0.000000e+00,1.010101e+00,2.000000e+00,2.020202e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,6.000000e+00,6.060606e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,1.000000e+01,1.010101e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.400000e+01,1.414141e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.800000e+01,1.818182e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.200000e+01,2.222222e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.600000e+01,2.626263e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,3.000000e+01,3.030303e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.400000e+01,3.434343e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.737374e+01,3.800000e+01,3.838384e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.141414e+01,4.200000e+01,4.242424e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.545455e+01,4.600000e+01,4.646465e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.949495e+01,5.000000e+01,5.050505e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.353535e+01,5.400000e+01,5.454545e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.757576e+01,5.800000e+01,5.858586e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.161616e+01,6.200000e+01,6.262626e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.565657e+01,6.600000e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.969697e+01,7.000000e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.373737e+01,7.400000e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.777778e+01,7.800000e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.181818e+01,8.200000e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.585859e+01,8.600000e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.989899e+01,9.000000e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.393939e+01,9.400000e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.797980e+01,9.800000e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.020000e+02,1.040000e+02,1.060000e+02,1.080000e+02,1.100000e+02,1.120000e+02,1.140000e+02,1.160000e+02,1.180000e+02,1.200000e+02,1.220000e+02,1.240000e+02,1.260000e+02,1.280000e+02,1.300000e+02,1.320000e+02,1.340000e+02,1.360000e+02,1.380000e+02,1.400000e+02,1.420000e+02,1.440000e+02,1.460000e+02,1.480000e+02,1.500000e+02,1.520000e+02,1.540000e+02,1.560000e+02,1.580000e+02,1.600000e+02,1.620000e+02,1.640000e+02,1.660000e+02,1.680000e+02,1.700000e+02,1.720000e+02,1.740000e+02,1.760000e+02,1.780000e+02,1.800000e+02,1.820000e+02,1.840000e+02,1.860000e+02,1.880000e+02,1.900000e+02,1.920000e+02,1.940000e+02,1.960000e+02,1.980000e+02
0.000000e+00,3.351825e-12,6.853147e-10,7.415891e-10,1.889188e-08,1.876869e-07,2.041650e-07,1.327461e-06,5.508295e-06,5.976141e-06,2.019362e-05,5.052547e-05,5.429026e-05,1.216963e-04,2.222964e-04,2.362202e-04,4.090557e-04,6.146432e-04,6.466555e-04,9.498959e-04,1.259959e-03,1.314392e-03,1.731570e-03,2.114457e-03,2.190080e-03,2.677209e-03,3.088973e-03,3.180101e-03,3.686669e-03,4.087323e-03,4.186212e-03,4.669743e-03,5.031113e-03,5.130104e-03,5.561919e-03,5.868646e-03,5.961439e-03,6.326334e-03,6.573357e-03,6.655467e-03,6.948664e-03,7.137813e-03,7.206499e-03,7.430108e-03,7.567080e-03,7.621026e-03,7.781055e-03,7.873230e-03,7.912161e-03,8.016386e-03,8.071450e-03,8.095790e-03,8.152403e-03,8.177587e-03,8.188193e-03,8.205041e-03,8.206759e-03,8.204728e-03,8.188928e-03,8.172669e-03,8.159205e-03,8.117013e-03,8.087364e-03,8.063699e-03,8.000503e-03,7.961226e-03,7.928567e-03,7.848939e-03,7.803082e-03,7.762578e-03,7.670363e-03,7.620367e-03,7.573096e-03,7.471507e-03,7.419303e-03,7.366263e-03,7.257970e-03,7.205070e-03,7.147179e-03,7.034390e-03,6.981963e-03,6.920057e-03,6.804589e-03,6.753521e-03,6.688359e-03,6.571699e-03,6.522648e-03,6.454913e-03,6.338272e-03,6.291712e-03,6.222020e-03,6.106376e-03,6.062631e-03,5.991533e-03,5.877667e-03,5.836945e-03,5.764932e-03,5.653463e-03,5.615873e-03,5.543381e-03,5.434791e-03,5.400373e-03,5.327785e-03,5.222442e-03,5.191174e-03,5.118831e-03,5.017008e-03,4.988825e-03,4.917022e-03,4.818913e-03,4.793716e-03,4.722712e-03,4.628444e-03,4.606110e-03,4.536128e-03,4.445777e-03,4.426164e-03,4.357397e-03,4.270991e-03,4.253947e-03,4.186558e-03,4.104093e-03,4.089457e-03,4.023586e-03,3.945026e-03,3.932636e-03,3.868398e-03,3.793685e-03,3.783377e-03,3.720868e-03,3.649926e-03,3.641538e-03,3.580835e-03,3.513571e-03,3.506944e-03,3.448109e-03,3.384421e-03,3.379402e-03,3.322480e-03,3.262257e-03,3.258698e-03,3.203724e-03,3.146850e-03,3.144609e-03,3.091606e-03,3.037960e-03,3.036903e-03,2.985883e-03,2.935343e-03,2.839690e-03,2.749702e-03,2.665143e-03,2.585776e-03,2.511370e-03,2.441699e-03,2.376543e-03,2.315686e-03,2.258922e-03,2.206047e-03,2.156868e-03,2.111198e-03,2.068855e-03,2.029668e-03,1.993468e-03,1.960096e-03,1.929399e-03,1.901230e-03,1.875449e-03,1.851920e-03,1.830516e-03,1.811113e-03,1.793595e-03,1.777849e-03,1.763768e-03,1.751249e-03,1.740197e-03,1.730518e-03,1.722123e-03,1.714928e-03,1.708853e-03,1.703822e-03,1.699763e-03,1.696605e-03,1.694283e-03,1.692735e-03,1.691903e-03,1.691728e-03,1.692159e-03,1.693145e-03,1.694638e-03,1.696592e-03,1.698966e-03,1.701718e-03,1.704811e-03,1.708208e-03,1.711876e-03,1.715783e-03,1.719898e-03
0.000000e+00,3.379909e-09,5.046036e-08,5.275679e-08,3.423555e-07,1.212229e-06,1.266006e-06,3.055847e-06,5.227021e-06,5.370918e-06,7.752891e-06,9.847259e-06,1.002352e-05,1.214309e-05,1.391816e-05,1.410777e-05,1.592247e-05,1.740087e-05,1.759417e-05,1.913026e-05,2.034845e-05,2.053810e-05,2.182484e-05,2.281716e-05,2.299737e-05,2.406239e-05,2.486001e-05,2.502633e-05,2.589534e-05,2.652616e-05,2.667530e-05,2.737179e-05,2.786054e-05,2.799013e-05,2.853538e-05,2.890380e-05,2.901226e-05,2.942526e-05,2.969229e-05,2.977868e-05,3.007654e-05,3.025874e-05,3.032264e-05,3.052055e-05,3.063222e-05,3.067363e-05,3.078505e-05,3.083855e-05,3.085780e-05,3.089469e-05,3.090068e-05,3.089836e-05,3.087128e-05,3.083891e-05,3.081581e-05,3.073412e-05,3.067122e-05,3.062829e-05,3.050024e-05,3.041351e-05,3.035179e-05,3.018465e-05,3.007978e-05,3.000042e-05,2.980059e-05,2.968240e-05,2.958657e-05,2.935967e-05,2.923223e-05,2.912113e-05,2.887211e-05,2.873883e-05,2.861367e-05,2.834683e-05,2.821056e-05,2.807254e-05,2.779168e-05,2.765477e-05,2.750506e-05,2.721347e-05,2.707786e-05,2.691761e-05,2.661815e-05,2.648541e-05,2.631572e-05,2.601090e-05,2.588229e-05,2.570422e-05,2.539618e-05,2.527269e-05,2.508725e-05,2.477787e-05,2.466027e-05,2.446842e-05,2.415929e-05,2.404814e-05,2.385080e-05,2.354329e-05,2.343900e-05,2.323703e-05,2.293229e-05,2.283514e-05,2.262933e-05,2.232837e-05,2.223850e-05,2.202961e-05,2.173325e-05,2.165072e-05,2.143945e-05,2.114837e-05,2.107315e-05,2.086015e-05,2.057493e-05,2.050693e-05,2.029281e-05,2.001390e-05,1.995298e-05,1.973829e-05,1.946607e-05,1.941203e-05,1.919729e-05,1.893203e-05,1.888466e-05,1.867034e-05,1.841227e-05,1.837131e-05,1.815784e-05,1.790710e-05,1.787229e-05,1.766007e-05,1.741676e-05,1.738781e-05,1.717719e-05,1.694137e-05,1.691799e-05,1.670930e-05,1.648098e-05,1.646287e-05,1.625640e-05,1.603555e-05,1.602242e-05,1.581843e-05,1.560502e-05,1.559656e-05,1.539529e-05,1.518922e-05,1.518514e-05,1.498680e-05,1.478799e-05,1.440490e-05,1.403562e-05,1.367989e-05,1.333742e-05,1.300790e-05,1.269103e-05,1.238648e-05,1.209391e-05,1.181300e-05,1.154341e-05,1.128480e-05,1.103684e-05,1.079918e-05,1.057151e-05,1.035349e-05,1.014480e-05,9.945122e-06,9.754151e-06,9.571581e-06,9.397116e-06,9.230465e-06,9.071345e-06,8.919482e-06,8.774608e-06,8.636462e-06,8.504791e-06,8.379352e-06,8.259904e-06,8.146219e-06,8.038073e-06,7.935250e-06,7.837540e-06,7.744741e-06,7.656659e-06,7.573104e-06,7.493894e-06,7.418852e-06,7.347809e-06,7.280600e-06,7.217067e-06,7.157057e-06,7.100423e-06,7.047022e-06,6.996717e-06,6.949377e-06,6.904874e-06,6.863086e-06,6.823894e-06,6.787185e-06
0.000000e+00,1.231870e-09,1.566224e-08,1.633926e-08,9.888222e-08,3.403968e-07,3.551490e-07,8.342333e-07,1.392943e-06,1.429568e-06,2.034836e-06,2.569801e-06,2.615048e-06,3.162482e-06,3.626261e-06,3.676117e-06,4.156590e-06,4.552830e-06,4.604983e-06,5.022499e-06,5.357811e-06,5.410377e-06,5.769887e-06,6.050886e-06,6.102305e-06,6.408898e-06,6.641915e-06,6.690921e-06,6.949600e-06,7.140542e-06,7.186134e-06,7.401683e-06,7.555966e-06,7.597369e-06,7.774272e-06,7.896796e-06,7.933429e-06,8.075834e-06,8.170989e-06,8.202438e-06,8.314149e-06,8.385848e-06,8.411835e-06,8.496323e-06,8.548035e-06,8.568401e-06,8.628818e-06,8.663607e-06,8.678289e-06,8.717493e-06,8.738058e-06,8.747076e-06,8.767650e-06,8.776360e-06,8.779799e-06,8.784075e-06,8.783004e-06,8.781003e-06,8.771082e-06,8.762038e-06,8.754782e-06,8.732552e-06,8.717109e-06,8.704816e-06,8.671974e-06,8.651495e-06,8.634407e-06,8.592476e-06,8.568138e-06,8.546519e-06,8.496859e-06,8.469674e-06,8.443800e-06,8.387630e-06,8.358463e-06,8.328619e-06,8.267025e-06,8.236613e-06,8.203088e-06,8.137037e-06,8.106003e-06,8.069086e-06,7.999438e-06,7.968305e-06,7.928284e-06,7.855803e-06,7.825006e-06,7.782164e-06,7.707525e-06,7.677423e-06,7.632035e-06,7.555835e-06,7.526720e-06,7.479055e-06,7.401818e-06,7.373924e-06,7.324240e-06,7.246428e-06,7.219936e-06,7.168482e-06,7.090498e-06,7.065549e-06,7.012562e-06,6.934757e-06,6.911452e-06,6.857158e-06,6.779836e-06,6.758245e-06,6.702858e-06,6.626284e-06,6.606448e-06,6.550170e-06,6.474568e-06,6.456505e-06,6.399526e-06,6.325089e-06,6.308798e-06,6.251297e-06,6.178187e-06,6.163650e-06,6.105794e-06,6.034147e-06,6.021332e-06,5.963275e-06,5.893203e-06,5.882067e-06,5.823953e-06,5.755547e-06,5.746038e-06,5.688001e-06,5.621333e-06,5.613392e-06,5.555555e-06,5.490680e-06,5.484242e-06,5.426718e-06,5.363677e-06,5.358673e-06,5.301564e-06,5.240386e-06,5.236745e-06,5.180145e-06,5.120845e-06,5.118493e-06,5.062488e-06,5.005074e-06,5.003935e-06,4.948603e-06,4.893072e-06,4.785889e-06,4.682357e-06,4.582438e-06,4.486083e-06,4.393234e-06,4.303828e-06,4.217796e-06,4.135062e-06,4.055550e-06,3.979177e-06,3.905860e-06,3.835515e-06,3.768054e-06,3.703391e-06,3.641438e-06,3.582108e-06,3.525316e-06,3.470974e-06,3.418998e-06,3.369305e-06,3.321813e-06,3.276440e-06,3.233107e-06,3.191738e-06,3.152256e-06,3.114589e-06,3.078664e-06,3.044412e-06,3.011766e-06,2.980660e-06,2.951029e-06,2.922814e-06,2.895953e-06,2.870390e-06,2.846069e-06,2.822936e-06,2.800939e-06,2.780028e-06,2.760156e-06,2.741275e-06,2.723342e-06,2.706313e-06,2.690147e-06,2.674804e-06,2.660247e-06,2.646438e-06,2.633343e-06,2.620927e-06,2.609159e-06
0.000000e+00,9.289134e-12,1.608440e-09,1.735277e-09,3.886527e-08,3.517780e-07,3.813087e-07,2.273372e-06,8.664990e-06,9.347734e-06,2.858002e-05,6.464337e-05,6.882849e-05,1.371327e-04,2.244664e-04,2.356163e-04,3.610045e-04,4.880853e-04,5.062942e-04,6.630754e-04,8.009985e-04,8.233966e-04,9.808039e-04,1.107332e-03,1.130663e-03,1.270030e-03,1.375338e-03,1.397322e-03,1.511944e-03,1.594551e-03,1.613967e-03,1.703870e-03,1.766035e-03,1.782367e-03,1.850279e-03,1.895339e-03,1.908461e-03,1.957759e-03,1.988996e-03,1.998980e-03,2.032884e-03,2.053161e-03,2.060173e-03,2.081494e-03,2.093188e-03,2.097440e-03,2.108553e-03,2.113602e-03,2.115325e-03,2.118206e-03,2.118175e-03,2.117604e-03,2.113891e-03,2.110039e-03,2.107403e-03,2.098448e-03,2.091779e-03,2.087302e-03,2.074218e-03,2.065533e-03,2.059423e-03,2.043126e-03,2.033059e-03,2.025513e-03,2.006754e-03,1.995807e-03,1.987004e-03,1.966401e-03,1.954965e-03,1.945070e-03,1.923127e-03,1.911508e-03,1.900672e-03,1.877799e-03,1.866233e-03,1.854592e-03,1.831125e-03,1.819789e-03,1.807466e-03,1.783675e-03,1.772703e-03,1.759809e-03,1.735914e-03,1.725403e-03,1.712036e-03,1.688213e-03,1.678232e-03,1.664480e-03,1.640868e-03,1.631464e-03,1.617406e-03,1.594117e-03,1.585317e-03,1.571023e-03,1.548143e-03,1.539962e-03,1.525494e-03,1.503090e-03,1.495531e-03,1.480944e-03,1.459066e-03,1.452124e-03,1.437467e-03,1.416153e-03,1.409816e-03,1.395132e-03,1.374409e-03,1.368661e-03,1.353988e-03,1.333872e-03,1.328693e-03,1.314065e-03,1.294567e-03,1.289934e-03,1.275381e-03,1.256506e-03,1.252395e-03,1.237942e-03,1.219689e-03,1.216076e-03,1.201746e-03,1.184111e-03,1.180970e-03,1.166783e-03,1.149760e-03,1.147065e-03,1.133039e-03,1.116618e-03,1.114342e-03,1.100493e-03,1.084662e-03,1.082782e-03,1.069122e-03,1.053870e-03,1.052360e-03,1.038901e-03,1.024213e-03,1.023050e-03,1.009802e-03,9.956638e-04,9.948241e-04,9.817952e-04,9.681923e-04,9.676536e-04,9.548512e-04,9.417681e-04,9.415091e-04,9.289392e-04,9.163606e-04,8.921780e-04,8.689315e-04,8.465912e-04,8.251277e-04,8.045120e-04,7.847156e-04,7.657107e-04,7.474701e-04,7.299672e-04,7.131761e-04,6.970717e-04,6.816297e-04,6.668261e-04,6.526382e-04,6.390435e-04,6.260205e-04,6.135483e-04,6.016067e-04,5.901760e-04,5.792375e-04,5.687727e-04,5.587641e-04,5.491945e-04,5.400475e-04,5.313071e-04,5.229579e-04,5.149851e-04,5.073744e-04,5.001118e-04,4.931840e-04,4.865782e-04,4.802817e-04,4.742827e-04,4.685696e-04,4.631310e-04,4.579563e-04,4.530350e-04,4.483570e-04,4.439126e-04,4.396925e-04,4.356877e-04,4.318894e-04,4.282893e-04,4.248792e-04,4.216513e-04,4.185981e-04,4.157124e-04,4.129871e-04,4.104154e-04
0.000000e+00,1.307764e-12,2.888762e-10,3.128960e-10,8.151105e-09,8.108257e-08,8.821691e-08,5.829882e-07,2.521761e-06,2.745709e-06,9.992301e-06,2.733559e-05,2.962380e-05,7.443377e-05,1.519728e-04,1.635547e-04,3.222339e-04,5.432617e-04,5.806108e-04,9.717916e-04,1.440231e-03,1.529585e-03,2.286223e-03,3.096545e-03,3.270320e-03,4.505226e-03,5.717093e-03,6.007862e-03,7.788036e-03,9.413913e-03,9.848229e-03,1.218377e-02,1.418957e-02,1.478333e-02,1.762966e-02,1.994437e-02,2.070050e-02,2.396953e-02,2.649905e-02,2.740743e-02,3.098280e-02,3.362397e-02,3.466316e-02,3.841572e-02,4.106814e-02,4.220819e-02,4.600934e-02,4.858390e-02,4.978956e-02,5.352123e-02,5.594514e-02,5.717902e-02,6.074012e-02,6.295904e-02,6.418433e-02,6.749410e-02,6.947199e-02,7.065450e-02,7.365319e-02,7.537055e-02,7.648025e-02,7.912808e-02,8.057948e-02,8.159126e-02,8.386631e-02,8.505747e-02,8.595155e-02,8.784690e-02,8.879185e-02,8.955369e-02,9.107451e-02,9.179302e-02,9.241300e-02,9.357371e-02,9.408902e-02,9.456192e-02,9.538357e-02,9.572066e-02,9.604505e-02,9.655315e-02,9.673730e-02,9.691491e-02,9.713758e-02,9.719338e-02,9.722849e-02,9.719503e-02,9.714566e-02,9.704455e-02,9.678432e-02,9.665110e-02,9.642150e-02,9.596309e-02,9.576527e-02,9.541593e-02,9.478663e-02,9.454121e-02,9.408159e-02,9.330700e-02,9.302885e-02,9.246877e-02,9.157258e-02,9.127445e-02,9.062386e-02,8.962776e-02,8.932044e-02,8.858921e-02,8.751286e-02,8.720531e-02,8.640312e-02,8.526418e-02,8.496376e-02,8.409997e-02,8.291420e-02,8.262680e-02,8.171036e-02,8.049172e-02,8.022195e-02,7.926137e-02,7.802217e-02,7.777351e-02,7.677681e-02,7.552780e-02,7.530277e-02,7.427747e-02,7.302799e-02,7.282828e-02,7.178137e-02,7.053950e-02,7.036611e-02,6.930408e-02,6.807672e-02,6.793005e-02,6.685889e-02,6.565193e-02,6.553188e-02,6.445708e-02,6.327548e-02,6.318156e-02,6.210816e-02,6.095605e-02,6.088743e-02,5.982001e-02,5.870080e-02,5.865639e-02,5.759911e-02,5.651555e-02,5.649407e-02,5.545067e-02,5.440496e-02,5.239258e-02,5.045956e-02,4.860777e-02,4.683845e-02,4.515222e-02,4.354923e-02,4.202918e-02,4.059141e-02,3.923495e-02,3.795851e-02,3.676063e-02,3.563961e-02,3.459357e-02,3.362053e-02,3.271836e-02,3.188484e-02,3.111764e-02,3.041441e-02,2.977271e-02,2.919006e-02,2.866395e-02,2.819186e-02,2.777122e-02,2.739949e-02,2.707410e-02,2.679251e-02,2.655217e-02,2.635056e-02,2.618519e-02,2.605359e-02,2.595335e-02,2.588207e-02,2.583743e-02,2.581715e-02,2.581902e-02,2.584087e-02,2.588064e-02,2.593631e-02,2.600596e-02,2.608773e-02,2.617988e-02,2.628072e-02,2.638869e-02,2.650228e-02,2.662011e-02,2.674087e-02,2.686338e-02,2.698650e-02,2.710923e-02
0.000000e+00,3.238186e-11,5.303210e-09,5.712585e-09,1.168395e-07,9.675619e-07,1.045286e-06,5.803793e-06,2.108102e-05,2.268253e-05,6.674007e-05,1.466481e-04,1.557845e-04,3.024272e-04,4.856034e-04,5.087569e-04,7.667483e-04,1.025417e-03,1.062355e-03,1.380024e-03,1.660162e-03,1.705821e-03,2.028851e-03,2.292370e-03,2.341456e-03,2.638752e-03,2.869110e-03,2.917958e-03,3.177758e-03,3.371365e-03,3.417797e-03,3.638319e-03,3.797153e-03,3.839921e-03,4.023391e-03,4.151247e-03,4.189619e-03,4.339527e-03,4.440499e-03,4.474043e-03,4.594072e-03,4.672016e-03,4.700491e-03,4.794141e-03,4.852532e-03,4.875828e-03,4.946313e-03,4.988217e-03,5.006323e-03,5.056546e-03,5.084648e-03,5.097631e-03,5.130195e-03,5.146834e-03,5.154820e-03,5.172055e-03,5.179259e-03,5.182420e-03,5.186405e-03,5.185927e-03,5.184472e-03,5.177059e-03,5.170411e-03,5.164576e-03,5.147410e-03,5.135890e-03,5.125929e-03,5.100475e-03,5.085193e-03,5.071373e-03,5.038927e-03,5.020830e-03,5.003425e-03,4.965137e-03,4.945027e-03,4.924315e-03,4.881199e-03,4.859755e-03,4.836013e-03,4.788966e-03,4.766754e-03,4.740256e-03,4.690067e-03,4.667561e-03,4.638573e-03,4.585937e-03,4.563526e-03,4.532310e-03,4.477834e-03,4.455836e-03,4.422643e-03,4.366860e-03,4.345531e-03,4.310601e-03,4.253974e-03,4.233518e-03,4.197080e-03,4.140013e-03,4.120587e-03,4.082860e-03,4.025702e-03,4.007423e-03,3.968614e-03,3.911665e-03,3.894617e-03,3.854920e-03,3.798439e-03,3.782679e-03,3.742276e-03,3.686482e-03,3.672042e-03,3.631103e-03,3.576183e-03,3.563075e-03,3.521760e-03,3.467869e-03,3.456088e-03,3.414544e-03,3.361813e-03,3.351341e-03,3.309704e-03,3.258239e-03,3.249046e-03,3.207442e-03,3.157330e-03,3.149376e-03,3.107920e-03,3.059228e-03,3.052469e-03,3.011266e-03,2.964046e-03,2.958430e-03,2.917577e-03,2.871867e-03,2.867338e-03,2.826923e-03,2.782749e-03,2.779249e-03,2.739350e-03,2.696728e-03,2.694196e-03,2.654885e-03,2.613821e-03,2.612194e-03,2.573535e-03,2.534027e-03,2.533245e-03,2.495295e-03,2.457334e-03,2.384437e-03,2.314517e-03,2.247532e-03,2.183431e-03,2.122158e-03,2.063650e-03,2.007843e-03,1.954668e-03,1.904054e-03,1.855929e-03,1.810219e-03,1.766849e-03,1.725744e-03,1.686829e-03,1.650029e-03,1.615270e-03,1.582479e-03,1.551582e-03,1.522509e-03,1.495189e-03,1.469554e-03,1.445536e-03,1.423068e-03,1.402088e-03,1.382532e-03,1.364339e-03,1.347449e-03,1.331805e-03,1.317350e-03,1.304030e-03,1.291791e-03,1.280583e-03,1.270356e-03,1.261062e-03,1.252653e-03,1.245085e-03,1.238315e-03,1.232300e-03,1.226999e-03,1.222374e-03,1.218386e-03,1.214999e-03,1.212177e-03,1.209888e-03,1.208097e-03,1.206774e-03,1.205889e-03,1.205413e-03,1.205317e-03
0.000000e+00,8.024157e-10,1.082786e-08,1.130449e-08,6.956148e-08,2.411402e-07,2.517528e-07,6.093651e-07,1.056045e-06,1.086053e-06,1.587389e-06,2.032964e-06,2.070606e-06,2.524699e-06,2.906887e-06,2.947811e-06,3.340452e-06,3.661665e-06,3.703755e-06,4.039014e-06,4.305920e-06,4.347557e-06,4.630702e-06,4.849871e-06,4.889752e-06,5.125980e-06,5.303528e-06,5.340626e-06,5.534893e-06,5.676416e-06,5.709942e-06,5.866892e-06,5.977439e-06,6.006813e-06,6.130729e-06,6.214805e-06,6.239618e-06,6.334409e-06,6.396001e-06,6.415988e-06,6.485193e-06,6.527805e-06,6.542818e-06,6.589629e-06,6.616346e-06,6.626340e-06,6.653631e-06,6.667136e-06,6.672143e-06,6.682482e-06,6.685110e-06,6.685225e-06,6.680912e-06,6.674687e-06,6.670056e-06,6.653140e-06,6.639810e-06,6.630620e-06,6.602926e-06,6.583997e-06,6.570466e-06,6.533620e-06,6.510384e-06,6.492750e-06,6.448195e-06,6.421754e-06,6.400274e-06,6.349288e-06,6.320582e-06,6.295520e-06,6.239236e-06,6.209057e-06,6.180684e-06,6.120101e-06,6.089117e-06,6.057706e-06,5.993706e-06,5.962473e-06,5.928294e-06,5.861652e-06,5.830631e-06,5.793950e-06,5.725346e-06,5.694913e-06,5.655990e-06,5.586019e-06,5.556480e-06,5.515565e-06,5.444747e-06,5.416344e-06,5.373679e-06,5.302465e-06,5.275386e-06,5.231203e-06,5.159984e-06,5.134371e-06,5.088890e-06,5.018001e-06,4.993959e-06,4.947389e-06,4.877119e-06,4.854715e-06,4.807254e-06,4.737849e-06,4.717125e-06,4.668957e-06,4.600625e-06,4.581599e-06,4.532897e-06,4.465813e-06,4.448481e-06,4.399408e-06,4.333715e-06,4.318058e-06,4.268764e-06,4.204581e-06,4.190566e-06,4.141190e-06,4.078612e-06,4.066196e-06,4.016865e-06,3.955967e-06,3.945096e-06,3.895930e-06,3.836768e-06,3.827384e-06,3.778490e-06,3.721104e-06,3.713142e-06,3.664618e-06,3.609037e-06,3.602428e-06,3.554364e-06,3.500603e-06,3.495277e-06,3.447753e-06,3.395816e-06,3.391700e-06,3.344790e-06,3.294673e-06,3.291695e-06,3.245463e-06,3.197154e-06,3.195241e-06,3.149744e-06,3.103226e-06,3.102305e-06,3.057594e-06,3.012843e-06,2.926802e-06,2.844120e-06,2.764731e-06,2.688559e-06,2.615528e-06,2.545557e-06,2.478562e-06,2.414457e-06,2.353157e-06,2.294573e-06,2.238619e-06,2.185207e-06,2.134250e-06,2.085662e-06,2.039359e-06,1.995257e-06,1.953275e-06,1.913331e-06,1.875349e-06,1.839250e-06,1.804961e-06,1.772408e-06,1.741522e-06,1.712234e-06,1.684477e-06,1.658187e-06,1.633303e-06,1.609763e-06,1.587510e-06,1.566487e-06,1.546641e-06,1.527920e-06,1.510273e-06,1.493652e-06,1.478010e-06,1.463303e-06,1.449487e-06,1.436522e-06,1.424367e-06,1.412985e-06,1.402338e-06,1.392392e-06,1.383113e-06,1.374468e-06,1.366426e-06,1.358958e-06,1.352035e-06,1.345631e-06,1.339718e-06
0.000000e+00,7.157209e-13,1.692413e-10,1.837570e-10,5.538021e-09,6.282240e-08,6.865728e-08,4.914705e-07,2.170209e-06,2.362327e-06,8.373736e-06,2.176855e-05,2.346752e-05,5.486743e-05,1.043891e-04,1.114519e-04,2.027158e-04,3.188744e-04,3.376352e-04,5.236795e-04,7.286461e-04,7.661091e-04,1.067600e-03,1.366584e-03,1.428172e-03,1.845367e-03,2.226552e-03,2.314588e-03,2.829547e-03,3.269435e-03,3.382746e-03,3.965947e-03,4.436174e-03,4.570604e-03,5.188235e-03,5.661291e-03,5.810713e-03,6.430492e-03,6.883359e-03,7.040767e-03,7.635565e-03,8.051341e-03,8.209791e-03,8.759231e-03,9.127259e-03,9.280524e-03,9.771107e-03,1.008620e-02,1.022915e-02,1.065348e-02,1.091476e-02,1.104350e-02,1.139910e-02,1.160875e-02,1.172059e-02,1.200862e-02,1.217080e-02,1.226413e-02,1.248825e-02,1.260819e-02,1.268229e-02,1.284767e-02,1.293104e-02,1.298589e-02,1.309848e-02,1.315093e-02,1.318702e-02,1.325304e-02,1.327987e-02,1.329807e-02,1.332361e-02,1.332966e-02,1.333108e-02,1.332189e-02,1.331145e-02,1.329734e-02,1.325869e-02,1.323549e-02,1.320715e-02,1.314382e-02,1.311103e-02,1.306977e-02,1.298599e-02,1.294629e-02,1.289341e-02,1.279290e-02,1.274851e-02,1.268525e-02,1.257124e-02,1.252401e-02,1.245155e-02,1.232684e-02,1.227826e-02,1.219770e-02,1.206471e-02,1.201598e-02,1.192836e-02,1.178915e-02,1.174124e-02,1.164751e-02,1.150385e-02,1.145751e-02,1.135854e-02,1.121192e-02,1.116773e-02,1.106433e-02,1.091604e-02,1.087444e-02,1.076733e-02,1.061845e-02,1.057974e-02,1.046961e-02,1.032103e-02,1.028543e-02,1.017290e-02,1.002538e-02,9.993023e-03,9.878633e-03,9.732805e-03,9.703762e-03,9.588024e-03,9.444407e-03,9.418688e-03,9.302063e-03,9.161084e-03,9.138660e-03,9.021559e-03,8.883564e-03,8.864371e-03,8.747167e-03,8.612431e-03,8.596377e-03,8.479408e-03,8.348146e-03,8.335118e-03,8.218685e-03,8.091062e-03,8.080933e-03,7.965307e-03,7.841445e-03,7.834074e-03,7.719498e-03,7.599482e-03,7.594722e-03,7.481411e-03,7.365294e-03,7.362992e-03,7.251138e-03,7.138948e-03,6.922607e-03,6.713949e-03,6.512923e-03,6.319450e-03,6.133430e-03,5.954742e-03,5.783255e-03,5.618822e-03,5.461289e-03,5.310493e-03,5.166269e-03,5.028444e-03,4.896844e-03,4.771295e-03,4.651621e-03,4.537647e-03,4.429199e-03,4.326105e-03,4.228193e-03,4.135295e-03,4.047246e-03,3.963883e-03,3.885045e-03,3.810575e-03,3.740320e-03,3.674129e-03,3.611856e-03,3.553357e-03,3.498491e-03,3.447120e-03,3.399112e-03,3.354336e-03,3.312663e-03,3.273969e-03,3.238134e-03,3.205038e-03,3.174566e-03,3.146606e-03,3.121048e-03,3.097784e-03,3.076711e-03,3.057727e-03,3.040732e-03,3.025631e-03,3.012330e-03,3.000736e-03,2.990762e-03,2.982320e-03,2.975326e-03
0.000000e+00,3.160859e-12,6.413711e-10,6.940140e-10,1.772543e-08,1.767259e-07,1.922477e-07,1.243439e-06,5.061166e-06,5.481376e-06,1.784168e-05,4.273757e-05,4.573857e-05,9.743879e-05,1.701305e-04,1.799035e-04,2.971436e-04,4.294762e-04,4.495505e-04,6.341245e-04,8.143717e-04,8.452764e-04,1.075855e-03,1.278897e-03,1.318131e-03,1.564594e-03,1.765061e-03,1.808510e-03,2.044237e-03,2.223910e-03,2.267353e-03,2.474644e-03,2.623949e-03,2.663993e-03,2.834227e-03,2.950551e-03,2.984946e-03,3.116347e-03,3.201515e-03,3.229077e-03,3.324091e-03,3.382177e-03,3.402548e-03,3.465717e-03,3.501543e-03,3.514914e-03,3.551453e-03,3.569723e-03,3.576610e-03,3.591598e-03,3.596475e-03,3.597553e-03,3.595530e-03,3.590497e-03,3.586493e-03,3.571320e-03,3.559184e-03,3.550807e-03,3.525668e-03,3.508634e-03,3.496545e-03,3.464008e-03,3.443777e-03,3.428569e-03,3.390681e-03,3.368546e-03,3.350747e-03,3.309121e-03,3.286053e-03,3.266120e-03,3.222019e-03,3.198735e-03,3.177065e-03,3.131472e-03,3.108496e-03,3.085430e-03,3.039106e-03,3.016813e-03,2.992645e-03,2.946175e-03,2.924827e-03,2.899807e-03,2.853640e-03,2.833411e-03,2.807756e-03,2.762230e-03,2.743231e-03,2.717124e-03,2.672494e-03,2.654785e-03,2.628386e-03,2.584840e-03,2.568447e-03,2.541890e-03,2.499564e-03,2.484484e-03,2.457886e-03,2.416874e-03,2.403084e-03,2.376544e-03,2.336907e-03,2.324372e-03,2.297974e-03,2.259751e-03,2.248423e-03,2.222241e-03,2.185447e-03,2.175273e-03,2.149370e-03,2.114008e-03,2.104931e-03,2.079359e-03,2.045419e-03,2.037379e-03,2.012184e-03,1.979647e-03,1.972582e-03,1.947802e-03,1.916643e-03,1.910492e-03,1.886161e-03,1.856348e-03,1.851052e-03,1.827195e-03,1.798695e-03,1.794194e-03,1.770836e-03,1.743609e-03,1.739847e-03,1.717006e-03,1.691015e-03,1.687936e-03,1.665626e-03,1.640831e-03,1.638383e-03,1.616617e-03,1.592976e-03,1.591109e-03,1.569897e-03,1.547369e-03,1.546035e-03,1.525382e-03,1.503927e-03,1.503080e-03,1.482993e-03,1.462570e-03,1.462166e-03,1.442648e-03,1.423217e-03,1.386155e-03,1.350906e-03,1.317398e-03,1.285559e-03,1.255322e-03,1.226620e-03,1.199388e-03,1.173565e-03,1.149089e-03,1.125904e-03,1.103953e-03,1.083181e-03,1.063539e-03,1.044975e-03,1.027441e-03,1.010891e-03,9.952815e-04,9.805690e-04,9.667129e-04,9.536736e-04,9.414136e-04,9.298965e-04,9.190874e-04,9.089531e-04,8.994616e-04,8.905819e-04,8.822848e-04,8.745419e-04,8.673261e-04,8.606115e-04,8.543731e-04,8.485871e-04,8.432306e-04,8.382817e-04,8.337193e-04,8.295234e-04,8.256747e-04,8.221548e-04,8.189459e-04,8.160312e-04,8.133946e-04,8.110204e-04,8.088939e-04,8.070009e-04,8.053280e-04,8.038620e-04,8.025908e-04,8.015024e-04,8.005856e-04
0.000000e+00,6.804419e-13,1.642140e-10,1.783471e-10,5.455015e-09,6.328649e-08,6.923856e-08,5.087639e-07,2.290361e-06,2.495722e-06,8.988060e-06,2.371587e-05,2.560267e-05,6.103952e-05,1.185880e-04,1.269304e-04,2.371955e-04,3.830312e-04,4.070814e-04,6.520672e-04,9.340261e-04,9.867946e-04,1.424133e-03,1.878465e-03,1.974450e-03,2.645106e-03,3.287817e-03,3.440193e-03,4.360464e-03,5.185265e-03,5.403463e-03,6.563770e-03,7.545171e-03,7.833371e-03,9.202069e-03,1.030127e-02,1.065795e-02,1.218782e-02,1.335936e-02,1.377770e-02,1.541316e-02,1.661080e-02,1.707976e-02,1.876332e-02,1.994460e-02,2.045024e-02,2.212765e-02,2.325674e-02,2.378364e-02,2.540732e-02,2.645648e-02,2.698896e-02,2.851998e-02,2.946980e-02,2.999297e-02,3.140171e-02,3.224056e-02,3.274106e-02,3.400700e-02,3.473000e-02,3.519645e-02,3.630731e-02,3.691506e-02,3.733829e-02,3.828886e-02,3.878610e-02,3.915919e-02,3.995002e-02,4.034444e-02,4.066261e-02,4.129866e-02,4.159983e-02,4.186024e-02,4.234972e-02,4.256823e-02,4.276971e-02,4.312301e-02,4.326976e-02,4.341255e-02,4.364138e-02,4.372709e-02,4.381257e-02,4.392924e-02,4.396411e-02,4.399451e-02,4.401146e-02,4.400491e-02,4.398313e-02,4.391248e-02,4.387301e-02,4.380239e-02,4.365567e-02,4.359086e-02,4.347500e-02,4.326299e-02,4.317947e-02,4.302212e-02,4.275478e-02,4.265825e-02,4.246322e-02,4.214960e-02,4.204493e-02,4.181598e-02,4.146427e-02,4.135550e-02,4.109630e-02,4.071379e-02,4.060431e-02,4.031837e-02,3.991154e-02,3.980408e-02,3.949475e-02,3.906932e-02,3.896607e-02,3.863651e-02,3.819750e-02,3.810019e-02,3.775336e-02,3.730513e-02,3.721508e-02,3.685375e-02,3.640009e-02,3.631826e-02,3.594499e-02,3.548919e-02,3.541625e-02,3.503341e-02,3.457829e-02,3.451466e-02,3.412444e-02,3.367240e-02,3.361831e-02,3.322270e-02,3.277580e-02,3.273128e-02,3.233214e-02,3.189210e-02,3.185707e-02,3.145606e-02,3.102433e-02,3.099858e-02,3.059723e-02,3.017502e-02,3.015824e-02,2.975795e-02,2.934623e-02,2.933805e-02,2.894008e-02,2.853965e-02,2.776434e-02,2.701310e-02,2.628672e-02,2.558572e-02,2.491044e-02,2.426108e-02,2.363766e-02,2.304010e-02,2.246820e-02,2.192167e-02,2.140015e-02,2.090319e-02,2.043032e-02,1.998098e-02,1.955461e-02,1.915059e-02,1.876828e-02,1.840704e-02,1.806618e-02,1.774503e-02,1.744289e-02,1.715907e-02,1.689288e-02,1.664361e-02,1.641058e-02,1.619310e-02,1.599049e-02,1.580209e-02,1.562723e-02,1.546526e-02,1.531556e-02,1.517750e-02,1.505046e-02,1.493387e-02,1.482713e-02,1.472969e-02,1.464100e-02,1.456054e-02,1.448779e-02,1.442225e-02,1.436345e-02,1.431092e-02,1.426424e-02,1.422296e-02,1.418668e-02,1.415501e-02,1.412758e-02,1.410403e-02,1.408403e-02
0.000000e+00,1.558174e-11,2.804562e-09,3.028648e-09,7.114205e-08,6.639671e-07,7.203092e-07,4.341690e-06,1.648242e-05,1.777002e-05,5.352093e-05,1.189226e-04,1.264236e-04,2.473025e-04,3.994593e-04,4.187799e-04,6.353472e-04,8.547415e-04,8.862465e-04,1.158885e-03,1.401647e-03,1.441403e-03,1.724050e-03,1.956208e-03,1.999589e-03,2.263116e-03,2.468087e-03,2.511623e-03,2.743506e-03,2.916599e-03,2.958139e-03,3.155543e-03,3.297817e-03,3.336135e-03,3.500570e-03,3.615214e-03,3.649631e-03,3.784158e-03,3.874854e-03,3.905006e-03,4.013020e-03,4.083303e-03,4.109018e-03,4.193784e-03,4.246839e-03,4.268065e-03,4.332570e-03,4.371192e-03,4.387968e-03,4.434888e-03,4.461501e-03,4.473924e-03,4.505635e-03,4.522329e-03,4.530545e-03,4.549148e-03,4.557717e-03,4.561905e-03,4.569252e-03,4.571233e-03,4.571594e-03,4.569315e-03,4.566018e-03,4.562772e-03,4.552301e-03,4.544839e-03,4.538215e-03,4.520810e-03,4.510128e-03,4.500360e-03,4.477123e-03,4.464020e-03,4.451342e-03,4.423241e-03,4.408387e-03,4.393032e-03,4.360911e-03,4.344869e-03,4.327064e-03,4.291662e-03,4.274900e-03,4.254867e-03,4.216827e-03,4.199732e-03,4.177684e-03,4.137567e-03,4.120457e-03,4.096598e-03,4.054891e-03,4.038025e-03,4.012551e-03,3.969675e-03,3.953261e-03,3.926355e-03,3.882677e-03,3.866880e-03,3.838717e-03,3.794551e-03,3.779499e-03,3.750244e-03,3.705859e-03,3.691650e-03,3.661456e-03,3.617086e-03,3.603790e-03,3.572800e-03,3.528643e-03,3.516308e-03,3.484657e-03,3.440881e-03,3.429538e-03,3.397350e-03,3.354097e-03,3.343760e-03,3.311150e-03,3.268538e-03,3.259211e-03,3.226285e-03,3.184414e-03,3.176087e-03,3.142944e-03,3.101894e-03,3.094551e-03,3.061280e-03,3.021117e-03,3.014734e-03,2.981418e-03,2.942195e-03,2.936742e-03,2.903458e-03,2.865215e-03,2.860659e-03,2.827475e-03,2.790243e-03,2.786548e-03,2.753526e-03,2.717328e-03,2.714454e-03,2.681652e-03,2.646501e-03,2.644409e-03,2.611877e-03,2.577782e-03,2.576429e-03,2.544215e-03,2.511177e-03,2.510522e-03,2.478667e-03,2.446684e-03,2.384905e-03,2.325167e-03,2.267444e-03,2.211709e-03,2.157929e-03,2.106066e-03,2.056082e-03,2.007935e-03,1.961582e-03,1.916978e-03,1.874078e-03,1.832835e-03,1.793203e-03,1.755136e-03,1.718586e-03,1.683507e-03,1.649853e-03,1.617579e-03,1.586640e-03,1.556991e-03,1.528589e-03,1.501391e-03,1.475356e-03,1.450442e-03,1.426611e-03,1.403822e-03,1.382038e-03,1.361221e-03,1.341337e-03,1.322349e-03,1.304225e-03,1.286929e-03,1.270432e-03,1.254701e-03,1.239707e-03,1.225419e-03,1.211811e-03,1.198854e-03,1.186521e-03,1.174788e-03,1.163629e-03,1.153020e-03,1.142939e-03,1.133362e-03,1.124268e-03,1.115636e-03,1.107446e-03,1.099678e-03,1.092314e-03
0.000000e+00,3.035298e-11,4.998924e-09,5.387831e-09,1.133572e-07,9.337022e-07,1.007483e-06,5.313821e-06,1.798876e-05,1.926351e-05,5.241814e-05,1.078699e-04,1.139816e-04,2.080297e-04,3.181238e-04,3.316019e-04,4.765000e-04,6.136220e-04,6.326260e-04,7.907219e-04,9.228198e-04,9.437405e-04,1.087080e-03,1.198104e-03,1.218206e-03,1.336081e-03,1.422783e-03,1.440638e-03,1.532382e-03,1.597086e-03,1.612116e-03,1.680770e-03,1.727247e-03,1.739304e-03,1.788652e-03,1.820560e-03,1.829699e-03,1.863267e-03,1.883737e-03,1.890108e-03,1.910913e-03,1.922509e-03,1.926308e-03,1.936862e-03,1.941648e-03,1.943091e-03,1.945463e-03,1.945089e-03,1.944400e-03,1.940284e-03,1.936065e-03,1.933462e-03,1.924244e-03,1.917220e-03,1.912914e-03,1.899726e-03,1.890718e-03,1.884909e-03,1.868671e-03,1.858324e-03,1.851198e-03,1.832659e-03,1.821478e-03,1.813205e-03,1.792974e-03,1.781350e-03,1.772087e-03,1.750655e-03,1.738891e-03,1.728779e-03,1.706545e-03,1.694870e-03,1.684036e-03,1.661322e-03,1.649908e-03,1.638467e-03,1.615530e-03,1.604505e-03,1.592560e-03,1.569604e-03,1.559061e-03,1.546703e-03,1.523892e-03,1.513893e-03,1.501204e-03,1.478667e-03,1.469253e-03,1.456306e-03,1.434143e-03,1.425337e-03,1.412196e-03,1.390484e-03,1.382298e-03,1.369020e-03,1.347816e-03,1.340249e-03,1.326885e-03,1.306234e-03,1.299278e-03,1.285871e-03,1.265803e-03,1.259444e-03,1.246034e-03,1.226570e-03,1.220790e-03,1.207412e-03,1.188563e-03,1.183341e-03,1.170025e-03,1.151799e-03,1.147111e-03,1.133884e-03,1.116280e-03,1.112101e-03,1.098986e-03,1.082002e-03,1.078306e-03,1.065324e-03,1.048952e-03,1.045714e-03,1.032883e-03,1.017115e-03,1.014308e-03,1.001643e-03,9.864665e-04,9.840654e-04,9.715810e-04,9.569833e-04,9.549624e-04,9.426701e-04,9.286376e-04,9.269724e-04,9.148822e-04,9.014001e-04,9.000667e-04,8.881874e-04,8.752403e-04,8.742159e-04,8.625549e-04,8.501271e-04,8.493895e-04,8.379530e-04,8.260286e-04,8.255568e-04,8.143500e-04,8.029132e-04,8.026869e-04,7.917142e-04,7.807490e-04,7.597126e-04,7.395473e-04,7.202234e-04,7.017116e-04,6.839834e-04,6.670110e-04,6.507670e-04,6.352252e-04,6.203598e-04,6.061459e-04,5.925592e-04,5.795764e-04,5.671748e-04,5.553323e-04,5.440278e-04,5.332408e-04,5.229513e-04,5.131402e-04,5.037891e-04,4.948799e-04,4.863955e-04,4.783192e-04,4.706350e-04,4.633273e-04,4.563811e-04,4.497820e-04,4.435161e-04,4.375700e-04,4.319306e-04,4.265856e-04,4.215228e-04,4.167306e-04,4.121978e-04,4.079136e-04,4.038676e-04,4.000497e-04,3.964503e-04,3.930600e-04,3.898698e-04,3.868710e-04,3.840553e-04,3.814145e-04,3.789410e-04,3.766273e-04,3.744661e-04,3.724504e-04,3.705736e-04,3.688292e-04,3.672110e-04
0.000000e+00,1.749956e-11,4.111161e-09,4.460133e-09,1.271311e-07,1.377530e-06,1.503547e-06,1.062419e-05,4.782217e-05,5.216646e-05,1.940600e-04,5.359917e-04,5.811769e-04,1.467663e-03,3.007925e-03,3.238665e-03,6.416933e-03,1.089265e-02,1.165408e-02,1.970897e-02,2.952527e-02,3.141673e-02,4.765252e-02,6.543224e-02,6.929336e-02,9.718120e-02,1.252561e-01,1.320895e-01,1.746944e-01,2.146983e-01,2.255525e-01,2.850841e-01,3.377216e-01,3.535634e-01,4.311140e-01,4.961087e-01,5.177098e-01,6.131805e-01,6.893678e-01,7.172208e-01,8.294021e-01,9.149156e-01,9.491869e-01,1.075944e+00,1.168447e+00,1.208967e+00,1.347484e+00,1.444402e+00,1.490684e+00,1.637723e+00,1.736456e+00,1.787744e+00,1.939886e+00,2.037977e+00,2.093301e+00,2.247159e+00,2.342423e+00,2.400663e+00,2.553051e+00,2.643647e+00,2.703604e+00,2.851653e+00,2.936129e+00,2.996581e+00,3.137823e+00,3.215117e+00,3.274872e+00,3.407276e+00,3.476702e+00,3.534640e+00,3.656624e+00,3.717831e+00,3.772939e+00,3.883351e+00,3.936282e+00,3.987672e+00,4.085763e+00,4.130604e+00,4.177527e+00,4.262907e+00,4.300031e+00,4.341884e+00,4.414472e+00,4.444398e+00,4.480718e+00,4.540695e+00,4.564039e+00,4.594501e+00,4.642258e+00,4.659697e+00,4.684104e+00,4.720195e+00,4.732436e+00,4.750702e+00,4.775807e+00,4.783559e+00,4.795701e+00,4.810582e+00,4.814536e+00,4.820655e+00,4.826130e+00,4.826945e+00,4.827217e+00,4.824129e+00,4.822420e+00,4.817079e+00,4.806278e+00,4.802610e+00,4.791936e+00,4.774259e+00,4.769142e+00,4.753451e+00,4.729711e+00,4.723598e+00,4.703232e+00,4.674203e+00,4.667493e+00,4.642808e+00,4.609225e+00,4.602261e+00,4.573624e+00,4.536172e+00,4.529247e+00,4.497028e+00,4.456343e+00,4.449701e+00,4.414266e+00,4.370934e+00,4.364775e+00,4.326483e+00,4.281038e+00,4.275524e+00,4.234723e+00,4.187651e+00,4.182906e+00,4.139932e+00,4.091669e+00,4.087787e+00,4.042960e+00,3.993898e+00,3.990945e+00,3.944570e+00,3.895057e+00,3.893074e+00,3.845438e+00,3.795784e+00,3.794791e+00,3.746163e+00,3.696639e+00,3.599095e+00,3.502576e+00,3.407440e+00,3.313998e+00,3.222511e+00,3.133200e+00,3.046249e+00,2.961809e+00,2.879999e+00,2.800912e+00,2.724619e+00,2.651168e+00,2.580588e+00,2.512893e+00,2.448081e+00,2.386138e+00,2.327040e+00,2.270750e+00,2.217226e+00,2.166417e+00,2.118265e+00,2.072708e+00,2.029677e+00,1.989103e+00,1.950910e+00,1.915022e+00,1.881359e+00,1.849841e+00,1.820386e+00,1.792910e+00,1.767332e+00,1.743568e+00,1.721535e+00,1.701150e+00,1.682333e+00,1.665003e+00,1.649080e+00,1.634487e+00,1.621147e+00,1.608986e+00,1.597931e+00,1.587912e+00,1.578859e+00,1.570707e+00,1.563392e+00,1.556851e+00,1.551026e+00,1.545860e+00,1.541299e+00
0.000000e+00,3.870376e-09,4.440980e-08,4.620008e-08,2.476339e-07,7.988624e-07,8.322577e-07,1.945540e-06,3.338351e-06,3.432052e-06,4.984588e-06,6.325053e-06,6.436059e-06,7.744224e-06,8.797561e-06,8.907595e-06,9.934547e-06,1.073364e-05,1.083543e-05,1.162066e-05,1.221106e-05,1.230019e-05,1.288341e-05,1.330533e-05,1.337910e-05,1.379541e-05,1.408287e-05,1.413990e-05,1.441953e-05,1.460086e-05,1.464071e-05,1.480930e-05,1.490775e-05,1.493065e-05,1.500967e-05,1.504419e-05,1.505083e-05,1.505820e-05,1.504409e-05,1.503548e-05,1.498602e-05,1.493559e-05,1.491290e-05,1.481893e-05,1.474208e-05,1.470660e-05,1.457823e-05,1.448283e-05,1.443587e-05,1.428141e-05,1.417366e-05,1.411653e-05,1.394279e-05,1.382759e-05,1.376156e-05,1.357410e-05,1.345524e-05,1.338153e-05,1.318486e-05,1.306528e-05,1.298501e-05,1.278280e-05,1.266472e-05,1.257895e-05,1.237413e-05,1.225922e-05,1.216892e-05,1.196385e-05,1.185333e-05,1.175937e-05,1.155591e-05,1.145063e-05,1.135383e-05,1.115345e-05,1.105398e-05,1.095505e-05,1.075887e-05,1.066557e-05,1.056515e-05,1.037405e-05,1.028708e-05,1.018575e-05,1.000037e-05,9.919756e-06,9.818027e-06,9.638825e-06,9.564515e-06,9.462838e-06,9.290127e-06,9.221971e-06,9.120741e-06,8.954715e-06,8.892511e-06,8.792072e-06,8.632827e-06,8.576332e-06,8.476985e-06,8.324542e-06,8.273484e-06,8.175488e-06,8.029806e-06,7.983897e-06,7.887474e-06,7.748464e-06,7.707404e-06,7.612744e-06,7.480278e-06,7.443766e-06,7.351028e-06,7.224951e-06,7.192686e-06,7.102004e-06,6.982139e-06,6.953825e-06,6.865309e-06,6.751463e-06,6.726813e-06,6.640551e-06,6.532521e-06,6.511256e-06,6.427319e-06,6.324893e-06,6.306747e-06,6.225189e-06,6.128153e-06,6.112872e-06,6.033732e-06,5.941871e-06,5.929211e-06,5.852516e-06,5.765614e-06,5.755348e-06,5.681112e-06,5.598956e-06,5.590868e-06,5.519096e-06,5.441478e-06,5.435364e-06,5.366053e-06,5.292769e-06,5.288439e-06,5.221576e-06,5.152426e-06,5.149702e-06,5.085270e-06,5.020061e-06,5.018776e-06,4.956752e-06,4.895296e-06,4.778907e-06,4.669268e-06,4.566049e-06,4.468936e-06,4.377625e-06,4.291826e-06,4.211260e-06,4.135662e-06,4.064775e-06,3.998358e-06,3.936178e-06,3.878013e-06,3.823653e-06,3.772895e-06,3.725547e-06,3.681426e-06,3.640359e-06,3.602179e-06,3.566729e-06,3.533857e-06,3.503422e-06,3.475286e-06,3.449322e-06,3.425405e-06,3.403420e-06,3.383255e-06,3.364804e-06,3.347968e-06,3.332651e-06,3.318763e-06,3.306218e-06,3.294935e-06,3.284837e-06,3.275850e-06,3.267906e-06,3.260937e-06,3.254882e-06,3.249681e-06,3.245279e-06,3.241623e-06,3.238662e-06,3.236348e-06,3.234637e-06,3.233487e-06,3.232856e-06,3.232708e-06,3.233005e-06,3.233715e-06,3.234805e-06
