.624669e-07,5.531399e-07,5.489000e-07,5.439643e-07,5.349438e-07,5.310248e-07,5.260816e-07,5.173797e-07,5.137732e-07,5.088398e-07,5.004629e-07,4.971578e-07,4.922493e-07,4.841992e-07,4.811829e-07,4.763121e-07,4.685873e-07,4.658459e-07,4.610238e-07,4.536201e-07,4.511391e-07,4.463749e-07,4.392862e-07,4.370506e-07,4.323522e-07,4.255708e-07,4.235658e-07,4.189398e-07,4.124569e-07,4.106678e-07,4.061196e-07,3.999256e-07,3.983383e-07,3.938722e-07,3.879570e-07,3.865576e-07,3.821773e-07,3.765305e-07,3.753058e-07,3.710140e-07,3.656252e-07,3.645625e-07,3.603614e-07,3.552199e-07,3.543073e-07,3.501983e-07,3.452939e-07,3.445199e-07,3.405042e-07,3.358265e-07,3.351805e-07,3.312585e-07,3.267976e-07,3.262694e-07,3.224414e-07,3.181875e-07,3.177677e-07,3.140336e-07,3.099773e-07,3.096569e-07,3.060163e-07,3.021484e-07,3.019193e-07,2.983715e-07,2.946833e-07,2.945376e-07,2.910818e-07,2.875649e-07,2.874954e-07,2.841305e-07,2.807767e-07,2.743664e-07,2.682499e-07,2.624133e-07,2.568433e-07,2.515272e-07,2.464530e-07,2.416091e-07,2.369844e-07,2.325687e-07,2.283517e-07,2.243242e-07,2.204771e-07,2.168017e-07,2.132899e-07,2.099339e-07,2.067264e-07,2.036602e-07,2.007288e-07,1.979257e-07,1.952450e-07,1.926807e-07,1.902275e-07,1.878802e-07,1.856338e-07,1.834836e-07,1.814252e-07,1.794541e-07,1.775665e-07,1.757584e-07,1.740262e-07,1.723664e-07,1.707757e-07,1.692509e-07,1.677890e-07,1.663871e-07,1.650425e-07,1.637527e-07,1.625150e-07,1.613273e-07,1.601873e-07,1.590928e-07,1.580417e-07,1.570323e-07,1.560625e-07,1.551308e-07,1.542353e-07,1.533746e-07,1.525470e-07,1.517512e-07
0.000000e+00,2.436280e-11,2.902737e-09,3.122318e-09,6.543281e-08,5.716129e-07,6.183210e-07,3.439055e-06,1.198599e-05,1.285074e-05,3.539262e-05,7.323154e-05,7.742017e-05,1.425892e-04,2.210301e-04,2.308144e-04,3.386932e-04,4.455138e-04,4.606893e-04,5.904282e-04,7.034710e-04,7.217397e-04,8.493277e-04,9.505890e-04,9.690944e-04,1.078198e-03,1.158487e-03,1.174946e-03,1.258608e-03,1.316100e-03,1.329190e-03,1.387229e-03,1.424352e-03,1.433608e-03,1.469407e-03,1.490254e-03,1.495791e-03,1.513934e-03,1.522718e-03,1.524960e-03,1.529913e-03,1.530253e-03,1.529737e-03,1.525271e-03,1.519991e-03,1.517251e-03,1.506310e-03,1.497483e-03,1.492993e-03,1.477760e-03,1.466850e-03,1.461002e-03,1.443046e-03,1.431054e-03,1.424165e-03,1.404585e-03,1.392179e-03,1.384496e-03,1.364052e-03,1.351669e-03,1.343381e-03,1.322590e-03,1.310510e-03,1.301764e-03,1.280974e-03,1.269369e-03,1.260277e-03,1.239721e-03,1.228692e-03,1.219342e-03,1.199171e-03,1.188774e-03,1.179234e-03,1.159549e-03,1.149806e-03,1.140131e-03,1.120992e-03,1.111908e-03,1.102141e-03,1.083585e-03,1.075149e-03,1.065327e-03,1.047372e-03,1.039568e-03,1.029720e-03,1.012373e-03,1.005178e-03,9.953305e-04,9.785908e-04,9.719795e-04,9.621527e-04,9.460141e-04,9.399594e-04,9.301724e-04,9.146248e-04,9.090991e-04,8.993682e-04,8.843990e-04,8.793744e-04,8.697139e-04,8.553090e-04,8.507580e-04,8.411806e-04,8.273249e-04,8.232207e-04,8.137377e-04,8.004151e-04,7.967317e-04,7.873531e-04,7.745477e-04,7.712598e-04,7.619946e-04,7.496900e-04,7.467734e-04,7.376297e-04,7.258097e-04,7.232412e-04,7.142260e-04,7.028746e-04,7.006319e-04,6.917516e-04,6.808530e-04,6.789147e-04,6.701749e-04,6.597135e-04,6.580596e-04,6.494651e-04,6.394258e-04,6.380367e-04,6.295919e-04,6.199599e-04,6.188174e-04,6.105260e-04,6.012868e-04,6.003734e-04,5.922387e-04,5.833782e-04,5.826774e-04,5.747020e-04,5.662067e-04,5.657027e-04,5.578890e-04,5.497456e-04,5.494235e-04,5.417733e-04,5.339690e-04,5.338146e-04,5.263295e-04,5.188518e-04,5.045116e-04,4.907711e-04,4.776083e-04,4.650020e-04,4.529314e-04,4.413767e-04,4.303186e-04,4.197387e-04,4.096188e-04,3.999418e-04,3.906908e-04,3.818499e-04,3.734034e-04,3.653363e-04,3.576342e-04,3.502831e-04,3.432695e-04,3.365804e-04,3.302034e-04,3.241264e-04,3.183377e-04,3.128261e-04,3.075807e-04,3.025913e-04,2.978477e-04,2.933402e-04,2.890596e-04,2.849967e-04,2.811430e-04,2.774900e-04,2.740298e-04,2.707545e-04,2.676567e-04,2.647292e-04,2.619650e-04,2.593573e-04,2.568999e-04,2.545863e-04,2.524107e-04,2.503672e-04,2.484504e-04,2.466547e-04,2.449751e-04,2.434065e-04,2.419443e-04,2.405836e-04,2.393202e-04,2.381497e-04,2.370679e-04
0.000000e+00,3.526424e-11,4.475050e-09,4.817983e-09,1.043517e-07,9.345413e-07,1.012066e-06,5.824530e-06,2.119144e-05,2.279123e-05,6.652692e-05,1.464984e-04,1.557679e-04,3.091586e-04,5.143384e-04,5.414072e-04,8.609646e-04,1.215741e-03,1.269323e-03,1.761549e-03,2.244352e-03,2.327551e-03,2.953649e-03,3.514549e-03,3.624135e-03,4.322652e-03,4.905151e-03,5.033279e-03,5.741331e-03,6.297158e-03,6.433870e-03,7.099981e-03,7.595465e-03,7.730862e-03,8.319774e-03,8.736250e-03,8.861902e-03,9.354147e-03,9.685296e-03,9.794898e-03,1.018380e-02,1.043204e-02,1.052151e-02,1.080950e-02,1.098260e-02,1.104984e-02,1.124505e-02,1.135344e-02,1.139795e-02,1.151153e-02,1.156646e-02,1.158889e-02,1.163310e-02,1.164540e-02,1.164719e-02,1.163411e-02,1.161358e-02,1.159665e-02,1.153746e-02,1.149256e-02,1.145903e-02,1.136367e-02,1.130146e-02,1.125352e-02,1.113054e-02,1.105675e-02,1.099653e-02,1.085313e-02,1.077231e-02,1.070181e-02,1.054392e-02,1.045963e-02,1.038067e-02,1.021315e-02,1.012809e-02,1.004233e-02,9.869077e-03,9.785286e-03,9.694173e-03,9.518303e-03,9.437248e-03,9.342075e-03,9.166028e-03,9.088749e-03,8.990637e-03,8.816319e-03,8.743514e-03,8.643437e-03,8.472308e-03,8.404411e-03,8.303208e-03,8.136373e-03,8.073612e-03,7.972005e-03,7.810279e-03,7.752732e-03,7.651338e-03,7.495304e-03,7.442933e-03,7.342276e-03,7.192333e-03,7.145014e-03,7.045539e-03,6.901940e-03,6.859489e-03,6.761570e-03,6.624449e-03,6.586639e-03,6.490589e-03,6.359989e-03,6.326566e-03,6.232643e-03,6.108535e-03,6.079228e-03,5.987643e-03,5.869942e-03,5.844472e-03,5.755397e-03,5.643973e-03,5.622059e-03,5.535630e-03,5.430323e-03,5.411686e-03,5.328006e-03,5.228631e-03,5.213001e-03,5.132147e-03,5.038502e-03,5.025615e-03,4.947643e-03,4.859514e-03,4.849119e-03,4.774060e-03,4.691227e-03,4.683085e-03,4.610956e-03,4.533193e-03,4.527079e-03,4.457880e-03,4.384962e-03,4.380662e-03,4.314381e-03,4.246083e-03,4.243398e-03,4.180012e-03,4.116113e-03,4.114857e-03,4.054332e-03,3.994614e-03,3.882258e-03,3.777385e-03,3.679606e-03,3.588546e-03,3.503842e-03,3.425145e-03,3.352122e-03,3.284454e-03,3.221835e-03,3.163972e-03,3.110588e-03,3.061417e-03,3.016207e-03,2.974717e-03,2.936720e-03,2.901998e-03,2.870346e-03,2.841568e-03,2.815479e-03,2.791904e-03,2.770675e-03,2.751635e-03,2.734634e-03,2.719533e-03,2.706196e-03,2.694499e-03,2.684321e-03,2.675551e-03,2.668080e-03,2.661810e-03,2.656646e-03,2.652498e-03,2.649282e-03,2.646920e-03,2.645337e-03,2.644464e-03,2.644234e-03,2.644587e-03,2.645464e-03,2.646813e-03,2.648581e-03,2.650723e-03,2.653194e-03,2.655953e-03,2.658963e-03,2.662187e-03,2.665593e-03,2.669150e-03,2.672831e-03
0.000000e+00,1.781517e-11,2.313443e-09,2.493907e-09,5.770649e-08,5.338201e-07,5.783697e-07,3.297591e-06,1.153151e-05,1.236088e-05,3.379971e-05,6.934953e-05,7.326627e-05,1.340019e-04,2.070321e-04,2.161571e-04,3.172367e-04,4.185359e-04,4.330514e-04,5.586957e-04,6.708956e-04,6.893124e-04,8.205817e-04,9.287377e-04,9.489636e-04,1.071761e-03,1.166930e-03,1.187071e-03,1.293676e-03,1.372235e-03,1.390918e-03,1.478564e-03,1.540313e-03,1.556699e-03,1.625628e-03,1.672129e-03,1.685799e-03,1.737749e-03,1.771240e-03,1.782059e-03,1.819324e-03,1.842125e-03,1.850135e-03,1.875059e-03,1.889295e-03,1.894638e-03,1.909378e-03,1.916879e-03,1.919750e-03,1.926191e-03,1.928483e-03,1.929099e-03,1.928843e-03,1.927173e-03,1.925756e-03,1.920144e-03,1.915520e-03,1.912286e-03,1.902434e-03,1.895662e-03,1.890818e-03,1.877646e-03,1.869368e-03,1.863107e-03,1.847371e-03,1.838094e-03,1.830592e-03,1.812910e-03,1.803031e-03,1.794451e-03,1.775328e-03,1.765157e-03,1.755645e-03,1.735492e-03,1.725267e-03,1.714955e-03,1.694107e-03,1.684010e-03,1.673016e-03,1.651742e-03,1.641910e-03,1.630340e-03,1.608859e-03,1.599394e-03,1.587343e-03,1.565830e-03,1.556804e-03,1.544356e-03,1.522951e-03,1.514415e-03,1.501645e-03,1.480460e-03,1.472447e-03,1.459420e-03,1.438544e-03,1.431072e-03,1.417848e-03,1.397348e-03,1.390425e-03,1.377057e-03,1.356986e-03,1.350611e-03,1.337144e-03,1.317542e-03,1.311708e-03,1.298184e-03,1.279079e-03,1.273775e-03,1.260229e-03,1.241641e-03,1.236851e-03,1.223316e-03,1.205258e-03,1.200964e-03,1.187468e-03,1.169947e-03,1.166129e-03,1.152696e-03,1.135716e-03,1.132352e-03,1.119005e-03,1.102564e-03,1.099633e-03,1.086391e-03,1.070485e-03,1.067964e-03,1.054844e-03,1.039467e-03,1.037335e-03,1.024351e-03,1.009494e-03,1.007728e-03,9.948938e-04,9.805478e-04,9.791271e-04,9.664533e-04,9.526074e-04,9.515104e-04,9.390072e-04,9.256497e-04,9.248559e-04,9.125319e-04,8.996506e-04,8.991402e-04,8.870027e-04,8.745850e-04,8.743390e-04,8.623943e-04,8.504273e-04,8.273799e-04,8.051715e-04,7.837768e-04,7.631708e-04,7.433287e-04,7.242260e-04,7.058388e-04,6.881435e-04,6.711172e-04,6.547375e-04,6.389826e-04,6.238311e-04,6.092624e-04,5.952564e-04,5.817936e-04,5.688552e-04,5.564227e-04,5.444785e-04,5.330054e-04,5.219866e-04,5.114062e-04,5.012486e-04,4.914986e-04,4.821417e-04,4.731640e-04,4.645516e-04,4.562916e-04,4.483711e-04,4.407781e-04,4.335005e-04,4.265269e-04,4.198464e-04,4.134482e-04,4.073220e-04,4.014579e-04,3.958463e-04,3.904778e-04,3.853435e-04,3.804348e-04,3.757433e-04,3.712610e-04,3.669802e-04,3.628932e-04,3.589930e-04,3.552726e-04,3.517251e-04,3.483441e-04,3.451233e-04,3.420567e-04
0.000000e+00,1.179383e-10,1.074213e-08,1.148889e-08,1.838770e-07,1.304696e-06,1.400666e-06,6.598768e-06,2.031576e-05,2.162631e-05,5.331353e-05,1.003422e-04,1.052251e-04,1.753101e-04,2.488527e-04,2.573894e-04,3.441988e-04,4.195920e-04,4.296113e-04,5.094659e-04,5.719018e-04,5.814627e-04,6.446868e-04,6.909767e-04,6.991078e-04,7.451896e-04,7.772415e-04,7.836320e-04,8.152163e-04,8.360692e-04,8.407192e-04,8.608723e-04,8.733092e-04,8.763424e-04,8.877287e-04,8.939814e-04,8.955643e-04,9.003201e-04,9.021026e-04,9.024110e-04,9.022014e-04,9.008073e-04,9.000113e-04,8.961212e-04,8.925195e-04,8.907769e-04,8.841934e-04,8.791059e-04,8.765591e-04,8.680384e-04,8.620000e-04,8.587755e-04,8.488959e-04,8.423006e-04,8.385094e-04,8.277117e-04,8.208477e-04,8.165862e-04,8.052056e-04,7.982814e-04,7.936330e-04,7.819234e-04,7.750881e-04,7.701244e-04,7.582774e-04,7.516356e-04,7.464181e-04,7.345773e-04,7.282004e-04,7.227814e-04,7.110534e-04,7.049883e-04,6.994127e-04,6.878759e-04,6.821510e-04,6.764571e-04,6.651681e-04,6.597986e-04,6.540190e-04,6.430180e-04,6.380091e-04,6.321718e-04,6.214861e-04,6.168363e-04,6.109650e-04,6.006122e-04,5.963148e-04,5.904300e-04,5.804204e-04,5.764651e-04,5.705844e-04,5.609227e-04,5.572969e-04,5.514353e-04,5.421221e-04,5.388119e-04,5.329824e-04,5.240151e-04,5.210052e-04,5.152189e-04,5.065926e-04,5.038678e-04,4.981344e-04,4.898424e-04,4.873870e-04,4.817148e-04,4.737494e-04,4.715479e-04,4.659441e-04,4.582966e-04,4.563338e-04,4.508046e-04,4.434657e-04,4.417269e-04,4.362777e-04,4.292379e-04,4.277088e-04,4.223441e-04,4.155936e-04,4.142605e-04,4.089842e-04,4.025133e-04,4.013631e-04,3.961785e-04,3.899774e-04,3.889974e-04,3.839075e-04,3.779664e-04,3.771448e-04,3.721519e-04,3.664614e-04,3.657868e-04,3.608928e-04,3.554436e-04,3.549052e-04,3.501117e-04,3.448947e-04,3.444823e-04,3.397906e-04,3.347970e-04,3.345008e-04,3.299119e-04,3.251331e-04,3.249441e-04,3.204586e-04,3.158863e-04,3.157959e-04,3.114142e-04,3.070404e-04,2.986624e-04,2.906473e-04,2.829807e-04,2.756491e-04,2.686393e-04,2.619383e-04,2.555342e-04,2.494149e-04,2.435691e-04,2.379859e-04,2.326547e-04,2.275655e-04,2.227084e-04,2.180740e-04,2.136533e-04,2.094378e-04,2.054189e-04,2.015887e-04,1.979394e-04,1.944637e-04,1.911544e-04,1.880047e-04,1.850079e-04,1.821578e-04,1.794482e-04,1.768733e-04,1.744276e-04,1.721055e-04,1.699019e-04,1.678118e-04,1.658304e-04,1.639532e-04,1.621756e-04,1.604935e-04,1.589027e-04,1.573994e-04,1.559797e-04,1.546401e-04,1.533770e-04,1.521872e-04,1.510674e-04,1.500146e-04,1.490257e-04,1.480980e-04,1.472288e-04,1.464153e-04,1.456551e-04,1.449458e-04,1.442851e-04
0.000000e+00,6.492388e-10,4.918363e-08,5.246326e-08,7.526271e-07,4.784432e-06,5.109758e-06,2.076414e-05,5.403606e-05,5.686738e-05,1.153726e-04,1.829527e-04,1.891896e-04,2.689406e-04,3.402184e-04,3.479720e-04,4.228995e-04,4.843815e-04,4.924243e-04,5.562594e-04,6.066983e-04,6.145308e-04,6.675096e-04,7.081504e-04,7.155088e-04,7.588450e-04,7.911171e-04,7.978255e-04,8.327442e-04,8.579427e-04,8.638802e-04,8.914983e-04,9.107592e-04,9.158479e-04,9.371643e-04,9.514726e-04,9.556684e-04,9.715672e-04,9.817698e-04,9.850550e-04,9.963133e-04,1.003135e-03,1.005512e-03,1.012810e-03,1.016867e-03,1.018355e-03,1.022285e-03,1.024102e-03,1.024730e-03,1.025810e-03,1.025830e-03,1.025637e-03,1.024316e-03,1.022913e-03,1.021943e-03,1.018611e-03,1.016099e-03,1.014402e-03,1.009396e-03,1.006040e-03,1.003665e-03,9.972782e-04,9.932981e-04,9.902979e-04,9.827830e-04,9.783616e-04,9.747879e-04,9.663633e-04,9.616520e-04,9.575560e-04,9.484096e-04,9.435330e-04,9.389645e-04,9.292580e-04,9.243177e-04,9.193249e-04,9.091970e-04,9.042753e-04,8.989041e-04,8.884736e-04,8.836364e-04,8.779307e-04,8.672989e-04,8.625983e-04,8.565996e-04,8.458526e-04,8.413292e-04,8.350763e-04,8.242874e-04,8.199717e-04,8.135012e-04,8.027319e-04,7.986468e-04,7.919925e-04,7.812948e-04,7.774559e-04,7.706495e-04,7.600665e-04,7.564841e-04,7.495548e-04,7.391224e-04,7.358020e-04,7.287767e-04,7.185243e-04,7.154677e-04,7.083712e-04,6.983227e-04,6.955286e-04,6.883837e-04,6.785582e-04,6.760227e-04,6.688502e-04,6.592627e-04,6.569800e-04,6.497988e-04,6.404609e-04,6.384237e-04,6.312511e-04,6.221712e-04,6.203709e-04,6.132225e-04,6.044064e-04,6.028336e-04,5.957236e-04,5.871750e-04,5.858197e-04,5.787608e-04,5.704815e-04,5.693331e-04,5.623369e-04,5.543270e-04,5.533748e-04,5.464514e-04,5.387098e-04,5.379430e-04,5.311016e-04,5.236260e-04,5.230337e-04,5.162824e-04,5.090697e-04,5.086410e-04,5.019869e-04,4.950331e-04,4.947576e-04,4.882071e-04,4.815076e-04,4.813749e-04,4.749333e-04,4.684830e-04,4.560716e-04,4.441295e-04,4.326451e-04,4.216063e-04,4.110008e-04,4.008163e-04,3.910403e-04,3.816603e-04,3.726639e-04,3.640388e-04,3.557729e-04,3.478540e-04,3.402704e-04,3.330106e-04,3.260631e-04,3.194170e-04,3.130616e-04,3.069864e-04,3.011811e-04,2.956357e-04,2.903407e-04,2.852866e-04,2.804644e-04,2.758652e-04,2.714807e-04,2.673025e-04,2.633227e-04,2.595336e-04,2.559278e-04,2.524981e-04,2.492375e-04,2.461394e-04,2.431973e-04,2.404049e-04,2.377562e-04,2.352455e-04,2.328672e-04,2.306158e-04,2.284862e-04,2.264733e-04,2.245724e-04,2.227788e-04,2.210879e-04,2.194956e-04,2.179975e-04,2.165898e-04,2.152686e-04,2.140300e-04,2.128707e-04
0.000000e+00,5.490534e-10,6.642447e-09,6.926717e-09,4.258125e-08,1.555245e-07,1.627404e-07,4.114846e-07,7.243886e-07,7.453675e-07,1.095963e-06,1.408808e-06,1.435319e-06,1.756279e-06,2.028213e-06,2.057435e-06,2.338913e-06,2.570775e-06,2.601271e-06,2.845202e-06,3.040805e-06,3.071441e-06,3.280736e-06,3.443999e-06,3.473838e-06,3.651496e-06,3.786176e-06,3.814458e-06,3.963455e-06,4.073082e-06,4.099206e-06,4.222408e-06,4.310220e-06,4.333721e-06,4.433778e-06,4.502674e-06,4.523198e-06,4.602606e-06,4.655270e-06,4.672590e-06,4.733699e-06,4.772495e-06,4.786454e-06,4.831359e-06,4.858375e-06,4.868886e-06,4.899492e-06,4.916570e-06,4.923606e-06,4.941642e-06,4.950406e-06,4.953989e-06,4.961018e-06,4.962891e-06,4.963084e-06,4.960520e-06,4.956746e-06,4.953645e-06,4.942762e-06,4.934427e-06,4.928155e-06,4.910098e-06,4.898145e-06,4.888846e-06,4.864644e-06,4.849889e-06,4.837723e-06,4.808300e-06,4.791445e-06,4.776582e-06,4.742764e-06,4.724411e-06,4.707031e-06,4.669557e-06,4.650219e-06,4.630507e-06,4.590035e-06,4.570147e-06,4.548288e-06,4.505405e-06,4.485333e-06,4.461514e-06,4.416739e-06,4.396788e-06,4.371195e-06,4.324989e-06,4.305410e-06,4.278224e-06,4.230994e-06,4.211992e-06,4.183389e-06,4.135494e-06,4.117234e-06,4.087386e-06,4.039139e-06,4.021750e-06,3.990822e-06,3.942499e-06,3.926078e-06,3.894229e-06,3.846069e-06,3.830689e-06,3.798070e-06,3.750279e-06,3.735989e-06,3.702742e-06,3.655500e-06,3.642330e-06,3.608591e-06,3.562050e-06,3.550013e-06,3.515909e-06,3.470198e-06,3.459295e-06,3.424945e-06,3.380173e-06,3.370390e-06,3.335906e-06,3.292164e-06,3.283480e-06,3.248966e-06,3.206327e-06,3.198713e-06,3.164263e-06,3.122788e-06,3.116207e-06,3.081911e-06,3.041644e-06,3.036056e-06,3.001996e-06,2.962973e-06,2.958332e-06,2.924581e-06,2.886826e-06,2.883086e-06,2.849712e-06,2.813241e-06,2.810352e-06,2.777416e-06,2.742237e-06,2.740147e-06,2.707705e-06,2.673819e-06,2.672477e-06,2.640577e-06,2.607979e-06,2.607334e-06,2.576021e-06,2.544700e-06,2.484550e-06,2.426850e-06,2.371558e-06,2.318629e-06,2.268013e-06,2.219654e-06,2.173496e-06,2.129479e-06,2.087540e-06,2.047618e-06,2.009648e-06,1.973565e-06,1.939305e-06,1.906803e-06,1.875995e-06,1.846818e-06,1.819208e-06,1.793104e-06,1.768445e-06,1.745171e-06,1.723226e-06,1.702550e-06,1.683090e-06,1.664792e-06,1.647603e-06,1.631472e-06,1.616351e-06,1.602192e-06,1.588949e-06,1.576578e-06,1.565036e-06,1.554282e-06,1.544276e-06,1.534981e-06,1.526359e-06,1.518376e-06,1.510998e-06,1.504193e-06,1.497929e-06,1.492177e-06,1.486908e-06,1.482096e-06,1.477715e-06,1.473739e-06,1.470146e-06,1.466912e-06,1.464016e-06,1.461438e-06,1.459158e-06
0.000000e+00,5.483419e-09,3.550143e-07,3.781960e-07,5.008104e-06,2.642677e-05,2.792512e-05,8.215707e-05,1.530936e-04,1.579041e-04,2.384972e-04,3.098067e-04,3.157982e-04,3.875793e-04,4.472206e-04,4.535620e-04,5.139316e-04,5.626339e-04,5.689659e-04,6.189546e-04,6.581223e-04,6.641768e-04,7.049087e-04,7.358562e-04,7.414273e-04,7.740053e-04,7.979645e-04,8.029070e-04,8.283866e-04,8.464699e-04,8.506868e-04,8.700379e-04,8.832250e-04,8.866576e-04,9.007512e-04,9.098919e-04,9.125114e-04,9.221191e-04,9.279429e-04,9.297434e-04,9.355426e-04,9.386713e-04,9.396645e-04,9.422470e-04,9.432080e-04,9.434187e-04,9.432994e-04,9.425382e-04,9.420008e-04,9.396266e-04,9.375177e-04,9.362735e-04,9.320314e-04,9.288886e-04,9.269835e-04,9.212076e-04,9.172925e-04,9.147754e-04,9.077537e-04,9.032837e-04,9.002045e-04,8.921851e-04,8.873395e-04,8.837485e-04,8.749441e-04,8.698700e-04,8.658172e-04,8.564098e-04,8.512271e-04,8.467610e-04,8.369064e-04,8.317118e-04,8.268792e-04,8.167099e-04,8.115808e-04,8.064265e-04,7.960548e-04,7.910521e-04,7.856186e-04,7.751397e-04,7.703106e-04,7.646380e-04,7.541318e-04,7.495120e-04,7.436378e-04,7.331713e-04,7.287870e-04,7.227462e-04,7.123751e-04,7.082444e-04,7.020696e-04,6.918399e-04,6.879745e-04,6.816955e-04,6.716448e-04,6.680510e-04,6.616955e-04,6.518543e-04,6.485340e-04,6.421272e-04,6.325197e-04,6.294713e-04,6.230364e-04,6.136815e-04,6.109006e-04,6.044585e-04,5.953706e-04,5.928505e-04,5.864203e-04,5.776100e-04,5.753424e-04,5.689413e-04,5.604157e-04,5.583909e-04,5.520343e-04,5.437979e-04,5.420054e-04,5.357070e-04,5.277619e-04,5.261904e-04,5.199626e-04,5.123090e-04,5.109467e-04,5.048005e-04,4.974367e-04,4.962719e-04,4.902168e-04,4.831399e-04,4.821605e-04,4.762051e-04,4.694111e-04,4.686052e-04,4.627567e-04,4.562406e-04,4.555966e-04,4.498614e-04,4.436174e-04,4.431237e-04,4.375072e-04,4.315291e-04,4.311746e-04,4.256814e-04,4.199624e-04,4.197363e-04,4.143702e-04,4.089030e-04,4.087950e-04,4.035591e-04,3.983365e-04,3.883462e-04,3.788093e-04,3.697109e-04,3.610360e-04,3.527697e-04,3.448972e-04,3.374041e-04,3.302760e-04,3.234987e-04,3.170587e-04,3.109425e-04,3.051371e-04,2.996296e-04,2.944079e-04,2.894599e-04,2.847740e-04,2.803391e-04,2.761443e-04,2.721791e-04,2.684335e-04,2.648977e-04,2.615624e-04,2.584185e-04,2.554573e-04,2.526704e-04,2.500498e-04,2.475878e-04,2.452769e-04,2.431100e-04,2.410803e-04,2.391810e-04,2.374061e-04,2.357492e-04,2.342048e-04,2.327670e-04,2.314307e-04,2.301907e-04,2.290420e-04,2.279800e-04,2.270000e-04,2.260979e-04,2.252695e-04,2.245107e-04,2.238179e-04,2.231873e-04,2.226155e-04,2.220992e-04,2.216352e-04,2.212205e-04
0.000000e+00,9.087184e-09,2.874823e-07,3.031388e-07,2.348471e-06,7.071813e-06,7.301430e-06,1.294846e-05,1.758243e-05,1.785159e-05,2.189336e-05,2.494220e-05,2.518028e-05,2.783273e-05,2.976497e-05,2.995615e-05,3.163863e-05,3.281260e-05,3.295299e-05,3.395946e-05,3.461714e-05,3.470805e-05,3.524045e-05,3.554650e-05,3.559184e-05,3.579183e-05,3.586058e-05,3.586551e-05,3.583411e-05,3.574550e-05,3.571560e-05,3.552528e-05,3.533532e-05,3.527599e-05,3.497854e-05,3.472596e-05,3.464209e-05,3.427437e-05,3.398598e-05,3.388185e-05,3.346992e-05,3.316389e-05,3.304311e-05,3.260522e-05,3.229381e-05,3.215940e-05,3.170829e-05,3.139962e-05,3.125404e-05,3.079848e-05,3.049783e-05,3.034310e-05,2.988915e-05,2.959985e-05,2.943765e-05,2.898943e-05,2.871349e-05,2.854518e-05,2.810545e-05,2.784399e-05,2.767071e-05,2.724132e-05,2.699483e-05,2.681756e-05,2.639966e-05,2.616826e-05,2.598779e-05,2.558209e-05,2.536562e-05,2.518266e-05,2.478954e-05,2.458763e-05,2.440278e-05,2.402241e-05,2.383462e-05,2.364841e-05,2.328078e-05,2.310657e-05,2.291948e-05,2.256448e-05,2.240328e-05,2.221573e-05,2.187318e-05,2.172440e-05,2.153675e-05,2.120640e-05,2.106945e-05,2.088205e-05,2.056363e-05,2.043791e-05,2.025106e-05,1.994427e-05,1.982919e-05,1.964317e-05,1.934769e-05,1.924268e-05,1.905775e-05,1.877326e-05,1.867776e-05,1.849413e-05,1.822030e-05,1.813377e-05,1.795167e-05,1.768816e-05,1.761009e-05,1.742969e-05,1.717617e-05,1.710607e-05,1.692754e-05,1.668369e-05,1.662107e-05,1.644456e-05,1.621006e-05,1.615446e-05,1.598012e-05,1.575465e-05,1.570564e-05,1.553358e-05,1.531682e-05,1.527399e-05,1.510432e-05,1.489598e-05,1.485892e-05,1.469174e-05,1.449152e-05,1.445985e-05,1.429525e-05,1.410285e-05,1.407623e-05,1.391427e-05,1.372942e-05,1.370749e-05,1.354825e-05,1.337068e-05,1.335311e-05,1.319664e-05,1.302607e-05,1.301258e-05,1.285891e-05,1.269510e-05,1.268537e-05,1.253456e-05,1.237725e-05,1.237102e-05,1.222309e-05,1.207203e-05,1.206904e-05,1.192401e-05,1.177897e-05,1.150038e-05,1.123284e-05,1.097592e-05,1.072923e-05,1.049239e-05,1.026501e-05,1.004674e-05,9.837239e-06,9.636158e-06,9.443178e-06,9.257989e-06,9.080288e-06,8.909787e-06,8.746206e-06,8.589276e-06,8.438738e-06,8.294343e-06,8.155851e-06,8.023030e-06,7.895658e-06,7.773520e-06,7.656412e-06,7.544134e-06,7.436495e-06,7.333313e-06,7.234411e-06,7.139618e-06,7.048773e-06,6.961716e-06,6.878298e-06,6.798373e-06,6.721802e-06,6.648449e-06,6.578187e-06,6.510891e-06,6.446441e-06,6.384724e-06,6.325628e-06,6.269047e-06,6.214881e-06,6.163031e-06,6.113403e-06,6.065906e-06,6.020454e-06,5.976963e-06,5.935353e-06,5.895546e-06,5.857470e-06,5.821052e-06
0.000000e+00,2.562328e-09,1.049365e-07,1.105914e-07,9.196161e-07,3.991024e-06,4.208094e-06,1.331540e-05,3.044790e-05,3.187040e-05,6.126667e-05,9.598580e-05,9.923495e-05,1.412263e-04,1.790970e-04,1.832204e-04,2.230211e-04,2.555641e-04,2.598111e-04,2.934236e-04,3.198449e-04,3.239354e-04,3.515022e-04,3.725117e-04,3.763009e-04,3.985097e-04,4.149102e-04,4.183020e-04,4.358431e-04,4.483603e-04,4.512891e-04,4.647887e-04,4.740583e-04,4.764831e-04,4.865057e-04,4.930821e-04,4.949817e-04,5.020285e-04,5.063881e-04,5.077564e-04,5.122687e-04,5.148192e-04,5.156618e-04,5.180261e-04,5.191143e-04,5.194458e-04,5.199994e-04,5.199189e-04,5.197604e-04,5.187972e-04,5.177960e-04,5.171736e-04,5.149489e-04,5.132354e-04,5.121785e-04,5.089136e-04,5.066622e-04,5.052022e-04,5.010887e-04,4.984449e-04,4.966144e-04,4.918176e-04,4.889019e-04,4.867340e-04,4.813964e-04,4.783080e-04,4.758356e-04,4.700797e-04,4.668997e-04,4.641549e-04,4.580856e-04,4.548799e-04,4.518940e-04,4.456008e-04,4.424222e-04,4.392252e-04,4.327845e-04,4.296747e-04,4.262950e-04,4.197714e-04,4.167630e-04,4.132275e-04,4.066758e-04,4.037935e-04,4.001275e-04,3.935933e-04,3.908554e-04,3.870825e-04,3.806040e-04,3.780233e-04,3.741655e-04,3.677742e-04,3.653592e-04,3.614365e-04,3.551584e-04,3.529138e-04,3.489449e-04,3.428007e-04,3.407283e-04,3.367301e-04,3.307367e-04,3.288356e-04,3.248237e-04,3.189939e-04,3.172616e-04,3.132499e-04,3.075938e-04,3.060261e-04,3.020273e-04,2.965519e-04,2.951434e-04,2.911689e-04,2.858792e-04,2.846236e-04,2.806835e-04,2.755825e-04,2.744730e-04,2.705763e-04,2.656652e-04,2.646944e-04,2.608492e-04,2.561280e-04,2.552883e-04,2.515014e-04,2.469689e-04,2.462524e-04,2.425301e-04,2.381841e-04,2.375831e-04,2.339304e-04,2.297680e-04,2.292746e-04,2.256961e-04,2.217138e-04,2.213204e-04,2.178199e-04,2.140134e-04,2.137126e-04,2.102932e-04,2.066581e-04,2.064427e-04,2.031069e-04,1.996383e-04,1.995013e-04,1.962512e-04,1.929442e-04,1.928788e-04,1.897159e-04,1.865652e-04,1.805501e-04,1.748232e-04,1.693741e-04,1.641922e-04,1.592674e-04,1.545894e-04,1.501481e-04,1.459339e-04,1.419370e-04,1.381481e-04,1.345581e-04,1.311583e-04,1.279401e-04,1.248952e-04,1.220158e-04,1.192941e-04,1.167228e-04,1.142949e-04,1.120034e-04,1.098419e-04,1.078042e-04,1.058842e-04,1.040761e-04,1.023746e-04,1.007743e-04,9.927031e-05,9.785773e-05,9.653202e-05,9.528882e-05,9.412396e-05,9.303347e-05,9.201355e-05,9.106060e-05,9.017117e-05,8.934198e-05,8.856990e-05,8.785197e-05,8.718534e-05,8.656732e-05,8.599534e-05,8.546696e-05,8.497985e-05,8.453179e-05,8.412068e-05,8.374452e-05,8.340140e-05,8.308951e-05,8.280711e-05,8.255259e-05
0.000000e+00,2.153740e-10,2.713680e-09,2.829824e-09,1.668323e-08,5.665768e-08,5.911839e-08,1.420791e-07,2.465670e-07,2.536131e-07,3.713131e-07,4.753699e-07,4.841229e-07,5.891659e-07,6.767147e-07,6.860388e-07,7.749663e-07,8.469516e-07,8.563294e-07,9.305426e-07,9.889638e-07,9.980204e-07,1.059166e-06,1.105922e-06,1.114371e-06,1.164013e-06,1.200821e-06,1.208452e-06,1.248033e-06,1.276419e-06,1.283082e-06,1.313908e-06,1.335210e-06,1.340805e-06,1.364050e-06,1.379435e-06,1.383904e-06,1.400611e-06,1.411083e-06,1.414400e-06,1.425488e-06,1.431913e-06,1.434077e-06,1.440357e-06,1.443474e-06,1.444505e-06,1.446688e-06,1.447129e-06,1.447060e-06,1.445769e-06,1.444071e-06,1.442949e-06,1.438727e-06,1.435346e-06,1.433224e-06,1.426548e-06,1.421867e-06,1.418805e-06,1.410090e-06,1.404432e-06,1.400493e-06,1.390098e-06,1.383735e-06,1.378984e-06,1.367223e-06,1.360380e-06,1.354883e-06,1.342027e-06,1.334892e-06,1.328715e-06,1.314999e-06,1.307725e-06,1.300931e-06,1.286559e-06,1.279272e-06,1.271924e-06,1.257069e-06,1.249872e-06,1.242031e-06,1.226843e-06,1.219816e-06,1.211539e-06,1.196148e-06,1.189355e-06,1.180696e-06,1.165211e-06,1.158702e-06,1.149713e-06,1.134226e-06,1.128039e-06,1.118769e-06,1.103360e-06,1.097520e-06,1.088014e-06,1.072748e-06,1.067275e-06,1.057576e-06,1.042509e-06,1.037412e-06,1.027559e-06,1.012736e-06,1.008021e-06,9.980501e-07,9.835095e-07,9.791767e-07,9.691215e-07,9.548931e-07,9.509385e-07,9.408301e-07,9.269378e-07,9.233544e-07,9.132210e-07,8.996837e-07,8.964618e-07,8.863293e-07,8.731609e-07,8.702891e-07,8.601810e-07,8.473916e-07,8.448567e-07,8.347944e-07,8.223907e-07,8.201787e-07,8.101814e-07,7.981671e-07,7.962629e-07,7.863481e-07,7.747244e-07,7.731127e-07,7.632958e-07,7.520619e-07,7.507269e-07,7.410220e-07,7.301753e-07,7.291012e-07,7.195206e-07,7.090568e-07,7.082279e-07,6.987826e-07,6.886964e-07,6.880972e-07,6.787967e-07,6.690818e-07,6.686970e-07,6.595498e-07,6.501988e-07,6.500136e-07,6.410269e-07,6.320320e-07,6.147361e-07,5.981088e-07,5.821327e-07,5.667895e-07,5.520611e-07,5.379289e-07,5.243743e-07,5.113789e-07,4.989243e-07,4.869922e-07,4.755648e-07,4.646244e-07,4.541537e-07,4.441358e-07,4.345542e-07,4.253927e-07,4.166356e-07,4.082676e-07,4.002739e-07,3.926402e-07,3.853524e-07,3.783971e-07,3.717612e-07,3.654320e-07,3.593974e-07,3.536456e-07,3.481652e-07,3.429452e-07,3.379751e-07,3.332446e-07,3.287440e-07,3.244637e-07,3.203947e-07,3.165283e-07,3.128559e-07,3.093694e-07,3.060611e-07,3.029235e-07,2.999493e-07,2.971315e-07,2.944637e-07,2.919392e-07,2.895521e-07,2.872963e-07,2.851662e-07,2.831563e-07,2.812614e-07,2.794766e-07,2.777968e-07
0.000000e+00,2.867019e-11,3.112947e-09,3.339976e-09,6.140521e-08,4.853395e-07,5.232605e-07,2.737664e-06,9.312829e-06,9.977965e-06,2.745409e-05,5.730208e-05,6.063516e-05,1.129590e-04,1.765846e-04,1.845436e-04,2.723330e-04,3.589109e-04,3.711549e-04,4.750158e-04,5.639762e-04,5.781882e-04,6.759119e-04,7.512096e-04,7.647148e-04,8.424421e-04,8.971878e-04,9.081029e-04,9.616292e-04,9.960960e-04,1.003614e-03,1.035072e-03,1.053097e-03,1.057245e-03,1.071446e-03,1.077705e-03,1.078966e-03,1.080997e-03,1.079599e-03,1.078605e-03,1.072709e-03,1.066735e-03,1.064085e-03,1.053376e-03,1.044924e-03,1.041105e-03,1.027690e-03,1.018087e-03,1.013462e-03,9.986797e-04,9.887188e-04,9.835430e-04,9.682056e-04,9.583396e-04,9.527844e-04,9.373672e-04,9.278403e-04,9.220201e-04,9.067922e-04,8.977280e-04,8.917194e-04,8.768283e-04,8.682825e-04,8.621380e-04,8.476620e-04,8.396528e-04,8.334099e-04,8.193882e-04,8.119137e-04,8.056008e-04,7.920502e-04,7.850977e-04,7.787371e-04,7.656616e-04,7.592127e-04,7.528229e-04,7.402194e-04,7.342527e-04,7.278493e-04,7.157103e-04,7.102033e-04,7.037999e-04,6.921156e-04,6.870453e-04,6.806544e-04,6.694137e-04,6.647575e-04,6.583903e-04,6.475813e-04,6.433170e-04,6.369836e-04,6.265941e-04,6.226999e-04,6.164095e-04,6.064268e-04,6.028818e-04,5.966427e-04,5.870541e-04,5.838380e-04,5.776579e-04,5.684509e-04,5.655442e-04,5.594301e-04,5.505922e-04,5.479760e-04,5.419342e-04,5.334529e-04,5.311094e-04,5.251454e-04,5.170086e-04,5.149206e-04,5.090394e-04,5.012349e-04,4.993861e-04,4.935923e-04,4.861085e-04,4.844831e-04,4.787807e-04,4.716061e-04,4.701893e-04,4.645818e-04,4.577051e-04,4.564827e-04,4.509732e-04,4.443835e-04,4.433422e-04,4.379333e-04,4.316201e-04,4.307470e-04,4.254411e-04,4.193940e-04,4.186770e-04,4.134761e-04,4.076850e-04,4.071128e-04,4.020184e-04,3.964738e-04,3.960354e-04,3.910489e-04,3.857413e-04,3.854265e-04,3.805488e-04,3.754692e-04,3.752684e-04,3.705004e-04,3.656400e-04,3.655439e-04,3.608860e-04,3.562364e-04,3.473300e-04,3.388092e-04,3.306589e-04,3.228649e-04,3.154132e-04,3.082904e-04,3.014836e-04,2.949803e-04,2.887686e-04,2.828367e-04,2.771737e-04,2.717688e-04,2.666116e-04,2.616921e-04,2.570009e-04,2.525287e-04,2.482666e-04,2.442060e-04,2.403388e-04,2.366571e-04,2.331532e-04,2.298197e-04,2.266498e-04,2.236365e-04,2.207734e-04,2.180542e-04,2.154729e-04,2.130236e-04,2.107008e-04,2.084992e-04,2.064135e-04,2.044388e-04,2.025704e-04,2.008036e-04,1.991341e-04,1.975576e-04,1.960700e-04,1.946674e-04,1.933461e-04,1.921025e-04,1.909330e-04,1.898343e-04,1.888032e-04,1.878367e-04,1.869317e-04,1.860854e-04,1.852952e-04,1.845582e-04,1.838722e-04
0.000000e+00,9.937115e-11,1.469960e-08,1.588264e-08,4.111307e-07,4.235725e-06,4.609090e-06,2.907114e-05,1.114024e-04,1.201480e-04,3.670801e-04,8.471511e-04,9.047658e-04,1.908115e-03,3.377830e-03,3.581566e-03,6.146608e-03,9.320929e-03,9.829215e-03,1.484838e-02,2.038868e-02,2.140637e-02,2.968104e-02,3.806749e-02,3.982016e-02,5.193772e-02,6.340650e-02,6.611202e-02,8.238520e-02,9.692065e-02,1.007641e-01,1.212219e-01,1.385862e-01,1.437010e-01,1.681159e-01,1.878990e-01,1.943566e-01,2.222922e-01,2.439693e-01,2.517748e-01,2.826431e-01,3.056302e-01,3.147254e-01,3.478434e-01,3.715449e-01,3.818152e-01,4.164574e-01,4.403042e-01,4.515883e-01,4.870295e-01,5.105065e-01,5.226081e-01,5.581579e-01,5.808213e-01,5.935208e-01,6.285479e-01,6.500345e-01,6.630999e-01,6.970481e-01,7.170776e-01,7.302744e-01,7.626718e-01,7.810441e-01,7.941441e-01,8.246057e-01,8.411945e-01,8.539820e-01,8.822084e-01,8.969530e-01,9.092304e-01,9.350028e-01,9.478983e-01,9.594896e-01,9.826630e-01,9.937508e-01,1.004503e+00,1.024999e+00,1.034356e+00,1.044143e+00,1.061937e+00,1.069671e+00,1.078388e+00,1.093506e+00,1.099741e+00,1.107310e+00,1.119818e+00,1.124691e+00,1.131056e+00,1.141050e+00,1.144707e+00,1.149832e+00,1.157434e+00,1.160020e+00,1.163890e+00,1.169238e+00,1.170899e+00,1.173515e+00,1.176760e+00,1.177635e+00,1.179013e+00,1.180314e+00,1.180536e+00,1.180704e+00,1.180224e+00,1.179917e+00,1.178915e+00,1.176816e+00,1.176093e+00,1.173969e+00,1.170412e+00,1.169376e+00,1.166186e+00,1.161327e+00,1.160071e+00,1.155874e+00,1.149862e+00,1.148469e+00,1.143329e+00,1.136308e+00,1.134848e+00,1.128833e+00,1.120936e+00,1.119473e+00,1.112650e+00,1.104004e+00,1.102589e+00,1.095028e+00,1.085750e+00,1.084428e+00,1.076197e+00,1.066395e+00,1.065203e+00,1.056369e+00,1.046142e+00,1.045109e+00,1.035737e+00,1.025176e+00,1.024325e+00,1.014480e+00,1.003668e+00,1.003016e+00,9.927583e-01,9.817691e-01,9.813281e-01,9.707170e-01,9.596178e-01,9.593954e-01,9.484865e-01,9.373373e-01,9.152606e-01,8.932599e-01,8.714190e-01,8.498114e-01,8.285015e-01,8.075448e-01,7.869895e-01,7.668764e-01,7.472403e-01,7.281101e-01,7.095096e-01,6.914581e-01,6.739707e-01,6.570588e-01,6.407306e-01,6.249914e-01,6.098439e-01,5.952886e-01,5.813238e-01,5.679462e-01,5.551508e-01,5.429313e-01,5.312801e-01,5.201887e-01,5.096474e-01,4.996458e-01,4.901727e-01,4.812163e-01,4.727642e-01,4.648036e-01,4.573212e-01,4.503033e-01,4.437360e-01,4.376050e-01,4.318959e-01,4.265941e-01,4.216847e-01,4.171530e-01,4.129839e-01,4.091626e-01,4.056740e-01,4.025031e-01,3.996352e-01,3.970554e-01,3.947490e-01,3.927016e-01,3.908987e-01,3.893262e-01,3.879702e-01
0.000000e+00,3.302211e-10,4.872515e-09,5.093435e-09,3.208779e-08,1.081496e-07,1.127084e-07,2.596349e-07,4.317390e-07,4.430160e-07,6.277934e-07,7.874109e-07,8.007229e-07,9.592906e-07,1.089870e-06,1.103694e-06,1.234726e-06,1.339684e-06,1.353282e-06,1.460251e-06,1.543624e-06,1.556480e-06,1.642769e-06,1.708122e-06,1.719870e-06,1.788489e-06,1.838888e-06,1.849281e-06,1.902857e-06,1.940905e-06,1.949785e-06,1.990593e-06,2.018492e-06,2.025772e-06,2.055775e-06,2.075375e-06,2.081023e-06,2.101906e-06,2.114762e-06,2.118784e-06,2.131992e-06,2.139402e-06,2.141837e-06,2.148605e-06,2.151653e-06,2.152559e-06,2.153944e-06,2.153533e-06,2.152984e-06,2.149888e-06,2.146768e-06,2.144848e-06,2.138041e-06,2.132833e-06,2.129630e-06,2.119769e-06,2.112987e-06,2.108595e-06,2.096237e-06,2.088304e-06,2.082815e-06,2.068438e-06,2.059701e-06,2.053206e-06,2.037213e-06,2.027956e-06,2.020544e-06,2.003278e-06,1.993732e-06,1.985488e-06,1.967241e-06,1.957592e-06,1.948597e-06,1.929614e-06,1.920012e-06,1.910344e-06,1.890833e-06,1.881396e-06,1.871127e-06,1.851264e-06,1.842085e-06,1.831282e-06,1.811214e-06,1.802365e-06,1.791091e-06,1.770941e-06,1.762477e-06,1.750791e-06,1.730663e-06,1.722623e-06,1.710579e-06,1.690559e-06,1.682971e-06,1.670619e-06,1.650777e-06,1.643660e-06,1.631046e-06,1.611441e-06,1.604806e-06,1.591972e-06,1.572651e-06,1.566501e-06,1.553486e-06,1.534488e-06,1.528822e-06,1.515663e-06,1.497017e-06,1.491830e-06,1.478558e-06,1.460290e-06,1.455573e-06,1.442219e-06,1.424347e-06,1.420088e-06,1.406678e-06,1.389216e-06,1.385402e-06,1.371963e-06,1.354920e-06,1.351537e-06,1.338090e-06,1.321473e-06,1.318505e-06,1.305071e-06,1.288884e-06,1.286314e-06,1.272912e-06,1.257156e-06,1.254967e-06,1.241615e-06,1.226288e-06,1.224463e-06,1.211176e-06,1.196277e-06,1.194798e-06,1.181590e-06,1.167114e-06,1.165965e-06,1.152849e-06,1.138792e-06,1.137955e-06,1.124942e-06,1.111298e-06,1.110756e-06,1.097858e-06,1.084620e-06,1.084357e-06,1.071582e-06,1.058743e-06,1.033901e-06,1.009813e-06,9.864651e-07,9.638404e-07,9.419221e-07,9.206935e-07,9.001378e-07,8.802382e-07,8.609777e-07,8.423399e-07,8.243082e-07,8.068663e-07,7.899984e-07,7.736885e-07,7.579212e-07,7.426814e-07,7.279541e-07,7.137248e-07,6.999793e-07,6.867036e-07,6.738841e-07,6.615077e-07,6.495613e-07,6.380324e-07,6.269086e-07,6.161780e-07,6.058290e-07,5.958502e-07,5.862304e-07,5.769591e-07,5.680256e-07,5.594199e-07,5.511320e-07,5.431522e-07,5.354713e-07,5.280801e-07,5.209697e-07,5.141315e-07,5.075573e-07,5.012387e-07,4.951679e-07,4.893373e-07,4.837392e-07,4.783666e-07,4.732122e-07,4.682693e-07,4.635311e-07,4.589913e-07,4.546434e-07
0.000000e+00,3.651773e-10,3.023208e-08,3.227655e-08,4.802462e-07,3.256928e-06,3.490973e-06,1.583367e-05,4.682667e-05,4.970561e-05,1.163241e-04,2.078989e-04,2.170415e-04,3.427455e-04,4.664321e-04,4.803839e-04,6.187196e-04,7.350970e-04,7.503910e-04,8.715200e-04,9.660543e-04,9.805796e-04,1.077381e-03,1.149563e-03,1.162406e-03,1.236422e-03,1.289506e-03,1.300293e-03,1.354887e-03,1.392443e-03,1.401035e-03,1.439514e-03,1.464672e-03,1.471048e-03,1.496304e-03,1.511678e-03,1.515894e-03,1.530382e-03,1.538124e-03,1.540284e-03,1.546070e-03,1.547931e-03,1.548172e-03,1.546983e-03,1.544387e-03,1.542863e-03,1.536138e-03,1.530230e-03,1.527106e-03,1.516040e-03,1.507742e-03,1.503185e-03,1.488766e-03,1.478811e-03,1.472986e-03,1.456031e-03,1.445003e-03,1.438068e-03,1.419249e-03,1.407604e-03,1.399711e-03,1.379579e-03,1.367674e-03,1.358964e-03,1.337968e-03,1.326078e-03,1.316682e-03,1.295187e-03,1.283520e-03,1.273558e-03,1.251859e-03,1.240569e-03,1.230151e-03,1.208486e-03,1.197684e-03,1.186909e-03,1.165464e-03,1.155228e-03,1.144186e-03,1.123109e-03,1.113488e-03,1.102259e-03,1.081663e-03,1.072686e-03,1.061341e-03,1.041313e-03,1.032992e-03,1.021594e-03,1.002197e-03,9.945314e-04,9.831343e-04,9.644146e-04,9.573927e-04,9.460455e-04,9.280328e-04,9.216363e-04,9.103809e-04,8.930929e-04,8.872983e-04,8.761708e-04,8.596153e-04,8.543950e-04,8.434265e-04,8.276034e-04,8.229275e-04,8.121443e-04,7.970470e-04,7.928842e-04,7.823085e-04,7.679253e-04,7.642434e-04,7.538937e-04,7.402093e-04,7.369762e-04,7.268676e-04,7.138636e-04,7.110475e-04,7.011922e-04,6.888480e-04,6.864179e-04,6.768254e-04,6.651188e-04,6.630448e-04,6.537224e-04,6.426303e-04,6.408834e-04,6.318364e-04,6.213349e-04,6.198876e-04,6.111195e-04,6.011844e-04,6.000107e-04,5.915234e-04,5.821305e-04,5.812057e-04,5.729997e-04,5.641251e-04,5.634260e-04,5.555007e-04,5.471206e-04,5.466254e-04,5.389791e-04,5.310705e-04,5.307589e-04,5.233891e-04,5.159293e-04,5.157823e-04,5.086857e-04,5.016529e-04,4.883290e-04,4.757706e-04,4.639392e-04,4.527977e-04,4.423104e-04,4.324434e-04,4.231641e-04,4.144414e-04,4.062456e-04,3.985485e-04,3.913231e-04,3.845438e-04,3.781864e-04,3.722276e-04,3.666456e-04,3.614194e-04,3.565292e-04,3.519563e-04,3.476829e-04,3.436922e-04,3.399681e-04,3.364954e-04,3.332599e-04,3.302480e-04,3.274468e-04,3.248441e-04,3.224285e-04,3.201889e-04,3.181151e-04,3.161974e-04,3.144265e-04,3.127936e-04,3.112906e-04,3.099097e-04,3.086434e-04,3.074847e-04,3.064272e-04,3.054646e-04,3.045910e-04,3.038008e-04,3.030889e-04,3.024502e-04,3.018801e-04,3.013742e-04,3.009283e-04,3.005385e-04,3.002011e-04,2.999125e-04,2.996694e-04
0.000000e+00,1.303743e-09,6.980329e-08,7.409197e-08,8.814010e-07,4.874248e-06,5.176327e-06,1.825055e-05,4.134923e-05,4.312363e-05,7.526734e-05,1.050217e-04,1.074882e-04,1.360044e-04,1.577991e-04,1.600002e-04,1.797616e-04,1.940659e-04,1.958140e-04,2.086765e-04,2.175412e-04,2.188115e-04,2.266202e-04,2.316368e-04,2.324493e-04,2.365978e-04,2.389271e-04,2.393229e-04,2.408464e-04,2.413289e-04,2.413586e-04,2.410232e-04,2.402640e-04,2.399803e-04,2.383500e-04,2.367819e-04,2.362351e-04,2.337232e-04,2.316533e-04,2.308892e-04,2.277968e-04,2.254410e-04,2.245001e-04,2.210453e-04,2.185539e-04,2.174713e-04,2.138112e-04,2.112875e-04,2.100927e-04,2.063396e-04,2.038532e-04,2.025714e-04,1.988047e-04,1.964013e-04,1.950533e-04,1.913286e-04,1.890369e-04,1.876400e-04,1.839954e-04,1.818323e-04,1.804009e-04,1.768619e-04,1.748362e-04,1.733822e-04,1.699650e-04,1.680796e-04,1.666127e-04,1.633270e-04,1.615809e-04,1.601092e-04,1.569600e-04,1.553497e-04,1.538798e-04,1.508687e-04,1.493890e-04,1.479264e-04,1.450526e-04,1.436973e-04,1.422467e-04,1.395077e-04,1.382701e-04,1.368350e-04,1.342275e-04,1.331005e-04,1.316841e-04,1.292036e-04,1.281804e-04,1.267851e-04,1.244271e-04,1.235006e-04,1.221285e-04,1.198881e-04,1.190517e-04,1.177046e-04,1.155767e-04,1.148240e-04,1.135032e-04,1.114827e-04,1.108077e-04,1.095142e-04,1.075963e-04,1.069931e-04,1.057279e-04,1.039078e-04,1.033709e-04,1.021347e-04,1.004075e-04,9.993196e-05,9.872512e-05,9.708643e-05,9.666739e-05,9.549033e-05,9.393576e-05,9.356872e-05,9.242167e-05,9.094704e-05,9.062782e-05,8.951088e-05,8.811222e-05,8.783690e-05,8.675009e-05,8.542357e-05,8.518851e-05,8.413176e-05,8.287376e-05,8.267556e-05,8.164872e-05,8.045578e-05,8.029128e-05,7.929413e-05,7.816297e-05,7.802924e-05,7.706151e-05,7.598899e-05,7.588330e-05,7.494467e-05,7.392782e-05,7.384764e-05,7.293774e-05,7.197374e-05,7.191671e-05,7.103514e-05,7.012129e-05,7.008524e-05,6.923156e-05,6.836532e-05,6.834823e-05,6.752196e-05,6.670091e-05,6.513876e-05,6.365749e-05,6.225302e-05,6.092147e-05,5.965915e-05,5.846257e-05,5.732842e-05,5.625352e-05,5.523489e-05,5.426969e-05,5.335520e-05,5.248885e-05,5.166822e-05,5.089099e-05,5.015495e-05,4.945802e-05,4.879820e-05,4.817363e-05,4.758251e-05,4.702314e-05,4.649390e-05,4.599326e-05,4.551978e-05,4.507205e-05,4.464878e-05,4.424871e-05,4.387067e-05,4.351351e-05,4.317619e-05,4.285767e-05,4.255701e-05,4.227328e-05,4.200561e-05,4.175319e-05,4.151522e-05,4.129096e-05,4.107971e-05,4.088079e-05,4.069357e-05,4.051744e-05,4.035183e-05,4.019619e-05,4.005000e-05,3.991277e-05,3.978404e-05,3.966335e-05,3.955029e-05,3.944446e-05,3.934548e-05
0.000000e+00,4.511368e-10,3.797280e-08,4.054081e-08,6.022814e-07,4.162715e-06,4.468198e-06,2.126869e-05,6.658150e-05,7.093515e-05,1.760351e-04,3.300509e-04,3.459027e-04,5.712528e-04,8.051067e-04,8.321886e-04,1.108172e-03,1.350763e-03,1.383358e-03,1.647586e-03,1.861718e-03,1.895282e-03,2.123932e-03,2.300730e-03,2.332830e-03,2.522251e-03,2.663566e-03,2.692954e-03,2.845919e-03,2.956230e-03,2.982205e-03,3.102880e-03,3.186845e-03,3.208992e-03,3.301547e-03,3.363416e-03,3.381508e-03,3.449790e-03,3.493309e-03,3.507256e-03,3.554725e-03,3.583144e-03,3.592963e-03,3.622693e-03,3.638807e-03,3.644594e-03,3.659300e-03,3.665496e-03,3.667407e-03,3.669471e-03,3.667776e-03,3.666011e-03,3.657513e-03,3.649641e-03,3.644431e-03,3.627185e-03,3.614576e-03,3.606170e-03,3.581752e-03,3.565611e-03,3.554272e-03,3.524047e-03,3.505375e-03,3.491370e-03,3.456516e-03,3.436142e-03,3.419739e-03,3.381272e-03,3.359876e-03,3.341335e-03,3.300129e-03,3.278263e-03,3.257841e-03,3.214642e-03,3.192751e-03,3.170691e-03,3.126135e-03,3.104574e-03,3.081110e-03,3.035738e-03,3.014783e-03,2.990134e-03,2.944403e-03,2.924266e-03,2.898640e-03,2.852932e-03,2.833771e-03,2.807360e-03,2.761995e-03,2.743922e-03,2.716904e-03,2.672146e-03,2.655237e-03,2.627776e-03,2.583842e-03,2.568141e-03,2.540387e-03,2.497451e-03,2.482977e-03,2.455068e-03,2.413269e-03,2.400021e-03,2.372081e-03,2.331527e-03,2.319488e-03,2.291629e-03,2.252402e-03,2.241541e-03,2.213862e-03,2.176021e-03,2.166299e-03,2.138890e-03,2.102475e-03,2.093843e-03,2.066783e-03,2.031817e-03,2.024223e-03,1.997581e-03,1.964075e-03,1.957461e-03,1.931297e-03,1.899248e-03,1.893556e-03,1.867923e-03,1.837319e-03,1.832489e-03,1.807431e-03,1.778252e-03,1.774223e-03,1.749777e-03,1.721999e-03,1.718712e-03,1.694908e-03,1.668498e-03,1.665894e-03,1.642759e-03,1.617681e-03,1.615703e-03,1.593255e-03,1.569472e-03,1.568065e-03,1.546319e-03,1.523788e-03,1.522899e-03,1.501866e-03,1.480544e-03,1.480124e-03,1.459810e-03,1.439653e-03,1.401399e-03,1.365275e-03,1.331192e-03,1.299064e-03,1.268803e-03,1.240325e-03,1.213547e-03,1.188388e-03,1.164768e-03,1.142612e-03,1.121844e-03,1.102394e-03,1.084193e-03,1.067174e-03,1.051274e-03,1.036433e-03,1.022590e-03,1.009692e-03,9.976843e-04,9.865165e-04,9.761401e-04,9.665091e-04,9.575797e-04,9.493102e-04,9.416611e-04,9.345948e-04,9.280757e-04,9.220702e-04,9.165462e-04,9.114735e-04,9.068235e-04,9.025691e-04,8.986847e-04,8.951463e-04,8.919309e-04,8.890171e-04,8.863845e-04,8.840140e-04,8.818876e-04,8.799883e-04,8.783001e-04,8.768079e-04,8.754976e-04,8.743558e-04,8.733700e-04,8.725286e-04,8.718204e-04,8.712352e-04,8.707631e-04
0.000000e+00,2.920909e-09,9.873438e-08,1.040326e-07,9.285367e-07,4.325017e-06,4.566552e-06,1.420581e-05,2.920984e-05,3.029548e-05,4.906131e-05,6.587552e-05,6.727892e-05,8.388618e-05,9.733120e-05,9.873946e-05,1.119245e-04,1.222506e-04,1.235715e-04,1.338127e-04,1.415911e-04,1.427729e-04,1.505683e-04,1.562951e-04,1.573063e-04,1.630862e-04,1.671750e-04,1.679993e-04,1.721295e-04,1.749219e-04,1.755537e-04,1.783422e-04,1.801174e-04,1.805591e-04,1.822627e-04,1.832471e-04,1.835063e-04,1.843382e-04,1.847145e-04,1.848019e-04,1.849370e-04,1.848512e-04,1.847795e-04,1.843619e-04,1.839307e-04,1.837136e-04,1.828612e-04,1.821774e-04,1.818289e-04,1.806386e-04,1.797760e-04,1.793097e-04,1.778600e-04,1.768762e-04,1.763053e-04,1.746601e-04,1.736004e-04,1.729374e-04,1.711487e-04,1.700482e-04,1.693045e-04,1.674142e-04,1.663000e-04,1.654862e-04,1.635281e-04,1.624210e-04,1.615468e-04,1.595483e-04,1.584640e-04,1.575381e-04,1.555211e-04,1.544711e-04,1.535016e-04,1.514836e-04,1.504761e-04,1.494703e-04,1.474650e-04,1.465060e-04,1.454702e-04,1.434886e-04,1.425819e-04,1.415220e-04,1.395724e-04,1.387204e-04,1.376414e-04,1.357304e-04,1.349341e-04,1.338407e-04,1.319732e-04,1.312327e-04,1.301289e-04,1.283086e-04,1.276233e-04,1.265129e-04,1.247422e-04,1.241110e-04,1.229972e-04,1.212779e-04,1.206994e-04,1.195849e-04,1.179181e-04,1.173903e-04,1.162778e-04,1.146640e-04,1.141850e-04,1.130766e-04,1.115158e-04,1.110835e-04,1.099814e-04,1.084732e-04,1.080854e-04,1.069912e-04,1.055351e-04,1.051895e-04,1.041048e-04,1.027001e-04,1.023945e-04,1.013207e-04,9.996631e-05,9.969841e-05,9.863671e-05,9.733161e-05,9.709927e-05,9.605071e-05,9.479372e-05,9.459479e-05,9.356031e-05,9.235017e-05,9.218259e-05,9.116299e-05,8.999844e-05,8.986019e-05,8.885618e-05,8.773588e-05,8.762505e-05,8.663722e-05,8.555986e-05,8.547458e-05,8.450346e-05,8.346770e-05,8.340620e-05,8.245223e-05,8.145673e-05,8.141732e-05,8.048088e-05,7.952433e-05,7.950540e-05,7.858678e-05,7.766789e-05,7.590232e-05,7.420625e-05,7.257730e-05,7.101314e-05,6.951149e-05,6.807015e-05,6.668697e-05,6.535988e-05,6.408685e-05,6.286592e-05,6.169519e-05,6.057283e-05,5.949706e-05,5.846617e-05,5.747848e-05,5.653241e-05,5.562639e-05,5.475893e-05,5.392858e-05,5.313395e-05,5.237369e-05,5.164650e-05,5.095112e-05,5.028635e-05,4.965100e-05,4.904397e-05,4.846415e-05,4.791051e-05,4.738203e-05,4.687773e-05,4.639668e-05,4.593798e-05,4.550074e-05,4.508412e-05,4.468732e-05,4.430955e-05,4.395006e-05,4.360812e-05,4.328303e-05,4.297411e-05,4.268073e-05,4.240224e-05,4.213805e-05,4.188758e-05,4.165026e-05,4.142556e-05,4.121296e-05,4.101195e-05,4.082206e-05
0.000000e+00,7.521013e-11,8.952056e-09,9.621686e-09,1.892027e-07,1.539412e-06,1.660801e-06,8.769666e-06,2.993873e-05,3.208589e-05,8.902893e-05,1.889895e-04,2.003728e-04,3.849328e-04,6.243038e-04,6.554190e-04,1.016602e-03,1.407267e-03,1.465509e-03,1.992872e-03,2.498872e-03,2.585110e-03,3.226300e-03,3.790591e-03,3.899865e-03,4.589849e-03,5.157676e-03,5.281780e-03,5.963164e-03,6.493678e-03,6.623695e-03,7.255250e-03,7.723772e-03,7.851753e-03,8.408958e-03,8.804455e-03,8.924191e-03,9.396085e-03,9.717168e-03,9.824329e-03,1.020943e-02,1.046061e-02,1.055253e-02,1.085521e-02,1.104405e-02,1.111938e-02,1.134715e-02,1.148236e-02,1.154072e-02,1.170235e-02,1.179262e-02,1.183429e-02,1.193873e-02,1.199213e-02,1.201780e-02,1.207353e-02,1.209721e-02,1.210784e-02,1.212255e-02,1.212269e-02,1.211937e-02,1.209989e-02,1.208172e-02,1.206560e-02,1.201788e-02,1.198578e-02,1.195802e-02,1.188720e-02,1.184479e-02,1.180652e-02,1.171701e-02,1.166729e-02,1.161961e-02,1.151517e-02,1.146056e-02,1.140450e-02,1.128834e-02,1.123083e-02,1.116737e-02,1.104221e-02,1.098339e-02,1.091344e-02,1.078159e-02,1.072272e-02,1.064714e-02,1.051055e-02,1.045264e-02,1.037222e-02,1.023252e-02,1.017634e-02,1.009181e-02,9.950402e-03,9.896543e-03,9.808579e-03,9.666606e-03,9.615506e-03,9.524725e-03,9.383154e-03,9.335126e-03,9.242093e-03,9.101723e-03,9.056977e-03,8.962208e-03,8.823697e-03,8.782360e-03,8.686325e-03,8.550211e-03,8.512340e-03,8.415464e-03,8.282182e-03,8.247779e-03,8.150450e-03,8.020344e-03,7.989368e-03,7.891932e-03,7.765274e-03,7.737650e-03,7.640421e-03,7.517417e-03,7.493042e-03,7.396301e-03,7.277106e-03,7.255857e-03,7.159857e-03,7.044578e-03,7.026317e-03,6.931284e-03,6.819989e-03,6.804568e-03,6.710703e-03,6.603430e-03,6.590692e-03,6.498173e-03,6.394930e-03,6.384717e-03,6.293700e-03,6.194477e-03,6.186625e-03,6.097251e-03,6.002014e-03,5.996363e-03,5.908754e-03,5.817456e-03,5.813845e-03,5.728107e-03,5.640690e-03,5.638961e-03,5.555187e-03,5.471580e-03,5.311554e-03,5.158723e-03,5.012917e-03,4.873958e-03,4.741662e-03,4.615840e-03,4.496304e-03,4.382863e-03,4.275325e-03,4.173500e-03,4.077199e-03,3.986235e-03,3.900422e-03,3.819580e-03,3.743528e-03,3.672092e-03,3.605098e-03,3.542377e-03,3.483763e-03,3.429095e-03,3.378214e-03,3.330964e-03,3.287194e-03,3.246755e-03,3.209504e-03,3.175297e-03,3.143998e-03,3.115472e-03,3.089586e-03,3.066214e-03,3.045228e-03,3.026508e-03,3.009934e-03,2.995391e-03,2.982765e-03,2.971946e-03,2.962828e-03,2.955307e-03,2.949282e-03,2.944655e-03,2.941330e-03,2.939217e-03,2.938225e-03,2.938270e-03,2.939267e-03,2.941136e-03,2.943802e-03,2.947189e-03,2.951226e-03
0.000000e+00,2.171948e-09,3.022854e-08,3.153485e-08,1.923395e-07,6.874605e-07,7.189007e-07,1.825849e-06,3.327573e-06,3.431916e-06,5.189461e-06,6.711490e-06,6.836601e-06,8.293997e-06,9.439840e-06,9.557893e-06,1.064284e-05,1.146349e-05,1.156637e-05,1.234545e-05,1.291191e-05,1.299575e-05,1.353153e-05,1.390256e-05,1.396569e-05,1.430986e-05,1.453230e-05,1.457450e-05,1.476900e-05,1.487979e-05,1.490178e-05,1.498038e-05,1.500843e-05,1.501153e-05,1.500125e-05,1.496907e-05,1.495493e-05,1.487734e-05,1.480233e-05,1.477277e-05,1.464500e-05,1.454056e-05,1.449743e-05,1.433304e-05,1.420941e-05,1.415452e-05,1.396422e-05,1.382916e-05,1.376423e-05,1.355641e-05,1.341576e-05,1.334239e-05,1.312362e-05,1.298171e-05,1.290137e-05,1.267674e-05,1.253671e-05,1.245072e-05,1.222417e-05,1.208829e-05,1.199783e-05,1.177235e-05,1.164219e-05,1.154829e-05,1.132615e-05,1.120274e-05,1.110633e-05,1.088919e-05,1.077316e-05,1.067503e-05,1.046412e-05,1.035579e-05,1.025664e-05,1.005279e-05,9.952269e-06,9.852701e-06,9.656479e-06,9.563693e-06,9.464211e-06,9.275959e-06,9.190723e-06,9.091764e-06,8.911650e-06,8.833695e-06,8.735626e-06,8.563687e-06,8.492687e-06,8.395817e-06,8.231989e-06,8.167583e-06,8.072169e-06,7.916315e-06,7.858120e-06,7.764376e-06,7.616300e-06,7.563927e-06,7.472027e-06,7.331495e-06,7.284554e-06,7.194638e-06,7.061389e-06,7.019499e-06,6.931676e-06,6.805430e-06,6.768221e-06,6.682577e-06,6.563044e-06,6.530160e-06,6.446758e-06,6.333643e-06,6.304744e-06,6.223627e-06,6.116636e-06,6.091400e-06,6.012597e-06,5.911437e-06,5.889561e-06,5.813086e-06,5.717472e-06,5.698671e-06,5.624525e-06,5.534178e-06,5.518186e-06,5.446361e-06,5.361010e-06,5.347578e-06,5.278059e-06,5.197443e-06,5.186340e-06,5.119102e-06,5.042972e-06,5.033982e-06,4.968995e-06,4.897112e-06,4.890036e-06,4.827265e-06,4.759398e-06,4.754053e-06,4.693458e-06,4.629390e-06,4.625604e-06,4.567142e-06,4.506664e-06,4.504281e-06,4.447907e-06,4.390822e-06,4.389697e-06,4.335361e-06,4.281480e-06,4.179283e-06,4.082771e-06,3.991629e-06,3.905560e-06,3.824281e-06,3.747524e-06,3.675035e-06,3.606576e-06,3.541921e-06,3.480855e-06,3.423176e-06,3.368694e-06,3.317227e-06,3.268606e-06,3.222670e-06,3.179266e-06,3.138251e-06,3.099490e-06,3.062854e-06,3.028223e-06,2.995483e-06,2.964527e-06,2.935252e-06,2.907564e-06,2.881371e-06,2.856589e-06,2.833137e-06,2.810938e-06,2.789922e-06,2.770021e-06,2.751171e-06,2.733313e-06,2.716388e-06,2.700344e-06,2.685131e-06,2.670701e-06,2.657009e-06,2.644012e-06,2.631672e-06,2.619950e-06,2.608812e-06,2.598223e-06,2.588152e-06,2.578569e-06,2.569448e-06,2.560760e-06,2.552482e-06,2.544589e-06,2.537061e-06
0.000000e+00,8.700780e-10,6.762245e-08,7.215088e-08,1.037507e-06,6.541395e-06,6.983347e-06,2.808872e-05,7.243533e-05,7.618774e-05,1.531121e-04,2.404541e-04,2.484217e-04,3.486241e-04,4.350126e-04,4.441982e-04,5.305172e-04,5.976667e-04,6.061818e-04,6.713814e-04,7.196951e-04,7.269264e-04,7.737953e-04,8.071694e-04,8.129547e-04,8.452998e-04,8.673088e-04,8.716406e-04,8.927024e-04,9.061881e-04,9.091321e-04,9.215053e-04,9.286712e-04,9.303330e-04,9.360684e-04,9.386077e-04,9.391125e-04,9.398200e-04,9.390248e-04,9.385039e-04,9.354398e-04,9.322885e-04,9.308700e-04,9.250083e-04,9.202380e-04,9.180427e-04,9.101383e-04,9.043020e-04,9.014405e-04,8.920768e-04,8.855870e-04,8.821592e-04,8.717856e-04,8.649473e-04,8.610418e-04,8.500031e-04,8.430401e-04,8.387351e-04,8.272954e-04,8.203702e-04,8.157340e-04,8.040943e-04,7.973228e-04,7.924146e-04,7.807277e-04,7.741907e-04,7.690622e-04,7.574428e-04,7.511952e-04,7.458909e-04,7.344246e-04,7.285014e-04,7.230598e-04,7.118097e-04,7.062313e-04,7.006858e-04,6.896975e-04,6.844738e-04,6.788530e-04,6.681588e-04,6.632915e-04,6.576204e-04,6.472421e-04,6.427273e-04,6.370273e-04,6.269788e-04,6.228084e-04,6.170983e-04,6.073873e-04,6.035506e-04,5.978465e-04,5.884762e-04,5.849602e-04,5.792762e-04,5.702462e-04,5.670368e-04,5.613852e-04,5.526924e-04,5.497750e-04,5.441665e-04,5.358060e-04,5.331653e-04,5.276092e-04,5.195744e-04,5.171953e-04,5.116998e-04,5.039831e-04,5.018505e-04,4.964225e-04,4.890157e-04,4.871149e-04,4.817606e-04,4.746549e-04,4.729715e-04,4.676962e-04,4.608824e-04,4.594026e-04,4.542110e-04,4.476799e-04,4.463902e-04,4.412865e-04,4.350285e-04,4.339163e-04,4.289037e-04,4.229097e-04,4.219627e-04,4.170442e-04,4.113049e-04,4.105114e-04,4.056896e-04,4.001959e-04,3.995447e-04,3.948216e-04,3.895646e-04,3.890453e-04,3.844226e-04,3.793936e-04,3.789961e-04,3.744753e-04,3.696657e-04,3.693805e-04,3.649626e-04,3.603642e-04,3.601824e-04,3.558683e-04,3.514729e-04,3.513860e-04,3.471762e-04,3.429762e-04,3.349381e-04,3.272575e-04,3.199205e-04,3.129138e-04,3.062244e-04,2.998399e-04,2.937483e-04,2.879379e-04,2.823976e-04,2.771166e-04,2.720845e-04,2.672912e-04,2.627272e-04,2.583830e-04,2.542498e-04,2.503189e-04,2.465820e-04,2.430312e-04,2.396586e-04,2.364570e-04,2.334191e-04,2.305382e-04,2.278075e-04,2.252208e-04,2.227718e-04,2.204548e-04,2.182641e-04,2.161941e-04,2.142397e-04,2.123958e-04,2.106575e-04,2.090202e-04,2.074794e-04,2.060307e-04,2.046701e-04,2.033935e-04,2.021970e-04,2.010770e-04,2.000300e-04,1.990525e-04,1.981412e-04,1.972930e-04,1.965048e-04,1.957738e-04,1.950972e-04,1.944722e-04,1.938963e-04,1.933671e-04,1.928821e-04
0.000000e+00,6.126181e-11,7.780080e-09,8.372327e-09,1.775200e-07,1.605356e-06,1.740610e-06,1.050547e-05,4.097473e-05,4.429116e-05,1.416794e-04,3.420714e-04,3.667107e-04,8.074716e-04,1.476184e-03,1.570227e-03,2.771434e-03,4.285231e-03,4.529396e-03,6.956648e-03,9.656405e-03,1.015365e-02,1.420402e-02,1.831301e-02,1.917141e-02,2.509768e-02,3.068723e-02,3.200251e-02,3.988385e-02,4.687763e-02,4.871935e-02,5.846825e-02,6.667040e-02,6.907369e-02,8.046527e-02,8.959893e-02,9.256166e-02,1.052732e-01,1.150198e-01,1.185045e-01,1.321565e-01,1.421901e-01,1.461288e-01,1.603216e-01,1.703352e-01,1.746370e-01,1.889807e-01,1.987046e-01,2.032629e-01,2.173992e-01,2.266111e-01,2.313115e-01,2.449282e-01,2.534576e-01,2.581845e-01,2.710230e-01,2.787504e-01,2.833929e-01,2.952507e-01,3.021040e-01,3.065596e-01,3.172894e-01,3.232375e-01,3.274158e-01,3.369207e-01,3.419669e-01,3.457912e-01,3.540195e-01,3.581944e-01,3.616024e-01,3.685408e-01,3.718955e-01,3.748394e-01,3.805063e-01,3.831061e-01,3.855523e-01,3.899911e-01,3.919106e-01,3.938383e-01,3.971115e-01,3.984296e-01,3.998298e-01,4.020136e-01,4.028107e-01,4.036843e-01,4.048640e-01,4.052184e-01,4.055753e-01,4.058411e-01,4.058280e-01,4.056848e-01,4.051292e-01,4.048183e-01,4.041975e-01,4.029124e-01,4.023676e-01,4.012963e-01,3.993710e-01,3.986498e-01,3.971579e-01,3.946779e-01,3.938312e-01,3.919511e-01,3.889969e-01,3.880691e-01,3.858340e-01,3.824806e-01,3.815098e-01,3.789538e-01,3.752703e-01,3.742888e-01,3.714457e-01,3.674951e-01,3.665298e-01,3.634328e-01,3.592724e-01,3.583452e-01,3.550265e-01,3.507074e-01,3.498358e-01,3.463263e-01,3.418941e-01,3.410916e-01,3.374207e-01,3.329157e-01,3.321926e-01,3.283879e-01,3.238456e-01,3.232089e-01,3.192964e-01,3.147477e-01,3.142022e-01,3.102060e-01,3.056775e-01,3.052256e-01,3.011680e-01,2.966828e-01,2.963252e-01,2.922268e-01,2.878044e-01,2.875402e-01,2.834198e-01,2.790768e-01,2.789040e-01,2.747787e-01,2.705288e-01,2.704443e-01,2.663299e-01,2.621845e-01,2.541433e-01,2.463361e-01,2.387746e-01,2.314681e-01,2.244231e-01,2.176440e-01,2.111334e-01,2.048921e-01,1.989197e-01,1.932145e-01,1.877738e-01,1.825941e-01,1.776710e-01,1.729997e-01,1.685745e-01,1.643898e-01,1.604391e-01,1.567159e-01,1.532134e-01,1.499245e-01,1.468421e-01,1.439589e-01,1.412675e-01,1.387606e-01,1.364305e-01,1.342699e-01,1.322714e-01,1.304274e-01,1.287308e-01,1.271741e-01,1.257503e-01,1.244523e-01,1.232730e-01,1.222056e-01,1.212435e-01,1.203802e-01,1.196092e-01,1.189244e-01,1.183198e-01,1.177895e-01,1.173279e-01,1.169297e-01,1.165895e-01,1.163025e-01,1.160639e-01,1.158691e-01,1.157137e-01,1.155937e-01,1.155052e-01
0.000000e+00,5.877099e-11,7.192778e-09,7.731611e-09,1.543712e-07,1.340317e-06,1.451708e-06,8.676778e-06,3.434526e-05,3.718119e-05,1.226952e-04,3.062507e-04,3.292704e-04,7.513376e-04,1.415062e-03,1.509954e-03,2.745351e-03,4.346193e-03,4.607844e-03,7.248615e-03,1.025202e-02,1.081131e-02,1.542498e-02,2.019309e-02,2.119864e-02,2.821742e-02,3.494416e-02,3.654031e-02,4.619924e-02,5.489264e-02,5.719932e-02,6.952005e-02,8.001938e-02,8.311727e-02,9.792559e-02,1.099389e-01,1.138612e-01,1.308249e-01,1.439747e-01,1.487052e-01,1.673809e-01,1.812487e-01,1.867248e-01,2.066056e-01,2.207705e-01,2.268906e-01,2.474482e-01,2.615171e-01,2.681494e-01,2.888695e-01,3.024971e-01,3.094897e-01,3.298980e-01,3.427996e-01,3.499901e-01,3.696700e-01,3.816259e-01,3.888505e-01,4.074533e-01,4.183085e-01,4.254092e-01,4.426578e-01,4.523173e-01,4.591477e-01,4.748360e-01,4.832580e-01,4.896878e-01,5.036760e-01,5.108632e-01,5.167807e-01,5.289889e-01,5.349804e-01,5.402937e-01,5.506940e-01,5.555561e-01,5.601939e-01,5.688020e-01,5.726207e-01,5.765312e-01,5.833980e-01,5.862725e-01,5.894222e-01,5.946262e-01,5.966624e-01,5.990348e-01,6.026746e-01,6.039809e-01,6.055741e-01,6.077627e-01,6.084458e-01,6.092708e-01,6.101295e-01,6.102921e-01,6.103704e-01,6.100252e-01,6.097635e-01,6.091254e-01,6.077027e-01,6.071053e-01,6.057879e-01,6.034118e-01,6.025589e-01,6.006043e-01,5.973946e-01,5.963576e-01,5.938113e-01,5.898819e-01,5.887234e-01,5.856334e-01,5.810913e-01,5.798654e-01,5.762807e-01,5.712253e-01,5.699781e-01,5.659479e-01,5.604703e-01,5.592404e-01,5.548133e-01,5.489967e-01,5.478159e-01,5.430392e-01,5.369587e-01,5.358524e-01,5.307720e-01,5.244950e-01,5.234833e-01,5.181427e-01,5.117293e-01,5.108273e-01,5.052681e-01,4.987714e-01,4.979900e-01,4.922511e-01,4.857179e-01,4.850643e-01,4.791821e-01,4.726532e-01,4.721314e-01,4.661399e-01,4.596506e-01,4.592622e-01,4.531928e-01,4.467735e-01,4.465176e-01,4.403992e-01,4.340759e-01,4.339500e-01,4.278090e-01,4.216037e-01,4.095161e-01,3.977184e-01,3.862359e-01,3.750892e-01,3.642947e-01,3.538646e-01,3.438079e-01,3.341309e-01,3.248369e-01,3.159274e-01,3.074017e-01,2.992576e-01,2.914913e-01,2.840980e-01,2.770718e-01,2.704056e-01,2.640919e-01,2.581223e-01,2.524881e-01,2.471800e-01,2.421882e-01,2.375028e-01,2.331135e-01,2.290101e-01,2.251819e-01,2.216182e-01,2.183085e-01,2.152420e-01,2.124079e-01,2.097958e-01,2.073950e-01,2.051951e-01,2.031857e-01,2.013567e-01,1.996981e-01,1.982001e-01,1.968530e-01,1.956476e-01,1.945747e-01,1.936253e-01,1.927910e-01,1.920634e-01,1.914345e-01,1.908964e-01,1.904419e-01,1.900638e-01,1.897552e-01,1.895097e-01,1.893212e-01
0.000000e+00,3.273873e-09,5.162167e-08,5.404793e-08,3.775394e-07,1.420691e-06,1.486792e-06,3.714118e-06,6.404758e-06,6.582282e-06,9.519752e-06,1.211376e-05,1.233290e-05,1.498072e-05,1.721850e-05,1.745876e-05,1.977130e-05,2.167447e-05,2.192471e-05,2.392590e-05,2.553047e-05,2.578181e-05,2.749932e-05,2.884002e-05,2.908519e-05,3.054606e-05,3.165521e-05,3.188835e-05,3.311831e-05,3.402544e-05,3.424194e-05,3.526505e-05,3.599686e-05,3.619317e-05,3.703162e-05,3.761200e-05,3.778547e-05,3.845955e-05,3.890973e-05,3.905847e-05,3.958662e-05,3.992540e-05,4.004814e-05,4.044702e-05,4.069098e-05,4.078701e-05,4.107170e-05,4.123546e-05,4.130451e-05,4.148862e-05,4.158495e-05,4.162710e-05,4.172286e-05,4.176299e-05,4.177862e-05,4.179700e-05,4.179071e-05,4.178046e-05,4.173135e-05,4.168716e-05,4.165186e-05,4.154408e-05,4.146939e-05,4.140999e-05,4.125147e-05,4.115270e-05,4.107029e-05,4.086813e-05,4.075079e-05,4.064656e-05,4.040709e-05,4.027596e-05,4.015112e-05,3.987999e-05,3.973913e-05,3.959495e-05,3.929721e-05,3.915011e-05,3.898788e-05,3.866802e-05,3.851762e-05,3.833863e-05,3.800065e-05,3.784945e-05,3.765497e-05,3.730243e-05,3.715250e-05,3.694380e-05,3.657984e-05,3.643291e-05,3.621123e-05,3.583863e-05,3.569612e-05,3.546265e-05,3.508388e-05,3.494694e-05,3.470285e-05,3.432006e-05,3.418961e-05,3.393601e-05,3.355113e-05,3.342786e-05,3.316584e-05,3.278053e-05,3.266499e-05,3.239556e-05,3.201127e-05,3.190384e-05,3.162799e-05,3.124600e-05,3.114693e-05,3.086558e-05,3.048699e-05,3.039642e-05,3.011045e-05,2.973620e-05,2.965420e-05,2.936444e-05,2.899535e-05,2.892186e-05,2.862910e-05,2.826586e-05,2.820080e-05,2.790576e-05,2.754895e-05,2.749218e-05,2.719555e-05,2.684566e-05,2.679696e-05,2.649939e-05,2.615682e-05,2.611597e-05,2.581805e-05,2.548314e-05,2.544986e-05,2.515215e-05,2.482515e-05,2.479916e-05,2.450218e-05,2.418329e-05,2.416429e-05,2.386852e-05,2.355789e-05,2.354555e-05,2.325143e-05,2.294915e-05,2.294315e-05,2.265109e-05,2.235723e-05,2.178786e-05,2.123503e-05,2.069869e-05,2.017874e-05,1.967504e-05,1.918741e-05,1.871564e-05,1.825950e-05,1.781873e-05,1.739305e-05,1.698218e-05,1.658580e-05,1.620362e-05,1.583531e-05,1.548054e-05,1.513898e-05,1.481030e-05,1.449417e-05,1.419026e-05,1.389823e-05,1.361775e-05,1.334850e-05,1.309016e-05,1.284239e-05,1.260490e-05,1.237736e-05,1.215947e-05,1.195094e-05,1.175148e-05,1.156078e-05,1.137858e-05,1.120459e-05,1.103855e-05,1.088020e-05,1.072927e-05,1.058553e-05,1.044872e-05,1.031860e-05,1.019496e-05,1.007755e-05,9.966172e-06,9.860600e-06,9.760629e-06,9.666059e-06,9.576693e-06,9.492340e-06,9.412817e-06,9.337943e-06,9.267543e-06
0.000000e+00,8.589425e-10,1.273383e-08,1.331736e-08,8.661242e-08,2.994073e-07,3.122028e-07,7.158465e-07,1.160928e-06,1.189283e-06,1.645320e-06,2.030123e-06,2.061913e-06,2.437145e-06,2.741202e-06,2.773109e-06,3.072591e-06,3.308186e-06,3.338393e-06,3.573177e-06,3.752195e-06,3.779446e-06,3.959545e-06,4.092214e-06,4.115668e-06,4.249851e-06,4.344845e-06,4.363991e-06,4.459844e-06,4.524456e-06,4.539035e-06,4.603065e-06,4.643379e-06,4.653319e-06,4.691075e-06,4.712135e-06,4.717505e-06,4.733692e-06,4.739662e-06,4.740627e-06,4.739224e-06,4.733522e-06,4.730318e-06,4.714677e-06,4.700102e-06,4.693007e-06,4.665951e-06,4.644781e-06,4.634102e-06,4.597998e-06,4.572082e-06,4.558136e-06,4.514967e-06,4.485796e-06,4.468905e-06,4.420326e-06,4.389096e-06,4.369575e-06,4.316966e-06,4.284629e-06,4.262785e-06,4.207291e-06,4.174597e-06,4.150721e-06,4.093290e-06,4.060826e-06,4.035193e-06,3.976606e-06,3.944822e-06,3.917689e-06,3.858586e-06,3.827824e-06,3.799429e-06,3.740333e-06,3.710842e-06,3.681405e-06,3.622739e-06,3.594698e-06,3.564420e-06,3.506523e-06,3.480051e-06,3.449115e-06,3.392257e-06,3.367427e-06,3.335999e-06,3.280390e-06,3.257237e-06,3.225468e-06,3.171269e-06,3.149799e-06,3.117823e-06,3.065156e-06,3.045352e-06,3.013290e-06,2.962242e-06,2.944068e-06,2.912027e-06,2.862658e-06,2.846066e-06,2.814143e-06,2.766488e-06,2.751421e-06,2.719698e-06,2.673775e-06,2.660167e-06,2.628719e-06,2.584530e-06,2.572311e-06,2.541204e-06,2.498737e-06,2.487836e-06,2.457125e-06,2.416361e-06,2.406703e-06,2.376438e-06,2.337347e-06,2.328858e-06,2.299081e-06,2.261629e-06,2.254236e-06,2.224982e-06,2.189129e-06,2.182759e-06,2.154059e-06,2.119761e-06,2.114344e-06,2.086223e-06,2.053434e-06,2.048902e-06,2.021381e-06,1.990053e-06,1.986341e-06,1.959436e-06,1.929520e-06,1.926566e-06,1.900290e-06,1.871735e-06,1.869480e-06,1.843843e-06,1.816600e-06,1.814986e-06,1.789995e-06,1.764014e-06,1.762988e-06,1.738647e-06,1.713880e-06,1.713390e-06,1.689701e-06,1.666099e-06,1.621022e-06,1.578068e-06,1.537150e-06,1.498182e-06,1.461081e-06,1.425768e-06,1.392164e-06,1.360195e-06,1.329789e-06,1.300877e-06,1.273391e-06,1.247267e-06,1.222445e-06,1.198866e-06,1.176472e-06,1.155209e-06,1.135027e-06,1.115874e-06,1.097704e-06,1.080470e-06,1.064131e-06,1.048643e-06,1.033968e-06,1.020066e-06,1.006903e-06,9.944429e-07,9.826530e-07,9.715016e-07,9.609584e-07,9.509947e-07,9.415828e-07,9.326965e-07,9.243106e-07,9.164013e-07,9.089455e-07,9.019215e-07,8.953085e-07,8.890865e-07,8.832367e-07,8.777409e-07,8.725818e-07,8.677428e-07,8.632084e-07,8.589635e-07,8.549937e-07,8.512855e-07,8.478258e-07,8.446021e-07,8.416026e-07
0.000000e+00,6.241933e-10,1.112471e-08,1.166160e-08,7.941672e-08,2.621362e-07,2.724294e-07,5.667764e-07,8.571878e-07,8.753034e-07,1.166113e-06,1.414031e-06,1.434700e-06,1.681403e-06,1.885632e-06,1.907322e-06,2.113652e-06,2.279952e-06,2.301567e-06,2.472202e-06,2.605959e-06,2.626646e-06,2.765944e-06,2.871979e-06,2.891091e-06,3.003035e-06,3.085607e-06,3.102672e-06,3.190851e-06,3.253684e-06,3.268372e-06,3.335987e-06,3.382308e-06,3.394405e-06,3.444289e-06,3.476879e-06,3.486264e-06,3.520913e-06,3.542161e-06,3.548784e-06,3.570391e-06,3.582340e-06,3.586213e-06,3.596700e-06,3.601091e-06,3.602270e-06,3.603318e-06,3.601634e-06,3.600209e-06,3.593286e-06,3.586785e-06,3.582871e-06,3.569261e-06,3.559004e-06,3.552736e-06,3.533556e-06,3.520438e-06,3.511964e-06,3.488185e-06,3.472956e-06,3.462430e-06,3.434896e-06,3.418183e-06,3.405765e-06,3.375207e-06,3.357531e-06,3.343380e-06,3.310432e-06,3.292221e-06,3.276498e-06,3.241704e-06,3.223312e-06,3.206170e-06,3.170003e-06,3.151714e-06,3.133305e-06,3.096168e-06,3.078213e-06,3.058680e-06,3.020921e-06,3.003481e-06,2.982963e-06,2.944876e-06,2.928093e-06,2.906722e-06,2.868558e-06,2.852539e-06,2.830438e-06,2.792410e-06,2.777235e-06,2.754520e-06,2.716808e-06,2.702532e-06,2.679311e-06,2.642064e-06,2.628722e-06,2.605097e-06,2.568438e-06,2.556049e-06,2.532114e-06,2.496146e-06,2.484716e-06,2.460556e-06,2.425362e-06,2.414884e-06,2.390580e-06,2.356225e-06,2.346684e-06,2.322310e-06,2.288846e-06,2.280221e-06,2.255843e-06,2.223310e-06,2.215572e-06,2.191253e-06,2.159678e-06,2.152797e-06,2.128591e-06,2.097994e-06,2.091934e-06,2.067892e-06,2.038285e-06,2.033009e-06,2.009176e-06,1.980563e-06,1.976032e-06,1.952449e-06,1.924830e-06,1.921003e-06,1.897707e-06,1.871077e-06,1.867914e-06,1.844937e-06,1.819285e-06,1.816747e-06,1.794118e-06,1.769431e-06,1.767477e-06,1.745221e-06,1.721484e-06,1.720075e-06,1.698215e-06,1.675410e-06,1.674507e-06,1.653063e-06,1.631168e-06,1.630735e-06,1.609722e-06,1.588718e-06,1.548413e-06,1.509775e-06,1.472758e-06,1.437314e-06,1.403395e-06,1.370955e-06,1.339945e-06,1.310317e-06,1.282025e-06,1.255022e-06,1.229261e-06,1.204698e-06,1.181289e-06,1.158991e-06,1.137760e-06,1.117557e-06,1.098341e-06,1.080073e-06,1.062715e-06,1.046230e-06,1.030584e-06,1.015741e-06,1.001668e-06,9.883333e-07,9.757049e-07,9.637530e-07,9.524483e-07,9.417629e-07,9.316696e-07,9.221422e-07,9.131555e-07,9.046853e-07,8.967081e-07,8.892015e-07,8.821436e-07,8.755138e-07,8.692918e-07,8.634585e-07,8.579951e-07,8.528840e-07,8.481079e-07,8.436503e-07,8.394956e-07,8.356285e-07,8.320343e-07,8.286993e-07,8.256099e-07,8.227533e-07,8.201173e-07
0.000000e+00,4.151645e-09,5.444464e-08,5.680649e-08,3.469893e-07,1.219458e-06,1.273921e-06,3.123266e-06,5.437525e-06,5.592389e-06,8.166001e-06,1.043618e-05,1.062744e-05,1.292964e-05,1.486135e-05,1.506790e-05,1.704678e-05,1.866166e-05,1.887297e-05,2.055363e-05,2.188812e-05,2.209600e-05,2.350728e-05,2.459660e-05,2.479451e-05,2.596456e-05,2.684122e-05,2.702406e-05,2.797936e-05,2.867272e-05,2.883662e-05,2.960176e-05,3.013825e-05,3.028041e-05,3.087796e-05,3.128101e-05,3.139951e-05,3.184993e-05,3.214015e-05,3.223381e-05,3.255553e-05,3.275101e-05,3.281923e-05,3.302881e-05,3.314532e-05,3.318799e-05,3.330027e-05,3.335152e-05,3.336895e-05,3.339715e-05,3.339504e-05,3.338784e-05,3.334378e-05,3.329858e-05,3.326761e-05,3.316181e-05,3.308235e-05,3.302869e-05,3.287046e-05,3.276434e-05,3.268919e-05,3.248683e-05,3.236051e-05,3.226519e-05,3.202601e-05,3.188502e-05,3.177091e-05,3.150139e-05,3.135037e-05,3.121889e-05,3.092474e-05,3.076760e-05,3.062020e-05,3.030645e-05,3.014646e-05,2.998458e-05,2.965562e-05,2.949548e-05,2.932054e-05,2.898023e-05,2.882217e-05,2.863555e-05,2.828726e-05,2.813307e-05,2.793612e-05,2.758278e-05,2.743388e-05,2.722790e-05,2.687205e-05,2.672956e-05,2.651578e-05,2.615961e-05,2.602438e-05,2.580399e-05,2.544938e-05,2.532204e-05,2.509615e-05,2.474469e-05,2.462566e-05,2.439534e-05,2.404840e-05,2.393794e-05,2.370417e-05,2.336290e-05,2.326113e-05,2.302484e-05,2.269019e-05,2.259713e-05,2.235916e-05,2.203192e-05,2.194748e-05,2.170863e-05,2.138944e-05,2.131346e-05,2.107447e-05,2.076384e-05,2.069609e-05,2.045763e-05,2.015594e-05,2.009615e-05,1.985884e-05,1.956639e-05,1.951425e-05,1.927864e-05,1.899564e-05,1.895080e-05,1.871741e-05,1.844398e-05,1.840608e-05,1.817536e-05,1.791157e-05,1.788024e-05,1.765260e-05,1.739845e-05,1.737330e-05,1.714911e-05,1.690456e-05,1.688520e-05,1.666478e-05,1.642975e-05,1.641580e-05,1.619944e-05,1.597380e-05,1.596488e-05,1.575281e-05,1.553643e-05,1.553215e-05,1.532460e-05,1.511729e-05,1.471994e-05,1.433969e-05,1.397610e-05,1.362874e-05,1.329713e-05,1.298080e-05,1.267926e-05,1.239202e-05,1.211858e-05,1.185846e-05,1.161118e-05,1.137624e-05,1.115317e-05,1.094152e-05,1.074081e-05,1.055060e-05,1.037046e-05,1.019995e-05,1.003867e-05,9.886222e-06,9.742204e-06,9.606245e-06,9.477980e-06,9.357059e-06,9.243142e-06,9.135902e-06,9.035024e-06,8.940206e-06,8.851158e-06,8.767598e-06,8.689260e-06,8.615886e-06,8.547229e-06,8.483053e-06,8.423132e-06,8.367249e-06,8.315198e-06,8.266779e-06,8.221803e-06,8.180090e-06,8.141466e-06,8.105767e-06,8.072835e-06,8.042520e-06,8.014678e-06,7.989174e-06,7.965877e-06,7.944663e-06,7.925414e-06
0.000000e+00,1.511765e-10,1.987715e-09,2.074570e-09,1.269774e-08,4.452701e-08,4.652690e-08,1.164712e-07,2.112260e-07,2.178392e-07,3.308458e-07,4.327888e-07,4.413970e-07,5.448204e-07,6.310101e-07,6.401835e-07,7.275936e-07,7.982326e-07,8.074269e-07,8.801222e-07,9.372669e-07,9.461195e-07,1.005848e-06,1.051478e-06,1.059720e-06,1.108125e-06,1.143999e-06,1.151435e-06,1.190001e-06,1.217661e-06,1.224154e-06,1.254206e-06,1.274990e-06,1.280451e-06,1.303164e-06,1.318224e-06,1.322604e-06,1.339012e-06,1.349336e-06,1.352615e-06,1.363625e-06,1.370058e-06,1.372240e-06,1.378645e-06,1.381907e-06,1.383013e-06,1.385506e-06,1.386207e-06,1.386273e-06,1.385457e-06,1.384114e-06,1.383187e-06,1.379587e-06,1.376637e-06,1.374769e-06,1.368841e-06,1.364651e-06,1.361901e-06,1.354041e-06,1.348919e-06,1.345346e-06,1.335897e-06,1.330100e-06,1.325768e-06,1.315027e-06,1.308769e-06,1.303738e-06,1.291962e-06,1.285419e-06,1.279752e-06,1.267161e-06,1.260479e-06,1.254236e-06,1.241020e-06,1.234316e-06,1.227555e-06,1.213877e-06,1.207247e-06,1.200023e-06,1.186025e-06,1.179545e-06,1.171911e-06,1.157710e-06,1.151440e-06,1.143447e-06,1.129144e-06,1.123131e-06,1.114825e-06,1.100508e-06,1.094786e-06,1.086211e-06,1.071951e-06,1.066546e-06,1.057744e-06,1.043602e-06,1.038530e-06,1.029540e-06,1.015567e-06,1.010839e-06,1.001695e-06,9.879328e-07,9.835536e-07,9.742894e-07,9.607723e-07,9.567428e-07,9.473883e-07,9.341437e-07,9.304609e-07,9.210439e-07,9.080938e-07,9.047518e-07,8.952976e-07,8.826592e-07,8.796498e-07,8.701816e-07,8.578677e-07,8.551809e-07,8.457198e-07,8.337398e-07,8.313641e-07,8.219292e-07,8.102893e-07,8.082124e-07,7.988210e-07,7.875249e-07,7.857335e-07,7.764013e-07,7.654503e-07,7.639309e-07,7.546718e-07,7.440656e-07,7.428043e-07,7.336309e-07,7.233673e-07,7.223503e-07,7.132737e-07,7.033493e-07,7.025626e-07,6.935929e-07,6.840032e-07,6.834331e-07,6.745789e-07,6.653186e-07,6.649516e-07,6.562207e-07,6.472837e-07,6.471066e-07,6.385058e-07,6.298852e-07,6.132739e-07,5.972582e-07,5.818230e-07,5.669530e-07,5.526323e-07,5.388452e-07,5.255757e-07,5.128081e-07,5.005265e-07,4.887154e-07,4.773593e-07,4.664431e-07,4.559519e-07,4.458711e-07,4.361866e-07,4.268843e-07,4.179507e-07,4.093727e-07,4.011374e-07,3.932324e-07,3.856455e-07,3.783650e-07,3.713797e-07,3.646785e-07,3.582507e-07,3.520861e-07,3.461748e-07,3.405072e-07,3.350739e-07,3.298661e-07,3.248751e-07,3.200926e-07,3.155105e-07,3.111212e-07,3.069171e-07,3.028912e-07,2.990363e-07,2.953460e-07,2.918137e-07,2.884332e-07,2.851987e-07,2.821043e-07,2.791446e-07,2.763142e-07,2.736080e-07,2.710212e-07,2.685488e-07,2.661866e-07,2.639299e-07
0.000000e+00,2.067197e-10,2.426713e-08,2.612066e-08,5.567511e-07,4.572218e-06,4.923529e-06,2.333486e-05,6.600299e-05,6.976555e-05,1.514967e-04,2.553233e-04,2.654219e-04,4.023257e-04,5.367771e-04,5.520751e-04,7.064391e-04,8.415526e-04,8.597660e-04,1.008606e-03,1.131539e-03,1.151055e-03,1.286182e-03,1.393754e-03,1.413624e-03,1.533334e-03,1.625810e-03,1.645435e-03,1.750136e-03,1.828739e-03,1.847692e-03,1.938380e-03,2.004532e-03,2.022485e-03,2.100294e-03,2.155394e-03,2.172092e-03,2.238157e-03,2.283515e-03,2.298761e-03,2.354168e-03,2.390987e-03,2.404633e-03,2.450402e-03,2.479773e-03,2.491711e-03,2.528789e-03,2.551696e-03,2.561853e-03,2.591114e-03,2.608440e-03,2.616772e-03,2.639020e-03,2.651555e-03,2.658042e-03,2.674015e-03,2.682461e-03,2.687107e-03,2.697479e-03,2.702462e-03,2.705287e-03,2.710676e-03,2.712750e-03,2.713788e-03,2.714758e-03,2.714413e-03,2.713714e-03,2.710777e-03,2.708446e-03,2.706065e-03,2.699689e-03,2.695751e-03,2.691754e-03,2.682363e-03,2.677151e-03,2.671610e-03,2.659588e-03,2.653393e-03,2.646384e-03,2.632081e-03,2.625154e-03,2.616758e-03,2.600490e-03,2.593051e-03,2.583349e-03,2.565403e-03,2.557641e-03,2.546716e-03,2.527349e-03,2.519426e-03,2.507362e-03,2.486810e-03,2.478862e-03,2.465744e-03,2.444215e-03,2.436361e-03,2.422270e-03,2.399955e-03,2.392290e-03,2.377310e-03,2.354377e-03,2.346983e-03,2.331193e-03,2.307794e-03,2.300738e-03,2.284215e-03,2.260488e-03,2.253822e-03,2.236642e-03,2.212707e-03,2.206473e-03,2.188709e-03,2.164674e-03,2.158903e-03,2.140626e-03,2.116587e-03,2.111302e-03,2.092579e-03,2.068621e-03,2.063837e-03,2.044732e-03,2.020929e-03,2.016655e-03,1.997230e-03,1.973648e-03,1.969887e-03,1.950199e-03,1.926896e-03,1.923645e-03,1.903750e-03,1.880775e-03,1.878030e-03,1.857980e-03,1.835375e-03,1.833125e-03,1.812969e-03,1.790771e-03,1.789005e-03,1.768789e-03,1.747030e-03,1.745732e-03,1.725500e-03,1.704205e-03,1.703358e-03,1.683150e-03,1.662341e-03,1.661928e-03,1.641782e-03,1.621477e-03,1.582033e-03,1.543618e-03,1.506249e-03,1.469936e-03,1.434685e-03,1.400498e-03,1.367375e-03,1.335309e-03,1.304294e-03,1.274319e-03,1.245372e-03,1.217438e-03,1.190501e-03,1.164545e-03,1.139550e-03,1.115498e-03,1.092367e-03,1.070137e-03,1.048786e-03,1.028292e-03,1.008633e-03,9.897869e-04,9.717308e-04,9.544423e-04,9.378989e-04,9.220782e-04,9.069581e-04,8.925166e-04,8.787320e-04,8.655830e-04,8.530485e-04,8.411078e-04,8.297407e-04,8.189271e-04,8.086476e-04,7.988831e-04,7.896150e-04,7.808252e-04,7.724958e-04,7.646096e-04,7.571498e-04,7.501000e-04,7.434443e-04,7.371672e-04,7.312537e-04,7.256892e-04,7.204596e-04,7.155512e-04,7.109506e-04
0.000000e+00,1.726008e-11,2.100318e-09,2.257590e-09,4.465894e-08,3.741310e-07,4.043694e-07,2.265380e-06,8.344203e-06,8.991197e-06,2.751857e-05,6.450623e-05,6.899978e-05,1.482519e-04,2.659192e-04,2.822891e-04,4.884985e-04,7.424538e-04,7.829117e-04,1.178824e-03,1.607934e-03,1.685858e-03,2.309470e-03,2.924380e-03,3.050839e-03,3.907069e-03,4.690394e-03,4.871609e-03,5.934817e-03,6.848361e-03,7.084597e-03,8.307065e-03,9.301399e-03,9.587180e-03,1.090934e-02,1.193266e-02,1.225789e-02,1.361758e-02,1.462236e-02,1.497392e-02,1.631342e-02,1.726053e-02,1.762387e-02,1.889438e-02,1.975487e-02,2.011553e-02,2.127934e-02,2.203459e-02,2.237928e-02,2.341022e-02,2.405092e-02,2.436831e-02,2.525092e-02,2.577544e-02,2.605655e-02,2.678464e-02,2.719723e-02,2.743553e-02,2.801032e-02,2.831935e-02,2.851071e-02,2.893896e-02,2.915533e-02,2.929775e-02,2.959009e-02,2.972599e-02,2.981925e-02,2.998870e-02,3.005661e-02,3.010197e-02,3.016271e-02,3.017474e-02,3.017454e-02,3.014105e-02,3.010842e-02,3.006577e-02,2.995211e-02,2.988490e-02,2.980339e-02,2.962279e-02,2.952985e-02,2.941335e-02,2.917794e-02,2.906684e-02,2.891929e-02,2.863994e-02,2.851703e-02,2.834230e-02,2.802859e-02,2.789908e-02,2.770090e-02,2.736114e-02,2.722925e-02,2.701111e-02,2.665243e-02,2.652148e-02,2.628662e-02,2.591506e-02,2.578764e-02,2.553901e-02,2.515962e-02,2.503769e-02,2.477795e-02,2.439494e-02,2.427991e-02,2.401146e-02,2.362828e-02,2.352114e-02,2.324611e-02,2.286559e-02,2.276699e-02,2.248727e-02,2.211166e-02,2.202197e-02,2.173922e-02,2.137034e-02,2.128970e-02,2.100538e-02,2.064466e-02,2.057305e-02,2.028844e-02,1.993698e-02,1.987424e-02,1.959047e-02,1.924910e-02,1.919497e-02,1.891302e-02,1.858236e-02,1.853650e-02,1.825723e-02,1.793772e-02,1.789975e-02,1.762389e-02,1.731581e-02,1.728532e-02,1.701352e-02,1.671705e-02,1.669358e-02,1.642640e-02,1.614159e-02,1.612469e-02,1.586262e-02,1.558946e-02,1.557866e-02,1.532211e-02,1.506053e-02,1.505536e-02,1.480470e-02,1.455457e-02,1.407597e-02,1.361918e-02,1.318378e-02,1.276927e-02,1.237516e-02,1.200092e-02,1.164599e-02,1.130982e-02,1.099183e-02,1.069146e-02,1.040812e-02,1.014125e-02,9.890273e-03,9.654620e-03,9.433730e-03,9.227047e-03,9.034020e-03,8.854109e-03,8.686779e-03,8.531506e-03,8.387771e-03,8.255068e-03,8.132896e-03,8.020767e-03,7.918201e-03,7.824725e-03,7.739881e-03,7.663216e-03,7.594290e-03,7.532673e-03,7.477943e-03,7.429694e-03,7.387524e-03,7.351049e-03,7.319890e-03,7.293684e-03,7.272078e-03,7.254730e-03,7.241312e-03,7.231505e-03,7.225007e-03,7.221523e-03,7.220774e-03,7.222492e-03,7.226422e-03,7.232321e-03,7.239960e-03,7.249119e-03,7.259595e-03
0.000000e+00,1.270758e-11,1.438703e-09,1.544570e-09,2.928688e-08,2.416859e-07,2.611272e-07,1.449779e-06,5.244557e-06,5.641733e-06,1.661795e-05,3.701856e-05,3.939901e-05,7.902320e-05,1.322945e-04,1.393259e-04,2.221860e-04,3.135869e-04,3.273216e-04,4.525125e-04,5.734314e-04,5.940692e-04,7.473932e-04,8.816429e-04,9.075138e-04,1.069538e-03,1.200659e-03,1.228988e-03,1.382017e-03,1.497706e-03,1.525523e-03,1.657185e-03,1.750622e-03,1.775429e-03,1.879352e-03,1.948542e-03,1.968636e-03,2.043436e-03,2.089761e-03,2.104278e-03,2.151960e-03,2.178690e-03,2.187467e-03,2.211893e-03,2.223012e-03,2.226385e-03,2.232093e-03,2.231530e-03,2.230135e-03,2.221570e-03,2.212779e-03,2.207382e-03,2.188471e-03,2.174268e-03,2.165648e-03,2.139631e-03,2.122179e-03,2.111055e-03,2.080469e-03,2.061352e-03,2.048347e-03,2.015094e-03,1.995427e-03,1.981054e-03,1.946512e-03,1.927042e-03,1.911710e-03,1.876844e-03,1.858048e-03,1.842076e-03,1.807538e-03,1.789704e-03,1.773333e-03,1.739546e-03,1.722831e-03,1.706242e-03,1.673471e-03,1.657942e-03,1.641270e-03,1.609668e-03,1.595337e-03,1.578682e-03,1.548328e-03,1.535173e-03,1.518610e-03,1.489534e-03,1.477512e-03,1.461097e-03,1.433297e-03,1.422354e-03,1.406128e-03,1.379584e-03,1.369660e-03,1.353657e-03,1.328337e-03,1.319369e-03,1.303616e-03,1.279482e-03,1.271409e-03,1.255926e-03,1.232936e-03,1.225697e-03,1.210502e-03,1.188613e-03,1.182151e-03,1.167258e-03,1.146427e-03,1.140686e-03,1.126108e-03,1.106290e-03,1.101219e-03,1.086965e-03,1.068120e-03,1.063667e-03,1.049745e-03,1.031832e-03,1.027951e-03,1.014368e-03,9.973446e-04,9.939920e-04,9.807521e-04,9.645807e-04,9.617138e-04,9.488210e-04,9.334639e-04,9.310435e-04,9.185001e-04,9.039209e-04,9.019100e-04,8.897175e-04,8.758811e-04,8.742450e-04,8.624034e-04,8.492761e-04,8.479823e-04,8.364910e-04,8.240400e-04,8.230582e-04,8.119155e-04,8.001096e-04,7.994112e-04,7.886149e-04,7.774240e-04,7.769826e-04,7.665297e-04,7.559249e-04,7.557157e-04,7.456025e-04,7.355560e-04,7.164514e-04,6.983518e-04,6.812094e-04,6.649784e-04,6.496148e-04,6.350767e-04,6.213240e-04,6.083185e-04,5.960234e-04,5.844039e-04,5.734267e-04,5.630599e-04,5.532733e-04,5.440378e-04,5.353260e-04,5.271116e-04,5.193694e-04,5.120757e-04,5.052077e-04,4.987438e-04,4.926633e-04,4.869466e-04,4.815749e-04,4.765306e-04,4.717967e-04,4.673570e-04,4.631962e-04,4.592997e-04,4.556536e-04,4.522447e-04,4.490604e-04,4.460887e-04,4.433184e-04,4.407385e-04,4.383388e-04,4.361095e-04,4.340413e-04,4.321254e-04,4.303533e-04,4.287171e-04,4.272092e-04,4.258223e-04,4.245497e-04,4.233848e-04,4.223214e-04,4.213537e-04,4.204762e-04,4.196834e-04,4.189704e-04
0.000000e+00,5.718891e-09,7.145631e-08,7.447911e-08,4.325303e-07,1.444145e-06,1.505072e-06,3.453435e-06,5.666267e-06,5.809025e-06,8.122542e-06,1.009007e-05,1.025297e-05,1.217839e-05,1.374127e-05,1.390540e-05,1.544681e-05,1.666062e-05,1.681634e-05,1.802734e-05,1.895171e-05,1.909251e-05,2.002378e-05,2.071082e-05,2.083240e-05,2.152885e-05,2.202313e-05,2.212292e-05,2.262373e-05,2.296292e-05,2.303971e-05,2.337860e-05,2.359406e-05,2.364758e-05,2.385329e-05,2.397106e-05,2.400179e-05,2.409868e-05,2.414016e-05,2.414905e-05,2.415761e-05,2.414029e-05,2.412862e-05,2.406602e-05,2.400413e-05,2.397339e-05,2.385400e-05,2.375906e-05,2.371083e-05,2.354661e-05,2.342790e-05,2.336382e-05,2.316472e-05,2.302970e-05,2.295138e-05,2.272566e-05,2.258026e-05,2.248928e-05,2.224378e-05,2.209269e-05,2.199056e-05,2.173091e-05,2.157782e-05,2.146597e-05,2.119680e-05,2.104457e-05,2.092433e-05,2.064944e-05,2.050026e-05,2.037288e-05,2.009536e-05,1.995087e-05,1.981749e-05,1.953985e-05,1.940127e-05,1.926293e-05,1.898719e-05,1.885537e-05,1.871303e-05,1.844081e-05,1.831632e-05,1.817084e-05,1.790341e-05,1.778661e-05,1.763876e-05,1.737712e-05,1.726817e-05,1.711867e-05,1.686358e-05,1.676252e-05,1.661199e-05,1.636402e-05,1.627076e-05,1.611978e-05,1.587934e-05,1.579373e-05,1.564278e-05,1.541015e-05,1.533196e-05,1.518150e-05,1.495685e-05,1.488582e-05,1.473624e-05,1.451966e-05,1.445548e-05,1.430713e-05,1.409864e-05,1.404098e-05,1.389418e-05,1.369372e-05,1.364226e-05,1.349726e-05,1.330475e-05,1.325913e-05,1.311617e-05,1.293149e-05,1.289138e-05,1.275066e-05,1.257365e-05,1.253870e-05,1.240040e-05,1.223088e-05,1.220076e-05,1.206503e-05,1.190280e-05,1.187718e-05,1.174415e-05,1.158902e-05,1.156757e-05,1.143735e-05,1.128909e-05,1.127153e-05,1.114419e-05,1.100259e-05,1.098861e-05,1.086424e-05,1.072908e-05,1.071840e-05,1.059705e-05,1.046809e-05,1.046045e-05,1.034216e-05,1.021920e-05,1.021434e-05,1.009915e-05,9.981956e-06,9.979641e-06,9.867563e-06,9.755919e-06,9.542763e-06,9.339764e-06,9.146522e-06,8.962650e-06,8.787768e-06,8.621511e-06,8.463522e-06,8.313457e-06,8.170984e-06,8.035781e-06,7.907539e-06,7.785958e-06,7.670750e-06,7.561638e-06,7.458356e-06,7.360646e-06,7.268261e-06,7.180965e-06,7.098529e-06,7.020733e-06,6.947369e-06,6.878233e-06,6.813132e-06,6.751879e-06,6.694297e-06,6.640212e-06,6.589463e-06,6.541889e-06,6.497342e-06,6.455674e-06,6.416748e-06,6.380430e-06,6.346593e-06,6.315114e-06,6.285877e-06,6.258768e-06,6.233680e-06,6.210510e-06,6.189161e-06,6.169536e-06,6.151546e-06,6.135105e-06,6.120129e-06,6.106540e-06,6.094262e-06,6.083223e-06,6.073353e-06,6.064586e-06,6.056859e-06
0.000000e+00,1.816990e-09,2.805495e-08,2.934329e-08,1.863237e-07,6.121056e-07,6.368051e-07,1.387606e-06,2.191619e-06,2.242875e-06,3.074140e-06,3.789987e-06,3.849848e-06,4.566051e-06,5.161187e-06,5.224516e-06,5.828181e-06,6.316556e-06,6.380168e-06,6.883566e-06,7.279910e-06,7.341365e-06,7.756436e-06,8.074087e-06,8.131523e-06,8.469234e-06,8.720006e-06,8.772042e-06,9.042292e-06,9.236537e-06,9.282191e-06,9.493821e-06,9.640534e-06,9.679143e-06,9.839997e-06,9.946950e-06,9.978113e-06,1.009511e-05,1.016900e-05,1.019253e-05,1.027177e-05,1.031834e-05,1.033420e-05,1.038105e-05,1.040521e-05,1.041350e-05,1.043266e-05,1.043862e-05,1.043955e-05,1.043514e-05,1.042647e-05,1.042032e-05,1.039594e-05,1.037568e-05,1.036278e-05,1.032159e-05,1.029231e-05,1.027304e-05,1.021778e-05,1.018165e-05,1.015641e-05,1.008948e-05,1.004833e-05,1.001753e-05,9.941025e-06,9.896369e-06,9.860431e-06,9.776168e-06,9.729279e-06,9.688627e-06,9.598177e-06,9.550107e-06,9.505157e-06,9.409884e-06,9.361496e-06,9.312653e-06,9.213738e-06,9.165735e-06,9.113392e-06,9.011850e-06,8.964801e-06,8.909332e-06,8.806040e-06,8.760395e-06,8.702162e-06,8.597869e-06,8.553982e-06,8.493324e-06,8.388672e-06,8.346813e-06,8.284051e-06,8.179587e-06,8.139956e-06,8.075394e-06,7.971579e-06,7.934317e-06,7.868239e-06,7.765462e-06,7.730662e-06,7.663332e-06,7.561921e-06,7.529632e-06,7.461297e-06,7.361522e-06,7.331763e-06,7.262651e-06,7.164734e-06,7.137495e-06,7.067817e-06,6.971940e-06,6.947187e-06,6.877139e-06,6.783446e-06,6.761127e-06,6.690888e-06,6.599492e-06,6.579542e-06,6.509277e-06,6.420263e-06,6.402605e-06,6.332464e-06,6.245895e-06,6.230443e-06,6.160564e-06,6.076481e-06,6.063144e-06,5.993653e-06,5.912081e-06,5.900762e-06,5.831770e-06,5.752720e-06,5.743319e-06,5.674930e-06,5.598398e-06,5.590814e-06,5.523120e-06,5.449093e-06,5.443224e-06,5.376309e-06,5.304763e-06,5.300510e-06,5.234448e-06,5.165354e-06,5.162615e-06,5.097472e-06,5.030793e-06,5.029472e-06,4.965307e-06,4.901002e-06,4.777117e-06,4.657725e-06,4.542724e-06,4.432010e-06,4.325478e-06,4.223015e-06,4.124512e-06,4.029858e-06,3.938941e-06,3.851649e-06,3.767872e-06,3.687500e-06,3.610425e-06,3.536539e-06,3.465738e-06,3.397919e-06,3.332981e-06,3.270826e-06,3.211358e-06,3.154483e-06,3.100109e-06,3.048148e-06,2.998512e-06,2.951119e-06,2.905886e-06,2.862734e-06,2.821586e-06,2.782367e-06,2.745006e-06,2.709433e-06,2.675579e-06,2.643379e-06,2.612770e-06,2.583690e-06,2.556080e-06,2.529883e-06,2.505042e-06,2.481505e-06,2.459220e-06,2.438136e-06,2.418205e-06,2.399381e-06,2.381617e-06,2.364872e-06,2.349102e-06,2.334267e-06,2.320328e-06,2.307246e-06,2.294987e-06
0.000000e+00,8.637299e-11,9.269530e-09,9.939734e-09,1.759629e-07,1.343079e-06,1.446275e-06,7.398089e-06,2.494027e-05,2.671554e-05,7.363699e-05,1.552182e-04,1.644420e-04,3.121270e-04,4.988077e-04,5.227005e-04,7.943228e-04,1.077310e-03,1.118615e-03,1.482969e-03,1.817332e-03,1.872919e-03,2.274079e-03,2.610157e-03,2.673464e-03,3.060232e-03,3.361978e-03,3.425953e-03,3.764567e-03,4.013238e-03,4.072146e-03,4.346561e-03,4.537101e-03,4.587128e-03,4.794254e-03,4.930028e-03,4.969151e-03,5.113587e-03,5.202080e-03,5.229652e-03,5.319615e-03,5.369541e-03,5.385819e-03,5.430587e-03,5.450375e-03,5.456160e-03,5.464660e-03,5.461708e-03,5.458073e-03,5.438230e-03,5.418693e-03,5.406808e-03,5.365332e-03,5.334152e-03,5.315177e-03,5.257583e-03,5.218632e-03,5.193662e-03,5.124409e-03,5.080670e-03,5.050709e-03,4.973352e-03,4.927086e-03,4.893034e-03,4.810374e-03,4.763268e-03,4.725920e-03,4.640154e-03,4.593447e-03,4.553502e-03,4.466337e-03,4.420919e-03,4.378987e-03,4.291739e-03,4.248232e-03,4.204842e-03,4.118514e-03,4.077335e-03,4.032943e-03,3.948293e-03,3.909701e-03,3.864701e-03,3.782288e-03,3.746426e-03,3.701154e-03,3.621384e-03,3.588304e-03,3.543047e-03,3.466201e-03,3.435891e-03,3.390892e-03,3.317156e-03,3.289554e-03,3.245020e-03,3.174502e-03,3.149515e-03,3.105616e-03,3.038367e-03,3.015876e-03,2.972756e-03,2.908779e-03,2.888650e-03,2.846428e-03,2.785691e-03,2.767782e-03,2.726553e-03,2.668997e-03,2.653162e-03,2.613002e-03,2.558548e-03,2.544639e-03,2.505610e-03,2.454163e-03,2.442035e-03,2.404182e-03,2.355640e-03,2.345151e-03,2.308508e-03,2.262759e-03,2.253772e-03,2.218362e-03,2.175290e-03,2.167676e-03,2.133513e-03,2.093000e-03,2.086634e-03,2.053724e-03,2.015653e-03,2.010418e-03,1.978759e-03,1.943013e-03,1.938799e-03,1.908386e-03,1.874849e-03,1.871555e-03,1.842375e-03,1.810936e-03,1.808464e-03,1.780503e-03,1.751051e-03,1.749315e-03,1.722553e-03,1.694983e-03,1.693899e-03,1.668315e-03,1.642524e-03,1.642017e-03,1.617587e-03,1.593478e-03,1.548097e-03,1.505699e-03,1.466114e-03,1.429184e-03,1.394756e-03,1.362684e-03,1.332831e-03,1.305067e-03,1.279267e-03,1.255315e-03,1.233099e-03,1.212515e-03,1.193463e-03,1.175850e-03,1.159587e-03,1.144590e-03,1.130779e-03,1.118082e-03,1.106426e-03,1.095746e-03,1.085978e-03,1.077064e-03,1.068949e-03,1.061578e-03,1.054904e-03,1.048879e-03,1.043458e-03,1.038602e-03,1.034270e-03,1.030426e-03,1.027036e-03,1.024066e-03,1.021486e-03,1.019268e-03,1.017383e-03,1.015807e-03,1.014516e-03,1.013487e-03,1.012699e-03,1.012132e-03,1.011768e-03,1.011588e-03,1.011578e-03,1.011720e-03,1.012001e-03,1.012408e-03,1.012928e-03,1.013548e-03,1.014259e-03
0.000000e+00,6.346493e-09,1.444472e-07,1.518312e-07,1.115413e-06,3.687392e-06,3.828291e-06,7.728190e-06,1.149921e-05,1.173481e-05,1.553505e-05,1.880766e-05,1.908204e-05,2.237672e-05,2.513416e-05,2.542876e-05,2.824924e-05,3.054853e-05,3.084925e-05,3.323973e-05,3.513616e-05,3.543143e-05,3.743493e-05,3.897999e-05,3.926055e-05,4.091839e-05,4.215945e-05,4.241818e-05,4.376933e-05,4.474931e-05,4.498086e-05,4.606139e-05,4.681858e-05,4.701915e-05,4.786193e-05,4.843012e-05,4.859713e-05,4.923181e-05,4.964069e-05,4.977263e-05,5.022589e-05,5.050136e-05,5.059751e-05,5.089308e-05,5.105755e-05,5.111786e-05,5.127683e-05,5.134975e-05,5.137468e-05,5.141581e-05,5.141392e-05,5.140438e-05,5.134429e-05,5.128200e-05,5.123922e-05,5.109262e-05,5.098231e-05,5.090775e-05,5.068765e-05,5.053988e-05,5.043519e-05,5.015307e-05,4.997685e-05,4.984381e-05,4.950979e-05,4.931275e-05,4.915323e-05,4.877622e-05,4.856482e-05,4.838071e-05,4.796853e-05,4.774819e-05,4.754141e-05,4.710094e-05,4.687617e-05,4.664862e-05,4.618587e-05,4.596043e-05,4.571399e-05,4.523420e-05,4.501117e-05,4.474766e-05,4.425543e-05,4.403730e-05,4.375850e-05,4.325780e-05,4.304659e-05,4.275420e-05,4.224849e-05,4.204578e-05,4.174142e-05,4.123368e-05,4.104070e-05,4.072592e-05,4.021872e-05,4.003638e-05,3.971264e-05,3.920819e-05,3.903713e-05,3.870583e-05,3.820600e-05,3.804666e-05,3.770910e-05,3.721548e-05,3.706809e-05,3.672549e-05,3.623942e-05,3.610407e-05,3.575756e-05,3.528017e-05,3.515681e-05,3.480747e-05,3.433967e-05,3.422815e-05,3.387696e-05,3.341951e-05,3.331959e-05,3.296746e-05,3.252095e-05,3.243233e-05,3.208010e-05,3.164501e-05,3.156731e-05,3.121577e-05,3.079245e-05,3.072527e-05,3.037512e-05,2.996383e-05,2.990673e-05,2.955862e-05,2.915953e-05,2.911205e-05,2.876657e-05,2.837977e-05,2.834142e-05,2.799912e-05,2.762463e-05,2.759494e-05,2.725630e-05,2.689410e-05,2.687257e-05,2.653803e-05,2.618805e-05,2.617417e-05,2.584413e-05,2.550625e-05,2.549955e-05,2.517436e-05,2.484843e-05,2.422047e-05,2.361528e-05,2.303245e-05,2.247151e-05,2.193197e-05,2.141335e-05,2.091510e-05,2.043671e-05,1.997762e-05,1.953730e-05,1.911519e-05,1.871075e-05,1.832343e-05,1.795270e-05,1.759802e-05,1.725886e-05,1.693470e-05,1.662504e-05,1.632938e-05,1.604722e-05,1.577808e-05,1.552151e-05,1.527704e-05,1.504424e-05,1.482266e-05,1.461189e-05,1.441153e-05,1.422116e-05,1.404042e-05,1.386892e-05,1.370631e-05,1.355223e-05,1.340634e-05,1.326832e-05,1.313784e-05,1.301461e-05,1.289831e-05,1.278867e-05,1.268541e-05,1.258825e-05,1.249694e-05,1.241123e-05,1.233087e-05,1.225564e-05,1.218530e-05,1.211965e-05,1.205846e-05,1.200154e-05,1.194869e-05
0.000000e+00,5.909770e-09,2.374644e-07,2.509293e-07,2.506817e-06,1.230283e-05,1.300408e-05,4.059371e-05,8.179249e-05,8.471972e-05,1.350084e-04,1.804363e-04,1.842686e-04,2.302630e-04,2.685363e-04,2.726072e-04,3.113728e-04,3.426618e-04,3.467312e-04,3.788734e-04,4.040900e-04,4.079915e-04,4.342737e-04,4.542928e-04,4.579024e-04,4.790531e-04,4.946659e-04,4.978941e-04,5.145848e-04,5.264913e-04,5.292767e-04,5.421128e-04,5.509236e-04,5.532279e-04,5.627488e-04,5.689918e-04,5.707940e-04,5.774736e-04,5.815985e-04,5.828912e-04,5.871443e-04,5.895368e-04,5.903239e-04,5.925151e-04,5.935041e-04,5.937983e-04,5.942481e-04,5.941136e-04,5.939341e-04,5.929218e-04,5.919011e-04,5.912726e-04,5.890447e-04,5.873401e-04,5.862914e-04,5.830612e-04,5.808391e-04,5.793996e-04,5.753482e-04,5.727468e-04,5.709466e-04,5.662310e-04,5.633654e-04,5.612350e-04,5.559899e-04,5.529547e-04,5.505247e-04,5.448664e-04,5.417395e-04,5.390399e-04,5.330683e-04,5.299128e-04,5.269728e-04,5.207733e-04,5.176402e-04,5.144878e-04,5.081332e-04,5.050630e-04,5.017249e-04,4.952773e-04,4.923019e-04,4.888035e-04,4.823156e-04,4.794593e-04,4.758246e-04,4.693406e-04,4.666217e-04,4.628730e-04,4.564301e-04,4.538616e-04,4.500196e-04,4.436487e-04,4.412395e-04,4.373236e-04,4.310502e-04,4.288054e-04,4.248336e-04,4.186786e-04,4.166006e-04,4.125893e-04,4.065695e-04,4.046584e-04,4.006226e-04,3.947514e-04,3.930053e-04,3.889587e-04,3.832466e-04,3.816619e-04,3.776171e-04,3.720719e-04,3.706441e-04,3.666124e-04,3.612398e-04,3.599634e-04,3.559549e-04,3.507587e-04,3.496274e-04,3.456515e-04,3.406338e-04,3.396410e-04,3.357057e-04,3.308674e-04,3.300061e-04,3.261188e-04,3.214597e-04,3.207225e-04,3.168897e-04,3.124085e-04,3.117881e-04,3.080155e-04,3.037102e-04,3.031994e-04,2.994918e-04,2.953597e-04,2.949512e-04,2.913131e-04,2.873511e-04,2.870377e-04,2.834727e-04,2.796771e-04,2.794520e-04,2.759632e-04,2.723300e-04,2.721863e-04,2.687765e-04,2.653015e-04,2.652328e-04,2.619039e-04,2.585827e-04,2.522273e-04,2.461576e-04,2.403644e-04,2.348384e-04,2.295705e-04,2.245515e-04,2.197723e-04,2.152240e-04,2.108977e-04,2.067848e-04,2.028769e-04,1.991656e-04,1.956431e-04,1.923015e-04,1.891333e-04,1.861310e-04,1.832877e-04,1.805963e-04,1.780504e-04,1.756434e-04,1.733693e-04,1.712221e-04,1.691959e-04,1.672855e-04,1.654853e-04,1.637903e-04,1.621957e-04,1.606967e-04,1.592888e-04,1.579676e-04,1.567291e-04,1.555692e-04,1.544841e-04,1.534702e-04,1.525238e-04,1.516418e-04,1.508207e-04,1.500577e-04,1.493496e-04,1.486937e-04,1.480873e-04,1.475278e-04,1.470127e-04,1.465397e-04,1.461065e-04,1.457110e-04,1.453510e-04,1.450247e-04,1.447302e-04
0.000000e+00,1.497227e-09,7.431644e-08,7.875669e-08,8.884968e-07,4.912189e-06,5.220192e-06,1.886029e-05,4.381974e-05,4.577029e-05,8.189001e-05,1.168389e-04,1.198137e-04,1.552510e-04,1.839099e-04,1.868974e-04,2.146714e-04,2.361169e-04,2.388372e-04,2.597266e-04,2.753199e-04,2.776652e-04,2.929545e-04,3.039524e-04,3.058699e-04,3.166623e-04,3.240878e-04,3.255588e-04,3.327651e-04,3.374387e-04,3.384670e-04,3.428320e-04,3.454062e-04,3.460109e-04,3.481395e-04,3.491302e-04,3.493396e-04,3.497208e-04,3.495337e-04,3.493811e-04,3.484086e-04,3.473611e-04,3.468821e-04,3.448721e-04,3.432115e-04,3.424417e-04,3.396475e-04,3.375654e-04,3.365396e-04,3.331632e-04,3.308073e-04,3.295584e-04,3.257609e-04,3.232443e-04,3.218027e-04,3.177121e-04,3.151207e-04,3.135144e-04,3.092320e-04,3.066302e-04,3.048847e-04,3.004901e-04,2.979259e-04,2.960639e-04,2.916198e-04,2.891279e-04,2.871700e-04,2.827251e-04,2.803303e-04,2.782945e-04,2.738865e-04,2.716056e-04,2.695081e-04,2.651657e-04,2.630096e-04,2.608645e-04,2.566094e-04,2.545844e-04,2.524042e-04,2.482524e-04,2.463613e-04,2.441568e-04,2.401199e-04,2.383628e-04,2.361437e-04,2.322296e-04,2.306046e-04,2.283791e-04,2.245932e-04,2.230970e-04,2.208724e-04,2.172174e-04,2.158458e-04,2.136285e-04,2.101057e-04,2.088536e-04,2.066490e-04,2.032582e-04,2.021203e-04,1.999330e-04,1.966731e-04,1.956436e-04,1.934779e-04,1.903468e-04,1.894199e-04,1.872792e-04,1.842743e-04,1.834441e-04,1.813315e-04,1.784499e-04,1.777106e-04,1.756286e-04,1.728668e-04,1.722127e-04,1.701636e-04,1.675180e-04,1.669437e-04,1.649292e-04,1.623962e-04,1.618962e-04,1.599181e-04,1.574938e-04,1.570631e-04,1.551225e-04,1.528032e-04,1.524368e-04,1.505348e-04,1.483166e-04,1.480100e-04,1.461474e-04,1.440265e-04,1.437752e-04,1.419528e-04,1.399254e-04,1.397252e-04,1.379434e-04,1.360060e-04,1.358529e-04,1.341121e-04,1.322610e-04,1.321513e-04,1.304518e-04,1.286836e-04,1.286137e-04,1.269555e-04,1.252668e-04,1.252335e-04,1.236167e-04,1.220043e-04,1.189199e-04,1.159744e-04,1.131621e-04,1.104774e-04,1.079150e-04,1.054697e-04,1.031366e-04,1.009110e-04,9.878837e-05,9.676427e-05,9.483453e-05,9.299512e-05,9.124218e-05,8.957201e-05,8.798104e-05,8.646588e-05,8.502324e-05,8.365001e-05,8.234317e-05,8.109984e-05,7.991727e-05,7.879280e-05,7.772392e-05,7.670818e-05,7.574326e-05,7.482693e-05,7.395705e-05,7.313157e-05,7.234853e-05,7.160606e-05,7.090235e-05,7.023568e-05,6.960439e-05,6.900690e-05,6.844170e-05,6.790733e-05,6.740240e-05,6.692558e-05,6.647560e-05,6.605122e-05,6.565129e-05,6.527467e-05,6.492030e-05,6.458715e-05,6.427423e-05,6.398060e-05,6.370536e-05,6.344764e-05,6.320663e-05
0.000000e+00,4.794212e-11,5.573718e-09,5.989743e-09,1.202684e-07,1.039668e-06,1.124980e-06,6.413097e-06,2.343449e-05,2.521698e-05,7.436866e-05,1.651486e-04,1.757007e-04,3.504327e-04,5.834567e-04,6.141012e-04,9.739547e-04,1.369409e-03,1.428784e-03,1.970342e-03,2.495493e-03,2.585461e-03,3.258220e-03,3.855569e-03,3.971799e-03,4.709876e-03,5.322875e-03,5.457559e-03,6.201905e-03,6.787669e-03,6.932145e-03,7.639665e-03,8.171445e-03,8.317862e-03,8.961922e-03,9.426505e-03,9.568558e-03,1.013575e-02,1.052946e-02,1.066251e-02,1.114863e-02,1.147370e-02,1.159455e-02,1.200115e-02,1.226301e-02,1.236964e-02,1.270147e-02,1.290699e-02,1.299824e-02,1.326165e-02,1.341805e-02,1.349340e-02,1.369522e-02,1.380947e-02,1.386882e-02,1.401587e-02,1.409442e-02,1.413799e-02,1.423673e-02,1.428538e-02,1.431360e-02,1.437001e-02,1.439390e-02,1.440733e-02,1.442685e-02,1.443047e-02,1.442980e-02,1.441735e-02,1.440460e-02,1.439058e-02,1.435056e-02,1.432483e-02,1.429825e-02,1.423459e-02,1.419878e-02,1.416046e-02,1.407668e-02,1.403328e-02,1.398404e-02,1.388328e-02,1.383439e-02,1.377509e-02,1.366012e-02,1.360754e-02,1.353899e-02,1.341228e-02,1.335753e-02,1.328054e-02,1.314427e-02,1.308861e-02,1.300397e-02,1.286009e-02,1.280457e-02,1.271306e-02,1.256326e-02,1.250874e-02,1.241109e-02,1.225689e-02,1.220406e-02,1.210099e-02,1.194370e-02,1.189312e-02,1.178530e-02,1.162608e-02,1.157819e-02,1.146628e-02,1.130614e-02,1.126126e-02,1.114587e-02,1.098568e-02,1.094407e-02,1.082577e-02,1.066630e-02,1.062812e-02,1.050745e-02,1.034936e-02,1.031470e-02,1.019218e-02,1.003603e-02,1.000493e-02,9.881035e-03,9.727307e-03,9.699778e-03,9.574945e-03,9.424044e-03,9.400041e-03,9.274686e-03,9.126951e-03,9.106401e-03,8.980908e-03,8.836620e-03,8.819426e-03,8.694146e-03,8.553536e-03,8.539579e-03,8.414836e-03,8.278088e-03,8.267233e-03,8.143326e-03,8.010582e-03,8.002682e-03,7.879882e-03,7.751250e-03,7.746148e-03,7.624705e-03,7.500262e-03,7.497794e-03,7.377932e-03,7.257726e-03,7.026003e-03,6.802643e-03,6.587627e-03,6.380905e-03,6.182401e-03,5.992014e-03,5.809624e-03,5.635095e-03,5.468277e-03,5.309008e-03,5.157115e-03,5.012420e-03,4.874738e-03,4.743879e-03,4.619651e-03,4.501857e-03,4.390302e-03,4.284790e-03,4.185123e-03,4.091106e-03,4.002546e-03,3.919250e-03,3.841030e-03,3.767698e-03,3.699070e-03,3.634966e-03,3.575208e-03,3.519622e-03,3.468037e-03,3.420287e-03,3.376209e-03,3.335644e-03,3.298436e-03,3.264434e-03,3.233490e-03,3.205461e-03,3.180206e-03,3.157589e-03,3.137478e-03,3.119744e-03,3.104263e-03,3.090913e-03,3.079576e-03,3.070139e-03,3.062491e-03,3.056525e-03,3.052138e-03,3.049230e-03,3.047704e-03
0.000000e+00,1.230177e-09,8.247656e-08,8.775298e-08,1.124318e-06,6.658354e-06,7.095755e-06,2.778942e-05,7.144904e-05,7.516723e-05,1.519291e-04,2.396356e-04,2.476465e-04,3.485711e-04,4.362175e-04,4.456010e-04,5.347308e-04,6.057210e-04,6.148594e-04,6.861059e-04,7.406733e-04,7.489986e-04,8.041657e-04,8.449957e-04,8.522349e-04,8.938028e-04,9.234312e-04,9.294294e-04,9.596365e-04,9.802277e-04,9.849098e-04,1.005700e-03,1.019074e-03,1.022425e-03,1.035469e-03,1.043141e-03,1.045188e-03,1.051909e-03,1.055131e-03,1.055933e-03,1.057536e-03,1.057333e-03,1.056969e-03,1.054465e-03,1.051673e-03,1.050234e-03,1.044471e-03,1.039766e-03,1.037351e-03,1.029035e-03,1.022963e-03,1.019669e-03,1.009388e-03,1.002384e-03,9.983120e-04,9.865515e-04,9.789607e-04,9.742070e-04,9.613696e-04,9.534651e-04,9.481215e-04,9.345372e-04,9.265312e-04,9.206842e-04,9.066233e-04,8.986790e-04,8.924092e-04,8.780913e-04,8.703323e-04,8.637141e-04,8.493173e-04,8.418351e-04,8.349363e-04,8.206031e-04,8.134633e-04,8.063457e-04,7.921894e-04,7.854369e-04,7.781562e-04,7.642656e-04,7.579285e-04,7.505346e-04,7.369782e-04,7.310721e-04,7.236092e-04,7.104388e-04,7.049687e-04,6.974763e-04,6.847297e-04,6.796931e-04,6.722058e-04,6.599099e-04,6.552982e-04,6.478464e-04,6.360184e-04,6.318186e-04,6.244286e-04,6.130786e-04,6.092743e-04,6.019691e-04,5.911005e-04,5.876734e-04,5.804726e-04,5.700844e-04,5.670145e-04,5.599346e-04,5.500216e-04,5.472881e-04,5.403433e-04,5.308974e-04,5.284791e-04,5.216811e-04,5.126916e-04,5.105675e-04,5.039258e-04,4.953804e-04,4.935297e-04,4.870520e-04,4.789370e-04,4.773393e-04,4.710317e-04,4.633324e-04,4.619681e-04,4.558352e-04,4.485363e-04,4.473866e-04,4.414316e-04,4.345174e-04,4.335643e-04,4.277895e-04,4.212441e-04,4.204707e-04,4.148771e-04,4.086847e-04,4.080749e-04,4.026629e-04,3.968077e-04,3.963464e-04,3.911154e-04,3.855820e-04,3.852550e-04,3.802040e-04,3.749773e-04,3.747714e-04,3.698985e-04,3.649639e-04,3.648666e-04,3.601698e-04,3.555129e-04,3.466830e-04,3.383509e-04,3.304914e-04,3.230804e-04,3.160948e-04,3.095123e-04,3.033120e-04,2.974734e-04,2.919774e-04,2.868056e-04,2.819405e-04,2.773656e-04,2.730650e-04,2.690238e-04,2.652277e-04,2.616633e-04,2.583177e-04,2.551788e-04,2.522351e-04,2.494756e-04,2.468902e-04,2.444690e-04,2.422027e-04,2.400826e-04,2.381004e-04,2.362483e-04,2.345188e-04,2.329049e-04,2.314000e-04,2.299978e-04,2.286924e-04,2.274782e-04,2.263498e-04,2.253022e-04,2.243308e-04,2.234309e-04,2.225985e-04,2.218294e-04,2.211199e-04,2.204665e-04,2.198657e-04,2.193143e-04,2.188095e-04,2.183482e-04,2.179279e-04,2.175459e-04,2.172000e-04,2.168877e-04,2.166071e-04
0.000000e+00,1.342741e-11,1.755139e-09,1.891541e-09,4.338957e-08,4.073728e-07,4.418531e-07,2.613469e-06,9.589809e-06,1.031506e-05,3.003009e-05,6.565865e-05,6.976200e-05,1.370935e-04,2.259290e-04,2.375674e-04,3.738217e-04,5.230702e-04,5.454540e-04,7.493973e-04,9.467965e-04,9.805723e-04,1.232625e-03,1.455411e-03,1.498617e-03,1.771610e-03,1.996102e-03,2.045096e-03,2.313297e-03,2.520738e-03,2.571329e-03,2.815274e-03,2.993831e-03,3.042166e-03,3.249934e-03,3.394237e-03,3.437303e-03,3.603682e-03,3.713255e-03,3.749045e-03,3.873824e-03,3.951343e-03,3.978794e-03,4.064986e-03,4.114788e-03,4.133605e-03,4.185960e-03,4.212965e-03,4.223412e-03,4.247329e-03,4.256355e-03,4.259057e-03,4.259888e-03,4.255271e-03,4.251050e-03,4.233691e-03,4.219120e-03,4.208877e-03,4.177589e-03,4.156083e-03,4.140719e-03,4.099077e-03,4.073028e-03,4.053390e-03,4.004309e-03,3.975561e-03,3.952417e-03,3.898228e-03,3.868173e-03,3.842198e-03,3.784729e-03,3.754395e-03,3.726174e-03,3.666840e-03,3.636966e-03,3.606996e-03,3.546877e-03,3.517982e-03,3.486684e-03,3.426593e-03,3.399028e-03,3.366754e-03,3.307295e-03,3.281283e-03,3.248327e-03,3.189943e-03,3.165616e-03,3.132222e-03,3.075230e-03,3.052649e-03,3.019021e-03,2.963641e-03,2.942822e-03,2.909127e-03,2.855508e-03,2.836429e-03,2.802807e-03,2.751041e-03,2.733656e-03,2.700224e-03,2.650363e-03,2.634610e-03,2.601464e-03,2.553527e-03,2.539334e-03,2.506553e-03,2.460538e-03,2.447825e-03,2.415476e-03,2.371361e-03,2.360045e-03,2.328185e-03,2.285937e-03,2.275934e-03,2.244607e-03,2.204184e-03,2.195412e-03,2.164656e-03,2.126009e-03,2.118384e-03,2.088231e-03,2.051307e-03,2.044751e-03,2.015225e-03,1.979969e-03,1.974404e-03,1.945526e-03,1.911880e-03,1.907233e-03,1.879018e-03,1.846925e-03,1.843125e-03,1.815586e-03,1.784988e-03,1.781968e-03,1.755115e-03,1.725953e-03,1.723650e-03,1.697488e-03,1.669707e-03,1.668061e-03,1.642595e-03,1.616138e-03,1.615093e-03,1.590323e-03,1.565137e-03,1.564640e-03,1.540567e-03,1.516598e-03,1.470869e-03,1.427355e-03,1.385963e-03,1.346602e-03,1.309186e-03,1.273629e-03,1.239852e-03,1.207776e-03,1.177327e-03,1.148433e-03,1.121025e-03,1.095037e-03,1.070405e-03,1.047069e-03,1.024970e-03,1.004052e-03,9.842614e-04,9.655472e-04,9.478598e-04,9.311522e-04,9.153792e-04,9.004975e-04,8.864657e-04,8.732441e-04,8.607948e-04,8.490815e-04,8.380693e-04,8.277249e-04,8.180165e-04,8.089137e-04,8.003871e-04,7.924089e-04,7.849523e-04,7.779919e-04,7.715031e-04,7.654625e-04,7.598478e-04,7.546377e-04,7.498115e-04,7.453497e-04,7.412337e-04,7.374454e-04,7.339678e-04,7.307846e-04,7.278801e-04,7.252393e-04,7.228480e-04,7.206925e-04,7.187599e-04
0.000000e+00,3.431961e-09,1.305686e-07,1.379050e-07,1.364274e-06,6.715590e-06,7.100709e-06,2.248018e-05,4.610523e-05,4.780291e-05,7.710206e-05,1.035109e-04,1.057284e-04,1.321695e-04,1.538888e-04,1.561821e-04,1.778448e-04,1.950811e-04,1.973053e-04,2.147226e-04,2.281838e-04,2.302490e-04,2.440264e-04,2.543473e-04,2.561905e-04,2.668694e-04,2.746023e-04,2.761831e-04,2.842432e-04,2.898590e-04,2.911539e-04,2.970118e-04,3.009078e-04,3.019063e-04,3.059206e-04,3.084302e-04,3.091314e-04,3.116096e-04,3.130106e-04,3.134207e-04,3.146254e-04,3.151486e-04,3.152793e-04,3.154339e-04,3.152706e-04,3.151367e-04,3.144313e-04,3.137392e-04,3.133580e-04,3.119537e-04,3.108622e-04,3.102525e-04,3.082857e-04,3.069010e-04,3.060821e-04,3.036680e-04,3.020762e-04,3.010676e-04,2.983033e-04,2.965745e-04,2.953954e-04,2.923625e-04,2.905530e-04,2.892218e-04,2.859889e-04,2.841436e-04,2.826781e-04,2.793024e-04,2.774568e-04,2.758738e-04,2.724031e-04,2.705851e-04,2.689003e-04,2.653742e-04,2.636051e-04,2.618331e-04,2.582844e-04,2.565804e-04,2.547349e-04,2.511905e-04,2.495633e-04,2.476567e-04,2.441386e-04,2.425967e-04,2.406405e-04,2.371664e-04,2.357154e-04,2.337199e-04,2.303042e-04,2.289471e-04,2.269220e-04,2.235758e-04,2.223142e-04,2.202679e-04,2.170001e-04,2.158339e-04,2.137741e-04,2.105914e-04,2.095194e-04,2.074532e-04,2.043604e-04,2.033805e-04,2.013141e-04,1.983148e-04,1.974242e-04,1.953631e-04,1.924594e-04,1.916550e-04,1.896041e-04,1.867973e-04,1.860755e-04,1.840391e-04,1.813295e-04,1.806864e-04,1.786685e-04,1.760558e-04,1.754875e-04,1.734913e-04,1.709748e-04,1.704772e-04,1.685058e-04,1.660839e-04,1.656530e-04,1.637088e-04,1.613801e-04,1.610117e-04,1.590971e-04,1.568594e-04,1.565497e-04,1.546665e-04,1.525177e-04,1.522628e-04,1.504126e-04,1.483504e-04,1.481465e-04,1.463306e-04,1.443525e-04,1.441960e-04,1.424155e-04,1.405190e-04,1.404065e-04,1.386623e-04,1.368447e-04,1.367728e-04,1.350656e-04,1.333244e-04,1.332900e-04,1.316203e-04,1.299528e-04,1.267563e-04,1.236953e-04,1.207649e-04,1.179603e-04,1.152766e-04,1.127091e-04,1.102534e-04,1.079049e-04,1.056595e-04,1.035129e-04,1.014611e-04,9.950025e-05,9.762661e-05,9.583654e-05,9.412657e-05,9.249335e-05,9.093364e-05,8.944436e-05,8.802251e-05,8.666524e-05,8.536980e-05,8.413354e-05,8.295393e-05,8.182855e-05,8.075506e-05,7.973123e-05,7.875491e-05,7.782405e-05,7.693668e-05,7.609092e-05,7.528496e-05,7.451705e-05,7.378556e-05,7.308888e-05,7.242549e-05,7.179393e-05,7.119282e-05,7.062080e-05,7.007661e-05,6.955901e-05,6.906683e-05,6.859894e-05,6.815428e-05,6.773180e-05,6.733053e-05,6.694951e-05,6.658785e-05,6.624468e-05,6.591916e-05
0.000000e+00,1.094289e-08,3.083526e-07,3.251805e-07,2.739723e-06,9.776095e-06,1.017135e-05,2.126564e-05,3.214067e-05,3.282383e-05,4.391006e-05,5.356919e-05,5.438416e-05,6.423810e-05,7.258875e-05,7.348696e-05,8.215066e-05,8.930773e-05,9.025070e-05,9.780926e-05,1.038938e-04,1.048489e-04,1.113925e-04,1.165223e-04,1.174627e-04,1.230816e-04,1.273677e-04,1.282710e-04,1.330522e-04,1.365970e-04,1.374457e-04,1.414712e-04,1.443678e-04,1.451476e-04,1.484933e-04,1.508254e-04,1.515255e-04,1.542612e-04,1.561040e-04,1.567162e-04,1.589058e-04,1.603261e-04,1.608445e-04,1.625464e-04,1.636039e-04,1.640247e-04,1.652920e-04,1.660395e-04,1.663605e-04,1.672415e-04,1.677257e-04,1.679462e-04,1.684848e-04,1.687471e-04,1.688674e-04,1.691034e-04,1.691801e-04,1.692018e-04,1.691711e-04,1.690942e-04,1.690196e-04,1.687548e-04,1.685523e-04,1.683842e-04,1.679148e-04,1.676112e-04,1.673531e-04,1.667055e-04,1.663222e-04,1.659780e-04,1.651763e-04,1.647318e-04,1.643056e-04,1.633712e-04,1.628817e-04,1.623779e-04,1.613303e-04,1.608094e-04,1.602327e-04,1.590893e-04,1.585490e-04,1.579039e-04,1.566802e-04,1.561306e-04,1.554219e-04,1.541321e-04,1.535817e-04,1.528140e-04,1.514705e-04,1.509266e-04,1.501045e-04,1.487186e-04,1.481872e-04,1.473152e-04,1.458969e-04,1.453830e-04,1.444656e-04,1.430236e-04,1.425312e-04,1.415728e-04,1.401151e-04,1.396475e-04,1.386522e-04,1.371858e-04,1.367454e-04,1.357173e-04,1.342483e-04,1.338371e-04,1.327801e-04,1.313139e-04,1.309332e-04,1.298510e-04,1.283925e-04,1.280432e-04,1.269393e-04,1.254926e-04,1.251753e-04,1.240531e-04,1.226218e-04,1.223366e-04,1.211994e-04,1.197866e-04,1.195334e-04,1.183841e-04,1.169926e-04,1.167710e-04,1.156126e-04,1.142447e-04,1.140541e-04,1.128892e-04,1.115468e-04,1.113866e-04,1.102177e-04,1.089024e-04,1.087716e-04,1.076012e-04,1.063144e-04,1.062121e-04,1.050422e-04,1.037850e-04,1.037101e-04,1.025429e-04,1.013162e-04,1.012674e-04,1.001049e-04,9.890925e-05,9.888550e-05,9.772937e-05,9.656534e-05,9.430764e-05,9.211283e-05,8.998108e-05,8.791236e-05,8.590641e-05,8.396282e-05,8.208105e-05,8.026040e-05,7.850009e-05,7.679921e-05,7.515680e-05,7.357181e-05,7.204314e-05,7.056965e-05,6.915013e-05,6.778339e-05,6.646818e-05,6.520324e-05,6.398729e-05,6.281907e-05,6.169728e-05,6.062067e-05,5.958796e-05,5.859789e-05,5.764922e-05,5.674073e-05,5.587118e-05,5.503938e-05,5.424416e-05,5.348433e-05,5.275878e-05,5.206637e-05,5.140601e-05,5.077664e-05,5.017720e-05,4.960668e-05,4.906408e-05,4.854842e-05,4.805875e-05,4.759415e-05,4.715370e-05,4.673653e-05,4.634178e-05,4.596862e-05,4.561625e-05,4.528387e-05,4.497072e-05,4.467605e-05,4.439916e-05
0.000000e+00,2.503414e-11,3.193603e-09,3.438274e-09,7.423226e-08,6.617553e-07,7.164931e-07,4.098151e-06,1.483495e-05,1.595135e-05,4.651692e-05,1.028448e-04,1.094131e-04,2.192103e-04,3.689778e-04,3.889593e-04,6.283787e-04,9.011126e-04,9.428897e-04,1.333409e-03,1.727677e-03,1.796701e-03,2.326070e-03,2.815062e-03,2.912224e-03,3.544164e-03,4.088196e-03,4.210008e-03,4.897697e-03,5.455714e-03,5.595568e-03,6.292775e-03,6.829828e-03,6.979583e-03,7.647541e-03,8.138166e-03,8.289553e-03,8.899882e-03,9.328475e-03,9.474097e-03,1.000897e-02,1.036849e-02,1.050238e-02,1.095313e-02,1.124306e-02,1.136087e-02,1.172594e-02,1.195024e-02,1.204921e-02,1.233202e-02,1.249731e-02,1.257604e-02,1.278318e-02,1.289736e-02,1.295554e-02,1.309529e-02,1.316655e-02,1.320469e-02,1.328596e-02,1.332215e-02,1.334132e-02,1.337291e-02,1.338115e-02,1.338278e-02,1.337293e-02,1.335949e-02,1.334521e-02,1.330138e-02,1.327160e-02,1.324309e-02,1.317185e-02,1.313017e-02,1.308908e-02,1.299608e-02,1.294612e-02,1.289405e-02,1.278407e-02,1.272877e-02,1.266717e-02,1.254425e-02,1.248593e-02,1.241616e-02,1.228364e-02,1.222412e-02,1.214740e-02,1.200804e-02,1.194873e-02,1.186614e-02,1.172221e-02,1.166417e-02,1.157670e-02,1.143003e-02,1.137407e-02,1.128257e-02,1.113465e-02,1.108135e-02,1.098657e-02,1.083861e-02,1.078837e-02,1.069100e-02,1.054396e-02,1.049706e-02,1.039768e-02,1.025233e-02,1.020893e-02,1.010806e-02,9.965010e-03,9.925189e-03,9.823292e-03,9.683015e-03,9.646790e-03,9.544270e-03,9.407136e-03,9.374472e-03,9.271685e-03,9.137976e-03,9.108799e-03,9.006062e-03,8.875988e-03,8.850197e-03,8.747789e-03,8.621497e-03,8.598969e-03,8.497136e-03,8.374727e-03,8.355324e-03,8.254284e-03,8.135818e-03,8.119391e-03,8.019337e-03,7.904845e-03,7.891240e-03,7.792342e-03,7.681828e-03,7.670885e-03,7.573296e-03,7.466741e-03,7.458301e-03,7.362152e-03,7.259520e-03,7.253424e-03,7.158832e-03,7.060073e-03,7.056162e-03,6.963228e-03,6.868281e-03,6.866402e-03,6.775215e-03,6.684011e-03,6.508844e-03,6.340744e-03,6.179546e-03,6.025076e-03,5.877160e-03,5.735618e-03,5.600269e-03,5.470931e-03,5.347423e-03,5.229564e-03,5.117175e-03,5.010079e-03,4.908101e-03,4.811068e-03,4.718811e-03,4.631163e-03,4.547960e-03,4.469043e-03,4.394254e-03,4.323440e-03,4.256452e-03,4.193141e-03,4.133366e-03,4.076986e-03,4.023866e-03,3.973872e-03,3.926874e-03,3.882747e-03,3.841368e-03,3.802618e-03,3.766379e-03,3.732539e-03,3.700988e-03,3.671619e-03,3.644328e-03,3.619015e-03,3.595582e-03,3.573935e-03,3.553981e-03,3.535632e-03,3.518802e-03,3.503408e-03,3.489370e-03,3.476610e-03,3.465053e-03,3.454628e-03,3.445264e-03,3.436895e-03,3.429457e-03
0.000000e+00,1.600787e-11,1.983164e-09,2.133123e-09,4.338773e-08,3.622178e-07,3.911622e-07,2.115644e-06,7.408559e-06,7.954193e-06,2.281562e-05,5.014221e-05,5.332943e-05,1.066339e-04,1.793451e-04,1.890405e-04,3.050289e-04,4.366221e-04,4.567218e-04,6.438017e-04,8.311238e-04,8.637514e-04,1.112289e-03,1.339137e-03,1.383891e-03,1.672313e-03,1.916812e-03,1.971060e-03,2.273779e-03,2.514818e-03,2.574554e-03,2.868118e-03,3.089171e-03,3.149975e-03,3.416453e-03,3.606914e-03,3.664712e-03,3.892701e-03,4.047559e-03,4.099095e-03,4.283206e-03,4.401874e-03,4.444899e-03,4.584489e-03,4.669406e-03,4.702661e-03,4.800374e-03,4.855721e-03,4.878794e-03,4.939226e-03,4.969929e-03,4.983057e-03,5.011710e-03,5.022741e-03,5.026607e-03,5.029139e-03,5.025087e-03,5.020641e-03,5.002383e-03,4.987241e-03,4.975552e-03,4.941250e-03,4.918334e-03,4.900489e-03,4.854193e-03,4.826164e-03,4.803196e-03,4.748251e-03,4.717177e-03,4.690027e-03,4.629123e-03,4.596571e-03,4.566066e-03,4.501321e-03,4.468445e-03,4.435297e-03,4.368348e-03,4.335977e-03,4.300785e-03,4.232875e-03,4.201585e-03,4.164850e-03,4.096907e-03,4.067083e-03,4.029217e-03,3.961925e-03,3.933812e-03,3.895155e-03,3.829009e-03,3.802745e-03,3.763575e-03,3.698926e-03,3.674578e-03,3.635123e-03,3.572213e-03,3.549793e-03,3.510239e-03,3.449232e-03,3.428714e-03,3.389216e-03,3.330213e-03,3.311547e-03,3.272235e-03,3.215293e-03,3.198413e-03,3.159393e-03,3.104539e-03,3.089367e-03,3.050729e-03,2.997964e-03,2.984415e-03,2.946237e-03,2.895544e-03,2.883530e-03,2.845877e-03,2.797228e-03,2.786660e-03,2.749586e-03,2.702943e-03,2.693733e-03,2.657286e-03,2.612604e-03,2.604664e-03,2.568885e-03,2.526115e-03,2.519359e-03,2.484282e-03,2.443371e-03,2.437717e-03,2.403370e-03,2.364263e-03,2.359630e-03,2.326037e-03,2.288678e-03,2.284989e-03,2.252171e-03,2.216503e-03,2.213685e-03,2.181658e-03,2.147623e-03,2.145606e-03,2.114383e-03,2.081924e-03,2.080641e-03,2.050231e-03,2.019292e-03,2.018681e-03,1.989091e-03,1.959615e-03,1.903338e-03,1.849745e-03,1.798732e-03,1.750200e-03,1.704050e-03,1.660189e-03,1.618524e-03,1.578966e-03,1.541428e-03,1.505826e-03,1.472080e-03,1.440112e-03,1.409846e-03,1.381210e-03,1.354133e-03,1.328548e-03,1.304390e-03,1.281596e-03,1.260107e-03,1.239863e-03,1.220810e-03,1.202894e-03,1.186063e-03,1.170268e-03,1.155461e-03,1.141597e-03,1.128632e-03,1.116523e-03,1.105229e-03,1.094713e-03,1.084937e-03,1.075864e-03,1.067461e-03,1.059694e-03,1.052532e-03,1.045943e-03,1.039900e-03,1.034374e-03,1.029338e-03,1.024766e-03,1.020634e-03,1.016917e-03,1.013594e-03,1.010641e-03,1.008040e-03,1.005768e-03,1.003808e-03,1.002141e-03,1.000749e-03
0.000000e+00,9.264160e-09,3.375275e-07,3.569951e-07,3.512395e-06,1.516666e-05,1.592663e-05,4.203760e-05,7.427982e-05,7.641798e-05,1.117831e-04,1.428882e-04,1.455095e-04,1.771015e-04,2.036882e-04,2.065364e-04,2.338869e-04,2.563054e-04,2.592466e-04,2.827099e-04,3.014411e-04,3.043680e-04,3.243125e-04,3.398070e-04,3.426327e-04,3.594150e-04,3.720873e-04,3.747425e-04,3.886950e-04,3.989183e-04,4.013487e-04,4.127768e-04,4.208849e-04,4.230490e-04,4.322320e-04,4.385217e-04,4.403891e-04,4.475809e-04,4.523153e-04,4.538649e-04,4.592958e-04,4.627072e-04,4.639257e-04,4.678041e-04,4.700971e-04,4.709780e-04,4.734921e-04,4.748466e-04,4.753888e-04,4.767083e-04,4.772817e-04,4.774888e-04,4.777665e-04,4.776963e-04,4.775757e-04,4.769489e-04,4.763548e-04,4.759168e-04,4.745087e-04,4.734949e-04,4.727522e-04,4.706734e-04,4.693297e-04,4.682969e-04,4.656461e-04,4.640501e-04,4.627431e-04,4.596087e-04,4.578269e-04,4.562627e-04,4.527235e-04,4.508127e-04,4.490087e-04,4.451349e-04,4.431432e-04,4.411175e-04,4.369713e-04,4.349395e-04,4.327101e-04,4.283468e-04,4.263088e-04,4.238937e-04,4.193622e-04,4.173463e-04,4.147631e-04,4.101066e-04,4.081360e-04,4.054021e-04,4.006585e-04,3.987520e-04,3.958841e-04,3.910867e-04,3.892592e-04,3.862737e-04,3.814517e-04,3.797148e-04,3.766271e-04,3.718058e-04,3.701683e-04,3.669933e-04,3.621947e-04,3.606629e-04,3.574148e-04,3.526579e-04,3.512359e-04,3.479280e-04,3.432291e-04,3.419193e-04,3.385643e-04,3.339371e-04,3.327405e-04,3.293502e-04,3.248064e-04,3.237226e-04,3.203081e-04,3.158574e-04,3.148849e-04,3.114565e-04,3.071070e-04,3.062435e-04,3.028107e-04,2.985690e-04,2.978114e-04,2.943832e-04,2.902544e-04,2.895991e-04,2.861836e-04,2.821717e-04,2.816148e-04,2.782194e-04,2.743273e-04,2.738643e-04,2.704959e-04,2.667256e-04,2.663519e-04,2.630167e-04,2.593694e-04,2.590803e-04,2.557838e-04,2.522600e-04,2.520506e-04,2.487980e-04,2.453976e-04,2.452628e-04,2.420586e-04,2.387809e-04,2.387160e-04,2.355642e-04,2.324081e-04,2.263363e-04,2.204972e-04,2.148869e-04,2.095008e-04,2.043341e-04,1.993815e-04,1.946377e-04,1.900969e-04,1.857535e-04,1.816013e-04,1.776346e-04,1.738473e-04,1.702334e-04,1.667869e-04,1.635019e-04,1.603724e-04,1.573929e-04,1.545574e-04,1.518606e-04,1.492968e-04,1.468608e-04,1.445474e-04,1.423515e-04,1.402682e-04,1.382927e-04,1.364204e-04,1.346468e-04,1.329675e-04,1.313784e-04,1.298754e-04,1.284546e-04,1.271122e-04,1.258447e-04,1.246484e-04,1.235202e-04,1.224567e-04,1.214548e-04,1.205117e-04,1.196243e-04,1.187901e-04,1.180063e-04,1.172705e-04,1.165803e-04,1.159334e-04,1.153275e-04,1.147606e-04,1.142306e-04,1.137357e-04,1.132740e-04
0.000000e+00,1.729037e-09,8.904113e-08,9.429216e-08,9.926167e-07,5.126690e-06,5.435311e-06,1.877551e-05,4.292618e-05,4.482497e-05,8.039127e-05,1.151099e-04,1.180510e-04,1.525557e-04,1.793499e-04,1.820680e-04,2.065337e-04,2.242937e-04,2.264665e-04,2.424733e-04,2.535322e-04,2.551198e-04,2.649048e-04,2.712308e-04,2.722604e-04,2.775587e-04,2.805939e-04,2.811194e-04,2.832166e-04,2.839994e-04,2.840849e-04,2.839248e-04,2.831971e-04,2.829075e-04,2.811791e-04,2.794672e-04,2.788640e-04,2.760679e-04,2.737426e-04,2.728809e-04,2.693794e-04,2.667005e-04,2.656285e-04,2.616829e-04,2.588306e-04,2.575894e-04,2.533873e-04,2.504849e-04,2.491097e-04,2.447844e-04,2.419152e-04,2.404351e-04,2.360813e-04,2.333003e-04,2.317396e-04,2.274236e-04,2.247657e-04,2.231448e-04,2.189124e-04,2.163987e-04,2.147344e-04,2.106170e-04,2.082587e-04,2.065652e-04,2.025829e-04,2.003842e-04,1.986729e-04,1.948377e-04,1.927983e-04,1.910788e-04,1.873975e-04,1.855141e-04,1.837945e-04,1.802701e-04,1.785373e-04,1.768240e-04,1.734560e-04,1.718670e-04,1.701657e-04,1.669523e-04,1.654997e-04,1.638148e-04,1.607524e-04,1.594284e-04,1.577640e-04,1.548483e-04,1.536451e-04,1.520041e-04,1.492302e-04,1.481400e-04,1.465253e-04,1.438880e-04,1.429033e-04,1.413171e-04,1.388110e-04,1.379245e-04,1.363685e-04,1.339882e-04,1.331929e-04,1.316688e-04,1.294088e-04,1.286980e-04,1.272070e-04,1.250621e-04,1.244294e-04,1.229726e-04,1.209374e-04,1.203771e-04,1.189552e-04,1.170247e-04,1.165311e-04,1.151447e-04,1.133140e-04,1.128819e-04,1.115315e-04,1.097959e-04,1.094202e-04,1.081061e-04,1.064610e-04,1.061373e-04,1.048596e-04,1.033007e-04,1.030245e-04,1.017833e-04,1.003064e-04,1.000738e-04,9.886906e-05,9.747019e-05,9.727737e-05,9.610889e-05,9.478422e-05,9.462767e-05,9.349526e-05,9.224113e-05,9.211760e-05,9.102095e-05,8.983388e-05,8.974032e-05,8.867908e-05,8.755575e-05,8.748933e-05,8.646308e-05,8.540032e-05,8.535842e-05,8.436669e-05,8.336147e-05,8.334165e-05,8.238393e-05,8.143337e-05,7.962819e-05,7.792097e-05,7.630681e-05,7.478104e-05,7.333923e-05,7.197714e-05,7.069074e-05,6.947620e-05,6.832985e-05,6.724823e-05,6.622802e-05,6.526606e-05,6.435938e-05,6.350511e-05,6.270053e-05,6.194308e-05,6.123029e-05,6.055984e-05,5.992950e-05,5.933716e-05,5.878082e-05,5.825857e-05,5.776860e-05,5.730919e-05,5.687870e-05,5.647558e-05,5.609836e-05,5.574562e-05,5.541604e-05,5.510836e-05,5.482137e-05,5.455394e-05,5.430498e-05,5.407347e-05,5.385844e-05,5.365895e-05,5.347414e-05,5.330317e-05,5.314525e-05,5.299965e-05,5.286564e-05,5.274256e-05,5.262977e-05,5.252668e-05,5.243270e-05,5.234729e-05,5.226995e-05,5.220019e-05,5.213755e-05
0.000000e+00,9.503287e-11,1.011048e-08,1.084150e-08,1.943917e-07,1.531586e-06,1.651875e-06,8.815011e-06,3.092039e-05,3.320086e-05,9.486693e-05,2.051180e-04,2.177114e-04,4.211707e-04,6.808704e-04,7.142111e-04,1.094004e-03,1.490291e-03,1.548141e-03,2.058326e-03,2.526252e-03,2.604022e-03,3.165254e-03,3.635711e-03,3.724400e-03,4.267078e-03,4.692018e-03,4.782365e-03,5.262595e-03,5.618195e-03,5.702916e-03,6.100788e-03,6.381122e-03,6.455453e-03,6.767484e-03,6.977012e-03,7.038382e-03,7.270267e-03,7.418198e-03,7.465626e-03,7.627143e-03,7.724022e-03,7.757563e-03,7.859598e-03,7.915539e-03,7.935864e-03,7.988849e-03,8.012777e-03,8.020884e-03,8.034137e-03,8.033575e-03,8.030611e-03,8.012144e-03,7.993267e-03,7.980418e-03,7.936967e-03,7.904757e-03,7.883187e-03,7.820344e-03,7.778770e-03,7.749586e-03,7.671951e-03,7.624145e-03,7.588378e-03,7.499715e-03,7.448129e-03,7.406728e-03,7.310106e-03,7.256640e-03,7.210470e-03,7.108380e-03,7.054491e-03,7.004336e-03,6.898789e-03,6.845581e-03,6.792145e-03,6.684765e-03,6.633057e-03,6.576973e-03,6.469058e-03,6.419448e-03,6.361278e-03,6.253862e-03,6.206768e-03,6.147014e-03,6.040913e-03,5.996613e-03,5.935719e-03,5.831571e-03,5.790233e-03,5.728592e-03,5.626888e-03,5.588594e-03,5.526551e-03,5.427661e-03,5.392428e-03,5.330286e-03,5.234485e-03,5.202279e-03,5.140305e-03,5.047786e-03,5.018536e-03,4.956960e-03,4.867852e-03,4.841458e-03,4.780481e-03,4.694860e-03,4.671201e-03,4.610998e-03,4.528898e-03,4.507841e-03,4.448560e-03,4.369981e-03,4.351383e-03,4.293153e-03,4.218067e-03,4.201781e-03,4.144711e-03,4.073070e-03,4.058946e-03,4.003128e-03,3.934867e-03,3.922757e-03,3.868266e-03,3.803307e-03,3.793064e-03,3.739965e-03,3.678219e-03,3.669700e-03,3.618044e-03,3.559417e-03,3.552484e-03,3.502312e-03,3.446703e-03,3.441223e-03,3.392565e-03,3.339872e-03,3.335719e-03,3.288598e-03,3.238715e-03,3.235766e-03,3.190199e-03,3.143021e-03,3.141161e-03,3.097156e-03,3.052577e-03,3.051699e-03,3.009259e-03,2.967174e-03,2.887386e-03,2.812136e-03,2.741230e-03,2.674479e-03,2.611698e-03,2.552707e-03,2.497333e-03,2.445407e-03,2.396767e-03,2.351255e-03,2.308719e-03,2.269014e-03,2.231998e-03,2.197535e-03,2.165496e-03,2.135755e-03,2.108191e-03,2.082690e-03,2.059140e-03,2.037435e-03,2.017473e-03,1.999155e-03,1.982389e-03,1.967084e-03,1.953154e-03,1.940518e-03,1.929097e-03,1.918815e-03,1.909600e-03,1.901385e-03,1.894104e-03,1.887694e-03,1.882096e-03,1.877253e-03,1.873112e-03,1.869621e-03,1.866731e-03,1.864397e-03,1.862574e-03,1.861221e-03,1.860298e-03,1.859769e-03,1.859598e-03,1.859752e-03,1.860200e-03,1.860912e-03,1.861861e-03,1.863020e-03,1.864367e-03
0.000000e+00,8.000787e-10,7.432355e-09,7.697583e-09,3.379173e-08,9.659365e-08,1.002935e-07,2.247435e-07,3.952745e-07,4.076439e-07,6.317632e-07,8.532195e-07,8.725625e-07,1.109820e-06,1.311219e-06,1.332721e-06,1.537485e-06,1.702189e-06,1.723542e-06,1.891473e-06,2.022120e-06,2.042231e-06,2.176872e-06,2.278293e-06,2.296459e-06,2.402030e-06,2.478840e-06,2.494582e-06,2.575063e-06,2.631363e-06,2.644372e-06,2.703356e-06,2.742710e-06,2.752812e-06,2.793488e-06,2.818961e-06,2.826083e-06,2.851254e-06,2.865462e-06,2.869613e-06,2.881731e-06,2.886892e-06,2.888142e-06,2.889342e-06,2.887332e-06,2.885796e-06,2.877934e-06,2.870328e-06,2.866157e-06,2.850836e-06,2.838953e-06,2.832319e-06,2.810927e-06,2.795865e-06,2.786957e-06,2.760686e-06,2.743356e-06,2.732370e-06,2.702245e-06,2.683394e-06,2.670531e-06,2.637430e-06,2.617670e-06,2.603129e-06,2.567800e-06,2.547627e-06,2.531603e-06,2.494684e-06,2.474495e-06,2.457177e-06,2.419207e-06,2.399317e-06,2.380886e-06,2.342318e-06,2.322972e-06,2.303599e-06,2.264816e-06,2.246200e-06,2.226047e-06,2.187364e-06,2.169617e-06,2.148833e-06,2.110514e-06,2.093734e-06,2.072459e-06,2.034717e-06,2.018970e-06,1.997332e-06,1.960341e-06,1.945664e-06,1.923781e-06,1.887680e-06,1.874088e-06,1.852067e-06,1.816964e-06,1.804456e-06,1.782393e-06,1.748371e-06,1.736932e-06,1.714914e-06,1.682033e-06,1.671635e-06,1.649740e-06,1.618042e-06,1.608650e-06,1.586947e-06,1.556459e-06,1.548032e-06,1.526582e-06,1.497316e-06,1.489808e-06,1.468663e-06,1.440623e-06,1.433984e-06,1.413192e-06,1.386368e-06,1.380548e-06,1.360148e-06,1.334527e-06,1.329474e-06,1.309500e-06,1.285061e-06,1.280724e-06,1.261203e-06,1.237920e-06,1.234247e-06,1.215203e-06,1.193046e-06,1.189988e-06,1.171440e-06,1.150376e-06,1.147885e-06,1.129846e-06,1.109841e-06,1.107869e-06,1.090352e-06,1.071368e-06,1.069871e-06,1.052881e-06,1.034882e-06,1.033817e-06,1.017360e-06,1.000307e-06,9.996342e-07,9.837114e-07,9.675649e-07,9.672465e-07,9.518575e-07,9.365795e-07,9.075590e-07,8.801115e-07,8.541653e-07,8.296499e-07,8.064969e-07,7.846398e-07,7.640142e-07,7.445579e-07,7.262112e-07,7.089164e-07,6.926184e-07,6.772644e-07,6.628038e-07,6.491884e-07,6.363722e-07,6.243112e-07,6.129638e-07,6.022903e-07,5.922530e-07,5.828160e-07,5.739456e-07,5.656094e-07,5.577770e-07,5.504195e-07,5.435097e-07,5.370217e-07,5.309311e-07,5.252149e-07,5.198512e-07,5.148195e-07,5.101004e-07,5.056755e-07,5.015275e-07,4.976403e-07,4.939982e-07,4.905870e-07,4.873929e-07,4.844031e-07,4.816054e-07,4.789884e-07,4.765414e-07,4.742543e-07,4.721174e-07,4.701218e-07,4.682592e-07,4.665214e-07,4.649011e-07,4.633912e-07,4.619851e-07
0.000000e+00,1.976750e-10,2.199917e-08,2.365813e-08,4.898417e-07,4.025960e-06,4.338106e-06,2.119691e-05,6.242159e-05,6.614446e-05,1.488892e-04,2.566967e-04,2.672631e-04,4.111289e-04,5.527567e-04,5.688621e-04,7.310918e-04,8.725529e-04,8.915800e-04,1.046702e-03,1.174366e-03,1.194598e-03,1.334460e-03,1.445558e-03,1.466058e-03,1.589462e-03,1.684684e-03,1.704883e-03,1.812604e-03,1.893443e-03,1.912933e-03,2.006186e-03,2.074216e-03,2.092681e-03,2.172726e-03,2.229433e-03,2.246623e-03,2.314665e-03,2.361412e-03,2.377132e-03,2.434297e-03,2.472319e-03,2.486420e-03,2.533750e-03,2.564160e-03,2.576529e-03,2.614987e-03,2.638782e-03,2.649343e-03,2.679810e-03,2.697886e-03,2.706589e-03,2.729875e-03,2.743029e-03,2.749851e-03,2.766696e-03,2.775642e-03,2.780579e-03,2.791662e-03,2.797032e-03,2.800099e-03,2.806038e-03,2.808394e-03,2.809621e-03,2.810983e-03,2.810824e-03,2.810252e-03,2.807553e-03,2.805317e-03,2.803001e-03,2.796709e-03,2.792786e-03,2.788785e-03,2.779330e-03,2.774059e-03,2.768442e-03,2.756213e-03,2.749893e-03,2.742732e-03,2.728083e-03,2.720974e-03,2.712346e-03,2.695598e-03,2.687928e-03,2.677913e-03,2.659358e-03,2.651322e-03,2.640000e-03,2.619903e-03,2.611670e-03,2.599125e-03,2.577724e-03,2.569439e-03,2.555753e-03,2.533263e-03,2.525050e-03,2.510304e-03,2.486922e-03,2.478884e-03,2.463161e-03,2.439061e-03,2.431285e-03,2.414663e-03,2.390005e-03,2.382562e-03,2.365121e-03,2.340045e-03,2.332994e-03,2.314809e-03,2.289443e-03,2.282830e-03,2.263975e-03,2.238433e-03,2.232294e-03,2.212841e-03,2.187224e-03,2.181587e-03,2.161603e-03,2.136001e-03,2.130885e-03,2.110437e-03,2.084931e-03,2.080347e-03,2.059498e-03,2.034158e-03,2.030113e-03,2.008924e-03,1.983811e-03,1.980306e-03,1.958834e-03,1.934005e-03,1.931035e-03,1.909335e-03,1.884836e-03,1.882396e-03,1.860518e-03,1.836391e-03,1.834469e-03,1.812463e-03,1.788743e-03,1.787327e-03,1.765238e-03,1.741956e-03,1.741029e-03,1.718902e-03,1.696083e-03,1.695629e-03,1.673504e-03,1.651169e-03,1.607686e-03,1.565207e-03,1.523756e-03,1.483350e-03,1.444001e-03,1.405717e-03,1.368503e-03,1.332357e-03,1.297279e-03,1.263262e-03,1.230297e-03,1.198376e-03,1.167485e-03,1.137612e-03,1.108740e-03,1.080855e-03,1.053937e-03,1.027969e-03,1.002932e-03,9.788059e-04,9.555713e-04,9.332074e-04,9.116935e-04,8.910087e-04,8.711321e-04,8.520426e-04,8.337192e-04,8.161410e-04,7.992873e-04,7.831374e-04,7.676710e-04,7.528679e-04,7.387083e-04,7.251727e-04,7.122417e-04,6.998965e-04,6.881184e-04,6.768892e-04,6.661911e-04,6.560066e-04,6.463186e-04,6.371104e-04,6.283657e-04,6.200686e-04,6.122034e-04,6.047551e-04,5.977089e-04,5.910504e-04,5.847655e-04
0.000000e+00,2.263427e-10,2.743650e-09,2.859882e-09,1.677002e-08,5.743861e-08,5.996169e-08,1.462589e-07,2.577206e-07,2.652741e-07,3.898163e-07,4.948525e-07,5.034040e-07,6.022175e-07,6.788823e-07,6.867275e-07,7.583261e-07,8.118240e-07,8.184857e-07,8.685747e-07,9.045382e-07,9.098230e-07,9.433257e-07,9.661962e-07,9.700542e-07,9.908683e-07,1.004058e-06,1.006528e-06,1.017703e-06,1.023815e-06,1.024986e-06,1.028896e-06,1.029901e-06,1.029891e-06,1.028374e-06,1.025760e-06,1.024698e-06,1.019172e-06,1.014055e-06,1.012070e-06,1.003629e-06,9.968414e-07,9.940587e-07,9.835408e-07,9.757012e-07,9.722356e-07,9.602827e-07,9.518476e-07,9.478040e-07,9.349058e-07,9.262086e-07,9.216806e-07,9.082091e-07,8.994909e-07,8.945615e-07,8.807982e-07,8.722301e-07,8.669716e-07,8.531273e-07,8.448289e-07,8.393048e-07,8.255382e-07,8.175905e-07,8.118559e-07,7.982822e-07,7.907365e-07,7.848384e-07,7.715424e-07,7.644296e-07,7.584096e-07,7.454522e-07,7.387872e-07,7.326804e-07,7.201025e-07,7.138884e-07,7.077252e-07,6.955539e-07,6.897861e-07,6.835926e-07,6.718439e-07,6.665114e-07,6.603097e-07,6.489911e-07,6.440794e-07,6.378887e-07,6.270022e-07,6.224940e-07,6.163308e-07,6.058734e-07,6.017500e-07,5.956284e-07,5.855940e-07,5.818357e-07,5.757680e-07,5.661480e-07,5.627347e-07,5.567314e-07,5.475154e-07,5.444272e-07,5.384972e-07,5.296737e-07,5.268908e-07,5.210419e-07,5.125986e-07,5.101019e-07,5.043406e-07,4.962647e-07,4.940356e-07,4.883676e-07,4.806461e-07,4.786669e-07,4.730969e-07,4.657167e-07,4.639703e-07,4.585024e-07,4.514506e-07,4.499207e-07,4.445581e-07,4.378219e-07,4.364931e-07,4.312388e-07,4.248056e-07,4.236633e-07,4.185193e-07,4.123769e-07,4.114073e-07,4.063755e-07,4.005120e-07,3.997020e-07,3.947837e-07,3.891876e-07,3.885248e-07,3.837210e-07,3.783812e-07,3.778541e-07,3.731655e-07,3.680711e-07,3.676687e-07,3.630956e-07,3.582364e-07,3.579484e-07,3.534909e-07,3.488568e-07,3.486737e-07,3.443316e-07,3.399130e-07,3.398257e-07,3.355986e-07,3.313862e-07,3.233380e-07,3.156643e-07,3.083490e-07,3.013767e-07,2.947327e-07,2.884027e-07,2.823732e-07,2.766310e-07,2.711638e-07,2.659594e-07,2.610064e-07,2.562939e-07,2.518111e-07,2.475480e-07,2.434949e-07,2.396425e-07,2.359820e-07,2.325047e-07,2.292026e-07,2.260678e-07,2.230928e-07,2.202704e-07,2.175939e-07,2.150565e-07,2.126521e-07,2.103745e-07,2.082180e-07,2.061771e-07,2.042466e-07,2.024212e-07,2.006963e-07,1.990671e-07,1.975292e-07,1.960784e-07,1.947106e-07,1.934219e-07,1.922087e-07,1.910673e-07,1.899944e-07,1.889867e-07,1.880411e-07,1.871546e-07,1.863244e-07,1.855478e-07,1.848221e-07,1.841449e-07,1.835138e-07,1.829265e-07,1.823809e-07
0.000000e+00,9.474645e-09,3.481732e-07,3.665511e-07,2.982299e-06,1.280785e-05,1.349372e-05,4.130958e-05,8.946423e-05,9.325300e-05,1.656956e-04,2.405933e-04,2.471960e-04,3.287565e-04,3.990810e-04,4.066693e-04,4.799271e-04,5.404189e-04,5.483818e-04,6.121182e-04,6.632721e-04,6.712872e-04,7.260636e-04,7.688166e-04,7.766328e-04,8.231853e-04,8.584957e-04,8.659129e-04,9.050059e-04,9.337892e-04,9.406513e-04,9.730314e-04,9.961349e-04,1.002323e-03,1.028696e-03,1.046888e-03,1.052314e-03,1.073334e-03,1.087306e-03,1.091908e-03,1.108177e-03,1.118542e-03,1.122280e-03,1.134347e-03,1.141649e-03,1.144502e-03,1.152864e-03,1.157584e-03,1.159546e-03,1.164655e-03,1.167215e-03,1.168293e-03,1.170557e-03,1.171327e-03,1.171538e-03,1.171323e-03,1.170627e-03,1.169996e-03,1.167635e-03,1.165753e-03,1.164314e-03,1.160103e-03,1.157280e-03,1.155069e-03,1.149276e-03,1.145722e-03,1.142782e-03,1.135645e-03,1.131541e-03,1.127917e-03,1.119649e-03,1.115152e-03,1.110888e-03,1.101680e-03,1.096921e-03,1.092066e-03,1.082088e-03,1.077179e-03,1.071781e-03,1.061183e-03,1.056219e-03,1.050325e-03,1.039240e-03,1.034298e-03,1.027957e-03,1.016504e-03,1.011649e-03,1.004907e-03,9.931893e-04,9.884740e-04,9.813751e-04,9.694855e-04,9.649519e-04,9.575405e-04,9.455589e-04,9.412400e-04,9.335582e-04,9.215548e-04,9.174757e-04,9.095639e-04,8.975997e-04,8.937790e-04,8.856755e-04,8.738035e-04,8.702537e-04,8.619950e-04,8.502605e-04,8.469895e-04,8.386098e-04,8.270519e-04,8.240630e-04,8.155949e-04,8.042466e-04,8.015399e-04,7.930137e-04,7.819027e-04,7.794752e-04,7.709193e-04,7.600688e-04,7.579150e-04,7.493558e-04,7.387846e-04,7.368972e-04,7.283591e-04,7.180826e-04,7.164523e-04,7.079580e-04,6.979880e-04,6.966047e-04,6.881748e-04,6.785204e-04,6.773727e-04,6.690264e-04,6.596942e-04,6.587699e-04,6.505246e-04,6.415187e-04,6.408053e-04,6.326769e-04,6.239995e-04,6.234841e-04,6.154867e-04,6.071385e-04,6.068080e-04,5.989546e-04,5.909345e-04,5.907758e-04,5.830777e-04,5.753836e-04,5.606253e-04,5.464929e-04,5.329767e-04,5.200657e-04,5.077477e-04,4.960093e-04,4.848368e-04,4.742154e-04,4.641299e-04,4.545649e-04,4.455045e-04,4.369327e-04,4.288334e-04,4.211906e-04,4.139880e-04,4.072099e-04,4.008404e-04,3.948639e-04,3.892649e-04,3.840284e-04,3.791393e-04,3.745833e-04,3.703459e-04,3.664134e-04,3.627720e-04,3.594085e-04,3.563101e-04,3.534642e-04,3.508587e-04,3.484818e-04,3.463219e-04,3.443681e-04,3.426096e-04,3.410361e-04,3.396374e-04,3.384041e-04,3.373266e-04,3.363961e-04,3.356039e-04,3.349416e-04,3.344013e-04,3.339752e-04,3.336559e-04,3.334364e-04,3.333099e-04,3.332697e-04,3.333097e-04,3.334239e-04,3.336067e-04
0.000000e+00,2.207132e-10,1.828695e-08,1.950903e-08,2.741403e-07,1.776124e-06,1.901802e-06,8.644094e-06,2.684023e-05,2.861742e-05,7.339329e-05,1.450430e-04,1.527779e-04,2.688357e-04,3.991257e-04,4.147364e-04,5.786211e-04,7.280343e-04,7.483665e-04,9.144283e-04,1.049464e-03,1.070576e-03,1.213430e-03,1.322111e-03,1.341620e-03,1.455031e-03,1.537384e-03,1.554229e-03,1.640121e-03,1.699955e-03,1.713752e-03,1.776180e-03,1.817761e-03,1.828434e-03,1.871485e-03,1.898603e-03,1.906229e-03,1.933495e-03,1.949304e-03,1.954039e-03,1.968553e-03,1.975626e-03,1.977668e-03,1.981959e-03,1.982374e-03,1.981947e-03,1.978108e-03,1.973531e-03,1.970870e-03,1.960627e-03,1.952392e-03,1.947730e-03,1.932503e-03,1.921669e-03,1.915235e-03,1.896189e-03,1.883593e-03,1.875603e-03,1.853693e-03,1.839993e-03,1.830652e-03,1.806656e-03,1.792364e-03,1.781863e-03,1.756415e-03,1.741926e-03,1.730440e-03,1.704054e-03,1.689671e-03,1.677360e-03,1.650450e-03,1.636400e-03,1.623409e-03,1.596309e-03,1.582759e-03,1.569218e-03,1.542195e-03,1.529263e-03,1.515291e-03,1.488553e-03,1.476322e-03,1.462023e-03,1.435736e-03,1.424256e-03,1.409725e-03,1.384016e-03,1.373314e-03,1.358634e-03,1.333599e-03,1.323686e-03,1.308929e-03,1.284640e-03,1.275512e-03,1.260743e-03,1.237249e-03,1.228892e-03,1.214167e-03,1.191504e-03,1.183894e-03,1.169263e-03,1.147449e-03,1.140559e-03,1.126064e-03,1.105110e-03,1.098907e-03,1.084586e-03,1.064491e-03,1.058941e-03,1.044824e-03,1.025583e-03,1.020650e-03,1.006765e-03,9.883653e-04,9.840113e-04,9.703807e-04,9.528066e-04,9.489949e-04,9.356381e-04,9.188700e-04,9.155639e-04,9.024968e-04,8.865128e-04,8.836765e-04,8.709121e-04,8.556885e-04,8.532873e-04,8.408358e-04,8.263476e-04,8.243480e-04,8.122175e-04,7.984390e-04,7.968089e-04,7.850056e-04,7.719106e-04,7.706194e-04,7.591475e-04,7.467097e-04,7.457285e-04,7.345906e-04,7.227838e-04,7.220852e-04,7.112828e-04,7.000811e-04,6.996391e-04,6.891723e-04,6.785501e-04,6.783405e-04,6.682083e-04,6.581406e-04,6.389919e-04,6.208481e-04,6.036644e-04,5.873971e-04,5.720045e-04,5.574461e-04,5.436828e-04,5.306774e-04,5.183938e-04,5.067975e-04,4.958556e-04,4.855363e-04,4.758094e-04,4.666460e-04,4.580183e-04,4.498999e-04,4.422654e-04,4.350908e-04,4.283531e-04,4.220301e-04,4.161011e-04,4.105458e-04,4.053453e-04,4.004814e-04,3.959366e-04,3.916945e-04,3.877394e-04,3.840561e-04,3.806303e-04,3.774486e-04,3.744977e-04,3.717654e-04,3.692399e-04,3.669100e-04,3.647650e-04,3.627946e-04,3.609892e-04,3.593397e-04,3.578371e-04,3.564732e-04,3.552400e-04,3.541300e-04,3.531359e-04,3.522509e-04,3.514686e-04,3.507826e-04,3.501872e-04,3.496767e-04,3.492459e-04
0.000000e+00,3.240617e-11,3.515196e-09,3.767290e-09,6.383446e-08,4.743712e-07,5.107626e-07,2.686277e-06,9.754439e-06,1.051173e-05,3.252004e-05,7.738235e-05,8.287255e-05,1.801216e-04,3.242479e-04,3.442051e-04,5.930953e-04,8.930298e-04,9.401625e-04,1.392668e-03,1.866883e-03,1.951351e-03,2.610859e-03,3.235238e-03,3.360740e-03,4.186704e-03,4.909034e-03,5.071954e-03,5.998440e-03,6.757056e-03,6.947941e-03,7.902941e-03,8.641203e-03,8.847283e-03,9.766611e-03,1.044093e-02,1.064863e-02,1.148323e-02,1.206555e-02,1.226246e-02,1.298041e-02,1.345709e-02,1.363310e-02,1.421826e-02,1.458719e-02,1.473506e-02,1.518395e-02,1.545113e-02,1.556641e-02,1.588474e-02,1.606111e-02,1.614186e-02,1.634118e-02,1.644010e-02,1.648639e-02,1.658140e-02,1.661684e-02,1.663019e-02,1.663673e-02,1.662201e-02,1.660494e-02,1.653860e-02,1.648572e-02,1.644133e-02,1.631657e-02,1.623591e-02,1.616755e-02,1.599726e-02,1.589746e-02,1.580852e-02,1.560387e-02,1.549196e-02,1.538567e-02,1.515608e-02,1.503762e-02,1.491703e-02,1.467029e-02,1.454960e-02,1.441745e-02,1.415994e-02,1.404026e-02,1.389902e-02,1.363585e-02,1.351960e-02,1.337143e-02,1.310667e-02,1.299557e-02,1.284236e-02,1.257920e-02,1.247440e-02,1.231781e-02,1.205872e-02,1.196096e-02,1.180240e-02,1.154926e-02,1.145897e-02,1.129965e-02,1.105387e-02,1.097122e-02,1.081217e-02,1.057478e-02,1.049975e-02,1.034187e-02,1.011359e-02,1.004603e-02,9.890060e-03,9.671377e-03,9.611024e-03,9.457610e-03,9.248811e-03,9.195342e-03,9.045013e-03,8.846233e-03,8.799273e-03,8.652474e-03,8.463727e-03,8.422873e-03,8.279971e-03,8.101177e-03,8.066011e-03,7.927306e-03,7.758313e-03,7.728408e-03,7.594144e-03,7.434740e-03,7.409674e-03,7.280040e-03,7.129974e-03,7.109331e-03,6.984472e-03,6.843459e-03,6.826835e-03,6.706858e-03,6.574591e-03,6.561600e-03,6.446576e-03,6.322732e-03,6.313002e-03,6.202975e-03,6.087221e-03,6.080401e-03,5.975386e-03,5.867385e-03,5.863144e-03,5.763134e-03,5.662548e-03,5.660573e-03,5.565542e-03,5.472034e-03,5.296879e-03,5.134472e-03,4.984190e-03,4.845426e-03,4.717590e-03,4.600111e-03,4.492438e-03,4.394038e-03,4.304397e-03,4.223022e-03,4.149439e-03,4.083193e-03,4.023849e-03,3.970987e-03,3.924208e-03,3.883127e-03,3.847378e-03,3.816609e-03,3.790483e-03,3.768680e-03,3.750893e-03,3.736827e-03,3.726203e-03,3.718752e-03,3.714220e-03,3.712363e-03,3.712948e-03,3.715756e-03,3.720577e-03,3.727210e-03,3.735466e-03,3.745166e-03,3.756140e-03,3.768227e-03,3.781277e-03,3.795146e-03,3.809702e-03,3.824817e-03,3.840376e-03,3.856268e-03,3.872392e-03,3.888655e-03,3.904968e-03,3.921252e-03,3.937433e-03,3.953446e-03,3.969229e-03,3.984728e-03,3.999894e-03
0.000000e+00,8.495289e-09,1.365562e-07,1.429647e-07,9.680645e-07,3.394260e-06,3.538911e-06,7.975004e-06,1.273884e-05,1.304396e-05,1.803620e-05,2.241654e-05,2.278672e-05,2.726691e-05,3.106815e-05,3.147722e-05,3.542470e-05,3.868788e-05,3.911794e-05,4.256591e-05,4.534191e-05,4.577767e-05,4.876242e-05,5.110099e-05,5.152947e-05,5.408812e-05,5.603721e-05,5.644764e-05,5.861720e-05,6.022215e-05,6.060583e-05,6.242239e-05,6.372542e-05,6.407551e-05,6.557353e-05,6.661324e-05,6.692448e-05,6.813621e-05,6.894767e-05,6.921620e-05,7.017163e-05,7.078629e-05,7.100939e-05,7.173605e-05,7.218201e-05,7.235793e-05,7.288107e-05,7.318334e-05,7.331121e-05,7.365384e-05,7.383460e-05,7.391421e-05,7.409729e-05,7.417613e-05,7.420787e-05,7.425048e-05,7.424466e-05,7.422942e-05,7.414882e-05,7.407351e-05,7.401258e-05,7.382442e-05,7.369290e-05,7.358788e-05,7.330631e-05,7.313017e-05,7.298292e-05,7.262073e-05,7.241003e-05,7.222262e-05,7.179132e-05,7.155480e-05,7.132943e-05,7.083941e-05,7.058458e-05,7.032358e-05,6.978415e-05,6.951746e-05,6.922322e-05,6.864275e-05,6.836970e-05,6.804464e-05,6.743063e-05,6.715588e-05,6.680243e-05,6.616159e-05,6.588904e-05,6.550963e-05,6.484794e-05,6.458085e-05,6.417787e-05,6.350066e-05,6.324169e-05,6.281749e-05,6.212949e-05,6.188082e-05,6.143769e-05,6.074308e-05,6.050643e-05,6.004658e-05,5.934906e-05,5.912578e-05,5.865134e-05,5.795418e-05,5.774525e-05,5.725829e-05,5.656433e-05,5.637046e-05,5.587294e-05,5.518468e-05,5.500632e-05,5.450011e-05,5.381972e-05,5.365710e-05,5.314398e-05,5.247332e-05,5.232650e-05,5.180814e-05,5.114882e-05,5.101769e-05,5.049569e-05,4.984907e-05,4.973339e-05,4.920924e-05,4.857647e-05,4.847589e-05,4.795098e-05,4.733301e-05,4.724711e-05,4.672274e-05,4.612036e-05,4.604861e-05,4.552600e-05,4.493983e-05,4.488166e-05,4.436195e-05,4.379247e-05,4.374728e-05,4.323149e-05,4.267907e-05,4.264620e-05,4.213530e-05,4.160021e-05,4.157898e-05,4.107384e-05,4.055623e-05,4.054597e-05,4.004740e-05,3.954734e-05,3.858313e-05,3.765324e-05,3.675744e-05,3.589542e-05,3.506678e-05,3.427104e-05,3.350764e-05,3.277598e-05,3.207543e-05,3.140528e-05,3.076483e-05,3.015332e-05,2.957000e-05,2.901407e-05,2.848476e-05,2.798125e-05,2.750276e-05,2.704848e-05,2.661761e-05,2.620937e-05,2.582296e-05,2.545761e-05,2.511254e-05,2.478702e-05,2.448029e-05,2.419162e-05,2.392031e-05,2.366565e-05,2.342695e-05,2.320356e-05,2.299482e-05,2.280011e-05,2.261879e-05,2.245029e-05,2.229400e-05,2.214938e-05,2.201587e-05,2.189293e-05,2.178007e-05,2.167677e-05,2.158256e-05,2.149697e-05,2.141955e-05,2.134988e-05,2.128752e-05,2.123209e-05,2.118319e-05,2.114045e-05,2.110351e-05
0.000000e+00,3.814837e-09,7.154057e-08,7.503041e-08,5.203722e-07,1.743226e-06,1.813061e-06,3.856895e-06,5.944354e-06,6.076381e-06,8.222803e-06,1.009395e-05,1.025178e-05,1.215920e-05,1.377433e-05,1.394799e-05,1.562246e-05,1.700507e-05,1.718720e-05,1.864689e-05,1.982176e-05,2.000619e-05,2.126973e-05,2.226043e-05,2.244206e-05,2.352759e-05,2.435599e-05,2.453064e-05,2.545534e-05,2.614139e-05,2.630570e-05,2.708555e-05,2.764725e-05,2.779856e-05,2.844827e-05,2.890177e-05,2.903802e-05,2.957104e-05,2.993075e-05,3.005038e-05,3.047901e-05,3.075779e-05,3.085972e-05,3.119516e-05,3.140442e-05,3.148790e-05,3.174032e-05,3.189014e-05,3.195476e-05,3.213338e-05,3.223268e-05,3.227829e-05,3.239147e-05,3.244813e-05,3.247481e-05,3.253011e-05,3.255106e-05,3.255906e-05,3.256331e-05,3.255463e-05,3.254438e-05,3.250375e-05,3.247080e-05,3.244282e-05,3.236289e-05,3.231031e-05,3.226524e-05,3.215105e-05,3.208291e-05,3.202145e-05,3.187753e-05,3.179736e-05,3.172029e-05,3.155070e-05,3.146156e-05,3.136968e-05,3.117810e-05,3.108263e-05,3.097677e-05,3.076649e-05,3.066695e-05,3.054798e-05,3.032194e-05,3.022028e-05,3.008904e-05,2.984991e-05,2.974775e-05,2.960512e-05,2.935525e-05,2.925399e-05,2.910081e-05,2.884232e-05,2.874313e-05,2.858024e-05,2.831501e-05,2.821884e-05,2.804705e-05,2.777677e-05,2.768441e-05,2.750453e-05,2.723069e-05,2.714278e-05,2.695557e-05,2.667949e-05,2.659652e-05,2.640274e-05,2.612559e-05,2.604796e-05,2.584831e-05,2.557113e-05,2.549911e-05,2.529428e-05,2.501797e-05,2.495176e-05,2.474241e-05,2.446777e-05,2.440750e-05,2.419424e-05,2.392197e-05,2.386768e-05,2.365111e-05,2.338181e-05,2.333351e-05,2.311420e-05,2.284838e-05,2.280603e-05,2.258449e-05,2.232262e-05,2.228612e-05,2.206286e-05,2.180531e-05,2.177455e-05,2.155004e-05,2.129713e-05,2.127197e-05,2.104664e-05,2.079864e-05,2.077891e-05,2.055318e-05,2.031031e-05,2.029582e-05,2.007008e-05,1.983252e-05,1.982307e-05,1.959767e-05,1.936556e-05,1.936095e-05,1.913622e-05,1.890967e-05,1.846940e-05,1.804026e-05,1.762229e-05,1.721553e-05,1.681996e-05,1.643553e-05,1.606216e-05,1.569976e-05,1.534819e-05,1.500733e-05,1.467702e-05,1.435708e-05,1.404733e-05,1.374759e-05,1.345765e-05,1.317731e-05,1.290636e-05,1.264459e-05,1.239177e-05,1.214770e-05,1.191216e-05,1.168492e-05,1.146577e-05,1.125449e-05,1.105086e-05,1.085468e-05,1.066573e-05,1.048380e-05,1.030869e-05,1.014019e-05,9.978117e-06,9.822264e-06,9.672446e-06,9.528475e-06,9.390169e-06,9.257349e-06,9.129842e-06,9.007477e-06,8.890088e-06,8.777512e-06,8.669594e-06,8.566177e-06,8.467114e-06,8.372258e-06,8.281468e-06,8.194606e-06,8.111538e-06,8.032135e-06,7.956269e-06
0.000000e+00,8.386095e-09,2.204152e-07,2.323048e-07,1.947035e-06,7.138510e-06,7.437967e-06,1.604484e-05,2.468588e-05,2.523333e-05,3.419213e-05,4.211929e-05,4.279370e-05,5.102231e-05,5.811172e-05,5.888114e-05,6.637697e-05,7.267917e-05,7.351756e-05,8.031129e-05,8.588330e-05,8.676713e-05,9.289450e-05,9.779486e-05,9.870326e-05,1.042035e-04,1.084907e-04,1.094055e-04,1.143194e-04,1.180500e-04,1.189554e-04,1.233238e-04,1.265515e-04,1.274341e-04,1.312963e-04,1.340713e-04,1.349197e-04,1.383134e-04,1.406822e-04,1.414865e-04,1.444475e-04,1.464529e-04,1.472050e-04,1.497670e-04,1.514484e-04,1.521415e-04,1.543361e-04,1.557294e-04,1.563581e-04,1.582148e-04,1.593529e-04,1.599129e-04,1.614592e-04,1.623722e-04,1.628602e-04,1.641219e-04,1.648370e-04,1.652505e-04,1.662517e-04,1.667936e-04,1.671311e-04,1.678941e-04,1.682853e-04,1.685458e-04,1.690913e-04,1.693522e-04,1.695354e-04,1.698828e-04,1.700318e-04,1.701379e-04,1.703051e-04,1.703586e-04,1.703885e-04,1.703920e-04,1.703651e-04,1.703197e-04,1.701751e-04,1.700811e-04,1.699619e-04,1.696835e-04,1.695344e-04,1.693432e-04,1.689441e-04,1.687507e-04,1.684894e-04,1.679820e-04,1.677539e-04,1.674247e-04,1.668202e-04,1.665658e-04,1.661712e-04,1.654802e-04,1.652071e-04,1.647495e-04,1.639816e-04,1.636964e-04,1.631786e-04,1.623426e-04,1.620513e-04,1.614758e-04,1.605801e-04,1.602877e-04,1.596574e-04,1.587095e-04,1.584205e-04,1.577382e-04,1.567451e-04,1.564634e-04,1.557318e-04,1.546999e-04,1.544288e-04,1.536509e-04,1.525861e-04,1.523283e-04,1.515069e-04,1.504146e-04,1.501726e-04,1.493104e-04,1.481956e-04,1.479714e-04,1.470712e-04,1.459384e-04,1.457337e-04,1.447982e-04,1.436515e-04,1.434675e-04,1.424994e-04,1.413427e-04,1.411804e-04,1.401823e-04,1.390190e-04,1.388793e-04,1.378536e-04,1.366869e-04,1.365702e-04,1.355196e-04,1.343524e-04,1.342590e-04,1.331858e-04,1.320206e-04,1.319507e-04,1.308573e-04,1.296964e-04,1.296500e-04,1.285386e-04,1.273843e-04,1.273612e-04,1.262339e-04,1.250880e-04,1.228339e-04,1.206020e-04,1.183949e-04,1.162152e-04,1.140650e-04,1.119463e-04,1.098606e-04,1.078095e-04,1.057943e-04,1.038159e-04,1.018753e-04,9.997332e-05,9.811047e-05,9.628724e-05,9.450400e-05,9.276099e-05,9.105836e-05,8.939617e-05,8.777438e-05,8.619288e-05,8.465152e-05,8.315005e-05,8.168819e-05,8.026560e-05,7.888189e-05,7.753665e-05,7.622942e-05,7.495970e-05,7.372699e-05,7.253074e-05,7.137039e-05,7.024536e-05,6.915505e-05,6.809886e-05,6.707616e-05,6.608631e-05,6.512869e-05,6.420265e-05,6.330754e-05,6.244272e-05,6.160754e-05,6.080136e-05,6.002353e-05,5.927341e-05,5.855035e-05,5.785373e-05,5.718291e-05,5.653727e-05,5.591617e-05
0.000000e+00,1.184750e-08,2.754706e-07,2.895686e-07,2.035184e-06,5.738369e-06,5.914257e-06,1.038664e-05,1.448527e-05,1.474050e-05,1.887172e-05,2.246674e-05,2.277010e-05,2.643888e-05,2.954857e-05,2.988303e-05,3.310777e-05,3.576846e-05,3.611868e-05,3.892204e-05,4.117228e-05,4.152489e-05,4.393483e-05,4.581590e-05,4.615981e-05,4.820819e-05,4.976203e-05,5.008845e-05,5.180900e-05,5.307605e-05,5.337816e-05,5.480403e-05,5.582180e-05,5.609447e-05,5.725703e-05,5.805956e-05,5.829901e-05,5.922736e-05,5.984511e-05,6.004873e-05,6.076948e-05,6.122953e-05,6.139566e-05,6.193303e-05,6.225928e-05,6.238705e-05,6.276292e-05,6.297641e-05,6.306559e-05,6.329973e-05,6.341890e-05,6.346979e-05,6.357997e-05,6.362091e-05,6.363426e-05,6.363643e-05,6.361318e-05,6.359006e-05,6.349853e-05,6.342326e-05,6.336502e-05,6.319257e-05,6.307583e-05,6.298402e-05,6.274207e-05,6.259294e-05,6.246927e-05,6.216802e-05,6.199432e-05,6.184059e-05,6.148911e-05,6.129751e-05,6.111560e-05,6.072197e-05,6.051817e-05,6.031000e-05,5.988137e-05,5.967018e-05,5.943767e-05,5.898040e-05,5.876589e-05,5.851096e-05,5.803066e-05,5.781621e-05,5.754075e-05,5.704238e-05,5.683082e-05,5.653666e-05,5.602460e-05,5.581822e-05,5.550717e-05,5.498526e-05,5.478594e-05,5.445971e-05,5.393132e-05,5.374055e-05,5.340082e-05,5.286889e-05,5.268783e-05,5.233619e-05,5.180329e-05,5.163282e-05,5.127078e-05,5.073915e-05,5.057991e-05,5.020890e-05,4.968046e-05,4.953289e-05,4.915427e-05,4.863069e-05,4.849504e-05,4.811009e-05,4.759279e-05,4.746917e-05,4.707911e-05,4.656930e-05,4.645769e-05,4.606363e-05,4.556232e-05,4.546260e-05,4.506560e-05,4.457365e-05,4.448562e-05,4.408666e-05,4.360477e-05,4.352815e-05,4.312813e-05,4.265687e-05,4.259132e-05,4.219110e-05,4.173092e-05,4.167608e-05,4.127642e-05,4.082768e-05,4.078313e-05,4.038477e-05,3.994772e-05,3.991302e-05,3.951661e-05,3.909145e-05,3.906613e-05,3.867227e-05,3.825911e-05,3.824271e-05,3.785196e-05,3.745084e-05,3.744288e-05,3.705575e-05,3.666668e-05,3.591403e-05,3.518478e-05,3.447871e-05,3.379557e-05,3.313501e-05,3.249667e-05,3.188016e-05,3.128504e-05,3.071086e-05,3.015715e-05,2.962342e-05,2.910917e-05,2.861389e-05,2.813707e-05,2.767821e-05,2.723677e-05,2.681226e-05,2.640416e-05,2.601197e-05,2.563519e-05,2.527332e-05,2.492589e-05,2.459241e-05,2.427242e-05,2.396546e-05,2.367109e-05,2.338886e-05,2.311836e-05,2.285916e-05,2.261086e-05,2.237306e-05,2.214539e-05,2.192747e-05,2.171894e-05,2.151945e-05,2.132865e-05,2.114621e-05,2.097183e-05,2.080518e-05,2.064597e-05,2.049390e-05,2.034870e-05,2.021009e-05,2.007782e-05,1.995162e-05,1.983125e-05,1.971648e-05,1.960708e-05,1.950282e-05
0.000000e+00,2.809734e-11,3.661533e-09,3.943237e-09,8.674007e-08,7.975469e-07,8.648237e-07,5.147107e-06,1.934358e-05,2.084895e-05,6.330896e-05,1.455720e-04,1.554155e-04,3.258448e-04,5.724493e-04,6.063818e-04,1.029095e-03,1.542476e-03,1.623821e-03,2.416191e-03,3.271156e-03,3.426250e-03,4.667675e-03,5.894598e-03,6.147482e-03,7.866163e-03,9.449983e-03,9.818125e-03,1.199235e-02,1.388139e-02,1.437321e-02,1.694131e-02,1.906015e-02,1.967436e-02,2.254809e-02,2.481050e-02,2.553693e-02,2.861483e-02,3.093451e-02,3.175580e-02,3.493447e-02,3.723275e-02,3.812652e-02,4.130902e-02,4.351961e-02,4.446066e-02,4.756197e-02,4.963307e-02,5.059539e-02,5.354534e-02,5.543992e-02,5.639826e-02,5.914250e-02,6.083719e-02,6.176830e-02,6.426773e-02,6.575108e-02,6.663449e-02,6.886389e-02,7.013418e-02,7.095265e-02,7.289878e-02,7.396182e-02,7.470147e-02,7.636097e-02,7.722812e-02,7.787840e-02,7.925570e-02,7.994207e-02,8.049547e-02,8.160092e-02,8.212387e-02,8.257571e-02,8.342389e-02,8.380187e-02,8.414985e-02,8.475820e-02,8.500984e-02,8.525374e-02,8.564139e-02,8.578485e-02,8.592613e-02,8.611300e-02,8.616550e-02,8.620700e-02,8.621312e-02,8.619067e-02,8.613628e-02,8.598130e-02,8.589850e-02,8.575292e-02,8.545574e-02,8.532571e-02,8.509424e-02,8.467276e-02,8.450715e-02,8.419548e-02,8.366645e-02,8.347548e-02,8.308955e-02,8.246851e-02,8.226104e-02,8.180690e-02,8.110814e-02,8.089176e-02,8.037548e-02,7.961205e-02,7.939318e-02,7.882079e-02,7.800453e-02,7.778854e-02,7.716593e-02,7.630754e-02,7.609884e-02,7.543174e-02,7.454082e-02,7.434300e-02,7.363692e-02,7.272207e-02,7.253796e-02,7.179818e-02,7.086705e-02,7.069881e-02,6.993038e-02,6.898976e-02,6.883900e-02,6.804668e-02,6.710256e-02,6.697037e-02,6.615869e-02,6.521632e-02,6.510339e-02,6.427659e-02,6.334058e-02,6.324722e-02,6.240928e-02,6.148362e-02,6.140984e-02,6.056448e-02,5.965265e-02,5.959818e-02,5.874887e-02,5.785383e-02,5.781822e-02,5.696817e-02,5.609247e-02,5.607506e-02,5.522727e-02,5.437305e-02,5.271584e-02,5.110645e-02,4.954737e-02,4.804061e-02,4.658772e-02,4.518990e-02,4.384800e-02,4.256255e-02,4.133384e-02,4.016191e-02,3.904661e-02,3.798762e-02,3.698444e-02,3.603646e-02,3.514293e-02,3.430299e-02,3.351568e-02,3.277997e-02,3.209474e-02,3.145881e-02,3.087095e-02,3.032984e-02,2.983416e-02,2.938250e-02,2.897343e-02,2.860549e-02,2.827717e-02,2.798695e-02,2.773327e-02,2.751454e-02,2.732917e-02,2.717554e-02,2.705203e-02,2.695699e-02,2.688879e-02,2.684578e-02,2.682633e-02,2.682881e-02,2.685159e-02,2.689307e-02,2.695167e-02,2.702583e-02,2.711402e-02,2.721476e-02,2.732657e-02,2.744805e-02,2.757783e-02,2.771459e-02,2.785706e-02
0.000000e+00,4.261182e-10,7.519428e-09,7.873482e-09,4.941541e-08,1.472349e-07,1.523606e-07,2.891937e-07,4.133167e-07,4.208045e-07,5.371619e-07,6.305479e-07,6.380836e-07,7.249254e-07,7.922693e-07,7.991667e-07,8.621860e-07,9.093593e-07,9.152379e-07,9.594568e-07,9.912025e-07,9.958647e-07,1.025380e-06,1.045449e-06,1.048824e-06,1.066931e-06,1.078260e-06,1.080358e-06,1.089686e-06,1.094547e-06,1.095432e-06,1.098058e-06,1.098202e-06,1.097968e-06,1.095526e-06,1.092293e-06,1.091049e-06,1.084820e-06,1.079231e-06,1.077089e-06,1.068076e-06,1.060902e-06,1.057975e-06,1.046957e-06,1.038782e-06,1.035175e-06,1.022760e-06,1.014017e-06,1.009830e-06,9.964872e-07,9.874990e-07,9.828216e-07,9.689122e-07,9.599145e-07,9.548281e-07,9.406294e-07,9.317920e-07,9.263687e-07,9.120915e-07,9.035340e-07,8.978374e-07,8.836407e-07,8.754446e-07,8.695307e-07,8.555330e-07,8.477514e-07,8.416690e-07,8.279573e-07,8.206218e-07,8.144133e-07,8.010500e-07,7.941763e-07,7.878784e-07,7.749072e-07,7.684990e-07,7.621435e-07,7.495932e-07,7.436460e-07,7.372604e-07,7.251483e-07,7.196515e-07,7.132592e-07,7.015944e-07,6.965331e-07,6.901545e-07,6.789393e-07,6.742958e-07,6.679481e-07,6.571799e-07,6.529346e-07,6.466329e-07,6.363052e-07,6.324377e-07,6.261946e-07,6.162985e-07,6.127879e-07,6.066142e-07,5.971387e-07,5.939641e-07,5.878690e-07,5.788018e-07,5.759426e-07,5.699339e-07,5.612618e-07,5.586979e-07,5.527822e-07,5.444915e-07,5.422035e-07,5.363862e-07,5.284629e-07,5.264322e-07,5.207179e-07,5.131478e-07,5.113567e-07,5.057492e-07,4.985184e-07,4.969498e-07,4.914521e-07,4.845468e-07,4.831848e-07,4.777992e-07,4.712060e-07,4.700353e-07,4.647638e-07,4.584694e-07,4.574758e-07,4.523196e-07,4.463113e-07,4.454813e-07,4.404414e-07,4.347068e-07,4.340276e-07,4.291046e-07,4.236319e-07,4.230916e-07,4.182857e-07,4.130633e-07,4.126507e-07,4.079618e-07,4.029787e-07,4.026834e-07,3.981112e-07,3.933567e-07,3.931688e-07,3.887127e-07,3.841768e-07,3.840871e-07,3.797464e-07,3.754192e-07,3.671466e-07,3.592519e-07,3.517182e-07,3.445294e-07,3.376703e-07,3.311260e-07,3.248825e-07,3.189263e-07,3.132446e-07,3.078251e-07,3.026560e-07,2.977261e-07,2.930247e-07,2.885415e-07,2.842667e-07,2.801910e-07,2.763054e-07,2.726013e-07,2.690707e-07,2.657057e-07,2.624988e-07,2.594430e-07,2.565315e-07,2.537576e-07,2.511154e-07,2.485987e-07,2.462020e-07,2.439198e-07,2.417470e-07,2.396786e-07,2.377099e-07,2.358364e-07,2.340538e-07,2.323580e-07,2.307450e-07,2.292111e-07,2.277527e-07,2.263664e-07,2.250489e-07,2.237971e-07,2.226079e-07,2.214786e-07,2.204064e-07,2.193887e-07,2.184230e-07,2.175069e-07,2.166382e-07,2.158146e-07,2.150342e-07
0.000000e+00,1.089210e-09,6.493333e-08,6.893604e-08,7.970887e-07,4.311733e-06,4.578178e-06,1.641758e-05,3.923558e-05,4.110309e-05,7.801124e-05,1.172636e-04,1.207141e-04,1.623232e-04,1.956330e-04,1.990392e-04,2.297815e-04,2.520642e-04,2.547813e-04,2.746925e-04,2.882900e-04,2.902266e-04,3.020386e-04,3.095072e-04,3.107034e-04,3.167169e-04,3.199702e-04,3.205049e-04,3.224315e-04,3.228433e-04,3.228078e-04,3.218986e-04,3.204434e-04,3.199294e-04,3.170917e-04,3.144551e-04,3.135479e-04,3.094354e-04,3.060951e-04,3.048704e-04,2.999513e-04,2.962370e-04,2.947605e-04,2.893677e-04,2.855041e-04,2.838312e-04,2.782000e-04,2.743378e-04,2.725148e-04,2.668097e-04,2.630473e-04,2.611128e-04,2.554474e-04,2.518471e-04,2.498326e-04,2.442839e-04,2.408825e-04,2.388139e-04,2.334326e-04,2.302499e-04,2.281481e-04,2.229666e-04,2.200103e-04,2.178926e-04,2.129295e-04,2.101996e-04,2.080797e-04,2.033446e-04,2.008356e-04,1.987248e-04,1.942206e-04,1.919239e-04,1.898314e-04,1.855564e-04,1.834613e-04,1.813944e-04,1.773439e-04,1.754388e-04,1.734033e-04,1.695706e-04,1.678432e-04,1.658438e-04,1.622209e-04,1.606591e-04,1.586996e-04,1.552777e-04,1.538695e-04,1.519528e-04,1.487227e-04,1.474567e-04,1.455850e-04,1.425375e-04,1.414026e-04,1.395778e-04,1.367037e-04,1.356895e-04,1.339128e-04,1.312030e-04,1.302998e-04,1.285722e-04,1.260180e-04,1.252165e-04,1.235385e-04,1.211315e-04,1.204233e-04,1.187951e-04,1.165272e-04,1.159043e-04,1.143260e-04,1.121896e-04,1.116445e-04,1.101160e-04,1.081036e-04,1.076295e-04,1.061505e-04,1.042552e-04,1.038458e-04,1.024159e-04,1.006309e-04,1.002803e-04,9.889886e-05,9.721811e-05,9.692091e-05,9.558720e-05,9.400468e-05,9.375588e-05,9.246916e-05,9.097928e-05,9.077426e-05,8.953369e-05,8.813113e-05,8.796565e-05,8.677033e-05,8.545009e-05,8.532025e-05,8.416921e-05,8.292656e-05,8.282876e-05,8.172101e-05,8.055149e-05,8.048244e-05,7.941694e-05,7.831635e-05,7.827302e-05,7.724871e-05,7.621307e-05,7.619267e-05,7.520848e-05,7.423405e-05,7.239020e-05,7.065455e-05,6.902093e-05,6.748348e-05,6.603672e-05,6.467544e-05,6.339475e-05,6.219002e-05,6.105691e-05,5.999129e-05,5.898931e-05,5.804730e-05,5.716182e-05,5.632963e-05,5.554765e-05,5.481300e-05,5.412296e-05,5.347496e-05,5.286658e-05,5.229553e-05,5.175967e-05,5.125696e-05,5.078549e-05,5.034346e-05,4.992916e-05,4.954099e-05,4.917744e-05,4.883709e-05,4.851858e-05,4.822066e-05,4.794212e-05,4.768185e-05,4.743877e-05,4.721189e-05,4.700027e-05,4.680300e-05,4.661926e-05,4.644825e-05,4.628923e-05,4.614149e-05,4.600437e-05,4.587724e-05,4.575952e-05,4.565065e-05,4.555010e-05,4.545738e-05,4.537203e-05,4.529360e-05,4.522168e-05
0.000000e+00,1.020597e-10,1.267522e-08,1.364432e-08,2.950771e-07,2.623882e-06,2.839510e-06,1.582524e-05,5.469656e-05,5.860862e-05,1.604660e-04,3.335452e-04,3.529448e-04,6.618143e-04,1.052166e-03,1.102334e-03,1.678162e-03,2.291828e-03,2.382768e-03,3.202063e-03,3.984137e-03,4.117269e-03,5.107474e-03,5.981774e-03,6.151624e-03,7.229896e-03,8.127015e-03,8.324542e-03,9.420298e-03,1.028910e-02,1.050449e-02,1.156691e-02,1.237530e-02,1.259962e-02,1.359666e-02,1.432786e-02,1.455373e-02,1.546792e-02,1.611572e-02,1.633743e-02,1.716136e-02,1.772620e-02,1.793947e-02,1.867207e-02,1.915818e-02,1.935987e-02,2.000385e-02,2.041733e-02,2.060520e-02,2.116525e-02,2.151294e-02,2.168541e-02,2.216717e-02,2.245603e-02,2.261201e-02,2.302143e-02,2.325814e-02,2.339692e-02,2.373993e-02,2.393074e-02,2.405189e-02,2.433420e-02,2.448488e-02,2.458820e-02,2.481520e-02,2.493100e-02,2.501646e-02,2.519321e-02,2.527888e-02,2.534663e-02,2.547784e-02,2.553766e-02,2.558794e-02,2.567797e-02,2.571578e-02,2.574895e-02,2.580185e-02,2.582109e-02,2.583759e-02,2.585708e-02,2.586083e-02,2.586118e-02,2.585071e-02,2.584169e-02,2.582646e-02,2.578920e-02,2.576985e-02,2.573966e-02,2.567855e-02,2.565101e-02,2.560652e-02,2.552423e-02,2.549040e-02,2.543230e-02,2.533131e-02,2.529285e-02,2.522184e-02,2.510443e-02,2.506280e-02,2.497961e-02,2.484786e-02,2.480432e-02,2.470967e-02,2.456550e-02,2.452115e-02,2.441579e-02,2.426094e-02,2.421672e-02,2.410137e-02,2.393746e-02,2.389417e-02,2.376956e-02,2.359804e-02,2.355637e-02,2.342322e-02,2.324543e-02,2.320594e-02,2.306496e-02,2.288211e-02,2.284528e-02,2.269716e-02,2.251036e-02,2.247656e-02,2.232197e-02,2.213223e-02,2.210176e-02,2.194137e-02,2.174960e-02,2.172269e-02,2.155713e-02,2.136416e-02,2.134098e-02,2.117087e-02,2.097744e-02,2.095809e-02,2.078404e-02,2.059082e-02,2.057537e-02,2.039794e-02,2.020554e-02,2.019402e-02,2.001376e-02,1.982272e-02,1.981509e-02,1.963255e-02,1.944335e-02,1.943958e-02,1.925524e-02,1.906832e-02,1.870209e-02,1.834156e-02,1.798732e-02,1.763991e-02,1.729976e-02,1.696728e-02,1.664278e-02,1.632656e-02,1.601884e-02,1.571981e-02,1.542961e-02,1.514835e-02,1.487611e-02,1.461293e-02,1.435883e-02,1.411380e-02,1.387779e-02,1.365077e-02,1.343265e-02,1.322334e-02,1.302273e-02,1.283071e-02,1.264714e-02,1.247187e-02,1.230474e-02,1.214560e-02,1.199426e-02,1.185055e-02,1.171427e-02,1.158524e-02,1.146327e-02,1.134814e-02,1.123966e-02,1.113762e-02,1.104182e-02,1.095204e-02,1.086808e-02,1.078973e-02,1.071677e-02,1.064901e-02,1.058623e-02,1.052823e-02,1.047481e-02,1.042576e-02,1.038088e-02,1.033998e-02,1.030287e-02,1.026936e-02,1.023926e-02