0.000000e+00,2.727099e-09,4.058030e-08,4.243114e-08,2.850261e-07,1.072570e-06,1.123016e-06,2.854608e-06,4.984146e-06,5.124437e-06,7.422584e-06,9.401622e-06,9.566266e-06,1.152129e-05,1.312104e-05,1.328977e-05,1.488211e-05,1.614717e-05,1.631027e-05,1.758602e-05,1.856981e-05,1.872054e-05,1.972432e-05,2.047370e-05,2.060724e-05,2.137856e-05,2.193387e-05,2.204697e-05,2.262063e-05,2.301649e-05,2.310718e-05,2.351375e-05,2.377965e-05,2.384700e-05,2.411316e-05,2.427415e-05,2.431801e-05,2.446695e-05,2.454412e-05,2.456497e-05,2.461670e-05,2.462770e-05,2.462642e-05,2.459809e-05,2.455760e-05,2.453538e-05,2.444165e-05,2.436180e-05,2.432003e-05,2.417338e-05,2.406418e-05,2.400435e-05,2.381538e-05,2.368500e-05,2.360869e-05,2.338635e-05,2.324147e-05,2.315024e-05,2.290211e-05,2.274812e-05,2.264354e-05,2.237598e-05,2.221721e-05,2.210078e-05,2.181915e-05,2.165905e-05,2.153221e-05,2.124098e-05,2.108226e-05,2.094638e-05,2.064927e-05,2.049404e-05,2.035042e-05,2.005052e-05,1.990038e-05,1.975021e-05,1.945007e-05,1.930621e-05,1.915061e-05,1.885231e-05,1.871559e-05,1.855558e-05,1.826081e-05,1.813182e-05,1.796834e-05,1.767847e-05,1.755756e-05,1.739147e-05,1.710757e-05,1.699493e-05,1.682700e-05,1.654993e-05,1.644560e-05,1.627652e-05,1.600693e-05,1.591082e-05,1.574125e-05,1.547960e-05,1.539157e-05,1.522206e-05,1.496869e-05,1.488851e-05,1.471956e-05,1.447471e-05,1.440209e-05,1.423416e-05,1.399794e-05,1.393257e-05,1.376605e-05,1.353851e-05,1.348006e-05,1.331530e-05,1.309641e-05,1.304451e-05,1.288182e-05,1.267150e-05,1.262581e-05,1.246544e-05,1.226359e-05,1.222372e-05,1.206591e-05,1.187236e-05,1.183795e-05,1.168290e-05,1.149747e-05,1.146817e-05,1.131603e-05,1.113852e-05,1.111398e-05,1.096489e-05,1.079508e-05,1.077496e-05,1.062904e-05,1.046670e-05,1.045066e-05,1.030800e-05,1.015289e-05,1.014063e-05,1.000130e-05,9.853165e-06,9.844386e-06,9.708434e-06,9.567040e-06,9.561452e-06,9.428921e-06,9.294015e-06,9.291349e-06,9.162262e-06,9.033599e-06,8.787727e-06,8.553267e-06,8.329761e-06,8.116760e-06,7.913829e-06,7.720542e-06,7.536488e-06,7.361267e-06,7.194495e-06,7.035799e-06,6.884820e-06,6.741214e-06,6.604648e-06,6.474805e-06,6.351377e-06,6.234071e-06,6.122606e-06,6.016713e-06,5.916132e-06,5.820619e-06,5.729935e-06,5.643856e-06,5.562165e-06,5.484656e-06,5.411133e-06,5.341406e-06,5.275296e-06,5.212632e-06,5.153249e-06,5.096992e-06,5.043710e-06,4.993263e-06,4.945514e-06,4.900333e-06,4.857598e-06,4.817191e-06,4.779000e-06,4.742917e-06,4.708841e-06,4.676675e-06,4.646325e-06,4.617703e-06,4.590726e-06,4.565312e-06,4.541385e-06,4.518873e-06,4.497705e-06,4.477816e-06,4.459143e-06
0.000000e+00,2.417963e-10,2.800278e-08,3.002655e-08,5.225298e-07,3.739945e-06,4.010776e-06,1.780450e-05,4.926973e-05,5.202059e-05,1.101900e-04,1.789218e-04,1.852995e-04,2.670177e-04,3.401336e-04,3.480898e-04,4.250517e-04,4.883964e-04,4.967020e-04,5.628261e-04,6.153778e-04,6.235662e-04,6.791745e-04,7.221239e-04,7.299304e-04,7.761146e-04,8.107669e-04,8.180013e-04,8.558551e-04,8.834054e-04,8.899298e-04,9.204679e-04,9.419817e-04,9.477007e-04,9.718482e-04,9.882653e-04,9.931185e-04,1.011709e-03,1.023849e-03,1.027803e-03,1.041574e-03,1.050143e-03,1.053185e-03,1.062788e-03,1.068395e-03,1.070531e-03,1.076552e-03,1.079730e-03,1.080983e-03,1.083944e-03,1.085148e-03,1.085548e-03,1.085900e-03,1.085515e-03,1.085100e-03,1.083239e-03,1.081590e-03,1.080403e-03,1.076674e-03,1.074039e-03,1.072127e-03,1.066833e-03,1.063446e-03,1.060857e-03,1.054261e-03,1.050319e-03,1.047104e-03,1.039437e-03,1.035104e-03,1.031313e-03,1.022777e-03,1.018191e-03,1.013874e-03,1.004643e-03,9.999174e-04,9.951236e-04,9.853499e-04,9.805779e-04,9.753549e-04,9.651691e-04,9.604275e-04,9.548210e-04,9.443366e-04,9.396867e-04,9.337404e-04,9.230551e-04,9.185457e-04,9.123014e-04,9.014989e-04,8.971683e-04,8.906654e-04,8.798174e-04,8.756946e-04,8.689703e-04,8.581381e-04,8.542446e-04,8.473336e-04,8.365689e-04,8.329199e-04,8.258548e-04,8.152013e-04,8.118065e-04,8.046175e-04,7.941117e-04,7.909763e-04,7.836915e-04,7.733638e-04,7.704895e-04,7.631348e-04,7.530101e-04,7.503954e-04,7.429947e-04,7.330932e-04,7.307342e-04,7.233096e-04,7.136474e-04,7.115383e-04,7.041098e-04,6.946994e-04,6.928329e-04,6.854188e-04,6.762698e-04,6.746371e-04,6.672541e-04,6.583733e-04,6.569649e-04,6.496283e-04,6.410201e-04,6.398259e-04,6.325492e-04,6.242162e-04,6.232255e-04,6.160212e-04,6.079643e-04,6.071662e-04,6.000452e-04,5.922638e-04,5.916472e-04,5.846195e-04,5.771117e-04,5.766656e-04,5.697399e-04,5.625030e-04,5.622163e-04,5.554003e-04,5.484307e-04,5.482926e-04,5.415930e-04,5.348862e-04,5.219878e-04,5.095870e-04,4.976726e-04,4.862330e-04,4.752559e-04,4.647287e-04,4.546388e-04,4.449730e-04,4.357186e-04,4.268623e-04,4.183914e-04,4.102930e-04,4.025543e-04,3.951630e-04,3.881067e-04,3.813734e-04,3.749512e-04,3.688288e-04,3.629947e-04,3.574382e-04,3.521484e-04,3.471151e-04,3.423283e-04,3.377781e-04,3.334551e-04,3.293502e-04,3.254545e-04,3.217594e-04,3.182566e-04,3.149382e-04,3.117964e-04,3.088237e-04,3.060130e-04,3.033574e-04,3.008500e-04,2.984846e-04,2.962549e-04,2.941549e-04,2.921789e-04,2.903213e-04,2.885768e-04,2.869403e-04,2.854068e-04,2.839716e-04,2.826302e-04,2.813782e-04,2.802113e-04,2.791256e-04,2.781171e-04
0.000000e+00,1.270340e-11,2.324944e-09,2.510570e-09,5.778055e-08,5.202429e-07,5.635377e-07,3.287199e-06,1.226549e-05,1.321619e-05,3.980012e-05,8.956957e-05,9.536562e-05,1.908808e-04,3.158323e-04,3.320215e-04,5.178030e-04,7.131296e-04,7.417049e-04,9.939855e-04,1.225498e-03,1.263978e-03,1.541755e-03,1.774987e-03,1.819032e-03,2.089463e-03,2.302901e-03,2.348551e-03,2.593372e-03,2.777784e-03,2.822230e-03,3.034336e-03,3.188035e-03,3.229538e-03,3.408104e-03,3.533017e-03,3.570579e-03,3.717665e-03,3.817063e-03,3.850151e-03,3.968861e-03,4.046268e-03,4.074624e-03,4.168255e-03,4.227001e-03,4.250542e-03,4.322237e-03,4.365306e-03,4.384056e-03,4.436679e-03,4.466685e-03,4.480747e-03,4.516864e-03,4.536070e-03,4.545598e-03,4.567483e-03,4.577834e-03,4.583022e-03,4.592685e-03,4.595848e-03,4.596915e-03,4.596126e-03,4.593523e-03,4.590706e-03,4.581022e-03,4.573863e-03,4.567413e-03,4.550201e-03,4.539514e-03,4.529684e-03,4.506144e-03,4.492796e-03,4.479844e-03,4.451028e-03,4.435750e-03,4.419928e-03,4.386757e-03,4.370160e-03,4.351718e-03,4.314997e-03,4.297589e-03,4.276769e-03,4.237199e-03,4.219402e-03,4.196439e-03,4.154630e-03,4.136790e-03,4.111907e-03,4.068391e-03,4.050789e-03,4.024199e-03,3.979437e-03,3.962300e-03,3.934206e-03,3.888596e-03,3.872101e-03,3.842695e-03,3.796582e-03,3.780869e-03,3.750331e-03,3.704010e-03,3.689183e-03,3.657682e-03,3.611407e-03,3.597542e-03,3.565237e-03,3.519223e-03,3.506374e-03,3.473411e-03,3.427842e-03,3.416039e-03,3.382555e-03,3.337586e-03,3.326845e-03,3.292967e-03,3.248727e-03,3.239048e-03,3.204894e-03,3.161491e-03,3.152864e-03,3.118541e-03,3.076063e-03,3.068468e-03,3.034075e-03,2.992593e-03,2.986004e-03,2.951631e-03,2.911202e-03,2.905585e-03,2.871317e-03,2.831984e-03,2.827302e-03,2.793213e-03,2.755010e-03,2.751221e-03,2.717381e-03,2.680331e-03,2.677392e-03,2.643862e-03,2.607979e-03,2.605844e-03,2.572682e-03,2.537973e-03,2.536597e-03,2.503852e-03,2.470319e-03,2.469654e-03,2.437372e-03,2.405010e-03,2.342652e-03,2.282556e-03,2.224694e-03,2.169033e-03,2.115533e-03,2.064152e-03,2.014846e-03,1.967566e-03,1.922262e-03,1.878885e-03,1.837382e-03,1.797699e-03,1.759785e-03,1.723586e-03,1.689049e-03,1.656122e-03,1.624752e-03,1.594887e-03,1.566477e-03,1.539471e-03,1.513821e-03,1.489478e-03,1.466395e-03,1.444525e-03,1.423824e-03,1.404247e-03,1.385751e-03,1.368295e-03,1.351837e-03,1.336339e-03,1.321761e-03,1.308065e-03,1.295217e-03,1.283180e-03,1.271920e-03,1.261404e-03,1.251600e-03,1.242476e-03,1.234002e-03,1.226150e-03,1.218891e-03,1.212197e-03,1.206042e-03,1.200400e-03,1.195247e-03,1.190559e-03,1.186313e-03,1.182486e-03,1.179056e-03
0.000000e+00,1.485260e-09,1.935493e-08,2.019062e-08,1.204876e-07,4.115896e-07,4.295780e-07,1.043943e-06,1.844692e-06,1.899597e-06,2.824198e-06,3.643379e-06,3.712120e-06,4.533956e-06,5.213785e-06,5.285882e-06,5.970272e-06,6.519644e-06,6.590881e-06,7.151667e-06,7.589065e-06,7.656517e-06,8.109161e-06,8.451642e-06,8.513152e-06,8.871861e-06,9.134455e-06,9.188477e-06,9.466015e-06,9.661820e-06,9.707310e-06,9.915033e-06,1.005537e-05,1.009169e-05,1.023963e-05,1.033422e-05,1.036105e-05,1.045802e-05,1.051517e-05,1.053246e-05,1.058618e-05,1.061297e-05,1.062085e-05,1.063804e-05,1.064047e-05,1.063923e-05,1.062577e-05,1.060891e-05,1.059895e-05,1.055994e-05,1.052806e-05,1.050985e-05,1.044972e-05,1.040640e-05,1.038049e-05,1.030305e-05,1.025129e-05,1.021824e-05,1.012682e-05,1.006909e-05,1.002950e-05,9.926937e-06,9.865297e-06,9.819755e-06,9.708516e-06,9.644648e-06,9.593746e-06,9.475931e-06,9.411205e-06,9.355522e-06,9.232933e-06,9.168453e-06,9.108547e-06,8.982718e-06,8.919365e-06,8.855771e-06,8.728005e-06,8.666468e-06,8.599696e-06,8.471095e-06,8.411906e-06,8.342435e-06,8.213926e-06,8.157481e-06,8.085762e-06,7.958120e-06,7.904705e-06,7.831159e-06,7.705026e-06,7.654834e-06,7.579851e-06,7.455755e-06,7.408903e-06,7.332844e-06,7.211214e-06,7.167758e-06,7.090953e-06,6.972135e-06,6.932078e-06,6.854829e-06,6.739094e-06,6.702399e-06,6.624983e-06,6.512539e-06,6.479138e-06,6.401803e-06,6.292806e-06,6.262602e-06,6.185575e-06,6.080133e-06,6.053013e-06,5.976496e-06,5.874678e-06,5.850513e-06,5.774687e-06,5.676530e-06,5.655182e-06,5.580208e-06,5.485720e-06,5.467042e-06,5.393062e-06,5.302228e-06,5.286071e-06,5.213209e-06,5.125995e-06,5.112207e-06,5.040572e-06,4.956927e-06,4.945358e-06,4.875043e-06,4.794904e-06,4.785403e-06,4.716489e-06,4.639781e-06,4.632203e-06,4.564757e-06,4.491396e-06,4.485599e-06,4.419677e-06,4.349575e-06,4.345420e-06,4.281067e-06,4.214130e-06,4.211485e-06,4.148738e-06,4.084866e-06,4.083604e-06,4.022490e-06,3.961585e-06,3.845229e-06,3.734338e-06,3.628713e-06,3.528157e-06,3.432474e-06,3.341471e-06,3.254959e-06,3.172753e-06,3.094670e-06,3.020537e-06,2.950182e-06,2.883438e-06,2.820147e-06,2.760152e-06,2.703305e-06,2.649462e-06,2.598484e-06,2.550238e-06,2.504595e-06,2.461434e-06,2.420636e-06,2.382089e-06,2.345684e-06,2.311318e-06,2.278892e-06,2.248311e-06,2.219485e-06,2.192328e-06,2.166756e-06,2.142692e-06,2.120060e-06,2.098788e-06,2.078808e-06,2.060055e-06,2.042466e-06,2.025983e-06,2.010549e-06,1.996109e-06,1.982614e-06,1.970013e-06,1.958261e-06,1.947313e-06,1.937128e-06,1.927665e-06,1.918886e-06,1.910754e-06,1.903236e-06,1.896298e-06,1.889910e-06
0.000000e+00,1.109645e-09,1.533927e-08,1.600888e-08,9.353141e-08,2.983501e-07,3.103555e-07,6.919444e-07,1.138036e-06,1.167404e-06,1.650922e-06,2.071432e-06,2.106602e-06,2.526619e-06,2.873976e-06,2.910827e-06,3.260856e-06,3.542202e-06,3.578714e-06,3.866447e-06,4.091322e-06,4.126044e-06,4.359412e-06,4.536501e-06,4.568365e-06,4.754622e-06,4.891560e-06,4.919808e-06,5.065445e-06,5.168844e-06,5.192964e-06,5.303708e-06,5.379252e-06,5.398931e-06,5.479803e-06,5.532348e-06,5.547424e-06,5.602819e-06,5.636505e-06,5.646944e-06,5.680690e-06,5.699029e-06,5.704888e-06,5.720313e-06,5.726279e-06,5.727686e-06,5.727678e-06,5.723777e-06,5.720913e-06,5.707974e-06,5.696315e-06,5.689400e-06,5.665694e-06,5.648047e-06,5.637324e-06,5.604722e-06,5.582562e-06,5.568292e-06,5.528408e-06,5.502965e-06,5.485416e-06,5.439639e-06,5.411931e-06,5.391375e-06,5.340901e-06,5.311765e-06,5.288471e-06,5.234324e-06,5.204449e-06,5.178679e-06,5.121739e-06,5.091681e-06,5.063690e-06,5.004707e-06,4.974915e-06,4.944949e-06,4.884562e-06,4.855394e-06,4.823683e-06,4.762437e-06,4.734172e-06,4.700938e-06,4.639292e-06,4.612146e-06,4.577595e-06,4.515936e-06,4.490071e-06,4.454397e-06,4.393051e-06,4.368583e-06,4.331967e-06,4.271205e-06,4.248211e-06,4.210821e-06,4.150867e-06,4.129398e-06,4.091389e-06,4.032427e-06,4.012505e-06,3.974020e-06,3.916200e-06,3.897826e-06,3.858997e-06,3.802438e-06,3.785600e-06,3.746547e-06,3.691344e-06,3.676012e-06,3.636846e-06,3.583070e-06,3.569208e-06,3.530028e-06,3.477732e-06,3.465293e-06,3.426192e-06,3.375414e-06,3.364345e-06,3.325404e-06,3.276167e-06,3.266413e-06,3.227707e-06,3.180024e-06,3.171523e-06,3.133119e-06,3.086992e-06,3.079683e-06,3.041641e-06,2.997063e-06,2.990884e-06,2.953257e-06,2.910217e-06,2.905104e-06,2.867940e-06,2.826419e-06,2.822308e-06,2.785650e-06,2.745625e-06,2.742455e-06,2.706339e-06,2.667784e-06,2.665494e-06,2.629953e-06,2.592838e-06,2.591368e-06,2.556430e-06,2.520722e-06,2.520015e-06,2.485704e-06,2.451369e-06,2.385363e-06,2.321926e-06,2.260987e-06,2.202472e-06,2.146308e-06,2.092422e-06,2.040742e-06,1.991195e-06,1.943711e-06,1.898219e-06,1.854652e-06,1.812940e-06,1.773020e-06,1.734826e-06,1.698296e-06,1.663369e-06,1.629986e-06,1.598089e-06,1.567623e-06,1.538533e-06,1.510769e-06,1.484277e-06,1.459011e-06,1.434922e-06,1.411964e-06,1.390094e-06,1.369269e-06,1.349447e-06,1.330589e-06,1.312656e-06,1.295612e-06,1.279421e-06,1.264049e-06,1.249462e-06,1.235629e-06,1.222519e-06,1.210102e-06,1.198350e-06,1.187235e-06,1.176731e-06,1.166813e-06,1.157456e-06,1.148637e-06,1.140333e-06,1.132521e-06,1.125182e-06,1.118294e-06,1.111839e-06,1.105797e-06
0.000000e+00,2.938328e-09,4.015195e-08,4.191971e-08,2.553560e-07,8.410739e-07,8.751510e-07,1.901188e-06,2.972771e-06,3.040204e-06,4.119712e-06,5.027016e-06,5.101882e-06,5.984539e-06,6.697932e-06,6.772669e-06,7.472577e-06,8.020611e-06,8.090671e-06,8.633171e-06,9.043805e-06,9.106029e-06,9.514942e-06,9.812956e-06,9.865288e-06,1.016212e-05,1.036892e-05,1.041016e-05,1.061380e-05,1.074749e-05,1.077711e-05,1.090383e-05,1.097953e-05,1.099745e-05,1.106115e-05,1.109136e-05,1.109786e-05,1.111029e-05,1.110531e-05,1.110090e-05,1.107196e-05,1.104019e-05,1.102555e-05,1.096357e-05,1.091186e-05,1.088776e-05,1.079972e-05,1.073362e-05,1.070090e-05,1.059263e-05,1.051658e-05,1.047611e-05,1.035246e-05,1.027005e-05,1.022268e-05,1.008768e-05,1.000174e-05,9.948309e-06,9.805309e-06,9.718059e-06,9.659373e-06,9.511121e-06,9.424298e-06,9.361117e-06,9.209871e-06,9.124804e-06,9.057842e-06,8.905444e-06,8.823129e-06,8.753050e-06,8.600992e-06,8.522156e-06,8.449570e-06,8.299051e-06,8.224206e-06,8.149672e-06,8.001644e-06,7.931126e-06,7.855153e-06,7.710363e-06,7.644371e-06,7.567417e-06,7.426439e-06,7.365061e-06,7.287538e-06,7.150805e-06,7.094043e-06,7.016319e-06,6.884145e-06,6.831935e-06,6.754336e-06,6.626936e-06,6.579163e-06,6.501978e-06,6.379487e-06,6.335997e-06,6.259480e-06,6.141966e-06,6.102581e-06,6.026951e-06,5.914431e-06,5.878950e-06,5.804399e-06,5.696843e-06,5.665057e-06,5.591748e-06,5.489094e-06,5.460786e-06,5.388859e-06,5.291015e-06,5.265965e-06,5.195537e-06,5.102392e-06,5.080381e-06,5.011550e-06,4.922975e-06,4.903790e-06,4.836633e-06,4.752488e-06,4.735919e-06,4.670502e-06,4.590637e-06,4.576483e-06,4.512853e-06,4.437112e-06,4.425181e-06,4.363374e-06,4.291599e-06,4.281705e-06,4.221747e-06,4.153778e-06,4.145746e-06,4.087651e-06,4.023327e-06,4.016992e-06,3.960766e-06,3.899929e-06,3.895135e-06,3.840776e-06,3.783269e-06,3.779870e-06,3.727369e-06,3.673038e-06,3.670897e-06,3.620240e-06,3.568937e-06,3.567925e-06,3.519092e-06,3.470671e-06,3.378858e-06,3.292221e-06,3.210502e-06,3.133456e-06,3.060844e-06,2.992440e-06,2.928026e-06,2.867393e-06,2.810343e-06,2.756687e-06,2.706244e-06,2.658841e-06,2.614314e-06,2.572509e-06,2.533276e-06,2.496476e-06,2.461974e-06,2.429644e-06,2.399365e-06,2.371024e-06,2.344512e-06,2.319726e-06,2.296570e-06,2.274952e-06,2.254784e-06,2.235984e-06,2.218473e-06,2.202178e-06,2.187029e-06,2.172959e-06,2.159906e-06,2.147811e-06,2.136617e-06,2.126272e-06,2.116725e-06,2.107929e-06,2.099839e-06,2.092413e-06,2.085611e-06,2.079395e-06,2.073730e-06,2.068581e-06,2.063916e-06,2.059707e-06,2.055924e-06,2.052540e-06,2.049531e-06,2.046871e-06,2.044540e-06
0.000000e+00,3.387840e-09,4.034787e-08,4.201865e-08,2.362176e-07,7.890541e-07,8.231049e-07,1.981658e-06,3.479408e-06,3.581876e-06,5.312749e-06,6.863369e-06,6.994414e-06,8.573259e-06,9.897397e-06,1.003886e-05,1.139248e-05,1.249445e-05,1.263845e-05,1.378193e-05,1.468741e-05,1.482825e-05,1.578269e-05,1.651722e-05,1.665045e-05,1.743656e-05,1.802365e-05,1.814587e-05,1.878305e-05,1.924387e-05,1.935257e-05,1.985870e-05,2.021208e-05,2.030548e-05,2.069678e-05,2.095930e-05,2.103623e-05,2.132731e-05,2.151348e-05,2.157326e-05,2.177720e-05,2.189964e-05,2.194201e-05,2.207047e-05,2.214014e-05,2.216515e-05,2.222850e-05,2.225486e-05,2.226282e-05,2.227027e-05,2.226146e-05,2.225289e-05,2.221260e-05,2.217562e-05,2.215119e-05,2.207036e-05,2.201119e-05,2.197170e-05,2.185669e-05,2.178043e-05,2.172675e-05,2.158318e-05,2.149415e-05,2.142721e-05,2.126000e-05,2.116187e-05,2.108264e-05,2.089613e-05,2.079194e-05,2.070141e-05,2.049939e-05,2.039173e-05,2.029088e-05,2.007666e-05,1.996764e-05,1.985746e-05,1.963394e-05,1.952531e-05,1.940674e-05,1.917644e-05,1.906961e-05,1.894358e-05,1.870869e-05,1.860481e-05,1.847221e-05,1.823461e-05,1.813457e-05,1.799627e-05,1.775758e-05,1.766209e-05,1.751889e-05,1.728051e-05,1.719007e-05,1.704275e-05,1.680588e-05,1.672087e-05,1.657015e-05,1.633579e-05,1.625646e-05,1.610302e-05,1.587203e-05,1.579851e-05,1.564299e-05,1.541608e-05,1.534844e-05,1.519143e-05,1.496918e-05,1.490739e-05,1.474944e-05,1.453234e-05,1.447633e-05,1.431796e-05,1.410638e-05,1.405603e-05,1.389769e-05,1.369195e-05,1.364709e-05,1.348922e-05,1.328954e-05,1.324998e-05,1.309296e-05,1.289952e-05,1.286504e-05,1.270924e-05,1.252214e-05,1.249250e-05,1.233825e-05,1.215756e-05,1.213252e-05,1.198009e-05,1.180585e-05,1.178516e-05,1.163482e-05,1.146701e-05,1.145040e-05,1.130239e-05,1.114097e-05,1.112819e-05,1.098272e-05,1.082762e-05,1.081842e-05,1.067566e-05,1.052681e-05,1.052092e-05,1.038104e-05,1.023833e-05,1.023550e-05,1.009864e-05,9.961949e-06,9.700014e-06,9.449429e-06,9.209916e-06,8.981179e-06,8.762914e-06,8.554814e-06,8.356563e-06,8.167847e-06,7.988349e-06,7.817754e-06,7.655749e-06,7.502025e-06,7.356277e-06,7.218204e-06,7.087511e-06,6.963911e-06,6.847120e-06,6.736864e-06,6.632875e-06,6.534892e-06,6.442660e-06,6.355935e-06,6.274478e-06,6.198056e-06,6.126448e-06,6.059435e-06,5.996808e-06,5.938367e-06,5.883915e-06,5.833264e-06,5.786233e-06,5.742648e-06,5.702339e-06,5.665144e-06,5.630908e-06,5.599479e-06,5.570715e-06,5.544476e-06,5.520629e-06,5.499045e-06,5.479603e-06,5.462183e-06,5.446674e-06,5.432965e-06,5.420955e-06,5.410542e-06,5.401631e-06,5.394131e-06,5.387955e-06
0.000000e+00,1.946428e-09,9.000815e-08,9.522178e-08,9.613345e-07,4.530982e-06,4.780523e-06,1.451645e-05,2.975691e-05,3.088708e-05,5.115749e-05,7.043965e-05,7.209426e-05,9.222542e-05,1.093512e-04,1.111938e-04,1.289623e-04,1.436310e-04,1.455629e-04,1.610415e-04,1.734934e-04,1.754476e-04,1.888310e-04,1.993186e-04,2.012407e-04,2.127247e-04,2.214833e-04,2.233293e-04,2.330993e-04,2.403434e-04,2.420778e-04,2.503063e-04,2.562292e-04,2.578241e-04,2.646692e-04,2.694439e-04,2.708778e-04,2.764843e-04,2.802649e-04,2.815217e-04,2.860216e-04,2.889455e-04,2.900139e-04,2.935272e-04,2.957160e-04,2.965885e-04,2.992241e-04,3.007859e-04,3.014589e-04,3.033163e-04,3.043465e-04,3.048189e-04,3.059880e-04,3.065704e-04,3.068436e-04,3.074052e-04,3.076138e-04,3.076911e-04,3.077186e-04,3.076180e-04,3.075042e-04,3.070638e-04,3.067107e-04,3.064122e-04,3.055636e-04,3.050073e-04,3.045313e-04,3.033282e-04,3.026118e-04,3.019664e-04,3.004573e-04,2.996180e-04,2.988118e-04,2.970402e-04,2.961102e-04,2.951523e-04,2.931572e-04,2.921641e-04,2.910638e-04,2.888803e-04,2.878478e-04,2.866146e-04,2.842740e-04,2.832223e-04,2.818657e-04,2.793961e-04,2.783422e-04,2.768716e-04,2.742980e-04,2.732561e-04,2.716810e-04,2.690258e-04,2.680078e-04,2.663372e-04,2.636201e-04,2.626358e-04,2.608788e-04,2.581175e-04,2.571747e-04,2.553399e-04,2.525498e-04,2.516549e-04,2.497507e-04,2.469457e-04,2.461035e-04,2.441379e-04,2.413300e-04,2.405442e-04,2.385249e-04,2.357248e-04,2.349979e-04,2.329322e-04,2.301492e-04,2.294830e-04,2.273779e-04,2.246200e-04,2.240153e-04,2.218774e-04,2.191517e-04,2.186087e-04,2.164443e-04,2.137567e-04,2.132752e-04,2.110902e-04,2.084459e-04,2.080249e-04,2.058248e-04,2.032281e-04,2.028666e-04,2.006566e-04,1.981112e-04,1.978075e-04,1.955925e-04,1.931014e-04,1.928538e-04,1.906383e-04,1.882039e-04,1.880104e-04,1.857986e-04,1.834228e-04,1.832812e-04,1.810769e-04,1.787614e-04,1.786694e-04,1.764763e-04,1.742220e-04,1.741772e-04,1.719986e-04,1.698064e-04,1.655578e-04,1.614321e-04,1.574291e-04,1.535484e-04,1.497892e-04,1.461505e-04,1.426307e-04,1.392283e-04,1.359414e-04,1.327680e-04,1.297060e-04,1.267530e-04,1.239067e-04,1.211646e-04,1.185243e-04,1.159831e-04,1.135385e-04,1.111878e-04,1.089285e-04,1.067578e-04,1.046734e-04,1.026724e-04,1.007525e-04,9.891099e-05,9.714547e-05,9.545346e-05,9.383255e-05,9.228037e-05,9.079460e-05,8.937299e-05,8.801331e-05,8.671340e-05,8.547116e-05,8.428451e-05,8.315148e-05,8.207010e-05,8.103848e-05,8.005478e-05,7.911723e-05,7.822408e-05,7.737366e-05,7.656433e-05,7.579452e-05,7.506271e-05,7.436742e-05,7.370721e-05,7.308071e-05,7.248657e-05,7.192351e-05
0.000000e+00,1.347347e-09,1.454405e-08,1.512189e-08,8.153455e-08,2.766858e-07,2.890246e-07,7.274590e-07,1.338679e-06,1.381901e-06,2.126884e-06,2.802213e-06,2.859147e-06,3.540371e-06,4.102641e-06,4.162126e-06,4.724930e-06,5.173754e-06,5.231728e-06,5.686043e-06,6.037507e-06,6.091452e-06,6.451422e-06,6.721114e-06,6.769271e-06,7.048140e-06,7.249810e-06,7.290993e-06,7.500622e-06,7.646168e-06,7.679644e-06,7.830510e-06,7.930118e-06,7.955510e-06,8.056779e-06,8.119102e-06,8.136308e-06,8.195947e-06,8.228292e-06,8.237418e-06,8.262317e-06,8.270821e-06,8.272129e-06,8.268229e-06,8.258027e-06,8.251891e-06,8.224297e-06,8.199664e-06,8.186539e-06,8.139629e-06,8.104111e-06,8.084501e-06,8.022020e-06,7.978544e-06,7.952984e-06,7.878128e-06,7.829095e-06,7.798132e-06,7.713622e-06,7.660990e-06,7.625173e-06,7.533317e-06,7.478673e-06,7.438541e-06,7.341291e-06,7.285906e-06,7.241980e-06,7.140985e-06,7.085869e-06,7.038649e-06,6.935289e-06,6.881233e-06,6.831192e-06,6.726622e-06,6.674235e-06,6.621819e-06,6.516999e-06,6.466739e-06,6.412362e-06,6.308085e-06,6.260284e-06,6.204331e-06,6.101245e-06,6.056133e-06,5.998959e-06,5.897590e-06,5.855315e-06,5.797244e-06,5.698014e-06,5.658653e-06,5.599982e-06,5.503222e-06,5.466800e-06,5.407797e-06,5.313764e-06,5.280262e-06,5.221169e-06,5.130054e-06,5.099418e-06,5.040453e-06,4.952395e-06,4.924546e-06,4.865902e-06,4.780992e-06,4.755830e-06,4.697680e-06,4.615973e-06,4.593384e-06,4.535878e-06,4.457397e-06,4.437256e-06,4.380529e-06,4.305269e-06,4.287445e-06,4.231611e-06,4.159547e-06,4.143905e-06,4.089065e-06,4.020152e-06,4.006557e-06,3.952795e-06,3.886977e-06,3.875292e-06,3.822681e-06,3.759888e-06,3.749979e-06,3.698579e-06,3.638733e-06,3.630470e-06,3.580329e-06,3.523346e-06,3.516602e-06,3.467760e-06,3.413550e-06,3.408203e-06,3.360690e-06,3.309159e-06,3.305093e-06,3.258931e-06,3.209983e-06,3.207086e-06,3.162291e-06,3.115830e-06,3.113997e-06,3.070576e-06,3.026505e-06,3.025636e-06,2.983593e-06,2.941815e-06,2.862349e-06,2.787054e-06,2.715750e-06,2.648260e-06,2.584414e-06,2.524044e-06,2.466988e-06,2.413092e-06,2.362203e-06,2.314177e-06,2.268874e-06,2.226160e-06,2.185906e-06,2.147990e-06,2.112292e-06,2.078700e-06,2.047107e-06,2.017409e-06,1.989508e-06,1.963310e-06,1.938726e-06,1.915671e-06,1.894064e-06,1.873827e-06,1.854888e-06,1.837177e-06,1.820627e-06,1.805175e-06,1.790761e-06,1.777329e-06,1.764824e-06,1.753196e-06,1.742394e-06,1.732374e-06,1.723091e-06,1.714503e-06,1.706572e-06,1.699260e-06,1.692531e-06,1.686351e-06,1.680689e-06,1.675515e-06,1.670800e-06,1.666516e-06,1.662639e-06,1.659144e-06,1.656007e-06,1.653207e-06,1.650723e-06
0.000000e+00,1.476217e-11,2.628935e-09,2.838346e-09,6.546575e-08,5.886326e-07,6.373023e-07,3.618541e-06,1.284271e-05,1.378424e-05,3.852572e-05,8.006877e-05,8.463738e-05,1.544927e-04,2.349758e-04,2.447197e-04,3.477269e-04,4.417243e-04,4.544364e-04,5.566520e-04,6.363299e-04,6.483869e-04,7.261861e-04,7.798112e-04,7.888128e-04,8.366538e-04,8.658074e-04,8.711001e-04,8.940346e-04,9.054435e-04,9.074627e-04,9.132900e-04,9.136522e-04,9.132017e-04,9.086161e-04,9.028419e-04,9.006862e-04,8.903246e-04,8.815140e-04,8.782383e-04,8.649661e-04,8.549078e-04,8.509135e-04,8.363825e-04,8.260477e-04,8.215952e-04,8.067136e-04,7.966016e-04,7.918550e-04,7.771035e-04,7.674559e-04,7.625186e-04,7.481422e-04,7.390644e-04,7.340029e-04,7.201198e-04,7.116467e-04,7.065054e-04,6.931670e-04,6.852982e-04,6.801085e-04,6.673311e-04,6.600489e-04,6.548343e-04,6.426162e-04,6.358947e-04,6.306738e-04,6.190036e-04,6.128134e-04,6.076014e-04,5.964627e-04,5.907731e-04,5.855827e-04,5.749566e-04,5.697372e-04,5.645793e-04,5.544459e-04,5.496671e-04,5.445514e-04,5.348907e-04,5.305239e-04,5.254589e-04,5.162511e-04,5.122694e-04,5.072625e-04,4.984884e-04,4.948660e-04,4.899239e-04,4.815647e-04,4.782774e-04,4.734060e-04,4.654437e-04,4.624685e-04,4.576732e-04,4.500903e-04,4.474056e-04,4.426908e-04,4.354707e-04,4.330559e-04,4.284258e-04,4.215522e-04,4.193882e-04,4.148460e-04,4.083035e-04,4.063721e-04,4.019209e-04,3.956946e-04,3.939788e-04,3.896211e-04,3.836968e-04,3.821805e-04,3.779183e-04,3.722823e-04,3.709505e-04,3.667854e-04,3.614246e-04,3.602631e-04,3.561966e-04,3.510983e-04,3.500940e-04,3.461269e-04,3.412793e-04,3.404197e-04,3.365527e-04,3.319442e-04,3.312176e-04,3.274511e-04,3.230708e-04,3.224663e-04,3.188004e-04,3.146376e-04,3.141452e-04,3.105798e-04,3.066245e-04,3.062346e-04,3.027694e-04,2.990120e-04,2.987155e-04,2.953501e-04,2.917813e-04,2.915701e-04,2.883036e-04,2.849148e-04,2.847811e-04,2.816127e-04,2.783954e-04,2.783319e-04,2.752607e-04,2.722068e-04,2.663909e-04,2.608696e-04,2.556292e-04,2.506566e-04,2.459392e-04,2.414651e-04,2.372228e-04,2.332013e-04,2.293903e-04,2.257796e-04,2.223599e-04,2.191219e-04,2.160571e-04,2.131571e-04,2.104139e-04,2.078202e-04,2.053685e-04,2.030521e-04,2.008644e-04,1.987990e-04,1.968501e-04,1.950119e-04,1.932790e-04,1.916461e-04,1.901083e-04,1.886609e-04,1.872993e-04,1.860193e-04,1.848167e-04,1.836877e-04,1.826284e-04,1.816354e-04,1.807052e-04,1.798346e-04,1.790206e-04,1.782601e-04,1.775504e-04,1.768887e-04,1.762727e-04,1.756998e-04,1.751677e-04,1.746742e-04,1.742173e-04,1.737950e-04,1.734052e-04,1.730463e-04,1.727166e-04,1.724143e-04,1.721379e-04
0.000000e+00,1.924078e-11,3.444072e-09,3.715457e-09,8.011779e-08,6.744697e-07,7.288215e-07,4.059936e-06,1.491194e-05,1.606551e-05,4.892000e-05,1.132461e-04,1.209428e-04,2.527813e-04,4.367345e-04,4.613631e-04,7.549701e-04,1.082314e-03,1.131602e-03,1.580478e-03,2.011880e-03,2.085218e-03,2.627247e-03,3.098096e-03,3.188502e-03,3.753137e-03,4.209562e-03,4.308325e-03,4.844385e-03,5.254800e-03,5.354508e-03,5.834295e-03,6.185804e-03,6.281240e-03,6.694256e-03,6.985385e-03,7.073273e-03,7.418917e-03,7.653833e-03,7.732272e-03,8.014701e-03,8.199750e-03,8.267723e-03,8.492926e-03,8.634877e-03,8.691916e-03,8.866274e-03,8.971552e-03,9.017533e-03,9.147173e-03,9.221582e-03,9.256608e-03,9.347183e-03,9.395846e-03,9.420175e-03,9.476791e-03,9.504173e-03,9.518174e-03,9.545404e-03,9.555374e-03,9.559498e-03,9.561419e-03,9.557313e-03,9.552071e-03,9.532307e-03,9.516993e-03,9.502933e-03,9.464706e-03,9.440634e-03,9.418337e-03,9.364497e-03,9.333759e-03,9.303817e-03,9.236890e-03,9.201259e-03,9.164273e-03,9.086489e-03,9.047462e-03,9.004028e-03,8.917353e-03,8.876187e-03,8.826895e-03,8.733059e-03,8.690800e-03,8.636225e-03,8.536749e-03,8.494261e-03,8.434962e-03,8.331175e-03,8.289166e-03,8.225679e-03,8.118745e-03,8.077786e-03,8.010626e-03,7.901556e-03,7.862102e-03,7.791757e-03,7.681431e-03,7.643835e-03,7.570770e-03,7.459948e-03,7.424479e-03,7.349131e-03,7.238468e-03,7.205321e-03,7.128101e-03,7.018158e-03,6.987467e-03,6.908759e-03,6.800013e-03,6.771859e-03,6.692022e-03,6.584877e-03,6.559298e-03,6.478664e-03,6.373459e-03,6.350457e-03,6.269334e-03,6.166352e-03,6.145898e-03,6.064571e-03,5.964043e-03,5.946085e-03,5.864815e-03,5.766928e-03,5.751394e-03,5.670420e-03,5.575323e-03,5.562124e-03,5.481666e-03,5.389473e-03,5.378510e-03,5.298766e-03,5.209562e-03,5.200725e-03,5.121876e-03,5.035720e-03,5.028894e-03,4.951103e-03,4.868032e-03,4.863097e-03,4.786510e-03,4.706540e-03,4.703374e-03,4.628122e-03,4.551255e-03,4.549733e-03,4.475934e-03,4.402155e-03,4.260593e-03,4.124983e-03,3.995241e-03,3.871269e-03,3.752957e-03,3.640184e-03,3.532823e-03,3.430739e-03,3.333791e-03,3.241837e-03,3.154730e-03,3.072321e-03,2.994461e-03,2.921001e-03,2.851791e-03,2.786685e-03,2.725534e-03,2.668193e-03,2.614519e-03,2.564371e-03,2.517610e-03,2.474098e-03,2.433703e-03,2.396293e-03,2.361740e-03,2.329918e-03,2.300705e-03,2.273981e-03,2.249628e-03,2.227534e-03,2.207586e-03,2.189678e-03,2.173702e-03,2.159558e-03,2.147146e-03,2.136368e-03,2.127132e-03,2.119345e-03,2.112920e-03,2.107770e-03,2.103814e-03,2.100971e-03,2.099164e-03,2.098317e-03,2.098359e-03,2.099221e-03,2.100835e-03,2.103138e-03,2.106068e-03
0.000000e+00,7.203063e-09,9.119367e-08,9.493401e-08,5.103538e-07,1.619914e-06,1.686850e-06,3.959925e-06,7.056576e-06,7.278927e-06,1.124614e-05,1.506682e-05,1.539740e-05,1.943976e-05,2.288875e-05,2.325956e-05,2.682780e-05,2.975885e-05,3.014364e-05,3.321482e-05,3.566816e-05,3.605161e-05,3.866497e-05,4.069565e-05,4.106602e-05,4.326595e-05,4.492744e-05,4.527556e-05,4.710485e-05,4.844511e-05,4.876372e-05,5.026172e-05,5.132437e-05,5.160798e-05,5.281123e-05,5.363521e-05,5.387982e-05,5.482168e-05,5.544152e-05,5.564437e-05,5.635507e-05,5.680130e-05,5.696065e-05,5.746759e-05,5.776709e-05,5.788209e-05,5.821001e-05,5.838640e-05,5.845693e-05,5.862813e-05,5.870209e-05,5.872863e-05,5.876319e-05,5.875279e-05,5.873631e-05,5.865226e-05,5.857322e-05,5.851509e-05,5.832862e-05,5.819460e-05,5.809649e-05,5.782211e-05,5.764491e-05,5.750874e-05,5.715943e-05,5.694921e-05,5.677708e-05,5.636443e-05,5.612991e-05,5.592406e-05,5.545840e-05,5.520704e-05,5.496976e-05,5.446031e-05,5.419841e-05,5.393208e-05,5.338700e-05,5.311991e-05,5.282688e-05,5.225342e-05,5.198560e-05,5.166824e-05,5.107283e-05,5.080798e-05,5.046860e-05,4.985690e-05,4.959805e-05,4.923895e-05,4.861592e-05,4.836554e-05,4.798892e-05,4.735895e-05,4.711899e-05,4.672698e-05,4.609389e-05,4.586587e-05,4.546053e-05,4.482765e-05,4.461271e-05,4.419599e-05,4.356621e-05,4.336518e-05,4.293894e-05,4.231475e-05,4.212817e-05,4.169417e-05,4.107771e-05,4.090590e-05,4.046581e-05,3.985889e-05,3.970195e-05,3.925733e-05,3.866150e-05,3.851938e-05,3.807170e-05,3.748823e-05,3.736074e-05,3.691135e-05,3.634130e-05,3.622813e-05,3.577831e-05,3.522255e-05,3.512330e-05,3.467421e-05,3.413342e-05,3.404761e-05,3.360033e-05,3.307505e-05,3.300214e-05,3.255767e-05,3.204828e-05,3.198769e-05,3.154694e-05,3.105372e-05,3.100484e-05,3.056864e-05,3.009173e-05,3.005394e-05,2.962303e-05,2.916252e-05,2.913515e-05,2.871021e-05,2.826609e-05,2.824850e-05,2.783014e-05,2.740232e-05,2.739385e-05,2.698261e-05,2.657096e-05,2.577949e-05,2.501898e-05,2.428894e-05,2.358878e-05,2.291787e-05,2.227555e-05,2.166110e-05,2.107380e-05,2.051289e-05,1.997760e-05,1.946716e-05,1.898079e-05,1.851770e-05,1.807712e-05,1.765826e-05,1.726037e-05,1.688268e-05,1.652445e-05,1.618494e-05,1.586345e-05,1.555927e-05,1.527171e-05,1.500011e-05,1.474381e-05,1.450219e-05,1.427463e-05,1.406053e-05,1.385932e-05,1.367044e-05,1.349335e-05,1.332752e-05,1.317246e-05,1.302766e-05,1.289268e-05,1.276704e-05,1.265032e-05,1.254210e-05,1.244196e-05,1.234953e-05,1.226442e-05,1.218628e-05,1.211476e-05,1.204953e-05,1.199028e-05,1.193669e-05,1.188847e-05,1.184534e-05,1.180703e-05,1.177328e-05
0.000000e+00,2.557135e-09,3.191642e-08,3.326154e-08,1.925971e-07,6.470324e-07,6.746957e-07,1.586226e-06,2.687626e-06,2.760521e-06,3.960120e-06,4.998666e-06,5.085241e-06,6.115250e-06,6.960939e-06,7.050291e-06,7.895047e-06,8.568198e-06,8.655125e-06,9.336198e-06,9.862945e-06,9.943783e-06,1.048317e-05,1.088722e-05,1.095937e-05,1.137714e-05,1.167924e-05,1.174093e-05,1.205493e-05,1.227291e-05,1.232304e-05,1.254892e-05,1.269800e-05,1.273598e-05,1.288739e-05,1.298044e-05,1.300610e-05,1.309485e-05,1.314275e-05,1.315620e-05,1.319251e-05,1.320440e-05,1.320599e-05,1.319867e-05,1.318220e-05,1.317246e-05,1.312910e-05,1.309065e-05,1.307021e-05,1.299731e-05,1.294218e-05,1.291176e-05,1.281487e-05,1.274746e-05,1.270783e-05,1.259175e-05,1.251568e-05,1.246764e-05,1.233644e-05,1.225469e-05,1.219903e-05,1.205621e-05,1.197120e-05,1.190873e-05,1.175725e-05,1.167090e-05,1.160239e-05,1.144473e-05,1.135861e-05,1.128479e-05,1.112306e-05,1.103840e-05,1.095998e-05,1.079596e-05,1.071370e-05,1.063135e-05,1.046650e-05,1.038737e-05,1.030171e-05,1.013726e-05,1.006180e-05,9.973408e-06,9.810379e-06,9.738960e-06,9.648379e-06,9.487596e-06,9.420471e-06,9.328197e-06,9.170332e-06,9.107646e-06,9.014135e-06,8.859727e-06,8.801542e-06,8.707211e-06,8.556681e-06,8.502993e-06,8.408218e-06,8.261893e-06,8.212640e-06,8.117764e-06,7.975885e-06,7.930965e-06,7.836297e-06,7.699035e-06,7.658315e-06,7.564129e-06,7.431598e-06,7.394918e-06,7.301460e-06,7.173723e-06,7.140906e-06,7.048394e-06,6.925474e-06,6.896331e-06,6.804958e-06,6.686839e-06,6.661174e-06,6.571108e-06,6.457750e-06,6.435362e-06,6.346750e-06,6.238088e-06,6.218775e-06,6.131743e-06,6.027692e-06,6.011255e-06,5.925911e-06,5.826373e-06,5.812615e-06,5.729051e-06,5.633915e-06,5.622644e-06,5.540935e-06,5.450080e-06,5.441110e-06,5.361319e-06,5.274618e-06,5.267770e-06,5.189946e-06,5.107267e-06,5.102369e-06,5.026549e-06,4.947758e-06,4.944646e-06,4.870859e-06,4.795817e-06,4.794335e-06,4.722599e-06,4.651170e-06,4.514884e-06,4.385213e-06,4.261894e-06,4.144670e-06,4.033289e-06,3.927505e-06,3.827078e-06,3.731774e-06,3.641367e-06,3.555638e-06,3.474376e-06,3.397376e-06,3.324442e-06,3.255384e-06,3.190022e-06,3.128179e-06,3.069688e-06,3.014389e-06,2.962128e-06,2.912756e-06,2.866134e-06,2.822125e-06,2.780602e-06,2.741441e-06,2.704524e-06,2.669739e-06,2.636979e-06,2.606142e-06,2.577129e-06,2.549849e-06,2.524212e-06,2.500134e-06,2.477535e-06,2.456339e-06,2.436471e-06,2.417863e-06,2.400449e-06,2.384165e-06,2.368953e-06,2.354755e-06,2.341517e-06,2.329187e-06,2.317717e-06,2.307060e-06,2.297172e-06,2.288011e-06,2.279537e-06,2.271712e-06,2.264501e-06
0.000000e+00,7.783122e-13,1.766279e-10,1.914129e-10,5.116355e-09,5.231037e-08,5.698298e-08,3.888861e-07,1.734134e-06,1.891670e-06,7.087728e-06,1.985107e-05,2.155437e-05,5.543727e-05,1.155514e-04,1.246465e-04,2.514815e-04,4.333850e-04,4.646065e-04,7.984235e-04,1.211696e-03,1.291956e-03,1.987390e-03,2.759548e-03,2.928424e-03,4.158559e-03,5.412303e-03,5.719439e-03,7.649337e-03,9.481713e-03,9.981853e-03,1.274485e-02,1.521278e-02,1.595964e-02,1.964049e-02,2.275416e-02,2.379432e-02,2.842067e-02,3.214414e-02,3.351188e-02,3.905342e-02,4.331071e-02,4.502445e-02,5.139838e-02,5.608311e-02,5.814359e-02,6.522417e-02,7.021054e-02,7.260071e-02,8.023106e-02,8.538477e-02,8.807113e-02,9.607562e-02,1.012636e-01,1.041987e-01,1.123946e-01,1.174928e-01,1.206183e-01,1.288260e-01,1.337253e-01,1.369755e-01,1.450267e-01,1.496363e-01,1.529417e-01,1.606853e-01,1.649347e-01,1.682251e-01,1.755315e-01,1.793704e-01,1.825779e-01,1.893407e-01,1.927384e-01,1.957995e-01,2.019366e-01,2.048799e-01,2.077374e-01,2.131902e-01,2.156810e-01,2.182856e-01,2.230170e-01,2.250700e-01,2.273802e-01,2.313731e-01,2.330126e-01,2.349958e-01,2.382502e-01,2.395081e-01,2.411401e-01,2.436706e-01,2.445836e-01,2.458485e-01,2.476815e-01,2.482895e-01,2.491788e-01,2.503502e-01,2.506941e-01,2.512064e-01,2.517588e-01,2.518795e-01,2.520193e-01,2.520004e-01,2.519373e-01,2.517146e-01,2.511749e-01,2.509655e-01,2.503944e-01,2.493861e-01,2.490647e-01,2.481631e-01,2.467385e-01,2.463366e-01,2.451250e-01,2.433355e-01,2.428812e-01,2.413823e-01,2.392777e-01,2.387955e-01,2.370334e-01,2.346611e-01,2.341722e-01,2.321719e-01,2.295766e-01,2.290990e-01,2.268857e-01,2.241092e-01,2.236576e-01,2.212567e-01,2.183375e-01,2.179239e-01,2.153603e-01,2.123335e-01,2.119674e-01,2.092652e-01,2.061629e-01,2.058511e-01,2.030338e-01,1.998847e-01,1.996321e-01,1.967220e-01,1.935517e-01,1.933614e-01,1.903796e-01,1.872110e-01,1.870844e-01,1.840508e-01,1.809037e-01,1.808410e-01,1.777741e-01,1.746660e-01,1.685899e-01,1.626384e-01,1.568336e-01,1.511940e-01,1.457347e-01,1.404682e-01,1.354042e-01,1.305501e-01,1.259113e-01,1.214914e-01,1.172925e-01,1.133150e-01,1.095585e-01,1.060213e-01,1.027007e-01,9.959351e-02,9.669554e-02,9.400219e-02,9.150830e-02,8.920828e-02,8.709619e-02,8.516576e-02,8.341047e-02,8.182357e-02,8.039814e-02,7.912712e-02,7.800333e-02,7.701951e-02,7.616836e-02,7.544254e-02,7.483470e-02,7.433752e-02,7.394372e-02,7.364607e-02,7.343745e-02,7.331080e-02,7.325923e-02,7.327597e-02,7.335442e-02,7.348816e-02,7.367099e-02,7.389689e-02,7.416008e-02,7.445505e-02,7.477650e-02,7.511943e-02,7.547909e-02,7.585104e-02,7.623109e-02
0.000000e+00,1.998924e-11,3.015553e-09,3.242912e-09,6.074769e-08,4.576631e-07,4.924098e-07,2.470100e-06,8.233278e-06,8.815115e-06,2.417244e-05,5.074784e-05,5.373637e-05,1.009524e-04,1.586178e-04,1.658249e-04,2.450104e-04,3.224132e-04,3.333063e-04,4.253401e-04,5.040549e-04,5.166672e-04,6.041540e-04,6.732468e-04,6.858886e-04,7.608961e-04,8.171288e-04,8.288343e-04,8.897490e-04,9.335955e-04,9.439020e-04,9.916644e-04,1.024751e-03,1.033454e-03,1.069698e-03,1.093792e-03,1.100815e-03,1.127207e-03,1.143919e-03,1.149253e-03,1.167310e-03,1.178028e-03,1.181710e-03,1.192765e-03,1.198668e-03,1.200763e-03,1.205972e-03,1.208050e-03,1.208643e-03,1.209007e-03,1.208088e-03,1.207278e-03,1.203655e-03,1.200429e-03,1.198323e-03,1.191452e-03,1.186488e-03,1.183199e-03,1.173709e-03,1.167479e-03,1.163118e-03,1.151549e-03,1.144436e-03,1.139116e-03,1.125926e-03,1.118244e-03,1.112074e-03,1.097651e-03,1.089653e-03,1.082738e-03,1.067410e-03,1.059300e-03,1.051738e-03,1.035784e-03,1.027719e-03,1.019606e-03,1.003257e-03,9.953638e-04,9.867865e-04,9.702374e-04,9.626098e-04,9.536504e-04,9.370619e-04,9.297710e-04,9.205048e-04,9.040093e-04,8.971062e-04,8.876023e-04,8.713082e-04,8.648272e-04,8.551488e-04,8.391437e-04,8.331059e-04,8.233103e-04,8.076640e-04,8.020799e-04,7.922185e-04,7.769857e-04,7.718569e-04,7.619761e-04,7.471986e-04,7.425202e-04,7.326610e-04,7.183699e-04,7.141315e-04,7.043307e-04,6.905478e-04,6.867350e-04,6.770247e-04,6.637642e-04,6.603597e-04,6.507681e-04,6.380376e-04,6.350219e-04,6.255734e-04,6.133754e-04,6.107276e-04,6.014431e-04,5.897756e-04,5.874737e-04,5.783713e-04,5.672284e-04,5.652503e-04,5.563449e-04,5.457183e-04,5.440417e-04,5.353457e-04,5.252243e-04,5.238271e-04,5.153508e-04,5.057218e-04,5.045826e-04,4.963337e-04,4.871830e-04,4.862808e-04,4.782656e-04,4.695778e-04,4.688926e-04,4.611155e-04,4.528745e-04,4.523870e-04,4.448509e-04,4.370403e-04,4.367322e-04,4.294386e-04,4.220415e-04,4.218956e-04,4.148448e-04,4.078443e-04,3.945453e-04,3.819662e-04,3.700745e-04,3.588389e-04,3.482283e-04,3.382127e-04,3.287629e-04,3.198508e-04,3.114490e-04,3.035315e-04,2.960731e-04,2.890496e-04,2.824379e-04,2.762161e-04,2.703629e-04,2.648583e-04,2.596833e-04,2.548195e-04,2.502497e-04,2.459574e-04,2.419271e-04,2.381440e-04,2.345940e-04,2.312639e-04,2.281410e-04,2.252136e-04,2.224702e-04,2.199004e-04,2.174940e-04,2.152415e-04,2.131339e-04,2.111628e-04,2.093203e-04,2.075986e-04,2.059907e-04,2.044899e-04,2.030898e-04,2.017846e-04,2.005684e-04,1.994361e-04,1.983826e-04,1.974032e-04,1.964935e-04,1.956492e-04,1.948665e-04,1.941416e-04,1.934710e-04,1.928514e-04,1.922797e-04
0.000000e+00,5.678018e-13,1.249660e-10,1.353040e-10,3.413937e-09,3.265103e-08,3.547036e-08,2.277250e-07,9.769660e-07,1.063843e-06,3.916845e-06,1.097342e-05,1.192193e-05,3.104176e-05,6.572986e-05,7.103656e-05,1.460699e-04,2.558067e-04,2.748105e-04,4.800246e-04,7.374531e-04,7.877395e-04,1.226106e-03,1.716501e-03,1.824093e-03,2.610146e-03,3.413815e-03,3.610904e-03,4.850058e-03,6.026482e-03,6.347407e-03,8.118138e-03,9.695766e-03,1.017234e-02,1.251473e-02,1.448747e-02,1.514464e-02,1.805611e-02,2.038563e-02,2.123822e-02,2.467551e-02,2.729757e-02,2.834849e-02,3.223423e-02,3.506713e-02,3.630696e-02,4.053874e-02,4.349220e-02,4.490008e-02,4.936051e-02,5.234370e-02,5.388919e-02,5.845541e-02,6.138353e-02,6.302903e-02,6.758095e-02,7.037999e-02,7.208338e-02,7.651020e-02,7.911983e-02,8.083715e-02,8.504197e-02,8.741679e-02,8.910456e-02,9.300706e-02,9.511661e-02,9.673383e-02,1.002715e-01,1.020992e-01,1.036089e-01,1.067371e-01,1.082786e-01,1.096489e-01,1.123394e-01,1.136006e-01,1.148054e-01,1.170454e-01,1.180402e-01,1.190593e-01,1.208486e-01,1.215970e-01,1.224161e-01,1.237656e-01,1.242915e-01,1.249020e-01,1.258309e-01,1.261608e-01,1.265590e-01,1.270932e-01,1.272543e-01,1.274412e-01,1.276110e-01,1.276306e-01,1.276110e-01,1.274497e-01,1.273538e-01,1.271358e-01,1.266782e-01,1.264914e-01,1.260855e-01,1.253666e-01,1.251113e-01,1.245301e-01,1.235845e-01,1.232808e-01,1.225382e-01,1.213992e-01,1.210648e-01,1.201756e-01,1.188748e-01,1.185249e-01,1.175044e-01,1.160712e-01,1.157187e-01,1.145823e-01,1.130439e-01,1.126995e-01,1.114624e-01,1.098435e-01,1.095158e-01,1.081929e-01,1.065159e-01,1.062116e-01,1.048173e-01,1.031019e-01,1.028261e-01,1.013740e-01,9.963783e-02,9.939432e-02,9.789716e-02,9.615560e-02,9.594672e-02,9.441649e-02,9.268291e-02,9.250997e-02,9.095774e-02,8.924363e-02,8.910705e-02,8.754301e-02,8.585812e-02,8.575757e-02,8.419101e-02,8.254355e-02,8.247809e-02,8.091745e-02,7.931425e-02,7.928243e-02,7.773533e-02,7.618194e-02,7.318582e-02,7.030132e-02,6.753401e-02,6.488800e-02,6.236612e-02,5.997007e-02,5.770061e-02,5.555769e-02,5.354056e-02,5.164786e-02,4.987776e-02,4.822800e-02,4.669595e-02,4.527871e-02,4.397309e-02,4.277573e-02,4.168308e-02,4.069145e-02,3.979702e-02,3.899589e-02,3.828407e-02,3.765752e-02,3.711212e-02,3.664375e-02,3.624824e-02,3.592144e-02,3.565917e-02,3.545727e-02,3.531160e-02,3.521807e-02,3.517262e-02,3.517125e-02,3.521003e-02,3.528511e-02,3.539273e-02,3.552923e-02,3.569107e-02,3.587483e-02,3.607723e-02,3.629511e-02,3.652550e-02,3.676554e-02,3.701257e-02,3.726408e-02,3.751773e-02,3.777137e-02,3.802302e-02,3.827087e-02,3.851328e-02
0.000000e+00,3.100816e-09,3.656000e-08,3.807115e-08,2.154654e-07,7.306695e-07,7.626917e-07,1.865228e-06,3.318775e-06,3.418979e-06,5.117567e-06,6.643319e-06,6.772397e-06,8.329955e-06,9.640829e-06,9.781179e-06,1.112754e-05,1.222865e-05,1.237291e-05,1.352177e-05,1.443615e-05,1.457878e-05,1.554856e-05,1.629913e-05,1.643570e-05,1.724465e-05,1.785269e-05,1.797975e-05,1.864516e-05,1.913001e-05,1.924489e-05,1.978278e-05,2.016176e-05,2.026249e-05,2.068751e-05,2.097601e-05,2.106118e-05,2.138666e-05,2.159826e-05,2.166696e-05,2.190494e-05,2.205161e-05,2.210331e-05,2.226466e-05,2.235688e-05,2.239141e-05,2.248590e-05,2.253283e-05,2.255030e-05,2.258669e-05,2.259633e-05,2.259705e-05,2.258321e-05,2.256249e-05,2.254696e-05,2.248993e-05,2.244484e-05,2.241371e-05,2.231977e-05,2.225550e-05,2.220952e-05,2.208427e-05,2.200525e-05,2.194528e-05,2.179370e-05,2.170374e-05,2.163065e-05,2.145718e-05,2.135951e-05,2.127425e-05,2.108280e-05,2.098016e-05,2.088369e-05,2.067773e-05,2.057243e-05,2.046570e-05,2.024831e-05,2.014226e-05,2.002624e-05,1.980011e-05,1.969490e-05,1.957052e-05,1.933803e-05,1.923495e-05,1.910315e-05,1.886637e-05,1.876647e-05,1.862814e-05,1.838888e-05,1.829297e-05,1.814898e-05,1.790881e-05,1.781755e-05,1.766872e-05,1.742901e-05,1.734286e-05,1.718997e-05,1.695189e-05,1.687120e-05,1.671501e-05,1.647956e-05,1.640455e-05,1.624575e-05,1.601378e-05,1.594458e-05,1.578383e-05,1.555607e-05,1.549270e-05,1.533063e-05,1.510767e-05,1.505012e-05,1.488730e-05,1.466963e-05,1.461780e-05,1.445476e-05,1.424279e-05,1.419655e-05,1.403378e-05,1.382782e-05,1.378700e-05,1.362496e-05,1.342526e-05,1.338965e-05,1.322875e-05,1.303549e-05,1.300487e-05,1.284549e-05,1.265879e-05,1.263292e-05,1.247540e-05,1.229534e-05,1.227396e-05,1.211861e-05,1.194522e-05,1.192807e-05,1.177517e-05,1.160845e-05,1.159525e-05,1.144505e-05,1.128496e-05,1.127546e-05,1.112817e-05,1.097465e-05,1.096857e-05,1.082438e-05,1.067735e-05,1.067444e-05,1.053352e-05,1.039286e-05,1.012360e-05,9.866405e-06,9.620993e-06,9.387064e-06,9.164304e-06,8.952387e-06,8.750981e-06,8.559745e-06,8.378338e-06,8.206416e-06,8.043636e-06,7.889656e-06,7.744140e-06,7.606752e-06,7.477165e-06,7.355057e-06,7.240111e-06,7.132021e-06,7.030484e-06,6.935210e-06,6.845914e-06,6.762320e-06,6.684162e-06,6.611181e-06,6.543126e-06,6.479756e-06,6.420840e-06,6.366152e-06,6.315478e-06,6.268610e-06,6.225350e-06,6.185505e-06,6.148893e-06,6.115339e-06,6.084672e-06,6.056734e-06,6.031368e-06,6.008429e-06,5.987775e-06,5.969271e-06,5.952791e-06,5.938210e-06,5.925414e-06,5.914290e-06,5.904733e-06,5.896643e-06,5.889924e-06,5.884484e-06,5.880238e-06
0.000000e+00,2.394552e-11,3.629293e-09,3.905510e-09,7.707024e-08,6.129274e-07,6.606456e-07,3.402427e-06,1.122718e-05,1.199949e-05,3.141378e-05,6.184697e-05,6.508411e-05,1.127402e-04,1.646812e-04,1.708204e-04,2.344527e-04,2.914853e-04,2.991938e-04,3.618268e-04,4.124932e-04,4.204061e-04,4.739711e-04,5.148466e-04,5.222051e-04,5.651646e-04,5.966265e-04,6.030979e-04,6.363409e-04,6.598025e-04,6.652573e-04,6.902097e-04,7.071447e-04,7.115451e-04,7.295891e-04,7.412881e-04,7.446440e-04,7.569891e-04,7.645315e-04,7.668808e-04,7.745545e-04,7.788278e-04,7.802256e-04,7.840912e-04,7.858200e-04,7.863315e-04,7.871108e-04,7.868834e-04,7.865793e-04,7.848739e-04,7.831663e-04,7.821193e-04,7.784293e-04,7.756251e-04,7.739076e-04,7.686484e-04,7.650553e-04,7.627376e-04,7.562533e-04,7.521172e-04,7.492665e-04,7.418417e-04,7.373581e-04,7.340377e-04,7.259075e-04,7.212304e-04,7.174996e-04,7.088575e-04,7.041076e-04,7.000211e-04,6.910261e-04,6.862970e-04,6.819051e-04,6.726875e-04,6.680508e-04,6.633997e-04,6.540655e-04,6.495751e-04,6.447065e-04,6.353420e-04,6.310374e-04,6.259894e-04,6.166640e-04,6.125732e-04,6.073799e-04,5.981495e-04,5.942914e-04,5.889837e-04,5.798923e-04,5.762786e-04,5.708841e-04,5.619665e-04,5.586031e-04,5.531464e-04,5.444295e-04,5.413177e-04,5.358209e-04,5.273250e-04,5.244627e-04,5.189454e-04,5.106853e-04,5.080677e-04,5.025473e-04,4.945335e-04,4.921539e-04,4.866457e-04,4.788852e-04,4.767352e-04,4.712528e-04,4.637494e-04,4.618196e-04,4.563751e-04,4.491302e-04,4.474106e-04,4.420144e-04,4.350276e-04,4.335077e-04,4.281690e-04,4.214381e-04,4.201071e-04,4.148339e-04,4.083556e-04,4.072028e-04,4.020020e-04,3.957720e-04,3.947866e-04,3.896642e-04,3.836773e-04,3.828487e-04,3.778099e-04,3.720605e-04,3.713784e-04,3.664275e-04,3.609094e-04,3.603638e-04,3.555045e-04,3.502112e-04,3.497925e-04,3.450278e-04,3.399527e-04,3.396516e-04,3.349841e-04,3.301202e-04,3.299278e-04,3.253595e-04,3.207001e-04,3.206079e-04,3.161403e-04,3.116784e-04,3.031261e-04,2.949376e-04,2.871000e-04,2.796005e-04,2.724265e-04,2.655657e-04,2.590063e-04,2.527366e-04,2.467454e-04,2.410216e-04,2.355548e-04,2.303347e-04,2.253513e-04,2.205952e-04,2.160571e-04,2.117281e-04,2.075997e-04,2.036635e-04,1.999117e-04,1.963366e-04,1.929308e-04,1.896873e-04,1.865993e-04,1.836602e-04,1.808637e-04,1.782037e-04,1.756746e-04,1.732707e-04,1.709867e-04,1.688173e-04,1.667578e-04,1.648033e-04,1.629493e-04,1.611914e-04,1.595255e-04,1.579475e-04,1.564536e-04,1.550401e-04,1.537034e-04,1.524401e-04,1.512469e-04,1.501209e-04,1.490588e-04,1.480579e-04,1.471153e-04,1.462285e-04,1.453950e-04,1.446121e-04,1.438778e-04
0.000000e+00,6.605110e-13,1.374529e-10,1.487106e-10,3.678189e-09,3.521105e-08,3.825561e-08,2.447563e-07,1.027122e-06,1.116045e-06,3.911550e-06,1.026772e-05,1.108387e-05,2.642184e-05,5.118073e-05,5.474620e-05,1.012475e-04,1.610144e-04,1.706932e-04,2.667201e-04,3.721509e-04,3.913471e-04,5.447575e-04,6.947278e-04,7.253293e-04,9.298606e-04,1.112375e-03,1.153919e-03,1.392247e-03,1.589378e-03,1.639175e-03,1.888993e-03,2.082339e-03,2.136257e-03,2.376030e-03,2.550592e-03,2.604040e-03,2.816779e-03,2.962748e-03,3.011532e-03,3.186360e-03,3.299194e-03,3.340055e-03,3.472073e-03,3.551577e-03,3.582432e-03,3.671621e-03,3.720607e-03,3.740508e-03,3.790246e-03,3.813239e-03,3.822199e-03,3.837859e-03,3.840053e-03,3.838791e-03,3.826574e-03,3.813081e-03,3.802765e-03,3.768868e-03,3.744282e-03,3.726304e-03,3.676401e-03,3.644580e-03,3.620380e-03,3.559353e-03,3.523369e-03,3.494321e-03,3.426173e-03,3.388359e-03,3.355698e-03,3.283581e-03,3.245634e-03,3.210421e-03,3.136730e-03,3.099824e-03,3.062943e-03,2.989430e-03,2.954334e-03,2.916499e-03,2.844405e-03,2.811583e-03,2.773359e-03,2.703527e-03,2.673221e-03,2.635044e-03,2.568014e-03,2.540315e-03,2.502516e-03,2.438606e-03,2.413495e-03,2.376323e-03,2.315691e-03,2.293086e-03,2.256722e-03,2.199417e-03,2.179193e-03,2.143768e-03,2.089761e-03,2.071770e-03,2.037377e-03,1.986592e-03,1.970673e-03,1.937377e-03,1.889702e-03,1.875695e-03,1.843536e-03,1.798844e-03,1.786589e-03,1.755591e-03,1.713742e-03,1.703087e-03,1.673262e-03,1.634113e-03,1.624911e-03,1.596260e-03,1.559667e-03,1.551782e-03,1.524299e-03,1.490121e-03,1.483426e-03,1.457099e-03,1.425198e-03,1.419572e-03,1.394385e-03,1.364627e-03,1.359962e-03,1.335893e-03,1.308151e-03,1.304345e-03,1.281371e-03,1.255522e-03,1.252481e-03,1.230575e-03,1.206503e-03,1.204143e-03,1.183278e-03,1.160872e-03,1.159115e-03,1.139261e-03,1.118417e-03,1.117190e-03,1.098317e-03,1.078936e-03,1.078175e-03,1.060251e-03,1.042239e-03,1.041885e-03,1.024878e-03,1.008147e-03,9.767969e-04,9.476804e-04,9.206525e-04,8.955766e-04,8.723243e-04,8.507754e-04,8.308168e-04,8.123424e-04,7.952530e-04,7.794554e-04,7.648624e-04,7.513924e-04,7.389691e-04,7.275209e-04,7.169810e-04,7.072868e-04,6.983799e-04,6.902057e-04,6.827130e-04,6.758541e-04,6.695846e-04,6.638626e-04,6.586492e-04,6.539082e-04,6.496057e-04,6.457099e-04,6.421912e-04,6.390222e-04,6.361770e-04,6.336316e-04,6.313636e-04,6.293520e-04,6.275774e-04,6.260215e-04,6.246674e-04,6.234993e-04,6.225024e-04,6.216630e-04,6.209683e-04,6.204063e-04,6.199660e-04,6.196371e-04,6.194099e-04,6.192755e-04,6.192256e-04,6.192524e-04,6.193487e-04,6.195079e-04,6.197238e-04
0.000000e+00,2.071170e-10,2.775949e-09,2.896583e-09,1.696159e-08,5.483985e-08,5.708653e-08,1.299235e-07,2.182519e-07,2.241505e-07,3.215942e-07,4.055197e-07,4.124663e-07,4.943315e-07,5.603005e-07,5.671972e-07,6.316445e-07,6.819377e-07,6.883574e-07,7.380073e-07,7.755388e-07,7.812242e-07,8.185914e-07,8.458527e-07,8.506452e-07,8.778800e-07,8.969357e-07,9.007491e-07,9.196679e-07,9.322153e-07,9.350165e-07,9.471421e-07,9.545676e-07,9.563618e-07,9.629650e-07,9.663969e-07,9.672157e-07,9.693545e-07,9.697073e-07,9.696007e-07,9.681538e-07,9.661665e-07,9.651958e-07,9.608920e-07,9.571598e-07,9.553930e-07,9.488356e-07,9.438358e-07,9.413440e-07,9.330313e-07,9.271454e-07,9.240001e-07,9.143433e-07,9.078741e-07,9.041455e-07,8.934829e-07,8.866695e-07,8.824250e-07,8.710345e-07,8.640642e-07,8.593679e-07,8.474764e-07,8.404948e-07,8.354065e-07,8.231996e-07,8.163180e-07,8.108933e-07,7.985213e-07,7.918240e-07,7.861141e-07,7.736987e-07,7.672477e-07,7.612995e-07,7.489382e-07,7.427780e-07,7.366343e-07,7.244048e-07,7.185657e-07,7.122651e-07,7.002288e-07,6.947301e-07,6.883076e-07,6.765121e-07,6.713642e-07,6.648512e-07,6.533329e-07,6.485395e-07,6.419641e-07,6.307504e-07,6.263095e-07,6.196968e-07,6.088075e-07,6.047133e-07,5.980857e-07,5.875342e-07,5.837777e-07,5.771550e-07,5.669499e-07,5.635199e-07,5.569197e-07,5.470653e-07,5.439490e-07,5.373868e-07,5.278841e-07,5.250676e-07,5.185569e-07,5.094044e-07,5.068729e-07,5.004258e-07,4.916198e-07,4.893584e-07,4.829851e-07,4.745202e-07,4.725137e-07,4.662234e-07,4.580929e-07,4.563264e-07,4.501268e-07,4.423230e-07,4.407815e-07,4.346794e-07,4.271939e-07,4.258631e-07,4.198642e-07,4.126879e-07,4.115538e-07,4.056628e-07,3.987865e-07,3.978355e-07,3.920566e-07,3.854706e-07,3.846898e-07,3.790261e-07,3.727208e-07,3.720978e-07,3.665521e-07,3.605177e-07,3.600407e-07,3.546151e-07,3.488418e-07,3.484995e-07,3.431956e-07,3.376739e-07,3.374556e-07,3.322745e-07,3.269950e-07,3.268907e-07,3.218331e-07,3.167865e-07,3.071256e-07,2.978905e-07,2.890646e-07,2.806316e-07,2.725756e-07,2.648814e-07,2.575342e-07,2.505198e-07,2.438243e-07,2.374346e-07,2.313379e-07,2.255220e-07,2.199750e-07,2.146855e-07,2.096428e-07,2.048363e-07,2.002560e-07,1.958922e-07,1.917357e-07,1.877776e-07,1.840094e-07,1.804229e-07,1.770103e-07,1.737642e-07,1.706772e-07,1.677426e-07,1.649536e-07,1.623041e-07,1.597878e-07,1.573990e-07,1.551322e-07,1.529819e-07,1.509431e-07,1.490109e-07,1.471805e-07,1.454476e-07,1.438077e-07,1.422568e-07,1.407909e-07,1.394063e-07,1.380993e-07,1.368664e-07,1.357043e-07,1.346099e-07,1.335800e-07,1.326119e-07,1.317026e-07,1.308496e-07,1.300501e-07
0.000000e+00,2.560581e-11,4.319241e-09,4.658862e-09,1.033660e-07,9.097217e-07,9.843678e-07,5.544480e-06,1.966258e-05,2.110410e-05,5.891327e-05,1.219737e-04,1.288792e-04,2.340034e-04,3.548004e-04,3.694548e-04,5.255932e-04,6.716050e-04,6.917474e-04,8.587561e-04,9.979258e-04,1.019966e-03,1.171191e-03,1.288821e-03,1.310191e-03,1.436084e-03,1.529497e-03,1.548840e-03,1.648921e-03,1.720336e-03,1.737042e-03,1.814031e-03,1.866904e-03,1.880742e-03,1.938018e-03,1.975732e-03,1.986661e-03,2.027429e-03,2.052944e-03,2.061027e-03,2.088111e-03,2.103918e-03,2.109284e-03,2.125104e-03,2.133270e-03,2.136084e-03,2.142694e-03,2.144914e-03,2.145366e-03,2.144495e-03,2.142156e-03,2.140443e-03,2.133542e-03,2.127770e-03,2.124093e-03,2.112374e-03,2.104080e-03,2.098637e-03,2.083111e-03,2.073026e-03,2.066008e-03,2.047517e-03,2.036226e-03,2.027813e-03,2.007055e-03,1.995025e-03,1.985387e-03,1.962941e-03,1.950539e-03,1.939836e-03,1.916180e-03,1.903694e-03,1.892072e-03,1.867600e-03,1.855254e-03,1.842847e-03,1.817885e-03,1.805848e-03,1.792779e-03,1.767589e-03,1.755989e-03,1.742370e-03,1.717168e-03,1.706097e-03,1.692028e-03,1.666988e-03,1.656509e-03,1.642083e-03,1.617343e-03,1.607500e-03,1.592798e-03,1.568470e-03,1.559287e-03,1.544381e-03,1.520552e-03,1.512040e-03,1.496998e-03,1.473734e-03,1.465892e-03,1.450773e-03,1.428125e-03,1.420945e-03,1.405800e-03,1.383806e-03,1.377273e-03,1.362149e-03,1.340835e-03,1.334929e-03,1.319867e-03,1.299249e-03,1.293946e-03,1.278983e-03,1.259071e-03,1.254345e-03,1.239513e-03,1.220310e-03,1.216133e-03,1.201460e-03,1.182964e-03,1.179307e-03,1.164818e-03,1.147023e-03,1.143856e-03,1.129574e-03,1.112470e-03,1.109765e-03,1.095707e-03,1.079283e-03,1.077010e-03,1.063193e-03,1.047434e-03,1.045565e-03,1.032003e-03,1.016895e-03,1.015402e-03,1.002106e-03,9.876315e-04,9.864870e-04,9.734677e-04,9.596099e-04,9.587881e-04,9.460536e-04,9.327942e-04,9.322699e-04,9.198271e-04,9.071477e-04,9.068970e-04,8.947514e-04,8.826334e-04,8.594429e-04,8.372896e-04,8.161377e-04,7.959518e-04,7.766973e-04,7.583401e-04,7.408469e-04,7.241852e-04,7.083232e-04,6.932302e-04,6.788762e-04,6.652321e-04,6.522699e-04,6.399622e-04,6.282828e-04,6.172061e-04,6.067075e-04,5.967633e-04,5.873504e-04,5.784468e-04,5.700310e-04,5.620826e-04,5.545815e-04,5.475088e-04,5.408458e-04,5.345750e-04,5.286791e-04,5.231418e-04,5.179470e-04,5.130796e-04,5.085248e-04,5.042685e-04,5.002970e-04,4.965973e-04,4.931566e-04,4.899630e-04,4.870046e-04,4.842703e-04,4.817492e-04,4.794309e-04,4.773056e-04,4.753634e-04,4.735953e-04,4.719924e-04,4.705460e-04,4.692481e-04,4.680907e-04,4.670663e-04,4.661676e-04
0.000000e+00,2.405991e-09,3.095522e-08,3.228747e-08,1.938620e-07,6.696232e-07,6.990476e-07,1.690832e-06,2.935356e-06,3.019178e-06,4.419970e-06,5.661873e-06,5.766567e-06,7.026346e-06,8.081715e-06,8.194437e-06,9.272939e-06,1.015097e-05,1.026572e-05,1.117706e-05,1.189900e-05,1.201131e-05,1.277270e-05,1.335901e-05,1.346539e-05,1.409337e-05,1.456272e-05,1.466048e-05,1.517040e-05,1.553953e-05,1.562664e-05,1.603255e-05,1.631625e-05,1.639128e-05,1.670586e-05,1.691718e-05,1.697915e-05,1.721383e-05,1.736415e-05,1.741247e-05,1.757748e-05,1.767676e-05,1.771116e-05,1.781564e-05,1.787251e-05,1.789297e-05,1.794507e-05,1.796701e-05,1.797374e-05,1.798070e-05,1.797419e-05,1.796755e-05,1.793581e-05,1.790640e-05,1.788690e-05,1.782217e-05,1.777464e-05,1.774287e-05,1.765020e-05,1.758864e-05,1.754527e-05,1.742913e-05,1.735702e-05,1.730277e-05,1.716711e-05,1.708740e-05,1.702302e-05,1.687132e-05,1.678650e-05,1.671276e-05,1.654808e-05,1.646024e-05,1.637792e-05,1.620294e-05,1.611381e-05,1.602370e-05,1.584076e-05,1.575179e-05,1.565463e-05,1.546580e-05,1.537815e-05,1.527470e-05,1.508175e-05,1.499637e-05,1.488735e-05,1.469185e-05,1.460949e-05,1.449559e-05,1.429888e-05,1.422013e-05,1.410200e-05,1.390523e-05,1.383054e-05,1.370882e-05,1.351299e-05,1.344267e-05,1.331795e-05,1.312390e-05,1.305818e-05,1.293102e-05,1.273948e-05,1.267849e-05,1.254941e-05,1.236097e-05,1.230477e-05,1.217427e-05,1.198943e-05,1.193802e-05,1.180655e-05,1.162573e-05,1.157906e-05,1.144704e-05,1.127057e-05,1.122856e-05,1.109638e-05,1.092453e-05,1.088704e-05,1.075507e-05,1.058804e-05,1.055493e-05,1.042348e-05,1.026143e-05,1.023252e-05,1.010191e-05,9.944937e-06,9.920061e-06,9.790540e-06,9.638724e-06,9.617677e-06,9.489499e-06,9.342869e-06,9.325448e-06,9.198835e-06,9.057395e-06,9.043393e-06,8.918542e-06,8.782268e-06,8.771477e-06,8.648563e-06,8.517414e-06,8.509626e-06,8.388804e-06,8.262716e-06,8.257725e-06,8.139131e-06,8.018028e-06,8.015631e-06,7.899383e-06,7.783174e-06,7.560162e-06,7.346387e-06,7.141625e-06,6.945641e-06,6.758194e-06,6.579034e-06,6.407909e-06,6.244562e-06,6.088737e-06,5.940179e-06,5.798633e-06,5.663848e-06,5.535574e-06,5.413568e-06,5.297589e-06,5.187403e-06,5.082781e-06,4.983500e-06,4.889340e-06,4.800090e-06,4.715545e-06,4.635505e-06,4.559778e-06,4.488177e-06,4.420522e-06,4.356638e-06,4.296359e-06,4.239521e-06,4.185970e-06,4.135555e-06,4.088132e-06,4.043562e-06,4.001712e-06,3.962454e-06,3.925665e-06,3.891227e-06,3.859028e-06,3.828958e-06,3.800914e-06,3.774797e-06,3.750510e-06,3.727964e-06,3.707070e-06,3.687745e-06,3.669909e-06,3.653485e-06,3.638401e-06,3.624587e-06,3.611976e-06
0.000000e+00,2.425220e-12,5.118279e-10,5.543864e-10,1.486419e-08,1.528352e-07,1.663964e-07,1.088138e-06,4.427578e-06,4.794349e-06,1.555424e-05,3.719073e-05,3.979975e-05,8.483650e-05,1.484977e-04,1.570875e-04,2.606898e-04,3.788070e-04,3.968298e-04,5.637971e-04,7.289963e-04,7.575320e-04,9.723978e-04,1.164525e-03,1.201974e-03,1.439734e-03,1.636491e-03,1.679559e-03,1.916062e-03,2.099834e-03,2.144769e-03,2.362160e-03,2.522169e-03,2.565639e-03,2.753445e-03,2.885029e-03,2.924532e-03,3.078445e-03,3.181279e-03,3.215199e-03,3.335164e-03,3.411489e-03,3.438970e-03,3.527431e-03,3.580717e-03,3.601474e-03,3.662089e-03,3.696156e-03,3.710293e-03,3.747096e-03,3.765622e-03,3.773486e-03,3.790410e-03,3.796689e-03,3.798764e-03,3.799394e-03,3.796254e-03,3.793088e-03,3.780575e-03,3.770372e-03,3.762531e-03,3.739575e-03,3.724236e-03,3.712276e-03,3.681155e-03,3.662236e-03,3.646685e-03,3.609300e-03,3.588039e-03,3.569391e-03,3.527316e-03,3.504689e-03,3.483397e-03,3.437928e-03,3.414696e-03,3.391174e-03,3.343374e-03,3.320122e-03,3.294743e-03,3.245476e-03,3.222648e-03,3.195748e-03,3.145715e-03,3.123642e-03,3.095520e-03,3.045287e-03,3.024207e-03,2.995132e-03,2.945152e-03,2.925231e-03,2.895440e-03,2.846073e-03,2.827419e-03,2.797122e-03,2.748649e-03,2.731327e-03,2.700709e-03,2.653349e-03,2.637386e-03,2.606610e-03,2.560528e-03,2.545926e-03,2.515133e-03,2.470452e-03,2.457191e-03,2.426507e-03,2.383314e-03,2.371357e-03,2.340888e-03,2.299242e-03,2.288542e-03,2.258382e-03,2.218316e-03,2.208819e-03,2.179048e-03,2.140578e-03,2.132222e-03,2.102907e-03,2.066033e-03,2.058753e-03,2.029953e-03,1.994662e-03,1.988393e-03,1.960155e-03,1.926425e-03,1.921100e-03,1.893465e-03,1.861266e-03,1.856818e-03,1.829819e-03,1.799115e-03,1.795480e-03,1.769142e-03,1.739892e-03,1.737006e-03,1.711352e-03,1.683511e-03,1.681314e-03,1.656359e-03,1.629882e-03,1.628315e-03,1.604070e-03,1.578909e-03,1.577916e-03,1.554389e-03,1.530496e-03,1.530024e-03,1.507218e-03,1.484543e-03,1.441379e-03,1.400437e-03,1.361624e-03,1.324849e-03,1.290024e-03,1.257060e-03,1.225875e-03,1.196386e-03,1.168515e-03,1.142185e-03,1.117323e-03,1.093859e-03,1.071726e-03,1.050857e-03,1.031192e-03,1.012671e-03,9.952361e-04,9.788338e-04,9.634120e-04,9.489210e-04,9.353133e-04,9.225438e-04,9.105694e-04,8.993490e-04,8.888434e-04,8.790153e-04,8.698291e-04,8.612511e-04,8.532490e-04,8.457922e-04,8.388513e-04,8.323988e-04,8.264081e-04,8.208542e-04,8.157131e-04,8.109620e-04,8.065795e-04,8.025449e-04,7.988387e-04,7.954423e-04,7.923382e-04,7.895095e-04,7.869404e-04,7.846157e-04,7.825210e-04,7.806428e-04,7.789679e-04,7.774843e-04,7.761801e-04
0.000000e+00,5.608346e-09,1.040834e-07,1.090324e-07,7.639529e-07,2.861846e-06,2.995405e-06,7.641962e-06,1.370787e-05,1.412117e-05,2.105810e-05,2.721871e-05,2.773781e-05,3.397878e-05,3.919863e-05,3.975566e-05,4.508003e-05,4.940707e-05,4.997200e-05,5.445360e-05,5.799649e-05,5.854702e-05,6.227412e-05,6.513735e-05,6.565614e-05,6.871363e-05,7.099250e-05,7.146635e-05,7.393325e-05,7.571313e-05,7.613237e-05,7.808090e-05,7.943732e-05,7.979516e-05,8.129062e-05,8.228987e-05,8.258191e-05,8.368286e-05,8.438274e-05,8.460654e-05,8.536527e-05,8.581598e-05,8.597068e-05,8.643372e-05,8.667869e-05,8.676470e-05,8.697334e-05,8.705002e-05,8.706878e-05,8.705960e-05,8.700018e-05,8.695388e-05,8.675922e-05,8.659126e-05,8.648273e-05,8.613111e-05,8.587815e-05,8.571065e-05,8.522723e-05,8.490927e-05,8.468637e-05,8.409327e-05,8.372725e-05,8.345276e-05,8.276938e-05,8.236955e-05,8.204737e-05,8.129072e-05,8.086904e-05,8.050313e-05,7.968807e-05,7.925447e-05,7.884878e-05,7.798828e-05,7.755095e-05,7.710937e-05,7.621469e-05,7.578037e-05,7.530668e-05,7.438760e-05,7.396170e-05,7.345958e-05,7.252456e-05,7.211140e-05,7.158436e-05,7.064067e-05,7.024366e-05,6.969505e-05,6.874894e-05,6.837066e-05,6.780367e-05,6.686046e-05,6.650283e-05,6.592046e-05,6.498469e-05,6.464903e-05,6.405410e-05,6.312957e-05,6.281676e-05,6.221190e-05,6.130182e-05,6.101230e-05,6.039997e-05,5.950696e-05,5.924086e-05,5.862333e-05,5.774956e-05,5.750673e-05,5.688609e-05,5.603331e-05,5.581338e-05,5.519155e-05,5.436113e-05,5.416354e-05,5.354230e-05,5.273529e-05,5.255936e-05,5.194030e-05,5.115749e-05,5.100240e-05,5.038699e-05,4.962891e-05,4.949378e-05,4.888333e-05,4.815031e-05,4.803420e-05,4.742990e-05,4.672210e-05,4.662402e-05,4.602692e-05,4.534434e-05,4.526328e-05,4.467433e-05,4.401684e-05,4.395178e-05,4.337182e-05,4.273918e-05,4.268910e-05,4.211885e-05,4.151073e-05,4.147463e-05,4.091473e-05,4.033073e-05,4.030761e-05,3.975860e-05,3.919824e-05,3.918715e-05,3.864950e-05,3.811225e-05,3.708183e-05,3.609475e-05,3.514981e-05,3.424579e-05,3.338141e-05,3.255541e-05,3.176651e-05,3.101342e-05,3.029488e-05,2.960961e-05,2.895637e-05,2.833395e-05,2.774113e-05,2.717675e-05,2.663966e-05,2.612873e-05,2.564290e-05,2.518109e-05,2.474229e-05,2.432551e-05,2.392980e-05,2.355423e-05,2.319792e-05,2.286000e-05,2.253965e-05,2.223607e-05,2.194850e-05,2.167621e-05,2.141849e-05,2.117467e-05,2.094410e-05,2.072615e-05,2.052023e-05,2.032578e-05,2.014223e-05,1.996908e-05,1.980583e-05,1.965199e-05,1.950710e-05,1.937074e-05,1.924248e-05,1.912193e-05,1.900870e-05,1.890244e-05,1.880279e-05,1.870942e-05,1.862203e-05,1.854030e-05,1.846396e-05
0.000000e+00,3.998990e-11,5.626962e-09,6.045517e-09,1.104387e-07,8.279755e-07,8.905853e-07,4.389626e-06,1.403678e-05,1.497538e-05,3.811714e-05,7.318569e-05,7.684535e-05,1.293417e-04,1.838370e-04,1.900996e-04,2.528448e-04,3.057448e-04,3.126511e-04,3.665710e-04,4.072314e-04,4.133323e-04,4.527606e-04,4.805123e-04,4.852770e-04,5.115629e-04,5.289962e-04,5.323707e-04,5.484303e-04,5.583101e-04,5.604089e-04,5.688996e-04,5.734373e-04,5.744212e-04,5.774245e-04,5.782645e-04,5.782991e-04,5.773810e-04,5.757192e-04,5.749596e-04,5.712833e-04,5.679804e-04,5.665654e-04,5.609883e-04,5.566578e-04,5.547084e-04,5.478592e-04,5.429357e-04,5.405552e-04,5.328935e-04,5.276817e-04,5.249572e-04,5.168167e-04,5.115278e-04,5.085321e-04,5.001544e-04,4.949325e-04,4.917263e-04,4.832842e-04,4.782249e-04,4.748582e-04,4.664738e-04,4.616385e-04,4.581524e-04,4.499117e-04,4.453376e-04,4.417662e-04,4.337277e-04,4.294348e-04,4.258058e-04,4.180083e-04,4.140049e-04,4.103413e-04,4.028095e-04,3.990954e-04,3.954163e-04,3.881640e-04,3.847335e-04,3.810543e-04,3.740881e-04,3.709319e-04,3.672656e-04,3.605866e-04,3.576932e-04,3.540505e-04,3.476562e-04,3.450125e-04,3.414022e-04,3.352869e-04,3.328793e-04,3.293086e-04,3.234653e-04,3.212798e-04,3.177549e-04,3.121752e-04,3.101981e-04,3.067240e-04,3.013988e-04,2.996166e-04,2.961974e-04,2.911172e-04,2.895167e-04,2.861559e-04,2.813110e-04,2.798799e-04,2.765801e-04,2.719609e-04,2.706872e-04,2.674509e-04,2.630477e-04,2.619200e-04,2.587489e-04,2.545523e-04,2.535601e-04,2.504556e-04,2.464565e-04,2.455896e-04,2.425528e-04,2.387423e-04,2.379912e-04,2.350230e-04,2.313925e-04,2.307484e-04,2.278491e-04,2.243905e-04,2.238449e-04,2.210149e-04,2.177203e-04,2.172654e-04,2.145048e-04,2.113665e-04,2.109950e-04,2.083037e-04,2.053145e-04,2.050195e-04,2.023972e-04,1.995502e-04,1.993254e-04,1.967717e-04,1.940602e-04,1.938996e-04,1.914140e-04,1.888317e-04,1.887297e-04,1.863116e-04,1.838523e-04,1.838037e-04,1.814524e-04,1.791104e-04,1.746390e-04,1.703790e-04,1.663207e-04,1.624545e-04,1.587716e-04,1.552633e-04,1.519215e-04,1.487384e-04,1.457066e-04,1.428189e-04,1.400687e-04,1.374495e-04,1.349551e-04,1.325797e-04,1.303177e-04,1.281639e-04,1.261130e-04,1.241604e-04,1.223014e-04,1.205315e-04,1.188467e-04,1.172429e-04,1.157163e-04,1.142634e-04,1.128805e-04,1.115645e-04,1.103123e-04,1.091208e-04,1.079871e-04,1.069086e-04,1.058827e-04,1.049068e-04,1.039788e-04,1.030962e-04,1.022570e-04,1.014591e-04,1.007006e-04,9.997971e-05,9.929456e-05,9.864351e-05,9.802495e-05,9.743737e-05,9.687930e-05,9.634936e-05,9.584623e-05,9.536864e-05,9.491540e-05,9.448535e-05,9.407742e-05
0.000000e+00,3.711948e-09,4.845147e-08,5.052715e-08,3.031725e-07,1.072019e-06,1.120804e-06,2.846848e-06,5.217913e-06,5.384063e-06,8.223462e-06,1.076920e-05,1.098296e-05,1.353252e-05,1.562638e-05,1.584735e-05,1.793251e-05,1.958757e-05,1.980079e-05,2.146657e-05,2.274817e-05,2.294424e-05,2.424760e-05,2.521731e-05,2.538974e-05,2.638304e-05,2.709469e-05,2.723917e-05,2.796910e-05,2.846909e-05,2.858309e-05,2.909073e-05,2.941866e-05,2.950099e-05,2.982220e-05,3.001156e-05,3.006212e-05,3.022795e-05,3.030692e-05,3.032638e-05,3.036362e-05,3.035578e-05,3.034541e-05,3.027707e-05,3.020206e-05,3.016352e-05,3.000931e-05,2.988339e-05,2.981865e-05,2.959540e-05,2.943196e-05,2.934315e-05,2.906519e-05,2.887521e-05,2.876455e-05,2.844404e-05,2.823648e-05,2.810622e-05,2.775344e-05,2.753551e-05,2.738788e-05,2.701151e-05,2.678899e-05,2.662616e-05,2.623348e-05,2.601095e-05,2.583499e-05,2.543209e-05,2.521313e-05,2.502603e-05,2.461796e-05,2.440532e-05,2.420892e-05,2.379985e-05,2.359558e-05,2.339162e-05,2.298499e-05,2.279058e-05,2.258066e-05,2.217924e-05,2.199572e-05,2.178129e-05,2.138732e-05,2.121535e-05,2.099776e-05,2.061300e-05,2.045292e-05,2.023339e-05,1.985922e-05,1.971113e-05,1.949075e-05,1.912820e-05,1.899203e-05,1.877177e-05,1.842161e-05,1.829711e-05,1.807785e-05,1.774059e-05,1.762742e-05,1.740992e-05,1.708590e-05,1.698363e-05,1.676857e-05,1.645794e-05,1.636606e-05,1.615403e-05,1.585683e-05,1.577481e-05,1.556631e-05,1.528245e-05,1.520973e-05,1.500520e-05,1.473451e-05,1.467051e-05,1.447031e-05,1.421254e-05,1.415669e-05,1.396113e-05,1.371598e-05,1.366770e-05,1.347702e-05,1.324415e-05,1.320287e-05,1.301727e-05,1.279630e-05,1.276148e-05,1.258112e-05,1.237164e-05,1.234276e-05,1.216775e-05,1.196935e-05,1.194590e-05,1.177632e-05,1.158855e-05,1.157006e-05,1.140595e-05,1.122839e-05,1.121440e-05,1.105578e-05,1.088799e-05,1.087807e-05,1.072493e-05,1.056648e-05,1.056023e-05,1.041254e-05,1.026299e-05,1.026005e-05,1.011775e-05,9.976697e-06,9.709381e-06,9.457320e-06,9.219756e-06,8.995958e-06,8.785219e-06,8.586860e-06,8.400229e-06,8.224702e-06,8.059679e-06,7.904591e-06,7.758892e-06,7.622064e-06,7.493612e-06,7.373068e-06,7.259985e-06,7.153940e-06,7.054532e-06,6.961380e-06,6.874125e-06,6.792426e-06,6.715960e-06,6.644422e-06,6.577524e-06,6.514994e-06,6.456575e-06,6.402023e-06,6.351109e-06,6.303619e-06,6.259346e-06,6.218099e-06,6.179697e-06,6.143969e-06,6.110753e-06,6.079898e-06,6.051261e-06,6.024706e-06,6.000108e-06,5.977345e-06,5.956307e-06,5.936886e-06,5.918983e-06,5.902504e-06,5.887361e-06,5.873471e-06,5.860754e-06,5.849138e-06,5.838553e-06,5.828934e-06,5.820220e-06
0.000000e+00,7.120855e-10,7.250455e-08,7.751969e-08,1.188898e-06,7.993889e-06,8.560656e-06,3.748470e-05,1.049272e-04,1.109123e-04,2.399223e-04,3.965998e-04,4.113093e-04,6.018843e-04,7.754681e-04,7.945329e-04,9.808613e-04,1.137069e-03,1.157761e-03,1.324410e-03,1.459524e-03,1.480812e-03,1.627235e-03,1.742777e-03,1.764034e-03,1.891590e-03,1.989563e-03,2.010294e-03,2.120535e-03,2.202895e-03,2.222700e-03,2.317168e-03,2.385748e-03,2.404309e-03,2.484481e-03,2.540966e-03,2.558032e-03,2.625297e-03,2.671215e-03,2.686597e-03,2.742241e-03,2.778969e-03,2.792525e-03,2.837733e-03,2.866504e-03,2.878137e-03,2.913996e-03,2.935911e-03,2.945558e-03,2.973062e-03,2.989101e-03,2.996732e-03,3.016786e-03,3.027818e-03,3.033429e-03,3.046859e-03,3.053654e-03,3.057263e-03,3.064819e-03,3.068057e-03,3.069699e-03,3.072064e-03,3.072345e-03,3.072069e-03,3.069862e-03,3.067712e-03,3.065582e-03,3.059364e-03,3.055245e-03,3.051334e-03,3.041613e-03,3.035928e-03,3.030315e-03,3.017550e-03,3.010650e-03,3.003422e-03,2.988029e-03,2.980218e-03,2.971464e-03,2.953818e-03,2.945360e-03,2.935173e-03,2.915611e-03,2.906732e-03,2.895206e-03,2.874032e-03,2.864926e-03,2.852156e-03,2.829643e-03,2.820473e-03,2.806555e-03,2.782949e-03,2.773854e-03,2.758880e-03,2.734401e-03,2.725497e-03,2.709560e-03,2.684404e-03,2.675787e-03,2.658977e-03,2.633319e-03,2.625067e-03,2.607471e-03,2.581469e-03,2.573644e-03,2.555348e-03,2.529141e-03,2.521791e-03,2.502877e-03,2.476587e-03,2.469751e-03,2.450297e-03,2.424033e-03,2.417737e-03,2.397819e-03,2.371678e-03,2.365939e-03,2.345630e-03,2.319695e-03,2.314523e-03,2.293891e-03,2.268236e-03,2.263635e-03,2.242745e-03,2.217434e-03,2.213402e-03,2.192316e-03,2.167404e-03,2.163933e-03,2.142709e-03,2.118244e-03,2.115324e-03,2.094017e-03,2.070038e-03,2.067654e-03,2.046316e-03,2.022858e-03,2.020993e-03,1.999671e-03,1.976762e-03,1.975396e-03,1.954136e-03,1.931799e-03,1.930911e-03,1.909755e-03,1.888008e-03,1.887576e-03,1.866562e-03,1.845420e-03,1.804465e-03,1.764727e-03,1.726215e-03,1.688935e-03,1.652887e-03,1.618066e-03,1.584464e-03,1.552071e-03,1.520874e-03,1.490855e-03,1.461996e-03,1.434278e-03,1.407679e-03,1.382176e-03,1.357745e-03,1.334360e-03,1.311995e-03,1.290625e-03,1.270222e-03,1.250760e-03,1.232210e-03,1.214545e-03,1.197737e-03,1.181760e-03,1.166585e-03,1.152185e-03,1.138533e-03,1.125603e-03,1.113368e-03,1.101803e-03,1.090880e-03,1.080577e-03,1.070867e-03,1.061726e-03,1.053132e-03,1.045061e-03,1.037490e-03,1.030397e-03,1.023762e-03,1.017562e-03,1.011778e-03,1.006390e-03,1.001379e-03,9.967260e-04,9.924136e-04,9.884241e-04,9.847408e-04,9.813473e-04,9.782280e-04
0.000000e+00,5.510742e-09,9.399708e-08,9.829037e-08,6.705558e-07,2.675049e-06,2.810088e-06,7.926305e-06,1.552608e-05,1.607032e-05,2.544541e-05,3.385411e-05,3.455765e-05,4.290488e-05,4.968849e-05,5.040008e-05,5.706996e-05,6.229984e-05,6.296898e-05,6.815640e-05,7.209260e-05,7.269003e-05,7.662459e-05,7.950425e-05,8.001132e-05,8.289798e-05,8.492307e-05,8.532888e-05,8.734523e-05,8.868556e-05,8.898517e-05,9.028395e-05,9.108117e-05,9.127407e-05,9.198544e-05,9.235667e-05,9.244557e-05,9.267970e-05,9.272116e-05,9.271101e-05,9.256071e-05,9.235102e-05,9.224824e-05,9.179137e-05,9.139442e-05,9.120637e-05,9.050808e-05,8.997549e-05,8.971003e-05,8.882460e-05,8.819785e-05,8.786303e-05,8.683557e-05,8.614776e-05,8.575155e-05,8.461943e-05,8.389677e-05,8.344691e-05,8.224097e-05,8.150401e-05,8.100791e-05,7.975345e-05,7.901811e-05,7.848275e-05,7.720046e-05,7.647890e-05,7.591078e-05,7.461746e-05,7.391877e-05,7.332390e-05,7.203309e-05,7.136388e-05,7.074776e-05,6.947029e-05,6.883518e-05,6.820282e-05,6.694723e-05,6.634926e-05,6.570517e-05,6.447811e-05,6.391905e-05,6.326731e-05,6.207385e-05,6.155448e-05,6.089869e-05,5.974262e-05,5.926293e-05,5.860632e-05,5.749033e-05,5.704974e-05,5.639512e-05,5.532104e-05,5.491849e-05,5.426837e-05,5.323729e-05,5.287142e-05,5.222794e-05,5.124037e-05,5.090956e-05,5.027460e-05,4.933058e-05,4.903307e-05,4.840822e-05,4.750740e-05,4.724132e-05,4.662794e-05,4.576967e-05,4.553312e-05,4.493235e-05,4.411574e-05,4.390678e-05,4.331957e-05,4.254355e-05,4.236027e-05,4.178739e-05,4.105078e-05,4.089131e-05,4.033338e-05,3.963486e-05,3.949739e-05,3.895487e-05,3.829308e-05,3.817586e-05,3.764913e-05,3.702265e-05,3.692401e-05,3.641330e-05,3.582071e-05,3.573906e-05,3.524452e-05,3.468437e-05,3.461821e-05,3.413991e-05,3.361078e-05,3.355869e-05,3.309662e-05,3.259709e-05,3.255775e-05,3.211184e-05,3.164052e-05,3.161267e-05,3.118280e-05,3.073834e-05,3.072084e-05,3.030682e-05,2.988791e-05,2.987966e-05,2.948130e-05,2.908666e-05,2.833943e-05,2.763566e-05,2.697310e-05,2.634962e-05,2.576318e-05,2.521180e-05,2.469362e-05,2.420685e-05,2.374980e-05,2.332083e-05,2.291842e-05,2.254109e-05,2.218746e-05,2.185620e-05,2.154606e-05,2.125586e-05,2.098447e-05,2.073082e-05,2.049390e-05,2.027276e-05,2.006648e-05,1.987422e-05,1.969515e-05,1.952852e-05,1.937360e-05,1.922970e-05,1.909617e-05,1.897240e-05,1.885781e-05,1.875186e-05,1.865403e-05,1.856382e-05,1.848078e-05,1.840447e-05,1.833449e-05,1.827044e-05,1.821195e-05,1.815868e-05,1.811031e-05,1.806653e-05,1.802704e-05,1.799158e-05,1.795988e-05,1.793170e-05,1.790681e-05,1.788500e-05,1.786606e-05,1.784980e-05,1.783603e-05
0.000000e+00,5.884866e-10,4.941430e-08,5.274480e-08,7.732858e-07,4.861436e-06,5.185375e-06,2.001151e-05,4.810142e-05,5.032612e-05,9.209492e-05,1.334723e-04,1.370404e-04,1.801993e-04,2.161652e-04,2.199803e-04,2.561581e-04,2.851284e-04,2.888797e-04,3.183675e-04,3.413149e-04,3.448497e-04,3.685454e-04,3.864482e-04,3.896617e-04,4.083938e-04,4.221041e-04,4.249252e-04,4.394277e-04,4.496773e-04,4.520621e-04,4.629785e-04,4.703906e-04,4.723163e-04,4.802053e-04,4.853068e-04,4.867665e-04,4.921118e-04,4.953456e-04,4.963445e-04,4.995606e-04,5.012968e-04,5.018489e-04,5.032912e-04,5.038383e-04,5.039634e-04,5.039357e-04,5.035502e-04,5.032727e-04,5.020340e-04,5.009281e-04,5.002748e-04,4.980458e-04,4.963946e-04,4.953940e-04,4.923622e-04,4.903092e-04,4.889902e-04,4.853145e-04,4.829776e-04,4.813690e-04,4.771843e-04,4.746590e-04,4.727891e-04,4.682093e-04,4.655731e-04,4.634691e-04,4.585903e-04,4.559054e-04,4.535932e-04,4.484963e-04,4.458121e-04,4.433165e-04,4.380692e-04,4.354248e-04,4.327688e-04,4.274280e-04,4.248536e-04,4.220587e-04,4.166717e-04,4.141904e-04,4.112767e-04,4.058827e-04,4.035117e-04,4.004976e-04,3.951289e-04,3.928805e-04,3.897831e-04,3.844662e-04,3.823487e-04,3.791836e-04,3.739401e-04,3.719587e-04,3.687400e-04,3.635873e-04,3.617445e-04,3.584853e-04,3.534371e-04,3.517334e-04,3.484453e-04,3.435125e-04,3.419467e-04,3.386405e-04,3.338312e-04,3.324009e-04,3.290861e-04,3.244065e-04,3.231081e-04,3.197934e-04,3.152478e-04,3.140770e-04,3.107703e-04,3.063614e-04,3.053136e-04,3.020216e-04,2.977511e-04,2.968209e-04,2.935500e-04,2.894184e-04,2.886004e-04,2.853560e-04,2.813628e-04,2.806514e-04,2.774385e-04,2.735828e-04,2.729722e-04,2.697951e-04,2.660751e-04,2.655597e-04,2.624223e-04,2.588359e-04,2.584100e-04,2.553155e-04,2.518603e-04,2.515184e-04,2.484697e-04,2.451430e-04,2.448796e-04,2.418793e-04,2.386779e-04,2.384877e-04,2.355380e-04,2.324588e-04,2.323369e-04,2.294394e-04,2.264791e-04,2.264205e-04,2.235770e-04,2.207322e-04,2.152653e-04,2.100130e-04,2.049687e-04,2.001256e-04,1.954771e-04,1.910167e-04,1.867380e-04,1.826345e-04,1.787001e-04,1.749288e-04,1.713147e-04,1.678521e-04,1.645353e-04,1.613589e-04,1.583177e-04,1.554067e-04,1.526208e-04,1.499553e-04,1.474057e-04,1.449674e-04,1.426362e-04,1.404078e-04,1.382784e-04,1.362440e-04,1.343009e-04,1.324455e-04,1.306744e-04,1.289842e-04,1.273717e-04,1.258337e-04,1.243674e-04,1.229699e-04,1.216383e-04,1.203700e-04,1.191625e-04,1.180133e-04,1.169200e-04,1.158802e-04,1.148920e-04,1.139530e-04,1.130613e-04,1.122148e-04,1.114119e-04,1.106505e-04,1.099290e-04,1.092457e-04,1.085989e-04,1.079872e-04,1.074090e-04