0.000000e+00,1.336660e-09,1.384926e-08,1.437825e-08,7.096210e-08,2.208403e-07,2.299323e-07,5.406097e-07,9.608409e-07,9.905622e-07,1.505413e-06,1.970259e-06,2.009026e-06,2.464589e-06,2.826113e-06,2.863462e-06,3.207311e-06,3.467873e-06,3.500552e-06,3.748072e-06,3.927980e-06,3.954592e-06,4.124503e-06,4.241892e-06,4.261829e-06,4.370234e-06,4.439885e-06,4.453039e-06,4.513246e-06,4.546968e-06,4.553560e-06,4.576407e-06,4.583513e-06,4.583967e-06,4.578189e-06,4.565956e-06,4.560815e-06,4.533404e-06,4.507482e-06,4.497348e-06,4.453888e-06,4.418635e-06,4.404125e-06,4.349040e-06,4.307784e-06,4.289503e-06,4.226286e-06,4.181547e-06,4.160069e-06,4.091458e-06,4.045124e-06,4.020985e-06,3.949118e-06,3.902585e-06,3.876270e-06,3.802803e-06,3.757083e-06,3.729033e-06,3.655235e-06,3.611045e-06,3.581651e-06,3.508488e-06,3.466318e-06,3.435925e-06,3.364117e-06,3.324283e-06,3.293194e-06,3.223268e-06,3.185956e-06,3.154432e-06,3.086764e-06,3.052061e-06,3.020329e-06,2.955176e-06,2.923094e-06,2.891347e-06,2.828873e-06,2.799373e-06,2.767776e-06,2.708071e-06,2.681077e-06,2.649767e-06,2.592867e-06,2.568275e-06,2.537369e-06,2.483266e-06,2.460956e-06,2.430548e-06,2.379202e-06,2.359045e-06,2.329213e-06,2.280561e-06,2.262421e-06,2.233228e-06,2.187190e-06,2.170930e-06,2.142426e-06,2.098910e-06,2.084394e-06,2.056617e-06,2.015523e-06,2.002621e-06,1.975599e-06,1.936821e-06,1.925407e-06,1.899161e-06,1.862591e-06,1.852544e-06,1.827086e-06,1.792618e-06,1.783823e-06,1.759161e-06,1.726687e-06,1.719037e-06,1.695172e-06,1.664589e-06,1.657983e-06,1.634912e-06,1.606117e-06,1.600461e-06,1.578178e-06,1.551072e-06,1.546280e-06,1.524776e-06,1.499265e-06,1.495255e-06,1.474517e-06,1.450511e-06,1.447208e-06,1.427223e-06,1.404634e-06,1.401969e-06,1.382722e-06,1.361468e-06,1.359378e-06,1.340852e-06,1.320854e-06,1.319280e-06,1.301457e-06,1.282641e-06,1.281530e-06,1.264390e-06,1.246687e-06,1.245990e-06,1.229515e-06,1.212857e-06,1.212529e-06,1.196698e-06,1.181023e-06,1.151357e-06,1.123421e-06,1.097110e-06,1.072328e-06,1.048983e-06,1.026989e-06,1.006264e-06,9.867333e-07,9.683238e-07,9.509687e-07,9.346046e-07,9.191722e-07,9.046155e-07,8.908823e-07,8.779232e-07,8.656919e-07,8.541452e-07,8.432421e-07,8.329446e-07,8.232167e-07,8.140246e-07,8.053366e-07,7.971231e-07,7.893560e-07,7.820091e-07,7.750578e-07,7.684791e-07,7.622510e-07,7.563535e-07,7.507672e-07,7.454740e-07,7.404572e-07,7.357008e-07,7.311899e-07,7.269104e-07,7.228492e-07,7.189939e-07,7.153329e-07,7.118553e-07,7.085507e-07,7.054096e-07,7.024228e-07,6.995817e-07,6.968783e-07,6.943051e-07,6.918549e-07,6.895210e-07,6.872971e-07,6.851773e-07
0.000000e+00,2.542553e-11,2.877945e-09,3.087695e-09,5.558322e-08,4.370016e-07,4.715086e-07,2.589534e-06,9.658629e-06,1.042278e-05,3.287734e-05,7.945310e-05,8.520513e-05,1.884931e-04,3.453467e-04,3.673597e-04,6.468949e-04,9.942680e-04,1.049776e-03,1.594065e-03,2.184650e-03,2.291861e-03,3.148747e-03,3.991047e-03,4.163896e-03,5.330646e-03,6.392491e-03,6.637383e-03,8.068576e-03,9.290860e-03,9.605851e-03,1.122902e-02,1.254119e-02,1.291703e-02,1.464874e-02,1.598139e-02,1.640361e-02,1.816220e-02,1.945532e-02,1.990655e-02,2.162048e-02,2.282757e-02,2.328969e-02,2.490187e-02,2.599082e-02,2.644664e-02,2.791555e-02,2.886763e-02,2.930196e-02,3.060089e-02,3.140851e-02,3.180887e-02,3.292380e-02,3.358808e-02,3.394481e-02,3.487204e-02,3.540025e-02,3.570654e-02,3.645009e-02,3.685355e-02,3.710510e-02,3.767447e-02,3.796675e-02,3.816148e-02,3.856971e-02,3.876530e-02,3.890293e-02,3.916506e-02,3.927845e-02,3.936008e-02,3.949199e-02,3.953697e-02,3.956477e-02,3.958235e-02,3.957164e-02,3.954855e-02,3.946710e-02,3.941213e-02,3.934157e-02,3.917543e-02,3.908627e-02,3.897196e-02,3.873431e-02,3.861970e-02,3.846548e-02,3.816830e-02,3.803569e-02,3.784545e-02,3.749946e-02,3.735511e-02,3.713268e-02,3.674736e-02,3.659651e-02,3.634557e-02,3.592926e-02,3.577619e-02,3.550026e-02,3.506027e-02,3.490846e-02,3.461087e-02,3.415354e-02,3.400574e-02,3.368964e-02,3.322044e-02,3.307883e-02,3.274712e-02,3.227077e-02,3.213699e-02,3.179240e-02,3.131293e-02,3.118819e-02,3.083322e-02,3.035407e-02,3.023923e-02,2.987619e-02,2.940027e-02,2.929589e-02,2.892690e-02,2.845665e-02,2.836301e-02,2.799002e-02,2.752749e-02,2.744470e-02,2.706947e-02,2.661635e-02,2.654433e-02,2.616848e-02,2.572616e-02,2.566470e-02,2.528969e-02,2.485930e-02,2.480808e-02,2.443523e-02,2.401766e-02,2.397626e-02,2.360676e-02,2.320270e-02,2.317068e-02,2.280559e-02,2.241555e-02,2.239238e-02,2.203266e-02,2.165701e-02,2.164213e-02,2.128864e-02,2.092761e-02,2.092046e-02,2.057394e-02,2.022765e-02,1.956381e-02,1.892888e-02,1.832265e-02,1.774482e-02,1.719497e-02,1.667261e-02,1.617717e-02,1.570805e-02,1.526456e-02,1.484601e-02,1.445168e-02,1.408082e-02,1.373265e-02,1.340641e-02,1.310132e-02,1.281659e-02,1.255144e-02,1.230510e-02,1.207678e-02,1.186574e-02,1.167120e-02,1.149243e-02,1.132869e-02,1.117926e-02,1.104345e-02,1.092054e-02,1.080988e-02,1.071079e-02,1.062263e-02,1.054477e-02,1.047660e-02,1.041752e-02,1.036695e-02,1.032432e-02,1.028910e-02,1.026075e-02,1.023877e-02,1.022266e-02,1.021195e-02,1.020618e-02,1.020492e-02,1.020775e-02,1.021426e-02,1.022407e-02,1.023682e-02,1.025215e-02,1.026975e-02,1.028930e-02,1.031050e-02
0.000000e+00,1.199099e-08,2.663370e-07,2.798054e-07,2.177940e-06,8.416761e-06,8.808910e-06,2.176411e-05,3.689127e-05,3.787292e-05,5.387627e-05,6.769335e-05,6.884879e-05,8.266949e-05,9.414682e-05,9.536764e-05,1.069985e-04,1.163978e-04,1.176212e-04,1.272946e-04,1.348982e-04,1.360760e-04,1.440208e-04,1.500869e-04,1.511822e-04,1.576112e-04,1.623704e-04,1.633561e-04,1.684630e-04,1.721182e-04,1.729751e-04,1.769335e-04,1.796615e-04,1.803767e-04,1.833411e-04,1.852949e-04,1.858608e-04,1.879680e-04,1.892794e-04,1.896926e-04,1.910631e-04,1.918454e-04,1.921058e-04,1.928456e-04,1.931957e-04,1.933057e-04,1.935081e-04,1.935089e-04,1.934730e-04,1.932195e-04,1.929414e-04,1.927656e-04,1.921279e-04,1.916306e-04,1.913221e-04,1.903627e-04,1.896968e-04,1.892634e-04,1.880369e-04,1.872449e-04,1.866951e-04,1.852490e-04,1.843667e-04,1.837091e-04,1.820849e-04,1.811420e-04,1.803855e-04,1.786191e-04,1.776402e-04,1.767936e-04,1.749161e-04,1.739216e-04,1.729935e-04,1.710319e-04,1.700383e-04,1.690372e-04,1.670147e-04,1.660355e-04,1.649694e-04,1.629059e-04,1.619518e-04,1.608285e-04,1.587412e-04,1.578205e-04,1.566475e-04,1.545509e-04,1.536701e-04,1.524544e-04,1.503608e-04,1.495249e-04,1.482729e-04,1.461930e-04,1.454052e-04,1.441233e-04,1.420658e-04,1.413284e-04,1.400223e-04,1.379945e-04,1.373089e-04,1.359840e-04,1.339920e-04,1.333587e-04,1.320199e-04,1.300687e-04,1.294876e-04,1.281395e-04,1.262331e-04,1.257035e-04,1.243503e-04,1.224918e-04,1.220127e-04,1.206583e-04,1.188502e-04,1.184201e-04,1.170679e-04,1.153120e-04,1.149293e-04,1.135827e-04,1.118802e-04,1.115429e-04,1.102047e-04,1.085565e-04,1.082627e-04,1.069356e-04,1.053420e-04,1.050896e-04,1.037758e-04,1.022370e-04,1.020237e-04,1.007255e-04,9.924120e-05,9.906492e-05,9.778404e-05,9.635386e-05,9.621232e-05,9.495049e-05,9.357374e-05,9.346475e-05,9.222342e-05,9.089929e-05,9.082067e-05,8.960113e-05,8.832867e-05,8.827830e-05,8.708165e-05,8.585978e-05,8.583560e-05,8.466279e-05,8.349036e-05,8.124023e-05,7.908274e-05,7.701534e-05,7.503543e-05,7.314037e-05,7.132750e-05,6.959416e-05,6.793768e-05,6.635545e-05,6.484487e-05,6.340337e-05,6.202844e-05,6.071761e-05,5.946847e-05,5.827867e-05,5.714591e-05,5.606796e-05,5.504266e-05,5.406789e-05,5.314163e-05,5.226189e-05,5.142676e-05,5.063439e-05,4.988301e-05,4.917087e-05,4.849633e-05,4.785776e-05,4.725364e-05,4.668247e-05,4.614280e-05,4.563327e-05,4.515255e-05,4.469934e-05,4.427244e-05,4.387064e-05,4.349282e-05,4.313788e-05,4.280478e-05,4.249250e-05,4.220009e-05,4.192660e-05,4.167114e-05,4.143287e-05,4.121096e-05,4.100462e-05,4.081310e-05,4.063568e-05,4.047165e-05,4.032036e-05
0.000000e+00,1.314399e-08,1.788936e-07,1.864739e-07,1.063993e-06,3.502848e-06,3.651200e-06,8.674394e-06,1.534371e-05,1.581226e-05,2.393040e-05,3.139267e-05,3.202674e-05,3.968217e-05,4.611282e-05,4.680007e-05,5.337793e-05,5.873549e-05,5.943580e-05,6.499908e-05,6.940802e-05,7.009412e-05,7.474702e-05,7.833237e-05,7.898317e-05,8.282705e-05,8.570281e-05,8.630212e-05,8.943078e-05,9.169867e-05,9.223436e-05,9.473306e-05,9.648280e-05,9.694609e-05,9.889167e-05,1.002021e-04,1.005870e-04,1.020483e-04,1.029881e-04,1.032911e-04,1.043299e-04,1.049594e-04,1.051786e-04,1.058501e-04,1.062214e-04,1.063568e-04,1.067102e-04,1.068687e-04,1.069214e-04,1.070005e-04,1.069851e-04,1.069573e-04,1.068009e-04,1.066455e-04,1.065400e-04,1.061827e-04,1.059161e-04,1.057366e-04,1.052090e-04,1.048560e-04,1.046064e-04,1.039354e-04,1.035173e-04,1.032019e-04,1.024115e-04,1.019460e-04,1.015694e-04,1.006806e-04,1.001829e-04,9.974973e-05,9.878109e-05,9.826385e-05,9.777878e-05,9.674661e-05,9.622044e-05,9.568812e-05,9.460667e-05,9.408034e-05,9.350537e-05,9.238712e-05,9.186780e-05,9.125465e-05,9.011049e-05,8.960397e-05,8.895700e-05,8.779637e-05,8.730728e-05,8.663067e-05,8.546178e-05,8.499373e-05,8.429147e-05,8.312138e-05,8.267712e-05,8.195303e-05,8.078781e-05,8.036935e-05,7.962703e-05,7.847187e-05,7.808059e-05,7.732344e-05,7.618274e-05,7.581951e-05,7.505071e-05,7.392819e-05,7.359341e-05,7.281596e-05,7.171471e-05,7.140842e-05,7.062510e-05,6.954770e-05,6.926964e-05,6.848302e-05,6.743154e-05,6.718120e-05,6.639367e-05,6.536979e-05,6.514645e-05,6.436022e-05,6.336523e-05,6.316801e-05,6.238509e-05,6.142000e-05,6.124789e-05,6.047013e-05,5.953563e-05,5.938754e-05,5.861661e-05,5.771317e-05,5.758794e-05,5.682537e-05,5.595324e-05,5.584964e-05,5.509681e-05,5.425607e-05,5.417286e-05,5.343100e-05,5.262156e-05,5.255747e-05,5.182769e-05,5.104933e-05,5.100312e-05,5.028640e-05,4.953879e-05,4.950920e-05,4.880640e-05,4.808912e-05,4.807492e-05,4.738680e-05,4.669933e-05,4.538134e-05,4.411975e-05,4.291326e-05,4.176053e-05,4.066012e-05,3.961058e-05,3.861042e-05,3.765812e-05,3.675217e-05,3.589105e-05,3.507324e-05,3.429724e-05,3.356155e-05,3.286469e-05,3.220524e-05,3.158176e-05,3.099286e-05,3.043718e-05,2.991340e-05,2.942022e-05,2.895638e-05,2.852065e-05,2.811183e-05,2.772878e-05,2.737038e-05,2.703554e-05,2.672321e-05,2.643237e-05,2.616205e-05,2.591129e-05,2.567919e-05,2.546486e-05,2.526744e-05,2.508611e-05,2.492009e-05,2.476862e-05,2.463096e-05,2.450641e-05,2.439429e-05,2.429394e-05,2.420475e-05,2.412611e-05,2.405744e-05,2.399818e-05,2.394780e-05,2.390579e-05,2.387166e-05,2.384495e-05,2.382519e-05
0.000000e+00,1.295259e-11,1.606603e-09,1.728053e-09,3.523316e-08,2.983042e-07,3.224213e-07,1.793193e-06,6.495716e-06,6.990194e-06,2.084998e-05,4.745860e-05,5.062406e-05,1.048228e-04,1.813594e-04,1.917309e-04,3.180743e-04,4.653450e-04,4.881354e-04,7.033718e-04,9.236666e-04,9.624621e-04,1.261653e-03,1.539862e-03,1.595280e-03,1.956358e-03,2.267516e-03,2.337159e-03,2.729734e-03,3.047052e-03,3.126340e-03,3.519771e-03,3.820271e-03,3.903590e-03,4.272279e-03,4.539532e-03,4.621295e-03,4.947086e-03,5.171652e-03,5.247045e-03,5.519443e-03,5.697944e-03,5.763333e-03,5.978445e-03,6.112041e-03,6.165079e-03,6.323999e-03,6.416798e-03,6.456333e-03,6.563478e-03,6.621162e-03,6.647025e-03,6.708682e-03,6.737472e-03,6.750222e-03,6.773429e-03,6.779386e-03,6.780067e-03,6.771840e-03,6.760450e-03,6.750378e-03,6.717218e-03,6.693194e-03,6.673793e-03,6.621430e-03,6.588660e-03,6.561345e-03,6.494644e-03,6.456231e-03,6.422329e-03,6.345299e-03,6.303652e-03,6.264361e-03,6.180231e-03,6.137170e-03,6.093543e-03,6.004856e-03,5.961724e-03,5.914664e-03,5.823395e-03,5.781156e-03,5.731427e-03,5.639084e-03,5.598410e-03,5.546651e-03,5.454371e-03,5.415711e-03,5.362455e-03,5.271084e-03,5.234723e-03,5.180411e-03,5.090567e-03,5.056668e-03,5.001665e-03,4.913799e-03,4.882436e-03,4.827047e-03,4.741474e-03,4.712658e-03,4.657136e-03,4.574076e-03,4.547773e-03,4.492331e-03,4.411929e-03,4.388074e-03,4.332893e-03,4.255238e-03,4.233744e-03,4.178976e-03,4.104115e-03,4.084881e-03,4.030658e-03,3.958606e-03,3.941522e-03,3.887956e-03,3.818704e-03,3.803655e-03,3.750843e-03,3.684364e-03,3.671233e-03,3.619258e-03,3.555513e-03,3.544183e-03,3.493116e-03,3.432054e-03,3.422407e-03,3.372312e-03,3.313875e-03,3.305797e-03,3.256726e-03,3.200850e-03,3.194229e-03,3.146229e-03,3.092846e-03,3.087575e-03,3.040684e-03,2.989724e-03,2.985698e-03,2.939948e-03,2.891337e-03,2.888457e-03,2.843875e-03,2.797541e-03,2.795711e-03,2.752317e-03,2.708185e-03,2.707313e-03,2.665126e-03,2.623122e-03,2.542994e-03,2.466788e-03,2.394363e-03,2.325583e-03,2.260313e-03,2.198422e-03,2.139781e-03,2.084265e-03,2.031753e-03,1.982127e-03,1.935271e-03,1.891075e-03,1.849431e-03,1.810234e-03,1.773384e-03,1.738782e-03,1.706334e-03,1.675950e-03,1.647539e-03,1.621018e-03,1.596303e-03,1.573314e-03,1.551975e-03,1.532211e-03,1.513950e-03,1.497122e-03,1.481661e-03,1.467500e-03,1.454578e-03,1.442834e-03,1.432209e-03,1.422646e-03,1.414091e-03,1.406491e-03,1.399794e-03,1.393952e-03,1.388917e-03,1.384643e-03,1.381085e-03,1.378202e-03,1.375950e-03,1.374291e-03,1.373187e-03,1.372600e-03,1.372495e-03,1.372838e-03,1.373596e-03,1.374736e-03,1.376230e-03
0.000000e+00,4.190132e-09,6.387005e-08,6.676556e-08,4.321076e-07,1.515194e-06,1.580972e-06,3.678295e-06,6.025148e-06,6.175438e-06,8.600478e-06,1.065523e-05,1.082526e-05,1.283498e-05,1.446694e-05,1.463836e-05,1.624856e-05,1.751659e-05,1.767924e-05,1.894370e-05,1.990793e-05,2.005469e-05,2.102430e-05,2.173790e-05,2.186397e-05,2.258443e-05,2.309332e-05,2.319573e-05,2.370720e-05,2.405038e-05,2.412755e-05,2.446483e-05,2.467507e-05,2.472652e-05,2.491952e-05,2.502421e-05,2.505022e-05,2.512449e-05,2.514629e-05,2.514769e-05,2.512477e-05,2.508231e-05,2.506033e-05,2.495857e-05,2.486723e-05,2.482338e-05,2.465834e-05,2.453079e-05,2.446683e-05,2.425194e-05,2.409864e-05,2.401640e-05,2.376274e-05,2.359196e-05,2.349326e-05,2.321007e-05,2.302846e-05,2.291510e-05,2.261011e-05,2.242298e-05,2.229670e-05,2.197633e-05,2.178786e-05,2.165033e-05,2.131992e-05,2.113337e-05,2.098619e-05,2.065014e-05,2.046804e-05,2.031269e-05,1.997464e-05,1.979887e-05,1.963674e-05,1.929964e-05,1.913159e-05,1.896395e-05,1.863020e-05,1.847083e-05,1.829886e-05,1.797037e-05,1.782032e-05,1.764510e-05,1.732338e-05,1.718303e-05,1.700551e-05,1.669175e-05,1.656125e-05,1.638232e-05,1.607741e-05,1.595675e-05,1.577719e-05,1.548180e-05,1.537085e-05,1.519136e-05,1.490595e-05,1.480446e-05,1.462566e-05,1.435054e-05,1.425819e-05,1.408064e-05,1.381598e-05,1.373239e-05,1.355657e-05,1.330242e-05,1.322720e-05,1.305352e-05,1.280986e-05,1.274257e-05,1.257140e-05,1.233812e-05,1.227830e-05,1.210996e-05,1.188689e-05,1.183411e-05,1.166885e-05,1.145579e-05,1.140958e-05,1.124764e-05,1.104434e-05,1.100425e-05,1.084581e-05,1.065200e-05,1.061761e-05,1.046282e-05,1.027820e-05,1.024908e-05,1.009806e-05,9.922333e-06,9.898078e-06,9.750928e-06,9.583768e-06,9.563990e-06,9.420774e-06,9.261864e-06,9.246194e-06,9.106957e-06,8.955974e-06,8.944063e-06,8.808833e-06,8.665454e-06,8.656969e-06,8.525756e-06,8.389661e-06,8.384291e-06,8.257090e-06,8.127965e-06,8.125417e-06,8.002209e-06,7.879746e-06,7.646689e-06,7.425676e-06,7.216152e-06,7.017580e-06,6.829443e-06,6.651239e-06,6.482490e-06,6.322733e-06,6.171525e-06,6.028443e-06,5.893080e-06,5.765048e-06,5.643977e-06,5.529513e-06,5.421319e-06,5.319072e-06,5.222466e-06,5.131210e-06,5.045025e-06,4.963647e-06,4.886826e-06,4.814322e-06,4.745908e-06,4.681369e-06,4.620499e-06,4.563105e-06,4.509000e-06,4.458011e-06,4.409970e-06,4.364720e-06,4.322111e-06,4.282001e-06,4.244255e-06,4.208746e-06,4.175351e-06,4.143957e-06,4.114455e-06,4.086740e-06,4.060717e-06,4.036291e-06,4.013375e-06,3.991886e-06,3.971746e-06,3.952879e-06,3.935215e-06,3.918687e-06,3.903231e-06,3.888788e-06,3.875300e-06
0.000000e+00,1.608806e-09,2.531691e-08,2.650093e-08,1.764605e-07,5.953327e-07,6.194492e-07,1.325009e-06,2.031378e-06,2.075221e-06,2.770609e-06,3.347196e-06,3.394478e-06,3.948529e-06,4.391634e-06,4.437802e-06,4.867713e-06,5.201058e-06,5.243450e-06,5.569866e-06,5.814579e-06,5.851463e-06,6.092406e-06,6.266202e-06,6.296539e-06,6.467401e-06,6.584966e-06,6.608236e-06,6.722003e-06,6.795360e-06,6.811417e-06,6.878966e-06,6.917935e-06,6.926907e-06,6.957295e-06,6.969810e-06,6.972004e-06,6.972734e-06,6.965186e-06,6.961026e-06,6.938276e-06,6.915775e-06,6.905752e-06,6.864600e-06,6.831221e-06,6.815860e-06,6.760470e-06,6.719443e-06,6.699280e-06,6.633056e-06,6.586931e-06,6.562492e-06,6.488213e-06,6.438988e-06,6.410783e-06,6.330708e-06,6.279937e-06,6.248448e-06,6.164411e-06,6.113292e-06,6.078968e-06,5.992449e-06,5.941894e-06,5.905152e-06,5.817342e-06,5.768034e-06,5.729256e-06,5.641106e-06,5.593546e-06,5.553080e-06,5.465346e-06,5.419890e-06,5.378052e-06,5.291328e-06,5.248217e-06,5.205291e-06,5.120041e-06,5.079428e-06,5.035668e-06,4.952248e-06,4.914214e-06,4.869848e-06,4.788526e-06,4.753098e-06,4.708329e-06,4.629300e-06,4.596464e-06,4.551472e-06,4.474873e-06,4.444583e-06,4.399526e-06,4.325449e-06,4.297636e-06,4.252655e-06,4.181152e-06,4.155728e-06,4.110946e-06,4.042039e-06,4.018907e-06,3.974432e-06,3.908120e-06,3.887173e-06,3.843099e-06,3.779360e-06,3.760488e-06,3.716896e-06,3.655695e-06,3.638783e-06,3.595745e-06,3.537033e-06,3.521969e-06,3.479545e-06,3.423266e-06,3.409937e-06,3.368179e-06,3.314269e-06,3.302565e-06,3.261519e-06,3.209910e-06,3.199724e-06,3.159426e-06,3.110047e-06,3.101275e-06,3.061755e-06,3.014533e-06,3.007075e-06,2.968361e-06,2.923220e-06,2.916982e-06,2.879093e-06,2.835959e-06,2.830849e-06,2.793802e-06,2.752601e-06,2.748533e-06,2.712339e-06,2.672997e-06,2.669889e-06,2.634557e-06,2.597002e-06,2.594776e-06,2.560313e-06,2.524472e-06,2.523056e-06,2.489464e-06,2.455270e-06,2.454594e-06,2.421873e-06,2.389258e-06,2.326919e-06,2.267454e-06,2.210742e-06,2.156668e-06,2.105119e-06,2.055988e-06,2.009171e-06,1.964568e-06,1.922083e-06,1.881624e-06,1.843102e-06,1.806432e-06,1.771533e-06,1.738326e-06,1.706738e-06,1.676695e-06,1.648130e-06,1.620976e-06,1.595171e-06,1.570653e-06,1.547366e-06,1.525254e-06,1.504264e-06,1.484345e-06,1.465449e-06,1.447529e-06,1.430541e-06,1.414443e-06,1.399194e-06,1.384756e-06,1.371090e-06,1.358161e-06,1.345937e-06,1.334383e-06,1.323469e-06,1.313165e-06,1.303444e-06,1.294276e-06,1.285638e-06,1.277503e-06,1.269849e-06,1.262651e-06,1.255890e-06,1.249543e-06,1.243592e-06,1.238017e-06,1.232800e-06,1.227924e-06,1.223372e-06
0.000000e+00,1.422787e-10,3.054028e-09,3.209863e-09,2.388186e-08,8.033351e-08,8.343744e-08,1.684477e-07,2.483764e-07,2.532935e-07,3.313688e-07,3.967065e-07,4.021025e-07,4.658795e-07,5.177605e-07,5.232197e-07,5.746345e-07,6.153579e-07,6.206012e-07,6.615614e-07,6.930952e-07,6.979236e-07,7.300664e-07,7.540634e-07,7.583412e-07,7.830730e-07,8.009214e-07,8.045632e-07,8.230915e-07,8.359557e-07,8.389160e-07,8.522749e-07,8.611259e-07,8.633888e-07,8.724581e-07,8.780984e-07,8.796687e-07,8.851905e-07,8.882819e-07,8.891800e-07,8.917804e-07,8.928672e-07,8.931239e-07,8.933314e-07,8.928601e-07,8.925129e-07,8.907694e-07,8.891029e-07,8.881933e-07,8.848693e-07,8.823035e-07,8.808745e-07,8.762798e-07,8.730543e-07,8.711497e-07,8.655433e-07,8.618520e-07,8.595145e-07,8.531126e-07,8.491111e-07,8.463822e-07,8.393645e-07,8.351773e-07,8.320966e-07,8.246127e-07,8.203390e-07,8.169437e-07,8.091178e-07,8.048358e-07,8.011608e-07,7.930958e-07,7.888665e-07,7.849441e-07,7.767249e-07,7.725956e-07,7.684558e-07,7.601524e-07,7.561590e-07,7.518292e-07,7.434991e-07,7.396682e-07,7.351737e-07,7.268637e-07,7.232145e-07,7.185783e-07,7.103263e-07,7.068723e-07,7.021153e-07,6.939521e-07,6.907016e-07,6.858429e-07,6.777931e-07,6.747508e-07,6.698075e-07,6.618906e-07,6.590580e-07,6.540459e-07,6.462770e-07,6.436533e-07,6.385866e-07,6.309774e-07,6.285599e-07,6.234514e-07,6.160105e-07,6.137951e-07,6.086563e-07,6.013901e-07,5.993714e-07,5.942129e-07,5.871255e-07,5.852976e-07,5.801287e-07,5.732228e-07,5.715789e-07,5.664082e-07,5.596850e-07,5.582181e-07,5.530532e-07,5.465128e-07,5.452156e-07,5.400635e-07,5.337050e-07,5.325701e-07,5.274370e-07,5.212589e-07,5.202787e-07,5.151702e-07,5.091704e-07,5.083374e-07,5.032587e-07,4.974344e-07,4.967414e-07,4.916969e-07,4.860453e-07,4.854848e-07,4.804787e-07,4.749964e-07,4.745614e-07,4.695974e-07,4.642809e-07,4.639645e-07,4.590459e-07,4.538914e-07,4.536869e-07,4.488167e-07,4.438206e-07,4.437215e-07,4.389022e-07,4.340606e-07,4.246968e-07,4.156225e-07,4.068300e-07,3.983117e-07,3.900602e-07,3.820681e-07,3.743280e-07,3.668327e-07,3.595753e-07,3.525488e-07,3.457465e-07,3.391617e-07,3.327881e-07,3.266193e-07,3.206492e-07,3.148719e-07,3.092815e-07,3.038725e-07,2.986393e-07,2.935765e-07,2.886791e-07,2.839419e-07,2.793601e-07,2.749288e-07,2.706436e-07,2.664999e-07,2.624933e-07,2.586197e-07,2.548749e-07,2.512550e-07,2.477561e-07,2.443745e-07,2.411065e-07,2.379486e-07,2.348974e-07,2.319496e-07,2.291019e-07,2.263513e-07,2.236947e-07,2.211292e-07,2.186519e-07,2.162601e-07,2.139511e-07,2.117223e-07,2.095712e-07,2.074954e-07,2.054925e-07,2.035601e-07,2.016961e-07
0.000000e+00,6.720359e-10,5.697003e-08,6.080945e-08,8.752995e-07,5.716972e-06,6.120706e-06,2.736509e-05,8.177316e-05,8.691449e-05,2.096558e-04,3.889509e-04,4.074747e-04,6.731167e-04,9.541139e-04,9.870357e-04,1.327270e-03,1.633795e-03,1.675538e-03,2.019069e-03,2.304626e-03,2.350010e-03,2.664075e-03,2.913343e-03,2.959267e-03,3.234947e-03,3.446509e-03,3.491227e-03,3.728619e-03,3.905407e-03,3.947833e-03,4.149665e-03,4.295561e-03,4.334945e-03,4.504505e-03,4.623360e-03,4.659161e-03,4.799706e-03,4.895077e-03,4.926907e-03,5.041501e-03,5.116600e-03,5.144195e-03,5.235666e-03,5.293365e-03,5.316560e-03,5.387495e-03,5.430342e-03,5.449057e-03,5.501808e-03,5.532055e-03,5.546278e-03,5.582976e-03,5.602606e-03,5.612382e-03,5.634955e-03,5.645710e-03,5.651130e-03,5.661319e-03,5.664723e-03,5.665915e-03,5.665288e-03,5.662672e-03,5.659793e-03,5.649763e-03,5.642284e-03,5.635515e-03,5.617350e-03,5.606013e-03,5.595552e-03,5.570390e-03,5.556061e-03,5.542119e-03,5.510980e-03,5.494407e-03,5.477202e-03,5.441000e-03,5.422822e-03,5.402577e-03,5.362127e-03,5.342890e-03,5.319832e-03,5.275862e-03,5.256027e-03,5.230380e-03,5.183539e-03,5.163495e-03,5.135482e-03,5.086346e-03,5.066418e-03,5.036258e-03,4.985337e-03,4.965793e-03,4.933699e-03,4.881447e-03,4.862506e-03,4.828683e-03,4.775500e-03,4.757339e-03,4.721987e-03,4.668224e-03,4.650981e-03,4.614291e-03,4.560258e-03,4.544039e-03,4.506194e-03,4.452162e-03,4.437047e-03,4.398220e-03,4.344423e-03,4.330467e-03,4.290823e-03,4.237467e-03,4.224703e-03,4.184399e-03,4.131660e-03,4.120105e-03,4.079287e-03,4.027316e-03,4.016973e-03,3.975779e-03,3.924705e-03,3.915563e-03,3.874122e-03,3.824055e-03,3.816093e-03,3.774526e-03,3.725555e-03,3.718745e-03,3.677163e-03,3.629365e-03,3.623670e-03,3.582177e-03,3.535612e-03,3.530990e-03,3.489682e-03,3.444398e-03,3.440804e-03,3.399769e-03,3.355804e-03,3.353187e-03,3.312508e-03,3.269887e-03,3.268196e-03,3.227946e-03,3.186689e-03,3.185870e-03,3.146117e-03,3.106234e-03,3.029296e-03,2.955057e-03,2.883504e-03,2.814617e-03,2.748367e-03,2.684718e-03,2.623631e-03,2.565058e-03,2.508951e-03,2.455255e-03,2.403915e-03,2.354873e-03,2.308067e-03,2.263437e-03,2.220920e-03,2.180453e-03,2.141972e-03,2.105413e-03,2.070713e-03,2.037809e-03,2.006637e-03,1.977136e-03,1.949244e-03,1.922902e-03,1.898049e-03,1.874628e-03,1.852581e-03,1.831853e-03,1.812388e-03,1.794132e-03,1.777035e-03,1.761044e-03,1.746110e-03,1.732185e-03,1.719223e-03,1.707177e-03,1.696004e-03,1.685660e-03,1.676105e-03,1.667297e-03,1.659199e-03,1.651773e-03,1.644982e-03,1.638791e-03,1.633168e-03,1.628078e-03,1.623491e-03,1.619378e-03,1.615708e-03
0.000000e+00,8.668362e-09,2.260123e-07,2.379231e-07,1.895626e-06,6.985962e-06,7.293301e-06,1.690557e-05,2.737587e-05,2.804221e-05,3.878912e-05,4.793146e-05,4.869061e-05,5.770347e-05,6.508586e-05,6.586519e-05,7.322770e-05,7.908782e-05,7.984411e-05,8.576563e-05,9.033962e-05,9.104102e-05,9.571651e-05,9.921273e-05,9.983630e-05,1.034421e-04,1.060431e-04,1.065734e-04,1.092671e-04,1.111305e-04,1.115581e-04,1.134787e-04,1.147393e-04,1.150594e-04,1.163282e-04,1.171002e-04,1.173114e-04,1.180335e-04,1.184131e-04,1.185171e-04,1.187832e-04,1.188510e-04,1.188512e-04,1.187392e-04,1.185627e-04,1.184639e-04,1.180407e-04,1.176757e-04,1.174839e-04,1.168067e-04,1.162998e-04,1.160213e-04,1.151390e-04,1.145283e-04,1.141702e-04,1.131244e-04,1.124413e-04,1.120105e-04,1.108366e-04,1.101067e-04,1.096103e-04,1.083384e-04,1.075823e-04,1.070272e-04,1.056827e-04,1.049171e-04,1.043100e-04,1.029142e-04,1.021524e-04,1.014997e-04,1.000706e-04,9.932304e-05,9.863077e-05,9.718352e-05,9.645812e-05,9.573202e-05,9.427911e-05,9.358199e-05,9.282740e-05,9.137922e-05,9.071484e-05,8.993671e-05,8.850180e-05,8.787330e-05,8.707622e-05,8.566154e-05,8.507096e-05,8.425915e-05,8.287030e-05,8.231882e-05,8.149613e-05,8.013760e-05,7.962565e-05,7.879560e-05,7.747090e-05,7.699837e-05,7.616415e-05,7.487594e-05,7.444226e-05,7.360676e-05,7.235702e-05,7.196127e-05,7.112708e-05,6.991721e-05,6.955820e-05,6.872764e-05,6.755855e-05,6.723489e-05,6.641004e-05,6.528220e-05,6.499235e-05,6.417506e-05,6.308862e-05,6.283095e-05,6.202284e-05,6.097765e-05,6.075047e-05,5.995297e-05,5.894867e-05,5.875024e-05,5.796461e-05,5.700062e-05,5.682922e-05,5.605653e-05,5.513214e-05,5.498605e-05,5.422724e-05,5.334160e-05,5.321914e-05,5.247499e-05,5.162717e-05,5.152668e-05,5.079787e-05,4.998685e-05,4.990674e-05,4.919383e-05,4.841854e-05,4.835727e-05,4.766070e-05,4.692004e-05,4.687614e-05,4.619626e-05,4.548910e-05,4.546115e-05,4.479826e-05,4.412345e-05,4.411011e-05,4.346438e-05,4.282078e-05,4.159094e-05,4.041838e-05,3.930093e-05,3.823645e-05,3.722283e-05,3.625802e-05,3.534004e-05,3.446692e-05,3.363679e-05,3.284782e-05,3.209823e-05,3.138634e-05,3.071048e-05,3.006907e-05,2.946058e-05,2.888356e-05,2.833657e-05,2.781827e-05,2.732736e-05,2.686259e-05,2.642275e-05,2.600670e-05,2.561335e-05,2.524163e-05,2.489055e-05,2.455913e-05,2.424645e-05,2.395163e-05,2.367382e-05,2.341222e-05,2.316605e-05,2.293458e-05,2.271709e-05,2.251292e-05,2.232142e-05,2.214197e-05,2.197399e-05,2.181691e-05,2.167020e-05,2.153334e-05,2.140585e-05,2.128725e-05,2.117711e-05,2.107500e-05,2.098050e-05,2.089324e-05,2.081283e-05,2.073893e-05,2.067120e-05
0.000000e+00,1.791762e-10,2.090275e-09,2.173813e-09,1.093203e-08,3.205865e-08,3.327463e-08,7.242080e-08,1.217950e-07,1.252260e-07,1.845976e-07,2.391040e-07,2.437126e-07,2.987398e-07,3.437438e-07,3.484732e-07,3.928602e-07,4.277321e-07,4.321985e-07,4.668704e-07,4.932519e-07,4.972635e-07,5.237488e-07,5.432315e-07,5.466738e-07,5.663611e-07,5.802982e-07,5.831083e-07,5.971894e-07,6.067046e-07,6.088561e-07,6.183387e-07,6.243554e-07,6.258484e-07,6.315778e-07,6.348506e-07,6.357033e-07,6.383857e-07,6.395285e-07,6.397719e-07,6.399956e-07,6.395058e-07,6.391787e-07,6.374323e-07,6.357112e-07,6.348574e-07,6.315460e-07,6.289167e-07,6.275819e-07,6.230411e-07,6.197621e-07,6.179927e-07,6.124996e-07,6.087771e-07,6.066186e-07,6.004015e-07,5.963987e-07,5.938950e-07,5.871417e-07,5.829874e-07,5.801801e-07,5.730447e-07,5.688391e-07,5.657670e-07,5.583753e-07,5.541958e-07,5.508951e-07,5.433495e-07,5.392549e-07,5.357590e-07,5.281423e-07,5.241768e-07,5.205159e-07,5.128949e-07,5.090906e-07,5.052926e-07,4.977208e-07,4.941004e-07,4.901902e-07,4.827101e-07,4.792886e-07,4.752889e-07,4.679338e-07,4.647203e-07,4.606513e-07,4.534470e-07,4.504457e-07,4.463257e-07,4.392916e-07,4.365033e-07,4.323484e-07,4.254991e-07,4.229215e-07,4.187462e-07,4.120920e-07,4.097209e-07,4.055380e-07,3.990856e-07,3.969151e-07,3.927359e-07,3.864895e-07,3.845126e-07,3.803470e-07,3.743085e-07,3.725173e-07,3.683741e-07,3.625435e-07,3.609295e-07,3.568164e-07,3.511924e-07,3.497469e-07,3.456706e-07,3.402505e-07,3.389647e-07,3.349311e-07,3.297115e-07,3.285765e-07,3.245906e-07,3.195673e-07,3.185743e-07,3.146405e-07,3.098089e-07,3.089492e-07,3.050712e-07,3.004261e-07,2.996914e-07,2.958724e-07,2.914086e-07,2.907908e-07,2.870333e-07,2.827452e-07,2.822364e-07,2.785428e-07,2.744248e-07,2.740175e-07,2.703896e-07,2.664359e-07,2.661230e-07,2.625622e-07,2.587671e-07,2.585418e-07,2.550492e-07,2.514071e-07,2.512630e-07,2.478394e-07,2.443447e-07,2.442755e-07,2.409216e-07,2.375688e-07,2.311324e-07,2.249559e-07,2.190293e-07,2.133431e-07,2.078876e-07,2.026539e-07,1.976330e-07,1.928165e-07,1.881960e-07,1.837637e-07,1.795119e-07,1.754333e-07,1.715208e-07,1.677675e-07,1.641669e-07,1.607128e-07,1.573990e-07,1.542199e-07,1.511697e-07,1.482433e-07,1.454355e-07,1.427413e-07,1.401560e-07,1.376752e-07,1.352946e-07,1.330098e-07,1.308170e-07,1.287124e-07,1.266923e-07,1.247532e-07,1.228918e-07,1.211047e-07,1.193891e-07,1.177418e-07,1.161600e-07,1.146411e-07,1.131825e-07,1.117816e-07,1.104361e-07,1.091438e-07,1.079023e-07,1.067096e-07,1.055638e-07,1.044628e-07,1.034048e-07,1.023882e-07,1.014111e-07,1.004720e-07,9.956931e-08
0.000000e+00,1.669428e-09,1.890800e-08,1.968106e-08,1.099231e-07,3.712069e-07,3.874256e-07,9.419061e-07,1.653864e-06,1.702065e-06,2.504462e-06,3.204433e-06,3.262786e-06,3.955927e-06,4.522731e-06,4.582466e-06,5.145589e-06,5.591980e-06,5.649457e-06,6.098294e-06,6.443391e-06,6.496173e-06,6.846962e-06,7.107910e-06,7.154310e-06,7.421651e-06,7.613280e-06,7.652202e-06,7.848970e-06,7.983953e-06,8.014762e-06,8.152188e-06,8.241257e-06,8.263676e-06,8.351476e-06,8.403651e-06,8.417675e-06,8.464204e-06,8.487029e-06,8.492851e-06,8.505267e-06,8.505017e-06,8.502977e-06,8.487389e-06,8.469265e-06,8.459802e-06,8.421415e-06,8.389710e-06,8.373331e-06,8.316568e-06,8.274807e-06,8.252061e-06,8.180671e-06,8.131739e-06,8.103192e-06,8.020349e-06,7.966589e-06,7.932812e-06,7.841193e-06,7.784499e-06,7.746055e-06,7.647913e-06,7.589801e-06,7.547238e-06,7.444462e-06,7.386138e-06,7.339978e-06,7.234148e-06,7.176556e-06,7.127298e-06,7.019727e-06,6.963597e-06,6.911707e-06,6.803485e-06,6.749369e-06,6.695284e-06,6.587307e-06,6.535612e-06,6.479737e-06,6.372737e-06,6.323750e-06,6.266456e-06,6.161028e-06,6.114941e-06,6.056571e-06,5.953190e-06,5.910114e-06,5.850979e-06,5.750022e-06,5.710007e-06,5.650391e-06,5.552150e-06,5.515194e-06,5.455353e-06,5.360047e-06,5.326111e-06,5.266274e-06,5.174067e-06,5.143078e-06,5.083452e-06,4.994454e-06,4.966318e-06,4.907088e-06,4.821368e-06,4.795974e-06,4.737302e-06,4.654896e-06,4.632120e-06,4.574150e-06,4.495064e-06,4.474773e-06,4.417632e-06,4.341848e-06,4.323904e-06,4.267703e-06,4.195186e-06,4.179449e-06,4.124283e-06,4.054981e-06,4.041311e-06,3.987262e-06,3.921110e-06,3.909367e-06,3.856505e-06,3.793430e-06,3.783478e-06,3.731863e-06,3.671782e-06,3.663488e-06,3.613167e-06,3.555996e-06,3.549231e-06,3.500244e-06,3.445889e-06,3.440530e-06,3.392909e-06,3.341278e-06,3.337205e-06,3.290973e-06,3.241971e-06,3.239072e-06,3.194247e-06,3.147777e-06,3.145944e-06,3.102538e-06,3.058505e-06,3.057636e-06,3.015654e-06,2.973963e-06,2.894741e-06,2.819790e-06,2.748933e-06,2.681997e-06,2.618813e-06,2.559218e-06,2.503052e-06,2.450162e-06,2.400399e-06,2.353618e-06,2.309681e-06,2.268455e-06,2.229810e-06,2.193624e-06,2.159777e-06,2.128155e-06,2.098649e-06,2.071153e-06,2.045568e-06,2.021796e-06,1.999745e-06,1.979326e-06,1.960456e-06,1.943052e-06,1.927037e-06,1.912337e-06,1.898882e-06,1.886603e-06,1.875435e-06,1.865317e-06,1.856189e-06,1.847995e-06,1.840682e-06,1.834197e-06,1.828491e-06,1.823518e-06,1.819233e-06,1.815593e-06,1.812559e-06,1.810090e-06,1.808150e-06,1.806704e-06,1.805719e-06,1.805162e-06,1.805004e-06,1.805215e-06,1.805769e-06,1.806640e-06,1.807802e-06
0.000000e+00,1.578505e-09,8.752542e-08,9.283717e-08,1.037970e-06,5.456877e-06,5.787140e-06,2.016670e-05,4.709814e-05,4.927449e-05,9.176117e-05,1.365568e-04,1.405131e-04,1.890562e-04,2.299460e-04,2.342844e-04,2.753105e-04,3.079161e-04,3.121171e-04,3.449414e-04,3.702068e-04,3.740741e-04,3.998050e-04,4.189924e-04,4.224100e-04,4.421485e-04,4.563655e-04,4.592627e-04,4.739779e-04,4.841640e-04,4.865034e-04,4.970328e-04,5.039756e-04,5.057450e-04,5.128049e-04,5.171592e-04,5.183643e-04,5.225632e-04,5.248706e-04,5.255303e-04,5.273833e-04,5.280882e-04,5.282295e-04,5.281675e-04,5.276326e-04,5.272880e-04,5.256738e-04,5.241956e-04,5.234011e-04,5.205401e-04,5.183607e-04,5.171545e-04,5.133032e-04,5.106192e-04,5.090405e-04,5.044168e-04,5.013888e-04,4.994772e-04,4.942622e-04,4.910167e-04,4.888091e-04,4.831511e-04,4.797877e-04,4.773187e-04,4.713401e-04,4.679378e-04,4.652406e-04,4.590429e-04,4.556627e-04,4.527678e-04,4.464343e-04,4.431236e-04,4.400596e-04,4.336591e-04,4.304536e-04,4.272468e-04,4.208352e-04,4.177612e-04,4.144356e-04,4.080583e-04,4.051347e-04,4.017123e-04,3.954059e-04,3.926456e-04,3.891464e-04,3.829401e-04,3.803508e-04,3.767930e-04,3.707099e-04,3.682957e-04,3.646955e-04,3.587536e-04,3.565154e-04,3.528875e-04,3.471003e-04,3.450366e-04,3.413943e-04,3.357718e-04,3.338794e-04,3.302344e-04,3.247837e-04,3.230579e-04,3.194207e-04,3.141464e-04,3.125814e-04,3.089613e-04,3.038659e-04,3.024554e-04,2.988606e-04,2.939452e-04,2.926819e-04,2.891197e-04,2.843839e-04,2.832606e-04,2.797374e-04,2.751797e-04,2.741889e-04,2.707102e-04,2.663283e-04,2.654624e-04,2.620332e-04,2.578239e-04,2.570753e-04,2.536998e-04,2.496597e-04,2.490210e-04,2.457027e-04,2.418277e-04,2.412917e-04,2.380338e-04,2.343196e-04,2.338792e-04,2.306842e-04,2.271263e-04,2.267748e-04,2.236448e-04,2.202385e-04,2.199693e-04,2.169062e-04,2.136467e-04,2.134534e-04,2.104588e-04,2.073412e-04,2.072179e-04,2.042927e-04,2.013122e-04,2.012533e-04,1.983984e-04,1.955501e-04,1.900992e-04,1.848912e-04,1.799172e-04,1.751683e-04,1.706360e-04,1.663117e-04,1.621874e-04,1.582550e-04,1.545069e-04,1.509357e-04,1.475341e-04,1.442952e-04,1.412123e-04,1.382789e-04,1.354888e-04,1.328360e-04,1.303147e-04,1.279193e-04,1.256445e-04,1.234852e-04,1.214364e-04,1.194934e-04,1.176516e-04,1.159067e-04,1.142543e-04,1.126906e-04,1.112116e-04,1.098136e-04,1.084931e-04,1.072466e-04,1.060708e-04,1.049626e-04,1.039190e-04,1.029370e-04,1.020139e-04,1.011471e-04,1.003339e-04,9.957189e-05,9.885877e-05,9.819226e-05,9.757020e-05,9.699050e-05,9.645120e-05,9.595038e-05,9.548621e-05,9.505695e-05,9.466092e-05,9.429651e-05,9.396219e-05
0.000000e+00,4.165968e-11,4.961276e-09,5.329837e-09,1.021285e-07,8.280011e-07,8.937605e-07,4.863777e-06,1.755876e-05,1.890065e-05,5.708758e-05,1.329643e-04,1.421772e-04,3.047986e-04,5.469318e-04,5.806809e-04,1.006928e-03,1.534171e-03,1.618360e-03,2.444542e-03,3.344029e-03,3.507761e-03,4.821951e-03,6.123961e-03,6.392436e-03,8.216324e-03,9.894009e-03,1.028335e-02,1.257700e-02,1.456076e-02,1.507576e-02,1.775439e-02,1.995083e-02,2.058519e-02,2.353908e-02,2.584820e-02,2.658657e-02,2.969860e-02,3.202654e-02,3.284719e-02,3.600596e-02,3.827278e-02,3.915048e-02,4.225856e-02,4.440179e-02,4.531032e-02,4.828832e-02,5.026344e-02,5.117748e-02,5.396509e-02,5.574409e-02,5.664063e-02,5.919563e-02,6.076449e-02,6.162357e-02,6.391966e-02,6.527555e-02,6.608068e-02,6.810478e-02,6.925323e-02,6.999137e-02,7.174089e-02,7.269332e-02,7.335473e-02,7.483501e-02,7.560665e-02,7.618452e-02,7.740658e-02,7.801480e-02,7.850493e-02,7.948363e-02,7.994670e-02,8.034702e-02,8.109959e-02,8.143577e-02,8.174599e-02,8.229089e-02,8.251779e-02,8.273904e-02,8.309512e-02,8.322930e-02,8.336382e-02,8.354971e-02,8.360643e-02,8.365730e-02,8.369099e-02,8.368413e-02,8.365505e-02,8.355362e-02,8.349561e-02,8.339071e-02,8.317019e-02,8.307207e-02,8.289578e-02,8.257104e-02,8.244248e-02,8.219940e-02,8.178415e-02,8.163359e-02,8.132842e-02,8.083521e-02,8.066993e-02,8.030736e-02,7.974761e-02,7.957386e-02,7.915855e-02,7.854263e-02,7.836568e-02,7.790220e-02,7.723949e-02,7.706380e-02,7.655660e-02,7.585554e-02,7.568479e-02,7.513819e-02,7.440636e-02,7.424358e-02,7.366174e-02,7.290593e-02,7.275356e-02,7.214046e-02,7.136675e-02,7.122671e-02,7.058616e-02,6.979996e-02,6.967373e-02,6.900936e-02,6.821548e-02,6.810414e-02,6.741940e-02,6.662211e-02,6.652640e-02,6.582455e-02,6.502761e-02,6.494798e-02,6.423210e-02,6.343882e-02,6.337547e-02,6.264847e-02,6.186175e-02,6.181468e-02,6.107929e-02,6.030167e-02,6.027067e-02,5.952945e-02,5.876314e-02,5.874788e-02,5.800323e-02,5.725014e-02,5.578076e-02,5.434257e-02,5.293795e-02,5.156892e-02,5.023715e-02,4.894396e-02,4.769045e-02,4.647739e-02,4.530538e-02,4.417479e-02,4.308584e-02,4.203857e-02,4.103290e-02,4.006860e-02,3.914533e-02,3.826263e-02,3.741997e-02,3.661674e-02,3.585225e-02,3.512574e-02,3.443642e-02,3.378344e-02,3.316590e-02,3.258287e-02,3.203338e-02,3.151646e-02,3.103109e-02,3.057624e-02,3.015088e-02,2.975395e-02,2.938440e-02,2.904115e-02,2.872316e-02,2.842936e-02,2.815870e-02,2.791012e-02,2.768259e-02,2.747507e-02,2.728656e-02,2.711605e-02,2.696256e-02,2.682514e-02,2.670283e-02,2.659472e-02,2.649991e-02,2.641754e-02,2.634674e-02,2.628671e-02,2.623665e-02
0.000000e+00,1.703277e-10,1.908696e-09,1.986488e-09,1.098720e-08,3.645853e-08,3.801610e-08,8.972388e-08,1.519290e-07,1.559864e-07,2.209566e-07,2.737342e-07,2.779653e-07,3.261358e-07,3.625026e-07,3.661674e-07,3.990461e-07,4.228216e-07,4.257250e-07,4.470585e-07,4.617045e-07,4.637966e-07,4.765937e-07,4.847163e-07,4.860190e-07,4.925674e-07,4.960934e-07,4.966683e-07,4.986939e-07,4.990379e-07,4.989660e-07,4.977624e-07,4.959545e-07,4.953227e-07,4.918532e-07,4.886375e-07,4.875309e-07,4.825078e-07,4.784169e-07,4.769142e-07,4.708614e-07,4.662731e-07,4.644446e-07,4.577448e-07,4.529240e-07,4.508311e-07,4.437623e-07,4.388926e-07,4.365880e-07,4.293505e-07,4.245565e-07,4.220851e-07,4.148217e-07,4.101859e-07,4.075854e-07,4.003971e-07,3.959723e-07,3.932742e-07,3.862308e-07,3.820479e-07,3.792787e-07,3.724273e-07,3.685027e-07,3.656843e-07,3.590559e-07,3.553957e-07,3.525464e-07,3.461595e-07,3.427625e-07,3.398977e-07,3.337624e-07,3.306224e-07,3.277546e-07,3.218747e-07,3.189826e-07,3.161223e-07,3.104970e-07,3.078416e-07,3.049976e-07,2.996231e-07,2.971923e-07,2.943718e-07,2.892421e-07,2.870230e-07,2.842320e-07,2.793398e-07,2.773197e-07,2.745633e-07,2.699003e-07,2.680664e-07,2.653487e-07,2.609062e-07,2.592462e-07,2.565707e-07,2.523398e-07,2.508418e-07,2.482113e-07,2.441829e-07,2.428356e-07,2.402524e-07,2.364176e-07,2.352103e-07,2.326762e-07,2.290261e-07,2.279486e-07,2.254652e-07,2.219914e-07,2.210340e-07,2.186025e-07,2.152966e-07,2.144504e-07,2.120716e-07,2.089257e-07,2.081822e-07,2.058568e-07,2.028631e-07,2.022144e-07,1.999428e-07,1.970941e-07,1.965327e-07,1.943151e-07,1.916043e-07,1.911235e-07,1.889599e-07,1.863803e-07,1.859735e-07,1.838639e-07,1.814091e-07,1.810703e-07,1.790144e-07,1.766783e-07,1.764019e-07,1.743994e-07,1.721762e-07,1.719569e-07,1.700074e-07,1.678916e-07,1.677246e-07,1.658275e-07,1.638137e-07,1.636945e-07,1.618492e-07,1.599326e-07,1.598569e-07,1.580627e-07,1.562384e-07,1.562024e-07,1.544586e-07,1.527221e-07,1.494075e-07,1.462506e-07,1.432437e-07,1.403795e-07,1.376512e-07,1.350521e-07,1.325759e-07,1.302167e-07,1.279688e-07,1.258268e-07,1.237857e-07,1.218405e-07,1.199866e-07,1.182195e-07,1.165352e-07,1.149296e-07,1.133989e-07,1.119396e-07,1.105481e-07,1.092213e-07,1.079560e-07,1.067493e-07,1.055984e-07,1.045006e-07,1.034534e-07,1.024544e-07,1.015013e-07,1.005919e-07,9.972410e-08,9.889596e-08,9.810560e-08,9.735124e-08,9.663116e-08,9.594377e-08,9.528751e-08,9.466093e-08,9.406263e-08,9.349130e-08,9.294567e-08,9.242454e-08,9.192677e-08,9.145127e-08,9.099702e-08,9.056302e-08,9.014834e-08,8.975210e-08,8.937343e-08,8.901154e-08,8.866566e-08
0.000000e+00,3.767060e-09,1.081469e-07,1.136750e-07,9.365153e-07,4.282697e-06,4.522214e-06,1.429939e-05,3.029034e-05,3.147801e-05,5.245923e-05,7.171660e-05,7.333518e-05,9.256818e-05,1.082079e-04,1.098481e-04,1.252180e-04,1.372643e-04,1.388054e-04,1.507524e-04,1.598207e-04,1.611976e-04,1.702716e-04,1.769234e-04,1.780961e-04,1.847841e-04,1.894935e-04,1.904398e-04,1.951596e-04,1.983215e-04,1.990323e-04,2.021393e-04,2.040797e-04,2.045556e-04,2.063496e-04,2.073358e-04,2.075842e-04,2.083165e-04,2.085661e-04,2.085990e-04,2.084793e-04,2.081686e-04,2.080008e-04,2.072033e-04,2.064746e-04,2.061227e-04,2.047918e-04,2.037591e-04,2.032404e-04,2.014954e-04,2.002497e-04,1.995815e-04,1.975208e-04,1.961344e-04,1.953336e-04,1.930381e-04,1.915678e-04,1.906508e-04,1.881867e-04,1.866770e-04,1.856592e-04,1.830805e-04,1.815658e-04,1.804617e-04,1.778124e-04,1.763189e-04,1.751417e-04,1.724574e-04,1.710049e-04,1.697668e-04,1.670761e-04,1.656789e-04,1.643912e-04,1.617170e-04,1.603854e-04,1.590582e-04,1.564185e-04,1.551594e-04,1.538016e-04,1.512107e-04,1.500283e-04,1.486483e-04,1.461168e-04,1.450133e-04,1.436183e-04,1.411546e-04,1.401306e-04,1.387271e-04,1.363371e-04,1.353918e-04,1.339856e-04,1.316735e-04,1.308054e-04,1.294015e-04,1.271700e-04,1.263767e-04,1.249796e-04,1.228304e-04,1.221091e-04,1.207226e-04,1.186562e-04,1.180037e-04,1.166312e-04,1.146475e-04,1.140605e-04,1.127049e-04,1.108031e-04,1.102779e-04,1.089419e-04,1.071207e-04,1.066538e-04,1.053394e-04,1.035973e-04,1.031850e-04,1.018940e-04,1.002291e-04,9.986788e-05,9.860192e-05,9.701199e-05,9.669843e-05,9.545874e-05,9.394156e-05,9.367225e-05,9.245987e-05,9.101306e-05,9.078477e-05,8.960053e-05,8.822166e-05,8.803127e-05,8.687582e-05,8.556240e-05,8.540694e-05,8.428078e-05,8.303033e-05,8.290698e-05,8.181044e-05,8.062049e-05,8.052657e-05,7.945987e-05,7.832798e-05,7.826097e-05,7.722421e-05,7.614797e-05,7.610549e-05,7.509868e-05,7.407574e-05,7.405555e-05,7.307860e-05,7.210668e-05,7.025453e-05,6.849488e-05,6.682364e-05,6.523687e-05,6.373076e-05,6.230166e-05,6.094602e-05,5.966047e-05,5.844176e-05,5.728676e-05,5.619250e-05,5.515610e-05,5.417485e-05,5.324610e-05,5.236737e-05,5.153625e-05,5.075046e-05,5.000781e-05,4.930621e-05,4.864368e-05,4.801830e-05,4.742826e-05,4.687184e-05,4.634737e-05,4.585328e-05,4.538806e-05,4.495028e-05,4.453858e-05,4.415164e-05,4.378823e-05,4.344716e-05,4.312730e-05,4.282757e-05,4.254695e-05,4.228446e-05,4.203916e-05,4.181018e-05,4.159666e-05,4.139780e-05,4.121284e-05,4.104103e-05,4.088170e-05,4.073417e-05,4.059782e-05,4.047204e-05,4.035627e-05,4.024996e-05,4.015260e-05,4.006369e-05
0.000000e+00,1.173166e-08,2.444972e-07,2.562766e-07,1.815315e-06,6.828549e-06,7.149414e-06,1.849583e-05,3.395940e-05,3.504042e-05,5.362672e-05,7.072749e-05,7.219167e-05,9.008117e-05,1.054724e-04,1.071397e-04,1.233407e-04,1.368941e-04,1.386919e-04,1.532114e-04,1.650501e-04,1.669217e-04,1.798469e-04,1.901162e-04,1.920128e-04,2.034460e-04,2.122933e-04,2.141733e-04,2.242214e-04,2.317887e-04,2.336168e-04,2.423860e-04,2.488076e-04,2.505544e-04,2.581470e-04,2.635473e-04,2.651881e-04,2.717017e-04,2.761955e-04,2.777105e-04,2.832369e-04,2.869292e-04,2.883023e-04,2.929274e-04,2.959138e-04,2.971323e-04,3.009363e-04,3.033035e-04,3.043580e-04,3.074153e-04,3.092419e-04,3.101255e-04,3.125052e-04,3.138623e-04,3.145705e-04,3.163367e-04,3.172881e-04,3.178186e-04,3.190304e-04,3.196336e-04,3.199859e-04,3.206981e-04,3.210047e-04,3.211796e-04,3.214426e-04,3.214988e-04,3.214987e-04,3.213590e-04,3.212059e-04,3.210342e-04,3.205347e-04,3.202091e-04,3.198702e-04,3.190501e-04,3.185846e-04,3.180836e-04,3.169793e-04,3.164027e-04,3.157455e-04,3.143901e-04,3.137279e-04,3.129208e-04,3.113448e-04,3.106194e-04,3.096691e-04,3.079004e-04,3.071314e-04,3.060451e-04,3.041092e-04,3.033136e-04,3.020986e-04,3.000189e-04,2.992116e-04,2.978753e-04,2.956730e-04,2.948668e-04,2.934169e-04,2.911114e-04,2.903171e-04,2.887611e-04,2.863702e-04,2.855972e-04,2.839426e-04,2.814823e-04,2.807383e-04,2.789928e-04,2.764776e-04,2.757692e-04,2.739400e-04,2.713832e-04,2.707156e-04,2.688101e-04,2.662236e-04,2.656011e-04,2.636263e-04,2.610209e-04,2.604468e-04,2.584097e-04,2.557950e-04,2.552718e-04,2.531791e-04,2.505639e-04,2.500934e-04,2.479515e-04,2.453436e-04,2.449269e-04,2.427421e-04,2.401485e-04,2.397861e-04,2.375645e-04,2.349914e-04,2.346834e-04,2.324306e-04,2.298835e-04,2.296296e-04,2.273513e-04,2.248350e-04,2.246344e-04,2.223358e-04,2.198546e-04,2.197064e-04,2.173925e-04,2.149501e-04,2.148529e-04,2.125284e-04,2.101282e-04,2.100804e-04,2.077500e-04,2.053946e-04,2.008001e-04,1.963011e-04,1.919009e-04,1.876022e-04,1.834072e-04,1.793176e-04,1.753348e-04,1.714593e-04,1.676919e-04,1.640324e-04,1.604807e-04,1.570364e-04,1.536986e-04,1.504665e-04,1.473390e-04,1.443148e-04,1.413925e-04,1.385706e-04,1.358473e-04,1.332209e-04,1.306896e-04,1.282514e-04,1.259044e-04,1.236465e-04,1.214757e-04,1.193899e-04,1.173870e-04,1.154649e-04,1.136215e-04,1.118547e-04,1.101623e-04,1.085423e-04,1.069925e-04,1.055110e-04,1.040956e-04,1.027444e-04,1.014553e-04,1.002264e-04,9.905570e-05,9.794139e-05,9.688157e-05,9.587440e-05,9.491809e-05,9.401088e-05,9.315107e-05,9.233695e-05,9.156691e-05,9.083932e-05,9.015263e-05
0.000000e+00,1.109995e-09,8.447970e-08,9.002396e-08,1.212556e-06,7.476641e-06,7.983959e-06,3.326701e-05,9.247686e-05,9.783452e-05,2.186006e-04,3.790765e-04,3.948730e-04,6.091285e-04,8.159771e-04,8.391294e-04,1.067352e-03,1.258280e-03,1.283354e-03,1.482238e-03,1.638333e-03,1.662427e-03,1.824031e-03,1.946033e-03,1.967908e-03,2.095198e-03,2.188048e-03,2.207111e-03,2.304841e-03,2.373580e-03,2.389526e-03,2.462238e-03,2.511289e-03,2.523979e-03,2.575681e-03,2.608796e-03,2.618210e-03,2.652369e-03,2.672696e-03,2.678899e-03,2.698488e-03,2.708651e-03,2.711768e-03,2.719326e-03,2.721503e-03,2.721702e-03,2.719392e-03,2.715382e-03,2.712857e-03,2.702518e-03,2.693802e-03,2.688766e-03,2.671957e-03,2.659748e-03,2.652421e-03,2.630461e-03,2.615751e-03,2.606355e-03,2.580358e-03,2.563951e-03,2.552705e-03,2.523611e-03,2.506154e-03,2.493272e-03,2.461869e-03,2.443881e-03,2.429567e-03,2.396518e-03,2.378408e-03,2.362857e-03,2.328712e-03,2.310803e-03,2.294197e-03,2.259415e-03,2.241955e-03,2.224463e-03,2.189425e-03,2.172600e-03,2.154381e-03,2.119399e-03,2.103347e-03,2.084545e-03,2.049874e-03,2.034691e-03,2.015440e-03,1.981288e-03,1.967038e-03,1.947459e-03,1.913990e-03,1.900710e-03,1.880913e-03,1.848258e-03,1.835964e-03,1.816049e-03,1.784309e-03,1.773001e-03,1.753056e-03,1.722307e-03,1.711970e-03,1.692077e-03,1.662375e-03,1.652984e-03,1.633213e-03,1.604597e-03,1.596120e-03,1.576534e-03,1.549028e-03,1.541427e-03,1.522082e-03,1.495698e-03,1.488930e-03,1.469876e-03,1.444615e-03,1.438635e-03,1.419914e-03,1.395770e-03,1.390533e-03,1.372181e-03,1.349142e-03,1.344599e-03,1.326648e-03,1.304695e-03,1.300801e-03,1.283278e-03,1.262389e-03,1.259095e-03,1.242022e-03,1.222171e-03,1.219433e-03,1.202829e-03,1.183988e-03,1.181761e-03,1.165641e-03,1.147779e-03,1.146019e-03,1.130395e-03,1.113482e-03,1.112148e-03,1.097029e-03,1.081031e-03,1.080085e-03,1.065477e-03,1.050360e-03,1.049765e-03,1.035672e-03,1.021404e-03,1.021123e-03,1.007548e-03,9.940949e-04,9.686161e-04,9.446228e-04,9.220522e-04,9.008428e-04,8.809343e-04,8.622680e-04,8.447870e-04,8.284358e-04,8.131606e-04,7.989096e-04,7.856326e-04,7.732811e-04,7.618087e-04,7.511704e-04,7.413231e-04,7.322252e-04,7.238370e-04,7.161202e-04,7.090381e-04,7.025556e-04,6.966391e-04,6.912563e-04,6.863765e-04,6.819700e-04,6.780089e-04,6.744660e-04,6.713157e-04,6.685334e-04,6.660956e-04,6.639802e-04,6.621658e-04,6.606320e-04,6.593597e-04,6.583304e-04,6.575268e-04,6.569322e-04,6.565308e-04,6.563079e-04,6.562491e-04,6.563410e-04,6.565711e-04,6.569272e-04,6.573979e-04,6.579727e-04,6.586414e-04,6.593944e-04,6.602227e-04,6.611181e-04,6.620725e-04
0.000000e+00,8.622572e-09,1.995058e-07,2.091069e-07,1.485500e-06,5.804209e-06,6.090319e-06,1.685362e-05,3.357606e-05,3.483682e-05,5.819560e-05,8.164842e-05,8.370209e-05,1.089836e-04,1.307019e-04,1.330420e-04,1.556025e-04,1.741896e-04,1.766336e-04,1.961745e-04,2.118330e-04,2.142847e-04,2.310299e-04,2.440894e-04,2.464762e-04,2.606895e-04,2.714690e-04,2.737334e-04,2.856699e-04,2.944621e-04,2.965589e-04,3.064574e-04,3.135263e-04,3.154206e-04,3.235011e-04,3.290828e-04,3.307489e-04,3.372120e-04,3.415163e-04,3.429359e-04,3.479640e-04,3.511767e-04,3.523377e-04,3.560963e-04,3.583814e-04,3.592772e-04,3.619159e-04,3.634178e-04,3.640462e-04,3.657002e-04,3.665458e-04,3.669084e-04,3.676996e-04,3.680000e-04,3.681015e-04,3.681398e-04,3.679920e-04,3.678395e-04,3.672238e-04,3.667123e-04,3.663149e-04,3.651339e-04,3.643320e-04,3.637006e-04,3.620338e-04,3.610052e-04,3.601515e-04,3.580704e-04,3.568697e-04,3.558065e-04,3.533749e-04,3.520490e-04,3.507898e-04,3.480647e-04,3.466536e-04,3.452122e-04,3.422443e-04,3.407821e-04,3.391724e-04,3.360070e-04,3.345224e-04,3.327583e-04,3.294356e-04,3.279526e-04,3.260480e-04,3.226036e-04,3.211420e-04,3.191105e-04,3.155760e-04,3.141522e-04,3.120070e-04,3.084101e-04,3.070372e-04,3.047913e-04,3.011564e-04,2.998450e-04,2.975108e-04,2.938593e-04,2.926173e-04,2.902067e-04,2.865573e-04,2.853909e-04,2.829153e-04,2.792843e-04,2.781977e-04,2.756679e-04,2.720694e-04,2.710655e-04,2.684918e-04,2.649378e-04,2.640180e-04,2.614101e-04,2.579110e-04,2.570757e-04,2.544427e-04,2.510072e-04,2.502560e-04,2.476064e-04,2.442420e-04,2.435736e-04,2.409154e-04,2.376280e-04,2.370406e-04,2.343812e-04,2.311759e-04,2.306670e-04,2.280132e-04,2.248940e-04,2.244609e-04,2.218191e-04,2.187891e-04,2.184285e-04,2.158046e-04,2.128661e-04,2.125748e-04,2.099741e-04,2.071287e-04,2.069031e-04,2.043304e-04,2.015793e-04,2.014157e-04,1.988755e-04,1.962190e-04,1.961137e-04,1.936099e-04,1.910482e-04,1.909975e-04,1.885337e-04,1.860663e-04,1.813191e-04,1.767539e-04,1.723684e-04,1.681597e-04,1.641247e-04,1.602597e-04,1.565612e-04,1.530249e-04,1.496468e-04,1.464226e-04,1.433478e-04,1.404180e-04,1.376287e-04,1.349753e-04,1.324534e-04,1.300583e-04,1.277856e-04,1.256308e-04,1.235897e-04,1.216579e-04,1.198311e-04,1.181052e-04,1.164762e-04,1.149400e-04,1.134930e-04,1.121312e-04,1.108510e-04,1.096489e-04,1.085215e-04,1.074653e-04,1.064772e-04,1.055540e-04,1.046927e-04,1.038904e-04,1.031443e-04,1.024516e-04,1.018098e-04,1.012164e-04,1.006688e-04,1.001648e-04,9.970218e-05,9.927874e-05,9.889244e-05,9.854129e-05,9.822341e-05,9.793698e-05,9.768025e-05,9.745156e-05,9.724933e-05
0.000000e+00,1.446361e-09,9.486848e-08,1.007685e-07,1.168598e-06,6.561934e-06,6.988341e-06,2.784781e-05,7.577761e-05,8.006842e-05,1.747464e-04,2.950315e-04,3.065782e-04,4.590689e-04,6.007871e-04,6.164095e-04,7.687080e-04,8.947630e-04,9.112873e-04,1.042510e-03,1.146100e-03,1.162167e-03,1.270629e-03,1.353505e-03,1.368472e-03,1.456330e-03,1.521368e-03,1.534838e-03,1.604617e-03,1.654557e-03,1.666263e-03,1.720344e-03,1.757625e-03,1.767401e-03,1.807946e-03,1.834705e-03,1.842464e-03,1.871409e-03,1.889495e-03,1.895212e-03,1.914273e-03,1.925274e-03,1.928970e-03,1.939656e-03,1.944928e-03,1.946661e-03,1.950294e-03,1.950986e-03,1.950842e-03,1.948574e-03,1.945657e-03,1.943741e-03,1.936578e-03,1.930871e-03,1.927301e-03,1.916113e-03,1.908300e-03,1.903202e-03,1.888743e-03,1.879393e-03,1.872899e-03,1.855820e-03,1.845403e-03,1.837645e-03,1.818504e-03,1.807409e-03,1.798518e-03,1.777796e-03,1.766338e-03,1.756443e-03,1.734551e-03,1.722984e-03,1.712209e-03,1.689497e-03,1.678025e-03,1.666489e-03,1.643253e-03,1.632037e-03,1.619852e-03,1.596344e-03,1.585509e-03,1.572781e-03,1.549210e-03,1.538849e-03,1.525677e-03,1.502221e-03,1.492401e-03,1.478878e-03,1.455681e-03,1.446450e-03,1.432660e-03,1.409843e-03,1.401230e-03,1.387252e-03,1.364910e-03,1.356932e-03,1.342837e-03,1.321049e-03,1.313709e-03,1.299561e-03,1.278387e-03,1.271680e-03,1.257539e-03,1.237026e-03,1.230939e-03,1.216857e-03,1.197039e-03,1.191554e-03,1.177578e-03,1.158479e-03,1.153573e-03,1.139745e-03,1.121380e-03,1.117027e-03,1.103385e-03,1.085761e-03,1.081933e-03,1.068508e-03,1.051626e-03,1.048294e-03,1.035114e-03,1.018971e-03,1.016104e-03,1.003194e-03,9.877809e-04,9.853484e-04,9.727284e-04,9.580332e-04,9.560042e-04,9.436917e-04,9.296997e-04,9.280440e-04,9.160531e-04,9.027473e-04,9.014353e-04,8.897776e-04,8.771391e-04,8.761421e-04,8.648266e-04,8.528349e-04,8.521255e-04,8.411588e-04,8.297928e-04,8.293445e-04,8.187313e-04,8.079688e-04,8.077566e-04,7.974998e-04,7.873184e-04,7.679861e-04,7.497155e-04,7.324627e-04,7.161844e-04,7.008375e-04,6.863802e-04,6.727714e-04,6.599710e-04,6.479402e-04,6.366414e-04,6.260381e-04,6.160952e-04,6.067790e-04,5.980570e-04,5.898979e-04,5.822718e-04,5.751502e-04,5.685056e-04,5.623119e-04,5.565442e-04,5.511785e-04,5.461923e-04,5.415640e-04,5.372729e-04,5.332996e-04,5.296254e-04,5.262328e-04,5.231050e-04,5.202262e-04,5.175812e-04,5.151559e-04,5.129366e-04,5.109105e-04,5.090657e-04,5.073905e-04,5.058741e-04,5.045063e-04,5.032774e-04,5.021782e-04,5.012001e-04,5.003349e-04,4.995749e-04,4.989128e-04,4.983418e-04,4.978554e-04,4.974475e-04,4.971125e-04,4.968448e-04,4.966394e-04
0.000000e+00,6.134368e-09,8.613645e-08,8.987538e-08,5.651985e-07,2.139601e-06,2.243037e-06,5.979148e-06,1.099282e-05,1.133405e-05,1.700768e-05,2.192387e-05,2.233152e-05,2.714009e-05,3.101658e-05,3.142171e-05,3.520458e-05,3.815058e-05,3.852607e-05,4.142426e-05,4.360588e-05,4.393543e-05,4.609351e-05,4.765656e-05,4.793002e-05,4.947421e-05,5.054137e-05,5.075315e-05,5.179194e-05,5.246565e-05,5.261369e-05,5.323979e-05,5.360502e-05,5.368987e-05,5.398198e-05,5.410856e-05,5.413266e-05,5.415708e-05,5.410206e-05,5.406910e-05,5.388138e-05,5.369099e-05,5.360547e-05,5.325189e-05,5.296332e-05,5.283019e-05,5.234906e-05,5.199198e-05,5.181636e-05,5.123924e-05,5.083717e-05,5.062415e-05,4.997692e-05,4.954828e-05,4.930282e-05,4.860660e-05,4.816572e-05,4.789252e-05,4.716443e-05,4.672230e-05,4.642577e-05,4.567963e-05,4.524454e-05,4.492876e-05,4.417563e-05,4.375372e-05,4.342243e-05,4.267109e-05,4.226675e-05,4.192333e-05,4.118068e-05,4.079696e-05,4.044446e-05,3.971582e-05,3.935468e-05,3.899580e-05,3.828525e-05,3.794778e-05,3.758494e-05,3.689549e-05,3.658215e-05,3.621746e-05,3.555128e-05,3.526201e-05,3.489732e-05,3.425587e-05,3.399025e-05,3.362717e-05,3.301137e-05,3.276869e-05,3.240859e-05,3.181891e-05,3.159827e-05,3.124234e-05,3.067888e-05,3.047923e-05,3.012848e-05,2.959105e-05,2.941127e-05,2.906652e-05,2.855474e-05,2.839364e-05,2.805558e-05,2.756889e-05,2.742528e-05,2.709448e-05,2.663217e-05,2.650487e-05,2.618177e-05,2.574306e-05,2.563089e-05,2.531585e-05,2.489990e-05,2.480172e-05,2.449499e-05,2.410090e-05,2.401563e-05,2.371740e-05,2.334426e-05,2.327085e-05,2.298124e-05,2.262812e-05,2.256559e-05,2.228465e-05,2.195062e-05,2.189804e-05,2.162579e-05,2.130994e-05,2.126642e-05,2.100284e-05,2.070426e-05,2.066900e-05,2.041400e-05,2.013183e-05,2.010405e-05,1.985755e-05,1.959094e-05,1.956993e-05,1.933180e-05,1.907993e-05,1.906504e-05,1.883513e-05,1.859721e-05,1.858783e-05,1.836598e-05,1.814125e-05,1.813682e-05,1.792285e-05,1.771060e-05,1.730782e-05,1.692718e-05,1.656746e-05,1.622749e-05,1.590617e-05,1.560244e-05,1.531533e-05,1.504388e-05,1.478721e-05,1.454448e-05,1.431490e-05,1.409772e-05,1.389224e-05,1.369779e-05,1.351375e-05,1.333952e-05,1.317455e-05,1.301832e-05,1.287032e-05,1.273010e-05,1.259722e-05,1.247125e-05,1.235183e-05,1.223857e-05,1.213113e-05,1.202920e-05,1.193246e-05,1.184062e-05,1.175342e-05,1.167060e-05,1.159192e-05,1.151716e-05,1.144609e-05,1.137853e-05,1.131427e-05,1.125314e-05,1.119498e-05,1.113963e-05,1.108693e-05,1.103674e-05,1.098894e-05,1.094339e-05,1.089999e-05,1.085861e-05,1.081915e-05,1.078151e-05,1.074561e-05,1.071134e-05,1.067864e-05
0.000000e+00,5.172778e-09,1.623514e-07,1.705800e-07,1.321118e-06,5.754878e-06,6.070692e-06,1.928312e-05,4.305395e-05,4.494522e-05,8.123602e-05,1.186628e-04,1.219520e-04,1.624390e-04,1.971206e-04,2.008488e-04,2.366831e-04,2.660372e-04,2.698842e-04,3.005247e-04,3.249115e-04,3.287151e-04,3.545761e-04,3.745883e-04,3.782295e-04,3.997951e-04,4.160030e-04,4.193897e-04,4.371266e-04,4.500522e-04,4.531151e-04,4.674599e-04,4.775728e-04,4.802617e-04,4.916164e-04,4.993342e-04,5.016148e-04,5.103431e-04,5.160330e-04,5.178837e-04,5.243141e-04,5.282984e-04,5.297086e-04,5.341371e-04,5.366980e-04,5.376661e-04,5.403591e-04,5.417437e-04,5.422763e-04,5.434733e-04,5.438946e-04,5.440029e-04,5.439145e-04,5.435550e-04,5.432543e-04,5.420663e-04,5.410829e-04,5.403917e-04,5.382692e-04,5.367960e-04,5.357353e-04,5.328244e-04,5.309762e-04,5.295688e-04,5.259986e-04,5.238726e-04,5.221424e-04,5.180268e-04,5.157053e-04,5.136767e-04,5.091157e-04,5.066679e-04,5.043656e-04,4.994471e-04,4.969307e-04,4.943793e-04,4.891804e-04,4.866433e-04,4.838671e-04,4.784551e-04,4.759365e-04,4.729591e-04,4.673927e-04,4.649246e-04,4.617688e-04,4.560990e-04,4.537068e-04,4.503946e-04,4.446657e-04,4.423695e-04,4.389219e-04,4.331719e-04,4.309871e-04,4.274240e-04,4.216857e-04,4.196237e-04,4.159641e-04,4.102654e-04,4.083342e-04,4.045958e-04,3.989606e-04,3.971654e-04,3.933648e-04,3.878130e-04,3.861567e-04,3.823094e-04,3.768578e-04,3.753411e-04,3.714616e-04,3.661240e-04,3.647462e-04,3.608478e-04,3.556354e-04,3.543943e-04,3.504893e-04,3.454113e-04,3.443035e-04,3.404033e-04,3.354667e-04,3.344881e-04,3.306029e-04,3.258132e-04,3.249589e-04,3.210983e-04,3.164592e-04,3.157240e-04,3.118965e-04,3.074106e-04,3.067887e-04,3.030019e-04,2.986708e-04,2.981562e-04,2.944171e-04,2.902411e-04,2.898278e-04,2.861426e-04,2.821214e-04,2.818030e-04,2.781773e-04,2.743098e-04,2.740802e-04,2.705186e-04,2.668032e-04,2.666562e-04,2.631631e-04,2.595976e-04,2.595270e-04,2.561061e-04,2.526878e-04,2.461330e-04,2.398564e-04,2.338513e-04,2.281107e-04,2.226273e-04,2.173935e-04,2.124017e-04,2.076442e-04,2.031130e-04,1.988004e-04,1.946987e-04,1.908001e-04,1.870971e-04,1.835821e-04,1.802478e-04,1.770870e-04,1.740927e-04,1.712580e-04,1.685763e-04,1.660409e-04,1.636458e-04,1.613846e-04,1.592516e-04,1.572410e-04,1.553473e-04,1.535651e-04,1.518894e-04,1.503151e-04,1.488375e-04,1.474521e-04,1.461543e-04,1.449401e-04,1.438052e-04,1.427459e-04,1.417583e-04,1.408390e-04,1.399843e-04,1.391911e-04,1.384562e-04,1.377766e-04,1.371494e-04,1.365719e-04,1.360413e-04,1.355551e-04,1.351111e-04,1.347068e-04,1.343400e-04,1.340087e-04,1.337109e-04
0.000000e+00,1.294905e-09,1.632747e-08,1.702246e-08,9.851832e-08,3.263999e-07,3.402182e-07,7.986195e-07,1.365246e-06,1.403176e-06,2.031128e-06,2.575850e-06,2.621162e-06,3.158127e-06,3.595184e-06,3.641120e-06,4.072768e-06,4.412848e-06,4.456478e-06,4.795729e-06,5.054492e-06,5.093880e-06,5.354119e-06,5.545630e-06,5.579458e-06,5.772730e-06,5.909152e-06,5.936589e-06,6.073513e-06,6.165221e-06,6.185817e-06,6.275653e-06,6.331419e-06,6.345020e-06,6.395772e-06,6.422956e-06,6.429627e-06,6.448172e-06,6.452906e-06,6.452875e-06,6.445090e-06,6.432458e-06,6.426067e-06,6.396956e-06,6.371148e-06,6.358819e-06,6.312630e-06,6.277084e-06,6.259287e-06,6.199613e-06,6.157131e-06,6.134366e-06,6.064240e-06,6.017094e-06,5.989869e-06,5.911838e-06,5.861856e-06,5.830679e-06,5.746879e-06,5.695517e-06,5.660882e-06,5.573093e-06,5.521502e-06,5.483883e-06,5.393587e-06,5.342661e-06,5.302509e-06,5.210926e-06,5.161350e-06,5.119088e-06,5.027221e-06,4.979508e-06,4.935530e-06,4.844196e-06,4.798715e-06,4.753384e-06,4.663241e-06,4.620249e-06,4.573898e-06,4.485472e-06,4.445133e-06,4.398065e-06,4.311768e-06,4.274169e-06,4.226659e-06,4.142808e-06,4.107980e-06,4.060273e-06,3.979106e-06,3.947032e-06,3.899348e-06,3.821035e-06,3.791661e-06,3.744196e-06,3.668853e-06,3.642100e-06,3.595024e-06,3.522721e-06,3.498487e-06,3.451952e-06,3.382720e-06,3.360891e-06,3.315026e-06,3.248865e-06,3.229316e-06,3.184233e-06,3.121119e-06,3.103718e-06,3.059514e-06,2.999402e-06,2.984016e-06,2.940770e-06,2.883599e-06,2.870093e-06,2.827871e-06,2.773568e-06,2.761810e-06,2.720667e-06,2.669147e-06,2.659007e-06,2.618985e-06,2.570159e-06,2.561510e-06,2.522643e-06,2.476415e-06,2.469136e-06,2.431448e-06,2.387719e-06,2.381694e-06,2.345201e-06,2.303870e-06,2.298989e-06,2.263700e-06,2.224666e-06,2.220824e-06,2.186742e-06,2.149904e-06,2.147003e-06,2.114126e-06,2.079384e-06,2.077332e-06,2.045652e-06,2.012907e-06,2.011618e-06,1.981125e-06,1.950280e-06,1.949673e-06,1.920351e-06,1.891314e-06,1.836364e-06,1.784649e-06,1.736004e-06,1.690269e-06,1.647290e-06,1.606919e-06,1.569017e-06,1.533447e-06,1.500083e-06,1.468802e-06,1.439487e-06,1.412027e-06,1.386319e-06,1.362261e-06,1.339761e-06,1.318727e-06,1.299075e-06,1.280726e-06,1.263602e-06,1.247633e-06,1.232750e-06,1.218890e-06,1.205991e-06,1.193996e-06,1.182852e-06,1.172508e-06,1.162915e-06,1.154028e-06,1.145804e-06,1.138203e-06,1.131188e-06,1.124721e-06,1.118770e-06,1.113303e-06,1.108289e-06,1.103700e-06,1.099510e-06,1.095694e-06,1.092227e-06,1.089089e-06,1.086257e-06,1.083712e-06,1.081436e-06,1.079411e-06,1.077621e-06,1.076050e-06,1.074684e-06,1.073508e-06,1.072511e-06
0.000000e+00,6.754860e-10,1.029225e-08,1.076673e-08,6.929404e-08,2.275716e-07,2.366071e-07,5.022089e-07,7.758470e-07,7.931952e-07,1.075271e-06,1.320676e-06,1.341338e-06,1.590468e-06,1.800448e-06,1.822965e-06,2.039432e-06,2.217192e-06,2.240536e-06,2.426951e-06,2.575991e-06,2.599296e-06,2.758225e-06,2.881840e-06,2.904397e-06,3.038454e-06,3.139779e-06,3.161020e-06,3.272698e-06,3.354591e-06,3.374067e-06,3.465685e-06,3.530721e-06,3.548084e-06,3.621777e-06,3.672263e-06,3.687253e-06,3.744978e-06,3.782967e-06,3.795398e-06,3.838939e-06,3.866257e-06,3.876006e-06,3.906986e-06,3.925247e-06,3.932246e-06,3.952139e-06,3.962770e-06,3.966997e-06,3.977137e-06,3.981393e-06,3.982863e-06,3.984460e-06,3.983442e-06,3.982201e-06,3.976345e-06,3.971017e-06,3.967140e-06,3.954817e-06,3.946019e-06,3.939598e-06,3.921694e-06,3.910159e-06,3.901305e-06,3.878618e-06,3.864977e-06,3.853813e-06,3.827059e-06,3.811858e-06,3.798517e-06,3.768338e-06,3.752046e-06,3.736667e-06,3.703638e-06,3.686655e-06,3.669380e-06,3.634015e-06,3.616680e-06,3.597656e-06,3.560412e-06,3.543011e-06,3.522384e-06,3.483668e-06,3.466439e-06,3.444355e-06,3.404529e-06,3.387668e-06,3.364270e-06,3.323654e-06,3.307323e-06,3.282750e-06,3.241626e-06,3.225954e-06,3.200343e-06,3.158960e-06,3.144048e-06,3.117530e-06,3.076105e-06,3.062030e-06,3.034732e-06,2.993456e-06,2.980275e-06,2.952318e-06,2.911356e-06,2.899107e-06,2.870605e-06,2.830100e-06,2.818806e-06,2.789870e-06,2.749944e-06,2.739617e-06,2.710348e-06,2.671107e-06,2.661744e-06,2.632241e-06,2.593772e-06,2.585364e-06,2.555717e-06,2.518095e-06,2.510623e-06,2.480918e-06,2.444202e-06,2.437643e-06,2.407959e-06,2.372200e-06,2.366524e-06,2.336934e-06,2.302169e-06,2.297343e-06,2.267914e-06,2.234175e-06,2.230161e-06,2.200957e-06,2.168264e-06,2.165024e-06,2.136101e-06,2.104470e-06,2.101962e-06,2.073372e-06,2.042810e-06,2.040994e-06,2.012785e-06,1.983295e-06,1.982126e-06,1.954340e-06,1.925920e-06,1.925358e-06,1.898033e-06,1.870676e-06,1.818065e-06,1.767500e-06,1.718950e-06,1.672382e-06,1.627757e-06,1.585035e-06,1.544170e-06,1.505117e-06,1.467828e-06,1.432253e-06,1.398342e-06,1.366045e-06,1.335310e-06,1.306086e-06,1.278321e-06,1.251965e-06,1.226968e-06,1.203280e-06,1.180851e-06,1.159633e-06,1.139580e-06,1.120645e-06,1.102783e-06,1.085949e-06,1.070101e-06,1.055197e-06,1.041196e-06,1.028058e-06,1.015746e-06,1.004223e-06,9.934521e-07,9.833994e-07,9.740313e-07,9.653156e-07,9.572211e-07,9.497178e-07,9.427768e-07,9.363704e-07,9.304718e-07,9.250553e-07,9.200963e-07,9.155711e-07,9.114568e-07,9.077319e-07,9.043752e-07,9.013669e-07,8.986877e-07,8.963192e-07,8.942440e-07
0.000000e+00,3.422421e-08,7.760111e-07,8.163184e-07,6.457501e-06,2.277198e-05,2.368511e-05,4.914917e-05,7.381837e-05,7.535757e-05,1.001355e-04,1.213837e-04,1.231607e-04,1.444396e-04,1.621525e-04,1.640391e-04,1.820372e-04,1.966137e-04,1.985130e-04,2.135448e-04,2.253764e-04,2.272102e-04,2.395854e-04,2.490380e-04,2.507449e-04,2.607611e-04,2.681705e-04,2.697040e-04,2.776412e-04,2.833101e-04,2.846370e-04,2.907529e-04,2.949506e-04,2.960479e-04,3.005773e-04,3.035399e-04,3.043934e-04,3.075453e-04,3.094778e-04,3.100800e-04,3.120417e-04,3.131229e-04,3.134722e-04,3.144112e-04,3.147967e-04,3.148973e-04,3.149668e-04,3.147928e-04,3.146524e-04,3.139848e-04,3.133650e-04,3.129932e-04,3.117046e-04,3.107360e-04,3.101446e-04,3.083370e-04,3.071018e-04,3.063042e-04,3.040673e-04,3.026353e-04,3.016458e-04,2.990582e-04,2.974880e-04,2.963215e-04,2.934518e-04,2.917923e-04,2.904641e-04,2.873724e-04,2.856642e-04,2.841897e-04,2.809282e-04,2.792049e-04,2.775992e-04,2.742133e-04,2.725020e-04,2.707801e-04,2.673089e-04,2.656317e-04,2.638081e-04,2.602854e-04,2.586596e-04,2.567481e-04,2.532029e-04,2.516421e-04,2.496560e-04,2.461130e-04,2.446275e-04,2.425793e-04,2.390596e-04,2.376566e-04,2.355583e-04,2.320796e-04,2.307644e-04,2.286271e-04,2.252041e-04,2.239797e-04,2.218138e-04,2.184590e-04,2.173268e-04,2.151421e-04,2.118654e-04,2.108257e-04,2.086309e-04,2.054405e-04,2.044922e-04,2.022957e-04,1.991980e-04,1.983392e-04,1.961486e-04,1.931485e-04,1.923767e-04,1.901987e-04,1.873000e-04,1.866119e-04,1.844529e-04,1.816580e-04,1.810502e-04,1.789158e-04,1.762263e-04,1.756948e-04,1.735900e-04,1.710068e-04,1.705475e-04,1.684768e-04,1.659999e-04,1.656085e-04,1.635759e-04,1.612048e-04,1.608770e-04,1.588861e-04,1.566197e-04,1.563512e-04,1.544050e-04,1.522418e-04,1.520282e-04,1.501294e-04,1.480676e-04,1.479048e-04,1.460556e-04,1.440930e-04,1.439768e-04,1.421791e-04,1.403134e-04,1.402397e-04,1.384951e-04,1.367237e-04,1.366887e-04,1.349984e-04,1.333186e-04,1.301239e-04,1.270990e-04,1.242381e-04,1.215356e-04,1.189855e-04,1.165820e-04,1.143192e-04,1.121915e-04,1.101931e-04,1.083185e-04,1.065622e-04,1.049187e-04,1.033828e-04,1.019496e-04,1.006138e-04,9.937088e-05,9.821600e-05,9.714469e-05,9.615257e-05,9.523543e-05,9.438921e-05,9.360997e-05,9.289397e-05,9.223759e-05,9.163734e-05,9.108990e-05,9.059208e-05,9.014082e-05,8.973320e-05,8.936642e-05,8.903782e-05,8.874486e-05,8.848512e-05,8.825627e-05,8.805614e-05,8.788263e-05,8.773377e-05,8.760766e-05,8.750254e-05,8.741671e-05,8.734859e-05,8.729665e-05,8.725949e-05,8.723577e-05,8.722421e-05,8.722364e-05,8.723293e-05,8.725105e-05,8.727702e-05
0.000000e+00,8.201474e-10,1.158720e-08,1.210240e-08,7.381308e-08,2.435908e-07,2.536349e-07,5.686065e-07,9.174608e-07,9.397878e-07,1.300521e-06,1.607391e-06,1.632850e-06,1.934711e-06,2.181311e-06,2.207303e-06,2.452417e-06,2.646853e-06,2.671897e-06,2.867525e-06,3.017980e-06,3.040992e-06,3.193901e-06,3.307572e-06,3.327772e-06,3.444038e-06,3.527195e-06,3.544058e-06,3.629106e-06,3.687174e-06,3.700382e-06,3.759012e-06,3.796642e-06,3.806046e-06,3.842466e-06,3.863614e-06,3.869189e-06,3.887066e-06,3.895067e-06,3.896888e-06,3.899392e-06,3.897048e-06,3.895259e-06,3.885122e-06,3.874768e-06,3.869565e-06,3.849130e-06,3.832706e-06,3.824318e-06,3.795591e-06,3.774696e-06,3.763376e-06,3.728066e-06,3.704012e-06,3.690024e-06,3.649584e-06,3.623443e-06,3.607053e-06,3.562714e-06,3.535352e-06,3.516826e-06,3.469627e-06,3.441738e-06,3.421335e-06,3.372149e-06,3.344283e-06,3.322252e-06,3.271811e-06,3.244400e-06,3.220976e-06,3.169888e-06,3.143263e-06,3.118670e-06,3.067438e-06,3.041849e-06,3.016294e-06,2.965331e-06,2.940959e-06,2.914635e-06,2.864279e-06,2.841248e-06,2.814331e-06,2.764853e-06,2.743245e-06,2.715898e-06,2.667512e-06,2.647371e-06,2.619739e-06,2.572615e-06,2.553954e-06,2.526171e-06,2.480436e-06,2.463247e-06,2.435432e-06,2.391179e-06,2.375435e-06,2.347694e-06,2.304990e-06,2.290650e-06,2.263077e-06,2.221963e-06,2.208977e-06,2.181654e-06,2.142153e-06,2.130461e-06,2.103462e-06,2.065579e-06,2.055117e-06,2.028504e-06,1.992233e-06,1.982933e-06,1.956760e-06,1.922081e-06,1.913875e-06,1.888188e-06,1.855074e-06,1.847892e-06,1.822730e-06,1.791146e-06,1.784919e-06,1.760313e-06,1.730219e-06,1.724880e-06,1.700855e-06,1.672209e-06,1.667691e-06,1.644268e-06,1.617020e-06,1.613260e-06,1.590454e-06,1.564557e-06,1.561494e-06,1.539316e-06,1.514718e-06,1.512294e-06,1.490751e-06,1.467401e-06,1.465560e-06,1.444656e-06,1.422503e-06,1.421192e-06,1.400928e-06,1.379920e-06,1.379091e-06,1.359465e-06,1.339551e-06,1.339158e-06,1.320165e-06,1.301295e-06,1.265407e-06,1.231400e-06,1.199186e-06,1.168675e-06,1.139784e-06,1.112431e-06,1.086537e-06,1.062029e-06,1.038834e-06,1.016883e-06,9.961114e-07,9.764555e-07,9.578562e-07,9.402567e-07,9.236032e-07,9.078444e-07,8.929317e-07,8.788190e-07,8.654625e-07,8.528208e-07,8.408547e-07,8.295270e-07,8.188026e-07,8.086482e-07,7.990325e-07,7.899256e-07,7.812996e-07,7.731279e-07,7.653854e-07,7.580485e-07,7.510948e-07,7.445033e-07,7.382540e-07,7.323281e-07,7.267080e-07,7.213767e-07,7.163187e-07,7.115189e-07,7.069634e-07,7.026389e-07,6.985328e-07,6.946335e-07,6.909296e-07,6.874108e-07,6.840671e-07,6.808891e-07,6.778680e-07,6.749955e-07,6.722636e-07
0.000000e+00,1.285843e-08,1.871982e-07,1.951012e-07,1.153826e-06,4.251180e-06,4.455456e-06,1.205065e-05,2.308877e-05,2.387353e-05,3.734826e-05,4.942727e-05,5.043904e-05,6.246249e-05,7.226288e-05,7.329256e-05,8.295966e-05,9.056056e-05,9.153446e-05,9.909585e-05,1.048478e-04,1.057220e-04,1.114878e-04,1.157182e-04,1.164642e-04,1.207177e-04,1.237100e-04,1.243107e-04,1.273015e-04,1.292972e-04,1.297444e-04,1.316896e-04,1.328915e-04,1.331837e-04,1.342701e-04,1.348478e-04,1.349887e-04,1.353760e-04,1.354689e-04,1.354652e-04,1.352868e-04,1.350087e-04,1.348692e-04,1.342382e-04,1.336823e-04,1.334176e-04,1.324299e-04,1.316739e-04,1.312966e-04,1.300358e-04,1.291420e-04,1.286642e-04,1.271967e-04,1.262136e-04,1.256471e-04,1.240277e-04,1.229937e-04,1.223500e-04,1.206241e-04,1.195694e-04,1.188593e-04,1.170641e-04,1.160119e-04,1.152460e-04,1.134118e-04,1.123799e-04,1.115677e-04,1.097192e-04,1.087209e-04,1.078712e-04,1.060283e-04,1.050732e-04,1.041942e-04,1.023726e-04,1.014674e-04,1.005665e-04,9.877867e-05,9.792771e-05,9.701150e-05,9.526708e-05,9.447281e-05,9.354724e-05,9.185355e-05,9.111695e-05,9.018732e-05,8.854971e-05,8.787068e-05,8.694164e-05,8.536390e-05,8.474144e-05,8.381710e-05,8.230171e-05,8.173418e-05,8.081809e-05,7.936647e-05,7.885174e-05,7.794697e-05,7.655964e-05,7.609527e-05,7.520443e-05,7.388124e-05,7.346455e-05,7.258988e-05,7.133012e-05,7.095831e-05,7.010167e-05,6.890420e-05,6.857441e-05,6.773733e-05,6.660066e-05,6.631002e-05,6.549375e-05,6.441615e-05,6.416183e-05,6.336737e-05,6.234690e-05,6.212614e-05,6.135423e-05,6.038883e-05,6.019897e-05,5.945016e-05,5.853768e-05,5.837617e-05,5.765084e-05,5.678908e-05,5.665349e-05,5.595185e-05,5.513859e-05,5.502661e-05,5.434875e-05,5.358177e-05,5.349124e-05,5.283711e-05,5.211422e-05,5.204311e-05,5.141256e-05,5.073161e-05,5.067801e-05,5.007083e-05,4.942970e-05,4.939185e-05,4.880772e-05,4.820438e-05,4.818063e-05,4.761919e-05,4.705166e-05,4.704049e-05,4.650131e-05,4.596769e-05,4.495863e-05,4.400988e-05,4.311813e-05,4.228022e-05,4.149316e-05,4.075407e-05,4.006024e-05,3.940907e-05,3.879812e-05,3.822506e-05,3.768768e-05,3.718391e-05,3.671177e-05,3.626941e-05,3.585506e-05,3.546706e-05,3.510386e-05,3.476396e-05,3.444598e-05,3.414861e-05,3.387060e-05,3.361079e-05,3.336809e-05,3.314146e-05,3.292992e-05,3.273257e-05,3.254854e-05,3.237701e-05,3.221722e-05,3.206846e-05,3.193003e-05,3.180132e-05,3.168172e-05,3.157067e-05,3.146764e-05,3.137214e-05,3.128368e-05,3.120184e-05,3.112621e-05,3.105638e-05,3.099200e-05,3.093272e-05,3.087822e-05,3.082819e-05,3.078235e-05,3.074043e-05,3.070218e-05,3.066736e-05,3.063575e-05
0.000000e+00,5.599497e-09,1.073406e-07,1.122059e-07,6.936097e-07,2.343038e-06,2.443708e-06,5.853203e-06,1.037451e-05,1.069214e-05,1.618585e-05,2.112612e-05,2.153482e-05,2.625461e-05,2.984017e-05,3.020018e-05,3.340563e-05,3.568366e-05,3.595872e-05,3.795233e-05,3.928426e-05,3.947120e-05,4.058944e-05,4.126606e-05,4.137078e-05,4.186975e-05,4.210102e-05,4.213282e-05,4.219951e-05,4.213420e-05,4.210337e-05,4.187278e-05,4.161521e-05,4.153182e-05,4.110086e-05,4.072384e-05,4.059713e-05,4.003514e-05,3.958905e-05,3.942716e-05,3.878349e-05,3.830290e-05,3.811284e-05,3.742247e-05,3.693081e-05,3.671852e-05,3.600607e-05,3.551898e-05,3.528942e-05,3.457210e-05,3.409976e-05,3.385707e-05,3.314674e-05,3.269554e-05,3.244311e-05,3.174782e-05,3.132150e-05,3.106216e-05,3.038721e-05,2.998773e-05,2.972379e-05,2.907255e-05,2.870061e-05,2.843398e-05,2.780844e-05,2.746392e-05,2.719617e-05,2.659733e-05,2.627957e-05,2.601199e-05,2.544018e-05,2.514816e-05,2.488184e-05,2.433689e-05,2.406941e-05,2.380522e-05,2.328667e-05,2.304238e-05,2.278106e-05,2.228820e-05,2.206571e-05,2.180788e-05,2.133987e-05,2.113779e-05,2.088394e-05,2.043985e-05,2.025681e-05,2.000736e-05,1.958623e-05,1.942089e-05,1.917619e-05,1.877700e-05,1.862810e-05,1.838842e-05,1.801019e-05,1.787652e-05,1.764207e-05,1.728382e-05,1.716422e-05,1.693520e-05,1.659597e-05,1.648936e-05,1.626589e-05,1.594475e-05,1.585011e-05,1.563230e-05,1.532835e-05,1.524473e-05,1.503265e-05,1.474502e-05,1.467153e-05,1.446523e-05,1.419309e-05,1.412889e-05,1.392840e-05,1.367096e-05,1.361528e-05,1.342059e-05,1.317709e-05,1.312920e-05,1.294030e-05,1.271003e-05,1.266926e-05,1.248611e-05,1.226837e-05,1.223409e-05,1.205665e-05,1.185080e-05,1.182243e-05,1.165064e-05,1.145605e-05,1.143306e-05,1.126685e-05,1.108292e-05,1.106481e-05,1.090411e-05,1.073028e-05,1.071658e-05,1.056130e-05,1.039704e-05,1.038734e-05,1.023738e-05,1.008219e-05,1.007607e-05,9.931344e-06,9.784733e-06,9.781844e-06,9.642242e-06,9.503759e-06,9.240965e-06,8.992656e-06,8.758064e-06,8.536464e-06,8.327166e-06,8.129517e-06,7.942896e-06,7.766716e-06,7.600420e-06,7.443479e-06,7.295393e-06,7.155687e-06,7.023910e-06,6.899638e-06,6.782465e-06,6.672009e-06,6.567908e-06,6.469817e-06,6.377411e-06,6.290381e-06,6.208436e-06,6.131299e-06,6.058707e-06,5.990412e-06,5.926180e-06,5.865787e-06,5.809023e-06,5.755688e-06,5.705594e-06,5.658560e-06,5.614418e-06,5.573007e-06,5.534177e-06,5.497782e-06,5.463687e-06,5.431763e-06,5.401889e-06,5.373950e-06,5.347835e-06,5.323443e-06,5.300676e-06,5.279441e-06,5.259650e-06,5.241223e-06,5.224079e-06,5.208147e-06,5.193355e-06,5.179638e-06,5.166933e-06
0.000000e+00,1.431985e-09,1.674871e-08,1.743970e-08,9.792638e-08,3.279403e-07,3.421379e-07,8.288200e-07,1.472715e-06,1.517307e-06,2.273428e-06,2.945260e-06,3.001524e-06,3.671751e-06,4.221952e-06,4.280042e-06,4.828716e-06,5.265156e-06,5.321461e-06,5.762154e-06,6.102400e-06,6.154568e-06,6.502301e-06,6.762357e-06,6.808749e-06,7.077104e-06,7.270834e-06,7.310357e-06,7.511302e-06,7.650560e-06,7.682554e-06,7.826536e-06,7.921361e-06,7.945495e-06,8.041537e-06,8.100406e-06,8.116610e-06,8.172525e-06,8.202559e-06,8.210959e-06,8.233466e-06,8.240622e-06,8.241486e-06,8.236354e-06,8.225601e-06,8.219304e-06,8.191476e-06,8.166938e-06,8.153924e-06,8.107621e-06,8.072707e-06,8.053466e-06,7.992289e-06,7.949805e-06,7.924853e-06,7.851865e-06,7.804110e-06,7.773972e-06,7.691772e-06,7.640616e-06,7.605816e-06,7.516608e-06,7.463561e-06,7.424611e-06,7.330251e-06,7.276524e-06,7.233919e-06,7.135971e-06,7.082523e-06,7.036734e-06,6.936507e-06,6.884089e-06,6.835562e-06,6.734148e-06,6.683337e-06,6.632491e-06,6.530796e-06,6.482024e-06,6.429249e-06,6.328020e-06,6.281604e-06,6.227261e-06,6.127108e-06,6.083266e-06,6.027686e-06,5.929105e-06,5.887976e-06,5.831464e-06,5.734851e-06,5.696511e-06,5.639343e-06,5.545010e-06,5.509485e-06,5.451912e-06,5.360101e-06,5.327373e-06,5.269622e-06,5.180515e-06,5.150536e-06,5.092811e-06,5.006537e-06,4.979236e-06,4.921716e-06,4.838366e-06,4.813649e-06,4.756498e-06,4.676124e-06,4.653887e-06,4.597247e-06,4.519872e-06,4.500000e-06,4.443997e-06,4.369620e-06,4.351991e-06,4.296735e-06,4.225335e-06,4.209825e-06,4.155410e-06,4.086950e-06,4.073433e-06,4.019942e-06,3.954371e-06,3.942720e-06,3.890223e-06,3.827480e-06,3.817571e-06,3.766126e-06,3.706142e-06,3.697852e-06,3.647509e-06,3.590208e-06,3.583420e-06,3.534218e-06,3.479520e-06,3.474120e-06,3.426092e-06,3.373912e-06,3.369791e-06,3.322960e-06,3.273213e-06,3.270266e-06,3.224651e-06,3.177250e-06,3.175378e-06,3.130989e-06,3.085847e-06,3.084956e-06,3.041802e-06,2.998831e-06,2.916835e-06,2.838803e-06,2.764572e-06,2.693980e-06,2.626874e-06,2.563102e-06,2.502516e-06,2.444975e-06,2.390342e-06,2.338484e-06,2.289272e-06,2.242585e-06,2.198303e-06,2.156315e-06,2.116510e-06,2.078786e-06,2.043042e-06,2.009184e-06,1.977119e-06,1.946761e-06,1.918027e-06,1.890836e-06,1.865114e-06,1.840787e-06,1.817788e-06,1.796049e-06,1.775510e-06,1.756109e-06,1.737790e-06,1.720498e-06,1.704183e-06,1.688795e-06,1.674287e-06,1.660615e-06,1.647736e-06,1.635610e-06,1.624200e-06,1.613467e-06,1.603378e-06,1.593900e-06,1.585001e-06,1.576652e-06,1.568824e-06,1.561489e-06,1.554624e-06,1.548202e-06,1.542201e-06,1.536599e-06,1.531375e-06
0.000000e+00,8.918983e-11,8.778161e-09,9.400448e-09,1.590810e-07,1.185076e-06,1.274811e-06,6.301560e-06,2.012879e-05,2.147048e-05,5.450874e-05,1.051419e-04,1.104995e-04,1.894926e-04,2.767566e-04,2.871897e-04,3.970867e-04,4.985310e-04,5.124633e-04,6.275966e-04,7.231286e-04,7.382267e-04,8.415443e-04,9.214793e-04,9.359469e-04,1.020732e-03,1.083008e-03,1.095817e-03,1.161510e-03,1.207659e-03,1.218349e-03,1.266989e-03,1.299687e-03,1.308131e-03,1.342471e-03,1.364435e-03,1.370680e-03,1.393390e-03,1.406997e-03,1.411180e-03,1.424584e-03,1.431793e-03,1.434086e-03,1.440124e-03,1.442502e-03,1.443092e-03,1.443345e-03,1.442131e-03,1.441203e-03,1.436952e-03,1.433117e-03,1.430848e-03,1.423122e-03,1.417420e-03,1.413977e-03,1.403600e-03,1.396619e-03,1.392154e-03,1.379787e-03,1.371980e-03,1.366631e-03,1.352803e-03,1.344517e-03,1.338409e-03,1.323543e-03,1.315043e-03,1.308287e-03,1.292717e-03,1.284203e-03,1.276900e-03,1.260892e-03,1.252512e-03,1.244749e-03,1.228514e-03,1.220376e-03,1.212231e-03,1.195935e-03,1.188118e-03,1.179658e-03,1.163429e-03,1.155987e-03,1.147273e-03,1.131212e-03,1.124180e-03,1.115265e-03,1.099449e-03,1.092849e-03,1.083779e-03,1.068268e-03,1.062110e-03,1.052926e-03,1.037763e-03,1.032050e-03,1.022787e-03,1.008005e-03,1.002732e-03,9.934218e-04,9.790431e-04,9.742015e-04,9.648722e-04,9.509123e-04,9.464900e-04,9.371655e-04,9.236335e-04,9.196160e-04,9.103175e-04,8.972180e-04,8.935889e-04,8.843351e-04,8.716687e-04,8.684108e-04,8.592181e-04,8.469824e-04,8.440777e-04,8.349605e-04,8.231510e-04,8.205813e-04,8.115523e-04,8.001625e-04,7.979094e-04,7.889796e-04,7.780017e-04,7.760473e-04,7.672265e-04,7.566516e-04,7.549781e-04,7.462747e-04,7.360932e-04,7.346833e-04,7.261048e-04,7.163066e-04,7.151435e-04,7.066963e-04,6.972710e-04,6.963385e-04,6.880280e-04,6.789648e-04,6.782474e-04,6.700785e-04,6.613665e-04,6.608492e-04,6.528259e-04,6.444542e-04,6.441228e-04,6.362485e-04,6.282063e-04,6.280471e-04,6.203247e-04,6.126011e-04,5.977644e-04,5.835166e-04,5.698379e-04,5.567087e-04,5.441101e-04,5.320235e-04,5.204309e-04,5.093147e-04,4.986580e-04,4.884441e-04,4.786570e-04,4.692812e-04,4.603017e-04,4.517039e-04,4.434736e-04,4.355974e-04,4.280619e-04,4.208546e-04,4.139630e-04,4.073753e-04,4.010801e-04,3.950662e-04,3.893230e-04,3.838401e-04,3.786076e-04,3.736158e-04,3.688555e-04,3.643178e-04,3.599939e-04,3.558757e-04,3.519550e-04,3.482241e-04,3.446755e-04,3.413021e-04,3.380968e-04,3.350531e-04,3.321643e-04,3.294245e-04,3.268274e-04,3.243674e-04,3.220388e-04,3.198364e-04,3.177549e-04,3.157893e-04,3.139349e-04,3.121869e-04,3.105411e-04,3.089929e-04,3.075384e-04
0.000000e+00,9.531605e-09,1.482427e-07,1.550828e-07,1.055182e-06,3.935405e-06,4.117455e-06,1.023890e-05,1.762109e-05,1.810739e-05,2.612816e-05,3.315846e-05,3.374976e-05,4.085836e-05,4.681024e-05,4.744596e-05,5.352941e-05,5.848430e-05,5.913204e-05,6.427847e-05,6.835741e-05,6.899212e-05,7.329599e-05,7.661144e-05,7.721312e-05,8.076582e-05,8.342222e-05,8.397561e-05,8.686317e-05,8.895453e-05,8.944827e-05,9.174976e-05,9.335962e-05,9.378559e-05,9.557281e-05,9.677479e-05,9.712756e-05,9.846515e-05,9.932371e-05,9.960007e-05,1.005460e-04,1.011173e-04,1.013158e-04,1.019218e-04,1.022547e-04,1.023754e-04,1.026876e-04,1.028242e-04,1.028684e-04,1.029276e-04,1.029045e-04,1.028743e-04,1.027169e-04,1.025653e-04,1.024636e-04,1.021218e-04,1.018686e-04,1.016987e-04,1.012010e-04,1.008692e-04,1.006350e-04,1.000065e-04,9.961552e-05,9.932104e-05,9.858384e-05,9.815023e-05,9.779976e-05,9.697336e-05,9.651102e-05,9.610890e-05,9.521038e-05,9.473094e-05,9.428154e-05,9.332589e-05,9.283904e-05,9.234669e-05,9.134699e-05,9.086070e-05,9.032965e-05,8.929732e-05,8.881810e-05,8.825248e-05,8.719745e-05,8.673056e-05,8.613436e-05,8.506522e-05,8.461483e-05,8.399189e-05,8.291607e-05,8.248541e-05,8.183937e-05,8.076326e-05,8.035478e-05,7.968910e-05,7.861816e-05,7.823364e-05,7.755160e-05,7.649049e-05,7.613113e-05,7.543580e-05,7.438845e-05,7.405498e-05,7.334924e-05,7.231894e-05,7.201169e-05,7.129822e-05,7.028772e-05,7.000668e-05,6.928798e-05,6.829952e-05,6.804442e-05,6.732279e-05,6.635819e-05,6.612853e-05,6.540609e-05,6.446680e-05,6.426190e-05,6.354060e-05,6.262772e-05,6.244677e-05,6.172839e-05,6.084276e-05,6.068481e-05,5.997098e-05,5.911317e-05,5.897722e-05,5.826942e-05,5.743978e-05,5.732476e-05,5.662431e-05,5.582302e-05,5.572782e-05,5.503592e-05,5.426299e-05,5.418647e-05,5.350420e-05,5.275950e-05,5.270053e-05,5.202883e-05,5.131212e-05,5.126956e-05,5.060928e-05,4.992021e-05,4.989293e-05,4.924480e-05,4.858294e-05,4.856984e-05,4.793450e-05,4.729936e-05,4.608044e-05,4.491194e-05,4.379262e-05,4.272123e-05,4.169642e-05,4.071685e-05,3.978114e-05,3.888790e-05,3.803572e-05,3.722324e-05,3.644905e-05,3.571179e-05,3.501011e-05,3.434268e-05,3.370820e-05,3.310539e-05,3.253301e-05,3.198982e-05,3.147466e-05,3.098636e-05,3.052380e-05,3.008591e-05,2.967162e-05,2.927992e-05,2.890982e-05,2.856037e-05,2.823065e-05,2.791979e-05,2.762691e-05,2.735120e-05,2.709187e-05,2.684815e-05,2.661931e-05,2.640464e-05,2.620348e-05,2.601516e-05,2.583906e-05,2.567459e-05,2.552116e-05,2.537823e-05,2.524527e-05,2.512177e-05,2.500725e-05,2.490124e-05,2.480330e-05,2.471299e-05,2.462993e-05,2.455371e-05,2.448396e-05
0.000000e+00,7.578249e-10,9.253228e-09,9.643246e-09,5.573821e-08,1.893637e-07,1.976699e-07,4.855108e-07,8.729993e-07,9.000493e-07,1.362484e-06,1.778689e-06,1.813738e-06,2.233192e-06,2.579969e-06,2.616705e-06,2.964852e-06,3.243388e-06,3.279434e-06,3.562537e-06,3.782426e-06,3.816255e-06,4.042620e-06,4.213053e-06,4.243575e-06,4.420959e-06,4.550051e-06,4.576514e-06,4.711875e-06,4.806659e-06,4.828577e-06,4.928060e-06,4.994572e-06,5.011670e-06,5.080663e-06,5.124051e-06,5.136219e-06,5.179436e-06,5.204076e-06,5.211335e-06,5.232865e-06,5.242446e-06,5.244911e-06,5.248297e-06,5.245924e-06,5.243785e-06,5.232085e-06,5.220362e-06,5.213857e-06,5.189713e-06,5.170814e-06,5.160219e-06,5.125901e-06,5.101633e-06,5.087247e-06,5.044709e-06,5.016568e-06,4.998702e-06,4.949615e-06,4.918834e-06,4.897804e-06,4.843599e-06,4.811184e-06,4.787305e-06,4.729202e-06,4.695972e-06,4.669550e-06,4.608587e-06,4.575200e-06,4.546533e-06,4.483589e-06,4.450569e-06,4.419941e-06,4.355760e-06,4.323518e-06,4.291200e-06,4.226406e-06,4.195260e-06,4.161506e-06,4.096621e-06,4.066809e-06,4.031858e-06,3.967316e-06,3.939011e-06,3.903085e-06,3.839245e-06,3.812567e-06,3.775869e-06,3.713025e-06,3.688049e-06,3.650770e-06,3.589158e-06,3.565924e-06,3.528236e-06,3.468046e-06,3.446564e-06,3.408624e-06,3.350005e-06,3.330262e-06,3.292214e-06,3.235278e-06,3.217243e-06,3.179217e-06,3.124049e-06,3.107674e-06,3.069787e-06,3.016444e-06,3.001674e-06,2.964030e-06,2.912550e-06,2.899319e-06,2.862010e-06,2.812412e-06,2.800649e-06,2.763758e-06,2.716047e-06,2.705676e-06,2.669276e-06,2.623443e-06,2.614388e-06,2.578542e-06,2.534568e-06,2.526751e-06,2.491515e-06,2.449373e-06,2.442715e-06,2.408136e-06,2.367793e-06,2.362215e-06,2.328334e-06,2.289750e-06,2.285178e-06,2.252029e-06,2.215160e-06,2.211520e-06,2.179131e-06,2.143930e-06,2.141150e-06,2.109545e-06,2.075962e-06,2.073973e-06,2.043170e-06,2.011155e-06,2.009890e-06,1.979903e-06,1.949403e-06,1.948800e-06,1.919640e-06,1.890601e-06,1.835189e-06,1.782460e-06,1.732312e-06,1.684645e-06,1.639359e-06,1.596356e-06,1.555541e-06,1.516821e-06,1.480106e-06,1.445309e-06,1.412344e-06,1.381129e-06,1.351585e-06,1.323637e-06,1.297210e-06,1.272234e-06,1.248641e-06,1.226365e-06,1.205344e-06,1.185519e-06,1.166831e-06,1.149225e-06,1.132649e-06,1.117052e-06,1.102387e-06,1.088606e-06,1.075666e-06,1.063526e-06,1.052144e-06,1.041483e-06,1.031505e-06,1.022177e-06,1.013464e-06,1.005335e-06,9.977600e-07,9.907097e-07,9.841567e-07,9.780749e-07,9.724394e-07,9.672265e-07,9.624135e-07,9.579788e-07,9.539020e-07,9.501637e-07,9.467451e-07,9.436286e-07,9.407976e-07,9.382358e-07,9.359282e-07
0.000000e+00,6.676133e-09,1.096420e-07,1.146445e-07,7.519055e-07,2.745565e-06,2.872349e-06,7.328006e-06,1.331171e-05,1.372536e-05,2.073106e-05,2.699570e-05,2.752390e-05,3.387087e-05,3.916941e-05,3.973412e-05,4.512399e-05,4.949276e-05,5.006231e-05,5.457330e-05,5.812955e-05,5.868130e-05,6.241017e-05,6.526630e-05,6.578294e-05,6.882179e-05,7.107940e-05,7.154795e-05,7.398165e-05,7.573100e-05,7.614214e-05,7.804767e-05,7.936813e-05,7.971551e-05,8.116198e-05,8.212274e-05,8.240246e-05,8.345145e-05,8.411248e-05,8.432260e-05,8.502875e-05,8.544180e-05,8.558195e-05,8.599356e-05,8.620315e-05,8.627420e-05,8.643386e-05,8.647813e-05,8.648191e-05,8.642713e-05,8.633866e-05,8.627775e-05,8.604147e-05,8.584800e-05,8.572551e-05,8.533661e-05,8.506166e-05,8.488111e-05,8.436492e-05,8.402839e-05,8.379356e-05,8.317219e-05,8.279080e-05,8.250563e-05,8.179838e-05,8.138612e-05,8.105464e-05,8.027833e-05,7.984687e-05,7.947309e-05,7.864233e-05,7.820130e-05,7.778921e-05,7.691666e-05,7.647397e-05,7.602744e-05,7.512407e-05,7.468612e-05,7.420891e-05,7.328416e-05,7.285612e-05,7.235184e-05,7.141383e-05,7.099975e-05,7.047185e-05,6.952751e-05,6.913054e-05,6.858229e-05,6.763755e-05,6.726008e-05,6.669455e-05,6.575445e-05,6.539819e-05,6.481829e-05,6.388706e-05,6.355319e-05,6.296163e-05,6.204281e-05,6.173205e-05,6.113134e-05,6.022789e-05,5.994058e-05,5.933306e-05,5.844740e-05,5.818356e-05,5.757139e-05,5.670548e-05,5.646488e-05,5.585005e-05,5.500544e-05,5.478766e-05,5.417198e-05,5.334991e-05,5.315434e-05,5.253947e-05,5.174085e-05,5.156676e-05,5.095422e-05,5.017972e-05,5.002628e-05,4.941744e-05,4.866748e-05,4.853380e-05,4.792990e-05,4.720474e-05,4.708987e-05,4.649201e-05,4.579172e-05,4.569468e-05,4.510386e-05,4.442840e-05,4.434817e-05,4.376529e-05,4.311447e-05,4.305006e-05,4.247588e-05,4.184944e-05,4.179984e-05,4.123505e-05,4.063263e-05,4.059687e-05,4.004207e-05,3.946325e-05,3.944034e-05,3.889605e-05,3.834035e-05,3.832936e-05,3.779602e-05,3.726292e-05,3.623997e-05,3.525936e-05,3.431994e-05,3.342051e-05,3.255986e-05,3.173675e-05,3.094995e-05,3.019824e-05,2.948040e-05,2.879522e-05,2.814151e-05,2.751812e-05,2.692389e-05,2.635770e-05,2.581847e-05,2.530513e-05,2.481665e-05,2.435202e-05,2.391026e-05,2.349045e-05,2.309165e-05,2.271299e-05,2.235363e-05,2.201272e-05,2.168949e-05,2.138317e-05,2.109302e-05,2.081833e-05,2.055843e-05,2.031265e-05,2.008037e-05,1.986098e-05,1.965390e-05,1.945857e-05,1.927446e-05,1.910105e-05,1.893785e-05,1.878440e-05,1.864022e-05,1.850490e-05,1.837802e-05,1.825917e-05,1.814797e-05,1.804407e-05,1.794711e-05,1.785675e-05,1.777267e-05,1.769458e-05,1.762216e-05
0.000000e+00,3.033022e-09,4.620861e-08,4.829692e-08,2.959270e-07,9.503635e-07,9.880334e-07,2.123718e-06,3.333526e-06,3.410971e-06,4.678615e-06,5.792957e-06,5.887259e-06,7.030413e-06,8.003178e-06,8.108023e-06,9.121415e-06,9.961431e-06,1.007230e-05,1.096257e-05,1.168129e-05,1.179428e-05,1.256956e-05,1.317882e-05,1.329064e-05,1.395976e-05,1.447126e-05,1.457919e-05,1.515116e-05,1.557606e-05,1.567789e-05,1.616155e-05,1.651024e-05,1.660421e-05,1.700791e-05,1.728987e-05,1.737460e-05,1.770616e-05,1.792998e-05,1.800442e-05,1.827111e-05,1.844452e-05,1.850790e-05,1.871641e-05,1.884635e-05,1.889816e-05,1.905462e-05,1.914729e-05,1.918721e-05,1.929726e-05,1.935817e-05,1.938605e-05,1.945483e-05,1.948887e-05,1.950474e-05,1.953693e-05,1.954844e-05,1.955244e-05,1.955230e-05,1.954511e-05,1.953748e-05,1.950890e-05,1.948637e-05,1.946744e-05,1.941395e-05,1.937903e-05,1.934921e-05,1.927400e-05,1.922928e-05,1.918903e-05,1.909499e-05,1.904272e-05,1.899254e-05,1.888229e-05,1.882444e-05,1.876485e-05,1.864077e-05,1.857900e-05,1.851057e-05,1.837478e-05,1.831057e-05,1.823387e-05,1.808829e-05,1.802287e-05,1.793848e-05,1.778484e-05,1.771927e-05,1.762777e-05,1.746762e-05,1.740278e-05,1.730475e-05,1.713948e-05,1.707612e-05,1.697213e-05,1.680298e-05,1.674170e-05,1.663232e-05,1.646040e-05,1.640171e-05,1.628747e-05,1.611376e-05,1.605805e-05,1.593950e-05,1.576488e-05,1.571246e-05,1.559010e-05,1.541534e-05,1.536644e-05,1.524078e-05,1.506656e-05,1.502134e-05,1.489285e-05,1.471977e-05,1.467835e-05,1.454747e-05,1.437606e-05,1.433848e-05,1.420566e-05,1.403637e-05,1.400266e-05,1.386830e-05,1.370153e-05,1.367165e-05,1.353614e-05,1.337222e-05,1.334613e-05,1.320984e-05,1.304906e-05,1.302668e-05,1.288995e-05,1.273255e-05,1.271378e-05,1.257693e-05,1.242312e-05,1.240784e-05,1.227117e-05,1.212111e-05,1.210919e-05,1.197298e-05,1.182681e-05,1.181810e-05,1.168262e-05,1.154044e-05,1.153479e-05,1.140028e-05,1.126216e-05,1.125942e-05,1.112610e-05,1.099209e-05,1.073290e-05,1.048186e-05,1.023899e-05,1.000425e-05,9.777613e-06,9.558993e-06,9.348300e-06,9.145428e-06,8.950255e-06,8.762644e-06,8.582450e-06,8.409520e-06,8.243692e-06,8.084797e-06,7.932664e-06,7.787117e-06,7.647976e-06,7.515061e-06,7.388190e-06,7.267182e-06,7.151855e-06,7.042028e-06,6.937521e-06,6.838157e-06,6.743759e-06,6.654155e-06,6.569172e-06,6.488644e-06,6.412406e-06,6.340296e-06,6.272155e-06,6.207829e-06,6.147168e-06,6.090022e-06,6.036248e-06,5.985707e-06,5.938262e-06,5.893780e-06,5.852132e-06,5.813194e-06,5.776843e-06,5.742963e-06,5.711438e-06,5.682160e-06,5.655021e-06,5.629917e-06,5.606749e-06,5.585420e-06,5.565837e-06
0.000000e+00,3.064014e-10,2.511004e-08,2.677896e-08,3.686441e-07,2.336386e-06,2.499334e-06,1.105886e-05,3.311809e-05,3.521169e-05,8.538735e-05,1.585053e-04,1.660099e-04,2.719803e-04,3.797027e-04,3.919739e-04,5.139011e-04,6.152957e-04,6.284299e-04,7.299557e-04,8.049607e-04,8.160610e-04,8.864977e-04,9.342604e-04,9.422564e-04,9.849003e-04,1.011296e-03,1.016159e-03,1.037715e-03,1.049011e-03,1.051103e-03,1.057681e-03,1.058844e-03,1.058621e-03,1.054930e-03,1.049557e-03,1.047461e-03,1.036935e-03,1.027540e-03,1.023961e-03,1.009048e-03,9.973542e-04,9.926253e-04,9.750486e-04,9.622201e-04,9.566161e-04,9.375755e-04,9.243867e-04,9.181319e-04,8.984551e-04,8.854095e-04,8.786848e-04,8.589356e-04,8.463512e-04,8.393012e-04,8.198577e-04,8.079259e-04,8.006661e-04,7.817752e-04,7.706014e-04,7.632235e-04,7.450407e-04,7.346730e-04,7.272496e-04,7.098669e-04,7.003154e-04,6.929042e-04,6.763693e-04,6.676198e-04,6.602662e-04,6.445965e-04,6.366192e-04,6.293592e-04,6.145516e-04,6.073077e-04,6.001696e-04,5.862076e-04,5.796532e-04,5.726592e-04,5.595170e-04,5.536059e-04,5.467732e-04,5.344193e-04,5.291049e-04,5.224467e-04,5.108465e-04,5.060833e-04,4.996096e-04,4.887269e-04,4.844710e-04,4.781892e-04,4.679872e-04,4.641966e-04,4.581119e-04,4.485541e-04,4.451893e-04,4.393050e-04,4.303557e-04,4.273797e-04,4.216977e-04,4.133223e-04,4.107005e-04,4.052213e-04,3.973865e-04,3.950868e-04,3.898100e-04,3.824839e-04,3.804765e-04,3.754008e-04,3.685531e-04,3.668104e-04,3.619337e-04,3.555356e-04,3.540322e-04,3.493519e-04,3.433760e-04,3.420885e-04,3.376014e-04,3.320219e-04,3.309288e-04,3.266313e-04,3.214237e-04,3.205053e-04,3.163934e-04,3.115348e-04,3.107730e-04,3.068424e-04,3.023110e-04,3.016891e-04,2.979354e-04,2.937108e-04,2.932138e-04,2.896323e-04,2.856952e-04,2.853091e-04,2.818950e-04,2.782274e-04,2.779396e-04,2.746880e-04,2.712728e-04,2.710717e-04,2.679777e-04,2.647989e-04,2.646741e-04,2.617327e-04,2.587753e-04,2.587172e-04,2.559232e-04,2.531731e-04,2.480157e-04,2.432205e-04,2.387644e-04,2.346257e-04,2.307841e-04,2.272206e-04,2.239171e-04,2.208569e-04,2.180242e-04,2.154042e-04,2.129829e-04,2.107474e-04,2.086853e-04,2.067853e-04,2.050366e-04,2.034291e-04,2.019534e-04,2.006005e-04,1.993622e-04,1.982307e-04,1.971987e-04,1.962594e-04,1.954063e-04,1.946335e-04,1.939354e-04,1.933067e-04,1.927425e-04,1.922381e-04,1.917893e-04,1.913921e-04,1.910427e-04,1.907375e-04,1.904732e-04,1.902468e-04,1.900555e-04,1.898964e-04,1.897671e-04,1.896653e-04,1.895888e-04,1.895355e-04,1.895034e-04,1.894910e-04,1.894964e-04,1.895181e-04,1.895548e-04,1.896050e-04,1.896675e-04,1.897412e-04,1.898250e-04
0.000000e+00,2.942817e-09,3.618216e-08,3.772013e-08,2.242467e-07,7.748091e-07,8.087096e-07,1.922937e-06,3.226270e-06,3.310757e-06,4.678837e-06,5.837233e-06,5.932859e-06,7.059505e-06,7.968411e-06,8.063522e-06,8.953117e-06,9.648112e-06,9.736848e-06,1.042299e-05,1.094101e-05,1.101938e-05,1.153343e-05,1.190668e-05,1.197207e-05,1.234181e-05,1.259788e-05,1.264875e-05,1.289854e-05,1.306078e-05,1.309645e-05,1.324733e-05,1.333529e-05,1.335570e-05,1.342571e-05,1.345562e-05,1.346118e-05,1.346562e-05,1.345085e-05,1.344228e-05,1.339411e-05,1.334559e-05,1.332383e-05,1.323394e-05,1.316056e-05,1.312670e-05,1.300421e-05,1.291318e-05,1.286837e-05,1.272091e-05,1.261800e-05,1.256342e-05,1.239735e-05,1.228716e-05,1.222399e-05,1.204454e-05,1.193071e-05,1.186009e-05,1.167161e-05,1.155696e-05,1.147999e-05,1.128603e-05,1.117274e-05,1.109045e-05,1.089390e-05,1.078363e-05,1.069697e-05,1.050018e-05,1.039414e-05,1.030400e-05,1.010885e-05,1.000790e-05,9.915097e-06,9.723069e-06,9.627795e-06,9.533058e-06,9.345318e-06,9.256076e-06,9.160071e-06,8.977509e-06,8.894479e-06,8.797798e-06,8.621079e-06,8.544302e-06,8.447471e-06,8.277073e-06,8.206484e-06,8.109966e-06,7.946214e-06,7.881664e-06,7.785866e-06,7.628958e-06,7.570240e-06,7.475512e-06,7.325542e-06,7.272404e-06,7.179050e-06,7.036030e-06,6.988192e-06,6.896468e-06,6.760344e-06,6.717505e-06,6.627629e-06,6.498293e-06,6.460145e-06,6.372297e-06,6.249600e-06,6.215829e-06,6.130155e-06,6.013915e-06,5.984211e-06,5.900828e-06,5.790841e-06,5.764899e-06,5.683898e-06,5.579942e-06,5.557467e-06,5.478914e-06,5.380756e-06,5.361463e-06,5.285407e-06,5.192806e-06,5.176425e-06,5.102892e-06,5.015605e-06,5.001879e-06,4.930882e-06,4.848664e-06,4.837349e-06,4.768888e-06,4.691496e-06,4.682366e-06,4.616427e-06,4.543621e-06,4.536463e-06,4.473022e-06,4.404570e-06,4.399185e-06,4.338210e-06,4.273885e-06,4.270089e-06,4.211539e-06,4.151120e-06,4.148743e-06,4.092574e-06,4.035848e-06,4.034732e-06,3.980892e-06,3.927656e-06,3.827131e-06,3.732789e-06,3.644280e-06,3.561270e-06,3.483438e-06,3.410484e-06,3.342121e-06,3.278077e-06,3.218094e-06,3.161929e-06,3.109353e-06,3.060148e-06,3.014111e-06,2.971047e-06,2.930776e-06,2.893126e-06,2.857937e-06,2.825055e-06,2.794340e-06,2.765657e-06,2.738880e-06,2.713891e-06,2.690578e-06,2.668838e-06,2.648571e-06,2.629685e-06,2.612095e-06,2.595720e-06,2.580482e-06,2.566310e-06,2.553139e-06,2.540904e-06,2.529546e-06,2.519011e-06,2.509245e-06,2.500201e-06,2.491833e-06,2.484097e-06,2.476954e-06,2.470366e-06,2.464296e-06,2.458714e-06,2.453586e-06,2.448884e-06,2.444581e-06,2.440651e-06,2.437070e-06,2.433816e-06,2.430866e-06
0.000000e+00,4.333652e-11,4.699091e-09,5.040258e-09,8.983581e-08,6.761340e-07,7.273655e-07,3.608213e-06,1.178987e-05,1.260573e-05,3.383711e-05,7.011390e-05,7.418999e-05,1.390478e-04,2.202614e-04,2.306052e-04,3.474686e-04,4.678575e-04,4.853150e-04,6.380396e-04,7.761488e-04,7.989141e-04,9.614989e-04,1.095288e-03,1.120229e-03,1.270703e-03,1.385661e-03,1.409738e-03,1.535292e-03,1.625277e-03,1.646288e-03,1.742424e-03,1.807260e-03,1.823983e-03,1.891655e-03,1.934376e-03,1.946390e-03,1.989290e-03,2.014102e-03,2.021522e-03,2.044253e-03,2.055369e-03,2.058606e-03,2.065638e-03,2.066731e-03,2.066325e-03,2.061552e-03,2.055595e-03,2.052110e-03,2.038705e-03,2.027990e-03,2.021955e-03,2.002406e-03,1.988648e-03,1.980533e-03,1.956745e-03,1.941195e-03,1.931401e-03,1.904808e-03,1.888365e-03,1.877232e-03,1.848899e-03,1.832198e-03,1.820006e-03,1.790720e-03,1.774203e-03,1.761184e-03,1.731520e-03,1.715486e-03,1.701832e-03,1.672208e-03,1.656854e-03,1.642723e-03,1.613440e-03,1.598891e-03,1.584412e-03,1.555684e-03,1.542012e-03,1.527293e-03,1.499270e-03,1.486510e-03,1.471640e-03,1.444423e-03,1.432583e-03,1.417637e-03,1.391292e-03,1.380362e-03,1.365401e-03,1.339969e-03,1.329926e-03,1.315002e-03,1.290503e-03,1.281316e-03,1.266473e-03,1.242913e-03,1.234546e-03,1.219821e-03,1.197196e-03,1.189609e-03,1.175033e-03,1.153330e-03,1.146481e-03,1.132081e-03,1.111283e-03,1.105130e-03,1.090928e-03,1.071013e-03,1.065514e-03,1.051530e-03,1.032472e-03,1.027587e-03,1.013835e-03,9.956106e-04,9.912975e-04,9.777924e-04,9.603733e-04,9.565940e-04,9.433466e-04,9.267051e-04,9.234224e-04,9.104418e-04,8.945497e-04,8.917280e-04,8.790218e-04,8.638512e-04,8.614565e-04,8.490308e-04,8.345539e-04,8.325541e-04,8.204136e-04,8.066032e-04,8.049678e-04,7.931161e-04,7.799457e-04,7.786458e-04,7.670854e-04,7.545289e-04,7.535373e-04,7.422699e-04,7.303021e-04,7.295932e-04,7.186195e-04,7.072160e-04,7.067656e-04,6.960857e-04,6.852227e-04,6.850081e-04,6.746214e-04,6.642762e-04,6.445264e-04,6.257172e-04,6.078085e-04,5.907615e-04,5.745392e-04,5.591057e-04,5.444269e-04,5.304698e-04,5.172027e-04,5.045953e-04,4.926186e-04,4.812446e-04,4.704467e-04,4.601992e-04,4.504776e-04,4.412583e-04,4.325189e-04,4.242378e-04,4.163943e-04,4.089687e-04,4.019421e-04,3.952963e-04,3.890140e-04,3.830787e-04,3.774744e-04,3.721860e-04,3.671989e-04,3.624992e-04,3.580736e-04,3.539094e-04,3.499943e-04,3.463168e-04,3.428656e-04,3.396302e-04,3.366003e-04,3.337660e-04,3.311182e-04,3.286479e-04,3.263465e-04,3.242058e-04,3.222180e-04,3.203756e-04,3.186716e-04,3.170990e-04,3.156513e-04,3.143222e-04,3.131057e-04,3.119962e-04,3.109882e-04
0.000000e+00,5.266307e-09,1.162321e-07,1.218927e-07,9.337838e-07,4.048556e-06,4.265321e-06,1.269441e-05,2.520848e-05,2.609064e-05,4.100646e-05,5.405881e-05,5.514089e-05,6.788202e-05,7.811260e-05,7.917940e-05,8.911662e-05,9.682390e-05,9.780413e-05,1.053526e-04,1.110128e-04,1.118660e-04,1.174403e-04,1.214620e-04,1.221641e-04,1.261189e-04,1.288407e-04,1.293796e-04,1.320150e-04,1.337158e-04,1.340883e-04,1.356576e-04,1.365659e-04,1.367757e-04,1.374910e-04,1.377926e-04,1.378476e-04,1.378856e-04,1.377302e-04,1.376415e-04,1.371482e-04,1.366557e-04,1.364358e-04,1.355313e-04,1.347970e-04,1.344592e-04,1.332416e-04,1.323408e-04,1.318985e-04,1.304478e-04,1.294394e-04,1.289058e-04,1.272869e-04,1.262165e-04,1.256041e-04,1.238692e-04,1.227720e-04,1.220926e-04,1.202837e-04,1.191864e-04,1.184509e-04,1.166015e-04,1.155240e-04,1.147423e-04,1.128790e-04,1.118358e-04,1.110169e-04,1.091606e-04,1.081621e-04,1.073141e-04,1.054810e-04,1.045341e-04,1.036644e-04,1.018669e-04,1.009760e-04,1.000909e-04,9.833834e-05,9.750599e-05,9.661103e-05,9.491037e-05,9.413735e-05,9.323756e-05,9.159361e-05,9.087962e-05,8.997932e-05,8.839532e-05,8.773920e-05,8.684211e-05,8.532002e-05,8.471996e-05,8.382929e-05,8.237004e-05,8.182379e-05,8.094230e-05,7.954602e-05,7.905103e-05,7.818106e-05,7.684724e-05,7.640078e-05,7.554429e-05,7.427193e-05,7.387117e-05,7.302980e-05,7.181753e-05,7.145961e-05,7.063470e-05,6.948089e-05,6.916296e-05,6.835562e-05,6.725842e-05,6.697768e-05,6.618879e-05,6.514623e-05,6.489999e-05,6.413022e-05,6.314023e-05,6.292587e-05,6.217574e-05,6.123622e-05,6.105126e-05,6.032113e-05,5.942994e-05,5.927202e-05,5.856212e-05,5.771714e-05,5.758403e-05,5.689448e-05,5.609361e-05,5.598320e-05,5.531403e-05,5.455523e-05,5.446554e-05,5.381669e-05,5.309795e-05,5.302714e-05,5.239849e-05,5.171786e-05,5.166420e-05,5.105557e-05,5.041116e-05,5.037306e-05,4.978419e-05,4.917420e-05,4.915015e-05,4.858077e-05,4.800346e-05,4.799208e-05,4.744187e-05,4.689557e-05,4.585749e-05,4.487486e-05,4.394480e-05,4.306460e-05,4.223166e-05,4.144351e-05,4.069780e-05,3.999230e-05,3.932490e-05,3.869358e-05,3.809643e-05,3.753165e-05,3.699751e-05,3.649240e-05,3.601476e-05,3.556314e-05,3.513615e-05,3.473249e-05,3.435090e-05,3.399022e-05,3.364934e-05,3.332719e-05,3.302277e-05,3.273515e-05,3.246343e-05,3.220675e-05,3.196432e-05,3.173538e-05,3.151921e-05,3.131512e-05,3.112248e-05,3.094067e-05,3.076912e-05,3.060727e-05,3.045461e-05,3.031065e-05,3.017493e-05,3.004700e-05,2.992645e-05,2.981289e-05,2.970594e-05,2.960525e-05,2.951048e-05,2.942132e-05,2.933746e-05,2.925864e-05,2.918456e-05,2.911498e-05,2.904967e-05
0.000000e+00,7.162559e-09,1.497746e-07,1.566937e-07,1.064978e-06,4.314319e-06,4.537980e-06,1.337289e-05,2.755096e-05,2.860562e-05,4.733295e-05,6.466146e-05,6.612334e-05,8.355877e-05,9.782901e-05,9.933080e-05,1.134542e-04,1.245931e-04,1.260230e-04,1.371480e-04,1.456440e-04,1.469382e-04,1.554982e-04,1.618109e-04,1.629275e-04,1.693200e-04,1.738503e-04,1.747639e-04,1.793416e-04,1.824320e-04,1.831300e-04,1.862005e-04,1.881400e-04,1.886195e-04,1.904482e-04,1.914782e-04,1.917433e-04,1.925568e-04,1.928773e-04,1.929370e-04,1.929279e-04,1.927031e-04,1.925700e-04,1.919006e-04,1.912650e-04,1.909537e-04,1.897606e-04,1.888233e-04,1.883497e-04,1.867473e-04,1.855963e-04,1.849770e-04,1.830607e-04,1.817668e-04,1.810181e-04,1.788673e-04,1.774867e-04,1.766247e-04,1.743051e-04,1.728821e-04,1.719221e-04,1.694880e-04,1.680572e-04,1.670138e-04,1.645095e-04,1.630974e-04,1.619842e-04,1.594461e-04,1.580727e-04,1.569024e-04,1.543596e-04,1.530397e-04,1.518237e-04,1.492999e-04,1.480440e-04,1.467929e-04,1.443067e-04,1.431218e-04,1.418450e-04,1.394110e-04,1.383014e-04,1.370075e-04,1.346370e-04,1.336049e-04,1.323014e-04,1.300028e-04,1.290487e-04,1.277425e-04,1.255218e-04,1.246448e-04,1.233418e-04,1.212032e-04,1.204016e-04,1.191069e-04,1.170532e-04,1.163244e-04,1.150425e-04,1.130749e-04,1.124158e-04,1.111506e-04,1.092696e-04,1.086767e-04,1.074316e-04,1.056365e-04,1.051063e-04,1.038840e-04,1.021737e-04,1.017023e-04,1.005051e-04,9.887792e-05,9.846155e-05,9.729150e-05,9.574530e-05,9.538013e-05,9.423873e-05,9.277116e-05,9.245346e-05,9.134193e-05,8.995036e-05,8.967651e-05,8.859578e-05,8.727747e-05,8.704397e-05,8.599472e-05,8.474680e-05,8.455032e-05,8.353299e-05,8.235255e-05,8.218991e-05,8.120476e-05,8.008888e-05,7.995708e-05,7.900417e-05,7.794993e-05,7.784615e-05,7.692542e-05,7.592994e-05,7.585153e-05,7.496278e-05,7.402323e-05,7.396772e-05,7.311062e-05,7.222427e-05,7.218935e-05,7.136350e-05,7.052766e-05,7.051119e-05,6.971610e-05,6.892818e-05,6.743544e-05,6.602825e-05,6.470211e-05,6.345270e-05,6.227588e-05,6.116771e-05,6.012443e-05,5.914245e-05,5.821838e-05,5.734898e-05,5.653119e-05,5.576211e-05,5.503897e-05,5.435916e-05,5.372023e-05,5.311983e-05,5.255576e-05,5.202593e-05,5.152837e-05,5.106122e-05,5.062272e-05,5.021120e-05,4.982512e-05,4.946298e-05,4.912340e-05,4.880506e-05,4.850671e-05,4.822720e-05,4.796542e-05,4.772032e-05,4.749094e-05,4.727634e-05,4.707566e-05,4.688808e-05,4.671282e-05,4.654916e-05,4.639640e-05,4.625391e-05,4.612107e-05,4.599732e-05,4.588210e-05,4.577491e-05,4.567527e-05,4.558273e-05,4.549686e-05,4.541726e-05,4.534355e-05,4.527538e-05,4.521242e-05
0.000000e+00,2.295716e-09,3.014316e-08,3.147300e-08,1.998897e-07,7.259330e-07,7.592144e-07,1.899413e-06,3.334633e-06,3.430896e-06,5.035250e-06,6.455984e-06,6.575819e-06,8.019265e-06,9.231014e-06,9.360590e-06,1.060195e-05,1.161485e-05,1.174738e-05,1.280135e-05,1.363809e-05,1.376841e-05,1.465308e-05,1.533574e-05,1.545974e-05,1.619268e-05,1.674159e-05,1.685604e-05,1.745384e-05,1.788745e-05,1.798990e-05,1.846789e-05,1.880268e-05,1.889133e-05,1.926356e-05,1.951418e-05,1.958778e-05,1.986703e-05,2.004642e-05,2.010419e-05,2.030200e-05,2.042151e-05,2.046304e-05,2.058979e-05,2.065936e-05,2.068456e-05,2.074956e-05,2.077783e-05,2.078688e-05,2.079848e-05,2.079295e-05,2.078622e-05,2.075188e-05,2.071907e-05,2.069710e-05,2.062345e-05,2.056898e-05,2.053243e-05,2.042542e-05,2.035409e-05,2.030374e-05,2.016863e-05,2.008458e-05,2.002126e-05,1.986273e-05,1.976946e-05,1.969407e-05,1.951626e-05,1.941676e-05,1.933021e-05,1.913678e-05,1.903355e-05,1.893678e-05,1.873096e-05,1.862610e-05,1.852004e-05,1.830468e-05,1.819992e-05,1.808551e-05,1.786310e-05,1.775986e-05,1.763800e-05,1.741072e-05,1.731016e-05,1.718175e-05,1.695151e-05,1.685453e-05,1.672042e-05,1.648887e-05,1.639620e-05,1.625721e-05,1.602579e-05,1.593797e-05,1.579489e-05,1.556481e-05,1.548223e-05,1.533581e-05,1.510813e-05,1.503106e-05,1.488200e-05,1.465762e-05,1.458622e-05,1.443518e-05,1.421486e-05,1.414919e-05,1.399680e-05,1.378115e-05,1.372122e-05,1.356805e-05,1.335760e-05,1.330333e-05,1.314992e-05,1.294509e-05,1.289636e-05,1.274320e-05,1.254433e-05,1.250099e-05,1.234854e-05,1.215588e-05,1.211773e-05,1.196640e-05,1.178015e-05,1.174697e-05,1.159715e-05,1.141744e-05,1.138899e-05,1.124103e-05,1.106793e-05,1.104396e-05,1.089816e-05,1.073173e-05,1.071198e-05,1.056863e-05,1.040885e-05,1.039305e-05,1.025239e-05,1.009924e-05,1.008713e-05,9.949378e-06,9.802788e-06,9.794097e-06,9.659449e-06,9.519336e-06,9.513798e-06,9.382422e-06,9.248678e-06,9.246035e-06,9.118073e-06,8.990574e-06,8.747153e-06,8.515487e-06,8.295270e-06,8.086183e-06,7.887895e-06,7.700065e-06,7.522347e-06,7.354393e-06,7.195852e-06,7.046373e-06,6.905610e-06,6.773217e-06,6.648853e-06,6.532182e-06,6.422875e-06,6.320610e-06,6.225071e-06,6.135952e-06,6.052954e-06,5.975785e-06,5.904163e-06,5.837815e-06,5.776477e-06,5.719893e-06,5.667816e-06,5.620008e-06,5.576240e-06,5.536291e-06,5.499949e-06,5.467010e-06,5.437279e-06,5.410568e-06,5.386698e-06,5.365496e-06,5.346797e-06,5.330446e-06,5.316290e-06,5.304188e-06,5.294002e-06,5.285602e-06,5.278864e-06,5.273670e-06,5.269907e-06,5.267470e-06,5.266257e-06,5.266173e-06,5.267125e-06,5.269029e-06,5.271802e-06
0.000000e+00,4.622495e-10,6.720203e-09,7.022897e-09,4.399162e-08,1.492068e-07,1.555352e-07,3.577281e-07,5.891512e-07,6.042411e-07,8.528741e-07,1.071838e-06,1.090332e-06,1.313786e-06,1.502685e-06,1.522970e-06,1.718247e-06,1.878996e-06,1.900133e-06,2.069170e-06,2.204679e-06,2.225900e-06,2.370857e-06,2.483908e-06,2.504568e-06,2.627553e-06,2.720758e-06,2.740326e-06,2.843388e-06,2.919178e-06,2.937233e-06,3.022341e-06,3.082962e-06,3.099181e-06,3.168202e-06,3.215698e-06,3.229841e-06,3.284516e-06,3.320730e-06,3.332630e-06,3.374567e-06,3.401144e-06,3.410694e-06,3.441362e-06,3.459760e-06,3.466904e-06,3.487639e-06,3.499147e-06,3.503868e-06,3.515880e-06,3.521630e-06,3.523946e-06,3.528326e-06,3.529309e-06,3.529266e-06,3.526997e-06,3.524077e-06,3.521742e-06,3.513708e-06,3.507638e-06,3.503095e-06,3.490088e-06,3.481518e-06,3.474865e-06,3.457595e-06,3.447088e-06,3.438434e-06,3.417534e-06,3.405574e-06,3.395035e-06,3.371070e-06,3.358072e-06,3.345766e-06,3.319242e-06,3.305558e-06,3.291610e-06,3.262975e-06,3.248904e-06,3.233437e-06,3.203089e-06,3.188882e-06,3.172021e-06,3.140314e-06,3.126181e-06,3.108046e-06,3.075292e-06,3.061407e-06,3.042120e-06,3.008594e-06,2.995098e-06,2.974775e-06,2.940719e-06,2.927727e-06,2.906481e-06,2.872109e-06,2.859711e-06,2.837650e-06,2.803147e-06,2.791414e-06,2.768642e-06,2.734171e-06,2.723153e-06,2.699769e-06,2.665470e-06,2.655205e-06,2.631304e-06,2.597299e-06,2.587810e-06,2.563481e-06,2.529873e-06,2.521173e-06,2.496499e-06,2.463379e-06,2.455470e-06,2.430532e-06,2.397974e-06,2.390851e-06,2.365721e-06,2.333789e-06,2.327442e-06,2.302189e-06,2.270935e-06,2.265346e-06,2.240036e-06,2.209502e-06,2.204651e-06,2.179341e-06,2.149562e-06,2.145424e-06,2.120170e-06,2.091172e-06,2.087719e-06,2.062573e-06,2.034376e-06,2.031579e-06,2.006586e-06,1.979204e-06,1.977032e-06,1.952234e-06,1.925678e-06,1.924097e-06,1.899535e-06,1.873807e-06,1.872787e-06,1.848494e-06,1.823596e-06,1.823102e-06,1.799111e-06,1.775040e-06,1.728589e-06,1.683736e-06,1.640459e-06,1.598737e-06,1.558544e-06,1.519849e-06,1.482622e-06,1.446830e-06,1.412439e-06,1.379413e-06,1.347716e-06,1.317311e-06,1.288162e-06,1.260230e-06,1.233479e-06,1.207870e-06,1.183369e-06,1.159937e-06,1.137539e-06,1.116140e-06,1.095704e-06,1.076197e-06,1.057586e-06,1.039838e-06,1.022921e-06,1.006804e-06,9.914570e-07,9.768499e-07,9.629542e-07,9.497422e-07,9.371868e-07,9.252619e-07,9.139422e-07,9.032030e-07,8.930207e-07,8.833724e-07,8.742359e-07,8.655898e-07,8.574134e-07,8.496869e-07,8.423910e-07,8.355072e-07,8.290177e-07,8.229052e-07,8.171531e-07,8.117456e-07,8.066672e-07,8.019033e-07,7.974396e-07
0.000000e+00,3.179669e-10,5.855274e-09,6.138953e-09,4.197141e-08,1.396968e-07,1.452581e-07,3.072356e-07,4.723356e-07,4.827819e-07,6.525520e-07,8.002498e-07,8.126881e-07,9.627214e-07,1.089299e-06,1.102882e-06,1.233546e-06,1.340996e-06,1.355118e-06,1.468002e-06,1.558438e-06,1.572597e-06,1.669297e-06,1.744708e-06,1.758490e-06,1.840557e-06,1.902794e-06,1.915867e-06,1.984782e-06,2.035543e-06,2.047649e-06,2.104803e-06,2.145623e-06,2.156563e-06,2.203235e-06,2.235484e-06,2.245113e-06,2.282475e-06,2.307372e-06,2.315586e-06,2.344698e-06,2.363317e-06,2.370050e-06,2.391871e-06,2.405160e-06,2.410376e-06,2.425768e-06,2.434556e-06,2.438242e-06,2.447981e-06,2.452997e-06,2.455161e-06,2.459944e-06,2.461821e-06,2.462488e-06,2.462939e-06,2.462231e-06,2.461439e-06,2.458118e-06,2.455304e-06,2.453102e-06,2.446509e-06,2.442007e-06,2.438451e-06,2.429033e-06,2.423203e-06,2.418355e-06,2.406511e-06,2.399662e-06,2.393591e-06,2.379677e-06,2.372076e-06,2.364849e-06,2.349183e-06,2.341058e-06,2.332748e-06,2.315612e-06,2.307155e-06,2.297836e-06,2.279479e-06,2.270856e-06,2.260599e-06,2.241246e-06,2.232593e-06,2.221470e-06,2.201317e-06,2.192751e-06,2.180831e-06,2.160054e-06,2.151670e-06,2.139023e-06,2.117774e-06,2.109650e-06,2.096342e-06,2.074759e-06,2.066958e-06,2.053054e-06,2.031256e-06,2.023828e-06,2.009390e-06,1.987481e-06,1.980464e-06,1.965551e-06,1.943624e-06,1.937049e-06,1.921717e-06,1.899851e-06,1.893737e-06,1.878041e-06,1.856305e-06,1.850668e-06,1.834658e-06,1.813113e-06,1.807959e-06,1.791683e-06,1.770380e-06,1.765712e-06,1.749216e-06,1.728200e-06,1.724016e-06,1.707342e-06,1.686651e-06,1.682945e-06,1.666134e-06,1.645799e-06,1.642562e-06,1.625652e-06,1.605699e-06,1.602921e-06,1.585946e-06,1.566398e-06,1.564066e-06,1.547058e-06,1.527932e-06,1.526031e-06,1.509022e-06,1.490331e-06,1.488846e-06,1.471863e-06,1.453619e-06,1.452532e-06,1.435602e-06,1.417813e-06,1.417106e-06,1.400253e-06,1.382923e-06,1.382579e-06,1.365825e-06,1.348959e-06,1.316247e-06,1.284446e-06,1.253550e-06,1.223555e-06,1.194452e-06,1.166233e-06,1.138885e-06,1.112395e-06,1.086751e-06,1.061936e-06,1.037935e-06,1.014731e-06,9.923081e-07,9.706486e-07,9.497348e-07,9.295490e-07,9.100731e-07,8.912892e-07,8.731792e-07,8.557252e-07,8.389095e-07,8.227147e-07,8.071231e-07,7.921178e-07,7.776817e-07,7.637981e-07,7.504506e-07,7.376232e-07,7.252999e-07,7.134654e-07,7.021045e-07,6.912023e-07,6.807447e-07,6.707173e-07,6.611066e-07,6.518990e-07,6.430815e-07,6.346414e-07,6.265663e-07,6.188441e-07,6.114629e-07,6.044115e-07,5.976787e-07,5.912538e-07,5.851261e-07,5.792856e-07,5.737223e-07,5.684266e-07,5.633892e-07
0.000000e+00,5.398473e-10,4.192628e-08,4.471284e-08,6.183882e-07,3.725707e-06,3.970613e-06,1.547745e-05,3.986848e-05,4.197345e-05,8.685163e-05,1.416645e-04,1.468460e-04,2.140568e-04,2.741097e-04,2.805542e-04,3.411442e-04,3.876929e-04,3.935189e-04,4.372758e-04,4.684228e-04,4.729662e-04,5.014977e-04,5.206410e-04,5.238377e-04,5.408911e-04,5.514957e-04,5.534595e-04,5.622370e-04,5.669325e-04,5.678188e-04,5.707142e-04,5.713901e-04,5.713585e-04,5.701225e-04,5.681218e-04,5.673221e-04,5.632259e-04,5.594963e-04,5.580625e-04,5.520253e-04,5.472308e-04,5.452788e-04,5.379627e-04,5.325667e-04,5.301955e-04,5.220773e-04,5.164002e-04,5.136927e-04,5.051133e-04,4.993740e-04,4.963996e-04,4.876025e-04,4.819488e-04,4.787650e-04,4.699230e-04,4.644520e-04,4.611064e-04,4.523402e-04,4.471134e-04,4.436451e-04,4.350383e-04,4.300925e-04,4.265339e-04,4.181434e-04,4.134980e-04,4.098760e-04,4.017392e-04,3.974016e-04,3.937385e-04,3.858785e-04,3.818481e-04,3.781625e-04,3.705926e-04,3.668630e-04,3.631704e-04,3.558966e-04,3.524580e-04,3.487715e-04,3.417947e-04,3.386350e-04,3.349655e-04,3.282828e-04,3.253886e-04,3.217454e-04,3.153516e-04,3.127086e-04,3.090997e-04,3.029877e-04,3.005816e-04,2.970136e-04,2.911752e-04,2.889918e-04,2.854703e-04,2.798967e-04,2.779218e-04,2.744519e-04,2.691337e-04,2.673538e-04,2.639395e-04,2.588672e-04,2.572693e-04,2.539141e-04,2.490781e-04,2.476497e-04,2.443566e-04,2.397473e-04,2.384766e-04,2.352480e-04,2.308563e-04,2.297318e-04,2.265699e-04,2.223865e-04,2.213976e-04,2.183041e-04,2.143203e-04,2.134568e-04,2.104330e-04,2.066401e-04,2.058927e-04,2.029395e-04,1.993293e-04,1.986889e-04,1.958073e-04,1.923716e-04,1.918298e-04,1.890204e-04,1.857516e-04,1.853005e-04,1.825635e-04,1.794542e-04,1.790863e-04,1.764220e-04,1.734650e-04,1.731734e-04,1.705817e-04,1.677703e-04,1.675484e-04,1.650291e-04,1.623567e-04,1.621985e-04,1.597513e-04,1.572115e-04,1.571113e-04,1.547358e-04,1.523227e-04,1.522751e-04,1.499708e-04,1.476786e-04,1.433110e-04,1.391619e-04,1.352215e-04,1.314802e-04,1.279290e-04,1.245592e-04,1.213625e-04,1.183311e-04,1.154573e-04,1.127338e-04,1.101539e-04,1.077108e-04,1.053982e-04,1.032101e-04,1.011407e-04,9.918445e-05,9.733614e-05,9.559072e-05,9.394336e-05,9.238946e-05,9.092462e-05,8.954466e-05,8.824555e-05,8.702347e-05,8.587476e-05,8.479591e-05,8.378360e-05,8.283461e-05,8.194592e-05,8.111460e-05,8.033787e-05,7.961307e-05,7.893767e-05,7.830924e-05,7.772546e-05,7.718411e-05,7.668310e-05,7.622039e-05,7.579405e-05,7.540226e-05,7.504324e-05,7.471532e-05,7.441690e-05,7.414644e-05,7.390248e-05,7.368362e-05,7.348853e-05,7.331594e-05,7.316463e-05
0.000000e+00,5.080262e-11,5.869359e-09,6.307465e-09,1.244109e-07,1.011734e-06,1.091086e-06,5.637869e-06,1.848366e-05,1.974660e-05,5.154000e-05,1.023250e-04,1.078208e-04,1.911087e-04,2.872053e-04,2.989342e-04,4.250013e-04,5.445160e-04,5.610935e-04,6.988564e-04,8.130971e-04,8.310417e-04,9.521521e-04,1.042649e-03,1.058600e-03,1.148547e-03,1.209661e-03,1.221575e-03,1.278310e-03,1.312833e-03,1.320063e-03,1.348529e-03,1.362697e-03,1.365556e-03,1.372981e-03,1.373269e-03,1.372527e-03,1.365739e-03,1.357437e-03,1.353961e-03,1.338333e-03,1.325233e-03,1.319798e-03,1.299125e-03,1.283719e-03,1.276934e-03,1.253713e-03,1.237534e-03,1.229845e-03,1.205625e-03,1.189559e-03,1.181279e-03,1.156979e-03,1.141511e-03,1.132851e-03,1.108991e-03,1.094364e-03,1.085468e-03,1.062332e-03,1.048650e-03,1.039616e-03,1.017345e-03,1.004639e-03,9.955352e-04,9.741945e-04,9.624507e-04,9.533280e-04,9.329369e-04,9.221230e-04,9.130198e-04,8.935732e-04,8.836454e-04,8.745923e-04,8.560712e-04,8.469810e-04,8.380030e-04,8.203805e-04,8.120777e-04,8.031959e-04,7.864410e-04,7.788757e-04,7.701075e-04,7.541871e-04,7.473108e-04,7.386713e-04,7.235517e-04,7.173176e-04,7.088198e-04,6.944674e-04,6.888309e-04,6.804862e-04,6.668678e-04,6.617862e-04,6.536040e-04,6.406869e-04,6.361201e-04,6.281085e-04,6.158609e-04,6.117708e-04,6.039365e-04,5.923277e-04,5.886783e-04,5.810271e-04,5.700273e-04,5.667849e-04,5.593211e-04,5.489015e-04,5.460344e-04,5.387615e-04,5.288944e-04,5.263728e-04,5.192934e-04,5.099521e-04,5.077481e-04,5.008640e-04,4.920230e-04,4.901105e-04,4.834229e-04,4.750576e-04,4.734122e-04,4.669213e-04,4.590084e-04,4.576073e-04,4.513130e-04,4.438299e-04,4.426519e-04,4.365536e-04,4.294788e-04,4.285041e-04,4.226005e-04,4.159137e-04,4.151239e-04,4.094134e-04,4.030950e-04,4.024730e-04,3.969537e-04,3.909850e-04,3.905148e-04,3.851844e-04,3.795476e-04,3.792145e-04,3.740704e-04,3.687487e-04,3.685390e-04,3.635784e-04,3.585557e-04,3.584567e-04,3.536765e-04,3.489373e-04,3.399523e-04,3.314743e-04,3.234773e-04,3.159366e-04,3.088287e-04,3.021313e-04,2.958229e-04,2.898836e-04,2.842939e-04,2.790357e-04,2.740915e-04,2.694450e-04,2.650803e-04,2.609827e-04,2.571380e-04,2.535327e-04,2.501540e-04,2.469899e-04,2.440288e-04,2.412598e-04,2.386725e-04,2.362571e-04,2.340042e-04,2.319048e-04,2.299506e-04,2.281336e-04,2.264461e-04,2.248809e-04,2.234312e-04,2.220905e-04,2.208525e-04,2.197116e-04,2.186620e-04,2.176985e-04,2.168161e-04,2.160101e-04,2.152760e-04,2.146095e-04,2.140065e-04,2.134633e-04,2.129761e-04,2.125416e-04,2.121565e-04,2.118176e-04,2.115221e-04,2.112671e-04,2.110500e-04,2.108684e-04,2.107198e-04
0.000000e+00,1.410617e-09,8.777857e-08,9.316091e-08,1.029959e-06,5.360893e-06,5.687854e-06,2.053698e-05,5.152399e-05,5.420873e-05,1.122461e-04,1.853439e-04,1.923792e-04,2.856539e-04,3.725749e-04,3.821437e-04,4.750308e-04,5.510879e-04,5.609869e-04,6.389174e-04,6.994923e-04,7.088055e-04,7.710607e-04,8.178535e-04,8.262272e-04,8.748713e-04,9.102771e-04,9.175400e-04,9.547490e-04,9.809090e-04,9.869783e-04,1.014672e-03,1.033390e-03,1.038241e-03,1.058061e-03,1.070831e-03,1.074479e-03,1.087812e-03,1.095865e-03,1.098351e-03,1.106363e-03,1.110703e-03,1.112089e-03,1.115753e-03,1.117200e-03,1.117558e-03,1.117688e-03,1.116908e-03,1.116314e-03,1.113589e-03,1.111120e-03,1.109655e-03,1.104640e-03,1.100918e-03,1.098661e-03,1.091824e-03,1.087198e-03,1.084227e-03,1.075959e-03,1.070709e-03,1.067099e-03,1.057721e-03,1.052071e-03,1.047893e-03,1.037674e-03,1.031801e-03,1.027120e-03,1.016280e-03,1.010325e-03,1.005201e-03,9.939240e-04,9.879940e-04,9.824857e-04,9.709201e-04,9.650992e-04,9.592577e-04,9.475264e-04,9.418784e-04,9.357513e-04,9.239550e-04,9.185273e-04,9.121577e-04,9.003777e-04,8.952042e-04,8.886314e-04,8.769339e-04,8.720387e-04,8.652982e-04,8.537362e-04,8.491344e-04,8.422584e-04,8.308741e-04,8.265744e-04,8.195919e-04,8.084190e-04,8.044248e-04,7.973619e-04,7.864262e-04,7.827366e-04,7.756168e-04,7.649382e-04,7.615492e-04,7.543938e-04,7.439869e-04,7.408921e-04,7.337202e-04,7.235956e-04,7.207865e-04,7.136150e-04,7.037798e-04,7.012465e-04,6.940908e-04,6.845490e-04,6.822809e-04,6.751547e-04,6.659082e-04,6.638938e-04,6.568093e-04,6.478580e-04,6.460854e-04,6.390537e-04,6.303959e-04,6.288530e-04,6.218838e-04,6.135166e-04,6.121912e-04,6.052933e-04,5.972128e-04,5.960929e-04,5.892740e-04,5.814755e-04,5.805491e-04,5.738161e-04,5.662943e-04,5.655497e-04,5.589088e-04,5.516579e-04,5.510836e-04,5.445401e-04,5.375539e-04,5.371389e-04,5.306977e-04,5.239697e-04,5.237032e-04,5.173683e-04,5.108919e-04,5.107637e-04,5.045388e-04,4.983072e-04,4.863205e-04,4.747904e-04,4.637037e-04,4.530470e-04,4.428075e-04,4.329721e-04,4.235282e-04,4.144634e-04,4.057655e-04,3.974224e-04,3.894226e-04,3.817546e-04,3.744072e-04,3.673698e-04,3.606316e-04,3.541824e-04,3.480123e-04,3.421115e-04,3.364707e-04,3.310805e-04,3.259323e-04,3.210173e-04,3.163271e-04,3.118537e-04,3.075891e-04,3.035257e-04,2.996562e-04,2.959732e-04,2.924699e-04,2.891394e-04,2.859753e-04,2.829712e-04,2.801210e-04,2.774186e-04,2.748584e-04,2.724347e-04,2.701422e-04,2.679755e-04,2.659296e-04,2.639996e-04,2.621807e-04,2.604683e-04,2.588580e-04,2.573454e-04,2.559263e-04,2.545967e-04,2.533527e-04,2.521905e-04,2.511064e-04
0.000000e+00,1.049307e-10,1.154065e-08,1.238815e-08,2.313201e-07,1.801940e-06,1.940259e-06,9.695962e-06,3.101876e-05,3.309146e-05,8.449924e-05,1.646707e-04,1.732417e-04,3.011871e-04,4.450931e-04,4.624232e-04,6.458362e-04,8.152712e-04,8.384513e-04,1.028144e-03,1.181481e-03,1.205235e-03,1.363082e-03,1.478000e-03,1.497958e-03,1.608562e-03,1.681449e-03,1.695386e-03,1.760111e-03,1.797551e-03,1.805093e-03,1.832982e-03,1.844590e-03,1.846446e-03,1.848002e-03,1.842628e-03,1.839920e-03,1.824179e-03,1.808603e-03,1.802467e-03,1.776194e-03,1.755110e-03,1.746514e-03,1.714365e-03,1.690801e-03,1.680499e-03,1.645510e-03,1.621321e-03,1.609868e-03,1.573937e-03,1.550204e-03,1.537999e-03,1.502273e-03,1.479598e-03,1.466924e-03,1.432076e-03,1.410763e-03,1.397820e-03,1.364225e-03,1.344405e-03,1.331337e-03,1.299190e-03,1.280893e-03,1.267805e-03,1.237194e-03,1.220392e-03,1.207363e-03,1.178310e-03,1.162945e-03,1.150033e-03,1.122524e-03,1.108520e-03,1.095773e-03,1.069769e-03,1.057043e-03,1.044499e-03,1.019949e-03,1.008417e-03,9.961046e-04,9.729508e-04,9.625276e-04,9.504720e-04,9.286529e-04,9.192573e-04,9.074775e-04,8.869301e-04,8.784837e-04,8.669950e-04,8.476567e-04,8.400850e-04,8.288998e-04,8.107090e-04,8.039419e-04,7.930695e-04,7.759664e-04,7.699377e-04,7.593852e-04,7.433117e-04,7.379598e-04,7.277319e-04,7.126321e-04,7.078994e-04,6.979991e-04,6.838196e-04,6.796523e-04,6.700810e-04,6.567707e-04,6.531189e-04,6.438765e-04,6.313865e-04,6.282039e-04,6.192891e-04,6.075730e-04,6.048166e-04,5.962271e-04,5.852407e-04,5.828709e-04,5.746033e-04,5.643047e-04,5.622848e-04,5.543350e-04,5.446845e-04,5.429806e-04,5.353438e-04,5.263037e-04,5.248846e-04,5.175554e-04,5.090901e-04,5.079271e-04,5.008995e-04,4.929754e-04,4.920420e-04,4.853098e-04,4.778949e-04,4.771669e-04,4.707233e-04,4.637876e-04,4.632428e-04,4.570808e-04,4.505959e-04,4.502137e-04,4.443262e-04,4.382652e-04,4.380270e-04,4.324066e-04,4.267443e-04,4.266330e-04,4.212722e-04,4.159846e-04,4.060376e-04,3.967501e-04,3.880828e-04,3.799983e-04,3.724618e-04,3.654400e-04,3.589019e-04,3.528182e-04,3.471611e-04,3.419047e-04,3.370243e-04,3.324969e-04,3.283006e-04,3.244150e-04,3.208208e-04,3.174997e-04,3.144347e-04,3.116097e-04,3.090094e-04,3.066195e-04,3.044267e-04,3.024182e-04,3.005822e-04,2.989074e-04,2.973832e-04,2.959998e-04,2.947478e-04,2.936184e-04,2.926034e-04,2.916950e-04,2.908858e-04,2.901691e-04,2.895384e-04,2.889875e-04,2.885107e-04,2.881028e-04,2.877586e-04,2.874734e-04,2.872429e-04,2.870628e-04,2.869292e-04,2.868385e-04,2.867872e-04,2.867721e-04,2.867902e-04,2.868386e-04,2.869147e-04,2.870160e-04,2.871401e-04
0.000000e+00,1.898211e-11,2.846053e-09,3.075005e-09,7.625551e-08,7.133240e-07,7.727240e-07,4.360994e-06,1.517652e-05,1.627189e-05,4.520866e-05,9.591057e-05,1.016952e-04,1.960721e-04,3.204370e-04,3.367728e-04,5.292208e-04,7.430189e-04,7.753754e-04,1.073804e-03,1.368982e-03,1.420119e-03,1.807612e-03,2.158880e-03,2.227973e-03,2.671982e-03,3.047047e-03,3.130138e-03,3.593166e-03,3.961258e-03,4.052421e-03,4.500161e-03,4.837079e-03,4.929725e-03,5.335616e-03,5.625559e-03,5.713512e-03,6.060227e-03,6.295427e-03,6.373622e-03,6.652507e-03,6.831699e-03,6.896511e-03,7.105956e-03,7.232462e-03,7.281733e-03,7.425186e-03,7.505119e-03,7.537999e-03,7.622100e-03,7.662888e-03,7.679577e-03,7.712604e-03,7.721929e-03,7.723386e-03,7.714104e-03,7.699208e-03,7.686882e-03,7.643752e-03,7.611045e-03,7.586641e-03,7.517354e-03,7.472255e-03,7.437567e-03,7.348822e-03,7.295741e-03,7.252524e-03,7.149949e-03,7.092356e-03,7.042243e-03,6.930433e-03,6.870978e-03,6.815435e-03,6.698056e-03,6.638700e-03,6.579009e-03,6.458917e-03,6.401065e-03,6.338324e-03,6.217699e-03,6.162316e-03,6.097449e-03,5.977921e-03,5.925635e-03,5.859410e-03,5.742166e-03,5.693353e-03,5.626401e-03,5.512287e-03,5.467138e-03,5.399972e-03,5.289571e-03,5.248141e-03,5.181179e-03,5.074870e-03,5.037120e-03,4.970699e-03,4.868708e-03,4.834533e-03,4.768925e-03,4.671366e-03,4.640618e-03,4.576039e-03,4.482945e-03,4.455451e-03,4.392075e-03,4.303418e-03,4.278988e-03,4.216954e-03,4.132664e-03,4.111101e-03,4.050520e-03,3.970496e-03,3.951602e-03,3.892560e-03,3.816680e-03,3.800259e-03,3.742823e-03,3.670954e-03,3.656816e-03,3.601037e-03,3.533034e-03,3.520994e-03,3.466910e-03,3.402626e-03,3.392509e-03,3.340145e-03,3.279428e-03,3.271067e-03,3.220439e-03,3.163140e-03,3.156376e-03,3.107493e-03,3.053461e-03,3.048145e-03,3.001007e-03,2.950096e-03,2.946088e-03,2.900690e-03,2.852754e-03,2.849924e-03,2.806254e-03,2.761154e-03,2.759379e-03,2.717421e-03,2.675021e-03,2.674187e-03,2.633921e-03,2.594089e-03,2.518837e-03,2.448190e-03,2.381917e-03,2.319795e-03,2.261612e-03,2.207162e-03,2.156250e-03,2.108689e-03,2.064300e-03,2.022912e-03,1.984361e-03,1.948494e-03,1.915160e-03,1.884221e-03,1.855540e-03,1.828990e-03,1.804449e-03,1.781803e-03,1.760940e-03,1.741756e-03,1.724152e-03,1.708034e-03,1.693312e-03,1.679901e-03,1.667721e-03,1.656694e-03,1.646749e-03,1.637815e-03,1.629828e-03,1.622726e-03,1.616449e-03,1.610944e-03,1.606155e-03,1.602034e-03,1.598534e-03,1.595610e-03,1.593218e-03,1.591321e-03,1.589879e-03,1.588858e-03,1.588223e-03,1.587943e-03,1.587987e-03,1.588329e-03,1.588940e-03,1.589797e-03,1.590874e-03,1.592152e-03,1.593608e-03
0.000000e+00,1.220850e-09,9.018251e-08,9.615645e-08,1.345991e-06,8.242310e-06,8.786281e-06,3.382656e-05,8.296305e-05,8.697387e-05,1.658719e-04,2.503714e-04,2.579038e-04,3.511057e-04,4.303098e-04,4.387238e-04,5.181566e-04,5.808860e-04,5.889302e-04,6.514174e-04,6.990126e-04,7.062549e-04,7.541240e-04,7.894308e-04,7.956815e-04,8.315375e-04,8.570800e-04,8.622530e-04,8.883407e-04,9.061945e-04,9.102681e-04,9.284603e-04,9.403065e-04,9.433027e-04,9.551447e-04,9.623334e-04,9.643020e-04,9.710603e-04,9.746693e-04,9.756770e-04,9.783848e-04,9.792709e-04,9.793933e-04,9.788913e-04,9.777331e-04,9.770491e-04,9.740200e-04,9.713532e-04,9.699420e-04,9.649392e-04,9.611856e-04,9.591235e-04,9.525953e-04,9.480855e-04,9.454450e-04,9.377539e-04,9.327462e-04,9.295951e-04,9.210339e-04,9.157288e-04,9.121293e-04,9.029342e-04,8.974870e-04,8.934962e-04,8.838578e-04,8.783871e-04,8.740570e-04,8.641280e-04,8.587240e-04,8.541015e-04,8.440048e-04,8.387348e-04,8.338620e-04,8.236951e-04,8.186087e-04,8.135234e-04,8.033643e-04,7.984969e-04,7.932330e-04,7.831432e-04,7.785191e-04,7.731068e-04,7.631347e-04,7.587698e-04,7.532361e-04,7.434193e-04,7.393224e-04,7.336914e-04,7.240588e-04,7.202338e-04,7.145270e-04,7.051008e-04,7.015473e-04,6.957842e-04,6.865807e-04,6.832956e-04,6.774931e-04,6.685238e-04,6.655016e-04,6.596750e-04,6.509482e-04,6.481816e-04,6.423447e-04,6.338654e-04,6.313460e-04,6.255111e-04,6.172820e-04,6.150004e-04,6.091785e-04,6.012004e-04,5.991466e-04,5.933476e-04,5.856198e-04,5.837836e-04,5.780164e-04,5.705369e-04,5.689080e-04,5.631805e-04,5.559465e-04,5.545143e-04,5.488338e-04,5.418415e-04,5.405956e-04,5.349685e-04,5.282137e-04,5.271438e-04,5.215760e-04,5.150540e-04,5.141501e-04,5.086467e-04,5.023527e-04,5.016049e-04,4.961706e-04,4.900992e-04,4.894981e-04,4.841371e-04,4.782830e-04,4.778193e-04,4.725354e-04,4.668931e-04,4.665578e-04,4.613545e-04,4.559183e-04,4.557030e-04,4.505832e-04,4.453476e-04,4.452439e-04,4.402103e-04,4.351698e-04,4.254701e-04,4.161340e-04,4.071510e-04,3.985109e-04,3.902035e-04,3.822187e-04,3.745469e-04,3.671785e-04,3.601041e-04,3.533146e-04,3.468010e-04,3.405548e-04,3.345674e-04,3.288306e-04,3.233363e-04,3.180767e-04,3.130441e-04,3.082312e-04,3.036307e-04,2.992356e-04,2.950390e-04,2.910343e-04,2.872151e-04,2.835749e-04,2.801078e-04,2.768077e-04,2.736688e-04,2.706856e-04,2.678525e-04,2.651642e-04,2.626156e-04,2.602016e-04,2.579172e-04,2.557579e-04,2.537188e-04,2.517956e-04,2.499839e-04,2.482793e-04,2.466779e-04,2.451755e-04,2.437683e-04,2.424525e-04,2.412244e-04,2.400804e-04,2.390171e-04,2.380311e-04,2.371192e-04,2.362780e-04,2.355047e-04
0.000000e+00,7.967039e-09,1.590957e-07,1.666177e-07,1.079642e-06,3.564653e-06,3.711515e-06,8.471064e-06,1.438436e-05,1.478899e-05,2.165342e-05,2.773742e-05,2.824320e-05,3.419058e-05,3.893809e-05,3.943106e-05,4.400020e-05,4.751050e-05,4.795448e-05,5.135154e-05,5.386895e-05,5.424580e-05,5.668750e-05,5.842256e-05,5.872263e-05,6.039318e-05,6.151783e-05,6.173727e-05,6.278952e-05,6.344238e-05,6.358131e-05,6.414104e-05,6.443316e-05,6.449441e-05,6.466466e-05,6.468455e-05,6.467274e-05,6.453762e-05,6.435558e-05,6.427644e-05,6.390468e-05,6.357646e-05,6.343631e-05,6.288371e-05,6.245288e-05,6.225820e-05,6.156991e-05,6.107068e-05,6.082792e-05,6.004042e-05,5.949937e-05,5.921481e-05,5.835766e-05,5.779527e-05,5.747484e-05,5.657162e-05,5.600346e-05,5.565269e-05,5.472222e-05,5.415998e-05,5.378396e-05,5.284120e-05,5.229351e-05,5.189688e-05,5.095358e-05,5.042663e-05,5.001358e-05,4.907889e-05,4.857699e-05,4.815127e-05,4.723225e-05,4.675822e-05,4.632318e-05,4.542519e-05,4.498066e-05,4.453927e-05,4.366627e-05,4.325204e-05,4.280691e-05,4.196176e-05,4.157791e-05,4.113134e-05,4.031602e-05,3.996215e-05,3.951612e-05,3.873188e-05,3.840721e-05,3.796346e-05,3.721096e-05,3.691444e-05,3.647446e-05,3.575395e-05,3.548434e-05,3.504940e-05,3.436075e-05,3.411671e-05,3.368790e-05,3.303071e-05,3.281081e-05,3.238904e-05,3.176270e-05,3.156549e-05,3.115152e-05,3.055528e-05,3.037929e-05,2.997377e-05,2.940674e-05,2.925053e-05,2.885396e-05,2.831518e-05,2.817736e-05,2.779015e-05,2.727860e-05,2.715780e-05,2.678027e-05,2.629491e-05,2.618984e-05,2.582223e-05,2.536198e-05,2.527140e-05,2.491388e-05,2.447768e-05,2.440040e-05,2.405309e-05,2.363987e-05,2.357479e-05,2.323775e-05,2.284646e-05,2.279253e-05,2.246576e-05,2.209540e-05,2.205163e-05,2.173511e-05,2.138466e-05,2.135015e-05,2.104381e-05,2.071232e-05,2.068620e-05,2.038996e-05,2.007649e-05,2.005796e-05,1.977170e-05,1.947536e-05,1.946368e-05,1.918725e-05,1.890718e-05,1.890166e-05,1.863492e-05,1.837028e-05,1.786799e-05,1.739331e-05,1.694482e-05,1.652116e-05,1.612104e-05,1.574324e-05,1.538658e-05,1.504996e-05,1.473231e-05,1.443264e-05,1.414998e-05,1.388344e-05,1.363215e-05,1.339529e-05,1.317211e-05,1.296185e-05,1.276383e-05,1.257738e-05,1.240189e-05,1.223675e-05,1.208141e-05,1.193534e-05,1.179803e-05,1.166900e-05,1.154780e-05,1.143401e-05,1.132721e-05,1.122703e-05,1.113309e-05,1.104507e-05,1.096262e-05,1.088543e-05,1.081323e-05,1.074573e-05,1.068266e-05,1.062379e-05,1.056887e-05,1.051768e-05,1.047002e-05,1.042567e-05,1.038447e-05,1.034622e-05,1.031076e-05,1.027792e-05,1.024757e-05,1.021955e-05,1.019373e-05,1.016998e-05,1.014818e-05
0.000000e+00,2.518594e-09,1.425993e-07,1.514688e-07,1.810178e-06,9.711302e-06,1.029808e-05,3.519707e-05,7.917226e-05,8.260765e-05,1.472353e-04,2.124520e-04,2.181528e-04,2.881963e-04,3.482361e-04,3.547019e-04,4.170340e-04,4.684159e-04,4.751756e-04,5.292644e-04,5.726706e-04,5.794729e-04,6.259803e-04,6.623167e-04,6.689648e-04,7.086010e-04,7.387239e-04,7.450593e-04,7.785046e-04,8.031985e-04,8.090959e-04,8.369862e-04,8.569603e-04,8.623224e-04,8.852449e-04,9.011346e-04,9.058880e-04,9.243800e-04,9.367512e-04,9.408430e-04,9.553936e-04,9.647484e-04,9.681428e-04,9.791962e-04,9.859786e-04,9.886543e-04,9.966127e-04,1.001214e-03,1.003162e-03,1.008389e-03,1.011154e-03,1.012375e-03,1.015199e-03,1.016430e-03,1.016934e-03,1.017650e-03,1.017613e-03,1.017415e-03,1.016292e-03,1.015216e-03,1.014340e-03,1.011616e-03,1.009704e-03,1.008175e-03,1.004067e-03,1.001494e-03,9.993410e-04,9.940424e-04,9.909584e-04,9.882146e-04,9.818986e-04,9.784344e-04,9.751333e-04,9.679555e-04,9.642227e-04,9.603996e-04,9.524985e-04,9.485925e-04,9.442832e-04,9.357830e-04,9.317848e-04,9.270254e-04,9.180364e-04,9.140143e-04,9.088406e-04,8.994611e-04,8.954723e-04,8.899198e-04,8.802372e-04,8.763289e-04,8.704325e-04,8.605240e-04,8.567352e-04,8.505288e-04,8.404628e-04,8.368247e-04,8.303411e-04,8.201779e-04,8.167153e-04,8.099863e-04,7.997788e-04,7.965109e-04,7.895669e-04,7.793615e-04,7.763027e-04,7.691727e-04,7.590099e-04,7.561702e-04,7.488820e-04,7.387970e-04,7.361829e-04,7.287627e-04,7.187861e-04,7.164010e-04,7.088736e-04,6.990314e-04,6.968762e-04,6.892651e-04,6.795797e-04,6.776528e-04,6.699800e-04,6.604704e-04,6.587685e-04,6.510547e-04,6.417366e-04,6.402550e-04,6.325194e-04,6.234060e-04,6.221385e-04,6.143991e-04,6.055011e-04,6.044408e-04,5.967142e-04,5.880401e-04,5.871790e-04,5.794806e-04,5.710372e-04,5.703667e-04,5.627109e-04,5.545029e-04,5.540142e-04,5.464140e-04,5.384448e-04,5.381286e-04,5.305960e-04,5.228679e-04,5.227145e-04,5.152606e-04,5.077744e-04,4.933083e-04,4.793150e-04,4.657913e-04,4.527328e-04,4.401340e-04,4.279885e-04,4.162888e-04,4.050271e-04,3.941945e-04,3.837821e-04,3.737801e-04,3.641789e-04,3.549683e-04,3.461380e-04,3.376778e-04,3.295772e-04,3.218257e-04,3.144130e-04,3.073287e-04,3.005625e-04,2.941043e-04,2.879440e-04,2.820718e-04,2.764779e-04,2.711528e-04,2.660871e-04,2.612718e-04,2.566978e-04,2.523564e-04,2.482392e-04,2.443377e-04,2.406440e-04,2.371501e-04,2.338484e-04,2.307316e-04,2.277922e-04,2.250234e-04,2.224184e-04,2.199705e-04,2.176734e-04,2.155210e-04,2.135071e-04,2.116261e-04,2.098722e-04,2.082402e-04,2.067247e-04,2.053206e-04,2.040231e-04,2.028275e-04
0.000000e+00,3.483256e-10,5.086241e-08,5.493937e-08,1.223563e-06,8.638107e-06,9.217118e-06,3.356812e-05,7.375516e-05,7.678739e-05,1.325646e-04,1.880431e-04,1.928862e-04,2.522261e-04,3.024543e-04,3.078042e-04,3.585814e-04,3.991428e-04,4.043801e-04,4.453836e-04,4.770468e-04,4.819021e-04,5.142766e-04,5.385150e-04,5.428431e-04,5.679206e-04,5.860907e-04,5.898076e-04,6.087818e-04,6.220373e-04,6.251002e-04,6.390004e-04,6.483052e-04,6.507011e-04,6.604036e-04,6.665552e-04,6.682925e-04,6.745372e-04,6.781915e-04,6.792929e-04,6.827016e-04,6.843953e-04,6.848934e-04,6.859874e-04,6.861586e-04,6.860924e-04,6.853078e-04,6.843128e-04,6.837244e-04,6.814252e-04,6.795525e-04,6.784857e-04,6.749751e-04,6.724578e-04,6.709562e-04,6.664865e-04,6.635120e-04,6.616182e-04,6.563988e-04,6.531169e-04,6.508719e-04,6.450767e-04,6.416069e-04,6.390492e-04,6.328220e-04,6.292587e-04,6.264246e-04,6.198840e-04,6.163012e-04,6.132245e-04,6.064682e-04,6.029235e-04,5.996352e-04,5.927435e-04,5.892808e-04,5.858095e-04,5.788479e-04,5.755006e-04,5.718722e-04,5.648944e-04,5.616869e-04,5.579253e-04,5.509745e-04,5.479243e-04,5.440508e-04,5.371619e-04,5.342807e-04,5.303149e-04,5.235157e-04,5.208107e-04,5.167700e-04,5.100826e-04,5.075576e-04,5.034578e-04,4.968994e-04,4.945552e-04,4.904106e-04,4.839942e-04,4.818296e-04,4.776528e-04,4.713884e-04,4.694003e-04,4.652027e-04,4.590974e-04,4.572816e-04,4.530735e-04,4.471321e-04,4.454834e-04,4.412738e-04,4.354993e-04,4.340117e-04,4.298089e-04,4.242028e-04,4.228699e-04,4.186811e-04,4.132438e-04,4.120588e-04,4.078905e-04,4.026211e-04,4.015772e-04,3.974351e-04,3.923321e-04,3.914224e-04,3.873116e-04,3.823728e-04,3.815902e-04,3.775153e-04,3.727381e-04,3.720757e-04,3.680406e-04,3.634220e-04,3.628730e-04,3.588813e-04,3.544178e-04,3.539756e-04,3.500305e-04,3.457184e-04,3.453767e-04,3.414808e-04,3.373165e-04,3.370689e-04,3.332246e-04,3.292042e-04,3.290448e-04,3.252542e-04,3.213737e-04,3.212968e-04,3.175616e-04,3.138170e-04,3.065979e-04,2.996316e-04,2.929104e-04,2.864269e-04,2.801736e-04,2.741431e-04,2.683282e-04,2.627220e-04,2.573176e-04,2.521084e-04,2.470877e-04,2.422494e-04,2.375872e-04,2.330953e-04,2.287677e-04,2.245990e-04,2.205836e-04,2.167163e-04,2.129920e-04,2.094058e-04,2.059528e-04,2.026286e-04,1.994285e-04,1.963483e-04,1.933837e-04,1.905309e-04,1.877857e-04,1.851445e-04,1.826037e-04,1.801596e-04,1.778089e-04,1.755483e-04,1.733746e-04,1.712848e-04,1.692758e-04,1.673449e-04,1.654892e-04,1.637060e-04,1.619928e-04,1.603472e-04,1.587666e-04,1.572488e-04,1.557915e-04,1.543925e-04,1.530498e-04,1.517613e-04,1.505251e-04,1.493393e-04,1.482020e-04
0.000000e+00,4.057149e-09,6.134981e-08,6.416122e-08,4.085918e-07,1.317344e-06,1.368000e-06,2.801928e-06,4.208137e-06,4.295851e-06,5.704182e-06,6.904643e-06,7.004694e-06,8.198227e-06,9.184903e-06,9.289599e-06,1.028429e-05,1.108401e-05,1.118780e-05,1.200554e-05,1.264424e-05,1.274281e-05,1.340474e-05,1.390619e-05,1.399631e-05,1.452229e-05,1.490785e-05,1.498723e-05,1.539546e-05,1.568397e-05,1.575107e-05,1.605791e-05,1.626573e-05,1.631961e-05,1.653957e-05,1.668079e-05,1.672097e-05,1.686681e-05,1.695347e-05,1.697986e-05,1.706275e-05,1.710513e-05,1.711792e-05,1.714763e-05,1.715442e-05,1.715400e-05,1.713901e-05,1.711757e-05,1.710451e-05,1.705220e-05,1.700871e-05,1.698369e-05,1.690045e-05,1.684009e-05,1.680386e-05,1.669522e-05,1.662233e-05,1.657571e-05,1.644643e-05,1.636461e-05,1.630843e-05,1.616263e-05,1.607486e-05,1.600994e-05,1.585117e-05,1.575989e-05,1.568708e-05,1.551836e-05,1.542557e-05,1.534568e-05,1.516961e-05,1.507691e-05,1.499073e-05,1.480953e-05,1.471822e-05,1.462650e-05,1.444206e-05,1.435314e-05,1.425660e-05,1.407051e-05,1.398479e-05,1.388411e-05,1.369771e-05,1.361577e-05,1.351160e-05,1.332603e-05,1.324830e-05,1.314123e-05,1.295742e-05,1.288422e-05,1.277480e-05,1.259354e-05,1.252505e-05,1.241380e-05,1.223572e-05,1.217205e-05,1.205944e-05,1.188507e-05,1.182624e-05,1.171271e-05,1.154246e-05,1.148843e-05,1.137439e-05,1.120857e-05,1.115928e-05,1.104508e-05,1.088396e-05,1.083927e-05,1.072525e-05,1.056900e-05,1.052878e-05,1.041523e-05,1.026398e-05,1.022806e-05,1.011526e-05,9.969081e-06,9.937265e-06,9.825459e-06,9.684397e-06,9.656491e-06,9.545895e-06,9.409951e-06,9.385753e-06,9.276559e-06,9.145710e-06,9.125009e-06,9.017391e-06,8.891588e-06,8.874175e-06,8.768284e-06,8.647459e-06,8.633125e-06,8.529092e-06,8.413162e-06,8.401702e-06,8.299643e-06,8.188509e-06,8.179721e-06,8.079735e-06,7.973291e-06,7.966978e-06,7.869149e-06,7.767279e-06,7.763251e-06,7.667650e-06,7.570231e-06,7.568305e-06,7.474991e-06,7.381897e-06,7.203775e-06,7.033685e-06,6.871369e-06,6.716567e-06,6.569022e-06,6.428479e-06,6.294685e-06,6.167390e-06,6.046350e-06,5.931325e-06,5.822080e-06,5.718388e-06,5.620025e-06,5.526775e-06,5.438429e-06,5.354781e-06,5.275636e-06,5.200801e-06,5.130092e-06,5.063330e-06,5.000344e-06,4.940967e-06,4.885039e-06,4.832406e-06,4.782917e-06,4.736432e-06,4.692810e-06,4.651921e-06,4.613636e-06,4.577833e-06,4.544394e-06,4.513205e-06,4.484158e-06,4.457149e-06,4.432077e-06,4.408846e-06,4.387364e-06,4.367542e-06,4.349295e-06,4.332543e-06,4.317206e-06,4.303211e-06,4.290485e-06,4.278960e-06,4.268570e-06,4.259253e-06,4.250947e-06,4.243596e-06,4.237144e-06
0.000000e+00,1.708389e-10,1.936654e-08,2.080407e-08,4.032833e-07,3.232334e-06,3.483662e-06,1.767759e-05,5.669083e-05,6.047252e-05,1.539301e-04,2.996378e-04,3.152676e-04,5.507688e-04,8.222520e-04,8.555205e-04,1.216683e-03,1.567953e-03,1.617582e-03,2.041079e-03,2.411515e-03,2.471731e-03,2.896854e-03,3.242538e-03,3.306796e-03,3.694735e-03,3.993263e-03,4.056253e-03,4.388842e-03,4.633330e-03,4.691436e-03,4.964008e-03,5.156199e-03,5.207249e-03,5.422321e-03,5.567820e-03,5.610671e-03,5.773901e-03,5.879500e-03,5.913680e-03,6.031679e-03,6.104072e-03,6.129532e-03,6.208813e-03,6.254063e-03,6.271017e-03,6.317558e-03,6.340938e-03,6.349760e-03,6.368862e-03,6.374858e-03,6.376020e-03,6.372309e-03,6.364694e-03,6.358727e-03,6.336204e-03,6.318128e-03,6.305597e-03,6.267701e-03,6.241775e-03,6.223255e-03,6.172939e-03,6.141317e-03,6.117384e-03,6.057173e-03,6.021623e-03,5.992844e-03,5.924893e-03,5.886857e-03,5.853780e-03,5.779926e-03,5.740569e-03,5.703721e-03,5.625524e-03,5.585782e-03,5.545664e-03,5.464445e-03,5.425060e-03,5.382145e-03,5.299020e-03,5.260570e-03,5.215302e-03,5.131206e-03,5.094135e-03,5.046927e-03,4.962643e-03,4.927282e-03,4.878517e-03,4.794696e-03,4.761283e-03,4.711314e-03,4.628491e-03,4.597188e-03,4.546338e-03,4.464951e-03,4.435857e-03,4.384420e-03,4.304823e-03,4.277986e-03,4.226230e-03,4.148704e-03,4.124130e-03,4.072298e-03,3.997061e-03,3.974724e-03,3.923034e-03,3.850253e-03,3.830102e-03,3.778748e-03,3.708544e-03,3.690507e-03,3.639663e-03,3.572120e-03,3.556110e-03,3.505928e-03,3.441098e-03,3.427018e-03,3.377634e-03,3.315540e-03,3.303286e-03,3.254816e-03,3.195461e-03,3.184922e-03,3.137469e-03,3.080835e-03,3.071899e-03,3.025551e-03,2.971606e-03,2.964160e-03,2.918990e-03,2.867689e-03,2.861621e-03,2.817691e-03,2.768979e-03,2.764178e-03,2.721539e-03,2.675354e-03,2.671713e-03,2.630406e-03,2.586677e-03,2.584092e-03,2.544149e-03,2.502802e-03,2.501172e-03,2.462617e-03,2.423575e-03,2.422806e-03,2.385655e-03,2.348837e-03,2.279109e-03,2.213461e-03,2.151734e-03,2.093768e-03,2.039406e-03,1.988491e-03,1.940872e-03,1.896399e-03,1.854926e-03,1.816312e-03,1.780418e-03,1.747111e-03,1.716263e-03,1.687749e-03,1.661449e-03,1.637247e-03,1.615032e-03,1.594697e-03,1.576140e-03,1.559262e-03,1.543968e-03,1.530169e-03,1.517777e-03,1.506710e-03,1.496888e-03,1.488236e-03,1.480682e-03,1.474155e-03,1.468591e-03,1.463926e-03,1.460101e-03,1.457057e-03,1.454741e-03,1.453101e-03,1.452087e-03,1.451652e-03,1.451752e-03,1.452345e-03,1.453389e-03,1.454848e-03,1.456685e-03,1.458865e-03,1.461356e-03,1.464127e-03,1.467150e-03,1.470397e-03,1.473843e-03,1.477463e-03,1.481233e-03
0.000000e+00,7.382526e-10,9.525583e-09,9.940245e-09,6.065895e-08,2.087557e-07,2.177992e-07,5.127038e-07,8.565501e-07,8.789116e-07,1.243511e-06,1.557278e-06,1.583439e-06,1.895215e-06,2.152305e-06,2.179544e-06,2.437940e-06,2.645172e-06,2.672033e-06,2.883433e-06,3.048268e-06,3.073687e-06,3.244274e-06,3.373399e-06,3.396600e-06,3.531994e-06,3.631264e-06,3.651710e-06,3.756926e-06,3.831402e-06,3.848744e-06,3.928196e-06,3.982206e-06,3.996245e-06,4.053786e-06,4.091007e-06,4.101657e-06,4.140635e-06,4.164181e-06,4.171444e-06,4.194752e-06,4.207240e-06,4.211181e-06,4.221311e-06,4.224944e-06,4.225680e-06,4.224788e-06,4.221414e-06,4.219099e-06,4.209044e-06,4.200213e-06,4.195026e-06,4.177422e-06,4.164431e-06,4.156571e-06,4.132792e-06,4.116708e-06,4.106379e-06,4.077600e-06,4.059303e-06,4.046707e-06,4.013930e-06,3.994140e-06,3.979481e-06,3.943557e-06,3.922863e-06,3.906339e-06,3.867996e-06,3.846877e-06,3.828681e-06,3.788536e-06,3.767376e-06,3.747692e-06,3.706268e-06,3.685374e-06,3.664376e-06,3.622116e-06,3.601729e-06,3.579582e-06,3.536858e-06,3.517162e-06,3.494021e-06,3.451143e-06,3.432281e-06,3.408289e-06,3.365518e-06,3.347592e-06,3.322884e-06,3.280436e-06,3.263520e-06,3.238219e-06,3.196273e-06,3.180412e-06,3.154634e-06,3.113333e-06,3.098554e-06,3.072402e-06,3.031866e-06,3.018178e-06,2.991748e-06,2.952069e-06,2.939468e-06,2.912848e-06,2.874100e-06,2.862570e-06,2.835840e-06,2.798079e-06,2.787597e-06,2.760828e-06,2.724095e-06,2.714631e-06,2.687889e-06,2.652214e-06,2.643731e-06,2.617075e-06,2.582476e-06,2.574938e-06,2.548420e-06,2.514908e-06,2.508270e-06,2.481940e-06,2.449516e-06,2.443737e-06,2.417635e-06,2.386296e-06,2.381332e-06,2.355497e-06,2.325234e-06,2.321040e-06,2.295505e-06,2.266306e-06,2.262837e-06,2.237632e-06,2.209479e-06,2.206692e-06,2.181843e-06,2.154718e-06,2.152570e-06,2.128098e-06,2.101980e-06,2.100428e-06,2.076355e-06,2.051219e-06,2.050224e-06,2.026566e-06,2.002389e-06,2.001910e-06,1.978682e-06,1.955438e-06,1.910757e-06,1.867817e-06,1.826564e-06,1.786948e-06,1.748917e-06,1.712419e-06,1.677403e-06,1.643820e-06,1.611619e-06,1.580754e-06,1.551175e-06,1.522838e-06,1.495698e-06,1.469709e-06,1.444831e-06,1.421021e-06,1.398240e-06,1.376448e-06,1.355608e-06,1.335684e-06,1.316640e-06,1.298443e-06,1.281058e-06,1.264456e-06,1.248604e-06,1.233473e-06,1.219036e-06,1.205263e-06,1.192130e-06,1.179609e-06,1.167677e-06,1.156310e-06,1.145484e-06,1.135179e-06,1.125372e-06,1.116044e-06,1.107174e-06,1.098744e-06,1.090736e-06,1.083132e-06,1.075915e-06,1.069069e-06,1.062578e-06,1.056428e-06,1.050604e-06,1.045093e-06,1.039880e-06,1.034953e-06,1.030300e-06
0.000000e+00,1.618354e-08,2.711835e-07,2.830586e-07,1.713051e-06,6.031364e-06,6.304797e-06,1.596293e-05,2.925463e-05,3.018955e-05,4.628026e-05,6.094777e-05,6.219239e-05,7.722366e-05,8.986768e-05,9.122011e-05,1.041747e-04,1.147368e-04,1.161180e-04,1.270918e-04,1.357886e-04,1.371417e-04,1.463146e-04,1.533765e-04,1.546576e-04,1.622172e-04,1.678634e-04,1.690389e-04,1.751666e-04,1.795977e-04,1.806428e-04,1.855079e-04,1.889036e-04,1.898008e-04,1.935582e-04,1.960774e-04,1.968152e-04,1.996051e-04,2.013873e-04,2.019592e-04,2.039074e-04,2.050746e-04,2.054778e-04,2.066970e-04,2.073551e-04,2.075902e-04,2.081811e-04,2.084216e-04,2.084920e-04,2.085439e-04,2.084459e-04,2.083566e-04,2.079488e-04,2.075803e-04,2.073381e-04,2.065410e-04,2.059600e-04,2.055729e-04,2.044485e-04,2.037045e-04,2.031813e-04,2.017843e-04,2.009193e-04,2.002695e-04,1.986483e-04,1.976979e-04,1.969312e-04,1.951280e-04,1.941218e-04,1.932481e-04,1.912999e-04,1.902627e-04,1.892918e-04,1.872312e-04,1.861834e-04,1.851251e-04,1.829801e-04,1.819385e-04,1.808023e-04,1.785975e-04,1.775756e-04,1.763708e-04,1.741272e-04,1.731359e-04,1.718713e-04,1.696073e-04,1.686550e-04,1.673391e-04,1.650702e-04,1.641633e-04,1.628041e-04,1.605438e-04,1.596870e-04,1.582921e-04,1.560517e-04,1.552483e-04,1.538248e-04,1.516138e-04,1.508660e-04,1.494205e-04,1.472468e-04,1.465556e-04,1.450943e-04,1.429646e-04,1.423303e-04,1.408589e-04,1.387785e-04,1.382006e-04,1.367244e-04,1.346976e-04,1.341752e-04,1.326989e-04,1.307291e-04,1.302607e-04,1.287888e-04,1.268785e-04,1.264623e-04,1.249988e-04,1.231499e-04,1.227839e-04,1.213323e-04,1.195461e-04,1.192279e-04,1.177915e-04,1.160688e-04,1.157961e-04,1.143778e-04,1.127187e-04,1.124889e-04,1.110913e-04,1.094958e-04,1.093064e-04,1.079318e-04,1.063993e-04,1.062478e-04,1.048982e-04,1.034281e-04,1.033118e-04,1.019889e-04,1.005803e-04,1.004967e-04,9.920194e-05,9.785361e-05,9.780030e-05,9.653495e-05,9.524561e-05,9.522012e-05,9.398524e-05,9.275346e-05,9.039740e-05,8.814885e-05,8.600459e-05,8.396134e-05,8.201574e-05,8.016442e-05,7.840398e-05,7.673105e-05,7.514228e-05,7.363435e-05,7.220401e-05,7.084807e-05,6.956339e-05,6.834692e-05,6.719570e-05,6.610683e-05,6.507753e-05,6.410506e-05,6.318683e-05,6.232030e-05,6.150302e-05,6.073266e-05,6.000694e-05,5.932371e-05,5.868087e-05,5.807643e-05,5.750847e-05,5.697514e-05,5.647471e-05,5.600547e-05,5.556583e-05,5.515426e-05,5.476927e-05,5.440948e-05,5.407355e-05,5.376021e-05,5.346823e-05,5.319647e-05,5.294382e-05,5.270924e-05,5.249171e-05,5.229031e-05,5.210412e-05,5.193228e-05,5.177398e-05,5.162845e-05,5.149495e-05,5.137277e-05,5.126125e-05
0.000000e+00,1.654385e-09,3.493515e-08,3.670019e-08,2.669043e-07,8.879714e-07,9.222835e-07,1.877562e-06,2.800355e-06,2.857792e-06,3.779654e-06,4.565682e-06,4.631219e-06,5.413482e-06,6.061039e-06,6.129811e-06,6.783935e-06,7.311030e-06,7.379528e-06,7.920117e-06,8.343606e-06,8.409073e-06,8.849618e-06,9.184518e-06,9.244828e-06,9.597637e-06,9.857262e-06,9.910835e-06,1.018707e-05,1.038314e-05,1.042886e-05,1.063858e-05,1.078134e-05,1.081847e-05,1.097065e-05,1.106900e-05,1.109710e-05,1.119972e-05,1.126134e-05,1.128024e-05,1.134034e-05,1.137183e-05,1.138156e-05,1.140535e-05,1.141237e-05,1.141308e-05,1.140603e-05,1.139341e-05,1.138540e-05,1.135231e-05,1.132416e-05,1.130782e-05,1.125290e-05,1.121270e-05,1.118847e-05,1.111540e-05,1.106612e-05,1.103450e-05,1.094651e-05,1.089060e-05,1.085212e-05,1.075199e-05,1.069152e-05,1.064672e-05,1.053688e-05,1.047357e-05,1.042299e-05,1.030555e-05,1.024081e-05,1.018500e-05,1.006177e-05,9.996763e-06,9.936253e-06,9.808811e-06,9.744475e-06,9.679783e-06,9.549480e-06,9.486567e-06,9.418191e-06,9.286184e-06,9.225289e-06,9.153706e-06,9.020983e-06,8.962562e-06,8.888224e-06,8.755623e-06,8.700021e-06,8.623356e-06,8.491585e-06,8.439049e-06,8.360458e-06,8.230111e-06,8.180810e-06,8.100668e-06,7.972240e-06,7.926275e-06,7.844930e-06,7.718829e-06,7.676245e-06,7.594021e-06,7.470579e-06,7.431377e-06,7.348570e-06,7.228053e-06,7.192197e-06,7.109080e-06,6.991698e-06,6.959121e-06,6.875945e-06,6.761857e-06,6.732471e-06,6.649463e-06,6.538786e-06,6.512482e-06,6.429848e-06,6.322664e-06,6.299320e-06,6.217246e-06,6.113604e-06,6.093089e-06,6.011743e-06,5.911664e-06,5.893840e-06,5.813370e-06,5.716855e-06,5.701578e-06,5.622116e-06,5.529147e-06,5.516271e-06,5.437936e-06,5.348475e-06,5.337857e-06,5.260751e-06,5.174749e-06,5.166243e-06,5.090456e-06,5.007854e-06,5.001318e-06,4.926926e-06,4.847654e-06,4.842949e-06,4.770018e-06,4.693999e-06,4.690992e-06,4.619576e-06,4.546728e-06,4.545287e-06,4.475432e-06,4.405668e-06,4.271962e-06,4.143989e-06,4.021570e-06,3.904520e-06,3.792656e-06,3.685794e-06,3.583753e-06,3.486353e-06,3.393418e-06,3.304774e-06,3.220252e-06,3.139685e-06,3.062913e-06,2.989779e-06,2.920130e-06,2.853820e-06,2.790705e-06,2.730648e-06,2.673516e-06,2.619181e-06,2.567519e-06,2.518411e-06,2.471743e-06,2.427406e-06,2.385293e-06,2.345304e-06,2.307342e-06,2.271314e-06,2.237130e-06,2.204705e-06,2.173958e-06,2.144810e-06,2.117188e-06,2.091018e-06,2.066233e-06,2.042768e-06,2.020559e-06,1.999549e-06,1.979678e-06,1.960894e-06,1.943144e-06,1.926379e-06,1.910551e-06,1.895616e-06,1.881530e-06,1.868252e-06,1.855743e-06,1.843966e-06,1.832885e-06
0.000000e+00,8.173684e-12,9.904893e-10,1.065219e-09,2.210880e-08,1.963451e-07,2.126842e-07,1.243865e-06,4.645626e-06,5.005642e-06,1.508629e-05,3.418467e-05,3.643420e-05,7.436286e-05,1.265104e-04,1.334784e-04,2.169120e-04,3.115230e-04,3.259591e-04,4.600719e-04,5.938486e-04,6.170951e-04,7.936349e-04,9.539395e-04,9.854726e-04,1.187962e-03,1.358630e-03,1.396374e-03,1.606171e-03,1.772201e-03,1.813205e-03,2.013852e-03,2.163951e-03,2.205081e-03,2.384479e-03,2.511773e-03,2.550235e-03,2.701098e-03,2.802695e-03,2.836327e-03,2.955616e-03,3.031660e-03,3.059033e-03,3.146945e-03,3.199572e-03,3.219954e-03,3.278840e-03,3.311273e-03,3.324507e-03,3.357939e-03,3.373799e-03,3.380162e-03,3.392210e-03,3.395056e-03,3.395108e-03,3.389846e-03,3.382902e-03,3.377369e-03,3.358567e-03,3.344596e-03,3.334267e-03,3.305233e-03,3.286501e-03,3.272161e-03,3.235684e-03,3.213984e-03,3.196369e-03,3.154725e-03,3.131429e-03,3.111202e-03,3.066200e-03,3.042332e-03,3.020068e-03,2.973112e-03,2.949410e-03,2.925598e-03,2.877755e-03,2.854732e-03,2.829780e-03,2.781843e-03,2.759845e-03,2.734088e-03,2.686636e-03,2.665880e-03,2.639589e-03,2.593034e-03,2.573645e-03,2.547040e-03,2.501666e-03,2.483701e-03,2.456958e-03,2.412955e-03,2.396425e-03,2.369685e-03,2.327172e-03,2.312055e-03,2.285431e-03,2.244476e-03,2.230732e-03,2.204315e-03,2.164950e-03,2.152521e-03,2.126383e-03,2.088613e-03,2.077437e-03,2.051637e-03,2.015450e-03,2.005458e-03,1.980045e-03,1.945414e-03,1.936536e-03,1.911549e-03,1.878440e-03,1.870605e-03,1.846077e-03,1.814450e-03,1.807590e-03,1.783548e-03,1.753359e-03,1.747406e-03,1.723872e-03,1.695074e-03,1.689963e-03,1.666955e-03,1.639503e-03,1.635172e-03,1.612705e-03,1.586550e-03,1.582939e-03,1.561025e-03,1.536120e-03,1.533172e-03,1.511822e-03,1.488119e-03,1.485781e-03,1.465001e-03,1.442454e-03,1.440675e-03,1.420469e-03,1.399034e-03,1.397765e-03,1.378137e-03,1.357769e-03,1.356965e-03,1.337917e-03,1.318572e-03,1.318190e-03,1.299722e-03,1.281359e-03,1.246391e-03,1.213209e-03,1.181739e-03,1.151907e-03,1.123644e-03,1.096881e-03,1.071554e-03,1.047599e-03,1.024956e-03,1.003565e-03,9.833711e-04,9.643194e-04,9.463576e-04,9.294357e-04,9.135052e-04,8.985199e-04,8.844350e-04,8.712078e-04,8.587972e-04,8.471637e-04,8.362694e-04,8.260779e-04,8.165544e-04,8.076654e-04,7.993788e-04,7.916640e-04,7.844913e-04,7.778327e-04,7.716610e-04,7.659503e-04,7.606758e-04,7.558137e-04,7.513414e-04,7.472371e-04,7.434800e-04,7.400502e-04,7.369288e-04,7.340976e-04,7.315392e-04,7.292372e-04,7.271757e-04,7.253398e-04,7.237150e-04,7.222876e-04,7.210448e-04,7.199740e-04,7.190636e-04,7.183022e-04,7.176793e-04
0.000000e+00,5.263532e-09,8.848549e-08,9.229728e-08,5.469868e-07,1.967681e-06,2.060379e-06,5.527747e-06,1.090119e-05,1.130505e-05,1.869621e-05,2.582813e-05,2.643479e-05,3.363901e-05,3.941600e-05,4.001484e-05,4.554499e-05,4.976085e-05,5.029164e-05,5.433251e-05,5.730125e-05,5.774357e-05,6.059484e-05,6.260399e-05,6.294988e-05,6.486594e-05,6.614572e-05,6.639436e-05,6.758113e-05,6.831232e-05,6.846733e-05,6.908963e-05,6.941295e-05,6.948067e-05,6.966954e-05,6.969386e-05,6.968205e-05,6.954118e-05,6.935024e-05,6.926728e-05,6.887842e-05,6.853631e-05,6.839060e-05,6.781801e-05,6.737353e-05,6.717319e-05,6.646722e-05,6.595728e-05,6.570991e-05,6.490990e-05,6.436225e-05,6.407482e-05,6.321140e-05,6.264670e-05,6.232555e-05,6.142246e-05,6.085591e-05,6.050669e-05,5.958224e-05,5.902488e-05,5.865261e-05,5.772085e-05,5.718052e-05,5.678963e-05,5.586126e-05,5.534337e-05,5.493774e-05,5.402079e-05,5.352890e-05,5.311190e-05,5.221235e-05,5.174864e-05,5.132322e-05,5.044542e-05,5.001101e-05,4.957971e-05,4.872674e-05,4.832199e-05,4.788701e-05,4.706096e-05,4.668566e-05,4.624891e-05,4.545112e-05,4.510465e-05,4.466776e-05,4.389896e-05,4.358043e-05,4.314480e-05,4.240529e-05,4.211359e-05,4.168042e-05,4.097014e-05,4.070404e-05,4.027437e-05,3.959299e-05,3.935120e-05,3.892590e-05,3.827292e-05,3.805410e-05,3.763392e-05,3.700870e-05,3.681151e-05,3.639707e-05,3.579885e-05,3.562197e-05,3.521382e-05,3.464177e-05,3.448390e-05,3.408249e-05,3.353575e-05,3.339562e-05,3.300133e-05,3.247900e-05,3.235542e-05,3.196854e-05,3.146972e-05,3.136152e-05,3.098232e-05,3.050611e-05,3.041219e-05,3.004086e-05,2.958635e-05,2.950566e-05,2.914236e-05,2.870868e-05,2.864023e-05,2.828508e-05,2.787136e-05,2.781422e-05,2.746730e-05,2.707270e-05,2.702597e-05,2.668735e-05,2.631104e-05,2.627390e-05,2.594360e-05,2.558481e-05,2.555647e-05,2.523449e-05,2.489245e-05,2.487218e-05,2.455850e-05,2.423248e-05,2.421960e-05,2.391419e-05,2.360347e-05,2.359733e-05,2.330015e-05,2.300405e-05,2.243848e-05,2.189939e-05,2.138560e-05,2.089599e-05,2.042946e-05,1.998500e-05,1.956160e-05,1.915831e-05,1.877424e-05,1.840851e-05,1.806029e-05,1.772880e-05,1.741326e-05,1.711296e-05,1.682720e-05,1.655532e-05,1.629669e-05,1.605071e-05,1.581679e-05,1.559439e-05,1.538297e-05,1.518203e-05,1.499110e-05,1.480970e-05,1.463741e-05,1.447381e-05,1.431848e-05,1.417106e-05,1.403117e-05,1.389847e-05,1.377261e-05,1.365329e-05,1.354020e-05,1.343305e-05,1.333157e-05,1.323547e-05,1.314453e-05,1.305848e-05,1.297711e-05,1.290019e-05,1.282751e-05,1.275887e-05,1.269408e-05,1.263296e-05,1.257533e-05,1.252103e-05,1.246989e-05,1.242177e-05,1.237652e-05
0.000000e+00,1.412011e-09,1.488860e-07,1.599644e-07,2.991167e-06,2.024232e-05,2.160027e-05,8.040910e-05,1.811271e-04,1.888091e-04,3.308390e-04,4.726082e-04,4.850000e-04,6.372582e-04,7.672591e-04,7.811974e-04,9.146686e-04,1.023191e-03,1.037352e-03,1.149582e-03,1.238140e-03,1.251886e-03,1.344830e-03,1.416075e-03,1.428967e-03,1.504835e-03,1.561238e-03,1.572949e-03,1.633803e-03,1.677579e-03,1.687872e-03,1.735607e-03,1.768721e-03,1.777439e-03,1.813776e-03,1.837958e-03,1.845007e-03,1.871497e-03,1.888250e-03,1.893590e-03,1.911611e-03,1.922236e-03,1.925865e-03,1.936637e-03,1.942251e-03,1.944197e-03,1.948796e-03,1.950353e-03,1.950669e-03,1.950037e-03,1.948348e-03,1.947106e-03,1.942067e-03,1.937821e-03,1.935102e-03,1.926378e-03,1.920154e-03,1.916051e-03,1.904268e-03,1.896556e-03,1.891165e-03,1.876869e-03,1.868078e-03,1.861499e-03,1.845164e-03,1.835634e-03,1.827968e-03,1.810005e-03,1.800018e-03,1.791365e-03,1.772129e-03,1.761916e-03,1.752374e-03,1.732171e-03,1.721922e-03,1.711585e-03,1.690679e-03,1.680546e-03,1.669507e-03,1.648122e-03,1.638228e-03,1.626573e-03,1.604904e-03,1.595343e-03,1.583156e-03,1.561367e-03,1.552212e-03,1.539571e-03,1.517801e-03,1.509107e-03,1.496086e-03,1.474453e-03,1.466259e-03,1.452926e-03,1.431527e-03,1.423859e-03,1.410278e-03,1.389197e-03,1.382071e-03,1.368301e-03,1.347604e-03,1.341026e-03,1.327121e-03,1.306864e-03,1.300832e-03,1.286844e-03,1.267070e-03,1.261579e-03,1.247552e-03,1.228297e-03,1.223334e-03,1.209311e-03,1.190601e-03,1.186152e-03,1.172171e-03,1.154025e-03,1.150072e-03,1.136168e-03,1.118601e-03,1.115122e-03,1.101326e-03,1.084346e-03,1.081321e-03,1.067661e-03,1.051272e-03,1.048678e-03,1.035179e-03,1.019382e-03,1.017194e-03,1.003880e-03,9.886719e-04,9.868666e-04,9.737565e-04,9.591322e-04,9.576857e-04,9.447972e-04,9.307494e-04,9.296379e-04,9.169864e-04,9.035057e-04,9.027057e-04,8.903046e-04,8.773803e-04,8.768690e-04,8.647298e-04,8.523499e-04,8.521050e-04,8.402375e-04,8.283892e-04,8.056952e-04,7.839958e-04,7.632628e-04,7.434674e-04,7.245806e-04,7.065729e-04,6.894152e-04,6.730783e-04,6.575334e-04,6.427519e-04,6.287058e-04,6.153676e-04,6.027101e-04,5.907072e-04,5.793329e-04,5.685622e-04,5.583708e-04,5.487348e-04,5.396314e-04,5.310381e-04,5.229333e-04,5.152961e-04,5.081063e-04,5.013444e-04,4.949913e-04,4.890288e-04,4.834394e-04,4.782060e-04,4.733123e-04,4.687425e-04,4.644813e-04,4.605142e-04,4.568269e-04,4.534061e-04,4.502385e-04,4.473116e-04,4.446133e-04,4.421321e-04,4.398567e-04,4.377764e-04,4.358810e-04,4.341604e-04,4.326053e-04,4.312065e-04,4.299553e-04,4.288432e-04,4.278622e-04,4.270047e-04,4.262631e-04
0.000000e+00,7.827687e-11,1.558228e-08,1.692788e-08,4.966027e-07,4.505468e-06,4.858393e-06,2.329926e-05,6.726198e-05,7.126099e-05,1.635219e-04,2.958513e-04,3.096306e-04,5.124549e-04,7.410972e-04,7.689886e-04,1.072147e-03,1.370158e-03,1.412664e-03,1.780635e-03,2.111802e-03,2.166591e-03,2.562115e-03,2.896529e-03,2.960127e-03,3.354930e-03,3.673145e-03,3.742116e-03,4.118402e-03,4.409983e-03,4.481447e-03,4.829668e-03,5.090334e-03,5.162072e-03,5.478122e-03,5.707248e-03,5.777616e-03,6.060603e-03,6.259512e-03,6.327306e-03,6.578072e-03,6.748996e-03,6.813334e-03,7.033575e-03,7.179082e-03,7.239312e-03,7.431078e-03,7.553773e-03,7.609411e-03,7.774850e-03,7.877233e-03,7.927923e-03,8.069150e-03,8.153552e-03,8.199036e-03,8.318074e-03,8.386639e-03,8.426739e-03,8.525492e-03,8.580172e-03,8.614777e-03,8.695023e-03,8.737588e-03,8.766644e-03,8.830037e-03,8.862086e-03,8.885585e-03,8.933659e-03,8.956636e-03,8.974612e-03,9.008787e-03,9.023988e-03,9.036511e-03,9.058100e-03,9.066689e-03,9.073857e-03,9.084075e-03,9.087094e-03,9.089033e-03,9.089000e-03,9.087380e-03,9.084234e-03,9.074985e-03,9.069556e-03,9.061490e-03,9.043977e-03,9.035477e-03,9.022667e-03,8.997770e-03,8.986852e-03,8.969488e-03,8.938014e-03,8.925256e-03,8.903534e-03,8.866228e-03,8.852138e-03,8.826264e-03,8.783807e-03,8.768832e-03,8.739014e-03,8.692035e-03,8.676563e-03,8.643013e-03,8.592086e-03,8.576456e-03,8.539386e-03,8.485039e-03,8.469543e-03,8.429165e-03,8.371881e-03,8.356769e-03,8.313295e-03,8.253514e-03,8.239000e-03,8.192639e-03,8.130765e-03,8.117027e-03,8.067984e-03,8.004385e-03,7.991574e-03,7.940051e-03,7.875061e-03,7.863299e-03,7.809493e-03,7.743419e-03,7.732804e-03,7.676907e-03,7.610025e-03,7.600636e-03,7.542835e-03,7.475396e-03,7.467289e-03,7.407766e-03,7.339999e-03,7.333216e-03,7.272145e-03,7.204255e-03,7.198824e-03,7.136375e-03,7.068547e-03,7.064480e-03,7.000815e-03,6.933218e-03,6.930518e-03,6.865794e-03,6.798577e-03,6.797235e-03,6.731602e-03,6.664901e-03,6.533754e-03,6.404009e-03,6.275855e-03,6.149461e-03,6.024975e-03,5.902525e-03,5.782225e-03,5.664172e-03,5.548448e-03,5.435125e-03,5.324259e-03,5.215899e-03,5.110083e-03,5.006840e-03,4.906190e-03,4.808147e-03,4.712718e-03,4.619903e-03,4.529698e-03,4.442094e-03,4.357076e-03,4.274627e-03,4.194725e-03,4.117345e-03,4.042460e-03,3.970041e-03,3.900054e-03,3.832466e-03,3.767240e-03,3.704340e-03,3.643726e-03,3.585358e-03,3.529197e-03,3.475200e-03,3.423324e-03,3.373528e-03,3.325767e-03,3.279998e-03,3.236178e-03,3.194261e-03,3.154205e-03,3.115964e-03,3.079494e-03,3.044753e-03,3.011694e-03,2.980276e-03,2.950454e-03,2.922186e-03,2.895427e-03
0.000000e+00,1.080942e-09,1.163392e-08,1.209396e-08,6.364523e-08,2.070256e-07,2.158253e-07,5.144111e-07,8.984717e-07,9.247326e-07,1.370403e-06,1.775834e-06,1.810454e-06,2.232641e-06,2.594782e-06,2.633950e-06,3.013844e-06,3.330569e-06,3.372498e-06,3.710326e-06,3.984601e-06,4.027855e-06,4.325684e-06,4.561107e-06,4.604458e-06,4.864855e-06,5.065157e-06,5.107573e-06,5.333316e-06,5.502163e-06,5.542790e-06,5.736694e-06,5.877573e-06,5.915714e-06,6.080522e-06,6.196672e-06,6.231769e-06,6.370089e-06,6.464484e-06,6.496095e-06,6.610379e-06,6.685726e-06,6.713511e-06,6.806043e-06,6.864791e-06,6.888502e-06,6.961398e-06,7.005754e-06,7.025219e-06,7.080434e-06,7.112382e-06,7.127494e-06,7.166831e-06,7.188143e-06,7.198856e-06,7.223967e-06,7.236231e-06,7.242545e-06,7.254950e-06,7.259576e-06,7.261531e-06,7.262622e-06,7.260866e-06,7.258543e-06,7.249599e-06,7.242575e-06,7.236082e-06,7.218269e-06,7.206959e-06,7.196428e-06,7.170814e-06,7.156085e-06,7.141669e-06,7.109225e-06,7.091834e-06,7.073701e-06,7.035310e-06,7.015923e-06,6.994252e-06,6.950718e-06,6.929912e-06,6.904890e-06,6.856943e-06,6.835217e-06,6.807040e-06,6.755340e-06,6.733127e-06,6.701993e-06,6.647140e-06,6.624808e-06,6.590917e-06,6.533453e-06,6.511316e-06,6.474869e-06,6.415283e-06,6.393608e-06,6.354804e-06,6.293537e-06,6.272545e-06,6.231581e-06,6.169030e-06,6.148903e-06,6.105973e-06,6.042495e-06,6.023381e-06,5.978674e-06,5.914586e-06,5.896604e-06,5.850303e-06,5.785892e-06,5.769132e-06,5.721416e-06,5.656935e-06,5.641465e-06,5.592506e-06,5.528181e-06,5.514048e-06,5.464010e-06,5.400041e-06,5.387276e-06,5.336318e-06,5.272881e-06,5.261496e-06,5.209769e-06,5.147019e-06,5.137015e-06,5.084664e-06,5.022736e-06,5.014102e-06,4.961264e-06,4.900276e-06,4.892991e-06,4.839796e-06,4.779849e-06,4.773884e-06,4.720455e-06,4.661634e-06,4.656954e-06,4.603406e-06,4.545787e-06,4.542349e-06,4.488791e-06,4.432434e-06,4.430193e-06,4.376727e-06,4.321683e-06,4.320589e-06,4.267310e-06,4.213619e-06,4.109351e-06,4.007835e-06,3.909106e-06,3.813190e-06,3.720098e-06,3.629834e-06,3.542391e-06,3.457754e-06,3.375903e-06,3.296810e-06,3.220443e-06,3.146763e-06,3.075730e-06,3.007298e-06,2.941420e-06,2.878045e-06,2.817120e-06,2.758592e-06,2.702404e-06,2.648500e-06,2.596822e-06,2.547314e-06,2.499916e-06,2.454570e-06,2.411218e-06,2.369802e-06,2.330265e-06,2.292549e-06,2.256598e-06,2.222356e-06,2.189768e-06,2.158780e-06,2.129338e-06,2.101391e-06,2.074887e-06,2.049776e-06,2.026008e-06,2.003535e-06,1.982311e-06,1.962289e-06,1.943424e-06,1.925672e-06,1.908992e-06,1.893341e-06,1.878678e-06,1.864966e-06,1.852164e-06,1.840236e-06,1.829146e-06
0.000000e+00,1.602538e-09,2.507934e-08,2.623934e-08,1.698979e-07,5.662153e-07,5.891300e-07,1.267640e-06,1.963909e-06,2.007801e-06,2.717116e-06,3.327578e-06,3.378692e-06,3.991431e-06,4.502526e-06,4.557025e-06,5.077617e-06,5.500233e-06,5.555373e-06,5.992417e-06,6.337310e-06,6.390842e-06,6.752708e-06,7.029910e-06,7.080047e-06,7.374848e-06,7.593668e-06,7.639051e-06,7.874536e-06,8.043464e-06,8.083111e-06,8.266511e-06,8.393154e-06,8.426392e-06,8.564338e-06,8.655429e-06,8.681842e-06,8.780313e-06,8.841715e-06,8.861084e-06,8.925409e-06,8.962210e-06,8.974477e-06,9.009408e-06,9.026013e-06,9.031253e-06,9.041012e-06,9.041232e-06,9.039635e-06,9.028005e-06,9.015108e-06,9.006933e-06,8.977193e-06,8.953945e-06,8.939506e-06,8.894548e-06,8.863301e-06,8.842951e-06,8.785310e-06,8.748055e-06,8.722178e-06,8.654075e-06,8.612491e-06,8.581486e-06,8.504862e-06,8.460349e-06,8.424626e-06,8.341173e-06,8.294902e-06,8.254872e-06,8.166067e-06,8.119005e-06,8.075076e-06,7.982200e-06,7.935140e-06,7.887712e-06,7.791872e-06,7.745459e-06,7.694918e-06,7.597071e-06,7.551819e-06,7.498537e-06,7.399507e-06,7.355823e-06,7.300157e-06,7.200649e-06,7.158846e-06,7.101134e-06,7.001750e-06,6.962062e-06,6.902624e-06,6.803873e-06,6.766469e-06,6.705605e-06,6.607918e-06,6.572910e-06,6.510901e-06,6.414637e-06,6.382092e-06,6.319199e-06,6.224656e-06,6.194601e-06,6.131068e-06,6.038491e-06,6.010922e-06,5.946973e-06,5.856558e-06,5.831445e-06,5.767286e-06,5.679190e-06,5.656482e-06,5.592301e-06,5.506644e-06,5.486273e-06,5.422243e-06,5.339115e-06,5.321000e-06,5.257278e-06,5.176744e-06,5.160794e-06,5.097522e-06,5.019622e-06,5.005740e-06,4.943047e-06,4.867801e-06,4.855885e-06,4.793884e-06,4.721296e-06,4.711239e-06,4.650034e-06,4.580093e-06,4.571789e-06,4.511469e-06,4.444154e-06,4.437494e-06,4.378140e-06,4.313417e-06,4.308295e-06,4.249976e-06,4.187805e-06,4.184115e-06,4.126892e-06,4.067224e-06,4.064863e-06,4.008787e-06,3.951569e-06,3.950437e-06,3.895553e-06,3.840725e-06,3.735611e-06,3.634967e-06,3.538668e-06,3.446580e-06,3.358572e-06,3.274509e-06,3.194257e-06,3.117682e-06,3.044653e-06,2.975039e-06,2.908712e-06,2.845545e-06,2.785415e-06,2.728201e-06,2.673787e-06,2.622057e-06,2.572902e-06,2.526212e-06,2.481885e-06,2.439820e-06,2.399918e-06,2.362086e-06,2.326234e-06,2.292273e-06,2.260120e-06,2.229694e-06,2.200917e-06,2.173714e-06,2.148013e-06,2.123745e-06,2.100845e-06,2.079247e-06,2.058893e-06,2.039722e-06,2.021679e-06,2.004712e-06,1.988767e-06,1.973797e-06,1.959754e-06,1.946594e-06,1.934273e-06,1.922749e-06,1.911985e-06,1.901942e-06,1.892584e-06,1.883876e-06,1.875786e-06,1.868283e-06,1.861337e-06
0.000000e+00,8.442372e-09,3.099183e-07,3.272519e-07,3.054976e-06,1.346699e-05,1.417212e-05,4.047139e-05,7.832727e-05,8.101422e-05,1.275586e-04,1.705701e-04,1.742518e-04,2.191855e-04,2.577551e-04,2.619279e-04,3.024164e-04,3.362022e-04,3.406775e-04,3.767625e-04,4.061019e-04,4.107329e-04,4.426548e-04,4.679371e-04,4.725980e-04,5.006342e-04,5.222520e-04,5.268363e-04,5.512770e-04,5.696103e-04,5.740291e-04,5.951632e-04,6.105694e-04,6.147489e-04,6.328536e-04,6.456634e-04,6.495434e-04,6.648817e-04,6.753983e-04,6.789302e-04,6.917484e-04,7.002480e-04,7.033937e-04,7.139215e-04,7.206547e-04,7.233852e-04,7.318359e-04,7.370291e-04,7.393231e-04,7.458944e-04,7.497518e-04,7.515952e-04,7.564695e-04,7.591748e-04,7.605594e-04,7.639053e-04,7.656233e-04,7.665461e-04,7.685189e-04,7.693969e-04,7.698595e-04,7.706021e-04,7.707719e-04,7.707796e-04,7.704235e-04,7.700022e-04,7.695638e-04,7.682296e-04,7.673215e-04,7.664483e-04,7.642465e-04,7.629439e-04,7.616496e-04,7.586818e-04,7.570661e-04,7.553662e-04,7.517251e-04,7.498680e-04,7.477797e-04,7.435501e-04,7.415145e-04,7.390558e-04,7.343153e-04,7.321560e-04,7.293461e-04,7.241653e-04,7.219300e-04,7.187887e-04,7.132319e-04,7.109619e-04,7.075093e-04,7.016350e-04,6.993658e-04,6.956223e-04,6.894837e-04,6.872453e-04,6.832313e-04,6.768767e-04,6.746948e-04,6.704307e-04,6.639037e-04,6.617996e-04,6.573055e-04,6.506456e-04,6.486369e-04,6.439328e-04,6.371755e-04,6.352766e-04,6.303818e-04,6.235593e-04,6.217816e-04,6.167151e-04,6.098561e-04,6.082084e-04,6.029887e-04,5.961190e-04,5.946079e-04,5.892528e-04,5.823954e-04,5.810255e-04,5.755521e-04,5.687277e-04,5.675016e-04,5.619266e-04,5.551533e-04,5.540724e-04,5.484116e-04,5.417055e-04,5.407697e-04,5.350384e-04,5.284136e-04,5.276216e-04,5.218342e-04,5.153033e-04,5.146529e-04,5.088233e-04,5.023969e-04,5.018852e-04,4.960264e-04,4.897139e-04,4.893370e-04,4.834614e-04,4.772708e-04,4.770245e-04,4.711438e-04,4.650819e-04,4.649614e-04,4.590866e-04,4.531591e-04,4.416271e-04,4.303733e-04,4.194038e-04,4.087232e-04,3.983350e-04,3.882412e-04,3.784429e-04,3.689404e-04,3.597329e-04,3.508190e-04,3.421965e-04,3.338627e-04,3.258143e-04,3.180475e-04,3.105583e-04,3.033421e-04,2.963942e-04,2.897095e-04,2.832827e-04,2.771085e-04,2.711813e-04,2.654953e-04,2.600449e-04,2.548240e-04,2.498269e-04,2.450477e-04,2.404804e-04,2.361191e-04,2.319580e-04,2.279912e-04,2.242129e-04,2.206174e-04,2.171991e-04,2.139523e-04,2.108715e-04,2.079514e-04,2.051865e-04,2.025716e-04,2.001017e-04,1.977715e-04,1.955763e-04,1.935111e-04,1.915712e-04,1.897520e-04,1.880490e-04,1.864577e-04,1.849738e-04,1.835931e-04,1.823116e-04
0.000000e+00,3.071516e-10,2.480496e-08,2.645200e-08,3.686190e-07,2.419754e-06,2.593102e-06,1.202666e-05,3.756237e-05,4.003349e-05,1.004291e-04,1.904895e-04,1.998182e-04,3.329579e-04,4.712584e-04,4.872414e-04,6.493584e-04,7.902832e-04,8.090789e-04,9.600135e-04,1.080219e-03,1.098869e-03,1.224392e-03,1.319450e-03,1.336503e-03,1.435726e-03,1.508025e-03,1.522855e-03,1.598785e-03,1.652074e-03,1.664420e-03,1.720632e-03,1.758468e-03,1.768245e-03,1.808032e-03,1.833479e-03,1.840709e-03,1.866940e-03,1.882561e-03,1.887335e-03,1.902459e-03,1.910377e-03,1.912830e-03,1.918922e-03,1.920876e-03,1.921172e-03,1.919977e-03,1.917384e-03,1.915702e-03,1.908680e-03,1.902689e-03,1.899214e-03,1.887582e-03,1.879117e-03,1.874035e-03,1.858804e-03,1.848607e-03,1.842097e-03,1.824104e-03,1.812765e-03,1.804999e-03,1.784938e-03,1.772922e-03,1.764064e-03,1.742504e-03,1.730175e-03,1.720376e-03,1.697785e-03,1.685428e-03,1.674827e-03,1.651588e-03,1.639418e-03,1.628145e-03,1.604567e-03,1.592748e-03,1.580919e-03,1.557255e-03,1.545906e-03,1.533627e-03,1.510079e-03,1.499286e-03,1.486652e-03,1.463381e-03,1.453200e-03,1.440298e-03,1.417430e-03,1.407896e-03,1.394803e-03,1.372437e-03,1.363568e-03,1.350351e-03,1.328562e-03,1.320363e-03,1.307083e-03,1.285927e-03,1.278391e-03,1.265103e-03,1.244619e-03,1.237733e-03,1.224482e-03,1.204698e-03,1.198442e-03,1.185270e-03,1.166202e-03,1.160552e-03,1.147495e-03,1.129150e-03,1.124078e-03,1.111168e-03,1.093547e-03,1.089025e-03,1.076287e-03,1.059386e-03,1.055383e-03,1.042841e-03,1.026650e-03,1.023135e-03,1.010810e-03,9.953160e-04,9.922586e-04,9.801654e-04,9.653536e-04,9.627232e-04,9.508764e-04,9.367290e-04,9.344957e-04,9.229067e-04,9.094045e-04,9.075395e-04,8.962175e-04,8.833404e-04,8.818158e-04,8.707681e-04,8.584953e-04,8.572843e-04,8.465166e-04,8.348266e-04,8.339038e-04,8.234202e-04,8.122917e-04,8.116327e-04,8.014360e-04,7.908476e-04,7.904295e-04,7.805212e-04,7.704515e-04,7.702526e-04,7.606332e-04,7.510613e-04,7.328151e-04,7.154749e-04,6.990023e-04,6.833599e-04,6.685115e-04,6.544221e-04,6.410579e-04,6.283861e-04,6.163753e-04,6.049952e-04,5.942168e-04,5.840120e-04,5.743541e-04,5.652173e-04,5.565771e-04,5.484097e-04,5.406926e-04,5.334042e-04,5.265238e-04,5.200317e-04,5.139088e-04,5.081373e-04,5.026997e-04,4.975796e-04,4.927614e-04,4.882298e-04,4.839707e-04,4.799702e-04,4.762153e-04,4.726937e-04,4.693932e-04,4.663027e-04,4.634112e-04,4.607085e-04,4.581847e-04,4.558305e-04,4.536368e-04,4.515952e-04,4.496975e-04,4.479360e-04,4.463033e-04,4.447924e-04,4.433966e-04,4.421096e-04,4.409252e-04,4.398377e-04,4.388416e-04,4.379317e-04,4.371030e-04
0.000000e+00,4.152541e-10,5.512417e-09,5.752292e-09,3.400423e-08,1.105836e-07,1.151076e-07,2.588482e-07,4.236809e-07,4.343643e-07,6.075539e-07,7.546326e-07,7.668017e-07,9.106270e-07,1.027462e-06,1.039742e-06,1.155227e-06,1.246449e-06,1.258176e-06,1.349632e-06,1.419835e-06,1.430568e-06,1.501888e-06,1.554981e-06,1.564430e-06,1.618966e-06,1.658213e-06,1.666208e-06,1.706809e-06,1.734913e-06,1.741369e-06,1.770438e-06,1.789625e-06,1.794519e-06,1.814074e-06,1.826168e-06,1.829523e-06,1.841254e-06,1.847748e-06,1.849617e-06,1.854937e-06,1.857048e-06,1.857506e-06,1.857594e-06,1.856310e-06,1.855444e-06,1.851281e-06,1.847407e-06,1.845311e-06,1.837720e-06,1.831905e-06,1.828678e-06,1.818341e-06,1.811113e-06,1.806854e-06,1.794346e-06,1.786132e-06,1.780937e-06,1.766732e-06,1.757869e-06,1.751830e-06,1.736321e-06,1.727079e-06,1.720284e-06,1.703796e-06,1.694390e-06,1.686921e-06,1.669722e-06,1.660318e-06,1.652252e-06,1.634563e-06,1.625293e-06,1.616700e-06,1.598704e-06,1.589668e-06,1.580612e-06,1.562458e-06,1.553731e-06,1.544272e-06,1.526083e-06,1.517721e-06,1.507914e-06,1.489789e-06,1.481833e-06,1.471727e-06,1.453747e-06,1.446223e-06,1.435865e-06,1.418095e-06,1.411021e-06,1.400450e-06,1.382942e-06,1.376327e-06,1.365581e-06,1.348377e-06,1.342223e-06,1.331336e-06,1.314467e-06,1.308771e-06,1.297774e-06,1.281264e-06,1.276020e-06,1.264941e-06,1.248809e-06,1.244007e-06,1.232871e-06,1.217130e-06,1.212758e-06,1.201588e-06,1.186247e-06,1.182291e-06,1.171107e-06,1.156171e-06,1.152616e-06,1.141438e-06,1.126909e-06,1.123740e-06,1.112584e-06,1.098463e-06,1.095663e-06,1.084544e-06,1.070829e-06,1.068381e-06,1.057314e-06,1.044001e-06,1.041889e-06,1.030886e-06,1.017970e-06,1.016178e-06,1.005251e-06,9.927265e-07,9.912366e-07,9.803956e-07,9.682565e-07,9.670530e-07,9.563073e-07,9.445463e-07,9.436135e-07,9.329716e-07,9.215812e-07,9.209036e-07,9.103730e-07,8.993452e-07,8.989078e-07,8.884956e-07,8.778222e-07,8.776105e-07,8.673228e-07,8.569954e-07,8.370461e-07,8.177461e-07,7.990789e-07,7.810278e-07,7.635767e-07,7.467092e-07,7.304094e-07,7.146616e-07,6.994502e-07,6.847601e-07,6.705765e-07,6.568846e-07,6.436703e-07,6.309196e-07,6.186190e-07,6.067552e-07,5.953152e-07,5.842865e-07,5.736567e-07,5.634139e-07,5.535465e-07,5.440430e-07,5.348926e-07,5.260843e-07,5.176078e-07,5.094530e-07,5.016099e-07,4.940690e-07,4.868209e-07,4.798565e-07,4.731670e-07,4.667438e-07,4.605786e-07,4.546633e-07,4.489900e-07,4.435511e-07,4.383391e-07,4.333467e-07,4.285670e-07,4.239931e-07,4.196184e-07,4.154365e-07,4.114411e-07,4.076260e-07,4.039854e-07,4.005136e-07,3.972050e-07,3.940541e-07,3.910556e-07
0.000000e+00,5.172759e-09,9.501715e-08,9.930495e-08,6.347388e-07,2.327051e-06,2.436294e-06,6.407218e-06,1.219955e-05,1.262027e-05,2.002913e-05,2.676039e-05,2.731780e-05,3.377757e-05,3.874856e-05,3.925272e-05,4.379979e-05,4.711801e-05,4.752537e-05,5.053798e-05,5.263429e-05,5.293649e-05,5.480787e-05,5.602826e-05,5.622800e-05,5.726304e-05,5.786477e-05,5.797016e-05,5.839886e-05,5.857024e-05,5.859181e-05,5.858579e-05,5.846348e-05,5.841243e-05,5.809894e-05,5.778147e-05,5.766868e-05,5.714168e-05,5.669962e-05,5.653512e-05,5.586371e-05,5.534729e-05,5.514004e-05,5.437485e-05,5.381949e-05,5.357732e-05,5.275528e-05,5.218572e-05,5.191537e-05,5.106326e-05,5.049654e-05,5.020374e-05,4.934086e-05,4.878846e-05,4.847805e-05,4.761817e-05,4.708759e-05,4.676364e-05,4.591646e-05,4.541238e-05,4.507829e-05,4.425051e-05,4.377561e-05,4.343424e-05,4.263037e-05,4.218589e-05,4.183962e-05,4.106256e-05,4.064879e-05,4.029961e-05,3.955109e-05,3.916763e-05,3.881721e-05,3.809810e-05,3.774412e-05,3.739384e-05,3.670443e-05,3.637878e-05,3.602983e-05,3.536994e-05,3.507130e-05,3.472466e-05,3.409383e-05,3.382080e-05,3.347728e-05,3.287484e-05,3.262596e-05,3.228628e-05,3.171139e-05,3.148521e-05,3.114994e-05,3.060169e-05,3.039677e-05,3.006640e-05,2.954383e-05,2.935877e-05,2.903372e-05,2.853583e-05,2.836928e-05,2.804990e-05,2.757569e-05,2.742638e-05,2.711295e-05,2.666143e-05,2.652812e-05,2.622088e-05,2.579106e-05,2.567261e-05,2.537175e-05,2.496269e-05,2.485798e-05,2.456366e-05,2.417442e-05,2.408244e-05,2.379477e-05,2.342447e-05,2.334424e-05,2.306331e-05,2.271108e-05,2.264168e-05,2.236756e-05,2.203256e-05,2.197315e-05,2.170588e-05,2.138732e-05,2.133709e-05,2.107669e-05,2.077380e-05,2.073200e-05,2.047847e-05,2.019051e-05,2.015645e-05,1.990977e-05,1.963605e-05,1.960906e-05,1.936920e-05,1.910905e-05,1.908852e-05,1.885544e-05,1.860822e-05,1.859359e-05,1.836723e-05,1.813232e-05,1.812305e-05,1.790335e-05,1.768017e-05,1.767576e-05,1.746264e-05,1.725063e-05,1.684662e-05,1.646272e-05,1.609799e-05,1.575151e-05,1.542243e-05,1.510991e-05,1.481316e-05,1.453143e-05,1.426402e-05,1.401022e-05,1.376939e-05,1.354092e-05,1.332419e-05,1.311866e-05,1.292378e-05,1.273903e-05,1.256393e-05,1.239801e-05,1.224083e-05,1.209195e-05,1.195098e-05,1.181754e-05,1.169124e-05,1.157176e-05,1.145874e-05,1.135187e-05,1.125086e-05,1.115541e-05,1.106524e-05,1.098010e-05,1.089974e-05,1.082391e-05,1.075240e-05,1.068499e-05,1.062146e-05,1.056164e-05,1.050532e-05,1.045234e-05,1.040252e-05,1.035571e-05,1.031175e-05,1.027049e-05,1.023180e-05,1.019555e-05,1.016161e-05,1.012985e-05,1.010018e-05,1.007247e-05,1.004663e-05
0.000000e+00,8.558100e-09,2.177108e-07,2.289626e-07,1.850348e-06,7.418029e-06,7.777170e-06,2.009713e-05,3.516228e-05,3.614859e-05,5.213871e-05,6.561529e-05,6.672322e-05,7.971463e-05,9.010548e-05,9.118792e-05,1.012656e-04,1.090782e-04,1.100717e-04,1.177226e-04,1.234602e-04,1.243252e-04,1.299782e-04,1.340593e-04,1.347721e-04,1.387901e-04,1.415598e-04,1.421087e-04,1.447982e-04,1.465402e-04,1.469229e-04,1.485414e-04,1.494871e-04,1.497073e-04,1.504695e-04,1.508060e-04,1.508721e-04,1.509554e-04,1.508329e-04,1.507557e-04,1.503059e-04,1.498440e-04,1.496358e-04,1.487721e-04,1.480655e-04,1.477391e-04,1.465586e-04,1.456817e-04,1.452503e-04,1.438316e-04,1.428427e-04,1.423187e-04,1.407256e-04,1.396699e-04,1.390652e-04,1.373490e-04,1.362614e-04,1.355872e-04,1.337891e-04,1.326961e-04,1.319627e-04,1.301153e-04,1.290369e-04,1.282536e-04,1.263832e-04,1.253339e-04,1.245092e-04,1.226363e-04,1.216267e-04,1.207684e-04,1.189090e-04,1.179466e-04,1.170613e-04,1.152280e-04,1.143175e-04,1.134115e-04,1.116138e-04,1.107581e-04,1.098367e-04,1.080817e-04,1.072823e-04,1.063502e-04,1.046433e-04,1.039003e-04,1.029619e-04,1.013067e-04,1.006194e-04,9.967830e-05,9.807730e-05,9.744465e-05,9.650402e-05,9.495871e-05,9.437887e-05,9.344156e-05,9.195265e-05,9.142356e-05,9.049201e-05,8.905960e-05,8.857899e-05,8.765531e-05,8.627899e-05,8.584445e-05,8.493046e-05,8.360949e-05,8.321853e-05,8.231580e-05,8.104910e-05,8.069922e-05,7.980908e-05,7.859540e-05,7.828411e-05,7.740769e-05,7.624560e-05,7.597046e-05,7.510872e-05,7.399667e-05,7.375531e-05,7.290904e-05,7.184542e-05,7.163554e-05,7.080539e-05,6.978854e-05,6.960794e-05,6.879445e-05,6.782269e-05,6.766925e-05,6.687284e-05,6.594449e-05,6.581621e-05,6.503720e-05,6.415057e-05,6.404554e-05,6.328418e-05,6.243762e-05,6.235404e-05,6.161049e-05,6.080238e-05,6.073855e-05,6.001291e-05,5.924166e-05,5.919596e-05,5.848827e-05,5.775235e-05,5.772327e-05,5.703352e-05,5.633142e-05,5.631754e-05,5.564568e-05,5.497595e-05,5.369574e-05,5.247427e-05,5.130899e-05,5.019744e-05,4.913725e-05,4.812617e-05,4.716200e-05,4.624267e-05,4.536618e-05,4.453059e-05,4.373409e-05,4.297490e-05,4.225136e-05,4.156183e-05,4.090480e-05,4.027878e-05,3.968237e-05,3.911422e-05,3.857304e-05,3.805760e-05,3.756674e-05,3.709932e-05,3.665428e-05,3.623059e-05,3.582726e-05,3.544338e-05,3.507803e-05,3.473037e-05,3.439958e-05,3.408489e-05,3.378555e-05,3.350086e-05,3.323012e-05,3.297270e-05,3.272798e-05,3.249536e-05,3.227428e-05,3.206422e-05,3.186464e-05,3.167506e-05,3.149501e-05,3.132404e-05,3.116173e-05,3.100767e-05,3.086146e-05,3.072274e-05,3.059116e-05,3.046637e-05,3.034804e-05
0.000000e+00,6.444379e-12,8.952729e-10,9.660042e-10,2.337318e-08,2.277656e-07,2.473515e-07,1.498776e-06,5.586657e-06,6.015094e-06,1.784711e-05,3.995001e-05,4.254626e-05,8.641360e-05,1.474380e-04,1.556699e-04,2.557553e-04,3.726803e-04,3.908405e-04,5.635563e-04,7.430001e-04,7.749111e-04,1.024357e-03,1.261943e-03,1.309951e-03,1.628588e-03,1.911730e-03,1.976248e-03,2.348260e-03,2.660000e-03,2.739549e-03,3.144854e-03,3.467340e-03,3.558925e-03,3.976674e-03,4.293657e-03,4.393302e-03,4.804396e-03,5.102688e-03,5.205982e-03,5.594575e-03,5.864620e-03,5.967188e-03,6.321335e-03,6.557161e-03,6.655018e-03,6.966700e-03,7.165497e-03,7.255276e-03,7.520029e-03,7.681528e-03,7.760599e-03,7.976934e-03,8.102761e-03,8.169253e-03,8.338005e-03,8.431069e-03,8.483829e-03,8.607521e-03,8.671491e-03,8.710000e-03,8.792279e-03,8.831168e-03,8.855438e-03,8.900601e-03,8.918460e-03,8.928918e-03,8.941543e-03,8.942241e-03,8.939626e-03,8.924295e-03,8.911388e-03,8.896650e-03,8.857754e-03,8.834408e-03,8.808628e-03,8.750246e-03,8.719207e-03,8.683530e-03,8.609353e-03,8.572954e-03,8.528534e-03,8.441841e-03,8.402021e-03,8.349987e-03,8.253637e-03,8.211978e-03,8.153403e-03,8.049854e-03,8.007624e-03,7.943511e-03,7.834852e-03,7.793047e-03,7.724317e-03,7.612307e-03,7.571692e-03,7.499183e-03,7.385281e-03,7.346429e-03,7.270894e-03,7.156298e-03,7.119623e-03,7.041734e-03,6.927423e-03,6.893209e-03,6.813564e-03,6.700333e-03,6.668763e-03,6.587890e-03,6.476375e-03,6.447550e-03,6.365915e-03,6.256618e-03,6.230571e-03,6.148582e-03,6.041892e-03,6.018609e-03,5.936623e-03,5.832839e-03,5.812265e-03,5.730595e-03,5.629939e-03,5.611993e-03,5.530911e-03,5.433545e-03,5.418123e-03,5.337868e-03,5.243902e-03,5.230885e-03,5.151664e-03,5.061167e-03,5.050425e-03,4.972419e-03,4.885425e-03,4.876823e-03,4.800188e-03,4.716705e-03,4.710102e-03,4.634974e-03,4.554988e-03,4.550244e-03,4.476739e-03,4.400218e-03,4.397193e-03,4.325411e-03,4.252307e-03,4.250862e-03,4.180891e-03,4.111146e-03,3.977916e-03,3.851033e-03,3.730345e-03,3.615692e-03,3.506908e-03,3.403821e-03,3.306260e-03,3.214047e-03,3.127009e-03,3.044970e-03,2.967756e-03,2.895195e-03,2.827116e-03,2.763351e-03,2.703734e-03,2.648103e-03,2.596299e-03,2.548164e-03,2.503546e-03,2.462295e-03,2.424265e-03,2.389311e-03,2.357294e-03,2.328078e-03,2.301529e-03,2.277517e-03,2.255915e-03,2.236600e-03,2.219451e-03,2.204352e-03,2.191187e-03,2.179847e-03,2.170223e-03,2.162212e-03,2.155710e-03,2.150620e-03,2.146846e-03,2.144297e-03,2.142882e-03,2.142515e-03,2.143113e-03,2.144597e-03,2.146889e-03,2.149916e-03,2.153605e-03,2.157890e-03,2.162706e-03,2.167991e-03,2.173685e-03
0.000000e+00,6.614167e-09,7.557775e-08,7.859671e-08,4.278156e-07,1.488473e-06,1.557060e-06,4.087951e-06,7.860805e-06,8.136524e-06,1.304053e-05,1.770088e-05,1.810242e-05,2.301285e-05,2.722293e-05,2.767742e-05,3.207315e-05,3.571795e-05,3.619895e-05,4.006074e-05,4.317703e-05,4.366682e-05,4.702642e-05,4.966501e-05,5.014913e-05,5.304470e-05,5.525647e-05,5.572296e-05,5.819364e-05,6.002719e-05,6.046635e-05,6.255051e-05,6.405118e-05,6.445531e-05,6.618965e-05,6.739907e-05,6.776216e-05,6.918117e-05,7.013714e-05,7.045470e-05,7.159045e-05,7.232704e-05,7.259582e-05,7.347790e-05,7.402566e-05,7.424351e-05,7.489912e-05,7.528531e-05,7.545099e-05,7.590504e-05,7.615390e-05,7.626696e-05,7.654219e-05,7.667524e-05,7.673590e-05,7.685304e-05,7.688929e-05,7.689832e-05,7.687623e-05,7.683243e-05,7.679106e-05,7.664688e-05,7.653777e-05,7.644759e-05,7.619688e-05,7.603534e-05,7.589827e-05,7.555510e-05,7.535240e-05,7.517057e-05,7.474769e-05,7.451360e-05,7.428934e-05,7.379825e-05,7.354124e-05,7.327701e-05,7.272808e-05,7.245545e-05,7.215380e-05,7.155637e-05,7.127436e-05,7.093790e-05,7.030036e-05,7.001429e-05,6.964564e-05,6.897552e-05,6.868989e-05,6.829168e-05,6.759572e-05,6.731428e-05,6.688913e-05,6.617334e-05,6.589920e-05,6.544968e-05,6.471942e-05,6.445514e-05,6.398375e-05,6.324378e-05,6.299141e-05,6.250059e-05,6.175515e-05,6.151628e-05,6.100839e-05,6.026120e-05,6.003708e-05,5.951439e-05,5.876873e-05,5.856025e-05,5.802493e-05,5.728368e-05,5.709144e-05,5.654559e-05,5.581125e-05,5.563562e-05,5.508120e-05,5.435594e-05,5.419708e-05,5.363596e-05,5.292166e-05,5.277953e-05,5.221347e-05,5.151175e-05,5.138616e-05,5.081684e-05,5.012904e-05,5.001968e-05,4.944866e-05,4.877593e-05,4.868237e-05,4.811110e-05,4.745439e-05,4.737613e-05,4.680597e-05,4.616603e-05,4.610251e-05,4.553472e-05,4.491216e-05,4.486273e-05,4.429847e-05,4.369375e-05,4.365776e-05,4.309810e-05,4.251157e-05,4.248830e-05,4.193422e-05,4.136610e-05,4.135484e-05,4.080725e-05,4.025767e-05,3.919690e-05,3.817251e-05,3.718433e-05,3.623205e-05,3.531529e-05,3.443357e-05,3.358634e-05,3.277296e-05,3.199277e-05,3.124504e-05,3.052901e-05,2.984389e-05,2.918886e-05,2.856309e-05,2.796574e-05,2.739595e-05,2.685286e-05,2.633562e-05,2.584338e-05,2.537527e-05,2.493047e-05,2.450813e-05,2.410745e-05,2.372762e-05,2.336784e-05,2.302734e-05,2.270538e-05,2.240119e-05,2.211408e-05,2.184332e-05,2.158825e-05,2.134819e-05,2.112251e-05,2.091057e-05,2.071178e-05,2.052554e-05,2.035129e-05,2.018848e-05,2.003659e-05,1.989510e-05,1.976351e-05,1.964137e-05,1.952820e-05,1.942357e-05,1.932705e-05,1.923824e-05,1.915674e-05,1.908218e-05,1.901420e-05
0.000000e+00,3.914414e-11,4.082054e-09,4.372727e-09,7.320890e-08,5.406319e-07,5.818402e-07,2.999225e-06,1.053370e-05,1.132329e-05,3.348773e-05,7.624515e-05,8.133951e-05,1.684378e-04,2.902664e-04,3.066382e-04,5.032307e-04,7.258209e-04,7.596616e-04,1.071800e-03,1.378430e-03,1.431191e-03,1.826683e-03,2.177808e-03,2.245987e-03,2.676943e-03,3.031163e-03,3.108413e-03,3.530808e-03,3.856884e-03,3.936324e-03,4.318969e-03,4.598733e-03,4.674442e-03,4.999936e-03,5.226267e-03,5.293899e-03,5.555798e-03,5.729094e-03,5.785902e-03,5.985074e-03,6.110040e-03,6.154611e-03,6.296097e-03,6.379390e-03,6.411302e-03,6.502085e-03,6.550835e-03,6.570340e-03,6.617937e-03,6.638920e-03,6.646693e-03,6.658352e-03,6.657609e-03,6.654567e-03,6.636890e-03,6.619594e-03,6.606771e-03,6.565556e-03,6.536022e-03,6.514489e-03,6.454716e-03,6.416478e-03,6.387291e-03,6.313178e-03,6.269085e-03,6.233258e-03,6.148336e-03,6.100659e-03,6.059145e-03,5.966351e-03,5.916879e-03,5.870562e-03,5.772328e-03,5.722450e-03,5.672145e-03,5.570463e-03,5.521244e-03,5.467689e-03,5.364189e-03,5.316427e-03,5.260293e-03,5.156296e-03,5.110576e-03,5.052465e-03,4.949036e-03,4.905767e-03,4.846221e-03,4.744207e-03,4.703664e-03,4.643161e-03,4.543230e-03,4.505576e-03,4.444543e-03,4.347213e-03,4.312525e-03,4.251337e-03,4.156999e-03,4.125288e-03,4.064272e-03,3.973216e-03,3.944440e-03,3.883882e-03,3.796311e-03,3.770389e-03,3.710536e-03,3.626582e-03,3.603404e-03,3.544468e-03,3.464206e-03,3.443642e-03,3.385802e-03,3.309259e-03,3.291166e-03,3.234574e-03,3.161739e-03,3.145963e-03,3.090745e-03,3.021577e-03,3.007962e-03,2.954220e-03,2.888654e-03,2.877040e-03,2.824857e-03,2.762808e-03,2.753041e-03,2.702481e-03,2.643849e-03,2.635775e-03,2.586886e-03,2.531563e-03,2.525033e-03,2.477850e-03,2.425717e-03,2.420589e-03,2.375134e-03,2.326068e-03,2.322208e-03,2.278490e-03,2.232367e-03,2.229645e-03,2.187667e-03,2.144358e-03,2.142654e-03,2.102409e-03,2.061787e-03,2.060988e-03,2.022461e-03,1.984400e-03,1.912649e-03,1.845497e-03,1.782712e-03,1.724070e-03,1.669351e-03,1.618347e-03,1.570855e-03,1.526682e-03,1.485641e-03,1.447556e-03,1.412257e-03,1.379583e-03,1.349381e-03,1.321504e-03,1.295814e-03,1.272179e-03,1.250475e-03,1.230583e-03,1.212392e-03,1.195796e-03,1.180694e-03,1.166992e-03,1.154601e-03,1.143436e-03,1.133417e-03,1.124468e-03,1.116520e-03,1.109504e-03,1.103357e-03,1.098020e-03,1.093436e-03,1.089553e-03,1.086320e-03,1.083690e-03,1.081619e-03,1.080065e-03,1.078989e-03,1.078354e-03,1.078126e-03,1.078270e-03,1.078757e-03,1.079558e-03,1.080645e-03,1.081993e-03,1.083578e-03,1.085378e-03,1.087372e-03,1.089539e-03,1.091862e-03
0.000000e+00,3.452167e-10,5.040049e-09,5.268975e-09,3.377745e-08,1.173857e-07,1.224948e-07,2.897452e-07,4.865435e-07,4.994020e-07,7.099812e-07,8.925339e-07,9.078096e-07,1.090517e-06,1.242147e-06,1.258267e-06,1.411749e-06,1.535627e-06,1.551739e-06,1.679015e-06,1.778877e-06,1.794328e-06,1.898403e-06,1.977650e-06,1.991935e-06,2.075591e-06,2.137269e-06,2.150011e-06,2.215804e-06,2.262618e-06,2.273550e-06,2.323801e-06,2.358131e-06,2.367079e-06,2.403877e-06,2.427798e-06,2.434661e-06,2.459869e-06,2.475178e-06,2.479915e-06,2.495186e-06,2.503431e-06,2.506049e-06,2.512843e-06,2.515353e-06,2.515892e-06,2.515497e-06,2.513405e-06,2.511938e-06,2.505482e-06,2.499754e-06,2.496375e-06,2.484848e-06,2.476302e-06,2.471118e-06,2.455386e-06,2.444710e-06,2.437840e-06,2.418656e-06,2.406428e-06,2.397998e-06,2.376022e-06,2.362727e-06,2.352867e-06,2.328669e-06,2.314708e-06,2.303550e-06,2.277625e-06,2.263328e-06,2.251001e-06,2.223776e-06,2.209412e-06,2.196042e-06,2.167884e-06,2.153671e-06,2.139381e-06,2.110605e-06,2.096716e-06,2.081623e-06,2.052498e-06,2.039068e-06,2.023286e-06,1.994040e-06,1.981173e-06,1.964808e-06,1.935633e-06,1.923408e-06,1.906558e-06,1.877619e-06,1.866088e-06,1.848849e-06,1.820279e-06,1.809481e-06,1.791938e-06,1.763850e-06,1.753805e-06,1.736039e-06,1.708524e-06,1.699240e-06,1.681325e-06,1.654457e-06,1.645932e-06,1.627935e-06,1.601773e-06,1.593995e-06,1.575980e-06,1.550567e-06,1.543521e-06,1.525542e-06,1.500912e-06,1.494574e-06,1.476683e-06,1.452860e-06,1.447203e-06,1.429446e-06,1.406444e-06,1.401440e-06,1.383857e-06,1.361684e-06,1.357300e-06,1.339927e-06,1.318586e-06,1.314788e-06,1.297659e-06,1.277144e-06,1.273900e-06,1.257041e-06,1.237346e-06,1.234622e-06,1.218057e-06,1.199170e-06,1.196931e-06,1.180682e-06,1.162589e-06,1.160801e-06,1.144886e-06,1.127570e-06,1.126201e-06,1.110635e-06,1.094076e-06,1.093095e-06,1.077889e-06,1.062068e-06,1.061443e-06,1.046608e-06,1.031503e-06,1.031204e-06,1.016747e-06,1.002336e-06,9.747945e-07,9.485342e-07,9.235101e-07,8.996765e-07,8.769883e-07,8.554006e-07,8.348692e-07,8.153505e-07,7.968021e-07,7.791824e-07,7.624512e-07,7.465690e-07,7.314978e-07,7.172009e-07,7.036427e-07,6.907888e-07,6.786062e-07,6.670632e-07,6.561293e-07,6.457751e-07,6.359727e-07,6.266949e-07,6.179162e-07,6.096119e-07,6.017585e-07,5.943333e-07,5.873151e-07,5.806832e-07,5.744182e-07,5.685014e-07,5.629151e-07,5.576423e-07,5.526671e-07,5.479740e-07,5.435485e-07,5.393767e-07,5.354455e-07,5.317423e-07,5.282552e-07,5.249729e-07,5.218846e-07,5.189802e-07,5.162499e-07,5.136845e-07,5.112753e-07,5.090141e-07,5.068928e-07,5.049041e-07,5.030408e-07
0.000000e+00,1.774316e-11,3.154648e-09,3.423099e-09,1.025533e-07,1.058189e-06,1.148739e-06,6.556062e-06,2.201509e-05,2.353283e-05,6.185410e-05,1.244373e-04,1.313443e-04,2.397138e-04,3.742039e-04,3.913680e-04,5.871429e-04,7.941131e-04,8.246815e-04,1.099151e-03,1.359814e-03,1.404065e-03,1.732069e-03,2.019886e-03,2.075584e-03,2.427314e-03,2.717153e-03,2.780581e-03,3.129533e-03,3.402248e-03,3.469246e-03,3.795734e-03,4.039198e-03,4.105909e-03,4.397508e-03,4.605726e-03,4.668988e-03,4.919428e-03,5.090954e-03,5.148425e-03,5.355991e-03,5.492352e-03,5.542471e-03,5.708462e-03,5.812877e-03,5.854746e-03,5.982239e-03,6.058708e-03,6.091940e-03,6.184901e-03,6.237605e-03,6.262192e-03,6.324882e-03,6.357828e-03,6.374022e-03,6.410633e-03,6.427471e-03,6.435695e-03,6.450146e-03,6.454094e-03,6.454872e-03,6.450710e-03,6.444535e-03,6.438446e-03,6.418817e-03,6.404864e-03,6.392507e-03,6.360155e-03,6.340383e-03,6.322354e-03,6.279652e-03,6.255681e-03,6.232559e-03,6.181543e-03,6.154701e-03,6.127039e-03,6.069446e-03,6.040815e-03,6.009134e-03,5.946441e-03,5.916889e-03,5.881678e-03,5.815133e-03,5.785356e-03,5.747067e-03,5.677724e-03,5.648272e-03,5.607323e-03,5.536067e-03,5.507367e-03,5.464141e-03,5.391715e-03,5.364095e-03,5.318945e-03,5.245970e-03,5.219675e-03,5.172922e-03,5.099915e-03,5.075121e-03,5.027057e-03,4.954445e-03,4.931275e-03,4.882165e-03,4.810298e-03,4.788829e-03,4.738915e-03,4.668079e-03,4.648351e-03,4.597848e-03,4.528275e-03,4.510300e-03,4.459405e-03,4.391280e-03,4.375044e-03,4.323935e-03,4.257402e-03,4.242877e-03,4.191710e-03,4.126882e-03,4.114022e-03,4.062939e-03,3.999899e-03,3.988649e-03,3.937778e-03,3.876586e-03,3.866882e-03,3.816334e-03,3.757029e-03,3.748803e-03,3.698678e-03,3.641284e-03,3.634461e-03,3.584848e-03,3.529372e-03,3.523878e-03,3.474855e-03,3.421295e-03,3.417051e-03,3.368688e-03,3.317030e-03,3.313960e-03,3.266315e-03,3.216539e-03,3.214567e-03,3.167693e-03,3.119771e-03,3.118821e-03,3.072763e-03,3.026662e-03,2.938018e-03,2.852815e-03,2.770968e-03,2.692394e-03,2.617003e-03,2.544704e-03,2.475407e-03,2.409017e-03,2.345444e-03,2.284596e-03,2.226381e-03,2.170710e-03,2.117496e-03,2.066650e-03,2.018090e-03,1.971732e-03,1.927495e-03,1.885300e-03,1.845072e-03,1.806736e-03,1.770219e-03,1.735452e-03,1.702368e-03,1.670899e-03,1.640983e-03,1.612559e-03,1.585567e-03,1.559949e-03,1.535651e-03,1.512619e-03,1.490800e-03,1.470146e-03,1.450607e-03,1.432139e-03,1.414695e-03,1.398234e-03,1.382713e-03,1.368092e-03,1.354332e-03,1.341398e-03,1.329251e-03,1.317859e-03,1.307188e-03,1.297206e-03,1.287882e-03,1.279186e-03,1.271089e-03,1.263565e-03,1.256587e-03
0.000000e+00,8.852787e-12,9.743366e-10,1.044981e-09,1.871483e-08,1.488028e-07,1.606492e-07,8.940163e-07,3.344706e-06,3.608419e-06,1.123819e-05,2.648776e-05,2.832901e-05,6.026375e-05,1.058747e-04,1.120668e-04,1.873609e-04,2.743937e-04,2.877716e-04,4.128026e-04,5.382439e-04,5.600691e-04,7.257415e-04,8.756691e-04,9.050676e-04,1.092878e-03,1.249591e-03,1.284020e-03,1.473690e-03,1.621501e-03,1.657659e-03,1.832412e-03,1.960523e-03,1.995194e-03,2.144006e-03,2.246937e-03,2.277550e-03,2.395150e-03,2.471806e-03,2.496660e-03,2.582360e-03,2.634611e-03,2.652867e-03,2.709040e-03,2.740380e-03,2.751909e-03,2.782600e-03,2.797114e-03,2.802290e-03,2.812155e-03,2.813845e-03,2.813345e-03,2.806953e-03,2.799358e-03,2.794001e-03,2.775433e-03,2.761480e-03,2.752107e-03,2.724795e-03,2.706784e-03,2.694185e-03,2.660881e-03,2.640543e-03,2.625414e-03,2.588245e-03,2.566836e-03,2.549769e-03,2.510329e-03,2.488733e-03,2.470211e-03,2.429663e-03,2.408477e-03,2.388889e-03,2.348062e-03,2.327675e-03,2.307326e-03,2.266801e-03,2.247452e-03,2.226582e-03,2.186751e-03,2.168577e-03,2.147371e-03,2.108494e-03,2.091559e-03,2.070162e-03,2.032405e-03,2.016726e-03,1.995250e-03,1.958714e-03,1.944277e-03,1.922812e-03,1.887552e-03,1.874323e-03,1.852941e-03,1.818981e-03,1.806915e-03,1.785673e-03,1.753016e-03,1.742061e-03,1.721007e-03,1.689643e-03,1.679741e-03,1.658917e-03,1.628824e-03,1.619918e-03,1.599357e-03,1.570508e-03,1.562541e-03,1.542271e-03,1.514636e-03,1.507549e-03,1.487596e-03,1.461142e-03,1.454879e-03,1.435264e-03,1.409954e-03,1.404461e-03,1.385203e-03,1.361002e-03,1.356227e-03,1.337341e-03,1.314211e-03,1.310103e-03,1.291603e-03,1.269508e-03,1.266020e-03,1.247916e-03,1.226819e-03,1.223904e-03,1.206207e-03,1.186071e-03,1.183686e-03,1.166403e-03,1.147192e-03,1.145296e-03,1.128432e-03,1.110113e-03,1.108666e-03,1.092226e-03,1.074763e-03,1.073728e-03,1.057715e-03,1.041075e-03,1.040418e-03,1.024834e-03,1.008984e-03,1.008671e-03,9.935175e-04,9.784262e-04,9.496230e-04,9.222032e-04,8.961106e-04,8.712907e-04,8.476908e-04,8.252600e-04,8.039495e-04,7.837120e-04,7.645020e-04,7.462756e-04,7.289909e-04,7.126072e-04,6.970855e-04,6.823884e-04,6.684800e-04,6.553255e-04,6.428918e-04,6.311469e-04,6.200603e-04,6.096025e-04,5.997453e-04,5.904616e-04,5.817254e-04,5.735117e-04,5.657965e-04,5.585570e-04,5.517710e-04,5.454174e-04,5.394760e-04,5.339272e-04,5.287524e-04,5.239337e-04,5.194539e-04,5.152966e-04,5.114459e-04,5.078868e-04,5.046047e-04,5.015857e-04,4.988165e-04,4.962842e-04,4.939766e-04,4.918821e-04,4.899892e-04,4.882873e-04,4.867659e-04,4.854153e-04,4.842259e-04,4.831886e-04,4.822947e-04
0.000000e+00,2.412511e-11,2.743944e-09,2.944932e-09,5.413356e-08,4.304358e-07,4.644535e-07,2.525767e-06,9.177596e-06,9.883098e-06,2.997193e-05,6.955064e-05,7.431711e-05,1.571380e-04,2.765999e-04,2.929447e-04,4.941783e-04,7.324024e-04,7.695411e-04,1.123188e-03,1.489710e-03,1.554673e-03,2.059430e-03,2.534358e-03,2.629573e-03,3.254821e-03,3.800423e-03,3.923417e-03,4.622955e-03,5.196538e-03,5.341070e-03,6.065974e-03,6.629106e-03,6.786840e-03,7.494053e-03,8.017263e-03,8.179342e-03,8.835828e-03,9.299792e-03,9.457998e-03,1.004162e-02,1.043622e-02,1.058367e-02,1.108214e-02,1.140454e-02,1.153597e-02,1.194486e-02,1.219740e-02,1.230919e-02,1.262984e-02,1.281818e-02,1.290814e-02,1.314573e-02,1.327728e-02,1.334449e-02,1.350645e-02,1.358934e-02,1.363378e-02,1.372867e-02,1.377095e-02,1.379332e-02,1.382994e-02,1.383918e-02,1.384067e-02,1.382760e-02,1.381063e-02,1.379272e-02,1.373796e-02,1.370076e-02,1.366512e-02,1.357591e-02,1.352360e-02,1.347197e-02,1.335478e-02,1.329168e-02,1.322578e-02,1.308628e-02,1.301595e-02,1.293749e-02,1.278056e-02,1.270593e-02,1.261654e-02,1.244639e-02,1.236982e-02,1.227102e-02,1.209124e-02,1.201460e-02,1.190780e-02,1.172142e-02,1.164618e-02,1.153271e-02,1.134228e-02,1.126957e-02,1.115063e-02,1.095828e-02,1.088894e-02,1.076565e-02,1.057315e-02,1.050780e-02,1.038115e-02,1.018997e-02,1.012901e-02,9.999914e-03,9.811256e-03,9.754967e-03,9.624236e-03,9.439070e-03,9.387583e-03,9.255955e-03,9.075062e-03,9.028413e-03,8.896546e-03,8.720541e-03,8.678687e-03,8.547167e-03,8.376524e-03,8.339359e-03,8.208703e-03,8.043779e-03,8.011147e-03,7.881814e-03,7.722861e-03,7.694573e-03,7.566963e-03,7.414153e-03,7.389992e-03,7.264454e-03,7.117885e-03,7.097615e-03,6.974454e-03,6.834164e-03,6.817540e-03,6.697013e-03,6.562992e-03,6.549762e-03,6.432089e-03,6.304285e-03,6.294195e-03,6.179561e-03,6.057889e-03,6.050686e-03,5.939243e-03,5.823591e-03,5.819027e-03,5.710899e-03,5.601132e-03,5.598966e-03,5.494251e-03,5.390217e-03,5.192463e-03,5.005371e-03,4.828590e-03,4.661760e-03,4.504515e-03,4.356486e-03,4.217304e-03,4.086605e-03,3.964026e-03,3.849213e-03,3.741818e-03,3.641499e-03,3.547928e-03,3.460781e-03,3.379749e-03,3.304531e-03,3.234836e-03,3.170384e-03,3.110907e-03,3.056146e-03,3.005851e-03,2.959784e-03,2.917716e-03,2.879429e-03,2.844711e-03,2.813362e-03,2.785190e-03,2.760010e-03,2.737648e-03,2.717934e-03,2.700709e-03,2.685819e-03,2.673118e-03,2.662467e-03,2.653731e-03,2.646785e-03,2.641506e-03,2.637779e-03,2.635494e-03,2.634546e-03,2.634836e-03,2.636267e-03,2.638749e-03,2.642197e-03,2.646529e-03,2.651665e-03,2.657534e-03,2.664064e-03,2.671189e-03
0.000000e+00,5.455462e-09,1.784445e-07,1.884812e-07,1.814099e-06,7.879162e-06,8.271542e-06,2.113375e-05,3.546615e-05,3.637189e-05,5.075433e-05,6.257888e-05,6.354161e-05,7.472838e-05,8.353232e-05,8.444136e-05,9.282186e-05,9.920114e-05,1.000039e-04,1.061104e-04,1.105877e-04,1.112537e-04,1.155362e-04,1.185364e-04,1.190507e-04,1.218820e-04,1.237476e-04,1.241064e-04,1.257930e-04,1.267974e-04,1.270044e-04,1.277964e-04,1.281556e-04,1.282193e-04,1.283182e-04,1.282016e-04,1.281334e-04,1.277009e-04,1.272406e-04,1.270531e-04,1.262185e-04,1.255166e-04,1.252229e-04,1.240892e-04,1.232243e-04,1.228375e-04,1.214860e-04,1.205182e-04,1.200507e-04,1.185459e-04,1.175207e-04,1.169840e-04,1.153764e-04,1.143281e-04,1.137329e-04,1.120622e-04,1.110161e-04,1.103719e-04,1.086689e-04,1.076435e-04,1.069591e-04,1.052477e-04,1.042561e-04,1.035391e-04,1.018374e-04,1.008888e-04,1.001461e-04,9.846801e-05,9.756829e-05,9.680579e-05,9.516161e-05,9.431440e-05,9.353735e-05,9.193459e-05,9.114169e-05,9.035464e-05,8.879860e-05,8.806047e-05,8.726737e-05,8.576168e-05,8.507778e-05,8.428206e-05,8.282896e-05,8.219808e-05,8.140267e-05,8.000339e-05,7.942377e-05,7.863120e-05,7.728613e-05,7.675568e-05,7.596811e-05,7.467702e-05,7.419343e-05,7.341269e-05,7.217491e-05,7.173575e-05,7.096340e-05,6.977788e-05,6.938066e-05,6.861802e-05,6.748346e-05,6.712569e-05,6.637385e-05,6.528878e-05,6.496799e-05,6.422786e-05,6.319069e-05,6.290447e-05,6.217682e-05,6.118585e-05,6.093189e-05,6.021733e-05,5.927084e-05,5.904691e-05,5.834594e-05,5.744218e-05,5.724615e-05,5.655915e-05,5.569640e-05,5.552624e-05,5.485350e-05,5.403004e-05,5.388385e-05,5.322559e-05,5.243973e-05,5.231569e-05,5.167206e-05,5.092217e-05,5.081858e-05,5.018965e-05,4.947412e-05,4.938938e-05,4.877520e-05,4.809249e-05,4.802510e-05,4.742564e-05,4.677427e-05,4.672282e-05,4.613803e-05,4.551656e-05,4.547973e-05,4.490952e-05,4.431658e-05,4.429315e-05,4.373739e-05,4.317165e-05,4.316047e-05,4.261904e-05,4.207923e-05,4.104705e-05,4.006165e-05,3.912087e-05,3.822262e-05,3.736494e-05,3.654592e-05,3.576376e-05,3.501675e-05,3.430325e-05,3.362169e-05,3.297058e-05,3.234850e-05,3.175411e-05,3.118610e-05,3.064325e-05,3.012439e-05,2.962841e-05,2.915424e-05,2.870088e-05,2.826734e-05,2.785273e-05,2.745616e-05,2.707680e-05,2.671385e-05,2.636657e-05,2.603422e-05,2.571612e-05,2.541162e-05,2.512009e-05,2.484095e-05,2.457361e-05,2.431754e-05,2.407224e-05,2.383720e-05,2.361197e-05,2.339610e-05,2.318916e-05,2.299074e-05,2.280048e-05,2.261799e-05,2.244292e-05,2.227495e-05,2.211376e-05,2.195904e-05,2.181050e-05,2.166787e-05,2.153089e-05,2.139930e-05,2.127286e-05
0.000000e+00,1.032174e-09,1.175192e-08,1.223042e-08,6.693649e-08,2.196404e-07,2.289778e-07,5.452386e-07,9.551714e-07,9.833026e-07,1.457853e-06,1.878680e-06,1.913968e-06,2.335252e-06,2.682580e-06,2.719338e-06,3.067385e-06,3.345415e-06,3.381364e-06,3.663390e-06,3.881985e-06,3.915570e-06,4.139951e-06,4.308383e-06,4.338492e-06,4.513061e-06,4.639565e-06,4.665428e-06,4.797262e-06,4.889004e-06,4.910133e-06,5.005514e-06,5.068658e-06,5.084782e-06,5.149228e-06,5.189037e-06,5.200054e-06,5.238385e-06,5.259323e-06,5.265267e-06,5.281674e-06,5.287514e-06,5.288515e-06,5.286634e-06,5.280550e-06,5.276815e-06,5.259789e-06,5.244442e-06,5.236233e-06,5.206776e-06,5.184386e-06,5.172000e-06,5.132448e-06,5.104860e-06,5.088619e-06,5.040979e-06,5.009718e-06,4.989957e-06,4.935950e-06,4.902267e-06,4.879325e-06,4.820422e-06,4.785339e-06,4.759554e-06,4.697008e-06,4.661350e-06,4.633051e-06,4.567928e-06,4.532356e-06,4.501862e-06,4.435061e-06,4.400097e-06,4.367714e-06,4.299994e-06,4.266044e-06,4.232059e-06,4.164056e-06,4.131428e-06,4.096115e-06,4.028357e-06,3.997280e-06,3.960891e-06,3.893816e-06,3.864450e-06,3.827221e-06,3.761187e-06,3.733638e-06,3.695787e-06,3.631085e-06,3.605413e-06,3.567139e-06,3.504001e-06,3.480229e-06,3.441715e-06,3.380323e-06,3.358447e-06,3.319858e-06,3.260351e-06,3.240341e-06,3.201827e-06,3.144309e-06,3.126118e-06,3.087813e-06,3.032355e-06,3.015922e-06,2.977946e-06,2.924595e-06,2.909847e-06,2.872308e-06,2.821088e-06,2.807946e-06,2.770936e-06,2.721853e-06,2.710232e-06,2.673836e-06,2.626879e-06,2.616691e-06,2.580979e-06,2.536128e-06,2.527283e-06,2.492318e-06,2.449539e-06,2.441948e-06,2.407782e-06,2.367035e-06,2.360608e-06,2.327285e-06,2.288522e-06,2.283173e-06,2.250730e-06,2.213897e-06,2.209541e-06,2.178009e-06,2.143049e-06,2.139604e-06,2.109005e-06,2.075859e-06,2.073246e-06,2.043597e-06,2.012203e-06,2.010347e-06,1.981661e-06,1.951956e-06,1.950785e-06,1.923071e-06,1.894989e-06,1.894436e-06,1.867696e-06,1.841175e-06,1.790878e-06,1.743422e-06,1.698685e-06,1.656548e-06,1.616894e-06,1.579609e-06,1.544583e-06,1.511708e-06,1.480880e-06,1.451998e-06,1.424966e-06,1.399690e-06,1.376081e-06,1.354053e-06,1.333522e-06,1.314410e-06,1.296641e-06,1.280142e-06,1.264844e-06,1.250682e-06,1.237591e-06,1.225512e-06,1.214388e-06,1.204163e-06,1.194786e-06,1.186208e-06,1.178381e-06,1.171261e-06,1.164805e-06,1.158973e-06,1.153726e-06,1.149029e-06,1.144847e-06,1.141148e-06,1.137899e-06,1.135073e-06,1.132642e-06,1.130578e-06,1.128858e-06,1.127457e-06,1.126354e-06,1.125528e-06,1.124959e-06,1.124627e-06,1.124516e-06,1.124609e-06,1.124890e-06,1.125344e-06,1.125958e-06
0.000000e+00,5.221716e-10,3.667835e-08,3.902086e-08,4.866955e-07,2.843489e-06,3.031133e-06,1.223937e-05,3.367542e-05,3.562273e-05,8.007741e-05,1.408291e-04,1.469042e-04,2.307595e-04,3.140070e-04,3.234549e-04,4.179902e-04,4.991667e-04,5.099838e-04,5.972485e-04,6.678393e-04,6.789266e-04,7.548301e-04,8.142005e-04,8.250658e-04,8.898577e-04,9.391102e-04,9.494705e-04,1.004176e-03,1.044588e-03,1.054243e-03,1.099932e-03,1.132689e-03,1.141490e-03,1.179158e-03,1.205323e-03,1.213162e-03,1.243718e-03,1.264232e-03,1.271033e-03,1.295302e-03,1.310994e-03,1.316710e-03,1.335433e-03,1.347031e-03,1.351638e-03,1.365482e-03,1.373625e-03,1.377116e-03,1.386681e-03,1.391925e-03,1.394310e-03,1.400131e-03,1.402962e-03,1.404263e-03,1.406819e-03,1.407661e-03,1.407908e-03,1.407630e-03,1.406847e-03,1.406080e-03,1.403350e-03,1.401259e-03,1.399524e-03,1.394683e-03,1.391558e-03,1.388904e-03,1.382257e-03,1.378330e-03,1.374810e-03,1.366627e-03,1.362102e-03,1.357769e-03,1.348293e-03,1.343339e-03,1.338250e-03,1.327693e-03,1.322457e-03,1.316668e-03,1.305220e-03,1.299824e-03,1.293391e-03,1.281220e-03,1.275766e-03,1.268744e-03,1.255998e-03,1.250573e-03,1.243015e-03,1.229825e-03,1.224498e-03,1.216457e-03,1.202938e-03,1.197766e-03,1.189293e-03,1.175545e-03,1.170575e-03,1.161717e-03,1.147830e-03,1.143098e-03,1.133901e-03,1.119951e-03,1.115485e-03,1.105994e-03,1.092048e-03,1.087868e-03,1.078125e-03,1.064241e-03,1.060361e-03,1.050406e-03,1.036634e-03,1.033065e-03,1.022934e-03,1.009317e-03,1.006062e-03,9.957919e-04,9.823666e-04,9.794272e-04,9.690492e-04,9.558468e-04,9.532208e-04,9.427660e-04,9.298126e-04,9.274949e-04,9.169920e-04,9.043090e-04,9.022928e-04,8.917682e-04,8.793733e-04,8.776499e-04,8.671281e-04,8.550355e-04,8.535948e-04,8.430984e-04,8.313192e-04,8.301500e-04,8.196999e-04,8.082425e-04,8.073329e-04,7.969482e-04,7.858185e-04,7.851560e-04,7.748542e-04,7.640561e-04,7.636277e-04,7.534247e-04,7.429604e-04,7.427528e-04,7.326632e-04,7.225331e-04,7.029674e-04,6.840524e-04,6.657824e-04,6.481503e-04,6.311473e-04,6.147632e-04,5.989871e-04,5.838068e-04,5.692096e-04,5.551823e-04,5.417111e-04,5.287819e-04,5.163804e-04,5.044919e-04,4.931020e-04,4.821958e-04,4.717590e-04,4.617768e-04,4.522350e-04,4.431194e-04,4.344158e-04,4.261106e-04,4.181901e-04,4.106411e-04,4.034504e-04,3.966055e-04,3.900938e-04,3.839032e-04,3.780219e-04,3.724384e-04,3.671415e-04,3.621202e-04,3.573641e-04,3.528628e-04,3.486064e-04,3.445852e-04,3.407899e-04,3.372114e-04,3.338409e-04,3.306700e-04,3.276904e-04,3.248943e-04,3.222739e-04,3.198218e-04,3.175308e-04,3.153941e-04,3.134050e-04,3.115570e-04,3.098438e-04
0.000000e+00,2.286469e-11,2.946492e-09,3.172376e-09,6.935069e-08,6.444975e-07,6.994028e-07,4.266858e-06,1.647410e-05,1.778603e-05,5.542118e-05,1.299487e-04,1.389457e-04,2.962225e-04,5.267522e-04,5.586492e-04,9.583727e-04,1.447897e-03,1.525758e-03,2.287356e-03,3.114050e-03,3.264450e-03,4.472165e-03,5.671346e-03,5.919090e-03,7.607291e-03,9.168957e-03,9.532661e-03,1.168550e-02,1.356189e-02,1.405122e-02,1.661119e-02,1.872884e-02,1.934355e-02,2.222404e-02,2.449644e-02,2.522684e-02,2.832521e-02,3.066370e-02,3.149223e-02,3.470131e-02,3.702339e-02,3.792670e-02,4.114383e-02,4.337853e-02,4.432971e-02,4.746306e-02,4.955379e-02,5.052456e-02,5.349689e-02,5.540229e-02,5.636482e-02,5.911518e-02,6.080851e-02,6.173688e-02,6.422075e-02,6.568827e-02,6.655953e-02,6.874775e-02,6.998675e-02,7.078157e-02,7.265865e-02,7.367513e-02,7.437808e-02,7.594014e-02,7.674665e-02,7.734626e-02,7.859881e-02,7.921245e-02,7.970103e-02,8.065686e-02,8.109753e-02,8.147086e-02,8.214808e-02,8.243708e-02,8.269396e-02,8.311426e-02,8.327315e-02,8.341497e-02,8.360223e-02,8.365199e-02,8.368228e-02,8.366137e-02,8.362179e-02,8.354575e-02,8.334159e-02,8.323091e-02,8.305499e-02,8.269188e-02,8.252652e-02,8.225806e-02,8.175916e-02,8.155364e-02,8.120059e-02,8.058757e-02,8.035453e-02,7.992511e-02,7.921796e-02,7.896817e-02,7.847069e-02,7.768759e-02,7.743011e-02,7.687277e-02,7.603009e-02,7.577240e-02,7.516319e-02,7.427551e-02,7.402368e-02,7.337028e-02,7.245049e-02,7.220932e-02,7.151899e-02,7.057837e-02,7.035155e-02,6.963110e-02,6.867943e-02,6.846968e-02,6.772547e-02,6.677115e-02,6.658041e-02,6.581828e-02,6.486849e-02,6.469798e-02,6.392331e-02,6.298412e-02,6.283449e-02,6.205219e-02,6.112867e-02,6.100011e-02,6.021460e-02,5.931094e-02,5.920325e-02,5.841854e-02,5.753816e-02,5.745081e-02,5.667049e-02,5.581612e-02,5.574837e-02,5.497561e-02,5.414941e-02,5.410030e-02,5.333793e-02,5.254152e-02,5.250998e-02,5.176047e-02,5.099502e-02,5.097988e-02,5.024538e-02,4.951170e-02,4.810651e-02,4.676476e-02,4.548644e-02,4.427113e-02,4.311805e-02,4.202611e-02,4.099398e-02,4.002014e-02,3.910289e-02,3.824040e-02,3.743072e-02,3.667184e-02,3.596168e-02,3.529812e-02,3.467902e-02,3.410223e-02,3.356563e-02,3.306710e-02,3.260454e-02,3.217591e-02,3.177919e-02,3.141244e-02,3.107374e-02,3.076127e-02,3.047324e-02,3.020794e-02,2.996375e-02,2.973910e-02,2.953250e-02,2.934252e-02,2.916783e-02,2.900714e-02,2.885926e-02,2.872305e-02,2.859745e-02,2.848146e-02,2.837417e-02,2.827470e-02,2.818226e-02,2.809611e-02,2.801556e-02,2.794000e-02,2.786884e-02,2.780155e-02,2.773764e-02,2.767669e-02,2.761828e-02,2.756207e-02,2.750775e-02
0.000000e+00,1.700412e-10,1.442727e-08,1.539813e-08,2.198727e-07,1.426216e-06,1.526724e-06,6.844770e-06,2.079646e-05,2.213908e-05,5.528590e-05,1.067644e-04,1.122492e-04,1.934574e-04,2.829656e-04,2.936047e-04,4.044261e-04,5.042598e-04,5.177630e-04,6.273073e-04,7.153404e-04,7.290104e-04,8.207472e-04,8.895184e-04,9.017549e-04,9.721176e-04,1.022249e-03,1.032385e-03,1.083326e-03,1.117929e-03,1.125782e-03,1.160594e-03,1.182957e-03,1.188562e-03,1.210426e-03,1.223382e-03,1.226867e-03,1.238498e-03,1.244338e-03,1.245876e-03,1.249499e-03,1.250036e-03,1.249815e-03,1.247227e-03,1.243881e-03,1.242093e-03,1.234737e-03,1.228614e-03,1.225448e-03,1.214482e-03,1.206440e-03,1.202071e-03,1.188421e-03,1.179121e-03,1.173717e-03,1.158122e-03,1.148070e-03,1.141782e-03,1.124830e-03,1.114413e-03,1.107380e-03,1.089537e-03,1.079044e-03,1.071392e-03,1.053026e-03,1.042673e-03,1.034513e-03,1.015916e-03,1.005859e-03,9.972918e-04,9.786893e-04,9.690395e-04,9.601526e-04,9.417201e-04,9.325536e-04,9.234252e-04,9.052970e-04,8.966622e-04,8.873607e-04,8.696381e-04,8.615627e-04,8.521478e-04,8.349057e-04,8.274013e-04,8.179251e-04,8.012173e-04,7.942836e-04,7.847913e-04,7.686547e-04,7.622824e-04,7.528132e-04,7.372712e-04,7.314445e-04,7.220320e-04,7.070977e-04,7.017962e-04,6.924692e-04,6.781471e-04,6.733473e-04,6.641307e-04,6.504189e-04,6.460952e-04,6.370099e-04,6.239016e-04,6.200274e-04,6.110912e-04,5.985755e-04,5.951235e-04,5.863511e-04,5.744144e-04,5.713575e-04,5.627613e-04,5.513876e-04,5.486990e-04,5.402891e-04,5.294612e-04,5.271149e-04,5.188994e-04,5.085989e-04,5.065697e-04,4.985550e-04,4.887630e-04,4.870268e-04,4.792179e-04,4.699149e-04,4.684486e-04,4.608492e-04,4.520158e-04,4.507974e-04,4.434101e-04,4.350270e-04,4.340358e-04,4.268620e-04,4.189102e-04,4.181266e-04,4.111670e-04,4.036278e-04,4.030333e-04,3.962879e-04,3.891429e-04,3.887203e-04,3.821883e-04,3.754198e-04,3.751528e-04,3.688330e-04,3.624237e-04,3.622973e-04,3.561878e-04,3.501211e-04,3.385928e-04,3.276821e-04,3.173600e-04,3.075984e-04,2.983705e-04,2.896508e-04,2.814146e-04,2.736384e-04,2.662998e-04,2.593772e-04,2.528502e-04,2.466993e-04,2.409057e-04,2.354518e-04,2.303205e-04,2.254956e-04,2.209619e-04,2.167045e-04,2.127095e-04,2.089636e-04,2.054541e-04,2.021689e-04,1.990966e-04,1.962261e-04,1.935470e-04,1.910494e-04,1.887240e-04,1.865615e-04,1.845537e-04,1.826921e-04,1.809693e-04,1.793776e-04,1.779102e-04,1.765604e-04,1.753217e-04,1.741882e-04,1.731542e-04,1.722140e-04,1.713626e-04,1.705950e-04,1.699064e-04,1.692925e-04,1.687489e-04,1.682716e-04,1.678567e-04,1.675007e-04,1.672000e-04,1.669513e-04,1.667514e-04
0.000000e+00,1.286039e-11,1.380320e-09,1.479305e-09,2.519515e-08,1.873261e-07,2.016334e-07,1.041190e-06,3.661458e-06,3.936519e-06,1.170108e-05,2.691450e-05,2.874651e-05,6.063461e-05,1.067882e-04,1.131119e-04,1.910167e-04,2.831135e-04,2.974422e-04,4.333344e-04,5.729141e-04,5.975046e-04,7.869401e-04,9.624240e-04,9.972738e-04,1.223300e-03,1.416451e-03,1.459457e-03,1.700232e-03,1.892694e-03,1.940468e-03,2.175573e-03,2.352856e-03,2.401643e-03,2.615515e-03,2.768380e-03,2.814761e-03,2.997647e-03,3.121775e-03,3.163063e-03,3.310446e-03,3.405322e-03,3.439692e-03,3.551065e-03,3.618682e-03,3.645125e-03,3.722653e-03,3.766402e-03,3.784585e-03,3.831960e-03,3.855786e-03,3.865878e-03,3.887458e-03,3.895312e-03,3.897818e-03,3.898046e-03,3.893558e-03,3.889186e-03,3.872230e-03,3.858560e-03,3.848108e-03,3.817682e-03,3.797465e-03,3.781753e-03,3.741051e-03,3.716426e-03,3.696246e-03,3.647941e-03,3.620597e-03,3.596684e-03,3.542967e-03,3.514209e-03,3.487229e-03,3.429866e-03,3.400685e-03,3.371227e-03,3.311625e-03,3.282756e-03,3.251336e-03,3.190603e-03,3.162578e-03,3.129643e-03,3.068643e-03,3.041834e-03,3.007770e-03,2.947169e-03,2.921828e-03,2.886965e-03,2.827268e-03,2.803553e-03,2.768173e-03,2.709762e-03,2.687760e-03,2.652104e-03,2.595259e-03,2.575003e-03,2.539276e-03,2.484197e-03,2.465682e-03,2.430057e-03,2.376883e-03,2.360076e-03,2.324699e-03,2.273520e-03,2.258364e-03,2.223359e-03,2.174226e-03,2.160654e-03,2.126125e-03,2.079058e-03,2.066990e-03,2.033024e-03,1.988021e-03,1.977373e-03,1.944042e-03,1.901081e-03,1.891765e-03,1.859129e-03,1.818176e-03,1.810105e-03,1.778211e-03,1.739221e-03,1.732306e-03,1.701194e-03,1.664114e-03,1.658268e-03,1.627968e-03,1.592740e-03,1.587880e-03,1.558414e-03,1.524975e-03,1.521021e-03,1.492407e-03,1.460692e-03,1.457567e-03,1.429815e-03,1.399759e-03,1.397390e-03,1.370507e-03,1.342043e-03,1.340359e-03,1.314349e-03,1.287409e-03,1.286347e-03,1.261207e-03,1.235727e-03,1.235224e-03,1.210951e-03,1.186865e-03,1.141146e-03,1.097947e-03,1.057149e-03,1.018642e-03,9.823138e-04,9.480605e-04,9.157805e-04,8.853765e-04,8.567551e-04,8.298271e-04,8.045070e-04,7.807133e-04,7.583680e-04,7.373969e-04,7.177290e-04,6.992968e-04,6.820360e-04,6.658854e-04,6.507866e-04,6.366842e-04,6.235255e-04,6.112603e-04,5.998410e-04,5.892222e-04,5.793609e-04,5.702162e-04,5.617491e-04,5.539227e-04,5.467020e-04,5.400537e-04,5.339461e-04,5.283491e-04,5.232343e-04,5.185745e-04,5.143441e-04,5.105186e-04,5.070747e-04,5.039907e-04,5.012453e-04,4.988190e-04,4.966929e-04,4.948490e-04,4.932704e-04,4.919410e-04,4.908457e-04,4.899697e-04,4.892995e-04,4.888220e-04,4.885247e-04
0.000000e+00,2.059451e-10,1.813375e-08,1.937770e-08,2.963856e-07,2.023764e-06,2.169563e-06,9.896267e-06,2.953080e-05,3.136665e-05,7.419212e-05,1.335809e-04,1.395166e-04,2.207127e-04,2.987859e-04,3.074101e-04,3.900747e-04,4.543587e-04,4.623597e-04,5.213296e-04,5.610675e-04,5.666168e-04,5.993795e-04,6.185626e-04,6.214603e-04,6.348448e-04,6.406283e-04,6.413710e-04,6.426093e-04,6.406635e-04,6.398416e-04,6.340818e-04,6.280258e-04,6.261180e-04,6.165565e-04,6.085105e-04,6.058605e-04,5.943826e-04,5.855458e-04,5.823909e-04,5.700876e-04,5.611233e-04,5.576249e-04,5.451186e-04,5.363864e-04,5.326569e-04,5.203069e-04,5.119987e-04,5.081183e-04,4.961276e-04,4.883352e-04,4.843610e-04,4.728369e-04,4.655945e-04,4.615673e-04,4.505601e-04,4.438693e-04,4.398195e-04,4.293476e-04,4.231935e-04,4.191443e-04,4.092080e-04,4.035663e-04,3.995360e-04,3.901249e-04,3.849672e-04,3.809707e-04,3.720687e-04,3.673648e-04,3.634141e-04,3.550017e-04,3.507212e-04,3.468261e-04,3.388820e-04,3.349950e-04,3.311639e-04,3.236663e-04,3.201442e-04,3.163839e-04,3.093111e-04,3.061265e-04,3.024426e-04,2.957731e-04,2.929002e-04,2.892973e-04,2.830101e-04,2.804245e-04,2.769065e-04,2.709815e-04,2.686604e-04,2.652302e-04,2.596480e-04,2.575700e-04,2.542300e-04,2.489718e-04,2.471171e-04,2.438688e-04,2.389169e-04,2.372668e-04,2.341116e-04,2.294489e-04,2.279863e-04,2.249248e-04,2.205352e-04,2.192440e-04,2.162764e-04,2.121446e-04,2.110100e-04,2.081362e-04,2.042476e-04,2.032558e-04,2.004754e-04,1.968163e-04,1.959545e-04,1.932668e-04,1.898240e-04,1.890805e-04,1.864846e-04,1.832457e-04,1.826097e-04,1.801043e-04,1.770575e-04,1.765190e-04,1.741027e-04,1.712372e-04,1.707868e-04,1.684582e-04,1.657633e-04,1.653926e-04,1.631500e-04,1.606159e-04,1.603170e-04,1.581586e-04,1.557759e-04,1.555417e-04,1.534656e-04,1.512256e-04,1.510494e-04,1.490538e-04,1.469481e-04,1.468238e-04,1.449066e-04,1.429273e-04,1.428494e-04,1.410086e-04,1.391484e-04,1.391118e-04,1.373452e-04,1.355972e-04,1.322927e-04,1.291860e-04,1.262657e-04,1.235208e-04,1.209413e-04,1.185174e-04,1.162400e-04,1.141006e-04,1.120911e-04,1.102040e-04,1.084320e-04,1.067684e-04,1.052069e-04,1.037414e-04,1.023664e-04,1.010765e-04,9.986675e-05,9.873239e-05,9.766900e-05,9.667241e-05,9.573869e-05,9.486412e-05,9.404523e-05,9.327871e-05,9.256149e-05,9.189063e-05,9.126341e-05,9.067724e-05,9.012968e-05,8.961844e-05,8.914137e-05,8.869642e-05,8.828170e-05,8.789539e-05,8.753580e-05,8.720132e-05,8.689047e-05,8.660181e-05,8.633402e-05,8.608583e-05,8.585607e-05,8.564361e-05,8.544741e-05,8.526647e-05,8.509988e-05,8.494674e-05,8.480624e-05,8.467760e-05,8.456008e-05
0.000000e+00,3.499468e-10,3.726348e-09,3.874059e-09,2.071269e-08,6.904639e-08,7.206065e-08,1.770526e-07,3.190444e-07,3.289613e-07,4.983273e-07,6.501900e-07,6.629434e-07,8.150636e-07,9.400195e-07,9.532088e-07,1.077707e-06,1.176604e-06,1.189352e-06,1.289031e-06,1.365860e-06,1.377629e-06,1.455987e-06,1.514480e-06,1.524904e-06,1.585128e-06,1.628519e-06,1.637361e-06,1.682254e-06,1.713294e-06,1.720415e-06,1.752411e-06,1.773428e-06,1.778768e-06,1.799971e-06,1.812920e-06,1.816475e-06,1.828698e-06,1.835212e-06,1.837022e-06,1.841805e-06,1.843243e-06,1.843377e-06,1.842042e-06,1.839528e-06,1.838080e-06,1.831749e-06,1.826214e-06,1.823288e-06,1.812914e-06,1.805120e-06,1.800832e-06,1.787225e-06,1.777796e-06,1.772265e-06,1.756107e-06,1.745552e-06,1.738897e-06,1.720764e-06,1.709493e-06,1.701832e-06,1.682209e-06,1.670553e-06,1.661999e-06,1.641293e-06,1.629514e-06,1.620177e-06,1.598727e-06,1.587031e-06,1.577015e-06,1.555104e-06,1.543652e-06,1.533053e-06,1.510916e-06,1.499830e-06,1.488739e-06,1.466568e-06,1.455939e-06,1.444441e-06,1.422393e-06,1.412287e-06,1.400458e-06,1.378662e-06,1.369124e-06,1.357033e-06,1.335593e-06,1.326650e-06,1.314363e-06,1.293360e-06,1.285026e-06,1.272601e-06,1.252099e-06,1.244378e-06,1.231866e-06,1.211914e-06,1.204801e-06,1.192251e-06,1.172884e-06,1.166368e-06,1.153820e-06,1.135065e-06,1.129129e-06,1.116622e-06,1.098495e-06,1.093118e-06,1.080685e-06,1.063195e-06,1.058355e-06,1.046025e-06,1.029175e-06,1.024847e-06,1.012645e-06,9.964346e-07,9.925913e-07,9.805412e-07,9.649635e-07,9.615785e-07,9.496990e-07,9.347454e-07,9.317917e-07,9.200995e-07,9.057583e-07,9.032090e-07,8.917183e-07,8.779759e-07,8.758045e-07,8.645272e-07,8.513684e-07,8.495490e-07,8.384952e-07,8.259035e-07,8.244112e-07,8.135889e-07,8.015469e-07,8.003576e-07,7.897732e-07,7.782633e-07,7.773537e-07,7.670124e-07,7.560161e-07,7.553643e-07,7.452698e-07,7.347687e-07,7.343537e-07,7.245085e-07,7.144844e-07,7.142862e-07,7.046918e-07,6.951262e-07,6.768384e-07,6.593882e-07,6.427416e-07,6.268654e-07,6.117273e-07,5.972959e-07,5.835407e-07,5.704323e-07,5.579422e-07,5.460431e-07,5.347085e-07,5.239131e-07,5.136323e-07,5.038429e-07,4.945224e-07,4.856493e-07,4.772028e-07,4.691634e-07,4.615121e-07,4.542308e-07,4.473024e-07,4.407102e-07,4.344387e-07,4.284727e-07,4.227978e-07,4.174005e-07,4.122675e-07,4.073865e-07,4.027455e-07,3.983332e-07,3.941388e-07,3.901519e-07,3.863626e-07,3.827618e-07,3.793403e-07,3.760896e-07,3.730018e-07,3.700689e-07,3.672837e-07,3.646391e-07,3.621284e-07,3.597453e-07,3.574836e-07,3.553376e-07,3.533018e-07,3.513708e-07,3.495397e-07,3.478038e-07,3.461584e-07
0.000000e+00,8.539096e-10,1.074157e-07,1.155395e-07,2.391299e-06,2.147321e-05,2.328822e-05,1.434021e-04,5.811730e-04,6.300366e-04,2.124760e-03,5.401933e-03,5.817015e-03,1.352871e-02,2.590960e-02,2.769803e-02,5.128784e-02,8.249380e-02,8.764861e-02,1.403608e-01,2.015554e-01,2.130743e-01,3.093575e-01,4.109119e-01,4.325634e-01,5.857176e-01,7.354967e-01,7.714297e-01,9.918277e-01,1.194216e+00,1.248516e+00,1.542552e+00,1.798173e+00,1.874443e+00,2.244157e+00,2.550117e+00,2.651147e+00,3.094383e+00,3.444864e+00,3.572396e+00,4.083325e+00,4.470350e+00,4.624966e+00,5.194826e+00,5.609064e+00,5.790174e+00,6.408092e+00,6.839614e+00,7.045526e+00,7.699335e+00,8.138270e+00,8.366328e+00,9.043313e+00,9.480362e+00,9.727123e+00,1.041466e+01,1.084148e+01,1.110291e+01,1.178898e+01,1.219842e+01,1.247011e+01,1.314368e+01,1.352992e+01,1.380725e+01,1.445856e+01,1.481714e+01,1.509550e+01,1.571617e+01,1.604396e+01,1.631886e+01,1.690202e+01,1.719710e+01,1.746432e+01,1.800457e+01,1.826611e+01,1.852178e+01,1.901513e+01,1.924325e+01,1.948394e+01,1.992770e+01,2.012331e+01,2.034603e+01,2.073871e+01,2.090332e+01,2.110561e+01,2.144674e+01,2.158235e+01,2.176221e+01,2.205222e+01,2.216116e+01,2.231708e+01,2.255716e+01,2.264198e+01,2.277291e+01,2.296483e+01,2.302820e+01,2.313350e+01,2.327952e+01,2.332413e+01,2.340356e+01,2.350629e+01,2.353478e+01,2.358844e+01,2.365074e+01,2.366568e+01,2.369395e+01,2.371884e+01,2.372264e+01,2.372619e+01,2.371676e+01,2.371166e+01,2.369135e+01,2.365073e+01,2.363880e+01,2.359567e+01,2.352692e+01,2.351004e+01,2.344525e+01,2.335138e+01,2.333121e+01,2.324604e+01,2.312994e+01,2.310795e+01,2.300375e+01,2.286816e+01,2.284563e+01,2.272380e+01,2.257131e+01,2.254935e+01,2.241130e+01,2.224434e+01,2.222387e+01,2.207102e+01,2.189186e+01,2.187364e+01,2.170739e+01,2.151812e+01,2.150278e+01,2.132451e+01,2.112703e+01,2.111507e+01,2.092612e+01,2.072218e+01,2.071397e+01,2.051562e+01,2.030682e+01,2.030263e+01,2.009613e+01,1.988389e+01,1.946033e+01,1.903423e+01,1.860765e+01,1.818240e+01,1.776008e+01,1.734210e+01,1.692968e+01,1.652389e+01,1.612564e+01,1.573569e+01,1.535471e+01,1.498325e+01,1.462175e+01,1.427056e+01,1.392998e+01,1.360020e+01,1.328139e+01,1.297363e+01,1.267696e+01,1.239140e+01,1.211690e+01,1.185338e+01,1.160076e+01,1.135890e+01,1.112764e+01,1.090682e+01,1.069625e+01,1.049573e+01,1.030504e+01,1.012395e+01,9.952221e+00,9.789610e+00,9.635861e+00,9.490718e+00,9.353915e+00,9.225187e+00,9.104262e+00,8.990870e+00,8.884738e+00,8.785594e+00,8.693165e+00,8.607180e+00,8.527368e+00,8.453463e+00,8.385199e+00,8.322316e+00,8.264554e+00,8.211661e+00,8.163387e+00
0.000000e+00,1.819913e-11,2.013431e-09,2.158753e-09,3.709508e-08,2.725648e-07,2.931582e-07,1.481829e-06,5.117019e-06,5.496055e-06,1.613759e-05,3.694714e-05,3.945708e-05,8.337308e-05,1.477543e-04,1.566499e-04,2.676279e-04,4.019197e-04,4.230972e-04,6.275288e-04,8.439388e-04,8.827144e-04,1.187764e-03,1.480182e-03,1.539370e-03,1.932236e-03,2.280457e-03,2.359589e-03,2.813702e-03,3.190762e-03,3.286388e-03,3.769420e-03,4.148255e-03,4.254881e-03,4.735430e-03,5.093282e-03,5.204488e-03,5.656358e-03,5.976836e-03,6.086271e-03,6.490401e-03,6.763736e-03,6.865827e-03,7.210482e-03,7.432709e-03,7.523069e-03,7.802977e-03,7.974618e-03,8.050187e-03,8.265179e-03,8.389841e-03,8.448840e-03,8.602383e-03,8.685512e-03,8.727271e-03,8.825144e-03,8.873029e-03,8.897766e-03,8.946966e-03,8.966017e-03,8.974604e-03,8.982527e-03,8.978806e-03,8.972549e-03,8.946421e-03,8.925364e-03,8.905821e-03,8.852340e-03,8.818633e-03,8.787470e-03,8.712606e-03,8.670159e-03,8.629039e-03,8.537961e-03,8.489950e-03,8.440462e-03,8.337536e-03,8.286472e-03,8.230085e-03,8.118924e-03,8.066750e-03,8.004788e-03,7.888330e-03,7.836508e-03,7.770139e-03,7.650734e-03,7.600335e-03,7.530577e-03,7.410076e-03,7.361862e-03,7.289591e-03,7.169434e-03,7.123919e-03,7.049881e-03,6.931165e-03,6.888673e-03,6.813492e-03,6.697039e-03,6.657750e-03,6.581957e-03,6.468375e-03,6.432364e-03,6.356402e-03,6.246128e-03,6.213389e-03,6.137628e-03,6.030962e-03,6.001430e-03,5.926177e-03,5.823309e-03,5.796882e-03,5.722387e-03,5.623430e-03,5.599975e-03,5.526450e-03,5.431451e-03,5.410818e-03,5.338438e-03,5.247405e-03,5.229435e-03,5.158342e-03,5.071242e-03,5.055772e-03,4.986086e-03,4.902857e-03,4.889719e-03,4.821538e-03,4.742102e-03,4.731130e-03,4.664526e-03,4.588787e-03,4.579820e-03,4.514855e-03,4.442705e-03,4.435587e-03,4.372307e-03,4.303633e-03,4.298213e-03,4.236654e-03,4.171340e-03,4.167473e-03,4.107661e-03,4.045588e-03,4.043138e-03,3.985090e-03,3.926137e-03,3.924973e-03,3.868699e-03,3.812745e-03,3.706219e-03,3.605164e-03,3.509354e-03,3.418565e-03,3.332583e-03,3.251195e-03,3.174196e-03,3.101388e-03,3.032577e-03,2.967579e-03,2.906214e-03,2.848310e-03,2.793700e-03,2.742225e-03,2.693731e-03,2.648072e-03,2.605105e-03,2.564697e-03,2.526716e-03,2.491040e-03,2.457550e-03,2.426132e-03,2.396678e-03,2.369085e-03,2.343253e-03,2.319089e-03,2.296501e-03,2.275405e-03,2.255719e-03,2.237364e-03,2.220265e-03,2.204353e-03,2.189560e-03,2.175821e-03,2.163074e-03,2.151263e-03,2.140332e-03,2.130227e-03,2.120899e-03,2.112301e-03,2.104387e-03,2.097114e-03,2.090441e-03,2.084330e-03,2.078745e-03,2.073650e-03,2.069012e-03,2.064801e-03,2.060986e-03
0.000000e+00,4.292379e-12,4.941700e-10,5.305956e-10,1.004416e-08,8.264438e-08,8.929898e-08,5.007901e-07,1.858310e-06,2.003331e-06,6.161970e-06,1.441151e-05,1.540692e-05,3.272396e-05,5.771170e-05,6.112911e-05,1.031559e-04,1.527733e-04,1.604944e-04,2.338198e-04,3.094290e-04,3.227883e-04,4.261525e-04,5.226830e-04,5.419488e-04,6.677127e-04,7.763514e-04,8.006930e-04,9.380447e-04,1.049199e-03,1.076987e-03,1.214928e-03,1.320324e-03,1.349549e-03,1.478857e-03,1.572556e-03,1.601213e-03,1.715332e-03,1.793911e-03,1.820272e-03,1.915403e-03,1.977619e-03,2.000378e-03,2.075095e-03,2.121342e-03,2.139657e-03,2.194333e-03,2.226067e-03,2.239525e-03,2.275733e-03,2.294983e-03,2.303527e-03,2.323520e-03,2.332517e-03,2.336351e-03,2.342663e-03,2.343581e-03,2.343090e-03,2.338252e-03,2.333067e-03,2.328737e-03,2.315102e-03,2.305513e-03,2.297869e-03,2.277519e-03,2.264928e-03,2.254495e-03,2.229199e-03,2.214724e-03,2.201996e-03,2.173214e-03,2.157721e-03,2.143145e-03,2.112049e-03,2.096190e-03,2.080158e-03,2.047672e-03,2.031920e-03,2.014769e-03,1.981603e-03,1.966296e-03,1.948308e-03,1.914998e-03,1.900364e-03,1.881774e-03,1.848720e-03,1.834905e-03,1.815906e-03,1.783395e-03,1.770486e-03,1.751236e-03,1.719472e-03,1.707512e-03,1.688137e-03,1.657261e-03,1.646262e-03,1.626865e-03,1.596968e-03,1.586920e-03,1.567584e-03,1.538724e-03,1.529600e-03,1.510394e-03,1.482599e-03,1.474366e-03,1.455343e-03,1.428626e-03,1.421242e-03,1.402448e-03,1.376805e-03,1.370226e-03,1.351696e-03,1.327117e-03,1.321296e-03,1.303061e-03,1.279525e-03,1.274416e-03,1.256501e-03,1.233983e-03,1.229540e-03,1.211966e-03,1.190440e-03,1.186617e-03,1.169400e-03,1.148838e-03,1.145591e-03,1.128745e-03,1.109115e-03,1.106403e-03,1.089939e-03,1.071210e-03,1.068992e-03,1.052920e-03,1.035060e-03,1.033298e-03,1.017624e-03,1.000602e-03,9.992581e-04,9.839881e-04,9.677738e-04,9.668134e-04,9.519513e-04,9.365132e-04,9.359036e-04,9.214519e-04,9.067600e-04,9.064699e-04,8.924300e-04,8.784546e-04,8.518017e-04,8.264561e-04,8.023648e-04,7.794761e-04,7.577399e-04,7.371077e-04,7.175327e-04,6.989696e-04,6.813746e-04,6.647057e-04,6.489224e-04,6.339855e-04,6.198577e-04,6.065028e-04,5.938860e-04,5.819740e-04,5.707348e-04,5.601375e-04,5.501526e-04,5.407520e-04,5.319083e-04,5.235957e-04,5.157891e-04,5.084646e-04,5.015992e-04,4.951711e-04,4.891592e-04,4.835432e-04,4.783040e-04,4.734230e-04,4.688826e-04,4.646657e-04,4.607563e-04,4.571387e-04,4.537981e-04,4.507203e-04,4.478917e-04,4.452994e-04,4.429308e-04,4.407742e-04,4.388180e-04,4.370516e-04,4.354643e-04,4.340465e-04,4.327884e-04,4.316812e-04,4.307161e-04,4.298848e-04,4.291795e-04
0.000000e+00,1.288314e-09,9.286717e-08,9.891275e-08,1.325963e-06,8.225980e-06,8.785031e-06,3.642706e-05,9.930263e-05,1.048720e-04,2.260525e-04,3.774674e-04,3.919436e-04,5.833677e-04,7.633289e-04,7.833762e-04,9.818203e-04,1.151264e-03,1.173898e-03,1.357723e-03,1.508751e-03,1.532713e-03,1.698814e-03,1.831575e-03,1.856174e-03,2.005014e-03,2.120883e-03,2.145589e-03,2.278168e-03,2.378659e-03,2.403026e-03,2.520439e-03,2.607030e-03,2.630682e-03,2.734025e-03,2.808116e-03,2.830735e-03,2.921071e-03,2.983965e-03,3.005286e-03,3.083628e-03,3.136531e-03,3.156335e-03,3.223639e-03,3.267657e-03,3.285765e-03,3.342931e-03,3.379079e-03,3.395348e-03,3.443219e-03,3.472419e-03,3.486741e-03,3.526104e-03,3.549199e-03,3.561492e-03,3.593083e-03,3.610837e-03,3.621047e-03,3.645549e-03,3.658656e-03,3.666750e-03,3.684803e-03,3.693889e-03,3.699855e-03,3.712050e-03,3.717683e-03,3.721526e-03,3.728414e-03,3.731103e-03,3.732843e-03,3.734935e-03,3.735139e-03,3.734808e-03,3.732577e-03,3.730706e-03,3.728350e-03,3.722233e-03,3.718655e-03,3.714327e-03,3.704730e-03,3.699773e-03,3.693535e-03,3.680831e-03,3.674786e-03,3.666706e-03,3.651242e-03,3.644367e-03,3.634519e-03,3.616614e-03,3.609138e-03,3.597600e-03,3.577548e-03,3.569670e-03,3.556525e-03,3.534596e-03,3.526491e-03,3.511823e-03,3.488266e-03,3.480088e-03,3.463982e-03,3.439026e-03,3.430907e-03,3.413450e-03,3.387305e-03,3.379358e-03,3.360638e-03,3.333496e-03,3.325817e-03,3.305923e-03,3.277960e-03,3.270630e-03,3.249647e-03,3.221024e-03,3.214113e-03,3.192127e-03,3.162991e-03,3.156552e-03,3.133649e-03,3.104133e-03,3.098212e-03,3.074474e-03,3.044700e-03,3.039331e-03,3.014840e-03,2.984919e-03,2.980127e-03,2.954962e-03,2.924993e-03,2.920798e-03,2.895035e-03,2.865109e-03,2.861521e-03,2.835236e-03,2.805434e-03,2.802458e-03,2.775722e-03,2.746118e-03,2.743755e-03,2.716637e-03,2.687296e-03,2.685540e-03,2.658109e-03,2.629089e-03,2.627932e-03,2.600250e-03,2.571603e-03,2.571033e-03,2.543162e-03,2.514935e-03,2.459720e-03,2.405459e-03,2.352214e-03,2.300038e-03,2.248978e-03,2.199072e-03,2.150353e-03,2.102846e-03,2.056573e-03,2.011550e-03,1.967787e-03,1.925292e-03,1.884068e-03,1.844115e-03,1.805431e-03,1.768008e-03,1.731839e-03,1.696913e-03,1.663217e-03,1.630736e-03,1.599454e-03,1.569355e-03,1.540417e-03,1.512623e-03,1.485950e-03,1.460377e-03,1.435881e-03,1.412439e-03,1.390028e-03,1.368623e-03,1.348201e-03,1.328735e-03,1.310203e-03,1.292578e-03,1.275835e-03,1.259950e-03,1.244898e-03,1.230654e-03,1.217194e-03,1.204491e-03,1.192524e-03,1.181266e-03,1.170695e-03,1.160787e-03,1.151518e-03,1.142866e-03,1.134808e-03,1.127322e-03,1.120386e-03
0.000000e+00,1.586550e-11,1.988284e-09,2.138403e-09,4.287878e-08,3.536489e-07,3.818299e-07,2.075282e-06,7.425905e-06,7.987706e-06,2.379269e-05,5.455447e-05,5.824875e-05,1.224644e-04,2.156723e-04,2.284947e-04,3.877967e-04,5.796950e-04,6.099188e-04,9.015960e-04,1.210792e-03,1.266281e-03,1.704060e-03,2.126124e-03,2.211870e-03,2.783915e-03,3.295379e-03,3.412212e-03,4.087175e-03,4.653642e-03,4.798204e-03,5.534218e-03,6.118512e-03,6.284132e-03,7.037247e-03,7.605571e-03,7.783565e-03,8.514005e-03,9.039554e-03,9.220556e-03,9.896362e-03,1.036068e-02,1.053575e-02,1.113423e-02,1.152696e-02,1.168840e-02,1.219593e-02,1.251364e-02,1.265539e-02,1.306623e-02,1.331080e-02,1.342861e-02,1.374331e-02,1.392027e-02,1.401161e-02,1.423523e-02,1.435230e-02,1.441618e-02,1.455672e-02,1.462265e-02,1.465928e-02,1.472637e-02,1.475005e-02,1.476057e-02,1.476445e-02,1.475432e-02,1.474053e-02,1.469129e-02,1.465501e-02,1.461910e-02,1.452622e-02,1.447048e-02,1.441483e-02,1.428694e-02,1.421740e-02,1.414444e-02,1.398912e-02,1.391049e-02,1.382260e-02,1.364639e-02,1.356247e-02,1.346189e-02,1.327036e-02,1.318416e-02,1.307296e-02,1.287075e-02,1.278462e-02,1.266468e-02,1.245563e-02,1.237134e-02,1.224436e-02,1.203159e-02,1.195047e-02,1.181794e-02,1.160398e-02,1.152698e-02,1.139022e-02,1.117711e-02,1.110487e-02,1.096505e-02,1.075439e-02,1.068733e-02,1.054545e-02,1.033851e-02,1.027686e-02,1.013382e-02,9.931571e-03,9.875408e-03,9.731966e-03,9.535162e-03,9.484469e-03,9.341296e-03,9.150487e-03,9.105159e-03,8.962833e-03,8.778419e-03,8.738290e-03,8.597312e-03,8.419567e-03,8.384426e-03,8.245227e-03,8.074324e-03,8.043929e-03,7.906881e-03,7.742910e-03,7.716997e-03,7.582418e-03,7.425403e-03,7.403698e-03,7.271858e-03,7.121771e-03,7.103992e-03,6.975122e-03,6.831890e-03,6.817754e-03,6.692048e-03,6.555567e-03,6.544793e-03,6.422414e-03,6.292552e-03,6.284865e-03,6.165946e-03,6.042554e-03,6.037684e-03,5.922335e-03,5.805247e-03,5.802937e-03,5.691246e-03,5.580285e-03,5.369374e-03,5.169841e-03,4.981314e-03,4.803423e-03,4.635797e-03,4.478069e-03,4.329874e-03,4.190859e-03,4.060673e-03,3.938977e-03,3.825441e-03,3.719740e-03,3.621564e-03,3.530608e-03,3.446578e-03,3.369189e-03,3.298164e-03,3.233236e-03,3.174144e-03,3.120635e-03,3.072466e-03,3.029397e-03,2.991197e-03,2.957640e-03,2.928508e-03,2.903584e-03,2.882661e-03,2.865533e-03,2.852000e-03,2.841866e-03,2.834940e-03,2.831034e-03,2.829963e-03,2.831548e-03,2.835610e-03,2.841976e-03,2.850477e-03,2.860947e-03,2.873221e-03,2.887142e-03,2.902553e-03,2.919303e-03,2.937245e-03,2.956235e-03,2.976135e-03,2.996809e-03,3.018129e-03,3.039969e-03,3.062210e-03
0.000000e+00,1.403301e-10,1.376799e-08,1.475018e-08,2.565714e-07,1.940717e-06,2.088126e-06,1.029138e-05,3.248739e-05,3.462145e-05,8.645095e-05,1.640234e-04,1.721326e-04,2.900600e-04,4.177280e-04,4.328616e-04,5.911978e-04,7.365481e-04,7.565176e-04,9.222569e-04,1.061678e-03,1.083955e-03,1.238878e-03,1.362655e-03,1.385528e-03,1.523214e-03,1.629281e-03,1.651742e-03,1.771207e-03,1.860423e-03,1.881866e-03,1.984059e-03,2.058139e-03,2.078169e-03,2.164590e-03,2.225371e-03,2.243717e-03,2.315937e-03,2.365155e-03,2.381626e-03,2.441144e-03,2.480371e-03,2.494837e-03,2.543035e-03,2.573673e-03,2.586052e-03,2.624188e-03,2.647478e-03,2.657728e-03,2.686943e-03,2.703981e-03,2.712090e-03,2.733414e-03,2.745163e-03,2.751147e-03,2.765510e-03,2.772814e-03,2.776711e-03,2.784948e-03,2.788546e-03,2.790410e-03,2.793275e-03,2.793813e-03,2.793711e-03,2.791879e-03,2.789919e-03,2.787931e-03,2.782009e-03,2.778039e-03,2.774251e-03,2.764784e-03,2.759227e-03,2.753731e-03,2.741207e-03,2.734428e-03,2.727321e-03,2.712177e-03,2.704489e-03,2.695871e-03,2.678495e-03,2.670168e-03,2.660138e-03,2.640881e-03,2.632143e-03,2.620802e-03,2.599975e-03,2.591021e-03,2.578468e-03,2.556346e-03,2.547340e-03,2.533673e-03,2.510504e-03,2.501582e-03,2.486896e-03,2.462899e-03,2.454175e-03,2.438563e-03,2.413932e-03,2.405498e-03,2.389049e-03,2.363956e-03,2.355888e-03,2.338689e-03,2.313285e-03,2.305642e-03,2.287776e-03,2.262194e-03,2.255022e-03,2.236569e-03,2.210926e-03,2.204260e-03,2.185293e-03,2.159694e-03,2.153557e-03,2.134149e-03,2.108681e-03,2.103091e-03,2.083309e-03,2.058051e-03,2.053014e-03,2.032923e-03,2.007942e-03,2.003462e-03,1.983121e-03,1.958474e-03,1.954548e-03,1.934014e-03,1.909751e-03,1.906371e-03,1.885697e-03,1.861860e-03,1.859014e-03,1.838249e-03,1.814874e-03,1.812549e-03,1.791740e-03,1.768854e-03,1.767034e-03,1.746222e-03,1.723851e-03,1.722517e-03,1.701744e-03,1.679905e-03,1.679037e-03,1.658339e-03,1.637048e-03,1.636625e-03,1.616036e-03,1.595304e-03,1.555091e-03,1.515997e-03,1.478027e-03,1.441182e-03,1.405462e-03,1.370858e-03,1.337364e-03,1.304966e-03,1.273651e-03,1.243405e-03,1.214209e-03,1.186044e-03,1.158892e-03,1.132731e-03,1.107541e-03,1.083299e-03,1.059982e-03,1.037569e-03,1.016035e-03,9.953587e-04,9.755161e-04,9.564844e-04,9.382406e-04,9.207620e-04,9.040260e-04,8.880104e-04,8.726932e-04,8.580527e-04,8.440678e-04,8.307175e-04,8.179813e-04,8.058392e-04,7.942713e-04,7.832585e-04,7.727820e-04,7.628233e-04,7.533646e-04,7.443882e-04,7.358773e-04,7.278150e-04,7.201853e-04,7.129724e-04,7.061610e-04,6.997361e-04,6.936833e-04,6.879884e-04,6.826377e-04,6.776181e-04,6.729164e-04
0.000000e+00,4.179525e-11,5.080739e-09,5.460170e-09,1.072033e-07,9.071115e-07,9.813255e-07,5.690968e-06,2.198489e-05,2.376922e-05,7.715648e-05,1.912435e-04,2.055560e-04,4.686721e-04,8.850059e-04,9.447475e-04,1.726387e-03,2.747392e-03,2.914959e-03,4.614610e-03,6.562451e-03,6.926586e-03,9.944280e-03,1.308460e-02,1.374924e-02,1.840817e-02,2.290131e-02,2.397100e-02,3.046978e-02,3.635266e-02,3.791846e-02,4.631336e-02,5.350565e-02,5.563405e-02,6.584481e-02,7.417035e-02,7.689628e-02,8.872730e-02,9.794272e-02,1.012669e-01,1.144362e-01,1.242607e-01,1.281506e-01,1.423210e-01,1.524630e-01,1.568565e-01,1.716649e-01,1.818439e-01,1.866550e-01,2.017372e-01,2.116998e-01,2.168251e-01,2.318358e-01,2.413658e-01,2.466911e-01,2.613179e-01,2.702419e-01,2.756487e-01,2.896217e-01,2.978104e-01,3.031812e-01,3.162774e-01,3.236435e-01,3.288667e-01,3.409114e-01,3.474065e-01,3.523797e-01,3.632451e-01,3.688541e-01,3.734866e-01,3.830884e-01,3.878245e-01,3.920390e-01,4.003318e-01,4.042304e-01,4.079638e-01,4.149359e-01,4.180493e-01,4.212524e-01,4.269206e-01,4.293130e-01,4.319506e-01,4.363546e-01,4.380978e-01,4.401473e-01,4.433448e-01,4.445146e-01,4.459652e-01,4.480275e-01,4.487006e-01,4.495518e-01,4.505593e-01,4.508111e-01,4.510716e-01,4.511109e-01,4.510135e-01,4.506995e-01,4.498601e-01,4.494812e-01,4.486152e-01,4.469874e-01,4.463893e-01,4.449990e-01,4.426719e-01,4.419109e-01,4.400277e-01,4.370877e-01,4.362143e-01,4.338724e-01,4.304020e-01,4.294603e-01,4.266960e-01,4.227733e-01,4.218016e-01,4.186521e-01,4.143500e-01,4.133810e-01,4.098839e-01,4.052699e-01,4.043308e-01,4.005236e-01,3.956598e-01,3.947730e-01,3.906926e-01,3.856355e-01,3.848189e-01,3.805012e-01,3.753018e-01,3.745694e-01,3.700489e-01,3.647532e-01,3.641153e-01,3.594250e-01,3.540739e-01,3.535379e-01,3.487090e-01,3.433388e-01,3.429092e-01,3.379713e-01,3.326140e-01,3.322930e-01,3.272738e-01,3.219571e-01,3.217450e-01,3.166701e-01,3.114184e-01,3.113138e-01,3.062071e-01,3.010411e-01,2.909628e-01,2.811093e-01,2.715059e-01,2.621735e-01,2.531290e-01,2.443860e-01,2.359546e-01,2.278424e-01,2.200545e-01,2.125936e-01,2.054609e-01,1.986557e-01,1.921759e-01,1.860184e-01,1.801787e-01,1.746515e-01,1.694310e-01,1.645103e-01,1.598821e-01,1.555388e-01,1.514723e-01,1.476739e-01,1.441352e-01,1.408470e-01,1.378003e-01,1.349860e-01,1.323946e-01,1.300169e-01,1.278435e-01,1.258650e-01,1.240721e-01,1.224556e-01,1.210063e-01,1.197151e-01,1.185730e-01,1.175712e-01,1.167011e-01,1.159541e-01,1.153220e-01,1.147966e-01,1.143701e-01,1.140347e-01,1.137831e-01,1.136080e-01,1.135025e-01,1.134601e-01,1.134742e-01,1.135388e-01,1.136480e-01
0.000000e+00,6.481739e-09,9.541119e-08,9.964752e-08,6.115110e-07,2.067243e-06,2.155561e-06,5.077817e-06,8.677737e-06,8.918370e-06,1.289861e-05,1.635747e-05,1.664602e-05,2.008108e-05,2.290528e-05,2.320396e-05,2.603120e-05,2.828999e-05,2.858217e-05,3.087617e-05,3.265765e-05,3.293175e-05,3.476654e-05,3.614932e-05,3.639716e-05,3.783927e-05,3.889143e-05,3.910751e-05,4.021557e-05,4.099529e-05,4.117621e-05,4.200129e-05,4.255790e-05,4.270188e-05,4.328819e-05,4.366317e-05,4.376964e-05,4.415507e-05,4.438326e-05,4.445260e-05,4.466974e-05,4.478025e-05,4.481348e-05,4.489027e-05,4.490741e-05,4.490609e-05,4.486645e-05,4.481042e-05,4.477642e-05,4.464073e-05,4.452827e-05,4.446369e-05,4.424933e-05,4.409427e-05,4.400134e-05,4.372312e-05,4.353683e-05,4.341781e-05,4.308831e-05,4.288012e-05,4.273729e-05,4.236721e-05,4.214472e-05,4.198032e-05,4.157870e-05,4.134808e-05,4.116427e-05,4.073878e-05,4.050499e-05,4.030384e-05,3.986095e-05,3.962795e-05,3.941144e-05,3.895657e-05,3.872748e-05,3.849748e-05,3.803520e-05,3.781247e-05,3.757070e-05,3.710484e-05,3.689031e-05,3.663842e-05,3.617215e-05,3.596721e-05,3.570669e-05,3.524265e-05,3.504831e-05,3.478056e-05,3.432092e-05,3.413784e-05,3.386416e-05,3.341068e-05,3.323930e-05,3.296086e-05,3.251499e-05,3.235551e-05,3.207339e-05,3.163629e-05,3.148874e-05,3.120392e-05,3.077650e-05,3.064079e-05,3.035418e-05,2.993713e-05,2.981307e-05,2.952548e-05,2.911934e-05,2.900662e-05,2.871880e-05,2.832394e-05,2.822222e-05,2.793483e-05,2.755153e-05,2.746040e-05,2.717406e-05,2.680246e-05,2.672150e-05,2.643674e-05,2.607691e-05,2.600566e-05,2.572298e-05,2.537492e-05,2.531289e-05,2.503273e-05,2.469638e-05,2.464310e-05,2.436585e-05,2.404109e-05,2.399609e-05,2.372208e-05,2.340878e-05,2.337156e-05,2.310112e-05,2.279907e-05,2.276917e-05,2.250257e-05,2.221157e-05,2.218852e-05,2.192600e-05,2.164581e-05,2.162917e-05,2.137094e-05,2.110132e-05,2.109064e-05,2.083688e-05,2.057757e-05,2.057243e-05,2.032330e-05,2.007403e-05,1.959489e-05,1.913449e-05,1.869228e-05,1.826772e-05,1.786027e-05,1.746938e-05,1.709453e-05,1.673520e-05,1.639087e-05,1.606104e-05,1.574521e-05,1.544290e-05,1.515364e-05,1.487697e-05,1.461244e-05,1.435963e-05,1.411810e-05,1.388745e-05,1.366728e-05,1.345720e-05,1.325685e-05,1.306585e-05,1.288386e-05,1.271054e-05,1.254555e-05,1.238859e-05,1.223934e-05,1.209751e-05,1.196281e-05,1.183496e-05,1.171369e-05,1.159874e-05,1.148987e-05,1.138683e-05,1.128939e-05,1.119732e-05,1.111040e-05,1.102843e-05,1.095120e-05,1.087851e-05,1.081018e-05,1.074602e-05,1.068586e-05,1.062952e-05,1.057685e-05,1.052769e-05,1.048187e-05,1.043927e-05,1.039972e-05
0.000000e+00,4.621045e-11,5.428077e-09,5.827157e-09,1.073625e-07,8.581282e-07,9.265332e-07,5.191316e-06,1.987040e-05,2.148419e-05,7.040230e-05,1.778545e-04,1.915392e-04,4.485519e-04,8.691033e-04,9.304404e-04,1.749038e-03,2.850447e-03,3.033820e-03,4.925271e-03,7.147295e-03,7.567822e-03,1.110305e-02,1.485992e-02,1.566360e-02,2.136807e-02,2.697051e-02,2.831703e-02,3.659010e-02,4.420092e-02,4.624414e-02,5.731240e-02,6.693437e-02,6.980445e-02,8.370693e-02,9.519531e-02,9.898480e-02,1.155830e-01,1.286735e-01,1.334287e-01,1.524332e-01,1.667773e-01,1.724948e-01,1.935008e-01,2.087024e-01,2.153302e-01,2.378559e-01,2.535043e-01,2.609468e-01,2.844702e-01,3.001679e-01,3.082932e-01,3.322850e-01,3.476690e-01,3.563176e-01,3.802679e-01,3.950238e-01,4.040181e-01,4.274569e-01,4.413271e-01,4.504803e-01,4.729919e-01,4.857790e-01,4.949035e-01,5.161352e-01,5.277009e-01,5.366154e-01,5.562813e-01,5.665427e-01,5.750782e-01,5.929595e-01,6.018828e-01,6.098866e-01,6.258285e-01,6.334224e-01,6.407616e-01,6.546689e-01,6.609767e-01,6.675399e-01,6.793702e-01,6.844627e-01,6.901606e-01,6.999172e-01,7.038852e-01,7.086506e-01,7.163755e-01,7.193236e-01,7.231106e-01,7.288775e-01,7.309186e-01,7.337009e-01,7.376081e-01,7.388585e-01,7.406281e-01,7.427922e-01,7.433679e-01,7.441327e-01,7.446833e-01,7.446967e-01,7.444786e-01,7.435536e-01,7.431112e-01,7.419437e-01,7.396848e-01,7.388858e-01,7.368123e-01,7.333617e-01,7.322967e-01,7.293680e-01,7.248659e-01,7.236162e-01,7.198891e-01,7.144711e-01,7.131088e-01,7.086443e-01,7.024401e-01,7.010276e-01,6.958892e-01,6.890212e-01,6.876122e-01,6.818649e-01,6.744476e-01,6.730869e-01,6.667960e-01,6.589353e-01,6.576598e-01,6.508899e-01,6.426828e-01,6.415222e-01,6.343363e-01,6.258712e-01,6.248484e-01,6.173076e-01,6.086642e-01,6.077962e-01,5.999591e-01,5.912089e-01,5.905075e-01,5.824297e-01,5.736364e-01,5.731087e-01,5.648430e-01,5.560626e-01,5.557118e-01,5.473075e-01,5.385891e-01,5.384152e-01,5.299181e-01,5.213044e-01,5.044535e-01,4.879256e-01,4.717744e-01,4.560445e-01,4.407727e-01,4.259885e-01,4.117154e-01,3.979709e-01,3.847677e-01,3.721139e-01,3.600140e-01,3.484688e-01,3.374766e-01,3.270327e-01,3.171305e-01,3.077614e-01,2.989153e-01,2.905806e-01,2.827446e-01,2.753937e-01,2.685136e-01,2.620891e-01,2.561047e-01,2.505446e-01,2.453925e-01,2.406321e-01,2.362467e-01,2.322199e-01,2.285351e-01,2.251759e-01,2.221259e-01,2.193689e-01,2.168891e-01,2.146708e-01,2.126986e-01,2.109574e-01,2.094325e-01,2.081095e-01,2.069745e-01,2.060139e-01,2.052145e-01,2.045639e-01,2.040496e-01,2.036601e-01,2.033840e-01,2.032107e-01,2.031298e-01,2.031317e-01,2.032070e-01
0.000000e+00,4.029276e-11,5.097860e-09,5.483712e-09,1.127188e-07,9.875115e-07,1.069601e-06,6.365168e-06,2.506051e-05,2.712419e-05,8.952919e-05,2.248585e-04,2.419457e-04,5.586592e-04,1.066148e-03,1.139423e-03,2.105756e-03,3.384086e-03,3.595267e-03,5.755083e-03,8.263023e-03,8.735152e-03,1.268195e-02,1.684529e-02,1.773295e-02,2.401195e-02,3.015240e-02,3.162547e-02,4.066007e-02,4.895529e-02,5.118064e-02,6.322946e-02,7.370186e-02,7.682614e-02,9.196808e-02,1.044955e-01,1.086314e-01,1.267727e-01,1.411131e-01,1.463302e-01,1.672265e-01,1.830497e-01,1.893697e-01,2.126567e-01,2.295778e-01,2.369742e-01,2.622017e-01,2.798121e-01,2.882132e-01,3.148788e-01,3.327728e-01,3.420673e-01,3.696471e-01,3.874431e-01,3.974877e-01,4.254617e-01,4.428181e-01,4.534452e-01,4.813191e-01,4.979433e-01,5.089698e-01,5.362901e-01,5.519445e-01,5.631793e-01,5.895440e-01,6.040467e-01,6.152981e-01,6.403634e-01,6.535869e-01,6.646689e-01,6.881515e-01,7.000185e-01,7.107556e-01,7.324329e-01,7.429108e-01,7.531422e-01,7.728494e-01,7.819445e-01,7.915268e-01,8.091531e-01,8.169038e-01,8.257130e-01,8.411965e-01,8.476669e-01,8.555990e-01,8.689207e-01,8.741944e-01,8.811660e-01,8.923438e-01,8.965185e-01,9.024661e-01,9.115488e-01,9.147314e-01,9.196104e-01,9.266722e-01,9.289743e-01,9.327580e-01,9.378933e-01,9.394276e-01,9.421056e-01,9.454237e-01,9.463015e-01,9.478777e-01,9.494987e-01,9.498273e-01,9.503186e-01,9.503699e-01,9.502509e-01,9.496852e-01,9.482977e-01,9.478259e-01,9.462404e-01,9.435464e-01,9.428087e-01,9.402484e-01,9.363790e-01,9.354542e-01,9.319702e-01,9.270537e-01,9.260122e-01,9.216605e-01,9.158209e-01,9.147247e-01,9.095646e-01,9.029205e-01,9.018233e-01,8.959167e-01,8.885806e-01,8.875285e-01,8.809383e-01,8.730157e-01,8.720474e-01,8.648374e-01,8.564272e-01,8.555744e-01,8.478082e-01,8.390022e-01,8.382903e-01,8.300305e-01,8.209134e-01,8.203622e-01,8.116703e-01,8.023196e-01,8.019436e-01,7.928790e-01,7.833654e-01,7.831745e-01,7.737948e-01,7.641824e-01,7.450823e-01,7.259777e-01,7.069610e-01,6.881143e-01,6.695099e-01,6.512114e-01,6.332739e-01,6.157447e-01,5.986644e-01,5.820669e-01,5.659802e-01,5.504269e-01,5.354249e-01,5.209876e-01,5.071242e-01,4.938405e-01,4.811391e-01,4.690196e-01,4.574790e-01,4.465121e-01,4.361117e-01,4.262686e-01,4.169722e-01,4.082106e-01,3.999706e-01,3.922381e-01,3.849980e-01,3.782346e-01,3.719316e-01,3.660723e-01,3.606396e-01,3.556162e-01,3.509845e-01,3.467271e-01,3.428263e-01,3.392646e-01,3.360248e-01,3.330897e-01,3.304424e-01,3.280662e-01,3.259448e-01,3.240624e-01,3.224033e-01,3.209525e-01,3.196953e-01,3.186176e-01,3.177056e-01,3.169463e-01,3.163270e-01
0.000000e+00,4.307688e-11,5.129963e-09,5.509763e-09,1.049763e-07,8.759835e-07,9.475681e-07,5.549633e-06,2.197344e-05,2.380106e-05,7.982718e-05,2.037491e-04,2.195268e-04,5.146947e-04,9.931207e-04,1.062504e-03,1.981315e-03,3.202299e-03,3.404304e-03,5.472192e-03,7.874013e-03,8.325985e-03,1.210032e-02,1.607228e-02,1.691775e-02,2.288424e-02,2.869516e-02,3.008573e-02,3.858598e-02,4.634920e-02,4.842535e-02,5.962059e-02,6.929086e-02,7.216540e-02,8.603156e-02,9.742445e-02,1.011706e-01,1.175160e-01,1.303403e-01,1.349852e-01,1.534823e-01,1.673769e-01,1.729002e-01,1.931236e-01,2.076941e-01,2.140306e-01,2.354958e-01,2.503458e-01,2.573915e-01,2.795904e-01,2.943466e-01,3.019667e-01,3.243979e-01,3.387280e-01,3.467660e-01,3.689583e-01,3.825826e-01,3.908689e-01,4.123987e-01,4.250954e-01,4.334562e-01,4.539581e-01,4.655645e-01,4.738289e-01,4.930016e-01,5.034112e-01,5.114174e-01,5.290255e-01,5.381826e-01,5.457829e-01,5.616544e-01,5.695478e-01,5.766119e-01,5.906342e-01,5.972898e-01,6.037066e-01,6.158206e-01,6.212938e-01,6.269732e-01,6.371664e-01,6.415348e-01,6.464070e-01,6.547062e-01,6.580632e-01,6.620786e-01,6.685426e-01,6.709915e-01,6.741193e-01,6.788324e-01,6.804817e-01,6.827081e-01,6.857739e-01,6.867327e-01,6.880594e-01,6.895949e-01,6.899702e-01,6.904121e-01,6.905430e-01,6.904370e-01,6.900203e-01,6.888768e-01,6.883851e-01,6.871453e-01,6.848587e-01,6.840693e-01,6.820494e-01,6.787493e-01,6.777416e-01,6.749900e-01,6.708023e-01,6.696471e-01,6.662164e-01,6.612615e-01,6.600207e-01,6.559662e-01,6.503579e-01,6.490847e-01,6.444632e-01,6.383079e-01,6.370478e-01,6.319164e-01,6.253124e-01,6.241028e-01,6.185184e-01,6.115558e-01,6.104276e-01,6.044455e-01,5.972067e-01,5.961841e-01,5.898581e-01,5.824174e-01,5.815191e-01,5.749011e-01,5.673249e-01,5.665646e-01,5.597037e-01,5.520515e-01,5.514384e-01,5.443812e-01,5.367052e-01,5.362447e-01,5.290350e-01,5.213813e-01,5.210756e-01,5.137540e-01,5.061626e-01,5.060112e-01,4.986155e-01,4.911209e-01,4.764647e-01,4.620932e-01,4.480493e-01,4.343687e-01,4.210803e-01,4.082075e-01,3.957684e-01,3.837767e-01,3.722418e-01,3.611698e-01,3.505638e-01,3.404238e-01,3.307479e-01,3.215318e-01,3.127697e-01,3.044542e-01,2.965766e-01,2.891273e-01,2.820954e-01,2.754697e-01,2.692380e-01,2.633880e-01,2.579067e-01,2.527807e-01,2.479967e-01,2.435412e-01,2.394003e-01,2.355606e-01,2.320084e-01,2.287301e-01,2.257124e-01,2.229419e-01,2.204057e-01,2.180910e-01,2.159852e-01,2.140761e-01,2.123517e-01,2.108003e-01,2.094108e-01,2.081721e-01,2.070737e-01,2.061054e-01,2.052575e-01,2.045204e-01,2.038852e-01,2.033433e-01,2.028866e-01,2.025070e-01,2.021974e-01
0.000000e+00,1.912236e-11,2.055960e-09,2.203404e-09,3.749798e-08,2.786400e-07,2.999237e-07,1.549912e-06,5.450453e-06,5.859366e-06,1.734213e-05,3.951628e-05,4.216092e-05,8.749354e-05,1.513274e-04,1.599451e-04,2.641489e-04,3.836691e-04,4.019751e-04,5.723937e-04,7.423528e-04,7.718329e-04,9.948203e-04,1.195492e-03,1.234722e-03,1.484443e-03,1.691642e-03,1.737021e-03,1.986066e-03,2.179010e-03,2.226050e-03,2.452471e-03,2.617415e-03,2.661892e-03,2.851917e-03,2.982441e-03,3.021097e-03,3.168801e-03,3.264285e-03,3.295084e-03,3.400545e-03,3.464137e-03,3.486192e-03,3.553324e-03,3.590089e-03,3.603424e-03,3.638074e-03,3.653633e-03,3.658885e-03,3.667447e-03,3.667132e-03,3.665284e-03,3.653830e-03,3.642239e-03,3.634408e-03,3.608225e-03,3.589076e-03,3.576365e-03,3.539797e-03,3.515956e-03,3.499374e-03,3.455841e-03,3.429424e-03,3.409842e-03,3.361934e-03,3.334451e-03,3.312591e-03,3.262217e-03,3.234709e-03,3.211153e-03,3.159685e-03,3.132844e-03,3.108053e-03,3.056456e-03,3.030722e-03,3.005057e-03,2.953992e-03,2.929633e-03,2.903372e-03,2.853286e-03,2.830447e-03,2.803807e-03,2.754993e-03,2.733737e-03,2.706889e-03,2.659533e-03,2.639872e-03,2.612950e-03,2.567162e-03,2.549073e-03,2.522185e-03,2.478028e-03,2.461465e-03,2.434698e-03,2.392199e-03,2.377103e-03,2.350531e-03,2.309694e-03,2.295997e-03,2.269682e-03,2.230493e-03,2.218125e-03,2.192120e-03,2.154556e-03,2.143443e-03,2.117793e-03,2.081822e-03,2.071891e-03,2.046635e-03,2.012222e-03,2.003400e-03,1.978573e-03,1.945677e-03,1.937893e-03,1.913524e-03,1.882102e-03,1.875287e-03,1.851402e-03,1.821411e-03,1.815497e-03,1.792118e-03,1.763512e-03,1.758435e-03,1.735582e-03,1.708315e-03,1.704013e-03,1.681701e-03,1.655728e-03,1.652142e-03,1.630384e-03,1.605658e-03,1.602732e-03,1.581540e-03,1.558017e-03,1.555697e-03,1.535078e-03,1.512713e-03,1.510948e-03,1.490910e-03,1.469658e-03,1.468400e-03,1.448947e-03,1.428766e-03,1.427970e-03,1.409105e-03,1.389952e-03,1.389574e-03,1.371299e-03,1.353134e-03,1.318570e-03,1.285807e-03,1.254771e-03,1.225391e-03,1.197596e-03,1.171321e-03,1.146499e-03,1.123069e-03,1.100970e-03,1.080143e-03,1.060532e-03,1.042082e-03,1.024742e-03,1.008460e-03,9.931876e-04,9.788787e-04,9.654877e-04,9.529713e-04,9.412876e-04,9.303964e-04,9.202591e-04,9.108385e-04,9.020989e-04,8.940058e-04,8.865262e-04,8.796284e-04,8.732820e-04,8.674576e-04,8.621271e-04,8.572636e-04,8.528411e-04,8.488349e-04,8.452211e-04,8.419769e-04,8.390804e-04,8.365108e-04,8.342479e-04,8.322726e-04,8.305665e-04,8.291121e-04,8.278927e-04,8.268922e-04,8.260954e-04,8.254877e-04,8.250553e-04,8.247849e-04,8.246641e-04,8.246808e-04,8.248238e-04
0.000000e+00,4.961059e-10,5.673251e-09,5.907766e-09,3.358691e-08,1.125492e-07,1.173331e-07,2.706556e-07,4.404596e-07,4.510619e-07,6.144396e-07,7.388715e-07,7.485174e-07,8.545015e-07,9.291647e-07,9.363883e-07,9.982471e-07,1.038959e-06,1.043641e-06,1.075563e-06,1.094149e-06,1.096500e-06,1.108507e-06,1.112945e-06,1.113284e-06,1.112235e-06,1.107849e-06,1.106522e-06,1.097100e-06,1.087431e-06,1.084763e-06,1.070159e-06,1.057537e-06,1.053817e-06,1.036176e-06,1.022122e-06,1.017593e-06,9.983600e-07,9.838491e-07,9.787121e-07,9.588393e-07,9.444793e-07,9.388956e-07,9.190043e-07,9.051644e-07,8.992624e-07,8.797464e-07,8.666359e-07,8.605165e-07,8.416183e-07,8.293446e-07,8.230867e-07,8.049471e-07,7.935522e-07,7.872178e-07,7.699109e-07,7.593962e-07,7.530338e-07,7.365898e-07,7.269315e-07,7.205792e-07,7.049997e-07,6.961597e-07,6.898474e-07,6.751165e-07,6.670488e-07,6.608002e-07,6.468908e-07,6.395459e-07,6.333797e-07,6.202583e-07,6.135860e-07,6.075172e-07,5.951471e-07,5.890982e-07,5.831384e-07,5.714816e-07,5.660085e-07,5.601671e-07,5.491855e-07,5.442431e-07,5.385273e-07,5.281833e-07,5.237292e-07,5.181446e-07,5.084021e-07,5.043966e-07,4.989474e-07,4.897718e-07,4.861778e-07,4.808671e-07,4.722253e-07,4.690087e-07,4.638386e-07,4.556992e-07,4.528282e-07,4.477999e-07,4.401334e-07,4.375785e-07,4.326927e-07,4.254710e-07,4.232052e-07,4.184618e-07,4.116586e-07,4.096569e-07,4.050553e-07,3.986458e-07,3.968850e-07,3.924242e-07,3.863850e-07,3.848440e-07,3.805227e-07,3.748319e-07,3.734910e-07,3.693074e-07,3.639442e-07,3.627855e-07,3.587376e-07,3.536827e-07,3.526895e-07,3.487751e-07,3.440102e-07,3.431674e-07,3.393839e-07,3.348920e-07,3.341854e-07,3.305303e-07,3.262951e-07,3.257120e-07,3.221825e-07,3.181889e-07,3.177175e-07,3.143107e-07,3.105444e-07,3.101738e-07,3.068867e-07,3.033343e-07,3.030546e-07,2.998842e-07,2.965332e-07,2.963353e-07,2.932784e-07,2.901170e-07,2.899924e-07,2.870461e-07,2.840630e-07,2.840042e-07,2.811652e-07,2.783501e-07,2.730106e-07,2.679675e-07,2.632038e-07,2.587031e-07,2.544504e-07,2.504314e-07,2.466326e-07,2.430414e-07,2.396459e-07,2.364348e-07,2.333977e-07,2.305245e-07,2.278060e-07,2.252333e-07,2.227982e-07,2.204929e-07,2.183100e-07,2.162426e-07,2.142842e-07,2.124288e-07,2.106704e-07,2.090037e-07,2.074236e-07,2.059253e-07,2.045041e-07,2.031558e-07,2.018765e-07,2.006622e-07,1.995094e-07,1.984148e-07,1.973751e-07,1.963874e-07,1.954489e-07,1.945567e-07,1.937086e-07,1.929020e-07,1.921349e-07,1.914049e-07,1.907102e-07,1.900490e-07,1.894193e-07,1.888196e-07,1.882483e-07,1.877038e-07,1.871849e-07,1.866901e-07,1.862183e-07,1.857681e-07,1.853386e-07
0.000000e+00,1.690314e-09,1.012272e-07,1.074550e-07,1.238974e-06,6.832036e-06,7.264342e-06,2.734968e-05,6.976529e-05,7.342445e-05,1.511645e-04,2.451838e-04,2.540348e-04,3.691425e-04,4.745443e-04,4.861434e-04,5.996683e-04,6.950059e-04,7.076432e-04,8.094847e-04,8.921324e-04,9.051604e-04,9.948191e-04,1.065632e-03,1.078666e-03,1.156925e-03,1.217088e-03,1.229824e-03,1.297590e-03,1.348259e-03,1.360449e-03,1.418620e-03,1.460879e-03,1.472321e-03,1.521759e-03,1.556608e-03,1.567139e-03,1.608657e-03,1.637005e-03,1.646501e-03,1.680855e-03,1.703526e-03,1.711892e-03,1.739783e-03,1.757520e-03,1.764687e-03,1.786761e-03,1.800230e-03,1.806153e-03,1.823004e-03,1.832801e-03,1.837452e-03,1.849627e-03,1.856284e-03,1.859654e-03,1.867651e-03,1.871641e-03,1.873735e-03,1.878012e-03,1.879756e-03,1.880589e-03,1.881564e-03,1.881434e-03,1.881033e-03,1.879087e-03,1.877411e-03,1.875812e-03,1.871292e-03,1.868361e-03,1.865604e-03,1.858826e-03,1.854894e-03,1.851028e-03,1.842278e-03,1.837567e-03,1.832643e-03,1.822184e-03,1.816888e-03,1.810960e-03,1.799028e-03,1.793316e-03,1.786441e-03,1.773250e-03,1.767267e-03,1.759504e-03,1.745248e-03,1.739119e-03,1.730527e-03,1.715382e-03,1.709214e-03,1.699852e-03,1.683976e-03,1.677859e-03,1.667788e-03,1.651322e-03,1.645332e-03,1.634610e-03,1.617683e-03,1.611883e-03,1.600568e-03,1.583294e-03,1.577736e-03,1.565885e-03,1.548366e-03,1.543092e-03,1.530759e-03,1.513087e-03,1.508130e-03,1.495370e-03,1.477626e-03,1.473011e-03,1.459875e-03,1.442132e-03,1.437876e-03,1.424413e-03,1.406735e-03,1.402852e-03,1.389110e-03,1.371552e-03,1.368050e-03,1.354074e-03,1.336686e-03,1.333567e-03,1.319400e-03,1.302225e-03,1.299488e-03,1.285171e-03,1.268247e-03,1.265888e-03,1.251460e-03,1.234818e-03,1.232831e-03,1.218328e-03,1.201996e-03,1.200371e-03,1.185827e-03,1.169828e-03,1.168556e-03,1.154003e-03,1.138357e-03,1.137424e-03,1.122893e-03,1.107614e-03,1.107007e-03,1.092525e-03,1.077628e-03,1.077332e-03,1.062925e-03,1.048419e-03,1.020283e-03,9.929370e-04,9.663868e-04,9.406365e-04,9.156867e-04,8.915351e-04,8.681771e-04,8.456058e-04,8.238125e-04,8.027867e-04,7.825167e-04,7.629894e-04,7.441907e-04,7.261057e-04,7.087186e-04,6.920132e-04,6.759728e-04,6.605802e-04,6.458180e-04,6.316688e-04,6.181148e-04,6.051385e-04,5.927221e-04,5.808481e-04,5.694991e-04,5.586579e-04,5.483074e-04,5.384308e-04,5.290117e-04,5.200338e-04,5.114813e-04,5.033386e-04,4.955904e-04,4.882220e-04,4.812188e-04,4.745667e-04,4.682519e-04,4.622611e-04,4.565813e-04,4.511999e-04,4.461045e-04,4.412835e-04,4.367252e-04,4.324186e-04,4.283529e-04,4.245176e-04,4.209027e-04,4.174986e-04,4.142957e-04
0.000000e+00,1.001515e-10,1.035329e-08,1.109158e-08,1.882231e-07,1.410915e-06,1.519086e-06,7.842655e-06,2.710391e-05,2.908791e-05,8.287329e-05,1.799063e-04,1.910567e-04,3.728240e-04,6.086520e-04,6.392058e-04,9.913825e-04,1.366630e-03,1.422065e-03,1.918297e-03,2.385533e-03,2.464377e-03,3.044203e-03,3.546355e-03,3.642842e-03,4.247387e-03,4.740043e-03,4.847283e-03,5.434301e-03,5.890458e-03,6.002306e-03,6.546949e-03,6.953643e-03,7.065328e-03,7.555681e-03,7.909029e-03,8.017113e-03,8.449374e-03,8.750584e-03,8.852687e-03,9.227602e-03,9.480388e-03,9.574899e-03,9.895505e-03,1.010459e-02,1.019044e-02,1.046078e-02,1.063112e-02,1.070761e-02,1.093203e-02,1.106840e-02,1.113512e-02,1.131793e-02,1.142477e-02,1.148150e-02,1.162681e-02,1.170817e-02,1.175484e-02,1.186650e-02,1.192601e-02,1.196268e-02,1.204423e-02,1.208515e-02,1.211196e-02,1.216666e-02,1.219187e-02,1.220906e-02,1.223988e-02,1.225195e-02,1.225980e-02,1.226946e-02,1.227063e-02,1.226948e-02,1.226046e-02,1.225273e-02,1.224295e-02,1.221749e-02,1.220260e-02,1.218460e-02,1.214476e-02,1.212422e-02,1.209843e-02,1.204606e-02,1.202121e-02,1.198806e-02,1.192484e-02,1.189682e-02,1.185678e-02,1.178424e-02,1.175404e-02,1.170756e-02,1.162707e-02,1.159555e-02,1.154309e-02,1.145590e-02,1.142378e-02,1.136579e-02,1.127303e-02,1.124093e-02,1.117786e-02,1.108053e-02,1.104897e-02,1.098127e-02,1.088028e-02,1.084968e-02,1.077778e-02,1.067396e-02,1.064467e-02,1.056899e-02,1.046305e-02,1.043537e-02,1.035631e-02,1.024892e-02,1.022307e-02,1.014102e-02,1.003276e-02,1.000891e-02,9.924257e-03,9.815637e-03,9.793909e-03,9.707015e-03,9.598498e-03,9.578984e-03,9.490189e-03,9.382181e-03,9.364934e-03,9.274565e-03,9.167424e-03,9.152467e-03,9.060836e-03,8.954874e-03,8.942204e-03,8.849607e-03,8.745097e-03,8.734689e-03,8.641403e-03,8.538581e-03,8.530394e-03,8.436681e-03,8.335750e-03,8.329726e-03,8.235832e-03,8.136966e-03,8.133033e-03,8.039188e-03,7.942534e-03,7.940612e-03,7.847032e-03,7.752710e-03,7.569532e-03,7.391243e-03,7.217973e-03,7.049822e-03,6.886860e-03,6.729132e-03,6.576661e-03,6.429450e-03,6.287482e-03,6.150728e-03,6.019141e-03,5.892664e-03,5.771229e-03,5.654759e-03,5.543167e-03,5.436361e-03,5.334242e-03,5.236708e-03,5.143650e-03,5.054958e-03,4.970517e-03,4.890213e-03,4.813928e-03,4.741543e-03,4.672941e-03,4.608001e-03,4.546606e-03,4.488636e-03,4.433975e-03,4.382506e-03,4.334114e-03,4.288684e-03,4.246105e-03,4.206267e-03,4.169059e-03,4.134377e-03,4.102114e-03,4.072170e-03,4.044443e-03,4.018835e-03,3.995252e-03,3.973599e-03,3.953787e-03,3.935725e-03,3.919329e-03,3.904514e-03,3.891200e-03,3.879307e-03,3.868759e-03
0.000000e+00,2.420108e-11,2.705217e-09,2.905821e-09,5.719864e-08,4.789057e-07,5.172957e-07,2.793773e-06,9.549791e-06,1.022774e-05,2.768570e-05,5.630001e-05,5.942224e-05,1.069789e-04,1.619359e-04,1.686296e-04,2.402145e-04,3.072754e-04,3.165039e-04,3.924135e-04,4.541870e-04,4.637831e-04,5.277084e-04,5.744137e-04,5.825406e-04,6.276929e-04,6.576212e-04,6.633719e-04,6.903069e-04,7.062399e-04,7.095183e-04,7.221406e-04,7.281399e-04,7.293017e-04,7.320470e-04,7.317527e-04,7.312988e-04,7.278422e-04,7.239273e-04,7.223265e-04,7.152765e-04,7.094877e-04,7.071081e-04,6.981458e-04,6.915357e-04,6.886387e-04,6.787761e-04,6.719405e-04,6.687001e-04,6.585164e-04,6.517747e-04,6.483025e-04,6.381148e-04,6.316279e-04,6.279942e-04,6.179696e-04,6.118118e-04,6.080615e-04,5.982841e-04,5.924846e-04,5.886472e-04,5.791569e-04,5.737214e-04,5.698173e-04,5.606307e-04,5.555534e-04,5.515980e-04,5.427194e-04,5.379889e-04,5.339944e-04,5.254222e-04,5.210245e-04,5.170013e-04,5.087303e-04,5.046505e-04,5.006075e-04,4.926311e-04,4.888539e-04,4.847992e-04,4.771099e-04,4.736202e-04,4.695612e-04,4.621510e-04,4.589339e-04,4.548773e-04,4.477380e-04,4.447791e-04,4.407311e-04,4.338546e-04,4.311400e-04,4.271063e-04,4.204844e-04,4.180007e-04,4.139866e-04,4.076111e-04,4.053454e-04,4.013558e-04,3.952188e-04,3.931588e-04,3.891980e-04,3.832916e-04,3.814254e-04,3.774977e-04,3.718143e-04,3.701305e-04,3.662395e-04,3.607716e-04,3.592595e-04,3.554087e-04,3.501489e-04,3.487981e-04,3.449906e-04,3.399319e-04,3.387324e-04,3.349710e-04,3.301064e-04,3.290490e-04,3.253363e-04,3.206591e-04,3.197346e-04,3.160731e-04,3.115766e-04,3.107767e-04,3.071682e-04,3.028462e-04,3.021626e-04,2.986092e-04,2.944555e-04,2.938805e-04,2.903837e-04,2.863923e-04,2.859187e-04,2.824800e-04,2.786452e-04,2.782659e-04,2.748865e-04,2.712026e-04,2.709111e-04,2.675922e-04,2.640538e-04,2.638438e-04,2.605862e-04,2.571882e-04,2.570537e-04,2.538583e-04,2.505954e-04,2.505308e-04,2.473983e-04,2.442657e-04,2.382490e-04,2.324718e-04,2.269254e-04,2.216013e-04,2.164917e-04,2.115885e-04,2.068843e-04,2.023718e-04,1.980440e-04,1.938940e-04,1.899153e-04,1.861016e-04,1.824467e-04,1.789448e-04,1.755901e-04,1.723773e-04,1.693009e-04,1.663558e-04,1.635372e-04,1.608402e-04,1.582603e-04,1.557931e-04,1.534343e-04,1.511796e-04,1.490253e-04,1.469674e-04,1.450023e-04,1.431264e-04,1.413362e-04,1.396284e-04,1.379998e-04,1.364474e-04,1.349682e-04,1.335593e-04,1.322179e-04,1.309414e-04,1.297273e-04,1.285729e-04,1.274760e-04,1.264343e-04,1.254455e-04,1.245074e-04,1.236181e-04,1.227756e-04,1.219779e-04,1.212232e-04,1.205097e-04,1.198357e-04,1.191996e-04
0.000000e+00,2.075949e-08,4.706748e-07,4.943213e-07,3.656756e-06,1.287777e-05,1.341689e-05,2.951844e-05,4.614537e-05,4.719106e-05,6.399809e-05,7.829069e-05,7.947915e-05,9.361681e-05,1.052415e-04,1.064713e-04,1.181174e-04,1.274270e-04,1.286314e-04,1.380870e-04,1.454274e-04,1.465564e-04,1.541096e-04,1.597957e-04,1.608140e-04,1.667331e-04,1.710429e-04,1.719268e-04,1.764515e-04,1.796251e-04,1.803598e-04,1.837008e-04,1.859424e-04,1.865200e-04,1.888602e-04,1.903426e-04,1.907606e-04,1.922580e-04,1.931267e-04,1.933863e-04,1.941771e-04,1.945539e-04,1.946594e-04,1.948604e-04,1.948471e-04,1.948050e-04,1.945163e-04,1.941978e-04,1.940158e-04,1.933233e-04,1.927699e-04,1.924570e-04,1.914338e-04,1.907038e-04,1.902693e-04,1.889779e-04,1.881194e-04,1.875729e-04,1.860666e-04,1.851188e-04,1.844702e-04,1.827941e-04,1.817893e-04,1.810480e-04,1.792406e-04,1.782048e-04,1.773802e-04,1.754740e-04,1.744282e-04,1.735291e-04,1.715517e-04,1.705125e-04,1.695475e-04,1.675220e-04,1.665027e-04,1.654798e-04,1.634256e-04,1.624365e-04,1.613633e-04,1.592967e-04,1.583455e-04,1.572291e-04,1.551637e-04,1.542563e-04,1.531032e-04,1.510502e-04,1.501908e-04,1.490071e-04,1.469758e-04,1.461671e-04,1.449584e-04,1.429565e-04,1.422001e-04,1.409716e-04,1.390052e-04,1.383020e-04,1.370584e-04,1.351323e-04,1.344824e-04,1.332280e-04,1.313463e-04,1.307490e-04,1.294878e-04,1.276534e-04,1.271078e-04,1.258435e-04,1.240586e-04,1.235634e-04,1.222991e-04,1.205654e-04,1.201189e-04,1.188577e-04,1.171763e-04,1.167767e-04,1.155213e-04,1.138928e-04,1.135381e-04,1.122908e-04,1.107155e-04,1.104036e-04,1.091668e-04,1.076446e-04,1.073735e-04,1.061490e-04,1.046796e-04,1.044470e-04,1.032366e-04,1.018196e-04,1.016233e-04,1.004286e-04,9.906324e-05,9.890112e-05,9.772343e-05,9.640892e-05,9.627886e-05,9.511948e-05,9.385484e-05,9.375473e-05,9.261475e-05,9.139894e-05,9.132676e-05,9.020713e-05,8.903904e-05,8.899281e-05,8.789439e-05,8.677287e-05,8.675067e-05,8.567418e-05,8.459803e-05,8.253252e-05,8.055174e-05,7.865327e-05,7.683469e-05,7.509356e-05,7.342750e-05,7.183414e-05,7.031111e-05,6.885614e-05,6.746695e-05,6.614132e-05,6.487710e-05,6.367214e-05,6.252440e-05,6.143185e-05,6.039253e-05,5.940452e-05,5.846597e-05,5.757507e-05,5.673006e-05,5.592923e-05,5.517093e-05,5.445356e-05,5.377554e-05,5.313538e-05,5.253159e-05,5.196277e-05,5.142752e-05,5.092452e-05,5.045247e-05,5.001011e-05,4.959622e-05,4.920963e-05,4.884920e-05,4.851381e-05,4.820240e-05,4.791393e-05,4.764740e-05,4.740183e-05,4.717629e-05,4.696985e-05,4.678164e-05,4.661081e-05,4.645652e-05,4.631799e-05,4.619444e-05,4.608512e-05,4.598930e-05,4.590631e-05
0.000000e+00,4.620516e-09,1.070299e-07,1.125277e-07,8.405553e-07,2.871719e-06,2.987041e-06,6.284231e-06,9.464023e-06,9.658139e-06,1.269094e-05,1.514078e-05,1.533902e-05,1.763081e-05,1.942022e-05,1.960431e-05,2.129582e-05,2.257718e-05,2.273809e-05,2.396026e-05,2.485512e-05,2.498824e-05,2.584497e-05,2.644724e-05,2.655081e-05,2.712396e-05,2.750627e-05,2.758051e-05,2.793476e-05,2.815306e-05,2.819937e-05,2.838551e-05,2.848263e-05,2.850307e-05,2.856076e-05,2.856934e-05,2.856628e-05,2.852641e-05,2.847123e-05,2.844713e-05,2.833368e-05,2.823348e-05,2.819072e-05,2.802231e-05,2.789122e-05,2.783204e-05,2.762307e-05,2.747171e-05,2.739817e-05,2.715978e-05,2.699612e-05,2.691006e-05,2.665088e-05,2.648082e-05,2.638390e-05,2.611058e-05,2.593850e-05,2.583219e-05,2.554985e-05,2.537896e-05,2.526454e-05,2.497713e-05,2.480976e-05,2.468836e-05,2.439889e-05,2.423670e-05,2.410930e-05,2.382009e-05,2.366423e-05,2.353169e-05,2.324450e-05,2.309574e-05,2.295882e-05,2.267496e-05,2.253379e-05,2.239316e-05,2.211363e-05,2.198032e-05,2.183655e-05,2.156209e-05,2.143675e-05,2.129036e-05,2.102149e-05,2.090412e-05,2.075557e-05,2.049267e-05,2.038317e-05,2.023285e-05,1.997618e-05,1.987439e-05,1.972267e-05,1.947238e-05,1.937811e-05,1.922531e-05,1.898148e-05,1.889450e-05,1.874090e-05,1.850357e-05,1.842362e-05,1.826949e-05,1.803865e-05,1.796546e-05,1.781104e-05,1.758663e-05,1.751994e-05,1.736543e-05,1.714739e-05,1.708691e-05,1.693251e-05,1.672076e-05,1.666621e-05,1.651211e-05,1.630653e-05,1.625764e-05,1.610399e-05,1.590447e-05,1.586097e-05,1.570793e-05,1.551434e-05,1.547598e-05,1.532367e-05,1.513589e-05,1.510240e-05,1.495097e-05,1.476886e-05,1.473998e-05,1.458954e-05,1.441297e-05,1.438847e-05,1.423913e-05,1.406796e-05,1.404760e-05,1.389945e-05,1.373356e-05,1.371712e-05,1.357025e-05,1.340950e-05,1.339674e-05,1.325126e-05,1.309550e-05,1.308623e-05,1.294220e-05,1.279131e-05,1.278532e-05,1.264281e-05,1.249666e-05,1.249376e-05,1.235283e-05,1.221130e-05,1.193768e-05,1.167269e-05,1.141606e-05,1.116758e-05,1.092703e-05,1.069417e-05,1.046879e-05,1.025068e-05,1.003964e-05,9.835468e-06,9.637963e-06,9.446938e-06,9.262207e-06,9.083588e-06,8.910906e-06,8.743988e-06,8.582668e-06,8.426783e-06,8.276175e-06,8.130689e-06,7.990177e-06,7.854491e-06,7.723490e-06,7.597036e-06,7.474995e-06,7.357236e-06,7.243632e-06,7.134060e-06,7.028400e-06,6.926535e-06,6.828351e-06,6.733738e-06,6.642589e-06,6.554800e-06,6.470269e-06,6.388898e-06,6.310590e-06,6.235253e-06,6.162795e-06,6.093130e-06,6.026171e-06,5.961835e-06,5.900041e-06,5.840711e-06,5.783769e-06,5.729139e-06,5.676750e-06,5.626532e-06,5.578416e-06
0.000000e+00,1.119154e-11,1.194888e-09,1.280713e-09,2.214967e-08,1.688889e-07,1.819861e-07,9.631589e-07,3.437884e-06,3.698369e-06,1.102864e-05,2.515993e-05,2.684071e-05,5.548456e-05,9.531646e-05,1.006525e-04,1.644746e-04,2.362466e-04,2.471161e-04,3.468601e-04,4.439106e-04,4.605116e-04,5.839453e-04,6.918907e-04,7.126519e-04,8.422016e-04,9.462302e-04,9.685850e-04,1.088428e-03,1.177796e-03,1.199095e-03,1.298705e-03,1.367947e-03,1.386085e-03,1.460684e-03,1.508796e-03,1.522470e-03,1.571817e-03,1.600715e-03,1.609403e-03,1.636111e-03,1.649170e-03,1.652952e-03,1.660996e-03,1.661971e-03,1.661321e-03,1.654972e-03,1.647352e-03,1.642940e-03,1.626140e-03,1.612845e-03,1.605400e-03,1.581462e-03,1.564767e-03,1.554977e-03,1.526515e-03,1.508093e-03,1.496564e-03,1.465538e-03,1.446556e-03,1.433790e-03,1.401613e-03,1.382851e-03,1.369249e-03,1.336898e-03,1.318849e-03,1.304722e-03,1.272851e-03,1.255805e-03,1.241390e-03,1.210419e-03,1.194530e-03,1.180003e-03,1.150188e-03,1.135518e-03,1.121010e-03,1.092495e-03,1.079047e-03,1.064658e-03,1.037509e-03,1.025254e-03,1.011054e-03,9.852930e-04,9.741772e-04,9.602225e-04,9.358370e-04,9.257974e-04,9.121285e-04,8.890876e-04,8.800558e-04,8.667035e-04,8.449645e-04,8.368703e-04,8.238582e-04,8.033714e-04,7.961453e-04,7.834910e-04,7.642033e-04,7.577781e-04,7.454947e-04,7.273515e-04,7.216629e-04,7.097600e-04,6.927064e-04,6.876932e-04,6.761772e-04,6.601588e-04,6.557634e-04,6.446379e-04,6.296015e-04,6.257698e-04,6.150365e-04,6.009303e-04,5.976117e-04,5.872704e-04,5.740446e-04,5.711919e-04,5.612408e-04,5.488473e-04,5.464168e-04,5.368526e-04,5.252454e-04,5.231964e-04,5.140146e-04,5.031495e-04,5.014443e-04,4.926396e-04,4.824746e-04,4.810785e-04,4.726445e-04,4.631395e-04,4.620203e-04,4.539501e-04,4.450670e-04,4.441952e-04,4.364811e-04,4.281837e-04,4.275321e-04,4.201660e-04,4.124199e-04,4.119636e-04,4.049371e-04,3.977097e-04,3.974258e-04,3.907300e-04,3.839905e-04,3.838581e-04,3.774840e-04,3.712034e-04,3.594072e-04,3.484186e-04,3.381889e-04,3.286725e-04,3.198263e-04,3.116095e-04,3.039839e-04,2.969131e-04,2.903631e-04,2.843017e-04,2.786986e-04,2.735254e-04,2.687552e-04,2.643626e-04,2.603238e-04,2.566165e-04,2.532194e-04,2.501129e-04,2.472781e-04,2.446974e-04,2.423544e-04,2.402335e-04,2.383200e-04,2.366002e-04,2.350610e-04,2.336904e-04,2.324769e-04,2.314097e-04,2.304787e-04,2.296744e-04,2.289879e-04,2.284107e-04,2.279350e-04,2.275534e-04,2.272589e-04,2.270450e-04,2.269055e-04,2.268348e-04,2.268273e-04,2.268782e-04,2.269825e-04,2.271358e-04,2.273341e-04,2.275733e-04,2.278498e-04,2.281603e-04,2.285015e-04,2.288703e-04,2.292641e-04
0.000000e+00,4.676607e-11,5.431813e-09,5.836775e-09,1.131372e-07,8.924492e-07,9.612111e-07,4.834736e-06,1.566767e-05,1.673414e-05,4.382637e-05,8.809104e-05,9.294823e-05,1.679832e-04,2.575991e-04,2.687486e-04,3.914627e-04,5.128050e-04,5.300434e-04,6.775251e-04,8.063300e-04,8.271855e-04,9.732594e-04,1.089877e-03,1.111272e-03,1.238094e-03,1.332364e-03,1.351815e-03,1.451544e-03,1.521159e-03,1.537171e-03,1.609150e-03,1.656342e-03,1.668307e-03,1.715690e-03,1.744535e-03,1.752452e-03,1.779774e-03,1.794591e-03,1.798801e-03,1.810609e-03,1.815199e-03,1.816187e-03,1.816431e-03,1.813860e-03,1.812139e-03,1.804010e-03,1.796604e-03,1.792654e-03,1.778604e-03,1.768081e-03,1.762320e-03,1.744200e-03,1.731798e-03,1.724582e-03,1.703756e-03,1.690346e-03,1.681968e-03,1.659428e-03,1.645619e-03,1.636316e-03,1.612783e-03,1.598993e-03,1.588959e-03,1.564953e-03,1.551464e-03,1.540856e-03,1.516746e-03,1.503745e-03,1.492689e-03,1.468741e-03,1.456347e-03,1.444948e-03,1.421348e-03,1.409631e-03,1.397974e-03,1.374853e-03,1.363851e-03,1.352006e-03,1.329452e-03,1.319179e-03,1.307205e-03,1.285277e-03,1.275732e-03,1.263677e-03,1.242413e-03,1.233583e-03,1.221489e-03,1.200910e-03,1.192775e-03,1.180677e-03,1.160792e-03,1.153327e-03,1.141255e-03,1.122066e-03,1.115242e-03,1.103222e-03,1.084723e-03,1.078511e-03,1.066565e-03,1.048747e-03,1.043116e-03,1.031264e-03,1.014114e-03,1.009033e-03,9.972916e-04,9.807941e-04,9.762324e-04,9.646169e-04,9.487557e-04,9.446830e-04,9.332061e-04,9.179636e-04,9.143506e-04,9.030237e-04,8.883816e-04,8.851998e-04,8.740327e-04,8.599724e-04,8.571946e-04,8.461959e-04,8.326986e-04,8.302984e-04,8.194757e-04,8.065226e-04,8.044748e-04,7.938346e-04,7.814071e-04,7.796878e-04,7.692356e-04,7.573154e-04,7.559017e-04,7.456421e-04,7.342112e-04,7.330813e-04,7.230183e-04,7.120591e-04,7.111923e-04,7.013292e-04,6.908245e-04,6.902012e-04,6.805406e-04,6.704735e-04,6.700753e-04,6.606191e-04,6.509734e-04,6.507826e-04,6.415324e-04,6.322922e-04,6.145741e-04,5.975991e-04,5.813391e-04,5.657667e-04,5.508556e-04,5.365803e-04,5.229161e-04,5.098392e-04,4.973269e-04,4.853568e-04,4.739077e-04,4.629591e-04,4.524910e-04,4.424845e-04,4.329212e-04,4.237833e-04,4.150539e-04,4.067164e-04,3.987553e-04,3.911552e-04,3.839016e-04,3.769803e-04,3.703780e-04,3.640816e-04,3.580785e-04,3.523569e-04,3.469050e-04,3.417118e-04,3.367667e-04,3.320592e-04,3.275797e-04,3.233185e-04,3.192665e-04,3.154150e-04,3.117556e-04,3.082800e-04,3.049807e-04,3.018500e-04,2.988807e-04,2.960661e-04,2.933993e-04,2.908741e-04,2.884843e-04,2.862240e-04,2.840876e-04,2.820696e-04,2.801648e-04,2.783681e-04,2.766747e-04
0.000000e+00,5.840370e-11,7.013554e-09,7.544103e-09,1.564877e-07,1.333936e-06,1.441176e-06,7.755386e-06,2.620517e-05,2.804440e-05,7.524657e-05,1.532849e-04,1.618954e-04,2.959960e-04,4.588679e-04,4.793463e-04,7.080639e-04,9.406536e-04,9.742540e-04,1.267911e-03,1.534406e-03,1.578536e-03,1.896279e-03,2.162401e-03,2.212616e-03,2.520640e-03,2.763278e-03,2.815092e-03,3.092234e-03,3.299810e-03,3.349631e-03,3.585920e-03,3.755205e-03,3.800568e-03,3.993671e-03,4.126344e-03,4.165777e-03,4.317742e-03,4.417846e-03,4.450623e-03,4.565590e-03,4.637960e-03,4.663866e-03,4.746683e-03,4.796104e-03,4.815246e-03,4.870720e-03,4.901534e-03,4.914213e-03,4.946772e-03,4.962750e-03,4.969377e-03,4.982938e-03,4.987264e-03,4.988300e-03,4.986247e-03,4.981568e-03,4.977498e-03,4.962718e-03,4.951210e-03,4.942516e-03,4.917454e-03,4.900895e-03,4.888045e-03,4.854761e-03,4.834592e-03,4.818034e-03,4.778258e-03,4.755640e-03,4.735795e-03,4.690976e-03,4.666841e-03,4.644103e-03,4.595453e-03,4.570541e-03,4.545278e-03,4.493807e-03,4.468703e-03,4.441251e-03,4.387800e-03,4.362961e-03,4.333629e-03,4.278896e-03,4.254673e-03,4.223745e-03,4.168307e-03,4.144966e-03,4.112700e-03,4.057032e-03,4.034770e-03,4.001400e-03,3.945892e-03,3.924849e-03,3.890588e-03,3.835558e-03,3.815827e-03,3.780867e-03,3.726572e-03,3.708211e-03,3.672724e-03,3.619370e-03,3.602408e-03,3.566551e-03,3.514301e-03,3.498742e-03,3.462653e-03,3.411635e-03,3.397466e-03,3.361271e-03,3.311581e-03,3.298775e-03,3.262585e-03,3.214296e-03,3.202814e-03,3.166728e-03,3.119892e-03,3.109687e-03,3.073795e-03,3.028444e-03,3.019464e-03,2.983845e-03,2.939999e-03,2.932187e-03,2.896909e-03,2.854575e-03,2.847872e-03,2.812997e-03,2.772172e-03,2.766516e-03,2.732098e-03,2.692771e-03,2.688102e-03,2.654188e-03,2.616342e-03,2.612598e-03,2.579228e-03,2.542840e-03,2.539960e-03,2.507172e-03,2.472215e-03,2.470140e-03,2.437962e-03,2.404407e-03,2.403079e-03,2.371539e-03,2.339351e-03,2.338714e-03,2.307834e-03,2.276979e-03,2.217804e-03,2.161117e-03,2.106846e-03,2.054917e-03,2.005255e-03,1.957788e-03,1.912441e-03,1.869144e-03,1.827823e-03,1.788411e-03,1.750838e-03,1.715036e-03,1.680942e-03,1.648491e-03,1.617620e-03,1.588270e-03,1.560382e-03,1.533899e-03,1.508766e-03,1.484929e-03,1.462337e-03,1.440939e-03,1.420687e-03,1.401534e-03,1.383434e-03,1.366344e-03,1.350221e-03,1.335025e-03,1.320716e-03,1.307255e-03,1.294606e-03,1.282734e-03,1.271604e-03,1.261183e-03,1.251440e-03,1.242343e-03,1.233862e-03,1.225970e-03,1.218639e-03,1.211842e-03,1.205553e-03,1.199749e-03,1.194405e-03,1.189499e-03,1.185009e-03,1.180913e-03,1.177192e-03,1.173825e-03,1.170795e-03
0.000000e+00,3.027458e-10,2.933000e-08,3.144256e-08,5.544733e-07,3.933989e-06,4.214291e-06,1.796595e-05,4.744229e-05,4.995379e-05,1.021083e-04,1.632571e-04,1.689542e-04,2.424972e-04,3.089667e-04,3.162144e-04,3.861446e-04,4.430133e-04,4.503947e-04,5.083372e-04,5.531336e-04,5.599982e-04,6.056966e-04,6.397885e-04,6.458618e-04,6.809484e-04,7.062411e-04,7.113993e-04,7.376327e-04,7.558446e-04,7.600367e-04,7.789691e-04,7.915390e-04,7.947588e-04,8.077067e-04,8.158168e-04,8.180881e-04,8.261543e-04,8.307684e-04,8.321347e-04,8.362383e-04,8.381384e-04,8.386556e-04,8.395600e-04,8.393780e-04,8.391093e-04,8.374471e-04,8.356920e-04,8.347041e-04,8.309988e-04,8.280789e-04,8.264390e-04,8.211226e-04,8.173645e-04,8.151386e-04,8.085676e-04,8.042312e-04,8.014828e-04,7.939504e-04,7.892415e-04,7.860307e-04,7.777780e-04,7.728584e-04,7.692415e-04,7.604660e-04,7.554624e-04,7.514916e-04,7.423546e-04,7.373648e-04,7.330880e-04,7.237212e-04,7.188198e-04,7.142808e-04,7.047909e-04,7.000342e-04,6.952730e-04,6.857463e-04,6.811756e-04,6.762282e-04,6.667341e-04,6.623788e-04,6.572778e-04,6.478717e-04,6.437517e-04,6.385265e-04,6.292520e-04,6.253798e-04,6.200567e-04,6.109481e-04,6.073305e-04,6.019329e-04,5.930167e-04,5.896556e-04,5.842045e-04,5.755006e-04,5.723945e-04,5.669087e-04,5.584318e-04,5.555763e-04,5.500724e-04,5.418328e-04,5.392217e-04,5.337146e-04,5.257191e-04,5.233445e-04,5.178472e-04,5.100997e-04,5.079528e-04,5.024769e-04,4.949790e-04,4.930500e-04,4.876059e-04,4.803572e-04,4.786361e-04,4.732327e-04,4.662315e-04,4.647077e-04,4.593530e-04,4.525963e-04,4.512595e-04,4.459604e-04,4.394443e-04,4.382840e-04,4.330466e-04,4.267663e-04,4.257722e-04,4.206020e-04,4.145523e-04,4.137144e-04,4.086158e-04,4.027910e-04,4.020995e-04,3.970765e-04,3.914708e-04,3.909161e-04,3.859722e-04,3.805793e-04,3.801524e-04,3.752904e-04,3.701041e-04,3.697961e-04,3.650186e-04,3.600324e-04,3.598349e-04,3.551439e-04,3.503515e-04,3.502566e-04,3.456536e-04,3.410487e-04,3.321991e-04,3.236958e-04,3.155268e-04,3.076805e-04,3.001457e-04,2.929112e-04,2.859663e-04,2.793004e-04,2.729034e-04,2.667653e-04,2.608767e-04,2.552282e-04,2.498109e-04,2.446161e-04,2.396354e-04,2.348608e-04,2.302844e-04,2.258987e-04,2.216965e-04,2.176707e-04,2.138146e-04,2.101217e-04,2.065857e-04,2.032005e-04,1.999604e-04,1.968596e-04,1.938929e-04,1.910550e-04,1.883409e-04,1.857458e-04,1.832650e-04,1.808941e-04,1.786287e-04,1.764648e-04,1.743982e-04,1.724253e-04,1.705423e-04,1.687456e-04,1.670318e-04,1.653977e-04,1.638400e-04,1.623557e-04,1.609419e-04,1.595958e-04,1.583146e-04,1.570957e-04,1.559366e-04,1.548350e-04,1.537884e-04
0.000000e+00,7.485850e-11,7.472228e-09,7.999433e-09,1.299268e-07,9.126330e-07,9.794896e-07,4.636133e-06,1.470053e-05,1.569192e-05,4.106412e-05,8.315643e-05,8.780844e-05,1.600986e-04,2.466935e-04,2.574447e-04,3.749684e-04,4.890587e-04,5.050514e-04,6.392814e-04,7.521527e-04,7.699962e-04,8.911801e-04,9.825804e-04,9.987700e-04,1.090558e-03,1.153520e-03,1.165868e-03,1.225158e-03,1.261848e-03,1.269631e-03,1.300914e-03,1.317315e-03,1.320806e-03,1.331102e-03,1.333554e-03,1.333490e-03,1.329486e-03,1.323189e-03,1.320406e-03,1.307369e-03,1.296060e-03,1.291303e-03,1.272965e-03,1.259111e-03,1.252969e-03,1.231801e-03,1.216937e-03,1.209845e-03,1.187403e-03,1.172440e-03,1.164708e-03,1.141937e-03,1.127390e-03,1.119229e-03,1.096687e-03,1.082830e-03,1.074390e-03,1.052395e-03,1.039361e-03,1.030744e-03,1.009468e-03,9.973086e-04,9.885886e-04,9.681195e-04,9.568398e-04,9.480702e-04,9.284455e-04,9.180255e-04,9.092474e-04,8.904753e-04,8.808815e-04,8.721269e-04,8.541987e-04,8.453908e-04,8.366860e-04,8.195833e-04,8.115178e-04,8.028844e-04,7.865830e-04,7.792160e-04,7.706723e-04,7.551451e-04,7.484329e-04,7.399945e-04,7.252129e-04,7.191130e-04,7.107932e-04,6.967278e-04,6.911992e-04,6.830094e-04,6.696306e-04,6.646341e-04,6.565840e-04,6.438625e-04,6.393610e-04,6.314589e-04,6.193661e-04,6.153241e-04,6.075771e-04,5.960849e-04,5.924690e-04,5.848828e-04,5.739641e-04,5.707428e-04,5.633222e-04,5.529505e-04,5.500940e-04,5.428429e-04,5.329929e-04,5.304734e-04,5.233945e-04,5.140417e-04,5.118329e-04,5.049285e-04,4.960493e-04,4.941266e-04,4.873982e-04,4.789699e-04,4.773105e-04,4.707588e-04,4.627597e-04,4.613420e-04,4.549674e-04,4.473767e-04,4.461805e-04,4.399827e-04,4.327805e-04,4.317872e-04,4.257654e-04,4.189327e-04,4.181248e-04,4.122779e-04,4.057965e-04,4.051577e-04,3.994841e-04,3.933367e-04,3.928519e-04,3.873499e-04,3.815198e-04,3.811749e-04,3.758424e-04,3.703138e-04,3.700957e-04,3.649303e-04,3.596883e-04,3.595848e-04,3.545840e-04,3.496140e-04,3.401564e-04,3.311865e-04,3.226797e-04,3.146129e-04,3.069641e-04,2.997121e-04,2.928369e-04,2.863196e-04,2.801419e-04,2.742866e-04,2.687374e-04,2.634786e-04,2.584955e-04,2.537740e-04,2.493007e-04,2.450628e-04,2.410483e-04,2.372458e-04,2.336442e-04,2.302332e-04,2.270031e-04,2.239444e-04,2.210482e-04,2.183061e-04,2.157101e-04,2.132526e-04,2.109264e-04,2.087245e-04,2.066406e-04,2.046683e-04,2.028018e-04,2.010356e-04,1.993643e-04,1.977829e-04,1.962867e-04,1.948711e-04,1.935318e-04,1.922647e-04,1.910660e-04,1.899320e-04,1.888591e-04,1.878442e-04,1.868839e-04,1.859755e-04,1.851159e-04,1.843027e-04,1.835331e-04,1.828048e-04,1.821155e-04
0.000000e+00,1.779045e-11,1.914426e-09,2.053146e-09,3.679208e-08,2.854971e-07,3.076493e-07,1.600562e-06,5.477351e-06,5.872824e-06,1.644510e-05,3.513242e-05,3.725959e-05,7.151670e-05,1.150057e-04,1.205694e-04,1.835880e-04,2.485167e-04,2.579140e-04,3.397669e-04,4.130094e-04,4.249921e-04,5.096635e-04,5.779181e-04,5.904756e-04,6.649321e-04,7.200563e-04,7.313756e-04,7.889139e-04,8.283418e-04,8.372887e-04,8.767241e-04,9.016309e-04,9.077817e-04,9.312326e-04,9.445062e-04,9.479542e-04,9.588525e-04,9.636876e-04,9.648072e-04,9.666366e-04,9.658163e-04,9.650772e-04,9.607746e-04,9.564311e-04,9.542836e-04,9.460734e-04,9.397106e-04,9.365343e-04,9.259862e-04,9.186001e-04,9.146890e-04,9.028515e-04,8.950702e-04,8.906399e-04,8.781856e-04,8.703881e-04,8.655913e-04,8.529371e-04,8.453420e-04,8.402845e-04,8.276810e-04,8.204080e-04,8.151626e-04,8.027565e-04,7.958660e-04,7.904831e-04,7.783574e-04,7.718750e-04,7.663904e-04,7.545901e-04,7.485217e-04,7.429620e-04,7.315098e-04,7.258506e-04,7.202360e-04,7.091417e-04,7.038803e-04,6.982272e-04,6.874924e-04,6.826145e-04,6.769366e-04,6.665589e-04,6.620487e-04,6.563579e-04,6.463321e-04,6.421732e-04,6.364799e-04,6.267994e-04,6.229749e-04,6.172887e-04,6.079458e-04,6.044391e-04,5.987687e-04,5.897554e-04,5.865502e-04,5.809035e-04,5.722112e-04,5.692917e-04,5.636760e-04,5.552959e-04,5.526467e-04,5.470686e-04,5.389919e-04,5.365980e-04,5.310636e-04,5.232815e-04,5.211284e-04,5.156434e-04,5.081471e-04,5.062210e-04,5.007904e-04,4.935712e-04,4.918588e-04,4.864873e-04,4.795365e-04,4.780250e-04,4.727169e-04,4.660262e-04,4.647033e-04,4.594623e-04,4.530233e-04,4.518774e-04,4.467071e-04,4.405116e-04,4.395314e-04,4.344350e-04,4.284751e-04,4.276499e-04,4.226300e-04,4.168979e-04,4.162176e-04,4.112768e-04,4.057649e-04,4.052196e-04,4.003603e-04,3.950611e-04,3.946417e-04,3.898656e-04,3.847720e-04,3.844696e-04,3.797786e-04,3.748836e-04,3.746898e-04,3.700852e-04,3.653819e-04,3.652888e-04,3.607720e-04,3.562538e-04,3.475723e-04,3.392319e-04,3.312210e-04,3.235279e-04,3.161418e-04,3.090517e-04,3.022472e-04,2.957183e-04,2.894552e-04,2.834485e-04,2.776889e-04,2.721676e-04,2.668761e-04,2.618060e-04,2.569495e-04,2.522987e-04,2.478461e-04,2.435846e-04,2.395071e-04,2.356068e-04,2.318774e-04,2.283123e-04,2.249056e-04,2.216514e-04,2.185440e-04,2.155778e-04,2.127477e-04,2.100484e-04,2.074750e-04,2.050227e-04,2.026870e-04,2.004633e-04,1.983474e-04,1.963351e-04,1.944224e-04,1.926055e-04,1.908805e-04,1.892439e-04,1.876923e-04,1.862222e-04,1.848304e-04,1.835138e-04,1.822694e-04,1.810942e-04,1.799854e-04,1.789404e-04,1.779565e-04,1.770312e-04,1.761620e-04
0.000000e+00,2.092549e-11,2.659895e-09,2.862087e-09,6.035453e-08,5.470535e-07,5.933465e-07,3.633293e-06,1.447532e-05,1.567064e-05,5.148232e-05,1.275078e-04,1.369952e-04,3.100251e-04,5.804993e-04,6.190954e-04,1.121004e-03,1.771376e-03,1.877758e-03,2.953335e-03,4.181340e-03,4.410590e-03,6.308504e-03,8.282147e-03,8.699882e-03,1.162956e-02,1.445884e-02,1.513311e-02,1.923602e-02,2.296037e-02,2.395336e-02,2.928969e-02,3.387853e-02,3.523949e-02,4.178765e-02,4.715003e-02,4.891027e-02,5.657560e-02,6.257486e-02,6.474501e-02,7.337409e-02,7.984421e-02,8.241369e-02,9.181104e-02,9.857245e-02,1.015107e-01,1.114558e-01,1.183290e-01,1.215883e-01,1.318507e-01,1.386673e-01,1.421860e-01,1.525388e-01,1.591490e-01,1.628557e-01,1.730858e-01,1.793636e-01,1.831810e-01,1.930965e-01,1.989421e-01,2.027908e-01,2.122259e-01,2.175659e-01,2.213677e-01,2.301855e-01,2.349718e-01,2.386525e-01,2.467454e-01,2.509530e-01,2.544446e-01,2.617338e-01,2.653577e-01,2.686000e-01,2.750334e-01,2.780856e-01,2.810272e-01,2.865770e-01,2.890827e-01,2.916814e-01,2.963411e-01,2.983359e-01,3.005589e-01,3.043399e-01,3.058668e-01,3.076906e-01,3.106191e-01,3.117255e-01,3.131352e-01,3.152494e-01,3.159853e-01,3.169737e-01,3.183208e-01,3.187365e-01,3.193039e-01,3.199372e-01,3.200823e-01,3.202351e-01,3.202123e-01,3.201342e-01,3.198839e-01,3.192650e-01,3.190082e-01,3.183709e-01,3.172168e-01,3.168220e-01,3.158175e-01,3.141881e-01,3.136927e-01,3.123432e-01,3.102972e-01,3.097340e-01,3.080641e-01,3.056576e-01,3.050557e-01,3.030911e-01,3.003774e-01,2.997619e-01,2.975291e-01,2.945582e-01,2.939503e-01,2.914763e-01,2.882945e-01,2.877120e-01,2.850235e-01,2.816735e-01,2.811309e-01,2.782543e-01,2.747751e-01,2.742838e-01,2.712448e-01,2.676717e-01,2.672404e-01,2.640638e-01,2.604285e-01,2.600638e-01,2.567731e-01,2.531040e-01,2.528101e-01,2.494278e-01,2.457501e-01,2.455295e-01,2.420767e-01,2.384126e-01,2.382663e-01,2.347627e-01,2.311315e-01,2.310591e-01,2.275232e-01,2.239417e-01,2.169433e-01,2.100885e-01,2.033984e-01,1.968905e-01,1.905791e-01,1.844758e-01,1.785896e-01,1.729273e-01,1.674937e-01,1.622918e-01,1.573232e-01,1.525880e-01,1.480852e-01,1.438127e-01,1.397674e-01,1.359458e-01,1.323434e-01,1.289552e-01,1.257758e-01,1.227993e-01,1.200196e-01,1.174302e-01,1.150243e-01,1.127953e-01,1.107360e-01,1.088395e-01,1.070987e-01,1.055063e-01,1.040554e-01,1.027387e-01,1.015494e-01,1.004803e-01,9.952465e-02,9.867573e-02,9.792690e-02,9.727168e-02,9.670378e-02,9.621703e-02,9.580548e-02,9.546335e-02,9.518505e-02,9.496522e-02,9.479867e-02,9.468046e-02,9.460585e-02,9.457033e-02,9.456959e-02,9.459957e-02,9.465642e-02
0.000000e+00,9.191895e-12,1.090162e-09,1.171369e-09,2.308559e-08,1.978225e-07,2.141043e-07,1.248819e-06,4.789151e-06,5.173005e-06,1.639749e-05,3.928590e-05,4.208242e-05,9.151720e-05,1.646982e-04,1.748386e-04,3.016357e-04,4.555056e-04,4.798038e-04,7.147925e-04,9.644280e-04,1.009257e-03,1.363043e-03,1.704144e-03,1.773431e-03,2.235523e-03,2.648438e-03,2.742729e-03,3.287264e-03,3.744072e-03,3.860631e-03,4.454046e-03,4.925218e-03,5.058807e-03,5.666585e-03,6.125727e-03,6.269644e-03,6.861008e-03,7.287449e-03,7.434545e-03,7.985021e-03,8.364619e-03,8.508107e-03,9.000358e-03,9.325156e-03,9.459161e-03,9.882676e-03,1.014990e-02,1.026976e-02,1.061987e-02,1.083069e-02,1.093304e-02,1.120971e-02,1.136800e-02,1.145072e-02,1.165724e-02,1.176855e-02,1.183064e-02,1.197251e-02,1.204320e-02,1.208455e-02,1.216856e-02,1.220517e-02,1.222638e-02,1.225988e-02,1.226870e-02,1.227089e-02,1.226125e-02,1.224807e-02,1.223271e-02,1.218698e-02,1.215695e-02,1.212568e-02,1.205037e-02,1.200792e-02,1.196251e-02,1.186346e-02,1.181233e-02,1.175453e-02,1.163689e-02,1.158016e-02,1.151166e-02,1.137986e-02,1.132004e-02,1.124244e-02,1.110026e-02,1.103931e-02,1.095411e-02,1.080471e-02,1.074419e-02,1.065273e-02,1.049875e-02,1.043983e-02,1.034332e-02,1.018693e-02,1.013048e-02,1.003001e-02,9.872946e-03,9.819578e-03,9.716101e-03,9.559783e-03,9.509919e-03,9.404272e-03,9.249814e-03,9.203716e-03,9.096628e-03,8.944905e-03,8.902708e-03,8.794812e-03,8.646496e-03,8.608241e-03,8.500084e-03,8.355683e-03,8.321337e-03,8.213388e-03,8.073275e-03,8.042750e-03,7.935411e-03,7.799849e-03,7.773017e-03,7.666632e-03,7.535793e-03,7.512497e-03,7.407358e-03,7.281344e-03,7.261407e-03,7.157762e-03,7.036617e-03,7.019851e-03,6.917908e-03,6.801630e-03,6.787839e-03,6.687773e-03,6.576324e-03,6.565310e-03,6.467266e-03,6.360579e-03,6.352146e-03,6.256243e-03,6.154231e-03,6.148184e-03,6.054519e-03,5.957078e-03,5.953227e-03,5.861878e-03,5.768889e-03,5.767052e-03,5.678080e-03,5.589418e-03,5.420070e-03,5.258744e-03,5.105170e-03,4.959078e-03,4.820195e-03,4.688251e-03,4.562978e-03,4.444115e-03,4.331403e-03,4.224591e-03,4.123433e-03,4.027690e-03,3.937132e-03,3.851532e-03,3.770675e-03,3.694349e-03,3.622352e-03,3.554489e-03,3.490570e-03,3.430415e-03,3.373847e-03,3.320699e-03,3.270810e-03,3.224023e-03,3.180190e-03,3.139167e-03,3.100816e-03,3.065006e-03,3.031609e-03,3.000504e-03,2.971575e-03,2.944709e-03,2.919800e-03,2.896746e-03,2.875448e-03,2.855812e-03,2.837748e-03,2.821170e-03,2.805996e-03,2.792147e-03,2.779548e-03,2.768127e-03,2.757815e-03,2.748546e-03,2.740257e-03,2.732890e-03,2.726385e-03,2.720690e-03,2.715752e-03
0.000000e+00,2.728890e-11,3.289839e-09,3.534967e-09,6.881763e-08,5.764973e-07,6.233786e-07,3.571404e-06,1.361862e-05,1.471073e-05,4.697450e-05,1.144084e-04,1.227713e-04,2.740217e-04,5.070266e-04,5.400069e-04,9.639905e-04,1.502448e-03,1.589541e-03,2.457172e-03,3.423636e-03,3.601623e-03,5.049923e-03,6.514861e-03,6.820222e-03,8.921318e-03,1.089102e-02,1.135276e-02,1.410543e-02,1.652771e-02,1.716240e-02,2.050006e-02,2.327973e-02,2.408931e-02,2.789687e-02,3.091437e-02,3.188645e-02,3.601993e-02,3.914850e-02,4.025845e-02,4.456327e-02,4.768255e-02,4.889665e-02,5.322245e-02,5.622770e-02,5.750669e-02,6.171797e-02,6.452525e-02,6.582769e-02,6.981032e-02,7.235820e-02,7.364341e-02,7.730770e-02,7.955665e-02,8.078698e-02,8.406807e-02,8.599816e-02,8.714062e-02,8.999697e-02,9.160476e-02,9.263196e-02,9.504268e-02,9.633774e-02,9.722832e-02,9.918988e-02,1.001914e-01,1.009300e-01,1.024528e-01,1.031865e-01,1.037635e-01,1.048685e-01,1.053640e-01,1.057748e-01,1.064904e-01,1.067792e-01,1.070235e-01,1.073831e-01,1.074967e-01,1.075781e-01,1.076178e-01,1.075864e-01,1.075114e-01,1.072683e-01,1.071204e-01,1.068976e-01,1.064085e-01,1.061698e-01,1.058097e-01,1.051099e-01,1.048036e-01,1.043175e-01,1.034405e-01,1.030866e-01,1.024866e-01,1.014634e-01,1.010794e-01,1.003777e-01,9.923648e-02,9.883692e-02,9.804596e-02,9.681222e-02,9.640923e-02,9.554092e-02,9.423741e-02,9.384083e-02,9.290669e-02,9.155345e-02,9.117111e-02,9.018208e-02,8.879668e-02,8.843465e-02,8.740103e-02,8.599869e-02,8.566150e-02,8.459292e-02,8.318673e-02,8.287760e-02,8.178292e-02,8.038405e-02,8.010508e-02,7.899246e-02,7.761031e-02,7.736267e-02,7.623955e-02,7.488199e-02,7.466611e-02,7.353924e-02,7.221278e-02,7.202845e-02,7.090392e-02,6.961386e-02,6.946037e-02,6.834366e-02,6.709427e-02,6.697051e-02,6.586651e-02,6.466112e-02,6.456567e-02,6.347873e-02,6.231989e-02,6.225112e-02,6.118506e-02,6.007463e-02,6.003073e-02,5.898893e-02,5.792820e-02,5.790724e-02,5.689262e-02,5.588235e-02,5.395691e-02,5.213104e-02,5.040422e-02,4.877540e-02,4.724309e-02,4.580540e-02,4.446015e-02,4.320489e-02,4.203696e-02,4.095352e-02,3.995160e-02,3.902811e-02,3.817991e-02,3.740378e-02,3.669646e-02,3.605467e-02,3.547515e-02,3.495461e-02,3.448982e-02,3.407757e-02,3.371471e-02,3.339811e-02,3.312474e-02,3.289161e-02,3.269583e-02,3.253457e-02,3.240510e-02,3.230478e-02,3.223107e-02,3.218153e-02,3.215381e-02,3.214568e-02,3.215501e-02,3.217978e-02,3.221808e-02,3.226812e-02,3.232819e-02,3.239671e-02,3.247223e-02,3.255335e-02,3.263883e-02,3.272749e-02,3.281829e-02,3.291024e-02,3.300247e-02,3.309421e-02,3.318474e-02,3.327346e-02,3.335982e-02
0.000000e+00,1.708782e-11,2.559664e-09,2.766259e-09,7.030746e-08,6.819591e-07,7.399555e-07,4.356922e-06,1.577216e-05,1.695122e-05,4.888320e-05,1.068055e-04,1.135148e-04,2.248984e-04,3.755314e-04,3.955633e-04,6.349265e-04,9.068263e-04,9.484445e-04,1.337415e-03,1.730403e-03,1.799261e-03,2.328121e-03,2.818064e-03,2.915595e-03,3.551525e-03,4.101324e-03,4.224738e-03,4.923701e-03,5.493766e-03,5.637062e-03,6.354063e-03,6.909470e-03,7.064844e-03,7.760642e-03,8.274731e-03,8.433898e-03,9.078294e-03,9.533526e-03,9.688735e-03,1.026129e-02,1.064842e-02,1.079309e-02,1.128226e-02,1.159873e-02,1.172776e-02,1.212927e-02,1.237732e-02,1.248713e-02,1.280215e-02,1.298720e-02,1.307560e-02,1.330903e-02,1.343826e-02,1.350427e-02,1.366330e-02,1.374462e-02,1.378820e-02,1.388116e-02,1.392250e-02,1.394435e-02,1.397994e-02,1.398878e-02,1.399007e-02,1.397682e-02,1.395994e-02,1.394219e-02,1.388807e-02,1.385140e-02,1.381630e-02,1.372859e-02,1.367722e-02,1.362654e-02,1.351168e-02,1.344989e-02,1.338541e-02,1.324904e-02,1.318035e-02,1.310378e-02,1.295076e-02,1.287806e-02,1.279101e-02,1.262549e-02,1.255106e-02,1.245506e-02,1.228053e-02,1.220618e-02,1.210262e-02,1.192201e-02,1.184915e-02,1.173930e-02,1.155505e-02,1.148474e-02,1.136976e-02,1.118388e-02,1.111690e-02,1.099782e-02,1.081196e-02,1.074888e-02,1.062664e-02,1.044214e-02,1.038332e-02,1.025875e-02,1.007670e-02,1.002238e-02,9.896213e-03,9.717476e-03,9.667767e-03,9.540661e-03,9.365916e-03,9.320839e-03,9.193375e-03,9.023152e-03,8.982654e-03,8.855346e-03,8.690044e-03,8.654020e-03,8.527318e-03,8.367230e-03,8.335534e-03,8.209832e-03,8.055165e-03,8.027618e-03,7.903262e-03,7.754147e-03,7.730549e-03,7.607839e-03,7.464348e-03,7.444484e-03,7.323680e-03,7.185836e-03,7.169484e-03,7.050810e-03,6.918593e-03,6.905525e-03,6.789173e-03,6.662533e-03,6.652521e-03,6.538653e-03,6.417511e-03,6.410329e-03,6.299082e-03,6.183339e-03,6.178764e-03,6.070251e-03,5.959790e-03,5.957607e-03,5.851921e-03,5.746613e-03,5.545517e-03,5.354040e-03,5.171891e-03,4.998773e-03,4.834385e-03,4.678425e-03,4.530591e-03,4.390582e-03,4.258102e-03,4.132862e-03,4.014576e-03,3.902965e-03,3.797759e-03,3.698692e-03,3.605507e-03,3.517953e-03,3.435788e-03,3.358778e-03,3.286697e-03,3.219324e-03,3.156449e-03,3.097866e-03,3.043378e-03,2.992795e-03,2.945934e-03,2.902616e-03,2.862673e-03,2.825938e-03,2.792254e-03,2.761469e-03,2.733435e-03,2.708010e-03,2.685058e-03,2.664449e-03,2.646055e-03,2.629754e-03,2.615431e-03,2.602972e-03,2.592268e-03,2.583216e-03,2.575714e-03,2.569668e-03,2.564984e-03,2.561573e-03,2.559350e-03,2.558232e-03,2.558143e-03,2.559005e-03,2.560747e-03
0.000000e+00,2.065043e-11,2.674503e-09,2.881383e-09,6.441992e-08,5.848664e-07,6.334668e-07,3.622805e-06,1.294810e-05,1.390660e-05,3.961124e-05,8.523059e-05,9.044441e-05,1.752783e-04,2.858763e-04,3.002890e-04,4.680968e-04,6.505156e-04,6.777842e-04,9.254747e-04,1.164348e-03,1.205170e-03,1.509619e-03,1.778832e-03,1.831094e-03,2.161995e-03,2.435407e-03,2.495285e-03,2.824766e-03,3.082061e-03,3.145211e-03,3.452405e-03,3.680704e-03,3.743112e-03,4.014992e-03,4.208045e-03,4.266488e-03,4.496721e-03,4.653195e-03,4.705365e-03,4.892538e-03,5.014260e-03,5.058708e-03,5.204599e-03,5.295140e-03,5.331124e-03,5.439321e-03,5.502993e-03,5.530306e-03,5.605231e-03,5.646449e-03,5.665258e-03,5.711533e-03,5.734449e-03,5.745171e-03,5.767242e-03,5.775567e-03,5.778767e-03,5.780709e-03,5.777655e-03,5.773976e-03,5.759411e-03,5.747689e-03,5.737803e-03,5.709881e-03,5.691739e-03,5.676317e-03,5.637732e-03,5.615011e-03,5.594696e-03,5.547733e-03,5.521921e-03,5.497322e-03,5.443902e-03,5.416189e-03,5.387871e-03,5.329595e-03,5.300924e-03,5.269406e-03,5.207606e-03,5.178714e-03,5.144471e-03,5.080248e-03,5.051705e-03,5.015165e-03,4.949426e-03,4.921665e-03,4.883215e-03,4.816701e-03,4.790045e-03,4.750035e-03,4.683352e-03,4.658035e-03,4.616776e-03,4.550417e-03,4.526600e-03,4.484372e-03,4.418730e-03,4.396518e-03,4.353570e-03,4.288960e-03,4.268412e-03,4.224963e-03,4.161634e-03,4.142773e-03,4.099020e-03,4.037164e-03,4.019985e-03,3.976102e-03,3.915864e-03,3.900341e-03,3.856480e-03,3.797970e-03,3.784060e-03,3.740355e-03,3.683650e-03,3.671298e-03,3.627867e-03,3.573016e-03,3.562158e-03,3.519104e-03,3.466137e-03,3.456703e-03,3.414117e-03,3.363044e-03,3.354961e-03,3.312919e-03,3.263739e-03,3.256929e-03,3.215499e-03,3.168197e-03,3.162583e-03,3.121824e-03,3.076375e-03,3.071880e-03,3.031841e-03,2.988214e-03,2.984763e-03,2.945485e-03,2.903644e-03,2.901161e-03,2.862679e-03,2.822581e-03,2.820995e-03,2.783338e-03,2.744939e-03,2.744180e-03,2.707371e-03,2.670623e-03,2.600230e-03,2.532903e-03,2.468545e-03,2.407055e-03,2.348334e-03,2.292284e-03,2.238808e-03,2.187810e-03,2.139196e-03,2.092874e-03,2.048755e-03,2.006752e-03,1.966780e-03,1.928756e-03,1.892601e-03,1.858238e-03,1.825593e-03,1.794592e-03,1.765168e-03,1.737252e-03,1.710780e-03,1.685689e-03,1.661921e-03,1.639416e-03,1.618120e-03,1.597979e-03,1.578942e-03,1.560960e-03,1.543984e-03,1.527970e-03,1.512873e-03,1.498652e-03,1.485267e-03,1.472678e-03,1.460849e-03,1.449744e-03,1.439328e-03,1.429569e-03,1.420436e-03,1.411898e-03,1.403926e-03,1.396493e-03,1.389572e-03,1.383138e-03,1.377167e-03,1.371634e-03,1.366518e-03,1.361797e-03,1.357451e-03
0.000000e+00,3.316870e-09,1.052185e-07,1.110725e-07,1.031233e-06,4.381205e-06,4.598715e-06,1.192137e-05,2.031839e-05,2.084619e-05,2.905659e-05,3.549098e-05,3.600041e-05,4.174688e-05,4.602853e-05,4.645756e-05,5.028764e-05,5.303731e-05,5.337205e-05,5.582589e-05,5.750693e-05,5.774708e-05,5.921893e-05,6.016020e-05,6.031231e-05,6.108748e-05,6.152183e-05,6.159563e-05,6.188018e-05,6.197176e-05,6.197793e-05,6.192002e-05,6.178388e-05,6.173279e-05,6.143845e-05,6.115479e-05,6.105579e-05,6.060062e-05,6.022504e-05,6.008627e-05,5.952399e-05,5.909482e-05,5.892321e-05,5.829190e-05,5.783544e-05,5.763674e-05,5.696334e-05,5.649746e-05,5.627643e-05,5.557994e-05,5.511665e-05,5.487719e-05,5.417096e-05,5.371822e-05,5.346355e-05,5.275690e-05,5.231988e-05,5.205263e-05,5.135208e-05,5.093399e-05,5.065633e-05,4.996630e-05,4.956900e-05,4.928273e-05,4.860624e-05,4.823068e-05,4.793731e-05,4.727634e-05,4.692284e-05,4.662363e-05,4.597943e-05,4.564786e-05,4.534391e-05,4.471720e-05,4.440719e-05,4.409941e-05,4.349057e-05,4.320152e-05,4.289071e-05,4.229985e-05,4.203106e-05,4.171794e-05,4.114498e-05,4.089569e-05,4.058089e-05,4.002563e-05,3.979503e-05,3.947911e-05,3.894126e-05,3.872853e-05,3.841200e-05,3.789123e-05,3.769555e-05,3.737886e-05,3.687479e-05,3.669533e-05,3.637891e-05,3.589112e-05,3.572710e-05,3.541132e-05,3.493940e-05,3.479003e-05,3.447525e-05,3.401877e-05,3.388330e-05,3.356983e-05,3.312835e-05,3.300605e-05,3.269420e-05,3.226729e-05,3.215746e-05,3.184750e-05,3.143473e-05,3.133670e-05,3.102888e-05,3.062983e-05,3.054294e-05,3.023749e-05,2.985176e-05,2.977539e-05,2.947252e-05,2.909969e-05,2.903325e-05,2.873316e-05,2.837284e-05,2.831576e-05,2.801862e-05,2.767042e-05,2.762215e-05,2.732814e-05,2.699168e-05,2.695169e-05,2.666095e-05,2.633587e-05,2.630367e-05,2.601634e-05,2.570228e-05,2.567739e-05,2.539359e-05,2.509020e-05,2.507216e-05,2.479202e-05,2.449896e-05,2.448734e-05,2.421094e-05,2.392788e-05,2.392227e-05,2.364971e-05,2.337634e-05,2.284893e-05,2.233946e-05,2.184735e-05,2.137206e-05,2.091305e-05,2.046979e-05,2.004177e-05,1.962851e-05,1.922953e-05,1.884437e-05,1.847259e-05,1.811374e-05,1.776741e-05,1.743319e-05,1.711069e-05,1.679953e-05,1.649933e-05,1.620974e-05,1.593041e-05,1.566101e-05,1.540120e-05,1.515068e-05,1.490913e-05,1.467626e-05,1.445179e-05,1.423544e-05,1.402694e-05,1.382603e-05,1.363245e-05,1.344598e-05,1.326636e-05,1.309337e-05,1.292679e-05,1.276641e-05,1.261201e-05,1.246341e-05,1.232040e-05,1.218280e-05,1.205043e-05,1.192310e-05,1.180065e-05,1.168292e-05,1.156975e-05,1.146097e-05,1.135645e-05,1.125604e-05,1.115960e-05,1.106699e-05,1.097808e-05
0.000000e+00,4.473519e-10,4.143974e-08,4.435196e-08,7.428220e-07,5.474760e-06,5.883453e-06,2.779195e-05,8.218194e-05,8.715768e-05,1.998022e-04,3.507373e-04,3.657146e-04,5.719359e-04,7.777840e-04,8.012997e-04,1.038708e-03,1.245633e-03,1.273401e-03,1.498750e-03,1.682290e-03,1.711176e-03,1.909057e-03,2.063670e-03,2.091920e-03,2.259917e-03,2.386907e-03,2.413520e-03,2.553358e-03,2.655782e-03,2.680124e-03,2.794534e-03,2.875653e-03,2.897298e-03,2.989112e-03,3.051983e-03,3.070650e-03,3.142560e-03,3.189940e-03,3.205461e-03,3.259944e-03,3.294275e-03,3.306569e-03,3.345865e-03,3.369282e-03,3.378335e-03,3.404454e-03,3.418818e-03,3.424672e-03,3.439419e-03,3.446352e-03,3.449099e-03,3.454094e-03,3.454998e-03,3.454762e-03,3.451439e-03,3.447513e-03,3.444440e-03,3.434060e-03,3.426325e-03,3.420577e-03,3.404250e-03,3.393574e-03,3.385323e-03,3.364025e-03,3.351142e-03,3.340570e-03,3.315159e-03,3.300691e-03,3.287981e-03,3.259211e-03,3.243676e-03,3.229013e-03,3.197542e-03,3.181375e-03,3.164942e-03,3.131346e-03,3.114904e-03,3.096880e-03,3.061662e-03,3.045239e-03,3.025799e-03,2.989393e-03,2.973227e-03,2.952539e-03,2.915324e-03,2.899606e-03,2.877830e-03,2.840131e-03,2.825010e-03,2.802299e-03,2.764397e-03,2.749989e-03,2.726486e-03,2.688621e-03,2.675011e-03,2.650853e-03,2.613229e-03,2.600478e-03,2.575792e-03,2.538582e-03,2.526729e-03,2.501634e-03,2.464983e-03,2.454050e-03,2.428657e-03,2.392685e-03,2.382680e-03,2.357091e-03,2.321898e-03,2.312816e-03,2.287125e-03,2.252791e-03,2.244618e-03,2.218912e-03,2.185502e-03,2.178216e-03,2.152573e-03,2.120136e-03,2.113709e-03,2.088201e-03,2.056775e-03,2.051173e-03,2.025864e-03,1.995476e-03,1.990662e-03,1.965613e-03,1.936279e-03,1.932214e-03,1.907476e-03,1.879205e-03,1.875849e-03,1.851468e-03,1.824264e-03,1.821573e-03,1.797592e-03,1.771450e-03,1.769382e-03,1.745836e-03,1.720748e-03,1.719260e-03,1.696182e-03,1.672135e-03,1.671184e-03,1.648602e-03,1.625579e-03,1.625123e-03,1.603060e-03,1.581042e-03,1.538898e-03,1.498647e-03,1.460239e-03,1.423624e-03,1.388750e-03,1.355561e-03,1.324003e-03,1.294022e-03,1.265560e-03,1.238563e-03,1.212976e-03,1.188744e-03,1.165814e-03,1.144134e-03,1.123652e-03,1.104318e-03,1.086082e-03,1.068897e-03,1.052717e-03,1.037496e-03,1.023192e-03,1.009761e-03,9.971634e-04,9.853597e-04,9.743119e-04,9.639834e-04,9.543392e-04,9.453454e-04,9.369694e-04,9.291802e-04,9.219476e-04,9.152430e-04,9.090388e-04,9.033086e-04,8.980270e-04,8.931700e-04,8.887142e-04,8.846376e-04,8.809190e-04,8.775382e-04,8.744757e-04,8.717132e-04,8.692331e-04,8.670185e-04,8.650535e-04,8.633227e-04,8.618116e-04,8.605064e-04,8.593938e-04
0.000000e+00,8.153644e-12,1.074765e-09,1.157765e-09,2.587338e-08,2.431639e-07,2.639713e-07,1.625755e-06,6.360851e-06,6.874214e-06,2.180582e-05,5.200119e-05,5.568152e-05,1.207681e-04,2.177920e-04,2.313210e-04,4.023602e-04,6.145296e-04,6.484819e-04,9.828431e-04,1.349381e-03,1.416386e-03,1.957312e-03,2.498553e-03,2.610797e-03,3.378915e-03,4.093738e-03,4.260721e-03,5.252475e-03,6.120931e-03,6.347951e-03,7.538801e-03,8.527447e-03,8.814958e-03,1.016504e-02,1.123298e-02,1.157673e-02,1.303717e-02,1.414160e-02,1.453329e-02,1.605208e-02,1.715252e-02,1.758089e-02,1.910758e-02,2.016888e-02,2.062077e-02,2.210989e-02,2.310380e-02,2.356533e-02,2.497848e-02,2.588427e-02,2.634176e-02,2.764863e-02,2.845284e-02,2.889359e-02,3.007211e-02,3.076782e-02,3.118063e-02,3.221648e-02,3.280231e-02,3.317782e-02,3.406359e-02,3.454253e-02,3.487340e-02,3.560749e-02,3.598579e-02,3.626667e-02,3.685220e-02,3.713834e-02,3.736577e-02,3.780942e-02,3.801325e-02,3.818548e-02,3.849651e-02,3.862848e-02,3.874524e-02,3.893457e-02,3.900522e-02,3.906747e-02,3.914698e-02,3.916647e-02,3.917617e-02,3.915810e-02,3.913596e-02,3.909581e-02,3.899228e-02,3.893721e-02,3.885045e-02,3.867317e-02,3.859295e-02,3.846318e-02,3.822315e-02,3.812460e-02,3.795564e-02,3.766307e-02,3.755207e-02,3.734779e-02,3.701200e-02,3.689353e-02,3.665779e-02,3.628714e-02,3.616537e-02,3.590192e-02,3.550389e-02,3.538222e-02,3.509468e-02,3.467583e-02,3.455703e-02,3.424879e-02,3.381489e-02,3.370111e-02,3.337539e-02,3.293143e-02,3.282433e-02,3.248409e-02,3.203436e-02,3.193519e-02,3.158317e-02,3.113135e-02,3.104098e-02,3.067969e-02,3.022890e-02,3.014790e-02,2.977963e-02,2.933249e-02,2.926119e-02,2.888803e-02,2.844674e-02,2.838524e-02,2.800909e-02,2.757547e-02,2.752373e-02,2.714627e-02,2.672182e-02,2.667965e-02,2.630243e-02,2.588835e-02,2.585547e-02,2.547985e-02,2.507713e-02,2.505315e-02,2.468038e-02,2.428976e-02,2.427427e-02,2.390543e-02,2.352751e-02,2.352001e-02,2.315609e-02,2.279128e-02,2.208871e-02,2.141269e-02,2.076346e-02,2.014105e-02,1.954539e-02,1.897627e-02,1.843338e-02,1.791634e-02,1.742468e-02,1.695788e-02,1.651538e-02,1.609657e-02,1.570079e-02,1.532738e-02,1.497565e-02,1.464489e-02,1.433437e-02,1.404336e-02,1.377113e-02,1.351695e-02,1.328006e-02,1.305974e-02,1.285526e-02,1.266589e-02,1.249091e-02,1.232963e-02,1.218133e-02,1.204535e-02,1.192101e-02,1.180765e-02,1.170464e-02,1.161134e-02,1.152716e-02,1.145150e-02,1.138379e-02,1.132348e-02,1.127004e-02,1.122295e-02,1.118172e-02,1.114588e-02,1.111497e-02,1.108856e-02,1.106624e-02,1.104762e-02,1.103233e-02,1.102001e-02,1.101034e-02,1.100300e-02,1.099770e-02
0.000000e+00,7.312003e-09,1.327665e-07,1.392612e-07,1.042373e-06,3.976700e-06,4.158129e-06,9.836261e-06,1.589358e-05,1.627562e-05,2.240659e-05,2.759138e-05,2.802095e-05,3.311063e-05,3.726595e-05,3.770390e-05,4.183456e-05,4.511328e-05,4.553582e-05,4.883918e-05,5.138455e-05,5.177439e-05,5.436953e-05,5.630606e-05,5.665108e-05,5.864396e-05,6.007916e-05,6.037155e-05,6.185575e-05,6.288163e-05,6.311697e-05,6.417419e-05,6.486861e-05,6.504506e-05,6.574590e-05,6.617417e-05,6.629183e-05,6.669680e-05,6.691334e-05,6.697368e-05,6.713435e-05,6.718423e-05,6.718973e-05,6.714988e-05,6.707032e-05,6.702407e-05,6.682079e-05,6.664234e-05,6.654788e-05,6.621251e-05,6.596017e-05,6.582127e-05,6.538021e-05,6.507436e-05,6.489487e-05,6.437034e-05,6.402751e-05,6.381128e-05,6.322193e-05,6.285542e-05,6.260620e-05,6.196766e-05,6.158815e-05,6.130956e-05,6.063487e-05,6.025082e-05,5.994631e-05,5.924635e-05,5.886443e-05,5.853724e-05,5.782104e-05,5.744643e-05,5.709960e-05,5.637462e-05,5.601128e-05,5.564763e-05,5.492001e-05,5.457091e-05,5.419303e-05,5.346782e-05,5.313510e-05,5.274539e-05,5.202667e-05,5.171182e-05,5.131248e-05,5.060355e-05,5.030753e-05,4.990054e-05,4.920404e-05,4.892738e-05,4.851456e-05,4.783257e-05,4.757545e-05,4.715845e-05,4.649256e-05,4.625492e-05,4.583521e-05,4.518664e-05,4.496817e-05,4.454709e-05,4.391674e-05,4.371699e-05,4.329574e-05,4.268421e-05,4.250261e-05,4.208225e-05,4.148993e-05,4.132582e-05,4.090731e-05,4.033441e-05,4.018705e-05,3.977125e-05,3.921781e-05,3.908643e-05,3.867408e-05,3.814003e-05,3.802383e-05,3.761560e-05,3.710075e-05,3.699892e-05,3.659540e-05,3.609949e-05,3.601122e-05,3.561292e-05,3.513561e-05,3.506010e-05,3.466747e-05,3.420839e-05,3.414484e-05,3.375827e-05,3.331699e-05,3.326463e-05,3.288445e-05,3.246053e-05,3.241861e-05,3.204511e-05,3.163807e-05,3.160587e-05,3.123929e-05,3.084864e-05,3.082545e-05,3.046600e-05,3.009124e-05,3.007641e-05,2.972424e-05,2.936487e-05,2.935776e-05,2.901301e-05,2.866853e-05,2.800773e-05,2.737441e-05,2.676761e-05,2.618638e-05,2.562980e-05,2.509698e-05,2.458703e-05,2.409909e-05,2.363233e-05,2.318595e-05,2.275915e-05,2.235118e-05,2.196130e-05,2.158880e-05,2.123299e-05,2.089321e-05,2.056882e-05,2.025920e-05,1.996375e-05,1.968191e-05,1.941312e-05,1.915685e-05,1.891259e-05,1.867984e-05,1.845813e-05,1.824700e-05,1.804602e-05,1.785476e-05,1.767281e-05,1.749980e-05,1.733533e-05,1.717906e-05,1.703063e-05,1.688971e-05,1.675598e-05,1.662914e-05,1.650889e-05,1.639495e-05,1.628703e-05,1.618489e-05,1.608827e-05,1.599693e-05,1.591064e-05,1.582917e-05,1.575231e-05,1.567986e-05,1.561161e-05,1.554739e-05,1.548700e-05
0.000000e+00,2.881404e-09,4.012779e-08,4.189868e-08,2.571292e-07,8.779324e-07,9.158878e-07,2.185828e-06,3.782506e-06,3.890265e-06,5.681896e-06,7.238835e-06,7.368261e-06,8.900539e-06,1.014587e-05,1.027669e-05,1.150562e-05,1.247402e-05,1.259832e-05,1.356574e-05,1.430547e-05,1.441828e-05,1.516565e-05,1.571880e-05,1.581690e-05,1.638042e-05,1.678250e-05,1.686397e-05,1.727467e-05,1.755521e-05,1.761908e-05,1.790317e-05,1.808649e-05,1.813251e-05,1.831218e-05,1.841840e-05,1.844686e-05,1.854082e-05,1.858647e-05,1.859800e-05,1.862200e-05,1.862059e-05,1.861611e-05,1.858335e-05,1.854591e-05,1.852647e-05,1.844800e-05,1.838349e-05,1.835024e-05,1.823532e-05,1.815101e-05,1.810516e-05,1.796150e-05,1.786324e-05,1.780597e-05,1.764002e-05,1.753250e-05,1.746500e-05,1.728211e-05,1.716906e-05,1.709246e-05,1.689707e-05,1.678147e-05,1.669684e-05,1.649262e-05,1.637679e-05,1.628515e-05,1.607513e-05,1.596088e-05,1.586318e-05,1.564985e-05,1.553855e-05,1.543566e-05,1.522106e-05,1.511373e-05,1.500646e-05,1.479225e-05,1.468966e-05,1.457875e-05,1.436626e-05,1.426893e-05,1.415505e-05,1.394536e-05,1.385364e-05,1.373740e-05,1.353137e-05,1.344544e-05,1.332741e-05,1.312569e-05,1.304566e-05,1.292633e-05,1.272944e-05,1.265529e-05,1.253512e-05,1.234345e-05,1.227511e-05,1.215449e-05,1.196831e-05,1.190565e-05,1.178496e-05,1.160446e-05,1.154731e-05,1.142686e-05,1.125217e-05,1.120033e-05,1.108041e-05,1.091158e-05,1.086484e-05,1.074570e-05,1.058275e-05,1.054086e-05,1.042273e-05,1.026563e-05,1.022836e-05,1.011143e-05,9.960119e-06,9.927216e-06,9.811671e-06,9.666063e-06,9.637280e-06,9.523269e-06,9.383261e-06,9.358353e-06,9.246008e-06,9.111479e-06,9.090205e-06,8.979641e-06,8.850460e-06,8.832584e-06,8.723899e-06,8.599924e-06,8.585219e-06,8.478497e-06,8.359581e-06,8.347826e-06,8.243138e-06,8.129130e-06,8.120113e-06,8.017518e-06,7.908264e-06,7.901783e-06,7.801329e-06,7.696674e-06,7.692534e-06,7.594261e-06,7.494050e-06,7.492068e-06,7.396004e-06,7.300085e-06,7.116288e-06,6.940388e-06,6.772096e-06,6.611133e-06,6.457226e-06,6.310107e-06,6.169516e-06,6.035203e-06,5.906922e-06,5.784437e-06,5.667519e-06,5.555946e-06,5.449504e-06,5.347987e-06,5.251195e-06,5.158937e-06,5.071027e-06,4.987286e-06,4.907543e-06,4.831633e-06,4.759397e-06,4.690680e-06,4.625337e-06,4.563225e-06,4.504208e-06,4.448155e-06,4.394940e-06,4.344443e-06,4.296547e-06,4.251140e-06,4.208116e-06,4.167371e-06,4.128805e-06,4.092326e-06,4.057840e-06,4.025260e-06,3.994503e-06,3.965488e-06,3.938136e-06,3.912375e-06,3.888132e-06,3.865339e-06,3.843930e-06,3.823842e-06,3.805016e-06,3.787392e-06,3.770916e-06,3.755534e-06,3.741194e-06
0.000000e+00,3.093680e-11,3.580362e-09,3.847287e-09,7.602316e-08,6.302212e-07,6.804192e-07,3.636405e-06,1.236684e-05,1.324346e-05,3.597057e-05,7.403102e-05,7.824842e-05,1.440618e-04,2.238026e-04,2.337877e-04,3.443936e-04,4.547195e-04,4.704483e-04,6.053688e-04,7.234161e-04,7.425201e-04,8.760008e-04,9.817941e-04,1.001089e-03,1.114401e-03,1.197030e-03,1.213852e-03,1.298484e-03,1.355459e-03,1.368243e-03,1.423746e-03,1.457815e-03,1.466056e-03,1.496502e-03,1.512595e-03,1.516531e-03,1.527605e-03,1.530857e-03,1.531117e-03,1.528355e-03,1.523132e-03,1.520468e-03,1.508460e-03,1.498070e-03,1.493193e-03,1.475390e-03,1.462148e-03,1.455655e-03,1.434483e-03,1.419921e-03,1.412276e-03,1.389356e-03,1.374435e-03,1.365981e-03,1.342354e-03,1.327650e-03,1.318634e-03,1.294945e-03,1.280788e-03,1.271383e-03,1.248021e-03,1.234585e-03,1.224915e-03,1.202107e-03,1.189478e-03,1.179630e-03,1.157506e-03,1.145712e-03,1.135751e-03,1.114378e-03,1.103417e-03,1.093393e-03,1.072802e-03,1.062655e-03,1.052607e-03,1.032810e-03,1.023448e-03,1.013408e-03,9.944017e-04,9.857904e-04,9.757869e-04,9.575608e-04,9.496634e-04,9.397195e-04,9.222588e-04,9.150377e-04,9.051740e-04,8.884603e-04,8.818775e-04,8.721124e-04,8.561251e-04,8.501434e-04,8.404930e-04,8.252103e-04,8.197931e-04,8.102716e-04,7.956711e-04,7.907830e-04,7.814031e-04,7.674616e-04,7.630684e-04,7.538410e-04,7.405354e-04,7.366043e-04,7.275391e-04,7.148461e-04,7.113457e-04,7.024508e-04,6.903476e-04,6.872479e-04,6.785307e-04,6.669945e-04,6.642669e-04,6.557335e-04,6.447421e-04,6.423596e-04,6.340150e-04,6.235467e-04,6.214836e-04,6.133320e-04,6.033656e-04,6.015977e-04,5.936424e-04,5.841574e-04,5.826615e-04,5.749054e-04,5.658816e-04,5.646363e-04,5.570812e-04,5.484994e-04,5.474840e-04,5.401314e-04,5.319728e-04,5.311682e-04,5.240189e-04,5.162653e-04,5.156536e-04,5.087077e-04,5.013418e-04,5.009059e-04,4.941634e-04,4.871683e-04,4.868922e-04,4.803525e-04,4.737120e-04,4.735810e-04,4.672430e-04,4.609416e-04,4.489447e-04,4.375620e-04,4.267666e-04,4.165322e-04,4.068340e-04,3.976478e-04,3.889507e-04,3.807206e-04,3.729364e-04,3.655776e-04,3.586250e-04,3.520597e-04,3.458641e-04,3.400208e-04,3.345137e-04,3.293269e-04,3.244455e-04,3.198550e-04,3.155417e-04,3.114924e-04,3.076945e-04,3.041358e-04,3.008048e-04,2.976904e-04,2.947820e-04,2.920696e-04,2.895433e-04,2.871939e-04,2.850125e-04,2.829907e-04,2.811202e-04,2.793933e-04,2.778026e-04,2.763410e-04,2.750016e-04,2.737780e-04,2.726638e-04,2.716533e-04,2.707407e-04,2.699206e-04,2.691878e-04,2.685373e-04,2.679644e-04,2.674646e-04,2.670336e-04,2.666672e-04,2.663616e-04,2.661129e-04,2.659177e-04
0.000000e+00,6.451107e-10,1.332901e-08,1.396962e-08,8.718109e-08,2.509369e-07,2.593570e-07,4.805789e-07,6.741579e-07,6.855829e-07,8.591000e-07,9.924919e-07,1.003009e-06,1.121320e-06,1.209064e-06,1.217833e-06,1.295850e-06,1.351463e-06,1.358201e-06,1.407300e-06,1.440503e-06,1.445204e-06,1.473662e-06,1.491364e-06,1.494164e-06,1.507971e-06,1.515055e-06,1.516156e-06,1.519627e-06,1.519532e-06,1.519154e-06,1.515391e-06,1.510528e-06,1.508888e-06,1.500113e-06,1.492171e-06,1.489462e-06,1.477270e-06,1.467423e-06,1.463819e-06,1.449348e-06,1.438412e-06,1.434059e-06,1.418122e-06,1.406660e-06,1.401683e-06,1.384861e-06,1.373257e-06,1.367760e-06,1.350466e-06,1.338981e-06,1.333050e-06,1.315575e-06,1.304383e-06,1.298090e-06,1.280638e-06,1.269851e-06,1.263256e-06,1.245973e-06,1.235660e-06,1.228812e-06,1.211796e-06,1.201999e-06,1.194940e-06,1.178258e-06,1.168996e-06,1.161761e-06,1.145458e-06,1.136738e-06,1.129356e-06,1.113461e-06,1.105279e-06,1.097776e-06,1.082305e-06,1.074650e-06,1.067049e-06,1.052010e-06,1.044868e-06,1.037188e-06,1.022584e-06,1.015939e-06,1.008196e-06,9.940253e-07,9.878582e-07,9.800691e-07,9.663265e-07,9.606178e-07,9.527956e-07,9.394748e-07,9.342048e-07,9.263619e-07,9.134548e-07,9.086036e-07,9.007512e-07,8.882488e-07,8.837967e-07,8.759451e-07,8.638378e-07,8.597656e-07,8.519242e-07,8.402019e-07,8.364908e-07,8.286684e-07,8.173210e-07,8.139528e-07,8.061573e-07,7.951747e-07,7.921316e-07,7.843705e-07,7.737424e-07,7.710075e-07,7.632876e-07,7.530038e-07,7.505609e-07,7.428884e-07,7.329390e-07,7.307722e-07,7.231531e-07,7.135283e-07,7.116225e-07,7.040622e-07,6.947524e-07,6.930931e-07,6.855966e-07,6.765924e-07,6.751656e-07,6.677375e-07,6.590297e-07,6.578222e-07,6.504668e-07,6.420464e-07,6.410455e-07,6.337665e-07,6.256249e-07,6.248183e-07,6.176194e-07,6.097480e-07,6.091241e-07,6.020086e-07,5.943992e-07,5.939467e-07,5.869176e-07,5.795620e-07,5.792704e-07,5.723305e-07,5.652209e-07,5.650800e-07,5.582316e-07,5.513605e-07,5.380975e-07,5.252770e-07,5.128853e-07,5.009092e-07,4.893357e-07,4.781525e-07,4.673473e-07,4.569085e-07,4.468245e-07,4.370843e-07,4.276771e-07,4.185924e-07,4.098203e-07,4.013507e-07,3.931743e-07,3.852817e-07,3.776641e-07,3.703126e-07,3.632189e-07,3.563748e-07,3.497724e-07,3.434040e-07,3.372621e-07,3.313395e-07,3.256293e-07,3.201246e-07,3.148188e-07,3.097056e-07,3.047788e-07,3.000323e-07,2.954605e-07,2.910576e-07,2.868182e-07,2.827371e-07,2.788090e-07,2.750291e-07,2.713925e-07,2.678946e-07,2.645307e-07,2.612967e-07,2.581881e-07,2.552009e-07,2.523311e-07,2.495748e-07,2.469284e-07,2.443881e-07,2.419504e-07,2.396120e-07,2.373695e-07
0.000000e+00,7.582320e-09,1.703257e-07,1.786665e-07,1.308293e-06,5.033433e-06,5.273717e-06,1.385882e-05,2.589304e-05,2.674961e-05,4.165420e-05,5.534828e-05,5.650889e-05,7.046772e-05,8.210128e-05,8.333894e-05,9.512465e-05,1.046370e-04,1.058742e-04,1.156474e-04,1.233180e-04,1.245052e-04,1.325068e-04,1.386082e-04,1.397091e-04,1.461660e-04,1.509404e-04,1.519286e-04,1.570452e-04,1.607038e-04,1.615610e-04,1.655186e-04,1.682439e-04,1.689581e-04,1.719170e-04,1.738660e-04,1.744304e-04,1.765314e-04,1.778388e-04,1.782508e-04,1.796174e-04,1.803983e-04,1.806584e-04,1.813991e-04,1.817515e-04,1.818629e-04,1.820720e-04,1.820791e-04,1.820468e-04,1.818068e-04,1.815395e-04,1.813700e-04,1.807531e-04,1.802711e-04,1.799718e-04,1.790407e-04,1.783941e-04,1.779732e-04,1.767822e-04,1.760132e-04,1.754793e-04,1.740756e-04,1.732193e-04,1.725814e-04,1.710060e-04,1.700917e-04,1.693584e-04,1.676468e-04,1.666986e-04,1.658787e-04,1.640613e-04,1.630990e-04,1.622011e-04,1.603043e-04,1.593439e-04,1.583764e-04,1.564226e-04,1.554771e-04,1.544479e-04,1.524566e-04,1.515362e-04,1.504529e-04,1.484406e-04,1.475533e-04,1.464231e-04,1.444037e-04,1.435557e-04,1.423854e-04,1.403708e-04,1.395666e-04,1.383625e-04,1.363626e-04,1.356054e-04,1.343734e-04,1.323967e-04,1.316885e-04,1.304343e-04,1.284876e-04,1.278296e-04,1.265581e-04,1.246471e-04,1.240397e-04,1.227558e-04,1.208851e-04,1.203280e-04,1.190359e-04,1.172092e-04,1.167018e-04,1.154056e-04,1.136257e-04,1.131669e-04,1.118701e-04,1.101393e-04,1.097276e-04,1.084336e-04,1.067534e-04,1.063872e-04,1.050990e-04,1.034705e-04,1.031480e-04,1.018682e-04,1.002921e-04,1.000112e-04,9.874240e-05,9.721901e-05,9.697771e-05,9.572196e-05,9.425122e-05,9.404741e-05,9.280671e-05,9.138833e-05,9.121987e-05,8.999595e-05,8.862942e-05,8.849418e-05,8.728856e-05,8.597319e-05,8.586905e-05,8.468309e-05,8.341802e-05,8.334291e-05,8.217776e-05,8.096204e-05,8.091392e-05,7.977059e-05,7.860314e-05,7.858004e-05,7.745940e-05,7.633907e-05,7.418871e-05,7.212654e-05,7.015007e-05,6.825677e-05,6.644411e-05,6.470951e-05,6.305042e-05,6.146431e-05,5.994865e-05,5.850096e-05,5.711882e-05,5.579982e-05,5.454163e-05,5.334196e-05,5.219859e-05,5.110935e-05,5.007212e-05,4.908487e-05,4.814561e-05,4.725241e-05,4.640342e-05,4.559683e-05,4.483091e-05,4.410399e-05,4.341444e-05,4.276069e-05,4.214125e-05,4.155465e-05,4.099951e-05,4.047448e-05,3.997826e-05,3.950960e-05,3.906732e-05,3.865024e-05,3.825727e-05,3.788734e-05,3.753942e-05,3.721254e-05,3.690574e-05,3.661812e-05,3.634882e-05,3.609698e-05,3.586181e-05,3.564254e-05,3.543843e-05,3.524877e-05,3.507287e-05,3.491009e-05,3.475979e-05
0.000000e+00,6.044257e-11,6.175566e-09,6.620723e-09,1.183512e-07,9.101340e-07,9.798309e-07,4.893687e-06,1.563605e-05,1.667638e-05,4.220991e-05,8.106905e-05,8.516210e-05,1.450860e-04,2.103201e-04,2.180485e-04,2.984767e-04,3.710186e-04,3.808441e-04,4.606587e-04,5.248365e-04,5.347921e-04,6.013998e-04,6.509083e-04,6.596574e-04,7.094602e-04,7.442278e-04,7.511613e-04,7.853722e-04,8.078383e-04,8.128249e-04,8.342819e-04,8.473343e-04,8.504839e-04,8.621211e-04,8.683003e-04,8.698199e-04,8.741394e-04,8.754525e-04,8.755726e-04,8.745510e-04,8.725085e-04,8.714504e-04,8.665965e-04,8.623082e-04,8.602713e-04,8.527178e-04,8.469882e-04,8.441459e-04,8.347358e-04,8.281423e-04,8.246428e-04,8.140000e-04,8.069537e-04,8.029219e-04,7.915063e-04,7.842964e-04,7.798370e-04,7.679858e-04,7.608136e-04,7.560139e-04,7.439735e-04,7.369765e-04,7.319091e-04,7.198582e-04,7.131279e-04,7.078530e-04,6.959202e-04,6.895149e-04,6.840827e-04,6.723594e-04,6.663138e-04,6.607661e-04,6.493161e-04,6.436483e-04,6.380201e-04,6.268867e-04,6.216026e-04,6.159230e-04,6.051343e-04,6.002315e-04,5.945249e-04,5.840980e-04,5.795684e-04,5.738555e-04,5.637990e-04,5.596309e-04,5.539291e-04,5.442457e-04,5.404246e-04,5.347486e-04,5.254369e-04,5.219468e-04,5.163093e-04,5.073643e-04,5.041884e-04,4.986001e-04,4.900148e-04,4.871361e-04,4.816062e-04,4.733719e-04,4.707734e-04,4.653096e-04,4.574167e-04,4.550814e-04,4.496906e-04,4.421286e-04,4.400403e-04,4.347280e-04,4.274862e-04,4.256290e-04,4.204003e-04,4.134675e-04,4.118261e-04,4.066852e-04,4.000504e-04,3.986103e-04,3.935606e-04,3.872129e-04,3.859602e-04,3.810046e-04,3.749330e-04,3.738544e-04,3.689955e-04,3.631893e-04,3.622724e-04,3.575120e-04,3.519610e-04,3.511938e-04,3.465336e-04,3.412275e-04,3.405988e-04,3.360401e-04,3.309690e-04,3.304682e-04,3.260119e-04,3.211663e-04,3.207834e-04,3.164301e-04,3.118008e-04,3.115264e-04,3.072763e-04,3.028544e-04,3.026797e-04,2.985330e-04,2.943099e-04,2.942265e-04,2.901831e-04,2.861505e-04,2.784363e-04,2.710686e-04,2.640332e-04,2.573160e-04,2.509036e-04,2.447833e-04,2.389427e-04,2.333699e-04,2.280536e-04,2.229828e-04,2.181471e-04,2.135364e-04,2.091411e-04,2.049519e-04,2.009600e-04,1.971568e-04,1.935342e-04,1.900845e-04,1.868000e-04,1.836737e-04,1.806987e-04,1.778684e-04,1.751764e-04,1.726167e-04,1.701835e-04,1.678713e-04,1.656747e-04,1.635887e-04,1.616084e-04,1.597291e-04,1.579463e-04,1.562558e-04,1.546534e-04,1.531352e-04,1.516975e-04,1.503366e-04,1.490491e-04,1.478318e-04,1.466813e-04,1.455948e-04,1.445692e-04,1.436019e-04,1.426902e-04,1.418315e-04,1.410234e-04,1.402636e-04,1.395498e-04,1.388799e-04,1.382519e-04
0.000000e+00,3.879131e-09,1.866738e-07,1.975856e-07,1.995890e-06,9.416006e-06,9.939434e-06,3.092923e-05,6.610140e-05,6.882690e-05,1.204212e-04,1.733188e-04,1.779652e-04,2.349805e-04,2.833346e-04,2.884970e-04,3.377242e-04,3.774866e-04,3.826581e-04,4.235061e-04,4.555587e-04,4.605192e-04,4.939507e-04,5.194442e-04,5.240447e-04,5.510338e-04,5.710027e-04,5.751381e-04,5.965647e-04,6.119092e-04,6.155082e-04,6.321510e-04,6.436455e-04,6.466639e-04,6.592065e-04,6.675131e-04,6.699277e-04,6.789667e-04,6.846492e-04,6.864533e-04,6.925083e-04,6.960451e-04,6.972445e-04,7.007670e-04,7.025631e-04,7.031735e-04,7.045550e-04,7.049526e-04,7.049965e-04,7.045766e-04,7.038635e-04,7.033688e-04,7.014412e-04,6.998593e-04,6.988573e-04,6.956760e-04,6.934277e-04,6.919520e-04,6.877362e-04,6.849905e-04,6.830758e-04,6.780147e-04,6.749117e-04,6.725933e-04,6.668495e-04,6.635052e-04,6.608181e-04,6.545316e-04,6.510415e-04,6.480200e-04,6.413108e-04,6.377527e-04,6.344300e-04,6.274011e-04,6.238381e-04,6.202462e-04,6.129855e-04,6.094683e-04,6.056376e-04,5.982199e-04,5.947886e-04,5.907481e-04,5.832370e-04,5.799231e-04,5.757000e-04,5.681493e-04,5.649768e-04,5.605965e-04,5.530518e-04,5.500384e-04,5.455248e-04,5.380241e-04,5.351825e-04,5.305578e-04,5.231329e-04,5.204715e-04,5.157562e-04,5.084336e-04,5.059572e-04,5.011705e-04,4.939716e-04,4.916824e-04,4.868416e-04,4.797842e-04,4.776817e-04,4.728030e-04,4.659011e-04,4.639832e-04,4.590814e-04,4.523461e-04,4.506091e-04,4.456975e-04,4.391375e-04,4.375764e-04,4.326675e-04,4.262889e-04,4.248980e-04,4.200029e-04,4.138103e-04,4.125831e-04,4.077119e-04,4.017082e-04,4.006376e-04,3.957995e-04,3.899862e-04,3.890649e-04,3.842683e-04,3.786457e-04,3.778661e-04,3.731183e-04,3.676859e-04,3.670403e-04,3.623480e-04,3.571044e-04,3.565852e-04,3.519544e-04,3.468974e-04,3.464969e-04,3.419329e-04,3.370600e-04,3.367705e-04,3.322781e-04,3.275862e-04,3.274004e-04,3.229836e-04,3.184693e-04,3.183799e-04,3.140424e-04,3.097019e-04,3.013588e-04,2.933427e-04,2.856454e-04,2.782584e-04,2.711731e-04,2.643811e-04,2.578735e-04,2.516418e-04,2.456776e-04,2.399723e-04,2.345178e-04,2.293057e-04,2.243280e-04,2.195768e-04,2.150444e-04,2.107232e-04,2.066058e-04,2.026850e-04,1.989539e-04,1.954056e-04,1.920334e-04,1.888310e-04,1.857920e-04,1.829105e-04,1.801804e-04,1.775960e-04,1.751519e-04,1.728427e-04,1.706630e-04,1.686080e-04,1.666726e-04,1.648522e-04,1.631421e-04,1.615380e-04,1.600355e-04,1.586305e-04,1.573189e-04,1.560969e-04,1.549607e-04,1.539066e-04,1.529311e-04,1.520308e-04,1.512025e-04,1.504428e-04,1.497488e-04,1.491174e-04,1.485457e-04,1.480311e-04,1.475708e-04