0.000000e+00,2.960093e-12,6.217170e-10,6.732752e-10,1.778744e-08,1.798626e-07,1.957017e-07,1.266796e-06,5.170711e-06,5.602828e-06,1.851971e-05,4.544850e-05,4.875837e-05,1.073691e-04,1.935644e-04,2.054199e-04,3.516160e-04,5.239533e-04,5.506797e-04,8.027803e-04,1.059018e-03,1.103876e-03,1.446636e-03,1.759876e-03,1.821612e-03,2.218379e-03,2.552659e-03,2.626514e-03,3.036309e-03,3.359570e-03,3.439247e-03,3.828245e-03,4.118344e-03,4.197722e-03,4.543540e-03,4.788758e-03,4.862876e-03,5.154040e-03,5.350894e-03,5.416284e-03,5.649615e-03,5.800020e-03,5.854617e-03,6.032304e-03,6.141126e-03,6.183987e-03,6.311177e-03,6.384499e-03,6.415492e-03,6.498602e-03,6.542649e-03,6.562173e-03,6.607838e-03,6.628396e-03,6.637169e-03,6.651663e-03,6.653819e-03,6.652728e-03,6.641686e-03,6.629764e-03,6.619764e-03,6.588099e-03,6.565685e-03,6.547738e-03,6.499648e-03,6.469674e-03,6.444712e-03,6.383740e-03,6.348569e-03,6.317472e-03,6.246584e-03,6.208103e-03,6.171692e-03,6.093355e-03,6.053057e-03,6.012085e-03,5.928345e-03,5.887397e-03,5.842554e-03,5.755095e-03,5.714400e-03,5.666314e-03,5.576521e-03,5.536766e-03,5.486001e-03,5.395008e-03,5.356707e-03,5.303774e-03,5.212503e-03,5.176028e-03,5.121385e-03,5.030584e-03,4.996195e-03,4.940251e-03,4.850519e-03,4.818386e-03,4.761507e-03,4.673318e-03,4.643539e-03,4.586048e-03,4.499777e-03,4.472394e-03,4.414578e-03,4.330513e-03,4.305523e-03,4.247637e-03,4.165995e-03,4.143363e-03,4.085628e-03,4.006569e-03,3.986231e-03,3.928845e-03,3.852477e-03,3.834353e-03,3.777484e-03,3.703879e-03,3.687873e-03,3.631671e-03,3.560865e-03,3.546873e-03,3.491465e-03,3.423469e-03,3.411379e-03,3.356875e-03,3.291678e-03,3.281375e-03,3.227870e-03,3.165442e-03,3.156812e-03,3.104384e-03,3.044683e-03,3.037609e-03,2.986326e-03,2.929297e-03,2.923667e-03,2.873583e-03,2.819165e-03,2.814867e-03,2.766026e-03,2.714149e-03,2.711076e-03,2.663516e-03,2.614106e-03,2.612155e-03,2.565902e-03,2.518883e-03,2.517955e-03,2.473030e-03,2.428323e-03,2.343103e-03,2.262139e-03,2.185275e-03,2.112353e-03,2.043220e-03,1.977726e-03,1.915722e-03,1.857064e-03,1.801611e-03,1.749228e-03,1.699781e-03,1.653144e-03,1.609192e-03,1.567805e-03,1.528870e-03,1.492275e-03,1.457914e-03,1.425684e-03,1.395488e-03,1.367229e-03,1.340818e-03,1.316167e-03,1.293192e-03,1.271813e-03,1.251954e-03,1.233540e-03,1.216500e-03,1.200766e-03,1.186273e-03,1.172959e-03,1.160763e-03,1.149628e-03,1.139499e-03,1.130323e-03,1.122049e-03,1.114629e-03,1.108015e-03,1.102163e-03,1.097031e-03,1.092576e-03,1.088761e-03,1.085545e-03,1.082895e-03,1.080774e-03,1.079149e-03,1.077989e-03,1.077263e-03,1.076942e-03,1.076997e-03
0.000000e+00,8.761671e-11,1.473804e-08,1.592330e-08,3.899651e-07,3.528405e-06,3.812909e-06,1.944452e-05,5.731064e-05,6.068290e-05,1.338511e-04,2.250514e-04,2.337829e-04,3.496269e-04,4.590510e-04,4.712507e-04,5.917904e-04,6.939108e-04,7.074638e-04,8.165361e-04,9.045805e-04,9.184024e-04,1.013008e-03,1.087003e-03,1.100545e-03,1.181302e-03,1.242691e-03,1.255604e-03,1.323786e-03,1.374150e-03,1.386182e-03,1.443116e-03,1.483937e-03,1.494905e-03,1.541851e-03,1.574472e-03,1.584247e-03,1.622368e-03,1.647982e-03,1.656480e-03,1.686833e-03,1.706494e-03,1.713665e-03,1.737201e-03,1.751829e-03,1.757653e-03,1.775223e-03,1.785622e-03,1.790101e-03,1.802463e-03,1.809328e-03,1.812481e-03,1.820312e-03,1.824246e-03,1.826106e-03,1.830004e-03,1.831528e-03,1.832140e-03,1.832637e-03,1.832198e-03,1.831614e-03,1.829180e-03,1.827164e-03,1.825441e-03,1.820494e-03,1.817230e-03,1.814431e-03,1.807338e-03,1.803108e-03,1.799296e-03,1.790382e-03,1.785426e-03,1.780667e-03,1.770219e-03,1.764740e-03,1.759101e-03,1.747372e-03,1.741541e-03,1.735087e-03,1.722298e-03,1.716260e-03,1.709055e-03,1.695402e-03,1.689277e-03,1.681384e-03,1.667039e-03,1.660926e-03,1.652406e-03,1.637519e-03,1.631501e-03,1.622412e-03,1.607116e-03,1.601259e-03,1.591658e-03,1.576066e-03,1.570424e-03,1.560364e-03,1.544576e-03,1.539193e-03,1.528724e-03,1.512829e-03,1.507736e-03,1.496907e-03,1.480979e-03,1.476201e-03,1.465059e-03,1.449162e-03,1.444717e-03,1.433303e-03,1.417495e-03,1.413395e-03,1.401750e-03,1.386079e-03,1.382330e-03,1.370492e-03,1.354998e-03,1.351603e-03,1.339607e-03,1.324326e-03,1.321284e-03,1.309162e-03,1.294123e-03,1.291430e-03,1.279215e-03,1.264442e-03,1.262091e-03,1.249810e-03,1.235324e-03,1.233308e-03,1.220987e-03,1.206804e-03,1.205113e-03,1.192778e-03,1.178911e-03,1.177534e-03,1.165207e-03,1.151667e-03,1.150591e-03,1.138293e-03,1.125088e-03,1.124301e-03,1.112052e-03,1.099186e-03,1.098675e-03,1.086492e-03,1.073971e-03,1.073722e-03,1.061621e-03,1.049445e-03,1.025848e-03,1.002928e-03,9.806832e-04,9.591086e-04,9.381979e-04,9.179433e-04,8.983359e-04,8.793659e-04,8.610225e-04,8.432945e-04,8.261700e-04,8.096367e-04,7.936818e-04,7.782926e-04,7.634559e-04,7.491586e-04,7.353873e-04,7.221289e-04,7.093701e-04,6.970978e-04,6.852988e-04,6.739602e-04,6.630693e-04,6.526134e-04,6.425800e-04,6.329569e-04,6.237320e-04,6.148935e-04,6.064298e-04,5.983294e-04,5.905813e-04,5.831744e-04,5.760981e-04,5.693419e-04,5.628956e-04,5.567491e-04,5.508927e-04,5.453168e-04,5.400121e-04,5.349696e-04,5.301803e-04,5.256356e-04,5.213270e-04,5.172464e-04,5.133856e-04,5.097370e-04,5.062928e-04,5.030457e-04,4.999883e-04
0.000000e+00,1.374843e-11,2.264321e-09,2.438413e-09,4.837686e-08,3.854699e-07,4.158657e-07,2.259561e-06,8.235858e-06,8.869819e-06,2.676144e-05,6.077747e-05,6.476250e-05,1.306592e-04,2.166823e-04,2.277751e-04,3.538454e-04,4.835455e-04,5.022529e-04,6.642966e-04,8.078882e-04,8.312654e-04,9.957586e-04,1.127909e-03,1.152234e-03,1.297020e-03,1.405517e-03,1.428030e-03,1.544388e-03,1.626886e-03,1.646067e-03,1.733584e-03,1.792550e-03,1.807780e-03,1.869661e-03,1.909112e-03,1.920296e-03,1.960752e-03,1.984740e-03,1.992053e-03,2.015164e-03,2.027237e-03,2.030978e-03,2.040316e-03,2.043401e-03,2.043923e-03,2.042477e-03,2.038922e-03,2.036590e-03,2.026814e-03,2.018474e-03,2.013645e-03,1.997529e-03,1.985856e-03,1.978868e-03,1.958019e-03,1.944137e-03,1.935304e-03,1.911011e-03,1.895785e-03,1.885396e-03,1.858688e-03,1.842777e-03,1.831091e-03,1.802787e-03,1.786690e-03,1.773939e-03,1.744689e-03,1.728772e-03,1.715164e-03,1.685477e-03,1.670010e-03,1.655728e-03,1.626004e-03,1.611176e-03,1.596382e-03,1.566929e-03,1.552869e-03,1.537704e-03,1.508758e-03,1.495548e-03,1.480135e-03,1.451874e-03,1.439562e-03,1.424006e-03,1.396561e-03,1.385165e-03,1.369560e-03,1.343023e-03,1.332542e-03,1.316966e-03,1.291402e-03,1.281818e-03,1.266339e-03,1.241787e-03,1.233074e-03,1.217749e-03,1.194229e-03,1.186351e-03,1.171230e-03,1.148749e-03,1.141665e-03,1.126788e-03,1.105341e-03,1.099008e-03,1.084407e-03,1.063981e-03,1.058352e-03,1.044057e-03,1.024630e-03,1.019659e-03,1.005692e-03,9.872381e-04,9.828802e-04,9.692595e-04,9.517489e-04,9.479586e-04,9.346982e-04,9.180991e-04,9.148328e-04,9.019433e-04,8.862221e-04,8.834378e-04,8.709269e-04,8.560489e-04,8.537065e-04,8.415793e-04,8.275093e-04,8.255709e-04,8.138302e-04,8.005331e-04,7.989627e-04,7.876094e-04,7.750505e-04,7.738143e-04,7.628478e-04,7.509927e-04,7.500591e-04,7.394771e-04,7.282926e-04,7.276318e-04,7.174310e-04,7.068845e-04,7.064690e-04,6.966450e-04,6.867050e-04,6.865092e-04,6.770567e-04,6.676928e-04,6.499625e-04,6.332634e-04,6.175425e-04,6.027492e-04,5.888353e-04,5.757544e-04,5.634626e-04,5.519179e-04,5.410803e-04,5.309117e-04,5.213760e-04,5.124388e-04,5.040675e-04,4.962310e-04,4.888999e-04,4.820463e-04,4.756436e-04,4.696668e-04,4.640919e-04,4.588965e-04,4.540591e-04,4.495594e-04,4.453782e-04,4.414973e-04,4.378994e-04,4.345681e-04,4.314881e-04,4.286446e-04,4.260238e-04,4.236126e-04,4.213984e-04,4.193697e-04,4.175151e-04,4.158242e-04,4.142871e-04,4.128943e-04,4.116369e-04,4.105064e-04,4.094949e-04,4.085948e-04,4.077991e-04,4.071010e-04,4.064942e-04,4.059725e-04,4.055304e-04,4.051626e-04,4.048638e-04,4.046294e-04,4.044549e-04
0.000000e+00,8.637132e-09,1.357556e-07,1.415694e-07,8.412567e-07,3.035665e-06,3.178504e-06,8.478925e-06,1.654432e-05,1.714429e-05,2.802757e-05,3.851233e-05,3.941115e-05,5.024846e-05,5.923761e-05,6.018852e-05,6.917316e-05,7.631331e-05,7.723348e-05,8.442452e-05,8.995927e-05,9.080622e-05,9.643782e-05,1.006304e-04,1.013762e-04,1.056752e-04,1.087589e-04,1.093855e-04,1.125546e-04,1.147305e-04,1.152273e-04,1.174448e-04,1.188834e-04,1.192458e-04,1.206663e-04,1.215120e-04,1.217397e-04,1.224970e-04,1.228710e-04,1.229671e-04,1.231767e-04,1.231802e-04,1.231505e-04,1.229113e-04,1.226287e-04,1.224805e-04,1.218774e-04,1.213782e-04,1.211202e-04,1.202255e-04,1.195672e-04,1.192087e-04,1.180839e-04,1.173134e-04,1.168641e-04,1.155614e-04,1.147169e-04,1.141867e-04,1.127500e-04,1.118622e-04,1.112607e-04,1.097272e-04,1.088206e-04,1.081572e-04,1.065579e-04,1.056519e-04,1.049356e-04,1.032963e-04,1.024058e-04,1.016452e-04,9.998727e-05,9.912389e-05,9.832683e-05,9.666788e-05,9.584009e-05,9.501398e-05,9.336836e-05,9.258226e-05,9.173389e-05,9.011316e-05,8.937288e-05,8.850846e-05,8.692183e-05,8.622991e-05,8.535506e-05,8.380974e-05,8.316744e-05,8.228723e-05,8.078873e-05,8.019629e-05,7.931526e-05,7.786767e-05,7.732453e-05,7.644670e-05,7.505293e-05,7.455792e-05,7.368683e-05,7.234877e-05,7.190027e-05,7.103902e-05,6.975776e-05,6.935378e-05,6.850506e-05,6.728097e-05,6.691931e-05,6.608543e-05,6.491834e-05,6.459664e-05,6.377955e-05,6.266884e-05,6.238463e-05,6.158597e-05,6.053065e-05,6.028144e-05,5.950256e-05,5.850135e-05,5.828466e-05,5.752665e-05,5.657805e-05,5.639143e-05,5.565514e-05,5.475748e-05,5.459854e-05,5.388462e-05,5.303610e-05,5.290256e-05,5.221145e-05,5.141019e-05,5.129986e-05,5.063185e-05,4.987592e-05,4.978669e-05,4.914193e-05,4.842937e-05,4.835927e-05,4.773776e-05,4.706661e-05,4.701379e-05,4.641543e-05,4.578373e-05,4.574644e-05,4.517104e-05,4.457687e-05,4.455348e-05,4.400076e-05,4.344224e-05,4.343125e-05,4.290084e-05,4.237611e-05,4.138459e-05,4.045331e-05,3.957902e-05,3.875858e-05,3.798899e-05,3.726737e-05,3.659097e-05,3.595718e-05,3.536351e-05,3.480759e-05,3.428717e-05,3.380012e-05,3.334445e-05,3.291824e-05,3.251969e-05,3.214711e-05,3.179889e-05,3.147354e-05,3.116962e-05,3.088580e-05,3.062082e-05,3.037350e-05,3.014273e-05,2.992746e-05,2.972671e-05,2.953957e-05,2.936515e-05,2.920266e-05,2.905133e-05,2.891045e-05,2.877934e-05,2.865739e-05,2.854401e-05,2.843863e-05,2.834076e-05,2.824990e-05,2.816559e-05,2.808743e-05,2.801501e-05,2.794795e-05,2.788591e-05,2.782857e-05,2.777561e-05,2.772675e-05,2.768173e-05,2.764030e-05,2.760221e-05,2.756726e-05,2.753523e-05
0.000000e+00,2.121617e-13,5.328515e-11,5.791163e-11,1.826420e-09,2.181797e-08,2.390333e-08,1.834348e-07,8.747114e-07,9.571162e-07,3.715694e-06,1.055843e-05,1.147294e-05,2.966406e-05,6.190308e-05,6.677804e-05,1.347397e-04,2.322556e-04,2.490055e-04,4.283813e-04,6.512257e-04,6.946022e-04,1.071726e-03,1.492947e-03,1.585396e-03,2.262037e-03,2.957013e-03,3.128024e-03,4.208870e-03,5.244382e-03,5.528481e-03,7.108480e-03,8.533830e-03,8.967639e-03,1.112142e-02,1.296274e-02,1.358163e-02,1.635619e-02,1.861419e-02,1.944900e-02,2.285996e-02,2.551072e-02,2.658501e-02,3.061629e-02,3.361441e-02,3.494237e-02,3.954855e-02,4.283182e-02,4.441712e-02,4.952776e-02,5.302252e-02,5.485791e-02,6.038314e-02,6.400975e-02,6.607754e-02,7.191410e-02,7.559201e-02,7.786507e-02,8.390234e-02,8.755439e-02,8.999773e-02,9.612330e-02,9.967913e-02,1.022516e-01,1.083561e-01,1.117546e-01,1.144111e-01,1.203920e-01,1.235827e-01,1.262757e-01,1.320405e-01,1.349845e-01,1.376663e-01,1.431344e-01,1.458040e-01,1.484280e-01,1.535320e-01,1.559106e-01,1.584330e-01,1.631192e-01,1.651999e-01,1.675805e-01,1.718085e-01,1.735931e-01,1.757964e-01,1.795389e-01,1.810366e-01,1.830321e-01,1.862734e-01,1.874992e-01,1.892619e-01,1.919973e-01,1.929707e-01,1.944810e-01,1.967150e-01,1.974587e-01,1.987026e-01,2.004476e-01,2.009865e-01,2.019549e-01,2.032298e-01,2.035897e-01,2.042785e-01,2.051075e-01,2.053144e-01,2.057238e-01,2.061348e-01,2.062141e-01,2.063482e-01,2.063720e-01,2.063481e-01,2.062143e-01,2.058835e-01,2.057793e-01,2.053879e-01,2.047358e-01,2.045722e-01,2.039358e-01,2.029962e-01,2.027923e-01,2.019253e-01,2.007313e-01,2.005039e-01,1.994222e-01,1.980059e-01,1.977699e-01,1.964902e-01,1.948827e-01,1.946507e-01,1.931905e-01,1.914210e-01,1.912037e-01,1.895808e-01,1.876767e-01,1.874831e-01,1.857151e-01,1.837021e-01,1.835390e-01,1.816436e-01,1.795452e-01,1.794181e-01,1.774123e-01,1.752501e-01,1.751631e-01,1.730634e-01,1.708570e-01,1.708127e-01,1.686352e-01,1.664021e-01,1.619627e-01,1.575225e-01,1.531063e-01,1.487357e-01,1.444296e-01,1.402042e-01,1.360735e-01,1.320489e-01,1.281401e-01,1.243551e-01,1.207000e-01,1.171797e-01,1.137976e-01,1.105560e-01,1.074562e-01,1.044988e-01,1.016833e-01,9.900856e-02,9.647307e-02,9.407459e-02,9.181051e-02,8.967786e-02,8.767326e-02,8.579317e-02,8.403368e-02,8.239082e-02,8.086041e-02,7.943820e-02,7.811987e-02,7.690105e-02,7.577732e-02,7.474425e-02,7.379743e-02,7.293248e-02,7.214504e-02,7.143083e-02,7.078566e-02,7.020540e-02,6.968603e-02,6.922363e-02,6.881437e-02,6.845456e-02,6.814063e-02,6.786911e-02,6.763670e-02,6.744020e-02,6.727655e-02,6.714286e-02,6.703634e-02
0.000000e+00,3.981580e-12,7.436252e-10,8.033110e-10,1.901191e-08,1.798998e-07,1.953625e-07,1.221441e-06,4.874659e-06,5.274160e-06,1.692201e-05,3.999623e-05,4.274967e-05,8.941391e-05,1.530160e-04,1.614164e-04,2.598797e-04,3.667358e-04,3.826080e-04,5.249947e-04,6.587264e-04,6.811983e-04,8.451837e-04,9.848908e-04,1.011444e-03,1.175396e-03,1.305605e-03,1.333509e-03,1.483267e-03,1.595932e-03,1.623032e-03,1.751873e-03,1.844520e-03,1.869400e-03,1.975615e-03,2.048932e-03,2.070789e-03,2.155369e-03,2.211462e-03,2.229910e-03,2.295022e-03,2.336420e-03,2.351338e-03,2.399489e-03,2.428666e-03,2.440090e-03,2.473731e-03,2.492920e-03,2.500974e-03,2.522345e-03,2.533475e-03,2.538339e-03,2.549416e-03,2.554124e-03,2.556005e-03,2.558505e-03,2.558165e-03,2.557285e-03,2.552688e-03,2.548442e-03,2.545031e-03,2.534605e-03,2.527397e-03,2.521681e-03,2.506510e-03,2.497119e-03,2.489322e-03,2.470330e-03,2.459393e-03,2.449729e-03,2.427702e-03,2.415739e-03,2.404414e-03,2.380018e-03,2.367449e-03,2.354656e-03,2.328457e-03,2.315620e-03,2.301541e-03,2.274017e-03,2.261179e-03,2.245985e-03,2.217537e-03,2.204911e-03,2.188758e-03,2.159725e-03,2.147473e-03,2.130509e-03,2.101172e-03,2.089418e-03,2.071776e-03,2.042372e-03,2.031207e-03,2.013009e-03,1.983732e-03,1.973221e-03,1.954580e-03,1.925590e-03,1.915777e-03,1.896795e-03,1.868223e-03,1.859132e-03,1.839902e-03,1.811854e-03,1.803496e-03,1.784101e-03,1.756661e-03,1.749036e-03,1.729551e-03,1.702785e-03,1.695884e-03,1.676376e-03,1.650335e-03,1.644140e-03,1.624670e-03,1.599391e-03,1.593882e-03,1.574503e-03,1.550013e-03,1.545163e-03,1.525924e-03,1.502239e-03,1.498019e-03,1.478962e-03,1.456093e-03,1.452472e-03,1.433634e-03,1.411583e-03,1.408529e-03,1.389942e-03,1.368708e-03,1.366187e-03,1.347880e-03,1.327455e-03,1.325435e-03,1.307432e-03,1.287807e-03,1.286254e-03,1.268577e-03,1.249738e-03,1.248620e-03,1.231286e-03,1.213217e-03,1.212502e-03,1.195526e-03,1.178210e-03,1.177867e-03,1.161263e-03,1.144680e-03,1.112901e-03,1.082491e-03,1.053408e-03,1.025610e-03,9.990555e-04,9.737008e-04,9.495043e-04,9.264242e-04,9.044190e-04,8.834484e-04,8.634725e-04,8.444525e-04,8.263505e-04,8.091296e-04,7.927540e-04,7.771890e-04,7.624009e-04,7.483571e-04,7.350262e-04,7.223777e-04,7.103823e-04,6.990118e-04,6.882390e-04,6.780375e-04,6.683823e-04,6.592490e-04,6.506144e-04,6.424560e-04,6.347524e-04,6.274828e-04,6.206275e-04,6.141674e-04,6.080843e-04,6.023606e-04,5.969796e-04,5.919252e-04,5.871819e-04,5.827351e-04,5.785706e-04,5.746748e-04,5.710347e-04,5.676379e-04,5.644726e-04,5.615273e-04,5.587911e-04,5.562536e-04,5.539049e-04,5.517355e-04,5.497361e-04
0.000000e+00,2.189797e-10,2.265908e-08,2.424127e-08,3.782454e-07,2.467940e-06,2.637162e-06,1.078473e-05,2.812080e-05,2.959741e-05,6.003561e-05,9.462985e-05,9.777649e-05,1.372047e-04,1.711319e-04,1.747488e-04,2.089816e-04,2.361221e-04,2.396097e-04,2.667631e-04,2.875268e-04,2.906930e-04,3.116690e-04,3.271968e-04,3.299511e-04,3.457821e-04,3.570928e-04,3.593869e-04,3.709720e-04,3.789140e-04,3.807271e-04,3.888262e-04,3.940970e-04,3.954288e-04,4.006805e-04,4.038509e-04,4.047148e-04,4.076532e-04,4.091878e-04,4.096067e-04,4.106760e-04,4.109503e-04,4.109530e-04,4.105214e-04,4.098387e-04,4.094574e-04,4.078304e-04,4.064348e-04,4.057033e-04,4.031332e-04,4.012197e-04,4.001721e-04,3.968674e-04,3.945920e-04,3.932620e-04,3.893947e-04,3.868809e-04,3.853005e-04,3.810114e-04,3.783565e-04,3.765563e-04,3.719613e-04,3.692416e-04,3.672501e-04,3.624439e-04,3.597181e-04,3.575619e-04,3.526216e-04,3.499351e-04,3.476386e-04,3.426268e-04,3.400136e-04,3.375989e-04,3.325662e-04,3.300512e-04,3.275387e-04,3.225256e-04,3.201268e-04,3.175348e-04,3.125737e-04,3.103032e-04,3.076484e-04,3.027646e-04,3.006301e-04,2.979272e-04,2.931406e-04,2.911463e-04,2.884085e-04,2.837343e-04,2.818815e-04,2.791208e-04,2.745703e-04,2.728582e-04,2.700850e-04,2.656666e-04,2.640926e-04,2.613164e-04,2.570356e-04,2.555961e-04,2.528251e-04,2.486856e-04,2.473760e-04,2.446175e-04,2.406211e-04,2.394362e-04,2.366965e-04,2.328438e-04,2.317779e-04,2.290627e-04,2.253531e-04,2.244002e-04,2.217145e-04,2.181465e-04,2.173006e-04,2.146485e-04,2.112200e-04,2.104750e-04,2.078602e-04,2.045685e-04,2.039183e-04,2.013441e-04,1.981861e-04,1.976246e-04,1.950936e-04,1.920659e-04,1.915874e-04,1.891020e-04,1.862009e-04,1.857997e-04,1.833617e-04,1.805834e-04,1.802541e-04,1.778652e-04,1.752059e-04,1.749431e-04,1.726046e-04,1.700603e-04,1.698592e-04,1.675720e-04,1.651387e-04,1.649944e-04,1.627595e-04,1.604333e-04,1.603413e-04,1.581591e-04,1.559361e-04,1.558921e-04,1.537632e-04,1.516394e-04,1.475757e-04,1.436939e-04,1.399868e-04,1.364477e-04,1.330697e-04,1.298464e-04,1.267716e-04,1.238391e-04,1.210432e-04,1.183780e-04,1.158383e-04,1.134186e-04,1.111140e-04,1.089195e-04,1.068305e-04,1.048425e-04,1.029511e-04,1.011522e-04,9.944168e-05,9.781582e-05,9.627089e-05,9.480336e-05,9.340984e-05,9.208706e-05,9.083190e-05,8.964137e-05,8.851260e-05,8.744283e-05,8.642943e-05,8.546987e-05,8.456172e-05,8.370266e-05,8.289047e-05,8.212301e-05,8.139825e-05,8.071423e-05,8.006908e-05,7.946100e-05,7.888828e-05,7.834928e-05,7.784241e-05,7.736619e-05,7.691915e-05,7.649993e-05,7.610721e-05,7.573972e-05,7.539626e-05,7.507567e-05,7.477684e-05
0.000000e+00,2.421628e-11,4.364321e-09,4.713202e-09,1.095507e-07,9.815597e-07,1.062411e-06,5.984339e-06,2.110388e-05,2.264334e-05,6.300577e-05,1.307175e-04,1.381722e-04,2.526096e-04,3.860276e-04,4.023281e-04,5.771361e-04,7.417014e-04,7.644233e-04,9.523315e-04,1.107232e-03,1.131528e-03,1.295709e-03,1.419358e-03,1.441333e-03,1.567012e-03,1.655230e-03,1.672856e-03,1.759904e-03,1.817042e-03,1.829706e-03,1.884029e-03,1.916817e-03,1.924675e-03,1.953376e-03,1.968188e-03,1.971730e-03,1.981184e-03,1.983215e-03,1.983028e-03,1.978396e-03,1.971615e-03,1.968284e-03,1.953557e-03,1.940910e-03,1.934969e-03,1.913173e-03,1.896810e-03,1.888733e-03,1.862135e-03,1.843606e-03,1.833801e-03,1.804091e-03,1.784500e-03,1.773317e-03,1.741746e-03,1.721875e-03,1.709609e-03,1.677102e-03,1.657490e-03,1.644392e-03,1.611623e-03,1.592639e-03,1.578917e-03,1.546377e-03,1.528260e-03,1.514091e-03,1.482131e-03,1.465031e-03,1.450560e-03,1.419428e-03,1.403427e-03,1.388777e-03,1.358641e-03,1.343775e-03,1.329048e-03,1.300019e-03,1.286290e-03,1.271570e-03,1.243714e-03,1.231101e-03,1.216459e-03,1.189810e-03,1.178278e-03,1.163771e-03,1.138341e-03,1.127842e-03,1.113519e-03,1.089301e-03,1.079782e-03,1.065683e-03,1.042658e-03,1.034063e-03,1.020220e-03,9.983599e-04,9.906304e-04,9.770701e-04,9.563412e-04,9.494195e-04,9.361637e-04,9.165275e-04,9.103566e-04,8.974225e-04,8.788382e-04,8.733629e-04,8.607642e-04,8.431897e-04,8.383569e-04,8.261040e-04,8.094965e-04,8.052555e-04,7.933564e-04,7.776731e-04,7.739759e-04,7.624361e-04,7.476349e-04,7.444361e-04,7.332592e-04,7.192987e-04,7.165556e-04,7.057435e-04,6.925836e-04,6.902560e-04,6.798092e-04,6.674108e-04,6.654614e-04,6.553790e-04,6.437044e-04,6.420980e-04,6.323781e-04,6.213912e-04,6.200951e-04,6.107349e-04,6.004008e-04,5.993848e-04,5.903805e-04,5.806660e-04,5.799018e-04,5.712492e-04,5.621223e-04,5.615838e-04,5.532778e-04,5.447082e-04,5.443711e-04,5.364063e-04,5.283649e-04,5.282067e-04,5.205772e-04,5.130364e-04,4.988082e-04,4.854730e-04,4.729837e-04,4.612956e-04,4.503661e-04,4.401549e-04,4.306234e-04,4.217351e-04,4.134553e-04,4.057508e-04,3.985904e-04,3.919441e-04,3.857837e-04,3.800823e-04,3.748142e-04,3.699552e-04,3.654823e-04,3.613734e-04,3.576078e-04,3.541657e-04,3.510284e-04,3.481779e-04,3.455975e-04,3.432709e-04,3.411829e-04,3.393190e-04,3.376655e-04,3.362093e-04,3.349379e-04,3.338396e-04,3.329033e-04,3.321182e-04,3.314744e-04,3.309623e-04,3.305728e-04,3.302975e-04,3.301280e-04,3.300568e-04,3.300766e-04,3.301803e-04,3.303616e-04,3.306141e-04,3.309321e-04,3.313100e-04,3.317425e-04,3.322248e-04,3.327522e-04,3.333203e-04,3.339249e-04
0.000000e+00,2.069817e-12,4.055493e-10,4.382741e-10,1.032657e-08,9.549223e-08,1.036158e-07,6.423267e-07,2.605832e-06,2.824572e-06,9.454508e-06,2.358016e-05,2.533296e-05,5.669153e-05,1.033697e-04,1.098166e-04,1.895351e-04,2.835871e-04,2.981543e-04,4.350862e-04,5.730829e-04,5.970946e-04,7.789430e-04,9.423456e-04,9.742087e-04,1.176078e-03,1.341926e-03,1.378005e-03,1.574184e-03,1.723736e-03,1.759832e-03,1.931310e-03,2.053573e-03,2.086107e-03,2.222749e-03,2.314068e-03,2.340652e-03,2.439953e-03,2.501846e-03,2.521337e-03,2.585884e-03,2.622677e-03,2.634931e-03,2.669954e-03,2.686945e-03,2.692483e-03,2.704032e-03,2.706358e-03,2.706053e-03,2.699900e-03,2.691969e-03,2.686814e-03,2.667910e-03,2.653222e-03,2.644181e-03,2.616500e-03,2.597690e-03,2.585624e-03,2.552205e-03,2.531168e-03,2.516799e-03,2.479881e-03,2.457935e-03,2.441848e-03,2.403036e-03,2.381067e-03,2.363725e-03,2.324144e-03,2.302728e-03,2.284487e-03,2.244910e-03,2.224406e-03,2.205542e-03,2.166488e-03,2.147106e-03,2.127832e-03,2.089641e-03,2.071491e-03,2.051969e-03,2.014859e-03,1.997986e-03,1.978343e-03,1.942446e-03,1.926853e-03,1.907188e-03,1.872581e-03,1.858242e-03,1.838634e-03,1.805352e-03,1.792226e-03,1.772737e-03,1.740789e-03,1.728824e-03,1.709507e-03,1.678886e-03,1.668023e-03,1.648921e-03,1.619605e-03,1.609784e-03,1.590932e-03,1.562894e-03,1.554054e-03,1.535482e-03,1.508687e-03,1.500768e-03,1.482501e-03,1.456913e-03,1.449855e-03,1.431914e-03,1.407494e-03,1.401238e-03,1.383643e-03,1.360350e-03,1.354842e-03,1.337607e-03,1.315401e-03,1.310588e-03,1.293725e-03,1.272566e-03,1.268396e-03,1.251916e-03,1.231765e-03,1.228190e-03,1.212102e-03,1.192918e-03,1.189892e-03,1.174203e-03,1.155948e-03,1.153429e-03,1.138143e-03,1.120780e-03,1.118725e-03,1.103848e-03,1.087339e-03,1.085711e-03,1.071244e-03,1.055554e-03,1.054316e-03,1.040261e-03,1.025356e-03,1.024474e-03,1.010831e-03,9.966780e-04,9.961195e-04,9.828882e-04,9.694541e-04,9.691890e-04,9.563680e-04,9.436222e-04,9.193604e-04,8.963472e-04,8.745281e-04,8.538508e-04,8.342650e-04,8.157222e-04,7.981760e-04,7.815816e-04,7.658961e-04,7.510784e-04,7.370888e-04,7.238895e-04,7.114441e-04,6.997176e-04,6.886766e-04,6.782891e-04,6.685241e-04,6.593524e-04,6.507455e-04,6.426764e-04,6.351192e-04,6.280491e-04,6.214421e-04,6.152755e-04,6.095275e-04,6.041771e-04,5.992044e-04,5.945901e-04,5.903158e-04,5.863642e-04,5.827182e-04,5.793619e-04,5.762798e-04,5.734573e-04,5.708802e-04,5.685352e-04,5.664093e-04,5.644903e-04,5.627663e-04,5.612263e-04,5.598594e-04,5.586554e-04,5.576046e-04,5.566976e-04,5.559256e-04,5.552800e-04,5.547527e-04,5.543361e-04,5.540229e-04
0.000000e+00,1.528447e-11,2.493918e-09,2.684872e-09,5.202890e-08,3.978628e-07,4.283461e-07,2.196506e-06,7.558380e-06,8.111468e-06,2.320756e-05,5.082224e-05,5.401541e-05,1.062631e-04,1.737298e-04,1.823967e-04,2.804999e-04,3.806363e-04,3.950023e-04,5.184244e-04,6.258887e-04,6.431765e-04,7.628187e-04,8.558775e-04,8.726519e-04,9.697783e-04,1.038954e-03,1.052848e-03,1.121685e-03,1.166901e-03,1.176903e-03,1.219592e-03,1.245039e-03,1.251074e-03,1.272741e-03,1.283481e-03,1.285949e-03,1.291959e-03,1.292450e-03,1.291914e-03,1.286821e-03,1.280526e-03,1.277558e-03,1.264883e-03,1.254331e-03,1.249443e-03,1.231790e-03,1.218762e-03,1.212389e-03,1.191634e-03,1.177358e-03,1.169857e-03,1.147335e-03,1.132639e-03,1.124301e-03,1.100949e-03,1.086382e-03,1.077439e-03,1.053906e-03,1.039822e-03,1.030461e-03,1.007193e-03,9.938096e-04,9.841780e-04,9.614748e-04,9.489158e-04,9.391321e-04,9.171883e-04,9.055153e-04,8.956733e-04,8.746099e-04,8.638413e-04,8.540153e-04,8.339015e-04,8.240277e-04,8.142767e-04,7.951453e-04,7.861380e-04,7.765088e-04,7.583663e-04,7.501859e-04,7.407149e-04,7.235502e-04,7.161505e-04,7.068664e-04,6.906568e-04,6.839883e-04,6.749135e-04,6.596283e-04,6.536404e-04,6.447921e-04,6.303956e-04,6.250382e-04,6.164291e-04,6.028829e-04,5.981072e-04,5.897469e-04,5.770110e-04,5.727702e-04,5.646653e-04,5.526996e-04,5.489492e-04,5.411039e-04,5.298684e-04,5.265665e-04,5.189832e-04,5.084388e-04,5.055462e-04,4.982257e-04,4.883345e-04,4.858144e-04,4.787561e-04,4.694816e-04,4.673000e-04,4.605022e-04,4.518094e-04,4.499346e-04,4.433947e-04,4.352500e-04,4.336528e-04,4.273674e-04,4.197391e-04,4.183924e-04,4.123575e-04,4.052152e-04,4.040942e-04,3.983052e-04,3.916203e-04,3.907020e-04,3.851538e-04,3.788991e-04,3.781625e-04,3.728498e-04,3.669996e-04,3.664253e-04,3.613425e-04,3.558726e-04,3.554429e-04,3.505841e-04,3.454714e-04,3.451701e-04,3.405293e-04,3.357523e-04,3.355646e-04,3.311355e-04,3.266738e-04,3.265861e-04,3.223626e-04,3.181970e-04,3.103615e-04,3.030460e-04,2.962189e-04,2.898504e-04,2.839124e-04,2.783784e-04,2.732237e-04,2.684248e-04,2.639597e-04,2.598077e-04,2.559492e-04,2.523660e-04,2.490407e-04,2.459573e-04,2.431003e-04,2.404556e-04,2.380097e-04,2.357498e-04,2.336641e-04,2.317414e-04,2.299712e-04,2.283436e-04,2.268494e-04,2.254798e-04,2.242267e-04,2.230823e-04,2.220395e-04,2.210915e-04,2.202320e-04,2.194549e-04,2.187546e-04,2.181260e-04,2.175640e-04,2.170641e-04,2.166220e-04,2.162334e-04,2.158948e-04,2.156024e-04,2.153529e-04,2.151432e-04,2.149703e-04,2.148316e-04,2.147244e-04,2.146462e-04,2.145950e-04,2.145684e-04,2.145646e-04,2.145818e-04,2.146181e-04
0.000000e+00,3.281135e-10,4.627877e-09,4.837913e-09,3.139076e-08,1.084773e-07,1.130462e-07,2.510623e-07,3.934402e-07,4.023344e-07,5.439354e-07,6.619898e-07,6.716955e-07,7.857196e-07,8.773213e-07,8.868876e-07,9.761847e-07,1.045705e-06,1.054564e-06,1.122923e-06,1.174338e-06,1.182100e-06,1.232882e-06,1.269590e-06,1.276004e-06,1.312149e-06,1.337029e-06,1.341953e-06,1.366008e-06,1.381480e-06,1.384859e-06,1.399008e-06,1.407081e-06,1.408920e-06,1.415022e-06,1.417352e-06,1.417704e-06,1.417324e-06,1.415267e-06,1.414213e-06,1.408668e-06,1.403325e-06,1.400966e-06,1.391356e-06,1.383617e-06,1.380067e-06,1.367306e-06,1.357886e-06,1.353264e-06,1.338111e-06,1.327579e-06,1.322004e-06,1.305086e-06,1.293892e-06,1.287484e-06,1.269315e-06,1.257812e-06,1.250684e-06,1.231685e-06,1.220146e-06,1.212405e-06,1.192921e-06,1.181553e-06,1.173300e-06,1.153606e-06,1.142566e-06,1.133894e-06,1.114213e-06,1.103614e-06,1.094607e-06,1.075115e-06,1.065036e-06,1.055772e-06,1.036608e-06,1.027101e-06,1.017649e-06,9.989193e-07,9.900164e-07,9.804386e-07,9.622241e-07,9.539390e-07,9.442907e-07,9.266507e-07,9.189848e-07,9.093146e-07,8.922910e-07,8.852359e-07,8.755865e-07,8.592066e-07,8.527464e-07,8.431550e-07,8.274344e-07,8.215478e-07,8.120464e-07,7.969915e-07,7.916533e-07,7.822694e-07,7.678789e-07,7.630614e-07,7.538183e-07,7.400851e-07,7.357591e-07,7.266763e-07,7.135885e-07,7.097242e-07,7.008179e-07,6.883602e-07,6.849275e-07,6.762108e-07,6.643650e-07,6.613342e-07,6.528177e-07,6.415637e-07,6.389058e-07,6.305977e-07,6.199142e-07,6.176011e-07,6.095075e-07,5.993721e-07,5.973771e-07,5.895022e-07,5.798921e-07,5.781894e-07,5.705360e-07,5.614283e-07,5.599937e-07,5.525631e-07,5.439348e-07,5.427454e-07,5.355377e-07,5.273662e-07,5.264006e-07,5.194149e-07,5.116781e-07,5.109161e-07,5.041506e-07,4.968270e-07,4.962497e-07,4.897020e-07,4.827704e-07,4.823606e-07,4.760274e-07,4.694678e-07,4.692091e-07,4.630867e-07,4.568795e-07,4.567571e-07,4.508415e-07,4.449680e-07,4.338065e-07,4.232391e-07,4.132338e-07,4.037599e-07,3.947886e-07,3.862920e-07,3.782442e-07,3.706201e-07,3.633964e-07,3.565507e-07,3.500619e-07,3.439102e-07,3.380768e-07,3.325438e-07,3.272945e-07,3.223131e-07,3.175846e-07,3.130949e-07,3.088308e-07,3.047797e-07,3.009297e-07,2.972699e-07,2.937896e-07,2.904789e-07,2.873286e-07,2.843299e-07,2.814744e-07,2.787543e-07,2.761624e-07,2.736916e-07,2.713354e-07,2.690877e-07,2.669426e-07,2.648948e-07,2.629389e-07,2.610702e-07,2.592841e-07,2.575761e-07,2.559424e-07,2.543789e-07,2.528821e-07,2.514486e-07,2.500750e-07,2.487584e-07,2.474959e-07,2.462848e-07,2.451224e-07,2.440064e-07,2.429344e-07
0.000000e+00,4.448285e-10,6.265268e-09,6.548582e-09,4.176068e-08,1.385840e-07,1.440982e-07,3.026999e-07,4.594317e-07,4.691805e-07,6.248294e-07,7.558729e-07,7.667159e-07,8.950238e-07,9.995046e-07,1.010498e-06,1.113962e-06,1.195721e-06,1.206228e-06,1.288082e-06,1.350724e-06,1.360277e-06,1.423532e-06,1.470259e-06,1.478532e-06,1.525924e-06,1.559538e-06,1.566319e-06,1.600292e-06,1.623206e-06,1.628377e-06,1.651077e-06,1.665344e-06,1.668856e-06,1.682149e-06,1.689500e-06,1.691358e-06,1.696855e-06,1.698737e-06,1.698986e-06,1.698069e-06,1.695689e-06,1.694401e-06,1.688254e-06,1.682612e-06,1.679880e-06,1.669510e-06,1.661429e-06,1.657359e-06,1.643624e-06,1.633779e-06,1.628485e-06,1.612110e-06,1.601052e-06,1.594651e-06,1.576248e-06,1.564422e-06,1.557031e-06,1.537117e-06,1.524879e-06,1.516614e-06,1.495621e-06,1.483256e-06,1.474228e-06,1.452517e-06,1.440248e-06,1.430563e-06,1.408434e-06,1.396433e-06,1.386192e-06,1.363892e-06,1.352291e-06,1.341587e-06,1.319321e-06,1.308215e-06,1.297135e-06,1.275068e-06,1.264527e-06,1.253152e-06,1.231416e-06,1.221486e-06,1.209888e-06,1.188591e-06,1.179299e-06,1.167546e-06,1.146770e-06,1.138129e-06,1.126280e-06,1.106089e-06,1.098099e-06,1.086209e-06,1.066651e-06,1.059305e-06,1.047422e-06,1.028529e-06,1.021812e-06,1.009979e-06,9.917749e-07,9.856649e-07,9.739202e-07,9.564172e-07,9.508907e-07,9.392670e-07,9.224702e-07,9.175000e-07,9.060262e-07,8.899341e-07,8.854911e-07,8.741922e-07,8.587982e-07,8.548524e-07,8.437495e-07,8.290429e-07,8.255639e-07,8.146749e-07,8.006416e-07,7.975987e-07,7.869387e-07,7.735619e-07,7.709252e-07,7.605064e-07,7.477674e-07,7.455076e-07,7.353398e-07,7.232185e-07,7.213071e-07,7.113980e-07,6.998730e-07,6.982828e-07,6.886380e-07,6.776875e-07,6.763923e-07,6.670158e-07,6.566175e-07,6.555924e-07,6.464867e-07,6.366181e-07,6.358397e-07,6.270058e-07,6.176445e-07,6.170906e-07,6.085284e-07,5.996522e-07,5.993020e-07,5.910103e-07,5.825974e-07,5.824314e-07,5.744081e-07,5.664371e-07,5.512784e-07,5.369158e-07,5.233111e-07,5.104270e-07,4.982281e-07,4.866799e-07,4.757495e-07,4.654054e-07,4.556173e-07,4.463563e-07,4.375950e-07,4.293071e-07,4.214674e-07,4.140524e-07,4.070393e-07,4.004066e-07,3.941339e-07,3.882019e-07,3.825921e-07,3.772871e-07,3.722705e-07,3.675265e-07,3.630404e-07,3.587981e-07,3.547864e-07,3.509927e-07,3.474052e-07,3.440126e-07,3.408043e-07,3.377702e-07,3.349008e-07,3.321871e-07,3.296206e-07,3.271933e-07,3.248977e-07,3.227265e-07,3.206730e-07,3.187309e-07,3.168939e-07,3.151566e-07,3.135133e-07,3.119592e-07,3.104892e-07,3.090989e-07,3.077840e-07,3.065405e-07,3.053644e-07,3.042521e-07,3.032003e-07
0.000000e+00,3.318372e-10,3.277877e-08,3.502633e-08,5.277203e-07,3.562245e-06,3.816718e-06,1.700502e-05,4.854721e-05,5.137880e-05,1.130681e-04,1.885201e-04,1.955892e-04,2.864187e-04,3.672907e-04,3.760352e-04,4.598394e-04,5.275453e-04,5.363258e-04,6.053442e-04,6.589709e-04,6.672201e-04,7.224127e-04,7.639624e-04,7.714036e-04,8.146597e-04,8.461618e-04,8.526238e-04,8.857128e-04,9.089372e-04,9.143173e-04,9.388028e-04,9.552622e-04,9.595101e-04,9.767567e-04,9.877310e-04,9.908362e-04,1.002021e-03,1.008584e-03,1.010564e-03,1.016700e-03,1.019749e-03,1.020645e-03,1.022602e-03,1.022888e-03,1.022756e-03,1.021280e-03,1.019427e-03,1.018334e-03,1.014067e-03,1.010592e-03,1.008612e-03,1.002096e-03,9.974214e-04,9.946317e-04,9.863234e-04,9.807908e-04,9.772673e-04,9.675522e-04,9.614408e-04,9.572591e-04,9.464624e-04,9.399967e-04,9.352304e-04,9.236262e-04,9.169869e-04,9.117072e-04,8.995257e-04,8.928555e-04,8.871294e-04,8.745620e-04,8.679728e-04,8.618636e-04,8.490706e-04,8.426490e-04,8.362159e-04,8.233296e-04,8.171410e-04,8.104388e-04,7.975681e-04,7.916605e-04,7.847396e-04,7.719735e-04,7.663809e-04,7.592877e-04,7.466983e-04,7.414431e-04,7.342198e-04,7.218650e-04,7.169604e-04,7.096454e-04,6.975709e-04,6.930225e-04,6.856505e-04,6.738918e-04,6.696995e-04,6.623015e-04,6.508854e-04,6.470445e-04,6.396483e-04,6.285945e-04,6.250965e-04,6.177272e-04,6.070491e-04,6.038830e-04,5.965625e-04,5.862687e-04,5.834212e-04,5.761689e-04,5.662638e-04,5.637204e-04,5.565535e-04,5.470378e-04,5.447830e-04,5.377163e-04,5.285881e-04,5.266058e-04,5.196522e-04,5.109072e-04,5.091809e-04,5.023515e-04,4.939836e-04,4.924971e-04,4.858013e-04,4.778027e-04,4.765398e-04,4.699855e-04,4.623475e-04,4.612923e-04,4.548861e-04,4.475989e-04,4.467360e-04,4.404833e-04,4.335367e-04,4.328512e-04,4.267562e-04,4.201392e-04,4.196168e-04,4.136828e-04,4.073844e-04,4.070114e-04,4.012409e-04,3.952496e-04,3.950131e-04,3.894076e-04,3.837121e-04,3.835996e-04,3.781602e-04,3.727490e-04,3.624393e-04,3.526487e-04,3.433559e-04,3.345400e-04,3.261805e-04,3.182577e-04,3.107523e-04,3.036455e-04,2.969192e-04,2.905562e-04,2.845394e-04,2.788529e-04,2.734809e-04,2.684086e-04,2.636217e-04,2.591063e-04,2.548493e-04,2.508381e-04,2.470606e-04,2.435053e-04,2.401611e-04,2.370176e-04,2.340645e-04,2.312924e-04,2.286919e-04,2.262544e-04,2.239715e-04,2.218352e-04,2.198379e-04,2.179724e-04,2.162318e-04,2.146094e-04,2.130990e-04,2.116946e-04,2.103905e-04,2.091814e-04,2.080621e-04,2.070275e-04,2.060732e-04,2.051946e-04,2.043874e-04,2.036478e-04,2.029717e-04,2.023557e-04,2.017962e-04,2.012898e-04,2.008336e-04,2.004245e-04,2.000598e-04
0.000000e+00,1.629232e-08,4.030290e-07,4.225409e-07,2.939450e-06,1.074255e-05,1.123411e-05,2.838549e-05,5.189931e-05,5.356790e-05,8.260621e-05,1.090637e-04,1.112816e-04,1.375151e-04,1.586389e-04,1.608415e-04,1.813463e-04,1.972213e-04,1.992377e-04,2.147408e-04,2.263290e-04,2.280725e-04,2.394363e-04,2.475997e-04,2.490211e-04,2.570010e-04,2.624596e-04,2.635359e-04,2.687719e-04,2.721152e-04,2.728418e-04,2.758666e-04,2.775724e-04,2.779576e-04,2.792157e-04,2.796716e-04,2.797326e-04,2.795921e-04,2.791094e-04,2.788695e-04,2.776337e-04,2.764613e-04,2.759468e-04,2.738652e-04,2.722007e-04,2.714398e-04,2.687166e-04,2.667162e-04,2.657373e-04,2.625393e-04,2.603253e-04,2.591564e-04,2.556191e-04,2.532869e-04,2.519547e-04,2.481877e-04,2.458105e-04,2.443403e-04,2.404321e-04,2.380654e-04,2.364808e-04,2.325020e-04,2.301873e-04,2.285098e-04,2.245165e-04,2.222840e-04,2.205332e-04,2.165697e-04,2.144406e-04,2.126343e-04,2.087348e-04,2.067233e-04,2.048775e-04,2.010682e-04,1.991832e-04,1.973119e-04,1.936126e-04,1.918583e-04,1.899740e-04,1.863992e-04,1.847768e-04,1.828905e-04,1.794500e-04,1.779583e-04,1.760794e-04,1.727799e-04,1.714155e-04,1.695523e-04,1.663975e-04,1.651560e-04,1.633156e-04,1.603069e-04,1.591828e-04,1.573713e-04,1.545085e-04,1.534956e-04,1.517181e-04,1.489995e-04,1.480914e-04,1.463520e-04,1.437749e-04,1.429649e-04,1.412672e-04,1.388280e-04,1.381094e-04,1.364562e-04,1.341507e-04,1.335169e-04,1.319104e-04,1.297341e-04,1.291786e-04,1.276206e-04,1.255685e-04,1.250850e-04,1.235767e-04,1.216439e-04,1.212265e-04,1.197687e-04,1.179499e-04,1.175928e-04,1.161862e-04,1.144762e-04,1.141740e-04,1.128188e-04,1.112125e-04,1.109601e-04,1.096561e-04,1.081485e-04,1.079412e-04,1.066882e-04,1.052742e-04,1.051075e-04,1.039051e-04,1.025799e-04,1.024497e-04,1.012972e-04,1.000560e-04,9.995851e-05,9.885522e-05,9.769361e-05,9.762514e-05,9.657015e-05,9.548376e-05,9.544106e-05,9.443340e-05,9.341805e-05,9.339809e-05,9.243670e-05,9.148839e-05,8.970448e-05,8.803920e-05,8.648577e-05,8.503769e-05,8.368883e-05,8.243334e-05,8.126569e-05,8.018062e-05,7.917318e-05,7.823866e-05,7.737262e-05,7.657085e-05,7.582938e-05,7.514446e-05,7.451256e-05,7.393033e-05,7.339462e-05,7.290245e-05,7.245104e-05,7.203773e-05,7.166004e-05,7.131563e-05,7.100228e-05,7.071792e-05,7.046060e-05,7.022847e-05,7.001981e-05,6.983298e-05,6.966645e-05,6.951880e-05,6.938866e-05,6.927477e-05,6.917594e-05,6.909105e-05,6.901904e-05,6.895895e-05,6.890984e-05,6.887085e-05,6.884117e-05,6.882004e-05,6.880676e-05,6.880066e-05,6.880112e-05,6.880757e-05,6.881945e-05,6.883628e-05,6.885757e-05,6.888289e-05,6.891183e-05
0.000000e+00,7.075696e-10,9.403572e-09,9.812413e-09,5.839424e-08,1.948785e-07,2.031443e-07,4.765692e-07,8.138064e-07,8.363954e-07,1.211067e-06,1.537515e-06,1.564744e-06,1.888416e-06,2.153433e-06,2.181380e-06,2.444996e-06,2.654153e-06,2.681095e-06,2.891562e-06,3.053463e-06,3.078230e-06,3.242844e-06,3.365293e-06,3.387062e-06,3.512447e-06,3.602243e-06,3.620469e-06,3.712510e-06,3.775509e-06,3.789864e-06,3.853739e-06,3.894932e-06,3.905263e-06,3.945486e-06,3.969103e-06,3.975387e-06,3.995874e-06,4.005470e-06,4.007788e-06,4.011913e-06,4.010469e-06,4.008974e-06,3.999640e-06,3.989637e-06,3.984534e-06,3.964231e-06,3.947728e-06,3.939261e-06,3.910114e-06,3.888810e-06,3.877243e-06,3.841066e-06,3.816356e-06,3.801967e-06,3.760298e-06,3.733317e-06,3.716387e-06,3.670538e-06,3.642213e-06,3.623024e-06,3.574097e-06,3.545165e-06,3.523990e-06,3.472914e-06,3.443961e-06,3.421063e-06,3.368614e-06,3.340101e-06,3.315729e-06,3.262555e-06,3.234835e-06,3.209225e-06,3.155862e-06,3.129203e-06,3.102576e-06,3.049467e-06,3.024064e-06,2.996623e-06,2.944127e-06,2.920115e-06,2.892049e-06,2.840455e-06,2.817923e-06,2.789404e-06,2.738945e-06,2.717940e-06,2.689124e-06,2.639981e-06,2.620521e-06,2.591549e-06,2.543860e-06,2.525939e-06,2.496939e-06,2.450806e-06,2.434395e-06,2.405480e-06,2.360976e-06,2.346034e-06,2.317305e-06,2.274476e-06,2.260950e-06,2.232495e-06,2.191368e-06,2.179196e-06,2.151095e-06,2.111676e-06,2.100792e-06,2.073111e-06,2.035396e-06,2.025729e-06,1.998526e-06,1.962496e-06,1.953973e-06,1.927299e-06,1.892927e-06,1.885475e-06,1.859370e-06,1.826621e-06,1.820167e-06,1.794667e-06,1.763499e-06,1.757971e-06,1.733105e-06,1.703473e-06,1.698801e-06,1.674590e-06,1.646445e-06,1.642563e-06,1.619024e-06,1.592314e-06,1.589156e-06,1.566302e-06,1.540975e-06,1.538479e-06,1.516318e-06,1.492320e-06,1.490428e-06,1.468964e-06,1.446240e-06,1.444896e-06,1.424132e-06,1.402627e-06,1.401779e-06,1.381712e-06,1.361374e-06,1.360973e-06,1.341598e-06,1.322374e-06,1.285881e-06,1.251397e-06,1.218825e-06,1.188072e-06,1.159048e-06,1.131667e-06,1.105845e-06,1.081503e-06,1.058562e-06,1.036950e-06,1.016596e-06,9.974340e-07,9.793989e-07,9.624301e-07,9.464695e-07,9.314620e-07,9.173551e-07,9.040991e-07,8.916466e-07,8.799530e-07,8.689756e-07,8.586744e-07,8.490110e-07,8.399495e-07,8.314557e-07,8.234973e-07,8.160437e-07,8.090661e-07,8.025372e-07,7.964311e-07,7.907235e-07,7.853913e-07,7.804128e-07,7.757675e-07,7.714359e-07,7.673998e-07,7.636419e-07,7.601458e-07,7.568962e-07,7.538785e-07,7.510792e-07,7.484852e-07,7.460844e-07,7.438652e-07,7.418169e-07,7.399291e-07,7.381923e-07,7.365972e-07,7.351355e-07