0.000000e+00,1.623205e-09,2.570922e-08,2.692120e-08,1.845729e-07,6.545399e-07,6.826759e-07,1.545923e-06,2.471364e-06,2.530559e-06,3.497197e-06,4.341632e-06,4.412808e-06,5.271664e-06,5.996394e-06,6.074155e-06,6.822128e-06,7.436972e-06,7.517757e-06,8.163261e-06,8.679985e-06,8.760843e-06,9.312673e-06,9.742421e-06,9.820891e-06,1.028759e-05,1.064075e-05,1.071483e-05,1.110462e-05,1.139080e-05,1.145891e-05,1.177960e-05,1.200759e-05,1.206852e-05,1.232743e-05,1.250519e-05,1.255805e-05,1.276198e-05,1.289663e-05,1.294079e-05,1.309592e-05,1.319376e-05,1.322880e-05,1.334076e-05,1.340739e-05,1.343310e-05,1.350704e-05,1.354740e-05,1.356375e-05,1.360441e-05,1.362298e-05,1.363010e-05,1.364181e-05,1.364240e-05,1.364048e-05,1.362703e-05,1.361296e-05,1.360228e-05,1.356705e-05,1.354120e-05,1.352210e-05,1.346814e-05,1.343299e-05,1.340586e-05,1.333589e-05,1.329359e-05,1.325886e-05,1.317533e-05,1.312772e-05,1.308585e-05,1.299092e-05,1.293957e-05,1.289103e-05,1.278664e-05,1.273289e-05,1.267817e-05,1.256603e-05,1.251102e-05,1.245061e-05,1.233225e-05,1.227692e-05,1.221130e-05,1.208807e-05,1.203320e-05,1.196286e-05,1.183594e-05,1.178219e-05,1.170759e-05,1.157803e-05,1.152593e-05,1.144752e-05,1.131625e-05,1.126621e-05,1.118443e-05,1.105225e-05,1.100461e-05,1.091988e-05,1.078749e-05,1.074250e-05,1.065523e-05,1.052323e-05,1.048107e-05,1.039164e-05,1.026057e-05,1.022137e-05,1.013013e-05,1.000044e-05,9.964267e-06,9.871576e-06,9.743639e-06,9.710537e-06,9.616708e-06,9.490857e-06,9.460822e-06,9.366155e-06,9.242664e-06,9.215664e-06,9.120440e-06,8.999535e-06,8.975517e-06,8.879995e-06,8.761861e-06,8.740750e-06,8.645171e-06,8.529957e-06,8.511661e-06,8.416248e-06,8.304069e-06,8.288487e-06,8.193442e-06,8.084386e-06,8.071405e-06,7.976915e-06,7.871044e-06,7.860545e-06,7.766780e-06,7.664132e-06,7.655990e-06,7.563105e-06,7.463702e-06,7.457790e-06,7.365924e-06,7.269769e-06,7.265956e-06,7.175235e-06,7.082317e-06,7.080475e-06,6.991009e-06,6.901304e-06,6.728382e-06,6.561626e-06,6.400942e-06,6.246219e-06,6.097336e-06,5.954164e-06,5.816567e-06,5.684400e-06,5.557516e-06,5.435767e-06,5.318999e-06,5.207058e-06,5.099790e-06,4.997042e-06,4.898660e-06,4.804492e-06,4.714390e-06,4.628206e-06,4.545796e-06,4.467018e-06,4.391735e-06,4.319809e-06,4.251110e-06,4.185508e-06,4.122880e-06,4.063103e-06,4.006061e-06,3.951639e-06,3.899728e-06,3.850221e-06,3.803016e-06,3.758012e-06,3.715115e-06,3.674233e-06,3.635275e-06,3.598158e-06,3.562799e-06,3.529119e-06,3.497042e-06,3.466496e-06,3.437409e-06,3.409716e-06,3.383352e-06,3.358254e-06,3.334364e-06,3.311626e-06,3.289984e-06,3.269388e-06,3.249786e-06
0.000000e+00,4.666405e-10,4.871383e-08,5.228190e-08,9.632903e-07,7.095791e-06,7.614707e-06,3.416522e-05,9.567695e-05,1.011400e-04,2.208683e-04,3.742346e-04,3.891620e-04,5.909345e-04,7.871565e-04,8.093245e-04,1.030939e-03,1.221577e-03,1.247023e-03,1.452641e-03,1.619244e-03,1.645415e-03,1.824477e-03,1.964241e-03,1.989776e-03,2.141669e-03,2.256602e-03,2.280709e-03,2.407529e-03,2.500632e-03,2.522791e-03,2.627153e-03,2.701403e-03,2.721258e-03,2.805728e-03,2.863848e-03,2.881158e-03,2.948115e-03,2.992529e-03,3.007141e-03,3.058749e-03,3.091586e-03,3.103423e-03,3.141624e-03,3.164747e-03,3.173786e-03,3.200319e-03,3.215345e-03,3.221611e-03,3.238026e-03,3.246356e-03,3.249909e-03,3.257583e-03,3.260428e-03,3.261354e-03,3.261510e-03,3.259910e-03,3.258320e-03,3.252040e-03,3.246888e-03,3.242908e-03,3.231149e-03,3.223210e-03,3.216975e-03,3.200584e-03,3.190506e-03,3.182162e-03,3.161883e-03,3.150220e-03,3.139913e-03,3.116405e-03,3.103621e-03,3.091503e-03,3.065342e-03,3.051830e-03,3.038049e-03,3.009743e-03,2.995829e-03,2.980534e-03,2.950525e-03,2.936480e-03,2.919815e-03,2.888493e-03,2.874540e-03,2.856644e-03,2.824347e-03,2.810667e-03,2.791675e-03,2.758697e-03,2.745435e-03,2.725477e-03,2.692074e-03,2.679344e-03,2.658543e-03,2.624935e-03,2.612827e-03,2.591298e-03,2.557675e-03,2.546255e-03,2.524109e-03,2.490635e-03,2.479949e-03,2.457289e-03,2.424103e-03,2.414183e-03,2.391106e-03,2.358326e-03,2.349189e-03,2.325786e-03,2.293511e-03,2.285165e-03,2.261520e-03,2.229832e-03,2.222274e-03,2.198465e-03,2.167433e-03,2.160653e-03,2.136752e-03,2.106432e-03,2.100413e-03,2.076486e-03,2.046924e-03,2.041644e-03,2.017753e-03,1.988982e-03,1.984416e-03,1.960617e-03,1.932664e-03,1.928784e-03,1.905128e-03,1.878012e-03,1.874787e-03,1.851321e-03,1.825055e-03,1.822452e-03,1.799217e-03,1.773809e-03,1.771794e-03,1.748830e-03,1.724280e-03,1.722821e-03,1.700160e-03,1.676468e-03,1.675529e-03,1.653202e-03,1.630362e-03,1.629910e-03,1.607945e-03,1.585949e-03,1.543626e-03,1.502916e-03,1.463791e-03,1.426222e-03,1.390173e-03,1.355610e-03,1.322496e-03,1.290793e-03,1.260463e-03,1.231465e-03,1.203759e-03,1.177307e-03,1.152069e-03,1.128004e-03,1.105073e-03,1.083238e-03,1.062460e-03,1.042702e-03,1.023927e-03,1.006099e-03,9.891817e-04,9.731410e-04,9.579433e-04,9.435554e-04,9.299455e-04,9.170823e-04,9.049357e-04,8.934761e-04,8.826750e-04,8.725048e-04,8.629388e-04,8.539508e-04,8.455159e-04,8.376096e-04,8.302085e-04,8.232898e-04,8.168316e-04,8.108127e-04,8.052125e-04,8.000114e-04,7.951903e-04,7.907308e-04,7.866151e-04,7.828262e-04,7.793477e-04,7.761636e-04,7.732588e-04,7.706186e-04,7.682288e-04
0.000000e+00,2.150517e-09,1.131699e-07,1.200511e-07,1.345551e-06,6.814095e-06,7.209774e-06,2.348283e-05,5.130281e-05,5.345855e-05,9.387765e-05,1.344751e-04,1.380098e-04,1.811507e-04,2.175833e-04,2.214712e-04,2.585570e-04,2.885480e-04,2.924519e-04,3.233181e-04,3.475826e-04,3.513418e-04,3.767085e-04,3.960945e-04,3.995972e-04,4.201777e-04,4.354443e-04,4.386106e-04,4.550471e-04,4.668547e-04,4.696293e-04,4.824906e-04,4.914084e-04,4.937559e-04,5.035421e-04,5.100579e-04,5.119584e-04,5.191069e-04,5.236372e-04,5.250834e-04,5.299771e-04,5.328772e-04,5.338714e-04,5.368437e-04,5.384150e-04,5.389669e-04,5.403082e-04,5.408060e-04,5.409306e-04,5.408927e-04,5.405328e-04,5.402493e-04,5.390512e-04,5.380152e-04,5.373456e-04,5.351767e-04,5.336173e-04,5.325854e-04,5.296100e-04,5.276551e-04,5.262858e-04,5.226458e-04,5.204021e-04,5.187208e-04,5.145390e-04,5.120950e-04,5.101269e-04,5.055092e-04,5.029381e-04,5.007084e-04,4.957456e-04,4.931076e-04,4.906405e-04,4.854112e-04,4.827552e-04,4.800743e-04,4.746455e-04,4.720113e-04,4.691391e-04,4.635683e-04,4.609876e-04,4.579454e-04,4.522818e-04,4.497795e-04,4.465877e-04,4.408728e-04,4.384686e-04,4.351460e-04,4.294154e-04,4.271238e-04,4.236884e-04,4.179719e-04,4.158036e-04,4.122720e-04,4.065947e-04,4.045574e-04,4.009450e-04,3.953278e-04,3.934261e-04,3.897474e-04,3.842077e-04,3.824442e-04,3.787124e-04,3.732645e-04,3.716398e-04,3.678670e-04,3.625226e-04,3.610360e-04,3.572335e-04,3.520018e-04,3.506511e-04,3.468293e-04,3.417176e-04,3.405000e-04,3.366682e-04,3.316822e-04,3.305939e-04,3.267607e-04,3.219045e-04,3.209412e-04,3.171144e-04,3.123910e-04,3.115479e-04,3.077347e-04,3.031459e-04,3.024179e-04,2.986247e-04,2.941714e-04,2.935534e-04,2.897860e-04,2.854684e-04,2.849548e-04,2.812185e-04,2.770361e-04,2.766215e-04,2.729209e-04,2.688727e-04,2.685517e-04,2.648911e-04,2.609756e-04,2.607427e-04,2.571258e-04,2.533411e-04,2.531911e-04,2.496211e-04,2.459652e-04,2.458928e-04,2.423728e-04,2.388431e-04,2.320373e-04,2.254699e-04,2.191354e-04,2.130281e-04,2.071421e-04,2.014715e-04,1.960104e-04,1.907526e-04,1.856923e-04,1.808234e-04,1.761402e-04,1.716368e-04,1.673075e-04,1.631466e-04,1.591488e-04,1.553086e-04,1.516207e-04,1.480801e-04,1.446818e-04,1.414208e-04,1.382925e-04,1.352922e-04,1.324154e-04,1.296580e-04,1.270155e-04,1.244841e-04,1.220596e-04,1.197384e-04,1.175166e-04,1.153908e-04,1.133574e-04,1.114130e-04,1.095545e-04,1.077787e-04,1.060826e-04,1.044632e-04,1.029177e-04,1.014434e-04,1.000376e-04,9.869777e-05,9.742144e-05,9.620622e-05,9.504982e-05,9.395001e-05,9.290464e-05,9.191164e-05,9.096900e-05,9.007480e-05,8.922716e-05
0.000000e+00,1.651874e-10,1.861383e-08,2.001018e-08,4.064931e-07,3.345543e-06,3.607006e-06,1.810177e-05,5.561231e-05,5.910948e-05,1.403205e-04,2.537177e-04,2.651962e-04,4.264884e-04,5.920439e-04,6.111598e-04,8.054787e-04,9.753232e-04,9.980396e-04,1.180781e-03,1.326268e-03,1.348790e-03,1.499619e-03,1.612461e-03,1.632526e-03,1.747850e-03,1.829954e-03,1.846547e-03,1.929881e-03,1.986416e-03,1.999236e-03,2.055996e-03,2.092384e-03,2.101491e-03,2.136956e-03,2.157906e-03,2.163530e-03,2.182245e-03,2.191586e-03,2.194033e-03,2.199734e-03,2.200493e-03,2.200098e-03,2.195798e-03,2.190336e-03,2.187433e-03,2.175540e-03,2.165683e-03,2.160595e-03,2.143022e-03,2.130170e-03,2.123199e-03,2.101460e-03,2.086681e-03,2.078103e-03,2.053391e-03,2.037493e-03,2.027558e-03,2.000811e-03,1.984401e-03,1.973332e-03,1.945284e-03,1.928811e-03,1.916807e-03,1.888029e-03,1.871823e-03,1.859059e-03,1.829993e-03,1.814289e-03,1.800917e-03,1.771906e-03,1.756866e-03,1.743022e-03,1.714323e-03,1.700058e-03,1.685857e-03,1.657666e-03,1.644243e-03,1.629787e-03,1.602248e-03,1.589703e-03,1.575077e-03,1.548296e-03,1.536640e-03,1.521922e-03,1.495971e-03,1.485200e-03,1.470454e-03,1.445381e-03,1.435477e-03,1.420759e-03,1.396593e-03,1.387531e-03,1.372888e-03,1.349644e-03,1.341389e-03,1.326862e-03,1.304542e-03,1.297058e-03,1.282682e-03,1.261279e-03,1.254526e-03,1.240331e-03,1.219832e-03,1.213770e-03,1.199780e-03,1.180167e-03,1.174754e-03,1.160990e-03,1.142242e-03,1.137437e-03,1.123918e-03,1.106009e-03,1.101773e-03,1.088512e-03,1.071417e-03,1.067710e-03,1.054719e-03,1.038410e-03,1.035195e-03,1.022485e-03,1.006934e-03,1.004174e-03,9.917521e-04,9.769314e-04,9.745931e-04,9.624649e-04,9.483456e-04,9.463963e-04,9.345666e-04,9.211208e-04,9.195294e-04,9.080014e-04,8.952016e-04,8.939389e-04,8.827146e-04,8.705339e-04,8.695725e-04,8.586528e-04,8.470650e-04,8.463789e-04,8.357639e-04,8.247434e-04,8.243084e-04,8.139974e-04,8.035197e-04,8.033128e-04,7.933044e-04,7.833456e-04,7.643617e-04,7.463177e-04,7.291720e-04,7.128844e-04,6.974163e-04,6.827308e-04,6.687924e-04,6.555670e-04,6.430219e-04,6.311261e-04,6.198495e-04,6.091635e-04,5.990407e-04,5.894549e-04,5.803809e-04,5.717948e-04,5.636736e-04,5.559953e-04,5.487390e-04,5.418846e-04,5.354128e-04,5.293055e-04,5.235449e-04,5.181145e-04,5.129981e-04,5.081804e-04,5.036470e-04,4.993837e-04,4.953774e-04,4.916151e-04,4.880848e-04,4.847748e-04,4.816741e-04,4.787720e-04,4.760584e-04,4.735237e-04,4.711587e-04,4.689545e-04,4.669028e-04,4.649955e-04,4.632250e-04,4.615841e-04,4.600657e-04,4.586632e-04,4.573704e-04,4.561811e-04,4.550897e-04,4.540906e-04,4.531787e-04
0.000000e+00,3.216240e-10,2.914172e-08,3.115174e-08,4.871105e-07,3.485092e-06,3.745671e-06,1.839415e-05,5.940425e-05,6.342462e-05,1.637006e-04,3.197822e-04,3.363865e-04,5.822717e-04,8.555149e-04,8.882875e-04,1.235172e-03,1.559099e-03,1.603961e-03,1.979307e-03,2.298900e-03,2.350272e-03,2.709780e-03,2.999793e-03,3.053653e-03,3.379691e-03,3.633042e-03,3.686946e-03,3.975237e-03,4.192379e-03,4.244821e-03,4.496203e-03,4.680048e-03,4.730014e-03,4.946949e-03,5.100975e-03,5.147726e-03,5.333064e-03,5.460693e-03,5.503672e-03,5.660241e-03,5.764655e-03,5.803441e-03,5.933920e-03,6.018022e-03,6.052302e-03,6.159188e-03,6.225600e-03,6.255156e-03,6.340759e-03,6.391839e-03,6.416531e-03,6.482981e-03,6.520844e-03,6.540599e-03,6.589854e-03,6.616390e-03,6.631196e-03,6.665055e-03,6.681950e-03,6.691843e-03,6.711954e-03,6.720709e-03,6.725766e-03,6.733640e-03,6.735585e-03,6.735922e-03,6.732940e-03,6.729254e-03,6.725012e-03,6.712438e-03,6.704160e-03,6.695507e-03,6.674493e-03,6.662538e-03,6.649659e-03,6.621257e-03,6.606426e-03,6.589524e-03,6.554690e-03,6.537685e-03,6.516971e-03,6.476576e-03,6.458005e-03,6.433701e-03,6.388536e-03,6.368927e-03,6.341259e-03,6.292041e-03,6.271847e-03,6.241044e-03,6.188423e-03,6.168032e-03,6.134325e-03,6.078890e-03,6.058632e-03,6.022250e-03,5.964530e-03,5.944682e-03,5.905852e-03,5.846327e-03,5.827118e-03,5.786064e-03,5.725164e-03,5.706785e-03,5.663725e-03,5.601836e-03,5.584439e-03,5.539586e-03,5.477055e-03,5.460761e-03,5.414321e-03,5.351457e-03,5.336358e-03,5.288532e-03,5.225610e-03,5.211774e-03,5.162753e-03,5.100018e-03,5.087490e-03,5.037458e-03,4.975126e-03,4.963934e-03,4.913069e-03,4.851330e-03,4.841485e-03,4.789953e-03,4.728976e-03,4.720473e-03,4.668436e-03,4.608367e-03,4.601191e-03,4.548799e-03,4.489764e-03,4.483891e-03,4.431288e-03,4.373396e-03,4.368791e-03,4.316112e-03,4.259456e-03,4.256077e-03,4.203449e-03,4.148108e-03,4.145908e-03,4.093450e-03,4.039489e-03,4.038417e-03,3.986240e-03,3.933714e-03,3.831888e-03,3.733007e-03,3.637125e-03,3.544279e-03,3.454492e-03,3.367776e-03,3.284132e-03,3.203548e-03,3.126009e-03,3.051485e-03,2.979945e-03,2.911349e-03,2.845654e-03,2.782811e-03,2.722768e-03,2.665469e-03,2.610856e-03,2.558867e-03,2.509439e-03,2.462508e-03,2.418008e-03,2.375870e-03,2.336029e-03,2.298416e-03,2.262963e-03,2.229601e-03,2.198265e-03,2.168884e-03,2.141392e-03,2.115723e-03,2.091809e-03,2.069585e-03,2.048988e-03,2.029953e-03,2.012418e-03,1.996322e-03,1.981605e-03,1.968206e-03,1.956069e-03,1.945137e-03,1.935353e-03,1.926665e-03,1.919017e-03,1.912360e-03,1.906643e-03,1.901815e-03,1.897831e-03,1.894643e-03,1.892206e-03
0.000000e+00,1.324256e-10,1.349865e-08,1.446719e-08,2.538201e-07,1.933117e-06,2.080994e-06,1.046845e-05,3.419434e-05,3.653671e-05,9.587342e-05,1.912701e-04,2.016063e-04,3.581650e-04,5.383764e-04,5.603455e-04,7.964451e-04,1.021061e-03,1.052355e-03,1.314702e-03,1.537045e-03,1.572542e-03,1.817899e-03,2.010475e-03,2.045570e-03,2.252631e-03,2.406138e-03,2.437852e-03,2.601177e-03,2.716535e-03,2.743320e-03,2.865445e-03,2.947707e-03,2.968959e-03,3.055367e-03,3.110528e-03,3.126181e-03,3.182868e-03,3.216541e-03,3.226816e-03,3.259322e-03,3.276317e-03,3.281583e-03,3.294697e-03,3.298976e-03,3.299668e-03,3.297412e-03,3.292175e-03,3.288757e-03,3.274456e-03,3.262258e-03,3.255190e-03,3.231576e-03,3.214440e-03,3.204170e-03,3.173473e-03,3.152988e-03,3.139937e-03,3.103972e-03,3.081379e-03,3.065942e-03,3.026177e-03,3.002437e-03,2.984974e-03,2.942598e-03,2.918445e-03,2.899287e-03,2.855253e-03,2.831243e-03,2.810688e-03,2.765759e-03,2.742304e-03,2.720620e-03,2.675402e-03,2.652802e-03,2.630227e-03,2.585197e-03,2.563663e-03,2.540407e-03,2.495938e-03,2.475610e-03,2.451862e-03,2.408241e-03,2.389206e-03,2.365129e-03,2.322574e-03,2.304876e-03,2.280614e-03,2.239285e-03,2.222935e-03,2.198613e-03,2.158624e-03,2.143611e-03,2.119336e-03,2.080766e-03,2.067059e-03,2.042926e-03,2.005825e-03,1.993381e-03,1.969469e-03,1.933862e-03,1.922626e-03,1.899005e-03,1.864898e-03,1.854812e-03,1.831538e-03,1.798922e-03,1.789922e-03,1.767045e-03,1.735900e-03,1.727922e-03,1.705481e-03,1.675779e-03,1.668757e-03,1.646786e-03,1.618491e-03,1.612359e-03,1.590885e-03,1.563956e-03,1.558651e-03,1.537695e-03,1.512089e-03,1.507549e-03,1.487127e-03,1.462797e-03,1.458962e-03,1.439087e-03,1.415986e-03,1.412799e-03,1.393480e-03,1.371558e-03,1.368966e-03,1.350207e-03,1.329416e-03,1.327367e-03,1.309172e-03,1.289464e-03,1.287910e-03,1.270278e-03,1.251604e-03,1.250500e-03,1.233430e-03,1.215744e-03,1.215046e-03,1.198534e-03,1.181791e-03,1.181460e-03,1.165501e-03,1.149656e-03,1.119548e-03,1.091056e-03,1.064102e-03,1.038611e-03,1.014511e-03,9.917319e-04,9.702081e-04,9.498762e-04,9.306759e-04,9.125492e-04,8.954413e-04,8.792996e-04,8.640741e-04,8.497171e-04,8.361835e-04,8.234301e-04,8.114159e-04,8.001018e-04,7.894509e-04,7.794279e-04,7.699994e-04,7.611335e-04,7.528001e-04,7.449704e-04,7.376174e-04,7.307150e-04,7.242388e-04,7.181656e-04,7.124731e-04,7.071404e-04,7.021476e-04,6.974758e-04,6.931072e-04,6.890247e-04,6.852123e-04,6.816546e-04,6.783372e-04,6.752463e-04,6.723691e-04,6.696930e-04,6.672064e-04,6.648983e-04,6.627580e-04,6.607758e-04,6.589422e-04,6.572482e-04,6.556854e-04,6.542459e-04,6.529221e-04
0.000000e+00,3.485445e-10,2.758691e-08,2.942276e-08,4.147768e-07,2.676093e-06,2.863042e-06,1.248997e-05,3.613869e-05,3.832435e-05,8.882855e-05,1.583854e-04,1.653430e-04,2.612429e-04,3.560560e-04,3.667830e-04,4.735978e-04,5.642889e-04,5.762804e-04,6.720194e-04,7.479191e-04,7.596945e-04,8.391109e-04,8.996170e-04,9.105218e-04,9.743694e-04,1.021436e-03,1.031160e-03,1.081408e-03,1.117231e-03,1.125612e-03,1.164243e-03,1.190793e-03,1.197746e-03,1.226535e-03,1.245500e-03,1.250996e-03,1.271489e-03,1.284296e-03,1.288347e-03,1.301879e-03,1.309723e-03,1.312370e-03,1.320085e-03,1.323966e-03,1.325270e-03,1.328152e-03,1.328903e-03,1.328939e-03,1.327825e-03,1.326135e-03,1.324987e-03,1.320591e-03,1.317030e-03,1.314787e-03,1.307715e-03,1.302751e-03,1.299504e-03,1.290272e-03,1.284289e-03,1.280129e-03,1.269174e-03,1.262485e-03,1.257500e-03,1.245191e-03,1.238051e-03,1.232327e-03,1.218977e-03,1.211591e-03,1.205209e-03,1.191083e-03,1.183614e-03,1.176654e-03,1.161972e-03,1.154551e-03,1.147083e-03,1.132032e-03,1.124760e-03,1.116855e-03,1.101588e-03,1.094544e-03,1.086264e-03,1.070912e-03,1.064155e-03,1.055558e-03,1.040227e-03,1.033800e-03,1.024940e-03,1.009719e-03,1.003652e-03,9.945793e-04,9.795387e-04,9.738523e-04,9.646115e-04,9.498105e-04,9.445154e-04,9.351475e-04,9.206328e-04,9.157332e-04,9.062756e-04,8.920839e-04,8.875788e-04,8.780650e-04,8.642250e-04,8.601087e-04,8.505693e-04,8.371025e-04,8.333662e-04,8.238285e-04,8.107505e-04,8.073827e-04,7.978713e-04,7.851930e-04,7.821802e-04,7.727171e-04,7.604448e-04,7.577724e-04,7.483770e-04,7.365140e-04,7.341660e-04,7.248559e-04,7.134023e-04,7.113624e-04,7.021529e-04,6.911067e-04,6.893581e-04,6.802627e-04,6.696198e-04,6.681458e-04,6.591765e-04,6.489312e-04,6.477150e-04,6.388822e-04,6.290276e-04,6.280528e-04,6.193654e-04,6.098936e-04,6.091440e-04,6.006098e-04,5.915120e-04,5.909720e-04,5.825977e-04,5.738645e-04,5.735189e-04,5.653101e-04,5.569318e-04,5.567660e-04,5.487273e-04,5.406938e-04,5.252824e-04,5.105116e-04,4.963611e-04,4.828108e-04,4.698406e-04,4.574305e-04,4.455610e-04,4.342129e-04,4.233672e-04,4.130055e-04,4.031100e-04,3.936631e-04,3.846477e-04,3.760474e-04,3.678462e-04,3.600284e-04,3.525792e-04,3.454840e-04,3.387287e-04,3.322998e-04,3.261842e-04,3.203693e-04,3.148429e-04,3.095932e-04,3.046089e-04,2.998792e-04,2.953936e-04,2.911418e-04,2.871142e-04,2.833015e-04,2.796946e-04,2.762848e-04,2.730638e-04,2.700236e-04,2.671564e-04,2.644547e-04,2.619115e-04,2.595199e-04,2.572732e-04,2.551651e-04,2.531895e-04,2.513406e-04,2.496126e-04,2.480002e-04,2.464980e-04,2.451013e-04,2.438049e-04,2.426045e-04,2.414954e-04
0.000000e+00,1.250448e-11,1.437160e-09,1.543247e-09,2.946121e-08,2.440861e-07,2.637758e-07,1.475857e-06,5.402402e-06,5.816678e-06,1.741905e-05,3.948664e-05,4.209274e-05,8.618302e-05,1.470962e-04,1.552521e-04,2.530927e-04,3.642707e-04,3.812449e-04,5.389683e-04,6.962282e-04,7.235392e-04,9.307239e-04,1.118441e-03,1.155314e-03,1.391635e-03,1.590166e-03,1.633987e-03,1.876984e-03,2.068576e-03,2.115794e-03,2.346287e-03,2.518112e-03,2.565108e-03,2.769678e-03,2.914466e-03,2.958163e-03,3.129404e-03,3.244665e-03,3.282830e-03,3.418367e-03,3.505045e-03,3.536339e-03,3.637386e-03,3.698510e-03,3.722382e-03,3.792353e-03,3.831923e-03,3.848424e-03,3.891772e-03,3.913988e-03,3.923582e-03,3.945018e-03,3.953812e-03,3.957197e-03,3.961172e-03,3.959950e-03,3.957927e-03,3.948370e-03,3.939954e-03,3.933329e-03,3.913553e-03,3.900181e-03,3.889713e-03,3.862405e-03,3.845798e-03,3.832159e-03,3.799442e-03,3.780894e-03,3.764663e-03,3.728180e-03,3.708640e-03,3.690303e-03,3.651303e-03,3.631456e-03,3.611413e-03,3.570834e-03,3.551163e-03,3.529740e-03,3.488280e-03,3.469122e-03,3.446583e-03,3.404759e-03,3.386340e-03,3.362901e-03,3.321091e-03,3.303562e-03,3.279398e-03,3.237882e-03,3.221336e-03,3.196593e-03,3.155574e-03,3.140065e-03,3.114862e-03,3.074489e-03,3.060043e-03,3.034481e-03,2.994861e-03,2.981483e-03,2.955649e-03,2.916860e-03,2.904539e-03,2.878508e-03,2.840606e-03,2.829324e-03,2.803162e-03,2.766184e-03,2.755915e-03,2.729679e-03,2.693652e-03,2.684363e-03,2.658106e-03,2.623045e-03,2.614703e-03,2.588471e-03,2.554385e-03,2.546952e-03,2.520787e-03,2.487678e-03,2.481115e-03,2.455056e-03,2.422921e-03,2.417189e-03,2.391271e-03,2.360104e-03,2.355162e-03,2.329418e-03,2.299209e-03,2.295018e-03,2.269476e-03,2.240214e-03,2.236735e-03,2.211421e-03,2.183093e-03,2.180286e-03,2.155226e-03,2.127816e-03,2.125643e-03,2.100859e-03,2.074351e-03,2.072775e-03,2.048288e-03,2.022664e-03,2.021648e-03,1.997477e-03,1.972720e-03,1.972229e-03,1.948390e-03,1.924482e-03,1.878370e-03,1.833858e-03,1.790907e-03,1.749482e-03,1.709545e-03,1.671058e-03,1.633987e-03,1.598294e-03,1.563944e-03,1.530901e-03,1.499131e-03,1.468600e-03,1.439273e-03,1.411118e-03,1.384102e-03,1.358194e-03,1.333362e-03,1.309575e-03,1.286804e-03,1.265019e-03,1.244191e-03,1.224292e-03,1.205295e-03,1.187173e-03,1.169899e-03,1.153447e-03,1.137792e-03,1.122909e-03,1.108774e-03,1.095362e-03,1.082652e-03,1.070620e-03,1.059243e-03,1.048501e-03,1.038371e-03,1.028833e-03,1.019867e-03,1.011452e-03,1.003568e-03,9.961972e-04,9.893202e-04,9.829186e-04,9.769746e-04,9.714705e-04,9.663892e-04,9.617138e-04,9.574280e-04,9.535156e-04,9.499610e-04
0.000000e+00,5.582305e-10,6.852312e-09,7.138439e-09,3.953407e-08,1.262754e-07,1.314755e-07,3.055135e-07,5.351990e-07,5.513861e-07,8.337021e-07,1.094534e-06,1.116623e-06,1.380873e-06,1.597994e-06,1.620881e-06,1.836469e-06,2.007019e-06,2.028951e-06,2.199967e-06,2.331134e-06,2.351170e-06,2.484142e-06,2.582842e-06,2.600371e-06,2.701246e-06,2.773414e-06,2.788057e-06,2.862004e-06,2.912648e-06,2.924196e-06,2.975655e-06,3.008955e-06,3.017330e-06,3.050091e-06,3.069525e-06,3.074743e-06,3.092032e-06,3.100492e-06,3.102645e-06,3.107212e-06,3.107085e-06,3.106315e-06,3.100490e-06,3.093745e-06,3.090229e-06,3.075984e-06,3.064236e-06,3.058171e-06,3.037172e-06,3.021739e-06,3.013338e-06,2.986990e-06,2.968946e-06,2.958424e-06,2.927909e-06,2.908120e-06,2.895692e-06,2.862001e-06,2.841165e-06,2.827042e-06,2.791004e-06,2.769677e-06,2.754061e-06,2.716368e-06,2.694988e-06,2.678071e-06,2.639299e-06,2.618207e-06,2.600171e-06,2.560795e-06,2.540254e-06,2.521268e-06,2.481680e-06,2.461887e-06,2.442109e-06,2.402628e-06,2.383729e-06,2.363302e-06,2.324189e-06,2.306283e-06,2.285341e-06,2.246805e-06,2.229959e-06,2.208622e-06,2.170829e-06,2.155080e-06,2.133458e-06,2.096538e-06,2.081902e-06,2.060094e-06,2.024147e-06,2.010622e-06,1.988716e-06,1.953818e-06,1.941387e-06,1.919464e-06,1.885666e-06,1.874303e-06,1.852434e-06,1.819773e-06,1.809443e-06,1.787690e-06,1.756188e-06,1.746851e-06,1.725269e-06,1.694934e-06,1.686546e-06,1.665184e-06,1.636017e-06,1.628529e-06,1.607430e-06,1.579421e-06,1.572785e-06,1.551987e-06,1.525121e-06,1.519287e-06,1.498820e-06,1.473078e-06,1.467996e-06,1.447889e-06,1.423246e-06,1.418868e-06,1.399142e-06,1.375571e-06,1.371848e-06,1.352524e-06,1.329994e-06,1.326881e-06,1.307974e-06,1.286454e-06,1.283905e-06,1.265428e-06,1.244886e-06,1.242858e-06,1.224821e-06,1.205223e-06,1.203675e-06,1.186085e-06,1.167398e-06,1.166291e-06,1.149154e-06,1.131343e-06,1.130640e-06,1.113958e-06,1.096990e-06,1.096655e-06,1.080432e-06,1.064274e-06,1.033431e-06,1.004064e-06,9.761118e-07,9.495150e-07,9.242154e-07,9.001569e-07,8.772852e-07,8.555476e-07,8.348937e-07,8.152747e-07,7.966437e-07,7.789557e-07,7.621673e-07,7.462370e-07,7.311252e-07,7.167938e-07,7.032061e-07,6.903274e-07,6.781243e-07,6.665648e-07,6.556184e-07,6.452561e-07,6.354498e-07,6.261732e-07,6.174007e-07,6.091082e-07,6.012725e-07,5.938715e-07,5.868844e-07,5.802908e-07,5.740718e-07,5.682089e-07,5.626849e-07,5.574831e-07,5.525877e-07,5.479836e-07,5.436564e-07,5.395923e-07,5.357783e-07,5.322020e-07,5.288514e-07,5.257152e-07,5.227827e-07,5.200436e-07,5.174880e-07,5.151066e-07,5.128906e-07,5.108315e-07,5.089211e-07
0.000000e+00,4.441252e-11,4.571883e-09,4.896845e-09,8.202600e-08,6.093481e-07,6.559287e-07,3.385321e-06,1.179944e-05,1.267385e-05,3.680725e-05,8.185181e-05,8.712173e-05,1.749751e-04,2.928059e-04,3.083018e-04,4.895935e-04,6.864685e-04,7.157625e-04,9.793269e-04,1.228199e-03,1.270139e-03,1.577074e-03,1.839446e-03,1.889360e-03,2.197467e-03,2.441454e-03,2.493577e-03,2.771738e-03,2.978490e-03,3.027786e-03,3.259150e-03,3.421636e-03,3.464582e-03,3.643880e-03,3.763008e-03,3.797632e-03,3.926986e-03,4.007881e-03,4.033455e-03,4.118774e-03,4.168136e-03,4.184777e-03,4.233316e-03,4.257874e-03,4.266199e-03,4.285148e-03,4.290903e-03,4.291777e-03,4.287579e-03,4.279546e-03,4.273919e-03,4.252035e-03,4.234232e-03,4.223041e-03,4.187935e-03,4.163496e-03,4.147609e-03,4.102855e-03,4.074172e-03,4.054374e-03,4.002788e-03,3.971662e-03,3.948642e-03,3.892419e-03,3.860187e-03,3.834543e-03,3.775384e-03,3.743021e-03,3.715268e-03,3.654478e-03,3.622686e-03,3.593265e-03,3.531845e-03,3.501117e-03,3.470406e-03,3.409112e-03,3.379784e-03,3.348104e-03,3.287504e-03,3.259795e-03,3.227417e-03,3.167934e-03,3.141972e-03,3.109130e-03,3.051072e-03,3.026924e-03,2.993814e-03,2.937402e-03,2.915083e-03,2.881873e-03,2.827259e-03,2.806750e-03,2.773583e-03,2.720865e-03,2.702124e-03,2.669120e-03,2.618357e-03,2.601322e-03,2.568583e-03,2.519802e-03,2.504401e-03,2.472013e-03,2.425216e-03,2.411370e-03,2.379406e-03,2.334577e-03,2.322200e-03,2.290723e-03,2.247833e-03,2.236839e-03,2.205898e-03,2.164908e-03,2.155210e-03,2.124850e-03,2.085712e-03,2.077224e-03,2.047481e-03,2.010143e-03,2.002782e-03,1.973685e-03,1.938091e-03,1.931775e-03,1.903348e-03,1.869440e-03,1.864092e-03,1.836353e-03,1.804072e-03,1.799616e-03,1.772581e-03,1.741866e-03,1.738232e-03,1.711912e-03,1.682704e-03,1.679823e-03,1.654227e-03,1.626466e-03,1.624275e-03,1.599407e-03,1.573035e-03,1.571474e-03,1.547336e-03,1.522297e-03,1.521309e-03,1.497902e-03,1.474139e-03,1.473670e-03,1.450994e-03,1.428454e-03,1.385556e-03,1.344879e-03,1.306325e-03,1.269803e-03,1.235223e-03,1.202499e-03,1.171549e-03,1.142293e-03,1.114655e-03,1.088561e-03,1.063941e-03,1.040728e-03,1.018856e-03,9.982641e-04,9.788918e-04,9.606823e-04,9.435809e-04,9.275352e-04,9.124948e-04,8.984116e-04,8.852395e-04,8.729343e-04,8.614537e-04,8.507570e-04,8.408056e-04,8.315621e-04,8.229910e-04,8.150581e-04,8.077309e-04,8.009779e-04,7.947693e-04,7.890764e-04,7.838718e-04,7.791292e-04,7.748235e-04,7.709306e-04,7.674276e-04,7.642924e-04,7.615040e-04,7.590422e-04,7.568878e-04,7.550225e-04,7.534287e-04,7.520895e-04,7.509890e-04,7.501119e-04,7.494436e-04,7.489701e-04,7.486780e-04
0.000000e+00,3.058670e-11,3.402565e-09,3.654499e-09,7.178102e-08,6.038100e-07,6.524031e-07,3.549087e-06,1.216538e-05,1.302879e-05,3.516698e-05,7.117674e-05,7.509255e-05,1.345597e-04,2.030995e-04,2.114458e-04,3.007957e-04,3.848087e-04,3.964044e-04,4.922053e-04,5.708729e-04,5.831654e-04,6.656788e-04,7.268442e-04,7.375861e-04,7.979765e-04,8.389110e-04,8.468941e-04,8.850355e-04,9.085109e-04,9.134850e-04,9.335082e-04,9.441130e-04,9.464024e-04,9.534009e-04,9.554684e-04,9.556193e-04,9.540284e-04,9.508872e-04,9.494495e-04,9.425621e-04,9.364877e-04,9.339174e-04,9.239566e-04,9.163906e-04,9.130279e-04,9.014037e-04,8.932118e-04,8.892951e-04,8.768647e-04,8.685462e-04,8.642372e-04,8.515083e-04,8.433431e-04,8.387511e-04,8.260212e-04,8.181612e-04,8.133606e-04,8.008011e-04,7.933239e-04,7.883660e-04,7.760723e-04,7.690117e-04,7.639322e-04,7.519545e-04,7.453203e-04,7.401454e-04,7.285089e-04,7.222979e-04,7.170476e-04,7.057630e-04,6.999650e-04,6.946556e-04,6.837255e-04,6.783271e-04,6.729728e-04,6.623966e-04,6.573825e-04,6.519961e-04,6.417700e-04,6.371243e-04,6.317170e-04,6.218353e-04,6.175412e-04,6.121233e-04,6.025794e-04,5.986207e-04,5.932019e-04,5.839888e-04,5.803492e-04,5.749384e-04,5.660486e-04,5.627122e-04,5.573175e-04,5.487429e-04,5.456940e-04,5.403229e-04,5.320553e-04,5.292786e-04,5.239380e-04,5.159690e-04,5.134499e-04,5.081462e-04,5.004674e-04,4.981916e-04,4.929306e-04,4.855336e-04,4.834872e-04,4.782743e-04,4.711505e-04,4.693203e-04,4.641604e-04,4.573017e-04,4.556749e-04,4.505724e-04,4.439705e-04,4.425350e-04,4.374939e-04,4.311407e-04,4.298847e-04,4.249088e-04,4.187963e-04,4.177085e-04,4.128012e-04,4.069215e-04,4.059914e-04,4.011555e-04,3.955012e-04,3.947184e-04,3.899567e-04,3.845202e-04,3.838750e-04,3.791899e-04,3.739640e-04,3.734471e-04,3.688407e-04,3.638183e-04,3.634208e-04,3.588951e-04,3.540692e-04,3.537828e-04,3.493392e-04,3.447033e-04,3.445198e-04,3.401599e-04,3.357074e-04,3.356193e-04,3.313442e-04,3.270688e-04,3.188564e-04,3.109703e-04,3.033995e-04,2.961328e-04,2.891597e-04,2.824699e-04,2.760535e-04,2.699008e-04,2.640025e-04,2.583497e-04,2.529334e-04,2.477454e-04,2.427774e-04,2.380216e-04,2.334702e-04,2.291160e-04,2.249517e-04,2.209705e-04,2.171656e-04,2.135307e-04,2.100595e-04,2.067459e-04,2.035842e-04,2.005687e-04,1.976940e-04,1.949548e-04,1.923461e-04,1.898629e-04,1.875004e-04,1.852542e-04,1.831198e-04,1.810929e-04,1.791693e-04,1.773451e-04,1.756165e-04,1.739796e-04,1.724309e-04,1.709670e-04,1.695844e-04,1.682799e-04,1.670504e-04,1.658928e-04,1.648042e-04,1.637819e-04,1.628230e-04,1.619250e-04,1.610852e-04,1.603013e-04,1.595708e-04
0.000000e+00,4.204652e-09,1.196819e-07,1.261377e-07,9.636236e-07,2.763481e-06,2.847868e-06,4.954633e-06,6.821354e-06,6.935568e-06,8.750637e-06,1.027755e-05,1.040412e-05,1.190646e-05,1.313825e-05,1.326843e-05,1.450010e-05,1.548362e-05,1.561082e-05,1.660928e-05,1.738440e-05,1.750363e-05,1.830152e-05,1.890249e-05,1.901016e-05,1.963634e-05,2.009276e-05,2.018643e-05,2.066641e-05,2.100368e-05,2.108186e-05,2.143798e-05,2.167771e-05,2.173964e-05,2.199132e-05,2.215175e-05,2.219719e-05,2.236115e-05,2.245759e-05,2.248675e-05,2.257731e-05,2.262255e-05,2.263589e-05,2.266529e-05,2.266991e-05,2.266812e-05,2.264681e-05,2.261965e-05,2.260356e-05,2.254042e-05,2.248878e-05,2.245929e-05,2.236191e-05,2.229180e-05,2.224988e-05,2.212468e-05,2.204103e-05,2.198764e-05,2.184001e-05,2.174682e-05,2.168293e-05,2.151745e-05,2.141801e-05,2.134455e-05,2.116510e-05,2.106205e-05,2.097992e-05,2.078975e-05,2.068524e-05,2.059529e-05,2.039716e-05,2.029288e-05,2.019594e-05,1.999216e-05,1.988946e-05,1.978629e-05,1.957879e-05,1.947872e-05,1.937004e-05,1.916043e-05,1.906381e-05,1.895029e-05,1.873992e-05,1.864737e-05,1.852961e-05,1.831961e-05,1.823156e-05,1.811015e-05,1.790144e-05,1.781821e-05,1.769367e-05,1.748701e-05,1.740880e-05,1.728162e-05,1.707763e-05,1.700456e-05,1.687517e-05,1.667436e-05,1.660647e-05,1.647528e-05,1.627805e-05,1.621533e-05,1.608272e-05,1.588937e-05,1.583177e-05,1.569807e-05,1.550887e-05,1.545628e-05,1.532181e-05,1.513694e-05,1.508923e-05,1.495428e-05,1.477386e-05,1.473090e-05,1.459572e-05,1.441986e-05,1.438148e-05,1.424631e-05,1.407506e-05,1.404109e-05,1.390614e-05,1.373954e-05,1.370980e-05,1.357526e-05,1.341330e-05,1.338760e-05,1.325366e-05,1.309633e-05,1.307449e-05,1.294130e-05,1.278856e-05,1.277038e-05,1.263810e-05,1.248990e-05,1.247520e-05,1.234395e-05,1.220024e-05,1.218884e-05,1.205874e-05,1.191944e-05,1.191115e-05,1.178231e-05,1.164735e-05,1.164199e-05,1.151452e-05,1.138381e-05,1.138122e-05,1.125519e-05,1.112865e-05,1.088411e-05,1.064743e-05,1.041843e-05,1.019691e-05,9.982697e-06,9.775600e-06,9.575434e-06,9.382015e-06,9.195162e-06,9.014693e-06,8.840432e-06,8.672205e-06,8.509839e-06,8.353166e-06,8.202022e-06,8.056245e-06,7.915677e-06,7.780166e-06,7.649559e-06,7.523710e-06,7.402476e-06,7.285717e-06,7.173297e-06,7.065084e-06,6.960948e-06,6.860763e-06,6.764408e-06,6.671763e-06,6.582712e-06,6.497143e-06,6.414946e-06,6.336014e-06,6.260244e-06,6.187535e-06,6.117788e-06,6.050910e-06,5.986806e-06,5.925387e-06,5.866566e-06,5.810257e-06,5.756378e-06,5.704849e-06,5.655591e-06,5.608529e-06,5.563590e-06,5.520700e-06,5.479792e-06,5.440797e-06,5.403649e-06
0.000000e+00,2.037910e-11,2.282215e-09,2.449065e-09,4.496779e-08,3.571476e-07,3.852930e-07,2.072502e-06,7.379436e-06,7.934074e-06,2.333107e-05,5.233854e-05,5.575108e-05,1.131790e-04,1.916990e-04,2.021458e-04,3.263170e-04,4.649795e-04,4.859327e-04,6.779976e-04,8.649396e-04,8.969548e-04,1.135575e-03,1.345358e-03,1.385851e-03,1.639775e-03,1.845485e-03,1.889933e-03,2.129902e-03,2.310996e-03,2.354471e-03,2.559715e-03,2.704627e-03,2.742958e-03,2.902662e-03,3.007923e-03,3.038274e-03,3.150046e-03,3.217908e-03,3.238859e-03,3.306063e-03,3.341993e-03,3.353319e-03,3.382482e-03,3.393167e-03,3.395489e-03,3.394285e-03,3.386313e-03,3.380753e-03,3.356680e-03,3.335827e-03,3.323721e-03,3.283384e-03,3.254329e-03,3.237023e-03,3.185838e-03,3.152147e-03,3.130880e-03,3.073062e-03,3.037329e-03,3.013167e-03,2.951859e-03,2.915877e-03,2.889697e-03,2.827148e-03,2.792099e-03,2.764599e-03,2.702364e-03,2.668981e-03,2.640701e-03,2.579813e-03,2.548513e-03,2.519862e-03,2.460975e-03,2.431961e-03,2.403247e-03,2.346749e-03,2.320082e-03,2.291532e-03,2.237629e-03,2.213281e-03,2.185061e-03,2.133838e-03,2.111727e-03,2.083961e-03,2.035424e-03,2.015435e-03,1.988215e-03,1.942319e-03,1.924325e-03,1.897717e-03,1.854388e-03,1.838251e-03,1.812307e-03,1.771450e-03,1.757036e-03,1.731792e-03,1.693305e-03,1.680482e-03,1.655964e-03,1.619742e-03,1.608382e-03,1.584610e-03,1.550543e-03,1.540526e-03,1.517514e-03,1.485495e-03,1.476708e-03,1.454462e-03,1.424388e-03,1.416723e-03,1.395248e-03,1.367017e-03,1.360374e-03,1.339670e-03,1.313183e-03,1.307469e-03,1.287533e-03,1.262697e-03,1.257825e-03,1.238652e-03,1.215375e-03,1.211266e-03,1.192846e-03,1.171043e-03,1.167621e-03,1.149946e-03,1.129534e-03,1.126729e-03,1.109787e-03,1.090687e-03,1.088437e-03,1.072215e-03,1.054352e-03,1.052598e-03,1.037080e-03,1.020383e-03,1.019072e-03,1.004244e-03,9.886448e-04,9.877257e-04,9.735708e-04,9.590061e-04,9.584339e-04,9.449353e-04,9.313438e-04,9.310767e-04,9.182170e-04,9.055410e-04,8.817194e-04,8.595104e-04,8.388179e-04,8.195510e-04,8.016240e-04,7.849558e-04,7.694697e-04,7.550935e-04,7.417591e-04,7.294020e-04,7.179616e-04,7.073808e-04,6.976054e-04,6.885847e-04,6.802708e-04,6.726186e-04,6.655855e-04,6.591314e-04,6.532187e-04,6.478119e-04,6.428774e-04,6.383839e-04,6.343018e-04,6.306031e-04,6.272618e-04,6.242530e-04,6.215538e-04,6.191422e-04,6.169979e-04,6.151015e-04,6.134350e-04,6.119815e-04,6.107249e-04,6.096504e-04,6.087440e-04,6.079924e-04,6.073834e-04,6.069054e-04,6.065475e-04,6.062996e-04,6.061524e-04,6.060968e-04,6.061246e-04,6.062281e-04,6.064000e-04,6.066337e-04,6.069227e-04,6.072614e-04,6.076441e-04
0.000000e+00,7.768440e-11,8.396889e-09,9.019272e-09,1.785373e-07,1.476326e-06,1.592751e-06,8.184119e-06,2.584937e-05,2.752284e-05,6.709290e-05,1.236617e-04,1.294416e-04,2.113504e-04,2.963789e-04,3.062432e-04,4.069605e-04,4.955840e-04,5.074772e-04,6.035083e-04,6.804673e-04,6.924267e-04,7.729016e-04,8.336378e-04,8.444965e-04,9.073346e-04,9.526314e-04,9.618575e-04,1.008665e-03,1.041000e-03,1.048418e-03,1.081780e-03,1.103779e-03,1.109391e-03,1.131846e-03,1.145804e-03,1.149696e-03,1.163442e-03,1.171240e-03,1.173537e-03,1.180393e-03,1.183532e-03,1.184379e-03,1.185827e-03,1.185491e-03,1.185034e-03,1.182270e-03,1.179388e-03,1.177774e-03,1.171761e-03,1.167055e-03,1.164422e-03,1.155931e-03,1.149963e-03,1.146440e-03,1.136088e-03,1.129292e-03,1.124998e-03,1.113279e-03,1.105987e-03,1.101029e-03,1.088335e-03,1.080801e-03,1.075276e-03,1.061919e-03,1.054334e-03,1.048328e-03,1.034557e-03,1.027063e-03,1.020654e-03,1.006662e-03,9.993649e-04,9.926209e-04,9.785630e-04,9.715374e-04,9.645185e-04,9.505138e-04,9.438125e-04,9.365719e-04,9.227132e-04,9.163711e-04,9.089554e-04,8.953139e-04,8.893520e-04,8.818022e-04,8.684318e-04,8.628609e-04,8.552130e-04,8.421541e-04,8.369770e-04,8.292625e-04,8.165442e-04,8.117578e-04,8.040043e-04,7.916468e-04,7.872434e-04,7.794750e-04,7.674915e-04,7.634604e-04,7.556982e-04,7.440965e-04,7.404245e-04,7.326872e-04,7.214706e-04,7.181432e-04,7.104468e-04,6.996153e-04,6.966169e-04,6.889755e-04,6.785264e-04,6.758407e-04,6.682668e-04,6.581952e-04,6.558058e-04,6.483100e-04,6.386095e-04,6.365000e-04,6.290918e-04,6.197549e-04,6.179090e-04,6.105965e-04,6.016146e-04,6.000164e-04,5.928067e-04,5.841707e-04,5.828047e-04,5.757040e-04,5.674042e-04,5.662555e-04,5.592690e-04,5.512957e-04,5.503497e-04,5.434819e-04,5.358251e-04,5.350680e-04,5.283228e-04,5.209724e-04,5.203909e-04,5.137715e-04,5.067175e-04,5.062989e-04,4.998080e-04,4.930405e-04,4.927727e-04,4.864125e-04,4.799217e-04,4.797932e-04,4.735655e-04,4.673417e-04,4.553997e-04,4.439492e-04,4.329727e-04,4.224531e-04,4.123737e-04,4.027185e-04,3.934718e-04,3.846184e-04,3.761437e-04,3.680334e-04,3.602739e-04,3.528517e-04,3.457542e-04,3.389689e-04,3.324838e-04,3.262875e-04,3.203688e-04,3.147170e-04,3.093216e-04,3.041727e-04,2.992607e-04,2.945763e-04,2.901105e-04,2.858547e-04,2.818006e-04,2.779402e-04,2.742657e-04,2.707697e-04,2.674450e-04,2.642848e-04,2.612824e-04,2.584313e-04,2.557255e-04,2.531589e-04,2.507259e-04,2.484209e-04,2.462387e-04,2.441741e-04,2.422223e-04,2.403784e-04,2.386380e-04,2.369967e-04,2.354502e-04,2.339945e-04,2.326258e-04,2.313401e-04,2.301340e-04,2.290039e-04,2.279465e-04
0.000000e+00,7.339184e-09,2.376823e-07,2.506379e-07,2.285609e-06,1.010641e-05,1.063345e-05,2.965580e-05,5.468542e-05,5.637525e-05,8.446363e-05,1.090987e-04,1.111654e-04,1.359308e-04,1.565434e-04,1.587380e-04,1.796683e-04,1.966136e-04,1.988212e-04,2.162899e-04,2.300385e-04,2.321696e-04,2.465557e-04,2.575535e-04,2.595407e-04,2.712135e-04,2.798658e-04,2.816592e-04,2.909586e-04,2.976245e-04,2.991885e-04,3.064215e-04,3.114156e-04,3.127264e-04,3.181678e-04,3.217634e-04,3.228067e-04,3.267004e-04,3.291339e-04,3.299029e-04,3.324649e-04,3.339399e-04,3.344341e-04,3.358552e-04,3.365463e-04,3.367699e-04,3.372179e-04,3.372746e-04,3.372357e-04,3.368581e-04,3.364081e-04,3.361174e-04,3.350438e-04,3.341952e-04,3.336657e-04,3.320096e-04,3.308542e-04,3.301003e-04,3.279610e-04,3.265760e-04,3.256132e-04,3.230772e-04,3.215275e-04,3.203718e-04,3.175146e-04,3.158544e-04,3.145219e-04,3.114091e-04,3.096833e-04,3.081904e-04,3.048789e-04,3.031244e-04,3.014870e-04,2.980260e-04,2.962730e-04,2.945067e-04,2.909388e-04,2.892116e-04,2.873314e-04,2.836931e-04,2.820112e-04,2.800315e-04,2.763540e-04,2.747326e-04,2.726672e-04,2.689773e-04,2.674279e-04,2.652898e-04,2.616101e-04,2.601414e-04,2.579428e-04,2.542924e-04,2.529105e-04,2.506629e-04,2.470579e-04,2.457667e-04,2.434807e-04,2.399344e-04,2.387362e-04,2.364217e-04,2.329452e-04,2.318406e-04,2.295069e-04,2.261089e-04,2.250977e-04,2.227531e-04,2.194409e-04,2.185215e-04,2.161737e-04,2.129529e-04,2.121232e-04,2.097794e-04,2.066541e-04,2.059113e-04,2.035778e-04,2.005512e-04,1.998921e-04,1.975748e-04,1.946490e-04,1.940699e-04,1.917741e-04,1.889502e-04,1.884474e-04,1.861776e-04,1.834562e-04,1.830256e-04,1.807861e-04,1.781671e-04,1.778045e-04,1.755990e-04,1.730817e-04,1.727830e-04,1.706148e-04,1.681981e-04,1.679592e-04,1.658311e-04,1.635135e-04,1.633303e-04,1.612448e-04,1.590246e-04,1.588929e-04,1.568523e-04,1.547273e-04,1.546433e-04,1.526492e-04,1.506174e-04,1.505772e-04,1.486312e-04,1.466901e-04,1.429771e-04,1.394332e-04,1.360534e-04,1.328323e-04,1.297646e-04,1.268452e-04,1.240687e-04,1.214299e-04,1.189235e-04,1.165446e-04,1.142880e-04,1.121489e-04,1.101224e-04,1.082039e-04,1.063888e-04,1.046728e-04,1.030514e-04,1.015205e-04,1.000762e-04,9.871446e-05,9.743160e-05,9.622398e-05,9.508811e-05,9.402063e-05,9.301830e-05,9.207801e-05,9.119676e-05,9.037170e-05,8.960007e-05,8.887922e-05,8.820664e-05,8.757988e-05,8.699663e-05,8.645467e-05,8.595186e-05,8.548618e-05,8.505567e-05,8.465847e-05,8.429281e-05,8.395699e-05,8.364939e-05,8.336846e-05,8.311272e-05,8.288077e-05,8.267127e-05,8.248294e-05,8.231455e-05,8.216495e-05,8.203302e-05
0.000000e+00,2.681317e-10,2.445218e-08,2.611467e-08,3.720063e-07,2.336192e-06,2.497690e-06,1.100249e-05,3.389849e-05,3.615592e-05,9.467849e-05,1.950244e-04,2.063395e-04,3.870555e-04,6.139235e-04,6.427989e-04,9.680433e-04,1.300548e-03,1.348526e-03,1.765739e-03,2.139575e-03,2.200938e-03,2.637708e-03,2.996240e-03,3.063117e-03,3.467861e-03,3.779975e-03,3.845853e-03,4.193587e-03,4.448874e-03,4.509479e-03,4.793313e-03,4.992870e-03,5.045780e-03,5.268150e-03,5.417999e-03,5.462023e-03,5.629174e-03,5.736743e-03,5.771442e-03,5.890663e-03,5.963234e-03,5.988618e-03,6.067014e-03,6.111126e-03,6.127472e-03,6.171514e-03,6.192818e-03,6.200568e-03,6.215966e-03,6.219254e-03,6.218949e-03,6.210670e-03,6.199959e-03,6.192200e-03,6.164530e-03,6.143161e-03,6.128581e-03,6.085203e-03,6.055941e-03,6.035184e-03,5.979251e-03,5.944367e-03,5.918076e-03,5.852280e-03,5.813630e-03,5.782434e-03,5.709066e-03,5.668155e-03,5.632661e-03,5.553667e-03,5.511705e-03,5.472494e-03,5.389520e-03,5.347467e-03,5.305091e-03,5.219524e-03,5.178134e-03,5.133110e-03,5.046113e-03,5.005966e-03,4.958775e-03,4.871318e-03,4.832851e-03,4.783940e-03,4.696825e-03,4.660354e-03,4.610135e-03,4.524021e-03,4.489766e-03,4.438614e-03,4.354036e-03,4.322136e-03,4.270392e-03,4.187780e-03,4.158308e-03,4.106282e-03,4.025974e-03,3.998952e-03,3.946920e-03,3.869178e-03,3.844586e-03,3.792796e-03,3.717816e-03,3.695601e-03,3.644274e-03,3.572197e-03,3.552281e-03,3.501609e-03,3.432528e-03,3.414816e-03,3.364969e-03,3.298939e-03,3.283320e-03,3.234444e-03,3.171485e-03,3.157840e-03,3.110061e-03,3.050168e-03,3.038373e-03,2.991798e-03,2.934941e-03,2.924867e-03,2.879586e-03,2.825718e-03,2.817237e-03,2.773323e-03,2.722383e-03,2.715367e-03,2.672880e-03,2.624794e-03,2.619117e-03,2.578103e-03,2.532788e-03,2.528331e-03,2.488825e-03,2.446190e-03,2.442836e-03,2.404861e-03,2.364813e-03,2.362450e-03,2.326021e-03,2.288461e-03,2.286984e-03,2.252107e-03,2.216935e-03,2.216243e-03,2.182918e-03,2.150031e-03,2.088151e-03,2.030408e-03,1.976606e-03,1.926557e-03,1.880073e-03,1.836972e-03,1.797077e-03,1.760218e-03,1.726229e-03,1.694951e-03,1.666231e-03,1.639921e-03,1.615882e-03,1.593977e-03,1.574079e-03,1.556064e-03,1.539815e-03,1.525221e-03,1.512175e-03,1.500576e-03,1.490328e-03,1.481340e-03,1.473526e-03,1.466804e-03,1.461097e-03,1.456331e-03,1.452436e-03,1.449347e-03,1.447002e-03,1.445342e-03,1.444312e-03,1.443860e-03,1.443937e-03,1.444496e-03,1.445494e-03,1.446890e-03,1.448645e-03,1.450724e-03,1.453093e-03,1.455719e-03,1.458573e-03,1.461628e-03,1.464857e-03,1.468236e-03,1.471743e-03,1.475356e-03,1.479057e-03,1.482827e-03,1.486650e-03
0.000000e+00,2.075247e-09,1.318965e-07,1.405019e-07,1.916324e-06,1.112955e-05,1.182512e-05,4.067002e-05,8.654554e-05,8.989869e-05,1.491264e-04,2.047717e-04,2.095407e-04,2.675749e-04,3.169643e-04,3.222783e-04,3.735156e-04,4.157932e-04,4.213590e-04,4.659270e-04,5.017331e-04,5.073472e-04,5.457469e-04,5.757604e-04,5.812519e-04,6.139885e-04,6.388563e-04,6.440844e-04,6.716671e-04,6.920084e-04,6.968624e-04,7.197932e-04,7.361846e-04,7.405796e-04,7.593374e-04,7.723059e-04,7.761789e-04,7.912117e-04,8.012323e-04,8.045389e-04,8.162596e-04,8.237568e-04,8.264680e-04,8.352543e-04,8.406046e-04,8.427043e-04,8.488996e-04,8.524357e-04,8.539181e-04,8.578337e-04,8.598480e-04,8.607165e-04,8.626333e-04,8.633824e-04,8.636473e-04,8.638186e-04,8.635266e-04,8.632041e-04,8.618577e-04,8.607201e-04,8.598308e-04,8.571715e-04,8.553577e-04,8.539260e-04,8.501374e-04,8.477940e-04,8.458469e-04,8.410934e-04,8.383469e-04,8.359135e-04,8.303419e-04,8.273008e-04,8.244114e-04,8.181529e-04,8.149098e-04,8.115956e-04,8.047670e-04,8.014006e-04,7.976931e-04,7.903984e-04,7.869751e-04,7.829059e-04,7.752373e-04,7.718126e-04,7.674130e-04,7.594522e-04,7.560723e-04,7.513729e-04,7.431922e-04,7.398951e-04,7.349259e-04,7.265889e-04,7.234052e-04,7.181952e-04,7.097579e-04,7.067122e-04,7.012893e-04,6.928008e-04,6.899121e-04,6.843031e-04,6.758062e-04,6.730889e-04,6.673194e-04,6.588514e-04,6.563159e-04,6.504103e-04,6.420035e-04,6.396567e-04,6.336379e-04,6.253200e-04,6.231659e-04,6.170558e-04,6.088506e-04,6.068907e-04,6.007096e-04,5.926374e-04,5.908712e-04,5.846383e-04,5.767161e-04,5.751412e-04,5.688743e-04,5.611163e-04,5.597289e-04,5.534448e-04,5.458625e-04,5.446578e-04,5.383718e-04,5.309747e-04,5.299467e-04,5.236732e-04,5.164687e-04,5.156108e-04,5.093628e-04,5.023567e-04,5.016616e-04,4.954512e-04,4.886474e-04,4.881076e-04,4.819460e-04,4.753473e-04,4.749547e-04,4.688519e-04,4.624599e-04,4.622064e-04,4.561715e-04,4.499867e-04,4.498641e-04,4.439055e-04,4.379275e-04,4.263945e-04,4.152618e-04,4.045250e-04,3.941784e-04,3.842158e-04,3.746300e-04,3.654134e-04,3.565579e-04,3.480549e-04,3.398955e-04,3.320706e-04,3.245711e-04,3.173874e-04,3.105103e-04,3.039302e-04,2.976378e-04,2.916236e-04,2.858785e-04,2.803932e-04,2.751588e-04,2.701663e-04,2.654071e-04,2.608726e-04,2.565546e-04,2.524447e-04,2.485352e-04,2.448183e-04,2.412864e-04,2.379322e-04,2.347488e-04,2.317291e-04,2.288665e-04,2.261546e-04,2.235871e-04,2.211580e-04,2.188614e-04,2.166917e-04,2.146435e-04,2.127115e-04,2.108906e-04,2.091759e-04,2.075629e-04,2.060468e-04,2.046235e-04,2.032886e-04,2.020381e-04,2.008682e-04,1.997751e-04,1.987552e-04
0.000000e+00,2.779834e-11,3.076117e-09,3.299064e-09,5.827292e-08,4.464218e-07,4.810253e-07,2.536958e-06,9.024653e-06,9.707393e-06,2.898400e-05,6.658834e-05,7.109984e-05,1.491514e-04,2.609849e-04,2.762340e-04,4.631552e-04,6.827944e-04,7.168966e-04,1.039973e-03,1.371979e-03,1.430550e-03,1.883061e-03,2.304939e-03,2.389092e-03,2.938340e-03,3.413062e-03,3.519512e-03,4.121098e-03,4.609567e-03,4.731979e-03,5.341873e-03,5.810969e-03,5.941622e-03,6.523362e-03,6.949381e-03,7.080577e-03,7.608073e-03,7.976926e-03,8.101912e-03,8.559304e-03,8.865021e-03,8.978465e-03,9.358481e-03,9.601082e-03,9.699177e-03,1.000098e-02,1.018444e-02,1.026480e-02,1.049194e-02,1.062250e-02,1.068394e-02,1.084260e-02,1.092750e-02,1.096979e-02,1.106750e-02,1.111416e-02,1.113774e-02,1.118250e-02,1.119794e-02,1.120374e-02,1.120338e-02,1.119400e-02,1.118325e-02,1.114509e-02,1.111648e-02,1.109058e-02,1.102127e-02,1.097822e-02,1.093866e-02,1.084411e-02,1.079067e-02,1.073893e-02,1.062429e-02,1.056378e-02,1.050132e-02,1.037105e-02,1.030620e-02,1.023441e-02,1.009229e-02,1.002530e-02,9.945496e-03,9.794764e-03,9.727371e-03,9.640773e-03,9.484147e-03,9.417718e-03,9.325456e-03,9.165220e-03,9.100800e-03,9.003914e-03,8.841969e-03,8.780346e-03,8.679782e-03,8.517707e-03,8.459451e-03,8.356071e-03,8.195165e-03,8.140671e-03,8.035255e-03,7.876578e-03,7.826097e-03,7.719347e-03,7.563754e-03,7.517421e-03,7.409968e-03,7.258140e-03,7.215998e-03,7.108405e-03,6.960878e-03,6.922896e-03,6.815662e-03,6.672846e-03,6.638935e-03,6.532504e-03,6.394702e-03,6.364732e-03,6.259493e-03,6.126919e-03,6.100724e-03,5.997016e-03,5.869809e-03,5.847200e-03,5.745318e-03,5.623555e-03,5.604327e-03,5.504525e-03,5.388229e-03,5.372165e-03,5.274660e-03,5.163810e-03,5.150689e-03,5.055663e-03,4.950203e-03,4.939804e-03,4.847407e-03,4.747252e-03,4.739353e-03,4.649709e-03,4.554750e-03,4.549134e-03,4.462342e-03,4.372451e-03,4.368908e-03,4.285043e-03,4.200079e-03,4.198404e-03,4.117522e-03,4.037332e-03,3.885383e-03,3.742236e-03,3.607564e-03,3.481036e-03,3.362320e-03,3.251085e-03,3.147005e-03,3.049757e-03,2.959027e-03,2.874507e-03,2.795897e-03,2.722908e-03,2.655258e-03,2.592677e-03,2.534902e-03,2.481681e-03,2.432774e-03,2.387948e-03,2.346980e-03,2.309658e-03,2.275777e-03,2.245143e-03,2.217569e-03,2.192878e-03,2.170899e-03,2.151471e-03,2.134439e-03,2.119656e-03,2.106981e-03,2.096282e-03,2.087431e-03,2.080306e-03,2.074792e-03,2.070779e-03,2.068163e-03,2.066844e-03,2.066728e-03,2.067726e-03,2.069750e-03,2.072722e-03,2.076564e-03,2.081202e-03,2.086567e-03,2.092594e-03,2.099220e-03,2.106385e-03,2.114036e-03,2.122117e-03,2.130580e-03
0.000000e+00,4.944462e-09,1.667600e-07,1.752305e-07,1.324388e-06,5.674912e-06,5.986994e-06,1.944198e-05,4.532509e-05,4.746085e-05,9.005219e-05,1.360004e-04,1.400859e-04,1.904824e-04,2.333254e-04,2.378938e-04,2.813240e-04,3.161452e-04,3.206518e-04,3.560263e-04,3.834567e-04,3.876714e-04,4.158266e-04,4.369533e-04,4.407286e-04,4.626063e-04,4.784432e-04,4.816787e-04,4.981546e-04,5.095997e-04,5.122326e-04,5.241007e-04,5.319385e-04,5.339368e-04,5.419081e-04,5.468164e-04,5.481720e-04,5.528760e-04,5.554339e-04,5.561577e-04,5.581457e-04,5.588435e-04,5.589597e-04,5.587108e-04,5.579597e-04,5.575022e-04,5.554297e-04,5.535723e-04,5.525817e-04,5.490400e-04,5.463596e-04,5.448804e-04,5.401726e-04,5.369017e-04,5.349807e-04,5.293641e-04,5.256925e-04,5.233771e-04,5.170698e-04,5.131510e-04,5.104881e-04,5.036739e-04,4.996304e-04,4.966657e-04,4.894986e-04,4.854278e-04,4.822048e-04,4.748136e-04,4.707912e-04,4.673514e-04,4.598426e-04,4.559269e-04,4.523090e-04,4.447704e-04,4.410049e-04,4.372448e-04,4.297483e-04,4.261646e-04,4.222953e-04,4.148989e-04,4.115187e-04,4.075705e-04,4.003205e-04,3.971576e-04,3.931578e-04,3.860905e-04,3.831524e-04,3.791255e-04,3.722690e-04,3.695579e-04,3.655261e-04,3.589012e-04,3.564155e-04,3.523981e-04,3.460199e-04,3.437548e-04,3.397691e-04,3.336475e-04,3.315959e-04,3.276567e-04,3.217976e-04,3.199507e-04,3.160710e-04,3.104769e-04,3.088246e-04,3.050154e-04,2.996860e-04,2.982174e-04,2.944881e-04,2.894208e-04,2.881245e-04,2.844829e-04,2.796732e-04,2.785378e-04,2.749903e-04,2.704325e-04,2.694463e-04,2.659980e-04,2.616849e-04,2.608367e-04,2.574915e-04,2.534154e-04,2.526941e-04,2.494548e-04,2.456073e-04,2.450020e-04,2.418707e-04,2.382429e-04,2.377435e-04,2.347214e-04,2.313041e-04,2.309009e-04,2.279885e-04,2.247724e-04,2.244561e-04,2.216533e-04,2.186290e-04,2.183911e-04,2.156972e-04,2.128555e-04,2.126878e-04,2.101017e-04,2.074334e-04,2.073284e-04,2.048485e-04,2.023448e-04,2.022955e-04,1.999200e-04,1.975720e-04,1.931413e-04,1.889874e-04,1.850949e-04,1.814489e-04,1.780353e-04,1.748405e-04,1.718516e-04,1.690561e-04,1.664425e-04,1.639997e-04,1.617171e-04,1.595848e-04,1.575934e-04,1.557341e-04,1.539985e-04,1.523788e-04,1.508676e-04,1.494579e-04,1.481432e-04,1.469173e-04,1.457745e-04,1.447094e-04,1.437170e-04,1.427924e-04,1.419312e-04,1.411293e-04,1.403828e-04,1.396880e-04,1.390415e-04,1.384401e-04,1.378809e-04,1.373610e-04,1.368779e-04,1.364290e-04,1.360122e-04,1.356254e-04,1.352664e-04,1.349335e-04,1.346249e-04,1.343390e-04,1.340744e-04,1.338295e-04,1.336031e-04,1.333940e-04,1.332009e-04,1.330229e-04,1.328589e-04,1.327080e-04,1.325693e-04
0.000000e+00,6.361347e-09,9.195382e-08,9.612540e-08,6.386558e-07,2.368138e-06,2.477894e-06,6.228455e-06,1.090213e-05,1.121374e-05,1.637894e-05,2.091551e-05,2.129675e-05,2.587263e-05,2.969100e-05,3.009804e-05,3.398468e-05,3.713768e-05,3.754894e-05,4.080819e-05,4.338037e-05,4.377969e-05,4.648031e-05,4.855143e-05,4.892634e-05,5.113345e-05,5.277551e-05,5.311660e-05,5.488999e-05,5.616688e-05,5.646728e-05,5.786133e-05,5.882938e-05,5.908437e-05,6.014800e-05,6.085642e-05,6.106303e-05,6.183974e-05,6.233115e-05,6.248778e-05,6.301630e-05,6.332767e-05,6.343388e-05,6.374856e-05,6.391170e-05,6.396793e-05,6.409914e-05,6.414144e-05,6.414889e-05,6.412348e-05,6.406842e-05,6.402881e-05,6.387040e-05,6.373800e-05,6.365348e-05,6.338291e-05,6.319024e-05,6.306328e-05,6.269885e-05,6.246037e-05,6.229364e-05,6.185141e-05,6.157934e-05,6.137566e-05,6.086969e-05,6.057429e-05,6.033656e-05,5.977913e-05,5.946898e-05,5.920010e-05,5.860194e-05,5.828413e-05,5.798700e-05,5.735745e-05,5.703783e-05,5.671530e-05,5.606244e-05,5.574577e-05,5.540061e-05,5.473145e-05,5.442159e-05,5.405646e-05,5.337704e-05,5.307703e-05,5.269449e-05,5.201000e-05,5.172222e-05,5.132470e-05,5.063960e-05,5.036583e-05,4.995564e-05,4.927370e-05,4.901526e-05,4.859458e-05,4.791901e-05,4.767680e-05,4.724765e-05,4.658114e-05,4.635573e-05,4.592002e-05,4.526481e-05,4.505646e-05,4.461596e-05,4.397390e-05,4.378266e-05,4.333900e-05,4.271160e-05,4.253732e-05,4.209201e-05,4.148048e-05,4.132283e-05,4.087726e-05,4.028254e-05,4.014110e-05,3.969653e-05,3.911935e-05,3.899358e-05,3.855116e-05,3.799205e-05,3.788132e-05,3.744211e-05,3.690141e-05,3.680507e-05,3.637001e-05,3.584794e-05,3.576527e-05,3.533521e-05,3.483184e-05,3.476212e-05,3.433782e-05,3.385312e-05,3.379559e-05,3.337773e-05,3.291160e-05,3.286549e-05,3.245467e-05,3.200690e-05,3.197147e-05,3.156822e-05,3.113855e-05,3.111306e-05,3.071782e-05,3.030594e-05,3.028965e-05,2.990283e-05,2.950838e-05,2.950058e-05,2.912251e-05,2.874510e-05,2.802239e-05,2.733161e-05,2.667186e-05,2.604223e-05,2.544179e-05,2.486958e-05,2.432467e-05,2.380611e-05,2.331296e-05,2.284427e-05,2.239914e-05,2.197666e-05,2.157593e-05,2.119609e-05,2.083629e-05,2.049569e-05,2.017349e-05,1.986891e-05,1.958119e-05,1.930958e-05,1.905338e-05,1.881189e-05,1.858445e-05,1.837042e-05,1.816917e-05,1.798010e-05,1.780264e-05,1.763624e-05,1.748036e-05,1.733450e-05,1.719815e-05,1.707084e-05,1.695214e-05,1.684159e-05,1.673878e-05,1.664333e-05,1.655483e-05,1.647293e-05,1.639728e-05,1.632754e-05,1.626339e-05,1.620453e-05,1.615066e-05,1.610151e-05,1.605680e-05,1.601629e-05,1.597973e-05,1.594689e-05,1.591755e-05
0.000000e+00,1.273645e-11,1.589784e-09,1.710215e-09,3.554055e-08,3.133483e-07,3.393615e-07,1.990607e-06,7.577527e-06,8.179161e-06,2.559677e-05,6.068329e-05,6.495327e-05,1.402632e-04,2.518345e-04,2.673290e-04,4.619922e-04,7.006252e-04,7.385478e-04,1.108522e-03,1.507593e-03,1.579879e-03,2.156639e-03,2.722721e-03,2.838852e-03,3.622833e-03,4.336834e-03,4.501606e-03,5.465454e-03,6.289886e-03,6.502538e-03,7.599517e-03,8.487593e-03,8.742145e-03,9.915813e-03,1.081963e-02,1.110602e-02,1.229879e-02,1.317531e-02,1.348096e-02,1.464042e-02,1.545502e-02,1.576632e-02,1.684915e-02,1.757709e-02,1.788078e-02,1.885451e-02,1.948077e-02,1.976496e-02,2.060810e-02,2.112627e-02,2.138109e-02,2.208222e-02,2.249287e-02,2.271079e-02,2.326696e-02,2.357582e-02,2.375170e-02,2.416661e-02,2.438292e-02,2.451386e-02,2.479607e-02,2.493111e-02,2.501621e-02,2.517749e-02,2.524337e-02,2.528334e-02,2.533730e-02,2.534612e-02,2.534295e-02,2.530391e-02,2.526713e-02,2.522374e-02,2.510594e-02,2.503399e-02,2.495389e-02,2.477088e-02,2.467295e-02,2.456002e-02,2.432429e-02,2.420828e-02,2.406650e-02,2.378929e-02,2.366181e-02,2.349514e-02,2.318634e-02,2.305280e-02,2.286504e-02,2.253320e-02,2.239793e-02,2.219265e-02,2.184504e-02,2.171142e-02,2.149190e-02,2.113461e-02,2.100522e-02,2.077443e-02,2.041251e-02,2.028924e-02,2.004986e-02,1.968742e-02,1.957162e-02,1.932600e-02,1.896635e-02,1.885890e-02,1.860912e-02,1.825489e-02,1.815632e-02,1.790419e-02,1.755746e-02,1.746801e-02,1.721510e-02,1.687745e-02,1.679714e-02,1.654480e-02,1.621742e-02,1.614612e-02,1.589551e-02,1.557926e-02,1.551670e-02,1.526882e-02,1.496431e-02,1.491013e-02,1.466582e-02,1.437344e-02,1.432723e-02,1.408722e-02,1.380719e-02,1.376848e-02,1.353337e-02,1.326578e-02,1.323408e-02,1.300439e-02,1.274920e-02,1.272403e-02,1.250018e-02,1.225729e-02,1.223812e-02,1.202049e-02,1.178971e-02,1.177606e-02,1.156492e-02,1.134603e-02,1.133740e-02,1.113299e-02,1.092573e-02,1.092164e-02,1.072415e-02,1.052820e-02,1.015647e-02,9.805797e-03,9.475509e-03,9.164915e-03,8.873318e-03,8.600018e-03,8.344313e-03,8.105511e-03,7.882926e-03,7.675882e-03,7.483715e-03,7.305774e-03,7.141420e-03,6.990029e-03,6.850992e-03,6.723717e-03,6.607624e-03,6.502152e-03,6.406752e-03,6.320893e-03,6.244056e-03,6.175741e-03,6.115460e-03,6.062741e-03,6.017125e-03,5.978169e-03,5.945443e-03,5.918534e-03,5.897038e-03,5.880569e-03,5.868754e-03,5.861231e-03,5.857656e-03,5.857694e-03,5.861027e-03,5.867347e-03,5.876364e-03,5.887796e-03,5.901378e-03,5.916855e-03,5.933988e-03,5.952549e-03,5.972323e-03,5.993106e-03,6.014710e-03,6.036956e-03,6.059676e-03,6.082718e-03,6.105938e-03
0.000000e+00,9.659472e-12,1.040062e-09,1.114693e-09,1.898819e-08,1.407032e-07,1.514197e-07,7.773487e-07,2.716103e-06,2.918885e-06,8.610688e-06,1.965338e-05,2.097621e-05,4.383067e-05,7.649030e-05,8.093498e-05,1.352202e-04,1.984831e-04,2.082509e-04,3.000227e-04,3.928406e-04,4.090550e-04,5.326792e-04,6.452725e-04,6.674202e-04,8.093878e-04,9.284134e-04,9.546253e-04,1.099386e-03,1.212592e-03,1.240334e-03,1.374659e-03,1.473381e-03,1.500135e-03,1.615122e-03,1.694809e-03,1.718532e-03,1.809773e-03,1.869341e-03,1.888671e-03,1.955402e-03,1.996155e-03,2.010409e-03,2.054334e-03,2.078902e-03,2.087958e-03,2.112144e-03,2.123661e-03,2.127797e-03,2.135827e-03,2.137383e-03,2.137121e-03,2.132529e-03,2.126870e-03,2.122844e-03,2.108799e-03,2.098196e-03,2.091059e-03,2.070224e-03,2.056461e-03,2.046826e-03,2.021335e-03,2.005756e-03,1.994162e-03,1.965665e-03,1.949245e-03,1.936151e-03,1.905884e-03,1.889306e-03,1.875086e-03,1.843948e-03,1.827675e-03,1.812627e-03,1.781259e-03,1.765592e-03,1.749955e-03,1.718807e-03,1.703934e-03,1.687891e-03,1.657269e-03,1.643295e-03,1.626990e-03,1.597095e-03,1.584071e-03,1.567615e-03,1.538577e-03,1.526517e-03,1.510000e-03,1.481898e-03,1.470794e-03,1.454285e-03,1.427166e-03,1.416992e-03,1.400547e-03,1.374431e-03,1.365152e-03,1.348818e-03,1.323708e-03,1.315285e-03,1.299098e-03,1.274987e-03,1.267376e-03,1.251369e-03,1.228242e-03,1.221398e-03,1.205599e-03,1.183436e-03,1.177315e-03,1.161747e-03,1.140525e-03,1.135083e-03,1.119764e-03,1.099458e-03,1.094652e-03,1.079600e-03,1.060183e-03,1.055969e-03,1.041199e-03,1.022643e-03,1.018982e-03,1.004507e-03,9.867831e-04,9.836361e-04,9.694651e-04,9.525455e-04,9.498749e-04,9.360174e-04,9.198734e-04,9.176435e-04,9.041067e-04,8.887101e-04,8.868870e-04,8.736767e-04,8.589996e-04,8.575512e-04,8.446719e-04,8.306869e-04,8.295827e-04,8.170378e-04,8.037180e-04,8.029292e-04,7.907210e-04,7.780402e-04,7.775394e-04,7.656693e-04,7.536020e-04,7.533637e-04,7.418320e-04,7.303534e-04,7.084614e-04,6.876421e-04,6.678512e-04,6.490460e-04,6.311851e-04,6.142288e-04,5.981386e-04,5.828774e-04,5.684097e-04,5.547010e-04,5.417185e-04,5.294303e-04,5.178060e-04,5.068163e-04,4.964330e-04,4.866292e-04,4.773789e-04,4.686572e-04,4.604402e-04,4.527051e-04,4.454298e-04,4.385932e-04,4.321752e-04,4.261564e-04,4.205181e-04,4.152426e-04,4.103127e-04,4.057120e-04,4.014249e-04,3.974363e-04,3.937318e-04,3.902975e-04,3.871201e-04,3.841870e-04,3.814861e-04,3.790056e-04,3.767343e-04,3.746615e-04,3.727771e-04,3.710712e-04,3.695342e-04,3.681572e-04,3.669317e-04,3.658492e-04,3.649018e-04,3.640819e-04,3.633824e-04,3.627963e-04,3.623168e-04
0.000000e+00,5.257321e-10,4.210797e-08,4.494556e-08,6.611434e-07,4.310914e-06,4.609354e-06,1.927377e-05,5.135904e-05,5.412581e-05,1.122522e-04,1.812389e-04,1.876874e-04,2.710767e-04,3.466020e-04,3.548470e-04,4.345554e-04,4.996896e-04,5.081724e-04,5.750534e-04,6.271939e-04,6.352236e-04,6.889903e-04,7.295042e-04,7.367629e-04,7.789757e-04,8.097419e-04,8.160563e-04,8.484132e-04,8.711574e-04,8.764317e-04,9.004731e-04,9.166823e-04,9.208747e-04,9.379502e-04,9.488830e-04,9.519906e-04,9.632652e-04,9.699747e-04,9.720226e-04,9.784922e-04,9.818532e-04,9.828856e-04,9.853974e-04,9.861327e-04,9.862069e-04,9.854787e-04,9.841831e-04,9.833645e-04,9.800033e-04,9.771643e-04,9.755229e-04,9.700406e-04,9.660562e-04,9.636639e-04,9.564915e-04,9.516849e-04,9.486136e-04,9.401131e-04,9.347457e-04,9.310657e-04,9.215407e-04,9.158225e-04,9.116014e-04,9.013057e-04,8.954042e-04,8.907063e-04,8.798516e-04,8.738994e-04,8.687853e-04,8.575476e-04,8.516484e-04,8.461748e-04,8.347000e-04,8.289338e-04,8.231532e-04,8.115615e-04,8.059890e-04,7.999497e-04,7.883400e-04,7.830058e-04,7.767524e-04,7.652050e-04,7.601411e-04,7.537141e-04,7.422943e-04,7.375224e-04,7.309586e-04,7.197187e-04,7.152519e-04,7.085848e-04,6.975661e-04,6.934109e-04,6.866707e-04,6.759056e-04,6.720633e-04,6.652770e-04,6.547901e-04,6.512577e-04,6.444497e-04,6.342594e-04,6.310309e-04,6.242227e-04,6.143421e-04,6.114087e-04,6.046198e-04,5.950575e-04,5.924088e-04,5.856563e-04,5.764172e-04,5.740416e-04,5.673405e-04,5.584266e-04,5.563115e-04,5.496752e-04,5.410860e-04,5.392180e-04,5.326582e-04,5.243912e-04,5.227570e-04,5.162838e-04,5.083349e-04,5.069208e-04,5.005430e-04,4.929067e-04,4.916993e-04,4.854245e-04,4.780945e-04,4.770804e-04,4.709150e-04,4.638841e-04,4.630502e-04,4.569997e-04,4.502601e-04,4.495940e-04,4.436629e-04,4.372062e-04,4.366957e-04,4.308878e-04,4.247056e-04,4.243389e-04,4.186572e-04,4.127407e-04,4.125067e-04,4.069536e-04,4.012938e-04,4.011819e-04,3.957592e-04,3.903473e-04,3.799857e-04,3.700800e-04,3.606134e-04,3.515693e-04,3.429315e-04,3.346840e-04,3.268116e-04,3.192991e-04,3.121320e-04,3.052961e-04,2.987778e-04,2.925639e-04,2.866416e-04,2.809986e-04,2.756232e-04,2.705038e-04,2.656295e-04,2.609898e-04,2.565746e-04,2.523740e-04,2.483788e-04,2.445800e-04,2.409690e-04,2.375374e-04,2.342775e-04,2.311815e-04,2.282422e-04,2.254527e-04,2.228063e-04,2.202965e-04,2.179172e-04,2.156626e-04,2.135270e-04,2.115050e-04,2.095916e-04,2.077816e-04,2.060705e-04,2.044537e-04,2.029269e-04,2.014858e-04,2.001267e-04,1.988456e-04,1.976389e-04,1.965032e-04,1.954351e-04,1.944315e-04,1.934893e-04,1.926055e-04,1.917775e-04
0.000000e+00,9.176359e-10,1.791267e-08,1.876176e-08,1.161829e-07,3.426060e-07,3.545992e-07,6.848600e-07,1.005555e-06,1.025661e-06,1.351249e-06,1.633758e-06,1.657540e-06,1.944399e-06,2.186447e-06,2.212423e-06,2.462368e-06,2.667987e-06,2.695018e-06,2.911129e-06,3.084314e-06,3.111433e-06,3.296692e-06,3.441226e-06,3.467648e-06,3.625028e-06,3.744438e-06,3.769528e-06,3.901823e-06,3.999309e-06,4.022562e-06,4.132363e-06,4.210799e-06,4.231821e-06,4.321503e-06,4.383456e-06,4.401949e-06,4.473677e-06,4.521433e-06,4.537179e-06,4.592926e-06,4.628512e-06,4.641363e-06,4.682918e-06,4.708129e-06,4.717995e-06,4.746980e-06,4.763397e-06,4.770239e-06,4.788121e-06,4.797140e-06,4.800958e-06,4.809064e-06,4.811908e-06,4.812739e-06,4.812266e-06,4.810008e-06,4.807915e-06,4.799941e-06,4.793520e-06,4.788588e-06,4.774086e-06,4.764319e-06,4.756653e-06,4.736497e-06,4.724093e-06,4.713812e-06,4.688786e-06,4.674361e-06,4.661594e-06,4.632403e-06,4.616486e-06,4.601371e-06,4.568646e-06,4.551694e-06,4.534371e-06,4.498678e-06,4.481080e-06,4.461695e-06,4.423539e-06,4.405625e-06,4.384324e-06,4.344157e-06,4.326207e-06,4.303136e-06,4.261358e-06,4.243607e-06,4.218911e-06,4.175879e-06,4.158520e-06,4.132341e-06,4.088373e-06,4.071566e-06,4.044043e-06,3.999419e-06,3.983294e-06,3.954561e-06,3.909528e-06,3.894187e-06,3.864375e-06,3.819153e-06,3.804675e-06,3.773909e-06,3.728688e-06,3.715133e-06,3.683533e-06,3.638482e-06,3.625891e-06,3.593572e-06,3.548837e-06,3.537238e-06,3.504308e-06,3.460016e-06,3.449424e-06,3.415987e-06,3.372246e-06,3.362664e-06,3.328818e-06,3.285723e-06,3.277146e-06,3.242983e-06,3.200614e-06,3.193028e-06,3.158634e-06,3.117058e-06,3.110445e-06,3.075901e-06,3.035175e-06,3.029508e-06,2.994891e-06,2.955059e-06,2.950310e-06,2.915690e-06,2.876792e-06,2.872928e-06,2.838371e-06,2.800434e-06,2.797420e-06,2.762987e-06,2.726035e-06,2.723833e-06,2.689580e-06,2.653628e-06,2.652200e-06,2.618180e-06,2.583239e-06,2.582545e-06,2.548805e-06,2.514880e-06,2.449209e-06,2.385531e-06,2.323836e-06,2.264110e-06,2.206332e-06,2.150478e-06,2.096522e-06,2.044432e-06,1.994174e-06,1.945714e-06,1.899013e-06,1.854033e-06,1.810734e-06,1.769075e-06,1.729015e-06,1.690511e-06,1.653523e-06,1.618007e-06,1.583923e-06,1.551227e-06,1.519879e-06,1.489837e-06,1.461062e-06,1.433513e-06,1.407151e-06,1.381937e-06,1.357834e-06,1.334804e-06,1.312812e-06,1.291821e-06,1.271797e-06,1.252707e-06,1.234518e-06,1.217196e-06,1.200712e-06,1.185035e-06,1.170134e-06,1.155983e-06,1.142552e-06,1.129815e-06,1.117745e-06,1.106317e-06,1.095506e-06,1.085289e-06,1.075642e-06,1.066542e-06,1.057969e-06,1.049901e-06,1.042317e-06
0.000000e+00,1.099525e-08,1.751581e-07,1.827377e-07,1.080287e-06,3.721471e-06,3.887214e-06,9.737597e-06,1.802701e-05,1.862683e-05,2.929120e-05,3.935325e-05,4.021076e-05,5.051302e-05,5.902634e-05,5.992599e-05,6.842163e-05,7.517097e-05,7.604086e-05,8.284108e-05,8.807977e-05,8.888198e-05,9.422161e-05,9.820544e-05,9.891518e-05,1.030146e-04,1.059670e-04,1.065686e-04,1.096223e-04,1.117334e-04,1.122178e-04,1.143943e-04,1.158244e-04,1.161878e-04,1.176319e-04,1.185148e-04,1.187574e-04,1.195929e-04,1.200400e-04,1.201647e-04,1.204972e-04,1.206009e-04,1.206126e-04,1.205318e-04,1.203686e-04,1.202736e-04,1.198557e-04,1.194885e-04,1.192940e-04,1.186036e-04,1.180839e-04,1.177979e-04,1.168894e-04,1.162595e-04,1.158898e-04,1.148095e-04,1.141035e-04,1.136583e-04,1.124449e-04,1.116905e-04,1.111776e-04,1.098638e-04,1.090832e-04,1.085103e-04,1.071234e-04,1.063342e-04,1.057086e-04,1.042713e-04,1.034874e-04,1.028161e-04,1.013474e-04,1.005797e-04,9.986909e-05,9.838471e-05,9.764127e-05,9.689750e-05,9.541039e-05,9.469739e-05,9.392600e-05,9.244674e-05,9.176860e-05,9.097475e-05,8.951197e-05,8.887171e-05,8.806011e-05,8.662074e-05,8.602026e-05,8.519522e-05,8.378479e-05,8.322508e-05,8.239051e-05,8.101332e-05,8.049465e-05,7.965405e-05,7.831343e-05,7.783548e-05,7.699205e-05,7.569047e-05,7.525253e-05,7.440912e-05,7.314837e-05,7.274933e-05,7.190852e-05,7.068978e-05,7.032831e-05,6.949234e-05,6.831631e-05,6.799086e-05,6.716176e-05,6.602872e-05,6.573766e-05,6.491718e-05,6.382709e-05,6.356866e-05,6.275839e-05,6.171094e-05,6.148335e-05,6.068464e-05,5.967932e-05,5.948076e-05,5.869480e-05,5.773089e-05,5.755955e-05,5.678737e-05,5.586402e-05,5.571813e-05,5.496059e-05,5.407683e-05,5.395466e-05,5.321249e-05,5.236728e-05,5.226713e-05,5.154095e-05,5.073319e-05,5.065343e-05,4.994373e-05,4.917228e-05,4.911133e-05,4.841854e-05,4.768221e-05,4.763858e-05,4.696301e-05,4.626062e-05,4.623287e-05,4.557476e-05,4.490511e-05,4.489188e-05,4.425139e-05,4.361330e-05,4.239482e-05,4.123417e-05,4.012913e-05,3.907750e-05,3.807714e-05,3.712597e-05,3.622198e-05,3.536318e-05,3.454767e-05,3.377362e-05,3.303925e-05,3.234283e-05,3.168272e-05,3.105732e-05,3.046509e-05,2.990456e-05,2.937432e-05,2.887300e-05,2.839929e-05,2.795195e-05,2.752976e-05,2.713157e-05,2.675629e-05,2.640283e-05,2.607020e-05,2.575742e-05,2.546355e-05,2.518771e-05,2.492903e-05,2.468670e-05,2.445994e-05,2.424800e-05,2.405016e-05,2.386573e-05,2.369406e-05,2.353452e-05,2.338651e-05,2.324945e-05,2.312280e-05,2.300602e-05,2.289862e-05,2.280012e-05,2.271005e-05,2.262798e-05,2.255349e-05,2.248617e-05,2.242565e-05,2.237155e-05,2.232353e-05
0.000000e+00,7.045027e-09,1.115673e-07,1.167600e-07,7.877361e-07,2.819929e-06,2.944411e-06,6.959023e-06,1.152473e-05,1.181864e-05,1.657300e-05,2.060810e-05,2.094198e-05,2.488701e-05,2.808760e-05,2.842362e-05,3.157849e-05,3.406132e-05,3.437970e-05,3.685431e-05,3.874087e-05,3.902798e-05,4.092487e-05,4.232099e-05,4.256764e-05,4.397751e-05,4.497374e-05,4.517427e-05,4.617634e-05,4.684935e-05,4.700081e-05,4.766356e-05,4.807770e-05,4.817923e-05,4.856138e-05,4.877023e-05,4.882249e-05,4.897410e-05,4.902206e-05,4.902681e-05,4.899038e-05,4.891402e-05,4.887379e-05,4.868528e-05,4.851461e-05,4.843243e-05,4.812218e-05,4.788171e-05,4.776092e-05,4.735449e-05,4.706411e-05,4.690823e-05,4.642705e-05,4.610286e-05,4.591543e-05,4.537746e-05,4.503234e-05,4.481688e-05,4.423710e-05,4.388133e-05,4.364124e-05,4.303213e-05,4.267379e-05,4.241233e-05,4.178421e-05,4.142961e-05,4.114987e-05,4.051124e-05,4.016522e-05,3.987007e-05,3.922793e-05,3.889411e-05,3.858624e-05,3.794627e-05,3.762729e-05,3.730916e-05,3.667596e-05,3.637368e-05,3.604757e-05,3.542480e-05,3.514042e-05,3.480838e-05,3.419895e-05,3.393317e-05,3.359708e-05,3.300324e-05,3.275632e-05,3.241786e-05,3.184132e-05,3.161324e-05,3.127392e-05,3.071593e-05,3.050640e-05,3.016756e-05,2.962899e-05,2.943754e-05,2.910037e-05,2.858180e-05,2.840779e-05,2.807335e-05,2.757508e-05,2.741779e-05,2.708701e-05,2.660914e-05,2.646776e-05,2.614144e-05,2.568389e-05,2.555759e-05,2.523643e-05,2.479899e-05,2.468688e-05,2.437148e-05,2.395382e-05,2.385504e-05,2.354591e-05,2.314762e-05,2.306128e-05,2.275884e-05,2.237944e-05,2.230468e-05,2.200930e-05,2.164826e-05,2.158422e-05,2.129618e-05,2.095293e-05,2.089882e-05,2.061834e-05,2.029228e-05,2.024730e-05,1.997458e-05,1.966509e-05,1.962850e-05,1.936365e-05,1.907012e-05,1.904119e-05,1.878432e-05,1.850611e-05,1.848417e-05,1.823532e-05,1.797181e-05,1.795623e-05,1.771542e-05,1.746598e-05,1.745615e-05,1.722337e-05,1.698741e-05,1.698276e-05,1.675796e-05,1.653488e-05,1.611139e-05,1.571118e-05,1.533318e-05,1.497634e-05,1.463966e-05,1.432218e-05,1.402296e-05,1.374111e-05,1.347577e-05,1.322611e-05,1.299135e-05,1.277073e-05,1.256354e-05,1.236907e-05,1.218667e-05,1.201572e-05,1.185562e-05,1.170579e-05,1.156569e-05,1.143481e-05,1.131264e-05,1.119872e-05,1.109261e-05,1.099387e-05,1.090211e-05,1.081694e-05,1.073799e-05,1.066492e-05,1.059740e-05,1.053511e-05,1.047776e-05,1.042506e-05,1.037676e-05,1.033258e-05,1.029229e-05,1.025566e-05,1.022248e-05,1.019254e-05,1.016563e-05,1.014158e-05,1.012022e-05,1.010136e-05,1.008486e-05,1.007057e-05,1.005834e-05,1.004805e-05,1.003955e-05,1.003274e-05,1.002750e-05
0.000000e+00,2.121938e-08,5.027308e-07,5.288061e-07,4.138956e-06,1.486196e-05,1.548594e-05,3.378601e-05,5.244196e-05,5.362317e-05,7.288499e-05,8.979377e-05,9.122571e-05,1.086073e-04,1.234401e-04,1.250415e-04,1.405499e-04,1.534514e-04,1.551577e-04,1.688926e-04,1.800286e-04,1.817837e-04,1.938616e-04,2.034013e-04,2.051574e-04,2.157025e-04,2.238111e-04,2.255279e-04,2.346643e-04,2.414976e-04,2.431418e-04,2.509896e-04,2.566921e-04,2.582362e-04,2.649095e-04,2.696138e-04,2.710356e-04,2.766404e-04,2.804668e-04,2.817485e-04,2.863840e-04,2.894417e-04,2.905697e-04,2.943276e-04,2.967150e-04,2.976789e-04,3.006440e-04,3.024496e-04,3.032424e-04,3.054929e-04,3.067964e-04,3.074135e-04,3.090213e-04,3.098939e-04,3.103330e-04,3.113643e-04,3.118696e-04,3.121304e-04,3.126459e-04,3.128407e-04,3.129247e-04,3.129800e-04,3.129147e-04,3.128246e-04,3.124706e-04,3.121901e-04,3.119299e-04,3.112134e-04,3.107572e-04,3.103318e-04,3.092954e-04,3.086984e-04,3.081137e-04,3.067962e-04,3.060892e-04,3.053516e-04,3.037884e-04,3.029984e-04,3.021148e-04,3.003383e-04,2.994886e-04,2.984663e-04,2.965059e-04,2.956171e-04,2.944637e-04,2.923461e-04,2.914357e-04,2.901591e-04,2.879084e-04,2.869916e-04,2.855997e-04,2.832380e-04,2.823278e-04,2.808285e-04,2.783757e-04,2.774829e-04,2.758841e-04,2.733582e-04,2.724922e-04,2.708018e-04,2.682188e-04,2.673873e-04,2.656130e-04,2.629876e-04,2.621967e-04,2.603461e-04,2.576915e-04,2.569463e-04,2.550268e-04,2.523548e-04,2.516592e-04,2.496780e-04,2.469990e-04,2.463559e-04,2.443201e-04,2.416435e-04,2.410552e-04,2.389713e-04,2.363055e-04,2.357733e-04,2.336480e-04,2.310005e-04,2.305251e-04,2.283645e-04,2.257418e-04,2.253234e-04,2.231336e-04,2.205414e-04,2.201798e-04,2.179664e-04,2.154098e-04,2.151043e-04,2.128727e-04,2.103561e-04,2.101056e-04,2.078609e-04,2.053882e-04,2.051913e-04,2.029386e-04,2.005129e-04,2.003681e-04,1.981118e-04,1.957360e-04,1.956415e-04,1.933861e-04,1.910625e-04,1.910163e-04,1.887658e-04,1.864964e-04,1.820850e-04,1.777847e-04,1.735975e-04,1.695250e-04,1.655680e-04,1.617273e-04,1.580029e-04,1.543948e-04,1.509025e-04,1.475253e-04,1.442623e-04,1.411122e-04,1.380739e-04,1.351456e-04,1.323258e-04,1.296128e-04,1.270046e-04,1.244993e-04,1.220948e-04,1.197889e-04,1.175797e-04,1.154648e-04,1.134419e-04,1.115090e-04,1.096635e-04,1.079034e-04,1.062263e-04,1.046298e-04,1.031118e-04,1.016699e-04,1.003020e-04,9.900563e-05,9.777873e-05,9.661908e-05,9.552450e-05,9.449285e-05,9.352203e-05,9.260994e-05,9.175454e-05,9.095382e-05,9.020579e-05,8.950850e-05,8.886005e-05,8.825856e-05,8.770219e-05,8.718915e-05,8.671766e-05,8.628601e-05,8.589250e-05
0.000000e+00,1.674232e-09,9.886011e-08,1.049685e-07,1.230263e-06,6.699222e-06,7.112603e-06,2.517855e-05,5.832127e-05,6.094063e-05,1.100890e-04,1.575215e-04,1.614777e-04,2.066554e-04,2.394990e-04,2.426858e-04,2.698738e-04,2.875682e-04,2.895893e-04,3.032917e-04,3.112356e-04,3.122437e-04,3.174734e-04,3.195955e-04,3.198018e-04,3.198806e-04,3.186325e-04,3.182264e-04,3.152478e-04,3.121308e-04,3.112678e-04,3.065415e-04,3.024677e-04,3.012697e-04,2.956104e-04,2.911275e-04,2.896876e-04,2.835981e-04,2.790296e-04,2.774174e-04,2.712042e-04,2.667365e-04,2.650038e-04,2.588511e-04,2.545869e-04,2.527724e-04,2.467875e-04,2.427791e-04,2.409112e-04,2.351540e-04,2.314233e-04,2.295235e-04,2.240246e-04,2.205760e-04,2.186606e-04,2.134330e-04,2.102606e-04,2.083423e-04,2.033882e-04,2.004809e-04,1.985697e-04,1.938853e-04,1.912290e-04,1.893329e-04,1.849099e-04,1.824886e-04,1.806137e-04,1.764417e-04,1.742394e-04,1.723909e-04,1.684583e-04,1.664591e-04,1.646411e-04,1.609361e-04,1.591248e-04,1.573404e-04,1.538510e-04,1.522130e-04,1.504651e-04,1.471797e-04,1.457014e-04,1.439920e-04,1.408994e-04,1.395680e-04,1.378990e-04,1.349882e-04,1.337918e-04,1.321646e-04,1.294256e-04,1.283531e-04,1.267687e-04,1.241917e-04,1.232328e-04,1.216921e-04,1.192677e-04,1.184129e-04,1.169164e-04,1.146360e-04,1.138764e-04,1.124244e-04,1.102796e-04,1.096071e-04,1.081997e-04,1.061828e-04,1.055898e-04,1.042270e-04,1.023306e-04,1.018099e-04,1.004916e-04,9.870861e-05,9.825398e-05,9.697982e-05,9.530366e-05,9.490904e-05,9.367858e-05,9.210308e-05,9.176298e-05,9.057569e-05,8.909498e-05,8.880431e-05,8.765957e-05,8.626812e-05,8.602223e-05,8.491933e-05,8.361194e-05,8.340651e-05,8.234471e-05,8.111645e-05,8.094754e-05,7.992601e-05,7.877226e-05,7.863623e-05,7.765411e-05,7.657051e-05,7.646401e-05,7.552042e-05,7.450284e-05,7.442281e-05,7.351682e-05,7.256140e-05,7.250503e-05,7.163568e-05,7.073877e-05,7.070348e-05,6.986980e-05,6.902796e-05,6.901139e-05,6.821242e-05,6.742240e-05,6.593049e-05,6.453000e-05,6.321559e-05,6.198223e-05,6.082518e-05,5.973998e-05,5.872241e-05,5.776852e-05,5.687457e-05,5.603703e-05,5.525259e-05,5.451814e-05,5.383071e-05,5.318756e-05,5.258605e-05,5.202374e-05,5.149830e-05,5.100755e-05,5.054944e-05,5.012202e-05,4.972348e-05,4.935209e-05,4.900624e-05,4.868440e-05,4.838513e-05,4.810708e-05,4.784897e-05,4.760961e-05,4.738787e-05,4.718267e-05,4.699302e-05,4.681797e-05,4.665664e-05,4.650818e-05,4.637180e-05,4.624676e-05,4.613237e-05,4.602796e-05,4.593291e-05,4.584663e-05,4.576859e-05,4.569825e-05,4.563513e-05,4.557877e-05,4.552874e-05,4.548463e-05,4.544606e-05,4.541267e-05,4.538411e-05
0.000000e+00,7.165854e-09,1.253506e-07,1.310156e-07,8.090245e-07,2.711651e-06,2.826899e-06,6.686285e-06,1.168855e-05,1.203509e-05,1.794261e-05,2.320414e-05,2.364300e-05,2.882837e-05,3.300816e-05,3.344461e-05,3.751546e-05,4.067975e-05,4.108269e-05,4.419036e-05,4.652771e-05,4.688076e-05,4.919334e-05,5.087069e-05,5.116456e-05,5.282791e-05,5.398373e-05,5.421407e-05,5.535098e-05,5.609829e-05,5.626417e-05,5.697683e-05,5.740710e-05,5.751000e-05,5.788280e-05,5.806960e-05,5.811255e-05,5.821493e-05,5.821709e-05,5.820414e-05,5.809300e-05,5.795742e-05,5.789314e-05,5.761503e-05,5.737890e-05,5.726813e-05,5.686099e-05,5.655368e-05,5.640131e-05,5.589602e-05,5.554062e-05,5.535139e-05,5.477302e-05,5.438753e-05,5.416599e-05,5.353483e-05,5.313320e-05,5.288362e-05,5.221602e-05,5.180898e-05,5.153531e-05,5.084442e-05,5.044008e-05,5.014596e-05,4.944229e-05,4.904673e-05,4.873546e-05,4.802736e-05,4.764503e-05,4.731961e-05,4.661368e-05,4.624775e-05,4.591085e-05,4.521226e-05,4.486487e-05,4.451890e-05,4.383164e-05,4.350415e-05,4.315125e-05,4.247837e-05,4.217153e-05,4.181359e-05,4.115737e-05,4.087147e-05,4.051015e-05,3.987226e-05,3.960720e-05,3.924399e-05,3.862558e-05,3.838102e-05,3.801721e-05,3.741903e-05,3.719441e-05,3.683114e-05,3.625362e-05,3.604825e-05,3.568650e-05,3.512982e-05,3.494292e-05,3.458355e-05,3.404767e-05,3.387837e-05,3.352213e-05,3.300687e-05,3.285428e-05,3.250181e-05,3.200685e-05,3.187007e-05,3.152191e-05,3.104686e-05,3.092495e-05,3.058159e-05,3.012596e-05,3.001804e-05,2.967986e-05,2.924314e-05,2.914830e-05,2.881565e-05,2.839727e-05,2.831467e-05,2.798783e-05,2.758718e-05,2.751599e-05,2.719519e-05,2.681169e-05,2.675111e-05,2.643654e-05,2.606957e-05,2.601884e-05,2.571064e-05,2.535960e-05,2.531800e-05,2.501630e-05,2.468058e-05,2.464742e-05,2.435229e-05,2.403130e-05,2.400593e-05,2.371744e-05,2.341058e-05,2.339239e-05,2.311058e-05,2.281728e-05,2.280569e-05,2.253056e-05,2.225028e-05,2.224474e-05,2.197630e-05,2.170848e-05,2.119590e-05,2.070600e-05,2.023782e-05,1.979045e-05,1.936300e-05,1.895462e-05,1.856447e-05,1.819179e-05,1.783580e-05,1.749579e-05,1.717106e-05,1.686095e-05,1.656480e-05,1.628203e-05,1.601203e-05,1.575425e-05,1.550815e-05,1.527322e-05,1.504896e-05,1.483491e-05,1.463062e-05,1.443566e-05,1.424962e-05,1.407209e-05,1.390272e-05,1.374113e-05,1.358698e-05,1.343995e-05,1.329972e-05,1.316599e-05,1.303846e-05,1.291688e-05,1.280097e-05,1.269048e-05,1.258517e-05,1.248482e-05,1.238920e-05,1.229810e-05,1.221132e-05,1.212867e-05,1.204997e-05,1.197505e-05,1.190372e-05,1.183584e-05,1.177124e-05,1.170979e-05,1.165135e-05,1.159577e-05,1.154293e-05
0.000000e+00,1.993601e-09,1.291368e-07,1.372868e-07,1.681582e-06,9.518895e-06,1.012578e-05,3.800177e-05,9.439672e-05,9.910861e-05,1.941803e-04,2.985597e-04,3.078864e-04,4.224144e-04,5.171979e-04,5.270712e-04,6.180015e-04,6.864331e-04,6.949622e-04,7.590674e-04,8.050188e-04,8.117637e-04,8.544707e-04,8.835715e-04,8.884765e-04,9.149233e-04,9.316788e-04,9.348173e-04,9.490432e-04,9.568689e-04,9.583788e-04,9.635068e-04,9.649738e-04,9.650264e-04,9.634624e-04,9.604960e-04,9.592738e-04,9.528624e-04,9.468948e-04,9.445787e-04,9.347280e-04,9.268161e-04,9.235765e-04,9.113555e-04,9.022729e-04,8.982655e-04,8.844805e-04,8.747873e-04,8.701509e-04,8.554071e-04,8.455045e-04,8.403613e-04,8.251101e-04,8.152803e-04,8.097364e-04,7.943117e-04,7.847497e-04,7.788965e-04,7.635428e-04,7.543787e-04,7.482945e-04,7.331887e-04,7.245052e-04,7.182566e-04,7.035243e-04,6.953696e-04,6.890132e-04,6.747410e-04,6.671386e-04,6.607222e-04,6.469679e-04,6.399233e-04,6.334871e-04,6.202863e-04,6.137925e-04,6.073704e-04,5.947423e-04,5.887837e-04,5.824039e-04,5.703558e-04,5.649110e-04,5.585973e-04,5.471273e-04,5.421713e-04,5.359435e-04,5.250432e-04,5.205489e-04,5.144232e-04,5.040798e-04,5.000190e-04,4.940090e-04,4.842063e-04,4.805507e-04,4.746673e-04,4.653870e-04,4.621085e-04,4.563606e-04,4.475831e-04,4.446545e-04,4.390492e-04,4.307539e-04,4.281489e-04,4.226918e-04,4.148579e-04,4.125514e-04,4.072468e-04,3.998534e-04,3.978215e-04,3.926725e-04,3.856991e-04,3.839194e-04,3.789281e-04,3.723545e-04,3.708056e-04,3.659734e-04,3.597800e-04,3.584422e-04,3.537695e-04,3.479373e-04,3.467919e-04,3.422788e-04,3.367894e-04,3.358190e-04,3.314648e-04,3.263007e-04,3.254890e-04,3.212927e-04,3.164369e-04,3.157690e-04,3.117291e-04,3.071655e-04,3.066273e-04,3.027421e-04,2.984551e-04,2.980338e-04,2.943010e-04,2.902760e-04,2.899595e-04,2.863767e-04,2.825997e-04,2.823769e-04,2.789416e-04,2.753992e-04,2.752599e-04,2.719693e-04,2.686488e-04,2.685835e-04,2.654346e-04,2.623239e-04,2.564587e-04,2.509664e-04,2.458266e-04,2.410200e-04,2.365283e-04,2.323340e-04,2.284206e-04,2.247725e-04,2.213747e-04,2.182132e-04,2.152746e-04,2.125462e-04,2.100160e-04,2.076726e-04,2.055051e-04,2.035033e-04,2.016576e-04,1.999587e-04,1.983979e-04,1.969669e-04,1.956579e-04,1.944636e-04,1.933767e-04,1.923909e-04,1.914996e-04,1.906970e-04,1.899774e-04,1.893354e-04,1.887661e-04,1.882645e-04,1.878263e-04,1.874471e-04,1.871229e-04,1.868498e-04,1.866242e-04,1.864428e-04,1.863023e-04,1.861996e-04,1.861319e-04,1.860965e-04,1.860908e-04,1.861124e-04,1.861590e-04,1.862285e-04,1.863190e-04,1.864285e-04,1.865552e-04,1.866975e-04,1.868538e-04
0.000000e+00,2.635494e-09,1.511212e-07,1.607558e-07,2.070998e-06,1.127346e-05,1.193800e-05,3.723125e-05,7.221341e-05,7.461787e-05,1.150456e-04,1.507459e-04,1.537361e-04,1.894219e-04,2.188618e-04,2.219801e-04,2.515478e-04,2.752394e-04,2.783088e-04,3.024502e-04,3.212553e-04,3.241536e-04,3.435928e-04,3.582935e-04,3.609336e-04,3.763325e-04,3.876144e-04,3.899372e-04,4.018858e-04,4.103396e-04,4.123078e-04,4.213243e-04,4.274542e-04,4.290479e-04,4.355832e-04,4.398155e-04,4.410276e-04,4.454714e-04,4.481650e-04,4.489981e-04,4.516853e-04,4.531408e-04,4.536047e-04,4.548228e-04,4.552911e-04,4.554008e-04,4.553958e-04,4.550862e-04,4.548601e-04,4.538423e-04,4.529284e-04,4.523873e-04,4.505364e-04,4.491619e-04,4.483280e-04,4.457972e-04,4.440807e-04,4.429768e-04,4.398966e-04,4.379354e-04,4.365843e-04,4.330655e-04,4.309393e-04,4.293637e-04,4.255004e-04,4.232740e-04,4.214956e-04,4.173676e-04,4.150933e-04,4.131332e-04,4.088079e-04,4.065276e-04,4.044059e-04,3.999401e-04,3.976871e-04,3.954226e-04,3.908642e-04,3.886647e-04,3.862751e-04,3.816643e-04,3.795384e-04,3.770403e-04,3.724106e-04,3.703735e-04,3.677822e-04,3.631615e-04,3.612245e-04,3.585543e-04,3.539656e-04,3.521365e-04,3.494004e-04,3.448629e-04,3.431467e-04,3.403569e-04,3.358859e-04,3.342855e-04,3.314530e-04,3.270611e-04,3.255777e-04,3.227126e-04,3.184098e-04,3.170429e-04,3.141546e-04,3.099487e-04,3.086968e-04,3.057936e-04,3.016907e-04,3.005513e-04,2.976410e-04,2.936455e-04,2.926156e-04,2.897049e-04,2.858201e-04,2.848961e-04,2.819914e-04,2.782193e-04,2.773970e-04,2.745040e-04,2.708459e-04,2.701211e-04,2.672448e-04,2.637010e-04,2.630692e-04,2.602143e-04,2.567846e-04,2.562412e-04,2.534117e-04,2.500954e-04,2.496357e-04,2.468354e-04,2.436313e-04,2.432505e-04,2.404827e-04,2.373893e-04,2.370830e-04,2.343505e-04,2.313659e-04,2.311295e-04,2.284349e-04,2.255571e-04,2.253861e-04,2.227318e-04,2.199585e-04,2.198486e-04,2.172366e-04,2.145654e-04,2.145125e-04,2.119444e-04,2.093729e-04,2.044248e-04,1.996633e-04,1.950832e-04,1.906794e-04,1.864467e-04,1.823799e-04,1.784740e-04,1.747239e-04,1.711247e-04,1.676715e-04,1.643595e-04,1.611840e-04,1.581405e-04,1.552243e-04,1.524313e-04,1.497571e-04,1.471977e-04,1.447488e-04,1.424068e-04,1.401677e-04,1.380279e-04,1.359837e-04,1.340318e-04,1.321688e-04,1.303914e-04,1.286964e-04,1.270809e-04,1.255418e-04,1.240762e-04,1.226815e-04,1.213549e-04,1.200939e-04,1.188959e-04,1.177585e-04,1.166795e-04,1.156564e-04,1.146871e-04,1.137696e-04,1.129017e-04,1.120815e-04,1.113071e-04,1.105766e-04,1.098883e-04,1.092405e-04,1.086314e-04,1.080595e-04,1.075232e-04,1.070211e-04,1.065517e-04
0.000000e+00,9.012751e-10,7.243895e-08,7.727923e-08,1.102182e-06,7.186916e-06,7.692016e-06,3.374469e-05,9.689982e-05,1.026599e-04,2.327041e-04,4.051605e-04,4.221274e-04,6.527900e-04,8.775970e-04,9.029516e-04,1.155530e-03,1.371225e-03,1.399896e-03,1.630516e-03,1.816001e-03,1.845028e-03,2.042792e-03,2.196114e-03,2.224021e-03,2.389310e-03,2.513482e-03,2.539417e-03,2.675156e-03,2.773958e-03,2.797353e-03,2.906819e-03,2.983874e-03,3.004344e-03,3.090689e-03,3.149286e-03,3.166585e-03,3.232728e-03,3.275787e-03,3.289782e-03,3.338375e-03,3.368459e-03,3.379104e-03,3.412532e-03,3.431873e-03,3.439189e-03,3.459576e-03,3.470098e-03,3.474162e-03,3.483389e-03,3.486745e-03,3.487671e-03,3.487399e-03,3.485004e-03,3.482936e-03,3.474627e-03,3.467684e-03,3.462790e-03,3.447728e-03,3.437259e-03,3.429720e-03,3.409030e-03,3.395899e-03,3.385905e-03,3.360573e-03,3.345504e-03,3.333250e-03,3.304136e-03,3.287736e-03,3.273418e-03,3.241272e-03,3.224045e-03,3.207858e-03,3.173330e-03,3.155692e-03,3.137827e-03,3.101482e-03,3.083772e-03,3.064415e-03,3.026741e-03,3.009236e-03,2.988564e-03,2.949981e-03,2.932900e-03,2.911084e-03,2.871955e-03,2.855470e-03,2.832671e-03,2.793304e-03,2.777549e-03,2.753919e-03,2.714578e-03,2.699651e-03,2.675335e-03,2.636241e-03,2.622214e-03,2.597345e-03,2.558687e-03,2.545605e-03,2.520308e-03,2.482243e-03,2.470134e-03,2.444525e-03,2.407182e-03,2.396056e-03,2.370241e-03,2.333726e-03,2.323581e-03,2.297658e-03,2.262057e-03,2.252879e-03,2.226939e-03,2.192319e-03,2.184086e-03,2.158210e-03,2.124623e-03,2.117305e-03,2.091568e-03,2.059053e-03,2.052616e-03,2.027086e-03,1.995670e-03,1.990075e-03,1.964812e-03,1.934513e-03,1.929717e-03,1.904776e-03,1.875603e-03,1.871563e-03,1.846993e-03,1.818946e-03,1.815618e-03,1.791461e-03,1.764537e-03,1.761875e-03,1.738170e-03,1.712358e-03,1.710316e-03,1.687096e-03,1.662382e-03,1.660916e-03,1.638210e-03,1.614576e-03,1.613641e-03,1.591474e-03,1.568899e-03,1.568453e-03,1.546845e-03,1.525305e-03,1.484152e-03,1.444941e-03,1.407618e-03,1.372129e-03,1.338415e-03,1.306421e-03,1.276087e-03,1.247356e-03,1.220169e-03,1.194470e-03,1.170202e-03,1.147309e-03,1.125735e-03,1.105427e-03,1.086333e-03,1.068400e-03,1.051579e-03,1.035821e-03,1.021079e-03,1.007305e-03,9.944567e-04,9.824895e-04,9.713619e-04,9.610332e-04,9.514643e-04,9.426174e-04,9.344560e-04,9.269449e-04,9.200502e-04,9.137393e-04,9.079807e-04,9.027441e-04,8.980006e-04,8.937220e-04,8.898816e-04,8.864536e-04,8.834132e-04,8.807368e-04,8.784015e-04,8.763857e-04,8.746685e-04,8.732299e-04,8.720509e-04,8.711133e-04,8.703998e-04,8.698938e-04,8.695794e-04,8.694416e-04,8.694661e-04
0.000000e+00,1.838091e-09,3.323948e-08,3.474290e-08,1.987295e-07,5.834196e-07,6.047809e-07,1.246980e-06,1.940840e-06,1.985030e-06,2.691899e-06,3.278023e-06,3.325876e-06,3.883049e-06,4.322931e-06,4.368423e-06,4.788539e-06,5.109383e-06,5.149835e-06,5.458286e-06,5.685465e-06,5.719352e-06,5.938000e-06,6.092191e-06,6.118733e-06,6.265638e-06,6.363450e-06,6.382395e-06,6.472335e-06,6.527003e-06,6.538454e-06,6.583444e-06,6.605443e-06,6.609739e-06,6.619527e-06,6.617139e-06,6.614768e-06,6.597223e-06,6.576945e-06,6.568475e-06,6.529934e-06,6.496827e-06,6.482849e-06,6.428342e-06,6.386314e-06,6.367420e-06,6.300983e-06,6.253073e-06,6.229844e-06,6.154756e-06,6.103371e-06,6.076398e-06,5.995332e-06,5.942269e-06,5.912073e-06,5.827069e-06,5.773670e-06,5.740724e-06,5.653397e-06,5.600661e-06,5.565402e-06,5.477017e-06,5.425673e-06,5.388487e-06,5.300031e-06,5.250600e-06,5.211839e-06,5.124080e-06,5.076922e-06,5.036900e-06,4.950427e-06,4.905778e-06,4.864771e-06,4.780029e-06,4.738027e-06,4.696282e-06,4.613601e-06,4.574311e-06,4.532046e-06,4.451666e-06,4.415097e-06,4.372502e-06,4.294590e-06,4.260711e-06,4.217954e-06,4.142617e-06,4.111367e-06,4.068595e-06,3.995897e-06,3.967191e-06,3.924531e-06,3.854500e-06,3.828238e-06,3.785803e-06,3.718438e-06,3.694511e-06,3.652398e-06,3.587677e-06,3.565970e-06,3.524263e-06,3.462146e-06,3.442540e-06,3.401312e-06,3.341747e-06,3.324123e-06,3.283437e-06,3.226365e-06,3.210604e-06,3.170513e-06,3.115865e-06,3.101851e-06,3.062402e-06,3.010105e-06,2.997726e-06,2.958956e-06,2.908936e-06,2.898081e-06,2.860025e-06,2.812203e-06,2.802768e-06,2.765451e-06,2.719750e-06,2.711634e-06,2.675080e-06,2.631422e-06,2.624529e-06,2.588755e-06,2.547062e-06,2.541301e-06,2.506322e-06,2.466517e-06,2.461803e-06,2.427629e-06,2.389638e-06,2.385888e-06,2.352527e-06,2.316277e-06,2.313414e-06,2.280871e-06,2.246291e-06,2.244242e-06,2.212519e-06,2.179540e-06,2.178237e-06,2.147335e-06,2.115889e-06,2.115268e-06,2.085186e-06,2.055209e-06,1.997938e-06,1.943337e-06,1.891293e-06,1.841695e-06,1.794440e-06,1.749426e-06,1.706556e-06,1.665738e-06,1.626881e-06,1.589901e-06,1.554714e-06,1.521243e-06,1.489412e-06,1.459149e-06,1.430383e-06,1.403050e-06,1.377085e-06,1.352428e-06,1.329020e-06,1.306806e-06,1.285732e-06,1.265747e-06,1.246803e-06,1.228851e-06,1.211849e-06,1.195752e-06,1.180520e-06,1.166113e-06,1.152494e-06,1.139626e-06,1.127477e-06,1.116012e-06,1.105200e-06,1.095011e-06,1.085416e-06,1.076388e-06,1.067900e-06,1.059927e-06,1.052445e-06,1.045430e-06,1.038862e-06,1.032718e-06,1.026978e-06,1.021624e-06,1.016636e-06,1.011997e-06,1.007691e-06,1.003700e-06,1.000010e-06
0.000000e+00,1.358762e-10,1.408100e-08,1.509774e-08,2.653389e-07,1.931116e-06,2.073072e-06,9.575346e-06,2.838702e-05,3.013795e-05,7.114310e-05,1.296034e-04,1.355895e-04,2.207463e-04,3.096640e-04,3.200006e-04,4.255828e-04,5.181905e-04,5.305687e-04,6.298075e-04,7.080270e-04,7.200412e-04,7.996109e-04,8.578267e-04,8.680290e-04,9.255764e-04,9.651574e-04,9.729832e-04,1.011201e-03,1.035850e-03,1.041258e-03,1.064169e-03,1.077695e-03,1.080886e-03,1.092275e-03,1.097845e-03,1.099106e-03,1.102060e-03,1.102100e-03,1.101727e-03,1.098621e-03,1.094918e-03,1.093183e-03,1.085796e-03,1.079642e-03,1.076786e-03,1.066432e-03,1.058748e-03,1.054975e-03,1.042621e-03,1.034061e-03,1.029544e-03,1.015895e-03,1.006918e-03,1.001800e-03,9.873700e-04,9.782961e-04,9.726970e-04,9.578602e-04,9.489078e-04,9.429267e-04,9.279536e-04,9.192703e-04,9.129891e-04,8.980739e-04,8.897561e-04,8.832426e-04,8.685238e-04,8.606312e-04,8.539418e-04,8.395169e-04,8.320836e-04,8.252655e-04,8.112013e-04,8.042429e-04,7.973352e-04,7.836761e-04,7.771953e-04,7.702309e-04,7.570049e-04,7.509956e-04,7.440019e-04,7.312248e-04,7.256749e-04,7.186753e-04,7.063544e-04,7.012478e-04,6.942622e-04,6.823983e-04,6.777164e-04,6.707616e-04,6.593509e-04,6.550736e-04,6.481642e-04,6.371995e-04,6.333062e-04,6.264545e-04,6.159267e-04,6.123962e-04,6.056132e-04,5.955112e-04,5.923227e-04,5.856176e-04,5.759293e-04,5.730624e-04,5.664432e-04,5.571559e-04,5.545907e-04,5.480642e-04,5.391648e-04,5.368820e-04,5.304543e-04,5.219295e-04,5.199108e-04,5.135870e-04,5.054235e-04,5.036512e-04,4.974357e-04,4.896203e-04,4.880776e-04,4.819740e-04,4.744936e-04,4.731645e-04,4.671759e-04,4.600178e-04,4.588871e-04,4.530162e-04,4.461679e-04,4.452212e-04,4.394700e-04,4.329195e-04,4.321432e-04,4.265133e-04,4.202487e-04,4.196299e-04,4.141227e-04,4.081325e-04,4.076591e-04,4.022755e-04,3.965487e-04,3.962092e-04,3.909497e-04,3.854757e-04,3.852593e-04,3.801243e-04,3.748927e-04,3.747893e-04,3.697786e-04,3.647796e-04,3.552114e-04,3.460668e-04,3.373282e-04,3.289789e-04,3.210027e-04,3.133843e-04,3.061086e-04,2.991612e-04,2.925286e-04,2.861974e-04,2.801549e-04,2.743890e-04,2.688879e-04,2.636404e-04,2.586358e-04,2.538638e-04,2.493143e-04,2.449779e-04,2.408455e-04,2.369083e-04,2.331579e-04,2.295864e-04,2.261859e-04,2.229492e-04,2.198690e-04,2.169387e-04,2.141517e-04,2.115018e-04,2.089830e-04,2.065895e-04,2.043160e-04,2.021570e-04,2.001076e-04,1.981630e-04,1.963185e-04,1.945697e-04,1.929124e-04,1.913424e-04,1.898560e-04,1.884493e-04,1.871188e-04,1.858611e-04,1.846729e-04,1.835509e-04,1.824923e-04,1.814941e-04,1.805535e-04,1.796680e-04,1.788349e-04
0.000000e+00,4.104202e-11,5.163312e-09,5.553962e-09,1.147114e-07,1.014994e-06,1.099719e-06,6.543942e-06,2.527846e-05,2.730968e-05,8.671529e-05,2.086377e-04,2.236346e-04,4.926115e-04,9.035795e-04,9.616457e-04,1.708581e-03,2.661979e-03,2.816867e-03,4.371237e-03,6.127439e-03,6.453684e-03,9.139945e-03,1.191208e-02,1.249662e-02,1.657900e-02,2.049824e-02,2.142948e-02,2.707674e-02,3.217848e-02,3.353534e-02,4.080591e-02,4.703289e-02,4.887572e-02,5.771951e-02,6.493628e-02,6.730065e-02,7.757244e-02,8.558592e-02,8.847948e-02,9.995917e-02,1.085410e-01,1.119432e-01,1.243589e-01,1.332664e-01,1.371308e-01,1.501816e-01,1.591759e-01,1.634338e-01,1.768103e-01,1.856703e-01,1.902359e-01,2.036374e-01,2.121695e-01,2.169452e-01,2.300929e-01,2.381368e-01,2.430187e-01,2.556651e-01,2.630967e-01,2.679794e-01,2.799139e-01,2.866449e-01,2.914260e-01,3.024781e-01,3.084539e-01,3.130374e-01,3.230763e-01,3.282726e-01,3.325717e-01,3.415053e-01,3.459238e-01,3.498628e-01,3.576342e-01,3.612980e-01,3.648133e-01,3.713974e-01,3.743465e-01,3.773871e-01,3.827861e-01,3.850728e-01,3.876005e-01,3.918392e-01,3.935246e-01,3.955131e-01,3.986351e-01,3.997851e-01,4.012195e-01,4.032825e-01,4.039655e-01,4.048412e-01,4.059137e-01,4.061978e-01,4.065191e-01,4.066771e-01,4.066283e-01,4.064078e-01,4.057317e-01,4.054128e-01,4.046693e-01,4.032415e-01,4.027108e-01,4.014689e-01,3.993720e-01,3.986828e-01,3.969712e-01,3.942865e-01,3.934865e-01,3.913375e-01,3.881434e-01,3.872751e-01,3.847231e-01,3.810946e-01,3.801948e-01,3.772758e-01,3.732837e-01,3.723838e-01,3.691348e-01,3.648449e-01,3.639714e-01,3.604294e-01,3.559029e-01,3.550774e-01,3.512793e-01,3.465721e-01,3.458120e-01,3.417939e-01,3.369569e-01,3.362757e-01,3.320726e-01,3.271519e-01,3.265594e-01,3.222050e-01,3.172417e-01,3.167448e-01,3.122711e-01,3.073019e-01,3.069047e-01,3.023422e-01,2.973996e-01,2.971037e-01,2.924810e-01,2.875932e-01,2.873984e-01,2.827423e-01,2.779339e-01,2.778382e-01,2.731735e-01,2.684658e-01,2.593175e-01,2.504242e-01,2.418114e-01,2.335000e-01,2.255068e-01,2.178447e-01,2.105233e-01,2.035493e-01,1.969264e-01,1.906564e-01,1.847386e-01,1.791707e-01,1.739488e-01,1.690676e-01,1.645206e-01,1.603002e-01,1.563979e-01,1.528045e-01,1.495103e-01,1.465047e-01,1.437769e-01,1.413157e-01,1.391096e-01,1.371469e-01,1.354156e-01,1.339038e-01,1.325994e-01,1.314904e-01,1.305646e-01,1.298103e-01,1.292154e-01,1.287685e-01,1.284579e-01,1.282725e-01,1.282011e-01,1.282332e-01,1.283583e-01,1.285662e-01,1.288474e-01,1.291924e-01,1.295923e-01,1.300387e-01,1.305233e-01,1.310386e-01,1.315774e-01,1.321328e-01,1.326987e-01,1.332691e-01,1.338388e-01
0.000000e+00,1.550317e-08,2.623288e-07,2.746399e-07,1.871745e-06,6.647857e-06,6.935832e-06,1.590795e-05,2.553164e-05,2.613840e-05,3.584179e-05,4.398163e-05,4.465285e-05,5.256396e-05,5.895772e-05,5.962769e-05,6.590470e-05,7.082504e-05,7.145454e-05,7.633411e-05,8.003570e-05,8.059740e-05,8.429538e-05,8.699999e-05,8.747601e-05,9.018413e-05,9.208164e-05,9.246157e-05,9.434715e-05,9.559773e-05,9.587683e-05,9.708383e-05,9.782108e-05,9.799878e-05,9.864987e-05,9.898426e-05,9.906302e-05,9.926203e-05,9.928435e-05,9.926874e-05,9.910317e-05,9.888763e-05,9.878365e-05,9.832696e-05,9.793394e-05,9.774846e-05,9.706217e-05,9.654050e-05,9.628088e-05,9.541629e-05,9.480524e-05,9.447905e-05,9.347885e-05,9.280981e-05,9.242455e-05,9.132416e-05,9.062199e-05,9.018497e-05,8.901360e-05,8.829786e-05,8.781606e-05,8.659777e-05,8.588362e-05,8.536365e-05,8.411812e-05,8.341716e-05,8.286519e-05,8.160844e-05,8.092935e-05,8.035108e-05,7.909603e-05,7.844517e-05,7.784585e-05,7.660283e-05,7.598466e-05,7.536903e-05,7.414625e-05,7.356370e-05,7.293607e-05,7.173991e-05,7.119472e-05,7.055898e-05,6.939433e-05,6.888729e-05,6.824689e-05,6.711742e-05,6.664857e-05,6.600659e-05,6.491496e-05,6.448378e-05,6.384296e-05,6.279095e-05,6.239649e-05,6.175922e-05,6.074796e-05,6.038895e-05,5.975731e-05,5.878735e-05,5.846229e-05,5.783810e-05,5.690954e-05,5.661676e-05,5.600159e-05,5.511416e-05,5.485191e-05,5.424709e-05,5.340023e-05,5.316670e-05,5.257337e-05,5.176629e-05,5.155966e-05,5.097875e-05,5.021050e-05,5.002895e-05,4.946125e-05,4.873072e-05,4.857249e-05,4.801862e-05,4.732463e-05,4.718798e-05,4.664845e-05,4.598973e-05,4.587300e-05,4.534817e-05,4.472343e-05,4.462501e-05,4.411517e-05,4.352307e-05,4.344145e-05,4.294679e-05,4.238599e-05,4.231972e-05,4.184034e-05,4.130951e-05,4.125723e-05,4.079317e-05,4.029099e-05,4.025141e-05,3.980264e-05,3.932781e-05,3.929974e-05,3.886617e-05,3.841742e-05,3.839973e-05,3.798124e-05,3.755733e-05,3.754897e-05,3.714538e-05,3.674512e-05,3.598590e-05,3.526913e-05,3.459269e-05,3.395456e-05,3.335280e-05,3.278553e-05,3.225097e-05,3.174743e-05,3.127327e-05,3.082695e-05,3.040699e-05,3.001198e-05,2.964058e-05,2.929152e-05,2.896360e-05,2.865566e-05,2.836660e-05,2.809541e-05,2.784109e-05,2.760271e-05,2.737938e-05,2.717028e-05,2.697459e-05,2.679158e-05,2.662053e-05,2.646075e-05,2.631162e-05,2.617252e-05,2.604288e-05,2.592216e-05,2.580984e-05,2.570544e-05,2.560849e-05,2.551855e-05,2.543523e-05,2.535812e-05,2.528685e-05,2.522108e-05,2.516048e-05,2.510474e-05,2.505355e-05,2.500665e-05,2.496376e-05,2.492465e-05,2.488906e-05,2.485679e-05,2.482762e-05,2.480136e-05,2.477781e-05
0.000000e+00,1.069255e-09,5.755875e-08,6.105535e-08,7.103608e-07,4.026876e-06,4.284293e-06,1.595375e-05,3.810531e-05,3.986806e-05,7.318809e-05,1.064805e-04,1.093554e-04,1.440403e-04,1.726395e-04,1.756484e-04,2.038837e-04,2.260406e-04,2.288760e-04,2.508623e-04,2.675586e-04,2.700945e-04,2.868135e-04,2.990802e-04,3.012441e-04,3.135944e-04,3.223045e-04,3.240564e-04,3.328073e-04,3.386861e-04,3.400102e-04,3.458152e-04,3.494615e-04,3.503598e-04,3.537704e-04,3.556758e-04,3.561630e-04,3.576434e-04,3.582088e-04,3.583083e-04,3.582460e-04,3.577962e-04,3.575366e-04,3.562528e-04,3.550481e-04,3.544608e-04,3.522206e-04,3.504694e-04,3.495869e-04,3.466089e-04,3.444767e-04,3.433313e-04,3.397946e-04,3.374121e-04,3.360352e-04,3.320862e-04,3.295558e-04,3.279774e-04,3.237354e-04,3.211364e-04,3.193844e-04,3.149461e-04,3.123397e-04,3.104400e-04,3.058836e-04,3.033159e-04,3.012925e-04,2.966806e-04,2.941860e-04,2.920604e-04,2.874431e-04,2.850465e-04,2.828384e-04,2.782552e-04,2.759741e-04,2.737011e-04,2.691830e-04,2.670288e-04,2.647068e-04,2.602776e-04,2.582573e-04,2.559001e-04,2.515781e-04,2.496949e-04,2.473149e-04,2.431134e-04,2.413678e-04,2.389761e-04,2.349048e-04,2.332951e-04,2.309012e-04,2.269665e-04,2.254897e-04,2.231018e-04,2.193078e-04,2.179594e-04,2.155850e-04,2.119337e-04,2.107085e-04,2.083538e-04,2.048455e-04,2.037379e-04,2.014084e-04,1.980421e-04,1.970460e-04,1.947463e-04,1.915203e-04,1.906294e-04,1.883634e-04,1.852749e-04,1.844830e-04,1.822541e-04,1.792999e-04,1.786008e-04,1.764116e-04,1.735881e-04,1.729755e-04,1.708284e-04,1.681315e-04,1.675996e-04,1.654964e-04,1.629220e-04,1.624649e-04,1.604071e-04,1.579508e-04,1.575631e-04,1.555518e-04,1.532092e-04,1.528856e-04,1.509217e-04,1.486883e-04,1.484239e-04,1.465078e-04,1.443793e-04,1.441692e-04,1.423015e-04,1.402734e-04,1.401133e-04,1.382940e-04,1.363622e-04,1.362478e-04,1.344769e-04,1.326371e-04,1.325644e-04,1.308418e-04,1.290900e-04,1.290554e-04,1.273808e-04,1.257130e-04,1.225298e-04,1.194985e-04,1.166123e-04,1.138644e-04,1.112485e-04,1.087584e-04,1.063883e-04,1.041324e-04,1.019854e-04,9.994220e-05,9.799780e-05,9.614753e-05,9.438689e-05,9.271162e-05,9.111762e-05,8.960102e-05,8.815809e-05,8.678531e-05,8.547931e-05,8.423689e-05,8.305498e-05,8.193069e-05,8.086125e-05,7.984401e-05,7.887647e-05,7.795624e-05,7.708104e-05,7.624871e-05,7.545719e-05,7.470452e-05,7.398883e-05,7.330834e-05,7.266136e-05,7.204629e-05,7.146160e-05,7.090581e-05,7.037756e-05,6.987551e-05,6.939841e-05,6.894506e-05,6.851432e-05,6.810512e-05,6.771642e-05,6.734723e-05,6.699663e-05,6.666372e-05,6.634767e-05,6.604765e-05,6.576291e-05
0.000000e+00,7.371718e-10,5.205124e-08,5.548517e-08,7.722277e-07,4.694282e-06,5.002639e-06,1.919880e-05,4.726743e-05,4.956815e-05,9.488461e-05,1.432131e-04,1.475033e-04,2.003546e-04,2.450139e-04,2.497501e-04,2.944367e-04,3.297399e-04,3.342703e-04,3.694975e-04,3.963764e-04,4.004700e-04,4.275479e-04,4.475320e-04,4.510695e-04,4.713453e-04,4.857521e-04,4.886633e-04,5.032912e-04,5.132239e-04,5.154769e-04,5.254488e-04,5.318263e-04,5.334178e-04,5.395776e-04,5.431591e-04,5.441062e-04,5.471671e-04,5.485758e-04,5.489100e-04,5.494718e-04,5.492158e-04,5.489779e-04,5.475426e-04,5.460340e-04,5.452702e-04,5.422557e-04,5.398265e-04,5.385856e-04,5.343386e-04,5.312545e-04,5.295860e-04,5.243928e-04,5.208652e-04,5.188177e-04,5.129141e-04,5.091102e-04,5.067302e-04,5.003097e-04,4.963604e-04,4.936920e-04,4.869128e-04,4.829196e-04,4.800041e-04,4.729948e-04,4.690356e-04,4.659111e-04,4.587761e-04,4.549094e-04,4.516109e-04,4.444341e-04,4.407033e-04,4.372626e-04,4.301111e-04,4.265472e-04,4.229931e-04,4.159201e-04,4.125442e-04,4.089026e-04,4.019498e-04,3.987754e-04,3.950696e-04,3.882690e-04,3.853036e-04,3.815542e-04,3.749303e-04,3.721764e-04,3.684017e-04,3.619724e-04,3.594292e-04,3.556454e-04,3.494235e-04,3.470871e-04,3.433086e-04,3.373024e-04,3.351670e-04,3.314062e-04,3.256208e-04,3.236791e-04,3.199468e-04,3.143844e-04,3.126280e-04,3.089335e-04,3.035940e-04,3.020138e-04,2.983654e-04,2.932470e-04,2.918335e-04,2.882381e-04,2.833376e-04,2.820811e-04,2.785445e-04,2.738575e-04,2.727483e-04,2.692755e-04,2.647970e-04,2.638255e-04,2.604206e-04,2.561447e-04,2.553014e-04,2.519678e-04,2.478884e-04,2.471643e-04,2.439047e-04,2.400151e-04,2.394014e-04,2.362180e-04,2.325117e-04,2.319999e-04,2.288943e-04,2.253643e-04,2.249465e-04,2.219199e-04,2.185594e-04,2.182279e-04,2.152810e-04,2.120832e-04,2.118308e-04,2.089642e-04,2.059224e-04,2.057423e-04,2.029560e-04,2.000636e-04,1.999494e-04,1.972433e-04,1.944937e-04,1.944394e-04,1.918132e-04,1.892002e-04,1.842197e-04,1.794864e-04,1.749892e-04,1.707171e-04,1.666598e-04,1.628074e-04,1.591502e-04,1.556790e-04,1.523850e-04,1.492597e-04,1.462952e-04,1.434836e-04,1.408176e-04,1.382902e-04,1.358946e-04,1.336245e-04,1.314737e-04,1.294363e-04,1.275069e-04,1.256802e-04,1.239510e-04,1.223146e-04,1.207664e-04,1.193020e-04,1.179173e-04,1.166084e-04,1.153714e-04,1.142029e-04,1.130993e-04,1.120575e-04,1.110743e-04,1.101469e-04,1.092723e-04,1.084481e-04,1.076715e-04,1.069403e-04,1.062521e-04,1.056048e-04,1.049962e-04,1.044245e-04,1.038877e-04,1.033840e-04,1.029118e-04,1.024694e-04,1.020554e-04,1.016681e-04,1.013063e-04,1.009687e-04,1.006539e-04
0.000000e+00,2.258417e-11,3.248015e-09,3.505057e-09,8.277876e-08,7.691192e-07,8.337121e-07,4.888494e-06,1.815481e-05,1.955787e-05,5.914100e-05,1.361572e-04,1.454017e-04,3.062294e-04,5.408547e-04,5.732758e-04,9.792839e-04,1.476468e-03,1.555576e-03,2.329952e-03,3.171819e-03,3.325123e-03,4.557675e-03,5.783935e-03,6.037545e-03,7.767927e-03,9.371655e-03,9.745527e-03,1.196108e-02,1.389524e-02,1.440006e-02,1.704349e-02,1.923290e-02,1.986884e-02,2.285087e-02,2.520540e-02,2.596253e-02,2.917569e-02,3.160207e-02,3.246194e-02,3.579315e-02,3.820409e-02,3.914202e-02,4.248255e-02,4.480284e-02,4.579037e-02,4.904300e-02,5.121276e-02,5.222004e-02,5.530329e-02,5.727902e-02,5.827681e-02,6.112691e-02,6.288081e-02,6.384211e-02,6.641305e-02,6.793130e-02,6.883242e-02,7.109480e-02,7.237529e-02,7.319654e-02,7.513556e-02,7.618536e-02,7.691129e-02,7.852441e-02,7.935738e-02,7.997677e-02,8.127118e-02,8.190577e-02,8.241135e-02,8.340166e-02,8.385903e-02,8.424709e-02,8.495311e-02,8.525565e-02,8.552554e-02,8.597049e-02,8.614062e-02,8.629423e-02,8.650319e-02,8.656253e-02,8.660379e-02,8.660249e-02,8.657128e-02,8.650567e-02,8.631959e-02,8.621631e-02,8.605041e-02,8.570410e-02,8.554528e-02,8.528645e-02,8.480306e-02,8.460325e-02,8.425929e-02,8.366028e-02,8.343206e-02,8.301093e-02,8.231591e-02,8.206999e-02,8.157965e-02,8.080633e-02,8.055171e-02,7.999995e-02,7.916422e-02,7.890831e-02,7.830267e-02,7.741860e-02,7.716745e-02,7.651510e-02,7.559505e-02,7.535347e-02,7.466117e-02,7.371595e-02,7.348768e-02,7.276175e-02,7.180074e-02,7.158861e-02,7.083494e-02,6.986622e-02,6.967228e-02,6.889630e-02,6.792679e-02,6.775244e-02,6.695916e-02,6.599475e-02,6.584083e-02,6.503482e-02,6.408050e-02,6.394740e-02,6.313284e-02,6.219279e-02,6.208054e-02,6.126122e-02,6.033892e-02,6.024723e-02,5.942661e-02,5.852494e-02,5.845328e-02,5.763449e-02,5.675578e-02,5.670344e-02,5.588928e-02,5.503542e-02,5.500153e-02,5.419455e-02,5.336701e-02,5.335060e-02,5.255308e-02,5.175301e-02,5.021053e-02,4.872443e-02,4.729554e-02,4.592432e-02,4.461089e-02,4.335512e-02,4.215664e-02,4.101487e-02,3.992907e-02,3.889834e-02,3.792166e-02,3.699791e-02,3.612588e-02,3.530428e-02,3.453176e-02,3.380689e-02,3.312824e-02,3.249430e-02,3.190356e-02,3.135446e-02,3.084545e-02,3.037495e-02,2.994136e-02,2.954310e-02,2.917856e-02,2.884618e-02,2.854436e-02,2.827153e-02,2.802616e-02,2.780669e-02,2.761162e-02,2.743945e-02,2.728874e-02,2.715805e-02,2.704597e-02,2.695116e-02,2.687228e-02,2.680806e-02,2.675726e-02,2.671869e-02,2.669120e-02,2.667370e-02,2.666513e-02,2.666450e-02,2.667085e-02,2.668328e-02,2.670095e-02,2.672306e-02,2.674887e-02
0.000000e+00,7.073345e-11,8.831902e-09,9.498268e-09,1.941676e-07,1.707812e-06,1.850281e-06,1.108656e-05,4.380040e-05,4.741038e-05,1.562303e-04,3.903585e-04,4.197853e-04,9.615885e-04,1.820525e-03,1.943892e-03,3.560199e-03,5.677083e-03,6.025066e-03,9.562929e-03,1.363426e-02,1.439720e-02,2.074041e-02,2.737689e-02,2.878578e-02,3.870060e-02,4.832248e-02,5.062128e-02,6.465009e-02,7.743687e-02,8.085349e-02,9.926171e-02,1.151486e-01,1.198696e-01,1.426383e-01,1.613456e-01,1.674977e-01,1.943493e-01,2.154304e-01,2.230698e-01,2.535145e-01,2.764117e-01,2.855210e-01,3.189126e-01,3.430111e-01,3.535024e-01,3.890960e-01,4.137719e-01,4.254950e-01,4.625000e-01,4.871589e-01,4.999128e-01,5.375391e-01,5.616445e-01,5.751902e-01,6.126847e-01,6.357767e-01,6.498503e-01,6.865244e-01,7.082295e-01,7.225555e-01,7.578036e-01,7.778376e-01,7.921404e-01,8.254503e-01,8.436161e-01,8.576296e-01,8.885869e-01,9.047673e-01,9.182429e-01,9.465300e-01,9.606792e-01,9.733920e-01,9.987833e-01,1.010916e+00,1.022669e+00,1.045023e+00,1.055204e+00,1.065830e+00,1.085081e+00,1.093414e+00,1.102776e+00,1.118923e+00,1.125541e+00,1.133536e+00,1.146633e+00,1.151688e+00,1.158241e+00,1.168388e+00,1.172045e+00,1.177108e+00,1.184439e+00,1.186869e+00,1.190421e+00,1.195098e+00,1.196470e+00,1.198514e+00,1.200718e+00,1.201199e+00,1.201757e+00,1.201680e+00,1.201429e+00,1.200539e+00,1.198383e+00,1.197547e+00,1.195264e+00,1.191232e+00,1.189946e+00,1.186337e+00,1.180629e+00,1.179018e+00,1.174157e+00,1.166969e+00,1.165143e+00,1.159113e+00,1.150633e+00,1.148689e+00,1.141577e+00,1.131986e+00,1.130008e+00,1.121904e+00,1.111371e+00,1.109430e+00,1.100427e+00,1.089110e+00,1.087267e+00,1.077456e+00,1.065502e+00,1.063806e+00,1.053280e+00,1.040823e+00,1.039314e+00,1.028162e+00,1.015325e+00,1.014033e+00,1.002342e+00,9.892383e-01,9.881855e-01,9.760392e-01,9.627687e-01,9.619707e-01,9.494493e-01,9.361023e-01,9.355682e-01,9.227479e-01,9.094049e-01,9.091383e-01,8.960911e-01,8.828232e-01,8.567479e-01,8.310220e-01,8.057402e-01,7.809842e-01,7.568234e-01,7.333163e-01,7.105111e-01,6.884473e-01,6.671561e-01,6.466613e-01,6.269804e-01,6.081248e-01,5.901009e-01,5.729107e-01,5.565517e-01,5.410184e-01,5.263017e-01,5.123900e-01,4.992693e-01,4.869235e-01,4.753348e-01,4.644837e-01,4.543497e-01,4.449109e-01,4.361447e-01,4.280276e-01,4.205358e-01,4.136447e-01,4.073296e-01,4.015654e-01,3.963273e-01,3.915899e-01,3.873283e-01,3.835177e-01,3.801333e-01,3.771508e-01,3.745463e-01,3.722961e-01,3.703770e-01,3.687666e-01,3.674428e-01,3.663842e-01,3.655700e-01,3.649801e-01,3.645951e-01,3.643963e-01,3.643658e-01,3.644865e-01,3.647419e-01
0.000000e+00,2.880180e-09,4.428971e-08,4.632977e-08,3.045052e-07,1.076615e-06,1.124199e-06,2.704600e-06,4.627310e-06,4.755293e-06,6.887059e-06,8.785339e-06,8.946247e-06,1.089651e-05,1.255358e-05,1.273199e-05,1.445425e-05,1.587897e-05,1.606682e-05,1.757374e-05,1.878843e-05,1.897925e-05,2.028761e-05,2.131466e-05,2.150307e-05,2.262984e-05,2.349052e-05,2.367206e-05,2.463375e-05,2.534776e-05,2.551883e-05,2.633109e-05,2.691646e-05,2.707419e-05,2.775164e-05,2.822468e-05,2.836683e-05,2.892299e-05,2.929838e-05,2.942323e-05,2.987054e-05,3.016143e-05,3.026776e-05,3.061760e-05,3.083571e-05,3.092269e-05,3.118549e-05,3.134125e-05,3.140838e-05,3.159363e-05,3.169633e-05,3.174340e-05,3.185975e-05,3.191759e-05,3.194465e-05,3.199996e-05,3.202019e-05,3.202749e-05,3.202892e-05,3.201793e-05,3.200588e-05,3.195991e-05,3.192333e-05,3.189249e-05,3.180500e-05,3.174774e-05,3.169877e-05,3.157508e-05,3.150145e-05,3.143512e-05,3.128004e-05,3.119378e-05,3.111091e-05,3.092878e-05,3.083315e-05,3.073462e-05,3.052937e-05,3.042716e-05,3.031389e-05,3.008904e-05,2.998268e-05,2.985560e-05,2.961433e-05,2.950587e-05,2.936593e-05,2.911109e-05,2.900228e-05,2.885044e-05,2.858458e-05,2.847691e-05,2.831410e-05,2.803952e-05,2.793421e-05,2.776136e-05,2.748011e-05,2.737819e-05,2.719622e-05,2.691011e-05,2.681240e-05,2.662220e-05,2.633286e-05,2.624003e-05,2.604245e-05,2.575132e-05,2.566389e-05,2.545978e-05,2.516813e-05,2.508648e-05,2.487664e-05,2.458559e-05,2.451002e-05,2.429522e-05,2.400576e-05,2.393644e-05,2.371741e-05,2.343040e-05,2.336745e-05,2.314489e-05,2.286107e-05,2.280452e-05,2.257910e-05,2.229913e-05,2.224895e-05,2.202129e-05,2.174572e-05,2.170185e-05,2.147254e-05,2.120186e-05,2.116417e-05,2.093377e-05,2.066836e-05,2.063670e-05,2.040573e-05,2.014594e-05,2.012012e-05,1.988907e-05,1.963518e-05,1.961500e-05,1.938433e-05,1.913656e-05,1.912179e-05,1.889191e-05,1.865043e-05,1.864084e-05,1.841215e-05,1.817710e-05,1.817244e-05,1.794530e-05,1.771677e-05,1.727398e-05,1.684413e-05,1.642725e-05,1.602332e-05,1.563226e-05,1.525397e-05,1.488833e-05,1.453516e-05,1.419429e-05,1.386551e-05,1.354860e-05,1.324333e-05,1.294945e-05,1.266670e-05,1.239482e-05,1.213354e-05,1.188258e-05,1.164167e-05,1.141053e-05,1.118888e-05,1.097644e-05,1.077293e-05,1.057808e-05,1.039162e-05,1.021328e-05,1.004278e-05,9.879882e-06,9.724314e-06,9.575828e-06,9.434177e-06,9.299122e-06,9.170424e-06,9.047855e-06,8.931191e-06,8.820211e-06,8.714705e-06,8.614463e-06,8.519286e-06,8.428978e-06,8.343348e-06,8.262214e-06,8.185396e-06,8.112722e-06,8.044025e-06,7.979142e-06,7.917916e-06,7.860197e-06,7.805837e-06,7.754695e-06
0.000000e+00,1.258774e-11,1.623212e-09,1.747548e-09,3.739975e-08,3.307749e-07,3.581272e-07,2.073137e-06,7.771613e-06,8.380875e-06,2.586573e-05,6.067070e-05,6.488353e-05,1.386529e-04,2.466348e-04,2.615355e-04,4.471795e-04,6.715781e-04,7.069691e-04,1.048970e-03,1.412159e-03,1.477392e-03,1.992503e-03,2.489791e-03,2.590891e-03,3.265956e-03,3.870369e-03,4.008543e-03,4.807620e-03,5.479358e-03,5.650955e-03,6.525738e-03,7.221625e-03,7.419123e-03,8.318678e-03,8.999253e-03,9.212739e-03,1.009067e-02,1.072436e-02,1.094304e-02,1.176173e-02,1.232647e-02,1.253996e-02,1.327226e-02,1.375527e-02,1.395448e-02,1.458361e-02,1.498008e-02,1.515775e-02,1.567598e-02,1.598732e-02,1.613823e-02,1.654514e-02,1.677709e-02,1.689799e-02,1.719853e-02,1.735953e-02,1.744893e-02,1.765164e-02,1.775148e-02,1.780934e-02,1.792484e-02,1.797364e-02,1.800104e-02,1.804086e-02,1.804835e-02,1.804719e-02,1.802287e-02,1.799797e-02,1.797066e-02,1.789320e-02,1.784378e-02,1.779301e-02,1.767247e-02,1.760528e-02,1.753383e-02,1.737918e-02,1.729983e-02,1.721046e-02,1.702947e-02,1.694256e-02,1.683788e-02,1.663720e-02,1.654639e-02,1.642883e-02,1.621402e-02,1.612216e-02,1.599393e-02,1.576959e-02,1.567889e-02,1.554196e-02,1.531186e-02,1.522394e-02,1.508007e-02,1.484725e-02,1.476330e-02,1.461401e-02,1.438090e-02,1.430175e-02,1.414838e-02,1.391687e-02,1.384307e-02,1.368677e-02,1.345838e-02,1.339024e-02,1.323200e-02,1.300788e-02,1.294557e-02,1.278625e-02,1.256727e-02,1.251080e-02,1.235113e-02,1.213796e-02,1.208726e-02,1.192788e-02,1.172099e-02,1.167591e-02,1.151737e-02,1.131708e-02,1.127743e-02,1.112018e-02,1.092673e-02,1.089227e-02,1.073673e-02,1.055023e-02,1.052071e-02,1.036723e-02,1.018773e-02,1.016289e-02,1.001175e-02,9.839274e-03,9.818812e-03,9.670287e-03,9.504775e-03,9.488414e-03,9.342718e-03,9.184093e-03,9.171550e-03,9.028871e-03,8.877025e-03,8.868021e-03,8.728521e-03,8.583326e-03,8.577586e-03,8.441403e-03,8.302714e-03,8.299973e-03,8.167220e-03,8.034881e-03,7.781992e-03,7.540975e-03,7.311489e-03,7.093186e-03,6.885716e-03,6.688728e-03,6.501872e-03,6.324800e-03,6.157167e-03,5.998632e-03,5.848861e-03,5.707525e-03,5.574300e-03,5.448869e-03,5.330923e-03,5.220159e-03,5.116279e-03,5.018996e-03,4.928026e-03,4.843096e-03,4.763937e-03,4.690288e-03,4.621894e-03,4.558509e-03,4.499892e-03,4.445809e-03,4.396033e-03,4.350343e-03,4.308525e-03,4.270370e-03,4.235678e-03,4.204254e-03,4.175907e-03,4.150456e-03,4.127724e-03,4.107540e-03,4.089740e-03,4.074165e-03,4.060662e-03,4.049084e-03,4.039291e-03,4.031148e-03,4.024525e-03,4.019297e-03,4.015347e-03,4.012563e-03,4.010836e-03,4.010065e-03,4.010153e-03
0.000000e+00,1.028726e-09,8.693018e-08,9.289539e-08,1.438124e-06,9.675692e-06,1.035522e-05,4.394205e-05,1.173361e-04,1.236488e-04,2.560519e-04,4.136385e-04,4.284326e-04,6.211921e-04,7.986724e-04,8.182447e-04,1.009747e-03,1.169696e-03,1.190784e-03,1.359378e-03,1.494023e-03,1.515040e-03,1.657961e-03,1.768513e-03,1.788616e-03,1.907589e-03,1.996865e-03,2.015501e-03,2.112979e-03,2.183864e-03,2.200639e-03,2.279083e-03,2.334246e-03,2.348892e-03,2.410624e-03,2.452467e-03,2.464812e-03,2.511965e-03,2.542613e-03,2.552564e-03,2.587067e-03,2.608377e-03,2.615904e-03,2.639480e-03,2.653059e-03,2.658179e-03,2.672359e-03,2.679594e-03,2.682359e-03,2.688496e-03,2.690577e-03,2.691069e-03,2.690357e-03,2.688299e-03,2.686622e-03,2.680111e-03,2.674783e-03,2.671057e-03,2.659673e-03,2.651811e-03,2.646164e-03,2.630718e-03,2.620943e-03,2.613512e-03,2.594711e-03,2.583543e-03,2.574467e-03,2.552926e-03,2.540801e-03,2.530220e-03,2.506475e-03,2.493756e-03,2.481807e-03,2.456324e-03,2.443309e-03,2.430127e-03,2.403309e-03,2.390243e-03,2.375959e-03,2.348157e-03,2.335237e-03,2.319978e-03,2.291493e-03,2.278879e-03,2.262765e-03,2.233855e-03,2.221671e-03,2.204817e-03,2.175704e-03,2.164048e-03,2.146562e-03,2.117434e-03,2.106378e-03,2.088362e-03,2.059380e-03,2.048976e-03,2.030524e-03,2.001825e-03,1.992107e-03,1.973309e-03,1.945005e-03,1.935996e-03,1.916934e-03,1.889118e-03,1.880826e-03,1.861576e-03,1.834326e-03,1.826751e-03,1.807384e-03,1.780763e-03,1.773895e-03,1.754475e-03,1.728532e-03,1.722358e-03,1.702944e-03,1.677719e-03,1.672219e-03,1.652864e-03,1.628385e-03,1.623535e-03,1.604289e-03,1.580578e-03,1.576351e-03,1.557257e-03,1.534328e-03,1.530696e-03,1.511793e-03,1.489654e-03,1.486586e-03,1.467911e-03,1.446564e-03,1.444029e-03,1.425613e-03,1.405057e-03,1.403023e-03,1.384895e-03,1.365124e-03,1.363559e-03,1.345742e-03,1.326748e-03,1.325620e-03,1.308137e-03,1.289908e-03,1.289187e-03,1.272056e-03,1.254578e-03,1.254233e-03,1.237471e-03,1.220729e-03,1.188645e-03,1.157946e-03,1.128595e-03,1.100556e-03,1.073790e-03,1.048258e-03,1.023921e-03,1.000738e-03,9.786714e-04,9.576807e-04,9.377275e-04,9.187734e-04,9.007806e-04,8.837121e-04,8.675317e-04,8.522040e-04,8.376943e-04,8.239692e-04,8.109957e-04,7.987423e-04,7.871779e-04,7.762727e-04,7.659978e-04,7.563252e-04,7.472278e-04,7.386796e-04,7.306551e-04,7.231302e-04,7.160813e-04,7.094858e-04,7.033219e-04,6.975687e-04,6.922059e-04,6.872142e-04,6.825749e-04,6.782701e-04,6.742825e-04,6.705955e-04,6.671933e-04,6.640606e-04,6.611828e-04,6.585458e-04,6.561363e-04,6.539412e-04,6.519483e-04,6.501458e-04,6.485223e-04,6.470671e-04,6.457697e-04
0.000000e+00,5.248348e-11,6.233356e-09,6.696934e-09,1.306883e-07,1.105765e-06,1.196092e-06,6.859165e-06,2.569686e-05,2.770789e-05,8.506221e-05,1.977105e-04,2.112489e-04,4.462068e-04,7.858060e-04,8.324127e-04,1.409888e-03,2.103173e-03,2.212233e-03,3.264020e-03,4.379211e-03,4.579502e-03,6.162433e-03,7.694585e-03,8.006720e-03,1.009763e-02,1.198109e-02,1.241334e-02,1.492658e-02,1.705859e-02,1.760626e-02,2.041908e-02,2.268349e-02,2.333082e-02,2.630750e-02,2.859300e-02,2.931638e-02,3.232661e-02,3.453823e-02,3.530977e-02,3.824028e-02,4.030483e-02,4.109553e-02,4.385599e-02,4.572297e-02,4.650518e-02,4.902959e-02,5.066932e-02,5.141847e-02,5.366368e-02,5.506393e-02,5.575945e-02,5.770213e-02,5.886422e-02,5.948996e-02,6.112280e-02,6.205785e-02,6.260196e-02,6.392994e-02,6.465558e-02,6.511024e-02,6.614715e-02,6.668480e-02,6.704566e-02,6.781122e-02,6.818402e-02,6.844966e-02,6.896707e-02,6.919835e-02,6.936971e-02,6.966387e-02,6.977608e-02,6.985592e-02,6.995211e-02,6.996621e-02,6.995865e-02,6.988155e-02,6.981658e-02,6.972671e-02,6.949978e-02,6.937270e-02,6.920624e-02,6.885133e-02,6.867703e-02,6.844006e-02,6.797722e-02,6.776855e-02,6.746735e-02,6.691476e-02,6.668268e-02,6.632353e-02,6.569751e-02,6.545126e-02,6.504034e-02,6.435544e-02,6.410271e-02,6.364603e-02,6.291511e-02,6.266221e-02,6.216553e-02,6.139993e-02,6.115196e-02,6.062078e-02,5.983041e-02,5.959144e-02,5.903097e-02,5.822449e-02,5.799766e-02,5.741282e-02,5.659771e-02,5.638543e-02,5.578079e-02,5.496355e-02,5.476752e-02,5.414738e-02,5.333356e-02,5.315496e-02,5.252328e-02,5.171763e-02,5.155715e-02,5.091762e-02,5.012417e-02,4.998211e-02,4.933813e-02,4.856027e-02,4.843662e-02,4.779130e-02,4.703186e-02,4.692633e-02,4.628253e-02,4.554384e-02,4.545594e-02,4.481626e-02,4.410021e-02,4.402925e-02,4.339607e-02,4.270416e-02,4.264935e-02,4.202479e-02,4.135820e-02,4.131861e-02,4.070461e-02,4.006420e-02,4.003886e-02,3.943713e-02,3.882351e-02,3.881138e-02,3.822345e-02,3.763700e-02,3.651619e-02,3.544904e-02,3.443535e-02,3.347468e-02,3.256635e-02,3.170949e-02,3.090308e-02,3.014594e-02,2.943679e-02,2.877426e-02,2.815689e-02,2.758315e-02,2.705147e-02,2.656025e-02,2.610784e-02,2.569259e-02,2.531284e-02,2.496691e-02,2.465315e-02,2.436991e-02,2.411555e-02,2.388846e-02,2.368705e-02,2.350975e-02,2.335506e-02,2.322147e-02,2.310753e-02,2.301184e-02,2.293302e-02,2.286976e-02,2.282077e-02,2.278484e-02,2.276079e-02,2.274748e-02,2.274385e-02,2.274886e-02,2.276156e-02,2.278100e-02,2.280633e-02,2.283673e-02,2.287142e-02,2.290971e-02,2.295090e-02,2.299439e-02,2.303960e-02,2.308601e-02,2.313313e-02,2.318053e-02,2.322779e-02
0.000000e+00,1.058134e-09,1.588612e-08,1.656991e-08,8.952806e-08,2.613520e-07,2.710223e-07,5.710652e-07,9.215657e-07,9.449329e-07,1.335947e-06,1.685853e-06,1.715547e-06,2.075652e-06,2.381750e-06,2.414706e-06,2.732831e-06,2.995920e-06,3.030600e-06,3.308719e-06,3.532765e-06,3.567949e-06,3.809076e-06,3.998208e-06,4.032887e-06,4.240166e-06,4.398336e-06,4.431679e-06,4.608175e-06,4.739049e-06,4.770381e-06,4.919000e-06,5.025927e-06,5.054709e-06,5.178161e-06,5.264173e-06,5.289982e-06,5.390774e-06,5.458599e-06,5.481113e-06,5.561552e-06,5.613636e-06,5.632620e-06,5.694823e-06,5.733351e-06,5.748646e-06,5.794552e-06,5.821472e-06,5.832983e-06,5.864361e-06,5.881405e-06,5.889092e-06,5.907559e-06,5.916262e-06,5.920131e-06,5.927159e-06,5.928880e-06,5.928978e-06,5.925905e-06,5.921842e-06,5.918247e-06,5.906293e-06,5.897500e-06,5.890318e-06,5.870586e-06,5.857988e-06,5.847347e-06,5.820839e-06,5.805246e-06,5.791290e-06,5.758914e-06,5.741030e-06,5.723917e-06,5.686494e-06,5.666931e-06,5.646830e-06,5.605101e-06,5.584387e-06,5.561474e-06,5.516107e-06,5.494696e-06,5.469152e-06,5.420750e-06,5.399030e-06,5.371037e-06,5.320141e-06,5.298441e-06,5.268183e-06,5.215280e-06,5.193878e-06,5.161538e-06,5.107062e-06,5.086189e-06,5.051948e-06,4.996289e-06,4.976135e-06,4.940171e-06,4.883676e-06,4.864396e-06,4.826881e-06,4.769860e-06,4.751576e-06,4.712680e-06,4.655406e-06,4.638215e-06,4.598099e-06,4.540816e-06,4.524788e-06,4.483609e-06,4.426530e-06,4.411716e-06,4.369625e-06,4.312939e-06,4.299371e-06,4.256511e-06,4.200381e-06,4.188076e-06,4.144584e-06,4.089154e-06,4.078115e-06,4.034121e-06,3.979514e-06,3.969732e-06,3.925359e-06,3.871681e-06,3.863138e-06,3.818503e-06,3.765844e-06,3.758515e-06,3.713726e-06,3.662163e-06,3.656014e-06,3.611173e-06,3.560770e-06,3.555763e-06,3.510967e-06,3.461775e-06,3.457866e-06,3.413205e-06,3.365265e-06,3.362409e-06,3.317965e-06,3.271311e-06,3.269458e-06,3.225309e-06,3.179964e-06,3.179063e-06,3.135280e-06,3.091261e-06,3.006073e-06,2.923511e-06,2.843576e-06,2.766261e-06,2.691550e-06,2.619420e-06,2.549842e-06,2.482783e-06,2.418204e-06,2.356063e-06,2.296315e-06,2.238911e-06,2.183800e-06,2.130931e-06,2.080248e-06,2.031697e-06,1.985223e-06,1.940769e-06,1.898279e-06,1.857697e-06,1.818965e-06,1.782027e-06,1.746828e-06,1.713312e-06,1.681425e-06,1.651112e-06,1.622321e-06,1.595000e-06,1.569098e-06,1.544564e-06,1.521350e-06,1.499407e-06,1.478689e-06,1.459150e-06,1.440744e-06,1.423430e-06,1.407164e-06,1.391905e-06,1.377612e-06,1.364248e-06,1.351773e-06,1.340152e-06,1.329349e-06,1.319328e-06,1.310058e-06,1.301503e-06,1.293635e-06,1.286421e-06,1.279833e-06
0.000000e+00,1.951109e-10,1.954881e-08,2.093994e-08,3.584385e-07,2.715762e-06,2.924154e-06,1.490004e-05,4.950956e-05,5.295713e-05,1.411865e-04,2.851125e-04,3.008187e-04,5.410030e-04,8.225445e-04,8.572387e-04,1.235449e-03,1.605085e-03,1.657415e-03,2.105020e-03,2.498478e-03,2.562658e-03,3.018129e-03,3.392494e-03,3.462591e-03,3.890061e-03,4.225219e-03,4.296786e-03,4.680643e-03,4.970581e-03,5.040658e-03,5.376622e-03,5.622158e-03,5.688834e-03,5.977902e-03,6.182600e-03,6.244622e-03,6.489899e-03,6.658159e-03,6.714687e-03,6.919956e-03,7.056206e-03,7.106670e-03,7.275775e-03,7.384163e-03,7.428188e-03,7.564797e-03,7.649100e-03,7.686455e-03,7.793979e-03,7.857586e-03,7.888155e-03,7.969730e-03,8.015658e-03,8.039421e-03,8.097911e-03,8.128836e-03,8.145851e-03,8.183863e-03,8.202153e-03,8.212540e-03,8.232446e-03,8.240185e-03,8.244118e-03,8.248068e-03,8.247090e-03,8.244785e-03,8.234731e-03,8.226643e-03,8.218348e-03,8.196056e-03,8.182262e-03,8.168254e-03,8.135321e-03,8.117044e-03,8.097619e-03,8.055489e-03,8.033791e-03,8.009258e-03,7.959234e-03,7.935031e-03,7.905710e-03,7.848966e-03,7.823046e-03,7.789264e-03,7.726855e-03,7.699894e-03,7.661976e-03,7.594853e-03,7.567422e-03,7.525696e-03,7.454709e-03,7.427294e-03,7.382082e-03,7.307994e-03,7.280998e-03,7.232616e-03,7.156109e-03,7.129867e-03,7.078625e-03,7.000308e-03,6.975092e-03,6.921291e-03,6.841704e-03,6.817734e-03,6.761665e-03,6.681288e-03,6.658737e-03,6.600679e-03,6.519938e-03,6.498936e-03,6.439159e-03,6.358428e-03,6.339069e-03,6.277829e-03,6.197440e-03,6.179789e-03,6.117331e-03,6.037570e-03,6.021665e-03,5.958220e-03,5.879341e-03,5.865196e-03,5.800985e-03,5.723204e-03,5.710816e-03,5.646045e-03,5.569551e-03,5.558897e-03,5.493762e-03,5.418716e-03,5.409761e-03,5.344445e-03,5.270982e-03,5.263681e-03,5.198355e-03,5.126589e-03,5.120886e-03,5.055709e-03,4.985735e-03,4.981566e-03,4.916687e-03,4.848582e-03,4.845878e-03,4.781435e-03,4.715258e-03,4.713945e-03,4.650065e-03,4.585864e-03,4.461707e-03,4.341523e-03,4.225342e-03,4.113176e-03,4.005023e-03,3.900865e-03,3.800674e-03,3.704410e-03,3.612026e-03,3.523464e-03,3.438662e-03,3.357552e-03,3.280059e-03,3.206106e-03,3.135612e-03,3.068492e-03,3.004662e-03,2.944034e-03,2.886517e-03,2.832023e-03,2.780461e-03,2.731742e-03,2.685774e-03,2.642468e-03,2.601734e-03,2.563484e-03,2.527629e-03,2.494084e-03,2.462763e-03,2.433582e-03,2.406457e-03,2.381307e-03,2.358052e-03,2.336614e-03,2.316916e-03,2.298882e-03,2.282440e-03,2.267516e-03,2.254042e-03,2.241948e-03,2.231168e-03,2.221637e-03,2.213291e-03,2.206068e-03,2.199910e-03,2.194757e-03,2.190553e-03,2.187243e-03,2.184775e-03
0.000000e+00,8.822513e-11,8.723730e-09,9.342631e-09,1.581284e-07,1.176733e-06,1.265855e-06,6.281308e-06,2.029351e-05,2.166710e-05,5.602454e-05,1.098940e-04,1.156461e-04,2.010275e-04,2.956555e-04,3.069408e-04,4.248905e-04,5.314512e-04,5.458532e-04,6.621545e-04,7.541898e-04,7.682934e-04,8.609988e-04,9.274220e-04,9.388702e-04,1.001873e-03,1.043020e-03,1.050859e-03,1.087181e-03,1.108170e-03,1.112404e-03,1.128126e-03,1.134772e-03,1.135860e-03,1.136981e-03,1.134158e-03,1.132695e-03,1.124046e-03,1.115360e-03,1.111915e-03,1.097044e-03,1.084990e-03,1.080048e-03,1.061437e-03,1.047675e-03,1.041628e-03,1.020962e-03,1.006564e-03,9.997177e-04,9.781203e-04,9.637628e-04,9.563523e-04,9.345604e-04,9.206562e-04,9.128618e-04,8.913499e-04,8.781394e-04,8.700985e-04,8.491653e-04,8.367771e-04,8.285950e-04,8.084216e-04,7.969132e-04,7.886705e-04,7.693600e-04,7.587434e-04,7.505026e-04,7.321061e-04,7.223652e-04,7.141746e-04,6.967092e-04,6.878111e-04,6.797086e-04,6.631694e-04,6.550714e-04,6.470868e-04,6.314545e-04,6.241089e-04,6.162654e-04,6.015115e-04,5.948685e-04,5.871843e-04,5.732751e-04,5.672850e-04,5.597745e-04,5.466732e-04,5.412875e-04,5.339617e-04,5.216304e-04,5.168022e-04,5.096697e-04,4.980699e-04,4.937547e-04,4.868217e-04,4.759157e-04,4.720715e-04,4.653425e-04,4.550932e-04,4.516805e-04,4.451586e-04,4.355302e-04,4.325123e-04,4.261991e-04,4.171572e-04,4.144997e-04,4.083959e-04,3.999074e-04,3.975785e-04,3.916838e-04,3.837173e-04,3.816871e-04,3.760004e-04,3.685259e-04,3.667673e-04,3.612866e-04,3.542757e-04,3.527632e-04,3.474863e-04,3.409120e-04,3.396224e-04,3.345463e-04,3.283831e-04,3.272947e-04,3.224162e-04,3.166398e-04,3.157329e-04,3.110483e-04,3.056360e-04,3.048923e-04,3.003976e-04,2.953278e-04,2.947305e-04,2.904215e-04,2.856738e-04,2.852076e-04,2.810799e-04,2.766351e-04,2.762859e-04,2.723350e-04,2.681750e-04,2.679298e-04,2.641510e-04,2.602587e-04,2.601057e-04,2.564942e-04,2.528536e-04,2.527820e-04,2.493330e-04,2.459288e-04,2.395180e-04,2.335231e-04,2.279191e-04,2.226825e-04,2.177911e-04,2.132242e-04,2.089619e-04,2.049859e-04,2.012788e-04,1.978242e-04,1.946066e-04,1.916117e-04,1.888256e-04,1.862357e-04,1.838297e-04,1.815965e-04,1.795252e-04,1.776058e-04,1.758289e-04,1.741856e-04,1.726675e-04,1.712667e-04,1.699760e-04,1.687882e-04,1.676970e-04,1.666960e-04,1.657797e-04,1.649424e-04,1.641792e-04,1.634852e-04,1.628560e-04,1.622872e-04,1.617750e-04,1.613155e-04,1.609053e-04,1.605410e-04,1.602196e-04,1.599382e-04,1.596939e-04,1.594843e-04,1.593069e-04,1.591596e-04,1.590400e-04,1.589463e-04,1.588766e-04,1.588291e-04,1.588022e-04,1.587943e-04,1.588040e-04
0.000000e+00,1.480751e-09,2.002469e-08,2.090184e-08,1.253084e-07,4.149288e-07,4.323045e-07,1.001281e-06,1.699656e-06,1.746630e-06,2.533585e-06,3.236475e-06,3.296032e-06,4.017224e-06,4.628882e-06,4.694671e-06,5.329146e-06,5.853154e-06,5.922187e-06,6.475522e-06,6.920978e-06,6.990914e-06,7.470114e-06,7.845928e-06,7.914836e-06,8.326748e-06,8.641164e-06,8.707460e-06,9.058528e-06,9.319044e-06,9.381445e-06,9.677645e-06,9.891020e-06,9.948502e-06,1.019533e-05,1.036763e-05,1.041939e-05,1.062189e-05,1.075853e-05,1.080397e-05,1.096674e-05,1.107256e-05,1.111123e-05,1.123846e-05,1.131777e-05,1.134938e-05,1.144490e-05,1.150150e-05,1.152589e-05,1.159317e-05,1.163045e-05,1.164753e-05,1.168973e-05,1.171069e-05,1.172049e-05,1.174049e-05,1.174777e-05,1.175037e-05,1.175076e-05,1.174668e-05,1.174224e-05,1.172538e-05,1.171198e-05,1.170070e-05,1.166871e-05,1.164779e-05,1.162991e-05,1.158473e-05,1.155784e-05,1.153362e-05,1.147700e-05,1.144550e-05,1.141525e-05,1.134874e-05,1.131382e-05,1.127784e-05,1.120287e-05,1.116553e-05,1.112415e-05,1.104199e-05,1.100312e-05,1.095668e-05,1.086847e-05,1.082881e-05,1.077764e-05,1.068442e-05,1.064461e-05,1.058904e-05,1.049173e-05,1.045231e-05,1.039268e-05,1.029210e-05,1.025352e-05,1.019017e-05,1.008706e-05,1.004968e-05,9.982929e-06,9.877944e-06,9.842080e-06,9.772247e-06,9.665975e-06,9.631868e-06,9.559258e-06,9.452219e-06,9.420062e-06,9.344973e-06,9.237627e-06,9.207567e-06,9.130284e-06,9.023039e-06,8.995183e-06,8.915982e-06,8.809195e-06,8.783615e-06,8.702758e-06,8.596744e-06,8.573484e-06,8.491221e-06,8.386253e-06,8.365332e-06,8.281901e-06,8.178218e-06,8.159630e-06,8.075257e-06,7.973065e-06,7.956788e-06,7.871686e-06,7.771161e-06,7.757158e-06,7.671528e-06,7.572821e-06,7.561040e-06,7.475072e-06,7.378309e-06,7.368688e-06,7.282560e-06,7.187847e-06,7.180316e-06,7.094193e-06,7.001617e-06,6.996098e-06,6.910137e-06,6.819767e-06,6.816176e-06,6.730522e-06,6.642413e-06,6.640662e-06,6.555450e-06,6.469642e-06,6.303176e-06,6.141304e-06,5.984047e-06,5.831409e-06,5.683380e-06,5.539935e-06,5.401041e-06,5.266652e-06,5.136713e-06,5.011165e-06,4.889940e-06,4.772964e-06,4.660161e-06,4.551448e-06,4.446741e-06,4.345952e-06,4.248993e-06,4.155774e-06,4.066201e-06,3.980183e-06,3.897628e-06,3.818442e-06,3.742534e-06,3.669811e-06,3.600182e-06,3.533557e-06,3.469846e-06,3.408962e-06,3.350818e-06,3.295329e-06,3.242409e-06,3.191977e-06,3.143953e-06,3.098255e-06,3.054808e-06,3.013536e-06,2.974363e-06,2.937218e-06,2.902030e-06,2.868729e-06,2.837250e-06,2.807525e-06,2.779491e-06,2.753086e-06,2.728249e-06,2.704921e-06,2.683045e-06,2.662566e-06,2.643428e-06
0.000000e+00,6.308083e-10,4.952803e-08,5.285603e-08,7.724442e-07,4.988326e-06,5.331132e-06,2.205671e-05,5.851069e-05,6.165519e-05,1.277406e-04,2.060305e-04,2.133337e-04,3.075291e-04,3.925227e-04,4.017904e-04,4.913740e-04,5.647003e-04,5.742676e-04,6.499139e-04,7.092340e-04,7.184029e-04,7.800740e-04,8.269160e-04,8.353479e-04,8.846593e-04,9.209436e-04,9.284326e-04,9.670736e-04,9.945500e-04,1.000966e-03,1.030472e-03,1.050660e-03,1.055930e-03,1.077658e-03,1.091859e-03,1.095951e-03,1.111087e-03,1.120406e-03,1.123322e-03,1.132896e-03,1.138267e-03,1.140032e-03,1.144936e-03,1.147145e-03,1.147801e-03,1.148806e-03,1.148511e-03,1.148115e-03,1.145883e-03,1.143635e-03,1.142252e-03,1.137353e-03,1.133609e-03,1.131308e-03,1.124232e-03,1.119372e-03,1.116227e-03,1.107392e-03,1.101730e-03,1.097815e-03,1.087580e-03,1.081371e-03,1.076761e-03,1.065431e-03,1.058886e-03,1.053652e-03,1.041486e-03,1.034775e-03,1.028988e-03,1.016207e-03,1.009466e-03,1.003191e-03,9.899827e-04,9.833185e-04,9.766207e-04,9.631411e-04,9.566390e-04,9.495771e-04,9.359586e-04,9.296836e-04,9.223133e-04,9.086663e-04,9.026670e-04,8.950403e-04,8.814562e-04,8.757679e-04,8.679328e-04,8.544872e-04,8.491343e-04,8.411348e-04,8.278895e-04,8.228870e-04,8.147638e-04,8.017688e-04,7.971245e-04,7.889145e-04,7.762097e-04,7.719255e-04,7.636622e-04,7.512790e-04,7.473521e-04,7.390660e-04,7.270283e-04,7.234519e-04,7.151705e-04,7.034962e-04,7.002607e-04,6.920086e-04,6.807102e-04,6.778039e-04,6.696031e-04,6.586889e-04,6.560983e-04,6.479685e-04,6.374428e-04,6.351532e-04,6.271119e-04,6.169759e-04,6.149721e-04,6.070345e-04,5.972869e-04,5.955529e-04,5.877324e-04,5.783697e-04,5.768894e-04,5.691977e-04,5.602148e-04,5.589722e-04,5.514193e-04,5.428095e-04,5.417887e-04,5.343833e-04,5.261388e-04,5.253242e-04,5.180736e-04,5.101856e-04,5.095621e-04,5.024724e-04,4.949316e-04,4.944845e-04,4.875606e-04,4.803570e-04,4.800723e-04,4.733182e-04,4.664415e-04,4.663056e-04,4.597244e-04,4.531641e-04,4.406271e-04,4.286738e-04,4.172834e-04,4.064351e-04,3.961084e-04,3.862833e-04,3.769398e-04,3.680587e-04,3.596209e-04,3.516081e-04,3.440024e-04,3.367865e-04,3.299435e-04,3.234573e-04,3.173122e-04,3.114929e-04,3.059851e-04,3.007745e-04,2.958478e-04,2.911920e-04,2.867945e-04,2.826435e-04,2.787274e-04,2.750353e-04,2.715566e-04,2.682813e-04,2.651995e-04,2.623020e-04,2.595801e-04,2.570251e-04,2.546290e-04,2.523839e-04,2.502825e-04,2.483177e-04,2.464826e-04,2.447708e-04,2.431761e-04,2.416925e-04,2.403144e-04,2.390365e-04,2.378535e-04,2.367605e-04,2.357528e-04,2.348260e-04,2.339757e-04,2.331979e-04,2.324887e-04,2.318444e-04,2.312614e-04
0.000000e+00,5.896782e-10,4.506229e-08,4.811462e-08,7.335918e-07,4.860746e-06,5.196041e-06,2.103727e-05,5.221963e-05,5.473746e-05,1.033170e-04,1.536015e-04,1.580099e-04,2.116958e-04,2.561840e-04,2.608523e-04,3.043725e-04,3.379979e-04,3.422582e-04,3.749062e-04,3.991709e-04,4.028104e-04,4.264578e-04,4.433625e-04,4.462985e-04,4.627408e-04,4.739472e-04,4.761531e-04,4.868676e-04,4.936994e-04,4.951843e-04,5.013737e-04,5.048829e-04,5.056803e-04,5.083244e-04,5.093448e-04,5.095043e-04,5.093985e-04,5.085874e-04,5.081673e-04,5.059546e-04,5.038265e-04,5.028891e-04,4.990859e-04,4.960404e-04,4.946480e-04,4.896671e-04,4.860119e-04,4.842248e-04,4.783938e-04,4.743642e-04,4.722388e-04,4.658171e-04,4.615909e-04,4.591794e-04,4.523706e-04,4.480809e-04,4.454306e-04,4.383941e-04,4.341390e-04,4.312922e-04,4.241519e-04,4.200024e-04,4.169969e-04,4.098480e-04,4.058542e-04,4.027234e-04,3.956388e-04,3.918347e-04,3.886079e-04,3.816424e-04,3.780496e-04,3.747524e-04,3.679466e-04,3.645775e-04,3.612321e-04,3.546153e-04,3.514754e-04,3.481011e-04,3.416937e-04,3.387831e-04,3.353965e-04,3.292121e-04,3.265273e-04,3.231425e-04,3.171892e-04,3.147238e-04,3.113531e-04,3.056348e-04,3.033804e-04,3.000343e-04,2.945515e-04,2.924988e-04,2.891860e-04,2.839369e-04,2.820756e-04,2.788034e-04,2.737843e-04,2.721037e-04,2.688784e-04,2.640842e-04,2.625734e-04,2.594001e-04,2.548246e-04,2.534729e-04,2.503559e-04,2.459923e-04,2.447890e-04,2.417319e-04,2.375728e-04,2.365078e-04,2.335131e-04,2.295510e-04,2.286144e-04,2.256844e-04,2.219115e-04,2.210938e-04,2.182302e-04,2.146387e-04,2.139310e-04,2.111349e-04,2.077171e-04,2.071108e-04,2.043832e-04,2.011314e-04,2.006186e-04,1.979598e-04,1.948666e-04,1.944397e-04,1.918499e-04,1.889080e-04,1.885599e-04,1.860392e-04,1.832416e-04,1.829657e-04,1.805136e-04,1.778535e-04,1.776436e-04,1.752597e-04,1.727306e-04,1.725809e-04,1.702645e-04,1.678601e-04,1.677652e-04,1.655157e-04,1.632298e-04,1.631847e-04,1.610011e-04,1.588281e-04,1.546846e-04,1.507437e-04,1.469956e-04,1.434309e-04,1.400404e-04,1.368157e-04,1.337486e-04,1.308313e-04,1.280563e-04,1.254166e-04,1.229055e-04,1.205167e-04,1.182440e-04,1.160817e-04,1.140244e-04,1.120667e-04,1.102039e-04,1.084311e-04,1.067439e-04,1.051380e-04,1.036095e-04,1.021545e-04,1.007693e-04,9.945052e-05,9.819485e-05,9.699918e-05,9.586054e-05,9.477613e-05,9.374326e-05,9.275940e-05,9.182213e-05,9.092918e-05,9.007836e-05,8.926761e-05,8.849496e-05,8.775855e-05,8.705661e-05,8.638746e-05,8.574949e-05,8.514120e-05,8.456114e-05,8.400793e-05,8.348028e-05,8.297695e-05,8.249676e-05,8.203861e-05,8.160141e-05,8.118418e-05,8.078594e-05
0.000000e+00,4.547221e-09,7.429369e-08,7.766888e-08,5.073774e-07,1.856450e-06,1.942343e-06,4.955951e-06,8.963763e-06,9.238341e-06,1.381704e-05,1.776159e-05,1.808645e-05,2.188555e-05,2.489779e-05,2.520968e-05,2.809244e-05,3.029651e-05,3.057456e-05,3.269583e-05,3.425961e-05,3.449295e-05,3.599909e-05,3.706195e-05,3.724498e-05,3.825858e-05,3.893427e-05,3.906526e-05,3.968802e-05,4.006779e-05,4.014757e-05,4.046265e-05,4.061900e-05,4.065008e-05,4.072499e-05,4.071511e-05,4.070100e-05,4.059029e-05,4.045900e-05,4.040379e-05,4.015128e-05,3.993355e-05,3.984151e-05,3.948232e-05,3.920525e-05,3.908069e-05,3.864284e-05,3.832729e-05,3.817435e-05,3.768016e-05,3.734208e-05,3.716468e-05,3.663182e-05,3.628330e-05,3.608507e-05,3.552750e-05,3.517759e-05,3.496185e-05,3.439054e-05,3.404592e-05,3.381569e-05,3.323918e-05,3.290470e-05,3.266266e-05,3.208758e-05,3.176664e-05,3.151520e-05,3.094663e-05,3.064152e-05,3.038282e-05,2.982459e-05,2.953677e-05,2.927267e-05,2.872765e-05,2.845789e-05,2.819005e-05,2.766030e-05,2.740893e-05,2.713878e-05,2.662576e-05,2.639270e-05,2.612149e-05,2.562616e-05,2.541108e-05,2.513990e-05,2.466283e-05,2.446521e-05,2.419500e-05,2.373645e-05,2.355563e-05,2.328718e-05,2.284719e-05,2.268242e-05,2.241643e-05,2.199485e-05,2.184531e-05,2.158237e-05,2.117892e-05,2.104378e-05,2.078438e-05,2.039866e-05,2.027707e-05,2.002164e-05,1.965319e-05,1.954431e-05,1.929319e-05,1.894149e-05,1.884448e-05,1.859796e-05,1.826246e-05,1.817653e-05,1.793484e-05,1.761496e-05,1.753932e-05,1.730266e-05,1.699780e-05,1.693172e-05,1.670024e-05,1.640981e-05,1.635257e-05,1.612637e-05,1.584979e-05,1.580071e-05,1.557989e-05,1.531656e-05,1.527502e-05,1.505963e-05,1.480896e-05,1.477436e-05,1.456443e-05,1.432588e-05,1.429765e-05,1.409319e-05,1.386621e-05,1.384382e-05,1.364482e-05,1.342889e-05,1.341185e-05,1.321829e-05,1.301289e-05,1.300073e-05,1.281257e-05,1.261721e-05,1.260950e-05,1.242670e-05,1.224091e-05,1.223724e-05,1.205974e-05,1.188307e-05,1.154614e-05,1.122562e-05,1.092074e-05,1.063076e-05,1.035495e-05,1.009265e-05,9.843203e-06,9.605987e-06,9.380415e-06,9.165924e-06,8.961977e-06,8.768064e-06,8.583699e-06,8.408418e-06,8.241781e-06,8.083368e-06,7.932779e-06,7.789635e-06,7.653572e-06,7.524247e-06,7.401332e-06,7.284515e-06,7.173499e-06,7.068003e-06,6.967758e-06,6.872508e-06,6.782010e-06,6.696033e-06,6.614358e-06,6.536774e-06,6.463084e-06,6.393097e-06,6.326634e-06,6.263524e-06,6.203602e-06,6.146716e-06,6.092717e-06,6.041464e-06,5.992825e-06,5.946673e-06,5.902887e-06,5.861352e-06,5.821959e-06,5.784603e-06,5.749187e-06,5.715617e-06,5.683802e-06,5.653657e-06,5.625102e-06
0.000000e+00,3.293269e-09,1.507095e-07,1.593367e-07,1.592636e-06,8.159406e-06,8.654005e-06,3.068543e-05,7.336013e-05,7.684888e-05,1.454868e-04,2.187709e-04,2.253038e-04,3.066523e-04,3.774422e-04,3.851036e-04,4.592307e-04,5.206274e-04,5.287213e-04,5.936145e-04,6.458557e-04,6.540559e-04,7.102225e-04,7.542346e-04,7.622999e-04,8.104741e-04,8.471936e-04,8.549291e-04,8.958455e-04,9.261492e-04,9.333992e-04,9.677613e-04,9.924549e-04,9.990975e-04,1.027568e-03,1.047383e-03,1.053325e-03,1.076519e-03,1.092115e-03,1.097290e-03,1.115774e-03,1.127739e-03,1.132100e-03,1.146393e-03,1.155251e-03,1.158770e-03,1.169345e-03,1.175561e-03,1.178224e-03,1.185510e-03,1.189493e-03,1.191299e-03,1.195684e-03,1.197795e-03,1.198754e-03,1.200591e-03,1.201146e-03,1.201275e-03,1.200882e-03,1.200158e-03,1.199482e-03,1.197144e-03,1.195384e-03,1.193932e-03,1.189908e-03,1.187321e-03,1.185128e-03,1.179649e-03,1.176417e-03,1.173521e-03,1.166795e-03,1.163076e-03,1.159516e-03,1.151730e-03,1.147659e-03,1.143477e-03,1.134797e-03,1.130490e-03,1.125728e-03,1.116304e-03,1.111860e-03,1.106560e-03,1.096526e-03,1.092026e-03,1.086231e-03,1.075705e-03,1.071221e-03,1.064973e-03,1.054061e-03,1.049651e-03,1.042991e-03,1.031786e-03,1.027496e-03,1.020466e-03,1.009050e-03,1.004921e-03,9.975582e-04,9.860062e-04,9.820678e-04,9.744106e-04,9.627863e-04,9.590628e-04,9.511475e-04,9.395074e-04,9.360170e-04,9.278783e-04,9.162717e-04,9.130274e-04,9.046983e-04,8.931682e-04,8.901786e-04,8.816905e-04,8.702741e-04,8.675442e-04,8.589268e-04,8.476562e-04,8.451876e-04,8.364689e-04,8.253715e-04,8.231634e-04,8.143697e-04,8.034688e-04,8.015178e-04,7.926738e-04,7.819890e-04,7.802899e-04,7.714184e-04,7.609659e-04,7.595121e-04,7.506345e-04,7.404273e-04,7.392109e-04,7.303471e-04,7.203961e-04,7.194082e-04,7.105764e-04,7.008899e-04,7.001208e-04,6.913382e-04,6.819225e-04,6.813619e-04,6.726440e-04,6.635036e-04,6.631409e-04,6.545019e-04,6.456395e-04,6.454637e-04,6.369167e-04,6.283337e-04,6.117515e-04,5.957158e-04,5.802232e-04,5.652689e-04,5.508465e-04,5.369485e-04,5.235662e-04,5.106900e-04,4.983099e-04,4.864148e-04,4.749936e-04,4.640344e-04,4.535254e-04,4.434542e-04,4.338085e-04,4.245758e-04,4.157437e-04,4.072997e-04,3.992314e-04,3.915266e-04,3.841730e-04,3.771587e-04,3.704718e-04,3.641008e-04,3.580343e-04,3.522611e-04,3.467703e-04,3.415512e-04,3.365934e-04,3.318868e-04,3.274216e-04,3.231880e-04,3.191769e-04,3.153791e-04,3.117859e-04,3.083887e-04,3.051793e-04,3.021497e-04,2.992922e-04,2.965992e-04,2.940636e-04,2.916784e-04,2.894368e-04,2.873322e-04,2.853586e-04,2.835096e-04,2.817797e-04,2.801630e-04,2.786542e-04
0.000000e+00,1.545911e-09,1.892505e-07,2.034320e-07,4.051218e-06,3.467389e-05,3.752243e-05,2.180633e-04,8.353802e-04,9.024167e-04,2.876013e-03,6.977514e-03,7.485027e-03,1.664944e-02,3.076950e-02,3.277068e-02,5.857742e-02,9.158498e-02,9.694848e-02,1.507399e-01,2.113847e-01,2.226320e-01,3.150048e-01,4.098919e-01,4.298450e-01,5.686829e-01,7.011816e-01,7.325578e-01,9.220121e-01,1.092040e+00,1.137093e+00,1.377386e+00,1.581788e+00,1.642047e+00,1.929853e+00,2.163120e+00,2.239251e+00,2.568414e+00,2.823521e+00,2.915293e+00,3.277671e+00,3.546873e+00,3.653215e+00,4.039519e+00,4.315032e+00,4.434152e+00,4.834693e+00,5.109219e+00,5.238763e+00,5.644056e+00,5.911141e+00,6.048362e+00,6.449587e+00,6.703841e+00,6.845767e+00,7.235083e+00,7.472272e+00,7.615864e+00,7.986595e+00,8.203638e+00,8.345919e+00,8.692636e+00,8.887538e+00,9.025703e+00,9.344227e+00,9.515963e+00,9.647459e+00,9.934795e+00,1.008317e+01,1.020576e+01,1.046000e+01,1.058551e+01,1.069729e+01,1.091749e+01,1.102117e+01,1.112058e+01,1.130663e+01,1.138992e+01,1.147578e+01,1.162825e+01,1.169286e+01,1.176432e+01,1.188433e+01,1.193214e+01,1.198867e+01,1.207778e+01,1.211077e+01,1.215212e+01,1.221221e+01,1.223236e+01,1.225855e+01,1.229171e+01,1.230097e+01,1.231223e+01,1.232070e+01,1.232090e+01,1.231767e+01,1.230374e+01,1.229662e+01,1.227948e+01,1.224547e+01,1.223262e+01,1.220227e+01,1.215045e+01,1.213331e+01,1.209056e+01,1.202314e+01,1.200298e+01,1.194871e+01,1.186778e+01,1.184574e+01,1.178086e+01,1.168842e+01,1.166546e+01,1.159093e+01,1.148883e+01,1.146579e+01,1.138256e+01,1.127253e+01,1.125010e+01,1.115913e+01,1.104274e+01,1.102150e+01,1.092372e+01,1.080242e+01,1.078282e+01,1.067915e+01,1.055423e+01,1.053663e+01,1.042796e+01,1.030060e+01,1.028526e+01,1.017242e+01,1.004367e+01,1.003077e+01,9.914578e+00,9.785363e+00,9.775026e+00,9.656228e+00,9.527366e+00,9.519647e+00,9.398956e+00,9.271163e+00,9.266067e+00,9.144144e+00,9.018041e+00,9.015529e+00,8.892988e+00,8.769109e+00,8.527727e+00,8.292163e+00,8.063069e+00,7.840981e+00,7.626333e+00,7.419466e+00,7.220639e+00,7.030037e+00,6.847782e+00,6.673935e+00,6.508509e+00,6.351471e+00,6.202751e+00,6.062243e+00,5.929812e+00,5.805298e+00,5.688517e+00,5.579270e+00,5.477340e+00,5.382498e+00,5.294502e+00,5.213102e+00,5.138042e+00,5.069061e+00,5.005892e+00,4.948268e+00,4.895922e+00,4.848585e+00,4.805992e+00,4.767879e+00,4.733985e+00,4.704054e+00,4.677835e+00,4.655082e+00,4.635554e+00,4.619020e+00,4.605252e+00,4.594034e+00,4.585153e+00,4.578409e+00,4.573607e+00,4.570562e+00,4.569098e+00,4.569046e+00,4.570248e+00,4.572555e+00,4.575825e+00,4.579925e+00,4.584733e+00
0.000000e+00,1.678165e-10,1.838826e-08,1.974351e-08,3.803512e-07,3.117698e-06,3.364492e-06,1.769081e-05,5.846142e-05,6.246202e-05,1.623441e-04,3.192147e-04,3.360459e-04,5.889376e-04,8.780779e-04,9.133123e-04,1.292990e-03,1.657413e-03,1.708528e-03,2.141132e-03,2.514559e-03,2.574847e-03,2.997371e-03,3.337168e-03,3.399983e-03,3.777043e-03,4.064849e-03,4.125336e-03,4.443441e-03,4.676052e-03,4.731200e-03,4.989293e-03,5.170780e-03,5.218934e-03,5.421647e-03,5.558731e-03,5.599114e-03,5.753070e-03,5.852878e-03,5.885242e-03,5.997312e-03,6.066460e-03,6.090885e-03,6.167482e-03,6.211766e-03,6.228528e-03,6.275358e-03,6.299718e-03,6.309211e-03,6.331242e-03,6.339828e-03,6.342518e-03,6.344025e-03,6.340288e-03,6.336678e-03,6.321318e-03,6.308115e-03,6.298724e-03,6.269611e-03,6.249293e-03,6.234642e-03,6.194424e-03,6.168916e-03,6.149518e-03,6.100438e-03,6.071309e-03,6.047659e-03,5.991616e-03,5.960137e-03,5.932709e-03,5.871306e-03,5.838504e-03,5.807745e-03,5.742335e-03,5.709026e-03,5.675359e-03,5.607077e-03,5.573909e-03,5.537728e-03,5.467527e-03,5.435005e-03,5.396675e-03,5.325352e-03,5.293863e-03,5.253723e-03,5.181939e-03,5.151777e-03,5.110137e-03,5.038440e-03,5.009817e-03,4.966963e-03,4.895806e-03,4.868869e-03,4.825061e-03,4.754812e-03,4.729658e-03,4.685132e-03,4.616090e-03,4.592771e-03,4.547744e-03,4.480148e-03,4.458683e-03,4.413349e-03,4.347388e-03,4.327769e-03,4.282302e-03,4.218123e-03,4.200319e-03,4.154877e-03,4.092590e-03,4.076555e-03,4.031280e-03,3.970965e-03,3.956639e-03,3.911658e-03,3.853369e-03,3.840683e-03,3.796107e-03,3.739878e-03,3.728756e-03,3.684685e-03,3.630531e-03,3.620893e-03,3.577415e-03,3.525335e-03,3.517099e-03,3.474290e-03,3.424274e-03,3.417354e-03,3.375282e-03,3.327307e-03,3.321618e-03,3.280342e-03,3.234379e-03,3.229837e-03,3.189407e-03,3.145418e-03,3.141941e-03,3.102400e-03,3.060342e-03,3.057849e-03,3.019234e-03,2.979062e-03,2.977474e-03,2.939814e-03,2.901478e-03,2.900721e-03,2.864041e-03,2.827489e-03,2.757677e-03,2.691177e-03,2.627884e-03,2.567689e-03,2.510484e-03,2.456163e-03,2.404619e-03,2.355748e-03,2.309445e-03,2.265610e-03,2.224145e-03,2.184953e-03,2.147939e-03,2.113011e-03,2.080081e-03,2.049062e-03,2.019869e-03,1.992422e-03,1.966642e-03,1.942452e-03,1.919778e-03,1.898550e-03,1.878698e-03,1.860157e-03,1.842861e-03,1.826751e-03,1.811765e-03,1.797847e-03,1.784941e-03,1.772995e-03,1.761958e-03,1.751781e-03,1.742417e-03,1.733820e-03,1.725947e-03,1.718757e-03,1.712210e-03,1.706267e-03,1.700892e-03,1.696051e-03,1.691709e-03,1.687835e-03,1.684399e-03,1.681370e-03,1.678722e-03,1.676427e-03,1.674461e-03,1.672800e-03,1.671421e-03
0.000000e+00,2.020542e-09,2.684320e-07,2.892083e-07,6.541924e-06,6.253590e-05,6.793430e-05,4.243987e-04,1.672994e-03,1.808660e-03,5.768712e-03,1.383983e-02,1.482841e-02,3.245346e-02,5.912824e-02,6.287969e-02,1.108669e-01,1.716006e-01,1.814263e-01,2.795534e-01,3.896170e-01,4.099887e-01,5.770157e-01,7.483006e-01,7.843023e-01,1.034787e+00,1.273944e+00,1.330606e+00,1.673060e+00,1.980938e+00,2.062610e+00,2.498905e+00,2.870973e+00,2.980829e+00,3.506564e+00,3.933942e+00,4.073669e+00,4.679159e+00,5.149927e+00,5.319596e+00,5.991175e+00,6.491713e+00,6.689815e+00,7.411237e+00,7.927434e+00,8.151042e+00,8.904789e+00,9.423040e+00,9.668053e+00,1.043648e+01,1.094442e+01,1.120586e+01,1.197213e+01,1.245912e+01,1.273143e+01,1.348016e+01,1.393757e+01,1.421494e+01,1.493269e+01,1.535397e+01,1.563057e+01,1.630608e+01,1.668672e+01,1.695695e+01,1.758125e+01,1.791860e+01,1.817728e+01,1.874364e+01,1.903672e+01,1.927919e+01,1.978302e+01,2.003225e+01,2.025448e+01,2.069312e+01,2.090005e+01,2.109871e+01,2.147120e+01,2.163827e+01,2.181072e+01,2.211755e+01,2.224783e+01,2.239211e+01,2.263497e+01,2.273195e+01,2.284678e+01,2.302832e+01,2.309574e+01,2.318043e+01,2.330403e+01,2.334571e+01,2.340011e+01,2.346970e+01,2.348942e+01,2.351388e+01,2.353374e+01,2.353515e+01,2.353041e+01,2.350503e+01,2.349157e+01,2.345873e+01,2.339266e+01,2.336753e+01,2.330796e+01,2.320574e+01,2.317183e+01,2.308712e+01,2.295319e+01,2.291309e+01,2.280500e+01,2.264361e+01,2.259961e+01,2.247002e+01,2.228521e+01,2.223929e+01,2.209013e+01,2.188570e+01,2.183956e+01,2.167279e+01,2.145226e+01,2.140731e+01,2.122491e+01,2.099151e+01,2.094892e+01,2.075282e+01,2.050952e+01,2.047021e+01,2.026230e+01,2.001178e+01,1.997648e+01,1.975858e+01,1.950325e+01,1.947249e+01,1.924633e+01,1.898833e+01,1.896249e+01,1.872973e+01,1.847096e+01,1.845027e+01,1.821245e+01,1.795459e+01,1.793914e+01,1.769773e+01,1.744222e+01,1.743203e+01,1.718836e+01,1.693646e+01,1.693144e+01,1.668677e+01,1.643955e+01,1.595818e+01,1.548888e+01,1.503293e+01,1.459136e+01,1.416499e+01,1.375445e+01,1.336019e+01,1.298252e+01,1.262163e+01,1.227756e+01,1.195028e+01,1.163965e+01,1.134546e+01,1.106745e+01,1.080527e+01,1.055857e+01,1.032691e+01,1.010986e+01,9.906934e+00,9.717641e+00,9.541470e+00,9.377893e+00,9.226379e+00,9.086385e+00,8.957374e+00,8.838804e+00,8.730145e+00,8.630864e+00,8.540444e+00,8.458370e+00,8.384142e+00,8.317268e+00,8.257272e+00,8.203688e+00,8.156069e+00,8.113982e+00,8.077011e+00,8.044754e+00,8.016830e+00,7.992872e+00,7.972531e+00,7.955476e+00,7.941391e+00,7.929982e+00,7.920966e+00,7.914082e+00,7.909082e+00,7.905737e+00,7.903831e+00
0.000000e+00,3.063005e-10,3.867073e-09,4.032082e-09,2.347040e-08,7.832757e-08,8.167557e-08,1.945409e-07,3.403189e-07,3.503428e-07,5.204480e-07,6.733722e-07,6.862979e-07,8.419563e-07,9.723618e-07,9.862850e-07,1.119426e-06,1.227702e-06,1.241844e-06,1.354080e-06,1.442882e-06,1.456688e-06,1.550215e-06,1.622147e-06,1.635190e-06,1.712123e-06,1.769551e-06,1.781503e-06,1.843798e-06,1.888833e-06,1.899453e-06,1.948891e-06,1.983395e-06,1.992513e-06,2.030697e-06,2.056303e-06,2.063804e-06,2.092173e-06,2.110305e-06,2.116125e-06,2.135959e-06,2.147853e-06,2.151964e-06,2.164410e-06,2.171139e-06,2.173548e-06,2.179620e-06,2.182111e-06,2.182848e-06,2.183445e-06,2.182495e-06,2.181610e-06,2.177531e-06,2.173824e-06,2.171383e-06,2.163333e-06,2.157454e-06,2.153534e-06,2.142134e-06,2.134583e-06,2.129270e-06,2.115069e-06,2.106268e-06,2.099653e-06,2.083134e-06,2.073441e-06,2.065617e-06,2.047203e-06,2.036919e-06,2.027984e-06,2.008046e-06,1.997421e-06,1.987470e-06,1.966332e-06,1.955575e-06,1.944703e-06,1.922648e-06,1.911929e-06,1.900230e-06,1.877505e-06,1.866963e-06,1.854526e-06,1.831343e-06,1.821091e-06,1.808003e-06,1.784548e-06,1.774672e-06,1.761017e-06,1.737448e-06,1.728018e-06,1.713875e-06,1.690328e-06,1.681393e-06,1.666837e-06,1.643428e-06,1.635026e-06,1.620126e-06,1.596954e-06,1.589109e-06,1.573932e-06,1.551080e-06,1.543806e-06,1.528414e-06,1.505949e-06,1.499252e-06,1.483702e-06,1.461683e-06,1.455560e-06,1.439905e-06,1.418378e-06,1.412824e-06,1.397112e-06,1.376114e-06,1.371115e-06,1.355392e-06,1.334953e-06,1.330494e-06,1.314801e-06,1.294941e-06,1.291005e-06,1.275378e-06,1.256115e-06,1.252680e-06,1.237154e-06,1.218497e-06,1.215541e-06,1.200146e-06,1.182102e-06,1.179601e-06,1.164366e-06,1.146936e-06,1.144865e-06,1.129814e-06,1.112998e-06,1.111333e-06,1.096488e-06,1.080281e-06,1.078997e-06,1.064376e-06,1.048772e-06,1.047846e-06,1.033466e-06,1.018456e-06,1.017862e-06,1.003739e-06,9.893129e-07,9.890273e-07,9.751738e-07,9.613191e-07,9.347130e-07,9.091826e-07,8.847000e-07,8.612364e-07,8.387620e-07,8.172466e-07,7.966595e-07,7.769701e-07,7.581477e-07,7.401619e-07,7.229824e-07,7.065795e-07,6.909240e-07,6.759873e-07,6.617412e-07,6.481584e-07,6.352122e-07,6.228766e-07,6.111266e-07,5.999376e-07,5.892861e-07,5.791492e-07,5.695048e-07,5.603316e-07,5.516091e-07,5.433174e-07,5.354377e-07,5.279514e-07,5.208410e-07,5.140897e-07,5.076810e-07,5.015996e-07,4.958304e-07,4.903591e-07,4.851719e-07,4.802558e-07,4.755980e-07,4.711867e-07,4.670101e-07,4.630574e-07,4.593179e-07,4.557816e-07,4.524388e-07,4.492803e-07,4.462972e-07,4.434813e-07,4.408245e-07,4.383190e-07,4.359576e-07
0.000000e+00,9.535320e-10,1.669454e-08,1.747785e-08,1.099615e-07,3.407876e-07,3.535827e-07,7.225490e-07,1.089715e-06,1.112483e-06,1.473578e-06,1.773436e-06,1.798062e-06,2.087208e-06,2.319431e-06,2.343689e-06,2.570264e-06,2.746991e-06,2.769545e-06,2.943957e-06,3.075771e-06,3.095737e-06,3.226944e-06,3.322649e-06,3.339471e-06,3.435052e-06,3.501903e-06,3.515277e-06,3.581599e-06,3.625544e-06,3.635347e-06,3.677736e-06,3.703629e-06,3.709873e-06,3.732771e-06,3.744565e-06,3.747352e-06,3.754458e-06,3.755357e-06,3.754856e-06,3.749243e-06,3.741839e-06,3.738256e-06,3.722474e-06,3.708860e-06,3.702427e-06,3.678593e-06,3.660446e-06,3.651407e-06,3.621269e-06,3.599936e-06,3.588538e-06,3.553542e-06,3.530095e-06,3.516579e-06,3.477916e-06,3.453201e-06,3.437800e-06,3.396451e-06,3.371134e-06,3.354070e-06,3.310837e-06,3.285437e-06,3.266917e-06,3.222457e-06,3.197375e-06,3.177592e-06,3.132441e-06,3.107980e-06,3.087113e-06,3.041706e-06,3.018091e-06,2.996305e-06,2.950991e-06,2.928388e-06,2.905832e-06,2.860892e-06,2.839414e-06,2.816225e-06,2.771881e-06,2.751604e-06,2.727905e-06,2.684334e-06,2.665300e-06,2.641202e-06,2.598540e-06,2.580768e-06,2.556372e-06,2.514721e-06,2.498210e-06,2.473607e-06,2.433044e-06,2.417778e-06,2.393048e-06,2.353628e-06,2.339580e-06,2.314795e-06,2.276555e-06,2.263690e-06,2.238914e-06,2.201875e-06,2.190151e-06,2.165442e-06,2.129614e-06,2.118984e-06,2.094393e-06,2.059776e-06,2.050192e-06,2.025763e-06,1.992351e-06,1.983762e-06,1.959536e-06,1.927313e-06,1.919667e-06,1.895679e-06,1.864627e-06,1.857874e-06,1.834153e-06,1.804251e-06,1.798338e-06,1.774913e-06,1.746133e-06,1.741012e-06,1.717905e-06,1.690221e-06,1.685842e-06,1.663074e-06,1.636457e-06,1.632772e-06,1.610361e-06,1.584779e-06,1.581743e-06,1.559703e-06,1.535126e-06,1.532695e-06,1.511039e-06,1.487436e-06,1.485568e-06,1.464307e-06,1.441645e-06,1.440300e-06,1.419442e-06,1.397690e-06,1.396829e-06,1.376382e-06,1.355510e-06,1.355097e-06,1.335065e-06,1.315042e-06,1.276606e-06,1.239731e-06,1.204362e-06,1.170443e-06,1.137921e-06,1.106743e-06,1.076861e-06,1.048224e-06,1.020785e-06,9.944995e-07,9.693225e-07,9.452115e-07,9.221252e-07,9.000242e-07,8.788700e-07,8.586257e-07,8.392558e-07,8.207261e-07,8.030037e-07,7.860567e-07,7.698546e-07,7.543680e-07,7.395687e-07,7.254294e-07,7.119240e-07,6.990272e-07,6.867149e-07,6.749638e-07,6.637515e-07,6.530565e-07,6.428581e-07,6.331363e-07,6.238721e-07,6.150470e-07,6.066434e-07,5.986442e-07,5.910332e-07,5.837946e-07,5.769133e-07,5.703748e-07,5.641652e-07,5.582709e-07,5.526792e-07,5.473776e-07,5.423543e-07,5.375977e-07,5.330969e-07,5.288412e-07,5.248206e-07
0.000000e+00,6.285414e-10,1.147612e-08,1.203033e-08,8.179426e-08,2.744910e-07,2.856687e-07,6.222372e-07,9.769004e-07,9.994157e-07,1.364229e-06,1.678656e-06,1.704980e-06,2.020430e-06,2.283382e-06,2.311414e-06,2.579174e-06,2.796629e-06,2.825015e-06,3.050219e-06,3.228335e-06,3.256026e-06,3.443628e-06,3.587980e-06,3.614165e-06,3.768718e-06,3.884249e-06,3.908318e-06,4.033936e-06,4.124983e-06,4.146492e-06,4.246851e-06,4.317193e-06,4.335832e-06,4.414200e-06,4.467107e-06,4.482676e-06,4.541941e-06,4.580245e-06,4.592634e-06,4.635351e-06,4.661486e-06,4.670654e-06,4.699072e-06,4.715133e-06,4.721097e-06,4.737195e-06,4.744979e-06,4.747800e-06,4.753320e-06,4.754364e-06,4.754137e-06,4.750607e-06,4.746223e-06,4.743066e-06,4.731827e-06,4.723130e-06,4.717182e-06,4.699408e-06,4.687348e-06,4.678760e-06,4.655478e-06,4.640858e-06,4.629788e-06,4.601899e-06,4.585395e-06,4.572008e-06,4.540297e-06,4.522478e-06,4.506939e-06,4.472094e-06,4.453436e-06,4.435910e-06,4.398527e-06,4.379427e-06,4.360076e-06,4.320677e-06,4.301462e-06,4.280443e-06,4.239480e-06,4.220419e-06,4.197885e-06,4.155751e-06,4.137063e-06,4.113161e-06,4.070195e-06,4.052055e-06,4.026926e-06,3.983423e-06,3.965970e-06,3.939747e-06,3.895958e-06,3.879300e-06,3.852110e-06,3.808253e-06,3.792472e-06,3.764434e-06,3.720695e-06,3.705849e-06,3.677076e-06,3.633614e-06,3.619745e-06,3.590342e-06,3.547290e-06,3.534422e-06,3.504488e-06,3.461960e-06,3.450105e-06,3.419732e-06,3.377823e-06,3.366982e-06,3.336255e-06,3.295045e-06,3.285209e-06,3.254208e-06,3.213761e-06,3.204916e-06,3.173715e-06,3.134083e-06,3.126207e-06,3.094875e-06,3.056100e-06,3.049167e-06,3.017767e-06,2.979882e-06,2.973862e-06,2.942451e-06,2.905481e-06,2.900342e-06,2.868975e-06,2.832937e-06,2.828644e-06,2.797370e-06,2.762276e-06,2.758793e-06,2.727656e-06,2.693513e-06,2.690802e-06,2.659845e-06,2.626653e-06,2.624677e-06,2.593937e-06,2.561696e-06,2.560417e-06,2.529929e-06,2.498633e-06,2.498012e-06,2.467807e-06,2.437449e-06,2.378709e-06,2.321770e-06,2.266604e-06,2.213185e-06,2.161479e-06,2.111455e-06,2.063078e-06,2.016313e-06,1.971123e-06,1.927472e-06,1.885323e-06,1.844637e-06,1.805378e-06,1.767509e-06,1.730991e-06,1.695789e-06,1.661866e-06,1.629185e-06,1.597712e-06,1.567412e-06,1.538250e-06,1.510193e-06,1.483208e-06,1.457262e-06,1.432325e-06,1.408365e-06,1.385352e-06,1.363256e-06,1.342050e-06,1.321705e-06,1.302193e-06,1.283489e-06,1.265566e-06,1.248399e-06,1.231964e-06,1.216236e-06,1.201193e-06,1.186812e-06,1.173070e-06,1.159947e-06,1.147422e-06,1.135475e-06,1.124085e-06,1.113235e-06,1.102905e-06,1.093077e-06,1.083734e-06,1.074859e-06,1.066436e-06
0.000000e+00,5.652032e-09,1.279807e-07,1.341924e-07,8.613846e-07,2.675581e-06,2.777821e-06,5.858776e-06,9.172534e-06,9.384389e-06,1.282710e-05,1.580393e-05,1.605350e-05,1.904850e-05,2.155161e-05,2.181883e-05,2.437511e-05,2.645649e-05,2.672857e-05,2.889035e-05,3.060452e-05,3.087138e-05,3.268225e-05,3.407933e-05,3.433313e-05,3.583381e-05,3.695883e-05,3.719360e-05,3.842135e-05,3.931413e-05,3.952545e-05,4.051389e-05,4.120942e-05,4.139417e-05,4.217333e-05,4.270200e-05,4.285807e-05,4.345464e-05,4.384286e-05,4.396900e-05,4.440670e-05,4.467735e-05,4.477301e-05,4.507282e-05,4.524563e-05,4.531078e-05,4.549124e-05,4.558320e-05,4.561828e-05,4.569574e-05,4.572146e-05,4.572722e-05,4.571609e-05,4.568809e-05,4.566553e-05,4.557852e-05,4.550750e-05,4.545785e-05,4.530613e-05,4.520122e-05,4.512582e-05,4.491921e-05,4.478819e-05,4.468847e-05,4.443561e-05,4.428506e-05,4.416253e-05,4.387098e-05,4.370646e-05,4.356264e-05,4.323904e-05,4.306523e-05,4.290165e-05,4.255180e-05,4.237262e-05,4.219079e-05,4.181977e-05,4.163847e-05,4.143987e-05,4.105212e-05,4.087138e-05,4.065747e-05,4.025683e-05,4.007887e-05,3.985104e-05,3.944087e-05,3.926748e-05,3.902706e-05,3.861028e-05,3.844288e-05,3.819116e-05,3.777029e-05,3.761001e-05,3.734820e-05,3.692542e-05,3.677313e-05,3.650239e-05,3.607956e-05,3.593591e-05,3.565733e-05,3.523607e-05,3.510152e-05,3.481612e-05,3.439779e-05,3.427266e-05,3.398139e-05,3.356718e-05,3.345162e-05,3.315540e-05,3.274628e-05,3.264037e-05,3.234002e-05,3.193682e-05,3.184053e-05,3.153685e-05,3.114026e-05,3.105348e-05,3.074719e-05,3.035778e-05,3.028034e-05,2.997213e-05,2.959035e-05,2.952205e-05,2.921254e-05,2.883876e-05,2.877934e-05,2.846910e-05,2.810362e-05,2.805278e-05,2.774236e-05,2.738538e-05,2.734283e-05,2.703271e-05,2.668439e-05,2.664980e-05,2.634044e-05,2.600087e-05,2.597390e-05,2.566571e-05,2.533496e-05,2.531526e-05,2.500863e-05,2.468671e-05,2.467392e-05,2.436920e-05,2.405609e-05,2.404987e-05,2.374737e-05,2.344302e-05,2.285325e-05,2.228037e-05,2.172418e-05,2.118445e-05,2.066091e-05,2.015328e-05,1.966126e-05,1.918453e-05,1.872278e-05,1.827566e-05,1.784285e-05,1.742400e-05,1.701878e-05,1.662684e-05,1.624783e-05,1.588142e-05,1.552728e-05,1.518506e-05,1.485444e-05,1.453510e-05,1.422672e-05,1.392898e-05,1.364158e-05,1.336421e-05,1.309659e-05,1.283842e-05,1.258942e-05,1.234933e-05,1.211786e-05,1.189475e-05,1.167976e-05,1.147264e-05,1.127314e-05,1.108102e-05,1.089606e-05,1.071804e-05,1.054673e-05,1.038194e-05,1.022345e-05,1.007106e-05,9.924581e-06,9.783828e-06,9.648617e-06,9.518770e-06,9.394116e-06,9.274488e-06,9.159724e-06,9.049667e-06,8.944165e-06
0.000000e+00,2.886941e-09,5.386340e-08,5.642114e-08,3.724794e-07,1.265182e-06,1.319010e-06,3.097570e-06,5.306272e-06,5.454686e-06,7.913455e-06,1.004327e-05,1.022029e-05,1.231760e-05,1.402597e-05,1.420570e-05,1.589710e-05,1.723435e-05,1.740631e-05,1.874754e-05,1.977691e-05,1.993422e-05,2.097895e-05,2.175543e-05,2.189346e-05,2.268866e-05,2.325885e-05,2.337471e-05,2.396099e-05,2.436405e-05,2.445620e-05,2.486837e-05,2.513700e-05,2.520490e-05,2.547261e-05,2.563392e-05,2.567777e-05,2.582616e-05,2.590256e-05,2.592308e-05,2.597341e-05,2.598333e-05,2.598162e-05,2.595182e-05,2.591037e-05,2.588777e-05,2.579290e-05,2.571243e-05,2.567042e-05,2.552322e-05,2.541383e-05,2.535395e-05,2.516505e-05,2.503488e-05,2.495874e-05,2.473705e-05,2.459271e-05,2.450185e-05,2.425484e-05,2.410162e-05,2.399758e-05,2.373148e-05,2.357360e-05,2.345783e-05,2.317780e-05,2.301861e-05,2.289247e-05,2.260282e-05,2.244492e-05,2.230973e-05,2.201400e-05,2.185942e-05,2.171636e-05,2.141748e-05,2.126776e-05,2.111795e-05,2.081831e-05,2.067459e-05,2.051906e-05,2.022063e-05,2.008374e-05,1.992342e-05,1.962779e-05,1.949829e-05,1.933405e-05,1.904248e-05,1.892074e-05,1.875335e-05,1.846687e-05,1.835306e-05,1.818324e-05,1.790263e-05,1.779683e-05,1.762520e-05,1.735109e-05,1.725324e-05,1.708040e-05,1.681324e-05,1.672322e-05,1.654968e-05,1.628980e-05,1.620742e-05,1.603365e-05,1.578128e-05,1.570632e-05,1.553273e-05,1.528801e-05,1.522018e-05,1.504715e-05,1.481016e-05,1.474917e-05,1.457703e-05,1.434777e-05,1.429332e-05,1.412237e-05,1.390080e-05,1.385257e-05,1.368306e-05,1.346911e-05,1.342677e-05,1.325894e-05,1.305250e-05,1.301574e-05,1.284978e-05,1.265072e-05,1.261921e-05,1.245531e-05,1.226348e-05,1.223691e-05,1.207521e-05,1.189045e-05,1.186851e-05,1.170916e-05,1.153128e-05,1.151368e-05,1.135678e-05,1.118560e-05,1.117205e-05,1.101770e-05,1.085304e-05,1.084326e-05,1.069155e-05,1.053319e-05,1.052692e-05,1.037792e-05,1.022569e-05,1.022267e-05,1.007643e-05,9.930117e-06,9.648881e-06,9.378588e-06,9.118867e-06,8.869352e-06,8.629685e-06,8.399517e-06,8.178505e-06,7.966317e-06,7.762630e-06,7.567129e-06,7.379509e-06,7.199476e-06,7.026743e-06,6.861035e-06,6.702084e-06,6.549633e-06,6.403433e-06,6.263243e-06,6.128831e-06,5.999976e-06,5.876461e-06,5.758079e-06,5.644631e-06,5.535924e-06,5.431774e-06,5.332001e-06,5.236436e-06,5.144912e-06,5.057272e-06,4.973362e-06,4.893035e-06,4.816152e-06,4.742575e-06,4.672174e-06,4.604824e-06,4.540404e-06,4.478797e-06,4.419893e-06,4.363583e-06,4.309766e-06,4.258341e-06,4.209214e-06,4.162292e-06,4.117488e-06,4.074718e-06,4.033899e-06,3.994954e-06,3.957808e-06,3.922388e-06
0.000000e+00,1.412631e-09,1.906660e-08,1.990351e-08,1.204269e-07,3.997555e-07,4.162733e-07,9.294307e-07,1.499841e-06,1.536977e-06,2.153283e-06,2.706738e-06,2.754048e-06,3.333483e-06,3.835542e-06,3.890176e-06,4.423824e-06,4.874399e-06,4.934467e-06,5.422298e-06,5.823808e-06,5.887609e-06,6.330782e-06,6.686263e-06,6.752262e-06,7.152556e-06,7.465369e-06,7.532209e-06,7.891799e-06,8.165426e-06,8.231922e-06,8.553187e-06,8.791077e-06,8.856207e-06,9.141595e-06,9.347073e-06,9.409960e-06,9.661898e-06,9.838103e-06,9.897997e-06,1.011883e-05,1.026870e-05,1.032497e-05,1.051696e-05,1.064322e-05,1.069534e-05,1.086061e-05,1.096578e-05,1.101331e-05,1.115392e-05,1.124033e-05,1.128291e-05,1.140077e-05,1.147055e-05,1.150793e-05,1.160483e-05,1.165995e-05,1.169191e-05,1.176956e-05,1.181179e-05,1.183819e-05,1.189818e-05,1.192917e-05,1.194991e-05,1.199374e-05,1.201496e-05,1.203000e-05,1.205905e-05,1.207185e-05,1.208120e-05,1.209677e-05,1.210237e-05,1.210607e-05,1.210938e-05,1.210889e-05,1.210700e-05,1.209919e-05,1.209360e-05,1.208622e-05,1.206835e-05,1.205854e-05,1.204581e-05,1.201885e-05,1.200564e-05,1.198769e-05,1.195256e-05,1.193666e-05,1.191366e-05,1.187120e-05,1.185326e-05,1.182538e-05,1.177638e-05,1.175697e-05,1.172440e-05,1.166960e-05,1.164921e-05,1.161215e-05,1.155221e-05,1.153130e-05,1.148995e-05,1.142552e-05,1.140446e-05,1.135905e-05,1.129068e-05,1.126982e-05,1.122056e-05,1.114880e-05,1.112844e-05,1.107554e-05,1.100089e-05,1.098126e-05,1.092496e-05,1.084786e-05,1.082919e-05,1.076970e-05,1.069057e-05,1.067305e-05,1.061058e-05,1.052982e-05,1.051358e-05,1.044836e-05,1.036631e-05,1.035148e-05,1.028373e-05,1.020072e-05,1.018740e-05,1.011733e-05,1.003364e-05,1.002190e-05,9.949720e-06,9.865634e-06,9.855536e-06,9.781444e-06,9.697207e-06,9.688783e-06,9.612979e-06,9.528816e-06,9.522087e-06,9.444767e-06,9.360880e-06,9.355853e-06,9.277203e-06,9.193779e-06,9.190448e-06,9.110650e-06,9.027856e-06,9.026204e-06,8.945434e-06,8.863419e-06,8.702364e-06,8.543279e-06,8.386382e-06,8.231863e-06,8.079892e-06,7.930619e-06,7.784172e-06,7.640665e-06,7.500194e-06,7.362840e-06,7.228669e-06,7.097738e-06,6.970088e-06,6.845751e-06,6.724752e-06,6.607101e-06,6.492805e-06,6.381862e-06,6.274261e-06,6.169989e-06,6.069023e-06,5.971335e-06,5.876893e-06,5.785664e-06,5.697606e-06,5.612679e-06,5.530836e-06,5.452030e-06,5.376209e-06,5.303322e-06,5.233312e-06,5.166124e-06,5.101700e-06,5.039982e-06,4.980909e-06,4.924423e-06,4.870461e-06,4.818962e-06,4.769864e-06,4.723106e-06,4.678625e-06,4.636360e-06,4.596249e-06,4.558230e-06,4.522242e-06,4.488224e-06,4.456116e-06,4.425857e-06,4.397390e-06
0.000000e+00,9.100136e-10,1.087808e-07,1.168245e-07,2.197385e-06,1.792035e-05,1.936479e-05,1.106833e-04,4.309437e-04,4.664141e-04,1.551493e-03,3.960230e-03,4.268123e-03,1.007075e-02,1.960230e-02,2.099445e-02,3.960169e-02,6.469053e-02,6.887192e-02,1.120599e-01,1.629081e-01,1.725431e-01,2.536726e-01,3.401173e-01,3.586374e-01,4.903476e-01,6.201005e-01,6.513401e-01,8.437071e-01,1.021281e+00,1.069046e+00,1.328433e+00,1.554760e+00,1.622412e+00,1.950999e+00,2.223590e+00,2.313707e+00,2.709572e+00,3.023051e+00,3.137194e+00,3.594784e+00,3.941619e+00,4.080209e+00,4.591046e+00,4.962337e+00,5.124637e+00,5.678135e+00,6.064365e+00,6.248555e+00,6.832827e+00,7.224520e+00,7.427832e+00,8.030450e+00,8.418691e+00,8.637590e+00,9.246228e+00,9.623046e+00,9.853433e+00,1.045639e+01,1.081501e+01,1.105243e+01,1.163903e+01,1.197400e+01,1.221385e+01,1.277471e+01,1.308194e+01,1.331962e+01,1.384680e+01,1.412352e+01,1.435462e+01,1.484169e+01,1.508634e+01,1.530676e+01,1.574880e+01,1.596090e+01,1.616694e+01,1.656047e+01,1.674047e+01,1.692888e+01,1.727177e+01,1.742087e+01,1.758892e+01,1.788022e+01,1.800021e+01,1.814571e+01,1.838553e+01,1.847866e+01,1.859993e+01,1.878926e+01,1.885806e+01,1.895395e+01,1.909452e+01,1.914173e+01,1.921155e+01,1.930567e+01,1.933409e+01,1.937760e+01,1.942806e+01,1.944046e+01,1.945783e+01,1.946771e+01,1.946681e+01,1.945854e+01,1.943116e+01,1.941953e+01,1.938644e+01,1.932524e+01,1.930527e+01,1.924843e+01,1.915688e+01,1.913077e+01,1.905145e+01,1.893300e+01,1.890273e+01,1.880237e+01,1.866039e+01,1.862771e+01,1.850787e+01,1.834561e+01,1.831205e+01,1.817438e+01,1.799493e+01,1.796181e+01,1.780798e+01,1.761426e+01,1.758268e+01,1.741443e+01,1.720915e+01,1.718001e+01,1.699904e+01,1.678473e+01,1.675875e+01,1.656677e+01,1.634573e+01,1.632348e+01,1.612213e+01,1.589647e+01,1.587834e+01,1.566922e+01,1.544085e+01,1.542712e+01,1.521176e+01,1.498236e+01,1.497319e+01,1.475305e+01,1.452416e+01,1.451958e+01,1.429603e+01,1.406898e+01,1.362373e+01,1.318588e+01,1.275718e+01,1.233914e+01,1.193302e+01,1.153984e+01,1.116046e+01,1.079553e+01,1.044554e+01,1.011084e+01,9.791672e+00,9.488126e+00,9.200212e+00,8.927846e+00,8.670866e+00,8.429042e+00,8.202087e+00,7.989660e+00,7.791383e+00,7.606837e+00,7.435579e+00,7.277138e+00,7.131026e+00,6.996739e+00,6.873765e+00,6.761583e+00,6.659670e+00,6.567501e+00,6.484555e+00,6.410313e+00,6.344263e+00,6.285903e+00,6.234737e+00,6.190284e+00,6.152072e+00,6.119644e+00,6.092557e+00,6.070386e+00,6.052717e+00,6.039155e+00,6.029323e+00,6.022860e+00,6.019420e+00,6.018679e+00,6.020327e+00,6.024073e+00,6.029643e+00,6.036781e+00,6.045247e+00
0.000000e+00,5.832038e-10,4.565429e-08,4.872652e-08,7.127105e-07,4.529892e-06,4.836106e-06,1.931818e-05,4.891308e-05,5.136964e-05,1.001643e-04,1.518670e-04,1.563770e-04,2.098874e-04,2.507923e-04,2.548298e-04,2.895911e-04,3.123646e-04,3.149667e-04,3.326217e-04,3.429480e-04,3.442769e-04,3.514063e-04,3.547575e-04,3.551739e-04,3.564664e-04,3.561509e-04,3.559478e-04,3.541115e-04,3.519427e-04,3.513229e-04,3.478520e-04,3.448013e-04,3.438983e-04,3.396091e-04,3.361933e-04,3.350936e-04,3.304317e-04,3.269227e-04,3.256820e-04,3.208871e-04,3.174248e-04,3.160784e-04,3.112787e-04,3.079337e-04,3.065052e-04,3.017708e-04,2.985795e-04,2.970865e-04,2.924602e-04,2.894413e-04,2.878973e-04,2.834013e-04,2.805602e-04,2.789747e-04,2.746182e-04,2.719527e-04,2.703325e-04,2.661180e-04,2.636235e-04,2.619746e-04,2.579021e-04,2.555724e-04,2.539002e-04,2.499685e-04,2.477972e-04,2.461065e-04,2.423136e-04,2.402938e-04,2.385888e-04,2.349316e-04,2.330563e-04,2.313411e-04,2.278166e-04,2.260788e-04,2.243571e-04,2.209620e-04,2.193548e-04,2.176301e-04,2.143607e-04,2.128775e-04,2.111528e-04,2.080054e-04,2.066396e-04,2.049179e-04,2.018891e-04,2.006344e-04,1.989183e-04,1.960045e-04,1.948547e-04,1.931467e-04,1.903441e-04,1.892934e-04,1.875958e-04,1.849010e-04,1.839437e-04,1.822587e-04,1.796680e-04,1.787988e-04,1.771281e-04,1.746381e-04,1.738518e-04,1.721973e-04,1.698046e-04,1.690961e-04,1.674594e-04,1.651607e-04,1.645254e-04,1.629079e-04,1.607000e-04,1.601332e-04,1.585363e-04,1.564160e-04,1.559135e-04,1.543383e-04,1.523025e-04,1.518602e-04,1.503079e-04,1.483536e-04,1.479675e-04,1.464390e-04,1.445634e-04,1.442298e-04,1.427260e-04,1.409261e-04,1.406416e-04,1.391631e-04,1.374363e-04,1.371974e-04,1.357450e-04,1.340886e-04,1.338922e-04,1.324665e-04,1.308779e-04,1.307209e-04,1.293223e-04,1.277991e-04,1.276786e-04,1.263076e-04,1.248473e-04,1.247607e-04,1.234176e-04,1.220179e-04,1.219625e-04,1.206477e-04,1.193063e-04,1.192798e-04,1.179933e-04,1.167082e-04,1.142436e-04,1.118820e-04,1.096196e-04,1.074528e-04,1.053778e-04,1.033912e-04,1.014897e-04,9.967015e-05,9.792932e-05,9.626424e-05,9.467202e-05,9.314987e-05,9.169508e-05,9.030506e-05,8.897731e-05,8.770940e-05,8.649901e-05,8.534389e-05,8.424187e-05,8.319088e-05,8.218889e-05,8.123396e-05,8.032424e-05,7.945791e-05,7.863325e-05,7.784858e-05,7.710229e-05,7.639283e-05,7.571870e-05,7.507848e-05,7.447076e-05,7.389421e-05,7.334755e-05,7.282954e-05,7.233899e-05,7.187474e-05,7.143569e-05,7.102078e-05,7.062898e-05,7.025931e-05,6.991081e-05,6.958257e-05,6.927371e-05,6.898339e-05,6.871079e-05,6.845512e-05,6.821564e-05,6.799162e-05,6.778236e-05
0.000000e+00,3.209601e-10,4.005124e-08,4.306679e-08,8.713631e-07,7.606978e-06,8.240372e-06,4.945004e-05,1.973030e-04,2.137497e-04,7.168668e-04,1.826687e-03,1.967906e-03,4.611261e-03,8.908605e-03,9.533306e-03,1.783923e-02,2.896155e-02,3.080992e-02,4.984798e-02,7.219085e-02,7.641965e-02,1.119978e-01,1.498900e-01,1.580093e-01,2.157887e-01,2.727981e-01,2.865395e-01,3.713039e-01,4.497882e-01,4.709397e-01,5.861053e-01,6.870131e-01,7.172521e-01,8.646215e-01,9.875009e-01,1.028249e+00,1.207970e+00,1.351126e+00,1.403435e+00,1.614121e+00,1.774861e+00,1.839345e+00,2.078286e+00,2.253207e+00,2.330003e+00,2.593449e+00,2.778720e+00,2.867496e+00,3.150948e+00,3.342576e+00,3.442561e+00,3.741057e+00,3.935109e+00,4.045143e+00,4.353522e+00,4.546308e+00,4.664908e+00,4.978036e+00,5.166234e+00,5.291672e+00,5.604624e+00,5.785368e+00,5.915745e+00,6.223944e+00,6.394872e+00,6.528190e+00,6.827514e+00,6.986782e+00,7.121013e+00,7.407855e+00,7.554124e+00,7.687274e+00,7.958576e+00,8.090986e+00,8.221138e+00,8.474404e+00,8.592524e+00,8.717887e+00,8.951165e+00,9.054946e+00,9.173881e+00,9.385740e+00,9.475455e+00,9.586504e+00,9.775992e+00,9.852182e+00,9.954076e+00,1.012068e+01,1.018409e+01,1.027576e+01,1.041935e+01,1.047090e+01,1.055148e+01,1.067225e+01,1.071297e+01,1.078178e+01,1.088022e+01,1.091120e+01,1.096776e+01,1.104461e+01,1.106697e+01,1.111098e+01,1.116713e+01,1.118202e+01,1.121333e+01,1.124985e+01,1.125839e+01,1.127700e+01,1.129506e+01,1.129831e+01,1.130437e+01,1.130523e+01,1.130421e+01,1.129797e+01,1.128291e+01,1.127859e+01,1.126040e+01,1.123075e+01,1.122400e+01,1.119431e+01,1.115139e+01,1.114300e+01,1.110232e+01,1.104743e+01,1.103813e+01,1.098704e+01,1.092146e+01,1.091189e+01,1.085100e+01,1.077596e+01,1.076666e+01,1.069663e+01,1.061331e+01,1.060477e+01,1.052628e+01,1.043580e+01,1.042843e+01,1.034216e+01,1.024559e+01,1.023971e+01,1.014636e+01,1.004470e+01,1.004059e+01,9.940852e+00,9.835035e+00,9.832900e+00,9.727468e+00,9.618358e+00,9.398543e+00,9.174911e+00,8.948796e+00,8.721416e+00,8.493875e+00,8.267170e+00,8.042195e+00,7.819749e+00,7.600540e+00,7.385189e+00,7.174243e+00,6.968172e+00,6.767382e+00,6.572215e+00,6.382957e+00,6.199840e+00,6.023050e+00,5.852728e+00,5.688976e+00,5.531860e+00,5.381413e+00,5.237640e+00,5.100517e+00,4.969998e+00,4.846016e+00,4.728485e+00,4.617301e+00,4.512346e+00,4.413490e+00,4.320588e+00,4.233491e+00,4.152035e+00,4.076054e+00,4.005373e+00,3.939813e+00,3.879191e+00,3.823320e+00,3.772014e+00,3.725081e+00,3.682332e+00,3.643578e+00,3.608626e+00,3.577291e+00,3.549383e+00,3.524718e+00,3.503115e+00,3.484393e+00,3.468377e+00,3.454894e+00
0.000000e+00,4.081371e-10,6.123558e-09,6.398804e-09,3.888803e-08,1.255393e-07,1.305952e-07,2.871068e-07,4.574302e-07,4.682190e-07,6.400129e-07,7.816380e-07,7.931746e-07,9.272485e-07,1.032803e-06,1.043707e-06,1.144312e-06,1.221069e-06,1.230744e-06,1.304539e-06,1.358952e-06,1.367078e-06,1.419605e-06,1.456811e-06,1.463237e-06,1.498977e-06,1.523032e-06,1.527728e-06,1.550297e-06,1.564390e-06,1.567407e-06,1.579705e-06,1.586331e-06,1.587769e-06,1.592112e-06,1.593209e-06,1.593193e-06,1.591420e-06,1.588486e-06,1.587156e-06,1.580721e-06,1.574906e-06,1.572402e-06,1.562451e-06,1.554637e-06,1.551094e-06,1.538529e-06,1.529386e-06,1.524932e-06,1.510460e-06,1.500495e-06,1.495248e-06,1.479421e-06,1.469018e-06,1.463084e-06,1.446334e-06,1.435778e-06,1.429254e-06,1.411917e-06,1.401419e-06,1.394389e-06,1.376728e-06,1.366442e-06,1.358982e-06,1.341197e-06,1.331235e-06,1.323411e-06,1.305658e-06,1.296095e-06,1.287967e-06,1.270364e-06,1.261253e-06,1.252872e-06,1.235510e-06,1.226882e-06,1.218294e-06,1.201239e-06,1.193113e-06,1.184357e-06,1.167658e-06,1.160041e-06,1.151152e-06,1.134846e-06,1.127737e-06,1.118746e-06,1.102857e-06,1.096247e-06,1.087182e-06,1.071726e-06,1.065605e-06,1.056490e-06,1.041476e-06,1.035829e-06,1.026685e-06,1.012118e-06,1.006928e-06,9.977742e-07,9.836540e-07,9.789039e-07,9.697566e-07,9.560810e-07,9.517514e-07,9.426258e-07,9.293897e-07,9.254613e-07,9.163708e-07,9.035673e-07,9.000206e-07,8.909771e-07,8.785982e-07,8.754139e-07,8.664281e-07,8.544646e-07,8.516238e-07,8.427052e-07,8.311474e-07,8.286315e-07,8.197887e-07,8.086264e-07,8.064173e-07,7.976579e-07,7.868806e-07,7.849607e-07,7.762917e-07,7.658886e-07,7.642412e-07,7.556686e-07,7.456290e-07,7.442377e-07,7.357671e-07,7.260802e-07,7.249295e-07,7.165657e-07,7.072210e-07,7.062957e-07,6.980433e-07,6.890300e-07,6.883160e-07,6.801787e-07,6.714866e-07,6.709701e-07,6.629513e-07,6.545702e-07,6.542381e-07,6.463409e-07,6.382608e-07,6.381007e-07,6.303276e-07,6.225389e-07,6.075340e-07,5.930681e-07,5.791234e-07,5.656829e-07,5.527300e-07,5.402484e-07,5.282225e-07,5.166371e-07,5.054773e-07,4.947288e-07,4.843778e-07,4.744109e-07,4.648150e-07,4.555774e-07,4.466861e-07,4.381291e-07,4.298951e-07,4.219729e-07,4.143518e-07,4.070215e-07,3.999719e-07,3.931934e-07,3.866765e-07,3.804123e-07,3.743918e-07,3.686066e-07,3.630485e-07,3.577096e-07,3.525822e-07,3.476588e-07,3.429323e-07,3.383958e-07,3.340425e-07,3.298659e-07,3.258598e-07,3.220182e-07,3.183351e-07,3.148050e-07,3.114222e-07,3.081816e-07,3.050780e-07,3.021065e-07,2.992623e-07,2.965407e-07,2.939374e-07,2.914480e-07,2.890683e-07,2.867942e-07,2.846220e-07
0.000000e+00,1.290430e-08,2.031142e-07,2.123203e-07,1.381020e-06,4.975610e-06,5.200277e-06,1.272589e-05,2.178017e-05,2.237407e-05,3.209287e-05,4.047507e-05,4.117383e-05,4.949417e-05,5.633976e-05,5.706399e-05,6.392164e-05,6.940189e-05,7.011065e-05,7.567196e-05,7.998353e-05,8.064604e-05,8.507233e-05,8.839481e-05,8.898867e-05,9.243120e-05,9.492468e-05,9.543429e-05,9.803053e-05,9.983531e-05,1.002507e-04,1.021237e-04,1.033612e-04,1.036767e-04,1.049354e-04,1.057097e-04,1.059234e-04,1.066631e-04,1.070629e-04,1.071753e-04,1.074793e-04,1.075795e-04,1.075932e-04,1.075337e-04,1.073974e-04,1.073165e-04,1.069561e-04,1.066361e-04,1.064659e-04,1.058583e-04,1.053988e-04,1.051451e-04,1.043369e-04,1.037744e-04,1.034436e-04,1.024745e-04,1.018393e-04,1.014381e-04,1.003422e-04,9.965915e-05,9.919410e-05,9.800056e-05,9.728992e-05,9.676773e-05,9.550131e-05,9.477942e-05,9.420656e-05,9.288831e-05,9.216826e-05,9.155100e-05,9.019871e-05,8.949084e-05,8.883516e-05,8.746379e-05,8.677615e-05,8.608772e-05,8.470981e-05,8.404853e-05,8.333266e-05,8.195866e-05,8.132827e-05,8.058994e-05,7.922848e-05,7.863219e-05,7.787603e-05,7.653419e-05,7.597413e-05,7.520439e-05,7.388792e-05,7.336533e-05,7.258593e-05,7.129943e-05,7.081482e-05,7.002933e-05,6.877643e-05,6.832973e-05,6.754141e-05,6.632489e-05,6.591558e-05,6.512738e-05,6.394932e-05,6.357651e-05,6.279108e-05,6.165296e-05,6.131548e-05,6.053520e-05,5.943799e-05,5.913447e-05,5.836145e-05,5.730568e-05,5.703459e-05,5.627073e-05,5.525659e-05,5.501629e-05,5.426324e-05,5.329061e-05,5.307941e-05,5.233862e-05,5.140715e-05,5.122330e-05,5.049605e-05,4.960516e-05,4.944693e-05,4.873430e-05,4.788326e-05,4.774892e-05,4.705184e-05,4.623981e-05,4.612765e-05,4.544691e-05,4.467290e-05,4.458128e-05,4.391752e-05,4.318050e-05,4.310780e-05,4.246157e-05,4.176043e-05,4.170510e-05,4.107680e-05,4.041040e-05,4.037096e-05,3.976093e-05,3.912809e-05,3.910312e-05,3.851160e-05,3.791114e-05,3.789929e-05,3.732641e-05,3.675714e-05,3.567435e-05,3.464863e-05,3.367770e-05,3.275933e-05,3.189131e-05,3.107152e-05,3.029786e-05,2.956830e-05,2.888088e-05,2.823369e-05,2.762489e-05,2.705269e-05,2.651540e-05,2.601135e-05,2.553896e-05,2.509671e-05,2.468312e-05,2.429680e-05,2.393640e-05,2.360063e-05,2.328824e-05,2.299807e-05,2.272896e-05,2.247985e-05,2.224969e-05,2.203749e-05,2.184231e-05,2.166324e-05,2.149942e-05,2.135002e-05,2.121426e-05,2.109138e-05,2.098066e-05,2.088143e-05,2.079302e-05,2.071482e-05,2.064623e-05,2.058669e-05,2.053564e-05,2.049259e-05,2.045704e-05,2.042851e-05,2.040657e-05,2.039079e-05,2.038077e-05,2.037613e-05,2.037649e-05,2.038151e-05,2.039086e-05
0.000000e+00,4.076436e-11,5.415720e-09,5.835799e-09,1.261885e-07,1.044550e-06,1.126286e-06,5.738582e-06,1.850725e-05,1.975445e-05,5.104395e-05,1.011809e-04,1.066347e-04,1.901390e-04,2.887224e-04,3.009328e-04,4.348375e-04,5.667611e-04,5.854871e-04,7.457191e-04,8.859136e-04,9.086530e-04,1.068360e-03,1.196571e-03,1.220179e-03,1.360767e-03,1.466138e-03,1.487990e-03,1.600733e-03,1.680268e-03,1.698680e-03,1.782105e-03,1.837526e-03,1.851693e-03,1.908389e-03,1.943522e-03,1.953280e-03,1.987515e-03,2.006664e-03,2.012240e-03,2.028558e-03,2.035686e-03,2.037505e-03,2.040035e-03,2.038457e-03,2.037017e-03,2.029231e-03,2.021571e-03,2.017372e-03,2.002055e-03,1.990317e-03,1.983822e-03,1.963146e-03,1.948826e-03,1.940443e-03,1.916073e-03,1.900266e-03,1.890350e-03,1.863547e-03,1.847045e-03,1.835897e-03,1.807605e-03,1.790972e-03,1.778846e-03,1.749770e-03,1.733398e-03,1.720506e-03,1.691167e-03,1.675326e-03,1.661846e-03,1.632625e-03,1.617493e-03,1.603573e-03,1.574748e-03,1.560437e-03,1.546200e-03,1.517970e-03,1.504544e-03,1.490093e-03,1.462598e-03,1.450085e-03,1.435507e-03,1.408840e-03,1.397245e-03,1.382613e-03,1.356836e-03,1.346147e-03,1.331520e-03,1.306669e-03,1.296861e-03,1.282290e-03,1.258383e-03,1.249423e-03,1.234951e-03,1.211993e-03,1.203843e-03,1.189506e-03,1.167488e-03,1.160109e-03,1.145937e-03,1.124846e-03,1.118194e-03,1.104212e-03,1.084030e-03,1.078062e-03,1.064292e-03,1.044994e-03,1.039668e-03,1.026128e-03,1.007688e-03,1.002963e-03,9.896676e-04,9.720587e-04,9.678931e-04,9.548548e-04,9.380484e-04,9.344037e-04,9.216324e-04,9.055993e-04,9.024381e-04,8.899420e-04,8.746531e-04,8.719396e-04,8.597253e-04,8.451514e-04,8.428519e-04,8.309242e-04,8.170368e-04,8.151193e-04,8.034820e-04,7.902529e-04,7.886870e-04,7.773427e-04,7.647446e-04,7.635017e-04,7.524520e-04,7.404582e-04,7.395115e-04,7.287569e-04,7.173417e-04,7.166658e-04,7.062063e-04,6.953446e-04,6.949158e-04,6.847506e-04,6.744183e-04,6.742143e-04,6.643420e-04,6.545159e-04,6.357766e-04,6.179543e-04,6.010084e-04,5.848999e-04,5.695915e-04,5.550473e-04,5.412329e-04,5.281152e-04,5.156628e-04,5.038455e-04,4.926341e-04,4.820011e-04,4.719199e-04,4.623651e-04,4.533125e-04,4.447388e-04,4.366219e-04,4.289406e-04,4.216745e-04,4.148043e-04,4.083114e-04,4.021782e-04,3.963877e-04,3.909237e-04,3.857707e-04,3.809141e-04,3.763397e-04,3.720341e-04,3.679842e-04,3.641780e-04,3.606036e-04,3.572497e-04,3.541058e-04,3.511615e-04,3.484070e-04,3.458331e-04,3.434308e-04,3.411917e-04,3.391075e-04,3.371705e-04,3.353733e-04,3.337089e-04,3.321705e-04,3.307516e-04,3.294460e-04,3.282480e-04,3.271518e-04,3.261522e-04,3.252440e-04
0.000000e+00,1.377109e-08,1.815163e-07,1.892605e-07,1.127590e-06,3.955312e-06,4.133025e-06,1.024223e-05,1.803164e-05,1.855622e-05,2.729574e-05,3.500285e-05,3.565104e-05,4.343358e-05,4.992911e-05,5.062152e-05,5.723172e-05,6.259135e-05,6.329014e-05,6.882465e-05,7.318666e-05,7.386324e-05,7.843351e-05,8.193038e-05,8.256245e-05,8.627630e-05,8.902973e-05,8.960042e-05,9.255921e-05,9.467894e-05,9.517603e-05,9.747320e-05,9.905678e-05,9.947194e-05,1.011924e-04,1.023256e-04,1.026537e-04,1.038738e-04,1.046316e-04,1.048700e-04,1.056583e-04,1.061057e-04,1.062540e-04,1.066713e-04,1.068646e-04,1.069238e-04,1.070242e-04,1.070116e-04,1.069842e-04,1.068153e-04,1.066381e-04,1.065277e-04,1.061314e-04,1.058251e-04,1.056357e-04,1.050492e-04,1.046435e-04,1.043800e-04,1.036357e-04,1.031561e-04,1.028235e-04,1.019500e-04,1.014178e-04,1.010215e-04,1.000437e-04,9.947668e-05,9.902211e-05,9.796177e-05,9.737475e-05,9.686741e-05,9.574345e-05,9.514866e-05,9.459398e-05,9.342281e-05,9.283021e-05,9.223350e-05,9.102934e-05,9.044697e-05,8.981338e-05,8.858845e-05,8.802271e-05,8.735719e-05,8.612202e-05,8.557788e-05,8.488517e-05,8.364872e-05,8.312999e-05,8.241457e-05,8.118447e-05,8.069392e-05,7.996002e-05,7.874270e-05,7.828227e-05,7.753385e-05,7.633469e-05,7.590559e-05,7.514636e-05,7.396985e-05,7.357269e-05,7.280608e-05,7.165588e-05,7.129081e-05,7.051999e-05,6.939907e-05,6.906581e-05,6.829371e-05,6.720443e-05,6.690237e-05,6.613167e-05,6.507584e-05,6.480414e-05,6.403728e-05,6.301626e-05,6.277386e-05,6.201303e-05,6.102779e-05,6.081346e-05,6.006068e-05,5.911182e-05,5.892424e-05,5.818129e-05,5.726913e-05,5.710689e-05,5.637535e-05,5.549996e-05,5.536160e-05,5.464290e-05,5.380411e-05,5.368814e-05,5.298352e-05,5.218101e-05,5.208591e-05,5.139646e-05,5.062973e-05,5.055403e-05,4.988067e-05,4.914912e-05,4.909135e-05,4.843488e-05,4.773778e-05,4.769649e-05,4.705760e-05,4.639413e-05,4.636794e-05,4.574716e-05,4.511647e-05,4.510402e-05,4.450181e-05,4.390295e-05,4.276287e-05,4.168187e-05,4.065798e-05,3.968920e-05,3.877355e-05,3.790901e-05,3.709361e-05,3.632538e-05,3.560237e-05,3.492268e-05,3.428445e-05,3.368584e-05,3.312507e-05,3.260042e-05,3.211020e-05,3.165277e-05,3.122656e-05,3.083005e-05,3.046175e-05,3.012025e-05,2.980417e-05,2.951220e-05,2.924308e-05,2.899557e-05,2.876853e-05,2.856082e-05,2.837136e-05,2.819914e-05,2.804317e-05,2.790250e-05,2.777623e-05,2.766351e-05,2.756351e-05,2.747545e-05,2.739858e-05,2.733219e-05,2.727560e-05,2.722816e-05,2.718925e-05,2.715830e-05,2.713474e-05,2.711804e-05,2.710771e-05,2.710327e-05,2.710426e-05,2.711026e-05,2.712085e-05,2.713567e-05,2.715434e-05
0.000000e+00,4.031247e-09,1.755434e-07,1.861009e-07,2.029613e-06,9.542127e-06,1.005169e-05,2.818444e-05,5.119660e-05,5.272941e-05,7.807839e-05,1.002794e-04,1.021440e-04,1.245292e-04,1.432334e-04,1.452296e-04,1.643191e-04,1.798549e-04,1.818853e-04,1.980153e-04,2.108025e-04,2.127931e-04,2.262993e-04,2.367188e-04,2.386116e-04,2.498041e-04,2.581964e-04,2.599480e-04,2.691111e-04,2.757788e-04,2.773578e-04,2.847493e-04,2.899582e-04,2.913432e-04,2.971941e-04,3.011754e-04,3.023530e-04,3.068683e-04,3.098218e-04,3.107850e-04,3.141455e-04,3.162430e-04,3.169895e-04,3.193542e-04,3.207430e-04,3.212744e-04,3.227826e-04,3.235885e-04,3.239094e-04,3.246830e-04,3.250132e-04,3.251302e-04,3.252759e-04,3.252216e-04,3.251431e-04,3.247536e-04,3.243921e-04,3.241277e-04,3.232841e-04,3.226810e-04,3.222407e-04,3.210137e-04,3.202241e-04,3.196187e-04,3.180698e-04,3.171402e-04,3.163804e-04,3.145630e-04,3.135325e-04,3.126291e-04,3.105896e-04,3.094907e-04,3.084545e-04,3.062332e-04,3.050930e-04,3.039344e-04,3.015662e-04,3.004071e-04,2.991362e-04,2.966514e-04,2.954918e-04,2.941183e-04,2.915430e-04,2.903979e-04,2.889311e-04,2.862879e-04,2.851695e-04,2.836182e-04,2.809265e-04,2.798446e-04,2.782170e-04,2.754937e-04,2.744559e-04,2.727600e-04,2.700192e-04,2.690315e-04,2.672746e-04,2.645288e-04,2.635955e-04,2.617846e-04,2.590443e-04,2.581686e-04,2.563102e-04,2.535843e-04,2.527684e-04,2.508685e-04,2.481646e-04,2.474098e-04,2.454741e-04,2.427985e-04,2.421054e-04,2.401392e-04,2.374973e-04,2.368660e-04,2.348740e-04,2.322703e-04,2.317002e-04,2.296871e-04,2.271252e-04,2.266155e-04,2.245854e-04,2.220684e-04,2.216178e-04,2.195748e-04,2.171050e-04,2.167121e-04,2.146596e-04,2.122391e-04,2.119022e-04,2.098437e-04,2.074738e-04,2.071911e-04,2.051297e-04,2.028115e-04,2.025811e-04,2.005196e-04,1.982540e-04,1.980739e-04,1.960148e-04,1.938023e-04,1.936704e-04,1.916163e-04,1.894571e-04,1.893712e-04,1.873245e-04,1.852185e-04,1.851767e-04,1.831392e-04,1.810865e-04,1.771002e-04,1.732171e-04,1.694363e-04,1.657566e-04,1.621768e-04,1.586955e-04,1.553111e-04,1.520222e-04,1.488270e-04,1.457239e-04,1.427111e-04,1.397868e-04,1.369493e-04,1.341967e-04,1.315273e-04,1.289393e-04,1.264308e-04,1.240002e-04,1.216455e-04,1.193650e-04,1.171571e-04,1.150200e-04,1.129521e-04,1.109516e-04,1.090169e-04,1.071465e-04,1.053387e-04,1.035921e-04,1.019050e-04,1.002760e-04,9.870359e-05,9.718640e-05,9.572297e-05,9.431195e-05,9.295198e-05,9.164174e-05,9.037994e-05,8.916530e-05,8.799660e-05,8.687260e-05,8.579212e-05,8.475401e-05,8.375710e-05,8.280030e-05,8.188249e-05,8.100262e-05,8.015964e-05,7.935252e-05,7.858025e-05
0.000000e+00,4.200417e-10,4.763047e-09,4.953546e-09,2.543551e-08,7.677893e-08,7.977401e-08,1.768696e-07,2.985012e-07,3.068556e-07,4.492753e-07,5.780804e-07,5.889808e-07,7.202576e-07,8.301563e-07,8.418831e-07,9.539483e-07,1.044994e-06,1.056880e-06,1.151186e-06,1.225787e-06,1.237386e-06,1.315985e-06,1.376492e-06,1.387472e-06,1.452310e-06,1.500829e-06,1.510944e-06,1.563790e-06,1.602164e-06,1.611241e-06,1.653667e-06,1.683494e-06,1.691414e-06,1.724806e-06,1.747462e-06,1.754151e-06,1.779734e-06,1.796402e-06,1.801823e-06,1.820669e-06,1.832362e-06,1.836507e-06,1.849556e-06,1.857141e-06,1.860022e-06,1.868096e-06,1.872312e-06,1.873958e-06,1.877775e-06,1.879250e-06,1.879703e-06,1.879889e-06,1.879157e-06,1.878469e-06,1.875569e-06,1.873081e-06,1.871309e-06,1.865800e-06,1.861937e-06,1.859144e-06,1.851438e-06,1.846523e-06,1.842771e-06,1.833228e-06,1.827530e-06,1.822886e-06,1.811818e-06,1.805563e-06,1.800091e-06,1.787769e-06,1.781145e-06,1.774909e-06,1.761567e-06,1.754731e-06,1.747794e-06,1.733635e-06,1.726716e-06,1.719137e-06,1.704338e-06,1.697440e-06,1.689277e-06,1.673989e-06,1.667198e-06,1.658506e-06,1.642859e-06,1.636246e-06,1.627077e-06,1.611184e-06,1.604801e-06,1.595205e-06,1.579162e-06,1.573054e-06,1.563077e-06,1.546967e-06,1.541165e-06,1.530850e-06,1.514743e-06,1.509272e-06,1.498661e-06,1.482617e-06,1.477494e-06,1.466625e-06,1.450694e-06,1.445929e-06,1.434838e-06,1.419064e-06,1.414664e-06,1.403383e-06,1.387801e-06,1.383767e-06,1.372328e-06,1.356968e-06,1.353300e-06,1.341730e-06,1.326617e-06,1.323310e-06,1.311636e-06,1.296791e-06,1.293838e-06,1.282085e-06,1.267522e-06,1.264917e-06,1.253106e-06,1.238839e-06,1.236571e-06,1.224725e-06,1.210763e-06,1.208821e-06,1.196958e-06,1.183310e-06,1.181683e-06,1.169820e-06,1.156490e-06,1.155166e-06,1.143321e-06,1.130312e-06,1.129278e-06,1.117465e-06,1.104779e-06,1.104023e-06,1.092256e-06,1.079893e-06,1.079402e-06,1.067693e-06,1.055653e-06,1.055414e-06,1.043774e-06,1.032055e-06,1.009321e-06,9.872048e-07,9.656998e-07,9.447973e-07,9.244879e-07,9.047617e-07,8.856083e-07,8.670166e-07,8.489756e-07,8.314736e-07,8.144991e-07,7.980404e-07,7.820855e-07,7.666228e-07,7.516402e-07,7.371263e-07,7.230692e-07,7.094575e-07,6.962799e-07,6.835251e-07,6.711821e-07,6.592400e-07,6.476883e-07,6.365163e-07,6.257139e-07,6.152709e-07,6.051776e-07,5.954243e-07,5.860016e-07,5.769003e-07,5.681114e-07,5.596261e-07,5.514358e-07,5.435321e-07,5.359070e-07,5.285524e-07,5.214605e-07,5.146238e-07,5.080350e-07,5.016868e-07,4.955721e-07,4.896843e-07,4.840166e-07,4.785625e-07,4.733158e-07,4.682702e-07,4.634198e-07,4.587588e-07,4.542815e-07
0.000000e+00,5.444229e-10,3.934030e-08,4.188900e-08,5.543992e-07,3.475166e-06,3.714705e-06,1.580465e-05,4.373586e-05,4.620716e-05,9.940895e-05,1.640845e-04,1.701569e-04,2.484757e-04,3.183672e-04,3.259032e-04,3.975288e-04,4.540904e-04,4.613064e-04,5.168345e-04,5.582545e-04,5.644714e-04,6.048620e-04,6.337093e-04,6.387157e-04,6.667246e-04,6.857822e-04,6.895302e-04,7.077186e-04,7.193037e-04,7.218211e-04,7.323165e-04,7.382784e-04,7.396368e-04,7.441701e-04,7.459670e-04,7.462645e-04,7.462321e-04,7.450040e-04,7.443517e-04,7.408722e-04,7.375022e-04,7.360151e-04,7.299777e-04,7.251436e-04,7.229348e-04,7.150417e-04,7.092594e-04,7.064356e-04,6.972380e-04,6.908962e-04,6.875561e-04,6.774843e-04,6.708726e-04,6.671058e-04,6.564934e-04,6.498248e-04,6.457113e-04,6.348155e-04,6.282440e-04,6.238547e-04,6.128717e-04,6.065061e-04,6.019033e-04,5.909815e-04,5.848961e-04,5.801339e-04,5.693841e-04,5.636270e-04,5.587522e-04,5.482555e-04,5.428555e-04,5.379083e-04,5.277226e-04,5.226935e-04,5.177084e-04,5.078737e-04,5.032187e-04,4.982249e-04,4.887670e-04,4.844815e-04,4.795038e-04,4.704379e-04,4.665118e-04,4.615709e-04,4.529038e-04,4.493232e-04,4.444366e-04,4.361687e-04,4.329172e-04,4.280992e-04,4.202264e-04,4.172860e-04,4.125485e-04,4.050631e-04,4.024150e-04,3.977676e-04,3.906593e-04,3.882846e-04,3.837352e-04,3.769919e-04,3.748718e-04,3.704264e-04,3.640350e-04,3.621510e-04,3.578143e-04,3.517608e-04,3.500953e-04,3.458708e-04,3.401408e-04,3.386767e-04,3.345671e-04,3.291460e-04,3.278673e-04,3.238740e-04,3.187475e-04,3.176389e-04,3.137629e-04,3.089167e-04,3.079638e-04,3.042054e-04,2.996255e-04,2.988149e-04,2.951738e-04,2.908468e-04,2.901658e-04,2.866413e-04,2.825541e-04,2.819912e-04,2.785821e-04,2.747222e-04,2.742664e-04,2.709714e-04,2.673267e-04,2.669680e-04,2.637853e-04,2.603443e-04,2.600733e-04,2.570010e-04,2.537528e-04,2.535609e-04,2.505970e-04,2.475310e-04,2.474102e-04,2.445524e-04,2.416587e-04,2.416017e-04,2.388477e-04,2.361169e-04,2.309381e-04,2.260485e-04,2.214324e-04,2.170746e-04,2.129610e-04,2.090782e-04,2.054133e-04,2.019543e-04,1.986899e-04,1.956092e-04,1.927020e-04,1.899589e-04,1.873706e-04,1.849285e-04,1.826246e-04,1.804512e-04,1.784011e-04,1.764673e-04,1.746435e-04,1.729236e-04,1.713017e-04,1.697725e-04,1.683307e-04,1.669717e-04,1.656906e-04,1.644834e-04,1.633457e-04,1.622739e-04,1.612641e-04,1.603131e-04,1.594175e-04,1.585742e-04,1.577805e-04,1.570334e-04,1.563305e-04,1.556692e-04,1.550474e-04,1.544627e-04,1.539132e-04,1.533968e-04,1.529118e-04,1.524564e-04,1.520289e-04,1.516279e-04,1.512518e-04,1.508993e-04,1.505691e-04,1.502598e-04,1.499704e-04
0.000000e+00,5.631124e-11,6.450031e-09,6.931388e-09,1.395957e-07,1.198707e-06,1.296183e-06,7.169798e-06,2.486981e-05,2.665445e-05,7.295819e-05,1.503247e-04,1.588842e-04,2.923211e-04,4.541984e-04,4.745182e-04,7.008403e-04,9.297570e-04,9.627235e-04,1.249771e-03,1.508699e-03,1.551440e-03,1.858147e-03,2.113738e-03,2.161847e-03,2.456224e-03,2.687340e-03,2.736619e-03,2.999838e-03,3.196677e-03,3.243893e-03,3.467751e-03,3.628118e-03,3.671098e-03,3.854147e-03,3.980035e-03,4.017477e-03,4.161909e-03,4.257194e-03,4.288421e-03,4.398069e-03,4.467186e-03,4.491946e-03,4.571144e-03,4.618425e-03,4.636736e-03,4.689753e-03,4.719128e-03,4.731183e-03,4.761959e-03,4.776865e-03,4.782962e-03,4.795018e-03,4.798398e-03,4.798899e-03,4.795326e-03,4.789664e-03,4.784970e-03,4.768453e-03,4.755829e-03,4.746356e-03,4.719214e-03,4.701359e-03,4.687528e-03,4.651756e-03,4.630101e-03,4.612327e-03,4.569636e-03,4.545355e-03,4.524046e-03,4.475897e-03,4.449952e-03,4.425499e-03,4.373139e-03,4.346308e-03,4.319084e-03,4.263576e-03,4.236484e-03,4.206841e-03,4.149087e-03,4.122230e-03,4.090502e-03,4.031262e-03,4.005030e-03,3.971526e-03,3.911443e-03,3.886137e-03,3.851146e-03,3.790758e-03,3.766603e-03,3.730391e-03,3.670147e-03,3.647307e-03,3.610120e-03,3.550392e-03,3.528979e-03,3.491042e-03,3.432137e-03,3.412222e-03,3.373740e-03,3.315907e-03,3.297528e-03,3.258688e-03,3.202128e-03,3.185294e-03,3.146266e-03,3.091136e-03,3.075836e-03,3.036771e-03,2.983195e-03,2.969398e-03,2.930433e-03,2.878504e-03,2.866167e-03,2.827424e-03,2.777208e-03,2.766277e-03,2.727866e-03,2.679407e-03,2.669821e-03,2.631837e-03,2.585161e-03,2.576854e-03,2.539381e-03,2.494499e-03,2.487401e-03,2.450513e-03,2.407422e-03,2.401461e-03,2.365222e-03,2.323908e-03,2.319010e-03,2.283476e-03,2.243917e-03,2.240009e-03,2.205226e-03,2.167393e-03,2.164403e-03,2.130410e-03,2.094267e-03,2.092125e-03,2.058954e-03,2.024461e-03,2.023098e-03,1.990776e-03,1.957889e-03,1.957239e-03,1.925787e-03,1.894459e-03,1.834664e-03,1.777757e-03,1.723641e-03,1.672215e-03,1.623380e-03,1.577037e-03,1.533089e-03,1.491438e-03,1.451989e-03,1.414650e-03,1.379329e-03,1.345939e-03,1.314394e-03,1.284611e-03,1.256509e-03,1.230011e-03,1.205042e-03,1.181530e-03,1.159406e-03,1.138603e-03,1.119056e-03,1.100706e-03,1.083492e-03,1.067359e-03,1.052252e-03,1.038121e-03,1.024914e-03,1.012586e-03,1.001091e-03,9.903863e-04,9.804302e-04,9.711837e-04,9.626093e-04,9.546713e-04,9.473355e-04,9.405695e-04,9.343422e-04,9.286241e-04,9.233872e-04,9.186044e-04,9.142505e-04,9.103009e-04,9.067327e-04,9.035236e-04,9.006529e-04,8.981004e-04,8.958473e-04,8.938754e-04,8.921676e-04
0.000000e+00,3.874368e-11,4.372566e-09,4.694842e-09,8.922937e-08,7.270613e-07,7.848989e-07,4.253861e-06,1.503852e-05,1.615537e-05,4.660754e-05,1.020624e-04,1.084677e-04,2.136441e-04,3.518253e-04,3.698457e-04,5.791468e-04,8.047601e-04,8.382723e-04,1.139892e-03,1.425861e-03,1.474243e-03,1.830627e-03,2.139329e-03,2.198571e-03,2.568602e-03,2.867892e-03,2.932675e-03,3.284332e-03,3.553377e-03,3.618675e-03,3.932229e-03,4.160884e-03,4.222744e-03,4.488984e-03,4.674801e-03,4.730516e-03,4.947519e-03,5.092668e-03,5.140626e-03,5.310787e-03,5.419742e-03,5.459165e-03,5.587048e-03,5.665095e-03,5.695789e-03,5.786756e-03,5.839152e-03,5.861300e-03,5.920730e-03,5.952287e-03,5.966301e-03,5.999200e-03,6.014123e-03,6.020542e-03,6.031373e-03,6.033237e-03,6.032661e-03,6.025308e-03,6.017097e-03,6.010144e-03,5.987938e-03,5.972113e-03,5.959397e-03,5.925172e-03,5.903748e-03,5.885859e-03,5.842008e-03,5.816619e-03,5.794119e-03,5.742655e-03,5.714623e-03,5.688038e-03,5.630653e-03,5.601035e-03,5.570856e-03,5.508968e-03,5.478607e-03,5.445286e-03,5.380079e-03,5.349641e-03,5.313595e-03,5.246058e-03,5.216062e-03,5.177674e-03,5.108629e-03,5.079474e-03,5.039094e-03,4.969223e-03,4.941213e-03,4.899158e-03,4.829025e-03,4.802382e-03,4.758942e-03,4.689011e-03,4.663892e-03,4.619329e-03,4.549980e-03,4.526491e-03,4.481042e-03,4.412583e-03,4.390787e-03,4.344665e-03,4.277344e-03,4.257272e-03,4.210669e-03,4.144684e-03,4.126337e-03,4.079428e-03,4.014933e-03,3.998293e-03,3.951231e-03,3.888346e-03,3.873378e-03,3.826302e-03,3.765117e-03,3.751773e-03,3.704807e-03,3.645385e-03,3.633608e-03,3.586862e-03,3.529246e-03,3.518972e-03,3.472544e-03,3.416760e-03,3.407919e-03,3.361896e-03,3.307954e-03,3.300475e-03,3.254933e-03,3.202832e-03,3.196641e-03,3.151648e-03,3.101377e-03,3.096400e-03,3.052014e-03,3.003553e-03,2.999715e-03,2.955989e-03,2.909313e-03,2.906541e-03,2.863519e-03,2.818597e-03,2.816818e-03,2.774539e-03,2.731336e-03,2.730480e-03,2.688978e-03,2.647455e-03,2.567662e-03,2.491021e-03,2.417446e-03,2.346852e-03,2.279149e-03,2.214251e-03,2.152068e-03,2.092514e-03,2.035502e-03,1.980946e-03,1.928764e-03,1.878872e-03,1.831190e-03,1.785639e-03,1.742144e-03,1.700628e-03,1.661020e-03,1.623249e-03,1.587246e-03,1.552945e-03,1.520282e-03,1.489194e-03,1.459620e-03,1.431503e-03,1.404785e-03,1.379412e-03,1.355330e-03,1.332490e-03,1.310841e-03,1.290335e-03,1.270927e-03,1.252571e-03,1.235226e-03,1.218848e-03,1.203398e-03,1.188838e-03,1.175129e-03,1.162236e-03,1.150124e-03,1.138759e-03,1.128108e-03,1.118140e-03,1.108825e-03,1.100133e-03,1.092036e-03,1.084508e-03,1.077521e-03,1.071050e-03,1.065071e-03
0.000000e+00,2.829281e-11,3.436169e-09,3.695018e-09,7.402973e-08,6.044223e-07,6.520273e-07,3.428941e-06,1.169351e-05,1.253407e-05,3.500630e-05,7.510034e-05,7.970458e-05,1.550760e-04,2.540938e-04,2.670290e-04,4.177670e-04,5.813058e-04,6.056857e-04,8.260156e-04,1.036168e-03,1.071820e-03,1.335039e-03,1.563538e-03,1.607399e-03,1.881094e-03,2.101659e-03,2.149245e-03,2.406140e-03,2.600514e-03,2.647320e-03,2.869547e-03,3.028318e-03,3.070687e-03,3.249570e-03,3.370379e-03,3.405820e-03,3.539693e-03,3.624770e-03,3.651924e-03,3.743596e-03,3.797601e-03,3.816023e-03,3.870662e-03,3.899140e-03,3.909036e-03,3.932684e-03,3.941124e-03,3.943113e-03,3.941770e-03,3.935105e-03,3.930026e-03,3.909157e-03,3.891562e-03,3.880345e-03,3.844670e-03,3.819540e-03,3.803115e-03,3.756567e-03,3.726577e-03,3.705823e-03,3.651597e-03,3.618804e-03,3.594524e-03,3.535166e-03,3.501116e-03,3.474022e-03,3.411530e-03,3.377361e-03,3.348075e-03,3.283994e-03,3.250524e-03,3.219582e-03,3.155094e-03,3.122893e-03,3.090753e-03,3.026750e-03,2.996197e-03,2.963248e-03,2.900389e-03,2.871723e-03,2.838292e-03,2.777057e-03,2.750410e-03,2.716770e-03,2.657500e-03,2.632924e-03,2.599303e-03,2.542227e-03,2.519718e-03,2.486306e-03,2.431568e-03,2.411082e-03,2.378033e-03,2.325715e-03,2.307179e-03,2.274621e-03,2.224754e-03,2.208079e-03,2.176114e-03,2.128694e-03,2.113777e-03,2.082488e-03,2.037483e-03,2.024213e-03,1.993666e-03,1.951021e-03,1.939289e-03,1.909533e-03,1.869181e-03,1.858874e-03,1.829948e-03,1.791812e-03,1.782820e-03,1.754752e-03,1.718747e-03,1.710965e-03,1.683774e-03,1.649811e-03,1.643138e-03,1.616836e-03,1.584825e-03,1.579163e-03,1.553755e-03,1.523605e-03,1.518865e-03,1.494351e-03,1.465972e-03,1.462067e-03,1.438444e-03,1.411746e-03,1.408597e-03,1.385856e-03,1.360753e-03,1.358285e-03,1.336416e-03,1.312824e-03,1.310968e-03,1.289957e-03,1.267796e-03,1.266488e-03,1.246320e-03,1.225510e-03,1.224692e-03,1.205349e-03,1.185817e-03,1.185433e-03,1.166897e-03,1.148572e-03,1.113976e-03,1.081517e-03,1.051074e-03,1.022533e-03,9.957846e-04,9.707259e-04,9.472590e-04,9.252914e-04,9.047357e-04,8.855091e-04,8.675336e-04,8.507355e-04,8.350451e-04,8.203969e-04,8.067287e-04,7.939822e-04,7.821022e-04,7.710368e-04,7.607369e-04,7.511565e-04,7.422519e-04,7.339823e-04,7.263089e-04,7.191954e-04,7.126075e-04,7.065129e-04,7.008812e-04,6.956837e-04,6.908935e-04,6.864852e-04,6.824349e-04,6.787201e-04,6.753195e-04,6.722133e-04,6.693826e-04,6.668098e-04,6.644782e-04,6.623723e-04,6.604773e-04,6.587792e-04,6.572652e-04,6.559229e-04,6.547408e-04,6.537081e-04,6.528145e-04,6.520505e-04,6.514071e-04,6.508757e-04,6.504485e-04
0.000000e+00,2.264086e-10,2.057101e-08,2.198837e-08,3.341124e-07,2.212621e-06,2.368700e-06,1.049433e-05,3.117840e-05,3.314249e-05,8.099520e-05,1.545427e-04,1.623789e-04,2.790686e-04,4.098383e-04,4.255584e-04,5.917067e-04,7.452787e-04,7.663421e-04,9.398471e-04,1.082762e-03,1.105242e-03,1.258177e-03,1.375326e-03,1.396410e-03,1.519181e-03,1.608418e-03,1.626664e-03,1.719578e-03,1.784077e-03,1.798908e-03,1.865754e-03,1.909945e-03,1.921230e-03,1.966414e-03,1.994499e-03,2.002323e-03,2.029900e-03,2.045455e-03,2.050011e-03,2.063452e-03,2.069409e-03,2.070947e-03,2.073153e-03,2.071873e-03,2.070669e-03,2.064037e-03,2.057410e-03,2.053748e-03,2.040248e-03,2.029775e-03,2.023938e-03,2.005183e-03,1.992050e-03,1.984313e-03,1.961623e-03,1.946760e-03,1.937382e-03,1.911830e-03,1.895962e-03,1.885185e-03,1.857641e-03,1.841322e-03,1.829371e-03,1.800533e-03,1.784188e-03,1.771267e-03,1.741697e-03,1.725643e-03,1.711935e-03,1.682081e-03,1.666550e-03,1.652222e-03,1.622437e-03,1.607594e-03,1.592794e-03,1.563353e-03,1.549309e-03,1.534168e-03,1.505286e-03,1.492113e-03,1.476746e-03,1.448585e-03,1.436322e-03,1.420832e-03,1.393512e-03,1.382172e-03,1.366647e-03,1.340255e-03,1.329834e-03,1.314350e-03,1.288944e-03,1.279422e-03,1.264046e-03,1.239662e-03,1.231012e-03,1.215799e-03,1.192458e-03,1.184641e-03,1.169641e-03,1.147347e-03,1.140323e-03,1.125575e-03,1.104323e-03,1.098047e-03,1.083585e-03,1.063359e-03,1.057787e-03,1.043638e-03,1.024417e-03,1.019500e-03,1.005687e-03,9.874439e-04,9.831368e-04,9.696784e-04,9.523828e-04,9.486401e-04,9.355492e-04,9.191691e-04,9.159468e-04,9.032339e-04,8.877348e-04,8.849906e-04,8.726629e-04,8.580092e-04,8.557028e-04,8.437648e-04,8.299206e-04,8.280138e-04,8.164676e-04,8.033969e-04,8.018536e-04,7.906995e-04,7.783666e-04,7.771530e-04,7.663894e-04,7.547593e-04,7.538436e-04,7.434677e-04,7.325061e-04,7.318587e-04,7.218661e-04,7.115397e-04,7.111330e-04,7.015186e-04,6.917949e-04,6.916034e-04,6.823610e-04,6.732091e-04,6.558912e-04,6.395935e-04,6.242619e-04,6.098449e-04,5.962930e-04,5.835592e-04,5.715989e-04,5.603693e-04,5.498300e-04,5.399426e-04,5.306705e-04,5.219793e-04,5.138361e-04,5.062099e-04,4.990713e-04,4.923924e-04,4.861469e-04,4.803098e-04,4.748577e-04,4.697681e-04,4.650202e-04,4.605939e-04,4.564706e-04,4.526324e-04,4.490626e-04,4.457452e-04,4.426654e-04,4.398090e-04,4.371625e-04,4.347135e-04,4.324501e-04,4.303609e-04,4.284355e-04,4.266639e-04,4.250366e-04,4.235446e-04,4.221797e-04,4.209339e-04,4.197996e-04,4.187700e-04,4.178382e-04,4.169981e-04,4.162439e-04,4.155698e-04,4.149707e-04,4.144417e-04,4.139781e-04,4.135755e-04,4.132297e-04
0.000000e+00,4.874785e-09,1.037628e-07,1.089341e-07,7.675270e-07,2.560185e-06,2.662911e-06,5.714997e-06,8.824556e-06,9.016787e-06,1.202826e-05,1.445471e-05,1.465033e-05,1.689993e-05,1.863586e-05,1.881310e-05,2.042653e-05,2.162542e-05,2.177414e-05,2.288660e-05,2.367634e-05,2.379148e-05,2.451349e-05,2.499488e-05,2.507471e-05,2.549484e-05,2.574639e-05,2.579137e-05,2.597996e-05,2.606252e-05,2.607453e-05,2.608741e-05,2.604785e-05,2.602957e-05,2.591070e-05,2.578489e-05,2.573942e-05,2.552333e-05,2.533844e-05,2.526896e-05,2.498228e-05,2.475892e-05,2.466866e-05,2.433267e-05,2.408639e-05,2.397841e-05,2.360940e-05,2.335165e-05,2.322876e-05,2.283923e-05,2.257843e-05,2.244318e-05,2.204270e-05,2.178493e-05,2.163963e-05,2.123557e-05,2.098516e-05,2.083188e-05,2.042973e-05,2.018962e-05,2.003016e-05,1.963404e-05,1.940617e-05,1.924211e-05,1.885501e-05,1.864054e-05,1.847326e-05,1.809730e-05,1.789682e-05,1.772750e-05,1.736416e-05,1.717786e-05,1.700752e-05,1.665777e-05,1.648553e-05,1.631505e-05,1.597945e-05,1.582091e-05,1.565103e-05,1.532984e-05,1.518452e-05,1.501587e-05,1.470911e-05,1.457642e-05,1.440953e-05,1.411707e-05,1.399635e-05,1.383167e-05,1.355323e-05,1.344379e-05,1.328169e-05,1.301693e-05,1.291807e-05,1.275884e-05,1.250733e-05,1.241837e-05,1.226227e-05,1.202354e-05,1.194379e-05,1.179102e-05,1.156458e-05,1.149338e-05,1.134410e-05,1.112944e-05,1.106616e-05,1.092048e-05,1.071709e-05,1.066113e-05,1.051915e-05,1.032652e-05,1.027729e-05,1.013908e-05,9.956699e-06,9.913668e-06,9.779263e-06,9.606646e-06,9.569306e-06,9.438730e-06,9.275396e-06,9.243268e-06,9.116528e-06,8.962012e-06,8.934652e-06,8.811737e-06,8.665594e-06,8.642587e-06,8.523475e-06,8.385276e-06,8.366235e-06,8.250894e-06,8.120229e-06,8.104794e-06,7.993182e-06,7.869659e-06,7.857497e-06,7.749565e-06,7.632810e-06,7.623611e-06,7.519304e-06,7.408960e-06,7.402438e-06,7.301693e-06,7.197422e-06,7.193312e-06,7.096064e-06,6.997543e-06,6.995601e-06,6.901781e-06,6.808703e-06,6.632047e-06,6.465089e-06,6.307316e-06,6.158239e-06,6.017394e-06,5.884343e-06,5.758669e-06,5.639978e-06,5.527897e-06,5.422070e-06,5.322163e-06,5.227858e-06,5.138854e-06,5.054867e-06,4.975626e-06,4.900875e-06,4.830373e-06,4.763891e-06,4.701211e-06,4.642129e-06,4.586449e-06,4.533988e-06,4.484571e-06,4.438034e-06,4.394219e-06,4.352979e-06,4.314174e-06,4.277672e-06,4.243347e-06,4.211080e-06,4.180758e-06,4.152276e-06,4.125532e-06,4.100432e-06,4.076884e-06,4.054803e-06,4.034109e-06,4.014725e-06,3.996579e-06,3.979602e-06,3.963728e-06,3.948898e-06,3.935052e-06,3.922136e-06,3.910098e-06,3.898888e-06,3.888460e-06,3.878770e-06,3.869776e-06
0.000000e+00,9.833605e-11,1.216259e-08,1.308660e-08,2.687923e-07,2.199884e-06,2.372187e-06,1.221429e-05,4.023658e-05,4.301893e-05,1.147120e-04,2.351765e-04,2.486132e-04,4.610723e-04,7.259151e-04,7.596698e-04,1.142710e-03,1.542430e-03,1.600953e-03,2.120253e-03,2.603163e-03,2.684167e-03,3.276049e-03,3.783512e-03,3.880488e-03,4.484131e-03,4.970770e-03,5.076034e-03,5.647680e-03,6.086121e-03,6.192786e-03,6.707013e-03,7.084870e-03,7.187631e-03,7.633196e-03,7.948077e-03,8.043260e-03,8.418117e-03,8.673317e-03,8.758596e-03,9.065903e-03,9.267425e-03,9.341478e-03,9.586907e-03,9.741658e-03,9.803850e-03,9.993993e-03,1.010884e-02,1.015901e-02,1.030052e-02,1.038181e-02,1.042010e-02,1.051925e-02,1.057265e-02,1.059941e-02,1.066192e-02,1.069239e-02,1.070808e-02,1.073908e-02,1.075089e-02,1.075607e-02,1.076011e-02,1.075691e-02,1.075219e-02,1.073327e-02,1.071819e-02,1.070421e-02,1.066585e-02,1.064153e-02,1.061894e-02,1.056423e-02,1.053292e-02,1.050238e-02,1.043402e-02,1.039758e-02,1.035974e-02,1.028010e-02,1.024012e-02,1.019562e-02,1.010676e-02,1.006455e-02,1.001399e-02,9.917727e-03,9.874363e-03,9.818354e-03,9.716240e-03,9.672617e-03,9.611724e-03,9.505123e-03,9.461966e-03,9.396732e-03,9.286824e-03,9.244715e-03,9.175654e-03,9.063458e-03,9.022860e-03,8.950457e-03,8.836853e-03,8.798124e-03,8.722835e-03,8.608577e-03,8.571991e-03,8.494243e-03,8.379980e-03,8.345736e-03,8.265926e-03,8.152209e-03,8.120444e-03,8.038945e-03,7.926242e-03,7.897043e-03,7.814198e-03,7.702905e-03,7.676315e-03,7.592443e-03,7.482890e-03,7.458917e-03,7.374313e-03,7.266776e-03,7.245398e-03,7.160334e-03,7.055039e-03,7.036211e-03,6.950937e-03,6.848069e-03,6.831727e-03,6.746472e-03,6.646178e-03,6.632243e-03,6.547217e-03,6.449612e-03,6.437992e-03,6.353386e-03,6.258558e-03,6.249153e-03,6.165143e-03,6.073155e-03,6.065858e-03,5.982603e-03,5.893497e-03,5.888197e-03,5.805842e-03,5.719643e-03,5.716225e-03,5.634901e-03,5.551618e-03,5.549967e-03,5.469793e-03,5.389422e-03,5.234566e-03,5.085357e-03,4.941735e-03,4.803629e-03,4.670956e-03,4.543623e-03,4.421530e-03,4.304571e-03,4.192635e-03,4.085607e-03,3.983368e-03,3.885800e-03,3.792779e-03,3.704185e-03,3.619895e-03,3.539786e-03,3.463736e-03,3.391624e-03,3.323329e-03,3.258732e-03,3.197715e-03,3.140162e-03,3.085958e-03,3.034990e-03,2.987145e-03,2.942315e-03,2.900391e-03,2.861266e-03,2.824837e-03,2.791001e-03,2.759656e-03,2.730705e-03,2.704050e-03,2.679595e-03,2.657247e-03,2.636915e-03,2.618509e-03,2.601941e-03,2.587125e-03,2.573976e-03,2.562412e-03,2.552352e-03,2.543718e-03,2.536433e-03,2.530421e-03,2.525610e-03,2.521929e-03,2.519307e-03,2.517678e-03
0.000000e+00,4.134447e-10,6.135776e-08,6.628238e-08,1.679880e-06,1.696525e-05,1.845343e-05,1.171256e-04,4.614438e-04,4.987371e-04,1.582018e-03,3.775124e-03,4.043007e-03,8.804798e-03,1.598454e-02,1.699278e-02,2.987142e-02,4.614369e-02,4.877470e-02,7.503815e-02,1.044870e-01,1.099378e-01,1.546389e-01,2.005089e-01,2.101548e-01,2.773181e-01,3.415334e-01,3.567610e-01,4.489058e-01,5.319156e-01,5.539633e-01,6.719381e-01,7.728096e-01,8.026396e-01,9.456966e-01,1.062360e+00,1.100575e+00,1.266599e+00,1.396167e+00,1.442970e+00,1.628789e+00,1.767883e+00,1.823079e+00,2.024801e+00,2.169853e+00,2.232879e+00,2.446211e+00,2.593713e+00,2.663690e+00,2.884218e+00,3.030911e+00,3.106715e+00,3.330133e+00,3.473136e+00,3.553464e+00,3.775750e+00,3.912642e+00,3.996084e+00,4.213619e+00,4.342467e+00,4.427570e+00,4.637214e+00,4.756573e+00,4.841895e+00,5.041022e+00,5.149908e+00,5.234068e+00,5.420571e+00,5.518418e+00,5.600129e+00,5.772401e+00,5.859006e+00,5.937103e+00,6.094004e+00,6.169472e+00,6.242927e+00,6.383739e+00,6.448422e+00,6.516356e+00,6.640731e+00,6.695172e+00,6.756857e+00,6.864763e+00,6.909651e+00,6.964507e+00,7.056178e+00,7.092299e+00,7.139889e+00,7.215777e+00,7.243976e+00,7.283998e+00,7.344725e+00,7.365875e+00,7.398146e+00,7.444464e+00,7.459439e+00,7.483889e+00,7.516644e+00,7.526301e+00,7.542956e+00,7.563057e+00,7.568216e+00,7.577185e+00,7.585579e+00,7.587015e+00,7.588480e+00,7.586128e+00,7.584561e+00,7.578763e+00,7.566624e+00,7.562715e+00,7.549946e+00,7.528961e+00,7.523309e+00,7.503897e+00,7.474980e+00,7.468123e+00,7.442428e+00,7.406456e+00,7.398869e+00,7.367272e+00,7.325080e+00,7.317181e+00,7.280077e+00,7.232454e+00,7.224603e+00,7.182396e+00,7.130081e+00,7.122587e+00,7.075683e+00,7.019368e+00,7.012489e+00,6.961295e+00,6.901618e+00,6.895567e+00,6.840484e+00,6.778035e+00,6.772987e+00,6.714407e+00,6.649729e+00,6.645818e+00,6.584125e+00,6.517712e+00,6.515041e+00,6.450605e+00,6.382909e+00,6.381550e+00,6.314727e+00,6.246157e+00,6.109596e+00,5.972530e+00,5.835552e+00,5.699192e+00,5.563921e+00,5.430158e+00,5.298268e+00,5.168574e+00,5.041354e+00,4.916850e+00,4.795267e+00,4.676777e+00,4.561527e+00,4.449633e+00,4.341190e+00,4.236269e+00,4.134924e+00,4.037188e+00,3.943081e+00,3.852607e+00,3.765757e+00,3.682512e+00,3.602842e+00,3.526706e+00,3.454056e+00,3.384838e+00,3.318990e+00,3.256444e+00,3.197128e+00,3.140965e+00,3.087875e+00,3.037773e+00,2.990574e+00,2.946188e+00,2.904524e+00,2.865492e+00,2.828997e+00,2.794945e+00,2.763243e+00,2.733796e+00,2.706509e+00,2.681289e+00,2.658043e+00,2.636677e+00,2.617102e+00,2.599227e+00,2.582962e+00,2.568223e+00,2.554922e+00
0.000000e+00,2.593012e-10,4.006576e-08,4.332229e-08,1.142635e-06,1.176256e-05,1.279970e-05,8.147483e-05,3.190977e-04,3.447100e-04,1.083447e-03,2.564717e-03,2.744939e-03,5.934903e-03,1.071854e-02,1.138882e-02,1.993202e-02,3.069700e-02,3.243565e-02,4.977356e-02,6.919073e-02,7.278306e-02,1.022315e-01,1.324382e-01,1.387896e-01,1.830112e-01,2.252932e-01,2.353204e-01,2.960036e-01,3.506828e-01,3.652078e-01,4.429432e-01,5.094258e-01,5.290889e-01,6.234026e-01,7.003300e-01,7.255308e-01,8.350226e-01,9.204751e-01,9.513424e-01,1.073884e+00,1.165597e+00,1.201985e+00,1.334940e+00,1.430504e+00,1.472014e+00,1.612453e+00,1.709486e+00,1.755497e+00,1.900388e+00,1.996667e+00,2.046383e+00,2.192757e+00,2.286311e+00,2.338810e+00,2.483878e+00,2.573048e+00,2.627331e+00,2.768580e+00,2.852043e+00,2.907079e+00,3.042326e+00,3.119098e+00,3.173866e+00,3.301289e+00,3.370710e+00,3.424231e+00,3.542376e+00,3.604081e+00,3.655449e+00,3.763220e+00,3.817100e+00,3.865498e+00,3.962135e+00,4.008301e+00,4.053017e+00,4.138066e+00,4.176803e+00,4.217236e+00,4.290512e+00,4.322242e+00,4.357906e+00,4.419455e+00,4.444700e+00,4.475221e+00,4.525284e+00,4.544633e+00,4.569744e+00,4.608719e+00,4.622802e+00,4.642338e+00,4.670746e+00,4.680205e+00,4.694095e+00,4.712548e+00,4.718026e+00,4.726277e+00,4.735456e+00,4.737573e+00,4.740267e+00,4.740893e+00,4.740240e+00,4.737520e+00,4.730336e+00,4.727465e+00,4.719527e+00,4.705281e+00,4.700701e+00,4.687782e+00,4.667213e+00,4.661384e+00,4.643754e+00,4.617583e+00,4.610918e+00,4.588873e+00,4.557794e+00,4.550655e+00,4.524509e+00,4.489180e+00,4.481883e+00,4.451962e+00,4.413006e+00,4.405820e+00,4.372456e+00,4.330454e+00,4.323608e+00,4.287133e+00,4.242623e+00,4.236304e+00,4.197048e+00,4.150528e+00,4.144887e+00,4.103175e+00,4.055098e+00,4.050255e+00,4.006401e+00,3.957181e+00,3.953224e+00,3.907532e+00,3.857543e+00,3.854535e+00,3.807297e+00,3.756874e+00,3.754854e+00,3.706348e+00,3.655790e+00,3.654779e+00,3.605267e+00,3.554841e+00,3.455511e+00,3.357202e+00,3.260275e+00,3.165043e+00,3.071774e+00,2.980698e+00,2.892005e+00,2.805857e+00,2.722380e+00,2.641680e+00,2.563833e+00,2.488898e+00,2.416912e+00,2.347896e+00,2.281858e+00,2.218790e+00,2.158672e+00,2.101477e+00,2.047165e+00,1.995690e+00,1.947000e+00,1.901036e+00,1.857733e+00,1.817024e+00,1.778835e+00,1.743091e+00,1.709716e+00,1.678628e+00,1.649746e+00,1.622986e+00,1.598267e+00,1.575501e+00,1.554606e+00,1.535497e+00,1.518089e+00,1.502298e+00,1.488042e+00,1.475239e+00,1.463807e+00,1.453667e+00,1.444741e+00,1.436952e+00,1.430227e+00,1.424492e+00,1.419677e+00,1.415713e+00,1.412535e+00,1.410078e+00,1.408280e+00
0.000000e+00,1.171924e-08,2.559983e-07,2.691866e-07,2.111654e-06,7.713685e-06,8.042496e-06,1.770388e-05,2.750754e-05,2.812496e-05,3.811478e-05,4.674063e-05,4.746430e-05,5.615857e-05,6.344138e-05,6.421985e-05,7.167729e-05,7.776391e-05,7.856055e-05,8.489853e-05,8.993446e-05,9.071925e-05,9.604986e-05,1.001681e-04,1.009167e-04,1.053454e-04,1.086672e-04,1.093605e-04,1.129861e-04,1.156217e-04,1.162453e-04,1.191602e-04,1.212085e-04,1.217520e-04,1.240404e-04,1.255883e-04,1.260443e-04,1.277818e-04,1.289061e-04,1.292700e-04,1.305254e-04,1.312944e-04,1.315643e-04,1.324016e-04,1.328751e-04,1.330510e-04,1.335256e-04,1.337548e-04,1.338377e-04,1.339988e-04,1.340277e-04,1.340197e-04,1.339108e-04,1.337775e-04,1.336818e-04,1.333417e-04,1.330788e-04,1.328991e-04,1.323620e-04,1.319976e-04,1.317381e-04,1.310344e-04,1.305924e-04,1.302576e-04,1.294141e-04,1.289147e-04,1.285096e-04,1.275498e-04,1.270103e-04,1.265398e-04,1.254845e-04,1.249193e-04,1.243884e-04,1.232558e-04,1.226771e-04,1.220908e-04,1.208970e-04,1.203149e-04,1.196781e-04,1.184371e-04,1.178598e-04,1.171773e-04,1.159014e-04,1.153357e-04,1.146122e-04,1.133121e-04,1.127634e-04,1.120034e-04,1.106883e-04,1.101610e-04,1.093689e-04,1.080469e-04,1.075442e-04,1.067241e-04,1.054021e-04,1.049266e-04,1.040824e-04,1.027663e-04,1.023200e-04,1.014553e-04,1.001503e-04,9.973421e-05,9.885259e-05,9.756306e-05,9.717794e-05,9.628266e-05,9.501222e-05,9.465839e-05,9.375251e-05,9.250423e-05,9.218163e-05,9.126801e-05,9.004444e-05,8.975273e-05,8.883404e-05,8.763727e-05,8.737586e-05,8.645457e-05,8.528629e-05,8.505440e-05,8.413278e-05,8.299433e-05,8.279102e-05,8.187119e-05,8.076358e-05,8.058782e-05,7.967170e-05,7.859569e-05,7.844632e-05,7.753569e-05,7.649179e-05,7.636761e-05,7.546408e-05,7.445262e-05,7.435236e-05,7.345742e-05,7.247851e-05,7.240090e-05,7.151589e-05,7.056953e-05,7.051327e-05,6.963940e-05,6.872543e-05,6.868921e-05,6.782758e-05,6.694574e-05,6.692827e-05,6.607985e-05,6.522979e-05,6.359294e-05,6.201678e-05,6.050023e-05,5.904212e-05,5.764123e-05,5.629624e-05,5.500581e-05,5.376855e-05,5.258305e-05,5.144788e-05,5.036160e-05,4.932276e-05,4.832994e-05,4.738170e-05,4.647662e-05,4.561331e-05,4.479038e-05,4.400647e-05,4.326024e-05,4.255038e-05,4.187561e-05,4.123467e-05,4.062633e-05,4.004940e-05,3.950269e-05,3.898509e-05,3.849547e-05,3.803275e-05,3.759589e-05,3.718387e-05,3.679570e-05,3.643041e-05,3.608708e-05,3.576479e-05,3.546268e-05,3.517988e-05,3.491559e-05,3.466899e-05,3.443932e-05,3.422584e-05,3.402781e-05,3.384453e-05,3.367534e-05,3.351958e-05,3.337662e-05,3.324585e-05,3.312667e-05,3.301852e-05,3.292085e-05
0.000000e+00,5.900216e-09,1.735716e-07,1.827866e-07,1.538464e-06,6.321074e-06,6.634819e-06,1.783339e-05,3.271552e-05,3.372630e-05,5.042542e-05,6.463132e-05,6.579562e-05,7.935714e-05,9.004229e-05,9.114525e-05,1.013074e-04,1.090336e-04,1.100052e-04,1.173917e-04,1.228021e-04,1.236064e-04,1.287764e-04,1.323969e-04,1.330175e-04,1.364328e-04,1.386825e-04,1.391151e-04,1.411490e-04,1.423604e-04,1.426103e-04,1.435679e-04,1.440049e-04,1.440833e-04,1.442114e-04,1.440804e-04,1.440017e-04,1.434982e-04,1.429597e-04,1.427401e-04,1.417624e-04,1.409401e-04,1.405962e-04,1.392691e-04,1.382576e-04,1.378056e-04,1.362275e-04,1.350987e-04,1.345539e-04,1.328019e-04,1.316099e-04,1.309864e-04,1.291207e-04,1.279057e-04,1.272164e-04,1.252838e-04,1.240753e-04,1.233318e-04,1.213683e-04,1.201876e-04,1.194001e-04,1.174334e-04,1.162953e-04,1.154731e-04,1.135239e-04,1.124386e-04,1.115896e-04,1.096736e-04,1.086475e-04,1.077786e-04,1.059072e-04,1.049440e-04,1.040613e-04,1.022427e-04,1.013440e-04,1.004527e-04,9.869244e-05,9.785839e-05,9.696291e-05,9.526477e-05,9.449431e-05,9.359854e-05,9.196460e-05,9.125595e-05,9.036316e-05,8.879435e-05,8.814519e-05,8.725817e-05,8.575454e-05,8.516216e-05,8.428328e-05,8.284418e-05,8.230569e-05,8.143693e-05,8.006121e-05,7.957360e-05,7.871663e-05,7.740278e-05,7.696299e-05,7.611920e-05,7.486542e-05,7.447043e-05,7.364096e-05,7.244530e-05,7.209215e-05,7.127793e-05,7.013831e-05,6.982412e-05,6.902591e-05,6.794019e-05,6.766221e-05,6.688060e-05,6.584660e-05,6.560218e-05,6.483764e-05,6.385319e-05,6.363984e-05,6.289270e-05,6.195566e-05,6.177101e-05,6.104152e-05,6.014977e-05,5.999159e-05,5.927989e-05,5.843139e-05,5.829757e-05,5.760375e-05,5.679649e-05,5.668507e-05,5.600913e-05,5.524119e-05,5.515032e-05,5.449221e-05,5.376173e-05,5.368969e-05,5.304932e-05,5.235452e-05,5.229968e-05,5.167691e-05,5.101607e-05,5.097695e-05,5.037160e-05,4.974309e-05,4.971828e-05,4.913015e-05,4.853239e-05,4.852059e-05,4.794944e-05,4.738094e-05,4.629653e-05,4.526468e-05,4.428283e-05,4.334856e-05,4.245953e-05,4.161355e-05,4.080851e-05,4.004241e-05,3.931334e-05,3.861951e-05,3.795918e-05,3.733072e-05,3.673257e-05,3.616325e-05,3.562135e-05,3.510553e-05,3.461453e-05,3.414712e-05,3.370216e-05,3.327856e-05,3.287527e-05,3.249131e-05,3.212574e-05,3.177766e-05,3.144623e-05,3.113063e-05,3.083010e-05,3.054391e-05,3.027137e-05,3.001181e-05,2.976460e-05,2.952916e-05,2.930491e-05,2.909132e-05,2.888787e-05,2.869407e-05,2.850946e-05,2.833360e-05,2.816606e-05,2.800646e-05,2.785440e-05,2.770954e-05,2.757152e-05,2.744001e-05,2.731472e-05,2.719534e-05,2.708159e-05,2.697320e-05,2.686992e-05
0.000000e+00,4.242083e-09,5.442392e-08,5.676544e-08,3.431789e-07,1.212828e-06,1.267791e-06,3.194997e-06,5.793506e-06,5.974194e-06,9.064408e-06,1.188510e-05,1.212573e-05,1.505497e-05,1.755916e-05,1.782953e-05,2.044749e-05,2.262440e-05,2.291223e-05,2.522851e-05,2.710585e-05,2.740169e-05,2.943728e-05,3.104493e-05,3.134086e-05,3.311797e-05,3.448467e-05,3.477407e-05,3.631451e-05,3.746710e-05,3.774450e-05,3.906910e-05,4.003226e-05,4.029318e-05,4.142149e-05,4.221775e-05,4.245856e-05,4.340878e-05,4.405852e-05,4.427637e-05,4.506536e-05,4.558696e-05,4.577965e-05,4.642297e-05,4.683298e-05,4.699888e-05,4.751082e-05,4.782409e-05,4.796208e-05,4.835581e-05,4.858562e-05,4.869501e-05,4.898258e-05,4.914080e-05,4.922127e-05,4.941374e-05,4.951097e-05,4.956251e-05,4.967001e-05,4.971565e-05,4.973853e-05,4.977030e-05,4.977272e-05,4.976743e-05,4.973194e-05,4.969853e-05,4.966575e-05,4.957071e-05,4.950801e-05,4.944857e-05,4.930102e-05,4.921478e-05,4.912966e-05,4.893601e-05,4.883128e-05,4.872153e-05,4.848761e-05,4.836882e-05,4.823559e-05,4.796671e-05,4.783771e-05,4.768219e-05,4.738318e-05,4.724730e-05,4.707075e-05,4.674596e-05,4.660610e-05,4.640979e-05,4.606318e-05,4.592182e-05,4.570703e-05,4.534219e-05,4.520144e-05,4.496947e-05,4.458963e-05,4.445129e-05,4.420341e-05,4.381150e-05,4.367707e-05,4.341455e-05,4.301319e-05,4.288393e-05,4.260802e-05,4.219958e-05,4.207650e-05,4.178842e-05,4.137503e-05,4.125895e-05,4.095989e-05,4.054345e-05,4.043501e-05,4.012613e-05,3.970833e-05,3.960803e-05,3.929044e-05,3.887280e-05,3.878099e-05,3.845576e-05,3.803962e-05,3.795653e-05,3.762470e-05,3.721126e-05,3.713702e-05,3.679957e-05,3.638988e-05,3.632453e-05,3.598241e-05,3.557739e-05,3.552089e-05,3.517501e-05,3.477546e-05,3.472772e-05,3.437893e-05,3.398556e-05,3.394640e-05,3.359552e-05,3.320895e-05,3.317817e-05,3.282596e-05,3.244669e-05,3.242406e-05,3.207125e-05,3.169973e-05,3.168495e-05,3.133222e-05,3.096881e-05,3.096159e-05,3.060958e-05,3.025458e-05,2.956443e-05,2.889155e-05,2.823625e-05,2.759876e-05,2.697923e-05,2.637773e-05,2.579430e-05,2.522889e-05,2.468143e-05,2.415179e-05,2.363980e-05,2.314529e-05,2.266801e-05,2.220773e-05,2.176417e-05,2.133704e-05,2.092603e-05,2.053084e-05,2.015111e-05,1.978652e-05,1.943672e-05,1.910135e-05,1.878005e-05,1.847247e-05,1.817824e-05,1.789699e-05,1.762837e-05,1.737201e-05,1.712755e-05,1.689463e-05,1.667291e-05,1.646202e-05,1.626163e-05,1.607139e-05,1.589097e-05,1.572004e-05,1.555826e-05,1.540532e-05,1.526091e-05,1.512472e-05,1.499645e-05,1.487580e-05,1.476249e-05,1.465623e-05,1.455675e-05,1.446377e-05,1.437705e-05,1.429631e-05,1.422132e-05
0.000000e+00,4.431695e-09,1.739921e-07,1.834096e-07,1.568584e-06,6.866539e-06,7.236741e-06,2.223423e-05,4.834152e-05,5.041357e-05,9.074702e-05,1.337969e-04,1.376381e-04,1.852999e-04,2.262172e-04,2.306013e-04,2.724936e-04,3.063938e-04,3.108043e-04,3.456364e-04,3.729458e-04,3.771691e-04,4.055989e-04,4.272260e-04,4.311225e-04,4.539315e-04,4.707385e-04,4.742098e-04,4.921334e-04,5.048893e-04,5.078691e-04,5.215748e-04,5.309522e-04,5.333995e-04,5.434831e-04,5.500635e-04,5.519573e-04,5.589455e-04,5.632283e-04,5.645632e-04,5.689184e-04,5.713293e-04,5.721120e-04,5.742388e-04,5.751404e-04,5.753872e-04,5.756393e-04,5.753381e-04,5.750719e-04,5.737567e-04,5.725116e-04,5.717603e-04,5.691448e-04,5.671729e-04,5.659680e-04,5.622837e-04,5.597665e-04,5.581417e-04,5.535886e-04,5.506774e-04,5.486673e-04,5.434179e-04,5.402377e-04,5.378775e-04,5.320805e-04,5.287340e-04,5.260586e-04,5.198413e-04,5.164125e-04,5.134560e-04,5.069277e-04,5.034843e-04,5.002797e-04,4.935334e-04,4.901297e-04,4.867087e-04,4.798237e-04,4.765024e-04,4.728950e-04,4.659381e-04,4.627324e-04,4.589671e-04,4.519948e-04,4.489297e-04,4.450330e-04,4.380925e-04,4.351863e-04,4.311831e-04,4.243137e-04,4.215789e-04,4.174923e-04,4.107262e-04,4.081711e-04,4.040221e-04,3.973859e-04,3.950145e-04,3.908228e-04,3.843377e-04,3.821512e-04,3.779346e-04,3.716173e-04,3.696145e-04,3.653891e-04,3.592527e-04,3.574301e-04,3.532107e-04,3.472650e-04,3.456178e-04,3.414175e-04,3.356695e-04,3.341915e-04,3.300223e-04,3.244766e-04,3.231608e-04,3.190332e-04,3.136924e-04,3.125313e-04,3.084546e-04,3.033197e-04,3.023051e-04,2.982876e-04,2.933581e-04,2.924816e-04,2.885307e-04,2.838048e-04,2.830580e-04,2.791798e-04,2.746549e-04,2.740294e-04,2.702293e-04,2.659020e-04,2.653893e-04,2.616719e-04,2.575381e-04,2.571299e-04,2.534992e-04,2.495541e-04,2.492425e-04,2.457015e-04,2.419402e-04,2.417174e-04,2.382687e-04,2.346858e-04,2.345443e-04,2.311900e-04,2.277800e-04,2.277126e-04,2.244542e-04,2.212112e-04,2.150289e-04,2.091543e-04,2.035759e-04,1.982825e-04,1.932629e-04,1.885060e-04,1.840008e-04,1.797368e-04,1.757036e-04,1.718910e-04,1.682893e-04,1.648889e-04,1.616806e-04,1.586555e-04,1.558051e-04,1.531210e-04,1.505953e-04,1.482204e-04,1.459890e-04,1.438939e-04,1.419285e-04,1.400862e-04,1.383609e-04,1.367466e-04,1.352378e-04,1.338289e-04,1.325148e-04,1.312905e-04,1.301514e-04,1.290930e-04,1.281110e-04,1.272012e-04,1.263598e-04,1.255831e-04,1.248675e-04,1.242096e-04,1.236064e-04,1.230546e-04,1.225514e-04,1.220941e-04,1.216800e-04,1.213065e-04,1.209715e-04,1.206725e-04,1.204074e-04,1.201742e-04,1.199709e-04,1.197958e-04,1.196470e-04
0.000000e+00,2.895987e-11,3.762509e-09,4.053601e-09,8.974943e-08,7.924359e-07,8.570494e-07,4.711799e-06,1.620883e-05,1.736747e-05,4.763327e-05,9.925848e-05,1.050485e-04,1.971041e-04,3.127169e-04,3.274984e-04,4.957098e-04,6.717569e-04,6.975449e-04,9.261885e-04,1.137977e-03,1.173375e-03,1.430438e-03,1.647939e-03,1.689123e-03,1.942138e-03,2.141112e-03,2.183461e-03,2.408453e-03,2.574439e-03,2.613831e-03,2.797541e-03,2.925123e-03,2.958592e-03,3.096859e-03,3.187023e-03,3.212892e-03,3.307739e-03,3.365093e-03,3.382787e-03,3.439637e-03,3.470257e-03,3.479995e-03,3.505588e-03,3.515630e-03,3.518113e-03,3.519187e-03,3.514154e-03,3.510324e-03,3.492916e-03,3.477363e-03,3.468224e-03,3.437381e-03,3.414885e-03,3.401396e-03,3.361153e-03,3.334411e-03,3.317431e-03,3.270904e-03,3.241888e-03,3.222157e-03,3.171691e-03,3.141806e-03,3.119939e-03,3.067267e-03,3.037488e-03,3.013990e-03,2.960372e-03,2.931357e-03,2.906637e-03,2.852974e-03,2.825152e-03,2.799542e-03,2.746473e-03,2.720110e-03,2.693878e-03,2.641846e-03,2.617094e-03,2.590455e-03,2.539764e-03,2.516696e-03,2.489824e-03,2.440675e-03,2.419309e-03,2.392350e-03,2.344872e-03,2.325188e-03,2.298259e-03,2.252525e-03,2.234480e-03,2.207679e-03,2.163725e-03,2.147258e-03,2.120666e-03,2.078501e-03,2.063540e-03,2.037228e-03,1.996840e-03,1.983309e-03,1.957332e-03,1.918696e-03,1.906516e-03,1.880924e-03,1.844004e-03,1.833093e-03,1.807926e-03,1.772680e-03,1.762958e-03,1.738252e-03,1.704631e-03,1.696020e-03,1.671804e-03,1.639758e-03,1.632182e-03,1.608480e-03,1.577955e-03,1.571340e-03,1.548172e-03,1.519116e-03,1.513391e-03,1.490774e-03,1.463132e-03,1.458230e-03,1.436177e-03,1.409896e-03,1.405752e-03,1.384274e-03,1.359300e-03,1.355854e-03,1.334959e-03,1.311239e-03,1.308434e-03,1.288127e-03,1.265610e-03,1.263391e-03,1.243676e-03,1.222313e-03,1.220628e-03,1.201508e-03,1.181250e-03,1.180051e-03,1.161526e-03,1.142325e-03,1.141568e-03,1.123636e-03,1.105448e-03,1.105089e-03,1.087749e-03,1.070529e-03,1.037803e-03,1.006833e-03,9.775410e-04,9.498523e-04,9.236958e-04,8.990027e-04,8.757072e-04,8.537458e-04,8.330579e-04,8.135850e-04,7.952713e-04,7.780631e-04,7.619090e-04,7.467598e-04,7.325682e-04,7.192889e-04,7.068786e-04,6.952958e-04,6.845006e-04,6.744550e-04,6.651223e-04,6.564676e-04,6.484575e-04,6.410597e-04,6.342436e-04,6.279798e-04,6.222400e-04,6.169973e-04,6.122257e-04,6.079006e-04,6.039981e-04,6.004957e-04,5.973717e-04,5.946050e-04,5.921760e-04,5.900655e-04,5.882552e-04,5.867278e-04,5.854665e-04,5.844553e-04,5.836790e-04,5.831230e-04,5.827733e-04,5.826166e-04,5.826400e-04,5.828315e-04,5.831795e-04,5.836727e-04,5.843007e-04
0.000000e+00,6.020172e-09,1.627467e-07,1.710476e-07,1.404254e-06,6.237434e-06,6.574448e-06,1.963478e-05,3.894425e-05,4.030814e-05,6.353949e-05,8.424994e-05,8.598741e-05,1.067321e-04,1.238395e-04,1.256504e-04,1.428029e-04,1.565160e-04,1.582900e-04,1.722177e-04,1.830278e-04,1.846902e-04,1.958075e-04,2.041690e-04,2.056655e-04,2.143552e-04,2.206698e-04,2.219631e-04,2.285708e-04,2.331886e-04,2.342551e-04,2.390882e-04,2.423107e-04,2.431377e-04,2.464669e-04,2.485519e-04,2.491349e-04,2.511966e-04,2.523619e-04,2.527027e-04,2.537000e-04,2.541282e-04,2.542331e-04,2.543432e-04,2.541889e-04,2.540682e-04,2.534440e-04,2.528372e-04,2.525039e-04,2.512785e-04,2.503274e-04,2.497964e-04,2.480843e-04,2.468794e-04,2.461672e-04,2.440689e-04,2.426860e-04,2.418099e-04,2.394091e-04,2.379079e-04,2.368840e-04,2.342505e-04,2.326793e-04,2.315234e-04,2.287163e-04,2.271141e-04,2.258417e-04,2.229110e-04,2.213088e-04,2.199347e-04,2.169224e-04,2.153447e-04,2.138829e-04,2.108242e-04,2.092900e-04,2.077537e-04,2.046781e-04,2.032018e-04,2.016034e-04,1.985353e-04,1.971274e-04,1.954785e-04,1.924378e-04,1.911060e-04,1.894171e-04,1.864200e-04,1.851692e-04,1.834500e-04,1.805099e-04,1.793428e-04,1.776023e-04,1.747296e-04,1.736475e-04,1.718938e-04,1.690966e-04,1.680995e-04,1.663397e-04,1.636244e-04,1.627109e-04,1.609518e-04,1.583228e-04,1.574909e-04,1.557383e-04,1.531989e-04,1.524459e-04,1.507051e-04,1.482572e-04,1.475801e-04,1.458556e-04,1.435003e-04,1.428955e-04,1.411915e-04,1.389290e-04,1.383929e-04,1.367128e-04,1.345427e-04,1.340715e-04,1.324185e-04,1.303397e-04,1.299294e-04,1.283061e-04,1.263173e-04,1.259640e-04,1.243728e-04,1.224720e-04,1.221719e-04,1.206146e-04,1.187998e-04,1.185491e-04,1.170272e-04,1.152961e-04,1.150912e-04,1.136060e-04,1.119561e-04,1.117933e-04,1.103459e-04,1.087746e-04,1.086506e-04,1.072416e-04,1.057463e-04,1.056578e-04,1.042879e-04,1.028657e-04,1.028096e-04,1.014791e-04,1.001274e-04,1.001007e-04,9.880985e-05,9.752580e-05,9.507955e-05,9.275670e-05,9.055207e-05,8.846060e-05,8.647735e-05,8.459749e-05,8.281636e-05,8.112942e-05,7.953230e-05,7.802078e-05,7.659078e-05,7.523841e-05,7.395989e-05,7.275164e-05,7.161020e-05,7.053225e-05,6.951465e-05,6.855436e-05,6.764850e-05,6.679431e-05,6.598917e-05,6.523055e-05,6.451608e-05,6.384348e-05,6.321057e-05,6.261530e-05,6.205569e-05,6.152988e-05,6.103609e-05,6.057263e-05,6.013790e-05,5.973036e-05,5.934857e-05,5.899114e-05,5.865678e-05,5.834422e-05,5.805231e-05,5.777990e-05,5.752594e-05,5.728942e-05,5.706938e-05,5.686491e-05,5.667515e-05,5.649927e-05,5.633650e-05,5.618611e-05,5.604739e-05,5.591970e-05,5.580238e-05
0.000000e+00,3.197592e-11,4.376499e-09,4.719329e-09,1.104291e-07,1.055045e-06,1.145305e-06,6.939440e-06,2.621388e-05,2.825632e-05,8.569622e-05,1.962845e-04,2.094712e-04,4.366804e-04,7.628223e-04,8.075155e-04,1.361446e-03,2.028696e-03,2.133973e-03,3.154199e-03,4.246064e-03,4.443279e-03,6.013657e-03,7.553083e-03,7.868987e-03,1.000458e-02,1.195654e-02,1.240821e-02,1.506120e-02,1.734717e-02,1.793959e-02,2.101537e-02,2.353175e-02,2.425772e-02,2.763408e-02,3.026929e-02,3.111121e-02,3.465605e-02,3.730387e-02,3.823645e-02,4.182178e-02,4.439011e-02,4.538340e-02,4.889500e-02,5.131052e-02,5.233281e-02,5.567576e-02,5.788530e-02,5.890549e-02,6.200639e-02,6.397598e-02,6.496545e-02,6.777221e-02,6.948477e-02,7.041855e-02,7.289857e-02,7.435086e-02,7.520834e-02,7.734576e-02,7.854521e-02,7.931032e-02,8.110297e-02,8.206473e-02,8.272584e-02,8.418215e-02,8.492643e-02,8.547600e-02,8.661220e-02,8.716209e-02,8.759618e-02,8.843382e-02,8.881361e-02,8.913135e-02,8.969525e-02,8.992916e-02,9.013217e-02,9.044882e-02,9.056007e-02,9.065194e-02,9.074823e-02,9.075847e-02,9.074430e-02,9.064662e-02,9.057557e-02,9.046151e-02,9.019510e-02,9.006041e-02,8.985333e-02,8.944189e-02,8.925905e-02,8.896627e-02,8.843169e-02,8.821413e-02,8.784314e-02,8.720539e-02,8.696463e-02,8.652293e-02,8.580005e-02,8.554578e-02,8.504077e-02,8.424891e-02,8.398923e-02,8.342806e-02,8.258158e-02,8.232311e-02,8.171263e-02,8.082420e-02,8.057233e-02,7.991906e-02,7.899980e-02,7.875878e-02,7.806885e-02,7.712847e-02,7.690162e-02,7.618078e-02,7.522772e-02,7.501751e-02,7.427113e-02,7.331269e-02,7.312092e-02,7.235397e-02,7.139642e-02,7.122429e-02,7.044137e-02,6.949007e-02,6.933829e-02,6.854366e-02,6.760319e-02,6.747206e-02,6.666962e-02,6.574384e-02,6.563331e-02,6.482665e-02,6.391879e-02,6.382854e-02,6.302093e-02,6.213368e-02,6.206317e-02,6.125759e-02,6.039317e-02,6.034168e-02,5.954087e-02,5.870110e-02,5.866777e-02,5.787422e-02,5.706056e-02,5.704442e-02,5.626040e-02,5.547399e-02,5.395826e-02,5.249855e-02,5.109578e-02,4.975051e-02,4.846296e-02,4.723315e-02,4.606080e-02,4.494548e-02,4.388653e-02,4.288317e-02,4.193444e-02,4.103930e-02,4.019659e-02,3.940506e-02,3.866340e-02,3.797019e-02,3.732401e-02,3.672334e-02,3.616664e-02,3.565232e-02,3.517878e-02,3.474437e-02,3.434744e-02,3.398634e-02,3.365938e-02,3.336490e-02,3.310123e-02,3.286671e-02,3.265969e-02,3.247854e-02,3.232165e-02,3.218745e-02,3.207439e-02,3.198094e-02,3.190563e-02,3.184703e-02,3.180373e-02,3.177440e-02,3.175773e-02,3.175247e-02,3.175744e-02,3.177149e-02,3.179354e-02,3.182256e-02,3.185758e-02,3.189769e-02,3.194203e-02,3.198981e-02,3.204029e-02
0.000000e+00,4.089125e-10,6.283175e-09,6.576487e-09,4.425250e-08,1.540037e-07,1.604841e-07,3.557503e-07,5.597988e-07,5.727096e-07,7.813454e-07,9.602302e-07,9.751606e-07,1.153436e-06,1.301021e-06,1.316693e-06,1.465718e-06,1.585736e-06,1.601328e-06,1.724321e-06,1.820592e-06,1.835467e-06,1.935502e-06,2.011467e-06,2.025138e-06,2.105056e-06,2.163796e-06,2.175909e-06,2.238316e-06,2.282561e-06,2.292871e-06,2.340133e-06,2.372277e-06,2.380633e-06,2.414871e-06,2.436993e-06,2.443316e-06,2.466409e-06,2.480297e-06,2.484564e-06,2.498169e-06,2.505350e-06,2.507585e-06,2.513150e-06,2.514926e-06,2.515183e-06,2.513976e-06,2.511447e-06,2.509807e-06,2.502931e-06,2.497026e-06,2.493587e-06,2.481998e-06,2.473500e-06,2.468372e-06,2.452901e-06,2.442461e-06,2.435764e-06,2.417128e-06,2.405292e-06,2.397148e-06,2.375967e-06,2.363185e-06,2.353719e-06,2.330527e-06,2.317171e-06,2.306506e-06,2.281762e-06,2.268134e-06,2.256393e-06,2.230489e-06,2.216837e-06,2.204136e-06,2.177409e-06,2.163928e-06,2.150381e-06,2.123117e-06,2.109965e-06,2.095679e-06,2.068121e-06,2.055419e-06,2.040495e-06,2.012848e-06,2.000688e-06,1.985223e-06,1.957660e-06,1.946110e-06,1.930194e-06,1.902858e-06,1.891967e-06,1.875682e-06,1.848693e-06,1.838492e-06,1.821916e-06,1.795372e-06,1.785878e-06,1.769082e-06,1.743064e-06,1.734282e-06,1.717333e-06,1.691903e-06,1.683832e-06,1.666789e-06,1.641999e-06,1.634627e-06,1.617544e-06,1.593433e-06,1.586745e-06,1.569673e-06,1.546269e-06,1.540243e-06,1.523226e-06,1.500550e-06,1.495162e-06,1.478242e-06,1.456306e-06,1.451530e-06,1.434742e-06,1.413553e-06,1.409360e-06,1.392738e-06,1.372297e-06,1.368658e-06,1.352230e-06,1.332535e-06,1.329419e-06,1.313211e-06,1.294255e-06,1.291631e-06,1.275666e-06,1.257440e-06,1.255277e-06,1.239575e-06,1.222067e-06,1.220335e-06,1.204912e-06,1.188108e-06,1.186779e-06,1.171650e-06,1.155533e-06,1.154577e-06,1.139755e-06,1.124310e-06,1.123699e-06,1.109194e-06,1.094402e-06,1.094109e-06,1.079930e-06,1.065773e-06,1.038652e-06,1.012709e-06,9.879076e-07,9.642080e-07,9.415727e-07,9.199639e-07,8.993444e-07,8.796774e-07,8.609270e-07,8.430578e-07,8.260353e-07,8.098259e-07,7.943969e-07,7.797164e-07,7.657536e-07,7.524786e-07,7.398625e-07,7.278775e-07,7.164965e-07,7.056934e-07,6.954433e-07,6.857218e-07,6.765057e-07,6.677726e-07,6.595010e-07,6.516701e-07,6.442600e-07,6.372517e-07,6.306267e-07,6.243674e-07,6.184569e-07,6.128790e-07,6.076182e-07,6.026594e-07,5.979885e-07,5.935917e-07,5.894559e-07,5.855685e-07,5.819175e-07,5.784913e-07,5.752790e-07,5.722699e-07,5.694540e-07,5.668215e-07,5.643632e-07,5.620703e-07,5.599343e-07,5.579470e-07,5.561009e-07
0.000000e+00,6.371045e-11,6.992478e-09,7.500631e-09,1.347732e-07,1.045111e-06,1.126280e-06,5.893778e-06,2.042518e-05,2.192196e-05,6.260310e-05,1.367318e-04,1.453130e-04,2.868401e-04,4.743629e-04,4.989320e-04,7.858688e-04,1.097765e-03,1.144275e-03,1.564484e-03,1.964771e-03,2.032606e-03,2.532665e-03,2.965494e-03,3.048426e-03,3.564741e-03,3.979203e-03,4.068415e-03,4.548648e-03,4.910309e-03,4.997158e-03,5.408067e-03,5.700014e-03,5.777658e-03,6.104063e-03,6.322975e-03,6.386914e-03,6.627015e-03,6.778131e-03,6.826048e-03,6.986308e-03,7.079187e-03,7.110486e-03,7.201501e-03,7.247087e-03,7.262355e-03,7.296041e-03,7.304916e-03,7.305462e-03,7.293382e-03,7.274898e-03,7.262392e-03,7.214891e-03,7.176853e-03,7.153086e-03,7.078983e-03,7.027668e-03,6.994399e-03,6.900966e-03,6.841271e-03,6.800141e-03,6.693226e-03,6.628885e-03,6.581375e-03,6.465608e-03,6.399408e-03,6.346826e-03,6.225819e-03,6.159799e-03,6.103283e-03,5.979824e-03,5.915439e-03,5.855970e-03,5.732183e-03,5.670441e-03,5.608861e-03,5.486347e-03,5.427917e-03,5.364938e-03,5.244888e-03,5.190181e-03,5.126410e-03,5.009689e-03,4.958928e-03,4.894875e-03,4.782096e-03,4.735362e-03,4.671456e-03,4.563040e-03,4.520311e-03,4.456913e-03,4.353125e-03,4.314307e-03,4.251714e-03,4.152703e-03,4.117651e-03,4.056109e-03,3.961935e-03,3.930467e-03,3.870179e-03,3.780832e-03,3.752747e-03,3.693877e-03,3.609294e-03,3.584378e-03,3.527058e-03,3.447139e-03,3.425173e-03,3.369506e-03,3.294122e-03,3.274887e-03,3.220952e-03,3.149954e-03,3.133234e-03,3.081090e-03,3.014316e-03,2.999902e-03,2.949590e-03,2.886869e-03,2.874561e-03,2.826107e-03,2.767261e-03,2.756869e-03,2.710286e-03,2.655139e-03,2.646482e-03,2.601773e-03,2.550146e-03,2.543055e-03,2.500214e-03,2.451933e-03,2.446248e-03,2.405260e-03,2.360154e-03,2.355728e-03,2.316571e-03,2.274472e-03,2.271167e-03,2.233816e-03,2.194562e-03,2.192251e-03,2.156673e-03,2.120110e-03,2.118675e-03,2.084836e-03,2.050814e-03,2.050146e-03,2.018009e-03,1.986384e-03,1.927120e-03,1.872096e-03,1.821069e-03,1.773806e-03,1.730085e-03,1.689696e-03,1.652439e-03,1.618126e-03,1.586578e-03,1.557624e-03,1.531104e-03,1.506866e-03,1.484766e-03,1.464668e-03,1.446444e-03,1.429973e-03,1.415138e-03,1.401833e-03,1.389954e-03,1.379404e-03,1.370093e-03,1.361934e-03,1.354846e-03,1.348752e-03,1.343578e-03,1.339258e-03,1.335726e-03,1.332921e-03,1.330787e-03,1.329270e-03,1.328317e-03,1.327883e-03,1.327922e-03,1.328391e-03,1.329250e-03,1.330464e-03,1.331995e-03,1.333813e-03,1.335885e-03,1.338184e-03,1.340682e-03,1.343354e-03,1.346178e-03,1.349130e-03,1.352191e-03,1.355342e-03,1.358566e-03,1.361846e-03,1.365168e-03
0.000000e+00,3.537863e-09,4.752342e-07,5.120985e-07,1.156680e-05,1.088896e-04,1.182022e-04,7.269132e-04,2.848836e-03,3.079642e-03,9.849109e-03,2.378099e-02,2.549615e-02,5.628146e-02,1.033552e-01,1.100081e-01,1.956041e-01,3.048816e-01,3.226357e-01,5.008132e-01,7.021339e-01,7.395332e-01,1.047481e+00,1.365289e+00,1.432306e+00,1.900378e+00,2.349814e+00,2.456615e+00,3.104388e+00,3.689766e+00,3.845484e+00,4.680127e+00,5.395317e+00,5.607039e+00,6.623542e+00,7.453612e+00,7.725680e+00,8.908368e+00,9.831883e+00,1.016554e+01,1.149033e+01,1.248184e+01,1.287520e+01,1.431213e+01,1.534448e+01,1.579275e+01,1.730849e+01,1.835485e+01,1.885072e+01,2.041084e+01,2.144620e+01,2.198039e+01,2.355119e+01,2.455350e+01,2.511535e+01,2.666538e+01,2.761617e+01,2.819420e+01,2.969524e+01,3.057998e+01,3.116242e+01,3.259019e+01,3.339825e+01,3.397355e+01,3.530804e+01,3.603251e+01,3.658972e+01,3.781520e+01,3.845257e+01,3.898162e+01,4.008659e+01,4.063625e+01,4.112822e+01,4.210507e+01,4.256887e+01,4.301612e+01,4.386075e+01,4.424250e+01,4.463872e+01,4.535012e+01,4.565512e+01,4.599538e+01,4.657517e+01,4.680978e+01,4.709046e+01,4.754242e+01,4.771369e+01,4.793245e+01,4.826209e+01,4.837741e+01,4.853306e+01,4.874721e+01,4.881409e+01,4.890649e+01,4.901295e+01,4.903874e+01,4.906869e+01,4.907588e+01,4.906766e+01,4.903673e+01,4.895346e+01,4.891787e+01,4.882832e+01,4.866353e+01,4.860670e+01,4.846133e+01,4.822392e+01,4.815143e+01,4.795347e+01,4.765214e+01,4.756899e+01,4.732200e+01,4.696511e+01,4.687570e+01,4.658347e+01,4.617901e+01,4.608715e+01,4.575361e+01,4.530909e+01,4.521805e+01,4.484720e+01,4.436963e+01,4.428213e+01,4.387800e+01,4.337385e+01,4.329213e+01,4.285869e+01,4.233392e+01,4.225977e+01,4.180090e+01,4.126092e+01,4.119572e+01,4.071520e+01,4.016490e+01,4.010966e+01,3.961112e+01,3.905489e+01,3.901031e+01,3.849719e+01,3.793894e+01,3.790545e+01,3.738102e+01,3.682422e+01,3.680198e+01,3.626931e+01,3.571700e+01,3.570598e+01,3.516794e+01,3.462277e+01,3.355694e+01,3.251245e+01,3.149268e+01,3.050043e+01,2.953803e+01,2.860737e+01,2.770994e+01,2.684685e+01,2.601894e+01,2.522671e+01,2.447047e+01,2.375026e+01,2.306596e+01,2.241726e+01,2.180371e+01,2.122474e+01,2.067965e+01,2.016767e+01,1.968793e+01,1.923951e+01,1.882141e+01,1.843261e+01,1.807203e+01,1.773859e+01,1.743116e+01,1.714861e+01,1.688981e+01,1.665360e+01,1.643886e+01,1.624444e+01,1.606922e+01,1.591209e+01,1.577197e+01,1.564778e+01,1.553848e+01,1.544304e+01,1.536047e+01,1.528980e+01,1.523011e+01,1.518049e+01,1.514008e+01,1.510805e+01,1.508361e+01,1.506599e+01,1.505447e+01,1.504838e+01,1.504707e+01,1.504992e+01,1.505637e+01
0.000000e+00,4.517152e-09,8.253837e-08,8.644143e-08,6.070785e-07,2.312336e-06,2.422173e-06,6.314160e-06,1.156348e-05,1.192540e-05,1.799555e-05,2.328829e-05,2.372774e-05,2.892051e-05,3.312574e-05,3.356663e-05,3.770016e-05,4.094600e-05,4.136183e-05,4.459153e-05,4.705224e-05,4.742676e-05,4.990237e-05,5.172765e-05,5.205063e-05,5.390118e-05,5.521568e-05,5.548128e-05,5.681595e-05,5.772240e-05,5.792805e-05,5.883850e-05,5.942110e-05,5.956655e-05,6.012982e-05,6.045765e-05,6.054438e-05,6.082480e-05,6.095384e-05,6.098443e-05,6.103549e-05,6.101131e-05,6.098911e-05,6.085544e-05,6.071492e-05,6.064373e-05,6.036238e-05,6.013522e-05,6.001906e-05,5.962074e-05,5.933084e-05,5.917379e-05,5.868396e-05,5.835043e-05,5.815652e-05,5.759623e-05,5.723427e-05,5.700743e-05,5.639403e-05,5.601569e-05,5.575962e-05,5.510742e-05,5.472217e-05,5.444038e-05,5.376113e-05,5.337632e-05,5.307207e-05,5.237539e-05,5.199670e-05,5.167302e-05,5.096674e-05,5.059847e-05,5.025814e-05,4.954865e-05,4.919398e-05,4.883955e-05,4.813200e-05,4.779323e-05,4.742702e-05,4.672553e-05,4.640426e-05,4.602837e-05,4.533625e-05,4.503349e-05,4.464983e-05,4.396967e-05,4.368599e-05,4.329627e-05,4.263009e-05,4.236572e-05,4.197149e-05,4.132081e-05,4.107569e-05,4.067834e-05,4.004432e-05,3.981818e-05,3.941895e-05,3.880241e-05,3.859482e-05,3.819483e-05,3.759631e-05,3.740672e-05,3.700695e-05,3.642681e-05,3.625456e-05,3.585591e-05,3.529429e-05,3.513869e-05,3.474194e-05,3.419885e-05,3.405916e-05,3.366500e-05,3.314035e-05,3.301580e-05,3.262486e-05,3.211845e-05,3.200825e-05,3.162107e-05,3.113264e-05,3.103602e-05,3.065307e-05,3.018229e-05,3.009847e-05,2.972019e-05,2.926669e-05,2.919491e-05,2.882167e-05,2.838503e-05,2.832457e-05,2.795668e-05,2.753649e-05,2.748661e-05,2.712435e-05,2.672015e-05,2.668017e-05,2.632378e-05,2.593513e-05,2.590436e-05,2.555406e-05,2.518048e-05,2.515830e-05,2.481425e-05,2.445527e-05,2.444106e-05,2.410341e-05,2.375857e-05,2.375174e-05,2.342061e-05,2.308944e-05,2.245328e-05,2.184236e-05,2.125583e-05,2.069284e-05,2.015257e-05,1.963421e-05,1.913697e-05,1.866011e-05,1.820286e-05,1.776452e-05,1.734440e-05,1.694181e-05,1.655611e-05,1.618666e-05,1.583286e-05,1.549411e-05,1.516986e-05,1.485954e-05,1.456264e-05,1.427864e-05,1.400704e-05,1.374738e-05,1.349919e-05,1.326204e-05,1.303549e-05,1.281914e-05,1.261259e-05,1.241547e-05,1.222739e-05,1.204802e-05,1.187701e-05,1.171403e-05,1.155876e-05,1.141091e-05,1.127017e-05,1.113627e-05,1.100894e-05,1.088790e-05,1.077292e-05,1.066375e-05,1.056015e-05,1.046191e-05,1.036879e-05,1.028060e-05,1.019714e-05,1.011821e-05,1.004362e-05,9.973202e-06,9.906777e-06
0.000000e+00,4.593382e-09,6.156227e-08,6.424998e-08,3.993412e-07,1.428353e-06,1.493056e-06,3.697314e-06,6.452058e-06,6.636128e-06,9.689450e-06,1.236902e-05,1.259395e-05,1.528970e-05,1.753282e-05,1.777157e-05,2.004755e-05,2.188875e-05,2.212856e-05,2.402609e-05,2.551986e-05,2.575146e-05,2.731567e-05,2.851275e-05,2.872921e-05,3.000213e-05,3.094769e-05,3.114396e-05,3.216369e-05,3.289731e-05,3.306984e-05,3.387041e-05,3.442641e-05,3.457291e-05,3.518442e-05,3.559240e-05,3.571155e-05,3.616050e-05,3.644581e-05,3.653706e-05,3.684667e-05,3.703100e-05,3.709440e-05,3.728500e-05,3.738680e-05,3.742288e-05,3.751219e-05,3.754715e-05,3.755678e-05,3.756026e-05,3.754168e-05,3.752599e-05,3.745709e-05,3.739618e-05,3.735649e-05,3.722690e-05,3.713312e-05,3.707086e-05,3.689073e-05,3.677201e-05,3.668870e-05,3.646682e-05,3.632979e-05,3.622699e-05,3.597097e-05,3.582115e-05,3.570042e-05,3.541685e-05,3.525881e-05,3.512168e-05,3.481624e-05,3.465375e-05,3.450173e-05,3.417930e-05,3.401544e-05,3.384999e-05,3.351477e-05,3.335203e-05,3.317454e-05,3.283014e-05,3.267053e-05,3.248233e-05,3.213183e-05,3.197693e-05,3.177929e-05,3.142531e-05,3.127634e-05,3.107045e-05,3.071522e-05,3.057314e-05,3.036010e-05,3.000551e-05,2.987100e-05,2.965186e-05,2.929951e-05,2.917304e-05,2.894878e-05,2.859999e-05,2.848190e-05,2.825341e-05,2.790930e-05,2.779974e-05,2.756787e-05,2.722934e-05,2.712837e-05,2.689389e-05,2.656168e-05,2.646927e-05,2.623288e-05,2.590761e-05,2.582364e-05,2.558600e-05,2.526814e-05,2.519242e-05,2.495413e-05,2.464404e-05,2.457636e-05,2.433796e-05,2.403593e-05,2.397602e-05,2.373801e-05,2.344423e-05,2.339179e-05,2.315463e-05,2.286923e-05,2.282395e-05,2.258804e-05,2.231109e-05,2.227266e-05,2.203838e-05,2.176990e-05,2.173796e-05,2.150565e-05,2.124562e-05,2.121985e-05,2.098980e-05,2.073817e-05,2.071822e-05,2.049071e-05,2.024739e-05,2.023292e-05,2.000819e-05,1.977308e-05,1.976376e-05,1.954202e-05,1.931499e-05,1.931049e-05,1.909194e-05,1.887284e-05,1.845050e-05,1.804315e-05,1.765047e-05,1.727208e-05,1.690765e-05,1.655679e-05,1.621913e-05,1.589431e-05,1.558194e-05,1.528167e-05,1.499311e-05,1.471591e-05,1.444971e-05,1.419416e-05,1.394891e-05,1.371361e-05,1.348795e-05,1.327159e-05,1.306421e-05,1.286552e-05,1.267520e-05,1.249296e-05,1.231853e-05,1.215162e-05,1.199196e-05,1.183930e-05,1.169338e-05,1.155395e-05,1.142078e-05,1.129364e-05,1.117231e-05,1.105656e-05,1.094619e-05,1.084100e-05,1.074080e-05,1.064538e-05,1.055457e-05,1.046820e-05,1.038608e-05,1.030806e-05,1.023398e-05,1.016368e-05,1.009701e-05,1.003383e-05,9.973993e-06,9.917374e-06,9.863838e-06,9.813262e-06,9.765523e-06
0.000000e+00,3.402864e-09,8.979434e-08,9.447085e-08,7.851701e-07,3.282103e-06,3.448250e-06,9.527348e-06,1.800309e-05,1.859173e-05,2.845342e-05,3.695680e-05,3.765676e-05,4.584477e-05,5.235043e-05,5.302533e-05,5.927980e-05,6.408898e-05,6.469786e-05,6.936464e-05,7.283690e-05,7.335819e-05,7.674933e-05,7.917916e-05,7.960178e-05,8.197281e-05,8.359425e-05,8.391414e-05,8.547265e-05,8.647231e-05,8.669050e-05,8.760564e-05,8.813133e-05,8.825212e-05,8.866052e-05,8.882868e-05,8.885830e-05,8.887008e-05,8.877211e-05,8.871791e-05,8.842157e-05,8.812894e-05,8.799874e-05,8.746530e-05,8.703373e-05,8.683542e-05,8.612179e-05,8.559451e-05,8.533573e-05,8.448741e-05,8.389783e-05,8.358585e-05,8.263915e-05,8.201293e-05,8.165452e-05,8.063837e-05,7.999508e-05,7.959645e-05,7.853384e-05,7.788825e-05,7.745508e-05,7.636419e-05,7.572735e-05,7.526476e-05,7.415994e-05,7.353995e-05,7.305254e-05,7.194504e-05,7.134772e-05,7.083961e-05,6.973819e-05,6.916760e-05,6.864246e-05,6.755389e-05,6.701271e-05,6.647379e-05,6.540326e-05,6.489310e-05,6.434328e-05,6.329470e-05,6.281637e-05,6.225821e-05,6.123445e-05,6.078815e-05,6.022391e-05,5.922703e-05,5.881251e-05,5.824417e-05,5.727560e-05,5.689223e-05,5.632155e-05,5.538219e-05,5.502912e-05,5.445765e-05,5.354800e-05,5.322418e-05,5.265329e-05,5.177353e-05,5.147781e-05,5.090870e-05,5.005875e-05,4.978990e-05,4.922362e-05,4.840321e-05,4.815994e-05,4.759743e-05,4.680614e-05,4.658717e-05,4.602923e-05,4.526654e-05,4.507055e-05,4.451791e-05,4.378319e-05,4.360891e-05,4.306220e-05,4.235477e-05,4.220094e-05,4.166071e-05,4.097984e-05,4.084524e-05,4.031198e-05,3.965692e-05,3.954035e-05,3.901447e-05,3.838445e-05,3.828478e-05,3.776665e-05,3.716088e-05,3.707702e-05,3.656694e-05,3.598464e-05,3.591554e-05,3.541379e-05,3.485418e-05,3.479883e-05,3.430563e-05,3.376795e-05,3.372540e-05,3.324094e-05,3.272442e-05,3.269376e-05,3.221821e-05,3.172211e-05,3.170247e-05,3.123595e-05,3.075955e-05,3.075012e-05,3.029273e-05,2.983532e-05,2.895673e-05,2.811304e-05,2.730298e-05,2.652531e-05,2.577884e-05,2.506243e-05,2.437495e-05,2.371532e-05,2.308251e-05,2.247551e-05,2.189335e-05,2.133509e-05,2.079983e-05,2.028671e-05,1.979487e-05,1.932352e-05,1.887188e-05,1.843919e-05,1.802474e-05,1.762783e-05,1.724778e-05,1.688395e-05,1.653573e-05,1.620251e-05,1.588372e-05,1.557880e-05,1.528721e-05,1.500846e-05,1.474203e-05,1.448745e-05,1.424427e-05,1.401205e-05,1.379035e-05,1.357878e-05,1.337693e-05,1.318443e-05,1.300092e-05,1.282603e-05,1.265945e-05,1.250083e-05,1.234988e-05,1.220628e-05,1.206975e-05,1.194000e-05,1.181678e-05,1.169982e-05,1.158887e-05,1.148370e-05,1.138407e-05
0.000000e+00,8.530466e-10,6.327687e-08,6.747324e-08,9.699692e-07,6.407696e-06,6.858573e-06,2.980752e-05,8.383095e-05,8.867866e-05,1.954165e-04,3.301792e-04,3.430700e-04,5.127138e-04,6.696157e-04,6.868803e-04,8.549784e-04,9.939633e-04,1.012182e-03,1.156916e-03,1.271325e-03,1.289087e-03,1.409180e-03,1.501215e-03,1.517869e-03,1.615869e-03,1.688749e-03,1.703885e-03,1.782591e-03,1.839282e-03,1.852625e-03,1.914592e-03,1.957692e-03,1.969060e-03,2.016563e-03,2.048319e-03,2.057605e-03,2.092657e-03,2.115000e-03,2.122160e-03,2.146529e-03,2.161114e-03,2.166151e-03,2.181390e-03,2.189631e-03,2.192584e-03,2.200052e-03,2.203153e-03,2.204089e-03,2.204975e-03,2.203960e-03,2.202969e-03,2.198312e-03,2.194046e-03,2.191231e-03,2.181938e-03,2.175151e-03,2.170628e-03,2.157484e-03,2.148790e-03,2.142678e-03,2.126369e-03,2.116280e-03,2.108706e-03,2.089825e-03,2.078769e-03,2.069857e-03,2.048919e-03,2.037249e-03,2.027123e-03,2.004572e-03,1.992579e-03,1.981362e-03,1.957582e-03,1.945503e-03,1.933313e-03,1.908632e-03,1.896659e-03,1.883609e-03,1.858310e-03,1.846596e-03,1.832795e-03,1.807119e-03,1.795784e-03,1.781334e-03,1.755487e-03,1.744624e-03,1.729622e-03,1.703778e-03,1.693454e-03,1.677991e-03,1.652297e-03,1.642563e-03,1.626725e-03,1.601303e-03,1.592192e-03,1.576056e-03,1.551009e-03,1.542542e-03,1.526181e-03,1.501593e-03,1.493778e-03,1.477261e-03,1.453199e-03,1.446036e-03,1.429423e-03,1.405945e-03,1.399425e-03,1.382774e-03,1.359920e-03,1.354031e-03,1.337393e-03,1.315198e-03,1.309921e-03,1.293342e-03,1.271830e-03,1.267145e-03,1.250667e-03,1.229855e-03,1.225736e-03,1.209398e-03,1.189297e-03,1.185717e-03,1.169553e-03,1.150168e-03,1.147100e-03,1.131141e-03,1.112472e-03,1.109887e-03,1.094160e-03,1.076204e-03,1.074073e-03,1.058602e-03,1.041352e-03,1.039646e-03,1.024452e-03,1.007899e-03,1.006590e-03,9.916905e-04,9.758229e-04,9.748817e-04,9.602931e-04,9.450973e-04,9.444964e-04,9.302320e-04,9.156933e-04,9.154058e-04,9.014770e-04,8.875791e-04,8.609837e-04,8.355855e-04,8.113495e-04,7.882400e-04,7.662208e-04,7.452556e-04,7.253081e-04,7.063424e-04,6.883226e-04,6.712138e-04,6.549812e-04,6.395910e-04,6.250098e-04,6.112053e-04,5.981457e-04,5.858004e-04,5.741394e-04,5.631337e-04,5.527552e-04,5.429766e-04,5.337716e-04,5.251148e-04,5.169815e-04,5.093479e-04,5.021912e-04,4.954893e-04,4.892209e-04,4.833656e-04,4.779036e-04,4.728160e-04,4.680844e-04,4.636915e-04,4.596203e-04,4.558547e-04,4.523790e-04,4.491785e-04,4.462387e-04,4.435460e-04,4.410871e-04,4.388495e-04,4.368210e-04,4.349901e-04,4.333457e-04,4.318771e-04,4.305741e-04,4.294271e-04,4.284267e-04,4.275640e-04,4.268306e-04
0.000000e+00,3.031409e-10,2.599337e-08,2.777819e-08,4.299573e-07,2.925496e-06,3.133877e-06,1.382425e-05,3.922831e-05,4.151785e-05,9.231180e-05,1.574763e-04,1.637636e-04,2.470673e-04,3.242427e-04,3.326862e-04,4.137348e-04,4.782658e-04,4.864990e-04,5.496281e-04,5.962167e-04,6.031544e-04,6.477785e-04,6.790755e-04,6.844493e-04,7.141505e-04,7.339562e-04,7.378068e-04,7.562505e-04,7.677483e-04,7.702148e-04,7.803394e-04,7.859308e-04,7.871793e-04,7.912147e-04,7.926636e-04,7.928609e-04,7.924763e-04,7.910679e-04,7.903702e-04,7.868085e-04,7.834726e-04,7.820202e-04,7.762025e-04,7.716096e-04,7.695253e-04,7.621347e-04,7.567662e-04,7.541558e-04,7.456965e-04,7.398958e-04,7.368495e-04,7.276943e-04,7.217053e-04,7.182993e-04,7.087226e-04,7.027161e-04,6.990143e-04,6.892171e-04,6.833117e-04,6.793679e-04,6.694976e-04,6.637742e-04,6.596334e-04,6.497978e-04,6.443095e-04,6.400098e-04,6.302858e-04,6.250663e-04,6.206394e-04,6.110820e-04,6.061507e-04,6.016234e-04,5.922716e-04,5.876379e-04,5.830333e-04,5.739138e-04,5.695799e-04,5.649174e-04,5.560477e-04,5.520109e-04,5.473073e-04,5.386982e-04,5.349523e-04,5.302220e-04,5.218795e-04,5.184158e-04,5.136714e-04,5.055978e-04,5.024060e-04,4.976586e-04,4.898533e-04,4.869223e-04,4.821814e-04,4.746420e-04,4.719601e-04,4.672342e-04,4.599568e-04,4.575120e-04,4.528086e-04,4.457882e-04,4.435685e-04,4.388943e-04,4.321254e-04,4.301188e-04,4.254798e-04,4.189560e-04,4.171510e-04,4.125524e-04,4.062674e-04,4.046525e-04,4.000991e-04,3.940461e-04,3.926103e-04,3.881064e-04,3.822785e-04,3.810112e-04,3.765606e-04,3.709510e-04,3.698419e-04,3.654480e-04,3.600499e-04,3.590892e-04,3.547550e-04,3.495616e-04,3.487400e-04,3.444681e-04,3.394728e-04,3.387812e-04,3.345740e-04,3.297703e-04,3.292001e-04,3.250598e-04,3.204411e-04,3.199843e-04,3.159127e-04,3.114728e-04,3.111214e-04,3.071201e-04,3.028531e-04,3.025997e-04,2.986701e-04,2.945698e-04,2.944075e-04,2.905508e-04,2.866115e-04,2.865335e-04,2.827506e-04,2.789667e-04,2.716964e-04,2.647123e-04,2.580044e-04,2.515629e-04,2.453784e-04,2.394418e-04,2.337443e-04,2.282773e-04,2.230325e-04,2.180020e-04,2.131781e-04,2.085533e-04,2.041203e-04,1.998722e-04,1.958024e-04,1.919041e-04,1.881713e-04,1.845978e-04,1.811778e-04,1.779056e-04,1.747757e-04,1.717829e-04,1.689221e-04,1.661884e-04,1.635771e-04,1.610835e-04,1.587032e-04,1.564320e-04,1.542658e-04,1.522006e-04,1.502326e-04,1.483580e-04,1.465733e-04,1.448751e-04,1.432600e-04,1.417248e-04,1.402664e-04,1.388818e-04,1.375682e-04,1.363228e-04,1.351428e-04,1.340257e-04,1.329690e-04,1.319702e-04,1.310271e-04,1.301374e-04,1.292989e-04,1.285095e-04,1.277672e-04
0.000000e+00,7.847266e-09,1.479625e-07,1.553381e-07,1.169400e-06,4.217092e-06,4.394309e-06,9.532143e-06,1.466626e-05,1.498774e-05,2.015756e-05,2.456879e-05,2.493643e-05,2.932093e-05,3.294353e-05,3.332780e-05,3.697741e-05,3.990980e-05,4.029022e-05,4.328608e-05,4.562355e-05,4.598403e-05,4.840260e-05,5.023148e-05,5.055979e-05,5.247292e-05,5.387128e-05,5.415865e-05,5.563289e-05,5.667020e-05,5.691076e-05,5.800661e-05,5.874374e-05,5.893397e-05,5.970557e-05,6.019523e-05,6.033341e-05,6.082871e-05,6.111611e-05,6.120199e-05,6.146308e-05,6.158679e-05,6.162119e-05,6.168489e-05,6.167762e-05,6.166219e-05,6.156056e-05,6.144994e-05,6.138696e-05,6.114785e-05,6.095711e-05,6.084927e-05,6.049683e-05,6.024542e-05,6.009574e-05,5.965083e-05,5.935498e-05,5.916662e-05,5.864726e-05,5.832041e-05,5.809664e-05,5.751834e-05,5.717156e-05,5.691568e-05,5.629175e-05,5.593412e-05,5.564938e-05,5.499121e-05,5.463009e-05,5.431966e-05,5.363699e-05,5.327829e-05,5.294525e-05,5.224634e-05,5.189476e-05,5.154203e-05,5.083392e-05,5.049311e-05,5.012348e-05,4.941207e-05,4.908484e-05,4.870093e-05,4.799119e-05,4.767961e-05,4.728388e-05,4.657994e-05,4.628550e-05,4.588023e-05,4.518551e-05,4.490919e-05,4.449650e-05,4.381382e-05,4.355618e-05,4.313804e-05,4.246966e-05,4.223095e-05,4.180914e-05,4.115688e-05,4.093705e-05,4.051323e-05,3.987850e-05,3.967731e-05,3.925296e-05,3.863685e-05,3.845388e-05,3.803035e-05,3.743365e-05,3.726834e-05,3.684686e-05,3.627011e-05,3.612181e-05,3.570348e-05,3.514702e-05,3.501498e-05,3.460077e-05,3.406476e-05,3.394821e-05,3.353899e-05,3.302345e-05,3.292156e-05,3.251810e-05,3.202291e-05,3.193486e-05,3.153783e-05,3.106278e-05,3.098770e-05,3.059769e-05,3.014248e-05,3.007954e-05,2.969706e-05,2.926132e-05,2.920967e-05,2.883515e-05,2.841846e-05,2.837730e-05,2.801111e-05,2.761299e-05,2.758154e-05,2.722397e-05,2.684393e-05,2.682141e-05,2.647272e-05,2.611022e-05,2.609589e-05,2.575628e-05,2.541077e-05,2.540395e-05,2.507356e-05,2.474449e-05,2.411642e-05,2.351863e-05,2.295002e-05,2.240951e-05,2.189600e-05,2.140843e-05,2.094575e-05,2.050694e-05,2.009099e-05,1.969694e-05,1.932383e-05,1.897075e-05,1.863682e-05,1.832116e-05,1.802296e-05,1.774142e-05,1.747576e-05,1.722524e-05,1.698915e-05,1.676681e-05,1.655756e-05,1.636077e-05,1.617583e-05,1.600216e-05,1.583922e-05,1.568647e-05,1.554339e-05,1.540951e-05,1.528436e-05,1.516749e-05,1.505849e-05,1.495693e-05,1.486245e-05,1.477466e-05,1.469322e-05,1.461779e-05,1.454804e-05,1.448367e-05,1.442439e-05,1.436992e-05,1.432000e-05,1.427436e-05,1.423278e-05,1.419502e-05,1.416086e-05,1.413009e-05,1.410252e-05,1.407796e-05,1.405623e-05
0.000000e+00,5.937587e-11,7.247908e-09,7.802230e-09,1.687956e-07,1.476516e-06,1.596094e-06,8.572091e-06,2.820033e-05,3.011019e-05,7.729490e-05,1.505267e-04,1.583569e-04,2.758383e-04,4.103183e-04,4.267395e-04,6.043136e-04,7.759692e-04,8.001479e-04,1.005807e-03,1.184816e-03,1.213845e-03,1.418266e-03,1.583877e-03,1.614607e-03,1.799795e-03,1.941956e-03,1.971919e-03,2.129967e-03,2.246026e-03,2.273600e-03,2.402948e-03,2.494201e-03,2.518456e-03,2.620771e-03,2.690172e-03,2.710653e-03,2.788919e-03,2.839845e-03,2.856399e-03,2.913913e-03,2.949597e-03,2.962251e-03,3.002165e-03,3.025473e-03,3.034362e-03,3.059506e-03,3.072892e-03,3.078214e-03,3.091059e-03,3.096583e-03,3.098569e-03,3.101235e-03,3.100608e-03,3.099506e-03,3.093799e-03,3.088431e-03,3.084496e-03,3.071949e-03,3.063000e-03,3.056483e-03,3.038395e-03,3.026811e-03,3.017958e-03,2.995424e-03,2.981975e-03,2.971023e-03,2.944969e-03,2.930281e-03,2.917455e-03,2.888659e-03,2.873234e-03,2.858746e-03,2.827864e-03,2.812104e-03,2.796152e-03,2.763734e-03,2.747957e-03,2.730727e-03,2.697234e-03,2.681691e-03,2.663352e-03,2.629169e-03,2.614054e-03,2.594765e-03,2.560211e-03,2.545671e-03,2.525576e-03,2.490919e-03,2.477062e-03,2.456294e-03,2.421751e-03,2.408656e-03,2.387336e-03,2.353089e-03,2.340808e-03,2.319045e-03,2.285240e-03,2.273805e-03,2.251701e-03,2.218455e-03,2.207882e-03,2.185526e-03,2.152935e-03,2.143226e-03,2.120701e-03,2.088839e-03,2.079986e-03,2.057365e-03,2.026290e-03,2.018277e-03,1.995626e-03,1.965382e-03,1.958187e-03,1.935565e-03,1.906183e-03,1.899777e-03,1.877240e-03,1.848740e-03,1.843093e-03,1.820687e-03,1.793083e-03,1.788162e-03,1.765929e-03,1.739226e-03,1.734996e-03,1.712975e-03,1.687173e-03,1.683597e-03,1.661821e-03,1.636917e-03,1.633958e-03,1.612458e-03,1.588441e-03,1.586064e-03,1.564865e-03,1.541724e-03,1.539892e-03,1.519017e-03,1.496738e-03,1.495415e-03,1.474884e-03,1.453451e-03,1.452602e-03,1.432433e-03,1.411827e-03,1.411419e-03,1.391626e-03,1.371827e-03,1.333789e-03,1.297265e-03,1.262211e-03,1.228587e-03,1.196351e-03,1.165460e-03,1.135872e-03,1.107545e-03,1.080439e-03,1.054512e-03,1.029725e-03,1.006040e-03,9.834169e-04,9.618195e-04,9.412112e-04,9.215567e-04,9.028215e-04,8.849721e-04,8.679760e-04,8.518016e-04,8.364182e-04,8.217962e-04,8.079068e-04,7.947222e-04,7.822153e-04,7.703601e-04,7.591312e-04,7.485042e-04,7.384555e-04,7.289622e-04,7.200022e-04,7.115541e-04,7.035973e-04,6.961117e-04,6.890782e-04,6.824779e-04,6.762931e-04,6.705061e-04,6.651003e-04,6.600594e-04,6.553677e-04,6.510101e-04,6.469719e-04,6.432390e-04,6.397979e-04,6.366352e-04,6.337384e-04,6.310952e-04,6.286938e-04
0.000000e+00,7.547510e-10,4.033024e-08,4.278194e-08,4.861218e-07,2.573606e-06,2.729333e-06,9.476681e-06,2.212434e-05,2.315387e-05,4.360496e-05,6.582793e-05,6.781010e-05,9.211307e-05,1.121992e-04,1.142931e-04,1.336378e-04,1.483305e-04,1.501744e-04,1.641611e-04,1.743757e-04,1.758932e-04,1.856497e-04,1.925026e-04,1.936812e-04,2.002093e-04,2.045782e-04,2.054291e-04,2.095112e-04,2.120583e-04,2.126041e-04,2.148371e-04,2.160559e-04,2.163245e-04,2.171669e-04,2.174303e-04,2.174523e-04,2.172578e-04,2.168450e-04,2.166510e-04,2.156906e-04,2.148092e-04,2.144279e-04,2.129081e-04,2.117123e-04,2.111702e-04,2.092484e-04,2.078520e-04,2.071726e-04,2.049688e-04,2.034553e-04,2.026596e-04,2.002647e-04,1.986949e-04,1.978011e-04,1.952839e-04,1.937020e-04,1.927260e-04,1.901385e-04,1.885760e-04,1.875313e-04,1.849128e-04,1.833917e-04,1.822901e-04,1.796696e-04,1.782051e-04,1.770566e-04,1.744559e-04,1.730580e-04,1.718713e-04,1.693062e-04,1.679811e-04,1.667636e-04,1.642457e-04,1.629967e-04,1.617547e-04,1.592922e-04,1.581208e-04,1.568597e-04,1.544583e-04,1.533644e-04,1.520890e-04,1.497523e-04,1.487347e-04,1.474490e-04,1.451794e-04,1.442363e-04,1.429438e-04,1.407424e-04,1.398714e-04,1.385753e-04,1.364424e-04,1.356408e-04,1.343437e-04,1.322790e-04,1.315440e-04,1.302482e-04,1.282511e-04,1.275796e-04,1.262873e-04,1.243565e-04,1.237456e-04,1.224585e-04,1.205928e-04,1.200394e-04,1.187592e-04,1.169572e-04,1.164582e-04,1.151863e-04,1.134463e-04,1.129989e-04,1.117367e-04,1.100570e-04,1.096583e-04,1.084068e-04,1.067857e-04,1.064330e-04,1.051933e-04,1.036291e-04,1.033196e-04,1.020927e-04,1.005837e-04,1.003149e-04,9.910155e-05,9.764591e-05,9.741544e-05,9.621634e-05,9.481242e-05,9.461789e-05,9.343372e-05,9.207983e-05,9.191901e-05,9.075035e-05,8.944486e-05,8.931561e-05,8.816297e-05,8.690427e-05,8.680457e-05,8.566839e-05,8.445493e-05,8.438283e-05,8.326352e-05,8.209377e-05,8.204743e-05,8.094533e-05,7.981783e-05,7.979549e-05,7.871090e-05,7.762420e-05,7.553085e-05,7.351281e-05,7.156751e-05,6.969249e-05,6.788535e-05,6.614377e-05,6.446551e-05,6.284839e-05,6.129032e-05,5.978928e-05,5.834329e-05,5.695046e-05,5.560896e-05,5.431702e-05,5.307291e-05,5.187500e-05,5.072168e-05,4.961139e-05,4.854266e-05,4.751404e-05,4.652413e-05,4.557159e-05,4.465512e-05,4.377346e-05,4.292539e-05,4.210975e-05,4.132541e-05,4.057126e-05,3.984625e-05,3.914937e-05,3.847962e-05,3.783606e-05,3.721776e-05,3.662384e-05,3.605344e-05,3.550573e-05,3.497991e-05,3.447521e-05,3.399088e-05,3.352620e-05,3.308047e-05,3.265303e-05,3.224323e-05,3.185043e-05,3.147403e-05,3.111344e-05,3.076811e-05,3.043748e-05,3.012103e-05
0.000000e+00,2.992241e-10,2.298814e-08,2.449261e-08,3.253502e-07,2.002788e-06,2.139523e-06,9.092758e-06,2.599858e-05,2.755574e-05,6.335770e-05,1.121675e-04,1.170203e-04,1.833803e-04,2.479975e-04,2.552426e-04,3.265801e-04,3.858573e-04,3.935946e-04,4.544155e-04,5.012744e-04,5.084229e-04,5.556774e-04,5.904270e-04,5.965602e-04,6.315754e-04,6.562827e-04,6.612547e-04,6.861146e-04,7.028596e-04,7.066400e-04,7.232785e-04,7.338231e-04,7.364399e-04,7.464976e-04,7.522758e-04,7.537911e-04,7.586281e-04,7.607907e-04,7.612869e-04,7.620192e-04,7.614818e-04,7.610518e-04,7.585895e-04,7.560758e-04,7.548164e-04,7.498980e-04,7.459758e-04,7.439829e-04,7.372048e-04,7.323172e-04,7.296836e-04,7.215269e-04,7.160180e-04,7.128310e-04,7.036823e-04,6.978168e-04,6.941578e-04,6.843267e-04,6.783069e-04,6.742507e-04,6.639845e-04,6.579623e-04,6.535766e-04,6.430701e-04,6.371579e-04,6.325033e-04,6.219101e-04,6.161893e-04,6.113201e-04,6.007598e-04,5.952879e-04,5.902522e-04,5.798174e-04,5.746329e-04,5.694730e-04,5.592341e-04,5.543609e-04,5.491139e-04,5.391238e-04,5.345748e-04,5.292734e-04,5.195708e-04,5.153503e-04,5.100228e-04,5.006349e-04,4.967408e-04,4.914116e-04,4.823566e-04,4.787823e-04,4.734726e-04,4.647617e-04,4.614973e-04,4.562253e-04,4.478641e-04,4.448969e-04,4.396781e-04,4.316672e-04,4.289833e-04,4.238308e-04,4.161678e-04,4.137521e-04,4.086770e-04,4.013567e-04,3.991937e-04,3.942053e-04,3.872205e-04,3.852943e-04,3.804002e-04,3.737420e-04,3.720372e-04,3.672436e-04,3.609024e-04,3.594035e-04,3.547156e-04,3.486806e-04,3.473730e-04,3.427946e-04,3.370547e-04,3.359240e-04,3.314582e-04,3.260021e-04,3.250347e-04,3.206835e-04,3.154997e-04,3.146826e-04,3.104477e-04,3.055248e-04,3.048457e-04,3.007279e-04,2.960544e-04,2.955018e-04,2.915015e-04,2.870663e-04,2.866292e-04,2.827462e-04,2.785385e-04,2.782067e-04,2.744405e-04,2.704496e-04,2.702135e-04,2.665632e-04,2.627789e-04,2.626296e-04,2.590941e-04,2.555064e-04,2.554356e-04,2.520134e-04,2.486128e-04,2.421433e-04,2.360097e-04,2.301956e-04,2.246850e-04,2.194629e-04,2.145148e-04,2.098269e-04,2.053861e-04,2.011798e-04,1.971961e-04,1.934236e-04,1.898517e-04,1.864699e-04,1.832685e-04,1.802383e-04,1.773704e-04,1.746566e-04,1.720887e-04,1.696593e-04,1.673613e-04,1.651877e-04,1.631323e-04,1.611887e-04,1.593513e-04,1.576145e-04,1.559731e-04,1.544221e-04,1.529568e-04,1.515728e-04,1.502658e-04,1.490318e-04,1.478669e-04,1.467676e-04,1.457305e-04,1.447522e-04,1.438298e-04,1.429603e-04,1.421408e-04,1.413689e-04,1.406419e-04,1.399575e-04,1.393136e-04,1.387079e-04,1.381385e-04,1.376034e-04,1.371008e-04,1.366290e-04,1.361863e-04,1.357713e-04
0.000000e+00,1.769613e-10,2.331912e-08,2.516104e-08,5.858807e-07,4.913618e-06,5.289524e-06,2.438287e-05,6.624234e-05,6.983898e-05,1.457141e-04,2.379242e-04,2.467042e-04,3.629472e-04,4.724784e-04,4.846618e-04,6.043983e-04,7.043055e-04,7.174113e-04,8.211615e-04,9.021669e-04,9.146208e-04,9.976820e-04,1.059702e-03,1.070745e-03,1.134459e-03,1.180250e-03,1.189569e-03,1.236839e-03,1.269507e-03,1.277007e-03,1.310769e-03,1.333072e-03,1.338768e-03,1.361597e-03,1.375822e-03,1.379793e-03,1.393848e-03,1.401844e-03,1.404204e-03,1.411263e-03,1.414510e-03,1.415388e-03,1.416907e-03,1.416577e-03,1.416112e-03,1.413271e-03,1.410292e-03,1.408621e-03,1.402376e-03,1.397476e-03,1.394731e-03,1.385857e-03,1.379606e-03,1.375911e-03,1.365032e-03,1.357873e-03,1.353345e-03,1.340962e-03,1.333241e-03,1.327984e-03,1.314502e-03,1.306483e-03,1.300595e-03,1.286337e-03,1.278224e-03,1.271792e-03,1.257018e-03,1.248962e-03,1.242065e-03,1.226981e-03,1.219099e-03,1.211806e-03,1.196577e-03,1.188952e-03,1.181325e-03,1.166081e-03,1.158774e-03,1.150870e-03,1.135713e-03,1.128765e-03,1.120632e-03,1.105643e-03,1.099081e-03,1.090763e-03,1.076004e-03,1.069845e-03,1.061379e-03,1.046898e-03,1.041148e-03,1.032570e-03,1.018402e-03,1.013062e-03,1.004401e-03,9.905730e-04,9.856380e-04,9.769221e-04,9.634524e-04,9.589145e-04,9.501669e-04,9.370682e-04,9.329163e-04,9.241581e-04,9.114380e-04,9.076592e-04,8.989090e-04,8.865715e-04,8.831513e-04,8.744257e-04,8.624714e-04,8.593947e-04,8.507083e-04,8.391356e-04,8.363863e-04,8.277523e-04,8.165574e-04,8.141197e-04,8.055496e-04,7.947274e-04,7.925851e-04,7.840892e-04,7.736334e-04,7.717706e-04,7.633581e-04,7.532615e-04,7.516625e-04,7.433415e-04,7.335961e-04,7.322456e-04,7.240233e-04,7.146209e-04,7.135040e-04,7.053867e-04,6.963185e-04,6.954208e-04,6.874142e-04,6.786714e-04,6.779789e-04,6.700879e-04,6.616615e-04,6.611609e-04,6.533898e-04,6.452707e-04,6.449491e-04,6.373018e-04,6.294810e-04,6.293261e-04,6.218059e-04,6.142743e-04,5.997765e-04,5.858157e-04,5.723750e-04,5.594381e-04,5.469889e-04,5.350116e-04,5.234910e-04,5.124120e-04,5.017601e-04,4.915210e-04,4.816811e-04,4.722269e-04,4.631454e-04,4.544240e-04,4.460505e-04,4.380130e-04,4.302999e-04,4.229001e-04,4.158028e-04,4.089976e-04,4.024742e-04,3.962228e-04,3.902339e-04,3.844983e-04,3.790070e-04,3.737515e-04,3.687233e-04,3.639143e-04,3.593168e-04,3.549230e-04,3.507257e-04,3.467178e-04,3.428923e-04,3.392427e-04,3.357625e-04,3.324454e-04,3.292855e-04,3.262768e-04,3.234138e-04,3.206910e-04,3.181032e-04,3.156451e-04,3.133119e-04,3.110988e-04,3.090012e-04,3.070146e-04,3.051347e-04,3.033572e-04,3.016783e-04
0.000000e+00,1.090678e-09,1.446996e-08,1.511030e-08,9.507072e-08,3.299654e-07,3.441245e-07,7.871825e-07,1.271049e-06,1.301949e-06,1.802518e-06,2.231659e-06,2.267431e-06,2.693764e-06,3.045345e-06,3.082594e-06,3.435853e-06,3.718950e-06,3.755622e-06,4.043959e-06,4.268316e-06,4.302863e-06,4.534264e-06,4.708745e-06,4.740016e-06,4.921893e-06,5.054408e-06,5.081590e-06,5.220711e-06,5.318215e-06,5.340773e-06,5.443210e-06,5.511744e-06,5.529368e-06,5.600509e-06,5.645265e-06,5.657818e-06,5.702406e-06,5.727823e-06,5.735309e-06,5.757494e-06,5.767338e-06,5.769860e-06,5.773241e-06,5.770679e-06,5.768413e-06,5.756106e-06,5.743812e-06,5.736997e-06,5.711716e-06,5.691937e-06,5.680851e-06,5.644950e-06,5.619572e-06,5.604535e-06,5.560101e-06,5.530723e-06,5.512078e-06,5.460869e-06,5.428770e-06,5.406845e-06,5.350348e-06,5.316573e-06,5.291697e-06,5.231184e-06,5.196585e-06,5.169078e-06,5.105629e-06,5.070889e-06,5.041064e-06,4.975596e-06,4.941261e-06,4.909418e-06,4.842709e-06,4.809206e-06,4.775630e-06,4.708330e-06,4.675989e-06,4.640946e-06,4.573602e-06,4.542669e-06,4.506411e-06,4.439475e-06,4.410129e-06,4.372890e-06,4.306738e-06,4.279102e-06,4.241097e-06,4.176034e-06,4.150186e-06,4.111613e-06,4.047887e-06,4.023863e-06,3.984905e-06,3.922710e-06,3.900520e-06,3.861340e-06,3.800829e-06,3.780457e-06,3.741206e-06,3.682495e-06,3.663904e-06,3.624718e-06,3.567891e-06,3.551031e-06,3.512029e-06,3.457145e-06,3.441953e-06,3.403245e-06,3.350337e-06,3.336744e-06,3.298424e-06,3.247509e-06,3.235438e-06,3.197592e-06,3.148670e-06,3.138041e-06,3.100741e-06,3.053800e-06,3.044530e-06,3.007841e-06,2.962856e-06,2.954862e-06,2.918839e-06,2.875779e-06,2.868978e-06,2.833667e-06,2.792492e-06,2.786801e-06,2.752242e-06,2.712906e-06,2.708247e-06,2.674472e-06,2.636926e-06,2.633220e-06,2.600255e-06,2.564446e-06,2.561619e-06,2.529485e-06,2.495357e-06,2.493336e-06,2.462049e-06,2.429546e-06,2.428262e-06,2.397833e-06,2.366896e-06,2.366285e-06,2.336720e-06,2.307291e-06,2.251167e-06,2.197799e-06,2.147076e-06,2.098888e-06,2.053128e-06,2.009689e-06,1.968469e-06,1.929369e-06,1.892292e-06,1.857144e-06,1.823835e-06,1.792278e-06,1.762390e-06,1.734091e-06,1.707303e-06,1.681952e-06,1.657968e-06,1.635282e-06,1.613831e-06,1.593552e-06,1.574386e-06,1.556276e-06,1.539170e-06,1.523015e-06,1.507763e-06,1.493367e-06,1.479784e-06,1.466971e-06,1.454888e-06,1.443496e-06,1.432761e-06,1.422646e-06,1.413121e-06,1.404153e-06,1.395712e-06,1.387772e-06,1.380305e-06,1.373287e-06,1.366692e-06,1.360499e-06,1.354686e-06,1.349232e-06,1.344118e-06,1.339325e-06,1.334836e-06,1.330635e-06,1.326705e-06,1.323032e-06,1.319602e-06
0.000000e+00,1.218242e-10,1.442597e-08,1.551113e-08,3.072701e-07,2.396862e-06,2.578255e-06,1.229260e-05,3.668126e-05,3.894558e-05,9.196269e-05,1.683827e-04,1.762982e-04,2.912489e-04,4.168205e-04,4.318384e-04,5.909754e-04,7.404673e-04,7.612609e-04,9.360983e-04,1.086017e-03,1.110183e-03,1.279578e-03,1.416225e-03,1.441563e-03,1.594405e-03,1.712204e-03,1.737119e-03,1.869261e-03,1.967307e-03,1.990761e-03,2.101801e-03,2.181366e-03,2.202722e-03,2.293961e-03,2.357130e-03,2.376012e-03,2.449394e-03,2.498424e-03,2.514631e-03,2.572239e-03,2.609275e-03,2.622720e-03,2.666558e-03,2.693539e-03,2.704213e-03,2.736122e-03,2.754750e-03,2.762698e-03,2.784329e-03,2.796075e-03,2.801381e-03,2.814197e-03,2.820327e-03,2.823100e-03,2.828391e-03,2.829981e-03,2.830350e-03,2.829244e-03,2.827211e-03,2.825316e-03,2.818799e-03,2.813918e-03,2.809908e-03,2.798842e-03,2.791766e-03,2.785790e-03,2.770926e-03,2.762204e-03,2.754413e-03,2.736404e-03,2.726495e-03,2.717039e-03,2.696452e-03,2.685738e-03,2.674764e-03,2.652091e-03,2.640889e-03,2.628539e-03,2.604206e-03,2.592776e-03,2.579185e-03,2.553561e-03,2.542117e-03,2.527414e-03,2.500818e-03,2.489530e-03,2.473840e-03,2.446545e-03,2.435551e-03,2.418990e-03,2.391231e-03,2.380640e-03,2.363318e-03,2.335296e-03,2.325191e-03,2.307210e-03,2.279099e-03,2.269541e-03,2.250998e-03,2.222943e-03,2.213979e-03,2.194963e-03,2.167087e-03,2.158749e-03,2.139342e-03,2.111750e-03,2.104055e-03,2.084334e-03,2.057113e-03,2.050070e-03,2.030106e-03,2.003329e-03,1.996938e-03,1.976797e-03,1.950522e-03,1.944778e-03,1.924518e-03,1.898795e-03,1.893685e-03,1.873362e-03,1.848229e-03,1.843737e-03,1.823402e-03,1.798887e-03,1.794995e-03,1.774692e-03,1.750821e-03,1.747505e-03,1.727277e-03,1.704065e-03,1.701302e-03,1.681187e-03,1.658645e-03,1.656409e-03,1.636441e-03,1.614576e-03,1.612842e-03,1.593052e-03,1.571867e-03,1.570606e-03,1.551022e-03,1.530516e-03,1.529703e-03,1.510349e-03,1.490518e-03,1.490125e-03,1.471024e-03,1.451863e-03,1.414903e-03,1.379226e-03,1.344811e-03,1.311637e-03,1.279677e-03,1.248906e-03,1.219296e-03,1.190819e-03,1.163446e-03,1.137148e-03,1.111894e-03,1.087655e-03,1.064403e-03,1.042106e-03,1.020736e-03,1.000264e-03,9.806619e-04,9.619013e-04,9.439549e-04,9.267958e-04,9.103975e-04,8.947343e-04,8.797811e-04,8.655133e-04,8.519070e-04,8.389389e-04,8.265864e-04,8.148275e-04,8.036407e-04,7.930053e-04,7.829011e-04,7.733086e-04,7.642087e-04,7.555830e-04,7.474138e-04,7.396836e-04,7.323759e-04,7.254742e-04,7.189630e-04,7.128270e-04,7.070515e-04,7.016222e-04,6.965253e-04,6.917476e-04,6.872760e-04,6.830981e-04,6.792018e-04,6.755754e-04,6.722075e-04
0.000000e+00,8.914492e-09,2.599420e-07,2.742542e-07,2.508166e-06,1.034659e-05,1.083682e-05,2.621105e-05,4.274367e-05,4.379330e-05,6.077170e-05,7.535407e-05,7.657257e-05,9.114360e-05,1.032420e-04,1.045289e-04,1.167901e-04,1.267007e-04,1.279908e-04,1.381931e-04,1.462145e-04,1.474572e-04,1.558411e-04,1.622446e-04,1.634011e-04,1.701907e-04,1.752197e-04,1.762616e-04,1.816625e-04,1.855321e-04,1.864399e-04,1.906376e-04,1.935360e-04,1.942968e-04,1.974565e-04,1.995464e-04,2.001533e-04,2.024212e-04,2.038424e-04,2.042925e-04,2.057972e-04,2.066695e-04,2.069635e-04,2.078175e-04,2.082428e-04,2.083839e-04,2.086856e-04,2.087505e-04,2.087440e-04,2.085791e-04,2.083570e-04,2.082094e-04,2.076525e-04,2.072052e-04,2.069244e-04,2.060403e-04,2.054199e-04,2.050141e-04,2.038591e-04,2.031093e-04,2.025873e-04,2.012101e-04,2.003671e-04,1.997379e-04,1.981806e-04,1.972748e-04,1.965473e-04,1.948463e-04,1.939025e-04,1.930856e-04,1.912723e-04,1.903109e-04,1.894132e-04,1.875146e-04,1.865522e-04,1.855821e-04,1.836212e-04,1.826714e-04,1.816368e-04,1.796334e-04,1.787066e-04,1.776152e-04,1.755862e-04,1.746909e-04,1.735499e-04,1.715095e-04,1.706521e-04,1.694682e-04,1.674287e-04,1.666139e-04,1.653935e-04,1.633649e-04,1.625963e-04,1.613452e-04,1.593362e-04,1.586159e-04,1.573397e-04,1.553574e-04,1.546869e-04,1.533906e-04,1.514408e-04,1.508206e-04,1.495090e-04,1.475964e-04,1.470265e-04,1.457040e-04,1.438325e-04,1.433123e-04,1.419827e-04,1.401554e-04,1.396840e-04,1.383511e-04,1.365702e-04,1.361463e-04,1.348133e-04,1.330806e-04,1.327028e-04,1.313726e-04,1.296895e-04,1.293559e-04,1.280314e-04,1.263986e-04,1.261073e-04,1.247910e-04,1.232089e-04,1.229581e-04,1.216522e-04,1.201209e-04,1.199086e-04,1.186151e-04,1.171345e-04,1.169585e-04,1.156791e-04,1.142489e-04,1.141073e-04,1.128437e-04,1.114633e-04,1.113539e-04,1.101075e-04,1.087762e-04,1.086971e-04,1.074691e-04,1.061861e-04,1.061352e-04,1.049268e-04,1.036911e-04,1.036666e-04,1.024787e-04,1.012893e-04,9.900114e-05,9.680009e-05,9.468384e-05,9.265011e-05,9.069657e-05,8.882087e-05,8.702065e-05,8.529356e-05,8.363727e-05,8.204948e-05,8.052790e-05,7.907030e-05,7.767447e-05,7.633827e-05,7.505959e-05,7.383637e-05,7.266662e-05,7.154838e-05,7.047975e-05,6.945889e-05,6.848401e-05,6.755338e-05,6.666531e-05,6.581817e-05,6.501038e-05,6.424043e-05,6.350683e-05,6.280816e-05,6.214304e-05,6.151014e-05,6.090818e-05,6.033591e-05,5.979213e-05,5.927569e-05,5.878549e-05,5.832043e-05,5.787950e-05,5.746168e-05,5.706602e-05,5.669160e-05,5.633751e-05,5.600289e-05,5.568693e-05,5.538882e-05,5.510779e-05,5.484311e-05,5.459406e-05,5.435995e-05,5.414013e-05
0.000000e+00,3.950729e-09,5.966545e-08,6.233392e-08,3.812394e-07,1.261490e-06,1.314059e-06,3.016186e-06,5.013327e-06,5.141867e-06,7.144309e-06,8.659217e-06,8.775251e-06,1.003177e-05,1.089325e-05,1.097543e-05,1.167006e-05,1.211821e-05,1.216932e-05,1.251611e-05,1.271833e-05,1.274417e-05,1.287996e-05,1.293801e-05,1.294420e-05,1.295307e-05,1.292802e-05,1.291926e-05,1.285268e-05,1.278107e-05,1.276106e-05,1.265047e-05,1.255411e-05,1.252563e-05,1.239022e-05,1.228203e-05,1.224711e-05,1.209855e-05,1.198615e-05,1.194628e-05,1.179165e-05,1.167946e-05,1.163572e-05,1.147929e-05,1.136985e-05,1.132301e-05,1.116736e-05,1.106207e-05,1.101270e-05,1.085934e-05,1.075895e-05,1.070752e-05,1.055739e-05,1.046225e-05,1.040907e-05,1.026266e-05,1.017288e-05,1.011823e-05,9.975809e-06,9.891341e-06,9.835442e-06,9.697143e-06,9.617880e-06,9.560918e-06,9.426765e-06,9.352543e-06,9.294680e-06,9.164653e-06,9.095289e-06,9.036670e-06,8.910716e-06,8.846015e-06,8.786770e-06,8.664811e-06,8.604569e-06,8.544816e-06,8.426762e-06,8.370780e-06,8.310627e-06,8.196386e-06,8.144465e-06,8.084015e-06,7.973487e-06,7.925433e-06,7.864779e-06,7.757865e-06,7.713490e-06,7.652719e-06,7.549317e-06,7.508438e-06,7.447633e-06,7.347643e-06,7.310086e-06,7.249322e-06,7.152645e-06,7.118239e-06,7.057588e-06,6.964126e-06,6.932708e-06,6.872236e-06,6.781893e-06,6.753307e-06,6.693075e-06,6.605758e-06,6.579852e-06,6.519919e-06,6.435535e-06,6.412165e-06,6.352583e-06,6.271043e-06,6.250070e-06,6.190890e-06,6.112105e-06,6.093397e-06,6.034664e-06,5.958548e-06,5.941979e-06,5.883736e-06,5.810206e-06,5.795652e-06,5.737939e-06,5.666914e-06,5.654260e-06,5.597112e-06,5.528513e-06,5.517647e-06,5.461098e-06,5.394847e-06,5.385664e-06,5.329743e-06,5.265767e-06,5.258165e-06,5.202901e-06,5.141126e-06,5.135008e-06,5.080425e-06,5.020781e-06,5.016055e-06,4.962177e-06,4.904595e-06,4.901172e-06,4.848019e-06,4.792433e-06,4.790230e-06,4.737820e-06,4.684165e-06,4.683102e-06,4.631452e-06,4.579666e-06,4.479802e-06,4.383396e-06,4.290336e-06,4.200514e-06,4.113823e-06,4.030163e-06,3.949435e-06,3.871542e-06,3.796392e-06,3.723895e-06,3.653964e-06,3.586515e-06,3.521466e-06,3.458737e-06,3.398252e-06,3.339937e-06,3.283719e-06,3.229530e-06,3.177302e-06,3.126969e-06,3.078468e-06,3.031739e-06,2.986721e-06,2.943358e-06,2.901594e-06,2.861376e-06,2.822650e-06,2.785368e-06,2.749481e-06,2.714940e-06,2.681702e-06,2.649721e-06,2.618954e-06,2.589361e-06,2.560902e-06,2.533537e-06,2.507230e-06,2.481944e-06,2.457644e-06,2.434296e-06,2.411867e-06,2.390326e-06,2.369641e-06,2.349784e-06,2.330725e-06,2.312436e-06,2.294891e-06,2.278063e-06,2.261928e-06
0.000000e+00,4.406972e-10,6.453168e-09,6.749066e-09,4.379327e-08,1.470377e-07,1.530091e-07,3.284317e-07,5.012276e-07,5.117596e-07,6.752106e-07,8.052093e-07,8.156327e-07,9.349315e-07,1.026309e-06,1.035608e-06,1.120011e-06,1.182493e-06,1.190235e-06,1.248127e-06,1.289293e-06,1.295309e-06,1.333205e-06,1.358778e-06,1.363062e-06,1.385971e-06,1.400244e-06,1.402885e-06,1.414634e-06,1.420804e-06,1.421942e-06,1.425439e-06,1.425876e-06,1.425672e-06,1.423119e-06,1.419571e-06,1.418192e-06,1.411248e-06,1.404995e-06,1.402598e-06,1.392510e-06,1.384489e-06,1.381218e-06,1.368925e-06,1.359819e-06,1.355805e-06,1.342011e-06,1.332313e-06,1.327673e-06,1.312904e-06,1.302969e-06,1.297803e-06,1.282453e-06,1.272534e-06,1.266929e-06,1.251294e-06,1.241568e-06,1.235600e-06,1.219892e-06,1.210477e-06,1.204209e-06,1.188585e-06,1.179561e-06,1.173047e-06,1.157619e-06,1.149034e-06,1.142320e-06,1.127169e-06,1.119054e-06,1.112179e-06,1.097361e-06,1.089727e-06,1.082725e-06,1.068279e-06,1.061129e-06,1.054029e-06,1.039979e-06,1.033308e-06,1.026134e-06,1.012496e-06,1.006292e-06,9.990659e-07,9.858460e-07,9.800958e-07,9.728362e-07,9.600364e-07,9.547231e-07,9.474461e-07,9.350643e-07,9.301696e-07,9.228896e-07,9.109205e-07,9.064258e-07,8.991552e-07,8.875916e-07,8.834777e-07,8.762276e-07,8.650607e-07,8.613085e-07,8.540887e-07,8.433090e-07,8.398996e-07,8.327189e-07,8.223159e-07,8.192311e-07,8.120973e-07,8.020603e-07,7.992821e-07,7.922022e-07,7.825203e-07,7.800315e-07,7.730118e-07,7.636741e-07,7.614581e-07,7.545043e-07,7.454998e-07,7.435407e-07,7.366578e-07,7.279757e-07,7.262583e-07,7.194509e-07,7.110807e-07,7.095903e-07,7.028626e-07,6.947939e-07,6.935166e-07,6.868721e-07,6.790948e-07,6.780174e-07,6.714595e-07,6.639638e-07,6.630735e-07,6.566051e-07,6.493813e-07,6.486663e-07,6.422900e-07,6.353288e-07,6.347775e-07,6.284956e-07,6.217881e-07,6.213896e-07,6.152041e-07,6.087415e-07,6.084855e-07,6.023982e-07,5.961720e-07,5.960487e-07,5.900610e-07,5.840631e-07,5.725132e-07,5.613842e-07,5.506614e-07,5.403308e-07,5.303789e-07,5.207926e-07,5.115593e-07,5.026665e-07,4.941027e-07,4.858562e-07,4.779161e-07,4.702717e-07,4.629127e-07,4.558290e-07,4.490111e-07,4.424497e-07,4.361358e-07,4.300607e-07,4.242160e-07,4.185936e-07,4.131857e-07,4.079847e-07,4.029833e-07,3.981745e-07,3.935514e-07,3.891075e-07,3.848364e-07,3.807319e-07,3.767882e-07,3.729996e-07,3.693604e-07,3.658654e-07,3.625093e-07,3.592872e-07,3.561944e-07,3.532260e-07,3.503777e-07,3.476452e-07,3.450242e-07,3.425106e-07,3.401007e-07,3.377906e-07,3.355766e-07,3.334553e-07,3.314233e-07,3.294773e-07,3.276142e-07,3.258308e-07,3.241244e-07
0.000000e+00,1.758604e-10,1.501712e-08,1.602720e-08,2.277550e-07,1.476447e-06,1.580815e-06,7.168391e-06,2.221378e-05,2.368273e-05,6.075337e-05,1.205153e-04,1.270055e-04,2.253236e-04,3.377114e-04,3.513109e-04,4.956501e-04,6.294469e-04,6.477935e-04,7.986626e-04,9.223715e-04,9.417680e-04,1.073188e-03,1.173120e-03,1.191029e-03,1.294782e-03,1.369573e-03,1.384793e-03,1.461870e-03,1.514906e-03,1.527039e-03,1.581394e-03,1.616978e-03,1.626011e-03,1.661908e-03,1.683944e-03,1.690032e-03,1.711242e-03,1.722948e-03,1.726319e-03,1.735968e-03,1.739912e-03,1.740821e-03,1.741447e-03,1.739646e-03,1.738356e-03,1.732004e-03,1.726032e-03,1.722799e-03,1.711109e-03,1.702192e-03,1.697260e-03,1.681544e-03,1.670628e-03,1.664223e-03,1.645530e-03,1.633344e-03,1.625674e-03,1.604842e-03,1.591944e-03,1.583199e-03,1.560893e-03,1.547705e-03,1.538056e-03,1.514804e-03,1.501641e-03,1.491242e-03,1.467460e-03,1.454556e-03,1.443540e-03,1.419554e-03,1.407077e-03,1.395565e-03,1.371629e-03,1.359696e-03,1.347794e-03,1.324104e-03,1.312796e-03,1.300597e-03,1.277305e-03,1.266671e-03,1.254257e-03,1.231476e-03,1.221543e-03,1.208984e-03,1.186798e-03,1.177575e-03,1.164934e-03,1.143404e-03,1.134887e-03,1.122217e-03,1.101384e-03,1.093561e-03,1.080909e-03,1.060799e-03,1.053649e-03,1.041056e-03,1.021683e-03,1.015180e-03,1.002681e-03,9.840511e-04,9.781680e-04,9.657925e-04,9.479037e-04,9.426090e-04,9.303831e-04,9.132281e-04,9.084898e-04,8.964356e-04,8.800022e-04,8.757879e-04,8.639241e-04,8.481972e-04,8.444745e-04,8.328171e-04,8.177791e-04,8.145161e-04,8.030783e-04,7.887099e-04,7.858757e-04,7.746687e-04,7.609493e-04,7.585136e-04,7.475466e-04,7.344550e-04,7.323889e-04,7.216692e-04,7.091837e-04,7.074594e-04,6.969930e-04,6.850916e-04,6.836826e-04,6.734741e-04,6.621350e-04,6.610162e-04,6.510690e-04,6.402706e-04,6.394181e-04,6.297345e-04,6.194554e-04,6.188467e-04,6.094282e-04,5.996476e-04,5.992614e-04,5.901086e-04,5.808061e-04,5.806224e-04,5.717352e-04,5.628910e-04,5.460296e-04,5.300017e-04,5.147721e-04,5.003067e-04,4.865727e-04,4.735384e-04,4.611735e-04,4.494486e-04,4.383356e-04,4.278075e-04,4.178383e-04,4.084031e-04,3.994780e-04,3.910402e-04,3.830676e-04,3.755392e-04,3.684347e-04,3.617349e-04,3.554213e-04,3.494760e-04,3.438821e-04,3.386232e-04,3.336838e-04,3.290490e-04,3.247043e-04,3.206361e-04,3.168313e-04,3.132772e-04,3.099620e-04,3.068739e-04,3.040021e-04,3.013359e-04,2.988652e-04,2.965803e-04,2.944720e-04,2.925314e-04,2.907499e-04,2.891194e-04,2.876322e-04,2.862809e-04,2.850581e-04,2.839573e-04,2.829717e-04,2.820952e-04,2.813219e-04,2.806459e-04,2.800618e-04,2.795645e-04,2.791489e-04
0.000000e+00,1.820835e-09,8.608453e-08,9.110726e-08,9.236902e-07,4.432937e-06,4.683949e-06,1.501665e-05,3.314366e-05,3.457936e-05,6.231769e-05,9.138554e-05,9.394935e-05,1.253206e-04,1.515423e-04,1.543094e-04,1.802985e-04,2.006852e-04,2.032919e-04,2.234810e-04,2.387774e-04,2.410976e-04,2.563712e-04,2.675483e-04,2.695170e-04,2.807344e-04,2.886239e-04,2.902083e-04,2.981090e-04,3.034017e-04,3.045919e-04,3.097993e-04,3.130596e-04,3.138611e-04,3.168954e-04,3.185808e-04,3.190097e-04,3.203015e-04,3.207804e-04,3.208595e-04,3.207641e-04,3.203319e-04,3.200880e-04,3.188973e-04,3.177899e-04,3.172517e-04,3.152053e-04,3.136099e-04,3.128069e-04,3.101006e-04,3.081654e-04,3.071265e-04,3.039204e-04,3.017619e-04,3.005149e-04,2.969393e-04,2.946486e-04,2.932199e-04,2.893805e-04,2.870282e-04,2.854424e-04,2.814249e-04,2.790651e-04,2.773450e-04,2.732183e-04,2.708921e-04,2.690585e-04,2.648780e-04,2.626158e-04,2.606878e-04,2.564976e-04,2.543217e-04,2.523163e-04,2.481514e-04,2.460774e-04,2.440100e-04,2.398980e-04,2.379362e-04,2.358206e-04,2.317826e-04,2.299395e-04,2.277880e-04,2.238403e-04,2.221189e-04,2.199425e-04,2.160972e-04,2.144984e-04,2.123067e-04,2.085727e-04,2.070953e-04,2.048968e-04,2.012801e-04,1.999216e-04,1.977238e-04,1.942285e-04,1.929853e-04,1.907948e-04,1.874230e-04,1.862908e-04,1.841134e-04,1.808659e-04,1.798398e-04,1.776804e-04,1.745569e-04,1.736319e-04,1.714949e-04,1.684941e-04,1.676648e-04,1.655540e-04,1.626740e-04,1.619350e-04,1.598536e-04,1.570920e-04,1.564379e-04,1.543886e-04,1.517426e-04,1.511681e-04,1.491533e-04,1.466197e-04,1.461197e-04,1.441412e-04,1.417168e-04,1.412861e-04,1.393456e-04,1.370269e-04,1.366607e-04,1.347596e-04,1.325429e-04,1.322366e-04,1.303759e-04,1.282577e-04,1.280068e-04,1.261874e-04,1.241641e-04,1.239643e-04,1.221869e-04,1.202549e-04,1.201022e-04,1.183672e-04,1.165229e-04,1.164136e-04,1.147212e-04,1.129613e-04,1.128917e-04,1.112422e-04,1.095631e-04,1.095299e-04,1.079232e-04,1.063217e-04,1.032608e-04,1.003412e-04,9.755686e-05,9.490214e-05,9.237151e-05,8.995966e-05,8.766148e-05,8.547205e-05,8.338663e-05,8.140067e-05,7.950982e-05,7.770989e-05,7.599688e-05,7.436693e-05,7.281636e-05,7.134165e-05,6.993941e-05,6.860641e-05,6.733954e-05,6.613585e-05,6.499249e-05,6.390675e-05,6.287604e-05,6.189787e-05,6.096986e-05,6.008975e-05,5.925535e-05,5.846459e-05,5.771547e-05,5.700611e-05,5.633468e-05,5.569945e-05,5.509874e-05,5.453099e-05,5.399465e-05,5.348829e-05,5.301052e-05,5.256000e-05,5.213548e-05,5.173573e-05,5.135960e-05,5.100598e-05,5.067381e-05,5.036208e-05,5.006982e-05,4.979610e-05,4.954005e-05,4.930081e-05,4.907759e-05
0.000000e+00,2.084254e-09,3.365837e-08,3.523280e-08,2.314178e-07,7.650420e-07,7.953359e-07,1.669129e-06,2.541183e-06,2.595735e-06,3.471723e-06,4.217047e-06,4.279074e-06,5.017849e-06,5.627000e-06,5.691557e-06,6.304196e-06,6.795886e-06,6.859644e-06,7.361572e-06,7.753075e-06,7.813450e-06,8.218575e-06,8.525054e-06,8.580092e-06,8.901004e-06,9.135864e-06,9.184173e-06,9.432321e-06,9.607364e-06,9.648030e-06,9.833739e-06,9.959249e-06,9.991746e-06,1.012421e-05,1.020904e-05,1.023314e-05,1.032045e-05,1.037217e-05,1.038788e-05,1.043708e-05,1.046208e-05,1.046959e-05,1.048680e-05,1.049047e-05,1.049005e-05,1.048055e-05,1.046740e-05,1.045945e-05,1.042778e-05,1.040158e-05,1.038654e-05,1.033661e-05,1.030049e-05,1.027884e-05,1.021399e-05,1.017055e-05,1.014279e-05,1.006589e-05,1.001728e-05,9.983912e-06,9.897416e-06,9.845387e-06,9.806926e-06,9.712920e-06,9.658906e-06,9.615838e-06,9.516084e-06,9.461240e-06,9.414035e-06,9.310036e-06,9.255292e-06,9.204405e-06,9.097433e-06,9.043529e-06,8.989388e-06,8.880516e-06,8.828029e-06,8.771040e-06,8.661168e-06,8.610546e-06,8.551088e-06,8.440974e-06,8.392554e-06,8.330982e-06,8.221256e-06,8.175282e-06,8.111926e-06,8.003111e-06,7.959753e-06,7.894918e-06,7.787445e-06,7.746812e-06,7.680779e-06,7.575001e-06,7.537152e-06,7.470181e-06,7.366382e-06,7.331334e-06,7.263663e-06,7.162072e-06,7.129809e-06,7.061654e-06,6.962450e-06,6.932930e-06,6.864491e-06,6.767809e-06,6.740971e-06,6.672429e-06,6.578371e-06,6.554135e-06,6.485654e-06,6.394293e-06,6.372569e-06,6.304298e-06,6.215679e-06,6.196368e-06,6.128442e-06,6.042590e-06,6.025587e-06,5.958126e-06,5.875049e-06,5.860242e-06,5.793357e-06,5.713046e-06,5.700325e-06,5.634112e-06,5.556548e-06,5.545798e-06,5.480347e-06,5.405499e-06,5.396608e-06,5.331995e-06,5.259824e-06,5.252680e-06,5.188975e-06,5.119435e-06,5.113928e-06,5.051192e-06,4.984233e-06,4.980256e-06,4.918543e-06,4.854109e-06,4.851557e-06,4.790915e-06,4.728946e-06,4.727719e-06,4.668188e-06,4.608624e-06,4.494151e-06,4.384174e-06,4.278569e-06,4.177208e-06,4.079964e-06,3.986713e-06,3.897328e-06,3.811687e-06,3.729668e-06,3.651151e-06,3.576018e-06,3.504156e-06,3.435450e-06,3.369793e-06,3.307077e-06,3.247198e-06,3.190055e-06,3.135548e-06,3.083583e-06,3.034067e-06,2.986908e-06,2.942021e-06,2.899320e-06,2.858723e-06,2.820150e-06,2.783525e-06,2.748772e-06,2.715820e-06,2.684598e-06,2.655039e-06,2.627078e-06,2.600651e-06,2.575696e-06,2.552156e-06,2.529972e-06,2.509089e-06,2.489454e-06,2.471015e-06,2.453721e-06,2.437526e-06,2.422381e-06,2.408242e-06,2.395065e-06,2.382808e-06,2.371431e-06,2.360894e-06,2.351160e-06,2.342190e-06,2.333952e-06
0.000000e+00,2.223982e-11,2.566710e-09,2.754921e-09,5.037870e-08,3.954002e-07,4.264111e-07,2.290501e-06,8.258374e-06,8.889965e-06,2.685780e-05,6.235850e-05,6.664825e-05,1.417274e-04,2.517588e-04,2.669628e-04,4.568365e-04,6.874298e-04,7.239002e-04,1.077662e-03,1.455783e-03,1.523946e-03,2.064680e-03,2.590645e-03,2.698026e-03,3.418757e-03,4.069370e-03,4.218791e-03,5.087815e-03,5.824738e-03,6.013914e-03,6.984197e-03,7.763123e-03,7.985344e-03,9.004099e-03,9.782233e-03,1.002767e-02,1.104405e-02,1.178503e-02,1.204224e-02,1.301242e-02,1.368878e-02,1.394608e-02,1.483597e-02,1.542963e-02,1.567618e-02,1.646206e-02,1.696361e-02,1.719014e-02,1.785808e-02,1.826528e-02,1.846452e-02,1.900898e-02,1.932503e-02,1.949179e-02,1.991390e-02,2.014578e-02,2.027685e-02,2.058263e-02,2.073962e-02,2.083359e-02,2.103233e-02,2.112479e-02,2.118170e-02,2.128465e-02,2.132315e-02,2.134421e-02,2.136344e-02,2.135812e-02,2.134537e-02,2.129299e-02,2.125317e-02,2.120922e-02,2.109687e-02,2.103082e-02,2.095863e-02,2.079707e-02,2.071196e-02,2.061463e-02,2.041358e-02,2.031545e-02,2.019609e-02,1.996414e-02,1.985799e-02,1.971960e-02,1.946421e-02,1.935409e-02,1.919955e-02,1.892708e-02,1.881622e-02,1.864816e-02,1.836403e-02,1.825492e-02,1.807580e-02,1.778450e-02,1.767906e-02,1.749106e-02,1.719634e-02,1.709597e-02,1.690108e-02,1.660599e-02,1.651170e-02,1.631169e-02,1.601872e-02,1.593117e-02,1.572760e-02,1.543876e-02,1.535836e-02,1.515262e-02,1.486951e-02,1.479644e-02,1.458976e-02,1.431363e-02,1.424793e-02,1.404137e-02,1.377319e-02,1.371476e-02,1.350927e-02,1.324978e-02,1.319842e-02,1.299483e-02,1.274454e-02,1.269999e-02,1.249901e-02,1.225831e-02,1.222025e-02,1.202250e-02,1.179163e-02,1.175970e-02,1.156572e-02,1.134481e-02,1.131863e-02,1.112889e-02,1.091796e-02,1.089714e-02,1.071203e-02,1.051106e-02,1.049520e-02,1.031505e-02,1.012394e-02,1.011263e-02,9.937724e-03,9.756342e-03,9.749186e-03,9.579752e-03,9.407906e-03,9.404517e-03,9.240748e-03,9.078221e-03,8.769846e-03,8.478897e-03,8.204855e-03,7.947176e-03,7.705302e-03,7.478669e-03,7.266706e-03,7.068842e-03,6.884512e-03,6.713153e-03,6.554214e-03,6.407150e-03,6.271430e-03,6.146531e-03,6.031948e-03,5.927186e-03,5.831763e-03,5.745213e-03,5.667083e-03,5.596934e-03,5.534342e-03,5.478893e-03,5.430191e-03,5.387849e-03,5.351497e-03,5.320773e-03,5.295331e-03,5.274836e-03,5.258963e-03,5.247400e-03,5.239847e-03,5.236014e-03,5.235620e-03,5.238398e-03,5.244088e-03,5.252442e-03,5.263221e-03,5.276196e-03,5.291149e-03,5.307868e-03,5.326155e-03,5.345817e-03,5.366673e-03,5.388548e-03,5.411280e-03,5.434713e-03,5.458699e-03,5.483101e-03,5.507789e-03
0.000000e+00,8.801501e-09,1.987701e-07,2.084857e-07,1.548877e-06,6.195368e-06,6.502568e-06,1.774921e-05,3.360089e-05,3.471228e-05,5.358448e-05,7.030835e-05,7.170647e-05,8.833770e-05,1.019627e-04,1.033999e-04,1.169606e-04,1.277275e-04,1.291151e-04,1.399608e-04,1.483137e-04,1.495925e-04,1.581005e-04,1.644418e-04,1.655707e-04,1.720840e-04,1.767644e-04,1.777165e-04,1.825395e-04,1.858601e-04,1.866197e-04,1.900193e-04,1.922359e-04,1.927962e-04,1.950041e-04,1.963324e-04,1.966929e-04,1.979089e-04,1.985297e-04,1.986950e-04,1.990909e-04,1.991549e-04,1.991331e-04,1.988557e-04,1.984882e-04,1.982900e-04,1.974647e-04,1.967691e-04,1.964067e-04,1.951404e-04,1.942016e-04,1.936885e-04,1.920717e-04,1.909595e-04,1.903094e-04,1.884190e-04,1.871898e-04,1.864168e-04,1.843175e-04,1.830171e-04,1.821349e-04,1.798813e-04,1.785462e-04,1.775682e-04,1.752059e-04,1.738652e-04,1.728041e-04,1.703713e-04,1.690475e-04,1.679154e-04,1.654436e-04,1.641542e-04,1.629625e-04,1.604779e-04,1.592360e-04,1.579952e-04,1.555191e-04,1.543343e-04,1.530541e-04,1.506039e-04,1.494829e-04,1.481722e-04,1.457620e-04,1.447090e-04,1.433761e-04,1.410169e-04,1.400345e-04,1.386866e-04,1.363871e-04,1.354762e-04,1.341200e-04,1.318867e-04,1.310472e-04,1.296886e-04,1.275266e-04,1.267572e-04,1.254015e-04,1.233141e-04,1.226131e-04,1.212650e-04,1.192545e-04,1.186194e-04,1.172830e-04,1.153507e-04,1.147787e-04,1.134577e-04,1.116039e-04,1.110919e-04,1.097893e-04,1.080139e-04,1.075586e-04,1.062773e-04,1.045793e-04,1.041776e-04,1.029197e-04,1.012981e-04,1.009464e-04,9.971396e-05,9.816699e-05,9.786201e-05,9.665667e-05,9.518251e-05,9.492096e-05,9.374399e-05,9.234056e-05,9.211923e-05,9.097167e-05,8.963675e-05,8.945254e-05,8.833520e-05,8.706644e-05,8.691637e-05,8.582986e-05,8.462486e-05,8.450607e-05,8.345081e-05,8.230711e-05,8.221690e-05,8.119313e-05,8.010827e-05,8.004409e-05,7.905190e-05,7.802343e-05,7.798286e-05,7.702222e-05,7.604769e-05,7.602847e-05,7.509924e-05,7.417627e-05,7.242167e-05,7.076022e-05,6.918757e-05,6.769951e-05,6.629198e-05,6.496103e-05,6.370290e-05,6.251394e-05,6.139068e-05,6.032977e-05,5.932802e-05,5.838238e-05,5.748993e-05,5.664790e-05,5.585365e-05,5.510464e-05,5.439849e-05,5.373291e-05,5.310573e-05,5.251490e-05,5.195845e-05,5.143455e-05,5.094141e-05,5.047738e-05,5.004087e-05,4.963038e-05,4.924449e-05,4.888184e-05,4.854117e-05,4.822126e-05,4.792096e-05,4.763920e-05,4.737494e-05,4.712722e-05,4.689511e-05,4.667774e-05,4.647430e-05,4.628399e-05,4.610608e-05,4.593988e-05,4.578473e-05,4.564000e-05,4.550510e-05,4.537947e-05,4.526258e-05,4.515395e-05,4.505308e-05,4.495954e-05,4.487291e-05
0.000000e+00,3.190481e-11,3.449932e-09,3.700069e-09,6.656686e-08,5.233463e-07,5.644004e-07,3.012295e-06,1.064403e-05,1.143811e-05,3.332012e-05,7.395951e-05,7.870005e-05,1.574235e-04,2.623658e-04,2.761247e-04,4.364963e-04,6.095443e-04,6.351998e-04,8.649365e-04,1.079973e-03,1.116017e-03,1.377915e-03,1.598837e-03,1.640516e-03,1.894967e-03,2.092473e-03,2.134135e-03,2.352759e-03,2.510484e-03,2.547377e-03,2.716124e-03,2.829397e-03,2.858454e-03,2.974852e-03,3.046713e-03,3.066558e-03,3.135323e-03,3.172645e-03,3.183208e-03,3.212417e-03,3.223135e-03,3.225178e-03,3.223661e-03,3.215205e-03,3.209912e-03,3.185820e-03,3.164410e-03,3.153095e-03,3.113267e-03,3.083750e-03,3.067681e-03,3.017513e-03,2.983475e-03,2.963777e-03,2.907344e-03,2.871330e-03,2.848954e-03,2.789231e-03,2.752979e-03,2.728699e-03,2.667795e-03,2.632445e-03,2.606880e-03,2.546252e-03,2.512517e-03,2.486152e-03,2.426775e-03,2.395070e-03,2.368280e-03,2.310787e-03,2.281321e-03,2.254395e-03,2.199174e-03,2.172021e-03,2.145180e-03,2.092450e-03,2.067597e-03,2.041009e-03,1.990872e-03,1.968248e-03,1.942042e-03,1.894518e-03,1.874020e-03,1.848293e-03,1.803352e-03,1.784857e-03,1.759681e-03,1.717261e-03,1.700637e-03,1.676068e-03,1.636080e-03,1.621196e-03,1.597273e-03,1.559619e-03,1.546342e-03,1.523094e-03,1.487670e-03,1.475872e-03,1.453320e-03,1.420017e-03,1.409577e-03,1.387734e-03,1.356444e-03,1.347247e-03,1.326121e-03,1.296738e-03,1.288676e-03,1.268269e-03,1.240689e-03,1.233661e-03,1.213972e-03,1.188095e-03,1.182007e-03,1.163033e-03,1.138763e-03,1.133528e-03,1.115262e-03,1.092508e-03,1.088045e-03,1.070479e-03,1.049153e-03,1.045387e-03,1.028510e-03,1.008530e-03,1.005393e-03,9.891925e-04,9.704792e-04,9.679081e-04,9.523713e-04,9.348507e-04,9.327869e-04,9.178998e-04,9.015015e-04,8.998914e-04,8.856391e-04,8.702965e-04,8.690910e-04,8.554580e-04,8.411083e-04,8.402625e-04,8.272326e-04,8.138166e-04,8.132894e-04,8.008463e-04,7.883081e-04,7.880616e-04,7.761887e-04,7.644755e-04,7.424332e-04,7.218424e-04,7.026160e-04,6.846722e-04,6.679336e-04,6.523274e-04,6.377850e-04,6.242419e-04,6.116372e-04,5.999136e-04,5.890172e-04,5.788972e-04,5.695057e-04,5.607978e-04,5.527311e-04,5.452658e-04,5.383642e-04,5.319910e-04,5.261131e-04,5.206991e-04,5.157196e-04,5.111469e-04,5.069549e-04,5.031191e-04,4.996166e-04,4.964255e-04,4.935256e-04,4.908976e-04,4.885234e-04,4.863862e-04,4.844699e-04,4.827596e-04,4.812413e-04,4.799015e-04,4.787281e-04,4.777091e-04,4.768338e-04,4.760917e-04,4.754731e-04,4.749691e-04,4.745710e-04,4.742708e-04,4.740611e-04,4.739349e-04,4.738854e-04,4.739066e-04,4.739927e-04,4.741381e-04,4.743379e-04
0.000000e+00,4.527061e-10,3.739113e-08,3.988128e-08,5.519767e-07,3.521020e-06,3.767899e-06,1.686149e-05,5.128083e-05,5.458507e-05,1.352863e-04,2.573226e-04,2.701257e-04,4.564620e-04,6.573592e-04,6.810660e-04,9.273872e-04,1.150469e-03,1.180880e-03,1.431035e-03,1.638383e-03,1.671255e-03,1.897899e-03,2.076509e-03,2.109270e-03,2.304842e-03,2.453497e-03,2.484740e-03,2.649435e-03,2.770671e-03,2.799565e-03,2.935841e-03,3.032994e-03,3.059001e-03,3.169782e-03,3.246140e-03,3.268904e-03,3.357067e-03,3.415648e-03,3.434942e-03,3.503173e-03,3.546672e-03,3.562372e-03,3.613123e-03,3.643921e-03,3.655981e-03,3.691472e-03,3.711652e-03,3.720093e-03,3.742315e-03,3.753695e-03,3.758586e-03,3.769326e-03,3.773481e-03,3.774933e-03,3.775783e-03,3.774077e-03,3.772230e-03,3.764609e-03,3.758216e-03,3.753235e-03,3.738404e-03,3.728330e-03,3.720397e-03,3.699476e-03,3.686581e-03,3.675889e-03,3.649869e-03,3.634884e-03,3.621635e-03,3.591392e-03,3.574936e-03,3.559333e-03,3.525640e-03,3.508234e-03,3.490482e-03,3.454019e-03,3.436098e-03,3.416401e-03,3.377766e-03,3.359689e-03,3.338245e-03,3.297961e-03,3.280024e-03,3.257028e-03,3.215553e-03,3.197996e-03,3.173634e-03,3.131365e-03,3.114379e-03,3.088832e-03,3.046115e-03,3.029850e-03,3.003288e-03,2.960421e-03,2.944991e-03,2.917577e-03,2.874815e-03,2.860305e-03,2.832192e-03,2.789756e-03,2.776224e-03,2.747555e-03,2.705631e-03,2.693114e-03,2.664023e-03,2.622768e-03,2.611284e-03,2.581898e-03,2.541442e-03,2.530995e-03,2.501428e-03,2.461881e-03,2.452461e-03,2.422821e-03,2.384269e-03,2.375858e-03,2.346243e-03,2.308757e-03,2.301326e-03,2.271826e-03,2.235461e-03,2.228976e-03,2.199673e-03,2.164469e-03,2.158892e-03,2.129859e-03,2.095846e-03,2.091133e-03,2.062437e-03,2.029635e-03,2.025739e-03,1.997441e-03,1.965859e-03,1.962734e-03,1.934887e-03,1.904525e-03,1.902123e-03,1.874773e-03,1.845629e-03,1.843899e-03,1.817089e-03,1.789151e-03,1.788046e-03,1.761811e-03,1.735064e-03,1.734535e-03,1.708906e-03,1.683331e-03,1.634392e-03,1.587669e-03,1.543111e-03,1.500660e-03,1.460258e-03,1.421843e-03,1.385352e-03,1.350721e-03,1.317886e-03,1.286781e-03,1.257343e-03,1.229507e-03,1.203210e-03,1.178389e-03,1.154983e-03,1.132932e-03,1.112177e-03,1.092661e-03,1.074329e-03,1.057125e-03,1.040998e-03,1.025897e-03,1.011773e-03,9.985783e-04,9.862678e-04,9.747971e-04,9.641241e-04,9.542079e-04,9.450094e-04,9.364911e-04,9.286170e-04,9.213527e-04,9.146652e-04,9.085228e-04,9.028952e-04,8.977537e-04,8.930707e-04,8.888196e-04,8.849755e-04,8.815143e-04,8.784132e-04,8.756504e-04,8.732051e-04,8.710575e-04,8.691889e-04,8.675814e-04,8.662179e-04,8.650825e-04,8.641596e-04
0.000000e+00,1.568190e-11,1.949043e-09,2.097969e-09,4.560012e-08,4.165551e-07,4.515389e-07,2.658547e-06,9.823636e-06,1.057278e-05,3.107634e-05,6.837564e-05,7.267733e-05,1.432294e-04,2.359566e-04,2.480656e-04,3.891047e-04,5.420537e-04,5.648558e-04,7.710132e-04,9.678938e-04,1.001325e-03,1.248493e-03,1.463605e-03,1.504960e-03,1.763525e-03,1.972569e-03,2.017754e-03,2.262230e-03,2.447861e-03,2.492652e-03,2.705824e-03,2.858697e-03,2.899581e-03,3.072668e-03,3.190067e-03,3.224600e-03,3.355511e-03,3.439201e-03,3.466019e-03,3.557097e-03,3.611320e-03,3.629964e-03,3.685996e-03,3.715980e-03,3.726649e-03,3.753399e-03,3.764393e-03,3.767703e-03,3.770962e-03,3.767710e-03,3.764502e-03,3.749559e-03,3.736073e-03,3.727269e-03,3.698670e-03,3.678185e-03,3.664698e-03,3.626194e-03,3.601230e-03,3.583905e-03,3.538495e-03,3.510961e-03,3.490548e-03,3.440577e-03,3.411879e-03,3.389030e-03,3.336295e-03,3.307445e-03,3.282710e-03,3.228567e-03,3.200277e-03,3.174116e-03,3.119571e-03,3.092322e-03,3.065116e-03,3.010906e-03,2.985011e-03,2.957072e-03,2.903726e-03,2.879376e-03,2.850958e-03,2.798847e-03,2.776143e-03,2.747456e-03,2.696836e-03,2.675815e-03,2.647029e-03,2.598068e-03,2.578727e-03,2.549979e-03,2.502782e-03,2.485083e-03,2.456488e-03,2.411109e-03,2.394997e-03,2.366647e-03,2.323106e-03,2.308512e-03,2.280484e-03,2.238777e-03,2.225623e-03,2.197980e-03,2.158085e-03,2.146291e-03,2.119083e-03,2.080965e-03,2.070449e-03,2.043719e-03,2.007334e-03,1.998013e-03,1.971796e-03,1.937092e-03,1.928886e-03,1.903209e-03,1.870133e-03,1.862964e-03,1.837850e-03,1.806346e-03,1.800137e-03,1.775605e-03,1.745614e-03,1.740294e-03,1.716358e-03,1.687822e-03,1.683323e-03,1.659993e-03,1.632854e-03,1.629109e-03,1.606393e-03,1.580595e-03,1.577544e-03,1.555447e-03,1.530934e-03,1.528517e-03,1.507042e-03,1.483759e-03,1.481922e-03,1.461070e-03,1.438964e-03,1.437656e-03,1.417427e-03,1.396446e-03,1.395618e-03,1.376009e-03,1.356104e-03,1.355711e-03,1.336719e-03,1.317842e-03,1.281918e-03,1.247854e-03,1.215565e-03,1.184971e-03,1.155994e-03,1.128559e-03,1.102596e-03,1.078036e-03,1.054813e-03,1.032866e-03,1.012133e-03,9.925569e-04,9.740835e-04,9.566596e-04,9.402351e-04,9.247617e-04,9.101935e-04,8.964864e-04,8.835984e-04,8.714892e-04,8.601206e-04,8.494558e-04,8.394598e-04,8.300991e-04,8.213417e-04,8.131571e-04,8.055161e-04,7.983910e-04,7.917551e-04,7.855832e-04,7.798509e-04,7.745352e-04,7.696141e-04,7.650665e-04,7.608724e-04,7.570127e-04,7.534691e-04,7.502242e-04,7.472614e-04,7.445650e-04,7.421198e-04,7.399115e-04,7.379265e-04,7.361516e-04,7.345747e-04,7.331837e-04,7.319675e-04,7.309154e-04,7.300173e-04
0.000000e+00,4.714575e-09,1.367698e-07,1.435347e-07,1.061764e-06,4.485283e-06,4.726049e-06,1.459909e-05,3.165128e-05,3.297495e-05,5.763413e-05,8.203970e-05,8.415247e-05,1.098781e-04,1.316010e-04,1.339217e-04,1.560905e-04,1.740588e-04,1.764000e-04,1.949244e-04,2.094961e-04,2.117536e-04,2.269814e-04,2.386050e-04,2.407032e-04,2.530134e-04,2.621151e-04,2.639985e-04,2.737432e-04,2.807018e-04,2.823305e-04,2.898396e-04,2.949968e-04,2.963458e-04,3.019208e-04,3.055767e-04,3.066321e-04,3.105435e-04,3.129583e-04,3.137150e-04,3.162029e-04,3.176010e-04,3.180604e-04,3.193371e-04,3.199102e-04,3.200795e-04,3.203312e-04,3.202430e-04,3.201329e-04,3.195229e-04,3.189120e-04,3.185366e-04,3.172073e-04,3.161910e-04,3.155660e-04,3.136418e-04,3.123185e-04,3.114615e-04,3.090502e-04,3.075024e-04,3.064314e-04,3.036269e-04,3.019231e-04,3.006567e-04,2.975398e-04,2.957369e-04,2.942937e-04,2.909344e-04,2.890787e-04,2.874771e-04,2.839356e-04,2.820650e-04,2.803228e-04,2.766506e-04,2.747957e-04,2.729300e-04,2.691712e-04,2.673562e-04,2.653836e-04,2.615757e-04,2.598195e-04,2.577555e-04,2.539302e-04,2.522472e-04,2.501065e-04,2.462906e-04,2.446916e-04,2.424880e-04,2.387038e-04,2.371963e-04,2.349427e-04,2.312087e-04,2.297978e-04,2.275059e-04,2.238375e-04,2.225259e-04,2.202067e-04,2.166162e-04,2.154051e-04,2.130686e-04,2.095659e-04,2.084549e-04,2.061102e-04,2.027031e-04,2.016907e-04,1.993461e-04,1.960405e-04,1.951243e-04,1.927874e-04,1.895877e-04,1.887646e-04,1.864420e-04,1.833511e-04,1.826175e-04,1.803153e-04,1.773350e-04,1.766868e-04,1.744105e-04,1.715417e-04,1.709746e-04,1.687287e-04,1.659714e-04,1.654810e-04,1.632697e-04,1.606233e-04,1.602050e-04,1.580319e-04,1.554952e-04,1.551444e-04,1.530126e-04,1.505837e-04,1.502958e-04,1.482080e-04,1.458849e-04,1.456554e-04,1.436138e-04,1.413940e-04,1.412187e-04,1.392250e-04,1.371060e-04,1.369804e-04,1.350362e-04,1.330150e-04,1.329351e-04,1.310416e-04,1.291152e-04,1.290771e-04,1.272350e-04,1.254003e-04,1.218987e-04,1.185660e-04,1.153959e-04,1.123823e-04,1.095190e-04,1.067997e-04,1.042187e-04,1.017698e-04,9.944748e-05,9.724604e-05,9.516006e-05,9.318427e-05,9.131357e-05,8.954303e-05,8.786791e-05,8.628364e-05,8.478583e-05,8.337025e-05,8.203287e-05,8.076981e-05,7.957736e-05,7.845198e-05,7.739026e-05,7.638898e-05,7.544504e-05,7.455549e-05,7.371753e-05,7.292848e-05,7.218579e-05,7.148702e-05,7.082988e-05,7.021216e-05,6.963177e-05,6.908674e-05,6.857516e-05,6.809526e-05,6.764533e-05,6.722375e-05,6.682900e-05,6.645960e-05,6.611420e-05,6.579145e-05,6.549015e-05,6.520910e-05,6.494718e-05,6.470335e-05,6.447660e-05,6.426597e-05,6.407056e-05
0.000000e+00,1.151916e-08,1.412527e-07,1.469707e-07,7.935120e-07,2.611697e-06,2.723944e-06,6.589696e-06,1.174630e-05,1.210497e-05,1.823773e-05,2.381253e-05,2.428646e-05,3.003156e-05,3.490389e-05,3.542761e-05,4.047272e-05,4.462911e-05,4.517580e-05,4.954896e-05,5.305616e-05,5.360554e-05,5.735941e-05,6.028901e-05,6.082463e-05,6.401520e-05,6.643620e-05,6.694490e-05,6.962720e-05,7.160369e-05,7.207514e-05,7.430129e-05,7.589152e-05,7.631775e-05,7.813613e-05,7.939247e-05,7.976752e-05,8.122253e-05,8.219164e-05,8.251127e-05,8.364340e-05,8.436674e-05,8.462812e-05,8.547417e-05,8.598838e-05,8.618989e-05,8.678320e-05,8.712058e-05,8.726162e-05,8.763232e-05,8.782130e-05,8.790211e-05,8.807741e-05,8.814287e-05,8.816437e-05,8.816879e-05,8.813252e-05,8.809621e-05,8.795186e-05,8.783287e-05,8.774070e-05,8.746743e-05,8.728224e-05,8.713651e-05,8.675215e-05,8.651507e-05,8.631835e-05,8.583889e-05,8.556226e-05,8.531733e-05,8.475707e-05,8.445149e-05,8.416128e-05,8.353300e-05,8.320756e-05,8.287506e-05,8.219017e-05,8.185259e-05,8.148086e-05,8.074952e-05,8.040634e-05,7.999843e-05,7.922971e-05,7.888641e-05,7.844536e-05,7.764728e-05,7.730842e-05,7.683724e-05,7.601692e-05,7.568627e-05,7.518789e-05,7.435162e-05,7.403223e-05,7.350950e-05,7.266282e-05,7.235714e-05,7.181282e-05,7.096062e-05,7.067056e-05,7.010729e-05,6.925384e-05,6.898086e-05,6.840118e-05,6.755020e-05,6.729536e-05,6.670170e-05,6.585644e-05,6.562044e-05,6.501511e-05,6.417836e-05,6.396164e-05,6.334681e-05,6.252099e-05,6.232371e-05,6.170144e-05,6.088863e-05,6.071075e-05,6.008298e-05,5.928490e-05,5.912623e-05,5.849477e-05,5.771290e-05,5.757306e-05,5.693961e-05,5.617516e-05,5.605369e-05,5.541982e-05,5.467379e-05,5.457010e-05,5.393728e-05,5.321047e-05,5.312391e-05,5.249351e-05,5.178653e-05,5.171638e-05,5.108965e-05,5.040297e-05,5.034848e-05,4.972656e-05,4.906051e-05,4.902087e-05,4.840485e-05,4.775962e-05,4.773403e-05,4.712485e-05,4.650056e-05,4.648818e-05,4.588673e-05,4.528338e-05,4.411952e-05,4.299635e-05,4.191350e-05,4.087051e-05,3.986679e-05,3.890172e-05,3.797460e-05,3.708465e-05,3.623109e-05,3.541306e-05,3.462969e-05,3.388011e-05,3.316340e-05,3.247865e-05,3.182493e-05,3.120133e-05,3.060692e-05,3.004078e-05,2.950200e-05,2.898969e-05,2.850295e-05,2.804092e-05,2.760271e-05,2.718751e-05,2.679446e-05,2.642276e-05,2.607163e-05,2.574028e-05,2.542796e-05,2.513392e-05,2.485747e-05,2.459789e-05,2.435451e-05,2.412666e-05,2.391372e-05,2.371505e-05,2.353005e-05,2.335815e-05,2.319876e-05,2.305135e-05,2.291539e-05,2.279036e-05,2.267575e-05,2.257110e-05,2.247594e-05,2.238982e-05,2.231231e-05,2.224298e-05,2.218143e-05
0.000000e+00,2.477019e-10,4.559590e-09,4.783206e-09,3.353631e-08,1.108455e-07,1.151295e-07,2.348441e-07,3.508702e-07,3.581035e-07,4.744921e-07,5.743032e-07,5.826540e-07,6.827222e-07,7.661705e-07,7.750694e-07,8.601025e-07,9.292032e-07,9.382264e-07,1.009835e-06,1.066498e-06,1.075309e-06,1.135015e-06,1.180968e-06,1.189305e-06,1.238511e-06,1.275292e-06,1.282954e-06,1.322933e-06,1.351897e-06,1.358736e-06,1.390634e-06,1.412967e-06,1.418880e-06,1.443712e-06,1.460440e-06,1.465356e-06,1.484024e-06,1.496042e-06,1.499919e-06,1.513231e-06,1.521320e-06,1.524144e-06,1.532826e-06,1.537660e-06,1.539434e-06,1.544118e-06,1.546274e-06,1.547015e-06,1.548255e-06,1.548226e-06,1.547962e-06,1.546250e-06,1.544461e-06,1.543228e-06,1.538998e-06,1.535810e-06,1.533654e-06,1.527285e-06,1.523008e-06,1.519976e-06,1.511805e-06,1.506700e-06,1.502845e-06,1.493165e-06,1.487453e-06,1.482829e-06,1.471898e-06,1.465768e-06,1.460429e-06,1.448474e-06,1.442082e-06,1.436082e-06,1.423301e-06,1.416777e-06,1.410173e-06,1.396738e-06,1.390191e-06,1.383034e-06,1.369096e-06,1.362615e-06,1.354957e-06,1.340647e-06,1.334305e-06,1.326196e-06,1.311628e-06,1.305481e-06,1.296970e-06,1.282243e-06,1.276338e-06,1.267469e-06,1.252668e-06,1.247040e-06,1.237858e-06,1.223056e-06,1.217732e-06,1.208277e-06,1.193536e-06,1.188536e-06,1.178847e-06,1.164221e-06,1.159556e-06,1.149670e-06,1.135205e-06,1.130883e-06,1.120834e-06,1.106567e-06,1.102592e-06,1.092412e-06,1.078376e-06,1.074746e-06,1.064465e-06,1.050685e-06,1.047399e-06,1.037043e-06,1.023542e-06,1.020592e-06,1.010188e-06,9.969831e-07,9.943605e-07,9.839320e-07,9.710373e-07,9.687331e-07,9.583018e-07,9.457276e-07,9.437308e-07,9.333167e-07,9.210708e-07,9.193696e-07,9.089912e-07,8.970789e-07,8.956607e-07,8.853348e-07,8.737594e-07,8.726112e-07,8.623532e-07,8.511162e-07,8.502245e-07,8.400484e-07,8.291497e-07,8.285012e-07,8.184197e-07,8.078578e-07,8.074389e-07,7.974635e-07,7.872360e-07,7.870331e-07,7.771743e-07,7.672775e-07,7.481640e-07,7.296830e-07,7.118242e-07,6.945758e-07,6.779257e-07,6.618610e-07,6.463682e-07,6.314337e-07,6.170434e-07,6.031832e-07,5.898389e-07,5.769962e-07,5.646408e-07,5.527587e-07,5.413358e-07,5.303582e-07,5.198122e-07,5.096844e-07,4.999616e-07,4.906307e-07,4.816792e-07,4.730944e-07,4.648643e-07,4.569770e-07,4.494210e-07,4.421849e-07,4.352579e-07,4.286291e-07,4.222883e-07,4.162253e-07,4.104303e-07,4.048939e-07,3.996067e-07,3.945599e-07,3.897447e-07,3.851527e-07,3.807758e-07,3.766060e-07,3.726357e-07,3.688574e-07,3.652641e-07,3.618488e-07,3.586047e-07,3.555253e-07,3.526044e-07,3.498359e-07,3.472139e-07,3.447327e-07,3.423869e-07
0.000000e+00,6.895887e-10,8.636647e-09,9.003305e-09,5.184672e-08,1.716785e-07,1.789768e-07,4.252644e-07,7.453595e-07,7.674490e-07,1.142887e-06,1.479804e-06,1.508207e-06,1.848995e-06,2.132429e-06,2.162566e-06,2.449418e-06,2.680757e-06,2.710832e-06,2.948267e-06,3.134404e-06,3.163192e-06,3.357040e-06,3.504590e-06,3.531184e-06,3.686939e-06,3.801812e-06,3.825551e-06,3.948199e-06,4.035574e-06,4.055996e-06,4.149990e-06,4.214358e-06,4.231164e-06,4.300447e-06,4.345689e-06,4.358712e-06,4.406775e-06,4.436225e-06,4.445401e-06,4.475309e-06,4.491824e-06,4.497171e-06,4.511616e-06,4.517631e-06,4.519232e-06,4.520570e-06,4.518157e-06,4.516144e-06,4.506434e-06,4.497351e-06,4.491891e-06,4.472933e-06,4.458665e-06,4.449951e-06,4.423311e-06,4.405108e-06,4.393353e-06,4.360395e-06,4.339303e-06,4.324731e-06,4.286637e-06,4.263531e-06,4.246369e-06,4.204166e-06,4.179770e-06,4.160249e-06,4.114823e-06,4.089734e-06,4.068080e-06,4.020197e-06,3.994903e-06,3.971339e-06,3.921658e-06,3.896553e-06,3.871295e-06,3.820380e-06,3.795780e-06,3.769034e-06,3.717368e-06,3.693523e-06,3.665485e-06,3.613479e-06,3.590580e-06,3.561438e-06,3.509441e-06,3.487633e-06,3.457561e-06,3.405866e-06,3.385254e-06,3.354417e-06,3.303270e-06,3.283925e-06,3.252477e-06,3.202083e-06,3.184047e-06,3.152130e-06,3.102657e-06,3.085951e-06,3.053697e-06,3.005282e-06,2.989908e-06,2.957438e-06,2.910190e-06,2.896135e-06,2.863560e-06,2.817566e-06,2.804804e-06,2.772225e-06,2.727550e-06,2.716046e-06,2.683555e-06,2.640249e-06,2.629960e-06,2.597641e-06,2.555737e-06,2.546614e-06,2.514543e-06,2.474062e-06,2.466051e-06,2.434296e-06,2.395247e-06,2.388295e-06,2.356916e-06,2.319300e-06,2.313348e-06,2.282399e-06,2.246209e-06,2.241199e-06,2.210727e-06,2.175950e-06,2.171824e-06,2.141872e-06,2.108487e-06,2.105186e-06,2.075790e-06,2.043775e-06,2.041243e-06,2.012434e-06,1.981760e-06,1.979941e-06,1.951746e-06,1.922384e-06,1.921223e-06,1.893665e-06,1.865582e-06,1.865027e-06,1.838125e-06,1.811286e-06,1.759933e-06,1.710895e-06,1.664101e-06,1.619478e-06,1.576952e-06,1.536451e-06,1.497902e-06,1.461234e-06,1.426376e-06,1.393258e-06,1.361813e-06,1.331974e-06,1.303677e-06,1.276857e-06,1.251455e-06,1.227410e-06,1.204664e-06,1.183163e-06,1.162851e-06,1.143677e-06,1.125591e-06,1.108543e-06,1.092487e-06,1.077378e-06,1.063173e-06,1.049829e-06,1.037307e-06,1.025568e-06,1.014575e-06,1.004291e-06,9.946845e-07,9.857208e-07,9.773689e-07,9.695987e-07,9.623811e-07,9.556886e-07,9.494943e-07,9.437731e-07,9.385003e-07,9.336528e-07,9.292081e-07,9.251448e-07,9.214425e-07,9.180817e-07,9.150435e-07,9.123101e-07,9.098644e-07,9.076900e-07,9.057713e-07
0.000000e+00,4.060223e-10,5.236996e-09,5.462913e-09,3.237817e-08,1.095470e-07,1.142991e-07,2.772304e-07,4.956651e-07,5.109956e-07,7.755981e-07,1.017749e-06,1.038309e-06,1.286517e-06,1.495030e-06,1.517315e-06,1.730618e-06,1.904359e-06,1.927070e-06,2.107494e-06,2.250490e-06,2.272743e-06,2.423660e-06,2.539960e-06,2.561072e-06,2.685768e-06,2.779062e-06,2.798505e-06,2.900004e-06,2.973575e-06,2.990952e-06,3.072001e-06,3.128749e-06,3.143773e-06,3.206856e-06,3.249332e-06,3.261807e-06,3.309155e-06,3.339593e-06,3.349400e-06,3.383013e-06,3.403360e-06,3.410441e-06,3.432106e-06,3.444057e-06,3.448406e-06,3.459716e-06,3.464739e-06,3.466391e-06,3.468766e-06,3.468131e-06,3.467155e-06,3.461856e-06,3.456659e-06,3.453149e-06,3.441298e-06,3.432481e-06,3.426551e-06,3.409141e-06,3.397510e-06,3.389289e-06,3.367202e-06,3.353444e-06,3.343073e-06,3.317085e-06,3.301785e-06,3.289410e-06,3.260209e-06,3.243860e-06,3.229633e-06,3.197823e-06,3.180839e-06,3.164912e-06,3.131025e-06,3.113752e-06,3.096278e-06,3.060780e-06,3.043504e-06,3.024633e-06,2.987931e-06,2.970887e-06,2.950765e-06,2.913216e-06,2.896594e-06,2.875363e-06,2.837277e-06,2.821227e-06,2.799024e-06,2.760668e-06,2.745310e-06,2.722267e-06,2.683873e-06,2.669295e-06,2.645536e-06,2.607303e-06,2.593572e-06,2.569215e-06,2.531313e-06,2.518475e-06,2.493631e-06,2.456204e-06,2.444286e-06,2.419061e-06,2.382231e-06,2.371246e-06,2.345738e-06,2.309606e-06,2.299556e-06,2.273855e-06,2.238506e-06,2.229382e-06,2.203574e-06,2.169074e-06,2.160860e-06,2.135022e-06,2.101428e-06,2.094100e-06,2.068303e-06,2.035657e-06,2.029186e-06,2.003497e-06,1.971831e-06,1.966184e-06,1.940664e-06,1.910000e-06,1.905141e-06,1.879844e-06,1.850198e-06,1.846089e-06,1.821064e-06,1.792444e-06,1.789044e-06,1.764338e-06,1.736745e-06,1.734014e-06,1.709665e-06,1.683096e-06,1.680992e-06,1.657037e-06,1.631485e-06,1.629968e-06,1.606437e-06,1.581890e-06,1.580919e-06,1.557841e-06,1.534285e-06,1.533818e-06,1.511217e-06,1.488635e-06,1.445331e-06,1.403866e-06,1.364198e-06,1.326280e-06,1.290065e-06,1.255503e-06,1.222546e-06,1.191142e-06,1.161242e-06,1.132793e-06,1.105747e-06,1.080051e-06,1.055658e-06,1.032518e-06,1.010584e-06,9.898074e-07,9.701432e-07,9.515462e-07,9.339726e-07,9.173796e-07,9.017259e-07,8.869711e-07,8.730763e-07,8.600036e-07,8.477163e-07,8.361793e-07,8.253581e-07,8.152199e-07,8.057328e-07,7.968662e-07,7.885905e-07,7.808773e-07,7.736993e-07,7.670301e-07,7.608445e-07,7.551183e-07,7.498281e-07,7.449515e-07,7.404671e-07,7.363543e-07,7.325935e-07,7.291656e-07,7.260527e-07,7.232375e-07,7.207033e-07,7.184342e-07,7.164153e-07,7.146319e-07,7.130702e-07
0.000000e+00,5.477233e-11,7.503067e-09,8.094678e-09,1.876675e-07,1.645355e-06,1.777303e-06,9.285508e-06,2.967371e-05,3.162979e-05,7.926436e-05,1.519748e-04,1.597042e-04,2.751143e-04,4.064771e-04,4.224837e-04,5.952260e-04,7.616682e-04,7.850690e-04,9.836066e-04,1.155525e-03,1.183308e-03,1.378027e-03,1.534319e-03,1.563146e-03,1.735484e-03,1.865862e-03,1.893090e-03,2.034996e-03,2.137047e-03,2.160978e-03,2.271343e-03,2.347004e-03,2.366754e-03,2.448102e-03,2.501141e-03,2.516399e-03,2.572711e-03,2.607293e-03,2.618103e-03,2.653612e-03,2.673615e-03,2.680223e-03,2.698857e-03,2.707613e-03,2.710365e-03,2.715532e-03,2.715790e-03,2.715070e-03,2.709629e-03,2.703596e-03,2.699794e-03,2.686095e-03,2.675522e-03,2.669009e-03,2.648965e-03,2.635223e-03,2.626348e-03,2.601503e-03,2.585657e-03,2.574740e-03,2.546336e-03,2.529209e-03,2.516540e-03,2.485573e-03,2.467795e-03,2.453633e-03,2.420900e-03,2.402949e-03,2.387529e-03,2.353663e-03,2.335899e-03,2.319428e-03,2.284934e-03,2.267622e-03,2.250283e-03,2.215561e-03,2.198893e-03,2.180848e-03,2.146213e-03,2.130324e-03,2.111717e-03,2.077414e-03,2.062394e-03,2.043351e-03,2.009571e-03,1.995476e-03,1.976108e-03,1.942996e-03,1.929855e-03,1.910261e-03,1.877927e-03,1.865749e-03,1.846013e-03,1.814537e-03,1.803316e-03,1.783514e-03,1.752954e-03,1.742671e-03,1.722868e-03,1.693263e-03,1.683892e-03,1.664145e-03,1.635519e-03,1.627028e-03,1.607387e-03,1.579751e-03,1.572102e-03,1.552612e-03,1.525968e-03,1.519122e-03,1.499819e-03,1.474162e-03,1.468078e-03,1.448995e-03,1.424314e-03,1.418949e-03,1.400115e-03,1.376394e-03,1.371706e-03,1.353145e-03,1.330365e-03,1.326314e-03,1.308046e-03,1.286184e-03,1.282728e-03,1.264773e-03,1.243805e-03,1.240905e-03,1.223276e-03,1.203178e-03,1.200795e-03,1.183505e-03,1.164250e-03,1.162347e-03,1.145406e-03,1.126968e-03,1.125510e-03,1.108928e-03,1.091279e-03,1.090232e-03,1.074014e-03,1.057128e-03,1.056460e-03,1.040612e-03,1.024461e-03,1.024142e-03,1.008668e-03,9.932255e-04,9.636608e-04,9.353974e-04,9.083865e-04,8.825805e-04,8.579330e-04,8.343990e-04,8.119347e-04,7.904979e-04,7.700477e-04,7.505443e-04,7.319498e-04,7.142271e-04,6.973408e-04,6.812567e-04,6.659417e-04,6.513641e-04,6.374933e-04,6.243000e-04,6.117558e-04,5.998337e-04,5.885074e-04,5.777519e-04,5.675430e-04,5.578574e-04,5.486731e-04,5.399685e-04,5.317232e-04,5.239173e-04,5.165320e-04,5.095490e-04,5.029509e-04,4.967208e-04,4.908427e-04,4.853011e-04,4.800811e-04,4.751685e-04,4.705497e-04,4.662113e-04,4.621410e-04,4.583265e-04,4.547561e-04,4.514189e-04,4.483040e-04,4.454011e-04,4.427005e-04,4.401925e-04,4.378682e-04,4.357188e-04,4.337359e-04
0.000000e+00,5.855643e-09,9.053613e-08,9.461733e-08,6.125245e-07,2.236590e-06,2.340119e-06,5.988816e-06,1.089844e-05,1.123790e-05,1.699540e-05,2.217378e-05,2.261231e-05,2.791076e-05,3.238154e-05,3.286093e-05,3.746820e-05,4.124956e-05,4.174600e-05,4.570972e-05,4.887927e-05,4.937503e-05,5.275750e-05,5.539131e-05,5.587231e-05,5.873421e-05,6.090227e-05,6.135746e-05,6.375571e-05,6.552113e-05,6.594206e-05,6.792898e-05,6.934799e-05,6.972834e-05,7.135142e-05,7.247368e-05,7.280893e-05,7.411101e-05,7.498013e-05,7.526724e-05,7.628671e-05,7.694089e-05,7.717801e-05,7.794924e-05,7.842179e-05,7.860808e-05,7.916175e-05,7.948168e-05,7.961710e-05,7.998056e-05,8.017307e-05,8.025821e-05,8.045579e-05,8.054274e-05,8.057873e-05,8.063212e-05,8.063241e-05,8.062077e-05,8.054921e-05,8.047916e-05,8.042171e-05,8.024230e-05,8.011595e-05,8.001475e-05,7.974264e-05,7.957205e-05,7.942932e-05,7.907795e-05,7.887345e-05,7.869150e-05,7.827277e-05,7.804314e-05,7.782437e-05,7.734879e-05,7.710153e-05,7.684834e-05,7.632520e-05,7.606665e-05,7.578143e-05,7.521895e-05,7.495443e-05,7.463957e-05,7.404498e-05,7.377896e-05,7.343678e-05,7.281645e-05,7.255264e-05,7.218539e-05,7.154492e-05,7.128637e-05,7.089626e-05,7.024056e-05,6.998978e-05,6.957890e-05,6.891228e-05,6.867127e-05,6.824164e-05,6.756787e-05,6.733822e-05,6.689177e-05,6.621413e-05,6.599707e-05,6.553564e-05,6.485699e-05,6.465345e-05,6.417877e-05,6.350159e-05,6.331223e-05,6.282596e-05,6.215237e-05,6.197764e-05,6.148131e-05,6.081317e-05,6.065330e-05,6.014837e-05,5.948727e-05,5.934236e-05,5.883020e-05,5.817748e-05,5.804749e-05,5.752940e-05,5.688620e-05,5.677097e-05,5.624814e-05,5.561543e-05,5.551471e-05,5.498827e-05,5.436684e-05,5.428031e-05,5.375131e-05,5.314181e-05,5.306908e-05,5.253849e-05,5.194146e-05,5.188211e-05,5.135083e-05,5.076669e-05,5.072024e-05,5.018912e-05,4.961819e-05,4.958414e-05,4.905395e-05,4.849647e-05,4.847431e-05,4.794578e-05,4.740190e-05,4.739110e-05,4.686488e-05,4.633471e-05,4.530528e-05,4.430280e-05,4.332721e-05,4.237835e-05,4.145602e-05,4.055995e-05,3.968983e-05,3.884531e-05,3.802599e-05,3.723148e-05,3.646132e-05,3.571507e-05,3.499227e-05,3.429242e-05,3.361504e-05,3.295964e-05,3.232572e-05,3.171278e-05,3.112031e-05,3.054782e-05,2.999482e-05,2.946080e-05,2.894529e-05,2.844781e-05,2.796786e-05,2.750500e-05,2.705875e-05,2.662866e-05,2.621428e-05,2.581518e-05,2.543093e-05,2.506111e-05,2.470530e-05,2.436310e-05,2.403412e-05,2.371796e-05,2.341426e-05,2.312264e-05,2.284275e-05,2.257422e-05,2.231673e-05,2.206993e-05,2.183349e-05,2.160710e-05,2.139044e-05,2.118321e-05,2.098512e-05,2.079588e-05,2.061521e-05
0.000000e+00,3.971324e-09,5.703884e-08,5.955939e-08,3.567995e-07,1.160215e-06,1.207540e-06,2.695033e-06,4.368689e-06,4.477089e-06,6.253032e-06,7.804628e-06,7.935247e-06,9.508752e-06,1.083219e-05,1.097393e-05,1.233433e-05,1.344824e-05,1.359428e-05,1.475831e-05,1.568605e-05,1.583086e-05,1.681636e-05,1.758016e-05,1.771925e-05,1.854394e-05,1.916484e-05,1.929471e-05,1.997572e-05,2.047299e-05,2.059097e-05,2.114431e-05,2.153531e-05,2.163942e-05,2.207981e-05,2.237998e-05,2.246883e-05,2.280966e-05,2.303263e-05,2.310532e-05,2.335866e-05,2.351640e-05,2.357242e-05,2.374914e-05,2.385213e-05,2.389127e-05,2.400111e-05,2.405847e-05,2.408083e-05,2.413248e-05,2.415214e-05,2.415800e-05,2.415923e-05,2.414806e-05,2.413789e-05,2.409561e-05,2.405956e-05,2.403393e-05,2.395431e-05,2.389849e-05,2.385810e-05,2.374660e-05,2.367539e-05,2.362101e-05,2.348247e-05,2.339964e-05,2.333207e-05,2.317080e-05,2.307954e-05,2.299962e-05,2.281942e-05,2.272244e-05,2.263105e-05,2.243527e-05,2.233485e-05,2.223285e-05,2.202446e-05,2.192251e-05,2.181076e-05,2.159236e-05,2.149048e-05,2.136983e-05,2.114371e-05,2.104321e-05,2.091449e-05,2.068265e-05,2.058460e-05,2.044862e-05,2.021281e-05,2.011807e-05,1.997560e-05,1.973735e-05,1.964661e-05,1.949839e-05,1.925903e-05,1.917281e-05,1.901955e-05,1.878022e-05,1.869893e-05,1.854129e-05,1.830299e-05,1.822690e-05,1.806553e-05,1.782911e-05,1.775841e-05,1.759391e-05,1.736009e-05,1.729489e-05,1.712781e-05,1.689722e-05,1.683755e-05,1.666843e-05,1.644157e-05,1.638743e-05,1.621676e-05,1.599407e-05,1.594538e-05,1.577361e-05,1.555546e-05,1.551211e-05,1.533968e-05,1.512634e-05,1.508820e-05,1.491550e-05,1.470721e-05,1.467413e-05,1.450152e-05,1.429845e-05,1.427024e-05,1.409805e-05,1.390035e-05,1.387681e-05,1.370536e-05,1.351311e-05,1.349404e-05,1.332361e-05,1.313687e-05,1.312205e-05,1.295290e-05,1.277170e-05,1.276091e-05,1.259327e-05,1.241761e-05,1.241064e-05,1.224471e-05,1.207458e-05,1.207120e-05,1.190719e-05,1.174253e-05,1.142453e-05,1.111707e-05,1.082000e-05,1.053313e-05,1.025630e-05,9.989282e-06,9.731876e-06,9.483855e-06,9.244991e-06,9.015051e-06,8.793797e-06,8.580992e-06,8.376395e-06,8.179767e-06,7.990870e-06,7.809469e-06,7.635330e-06,7.468222e-06,7.307919e-06,7.154198e-06,7.006841e-06,6.865633e-06,6.730367e-06,6.600836e-06,6.476843e-06,6.358193e-06,6.244698e-06,6.136172e-06,6.032438e-06,5.933323e-06,5.838657e-06,5.748278e-06,5.662027e-06,5.579751e-06,5.501301e-06,5.426534e-06,5.355309e-06,5.287494e-06,5.222956e-06,5.161571e-06,5.103217e-06,5.047775e-06,4.995133e-06,4.945181e-06,4.897813e-06,4.852925e-06,4.810421e-06,4.770204e-06,4.732182e-06
0.000000e+00,1.587815e-09,8.643704e-08,9.189523e-08,1.200708e-06,7.097516e-06,7.550926e-06,2.691572e-05,5.851531e-05,6.082521e-05,1.012480e-04,1.384701e-04,1.416281e-04,1.796953e-04,2.115957e-04,2.150016e-04,2.475716e-04,2.740674e-04,2.775290e-04,3.050141e-04,3.267801e-04,3.301661e-04,3.531200e-04,3.707978e-04,3.740057e-04,3.929465e-04,4.071104e-04,4.100616e-04,4.254649e-04,4.366286e-04,4.392656e-04,4.515670e-04,4.601846e-04,4.624673e-04,4.720594e-04,4.785286e-04,4.804311e-04,4.876651e-04,4.923319e-04,4.938396e-04,4.990280e-04,5.021922e-04,5.032997e-04,5.067196e-04,5.086397e-04,5.093490e-04,5.112454e-04,5.121440e-04,5.124628e-04,5.130520e-04,5.131200e-04,5.130606e-04,5.125333e-04,5.119340e-04,5.115119e-04,5.100359e-04,5.089086e-04,5.081419e-04,5.058646e-04,5.043278e-04,5.032363e-04,5.002873e-04,4.984412e-04,4.970460e-04,4.935388e-04,4.914679e-04,4.897905e-04,4.858244e-04,4.835999e-04,4.816622e-04,4.773241e-04,4.750051e-04,4.728290e-04,4.681945e-04,4.658302e-04,4.634371e-04,4.585722e-04,4.562031e-04,4.536141e-04,4.485760e-04,4.462351e-04,4.434704e-04,4.383087e-04,4.360226e-04,4.331017e-04,4.278594e-04,4.256493e-04,4.225908e-04,4.173047e-04,4.151870e-04,4.120088e-04,4.067105e-04,4.046979e-04,4.014165e-04,3.961331e-04,3.942348e-04,3.908661e-04,3.856207e-04,3.838431e-04,3.804018e-04,3.752138e-04,3.735608e-04,3.700608e-04,3.649465e-04,3.634203e-04,3.598744e-04,3.548474e-04,3.534484e-04,3.498685e-04,3.449401e-04,3.436673e-04,3.400645e-04,3.352438e-04,3.340952e-04,3.304797e-04,3.257739e-04,3.247466e-04,3.211278e-04,3.165426e-04,3.156329e-04,3.120193e-04,3.075591e-04,3.067630e-04,3.031625e-04,2.988302e-04,2.981431e-04,2.945628e-04,2.903607e-04,2.897776e-04,2.862241e-04,2.821533e-04,2.816692e-04,2.781483e-04,2.742092e-04,2.738189e-04,2.703359e-04,2.665283e-04,2.662265e-04,2.627861e-04,2.591091e-04,2.588905e-04,2.554970e-04,2.519494e-04,2.518088e-04,2.484659e-04,2.450460e-04,2.449783e-04,2.416893e-04,2.383951e-04,2.320550e-04,2.259533e-04,2.200847e-04,2.144440e-04,2.090253e-04,2.038229e-04,1.988309e-04,1.940433e-04,1.894539e-04,1.850567e-04,1.808457e-04,1.768148e-04,1.729582e-04,1.692699e-04,1.657441e-04,1.623753e-04,1.591578e-04,1.560862e-04,1.531552e-04,1.503596e-04,1.476943e-04,1.451545e-04,1.427354e-04,1.404323e-04,1.382408e-04,1.361564e-04,1.341750e-04,1.322925e-04,1.305049e-04,1.288084e-04,1.271993e-04,1.256741e-04,1.242292e-04,1.228613e-04,1.215674e-04,1.203441e-04,1.191887e-04,1.180981e-04,1.170697e-04,1.161007e-04,1.151886e-04,1.143308e-04,1.135252e-04,1.127692e-04,1.120608e-04,1.113977e-04,1.107780e-04,1.101997e-04,1.096610e-04