0.000000e+00,4.301532e-11,7.162824e-09,7.728854e-09,1.775404e-07,1.601770e-06,1.733575e-06,9.532852e-06,3.142938e-05,3.353473e-05,8.391188e-05,1.565961e-04,1.640294e-04,2.691826e-04,3.777500e-04,3.903034e-04,5.180732e-04,6.301471e-04,6.451852e-04,7.668478e-04,8.650342e-04,8.803828e-04,9.845782e-04,1.064638e-03,1.079120e-03,1.164194e-03,1.227192e-03,1.240237e-03,1.307799e-03,1.356135e-03,1.367465e-03,1.419819e-03,1.455944e-03,1.465426e-03,1.504823e-03,1.530921e-03,1.538512e-03,1.566968e-03,1.584916e-03,1.590630e-03,1.609907e-03,1.621286e-03,1.625180e-03,1.636798e-03,1.642931e-03,1.645087e-03,1.650348e-03,1.652337e-03,1.652857e-03,1.652871e-03,1.651628e-03,1.650625e-03,1.646337e-03,1.642613e-03,1.640206e-03,1.632417e-03,1.626829e-03,1.623138e-03,1.612527e-03,1.605580e-03,1.600725e-03,1.587866e-03,1.579970e-03,1.574068e-03,1.559444e-03,1.550931e-03,1.544094e-03,1.528113e-03,1.519251e-03,1.511586e-03,1.494590e-03,1.485591e-03,1.477198e-03,1.459475e-03,1.450508e-03,1.441480e-03,1.423269e-03,1.414466e-03,1.404892e-03,1.386393e-03,1.377854e-03,1.367814e-03,1.349192e-03,1.340994e-03,1.330563e-03,1.311955e-03,1.304154e-03,1.293399e-03,1.274918e-03,1.267552e-03,1.256535e-03,1.238272e-03,1.231367e-03,1.220147e-03,1.202175e-03,1.195746e-03,1.184372e-03,1.166751e-03,1.160804e-03,1.149324e-03,1.132100e-03,1.126633e-03,1.115088e-03,1.098297e-03,1.093304e-03,1.081733e-03,1.065402e-03,1.060872e-03,1.049308e-03,1.033457e-03,1.029375e-03,1.017850e-03,1.002491e-03,9.988415e-04,9.873812e-04,9.725228e-04,9.692877e-04,9.579164e-04,9.435626e-04,9.407222e-04,9.294613e-04,9.156122e-04,9.131461e-04,9.020146e-04,8.886675e-04,8.865551e-04,8.755695e-04,8.627192e-04,8.609398e-04,8.501147e-04,8.377541e-04,8.362871e-04,8.256351e-04,8.137555e-04,8.125806e-04,8.021128e-04,7.907042e-04,7.898016e-04,7.795272e-04,7.685789e-04,7.679292e-04,7.578564e-04,7.473567e-04,7.469413e-04,7.370767e-04,7.270134e-04,7.268143e-04,7.171636e-04,7.075242e-04,6.890462e-04,6.713553e-04,6.544265e-04,6.382347e-04,6.227548e-04,6.079625e-04,5.938334e-04,5.803436e-04,5.674700e-04,5.551897e-04,5.434804e-04,5.323206e-04,5.216892e-04,5.115656e-04,5.019303e-04,4.927638e-04,4.840477e-04,4.757639e-04,4.678951e-04,4.604245e-04,4.533359e-04,4.466135e-04,4.402423e-04,4.342078e-04,4.284958e-04,4.230929e-04,4.179861e-04,4.131628e-04,4.086108e-04,4.043186e-04,4.002750e-04,3.964691e-04,3.928905e-04,3.895293e-04,3.863759e-04,3.834209e-04,3.806556e-04,3.780714e-04,3.756599e-04,3.734134e-04,3.713242e-04,3.693850e-04,3.675888e-04,3.659288e-04,3.643985e-04,3.629916e-04,3.617023e-04,3.605246e-04,3.594532e-04
0.000000e+00,8.622906e-10,1.436556e-08,1.504824e-08,1.013743e-07,3.381933e-07,3.516700e-07,7.409627e-07,1.128287e-06,1.152448e-06,1.539397e-06,1.867253e-06,1.894481e-06,2.218056e-06,2.483726e-06,2.511814e-06,2.777634e-06,2.989916e-06,3.017366e-06,3.232784e-06,3.399892e-06,3.425583e-06,3.597374e-06,3.726563e-06,3.749684e-06,3.883954e-06,3.981547e-06,4.001539e-06,4.103714e-06,4.175161e-06,4.191670e-06,4.266521e-06,4.316479e-06,4.329308e-06,4.380999e-06,4.413423e-06,4.422499e-06,4.454648e-06,4.472878e-06,4.478225e-06,4.493957e-06,4.500807e-06,4.502519e-06,4.504536e-06,4.502367e-06,4.500589e-06,4.491218e-06,4.482004e-06,4.476922e-06,4.458163e-06,4.443548e-06,4.435371e-06,4.408943e-06,4.390291e-06,4.379246e-06,4.346619e-06,4.325058e-06,4.311377e-06,4.273810e-06,4.250266e-06,4.234185e-06,4.192750e-06,4.167979e-06,4.149732e-06,4.105341e-06,4.079956e-06,4.059771e-06,4.013199e-06,3.987692e-06,3.965789e-06,3.917691e-06,3.892454e-06,3.869042e-06,3.819970e-06,3.795312e-06,3.770591e-06,3.721009e-06,3.697167e-06,3.671323e-06,3.621620e-06,3.598774e-06,3.571981e-06,3.522479e-06,3.500759e-06,3.473180e-06,3.424145e-06,3.403641e-06,3.375427e-06,3.327076e-06,3.307848e-06,3.279136e-06,3.231646e-06,3.213726e-06,3.184643e-06,3.138158e-06,3.121555e-06,3.092218e-06,3.046847e-06,3.031555e-06,3.002068e-06,2.957899e-06,2.943896e-06,2.914355e-06,2.871451e-06,2.858706e-06,2.829198e-06,2.787605e-06,2.776079e-06,2.746680e-06,2.706429e-06,2.696075e-06,2.666856e-06,2.627964e-06,2.618731e-06,2.589754e-06,2.552228e-06,2.544063e-06,2.515383e-06,2.479219e-06,2.472068e-06,2.443733e-06,2.408921e-06,2.402727e-06,2.374780e-06,2.341305e-06,2.336010e-06,2.308490e-06,2.276329e-06,2.271878e-06,2.244816e-06,2.213945e-06,2.210283e-06,2.183707e-06,2.154096e-06,2.151169e-06,2.125103e-06,2.096721e-06,2.094477e-06,2.068941e-06,2.041755e-06,2.040143e-06,2.015155e-06,1.989130e-06,1.988101e-06,1.963673e-06,1.938775e-06,1.938283e-06,1.914426e-06,1.890618e-06,1.845037e-06,1.801468e-06,1.759842e-06,1.720089e-06,1.682140e-06,1.645927e-06,1.611385e-06,1.578448e-06,1.547053e-06,1.517138e-06,1.488645e-06,1.461515e-06,1.435691e-06,1.411119e-06,1.387748e-06,1.365525e-06,1.344403e-06,1.324334e-06,1.305272e-06,1.287174e-06,1.269998e-06,1.253703e-06,1.238251e-06,1.223603e-06,1.209725e-06,1.196582e-06,1.184140e-06,1.172369e-06,1.161237e-06,1.150715e-06,1.140776e-06,1.131393e-06,1.122539e-06,1.114191e-06,1.106324e-06,1.098916e-06,1.091946e-06,1.085393e-06,1.079237e-06,1.073459e-06,1.068040e-06,1.062964e-06,1.058214e-06,1.053773e-06,1.049627e-06,1.045761e-06,1.042161e-06,1.038814e-06,1.035707e-06
0.000000e+00,8.581749e-10,5.966406e-08,6.338015e-08,7.467083e-07,4.206968e-06,4.476497e-06,1.693806e-05,4.186246e-05,4.391008e-05,8.406162e-05,1.264062e-04,1.301523e-04,1.764293e-04,2.161809e-04,2.204557e-04,2.615421e-04,2.951905e-04,2.995995e-04,3.347100e-04,3.626459e-04,3.670023e-04,3.966146e-04,4.195193e-04,4.236855e-04,4.483514e-04,4.668761e-04,4.707451e-04,4.909954e-04,5.057364e-04,5.092271e-04,5.255601e-04,5.370561e-04,5.401096e-04,5.529854e-04,5.617165e-04,5.642927e-04,5.741316e-04,5.805232e-04,5.825974e-04,5.897805e-04,5.942063e-04,5.957665e-04,6.006366e-04,6.034230e-04,6.044675e-04,6.073316e-04,6.087621e-04,6.092974e-04,6.104296e-04,6.107499e-04,6.107891e-04,6.104333e-04,6.098554e-04,6.094165e-04,6.077895e-04,6.064955e-04,6.056004e-04,6.028943e-04,6.010403e-04,5.997138e-04,5.960987e-04,5.938177e-04,5.920865e-04,5.877125e-04,5.851175e-04,5.830098e-04,5.780093e-04,5.751956e-04,5.727402e-04,5.672297e-04,5.642774e-04,5.615033e-04,5.555850e-04,5.525610e-04,5.494972e-04,5.432606e-04,5.402201e-04,5.368949e-04,5.304184e-04,5.274066e-04,5.238479e-04,5.171994e-04,5.142532e-04,5.104877e-04,5.037265e-04,5.008751e-04,4.969285e-04,4.901057e-04,4.873721e-04,4.832690e-04,4.764287e-04,4.738305e-04,4.695942e-04,4.627743e-04,4.603242e-04,4.559769e-04,4.492094e-04,4.469166e-04,4.424788e-04,4.357913e-04,4.336613e-04,4.291525e-04,4.225678e-04,4.206037e-04,4.160420e-04,4.095792e-04,4.077815e-04,4.031836e-04,3.968586e-04,3.952260e-04,3.906074e-04,3.844329e-04,3.829627e-04,3.783376e-04,3.723238e-04,3.710118e-04,3.663934e-04,3.605481e-04,3.593894e-04,3.547895e-04,3.491187e-04,3.481074e-04,3.435368e-04,3.380447e-04,3.371744e-04,3.326431e-04,3.273323e-04,3.265961e-04,3.221128e-04,3.169847e-04,3.163755e-04,3.119482e-04,3.070032e-04,3.065137e-04,3.021494e-04,2.973866e-04,2.970095e-04,2.927144e-04,2.881324e-04,2.878603e-04,2.836399e-04,2.792365e-04,2.790622e-04,2.749212e-04,2.706935e-04,2.706099e-04,2.665525e-04,2.624973e-04,2.547176e-04,2.472632e-04,2.401260e-04,2.332974e-04,2.267687e-04,2.205307e-04,2.145745e-04,2.088906e-04,2.034698e-04,1.983030e-04,1.933808e-04,1.886943e-04,1.842344e-04,1.799925e-04,1.759599e-04,1.721281e-04,1.684891e-04,1.650347e-04,1.617573e-04,1.586493e-04,1.557035e-04,1.529127e-04,1.502701e-04,1.477693e-04,1.454037e-04,1.431673e-04,1.410542e-04,1.390588e-04,1.371756e-04,1.353994e-04,1.337251e-04,1.321480e-04,1.306633e-04,1.292668e-04,1.279541e-04,1.267212e-04,1.255643e-04,1.244795e-04,1.234634e-04,1.225125e-04,1.216236e-04,1.207936e-04,1.200195e-04,1.192985e-04,1.186279e-04,1.180051e-04,1.174277e-04,1.168932e-04,1.163995e-04
0.000000e+00,7.078564e-13,1.633222e-10,1.770916e-10,4.873877e-09,5.059793e-08,5.512705e-08,3.734604e-07,1.628958e-06,1.773900e-06,6.443372e-06,1.751602e-05,1.897015e-05,4.728464e-05,9.595009e-05,1.032029e-04,2.024368e-04,3.407007e-04,3.640928e-04,6.097742e-04,9.057561e-04,9.624362e-04,1.445138e-03,1.967215e-03,2.079824e-03,2.886218e-03,3.687343e-03,3.880910e-03,5.076659e-03,6.183854e-03,6.481922e-03,8.100627e-03,9.511136e-03,9.932136e-03,1.197140e-02,1.365468e-02,1.420924e-02,1.663280e-02,1.853646e-02,1.922600e-02,2.197009e-02,2.402763e-02,2.484423e-02,2.782604e-02,2.996491e-02,3.089220e-02,3.401887e-02,3.616743e-02,3.718228e-02,4.035904e-02,4.245201e-02,4.352658e-02,4.666341e-02,4.864552e-02,4.974942e-02,5.276600e-02,5.459392e-02,5.569623e-02,5.852497e-02,6.016788e-02,6.123890e-02,6.382653e-02,6.526559e-02,6.627816e-02,6.858586e-02,6.981291e-02,7.074340e-02,7.274609e-02,7.376201e-02,7.459083e-02,7.627584e-02,7.708874e-02,7.780068e-02,7.916597e-02,7.978928e-02,8.037339e-02,8.142551e-02,8.187633e-02,8.232569e-02,8.307797e-02,8.337561e-02,8.368697e-02,8.415780e-02,8.432259e-02,8.449594e-02,8.470720e-02,8.475953e-02,8.479758e-02,8.477325e-02,8.473279e-02,8.464046e-02,8.440553e-02,8.429078e-02,8.407474e-02,8.365433e-02,8.348224e-02,8.315047e-02,8.256918e-02,8.235495e-02,8.191635e-02,8.119773e-02,8.095478e-02,8.041886e-02,7.958508e-02,7.932502e-02,7.870156e-02,7.777321e-02,7.750589e-02,7.680476e-02,7.580070e-02,7.553434e-02,7.476530e-02,7.370262e-02,7.344394e-02,7.261649e-02,7.151053e-02,7.126491e-02,7.038817e-02,6.925259e-02,6.902416e-02,6.810683e-02,6.695368e-02,6.674554e-02,6.579579e-02,6.463560e-02,6.444992e-02,6.347541e-02,6.231732e-02,6.215547e-02,6.116330e-02,6.001516e-02,5.987786e-02,5.887458e-02,5.774309e-02,5.763050e-02,5.662210e-02,5.551289e-02,5.542470e-02,5.441665e-02,5.333444e-02,5.326997e-02,5.226721e-02,5.121585e-02,5.117414e-02,5.018113e-02,4.916374e-02,4.914357e-02,4.816431e-02,4.718337e-02,4.529746e-02,4.348878e-02,4.175943e-02,4.011075e-02,3.854343e-02,3.705763e-02,3.565303e-02,3.432893e-02,3.308424e-02,3.191763e-02,3.082753e-02,2.981219e-02,2.886971e-02,2.799807e-02,2.719513e-02,2.645866e-02,2.578636e-02,2.517591e-02,2.462492e-02,2.413099e-02,2.369168e-02,2.330456e-02,2.296716e-02,2.267703e-02,2.243172e-02,2.222875e-02,2.206569e-02,2.194009e-02,2.184952e-02,2.179158e-02,2.176388e-02,2.176407e-02,2.178982e-02,2.183883e-02,2.190887e-02,2.199773e-02,2.210326e-02,2.222339e-02,2.235608e-02,2.249939e-02,2.265144e-02,2.281044e-02,2.297467e-02,2.314251e-02,2.331243e-02,2.348300e-02,2.365288e-02,2.382083e-02,2.398572e-02
0.000000e+00,7.939951e-09,1.207228e-07,1.263226e-07,8.492566e-07,2.976708e-06,3.102579e-06,6.897885e-06,1.090376e-05,1.115972e-05,1.534889e-05,1.903215e-05,1.934387e-05,2.312249e-05,2.633759e-05,2.668409e-05,3.003299e-05,3.280856e-05,3.317485e-05,3.611584e-05,3.848937e-05,3.886245e-05,4.142146e-05,4.343120e-05,4.379992e-05,4.600502e-05,4.768894e-05,4.804403e-05,4.992425e-05,5.131893e-05,5.165288e-05,5.323703e-05,5.437684e-05,5.468364e-05,5.599947e-05,5.691607e-05,5.719107e-05,5.826475e-05,5.898696e-05,5.922662e-05,6.008253e-05,6.063634e-05,6.083811e-05,6.149880e-05,6.190762e-05,6.206979e-05,6.255602e-05,6.284070e-05,6.296228e-05,6.329310e-05,6.347223e-05,6.355283e-05,6.374564e-05,6.383576e-05,6.387550e-05,6.394622e-05,6.396195e-05,6.396140e-05,6.392451e-05,6.387876e-05,6.383884e-05,6.370752e-05,6.361163e-05,6.353356e-05,6.331979e-05,6.318371e-05,6.306893e-05,6.278357e-05,6.261600e-05,6.246617e-05,6.211905e-05,6.192755e-05,6.174445e-05,6.134448e-05,6.113561e-05,6.092114e-05,6.047634e-05,6.025575e-05,6.001190e-05,5.952953e-05,5.930207e-05,5.903086e-05,5.851743e-05,5.828723e-05,5.799072e-05,5.745211e-05,5.722266e-05,5.690290e-05,5.634436e-05,5.611858e-05,5.577764e-05,5.520386e-05,5.498419e-05,5.462407e-05,5.403926e-05,5.382768e-05,5.345037e-05,5.285827e-05,5.265638e-05,5.226380e-05,5.166773e-05,5.147678e-05,5.107081e-05,5.047372e-05,5.029466e-05,4.987710e-05,4.928158e-05,4.911510e-05,4.868771e-05,4.809603e-05,4.794261e-05,4.750703e-05,4.692119e-05,4.678111e-05,4.633893e-05,4.576067e-05,4.563402e-05,4.518676e-05,4.461756e-05,4.450432e-05,4.405340e-05,4.349457e-05,4.339457e-05,4.294134e-05,4.239396e-05,4.230694e-05,4.185267e-05,4.131768e-05,4.124329e-05,4.078917e-05,4.026732e-05,4.020516e-05,3.975230e-05,3.924423e-05,3.919381e-05,3.874325e-05,3.824946e-05,3.821027e-05,3.776296e-05,3.728384e-05,3.725533e-05,3.681217e-05,3.634801e-05,3.632960e-05,3.589140e-05,3.544239e-05,3.543349e-05,3.500101e-05,3.456728e-05,3.373109e-05,3.292491e-05,3.214863e-05,3.140206e-05,3.068488e-05,2.999674e-05,2.933720e-05,2.870577e-05,2.810191e-05,2.752505e-05,2.697456e-05,2.644981e-05,2.595013e-05,2.547485e-05,2.502325e-05,2.459464e-05,2.418830e-05,2.380351e-05,2.343955e-05,2.309570e-05,2.277125e-05,2.246548e-05,2.217771e-05,2.190722e-05,2.165334e-05,2.141538e-05,2.119270e-05,2.098464e-05,2.079056e-05,2.060985e-05,2.044188e-05,2.028608e-05,2.014186e-05,2.000867e-05,1.988594e-05,1.977316e-05,1.966981e-05,1.957539e-05,1.948942e-05,1.941143e-05,1.934096e-05,1.927759e-05,1.922089e-05,1.917045e-05,1.912590e-05,1.908685e-05,1.905294e-05,1.902383e-05,1.899920e-05
0.000000e+00,8.994524e-09,1.771365e-07,1.855293e-07,1.227051e-06,4.197457e-06,4.377209e-06,1.034716e-05,1.790539e-05,1.842174e-05,2.715212e-05,3.497610e-05,3.563708e-05,4.359706e-05,5.026863e-05,5.098118e-05,5.779765e-05,6.334485e-05,6.406962e-05,6.982400e-05,7.437973e-05,7.508823e-05,7.988936e-05,8.358318e-05,8.425299e-05,8.820409e-05,9.115338e-05,9.176715e-05,9.496567e-05,9.727713e-05,9.782209e-05,1.003578e-04,1.021260e-04,1.025930e-04,1.045470e-04,1.058554e-04,1.062382e-04,1.076838e-04,1.086050e-04,1.089001e-04,1.099027e-04,1.105004e-04,1.107061e-04,1.113242e-04,1.116536e-04,1.117700e-04,1.120559e-04,1.121648e-04,1.121933e-04,1.121933e-04,1.121230e-04,1.120661e-04,1.118214e-04,1.116075e-04,1.114685e-04,1.110158e-04,1.106886e-04,1.104714e-04,1.098431e-04,1.094287e-04,1.091378e-04,1.083624e-04,1.078830e-04,1.075231e-04,1.066259e-04,1.061002e-04,1.056762e-04,1.046794e-04,1.041233e-04,1.036403e-04,1.025635e-04,1.019901e-04,1.014533e-04,1.003136e-04,9.973384e-05,9.914816e-05,9.796056e-05,9.738360e-05,9.675404e-05,9.553164e-05,9.496479e-05,9.429620e-05,9.305036e-05,9.249954e-05,9.179660e-05,9.053719e-05,9.000707e-05,8.927427e-05,8.800981e-05,8.750400e-05,8.674563e-05,8.548342e-05,8.500463e-05,8.422475e-05,8.297106e-05,8.252121e-05,8.172367e-05,8.048381e-05,8.006418e-05,7.925260e-05,7.803105e-05,7.764235e-05,7.682011e-05,7.562063e-05,7.526313e-05,7.443338e-05,7.325906e-05,7.293265e-05,7.209830e-05,7.095168e-05,7.065594e-05,6.981970e-05,6.870280e-05,6.843704e-05,6.760139e-05,6.651582e-05,6.627915e-05,6.544638e-05,6.439333e-05,6.418471e-05,6.335689e-05,6.233724e-05,6.215550e-05,6.133452e-05,6.034885e-05,6.019273e-05,5.938030e-05,5.842893e-05,5.829711e-05,5.749477e-05,5.657782e-05,5.646894e-05,5.567806e-05,5.479544e-05,5.470812e-05,5.392992e-05,5.308141e-05,5.301426e-05,5.224981e-05,5.143503e-05,5.138667e-05,5.063693e-05,4.985538e-05,4.982446e-05,4.909024e-05,4.834135e-05,4.832654e-05,4.760854e-05,4.689164e-05,4.551838e-05,4.420529e-05,4.295078e-05,4.175322e-05,4.061092e-05,3.952216e-05,3.848520e-05,3.749831e-05,3.655972e-05,3.566772e-05,3.482058e-05,3.401660e-05,3.325411e-05,3.253147e-05,3.184708e-05,3.119936e-05,3.058681e-05,3.000791e-05,2.946124e-05,2.894539e-05,2.845900e-05,2.800076e-05,2.756940e-05,2.716370e-05,2.678248e-05,2.642459e-05,2.608894e-05,2.577448e-05,2.548020e-05,2.520511e-05,2.494829e-05,2.470883e-05,2.448588e-05,2.427861e-05,2.408623e-05,2.390798e-05,2.374314e-05,2.359102e-05,2.345095e-05,2.332230e-05,2.320446e-05,2.309686e-05,2.299893e-05,2.291016e-05,2.283004e-05,2.275808e-05,2.269383e-05,2.263685e-05,2.258672e-05
0.000000e+00,2.595625e-09,1.226946e-07,1.297044e-07,1.272501e-06,6.110458e-06,6.457132e-06,2.060140e-05,4.443592e-05,4.626540e-05,8.011320e-05,1.133815e-04,1.162533e-04,1.511171e-04,1.804248e-04,1.835500e-04,2.133573e-04,2.374689e-04,2.406081e-04,2.654342e-04,2.849551e-04,2.879795e-04,3.083870e-04,3.239784e-04,3.267948e-04,3.433347e-04,3.555919e-04,3.581322e-04,3.713060e-04,3.807516e-04,3.829683e-04,3.932248e-04,4.003131e-04,4.021749e-04,4.099120e-04,4.150351e-04,4.165238e-04,4.220925e-04,4.255873e-04,4.266952e-04,4.304042e-04,4.325595e-04,4.332872e-04,4.354075e-04,4.364699e-04,4.368245e-04,4.375937e-04,4.377733e-04,4.377669e-04,4.373926e-04,4.368678e-04,4.365161e-04,4.351796e-04,4.341013e-04,4.334228e-04,4.312822e-04,4.297777e-04,4.287925e-04,4.259857e-04,4.241619e-04,4.228916e-04,4.195381e-04,4.174845e-04,4.159512e-04,4.121549e-04,4.099460e-04,4.081718e-04,4.040227e-04,4.017200e-04,3.997270e-04,3.953028e-04,3.929571e-04,3.907669e-04,3.861347e-04,3.837870e-04,3.814206e-04,3.766381e-04,3.743218e-04,3.717994e-04,3.669159e-04,3.646574e-04,3.619983e-04,3.570562e-04,3.548762e-04,3.520986e-04,3.471338e-04,3.450483e-04,3.421694e-04,3.372125e-04,3.352332e-04,3.322693e-04,3.273458e-04,3.254812e-04,3.224474e-04,3.175789e-04,3.158345e-04,3.127448e-04,3.079492e-04,3.063281e-04,3.031957e-04,2.984877e-04,2.969912e-04,2.938281e-04,2.892195e-04,2.878473e-04,2.846645e-04,2.801651e-04,2.789155e-04,2.757232e-04,2.713404e-04,2.702107e-04,2.670182e-04,2.627578e-04,2.617446e-04,2.585602e-04,2.544264e-04,2.535256e-04,2.503571e-04,2.463528e-04,2.455598e-04,2.424140e-04,2.385410e-04,2.378509e-04,2.347340e-04,2.309932e-04,2.304008e-04,2.273185e-04,2.237097e-04,2.232098e-04,2.201669e-04,2.166897e-04,2.162768e-04,2.132777e-04,2.099308e-04,2.095996e-04,2.066483e-04,2.034298e-04,2.031751e-04,2.002748e-04,1.971827e-04,1.969992e-04,1.941530e-04,1.911848e-04,1.910674e-04,1.882777e-04,1.854308e-04,1.853745e-04,1.826435e-04,1.799149e-04,1.746829e-04,1.696721e-04,1.648764e-04,1.602893e-04,1.559042e-04,1.517147e-04,1.477143e-04,1.438963e-04,1.402545e-04,1.367825e-04,1.334741e-04,1.303231e-04,1.273237e-04,1.244699e-04,1.217562e-04,1.191769e-04,1.167268e-04,1.144005e-04,1.121931e-04,1.100996e-04,1.081154e-04,1.062358e-04,1.044565e-04,1.027732e-04,1.011817e-04,9.967819e-05,9.825875e-05,9.691975e-05,9.565764e-05,9.446902e-05,9.335061e-05,9.229928e-05,9.131199e-05,9.038584e-05,8.951804e-05,8.870590e-05,8.794685e-05,8.723841e-05,8.657821e-05,8.596398e-05,8.539352e-05,8.486474e-05,8.437562e-05,8.392424e-05,8.350875e-05,8.312737e-05,8.277839e-05,8.246019e-05,8.217121e-05
0.000000e+00,2.971982e-12,7.595897e-10,8.259469e-10,2.661433e-08,3.195581e-07,3.500450e-07,2.655822e-06,1.243000e-05,1.358316e-05,5.156507e-05,1.436241e-04,1.558026e-04,3.948800e-04,8.106426e-04,8.729663e-04,1.732602e-03,2.946915e-03,3.153922e-03,5.350699e-03,8.043296e-03,8.563885e-03,1.305341e-02,1.800822e-02,1.908901e-02,2.694074e-02,3.491807e-02,3.686981e-02,4.912012e-02,6.073991e-02,6.391080e-02,8.143008e-02,9.708877e-02,1.018304e-01,1.252253e-01,1.450540e-01,1.516867e-01,1.812448e-01,2.051063e-01,2.138882e-01,2.495649e-01,2.770812e-01,2.881849e-01,3.296227e-01,3.602228e-01,3.737211e-01,4.202944e-01,4.532716e-01,4.691327e-01,5.200062e-01,5.545786e-01,5.726688e-01,6.268627e-01,6.622276e-01,6.823216e-01,7.387753e-01,7.741569e-01,7.959520e-01,8.535823e-01,8.882679e-01,9.114017e-01,9.691529e-01,1.002519e+00,1.026588e+00,1.083471e+00,1.115001e+00,1.139579e+00,1.194701e+00,1.223988e+00,1.248644e+00,1.301228e+00,1.327980e+00,1.352290e+00,1.401685e+00,1.425716e+00,1.449282e+00,1.494966e+00,1.516186e+00,1.538640e+00,1.580219e+00,1.598624e+00,1.619637e+00,1.656839e+00,1.672495e+00,1.691784e+00,1.724445e+00,1.737477e+00,1.754805e+00,1.782861e+00,1.793438e+00,1.808616e+00,1.832087e+00,1.840411e+00,1.853296e+00,1.872276e+00,1.878570e+00,1.889064e+00,1.903705e+00,1.908203e+00,1.916250e+00,1.926753e+00,1.929692e+00,1.935273e+00,1.941873e+00,1.943488e+00,1.946618e+00,1.949576e+00,1.950094e+00,1.950818e+00,1.950414e+00,1.950048e+00,1.948436e+00,1.944958e+00,1.943907e+00,1.940051e+00,1.933789e+00,1.932236e+00,1.926243e+00,1.917486e+00,1.915596e+00,1.907588e+00,1.896619e+00,1.894536e+00,1.884646e+00,1.871736e+00,1.869588e+00,1.857955e+00,1.843366e+00,1.841263e+00,1.828030e+00,1.812008e+00,1.810041e+00,1.795355e+00,1.778130e+00,1.776378e+00,1.760384e+00,1.742170e+00,1.740694e+00,1.723537e+00,1.704534e+00,1.703383e+00,1.685204e+00,1.665593e+00,1.664803e+00,1.645741e+00,1.625688e+00,1.625285e+00,1.605471e+00,1.585127e+00,1.544600e+00,1.503946e+00,1.463383e+00,1.423102e+00,1.383273e+00,1.344044e+00,1.305545e+00,1.267885e+00,1.231160e+00,1.195449e+00,1.160818e+00,1.127320e+00,1.094999e+00,1.063886e+00,1.034005e+00,1.005372e+00,9.779939e-01,9.518731e-01,9.270053e-01,9.033814e-01,8.809878e-01,8.598069e-01,8.398176e-01,8.209957e-01,8.033145e-01,7.867450e-01,7.712561e-01,7.568151e-01,7.433879e-01,7.309394e-01,7.194334e-01,7.088330e-01,6.991009e-01,6.901992e-01,6.820900e-01,6.747353e-01,6.680973e-01,6.621383e-01,6.568209e-01,6.521082e-01,6.479640e-01,6.443526e-01,6.412389e-01,6.385889e-01,6.363693e-01,6.345477e-01,6.330928e-01,6.319744e-01,6.311631e-01
0.000000e+00,3.864225e-09,1.140071e-07,1.201019e-07,8.691129e-07,2.323770e-06,2.388896e-06,3.966734e-06,5.308366e-06,5.388979e-06,6.647472e-06,7.671955e-06,7.755388e-06,8.726962e-06,9.495706e-06,9.575350e-06,1.031246e-05,1.087767e-05,1.094910e-05,1.149508e-05,1.189898e-05,1.195938e-05,1.235018e-05,1.262713e-05,1.267494e-05,1.294045e-05,1.311832e-05,1.315290e-05,1.331789e-05,1.341914e-05,1.344050e-05,1.352534e-05,1.356799e-05,1.357658e-05,1.359799e-05,1.359638e-05,1.359292e-05,1.356443e-05,1.352991e-05,1.351528e-05,1.344795e-05,1.338948e-05,1.336468e-05,1.326746e-05,1.319209e-05,1.315811e-05,1.303825e-05,1.295149e-05,1.290933e-05,1.277267e-05,1.267880e-05,1.262943e-05,1.248067e-05,1.238300e-05,1.232733e-05,1.217024e-05,1.207129e-05,1.201015e-05,1.184775e-05,1.174945e-05,1.168362e-05,1.151830e-05,1.142206e-05,1.135227e-05,1.118593e-05,1.109280e-05,1.101967e-05,1.085382e-05,1.076453e-05,1.068866e-05,1.052446e-05,1.043952e-05,1.036143e-05,1.019977e-05,1.011952e-05,1.003966e-05,9.881244e-06,9.805843e-06,9.724646e-06,9.569979e-06,9.499507e-06,9.417336e-06,9.266796e-06,9.201242e-06,9.118425e-06,8.972276e-06,8.911567e-06,8.828394e-06,8.686811e-06,8.630827e-06,8.547553e-06,8.410638e-06,8.359227e-06,8.276077e-06,8.143876e-06,8.096862e-06,8.014035e-06,7.886549e-06,7.843739e-06,7.761411e-06,7.638607e-06,7.599800e-06,7.518123e-06,7.399940e-06,7.364930e-06,7.284037e-06,7.170393e-06,7.138974e-06,7.058983e-06,6.949780e-06,6.921746e-06,6.842757e-06,6.737887e-06,6.713034e-06,6.635138e-06,6.534481e-06,6.512614e-06,6.435885e-06,6.339319e-06,6.320247e-06,6.244751e-06,6.152148e-06,6.135686e-06,6.061480e-06,5.972712e-06,5.958683e-06,5.885813e-06,5.800750e-06,5.788986e-06,5.717491e-06,5.636005e-06,5.626344e-06,5.556258e-06,5.478220e-06,5.470509e-06,5.401858e-06,5.327143e-06,5.321236e-06,5.254042e-06,5.182526e-06,5.178285e-06,5.112564e-06,5.044126e-06,5.041420e-06,4.977184e-06,4.911708e-06,4.910413e-06,4.847669e-06,4.785040e-06,4.665085e-06,4.550338e-06,4.440595e-06,4.335660e-06,4.235343e-06,4.139461e-06,4.047837e-06,3.960301e-06,3.876688e-06,3.796841e-06,3.720606e-06,3.647839e-06,3.578398e-06,3.512147e-06,3.448956e-06,3.388700e-06,3.331258e-06,3.276516e-06,3.224360e-06,3.174686e-06,3.127389e-06,3.082371e-06,3.039538e-06,2.998798e-06,2.960063e-06,2.923251e-06,2.888279e-06,2.855071e-06,2.823552e-06,2.793650e-06,2.765298e-06,2.738428e-06,2.712977e-06,2.688885e-06,2.666093e-06,2.644545e-06,2.624187e-06,2.604968e-06,2.586837e-06,2.569748e-06,2.553654e-06,2.538511e-06,2.524277e-06,2.510912e-06,2.498377e-06,2.486634e-06,2.475648e-06,2.465384e-06,2.455809e-06
0.000000e+00,9.421338e-13,2.331357e-10,2.532655e-10,7.773835e-09,9.027700e-08,9.879727e-08,7.406193e-07,3.483801e-06,3.809755e-06,1.470717e-05,4.179566e-05,4.542353e-05,1.178623e-04,2.470781e-04,2.666824e-04,5.411827e-04,9.376904e-04,1.006022e-03,1.740778e-03,2.659162e-03,2.838474e-03,4.403267e-03,6.160712e-03,6.547534e-03,9.388582e-03,1.232153e-02,1.304518e-02,1.763414e-02,2.205183e-02,2.326702e-02,3.004714e-02,3.619201e-02,3.806702e-02,4.740613e-02,5.542658e-02,5.812923e-02,7.028508e-02,8.022228e-02,8.390566e-02,9.900581e-02,1.107934e-01,1.155832e-01,1.336189e-01,1.470935e-01,1.530779e-01,1.739098e-01,1.888277e-01,1.960508e-01,2.194241e-01,2.354834e-01,2.439421e-01,2.695072e-01,2.863701e-01,2.960141e-01,3.233508e-01,3.406651e-01,3.514003e-01,3.800424e-01,3.974612e-01,4.091547e-01,4.386140e-01,4.558111e-01,4.682978e-01,4.980853e-01,5.147675e-01,5.278585e-01,5.575027e-01,5.734181e-01,5.869080e-01,6.159693e-01,6.309120e-01,6.445873e-01,6.726687e-01,6.864808e-01,7.001267e-01,7.268813e-01,7.394519e-01,7.528593e-01,7.779946e-01,7.892573e-01,8.022279e-01,8.255072e-01,8.354359e-01,8.477870e-01,8.690286e-01,8.776326e-01,8.892000e-01,9.082752e-01,9.155937e-01,9.262343e-01,9.430631e-01,9.491597e-01,9.587528e-01,9.732996e-01,9.782567e-01,9.867045e-01,9.989729e-01,1.002887e+00,1.010114e+00,1.020141e+00,1.023117e+00,1.029071e+00,1.036923e+00,1.039072e+00,1.043719e+00,1.049485e+00,1.050918e+00,1.054246e+00,1.058032e+00,1.058861e+00,1.060873e+00,1.062801e+00,1.063131e+00,1.063848e+00,1.064047e+00,1.063981e+00,1.063434e+00,1.062042e+00,1.061673e+00,1.059907e+00,1.057063e+00,1.056479e+00,1.053547e+00,1.049392e+00,1.048670e+00,1.044633e+00,1.039304e+00,1.038515e+00,1.033440e+00,1.027072e+00,1.026276e+00,1.020235e+00,1.012959e+00,1.012208e+00,1.005275e+00,9.972128e-01,9.965524e-01,9.888026e-01,9.800723e-01,9.795389e-01,9.710494e-01,9.617601e-01,9.613834e-01,9.522302e-01,9.424840e-01,9.422871e-01,9.325453e-01,9.224365e-01,9.020032e-01,8.811441e-01,8.600019e-01,8.387053e-01,8.173703e-01,7.961002e-01,7.749866e-01,7.541103e-01,7.335421e-01,7.133432e-01,6.935664e-01,6.742565e-01,6.554512e-01,6.371818e-01,6.194736e-01,6.023467e-01,5.858162e-01,5.698932e-01,5.545847e-01,5.398946e-01,5.258236e-01,5.123695e-01,4.995282e-01,4.872931e-01,4.756561e-01,4.646074e-01,4.541357e-01,4.442287e-01,4.348729e-01,4.260541e-01,4.177572e-01,4.099665e-01,4.026661e-01,3.958393e-01,3.894692e-01,3.835389e-01,3.780311e-01,3.729285e-01,3.682138e-01,3.638696e-01,3.598789e-01,3.562244e-01,3.528894e-01,3.498572e-01,3.471113e-01,3.446356e-01,3.424143e-01,3.404319e-01,3.386734e-01
0.000000e+00,8.423077e-10,9.181521e-09,9.548472e-09,5.164631e-08,1.744137e-07,1.821642e-07,4.597044e-07,8.615291e-07,8.908010e-07,1.412733e-06,1.907978e-06,1.950414e-06,2.464503e-06,2.896646e-06,2.942762e-06,3.383035e-06,3.739699e-06,3.786166e-06,4.153845e-06,4.443148e-06,4.487980e-06,4.790500e-06,5.021571e-06,5.063298e-06,5.308200e-06,5.489438e-06,5.526962e-06,5.721259e-06,5.860159e-06,5.892690e-06,6.042772e-06,6.145943e-06,6.172943e-06,6.284566e-06,6.357787e-06,6.378925e-06,6.457235e-06,6.505529e-06,6.520642e-06,6.570227e-06,6.597944e-06,6.607008e-06,6.631937e-06,6.642822e-06,6.645920e-06,6.649813e-06,6.647104e-06,6.644411e-06,6.630466e-06,6.616926e-06,6.608681e-06,6.579715e-06,6.557697e-06,6.544189e-06,6.502682e-06,6.474184e-06,6.455739e-06,6.403870e-06,6.370583e-06,6.347551e-06,6.287228e-06,6.250572e-06,6.223319e-06,6.156212e-06,6.117373e-06,6.086272e-06,6.013837e-06,5.973798e-06,5.939225e-06,5.862729e-06,5.822298e-06,5.784623e-06,5.705163e-06,5.664999e-06,5.624584e-06,5.543107e-06,5.503739e-06,5.460934e-06,5.378256e-06,5.340102e-06,5.295245e-06,5.212064e-06,5.175449e-06,5.128860e-06,5.045771e-06,5.010939e-06,4.962922e-06,4.880428e-06,4.847554e-06,4.798395e-06,4.716919e-06,4.686123e-06,4.636089e-06,4.555983e-06,4.527337e-06,4.476675e-06,4.398229e-06,4.371765e-06,4.320706e-06,4.244157e-06,4.219875e-06,4.168630e-06,4.094166e-06,4.072039e-06,4.020802e-06,3.948569e-06,3.928551e-06,3.877497e-06,3.807608e-06,3.789633e-06,3.738922e-06,3.671456e-06,3.655447e-06,3.605223e-06,3.540234e-06,3.526104e-06,3.476495e-06,3.414012e-06,3.401666e-06,3.352787e-06,3.292821e-06,3.282161e-06,3.234112e-06,3.176657e-06,3.167580e-06,3.120450e-06,3.065485e-06,3.057888e-06,3.011753e-06,2.959245e-06,2.953026e-06,2.907950e-06,2.857858e-06,2.852914e-06,2.808954e-06,2.761226e-06,2.757458e-06,2.714659e-06,2.669238e-06,2.666549e-06,2.624948e-06,2.581772e-06,2.580068e-06,2.539694e-06,2.498697e-06,2.497888e-06,2.458763e-06,2.419875e-06,2.345890e-06,2.275793e-06,2.209440e-06,2.146688e-06,2.087392e-06,2.031410e-06,1.978601e-06,1.928827e-06,1.881953e-06,1.837844e-06,1.796372e-06,1.757412e-06,1.720842e-06,1.686544e-06,1.654404e-06,1.624313e-06,1.596165e-06,1.569859e-06,1.545299e-06,1.522390e-06,1.501044e-06,1.481175e-06,1.462703e-06,1.445548e-06,1.429638e-06,1.414901e-06,1.401271e-06,1.388683e-06,1.377077e-06,1.366394e-06,1.356581e-06,1.347584e-06,1.339355e-06,1.331847e-06,1.325016e-06,1.318818e-06,1.313216e-06,1.308171e-06,1.303648e-06,1.299612e-06,1.296033e-06,1.292881e-06,1.290126e-06,1.287743e-06,1.285706e-06,1.283991e-06,1.282577e-06,1.281441e-06,1.280565e-06
0.000000e+00,6.297194e-09,1.247604e-07,1.309465e-07,9.397096e-07,3.260792e-06,3.397360e-06,7.571891e-06,1.203065e-05,1.231430e-05,1.691791e-05,2.090197e-05,2.123640e-05,2.525630e-05,2.862627e-05,2.898664e-05,3.244032e-05,3.526145e-05,3.563086e-05,3.857166e-05,4.091099e-05,4.127581e-05,4.375602e-05,4.567534e-05,4.602458e-05,4.809328e-05,4.964845e-05,4.997346e-05,5.167591e-05,5.291686e-05,5.321095e-05,5.458843e-05,5.555952e-05,5.581770e-05,5.690768e-05,5.764811e-05,5.786681e-05,5.870312e-05,5.924742e-05,5.942424e-05,6.003739e-05,6.041586e-05,6.054942e-05,6.096685e-05,6.120606e-05,6.129582e-05,6.154223e-05,6.166547e-05,6.171161e-05,6.180918e-05,6.183666e-05,6.183990e-05,6.180845e-05,6.175775e-05,6.171925e-05,6.157647e-05,6.146280e-05,6.138410e-05,6.114584e-05,6.098235e-05,6.086524e-05,6.054561e-05,6.034359e-05,6.019009e-05,5.980165e-05,5.957078e-05,5.938306e-05,5.893697e-05,5.868553e-05,5.846586e-05,5.797204e-05,5.770701e-05,5.745771e-05,5.692494e-05,5.665225e-05,5.637566e-05,5.581171e-05,5.553630e-05,5.523477e-05,5.464648e-05,5.437246e-05,5.404832e-05,5.344171e-05,5.317247e-05,5.282798e-05,5.220836e-05,5.194664e-05,5.158400e-05,5.095599e-05,5.070399e-05,5.032533e-05,4.969297e-05,4.945242e-05,4.905979e-05,4.842660e-05,4.819880e-05,4.779416e-05,4.716317e-05,4.694909e-05,4.653430e-05,4.590813e-05,4.570842e-05,4.528524e-05,4.466614e-05,4.448122e-05,4.405131e-05,4.344118e-05,4.327124e-05,4.283615e-05,4.223660e-05,4.208165e-05,4.164285e-05,4.105522e-05,4.091513e-05,4.047397e-05,3.989937e-05,3.977387e-05,3.933162e-05,3.877094e-05,3.865967e-05,3.821751e-05,3.767147e-05,3.757399e-05,3.713298e-05,3.660215e-05,3.651793e-05,3.607907e-05,3.556385e-05,3.549235e-05,3.505654e-05,3.455722e-05,3.449784e-05,3.406591e-05,3.358266e-05,3.353478e-05,3.310748e-05,3.264039e-05,3.260337e-05,3.218138e-05,3.173044e-05,3.170364e-05,3.128756e-05,3.085271e-05,3.083549e-05,3.042586e-05,3.000696e-05,2.999866e-05,2.959597e-05,2.919284e-05,2.841758e-05,2.767239e-05,2.695670e-05,2.626989e-05,2.561130e-05,2.498023e-05,2.437595e-05,2.379772e-05,2.324479e-05,2.271639e-05,2.221174e-05,2.173007e-05,2.127062e-05,2.083262e-05,2.041530e-05,2.001794e-05,1.963978e-05,1.928011e-05,1.893823e-05,1.861343e-05,1.830506e-05,1.801244e-05,1.773495e-05,1.747196e-05,1.722287e-05,1.698709e-05,1.676406e-05,1.655324e-05,1.635408e-05,1.616607e-05,1.598874e-05,1.582158e-05,1.566416e-05,1.551603e-05,1.537675e-05,1.524592e-05,1.512315e-05,1.500806e-05,1.490028e-05,1.479947e-05,1.470528e-05,1.461740e-05,1.453552e-05,1.445934e-05,1.438858e-05,1.432296e-05,1.426223e-05,1.420614e-05,1.415444e-05
0.000000e+00,4.665359e-10,6.042195e-09,6.307027e-09,3.930590e-08,1.391154e-07,1.453227e-07,3.526267e-07,6.017845e-07,6.180859e-07,8.825040e-07,1.105021e-06,1.123273e-06,1.336528e-06,1.505755e-06,1.523298e-06,1.685693e-06,1.810224e-06,1.825960e-06,1.946244e-06,2.035221e-06,2.048526e-06,2.134621e-06,2.195650e-06,2.206188e-06,2.264735e-06,2.303995e-06,2.311635e-06,2.348135e-06,2.370611e-06,2.375366e-06,2.394353e-06,2.404041e-06,2.406025e-06,2.411215e-06,2.411292e-06,2.410679e-06,2.405097e-06,2.398082e-06,2.395085e-06,2.381195e-06,2.369074e-06,2.363923e-06,2.343715e-06,2.328039e-06,2.320972e-06,2.296054e-06,2.278033e-06,2.269282e-06,2.240946e-06,2.221514e-06,2.211304e-06,2.180586e-06,2.160457e-06,2.148997e-06,2.116723e-06,2.096440e-06,2.083925e-06,2.050749e-06,2.030716e-06,2.017323e-06,1.983763e-06,1.964276e-06,1.950167e-06,1.916626e-06,1.897897e-06,1.883217e-06,1.850009e-06,1.832182e-06,1.817062e-06,1.784426e-06,1.767595e-06,1.752149e-06,1.720267e-06,1.704485e-06,1.688814e-06,1.657819e-06,1.643111e-06,1.627304e-06,1.597290e-06,1.583656e-06,1.567792e-06,1.538824e-06,1.526248e-06,1.510394e-06,1.482510e-06,1.470964e-06,1.455179e-06,1.428401e-06,1.417846e-06,1.402180e-06,1.376515e-06,1.366908e-06,1.351405e-06,1.326846e-06,1.318139e-06,1.302835e-06,1.279367e-06,1.271510e-06,1.256437e-06,1.234038e-06,1.226982e-06,1.212164e-06,1.190808e-06,1.184501e-06,1.169962e-06,1.149618e-06,1.144010e-06,1.129767e-06,1.110401e-06,1.105444e-06,1.091511e-06,1.073089e-06,1.068736e-06,1.055125e-06,1.037610e-06,1.033816e-06,1.020535e-06,1.003891e-06,1.000613e-06,9.876694e-07,9.718605e-07,9.690580e-07,9.564554e-07,9.414454e-07,9.390798e-07,9.268213e-07,9.125747e-07,9.106097e-07,8.986966e-07,8.851787e-07,8.835804e-07,8.720125e-07,8.591896e-07,8.579259e-07,8.467020e-07,8.345415e-07,8.335826e-07,8.227004e-07,8.111709e-07,8.104888e-07,7.999453e-07,7.890163e-07,7.885852e-07,7.783765e-07,7.680188e-07,7.678145e-07,7.579362e-07,7.481219e-07,7.294548e-07,7.117628e-07,6.949977e-07,6.791137e-07,6.640668e-07,6.498152e-07,6.363190e-07,6.235401e-07,6.114425e-07,5.999916e-07,5.891548e-07,5.789007e-07,5.691999e-07,5.600242e-07,5.513467e-07,5.431420e-07,5.353860e-07,5.280555e-07,5.211289e-07,5.145853e-07,5.084051e-07,5.025695e-07,4.970608e-07,4.918620e-07,4.869572e-07,4.823311e-07,4.779693e-07,4.738581e-07,4.699843e-07,4.663357e-07,4.629005e-07,4.596676e-07,4.566263e-07,4.537666e-07,4.510790e-07,4.485544e-07,4.461842e-07,4.439603e-07,4.418749e-07,4.399206e-07,4.380905e-07,4.363779e-07,4.347766e-07,4.332805e-07,4.318841e-07,4.305820e-07,4.293690e-07,4.282404e-07,4.271916e-07
0.000000e+00,2.621961e-09,4.738912e-08,4.969789e-08,3.517786e-07,1.240087e-06,1.293119e-06,2.939513e-06,4.741457e-06,4.857407e-06,6.757782e-06,8.427704e-06,8.568897e-06,1.027859e-05,1.173073e-05,1.188710e-05,1.339739e-05,1.464809e-05,1.481311e-05,1.613805e-05,1.720781e-05,1.737604e-05,1.853092e-05,1.943952e-05,1.960642e-05,2.060621e-05,2.137203e-05,2.153383e-05,2.239274e-05,2.303262e-05,2.318624e-05,2.391754e-05,2.444676e-05,2.458972e-05,2.520573e-05,2.563808e-05,2.576840e-05,2.628043e-05,2.662826e-05,2.674442e-05,2.716289e-05,2.743737e-05,2.753825e-05,2.787278e-05,2.808381e-05,2.816864e-05,2.842792e-05,2.858435e-05,2.865260e-05,2.884459e-05,2.895427e-05,2.900568e-05,2.913762e-05,2.920751e-05,2.924203e-05,2.932051e-05,2.935679e-05,2.937453e-05,2.940555e-05,2.941368e-05,2.941491e-05,2.940391e-05,2.938870e-05,2.937380e-05,2.932575e-05,2.929142e-05,2.926088e-05,2.918026e-05,2.913054e-05,2.908491e-05,2.897580e-05,2.891393e-05,2.885384e-05,2.871992e-05,2.864874e-05,2.857487e-05,2.841948e-05,2.834145e-05,2.825451e-05,2.808066e-05,2.799791e-05,2.789863e-05,2.770905e-05,2.762341e-05,2.751255e-05,2.730969e-05,2.722273e-05,2.710104e-05,2.688712e-05,2.680019e-05,2.666842e-05,2.644542e-05,2.635965e-05,2.621856e-05,2.598827e-05,2.590461e-05,2.575495e-05,2.551897e-05,2.543819e-05,2.528069e-05,2.504046e-05,2.496322e-05,2.479858e-05,2.455537e-05,2.448219e-05,2.431111e-05,2.406607e-05,2.399735e-05,2.382050e-05,2.357463e-05,2.351069e-05,2.332871e-05,2.308293e-05,2.302399e-05,2.283750e-05,2.259260e-05,2.253882e-05,2.234842e-05,2.210510e-05,2.205656e-05,2.186281e-05,2.162170e-05,2.157843e-05,2.138189e-05,2.114351e-05,2.110551e-05,2.090668e-05,2.067151e-05,2.063872e-05,2.043810e-05,2.020654e-05,2.017888e-05,1.997692e-05,1.974932e-05,1.972667e-05,1.952381e-05,1.930047e-05,1.928269e-05,1.907935e-05,1.886051e-05,1.884745e-05,1.864400e-05,1.842987e-05,1.842135e-05,1.821816e-05,1.800891e-05,1.800475e-05,1.780216e-05,1.759793e-05,1.720109e-05,1.681441e-05,1.643800e-05,1.607193e-05,1.571624e-05,1.537092e-05,1.503595e-05,1.471126e-05,1.439678e-05,1.409240e-05,1.379800e-05,1.351345e-05,1.323860e-05,1.297329e-05,1.271734e-05,1.247057e-05,1.223280e-05,1.200384e-05,1.178349e-05,1.157155e-05,1.136782e-05,1.117209e-05,1.098415e-05,1.080380e-05,1.063084e-05,1.046506e-05,1.030626e-05,1.015423e-05,1.000878e-05,9.869700e-06,9.736804e-06,9.609899e-06,9.488793e-06,9.373302e-06,9.263243e-06,9.158435e-06,9.058705e-06,8.963878e-06,8.873787e-06,8.788266e-06,8.707155e-06,8.630296e-06,8.557535e-06,8.488723e-06,8.423714e-06,8.362364e-06,8.304537e-06,8.250096e-06,8.198911e-06
0.000000e+00,1.154072e-08,2.535245e-07,2.660660e-07,1.941366e-06,7.133286e-06,7.455559e-06,1.826550e-05,3.170253e-05,3.260436e-05,4.765402e-05,6.101144e-05,6.213980e-05,7.575898e-05,8.724099e-05,8.847192e-05,1.002997e-04,1.100045e-04,1.112784e-04,1.214475e-04,1.295755e-04,1.308465e-04,1.395132e-04,1.462537e-04,1.474837e-04,1.547947e-04,1.603226e-04,1.614817e-04,1.675790e-04,1.720543e-04,1.731194e-04,1.781342e-04,1.817002e-04,1.826534e-04,1.867057e-04,1.894899e-04,1.903183e-04,1.935172e-04,1.956327e-04,1.963273e-04,1.987718e-04,2.003182e-04,2.008733e-04,2.026528e-04,2.037178e-04,2.041306e-04,2.053258e-04,2.059863e-04,2.062563e-04,2.069396e-04,2.072629e-04,2.073917e-04,2.076282e-04,2.076731e-04,2.076636e-04,2.075119e-04,2.073295e-04,2.071859e-04,2.066983e-04,2.063330e-04,2.060606e-04,2.052840e-04,2.047740e-04,2.043788e-04,2.033551e-04,2.027334e-04,2.022220e-04,2.009885e-04,2.002836e-04,1.996628e-04,1.982529e-04,1.974888e-04,1.967660e-04,1.952092e-04,1.944066e-04,1.935890e-04,1.919116e-04,1.910879e-04,1.901829e-04,1.884083e-04,1.875780e-04,1.865929e-04,1.847416e-04,1.839169e-04,1.828590e-04,1.809493e-04,1.801402e-04,1.790166e-04,1.770645e-04,1.762790e-04,1.750965e-04,1.731161e-04,1.723609e-04,1.711262e-04,1.691297e-04,1.684099e-04,1.671294e-04,1.651276e-04,1.644471e-04,1.631268e-04,1.611292e-04,1.604909e-04,1.591367e-04,1.571511e-04,1.565571e-04,1.551744e-04,1.532080e-04,1.526595e-04,1.512535e-04,1.493122e-04,1.488098e-04,1.473854e-04,1.454742e-04,1.450180e-04,1.435798e-04,1.417031e-04,1.412927e-04,1.398449e-04,1.380062e-04,1.376408e-04,1.361876e-04,1.343897e-04,1.340683e-04,1.326132e-04,1.308587e-04,1.305800e-04,1.291265e-04,1.274170e-04,1.271795e-04,1.257307e-04,1.240679e-04,1.238700e-04,1.224288e-04,1.208136e-04,1.206534e-04,1.192226e-04,1.176558e-04,1.175315e-04,1.161133e-04,1.145953e-04,1.145050e-04,1.131018e-04,1.116327e-04,1.115744e-04,1.101881e-04,1.087680e-04,1.087398e-04,1.073722e-04,1.060007e-04,1.033563e-04,1.008056e-04,9.834739e-05,9.598013e-05,9.370217e-05,9.151169e-05,8.940678e-05,8.738541e-05,8.544548e-05,8.358482e-05,8.180125e-05,8.009253e-05,7.845642e-05,7.689068e-05,7.539306e-05,7.396133e-05,7.259330e-05,7.128677e-05,7.003960e-05,6.884967e-05,6.771491e-05,6.663329e-05,6.560281e-05,6.462154e-05,6.368759e-05,6.279910e-05,6.195430e-05,6.115144e-05,6.038882e-05,5.966481e-05,5.897781e-05,5.832630e-05,5.770877e-05,5.712380e-05,5.656998e-05,5.604598e-05,5.555050e-05,5.508229e-05,5.464014e-05,5.422289e-05,5.382942e-05,5.345865e-05,5.310954e-05,5.278110e-05,5.247237e-05,5.218241e-05,5.191035e-05,5.165533e-05,5.141654e-05
0.000000e+00,4.553611e-10,5.843834e-09,6.094955e-09,3.580343e-08,1.191035e-07,1.241426e-07,2.901154e-07,4.922239e-07,5.056655e-07,7.276037e-07,9.203954e-07,9.364814e-07,1.127976e-06,1.285351e-06,1.301988e-06,1.459387e-06,1.585004e-06,1.601241e-06,1.728613e-06,1.827365e-06,1.842544e-06,1.944021e-06,2.020323e-06,2.033980e-06,2.113301e-06,2.170989e-06,2.182812e-06,2.243283e-06,2.285638e-06,2.295436e-06,2.339941e-06,2.369750e-06,2.377424e-06,2.408463e-06,2.428075e-06,2.433596e-06,2.453324e-06,2.464715e-06,2.468108e-06,2.478376e-06,2.483197e-06,2.484526e-06,2.486923e-06,2.486551e-06,2.485907e-06,2.481793e-06,2.477373e-06,2.474868e-06,2.465402e-06,2.457883e-06,2.453642e-06,2.439815e-06,2.429979e-06,2.424132e-06,2.406787e-06,2.395277e-06,2.387958e-06,2.367812e-06,2.355155e-06,2.346498e-06,2.324158e-06,2.310781e-06,2.300919e-06,2.276899e-06,2.263147e-06,2.252206e-06,2.226941e-06,2.213092e-06,2.201194e-06,2.175050e-06,2.161323e-06,2.148584e-06,2.121866e-06,2.108434e-06,2.094962e-06,2.067928e-06,2.054923e-06,2.040820e-06,2.013684e-06,2.001205e-06,1.986566e-06,1.959505e-06,1.947626e-06,1.932539e-06,1.905698e-06,1.894470e-06,1.879015e-06,1.852514e-06,1.841970e-06,1.826221e-06,1.800156e-06,1.790315e-06,1.774339e-06,1.748787e-06,1.739657e-06,1.723516e-06,1.698538e-06,1.690114e-06,1.673865e-06,1.649508e-06,1.641781e-06,1.625474e-06,1.601773e-06,1.594728e-06,1.578409e-06,1.555388e-06,1.549004e-06,1.532715e-06,1.510392e-06,1.504646e-06,1.488423e-06,1.466808e-06,1.461674e-06,1.445550e-06,1.424648e-06,1.420098e-06,1.404103e-06,1.383913e-06,1.379917e-06,1.364077e-06,1.344594e-06,1.341125e-06,1.325463e-06,1.306680e-06,1.303707e-06,1.288243e-06,1.270150e-06,1.267644e-06,1.252396e-06,1.234979e-06,1.232912e-06,1.217896e-06,1.201142e-06,1.199484e-06,1.184713e-06,1.168606e-06,1.167331e-06,1.152816e-06,1.137340e-06,1.136421e-06,1.122172e-06,1.107309e-06,1.106721e-06,1.092746e-06,1.078479e-06,1.078196e-06,1.064502e-06,1.050812e-06,1.024534e-06,9.993247e-07,9.751502e-07,9.519751e-07,9.297646e-07,9.084847e-07,8.881019e-07,8.685833e-07,8.498970e-07,8.320116e-07,8.148969e-07,7.985232e-07,7.828619e-07,7.678853e-07,7.535665e-07,7.398795e-07,7.267991e-07,7.143012e-07,7.023623e-07,6.909598e-07,6.800720e-07,6.696779e-07,6.597573e-07,6.502908e-07,6.412597e-07,6.326459e-07,6.244322e-07,6.166018e-07,6.091389e-07,6.020279e-07,5.952542e-07,5.888035e-07,5.826622e-07,5.768171e-07,5.712557e-07,5.659659e-07,5.609361e-07,5.561552e-07,5.516125e-07,5.472976e-07,5.432008e-07,5.393127e-07,5.356240e-07,5.321263e-07,5.288110e-07,5.256703e-07,5.226964e-07,5.198820e-07,5.172200e-07
0.000000e+00,3.742691e-12,7.790808e-10,8.437213e-10,2.247188e-08,2.282452e-07,2.483048e-07,1.579287e-06,6.175734e-06,6.668142e-06,2.055808e-05,4.682982e-05,4.990664e-05,1.011215e-04,1.695621e-04,1.785462e-04,2.834678e-04,3.971647e-04,4.140685e-04,5.660480e-04,7.094095e-04,7.335554e-04,9.101268e-04,1.060821e-03,1.089456e-03,1.265932e-03,1.405238e-03,1.434936e-03,1.592953e-03,1.709786e-03,1.737548e-03,1.867248e-03,1.957620e-03,1.981385e-03,2.079931e-03,2.144661e-03,2.163335e-03,2.232379e-03,2.274808e-03,2.288061e-03,2.331500e-03,2.355850e-03,2.363862e-03,2.386310e-03,2.396726e-03,2.399963e-03,2.405878e-03,2.405983e-03,2.405033e-03,2.398321e-03,2.391074e-03,2.386550e-03,2.370443e-03,2.358160e-03,2.350644e-03,2.327723e-03,2.312167e-03,2.302183e-03,2.274463e-03,2.256949e-03,2.244952e-03,2.213985e-03,2.195475e-03,2.181857e-03,2.148822e-03,2.130010e-03,2.115102e-03,2.080889e-03,2.062269e-03,2.046349e-03,2.011626e-03,1.993540e-03,1.976844e-03,1.942108e-03,1.924787e-03,1.907510e-03,1.873128e-03,1.856722e-03,1.839029e-03,1.805269e-03,1.789866e-03,1.771895e-03,1.738949e-03,1.724597e-03,1.706464e-03,1.674468e-03,1.661181e-03,1.642984e-03,1.612029e-03,1.599799e-03,1.581620e-03,1.551766e-03,1.540569e-03,1.522477e-03,1.493758e-03,1.483559e-03,1.465613e-03,1.438043e-03,1.428800e-03,1.411048e-03,1.384628e-03,1.376295e-03,1.358780e-03,1.333499e-03,1.326025e-03,1.308781e-03,1.284621e-03,1.277955e-03,1.261013e-03,1.237949e-03,1.232041e-03,1.215424e-03,1.193428e-03,1.188227e-03,1.171955e-03,1.150996e-03,1.146453e-03,1.130543e-03,1.110587e-03,1.106655e-03,1.091120e-03,1.072133e-03,1.068766e-03,1.053617e-03,1.035563e-03,1.032717e-03,1.017962e-03,1.000806e-03,9.984389e-04,9.840850e-04,9.677907e-04,9.658636e-04,9.519145e-04,9.364475e-04,9.349230e-04,9.213814e-04,9.067076e-04,9.055504e-04,8.924176e-04,8.785033e-04,8.776802e-04,8.649564e-04,8.517689e-04,8.512488e-04,8.389329e-04,8.264405e-04,8.261941e-04,8.142841e-04,8.024561e-04,7.799767e-04,7.586998e-04,7.385713e-04,7.195390e-04,7.015529e-04,6.845648e-04,6.685284e-04,6.533994e-04,6.391353e-04,6.256951e-04,6.130398e-04,6.011320e-04,5.899359e-04,5.794171e-04,5.695429e-04,5.602817e-04,5.516036e-04,5.434800e-04,5.358833e-04,5.287872e-04,5.221668e-04,5.159980e-04,5.102580e-04,5.049249e-04,4.999778e-04,4.953967e-04,4.911625e-04,4.872572e-04,4.836632e-04,4.803640e-04,4.773438e-04,4.745874e-04,4.720804e-04,4.698091e-04,4.677602e-04,4.659214e-04,4.642805e-04,4.628263e-04,4.615479e-04,4.604348e-04,4.594772e-04,4.586658e-04,4.579915e-04,4.574458e-04,4.570206e-04,4.567081e-04,4.565010e-04,4.563922e-04,4.563751e-04
0.000000e+00,2.112680e-11,3.587629e-09,3.867887e-09,8.205769e-08,6.835985e-07,7.381337e-07,3.983399e-06,1.387232e-05,1.488450e-05,4.193116e-05,8.932324e-05,9.467689e-05,1.797610e-04,2.850024e-04,2.982684e-04,4.458661e-04,5.937150e-04,6.148272e-04,7.963947e-04,9.564499e-04,9.825220e-04,1.166755e-03,1.316595e-03,1.344443e-03,1.512558e-03,1.642012e-03,1.669353e-03,1.814009e-03,1.920851e-03,1.946336e-03,2.066541e-03,2.152166e-03,2.175068e-03,2.272492e-03,2.339498e-03,2.359447e-03,2.436584e-03,2.487725e-03,2.504549e-03,2.563967e-03,2.601792e-03,2.615435e-03,2.659521e-03,2.686276e-03,2.696759e-03,2.727651e-03,2.745275e-03,2.752669e-03,2.772256e-03,2.782410e-03,2.786825e-03,2.796765e-03,2.800866e-03,2.802439e-03,2.804186e-03,2.803436e-03,2.802323e-03,2.797147e-03,2.792567e-03,2.788935e-03,2.777946e-03,2.770396e-03,2.764423e-03,2.748590e-03,2.738794e-03,2.730658e-03,2.710824e-03,2.699388e-03,2.689271e-03,2.666170e-03,2.653599e-03,2.641680e-03,2.615948e-03,2.602660e-03,2.589113e-03,2.561303e-03,2.547643e-03,2.532637e-03,2.503225e-03,2.489474e-03,2.473172e-03,2.442571e-03,2.428956e-03,2.411511e-03,2.380075e-03,2.366778e-03,2.348337e-03,2.316370e-03,2.303532e-03,2.284236e-03,2.251996e-03,2.239728e-03,2.219705e-03,2.187414e-03,2.175798e-03,2.155169e-03,2.123014e-03,2.112108e-03,2.090987e-03,2.059125e-03,2.048969e-03,2.027460e-03,1.996023e-03,1.986640e-03,1.964840e-03,1.933936e-03,1.925336e-03,1.903334e-03,1.873054e-03,1.865236e-03,1.843113e-03,1.813528e-03,1.806483e-03,1.784314e-03,1.755483e-03,1.749192e-03,1.727045e-03,1.699012e-03,1.693455e-03,1.671391e-03,1.644190e-03,1.639338e-03,1.617414e-03,1.591068e-03,1.586893e-03,1.565157e-03,1.539684e-03,1.536153e-03,1.514651e-03,1.490059e-03,1.487138e-03,1.465910e-03,1.442203e-03,1.439856e-03,1.418938e-03,1.396113e-03,1.394306e-03,1.373728e-03,1.351780e-03,1.350477e-03,1.330267e-03,1.309185e-03,1.308351e-03,1.288533e-03,1.268305e-03,1.267905e-03,1.248499e-03,1.229110e-03,1.191935e-03,1.156342e-03,1.122294e-03,1.089751e-03,1.058671e-03,1.029010e-03,1.000726e-03,9.737730e-04,9.481085e-04,9.236881e-04,9.004681e-04,8.784055e-04,8.574576e-04,8.375827e-04,8.187400e-04,8.008892e-04,7.839914e-04,7.680085e-04,7.529033e-04,7.386400e-04,7.251836e-04,7.125002e-04,7.005571e-04,6.893226e-04,6.787660e-04,6.688577e-04,6.595691e-04,6.508727e-04,6.427419e-04,6.351510e-04,6.280755e-04,6.214915e-04,6.153761e-04,6.097075e-04,6.044643e-04,5.996263e-04,5.951739e-04,5.910883e-04,5.873515e-04,5.839460e-04,5.808552e-04,5.780632e-04,5.755545e-04,5.733144e-04,5.713288e-04,5.695841e-04,5.680673e-04,5.667659e-04,5.656679e-04
0.000000e+00,4.999549e-12,9.464993e-10,1.022504e-09,2.396584e-08,2.220058e-07,2.408633e-07,1.474803e-06,5.812131e-06,6.285161e-06,2.008942e-05,4.767234e-05,5.098651e-05,1.078180e-04,1.870231e-04,1.976171e-04,3.238308e-04,4.646210e-04,4.858444e-04,6.795798e-04,8.667202e-04,8.986378e-04,1.135524e-03,1.342737e-03,1.382675e-03,1.633168e-03,1.836906e-03,1.881125e-03,2.121862e-03,2.306862e-03,2.351875e-03,2.568717e-03,2.727684e-03,2.770834e-03,2.957386e-03,3.088559e-03,3.128079e-03,3.283025e-03,3.387772e-03,3.422620e-03,3.547453e-03,3.628586e-03,3.658231e-03,3.755734e-03,3.816518e-03,3.840767e-03,3.914142e-03,3.957786e-03,3.976656e-03,4.029079e-03,4.058510e-03,4.072148e-03,4.106566e-03,4.124359e-03,4.132992e-03,4.152052e-03,4.160427e-03,4.164329e-03,4.170371e-03,4.171218e-03,4.170690e-03,4.165765e-03,4.160682e-03,4.156042e-03,4.141936e-03,4.132269e-03,4.123837e-03,4.102103e-03,4.088975e-03,4.077071e-03,4.049053e-03,4.033400e-03,4.018338e-03,3.985197e-03,3.967796e-03,3.949880e-03,3.912620e-03,3.894108e-03,3.873631e-03,3.833114e-03,3.814014e-03,3.791254e-03,3.748224e-03,3.728962e-03,3.704184e-03,3.659281e-03,3.640198e-03,3.613652e-03,3.567423e-03,3.548790e-03,3.520711e-03,3.473624e-03,3.455653e-03,3.426260e-03,3.378712e-03,3.361566e-03,3.331064e-03,3.283393e-03,3.267192e-03,3.235770e-03,3.188260e-03,3.173091e-03,3.140924e-03,3.093816e-03,3.079735e-03,3.046985e-03,3.000477e-03,2.987518e-03,2.954333e-03,2.908590e-03,2.896767e-03,2.863282e-03,2.818440e-03,2.807750e-03,2.774090e-03,2.730256e-03,2.720685e-03,2.686962e-03,2.644225e-03,2.635746e-03,2.602062e-03,2.560488e-03,2.553069e-03,2.519516e-03,2.479157e-03,2.472758e-03,2.439420e-03,2.400312e-03,2.394888e-03,2.361840e-03,2.324008e-03,2.319511e-03,2.286819e-03,2.250276e-03,2.246657e-03,2.214380e-03,2.179132e-03,2.176340e-03,2.144530e-03,2.110574e-03,2.108557e-03,2.077261e-03,2.044589e-03,2.043295e-03,2.012553e-03,1.981150e-03,1.980528e-03,1.950375e-03,1.920224e-03,1.862340e-03,1.806830e-03,1.753643e-03,1.702723e-03,1.654011e-03,1.607448e-03,1.562972e-03,1.520518e-03,1.480024e-03,1.441426e-03,1.404661e-03,1.369664e-03,1.336374e-03,1.304730e-03,1.274671e-03,1.246137e-03,1.219071e-03,1.193416e-03,1.169118e-03,1.146122e-03,1.124376e-03,1.103829e-03,1.084433e-03,1.066141e-03,1.048905e-03,1.032681e-03,1.017427e-03,1.003100e-03,9.896612e-04,9.770711e-04,9.652925e-04,9.542892e-04,9.440266e-04,9.344713e-04,9.255908e-04,9.173544e-04,9.097319e-04,9.026947e-04,8.962151e-04,8.902664e-04,8.848231e-04,8.798604e-04,8.753548e-04,8.712834e-04,8.676243e-04,8.643566e-04,8.614599e-04,8.589150e-04,8.567030e-04
0.000000e+00,2.024742e-10,2.447698e-09,2.550435e-09,1.460311e-08,4.910273e-08,5.123362e-08,1.244791e-07,2.221181e-07,2.289143e-07,3.447499e-07,4.481760e-07,4.568373e-07,5.597966e-07,6.438065e-07,6.526396e-07,7.356439e-07,8.010198e-07,8.094047e-07,8.745788e-07,9.242552e-07,9.318136e-07,9.817294e-07,1.018434e-06,1.024914e-06,1.061919e-06,1.088014e-06,1.093260e-06,1.119421e-06,1.136923e-06,1.140850e-06,1.157966e-06,1.168572e-06,1.171155e-06,1.180777e-06,1.185908e-06,1.187163e-06,1.190620e-06,1.191461e-06,1.191432e-06,1.189859e-06,1.187387e-06,1.186143e-06,1.180504e-06,1.175523e-06,1.173147e-06,1.164259e-06,1.157430e-06,1.154013e-06,1.142566e-06,1.134424e-06,1.130063e-06,1.116638e-06,1.107619e-06,1.102412e-06,1.087497e-06,1.077948e-06,1.071994e-06,1.055997e-06,1.046197e-06,1.039591e-06,1.022852e-06,1.013019e-06,1.005851e-06,9.886526e-07,9.789569e-07,9.713143e-07,9.538887e-07,9.444596e-07,9.364235e-07,9.189616e-07,9.098957e-07,9.015416e-07,8.841982e-07,8.755651e-07,8.669627e-07,8.498627e-07,8.417103e-07,8.329231e-07,8.161658e-07,8.085241e-07,7.996102e-07,7.832733e-07,7.761582e-07,7.671699e-07,7.513130e-07,7.447293e-07,7.357135e-07,7.203809e-07,7.143245e-07,7.053232e-07,6.905466e-07,6.850065e-07,6.760567e-07,6.618573e-07,6.568173e-07,6.479517e-07,6.343418e-07,6.297821e-07,6.210290e-07,6.080138e-07,6.039117e-07,5.952959e-07,5.828744e-07,5.792056e-07,5.707481e-07,5.589148e-07,5.556538e-07,5.473724e-07,5.361179e-07,5.332386e-07,5.251483e-07,5.144601e-07,5.119364e-07,5.040496e-07,4.939128e-07,4.917190e-07,4.840455e-07,4.744434e-07,4.725544e-07,4.651019e-07,4.560164e-07,4.544079e-07,4.471823e-07,4.385945e-07,4.372430e-07,4.302483e-07,4.221387e-07,4.210219e-07,4.142607e-07,4.066094e-07,4.057062e-07,3.991796e-07,3.919665e-07,3.912570e-07,3.849651e-07,3.781703e-07,3.776355e-07,3.715772e-07,3.651810e-07,3.648034e-07,3.589768e-07,3.529599e-07,3.527231e-07,3.471255e-07,3.414689e-07,3.413576e-07,3.359856e-07,3.306711e-07,3.206286e-07,3.111965e-07,3.023424e-07,2.940349e-07,2.862442e-07,2.789414e-07,2.720994e-07,2.656919e-07,2.596941e-07,2.540823e-07,2.488341e-07,2.439280e-07,2.393439e-07,2.350626e-07,2.310659e-07,2.273367e-07,2.238587e-07,2.206167e-07,2.175963e-07,2.147837e-07,2.121662e-07,2.097315e-07,2.074683e-07,2.053658e-07,2.034139e-07,2.016031e-07,1.999244e-07,1.983694e-07,1.969302e-07,1.955993e-07,1.943697e-07,1.932349e-07,1.921886e-07,1.912252e-07,1.903391e-07,1.895253e-07,1.887789e-07,1.880955e-07,1.874708e-07,1.869010e-07,1.863822e-07,1.859111e-07,1.854843e-07,1.850989e-07,1.847519e-07,1.844407e-07,1.841628e-07,1.839159e-07,1.836977e-07
0.000000e+00,2.539544e-09,3.181652e-08,3.315871e-08,1.912745e-07,6.458721e-07,6.739810e-07,1.640797e-06,2.929537e-06,3.019161e-06,4.544569e-06,5.905483e-06,6.019554e-06,7.378429e-06,8.493098e-06,8.610706e-06,9.720594e-06,1.060209e-05,1.071571e-05,1.160421e-05,1.228912e-05,1.239405e-05,1.309279e-05,1.361455e-05,1.370755e-05,1.424497e-05,1.463234e-05,1.471130e-05,1.511232e-05,1.538976e-05,1.545344e-05,1.573968e-05,1.592783e-05,1.597566e-05,1.616571e-05,1.628188e-05,1.631380e-05,1.642361e-05,1.648226e-05,1.649858e-05,1.654184e-05,1.655501e-05,1.655632e-05,1.654469e-05,1.652236e-05,1.650944e-05,1.645285e-05,1.640327e-05,1.637704e-05,1.628393e-05,1.621389e-05,1.617533e-05,1.605287e-05,1.596793e-05,1.591807e-05,1.577233e-05,1.567704e-05,1.561692e-05,1.545302e-05,1.535105e-05,1.528170e-05,1.510397e-05,1.499830e-05,1.492072e-05,1.473278e-05,1.462578e-05,1.454092e-05,1.434584e-05,1.423938e-05,1.414816e-05,1.394847e-05,1.384402e-05,1.374731e-05,1.354514e-05,1.344381e-05,1.334240e-05,1.313950e-05,1.304216e-05,1.293680e-05,1.273462e-05,1.264188e-05,1.253326e-05,1.233298e-05,1.224526e-05,1.213402e-05,1.193660e-05,1.185418e-05,1.174090e-05,1.154711e-05,1.147015e-05,1.135536e-05,1.116580e-05,1.109436e-05,1.097854e-05,1.079368e-05,1.072774e-05,1.061132e-05,1.043153e-05,1.037100e-05,1.025438e-05,1.007992e-05,1.002467e-05,9.908195e-06,9.739244e-06,9.689103e-06,9.573094e-06,9.409768e-06,9.364544e-06,9.249279e-06,9.091636e-06,9.051115e-06,8.936842e-06,8.784896e-06,8.748851e-06,8.635790e-06,8.489514e-06,8.457712e-06,8.346055e-06,8.205393e-06,8.177595e-06,8.067510e-06,7.932382e-06,7.908349e-06,7.799983e-06,7.670286e-06,7.649783e-06,7.543260e-06,7.418876e-06,7.401671e-06,7.297100e-06,7.177899e-06,7.163766e-06,7.061238e-06,6.947080e-06,6.935801e-06,6.835390e-06,6.726130e-06,6.717493e-06,6.619262e-06,6.514748e-06,6.508551e-06,6.412550e-06,6.312629e-06,6.308679e-06,6.214946e-06,6.119462e-06,6.117574e-06,6.026138e-06,5.934936e-06,5.760464e-06,5.593859e-06,5.434829e-06,5.283083e-06,5.138341e-06,5.000325e-06,4.868766e-06,4.743404e-06,4.623985e-06,4.510263e-06,4.402000e-06,4.298968e-06,4.200944e-06,4.107716e-06,4.019078e-06,3.934832e-06,3.854788e-06,3.778762e-06,3.706579e-06,3.638070e-06,3.573074e-06,3.511435e-06,3.453003e-06,3.397637e-06,3.345199e-06,3.295557e-06,3.248587e-06,3.204167e-06,3.162182e-06,3.122522e-06,3.085080e-06,3.049756e-06,3.016453e-06,2.985077e-06,2.955539e-06,2.927756e-06,2.901645e-06,2.877128e-06,2.854131e-06,2.832582e-06,2.812414e-06,2.793560e-06,2.775959e-06,2.759551e-06,2.744278e-06,2.730086e-06,2.716923e-06,2.704738e-06,2.693484e-06
0.000000e+00,7.517587e-09,9.454089e-08,9.836797e-08,5.032449e-07,1.498081e-06,1.555963e-06,3.451387e-06,5.932715e-06,6.109306e-06,9.268120e-06,1.236820e-05,1.263985e-05,1.599407e-05,1.887397e-05,1.918290e-05,2.213630e-05,2.452450e-05,2.483489e-05,2.728245e-05,2.919570e-05,2.949105e-05,3.147525e-05,3.297948e-05,3.324997e-05,3.482980e-05,3.598963e-05,3.622868e-05,3.745979e-05,3.833223e-05,3.853552e-05,3.946749e-05,4.010165e-05,4.026657e-05,4.094295e-05,4.138084e-05,4.150618e-05,4.196520e-05,4.224267e-05,4.232829e-05,4.260323e-05,4.275069e-05,4.279725e-05,4.291709e-05,4.296021e-05,4.296901e-05,4.295886e-05,4.291928e-05,4.289206e-05,4.277368e-05,4.266958e-05,4.260840e-05,4.240059e-05,4.224715e-05,4.215429e-05,4.187328e-05,4.168315e-05,4.156103e-05,4.122078e-05,4.100445e-05,4.085553e-05,4.046805e-05,4.023414e-05,4.006091e-05,3.963648e-05,3.939208e-05,3.919697e-05,3.874440e-05,3.849524e-05,3.828064e-05,3.780743e-05,3.755815e-05,3.732635e-05,3.683887e-05,3.659316e-05,3.634634e-05,3.585000e-05,3.561074e-05,3.535099e-05,3.485033e-05,3.461975e-05,3.434900e-05,3.384786e-05,3.362762e-05,3.334770e-05,3.284926e-05,3.264058e-05,3.235319e-05,3.186008e-05,3.166379e-05,3.137048e-05,3.088488e-05,3.070149e-05,3.040372e-05,2.992738e-05,2.975715e-05,2.945623e-05,2.899058e-05,2.883356e-05,2.853070e-05,2.807684e-05,2.793291e-05,2.762922e-05,2.718801e-05,2.705692e-05,2.675338e-05,2.632546e-05,2.620686e-05,2.590437e-05,2.549019e-05,2.538365e-05,2.508301e-05,2.468287e-05,2.458789e-05,2.428982e-05,2.390389e-05,2.381994e-05,2.352508e-05,2.315339e-05,2.307990e-05,2.278881e-05,2.243133e-05,2.236773e-05,2.208091e-05,2.173751e-05,2.168322e-05,2.140109e-05,2.107159e-05,2.102600e-05,2.074895e-05,2.043310e-05,2.039566e-05,2.012399e-05,1.982153e-05,1.979164e-05,1.952563e-05,1.923623e-05,1.921336e-05,1.895324e-05,1.867656e-05,1.866016e-05,1.840611e-05,1.814180e-05,1.813136e-05,1.788353e-05,1.763121e-05,1.762622e-05,1.738473e-05,1.714401e-05,1.668398e-05,1.624536e-05,1.582738e-05,1.542929e-05,1.505035e-05,1.468979e-05,1.434691e-05,1.402097e-05,1.371129e-05,1.341719e-05,1.313801e-05,1.287310e-05,1.262185e-05,1.238366e-05,1.215794e-05,1.194414e-05,1.174172e-05,1.155016e-05,1.136896e-05,1.119765e-05,1.103575e-05,1.088283e-05,1.073846e-05,1.060223e-05,1.047377e-05,1.035268e-05,1.023863e-05,1.013125e-05,1.003023e-05,9.935245e-06,9.846005e-06,9.762221e-06,9.683617e-06,9.609933e-06,9.540919e-06,9.476336e-06,9.415957e-06,9.359563e-06,9.306947e-06,9.257911e-06,9.212266e-06,9.169831e-06,9.130436e-06,9.093915e-06,9.060112e-06,9.028879e-06,9.000074e-06,8.973561e-06,8.949211e-06
0.000000e+00,8.850432e-09,1.612202e-07,1.686913e-07,1.104376e-06,3.889343e-06,4.062017e-06,9.994649e-06,1.798374e-05,1.854737e-05,2.834187e-05,3.735684e-05,3.812152e-05,4.731859e-05,5.497638e-05,5.579039e-05,6.353357e-05,6.977047e-05,7.058070e-05,7.697259e-05,8.197742e-05,8.275100e-05,8.795654e-05,9.191499e-05,9.262810e-05,9.680252e-05,9.987908e-05,1.005146e-04,1.037974e-04,1.061352e-04,1.066815e-04,1.091962e-04,1.109185e-04,1.113683e-04,1.132236e-04,1.144362e-04,1.147856e-04,1.160767e-04,1.168700e-04,1.171178e-04,1.179281e-04,1.183790e-04,1.185260e-04,1.189283e-04,1.191021e-04,1.191510e-04,1.192086e-04,1.191606e-04,1.191151e-04,1.188831e-04,1.186601e-04,1.185248e-04,1.180512e-04,1.176924e-04,1.174726e-04,1.167988e-04,1.163372e-04,1.160387e-04,1.152007e-04,1.146637e-04,1.142925e-04,1.133213e-04,1.127319e-04,1.122939e-04,1.112164e-04,1.105933e-04,1.100947e-04,1.089340e-04,1.082928e-04,1.077393e-04,1.065153e-04,1.058686e-04,1.052661e-04,1.039957e-04,1.033537e-04,1.027077e-04,1.014055e-04,1.007763e-04,1.000921e-04,9.877045e-05,9.816043e-05,9.744312e-05,9.611254e-05,9.552663e-05,9.478091e-05,9.345026e-05,9.289214e-05,9.212247e-05,9.079922e-05,9.027154e-05,8.948207e-05,8.817243e-05,8.767701e-05,8.687160e-05,8.558074e-05,8.511868e-05,8.430091e-05,8.303306e-05,8.260487e-05,8.177804e-05,8.053663e-05,8.014236e-05,7.930950e-05,7.809727e-05,7.773659e-05,7.690048e-05,7.571959e-05,7.539185e-05,7.455502e-05,7.340712e-05,7.311143e-05,7.227618e-05,7.116246e-05,7.089776e-05,7.006617e-05,6.898748e-05,6.875254e-05,6.792651e-05,6.688335e-05,6.667686e-05,6.585806e-05,6.485068e-05,6.467125e-05,6.386121e-05,6.288962e-05,6.273582e-05,6.193588e-05,6.099991e-05,6.087029e-05,6.008163e-05,5.918095e-05,5.907404e-05,5.829773e-05,5.743186e-05,5.734622e-05,5.658318e-05,5.575153e-05,5.568573e-05,5.493676e-05,5.413868e-05,5.409132e-05,5.335710e-05,5.259184e-05,5.256157e-05,5.184270e-05,5.110946e-05,5.109496e-05,5.039193e-05,4.968988e-05,4.834465e-05,4.705755e-05,4.582681e-05,4.465066e-05,4.352733e-05,4.245503e-05,4.143200e-05,4.045650e-05,3.952681e-05,3.864124e-05,3.779813e-05,3.699587e-05,3.623288e-05,3.550760e-05,3.481856e-05,3.416429e-05,3.354338e-05,3.295447e-05,3.239623e-05,3.186739e-05,3.136670e-05,3.089298e-05,3.044506e-05,3.002184e-05,2.962224e-05,2.924524e-05,2.888983e-05,2.855507e-05,2.824003e-05,2.794382e-05,2.766559e-05,2.740453e-05,2.715984e-05,2.693077e-05,2.671659e-05,2.651661e-05,2.633015e-05,2.615657e-05,2.599526e-05,2.584562e-05,2.570708e-05,2.557911e-05,2.546117e-05,2.535276e-05,2.525341e-05,2.516266e-05,2.508006e-05,2.500519e-05,2.493765e-05
0.000000e+00,1.369021e-08,2.684716e-07,2.817223e-07,2.018696e-06,6.935814e-06,7.217858e-06,1.542564e-05,2.375892e-05,2.428573e-05,3.284952e-05,4.031035e-05,4.093927e-05,4.853344e-05,5.495130e-05,5.564049e-05,6.227494e-05,6.773523e-05,6.845312e-05,7.419313e-05,7.879313e-05,7.951327e-05,8.442934e-05,8.825920e-05,8.895864e-05,9.311924e-05,9.626839e-05,9.692906e-05,1.004057e-04,1.029587e-04,1.035664e-04,1.064277e-04,1.084621e-04,1.090058e-04,1.113161e-04,1.129022e-04,1.133737e-04,1.151926e-04,1.163931e-04,1.167866e-04,1.181688e-04,1.190397e-04,1.193515e-04,1.203466e-04,1.209377e-04,1.211656e-04,1.218191e-04,1.221743e-04,1.223175e-04,1.226705e-04,1.228283e-04,1.228874e-04,1.229771e-04,1.229716e-04,1.229479e-04,1.228079e-04,1.226687e-04,1.225645e-04,1.222251e-04,1.219782e-04,1.217964e-04,1.212849e-04,1.209527e-04,1.206967e-04,1.200377e-04,1.196397e-04,1.193133e-04,1.185287e-04,1.180817e-04,1.176889e-04,1.167985e-04,1.163170e-04,1.158620e-04,1.148834e-04,1.143797e-04,1.138668e-04,1.128159e-04,1.123003e-04,1.117342e-04,1.106249e-04,1.101062e-04,1.094912e-04,1.083360e-04,1.078217e-04,1.071622e-04,1.059722e-04,1.054682e-04,1.047685e-04,1.035535e-04,1.030649e-04,1.023293e-04,1.010980e-04,1.006286e-04,9.986130e-05,9.862113e-05,9.817414e-05,9.737912e-05,9.613681e-05,9.571462e-05,9.489566e-05,9.365702e-05,9.326140e-05,9.242216e-05,9.119224e-05,9.082439e-05,8.996835e-05,8.875150e-05,8.841218e-05,8.754264e-05,8.634261e-05,8.603215e-05,8.515222e-05,8.397220e-05,8.369062e-05,8.280323e-05,8.164591e-05,8.139292e-05,8.050082e-05,7.936846e-05,7.914355e-05,7.824929e-05,7.714374e-05,7.694622e-05,7.605218e-05,7.497495e-05,7.480394e-05,7.391234e-05,7.286462e-05,7.271914e-05,7.183201e-05,7.081471e-05,7.069367e-05,6.981289e-05,6.882668e-05,6.872892e-05,6.785620e-05,6.690153e-05,6.682584e-05,6.596275e-05,6.503989e-05,6.498502e-05,6.413297e-05,6.324200e-05,6.320669e-05,6.236697e-05,6.150784e-05,6.149082e-05,6.066457e-05,5.983711e-05,5.824503e-05,5.671388e-05,5.524279e-05,5.383075e-05,5.247663e-05,5.117921e-05,4.993718e-05,4.874917e-05,4.761375e-05,4.652947e-05,4.549483e-05,4.450833e-05,4.356844e-05,4.267363e-05,4.182240e-05,4.101322e-05,4.024460e-05,3.951505e-05,3.882312e-05,3.816737e-05,3.754639e-05,3.695880e-05,3.640326e-05,3.587845e-05,3.538308e-05,3.491591e-05,3.447572e-05,3.406134e-05,3.367161e-05,3.330544e-05,3.296175e-05,3.263950e-05,3.233769e-05,3.205535e-05,3.179155e-05,3.154538e-05,3.131599e-05,3.110252e-05,3.090419e-05,3.072021e-05,3.054984e-05,3.039236e-05,3.024710e-05,3.011338e-05,2.999058e-05,2.987810e-05,2.977535e-05,2.968178e-05,2.959686e-05
0.000000e+00,7.415501e-10,9.210244e-09,9.604606e-09,5.828133e-08,2.067962e-07,2.161069e-07,5.310631e-07,9.199390e-07,9.458285e-07,1.374974e-06,1.752106e-06,1.783810e-06,2.164465e-06,2.482320e-06,2.516219e-06,2.840071e-06,3.103100e-06,3.137435e-06,3.409807e-06,3.625192e-06,3.658673e-06,3.885476e-06,4.059962e-06,4.091610e-06,4.278406e-06,4.418040e-06,4.447132e-06,4.598990e-06,4.709097e-06,4.735115e-06,4.856577e-06,4.941787e-06,4.964381e-06,5.059473e-06,5.123790e-06,5.142741e-06,5.215019e-06,5.261891e-06,5.277089e-06,5.329681e-06,5.362065e-06,5.373481e-06,5.409130e-06,5.429557e-06,5.437227e-06,5.458334e-06,5.468963e-06,5.472975e-06,5.481641e-06,5.484310e-06,5.484789e-06,5.482848e-06,5.479121e-06,5.476218e-06,5.465273e-06,5.456473e-06,5.450360e-06,5.431807e-06,5.419054e-06,5.409915e-06,5.384970e-06,5.369206e-06,5.357234e-06,5.326955e-06,5.308974e-06,5.294362e-06,5.259669e-06,5.240133e-06,5.223076e-06,5.184769e-06,5.164230e-06,5.144921e-06,5.103692e-06,5.082607e-06,5.061232e-06,5.017682e-06,4.996428e-06,4.973169e-06,4.927816e-06,4.906702e-06,4.881733e-06,4.835024e-06,4.814299e-06,4.787785e-06,4.740107e-06,4.719971e-06,4.692071e-06,4.643755e-06,4.624366e-06,4.595229e-06,4.546559e-06,4.528039e-06,4.497805e-06,4.449025e-06,4.431467e-06,4.400268e-06,4.351583e-06,4.335055e-06,4.303015e-06,4.254602e-06,4.239149e-06,4.206382e-06,4.158390e-06,4.144041e-06,4.110655e-06,4.063207e-06,4.049977e-06,4.016072e-06,3.969272e-06,3.957162e-06,3.922830e-06,3.876765e-06,3.865768e-06,3.831095e-06,3.785834e-06,3.775934e-06,3.740998e-06,3.696599e-06,3.687773e-06,3.652649e-06,3.609156e-06,3.601377e-06,3.566130e-06,3.523579e-06,3.516815e-06,3.481508e-06,3.439924e-06,3.434141e-06,3.398831e-06,3.358233e-06,3.353395e-06,3.318133e-06,3.278533e-06,3.274601e-06,3.239435e-06,3.200840e-06,3.197774e-06,3.162748e-06,3.125160e-06,3.122920e-06,3.088074e-06,3.051489e-06,3.050036e-06,3.015405e-06,2.979820e-06,2.979113e-06,2.944730e-06,2.910134e-06,2.843081e-06,2.777928e-06,2.714647e-06,2.653209e-06,2.593580e-06,2.535725e-06,2.479609e-06,2.425194e-06,2.372442e-06,2.321315e-06,2.271774e-06,2.223780e-06,2.177293e-06,2.132276e-06,2.088689e-06,2.046495e-06,2.005655e-06,1.966132e-06,1.927891e-06,1.890894e-06,1.855107e-06,1.820495e-06,1.787024e-06,1.754661e-06,1.723373e-06,1.693130e-06,1.663899e-06,1.635651e-06,1.608357e-06,1.581988e-06,1.556516e-06,1.531913e-06,1.508155e-06,1.485214e-06,1.463065e-06,1.441686e-06,1.421051e-06,1.401138e-06,1.381924e-06,1.363389e-06,1.345511e-06,1.328269e-06,1.311643e-06,1.295615e-06,1.280166e-06,1.265277e-06,1.250931e-06,1.237111e-06,1.223800e-06
0.000000e+00,6.142454e-09,2.040551e-07,2.158851e-07,2.080637e-06,7.931032e-06,8.261530e-06,1.743031e-05,2.627790e-05,2.683063e-05,3.575305e-05,4.345170e-05,4.409791e-05,5.186831e-05,5.838898e-05,5.908672e-05,6.577930e-05,7.125426e-05,7.197176e-05,7.768863e-05,8.224309e-05,8.295394e-05,8.779125e-05,9.154056e-05,9.222339e-05,9.627250e-05,9.932194e-05,9.995991e-05,1.033062e-04,1.057508e-04,1.063310e-04,1.090531e-04,1.109779e-04,1.114906e-04,1.136605e-04,1.151408e-04,1.155792e-04,1.172619e-04,1.183640e-04,1.187235e-04,1.199778e-04,1.207599e-04,1.210379e-04,1.219163e-04,1.224294e-04,1.226247e-04,1.231744e-04,1.234629e-04,1.235758e-04,1.238389e-04,1.239414e-04,1.239731e-04,1.239873e-04,1.239373e-04,1.238899e-04,1.236887e-04,1.235152e-04,1.233913e-04,1.230047e-04,1.227327e-04,1.225356e-04,1.219901e-04,1.216412e-04,1.213743e-04,1.206937e-04,1.202862e-04,1.199535e-04,1.191587e-04,1.187084e-04,1.183138e-04,1.174234e-04,1.169437e-04,1.164914e-04,1.155218e-04,1.150240e-04,1.145182e-04,1.134840e-04,1.129777e-04,1.124224e-04,1.113365e-04,1.108295e-04,1.102290e-04,1.091026e-04,1.086016e-04,1.079598e-04,1.068029e-04,1.063133e-04,1.056341e-04,1.044554e-04,1.039816e-04,1.032688e-04,1.020760e-04,1.016214e-04,1.008787e-04,9.967839e-05,9.924584e-05,9.847659e-05,9.727463e-05,9.686615e-05,9.607376e-05,9.487514e-05,9.449224e-05,9.367986e-05,9.248892e-05,9.213262e-05,9.130325e-05,9.012372e-05,8.979466e-05,8.895111e-05,8.778616e-05,8.748462e-05,8.662955e-05,8.548190e-05,8.520786e-05,8.434376e-05,8.321567e-05,8.296888e-05,8.209809e-05,8.099145e-05,8.077148e-05,7.989615e-05,7.881254e-05,7.861875e-05,7.774092e-05,7.668159e-05,7.651326e-05,7.563480e-05,7.460076e-05,7.445702e-05,7.357967e-05,7.257171e-05,7.245164e-05,7.157700e-05,7.059568e-05,7.049829e-05,6.962784e-05,6.867356e-05,6.859781e-05,6.773291e-05,6.680592e-05,6.675073e-05,6.589262e-05,6.499303e-05,6.495733e-05,6.410714e-05,6.323494e-05,6.321764e-05,6.237640e-05,6.153148e-05,5.989854e-05,5.831831e-05,5.679018e-05,5.531342e-05,5.388723e-05,5.251070e-05,5.118288e-05,4.990277e-05,4.866932e-05,4.748144e-05,4.633803e-05,4.523797e-05,4.418014e-05,4.316339e-05,4.218658e-05,4.124859e-05,4.034829e-05,3.948456e-05,3.865630e-05,3.786243e-05,3.710186e-05,3.637355e-05,3.567647e-05,3.500959e-05,3.437194e-05,3.376253e-05,3.318043e-05,3.262471e-05,3.209446e-05,3.158882e-05,3.110691e-05,3.064792e-05,3.021102e-05,2.979544e-05,2.940041e-05,2.902518e-05,2.866904e-05,2.833128e-05,2.801122e-05,2.770821e-05,2.742160e-05,2.715078e-05,2.689515e-05,2.665412e-05,2.642713e-05,2.621363e-05,2.601310e-05,2.582502e-05,2.564889e-05
0.000000e+00,3.620635e-10,5.101299e-09,5.332544e-09,3.488893e-08,1.259384e-07,1.316252e-07,3.221566e-07,5.543345e-07,5.697761e-07,8.273049e-07,1.057748e-06,1.077347e-06,1.315810e-06,1.519885e-06,1.541944e-06,1.755834e-06,1.934175e-06,1.957792e-06,2.148192e-06,2.302995e-06,2.327431e-06,2.495910e-06,2.629409e-06,2.654029e-06,2.802189e-06,2.916526e-06,2.940785e-06,3.070208e-06,3.167398e-06,3.190839e-06,3.303052e-06,3.384967e-06,3.407208e-06,3.503654e-06,3.572005e-06,3.592728e-06,3.674756e-06,3.731110e-06,3.750059e-06,3.818952e-06,3.864755e-06,3.881734e-06,3.938690e-06,3.975239e-06,3.990094e-06,4.036211e-06,4.064680e-06,4.077294e-06,4.113586e-06,4.135029e-06,4.145323e-06,4.172728e-06,4.188095e-06,4.196020e-06,4.215404e-06,4.225549e-06,4.231082e-06,4.243243e-06,4.248928e-06,4.252071e-06,4.257742e-06,4.259651e-06,4.260424e-06,4.260280e-06,4.259023e-06,4.257465e-06,4.252127e-06,4.248245e-06,4.244408e-06,4.234444e-06,4.228420e-06,4.222367e-06,4.208300e-06,4.200558e-06,4.192364e-06,4.174673e-06,4.165590e-06,4.155336e-06,4.134459e-06,4.124365e-06,4.112141e-06,4.088477e-06,4.077663e-06,4.063561e-06,4.037478e-06,4.026195e-06,4.010312e-06,3.982144e-06,3.970613e-06,3.953049e-06,3.923099e-06,3.911509e-06,3.892365e-06,3.860912e-06,3.849425e-06,3.828803e-06,3.796098e-06,3.784853e-06,3.762855e-06,3.729128e-06,3.718242e-06,3.694969e-06,3.660426e-06,3.649996e-06,3.625548e-06,3.590379e-06,3.580485e-06,3.554961e-06,3.519334e-06,3.510042e-06,3.483537e-06,3.447606e-06,3.438967e-06,3.411575e-06,3.375478e-06,3.367530e-06,3.339344e-06,3.303203e-06,3.295977e-06,3.267084e-06,3.231011e-06,3.224524e-06,3.195009e-06,3.159103e-06,3.153368e-06,3.123313e-06,3.087660e-06,3.082681e-06,3.052165e-06,3.016845e-06,3.012619e-06,2.981717e-06,2.946798e-06,2.943318e-06,2.912102e-06,2.877644e-06,2.874899e-06,2.843437e-06,2.809493e-06,2.807465e-06,2.775824e-06,2.742439e-06,2.741110e-06,2.709350e-06,2.676564e-06,2.675912e-06,2.644091e-06,2.611938e-06,2.549247e-06,2.487885e-06,2.427892e-06,2.369299e-06,2.312130e-06,2.256404e-06,2.202132e-06,2.149321e-06,2.097974e-06,2.048088e-06,1.999658e-06,1.952674e-06,1.907125e-06,1.862995e-06,1.820268e-06,1.778924e-06,1.738944e-06,1.700304e-06,1.662980e-06,1.626949e-06,1.592183e-06,1.558657e-06,1.526344e-06,1.495216e-06,1.465245e-06,1.436403e-06,1.408661e-06,1.381991e-06,1.356366e-06,1.331755e-06,1.308132e-06,1.285468e-06,1.263737e-06,1.242909e-06,1.222959e-06,1.203860e-06,1.185586e-06,1.168110e-06,1.151409e-06,1.135456e-06,1.120227e-06,1.105699e-06,1.091849e-06,1.078653e-06,1.066090e-06,1.054137e-06,1.042774e-06,1.031979e-06,1.021733e-06
0.000000e+00,2.140009e-09,1.322346e-07,1.401411e-07,1.479435e-06,7.693364e-06,8.163669e-06,2.915622e-05,6.922957e-05,7.245539e-05,1.344264e-04,1.981189e-04,2.037070e-04,2.724475e-04,3.313685e-04,3.377092e-04,3.987572e-04,4.489356e-04,4.555246e-04,5.081206e-04,5.501356e-04,5.567015e-04,6.014373e-04,6.361721e-04,6.425034e-04,6.800770e-04,7.084055e-04,7.143352e-04,7.454532e-04,7.682020e-04,7.736025e-04,7.989505e-04,8.168814e-04,8.216587e-04,8.418830e-04,8.556842e-04,8.597725e-04,8.754701e-04,8.857555e-04,8.891120e-04,9.008277e-04,9.081397e-04,9.107404e-04,9.189672e-04,9.237824e-04,9.256190e-04,9.308009e-04,9.335362e-04,9.346127e-04,9.371486e-04,9.381669e-04,9.384978e-04,9.387447e-04,9.383611e-04,9.379689e-04,9.362459e-04,9.347332e-04,9.336467e-04,9.302385e-04,9.278317e-04,9.260846e-04,9.212449e-04,9.181459e-04,9.157756e-04,9.097298e-04,9.061111e-04,9.031575e-04,8.961059e-04,8.921143e-04,8.886191e-04,8.807388e-04,8.764987e-04,8.725043e-04,8.639523e-04,8.595682e-04,8.551174e-04,8.460320e-04,8.415911e-04,8.367266e-04,8.272295e-04,8.228040e-04,8.175676e-04,8.077658e-04,8.034148e-04,7.978475e-04,7.878346e-04,7.836059e-04,7.777474e-04,7.676049e-04,7.635364e-04,7.574249e-04,7.472238e-04,7.433451e-04,7.370171e-04,7.268189e-04,7.231522e-04,7.166425e-04,7.065001e-04,7.030614e-04,6.964030e-04,6.863616e-04,6.831618e-04,6.763857e-04,6.664840e-04,6.635291e-04,6.566646e-04,6.469350e-04,6.442278e-04,6.373020e-04,6.277718e-04,6.253115e-04,6.183500e-04,6.090416e-04,6.068250e-04,5.998512e-04,5.907830e-04,5.888047e-04,5.818405e-04,5.730269e-04,5.712799e-04,5.643451e-04,5.557976e-04,5.542735e-04,5.473865e-04,5.391135e-04,5.378028e-04,5.309802e-04,5.229878e-04,5.218802e-04,5.151372e-04,5.074290e-04,5.065137e-04,4.998639e-04,4.924420e-04,4.917077e-04,4.851633e-04,4.780279e-04,4.774632e-04,4.710353e-04,4.641851e-04,4.637786e-04,4.574767e-04,4.509093e-04,4.506496e-04,4.444822e-04,4.381943e-04,4.380700e-04,4.320445e-04,4.260317e-04,4.145254e-04,4.035402e-04,3.930643e-04,3.830853e-04,3.735897e-04,3.645640e-04,3.559939e-04,3.478650e-04,3.401628e-04,3.328726e-04,3.259799e-04,3.194701e-04,3.133286e-04,3.075413e-04,3.020941e-04,2.969731e-04,2.921649e-04,2.876562e-04,2.834341e-04,2.794860e-04,2.757996e-04,2.723631e-04,2.691649e-04,2.661939e-04,2.634392e-04,2.608903e-04,2.585371e-04,2.563700e-04,2.543795e-04,2.525565e-04,2.508924e-04,2.493787e-04,2.480074e-04,2.467709e-04,2.456615e-04,2.446723e-04,2.437963e-04,2.430271e-04,2.423584e-04,2.417841e-04,2.412985e-04,2.408961e-04,2.405718e-04,2.403204e-04,2.401372e-04,2.400176e-04,2.399573e-04,2.399521e-04,2.399981e-04
0.000000e+00,2.853108e-09,1.196822e-07,1.265472e-07,1.287894e-06,6.247139e-06,6.597653e-06,2.006925e-05,3.926886e-05,4.060117e-05,6.312297e-05,8.323265e-05,8.492934e-05,1.053537e-04,1.224774e-04,1.243074e-04,1.418298e-04,1.561166e-04,1.579854e-04,1.728441e-04,1.846377e-04,1.864746e-04,1.989445e-04,2.085700e-04,2.103189e-04,2.206610e-04,2.284141e-04,2.300318e-04,2.384899e-04,2.446372e-04,2.460916e-04,2.528908e-04,2.576701e-04,2.589387e-04,2.642841e-04,2.679053e-04,2.689733e-04,2.730499e-04,2.756967e-04,2.765554e-04,2.795289e-04,2.813610e-04,2.820070e-04,2.840246e-04,2.851804e-04,2.856142e-04,2.868066e-04,2.874053e-04,2.876305e-04,2.881132e-04,2.882572e-04,2.882800e-04,2.881549e-04,2.879320e-04,2.877602e-04,2.871171e-04,2.866023e-04,2.862452e-04,2.851631e-04,2.844201e-04,2.838880e-04,2.824362e-04,2.815192e-04,2.808228e-04,2.790622e-04,2.780169e-04,2.771675e-04,2.751512e-04,2.740160e-04,2.730250e-04,2.707997e-04,2.696067e-04,2.684854e-04,2.660917e-04,2.648678e-04,2.636273e-04,2.611006e-04,2.598679e-04,2.585192e-04,2.558903e-04,2.546669e-04,2.532205e-04,2.505161e-04,2.493167e-04,2.477829e-04,2.450261e-04,2.438625e-04,2.422508e-04,2.394617e-04,2.383431e-04,2.366629e-04,2.338586e-04,2.327922e-04,2.310522e-04,2.282474e-04,2.272386e-04,2.254471e-04,2.226543e-04,2.217069e-04,2.198717e-04,2.171016e-04,2.162183e-04,2.143465e-04,2.116082e-04,2.107903e-04,2.088888e-04,2.061899e-04,2.054381e-04,2.035131e-04,2.008598e-04,2.001740e-04,1.982314e-04,1.956290e-04,1.950084e-04,1.930536e-04,1.905062e-04,1.899496e-04,1.879877e-04,1.854987e-04,1.850045e-04,1.830399e-04,1.806119e-04,1.801782e-04,1.782153e-04,1.758503e-04,1.754749e-04,1.735175e-04,1.712170e-04,1.708975e-04,1.689491e-04,1.667140e-04,1.664480e-04,1.645118e-04,1.623426e-04,1.621275e-04,1.602065e-04,1.581034e-04,1.579366e-04,1.560334e-04,1.539963e-04,1.538751e-04,1.519920e-04,1.500206e-04,1.499424e-04,1.480817e-04,1.461752e-04,1.461374e-04,1.443009e-04,1.424586e-04,1.389043e-04,1.354725e-04,1.321609e-04,1.289672e-04,1.258887e-04,1.229228e-04,1.200668e-04,1.173179e-04,1.146732e-04,1.121299e-04,1.096851e-04,1.073360e-04,1.050796e-04,1.029132e-04,1.008340e-04,9.883918e-05,9.692608e-05,9.509204e-05,9.333444e-05,9.165074e-05,9.003843e-05,8.849509e-05,8.701833e-05,8.560583e-05,8.425536e-05,8.296471e-05,8.173176e-05,8.055443e-05,7.943071e-05,7.835867e-05,7.733640e-05,7.636208e-05,7.543392e-05,7.455021e-05,7.370929e-05,7.290954e-05,7.214940e-05,7.142736e-05,7.074196e-05,7.009179e-05,6.947548e-05,6.889172e-05,6.833922e-05,6.781676e-05,6.732315e-05,6.685722e-05,6.641788e-05,6.600404e-05,6.561468e-05