0.000000e+00,5.379682e-11,5.595361e-09,5.998204e-09,1.063456e-07,8.249207e-07,8.889172e-07,4.606116e-06,1.552880e-05,1.662628e-05,4.509558e-05,9.258177e-05,9.781931e-05,1.788351e-04,2.752222e-04,2.871632e-04,4.177117e-04,5.451517e-04,5.631229e-04,7.155470e-04,8.467906e-04,8.678825e-04,1.014425e-03,1.129987e-03,1.151057e-03,1.275143e-03,1.366522e-03,1.385289e-03,1.481052e-03,1.547449e-03,1.562670e-03,1.630833e-03,1.675274e-03,1.686505e-03,1.730786e-03,1.757527e-03,1.764823e-03,1.789750e-03,1.802968e-03,1.806645e-03,1.816513e-03,1.819786e-03,1.820272e-03,1.818749e-03,1.814941e-03,1.812686e-03,1.802741e-03,1.794062e-03,1.789498e-03,1.773468e-03,1.761582e-03,1.755100e-03,1.734788e-03,1.720928e-03,1.712875e-03,1.689661e-03,1.674729e-03,1.665404e-03,1.640332e-03,1.624980e-03,1.614639e-03,1.588496e-03,1.573185e-03,1.562048e-03,1.535420e-03,1.520471e-03,1.508721e-03,1.482044e-03,1.467676e-03,1.455468e-03,1.429059e-03,1.415412e-03,1.402876e-03,1.376966e-03,1.364126e-03,1.351370e-03,1.326121e-03,1.314133e-03,1.301247e-03,1.276772e-03,1.265651e-03,1.252711e-03,1.229082e-03,1.218824e-03,1.205893e-03,1.183153e-03,1.173738e-03,1.160868e-03,1.139041e-03,1.130439e-03,1.117674e-03,1.096766e-03,1.088942e-03,1.076317e-03,1.056323e-03,1.049237e-03,1.036782e-03,1.017688e-03,1.011298e-03,9.990374e-04,9.808234e-04,9.750863e-04,9.630403e-04,9.456813e-04,9.405553e-04,9.287396e-04,9.122079e-04,9.076516e-04,8.960791e-04,8.803454e-04,8.763185e-04,8.649994e-04,8.500334e-04,8.464972e-04,8.354395e-04,8.212101e-04,8.181278e-04,8.073374e-04,7.938137e-04,7.911502e-04,7.806314e-04,7.677829e-04,7.655050e-04,7.552606e-04,7.430573e-04,7.411339e-04,7.311655e-04,7.195781e-04,7.179797e-04,7.082879e-04,6.972881e-04,6.959873e-04,6.865716e-04,6.761318e-04,6.751028e-04,6.659620e-04,6.560559e-04,6.552746e-04,6.464069e-04,6.370089e-04,6.364529e-04,6.278558e-04,6.189416e-04,6.185899e-04,6.102605e-04,6.018066e-04,6.016398e-04,5.935745e-04,5.855587e-04,5.703045e-04,5.558371e-04,5.421182e-04,5.291112e-04,5.167812e-04,5.050948e-04,4.940205e-04,4.835279e-04,4.735882e-04,4.641741e-04,4.552594e-04,4.468193e-04,4.388301e-04,4.312694e-04,4.241156e-04,4.173484e-04,4.109484e-04,4.048971e-04,3.991771e-04,3.937716e-04,3.886648e-04,3.838415e-04,3.792874e-04,3.749888e-04,3.709329e-04,3.671071e-04,3.634999e-04,3.601000e-04,3.568968e-04,3.538803e-04,3.510409e-04,3.483694e-04,3.458572e-04,3.434961e-04,3.412783e-04,3.391962e-04,3.372429e-04,3.354116e-04,3.336959e-04,3.320898e-04,3.305875e-04,3.291835e-04,3.278726e-04,3.266499e-04,3.255107e-04,3.244504e-04,3.234649e-04,3.225501e-04,3.217023e-04
0.000000e+00,4.412945e-09,7.189103e-08,7.528737e-08,5.113547e-07,1.750229e-06,1.822012e-06,3.942267e-06,6.131582e-06,6.270574e-06,8.535055e-06,1.051289e-05,1.067977e-05,1.269655e-05,1.440352e-05,1.458698e-05,1.635490e-05,1.781285e-05,1.800475e-05,1.954120e-05,2.077550e-05,2.096904e-05,2.229306e-05,2.332850e-05,2.351804e-05,2.464868e-05,2.550865e-05,2.568959e-05,2.664529e-05,2.735141e-05,2.752011e-05,2.831817e-05,2.888992e-05,2.904343e-05,2.969995e-05,3.015525e-05,3.029148e-05,3.082161e-05,3.117637e-05,3.129372e-05,3.171108e-05,3.197942e-05,3.207679e-05,3.239379e-05,3.258823e-05,3.266491e-05,3.289284e-05,3.302447e-05,3.308014e-05,3.322923e-05,3.330784e-05,3.334244e-05,3.342197e-05,3.345617e-05,3.346992e-05,3.348827e-05,3.348563e-05,3.347893e-05,3.344369e-05,3.341083e-05,3.338426e-05,3.330226e-05,3.324497e-05,3.319923e-05,3.307664e-05,3.299996e-05,3.293586e-05,3.277821e-05,3.268651e-05,3.260494e-05,3.241723e-05,3.231429e-05,3.221620e-05,3.200290e-05,3.189197e-05,3.177834e-05,3.154347e-05,3.142733e-05,3.129918e-05,3.104632e-05,3.092736e-05,3.078570e-05,3.051808e-05,3.039829e-05,3.024417e-05,2.996464e-05,2.984572e-05,2.968014e-05,2.939126e-05,2.927461e-05,2.909857e-05,2.880262e-05,2.868940e-05,2.850389e-05,2.820287e-05,2.809402e-05,2.789999e-05,2.759568e-05,2.749196e-05,2.729033e-05,2.698431e-05,2.688630e-05,2.667796e-05,2.637161e-05,2.627975e-05,2.606556e-05,2.576009e-05,2.567470e-05,2.545547e-05,2.515195e-05,2.507324e-05,2.484975e-05,2.454909e-05,2.447718e-05,2.425016e-05,2.395316e-05,2.388809e-05,2.365825e-05,2.336559e-05,2.330734e-05,2.307533e-05,2.278760e-05,2.273609e-05,2.250253e-05,2.222022e-05,2.217532e-05,2.194079e-05,2.166432e-05,2.162585e-05,2.139090e-05,2.112061e-05,2.108839e-05,2.085352e-05,2.058968e-05,2.056348e-05,2.032916e-05,2.007200e-05,2.005158e-05,1.981825e-05,1.956794e-05,1.955303e-05,1.932110e-05,1.907776e-05,1.906810e-05,1.883793e-05,1.860164e-05,1.859695e-05,1.836890e-05,1.813971e-05,1.769642e-05,1.726707e-05,1.685161e-05,1.644995e-05,1.606194e-05,1.568742e-05,1.532621e-05,1.497809e-05,1.464283e-05,1.432017e-05,1.400985e-05,1.371159e-05,1.342513e-05,1.315015e-05,1.288637e-05,1.263349e-05,1.239121e-05,1.215922e-05,1.193723e-05,1.172493e-05,1.152203e-05,1.132823e-05,1.114325e-05,1.096679e-05,1.079857e-05,1.063831e-05,1.048575e-05,1.034060e-05,1.020262e-05,1.007154e-05,9.947119e-06,9.829106e-06,9.717265e-06,9.611366e-06,9.511181e-06,9.416494e-06,9.327088e-06,9.242759e-06,9.163303e-06,9.088528e-06,9.018242e-06,8.952262e-06,8.890412e-06,8.832518e-06,8.778414e-06,8.727939e-06,8.680936e-06,8.637256e-06,8.596751e-06
0.000000e+00,7.390547e-11,7.650764e-09,8.197702e-09,1.410321e-07,1.071917e-06,1.154550e-06,5.971295e-06,2.035968e-05,2.182143e-05,6.050551e-05,1.275279e-04,1.350786e-04,2.552868e-04,4.057226e-04,4.248793e-04,6.414888e-04,8.655309e-04,8.981403e-04,1.185266e-03,1.448662e-03,1.492508e-03,1.810014e-03,2.078326e-03,2.129201e-03,2.443081e-03,2.692702e-03,2.746305e-03,3.035018e-03,3.253773e-03,3.306643e-03,3.559630e-03,3.743513e-03,3.793224e-03,4.007270e-03,4.157023e-03,4.202034e-03,4.378080e-03,4.496743e-03,4.536164e-03,4.677160e-03,4.768621e-03,4.802005e-03,4.911660e-03,4.979896e-03,5.007085e-03,5.089218e-03,5.137941e-03,5.158967e-03,5.217199e-03,5.249727e-03,5.264741e-03,5.302375e-03,5.321603e-03,5.330838e-03,5.350823e-03,5.359243e-03,5.362981e-03,5.367925e-03,5.367667e-03,5.366225e-03,5.358417e-03,5.351289e-03,5.345004e-03,5.326452e-03,5.313984e-03,5.303202e-03,5.275661e-03,5.259141e-03,5.244213e-03,5.209213e-03,5.189722e-03,5.170997e-03,5.129873e-03,5.108312e-03,5.086132e-03,5.040045e-03,5.017164e-03,4.991862e-03,4.941819e-03,4.918234e-03,4.890132e-03,4.837006e-03,4.813223e-03,4.782628e-03,4.727175e-03,4.703603e-03,4.670808e-03,4.613680e-03,4.590647e-03,4.555930e-03,4.497688e-03,4.475452e-03,4.439074e-03,4.380200e-03,4.358962e-03,4.321168e-03,4.262073e-03,4.241983e-03,4.203004e-03,4.144039e-03,4.125205e-03,4.085254e-03,4.026717e-03,4.009214e-03,3.968490e-03,3.910629e-03,3.894502e-03,3.853188e-03,3.796214e-03,3.781482e-03,3.739749e-03,3.683834e-03,3.670500e-03,3.628503e-03,3.573788e-03,3.561836e-03,3.519718e-03,3.466318e-03,3.455720e-03,3.413611e-03,3.361617e-03,3.352335e-03,3.310353e-03,3.259835e-03,3.251822e-03,3.210076e-03,3.161087e-03,3.154291e-03,3.112878e-03,3.065455e-03,3.059817e-03,3.018825e-03,2.972992e-03,2.968453e-03,2.927959e-03,2.883728e-03,2.880225e-03,2.840300e-03,2.797675e-03,2.795143e-03,2.755850e-03,2.714824e-03,2.713200e-03,2.674594e-03,2.635155e-03,2.634375e-03,2.596504e-03,2.558634e-03,2.485935e-03,2.416227e-03,2.349451e-03,2.285544e-03,2.224439e-03,2.166064e-03,2.110345e-03,2.057206e-03,2.006571e-03,1.958362e-03,1.912500e-03,1.868908e-03,1.827509e-03,1.788225e-03,1.750981e-03,1.715702e-03,1.682316e-03,1.650749e-03,1.620933e-03,1.592798e-03,1.566278e-03,1.541307e-03,1.517823e-03,1.495762e-03,1.475066e-03,1.455677e-03,1.437538e-03,1.420595e-03,1.404795e-03,1.390088e-03,1.376423e-03,1.363754e-03,1.352034e-03,1.341219e-03,1.331267e-03,1.322135e-03,1.313784e-03,1.306176e-03,1.299274e-03,1.293041e-03,1.287445e-03,1.282451e-03,1.278027e-03,1.274145e-03,1.270773e-03,1.267883e-03,1.265450e-03,1.263445e-03,1.261845e-03
0.000000e+00,6.169783e-09,8.724180e-08,9.107413e-08,5.528216e-07,1.861910e-06,1.941060e-06,4.541210e-06,7.710211e-06,7.921558e-06,1.142565e-05,1.450064e-05,1.475895e-05,1.785902e-05,2.044661e-05,2.072253e-05,2.335815e-05,2.549780e-05,2.577699e-05,2.799062e-05,2.973897e-05,3.001051e-05,3.184790e-05,3.325822e-05,3.351364e-05,3.501817e-05,3.613859e-05,3.637145e-05,3.758300e-05,3.845629e-05,3.866186e-05,3.961659e-05,4.028033e-05,4.045528e-05,4.118562e-05,4.167268e-05,4.181484e-05,4.234980e-05,4.268879e-05,4.279694e-05,4.316231e-05,4.337796e-05,4.345161e-05,4.367027e-05,4.378404e-05,4.382338e-05,4.391575e-05,4.394622e-05,4.395198e-05,4.393641e-05,4.389968e-05,4.387299e-05,4.376551e-05,4.367523e-05,4.361749e-05,4.343222e-05,4.330003e-05,4.321283e-05,4.296222e-05,4.279802e-05,4.268314e-05,4.237814e-05,4.219032e-05,4.204962e-05,4.169985e-05,4.149548e-05,4.133092e-05,4.094480e-05,4.072981e-05,4.054334e-05,4.012826e-05,3.990758e-05,3.970117e-05,3.926357e-05,3.904127e-05,3.881686e-05,3.836234e-05,3.814176e-05,3.790123e-05,3.743467e-05,3.721851e-05,3.696370e-05,3.648929e-05,3.627971e-05,3.601237e-05,3.553377e-05,3.533244e-05,3.505426e-05,3.457458e-05,3.438280e-05,3.409537e-05,3.361727e-05,3.343599e-05,3.314082e-05,3.266656e-05,3.249646e-05,3.219496e-05,3.172646e-05,3.156795e-05,3.126145e-05,3.080031e-05,3.065361e-05,3.034336e-05,2.989090e-05,2.975608e-05,2.944320e-05,2.900052e-05,2.887750e-05,2.856306e-05,2.813103e-05,2.801962e-05,2.770460e-05,2.728392e-05,2.718382e-05,2.686912e-05,2.646032e-05,2.637120e-05,2.605762e-05,2.566110e-05,2.558254e-05,2.527083e-05,2.488686e-05,2.481842e-05,2.450924e-05,2.413800e-05,2.407920e-05,2.377316e-05,2.341473e-05,2.336506e-05,2.306270e-05,2.271708e-05,2.267604e-05,2.237785e-05,2.204497e-05,2.201204e-05,2.171844e-05,2.139820e-05,2.137285e-05,2.108421e-05,2.077644e-05,2.075817e-05,2.047483e-05,2.017932e-05,2.016763e-05,1.988986e-05,1.960638e-05,1.960077e-05,1.932882e-05,1.905711e-05,1.853609e-05,1.803715e-05,1.755969e-05,1.710307e-05,1.666667e-05,1.624984e-05,1.585193e-05,1.547231e-05,1.511031e-05,1.476530e-05,1.443665e-05,1.412374e-05,1.382595e-05,1.354270e-05,1.327339e-05,1.301745e-05,1.277434e-05,1.254352e-05,1.232446e-05,1.211665e-05,1.191962e-05,1.173289e-05,1.155600e-05,1.138852e-05,1.123001e-05,1.108008e-05,1.093833e-05,1.080439e-05,1.067789e-05,1.055849e-05,1.044585e-05,1.033966e-05,1.023960e-05,1.014539e-05,1.005674e-05,9.973383e-06,9.895065e-06,9.821537e-06,9.752564e-06,9.687922e-06,9.627394e-06,9.570776e-06,9.517870e-06,9.468490e-06,9.422457e-06,9.379599e-06,9.339753e-06,9.302765e-06,9.268485e-06
0.000000e+00,5.688717e-09,7.366498e-07,7.929693e-07,1.698970e-05,1.545011e-04,1.675610e-04,1.020885e-03,4.046340e-03,4.379416e-03,1.435751e-02,3.558279e-02,3.823555e-02,8.672846e-02,1.628169e-01,1.736947e-01,3.154712e-01,4.998093e-01,5.300115e-01,8.359632e-01,1.186281e+00,1.251775e+00,1.794891e+00,2.361086e+00,2.481078e+00,3.323879e+00,4.139594e+00,4.334220e+00,5.520153e+00,6.598816e+00,6.886720e+00,8.435929e+00,9.770590e+00,1.016683e+01,1.207564e+01,1.364150e+01,1.415600e+01,1.639918e+01,1.815766e+01,1.879436e+01,2.132898e+01,2.323241e+01,2.398899e+01,2.675922e+01,2.875538e+01,2.962360e+01,3.256551e+01,3.460167e+01,3.556803e+01,3.861417e+01,4.064033e+01,4.168709e+01,4.477032e+01,4.674160e+01,4.784790e+01,5.090454e+01,5.278274e+01,5.392573e+01,5.689787e+01,5.865230e+01,5.980829e+01,6.264536e+01,6.425304e+01,6.539849e+01,6.805815e+01,6.950355e+01,7.061591e+01,7.306437e+01,7.433882e+01,7.539721e+01,7.760910e+01,7.871001e+01,7.969571e+01,8.165364e+01,8.258353e+01,8.348037e+01,8.517423e+01,8.593980e+01,8.673432e+01,8.816047e+01,8.877163e+01,8.945317e+01,9.061352e+01,9.108255e+01,9.164317e+01,9.254426e+01,9.288500e+01,9.331939e+01,9.397153e+01,9.419869e+01,9.450401e+01,9.492042e+01,9.504902e+01,9.522463e+01,9.542069e+01,9.546561e+01,9.551284e+01,9.550543e+01,9.548102e+01,9.540291e+01,9.520980e+01,9.512961e+01,9.493065e+01,9.457002e+01,9.444662e+01,9.413247e+01,9.362251e+01,9.346735e+01,9.304461e+01,9.240319e+01,9.222654e+01,9.170255e+01,9.094692e+01,9.075785e+01,9.014043e+01,8.928710e+01,8.909346e+01,8.839080e+01,8.745531e+01,8.726383e+01,8.648427e+01,8.548117e+01,8.529747e+01,8.444938e+01,8.339214e+01,8.322082e+01,8.231252e+01,8.121348e+01,8.105823e+01,8.009784e+01,7.896827e+01,7.883190e+01,7.782731e+01,7.667737e+01,7.656198e+01,7.552074e+01,7.435957e+01,7.426654e+01,7.319589e+01,7.203161e+01,7.196177e+01,7.086852e+01,6.970831e+01,6.966198e+01,6.855255e+01,6.740270e+01,6.737978e+01,6.626014e+01,6.512614e+01,6.291058e+01,6.074124e+01,5.862501e+01,5.656765e+01,5.457389e+01,5.264757e+01,5.079168e+01,4.900848e+01,4.729958e+01,4.566602e+01,4.410834e+01,4.262662e+01,4.122058e+01,3.988957e+01,3.863268e+01,3.744873e+01,3.633633e+01,3.529391e+01,3.431975e+01,3.341199e+01,3.256867e+01,3.178773e+01,3.106705e+01,3.040444e+01,2.979768e+01,2.924450e+01,2.874262e+01,2.828975e+01,2.788357e+01,2.752179e+01,2.720212e+01,2.692228e+01,2.668002e+01,2.647310e+01,2.629934e+01,2.615657e+01,2.604266e+01,2.595556e+01,2.589323e+01,2.585370e+01,2.583505e+01,2.583544e+01,2.585306e+01,2.588619e+01,2.593316e+01,2.599239e+01,2.606235e+01,2.614160e+01,2.622876e+01
0.000000e+00,7.130299e-09,2.460372e-07,2.593357e-07,2.358396e-06,1.117214e-05,1.180383e-05,3.733058e-05,7.810381e-05,8.109864e-05,1.336929e-04,1.820553e-04,1.861455e-04,2.352344e-04,2.760158e-04,2.803480e-04,3.215399e-04,3.546994e-04,3.590059e-04,3.929665e-04,4.195362e-04,4.236408e-04,4.512407e-04,4.721976e-04,4.759694e-04,4.980205e-04,5.142342e-04,5.175786e-04,5.348185e-04,5.470527e-04,5.499055e-04,5.629955e-04,5.719139e-04,5.742349e-04,5.837617e-04,5.899370e-04,5.917059e-04,5.981888e-04,6.021129e-04,6.033248e-04,6.072205e-04,6.093132e-04,6.099749e-04,6.116812e-04,6.122986e-04,6.124260e-04,6.122905e-04,6.117344e-04,6.113504e-04,6.096761e-04,6.082007e-04,6.073329e-04,6.043820e-04,6.022009e-04,6.008803e-04,5.968808e-04,5.941728e-04,5.924325e-04,5.875812e-04,5.844947e-04,5.823691e-04,5.768357e-04,5.734936e-04,5.710176e-04,5.649485e-04,5.614520e-04,5.586598e-04,5.521806e-04,5.486121e-04,5.455377e-04,5.387559e-04,5.351821e-04,5.318581e-04,5.248656e-04,5.213399e-04,5.177978e-04,5.106726e-04,5.072370e-04,5.035065e-04,4.963148e-04,4.930018e-04,4.891112e-04,4.819087e-04,4.787429e-04,4.747187e-04,4.675519e-04,4.645511e-04,4.604181e-04,4.533260e-04,4.505026e-04,4.462836e-04,4.392983e-04,4.366601e-04,4.323764e-04,4.255240e-04,4.230751e-04,4.187462e-04,4.120477e-04,4.097891e-04,4.054328e-04,3.989051e-04,3.968353e-04,3.924679e-04,3.861240e-04,3.842394e-04,3.798758e-04,3.737255e-04,3.720211e-04,3.676746e-04,3.617248e-04,3.601946e-04,3.558772e-04,3.501326e-04,3.487693e-04,3.444917e-04,3.389551e-04,3.377510e-04,3.335229e-04,3.281951e-04,3.271421e-04,3.229718e-04,3.178526e-04,3.169422e-04,3.128372e-04,3.079249e-04,3.071485e-04,3.031152e-04,2.984074e-04,2.977564e-04,2.938005e-04,2.892936e-04,2.887595e-04,2.848858e-04,2.805759e-04,2.801503e-04,2.763629e-04,2.722455e-04,2.719202e-04,2.682224e-04,2.642925e-04,2.640596e-04,2.604543e-04,2.567065e-04,2.565585e-04,2.530478e-04,2.494768e-04,2.494063e-04,2.459920e-04,2.425919e-04,2.361043e-04,2.299322e-04,2.240642e-04,2.184890e-04,2.131955e-04,2.081724e-04,2.034090e-04,1.988946e-04,1.946187e-04,1.905711e-04,1.867420e-04,1.831217e-04,1.797009e-04,1.764706e-04,1.734222e-04,1.705471e-04,1.678373e-04,1.652851e-04,1.628828e-04,1.606234e-04,1.584998e-04,1.565055e-04,1.546341e-04,1.528795e-04,1.512358e-04,1.496975e-04,1.482591e-04,1.469157e-04,1.456622e-04,1.444940e-04,1.434067e-04,1.423959e-04,1.414577e-04,1.405880e-04,1.397833e-04,1.390399e-04,1.383545e-04,1.377239e-04,1.371450e-04,1.366149e-04,1.361308e-04,1.356900e-04,1.352901e-04,1.349287e-04,1.346034e-04,1.343121e-04,1.340527e-04,1.338233e-04,1.336220e-04
0.000000e+00,4.668058e-10,5.026768e-08,5.401959e-08,1.077376e-06,8.405232e-06,9.031466e-06,4.044424e-05,1.082878e-04,1.140663e-04,2.342768e-04,3.764745e-04,3.898147e-04,5.635371e-04,7.228652e-04,7.403564e-04,9.100819e-04,1.049021e-03,1.067088e-03,1.208958e-03,1.318451e-03,1.335196e-03,1.446326e-03,1.528717e-03,1.543337e-03,1.627397e-03,1.687494e-03,1.699691e-03,1.761358e-03,1.803759e-03,1.813462e-03,1.856979e-03,1.885534e-03,1.892795e-03,1.921719e-03,1.939543e-03,1.944480e-03,1.961737e-03,1.971315e-03,1.974084e-03,1.982058e-03,1.985363e-03,1.986140e-03,1.986766e-03,1.985359e-03,1.984327e-03,1.979176e-03,1.974286e-03,1.971629e-03,1.961970e-03,1.954565e-03,1.950457e-03,1.937321e-03,1.928157e-03,1.922767e-03,1.906982e-03,1.896652e-03,1.890134e-03,1.872373e-03,1.861334e-03,1.853832e-03,1.834633e-03,1.823238e-03,1.814883e-03,1.794680e-03,1.783201e-03,1.774110e-03,1.753251e-03,1.741891e-03,1.732171e-03,1.710933e-03,1.699846e-03,1.689593e-03,1.668198e-03,1.657495e-03,1.646794e-03,1.625419e-03,1.615179e-03,1.604107e-03,1.582890e-03,1.573169e-03,1.561794e-03,1.540843e-03,1.531676e-03,1.520059e-03,1.499458e-03,1.490865e-03,1.479059e-03,1.458874e-03,1.450863e-03,1.438916e-03,1.419196e-03,1.411766e-03,1.399721e-03,1.380500e-03,1.373644e-03,1.361539e-03,1.342843e-03,1.336548e-03,1.324417e-03,1.306263e-03,1.300512e-03,1.288385e-03,1.270785e-03,1.265559e-03,1.253462e-03,1.236419e-03,1.231697e-03,1.219656e-03,1.203171e-03,1.198931e-03,1.186965e-03,1.171036e-03,1.167254e-03,1.155383e-03,1.140004e-03,1.136658e-03,1.124898e-03,1.110063e-03,1.107128e-03,1.095495e-03,1.081193e-03,1.078647e-03,1.067155e-03,1.053376e-03,1.051196e-03,1.039855e-03,1.026589e-03,1.024752e-03,1.013575e-03,1.000809e-03,9.992934e-04,9.882883e-04,9.760101e-04,9.747955e-04,9.639710e-04,9.521677e-04,9.512335e-04,9.405970e-04,9.292557e-04,9.285825e-04,9.181405e-04,9.072481e-04,9.068170e-04,8.965753e-04,8.861188e-04,8.859118e-04,8.758753e-04,8.658416e-04,8.465814e-04,8.281064e-04,8.103922e-04,7.934150e-04,7.771511e-04,7.615777e-04,7.466720e-04,7.324123e-04,7.187768e-04,7.057448e-04,6.932957e-04,6.814097e-04,6.700674e-04,6.592500e-04,6.489390e-04,6.391167e-04,6.297656e-04,6.208690e-04,6.124104e-04,6.043738e-04,5.967439e-04,5.895054e-04,5.826439e-04,5.761451e-04,5.699953e-04,5.641809e-04,5.586892e-04,5.535073e-04,5.486231e-04,5.440247e-04,5.397006e-04,5.356395e-04,5.318307e-04,5.282635e-04,5.249278e-04,5.218137e-04,5.189115e-04,5.162121e-04,5.137063e-04,5.113855e-04,5.092412e-04,5.072653e-04,5.054498e-04,5.037871e-04,5.022698e-04,5.008907e-04,4.996430e-04,4.985199e-04,4.975150e-04
0.000000e+00,3.006932e-11,3.444911e-09,3.698779e-09,6.979102e-08,5.648933e-07,6.097374e-07,3.300997e-06,1.169674e-05,1.256843e-05,3.648742e-05,8.075481e-05,8.592337e-05,1.722804e-04,2.895396e-04,3.051202e-04,4.905068e-04,6.986927e-04,7.303023e-04,1.022271e-03,1.310825e-03,1.360720e-03,1.737419e-03,2.076271e-03,2.142581e-03,2.565768e-03,2.918969e-03,2.996652e-03,3.425588e-03,3.761537e-03,3.844013e-03,4.244676e-03,4.541053e-03,4.621733e-03,4.970745e-03,5.215272e-03,5.288592e-03,5.573348e-03,5.762207e-03,5.824126e-03,6.040911e-03,6.176311e-03,6.224392e-03,6.375802e-03,6.463574e-03,6.496785e-03,6.589277e-03,6.636972e-03,6.655392e-03,6.697329e-03,6.712839e-03,6.717304e-03,6.717510e-03,6.708253e-03,6.700072e-03,6.667007e-03,6.639499e-03,6.620213e-03,6.561452e-03,6.521126e-03,6.492337e-03,6.414354e-03,6.365598e-03,6.328851e-03,6.237041e-03,6.183286e-03,6.140018e-03,6.038755e-03,5.982618e-03,5.934115e-03,5.826861e-03,5.770283e-03,5.717667e-03,5.607125e-03,5.551513e-03,5.495754e-03,5.384007e-03,5.330353e-03,5.272278e-03,5.160909e-03,5.109882e-03,5.050193e-03,4.940384e-03,4.892413e-03,4.831700e-03,4.724326e-03,4.679659e-03,4.618419e-03,4.514111e-03,4.472861e-03,4.411512e-03,4.310714e-03,4.272898e-03,4.211789e-03,4.114798e-03,4.080364e-03,4.019786e-03,3.926789e-03,3.895634e-03,3.835832e-03,3.746931e-03,3.718918e-03,3.660093e-03,3.575323e-03,3.550294e-03,3.492614e-03,3.411959e-03,3.389742e-03,3.333344e-03,3.256753e-03,3.237168e-03,3.182164e-03,3.109555e-03,3.092421e-03,3.038900e-03,2.970172e-03,2.955308e-03,2.903341e-03,2.838377e-03,2.825605e-03,2.775247e-03,2.713919e-03,2.703069e-03,2.654360e-03,2.596534e-03,2.587441e-03,2.540408e-03,2.485947e-03,2.478453e-03,2.433115e-03,2.381877e-03,2.375834e-03,2.332199e-03,2.284046e-03,2.279313e-03,2.237382e-03,2.192173e-03,2.188618e-03,2.148385e-03,2.105984e-03,2.103483e-03,2.064937e-03,2.025211e-03,2.023649e-03,1.986773e-03,1.949591e-03,1.948860e-03,1.913634e-03,1.878870e-03,1.813442e-03,1.752345e-03,1.695359e-03,1.642271e-03,1.592878e-03,1.546987e-03,1.504410e-03,1.464971e-03,1.428500e-03,1.394837e-03,1.363827e-03,1.335323e-03,1.309187e-03,1.285286e-03,1.263493e-03,1.243688e-03,1.225757e-03,1.209592e-03,1.195088e-03,1.182148e-03,1.170678e-03,1.160588e-03,1.151795e-03,1.144217e-03,1.137779e-03,1.132406e-03,1.128030e-03,1.124584e-03,1.122006e-03,1.120236e-03,1.119217e-03,1.118894e-03,1.119217e-03,1.120137e-03,1.121606e-03,1.123580e-03,1.126018e-03,1.128879e-03,1.132126e-03,1.135722e-03,1.139634e-03,1.143828e-03,1.148274e-03,1.152944e-03,1.157809e-03,1.162844e-03,1.168025e-03,1.173327e-03,1.178730e-03
0.000000e+00,2.300110e-11,2.546000e-09,2.731539e-09,4.990756e-08,3.997590e-07,4.315129e-07,2.361579e-06,8.544628e-06,9.194985e-06,2.734987e-05,6.168905e-05,6.573101e-05,1.337514e-04,2.267768e-04,2.391603e-04,3.865853e-04,5.519394e-04,5.770086e-04,8.079990e-04,1.035219e-03,1.074400e-03,1.369205e-03,1.632960e-03,1.684427e-03,2.011850e-03,2.283901e-03,2.343607e-03,2.672587e-03,2.929624e-03,2.992673e-03,3.298857e-03,3.525486e-03,3.587244e-03,3.855001e-03,4.043508e-03,4.100244e-03,4.321918e-03,4.470545e-03,4.519657e-03,4.693655e-03,4.804574e-03,4.844543e-03,4.973273e-03,5.050828e-03,5.081031e-03,5.169152e-03,5.218582e-03,5.239059e-03,5.292206e-03,5.318807e-03,5.330043e-03,5.353983e-03,5.362641e-03,5.365383e-03,5.365531e-03,5.360504e-03,5.355632e-03,5.336807e-03,5.321660e-03,5.310088e-03,5.276423e-03,5.254059e-03,5.236678e-03,5.191636e-03,5.164368e-03,5.142009e-03,5.088438e-03,5.058074e-03,5.031497e-03,4.971705e-03,4.939642e-03,4.909524e-03,4.845367e-03,4.812665e-03,4.779605e-03,4.712564e-03,4.680018e-03,4.644539e-03,4.575788e-03,4.543983e-03,4.506541e-03,4.437004e-03,4.406363e-03,4.367357e-03,4.297758e-03,4.268576e-03,4.228350e-03,4.159255e-03,4.131729e-03,4.090582e-03,4.022426e-03,3.996680e-03,3.954871e-03,3.887990e-03,3.864090e-03,3.821844e-03,3.756489e-03,3.734457e-03,3.691970e-03,3.628328e-03,3.608153e-03,3.565596e-03,3.503802e-03,3.485450e-03,3.442969e-03,3.383116e-03,3.366535e-03,3.324258e-03,3.266406e-03,3.251530e-03,3.209569e-03,3.153751e-03,3.140507e-03,3.098957e-03,3.045186e-03,3.033494e-03,2.992438e-03,2.940710e-03,2.930486e-03,2.889997e-03,2.840294e-03,2.831454e-03,2.791594e-03,2.743889e-03,2.736348e-03,2.697169e-03,2.651425e-03,2.645098e-03,2.606646e-03,2.562821e-03,2.557626e-03,2.519939e-03,2.477986e-03,2.473841e-03,2.436951e-03,2.396820e-03,2.393649e-03,2.357582e-03,2.319221e-03,2.316947e-03,2.281725e-03,2.245081e-03,2.243632e-03,2.209274e-03,2.174290e-03,2.173599e-03,2.140116e-03,2.106738e-03,2.042944e-03,1.982109e-03,1.924129e-03,1.868899e-03,1.816317e-03,1.766284e-03,1.718703e-03,1.673477e-03,1.630516e-03,1.589730e-03,1.551031e-03,1.514337e-03,1.479565e-03,1.446637e-03,1.415477e-03,1.386012e-03,1.358171e-03,1.331885e-03,1.307090e-03,1.283721e-03,1.261717e-03,1.241020e-03,1.221573e-03,1.203322e-03,1.186213e-03,1.170197e-03,1.155224e-03,1.141248e-03,1.128224e-03,1.116109e-03,1.104860e-03,1.094438e-03,1.084803e-03,1.075919e-03,1.067750e-03,1.060262e-03,1.053421e-03,1.047195e-03,1.041554e-03,1.036469e-03,1.031911e-03,1.027852e-03,1.024267e-03,1.021130e-03,1.018418e-03,1.016106e-03,1.014172e-03,1.012596e-03,1.011355e-03
0.000000e+00,1.003973e-09,6.070778e-08,6.445998e-08,7.576717e-07,4.273429e-06,4.547636e-06,1.736319e-05,4.412523e-05,4.639875e-05,9.325546e-05,1.466893e-04,1.515687e-04,2.131388e-04,2.669808e-04,2.727797e-04,3.283290e-04,3.733491e-04,3.792058e-04,4.254388e-04,4.616513e-04,4.672482e-04,5.049027e-04,5.335217e-04,5.386756e-04,5.688327e-04,5.910422e-04,5.956284e-04,6.193047e-04,6.361541e-04,6.400906e-04,6.582024e-04,6.706042e-04,6.738431e-04,6.872033e-04,6.959422e-04,6.984616e-04,7.077845e-04,7.135294e-04,7.153277e-04,7.212364e-04,7.245546e-04,7.256454e-04,7.286808e-04,7.300510e-04,7.304592e-04,7.310895e-04,7.309142e-04,7.306727e-04,7.293024e-04,7.279183e-04,7.270658e-04,7.240435e-04,7.217317e-04,7.203103e-04,7.159356e-04,7.129295e-04,7.109837e-04,7.055138e-04,7.020064e-04,6.995811e-04,6.932363e-04,6.893863e-04,6.865265e-04,6.794951e-04,6.754321e-04,6.721822e-04,6.646245e-04,6.604538e-04,6.568563e-04,6.489088e-04,6.447149e-04,6.408109e-04,6.325891e-04,6.284394e-04,6.242678e-04,6.158693e-04,6.118167e-04,6.074141e-04,5.989210e-04,5.950062e-04,5.904071e-04,5.818880e-04,5.781417e-04,5.733780e-04,5.648902e-04,5.613347e-04,5.564362e-04,5.480269e-04,5.446778e-04,5.396718e-04,5.313796e-04,5.282468e-04,5.231583e-04,5.150148e-04,5.121034e-04,5.069555e-04,4.989858e-04,4.962975e-04,4.911108e-04,4.833349e-04,4.808681e-04,4.756618e-04,4.680948e-04,4.658459e-04,4.606369e-04,4.532903e-04,4.512535e-04,4.460572e-04,4.389393e-04,4.371076e-04,4.319378e-04,4.250538e-04,4.234192e-04,4.182880e-04,4.116410e-04,4.101946e-04,4.051129e-04,3.987040e-04,3.974365e-04,3.924140e-04,3.862426e-04,3.851443e-04,3.801893e-04,3.742535e-04,3.733147e-04,3.684345e-04,3.627314e-04,3.619421e-04,3.571432e-04,3.516688e-04,3.510194e-04,3.463071e-04,3.410568e-04,3.405378e-04,3.359166e-04,3.308852e-04,3.304874e-04,3.259612e-04,3.211431e-04,3.208574e-04,3.164294e-04,3.118185e-04,3.116362e-04,3.073090e-04,3.028992e-04,3.028120e-04,2.985875e-04,2.943723e-04,2.863047e-04,2.785964e-04,2.712349e-04,2.642074e-04,2.575014e-04,2.511048e-04,2.450054e-04,2.391913e-04,2.336511e-04,2.283735e-04,2.233475e-04,2.185627e-04,2.140087e-04,2.096755e-04,2.055538e-04,2.016341e-04,1.979077e-04,1.943660e-04,1.910006e-04,1.878038e-04,1.847680e-04,1.818858e-04,1.791502e-04,1.765546e-04,1.740926e-04,1.717579e-04,1.695447e-04,1.674474e-04,1.654606e-04,1.635791e-04,1.617979e-04,1.601124e-04,1.585181e-04,1.570106e-04,1.555859e-04,1.542400e-04,1.529691e-04,1.517696e-04,1.506382e-04,1.495716e-04,1.485665e-04,1.476202e-04,1.467296e-04,1.458921e-04,1.451051e-04,1.443662e-04,1.436729e-04,1.430230e-04,1.424144e-04
0.000000e+00,5.304395e-11,7.091350e-09,7.644574e-09,1.741248e-07,1.561750e-06,1.689456e-06,9.214615e-06,3.095624e-05,3.311274e-05,8.841813e-05,1.808993e-04,1.912151e-04,3.549496e-04,5.614976e-04,5.880472e-04,8.930405e-04,1.218595e-03,1.266873e-03,1.701916e-03,2.116784e-03,2.187306e-03,2.710295e-03,3.168838e-03,3.257458e-03,3.815656e-03,4.273048e-03,4.372741e-03,4.918013e-03,5.339619e-03,5.442475e-03,5.938905e-03,6.303078e-03,6.401824e-03,6.827368e-03,7.124245e-03,7.213112e-03,7.557873e-03,7.786489e-03,7.861500e-03,8.124672e-03,8.289832e-03,8.348718e-03,8.535443e-03,8.645084e-03,8.686993e-03,8.805729e-03,8.868991e-03,8.894134e-03,8.954728e-03,8.980701e-03,8.990009e-03,9.002407e-03,8.999415e-03,8.994254e-03,8.967753e-03,8.943023e-03,8.924975e-03,8.867840e-03,8.827410e-03,8.798118e-03,8.717431e-03,8.666198e-03,8.627260e-03,8.528949e-03,8.470799e-03,8.423717e-03,8.312659e-03,8.250617e-03,8.196761e-03,8.076903e-03,8.013276e-03,7.953872e-03,7.828369e-03,7.764889e-03,7.701019e-03,7.572376e-03,7.510314e-03,7.442930e-03,7.313115e-03,7.253383e-03,7.183313e-03,7.053859e-03,6.997088e-03,6.925050e-03,6.797144e-03,6.743747e-03,6.670365e-03,6.544909e-03,6.495137e-03,6.420947e-03,6.298624e-03,6.252597e-03,6.178065e-03,6.059377e-03,6.017125e-03,5.942650e-03,5.827959e-03,5.789440e-03,5.715367e-03,5.604921e-03,5.570039e-03,5.496662e-03,5.390618e-03,5.359240e-03,5.286811e-03,5.185254e-03,5.157222e-03,5.085955e-03,4.988915e-03,4.964054e-03,4.894130e-03,4.801592e-03,4.779715e-03,4.711287e-03,4.623201e-03,4.604118e-03,4.537313e-03,4.453601e-03,4.437118e-03,4.372042e-03,4.292607e-03,4.278532e-03,4.215269e-03,4.139998e-03,4.128144e-03,4.066763e-03,3.995530e-03,3.985716e-03,3.926268e-03,3.858942e-03,3.850991e-03,3.793517e-03,3.729958e-03,3.723703e-03,3.668230e-03,3.608297e-03,3.603579e-03,3.550123e-03,3.493673e-03,3.490340e-03,3.438910e-03,3.385799e-03,3.383709e-03,3.334305e-03,3.284391e-03,3.283409e-03,3.236024e-03,3.189167e-03,3.100716e-03,3.017792e-03,2.940139e-03,2.867509e-03,2.799661e-03,2.736361e-03,2.677385e-03,2.622515e-03,2.571543e-03,2.524267e-03,2.480495e-03,2.440042e-03,2.402731e-03,2.368390e-03,2.336859e-03,2.307980e-03,2.281605e-03,2.257591e-03,2.235801e-03,2.216106e-03,2.198382e-03,2.182508e-03,2.168373e-03,2.155867e-03,2.144888e-03,2.135336e-03,2.127119e-03,2.120145e-03,2.114331e-03,2.109595e-03,2.105859e-03,2.103050e-03,2.101098e-03,2.099937e-03,2.099504e-03,2.099738e-03,2.100583e-03,2.101985e-03,2.103893e-03,2.106258e-03,2.109036e-03,2.112183e-03,2.115658e-03,2.119424e-03,2.123444e-03,2.127685e-03,2.132115e-03,2.136704e-03,2.141424e-03
0.000000e+00,5.830476e-09,1.737070e-07,1.833719e-07,1.546971e-06,4.951171e-06,5.121320e-06,9.512732e-06,1.354822e-05,1.379858e-05,1.782977e-05,2.130091e-05,2.159213e-05,2.509287e-05,2.802887e-05,2.834291e-05,3.135357e-05,3.381380e-05,3.413601e-05,3.670119e-05,3.874169e-05,3.905987e-05,4.122259e-05,4.289539e-05,4.319966e-05,4.500114e-05,4.635414e-05,4.663673e-05,4.811580e-05,4.919243e-05,4.944736e-05,5.064003e-05,5.147919e-05,5.170203e-05,5.264120e-05,5.327744e-05,5.346503e-05,5.418061e-05,5.464445e-05,5.479472e-05,5.531373e-05,5.563196e-05,5.574372e-05,5.609045e-05,5.628655e-05,5.635936e-05,5.655561e-05,5.665006e-05,5.668409e-05,5.674940e-05,5.676004e-05,5.675592e-05,5.670778e-05,5.665008e-05,5.660886e-05,5.646287e-05,5.635025e-05,5.627328e-05,5.604336e-05,5.588736e-05,5.577623e-05,5.547480e-05,5.528534e-05,5.514182e-05,5.477990e-05,5.456549e-05,5.439147e-05,5.397885e-05,5.374674e-05,5.354420e-05,5.308956e-05,5.284589e-05,5.261686e-05,5.212789e-05,5.187784e-05,5.162436e-05,5.110785e-05,5.085576e-05,5.057986e-05,5.004179e-05,4.979126e-05,4.949496e-05,4.894060e-05,4.869460e-05,4.837986e-05,4.781383e-05,4.757476e-05,4.724350e-05,4.666984e-05,4.643963e-05,4.609370e-05,4.551593e-05,4.529610e-05,4.493727e-05,4.435845e-05,4.415017e-05,4.378013e-05,4.320293e-05,4.300703e-05,4.262740e-05,4.205409e-05,4.187118e-05,4.148349e-05,4.091604e-05,4.074648e-05,4.035216e-05,3.979224e-05,3.963622e-05,3.923663e-05,3.868565e-05,3.854319e-05,3.813959e-05,3.759874e-05,3.746973e-05,3.706332e-05,3.653357e-05,3.641781e-05,3.600968e-05,3.549184e-05,3.538901e-05,3.498020e-05,3.447490e-05,3.438463e-05,3.397607e-05,3.348383e-05,3.340569e-05,3.299826e-05,3.251944e-05,3.245295e-05,3.204745e-05,3.158234e-05,3.152699e-05,3.112416e-05,3.067293e-05,3.062819e-05,3.022868e-05,2.979143e-05,2.975675e-05,2.936118e-05,2.893794e-05,2.891277e-05,2.852168e-05,2.811240e-05,2.809617e-05,2.771007e-05,2.731467e-05,2.730683e-05,2.692615e-05,2.654448e-05,2.580881e-05,2.509943e-05,2.441590e-05,2.375772e-05,2.312436e-05,2.251527e-05,2.192987e-05,2.136753e-05,2.082766e-05,2.030963e-05,1.981279e-05,1.933653e-05,1.888020e-05,1.844317e-05,1.802482e-05,1.762452e-05,1.724167e-05,1.687566e-05,1.652591e-05,1.619184e-05,1.587288e-05,1.556849e-05,1.527811e-05,1.500123e-05,1.473734e-05,1.448594e-05,1.424655e-05,1.401869e-05,1.380193e-05,1.359581e-05,1.339992e-05,1.321385e-05,1.303719e-05,1.286957e-05,1.271061e-05,1.255996e-05,1.241726e-05,1.228219e-05,1.215443e-05,1.203367e-05,1.191960e-05,1.181194e-05,1.171043e-05,1.161478e-05,1.152475e-05,1.144009e-05,1.136056e-05,1.128593e-05,1.121599e-05
0.000000e+00,1.729497e-09,4.436539e-08,4.672700e-08,3.600792e-07,1.097589e-06,1.133793e-06,2.056326e-06,2.886850e-06,2.937846e-06,3.750121e-06,4.435519e-06,4.492400e-06,5.168148e-06,5.722796e-06,5.781428e-06,6.336230e-06,6.779108e-06,6.836358e-06,7.285429e-06,7.633422e-06,7.686882e-06,8.043990e-06,8.311970e-06,8.359862e-06,8.637447e-06,8.838457e-06,8.879533e-06,9.088749e-06,9.234125e-06,9.267572e-06,9.418324e-06,9.517830e-06,9.543183e-06,9.644188e-06,9.706175e-06,9.723243e-06,9.782130e-06,9.813701e-06,9.822507e-06,9.845923e-06,9.853093e-06,9.853819e-06,9.847535e-06,9.835372e-06,9.828321e-06,9.797342e-06,9.770109e-06,9.755676e-06,9.704326e-06,9.665585e-06,9.644224e-06,9.576236e-06,9.528959e-06,9.501165e-06,9.419755e-06,9.366401e-06,9.332694e-06,9.240619e-06,9.183216e-06,9.144122e-06,9.043747e-06,8.983954e-06,8.940000e-06,8.833345e-06,8.772509e-06,8.724212e-06,8.612996e-06,8.552203e-06,8.500062e-06,8.385745e-06,8.325857e-06,8.270353e-06,8.154169e-06,8.095862e-06,8.037452e-06,7.920439e-06,7.864233e-06,7.803349e-06,7.686378e-06,7.632662e-06,7.569707e-06,7.453501e-06,7.402557e-06,7.337909e-06,7.223065e-06,7.175084e-06,7.109092e-06,6.996101e-06,6.951201e-06,6.884188e-06,6.773443e-06,6.731683e-06,6.663944e-06,6.555761e-06,6.517150e-06,6.448956e-06,6.343581e-06,6.308088e-06,6.239685e-06,6.137307e-06,6.104873e-06,6.036482e-06,5.937239e-06,5.907778e-06,5.839601e-06,5.743587e-06,5.716996e-06,5.649213e-06,5.556488e-06,5.532651e-06,5.465421e-06,5.376015e-06,5.354805e-06,5.288272e-06,5.202189e-06,5.183473e-06,5.117761e-06,5.034984e-06,5.018625e-06,4.953846e-06,4.874339e-06,4.860200e-06,4.796450e-06,4.720164e-06,4.708107e-06,4.645468e-06,4.572343e-06,4.562230e-06,4.500773e-06,4.430740e-06,4.422438e-06,4.362223e-06,4.295204e-06,4.288583e-06,4.229660e-06,4.165571e-06,4.160506e-06,4.102916e-06,4.041671e-06,4.038040e-06,3.981814e-06,3.923323e-06,3.921012e-06,3.866175e-06,3.810346e-06,3.809243e-06,3.755814e-06,3.702554e-06,3.600764e-06,3.503694e-06,3.411163e-06,3.322996e-06,3.239019e-06,3.159062e-06,3.082958e-06,3.010545e-06,2.941666e-06,2.876169e-06,2.813905e-06,2.754731e-06,2.698510e-06,2.645109e-06,2.594400e-06,2.546259e-06,2.500568e-06,2.457214e-06,2.416089e-06,2.377087e-06,2.340108e-06,2.305057e-06,2.271843e-06,2.240377e-06,2.210576e-06,2.182361e-06,2.155653e-06,2.130381e-06,2.106475e-06,2.083869e-06,2.062498e-06,2.042302e-06,2.023224e-06,2.005209e-06,1.988204e-06,1.972159e-06,1.957027e-06,1.942762e-06,1.929321e-06,1.916663e-06,1.904748e-06,1.893539e-06,1.883001e-06,1.873100e-06,1.863803e-06,1.855080e-06,1.846901e-06,1.839240e-06,1.832068e-06
0.000000e+00,7.568773e-10,5.762845e-08,6.140613e-08,8.215108e-07,5.030788e-06,5.371160e-06,2.236478e-05,6.251103e-05,6.616463e-05,1.491915e-04,2.610316e-04,2.721202e-04,4.238698e-04,5.728727e-04,5.897162e-04,7.577530e-04,9.014963e-04,9.206178e-04,1.074574e-03,1.198652e-03,1.218096e-03,1.350810e-03,1.454049e-03,1.472880e-03,1.584702e-03,1.669088e-03,1.686761e-03,1.779571e-03,1.847506e-03,1.863647e-03,1.939494e-03,1.993257e-03,2.007601e-03,2.068439e-03,2.110095e-03,2.122462e-03,2.170100e-03,2.201484e-03,2.211765e-03,2.247847e-03,2.270577e-03,2.278716e-03,2.304722e-03,2.320211e-03,2.326197e-03,2.343454e-03,2.352931e-03,2.356788e-03,2.366480e-03,2.371010e-03,2.372794e-03,2.375980e-03,2.376487e-03,2.376274e-03,2.373896e-03,2.371172e-03,2.369055e-03,2.361946e-03,2.356668e-03,2.352751e-03,2.341644e-03,2.334390e-03,2.328786e-03,2.314329e-03,2.305588e-03,2.298416e-03,2.281180e-03,2.271367e-03,2.262746e-03,2.243233e-03,2.232696e-03,2.222749e-03,2.201398e-03,2.190428e-03,2.179276e-03,2.156474e-03,2.145311e-03,2.133074e-03,2.109156e-03,2.098000e-03,2.084793e-03,2.060053e-03,2.049065e-03,2.035000e-03,2.009692e-03,1.999000e-03,1.984185e-03,1.958531e-03,1.948238e-03,1.932775e-03,1.906963e-03,1.897148e-03,1.881135e-03,1.855329e-03,1.846051e-03,1.829579e-03,1.803917e-03,1.795218e-03,1.778374e-03,1.752975e-03,1.744882e-03,1.727746e-03,1.702709e-03,1.695239e-03,1.677886e-03,1.653295e-03,1.646454e-03,1.628953e-03,1.604877e-03,1.598662e-03,1.581078e-03,1.557572e-03,1.551975e-03,1.534367e-03,1.511476e-03,1.506482e-03,1.488905e-03,1.466664e-03,1.462256e-03,1.444758e-03,1.423194e-03,1.419349e-03,1.401976e-03,1.381108e-03,1.377801e-03,1.360593e-03,1.340435e-03,1.337641e-03,1.320634e-03,1.301192e-03,1.298883e-03,1.282110e-03,1.263388e-03,1.261536e-03,1.245026e-03,1.227022e-03,1.225597e-03,1.209375e-03,1.192085e-03,1.191059e-03,1.175148e-03,1.158563e-03,1.157907e-03,1.142327e-03,1.126437e-03,1.126123e-03,1.110890e-03,1.095683e-03,1.066561e-03,1.038728e-03,1.012151e-03,9.867983e-04,9.626338e-04,9.396220e-04,9.177264e-04,8.969101e-04,8.771360e-04,8.583670e-04,8.405664e-04,8.236976e-04,8.077246e-04,7.926119e-04,7.783249e-04,7.648295e-04,7.520925e-04,7.400815e-04,7.287651e-04,7.181128e-04,7.080948e-04,6.986825e-04,6.898480e-04,6.815646e-04,6.738063e-04,6.665483e-04,6.597663e-04,6.534373e-04,6.475389e-04,6.420498e-04,6.369494e-04,6.322179e-04,6.278363e-04,6.237866e-04,6.200512e-04,6.166135e-04,6.134575e-04,6.105680e-04,6.079303e-04,6.055303e-04,6.033548e-04,6.013910e-04,5.996267e-04,5.980502e-04,5.966505e-04,5.954169e-04,5.943394e-04,5.934082e-04,5.926143e-04
0.000000e+00,4.026815e-10,3.323727e-08,3.548473e-08,5.194148e-07,3.343492e-06,3.573894e-06,1.503691e-05,4.148195e-05,4.385031e-05,9.641411e-05,1.643594e-04,1.709485e-04,2.587155e-04,3.406375e-04,3.496286e-04,4.361781e-04,5.053901e-04,5.142402e-04,5.822624e-04,6.326748e-04,6.402001e-04,6.887328e-04,7.229244e-04,7.288099e-04,7.614278e-04,7.832725e-04,7.875294e-04,8.079700e-04,8.207601e-04,8.235091e-04,8.348150e-04,8.410739e-04,8.424726e-04,8.469923e-04,8.486045e-04,8.488189e-04,8.483399e-04,8.467010e-04,8.458922e-04,8.417690e-04,8.379072e-04,8.362250e-04,8.294815e-04,8.241509e-04,8.217298e-04,8.131356e-04,8.068843e-04,8.038423e-04,7.939741e-04,7.871993e-04,7.836391e-04,7.729321e-04,7.659230e-04,7.619357e-04,7.507210e-04,7.436856e-04,7.393493e-04,7.278734e-04,7.209567e-04,7.163379e-04,7.047812e-04,6.980817e-04,6.932360e-04,6.817305e-04,6.753141e-04,6.702892e-04,6.589325e-04,6.528413e-04,6.476778e-04,6.365398e-04,6.307982e-04,6.255305e-04,6.146604e-04,6.092801e-04,6.039376e-04,5.933692e-04,5.883529e-04,5.829608e-04,5.727167e-04,5.680606e-04,5.626404e-04,5.527343e-04,5.484300e-04,5.430001e-04,5.334391e-04,5.294751e-04,5.240515e-04,5.148377e-04,5.112006e-04,5.057970e-04,4.969289e-04,4.936040e-04,4.882323e-04,4.797059e-04,4.766778e-04,4.713483e-04,4.631578e-04,4.604107e-04,4.551324e-04,4.472701e-04,4.447883e-04,4.395689e-04,4.320266e-04,4.297945e-04,4.246408e-04,4.174092e-04,4.154117e-04,4.103296e-04,4.033994e-04,4.016217e-04,3.966163e-04,3.899778e-04,3.884058e-04,3.834816e-04,3.771250e-04,3.757451e-04,3.709058e-04,3.648214e-04,3.636205e-04,3.588694e-04,3.530475e-04,3.520132e-04,3.473532e-04,3.417843e-04,3.409047e-04,3.363382e-04,3.310129e-04,3.302768e-04,3.258058e-04,3.207149e-04,3.201117e-04,3.157379e-04,3.108726e-04,3.103921e-04,3.061168e-04,3.014684e-04,3.011011e-04,2.969253e-04,2.924855e-04,2.922223e-04,2.881469e-04,2.839075e-04,2.837399e-04,2.797653e-04,2.757185e-04,2.756386e-04,2.717652e-04,2.679034e-04,2.605201e-04,2.534747e-04,2.467541e-04,2.403452e-04,2.342357e-04,2.284136e-04,2.228673e-04,2.175859e-04,2.125586e-04,2.077752e-04,2.032257e-04,1.989006e-04,1.947908e-04,1.908875e-04,1.871822e-04,1.836666e-04,1.803331e-04,1.771739e-04,1.741820e-04,1.713502e-04,1.686719e-04,1.661407e-04,1.637502e-04,1.614946e-04,1.593681e-04,1.573652e-04,1.554805e-04,1.537090e-04,1.520458e-04,1.504860e-04,1.490253e-04,1.476591e-04,1.463834e-04,1.451940e-04,1.440872e-04,1.430590e-04,1.421061e-04,1.412248e-04,1.404119e-04,1.396642e-04,1.389787e-04,1.383523e-04,1.377823e-04,1.372659e-04,1.368005e-04,1.363835e-04,1.360127e-04,1.356856e-04,1.354000e-04
0.000000e+00,7.441008e-09,1.499276e-07,1.570942e-07,1.014079e-06,3.220844e-06,3.346899e-06,7.238898e-06,1.163797e-05,1.192331e-05,1.652297e-05,2.034554e-05,2.065711e-05,2.427767e-05,2.712690e-05,2.742116e-05,3.013615e-05,3.220813e-05,3.246942e-05,3.446365e-05,3.593693e-05,3.615727e-05,3.758461e-05,3.860035e-05,3.877635e-05,3.975980e-05,4.042793e-05,4.055925e-05,4.119632e-05,4.160202e-05,4.169018e-05,4.205789e-05,4.226691e-05,4.231456e-05,4.247363e-05,4.253661e-05,4.254699e-05,4.254523e-05,4.250112e-05,4.247773e-05,4.235277e-05,4.223138e-05,4.217770e-05,4.195902e-05,4.178312e-05,4.170253e-05,4.141343e-05,4.120056e-05,4.109626e-05,4.075502e-05,4.051840e-05,4.039334e-05,4.001437e-05,3.976404e-05,3.962087e-05,3.921532e-05,3.895880e-05,3.879990e-05,3.837653e-05,3.811941e-05,3.794691e-05,3.751254e-05,3.725895e-05,3.707474e-05,3.663466e-05,3.638762e-05,3.619335e-05,3.575170e-05,3.551334e-05,3.531049e-05,3.487043e-05,3.464225e-05,3.443211e-05,3.399607e-05,3.377905e-05,3.356276e-05,3.313259e-05,3.292732e-05,3.270589e-05,3.228296e-05,3.208976e-05,3.186407e-05,3.144944e-05,3.126840e-05,3.103925e-05,3.063366e-05,3.046472e-05,3.023280e-05,2.983677e-05,2.967973e-05,2.944566e-05,2.905955e-05,2.891414e-05,2.867848e-05,2.830249e-05,2.816838e-05,2.793161e-05,2.756586e-05,2.744267e-05,2.720523e-05,2.684974e-05,2.673706e-05,2.649936e-05,2.615408e-05,2.605149e-05,2.581388e-05,2.547873e-05,2.538579e-05,2.514860e-05,2.482345e-05,2.473973e-05,2.450325e-05,2.418794e-05,2.411299e-05,2.387749e-05,2.357185e-05,2.350525e-05,2.327097e-05,2.297480e-05,2.291613e-05,2.268329e-05,2.239639e-05,2.234523e-05,2.211404e-05,2.183618e-05,2.179214e-05,2.156278e-05,2.129376e-05,2.125644e-05,2.102907e-05,2.076867e-05,2.073770e-05,2.051248e-05,2.026047e-05,2.023549e-05,2.001257e-05,1.976872e-05,1.974939e-05,1.952888e-05,1.929298e-05,1.927895e-05,1.906098e-05,1.883282e-05,1.882377e-05,1.860844e-05,1.838779e-05,1.838342e-05,1.817083e-05,1.795749e-05,1.754558e-05,1.714728e-05,1.676222e-05,1.639001e-05,1.603028e-05,1.568267e-05,1.534682e-05,1.502239e-05,1.470904e-05,1.440645e-05,1.411430e-05,1.383227e-05,1.356006e-05,1.329738e-05,1.304395e-05,1.279947e-05,1.256370e-05,1.233635e-05,1.211717e-05,1.190592e-05,1.170236e-05,1.150624e-05,1.131734e-05,1.113544e-05,1.096032e-05,1.079178e-05,1.062960e-05,1.047360e-05,1.032357e-05,1.017934e-05,1.004071e-05,9.907526e-06,9.779600e-06,9.656772e-06,9.538879e-06,9.425765e-06,9.317277e-06,9.213269e-06,9.113595e-06,9.018116e-06,8.926698e-06,8.839208e-06,8.755518e-06,8.675505e-06,8.599047e-06,8.526027e-06,8.456333e-06,8.389852e-06,8.326479e-06
0.000000e+00,8.660515e-12,1.029430e-09,1.106186e-09,2.159819e-08,1.780812e-07,1.923281e-07,1.055716e-06,3.808770e-06,4.098432e-06,1.223772e-05,2.793375e-05,2.980442e-05,6.187196e-05,1.071311e-04,1.132551e-04,1.876105e-04,2.736319e-04,2.868782e-04,4.111024e-04,5.366220e-04,5.585594e-04,7.260837e-04,8.792700e-04,9.094897e-04,1.104008e-03,1.268326e-03,1.304682e-03,1.506700e-03,1.666292e-03,1.705639e-03,1.897633e-03,2.040475e-03,2.079468e-03,2.248618e-03,2.367527e-03,2.403235e-03,2.542097e-03,2.634306e-03,2.664548e-03,2.770417e-03,2.836492e-03,2.859935e-03,2.933655e-03,2.976277e-03,2.992371e-03,3.037052e-03,3.059967e-03,3.068779e-03,3.088700e-03,3.095947e-03,3.097981e-03,3.097775e-03,3.093181e-03,3.089197e-03,3.073308e-03,3.060225e-03,3.051102e-03,3.023495e-03,3.004690e-03,2.991324e-03,2.955344e-03,2.933000e-03,2.916232e-03,2.874589e-03,2.850363e-03,2.830944e-03,2.785758e-03,2.760861e-03,2.739434e-03,2.692317e-03,2.667603e-03,2.644704e-03,2.596848e-03,2.572896e-03,2.548961e-03,2.501224e-03,2.478408e-03,2.453785e-03,2.406769e-03,2.385312e-03,2.360276e-03,2.314388e-03,2.294407e-03,2.269172e-03,2.224680e-03,2.206219e-03,2.180952e-03,2.138019e-03,2.121073e-03,2.095901e-03,2.054617e-03,2.039149e-03,2.014175e-03,1.974580e-03,1.960534e-03,1.935835e-03,1.897936e-03,1.885242e-03,1.860879e-03,1.824657e-03,1.813241e-03,1.789262e-03,1.754683e-03,1.744466e-03,1.720909e-03,1.687929e-03,1.678836e-03,1.655731e-03,1.624301e-03,1.616254e-03,1.593626e-03,1.563693e-03,1.556617e-03,1.534487e-03,1.505994e-03,1.499820e-03,1.478202e-03,1.451095e-03,1.445755e-03,1.424660e-03,1.398884e-03,1.394313e-03,1.373751e-03,1.349250e-03,1.345388e-03,1.325366e-03,1.302087e-03,1.298875e-03,1.279398e-03,1.257288e-03,1.254673e-03,1.235743e-03,1.214751e-03,1.212682e-03,1.194299e-03,1.174376e-03,1.172805e-03,1.154969e-03,1.136067e-03,1.134948e-03,1.117657e-03,1.099730e-03,1.099023e-03,1.082273e-03,1.065276e-03,1.064940e-03,1.048727e-03,1.032617e-03,1.001973e-03,9.729289e-04,9.454109e-04,9.193474e-04,8.946694e-04,8.713114e-04,8.492100e-04,8.283051e-04,8.085389e-04,7.898562e-04,7.722044e-04,7.555329e-04,7.397938e-04,7.249410e-04,7.109308e-04,6.977213e-04,6.852727e-04,6.735468e-04,6.625075e-04,6.521201e-04,6.423517e-04,6.331708e-04,6.245475e-04,6.164533e-04,6.088611e-04,6.017449e-04,5.950801e-04,5.888432e-04,5.830118e-04,5.775647e-04,5.724817e-04,5.677434e-04,5.633315e-04,5.592285e-04,5.554178e-04,5.518836e-04,5.486108e-04,5.455850e-04,5.427927e-04,5.402209e-04,5.378572e-04,5.356899e-04,5.337078e-04,5.319004e-04,5.302576e-04,5.287698e-04,5.274279e-04,5.262231e-04,5.251474e-04
0.000000e+00,1.679511e-09,1.826206e-08,1.898499e-08,9.997137e-08,3.256945e-07,3.396132e-07,8.219210e-07,1.484495e-06,1.531613e-06,2.353328e-06,3.110908e-06,3.175188e-06,3.948912e-06,4.594437e-06,4.663142e-06,5.317628e-06,5.846100e-06,5.914843e-06,6.457895e-06,6.884057e-06,6.950005e-06,7.394347e-06,7.732937e-06,7.794001e-06,8.151919e-06,8.416247e-06,8.470915e-06,8.753660e-06,8.955456e-06,9.002677e-06,9.220350e-06,9.369823e-06,9.408920e-06,9.570497e-06,9.676465e-06,9.707061e-06,9.820469e-06,9.890513e-06,9.912465e-06,9.984682e-06,1.002529e-05,1.003865e-05,1.007580e-05,1.009252e-05,1.009747e-05,1.010491e-05,1.010245e-05,1.009930e-05,1.008173e-05,1.006408e-05,1.005322e-05,1.001472e-05,9.985254e-06,9.967126e-06,9.911266e-06,9.872824e-06,9.847915e-06,9.777795e-06,9.732754e-06,9.701576e-06,9.619885e-06,9.570228e-06,9.533303e-06,9.442371e-06,9.389737e-06,9.347590e-06,9.249427e-06,9.195167e-06,9.148316e-06,9.044656e-06,8.989870e-06,8.938819e-06,8.831150e-06,8.776729e-06,8.721968e-06,8.611565e-06,8.558219e-06,8.500213e-06,8.388164e-06,8.336451e-06,8.275648e-06,8.162877e-06,8.113228e-06,8.050047e-06,7.937338e-06,7.890075e-06,7.824912e-06,7.712920e-06,7.668277e-06,7.601500e-06,7.490777e-06,7.448908e-06,7.380863e-06,7.271862e-06,7.232864e-06,7.163868e-06,7.056963e-06,7.020877e-06,6.951224e-06,6.846717e-06,6.813545e-06,6.743502e-06,6.641633e-06,6.611342e-06,6.541156e-06,6.442112e-06,6.414641e-06,6.344537e-06,6.248460e-06,6.223729e-06,6.153908e-06,6.060901e-06,6.038811e-06,5.969457e-06,5.879588e-06,5.860030e-06,5.791306e-06,5.704617e-06,5.687471e-06,5.619525e-06,5.536030e-06,5.521171e-06,5.454132e-06,5.373828e-06,5.361127e-06,5.295111e-06,5.217975e-06,5.207302e-06,5.142410e-06,5.068405e-06,5.059629e-06,4.995949e-06,4.925027e-06,4.918019e-06,4.855627e-06,4.787731e-06,4.782363e-06,4.721323e-06,4.656386e-06,4.652536e-06,4.592902e-06,4.530852e-06,4.528399e-06,4.470216e-06,4.410975e-06,4.409804e-06,4.353108e-06,4.296595e-06,4.188610e-06,4.085685e-06,3.987650e-06,3.894339e-06,3.805580e-06,3.721208e-06,3.641054e-06,3.564955e-06,3.492751e-06,3.424281e-06,3.359394e-06,3.297937e-06,3.239764e-06,3.184733e-06,3.132706e-06,3.083549e-06,3.037133e-06,2.993334e-06,2.952030e-06,2.913107e-06,2.876453e-06,2.841959e-06,2.809524e-06,2.779047e-06,2.750435e-06,2.723595e-06,2.698441e-06,2.674888e-06,2.652856e-06,2.632268e-06,2.613052e-06,2.595136e-06,2.578454e-06,2.562941e-06,2.548536e-06,2.535180e-06,2.522818e-06,2.511397e-06,2.500865e-06,2.491174e-06,2.482277e-06,2.474132e-06,2.466695e-06,2.459927e-06,2.453790e-06,2.448247e-06,2.443264e-06,2.438809e-06,2.434850e-06
0.000000e+00,5.876301e-11,6.739363e-09,7.231054e-09,1.299068e-07,1.020539e-06,1.101332e-06,6.123137e-06,2.337973e-05,2.527462e-05,8.240229e-05,2.058706e-04,2.214256e-04,5.083089e-04,9.628051e-04,1.027957e-03,1.877766e-03,2.979856e-03,3.159888e-03,4.973701e-03,7.027919e-03,7.409355e-03,1.054281e-02,1.375745e-02,1.443245e-02,1.911723e-02,2.356595e-02,2.461604e-02,3.092825e-02,3.655154e-02,3.803497e-02,4.590091e-02,5.253205e-02,5.447667e-02,6.370111e-02,7.110253e-02,7.350391e-02,8.380794e-02,9.170776e-02,9.453162e-02,1.055909e-01,1.137140e-01,1.169014e-01,1.283795e-01,1.364705e-01,1.399444e-01,1.515186e-01,1.593570e-01,1.630292e-01,1.744083e-01,1.818160e-01,1.855937e-01,1.965290e-01,2.033728e-01,2.071638e-01,2.174539e-01,2.236434e-01,2.273607e-01,2.368516e-01,2.423351e-01,2.458996e-01,2.544826e-01,2.592409e-01,2.625838e-01,2.701905e-01,2.742311e-01,2.772946e-01,2.838914e-01,2.872423e-01,2.899800e-01,2.955622e-01,2.982663e-01,3.006428e-01,3.052289e-01,3.073392e-01,3.093295e-01,3.129557e-01,3.145313e-01,3.161197e-01,3.188353e-01,3.199380e-01,3.211172e-01,3.229809e-01,3.236726e-01,3.244426e-01,3.255187e-01,3.258598e-01,3.262263e-01,3.265823e-01,3.266302e-01,3.266041e-01,3.263086e-01,3.261166e-01,3.257128e-01,3.248335e-01,3.244508e-01,3.236873e-01,3.222903e-01,3.217610e-01,3.206582e-01,3.188066e-01,3.181702e-01,3.167504e-01,3.145041e-01,3.137953e-01,3.120818e-01,3.094969e-01,3.087458e-01,3.067626e-01,3.038915e-01,3.031241e-01,3.008955e-01,2.977862e-01,2.970244e-01,2.945747e-01,2.912716e-01,2.905336e-01,2.878868e-01,2.844300e-01,2.837309e-01,2.809104e-01,2.773367e-01,2.766883e-01,2.737170e-01,2.700592e-01,2.694709e-01,2.663707e-01,2.626586e-01,2.621374e-01,2.589294e-01,2.551894e-01,2.547402e-01,2.514445e-01,2.477001e-01,2.473259e-01,2.439615e-01,2.402336e-01,2.399359e-01,2.365209e-01,2.328277e-01,2.326068e-01,2.291579e-01,2.255154e-01,2.253703e-01,2.219036e-01,2.183256e-01,2.182544e-01,2.147845e-01,2.112829e-01,2.044764e-01,1.978523e-01,1.914251e-01,1.852067e-01,1.792067e-01,1.734326e-01,1.678902e-01,1.625832e-01,1.575141e-01,1.526840e-01,1.480927e-01,1.437389e-01,1.396206e-01,1.357346e-01,1.320772e-01,1.286440e-01,1.254299e-01,1.224295e-01,1.196369e-01,1.170457e-01,1.146492e-01,1.124407e-01,1.104130e-01,1.085589e-01,1.068708e-01,1.053413e-01,1.039629e-01,1.027279e-01,1.016286e-01,1.006576e-01,9.980725e-02,9.907012e-02,9.843883e-02,9.790619e-02,9.746508e-02,9.710858e-02,9.682993e-02,9.662257e-02,9.648013e-02,9.639650e-02,9.636576e-02,9.638225e-02,9.644056e-02,9.653554e-02,9.666230e-02,9.681619e-02,9.699287e-02,9.718824e-02,9.739848e-02
0.000000e+00,2.905922e-09,3.862698e-08,4.026339e-08,2.231089e-07,7.007737e-07,7.291306e-07,1.665943e-06,2.859245e-06,2.941244e-06,4.336325e-06,5.599655e-06,5.706925e-06,7.005290e-06,8.102980e-06,8.220750e-06,9.352833e-06,1.028187e-05,1.040380e-05,1.137671e-05,1.215352e-05,1.227489e-05,1.310175e-05,1.374372e-05,1.386074e-05,1.455529e-05,1.507910e-05,1.518877e-05,1.576449e-05,1.618563e-05,1.628565e-05,1.675534e-05,1.708789e-05,1.717654e-05,1.755210e-05,1.780867e-05,1.788474e-05,1.817707e-05,1.836889e-05,1.843154e-05,1.865051e-05,1.878743e-05,1.883619e-05,1.899073e-05,1.908144e-05,1.911612e-05,1.921428e-05,1.926639e-05,1.928701e-05,1.933603e-05,1.935618e-05,1.936296e-05,1.936932e-05,1.936328e-05,1.935657e-05,1.932608e-05,1.929884e-05,1.927915e-05,1.921699e-05,1.917286e-05,1.914075e-05,1.905154e-05,1.899426e-05,1.895037e-05,1.883822e-05,1.877096e-05,1.871600e-05,1.858457e-05,1.851005e-05,1.844474e-05,1.829727e-05,1.821781e-05,1.814288e-05,1.798225e-05,1.789980e-05,1.781602e-05,1.764477e-05,1.756095e-05,1.746906e-05,1.728943e-05,1.720562e-05,1.710637e-05,1.692033e-05,1.683764e-05,1.673175e-05,1.654104e-05,1.646040e-05,1.634857e-05,1.615470e-05,1.607683e-05,1.595976e-05,1.576405e-05,1.568954e-05,1.556787e-05,1.537148e-05,1.530077e-05,1.517513e-05,1.497905e-05,1.491248e-05,1.478345e-05,1.458854e-05,1.452635e-05,1.439450e-05,1.420150e-05,1.414382e-05,1.400969e-05,1.381922e-05,1.376615e-05,1.363023e-05,1.344282e-05,1.339437e-05,1.325712e-05,1.307323e-05,1.302937e-05,1.289123e-05,1.271121e-05,1.267188e-05,1.253325e-05,1.235741e-05,1.232251e-05,1.218376e-05,1.201234e-05,1.198172e-05,1.184320e-05,1.167639e-05,1.164992e-05,1.151194e-05,1.134987e-05,1.132738e-05,1.119023e-05,1.103302e-05,1.101432e-05,1.087826e-05,1.072596e-05,1.071087e-05,1.057614e-05,1.042880e-05,1.041712e-05,1.028395e-05,1.014157e-05,1.013310e-05,1.000166e-05,9.864233e-06,9.858787e-06,9.729262e-06,9.596742e-06,9.594117e-06,9.466660e-06,9.339000e-06,9.093314e-06,8.856912e-06,8.629625e-06,8.411270e-06,8.201645e-06,8.000542e-06,7.807739e-06,7.623011e-06,7.446126e-06,7.276850e-06,7.114945e-06,6.960176e-06,6.812304e-06,6.671095e-06,6.536315e-06,6.407734e-06,6.285126e-06,6.168268e-06,6.056940e-06,5.950930e-06,5.850028e-06,5.754032e-06,5.662742e-06,5.575965e-06,5.493516e-06,5.415212e-06,5.340876e-06,5.270339e-06,5.203436e-06,5.140006e-06,5.079898e-06,5.022960e-06,4.969052e-06,4.918033e-06,4.869773e-06,4.824141e-06,4.781016e-06,4.740279e-06,4.701816e-06,4.665516e-06,4.631276e-06,4.598995e-06,4.568574e-06,4.539923e-06,4.512951e-06,4.487573e-06,4.463708e-06,4.441278e-06,4.420206e-06
0.000000e+00,5.879324e-09,9.718822e-08,1.016482e-07,6.628697e-07,2.361398e-06,2.467812e-06,6.176792e-06,1.125846e-05,1.161820e-05,1.786527e-05,2.361930e-05,2.410902e-05,3.003686e-05,3.504349e-05,3.558029e-05,4.073765e-05,4.496785e-05,4.552303e-05,4.995418e-05,5.349562e-05,5.404941e-05,5.782680e-05,6.076701e-05,6.130387e-05,6.449751e-05,6.691618e-05,6.742391e-05,7.009851e-05,7.206682e-05,7.253605e-05,7.475047e-05,7.633138e-05,7.675503e-05,7.856228e-05,7.981116e-05,8.018409e-05,8.163173e-05,8.259717e-05,8.291590e-05,8.404671e-05,8.477131e-05,8.503370e-05,8.588591e-05,8.640686e-05,8.661188e-05,8.721967e-05,8.756937e-05,8.771689e-05,8.811075e-05,8.831737e-05,8.840801e-05,8.861512e-05,8.870315e-05,8.873810e-05,8.878267e-05,8.877331e-05,8.875422e-05,8.865782e-05,8.856937e-05,8.849826e-05,8.828007e-05,8.812833e-05,8.800748e-05,8.768451e-05,8.748307e-05,8.731495e-05,8.690235e-05,8.666283e-05,8.645005e-05,8.596122e-05,8.569359e-05,8.543883e-05,8.488567e-05,8.459838e-05,8.430437e-05,8.369740e-05,8.339762e-05,8.306708e-05,8.241561e-05,8.210940e-05,8.174503e-05,8.105728e-05,8.074969e-05,8.035415e-05,7.963736e-05,7.933262e-05,7.890849e-05,7.816904e-05,7.787062e-05,7.742042e-05,7.666393e-05,7.637466e-05,7.590080e-05,7.513219e-05,7.485435e-05,7.435916e-05,7.358274e-05,7.331815e-05,7.280385e-05,7.202338e-05,7.177343e-05,7.124214e-05,7.046090e-05,7.022663e-05,6.968036e-05,6.890120e-05,6.868336e-05,6.812402e-05,6.734939e-05,6.714847e-05,6.657785e-05,6.580989e-05,6.562616e-05,6.504596e-05,6.428648e-05,6.412003e-05,6.353183e-05,6.278238e-05,6.263315e-05,6.203846e-05,6.130035e-05,6.116814e-05,6.056835e-05,5.984269e-05,5.972719e-05,5.912361e-05,5.841132e-05,5.831215e-05,5.770600e-05,5.700783e-05,5.692453e-05,5.631694e-05,5.563349e-05,5.556556e-05,5.495758e-05,5.428933e-05,5.423620e-05,5.362881e-05,5.297613e-05,5.293721e-05,5.233133e-05,5.169447e-05,5.166916e-05,5.106560e-05,5.044476e-05,5.043242e-05,4.983197e-05,4.922724e-05,4.805372e-05,4.691184e-05,4.580150e-05,4.472251e-05,4.367460e-05,4.265742e-05,4.167061e-05,4.071371e-05,3.978627e-05,3.888777e-05,3.801769e-05,3.717547e-05,3.636055e-05,3.557234e-05,3.481025e-05,3.407370e-05,3.336208e-05,3.267477e-05,3.201119e-05,3.137073e-05,3.075280e-05,3.015680e-05,2.958215e-05,2.902828e-05,2.849462e-05,2.798060e-05,2.748568e-05,2.700931e-05,2.655096e-05,2.611012e-05,2.568627e-05,2.527891e-05,2.488756e-05,2.451173e-05,2.415097e-05,2.380480e-05,2.347280e-05,2.315452e-05,2.284955e-05,2.255746e-05,2.227785e-05,2.201034e-05,2.175453e-05,2.151006e-05,2.127656e-05,2.105368e-05,2.084108e-05,2.063841e-05,2.044536e-05
0.000000e+00,9.357326e-09,2.189387e-07,2.297599e-07,1.772536e-06,7.490743e-06,7.881314e-06,2.273122e-05,4.440905e-05,4.594080e-05,7.215240e-05,9.579809e-05,9.779613e-05,1.218416e-04,1.419591e-04,1.441053e-04,1.646112e-04,1.812600e-04,1.834324e-04,2.006529e-04,2.142469e-04,2.163574e-04,2.306287e-04,2.415681e-04,2.435475e-04,2.551922e-04,2.638435e-04,2.656389e-04,2.749609e-04,2.816563e-04,2.832289e-04,2.905107e-04,2.955478e-04,2.968712e-04,3.023721e-04,3.060141e-04,3.070721e-04,3.110270e-04,3.135049e-04,3.142893e-04,3.169090e-04,3.184236e-04,3.189329e-04,3.204053e-04,3.211303e-04,3.213679e-04,3.218599e-04,3.219446e-04,3.219181e-04,3.215771e-04,3.211492e-04,3.208693e-04,3.198253e-04,3.189939e-04,3.184735e-04,3.168407e-04,3.156984e-04,3.149520e-04,3.128308e-04,3.114556e-04,3.104990e-04,3.079771e-04,3.064349e-04,3.052842e-04,3.024383e-04,3.007839e-04,2.994559e-04,2.963526e-04,2.946317e-04,2.931429e-04,2.898403e-04,2.880904e-04,2.864574e-04,2.830057e-04,2.812575e-04,2.794961e-04,2.759387e-04,2.742169e-04,2.723428e-04,2.687169e-04,2.670412e-04,2.650692e-04,2.614069e-04,2.597926e-04,2.577368e-04,2.540653e-04,2.525242e-04,2.503980e-04,2.467404e-04,2.452812e-04,2.430973e-04,2.394730e-04,2.381016e-04,2.358718e-04,2.322972e-04,2.310176e-04,2.287527e-04,2.252414e-04,2.240556e-04,2.217659e-04,2.183288e-04,2.172374e-04,2.149323e-04,2.115784e-04,2.105808e-04,2.082689e-04,2.050053e-04,2.040999e-04,2.017890e-04,1.986211e-04,1.978056e-04,1.955028e-04,1.924348e-04,1.917061e-04,1.894180e-04,1.864528e-04,1.858074e-04,1.835397e-04,1.806791e-04,1.801133e-04,1.778712e-04,1.751162e-04,1.746259e-04,1.724141e-04,1.697650e-04,1.693460e-04,1.671686e-04,1.646248e-04,1.642728e-04,1.621333e-04,1.596940e-04,1.594047e-04,1.573063e-04,1.549700e-04,1.547392e-04,1.526845e-04,1.504494e-04,1.502727e-04,1.482641e-04,1.461282e-04,1.460016e-04,1.440409e-04,1.420017e-04,1.419211e-04,1.400100e-04,1.380651e-04,1.380267e-04,1.361663e-04,1.343130e-04,1.307747e-04,1.274063e-04,1.242020e-04,1.211562e-04,1.182630e-04,1.155168e-04,1.129119e-04,1.104425e-04,1.081032e-04,1.058885e-04,1.037931e-04,1.018117e-04,9.993947e-05,9.817134e-05,9.650260e-05,9.492864e-05,9.344502e-05,9.204746e-05,9.073183e-05,8.949415e-05,8.833060e-05,8.723751e-05,8.621137e-05,8.524880e-05,8.434658e-05,8.350160e-05,8.271092e-05,8.197170e-05,8.128125e-05,8.063699e-05,8.003646e-05,7.947730e-05,7.895730e-05,7.847430e-05,7.802629e-05,7.761133e-05,7.722758e-05,7.687329e-05,7.654679e-05,7.624651e-05,7.597093e-05,7.571862e-05,7.548824e-05,7.527848e-05,7.508812e-05,7.491601e-05,7.476103e-05,7.462215e-05,7.449837e-05
0.000000e+00,2.231217e-09,9.235578e-08,9.784493e-08,1.059122e-06,5.104380e-06,5.386123e-06,1.612327e-05,3.180713e-05,3.292007e-05,5.206556e-05,6.942077e-05,7.088849e-05,8.856184e-05,1.033697e-04,1.049514e-04,1.200883e-04,1.324248e-04,1.340385e-04,1.468730e-04,1.570719e-04,1.586619e-04,1.694719e-04,1.778423e-04,1.793664e-04,1.884054e-04,1.952186e-04,1.966452e-04,2.041387e-04,2.096298e-04,2.109358e-04,2.170830e-04,2.214551e-04,2.226243e-04,2.276005e-04,2.310282e-04,2.320501e-04,2.360091e-04,2.386427e-04,2.395111e-04,2.425877e-04,2.445560e-04,2.452683e-04,2.475807e-04,2.489941e-04,2.495505e-04,2.512020e-04,2.521548e-04,2.525577e-04,2.536388e-04,2.542116e-04,2.544651e-04,2.550549e-04,2.553163e-04,2.554255e-04,2.555932e-04,2.556019e-04,2.555730e-04,2.553790e-04,2.551847e-04,2.550243e-04,2.545213e-04,2.541662e-04,2.538815e-04,2.531157e-04,2.526355e-04,2.522337e-04,2.512451e-04,2.506701e-04,2.501586e-04,2.489824e-04,2.483378e-04,2.477240e-04,2.463906e-04,2.456978e-04,2.449888e-04,2.435248e-04,2.428017e-04,2.420045e-04,2.404331e-04,2.396945e-04,2.388157e-04,2.371571e-04,2.364153e-04,2.354615e-04,2.337331e-04,2.329983e-04,2.319756e-04,2.301925e-04,2.294729e-04,2.283872e-04,2.265626e-04,2.258649e-04,2.247217e-04,2.228671e-04,2.221965e-04,2.210011e-04,2.191262e-04,2.184871e-04,2.172445e-04,2.153578e-04,2.147533e-04,2.134681e-04,2.115769e-04,2.110095e-04,2.096859e-04,2.077966e-04,2.072681e-04,2.059102e-04,2.040281e-04,2.035396e-04,2.021513e-04,2.002809e-04,1.998331e-04,1.984179e-04,1.965632e-04,1.961564e-04,1.947176e-04,1.928819e-04,1.925159e-04,1.910567e-04,1.892427e-04,1.889174e-04,1.874404e-04,1.856505e-04,1.853653e-04,1.838734e-04,1.821094e-04,1.818636e-04,1.803591e-04,1.786228e-04,1.784154e-04,1.769008e-04,1.751933e-04,1.750234e-04,1.735007e-04,1.718232e-04,1.716896e-04,1.701609e-04,1.685140e-04,1.684157e-04,1.668828e-04,1.652672e-04,1.652029e-04,1.636674e-04,1.620836e-04,1.620521e-04,1.605157e-04,1.589639e-04,1.559387e-04,1.529766e-04,1.500776e-04,1.472414e-04,1.444678e-04,1.417562e-04,1.391062e-04,1.365170e-04,1.339879e-04,1.315182e-04,1.291071e-04,1.267536e-04,1.244568e-04,1.222159e-04,1.200299e-04,1.178979e-04,1.158188e-04,1.137917e-04,1.118156e-04,1.098896e-04,1.080126e-04,1.061837e-04,1.044019e-04,1.026663e-04,1.009760e-04,9.932986e-05,9.772712e-05,9.616682e-05,9.464806e-05,9.316995e-05,9.173161e-05,9.033218e-05,8.897081e-05,8.764667e-05,8.635894e-05,8.510682e-05,8.388950e-05,8.270622e-05,8.155621e-05,8.043872e-05,7.935302e-05,7.829838e-05,7.727410e-05,7.627949e-05,7.531386e-05,7.437654e-05,7.346689e-05,7.258425e-05,7.172801e-05
0.000000e+00,1.792338e-09,1.953798e-08,2.031066e-08,1.041976e-07,3.180931e-07,3.305932e-07,7.306158e-07,1.207470e-06,1.239044e-06,1.753750e-06,2.182328e-06,2.217028e-06,2.615572e-06,2.921082e-06,2.952119e-06,3.232933e-06,3.439139e-06,3.464539e-06,3.652992e-06,3.784720e-06,3.803744e-06,3.921653e-06,3.998481e-06,4.011026e-06,4.075664e-06,4.112575e-06,4.118919e-06,4.143738e-06,4.152067e-06,4.152706e-06,4.148092e-06,4.136353e-06,4.131884e-06,4.105819e-06,4.080360e-06,4.071417e-06,4.030003e-06,3.995530e-06,3.982737e-06,3.930627e-06,3.890607e-06,3.874552e-06,3.815277e-06,3.772240e-06,3.753465e-06,3.689688e-06,3.645458e-06,3.624453e-06,3.558194e-06,3.514084e-06,3.491282e-06,3.424039e-06,3.380958e-06,3.356739e-06,3.289619e-06,3.248184e-06,3.222879e-06,3.156691e-06,3.117302e-06,3.091196e-06,3.026516e-06,2.989416e-06,2.962753e-06,2.899989e-06,2.865304e-06,2.838293e-06,2.777719e-06,2.745491e-06,2.718309e-06,2.660098e-06,2.630309e-06,2.603108e-06,2.547359e-06,2.519952e-06,2.492859e-06,2.439613e-06,2.414501e-06,2.387623e-06,2.336883e-06,2.313961e-06,2.287386e-06,2.239123e-06,2.218274e-06,2.192079e-06,2.146240e-06,2.127343e-06,2.101590e-06,2.058109e-06,2.041041e-06,2.015780e-06,1.974580e-06,1.959216e-06,1.934489e-06,1.895485e-06,1.881705e-06,1.857546e-06,1.820650e-06,1.808339e-06,1.784775e-06,1.749896e-06,1.738942e-06,1.715993e-06,1.683041e-06,1.673338e-06,1.651019e-06,1.619905e-06,1.611353e-06,1.589676e-06,1.560311e-06,1.552814e-06,1.531787e-06,1.504085e-06,1.497556e-06,1.477183e-06,1.451061e-06,1.445416e-06,1.425698e-06,1.401075e-06,1.396238e-06,1.377173e-06,1.353973e-06,1.349870e-06,1.331456e-06,1.309604e-06,1.306168e-06,1.288400e-06,1.267826e-06,1.264995e-06,1.247866e-06,1.228503e-06,1.226218e-06,1.209720e-06,1.191503e-06,1.189712e-06,1.173835e-06,1.156703e-06,1.155355e-06,1.140091e-06,1.123985e-06,1.123034e-06,1.108371e-06,1.093236e-06,1.092641e-06,1.078567e-06,1.064351e-06,1.064071e-06,1.050576e-06,1.037228e-06,1.012018e-06,9.883515e-07,9.661461e-07,9.453219e-07,9.258034e-07,9.075191e-07,8.904013e-07,8.743858e-07,8.594117e-07,8.454212e-07,8.323598e-07,8.201756e-07,8.088196e-07,7.982453e-07,7.884086e-07,7.792679e-07,7.707836e-07,7.629182e-07,7.556365e-07,7.489046e-07,7.426910e-07,7.369654e-07,7.316993e-07,7.268657e-07,7.224391e-07,7.183952e-07,7.147111e-07,7.113652e-07,7.083368e-07,7.056065e-07,7.031560e-07,7.009678e-07,6.990254e-07,6.973133e-07,6.958167e-07,6.945216e-07,6.934148e-07,6.924840e-07,6.917173e-07,6.911035e-07,6.906321e-07,6.902932e-07,6.900774e-07,6.899758e-07,6.899800e-07,6.900821e-07,6.902747e-07,6.905507e-07,6.909036e-07
0.000000e+00,9.051331e-10,5.092561e-08,5.394123e-08,5.453820e-07,2.667442e-06,2.824174e-06,9.767558e-06,2.382544e-05,2.502958e-05,5.079806e-05,8.295634e-05,8.604753e-05,1.270842e-04,1.655059e-04,1.697495e-04,2.111094e-04,2.452318e-04,2.496922e-04,2.849820e-04,3.126509e-04,3.169254e-04,3.456528e-04,3.674376e-04,3.713551e-04,3.942370e-04,4.110375e-04,4.145005e-04,4.323394e-04,4.449888e-04,4.479376e-04,4.614683e-04,4.706919e-04,4.730940e-04,4.829667e-04,4.893852e-04,4.912283e-04,4.980111e-04,5.021512e-04,5.034385e-04,5.076248e-04,5.099305e-04,5.106765e-04,5.126925e-04,5.135369e-04,5.137646e-04,5.139775e-04,5.136721e-04,5.134103e-04,5.121358e-04,5.109402e-04,5.102215e-04,5.077300e-04,5.058593e-04,5.047189e-04,5.012418e-04,4.988736e-04,4.973478e-04,4.930825e-04,4.903626e-04,4.884878e-04,4.836023e-04,4.806498e-04,4.784619e-04,4.730991e-04,4.700102e-04,4.675443e-04,4.618250e-04,4.586773e-04,4.559668e-04,4.499931e-04,4.468482e-04,4.439251e-04,4.377826e-04,4.346890e-04,4.315833e-04,4.253438e-04,4.223389e-04,4.190788e-04,4.128020e-04,4.099141e-04,4.065257e-04,4.002611e-04,3.975111e-04,3.940185e-04,3.878068e-04,3.852092e-04,3.816345e-04,3.755089e-04,3.730733e-04,3.694368e-04,3.634240e-04,3.611558e-04,3.574758e-04,3.515971e-04,3.494985e-04,3.457918e-04,3.400636e-04,3.381341e-04,3.344157e-04,3.288507e-04,3.270878e-04,3.233711e-04,3.179786e-04,3.163782e-04,3.126751e-04,3.074616e-04,3.060182e-04,3.023394e-04,2.973091e-04,2.960163e-04,2.923713e-04,2.875263e-04,2.863773e-04,2.827742e-04,2.781149e-04,2.771023e-04,2.735483e-04,2.690740e-04,2.681902e-04,2.646915e-04,2.604002e-04,2.596374e-04,2.561994e-04,2.520882e-04,2.514387e-04,2.480658e-04,2.441312e-04,2.435872e-04,2.402833e-04,2.365210e-04,2.360752e-04,2.328433e-04,2.292488e-04,2.288939e-04,2.257364e-04,2.223048e-04,2.220337e-04,2.189527e-04,2.156788e-04,2.154849e-04,2.124818e-04,2.093603e-04,2.092370e-04,2.063129e-04,2.033383e-04,2.032796e-04,2.004351e-04,1.976020e-04,1.921937e-04,1.870441e-04,1.821427e-04,1.774792e-04,1.730435e-04,1.688258e-04,1.648165e-04,1.610064e-04,1.573863e-04,1.539475e-04,1.506818e-04,1.475809e-04,1.446371e-04,1.418430e-04,1.391912e-04,1.366751e-04,1.342879e-04,1.320235e-04,1.298758e-04,1.278390e-04,1.259077e-04,1.240766e-04,1.223408e-04,1.206955e-04,1.191361e-04,1.176583e-04,1.162581e-04,1.149315e-04,1.136748e-04,1.124845e-04,1.113572e-04,1.102897e-04,1.092790e-04,1.083222e-04,1.074165e-04,1.065593e-04,1.057482e-04,1.049807e-04,1.042548e-04,1.035682e-04,1.029189e-04,1.023050e-04,1.017247e-04,1.011763e-04,1.006582e-04,1.001687e-04,9.970642e-05,9.926997e-05,9.885801e-05
0.000000e+00,1.696880e-09,9.735369e-08,1.032531e-07,1.146598e-06,6.163108e-06,6.546660e-06,2.399100e-05,5.907275e-05,6.200541e-05,1.214627e-04,1.877606e-04,1.937570e-04,2.687327e-04,3.333227e-04,3.402253e-04,4.057905e-04,4.581305e-04,4.648824e-04,5.176764e-04,5.583414e-04,5.645672e-04,6.059977e-04,6.368989e-04,6.424036e-04,6.741991e-04,6.971045e-04,7.017728e-04,7.254870e-04,7.419066e-04,7.456784e-04,7.626592e-04,7.738616e-04,7.767176e-04,7.881202e-04,7.951623e-04,7.971134e-04,8.039238e-04,8.076814e-04,8.087598e-04,8.118126e-04,8.130062e-04,8.132587e-04,8.132592e-04,8.124790e-04,8.119618e-04,8.095017e-04,8.072284e-04,8.060029e-04,8.015787e-04,7.982024e-04,7.963325e-04,7.903588e-04,7.861941e-04,7.837441e-04,7.765670e-04,7.718665e-04,7.688992e-04,7.608062e-04,7.557713e-04,7.523475e-04,7.435773e-04,7.383674e-04,7.345447e-04,7.252945e-04,7.200345e-04,7.158670e-04,7.062990e-04,7.010857e-04,6.966237e-04,6.868711e-04,6.817783e-04,6.770683e-04,6.672397e-04,6.623226e-04,6.574072e-04,6.475904e-04,6.428893e-04,6.378072e-04,6.280731e-04,6.236160e-04,6.184024e-04,6.088074e-04,6.046125e-04,5.992993e-04,5.898877e-04,5.859657e-04,5.805813e-04,5.713875e-04,5.677430e-04,5.623129e-04,5.533630e-04,5.499958e-04,5.445427e-04,5.358559e-04,5.327620e-04,5.273061e-04,5.188959e-04,5.160687e-04,5.106277e-04,5.025031e-04,4.999338e-04,4.945233e-04,4.866893e-04,4.843676e-04,4.790014e-04,4.714599e-04,4.693745e-04,4.640645e-04,4.568149e-04,4.549538e-04,4.497103e-04,4.427500e-04,4.411009e-04,4.359328e-04,4.292576e-04,4.278079e-04,4.227228e-04,4.163271e-04,4.150645e-04,4.100688e-04,4.039462e-04,4.028584e-04,3.979574e-04,3.921006e-04,3.911756e-04,3.863739e-04,3.807751e-04,3.800014e-04,3.753024e-04,3.699536e-04,3.693200e-04,3.647267e-04,3.596194e-04,3.591152e-04,3.546297e-04,3.497553e-04,3.493703e-04,3.449943e-04,3.403443e-04,3.400688e-04,3.358034e-04,3.313692e-04,3.311940e-04,3.270397e-04,3.228129e-04,3.227294e-04,3.186865e-04,3.146586e-04,3.069657e-04,2.996350e-04,2.926512e-04,2.859996e-04,2.796658e-04,2.736359e-04,2.678964e-04,2.624344e-04,2.572375e-04,2.522936e-04,2.475913e-04,2.431196e-04,2.388678e-04,2.348257e-04,2.309838e-04,2.273325e-04,2.238632e-04,2.205671e-04,2.174363e-04,2.144629e-04,2.116394e-04,2.089588e-04,2.064144e-04,2.039995e-04,2.017081e-04,1.995343e-04,1.974723e-04,1.955170e-04,1.936630e-04,1.919056e-04,1.902401e-04,1.886621e-04,1.871672e-04,1.857515e-04,1.844111e-04,1.831424e-04,1.819418e-04,1.808059e-04,1.797317e-04,1.787161e-04,1.777561e-04,1.768490e-04,1.759923e-04,1.751833e-04,1.744197e-04,1.736993e-04,1.730199e-04,1.723793e-04,1.717757e-04
0.000000e+00,3.473725e-10,5.062031e-09,5.286725e-09,3.158491e-08,1.025265e-07,1.067396e-07,2.427549e-07,4.021465e-07,4.124719e-07,5.772197e-07,7.109088e-07,7.216473e-07,8.443648e-07,9.378765e-07,9.473586e-07,1.033073e-06,1.096031e-06,1.103796e-06,1.161548e-06,1.202193e-06,1.208095e-06,1.244968e-06,1.269448e-06,1.273503e-06,1.294860e-06,1.307729e-06,1.310049e-06,1.319947e-06,1.324574e-06,1.325320e-06,1.326830e-06,1.325700e-06,1.325054e-06,1.320490e-06,1.315422e-06,1.313567e-06,1.304659e-06,1.296980e-06,1.294088e-06,1.282133e-06,1.272803e-06,1.269032e-06,1.254993e-06,1.244705e-06,1.240195e-06,1.224789e-06,1.214033e-06,1.208906e-06,1.192659e-06,1.181784e-06,1.176144e-06,1.159445e-06,1.148693e-06,1.142630e-06,1.125761e-06,1.115298e-06,1.108889e-06,1.092057e-06,1.081993e-06,1.075303e-06,1.058656e-06,1.049061e-06,1.042144e-06,1.025788e-06,1.016704e-06,1.009607e-06,9.936151e-07,9.850627e-07,9.778251e-07,9.622469e-07,9.542326e-07,9.468885e-07,9.317562e-07,9.242764e-07,9.168548e-07,9.021878e-07,8.952316e-07,8.877575e-07,8.735656e-07,8.671175e-07,8.596126e-07,8.458985e-07,8.399399e-07,8.324229e-07,8.191845e-07,8.136949e-07,8.061821e-07,7.934136e-07,7.883713e-07,7.808771e-07,7.685701e-07,7.639531e-07,7.564901e-07,7.446343e-07,7.404206e-07,7.329999e-07,7.215838e-07,7.177516e-07,7.103830e-07,6.993943e-07,6.959222e-07,6.886145e-07,6.780404e-07,6.749078e-07,6.676688e-07,6.574963e-07,6.546832e-07,6.475196e-07,6.377356e-07,6.352229e-07,6.281410e-07,6.187324e-07,6.165017e-07,6.095067e-07,6.004608e-07,5.984944e-07,5.915913e-07,5.828953e-07,5.811766e-07,5.743695e-07,5.660110e-07,5.645240e-07,5.578167e-07,5.497836e-07,5.485130e-07,5.419088e-07,5.341893e-07,5.331209e-07,5.266224e-07,5.192053e-07,5.183251e-07,5.119350e-07,5.048090e-07,5.041042e-07,4.978244e-07,4.909788e-07,4.904371e-07,4.842694e-07,4.776938e-07,4.773035e-07,4.712494e-07,4.649337e-07,4.646837e-07,4.587443e-07,4.526789e-07,4.525588e-07,4.467350e-07,4.409104e-07,4.297208e-07,4.189728e-07,4.086500e-07,3.987364e-07,3.892166e-07,3.800759e-07,3.712999e-07,3.628748e-07,3.547875e-07,3.470251e-07,3.395753e-07,3.324262e-07,3.255664e-07,3.189849e-07,3.126711e-07,3.066148e-07,3.008061e-07,2.952356e-07,2.898941e-07,2.847729e-07,2.798635e-07,2.751578e-07,2.706480e-07,2.663265e-07,2.621861e-07,2.582198e-07,2.544208e-07,2.507828e-07,2.472994e-07,2.439648e-07,2.407731e-07,2.377187e-07,2.347964e-07,2.320010e-07,2.293276e-07,2.267713e-07,2.243277e-07,2.219923e-07,2.197608e-07,2.176293e-07,2.155938e-07,2.136505e-07,2.117958e-07,2.100262e-07,2.083383e-07,2.067289e-07,2.051948e-07,2.037332e-07,2.023410e-07
0.000000e+00,1.697701e-09,1.804598e-08,1.874565e-08,9.386650e-08,2.903551e-07,3.021631e-07,7.007173e-07,1.231326e-06,1.268693e-06,1.917669e-06,2.515810e-06,2.566634e-06,3.179159e-06,3.690858e-06,3.745332e-06,4.264185e-06,4.682870e-06,4.737302e-06,5.166964e-06,5.503596e-06,5.555636e-06,5.905799e-06,6.171957e-06,6.219885e-06,6.500250e-06,6.706574e-06,6.749153e-06,6.968751e-06,7.124710e-06,7.161092e-06,7.328115e-06,7.441998e-06,7.471650e-06,7.593423e-06,7.672418e-06,7.695056e-06,7.778071e-06,7.828362e-06,7.843900e-06,7.893883e-06,7.920766e-06,7.929274e-06,7.951251e-06,7.959244e-06,7.960911e-06,7.959282e-06,7.952219e-06,7.947325e-06,7.925936e-06,7.907060e-06,7.895950e-06,7.858148e-06,7.830191e-06,7.813257e-06,7.761955e-06,7.727205e-06,7.704870e-06,7.642591e-06,7.602958e-06,7.575662e-06,7.504589e-06,7.461656e-06,7.429844e-06,7.351863e-06,7.306932e-06,7.271050e-06,7.187781e-06,7.141918e-06,7.102403e-06,7.015237e-06,6.969303e-06,6.926579e-06,6.836703e-06,6.791388e-06,6.745862e-06,6.654288e-06,6.610136e-06,6.562195e-06,6.469781e-06,6.427212e-06,6.377224e-06,6.284691e-06,6.244023e-06,6.192332e-06,6.100285e-06,6.061749e-06,6.008675e-06,5.917618e-06,5.881373e-06,5.827216e-06,5.737564e-06,5.703710e-06,5.648745e-06,5.560835e-06,5.529424e-06,5.473903e-06,5.388008e-06,5.359050e-06,5.303204e-06,5.219539e-06,5.193013e-06,5.137053e-06,5.055783e-06,5.031643e-06,4.975758e-06,4.897006e-06,4.875186e-06,4.819548e-06,4.743401e-06,4.723820e-06,4.668580e-06,4.595096e-06,4.577659e-06,4.522955e-06,4.452164e-06,4.436771e-06,4.382723e-06,4.314633e-06,4.301177e-06,4.247891e-06,4.182492e-06,4.170862e-06,4.118430e-06,4.055698e-06,4.045784e-06,3.994285e-06,3.934181e-06,3.925870e-06,3.875374e-06,3.817849e-06,3.811032e-06,3.761595e-06,3.706594e-06,3.701162e-06,3.652831e-06,3.600291e-06,3.596140e-06,3.548954e-06,3.498805e-06,3.495834e-06,3.449825e-06,3.401995e-06,3.400105e-06,3.355296e-06,3.309710e-06,3.308810e-06,3.265218e-06,3.221798e-06,3.138920e-06,3.060022e-06,2.984953e-06,2.913562e-06,2.845698e-06,2.781215e-06,2.719969e-06,2.661819e-06,2.606627e-06,2.554262e-06,2.504593e-06,2.457495e-06,2.412849e-06,2.370538e-06,2.330450e-06,2.292478e-06,2.256518e-06,2.222473e-06,2.190247e-06,2.159750e-06,2.130895e-06,2.103599e-06,2.077784e-06,2.053375e-06,2.030299e-06,2.008488e-06,1.987877e-06,1.968404e-06,1.950010e-06,1.932639e-06,1.916238e-06,1.900755e-06,1.886143e-06,1.872356e-06,1.859351e-06,1.847085e-06,1.835521e-06,1.824621e-06,1.814349e-06,1.804672e-06,1.795559e-06,1.786980e-06,1.778905e-06,1.771309e-06,1.764165e-06,1.757448e-06,1.751137e-06,1.745209e-06,1.739644e-06
0.000000e+00,3.002811e-11,3.452531e-09,3.708884e-09,7.326712e-08,6.315703e-07,6.835157e-07,3.928000e-06,1.444424e-05,1.554597e-05,4.583170e-05,1.013358e-04,1.077603e-04,2.136060e-04,3.537555e-04,3.721291e-04,5.872125e-04,8.225639e-04,8.578338e-04,1.178895e-03,1.489325e-03,1.542428e-03,1.938839e-03,2.289801e-03,2.357975e-03,2.789953e-03,3.147374e-03,3.225722e-03,3.657388e-03,3.995300e-03,4.078370e-03,4.483408e-03,4.785648e-03,4.868492e-03,5.230738e-03,5.489561e-03,5.568231e-03,5.879873e-03,6.093565e-03,6.165225e-03,6.424373e-03,6.594995e-03,6.657804e-03,6.866305e-03,6.997951e-03,7.050876e-03,7.212659e-03,7.310281e-03,7.352886e-03,7.472833e-03,7.541515e-03,7.573789e-03,7.657030e-03,7.701585e-03,7.723803e-03,7.775311e-03,7.800087e-03,7.812706e-03,7.837085e-03,7.845899e-03,7.849485e-03,7.850884e-03,7.847019e-03,7.842200e-03,7.824295e-03,7.810541e-03,7.797971e-03,7.763981e-03,7.742686e-03,7.723023e-03,7.675747e-03,7.648871e-03,7.622761e-03,7.564624e-03,7.533790e-03,7.501860e-03,7.434952e-03,7.401498e-03,7.364349e-03,7.290467e-03,7.255487e-03,7.213690e-03,7.134374e-03,7.098757e-03,7.052850e-03,6.969422e-03,6.933883e-03,6.884372e-03,6.797960e-03,6.763068e-03,6.710425e-03,6.621990e-03,6.588191e-03,6.532858e-03,6.443216e-03,6.410854e-03,6.353238e-03,6.263081e-03,6.232414e-03,6.172892e-03,6.082805e-03,6.054018e-03,5.992941e-03,5.903412e-03,5.876634e-03,5.814319e-03,5.725757e-03,5.701067e-03,5.637810e-03,5.550553e-03,5.527988e-03,5.464056e-03,5.378383e-03,5.357950e-03,5.293588e-03,5.209723e-03,5.191402e-03,5.126832e-03,5.044956e-03,5.028706e-03,4.964130e-03,4.884385e-03,4.870147e-03,4.805747e-03,4.728240e-03,4.715945e-03,4.651884e-03,4.576696e-03,4.566263e-03,4.502688e-03,4.429873e-03,4.421216e-03,4.358259e-03,4.287852e-03,4.280878e-03,4.218657e-03,4.150675e-03,4.145289e-03,4.083907e-03,4.018353e-03,4.014458e-03,3.954008e-03,3.890869e-03,3.888369e-03,3.828931e-03,3.768187e-03,3.766984e-03,3.708629e-03,3.650249e-03,3.538095e-03,3.430440e-03,3.327195e-03,3.228259e-03,3.133530e-03,3.042897e-03,2.956248e-03,2.873469e-03,2.794443e-03,2.719054e-03,2.647185e-03,2.578720e-03,2.513543e-03,2.451542e-03,2.392605e-03,2.336621e-03,2.283484e-03,2.233087e-03,2.185328e-03,2.140106e-03,2.097325e-03,2.056889e-03,2.018706e-03,1.982685e-03,1.948742e-03,1.916790e-03,1.886749e-03,1.858539e-03,1.832085e-03,1.807311e-03,1.784146e-03,1.762521e-03,1.742369e-03,1.723625e-03,1.706227e-03,1.690114e-03,1.675228e-03,1.661512e-03,1.648913e-03,1.637377e-03,1.626854e-03,1.617296e-03,1.608655e-03,1.600885e-03,1.593943e-03,1.587786e-03,1.582373e-03,1.577665e-03,1.573624e-03
0.000000e+00,6.838556e-09,1.464538e-07,1.536718e-07,1.056298e-06,3.528157e-06,3.672473e-06,8.139340e-06,1.307240e-05,1.339021e-05,1.857843e-05,2.308587e-05,2.346427e-05,2.800923e-05,3.181198e-05,3.221812e-05,3.610493e-05,3.927148e-05,3.968551e-05,4.297577e-05,4.558512e-05,4.599133e-05,4.874742e-05,5.087282e-05,5.125879e-05,5.353965e-05,5.524756e-05,5.560367e-05,5.746393e-05,5.881384e-05,5.913291e-05,6.062246e-05,6.166703e-05,6.194387e-05,6.310781e-05,6.389335e-05,6.412442e-05,6.500326e-05,6.557024e-05,6.575337e-05,6.638331e-05,6.676699e-05,6.690112e-05,6.731444e-05,6.754543e-05,6.763042e-05,6.785583e-05,6.796064e-05,6.799704e-05,6.806006e-05,6.806158e-05,6.805054e-05,6.797380e-05,6.789173e-05,6.783484e-05,6.763839e-05,6.748966e-05,6.738886e-05,6.709042e-05,6.688952e-05,6.674699e-05,6.636225e-05,6.612154e-05,6.593965e-05,6.548243e-05,6.521240e-05,6.499363e-05,6.447612e-05,6.418568e-05,6.393258e-05,6.336550e-05,6.306211e-05,6.277725e-05,6.217003e-05,6.185996e-05,6.154591e-05,6.090680e-05,6.059525e-05,6.025453e-05,5.959078e-05,5.928203e-05,5.891712e-05,5.823503e-05,5.793259e-05,5.754588e-05,5.685095e-05,5.655765e-05,5.615145e-05,5.544847e-05,5.516654e-05,5.474305e-05,5.403616e-05,5.376734e-05,5.332868e-05,5.262145e-05,5.236705e-05,5.191522e-05,5.121072e-05,5.097170e-05,5.050860e-05,4.980945e-05,4.958645e-05,4.911385e-05,4.842231e-05,4.821571e-05,4.773529e-05,4.705323e-05,4.686320e-05,4.637653e-05,4.570554e-05,4.553206e-05,4.504060e-05,4.438199e-05,4.422490e-05,4.373001e-05,4.308487e-05,4.294388e-05,4.244681e-05,4.181602e-05,4.169075e-05,4.119266e-05,4.057690e-05,4.046688e-05,3.996886e-05,3.936866e-05,3.927337e-05,3.877640e-05,3.819217e-05,3.811102e-05,3.761602e-05,3.704801e-05,3.698040e-05,3.648818e-05,3.593657e-05,3.588186e-05,3.539320e-05,3.485806e-05,3.481560e-05,3.433117e-05,3.381250e-05,3.378164e-05,3.330206e-05,3.279980e-05,3.277988e-05,3.230570e-05,3.181972e-05,3.181008e-05,3.134182e-05,3.087194e-05,2.996506e-05,2.908896e-05,2.824311e-05,2.742694e-05,2.663983e-05,2.588114e-05,2.515020e-05,2.444632e-05,2.376880e-05,2.311693e-05,2.248999e-05,2.188728e-05,2.130809e-05,2.075170e-05,2.021742e-05,1.970455e-05,1.921243e-05,1.874036e-05,1.828771e-05,1.785382e-05,1.743808e-05,1.703985e-05,1.665855e-05,1.629359e-05,1.594440e-05,1.561043e-05,1.529114e-05,1.498601e-05,1.469453e-05,1.441621e-05,1.415057e-05,1.389716e-05,1.365553e-05,1.342524e-05,1.320587e-05,1.299702e-05,1.279831e-05,1.260934e-05,1.242975e-05,1.225919e-05,1.209732e-05,1.194381e-05,1.179833e-05,1.166059e-05,1.153028e-05,1.140711e-05,1.129081e-05,1.118111e-05,1.107775e-05
0.000000e+00,5.130982e-10,3.851188e-08,4.111058e-08,6.238354e-07,4.164253e-06,4.454137e-06,1.847208e-05,4.744126e-05,4.983919e-05,9.721994e-05,1.476256e-04,1.520804e-04,2.065300e-04,2.516828e-04,2.564124e-04,3.003692e-04,3.341191e-04,3.383798e-04,3.709056e-04,3.949313e-04,3.985240e-04,4.218004e-04,4.383762e-04,4.412508e-04,4.573365e-04,4.683047e-04,4.704669e-04,4.810050e-04,4.877861e-04,4.892720e-04,4.955521e-04,4.992338e-04,5.000963e-04,5.031262e-04,5.045374e-04,5.048374e-04,5.054021e-04,5.051718e-04,5.049721e-04,5.036811e-04,5.022849e-04,5.016465e-04,4.989718e-04,4.967678e-04,4.957478e-04,4.920543e-04,4.893107e-04,4.879614e-04,4.835305e-04,4.804475e-04,4.788156e-04,4.738640e-04,4.705901e-04,4.687172e-04,4.634114e-04,4.600561e-04,4.579784e-04,4.524461e-04,4.490892e-04,4.468386e-04,4.411773e-04,4.378764e-04,4.354805e-04,4.297643e-04,4.265601e-04,4.240428e-04,4.183282e-04,4.152488e-04,4.126308e-04,4.069599e-04,4.040241e-04,4.013232e-04,3.957276e-04,3.929470e-04,3.901789e-04,3.846819e-04,3.820630e-04,3.792409e-04,3.738594e-04,3.714047e-04,3.685404e-04,3.632862e-04,3.609955e-04,3.580990e-04,3.529804e-04,3.508513e-04,3.479316e-04,3.429536e-04,3.409824e-04,3.380472e-04,3.332128e-04,3.313947e-04,3.284508e-04,3.237613e-04,3.220908e-04,3.191443e-04,3.145995e-04,3.130707e-04,3.101269e-04,3.057259e-04,3.043326e-04,3.013961e-04,2.971371e-04,2.958731e-04,2.929482e-04,2.888288e-04,2.876877e-04,2.847782e-04,2.807957e-04,2.797713e-04,2.768805e-04,2.730318e-04,2.721179e-04,2.692489e-04,2.655309e-04,2.647215e-04,2.618769e-04,2.582862e-04,2.575756e-04,2.547579e-04,2.512910e-04,2.506735e-04,2.478848e-04,2.445384e-04,2.440085e-04,2.412509e-04,2.380214e-04,2.375738e-04,2.348490e-04,2.317330e-04,2.313628e-04,2.286725e-04,2.256665e-04,2.253689e-04,2.227143e-04,2.198151e-04,2.195854e-04,2.169679e-04,2.141721e-04,2.140059e-04,2.114267e-04,2.087310e-04,2.086242e-04,2.060841e-04,2.034854e-04,2.034339e-04,2.009340e-04,1.984291e-04,1.936039e-04,1.889526e-04,1.844695e-04,1.801492e-04,1.759864e-04,1.719761e-04,1.681133e-04,1.643930e-04,1.608107e-04,1.573617e-04,1.540417e-04,1.508464e-04,1.477716e-04,1.448134e-04,1.419678e-04,1.392312e-04,1.365997e-04,1.340700e-04,1.316386e-04,1.293021e-04,1.270574e-04,1.249013e-04,1.228309e-04,1.208432e-04,1.189355e-04,1.171049e-04,1.153489e-04,1.136648e-04,1.120503e-04,1.105029e-04,1.090202e-04,1.076001e-04,1.062404e-04,1.049390e-04,1.036938e-04,1.025029e-04,1.013643e-04,1.002762e-04,9.923685e-05,9.824450e-05,9.729746e-05,9.639413e-05,9.553292e-05,9.471233e-05,9.393089e-05,9.318717e-05,9.247980e-05,9.180745e-05,9.116883e-05
0.000000e+00,3.334776e-11,4.035452e-09,4.341074e-09,9.126645e-08,8.085345e-07,8.753958e-07,5.015122e-06,1.812119e-05,1.947660e-05,5.599590e-05,1.207627e-04,1.281365e-04,2.470466e-04,3.989467e-04,4.184874e-04,6.419274e-04,8.768416e-04,9.112838e-04,1.216539e-03,1.498553e-03,1.545577e-03,1.885826e-03,2.171633e-03,2.225499e-03,2.554403e-03,2.810261e-03,2.864354e-03,3.149285e-03,3.356431e-03,3.405145e-03,3.629668e-03,3.782496e-03,3.822075e-03,3.982768e-03,4.084447e-03,4.113027e-03,4.214747e-03,4.272983e-03,4.290217e-03,4.341938e-03,4.365916e-03,4.372482e-03,4.384388e-03,4.382941e-03,4.380089e-03,4.361861e-03,4.342587e-03,4.331798e-03,4.291796e-03,4.260781e-03,4.243548e-03,4.188554e-03,4.150431e-03,4.128127e-03,4.063407e-03,4.021562e-03,3.995378e-03,3.924883e-03,3.881705e-03,3.852638e-03,3.779252e-03,3.736369e-03,3.705233e-03,3.631009e-03,3.589488e-03,3.556933e-03,3.483297e-03,3.443802e-03,3.410339e-03,3.338255e-03,3.301170e-03,3.267200e-03,3.197298e-03,3.162810e-03,3.128646e-03,3.061318e-03,3.029488e-03,2.995370e-03,2.930842e-03,2.901644e-03,2.867761e-03,2.806141e-03,2.779494e-03,2.745991e-03,2.687310e-03,2.663101e-03,2.630091e-03,2.574324e-03,2.552420e-03,2.519992e-03,2.467077e-03,2.447337e-03,2.415558e-03,2.365413e-03,2.347692e-03,2.316616e-03,2.269142e-03,2.253297e-03,2.222964e-03,2.178055e-03,2.163947e-03,2.134387e-03,2.091931e-03,2.079427e-03,2.050661e-03,2.010547e-03,1.999519e-03,1.971562e-03,1.933678e-03,1.924005e-03,1.896868e-03,1.861105e-03,1.852674e-03,1.826361e-03,1.792611e-03,1.785316e-03,1.759828e-03,1.727988e-03,1.721731e-03,1.697065e-03,1.667035e-03,1.661723e-03,1.637874e-03,1.609559e-03,1.605106e-03,1.582066e-03,1.555374e-03,1.551700e-03,1.529460e-03,1.504303e-03,1.501334e-03,1.479882e-03,1.456177e-03,1.453845e-03,1.433167e-03,1.410834e-03,1.409076e-03,1.389159e-03,1.368122e-03,1.366880e-03,1.347707e-03,1.327895e-03,1.327115e-03,1.308670e-03,1.290015e-03,1.289647e-03,1.271913e-03,1.254350e-03,1.221101e-03,1.189786e-03,1.160298e-03,1.132533e-03,1.106394e-03,1.081787e-03,1.058628e-03,1.036831e-03,1.016321e-03,9.970215e-04,9.788641e-04,9.617824e-04,9.457141e-04,9.306002e-04,9.163849e-04,9.030158e-04,8.904430e-04,8.786196e-04,8.675015e-04,8.570466e-04,8.472156e-04,8.379712e-04,8.292782e-04,8.211035e-04,8.134157e-04,8.061855e-04,7.993848e-04,7.929875e-04,7.869689e-04,7.813055e-04,7.759755e-04,7.709581e-04,7.662337e-04,7.617840e-04,7.575917e-04,7.536405e-04,7.499149e-04,7.464006e-04,7.430839e-04,7.399520e-04,7.369930e-04,7.341954e-04,7.315486e-04,7.290426e-04,7.266680e-04,7.244160e-04,7.222783e-04,7.202471e-04,7.183150e-04
0.000000e+00,7.319562e-11,9.155555e-09,9.845955e-09,1.981831e-07,1.673799e-06,1.809666e-06,1.025325e-05,3.847541e-05,4.151922e-05,1.306989e-04,3.157773e-04,3.387022e-04,7.536245e-04,1.395310e-03,1.486400e-03,2.662746e-03,4.168956e-03,4.413698e-03,6.866415e-03,9.625436e-03,1.013626e-02,1.432067e-02,1.859808e-02,1.949486e-02,2.570939e-02,3.159997e-02,3.298931e-02,4.133461e-02,4.876282e-02,5.072172e-02,6.110573e-02,6.985703e-02,7.242314e-02,8.459490e-02,9.436091e-02,9.752952e-02,1.111262e-01,1.215510e-01,1.252776e-01,1.398730e-01,1.505936e-01,1.548002e-01,1.699481e-01,1.806249e-01,1.852085e-01,2.004772e-01,2.108142e-01,2.156558e-01,2.306524e-01,2.404089e-01,2.453822e-01,2.597682e-01,2.687625e-01,2.737412e-01,2.872401e-01,2.953477e-01,3.002118e-01,3.126109e-01,3.197595e-01,3.243996e-01,3.355471e-01,3.417092e-01,3.460295e-01,3.558291e-01,3.610140e-01,3.649340e-01,3.733378e-01,3.775834e-01,3.810385e-01,3.880390e-01,3.914046e-01,3.943458e-01,3.999688e-01,4.025277e-01,4.049208e-01,4.092175e-01,4.110522e-01,4.128764e-01,4.159173e-01,4.171143e-01,4.183611e-01,4.202301e-01,4.208763e-01,4.215476e-01,4.223375e-01,4.225177e-01,4.226242e-01,4.224323e-01,4.222272e-01,4.217869e-01,4.207124e-01,4.201968e-01,4.192337e-01,4.173748e-01,4.166172e-01,4.151598e-01,4.126121e-01,4.116741e-01,4.097544e-01,4.066091e-01,4.055455e-01,4.031978e-01,3.995415e-01,3.983998e-01,3.956601e-01,3.915734e-01,3.903948e-01,3.872998e-01,3.828574e-01,3.816769e-01,3.782634e-01,3.735340e-01,3.723806e-01,3.686850e-01,3.637313e-01,3.626288e-01,3.586870e-01,3.535655e-01,3.525331e-01,3.483796e-01,3.431412e-01,3.421936e-01,3.378618e-01,3.325521e-01,3.317004e-01,3.272221e-01,3.218814e-01,3.211333e-01,3.165388e-01,3.112026e-01,3.105631e-01,3.058808e-01,3.005804e-01,3.000518e-01,2.953084e-01,2.900709e-01,2.896536e-01,2.848739e-01,2.797229e-01,2.794154e-01,2.746227e-01,2.695781e-01,2.693775e-01,2.645932e-01,2.596720e-01,2.595742e-01,2.548180e-01,2.500344e-01,2.407818e-01,2.318361e-01,2.232128e-01,2.149242e-01,2.069792e-01,1.993840e-01,1.921425e-01,1.852562e-01,1.787249e-01,1.725467e-01,1.667183e-01,1.612348e-01,1.560906e-01,1.512790e-01,1.467923e-01,1.426222e-01,1.387599e-01,1.351959e-01,1.319203e-01,1.289228e-01,1.261927e-01,1.237194e-01,1.214916e-01,1.194982e-01,1.177279e-01,1.161692e-01,1.148109e-01,1.136413e-01,1.126493e-01,1.118235e-01,1.111528e-01,1.106261e-01,1.102328e-01,1.099621e-01,1.098037e-01,1.097476e-01,1.097838e-01,1.099030e-01,1.100960e-01,1.103539e-01,1.106684e-01,1.110315e-01,1.114356e-01,1.118734e-01,1.123381e-01,1.128235e-01,1.133235e-01,1.138328e-01,1.143462e-01
0.000000e+00,6.086733e-09,1.002662e-07,1.050625e-07,7.486745e-07,2.739952e-06,2.860533e-06,6.582820e-06,1.060735e-05,1.086641e-05,1.513420e-05,1.893114e-05,1.925451e-05,2.320154e-05,2.660262e-05,2.697170e-05,3.056651e-05,3.358729e-05,3.398900e-05,3.724283e-05,3.990931e-05,4.033206e-05,4.326112e-05,4.560114e-05,4.603465e-05,4.865751e-05,5.069928e-05,5.113463e-05,5.347101e-05,5.524211e-05,5.567160e-05,5.774136e-05,5.926806e-05,5.968512e-05,6.150766e-05,6.281458e-05,6.321363e-05,6.480755e-05,6.591753e-05,6.629385e-05,6.767681e-05,6.861089e-05,6.896058e-05,7.014921e-05,7.092673e-05,7.124659e-05,7.225650e-05,7.289515e-05,7.318260e-05,7.402842e-05,7.454436e-05,7.479739e-05,7.549280e-05,7.590073e-05,7.611784e-05,7.667558e-05,7.698890e-05,7.716901e-05,7.760098e-05,7.783182e-05,7.797426e-05,7.829152e-05,7.845088e-05,7.855533e-05,7.876816e-05,7.886598e-05,7.893241e-05,7.905038e-05,7.909561e-05,7.912427e-05,7.915624e-05,7.915697e-05,7.914832e-05,7.910251e-05,7.906600e-05,7.902071e-05,7.890475e-05,7.883748e-05,7.875640e-05,7.857734e-05,7.848512e-05,7.836922e-05,7.813361e-05,7.802162e-05,7.787200e-05,7.758586e-05,7.745870e-05,7.727657e-05,7.694547e-05,7.680722e-05,7.659386e-05,7.622297e-05,7.607722e-05,7.583397e-05,7.542802e-05,7.527794e-05,7.500620e-05,7.456956e-05,7.441791e-05,7.411911e-05,7.365581e-05,7.350499e-05,7.318058e-05,7.269432e-05,7.254642e-05,7.219787e-05,7.169206e-05,7.154885e-05,7.117765e-05,7.065539e-05,7.051841e-05,7.012601e-05,6.959018e-05,6.946069e-05,6.904856e-05,6.850177e-05,6.838084e-05,6.795041e-05,6.739506e-05,6.728356e-05,6.683626e-05,6.627453e-05,6.617314e-05,6.571037e-05,6.514425e-05,6.505352e-05,6.457663e-05,6.400794e-05,6.392826e-05,6.343860e-05,6.286898e-05,6.280063e-05,6.229948e-05,6.173043e-05,6.167357e-05,6.116219e-05,6.059506e-05,6.054975e-05,6.002936e-05,5.946538e-05,5.943160e-05,5.890338e-05,5.834363e-05,5.832129e-05,5.778637e-05,5.723183e-05,5.722077e-05,5.668024e-05,5.613181e-05,5.505596e-05,5.399461e-05,5.294901e-05,5.192023e-05,5.090922e-05,4.991679e-05,4.894366e-05,4.799043e-05,4.705759e-05,4.614555e-05,4.525465e-05,4.438515e-05,4.353722e-05,4.271099e-05,4.190654e-05,4.112387e-05,4.036294e-05,3.962370e-05,3.890601e-05,3.820974e-05,3.753470e-05,3.688068e-05,3.624745e-05,3.563475e-05,3.504230e-05,3.446981e-05,3.391696e-05,3.338344e-05,3.286890e-05,3.237300e-05,3.189538e-05,3.143567e-05,3.099352e-05,3.056854e-05,3.016036e-05,2.976859e-05,2.939286e-05,2.903278e-05,2.868796e-05,2.835803e-05,2.804259e-05,2.774128e-05,2.745370e-05,2.717948e-05,2.691825e-05,2.666963e-05,2.643327e-05,2.620879e-05,2.599584e-05
0.000000e+00,8.195918e-10,1.009691e-08,1.052462e-08,6.145996e-08,2.108959e-07,2.202254e-07,5.431819e-07,9.705260e-07,1.000019e-06,1.502270e-06,1.959060e-06,1.997990e-06,2.471461e-06,2.875489e-06,2.919064e-06,3.340437e-06,3.689961e-06,3.736110e-06,4.106874e-06,4.406476e-06,4.453606e-06,4.777211e-06,5.031838e-06,5.078607e-06,5.358713e-06,5.573159e-06,5.618449e-06,5.858720e-06,6.037523e-06,6.080419e-06,6.284416e-06,6.431793e-06,6.471562e-06,6.642680e-06,6.762504e-06,6.798570e-06,6.940001e-06,7.035787e-06,7.067713e-06,7.182421e-06,7.257343e-06,7.284807e-06,7.375526e-06,7.432430e-06,7.455215e-06,7.524474e-06,7.565906e-06,7.583878e-06,7.633981e-06,7.662210e-06,7.675309e-06,7.708367e-06,7.725407e-06,7.733636e-06,7.751574e-06,7.759208e-06,7.762621e-06,7.767194e-06,7.766998e-06,7.765692e-06,7.758495e-06,7.751853e-06,7.745963e-06,7.728442e-06,7.716573e-06,7.706258e-06,7.679726e-06,7.663695e-06,7.649140e-06,7.614784e-06,7.595519e-06,7.576926e-06,7.535821e-06,7.514128e-06,7.491712e-06,7.444829e-06,7.421404e-06,7.395390e-06,7.343603e-06,7.319047e-06,7.289665e-06,7.233762e-06,7.208588e-06,7.176071e-06,7.116761e-06,7.091406e-06,7.055989e-06,6.993907e-06,6.968739e-06,6.930656e-06,6.866370e-06,6.841697e-06,6.801177e-06,6.735197e-06,6.711273e-06,6.668543e-06,6.601322e-06,6.578356e-06,6.533635e-06,6.465577e-06,6.443735e-06,6.397237e-06,6.328701e-06,6.308113e-06,6.260046e-06,6.191347e-06,6.172113e-06,6.122673e-06,6.054091e-06,6.036283e-06,5.985662e-06,5.917442e-06,5.901107e-06,5.849486e-06,5.781843e-06,5.767008e-06,5.714559e-06,5.647679e-06,5.634355e-06,5.581243e-06,5.515288e-06,5.503469e-06,5.449848e-06,5.384955e-06,5.374625e-06,5.320640e-06,5.256929e-06,5.248059e-06,5.193847e-06,5.131416e-06,5.123969e-06,5.069658e-06,5.008591e-06,5.002523e-06,4.948233e-06,4.888598e-06,4.883859e-06,4.829700e-06,4.771551e-06,4.768086e-06,4.714163e-06,4.657543e-06,4.655295e-06,4.601701e-06,4.546643e-06,4.545550e-06,4.492375e-06,4.438900e-06,4.335377e-06,4.234997e-06,4.137763e-06,4.043666e-06,3.952690e-06,3.864805e-06,3.779977e-06,3.698164e-06,3.619319e-06,3.543388e-06,3.470317e-06,3.400043e-06,3.332504e-06,3.267636e-06,3.205370e-06,3.145638e-06,3.088371e-06,3.033500e-06,2.980953e-06,2.930660e-06,2.882552e-06,2.836558e-06,2.792610e-06,2.750639e-06,2.710578e-06,2.672362e-06,2.635923e-06,2.601200e-06,2.568129e-06,2.536650e-06,2.506702e-06,2.478227e-06,2.451168e-06,2.425471e-06,2.401082e-06,2.377947e-06,2.356018e-06,2.335243e-06,2.315577e-06,2.296972e-06,2.279384e-06,2.262769e-06,2.247087e-06,2.232296e-06,2.218358e-06,2.205234e-06,2.192889e-06,2.181288e-06,2.170397e-06
0.000000e+00,7.323384e-09,2.776822e-07,2.941675e-07,3.167868e-06,1.424996e-05,1.495571e-05,3.707103e-05,6.090357e-05,6.242685e-05,8.732093e-05,1.091564e-04,1.110026e-04,1.333655e-04,1.523750e-04,1.544230e-04,1.742123e-04,1.906112e-04,1.927754e-04,2.101556e-04,2.241899e-04,2.263967e-04,2.415435e-04,2.534539e-04,2.556409e-04,2.687341e-04,2.787529e-04,2.808683e-04,2.920883e-04,3.004352e-04,3.024375e-04,3.119581e-04,3.188358e-04,3.206917e-04,3.286778e-04,3.342709e-04,3.359547e-04,3.425591e-04,3.470344e-04,3.485265e-04,3.538906e-04,3.573974e-04,3.586837e-04,3.629369e-04,3.656086e-04,3.666795e-04,3.699399e-04,3.718953e-04,3.727449e-04,3.751203e-04,3.764645e-04,3.770904e-04,3.786786e-04,3.795049e-04,3.799071e-04,3.807972e-04,3.811879e-04,3.813689e-04,3.816414e-04,3.816690e-04,3.816331e-04,3.813613e-04,3.810894e-04,3.808425e-04,3.800924e-04,3.795770e-04,3.791261e-04,3.779576e-04,3.772474e-04,3.766005e-04,3.750677e-04,3.742052e-04,3.733713e-04,3.715228e-04,3.705450e-04,3.695333e-04,3.674131e-04,3.663519e-04,3.651722e-04,3.628199e-04,3.617029e-04,3.603651e-04,3.578163e-04,3.566671e-04,3.551814e-04,3.524679e-04,3.513066e-04,3.496832e-04,3.468338e-04,3.456775e-04,3.439263e-04,3.409667e-04,3.398296e-04,3.379608e-04,3.349139e-04,3.338080e-04,3.318312e-04,3.287176e-04,3.276527e-04,3.255776e-04,3.224154e-04,3.213996e-04,3.192353e-04,3.160409e-04,3.150804e-04,3.128359e-04,3.096237e-04,3.087234e-04,3.064075e-04,3.031902e-04,3.023539e-04,2.999748e-04,2.967637e-04,2.959940e-04,2.935596e-04,2.903647e-04,2.896633e-04,2.871812e-04,2.840111e-04,2.833788e-04,2.808563e-04,2.777186e-04,2.771558e-04,2.745997e-04,2.715010e-04,2.710072e-04,2.684240e-04,2.653700e-04,2.649443e-04,2.623402e-04,2.593358e-04,2.589770e-04,2.563578e-04,2.534071e-04,2.531135e-04,2.504846e-04,2.475911e-04,2.473609e-04,2.447274e-04,2.418941e-04,2.417251e-04,2.390918e-04,2.363210e-04,2.362109e-04,2.335823e-04,2.308760e-04,2.308222e-04,2.282025e-04,2.255622e-04,2.204332e-04,2.154370e-04,2.105746e-04,2.058467e-04,2.012534e-04,1.967944e-04,1.924690e-04,1.882765e-04,1.842154e-04,1.802843e-04,1.764816e-04,1.728054e-04,1.692536e-04,1.658241e-04,1.625146e-04,1.593229e-04,1.562464e-04,1.532828e-04,1.504295e-04,1.476839e-04,1.450435e-04,1.425056e-04,1.400677e-04,1.377271e-04,1.354813e-04,1.333277e-04,1.312637e-04,1.292869e-04,1.273948e-04,1.255848e-04,1.238546e-04,1.222018e-04,1.206239e-04,1.191187e-04,1.176839e-04,1.163173e-04,1.150166e-04,1.137797e-04,1.126046e-04,1.114892e-04,1.104315e-04,1.094295e-04,1.084813e-04,1.075850e-04,1.067388e-04,1.059410e-04,1.051897e-04,1.044833e-04,1.038202e-04
0.000000e+00,3.859465e-09,5.089864e-07,5.481899e-07,1.208543e-05,1.121381e-04,1.216805e-04,7.439114e-04,2.912910e-03,3.149022e-03,1.008722e-02,2.441986e-02,2.618802e-02,5.802293e-02,1.069633e-01,1.138998e-01,2.034890e-01,3.185971e-01,3.373624e-01,5.265082e-01,7.417272e-01,7.818596e-01,1.113869e+00,1.459057e+00,1.532141e+00,2.045135e+00,2.541487e+00,2.659933e+00,3.382087e+00,4.039798e+00,4.215519e+00,5.162480e+00,5.980363e+00,6.223568e+00,7.397782e+00,8.364345e+00,8.682602e+00,1.007411e+01,1.116951e+01,1.156713e+01,1.315536e+01,1.435380e+01,1.483154e+01,1.658760e+01,1.785974e+01,1.841485e+01,2.030407e+01,2.161929e+01,2.224573e+01,2.423009e+01,2.555838e+01,2.624732e+01,2.828763e+01,2.960108e+01,3.034139e+01,3.239918e+01,3.367305e+01,3.445193e+01,3.649093e+01,3.770427e+01,3.850790e+01,4.049509e+01,4.163112e+01,4.244522e+01,4.435160e+01,4.539775e+01,4.620809e+01,4.800912e+01,4.895683e+01,4.974969e+01,5.142539e+01,5.226981e+01,5.303236e+01,5.456729e+01,5.530686e+01,5.602742e+01,5.741048e+01,5.804643e+01,5.871469e+01,5.993875e+01,6.047465e+01,6.108178e+01,6.214331e+01,6.258454e+01,6.312326e+01,6.402189e+01,6.437519e+01,6.483977e+01,6.557780e+01,6.585090e+01,6.623711e+01,6.681908e+01,6.702029e+01,6.732532e+01,6.775761e+01,6.789550e+01,6.811789e+01,6.840826e+01,6.849144e+01,6.863092e+01,6.878817e+01,6.882507e+01,6.888242e+01,6.891612e+01,6.891479e+01,6.889175e+01,6.881187e+01,6.877990e+01,6.867902e+01,6.849575e+01,6.844016e+01,6.826463e+01,6.798818e+01,6.791537e+01,6.766894e+01,6.730937e+01,6.722510e+01,6.691192e+01,6.647899e+01,6.638836e+01,6.601293e+01,6.551602e+01,6.542347e+01,6.499049e+01,6.443852e+01,6.434789e+01,6.386220e+01,6.326356e+01,6.317809e+01,6.264458e+01,6.200714e+01,6.192950e+01,6.135307e+01,6.068412e+01,6.061647e+01,6.000196e+01,5.930820e+01,5.925225e+01,5.860438e+01,5.789196e+01,5.784897e+01,5.717234e+01,5.644685e+01,5.641773e+01,5.571675e+01,5.498324e+01,5.496855e+01,5.424745e+01,5.351046e+01,5.205156e+01,5.059904e+01,4.915925e+01,4.773778e+01,4.633949e+01,4.496858e+01,4.362867e+01,4.232278e+01,4.105346e+01,3.982280e+01,3.863249e+01,3.748383e+01,3.637782e+01,3.531513e+01,3.429621e+01,3.332126e+01,3.239025e+01,3.150302e+01,3.065920e+01,2.985832e+01,2.909977e+01,2.838282e+01,2.770667e+01,2.707044e+01,2.647317e+01,2.591384e+01,2.539138e+01,2.490470e+01,2.445263e+01,2.403402e+01,2.364767e+01,2.329236e+01,2.296687e+01,2.266996e+01,2.240039e+01,2.215693e+01,2.193833e+01,2.174335e+01,2.157078e+01,2.141939e+01,2.128800e+01,2.117540e+01,2.108045e+01,2.100199e+01,2.093891e+01,2.089011e+01,2.085452e+01,2.083110e+01,2.081884e+01
0.000000e+00,1.325370e-09,1.128947e-07,1.208243e-07,1.964475e-06,1.260992e-05,1.344357e-05,4.998920e-05,1.142564e-04,1.192142e-04,2.117811e-04,3.056785e-04,3.139642e-04,4.170647e-04,5.074522e-04,5.172991e-04,6.133758e-04,6.942073e-04,7.049577e-04,7.920200e-04,8.633328e-04,8.746348e-04,9.529068e-04,1.015386e-03,1.026955e-03,1.096905e-03,1.151300e-03,1.162891e-03,1.225047e-03,1.272106e-03,1.283510e-03,1.338417e-03,1.378862e-03,1.389902e-03,1.438099e-03,1.472609e-03,1.483137e-03,1.525144e-03,1.554349e-03,1.564241e-03,1.600550e-03,1.625030e-03,1.634185e-03,1.665261e-03,1.685548e-03,1.693884e-03,1.720160e-03,1.736740e-03,1.744191e-03,1.766075e-03,1.779389e-03,1.785907e-03,1.803777e-03,1.814226e-03,1.819774e-03,1.833983e-03,1.841931e-03,1.846486e-03,1.857361e-03,1.863136e-03,1.866684e-03,1.874529e-03,1.878430e-03,1.880966e-03,1.886063e-03,1.888356e-03,1.889885e-03,1.892494e-03,1.893421e-03,1.893952e-03,1.894316e-03,1.894092e-03,1.893642e-03,1.891984e-03,1.890802e-03,1.889393e-03,1.885920e-03,1.883953e-03,1.881611e-03,1.876512e-03,1.873913e-03,1.870667e-03,1.864119e-03,1.861026e-03,1.856908e-03,1.849073e-03,1.845605e-03,1.840651e-03,1.831678e-03,1.827942e-03,1.822188e-03,1.812214e-03,1.808304e-03,1.801788e-03,1.790940e-03,1.786937e-03,1.779698e-03,1.768091e-03,1.764066e-03,1.756145e-03,1.743886e-03,1.739901e-03,1.731338e-03,1.718523e-03,1.714631e-03,1.705465e-03,1.692185e-03,1.688430e-03,1.678703e-03,1.665039e-03,1.661458e-03,1.651210e-03,1.637236e-03,1.633862e-03,1.623132e-03,1.608915e-03,1.605774e-03,1.594601e-03,1.580204e-03,1.577316e-03,1.565738e-03,1.551216e-03,1.548597e-03,1.536651e-03,1.522056e-03,1.519719e-03,1.507442e-03,1.492819e-03,1.490771e-03,1.478198e-03,1.463589e-03,1.461837e-03,1.449001e-03,1.434444e-03,1.432990e-03,1.419925e-03,1.405453e-03,1.404297e-03,1.391035e-03,1.376678e-03,1.375818e-03,1.362388e-03,1.348174e-03,1.347607e-03,1.334039e-03,1.319990e-03,1.319710e-03,1.306032e-03,1.292171e-03,1.265027e-03,1.238311e-03,1.212051e-03,1.186273e-03,1.160997e-03,1.136243e-03,1.112025e-03,1.088355e-03,1.065244e-03,1.042699e-03,1.020727e-03,9.993308e-04,9.785127e-04,9.582735e-04,9.386124e-04,9.195274e-04,9.010154e-04,8.830723e-04,8.656930e-04,8.488715e-04,8.326014e-04,8.168753e-04,8.016857e-04,7.870241e-04,7.728819e-04,7.592501e-04,7.461192e-04,7.334797e-04,7.213216e-04,7.096349e-04,6.984094e-04,6.876348e-04,6.773006e-04,6.673964e-04,6.579118e-04,6.488363e-04,6.401594e-04,6.318707e-04,6.239599e-04,6.164166e-04,6.092307e-04,6.023921e-04,5.958906e-04,5.897164e-04,5.838597e-04,5.783109e-04,5.730605e-04,5.680990e-04,5.634173e-04
0.000000e+00,4.210938e-11,4.941468e-09,5.309407e-09,1.047771e-07,8.933640e-07,9.664085e-07,5.514387e-06,2.034958e-05,2.191454e-05,6.558903e-05,1.480278e-04,1.577261e-04,3.210983e-04,5.456239e-04,5.756332e-04,9.352774e-04,1.344060e-03,1.406538e-03,1.988458e-03,2.571863e-03,2.673567e-03,3.449338e-03,4.159441e-03,4.299815e-03,5.207160e-03,5.980703e-03,6.152975e-03,7.119355e-03,7.896022e-03,8.089652e-03,9.048979e-03,9.781302e-03,9.984494e-03,1.088550e-02,1.154184e-02,1.174344e-02,1.255174e-02,1.311508e-02,1.330567e-02,1.400214e-02,1.446700e-02,1.463942e-02,1.521699e-02,1.558596e-02,1.573528e-02,1.619550e-02,1.647619e-02,1.659946e-02,1.694943e-02,1.715208e-02,1.724799e-02,1.749795e-02,1.763376e-02,1.770223e-02,1.786382e-02,1.794387e-02,1.798570e-02,1.807081e-02,1.810542e-02,1.812201e-02,1.814204e-02,1.814042e-02,1.813355e-02,1.809902e-02,1.806920e-02,1.804082e-02,1.796118e-02,1.790999e-02,1.786216e-02,1.774572e-02,1.767889e-02,1.761365e-02,1.746764e-02,1.738989e-02,1.730922e-02,1.713986e-02,1.705506e-02,1.696085e-02,1.677344e-02,1.668471e-02,1.657873e-02,1.637776e-02,1.628760e-02,1.617149e-02,1.596077e-02,1.587114e-02,1.574641e-02,1.552913e-02,1.544156e-02,1.530961e-02,1.508843e-02,1.500408e-02,1.486617e-02,1.464333e-02,1.456306e-02,1.442037e-02,1.419771e-02,1.412214e-02,1.397572e-02,1.375475e-02,1.368431e-02,1.353511e-02,1.331709e-02,1.325203e-02,1.310092e-02,1.288685e-02,1.282731e-02,1.267507e-02,1.246575e-02,1.241176e-02,1.225907e-02,1.205517e-02,1.200666e-02,1.185416e-02,1.165616e-02,1.161301e-02,1.146126e-02,1.126954e-02,1.123159e-02,1.108107e-02,1.089591e-02,1.086294e-02,1.071411e-02,1.053569e-02,1.050746e-02,1.036070e-02,1.018914e-02,1.016540e-02,1.002104e-02,9.856405e-03,9.836881e-03,9.695228e-03,9.537507e-03,9.521925e-03,9.383234e-03,9.232393e-03,9.220473e-03,9.084965e-03,8.940928e-03,8.932393e-03,8.800256e-03,8.662919e-03,8.657495e-03,8.528887e-03,8.398125e-03,8.395543e-03,8.270596e-03,8.146263e-03,7.909349e-03,7.684475e-03,7.471292e-03,7.269441e-03,7.078554e-03,6.898256e-03,6.728168e-03,6.567913e-03,6.417114e-03,6.275396e-03,6.142390e-03,6.017733e-03,5.901067e-03,5.792041e-03,5.690314e-03,5.595551e-03,5.507425e-03,5.425620e-03,5.349827e-03,5.279747e-03,5.215089e-03,5.155572e-03,5.100923e-03,5.050880e-03,5.005187e-03,4.963599e-03,4.925878e-03,4.891796e-03,4.861132e-03,4.833675e-03,4.809220e-03,4.787571e-03,4.768541e-03,4.751950e-03,4.737624e-03,4.725398e-03,4.715115e-03,4.706622e-03,4.699777e-03,4.694442e-03,4.690486e-03,4.687786e-03,4.686223e-03,4.685687e-03,4.686072e-03,4.687278e-03,4.689211e-03,4.691784e-03,4.694913e-03
0.000000e+00,1.807084e-09,2.300328e-07,2.474890e-07,5.142725e-06,4.539709e-05,4.917712e-05,2.915441e-04,1.128922e-03,1.220116e-03,3.912613e-03,9.533218e-03,1.023054e-02,2.288143e-02,4.255945e-02,4.536425e-02,8.183545e-02,1.291739e-01,1.369296e-01,2.155604e-01,3.058168e-01,3.227214e-01,4.632980e-01,6.105902e-01,6.419006e-01,8.627229e-01,1.077889e+00,1.129427e+00,1.445058e+00,1.734404e+00,1.811982e+00,2.231855e+00,2.596734e+00,2.705603e+00,3.233440e+00,3.670495e+00,3.814878e+00,4.448775e+00,4.950621e+00,5.133375e+00,5.866365e+00,6.422523e+00,6.644938e+00,7.465853e+00,8.063770e+00,8.325506e+00,9.219992e+00,9.846033e+00,1.014517e+01,1.109673e+01,1.173706e+01,1.207024e+01,1.306122e+01,1.370253e+01,1.406517e+01,1.507764e+01,1.570774e+01,1.609427e+01,1.711078e+01,1.771893e+01,1.812308e+01,1.912723e+01,1.970442e+01,2.011949e+01,2.109634e+01,2.163542e+01,2.205451e+01,2.299092e+01,2.348655e+01,2.390280e+01,2.478758e+01,2.523619e+01,2.564298e+01,2.646695e+01,2.686658e+01,2.725769e+01,2.801366e+01,2.836377e+01,2.873353e+01,2.941622e+01,2.971752e+01,3.006085e+01,3.066676e+01,3.092097e+01,3.123349e+01,3.176075e+01,3.197040e+01,3.224845e+01,3.269663e+01,3.286488e+01,3.310550e+01,3.347540e+01,3.360584e+01,3.380680e+01,3.410028e+01,3.419679e+01,3.435654e+01,3.457634e+01,3.464292e+01,3.476055e+01,3.491010e+01,3.495079e+01,3.502598e+01,3.510925e+01,3.512803e+01,3.516100e+01,3.518236e+01,3.518305e+01,3.517449e+01,3.513857e+01,3.512478e+01,3.507580e+01,3.498739e+01,3.496249e+01,3.487455e+01,3.473851e+01,3.470558e+01,3.458046e+01,3.440161e+01,3.436344e+01,3.420314e+01,3.398623e+01,3.394531e+01,3.375202e+01,3.350166e+01,3.346018e+01,3.323625e+01,3.295686e+01,3.291669e+01,3.266456e+01,3.236038e+01,3.232312e+01,3.204530e+01,3.172029e+01,3.168728e+01,3.138630e+01,3.104421e+01,3.101652e+01,3.069490e+01,3.033920e+01,3.031767e+01,2.997793e+01,2.961184e+01,2.959711e+01,2.924169e+01,2.886817e+01,2.886067e+01,2.849196e+01,2.811371e+01,2.736110e+01,2.660727e+01,2.585616e+01,2.511132e+01,2.437591e+01,2.365268e+01,2.294407e+01,2.225217e+01,2.157878e+01,2.092543e+01,2.029339e+01,1.968370e+01,1.909719e+01,1.853451e+01,1.799612e+01,1.748234e+01,1.699334e+01,1.652916e+01,1.608974e+01,1.567492e+01,1.528443e+01,1.491794e+01,1.457504e+01,1.425527e+01,1.395811e+01,1.368297e+01,1.342925e+01,1.319629e+01,1.298343e+01,1.278995e+01,1.261512e+01,1.245820e+01,1.231843e+01,1.219503e+01,1.208724e+01,1.199425e+01,1.191530e+01,1.184959e+01,1.179634e+01,1.175478e+01,1.172414e+01,1.170366e+01,1.169260e+01,1.169021e+01,1.169580e+01,1.170865e+01,1.172808e+01,1.175344e+01,1.178409e+01
0.000000e+00,3.632399e-11,4.036132e-09,4.328705e-09,7.582922e-08,5.664684e-07,6.095682e-07,3.100639e-06,1.067147e-05,1.145687e-05,3.330427e-05,7.536186e-05,8.039580e-05,1.676168e-04,2.935708e-04,3.108463e-04,5.244599e-04,7.793391e-04,8.192439e-04,1.201134e-03,1.599892e-03,1.670825e-03,2.224090e-03,2.747399e-03,2.852567e-03,3.544789e-03,4.150559e-03,4.287274e-03,5.065542e-03,5.704095e-03,5.864994e-03,6.671616e-03,7.297397e-03,7.472486e-03,8.256128e-03,8.834053e-03,9.012697e-03,9.734061e-03,1.024135e-02,1.041377e-02,1.104699e-02,1.147217e-02,1.163033e-02,1.216173e-02,1.250226e-02,1.264025e-02,1.306589e-02,1.332549e-02,1.343944e-02,1.376235e-02,1.394863e-02,1.403652e-02,1.426424e-02,1.438676e-02,1.444804e-02,1.459062e-02,1.465953e-02,1.469475e-02,1.476323e-02,1.478837e-02,1.479885e-02,1.480433e-02,1.479474e-02,1.478231e-02,1.473530e-02,1.469897e-02,1.466571e-02,1.457578e-02,1.451952e-02,1.446764e-02,1.434327e-02,1.427279e-02,1.420449e-02,1.405302e-02,1.397301e-02,1.389042e-02,1.371815e-02,1.363241e-02,1.353753e-02,1.334978e-02,1.326133e-02,1.315601e-02,1.295724e-02,1.286844e-02,1.275439e-02,1.254831e-02,1.246098e-02,1.233975e-02,1.212942e-02,1.204493e-02,1.191793e-02,1.170585e-02,1.162521e-02,1.149369e-02,1.128191e-02,1.120584e-02,1.107092e-02,1.086109e-02,1.079007e-02,1.065275e-02,1.044620e-02,1.038053e-02,1.024170e-02,1.003947e-02,9.979276e-03,9.839723e-03,9.642637e-03,9.587951e-03,9.448367e-03,9.257048e-03,9.207803e-03,9.068797e-03,8.883712e-03,8.839773e-03,8.701877e-03,8.523360e-03,8.484538e-03,8.348217e-03,8.176492e-03,8.142561e-03,8.008219e-03,7.843420e-03,7.814127e-03,7.682111e-03,7.524297e-03,7.499371e-03,7.369978e-03,7.219147e-03,7.198309e-03,7.071792e-03,6.927894e-03,6.910858e-03,6.787431e-03,6.650376e-03,6.636857e-03,6.516699e-03,6.386366e-03,6.376082e-03,6.259340e-03,6.135582e-03,6.128260e-03,6.015053e-03,5.897706e-03,5.893078e-03,5.783499e-03,5.672386e-03,5.670195e-03,5.564316e-03,5.459244e-03,5.259846e-03,5.071615e-03,4.894157e-03,4.727078e-03,4.569987e-03,4.422492e-03,4.284209e-03,4.154760e-03,4.033777e-03,3.920899e-03,3.815775e-03,3.718070e-03,3.627450e-03,3.543597e-03,3.466198e-03,3.394954e-03,3.329574e-03,3.269780e-03,3.215300e-03,3.165874e-03,3.121249e-03,3.081182e-03,3.045438e-03,3.013788e-03,2.986013e-03,2.961901e-03,2.941247e-03,2.923854e-03,2.909528e-03,2.898087e-03,2.889349e-03,2.883144e-03,2.879303e-03,2.877666e-03,2.878076e-03,2.880383e-03,2.884443e-03,2.890115e-03,2.897265e-03,2.905762e-03,2.915482e-03,2.926306e-03,2.938117e-03,2.950807e-03,2.964269e-03,2.978402e-03,2.993111e-03,3.008304e-03,3.023894e-03
0.000000e+00,6.260773e-10,1.081476e-08,1.131541e-08,6.867670e-08,2.021975e-07,2.092203e-07,3.989400e-07,5.772885e-07,5.883162e-07,7.646263e-07,9.142169e-07,9.266643e-07,1.074944e-06,1.197239e-06,1.210200e-06,1.333177e-06,1.431821e-06,1.444606e-06,1.545196e-06,1.623558e-06,1.635633e-06,1.716583e-06,1.777718e-06,1.788685e-06,1.852549e-06,1.899180e-06,1.908758e-06,1.957861e-06,1.992379e-06,2.000380e-06,2.036805e-06,2.061282e-06,2.067594e-06,2.093181e-06,2.109396e-06,2.113968e-06,2.130336e-06,2.139810e-06,2.142636e-06,2.151200e-06,2.155227e-06,2.156337e-06,2.158333e-06,2.158006e-06,2.157457e-06,2.153959e-06,2.150201e-06,2.148071e-06,2.140009e-06,2.133596e-06,2.129975e-06,2.118156e-06,2.109735e-06,2.104725e-06,2.089844e-06,2.079955e-06,2.073662e-06,2.056319e-06,2.045409e-06,2.037942e-06,2.018651e-06,2.007088e-06,1.998557e-06,1.977760e-06,1.965843e-06,1.956356e-06,1.934431e-06,1.922404e-06,1.912066e-06,1.889335e-06,1.877393e-06,1.866306e-06,1.843041e-06,1.831339e-06,1.819599e-06,1.796032e-06,1.784690e-06,1.772389e-06,1.748714e-06,1.737825e-06,1.725048e-06,1.701429e-06,1.691060e-06,1.677889e-06,1.654460e-06,1.644660e-06,1.631169e-06,1.608043e-06,1.598843e-06,1.585102e-06,1.562369e-06,1.553789e-06,1.539862e-06,1.517597e-06,1.509643e-06,1.495588e-06,1.473849e-06,1.466521e-06,1.452391e-06,1.431225e-06,1.424514e-06,1.410358e-06,1.389798e-06,1.383691e-06,1.369553e-06,1.349626e-06,1.344104e-06,1.330022e-06,1.310745e-06,1.305787e-06,1.291797e-06,1.273181e-06,1.268763e-06,1.254897e-06,1.236946e-06,1.233042e-06,1.219328e-06,1.202043e-06,1.198626e-06,1.185089e-06,1.168466e-06,1.165508e-06,1.152171e-06,1.136201e-06,1.133677e-06,1.120556e-06,1.105232e-06,1.103112e-06,1.090225e-06,1.075533e-06,1.073791e-06,1.061152e-06,1.047078e-06,1.045688e-06,1.033308e-06,1.019838e-06,1.018773e-06,1.006663e-06,9.937799e-07,9.930161e-07,9.811835e-07,9.688697e-07,9.683830e-07,9.568342e-07,9.450724e-07,9.448399e-07,9.335798e-07,9.223519e-07,9.008835e-07,8.803990e-07,8.608631e-07,8.422403e-07,8.244959e-07,8.075955e-07,7.915055e-07,7.761929e-07,7.616258e-07,7.477729e-07,7.346039e-07,7.220895e-07,7.102011e-07,6.989114e-07,6.881938e-07,6.780227e-07,6.683737e-07,6.592229e-07,6.505476e-07,6.423261e-07,6.345372e-07,6.271609e-07,6.201779e-07,6.135697e-07,6.073186e-07,6.014076e-07,5.958205e-07,5.905419e-07,5.855567e-07,5.808510e-07,5.764110e-07,5.722239e-07,5.682773e-07,5.645593e-07,5.610588e-07,5.577648e-07,5.546671e-07,5.517560e-07,5.490221e-07,5.464563e-07,5.440503e-07,5.417959e-07,5.396853e-07,5.377112e-07,5.358666e-07,5.341446e-07,5.325390e-07,5.310437e-07,5.296528e-07
0.000000e+00,3.781558e-12,4.844587e-10,5.216793e-10,1.141840e-08,1.037412e-07,1.124278e-07,6.614576e-07,2.476856e-06,2.669363e-06,8.084253e-06,1.843535e-05,1.966052e-05,4.045476e-05,6.935741e-05,7.324107e-05,1.200623e-04,1.737497e-04,1.819893e-04,2.590724e-04,3.368364e-04,3.504320e-04,4.544349e-04,5.499871e-04,5.689051e-04,6.913371e-04,7.958198e-04,8.190892e-04,9.495440e-04,1.054187e-03,1.080232e-03,1.208922e-03,1.306652e-03,1.333671e-03,1.452859e-03,1.538913e-03,1.565189e-03,1.669683e-03,1.741550e-03,1.765655e-03,1.852683e-03,1.909690e-03,1.930576e-03,1.999339e-03,2.042123e-03,2.059136e-03,2.110264e-03,2.140275e-03,2.153113e-03,2.188150e-03,2.207242e-03,2.215886e-03,2.236864e-03,2.246999e-03,2.251637e-03,2.260760e-03,2.263816e-03,2.264773e-03,2.264200e-03,2.261862e-03,2.259537e-03,2.251252e-03,2.244961e-03,2.239782e-03,2.225530e-03,2.216473e-03,2.208866e-03,2.190125e-03,2.179251e-03,2.169615e-03,2.147608e-03,2.135656e-03,2.124351e-03,2.100063e-03,2.087594e-03,2.074939e-03,2.049149e-03,2.036579e-03,2.022845e-03,1.996159e-03,1.983788e-03,1.969207e-03,1.942088e-03,1.930127e-03,1.914891e-03,1.887689e-03,1.876278e-03,1.860546e-03,1.833520e-03,1.822752e-03,1.806655e-03,1.779994e-03,1.769922e-03,1.753568e-03,1.727406e-03,1.718057e-03,1.701532e-03,1.675966e-03,1.667347e-03,1.650723e-03,1.625816e-03,1.617919e-03,1.601256e-03,1.577051e-03,1.569859e-03,1.553206e-03,1.529727e-03,1.523219e-03,1.506616e-03,1.483876e-03,1.478025e-03,1.461508e-03,1.439511e-03,1.434287e-03,1.417885e-03,1.396628e-03,1.392001e-03,1.375739e-03,1.355215e-03,1.351153e-03,1.335053e-03,1.315251e-03,1.311725e-03,1.295805e-03,1.276712e-03,1.273690e-03,1.257968e-03,1.239569e-03,1.237020e-03,1.221510e-03,1.203789e-03,1.201684e-03,1.186400e-03,1.169339e-03,1.167651e-03,1.152602e-03,1.136185e-03,1.134885e-03,1.120082e-03,1.104291e-03,1.103353e-03,1.088805e-03,1.073621e-03,1.073020e-03,1.058734e-03,1.044140e-03,1.043851e-03,1.029834e-03,1.015812e-03,9.888687e-04,9.629864e-04,9.381318e-04,9.142721e-04,8.913748e-04,8.694082e-04,8.483413e-04,8.281436e-04,8.087857e-04,7.902385e-04,7.724741e-04,7.554651e-04,7.391847e-04,7.236072e-04,7.087075e-04,6.944611e-04,6.808444e-04,6.678345e-04,6.554091e-04,6.435466e-04,6.322263e-04,6.214278e-04,6.111316e-04,6.013187e-04,5.919708e-04,5.830702e-04,5.745997e-04,5.665427e-04,5.588831e-04,5.516054e-04,5.446947e-04,5.381363e-04,5.319164e-04,5.260213e-04,5.204379e-04,5.151536e-04,5.101562e-04,5.054339e-04,5.009752e-04,4.967692e-04,4.928052e-04,4.890730e-04,4.855626e-04,4.822645e-04,4.791694e-04,4.762684e-04,4.735530e-04,4.710148e-04,4.686458e-04
0.000000e+00,8.798003e-10,1.711988e-08,1.793527e-08,1.108203e-07,3.101274e-07,3.199460e-07,5.707615e-07,7.943233e-07,8.079447e-07,1.023159e-06,1.202089e-06,1.216822e-06,1.390397e-06,1.530685e-06,1.545389e-06,1.683221e-06,1.791382e-06,1.805230e-06,1.912670e-06,1.994317e-06,2.006720e-06,2.088483e-06,2.148425e-06,2.158990e-06,2.219204e-06,2.261527e-06,2.270018e-06,2.312262e-06,2.340405e-06,2.346705e-06,2.374054e-06,2.390884e-06,2.394963e-06,2.410038e-06,2.417933e-06,2.419830e-06,2.424849e-06,2.425767e-06,2.425563e-06,2.422403e-06,2.417950e-06,2.415761e-06,2.405999e-06,2.397489e-06,2.393450e-06,2.378418e-06,2.366921e-06,2.361181e-06,2.341994e-06,2.328376e-06,2.321089e-06,2.298680e-06,2.283638e-06,2.274960e-06,2.250107e-06,2.234200e-06,2.224282e-06,2.197632e-06,2.181303e-06,2.170292e-06,2.142383e-06,2.125980e-06,2.114016e-06,2.085292e-06,2.069085e-06,2.056301e-06,2.027126e-06,2.011322e-06,1.997841e-06,1.968514e-06,1.953267e-06,1.939205e-06,1.909968e-06,1.895392e-06,1.880852e-06,1.851902e-06,1.838076e-06,1.823155e-06,1.794648e-06,1.781623e-06,1.766410e-06,1.738468e-06,1.726275e-06,1.710848e-06,1.683569e-06,1.672218e-06,1.656650e-06,1.630107e-06,1.619598e-06,1.603953e-06,1.578199e-06,1.568520e-06,1.552855e-06,1.527930e-06,1.519060e-06,1.503428e-06,1.479355e-06,1.471269e-06,1.455715e-06,1.432510e-06,1.425176e-06,1.409740e-06,1.387408e-06,1.380793e-06,1.365511e-06,1.344050e-06,1.338119e-06,1.323022e-06,1.302424e-06,1.297139e-06,1.282254e-06,1.262508e-06,1.257832e-06,1.243182e-06,1.224272e-06,1.220167e-06,1.205773e-06,1.187680e-06,1.184110e-06,1.169988e-06,1.152691e-06,1.149619e-06,1.135784e-06,1.119262e-06,1.116653e-06,1.103117e-06,1.087344e-06,1.085165e-06,1.071937e-06,1.056890e-06,1.055108e-06,1.042197e-06,1.027850e-06,1.026435e-06,1.013845e-06,1.000174e-06,9.990950e-07,9.868322e-07,9.738120e-07,9.730409e-07,9.611078e-07,9.487132e-07,9.482237e-07,9.366221e-07,9.248284e-07,9.245956e-07,9.133261e-07,9.021092e-07,8.807184e-07,8.603780e-07,8.410440e-07,8.226738e-07,8.052259e-07,7.886602e-07,7.729380e-07,7.580221e-07,7.438763e-07,7.304662e-07,7.177583e-07,7.057207e-07,6.943226e-07,6.835347e-07,6.733286e-07,6.636771e-07,6.545545e-07,6.459358e-07,6.377971e-07,6.301158e-07,6.228700e-07,6.160389e-07,6.096026e-07,6.035419e-07,5.978387e-07,5.924756e-07,5.874358e-07,5.827036e-07,5.782636e-07,5.741015e-07,5.702033e-07,5.665557e-07,5.631463e-07,5.599628e-07,5.569938e-07,5.542283e-07,5.516558e-07,5.492663e-07,5.470501e-07,5.449983e-07,5.431020e-07,5.413531e-07,5.397435e-07,5.382658e-07,5.369127e-07,5.356774e-07,5.345533e-07,5.335343e-07,5.326143e-07
0.000000e+00,1.720961e-09,9.587334e-08,1.017559e-07,1.172825e-06,6.185665e-06,6.556658e-06,2.225467e-05,4.988201e-05,5.203656e-05,9.242643e-05,1.326905e-04,1.361743e-04,1.783512e-04,2.134065e-04,2.171134e-04,2.521114e-04,2.798920e-04,2.834705e-04,3.114291e-04,3.329479e-04,3.362415e-04,3.581535e-04,3.744884e-04,3.773972e-04,3.941907e-04,4.062763e-04,4.087376e-04,4.212277e-04,4.298578e-04,4.318374e-04,4.407305e-04,4.465733e-04,4.480584e-04,4.539613e-04,4.575743e-04,4.585684e-04,4.619991e-04,4.638455e-04,4.643634e-04,4.657625e-04,4.662248e-04,4.662896e-04,4.660303e-04,4.654232e-04,4.650631e-04,4.634602e-04,4.620412e-04,4.612879e-04,4.586072e-04,4.565868e-04,4.554740e-04,4.519393e-04,4.494884e-04,4.480503e-04,4.438502e-04,4.411074e-04,4.393786e-04,4.346714e-04,4.317477e-04,4.297613e-04,4.246785e-04,4.216622e-04,4.194502e-04,4.141009e-04,4.110610e-04,4.086534e-04,4.031282e-04,4.001188e-04,3.975436e-04,3.919164e-04,3.889787e-04,3.862621e-04,3.805944e-04,3.777595e-04,3.749257e-04,3.692672e-04,3.665577e-04,3.636289e-04,3.580198e-04,3.554517e-04,3.524480e-04,3.469207e-04,3.445045e-04,3.414442e-04,3.360242e-04,3.337658e-04,3.306655e-04,3.253726e-04,3.232747e-04,3.201492e-04,3.149987e-04,3.130612e-04,3.099239e-04,3.049271e-04,3.031477e-04,3.000103e-04,2.951752e-04,2.935501e-04,2.904230e-04,2.857549e-04,2.842789e-04,2.811715e-04,2.766733e-04,2.753406e-04,2.722609e-04,2.679340e-04,2.667379e-04,2.636929e-04,2.595372e-04,2.584707e-04,2.554666e-04,2.514805e-04,2.505364e-04,2.475784e-04,2.437596e-04,2.429305e-04,2.400232e-04,2.363683e-04,2.356471e-04,2.327941e-04,2.292995e-04,2.286788e-04,2.258833e-04,2.225447e-04,2.220176e-04,2.192823e-04,2.160950e-04,2.156547e-04,2.129816e-04,2.099408e-04,2.095808e-04,2.069715e-04,2.040724e-04,2.037863e-04,2.012421e-04,1.984794e-04,1.982613e-04,1.957831e-04,1.931518e-04,1.929960e-04,1.905843e-04,1.880792e-04,1.879803e-04,1.856354e-04,1.832516e-04,1.832045e-04,1.809265e-04,1.786588e-04,1.743337e-04,1.702197e-04,1.663078e-04,1.625891e-04,1.590549e-04,1.556970e-04,1.525074e-04,1.494783e-04,1.466023e-04,1.438722e-04,1.412812e-04,1.388227e-04,1.364904e-04,1.342782e-04,1.321804e-04,1.301915e-04,1.283062e-04,1.265194e-04,1.248264e-04,1.232226e-04,1.217035e-04,1.202651e-04,1.189034e-04,1.176145e-04,1.163949e-04,1.152412e-04,1.141500e-04,1.131182e-04,1.121429e-04,1.112212e-04,1.103506e-04,1.095283e-04,1.087519e-04,1.080193e-04,1.073280e-04,1.066762e-04,1.060617e-04,1.054826e-04,1.049372e-04,1.044238e-04,1.039407e-04,1.034863e-04,1.030592e-04,1.026580e-04,1.022813e-04,1.019279e-04,1.015966e-04,1.012861e-04,1.009955e-04
0.000000e+00,7.664946e-11,7.412377e-09,7.938202e-09,1.339088e-07,9.653571e-07,1.036426e-06,4.849788e-06,1.478388e-05,1.573016e-05,3.867732e-05,7.326957e-05,7.690331e-05,1.298928e-04,1.869829e-04,1.936948e-04,2.627732e-04,3.237152e-04,3.318604e-04,3.969873e-04,4.479309e-04,4.557129e-04,5.068926e-04,5.438683e-04,5.503006e-04,5.862748e-04,6.106665e-04,6.154491e-04,6.385773e-04,6.532427e-04,6.564257e-04,6.697201e-04,6.773545e-04,6.791188e-04,6.852038e-04,6.879272e-04,6.884829e-04,6.893947e-04,6.887692e-04,6.883162e-04,6.855699e-04,6.827163e-04,6.814316e-04,6.761366e-04,6.718505e-04,6.698855e-04,6.628490e-04,6.576907e-04,6.551725e-04,6.469796e-04,6.413412e-04,6.383756e-04,6.294500e-04,6.236043e-04,6.202786e-04,6.109260e-04,6.050607e-04,6.014468e-04,5.918874e-04,5.861298e-04,5.822869e-04,5.726785e-04,5.671131e-04,5.630899e-04,5.535444e-04,5.482253e-04,5.440617e-04,5.346580e-04,5.296177e-04,5.253468e-04,5.161394e-04,5.113957e-04,5.070449e-04,4.980706e-04,4.936304e-04,4.892224e-04,4.805050e-04,4.763681e-04,4.719218e-04,4.634757e-04,4.596370e-04,4.551683e-04,4.470010e-04,4.434520e-04,4.389745e-04,4.310888e-04,4.278189e-04,4.233439e-04,4.157393e-04,4.127365e-04,4.082740e-04,4.009472e-04,3.981990e-04,3.937575e-04,3.867035e-04,3.841970e-04,3.797837e-04,3.729966e-04,3.707188e-04,3.663403e-04,3.598130e-04,3.577513e-04,3.534130e-04,3.471384e-04,3.452801e-04,3.409871e-04,3.349572e-04,3.332903e-04,3.290468e-04,3.232538e-04,3.217666e-04,3.175763e-04,3.120123e-04,3.106936e-04,3.065598e-04,3.012170e-04,3.000561e-04,2.959817e-04,2.908522e-04,2.898388e-04,2.858265e-04,2.809026e-04,2.800270e-04,2.760788e-04,2.713532e-04,2.706061e-04,2.667240e-04,2.621893e-04,2.615619e-04,2.577474e-04,2.533966e-04,2.528806e-04,2.491352e-04,2.449614e-04,2.445487e-04,2.408735e-04,2.368700e-04,2.365534e-04,2.329493e-04,2.291097e-04,2.288819e-04,2.253497e-04,2.216678e-04,2.215221e-04,2.180624e-04,2.145321e-04,2.144623e-04,2.110755e-04,2.076910e-04,2.011974e-04,1.949708e-04,1.890010e-04,1.832783e-04,1.777930e-04,1.725361e-04,1.674988e-04,1.626726e-04,1.580493e-04,1.536212e-04,1.493806e-04,1.453202e-04,1.414331e-04,1.377125e-04,1.341519e-04,1.307452e-04,1.274862e-04,1.243692e-04,1.213887e-04,1.185393e-04,1.158158e-04,1.132134e-04,1.107273e-04,1.083528e-04,1.060857e-04,1.039216e-04,1.018566e-04,9.988662e-05,9.800797e-05,9.621704e-05,9.451034e-05,9.288452e-05,9.133636e-05,8.986278e-05,8.846079e-05,8.712753e-05,8.586024e-05,8.465629e-05,8.351313e-05,8.242831e-05,8.139947e-05,8.042435e-05,7.950077e-05,7.862665e-05,7.779996e-05,7.701877e-05,7.628123e-05,7.558553e-05,7.492995e-05
0.000000e+00,2.134665e-09,2.728694e-08,2.846975e-08,1.736003e-07,6.029787e-07,6.294107e-07,1.502549e-06,2.541302e-06,2.609184e-06,3.712644e-06,4.648801e-06,4.726044e-06,5.635128e-06,6.366928e-06,6.443417e-06,7.158068e-06,7.715548e-06,7.786686e-06,8.336593e-06,8.751815e-06,8.814665e-06,9.227304e-06,9.527714e-06,9.580451e-06,9.879597e-06,1.008817e-05,1.012981e-05,1.033574e-05,1.047149e-05,1.050167e-05,1.063152e-05,1.071008e-05,1.072889e-05,1.079704e-05,1.083116e-05,1.083899e-05,1.085746e-05,1.085748e-05,1.085493e-05,1.083370e-05,1.080799e-05,1.079581e-05,1.074316e-05,1.069843e-05,1.067745e-05,1.060023e-05,1.054188e-05,1.051292e-05,1.041681e-05,1.034911e-05,1.031304e-05,1.020268e-05,1.012904e-05,1.008668e-05,9.965898e-06,9.888957e-06,9.841114e-06,9.713032e-06,9.634867e-06,9.582287e-06,9.449452e-06,9.371654e-06,9.315040e-06,9.179515e-06,9.103290e-06,9.043290e-06,8.906738e-06,8.832982e-06,8.770191e-06,8.633944e-06,8.563302e-06,8.498260e-06,8.363375e-06,8.296297e-06,8.229494e-06,8.096801e-06,8.033577e-06,7.965455e-06,7.835597e-06,7.776396e-06,7.707348e-06,7.580814e-06,7.525706e-06,7.456086e-06,7.333239e-06,7.282221e-06,7.212339e-06,7.093439e-06,7.046450e-06,6.976583e-06,6.861805e-06,6.818740e-06,6.749132e-06,6.638582e-06,6.599307e-06,6.530169e-06,6.423899e-06,6.388256e-06,6.319774e-06,6.217791e-06,6.185608e-06,6.117943e-06,6.020219e-06,5.991314e-06,5.924604e-06,5.831082e-06,5.805268e-06,5.739633e-06,5.650235e-06,5.627324e-06,5.562863e-06,5.477494e-06,5.457300e-06,5.394098e-06,5.312650e-06,5.294989e-06,5.233118e-06,5.155474e-06,5.140168e-06,5.079685e-06,5.005722e-06,4.992600e-06,4.933552e-06,4.863142e-06,4.852038e-06,4.794461e-06,4.727476e-06,4.718232e-06,4.662154e-06,4.598462e-06,4.590928e-06,4.536369e-06,4.475841e-06,4.469874e-06,4.416847e-06,4.359355e-06,4.354819e-06,4.303332e-06,4.248748e-06,4.245518e-06,4.195572e-06,4.143772e-06,4.141728e-06,4.093319e-06,4.044182e-06,4.043213e-06,3.996333e-06,3.949742e-06,3.861093e-06,3.777051e-06,3.697405e-06,3.621955e-06,3.550508e-06,3.482876e-06,3.418881e-06,3.358352e-06,3.301123e-06,3.247037e-06,3.195943e-06,3.147696e-06,3.102158e-06,3.059198e-06,3.018688e-06,2.980508e-06,2.944544e-06,2.910684e-06,2.878824e-06,2.848864e-06,2.820708e-06,2.794266e-06,2.769449e-06,2.746175e-06,2.724366e-06,2.703945e-06,2.684841e-06,2.666985e-06,2.650313e-06,2.634761e-06,2.620271e-06,2.606786e-06,2.594253e-06,2.582620e-06,2.571839e-06,2.561863e-06,2.552648e-06,2.544152e-06,2.536336e-06,2.529160e-06,2.522589e-06,2.516589e-06,2.511127e-06,2.506171e-06,2.501692e-06,2.497662e-06,2.494054e-06,2.490843e-06,2.488005e-06
0.000000e+00,4.420896e-09,1.037998e-07,1.090544e-07,7.242420e-07,1.913795e-06,1.968281e-06,3.321739e-06,4.521644e-06,4.595241e-06,5.768404e-06,6.760887e-06,6.843388e-06,7.825250e-06,8.633732e-06,8.719343e-06,9.530963e-06,1.018108e-05,1.026528e-05,1.092729e-05,1.144248e-05,1.152183e-05,1.205354e-05,1.245485e-05,1.252683e-05,1.294587e-05,1.325176e-05,1.331459e-05,1.363670e-05,1.386316e-05,1.391566e-05,1.415473e-05,1.431547e-05,1.435694e-05,1.452514e-05,1.463186e-05,1.466197e-05,1.476992e-05,1.483256e-05,1.485128e-05,1.490821e-05,1.493520e-05,1.494271e-05,1.495664e-05,1.495510e-05,1.495175e-05,1.492965e-05,1.490556e-05,1.489184e-05,1.483972e-05,1.479811e-05,1.477458e-05,1.469764e-05,1.464272e-05,1.461001e-05,1.451273e-05,1.444800e-05,1.440677e-05,1.429303e-05,1.422139e-05,1.417232e-05,1.404543e-05,1.396927e-05,1.391305e-05,1.377586e-05,1.369715e-05,1.363445e-05,1.348939e-05,1.340973e-05,1.334121e-05,1.319038e-05,1.311105e-05,1.303734e-05,1.288250e-05,1.280453e-05,1.272625e-05,1.256891e-05,1.249310e-05,1.241082e-05,1.225226e-05,1.217924e-05,1.209350e-05,1.193479e-05,1.186503e-05,1.177635e-05,1.161839e-05,1.155223e-05,1.146108e-05,1.130461e-05,1.124229e-05,1.114913e-05,1.099477e-05,1.093643e-05,1.084166e-05,1.068992e-05,1.063565e-05,1.053965e-05,1.039094e-05,1.034074e-05,1.024387e-05,1.009851e-05,1.005237e-05,9.954932e-06,9.813188e-06,9.771031e-06,9.673328e-06,9.535394e-06,9.497122e-06,9.399420e-06,9.265439e-06,9.230933e-06,9.133473e-06,9.003545e-06,8.972667e-06,8.875668e-06,8.749855e-06,8.722453e-06,8.626112e-06,8.504445e-06,8.480361e-06,8.384854e-06,8.267338e-06,8.246405e-06,8.151891e-06,8.038507e-06,8.020556e-06,7.927176e-06,7.817887e-06,7.802748e-06,7.710626e-06,7.605380e-06,7.592885e-06,7.502132e-06,7.400863e-06,7.390845e-06,7.301556e-06,7.204191e-06,7.196485e-06,7.108745e-06,7.015198e-06,7.009645e-06,6.923527e-06,6.833709e-06,6.830155e-06,6.745720e-06,6.659536e-06,6.657830e-06,6.575132e-06,6.492483e-06,6.333918e-06,6.181936e-06,6.036336e-06,5.896917e-06,5.763478e-06,5.635818e-06,5.513741e-06,5.397051e-06,5.285558e-06,5.179074e-06,5.077415e-06,4.980401e-06,4.887859e-06,4.799617e-06,4.715510e-06,4.635378e-06,4.559065e-06,4.486419e-06,4.417296e-06,4.351553e-06,4.289054e-06,4.229668e-06,4.173266e-06,4.119725e-06,4.068928e-06,4.020759e-06,3.975109e-06,3.931871e-06,3.890942e-06,3.852225e-06,3.815625e-06,3.781049e-06,3.748410e-06,3.717625e-06,3.688610e-06,3.661289e-06,3.635585e-06,3.611427e-06,3.588745e-06,3.567472e-06,3.547544e-06,3.528900e-06,3.511480e-06,3.495227e-06,3.480087e-06,3.466006e-06,3.452936e-06,3.440827e-06,3.429632e-06
0.000000e+00,1.738726e-11,1.880691e-09,2.016290e-09,3.528793e-08,2.719937e-07,2.932259e-07,1.572995e-06,5.708689e-06,6.148656e-06,1.875632e-05,4.384976e-05,4.688449e-05,9.978615e-05,1.761241e-04,1.865462e-04,3.141477e-04,4.632177e-04,4.862536e-04,7.028784e-04,9.223660e-04,9.607586e-04,1.254122e-03,1.522601e-03,1.575595e-03,1.917056e-03,2.206234e-03,2.270346e-03,2.627789e-03,2.912100e-03,2.982539e-03,3.328764e-03,3.589810e-03,3.661717e-03,3.977712e-03,4.204828e-03,4.274043e-03,4.548876e-03,4.737747e-03,4.801122e-03,5.030312e-03,5.181052e-03,5.236473e-03,5.420017e-03,5.535411e-03,5.581652e-03,5.722293e-03,5.806475e-03,5.843002e-03,5.944927e-03,6.002488e-03,6.029265e-03,6.097228e-03,6.132686e-03,6.150017e-03,6.188800e-03,6.206310e-03,6.214707e-03,6.228815e-03,6.232044e-03,6.232145e-03,6.225658e-03,6.217756e-03,6.210256e-03,6.186781e-03,6.170402e-03,6.156015e-03,6.118685e-03,6.096035e-03,6.075462e-03,6.026971e-03,5.999865e-03,5.973785e-03,5.916433e-03,5.886349e-03,5.855404e-03,5.791146e-03,5.759277e-03,5.724070e-03,5.654554e-03,5.621854e-03,5.582945e-03,5.509561e-03,5.476786e-03,5.434693e-03,5.358608e-03,5.326349e-03,5.281549e-03,5.203738e-03,5.172449e-03,5.125378e-03,5.046655e-03,5.016680e-03,4.967736e-03,4.888776e-03,4.860367e-03,4.809912e-03,4.731270e-03,4.704604e-03,4.652966e-03,4.575101e-03,4.550292e-03,4.497768e-03,4.421052e-03,4.398168e-03,4.345025e-03,4.269756e-03,4.248825e-03,4.195304e-03,4.121720e-03,4.102737e-03,4.049053e-03,3.977341e-03,3.960277e-03,3.906622e-03,3.836925e-03,3.821731e-03,3.768277e-03,3.700700e-03,3.687314e-03,3.634212e-03,3.568829e-03,3.557178e-03,3.504563e-03,3.441422e-03,3.431424e-03,3.379414e-03,3.318542e-03,3.310110e-03,3.258808e-03,3.200212e-03,3.193257e-03,3.142753e-03,3.086427e-03,3.080856e-03,3.031229e-03,2.977153e-03,2.972875e-03,2.924191e-03,2.872335e-03,2.869259e-03,2.821576e-03,2.771903e-03,2.769939e-03,2.723305e-03,2.675770e-03,2.674830e-03,2.629286e-03,2.583841e-03,2.496867e-03,2.413802e-03,2.334532e-03,2.258943e-03,2.186915e-03,2.118331e-03,2.053072e-03,1.991021e-03,1.932061e-03,1.876076e-03,1.822953e-03,1.772581e-03,1.724853e-03,1.679661e-03,1.636904e-03,1.596482e-03,1.558298e-03,1.522257e-03,1.488270e-03,1.456248e-03,1.426106e-03,1.397763e-03,1.371139e-03,1.346159e-03,1.322748e-03,1.300838e-03,1.280358e-03,1.261245e-03,1.243435e-03,1.226867e-03,1.211484e-03,1.197230e-03,1.184051e-03,1.171894e-03,1.160712e-03,1.150456e-03,1.141080e-03,1.132541e-03,1.124797e-03,1.117806e-03,1.111531e-03,1.105935e-03,1.100980e-03,1.096634e-03,1.092864e-03,1.089637e-03,1.086924e-03,1.084696e-03,1.082925e-03
0.000000e+00,6.050616e-09,1.341482e-07,1.408113e-07,1.061370e-06,4.111383e-06,4.306584e-06,1.104455e-05,1.949952e-05,2.005735e-05,2.903446e-05,3.637205e-05,3.696236e-05,4.371302e-05,4.885808e-05,4.937956e-05,5.408883e-05,5.753759e-05,5.796193e-05,6.110746e-05,6.330416e-05,6.362133e-05,6.558785e-05,6.687117e-05,6.708105e-05,6.816587e-05,6.879082e-05,6.889919e-05,6.933075e-05,6.948813e-05,6.950401e-05,6.945687e-05,6.928850e-05,6.922235e-05,6.882917e-05,6.843971e-05,6.830227e-05,6.766331e-05,6.712948e-05,6.693108e-05,6.612183e-05,6.549947e-05,6.524965e-05,6.432671e-05,6.365613e-05,6.336351e-05,6.236909e-05,6.167907e-05,6.135124e-05,6.031664e-05,5.962746e-05,5.927105e-05,5.821941e-05,5.754517e-05,5.716595e-05,5.611425e-05,5.546443e-05,5.506735e-05,5.402784e-05,5.340861e-05,5.299791e-05,5.197936e-05,5.139444e-05,5.097373e-05,4.998225e-05,4.943360e-05,4.900596e-05,4.804567e-05,4.753402e-05,4.710206e-05,4.617562e-05,4.570080e-05,4.526676e-05,4.437572e-05,4.393695e-05,4.350268e-05,4.264771e-05,4.224376e-05,4.181085e-05,4.099206e-05,4.062146e-05,4.019125e-05,3.940829e-05,3.906940e-05,3.864302e-05,3.789525e-05,3.758635e-05,3.716475e-05,3.645130e-05,3.617064e-05,3.575464e-05,3.507451e-05,3.482033e-05,3.441062e-05,3.376269e-05,3.353329e-05,3.313043e-05,3.251354e-05,3.230724e-05,3.191172e-05,3.132466e-05,3.113988e-05,3.075208e-05,3.019367e-05,3.002886e-05,2.964912e-05,2.911814e-05,2.897186e-05,2.860044e-05,2.809572e-05,2.796658e-05,2.760369e-05,2.712407e-05,2.701077e-05,2.665657e-05,2.620093e-05,2.610225e-05,2.575686e-05,2.532410e-05,2.523888e-05,2.490238e-05,2.449146e-05,2.441862e-05,2.409107e-05,2.370096e-05,2.363948e-05,2.332090e-05,2.295065e-05,2.289958e-05,2.258996e-05,2.223862e-05,2.219708e-05,2.189640e-05,2.156307e-05,2.153022e-05,2.123843e-05,2.092227e-05,2.089733e-05,2.061437e-05,2.031455e-05,2.029681e-05,2.002260e-05,1.973833e-05,1.972712e-05,1.946156e-05,1.919210e-05,1.918678e-05,1.892977e-05,1.867441e-05,1.818865e-05,1.772822e-05,1.729191e-05,1.687856e-05,1.648705e-05,1.611631e-05,1.576535e-05,1.543319e-05,1.511893e-05,1.482167e-05,1.454060e-05,1.427490e-05,1.402383e-05,1.378667e-05,1.356272e-05,1.335133e-05,1.315187e-05,1.296375e-05,1.278641e-05,1.261930e-05,1.246191e-05,1.231375e-05,1.217435e-05,1.204328e-05,1.192010e-05,1.180441e-05,1.169584e-05,1.159402e-05,1.149860e-05,1.140925e-05,1.132566e-05,1.124752e-05,1.117455e-05,1.110649e-05,1.104307e-05,1.098405e-05,1.092919e-05,1.087828e-05,1.083110e-05,1.078746e-05,1.074715e-05,1.071001e-05,1.067585e-05,1.064452e-05,1.061585e-05,1.058970e-05,1.056593e-05,1.054441e-05,1.052500e-05
0.000000e+00,5.258639e-11,5.470273e-09,5.863452e-09,1.029762e-07,7.908539e-07,8.519447e-07,4.405053e-06,1.502861e-05,1.611189e-05,4.508707e-05,9.638434e-05,1.022276e-04,1.963605e-04,3.158135e-04,3.310883e-04,5.040217e-04,6.822457e-04,7.080660e-04,9.335530e-04,1.136801e-03,1.170247e-03,1.408768e-03,1.604815e-03,1.641369e-03,1.862205e-03,2.031642e-03,2.067259e-03,2.254094e-03,2.389618e-03,2.421532e-03,2.569340e-03,2.671267e-03,2.697954e-03,2.808254e-03,2.880532e-03,2.901385e-03,2.978639e-03,3.026372e-03,3.041354e-03,3.090866e-03,3.119061e-03,3.128456e-03,3.155339e-03,3.168396e-03,3.172647e-03,3.181423e-03,3.183007e-03,3.182621e-03,3.177113e-03,3.170189e-03,3.165685e-03,3.149053e-03,3.135978e-03,3.127860e-03,3.102686e-03,3.085311e-03,3.074053e-03,3.042431e-03,3.022199e-03,3.008240e-03,2.971858e-03,2.949888e-03,2.933624e-03,2.893842e-03,2.870991e-03,2.852784e-03,2.810691e-03,2.787609e-03,2.767782e-03,2.724249e-03,2.701424e-03,2.680265e-03,2.635983e-03,2.613773e-03,2.591539e-03,2.547054e-03,2.525719e-03,2.502635e-03,2.458376e-03,2.438093e-03,2.414359e-03,2.370658e-03,2.351546e-03,2.327336e-03,2.284450e-03,2.266579e-03,2.242046e-03,2.200167e-03,2.183571e-03,2.158849e-03,2.118122e-03,2.102806e-03,2.078011e-03,2.038538e-03,2.024488e-03,1.999721e-03,1.961573e-03,1.948757e-03,1.924105e-03,1.887327e-03,1.875704e-03,1.851243e-03,1.815857e-03,1.805378e-03,1.781172e-03,1.747187e-03,1.737797e-03,1.713901e-03,1.681312e-03,1.672952e-03,1.649414e-03,1.618204e-03,1.610815e-03,1.587675e-03,1.557821e-03,1.551343e-03,1.528635e-03,1.500108e-03,1.494481e-03,1.472231e-03,1.444997e-03,1.440163e-03,1.418396e-03,1.392418e-03,1.388319e-03,1.367054e-03,1.342292e-03,1.338873e-03,1.318124e-03,1.294539e-03,1.291748e-03,1.271526e-03,1.249076e-03,1.246861e-03,1.227177e-03,1.205819e-03,1.204134e-03,1.184993e-03,1.164686e-03,1.163484e-03,1.144890e-03,1.125593e-03,1.124831e-03,1.106786e-03,1.088458e-03,1.088096e-03,1.070600e-03,1.053201e-03,1.020069e-03,9.886272e-04,9.588026e-04,9.305258e-04,9.037292e-04,8.783477e-04,8.543184e-04,8.315808e-04,8.100766e-04,7.897499e-04,7.705471e-04,7.524163e-04,7.353082e-04,7.191753e-04,7.039720e-04,6.896549e-04,6.761820e-04,6.635135e-04,6.516110e-04,6.404379e-04,6.299590e-04,6.201410e-04,6.109515e-04,6.023599e-04,5.943369e-04,5.868543e-04,5.798852e-04,5.734040e-04,5.673860e-04,5.618079e-04,5.566470e-04,5.518820e-04,5.474924e-04,5.434584e-04,5.397616e-04,5.363838e-04,5.333080e-04,5.305179e-04,5.279979e-04,5.257331e-04,5.237092e-04,5.219127e-04,5.203307e-04,5.189506e-04,5.177608e-04,5.167500e-04,5.159074e-04,5.152228e-04,5.146865e-04
0.000000e+00,3.444387e-09,7.537895e-08,7.919620e-08,5.606580e-07,1.696349e-06,1.753680e-06,3.258248e-06,4.674005e-06,4.762772e-06,6.207387e-06,7.475826e-06,7.583354e-06,8.890370e-06,1.000878e-05,1.012971e-05,1.130301e-05,1.228225e-05,1.241199e-05,1.345850e-05,1.431001e-05,1.444447e-05,1.537190e-05,1.610720e-05,1.624285e-05,1.705941e-05,1.768989e-05,1.782369e-05,1.853777e-05,1.907427e-05,1.920370e-05,1.982350e-05,2.027618e-05,2.039913e-05,2.093250e-05,2.131075e-05,2.142547e-05,2.187984e-05,2.219223e-05,2.229733e-05,2.267963e-05,2.293401e-05,2.302836e-05,2.334507e-05,2.354853e-05,2.363128e-05,2.388842e-05,2.404739e-05,2.411789e-05,2.432103e-05,2.444130e-05,2.449912e-05,2.465341e-05,2.474022e-05,2.478509e-05,2.489529e-05,2.495331e-05,2.498511e-05,2.505560e-05,2.508905e-05,2.510778e-05,2.514262e-05,2.515524e-05,2.516103e-05,2.516392e-05,2.515908e-05,2.515214e-05,2.512650e-05,2.510717e-05,2.508779e-05,2.503676e-05,2.500559e-05,2.497413e-05,2.490058e-05,2.485992e-05,2.481678e-05,2.472336e-05,2.467527e-05,2.462091e-05,2.451002e-05,2.445633e-05,2.439123e-05,2.426508e-05,2.420737e-05,2.413207e-05,2.399267e-05,2.393233e-05,2.384735e-05,2.369654e-05,2.363477e-05,2.354066e-05,2.338012e-05,2.331797e-05,2.321529e-05,2.304654e-05,2.298490e-05,2.287421e-05,2.269864e-05,2.263826e-05,2.252013e-05,2.233899e-05,2.228051e-05,2.215549e-05,2.196992e-05,2.191388e-05,2.178253e-05,2.159356e-05,2.154040e-05,2.140324e-05,2.121181e-05,2.116188e-05,2.101946e-05,2.082639e-05,2.077997e-05,2.063280e-05,2.043886e-05,2.039616e-05,2.024474e-05,2.005060e-05,2.001179e-05,1.985660e-05,1.966287e-05,1.962804e-05,1.946955e-05,1.927677e-05,1.924598e-05,1.908464e-05,1.889328e-05,1.886656e-05,1.870280e-05,1.851330e-05,1.849063e-05,1.832486e-05,1.813758e-05,1.811892e-05,1.795155e-05,1.776682e-05,1.775211e-05,1.758349e-05,1.740161e-05,1.739075e-05,1.722125e-05,1.704246e-05,1.703534e-05,1.686530e-05,1.668982e-05,1.668633e-05,1.651606e-05,1.634407e-05,1.600888e-05,1.568101e-05,1.536067e-05,1.504804e-05,1.474324e-05,1.444636e-05,1.415748e-05,1.387663e-05,1.360383e-05,1.333904e-05,1.308225e-05,1.283340e-05,1.259242e-05,1.235924e-05,1.213374e-05,1.191583e-05,1.170540e-05,1.150231e-05,1.130643e-05,1.111763e-05,1.093577e-05,1.076069e-05,1.059225e-05,1.043029e-05,1.027465e-05,1.012519e-05,9.981738e-06,9.844140e-06,9.712237e-06,9.585871e-06,9.464886e-06,9.349126e-06,9.238436e-06,9.132664e-06,9.031658e-06,8.935269e-06,8.843351e-06,8.755760e-06,8.672353e-06,8.592991e-06,8.517537e-06,8.445857e-06,8.377821e-06,8.313299e-06,8.252167e-06,8.194302e-06,8.139583e-06,8.087895e-06,8.039124e-06
0.000000e+00,2.065854e-09,1.352954e-07,1.442845e-07,1.943957e-06,9.873897e-06,1.041166e-05,2.891132e-05,5.106638e-05,5.250644e-05,7.576867e-05,9.528042e-05,9.688155e-05,1.156323e-04,1.306085e-04,1.321680e-04,1.466857e-04,1.579438e-04,1.593761e-04,1.704152e-04,1.787114e-04,1.799642e-04,1.881703e-04,1.941246e-04,1.951682e-04,2.010806e-04,2.051972e-04,2.060188e-04,2.100843e-04,2.127702e-04,2.133687e-04,2.159551e-04,2.175364e-04,2.179184e-04,2.193262e-04,2.200623e-04,2.202394e-04,2.207131e-04,2.208098e-04,2.207966e-04,2.205346e-04,2.201546e-04,2.199670e-04,2.191299e-04,2.184011e-04,2.180558e-04,2.167736e-04,2.157964e-04,2.153096e-04,2.136872e-04,2.125399e-04,2.119274e-04,2.100490e-04,2.087926e-04,2.080692e-04,2.060029e-04,2.046844e-04,2.038637e-04,2.016638e-04,2.003193e-04,1.994141e-04,1.971242e-04,1.957811e-04,1.948028e-04,1.924576e-04,1.911365e-04,1.900955e-04,1.877226e-04,1.864387e-04,1.853444e-04,1.829656e-04,1.817299e-04,1.805906e-04,1.782230e-04,1.770431e-04,1.758663e-04,1.735234e-04,1.724045e-04,1.711968e-04,1.688888e-04,1.678340e-04,1.666014e-04,1.643363e-04,1.633471e-04,1.620949e-04,1.598785e-04,1.589554e-04,1.576882e-04,1.555249e-04,1.546673e-04,1.533894e-04,1.512822e-04,1.504890e-04,1.492039e-04,1.471548e-04,1.464244e-04,1.451354e-04,1.431458e-04,1.424761e-04,1.411861e-04,1.392564e-04,1.386452e-04,1.373568e-04,1.354871e-04,1.349321e-04,1.336474e-04,1.318375e-04,1.313360e-04,1.300572e-04,1.283063e-04,1.278559e-04,1.265847e-04,1.248920e-04,1.244901e-04,1.232280e-04,1.215925e-04,1.212365e-04,1.199851e-04,1.184054e-04,1.180928e-04,1.168532e-04,1.153282e-04,1.150565e-04,1.138299e-04,1.123581e-04,1.121251e-04,1.109124e-04,1.094924e-04,1.092956e-04,1.080977e-04,1.067281e-04,1.065654e-04,1.053830e-04,1.040622e-04,1.039315e-04,1.027653e-04,1.014920e-04,1.013911e-04,1.002418e-04,9.901432e-05,9.894139e-05,9.780932e-05,9.662639e-05,9.657953e-05,9.546518e-05,9.432533e-05,9.430275e-05,9.320649e-05,9.210832e-05,8.999357e-05,8.795589e-05,8.599272e-05,8.410158e-05,8.228005e-05,8.052577e-05,7.883646e-05,7.720991e-05,7.564396e-05,7.413653e-05,7.268560e-05,7.128922e-05,6.994550e-05,6.865260e-05,6.740876e-05,6.621226e-05,6.506144e-05,6.395471e-05,6.289051e-05,6.186736e-05,6.088379e-05,5.993843e-05,5.902991e-05,5.815693e-05,5.731824e-05,5.651261e-05,5.573887e-05,5.499588e-05,5.428254e-05,5.359781e-05,5.294064e-05,5.231006e-05,5.170512e-05,5.112488e-05,5.056847e-05,5.003501e-05,4.952368e-05,4.903369e-05,4.856425e-05,4.811462e-05,4.768408e-05,4.727192e-05,4.687749e-05,4.650013e-05,4.613921e-05,4.579413e-05,4.546431e-05,4.514918e-05,4.484821e-05
0.000000e+00,1.906221e-11,2.389243e-09,2.570098e-09,5.235371e-08,4.394394e-07,4.747444e-07,2.606179e-06,9.328929e-06,1.003240e-05,2.967630e-05,6.740909e-05,7.191156e-05,1.495810e-04,2.611497e-04,2.764320e-04,4.655187e-04,6.922423e-04,7.278981e-04,1.071749e-03,1.436408e-03,1.501917e-03,2.019822e-03,2.521423e-03,2.623647e-03,3.308720e-03,3.926231e-03,4.068001e-03,4.892628e-03,5.592590e-03,5.772454e-03,6.696557e-03,7.440862e-03,7.653692e-03,8.632671e-03,9.384632e-03,9.622684e-03,1.061354e-02,1.134176e-02,1.159585e-02,1.256113e-02,1.324134e-02,1.350189e-02,1.441165e-02,1.502708e-02,1.528495e-02,1.611730e-02,1.665805e-02,1.690513e-02,1.764574e-02,1.810771e-02,1.833721e-02,1.897834e-02,1.936195e-02,1.956853e-02,2.010775e-02,2.041664e-02,2.059643e-02,2.103539e-02,2.127539e-02,2.142582e-02,2.176912e-02,2.194729e-02,2.206696e-02,2.232114e-02,2.244512e-02,2.253359e-02,2.270634e-02,2.278384e-02,2.284145e-02,2.294100e-02,2.297942e-02,2.300710e-02,2.304181e-02,2.304802e-02,2.304715e-02,2.302512e-02,2.300538e-02,2.297763e-02,2.290654e-02,2.286641e-02,2.281363e-02,2.270063e-02,2.264496e-02,2.256915e-02,2.242075e-02,2.235373e-02,2.225690e-02,2.207901e-02,2.200421e-02,2.188837e-02,2.168623e-02,2.160665e-02,2.147376e-02,2.125206e-02,2.117018e-02,2.102214e-02,2.078498e-02,2.070286e-02,2.054147e-02,2.029246e-02,2.021174e-02,2.003872e-02,1.978099e-02,1.970300e-02,1.951995e-02,1.925624e-02,1.918200e-02,1.899043e-02,1.872308e-02,1.865338e-02,1.845470e-02,1.818574e-02,1.812115e-02,1.791665e-02,1.764782e-02,1.758875e-02,1.737963e-02,1.711241e-02,1.705911e-02,1.684647e-02,1.658212e-02,1.653472e-02,1.631959e-02,1.605915e-02,1.601768e-02,1.580100e-02,1.554535e-02,1.550977e-02,1.529238e-02,1.504226e-02,1.501244e-02,1.479512e-02,1.455112e-02,1.452689e-02,1.431036e-02,1.407295e-02,1.405411e-02,1.383899e-02,1.360856e-02,1.359485e-02,1.338173e-02,1.315856e-02,1.314971e-02,1.293911e-02,1.272342e-02,1.271914e-02,1.251152e-02,1.230346e-02,1.190284e-02,1.151741e-02,1.114715e-02,1.079203e-02,1.045190e-02,1.012659e-02,9.815892e-03,9.519533e-03,9.237227e-03,8.968658e-03,8.713493e-03,8.471380e-03,8.241957e-03,8.024854e-03,7.819691e-03,7.626087e-03,7.443659e-03,7.272023e-03,7.110801e-03,6.959615e-03,6.818093e-03,6.685868e-03,6.562578e-03,6.447868e-03,6.341389e-03,6.242800e-03,6.151766e-03,6.067962e-03,5.991070e-03,5.920782e-03,5.856794e-03,5.798816e-03,5.746559e-03,5.699747e-03,5.658108e-03,5.621381e-03,5.589311e-03,5.561650e-03,5.538159e-03,5.518605e-03,5.502764e-03,5.490418e-03,5.481354e-03,5.475369e-03,5.472265e-03,5.471851e-03,5.473941e-03,5.478358e-03,5.484930e-03
0.000000e+00,2.525325e-09,3.382019e-08,3.531461e-08,2.214656e-07,7.806076e-07,8.152007e-07,1.959217e-06,3.325454e-06,3.415639e-06,4.911607e-06,6.239694e-06,6.352226e-06,7.716188e-06,8.875420e-06,9.000248e-06,1.020550e-05,1.120268e-05,1.133416e-05,1.238884e-05,1.323878e-05,1.337228e-05,1.428730e-05,1.500513e-05,1.513676e-05,1.592352e-05,1.652388e-05,1.665043e-05,1.732029e-05,1.781695e-05,1.793585e-05,1.849976e-05,1.890543e-05,1.901461e-05,1.948290e-05,1.980914e-05,1.990703e-05,2.028930e-05,2.054655e-05,2.063195e-05,2.093709e-05,2.113472e-05,2.120677e-05,2.144292e-05,2.158928e-05,2.164742e-05,2.182204e-05,2.192460e-05,2.196850e-05,2.208843e-05,2.215380e-05,2.218337e-05,2.225482e-05,2.228889e-05,2.230421e-05,2.233289e-05,2.234083e-05,2.234214e-05,2.233319e-05,2.231958e-05,2.230722e-05,2.226532e-05,2.223414e-05,2.220855e-05,2.213793e-05,2.209269e-05,2.205442e-05,2.195894e-05,2.190270e-05,2.185234e-05,2.173545e-05,2.167086e-05,2.160904e-05,2.147387e-05,2.140321e-05,2.133063e-05,2.117999e-05,2.110525e-05,2.102260e-05,2.085904e-05,2.078188e-05,2.068988e-05,2.051565e-05,2.043752e-05,2.033688e-05,2.015403e-05,2.007613e-05,1.996756e-05,1.977791e-05,1.970126e-05,1.958549e-05,1.939067e-05,1.931608e-05,1.919381e-05,1.899527e-05,1.892344e-05,1.879536e-05,1.859438e-05,1.852585e-05,1.839261e-05,1.819034e-05,1.812554e-05,1.798780e-05,1.778524e-05,1.772450e-05,1.758287e-05,1.738090e-05,1.732445e-05,1.717953e-05,1.697894e-05,1.692694e-05,1.677930e-05,1.658076e-05,1.653329e-05,1.638346e-05,1.618756e-05,1.614466e-05,1.599316e-05,1.580040e-05,1.576205e-05,1.560937e-05,1.542017e-05,1.538632e-05,1.523290e-05,1.504765e-05,1.501820e-05,1.486448e-05,1.468347e-05,1.465830e-05,1.450467e-05,1.432816e-05,1.430713e-05,1.415398e-05,1.398216e-05,1.396512e-05,1.381277e-05,1.364582e-05,1.363257e-05,1.348136e-05,1.331940e-05,1.330976e-05,1.315998e-05,1.300310e-05,1.299688e-05,1.284879e-05,1.269705e-05,1.269404e-05,1.254789e-05,1.240133e-05,1.211877e-05,1.184635e-05,1.158402e-05,1.133169e-05,1.108927e-05,1.085660e-05,1.063354e-05,1.041991e-05,1.021552e-05,1.002017e-05,9.833652e-06,9.655737e-06,9.486198e-06,9.324802e-06,9.171310e-06,9.025483e-06,8.887078e-06,8.755854e-06,8.631569e-06,8.513982e-06,8.402854e-06,8.297949e-06,8.199033e-06,8.105877e-06,8.018254e-06,7.935943e-06,7.858727e-06,7.786392e-06,7.718730e-06,7.655540e-06,7.596624e-06,7.541788e-06,7.490847e-06,7.443619e-06,7.399928e-06,7.359603e-06,7.322479e-06,7.288396e-06,7.257199e-06,7.228740e-06,7.202873e-06,7.179461e-06,7.158369e-06,7.139469e-06,7.122637e-06,7.107754e-06,7.094704e-06,7.083379e-06,7.073674e-06
0.000000e+00,8.666100e-10,6.788358e-08,7.238734e-08,1.007152e-06,6.352878e-06,6.788899e-06,2.866109e-05,7.996533e-05,8.459532e-05,1.883079e-04,3.248605e-04,3.382699e-04,5.204414e-04,6.982077e-04,7.182971e-04,9.191882e-04,1.092320e-03,1.115477e-03,1.303275e-03,1.456689e-03,1.480921e-03,1.647887e-03,1.779890e-03,1.804191e-03,1.950085e-03,2.062200e-03,2.085927e-03,2.212114e-03,2.306388e-03,2.329056e-03,2.437165e-03,2.515619e-03,2.536846e-03,2.628498e-03,2.693023e-03,2.712509e-03,2.789255e-03,2.841584e-03,2.859099e-03,2.922390e-03,2.964092e-03,2.979466e-03,3.030650e-03,3.063140e-03,3.076252e-03,3.116572e-03,3.141117e-03,3.151893e-03,3.182489e-03,3.200221e-03,3.208621e-03,3.230538e-03,3.242464e-03,3.248480e-03,3.262675e-03,3.269690e-03,3.273340e-03,3.280684e-03,3.283578e-03,3.284904e-03,3.286191e-03,3.285665e-03,3.284725e-03,3.280677e-03,3.277345e-03,3.274213e-03,3.265488e-03,3.259890e-03,3.254652e-03,3.241845e-03,3.234452e-03,3.227204e-03,3.210855e-03,3.202079e-03,3.192922e-03,3.173520e-03,3.163719e-03,3.152760e-03,3.130747e-03,3.120227e-03,3.107579e-03,3.083352e-03,3.072380e-03,3.058155e-03,3.032074e-03,3.020875e-03,3.005188e-03,2.977575e-03,2.966342e-03,2.949306e-03,2.920451e-03,2.909346e-03,2.891075e-03,2.861238e-03,2.850395e-03,2.830999e-03,2.800413e-03,2.789944e-03,2.769531e-03,2.738403e-03,2.728397e-03,2.707074e-03,2.675589e-03,2.666118e-03,2.643987e-03,2.612308e-03,2.603429e-03,2.580588e-03,2.548861e-03,2.540615e-03,2.517159e-03,2.485511e-03,2.477927e-03,2.453947e-03,2.422492e-03,2.415589e-03,2.391171e-03,2.360007e-03,2.353795e-03,2.329022e-03,2.298235e-03,2.292716e-03,2.267665e-03,2.237329e-03,2.232498e-03,2.207243e-03,2.177422e-03,2.173269e-03,2.147880e-03,2.118629e-03,2.115139e-03,2.089680e-03,2.061045e-03,2.058199e-03,2.032732e-03,2.004751e-03,2.002527e-03,1.977110e-03,1.949815e-03,1.948188e-03,1.922873e-03,1.896290e-03,1.895234e-03,1.870070e-03,1.844219e-03,1.843705e-03,1.818739e-03,1.793635e-03,1.745046e-03,1.697953e-03,1.652366e-03,1.608287e-03,1.565714e-03,1.524638e-03,1.485049e-03,1.446932e-03,1.410267e-03,1.375034e-03,1.341211e-03,1.308771e-03,1.277687e-03,1.247932e-03,1.219475e-03,1.192287e-03,1.166336e-03,1.141591e-03,1.118019e-03,1.095589e-03,1.074267e-03,1.054021e-03,1.034820e-03,1.016630e-03,9.994206e-04,9.831591e-04,9.678144e-04,9.533558e-04,9.397527e-04,9.269752e-04,9.149938e-04,9.037796e-04,8.933041e-04,8.835395e-04,8.744587e-04,8.660348e-04,8.582419e-04,8.510543e-04,8.444473e-04,8.383964e-04,8.328780e-04,8.278690e-04,8.233469e-04,8.192896e-04,8.156758e-04,8.124848e-04,8.096963e-04,8.072906e-04,8.052486e-04
0.000000e+00,4.425361e-09,1.298908e-07,1.365902e-07,1.153223e-06,5.410333e-06,5.718598e-06,1.841273e-05,3.900853e-05,4.052054e-05,6.691825e-05,9.085096e-05,9.285658e-05,1.166536e-04,1.359737e-04,1.379988e-04,1.569631e-04,1.718112e-04,1.737097e-04,1.884169e-04,1.995663e-04,2.012579e-04,2.123946e-04,2.205431e-04,2.219779e-04,2.301472e-04,2.358818e-04,2.370317e-04,2.427509e-04,2.465616e-04,2.474150e-04,2.511256e-04,2.534184e-04,2.539762e-04,2.560526e-04,2.571616e-04,2.574335e-04,2.581910e-04,2.583890e-04,2.583907e-04,2.580927e-04,2.576009e-04,2.573517e-04,2.562175e-04,2.552140e-04,2.547353e-04,2.529463e-04,2.515737e-04,2.508878e-04,2.485935e-04,2.469655e-04,2.460947e-04,2.434190e-04,2.416255e-04,2.405917e-04,2.376354e-04,2.357468e-04,2.345707e-04,2.314164e-04,2.294877e-04,2.281889e-04,2.249033e-04,2.229765e-04,2.215732e-04,2.182106e-04,2.163175e-04,2.148265e-04,2.114307e-04,2.095951e-04,2.080317e-04,2.046375e-04,2.028766e-04,2.012548e-04,1.978898e-04,1.962157e-04,1.945480e-04,1.912341e-04,1.896546e-04,1.879523e-04,1.847062e-04,1.832260e-04,1.814992e-04,1.783339e-04,1.769550e-04,1.752128e-04,1.721377e-04,1.708604e-04,1.691106e-04,1.661327e-04,1.649557e-04,1.632053e-04,1.603293e-04,1.592500e-04,1.575053e-04,1.547340e-04,1.537492e-04,1.520156e-04,1.493504e-04,1.484564e-04,1.467385e-04,1.441798e-04,1.433722e-04,1.416741e-04,1.392213e-04,1.384957e-04,1.368209e-04,1.344726e-04,1.338243e-04,1.321759e-04,1.299303e-04,1.293547e-04,1.277351e-04,1.255898e-04,1.250823e-04,1.234937e-04,1.214461e-04,1.210021e-04,1.194463e-04,1.174936e-04,1.171086e-04,1.155871e-04,1.137261e-04,1.133958e-04,1.119098e-04,1.101374e-04,1.098578e-04,1.084081e-04,1.067211e-04,1.064883e-04,1.050756e-04,1.034708e-04,1.032809e-04,1.019058e-04,1.003799e-04,1.002295e-04,9.889232e-05,9.744217e-05,9.732775e-05,9.602870e-05,9.465113e-05,9.456960e-05,9.330869e-05,9.200062e-05,9.194900e-05,9.072616e-05,8.948457e-05,8.946007e-05,8.827513e-05,8.709709e-05,8.485451e-05,8.272695e-05,8.070922e-05,7.879633e-05,7.698344e-05,7.526592e-05,7.363933e-05,7.209940e-05,7.064203e-05,6.926331e-05,6.795948e-05,6.672695e-05,6.556230e-05,6.446224e-05,6.342364e-05,6.244350e-05,6.151897e-05,6.064733e-05,5.982596e-05,5.905239e-05,5.832425e-05,5.763927e-05,5.699531e-05,5.639030e-05,5.582230e-05,5.528943e-05,5.478991e-05,5.432205e-05,5.388423e-05,5.347492e-05,5.309264e-05,5.273599e-05,5.240366e-05,5.209436e-05,5.180689e-05,5.154011e-05,5.129290e-05,5.106424e-05,5.085312e-05,5.065861e-05,5.047980e-05,5.031583e-05,5.016589e-05,5.002921e-05,4.990504e-05,4.979268e-05,4.969147e-05,4.960077e-05,4.951997e-05
0.000000e+00,1.965291e-09,2.562891e-08,2.673376e-08,1.581885e-07,5.311855e-07,5.538873e-07,1.305844e-06,2.218402e-06,2.278444e-06,3.250013e-06,4.056028e-06,4.121442e-06,4.876364e-06,5.461416e-06,5.521260e-06,6.067097e-06,6.474327e-06,6.524976e-06,6.905106e-06,7.176880e-06,7.216694e-06,7.467991e-06,7.637896e-06,7.666356e-06,7.818344e-06,7.912477e-06,7.929784e-06,8.005857e-06,8.044355e-06,8.051155e-06,8.069749e-06,8.068045e-06,8.065238e-06,8.040803e-06,8.010647e-06,7.999251e-06,7.943056e-06,7.893336e-06,7.874397e-06,7.795191e-06,7.732587e-06,7.707124e-06,7.611674e-06,7.541168e-06,7.510139e-06,7.403656e-06,7.328934e-06,7.293219e-06,7.179697e-06,7.103456e-06,7.063849e-06,6.946335e-06,6.870521e-06,6.827731e-06,6.708534e-06,6.634526e-06,6.589176e-06,6.470030e-06,6.398779e-06,6.351416e-06,6.233609e-06,6.165745e-06,6.116845e-06,6.001322e-06,5.937236e-06,5.887210e-06,5.774648e-06,5.714553e-06,5.663756e-06,5.554629e-06,5.498606e-06,5.447344e-06,5.341965e-06,5.290005e-06,5.238539e-06,5.137103e-06,5.089128e-06,5.037682e-06,4.940291e-06,4.896175e-06,4.844938e-06,4.751625e-06,4.711213e-06,4.660347e-06,4.571093e-06,4.534206e-06,4.483848e-06,4.398596e-06,4.365048e-06,4.315313e-06,4.233977e-06,4.203573e-06,4.154559e-06,4.077033e-06,4.049581e-06,4.001368e-06,3.927532e-06,3.902840e-06,3.855495e-06,3.785223e-06,3.763103e-06,3.716682e-06,3.649839e-06,3.630112e-06,3.584659e-06,3.521109e-06,3.503602e-06,3.459154e-06,3.398760e-06,3.383309e-06,3.339893e-06,3.282520e-06,3.268969e-06,3.226607e-06,3.172121e-06,3.160322e-06,3.119029e-06,3.067300e-06,3.057115e-06,3.016902e-06,2.967802e-06,2.959100e-06,2.919972e-06,2.873380e-06,2.866039e-06,2.827998e-06,2.783795e-06,2.777699e-06,2.740744e-06,2.698816e-06,2.693859e-06,2.657985e-06,2.618223e-06,2.614304e-06,2.579504e-06,2.541803e-06,2.538830e-06,2.505095e-06,2.469354e-06,2.467240e-06,2.434558e-06,2.400682e-06,2.399346e-06,2.367704e-06,2.335601e-06,2.334968e-06,2.304352e-06,2.273935e-06,2.216083e-06,2.161255e-06,2.109303e-06,2.060085e-06,2.013466e-06,1.969316e-06,1.927514e-06,1.887942e-06,1.850490e-06,1.815052e-06,1.781527e-06,1.749820e-06,1.719840e-06,1.691499e-06,1.664716e-06,1.639412e-06,1.615513e-06,1.592948e-06,1.571650e-06,1.551555e-06,1.532600e-06,1.514730e-06,1.497889e-06,1.482023e-06,1.467084e-06,1.453025e-06,1.439800e-06,1.427366e-06,1.415683e-06,1.404712e-06,1.394417e-06,1.384762e-06,1.375714e-06,1.367242e-06,1.359316e-06,1.351907e-06,1.344989e-06,1.338535e-06,1.332521e-06,1.326923e-06,1.321720e-06,1.316891e-06,1.312416e-06,1.308275e-06,1.304451e-06,1.300926e-06,1.297685e-06,1.294711e-06,1.291990e-06
0.000000e+00,4.067244e-10,4.950261e-09,5.159021e-09,2.956629e-08,9.698531e-08,1.010228e-07,2.311489e-07,3.828177e-07,3.927113e-07,5.539818e-07,6.919250e-07,7.033663e-07,8.388091e-07,9.490261e-07,9.606149e-07,1.069595e-06,1.155602e-06,1.166649e-06,1.252660e-06,1.318447e-06,1.328478e-06,1.394904e-06,1.443997e-06,1.452693e-06,1.502553e-06,1.537985e-06,1.545143e-06,1.581080e-06,1.605424e-06,1.610934e-06,1.635236e-06,1.650654e-06,1.654476e-06,1.669108e-06,1.677405e-06,1.679551e-06,1.686191e-06,1.688869e-06,1.689388e-06,1.689468e-06,1.687768e-06,1.686736e-06,1.681471e-06,1.676416e-06,1.673928e-06,1.664346e-06,1.656777e-06,1.652942e-06,1.639918e-06,1.630523e-06,1.625456e-06,1.609724e-06,1.599061e-06,1.592876e-06,1.575054e-06,1.563573e-06,1.556387e-06,1.536994e-06,1.525054e-06,1.516982e-06,1.496450e-06,1.484340e-06,1.475489e-06,1.454181e-06,1.442125e-06,1.432600e-06,1.410815e-06,1.398987e-06,1.388887e-06,1.366872e-06,1.355408e-06,1.344822e-06,1.322783e-06,1.311780e-06,1.300794e-06,1.278895e-06,1.268425e-06,1.257118e-06,1.235493e-06,1.225604e-06,1.214047e-06,1.192804e-06,1.183526e-06,1.171784e-06,1.151008e-06,1.142358e-06,1.130491e-06,1.110247e-06,1.102228e-06,1.090288e-06,1.070626e-06,1.063234e-06,1.051269e-06,1.032226e-06,1.025448e-06,1.013501e-06,9.951009e-07,9.889194e-07,9.770290e-07,9.592883e-07,9.536816e-07,9.418808e-07,9.248079e-07,9.197514e-07,9.080700e-07,8.916668e-07,8.871339e-07,8.755977e-07,8.598611e-07,8.558239e-07,8.444553e-07,8.293781e-07,8.258081e-07,8.146266e-07,8.001979e-07,7.970666e-07,7.860887e-07,7.722953e-07,7.695741e-07,7.588138e-07,7.456403e-07,7.433014e-07,7.327703e-07,7.201997e-07,7.182158e-07,7.079237e-07,6.959378e-07,6.942826e-07,6.842372e-07,6.728170e-07,6.714652e-07,6.616725e-07,6.507986e-07,6.497259e-07,6.401905e-07,6.298431e-07,6.290264e-07,6.197515e-07,6.099107e-07,6.093281e-07,6.003157e-07,5.909617e-07,5.905924e-07,5.818436e-07,5.729566e-07,5.727812e-07,5.642959e-07,5.558566e-07,5.397816e-07,5.245200e-07,5.100364e-07,4.962966e-07,4.832672e-07,4.709161e-07,4.592121e-07,4.481254e-07,4.376270e-07,4.276892e-07,4.182856e-07,4.093904e-07,4.009794e-07,3.930290e-07,3.855168e-07,3.784216e-07,3.717227e-07,3.654007e-07,3.594368e-07,3.538133e-07,3.485133e-07,3.435204e-07,3.388193e-07,3.343952e-07,3.302342e-07,3.263228e-07,3.226484e-07,3.191989e-07,3.159627e-07,3.129289e-07,3.100870e-07,3.074271e-07,3.049398e-07,3.026160e-07,3.004472e-07,2.984253e-07,2.965425e-07,2.947914e-07,2.931651e-07,2.916570e-07,2.902606e-07,2.889700e-07,2.877795e-07,2.866836e-07,2.856772e-07,2.847554e-07,2.839135e-07,2.831471e-07,2.824519e-07
0.000000e+00,8.400404e-10,1.362697e-08,1.427093e-08,9.542196e-08,3.109941e-07,3.228735e-07,6.544145e-07,9.777132e-07,9.979423e-07,1.324288e-06,1.605066e-06,1.628586e-06,1.910680e-06,2.146218e-06,2.171347e-06,2.411552e-06,2.606796e-06,2.632290e-06,2.834554e-06,2.994475e-06,3.019326e-06,3.187572e-06,3.316817e-06,3.340234e-06,3.478226e-06,3.581051e-06,3.602428e-06,3.713686e-06,3.793917e-06,3.812808e-06,3.900566e-06,3.961605e-06,3.977698e-06,4.044895e-06,4.089723e-06,4.102811e-06,4.152072e-06,4.183299e-06,4.193265e-06,4.226946e-06,4.246842e-06,4.253641e-06,4.273842e-06,4.284370e-06,4.288016e-06,4.296602e-06,4.299460e-06,4.300013e-06,4.298637e-06,4.295285e-06,4.292840e-06,4.282966e-06,4.274656e-06,4.269336e-06,4.252255e-06,4.240057e-06,4.232007e-06,4.208860e-06,4.193684e-06,4.183063e-06,4.154852e-06,4.137471e-06,4.124448e-06,4.092056e-06,4.073121e-06,4.057870e-06,4.022072e-06,4.002130e-06,3.984830e-06,3.946302e-06,3.925809e-06,3.906637e-06,3.865973e-06,3.845307e-06,3.824438e-06,3.782154e-06,3.761624e-06,3.739232e-06,3.695777e-06,3.675635e-06,3.651885e-06,3.607649e-06,3.588097e-06,3.563150e-06,3.518468e-06,3.499665e-06,3.473675e-06,3.428837e-06,3.410904e-06,3.384018e-06,3.339273e-06,3.322300e-06,3.294656e-06,3.250215e-06,3.234269e-06,3.205996e-06,3.162039e-06,3.147161e-06,3.118383e-06,3.075061e-06,3.061274e-06,3.032105e-06,2.989544e-06,2.976857e-06,2.947404e-06,2.905707e-06,2.894115e-06,2.864476e-06,2.823729e-06,2.813217e-06,2.783484e-06,2.743755e-06,2.734298e-06,2.704555e-06,2.665896e-06,2.657465e-06,2.627789e-06,2.590241e-06,2.582799e-06,2.553260e-06,2.516852e-06,2.510360e-06,2.481022e-06,2.445773e-06,2.440188e-06,2.411109e-06,2.377031e-06,2.372307e-06,2.343540e-06,2.310636e-06,2.306727e-06,2.278318e-06,2.246586e-06,2.243445e-06,2.215437e-06,2.184869e-06,2.182449e-06,2.154879e-06,2.125463e-06,2.123716e-06,2.096617e-06,2.068337e-06,2.067217e-06,2.040617e-06,2.013454e-06,2.012917e-06,1.986841e-06,1.960773e-06,1.910743e-06,1.862775e-06,1.816820e-06,1.772822e-06,1.730728e-06,1.690481e-06,1.652023e-06,1.615298e-06,1.580248e-06,1.546817e-06,1.514947e-06,1.484583e-06,1.455669e-06,1.428152e-06,1.401978e-06,1.377096e-06,1.353455e-06,1.331006e-06,1.309700e-06,1.289491e-06,1.270334e-06,1.252184e-06,1.235000e-06,1.218739e-06,1.203363e-06,1.188832e-06,1.175111e-06,1.162162e-06,1.149952e-06,1.138448e-06,1.127617e-06,1.117429e-06,1.107854e-06,1.098864e-06,1.090431e-06,1.082530e-06,1.075135e-06,1.068223e-06,1.061769e-06,1.055752e-06,1.050150e-06,1.044944e-06,1.040113e-06,1.035638e-06,1.031503e-06,1.027689e-06,1.024181e-06,1.020962e-06,1.018017e-06