0.000000e+00,7.167504e-13,1.799121e-10,1.955967e-10,6.322556e-09,7.693603e-08,8.431529e-08,6.409517e-07,2.940665e-06,3.207261e-06,1.169409e-05,3.114032e-05,3.364392e-05,8.101054e-05,1.589043e-04,1.702721e-04,3.219091e-04,5.255423e-04,5.593989e-04,9.079138e-04,1.315862e-03,1.392906e-03,2.038726e-03,2.721704e-03,2.867394e-03,3.897577e-03,4.903051e-03,5.143831e-03,6.616101e-03,7.960235e-03,8.319478e-03,1.025418e-02,1.192110e-02,1.241572e-02,1.479526e-02,1.674177e-02,1.738002e-02,2.015387e-02,2.231719e-02,2.309784e-02,2.619075e-02,2.849714e-02,2.940983e-02,3.273124e-02,3.510409e-02,3.613064e-02,3.958366e-02,4.195004e-02,4.306626e-02,4.655524e-02,4.885065e-02,5.002845e-02,5.346503e-02,5.563622e-02,5.684563e-02,6.015253e-02,6.215870e-02,6.336972e-02,6.648309e-02,6.829606e-02,6.948026e-02,7.235058e-02,7.395366e-02,7.508512e-02,7.767664e-02,7.906324e-02,8.011948e-02,8.240946e-02,8.358146e-02,8.454378e-02,8.652087e-02,8.748664e-02,8.834032e-02,9.000277e-02,9.077556e-02,9.150975e-02,9.286363e-02,9.345998e-02,9.406746e-02,9.512491e-02,9.556331e-02,9.604016e-02,9.681778e-02,9.711761e-02,9.746274e-02,9.798022e-02,9.816085e-02,9.837563e-02,9.865452e-02,9.873471e-02,9.882252e-02,9.888533e-02,9.888280e-02,9.884862e-02,9.871803e-02,9.864911e-02,9.849914e-02,9.819744e-02,9.807695e-02,9.781828e-02,9.736690e-02,9.720804e-02,9.684839e-02,9.626765e-02,9.608202e-02,9.562945e-02,9.493836e-02,9.473598e-02,9.419877e-02,9.341489e-02,9.320433e-02,9.259075e-02,9.173019e-02,9.151865e-02,9.083687e-02,8.991426e-02,8.970769e-02,8.896567e-02,8.799423e-02,8.779746e-02,8.700289e-02,8.599446e-02,8.581134e-02,8.497158e-02,8.393673e-02,8.377020e-02,8.289225e-02,8.184033e-02,8.169259e-02,8.078305e-02,7.972233e-02,7.959490e-02,7.865998e-02,7.759770e-02,7.749153e-02,7.653705e-02,7.547951e-02,7.539508e-02,7.442644e-02,7.337911e-02,7.331648e-02,7.233870e-02,7.130629e-02,7.126517e-02,7.028289e-02,6.926943e-02,6.924927e-02,6.826675e-02,6.727564e-02,6.535008e-02,6.347742e-02,6.166161e-02,5.990580e-02,5.821249e-02,5.658354e-02,5.502028e-02,5.352354e-02,5.209373e-02,5.073090e-02,4.943477e-02,4.820476e-02,4.704006e-02,4.593961e-02,4.490218e-02,4.392637e-02,4.301063e-02,4.215331e-02,4.135265e-02,4.060681e-02,3.991387e-02,3.927188e-02,3.867882e-02,3.813266e-02,3.763134e-02,3.717279e-02,3.675493e-02,3.637572e-02,3.603309e-02,3.572503e-02,3.544952e-02,3.520459e-02,3.498832e-02,3.479880e-02,3.463419e-02,3.449269e-02,3.437257e-02,3.427212e-02,3.418972e-02,3.412379e-02,3.407284e-02,3.403542e-02,3.401014e-02,3.399571e-02,3.399088e-02,3.399446e-02,3.400536e-02,3.402252e-02,3.404498e-02
0.000000e+00,2.293278e-09,9.291845e-08,9.805439e-08,8.981384e-07,4.080833e-06,4.303414e-06,1.315906e-05,2.778142e-05,2.890188e-05,4.970346e-05,7.027462e-05,7.205346e-05,9.365828e-05,1.118102e-04,1.137445e-04,1.321775e-04,1.470645e-04,1.490010e-04,1.643017e-04,1.763143e-04,1.781740e-04,1.907115e-04,2.002772e-04,2.020039e-04,2.121367e-04,2.196372e-04,2.211907e-04,2.292422e-04,2.350099e-04,2.363629e-04,2.426200e-04,2.469418e-04,2.480767e-04,2.527921e-04,2.559142e-04,2.568215e-04,2.602167e-04,2.623493e-04,2.630259e-04,2.652942e-04,2.666163e-04,2.670638e-04,2.683739e-04,2.690373e-04,2.692611e-04,2.697596e-04,2.698929e-04,2.699013e-04,2.697157e-04,2.694273e-04,2.692303e-04,2.684710e-04,2.678524e-04,2.674617e-04,2.662249e-04,2.653529e-04,2.647811e-04,2.631495e-04,2.620880e-04,2.613483e-04,2.593938e-04,2.581962e-04,2.573016e-04,2.550859e-04,2.537962e-04,2.527601e-04,2.503366e-04,2.489913e-04,2.478267e-04,2.452411e-04,2.438699e-04,2.425894e-04,2.398809e-04,2.385079e-04,2.371238e-04,2.343261e-04,2.329707e-04,2.314946e-04,2.286363e-04,2.273140e-04,2.257569e-04,2.228623e-04,2.215851e-04,2.199575e-04,2.170472e-04,2.158244e-04,2.141359e-04,2.112276e-04,2.100659e-04,2.083258e-04,2.054340e-04,2.043384e-04,2.025552e-04,1.996922e-04,1.986659e-04,1.968475e-04,1.940234e-04,1.930683e-04,1.912220e-04,1.884451e-04,1.875620e-04,1.856945e-04,1.829716e-04,1.821604e-04,1.802779e-04,1.776144e-04,1.768743e-04,1.749824e-04,1.723827e-04,1.717122e-04,1.698161e-04,1.672834e-04,1.666807e-04,1.647852e-04,1.623219e-04,1.617847e-04,1.598939e-04,1.575017e-04,1.570276e-04,1.551455e-04,1.528254e-04,1.524117e-04,1.505417e-04,1.482943e-04,1.479381e-04,1.460834e-04,1.439089e-04,1.436073e-04,1.417706e-04,1.396686e-04,1.394188e-04,1.376027e-04,1.355726e-04,1.353716e-04,1.335782e-04,1.316192e-04,1.314640e-04,1.296954e-04,1.278065e-04,1.276943e-04,1.259521e-04,1.241320e-04,1.240599e-04,1.223457e-04,1.205930e-04,1.205583e-04,1.188735e-04,1.171866e-04,1.139419e-04,1.108208e-04,1.078203e-04,1.049368e-04,1.021671e-04,9.950782e-05,9.695545e-05,9.450666e-05,9.215811e-05,8.990647e-05,8.774850e-05,8.568098e-05,8.370079e-05,8.180485e-05,7.999016e-05,7.825380e-05,7.659292e-05,7.500477e-05,7.348664e-05,7.203594e-05,7.065013e-05,6.932677e-05,6.806348e-05,6.685797e-05,6.570802e-05,6.461148e-05,6.356628e-05,6.257042e-05,6.162196e-05,6.071905e-05,5.985988e-05,5.904272e-05,5.826589e-05,5.752779e-05,5.682685e-05,5.616158e-05,5.553054e-05,5.493233e-05,5.436561e-05,5.382910e-05,5.332155e-05,5.284176e-05,5.238858e-05,5.196091e-05,5.155767e-05,5.117783e-05,5.082041e-05,5.048446e-05,5.016905e-05
0.000000e+00,3.881959e-09,2.263028e-07,2.400394e-07,2.759389e-06,1.517590e-05,1.611407e-05,5.570864e-05,1.201964e-04,1.249288e-04,2.082680e-04,2.860088e-04,2.926538e-04,3.734068e-04,4.420583e-04,4.494434e-04,5.206381e-04,5.793624e-04,5.870913e-04,6.489590e-04,6.986294e-04,7.064141e-04,7.596361e-04,8.012054e-04,8.088084e-04,8.541158e-04,8.885134e-04,8.957429e-04,9.338720e-04,9.619776e-04,9.686827e-04,1.000350e-03,1.022977e-03,1.029043e-03,1.054926e-03,1.072815e-03,1.078157e-03,1.098888e-03,1.112704e-03,1.117262e-03,1.133420e-03,1.143755e-03,1.147493e-03,1.159608e-03,1.166988e-03,1.169884e-03,1.178437e-03,1.183324e-03,1.185374e-03,1.190800e-03,1.193601e-03,1.194812e-03,1.197503e-03,1.198573e-03,1.198962e-03,1.199273e-03,1.198924e-03,1.198515e-03,1.196763e-03,1.195265e-03,1.194090e-03,1.190561e-03,1.188149e-03,1.186243e-03,1.181194e-03,1.178069e-03,1.175472e-03,1.169132e-03,1.165469e-03,1.162224e-03,1.154797e-03,1.150745e-03,1.146896e-03,1.138564e-03,1.134250e-03,1.129843e-03,1.120769e-03,1.116300e-03,1.111380e-03,1.101709e-03,1.097175e-03,1.091788e-03,1.081647e-03,1.077123e-03,1.071315e-03,1.060818e-03,1.056366e-03,1.050181e-03,1.039427e-03,1.035097e-03,1.028578e-03,1.017655e-03,1.013489e-03,1.006677e-03,9.956620e-04,9.916908e-04,9.846267e-04,9.735868e-04,9.698349e-04,9.625570e-04,9.515507e-04,9.480358e-04,9.405808e-04,9.296588e-04,9.263932e-04,9.187957e-04,9.080015e-04,9.049928e-04,8.972856e-04,8.866565e-04,8.839082e-04,8.761222e-04,8.656899e-04,8.632021e-04,8.553662e-04,8.451572e-04,8.429272e-04,8.350684e-04,8.251049e-04,8.231277e-04,8.152712e-04,8.055712e-04,8.038397e-04,7.960087e-04,7.865869e-04,7.850927e-04,7.773087e-04,7.681764e-04,7.669097e-04,7.591923e-04,7.503583e-04,7.493083e-04,7.416757e-04,7.331460e-04,7.323015e-04,7.247700e-04,7.165486e-04,7.158976e-04,7.084822e-04,7.005711e-04,7.001014e-04,6.928155e-04,6.852152e-04,6.849144e-04,6.777700e-04,6.704795e-04,6.703352e-04,6.633430e-04,6.563598e-04,6.429820e-04,6.301939e-04,6.179858e-04,6.063468e-04,5.952646e-04,5.847263e-04,5.747178e-04,5.652247e-04,5.562320e-04,5.477243e-04,5.396860e-04,5.321013e-04,5.249542e-04,5.182290e-04,5.119096e-04,5.059804e-04,5.004257e-04,4.952301e-04,4.903784e-04,4.858558e-04,4.816477e-04,4.777397e-04,4.741180e-04,4.707689e-04,4.676792e-04,4.648361e-04,4.622270e-04,4.598398e-04,4.576629e-04,4.556849e-04,4.538950e-04,4.522824e-04,4.508372e-04,4.495495e-04,4.484100e-04,4.474095e-04,4.465395e-04,4.457916e-04,4.451579e-04,4.446308e-04,4.442030e-04,4.438676e-04,4.436180e-04,4.434478e-04,4.433511e-04,4.433222e-04,4.433556e-04,4.434462e-04,4.435891e-04
0.000000e+00,7.915462e-09,2.253101e-07,2.370722e-07,1.965904e-06,8.207547e-06,8.622695e-06,2.371580e-05,4.438677e-05,4.581722e-05,7.012395e-05,9.213470e-05,9.400743e-05,1.167572e-04,1.361448e-04,1.382349e-04,1.584393e-04,1.751922e-04,1.774038e-04,1.951706e-04,2.095261e-04,2.117844e-04,2.272910e-04,2.394950e-04,2.417371e-04,2.551696e-04,2.654592e-04,2.676332e-04,2.791724e-04,2.877679e-04,2.898312e-04,2.996522e-04,3.067576e-04,3.086767e-04,3.169445e-04,3.227457e-04,3.244940e-04,3.313623e-04,3.360270e-04,3.375846e-04,3.431949e-04,3.468737e-04,3.482258e-04,3.527083e-04,3.555357e-04,3.566721e-04,3.601456e-04,3.622414e-04,3.631559e-04,3.657289e-04,3.671995e-04,3.678891e-04,3.696603e-04,3.706000e-04,3.710647e-04,3.721237e-04,3.726159e-04,3.728578e-04,3.732862e-04,3.734042e-04,3.734274e-04,3.732990e-04,3.731076e-04,3.729176e-04,3.722993e-04,3.718552e-04,3.714591e-04,3.704113e-04,3.697641e-04,3.691697e-04,3.677472e-04,3.669402e-04,3.661562e-04,3.644083e-04,3.634791e-04,3.625147e-04,3.604860e-04,3.594672e-04,3.583322e-04,3.560627e-04,3.549824e-04,3.536866e-04,3.512124e-04,3.500948e-04,3.486482e-04,3.460018e-04,3.448675e-04,3.432804e-04,3.404908e-04,3.393573e-04,3.376395e-04,3.347329e-04,3.336150e-04,3.317766e-04,3.287761e-04,3.276862e-04,3.257368e-04,3.226635e-04,3.216117e-04,3.195609e-04,3.164333e-04,3.154279e-04,3.132849e-04,3.101196e-04,3.091673e-04,3.069411e-04,3.037527e-04,3.028587e-04,3.005579e-04,2.973596e-04,2.965278e-04,2.941607e-04,2.909639e-04,2.901973e-04,2.877718e-04,2.845868e-04,2.838872e-04,2.814109e-04,2.782465e-04,2.776151e-04,2.750953e-04,2.719592e-04,2.713964e-04,2.688399e-04,2.657391e-04,2.652447e-04,2.626581e-04,2.595983e-04,2.591717e-04,2.565610e-04,2.535474e-04,2.531874e-04,2.505586e-04,2.475955e-04,2.473006e-04,2.446590e-04,2.417501e-04,2.415186e-04,2.388695e-04,2.360179e-04,2.358477e-04,2.331958e-04,2.304040e-04,2.302930e-04,2.276430e-04,2.249131e-04,2.248588e-04,2.222148e-04,2.195485e-04,2.143648e-04,2.093096e-04,2.043843e-04,1.995899e-04,1.949266e-04,1.903946e-04,1.859934e-04,1.817223e-04,1.775803e-04,1.735662e-04,1.696785e-04,1.659156e-04,1.622758e-04,1.587569e-04,1.553571e-04,1.520742e-04,1.489058e-04,1.458499e-04,1.429039e-04,1.400655e-04,1.373323e-04,1.347019e-04,1.321718e-04,1.297396e-04,1.274029e-04,1.251591e-04,1.230059e-04,1.209408e-04,1.189616e-04,1.170657e-04,1.152510e-04,1.135150e-04,1.118556e-04,1.102704e-04,1.087573e-04,1.073142e-04,1.059388e-04,1.046291e-04,1.033830e-04,1.021986e-04,1.010738e-04,1.000067e-04,9.899542e-05,9.803809e-05,9.713290e-05,9.627804e-05,9.547179e-05,9.471242e-05,9.399828e-05
0.000000e+00,1.789017e-12,3.733364e-10,4.040955e-10,1.039910e-08,1.050094e-07,1.143395e-07,7.672951e-07,3.309704e-06,3.600224e-06,1.271302e-05,3.309157e-05,3.567711e-05,8.332667e-05,1.577365e-04,1.682718e-04,3.028055e-04,4.702602e-04,4.969568e-04,7.571526e-04,1.035562e-03,1.085630e-03,1.480520e-03,1.859669e-03,1.936399e-03,2.445124e-03,2.894766e-03,2.996741e-03,3.580365e-03,4.062865e-03,4.184934e-03,4.799805e-03,5.280215e-03,5.415181e-03,6.022388e-03,6.473795e-03,6.614017e-03,7.183966e-03,7.588883e-03,7.727403e-03,8.240685e-03,8.590088e-03,8.721229e-03,9.167379e-03,9.458729e-03,9.578270e-03,9.953696e-03,1.018887e-02,1.029398e-02,1.059985e-02,1.078339e-02,1.087238e-02,1.111287e-02,1.125062e-02,1.132276e-02,1.150363e-02,1.160191e-02,1.165711e-02,1.178484e-02,1.184981e-02,1.188848e-02,1.196965e-02,1.200704e-02,1.202990e-02,1.207078e-02,1.208575e-02,1.209372e-02,1.210013e-02,1.209717e-02,1.209130e-02,1.206850e-02,1.205151e-02,1.203288e-02,1.198556e-02,1.195783e-02,1.192756e-02,1.185984e-02,1.182416e-02,1.178333e-02,1.169885e-02,1.165753e-02,1.160719e-02,1.150909e-02,1.146406e-02,1.140522e-02,1.129623e-02,1.124906e-02,1.118269e-02,1.106516e-02,1.101714e-02,1.094414e-02,1.082009e-02,1.077226e-02,1.069347e-02,1.056466e-02,1.051783e-02,1.043405e-02,1.030197e-02,1.025679e-02,1.016875e-02,1.003468e-02,9.991638e-03,9.900021e-03,9.765033e-03,9.724507e-03,9.629943e-03,9.494961e-03,9.457212e-03,9.360281e-03,9.226080e-03,9.191286e-03,9.092519e-03,8.959749e-03,8.928016e-03,8.827902e-03,8.697102e-03,8.668478e-03,8.567461e-03,8.439079e-03,8.413562e-03,8.312047e-03,8.186448e-03,8.163998e-03,8.062353e-03,7.939830e-03,7.920375e-03,7.818934e-03,7.699719e-03,7.683165e-03,7.582227e-03,7.466499e-03,7.452732e-03,7.352568e-03,7.240461e-03,7.229352e-03,7.130203e-03,7.021812e-03,7.013222e-03,6.915303e-03,6.810688e-03,6.804472e-03,6.707975e-03,6.607169e-03,6.603176e-03,6.508271e-03,6.411282e-03,6.409361e-03,6.316196e-03,6.223010e-03,6.044072e-03,5.872467e-03,5.708089e-03,5.550812e-03,5.400493e-03,5.256976e-03,5.120095e-03,4.989675e-03,4.865534e-03,4.747486e-03,4.635343e-03,4.528913e-03,4.428006e-03,4.332430e-03,4.241996e-03,4.156516e-03,4.075805e-03,3.999679e-03,3.927959e-03,3.860470e-03,3.797039e-03,3.737498e-03,3.681682e-03,3.629432e-03,3.580592e-03,3.535011e-03,3.492542e-03,3.453041e-03,3.416372e-03,3.382399e-03,3.350993e-03,3.322028e-03,3.295383e-03,3.270940e-03,3.248586e-03,3.228212e-03,3.209711e-03,3.192982e-03,3.177927e-03,3.164451e-03,3.152463e-03,3.141876e-03,3.132604e-03,3.124569e-03,3.117690e-03,3.111895e-03,3.107112e-03,3.103271e-03,3.100308e-03
0.000000e+00,3.013584e-09,5.236585e-08,5.476238e-08,3.262001e-07,9.861545e-07,1.023142e-06,2.147959e-06,3.398756e-06,3.479339e-06,4.758936e-06,5.770781e-06,5.850275e-06,6.734030e-06,7.371206e-06,7.433767e-06,7.979554e-06,8.354343e-06,8.398771e-06,8.714566e-06,8.918133e-06,8.946093e-06,9.109042e-06,9.202386e-06,9.216253e-06,9.278239e-06,9.301427e-06,9.303632e-06,9.299484e-06,9.278804e-06,9.271555e-06,9.224548e-06,9.177134e-06,9.162302e-06,9.087942e-06,9.024919e-06,9.004027e-06,8.912641e-06,8.841217e-06,8.815482e-06,8.713932e-06,8.638738e-06,8.609117e-06,8.501958e-06,8.425958e-06,8.393202e-06,8.283454e-06,8.208514e-06,8.173206e-06,8.062855e-06,7.990126e-06,7.952723e-06,7.843072e-06,7.773245e-06,7.734109e-06,7.626004e-06,7.559468e-06,7.518888e-06,7.412868e-06,7.349817e-06,7.308026e-06,7.204428e-06,7.144931e-06,7.102123e-06,7.001147e-06,6.945191e-06,6.901527e-06,6.803282e-06,6.750806e-06,6.706423e-06,6.610957e-06,6.561866e-06,6.516885e-06,6.424206e-06,6.378387e-06,6.332913e-06,6.243001e-06,6.200330e-06,6.154459e-06,6.067276e-06,6.027625e-06,5.981441e-06,5.896939e-06,5.860177e-06,5.813757e-06,5.731880e-06,5.697878e-06,5.651293e-06,5.571980e-06,5.540608e-06,5.493925e-06,5.417113e-06,5.388246e-06,5.341526e-06,5.267148e-06,5.240665e-06,5.193964e-06,5.121956e-06,5.097739e-06,5.051109e-06,4.981406e-06,4.959340e-06,4.912831e-06,4.845368e-06,4.825343e-06,4.779000e-06,4.713713e-06,4.695623e-06,4.649489e-06,4.586315e-06,4.570059e-06,4.524173e-06,4.463050e-06,4.448530e-06,4.402929e-06,4.343797e-06,4.330919e-06,4.285637e-06,4.228437e-06,4.217110e-06,4.172180e-06,4.116853e-06,4.106992e-06,4.062443e-06,4.008934e-06,4.000456e-06,3.956314e-06,3.904568e-06,3.897393e-06,3.853684e-06,3.803648e-06,3.797700e-06,3.754447e-06,3.706069e-06,3.701276e-06,3.658500e-06,3.611729e-06,3.608021e-06,3.565743e-06,3.520529e-06,3.517841e-06,3.476076e-06,3.432373e-06,3.430640e-06,3.389407e-06,3.347166e-06,3.346329e-06,3.305641e-06,3.264819e-06,3.186024e-06,3.109860e-06,3.036247e-06,2.965106e-06,2.896360e-06,2.829936e-06,2.765761e-06,2.703765e-06,2.643880e-06,2.586041e-06,2.530184e-06,2.476246e-06,2.424168e-06,2.373891e-06,2.325359e-06,2.278517e-06,2.233311e-06,2.189691e-06,2.147605e-06,2.107006e-06,2.067846e-06,2.030080e-06,1.993664e-06,1.958554e-06,1.924710e-06,1.892091e-06,1.860657e-06,1.830371e-06,1.801197e-06,1.773099e-06,1.746041e-06,1.719992e-06,1.694917e-06,1.670787e-06,1.647570e-06,1.625237e-06,1.603760e-06,1.583110e-06,1.563261e-06,1.544187e-06,1.525862e-06,1.508262e-06,1.491363e-06,1.475143e-06,1.459579e-06,1.444648e-06,1.430332e-06,1.416608e-06,1.403457e-06
0.000000e+00,7.609462e-11,1.104779e-08,1.189493e-08,2.505438e-07,2.093177e-06,2.257078e-06,1.110157e-05,3.210315e-05,3.395550e-05,7.357364e-05,1.216360e-04,1.261685e-04,1.852542e-04,2.393862e-04,2.453252e-04,3.029997e-04,3.504457e-04,3.566446e-04,4.056783e-04,4.441119e-04,4.500482e-04,4.899338e-04,5.201674e-04,5.256032e-04,5.573504e-04,5.806630e-04,5.854696e-04,6.102445e-04,6.278377e-04,6.319439e-04,6.508206e-04,6.637371e-04,6.671104e-04,6.810331e-04,6.901573e-04,6.927926e-04,7.025774e-04,7.086497e-04,7.105615e-04,7.169052e-04,7.205405e-04,7.217565e-04,7.252516e-04,7.269586e-04,7.275155e-04,7.286635e-04,7.288609e-04,7.288011e-04,7.280256e-04,7.270573e-04,7.264264e-04,7.240852e-04,7.222324e-04,7.210770e-04,7.174707e-04,7.149624e-04,7.133295e-04,7.087112e-04,7.057334e-04,7.036687e-04,6.982506e-04,6.949536e-04,6.925012e-04,6.864612e-04,6.829658e-04,6.801677e-04,6.736547e-04,6.700575e-04,6.669532e-04,6.600915e-04,6.564687e-04,6.530953e-04,6.459881e-04,6.423997e-04,6.387914e-04,6.315247e-04,6.280170e-04,6.242057e-04,6.168505e-04,6.134590e-04,6.094737e-04,6.020886e-04,5.988396e-04,5.947070e-04,5.873400e-04,5.842526e-04,5.799972e-04,5.726875e-04,5.697747e-04,5.654188e-04,5.581981e-04,5.554682e-04,5.510319e-04,5.439258e-04,5.413833e-04,5.368848e-04,5.299134e-04,5.275597e-04,5.230156e-04,5.161948e-04,5.140289e-04,5.094541e-04,5.027960e-04,5.008150e-04,4.962228e-04,4.897365e-04,4.879361e-04,4.833387e-04,4.770306e-04,4.754053e-04,4.708134e-04,4.646879e-04,4.632315e-04,4.586548e-04,4.527144e-04,4.514200e-04,4.468672e-04,4.411131e-04,4.399735e-04,4.354522e-04,4.298842e-04,4.288919e-04,4.244090e-04,4.190261e-04,4.181734e-04,4.137351e-04,4.085354e-04,4.078147e-04,4.034264e-04,3.984073e-04,3.978110e-04,3.934773e-04,3.886358e-04,3.881564e-04,3.838817e-04,3.792142e-04,3.788445e-04,3.746324e-04,3.701351e-04,3.698680e-04,3.657216e-04,3.613906e-04,3.612191e-04,3.571412e-04,3.529722e-04,3.528896e-04,3.488826e-04,3.448714e-04,3.371557e-04,3.297340e-04,3.225977e-04,3.157379e-04,3.091462e-04,3.028140e-04,2.967329e-04,2.908947e-04,2.852912e-04,2.799145e-04,2.747568e-04,2.698105e-04,2.650683e-04,2.605231e-04,2.561677e-04,2.519955e-04,2.479997e-04,2.441741e-04,2.405125e-04,2.370087e-04,2.336570e-04,2.304518e-04,2.273875e-04,2.244590e-04,2.216611e-04,2.189890e-04,2.164377e-04,2.140028e-04,2.116797e-04,2.094642e-04,2.073521e-04,2.053395e-04,2.034223e-04,2.015970e-04,1.998599e-04,1.982074e-04,1.966364e-04,1.951434e-04,1.937255e-04,1.923795e-04,1.911026e-04,1.898920e-04,1.887450e-04,1.876589e-04,1.866313e-04,1.856598e-04,1.847419e-04,1.838755e-04,1.830584e-04
0.000000e+00,6.502416e-10,8.230557e-08,8.856628e-08,1.779997e-06,1.283425e-05,1.372609e-05,5.302008e-05,1.190421e-04,1.239415e-04,2.108834e-04,2.916371e-04,2.984584e-04,3.797436e-04,4.460445e-04,4.530072e-04,5.183604e-04,5.697780e-04,5.763728e-04,6.276700e-04,6.668656e-04,6.728416e-04,7.124284e-04,7.417290e-04,7.469258e-04,7.767893e-04,7.981147e-04,8.024382e-04,8.242596e-04,8.392016e-04,8.426102e-04,8.578183e-04,8.676942e-04,8.701858e-04,8.799898e-04,8.858832e-04,8.874838e-04,8.928998e-04,8.956948e-04,8.964492e-04,8.983250e-04,8.987384e-04,8.987027e-04,8.977421e-04,8.963517e-04,8.955883e-04,8.923730e-04,8.896418e-04,8.882158e-04,8.832250e-04,8.795226e-04,8.774989e-04,8.711265e-04,8.667465e-04,8.641883e-04,8.567570e-04,8.519313e-04,8.488987e-04,8.406729e-04,8.355835e-04,8.321332e-04,8.233283e-04,8.181174e-04,8.143019e-04,8.050935e-04,7.998706e-04,7.957384e-04,7.862687e-04,7.811177e-04,7.767132e-04,7.670974e-04,7.620813e-04,7.574447e-04,7.477756e-04,7.429409e-04,7.381088e-04,7.284606e-04,7.238405e-04,7.188459e-04,7.092776e-04,7.048951e-04,6.997676e-04,6.903259e-04,6.861956e-04,6.809617e-04,6.716830e-04,6.678131e-04,6.624967e-04,6.534090e-04,6.498027e-04,6.444250e-04,6.355494e-04,6.322059e-04,6.267860e-04,6.181382e-04,6.150538e-04,6.096086e-04,6.011994e-04,5.983681e-04,5.929126e-04,5.847496e-04,5.821638e-04,5.767114e-04,5.687988e-04,5.664495e-04,5.610122e-04,5.533518e-04,5.512296e-04,5.458177e-04,5.384097e-04,5.365042e-04,5.311272e-04,5.239698e-04,5.222705e-04,5.169367e-04,5.100271e-04,5.085235e-04,5.032401e-04,4.965745e-04,4.952559e-04,4.900293e-04,4.836032e-04,4.824591e-04,4.772950e-04,4.711032e-04,4.701232e-04,4.650265e-04,4.590636e-04,4.582377e-04,4.532128e-04,4.474727e-04,4.467912e-04,4.418418e-04,4.363185e-04,4.357720e-04,4.309013e-04,4.255886e-04,4.251680e-04,4.203788e-04,4.152704e-04,4.149671e-04,4.102618e-04,4.053513e-04,4.051569e-04,4.005375e-04,3.958187e-04,3.957253e-04,3.911934e-04,3.866601e-04,3.779492e-04,3.695807e-04,3.615432e-04,3.538252e-04,3.464155e-04,3.393033e-04,3.324780e-04,3.259293e-04,3.196473e-04,3.136221e-04,3.078444e-04,3.023050e-04,2.969951e-04,2.919061e-04,2.870296e-04,2.823577e-04,2.778826e-04,2.735968e-04,2.694929e-04,2.655640e-04,2.618034e-04,2.582043e-04,2.547606e-04,2.514661e-04,2.483149e-04,2.453014e-04,2.424199e-04,2.396653e-04,2.370324e-04,2.345163e-04,2.321121e-04,2.298154e-04,2.276217e-04,2.255267e-04,2.235263e-04,2.216166e-04,2.197936e-04,2.180538e-04,2.163936e-04,2.148096e-04,2.132984e-04,2.118570e-04,2.104822e-04,2.091711e-04,2.079209e-04,2.067289e-04,2.055924e-04,2.045089e-04,2.034761e-04
0.000000e+00,2.894604e-09,5.548748e-08,5.826871e-08,4.389385e-07,1.583882e-06,1.650883e-06,3.613316e-06,5.615279e-06,5.742339e-06,7.819713e-06,9.651281e-06,9.806732e-06,1.169824e-05,1.331979e-05,1.349531e-05,1.520027e-05,1.662647e-05,1.681567e-05,1.834412e-05,1.959102e-05,1.978822e-05,2.115063e-05,2.223391e-05,2.243407e-05,2.364126e-05,2.457621e-05,2.477498e-05,2.583798e-05,2.663930e-05,2.683299e-05,2.776274e-05,2.844434e-05,2.862987e-05,2.943699e-05,3.001182e-05,3.018663e-05,3.088126e-05,3.136128e-05,3.152326e-05,3.211496e-05,3.251109e-05,3.265858e-05,3.315629e-05,3.347848e-05,3.361017e-05,3.402221e-05,3.427951e-05,3.439437e-05,3.472850e-05,3.492908e-05,3.502640e-05,3.528979e-05,3.544102e-05,3.552033e-05,3.571961e-05,3.582814e-05,3.588917e-05,3.603048e-05,3.610229e-05,3.614495e-05,3.623394e-05,3.627440e-05,3.629876e-05,3.634065e-05,3.635454e-05,3.636081e-05,3.636040e-05,3.635201e-05,3.634052e-05,3.630222e-05,3.627536e-05,3.624652e-05,3.617438e-05,3.613245e-05,3.608675e-05,3.598452e-05,3.593050e-05,3.586852e-05,3.573959e-05,3.567615e-05,3.559850e-05,3.544601e-05,3.537548e-05,3.528282e-05,3.510963e-05,3.503407e-05,3.492709e-05,3.473582e-05,3.465701e-05,3.453643e-05,3.432949e-05,3.424898e-05,3.411553e-05,3.389510e-05,3.381425e-05,3.366867e-05,3.343674e-05,3.335671e-05,3.319975e-05,3.295814e-05,3.287991e-05,3.271232e-05,3.246268e-05,3.238710e-05,3.220960e-05,3.195344e-05,3.188121e-05,3.169453e-05,3.143321e-05,3.136490e-05,3.116977e-05,3.090452e-05,3.084062e-05,3.063773e-05,3.036966e-05,3.031054e-05,3.010057e-05,2.983070e-05,2.977666e-05,2.956028e-05,2.928951e-05,2.924075e-05,2.901860e-05,2.874775e-05,2.870443e-05,2.847714e-05,2.820693e-05,2.816915e-05,2.793731e-05,2.766840e-05,2.763619e-05,2.740038e-05,2.713336e-05,2.710672e-05,2.686748e-05,2.660286e-05,2.658175e-05,2.633962e-05,2.607786e-05,2.606220e-05,2.581768e-05,2.555919e-05,2.554888e-05,2.530245e-05,2.504757e-05,2.504249e-05,2.479461e-05,2.454365e-05,2.405289e-05,2.357066e-05,2.309737e-05,2.263334e-05,2.217885e-05,2.173410e-05,2.129929e-05,2.087453e-05,2.045993e-05,2.005554e-05,1.966138e-05,1.927747e-05,1.890376e-05,1.854022e-05,1.818678e-05,1.784334e-05,1.750980e-05,1.718605e-05,1.687196e-05,1.656739e-05,1.627219e-05,1.598620e-05,1.570926e-05,1.544120e-05,1.518184e-05,1.493101e-05,1.468852e-05,1.445420e-05,1.422784e-05,1.400927e-05,1.379831e-05,1.359476e-05,1.339843e-05,1.320915e-05,1.302673e-05,1.285098e-05,1.268172e-05,1.251877e-05,1.236197e-05,1.221112e-05,1.206607e-05,1.192663e-05,1.179265e-05,1.166396e-05,1.154040e-05,1.142181e-05,1.130804e-05,1.119894e-05,1.109436e-05
0.000000e+00,7.391175e-12,1.445340e-09,1.563566e-09,3.947130e-08,3.777284e-07,4.098262e-07,2.432631e-06,8.923685e-06,9.596998e-06,2.773194e-05,5.957787e-05,6.316984e-05,1.200859e-04,1.901167e-04,1.989193e-04,2.964843e-04,3.934271e-04,4.071922e-04,5.245548e-04,6.260838e-04,6.424088e-04,7.556611e-04,8.444723e-04,8.605884e-04,9.548194e-04,1.023227e-03,1.037142e-03,1.107240e-03,1.154716e-03,1.165432e-03,1.212448e-03,1.241975e-03,1.249249e-03,1.276900e-03,1.292464e-03,1.296485e-03,1.309045e-03,1.314391e-03,1.315551e-03,1.316882e-03,1.315082e-03,1.313827e-03,1.307078e-03,1.300486e-03,1.297245e-03,1.284854e-03,1.275202e-03,1.270360e-03,1.254156e-03,1.242689e-03,1.236577e-03,1.217910e-03,1.205508e-03,1.198401e-03,1.178258e-03,1.165530e-03,1.157658e-03,1.136751e-03,1.124114e-03,1.115665e-03,1.094505e-03,1.082235e-03,1.073362e-03,1.052310e-03,1.040585e-03,1.031413e-03,1.010722e-03,9.996497e-04,9.902799e-04,9.701224e-04,9.597625e-04,9.502775e-04,9.307680e-04,9.211448e-04,9.116118e-04,8.928225e-04,8.839371e-04,8.744104e-04,8.563828e-04,8.482205e-04,8.387443e-04,8.214979e-04,8.140338e-04,8.046441e-04,7.881826e-04,7.813852e-04,7.721112e-04,7.564270e-04,7.502609e-04,7.411260e-04,7.262036e-04,7.206313e-04,7.116546e-04,6.974731e-04,6.924566e-04,6.836531e-04,6.701883e-04,6.656900e-04,6.570720e-04,6.442974e-04,6.402805e-04,6.318575e-04,6.197454e-04,6.161746e-04,6.079539e-04,5.964760e-04,5.933174e-04,5.853045e-04,5.744325e-04,5.716540e-04,5.638530e-04,5.535590e-04,5.511302e-04,5.435438e-04,5.338005e-04,5.316928e-04,5.243225e-04,5.151032e-04,5.132899e-04,5.061364e-04,4.974155e-04,4.958714e-04,4.889344e-04,4.806871e-04,4.793888e-04,4.726676e-04,4.648700e-04,4.637958e-04,4.572888e-04,4.499181e-04,4.490476e-04,4.427528e-04,4.357873e-04,4.351015e-04,4.290165e-04,4.224353e-04,4.219169e-04,4.160388e-04,4.098220e-04,4.094547e-04,4.037804e-04,3.979091e-04,3.976778e-04,3.922038e-04,3.866601e-04,3.865508e-04,3.812736e-04,3.760402e-04,3.661138e-04,3.567413e-04,3.478937e-04,3.395435e-04,3.316646e-04,3.242322e-04,3.172226e-04,3.106137e-04,3.043841e-04,2.985138e-04,2.929835e-04,2.877753e-04,2.828720e-04,2.782571e-04,2.739153e-04,2.698320e-04,2.659931e-04,2.623856e-04,2.589969e-04,2.558153e-04,2.528294e-04,2.500286e-04,2.474029e-04,2.449427e-04,2.426389e-04,2.404830e-04,2.384668e-04,2.365826e-04,2.348231e-04,2.331814e-04,2.316509e-04,2.302255e-04,2.288992e-04,2.276666e-04,2.265221e-04,2.254610e-04,2.244785e-04,2.235701e-04,2.227314e-04,2.219587e-04,2.212479e-04,2.205955e-04,2.199982e-04,2.194526e-04,2.189558e-04,2.185048e-04,2.180969e-04,2.177295e-04,2.174002e-04
0.000000e+00,2.933500e-13,6.626562e-11,7.183452e-11,1.971341e-09,2.066082e-08,2.252194e-08,1.546524e-07,6.819701e-07,7.430854e-07,2.718867e-06,7.405801e-06,8.020110e-06,1.990985e-05,4.005096e-05,4.302474e-05,8.311752e-05,1.375062e-04,1.465687e-04,2.397874e-04,3.482439e-04,3.686154e-04,5.378206e-04,7.136358e-04,7.507267e-04,1.009000e-03,1.254651e-03,1.312584e-03,1.659764e-03,1.966785e-03,2.047331e-03,2.470819e-03,2.822595e-03,2.924775e-03,3.403053e-03,3.778784e-03,3.899095e-03,4.406194e-03,4.784664e-03,4.917729e-03,5.427357e-03,5.789768e-03,5.929166e-03,6.417796e-03,6.749435e-03,6.888516e-03,7.337267e-03,7.628124e-03,7.760684e-03,8.156087e-03,8.400697e-03,8.521452e-03,8.855378e-03,9.052184e-03,9.157030e-03,9.426083e-03,9.576563e-03,9.662663e-03,9.867283e-03,9.975051e-03,1.004078e-02,1.018427e-02,1.025425e-02,1.029906e-02,1.038664e-02,1.042440e-02,1.044862e-02,1.048668e-02,1.049790e-02,1.050254e-02,1.049794e-02,1.048803e-02,1.047459e-02,1.043418e-02,1.040810e-02,1.037835e-02,1.030868e-02,1.027075e-02,1.022664e-02,1.013368e-02,1.008762e-02,1.003113e-02,9.920221e-03,9.869075e-03,9.802113e-03,9.677869e-03,9.624096e-03,9.548471e-03,9.414814e-03,9.360345e-03,9.277718e-03,9.137925e-03,9.084238e-03,8.996105e-03,8.852861e-03,8.801049e-03,8.708728e-03,8.564192e-03,8.515034e-03,8.419673e-03,8.275546e-03,8.229565e-03,8.132147e-03,7.989760e-03,7.947281e-03,7.848641e-03,7.709010e-03,7.670206e-03,7.571056e-03,7.434937e-03,7.399865e-03,7.300797e-03,7.168744e-03,7.137373e-03,7.038874e-03,6.911266e-03,6.883501e-03,6.785975e-03,6.663050e-03,6.638752e-03,6.542524e-03,6.424421e-03,6.403421e-03,6.308755e-03,6.195533e-03,6.177644e-03,6.084754e-03,5.976410e-03,5.961435e-03,5.870487e-03,5.766969e-03,5.754708e-03,5.665834e-03,5.567057e-03,5.557308e-03,5.470610e-03,5.376463e-03,5.369029e-03,5.284583e-03,5.194937e-03,5.189629e-03,5.107490e-03,5.022204e-03,5.018837e-03,4.939042e-03,4.857967e-03,4.856366e-03,4.778939e-03,4.701920e-03,4.555194e-03,4.415886e-03,4.283693e-03,4.158317e-03,4.039465e-03,3.926852e-03,3.820200e-03,3.719238e-03,3.623707e-03,3.533353e-03,3.447934e-03,3.367216e-03,3.290973e-03,3.218989e-03,3.151057e-03,3.086977e-03,3.026559e-03,2.969619e-03,2.915984e-03,2.865485e-03,2.817962e-03,2.773263e-03,2.731240e-03,2.691755e-03,2.654675e-03,2.619871e-03,2.587222e-03,2.556613e-03,2.527933e-03,2.501078e-03,2.475946e-03,2.452442e-03,2.430475e-03,2.409958e-03,2.390810e-03,2.372951e-03,2.356308e-03,2.340808e-03,2.326385e-03,2.312974e-03,2.300515e-03,2.288950e-03,2.278223e-03,2.268284e-03,2.259082e-03,2.250571e-03,2.242706e-03,2.235445e-03,2.228749e-03
0.000000e+00,1.251029e-09,2.456835e-08,2.576198e-08,1.730800e-07,5.659575e-07,5.884325e-07,1.258536e-06,1.958438e-06,2.002813e-06,2.722538e-06,3.345409e-06,3.397707e-06,4.026551e-06,4.554161e-06,4.610611e-06,5.152018e-06,5.594911e-06,5.652959e-06,6.115580e-06,6.484375e-06,6.541963e-06,6.934117e-06,7.238490e-06,7.293974e-06,7.623391e-06,7.872046e-06,7.924143e-06,8.197921e-06,8.398608e-06,8.446336e-06,8.670919e-06,8.830483e-06,8.873118e-06,9.054308e-06,9.178763e-06,9.215787e-06,9.358786e-06,9.453392e-06,9.484464e-06,9.593919e-06,9.663265e-06,9.688186e-06,9.768243e-06,9.816322e-06,9.835010e-06,9.889357e-06,9.919640e-06,9.932105e-06,9.964026e-06,9.979518e-06,9.985848e-06,9.998257e-06,1.000156e-05,1.000190e-05,9.997392e-06,9.990754e-06,9.985302e-06,9.966172e-06,9.951527e-06,9.940510e-06,9.908796e-06,9.887807e-06,9.871480e-06,9.828986e-06,9.803077e-06,9.781713e-06,9.730036e-06,9.700425e-06,9.674308e-06,9.614860e-06,9.582581e-06,9.552004e-06,9.486031e-06,9.451963e-06,9.417217e-06,9.345819e-06,9.310702e-06,9.272080e-06,9.196226e-06,9.160682e-06,9.118471e-06,9.039014e-06,9.003563e-06,8.958044e-06,8.875735e-06,8.840806e-06,8.792251e-06,8.707748e-06,8.673693e-06,8.622368e-06,8.536246e-06,8.503352e-06,8.449510e-06,8.362275e-06,8.330770e-06,8.274652e-06,8.186745e-06,8.156808e-06,8.098647e-06,8.010450e-06,7.982219e-06,7.922235e-06,7.834079e-06,7.807656e-06,7.746056e-06,7.658231e-06,7.633685e-06,7.570667e-06,7.483421e-06,7.460796e-06,7.396546e-06,7.310092e-06,7.289410e-06,7.224103e-06,7.138622e-06,7.119888e-06,7.053687e-06,6.969334e-06,6.952536e-06,6.885595e-06,6.802500e-06,6.787614e-06,6.720077e-06,6.638349e-06,6.625338e-06,6.557339e-06,6.477069e-06,6.465891e-06,6.397555e-06,6.318815e-06,6.309419e-06,6.240863e-06,6.163712e-06,6.156042e-06,6.087374e-06,6.011859e-06,6.005853e-06,5.937175e-06,5.863330e-06,5.858926e-06,5.790329e-06,5.718179e-06,5.715311e-06,5.646883e-06,5.576444e-06,5.575044e-06,5.506864e-06,5.438145e-06,5.304622e-06,5.174470e-06,5.047677e-06,4.924221e-06,4.804072e-06,4.687195e-06,4.573549e-06,4.463090e-06,4.355768e-06,4.251533e-06,4.150329e-06,4.052101e-06,3.956791e-06,3.864341e-06,3.774689e-06,3.687776e-06,3.603542e-06,3.521925e-06,3.442865e-06,3.366302e-06,3.292176e-06,3.220428e-06,3.150998e-06,3.083830e-06,3.018866e-06,2.956049e-06,2.895325e-06,2.836639e-06,2.779938e-06,2.725170e-06,2.672283e-06,2.621228e-06,2.571954e-06,2.524415e-06,2.478563e-06,2.434352e-06,2.391737e-06,2.350675e-06,2.311123e-06,2.273038e-06,2.236381e-06,2.201112e-06,2.167191e-06,2.134581e-06,2.103245e-06,2.073146e-06,2.044251e-06,2.016524e-06,1.989932e-06
0.000000e+00,2.892782e-09,4.036967e-08,4.217938e-08,2.653409e-07,8.932810e-07,9.302363e-07,2.059220e-06,3.276709e-06,3.355060e-06,4.645413e-06,5.793181e-06,5.890941e-06,7.084497e-06,8.113562e-06,8.225278e-06,9.313893e-06,1.022953e-05,1.035136e-05,1.133888e-05,1.214917e-05,1.227773e-05,1.316927e-05,1.388265e-05,1.401492e-05,1.481610e-05,1.544088e-05,1.557424e-05,1.629077e-05,1.683500e-05,1.696712e-05,1.760468e-05,1.807593e-05,1.820482e-05,1.876890e-05,1.917429e-05,1.929823e-05,1.979409e-05,2.014021e-05,2.025772e-05,2.069036e-05,2.098334e-05,2.109319e-05,2.146736e-05,2.171283e-05,2.181399e-05,2.213417e-05,2.233732e-05,2.242895e-05,2.269935e-05,2.286494e-05,2.294635e-05,2.317093e-05,2.330331e-05,2.337400e-05,2.355646e-05,2.365962e-05,2.371918e-05,2.386301e-05,2.394058e-05,2.398876e-05,2.409721e-05,2.415249e-05,2.418913e-05,2.426524e-05,2.430123e-05,2.432626e-05,2.437288e-05,2.439230e-05,2.440575e-05,2.442552e-05,2.443083e-05,2.443280e-05,2.442819e-05,2.442161e-05,2.441227e-05,2.438558e-05,2.436911e-05,2.434867e-05,2.430204e-05,2.427747e-05,2.424620e-05,2.418163e-05,2.415057e-05,2.410878e-05,2.402811e-05,2.399199e-05,2.394004e-05,2.384498e-05,2.380509e-05,2.374333e-05,2.363548e-05,2.359295e-05,2.352180e-05,2.340263e-05,2.335845e-05,2.327832e-05,2.314920e-05,2.310426e-05,2.301558e-05,2.287777e-05,2.283283e-05,2.273606e-05,2.259072e-05,2.254646e-05,2.244203e-05,2.229025e-05,2.224723e-05,2.213562e-05,2.197838e-05,2.193710e-05,2.181876e-05,2.165698e-05,2.161786e-05,2.149325e-05,2.132777e-05,2.129115e-05,2.116073e-05,2.099232e-05,2.095849e-05,2.082271e-05,2.065208e-05,2.062127e-05,2.048058e-05,2.030838e-05,2.028077e-05,2.013561e-05,1.996242e-05,1.993815e-05,1.978895e-05,1.961532e-05,1.959448e-05,1.944165e-05,1.926807e-05,1.925072e-05,1.909469e-05,1.892161e-05,1.890778e-05,1.874893e-05,1.857675e-05,1.856644e-05,1.840516e-05,1.823425e-05,1.822743e-05,1.806410e-05,1.789479e-05,1.789141e-05,1.772639e-05,1.755897e-05,1.723064e-05,1.690689e-05,1.658814e-05,1.627476e-05,1.596708e-05,1.566537e-05,1.536990e-05,1.508086e-05,1.479843e-05,1.452276e-05,1.425397e-05,1.399215e-05,1.373736e-05,1.348966e-05,1.324908e-05,1.301561e-05,1.278926e-05,1.257000e-05,1.235779e-05,1.215258e-05,1.195432e-05,1.176293e-05,1.157833e-05,1.140043e-05,1.122913e-05,1.106434e-05,1.090594e-05,1.075382e-05,1.060787e-05,1.046795e-05,1.033394e-05,1.020571e-05,1.008314e-05,9.966083e-06,9.854412e-06,9.747989e-06,9.646677e-06,9.550340e-06,9.458838e-06,9.372036e-06,9.289795e-06,9.211978e-06,9.138451e-06,9.069078e-06,9.003725e-06,8.942259e-06,8.884550e-06,8.830467e-06,8.779883e-06
0.000000e+00,1.952791e-09,4.281013e-08,4.498066e-08,3.275713e-07,1.097025e-06,1.140051e-06,2.350536e-06,3.520702e-06,3.593236e-06,4.751985e-06,5.732050e-06,5.813441e-06,6.781098e-06,7.576675e-06,7.660871e-06,8.458765e-06,9.097736e-06,9.180506e-06,9.831508e-06,1.033870e-05,1.041688e-05,1.094145e-05,1.133844e-05,1.140977e-05,1.182610e-05,1.213152e-05,1.219445e-05,1.251856e-05,1.274833e-05,1.280190e-05,1.304773e-05,1.321538e-05,1.325906e-05,1.343867e-05,1.355555e-05,1.358913e-05,1.371283e-05,1.378843e-05,1.381196e-05,1.388859e-05,1.393089e-05,1.394460e-05,1.398179e-05,1.399751e-05,1.400180e-05,1.400611e-05,1.400078e-05,1.399611e-05,1.397306e-05,1.395129e-05,1.393815e-05,1.389246e-05,1.385802e-05,1.383699e-05,1.377266e-05,1.372870e-05,1.370032e-05,1.362075e-05,1.356984e-05,1.353468e-05,1.344276e-05,1.338702e-05,1.334563e-05,1.324383e-05,1.318499e-05,1.313790e-05,1.302830e-05,1.296776e-05,1.291549e-05,1.279985e-05,1.273874e-05,1.268178e-05,1.256160e-05,1.250082e-05,1.243963e-05,1.231617e-05,1.225645e-05,1.219147e-05,1.206578e-05,1.200769e-05,1.193932e-05,1.181230e-05,1.175628e-05,1.168490e-05,1.155729e-05,1.150367e-05,1.142963e-05,1.130206e-05,1.125109e-05,1.117471e-05,1.104770e-05,1.099955e-05,1.092114e-05,1.079512e-05,1.074990e-05,1.066973e-05,1.054505e-05,1.050284e-05,1.042116e-05,1.029812e-05,1.025893e-05,1.017598e-05,1.005481e-05,1.001866e-05,9.934652e-06,9.815541e-06,9.782383e-06,9.697518e-06,9.580616e-06,9.550409e-06,9.464864e-06,9.350288e-06,9.322966e-06,9.236908e-06,9.124744e-06,9.100232e-06,9.013811e-06,8.904124e-06,8.882337e-06,8.795692e-06,8.688525e-06,8.669369e-06,8.582628e-06,8.478008e-06,8.461387e-06,8.374666e-06,8.272604e-06,8.258418e-06,8.171823e-06,8.072321e-06,8.060467e-06,7.974095e-06,7.877143e-06,7.867518e-06,7.781459e-06,7.687039e-06,7.679540e-06,7.593876e-06,7.501963e-06,7.496487e-06,7.411292e-06,7.321856e-06,7.318304e-06,7.233645e-06,7.146651e-06,7.144923e-06,7.060863e-06,6.976273e-06,6.812273e-06,6.652839e-06,6.497885e-06,6.347319e-06,6.201051e-06,6.058985e-06,5.921029e-06,5.787087e-06,5.657065e-06,5.530870e-06,5.408408e-06,5.289587e-06,5.174316e-06,5.062505e-06,4.954066e-06,4.848912e-06,4.746957e-06,4.648119e-06,4.552314e-06,4.459464e-06,4.369488e-06,4.282312e-06,4.197858e-06,4.116055e-06,4.036831e-06,3.960115e-06,3.885840e-06,3.813939e-06,3.744348e-06,3.677003e-06,3.611843e-06,3.548807e-06,3.487838e-06,3.428877e-06,3.371869e-06,3.316761e-06,3.263500e-06,3.212034e-06,3.162313e-06,3.114289e-06,3.067914e-06,3.023142e-06,2.979929e-06,2.938230e-06,2.898003e-06,2.859206e-06,2.821799e-06,2.785742e-06,2.750998e-06
0.000000e+00,3.508290e-10,4.260616e-08,4.569689e-08,7.942709e-07,5.700165e-06,6.115235e-06,2.744482e-05,7.632702e-05,8.059536e-05,1.706660e-04,2.770660e-04,2.869536e-04,4.139415e-04,5.279377e-04,5.403539e-04,6.604464e-04,7.591219e-04,7.720395e-04,8.746495e-04,9.558401e-04,9.684571e-04,1.053856e-03,1.119417e-03,1.131289e-03,1.201197e-03,1.253207e-03,1.264008e-03,1.320134e-03,1.360490e-03,1.369973e-03,1.413913e-03,1.444331e-03,1.452326e-03,1.485574e-03,1.507603e-03,1.514005e-03,1.537953e-03,1.552977e-03,1.557738e-03,1.573664e-03,1.582904e-03,1.586020e-03,1.595082e-03,1.599605e-03,1.601109e-03,1.604344e-03,1.605067e-03,1.605017e-03,1.603344e-03,1.601053e-03,1.599527e-03,1.593755e-03,1.589117e-03,1.586205e-03,1.577043e-03,1.570620e-03,1.566422e-03,1.554487e-03,1.546752e-03,1.541372e-03,1.527201e-03,1.518544e-03,1.512090e-03,1.496147e-03,1.486894e-03,1.479474e-03,1.462161e-03,1.452577e-03,1.444294e-03,1.425953e-03,1.416253e-03,1.407211e-03,1.388135e-03,1.378492e-03,1.368789e-03,1.349229e-03,1.339781e-03,1.329509e-03,1.309677e-03,1.300530e-03,1.289779e-03,1.269854e-03,1.261089e-03,1.249941e-03,1.230074e-03,1.221751e-03,1.210284e-03,1.190600e-03,1.182761e-03,1.171046e-03,1.151647e-03,1.144321e-03,1.132424e-03,1.113396e-03,1.106596e-03,1.094579e-03,1.075989e-03,1.069723e-03,1.057639e-03,1.039542e-03,1.033806e-03,1.021707e-03,1.004144e-03,9.989293e-04,9.868603e-04,9.698628e-04,9.651555e-04,9.531571e-04,9.367478e-04,9.325304e-04,9.206386e-04,9.048324e-04,9.010843e-04,8.893314e-04,8.741368e-04,8.708352e-04,8.592495e-04,8.446696e-04,8.417905e-04,8.303968e-04,8.164301e-04,8.139485e-04,8.027682e-04,7.894094e-04,7.873000e-04,7.763516e-04,7.635923e-04,7.618297e-04,7.511288e-04,7.389580e-04,7.375170e-04,7.270766e-04,7.154813e-04,7.143373e-04,7.041682e-04,6.931336e-04,6.922628e-04,6.823735e-04,6.718836e-04,6.712628e-04,6.616599e-04,6.516978e-04,6.513047e-04,6.419931e-04,6.325413e-04,6.323548e-04,6.233378e-04,6.143781e-04,5.973392e-04,5.812022e-04,5.659313e-04,5.514910e-04,5.378460e-04,5.249618e-04,5.128045e-04,5.013408e-04,4.905388e-04,4.803670e-04,4.707952e-04,4.617941e-04,4.533354e-04,4.453920e-04,4.379378e-04,4.309475e-04,4.243973e-04,4.182639e-04,4.125254e-04,4.071607e-04,4.021496e-04,3.974729e-04,3.931124e-04,3.890504e-04,3.852705e-04,3.817567e-04,3.784940e-04,3.754682e-04,3.726655e-04,3.700730e-04,3.676786e-04,3.654705e-04,3.634376e-04,3.615695e-04,3.598563e-04,3.582884e-04,3.568571e-04,3.555537e-04,3.543703e-04,3.532994e-04,3.523336e-04,3.514663e-04,3.506909e-04,3.500015e-04,3.493921e-04,3.488575e-04,3.483924e-04,3.479921e-04,3.476519e-04