0.000000e+00,5.061674e-10,6.408343e-09,6.686115e-09,4.071497e-08,1.400607e-07,1.460923e-07,3.390421e-07,5.579553e-07,5.721349e-07,8.040558e-07,1.005526e-06,1.022417e-06,1.224873e-06,1.393505e-06,1.411467e-06,1.582815e-06,1.721589e-06,1.739672e-06,1.882812e-06,1.995529e-06,2.013005e-06,2.131005e-06,2.221235e-06,2.237539e-06,2.333309e-06,2.404282e-06,2.418989e-06,2.495223e-06,2.549824e-06,2.562626e-06,2.621779e-06,2.662550e-06,2.673238e-06,2.717529e-06,2.746704e-06,2.755150e-06,2.786569e-06,2.806088e-06,2.812229e-06,2.832549e-06,2.844093e-06,2.847920e-06,2.858713e-06,2.863730e-06,2.865274e-06,2.867929e-06,2.867662e-06,2.866986e-06,2.862732e-06,2.858242e-06,2.855436e-06,2.845352e-06,2.837545e-06,2.832716e-06,2.817751e-06,2.807394e-06,2.800664e-06,2.781650e-06,2.769393e-06,2.760892e-06,2.738558e-06,2.724945e-06,2.714808e-06,2.689789e-06,2.675277e-06,2.663642e-06,2.636494e-06,2.621460e-06,2.608465e-06,2.579669e-06,2.564426e-06,2.550208e-06,2.520180e-06,2.504982e-06,2.489675e-06,2.458776e-06,2.443828e-06,2.427561e-06,2.396102e-06,2.381568e-06,2.364465e-06,2.332712e-06,2.318718e-06,2.300899e-06,2.269078e-06,2.255723e-06,2.237298e-06,2.205604e-06,2.192959e-06,2.174034e-06,2.142628e-06,2.130744e-06,2.111419e-06,2.080438e-06,2.069346e-06,2.049713e-06,2.019269e-06,2.008987e-06,1.989131e-06,1.959318e-06,1.949850e-06,1.929851e-06,1.900744e-06,1.892085e-06,1.872015e-06,1.843674e-06,1.835810e-06,1.815735e-06,1.788207e-06,1.781119e-06,1.761100e-06,1.734419e-06,1.728080e-06,1.708172e-06,1.682364e-06,1.676745e-06,1.656998e-06,1.632078e-06,1.627148e-06,1.607606e-06,1.583583e-06,1.579307e-06,1.560010e-06,1.536887e-06,1.533229e-06,1.514213e-06,1.491987e-06,1.488911e-06,1.470206e-06,1.448869e-06,1.446338e-06,1.427973e-06,1.407514e-06,1.405492e-06,1.387488e-06,1.367893e-06,1.366344e-06,1.348723e-06,1.329974e-06,1.328862e-06,1.311641e-06,1.293719e-06,1.293011e-06,1.276204e-06,1.259089e-06,1.258750e-06,1.242369e-06,1.226038e-06,1.194829e-06,1.165077e-06,1.136736e-06,1.109757e-06,1.084093e-06,1.059695e-06,1.036516e-06,1.014509e-06,9.936264e-07,9.738232e-07,9.550545e-07,9.372763e-07,9.204461e-07,9.045223e-07,8.894646e-07,8.752339e-07,8.617926e-07,8.491042e-07,8.371334e-07,8.258464e-07,8.152104e-07,8.051943e-07,7.957677e-07,7.869017e-07,7.785687e-07,7.707420e-07,7.633961e-07,7.565067e-07,7.500504e-07,7.440050e-07,7.383491e-07,7.330625e-07,7.281258e-07,7.235203e-07,7.192285e-07,7.152336e-07,7.115194e-07,7.080708e-07,7.048732e-07,7.019127e-07,6.991762e-07,6.966510e-07,6.943255e-07,6.921881e-07,6.902281e-07,6.884354e-07,6.868002e-07,6.853132e-07,6.839658e-07
0.000000e+00,5.990712e-10,7.709411e-08,8.298657e-08,1.781819e-06,1.625044e-05,1.762525e-05,1.073439e-04,4.237796e-04,4.584971e-04,1.491778e-03,3.664403e-03,3.934319e-03,8.827447e-03,1.640264e-02,1.747832e-02,3.137914e-02,4.921217e-02,5.211409e-02,8.126766e-02,1.142226e-01,1.203428e-01,1.706934e-01,2.225514e-01,2.334719e-01,3.095940e-01,3.824403e-01,3.997166e-01,5.042297e-01,5.982941e-01,6.232584e-01,7.566737e-01,8.704992e-01,9.041128e-01,1.064998e+00,1.195799e+00,1.238564e+00,1.423886e+00,1.567976e+00,1.619907e+00,1.825466e+00,1.978682e+00,2.039325e+00,2.260198e+00,2.418277e+00,2.486767e+00,2.717709e+00,2.876577e+00,2.951713e+00,3.187494e+00,3.343480e+00,3.423814e+00,3.659486e+00,3.809454e+00,3.893386e+00,4.124462e+00,4.265878e+00,4.351735e+00,4.574309e+00,4.705256e+00,4.791370e+00,5.002184e+00,5.121336e+00,5.206104e+00,5.402560e+00,5.509131e+00,5.591065e+00,5.771206e+00,5.864883e+00,5.942646e+00,6.105114e+00,6.185982e+00,6.258408e+00,6.402384e+00,6.470850e+00,6.536958e+00,6.662097e+00,6.718815e+00,6.777815e+00,6.884170e+00,6.929976e+00,6.981262e+00,7.069221e+00,7.105072e+00,7.148213e+00,7.218429e+00,7.245353e+00,7.280083e+00,7.333412e+00,7.352468e+00,7.378667e+00,7.416115e+00,7.428356e+00,7.446035e+00,7.468714e+00,7.475162e+00,7.484446e+00,7.493528e+00,7.495154e+00,7.496261e+00,7.492948e+00,7.490659e+00,7.483888e+00,7.469381e+00,7.464011e+00,7.449724e+00,7.425206e+00,7.417510e+00,7.396117e+00,7.362734e+00,7.353386e+00,7.325334e+00,7.284182e+00,7.273776e+00,7.239538e+00,7.191651e+00,7.180706e+00,7.140766e+00,7.087116e+00,7.076075e+00,7.030927e+00,6.972416e+00,6.961653e+00,6.911790e+00,6.849249e+00,6.839077e+00,6.784982e+00,6.719173e+00,6.709847e+00,6.651994e+00,6.583611e+00,6.575331e+00,6.514179e+00,6.443848e+00,6.436771e+00,6.372759e+00,6.301045e+00,6.295285e+00,6.228832e+00,6.156240e+00,6.151874e+00,6.083379e+00,6.010357e+00,6.007434e+00,5.937272e+00,5.864216e+00,5.862756e+00,5.791278e+00,5.718538e+00,5.575392e+00,5.433851e+00,5.294376e+00,5.157363e+00,5.023147e+00,4.892013e+00,4.764197e+00,4.639890e+00,4.519248e+00,4.402392e+00,4.289411e+00,4.180371e+00,4.075312e+00,3.974253e+00,3.877197e+00,3.784127e+00,3.695017e+00,3.609825e+00,3.528500e+00,3.450981e+00,3.377200e+00,3.307081e+00,3.240542e+00,3.177497e+00,3.117856e+00,3.061524e+00,3.008404e+00,2.958397e+00,2.911400e+00,2.867312e+00,2.826029e+00,2.787446e+00,2.751459e+00,2.717962e+00,2.686852e+00,2.658025e+00,2.631379e+00,2.606810e+00,2.584220e+00,2.563508e+00,2.544578e+00,2.527334e+00,2.511682e+00,2.497531e+00,2.484792e+00,2.473377e+00,2.463203e+00,2.454188e+00,2.446251e+00
0.000000e+00,5.100666e-09,2.905607e-07,3.083864e-07,3.563076e-06,1.927430e-05,2.046153e-05,7.262272e-05,1.701691e-04,1.780038e-04,3.300557e-04,4.912236e-04,5.056338e-04,6.864320e-04,8.464962e-04,8.640017e-04,1.035453e-03,1.180607e-03,1.199976e-03,1.357408e-03,1.487152e-03,1.507783e-03,1.651205e-03,1.766406e-03,1.787812e-03,1.917764e-03,2.019478e-03,2.041231e-03,2.158397e-03,2.247715e-03,2.269445e-03,2.374564e-03,2.452563e-03,2.473944e-03,2.567770e-03,2.635480e-03,2.656232e-03,2.739511e-03,2.797907e-03,2.817787e-03,2.891239e-03,2.941233e-03,2.960037e-03,3.024350e-03,3.066790e-03,3.084343e-03,3.140176e-03,3.175845e-03,3.192004e-03,3.239978e-03,3.269602e-03,3.284246e-03,3.324951e-03,3.349197e-03,3.362233e-03,3.396225e-03,3.415706e-03,3.427059e-03,3.454863e-03,3.470141e-03,3.479758e-03,3.501865e-03,3.513455e-03,3.521299e-03,3.538172e-03,3.546544e-03,3.552594e-03,3.564668e-03,3.570248e-03,3.574497e-03,3.582180e-03,3.585359e-03,3.587812e-03,3.591484e-03,3.592613e-03,3.593286e-03,3.593305e-03,3.592705e-03,3.591623e-03,3.588322e-03,3.586280e-03,3.583478e-03,3.577168e-03,3.573945e-03,3.569463e-03,3.560435e-03,3.556264e-03,3.550150e-03,3.538674e-03,3.533764e-03,3.526070e-03,3.512399e-03,3.506936e-03,3.497719e-03,3.482088e-03,3.476238e-03,3.465559e-03,3.448186e-03,3.442096e-03,3.430019e-03,3.411106e-03,3.404904e-03,3.391495e-03,3.371231e-03,3.365031e-03,3.350358e-03,3.328918e-03,3.322818e-03,3.306950e-03,3.284495e-03,3.278581e-03,3.261588e-03,3.238267e-03,3.232612e-03,3.214565e-03,3.190516e-03,3.185182e-03,3.166152e-03,3.141503e-03,3.136541e-03,3.116598e-03,3.091466e-03,3.086920e-03,3.066134e-03,3.040628e-03,3.036532e-03,3.014972e-03,2.989190e-03,2.985572e-03,2.963306e-03,2.937340e-03,2.934220e-03,2.911314e-03,2.885248e-03,2.882640e-03,2.859161e-03,2.833071e-03,2.830985e-03,2.806996e-03,2.780952e-03,2.779391e-03,2.754955e-03,2.729020e-03,2.727984e-03,2.703162e-03,2.677394e-03,2.676880e-03,2.651730e-03,2.626182e-03,2.575984e-03,2.526370e-03,2.477418e-03,2.429196e-03,2.381763e-03,2.335176e-03,2.289480e-03,2.244718e-03,2.200925e-03,2.158133e-03,2.116368e-03,2.075651e-03,2.036001e-03,1.997432e-03,1.959953e-03,1.923573e-03,1.888295e-03,1.854122e-03,1.821052e-03,1.789082e-03,1.758207e-03,1.728420e-03,1.699712e-03,1.672072e-03,1.645489e-03,1.619948e-03,1.595436e-03,1.571937e-03,1.549434e-03,1.527910e-03,1.507346e-03,1.487723e-03,1.469023e-03,1.451224e-03,1.434306e-03,1.418248e-03,1.403029e-03,1.388627e-03,1.375021e-03,1.362188e-03,1.350106e-03,1.338753e-03,1.328106e-03,1.318145e-03,1.308845e-03,1.300186e-03,1.292145e-03,1.284699e-03,1.277828e-03
0.000000e+00,9.839887e-12,1.262493e-09,1.359970e-09,3.064089e-08,2.880622e-07,3.126015e-07,1.892998e-06,7.209561e-06,7.775540e-06,2.370041e-05,5.395817e-05,5.752123e-05,1.174802e-04,1.995079e-04,2.104337e-04,3.406847e-04,4.872755e-04,5.095526e-04,7.155276e-04,9.194755e-04,9.547841e-04,1.221854e-03,1.462997e-03,1.510307e-03,1.813354e-03,2.068051e-03,2.124326e-03,2.437027e-03,2.684711e-03,2.745959e-03,3.046441e-03,3.272468e-03,3.334659e-03,3.607637e-03,3.803531e-03,3.863182e-03,4.099803e-03,4.262179e-03,4.316616e-03,4.513248e-03,4.642336e-03,4.689740e-03,4.846464e-03,4.944736e-03,4.984045e-03,5.103290e-03,5.174380e-03,5.205140e-03,5.290615e-03,5.338576e-03,5.360782e-03,5.416726e-03,5.445564e-03,5.459524e-03,5.490232e-03,5.503650e-03,5.509872e-03,5.519419e-03,5.520690e-03,5.519799e-03,5.511884e-03,5.503816e-03,5.496489e-03,5.474374e-03,5.459318e-03,5.446241e-03,5.412739e-03,5.392628e-03,5.374466e-03,5.331968e-03,5.308369e-03,5.285750e-03,5.236269e-03,5.210437e-03,5.183943e-03,5.129155e-03,5.102084e-03,5.072249e-03,5.013540e-03,4.986009e-03,4.953314e-03,4.891830e-03,4.864439e-03,4.829320e-03,4.765997e-03,4.739206e-03,4.702052e-03,4.637657e-03,4.611809e-03,4.572968e-03,4.508125e-03,4.483470e-03,4.443253e-03,4.378466e-03,4.355183e-03,4.313865e-03,4.249540e-03,4.227748e-03,4.185572e-03,4.122033e-03,4.101802e-03,4.058987e-03,3.996489e-03,3.977855e-03,3.934591e-03,3.873335e-03,3.856304e-03,3.812761e-03,3.752901e-03,3.737459e-03,3.693786e-03,3.635439e-03,3.621552e-03,3.577881e-03,3.521131e-03,3.508756e-03,3.465203e-03,3.410109e-03,3.399191e-03,3.355858e-03,3.302458e-03,3.292937e-03,3.249913e-03,3.198227e-03,3.190037e-03,3.147402e-03,3.097437e-03,3.090510e-03,3.048331e-03,3.000081e-03,2.994349e-03,2.952685e-03,2.906138e-03,2.901529e-03,2.860433e-03,2.815566e-03,2.812012e-03,2.771528e-03,2.728314e-03,2.725747e-03,2.685914e-03,2.644320e-03,2.642673e-03,2.603524e-03,2.563515e-03,2.562723e-03,2.524286e-03,2.485825e-03,2.411901e-03,2.340871e-03,2.272655e-03,2.207168e-03,2.144329e-03,2.084055e-03,2.026261e-03,1.970868e-03,1.917795e-03,1.866963e-03,1.818294e-03,1.771714e-03,1.727147e-03,1.684523e-03,1.643770e-03,1.604822e-03,1.567612e-03,1.532075e-03,1.498150e-03,1.465776e-03,1.434896e-03,1.405452e-03,1.377390e-03,1.350657e-03,1.325203e-03,1.300977e-03,1.277932e-03,1.256023e-03,1.235204e-03,1.215433e-03,1.196668e-03,1.178869e-03,1.161998e-03,1.146017e-03,1.130890e-03,1.116583e-03,1.103062e-03,1.090295e-03,1.078250e-03,1.066897e-03,1.056209e-03,1.046155e-03,1.036710e-03,1.027847e-03,1.019542e-03,1.011769e-03,1.004507e-03,9.977312e-04,9.914213e-04
0.000000e+00,1.994620e-09,9.472811e-08,1.002661e-07,9.997245e-07,4.542858e-06,4.786575e-06,1.419776e-05,2.900973e-05,3.012040e-05,5.027533e-05,6.922500e-05,7.080126e-05,8.887038e-05,1.022189e-04,1.035318e-04,1.149450e-04,1.227001e-04,1.236130e-04,1.300562e-04,1.341617e-04,1.347225e-04,1.379785e-04,1.398408e-04,1.401185e-04,1.413778e-04,1.418858e-04,1.419436e-04,1.419650e-04,1.416705e-04,1.415603e-04,1.408236e-04,1.400670e-04,1.398294e-04,1.386370e-04,1.376273e-04,1.372930e-04,1.358348e-04,1.346997e-04,1.342917e-04,1.326869e-04,1.315037e-04,1.310388e-04,1.293619e-04,1.281772e-04,1.276677e-04,1.259652e-04,1.248065e-04,1.242615e-04,1.225623e-04,1.214454e-04,1.208719e-04,1.191936e-04,1.181272e-04,1.175302e-04,1.158837e-04,1.148721e-04,1.142557e-04,1.126473e-04,1.116920e-04,1.110594e-04,1.094926e-04,1.085938e-04,1.079475e-04,1.064243e-04,1.055809e-04,1.049232e-04,1.034442e-04,1.026548e-04,1.019874e-04,1.005528e-04,9.981548e-05,9.914016e-05,9.774941e-05,9.706219e-05,9.638038e-05,9.503286e-05,9.439363e-05,9.370665e-05,9.240151e-05,9.180817e-05,9.111722e-05,8.985353e-05,8.930396e-05,8.861017e-05,8.738690e-05,8.687906e-05,8.618346e-05,8.499958e-05,8.453144e-05,8.383499e-05,8.268944e-05,8.225907e-05,8.156266e-05,8.045439e-05,8.005989e-05,7.936435e-05,7.829230e-05,7.793185e-05,7.723797e-05,7.620110e-05,7.587294e-05,7.518143e-05,7.417873e-05,7.388118e-05,7.319272e-05,7.222317e-05,7.195461e-05,7.126982e-05,7.033244e-05,7.009131e-05,6.941078e-05,6.850461e-05,6.828940e-05,6.761368e-05,6.673777e-05,6.654706e-05,6.587665e-05,6.503008e-05,6.486249e-05,6.419785e-05,6.337973e-05,6.323395e-05,6.257551e-05,6.178496e-05,6.165973e-05,6.100788e-05,6.024406e-05,6.013817e-05,5.949328e-05,5.875535e-05,5.866765e-05,5.803006e-05,5.731721e-05,5.724660e-05,5.661661e-05,5.592806e-05,5.587349e-05,5.525138e-05,5.458637e-05,5.454683e-05,5.393285e-05,5.329063e-05,5.326518e-05,5.265955e-05,5.203941e-05,5.202712e-05,5.143005e-05,5.083128e-05,4.967635e-05,4.856104e-05,4.748408e-05,4.644426e-05,4.544042e-05,4.447139e-05,4.353608e-05,4.263341e-05,4.176233e-05,4.092182e-05,4.011092e-05,3.932866e-05,3.857412e-05,3.784641e-05,3.714466e-05,3.646804e-05,3.581572e-05,3.518692e-05,3.458087e-05,3.399683e-05,3.343408e-05,3.289194e-05,3.236971e-05,3.186676e-05,3.138245e-05,3.091617e-05,3.046731e-05,3.003532e-05,2.961962e-05,2.921969e-05,2.883499e-05,2.846503e-05,2.810931e-05,2.776736e-05,2.743872e-05,2.712294e-05,2.681960e-05,2.652827e-05,2.624855e-05,2.598004e-05,2.572238e-05,2.547519e-05,2.523812e-05,2.501081e-05,2.479295e-05,2.458420e-05,2.438426e-05,2.419281e-05,2.400957e-05
0.000000e+00,2.845733e-09,4.914246e-08,5.148122e-08,3.438448e-07,1.128800e-06,1.173033e-06,2.439429e-06,3.678660e-06,3.755124e-06,4.963738e-06,5.961387e-06,6.043048e-06,6.998340e-06,7.760184e-06,7.839448e-06,8.576449e-06,9.146450e-06,9.218838e-06,9.775412e-06,1.019164e-05,1.025429e-05,1.066292e-05,1.095694e-05,1.100818e-05,1.129634e-05,1.149406e-05,1.153313e-05,1.172379e-05,1.184631e-05,1.187307e-05,1.198528e-05,1.204962e-05,1.206436e-05,1.211387e-05,1.213371e-05,1.213703e-05,1.213676e-05,1.212306e-05,1.211572e-05,1.207626e-05,1.203766e-05,1.202054e-05,1.195049e-05,1.189388e-05,1.186787e-05,1.177427e-05,1.170508e-05,1.167110e-05,1.155965e-05,1.148211e-05,1.144106e-05,1.131637e-05,1.123381e-05,1.118652e-05,1.105235e-05,1.096733e-05,1.091461e-05,1.077396e-05,1.068844e-05,1.063102e-05,1.048632e-05,1.040179e-05,1.034035e-05,1.019353e-05,1.011109e-05,1.004625e-05,9.898857e-06,9.819323e-06,9.751648e-06,9.604893e-06,9.528840e-06,9.458830e-06,9.313672e-06,9.241490e-06,9.169601e-06,9.026780e-06,8.958713e-06,8.885351e-06,8.745436e-06,8.681613e-06,8.607141e-06,8.470557e-06,8.411023e-06,8.335763e-06,8.202825e-06,8.147558e-06,8.071797e-06,7.942724e-06,7.891651e-06,7.815643e-06,7.690582e-06,7.643593e-06,7.567562e-06,7.446599e-06,7.403558e-06,7.327702e-06,7.210876e-06,7.171627e-06,7.096121e-06,6.983433e-06,6.947808e-06,6.872805e-06,6.764227e-06,6.732051e-06,6.657685e-06,6.553164e-06,6.524258e-06,6.450647e-06,6.350114e-06,6.324297e-06,6.251543e-06,6.154914e-06,6.132009e-06,6.060201e-06,5.967381e-06,5.947212e-06,5.876427e-06,5.787315e-06,5.769711e-06,5.700017e-06,5.614505e-06,5.599301e-06,5.530753e-06,5.448733e-06,5.435769e-06,5.368416e-06,5.289774e-06,5.278897e-06,5.212780e-06,5.137404e-06,5.128467e-06,5.063620e-06,4.991398e-06,4.984260e-06,4.920710e-06,4.851530e-06,4.846060e-06,4.783830e-06,4.717582e-06,4.713653e-06,4.652759e-06,4.589335e-06,4.586827e-06,4.527283e-06,4.466577e-06,4.465376e-06,4.407191e-06,4.349100e-06,4.237802e-06,4.131291e-06,4.029383e-06,3.931898e-06,3.838663e-06,3.749509e-06,3.664277e-06,3.582808e-06,3.504952e-06,3.430565e-06,3.359506e-06,3.291641e-06,3.226840e-06,3.164978e-06,3.105936e-06,3.049598e-06,2.995854e-06,2.944595e-06,2.895721e-06,2.849133e-06,2.804736e-06,2.762440e-06,2.722156e-06,2.683801e-06,2.647295e-06,2.612561e-06,2.579523e-06,2.548111e-06,2.518257e-06,2.489894e-06,2.462959e-06,2.437392e-06,2.413135e-06,2.390132e-06,2.368329e-06,2.347674e-06,2.328119e-06,2.309616e-06,2.292119e-06,2.275585e-06,2.259972e-06,2.245239e-06,2.231348e-06,2.218263e-06,2.205947e-06,2.194366e-06,2.183488e-06,2.173281e-06,2.163715e-06
0.000000e+00,1.208017e-09,1.635247e-08,1.707902e-08,1.077612e-07,3.759431e-07,3.922020e-07,9.032323e-07,1.460456e-06,1.495868e-06,2.064889e-06,2.543911e-06,2.583411e-06,3.048534e-06,3.423615e-06,3.462868e-06,3.830139e-06,4.117403e-06,4.154113e-06,4.438326e-06,4.653448e-06,4.686047e-06,4.900300e-06,5.056467e-06,5.083891e-06,5.239431e-06,5.347756e-06,5.369356e-06,5.475939e-06,5.545829e-06,5.561301e-06,5.627417e-06,5.666811e-06,5.676120e-06,5.709112e-06,5.724649e-06,5.727963e-06,5.734122e-06,5.731298e-06,5.728923e-06,5.713586e-06,5.696897e-06,5.689228e-06,5.656868e-06,5.629959e-06,5.617441e-06,5.571800e-06,5.537614e-06,5.520722e-06,5.464918e-06,5.425819e-06,5.405042e-06,5.341676e-06,5.299532e-06,5.275339e-06,5.206508e-06,5.162770e-06,5.135613e-06,5.063041e-06,5.018839e-06,4.989141e-06,4.914225e-06,4.870421e-06,4.838577e-06,4.762449e-06,4.719693e-06,4.686067e-06,4.609634e-06,4.568403e-06,4.533329e-06,4.457312e-06,4.417945e-06,4.381726e-06,4.306696e-06,4.269424e-06,4.232332e-06,4.158732e-06,4.123701e-06,4.085980e-06,4.014149e-06,3.981434e-06,3.943302e-06,3.873494e-06,3.843119e-06,3.804769e-06,3.737167e-06,3.709116e-06,3.670718e-06,3.605448e-06,3.579674e-06,3.541377e-06,3.478519e-06,3.454954e-06,3.416887e-06,3.356485e-06,3.335043e-06,3.297318e-06,3.239385e-06,3.219969e-06,3.182683e-06,3.127207e-06,3.109713e-06,3.072950e-06,3.019901e-06,3.004220e-06,2.968049e-06,2.917383e-06,2.903407e-06,2.867887e-06,2.819547e-06,2.807166e-06,2.772346e-06,2.726268e-06,2.715374e-06,2.681294e-06,2.637407e-06,2.627896e-06,2.594587e-06,2.552817e-06,2.544587e-06,2.512075e-06,2.472343e-06,2.465297e-06,2.433601e-06,2.395829e-06,2.389874e-06,2.359007e-06,2.323114e-06,2.318163e-06,2.288132e-06,2.254041e-06,2.250009e-06,2.220820e-06,2.188451e-06,2.185260e-06,2.156914e-06,2.126190e-06,2.123766e-06,2.096260e-06,2.067106e-06,2.065381e-06,2.038709e-06,2.011052e-06,2.009961e-06,1.984116e-06,1.957884e-06,1.957367e-06,1.932340e-06,1.907465e-06,1.860126e-06,1.815225e-06,1.772643e-06,1.732264e-06,1.693979e-06,1.657683e-06,1.623276e-06,1.590660e-06,1.559747e-06,1.530447e-06,1.502679e-06,1.476363e-06,1.451425e-06,1.427794e-06,1.405401e-06,1.384182e-06,1.364076e-06,1.345025e-06,1.326975e-06,1.309872e-06,1.293667e-06,1.278313e-06,1.263766e-06,1.249982e-06,1.236923e-06,1.224549e-06,1.212825e-06,1.201717e-06,1.191192e-06,1.181219e-06,1.171769e-06,1.162814e-06,1.154329e-06,1.146289e-06,1.138669e-06,1.131448e-06,1.124604e-06,1.118118e-06,1.111970e-06,1.106142e-06,1.100618e-06,1.095382e-06,1.090417e-06,1.085710e-06,1.081247e-06,1.077014e-06,1.073000e-06,1.069192e-06,1.065579e-06
0.000000e+00,1.522550e-11,1.802191e-09,1.936839e-09,3.868457e-08,3.328790e-07,3.602183e-07,2.074515e-06,7.757597e-06,8.362853e-06,2.552270e-05,5.869957e-05,6.264395e-05,1.298417e-04,2.234962e-04,2.360789e-04,3.874913e-04,5.601573e-04,5.865517e-04,8.320118e-04,1.076872e-03,1.119391e-03,1.441769e-03,1.733440e-03,1.790671e-03,2.156910e-03,2.463705e-03,2.531299e-03,2.905200e-03,3.198754e-03,3.270908e-03,3.621880e-03,3.881969e-03,3.952839e-03,4.259768e-03,4.475188e-03,4.539849e-03,4.791348e-03,4.958557e-03,5.013470e-03,5.206209e-03,5.327118e-03,5.370192e-03,5.506544e-03,5.586334e-03,5.616750e-03,5.702544e-03,5.747901e-03,5.765817e-03,5.808532e-03,5.826425e-03,5.832669e-03,5.840170e-03,5.837108e-03,5.832906e-03,5.812654e-03,5.794308e-03,5.781074e-03,5.739701e-03,5.710768e-03,5.689943e-03,5.633075e-03,5.597292e-03,5.570247e-03,5.502484e-03,5.462727e-03,5.430701e-03,5.355702e-03,5.314117e-03,5.278193e-03,5.198791e-03,5.156934e-03,5.118031e-03,5.036375e-03,4.995338e-03,4.954222e-03,4.871913e-03,4.832436e-03,4.789738e-03,4.707943e-03,4.670502e-03,4.626733e-03,4.546281e-03,4.511161e-03,4.466731e-03,4.388200e-03,4.355545e-03,4.310786e-03,4.234564e-03,4.204424e-03,4.159598e-03,4.085934e-03,4.058290e-03,4.013608e-03,3.942646e-03,3.917438e-03,3.873067e-03,3.804880e-03,3.782014e-03,3.738090e-03,3.672696e-03,3.652065e-03,3.608695e-03,3.546076e-03,3.527559e-03,3.484830e-03,3.424942e-03,3.408415e-03,3.366397e-03,3.309177e-03,3.294515e-03,3.253265e-03,3.198640e-03,3.185719e-03,3.145282e-03,3.093171e-03,3.081872e-03,3.042285e-03,2.992603e-03,2.982808e-03,2.944101e-03,2.896758e-03,2.888357e-03,2.850551e-03,2.805459e-03,2.798347e-03,2.761460e-03,2.718530e-03,2.712604e-03,2.676649e-03,2.635795e-03,2.630961e-03,2.595947e-03,2.557084e-03,2.553251e-03,2.519184e-03,2.482228e-03,2.479312e-03,2.446195e-03,2.411065e-03,2.408985e-03,2.376818e-03,2.343436e-03,2.342118e-03,2.310898e-03,2.279188e-03,2.278562e-03,2.248286e-03,2.218174e-03,2.160815e-03,2.106352e-03,2.054657e-03,2.005607e-03,1.959082e-03,1.914969e-03,1.873157e-03,1.833543e-03,1.796024e-03,1.760505e-03,1.726892e-03,1.695096e-03,1.665032e-03,1.636619e-03,1.609778e-03,1.584434e-03,1.560516e-03,1.537954e-03,1.516684e-03,1.496641e-03,1.477767e-03,1.460003e-03,1.443294e-03,1.427587e-03,1.412833e-03,1.398983e-03,1.385991e-03,1.373812e-03,1.362406e-03,1.351732e-03,1.341752e-03,1.332428e-03,1.323727e-03,1.315614e-03,1.308059e-03,1.301030e-03,1.294498e-03,1.288437e-03,1.282820e-03,1.277621e-03,1.272816e-03,1.268384e-03,1.264303e-03,1.260551e-03,1.257109e-03,1.253959e-03,1.251082e-03,1.248463e-03,1.246084e-03
0.000000e+00,1.061173e-10,1.341604e-08,1.444752e-08,3.121489e-07,2.661462e-06,2.873287e-06,1.494861e-05,4.814917e-05,5.136272e-05,1.308111e-04,2.555573e-04,2.690263e-04,4.742646e-04,7.164116e-04,7.465010e-04,1.079068e-03,1.413114e-03,1.461172e-03,1.880263e-03,2.260693e-03,2.323823e-03,2.780481e-03,3.167082e-03,3.240589e-03,3.696376e-03,4.062660e-03,4.141876e-03,4.572716e-03,4.904746e-03,4.985847e-03,5.379286e-03,5.671729e-03,5.751873e-03,6.103067e-03,6.355599e-03,6.432780e-03,6.741250e-03,6.956107e-03,7.028940e-03,7.296459e-03,7.476978e-03,7.544516e-03,7.773871e-03,7.923715e-03,7.985315e-03,8.179645e-03,8.302418e-03,8.357652e-03,8.520117e-03,8.619199e-03,8.667797e-03,8.801429e-03,8.879910e-03,8.921723e-03,9.029361e-03,9.090030e-03,9.125000e-03,9.209269e-03,9.254624e-03,9.282770e-03,9.346078e-03,9.378344e-03,9.399744e-03,9.444293e-03,9.465447e-03,9.480228e-03,9.508028e-03,9.519820e-03,9.528152e-03,9.541035e-03,9.545012e-03,9.547095e-03,9.546729e-03,9.544255e-03,9.540316e-03,9.528217e-03,9.520493e-03,9.510779e-03,9.488327e-03,9.476403e-03,9.461177e-03,9.429626e-03,9.414423e-03,9.393958e-03,9.354444e-03,9.336763e-03,9.311341e-03,9.264895e-03,9.245434e-03,9.215340e-03,9.162897e-03,9.142256e-03,9.107777e-03,9.050183e-03,9.028880e-03,8.990304e-03,8.928323e-03,8.906802e-03,8.864412e-03,8.798736e-03,8.777372e-03,8.731449e-03,8.662700e-03,8.641812e-03,8.592630e-03,8.521371e-03,8.501223e-03,8.449049e-03,8.375785e-03,8.356596e-03,8.301692e-03,8.226877e-03,8.208826e-03,8.151443e-03,8.075485e-03,8.058713e-03,7.999095e-03,7.922358e-03,7.906977e-03,7.845357e-03,7.768168e-03,7.754259e-03,7.690863e-03,7.613512e-03,7.601136e-03,7.536179e-03,7.458924e-03,7.448118e-03,7.381805e-03,7.304876e-03,7.295659e-03,7.228187e-03,7.151785e-03,7.144163e-03,7.075716e-03,7.000021e-03,6.993983e-03,6.924739e-03,6.849907e-03,6.845432e-03,6.775559e-03,6.701726e-03,6.698784e-03,6.628438e-03,6.555723e-03,6.554275e-03,6.483607e-03,6.412112e-03,6.272472e-03,6.135504e-03,6.001335e-03,5.870070e-03,5.741796e-03,5.616580e-03,5.494475e-03,5.375519e-03,5.259738e-03,5.147147e-03,5.037751e-03,4.931544e-03,4.828514e-03,4.728641e-03,4.631899e-03,4.538256e-03,4.447677e-03,4.360120e-03,4.275540e-03,4.193891e-03,4.115121e-03,4.039178e-03,3.966007e-03,3.895551e-03,3.827753e-03,3.762554e-03,3.699895e-03,3.639714e-03,3.581953e-03,3.526548e-03,3.473440e-03,3.422567e-03,3.373869e-03,3.327284e-03,3.282753e-03,3.240216e-03,3.199615e-03,3.160890e-03,3.123985e-03,3.088842e-03,3.055404e-03,3.023617e-03,2.993425e-03,2.964775e-03,2.937614e-03,2.911890e-03,2.887552e-03,2.864551e-03,2.842836e-03
0.000000e+00,4.701417e-10,4.216184e-08,4.507768e-08,7.103721e-07,4.975695e-06,5.338629e-06,2.469181e-05,7.385515e-05,7.844135e-05,1.852802e-04,3.346232e-04,3.497090e-04,5.606634e-04,7.750448e-04,7.996688e-04,1.048820e-03,1.265635e-03,1.294631e-03,1.528541e-03,1.716583e-03,1.745928e-03,1.944815e-03,2.097275e-03,2.124820e-03,2.286438e-03,2.405891e-03,2.430601e-03,2.558431e-03,2.649726e-03,2.671105e-03,2.769786e-03,2.837762e-03,2.855588e-03,2.929566e-03,2.978490e-03,2.992705e-03,3.045921e-03,3.079415e-03,3.090064e-03,3.125920e-03,3.147013e-03,3.154212e-03,3.175611e-03,3.186819e-03,3.190731e-03,3.200140e-03,3.203545e-03,3.204361e-03,3.203872e-03,3.201187e-03,3.199118e-03,3.190503e-03,3.183138e-03,3.178402e-03,3.163159e-03,3.152270e-03,3.145089e-03,3.124484e-03,3.111016e-03,3.101610e-03,3.076713e-03,3.061436e-03,3.050019e-03,3.021734e-03,3.005271e-03,2.992049e-03,2.961139e-03,2.943995e-03,2.929164e-03,2.896271e-03,2.878850e-03,2.862596e-03,2.828262e-03,2.810883e-03,2.793382e-03,2.758060e-03,2.740977e-03,2.722391e-03,2.686463e-03,2.669870e-03,2.650353e-03,2.614135e-03,2.598181e-03,2.577874e-03,2.541630e-03,2.526426e-03,2.505458e-03,2.469408e-03,2.455032e-03,2.433524e-03,2.397847e-03,2.384352e-03,2.362414e-03,2.327257e-03,2.314674e-03,2.292407e-03,2.257889e-03,2.246234e-03,2.223729e-03,2.189946e-03,2.179219e-03,2.156560e-03,2.123588e-03,2.113778e-03,2.091042e-03,2.058937e-03,2.050029e-03,2.027284e-03,1.996091e-03,1.988057e-03,1.965366e-03,1.935116e-03,1.927927e-03,1.905345e-03,1.876059e-03,1.869682e-03,1.847261e-03,1.818952e-03,1.813349e-03,1.791133e-03,1.763806e-03,1.758939e-03,1.736970e-03,1.710625e-03,1.706455e-03,1.684768e-03,1.659398e-03,1.655885e-03,1.634513e-03,1.610110e-03,1.607213e-03,1.586185e-03,1.562734e-03,1.560415e-03,1.539755e-03,1.517242e-03,1.515461e-03,1.495191e-03,1.473597e-03,1.472316e-03,1.452456e-03,1.431762e-03,1.430943e-03,1.411510e-03,1.391695e-03,1.391303e-03,1.372311e-03,1.353352e-03,1.317047e-03,1.282342e-03,1.249193e-03,1.217553e-03,1.187376e-03,1.158616e-03,1.131228e-03,1.105167e-03,1.080388e-03,1.056847e-03,1.034503e-03,1.013311e-03,9.932320e-04,9.742249e-04,9.562506e-04,9.392708e-04,9.232481e-04,9.081461e-04,8.939295e-04,8.805638e-04,8.680156e-04,8.562524e-04,8.452425e-04,8.349553e-04,8.253609e-04,8.164305e-04,8.081359e-04,8.004498e-04,7.933459e-04,7.867984e-04,7.807825e-04,7.752739e-04,7.702494e-04,7.656861e-04,7.615621e-04,7.578560e-04,7.545471e-04,7.516154e-04,7.490416e-04,7.468067e-04,7.448927e-04,7.432819e-04,7.419574e-04,7.409026e-04,7.401016e-04,7.395391e-04,7.392003e-04,7.390709e-04,7.391370e-04
0.000000e+00,4.374308e-11,4.932297e-09,5.294273e-09,9.934336e-08,8.151465e-07,8.806457e-07,4.891917e-06,1.770256e-05,1.904143e-05,5.588996e-05,1.238977e-04,1.318098e-04,2.632108e-04,4.397563e-04,4.630880e-04,7.390019e-04,1.046102e-03,1.092544e-03,1.519885e-03,1.940334e-03,2.012927e-03,2.560666e-03,3.053839e-03,3.150502e-03,3.769357e-03,4.289541e-03,4.404538e-03,5.044334e-03,5.552488e-03,5.678395e-03,6.297917e-03,6.766357e-03,6.895689e-03,7.466039e-03,7.878501e-03,8.004715e-03,8.508731e-03,8.858238e-03,8.976194e-03,9.406132e-03,9.692307e-03,9.798331e-03,1.015318e-02,1.037979e-02,1.047153e-02,1.075461e-02,1.092769e-02,1.100388e-02,1.122099e-02,1.134752e-02,1.140771e-02,1.156584e-02,1.165290e-02,1.169723e-02,1.180369e-02,1.185796e-02,1.188700e-02,1.194887e-02,1.197640e-02,1.199097e-02,1.201485e-02,1.202096e-02,1.202203e-02,1.201389e-02,1.200314e-02,1.199176e-02,1.195689e-02,1.193316e-02,1.191042e-02,1.185345e-02,1.182001e-02,1.178698e-02,1.171195e-02,1.167149e-02,1.162921e-02,1.153958e-02,1.149433e-02,1.144380e-02,1.134256e-02,1.129434e-02,1.123650e-02,1.112621e-02,1.107648e-02,1.101222e-02,1.089505e-02,1.084499e-02,1.077514e-02,1.065294e-02,1.060350e-02,1.052883e-02,1.040317e-02,1.035508e-02,1.027629e-02,1.014850e-02,1.010233e-02,1.002008e-02,9.891279e-03,9.847443e-03,9.762337e-03,9.633467e-03,9.592277e-03,9.504866e-03,9.376711e-03,9.338376e-03,9.249165e-03,9.122377e-03,9.087030e-03,8.996480e-03,8.871596e-03,8.839306e-03,8.747835e-03,8.625296e-03,8.596078e-03,8.504066e-03,8.384226e-03,8.358055e-03,8.265846e-03,8.148989e-03,8.125806e-03,8.033710e-03,7.920057e-03,7.899775e-03,7.808071e-03,7.697791e-03,7.680306e-03,7.589245e-03,7.482460e-03,7.467652e-03,7.377458e-03,7.274254e-03,7.261991e-03,7.172862e-03,7.073291e-03,7.063434e-03,6.975547e-03,6.879634e-03,6.872040e-03,6.785551e-03,6.693295e-03,6.687818e-03,6.602864e-03,6.514248e-03,6.510741e-03,6.427441e-03,6.342430e-03,6.340749e-03,6.259205e-03,6.177751e-03,6.021638e-03,5.872279e-03,5.729531e-03,5.593236e-03,5.463229e-03,5.339337e-03,5.221382e-03,5.109182e-03,5.002553e-03,4.901309e-03,4.805266e-03,4.714238e-03,4.628044e-03,4.546503e-03,4.469437e-03,4.396671e-03,4.328034e-03,4.263358e-03,4.202478e-03,4.145234e-03,4.091472e-03,4.041038e-03,3.993785e-03,3.949571e-03,3.908255e-03,3.869703e-03,3.833785e-03,3.800374e-03,3.769349e-03,3.740590e-03,3.713984e-03,3.689421e-03,3.666794e-03,3.646001e-03,3.626943e-03,3.609526e-03,3.593657e-03,3.579249e-03,3.566218e-03,3.554481e-03,3.543961e-03,3.534584e-03,3.526276e-03,3.518971e-03,3.512601e-03,3.507104e-03,3.502420e-03,3.498492e-03,3.495263e-03
0.000000e+00,6.791537e-09,2.759011e-07,2.917294e-07,2.913802e-06,1.339590e-05,1.410725e-05,3.972465e-05,7.323050e-05,7.549218e-05,1.131390e-04,1.462175e-04,1.489939e-04,1.822759e-04,2.099922e-04,2.129439e-04,2.410996e-04,2.639005e-04,2.668717e-04,2.903947e-04,3.089277e-04,3.118023e-04,3.312259e-04,3.461012e-04,3.487921e-04,3.646225e-04,3.763895e-04,3.788328e-04,3.915322e-04,4.006739e-04,4.028245e-04,4.128074e-04,4.197444e-04,4.215727e-04,4.292070e-04,4.343027e-04,4.357914e-04,4.414018e-04,4.449684e-04,4.461092e-04,4.499805e-04,4.522851e-04,4.530778e-04,4.554600e-04,4.567314e-04,4.571816e-04,4.582936e-04,4.587261e-04,4.588439e-04,4.588772e-04,4.586364e-04,4.584353e-04,4.575569e-04,4.567826e-04,4.562785e-04,4.546340e-04,4.534445e-04,4.526550e-04,4.503711e-04,4.488659e-04,4.478098e-04,4.449967e-04,4.432592e-04,4.419557e-04,4.387090e-04,4.368089e-04,4.352774e-04,4.316802e-04,4.296751e-04,4.279351e-04,4.240590e-04,4.219968e-04,4.200673e-04,4.159743e-04,4.138940e-04,4.117933e-04,4.075369e-04,4.054703e-04,4.032163e-04,3.988423e-04,3.968150e-04,3.944246e-04,3.899724e-04,3.880047e-04,3.854942e-04,3.809976e-04,3.791053e-04,3.764898e-04,3.719774e-04,3.701726e-04,3.674666e-04,3.629629e-04,3.612545e-04,3.584715e-04,3.539970e-04,3.523912e-04,3.495438e-04,3.451159e-04,3.436168e-04,3.407167e-04,3.363497e-04,3.349596e-04,3.320178e-04,3.277237e-04,3.264432e-04,3.234699e-04,3.192584e-04,3.180871e-04,3.150914e-04,3.109706e-04,3.099069e-04,3.068975e-04,3.028736e-04,3.019153e-04,2.989000e-04,2.949778e-04,2.941220e-04,2.911080e-04,2.872914e-04,2.865345e-04,2.835285e-04,2.798200e-04,2.791582e-04,2.761662e-04,2.725676e-04,2.719969e-04,2.690243e-04,2.655366e-04,2.650528e-04,2.621045e-04,2.587281e-04,2.583266e-04,2.554072e-04,2.521419e-04,2.518184e-04,2.489318e-04,2.457768e-04,2.455268e-04,2.426767e-04,2.396311e-04,2.394501e-04,2.366397e-04,2.337021e-04,2.335857e-04,2.308179e-04,2.279866e-04,2.279305e-04,2.252078e-04,2.224810e-04,2.172332e-04,2.121829e-04,2.073257e-04,2.026570e-04,1.981720e-04,1.938658e-04,1.897336e-04,1.857704e-04,1.819713e-04,1.783313e-04,1.748455e-04,1.715091e-04,1.683173e-04,1.652654e-04,1.623487e-04,1.595628e-04,1.569031e-04,1.543653e-04,1.519451e-04,1.496384e-04,1.474411e-04,1.453493e-04,1.433592e-04,1.414669e-04,1.396690e-04,1.379617e-04,1.363418e-04,1.348059e-04,1.333508e-04,1.319733e-04,1.306704e-04,1.294393e-04,1.282769e-04,1.271807e-04,1.261479e-04,1.251759e-04,1.242623e-04,1.234046e-04,1.226006e-04,1.218479e-04,1.211443e-04,1.204878e-04,1.198763e-04,1.193079e-04,1.187806e-04,1.182927e-04,1.178422e-04,1.174276e-04,1.170472e-04
0.000000e+00,7.368307e-10,9.989640e-09,1.043617e-08,6.723924e-08,2.415353e-07,2.523434e-07,6.052405e-07,1.013092e-06,1.039593e-06,1.473123e-06,1.848946e-06,1.880397e-06,2.256526e-06,2.568495e-06,2.601647e-06,2.917124e-06,3.171535e-06,3.204612e-06,3.465776e-06,3.670547e-06,3.702216e-06,3.915403e-06,4.077590e-06,4.106810e-06,4.277857e-06,4.403878e-06,4.429903e-06,4.564246e-06,4.659804e-06,4.682117e-06,4.784683e-06,4.854771e-06,4.873046e-06,4.948247e-06,4.997202e-06,5.011265e-06,5.063018e-06,5.094572e-06,5.104368e-06,5.136124e-06,5.153474e-06,5.159042e-06,5.173828e-06,5.179696e-06,5.181144e-06,5.181606e-06,5.178301e-06,5.175791e-06,5.164235e-06,5.153708e-06,5.147439e-06,5.125869e-06,5.109761e-06,5.099960e-06,5.070117e-06,5.049804e-06,5.036714e-06,5.000103e-06,4.976732e-06,4.960607e-06,4.918530e-06,4.893053e-06,4.874150e-06,4.827728e-06,4.800931e-06,4.779506e-06,4.729706e-06,4.702231e-06,4.678535e-06,4.626185e-06,4.598556e-06,4.572832e-06,4.518641e-06,4.491278e-06,4.463762e-06,4.408334e-06,4.381571e-06,4.352485e-06,4.296334e-06,4.270433e-06,4.239989e-06,4.183549e-06,4.158710e-06,4.127107e-06,4.070745e-06,4.047115e-06,4.014540e-06,3.958562e-06,3.936249e-06,3.902875e-06,3.847536e-06,3.826609e-06,3.792598e-06,3.738107e-06,3.718609e-06,3.684108e-06,3.630638e-06,3.612585e-06,3.577731e-06,3.525419e-06,3.508809e-06,3.473728e-06,3.422683e-06,3.407499e-06,3.372305e-06,3.322612e-06,3.308823e-06,3.273620e-06,3.225342e-06,3.212908e-06,3.177790e-06,3.130972e-06,3.119846e-06,3.084897e-06,3.039570e-06,3.029699e-06,2.994996e-06,2.951176e-06,2.942503e-06,2.908113e-06,2.865806e-06,2.858271e-06,2.824255e-06,2.783458e-06,2.777000e-06,2.743411e-06,2.704112e-06,2.698670e-06,2.665556e-06,2.627737e-06,2.623248e-06,2.590650e-06,2.554289e-06,2.550692e-06,2.518646e-06,2.483714e-06,2.480950e-06,2.449485e-06,2.415952e-06,2.413962e-06,2.383106e-06,2.350938e-06,2.349665e-06,2.319440e-06,2.288601e-06,2.287991e-06,2.258413e-06,2.228867e-06,2.172219e-06,2.117972e-06,2.066048e-06,2.016370e-06,1.968862e-06,1.923447e-06,1.880049e-06,1.838594e-06,1.799008e-06,1.761220e-06,1.725160e-06,1.690759e-06,1.657951e-06,1.626672e-06,1.596859e-06,1.568452e-06,1.541391e-06,1.515620e-06,1.491085e-06,1.467733e-06,1.445513e-06,1.424377e-06,1.404276e-06,1.385167e-06,1.367005e-06,1.349749e-06,1.333358e-06,1.317795e-06,1.303022e-06,1.289004e-06,1.275706e-06,1.263097e-06,1.251145e-06,1.239821e-06,1.229095e-06,1.218941e-06,1.209331e-06,1.200242e-06,1.191648e-06,1.183528e-06,1.175859e-06,1.168619e-06,1.161789e-06,1.155350e-06,1.149283e-06,1.143571e-06,1.138196e-06,1.133143e-06,1.128397e-06
0.000000e+00,7.762875e-10,6.064872e-08,6.468984e-08,9.216810e-07,5.938435e-06,6.348949e-06,2.664776e-05,7.154819e-05,7.543854e-05,1.575882e-04,2.558604e-04,2.650831e-04,3.848960e-04,4.943178e-04,5.063188e-04,6.229566e-04,7.191920e-04,7.317939e-04,8.317780e-04,9.106016e-04,9.228186e-04,1.005242e-03,1.068170e-03,1.079531e-03,1.146219e-03,1.195605e-03,1.205838e-03,1.258906e-03,1.296976e-03,1.305916e-03,1.347333e-03,1.376038e-03,1.383595e-03,1.415112e-03,1.436128e-03,1.442267e-03,1.465415e-03,1.480162e-03,1.484890e-03,1.500996e-03,1.510667e-03,1.514018e-03,1.524219e-03,1.529813e-03,1.531842e-03,1.537112e-03,1.539458e-03,1.540237e-03,1.541407e-03,1.541194e-03,1.540799e-03,1.538576e-03,1.536377e-03,1.534890e-03,1.529878e-03,1.526162e-03,1.523669e-03,1.516380e-03,1.511533e-03,1.508119e-03,1.498986e-03,1.493326e-03,1.489073e-03,1.478465e-03,1.472250e-03,1.467239e-03,1.455467e-03,1.448907e-03,1.443215e-03,1.430542e-03,1.423805e-03,1.417505e-03,1.404154e-03,1.397376e-03,1.390537e-03,1.376695e-03,1.369983e-03,1.362668e-03,1.348492e-03,1.341931e-03,1.334200e-03,1.319822e-03,1.313476e-03,1.305385e-03,1.290915e-03,1.284833e-03,1.276434e-03,1.261963e-03,1.256181e-03,1.247521e-03,1.233125e-03,1.227670e-03,1.218790e-03,1.204532e-03,1.199420e-03,1.190363e-03,1.176294e-03,1.171535e-03,1.162335e-03,1.148497e-03,1.144095e-03,1.134787e-03,1.121212e-03,1.117167e-03,1.107780e-03,1.094496e-03,1.090804e-03,1.081366e-03,1.068394e-03,1.065048e-03,1.055584e-03,1.042939e-03,1.039929e-03,1.030462e-03,1.018156e-03,1.015471e-03,1.006022e-03,9.940629e-04,9.916921e-04,9.822793e-04,9.706723e-04,9.686018e-04,9.592424e-04,9.479902e-04,9.462063e-04,9.369157e-04,9.260190e-04,9.245076e-04,9.152996e-04,9.047573e-04,9.035040e-04,8.943912e-04,8.842007e-04,8.831912e-04,8.741847e-04,8.643424e-04,8.635624e-04,8.546724e-04,8.451735e-04,8.446090e-04,8.358444e-04,8.266836e-04,8.263206e-04,8.176895e-04,8.088607e-04,8.086858e-04,8.001954e-04,7.916919e-04,7.753258e-04,7.595733e-04,7.444201e-04,7.298515e-04,7.158525e-04,7.024080e-04,6.895028e-04,6.771220e-04,6.652505e-04,6.538733e-04,6.429758e-04,6.325434e-04,6.225618e-04,6.130169e-04,6.038948e-04,5.951820e-04,5.868652e-04,5.789313e-04,5.713677e-04,5.641618e-04,5.573015e-04,5.507750e-04,5.445706e-04,5.386770e-04,5.330833e-04,5.277786e-04,5.227527e-04,5.179951e-04,5.134961e-04,5.092460e-04,5.052354e-04,5.014551e-04,4.978963e-04,4.945503e-04,4.914087e-04,4.884634e-04,4.857065e-04,4.831301e-04,4.807270e-04,4.784897e-04,4.764113e-04,4.744849e-04,4.727038e-04,4.710617e-04,4.695523e-04,4.681696e-04,4.669076e-04,4.657608e-04,4.647236e-04
0.000000e+00,2.019899e-09,2.489289e-07,2.676208e-07,5.378790e-06,4.668834e-05,5.055898e-05,2.994727e-04,1.168393e-03,1.263541e-03,4.093596e-03,1.004976e-02,1.079041e-02,2.423761e-02,4.510930e-02,4.807694e-02,8.648793e-02,1.358809e-01,1.439275e-01,2.248688e-01,3.165271e-01,3.335637e-01,4.738434e-01,6.184879e-01,6.489629e-01,8.614908e-01,1.064975e+00,1.113242e+00,1.405247e+00,1.668028e+00,1.737757e+00,2.110274e+00,2.427862e+00,2.521600e+00,2.969905e+00,3.333899e+00,3.452804e+00,3.967441e+00,4.366812e+00,4.510575e+00,5.078664e+00,5.501036e+00,5.667948e+00,6.274529e+00,6.707303e+00,6.894439e+00,7.523710e+00,7.954961e+00,8.158428e+00,8.794785e+00,9.213893e+00,9.429120e+00,1.005796e+01,1.045601e+01,1.067803e+01,1.128629e+01,1.165626e+01,1.187998e+01,1.245655e+01,1.279333e+01,1.301375e+01,1.354958e+01,1.384987e+01,1.406230e+01,1.455044e+01,1.481258e+01,1.501276e+01,1.544827e+01,1.567202e+01,1.585621e+01,1.623604e+01,1.642231e+01,1.658739e+01,1.691010e+01,1.706070e+01,1.720416e+01,1.746975e+01,1.758719e+01,1.770715e+01,1.791677e+01,1.800402e+01,1.809917e+01,1.825496e+01,1.831526e+01,1.838486e+01,1.848966e+01,1.852639e+01,1.857020e+01,1.862739e+01,1.864393e+01,1.866215e+01,1.867547e+01,1.867512e+01,1.866834e+01,1.864176e+01,1.862762e+01,1.859675e+01,1.853432e+01,1.850931e+01,1.845549e+01,1.836127e+01,1.832803e+01,1.825264e+01,1.813059e+01,1.809150e+01,1.799607e+01,1.785001e+01,1.780718e+01,1.769333e+01,1.752691e+01,1.748215e+01,1.735159e+01,1.716821e+01,1.712308e+01,1.697755e+01,1.678037e+01,1.673619e+01,1.657741e+01,1.636936e+01,1.632719e+01,1.615688e+01,1.594061e+01,1.590133e+01,1.572116e+01,1.549908e+01,1.546334e+01,1.527493e+01,1.504920e+01,1.501750e+01,1.482239e+01,1.459494e+01,1.456762e+01,1.436727e+01,1.413979e+01,1.411707e+01,1.391286e+01,1.368684e+01,1.366881e+01,1.346205e+01,1.323877e+01,1.322543e+01,1.301731e+01,1.279790e+01,1.278917e+01,1.258079e+01,1.236620e+01,1.236193e+01,1.215432e+01,1.194533e+01,1.154073e+01,1.114922e+01,1.077170e+01,1.040888e+01,1.006128e+01,9.729281e+00,9.413127e+00,9.112943e+00,8.828753e+00,8.560491e+00,8.308011e+00,8.071103e+00,7.849496e+00,7.642869e+00,7.450856e+00,7.273057e+00,7.109039e+00,6.958345e+00,6.820495e+00,6.694994e+00,6.581331e+00,6.478984e+00,6.387427e+00,6.306124e+00,6.234539e+00,6.172135e+00,6.118378e+00,6.072735e+00,6.034681e+00,6.003694e+00,5.979266e+00,5.960895e+00,5.948091e+00,5.940379e+00,5.937295e+00,5.938392e+00,5.943239e+00,5.951419e+00,5.962536e+00,5.976211e+00,5.992084e+00,6.009813e+00,6.029078e+00,6.049576e+00,6.071026e+00,6.093165e+00,6.115753e+00,6.138566e+00,6.161400e+00
0.000000e+00,4.757652e-09,1.170922e-07,1.232662e-07,1.057366e-06,4.386108e-06,4.600398e-06,1.166823e-05,1.957845e-05,2.007718e-05,2.796663e-05,3.440553e-05,3.492772e-05,4.097110e-05,4.569418e-05,4.618012e-05,5.064440e-05,5.402325e-05,5.444722e-05,5.766370e-05,6.001227e-05,6.036093e-05,6.259874e-05,6.416254e-05,6.443032e-05,6.590349e-05,6.687404e-05,6.706081e-05,6.794033e-05,6.846679e-05,6.857588e-05,6.899758e-05,6.919536e-05,6.923218e-05,6.930342e-05,6.926137e-05,6.923238e-05,6.903771e-05,6.882385e-05,6.873593e-05,6.834166e-05,6.800782e-05,6.786780e-05,6.732578e-05,6.691126e-05,6.672567e-05,6.607638e-05,6.561079e-05,6.538572e-05,6.466063e-05,6.416618e-05,6.390717e-05,6.313070e-05,6.262388e-05,6.233592e-05,6.152697e-05,6.101991e-05,6.070747e-05,5.988058e-05,5.938208e-05,5.904909e-05,5.821542e-05,5.773173e-05,5.738167e-05,5.654970e-05,5.608517e-05,5.572109e-05,5.489723e-05,5.445474e-05,5.407930e-05,5.326832e-05,5.284966e-05,5.246518e-05,5.167063e-05,5.127677e-05,5.088529e-05,5.010969e-05,4.974099e-05,4.934427e-05,4.858939e-05,4.824577e-05,4.784535e-05,4.711237e-05,4.679341e-05,4.639063e-05,4.568027e-05,4.538533e-05,4.498137e-05,4.429399e-05,4.402227e-05,4.361816e-05,4.295386e-05,4.270444e-05,4.230107e-05,4.165973e-05,4.143165e-05,4.102980e-05,4.041117e-05,4.020340e-05,3.980376e-05,3.920746e-05,3.901897e-05,3.862214e-05,3.804770e-05,3.787747e-05,3.748399e-05,3.693088e-05,3.677789e-05,3.638823e-05,3.585589e-05,3.571915e-05,3.533370e-05,3.482153e-05,3.470008e-05,3.431921e-05,3.382660e-05,3.371951e-05,3.334353e-05,3.286986e-05,3.277624e-05,3.240542e-05,3.195007e-05,3.186906e-05,3.150364e-05,3.106599e-05,3.099677e-05,3.063696e-05,3.021640e-05,3.015819e-05,2.980416e-05,2.940010e-05,2.935215e-05,2.900406e-05,2.861590e-05,2.857751e-05,2.823548e-05,2.786266e-05,2.783316e-05,2.749729e-05,2.713925e-05,2.711800e-05,2.678839e-05,2.644459e-05,2.643098e-05,2.610770e-05,2.577761e-05,2.577107e-05,2.545418e-05,2.513728e-05,2.452865e-05,2.394424e-05,2.338315e-05,2.284451e-05,2.232749e-05,2.183126e-05,2.135504e-05,2.089809e-05,2.045967e-05,2.003908e-05,1.963565e-05,1.924872e-05,1.887766e-05,1.852188e-05,1.818078e-05,1.785380e-05,1.754041e-05,1.724009e-05,1.695232e-05,1.667664e-05,1.641257e-05,1.615967e-05,1.591750e-05,1.568566e-05,1.546374e-05,1.525136e-05,1.504815e-05,1.485375e-05,1.466782e-05,1.449002e-05,1.432006e-05,1.415761e-05,1.400238e-05,1.385409e-05,1.371247e-05,1.357725e-05,1.344819e-05,1.332504e-05,1.320757e-05,1.309555e-05,1.298876e-05,1.288701e-05,1.279008e-05,1.269778e-05,1.260994e-05,1.252637e-05,1.244690e-05,1.237136e-05,1.229960e-05
0.000000e+00,5.268852e-09,1.458435e-07,1.536818e-07,1.331622e-06,5.380711e-06,5.636715e-06,1.399025e-05,2.332731e-05,2.391584e-05,3.319520e-05,4.070665e-05,4.131293e-05,4.829506e-05,5.370360e-05,5.425743e-05,5.931981e-05,6.311745e-05,6.359167e-05,6.717045e-05,6.975994e-05,7.014244e-05,7.258381e-05,7.427391e-05,7.456177e-05,7.613549e-05,7.716101e-05,7.735702e-05,7.827210e-05,7.881068e-05,7.892089e-05,7.933860e-05,7.952397e-05,7.955607e-05,7.960034e-05,7.953284e-05,7.949509e-05,7.926104e-05,7.901565e-05,7.891628e-05,7.847657e-05,7.810903e-05,7.795576e-05,7.736598e-05,7.691783e-05,7.671782e-05,7.602048e-05,7.552239e-05,7.528209e-05,7.450978e-05,7.398453e-05,7.370976e-05,7.288731e-05,7.235135e-05,7.204710e-05,7.119322e-05,7.065849e-05,7.032915e-05,6.945802e-05,6.893313e-05,6.858259e-05,6.770508e-05,6.719596e-05,6.682747e-05,6.595154e-05,6.546232e-05,6.507877e-05,6.421041e-05,6.374373e-05,6.334757e-05,6.249119e-05,6.204869e-05,6.164206e-05,6.080089e-05,6.038347e-05,5.996825e-05,5.914462e-05,5.875260e-05,5.833040e-05,5.752592e-05,5.715921e-05,5.673145e-05,5.594721e-05,5.560542e-05,5.517335e-05,5.441002e-05,5.409258e-05,5.365730e-05,5.291526e-05,5.262144e-05,5.218393e-05,5.146331e-05,5.119229e-05,5.075341e-05,5.005418e-05,4.980507e-05,4.936559e-05,4.868758e-05,4.845945e-05,4.802007e-05,4.736300e-05,4.715493e-05,4.671628e-05,4.607980e-05,4.589084e-05,4.545348e-05,4.483720e-05,4.466643e-05,4.423087e-05,4.363436e-05,4.348086e-05,4.304756e-05,4.247036e-05,4.233325e-05,4.190263e-05,4.134426e-05,4.122266e-05,4.079511e-05,4.025508e-05,4.014815e-05,3.972403e-05,3.920185e-05,3.910879e-05,3.868841e-05,3.818358e-05,3.810360e-05,3.768725e-05,3.719930e-05,3.713165e-05,3.671960e-05,3.624803e-05,3.619198e-05,3.578447e-05,3.532881e-05,3.528367e-05,3.488093e-05,3.444071e-05,3.440582e-05,3.400803e-05,3.358279e-05,3.355751e-05,3.316487e-05,3.275416e-05,3.273788e-05,3.235055e-05,3.195393e-05,3.194607e-05,3.156419e-05,3.118123e-05,3.044256e-05,2.972924e-05,2.904051e-05,2.837561e-05,2.773380e-05,2.711437e-05,2.651663e-05,2.593989e-05,2.538351e-05,2.484684e-05,2.432927e-05,2.383019e-05,2.334902e-05,2.288520e-05,2.243818e-05,2.200742e-05,2.159240e-05,2.119264e-05,2.080763e-05,2.043690e-05,2.008001e-05,1.973650e-05,1.940595e-05,1.908793e-05,1.878204e-05,1.848790e-05,1.820512e-05,1.793332e-05,1.767216e-05,1.742129e-05,1.718036e-05,1.694906e-05,1.672707e-05,1.651408e-05,1.630980e-05,1.611393e-05,1.592620e-05,1.574634e-05,1.557409e-05,1.540918e-05,1.525138e-05,1.510045e-05,1.495615e-05,1.481826e-05,1.468657e-05,1.456085e-05,1.444091e-05,1.432655e-05,1.421758e-05
0.000000e+00,1.221530e-08,1.931141e-07,2.020409e-07,1.333227e-06,4.589671e-06,4.782738e-06,1.073849e-05,1.720141e-05,1.761554e-05,2.437409e-05,3.026859e-05,3.076503e-05,3.675112e-05,4.179599e-05,4.233691e-05,4.753565e-05,5.180267e-05,5.236285e-05,5.683468e-05,6.040871e-05,6.096751e-05,6.477762e-05,6.774046e-05,6.828105e-05,7.149347e-05,7.392115e-05,7.443003e-05,7.710542e-05,7.906718e-05,7.953373e-05,8.172851e-05,8.328668e-05,8.370272e-05,8.546879e-05,8.667910e-05,8.703855e-05,8.842335e-05,8.933538e-05,8.963397e-05,9.068070e-05,9.133840e-05,9.157337e-05,9.232129e-05,9.276350e-05,9.293337e-05,9.341805e-05,9.367898e-05,9.378336e-05,9.403694e-05,9.414664e-05,9.418606e-05,9.423760e-05,9.422243e-05,9.419813e-05,9.407383e-05,9.395677e-05,9.387061e-05,9.359405e-05,9.339513e-05,9.324946e-05,9.284186e-05,9.257845e-05,9.237598e-05,9.185634e-05,9.154345e-05,9.128719e-05,9.067257e-05,9.032312e-05,9.001628e-05,8.932193e-05,8.894696e-05,8.859292e-05,8.783245e-05,8.744138e-05,8.704357e-05,8.622913e-05,8.582992e-05,8.539184e-05,8.453422e-05,8.413356e-05,8.365868e-05,8.276747e-05,8.237093e-05,8.186272e-05,8.094640e-05,8.055855e-05,8.002039e-05,7.908645e-05,7.871103e-05,7.814623e-05,7.720127e-05,7.684125e-05,7.625302e-05,7.530283e-05,7.496053e-05,7.435196e-05,7.340159e-05,7.307878e-05,7.245282e-05,7.150668e-05,7.120463e-05,7.056412e-05,6.962602e-05,6.934559e-05,6.869320e-05,6.776643e-05,6.750811e-05,6.684640e-05,6.593376e-05,6.569776e-05,6.502911e-05,6.413299e-05,6.391925e-05,6.324591e-05,6.236831e-05,6.217656e-05,6.150062e-05,6.064321e-05,6.047299e-05,5.979641e-05,5.896054e-05,5.881127e-05,5.813587e-05,5.732263e-05,5.719359e-05,5.652104e-05,5.573129e-05,5.562168e-05,5.495353e-05,5.418790e-05,5.409685e-05,5.343451e-05,5.269345e-05,5.262003e-05,5.196480e-05,5.124860e-05,5.119184e-05,5.054489e-05,4.985369e-05,4.981262e-05,4.917500e-05,4.850882e-05,4.848243e-05,4.785511e-05,4.721384e-05,4.720114e-05,4.658496e-05,4.596841e-05,4.478375e-05,4.364653e-05,4.255597e-05,4.151121e-05,4.051131e-05,3.955526e-05,3.864196e-05,3.777032e-05,3.693916e-05,3.614729e-05,3.539353e-05,3.467664e-05,3.399543e-05,3.334865e-05,3.273511e-05,3.215361e-05,3.160295e-05,3.108197e-05,3.058951e-05,3.012445e-05,2.968567e-05,2.927210e-05,2.888269e-05,2.851640e-05,2.817223e-05,2.784922e-05,2.754643e-05,2.726293e-05,2.699784e-05,2.675032e-05,2.651953e-05,2.630467e-05,2.610498e-05,2.591972e-05,2.574817e-05,2.558965e-05,2.544349e-05,2.530906e-05,2.518575e-05,2.507297e-05,2.497016e-05,2.487679e-05,2.479234e-05,2.471631e-05,2.464823e-05,2.458765e-05,2.453413e-05,2.448727e-05,2.444666e-05
0.000000e+00,7.279950e-11,8.103419e-09,8.702680e-09,1.706606e-07,1.443206e-06,1.559744e-06,8.505569e-06,2.894769e-05,3.098097e-05,8.260678e-05,1.657214e-04,1.747410e-04,3.119381e-04,4.715242e-04,4.911098e-04,7.033608e-04,9.080575e-04,9.367653e-04,1.178892e-03,1.385522e-03,1.418569e-03,1.646831e-03,1.824960e-03,1.857230e-03,2.045707e-03,2.182425e-03,2.210236e-03,2.350381e-03,2.445393e-03,2.466858e-03,2.561152e-03,2.620537e-03,2.635197e-03,2.691146e-03,2.722917e-03,2.731194e-03,2.757465e-03,2.769209e-03,2.771942e-03,2.776432e-03,2.774391e-03,2.772542e-03,2.761683e-03,2.750597e-03,2.745078e-03,2.723780e-03,2.707078e-03,2.698683e-03,2.670544e-03,2.650621e-03,2.640002e-03,2.607590e-03,2.586074e-03,2.573754e-03,2.538865e-03,2.516843e-03,2.503231e-03,2.467106e-03,2.445284e-03,2.430699e-03,2.394183e-03,2.373010e-03,2.357699e-03,2.321362e-03,2.301113e-03,2.285265e-03,2.249487e-03,2.230320e-03,2.214086e-03,2.179113e-03,2.161110e-03,2.144607e-03,2.110598e-03,2.093787e-03,2.077110e-03,2.044162e-03,2.028543e-03,2.011767e-03,1.979933e-03,1.965480e-03,1.948668e-03,1.917973e-03,1.904649e-03,1.887851e-03,1.858300e-03,1.846059e-03,1.829319e-03,1.800905e-03,1.789696e-03,1.773052e-03,1.745755e-03,1.735527e-03,1.719009e-03,1.692808e-03,1.683507e-03,1.667143e-03,1.642009e-03,1.633582e-03,1.617397e-03,1.593300e-03,1.585696e-03,1.569710e-03,1.546618e-03,1.539787e-03,1.524018e-03,1.501900e-03,1.495793e-03,1.480257e-03,1.459080e-03,1.453650e-03,1.438362e-03,1.418093e-03,1.413295e-03,1.398267e-03,1.378875e-03,1.374666e-03,1.359909e-03,1.341362e-03,1.337702e-03,1.323225e-03,1.305491e-03,1.302341e-03,1.288153e-03,1.271202e-03,1.268525e-03,1.254632e-03,1.238435e-03,1.236197e-03,1.222604e-03,1.207132e-03,1.205299e-03,1.192011e-03,1.177236e-03,1.175777e-03,1.162799e-03,1.148694e-03,1.147579e-03,1.134913e-03,1.121452e-03,1.120654e-03,1.108302e-03,1.095459e-03,1.094951e-03,1.082915e-03,1.070665e-03,1.070423e-03,1.058703e-03,1.047022e-03,1.024705e-03,1.003428e-03,9.831484e-04,9.638264e-04,9.454227e-04,9.278998e-04,9.112214e-04,8.953526e-04,8.802595e-04,8.659097e-04,8.522719e-04,8.393161e-04,8.270131e-04,8.153350e-04,8.042549e-04,7.937469e-04,7.837862e-04,7.743487e-04,7.654114e-04,7.569521e-04,7.489494e-04,7.413830e-04,7.342329e-04,7.274804e-04,7.211071e-04,7.150956e-04,7.094290e-04,7.040913e-04,6.990668e-04,6.943407e-04,6.898986e-04,6.857270e-04,6.818125e-04,6.781425e-04,6.747050e-04,6.714882e-04,6.684811e-04,6.656730e-04,6.630537e-04,6.606132e-04,6.583423e-04,6.562320e-04,6.542737e-04,6.524591e-04,6.507803e-04,6.492299e-04,6.478007e-04,6.464857e-04,6.452785e-04
0.000000e+00,1.505044e-11,1.807132e-09,1.941285e-09,3.712155e-08,3.054765e-07,3.301157e-07,1.871664e-06,7.131076e-06,7.704684e-06,2.480395e-05,6.122648e-05,6.579184e-05,1.496615e-04,2.822635e-04,3.012842e-04,5.500081e-04,8.745547e-04,9.277838e-04,1.467170e-03,2.084229e-03,2.199463e-03,3.153088e-03,4.143090e-03,4.352332e-03,5.816423e-03,7.224329e-03,7.558959e-03,9.587643e-03,1.141803e-02,1.190429e-02,1.450505e-02,1.672518e-02,1.738080e-02,2.051766e-02,2.306535e-02,2.389761e-02,2.749910e-02,3.029262e-02,3.129780e-02,3.526720e-02,3.821518e-02,3.937928e-02,4.360510e-02,4.661515e-02,4.791536e-02,5.228090e-02,5.526643e-02,5.667315e-02,6.106446e-02,6.394935e-02,6.542847e-02,6.974032e-02,7.246176e-02,7.397686e-02,7.811684e-02,8.062659e-02,8.214097e-02,8.603197e-02,8.829626e-02,8.977462e-02,9.335571e-02,9.535421e-02,9.676403e-02,9.999032e-02,1.017147e-01,1.030272e-01,1.058690e-01,1.073209e-01,1.085117e-01,1.109528e-01,1.121422e-01,1.131915e-01,1.152278e-01,1.161705e-01,1.170632e-01,1.187004e-01,1.194167e-01,1.201426e-01,1.213942e-01,1.219072e-01,1.224601e-01,1.233459e-01,1.236802e-01,1.240578e-01,1.246022e-01,1.247826e-01,1.249860e-01,1.252164e-01,1.252671e-01,1.253005e-01,1.252458e-01,1.251902e-01,1.250599e-01,1.247502e-01,1.246098e-01,1.243241e-01,1.237890e-01,1.235836e-01,1.231522e-01,1.224209e-01,1.221680e-01,1.216019e-01,1.207021e-01,1.204174e-01,1.197280e-01,1.186859e-01,1.183828e-01,1.175820e-01,1.164221e-01,1.161120e-01,1.152118e-01,1.139565e-01,1.136492e-01,1.126614e-01,1.113313e-01,1.110344e-01,1.099708e-01,1.085843e-01,1.083042e-01,1.071759e-01,1.057496e-01,1.054912e-01,1.043090e-01,1.028575e-01,1.026245e-01,1.013984e-01,9.993480e-02,9.972968e-02,9.846939e-02,9.700484e-02,9.682927e-02,9.554361e-02,9.408795e-02,9.394277e-02,9.263997e-02,9.120159e-02,9.108699e-02,8.977461e-02,8.836067e-02,8.827628e-02,8.696126e-02,8.557775e-02,8.552276e-02,8.421139e-02,8.286331e-02,8.283654e-02,8.153452e-02,8.022595e-02,7.769772e-02,7.525717e-02,7.290839e-02,7.065435e-02,6.849707e-02,6.643775e-02,6.447682e-02,6.261412e-02,6.084891e-02,5.918003e-02,5.760587e-02,5.612453e-02,5.473378e-02,5.343119e-02,5.221410e-02,5.107972e-02,5.002512e-02,4.904727e-02,4.814306e-02,4.730934e-02,4.654293e-02,4.584064e-02,4.519927e-02,4.461565e-02,4.408663e-02,4.360911e-02,4.318004e-02,4.279643e-02,4.245536e-02,4.215398e-02,4.188952e-02,4.165931e-02,4.146076e-02,4.129137e-02,4.114876e-02,4.103062e-02,4.093477e-02,4.085912e-02,4.080168e-02,4.076057e-02,4.073402e-02,4.072036e-02,4.071801e-02,4.072551e-02,4.074148e-02,4.076465e-02,4.079385e-02,4.082797e-02,4.086604e-02
0.000000e+00,5.243674e-11,5.719819e-09,6.134397e-09,1.086340e-07,8.232797e-07,8.862906e-07,4.522322e-06,1.540202e-05,1.651765e-05,4.685370e-05,1.027175e-04,1.092399e-04,2.182885e-04,3.663029e-04,3.859430e-04,6.188103e-04,8.780562e-04,9.171856e-04,1.275593e-03,1.624438e-03,1.684224e-03,2.130683e-03,2.525157e-03,2.601598e-03,3.083908e-03,3.479531e-03,3.565747e-03,4.036960e-03,4.400688e-03,4.489324e-03,4.916549e-03,5.229376e-03,5.314129e-03,5.679140e-03,5.933737e-03,6.009978e-03,6.306109e-03,6.503056e-03,6.567839e-03,6.796094e-03,6.940472e-03,6.992255e-03,7.158004e-03,7.256928e-03,7.295208e-03,7.405835e-03,7.466901e-03,7.491883e-03,7.555331e-03,7.585762e-03,7.598099e-03,7.622030e-03,7.628270e-03,7.628869e-03,7.620260e-03,7.607842e-03,7.597737e-03,7.562728e-03,7.536283e-03,7.516554e-03,7.460433e-03,7.423772e-03,7.395489e-03,7.322753e-03,7.278973e-03,7.243169e-03,7.157604e-03,7.109192e-03,7.066847e-03,6.971622e-03,6.920561e-03,6.872588e-03,6.770344e-03,6.718191e-03,6.665437e-03,6.558364e-03,6.506333e-03,6.449574e-03,6.339477e-03,6.288497e-03,6.228444e-03,6.116807e-03,6.067575e-03,6.004870e-03,5.892904e-03,5.845930e-03,5.781156e-03,5.669844e-03,5.625486e-03,5.559166e-03,5.449297e-03,5.407792e-03,5.340393e-03,5.232594e-03,5.194080e-03,5.126021e-03,5.020784e-03,4.985325e-03,4.916977e-03,4.814681e-03,4.782278e-03,4.713968e-03,4.614899e-03,4.585507e-03,4.517525e-03,4.421888e-03,4.395426e-03,4.328024e-03,4.235961e-03,4.212322e-03,4.145720e-03,4.057316e-03,4.036374e-03,3.970761e-03,3.886060e-03,3.867675e-03,3.803215e-03,3.722222e-03,3.706246e-03,3.643077e-03,3.565769e-03,3.552048e-03,3.490287e-03,3.416616e-03,3.404995e-03,3.344740e-03,3.274640e-03,3.264967e-03,3.206296e-03,3.139687e-03,3.131810e-03,3.074789e-03,3.011578e-03,3.005348e-03,2.950028e-03,2.890114e-03,2.885390e-03,2.831808e-03,2.775083e-03,2.771729e-03,2.719912e-03,2.666265e-03,2.664151e-03,2.614115e-03,2.563433e-03,2.562434e-03,2.514189e-03,2.466356e-03,2.375693e-03,2.290223e-03,2.209726e-03,2.133983e-03,2.062785e-03,1.995923e-03,1.933197e-03,1.874412e-03,1.819380e-03,1.767918e-03,1.719852e-03,1.675014e-03,1.633240e-03,1.594377e-03,1.558275e-03,1.524792e-03,1.493791e-03,1.465142e-03,1.438720e-03,1.414406e-03,1.392087e-03,1.371653e-03,1.353001e-03,1.336031e-03,1.320650e-03,1.306767e-03,1.294297e-03,1.283157e-03,1.273269e-03,1.264559e-03,1.256956e-03,1.250391e-03,1.244801e-03,1.240123e-03,1.236299e-03,1.233274e-03,1.230993e-03,1.229406e-03,1.228464e-03,1.228122e-03,1.228336e-03,1.229064e-03,1.230266e-03,1.231905e-03,1.233945e-03,1.236351e-03,1.239091e-03,1.242135e-03,1.245453e-03
0.000000e+00,5.930164e-11,6.643949e-09,7.134672e-09,1.367705e-07,1.106889e-06,1.194016e-06,6.265644e-06,2.105226e-05,2.252977e-05,6.059962e-05,1.237593e-04,1.307273e-04,2.389592e-04,3.693430e-04,3.856409e-04,5.661411e-04,7.467853e-04,7.726389e-04,9.960060e-04,1.194728e-03,1.227272e-03,1.458554e-03,1.648143e-03,1.683493e-03,1.897349e-03,2.062123e-03,2.096877e-03,2.280100e-03,2.414264e-03,2.446055e-03,2.594541e-03,2.698442e-03,2.725904e-03,2.840858e-03,2.917827e-03,2.940351e-03,3.025456e-03,3.079836e-03,3.097304e-03,3.157028e-03,3.193142e-03,3.205728e-03,3.244452e-03,3.266153e-03,3.274184e-03,3.295837e-03,3.306377e-03,3.310250e-03,3.318193e-03,3.320234e-03,3.320366e-03,3.317404e-03,3.313082e-03,3.309883e-03,3.298323e-03,3.289336e-03,3.283195e-03,3.264921e-03,3.252607e-03,3.243883e-03,3.220424e-03,3.205833e-03,3.194855e-03,3.167451e-03,3.151399e-03,3.138465e-03,3.108119e-03,3.091238e-03,3.076615e-03,3.044135e-03,3.026914e-03,3.010841e-03,2.976879e-03,2.959689e-03,2.942379e-03,2.907459e-03,2.890579e-03,2.872222e-03,2.836764e-03,2.820402e-03,2.801167e-03,2.765507e-03,2.749813e-03,2.729849e-03,2.694254e-03,2.679335e-03,2.658774e-03,2.623456e-03,2.609384e-03,2.588343e-03,2.553471e-03,2.540289e-03,2.518871e-03,2.484574e-03,2.472305e-03,2.450602e-03,2.416980e-03,2.405631e-03,2.383724e-03,2.350851e-03,2.340416e-03,2.318376e-03,2.286311e-03,2.276773e-03,2.254665e-03,2.223447e-03,2.214784e-03,2.192664e-03,2.162320e-03,2.154503e-03,2.132421e-03,2.102969e-03,2.095968e-03,2.073967e-03,2.045415e-03,2.039195e-03,2.017315e-03,1.989665e-03,1.984189e-03,1.962466e-03,1.935714e-03,1.930946e-03,1.909409e-03,1.883548e-03,1.879452e-03,1.858129e-03,1.833147e-03,1.829684e-03,1.808599e-03,1.784482e-03,1.781617e-03,1.760792e-03,1.737524e-03,1.735220e-03,1.714674e-03,1.692237e-03,1.690460e-03,1.670209e-03,1.648584e-03,1.647299e-03,1.627358e-03,1.606526e-03,1.605701e-03,1.586082e-03,1.566022e-03,1.565625e-03,1.546341e-03,1.527032e-03,1.489882e-03,1.454133e-03,1.419746e-03,1.386681e-03,1.354896e-03,1.324353e-03,1.295013e-03,1.266838e-03,1.239791e-03,1.213836e-03,1.188936e-03,1.165058e-03,1.142166e-03,1.120229e-03,1.099213e-03,1.079089e-03,1.059824e-03,1.041391e-03,1.023759e-03,1.006901e-03,9.907901e-04,9.753998e-04,9.607046e-04,9.466798e-04,9.333012e-04,9.205456e-04,9.083904e-04,8.968137e-04,8.857942e-04,8.753114e-04,8.653452e-04,8.558764e-04,8.468861e-04,8.383562e-04,8.302692e-04,8.226079e-04,8.153558e-04,8.084970e-04,8.020159e-04,7.958975e-04,7.901273e-04,7.846912e-04,7.795756e-04,7.747672e-04,7.702533e-04,7.660216e-04,7.620600e-04,7.583571e-04,7.549015e-04
0.000000e+00,1.211673e-09,1.519932e-08,1.586079e-08,9.998916e-08,3.676979e-07,3.847527e-07,9.665092e-07,1.680521e-06,1.727772e-06,2.508053e-06,3.191002e-06,3.248330e-06,3.935626e-06,4.507860e-06,4.568781e-06,5.149587e-06,5.619389e-06,5.680563e-06,6.164381e-06,6.544776e-06,6.603700e-06,7.001116e-06,7.304404e-06,7.359142e-06,7.680207e-06,7.917536e-06,7.966639e-06,8.220668e-06,8.401996e-06,8.444423e-06,8.639927e-06,8.774048e-06,8.809101e-06,8.953764e-06,9.048376e-06,9.075635e-06,9.176339e-06,9.238137e-06,9.257408e-06,9.320283e-06,9.355053e-06,9.366323e-06,9.396805e-06,9.409532e-06,9.412931e-06,9.415829e-06,9.410786e-06,9.406557e-06,9.386109e-06,9.366947e-06,9.355418e-06,9.315357e-06,9.285181e-06,9.266745e-06,9.210347e-06,9.171787e-06,9.146881e-06,9.077018e-06,9.032291e-06,9.001383e-06,8.920561e-06,8.871526e-06,8.835100e-06,8.745509e-06,8.693713e-06,8.652263e-06,8.555805e-06,8.502528e-06,8.456546e-06,8.354871e-06,8.301163e-06,8.251135e-06,8.145669e-06,8.092384e-06,8.038781e-06,7.930754e-06,7.878576e-06,7.821853e-06,7.712321e-06,7.661787e-06,7.602383e-06,7.492246e-06,7.443773e-06,7.382102e-06,7.272126e-06,7.226026e-06,7.162480e-06,7.053312e-06,7.009809e-06,6.944757e-06,6.836940e-06,6.796186e-06,6.729971e-06,6.623954e-06,6.586039e-06,6.518982e-06,6.415137e-06,6.380100e-06,6.312494e-06,6.211122e-06,6.178960e-06,6.111079e-06,6.012418e-06,5.983097e-06,5.915187e-06,5.819426e-06,5.792881e-06,5.725170e-06,5.632449e-06,5.608596e-06,5.541289e-06,5.451710e-06,5.430449e-06,5.363730e-06,5.277361e-06,5.258577e-06,5.192613e-06,5.109491e-06,5.093063e-06,5.028000e-06,4.948139e-06,4.933937e-06,4.869907e-06,4.793299e-06,4.781192e-06,4.718308e-06,4.644927e-06,4.634781e-06,4.573144e-06,4.502948e-06,4.494631e-06,4.434326e-06,4.367263e-06,4.360641e-06,4.301742e-06,4.237747e-06,4.232693e-06,4.175260e-06,4.114262e-06,4.110649e-06,4.054733e-06,3.996653e-06,3.994360e-06,3.940001e-06,3.884755e-06,3.883665e-06,3.830894e-06,3.778396e-06,3.678379e-06,3.583436e-06,3.493386e-06,3.408049e-06,3.327243e-06,3.250788e-06,3.178506e-06,3.110223e-06,3.045765e-06,2.984966e-06,2.927660e-06,2.873689e-06,2.822898e-06,2.775136e-06,2.730259e-06,2.688126e-06,2.648603e-06,2.611558e-06,2.576868e-06,2.544413e-06,2.514076e-06,2.485748e-06,2.459322e-06,2.434698e-06,2.411779e-06,2.390473e-06,2.370691e-06,2.352350e-06,2.335368e-06,2.319671e-06,2.305184e-06,2.291840e-06,2.279571e-06,2.268316e-06,2.258014e-06,2.248610e-06,2.240049e-06,2.232281e-06,2.225258e-06,2.218933e-06,2.213263e-06,2.208208e-06,2.203727e-06,2.199784e-06,2.196345e-06,2.193375e-06,2.190845e-06,2.188724e-06,2.186984e-06
0.000000e+00,5.540722e-11,6.562498e-09,7.046655e-09,1.306035e-07,1.026563e-06,1.106992e-06,5.933687e-06,2.144863e-05,2.309920e-05,7.072384e-05,1.678689e-04,1.798316e-04,3.952599e-04,7.269713e-04,7.740222e-04,1.381902e-03,2.162192e-03,2.289239e-03,3.566645e-03,5.012450e-03,5.281124e-03,7.492849e-03,9.772509e-03,1.025271e-02,1.360060e-02,1.680465e-02,1.756447e-02,2.215993e-02,2.629376e-02,2.739043e-02,3.324784e-02,3.824004e-02,3.971330e-02,4.675836e-02,5.247787e-02,5.434621e-02,6.243299e-02,6.870945e-02,7.096913e-02,7.990066e-02,8.654422e-02,8.917048e-02,9.871949e-02,1.055378e-01,1.084877e-01,1.184151e-01,1.252264e-01,1.284425e-01,1.385126e-01,1.451553e-01,1.485700e-01,1.585621e-01,1.648998e-01,1.684395e-01,1.781560e-01,1.840806e-01,1.876691e-01,1.969403e-01,2.023721e-01,2.059345e-01,2.146207e-01,2.195067e-01,2.229718e-01,2.309641e-01,2.352755e-01,2.385777e-01,2.457963e-01,2.495252e-01,2.526065e-01,2.589984e-01,2.621543e-01,2.649647e-01,2.705012e-01,2.731074e-01,2.756057e-01,2.802786e-01,2.823690e-01,2.845225e-01,2.883415e-01,2.899573e-01,2.917419e-01,2.947311e-01,2.959184e-01,2.973181e-01,2.995128e-01,3.003203e-01,3.013264e-01,3.027707e-01,3.032478e-01,3.038583e-01,3.046023e-01,3.047977e-01,3.050164e-01,3.051146e-01,3.050753e-01,3.049112e-01,3.044205e-01,3.041908e-01,3.036571e-01,3.026353e-01,3.022561e-01,3.013695e-01,2.998738e-01,2.993825e-01,2.981625e-01,2.962492e-01,2.956791e-01,2.941476e-01,2.918709e-01,2.912519e-01,2.894321e-01,2.868437e-01,2.862016e-01,2.841180e-01,2.812668e-01,2.806238e-01,2.783014e-01,2.752328e-01,2.746077e-01,2.720717e-01,2.688281e-01,2.682363e-01,2.655118e-01,2.621321e-01,2.615860e-01,2.586978e-01,2.552175e-01,2.547270e-01,2.516990e-01,2.481502e-01,2.477227e-01,2.445782e-01,2.409899e-01,2.406304e-01,2.373917e-01,2.337898e-01,2.335017e-01,2.301899e-01,2.265974e-01,2.263822e-01,2.230173e-01,2.194545e-01,2.193124e-01,2.159133e-01,2.123978e-01,2.123278e-01,2.089119e-01,2.054592e-01,1.987332e-01,1.921725e-01,1.857962e-01,1.796201e-01,1.736572e-01,1.679178e-01,1.624099e-01,1.571391e-01,1.521094e-01,1.473230e-01,1.427807e-01,1.384818e-01,1.344247e-01,1.306067e-01,1.270241e-01,1.236726e-01,1.205471e-01,1.176421e-01,1.149515e-01,1.124689e-01,1.101873e-01,1.080997e-01,1.061987e-01,1.044769e-01,1.029264e-01,1.015395e-01,1.003083e-01,9.922485e-02,9.828131e-02,9.746971e-02,9.678217e-02,9.621089e-02,9.574815e-02,9.538633e-02,9.511795e-02,9.493568e-02,9.483235e-02,9.480098e-02,9.483480e-02,9.492723e-02,9.507196e-02,9.526288e-02,9.549417e-02,9.576023e-02,9.605577e-02,9.637576e-02,9.671544e-02,9.707036e-02,9.743634e-02
0.000000e+00,9.864994e-10,1.522402e-08,1.591444e-08,9.668131e-08,3.014649e-07,3.129714e-07,6.509118e-07,9.979830e-07,1.019833e-06,1.371394e-06,1.670791e-06,1.695702e-06,1.992224e-06,2.236355e-06,2.262201e-06,2.507184e-06,2.703342e-06,2.728744e-06,2.928405e-06,3.083717e-06,3.107632e-06,3.267819e-06,3.388634e-06,3.410291e-06,3.536302e-06,3.628178e-06,3.647033e-06,3.743599e-06,3.811357e-06,3.827045e-06,3.898352e-06,3.946139e-06,3.958440e-06,4.008169e-06,4.039531e-06,4.048343e-06,4.079713e-06,4.097675e-06,4.102983e-06,4.118806e-06,4.125932e-06,4.127794e-06,4.130516e-06,4.128980e-06,4.127504e-06,4.119251e-06,4.110882e-06,4.106218e-06,4.088834e-06,4.075171e-06,4.067495e-06,4.042573e-06,4.024902e-06,4.014412e-06,3.983334e-06,3.962732e-06,3.949637e-06,3.913596e-06,3.890955e-06,3.875469e-06,3.835495e-06,3.811551e-06,3.793894e-06,3.750869e-06,3.726223e-06,3.706607e-06,3.661283e-06,3.636425e-06,3.615060e-06,3.568087e-06,3.543410e-06,3.520499e-06,3.472423e-06,3.448238e-06,3.423975e-06,3.375262e-06,3.351815e-06,3.326382e-06,3.277425e-06,3.254902e-06,3.228474e-06,3.179604e-06,3.158144e-06,3.130883e-06,3.082376e-06,3.062080e-06,3.034138e-06,2.986222e-06,2.967157e-06,2.938676e-06,2.891540e-06,2.873745e-06,2.844854e-06,2.798652e-06,2.782144e-06,2.752965e-06,2.707820e-06,2.692598e-06,2.663241e-06,2.619249e-06,2.605299e-06,2.575864e-06,2.533102e-06,2.520397e-06,2.490976e-06,2.449498e-06,2.438001e-06,2.408678e-06,2.368524e-06,2.358194e-06,2.329042e-06,2.290238e-06,2.281026e-06,2.252115e-06,2.214674e-06,2.206529e-06,2.177917e-06,2.141844e-06,2.134711e-06,2.106453e-06,2.071743e-06,2.065567e-06,2.037711e-06,2.004353e-06,1.999078e-06,1.971664e-06,1.939641e-06,1.935211e-06,1.908277e-06,1.877567e-06,1.873925e-06,1.847504e-06,1.818081e-06,1.815174e-06,1.789291e-06,1.761127e-06,1.758901e-06,1.733581e-06,1.706645e-06,1.705048e-06,1.680310e-06,1.654568e-06,1.653551e-06,1.629411e-06,1.604830e-06,1.604344e-06,1.580816e-06,1.557360e-06,1.512529e-06,1.469781e-06,1.429046e-06,1.390253e-06,1.353333e-06,1.318218e-06,1.284839e-06,1.253130e-06,1.223026e-06,1.194463e-06,1.167380e-06,1.141716e-06,1.117413e-06,1.094414e-06,1.072663e-06,1.052108e-06,1.032698e-06,1.014383e-06,9.971138e-07,9.808458e-07,9.655339e-07,9.511355e-07,9.376091e-07,9.249153e-07,9.130158e-07,9.018739e-07,8.914546e-07,8.817239e-07,8.726493e-07,8.641998e-07,8.563452e-07,8.490569e-07,8.423073e-07,8.360700e-07,8.303197e-07,8.250319e-07,8.201834e-07,8.157518e-07,8.117158e-07,8.080547e-07,8.047489e-07,8.017796e-07,7.991286e-07,7.967788e-07,7.947135e-07,7.929170e-07,7.913739e-07,7.900699e-07,7.889910e-07
0.000000e+00,6.320566e-09,1.756010e-07,1.846000e-07,1.509299e-06,6.611181e-06,6.965715e-06,2.090318e-05,4.288083e-05,4.450314e-05,7.326670e-05,1.001305e-04,1.024185e-04,1.300629e-04,1.532860e-04,1.557671e-04,1.795032e-04,1.988165e-04,2.013395e-04,2.213675e-04,2.372180e-04,2.396825e-04,2.563796e-04,2.692227e-04,2.715515e-04,2.852881e-04,2.955422e-04,2.976764e-04,3.087994e-04,3.168405e-04,3.187368e-04,3.275644e-04,3.337257e-04,3.353539e-04,3.421737e-04,3.467479e-04,3.480882e-04,3.531583e-04,3.564006e-04,3.574417e-04,3.609925e-04,3.631242e-04,3.638617e-04,3.660978e-04,3.673108e-04,3.677462e-04,3.688499e-04,3.693097e-04,3.694488e-04,3.695808e-04,3.694295e-04,3.692814e-04,3.685840e-04,3.679434e-04,3.675200e-04,3.661187e-04,3.650927e-04,3.644077e-04,3.624131e-04,3.610903e-04,3.601590e-04,3.576683e-04,3.561238e-04,3.549623e-04,3.520609e-04,3.503579e-04,3.489829e-04,3.457458e-04,3.439374e-04,3.423659e-04,3.388586e-04,3.369893e-04,3.352382e-04,3.315179e-04,3.296243e-04,3.277103e-04,3.238270e-04,3.219394e-04,3.198788e-04,3.158758e-04,3.140187e-04,3.118274e-04,3.077423e-04,3.059354e-04,3.036287e-04,2.994939e-04,2.977528e-04,2.953451e-04,2.911887e-04,2.895254e-04,2.870307e-04,2.828766e-04,2.813001e-04,2.787315e-04,2.746001e-04,2.731170e-04,2.704867e-04,2.663954e-04,2.650100e-04,2.623298e-04,2.582931e-04,2.570081e-04,2.542886e-04,2.503189e-04,2.491351e-04,2.463865e-04,2.424939e-04,2.414113e-04,2.386429e-04,2.348355e-04,2.338529e-04,2.310733e-04,2.273579e-04,2.264733e-04,2.236905e-04,2.200722e-04,2.192829e-04,2.165041e-04,2.129871e-04,2.122899e-04,2.095218e-04,2.061089e-04,2.055002e-04,2.027490e-04,1.994423e-04,1.989182e-04,1.961892e-04,1.929900e-04,1.925464e-04,1.898447e-04,1.867534e-04,1.863861e-04,1.837161e-04,1.807328e-04,1.804374e-04,1.778033e-04,1.749273e-04,1.746995e-04,1.721047e-04,1.693352e-04,1.691707e-04,1.666184e-04,1.639540e-04,1.638485e-04,1.613415e-04,1.587805e-04,1.587298e-04,1.562706e-04,1.538112e-04,1.490886e-04,1.445578e-04,1.402143e-04,1.360533e-04,1.320699e-04,1.282591e-04,1.246158e-04,1.211348e-04,1.178110e-04,1.146393e-04,1.116147e-04,1.087320e-04,1.059863e-04,1.033727e-04,1.008865e-04,9.852291e-05,9.627738e-05,9.414543e-05,9.212269e-05,9.020493e-05,8.838802e-05,8.666794e-05,8.504083e-05,8.350292e-05,8.205055e-05,8.068022e-05,7.938849e-05,7.817209e-05,7.702783e-05,7.595264e-05,7.494355e-05,7.399770e-05,7.311234e-05,7.228480e-05,7.151254e-05,7.079307e-05,7.012403e-05,6.950312e-05,6.892814e-05,6.839698e-05,6.790759e-05,6.745801e-05,6.704636e-05,6.667081e-05,6.632962e-05,6.602111e-05,6.574367e-05,6.549575e-05,6.527585e-05
0.000000e+00,3.559258e-11,4.278707e-09,4.596848e-09,8.830481e-08,7.234062e-07,7.814102e-07,4.357504e-06,1.624330e-05,1.752385e-05,5.503762e-05,1.329995e-04,1.426674e-04,3.179800e-04,5.899742e-04,6.286473e-04,1.129034e-03,1.771539e-03,1.876076e-03,2.925213e-03,4.107721e-03,4.326860e-03,6.123647e-03,7.962711e-03,8.348498e-03,1.102351e-02,1.356092e-02,1.415957e-02,1.775651e-02,2.095916e-02,2.180383e-02,2.628161e-02,3.005533e-02,3.116182e-02,3.640960e-02,4.061914e-02,4.198470e-02,4.784283e-02,5.233249e-02,5.393699e-02,6.021868e-02,6.483014e-02,6.663899e-02,7.314954e-02,7.773536e-02,7.970330e-02,8.625528e-02,9.068782e-02,9.276302e-02,9.918703e-02,1.033633e-01,1.054911e-01,1.116424e-01,1.154854e-01,1.176117e-01,1.233734e-01,1.268315e-01,1.289053e-01,1.341886e-01,1.372329e-01,1.392081e-01,1.439514e-01,1.465722e-01,1.484092e-01,1.525747e-01,1.547782e-01,1.564440e-01,1.600150e-01,1.618194e-01,1.632881e-01,1.662652e-01,1.676975e-01,1.689501e-01,1.713476e-01,1.724406e-01,1.734642e-01,1.753071e-01,1.760969e-01,1.768845e-01,1.782054e-01,1.787294e-01,1.792791e-01,1.801157e-01,1.804112e-01,1.807253e-01,1.811184e-01,1.812215e-01,1.813056e-01,1.812976e-01,1.812421e-01,1.811049e-01,1.807381e-01,1.805553e-01,1.802077e-01,1.795237e-01,1.792419e-01,1.786963e-01,1.777350e-01,1.773794e-01,1.766494e-01,1.754486e-01,1.750414e-01,1.741414e-01,1.727363e-01,1.722969e-01,1.712415e-01,1.696648e-01,1.692097e-01,1.680136e-01,1.662951e-01,1.658381e-01,1.645161e-01,1.626829e-01,1.622356e-01,1.608019e-01,1.588786e-01,1.584504e-01,1.569187e-01,1.549272e-01,1.545256e-01,1.529092e-01,1.508691e-01,1.504998e-01,1.488112e-01,1.467397e-01,1.464073e-01,1.446584e-01,1.425706e-01,1.422780e-01,1.404799e-01,1.383892e-01,1.381385e-01,1.363015e-01,1.342194e-01,1.340116e-01,1.321455e-01,1.300819e-01,1.299173e-01,1.280309e-01,1.259943e-01,1.258726e-01,1.239741e-01,1.219719e-01,1.218922e-01,1.199891e-01,1.180273e-01,1.179882e-01,1.160875e-01,1.141712e-01,1.104495e-01,1.068302e-01,1.033189e-01,9.991998e-02,9.663672e-02,9.347151e-02,9.042592e-02,8.750083e-02,8.469649e-02,8.201262e-02,7.944850e-02,7.700300e-02,7.467468e-02,7.246180e-02,7.036235e-02,6.837417e-02,6.649487e-02,6.472193e-02,6.305269e-02,6.148438e-02,6.001414e-02,5.863904e-02,5.735609e-02,5.616224e-02,5.505439e-02,5.402943e-02,5.308421e-02,5.221556e-02,5.142031e-02,5.069528e-02,5.003730e-02,4.944320e-02,4.890983e-02,4.843405e-02,4.801278e-02,4.764292e-02,4.732147e-02,4.704542e-02,4.681184e-02,4.661786e-02,4.646064e-02,4.633745e-02,4.624559e-02,4.618245e-02,4.614552e-02,4.613235e-02,4.614058e-02,4.616797e-02,4.621234e-02
0.000000e+00,1.035464e-08,2.646843e-07,2.783628e-07,2.149634e-06,7.788870e-06,8.124833e-06,1.837221e-05,2.917030e-05,2.985150e-05,4.079195e-05,5.005621e-05,5.082421e-05,5.992825e-05,6.736585e-05,6.814994e-05,7.554665e-05,8.141749e-05,8.217377e-05,8.808161e-05,9.262531e-05,9.332026e-05,9.793788e-05,1.013705e-04,1.019805e-04,1.054918e-04,1.080038e-04,1.085133e-04,1.110845e-04,1.128419e-04,1.132421e-04,1.150208e-04,1.161661e-04,1.164530e-04,1.175690e-04,1.182228e-04,1.183966e-04,1.189619e-04,1.192256e-04,1.192890e-04,1.194002e-04,1.193581e-04,1.193160e-04,1.190554e-04,1.187774e-04,1.186359e-04,1.180736e-04,1.176174e-04,1.173834e-04,1.165789e-04,1.159914e-04,1.156726e-04,1.146760e-04,1.139957e-04,1.135997e-04,1.124534e-04,1.117115e-04,1.112460e-04,1.099856e-04,1.092070e-04,1.086796e-04,1.073348e-04,1.065396e-04,1.059575e-04,1.045534e-04,1.037572e-04,1.031275e-04,1.016846e-04,1.008999e-04,1.002291e-04,9.876468e-05,9.800090e-05,9.729502e-05,9.582328e-05,9.508755e-05,9.435236e-05,9.288487e-05,9.218238e-05,9.142315e-05,8.996933e-05,8.930375e-05,8.852530e-05,8.709277e-05,8.646649e-05,8.567323e-05,8.426805e-05,8.368244e-05,8.287840e-05,8.150534e-05,8.096096e-05,8.014977e-05,7.881249e-05,7.830927e-05,7.749420e-05,7.619548e-05,7.573283e-05,7.491682e-05,7.365864e-05,7.323559e-05,7.242128e-05,7.120500e-05,7.082028e-05,7.001002e-05,6.883646e-05,6.848860e-05,6.768445e-05,6.655401e-05,6.624136e-05,6.544516e-05,6.435787e-05,6.407870e-05,6.329207e-05,6.224765e-05,6.200016e-05,6.122449e-05,6.022245e-05,6.000482e-05,5.924134e-05,5.828097e-05,5.809137e-05,5.734114e-05,5.642161e-05,5.625823e-05,5.552213e-05,5.464247e-05,5.450354e-05,5.378235e-05,5.294149e-05,5.282529e-05,5.211962e-05,5.131646e-05,5.122132e-05,5.053170e-05,4.976505e-05,4.968937e-05,4.901621e-05,4.828488e-05,4.822712e-05,4.757075e-05,4.687351e-05,4.683221e-05,4.619287e-05,4.552851e-05,4.550227e-05,4.488014e-05,4.424743e-05,4.423494e-05,4.363010e-05,4.302784e-05,4.187866e-05,4.078511e-05,3.974495e-05,3.875599e-05,3.781610e-05,3.692320e-05,3.607530e-05,3.527044e-05,3.450675e-05,3.378241e-05,3.309568e-05,3.244487e-05,3.182837e-05,3.124461e-05,3.069211e-05,3.016943e-05,2.967519e-05,2.920808e-05,2.876683e-05,2.835022e-05,2.795711e-05,2.758637e-05,2.723695e-05,2.690783e-05,2.659804e-05,2.630664e-05,2.603276e-05,2.577553e-05,2.553416e-05,2.530785e-05,2.509589e-05,2.489754e-05,2.471214e-05,2.453904e-05,2.437763e-05,2.422732e-05,2.408754e-05,2.395778e-05,2.383751e-05,2.372624e-05,2.362351e-05,2.352888e-05,2.344191e-05,2.336221e-05,2.328938e-05,2.322307e-05,2.316292e-05,2.310859e-05,2.305977e-05
0.000000e+00,3.203375e-10,4.820614e-09,5.042486e-09,3.286928e-08,1.129090e-07,1.176838e-07,2.664314e-07,4.298424e-07,4.403503e-07,6.120363e-07,7.616901e-07,7.742795e-07,9.258333e-07,1.053141e-06,1.066765e-06,1.197445e-06,1.304309e-06,1.318310e-06,1.429818e-06,1.518581e-06,1.532427e-06,1.626588e-06,1.699480e-06,1.712745e-06,1.791330e-06,1.850413e-06,1.862760e-06,1.927437e-06,1.974577e-06,1.985748e-06,2.038061e-06,2.074933e-06,2.084734e-06,2.126105e-06,2.154197e-06,2.162492e-06,2.194203e-06,2.214830e-06,2.221528e-06,2.244743e-06,2.259061e-06,2.264111e-06,2.279878e-06,2.288899e-06,2.292280e-06,2.301541e-06,2.306151e-06,2.307870e-06,2.311468e-06,2.312439e-06,2.312523e-06,2.311214e-06,2.309214e-06,2.307709e-06,2.302168e-06,2.297777e-06,2.294742e-06,2.285572e-06,2.279289e-06,2.274792e-06,2.262530e-06,2.254786e-06,2.248904e-06,2.234028e-06,2.225191e-06,2.218007e-06,2.200942e-06,2.191325e-06,2.182925e-06,2.164046e-06,2.153916e-06,2.144389e-06,2.124030e-06,2.113611e-06,2.103045e-06,2.081501e-06,2.070981e-06,2.059465e-06,2.036996e-06,2.026531e-06,2.014152e-06,1.990986e-06,1.980705e-06,1.967549e-06,1.943887e-06,1.933892e-06,1.920044e-06,1.896061e-06,1.886437e-06,1.871975e-06,1.847824e-06,1.838636e-06,1.823640e-06,1.799453e-06,1.790751e-06,1.775294e-06,1.751187e-06,1.743007e-06,1.727158e-06,1.703230e-06,1.695598e-06,1.679424e-06,1.655760e-06,1.648691e-06,1.632255e-06,1.608927e-06,1.602428e-06,1.585789e-06,1.562857e-06,1.556930e-06,1.540143e-06,1.517658e-06,1.512297e-06,1.495414e-06,1.473418e-06,1.468614e-06,1.451681e-06,1.430209e-06,1.425947e-06,1.409010e-06,1.388089e-06,1.384353e-06,1.367452e-06,1.347103e-06,1.343874e-06,1.327046e-06,1.307285e-06,1.304542e-06,1.287823e-06,1.268661e-06,1.266382e-06,1.249801e-06,1.231245e-06,1.229406e-06,1.212994e-06,1.195047e-06,1.193625e-06,1.177406e-06,1.160069e-06,1.159038e-06,1.143036e-06,1.126307e-06,1.125644e-06,1.109880e-06,1.093754e-06,1.093434e-06,1.077926e-06,1.062396e-06,1.032514e-06,1.003771e-06,9.761456e-07,9.496151e-07,9.241556e-07,8.997414e-07,8.763461e-07,8.539422e-07,8.325021e-07,8.119973e-07,7.923994e-07,7.736800e-07,7.558106e-07,7.387630e-07,7.225091e-07,7.070213e-07,6.922724e-07,6.782357e-07,6.648850e-07,6.521945e-07,6.401392e-07,6.286946e-07,6.178369e-07,6.075428e-07,5.977899e-07,5.885561e-07,5.798204e-07,5.715620e-07,5.637612e-07,5.563986e-07,5.494556e-07,5.429142e-07,5.367570e-07,5.309673e-07,5.255288e-07,5.204259e-07,5.156437e-07,5.111677e-07,5.069838e-07,5.030788e-07,4.994397e-07,4.960541e-07,4.929101e-07,4.899962e-07,4.873013e-07,4.848150e-07,4.825269e-07,4.804275e-07,4.785073e-07
0.000000e+00,1.264522e-10,1.587214e-08,1.707168e-08,3.498721e-07,3.053847e-06,3.306742e-06,1.942485e-05,7.473799e-05,8.074767e-05,2.576722e-04,6.253520e-04,6.708599e-04,1.493403e-03,2.763990e-03,2.944379e-03,5.276976e-03,8.275459e-03,8.764095e-03,1.368353e-02,1.926532e-02,2.030416e-02,2.887389e-02,3.773874e-02,3.960997e-02,5.269163e-02,6.526584e-02,6.825509e-02,8.639074e-02,1.027822e-01,1.071423e-01,1.305076e-01,1.505188e-01,1.564405e-01,1.848543e-01,2.080333e-01,2.156255e-01,2.485983e-01,2.743085e-01,2.835891e-01,3.203920e-01,3.478870e-01,3.587831e-01,3.985255e-01,4.270178e-01,4.393735e-01,4.810772e-01,5.097965e-01,5.233860e-01,5.660523e-01,5.942899e-01,6.088338e-01,6.514972e-01,6.786361e-01,6.938191e-01,7.355890e-01,7.611221e-01,7.766099e-01,8.166994e-01,8.402361e-01,8.556910e-01,8.934339e-01,9.146991e-01,9.297940e-01,9.646532e-01,9.834800e-01,9.979093e-01,1.029476e+00,1.045794e+00,1.059282e+00,1.087270e+00,1.101090e+00,1.113396e+00,1.137632e+00,1.149034e+00,1.159958e+00,1.180368e+00,1.189485e+00,1.198865e+00,1.215464e+00,1.222467e+00,1.230184e+00,1.243057e+00,1.248145e+00,1.254118e+00,1.263410e+00,1.266797e+00,1.270981e+00,1.276883e+00,1.278789e+00,1.281173e+00,1.283910e+00,1.284555e+00,1.285156e+00,1.284975e+00,1.284574e+00,1.283434e+00,1.280599e+00,1.279353e+00,1.276538e+00,1.271317e+00,1.269413e+00,1.265005e+00,1.257669e+00,1.255278e+00,1.249375e+00,1.240187e+00,1.237463e+00,1.230171e+00,1.219389e+00,1.216467e+00,1.207901e+00,1.195768e+00,1.192767e+00,1.183047e+00,1.169794e+00,1.166812e+00,1.156061e+00,1.141902e+00,1.139023e+00,1.127365e+00,1.112498e+00,1.109791e+00,1.097347e+00,1.081954e+00,1.079472e+00,1.066361e+00,1.050608e+00,1.048391e+00,1.034730e+00,1.018764e+00,1.016844e+00,1.002742e+00,9.866961e-01,9.850913e-01,9.706549e-01,9.546461e-01,9.533675e-01,9.386954e-01,9.228271e-01,9.218781e-01,9.070632e-01,8.914248e-01,8.908021e-01,8.759310e-01,8.605996e-01,8.602947e-01,8.454469e-01,8.304882e-01,8.014944e-01,7.734063e-01,7.462999e-01,7.202353e-01,6.952592e-01,6.714056e-01,6.486974e-01,6.271478e-01,6.067617e-01,5.875359e-01,5.694611e-01,5.525219e-01,5.366983e-01,5.219658e-01,5.082965e-01,4.956595e-01,4.840212e-01,4.733462e-01,4.635973e-01,4.547360e-01,4.467230e-01,4.395180e-01,4.330806e-01,4.273701e-01,4.223457e-01,4.179669e-01,4.141936e-01,4.109861e-01,4.083054e-01,4.061134e-01,4.043726e-01,4.030468e-01,4.021006e-01,4.014998e-01,4.012115e-01,4.012041e-01,4.014473e-01,4.019119e-01,4.025705e-01,4.033969e-01,4.043664e-01,4.054557e-01,4.066431e-01,4.079083e-01,4.092322e-01,4.105976e-01,4.119883e-01,4.133896e-01,4.147883e-01
0.000000e+00,5.689447e-10,4.585408e-08,4.893062e-08,6.912225e-07,4.219406e-06,4.499194e-06,1.779231e-05,4.644141e-05,4.892956e-05,1.022157e-04,1.675501e-04,1.737363e-04,2.542442e-04,3.268779e-04,3.347305e-04,4.093142e-04,4.678281e-04,4.752474e-04,5.318409e-04,5.733119e-04,5.794679e-04,6.189394e-04,6.464727e-04,6.511844e-04,6.771098e-04,6.942392e-04,6.975474e-04,7.132403e-04,7.228218e-04,7.248441e-04,7.329332e-04,7.371278e-04,7.380091e-04,7.405082e-04,7.409196e-04,7.408100e-04,7.392437e-04,7.370513e-04,7.360947e-04,7.316103e-04,7.276758e-04,7.260042e-04,7.194611e-04,7.144097e-04,7.121404e-04,7.041793e-04,6.984611e-04,6.956964e-04,6.867939e-04,6.807320e-04,6.775605e-04,6.680721e-04,6.618962e-04,6.583940e-04,6.485824e-04,6.424536e-04,6.386855e-04,6.287439e-04,6.227723e-04,6.187926e-04,6.088614e-04,6.031204e-04,5.989751e-04,5.891549e-04,5.836912e-04,5.794186e-04,5.697812e-04,5.646226e-04,5.602553e-04,5.508511e-04,5.460120e-04,5.415772e-04,5.324403e-04,5.279251e-04,5.234460e-04,5.145983e-04,5.104045e-04,5.059004e-04,4.973549e-04,4.934755e-04,4.889631e-04,4.807262e-04,4.771512e-04,4.726446e-04,4.647181e-04,4.614352e-04,4.569464e-04,4.493285e-04,4.463242e-04,4.418633e-04,4.345495e-04,4.318096e-04,4.273855e-04,4.203696e-04,4.178797e-04,4.134998e-04,4.067743e-04,4.045201e-04,4.001909e-04,3.937474e-04,3.917147e-04,3.874417e-04,3.812713e-04,3.794463e-04,3.752342e-04,3.693279e-04,3.676972e-04,3.635501e-04,3.578984e-04,3.564494e-04,3.523706e-04,3.469643e-04,3.456846e-04,3.416772e-04,3.365069e-04,3.353849e-04,3.314513e-04,3.265079e-04,3.255326e-04,3.216747e-04,3.169494e-04,3.161101e-04,3.123298e-04,3.078138e-04,3.071007e-04,3.033992e-04,2.990840e-04,2.984877e-04,2.948661e-04,2.907435e-04,2.902551e-04,2.867142e-04,2.827763e-04,2.823875e-04,2.789278e-04,2.751669e-04,2.748698e-04,2.714917e-04,2.679004e-04,2.676876e-04,2.643913e-04,2.609625e-04,2.608270e-04,2.576123e-04,2.543392e-04,2.542745e-04,2.511414e-04,2.480172e-04,2.420428e-04,2.363393e-04,2.308951e-04,2.256994e-04,2.207415e-04,2.160112e-04,2.114989e-04,2.071951e-04,2.030910e-04,1.991780e-04,1.954477e-04,1.918923e-04,1.885042e-04,1.852762e-04,1.822013e-04,1.792728e-04,1.764844e-04,1.738299e-04,1.713035e-04,1.688995e-04,1.666126e-04,1.644375e-04,1.623695e-04,1.604036e-04,1.585355e-04,1.567608e-04,1.550752e-04,1.534749e-04,1.519560e-04,1.505149e-04,1.491480e-04,1.478521e-04,1.466240e-04,1.454605e-04,1.443587e-04,1.433158e-04,1.423292e-04,1.413962e-04,1.405144e-04,1.396814e-04,1.388950e-04,1.381530e-04,1.374533e-04,1.367940e-04,1.361731e-04,1.355889e-04,1.350395e-04,1.345235e-04,1.340391e-04
0.000000e+00,4.356593e-11,5.158767e-09,5.539986e-09,1.043528e-07,8.492799e-07,9.174231e-07,5.154205e-06,1.944774e-05,2.099714e-05,6.667489e-05,1.620812e-04,1.739204e-04,3.884540e-04,7.204625e-04,7.675936e-04,1.376173e-03,2.155314e-03,2.281921e-03,3.551057e-03,4.979838e-03,5.244543e-03,7.415168e-03,9.638692e-03,1.010549e-02,1.334661e-02,1.642909e-02,1.715760e-02,2.154559e-02,2.546890e-02,2.650627e-02,3.202472e-02,3.670091e-02,3.807653e-02,4.462899e-02,4.991954e-02,5.164249e-02,5.907177e-02,6.480810e-02,6.686727e-02,7.497634e-02,8.097845e-02,8.334442e-02,9.191605e-02,9.800760e-02,1.006358e-01,1.094491e-01,1.154685e-01,1.183030e-01,1.271465e-01,1.329539e-01,1.359312e-01,1.446119e-01,1.500932e-01,1.531463e-01,1.614957e-01,1.665639e-01,1.696249e-01,1.775024e-01,1.820961e-01,1.851000e-01,1.923933e-01,1.964755e-01,1.993612e-01,2.059862e-01,2.095409e-01,2.122537e-01,2.181522e-01,2.211808e-01,2.236731e-01,2.288105e-01,2.313291e-01,2.335608e-01,2.379229e-01,2.399585e-01,2.418976e-01,2.454877e-01,2.470756e-01,2.486976e-01,2.515334e-01,2.527142e-01,2.540024e-01,2.561130e-01,2.569306e-01,2.578749e-01,2.592984e-01,2.597980e-01,2.603947e-01,2.611755e-01,2.614022e-01,2.616530e-01,2.618400e-01,2.618375e-01,2.617493e-01,2.613939e-01,2.612038e-01,2.607872e-01,2.599423e-01,2.596031e-01,2.588724e-01,2.575906e-01,2.571378e-01,2.561099e-01,2.544430e-01,2.539085e-01,2.526025e-01,2.506005e-01,2.500126e-01,2.484490e-01,2.461596e-01,2.455432e-01,2.437436e-01,2.412120e-01,2.405883e-01,2.385751e-01,2.358433e-01,2.352305e-01,2.330262e-01,2.301332e-01,2.295463e-01,2.271732e-01,2.241548e-01,2.236059e-01,2.210862e-01,2.179751e-01,2.174739e-01,2.148289e-01,2.116546e-01,2.112084e-01,2.084589e-01,2.052479e-01,2.048619e-01,2.020277e-01,1.988037e-01,1.984813e-01,1.955811e-01,1.923650e-01,1.921081e-01,1.891598e-01,1.859699e-01,1.857791e-01,1.827993e-01,1.796516e-01,1.795262e-01,1.765303e-01,1.734386e-01,1.733771e-01,1.703795e-01,1.673557e-01,1.614821e-01,1.557733e-01,1.502433e-01,1.449034e-01,1.397628e-01,1.348281e-01,1.301045e-01,1.255952e-01,1.213023e-01,1.172263e-01,1.133667e-01,1.097222e-01,1.062903e-01,1.030681e-01,1.000517e-01,9.723708e-02,9.461947e-02,9.219390e-02,8.995492e-02,8.789684e-02,8.601368e-02,8.429926e-02,8.274725e-02,8.135117e-02,8.010441e-02,7.900031e-02,7.803210e-02,7.719299e-02,7.647615e-02,7.587476e-02,7.538202e-02,7.499113e-02,7.469537e-02,7.448808e-02,7.436269e-02,7.431271e-02,7.433181e-02,7.441377e-02,7.455253e-02,7.474218e-02,7.497703e-02,7.525156e-02,7.556046e-02,7.589864e-02,7.626127e-02,7.664371e-02,7.704162e-02,7.745087e-02,7.786761e-02
0.000000e+00,1.284233e-08,1.746342e-07,1.818944e-07,1.018644e-06,3.424338e-06,3.574289e-06,8.826515e-06,1.614509e-05,1.666867e-05,2.584358e-05,3.432358e-05,3.504160e-05,4.364278e-05,5.073832e-05,5.148823e-05,5.857321e-05,6.420680e-05,6.493317e-05,7.061308e-05,7.498915e-05,7.565914e-05,8.011653e-05,8.343757e-05,8.402858e-05,8.743652e-05,8.988227e-05,9.037932e-05,9.289367e-05,9.461988e-05,9.501400e-05,9.677254e-05,9.791248e-05,9.819939e-05,9.932263e-05,9.998939e-05,1.001684e-04,1.007611e-04,1.010500e-04,1.011232e-04,1.012758e-04,1.012669e-04,1.012383e-04,1.010289e-04,1.007890e-04,1.006642e-04,1.001598e-04,9.974431e-05,9.952995e-05,9.878794e-05,9.824274e-05,9.794598e-05,9.701537e-05,9.637810e-05,9.600653e-05,9.492909e-05,9.423052e-05,9.379186e-05,9.260299e-05,9.186800e-05,9.136992e-05,9.009953e-05,8.934810e-05,8.879810e-05,8.747139e-05,8.671936e-05,8.612463e-05,8.476260e-05,8.402233e-05,8.338971e-05,8.200998e-05,8.129104e-05,8.062704e-05,7.924417e-05,7.855371e-05,7.786437e-05,7.649033e-05,7.583356e-05,7.512449e-05,7.376900e-05,7.314949e-05,7.242580e-05,7.109661e-05,7.051661e-05,6.978298e-05,6.848627e-05,6.794698e-05,6.720766e-05,6.594819e-05,6.544997e-05,6.470876e-05,6.349014e-05,6.303266e-05,6.229299e-05,6.111785e-05,6.070027e-05,5.996516e-05,5.883529e-05,5.845639e-05,5.772851e-05,5.664502e-05,5.630324e-05,5.558493e-05,5.454833e-05,5.424193e-05,5.353521e-05,5.254555e-05,5.227264e-05,5.157925e-05,5.063618e-05,5.039477e-05,4.971618e-05,4.881905e-05,4.860712e-05,4.794456e-05,4.709245e-05,4.690796e-05,4.626244e-05,4.545424e-05,4.529518e-05,4.466751e-05,4.390194e-05,4.376635e-05,4.315716e-05,4.243283e-05,4.231881e-05,4.172857e-05,4.104401e-05,4.094973e-05,4.037877e-05,3.973245e-05,3.965615e-05,3.910467e-05,3.849504e-05,3.843506e-05,3.790314e-05,3.732860e-05,3.728338e-05,3.677102e-05,3.622999e-05,3.619805e-05,3.570514e-05,3.519606e-05,3.517602e-05,3.470238e-05,3.422370e-05,3.421428e-05,3.375967e-05,3.330989e-05,3.245996e-05,3.166169e-05,3.091238e-05,3.020942e-05,2.955027e-05,2.893253e-05,2.835389e-05,2.781212e-05,2.730513e-05,2.683089e-05,2.638751e-05,2.597315e-05,2.558609e-05,2.522471e-05,2.488745e-05,2.457286e-05,2.427954e-05,2.400620e-05,2.375160e-05,2.351457e-05,2.329403e-05,2.308894e-05,2.289832e-05,2.272127e-05,2.255693e-05,2.240448e-05,2.226317e-05,2.213229e-05,2.201115e-05,2.189913e-05,2.179565e-05,2.170014e-05,2.161209e-05,2.153100e-05,2.145643e-05,2.138793e-05,2.132512e-05,2.126760e-05,2.121503e-05,2.116708e-05,2.112343e-05,2.108381e-05,2.104792e-05,2.101552e-05,2.098638e-05,2.096026e-05,2.093696e-05,2.091628e-05,2.089805e-05
0.000000e+00,8.228435e-10,8.252800e-09,8.566697e-09,4.300649e-08,1.410329e-07,1.472321e-07,3.723283e-07,7.097098e-07,7.347956e-07,1.192178e-06,1.640089e-06,1.678935e-06,2.154002e-06,2.558796e-06,2.602264e-06,3.019861e-06,3.361796e-06,3.406602e-06,3.763417e-06,4.047311e-06,4.091580e-06,4.392470e-06,4.625161e-06,4.667481e-06,4.917993e-06,5.106080e-06,5.145356e-06,5.350879e-06,5.500423e-06,5.535825e-06,5.701408e-06,5.817870e-06,5.848790e-06,5.979082e-06,6.067327e-06,6.093342e-06,6.192574e-06,6.256897e-06,6.277737e-06,6.349739e-06,6.393916e-06,6.409440e-06,6.457660e-06,6.484998e-06,6.495171e-06,6.522708e-06,6.536092e-06,6.540966e-06,6.550601e-06,6.552540e-06,6.552235e-06,6.546451e-06,6.539113e-06,6.533802e-06,6.514812e-06,6.500071e-06,6.489973e-06,6.459749e-06,6.439214e-06,6.424579e-06,6.384875e-06,6.359924e-06,6.341027e-06,6.293400e-06,6.265207e-06,6.242338e-06,6.188167e-06,6.157729e-06,6.131190e-06,6.071693e-06,6.039848e-06,6.009944e-06,5.946196e-06,5.913646e-06,5.880684e-06,5.813631e-06,5.780959e-06,5.745244e-06,5.675715e-06,5.643400e-06,5.605228e-06,5.533950e-06,5.502379e-06,5.462041e-06,5.389648e-06,5.359132e-06,5.316908e-06,5.243949e-06,5.214730e-06,5.170889e-06,5.097839e-06,5.070105e-06,5.024902e-06,4.952171e-06,4.926056e-06,4.879735e-06,4.807673e-06,4.783271e-06,4.736061e-06,4.664967e-06,4.642336e-06,4.594453e-06,4.524576e-06,4.503746e-06,4.455390e-06,4.386942e-06,4.367914e-06,4.319274e-06,4.252426e-06,4.235185e-06,4.186434e-06,4.121327e-06,4.105837e-06,4.057135e-06,3.993881e-06,3.980094e-06,3.931588e-06,3.870275e-06,3.858131e-06,3.809957e-06,3.750648e-06,3.740080e-06,3.692359e-06,3.635100e-06,3.626035e-06,3.578878e-06,3.523697e-06,3.516055e-06,3.469562e-06,3.416474e-06,3.410174e-06,3.364433e-06,3.313438e-06,3.308396e-06,3.263487e-06,3.214576e-06,3.210708e-06,3.166701e-06,3.119855e-06,3.117076e-06,3.074031e-06,3.029223e-06,3.027451e-06,2.985421e-06,2.942616e-06,2.941770e-06,2.900799e-06,2.859959e-06,2.781935e-06,2.707607e-06,2.636878e-06,2.569646e-06,2.505806e-06,2.445250e-06,2.387867e-06,2.333546e-06,2.282176e-06,2.233646e-06,2.187845e-06,2.144663e-06,2.103995e-06,2.065733e-06,2.029773e-06,1.996016e-06,1.964360e-06,1.934711e-06,1.906975e-06,1.881061e-06,1.856881e-06,1.834350e-06,1.813386e-06,1.793910e-06,1.775846e-06,1.759121e-06,1.743663e-06,1.729406e-06,1.716284e-06,1.704235e-06,1.693199e-06,1.683119e-06,1.673941e-06,1.665613e-06,1.658085e-06,1.651309e-06,1.645240e-06,1.639835e-06,1.635052e-06,1.630854e-06,1.627201e-06,1.624060e-06,1.621397e-06,1.619179e-06,1.617377e-06,1.615961e-06,1.614905e-06,1.614183e-06,1.613771e-06
0.000000e+00,9.856950e-11,1.200744e-08,1.290460e-08,2.503650e-07,2.029046e-06,2.189821e-06,1.185269e-05,4.259329e-05,4.583720e-05,1.379812e-04,3.206139e-04,3.427651e-04,7.333252e-04,1.314241e-03,1.395203e-03,2.418270e-03,3.686065e-03,3.888793e-03,5.882793e-03,8.063224e-03,8.461179e-03,1.166674e-02,1.486174e-02,1.552282e-02,2.003341e-02,2.421103e-02,2.518427e-02,3.094489e-02,3.596300e-02,3.727090e-02,4.410669e-02,4.975146e-02,5.138812e-02,5.904514e-02,6.507049e-02,6.700421e-02,7.519047e-02,8.135081e-02,8.352962e-02,9.194948e-02,9.802297e-02,1.003813e-01,1.087605e-01,1.145627e-01,1.170279e-01,1.251296e-01,1.305195e-01,1.330178e-01,1.406503e-01,1.455299e-01,1.479910e-01,1.550095e-01,1.593205e-01,1.616809e-01,1.679854e-01,1.717032e-01,1.739081e-01,1.794383e-01,1.825652e-01,1.845695e-01,1.892988e-01,1.918575e-01,1.936263e-01,1.975551e-01,1.995830e-01,2.010906e-01,2.042405e-01,2.057842e-01,2.070139e-01,2.094217e-01,2.105332e-01,2.114758e-01,2.131892e-01,2.139224e-01,2.145755e-01,2.156488e-01,2.160571e-01,2.164238e-01,2.169150e-01,2.170498e-01,2.171375e-01,2.171059e-01,2.170153e-01,2.168350e-01,2.163391e-01,2.160672e-01,2.156326e-01,2.147293e-01,2.143159e-01,2.136426e-01,2.123857e-01,2.118661e-01,2.109712e-01,2.094114e-01,2.088165e-01,2.077178e-01,2.059019e-01,2.052585e-01,2.039742e-01,2.019453e-01,2.012762e-01,1.998247e-01,1.976219e-01,1.969464e-01,1.953458e-01,1.930047e-01,1.923386e-01,1.906066e-01,1.881590e-01,1.875154e-01,1.856690e-01,1.831434e-01,1.825326e-01,1.805883e-01,1.780099e-01,1.774400e-01,1.754135e-01,1.728046e-01,1.722817e-01,1.701878e-01,1.675678e-01,1.670962e-01,1.649489e-01,1.623349e-01,1.619174e-01,1.597297e-01,1.571366e-01,1.567747e-01,1.545588e-01,1.519993e-01,1.516935e-01,1.494608e-01,1.469457e-01,1.466956e-01,1.444564e-01,1.419950e-01,1.417993e-01,1.395634e-01,1.371634e-01,1.370204e-01,1.347965e-01,1.324643e-01,1.323718e-01,1.301681e-01,1.279089e-01,1.278641e-01,1.256879e-01,1.235060e-01,1.193041e-01,1.152637e-01,1.113886e-01,1.076811e-01,1.041427e-01,1.007738e-01,9.757403e-02,9.454224e-02,9.167665e-02,8.897493e-02,8.643426e-02,8.405142e-02,8.182278e-02,7.974445e-02,7.781224e-02,7.602172e-02,7.436829e-02,7.284714e-02,7.145336e-02,7.018190e-02,6.902762e-02,6.798530e-02,6.704967e-02,6.621545e-02,6.547732e-02,6.482995e-02,6.426806e-02,6.378638e-02,6.337969e-02,6.304286e-02,6.277081e-02,6.255857e-02,6.240126e-02,6.229416e-02,6.223264e-02,6.221223e-02,6.222863e-02,6.227768e-02,6.235542e-02,6.245804e-02,6.258195e-02,6.272373e-02,6.288015e-02,6.304822e-02,6.322511e-02,6.340820e-02,6.359509e-02,6.378355e-02,6.397158e-02
0.000000e+00,9.125965e-09,1.669281e-07,1.746344e-07,1.195658e-06,4.707052e-06,4.941186e-06,1.366166e-05,2.623989e-05,2.712956e-05,4.236841e-05,5.605735e-05,5.720821e-05,7.095888e-05,8.229427e-05,8.349319e-05,9.483522e-05,1.038792e-04,1.050473e-04,1.141992e-04,1.212759e-04,1.223617e-04,1.296030e-04,1.350219e-04,1.359887e-04,1.415816e-04,1.456179e-04,1.464411e-04,1.506236e-04,1.535180e-04,1.541823e-04,1.571672e-04,1.591273e-04,1.596251e-04,1.616001e-04,1.628033e-04,1.631329e-04,1.642618e-04,1.648581e-04,1.650223e-04,1.654472e-04,1.655628e-04,1.655674e-04,1.654110e-04,1.651513e-04,1.650045e-04,1.643722e-04,1.638248e-04,1.635366e-04,1.625186e-04,1.617561e-04,1.613373e-04,1.600106e-04,1.590927e-04,1.585547e-04,1.569848e-04,1.559604e-04,1.553148e-04,1.535574e-04,1.524660e-04,1.517245e-04,1.498268e-04,1.487003e-04,1.478741e-04,1.458757e-04,1.447396e-04,1.438397e-04,1.417738e-04,1.406483e-04,1.396850e-04,1.375795e-04,1.364800e-04,1.354632e-04,1.333412e-04,1.322796e-04,1.312184e-04,1.290990e-04,1.280840e-04,1.269869e-04,1.248856e-04,1.239236e-04,1.227984e-04,1.207280e-04,1.198230e-04,1.186769e-04,1.166475e-04,1.158021e-04,1.146417e-04,1.126612e-04,1.118765e-04,1.107077e-04,1.087824e-04,1.080584e-04,1.068865e-04,1.050211e-04,1.043571e-04,1.031869e-04,1.013846e-04,1.007792e-04,9.961489e-05,9.787814e-05,9.732940e-05,9.617470e-05,9.450482e-05,9.401043e-05,9.286866e-05,9.126629e-05,9.082368e-05,8.969771e-05,8.816284e-05,8.776929e-05,8.666158e-05,8.519374e-05,8.484641e-05,8.375909e-05,8.235736e-05,8.205337e-05,8.098823e-05,7.965136e-05,7.938782e-05,7.834636e-05,7.707283e-05,7.684691e-05,7.583035e-05,7.461846e-05,7.442737e-05,7.343670e-05,7.228458e-05,7.212562e-05,7.116161e-05,7.006728e-05,6.993786e-05,6.900108e-05,6.796249e-05,6.786013e-05,6.695098e-05,6.596602e-05,6.588835e-05,6.500707e-05,6.407361e-05,6.401841e-05,6.316511e-05,6.228102e-05,6.224616e-05,6.142082e-05,6.058399e-05,6.056749e-05,5.977000e-05,5.897833e-05,5.747468e-05,5.605261e-05,5.470830e-05,5.343806e-05,5.223827e-05,5.110547e-05,5.003631e-05,4.902758e-05,4.807619e-05,4.717917e-05,4.633369e-05,4.553705e-05,4.478665e-05,4.408004e-05,4.341486e-05,4.278888e-05,4.219998e-05,4.164612e-05,4.112539e-05,4.063598e-05,4.017614e-05,3.974423e-05,3.933871e-05,3.895809e-05,3.860099e-05,3.826608e-05,3.795211e-05,3.765789e-05,3.738231e-05,3.712430e-05,3.688286e-05,3.665705e-05,3.644596e-05,3.624876e-05,3.606464e-05,3.589285e-05,3.573267e-05,3.558343e-05,3.544448e-05,3.531524e-05,3.519512e-05,3.508360e-05,3.498016e-05,3.488433e-05,3.479566e-05,3.471372e-05,3.463810e-05,3.456844e-05,3.450437e-05
0.000000e+00,6.244449e-11,8.666984e-09,9.358747e-09,2.268675e-07,2.018610e-06,2.180043e-06,1.110532e-05,3.371804e-05,3.580176e-05,8.356211e-05,1.491042e-04,1.556879e-04,2.473512e-04,3.396988e-04,3.502322e-04,4.554609e-04,5.440522e-04,5.556095e-04,6.455504e-04,7.125469e-04,7.224847e-04,7.855256e-04,8.280535e-04,8.351343e-04,8.725869e-04,8.953923e-04,8.995511e-04,9.177894e-04,9.272274e-04,9.289746e-04,9.345917e-04,9.359254e-04,9.358993e-04,9.339279e-04,9.307494e-04,9.294996e-04,9.232573e-04,9.177655e-04,9.156950e-04,9.071869e-04,9.006361e-04,8.980139e-04,8.883846e-04,8.814573e-04,8.784538e-04,8.683347e-04,8.613895e-04,8.581103e-04,8.478404e-04,8.410594e-04,8.375692e-04,8.273284e-04,8.208014e-04,8.171414e-04,8.070250e-04,8.007938e-04,7.969914e-04,7.870495e-04,7.811313e-04,7.772060e-04,7.674653e-04,7.618644e-04,7.578311e-04,7.483056e-04,7.430194e-04,7.388904e-04,7.295869e-04,7.246097e-04,7.203957e-04,7.113172e-04,7.066409e-04,7.023515e-04,6.934985e-04,6.891142e-04,6.847579e-04,6.761294e-04,6.720274e-04,6.676125e-04,6.592066e-04,6.553769e-04,6.509110e-04,6.427250e-04,6.391577e-04,6.346479e-04,6.266788e-04,6.233637e-04,6.188168e-04,6.110611e-04,6.079884e-04,6.034107e-04,5.958647e-04,5.930244e-04,5.884221e-04,5.810819e-04,5.784643e-04,5.738431e-04,5.667048e-04,5.643004e-04,5.596657e-04,5.527251e-04,5.505246e-04,5.458816e-04,5.391345e-04,5.371289e-04,5.324825e-04,5.259247e-04,5.241052e-04,5.194600e-04,5.130873e-04,5.114453e-04,5.068055e-04,5.006138e-04,4.991410e-04,4.945109e-04,4.884959e-04,4.871843e-04,4.825677e-04,4.767253e-04,4.755670e-04,4.709677e-04,4.652938e-04,4.642813e-04,4.597026e-04,4.541932e-04,4.533192e-04,4.487645e-04,4.434155e-04,4.426729e-04,4.381453e-04,4.329528e-04,4.323349e-04,4.278371e-04,4.227973e-04,4.222975e-04,4.178324e-04,4.129414e-04,4.125533e-04,4.081234e-04,4.033775e-04,4.030951e-04,3.987028e-04,3.940983e-04,3.939156e-04,3.895632e-04,3.850966e-04,3.850080e-04,3.806975e-04,3.763652e-04,3.679806e-04,3.598477e-04,3.519598e-04,3.443108e-04,3.368944e-04,3.297046e-04,3.227355e-04,3.159813e-04,3.094364e-04,3.030953e-04,2.969526e-04,2.910030e-04,2.852415e-04,2.796630e-04,2.742626e-04,2.690355e-04,2.639771e-04,2.590829e-04,2.543483e-04,2.497691e-04,2.453410e-04,2.410598e-04,2.369217e-04,2.329225e-04,2.290585e-04,2.253260e-04,2.217212e-04,2.182406e-04,2.148808e-04,2.116382e-04,2.085096e-04,2.054918e-04,2.025816e-04,1.997759e-04,1.970716e-04,1.944659e-04,1.919559e-04,1.895387e-04,1.872117e-04,1.849721e-04,1.828175e-04,1.807451e-04,1.787525e-04,1.768374e-04,1.749973e-04,1.732300e-04,1.715332e-04,1.699046e-04,1.683422e-04
0.000000e+00,1.396485e-09,1.890114e-08,1.974134e-08,1.282110e-07,4.818064e-07,5.047255e-07,1.317302e-06,2.381772e-06,2.453689e-06,3.647607e-06,4.687171e-06,4.773834e-06,5.803638e-06,6.646589e-06,6.735492e-06,7.574454e-06,8.241012e-06,8.326967e-06,8.999528e-06,9.518720e-06,9.598335e-06,1.012921e-05,1.052666e-05,1.059762e-05,1.100865e-05,1.130623e-05,1.136706e-05,1.167726e-05,1.189349e-05,1.194337e-05,1.216918e-05,1.231961e-05,1.235822e-05,1.251374e-05,1.261137e-05,1.263874e-05,1.273596e-05,1.279153e-05,1.280797e-05,1.285712e-05,1.287957e-05,1.288557e-05,1.289530e-05,1.289194e-05,1.288811e-05,1.286566e-05,1.284246e-05,1.282948e-05,1.278095e-05,1.274279e-05,1.272137e-05,1.265188e-05,1.260272e-05,1.257358e-05,1.248743e-05,1.243048e-05,1.239434e-05,1.229511e-05,1.223295e-05,1.219051e-05,1.208120e-05,1.201590e-05,1.196782e-05,1.185093e-05,1.178413e-05,1.173104e-05,1.160864e-05,1.154164e-05,1.148414e-05,1.135794e-05,1.129177e-05,1.123040e-05,1.110183e-05,1.103725e-05,1.097253e-05,1.084275e-05,1.078037e-05,1.071275e-05,1.058274e-05,1.052298e-05,1.045291e-05,1.032343e-05,1.026662e-05,1.019448e-05,1.006618e-05,1.001252e-05,9.938666e-06,9.812054e-06,9.761685e-06,9.686444e-06,9.561924e-06,9.514909e-06,9.438575e-06,9.316466e-06,9.272823e-06,9.195661e-06,9.076211e-06,9.035916e-06,8.958164e-06,8.841561e-06,8.804558e-06,8.726433e-06,8.612812e-06,8.579022e-06,8.500719e-06,8.390174e-06,8.359501e-06,8.281192e-06,8.173785e-06,8.146119e-06,8.067961e-06,7.963724e-06,7.938943e-06,7.861076e-06,7.760018e-06,7.737998e-06,7.660546e-06,7.562656e-06,7.543267e-06,7.466342e-06,7.371595e-06,7.354707e-06,7.278407e-06,7.186765e-06,7.172246e-06,7.096659e-06,7.008075e-06,6.995794e-06,6.920999e-06,6.835417e-06,6.825246e-06,6.751312e-06,6.668669e-06,6.660485e-06,6.587472e-06,6.507702e-06,6.501382e-06,6.429343e-06,6.352376e-06,6.347802e-06,6.276785e-06,6.202549e-06,6.199608e-06,6.129652e-06,6.058073e-06,6.056655e-06,5.987795e-06,5.918799e-06,5.785895e-06,5.657795e-06,5.534356e-06,5.415434e-06,5.300886e-06,5.190575e-06,5.084362e-06,4.982115e-06,4.883702e-06,4.788995e-06,4.697870e-06,4.610206e-06,4.525885e-06,4.444793e-06,4.366817e-06,4.291852e-06,4.219791e-06,4.150534e-06,4.083982e-06,4.020041e-06,3.958618e-06,3.899625e-06,3.842975e-06,3.788585e-06,3.736374e-06,3.686265e-06,3.638182e-06,3.592052e-06,3.547805e-06,3.505374e-06,3.464692e-06,3.425695e-06,3.388324e-06,3.352517e-06,3.318219e-06,3.285374e-06,3.253929e-06,3.223832e-06,3.195034e-06,3.167486e-06,3.141142e-06,3.115957e-06,3.091889e-06,3.068895e-06,3.046935e-06,3.025970e-06,3.005963e-06,2.986878e-06,2.968679e-06
0.000000e+00,1.459840e-08,4.200013e-07,4.429535e-07,3.769480e-06,1.369503e-05,1.426014e-05,3.027594e-05,4.597145e-05,4.695180e-05,6.273460e-05,7.626908e-05,7.740109e-05,9.095894e-05,1.022513e-04,1.034545e-04,1.149397e-04,1.242522e-04,1.254665e-04,1.350860e-04,1.426715e-04,1.438486e-04,1.518040e-04,1.578984e-04,1.590008e-04,1.654860e-04,1.703047e-04,1.713049e-04,1.765011e-04,1.802375e-04,1.811159e-04,1.851888e-04,1.880137e-04,1.887573e-04,1.918563e-04,1.939178e-04,1.945187e-04,1.967755e-04,1.982016e-04,1.986558e-04,2.001871e-04,2.010880e-04,2.013950e-04,2.023040e-04,2.027746e-04,2.029369e-04,2.033160e-04,2.034388e-04,2.034609e-04,2.033903e-04,2.032341e-04,2.031215e-04,2.026706e-04,2.022935e-04,2.020528e-04,2.012823e-04,2.007336e-04,2.003721e-04,1.993347e-04,1.986560e-04,1.981816e-04,1.969234e-04,1.961494e-04,1.955701e-04,1.941310e-04,1.932910e-04,1.926149e-04,1.910297e-04,1.901476e-04,1.893829e-04,1.876816e-04,1.867775e-04,1.859323e-04,1.841409e-04,1.832312e-04,1.823130e-04,1.804540e-04,1.795520e-04,1.785685e-04,1.766611e-04,1.757774e-04,1.747358e-04,1.727965e-04,1.719398e-04,1.708468e-04,1.688899e-04,1.680666e-04,1.669289e-04,1.649664e-04,1.641816e-04,1.630051e-04,1.610474e-04,1.603048e-04,1.590953e-04,1.571509e-04,1.564532e-04,1.552160e-04,1.532923e-04,1.526410e-04,1.513812e-04,1.494842e-04,1.488803e-04,1.476025e-04,1.457372e-04,1.451810e-04,1.438894e-04,1.420599e-04,1.415511e-04,1.402497e-04,1.384594e-04,1.379973e-04,1.366897e-04,1.349413e-04,1.345248e-04,1.332145e-04,1.315098e-04,1.311378e-04,1.298277e-04,1.281684e-04,1.278394e-04,1.265323e-04,1.249195e-04,1.246317e-04,1.233302e-04,1.217646e-04,1.215163e-04,1.202227e-04,1.187047e-04,1.184941e-04,1.172105e-04,1.157401e-04,1.155653e-04,1.142936e-04,1.128708e-04,1.127298e-04,1.114717e-04,1.100962e-04,1.099872e-04,1.087441e-04,1.074154e-04,1.073364e-04,1.061098e-04,1.048272e-04,1.047764e-04,1.035675e-04,1.023303e-04,1.023058e-04,1.011156e-04,9.992307e-05,9.762641e-05,9.541401e-05,9.328393e-05,9.123415e-05,8.926259e-05,8.736715e-05,8.554570e-05,8.379609e-05,8.211618e-05,8.050384e-05,7.895694e-05,7.747338e-05,7.605112e-05,7.468811e-05,7.338236e-05,7.213191e-05,7.093485e-05,6.978932e-05,6.869347e-05,6.764555e-05,6.664381e-05,6.568656e-05,6.477218e-05,6.389906e-05,6.306567e-05,6.227050e-05,6.151210e-05,6.078908e-05,6.010005e-05,5.944370e-05,5.881876e-05,5.822398e-05,5.765817e-05,5.712017e-05,5.660887e-05,5.612319e-05,5.566208e-05,5.522453e-05,5.480957e-05,5.441627e-05,5.404371e-05,5.369102e-05,5.335735e-05,5.304190e-05,5.274387e-05,5.246251e-05,5.219708e-05,5.194689e-05,5.171125e-05
0.000000e+00,1.338217e-09,1.870573e-08,1.952000e-08,1.122245e-07,3.516565e-07,3.656205e-07,8.135813e-07,1.359572e-06,1.396485e-06,2.017622e-06,2.573077e-06,2.620054e-06,3.187145e-06,3.665075e-06,3.716294e-06,4.208264e-06,4.611661e-06,4.664595e-06,5.087000e-06,5.424457e-06,5.477213e-06,5.836938e-06,6.116751e-06,6.167820e-06,6.471446e-06,6.701150e-06,6.749337e-06,7.002945e-06,7.189282e-06,7.233657e-06,7.442795e-06,7.591756e-06,7.631614e-06,7.801300e-06,7.918162e-06,7.952984e-06,8.087744e-06,8.177174e-06,8.206602e-06,8.310522e-06,8.376610e-06,8.400418e-06,8.477160e-06,8.523493e-06,8.541567e-06,8.594418e-06,8.624133e-06,8.636449e-06,8.668356e-06,8.684191e-06,8.690799e-06,8.704400e-06,8.708739e-06,8.709750e-06,8.707405e-06,8.702319e-06,8.697892e-06,8.681708e-06,8.668992e-06,8.659323e-06,8.631183e-06,8.612389e-06,8.597705e-06,8.559285e-06,8.535752e-06,8.516298e-06,8.469094e-06,8.441969e-06,8.418007e-06,8.363350e-06,8.333616e-06,8.305418e-06,8.244489e-06,8.212983e-06,8.180826e-06,8.114675e-06,8.082108e-06,8.046269e-06,7.975827e-06,7.942797e-06,7.903555e-06,7.829645e-06,7.796653e-06,7.754279e-06,7.677629e-06,7.645092e-06,7.599855e-06,7.521107e-06,7.489367e-06,7.441527e-06,7.361246e-06,7.330582e-06,7.280389e-06,7.199073e-06,7.169707e-06,7.117405e-06,7.035487e-06,7.007595e-06,6.953415e-06,6.871276e-06,6.844992e-06,6.789155e-06,6.707127e-06,6.682548e-06,6.625265e-06,6.543635e-06,6.520829e-06,6.462300e-06,6.381317e-06,6.360326e-06,6.300740e-06,6.220617e-06,6.201461e-06,6.140995e-06,6.061916e-06,6.044595e-06,5.983418e-06,5.905537e-06,5.890037e-06,5.828305e-06,5.751753e-06,5.738048e-06,5.675908e-06,5.600794e-06,5.588845e-06,5.526434e-06,5.452849e-06,5.442610e-06,5.380055e-06,5.308071e-06,5.299487e-06,5.236909e-06,5.166583e-06,5.159597e-06,5.097104e-06,5.028481e-06,5.023028e-06,4.960723e-06,4.893836e-06,4.889851e-06,4.827826e-06,4.762698e-06,4.760112e-06,4.698455e-06,4.635099e-06,4.633841e-06,4.572632e-06,4.511054e-06,4.391751e-06,4.275921e-06,4.163543e-06,4.054587e-06,3.949016e-06,3.846784e-06,3.747843e-06,3.652137e-06,3.559609e-06,3.470197e-06,3.383838e-06,3.300464e-06,3.220009e-06,3.142405e-06,3.067581e-06,2.995468e-06,2.925996e-06,2.859096e-06,2.794698e-06,2.732732e-06,2.673132e-06,2.615829e-06,2.560756e-06,2.507849e-06,2.457043e-06,2.408275e-06,2.361483e-06,2.316605e-06,2.273583e-06,2.232359e-06,2.192875e-06,2.155077e-06,2.118909e-06,2.084320e-06,2.051259e-06,2.019674e-06,1.989517e-06,1.960741e-06,1.933300e-06,1.907148e-06,1.882242e-06,1.858539e-06,1.835999e-06,1.814581e-06,1.794245e-06,1.774956e-06,1.756674e-06,1.739366e-06,1.722996e-06
0.000000e+00,5.154510e-10,4.457049e-08,4.760497e-08,7.025275e-07,4.540882e-06,4.855535e-06,2.075661e-05,5.895424e-05,6.246947e-05,1.443272e-04,2.609964e-04,2.729684e-04,4.438117e-04,6.231217e-04,6.440243e-04,8.583682e-04,1.048159e-03,1.073709e-03,1.280820e-03,1.448094e-03,1.474221e-03,1.651243e-03,1.786618e-03,1.811024e-03,1.953750e-03,2.058561e-03,2.080150e-03,2.191204e-03,2.269716e-03,2.287982e-03,2.371557e-03,2.428249e-03,2.442966e-03,2.503195e-03,2.542062e-03,2.553167e-03,2.593745e-03,2.618199e-03,2.625732e-03,2.649874e-03,2.662790e-03,2.666864e-03,2.677346e-03,2.681131e-03,2.681915e-03,2.681122e-03,2.677782e-03,2.675478e-03,2.665455e-03,2.656655e-03,2.651490e-03,2.633987e-03,2.621101e-03,2.613318e-03,2.589827e-03,2.573986e-03,2.563832e-03,2.535625e-03,2.517752e-03,2.505475e-03,2.473630e-03,2.454474e-03,2.440318e-03,2.405748e-03,2.385913e-03,2.370114e-03,2.333590e-03,2.313554e-03,2.296338e-03,2.258506e-03,2.238649e-03,2.220229e-03,2.181630e-03,2.162246e-03,2.142822e-03,2.103905e-03,2.085215e-03,2.064974e-03,2.026111e-03,2.008279e-03,1.987393e-03,1.948888e-03,1.932030e-03,1.910658e-03,1.872757e-03,1.856950e-03,1.835236e-03,1.798138e-03,1.783426e-03,1.761501e-03,1.725361e-03,1.711764e-03,1.689747e-03,1.654686e-03,1.642203e-03,1.620199e-03,1.586307e-03,1.574922e-03,1.553025e-03,1.520367e-03,1.510050e-03,1.488344e-03,1.456965e-03,1.447677e-03,1.426235e-03,1.396160e-03,1.387856e-03,1.366741e-03,1.337982e-03,1.330612e-03,1.309880e-03,1.282434e-03,1.275945e-03,1.255643e-03,1.229501e-03,1.223836e-03,1.204004e-03,1.179146e-03,1.174250e-03,1.154920e-03,1.131321e-03,1.127139e-03,1.108339e-03,1.085966e-03,1.082443e-03,1.064194e-03,1.043014e-03,1.040096e-03,1.022416e-03,1.002389e-03,1.000024e-03,9.829252e-04,9.640127e-04,9.621514e-04,9.456416e-04,9.278012e-04,9.263965e-04,9.104808e-04,8.936699e-04,8.926772e-04,8.773575e-04,8.615329e-04,8.609099e-04,8.461854e-04,8.313041e-04,8.310112e-04,8.168784e-04,8.028977e-04,7.764874e-04,7.516995e-04,7.284552e-04,7.066777e-04,6.862927e-04,6.672280e-04,6.494141e-04,6.327843e-04,6.172742e-04,6.028225e-04,5.893703e-04,5.768612e-04,5.652418e-04,5.544608e-04,5.444697e-04,5.352222e-04,5.266744e-04,5.187845e-04,5.115130e-04,5.048225e-04,4.986775e-04,4.930443e-04,4.878911e-04,4.831880e-04,4.789065e-04,4.750198e-04,4.715025e-04,4.683308e-04,4.654820e-04,4.629349e-04,4.606693e-04,4.586665e-04,4.569085e-04,4.553785e-04,4.540607e-04,4.529403e-04,4.520032e-04,4.512362e-04,4.506269e-04,4.501637e-04,4.498355e-04,4.496321e-04,4.495438e-04,4.495614e-04,4.496765e-04,4.498810e-04,4.501674e-04,4.505286e-04,4.509581e-04
0.000000e+00,4.273694e-09,1.875431e-07,1.985376e-07,2.132985e-06,1.090882e-05,1.154663e-05,3.709863e-05,7.603576e-05,7.882140e-05,1.269465e-04,1.707791e-04,1.744906e-04,2.191959e-04,2.566291e-04,2.606239e-04,2.988040e-04,3.298230e-04,3.338720e-04,3.659839e-04,3.913551e-04,3.952960e-04,4.219604e-04,4.424205e-04,4.461248e-04,4.679326e-04,4.841544e-04,4.875232e-04,5.050316e-04,5.176269e-04,5.205881e-04,5.343182e-04,5.438372e-04,5.463419e-04,5.567742e-04,5.637058e-04,5.657242e-04,5.732957e-04,5.780689e-04,5.795867e-04,5.846899e-04,5.876781e-04,5.886929e-04,5.916780e-04,5.932036e-04,5.937226e-04,5.948996e-04,5.952394e-04,5.952773e-04,5.949196e-04,5.943098e-04,5.938863e-04,5.922335e-04,5.908752e-04,5.900142e-04,5.872778e-04,5.853419e-04,5.840704e-04,5.804349e-04,5.780650e-04,5.764118e-04,5.720388e-04,5.693562e-04,5.673512e-04,5.623814e-04,5.594866e-04,5.571600e-04,5.517150e-04,5.486911e-04,5.460728e-04,5.402582e-04,5.371741e-04,5.342940e-04,5.282011e-04,5.251125e-04,5.219990e-04,5.157060e-04,5.126581e-04,5.093390e-04,5.029134e-04,4.999419e-04,4.964435e-04,4.899425e-04,4.870755e-04,4.834229e-04,4.768958e-04,4.741547e-04,4.703715e-04,4.638596e-04,4.612602e-04,4.573686e-04,4.509067e-04,4.484603e-04,4.444809e-04,4.380981e-04,4.358119e-04,4.317641e-04,4.254844e-04,4.233625e-04,4.192639e-04,4.131072e-04,4.111511e-04,4.070181e-04,4.010002e-04,3.992092e-04,3.950567e-04,3.891904e-04,3.875620e-04,3.834037e-04,3.776987e-04,3.762291e-04,3.720774e-04,3.665411e-04,3.652253e-04,3.610914e-04,3.557292e-04,3.545613e-04,3.504554e-04,3.452706e-04,3.442444e-04,3.401754e-04,3.351700e-04,3.342786e-04,3.302546e-04,3.254292e-04,3.246654e-04,3.206935e-04,3.160475e-04,3.154042e-04,3.114907e-04,3.070226e-04,3.064924e-04,3.026427e-04,2.983504e-04,2.979259e-04,2.941448e-04,2.900253e-04,2.896994e-04,2.859910e-04,2.820409e-04,2.818065e-04,2.781741e-04,2.743896e-04,2.742399e-04,2.706863e-04,2.670632e-04,2.669916e-04,2.635192e-04,2.600531e-04,2.534155e-04,2.470697e-04,2.410061e-04,2.352155e-04,2.296880e-04,2.244144e-04,2.193850e-04,2.145906e-04,2.100219e-04,2.056698e-04,2.015256e-04,1.975806e-04,1.938264e-04,1.902548e-04,1.868579e-04,1.836280e-04,1.805578e-04,1.776401e-04,1.748679e-04,1.722347e-04,1.697341e-04,1.673598e-04,1.651061e-04,1.629672e-04,1.609377e-04,1.590125e-04,1.571866e-04,1.554551e-04,1.538135e-04,1.522575e-04,1.507829e-04,1.493857e-04,1.480621e-04,1.468085e-04,1.456214e-04,1.444975e-04,1.434337e-04,1.424269e-04,1.414743e-04,1.405732e-04,1.397209e-04,1.389150e-04,1.381532e-04,1.374331e-04,1.367526e-04,1.361097e-04,1.355024e-04,1.349290e-04,1.343876e-04
0.000000e+00,4.968689e-10,8.726942e-09,9.124135e-09,5.301121e-08,1.560515e-07,1.617451e-07,3.322399e-07,5.169678e-07,5.287639e-07,7.172795e-07,8.726810e-07,8.853183e-07,1.031896e-06,1.146948e-06,1.158818e-06,1.268275e-06,1.351801e-06,1.362339e-06,1.442878e-06,1.502590e-06,1.511546e-06,1.569805e-06,1.611645e-06,1.618943e-06,1.660091e-06,1.688571e-06,1.694243e-06,1.722273e-06,1.740805e-06,1.744945e-06,1.762930e-06,1.774086e-06,1.776817e-06,1.787122e-06,1.792839e-06,1.794298e-06,1.798738e-06,1.800466e-06,1.800786e-06,1.800746e-06,1.799578e-06,1.798889e-06,1.795448e-06,1.792212e-06,1.790637e-06,1.784644e-06,1.779973e-06,1.777624e-06,1.769718e-06,1.764073e-06,1.761045e-06,1.751713e-06,1.745437e-06,1.741814e-06,1.731431e-06,1.724782e-06,1.720635e-06,1.709489e-06,1.702657e-06,1.698048e-06,1.686361e-06,1.679486e-06,1.674469e-06,1.662410e-06,1.655597e-06,1.650218e-06,1.637920e-06,1.631245e-06,1.625543e-06,1.613107e-06,1.606624e-06,1.600633e-06,1.588137e-06,1.581886e-06,1.575634e-06,1.563138e-06,1.557145e-06,1.550659e-06,1.538208e-06,1.532492e-06,1.525793e-06,1.513423e-06,1.507995e-06,1.501103e-06,1.488840e-06,1.483707e-06,1.476638e-06,1.464502e-06,1.459667e-06,1.452437e-06,1.440444e-06,1.435907e-06,1.428528e-06,1.416690e-06,1.412448e-06,1.404932e-06,1.393258e-06,1.389307e-06,1.381667e-06,1.370161e-06,1.366497e-06,1.358742e-06,1.347410e-06,1.344027e-06,1.336166e-06,1.325010e-06,1.321902e-06,1.313943e-06,1.302966e-06,1.300126e-06,1.292078e-06,1.281280e-06,1.278701e-06,1.270571e-06,1.259952e-06,1.257628e-06,1.249423e-06,1.238983e-06,1.236905e-06,1.228632e-06,1.218370e-06,1.216532e-06,1.208197e-06,1.198112e-06,1.196506e-06,1.188115e-06,1.178206e-06,1.176825e-06,1.168384e-06,1.158648e-06,1.157486e-06,1.149000e-06,1.139437e-06,1.138485e-06,1.129959e-06,1.120566e-06,1.119819e-06,1.111258e-06,1.102034e-06,1.101483e-06,1.092893e-06,1.083835e-06,1.083474e-06,1.074859e-06,1.065965e-06,1.065788e-06,1.057152e-06,1.048420e-06,1.031366e-06,1.014622e-06,9.981833e-07,9.820452e-07,9.662035e-07,9.506537e-07,9.353914e-07,9.204123e-07,9.057118e-07,8.912857e-07,8.771297e-07,8.632394e-07,8.496106e-07,8.362390e-07,8.231205e-07,8.102510e-07,7.976263e-07,7.852425e-07,7.730955e-07,7.611814e-07,7.494964e-07,7.380365e-07,7.267981e-07,7.157772e-07,7.049704e-07,6.943739e-07,6.839842e-07,6.737977e-07,6.638109e-07,6.540205e-07,6.444230e-07,6.350152e-07,6.257937e-07,6.167553e-07,6.078969e-07,5.992154e-07,5.907076e-07,5.823705e-07,5.742012e-07,5.661967e-07,5.583542e-07,5.506708e-07,5.431436e-07,5.357701e-07,5.285474e-07,5.214729e-07,5.145441e-07,5.077582e-07,5.011129e-07
0.000000e+00,7.497943e-09,1.205445e-07,1.260729e-07,8.065915e-07,2.732841e-06,2.848235e-06,6.547567e-06,1.080639e-05,1.108279e-05,1.558595e-05,1.946088e-05,1.978409e-05,2.363814e-05,2.681946e-05,2.715668e-05,3.035686e-05,3.292439e-05,3.325721e-05,3.587612e-05,3.791693e-05,3.823146e-05,4.034055e-05,4.193403e-05,4.221997e-05,4.388555e-05,4.510235e-05,4.535235e-05,4.663462e-05,4.753661e-05,4.774577e-05,4.869843e-05,4.933915e-05,4.950448e-05,5.017505e-05,5.060052e-05,5.072058e-05,5.115082e-05,5.140036e-05,5.147490e-05,5.170134e-05,5.180843e-05,5.183813e-05,5.189267e-05,5.188565e-05,5.187191e-05,5.178231e-05,5.168515e-05,5.162989e-05,5.142026e-05,5.125312e-05,5.115865e-05,5.084991e-05,5.062969e-05,5.049856e-05,5.010881e-05,4.984960e-05,4.968456e-05,4.922943e-05,4.894294e-05,4.874679e-05,4.823975e-05,4.793564e-05,4.771122e-05,4.716386e-05,4.685005e-05,4.660016e-05,4.602241e-05,4.570534e-05,4.543274e-05,4.483309e-05,4.451794e-05,4.422528e-05,4.361097e-05,4.330186e-05,4.299169e-05,4.236886e-05,4.206902e-05,4.174376e-05,4.111759e-05,4.082950e-05,4.049144e-05,3.986630e-05,3.959180e-05,3.924308e-05,3.862261e-05,3.836302e-05,3.800565e-05,3.739287e-05,3.714907e-05,3.678490e-05,3.618230e-05,3.595483e-05,3.558557e-05,3.499517e-05,3.478425e-05,3.441149e-05,3.383489e-05,3.364052e-05,3.326570e-05,3.270418e-05,3.252616e-05,3.215059e-05,3.160514e-05,3.144312e-05,3.106800e-05,3.053932e-05,3.039283e-05,3.001924e-05,2.950785e-05,2.937632e-05,2.900523e-05,2.851145e-05,2.839426e-05,2.802654e-05,2.755052e-05,2.744700e-05,2.708342e-05,2.662521e-05,2.653463e-05,2.617588e-05,2.573540e-05,2.565705e-05,2.530372e-05,2.488080e-05,2.481394e-05,2.446657e-05,2.406097e-05,2.400486e-05,2.366390e-05,2.327530e-05,2.322924e-05,2.289508e-05,2.252313e-05,2.248639e-05,2.215936e-05,2.180367e-05,2.177556e-05,2.145594e-05,2.111607e-05,2.109593e-05,2.078395e-05,2.045946e-05,2.044663e-05,2.014248e-05,1.983289e-05,1.982677e-05,1.953057e-05,1.923541e-05,1.867162e-05,1.813444e-05,1.762291e-05,1.713610e-05,1.667307e-05,1.623289e-05,1.581466e-05,1.541748e-05,1.504050e-05,1.468286e-05,1.434374e-05,1.402235e-05,1.371791e-05,1.342968e-05,1.315693e-05,1.289897e-05,1.265513e-05,1.242477e-05,1.220726e-05,1.200200e-05,1.180843e-05,1.162599e-05,1.145416e-05,1.129243e-05,1.114032e-05,1.099736e-05,1.086311e-05,1.073715e-05,1.061907e-05,1.050848e-05,1.040500e-05,1.030830e-05,1.021802e-05,1.013385e-05,1.005546e-05,9.982582e-06,9.914918e-06,9.852204e-06,9.794182e-06,9.740608e-06,9.691249e-06,9.645882e-06,9.604296e-06,9.566287e-06,9.531664e-06,9.500243e-06,9.471848e-06,9.446313e-06,9.423478e-06
0.000000e+00,3.884922e-10,3.094923e-08,3.298476e-08,4.368027e-07,2.643834e-06,2.822663e-06,1.192815e-05,3.463526e-05,3.677325e-05,8.804687e-05,1.640070e-04,1.719137e-04,2.860083e-04,4.072181e-04,4.214057e-04,5.674055e-04,6.974367e-04,7.150029e-04,8.580544e-04,9.746750e-04,9.930001e-04,1.118110e-03,1.215139e-03,1.232781e-03,1.337042e-03,1.415005e-03,1.431239e-03,1.515872e-03,1.577068e-03,1.591501e-03,1.658697e-03,1.705619e-03,1.718023e-03,1.770026e-03,1.804969e-03,1.815223e-03,1.854108e-03,1.879095e-03,1.887148e-03,1.914779e-03,1.931558e-03,1.937415e-03,1.955443e-03,1.965516e-03,1.969225e-03,1.979100e-03,1.983747e-03,1.985387e-03,1.988380e-03,1.988688e-03,1.988359e-03,1.985581e-03,1.982469e-03,1.980288e-03,1.972705e-03,1.966946e-03,1.963042e-03,1.951492e-03,1.943734e-03,1.938239e-03,1.923451e-03,1.914233e-03,1.907285e-03,1.889887e-03,1.879657e-03,1.871393e-03,1.851929e-03,1.841057e-03,1.831612e-03,1.810550e-03,1.799336e-03,1.788841e-03,1.766580e-03,1.755269e-03,1.743852e-03,1.720734e-03,1.709522e-03,1.697301e-03,1.673620e-03,1.662660e-03,1.649751e-03,1.625753e-03,1.615165e-03,1.601676e-03,1.577568e-03,1.567445e-03,1.553474e-03,1.529434e-03,1.519841e-03,1.505484e-03,1.481657e-03,1.472641e-03,1.457983e-03,1.434491e-03,1.426083e-03,1.411204e-03,1.388144e-03,1.380359e-03,1.365332e-03,1.342786e-03,1.335630e-03,1.320521e-03,1.298552e-03,1.292020e-03,1.276890e-03,1.255548e-03,1.249630e-03,1.234533e-03,1.213854e-03,1.208534e-03,1.193519e-03,1.173532e-03,1.168787e-03,1.153897e-03,1.134620e-03,1.130427e-03,1.115702e-03,1.097145e-03,1.093477e-03,1.078951e-03,1.061119e-03,1.057948e-03,1.043650e-03,1.026543e-03,1.023840e-03,1.009797e-03,9.934086e-04,9.911427e-04,9.773769e-04,9.616991e-04,9.598414e-04,9.463720e-04,9.313922e-04,9.299132e-04,9.167563e-04,9.024602e-04,9.013311e-04,8.884999e-04,8.748711e-04,8.740638e-04,8.615691e-04,8.485894e-04,8.480769e-04,8.359273e-04,8.235776e-04,8.233338e-04,8.115355e-04,7.997960e-04,7.774235e-04,7.561759e-04,7.360119e-04,7.168902e-04,6.987697e-04,6.816098e-04,6.653702e-04,6.500116e-04,6.354954e-04,6.217840e-04,6.088408e-04,5.966301e-04,5.851177e-04,5.742703e-04,5.640558e-04,5.544434e-04,5.454032e-04,5.369069e-04,5.289269e-04,5.214371e-04,5.144123e-04,5.078284e-04,5.016626e-04,4.958927e-04,4.904979e-04,4.854582e-04,4.807545e-04,4.763686e-04,4.722834e-04,4.684822e-04,4.649494e-04,4.616702e-04,4.586304e-04,4.558164e-04,4.532156e-04,4.508159e-04,4.486055e-04,4.465737e-04,4.447100e-04,4.430047e-04,4.414482e-04,4.400319e-04,4.387472e-04,4.375864e-04,4.365417e-04,4.356061e-04,4.347728e-04,4.340354e-04,4.333879e-04
0.000000e+00,1.509380e-10,1.655279e-08,1.777816e-08,3.430548e-07,2.713271e-06,2.921869e-06,1.448009e-05,4.534454e-05,4.829541e-05,1.196891e-04,2.265326e-04,2.377252e-04,4.011024e-04,5.790851e-04,6.002389e-04,8.219026e-04,1.025247e-03,1.053120e-03,1.283307e-03,1.474590e-03,1.504888e-03,1.713050e-03,1.875554e-03,1.905151e-03,2.080084e-03,2.210628e-03,2.237752e-03,2.378669e-03,2.479914e-03,2.503695e-03,2.613857e-03,2.690161e-03,2.710239e-03,2.793925e-03,2.849679e-03,2.865958e-03,2.927326e-03,2.966416e-03,2.978950e-03,3.021689e-03,3.047406e-03,3.056334e-03,3.083615e-03,3.098692e-03,3.104204e-03,3.118716e-03,3.125405e-03,3.127719e-03,3.131733e-03,3.131882e-03,3.131233e-03,3.126659e-03,3.121779e-03,3.118409e-03,3.106853e-03,3.098176e-03,3.092326e-03,3.075137e-03,3.063664e-03,3.055568e-03,3.033878e-03,3.020420e-03,3.010304e-03,2.985062e-03,2.970272e-03,2.958349e-03,2.930348e-03,2.914750e-03,2.901223e-03,2.871126e-03,2.855138e-03,2.840195e-03,2.808556e-03,2.792507e-03,2.776323e-03,2.743601e-03,2.727750e-03,2.710487e-03,2.677065e-03,2.661610e-03,2.643416e-03,2.609611e-03,2.594704e-03,2.575715e-03,2.541788e-03,2.527542e-03,2.507882e-03,2.474046e-03,2.460542e-03,2.440324e-03,2.406755e-03,2.394046e-03,2.373374e-03,2.340212e-03,2.328333e-03,2.307299e-03,2.274659e-03,2.263628e-03,2.242316e-03,2.210289e-03,2.200110e-03,2.178596e-03,2.147253e-03,2.137920e-03,2.116273e-03,2.085668e-03,2.077167e-03,2.055448e-03,2.025622e-03,2.017933e-03,1.996197e-03,1.967180e-03,1.960277e-03,1.938575e-03,1.910387e-03,1.904242e-03,1.882618e-03,1.855270e-03,1.849851e-03,1.828345e-03,1.801844e-03,1.797119e-03,1.775766e-03,1.750112e-03,1.746046e-03,1.724879e-03,1.700067e-03,1.696627e-03,1.675673e-03,1.651695e-03,1.648846e-03,1.628131e-03,1.604977e-03,1.602684e-03,1.582230e-03,1.559887e-03,1.558117e-03,1.537944e-03,1.516397e-03,1.515116e-03,1.495241e-03,1.474473e-03,1.473651e-03,1.454089e-03,1.434083e-03,1.433686e-03,1.414451e-03,1.395188e-03,1.358120e-03,1.322445e-03,1.288124e-03,1.255121e-03,1.223396e-03,1.192913e-03,1.163633e-03,1.135520e-03,1.108537e-03,1.082648e-03,1.057818e-03,1.034013e-03,1.011199e-03,9.893435e-04,9.684138e-04,9.483790e-04,9.292086e-04,9.108731e-04,8.933437e-04,8.765925e-04,8.605922e-04,8.453165e-04,8.307398e-04,8.168372e-04,8.035846e-04,7.909587e-04,7.789367e-04,7.674967e-04,7.566173e-04,7.462779e-04,7.364584e-04,7.271393e-04,7.183018e-04,7.099277e-04,7.019993e-04,6.944994e-04,6.874114e-04,6.807193e-04,6.744073e-04,6.684605e-04,6.628642e-04,6.576041e-04,6.526666e-04,6.480383e-04,6.437064e-04,6.396583e-04,6.358820e-04,6.323659e-04,6.290985e-04
0.000000e+00,2.874627e-10,2.114485e-08,2.252760e-08,3.042844e-07,1.890156e-06,2.018729e-06,8.408952e-06,2.326285e-05,2.460192e-05,5.466733e-05,9.437306e-05,9.826663e-05,1.507547e-04,2.007437e-04,2.062911e-04,2.604115e-04,3.048563e-04,3.106341e-04,3.559567e-04,3.908687e-04,3.962028e-04,4.315749e-04,4.577722e-04,4.624185e-04,4.891156e-04,5.081768e-04,5.120412e-04,5.315487e-04,5.449141e-04,5.479648e-04,5.615892e-04,5.704558e-04,5.726965e-04,5.815370e-04,5.868810e-04,5.883391e-04,5.933107e-04,5.959232e-04,5.966411e-04,5.985024e-04,5.990212e-04,5.990510e-04,5.984291e-04,5.973670e-04,5.967658e-04,5.941781e-04,5.919452e-04,5.907724e-04,5.866450e-04,5.835683e-04,5.818832e-04,5.765660e-04,5.729050e-04,5.707651e-04,5.645453e-04,5.605045e-04,5.579651e-04,5.510773e-04,5.468171e-04,5.439298e-04,5.365657e-04,5.322107e-04,5.290238e-04,5.213389e-04,5.169849e-04,5.135426e-04,5.056632e-04,5.013827e-04,4.977258e-04,4.897533e-04,4.856005e-04,4.817659e-04,4.737816e-04,4.697958e-04,4.658167e-04,4.578855e-04,4.540942e-04,4.500006e-04,4.421734e-04,4.385950e-04,4.344137e-04,4.267302e-04,4.233756e-04,4.191305e-04,4.116212e-04,4.084956e-04,4.042079e-04,3.968956e-04,3.939998e-04,3.896883e-04,3.825896e-04,3.799212e-04,3.756024e-04,3.687290e-04,3.662828e-04,3.619712e-04,3.553306e-04,3.530996e-04,3.488080e-04,3.424043e-04,3.403803e-04,3.361197e-04,3.299545e-04,3.281281e-04,3.239083e-04,3.179808e-04,3.163424e-04,3.121715e-04,3.064796e-04,3.050188e-04,3.009042e-04,2.954442e-04,2.941508e-04,2.900984e-04,2.848657e-04,2.837295e-04,2.797445e-04,2.747336e-04,2.737445e-04,2.698313e-04,2.650362e-04,2.641843e-04,2.603466e-04,2.557609e-04,2.550367e-04,2.512774e-04,2.468943e-04,2.462886e-04,2.426101e-04,2.384228e-04,2.379268e-04,2.343309e-04,2.303325e-04,2.299377e-04,2.264259e-04,2.226093e-04,2.223078e-04,2.188811e-04,2.152394e-04,2.150237e-04,2.116827e-04,2.082091e-04,2.080718e-04,2.048170e-04,2.015047e-04,2.014393e-04,1.982706e-04,1.951130e-04,1.890806e-04,1.833298e-04,1.778487e-04,1.726258e-04,1.676501e-04,1.629109e-04,1.583978e-04,1.541009e-04,1.500107e-04,1.461179e-04,1.424139e-04,1.388901e-04,1.355385e-04,1.323513e-04,1.293210e-04,1.264406e-04,1.237032e-04,1.211023e-04,1.186318e-04,1.162855e-04,1.140579e-04,1.119435e-04,1.099371e-04,1.080336e-04,1.062284e-04,1.045169e-04,1.028947e-04,1.013578e-04,9.990201e-05,9.852372e-05,9.721926e-05,9.598518e-05,9.481818e-05,9.371510e-05,9.267294e-05,9.168883e-05,9.076002e-05,8.988389e-05,8.905794e-05,8.827980e-05,8.754716e-05,8.685787e-05,8.620983e-05,8.560108e-05,8.502971e-05,8.449392e-05,8.399198e-05,8.352224e-05,8.308315e-05
0.000000e+00,2.567465e-09,1.159538e-07,1.224938e-07,1.176949e-06,5.982537e-06,6.347534e-06,2.294068e-05,5.606307e-05,5.879994e-05,1.128800e-04,1.702612e-04,1.753323e-04,2.376850e-04,2.906106e-04,2.962589e-04,3.500675e-04,3.934290e-04,3.990597e-04,4.434422e-04,4.781274e-04,4.834817e-04,5.194511e-04,5.467149e-04,5.516164e-04,5.802332e-04,6.012229e-04,6.055459e-04,6.277876e-04,6.435191e-04,6.471798e-04,6.639323e-04,6.752947e-04,6.782434e-04,6.902998e-04,6.980632e-04,7.002771e-04,7.083402e-04,7.131656e-04,7.146433e-04,7.193307e-04,7.217813e-04,7.225373e-04,7.243888e-04,7.249417e-04,7.250024e-04,7.244874e-04,7.235446e-04,7.229453e-04,7.204707e-04,7.183695e-04,7.171513e-04,7.130688e-04,7.100907e-04,7.082989e-04,7.029118e-04,6.992906e-04,6.969726e-04,6.905415e-04,6.864702e-04,6.836745e-04,6.764230e-04,6.720600e-04,6.688348e-04,6.609540e-04,6.564281e-04,6.528210e-04,6.444733e-04,6.398887e-04,6.359457e-04,6.272697e-04,6.227094e-04,6.184747e-04,6.095874e-04,6.051170e-04,6.006324e-04,5.916322e-04,5.873021e-04,5.826072e-04,5.735764e-04,5.694250e-04,5.645567e-04,5.555638e-04,5.516190e-04,5.466116e-04,5.377130e-04,5.339944e-04,5.288796e-04,5.201216e-04,5.166416e-04,5.114483e-04,5.028681e-04,4.996336e-04,4.943885e-04,4.860158e-04,4.830290e-04,4.777560e-04,4.696140e-04,4.668734e-04,4.615942e-04,4.537005e-04,4.512017e-04,4.459361e-04,4.383037e-04,4.360401e-04,4.308055e-04,4.234431e-04,4.214062e-04,4.162181e-04,4.091313e-04,4.073115e-04,4.021835e-04,3.953751e-04,3.937618e-04,3.887061e-04,3.821763e-04,3.807583e-04,3.757852e-04,3.695323e-04,3.682982e-04,3.634167e-04,3.574374e-04,3.563755e-04,3.515933e-04,3.458830e-04,3.449816e-04,3.403051e-04,3.348580e-04,3.341058e-04,3.295402e-04,3.243500e-04,3.237356e-04,3.192854e-04,3.143447e-04,3.138573e-04,3.095258e-04,3.048270e-04,3.044562e-04,3.002460e-04,2.957809e-04,2.955167e-04,2.914297e-04,2.871901e-04,2.870228e-04,2.830602e-04,2.790377e-04,2.789584e-04,2.751207e-04,2.713068e-04,2.640518e-04,2.571768e-04,2.506658e-04,2.445028e-04,2.386721e-04,2.331587e-04,2.279478e-04,2.230249e-04,2.183763e-04,2.139886e-04,2.098488e-04,2.059446e-04,2.022641e-04,1.987958e-04,1.955288e-04,1.924527e-04,1.895575e-04,1.868336e-04,1.842720e-04,1.818639e-04,1.796012e-04,1.774759e-04,1.754806e-04,1.736083e-04,1.718521e-04,1.702057e-04,1.686630e-04,1.672182e-04,1.658659e-04,1.646008e-04,1.634181e-04,1.623131e-04,1.612814e-04,1.603188e-04,1.594214e-04,1.585855e-04,1.578074e-04,1.570839e-04,1.564118e-04,1.557880e-04,1.552098e-04,1.546745e-04,1.541795e-04,1.537225e-04,1.533012e-04,1.529135e-04,1.525573e-04,1.522307e-04,1.519320e-04
0.000000e+00,5.088729e-09,1.237028e-07,1.298184e-07,9.935597e-07,4.165518e-06,4.381931e-06,1.269146e-05,2.532218e-05,2.623647e-05,4.203683e-05,5.605653e-05,5.721630e-05,7.078745e-05,8.153598e-05,8.264779e-05,9.291299e-05,1.007485e-04,1.017362e-04,1.092674e-04,1.148164e-04,1.156446e-04,1.209933e-04,1.247748e-04,1.254271e-04,1.290484e-04,1.314765e-04,1.319494e-04,1.342132e-04,1.356157e-04,1.359142e-04,1.371192e-04,1.377534e-04,1.378878e-04,1.382735e-04,1.383400e-04,1.383239e-04,1.380814e-04,1.377357e-04,1.375838e-04,1.368647e-04,1.362268e-04,1.359541e-04,1.348787e-04,1.340404e-04,1.336619e-04,1.323247e-04,1.313562e-04,1.308857e-04,1.293614e-04,1.283158e-04,1.277664e-04,1.261134e-04,1.250305e-04,1.244139e-04,1.226780e-04,1.215873e-04,1.209144e-04,1.191310e-04,1.180543e-04,1.173346e-04,1.155312e-04,1.144841e-04,1.137260e-04,1.119237e-04,1.109172e-04,1.101283e-04,1.083432e-04,1.073846e-04,1.065714e-04,1.048155e-04,1.039095e-04,1.030778e-04,1.013601e-04,1.005093e-04,9.966409e-05,9.799106e-05,9.719653e-05,9.634219e-05,9.471837e-05,9.398006e-05,9.312042e-05,9.154888e-05,9.086590e-05,9.000424e-05,8.848683e-05,8.785769e-05,8.699687e-05,8.553449e-05,8.495727e-05,8.409974e-05,8.269260e-05,8.216512e-05,8.131300e-05,7.996079e-05,7.948067e-05,7.863581e-05,7.733782e-05,7.690260e-05,7.606656e-05,7.482176e-05,7.442896e-05,7.360310e-05,7.241023e-05,7.205735e-05,7.124281e-05,7.010046e-05,6.978504e-05,6.898280e-05,6.788946e-05,6.760912e-05,6.682001e-05,6.577407e-05,6.552650e-05,6.475123e-05,6.375107e-05,6.353404e-05,6.277318e-05,6.181715e-05,6.162853e-05,6.088257e-05,5.996902e-05,5.980679e-05,5.907610e-05,5.820341e-05,5.806563e-05,5.735054e-05,5.651710e-05,5.640194e-05,5.570269e-05,5.490692e-05,5.481267e-05,5.412942e-05,5.336980e-05,5.329481e-05,5.262770e-05,5.190274e-05,5.184547e-05,5.119456e-05,5.050282e-05,5.046183e-05,4.982716e-05,4.916724e-05,4.914116e-05,4.852272e-05,4.789327e-05,4.788084e-05,4.727858e-05,4.667831e-05,4.553113e-05,4.443694e-05,4.339348e-05,4.239858e-05,4.145013e-05,4.054614e-05,3.968469e-05,3.886391e-05,3.808206e-05,3.733741e-05,3.662836e-05,3.595335e-05,3.531087e-05,3.469950e-05,3.411788e-05,3.356468e-05,3.303866e-05,3.253860e-05,3.206337e-05,3.161185e-05,3.118299e-05,3.077578e-05,3.038926e-05,3.002249e-05,2.967459e-05,2.934471e-05,2.903205e-05,2.873581e-05,2.845527e-05,2.818970e-05,2.793843e-05,2.770080e-05,2.747619e-05,2.726401e-05,2.706368e-05,2.687465e-05,2.669641e-05,2.652845e-05,2.637029e-05,2.622147e-05,2.608157e-05,2.595015e-05,2.582681e-05,2.571119e-05,2.560289e-05,2.550158e-05,2.540693e-05,2.531860e-05,2.523629e-05
0.000000e+00,7.588093e-09,1.530114e-07,1.606126e-07,1.185463e-06,4.387347e-06,4.586342e-06,1.120189e-05,1.914000e-05,1.966110e-05,2.818359e-05,3.551073e-05,3.612016e-05,4.335830e-05,4.928703e-05,4.991283e-05,5.582491e-05,6.053203e-05,6.113976e-05,6.590156e-05,6.958636e-05,7.015218e-05,7.393102e-05,7.676777e-05,7.727504e-05,8.021871e-05,8.235636e-05,8.279413e-05,8.503114e-05,8.659579e-05,8.695746e-05,8.859872e-05,8.969637e-05,8.997870e-05,9.111950e-05,9.183917e-05,9.204154e-05,9.276366e-05,9.317967e-05,9.330338e-05,9.367677e-05,9.385085e-05,9.389842e-05,9.398186e-05,9.396478e-05,9.393961e-05,9.378320e-05,9.361715e-05,9.352342e-05,9.317079e-05,9.289174e-05,9.273457e-05,9.222314e-05,9.185993e-05,9.164419e-05,9.100481e-05,9.058094e-05,9.031155e-05,8.957038e-05,8.910499e-05,8.878680e-05,8.796586e-05,8.747445e-05,8.711221e-05,8.623012e-05,8.572520e-05,8.532351e-05,8.439594e-05,8.388750e-05,8.345068e-05,8.249074e-05,8.198668e-05,8.151884e-05,8.053751e-05,8.004403e-05,7.954904e-05,7.855552e-05,7.807740e-05,7.755885e-05,7.656078e-05,7.610164e-05,7.556288e-05,7.456659e-05,7.412907e-05,7.357320e-05,7.258387e-05,7.216983e-05,7.159969e-05,7.062159e-05,7.023225e-05,6.965044e-05,6.868702e-05,6.832310e-05,6.773202e-05,6.678604e-05,6.644781e-05,6.584964e-05,6.492331e-05,6.461072e-05,6.400746e-05,6.310247e-05,6.281522e-05,6.220866e-05,6.132631e-05,6.106388e-05,6.045566e-05,5.959692e-05,5.935862e-05,5.875023e-05,5.791575e-05,5.770080e-05,5.709357e-05,5.628378e-05,5.609128e-05,5.548642e-05,5.470153e-05,5.453053e-05,5.392914e-05,5.316921e-05,5.301873e-05,5.242175e-05,5.168672e-05,5.155573e-05,5.096406e-05,5.025371e-05,5.014119e-05,4.955560e-05,4.886965e-05,4.877458e-05,4.819576e-05,4.753384e-05,4.745521e-05,4.688377e-05,4.624545e-05,4.618226e-05,4.561876e-05,4.500357e-05,4.495485e-05,4.439975e-05,4.380718e-05,4.377198e-05,4.322571e-05,4.265522e-05,4.263262e-05,4.209555e-05,4.154657e-05,4.153570e-05,4.100814e-05,4.048011e-05,3.946472e-05,3.848840e-05,3.755000e-05,3.664838e-05,3.578242e-05,3.495100e-05,3.415302e-05,3.338740e-05,3.265306e-05,3.194897e-05,3.127411e-05,3.062749e-05,3.000813e-05,2.941510e-05,2.884747e-05,2.830436e-05,2.778488e-05,2.728821e-05,2.681351e-05,2.636001e-05,2.592693e-05,2.551352e-05,2.511907e-05,2.474287e-05,2.438425e-05,2.404255e-05,2.371714e-05,2.340741e-05,2.311276e-05,2.283261e-05,2.256641e-05,2.231363e-05,2.207374e-05,2.184625e-05,2.163066e-05,2.142651e-05,2.123334e-05,2.105071e-05,2.087821e-05,2.071541e-05,2.056193e-05,2.041739e-05,2.028141e-05,2.015363e-05,2.003372e-05,1.992133e-05,1.981615e-05,1.971787e-05,1.962618e-05
0.000000e+00,1.743099e-11,2.058870e-09,2.211853e-09,4.296036e-08,3.592692e-07,3.883634e-07,2.184162e-06,8.008219e-06,8.622733e-06,2.585658e-05,5.885300e-05,6.277113e-05,1.297345e-04,2.241937e-04,2.369996e-04,3.932880e-04,5.763714e-04,6.048036e-04,8.747255e-04,1.153703e-03,1.203122e-03,1.587179e-03,1.949019e-03,2.021645e-03,2.499380e-03,2.917514e-03,3.011940e-03,3.550145e-03,3.992840e-03,4.104575e-03,4.666004e-03,5.103150e-03,5.225724e-03,5.775805e-03,6.183079e-03,6.309253e-03,6.820107e-03,7.180674e-03,7.303472e-03,7.755509e-03,8.059947e-03,8.173381e-03,8.555181e-03,8.800371e-03,8.899832e-03,9.206992e-03,9.394568e-03,9.476943e-03,9.710486e-03,9.845259e-03,9.908843e-03,1.007356e-02,1.016215e-02,1.020644e-02,1.030944e-02,1.035920e-02,1.038463e-02,1.043412e-02,1.045237e-02,1.046005e-02,1.046450e-02,1.045806e-02,1.044952e-02,1.041706e-02,1.039194e-02,1.036896e-02,1.030698e-02,1.026832e-02,1.023274e-02,1.014776e-02,1.009978e-02,1.005341e-02,9.950970e-03,9.897085e-03,9.841603e-03,9.726358e-03,9.669234e-03,9.606182e-03,9.481928e-03,9.423615e-03,9.354360e-03,9.224157e-03,9.166192e-03,9.091927e-03,8.958210e-03,8.901722e-03,8.823483e-03,8.688167e-03,8.633961e-03,8.552635e-03,8.417213e-03,8.365842e-03,8.282186e-03,8.147806e-03,8.099631e-03,8.014291e-03,7.881832e-03,7.837067e-03,7.750595e-03,7.620724e-03,7.579474e-03,7.492343e-03,7.365558e-03,7.327848e-03,7.240462e-03,7.117132e-03,7.082926e-03,6.995635e-03,6.876026e-03,6.845242e-03,6.758350e-03,6.642647e-03,6.615176e-03,6.528947e-03,6.417273e-03,6.392978e-03,6.307643e-03,6.200070e-03,6.178803e-03,6.094563e-03,5.991125e-03,5.972726e-03,5.889757e-03,5.790455e-03,5.774759e-03,5.693214e-03,5.598025e-03,5.584862e-03,5.504877e-03,5.413756e-03,5.402957e-03,5.324648e-03,5.237535e-03,5.228933e-03,5.152400e-03,5.069221e-03,5.062651e-03,4.987979e-03,4.908652e-03,4.903952e-03,4.831215e-03,4.755646e-03,4.752661e-03,4.681919e-03,4.610010e-03,4.608590e-03,4.539893e-03,4.471541e-03,4.341308e-03,4.217681e-03,4.100448e-03,3.989393e-03,3.884302e-03,3.784961e-03,3.691158e-03,3.602683e-03,3.519331e-03,3.440898e-03,3.367186e-03,3.298001e-03,3.233154e-03,3.172460e-03,3.115739e-03,3.062816e-03,3.013522e-03,2.967690e-03,2.925161e-03,2.885780e-03,2.849396e-03,2.815864e-03,2.785042e-03,2.756794e-03,2.730987e-03,2.707493e-03,2.686190e-03,2.666957e-03,2.649679e-03,2.634245e-03,2.620547e-03,2.608482e-03,2.597949e-03,2.588852e-03,2.581098e-03,2.574597e-03,2.569264e-03,2.565016e-03,2.561773e-03,2.559460e-03,2.558002e-03,2.557331e-03,2.557380e-03,2.558083e-03,2.559381e-03,2.561216e-03,2.563530e-03,2.566274e-03,2.569395e-03
0.000000e+00,1.769589e-10,1.583969e-08,1.694311e-08,2.689114e-07,1.797765e-06,1.923332e-06,8.189834e-06,2.272330e-05,2.403231e-05,5.351960e-05,9.307512e-05,9.700457e-05,1.510301e-04,2.045300e-04,2.106011e-04,2.713326e-04,3.233688e-04,3.302860e-04,3.858512e-04,4.303720e-04,4.373202e-04,4.844997e-04,5.208603e-04,5.274564e-04,5.663739e-04,5.954322e-04,6.014810e-04,6.330186e-04,6.558382e-04,6.612238e-04,6.863241e-04,7.038864e-04,7.085356e-04,7.280618e-04,7.412240e-04,7.450942e-04,7.598123e-04,7.693133e-04,7.723846e-04,7.829688e-04,7.894417e-04,7.917126e-04,7.987542e-04,8.027401e-04,8.042229e-04,8.082396e-04,8.101995e-04,8.109172e-04,8.123615e-04,8.126873e-04,8.126712e-04,8.119384e-04,8.109623e-04,8.102492e-04,8.076841e-04,8.056869e-04,8.043180e-04,8.002208e-04,7.974389e-04,7.954578e-04,7.900898e-04,7.867217e-04,7.841736e-04,7.777618e-04,7.739733e-04,7.709038e-04,7.636451e-04,7.595740e-04,7.560285e-04,7.480935e-04,7.438537e-04,7.398768e-04,7.314127e-04,7.270978e-04,7.227329e-04,7.138667e-04,7.095529e-04,7.048415e-04,6.956826e-04,6.914312e-04,6.864134e-04,6.770555e-04,6.729151e-04,6.676289e-04,6.581521e-04,6.541609e-04,6.486420e-04,6.391145e-04,6.353018e-04,6.295838e-04,6.200634e-04,6.164509e-04,6.105653e-04,6.011008e-04,5.977038e-04,5.916800e-04,5.823123e-04,5.791408e-04,5.730061e-04,5.637691e-04,5.608291e-04,5.546085e-04,5.455304e-04,5.428239e-04,5.365406e-04,5.276442e-04,5.251706e-04,5.188459e-04,5.101496e-04,5.079058e-04,5.015591e-04,4.930774e-04,4.910583e-04,4.847074e-04,4.764515e-04,4.746507e-04,4.683116e-04,4.602897e-04,4.586996e-04,4.523870e-04,4.446048e-04,4.432169e-04,4.369440e-04,4.294052e-04,4.282103e-04,4.219889e-04,4.146953e-04,4.136841e-04,4.075246e-04,4.004767e-04,3.996392e-04,3.935512e-04,3.867478e-04,3.860742e-04,3.800660e-04,3.735051e-04,3.729854e-04,3.670644e-04,3.607430e-04,3.603675e-04,3.545400e-04,3.484544e-04,3.482134e-04,3.424851e-04,3.366308e-04,3.365149e-04,3.308905e-04,3.252628e-04,3.144471e-04,3.040570e-04,2.940816e-04,2.845092e-04,2.753282e-04,2.665264e-04,2.580921e-04,2.500132e-04,2.422778e-04,2.348743e-04,2.277909e-04,2.210162e-04,2.145390e-04,2.083483e-04,2.024334e-04,1.967838e-04,1.913893e-04,1.862399e-04,1.813262e-04,1.766387e-04,1.721684e-04,1.679067e-04,1.638450e-04,1.599752e-04,1.562895e-04,1.527802e-04,1.494401e-04,1.462621e-04,1.432394e-04,1.403654e-04,1.376340e-04,1.350390e-04,1.325746e-04,1.302353e-04,1.280157e-04,1.259106e-04,1.239152e-04,1.220245e-04,1.202342e-04,1.185397e-04,1.169370e-04,1.154220e-04,1.139908e-04,1.126397e-04,1.113652e-04,1.101639e-04,1.090325e-04,1.079678e-04,1.069669e-04
0.000000e+00,2.950973e-11,3.455793e-09,3.712946e-09,7.269696e-08,6.066418e-07,6.554747e-07,3.615111e-06,1.287147e-05,1.382967e-05,3.989178e-05,8.726247e-05,9.273922e-05,1.830704e-04,3.032088e-04,3.190080e-04,5.047424e-04,7.094220e-04,7.402058e-04,1.021508e-03,1.294930e-03,1.341806e-03,1.692331e-03,2.003038e-03,2.063376e-03,2.445139e-03,2.759662e-03,2.828364e-03,3.204787e-03,3.496269e-03,3.567394e-03,3.910538e-03,4.161878e-03,4.229937e-03,4.522586e-03,4.725930e-03,4.786631e-03,5.021209e-03,5.175774e-03,5.226277e-03,5.402449e-03,5.512010e-03,5.550840e-03,5.672931e-03,5.743665e-03,5.770451e-03,5.845273e-03,5.884179e-03,5.899342e-03,5.934605e-03,5.948506e-03,5.952969e-03,5.956264e-03,5.951266e-03,5.946215e-03,5.924434e-03,5.905694e-03,5.892405e-03,5.851486e-03,5.823184e-03,5.802908e-03,5.747781e-03,5.713202e-03,5.687098e-03,5.621744e-03,5.583402e-03,5.552505e-03,5.480074e-03,5.439853e-03,5.405064e-03,5.328009e-03,5.287292e-03,5.249381e-03,5.169590e-03,5.129371e-03,5.088992e-03,5.007899e-03,4.968879e-03,4.926581e-03,4.845270e-03,4.807926e-03,4.764169e-03,4.683451e-03,4.648096e-03,4.603267e-03,4.523744e-03,4.490568e-03,4.444992e-03,4.367105e-03,4.336210e-03,4.290162e-03,4.214229e-03,4.185652e-03,4.139363e-03,4.065609e-03,4.039338e-03,3.993007e-03,3.921586e-03,3.897577e-03,3.851372e-03,3.782383e-03,3.760568e-03,3.714634e-03,3.648134e-03,3.628429e-03,3.582890e-03,3.518904e-03,3.501214e-03,3.456176e-03,3.394704e-03,3.378926e-03,3.334483e-03,3.275506e-03,3.261536e-03,3.217766e-03,3.161252e-03,3.148982e-03,3.105953e-03,3.051857e-03,3.041181e-03,2.998951e-03,2.947220e-03,2.938032e-03,2.896651e-03,2.847227e-03,2.839424e-03,2.798932e-03,2.751752e-03,2.745235e-03,2.705668e-03,2.660665e-03,2.655336e-03,2.616724e-03,2.573830e-03,2.569597e-03,2.531964e-03,2.491109e-03,2.487883e-03,2.451247e-03,2.412362e-03,2.410059e-03,2.374435e-03,2.337450e-03,2.335989e-03,2.301388e-03,2.266233e-03,2.265539e-03,2.231968e-03,2.198576e-03,2.134969e-03,2.074589e-03,2.017311e-03,1.963013e-03,1.911576e-03,1.862883e-03,1.816823e-03,1.773287e-03,1.732168e-03,1.693367e-03,1.656783e-03,1.622322e-03,1.589892e-03,1.559404e-03,1.530774e-03,1.503919e-03,1.478760e-03,1.455220e-03,1.433226e-03,1.412707e-03,1.393595e-03,1.375823e-03,1.359330e-03,1.344053e-03,1.329935e-03,1.316918e-03,1.304950e-03,1.293976e-03,1.283948e-03,1.274816e-03,1.266535e-03,1.259059e-03,1.252345e-03,1.246352e-03,1.241040e-03,1.236370e-03,1.232306e-03,1.228812e-03,1.225854e-03,1.223400e-03,1.221418e-03,1.219878e-03,1.218750e-03,1.218008e-03,1.217625e-03,1.217574e-03,1.217832e-03,1.218376e-03,1.219182e-03
0.000000e+00,3.329903e-09,8.219844e-08,8.646254e-08,6.408102e-07,2.091762e-06,2.170411e-06,4.296592e-06,6.229315e-06,6.345736e-06,8.153472e-06,9.604680e-06,9.721902e-06,1.107543e-05,1.213064e-05,1.223913e-05,1.323569e-05,1.399038e-05,1.408515e-05,1.480524e-05,1.533301e-05,1.541159e-05,1.591803e-05,1.627520e-05,1.633676e-05,1.667861e-05,1.690826e-05,1.695308e-05,1.716860e-05,1.730358e-05,1.733258e-05,1.745157e-05,1.751687e-05,1.753130e-05,1.757682e-05,1.759126e-05,1.759252e-05,1.758231e-05,1.756010e-05,1.754960e-05,1.749740e-05,1.744924e-05,1.742835e-05,1.734484e-05,1.727889e-05,1.724891e-05,1.714233e-05,1.706457e-05,1.702665e-05,1.690325e-05,1.681816e-05,1.677331e-05,1.663789e-05,1.654876e-05,1.649789e-05,1.635413e-05,1.626343e-05,1.620732e-05,1.605806e-05,1.596756e-05,1.590690e-05,1.575430e-05,1.566530e-05,1.560068e-05,1.544640e-05,1.535983e-05,1.529177e-05,1.513706e-05,1.505356e-05,1.498251e-05,1.482832e-05,1.474835e-05,1.467469e-05,1.452175e-05,1.444559e-05,1.436965e-05,1.421850e-05,1.414632e-05,1.406841e-05,1.391945e-05,1.385133e-05,1.377171e-05,1.362524e-05,1.356121e-05,1.348009e-05,1.333632e-05,1.327636e-05,1.319396e-05,1.305304e-05,1.299708e-05,1.291359e-05,1.277561e-05,1.272358e-05,1.263914e-05,1.250418e-05,1.245597e-05,1.237074e-05,1.223883e-05,1.219433e-05,1.210844e-05,1.197959e-05,1.193867e-05,1.185226e-05,1.172645e-05,1.168900e-05,1.160216e-05,1.147939e-05,1.144528e-05,1.135812e-05,1.123835e-05,1.120746e-05,1.112007e-05,1.100327e-05,1.097546e-05,1.088794e-05,1.077406e-05,1.074920e-05,1.066163e-05,1.055063e-05,1.052860e-05,1.044105e-05,1.033288e-05,1.031356e-05,1.022611e-05,1.012072e-05,1.010398e-05,1.001670e-05,9.914031e-06,9.899766e-06,9.812707e-06,9.712712e-06,9.700801e-06,9.614031e-06,9.516652e-06,9.506985e-06,9.420560e-06,9.325742e-06,9.318211e-06,9.232185e-06,9.139874e-06,9.134374e-06,9.048795e-06,8.958937e-06,8.955368e-06,8.870284e-06,8.782824e-06,8.781087e-06,8.696542e-06,8.611427e-06,8.446287e-06,8.285563e-06,8.129157e-06,7.976970e-06,7.828905e-06,7.684867e-06,7.544762e-06,7.408498e-06,7.275986e-06,7.147137e-06,7.021865e-06,6.900084e-06,6.781712e-06,6.666666e-06,6.554869e-06,6.446240e-06,6.340704e-06,6.238187e-06,6.138614e-06,6.041914e-06,5.948018e-06,5.856856e-06,5.768362e-06,5.682469e-06,5.599115e-06,5.518236e-06,5.439771e-06,5.363660e-06,5.289844e-06,5.218266e-06,5.148871e-06,5.081603e-06,5.016409e-06,4.953236e-06,4.892035e-06,4.832754e-06,4.775344e-06,4.719759e-06,4.665952e-06,4.613876e-06,4.563488e-06,4.514744e-06,4.467602e-06,4.422019e-06,4.377957e-06,4.335373e-06,4.294231e-06,4.254493e-06,4.216120e-06
0.000000e+00,1.102031e-09,1.419664e-08,1.481953e-08,9.333262e-08,3.329844e-07,3.478030e-07,8.288043e-07,1.380274e-06,1.416052e-06,2.001832e-06,2.511705e-06,2.554504e-06,3.068246e-06,3.497442e-06,3.543237e-06,3.981051e-06,4.337071e-06,4.383575e-06,4.752732e-06,5.044967e-06,5.090418e-06,5.398479e-06,5.635666e-06,5.678703e-06,5.932813e-06,6.122858e-06,6.162461e-06,6.369223e-06,6.519166e-06,6.554600e-06,6.720012e-06,6.836042e-06,6.866804e-06,6.996244e-06,7.083752e-06,7.109527e-06,7.207777e-06,7.271426e-06,7.292048e-06,7.363334e-06,7.407144e-06,7.422564e-06,7.470611e-06,7.498030e-06,7.508293e-06,7.536375e-06,7.550355e-06,7.555575e-06,7.566565e-06,7.569628e-06,7.569974e-06,7.566390e-06,7.560682e-06,7.556364e-06,7.540409e-06,7.527753e-06,7.519008e-06,7.492609e-06,7.474547e-06,7.461633e-06,7.426473e-06,7.404308e-06,7.387494e-06,7.345039e-06,7.319866e-06,7.299427e-06,7.250956e-06,7.223691e-06,7.199903e-06,7.146527e-06,7.117935e-06,7.091070e-06,7.033756e-06,7.004469e-06,6.974794e-06,6.914380e-06,6.884919e-06,6.852694e-06,6.789905e-06,6.760695e-06,6.726170e-06,6.661634e-06,6.633020e-06,6.596432e-06,6.530691e-06,6.502947e-06,6.464525e-06,6.398044e-06,6.371385e-06,6.331345e-06,6.264523e-06,6.239116e-06,6.197662e-06,6.130840e-06,6.106808e-06,6.064131e-06,5.997601e-06,5.975033e-06,5.931313e-06,5.865322e-06,5.844276e-06,5.799681e-06,5.734437e-06,5.714948e-06,5.669634e-06,5.605312e-06,5.587393e-06,5.541507e-06,5.478251e-06,5.461899e-06,5.415576e-06,5.353507e-06,5.338704e-06,5.292069e-06,5.231284e-06,5.218001e-06,5.171172e-06,5.111749e-06,5.099949e-06,5.053031e-06,4.995032e-06,4.984670e-06,4.937763e-06,4.881234e-06,4.872259e-06,4.825454e-06,4.770429e-06,4.762786e-06,4.716166e-06,4.662670e-06,4.656302e-06,4.609944e-06,4.557989e-06,4.552837e-06,4.506809e-06,4.456404e-06,4.452405e-06,4.406773e-06,4.357915e-06,4.355008e-06,4.309829e-06,4.262512e-06,4.260635e-06,4.215962e-06,4.170175e-06,4.169267e-06,4.125147e-06,4.080873e-06,3.995419e-06,3.912862e-06,3.833156e-06,3.756250e-06,3.682090e-06,3.610619e-06,3.541778e-06,3.475507e-06,3.411744e-06,3.350427e-06,3.291493e-06,3.234879e-06,3.180523e-06,3.128360e-06,3.078330e-06,3.030371e-06,2.984421e-06,2.940421e-06,2.898311e-06,2.858033e-06,2.819529e-06,2.782744e-06,2.747622e-06,2.714110e-06,2.682154e-06,2.651703e-06,2.622705e-06,2.595112e-06,2.568876e-06,2.543949e-06,2.520285e-06,2.497840e-06,2.476570e-06,2.456432e-06,2.437385e-06,2.419389e-06,2.402403e-06,2.386392e-06,2.371316e-06,2.357139e-06,2.343828e-06,2.331347e-06,2.319663e-06,2.308744e-06,2.298558e-06,2.289076e-06,2.280268e-06,2.272105e-06,2.264559e-06
0.000000e+00,1.000670e-09,1.424658e-08,1.488727e-08,9.320110e-08,3.079059e-07,3.202836e-07,6.857645e-07,1.059985e-06,1.083517e-06,1.461855e-06,1.783465e-06,1.810190e-06,2.127817e-06,2.388538e-06,2.416094e-06,2.676769e-06,2.884737e-06,2.911611e-06,3.122326e-06,3.285490e-06,3.310545e-06,3.477818e-06,3.603225e-06,3.625626e-06,3.755399e-06,3.849306e-06,3.868490e-06,3.966183e-06,4.034068e-06,4.049691e-06,4.120154e-06,4.166751e-06,4.178643e-06,4.226156e-06,4.255501e-06,4.263625e-06,4.291920e-06,4.307427e-06,4.311846e-06,4.324151e-06,4.328684e-06,4.329530e-06,4.328624e-06,4.324571e-06,4.322028e-06,4.310290e-06,4.299632e-06,4.293918e-06,4.273378e-06,4.257750e-06,4.249102e-06,4.221488e-06,4.202233e-06,4.190902e-06,4.157679e-06,4.135895e-06,4.122131e-06,4.084540e-06,4.061116e-06,4.045169e-06,4.004258e-06,3.979910e-06,3.962024e-06,3.918670e-06,3.893972e-06,3.874380e-06,3.829321e-06,3.804725e-06,3.783648e-06,3.737500e-06,3.713358e-06,3.691005e-06,3.644279e-06,3.620862e-06,3.597426e-06,3.550544e-06,3.528055e-06,3.503717e-06,3.457025e-06,3.435611e-06,3.410538e-06,3.364318e-06,3.344082e-06,3.318424e-06,3.272906e-06,3.253911e-06,3.227809e-06,3.183173e-06,3.165456e-06,3.139034e-06,3.095423e-06,3.078995e-06,3.052368e-06,3.009892e-06,2.994747e-06,2.968016e-06,2.926757e-06,2.912873e-06,2.886131e-06,2.846148e-06,2.833491e-06,2.806820e-06,2.768153e-06,2.756683e-06,2.730153e-06,2.692826e-06,2.682495e-06,2.656172e-06,2.620194e-06,2.610950e-06,2.584891e-06,2.550261e-06,2.542050e-06,2.516303e-06,2.483012e-06,2.475777e-06,2.450385e-06,2.418416e-06,2.412101e-06,2.387101e-06,2.356431e-06,2.350979e-06,2.326401e-06,2.297003e-06,2.292358e-06,2.268230e-06,2.240073e-06,2.236180e-06,2.212524e-06,2.185574e-06,2.182380e-06,2.159214e-06,2.133435e-06,2.130889e-06,2.108228e-06,2.083583e-06,2.081636e-06,2.059492e-06,2.035943e-06,2.034547e-06,2.012928e-06,1.990437e-06,1.989549e-06,1.968461e-06,1.946989e-06,1.946565e-06,1.926012e-06,1.905521e-06,1.866344e-06,1.828959e-06,1.793296e-06,1.759285e-06,1.726855e-06,1.695942e-06,1.666481e-06,1.638408e-06,1.611663e-06,1.586189e-06,1.561928e-06,1.538827e-06,1.516833e-06,1.495897e-06,1.475970e-06,1.457006e-06,1.438961e-06,1.421793e-06,1.405461e-06,1.389926e-06,1.375152e-06,1.361103e-06,1.347744e-06,1.335044e-06,1.322971e-06,1.311496e-06,1.300591e-06,1.290229e-06,1.280383e-06,1.271030e-06,1.262145e-06,1.253707e-06,1.245695e-06,1.238087e-06,1.230864e-06,1.224008e-06,1.217501e-06,1.211327e-06,1.205468e-06,1.199911e-06,1.194640e-06,1.189641e-06,1.184901e-06,1.180408e-06,1.176148e-06,1.172112e-06,1.168288e-06,1.164665e-06,1.161234e-06
0.000000e+00,3.097429e-10,2.991538e-08,3.202761e-08,5.255795e-07,3.651592e-06,3.914245e-06,1.760897e-05,5.162309e-05,5.478262e-05,1.285974e-04,2.332541e-04,2.439333e-04,3.952287e-04,5.523624e-04,5.706033e-04,7.570734e-04,9.216584e-04,9.437959e-04,1.123142e-03,1.267875e-03,1.290469e-03,1.443392e-03,1.560055e-03,1.581049e-03,1.703503e-03,1.792973e-03,1.811342e-03,1.905420e-03,1.971422e-03,1.986703e-03,2.056185e-03,2.102817e-03,2.114841e-03,2.163604e-03,2.194590e-03,2.203353e-03,2.234909e-03,2.253437e-03,2.259035e-03,2.276438e-03,2.285172e-03,2.287769e-03,2.293627e-03,2.294769e-03,2.294565e-03,2.291087e-03,2.286439e-03,2.283658e-03,2.272702e-03,2.263730e-03,2.258608e-03,2.241732e-03,2.229622e-03,2.222398e-03,2.200902e-03,2.186609e-03,2.177516e-03,2.152485e-03,2.136772e-03,2.126035e-03,2.098370e-03,2.081842e-03,2.069676e-03,2.040122e-03,2.023253e-03,2.009861e-03,1.979032e-03,1.962194e-03,1.947762e-03,1.916164e-03,1.899638e-03,1.884341e-03,1.852386e-03,1.836385e-03,1.820382e-03,1.788404e-03,1.773084e-03,1.756520e-03,1.724789e-03,1.710260e-03,1.693266e-03,1.661997e-03,1.648331e-03,1.631025e-03,1.600388e-03,1.587628e-03,1.570118e-03,1.540244e-03,1.528410e-03,1.510790e-03,1.481778e-03,1.470874e-03,1.453227e-03,1.425151e-03,1.415163e-03,1.397564e-03,1.370477e-03,1.361382e-03,1.343896e-03,1.317830e-03,1.309598e-03,1.292283e-03,1.267257e-03,1.259852e-03,1.242755e-03,1.218778e-03,1.212158e-03,1.195324e-03,1.172391e-03,1.166514e-03,1.149978e-03,1.128080e-03,1.122901e-03,1.106694e-03,1.085814e-03,1.081288e-03,1.065436e-03,1.045553e-03,1.041635e-03,1.026158e-03,1.007246e-03,1.003893e-03,9.888096e-04,9.708407e-04,9.680086e-04,9.533321e-04,9.362760e-04,9.339238e-04,9.196645e-04,9.034896e-04,9.015775e-04,8.877430e-04,8.724167e-04,8.709069e-04,8.575023e-04,8.429915e-04,8.418479e-04,8.288761e-04,8.151478e-04,8.143362e-04,8.017983e-04,7.888193e-04,7.883078e-04,7.762029e-04,7.639407e-04,7.636991e-04,7.520250e-04,7.404476e-04,7.184923e-04,6.977735e-04,6.782332e-04,6.598154e-04,6.424658e-04,6.261320e-04,6.107639e-04,5.963130e-04,5.827331e-04,5.699797e-04,5.580104e-04,5.467845e-04,5.362633e-04,5.264099e-04,5.171889e-04,5.085667e-04,5.005113e-04,4.929924e-04,4.859807e-04,4.794490e-04,4.733708e-04,4.677214e-04,4.624771e-04,4.576153e-04,4.531148e-04,4.489552e-04,4.451173e-04,4.415827e-04,4.383341e-04,4.353551e-04,4.326300e-04,4.301440e-04,4.278832e-04,4.258340e-04,4.239840e-04,4.223210e-04,4.208338e-04,4.195115e-04,4.183439e-04,4.173214e-04,4.164347e-04,4.156752e-04,4.150346e-04,4.145051e-04,4.140793e-04,4.137502e-04,4.135112e-04,4.133561e-04,4.132788e-04
0.000000e+00,1.915883e-09,2.447943e-08,2.553781e-08,1.556067e-07,5.504793e-07,5.753024e-07,1.422780e-06,2.482294e-06,2.553157e-06,3.734923e-06,4.787873e-06,4.877129e-06,5.958971e-06,6.878236e-06,6.977210e-06,7.932707e-06,8.723114e-06,8.827322e-06,9.663148e-06,1.033657e-05,1.044232e-05,1.116699e-05,1.173517e-05,1.183932e-05,1.246147e-05,1.293572e-05,1.303562e-05,1.356392e-05,1.395498e-05,1.404850e-05,1.449147e-05,1.480943e-05,1.489489e-05,1.526074e-05,1.551487e-05,1.559098e-05,1.588748e-05,1.608623e-05,1.615204e-05,1.638641e-05,1.653740e-05,1.659226e-05,1.677118e-05,1.688123e-05,1.692472e-05,1.705433e-05,1.712951e-05,1.716141e-05,1.724731e-05,1.729302e-05,1.731330e-05,1.736059e-05,1.738158e-05,1.739034e-05,1.740365e-05,1.740411e-05,1.740158e-05,1.738512e-05,1.736874e-05,1.735523e-05,1.731280e-05,1.728279e-05,1.725870e-05,1.719374e-05,1.715290e-05,1.711869e-05,1.703429e-05,1.698508e-05,1.694125e-05,1.684021e-05,1.678472e-05,1.673180e-05,1.661663e-05,1.655668e-05,1.649524e-05,1.636818e-05,1.630533e-05,1.623595e-05,1.609903e-05,1.603459e-05,1.595786e-05,1.581288e-05,1.574798e-05,1.566448e-05,1.551305e-05,1.544863e-05,1.535894e-05,1.520249e-05,1.513933e-05,1.504402e-05,1.488383e-05,1.482257e-05,1.472221e-05,1.455941e-05,1.450057e-05,1.439569e-05,1.423129e-05,1.417527e-05,1.406641e-05,1.390128e-05,1.384841e-05,1.373608e-05,1.357098e-05,1.352150e-05,1.340617e-05,1.324180e-05,1.319587e-05,1.307801e-05,1.291495e-05,1.287268e-05,1.275273e-05,1.259148e-05,1.255294e-05,1.243131e-05,1.227232e-05,1.223751e-05,1.211460e-05,1.195824e-05,1.192714e-05,1.180331e-05,1.164990e-05,1.162245e-05,1.149806e-05,1.134786e-05,1.132398e-05,1.119935e-05,1.105258e-05,1.103218e-05,1.090760e-05,1.076445e-05,1.074739e-05,1.062315e-05,1.048376e-05,1.046992e-05,1.034628e-05,1.021074e-05,1.019999e-05,1.007717e-05,9.945585e-06,9.937753e-06,9.815991e-06,9.688403e-06,9.683342e-06,9.562829e-06,9.439274e-06,9.436824e-06,9.317741e-06,9.198232e-06,8.967565e-06,8.744790e-06,8.529850e-06,8.322662e-06,8.123124e-06,7.931118e-06,7.746511e-06,7.569158e-06,7.398903e-06,7.235582e-06,7.079026e-06,6.929058e-06,6.785498e-06,6.648166e-06,6.516876e-06,6.391443e-06,6.271684e-06,6.157413e-06,6.048448e-06,5.944608e-06,5.845714e-06,5.751588e-06,5.662059e-06,5.576956e-06,5.496113e-06,5.419366e-06,5.346556e-06,5.277528e-06,5.212131e-06,5.150218e-06,5.091646e-06,5.036276e-06,4.983974e-06,4.934608e-06,4.888053e-06,4.844187e-06,4.802890e-06,4.764050e-06,4.727555e-06,4.693299e-06,4.661180e-06,4.631098e-06,4.602958e-06,4.576669e-06,4.552141e-06,4.529290e-06,4.508034e-06,4.488295e-06,4.469996e-06
0.000000e+00,1.260701e-09,1.894386e-08,1.980329e-08,1.244709e-07,4.197068e-07,4.374529e-07,1.011170e-06,1.684593e-06,1.728873e-06,2.461911e-06,3.112286e-06,3.167442e-06,3.837031e-06,4.408144e-06,4.469777e-06,5.066376e-06,5.562311e-06,5.627876e-06,6.155435e-06,6.582909e-06,6.650260e-06,7.113583e-06,7.479342e-06,7.546652e-06,7.950712e-06,8.261264e-06,8.327001e-06,8.676734e-06,8.938200e-06,9.001099e-06,9.301256e-06,9.519296e-06,9.578327e-06,9.833396e-06,1.001318e-05,1.006751e-05,1.028168e-05,1.042790e-05,1.047688e-05,1.065404e-05,1.077093e-05,1.081405e-05,1.095778e-05,1.104914e-05,1.108604e-05,1.119964e-05,1.126890e-05,1.129933e-05,1.138582e-05,1.143602e-05,1.145983e-05,1.152200e-05,1.155588e-05,1.157298e-05,1.161338e-05,1.163337e-05,1.164378e-05,1.166473e-05,1.167299e-05,1.167677e-05,1.168041e-05,1.167886e-05,1.167613e-05,1.166440e-05,1.165474e-05,1.164566e-05,1.162033e-05,1.160406e-05,1.158882e-05,1.155151e-05,1.152994e-05,1.150877e-05,1.146094e-05,1.143523e-05,1.140838e-05,1.135138e-05,1.132253e-05,1.129025e-05,1.122529e-05,1.119420e-05,1.115677e-05,1.108495e-05,1.105237e-05,1.101008e-05,1.093239e-05,1.089898e-05,1.085212e-05,1.076948e-05,1.073581e-05,1.068467e-05,1.059789e-05,1.056443e-05,1.050932e-05,1.041913e-05,1.038630e-05,1.032750e-05,1.023457e-05,1.020271e-05,1.014051e-05,1.004544e-05,1.001483e-05,9.949511e-06,9.852844e-06,9.823718e-06,9.755559e-06,9.657772e-06,9.630316e-06,9.559588e-06,9.461111e-06,9.435471e-06,9.362436e-06,9.263654e-06,9.239941e-06,9.164851e-06,9.066108e-06,9.044400e-06,8.967500e-06,8.869098e-06,8.849449e-06,8.770971e-06,8.673181e-06,8.655619e-06,8.575787e-06,8.478845e-06,8.463379e-06,8.382406e-06,8.286519e-06,8.273142e-06,8.191230e-06,8.096581e-06,8.085268e-06,8.002611e-06,7.909357e-06,7.900072e-06,7.816852e-06,7.725128e-06,7.717824e-06,7.634214e-06,7.544136e-06,7.538759e-06,7.454920e-06,7.366587e-06,7.363072e-06,7.279158e-06,7.192652e-06,7.190931e-06,7.107085e-06,7.022473e-06,6.857810e-06,6.697029e-06,6.540199e-06,6.387367e-06,6.238565e-06,6.093810e-06,5.953105e-06,5.816440e-06,5.683797e-06,5.555146e-06,5.430450e-06,5.309664e-06,5.192738e-06,5.079616e-06,4.970235e-06,4.864532e-06,4.762437e-06,4.663880e-06,4.568786e-06,4.477080e-06,4.388686e-06,4.303525e-06,4.221518e-06,4.142586e-06,4.066650e-06,3.993630e-06,3.923447e-06,3.856024e-06,3.791281e-06,3.729142e-06,3.669530e-06,3.612370e-06,3.557588e-06,3.505111e-06,3.454867e-06,3.406785e-06,3.360798e-06,3.316836e-06,3.274834e-06,3.234727e-06,3.196451e-06,3.159945e-06,3.125149e-06,3.092003e-06,3.060451e-06,3.030435e-06,3.001903e-06,2.974800e-06,2.949076e-06
0.000000e+00,1.166953e-09,7.774777e-08,8.284257e-08,1.157346e-06,7.132491e-06,7.602982e-06,2.892075e-05,6.872213e-05,7.186479e-05,1.312384e-04,1.914159e-04,1.966832e-04,2.613864e-04,3.166602e-04,3.225940e-04,3.795479e-04,4.260988e-04,4.321929e-04,4.806800e-04,5.192077e-04,5.252120e-04,5.660012e-04,5.975247e-04,6.032566e-04,6.371813e-04,6.626520e-04,6.679714e-04,6.958151e-04,7.160899e-04,7.208924e-04,7.433757e-04,7.592175e-04,7.634287e-04,7.812072e-04,7.932889e-04,7.968590e-04,8.105239e-04,8.194350e-04,8.223344e-04,8.324153e-04,8.386692e-04,8.408848e-04,8.478541e-04,8.518965e-04,8.534283e-04,8.577061e-04,8.599222e-04,8.607806e-04,8.627397e-04,8.634618e-04,8.636656e-04,8.636359e-04,8.631493e-04,8.627236e-04,8.609971e-04,8.595461e-04,8.585207e-04,8.553548e-04,8.531481e-04,8.515562e-04,8.471780e-04,8.443928e-04,8.422700e-04,8.368790e-04,8.336656e-04,8.310489e-04,8.248206e-04,8.213054e-04,8.182325e-04,8.113206e-04,8.076096e-04,8.041184e-04,7.966573e-04,7.928390e-04,7.889668e-04,7.810740e-04,7.772213e-04,7.730047e-04,7.647827e-04,7.609554e-04,7.564300e-04,7.479675e-04,7.442142e-04,7.394144e-04,7.307884e-04,7.271479e-04,7.221063e-04,7.133835e-04,7.098862e-04,7.046342e-04,6.958716e-04,6.925410e-04,6.871081e-04,6.783549e-04,6.752083e-04,6.696224e-04,6.609203e-04,6.579701e-04,6.522574e-04,6.436418e-04,6.408961e-04,6.350810e-04,6.265818e-04,6.240450e-04,6.181504e-04,6.097924e-04,6.074660e-04,6.015130e-04,5.933168e-04,5.911999e-04,5.852079e-04,5.771903e-04,5.752800e-04,5.692671e-04,5.614415e-04,5.597332e-04,5.537159e-04,5.460928e-04,5.445807e-04,5.385742e-04,5.311617e-04,5.298389e-04,5.238569e-04,5.166609e-04,5.155197e-04,5.095747e-04,5.025992e-04,5.016315e-04,4.957348e-04,4.889821e-04,4.881793e-04,4.823411e-04,4.758121e-04,4.751653e-04,4.693949e-04,4.630892e-04,4.625896e-04,4.568949e-04,4.508114e-04,4.504499e-04,4.448382e-04,4.389747e-04,4.387424e-04,4.332201e-04,4.275736e-04,4.274618e-04,4.220343e-04,4.166014e-04,4.061537e-04,3.961102e-04,3.864620e-04,3.771993e-04,3.683120e-04,3.597899e-04,3.516224e-04,3.437988e-04,3.363083e-04,3.291400e-04,3.222834e-04,3.157277e-04,3.094625e-04,3.034773e-04,2.977619e-04,2.923064e-04,2.871010e-04,2.821362e-04,2.774026e-04,2.728912e-04,2.685933e-04,2.645002e-04,2.606036e-04,2.568957e-04,2.533685e-04,2.500146e-04,2.468268e-04,2.437981e-04,2.409217e-04,2.381910e-04,2.355999e-04,2.331424e-04,2.308125e-04,2.286047e-04,2.265137e-04,2.245342e-04,2.226613e-04,2.208902e-04,2.192164e-04,2.176355e-04,2.161432e-04,2.147355e-04,2.134085e-04,2.121585e-04,2.109819e-04,2.098753e-04,2.088353e-04,2.078590e-04,2.069431e-04
0.000000e+00,1.305858e-10,1.936495e-08,2.092018e-08,5.296494e-07,5.287363e-06,5.746993e-06,3.562012e-05,1.362897e-04,1.470139e-04,4.511314e-04,1.045308e-03,1.116716e-03,2.360808e-03,4.180762e-03,4.432672e-03,7.595425e-03,1.148728e-02,1.210831e-02,1.821129e-02,2.489163e-02,2.611288e-02,3.598125e-02,4.588151e-02,4.793872e-02,6.205919e-02,7.527127e-02,7.836800e-02,9.684389e-02,1.131430e-01,1.174224e-01,1.400006e-01,1.589131e-01,1.644421e-01,1.905829e-01,2.114725e-01,2.182369e-01,2.472018e-01,2.693546e-01,2.772642e-01,3.082047e-01,3.309015e-01,3.398023e-01,3.718380e-01,3.944093e-01,4.040989e-01,4.363801e-01,4.582435e-01,4.684877e-01,5.002404e-01,5.209208e-01,5.314707e-01,5.620257e-01,5.811626e-01,5.917683e-01,6.205765e-01,6.379210e-01,6.483440e-01,6.749797e-01,6.903855e-01,7.004072e-01,7.245642e-01,7.379734e-01,7.474019e-01,7.688836e-01,7.803115e-01,7.889847e-01,8.076909e-01,8.172104e-01,8.249980e-01,8.409101e-01,8.486370e-01,8.554397e-01,8.686058e-01,8.746852e-01,8.804337e-01,8.909540e-01,8.955495e-01,9.002018e-01,9.082157e-01,9.114993e-01,9.150378e-01,9.207125e-01,9.228576e-01,9.252859e-01,9.288058e-01,9.299816e-01,9.313207e-01,9.328798e-01,9.332469e-01,9.335325e-01,9.333277e-01,9.330353e-01,9.323144e-01,9.305404e-01,9.297248e-01,9.280531e-01,9.248984e-01,9.236818e-01,9.211212e-01,9.167651e-01,9.152557e-01,9.118721e-01,9.064828e-01,9.047752e-01,9.006365e-01,8.943705e-01,8.925457e-01,8.877207e-01,8.807213e-01,8.788483e-01,8.734052e-01,8.658032e-01,8.639395e-01,8.579448e-01,8.498581e-01,8.480510e-01,8.415694e-01,8.331037e-01,8.313914e-01,8.244844e-01,8.157338e-01,8.141464e-01,8.068726e-01,7.979202e-01,7.964807e-01,7.888951e-01,7.798143e-01,7.785395e-01,7.706937e-01,7.615483e-01,7.604498e-01,7.523918e-01,7.432373e-01,7.423224e-01,7.340966e-01,7.249807e-01,7.242529e-01,7.159001e-01,7.068640e-01,7.063235e-01,6.978813e-01,6.889599e-01,6.886044e-01,6.801071e-01,6.713298e-01,6.711551e-01,6.626340e-01,6.540253e-01,6.372565e-01,6.208826e-01,6.049309e-01,5.894230e-01,5.743756e-01,5.598007e-01,5.457067e-01,5.320987e-01,5.189789e-01,5.063469e-01,4.942004e-01,4.825350e-01,4.713451e-01,4.606233e-01,4.503615e-01,4.405504e-01,4.311799e-01,4.222395e-01,4.137178e-01,4.056032e-01,3.978838e-01,3.905471e-01,3.835808e-01,3.769723e-01,3.707088e-01,3.647778e-01,3.591665e-01,3.538624e-01,3.488528e-01,3.441257e-01,3.396686e-01,3.354696e-01,3.315168e-01,3.277988e-01,3.243040e-01,3.210215e-01,3.179405e-01,3.150504e-01,3.123410e-01,3.098024e-01,3.074251e-01,3.051997e-01,3.031174e-01,3.011694e-01,2.993476e-01,2.976439e-01,2.960507e-01,2.945608e-01,2.931671e-01
0.000000e+00,1.003334e-08,2.799327e-07,2.952544e-07,2.740789e-06,1.186623e-05,1.245700e-05,3.166296e-05,5.294271e-05,5.430071e-05,7.632220e-05,9.530606e-05,9.689539e-05,1.159407e-04,1.318161e-04,1.335085e-04,1.496709e-04,1.627902e-04,1.645020e-04,1.780742e-04,1.887931e-04,1.904579e-04,2.017212e-04,2.103651e-04,2.119304e-04,2.211495e-04,2.280136e-04,2.294400e-04,2.368608e-04,2.422091e-04,2.434680e-04,2.493153e-04,2.533811e-04,2.544531e-04,2.589294e-04,2.619170e-04,2.627896e-04,2.660762e-04,2.681628e-04,2.688295e-04,2.710874e-04,2.724263e-04,2.728854e-04,2.742569e-04,2.749801e-04,2.752333e-04,2.758442e-04,2.760651e-04,2.761173e-04,2.760786e-04,2.758941e-04,2.757523e-04,2.751614e-04,2.746543e-04,2.743273e-04,2.732700e-04,2.725107e-04,2.720083e-04,2.705597e-04,2.696078e-04,2.689407e-04,2.671668e-04,2.660725e-04,2.652522e-04,2.632104e-04,2.620161e-04,2.610539e-04,2.587945e-04,2.575355e-04,2.564431e-04,2.540100e-04,2.527156e-04,2.515045e-04,2.489356e-04,2.476300e-04,2.463116e-04,2.436401e-04,2.423430e-04,2.409283e-04,2.381827e-04,2.369102e-04,2.354097e-04,2.326149e-04,2.313797e-04,2.298036e-04,2.269808e-04,2.257929e-04,2.241510e-04,2.213185e-04,2.201856e-04,2.184870e-04,2.156603e-04,2.145881e-04,2.128416e-04,2.100340e-04,2.090265e-04,2.072403e-04,2.044630e-04,2.035229e-04,2.017045e-04,1.989669e-04,1.980956e-04,1.962522e-04,1.935623e-04,1.927603e-04,1.908985e-04,1.882626e-04,1.875297e-04,1.856557e-04,1.830790e-04,1.824141e-04,1.805336e-04,1.780204e-04,1.774222e-04,1.755403e-04,1.730940e-04,1.725604e-04,1.706820e-04,1.683050e-04,1.678339e-04,1.659634e-04,1.636576e-04,1.632464e-04,1.613878e-04,1.591544e-04,1.588005e-04,1.569575e-04,1.547972e-04,1.544977e-04,1.526736e-04,1.505867e-04,1.503388e-04,1.485366e-04,1.465231e-04,1.463237e-04,1.445461e-04,1.426055e-04,1.424518e-04,1.407011e-04,1.388328e-04,1.387219e-04,1.370003e-04,1.352033e-04,1.351322e-04,1.334416e-04,1.317149e-04,1.316808e-04,1.300229e-04,1.283652e-04,1.251829e-04,1.221310e-04,1.192065e-04,1.164063e-04,1.137271e-04,1.111656e-04,1.087185e-04,1.063823e-04,1.041536e-04,1.020291e-04,1.000054e-04,9.807903e-05,9.624680e-05,9.450540e-05,9.285163e-05,9.128233e-05,8.979442e-05,8.838487e-05,8.705073e-05,8.578912e-05,8.459722e-05,8.347231e-05,8.241172e-05,8.141286e-05,8.047322e-05,7.959036e-05,7.876192e-05,7.798560e-05,7.725918e-05,7.658051e-05,7.594751e-05,7.535815e-05,7.481050e-05,7.430267e-05,7.383285e-05,7.339926e-05,7.300023e-05,7.263410e-05,7.229931e-05,7.199432e-05,7.171767e-05,7.146794e-05,7.124377e-05,7.104383e-05,7.086688e-05,7.071168e-05,7.057708e-05,7.046194e-05,7.036518e-05
0.000000e+00,8.275602e-12,1.114127e-09,1.201097e-09,2.752168e-08,2.538039e-07,2.750753e-07,1.605262e-06,5.900297e-06,6.350205e-06,1.878326e-05,4.195157e-05,4.466331e-05,9.010816e-05,1.521437e-04,1.604115e-04,2.591883e-04,3.709227e-04,3.879572e-04,5.461089e-04,7.037635e-04,7.311537e-04,9.391282e-04,1.127933e-03,1.165067e-03,1.403464e-03,1.604290e-03,1.648685e-03,1.895301e-03,2.090233e-03,2.138333e-03,2.373425e-03,2.548915e-03,2.596933e-03,2.805962e-03,2.953786e-03,2.998353e-03,3.172637e-03,3.289431e-03,3.327968e-03,3.464039e-03,3.550151e-03,3.580996e-03,3.679352e-03,3.737554e-03,3.759909e-03,3.823675e-03,3.858032e-03,3.871808e-03,3.905552e-03,3.920566e-03,3.926195e-03,3.935025e-03,3.935062e-03,3.933307e-03,3.922256e-03,3.911225e-03,3.903022e-03,3.876678e-03,3.857875e-03,3.844216e-03,3.806542e-03,3.782629e-03,3.764474e-03,3.718750e-03,3.691795e-03,3.670026e-03,3.618882e-03,3.590441e-03,3.565830e-03,3.511315e-03,3.482519e-03,3.455725e-03,3.399395e-03,3.371045e-03,3.342614e-03,3.285628e-03,3.258264e-03,3.228644e-03,3.171841e-03,3.145814e-03,3.115366e-03,3.059342e-03,3.034862e-03,3.003872e-03,2.949040e-03,2.926218e-03,2.894915e-03,2.841551e-03,2.820430e-03,2.788994e-03,2.737278e-03,2.717851e-03,2.686428e-03,2.636464e-03,2.618697e-03,2.587400e-03,2.539245e-03,2.523080e-03,2.492002e-03,2.445675e-03,2.431043e-03,2.400260e-03,2.355756e-03,2.342581e-03,2.312156e-03,2.269453e-03,2.257656e-03,2.227640e-03,2.186706e-03,2.176207e-03,2.146642e-03,2.107437e-03,2.098154e-03,2.069078e-03,2.031555e-03,2.023411e-03,1.994855e-03,1.958966e-03,1.951884e-03,1.923874e-03,1.889567e-03,1.883474e-03,1.856032e-03,1.823256e-03,1.818082e-03,1.791226e-03,1.759929e-03,1.755605e-03,1.729351e-03,1.699481e-03,1.695943e-03,1.670304e-03,1.641808e-03,1.638995e-03,1.613980e-03,1.586808e-03,1.584662e-03,1.560279e-03,1.534381e-03,1.532847e-03,1.509101e-03,1.484428e-03,1.483454e-03,1.460349e-03,1.436852e-03,1.436388e-03,1.413927e-03,1.391560e-03,1.348879e-03,1.308261e-03,1.269620e-03,1.232875e-03,1.197949e-03,1.164765e-03,1.133250e-03,1.103332e-03,1.074945e-03,1.048021e-03,1.022498e-03,9.983146e-04,9.754124e-04,9.537349e-04,9.332279e-04,9.138394e-04,8.955194e-04,8.782197e-04,8.618945e-04,8.464993e-04,8.319917e-04,8.183310e-04,8.054781e-04,7.933955e-04,7.820472e-04,7.713987e-04,7.614169e-04,7.520702e-04,7.433280e-04,7.351613e-04,7.275420e-04,7.204434e-04,7.138399e-04,7.077069e-04,7.020208e-04,6.967590e-04,6.918999e-04,6.874227e-04,6.833076e-04,6.795356e-04,6.760884e-04,6.729486e-04,6.700994e-04,6.675251e-04,6.652101e-04,6.631400e-04,6.613005e-04,6.596784e-04,6.582609e-04
0.000000e+00,8.995260e-11,9.156684e-09,9.809768e-09,1.678010e-07,1.258512e-06,1.354424e-06,6.831466e-06,2.269352e-05,2.428429e-05,6.572547e-05,1.358515e-04,1.436579e-04,2.658893e-04,4.141842e-04,4.327315e-04,6.375622e-04,8.405327e-04,8.693565e-04,1.115538e-03,1.329633e-03,1.364199e-03,1.605410e-03,1.796766e-03,1.831750e-03,2.038278e-03,2.190838e-03,2.222211e-03,2.382477e-03,2.493738e-03,2.519255e-03,2.633581e-03,2.708160e-03,2.727014e-03,2.801396e-03,2.846382e-03,2.858673e-03,2.900779e-03,2.923260e-03,2.929559e-03,2.946726e-03,2.952778e-03,2.953841e-03,2.952307e-03,2.946759e-03,2.943368e-03,2.928126e-03,2.914658e-03,2.907545e-03,2.882465e-03,2.863809e-03,2.853621e-03,2.821650e-03,2.799805e-03,2.787103e-03,2.750458e-03,2.726867e-03,2.712126e-03,2.672465e-03,2.648159e-03,2.631780e-03,2.590337e-03,2.566043e-03,2.548362e-03,2.506050e-03,2.482273e-03,2.463570e-03,2.421065e-03,2.398145e-03,2.378657e-03,2.336451e-03,2.314613e-03,2.294535e-03,2.252985e-03,2.232367e-03,2.211864e-03,2.171225e-03,2.151903e-03,2.131112e-03,2.091563e-03,2.073567e-03,2.052606e-03,2.014266e-03,1.997597e-03,1.976562e-03,1.939509e-03,1.924143e-03,1.903117e-03,1.867395e-03,1.853295e-03,1.832347e-03,1.797976e-03,1.785093e-03,1.764283e-03,1.731265e-03,1.719544e-03,1.698922e-03,1.667248e-03,1.656630e-03,1.636237e-03,1.605885e-03,1.596311e-03,1.576185e-03,1.547127e-03,1.538534e-03,1.518706e-03,1.490911e-03,1.483240e-03,1.463734e-03,1.437166e-03,1.430357e-03,1.411197e-03,1.385818e-03,1.379814e-03,1.361019e-03,1.336789e-03,1.331534e-03,1.313119e-03,1.289999e-03,1.285440e-03,1.267419e-03,1.245369e-03,1.241455e-03,1.223839e-03,1.202819e-03,1.199502e-03,1.182299e-03,1.162270e-03,1.159505e-03,1.142722e-03,1.123645e-03,1.121387e-03,1.105031e-03,1.086869e-03,1.085078e-03,1.069151e-03,1.051868e-03,1.050504e-03,1.035011e-03,1.018570e-03,1.017597e-03,1.002539e-03,9.869067e-04,9.862896e-04,9.716666e-04,9.568100e-04,9.565167e-04,9.423289e-04,9.282153e-04,9.013248e-04,8.757865e-04,8.515440e-04,8.285430e-04,8.067311e-04,7.860580e-04,7.664752e-04,7.479361e-04,7.303960e-04,7.138118e-04,6.981423e-04,6.833475e-04,6.693895e-04,6.562315e-04,6.438382e-04,6.321759e-04,6.212119e-04,6.109152e-04,6.012556e-04,5.922044e-04,5.837338e-04,5.758174e-04,5.684294e-04,5.615455e-04,5.551419e-04,5.491961e-04,5.436862e-04,5.385914e-04,5.338915e-04,5.295673e-04,5.256002e-04,5.219723e-04,5.186666e-04,5.156666e-04,5.129566e-04,5.105212e-04,5.083461e-04,5.064171e-04,5.047208e-04,5.032445e-04,5.019756e-04,5.009023e-04,5.000131e-04,4.992973e-04,4.987443e-04,4.983440e-04,4.980869e-04,4.979637e-04,4.979656e-04
0.000000e+00,3.057528e-11,3.641308e-09,3.911148e-09,7.469813e-08,6.184486e-07,6.685327e-07,3.810639e-06,1.447694e-05,1.563342e-05,4.963604e-05,1.201893e-04,1.289137e-04,2.863309e-04,5.286079e-04,5.629287e-04,1.005295e-03,1.570694e-03,1.662537e-03,2.583286e-03,3.620697e-03,3.813029e-03,5.391892e-03,7.012382e-03,7.352970e-03,9.721172e-03,1.197846e-02,1.251259e-02,1.573428e-02,1.862051e-02,1.938445e-02,2.345293e-02,2.690550e-02,2.792186e-02,3.276658e-02,3.668131e-02,3.795658e-02,4.345654e-02,4.770318e-02,4.922735e-02,5.522718e-02,5.966438e-02,6.141235e-02,6.773832e-02,7.222635e-02,7.416044e-02,8.063473e-02,8.504516e-02,8.711845e-02,9.357067e-02,9.779299e-02,9.995271e-02,1.062284e-01,1.101736e-01,1.123646e-01,1.183309e-01,1.219327e-01,1.241003e-01,1.296488e-01,1.328631e-01,1.349556e-01,1.400032e-01,1.428062e-01,1.447771e-01,1.492654e-01,1.516508e-01,1.534595e-01,1.573529e-01,1.593290e-01,1.609420e-01,1.642251e-01,1.658115e-01,1.672027e-01,1.698770e-01,1.711016e-01,1.722520e-01,1.743333e-01,1.752298e-01,1.761274e-01,1.776422e-01,1.782476e-01,1.788865e-01,1.798698e-01,1.802224e-01,1.806023e-01,1.810946e-01,1.812324e-01,1.813578e-01,1.814033e-01,1.813631e-01,1.812425e-01,1.808870e-01,1.807033e-01,1.803484e-01,1.796380e-01,1.793424e-01,1.787673e-01,1.777473e-01,1.773685e-01,1.765890e-01,1.753030e-01,1.748661e-01,1.738995e-01,1.723885e-01,1.719157e-01,1.707797e-01,1.690821e-01,1.685922e-01,1.673048e-01,1.654561e-01,1.649648e-01,1.635441e-01,1.615765e-01,1.610968e-01,1.595605e-01,1.575030e-01,1.570454e-01,1.554105e-01,1.532892e-01,1.528619e-01,1.511447e-01,1.489827e-01,1.485920e-01,1.468080e-01,1.446254e-01,1.442758e-01,1.424395e-01,1.402542e-01,1.399485e-01,1.380734e-01,1.359007e-01,1.356407e-01,1.337394e-01,1.315925e-01,1.313787e-01,1.294627e-01,1.273527e-01,1.271848e-01,1.252648e-01,1.232011e-01,1.230781e-01,1.211637e-01,1.191541e-01,1.190744e-01,1.171742e-01,1.152252e-01,1.151865e-01,1.133085e-01,1.114252e-01,1.077988e-01,1.043136e-01,1.009744e-01,9.778455e-02,9.474589e-02,9.185931e-02,8.912467e-02,8.654099e-02,8.410657e-02,8.181911e-02,7.967574e-02,7.767317e-02,7.580770e-02,7.407534e-02,7.247181e-02,7.099263e-02,6.963316e-02,6.838857e-02,6.725399e-02,6.622442e-02,6.529483e-02,6.446017e-02,6.371541e-02,6.305552e-02,6.247551e-02,6.197048e-02,6.153555e-02,6.116599e-02,6.085712e-02,6.060439e-02,6.040340e-02,6.024984e-02,6.013958e-02,6.006862e-02,6.003313e-02,6.002945e-02,6.005405e-02,6.010363e-02,6.017501e-02,6.026522e-02,6.037146e-02,6.049109e-02,6.062167e-02,6.076093e-02,6.090675e-02,6.105719e-02,6.121050e-02,6.136505e-02,6.151938e-02
0.000000e+00,2.054378e-11,2.580114e-09,2.777260e-09,5.996540e-08,5.407903e-07,5.858480e-07,3.392978e-06,1.236138e-05,1.329435e-05,3.877915e-05,8.541914e-05,9.083369e-05,1.807509e-04,3.019904e-04,3.180656e-04,5.091768e-04,7.240596e-04,7.567473e-04,1.059746e-03,1.361489e-03,1.413925e-03,1.812532e-03,2.175536e-03,2.247103e-03,2.708230e-03,3.099370e-03,3.186225e-03,3.671663e-03,4.059454e-03,4.155782e-03,4.630763e-03,4.990542e-03,5.089889e-03,5.527613e-03,5.843231e-03,5.939552e-03,6.322437e-03,6.585706e-03,6.674015e-03,6.992940e-03,7.202003e-03,7.278647e-03,7.531229e-03,7.688644e-03,7.751313e-03,7.939952e-03,8.050957e-03,8.098521e-03,8.228628e-03,8.299759e-03,8.332037e-03,8.410607e-03,8.448732e-03,8.466236e-03,8.500819e-03,8.512510e-03,8.516217e-03,8.514227e-03,8.505406e-03,8.496569e-03,8.464868e-03,8.440654e-03,8.420653e-03,8.365344e-03,8.330020e-03,8.300258e-03,8.226608e-03,8.183671e-03,8.145504e-03,8.057959e-03,8.010199e-03,7.964894e-03,7.867143e-03,7.816748e-03,7.765459e-03,7.660519e-03,7.609172e-03,7.552932e-03,7.443244e-03,7.392217e-03,7.331941e-03,7.219458e-03,7.169692e-03,7.106181e-03,6.992454e-03,6.944629e-03,6.878581e-03,6.764832e-03,6.719421e-03,6.651443e-03,6.538623e-03,6.495939e-03,6.426555e-03,6.315399e-03,6.275634e-03,6.205295e-03,6.096366e-03,6.059616e-03,5.988715e-03,5.882435e-03,5.848727e-03,5.777601e-03,5.674281e-03,5.643589e-03,5.572529e-03,5.472391e-03,5.444647e-03,5.373904e-03,5.277098e-03,5.252207e-03,5.181996e-03,5.088616e-03,5.066463e-03,4.996971e-03,4.907067e-03,4.887523e-03,4.818909e-03,4.732497e-03,4.715423e-03,4.647826e-03,4.564890e-03,4.550145e-03,4.483681e-03,4.404187e-03,4.391627e-03,4.326395e-03,4.250290e-03,4.239770e-03,4.175856e-03,4.103075e-03,4.094451e-03,4.031927e-03,3.962394e-03,3.955528e-03,3.894453e-03,3.828084e-03,3.822842e-03,3.763265e-03,3.699972e-03,3.696222e-03,3.638183e-03,3.577874e-03,3.575492e-03,3.519021e-03,3.461601e-03,3.460467e-03,3.405590e-03,3.350964e-03,3.246794e-03,3.147772e-03,3.053712e-03,2.964432e-03,2.879751e-03,2.799493e-03,2.723487e-03,2.651563e-03,2.583559e-03,2.519314e-03,2.458675e-03,2.401491e-03,2.347619e-03,2.296918e-03,2.249252e-03,2.204492e-03,2.162509e-03,2.123184e-03,2.086397e-03,2.052035e-03,2.019990e-03,1.990156e-03,1.962431e-03,1.936717e-03,1.912920e-03,1.890950e-03,1.870718e-03,1.852140e-03,1.835134e-03,1.819624e-03,1.805533e-03,1.792789e-03,1.781321e-03,1.771063e-03,1.761950e-03,1.753919e-03,1.746911e-03,1.740867e-03,1.735732e-03,1.731453e-03,1.727978e-03,1.725258e-03,1.723246e-03,1.721895e-03,1.721162e-03,1.721004e-03,1.721383e-03,1.722258e-03,1.723593e-03
0.000000e+00,3.106951e-11,3.602845e-09,3.867600e-09,7.170228e-08,5.767904e-07,6.227574e-07,3.445632e-06,1.272723e-05,1.371916e-05,4.226104e-05,9.950616e-05,1.064692e-04,2.293756e-04,4.120081e-04,4.374259e-04,7.578236e-04,1.153005e-03,1.216027e-03,1.833717e-03,2.505207e-03,2.627367e-03,3.607409e-03,4.577869e-03,4.777940e-03,6.136878e-03,7.386499e-03,7.676438e-03,9.383858e-03,1.085942e-02,1.124225e-02,1.323150e-02,1.485961e-02,1.532922e-02,1.751160e-02,1.921181e-02,1.975422e-02,2.203272e-02,2.372798e-02,2.432347e-02,2.660398e-02,2.822780e-02,2.885334e-02,3.105248e-02,3.255279e-02,3.318437e-02,3.523410e-02,3.657440e-02,3.718894e-02,3.903835e-02,4.019701e-02,4.077386e-02,4.238901e-02,4.335733e-02,4.387917e-02,4.524148e-02,4.602124e-02,4.647457e-02,4.757850e-02,4.817933e-02,4.855452e-02,4.940495e-02,4.984189e-02,5.013300e-02,5.074259e-02,5.103390e-02,5.123828e-02,5.162509e-02,5.179056e-02,5.190837e-02,5.209375e-02,5.215338e-02,5.218702e-02,5.219403e-02,5.216702e-02,5.212064e-02,5.197269e-02,5.187686e-02,5.175587e-02,5.147577e-02,5.132716e-02,5.113778e-02,5.074710e-02,5.055981e-02,5.030873e-02,4.982741e-02,4.961354e-02,4.930764e-02,4.875370e-02,4.852346e-02,4.816960e-02,4.755910e-02,4.732094e-02,4.692575e-02,4.627283e-02,4.603358e-02,4.560340e-02,4.492030e-02,4.468541e-02,4.422617e-02,4.352344e-02,4.329712e-02,4.281433e-02,4.210092e-02,4.188634e-02,4.138507e-02,4.066851e-02,4.046797e-02,3.995282e-02,3.923943e-02,3.905448e-02,3.852963e-02,3.782460e-02,3.765622e-02,3.712540e-02,3.643300e-02,3.628167e-02,3.574825e-02,3.507191e-02,3.493771e-02,3.440467e-02,3.374714e-02,3.362986e-02,3.309986e-02,3.246328e-02,3.236245e-02,3.183783e-02,3.122384e-02,3.113882e-02,3.062164e-02,3.003146e-02,2.996146e-02,2.945353e-02,2.888802e-02,2.883216e-02,2.833507e-02,2.779477e-02,2.775210e-02,2.726722e-02,2.675244e-02,2.672197e-02,2.625048e-02,2.576132e-02,2.574202e-02,2.528495e-02,2.482133e-02,2.481219e-02,2.437040e-02,2.393208e-02,2.310110e-02,2.231844e-02,2.158314e-02,2.089411e-02,2.025015e-02,1.964998e-02,1.909226e-02,1.857559e-02,1.809856e-02,1.765969e-02,1.725752e-02,1.689056e-02,1.655730e-02,1.625626e-02,1.598592e-02,1.574480e-02,1.553142e-02,1.534431e-02,1.518200e-02,1.504307e-02,1.492608e-02,1.482964e-02,1.475238e-02,1.469293e-02,1.464998e-02,1.462224e-02,1.460844e-02,1.460736e-02,1.461781e-02,1.463863e-02,1.466873e-02,1.470703e-02,1.475250e-02,1.480418e-02,1.486113e-02,1.492247e-02,1.498737e-02,1.505505e-02,1.512477e-02,1.519586e-02,1.526768e-02,1.533966e-02,1.541126e-02,1.548200e-02,1.555145e-02,1.561922e-02,1.568497e-02,1.574840e-02,1.580926e-02
0.000000e+00,2.338054e-11,3.123755e-09,3.365953e-09,7.578560e-08,7.047883e-07,7.644851e-07,4.586008e-06,1.741943e-05,1.879021e-05,5.791783e-05,1.352151e-04,1.445531e-04,3.082508e-04,5.498097e-04,5.833733e-04,1.006506e-03,1.530140e-03,1.613906e-03,2.439243e-03,3.345808e-03,3.511794e-03,4.855109e-03,6.205371e-03,6.486175e-03,8.414999e-03,1.022114e-02,1.064459e-02,1.317121e-02,1.539987e-02,1.598491e-02,1.907018e-02,2.165233e-02,2.240675e-02,2.597043e-02,2.881402e-02,2.973394e-02,3.366778e-02,3.667032e-02,3.774100e-02,4.192196e-02,4.498113e-02,4.617893e-02,5.048073e-02,5.350244e-02,5.479716e-02,5.909947e-02,6.200311e-02,6.336063e-02,6.755557e-02,7.027675e-02,7.166141e-02,7.565750e-02,7.814887e-02,7.952557e-02,8.324966e-02,8.548020e-02,8.681611e-02,9.021354e-02,9.216692e-02,9.343268e-02,9.646632e-02,9.813868e-02,9.930917e-02,1.019577e-01,1.033552e-01,1.044100e-01,1.066656e-01,1.078021e-01,1.087254e-01,1.105915e-01,1.114863e-01,1.122670e-01,1.137559e-01,1.144319e-01,1.150630e-01,1.161936e-01,1.166754e-01,1.171538e-01,1.179498e-01,1.182627e-01,1.185884e-01,1.190766e-01,1.192456e-01,1.194215e-01,1.196303e-01,1.196791e-01,1.197102e-01,1.196686e-01,1.196195e-01,1.195125e-01,1.192490e-01,1.191222e-01,1.188852e-01,1.184277e-01,1.182414e-01,1.178832e-01,1.172581e-01,1.170282e-01,1.165584e-01,1.157901e-01,1.155307e-01,1.149589e-01,1.140702e-01,1.137932e-01,1.131293e-01,1.121409e-01,1.118564e-01,1.111099e-01,1.100407e-01,1.097569e-01,1.089374e-01,1.078041e-01,1.075280e-01,1.066444e-01,1.054618e-01,1.051990e-01,1.042598e-01,1.030413e-01,1.027959e-01,1.018093e-01,1.005665e-01,1.003418e-01,9.931532e-02,9.805819e-02,9.785664e-02,9.679728e-02,9.553461e-02,9.535780e-02,9.427206e-02,9.301136e-02,9.286028e-02,9.175414e-02,9.050186e-02,9.037695e-02,8.925588e-02,8.801747e-02,8.791875e-02,8.678776e-02,8.556780e-02,8.549494e-02,8.435856e-02,8.316090e-02,8.311325e-02,8.197562e-02,8.080342e-02,8.078012e-02,7.964498e-02,7.850084e-02,7.627970e-02,7.412009e-02,7.202467e-02,6.999541e-02,6.803373e-02,6.614056e-02,6.431640e-02,6.256141e-02,6.087543e-02,5.925803e-02,5.770859e-02,5.622624e-02,5.481001e-02,5.345876e-02,5.217123e-02,5.094607e-02,4.978186e-02,4.867709e-02,4.763021e-02,4.663961e-02,4.570366e-02,4.482067e-02,4.398896e-02,4.320680e-02,4.247247e-02,4.178425e-02,4.114038e-02,4.053914e-02,3.997880e-02,3.945762e-02,3.897392e-02,3.852598e-02,3.811214e-02,3.773073e-02,3.738013e-02,3.705873e-02,3.676496e-02,3.649727e-02,3.625415e-02,3.603412e-02,3.583575e-02,3.565764e-02,3.549844e-02,3.535682e-02,3.523152e-02,3.512131e-02,3.502502e-02,3.494150e-02,3.486968e-02
0.000000e+00,8.741440e-10,6.765982e-08,7.227281e-08,1.123460e-06,7.476222e-06,7.989859e-06,3.178842e-05,7.684583e-05,8.041759e-05,1.482926e-04,2.176910e-04,2.237779e-04,2.984020e-04,3.614988e-04,3.682150e-04,4.319571e-04,4.829284e-04,4.895169e-04,5.411772e-04,5.811847e-04,5.873296e-04,6.283775e-04,6.591982e-04,6.647099e-04,6.966942e-04,7.199202e-04,7.246764e-04,7.489804e-04,7.659800e-04,7.699097e-04,7.877474e-04,7.996849e-04,8.027572e-04,8.151842e-04,8.230417e-04,8.252555e-04,8.331815e-04,8.377805e-04,8.391566e-04,8.433601e-04,8.453831e-04,8.459575e-04,8.471011e-04,8.471123e-04,8.469313e-04,8.455769e-04,8.440402e-04,8.431565e-04,8.397790e-04,8.370744e-04,8.355443e-04,8.305440e-04,8.269811e-04,8.248621e-04,8.185756e-04,8.144056e-04,8.117552e-04,8.044652e-04,7.998906e-04,7.967646e-04,7.887076e-04,7.838907e-04,7.803432e-04,7.717165e-04,7.667864e-04,7.628684e-04,7.538364e-04,7.488947e-04,7.446544e-04,7.353534e-04,7.304792e-04,7.259614e-04,7.165039e-04,7.117579e-04,7.070041e-04,6.974828e-04,6.929105e-04,6.879589e-04,6.784494e-04,6.740842e-04,6.689697e-04,6.595335e-04,6.553986e-04,6.501533e-04,6.408399e-04,6.369507e-04,6.316034e-04,6.224523e-04,6.188176e-04,6.133945e-04,6.044368e-04,6.010604e-04,5.955851e-04,5.868447e-04,5.837262e-04,5.782199e-04,5.697147e-04,5.668508e-04,5.613324e-04,5.530757e-04,5.504605e-04,5.449468e-04,5.369476e-04,5.345734e-04,5.290795e-04,5.213435e-04,5.192012e-04,5.137404e-04,5.062705e-04,5.043502e-04,4.989340e-04,4.917309e-04,4.900219e-04,4.846607e-04,4.777231e-04,4.762145e-04,4.709173e-04,4.642424e-04,4.629231e-04,4.576976e-04,4.512815e-04,4.501402e-04,4.449932e-04,4.388311e-04,4.378568e-04,4.327939e-04,4.268801e-04,4.260620e-04,4.210882e-04,4.154165e-04,4.147439e-04,4.098634e-04,4.044272e-04,4.038899e-04,3.991061e-04,3.938984e-04,3.934866e-04,3.888023e-04,3.838160e-04,3.835203e-04,3.789377e-04,3.741655e-04,3.739768e-04,3.694977e-04,3.649323e-04,3.648421e-04,3.604677e-04,3.561019e-04,3.477422e-04,3.397492e-04,3.321089e-04,3.248082e-04,3.178336e-04,3.111726e-04,3.048125e-04,2.987413e-04,2.929473e-04,2.874190e-04,2.821455e-04,2.771162e-04,2.723209e-04,2.677497e-04,2.633932e-04,2.592421e-04,2.552877e-04,2.515216e-04,2.479357e-04,2.445221e-04,2.412734e-04,2.381824e-04,2.352423e-04,2.324463e-04,2.297883e-04,2.272620e-04,2.248618e-04,2.225819e-04,2.204171e-04,2.183623e-04,2.164125e-04,2.145630e-04,2.128093e-04,2.111471e-04,2.095724e-04,2.080810e-04,2.066693e-04,2.053335e-04,2.040703e-04,2.028764e-04,2.017484e-04,2.006834e-04,1.996785e-04,1.987309e-04,1.978379e-04,1.969970e-04,1.962056e-04,1.954616e-04,1.947625e-04
0.000000e+00,3.626068e-11,4.709538e-09,5.071820e-09,1.077281e-07,8.992502e-07,9.703800e-07,5.081383e-06,1.696267e-05,1.814883e-05,4.887719e-05,1.008135e-04,1.066181e-04,1.985473e-04,3.133034e-04,3.279308e-04,4.938020e-04,6.664319e-04,6.916491e-04,9.145724e-04,1.120192e-03,1.154493e-03,1.403178e-03,1.613224e-03,1.652982e-03,1.897315e-03,2.089811e-03,2.130856e-03,2.349599e-03,2.512040e-03,2.550774e-03,2.732700e-03,2.860715e-03,2.894604e-03,3.036436e-03,3.131095e-03,3.158694e-03,3.262271e-03,3.327564e-03,3.348323e-03,3.418168e-03,3.459201e-03,3.473198e-03,3.514822e-03,3.536723e-03,3.544419e-03,3.563307e-03,3.570667e-03,3.572721e-03,3.573806e-03,3.570474e-03,3.567611e-03,3.555084e-03,3.544140e-03,3.537077e-03,3.514355e-03,3.498201e-03,3.487598e-03,3.457408e-03,3.437871e-03,3.424318e-03,3.388795e-03,3.367241e-03,3.351250e-03,3.312041e-03,3.289478e-03,3.271485e-03,3.229856e-03,3.207015e-03,3.187393e-03,3.144304e-03,3.121712e-03,3.100771e-03,3.056952e-03,3.034978e-03,3.012982e-03,2.968981e-03,2.947879e-03,2.925049e-03,2.881276e-03,2.861215e-03,2.837737e-03,2.794498e-03,2.775583e-03,2.751615e-03,2.709135e-03,2.691423e-03,2.667099e-03,2.625541e-03,2.609059e-03,2.584491e-03,2.543972e-03,2.528718e-03,2.504004e-03,2.464604e-03,2.450562e-03,2.425785e-03,2.387557e-03,2.374695e-03,2.349927e-03,2.312902e-03,2.301182e-03,2.276485e-03,2.240678e-03,2.230056e-03,2.205483e-03,2.170898e-03,2.161324e-03,2.136922e-03,2.103552e-03,2.094975e-03,2.070786e-03,2.038618e-03,2.030986e-03,2.007044e-03,1.976059e-03,1.969320e-03,1.945656e-03,1.915831e-03,1.909935e-03,1.886576e-03,1.857885e-03,1.852779e-03,1.829750e-03,1.802164e-03,1.797801e-03,1.775120e-03,1.748611e-03,1.744942e-03,1.722629e-03,1.697165e-03,1.694144e-03,1.672213e-03,1.647765e-03,1.645347e-03,1.623812e-03,1.600347e-03,1.598491e-03,1.577362e-03,1.554850e-03,1.553514e-03,1.532802e-03,1.511212e-03,1.510357e-03,1.490070e-03,1.469370e-03,1.468960e-03,1.449104e-03,1.429264e-03,1.391210e-03,1.354743e-03,1.319806e-03,1.286346e-03,1.254309e-03,1.223645e-03,1.194303e-03,1.166236e-03,1.139395e-03,1.113735e-03,1.089213e-03,1.065785e-03,1.043411e-03,1.022049e-03,1.001661e-03,9.822108e-04,9.636609e-04,9.459768e-04,9.291246e-04,9.130719e-04,8.977871e-04,8.832400e-04,8.694011e-04,8.562421e-04,8.437359e-04,8.318560e-04,8.205771e-04,8.098747e-04,7.997250e-04,7.901054e-04,7.809938e-04,7.723691e-04,7.642108e-04,7.564992e-04,7.492153e-04,7.423409e-04,7.358581e-04,7.297502e-04,7.240005e-04,7.185934e-04,7.135136e-04,7.087465e-04,7.042778e-04,7.000941e-04,6.961821e-04,6.925293e-04,6.891234e-04,6.859528e-04,6.830063e-04
0.000000e+00,1.996162e-11,2.383370e-09,2.559987e-09,4.882169e-08,4.047152e-07,4.375862e-07,2.522812e-06,9.788128e-06,1.058724e-05,3.464203e-05,8.639469e-05,9.290051e-05,2.126582e-04,4.022192e-04,4.294082e-04,7.847389e-04,1.247760e-03,1.323637e-03,2.091674e-03,2.968745e-03,3.132381e-03,4.485016e-03,5.886794e-03,6.182794e-03,8.251622e-03,1.023770e-02,1.070932e-02,1.356525e-02,1.613765e-02,1.682039e-02,2.046760e-02,2.357546e-02,2.449229e-02,2.887309e-02,3.242412e-02,3.358280e-02,3.858932e-02,4.246417e-02,4.385662e-02,4.934573e-02,5.341229e-02,5.501568e-02,6.082433e-02,6.495020e-02,6.672927e-02,7.268845e-02,7.675069e-02,7.866086e-02,8.460710e-02,8.849902e-02,9.048976e-02,9.627383e-02,9.990884e-02,1.019270e-01,1.074197e-01,1.107329e-01,1.127256e-01,1.178213e-01,1.207692e-01,1.226864e-01,1.273038e-01,1.298627e-01,1.316592e-01,1.357412e-01,1.379044e-01,1.395412e-01,1.430531e-01,1.448284e-01,1.462733e-01,1.492003e-01,1.506066e-01,1.518348e-01,1.541791e-01,1.552438e-01,1.562375e-01,1.580156e-01,1.587714e-01,1.595200e-01,1.607589e-01,1.612420e-01,1.617410e-01,1.624761e-01,1.627240e-01,1.629745e-01,1.632469e-01,1.632966e-01,1.633044e-01,1.631585e-01,1.630458e-01,1.628208e-01,1.623027e-01,1.620609e-01,1.616158e-01,1.607717e-01,1.604314e-01,1.597815e-01,1.586563e-01,1.582450e-01,1.574070e-01,1.560441e-01,1.555856e-01,1.545775e-01,1.530173e-01,1.525323e-01,1.513726e-01,1.496526e-01,1.491587e-01,1.478659e-01,1.460205e-01,1.455320e-01,1.441242e-01,1.421844e-01,1.417132e-01,1.402080e-01,1.382016e-01,1.377567e-01,1.361712e-01,1.341225e-01,1.337111e-01,1.320610e-01,1.299916e-01,1.296186e-01,1.279189e-01,1.258474e-01,1.255163e-01,1.237809e-01,1.217231e-01,1.214359e-01,1.196774e-01,1.176469e-01,1.174044e-01,1.156344e-01,1.136426e-01,1.134446e-01,1.116737e-01,1.097298e-01,1.095755e-01,1.078130e-01,1.059248e-01,1.058125e-01,1.040669e-01,1.022405e-01,1.021682e-01,1.004470e-01,9.868719e-02,9.865234e-02,9.696210e-02,9.527248e-02,9.203405e-02,8.894072e-02,8.599468e-02,8.319682e-02,8.054689e-02,7.804372e-02,7.568535e-02,7.346913e-02,7.139189e-02,6.944997e-02,6.763936e-02,6.595572e-02,6.439451e-02,6.295098e-02,6.162026e-02,6.039738e-02,5.927731e-02,5.825500e-02,5.732541e-02,5.648352e-02,5.572436e-02,5.504303e-02,5.443470e-02,5.389467e-02,5.341833e-02,5.300119e-02,5.263893e-02,5.232732e-02,5.206232e-02,5.184003e-02,5.165671e-02,5.150880e-02,5.139290e-02,5.130576e-02,5.124432e-02,5.120570e-02,5.118718e-02,5.118619e-02,5.120037e-02,5.122748e-02,5.126547e-02,5.131244e-02,5.136663e-02,5.142645e-02,5.149043e-02,5.155724e-02,5.162571e-02,5.169475e-02,5.176342e-02
0.000000e+00,3.668114e-11,4.234545e-09,4.544948e-09,8.330170e-08,6.640138e-07,7.168131e-07,3.984090e-06,1.502676e-05,1.622773e-05,5.188126e-05,1.271619e-04,1.365449e-04,3.072132e-04,5.718477e-04,6.093800e-04,1.092313e-03,1.705029e-03,1.803975e-03,2.786589e-03,3.873933e-03,4.073337e-03,5.686326e-03,7.301148e-03,7.635728e-03,9.919903e-03,1.203422e-02,1.252626e-02,1.543265e-02,1.795381e-02,1.860903e-02,2.201926e-02,2.481570e-02,2.562295e-02,2.937715e-02,3.230396e-02,3.323791e-02,3.716156e-02,4.008067e-02,4.110592e-02,4.503112e-02,4.782460e-02,4.890035e-02,5.268024e-02,5.525704e-02,5.634126e-02,5.985781e-02,6.215534e-02,6.320825e-02,6.637486e-02,6.835716e-02,6.934362e-02,7.210404e-02,7.375789e-02,7.464885e-02,7.697375e-02,7.830390e-02,7.907705e-02,8.095940e-02,8.198379e-02,8.262347e-02,8.407367e-02,8.481903e-02,8.531582e-02,8.635695e-02,8.685511e-02,8.720501e-02,8.786871e-02,8.815367e-02,8.835725e-02,8.868023e-02,8.878600e-02,8.884746e-02,8.886881e-02,8.882787e-02,8.875415e-02,8.851322e-02,8.835554e-02,8.815558e-02,8.769051e-02,8.744300e-02,8.712702e-02,8.647375e-02,8.616003e-02,8.573900e-02,8.493067e-02,8.457105e-02,8.405626e-02,8.312287e-02,8.273451e-02,8.213719e-02,8.110553e-02,8.070268e-02,8.003378e-02,7.892746e-02,7.852173e-02,7.779172e-02,7.663136e-02,7.623203e-02,7.545082e-02,7.425421e-02,7.386854e-02,7.304536e-02,7.182777e-02,7.146128e-02,7.060468e-02,6.937905e-02,6.903580e-02,6.815362e-02,6.693086e-02,6.661366e-02,6.571305e-02,6.450226e-02,6.421293e-02,6.330037e-02,6.210906e-02,6.184856e-02,6.092989e-02,5.976422e-02,5.953282e-02,5.861329e-02,5.747822e-02,5.727566e-02,5.635998e-02,5.525943e-02,5.508504e-02,5.417736e-02,5.311441e-02,5.296716e-02,5.207117e-02,5.104813e-02,5.092674e-02,5.004571e-02,4.906424e-02,4.896726e-02,4.810402e-02,4.716527e-02,4.709111e-02,4.624816e-02,4.535279e-02,4.529976e-02,4.447925e-02,4.362757e-02,4.359396e-02,4.279773e-02,4.198970e-02,4.197376e-02,4.120340e-02,4.043873e-02,3.898793e-02,3.762010e-02,3.633364e-02,3.512670e-02,3.399723e-02,3.294302e-02,3.196171e-02,3.105085e-02,3.020790e-02,2.943025e-02,2.871526e-02,2.806024e-02,2.746252e-02,2.691938e-02,2.642812e-02,2.598605e-02,2.559051e-02,2.523885e-02,2.492845e-02,2.465676e-02,2.442122e-02,2.421937e-02,2.404878e-02,2.390709e-02,2.379200e-02,2.370128e-02,2.363277e-02,2.358440e-02,2.355417e-02,2.354017e-02,2.354057e-02,2.355364e-02,2.357772e-02,2.361128e-02,2.365285e-02,2.370106e-02,2.375464e-02,2.381241e-02,2.387329e-02,2.393628e-02,2.400047e-02,2.406503e-02,2.412923e-02,2.419241e-02,2.425399e-02,2.431346e-02,2.437038e-02,2.442439e-02,2.447516e-02
0.000000e+00,9.991039e-09,1.676228e-07,1.753174e-07,1.163546e-06,4.246972e-06,4.440967e-06,1.101554e-05,1.908245e-05,1.961483e-05,2.834070e-05,3.586243e-05,3.648884e-05,4.393910e-05,5.005726e-05,5.070393e-05,5.682169e-05,6.170367e-05,6.233469e-05,6.728464e-05,7.112187e-05,7.171161e-05,7.565375e-05,7.861703e-05,7.914728e-05,8.222637e-05,8.446460e-05,8.492320e-05,8.726783e-05,8.890888e-05,8.928835e-05,9.101120e-05,9.216421e-05,9.246089e-05,9.366026e-05,9.441749e-05,9.463052e-05,9.539087e-05,9.582884e-05,9.595902e-05,9.635158e-05,9.653415e-05,9.658390e-05,9.667117e-05,9.665352e-05,9.662735e-05,9.646465e-05,9.629194e-05,9.619442e-05,9.582704e-05,9.553601e-05,9.537204e-05,9.483826e-05,9.445908e-05,9.423383e-05,9.356621e-05,9.312359e-05,9.284228e-05,9.206838e-05,9.158250e-05,9.125034e-05,9.039349e-05,8.988068e-05,8.950274e-05,8.858259e-05,8.805603e-05,8.763719e-05,8.667032e-05,8.614052e-05,8.568545e-05,8.468575e-05,8.416103e-05,8.367414e-05,8.265326e-05,8.214010e-05,8.162553e-05,8.059316e-05,8.009657e-05,7.955816e-05,7.852237e-05,7.804610e-05,7.748745e-05,7.645489e-05,7.600168e-05,7.542607e-05,7.440222e-05,7.397396e-05,7.338446e-05,7.237377e-05,7.197169e-05,7.137107e-05,7.037716e-05,7.000192e-05,6.939274e-05,6.841848e-05,6.807033e-05,6.745492e-05,6.650256e-05,6.618139e-05,6.556185e-05,6.463316e-05,6.433857e-05,6.371680e-05,6.281308e-05,6.254445e-05,6.192220e-05,6.104438e-05,6.080095e-05,6.017977e-05,5.932849e-05,5.910935e-05,5.849064e-05,5.766628e-05,5.747044e-05,5.685545e-05,5.605817e-05,5.588459e-05,5.527443e-05,5.450422e-05,5.435180e-05,5.374749e-05,5.300418e-05,5.287181e-05,5.227423e-05,5.155754e-05,5.144410e-05,5.085403e-05,5.016360e-05,5.006797e-05,4.948611e-05,4.882146e-05,4.874256e-05,4.816952e-05,4.753014e-05,4.746688e-05,4.690318e-05,4.628850e-05,4.623985e-05,4.568595e-05,4.509537e-05,4.506031e-05,4.451660e-05,4.394948e-05,4.392704e-05,4.339386e-05,4.284955e-05,4.283878e-05,4.231641e-05,4.179425e-05,4.079216e-05,3.983120e-05,3.891005e-05,3.802744e-05,3.718208e-05,3.637271e-05,3.559808e-05,3.485697e-05,3.414821e-05,3.347061e-05,3.282306e-05,3.220444e-05,3.161368e-05,3.104975e-05,3.051162e-05,2.999832e-05,2.950891e-05,2.904245e-05,2.859806e-05,2.817489e-05,2.777210e-05,2.738889e-05,2.702448e-05,2.667812e-05,2.634910e-05,2.603671e-05,2.574028e-05,2.545917e-05,2.519275e-05,2.494042e-05,2.470159e-05,2.447571e-05,2.426223e-05,2.406064e-05,2.387044e-05,2.369113e-05,2.352227e-05,2.336339e-05,2.321407e-05,2.307390e-05,2.294247e-05,2.281939e-05,2.270431e-05,2.259686e-05,2.249670e-05,2.240350e-05,2.231694e-05,2.223671e-05,2.216253e-05
0.000000e+00,1.056439e-10,1.543405e-08,1.666713e-08,4.156709e-07,4.099763e-06,4.453217e-06,2.700318e-05,1.008552e-04,1.086346e-04,3.266892e-04,7.482733e-04,7.988336e-04,1.680254e-03,2.976554e-03,3.156771e-03,5.435743e-03,8.278831e-03,8.736151e-03,1.327880e-02,1.834226e-02,1.927730e-02,2.693022e-02,3.476744e-02,3.641455e-02,4.788074e-02,5.884721e-02,6.144900e-02,7.720711e-02,9.142787e-02,9.520931e-02,1.154763e-01,1.328503e-01,1.379963e-01,1.627264e-01,1.829564e-01,1.895951e-01,2.185046e-01,2.411413e-01,2.493341e-01,2.819429e-01,3.064351e-01,3.161734e-01,3.518544e-01,3.775973e-01,3.888044e-01,4.268342e-01,4.532127e-01,4.657504e-01,5.053574e-01,5.317816e-01,5.454600e-01,5.858658e-01,6.117974e-01,6.263865e-01,6.668402e-01,6.918110e-01,7.070525e-01,7.468575e-01,7.704796e-01,7.860990e-01,8.246313e-01,8.466014e-01,8.623193e-01,8.990394e-01,9.191376e-01,9.346794e-01,9.691384e-01,9.872233e-01,1.002327e+00,1.034168e+00,1.050169e+00,1.064593e+00,1.093546e+00,1.107455e+00,1.120981e+00,1.146861e+00,1.158723e+00,1.171159e+00,1.193858e+00,1.203758e+00,1.214945e+00,1.234419e+00,1.242477e+00,1.252283e+00,1.268549e+00,1.274908e+00,1.283233e+00,1.296356e+00,1.301175e+00,1.307946e+00,1.318033e+00,1.321480e+00,1.326653e+00,1.333842e+00,1.336088e+00,1.339642e+00,1.344097e+00,1.345313e+00,1.347251e+00,1.349152e+00,1.349503e+00,1.349847e+00,1.349387e+00,1.349031e+00,1.347820e+00,1.345198e+00,1.344282e+00,1.341571e+00,1.336989e+00,1.335648e+00,1.331503e+00,1.325163e+00,1.323519e+00,1.318017e+00,1.310114e+00,1.308279e+00,1.301502e+00,1.292228e+00,1.290297e+00,1.282336e+00,1.271872e+00,1.269931e+00,1.260878e+00,1.249397e+00,1.247517e+00,1.237468e+00,1.225132e+00,1.223375e+00,1.212426e+00,1.199387e+00,1.197801e+00,1.186048e+00,1.172445e+00,1.171072e+00,1.158610e+00,1.144572e+00,1.143442e+00,1.130362e+00,1.116008e+00,1.115143e+00,1.101537e+00,1.086973e+00,1.086389e+00,1.072341e+00,1.057664e+00,1.057370e+00,1.042964e+00,1.028261e+00,9.992138e-01,9.703670e-01,9.418413e-01,9.137427e-01,8.861635e-01,8.591833e-01,8.328700e-01,8.072808e-01,7.824634e-01,7.584567e-01,7.352919e-01,7.129928e-01,6.915772e-01,6.710572e-01,6.514400e-01,6.327280e-01,6.149200e-01,5.980111e-01,5.819933e-01,5.668560e-01,5.525860e-01,5.391684e-01,5.265860e-01,5.148205e-01,5.038518e-01,4.936589e-01,4.842197e-01,4.755110e-01,4.675092e-01,4.601897e-01,4.535277e-01,4.474977e-01,4.420740e-01,4.372306e-01,4.329414e-01,4.291799e-01,4.259200e-01,4.231353e-01,4.207996e-01,4.188868e-01,4.173712e-01,4.162271e-01,4.154294e-01,4.149531e-01,4.147740e-01,4.148682e-01,4.152123e-01,4.157835e-01,4.165599e-01
0.000000e+00,1.140812e-10,1.672291e-08,1.806005e-08,4.507099e-07,4.431200e-06,4.812378e-06,2.904521e-05,1.080245e-04,1.163267e-04,3.483715e-04,7.950520e-04,8.485113e-04,1.777990e-03,3.139198e-03,3.328039e-03,5.709814e-03,8.668751e-03,9.143683e-03,1.384887e-02,1.907176e-02,2.003414e-02,2.788985e-02,3.590154e-02,3.758158e-02,4.924547e-02,6.035513e-02,6.298497e-02,7.886913e-02,9.314472e-02,9.693210e-02,1.171738e-01,1.344547e-01,1.395613e-01,1.640313e-01,1.839660e-01,1.904924e-01,2.188287e-01,2.409248e-01,2.489029e-01,2.805597e-01,3.042377e-01,3.136294e-01,3.479313e-01,3.725751e-01,3.832769e-01,4.194728e-01,4.444722e-01,4.563239e-01,4.936355e-01,5.184202e-01,5.312160e-01,5.688784e-01,5.929418e-01,6.064426e-01,6.437367e-01,6.666514e-01,6.805977e-01,7.168731e-01,7.382978e-01,7.524212e-01,7.871119e-01,8.067924e-01,8.208266e-01,8.534589e-01,8.712245e-01,8.849141e-01,9.151093e-01,9.308652e-01,9.439731e-01,9.714451e-01,9.851637e-01,9.974759e-01,1.022026e+00,1.033737e+00,1.045066e+00,1.066576e+00,1.076353e+00,1.086543e+00,1.104964e+00,1.112919e+00,1.121842e+00,1.137187e+00,1.143458e+00,1.151016e+00,1.163349e+00,1.168089e+00,1.174214e+00,1.183641e+00,1.187017e+00,1.191665e+00,1.198325e+00,1.200507e+00,1.203661e+00,1.207717e+00,1.208873e+00,1.210538e+00,1.212171e+00,1.212464e+00,1.212664e+00,1.212067e+00,1.211653e+00,1.210428e+00,1.207799e+00,1.206824e+00,1.204228e+00,1.199766e+00,1.198364e+00,1.194462e+00,1.188366e+00,1.186657e+00,1.181525e+00,1.173987e+00,1.172079e+00,1.165797e+00,1.157003e+00,1.154991e+00,1.147646e+00,1.137772e+00,1.135738e+00,1.127420e+00,1.116631e+00,1.114646e+00,1.105445e+00,1.093897e+00,1.092019e+00,1.082025e+00,1.069863e+00,1.068139e+00,1.057444e+00,1.044799e+00,1.043268e+00,1.031959e+00,1.018952e+00,1.017643e+00,1.005807e+00,9.925480e-01,9.914832e-01,9.792012e-01,9.657896e-01,9.649833e-01,9.523352e-01,9.388589e-01,9.383197e-01,9.253806e-01,9.119186e-01,9.116496e-01,8.984904e-01,8.851123e-01,8.588305e-01,8.329113e-01,8.074479e-01,7.825202e-01,7.581963e-01,7.345334e-01,7.115790e-01,6.893718e-01,6.679426e-01,6.473150e-01,6.275065e-01,6.085288e-01,5.903889e-01,5.730890e-01,5.566279e-01,5.410006e-01,5.261994e-01,5.122138e-01,4.990312e-01,4.866368e-01,4.750146e-01,4.641465e-01,4.540134e-01,4.445950e-01,4.358702e-01,4.278169e-01,4.204124e-01,4.136335e-01,4.074565e-01,4.018573e-01,3.968117e-01,3.922951e-01,3.882829e-01,3.847503e-01,3.816726e-01,3.790252e-01,3.767837e-01,3.749238e-01,3.734214e-01,3.722529e-01,3.713949e-01,3.708246e-01,3.705194e-01,3.704575e-01,3.706174e-01,3.709785e-01,3.715206e-01,3.722244e-01,3.730710e-01
0.000000e+00,9.313693e-09,2.375146e-07,2.494529e-07,1.970985e-06,8.373327e-06,8.809225e-06,2.519780e-05,4.850638e-05,5.012906e-05,7.748664e-05,1.015935e-04,1.036082e-04,1.275908e-04,1.472820e-04,1.493622e-04,1.690281e-04,1.847019e-04,1.867264e-04,2.025966e-04,2.148851e-04,2.167726e-04,2.293815e-04,2.388498e-04,2.405431e-04,2.503695e-04,2.575043e-04,2.589652e-04,2.664285e-04,2.716462e-04,2.728519e-04,2.783220e-04,2.819787e-04,2.829191e-04,2.867179e-04,2.891138e-04,2.897875e-04,2.921920e-04,2.935782e-04,2.939906e-04,2.952378e-04,2.958229e-04,2.959842e-04,2.962760e-04,2.962330e-04,2.961562e-04,2.956642e-04,2.951356e-04,2.948362e-04,2.937057e-04,2.928088e-04,2.923033e-04,2.906573e-04,2.894880e-04,2.887936e-04,2.867359e-04,2.853724e-04,2.845061e-04,2.821243e-04,2.806300e-04,2.796089e-04,2.769765e-04,2.754024e-04,2.742428e-04,2.714217e-04,2.698085e-04,2.685261e-04,2.655679e-04,2.639483e-04,2.625578e-04,2.595057e-04,2.579049e-04,2.564204e-04,2.533102e-04,2.517481e-04,2.501824e-04,2.470438e-04,2.455353e-04,2.439006e-04,2.407582e-04,2.393144e-04,2.376217e-04,2.344956e-04,2.331245e-04,2.313841e-04,2.282907e-04,2.269976e-04,2.252187e-04,2.221712e-04,2.209597e-04,2.191508e-04,2.161598e-04,2.150314e-04,2.132004e-04,2.102742e-04,2.092293e-04,2.073830e-04,2.045282e-04,2.035661e-04,2.017110e-04,1.989324e-04,1.980515e-04,1.961933e-04,1.934945e-04,1.926928e-04,1.908365e-04,1.882200e-04,1.874948e-04,1.856451e-04,1.831124e-04,1.824607e-04,1.806218e-04,1.781736e-04,1.775924e-04,1.757678e-04,1.734044e-04,1.728901e-04,1.710832e-04,1.688041e-04,1.683534e-04,1.665670e-04,1.643715e-04,1.639808e-04,1.622175e-04,1.601045e-04,1.597702e-04,1.580323e-04,1.560004e-04,1.557191e-04,1.540085e-04,1.520561e-04,1.518245e-04,1.501428e-04,1.482681e-04,1.480828e-04,1.464316e-04,1.446327e-04,1.444904e-04,1.428709e-04,1.411458e-04,1.410435e-04,1.394568e-04,1.378034e-04,1.377380e-04,1.361850e-04,1.346012e-04,1.345699e-04,1.330514e-04,1.315350e-04,1.286291e-04,1.258481e-04,1.231877e-04,1.206440e-04,1.182129e-04,1.158904e-04,1.136725e-04,1.115555e-04,1.095357e-04,1.076093e-04,1.057730e-04,1.040232e-04,1.023567e-04,1.007701e-04,9.926045e-05,9.782458e-05,9.645961e-05,9.516268e-05,9.393106e-05,9.276210e-05,9.165322e-05,9.060197e-05,8.960594e-05,8.866284e-05,8.777045e-05,8.692661e-05,8.612928e-05,8.537644e-05,8.466619e-05,8.399668e-05,8.336612e-05,8.277280e-05,8.221507e-05,8.169133e-05,8.120005e-05,8.073977e-05,8.030905e-05,7.990654e-05,7.953091e-05,7.918092e-05,7.885534e-05,7.855301e-05,7.827280e-05,7.801364e-05,7.777448e-05,7.755433e-05,7.735224e-05,7.716729e-05,7.699859e-05
0.000000e+00,9.034596e-09,2.376011e-07,2.501149e-07,2.084086e-06,8.362713e-06,8.763855e-06,2.225245e-05,3.837699e-05,3.943317e-05,5.676185e-05,7.183575e-05,7.309956e-05,8.824885e-05,1.008724e-04,1.022174e-04,1.150551e-04,1.254632e-04,1.268203e-04,1.375724e-04,1.460532e-04,1.473694e-04,1.562675e-04,1.630876e-04,1.643217e-04,1.715849e-04,1.769861e-04,1.781077e-04,1.839382e-04,1.881351e-04,1.891224e-04,1.937034e-04,1.968845e-04,1.977224e-04,2.012181e-04,2.035472e-04,2.042267e-04,2.067826e-04,2.084016e-04,2.089181e-04,2.106633e-04,2.116942e-04,2.120467e-04,2.130949e-04,2.136427e-04,2.138330e-04,2.142843e-04,2.144388e-04,2.144709e-04,2.144134e-04,2.142511e-04,2.141309e-04,2.136416e-04,2.132278e-04,2.129624e-04,2.121090e-04,2.114989e-04,2.110961e-04,2.099377e-04,2.091782e-04,2.086466e-04,2.072349e-04,2.063652e-04,2.057137e-04,2.040937e-04,2.031470e-04,2.023846e-04,2.005956e-04,1.995993e-04,1.987352e-04,1.968113e-04,1.957882e-04,1.948313e-04,1.928021e-04,1.917710e-04,1.907301e-04,1.886212e-04,1.875975e-04,1.864810e-04,1.843146e-04,1.833106e-04,1.821268e-04,1.799220e-04,1.789476e-04,1.777043e-04,1.754774e-04,1.745402e-04,1.732448e-04,1.710099e-04,1.701159e-04,1.687755e-04,1.665444e-04,1.656980e-04,1.643192e-04,1.621021e-04,1.613064e-04,1.598954e-04,1.577009e-04,1.569578e-04,1.555204e-04,1.533556e-04,1.526664e-04,1.512079e-04,1.490788e-04,1.484438e-04,1.469693e-04,1.448807e-04,1.442998e-04,1.428139e-04,1.407698e-04,1.402421e-04,1.387491e-04,1.367527e-04,1.362772e-04,1.347810e-04,1.328347e-04,1.324100e-04,1.309143e-04,1.290200e-04,1.286443e-04,1.271523e-04,1.253114e-04,1.249829e-04,1.234976e-04,1.217110e-04,1.214277e-04,1.199518e-04,1.182200e-04,1.179798e-04,1.165158e-04,1.148391e-04,1.146397e-04,1.131899e-04,1.115681e-04,1.114074e-04,1.099737e-04,1.084065e-04,1.082824e-04,1.068665e-04,1.053535e-04,1.052636e-04,1.038673e-04,1.024077e-04,1.023499e-04,1.009746e-04,9.956761e-05,9.953973e-05,9.818659e-05,9.683129e-05,9.422261e-05,9.171159e-05,8.929599e-05,8.697348e-05,8.474165e-05,8.259806e-05,8.054022e-05,7.856566e-05,7.667185e-05,7.485633e-05,7.311661e-05,7.145026e-05,6.985486e-05,6.832804e-05,6.686747e-05,6.547088e-05,6.413602e-05,6.286071e-05,6.164284e-05,6.048032e-05,5.937113e-05,5.831333e-05,5.730499e-05,5.634428e-05,5.542939e-05,5.455859e-05,5.373019e-05,5.294257e-05,5.219415e-05,5.148339e-05,5.080882e-05,5.016901e-05,4.956259e-05,4.898822e-05,4.844461e-05,4.793052e-05,4.744475e-05,4.698614e-05,4.655357e-05,4.614596e-05,4.576228e-05,4.540152e-05,4.506271e-05,4.474492e-05,4.444724e-05,4.416882e-05,4.390881e-05,4.366641e-05,4.344083e-05
0.000000e+00,8.726009e-09,1.327057e-07,1.385650e-07,8.716976e-07,3.187412e-06,3.336447e-06,8.671653e-06,1.601074e-05,1.652126e-05,2.514696e-05,3.272541e-05,3.335521e-05,4.078533e-05,4.676763e-05,4.739214e-05,5.321549e-05,5.773936e-05,5.831518e-05,6.275312e-05,6.608552e-05,6.658825e-05,6.987568e-05,7.225127e-05,7.266644e-05,7.500838e-05,7.662401e-05,7.694431e-05,7.851352e-05,7.952943e-05,7.975244e-05,8.069451e-05,8.124303e-05,8.137031e-05,8.180773e-05,8.199647e-05,8.203220e-05,8.206689e-05,8.198287e-05,8.193290e-05,8.164939e-05,8.136251e-05,8.123375e-05,8.070176e-05,8.026787e-05,8.006774e-05,7.934463e-05,7.880806e-05,7.854415e-05,7.767690e-05,7.707261e-05,7.675243e-05,7.577937e-05,7.513475e-05,7.476552e-05,7.371786e-05,7.305412e-05,7.264269e-05,7.154567e-05,7.087910e-05,7.043187e-05,6.930583e-05,6.864873e-05,6.817161e-05,6.703283e-05,6.639434e-05,6.589272e-05,6.475414e-05,6.414086e-05,6.361965e-05,6.249147e-05,6.190798e-05,6.137159e-05,6.026175e-05,5.971108e-05,5.916346e-05,5.807805e-05,5.756196e-05,5.700665e-05,5.595025e-05,5.546957e-05,5.490967e-05,5.388562e-05,5.344043e-05,5.287869e-05,5.188935e-05,5.147916e-05,5.091797e-05,4.996488e-05,4.958880e-05,4.903027e-05,4.811430e-05,4.777115e-05,4.721707e-05,4.633862e-05,4.602697e-05,4.547892e-05,4.463792e-05,4.435623e-05,4.381554e-05,4.301164e-05,4.275828e-05,4.222608e-05,4.145865e-05,4.123194e-05,4.070918e-05,3.997742e-05,3.977567e-05,3.926314e-05,3.856608e-05,3.838764e-05,3.788599e-05,3.722257e-05,3.706580e-05,3.657555e-05,3.594464e-05,3.580797e-05,3.532953e-05,3.472993e-05,3.461184e-05,3.414553e-05,3.357602e-05,3.347507e-05,3.302111e-05,3.248048e-05,3.239528e-05,3.195383e-05,3.144085e-05,3.137011e-05,3.094124e-05,3.045470e-05,3.039718e-05,2.998093e-05,2.951964e-05,2.947419e-05,2.907054e-05,2.863334e-05,2.859887e-05,2.820775e-05,2.779351e-05,2.776901e-05,2.739033e-05,2.699794e-05,2.698247e-05,2.661609e-05,2.624450e-05,2.623718e-05,2.588294e-05,2.553113e-05,2.486242e-05,2.422918e-05,2.362966e-05,2.306217e-05,2.252507e-05,2.201683e-05,2.153598e-05,2.108110e-05,2.065087e-05,2.024401e-05,1.985930e-05,1.949560e-05,1.915181e-05,1.882689e-05,1.851986e-05,1.822977e-05,1.795574e-05,1.769692e-05,1.745252e-05,1.722176e-05,1.700394e-05,1.679836e-05,1.660438e-05,1.642138e-05,1.624878e-05,1.608602e-05,1.593259e-05,1.578799e-05,1.565174e-05,1.552339e-05,1.540254e-05,1.528877e-05,1.518170e-05,1.508098e-05,1.498626e-05,1.489722e-05,1.481356e-05,1.473498e-05,1.466120e-05,1.459197e-05,1.452705e-05,1.446618e-05,1.440916e-05,1.435578e-05,1.430582e-05,1.425912e-05,1.421548e-05,1.417473e-05,1.413672e-05
0.000000e+00,1.059340e-08,2.173711e-07,2.275508e-07,1.552632e-06,5.883199e-06,6.163901e-06,1.624722e-05,3.027227e-05,3.125893e-05,4.823436e-05,6.376722e-05,6.509122e-05,8.118754e-05,9.491490e-05,9.639510e-05,1.107059e-04,1.225733e-04,1.241399e-04,1.367246e-04,1.468913e-04,1.484904e-04,1.594692e-04,1.681070e-04,1.696935e-04,1.791958e-04,1.864715e-04,1.880083e-04,1.961624e-04,2.022325e-04,2.036891e-04,2.106182e-04,2.156267e-04,2.169786e-04,2.227982e-04,2.268761e-04,2.281040e-04,2.329218e-04,2.361875e-04,2.372765e-04,2.411920e-04,2.437521e-04,2.446912e-04,2.477961e-04,2.497462e-04,2.505277e-04,2.529062e-04,2.543318e-04,2.549509e-04,2.566802e-04,2.576574e-04,2.581118e-04,2.592626e-04,2.598591e-04,2.601486e-04,2.607852e-04,2.610612e-04,2.611873e-04,2.613687e-04,2.613773e-04,2.613430e-04,2.611228e-04,2.609109e-04,2.607205e-04,2.601475e-04,2.597562e-04,2.594149e-04,2.585333e-04,2.579989e-04,2.575128e-04,2.563628e-04,2.557167e-04,2.550925e-04,2.537105e-04,2.529802e-04,2.522251e-04,2.506439e-04,2.498532e-04,2.489746e-04,2.472241e-04,2.463935e-04,2.453992e-04,2.435061e-04,2.426532e-04,2.415510e-04,2.395395e-04,2.386792e-04,2.374772e-04,2.353690e-04,2.345141e-04,2.332200e-04,2.310347e-04,2.301956e-04,2.288174e-04,2.265723e-04,2.257581e-04,2.243034e-04,2.220142e-04,2.212318e-04,2.197082e-04,2.173888e-04,2.166442e-04,2.150590e-04,2.127217e-04,2.120194e-04,2.103796e-04,2.080354e-04,2.073790e-04,2.056915e-04,2.033501e-04,2.027420e-04,2.010133e-04,1.986832e-04,1.981251e-04,1.963616e-04,1.940502e-04,1.935432e-04,1.917507e-04,1.894646e-04,1.890092e-04,1.871934e-04,1.849382e-04,1.845341e-04,1.827004e-04,1.804810e-04,1.801277e-04,1.782812e-04,1.761018e-04,1.757983e-04,1.739437e-04,1.718078e-04,1.715530e-04,1.696947e-04,1.676052e-04,1.673976e-04,1.655398e-04,1.634992e-04,1.633370e-04,1.614837e-04,1.594938e-04,1.593752e-04,1.575299e-04,1.555924e-04,1.555155e-04,1.536815e-04,1.517975e-04,1.517601e-04,1.499406e-04,1.481110e-04,1.445692e-04,1.411354e-04,1.378099e-04,1.345924e-04,1.314824e-04,1.284790e-04,1.255810e-04,1.227870e-04,1.200954e-04,1.175044e-04,1.150121e-04,1.126164e-04,1.103152e-04,1.081062e-04,1.059871e-04,1.039555e-04,1.020090e-04,1.001452e-04,9.836170e-05,9.665598e-05,9.502565e-05,9.346826e-05,9.198142e-05,9.056276e-05,8.920992e-05,8.792061e-05,8.669254e-05,8.552351e-05,8.441132e-05,8.335385e-05,8.234902e-05,8.139479e-05,8.048919e-05,7.963029e-05,7.881623e-05,7.804518e-05,7.731538e-05,7.662513e-05,7.597276e-05,7.535667e-05,7.477531e-05,7.422719e-05,7.371085e-05,7.322489e-05,7.276797e-05,7.233879e-05,7.193608e-05,7.155865e-05,7.120532e-05
0.000000e+00,6.770215e-10,4.982573e-08,5.306447e-08,7.007447e-07,4.309212e-06,4.601834e-06,1.911728e-05,5.194523e-05,5.482932e-05,1.167151e-04,1.922817e-04,1.994251e-04,2.926607e-04,3.781108e-04,3.874818e-04,4.784154e-04,5.531112e-04,5.628624e-04,6.399298e-04,7.002505e-04,7.095600e-04,7.720490e-04,8.193296e-04,8.278202e-04,8.773295e-04,9.135718e-04,9.210285e-04,9.593527e-04,9.864222e-04,9.927176e-04,1.021517e-03,1.041050e-03,1.046122e-03,1.066882e-03,1.080291e-03,1.084126e-03,1.098158e-03,1.106643e-03,1.109265e-03,1.117709e-03,1.122278e-03,1.123735e-03,1.127571e-03,1.129063e-03,1.129422e-03,1.129483e-03,1.128591e-03,1.127928e-03,1.124920e-03,1.122211e-03,1.120607e-03,1.115126e-03,1.111063e-03,1.108602e-03,1.101148e-03,1.096106e-03,1.092870e-03,1.083863e-03,1.078146e-03,1.074215e-03,1.064005e-03,1.057855e-03,1.053306e-03,1.042186e-03,1.035797e-03,1.030704e-03,1.018915e-03,1.012440e-03,1.006871e-03,9.946161e-04,9.881746e-04,9.821928e-04,9.696386e-04,9.633233e-04,9.569879e-04,9.442715e-04,9.381527e-04,9.315176e-04,9.187515e-04,9.128815e-04,9.059963e-04,8.932725e-04,8.876888e-04,8.805987e-04,8.679916e-04,8.627201e-04,8.554660e-04,8.430354e-04,8.380924e-04,8.307115e-04,8.185050e-04,8.138993e-04,8.064251e-04,7.944802e-04,7.902144e-04,7.826772e-04,7.710227e-04,7.670949e-04,7.595218e-04,7.481794e-04,7.445840e-04,7.369994e-04,7.259850e-04,7.227135e-04,7.151391e-04,7.044637e-04,7.015054e-04,6.939606e-04,6.836311e-04,6.809740e-04,6.734760e-04,6.634960e-04,6.611268e-04,6.536911e-04,6.440613e-04,6.419662e-04,6.346061e-04,6.253251e-04,6.234897e-04,6.162174e-04,6.072819e-04,6.056917e-04,5.985176e-04,5.899230e-04,5.885635e-04,5.814967e-04,5.732371e-04,5.720939e-04,5.651424e-04,5.572110e-04,5.562701e-04,5.494408e-04,5.418299e-04,5.410776e-04,5.343764e-04,5.270781e-04,5.265009e-04,5.199329e-04,5.129387e-04,5.125238e-04,5.060933e-04,4.993944e-04,4.991295e-04,4.928399e-04,4.864276e-04,4.863007e-04,4.801550e-04,4.740201e-04,4.622702e-04,4.510334e-04,4.402925e-04,4.300304e-04,4.202301e-04,4.108752e-04,4.019493e-04,3.934367e-04,3.853220e-04,3.775900e-04,3.702262e-04,3.632164e-04,3.565468e-04,3.502041e-04,3.441753e-04,3.384481e-04,3.330102e-04,3.278501e-04,3.229564e-04,3.183184e-04,3.139254e-04,3.097674e-04,3.058346e-04,3.021175e-04,2.986072e-04,2.952948e-04,2.921720e-04,2.892306e-04,2.864628e-04,2.838611e-04,2.814183e-04,2.791273e-04,2.769814e-04,2.749742e-04,2.730995e-04,2.713512e-04,2.697237e-04,2.682113e-04,2.668088e-04,2.655109e-04,2.643128e-04,2.632098e-04,2.621972e-04,2.612708e-04,2.604261e-04,2.596593e-04,2.589664e-04,2.583437e-04,2.577875e-04
0.000000e+00,4.938884e-10,1.138045e-08,1.194714e-08,7.812287e-08,2.159514e-07,2.225181e-07,3.859414e-07,5.266886e-07,5.351316e-07,6.664246e-07,7.723677e-07,7.809515e-07,8.803507e-07,9.581782e-07,9.661946e-07,1.039919e-06,1.095806e-06,1.102824e-06,1.156084e-06,1.194985e-06,1.200760e-06,1.237808e-06,1.263663e-06,1.268086e-06,1.292364e-06,1.308283e-06,1.311334e-06,1.325612e-06,1.334029e-06,1.335750e-06,1.342241e-06,1.345056e-06,1.345523e-06,1.345988e-06,1.344674e-06,1.343985e-06,1.339825e-06,1.335522e-06,1.333784e-06,1.326110e-06,1.319696e-06,1.317020e-06,1.306709e-06,1.298858e-06,1.295350e-06,1.283097e-06,1.274324e-06,1.270086e-06,1.256437e-06,1.247132e-06,1.242258e-06,1.227644e-06,1.218102e-06,1.212679e-06,1.197437e-06,1.187877e-06,1.181983e-06,1.166376e-06,1.156960e-06,1.150667e-06,1.134899e-06,1.125743e-06,1.119113e-06,1.103344e-06,1.094531e-06,1.087621e-06,1.071970e-06,1.063558e-06,1.056416e-06,1.040978e-06,1.033001e-06,1.025672e-06,1.010514e-06,1.002995e-06,9.955173e-07,9.806917e-07,9.736390e-07,9.660467e-07,9.515898e-07,9.450047e-07,9.373276e-07,9.232651e-07,9.171419e-07,9.094064e-07,8.957549e-07,8.900837e-07,8.823130e-07,8.690823e-07,8.638495e-07,8.560641e-07,8.432587e-07,8.384485e-07,8.306663e-07,8.182865e-07,8.138816e-07,8.061184e-07,7.941611e-07,7.901434e-07,7.824131e-07,7.708730e-07,7.672237e-07,7.595388e-07,7.484086e-07,7.451090e-07,7.374802e-07,7.267514e-07,7.237827e-07,7.162197e-07,7.058827e-07,7.032266e-07,6.957378e-07,6.857823e-07,6.834209e-07,6.760137e-07,6.664292e-07,6.643450e-07,6.570260e-07,6.478013e-07,6.459776e-07,6.387525e-07,6.298767e-07,6.282972e-07,6.211711e-07,6.126330e-07,6.112822e-07,6.042595e-07,5.960480e-07,5.949112e-07,5.879957e-07,5.800999e-07,5.791628e-07,5.723579e-07,5.647670e-07,5.640161e-07,5.573246e-07,5.500282e-07,5.494507e-07,5.428750e-07,5.358626e-07,5.354463e-07,5.289885e-07,5.222502e-07,5.219834e-07,5.156452e-07,5.091711e-07,5.090430e-07,5.028256e-07,4.966064e-07,4.846557e-07,4.731734e-07,4.621426e-07,4.515470e-07,4.413707e-07,4.315984e-07,4.222154e-07,4.132073e-07,4.045603e-07,3.962612e-07,3.882972e-07,3.806557e-07,3.733248e-07,3.662931e-07,3.595493e-07,3.530828e-07,3.468831e-07,3.409403e-07,3.352449e-07,3.297874e-07,3.245590e-07,3.195510e-07,3.147552e-07,3.101635e-07,3.057681e-07,3.015618e-07,2.975372e-07,2.936874e-07,2.900059e-07,2.864862e-07,2.831221e-07,2.799076e-07,2.768370e-07,2.739048e-07,2.711055e-07,2.684342e-07,2.658858e-07,2.634555e-07,2.611388e-07,2.589313e-07,2.568286e-07,2.548266e-07,2.529214e-07,2.511092e-07,2.493863e-07,2.477492e-07,2.461943e-07,2.447186e-07,2.433187e-07
0.000000e+00,6.726370e-09,1.852019e-07,1.950801e-07,1.630101e-06,6.289245e-06,6.576472e-06,1.574472e-05,2.592043e-05,2.656934e-05,3.703014e-05,4.592275e-05,4.666119e-05,5.543080e-05,6.261945e-05,6.337866e-05,7.055445e-05,7.627048e-05,7.700849e-05,8.278975e-05,8.725957e-05,8.794540e-05,9.252046e-05,9.594619e-05,9.655769e-05,1.000974e-04,1.026555e-04,1.031776e-04,1.058338e-04,1.076759e-04,1.080992e-04,1.100050e-04,1.112606e-04,1.115801e-04,1.128515e-04,1.136301e-04,1.138442e-04,1.145817e-04,1.149759e-04,1.150856e-04,1.153761e-04,1.154637e-04,1.154720e-04,1.153906e-04,1.152368e-04,1.151480e-04,1.147593e-04,1.144185e-04,1.142381e-04,1.135975e-04,1.131150e-04,1.128492e-04,1.120043e-04,1.114175e-04,1.110729e-04,1.100645e-04,1.094044e-04,1.089877e-04,1.078507e-04,1.071426e-04,1.066606e-04,1.054245e-04,1.046890e-04,1.041486e-04,1.028386e-04,1.020922e-04,1.014999e-04,1.001374e-04,9.939327e-05,9.875546e-05,9.735833e-05,9.662706e-05,9.594972e-05,9.453309e-05,9.382277e-05,9.311161e-05,9.168813e-05,9.100494e-05,9.026529e-05,8.884547e-05,8.819396e-05,8.743082e-05,8.602332e-05,8.540675e-05,8.462474e-05,8.323666e-05,8.265716e-05,8.186053e-05,8.049764e-05,7.995645e-05,7.914913e-05,7.781603e-05,7.731367e-05,7.649922e-05,7.519953e-05,7.473596e-05,7.391762e-05,7.265412e-05,7.222881e-05,7.140953e-05,7.018429e-05,6.979637e-05,6.897878e-05,6.779329e-05,6.744158e-05,6.662805e-05,6.548326e-05,6.516640e-05,6.435904e-05,6.325548e-05,6.297195e-05,6.217263e-05,6.111049e-05,6.085865e-05,6.006902e-05,5.904817e-05,5.882634e-05,5.804784e-05,5.706792e-05,5.687437e-05,5.610826e-05,5.516870e-05,5.500170e-05,5.424906e-05,5.334913e-05,5.320695e-05,5.246870e-05,5.160754e-05,5.148850e-05,5.076542e-05,4.994207e-05,4.984452e-05,4.913724e-05,4.835066e-05,4.827300e-05,4.758206e-05,4.683115e-05,4.677183e-05,4.609764e-05,4.538126e-05,4.533882e-05,4.468170e-05,4.399868e-05,4.397169e-05,4.333189e-05,4.268103e-05,4.266818e-05,4.204582e-05,4.142596e-05,4.024273e-05,3.911621e-05,3.804414e-05,3.702431e-05,3.605453e-05,3.513269e-05,3.425671e-05,3.342460e-05,3.263440e-05,3.188424e-05,3.117229e-05,3.049681e-05,2.985610e-05,2.924855e-05,2.867260e-05,2.812674e-05,2.760956e-05,2.711966e-05,2.665575e-05,2.621655e-05,2.580087e-05,2.540756e-05,2.503552e-05,2.468370e-05,2.435110e-05,2.403676e-05,2.373978e-05,2.345930e-05,2.319447e-05,2.294452e-05,2.270870e-05,2.248628e-05,2.227660e-05,2.207900e-05,2.189287e-05,2.171762e-05,2.155270e-05,2.139757e-05,2.125172e-05,2.111469e-05,2.098601e-05,2.086525e-05,2.075200e-05,2.064587e-05,2.054648e-05,2.045348e-05,2.036653e-05,2.028531e-05,2.020953e-05
0.000000e+00,1.387726e-09,2.066289e-08,2.154115e-08,1.117772e-07,3.097335e-07,3.205103e-07,6.459179e-07,1.022210e-06,1.047591e-06,1.480095e-06,1.876573e-06,1.910434e-06,2.321863e-06,2.671321e-06,2.708884e-06,3.070686e-06,3.368719e-06,3.407925e-06,3.721665e-06,3.973575e-06,4.013071e-06,4.283303e-06,4.494768e-06,4.533499e-06,4.764748e-06,4.940970e-06,4.978096e-06,5.174539e-06,5.320159e-06,5.355023e-06,5.520451e-06,5.639584e-06,5.671678e-06,5.809515e-06,5.905793e-06,5.934735e-06,6.048067e-06,6.124689e-06,6.150205e-06,6.241804e-06,6.301580e-06,6.323486e-06,6.395841e-06,6.441239e-06,6.459425e-06,6.514767e-06,6.547947e-06,6.562366e-06,6.602694e-06,6.625545e-06,6.636198e-06,6.663301e-06,6.677473e-06,6.684402e-06,6.699880e-06,6.706809e-06,6.710091e-06,6.715374e-06,6.716311e-06,6.716046e-06,6.712410e-06,6.708440e-06,6.704750e-06,6.693335e-06,6.685398e-06,6.678419e-06,6.660241e-06,6.649149e-06,6.639028e-06,6.614993e-06,6.601447e-06,6.588338e-06,6.559253e-06,6.543855e-06,6.527916e-06,6.494498e-06,6.477765e-06,6.459157e-06,6.422044e-06,6.404417e-06,6.383301e-06,6.343061e-06,6.324914e-06,6.301450e-06,6.258586e-06,6.240237e-06,6.214581e-06,6.169540e-06,6.151256e-06,6.123562e-06,6.076739e-06,6.058744e-06,6.029160e-06,5.980906e-06,5.963385e-06,5.932055e-06,5.882680e-06,5.865785e-06,5.832849e-06,5.782626e-06,5.766481e-06,5.732070e-06,5.681240e-06,5.665945e-06,5.630187e-06,5.578961e-06,5.564594e-06,5.527610e-06,5.476175e-06,5.462794e-06,5.424699e-06,5.373220e-06,5.360868e-06,5.321772e-06,5.270390e-06,5.259098e-06,5.219104e-06,5.167944e-06,5.157729e-06,5.116936e-06,5.066106e-06,5.056978e-06,5.015478e-06,4.965072e-06,4.957029e-06,4.914910e-06,4.865010e-06,4.858046e-06,4.815389e-06,4.766063e-06,4.760165e-06,4.717048e-06,4.668357e-06,4.663506e-06,4.620002e-06,4.571995e-06,4.568170e-06,4.524347e-06,4.477068e-06,4.474243e-06,4.430165e-06,4.383647e-06,4.381795e-06,4.337522e-06,4.291796e-06,4.290885e-06,4.246474e-06,4.201562e-06,4.113863e-06,4.027818e-06,3.943448e-06,3.860769e-06,3.779790e-06,3.700516e-06,3.622945e-06,3.547074e-06,3.472894e-06,3.400394e-06,3.329562e-06,3.260380e-06,3.192832e-06,3.126899e-06,3.062559e-06,2.999790e-06,2.938570e-06,2.878875e-06,2.820681e-06,2.763962e-06,2.708695e-06,2.654852e-06,2.602410e-06,2.551341e-06,2.501620e-06,2.453222e-06,2.406120e-06,2.360290e-06,2.315707e-06,2.272344e-06,2.230177e-06,2.189182e-06,2.149335e-06,2.110611e-06,2.072988e-06,2.036441e-06,2.000948e-06,1.966486e-06,1.933034e-06,1.900569e-06,1.869070e-06,1.838516e-06,1.808887e-06,1.780162e-06,1.752320e-06,1.725344e-06,1.699213e-06,1.673908e-06,1.649412e-06
0.000000e+00,1.501965e-11,1.658556e-09,1.778508e-09,3.122286e-08,2.404789e-07,2.592645e-07,1.397673e-06,5.126487e-06,5.526206e-06,1.713120e-05,4.076487e-05,4.365781e-05,9.496452e-05,1.712144e-04,1.817890e-04,3.139004e-04,4.734718e-04,4.985689e-04,7.396519e-04,9.923257e-04,1.037316e-03,1.388266e-03,1.719790e-03,1.786321e-03,2.223148e-03,2.603507e-03,2.689060e-03,3.173747e-03,3.568087e-03,3.666921e-03,4.158823e-03,4.535885e-03,4.640592e-03,5.104512e-03,5.441144e-03,5.544145e-03,5.954372e-03,6.236708e-03,6.331362e-03,6.672492e-03,6.895001e-03,6.976229e-03,7.241993e-03,7.405530e-03,7.470016e-03,7.661190e-03,7.770847e-03,7.816935e-03,7.939069e-03,8.002280e-03,8.029699e-03,8.091115e-03,8.116193e-03,8.125712e-03,8.135919e-03,8.131057e-03,8.124143e-03,8.092727e-03,8.065387e-03,8.043913e-03,7.979824e-03,7.936441e-03,7.902444e-03,7.813613e-03,7.759502e-03,7.715020e-03,7.608203e-03,7.547598e-03,7.494555e-03,7.375329e-03,7.311504e-03,7.251644e-03,7.124495e-03,7.059900e-03,6.994761e-03,6.863215e-03,6.799633e-03,6.730536e-03,6.597311e-03,6.535988e-03,6.464053e-03,6.331200e-03,6.272973e-03,6.199131e-03,6.068168e-03,6.013560e-03,5.938583e-03,5.810604e-03,5.759907e-03,5.684423e-03,5.560199e-03,5.513534e-03,5.438060e-03,5.318112e-03,5.275483e-03,5.200436e-03,5.085097e-03,5.046422e-03,4.972140e-03,4.861599e-03,4.826740e-03,4.753494e-03,4.647836e-03,4.616616e-03,4.544627e-03,4.443860e-03,4.416082e-03,4.345525e-03,4.249602e-03,4.225055e-03,4.156072e-03,4.064906e-03,4.043375e-03,3.976077e-03,3.889553e-03,3.870823e-03,3.805299e-03,3.723280e-03,3.707141e-03,3.643459e-03,3.565798e-03,3.552045e-03,3.490257e-03,3.416797e-03,3.405234e-03,3.345378e-03,3.275958e-03,3.266397e-03,3.208499e-03,3.142958e-03,3.135220e-03,3.079295e-03,3.017471e-03,3.011388e-03,2.957444e-03,2.899175e-03,2.894588e-03,2.842624e-03,2.787753e-03,2.784513e-03,2.734522e-03,2.682895e-03,2.680862e-03,2.632832e-03,2.584298e-03,2.583343e-03,2.537256e-03,2.491671e-03,2.405570e-03,2.324776e-03,2.249030e-03,2.178088e-03,2.111712e-03,2.049674e-03,1.991757e-03,1.937751e-03,1.887458e-03,1.840686e-03,1.797251e-03,1.756980e-03,1.719706e-03,1.685269e-03,1.653516e-03,1.624304e-03,1.597492e-03,1.572949e-03,1.550547e-03,1.530168e-03,1.511694e-03,1.495017e-03,1.480032e-03,1.466639e-03,1.454741e-03,1.444249e-03,1.435076e-03,1.427137e-03,1.420356e-03,1.414655e-03,1.409964e-03,1.406214e-03,1.403340e-03,1.401279e-03,1.399972e-03,1.399363e-03,1.399399e-03,1.400028e-03,1.401202e-03,1.402874e-03,1.405002e-03,1.407544e-03,1.410460e-03,1.413714e-03,1.417270e-03,1.421094e-03,1.425157e-03,1.429427e-03,1.433877e-03
0.000000e+00,1.124250e-10,1.256169e-08,1.349150e-08,2.635008e-07,2.190488e-06,2.365259e-06,1.259339e-05,4.193508e-05,4.482294e-05,1.172861e-04,2.323210e-04,2.447449e-04,4.331367e-04,6.521118e-04,6.790349e-04,9.721745e-04,1.258329e-03,1.298814e-03,1.644598e-03,1.947260e-03,1.996455e-03,2.343571e-03,2.625364e-03,2.677680e-03,2.992938e-03,3.234684e-03,3.285577e-03,3.553495e-03,3.749434e-03,3.795854e-03,4.012729e-03,4.164642e-03,4.204831e-03,4.373277e-03,4.486313e-03,4.519438e-03,4.644810e-03,4.725108e-03,4.750936e-03,4.839351e-03,4.892883e-03,4.911546e-03,4.968943e-03,5.001037e-03,5.012882e-03,5.044616e-03,5.059821e-03,5.065309e-03,5.076036e-03,5.078141e-03,5.077788e-03,5.071477e-03,5.063595e-03,5.057937e-03,5.037933e-03,5.022593e-03,5.012164e-03,4.981268e-03,4.960514e-03,4.945828e-03,4.906375e-03,4.881847e-03,4.863395e-03,4.817327e-03,4.790332e-03,4.768575e-03,4.717503e-03,4.689078e-03,4.664443e-03,4.609699e-03,4.580657e-03,4.553542e-03,4.496224e-03,4.467199e-03,4.437967e-03,4.378978e-03,4.350457e-03,4.319440e-03,4.259520e-03,4.231870e-03,4.199368e-03,4.139122e-03,4.112615e-03,4.078902e-03,4.018818e-03,3.993648e-03,3.958970e-03,3.899444e-03,3.875742e-03,3.840321e-03,3.781670e-03,3.759519e-03,3.723554e-03,3.666027e-03,3.645471e-03,3.609139e-03,3.552932e-03,3.533983e-03,3.497443e-03,3.442705e-03,3.425352e-03,3.388745e-03,3.335587e-03,3.319799e-03,3.283251e-03,3.231752e-03,3.217485e-03,3.181106e-03,3.131322e-03,3.118521e-03,3.082409e-03,3.034372e-03,3.022974e-03,2.987215e-03,2.940940e-03,2.930878e-03,2.895547e-03,2.851035e-03,2.842238e-03,2.807401e-03,2.764641e-03,2.757036e-03,2.722750e-03,2.681721e-03,2.675237e-03,2.641549e-03,2.602225e-03,2.596787e-03,2.563741e-03,2.526087e-03,2.521624e-03,2.489255e-03,2.453234e-03,2.449676e-03,2.418013e-03,2.383583e-03,2.380862e-03,2.349931e-03,2.317047e-03,2.315098e-03,2.284919e-03,2.253535e-03,2.252295e-03,2.222884e-03,2.192953e-03,2.192361e-03,2.163730e-03,2.135204e-03,2.080729e-03,2.028843e-03,1.979453e-03,1.932465e-03,1.887790e-03,1.845339e-03,1.805023e-03,1.766757e-03,1.730459e-03,1.696047e-03,1.663443e-03,1.632570e-03,1.603356e-03,1.575728e-03,1.549618e-03,1.524958e-03,1.501686e-03,1.479738e-03,1.459054e-03,1.439578e-03,1.421254e-03,1.404028e-03,1.387849e-03,1.372668e-03,1.358436e-03,1.345109e-03,1.332642e-03,1.320994e-03,1.310123e-03,1.299991e-03,1.290560e-03,1.281796e-03,1.273662e-03,1.266127e-03,1.259158e-03,1.252726e-03,1.246801e-03,1.241355e-03,1.236362e-03,1.231797e-03,1.227634e-03,1.223851e-03,1.220425e-03,1.217335e-03,1.214560e-03,1.212080e-03,1.209879e-03,1.207936e-03,1.206236e-03
0.000000e+00,4.734382e-10,6.721211e-08,7.253734e-08,1.774871e-06,1.765071e-05,1.918828e-05,1.196325e-04,4.602866e-04,4.966870e-04,1.534917e-03,3.587050e-03,3.835322e-03,8.204051e-03,1.470798e-02,1.561678e-02,2.716968e-02,4.168346e-02,4.402511e-02,6.735763e-02,9.347273e-02,9.830410e-02,1.379203e-01,1.785887e-01,1.871449e-01,2.467721e-01,3.038759e-01,3.174314e-01,3.995756e-01,4.737480e-01,4.934752e-01,5.992188e-01,6.898705e-01,7.167187e-01,8.457201e-01,9.512068e-01,9.858137e-01,1.136451e+00,1.254320e+00,1.296961e+00,1.466566e+00,1.593832e+00,1.644403e+00,1.829538e+00,1.962949e+00,2.020986e+00,2.217724e+00,2.353998e+00,2.418712e+00,2.622901e+00,2.758914e+00,2.829252e+00,3.036741e+00,3.169671e+00,3.244375e+00,3.451198e+00,3.578618e+00,3.656297e+00,3.858813e+00,3.978744e+00,4.057938e+00,4.252927e+00,4.363852e+00,4.443092e+00,4.627812e+00,4.728665e+00,4.806527e+00,4.978740e+00,5.068877e+00,5.144019e+00,5.301991e+00,5.381143e+00,5.452344e+00,5.594821e+00,5.663041e+00,5.729221e+00,5.855396e+00,5.913006e+00,5.973242e+00,6.082706e+00,6.130239e+00,6.183773e+00,6.276470e+00,6.314619e+00,6.360856e+00,6.437027e+00,6.466597e+00,6.505103e+00,6.565235e+00,6.587101e+00,6.617593e+00,6.662372e+00,6.677443e+00,6.699779e+00,6.730041e+00,6.739231e+00,6.753394e+00,6.770086e+00,6.774289e+00,6.780373e+00,6.784519e+00,6.784591e+00,6.782788e+00,6.775452e+00,6.772199e+00,6.762782e+00,6.745049e+00,6.739213e+00,6.722523e+00,6.695472e+00,6.687730e+00,6.664160e+00,6.628849e+00,6.619808e+00,6.589794e+00,6.547246e+00,6.537441e+00,6.501448e+00,6.452638e+00,6.442535e+00,6.401047e+00,6.346900e+00,6.336899e+00,6.290412e+00,6.231793e+00,6.222229e+00,6.171243e+00,6.108955e+00,6.100106e+00,6.045114e+00,5.979900e+00,5.971990e+00,5.913480e+00,5.846017e+00,5.839219e+00,5.777665e+00,5.708572e+00,5.703016e+00,5.638876e+00,5.568710e+00,5.564488e+00,5.498199e+00,5.427462e+00,5.424630e+00,5.356610e+00,5.285749e+00,5.284332e+00,5.214977e+00,5.144388e+00,5.005496e+00,4.868270e+00,4.733244e+00,4.600879e+00,4.471568e+00,4.345646e+00,4.223389e+00,4.105027e+00,3.990742e+00,3.880679e+00,3.774943e+00,3.673609e+00,3.576723e+00,3.484305e+00,3.396353e+00,3.312844e+00,3.233739e+00,3.158982e+00,3.088505e+00,3.022228e+00,2.960058e+00,2.901898e+00,2.847638e+00,2.797166e+00,2.750363e+00,2.707105e+00,2.667263e+00,2.630709e+00,2.597308e+00,2.566927e+00,2.539431e+00,2.514683e+00,2.492547e+00,2.472888e+00,2.455571e+00,2.440462e+00,2.427430e+00,2.416345e+00,2.407078e+00,2.399506e+00,2.393505e+00,2.388957e+00,2.385746e+00,2.383759e+00,2.382888e+00,2.383029e+00,2.384081e+00,2.385947e+00,2.388536e+00
0.000000e+00,1.968804e-10,2.515360e-08,2.706720e-08,5.684071e-07,5.066192e-06,5.490129e-06,3.288331e-05,1.289702e-04,1.395202e-04,4.552354e-04,1.127881e-03,1.212086e-03,2.755589e-03,5.188534e-03,5.537146e-03,1.009323e-02,1.604104e-02,1.701741e-02,2.692981e-02,3.831553e-02,4.044740e-02,5.815707e-02,7.666549e-02,8.059284e-02,1.082176e-01,1.350102e-01,1.414097e-01,1.804542e-01,2.160323e-01,2.255378e-01,2.767482e-01,3.209427e-01,3.340758e-01,3.974186e-01,4.494695e-01,4.665888e-01,5.413199e-01,6.000064e-01,6.212769e-01,7.060660e-01,7.698590e-01,7.952440e-01,8.883279e-01,9.555372e-01,9.848054e-01,1.084143e+00,1.153049e+00,1.185797e+00,1.289217e+00,1.358176e+00,1.393857e+00,1.499182e+00,1.566706e+00,1.604668e+00,1.709815e+00,1.774624e+00,1.814144e+00,1.917202e+00,1.978251e+00,2.018568e+00,2.117850e+00,2.174337e+00,2.214690e+00,2.308761e+00,2.360122e+00,2.399772e+00,2.487463e+00,2.533355e+00,2.571608e+00,2.652014e+00,2.692292e+00,2.728518e+00,2.800986e+00,2.835673e+00,2.869313e+00,2.933423e+00,2.962680e+00,2.993261e+00,3.048799e+00,3.072899e+00,3.100029e+00,3.146964e+00,3.166262e+00,3.189635e+00,3.228090e+00,3.242998e+00,3.262391e+00,3.292615e+00,3.303581e+00,3.318848e+00,3.341190e+00,3.348682e+00,3.359748e+00,3.374636e+00,3.379120e+00,3.385976e+00,3.393894e+00,3.395829e+00,3.398521e+00,3.399990e+00,3.399816e+00,3.398439e+00,3.394004e+00,3.392132e+00,3.386825e+00,3.377038e+00,3.373850e+00,3.364783e+00,3.350195e+00,3.346037e+00,3.333410e+00,3.314560e+00,3.309744e+00,3.293776e+00,3.271186e+00,3.265986e+00,3.246913e+00,3.221080e+00,3.215736e+00,3.193803e+00,3.165198e+00,3.159916e+00,3.135374e+00,3.104438e+00,3.099392e+00,3.072492e+00,3.039635e+00,3.034968e+00,3.005963e+00,2.971564e+00,2.967392e+00,2.936527e+00,2.900933e+00,2.897346e+00,2.864862e+00,2.828389e+00,2.825456e+00,2.791584e+00,2.754517e+00,2.752286e+00,2.717250e+00,2.679845e+00,2.678347e+00,2.642359e+00,2.604846e+00,2.604095e+00,2.567356e+00,2.529938e+00,2.456233e+00,2.383298e+00,2.311408e+00,2.240801e+00,2.171683e+00,2.104228e+00,2.038584e+00,1.974870e+00,1.913188e+00,1.853615e+00,1.796213e+00,1.741025e+00,1.688083e+00,1.637403e+00,1.588994e+00,1.542852e+00,1.498964e+00,1.457311e+00,1.417868e+00,1.380601e+00,1.345474e+00,1.312445e+00,1.281468e+00,1.252495e+00,1.225472e+00,1.200347e+00,1.177062e+00,1.155559e+00,1.135777e+00,1.117654e+00,1.101130e+00,1.086139e+00,1.072617e+00,1.060501e+00,1.049725e+00,1.040224e+00,1.031933e+00,1.024787e+00,1.018722e+00,1.013675e+00,1.009581e+00,1.006378e+00,1.004005e+00,1.002402e+00,1.001510e+00,1.001270e+00,1.001627e+00,1.002526e+00,1.003915e+00
0.000000e+00,1.006790e-09,2.022112e-08,2.123329e-08,1.507854e-07,4.726745e-07,4.893261e-07,9.268817e-07,1.330634e-06,1.355595e-06,1.755696e-06,2.097285e-06,2.125814e-06,2.467106e-06,2.750862e-06,2.781073e-06,3.069229e-06,3.302633e-06,3.333055e-06,3.573983e-06,3.763927e-06,3.793401e-06,3.992641e-06,4.145345e-06,4.172980e-06,4.335636e-06,4.456630e-06,4.481763e-06,4.612457e-06,4.706597e-06,4.728751e-06,4.831620e-06,4.903131e-06,4.921982e-06,5.000701e-06,5.053242e-06,5.068589e-06,5.126408e-06,5.163134e-06,5.174874e-06,5.214657e-06,5.238281e-06,5.246389e-06,5.270660e-06,5.283508e-06,5.288023e-06,5.298997e-06,5.303060e-06,5.304069e-06,5.303692e-06,5.300666e-06,5.298293e-06,5.288270e-06,5.279603e-06,5.273998e-06,5.255825e-06,5.242743e-06,5.234077e-06,5.209059e-06,5.192598e-06,5.181056e-06,5.150333e-06,5.131367e-06,5.117140e-06,5.081708e-06,5.060969e-06,5.044253e-06,5.004977e-06,4.983078e-06,4.964068e-06,4.921703e-06,4.899151e-06,4.878043e-06,4.833243e-06,4.810459e-06,4.787442e-06,4.740774e-06,4.718101e-06,4.693360e-06,4.645314e-06,4.623030e-06,4.596742e-06,4.547743e-06,4.526071e-06,4.498406e-06,4.448817e-06,4.427933e-06,4.399053e-06,4.349187e-06,4.329227e-06,4.299286e-06,4.249410e-06,4.230476e-06,4.199617e-06,4.149959e-06,4.132124e-06,4.100484e-06,4.051237e-06,4.034552e-06,4.002258e-06,3.953585e-06,3.938080e-06,3.905251e-06,3.857287e-06,3.842974e-06,3.809721e-06,3.762580e-06,3.749459e-06,3.715885e-06,3.669659e-06,3.657719e-06,3.623919e-06,3.578683e-06,3.567903e-06,3.533966e-06,3.489780e-06,3.480132e-06,3.446137e-06,3.403049e-06,3.394498e-06,3.360522e-06,3.318566e-06,3.311075e-06,3.277186e-06,3.236387e-06,3.229913e-06,3.196174e-06,3.156550e-06,3.151049e-06,3.117517e-06,3.079076e-06,3.074503e-06,3.041230e-06,3.003976e-06,3.000284e-06,2.967316e-06,2.931248e-06,2.928388e-06,2.895770e-06,2.860880e-06,2.858805e-06,2.826576e-06,2.792853e-06,2.791516e-06,2.759709e-06,2.727140e-06,2.726495e-06,2.695142e-06,2.663709e-06,2.603125e-06,2.544703e-06,2.488399e-06,2.434170e-06,2.381968e-06,2.331744e-06,2.283450e-06,2.237035e-06,2.192448e-06,2.149639e-06,2.108557e-06,2.069151e-06,2.031372e-06,1.995169e-06,1.960494e-06,1.927298e-06,1.895534e-06,1.865155e-06,1.836116e-06,1.808372e-06,1.781878e-06,1.756592e-06,1.732473e-06,1.709480e-06,1.687572e-06,1.666712e-06,1.646861e-06,1.627984e-06,1.610044e-06,1.593006e-06,1.576838e-06,1.561506e-06,1.546980e-06,1.533227e-06,1.520218e-06,1.507925e-06,1.496320e-06,1.485374e-06,1.475062e-06,1.465359e-06,1.456239e-06,1.447679e-06,1.439656e-06,1.432147e-06,1.425130e-06,1.418585e-06,1.412491e-06,1.406829e-06,1.401580e-06
0.000000e+00,6.693398e-09,3.245630e-07,3.443630e-07,3.421179e-06,1.234648e-05,1.283428e-05,2.617348e-05,3.892610e-05,3.972207e-05,5.258628e-05,6.373170e-05,6.466978e-05,7.598524e-05,8.553577e-05,8.656093e-05,9.642799e-05,1.045503e-04,1.056185e-04,1.141645e-04,1.210230e-04,1.220980e-04,1.294502e-04,1.351990e-04,1.362514e-04,1.425309e-04,1.473105e-04,1.483168e-04,1.536361e-04,1.575730e-04,1.585146e-04,1.629765e-04,1.661827e-04,1.670452e-04,1.707429e-04,1.733181e-04,1.740907e-04,1.771086e-04,1.791407e-04,1.798157e-04,1.822300e-04,1.837966e-04,1.843686e-04,1.862477e-04,1.874171e-04,1.878829e-04,1.892885e-04,1.901203e-04,1.904785e-04,1.914659e-04,1.920127e-04,1.922632e-04,1.928820e-04,1.931896e-04,1.933335e-04,1.936282e-04,1.937366e-04,1.937761e-04,1.937866e-04,1.937307e-04,1.936686e-04,1.934305e-04,1.932405e-04,1.930803e-04,1.926255e-04,1.923279e-04,1.920734e-04,1.914304e-04,1.910478e-04,1.907032e-04,1.898976e-04,1.894496e-04,1.890194e-04,1.880738e-04,1.875774e-04,1.870660e-04,1.860008e-04,1.854704e-04,1.848826e-04,1.837157e-04,1.831637e-04,1.825041e-04,1.812516e-04,1.806885e-04,1.799618e-04,1.786380e-04,1.780727e-04,1.772835e-04,1.759011e-04,1.753410e-04,1.744937e-04,1.730640e-04,1.725154e-04,1.716144e-04,1.701473e-04,1.696153e-04,1.686649e-04,1.671693e-04,1.666581e-04,1.656623e-04,1.641459e-04,1.636590e-04,1.626218e-04,1.610915e-04,1.606315e-04,1.595566e-04,1.580185e-04,1.575875e-04,1.564786e-04,1.549380e-04,1.545374e-04,1.533979e-04,1.518595e-04,1.514906e-04,1.503236e-04,1.487914e-04,1.484549e-04,1.472637e-04,1.457412e-04,1.454375e-04,1.442249e-04,1.427153e-04,1.424443e-04,1.412131e-04,1.397190e-04,1.394807e-04,1.382336e-04,1.367573e-04,1.365513e-04,1.352906e-04,1.338340e-04,1.336600e-04,1.323880e-04,1.309528e-04,1.308099e-04,1.295289e-04,1.281166e-04,1.280041e-04,1.267161e-04,1.253277e-04,1.252448e-04,1.239516e-04,1.225882e-04,1.225339e-04,1.212375e-04,1.198997e-04,1.198731e-04,1.185750e-04,1.172635e-04,1.147062e-04,1.122018e-04,1.097509e-04,1.073538e-04,1.050105e-04,1.027211e-04,1.004853e-04,9.830300e-05,9.617372e-05,9.409701e-05,9.207233e-05,9.009909e-05,8.817661e-05,8.630420e-05,8.448110e-05,8.270656e-05,8.097974e-05,7.929984e-05,7.766599e-05,7.607734e-05,7.453304e-05,7.303222e-05,7.157400e-05,7.015754e-05,6.878196e-05,6.744639e-05,6.614997e-05,6.489186e-05,6.367120e-05,6.248716e-05,6.133891e-05,6.022565e-05,5.914656e-05,5.810087e-05,5.708779e-05,5.610656e-05,5.515644e-05,5.423667e-05,5.334654e-05,5.248533e-05,5.165235e-05,5.084691e-05,5.006835e-05,4.931600e-05,4.858922e-05,4.788739e-05,4.720987e-05,4.655608e-05,4.592543e-05
0.000000e+00,1.756600e-11,2.125106e-09,2.283968e-09,4.537288e-08,3.921342e-07,4.246224e-07,2.519205e-06,9.877641e-06,1.068587e-05,3.480457e-05,8.560717e-05,9.191385e-05,2.058161e-04,3.803515e-04,4.049627e-04,7.195439e-04,1.114971e-03,1.178563e-03,1.807359e-03,2.499226e-03,2.625792e-03,3.647126e-03,4.666591e-03,4.877560e-03,6.316296e-03,7.646546e-03,7.956011e-03,9.783628e-03,1.136913e-02,1.178126e-02,1.392724e-02,1.568846e-02,1.619716e-02,1.856489e-02,2.041317e-02,2.100344e-02,2.348583e-02,2.533552e-02,2.598576e-02,2.847817e-02,3.025484e-02,3.093966e-02,3.334886e-02,3.499383e-02,3.568661e-02,3.793614e-02,3.940800e-02,4.008308e-02,4.211544e-02,4.338926e-02,4.402359e-02,4.580011e-02,4.686545e-02,4.743964e-02,4.893875e-02,4.979686e-02,5.029574e-02,5.151046e-02,5.217145e-02,5.258412e-02,5.351912e-02,5.399919e-02,5.431886e-02,5.498756e-02,5.530661e-02,5.553015e-02,5.595209e-02,5.613182e-02,5.625923e-02,5.645774e-02,5.652014e-02,5.655397e-02,5.655435e-02,5.652062e-02,5.646536e-02,5.629342e-02,5.618329e-02,5.604485e-02,5.572583e-02,5.555708e-02,5.534233e-02,5.490014e-02,5.468841e-02,5.440477e-02,5.386151e-02,5.362027e-02,5.327538e-02,5.265112e-02,5.239176e-02,5.199323e-02,5.130590e-02,5.103783e-02,5.059308e-02,4.985844e-02,4.958930e-02,4.910540e-02,4.833715e-02,4.807300e-02,4.755661e-02,4.676650e-02,4.651206e-02,4.596933e-02,4.516738e-02,4.492619e-02,4.436277e-02,4.355741e-02,4.333202e-02,4.275307e-02,4.195132e-02,4.174348e-02,4.115363e-02,4.036130e-02,4.017207e-02,3.957550e-02,3.879731e-02,3.862722e-02,3.802765e-02,3.726739e-02,3.711653e-02,3.651727e-02,3.577795e-02,3.564607e-02,3.505003e-02,3.433400e-02,3.422057e-02,3.363031e-02,3.293934e-02,3.284364e-02,3.226141e-02,3.159678e-02,3.151793e-02,3.094567e-02,3.030827e-02,3.024529e-02,2.968471e-02,2.907508e-02,2.902691e-02,2.847945e-02,2.789786e-02,2.786341e-02,2.733032e-02,2.677681e-02,2.675496e-02,2.623728e-02,2.571169e-02,2.570132e-02,2.519994e-02,2.470196e-02,2.375609e-02,2.286271e-02,2.202066e-02,2.122864e-02,2.048526e-02,1.978905e-02,1.913848e-02,1.853200e-02,1.796799e-02,1.744487e-02,1.696100e-02,1.651478e-02,1.610461e-02,1.572888e-02,1.538603e-02,1.507449e-02,1.479273e-02,1.453925e-02,1.431254e-02,1.411116e-02,1.393366e-02,1.377866e-02,1.364478e-02,1.353068e-02,1.343504e-02,1.335660e-02,1.329412e-02,1.324639e-02,1.321225e-02,1.319056e-02,1.318023e-02,1.318021e-02,1.318948e-02,1.320709e-02,1.323209e-02,1.326359e-02,1.330077e-02,1.334281e-02,1.338897e-02,1.343852e-02,1.349081e-02,1.354520e-02,1.360112e-02,1.365803e-02,1.371543e-02,1.377288e-02,1.382995e-02,1.388628e-02,1.394153e-02
0.000000e+00,9.752516e-10,7.195746e-08,7.677906e-08,1.041617e-06,5.514158e-06,5.834609e-06,1.850957e-05,3.838010e-05,3.984544e-05,6.582915e-05,8.968395e-05,9.167169e-05,1.148666e-04,1.329482e-04,1.347961e-04,1.516193e-04,1.641386e-04,1.656951e-04,1.773930e-04,1.858064e-04,1.870460e-04,1.949445e-04,2.004081e-04,2.013396e-04,2.064478e-04,2.098073e-04,2.104547e-04,2.135196e-04,2.153861e-04,2.157796e-04,2.173525e-04,2.181679e-04,2.183393e-04,2.188269e-04,2.189099e-04,2.188899e-04,2.185919e-04,2.181716e-04,2.179878e-04,2.171247e-04,2.163658e-04,2.160430e-04,2.147770e-04,2.137973e-04,2.133566e-04,2.118070e-04,2.106909e-04,2.101502e-04,2.084049e-04,2.072123e-04,2.065870e-04,2.047102e-04,2.034838e-04,2.027865e-04,2.008258e-04,1.995954e-04,1.988367e-04,1.968269e-04,1.956136e-04,1.948024e-04,1.927688e-04,1.915870e-04,1.907307e-04,1.886921e-04,1.875515e-04,1.866562e-04,1.846261e-04,1.835331e-04,1.826042e-04,1.805925e-04,1.795511e-04,1.785928e-04,1.766067e-04,1.756190e-04,1.746352e-04,1.726797e-04,1.717469e-04,1.707408e-04,1.688193e-04,1.679415e-04,1.669160e-04,1.650311e-04,1.642078e-04,1.631652e-04,1.613186e-04,1.605488e-04,1.594914e-04,1.576840e-04,1.569666e-04,1.558964e-04,1.541287e-04,1.534622e-04,1.523809e-04,1.506532e-04,1.500361e-04,1.489454e-04,1.472575e-04,1.466882e-04,1.455895e-04,1.439413e-04,1.434181e-04,1.423128e-04,1.407039e-04,1.402250e-04,1.391144e-04,1.375442e-04,1.371080e-04,1.359932e-04,1.344613e-04,1.340661e-04,1.329483e-04,1.314540e-04,1.310981e-04,1.299782e-04,1.285209e-04,1.282027e-04,1.270818e-04,1.256608e-04,1.253787e-04,1.242576e-04,1.228722e-04,1.226247e-04,1.215043e-04,1.201537e-04,1.199392e-04,1.188204e-04,1.175040e-04,1.173211e-04,1.162045e-04,1.149216e-04,1.147687e-04,1.136551e-04,1.124050e-04,1.122809e-04,1.111709e-04,1.099528e-04,1.098561e-04,1.087505e-04,1.075637e-04,1.074930e-04,1.063924e-04,1.052363e-04,1.051903e-04,1.040952e-04,1.029690e-04,1.029467e-04,1.018576e-04,1.007607e-04,9.863115e-05,9.655672e-05,9.453614e-05,9.256818e-05,9.065162e-05,8.878526e-05,8.696793e-05,8.519847e-05,8.347576e-05,8.179869e-05,8.016618e-05,7.857716e-05,7.703059e-05,7.552547e-05,7.406078e-05,7.263556e-05,7.124886e-05,6.989974e-05,6.858730e-05,6.731063e-05,6.606887e-05,6.486117e-05,6.368670e-05,6.254464e-05,6.143419e-05,6.035459e-05,5.930507e-05,5.828489e-05,5.729334e-05,5.632969e-05,5.539326e-05,5.448338e-05,5.359938e-05,5.274063e-05,5.190650e-05,5.109637e-05,5.030964e-05,4.954574e-05,4.880408e-05,4.808411e-05,4.738529e-05,4.670708e-05,4.604897e-05,4.541046e-05,4.479103e-05,4.419022e-05,4.360756e-05,4.304257e-05,4.249482e-05
0.000000e+00,9.532832e-10,4.885323e-08,5.189101e-08,6.116061e-07,3.033149e-06,3.201580e-06,9.467381e-06,1.801269e-05,1.859457e-05,2.820644e-05,3.638050e-05,3.705093e-05,4.487699e-05,5.108030e-05,5.172330e-05,5.767834e-05,6.225303e-05,6.283197e-05,6.726728e-05,7.056493e-05,7.105982e-05,7.427795e-05,7.658262e-05,7.698341e-05,7.923185e-05,8.076987e-05,8.107340e-05,8.255310e-05,8.350366e-05,8.371140e-05,8.458461e-05,8.508892e-05,8.520536e-05,8.560289e-05,8.577180e-05,8.580319e-05,8.582969e-05,8.574975e-05,8.570324e-05,8.544258e-05,8.518123e-05,8.506438e-05,8.458359e-05,8.419322e-05,8.401358e-05,8.336624e-05,8.288733e-05,8.265217e-05,8.188085e-05,8.134457e-05,8.106073e-05,8.019929e-05,7.962941e-05,7.930323e-05,7.837849e-05,7.779309e-05,7.743035e-05,7.646351e-05,7.587617e-05,7.548211e-05,7.448985e-05,7.391067e-05,7.349000e-05,7.248543e-05,7.192177e-05,7.147869e-05,7.047202e-05,6.992915e-05,6.946739e-05,6.846652e-05,6.794808e-05,6.747094e-05,6.648196e-05,6.599031e-05,6.550073e-05,6.452824e-05,6.406480e-05,6.356535e-05,6.261279e-05,6.217826e-05,6.167119e-05,6.074109e-05,6.033560e-05,5.982292e-05,5.891705e-05,5.854033e-05,5.802379e-05,5.714336e-05,5.679483e-05,5.627596e-05,5.542172e-05,5.510058e-05,5.458073e-05,5.375306e-05,5.345837e-05,5.293874e-05,5.213775e-05,5.186845e-05,5.135007e-05,5.057565e-05,5.033062e-05,4.981441e-05,4.906628e-05,4.884438e-05,4.833114e-05,4.760888e-05,4.740894e-05,4.689938e-05,4.620251e-05,4.602337e-05,4.551810e-05,4.484603e-05,4.468654e-05,4.418612e-05,4.353822e-05,4.339727e-05,4.290216e-05,4.227778e-05,4.215429e-05,4.166490e-05,4.106335e-05,4.095626e-05,4.047296e-05,3.989356e-05,3.980186e-05,3.932496e-05,3.876700e-05,3.868972e-05,3.821950e-05,3.768228e-05,3.761850e-05,3.715518e-05,3.663802e-05,3.658684e-05,3.613063e-05,3.563284e-05,3.559343e-05,3.514449e-05,3.466541e-05,3.463695e-05,3.419543e-05,3.373440e-05,3.371614e-05,3.328215e-05,3.283853e-05,3.282975e-05,3.240338e-05,3.197656e-05,3.115539e-05,3.036509e-05,2.960456e-05,2.887271e-05,2.816850e-05,2.749093e-05,2.683902e-05,2.621183e-05,2.560845e-05,2.502800e-05,2.446963e-05,2.393253e-05,2.341591e-05,2.291902e-05,2.244111e-05,2.198148e-05,2.153946e-05,2.111439e-05,2.070562e-05,2.031257e-05,1.993463e-05,1.957125e-05,1.922188e-05,1.888600e-05,1.856310e-05,1.825269e-05,1.795431e-05,1.766750e-05,1.739183e-05,1.712689e-05,1.687226e-05,1.662756e-05,1.639242e-05,1.616648e-05,1.594938e-05,1.574081e-05,1.554042e-05,1.534793e-05,1.516302e-05,1.498541e-05,1.481483e-05,1.465100e-05,1.449368e-05,1.434261e-05,1.419757e-05,1.405831e-05,1.392462e-05,1.379630e-05,1.367313e-05
0.000000e+00,1.169845e-09,6.478406e-08,6.872641e-08,7.867205e-07,4.306536e-06,4.575052e-06,1.653605e-05,3.920693e-05,4.102971e-05,7.611697e-05,1.121773e-04,1.153249e-04,1.535539e-04,1.852594e-04,1.885978e-04,2.199115e-04,2.444338e-04,2.475669e-04,2.718115e-04,2.901484e-04,2.929265e-04,3.111868e-04,3.245089e-04,3.268508e-04,3.401577e-04,3.494654e-04,3.513275e-04,3.605622e-04,3.666832e-04,3.680493e-04,3.739615e-04,3.775821e-04,3.784571e-04,3.816813e-04,3.833634e-04,3.837667e-04,3.848342e-04,3.850341e-04,3.849941e-04,3.843466e-04,3.834320e-04,3.829830e-04,3.809861e-04,3.792520e-04,3.784312e-04,3.753865e-04,3.730682e-04,3.719139e-04,3.680695e-04,3.653533e-04,3.639039e-04,3.594630e-04,3.564956e-04,3.547881e-04,3.499165e-04,3.468123e-04,3.448819e-04,3.397146e-04,3.365620e-04,3.344419e-04,3.290881e-04,3.259546e-04,3.236753e-04,3.182228e-04,3.151588e-04,3.127484e-04,3.072676e-04,3.043102e-04,3.017942e-04,2.963407e-04,2.935163e-04,2.909178e-04,2.855352e-04,2.828616e-04,2.802013e-04,2.749234e-04,2.724119e-04,2.697080e-04,2.645606e-04,2.622170e-04,2.594861e-04,2.544883e-04,2.523145e-04,2.495707e-04,2.447363e-04,2.427312e-04,2.399872e-04,2.353254e-04,2.334855e-04,2.307523e-04,2.262690e-04,2.245890e-04,2.218761e-04,2.175741e-04,2.160477e-04,2.133632e-04,2.092433e-04,2.078632e-04,2.052141e-04,2.012752e-04,2.000337e-04,1.974259e-04,1.936653e-04,1.925544e-04,1.899927e-04,1.864070e-04,1.854184e-04,1.829070e-04,1.794917e-04,1.786174e-04,1.761596e-04,1.729095e-04,1.721415e-04,1.697400e-04,1.666498e-04,1.659804e-04,1.636373e-04,1.607010e-04,1.601228e-04,1.578396e-04,1.550514e-04,1.545572e-04,1.523350e-04,1.496888e-04,1.492718e-04,1.471114e-04,1.446011e-04,1.442550e-04,1.421566e-04,1.397763e-04,1.394949e-04,1.374588e-04,1.352025e-04,1.349801e-04,1.330060e-04,1.308678e-04,1.306993e-04,1.287867e-04,1.267611e-04,1.266413e-04,1.247897e-04,1.228712e-04,1.227955e-04,1.210041e-04,1.191874e-04,1.191515e-04,1.174195e-04,1.156994e-04,1.124295e-04,1.093325e-04,1.063997e-04,1.036227e-04,1.009933e-04,9.850384e-05,9.614703e-05,9.391587e-05,9.180373e-05,8.980432e-05,8.791165e-05,8.612004e-05,8.442411e-05,8.281874e-05,8.129910e-05,7.986060e-05,7.849888e-05,7.720985e-05,7.598958e-05,7.483441e-05,7.374084e-05,7.270555e-05,7.172543e-05,7.079752e-05,6.991901e-05,6.908726e-05,6.829976e-05,6.755414e-05,6.684817e-05,6.617972e-05,6.554679e-05,6.494748e-05,6.438000e-05,6.384265e-05,6.333383e-05,6.285203e-05,6.239580e-05,6.196379e-05,6.155472e-05,6.116737e-05,6.080060e-05,6.045331e-05,6.012449e-05,5.981315e-05,5.951839e-05,5.923933e-05,5.897514e-05,5.872505e-05,5.848833e-05
0.000000e+00,5.852760e-10,7.962374e-08,8.583573e-08,1.996780e-06,1.945981e-05,2.115208e-05,1.334052e-04,5.272591e-04,5.700510e-04,1.819438e-03,4.371060e-03,4.684155e-03,1.028559e-02,1.882348e-02,2.002927e-02,3.554564e-02,5.538904e-02,5.861789e-02,9.110554e-02,1.279959e-01,1.348699e-01,1.917051e-01,2.507725e-01,2.632785e-01,3.510801e-01,4.360875e-01,4.563831e-01,5.802150e-01,6.931430e-01,7.233383e-01,8.862407e-01,1.027180e+00,1.069133e+00,1.271953e+00,1.439237e+00,1.494382e+00,1.735851e+00,1.926341e+00,1.995571e+00,2.272548e+00,2.482005e+00,2.565610e+00,2.873430e+00,3.096912e+00,3.194556e+00,3.527433e+00,3.759671e+00,3.870428e+00,4.221856e+00,4.457584e+00,4.579999e+00,4.943131e+00,5.177358e+00,5.309532e+00,5.677510e+00,5.905722e+00,6.045413e+00,6.411645e+00,6.629942e+00,6.774674e+00,7.133045e+00,7.338222e+00,7.485387e+00,7.830417e+00,8.019994e+00,8.166948e+00,8.493890e+00,8.666098e+00,8.810252e+00,9.115145e+00,9.268890e+00,9.407779e+00,9.687464e+00,9.822261e+00,9.953606e+00,1.020571e+01,1.032160e+01,1.044336e+01,1.066624e+01,1.076373e+01,1.087411e+01,1.106682e+01,1.114678e+01,1.124428e+01,1.140647e+01,1.147005e+01,1.155345e+01,1.168532e+01,1.173387e+01,1.180225e+01,1.190446e+01,1.193949e+01,1.199220e+01,1.206577e+01,1.208886e+01,1.212552e+01,1.217180e+01,1.218454e+01,1.220502e+01,1.222560e+01,1.222958e+01,1.223397e+01,1.223059e+01,1.222736e+01,1.221593e+01,1.219048e+01,1.218149e+01,1.215472e+01,1.210914e+01,1.209575e+01,1.205424e+01,1.199052e+01,1.197397e+01,1.191846e+01,1.183856e+01,1.181998e+01,1.175130e+01,1.165716e+01,1.163755e+01,1.155661e+01,1.145012e+01,1.143035e+01,1.133812e+01,1.122107e+01,1.120190e+01,1.109938e+01,1.097348e+01,1.095554e+01,1.084377e+01,1.071063e+01,1.069444e+01,1.057444e+01,1.043557e+01,1.042155e+01,1.029435e+01,1.015112e+01,1.013959e+01,1.000621e+01,9.859912e+00,9.851097e+00,9.712520e+00,9.564311e+00,9.558370e+00,9.415549e+00,9.266482e+00,9.263499e+00,9.117348e+00,8.968370e+00,8.674668e+00,8.383890e+00,8.097354e+00,7.816211e+00,7.541458e+00,7.273946e+00,7.014395e+00,6.763402e+00,6.521455e+00,6.288942e+00,6.066161e+00,5.853328e+00,5.650586e+00,5.458016e+00,5.275640e+00,5.103430e+00,4.941314e+00,4.789179e+00,4.646881e+00,4.514243e+00,4.391063e+00,4.277119e+00,4.172167e+00,4.075948e+00,3.988190e+00,3.908607e+00,3.836905e+00,3.772782e+00,3.715928e+00,3.666029e+00,3.622767e+00,3.585820e+00,3.554865e+00,3.529578e+00,3.509637e+00,3.494718e+00,3.484500e+00,3.478666e+00,3.476900e+00,3.478893e+00,3.484339e+00,3.492938e+00,3.504397e+00,3.518429e+00,3.534758e+00,3.553111e+00,3.573230e+00,3.594861e+00,3.617765e+00
0.000000e+00,2.638592e-11,3.229168e-09,3.471432e-09,6.975791e-08,6.066316e-07,6.569689e-07,3.894531e-06,1.516864e-05,1.640040e-05,5.284285e-05,1.287024e-04,1.380771e-04,3.067156e-04,5.643521e-04,6.006795e-04,1.065755e-03,1.653177e-03,1.747975e-03,2.690336e-03,3.737458e-03,3.930132e-03,5.497009e-03,7.081426e-03,7.411740e-03,9.685662e-03,1.181992e-02,1.232067e-02,1.530964e-02,1.794562e-02,1.863725e-02,2.228093e-02,2.532421e-02,2.621208e-02,3.039723e-02,3.372509e-02,3.479928e-02,3.937868e-02,4.285758e-02,4.409452e-02,4.890552e-02,5.240541e-02,5.377088e-02,5.865103e-02,6.205566e-02,6.350827e-02,6.830723e-02,7.152043e-02,7.301523e-02,7.760258e-02,8.055112e-02,8.204275e-02,8.631241e-02,8.894610e-02,9.039148e-02,9.426308e-02,9.655310e-02,9.791340e-02,1.013316e-01,1.032676e-01,1.045096e-01,1.074420e-01,1.090288e-01,1.101255e-01,1.125594e-01,1.138135e-01,1.147445e-01,1.166836e-01,1.176299e-01,1.183810e-01,1.198421e-01,1.205107e-01,1.210736e-01,1.220831e-01,1.225072e-01,1.228790e-01,1.234701e-01,1.236838e-01,1.238658e-01,1.240760e-01,1.241130e-01,1.241104e-01,1.239791e-01,1.238715e-01,1.236923e-01,1.232600e-01,1.230373e-01,1.226919e-01,1.219979e-01,1.216872e-01,1.211875e-01,1.202698e-01,1.198948e-01,1.192537e-01,1.181480e-01,1.177295e-01,1.169607e-01,1.157000e-01,1.152559e-01,1.143732e-01,1.129876e-01,1.125330e-01,1.115501e-01,1.100670e-01,1.096141e-01,1.085445e-01,1.069883e-01,1.065472e-01,1.054037e-01,1.037960e-01,1.033747e-01,1.021697e-01,1.005293e-01,1.001340e-01,9.887899e-02,9.722252e-02,9.685763e-02,9.556346e-02,9.390511e-02,9.357380e-02,9.225051e-02,9.060246e-02,9.030671e-02,8.896355e-02,8.733613e-02,8.707696e-02,8.572238e-02,8.412427e-02,8.390189e-02,8.254360e-02,8.098200e-02,8.079596e-02,7.944094e-02,7.792176e-02,7.777109e-02,7.642564e-02,7.495363e-02,7.483694e-02,7.350669e-02,7.208564e-02,7.200122e-02,7.069121e-02,6.932401e-02,6.926990e-02,6.798459e-02,6.667340e-02,6.664747e-02,6.539082e-02,6.413714e-02,6.174099e-02,5.946016e-02,5.729496e-02,5.524502e-02,5.330936e-02,5.148652e-02,4.977462e-02,4.817140e-02,4.667433e-02,4.528064e-02,4.398733e-02,4.279127e-02,4.168916e-02,4.067762e-02,3.975317e-02,3.891228e-02,3.815136e-02,3.746679e-02,3.685493e-02,3.631214e-02,3.583476e-02,3.541919e-02,3.506180e-02,3.475902e-02,3.450734e-02,3.430326e-02,3.414336e-02,3.402429e-02,3.394277e-02,3.389560e-02,3.387967e-02,3.389196e-02,3.392956e-02,3.398966e-02,3.406958e-02,3.416673e-02,3.427867e-02,3.440308e-02,3.453775e-02,3.468063e-02,3.482977e-02,3.498338e-02,3.513979e-02,3.529747e-02,3.545501e-02,3.561114e-02,3.576471e-02,3.591469e-02,3.606018e-02
0.000000e+00,1.893401e-11,2.258513e-09,2.426330e-09,4.696847e-08,3.945546e-07,4.267486e-07,2.464489e-06,9.463590e-06,1.022595e-05,3.275045e-05,7.963903e-05,8.543471e-05,1.896673e-04,3.486405e-04,3.710226e-04,6.567887e-04,1.015735e-03,1.073465e-03,1.644609e-03,2.273963e-03,2.389213e-03,3.320657e-03,4.252951e-03,4.446197e-03,5.766916e-03,6.992368e-03,7.278036e-03,8.969504e-03,1.044287e-02,1.082675e-02,1.283152e-02,1.448422e-02,1.496281e-02,1.719767e-02,1.895066e-02,1.951207e-02,2.188162e-02,2.365639e-02,2.428222e-02,2.669058e-02,2.841698e-02,2.908468e-02,3.144411e-02,3.306506e-02,3.375029e-02,3.598666e-02,3.746004e-02,3.813874e-02,4.019420e-02,4.149282e-02,4.214280e-02,4.397630e-02,4.508637e-02,4.568843e-02,4.727467e-02,4.819361e-02,4.873219e-02,5.005964e-02,5.079362e-02,5.125701e-02,5.232548e-02,5.288694e-02,5.326721e-02,5.408525e-02,5.449072e-02,5.478340e-02,5.536601e-02,5.563426e-02,5.583791e-02,5.620429e-02,5.635491e-02,5.647060e-02,5.664244e-02,5.669471e-02,5.672551e-02,5.672553e-02,5.669770e-02,5.664817e-02,5.649903e-02,5.640783e-02,5.628357e-02,5.600711e-02,5.586747e-02,5.567477e-02,5.529148e-02,5.511643e-02,5.486192e-02,5.439059e-02,5.419131e-02,5.388171e-02,5.333931e-02,5.312519e-02,5.276714e-02,5.216875e-02,5.194755e-02,5.154744e-02,5.090631e-02,5.068433e-02,5.024824e-02,4.957588e-02,4.935812e-02,4.889172e-02,4.819803e-02,4.798839e-02,4.749693e-02,4.679036e-02,4.659178e-02,4.608009e-02,4.536776e-02,4.518241e-02,4.465487e-02,4.394277e-02,4.377213e-02,4.323271e-02,4.252581e-02,4.237083e-02,4.182311e-02,4.112551e-02,4.098668e-02,4.043386e-02,3.974891e-02,3.962638e-02,3.907133e-02,3.840172e-02,3.829536e-02,3.774062e-02,3.708850e-02,3.699795e-02,3.644579e-02,3.581284e-02,3.573756e-02,3.518999e-02,3.457750e-02,3.451683e-02,3.397561e-02,3.338452e-02,3.333771e-02,3.280440e-02,3.223538e-02,3.220159e-02,3.167756e-02,3.113104e-02,3.110942e-02,3.059587e-02,3.007207e-02,3.006171e-02,2.955968e-02,2.905869e-02,2.810028e-02,2.718618e-02,2.631591e-02,2.548881e-02,2.470411e-02,2.396094e-02,2.325832e-02,2.259522e-02,2.197055e-02,2.138317e-02,2.083191e-02,2.031557e-02,1.983294e-02,1.938279e-02,1.896388e-02,1.857497e-02,1.821483e-02,1.788221e-02,1.757588e-02,1.729461e-02,1.703720e-02,1.680244e-02,1.658915e-02,1.639617e-02,1.622235e-02,1.606656e-02,1.592771e-02,1.580471e-02,1.569652e-02,1.560211e-02,1.552049e-02,1.545070e-02,1.539180e-02,1.534289e-02,1.530312e-02,1.527165e-02,1.524768e-02,1.523046e-02,1.521928e-02,1.521343e-02,1.521228e-02,1.521521e-02,1.522166e-02,1.523108e-02,1.524297e-02,1.525686e-02,1.527234e-02,1.528899e-02,1.530647e-02
0.000000e+00,1.927001e-11,2.309593e-09,2.481072e-09,4.781188e-08,4.028992e-07,4.359628e-07,2.565748e-06,1.014477e-05,1.098537e-05,3.655191e-05,9.224251e-05,9.927568e-05,2.293530e-04,4.364042e-04,4.661642e-04,8.558637e-04,1.364816e-03,1.448288e-03,2.293738e-03,3.259758e-03,3.440008e-03,4.929871e-03,6.473308e-03,6.799121e-03,9.075202e-03,1.125829e-02,1.177639e-02,1.491149e-02,1.773190e-02,1.847991e-02,2.247216e-02,2.586920e-02,2.687051e-02,3.164996e-02,3.551819e-02,3.677924e-02,4.222192e-02,4.642757e-02,4.793750e-02,5.388254e-02,5.827965e-02,6.001171e-02,6.627872e-02,7.072279e-02,7.263720e-02,7.904153e-02,8.340001e-02,8.544746e-02,9.181270e-02,9.597199e-02,9.809738e-02,1.042644e-01,1.081337e-01,1.102797e-01,1.161125e-01,1.196249e-01,1.217353e-01,1.271240e-01,1.302361e-01,1.322579e-01,1.371196e-01,1.398089e-01,1.416949e-01,1.459727e-01,1.482351e-01,1.499446e-01,1.536053e-01,1.554514e-01,1.569515e-01,1.599827e-01,1.614347e-01,1.627000e-01,1.651069e-01,1.661953e-01,1.672081e-01,1.690101e-01,1.697710e-01,1.705205e-01,1.717481e-01,1.722204e-01,1.727024e-01,1.733940e-01,1.736178e-01,1.738337e-01,1.740332e-01,1.740481e-01,1.740041e-01,1.737585e-01,1.736024e-01,1.733086e-01,1.726665e-01,1.723746e-01,1.718442e-01,1.708538e-01,1.704584e-01,1.697071e-01,1.684156e-01,1.679455e-01,1.669905e-01,1.654429e-01,1.649235e-01,1.637833e-01,1.620219e-01,1.614751e-01,1.601685e-01,1.582327e-01,1.576771e-01,1.562233e-01,1.541490e-01,1.536001e-01,1.520179e-01,1.498378e-01,1.493082e-01,1.476161e-01,1.453595e-01,1.448590e-01,1.430747e-01,1.407677e-01,1.403042e-01,1.384444e-01,1.361101e-01,1.356891e-01,1.337697e-01,1.314281e-01,1.310536e-01,1.290896e-01,1.267581e-01,1.264325e-01,1.244374e-01,1.221310e-01,1.218554e-01,1.198421e-01,1.175735e-01,1.173479e-01,1.153279e-01,1.131078e-01,1.129313e-01,1.109153e-01,1.087524e-01,1.086237e-01,1.066211e-01,1.045228e-01,1.044396e-01,1.024591e-01,1.004313e-01,1.003911e-01,9.844036e-02,9.648743e-02,9.273589e-02,8.914175e-02,8.570866e-02,8.243881e-02,7.933318e-02,7.639168e-02,7.361329e-02,7.099625e-02,6.853815e-02,6.623601e-02,6.408642e-02,6.208558e-02,6.022934e-02,5.851334e-02,5.693297e-02,5.548346e-02,5.415992e-02,5.295733e-02,5.187060e-02,5.089460e-02,5.002412e-02,4.925398e-02,4.857897e-02,4.799389e-02,4.749358e-02,4.707290e-02,4.672679e-02,4.645022e-02,4.623826e-02,4.608606e-02,4.598887e-02,4.594204e-02,4.594105e-02,4.598150e-02,4.605914e-02,4.616987e-02,4.630973e-02,4.647494e-02,4.666189e-02,4.686714e-02,4.708745e-02,4.731974e-02,4.756114e-02,4.780896e-02,4.806070e-02,4.831407e-02,4.856694e-02,4.881740e-02,4.906371e-02
0.000000e+00,9.362354e-11,1.307255e-08,1.410348e-08,3.418037e-07,3.443054e-06,3.747050e-06,2.431279e-05,9.836126e-05,1.064871e-04,3.464323e-04,8.423093e-04,9.033699e-04,1.998139e-03,3.667110e-03,3.902536e-03,6.923563e-03,1.076335e-02,1.138573e-02,1.761363e-02,2.461803e-02,2.591609e-02,3.657281e-02,4.752073e-02,4.982376e-02,6.586144e-02,8.119178e-02,8.482594e-02,1.068024e-01,1.265742e-01,1.318208e-01,1.598574e-01,1.837752e-01,1.908380e-01,2.246416e-01,2.521219e-01,2.611060e-01,3.000327e-01,3.302903e-01,3.411931e-01,3.843345e-01,4.164710e-01,4.291853e-01,4.754612e-01,5.085460e-01,5.228701e-01,5.711168e-01,6.042533e-01,6.199081e-01,6.689556e-01,7.013312e-01,7.179800e-01,7.667135e-01,7.976324e-01,8.149023e-01,8.623087e-01,8.912102e-01,9.087121e-01,9.539108e-01,9.803747e-01,9.977217e-01,1.039982e+00,1.063724e+00,1.080547e+00,1.119293e+00,1.140157e+00,1.156115e+00,1.190926e+00,1.208863e+00,1.223657e+00,1.254254e+00,1.269310e+00,1.282683e+00,1.308920e+00,1.321214e+00,1.332958e+00,1.354801e+00,1.364511e+00,1.374466e+00,1.391978e+00,1.399321e+00,1.407374e+00,1.420698e+00,1.425917e+00,1.432000e+00,1.441340e+00,1.444692e+00,1.448778e+00,1.454384e+00,1.456129e+00,1.458228e+00,1.460384e+00,1.460776e+00,1.460927e+00,1.459937e+00,1.459220e+00,1.457492e+00,1.453670e+00,1.452071e+00,1.448551e+00,1.442214e+00,1.439941e+00,1.434735e+00,1.426193e+00,1.423433e+00,1.416661e+00,1.406213e+00,1.403133e+00,1.394921e+00,1.382855e+00,1.379599e+00,1.370081e+00,1.356665e+00,1.353356e+00,1.342668e+00,1.328150e+00,1.324892e+00,1.313170e+00,1.297781e+00,1.294659e+00,1.282036e+00,1.265984e+00,1.263066e+00,1.249673e+00,1.233147e+00,1.230486e+00,1.216448e+00,1.199616e+00,1.197251e+00,1.182688e+00,1.165700e+00,1.163659e+00,1.148683e+00,1.131670e+00,1.129970e+00,1.114687e+00,1.097763e+00,1.096412e+00,1.080921e+00,1.064185e+00,1.063185e+00,1.047575e+00,1.031112e+00,1.030456e+00,1.014812e+00,9.986927e-01,9.983723e-01,9.827685e-01,9.670530e-01,9.365987e-01,9.070901e-01,8.785917e-01,8.511526e-01,8.248090e-01,7.995854e-01,7.754960e-01,7.525463e-01,7.307342e-01,7.100508e-01,6.904817e-01,6.720077e-01,6.546055e-01,6.382483e-01,6.229068e-01,6.085491e-01,5.951416e-01,5.826495e-01,5.710365e-01,5.602660e-01,5.503008e-01,5.411034e-01,5.326366e-01,5.248631e-01,5.177460e-01,5.112490e-01,5.053364e-01,4.999731e-01,4.951251e-01,4.907591e-01,4.868430e-01,4.833457e-01,4.802370e-01,4.774881e-01,4.750712e-01,4.729598e-01,4.711285e-01,4.695532e-01,4.682110e-01,4.670802e-01,4.661403e-01,4.653719e-01,4.647571e-01,4.642786e-01,4.639208e-01,4.636687e-01,4.635088e-01,4.634282e-01,4.634153e-01
0.000000e+00,9.062056e-10,7.126729e-08,7.612839e-08,1.185392e-06,8.043410e-06,8.607907e-06,3.599292e-05,9.267850e-05,9.738652e-05,1.916128e-04,2.957614e-04,3.052229e-04,4.251328e-04,5.319495e-04,5.436113e-04,6.572057e-04,7.521301e-04,7.646920e-04,8.657870e-04,9.476597e-04,9.605517e-04,1.049164e-03,1.119000e-03,1.131839e-03,1.208808e-03,1.267828e-03,1.280304e-03,1.346558e-03,1.395940e-03,1.407798e-03,1.464252e-03,1.505106e-03,1.516141e-03,1.563683e-03,1.597037e-03,1.607088e-03,1.646561e-03,1.673356e-03,1.682300e-03,1.714495e-03,1.735584e-03,1.743329e-03,1.768978e-03,1.785128e-03,1.791611e-03,1.811389e-03,1.823288e-03,1.828468e-03,1.842996e-03,1.851256e-03,1.855114e-03,1.864959e-03,1.870126e-03,1.872659e-03,1.878340e-03,1.880900e-03,1.882119e-03,1.884110e-03,1.884491e-03,1.884420e-03,1.883153e-03,1.881734e-03,1.880406e-03,1.876273e-03,1.873386e-03,1.870843e-03,1.864202e-03,1.860140e-03,1.856430e-03,1.847604e-03,1.842623e-03,1.837798e-03,1.827082e-03,1.821404e-03,1.815523e-03,1.803182e-03,1.796999e-03,1.790121e-03,1.776397e-03,1.769876e-03,1.762063e-03,1.747172e-03,1.740456e-03,1.731772e-03,1.715909e-03,1.709120e-03,1.699628e-03,1.682970e-03,1.676210e-03,1.665975e-03,1.648680e-03,1.642036e-03,1.631120e-03,1.613329e-03,1.606874e-03,1.595338e-03,1.577179e-03,1.570971e-03,1.558877e-03,1.540462e-03,1.534548e-03,1.521956e-03,1.503385e-03,1.497805e-03,1.484771e-03,1.466134e-03,1.460914e-03,1.447493e-03,1.428869e-03,1.424031e-03,1.410277e-03,1.391735e-03,1.387294e-03,1.373258e-03,1.354858e-03,1.350823e-03,1.336551e-03,1.318349e-03,1.314722e-03,1.300262e-03,1.282303e-03,1.279084e-03,1.264480e-03,1.246802e-03,1.243988e-03,1.229280e-03,1.211919e-03,1.209502e-03,1.194729e-03,1.177714e-03,1.175685e-03,1.160882e-03,1.144237e-03,1.142584e-03,1.127786e-03,1.111532e-03,1.110240e-03,1.095479e-03,1.079632e-03,1.078687e-03,1.063992e-03,1.048564e-03,1.047952e-03,1.033350e-03,1.018351e-03,1.018054e-03,1.003571e-03,9.890088e-04,9.608272e-04,9.335152e-04,9.070753e-04,8.815065e-04,8.568049e-04,8.329643e-04,8.099758e-04,7.878288e-04,7.665111e-04,7.460087e-04,7.263067e-04,7.073891e-04,6.892387e-04,6.718381e-04,6.551691e-04,6.392128e-04,6.239505e-04,6.093629e-04,5.954307e-04,5.821346e-04,5.694553e-04,5.573735e-04,5.458701e-04,5.349262e-04,5.245231e-04,5.146424e-04,5.052658e-04,4.963756e-04,4.879543e-04,4.799848e-04,4.724503e-04,4.653345e-04,4.586214e-04,4.522955e-04,4.463415e-04,4.407448e-04,4.354909e-04,4.305660e-04,4.259565e-04,4.216493e-04,4.176316e-04,4.138911e-04,4.104159e-04,4.071944e-04,4.042153e-04,4.014679e-04,3.989417e-04,3.966266e-04,3.945128e-04
0.000000e+00,6.401846e-11,8.616629e-09,9.284894e-09,2.089196e-07,1.953872e-06,2.120408e-06,1.297145e-05,5.073920e-05,5.484836e-05,1.755348e-04,4.246635e-04,4.553850e-04,1.008101e-03,1.856480e-03,1.976608e-03,3.525907e-03,5.511303e-03,5.834484e-03,9.085428e-03,1.277190e-02,1.345802e-02,1.912030e-02,2.498407e-02,2.622284e-02,3.489391e-02,4.324737e-02,4.523598e-02,5.732344e-02,6.828155e-02,7.120164e-02,8.688673e-02,1.003686e-01,1.043666e-01,1.236022e-01,1.393572e-01,1.445299e-01,1.670636e-01,1.847110e-01,1.910977e-01,2.165099e-01,2.355840e-01,2.431640e-01,2.709132e-01,2.909065e-01,2.996026e-01,3.290717e-01,3.494730e-01,3.591575e-01,3.896964e-01,4.100213e-01,4.205261e-01,4.514880e-01,4.713016e-01,4.824281e-01,5.131990e-01,5.321302e-01,5.436607e-01,5.736815e-01,5.914311e-01,6.031390e-01,6.319199e-01,6.482617e-01,6.599211e-01,6.870494e-01,7.018288e-01,7.132221e-01,7.383662e-01,7.514937e-01,7.624188e-01,7.853264e-01,7.967710e-01,8.070452e-01,8.275399e-01,8.373195e-01,8.467837e-01,8.647579e-01,8.729309e-01,8.814511e-01,8.968589e-01,9.035151e-01,9.109832e-01,9.238318e-01,9.290843e-01,9.354178e-01,9.457592e-01,9.497366e-01,9.548781e-01,9.628005e-01,9.656409e-01,9.695557e-01,9.751760e-01,9.770213e-01,9.796960e-01,9.831525e-01,9.841438e-01,9.855839e-01,9.870301e-01,9.873045e-01,9.875318e-01,9.871307e-01,9.868185e-01,9.858688e-01,9.837884e-01,9.830110e-01,9.809319e-01,9.773412e-01,9.762100e-01,9.730583e-01,9.681243e-01,9.667399e-01,9.625799e-01,9.564647e-01,9.549165e-01,9.498178e-01,9.426770e-01,9.410434e-01,9.350793e-01,9.270605e-01,9.254093e-01,9.186553e-01,9.098971e-01,9.082856e-01,9.008182e-01,8.914495e-01,8.899257e-01,8.818210e-01,8.719611e-01,8.705638e-01,8.618970e-01,8.516548e-01,8.504149e-01,8.412593e-01,8.307342e-01,8.296754e-01,8.201018e-01,8.093834e-01,8.085228e-01,7.985991e-01,7.877678e-01,7.871168e-01,7.769076e-01,7.660352e-01,7.656003e-01,7.551666e-01,7.443166e-01,7.440998e-01,7.334991e-01,7.227274e-01,7.015809e-01,6.807458e-01,6.602953e-01,6.402922e-01,6.207894e-01,6.018309e-01,5.834528e-01,5.656844e-01,5.485482e-01,5.320612e-01,5.162353e-01,5.010780e-01,4.865929e-01,4.727800e-01,4.596364e-01,4.471563e-01,4.353317e-01,4.241528e-01,4.136077e-01,4.036832e-01,3.943647e-01,3.856365e-01,3.774820e-01,3.698838e-01,3.628239e-01,3.562837e-01,3.502441e-01,3.446859e-01,3.395893e-01,3.349348e-01,3.307025e-01,3.268724e-01,3.234249e-01,3.203403e-01,3.175989e-01,3.151816e-01,3.130691e-01,3.112429e-01,3.096843e-01,3.083755e-01,3.072988e-01,3.064370e-01,3.057734e-01,3.052919e-01,3.049768e-01,3.048130e-01,3.047861e-01,3.048821e-01,3.050877e-01
0.000000e+00,6.367201e-11,7.578884e-09,8.140199e-09,1.557100e-07,1.310267e-06,1.417912e-06,8.381528e-06,3.327744e-05,3.604004e-05,1.198498e-04,3.009732e-04,3.237362e-04,7.417084e-04,1.399380e-03,1.493375e-03,2.715774e-03,4.295925e-03,4.553797e-03,7.150800e-03,1.009350e-02,1.064035e-02,1.513960e-02,1.977012e-02,2.074445e-02,2.752640e-02,3.399877e-02,3.553106e-02,4.477791e-02,5.306674e-02,5.526125e-02,6.695183e-02,7.687681e-02,7.979926e-02,9.373468e-02,1.050018e-01,1.086737e-01,1.245193e-01,1.367664e-01,1.411651e-01,1.584976e-01,1.713365e-01,1.763996e-01,1.947516e-01,2.078022e-01,2.134350e-01,2.323328e-01,2.452479e-01,2.513320e-01,2.703246e-01,2.828062e-01,2.892084e-01,3.078882e-01,3.196951e-01,3.262758e-01,3.442910e-01,3.552412e-01,3.618612e-01,3.789220e-01,3.888900e-01,3.954167e-01,4.112961e-01,4.202077e-01,4.265188e-01,4.410502e-01,4.488752e-01,4.548625e-01,4.679341e-01,4.746790e-01,4.802493e-01,4.917978e-01,4.974982e-01,5.025744e-01,5.125781e-01,5.172909e-01,5.218120e-01,5.302831e-01,5.340811e-01,5.380014e-01,5.449795e-01,5.479451e-01,5.512329e-01,5.567788e-01,5.589998e-01,5.616364e-01,5.658265e-01,5.673924e-01,5.693708e-01,5.722921e-01,5.732915e-01,5.746141e-01,5.763608e-01,5.768788e-01,5.775567e-01,5.782265e-01,5.783436e-01,5.783948e-01,5.780864e-01,5.778773e-01,5.773257e-01,5.761367e-01,5.756697e-01,5.745433e-01,5.725688e-01,5.719056e-01,5.702360e-01,5.675673e-01,5.667628e-01,5.645843e-01,5.613083e-01,5.604110e-01,5.577596e-01,5.539581e-01,5.530103e-01,5.499230e-01,5.456725e-01,5.447103e-01,5.412245e-01,5.365961e-01,5.356502e-01,5.318036e-01,5.268626e-01,5.259587e-01,5.217883e-01,5.165950e-01,5.157539e-01,5.112963e-01,5.059054e-01,5.051441e-01,5.004348e-01,4.948962e-01,4.942276e-01,4.893010e-01,4.836599e-01,4.830936e-01,4.779829e-01,4.722796e-01,4.718225e-01,4.665593e-01,4.608303e-01,4.604865e-01,4.551009e-01,4.493786e-01,4.491500e-01,4.436707e-01,4.379838e-01,4.378704e-01,4.323244e-01,4.266983e-01,4.156783e-01,4.048492e-01,3.942448e-01,3.838939e-01,3.738211e-01,3.640470e-01,3.545885e-01,3.454591e-01,3.366695e-01,3.282276e-01,3.201387e-01,3.124061e-01,3.050309e-01,2.980127e-01,2.913490e-01,2.850365e-01,2.790700e-01,2.734436e-01,2.681504e-01,2.631823e-01,2.585309e-01,2.541868e-01,2.501402e-01,2.463810e-01,2.428985e-01,2.396818e-01,2.367198e-01,2.340014e-01,2.315150e-01,2.292495e-01,2.271933e-01,2.253353e-01,2.236644e-01,2.221693e-01,2.208395e-01,2.196642e-01,2.186330e-01,2.177360e-01,2.169632e-01,2.163053e-01,2.157530e-01,2.152976e-01,2.149306e-01,2.146439e-01,2.144298e-01,2.142810e-01,2.141905e-01,2.141517e-01,2.141585e-01
0.000000e+00,1.775292e-09,1.026566e-07,1.088333e-07,1.152711e-06,5.784656e-06,6.127554e-06,2.118871e-05,5.090796e-05,5.341356e-05,1.058626e-04,1.688603e-04,1.748002e-04,2.521317e-04,3.225372e-04,3.302235e-04,4.044288e-04,4.648899e-04,4.727530e-04,5.346786e-04,5.828952e-04,5.903178e-04,6.400079e-04,6.774417e-04,6.841479e-04,7.231424e-04,7.515528e-04,7.573819e-04,7.872373e-04,8.081998e-04,8.130569e-04,8.351673e-04,8.500352e-04,8.538731e-04,8.694578e-04,8.793777e-04,8.821851e-04,8.922996e-04,8.982364e-04,9.000283e-04,9.055813e-04,9.083421e-04,9.091532e-04,9.109241e-04,9.111816e-04,9.110602e-04,9.097156e-04,9.080284e-04,9.070322e-04,9.031413e-04,8.999710e-04,8.981639e-04,8.922116e-04,8.879384e-04,8.853873e-04,8.777859e-04,8.727214e-04,8.694947e-04,8.605940e-04,8.549919e-04,8.511576e-04,8.412534e-04,8.353196e-04,8.309440e-04,8.202867e-04,8.141863e-04,8.093338e-04,7.981337e-04,7.919984e-04,7.867301e-04,7.751635e-04,7.690967e-04,7.634706e-04,7.516850e-04,7.457671e-04,7.398374e-04,7.279554e-04,7.222475e-04,7.160645e-04,7.041875e-04,6.987345e-04,6.923451e-04,6.805562e-04,6.753904e-04,6.688377e-04,6.572046e-04,6.523476e-04,6.456708e-04,6.342482e-04,6.297129e-04,6.229479e-04,6.117793e-04,6.075716e-04,6.007510e-04,5.898703e-04,5.859907e-04,5.791438e-04,5.685770e-04,5.650216e-04,5.581749e-04,5.479414e-04,5.447029e-04,5.378799e-04,5.279933e-04,5.250617e-04,5.182836e-04,5.087526e-04,5.061161e-04,4.994015e-04,4.902312e-04,4.878765e-04,4.812419e-04,4.724338e-04,4.703467e-04,4.638065e-04,4.553594e-04,4.535252e-04,4.470919e-04,4.390027e-04,4.374061e-04,4.310906e-04,4.233541e-04,4.219800e-04,4.157915e-04,4.084012e-04,4.072346e-04,4.011810e-04,3.941291e-04,3.931551e-04,3.872432e-04,3.805210e-04,3.797253e-04,3.739603e-04,3.675587e-04,3.669272e-04,3.613137e-04,3.552228e-04,3.547421e-04,3.492834e-04,3.434931e-04,3.431504e-04,3.378493e-04,3.323492e-04,3.321321e-04,3.269903e-04,3.217701e-04,3.216671e-04,3.166857e-04,3.117348e-04,3.023150e-04,2.933878e-04,2.849332e-04,2.769319e-04,2.693647e-04,2.622131e-04,2.554590e-04,2.490849e-04,2.430737e-04,2.374091e-04,2.320752e-04,2.270566e-04,2.223387e-04,2.179071e-04,2.137484e-04,2.098494e-04,2.061975e-04,2.027807e-04,1.995875e-04,1.966067e-04,1.938278e-04,1.912406e-04,1.888355e-04,1.866031e-04,1.845346e-04,1.826215e-04,1.808558e-04,1.792296e-04,1.777356e-04,1.763667e-04,1.751163e-04,1.739778e-04,1.729451e-04,1.720124e-04,1.711741e-04,1.704249e-04,1.697597e-04,1.691736e-04,1.686621e-04,1.682208e-04,1.678454e-04,1.675320e-04,1.672767e-04,1.670760e-04,1.669265e-04,1.668247e-04,1.667677e-04,1.667524e-04,1.667761e-04
0.000000e+00,6.680904e-11,7.694993e-09,8.258634e-09,1.515673e-07,1.222569e-06,1.320703e-06,7.485267e-06,2.866725e-05,3.097986e-05,9.958540e-05,2.431529e-04,2.609328e-04,5.812412e-04,1.070538e-03,1.139451e-03,2.019334e-03,3.124065e-03,3.301669e-03,5.057677e-03,6.990525e-03,7.344262e-03,1.020109e-02,1.305756e-02,1.364937e-02,1.769201e-02,2.144105e-02,2.231485e-02,2.748854e-02,3.199617e-02,3.317097e-02,3.930982e-02,4.437663e-02,4.584517e-02,5.271197e-02,5.811069e-02,5.984234e-02,6.716762e-02,7.267386e-02,7.462000e-02,8.213405e-02,8.754738e-02,8.964777e-02,9.710347e-02,1.022595e-01,1.044484e-01,1.116350e-01,1.164099e-01,1.186215e-01,1.253712e-01,1.296811e-01,1.318532e-01,1.380418e-01,1.418386e-01,1.439161e-01,1.494600e-01,1.527260e-01,1.546617e-01,1.595133e-01,1.622543e-01,1.640104e-01,1.681517e-01,1.703912e-01,1.719388e-01,1.753755e-01,1.771492e-01,1.784679e-01,1.812236e-01,1.825749e-01,1.836519e-01,1.857630e-01,1.867391e-01,1.875682e-01,1.890796e-01,1.897289e-01,1.903096e-01,1.912713e-01,1.916414e-01,1.919777e-01,1.924420e-01,1.925780e-01,1.926776e-01,1.926974e-01,1.926411e-01,1.925144e-01,1.921412e-01,1.919308e-01,1.915903e-01,1.908736e-01,1.905431e-01,1.900028e-01,1.889892e-01,1.885688e-01,1.878436e-01,1.865764e-01,1.860924e-01,1.851976e-01,1.837168e-01,1.831917e-01,1.821430e-01,1.804849e-01,1.799379e-01,1.787509e-01,1.769487e-01,1.763959e-01,1.750858e-01,1.731693e-01,1.726239e-01,1.712057e-01,1.692014e-01,1.686744e-01,1.671623e-01,1.650941e-01,1.645939e-01,1.630019e-01,1.608907e-01,1.604241e-01,1.587651e-01,1.566296e-01,1.562016e-01,1.544881e-01,1.523445e-01,1.519587e-01,1.502023e-01,1.480649e-01,1.477236e-01,1.459354e-01,1.438165e-01,1.435209e-01,1.417110e-01,1.396214e-01,1.393718e-01,1.375498e-01,1.354985e-01,1.352946e-01,1.334694e-01,1.314642e-01,1.313049e-01,1.294846e-01,1.275320e-01,1.274158e-01,1.256079e-01,1.237134e-01,1.236382e-01,1.218496e-01,1.200176e-01,1.199813e-01,1.182182e-01,1.164522e-01,1.130566e-01,1.097989e-01,1.066821e-01,1.037083e-01,1.008784e-01,9.819251e-02,9.565009e-02,9.324982e-02,9.098981e-02,8.886765e-02,8.688047e-02,8.502501e-02,8.329765e-02,8.169453e-02,8.021151e-02,7.884425e-02,7.758825e-02,7.643888e-02,7.539141e-02,7.444102e-02,7.358287e-02,7.281209e-02,7.212383e-02,7.151323e-02,7.097553e-02,7.050598e-02,7.009994e-02,6.975287e-02,6.946034e-02,6.921801e-02,6.902172e-02,6.886742e-02,6.875124e-02,6.866944e-02,6.861848e-02,6.859496e-02,6.859566e-02,6.861756e-02,6.865779e-02,6.871368e-02,6.878271e-02,6.886256e-02,6.895108e-02,6.904629e-02,6.914636e-02,6.924965e-02,6.935465e-02,6.946001e-02,6.956452e-02
0.000000e+00,6.309820e-12,8.880797e-10,9.581113e-10,2.271241e-08,2.168253e-07,2.353621e-07,1.431202e-06,5.484891e-06,5.919420e-06,1.836635e-05,4.300607e-05,4.598126e-05,9.800486e-05,1.742585e-04,1.848062e-04,3.168801e-04,4.782965e-04,5.039342e-04,7.541604e-04,1.024646e-03,1.073730e-03,1.466504e-03,1.854142e-03,1.933940e-03,2.475155e-03,2.971934e-03,3.087107e-03,3.764865e-03,4.350121e-03,4.501919e-03,5.290530e-03,5.935907e-03,6.122066e-03,6.987334e-03,7.661682e-03,7.876879e-03,8.781256e-03,9.454615e-03,9.691257e-03,1.059810e-02,1.124444e-02,1.149358e-02,1.237019e-02,1.296894e-02,1.322118e-02,1.404063e-02,1.457721e-02,1.482345e-02,1.556538e-02,1.603095e-02,1.626299e-02,1.691362e-02,1.730445e-02,1.751535e-02,1.806694e-02,1.838345e-02,1.856778e-02,1.901778e-02,1.926354e-02,1.941738e-02,1.976743e-02,1.994821e-02,2.006913e-02,2.032403e-02,2.044698e-02,2.053389e-02,2.070070e-02,2.077362e-02,2.082657e-02,2.091371e-02,2.094448e-02,2.096443e-02,2.098105e-02,2.097731e-02,2.096593e-02,2.092138e-02,2.089022e-02,2.084969e-02,2.075310e-02,2.070090e-02,2.063374e-02,2.049371e-02,2.042606e-02,2.033497e-02,2.015941e-02,2.008109e-02,1.996881e-02,1.976485e-02,1.967989e-02,1.954913e-02,1.932312e-02,1.923484e-02,1.908822e-02,1.884570e-02,1.875676e-02,1.859675e-02,1.834246e-02,1.825497e-02,1.808384e-02,1.782182e-02,1.773739e-02,1.755723e-02,1.729085e-02,1.721069e-02,1.702338e-02,1.675544e-02,1.668042e-02,1.648762e-02,1.622044e-02,1.615114e-02,1.595436e-02,1.568980e-02,1.562658e-02,1.542714e-02,1.516669e-02,1.510973e-02,1.490877e-02,1.465364e-02,1.460296e-02,1.440151e-02,1.415259e-02,1.410815e-02,1.390707e-02,1.366508e-02,1.362670e-02,1.342677e-02,1.319224e-02,1.315971e-02,1.296158e-02,1.273488e-02,1.270794e-02,1.251219e-02,1.229356e-02,1.227193e-02,1.207904e-02,1.186866e-02,1.185200e-02,1.166242e-02,1.146034e-02,1.144835e-02,1.126242e-02,1.106866e-02,1.106100e-02,1.087905e-02,1.069357e-02,1.068990e-02,1.051219e-02,1.033490e-02,9.995787e-03,9.672288e-03,9.364092e-03,9.070853e-03,8.792201e-03,8.527743e-03,8.277075e-03,8.039782e-03,7.815442e-03,7.603628e-03,7.403914e-03,7.215874e-03,7.039085e-03,6.873127e-03,6.717586e-03,6.572054e-03,6.436128e-03,6.309414e-03,6.191525e-03,6.082081e-03,5.980712e-03,5.887055e-03,5.800757e-03,5.721472e-03,5.648865e-03,5.582609e-03,5.522385e-03,5.467882e-03,5.418802e-03,5.374850e-03,5.335743e-03,5.301205e-03,5.270970e-03,5.244780e-03,5.222384e-03,5.203541e-03,5.188016e-03,5.175584e-03,5.166028e-03,5.159137e-03,5.154710e-03,5.152552e-03,5.152478e-03,5.154309e-03,5.157873e-03,5.163007e-03,5.169555e-03,5.177368e-03,5.186304e-03
0.000000e+00,3.146437e-11,4.412804e-09,4.760377e-09,1.118890e-07,1.048670e-06,1.137193e-06,6.711622e-06,2.487298e-05,2.678502e-05,8.024878e-05,1.826760e-04,1.948762e-04,4.050315e-04,7.069411e-04,7.483492e-04,1.262310e-03,1.883139e-03,1.981251e-03,2.934061e-03,3.957427e-03,4.142635e-03,5.621027e-03,7.076011e-03,7.375235e-03,9.403456e-03,1.126498e-02,1.169672e-02,1.423977e-02,1.644041e-02,1.701208e-02,1.998892e-02,2.243505e-02,2.314251e-02,2.644294e-02,2.903044e-02,2.985924e-02,3.336014e-02,3.598710e-02,3.691480e-02,4.049347e-02,4.306905e-02,4.406790e-02,4.761178e-02,5.006128e-02,5.110095e-02,5.451360e-02,5.678053e-02,5.783040e-02,6.103448e-02,6.308033e-02,6.411144e-02,6.704926e-02,6.885184e-02,6.983816e-02,7.247054e-02,7.402146e-02,7.494076e-02,7.724502e-02,7.854695e-02,7.938117e-02,8.134853e-02,8.241247e-02,8.314775e-02,8.478061e-02,8.562335e-02,8.624990e-02,8.755923e-02,8.820126e-02,8.871293e-02,8.971592e-02,9.017969e-02,9.057358e-02,9.129162e-02,9.160015e-02,9.187603e-02,9.233302e-02,9.250895e-02,9.266886e-02,9.288991e-02,9.295479e-02,9.300251e-02,9.301295e-02,9.298678e-02,9.292743e-02,9.275204e-02,9.265300e-02,9.249270e-02,9.215517e-02,9.199952e-02,9.174502e-02,9.126764e-02,9.106968e-02,9.072817e-02,9.013159e-02,8.990375e-02,8.948261e-02,8.878575e-02,8.853868e-02,8.804532e-02,8.726538e-02,8.700810e-02,8.644982e-02,8.560230e-02,8.534233e-02,8.472626e-02,8.382499e-02,8.356853e-02,8.290155e-02,8.195884e-02,8.171092e-02,8.099958e-02,8.002631e-02,7.979091e-02,7.904143e-02,7.804718e-02,7.782739e-02,7.704563e-02,7.603876e-02,7.583690e-02,7.502836e-02,7.401615e-02,7.383389e-02,7.300370e-02,7.199246e-02,7.183087e-02,7.098381e-02,6.997899e-02,6.983869e-02,6.897917e-02,6.798542e-02,6.786663e-02,6.699874e-02,6.602003e-02,6.592263e-02,6.505013e-02,6.408980e-02,6.401341e-02,6.313975e-02,6.220061e-02,6.214462e-02,6.127296e-02,6.035733e-02,6.032096e-02,5.945419e-02,5.856397e-02,5.854630e-02,5.768706e-02,5.682378e-02,5.515585e-02,5.354445e-02,5.199098e-02,5.049641e-02,4.906134e-02,4.768604e-02,4.637048e-02,4.511438e-02,4.391723e-02,4.277836e-02,4.169691e-02,4.067189e-02,3.970218e-02,3.878655e-02,3.792370e-02,3.711224e-02,3.635071e-02,3.563762e-02,3.497140e-02,3.435047e-02,3.377322e-02,3.323801e-02,3.274317e-02,3.228705e-02,3.186798e-02,3.148429e-02,3.113431e-02,3.081639e-02,3.052889e-02,3.027017e-02,3.003864e-02,2.983271e-02,2.965084e-02,2.949150e-02,2.935320e-02,2.923449e-02,2.913397e-02,2.905025e-02,2.898201e-02,2.892796e-02,2.888688e-02,2.885758e-02,2.883891e-02,2.882979e-02,2.882918e-02,2.883611e-02,2.884964e-02,2.886889e-02,2.889303e-02
0.000000e+00,2.935144e-11,3.812290e-09,4.107763e-09,9.301451e-08,8.598194e-07,9.319523e-07,5.408560e-06,1.943690e-05,2.087822e-05,5.944895e-05,1.276662e-04,1.354525e-04,2.620387e-04,4.270998e-04,4.486274e-04,6.997349e-04,9.738785e-04,1.014977e-03,1.389816e-03,1.754114e-03,1.816663e-03,2.286024e-03,2.705563e-03,2.787531e-03,3.310767e-03,3.749091e-03,3.845872e-03,4.383925e-03,4.811237e-03,4.917171e-03,5.439101e-03,5.834916e-03,5.944440e-03,6.429071e-03,6.781617e-03,6.889923e-03,7.324834e-03,7.629130e-03,7.732423e-03,8.111947e-03,8.367688e-03,8.463190e-03,8.786348e-03,8.996115e-03,9.081939e-03,9.350725e-03,9.518661e-03,9.593642e-03,9.811747e-03,9.942656e-03,1.000618e-02,1.017812e-02,1.027691e-02,1.032877e-02,1.045932e-02,1.053069e-02,1.057095e-02,1.066482e-02,1.071308e-02,1.074203e-02,1.080366e-02,1.083266e-02,1.085072e-02,1.088420e-02,1.089736e-02,1.090502e-02,1.091407e-02,1.091435e-02,1.091218e-02,1.090013e-02,1.089010e-02,1.087867e-02,1.084850e-02,1.083036e-02,1.081029e-02,1.076465e-02,1.074027e-02,1.071216e-02,1.065339e-02,1.062438e-02,1.058884e-02,1.051900e-02,1.048672e-02,1.044433e-02,1.036526e-02,1.033084e-02,1.028219e-02,1.019550e-02,1.015989e-02,1.010554e-02,1.001264e-02,9.976635e-03,9.917119e-03,9.819264e-03,9.783519e-03,9.719351e-03,9.617634e-03,9.582682e-03,9.514353e-03,9.409733e-03,9.376006e-03,9.303982e-03,9.197297e-03,9.165137e-03,9.089860e-03,8.981842e-03,8.951515e-03,8.873402e-03,8.764687e-03,8.736393e-03,8.655836e-03,8.546976e-03,8.520861e-03,8.438226e-03,8.329699e-03,8.305863e-03,8.221495e-03,8.113709e-03,8.092211e-03,8.006431e-03,7.899740e-03,7.880604e-03,7.793711e-03,7.688414e-03,7.671638e-03,7.583911e-03,7.480261e-03,7.465821e-03,7.377517e-03,7.275726e-03,7.263578e-03,7.174934e-03,7.075180e-03,7.065263e-03,6.976501e-03,6.878928e-03,6.871171e-03,6.782491e-03,6.687217e-03,6.681538e-03,6.593127e-03,6.500243e-03,6.496553e-03,6.408582e-03,6.318159e-03,6.316363e-03,6.228988e-03,6.141078e-03,5.970775e-03,5.805500e-03,5.645278e-03,5.490111e-03,5.339981e-03,5.194859e-03,5.054695e-03,4.919434e-03,4.789007e-03,4.663338e-03,4.542342e-03,4.425932e-03,4.314014e-03,4.206490e-03,4.103262e-03,4.004227e-03,3.909282e-03,3.818322e-03,3.731242e-03,3.647937e-03,3.568304e-03,3.492237e-03,3.419634e-03,3.350392e-03,3.284411e-03,3.221591e-03,3.161834e-03,3.105044e-03,3.051126e-03,2.999987e-03,2.951536e-03,2.905684e-03,2.862343e-03,2.821427e-03,2.782853e-03,2.746538e-03,2.712403e-03,2.680368e-03,2.650357e-03,2.622296e-03,2.596111e-03,2.571730e-03,2.549084e-03,2.528105e-03,2.508726e-03,2.490882e-03,2.474510e-03,2.459548e-03,2.445935e-03
0.000000e+00,3.624041e-11,4.676703e-09,5.033725e-09,1.067091e-07,9.504232e-07,1.029687e-06,6.096430e-06,2.349074e-05,2.537963e-05,8.092183e-05,1.960811e-04,2.103161e-04,4.671082e-04,8.624321e-04,9.184556e-04,1.641144e-03,2.566452e-03,2.716925e-03,4.227848e-03,5.935005e-03,6.252020e-03,8.860025e-03,1.154638e-02,1.211213e-02,1.605628e-02,1.983145e-02,2.072686e-02,2.614412e-02,3.102014e-02,3.231422e-02,3.922970e-02,4.512868e-02,4.687042e-02,5.520467e-02,6.197712e-02,6.419059e-02,7.377759e-02,8.122523e-02,8.390793e-02,9.451822e-02,1.024170e-01,1.055409e-01,1.169058e-01,1.250263e-01,1.285410e-01,1.403745e-01,1.484983e-01,1.523352e-01,1.643536e-01,1.722845e-01,1.763625e-01,1.882980e-01,1.958703e-01,2.001000e-01,2.117121e-01,2.187934e-01,2.230826e-01,2.341641e-01,2.406565e-01,2.449142e-01,2.552948e-01,2.611330e-01,2.652728e-01,2.748195e-01,2.799681e-01,2.839108e-01,2.925267e-01,2.969760e-01,3.006515e-01,3.082732e-01,3.120347e-01,3.153833e-01,3.219769e-01,3.250793e-01,3.280520e-01,3.336096e-01,3.360943e-01,3.386529e-01,3.431879e-01,3.451054e-01,3.472223e-01,3.507657e-01,3.521721e-01,3.538293e-01,3.564258e-01,3.573803e-01,3.585689e-01,3.602732e-01,3.608356e-01,3.615545e-01,3.624288e-01,3.626577e-01,3.629128e-01,3.630235e-01,3.629754e-01,3.627783e-01,3.621945e-01,3.619220e-01,3.612895e-01,3.600806e-01,3.596324e-01,3.585851e-01,3.568198e-01,3.562401e-01,3.548015e-01,3.525465e-01,3.518748e-01,3.500707e-01,3.473898e-01,3.466610e-01,3.445188e-01,3.414724e-01,3.407168e-01,3.382648e-01,3.349097e-01,3.341531e-01,3.314203e-01,3.278091e-01,3.270733e-01,3.240883e-01,3.202696e-01,3.195727e-01,3.163639e-01,3.123819e-01,3.117384e-01,3.083337e-01,3.042287e-01,3.036500e-01,3.000761e-01,2.958845e-01,2.953793e-01,2.916620e-01,2.874163e-01,2.869907e-01,2.831546e-01,2.788837e-01,2.785419e-01,2.746102e-01,2.703399e-01,2.700839e-01,2.660785e-01,2.618313e-01,2.616617e-01,2.576032e-01,2.533987e-01,2.533149e-01,2.492222e-01,2.450776e-01,2.369795e-01,2.290457e-01,2.212977e-01,2.137534e-01,2.064274e-01,1.993317e-01,1.924757e-01,1.858666e-01,1.795094e-01,1.734077e-01,1.675634e-01,1.619770e-01,1.566478e-01,1.515744e-01,1.467540e-01,1.421834e-01,1.378586e-01,1.337750e-01,1.299277e-01,1.263111e-01,1.229195e-01,1.197467e-01,1.167863e-01,1.140318e-01,1.114764e-01,1.091133e-01,1.069353e-01,1.049356e-01,1.031068e-01,1.014418e-01,9.993340e-02,9.857443e-02,9.735768e-02,9.627599e-02,9.532225e-02,9.448941e-02,9.377050e-02,9.315863e-02,9.264704e-02,9.222906e-02,9.189814e-02,9.164790e-02,9.147209e-02,9.136464e-02,9.131964e-02,9.133137e-02,9.139429e-02,9.150309e-02,9.165263e-02
0.000000e+00,1.299952e-09,8.730151e-08,9.294253e-08,1.244169e-06,7.664301e-06,8.177778e-06,3.252909e-05,8.252907e-05,8.668543e-05,1.696854e-04,2.602860e-04,2.684361e-04,3.704751e-04,4.594576e-04,4.690677e-04,5.616449e-04,6.376015e-04,6.475578e-04,7.268575e-04,7.899670e-04,7.998101e-04,8.667344e-04,9.185292e-04,9.279541e-04,9.837854e-04,1.025760e-03,1.034533e-03,1.080490e-03,1.113997e-03,1.121940e-03,1.159152e-03,1.185404e-03,1.192387e-03,1.221891e-03,1.241966e-03,1.247903e-03,1.270646e-03,1.285498e-03,1.290334e-03,1.307171e-03,1.317636e-03,1.321348e-03,1.333044e-03,1.339849e-03,1.342433e-03,1.349676e-03,1.353454e-03,1.354926e-03,1.358331e-03,1.359635e-03,1.360029e-03,1.360147e-03,1.359449e-03,1.358806e-03,1.356120e-03,1.353826e-03,1.352196e-03,1.347131e-03,1.343585e-03,1.341021e-03,1.333954e-03,1.329449e-03,1.326012e-03,1.317274e-03,1.312059e-03,1.307810e-03,1.297690e-03,1.291975e-03,1.286977e-03,1.275730e-03,1.269690e-03,1.264006e-03,1.251856e-03,1.245637e-03,1.239330e-03,1.226473e-03,1.220196e-03,1.213326e-03,1.199930e-03,1.193694e-03,1.186322e-03,1.172535e-03,1.166421e-03,1.158602e-03,1.144553e-03,1.138624e-03,1.130415e-03,1.116213e-03,1.110520e-03,1.101972e-03,1.087713e-03,1.082294e-03,1.073456e-03,1.059220e-03,1.054104e-03,1.045024e-03,1.030881e-03,1.026088e-03,1.016808e-03,1.002818e-03,9.983601e-04,9.889218e-04,9.751321e-04,9.710174e-04,9.614587e-04,9.479109e-04,9.441412e-04,9.344972e-04,9.212251e-04,9.177985e-04,9.081016e-04,8.951328e-04,8.920439e-04,8.823241e-04,8.696803e-04,8.669213e-04,8.572058e-04,8.449043e-04,8.424650e-04,8.327789e-04,8.208325e-04,8.187013e-04,8.090672e-04,7.974851e-04,7.956491e-04,7.860876e-04,7.748758e-04,7.733211e-04,7.638507e-04,7.530126e-04,7.517246e-04,7.423619e-04,7.318985e-04,7.308625e-04,7.216222e-04,7.115325e-04,7.107333e-04,7.016286e-04,6.919098e-04,6.913325e-04,6.823749e-04,6.730228e-04,6.726525e-04,6.638521e-04,6.548614e-04,6.546834e-04,6.460489e-04,6.374130e-04,6.208278e-04,6.049127e-04,5.896516e-04,5.750274e-04,5.610226e-04,5.476189e-04,5.347980e-04,5.225413e-04,5.108299e-04,4.996454e-04,4.889690e-04,4.787826e-04,4.690679e-04,4.598072e-04,4.509830e-04,4.425782e-04,4.345762e-04,4.269607e-04,4.197159e-04,4.128264e-04,4.062774e-04,4.000544e-04,3.941435e-04,3.885312e-04,3.832044e-04,3.781506e-04,3.733577e-04,3.688139e-04,3.645082e-04,3.604297e-04,3.565680e-04,3.529131e-04,3.494555e-04,3.461860e-04,3.430957e-04,3.401763e-04,3.374195e-04,3.348177e-04,3.323634e-04,3.300495e-04,3.278691e-04,3.258157e-04,3.238832e-04,3.220654e-04,3.203568e-04,3.187519e-04,3.172454e-04,3.158324e-04,3.145081e-04
0.000000e+00,3.398399e-10,4.240511e-08,4.560283e-08,9.355612e-07,8.374481e-06,9.081876e-06,5.581378e-05,2.244839e-04,2.431749e-04,8.066933e-04,2.012280e-03,2.163193e-03,4.925440e-03,9.266070e-03,9.887028e-03,1.798737e-02,2.853598e-02,3.026585e-02,4.781186e-02,6.794665e-02,7.171569e-02,1.030233e-01,1.357507e-01,1.426973e-01,1.915843e-01,2.390467e-01,2.503906e-01,3.196645e-01,3.828811e-01,3.997854e-01,4.909596e-01,5.697764e-01,5.932209e-01,7.064365e-01,7.996334e-01,8.303160e-01,9.644233e-01,1.069919e+00,1.108192e+00,1.260940e+00,1.376044e+00,1.421887e+00,1.590173e+00,1.711846e+00,1.764872e+00,1.945011e+00,2.070101e+00,2.129586e+00,2.317577e+00,2.443024e+00,2.507959e+00,2.699720e+00,2.822711e+00,2.891866e+00,3.083434e+00,3.201509e+00,3.273501e+00,3.461188e+00,3.572313e+00,3.645671e+00,3.826180e+00,3.928773e+00,4.002006e+00,4.172502e+00,4.265432e+00,4.337085e+00,4.495235e+00,4.577799e+00,4.646497e+00,4.790480e+00,4.862362e+00,4.926852e+00,5.055344e+00,5.116566e+00,5.175742e+00,5.287888e+00,5.338754e+00,5.391675e+00,5.487045e+00,5.528083e+00,5.573984e+00,5.652522e+00,5.684433e+00,5.722727e+00,5.784700e+00,5.808305e+00,5.838577e+00,5.884519e+00,5.900717e+00,5.922717e+00,5.953378e+00,5.963101e+00,5.976734e+00,5.993028e+00,5.997215e+00,6.002522e+00,6.005484e+00,6.005053e+00,6.002196e+00,5.992942e+00,5.988769e+00,5.978015e+00,5.957708e+00,5.950611e+00,5.932315e+00,5.902132e+00,5.892863e+00,5.867452e+00,5.828563e+00,5.817799e+00,5.785753e+00,5.739302e+00,5.727642e+00,5.689484e+00,5.636569e+00,5.624538e+00,5.580818e+00,5.522483e+00,5.510528e+00,5.461810e+00,5.399036e+00,5.387531e+00,5.334389e+00,5.268087e+00,5.257339e+00,5.200340e+00,5.131350e+00,5.121603e+00,5.061307e+00,4.990394e+00,4.981835e+00,4.918784e+00,4.846641e+00,4.839404e+00,4.774121e+00,4.701370e+00,4.695544e+00,4.628525e+00,4.555718e+00,4.551354e+00,4.483070e+00,4.410693e+00,4.407805e+00,4.338696e+00,4.267176e+00,4.265751e+00,4.196225e+00,4.125929e+00,3.988975e+00,3.855426e+00,3.725732e+00,3.600263e+00,3.479314e+00,3.363117e+00,3.251845e+00,3.145617e+00,3.044508e+00,2.948550e+00,2.857742e+00,2.772049e+00,2.691411e+00,2.615744e+00,2.544944e+00,2.478891e+00,2.417450e+00,2.360476e+00,2.307811e+00,2.259294e+00,2.214756e+00,2.174023e+00,2.136919e+00,2.103266e+00,2.072887e+00,2.045603e+00,2.021238e+00,1.999617e+00,1.980567e+00,1.963920e+00,1.949510e+00,1.937177e+00,1.926764e+00,1.918119e+00,1.911095e+00,1.905552e+00,1.901355e+00,1.898374e+00,1.896485e+00,1.895571e+00,1.895521e+00,1.896230e+00,1.897597e+00,1.899530e+00,1.901943e+00,1.904753e+00,1.907886e+00,1.911271e+00,1.914846e+00
0.000000e+00,5.304106e-09,9.661290e-08,1.013175e-07,6.972324e-07,2.189613e-06,2.267724e-06,4.350657e-06,6.304782e-06,6.426128e-06,8.376066e-06,1.004570e-05,1.018529e-05,1.185634e-05,1.324690e-05,1.339498e-05,1.480746e-05,1.595104e-05,1.610003e-05,1.727886e-05,1.820631e-05,1.835001e-05,1.931942e-05,2.005944e-05,2.019302e-05,2.097653e-05,2.155573e-05,2.167557e-05,2.229549e-05,2.273794e-05,2.284146e-05,2.331840e-05,2.364552e-05,2.373100e-05,2.408370e-05,2.431429e-05,2.438072e-05,2.462601e-05,2.477646e-05,2.482335e-05,2.497625e-05,2.506071e-05,2.508805e-05,2.516188e-05,2.519254e-05,2.520067e-05,2.520718e-05,2.519451e-05,2.518401e-05,2.513358e-05,2.508648e-05,2.505817e-05,2.495991e-05,2.488596e-05,2.484080e-05,2.470269e-05,2.460830e-05,2.454735e-05,2.437639e-05,2.426696e-05,2.419134e-05,2.399362e-05,2.387366e-05,2.378455e-05,2.356538e-05,2.343866e-05,2.333725e-05,2.310123e-05,2.297085e-05,2.285832e-05,2.260944e-05,2.247795e-05,2.235545e-05,2.209716e-05,2.196662e-05,2.183529e-05,2.157053e-05,2.144261e-05,2.130353e-05,2.103485e-05,2.091085e-05,2.076504e-05,2.049460e-05,2.037553e-05,2.022399e-05,1.995363e-05,1.984025e-05,1.968390e-05,1.941516e-05,1.930802e-05,1.914774e-05,1.888192e-05,1.878139e-05,1.861798e-05,1.835616e-05,1.826246e-05,1.809668e-05,1.783974e-05,1.775299e-05,1.758552e-05,1.733419e-05,1.725439e-05,1.708588e-05,1.684072e-05,1.676781e-05,1.659883e-05,1.636030e-05,1.629412e-05,1.612521e-05,1.589365e-05,1.583403e-05,1.566567e-05,1.544131e-05,1.538802e-05,1.522064e-05,1.500367e-05,1.495643e-05,1.479043e-05,1.458093e-05,1.453948e-05,1.437520e-05,1.417322e-05,1.413726e-05,1.397500e-05,1.378053e-05,1.374976e-05,1.358980e-05,1.340279e-05,1.337690e-05,1.321947e-05,1.303983e-05,1.301851e-05,1.286382e-05,1.269143e-05,1.267439e-05,1.252262e-05,1.235734e-05,1.234427e-05,1.219556e-05,1.203723e-05,1.202784e-05,1.188232e-05,1.173078e-05,1.172479e-05,1.158256e-05,1.143761e-05,1.143474e-05,1.129588e-05,1.115733e-05,1.089218e-05,1.063888e-05,1.039702e-05,1.016622e-05,9.946051e-06,9.736125e-06,9.536041e-06,9.345407e-06,9.163839e-06,8.990961e-06,8.826407e-06,8.669819e-06,8.520851e-06,8.379167e-06,8.244442e-06,8.116362e-06,7.994626e-06,7.878940e-06,7.769025e-06,7.664612e-06,7.565440e-06,7.471262e-06,7.381839e-06,7.296944e-06,7.216358e-06,7.139873e-06,7.067290e-06,6.998417e-06,6.933072e-06,6.871083e-06,6.812283e-06,6.756515e-06,6.703627e-06,6.653476e-06,6.605926e-06,6.560845e-06,6.518111e-06,6.477606e-06,6.439216e-06,6.402835e-06,6.368361e-06,6.335698e-06,6.304753e-06,6.275440e-06,6.247675e-06,6.221379e-06,6.196478e-06,6.172899e-06,6.150575e-06
0.000000e+00,1.391331e-08,2.278903e-07,2.381681e-07,1.577379e-06,6.143951e-06,6.448980e-06,1.791025e-05,3.479161e-05,3.600183e-05,5.711704e-05,7.681335e-05,7.850526e-05,9.920766e-05,1.170341e-04,1.189650e-04,1.377188e-04,1.533907e-04,1.554681e-04,1.722303e-04,1.858741e-04,1.880289e-04,2.028907e-04,2.146716e-04,2.168444e-04,2.299197e-04,2.400078e-04,2.421477e-04,2.535598e-04,2.621235e-04,2.641879e-04,2.740638e-04,2.812650e-04,2.832189e-04,2.916842e-04,2.976753e-04,2.994902e-04,3.066665e-04,3.115885e-04,3.132418e-04,3.192441e-04,3.232261e-04,3.247003e-04,3.296366e-04,3.327962e-04,3.340781e-04,3.380491e-04,3.404925e-04,3.415728e-04,3.446718e-04,3.464949e-04,3.473675e-04,3.496808e-04,3.509698e-04,3.516315e-04,3.532387e-04,3.540707e-04,3.545207e-04,3.554951e-04,3.559392e-04,3.561788e-04,3.565879e-04,3.567054e-04,3.567378e-04,3.566434e-04,3.564891e-04,3.563188e-04,3.557777e-04,3.554000e-04,3.550330e-04,3.540971e-04,3.535389e-04,3.529820e-04,3.516989e-04,3.509978e-04,3.502587e-04,3.486718e-04,3.478609e-04,3.469481e-04,3.450970e-04,3.442052e-04,3.431275e-04,3.410483e-04,3.401008e-04,3.388674e-04,3.365928e-04,3.356114e-04,3.342320e-04,3.317919e-04,3.307952e-04,3.292793e-04,3.267007e-04,3.257048e-04,3.240622e-04,3.213697e-04,3.203882e-04,3.186285e-04,3.158441e-04,3.148885e-04,3.130214e-04,3.101652e-04,3.092449e-04,3.072799e-04,3.043699e-04,3.034926e-04,3.014391e-04,2.984914e-04,2.976635e-04,2.955304e-04,2.925596e-04,2.917860e-04,2.895822e-04,2.866012e-04,2.858856e-04,2.836196e-04,2.806400e-04,2.799850e-04,2.776650e-04,2.746971e-04,2.741046e-04,2.717386e-04,2.687915e-04,2.682624e-04,2.658578e-04,2.629395e-04,2.624742e-04,2.600384e-04,2.571559e-04,2.567540e-04,2.542937e-04,2.514532e-04,2.511139e-04,2.486358e-04,2.458426e-04,2.455646e-04,2.430747e-04,2.403334e-04,2.401152e-04,2.376194e-04,2.349338e-04,2.347736e-04,2.322774e-04,2.296508e-04,2.295464e-04,2.270549e-04,2.244901e-04,2.244391e-04,2.219571e-04,2.194563e-04,2.146016e-04,2.098778e-04,2.052869e-04,2.008306e-04,1.965095e-04,1.923240e-04,1.882740e-04,1.843588e-04,1.805776e-04,1.769290e-04,1.734115e-04,1.700232e-04,1.667621e-04,1.636260e-04,1.606125e-04,1.577189e-04,1.549428e-04,1.522813e-04,1.497316e-04,1.472908e-04,1.449560e-04,1.427242e-04,1.405925e-04,1.385578e-04,1.366172e-04,1.347678e-04,1.330064e-04,1.313303e-04,1.297366e-04,1.282223e-04,1.267846e-04,1.254209e-04,1.241283e-04,1.229041e-04,1.217459e-04,1.206509e-04,1.196168e-04,1.186410e-04,1.177213e-04,1.168551e-04,1.160405e-04,1.152750e-04,1.145566e-04,1.138833e-04,1.132530e-04,1.126637e-04,1.121137e-04,1.116010e-04,1.111240e-04
0.000000e+00,4.477843e-11,6.226275e-09,6.718676e-09,1.640963e-07,1.628995e-06,1.770593e-06,1.093621e-05,4.121151e-05,4.439282e-05,1.323705e-04,2.966974e-04,3.159853e-04,6.413900e-04,1.092682e-03,1.153451e-03,1.890545e-03,2.748169e-03,2.881080e-03,4.141737e-03,5.445809e-03,5.677179e-03,7.480819e-03,9.191429e-03,9.536316e-03,1.181944e-02,1.384047e-02,1.430007e-02,1.694417e-02,1.915285e-02,1.971554e-02,2.257740e-02,2.484921e-02,2.549368e-02,2.842998e-02,3.065521e-02,3.135438e-02,3.423795e-02,3.633029e-02,3.705503e-02,3.978342e-02,4.168228e-02,4.240436e-02,4.490247e-02,4.657141e-02,4.726556e-02,4.948437e-02,5.090733e-02,5.155240e-02,5.346553e-02,5.464231e-02,5.522180e-02,5.682106e-02,5.776281e-02,5.826478e-02,5.955574e-02,6.028107e-02,6.069779e-02,6.169570e-02,6.222748e-02,6.255487e-02,6.328125e-02,6.364418e-02,6.388115e-02,6.436111e-02,6.457998e-02,6.472780e-02,6.498794e-02,6.508647e-02,6.514821e-02,6.521521e-02,6.521532e-02,6.519535e-02,6.509489e-02,6.501633e-02,6.491987e-02,6.467610e-02,6.453631e-02,6.436914e-02,6.400429e-02,6.381843e-02,6.358662e-02,6.312089e-02,6.290192e-02,6.261162e-02,6.206308e-02,6.182196e-02,6.147928e-02,6.086399e-02,6.060986e-02,6.022075e-02,5.955287e-02,5.929326e-02,5.886344e-02,5.815536e-02,5.789641e-02,5.743133e-02,5.669385e-02,5.644046e-02,5.594526e-02,5.518773e-02,5.494377e-02,5.442328e-02,5.365376e-02,5.342219e-02,5.288092e-02,5.210633e-02,5.188934e-02,5.133148e-02,5.055773e-02,5.035689e-02,4.978632e-02,4.901840e-02,4.883474e-02,4.825503e-02,4.749716e-02,4.733126e-02,4.674569e-02,4.600141e-02,4.585348e-02,4.526505e-02,4.453728e-02,4.440724e-02,4.381869e-02,4.310982e-02,4.299734e-02,4.241117e-02,4.172315e-02,4.162770e-02,4.104615e-02,4.038052e-02,4.030142e-02,3.972654e-02,3.908448e-02,3.902094e-02,3.845456e-02,3.783697e-02,3.778810e-02,3.723186e-02,3.663936e-02,3.660421e-02,3.605958e-02,3.549258e-02,3.547017e-02,3.493843e-02,3.439715e-02,3.438645e-02,3.386875e-02,3.335323e-02,3.237036e-02,3.143749e-02,3.055402e-02,2.971920e-02,2.893212e-02,2.819173e-02,2.749689e-02,2.684635e-02,2.623879e-02,2.567284e-02,2.514706e-02,2.465998e-02,2.421009e-02,2.379587e-02,2.341577e-02,2.306825e-02,2.275173e-02,2.246468e-02,2.220554e-02,2.197278e-02,2.176488e-02,2.158034e-02,2.141769e-02,2.127548e-02,2.115231e-02,2.104679e-02,2.095759e-02,2.088341e-02,2.082299e-02,2.077512e-02,2.073864e-02,2.071243e-02,2.069542e-02,2.068662e-02,2.068505e-02,2.068980e-02,2.070003e-02,2.071493e-02,2.073374e-02,2.075578e-02,2.078040e-02,2.080699e-02,2.083502e-02,2.086398e-02,2.089343e-02,2.092296e-02,2.095220e-02,2.098084e-02,2.100858e-02
0.000000e+00,7.246100e-10,9.227143e-08,9.924766e-08,1.990227e-06,1.643383e-05,1.774697e-05,9.745601e-05,3.556303e-04,3.831422e-04,1.178448e-03,2.806711e-03,3.007684e-03,6.641512e-03,1.228104e-02,1.308463e-02,2.353440e-02,3.709985e-02,3.932230e-02,6.184847e-02,8.768165e-02,9.251654e-02,1.326737e-01,1.746496e-01,1.835591e-01,2.462613e-01,3.071373e-01,3.216873e-01,4.105396e-01,4.916226e-01,5.133044e-01,6.302466e-01,7.313405e-01,7.614121e-01,9.066374e-01,1.026197e+00,1.065562e+00,1.237644e+00,1.373049e+00,1.422183e+00,1.618336e+00,1.766223e+00,1.825143e+00,2.041546e+00,2.198134e+00,2.266413e+00,2.498557e+00,2.659949e+00,2.736756e+00,2.979769e+00,3.142192e+00,3.226356e+00,3.475291e+00,3.635286e+00,3.725374e+00,3.975443e+00,4.129987e+00,4.224383e+00,4.471135e+00,4.617718e+00,4.714702e+00,4.954153e+00,5.090807e+00,5.188628e+00,5.417338e+00,5.542628e+00,5.639568e+00,5.854677e+00,5.967672e+00,6.062098e+00,6.261335e+00,6.361562e+00,6.451966e+00,6.633632e+00,6.721009e+00,6.806041e+00,6.968963e+00,7.043743e+00,7.122226e+00,7.265712e+00,7.328413e+00,7.399356e+00,7.523141e+00,7.574487e+00,7.637091e+00,7.741273e+00,7.782140e+00,7.835789e+00,7.920774e+00,7.952135e+00,7.996392e+00,8.062835e+00,8.085721e+00,8.120315e+00,8.169066e+00,8.184528e+00,8.209340e+00,8.241401e+00,8.250480e+00,8.265526e+00,8.282003e+00,8.285708e+00,8.291126e+00,8.293194e+00,8.292485e+00,8.288512e+00,8.277386e+00,8.273158e+00,8.260122e+00,8.237026e+00,8.230103e+00,8.208402e+00,8.174550e+00,8.165681e+00,8.135768e+00,8.092348e+00,8.082202e+00,8.044576e+00,7.992733e+00,7.981900e+00,7.937092e+00,7.877919e+00,7.866914e+00,7.815475e+00,7.750010e+00,7.739271e+00,7.681766e+00,7.610979e+00,7.600879e+00,7.537875e+00,7.462671e+00,7.453516e+00,7.385578e+00,7.306796e+00,7.298833e+00,7.226518e+00,7.144928e+00,7.138349e+00,7.062201e+00,6.978506e+00,6.973457e+00,6.894002e+00,6.808840e+00,6.805422e+00,6.723166e+00,6.637117e+00,6.635393e+00,6.550820e+00,6.464400e+00,6.293369e+00,6.123120e+00,5.954383e+00,5.787795e+00,5.623914e+00,5.463222e+00,5.306133e+00,5.152998e+00,5.004111e+00,4.859714e+00,4.720001e+00,4.585127e+00,4.455206e+00,4.330320e+00,4.210519e+00,4.095827e+00,3.986245e+00,3.881750e+00,3.782302e+00,3.687843e+00,3.598303e+00,3.513595e+00,3.433623e+00,3.358283e+00,3.287459e+00,3.221031e+00,3.158870e+00,3.100842e+00,3.046812e+00,2.996638e+00,2.950177e+00,2.907282e+00,2.867807e+00,2.831603e+00,2.798521e+00,2.768413e+00,2.741130e+00,2.716527e+00,2.694456e+00,2.674773e+00,2.657337e+00,2.642008e+00,2.628649e+00,2.617126e+00,2.607308e+00,2.599068e+00,2.592281e+00,2.586829e+00,2.582595e+00
0.000000e+00,2.608400e-11,3.088587e-09,3.317043e-09,6.239822e-08,4.988950e-07,5.383230e-07,2.921124e-06,1.060952e-05,1.142700e-05,3.492143e-05,8.233817e-05,8.813731e-05,1.914080e-04,3.471496e-04,3.689845e-04,6.465946e-04,9.933132e-04,1.048930e-03,1.597503e-03,2.199173e-03,2.309085e-03,3.194766e-03,4.077142e-03,4.259581e-03,5.502612e-03,6.650533e-03,6.917433e-03,8.492811e-03,9.858602e-03,1.021353e-02,1.206131e-02,1.357765e-02,1.401566e-02,1.605474e-02,1.764733e-02,1.815615e-02,2.029756e-02,2.189514e-02,2.245724e-02,2.461459e-02,2.615558e-02,2.675039e-02,2.884712e-02,3.028309e-02,3.088906e-02,3.286244e-02,3.415906e-02,3.475542e-02,3.655809e-02,3.769440e-02,3.826239e-02,3.986201e-02,4.082860e-02,4.135226e-02,4.272997e-02,4.352678e-02,4.399332e-02,4.514173e-02,4.577574e-02,4.617564e-02,4.709646e-02,4.757955e-02,4.790637e-02,4.860822e-02,4.895530e-02,4.920540e-02,4.970175e-02,4.992932e-02,5.010146e-02,5.040894e-02,5.053392e-02,5.062883e-02,5.076583e-02,5.080475e-02,5.082474e-02,5.081032e-02,5.077875e-02,5.072731e-02,5.058037e-02,5.049257e-02,5.037406e-02,5.011282e-02,4.998157e-02,4.980093e-02,4.944253e-02,4.927910e-02,4.904159e-02,4.860190e-02,4.841598e-02,4.812706e-02,4.762051e-02,4.742038e-02,4.708549e-02,4.652507e-02,4.631766e-02,4.594214e-02,4.533943e-02,4.513046e-02,4.471948e-02,4.408470e-02,4.387880e-02,4.343731e-02,4.277940e-02,4.258027e-02,4.211293e-02,4.143969e-02,4.125021e-02,4.076138e-02,4.007954e-02,3.990186e-02,3.939562e-02,3.871095e-02,3.854665e-02,3.802676e-02,3.734417e-02,3.719432e-02,3.666423e-02,3.598789e-02,3.585313e-02,3.531602e-02,3.464940e-02,3.453003e-02,3.398877e-02,3.333477e-02,3.323079e-02,3.268801e-02,3.204900e-02,3.196019e-02,3.141824e-02,3.079615e-02,3.072210e-02,3.018311e-02,2.957946e-02,2.951962e-02,2.898549e-02,2.840147e-02,2.835518e-02,2.782760e-02,2.726409e-02,2.723061e-02,2.671109e-02,2.616873e-02,2.614725e-02,2.563711e-02,2.511631e-02,2.510600e-02,2.460639e-02,2.410739e-02,2.315163e-02,2.223866e-02,2.136821e-02,2.053981e-02,1.975283e-02,1.900653e-02,1.830003e-02,1.763241e-02,1.700265e-02,1.640970e-02,1.585246e-02,1.532981e-02,1.484062e-02,1.438373e-02,1.395798e-02,1.356225e-02,1.319537e-02,1.285621e-02,1.254366e-02,1.225660e-02,1.199394e-02,1.175460e-02,1.153753e-02,1.134169e-02,1.116606e-02,1.100963e-02,1.087141e-02,1.075046e-02,1.064581e-02,1.055654e-02,1.048176e-02,1.042056e-02,1.037208e-02,1.033548e-02,1.030992e-02,1.029460e-02,1.028874e-02,1.029157e-02,1.030234e-02,1.032035e-02,1.034489e-02,1.037529e-02,1.041090e-02,1.045111e-02,1.049531e-02,1.054293e-02,1.059343e-02,1.064630e-02,1.070103e-02
0.000000e+00,1.402057e-08,2.144648e-07,2.238016e-07,1.407480e-06,5.458655e-06,5.732933e-06,1.636953e-05,3.301899e-05,3.424543e-05,5.594219e-05,7.614336e-05,7.786055e-05,9.853546e-05,1.157547e-04,1.175839e-04,1.349627e-04,1.489189e-04,1.507282e-04,1.649651e-04,1.760554e-04,1.777641e-04,1.892151e-04,1.978559e-04,1.994050e-04,2.084174e-04,2.149849e-04,2.163319e-04,2.232250e-04,2.280530e-04,2.291693e-04,2.342340e-04,2.376161e-04,2.384847e-04,2.419834e-04,2.441757e-04,2.447888e-04,2.469563e-04,2.481801e-04,2.485377e-04,2.495819e-04,2.500269e-04,2.501346e-04,2.502386e-04,2.500660e-04,2.499340e-04,2.492579e-04,2.486039e-04,2.482452e-04,2.469284e-04,2.459074e-04,2.453376e-04,2.435008e-04,2.422082e-04,2.414440e-04,2.391915e-04,2.377065e-04,2.367656e-04,2.341871e-04,2.325748e-04,2.314752e-04,2.286476e-04,2.269610e-04,2.257206e-04,2.227095e-04,2.209917e-04,2.196281e-04,2.164893e-04,2.147746e-04,2.133048e-04,2.100854e-04,2.084009e-04,2.068411e-04,2.035809e-04,2.019474e-04,2.003130e-04,1.970452e-04,1.954786e-04,1.937841e-04,1.905361e-04,1.890480e-04,1.873068e-04,1.841014e-04,1.826997e-04,1.809243e-04,1.777798e-04,1.764697e-04,1.746715e-04,1.716026e-04,1.703868e-04,1.685762e-04,1.655948e-04,1.644741e-04,1.626605e-04,1.597754e-04,1.587491e-04,1.569410e-04,1.541589e-04,1.532250e-04,1.514301e-04,1.487557e-04,1.479115e-04,1.461364e-04,1.435728e-04,1.428146e-04,1.410653e-04,1.386142e-04,1.379380e-04,1.362196e-04,1.338816e-04,1.332829e-04,1.315999e-04,1.293744e-04,1.288487e-04,1.272049e-04,1.250908e-04,1.246331e-04,1.230317e-04,1.210271e-04,1.206326e-04,1.190763e-04,1.171788e-04,1.168428e-04,1.153337e-04,1.135404e-04,1.132582e-04,1.117981e-04,1.101059e-04,1.098729e-04,1.084630e-04,1.068685e-04,1.066803e-04,1.053215e-04,1.038211e-04,1.036736e-04,1.023664e-04,1.009564e-04,1.008455e-04,9.959029e-05,9.826702e-05,9.818896e-05,9.698565e-05,9.574525e-05,9.569647e-05,9.454486e-05,9.338354e-05,9.336071e-05,9.226035e-05,9.117436e-05,8.913020e-05,8.722116e-05,8.544032e-05,8.378093e-05,8.223646e-05,8.080061e-05,7.946728e-05,7.823062e-05,7.708501e-05,7.602509e-05,7.504572e-05,7.414199e-05,7.330926e-05,7.254307e-05,7.183921e-05,7.119370e-05,7.060274e-05,7.006274e-05,6.957033e-05,6.912229e-05,6.871562e-05,6.834745e-05,6.801511e-05,6.771607e-05,6.744795e-05,6.720852e-05,6.699568e-05,6.680746e-05,6.664202e-05,6.649763e-05,6.637265e-05,6.626558e-05,6.617498e-05,6.609955e-05,6.603802e-05,6.598925e-05,6.595214e-05,6.592571e-05,6.590899e-05,6.590113e-05,6.590130e-05,6.590875e-05,6.592278e-05,6.594273e-05,6.596800e-05,6.599803e-05,6.603229e-05,6.607031e-05,6.611164e-05
0.000000e+00,9.121466e-12,1.038692e-09,1.115192e-09,2.108306e-08,1.720012e-07,1.857383e-07,1.020165e-06,3.686810e-06,3.967304e-06,1.182424e-05,2.683489e-05,2.861269e-05,5.878270e-05,1.005726e-04,1.061678e-04,1.731672e-04,2.488596e-04,2.603654e-04,3.665637e-04,4.710863e-04,4.890941e-04,6.242713e-04,7.445079e-04,7.678694e-04,9.155479e-04,1.036787e-03,1.063188e-03,1.207133e-03,1.317550e-03,1.344323e-03,1.472360e-03,1.564734e-03,1.589506e-03,1.694638e-03,1.766129e-03,1.787176e-03,1.866993e-03,1.918000e-03,1.934333e-03,1.989715e-03,2.022586e-03,2.033862e-03,2.067626e-03,2.085579e-03,2.091935e-03,2.107745e-03,2.114126e-03,2.116004e-03,2.117627e-03,2.115486e-03,2.113478e-03,2.104357e-03,2.096250e-03,2.090994e-03,2.074045e-03,2.061995e-03,2.054096e-03,2.031663e-03,2.017202e-03,2.007199e-03,1.981097e-03,1.965344e-03,1.953697e-03,1.925289e-03,1.909034e-03,1.896120e-03,1.866401e-03,1.850188e-03,1.836310e-03,1.805996e-03,1.790187e-03,1.775584e-03,1.745179e-03,1.730007e-03,1.714869e-03,1.684724e-03,1.670332e-03,1.654805e-03,1.625161e-03,1.611628e-03,1.595831e-03,1.566848e-03,1.554213e-03,1.538239e-03,1.510024e-03,1.498295e-03,1.482219e-03,1.454839e-03,1.444008e-03,1.427892e-03,1.401386e-03,1.391431e-03,1.375326e-03,1.349716e-03,1.340607e-03,1.324557e-03,1.299849e-03,1.291551e-03,1.275593e-03,1.251785e-03,1.244261e-03,1.228425e-03,1.205509e-03,1.198720e-03,1.183033e-03,1.160994e-03,1.154900e-03,1.139387e-03,1.118207e-03,1.112769e-03,1.097449e-03,1.077109e-03,1.072289e-03,1.057180e-03,1.037658e-03,1.033417e-03,1.018536e-03,9.998081e-04,9.961094e-04,9.814691e-04,9.635127e-04,9.603208e-04,9.459331e-04,9.287241e-04,9.260046e-04,9.118797e-04,8.953940e-04,8.931143e-04,8.792609e-04,8.634745e-04,8.616032e-04,8.480289e-04,8.329180e-04,8.314251e-04,8.181362e-04,8.036774e-04,8.025345e-04,7.895360e-04,7.757063e-04,7.748863e-04,7.621826e-04,7.489593e-04,7.484365e-04,7.360310e-04,7.233921e-04,7.231423e-04,7.110375e-04,6.989616e-04,6.758539e-04,6.537796e-04,6.327002e-04,6.125785e-04,5.933787e-04,5.750657e-04,5.576061e-04,5.409673e-04,5.251180e-04,5.100277e-04,4.956675e-04,4.820089e-04,4.690251e-04,4.566896e-04,4.449773e-04,4.338640e-04,4.233261e-04,4.133410e-04,4.038871e-04,3.949434e-04,3.864896e-04,3.785063e-04,3.709748e-04,3.638769e-04,3.571953e-04,3.509132e-04,3.450143e-04,3.394832e-04,3.343047e-04,3.294642e-04,3.249479e-04,3.207423e-04,3.168342e-04,3.132111e-04,3.098610e-04,3.067720e-04,3.039329e-04,3.013327e-04,2.989609e-04,2.968072e-04,2.948619e-04,2.931155e-04,2.915587e-04,2.901826e-04,2.889787e-04,2.879387e-04,2.870546e-04,2.863186e-04,2.857232e-04
0.000000e+00,4.747523e-11,5.660762e-09,6.089114e-09,1.257639e-07,1.046912e-06,1.129438e-06,5.796409e-06,1.844001e-05,1.965170e-05,4.901201e-05,9.312035e-05,9.775418e-05,1.656491e-04,2.399660e-04,2.488062e-04,3.412322e-04,4.251020e-04,4.364811e-04,5.288579e-04,6.026761e-04,6.140516e-04,6.892972e-04,7.437856e-04,7.532344e-04,8.056164e-04,8.403076e-04,8.469818e-04,8.783534e-04,8.971026e-04,9.009973e-04,9.162467e-04,9.238376e-04,9.253854e-04,9.295797e-04,9.300918e-04,9.298459e-04,9.270421e-04,9.234115e-04,9.218744e-04,9.149122e-04,9.090465e-04,9.066083e-04,8.973169e-04,8.903749e-04,8.873121e-04,8.768036e-04,8.694534e-04,8.659513e-04,8.548759e-04,8.474891e-04,8.436684e-04,8.323969e-04,8.251737e-04,8.211126e-04,8.098540e-04,8.028995e-04,7.986499e-04,7.875220e-04,7.808889e-04,7.764868e-04,7.655565e-04,7.592689e-04,7.547408e-04,7.440467e-04,7.381132e-04,7.334797e-04,7.230442e-04,7.174647e-04,7.127431e-04,7.025790e-04,6.973483e-04,6.925534e-04,6.826677e-04,6.777775e-04,6.729225e-04,6.633182e-04,6.587583e-04,6.538551e-04,6.445330e-04,6.402921e-04,6.353516e-04,6.263103e-04,6.223764e-04,6.174086e-04,6.086456e-04,6.050064e-04,6.000206e-04,5.915325e-04,5.881753e-04,5.831802e-04,5.749626e-04,5.718750e-04,5.668785e-04,5.589266e-04,5.560961e-04,5.511057e-04,5.434143e-04,5.408285e-04,5.358510e-04,5.284145e-04,5.260614e-04,5.211033e-04,5.139159e-04,5.117836e-04,5.068508e-04,4.999065e-04,4.979835e-04,4.930815e-04,4.863742e-04,4.846495e-04,4.797832e-04,4.733069e-04,4.717695e-04,4.669437e-04,4.606922e-04,4.593317e-04,4.545507e-04,4.485178e-04,4.473242e-04,4.425920e-04,4.367717e-04,4.357351e-04,4.310554e-04,4.254416e-04,4.245528e-04,4.199288e-04,4.145155e-04,4.137655e-04,4.092004e-04,4.039818e-04,4.033620e-04,3.988585e-04,3.938288e-04,3.933310e-04,3.888916e-04,3.840452e-04,3.836614e-04,3.792884e-04,3.746197e-04,3.743423e-04,3.700378e-04,3.655414e-04,3.653633e-04,3.611291e-04,3.567996e-04,3.567139e-04,3.525516e-04,3.483839e-04,3.403635e-04,3.326431e-04,3.252132e-04,3.180646e-04,3.111884e-04,3.045759e-04,2.982187e-04,2.921085e-04,2.862373e-04,2.805974e-04,2.751812e-04,2.699813e-04,2.649907e-04,2.602024e-04,2.556097e-04,2.512061e-04,2.469852e-04,2.429409e-04,2.390673e-04,2.353586e-04,2.318091e-04,2.284135e-04,2.251663e-04,2.220626e-04,2.190974e-04,2.162657e-04,2.135630e-04,2.109848e-04,2.085266e-04,2.061842e-04,2.039534e-04,2.018302e-04,1.998108e-04,1.978914e-04,1.960683e-04,1.943380e-04,1.926970e-04,1.911421e-04,1.896699e-04,1.882774e-04,1.869616e-04,1.857194e-04,1.845481e-04,1.834448e-04,1.824069e-04,1.814319e-04,1.805171e-04,1.796601e-04,1.788586e-04
0.000000e+00,1.774334e-11,2.897054e-09,3.136914e-09,8.685260e-08,8.894916e-07,9.667256e-07,5.848605e-06,2.139784e-05,2.300963e-05,6.703042e-05,1.485750e-04,1.581505e-04,3.206121e-04,5.495757e-04,5.807491e-04,9.652161e-04,1.426695e-03,1.499516e-03,2.206871e-03,2.969051e-03,3.107414e-03,4.217669e-03,5.321706e-03,5.550267e-03,7.113856e-03,8.571795e-03,8.913156e-03,1.094914e-02,1.274674e-02,1.321927e-02,1.571782e-02,1.781985e-02,1.843624e-02,2.136349e-02,2.371983e-02,2.448641e-02,2.779012e-02,3.034173e-02,3.125834e-02,3.487374e-02,3.755782e-02,3.861822e-02,4.247325e-02,4.522751e-02,4.642008e-02,5.043997e-02,5.320578e-02,5.451444e-02,5.862537e-02,6.135001e-02,6.275522e-02,6.688714e-02,6.952518e-02,7.100503e-02,7.509367e-02,7.760763e-02,7.913877e-02,8.312700e-02,8.548748e-02,8.704605e-02,9.088460e-02,9.306999e-02,9.463239e-02,9.828015e-02,1.002761e-01,1.018196e-01,1.052435e-01,1.070420e-01,1.085454e-01,1.117200e-01,1.133189e-01,1.147627e-01,1.176698e-01,1.190715e-01,1.204383e-01,1.230661e-01,1.242770e-01,1.255517e-01,1.278941e-01,1.289235e-01,1.300932e-01,1.321493e-01,1.330088e-01,1.340630e-01,1.358358e-01,1.365388e-01,1.374693e-01,1.389656e-01,1.395261e-01,1.403269e-01,1.415561e-01,1.419892e-01,1.426561e-01,1.436301e-01,1.439505e-01,1.444813e-01,1.452135e-01,1.454359e-01,1.458301e-01,1.463351e-01,1.464738e-01,1.467323e-01,1.470257e-01,1.470940e-01,1.472191e-01,1.473166e-01,1.473273e-01,1.473223e-01,1.472400e-01,1.472048e-01,1.470739e-01,1.468278e-01,1.467573e-01,1.465057e-01,1.461114e-01,1.460153e-01,1.456486e-01,1.451212e-01,1.450083e-01,1.445327e-01,1.438866e-01,1.437645e-01,1.431865e-01,1.424357e-01,1.423111e-01,1.416375e-01,1.407951e-01,1.406738e-01,1.399115e-01,1.389897e-01,1.388766e-01,1.380326e-01,1.370429e-01,1.369423e-01,1.360235e-01,1.349767e-01,1.348918e-01,1.339051e-01,1.328110e-01,1.327447e-01,1.316968e-01,1.305646e-01,1.305189e-01,1.294164e-01,1.282543e-01,1.282309e-01,1.270802e-01,1.258958e-01,1.235272e-01,1.211376e-01,1.187381e-01,1.163388e-01,1.139487e-01,1.115757e-01,1.092269e-01,1.069085e-01,1.046259e-01,1.023838e-01,1.001863e-01,9.803692e-02,9.593843e-02,9.389330e-02,9.190348e-02,8.997052e-02,8.809562e-02,8.627963e-02,8.452311e-02,8.282634e-02,8.118938e-02,7.961207e-02,7.809406e-02,7.663482e-02,7.523371e-02,7.388991e-02,7.260252e-02,7.137054e-02,7.019287e-02,6.906832e-02,6.799566e-02,6.697360e-02,6.600080e-02,6.507589e-02,6.419747e-02,6.336410e-02,6.257435e-02,6.182678e-02,6.111992e-02,6.045233e-02,5.982254e-02,5.922911e-02,5.867062e-02,5.814564e-02,5.765277e-02,5.719063e-02,5.675786e-02,5.635313e-02,5.597514e-02
0.000000e+00,9.488806e-09,1.412438e-07,1.474457e-07,8.886229e-07,3.000455e-06,3.129347e-06,7.439598e-06,1.281878e-05,1.317854e-05,1.907918e-05,2.407188e-05,2.448092e-05,2.924847e-05,3.301268e-05,3.340178e-05,3.699234e-05,3.972993e-05,4.007473e-05,4.270055e-05,4.462987e-05,4.491723e-05,4.676811e-05,4.806912e-05,4.829263e-05,4.952659e-05,5.034448e-05,5.050243e-05,5.124945e-05,5.170017e-05,5.179408e-05,5.216011e-05,5.233548e-05,5.236895e-05,5.243981e-05,5.241193e-05,5.238973e-05,5.223404e-05,5.205897e-05,5.198647e-05,5.165923e-05,5.138045e-05,5.126322e-05,5.080821e-05,5.045928e-05,5.030286e-05,4.975486e-05,4.936138e-05,4.917104e-05,4.855745e-05,4.813882e-05,4.791948e-05,4.726188e-05,4.683267e-05,4.658885e-05,4.590410e-05,4.547513e-05,4.521091e-05,4.451217e-05,4.409132e-05,4.381040e-05,4.310782e-05,4.270072e-05,4.240637e-05,4.170774e-05,4.131829e-05,4.101340e-05,4.032462e-05,3.995538e-05,3.964250e-05,3.896798e-05,3.862051e-05,3.830187e-05,3.764483e-05,3.731991e-05,3.699745e-05,3.636020e-05,3.605802e-05,3.573345e-05,3.511753e-05,3.483791e-05,3.451267e-05,3.391906e-05,3.366147e-05,3.333684e-05,3.276608e-05,3.252980e-05,3.220684e-05,3.165913e-05,3.144327e-05,3.112292e-05,3.059818e-05,3.040177e-05,3.008483e-05,2.958277e-05,2.940478e-05,2.909191e-05,2.861211e-05,2.845147e-05,2.814324e-05,2.768516e-05,2.754082e-05,2.723770e-05,2.680071e-05,2.667163e-05,2.637401e-05,2.595744e-05,2.584258e-05,2.555080e-05,2.515393e-05,2.505232e-05,2.476663e-05,2.438873e-05,2.429940e-05,2.402003e-05,2.366035e-05,2.358241e-05,2.330950e-05,2.296731e-05,2.289990e-05,2.263359e-05,2.230815e-05,2.225043e-05,2.199081e-05,2.168140e-05,2.163262e-05,2.137974e-05,2.108565e-05,2.104507e-05,2.079897e-05,2.051952e-05,2.048647e-05,2.024715e-05,1.998168e-05,1.995550e-05,1.972295e-05,1.947081e-05,1.945092e-05,1.922511e-05,1.898569e-05,1.897152e-05,1.875240e-05,1.852509e-05,1.851612e-05,1.830364e-05,1.808788e-05,1.808362e-05,1.787769e-05,1.767294e-05,1.728305e-05,1.691296e-05,1.656174e-05,1.622848e-05,1.591233e-05,1.561245e-05,1.532807e-05,1.505844e-05,1.480284e-05,1.456060e-05,1.433107e-05,1.411362e-05,1.390767e-05,1.371265e-05,1.352804e-05,1.335331e-05,1.318800e-05,1.303163e-05,1.288375e-05,1.274397e-05,1.261186e-05,1.248706e-05,1.236920e-05,1.225793e-05,1.215293e-05,1.205388e-05,1.196049e-05,1.187248e-05,1.178956e-05,1.171149e-05,1.163802e-05,1.156892e-05,1.150396e-05,1.144294e-05,1.138565e-05,1.133191e-05,1.128152e-05,1.123432e-05,1.119015e-05,1.114884e-05,1.111024e-05,1.107422e-05,1.104065e-05,1.100938e-05,1.098031e-05,1.095330e-05,1.092826e-05,1.090508e-05,1.088366e-05
0.000000e+00,5.151483e-09,1.927341e-07,2.033596e-07,1.920312e-06,9.314471e-06,9.848418e-06,3.144142e-05,6.546845e-05,6.794939e-05,1.115314e-04,1.521728e-04,1.556511e-04,1.980068e-04,2.341698e-04,2.380697e-04,2.757735e-04,3.070349e-04,3.111615e-04,3.443045e-04,3.710725e-04,3.752820e-04,4.041764e-04,4.268994e-04,4.310718e-04,4.560524e-04,4.751668e-04,4.792025e-04,5.006051e-04,5.165240e-04,5.203419e-04,5.384924e-04,5.515985e-04,5.551341e-04,5.703416e-04,5.809848e-04,5.841874e-04,5.967407e-04,6.052374e-04,6.080683e-04,6.182344e-04,6.248694e-04,6.273004e-04,6.353252e-04,6.403533e-04,6.423651e-04,6.484740e-04,6.521226e-04,6.537034e-04,6.581028e-04,6.605747e-04,6.617192e-04,6.645975e-04,6.660721e-04,6.667804e-04,6.683090e-04,6.689452e-04,6.692221e-04,6.695571e-04,6.694953e-04,6.693492e-04,6.686323e-04,6.679960e-04,6.674385e-04,6.657984e-04,6.646959e-04,6.637412e-04,6.612946e-04,6.598208e-04,6.584850e-04,6.553374e-04,6.535751e-04,6.518758e-04,6.481227e-04,6.461437e-04,6.440998e-04,6.398276e-04,6.376940e-04,6.353253e-04,6.306115e-04,6.283770e-04,6.257037e-04,6.206184e-04,6.183288e-04,6.153714e-04,6.099776e-04,6.076719e-04,6.044512e-04,5.988054e-04,5.965165e-04,5.930530e-04,5.872059e-04,5.849615e-04,5.812754e-04,5.752723e-04,5.730954e-04,5.692067e-04,5.630881e-04,5.609973e-04,5.569254e-04,5.507273e-04,5.487377e-04,5.445016e-04,5.382560e-04,5.363795e-04,5.319974e-04,5.257326e-04,5.239782e-04,5.194678e-04,5.132089e-04,5.115832e-04,5.069613e-04,5.007303e-04,4.992378e-04,4.945206e-04,4.883368e-04,4.869802e-04,4.821830e-04,4.760632e-04,4.748437e-04,4.699811e-04,4.639400e-04,4.628572e-04,4.579430e-04,4.519931e-04,4.510457e-04,4.460930e-04,4.402452e-04,4.394308e-04,4.344519e-04,4.287152e-04,4.280307e-04,4.230371e-04,4.174192e-04,4.168608e-04,4.118633e-04,4.063706e-04,4.059340e-04,4.009426e-04,3.955803e-04,3.952606e-04,3.902847e-04,3.850568e-04,3.848491e-04,3.798974e-04,3.748071e-04,3.747060e-04,3.697865e-04,3.648360e-04,3.552426e-04,3.459277e-04,3.368922e-04,3.281358e-04,3.196574e-04,3.114551e-04,3.035262e-04,2.958675e-04,2.884753e-04,2.813452e-04,2.744727e-04,2.678529e-04,2.614804e-04,2.553499e-04,2.494558e-04,2.437922e-04,2.383534e-04,2.331334e-04,2.281262e-04,2.233260e-04,2.187266e-04,2.143220e-04,2.101065e-04,2.060740e-04,2.022188e-04,1.985352e-04,1.950176e-04,1.916603e-04,1.884579e-04,1.854051e-04,1.824967e-04,1.797276e-04,1.770928e-04,1.745874e-04,1.722066e-04,1.699458e-04,1.678006e-04,1.657666e-04,1.638395e-04,1.620151e-04,1.602895e-04,1.586588e-04,1.571192e-04,1.556671e-04,1.542989e-04,1.530111e-04,1.518006e-04,1.506640e-04,1.495982e-04
0.000000e+00,3.218978e-11,4.663917e-09,5.037152e-09,1.233190e-07,1.140249e-06,1.234440e-06,6.822276e-06,2.302987e-05,2.463615e-05,6.562550e-05,1.332756e-04,1.407593e-04,2.581436e-04,4.031533e-04,4.215856e-04,6.305214e-04,8.487788e-04,8.807907e-04,1.165761e-03,1.432525e-03,1.477458e-03,1.807517e-03,2.093042e-03,2.147882e-03,2.491268e-03,2.770672e-03,2.831413e-03,3.163165e-03,3.419764e-03,3.482470e-03,3.786293e-03,4.011118e-03,4.072486e-03,4.339657e-03,4.529492e-03,4.587037e-03,4.814353e-03,4.969704e-03,5.021718e-03,5.209535e-03,5.332997e-03,5.378418e-03,5.529130e-03,5.624276e-03,5.662533e-03,5.779544e-03,5.850232e-03,5.881110e-03,5.968178e-03,6.018159e-03,6.041689e-03,6.102560e-03,6.135293e-03,6.151675e-03,6.189882e-03,6.208448e-03,6.217988e-03,6.236760e-03,6.243846e-03,6.246922e-03,6.249155e-03,6.247072e-03,6.244101e-03,6.232361e-03,6.223078e-03,6.214499e-03,6.191042e-03,6.176224e-03,6.162483e-03,6.129281e-03,6.110325e-03,6.091866e-03,6.050638e-03,6.028711e-03,6.005969e-03,5.958206e-03,5.934276e-03,5.907672e-03,5.854666e-03,5.829532e-03,5.799469e-03,5.742337e-03,5.716649e-03,5.683513e-03,5.623218e-03,5.597505e-03,5.561658e-03,5.499027e-03,5.473714e-03,5.435499e-03,5.371239e-03,5.346661e-03,5.306399e-03,5.241117e-03,5.217532e-03,5.175522e-03,5.109733e-03,5.087341e-03,5.043860e-03,4.978001e-03,4.956945e-03,4.912249e-03,4.846689e-03,4.827070e-03,4.781398e-03,4.716445e-03,4.698328e-03,4.651895e-03,4.587807e-03,4.571227e-03,4.524234e-03,4.461222e-03,4.446188e-03,4.398817e-03,4.337056e-03,4.323558e-03,4.275974e-03,4.215602e-03,4.203615e-03,4.155968e-03,4.097096e-03,4.086581e-03,4.039007e-03,3.981720e-03,3.972629e-03,3.925250e-03,3.869612e-03,3.861889e-03,3.814816e-03,3.760871e-03,3.754455e-03,3.707785e-03,3.655564e-03,3.650389e-03,3.604210e-03,3.553727e-03,3.549726e-03,3.504115e-03,3.455374e-03,3.452477e-03,3.407503e-03,3.360499e-03,3.358637e-03,3.314359e-03,3.269078e-03,3.268181e-03,3.224652e-03,3.181075e-03,3.097269e-03,3.016706e-03,2.939320e-03,2.865040e-03,2.793790e-03,2.725489e-03,2.660054e-03,2.597402e-03,2.537447e-03,2.480103e-03,2.425283e-03,2.372900e-03,2.322870e-03,2.275108e-03,2.229531e-03,2.186058e-03,2.144608e-03,2.105104e-03,2.067469e-03,2.031631e-03,1.997515e-03,1.965054e-03,1.934178e-03,1.904823e-03,1.876924e-03,1.850421e-03,1.825253e-03,1.801364e-03,1.778699e-03,1.757204e-03,1.736828e-03,1.717521e-03,1.699237e-03,1.681929e-03,1.665553e-03,1.650068e-03,1.635432e-03,1.621607e-03,1.608555e-03,1.596240e-03,1.584629e-03,1.573687e-03,1.563383e-03,1.553687e-03,1.544570e-03,1.536003e-03,1.527961e-03,1.520416e-03,1.513346e-03