0.000000e+00,4.637232e-09,1.475666e-07,1.550530e-07,1.186982e-06,4.876042e-06,5.127132e-06,1.497245e-05,3.142990e-05,3.271919e-05,5.769273e-05,8.451120e-05,8.692132e-05,1.170266e-04,1.430363e-04,1.458249e-04,1.724361e-04,1.938791e-04,1.966605e-04,2.185451e-04,2.355878e-04,2.382131e-04,2.558066e-04,2.690869e-04,2.714688e-04,2.853380e-04,2.954650e-04,2.975453e-04,3.082150e-04,3.157223e-04,3.174638e-04,3.254008e-04,3.307472e-04,3.321285e-04,3.377427e-04,3.413200e-04,3.423328e-04,3.459822e-04,3.481230e-04,3.487686e-04,3.507645e-04,3.517502e-04,3.520374e-04,3.526500e-04,3.527173e-04,3.526606e-04,3.521234e-04,3.514712e-04,3.510890e-04,3.496039e-04,3.483982e-04,3.477118e-04,3.454526e-04,3.438316e-04,3.428639e-04,3.399801e-04,3.380582e-04,3.368333e-04,3.334530e-04,3.313242e-04,3.298666e-04,3.260993e-04,3.238407e-04,3.221746e-04,3.181138e-04,3.157879e-04,3.139370e-04,3.096622e-04,3.073191e-04,3.053064e-04,3.008849e-04,2.985645e-04,2.964119e-04,2.919004e-04,2.896340e-04,2.873623e-04,2.828085e-04,2.806200e-04,2.782488e-04,2.736924e-04,2.715998e-04,2.691474e-04,2.646213e-04,2.626375e-04,2.601208e-04,2.556522e-04,2.537861e-04,2.512208e-04,2.468315e-04,2.450887e-04,2.424890e-04,2.381969e-04,2.365799e-04,2.339589e-04,2.297781e-04,2.282875e-04,2.256571e-04,2.215982e-04,2.202328e-04,2.176036e-04,2.136750e-04,2.124320e-04,2.098137e-04,2.060210e-04,2.048968e-04,2.022980e-04,1.986452e-04,1.976351e-04,1.950634e-04,1.915528e-04,1.906518e-04,1.881138e-04,1.847464e-04,1.839488e-04,1.814505e-04,1.782259e-04,1.775260e-04,1.750724e-04,1.719895e-04,1.713813e-04,1.689768e-04,1.660336e-04,1.655112e-04,1.631595e-04,1.603535e-04,1.599108e-04,1.576150e-04,1.549431e-04,1.545743e-04,1.523370e-04,1.497957e-04,1.494951e-04,1.473184e-04,1.449039e-04,1.446659e-04,1.425514e-04,1.402598e-04,1.400791e-04,1.380280e-04,1.358551e-04,1.357266e-04,1.337398e-04,1.316812e-04,1.316001e-04,1.296782e-04,1.277297e-04,1.276912e-04,1.258345e-04,1.239916e-04,1.204928e-04,1.171864e-04,1.140641e-04,1.111179e-04,1.083398e-04,1.057221e-04,1.032572e-04,1.009379e-04,9.875706e-05,9.670794e-05,9.478393e-05,9.297874e-05,9.128630e-05,8.970078e-05,8.821662e-05,8.682849e-05,8.553127e-05,8.432010e-05,8.319032e-05,8.213751e-05,8.115744e-05,8.024607e-05,7.939959e-05,7.861433e-05,7.788684e-05,7.721383e-05,7.659216e-05,7.601886e-05,7.549111e-05,7.500623e-05,7.456169e-05,7.415507e-05,7.378410e-05,7.344662e-05,7.314057e-05,7.286402e-05,7.261513e-05,7.239217e-05,7.219349e-05,7.201754e-05,7.186284e-05,7.172801e-05,7.161173e-05,7.151277e-05,7.142995e-05,7.136217e-05,7.130837e-05,7.126757e-05,7.123886e-05
0.000000e+00,5.053062e-09,1.108409e-07,1.162360e-07,8.230993e-07,3.038582e-06,3.179056e-06,8.140700e-06,1.502809e-05,1.551548e-05,2.389752e-05,3.140506e-05,3.203247e-05,3.946778e-05,4.550124e-05,4.613384e-05,5.206151e-05,5.670836e-05,5.730290e-05,6.191214e-05,6.541020e-05,6.594121e-05,6.943897e-05,7.199994e-05,7.245101e-05,7.501976e-05,7.682307e-05,7.718461e-05,7.898208e-05,8.017831e-05,8.044592e-05,8.160728e-05,8.232171e-05,8.249487e-05,8.313508e-05,8.347121e-05,8.355219e-05,8.376845e-05,8.381125e-05,8.380427e-05,8.367834e-05,8.349718e-05,8.340777e-05,8.300820e-05,8.265944e-05,8.249392e-05,8.187799e-05,8.140721e-05,8.117232e-05,8.038778e-05,7.983162e-05,7.953425e-05,7.862074e-05,7.800844e-05,7.765547e-05,7.664591e-05,7.600074e-05,7.559883e-05,7.452032e-05,7.386048e-05,7.341598e-05,7.229090e-05,7.163068e-05,7.114966e-05,6.999636e-05,6.934664e-05,6.883472e-05,6.766811e-05,6.703715e-05,6.649955e-05,6.533174e-05,6.472559e-05,6.416711e-05,6.300780e-05,6.243075e-05,6.185574e-05,6.071265e-05,6.016760e-05,5.958002e-05,5.845920e-05,5.794791e-05,5.735134e-05,5.625747e-05,5.578083e-05,5.517848e-05,5.411512e-05,5.367333e-05,5.306805e-05,5.203782e-05,5.163055e-05,5.102488e-05,5.002961e-05,4.965610e-05,4.905229e-05,4.809317e-05,4.775237e-05,4.715240e-05,4.623011e-05,4.592075e-05,4.532635e-05,4.444113e-05,4.416178e-05,4.357445e-05,4.272623e-05,4.247535e-05,4.189638e-05,4.108480e-05,4.086080e-05,4.029132e-05,3.951578e-05,3.931705e-05,3.875799e-05,3.801775e-05,3.784268e-05,3.729484e-05,3.658902e-05,3.643601e-05,3.590006e-05,3.522768e-05,3.509518e-05,3.457165e-05,3.393167e-05,3.381816e-05,3.330748e-05,3.269880e-05,3.260283e-05,3.210534e-05,3.152683e-05,3.144701e-05,3.096296e-05,3.041347e-05,3.034848e-05,2.987805e-05,2.935642e-05,2.930501e-05,2.884831e-05,2.835341e-05,2.831438e-05,2.787145e-05,2.740215e-05,2.737439e-05,2.694524e-05,2.650043e-05,2.648288e-05,2.606745e-05,2.564605e-05,2.563773e-05,2.523594e-05,2.483688e-05,2.407832e-05,2.336010e-05,2.268034e-05,2.203723e-05,2.142903e-05,2.085406e-05,2.031070e-05,1.979741e-05,1.931272e-05,1.885521e-05,1.842352e-05,1.801636e-05,1.763251e-05,1.727078e-05,1.693005e-05,1.660925e-05,1.630738e-05,1.602344e-05,1.575653e-05,1.550576e-05,1.527029e-05,1.504933e-05,1.484213e-05,1.464796e-05,1.446613e-05,1.429601e-05,1.413696e-05,1.398841e-05,1.384979e-05,1.372057e-05,1.360026e-05,1.348836e-05,1.338443e-05,1.328804e-05,1.319876e-05,1.311622e-05,1.304005e-05,1.296989e-05,1.290541e-05,1.284629e-05,1.279223e-05,1.274296e-05,1.269818e-05,1.265766e-05,1.262115e-05,1.258841e-05,1.255923e-05,1.253339e-05,1.251071e-05
0.000000e+00,4.807604e-10,7.402772e-09,7.738003e-09,4.735555e-08,1.527373e-07,1.588984e-07,3.528760e-07,5.749382e-07,5.894616e-07,8.293582e-07,1.041866e-06,1.059885e-06,1.278683e-06,1.465401e-06,1.485557e-06,1.680756e-06,1.843192e-06,1.864682e-06,2.037776e-06,2.178255e-06,2.200403e-06,2.352883e-06,2.473424e-06,2.495626e-06,2.629036e-06,2.731749e-06,2.753514e-06,2.869448e-06,2.956299e-06,2.977218e-06,3.077191e-06,3.149987e-06,3.169723e-06,3.255156e-06,3.315540e-06,3.333819e-06,3.406031e-06,3.455495e-06,3.472098e-06,3.532314e-06,3.572205e-06,3.586960e-06,3.636310e-06,3.667843e-06,3.680623e-06,3.720149e-06,3.744416e-06,3.755129e-06,3.785792e-06,3.803772e-06,3.812359e-06,3.835040e-06,3.847612e-06,3.854040e-06,3.869550e-06,3.877497e-06,3.881758e-06,3.890841e-06,3.894862e-06,3.896969e-06,3.900305e-06,3.901023e-06,3.901005e-06,3.899218e-06,3.897184e-06,3.895085e-06,3.888745e-06,3.884448e-06,3.880326e-06,3.869953e-06,3.863826e-06,3.857745e-06,3.843815e-06,3.836239e-06,3.828273e-06,3.811220e-06,3.802528e-06,3.792758e-06,3.772978e-06,3.763462e-06,3.751972e-06,3.729825e-06,3.719740e-06,3.706619e-06,3.682432e-06,3.671999e-06,3.657338e-06,3.631408e-06,3.620817e-06,3.604709e-06,3.577306e-06,3.566720e-06,3.549258e-06,3.520626e-06,3.510186e-06,3.491463e-06,3.461822e-06,3.451645e-06,3.431754e-06,3.401305e-06,3.391488e-06,3.370520e-06,3.339443e-06,3.330069e-06,3.308113e-06,3.276570e-06,3.267704e-06,3.244849e-06,3.212985e-06,3.204681e-06,3.181011e-06,3.148957e-06,3.141256e-06,3.116853e-06,3.084727e-06,3.077658e-06,3.052603e-06,3.020508e-06,3.014094e-06,2.988464e-06,2.956493e-06,2.950747e-06,2.924615e-06,2.892851e-06,2.887780e-06,2.861217e-06,2.829731e-06,2.825336e-06,2.798410e-06,2.767267e-06,2.763543e-06,2.736317e-06,2.705574e-06,2.702511e-06,2.675048e-06,2.644752e-06,2.642339e-06,2.614697e-06,2.584890e-06,2.583110e-06,2.555343e-06,2.526063e-06,2.524897e-06,2.497057e-06,2.468334e-06,2.467762e-06,2.439899e-06,2.411757e-06,2.356926e-06,2.303303e-06,2.250918e-06,2.199791e-06,2.149940e-06,2.101374e-06,2.054100e-06,2.008119e-06,1.963430e-06,1.920026e-06,1.877900e-06,1.837041e-06,1.797436e-06,1.759068e-06,1.721922e-06,1.685978e-06,1.651216e-06,1.617615e-06,1.585154e-06,1.553810e-06,1.523558e-06,1.494375e-06,1.466237e-06,1.439119e-06,1.412997e-06,1.387844e-06,1.363637e-06,1.340351e-06,1.317959e-06,1.296439e-06,1.275766e-06,1.255914e-06,1.236862e-06,1.218584e-06,1.201057e-06,1.184260e-06,1.168168e-06,1.152761e-06,1.138017e-06,1.123914e-06,1.110431e-06,1.097549e-06,1.085247e-06,1.073506e-06,1.062308e-06,1.051633e-06,1.041464e-06,1.031783e-06,1.022573e-06
0.000000e+00,3.805370e-09,5.768873e-08,6.024310e-08,3.613088e-07,1.199368e-06,1.250334e-06,2.982593e-06,5.304196e-06,5.467890e-06,8.303943e-06,1.089453e-05,1.111342e-05,1.373683e-05,1.590867e-05,1.613885e-05,1.832140e-05,2.006925e-05,2.029558e-05,2.207436e-05,2.345777e-05,2.367076e-05,2.509734e-05,2.617319e-05,2.636605e-05,2.748825e-05,2.830668e-05,2.847467e-05,2.933540e-05,2.993988e-05,3.007993e-05,3.071715e-05,3.114506e-05,3.125539e-05,3.170244e-05,3.198570e-05,3.206557e-05,3.235154e-05,3.251723e-05,3.256670e-05,3.271690e-05,3.278792e-05,3.280763e-05,3.284398e-05,3.283962e-05,3.283068e-05,3.277214e-05,3.270858e-05,3.267243e-05,3.253535e-05,3.242612e-05,3.236441e-05,3.216288e-05,3.201926e-05,3.193378e-05,3.167992e-05,3.151124e-05,3.140389e-05,3.110810e-05,3.092206e-05,3.079475e-05,3.046591e-05,3.026884e-05,3.012348e-05,2.976921e-05,2.956626e-05,2.940473e-05,2.903153e-05,2.882686e-05,2.865097e-05,2.826433e-05,2.806126e-05,2.787277e-05,2.747736e-05,2.727852e-05,2.707908e-05,2.667882e-05,2.648624e-05,2.627741e-05,2.587561e-05,2.569083e-05,2.547409e-05,2.507348e-05,2.489765e-05,2.467435e-05,2.427722e-05,2.411114e-05,2.388256e-05,2.349079e-05,2.333497e-05,2.310228e-05,2.271739e-05,2.257215e-05,2.233643e-05,2.195965e-05,2.182509e-05,2.158731e-05,2.121963e-05,2.109571e-05,2.085679e-05,2.049895e-05,2.038553e-05,2.014626e-05,1.979885e-05,1.969567e-05,1.945680e-05,1.912022e-05,1.902696e-05,1.878916e-05,1.846368e-05,1.837998e-05,1.814383e-05,1.782963e-05,1.775507e-05,1.752110e-05,1.721825e-05,1.715238e-05,1.692107e-05,1.662956e-05,1.657193e-05,1.634369e-05,1.606343e-05,1.601358e-05,1.578876e-05,1.551964e-05,1.547709e-05,1.525602e-05,1.499786e-05,1.496214e-05,1.474509e-05,1.449767e-05,1.446833e-05,1.425553e-05,1.401861e-05,1.399521e-05,1.378685e-05,1.356018e-05,1.354226e-05,1.333852e-05,1.312180e-05,1.310896e-05,1.290996e-05,1.270292e-05,1.269473e-05,1.250059e-05,1.230292e-05,1.229901e-05,1.210981e-05,1.192119e-05,1.156067e-05,1.121686e-05,1.088914e-05,1.057693e-05,1.027963e-05,9.996671e-06,9.727477e-06,9.471498e-06,9.228191e-06,8.997031e-06,8.777506e-06,8.569123e-06,8.371401e-06,8.183878e-06,8.006108e-06,7.837658e-06,7.678115e-06,7.527078e-06,7.384163e-06,7.249001e-06,7.121238e-06,7.000532e-06,6.886558e-06,6.779003e-06,6.677566e-06,6.581961e-06,6.491911e-06,6.407154e-06,6.327438e-06,6.252520e-06,6.182171e-06,6.116169e-06,6.054304e-06,5.996374e-06,5.942186e-06,5.891556e-06,5.844308e-06,5.800273e-06,5.759292e-06,5.721211e-06,5.685883e-06,5.653170e-06,5.622936e-06,5.595056e-06,5.569407e-06,5.545874e-06,5.524346e-06,5.504718e-06,5.486888e-06
0.000000e+00,7.424941e-11,1.053158e-08,1.131707e-08,2.084249e-07,1.569067e-06,1.687918e-06,8.346141e-06,2.682869e-05,2.863528e-05,7.355602e-05,1.427428e-04,1.500286e-04,2.557221e-04,3.675556e-04,3.805371e-04,5.120498e-04,6.250257e-04,6.399245e-04,7.575377e-04,8.479290e-04,8.616364e-04,9.512958e-04,1.015735e-03,1.026935e-03,1.089623e-03,1.132282e-03,1.140672e-03,1.181422e-03,1.207462e-03,1.213140e-03,1.236986e-03,1.250792e-03,1.253997e-03,1.265097e-03,1.270083e-03,1.271098e-03,1.272718e-03,1.271468e-03,1.270585e-03,1.265250e-03,1.259699e-03,1.257195e-03,1.246841e-03,1.238425e-03,1.234557e-03,1.220662e-03,1.210438e-03,1.205437e-03,1.189124e-03,1.177866e-03,1.171935e-03,1.154053e-03,1.142319e-03,1.135636e-03,1.116823e-03,1.105012e-03,1.097732e-03,1.078466e-03,1.066859e-03,1.059113e-03,1.039748e-03,1.028537e-03,1.020436e-03,1.001233e-03,9.905437e-04,9.821842e-04,9.633303e-04,9.532421e-04,9.447042e-04,9.263336e-04,9.168896e-04,9.082413e-04,8.904460e-04,8.816646e-04,8.729628e-04,8.558036e-04,8.476850e-04,8.389775e-04,8.224914e-04,8.150233e-04,8.063499e-04,7.905562e-04,7.837175e-04,7.751116e-04,7.600163e-04,7.537803e-04,7.452695e-04,7.308691e-04,7.252054e-04,7.168126e-04,7.030964e-04,6.979727e-04,6.897166e-04,6.766688e-04,6.720520e-04,6.639482e-04,6.515495e-04,6.474063e-04,6.394673e-04,6.276960e-04,6.239939e-04,6.162297e-04,6.050627e-04,6.017700e-04,5.941887e-04,5.836019e-04,5.806882e-04,5.732960e-04,5.632650e-04,5.607013e-04,5.535029e-04,5.440035e-04,5.417621e-04,5.347609e-04,5.257691e-04,5.238239e-04,5.170222e-04,5.085143e-04,5.068410e-04,5.002399e-04,4.921931e-04,4.907685e-04,4.843685e-04,4.767606e-04,4.755631e-04,4.693641e-04,4.621736e-04,4.611831e-04,4.551841e-04,4.483905e-04,4.475882e-04,4.417878e-04,4.353713e-04,4.347396e-04,4.291360e-04,4.230775e-04,4.226003e-04,4.171912e-04,4.114727e-04,4.111348e-04,4.059176e-04,4.005217e-04,4.003091e-04,3.952809e-04,3.901912e-04,3.900909e-04,3.852486e-04,3.804492e-04,3.713546e-04,3.627791e-04,3.546958e-04,3.470795e-04,3.399058e-04,3.331518e-04,3.267957e-04,3.208164e-04,3.151944e-04,3.099108e-04,3.049477e-04,3.002882e-04,2.959160e-04,2.918160e-04,2.879735e-04,2.843747e-04,2.810065e-04,2.778564e-04,2.749125e-04,2.721637e-04,2.695992e-04,2.672088e-04,2.649831e-04,2.629128e-04,2.609892e-04,2.592042e-04,2.575499e-04,2.560189e-04,2.546041e-04,2.532990e-04,2.520971e-04,2.509924e-04,2.499794e-04,2.490524e-04,2.482066e-04,2.474369e-04,2.467388e-04,2.461079e-04,2.455401e-04,2.450315e-04,2.445783e-04,2.441771e-04,2.438245e-04,2.435174e-04,2.432529e-04,2.430279e-04,2.428401e-04,2.426867e-04,2.425654e-04
0.000000e+00,3.405263e-13,7.598288e-11,8.233258e-11,2.208880e-09,2.291773e-08,2.498144e-08,1.730154e-07,7.780927e-07,8.490795e-07,3.190769e-06,8.919783e-06,9.681591e-06,2.472045e-05,5.098097e-05,5.491639e-05,1.090026e-04,1.846064e-04,1.973982e-04,3.315249e-04,4.923219e-04,5.230037e-04,7.828493e-04,1.061092e-03,1.120748e-03,1.544476e-03,1.959889e-03,2.059494e-03,2.668708e-03,3.224177e-03,3.372401e-03,4.168311e-03,4.850240e-03,5.051815e-03,6.016213e-03,6.798112e-03,7.053053e-03,8.152504e-03,9.000061e-03,9.303726e-03,1.049523e-02,1.137144e-02,1.171522e-02,1.295193e-02,1.382139e-02,1.419385e-02,1.542996e-02,1.626190e-02,1.664994e-02,1.784429e-02,1.861433e-02,1.900447e-02,2.012289e-02,2.081370e-02,2.119300e-02,2.220927e-02,2.281030e-02,2.316719e-02,2.406322e-02,2.457001e-02,2.489475e-02,2.566000e-02,2.607306e-02,2.635799e-02,2.698845e-02,2.731212e-02,2.755173e-02,2.804874e-02,2.829004e-02,2.848086e-02,2.884991e-02,2.901757e-02,2.915799e-02,2.940752e-02,2.951113e-02,2.960110e-02,2.974150e-02,2.979085e-02,2.983161e-02,2.987436e-02,2.987895e-02,2.987274e-02,2.982971e-02,2.979842e-02,2.974822e-02,2.963116e-02,2.957206e-02,2.948134e-02,2.930148e-02,2.922172e-02,2.909422e-02,2.886208e-02,2.876784e-02,2.860744e-02,2.833260e-02,2.822913e-02,2.803971e-02,2.773080e-02,2.762247e-02,2.740779e-02,2.707247e-02,2.696284e-02,2.672650e-02,2.637144e-02,2.626337e-02,2.600874e-02,2.563974e-02,2.553546e-02,2.526567e-02,2.488768e-02,2.478889e-02,2.450681e-02,2.412402e-02,2.403197e-02,2.374021e-02,2.335616e-02,2.327172e-02,2.297262e-02,2.259025e-02,2.251397e-02,2.220965e-02,2.183138e-02,2.176357e-02,2.145591e-02,2.108370e-02,2.102447e-02,2.071513e-02,2.035057e-02,2.029987e-02,1.999033e-02,1.963468e-02,1.959233e-02,1.928388e-02,1.893812e-02,1.890383e-02,1.859761e-02,1.826249e-02,1.823592e-02,1.793291e-02,1.760898e-02,1.758973e-02,1.729080e-02,1.697844e-02,1.696607e-02,1.667197e-02,1.637143e-02,1.636548e-02,1.607685e-02,1.578825e-02,1.523450e-02,1.470419e-02,1.419715e-02,1.371310e-02,1.325169e-02,1.281249e-02,1.239502e-02,1.199875e-02,1.162312e-02,1.126757e-02,1.093149e-02,1.061428e-02,1.031532e-02,1.003401e-02,9.769722e-03,9.521845e-03,9.289770e-03,9.072896e-03,8.870628e-03,8.682380e-03,8.507574e-03,8.345645e-03,8.196035e-03,8.058198e-03,7.931599e-03,7.815713e-03,7.710028e-03,7.614043e-03,7.527267e-03,7.449222e-03,7.379441e-03,7.317468e-03,7.262860e-03,7.215185e-03,7.174022e-03,7.138964e-03,7.109615e-03,7.085590e-03,7.066517e-03,7.052037e-03,7.041803e-03,7.035480e-03,7.032744e-03,7.033288e-03,7.036812e-03,7.043033e-03,7.051679e-03,7.062489e-03,7.075217e-03
0.000000e+00,8.651841e-10,1.063952e-08,1.109045e-08,6.462403e-08,2.181479e-07,2.275508e-07,5.405328e-07,9.223386e-07,9.476081e-07,1.362150e-06,1.718072e-06,1.747587e-06,2.096633e-06,2.380015e-06,2.409771e-06,2.689201e-06,2.909183e-06,2.937399e-06,3.156801e-06,3.324228e-06,3.349727e-06,3.518360e-06,3.642739e-06,3.664746e-06,3.790794e-06,3.880227e-06,3.898279e-06,3.988849e-06,4.050153e-06,4.064027e-06,4.125218e-06,4.164076e-06,4.173720e-06,4.210723e-06,4.231834e-06,4.237325e-06,4.254529e-06,4.261755e-06,4.263258e-06,4.264358e-06,4.260863e-06,4.258602e-06,4.246700e-06,4.235060e-06,4.229298e-06,4.206990e-06,4.189296e-06,4.180317e-06,4.149774e-06,4.127716e-06,4.115812e-06,4.078843e-06,4.053779e-06,4.039242e-06,3.997351e-06,3.970367e-06,3.953483e-06,3.907919e-06,3.879876e-06,3.860919e-06,3.812717e-06,3.784293e-06,3.763524e-06,3.713536e-06,3.685259e-06,3.662924e-06,3.611849e-06,3.584126e-06,3.560452e-06,3.508863e-06,3.482000e-06,3.457199e-06,3.405562e-06,3.379785e-06,3.354049e-06,3.302742e-06,3.278210e-06,3.251717e-06,3.201041e-06,3.177864e-06,3.150774e-06,3.100969e-06,3.079214e-06,3.051673e-06,3.002927e-06,2.982626e-06,2.954767e-06,2.907224e-06,2.888386e-06,2.860326e-06,2.814095e-06,2.796707e-06,2.768552e-06,2.723712e-06,2.707745e-06,2.679590e-06,2.636197e-06,2.621611e-06,2.593540e-06,2.551627e-06,2.538373e-06,2.510462e-06,2.470047e-06,2.458069e-06,2.430384e-06,2.391472e-06,2.380711e-06,2.353310e-06,2.315894e-06,2.306288e-06,2.279222e-06,2.243288e-06,2.234773e-06,2.208086e-06,2.173611e-06,2.166123e-06,2.139855e-06,2.106811e-06,2.100287e-06,2.074471e-06,2.042826e-06,2.037204e-06,2.011868e-06,1.981587e-06,1.976805e-06,1.951975e-06,1.923020e-06,1.919018e-06,1.894714e-06,1.867046e-06,1.863768e-06,1.840006e-06,1.813585e-06,1.810976e-06,1.787771e-06,1.762554e-06,1.760562e-06,1.737925e-06,1.713872e-06,1.712447e-06,1.690385e-06,1.667455e-06,1.666549e-06,1.645070e-06,1.623221e-06,1.622789e-06,1.601897e-06,1.581089e-06,1.541370e-06,1.503556e-06,1.467573e-06,1.433348e-06,1.400810e-06,1.369892e-06,1.340526e-06,1.312648e-06,1.286196e-06,1.261110e-06,1.237331e-06,1.214803e-06,1.193474e-06,1.173289e-06,1.154201e-06,1.136160e-06,1.119120e-06,1.103036e-06,1.087867e-06,1.073570e-06,1.060107e-06,1.047440e-06,1.035531e-06,1.024347e-06,1.013853e-06,1.004018e-06,9.948101e-07,9.862005e-07,9.781606e-07,9.706631e-07,9.636819e-07,9.571920e-07,9.511693e-07,9.455909e-07,9.404347e-07,9.356796e-07,9.313054e-07,9.272927e-07,9.236228e-07,9.202781e-07,9.172415e-07,9.144967e-07,9.120280e-07,9.098206e-07,9.078602e-07,9.061331e-07,9.046261e-07,9.033269e-07,9.022234e-07
0.000000e+00,1.134817e-12,2.512087e-10,2.723933e-10,7.631037e-09,7.948667e-08,8.653966e-08,5.619267e-07,2.268187e-06,2.455374e-06,7.972050e-06,1.923342e-05,2.060448e-05,4.460475e-05,7.930244e-05,8.403591e-05,1.418349e-04,2.088969e-04,2.192099e-04,3.154750e-04,4.115972e-04,4.282557e-04,5.539301e-04,6.662933e-04,6.881557e-04,8.263759e-04,9.396293e-04,9.642370e-04,1.097885e-03,1.199610e-03,1.224144e-03,1.340591e-03,1.423506e-03,1.445552e-03,1.538038e-03,1.599721e-03,1.617652e-03,1.684475e-03,1.725947e-03,1.738964e-03,1.781843e-03,1.806029e-03,1.814014e-03,1.836478e-03,1.846986e-03,1.850279e-03,1.856453e-03,1.856809e-03,1.856003e-03,1.849868e-03,1.843127e-03,1.838911e-03,1.823914e-03,1.812521e-03,1.805573e-03,1.784503e-03,1.770306e-03,1.761238e-03,1.736242e-03,1.720580e-03,1.709910e-03,1.682580e-03,1.666384e-03,1.654534e-03,1.626013e-03,1.609908e-03,1.597213e-03,1.568301e-03,1.552689e-03,1.539410e-03,1.510651e-03,1.495780e-03,1.482115e-03,1.453873e-03,1.439881e-03,1.425983e-03,1.398489e-03,1.385444e-03,1.371428e-03,1.344825e-03,1.332747e-03,1.318701e-03,1.293069e-03,1.281949e-03,1.267939e-03,1.243317e-03,1.233128e-03,1.219206e-03,1.195606e-03,1.186308e-03,1.172515e-03,1.149929e-03,1.141478e-03,1.127844e-03,1.106255e-03,1.098603e-03,1.085154e-03,1.064535e-03,1.057633e-03,1.044390e-03,1.024711e-03,1.018510e-03,1.005489e-03,9.867168e-04,9.811715e-04,9.683853e-04,9.504858e-04,9.455503e-04,9.330098e-04,9.159486e-04,9.115795e-04,8.992935e-04,8.830361e-04,8.791925e-04,8.671678e-04,8.516803e-04,8.483233e-04,8.365653e-04,8.218147e-04,8.189076e-04,8.074204e-04,7.933745e-04,7.908827e-04,7.796693e-04,7.662970e-04,7.641878e-04,7.532502e-04,7.405215e-04,7.387645e-04,7.281037e-04,7.159897e-04,7.145561e-04,7.041725e-04,6.926453e-04,6.915083e-04,6.814015e-04,6.704344e-04,6.695688e-04,6.597377e-04,6.493051e-04,6.486874e-04,6.391305e-04,6.292078e-04,6.288160e-04,6.195311e-04,6.100947e-04,6.099084e-04,6.008930e-04,5.919205e-04,5.748099e-04,5.585360e-04,5.430603e-04,5.283456e-04,5.143565e-04,5.010592e-04,4.884213e-04,4.764119e-04,4.650016e-04,4.541622e-04,4.438667e-04,4.340896e-04,4.248062e-04,4.159934e-04,4.076287e-04,3.996908e-04,3.921596e-04,3.850156e-04,3.782403e-04,3.718162e-04,3.657265e-04,3.599551e-04,3.544868e-04,3.493070e-04,3.444020e-04,3.397583e-04,3.353635e-04,3.312055e-04,3.272729e-04,3.235547e-04,3.200405e-04,3.167205e-04,3.135851e-04,3.106253e-04,3.078326e-04,3.051988e-04,3.027161e-04,3.003770e-04,2.981745e-04,2.961018e-04,2.941525e-04,2.923205e-04,2.905999e-04,2.889851e-04,2.874710e-04,2.860523e-04,2.847243e-04,2.834825e-04,2.823224e-04
0.000000e+00,1.581157e-11,2.550883e-09,2.746404e-09,5.387904e-08,4.164224e-07,4.483933e-07,2.285978e-06,7.719236e-06,8.271822e-06,2.304161e-05,4.923244e-05,5.221945e-05,1.003537e-04,1.611697e-04,1.689044e-04,2.555060e-04,3.424242e-04,3.547889e-04,4.600545e-04,5.504437e-04,5.648855e-04,6.641614e-04,7.406821e-04,7.544234e-04,8.337770e-04,8.902181e-04,9.015676e-04,9.580035e-04,9.954607e-04,1.003821e-03,1.040031e-03,1.062322e-03,1.067748e-03,1.088077e-03,1.099228e-03,1.102055e-03,1.110624e-03,1.113975e-03,1.114615e-03,1.114755e-03,1.112827e-03,1.111671e-03,1.105903e-03,1.100519e-03,1.097912e-03,1.088091e-03,1.080539e-03,1.076772e-03,1.064239e-03,1.055421e-03,1.050732e-03,1.036456e-03,1.026996e-03,1.021583e-03,1.006259e-03,9.965864e-04,9.906072e-04,9.747323e-04,9.651371e-04,9.587215e-04,9.426484e-04,9.333221e-04,9.265746e-04,9.105517e-04,9.016175e-04,8.946228e-04,8.788232e-04,8.703558e-04,8.631824e-04,8.477245e-04,8.397654e-04,8.324693e-04,8.174326e-04,8.100004e-04,8.026273e-04,7.880634e-04,7.811608e-04,7.737485e-04,7.596884e-04,7.533075e-04,7.458872e-04,7.323474e-04,7.264732e-04,7.190707e-04,7.060575e-04,7.006704e-04,6.933073e-04,6.808191e-04,6.758968e-04,6.685912e-04,6.566214e-04,6.521400e-04,6.449071e-04,6.334456e-04,6.293807e-04,6.222336e-04,6.112676e-04,6.075946e-04,6.005441e-04,5.900593e-04,5.867540e-04,5.798094e-04,5.697905e-04,5.668292e-04,5.599985e-04,5.504295e-04,5.477896e-04,5.410794e-04,5.319441e-04,5.296036e-04,5.230196e-04,5.143017e-04,5.122398e-04,5.057866e-04,4.974701e-04,4.956668e-04,4.893484e-04,4.814176e-04,4.798539e-04,4.736736e-04,4.661129e-04,4.647711e-04,4.587315e-04,4.515257e-04,4.503888e-04,4.444919e-04,4.376264e-04,4.366785e-04,4.309258e-04,4.243864e-04,4.236124e-04,4.180049e-04,4.117780e-04,4.111636e-04,4.057022e-04,3.997744e-04,3.993065e-04,3.939913e-04,3.883499e-04,3.880158e-04,3.828470e-04,3.774796e-04,3.772677e-04,3.722448e-04,3.671397e-04,3.670389e-04,3.621613e-04,3.573071e-04,3.480509e-04,3.392497e-04,3.308837e-04,3.229340e-04,3.153823e-04,3.082112e-04,3.014038e-04,2.949442e-04,2.888167e-04,2.830068e-04,2.775001e-04,2.722831e-04,2.673429e-04,2.626668e-04,2.582429e-04,2.540599e-04,2.501067e-04,2.463727e-04,2.428481e-04,2.395230e-04,2.363883e-04,2.334352e-04,2.306551e-04,2.280400e-04,2.255821e-04,2.232740e-04,2.211086e-04,2.190790e-04,2.171788e-04,2.154017e-04,2.137417e-04,2.121933e-04,2.107507e-04,2.094090e-04,2.081630e-04,2.070079e-04,2.059393e-04,2.049527e-04,2.040439e-04,2.032090e-04,2.024440e-04,2.017455e-04,2.011098e-04,2.005336e-04,2.000138e-04,1.995473e-04,1.991311e-04,1.987625e-04,1.984389e-04
0.000000e+00,2.979090e-10,5.604568e-09,5.876065e-09,3.900796e-08,1.198811e-07,1.241358e-07,2.360856e-07,3.329071e-07,3.385629e-07,4.233528e-07,4.867436e-07,4.916591e-07,5.459366e-07,5.847105e-07,5.884987e-07,6.213283e-07,6.434981e-07,6.460923e-07,6.641848e-07,6.753022e-07,6.767710e-07,6.848237e-07,6.886822e-07,6.891541e-07,6.904350e-07,6.896089e-07,6.892309e-07,6.860109e-07,6.822474e-07,6.811643e-07,6.750143e-07,6.694862e-07,6.678282e-07,6.598273e-07,6.533154e-07,6.511944e-07,6.420805e-07,6.351005e-07,6.326098e-07,6.228845e-07,6.157725e-07,6.129886e-07,6.029908e-07,5.959623e-07,5.929474e-07,5.829040e-07,5.760938e-07,5.728979e-07,5.629591e-07,5.564483e-07,5.531117e-07,5.433750e-07,5.372088e-07,5.337643e-07,5.242913e-07,5.184913e-07,5.149652e-07,5.057929e-07,5.003654e-07,4.967793e-07,4.879281e-07,4.828696e-07,4.792413e-07,4.707203e-07,4.660210e-07,4.623653e-07,4.541760e-07,4.498224e-07,4.461516e-07,4.382908e-07,4.342673e-07,4.305919e-07,4.230529e-07,4.193428e-07,4.156718e-07,4.084461e-07,4.050322e-07,4.013733e-07,3.944510e-07,3.913164e-07,3.876763e-07,3.810467e-07,3.781749e-07,3.745594e-07,3.682116e-07,3.655865e-07,3.620007e-07,3.559240e-07,3.535302e-07,3.499786e-07,3.441619e-07,3.419848e-07,3.384713e-07,3.329041e-07,3.309297e-07,3.274578e-07,3.221298e-07,3.203447e-07,3.169175e-07,3.118186e-07,3.102105e-07,3.068306e-07,3.019512e-07,3.005081e-07,2.971779e-07,2.925086e-07,2.912195e-07,2.879409e-07,2.834727e-07,2.823271e-07,2.791019e-07,2.748263e-07,2.738141e-07,2.706438e-07,2.665525e-07,2.656645e-07,2.625504e-07,2.586354e-07,2.578627e-07,2.548058e-07,2.510596e-07,2.503941e-07,2.473951e-07,2.438105e-07,2.432442e-07,2.403040e-07,2.368739e-07,2.363997e-07,2.335186e-07,2.302364e-07,2.298474e-07,2.270257e-07,2.238851e-07,2.235748e-07,2.208128e-07,2.178075e-07,2.175699e-07,2.148677e-07,2.119920e-07,2.118214e-07,2.091789e-07,2.064271e-07,2.063183e-07,2.037353e-07,2.011021e-07,2.010500e-07,1.985263e-07,1.960065e-07,1.911782e-07,1.865559e-07,1.821308e-07,1.778943e-07,1.738386e-07,1.699557e-07,1.662383e-07,1.626793e-07,1.592720e-07,1.560099e-07,1.528867e-07,1.498964e-07,1.470335e-07,1.442925e-07,1.416681e-07,1.391554e-07,1.367496e-07,1.344462e-07,1.322407e-07,1.301289e-07,1.281070e-07,1.261710e-07,1.243173e-07,1.225424e-07,1.208428e-07,1.192155e-07,1.176573e-07,1.161653e-07,1.147367e-07,1.133688e-07,1.120589e-07,1.108047e-07,1.096038e-07,1.084539e-07,1.073528e-07,1.062985e-07,1.052890e-07,1.043224e-07,1.033968e-07,1.025107e-07,1.016622e-07,1.008498e-07,1.000720e-07,9.932725e-08,9.861426e-08,9.793165e-08,9.727815e-08,9.665252e-08,9.605361e-08
0.000000e+00,3.219470e-11,5.565322e-09,6.005658e-09,1.356240e-07,1.203548e-06,1.302610e-06,7.377168e-06,2.636463e-05,2.831609e-05,8.017712e-05,1.689668e-04,1.788360e-04,3.321013e-04,5.144174e-04,5.369495e-04,7.823353e-04,1.020476e-03,1.053991e-03,1.338284e-03,1.584420e-03,1.624226e-03,1.903961e-03,2.130359e-03,2.172409e-03,2.426607e-03,2.623330e-03,2.665055e-03,2.887198e-03,3.053175e-03,3.093058e-03,3.282993e-03,3.420432e-03,3.457545e-03,3.617355e-03,3.729372e-03,3.763109e-03,3.895503e-03,3.985282e-03,4.015232e-03,4.122977e-03,4.193506e-03,4.219400e-03,4.305140e-03,4.359131e-03,4.380810e-03,4.447001e-03,4.486883e-03,4.504274e-03,4.553168e-03,4.581099e-03,4.594197e-03,4.627849e-03,4.645731e-03,4.654589e-03,4.674861e-03,4.684365e-03,4.689083e-03,4.697657e-03,4.700248e-03,4.700960e-03,4.699353e-03,4.696306e-03,4.693176e-03,4.682752e-03,4.675175e-03,4.668388e-03,4.650374e-03,4.639226e-03,4.628984e-03,4.604478e-03,4.590585e-03,4.577101e-03,4.547087e-03,4.531159e-03,4.514653e-03,4.480008e-03,4.462650e-03,4.443347e-03,4.404854e-03,4.386581e-03,4.364705e-03,4.323063e-03,4.304308e-03,4.280083e-03,4.235910e-03,4.217035e-03,4.190682e-03,4.144527e-03,4.125834e-03,4.097568e-03,4.049916e-03,4.031650e-03,4.001681e-03,3.952961e-03,3.935321e-03,3.903850e-03,3.854437e-03,3.837582e-03,3.804804e-03,3.755027e-03,3.739080e-03,3.705179e-03,3.655326e-03,3.640379e-03,3.605531e-03,3.555852e-03,3.541970e-03,3.506342e-03,3.457053e-03,3.444279e-03,3.408030e-03,3.359315e-03,3.347674e-03,3.310950e-03,3.262970e-03,3.252469e-03,3.215408e-03,3.168296e-03,3.158931e-03,3.121662e-03,3.075531e-03,3.067283e-03,3.029926e-03,2.984869e-03,2.977712e-03,2.940379e-03,2.896472e-03,2.890372e-03,2.853164e-03,2.810468e-03,2.805386e-03,2.768397e-03,2.726960e-03,2.722851e-03,2.686166e-03,2.646023e-03,2.642840e-03,2.606537e-03,2.567713e-03,2.565405e-03,2.529555e-03,2.492066e-03,2.490581e-03,2.455248e-03,2.419102e-03,2.418386e-03,2.383627e-03,2.348824e-03,2.281887e-03,2.217557e-03,2.155806e-03,2.096599e-03,2.039893e-03,1.985642e-03,1.933792e-03,1.884288e-03,1.837070e-03,1.792078e-03,1.749246e-03,1.708511e-03,1.669807e-03,1.633066e-03,1.598223e-03,1.565211e-03,1.533965e-03,1.504419e-03,1.476508e-03,1.450169e-03,1.425340e-03,1.401959e-03,1.379967e-03,1.359305e-03,1.339915e-03,1.321743e-03,1.304735e-03,1.288838e-03,1.274001e-03,1.260175e-03,1.247313e-03,1.235369e-03,1.224297e-03,1.214056e-03,1.204604e-03,1.195900e-03,1.187907e-03,1.180587e-03,1.173906e-03,1.167828e-03,1.162322e-03,1.157355e-03,1.152897e-03,1.148920e-03,1.145396e-03,1.142298e-03,1.139600e-03,1.137279e-03,1.135311e-03
0.000000e+00,6.014514e-10,9.377182e-09,9.805622e-09,6.135057e-08,2.020707e-07,2.103832e-07,4.742418e-07,7.784400e-07,7.983428e-07,1.125981e-06,1.413047e-06,1.437209e-06,1.728034e-06,1.972196e-06,1.998319e-06,2.248805e-06,2.453596e-06,2.480426e-06,2.694146e-06,2.864354e-06,2.890917e-06,3.071671e-06,3.211789e-06,3.237312e-06,3.388710e-06,3.502815e-06,3.526700e-06,3.652077e-06,3.743810e-06,3.765602e-06,3.867994e-06,3.940573e-06,3.959938e-06,4.042081e-06,4.098334e-06,4.115037e-06,4.179385e-06,4.221786e-06,4.235675e-06,4.284422e-06,4.315126e-06,4.326117e-06,4.361220e-06,4.382103e-06,4.390166e-06,4.413365e-06,4.426057e-06,4.431205e-06,4.444050e-06,4.449959e-06,4.452244e-06,4.456110e-06,4.456455e-06,4.455954e-06,4.452063e-06,4.447893e-06,4.444706e-06,4.434139e-06,4.426358e-06,4.420601e-06,4.404317e-06,4.393698e-06,4.385499e-06,4.364347e-06,4.351552e-06,4.341046e-06,4.315775e-06,4.301367e-06,4.288697e-06,4.259968e-06,4.244425e-06,4.229734e-06,4.198132e-06,4.181858e-06,4.165290e-06,4.131329e-06,4.114663e-06,4.096362e-06,4.060494e-06,4.043720e-06,4.023824e-06,3.986447e-06,3.969799e-06,3.948448e-06,3.909910e-06,3.893581e-06,3.870907e-06,3.831512e-06,3.815659e-06,3.791790e-06,3.751805e-06,3.736553e-06,3.711613e-06,3.671269e-06,3.656718e-06,3.630823e-06,3.590322e-06,3.576547e-06,3.549809e-06,3.509326e-06,3.496383e-06,3.468908e-06,3.428593e-06,3.416522e-06,3.388410e-06,3.348392e-06,3.337220e-06,3.308565e-06,3.268954e-06,3.258694e-06,3.229584e-06,3.190475e-06,3.181130e-06,3.151648e-06,3.113122e-06,3.104688e-06,3.074911e-06,3.037033e-06,3.029498e-06,2.999500e-06,2.962324e-06,2.955672e-06,2.925519e-06,2.889092e-06,2.883299e-06,2.853054e-06,2.817412e-06,2.812454e-06,2.782174e-06,2.747346e-06,2.743195e-06,2.712934e-06,2.678941e-06,2.675565e-06,2.645373e-06,2.612232e-06,2.609599e-06,2.579521e-06,2.547243e-06,2.545320e-06,2.515398e-06,2.483988e-06,2.482741e-06,2.453013e-06,2.422474e-06,2.421868e-06,2.392370e-06,2.362701e-06,2.305234e-06,2.249455e-06,2.195349e-06,2.142896e-06,2.092074e-06,2.042858e-06,1.995221e-06,1.949134e-06,1.904566e-06,1.861486e-06,1.819861e-06,1.779658e-06,1.740843e-06,1.703383e-06,1.667242e-06,1.632388e-06,1.598787e-06,1.566404e-06,1.535206e-06,1.505159e-06,1.476232e-06,1.448392e-06,1.421608e-06,1.395847e-06,1.371081e-06,1.347278e-06,1.324409e-06,1.302446e-06,1.281360e-06,1.261125e-06,1.241713e-06,1.223099e-06,1.205256e-06,1.188160e-06,1.171788e-06,1.156114e-06,1.141117e-06,1.126774e-06,1.113064e-06,1.099965e-06,1.087457e-06,1.075520e-06,1.064134e-06,1.053281e-06,1.042942e-06,1.033099e-06,1.023737e-06,1.014836e-06,1.006382e-06
0.000000e+00,4.161218e-10,5.563253e-09,5.806482e-09,3.490303e-08,1.165106e-07,1.214189e-07,2.804884e-07,4.676080e-07,4.798614e-07,6.801786e-07,8.522437e-07,8.665432e-07,1.036171e-06,1.174739e-06,1.189341e-06,1.327000e-06,1.436158e-06,1.450216e-06,1.560044e-06,1.644557e-06,1.657491e-06,1.743513e-06,1.807601e-06,1.819008e-06,1.884817e-06,1.932106e-06,1.941726e-06,1.990463e-06,2.024029e-06,2.031711e-06,2.066105e-06,2.088554e-06,2.094232e-06,2.116637e-06,2.130148e-06,2.133821e-06,2.146253e-06,2.152644e-06,2.154358e-06,2.158522e-06,2.159287e-06,2.159114e-06,2.156482e-06,2.152888e-06,2.150936e-06,2.142762e-06,2.135837e-06,2.132222e-06,2.119560e-06,2.110148e-06,2.104997e-06,2.088738e-06,2.077531e-06,2.070973e-06,2.051873e-06,2.039430e-06,2.031597e-06,2.010290e-06,1.997068e-06,1.988088e-06,1.965111e-06,1.951473e-06,1.941471e-06,1.917271e-06,1.903510e-06,1.892605e-06,1.867558e-06,1.853902e-06,1.842208e-06,1.816627e-06,1.803255e-06,1.790879e-06,1.765023e-06,1.752072e-06,1.739113e-06,1.713198e-06,1.700769e-06,1.687320e-06,1.661521e-06,1.649690e-06,1.635836e-06,1.610297e-06,1.599114e-06,1.584934e-06,1.559772e-06,1.549269e-06,1.534834e-06,1.510142e-06,1.500337e-06,1.485713e-06,1.461563e-06,1.452463e-06,1.437707e-06,1.414158e-06,1.405757e-06,1.390925e-06,1.368018e-06,1.360306e-06,1.345445e-06,1.323212e-06,1.316171e-06,1.301325e-06,1.279788e-06,1.273395e-06,1.258604e-06,1.237775e-06,1.232007e-06,1.217304e-06,1.197190e-06,1.192020e-06,1.177435e-06,1.158039e-06,1.153436e-06,1.138999e-06,1.120315e-06,1.116252e-06,1.101984e-06,1.084005e-06,1.080452e-06,1.066376e-06,1.049092e-06,1.046017e-06,1.032151e-06,1.015550e-06,1.012925e-06,9.992840e-07,9.833501e-07,9.811456e-07,9.677441e-07,9.524617e-07,9.506494e-07,9.374986e-07,9.228504e-07,9.214027e-07,9.085125e-07,8.944804e-07,8.933709e-07,8.807493e-07,8.673146e-07,8.665179e-07,8.541716e-07,8.413153e-07,8.408070e-07,8.287412e-07,8.164442e-07,8.162011e-07,8.044198e-07,7.926630e-07,7.701556e-07,7.486422e-07,7.280866e-07,7.084529e-07,6.897065e-07,6.718130e-07,6.547393e-07,6.384530e-07,6.229226e-07,6.081177e-07,5.940088e-07,5.805672e-07,5.677655e-07,5.555770e-07,5.439760e-07,5.329379e-07,5.224387e-07,5.124556e-07,5.029664e-07,4.939499e-07,4.853859e-07,4.772545e-07,4.695371e-07,4.622156e-07,4.552726e-07,4.486915e-07,4.424562e-07,4.365516e-07,4.309627e-07,4.256757e-07,4.206769e-07,4.159535e-07,4.114929e-07,4.072833e-07,4.033133e-07,3.995720e-07,3.960488e-07,3.927339e-07,3.896175e-07,3.866905e-07,3.839440e-07,3.813697e-07,3.789594e-07,3.767055e-07,3.746004e-07,3.726372e-07,3.708091e-07,3.691095e-07,3.675323e-07
0.000000e+00,6.903473e-10,1.567870e-08,1.646173e-08,1.088174e-07,3.025482e-07,3.118229e-07,5.468481e-07,7.591990e-07,7.723121e-07,9.827350e-07,1.162949e-06,1.178028e-06,1.358780e-06,1.509587e-06,1.525673e-06,1.679405e-06,1.804356e-06,1.820673e-06,1.950163e-06,2.052617e-06,2.068546e-06,2.176469e-06,2.259498e-06,2.274556e-06,2.363399e-06,2.429752e-06,2.443566e-06,2.515599e-06,2.567712e-06,2.580007e-06,2.637281e-06,2.677294e-06,2.687874e-06,2.732221e-06,2.762000e-06,2.770731e-06,2.803791e-06,2.824962e-06,2.831766e-06,2.855000e-06,2.868975e-06,2.873816e-06,2.888521e-06,2.896522e-06,2.899402e-06,2.906731e-06,2.909817e-06,2.910764e-06,2.911739e-06,2.910818e-06,2.909883e-06,2.905408e-06,2.901262e-06,2.898513e-06,2.889388e-06,2.882687e-06,2.878208e-06,2.865138e-06,2.856454e-06,2.850334e-06,2.833943e-06,2.823763e-06,2.816101e-06,2.796937e-06,2.785673e-06,2.776571e-06,2.755116e-06,2.743116e-06,2.732678e-06,2.709356e-06,2.696910e-06,2.685243e-06,2.660424e-06,2.647776e-06,2.634982e-06,2.608991e-06,2.596342e-06,2.582523e-06,2.555644e-06,2.543159e-06,2.528415e-06,2.500894e-06,2.488706e-06,2.473134e-06,2.445185e-06,2.433401e-06,2.417093e-06,2.388901e-06,2.377606e-06,2.360650e-06,2.332376e-06,2.321633e-06,2.304113e-06,2.275894e-06,2.265752e-06,2.247748e-06,2.219702e-06,2.210193e-06,2.191780e-06,2.164006e-06,2.155153e-06,2.136401e-06,2.108985e-06,2.100799e-06,2.081775e-06,2.054787e-06,2.047272e-06,2.028036e-06,2.001535e-06,1.994687e-06,1.975297e-06,1.949332e-06,1.943143e-06,1.923651e-06,1.898262e-06,1.892716e-06,1.873173e-06,1.848390e-06,1.843471e-06,1.823920e-06,1.799768e-06,1.795455e-06,1.775939e-06,1.752436e-06,1.748706e-06,1.729263e-06,1.706422e-06,1.703250e-06,1.683914e-06,1.661743e-06,1.659105e-06,1.639907e-06,1.618409e-06,1.616278e-06,1.597249e-06,1.576425e-06,1.574773e-06,1.555937e-06,1.535786e-06,1.534587e-06,1.515968e-06,1.496483e-06,1.495711e-06,1.477329e-06,1.458505e-06,1.458132e-06,1.440007e-06,1.421833e-06,1.386796e-06,1.352998e-06,1.320415e-06,1.289021e-06,1.258789e-06,1.229692e-06,1.201699e-06,1.174782e-06,1.148911e-06,1.124055e-06,1.100184e-06,1.077268e-06,1.055279e-06,1.034185e-06,1.013958e-06,9.945689e-07,9.759898e-07,9.581930e-07,9.411513e-07,9.248383e-07,9.092280e-07,8.942953e-07,8.800157e-07,8.663651e-07,8.533206e-07,8.408594e-07,8.289597e-07,8.176003e-07,8.067607e-07,7.964209e-07,7.865617e-07,7.771644e-07,7.682111e-07,7.596843e-07,7.515671e-07,7.438433e-07,7.364973e-07,7.295138e-07,7.228782e-07,7.165765e-07,7.105950e-07,7.049207e-07,6.995408e-07,6.944432e-07,6.896162e-07,6.850484e-07,6.807290e-07,6.766474e-07,6.727937e-07
0.000000e+00,5.908032e-13,1.420968e-10,1.543259e-10,4.680298e-09,5.263460e-08,5.748538e-08,4.021907e-07,1.725264e-06,1.874350e-06,6.437986e-06,1.632352e-05,1.756367e-05,4.022638e-05,7.551358e-05,8.052429e-05,1.450557e-04,2.269872e-04,2.402186e-04,3.715681e-04,5.167244e-04,5.433147e-04,7.580029e-04,9.721230e-04,1.016376e-03,1.317397e-03,1.594237e-03,1.658405e-03,2.035355e-03,2.359373e-03,2.443114e-03,2.875773e-03,3.226441e-03,3.326959e-03,3.790123e-03,4.146146e-03,4.258790e-03,4.726769e-03,5.069233e-03,5.188317e-03,5.638251e-03,5.952438e-03,6.072034e-03,6.485812e-03,6.761836e-03,6.876429e-03,7.241407e-03,7.473990e-03,7.578919e-03,7.887740e-03,8.075491e-03,8.167185e-03,8.417054e-03,8.561534e-03,8.637564e-03,8.829284e-03,8.934057e-03,8.993071e-03,9.130018e-03,9.199826e-03,9.241396e-03,9.328605e-03,9.368696e-03,9.393134e-03,9.436525e-03,9.452172e-03,9.460338e-03,9.466128e-03,9.462301e-03,9.455424e-03,9.429709e-03,9.410881e-03,9.390409e-03,9.338882e-03,9.308939e-03,9.276415e-03,9.204219e-03,9.166442e-03,9.123420e-03,9.035069e-03,8.992160e-03,8.940132e-03,8.839503e-03,8.793636e-03,8.733998e-03,8.624364e-03,8.577252e-03,8.511280e-03,8.395360e-03,8.348324e-03,8.277160e-03,8.157182e-03,8.111219e-03,8.035875e-03,7.913644e-03,7.869485e-03,7.790849e-03,7.667814e-03,7.625979e-03,7.544825e-03,7.422136e-03,7.382976e-03,7.299971e-03,7.178530e-03,7.142265e-03,7.057985e-03,6.938491e-03,6.905239e-03,6.820180e-03,6.703168e-03,6.672971e-03,6.587556e-03,6.473431e-03,6.446271e-03,6.360867e-03,6.249925e-03,6.225741e-03,6.140659e-03,6.033113e-03,6.011813e-03,5.927321e-03,5.823314e-03,5.804783e-03,5.721112e-03,5.620732e-03,5.604841e-03,5.522186e-03,5.425481e-03,5.412089e-03,5.330619e-03,5.237599e-03,5.226560e-03,5.146418e-03,5.057069e-03,5.048235e-03,4.969543e-03,4.883827e-03,4.877048e-03,4.799909e-03,4.717773e-03,4.712901e-03,4.637402e-03,4.558779e-03,4.555670e-03,4.481884e-03,4.406696e-03,4.405209e-03,4.333195e-03,4.261358e-03,4.123942e-03,3.992781e-03,3.867688e-03,3.748471e-03,3.634937e-03,3.526893e-03,3.424147e-03,3.326507e-03,3.233787e-03,3.145799e-03,3.062364e-03,2.983303e-03,2.908444e-03,2.837618e-03,2.770660e-03,2.707412e-03,2.647720e-03,2.591434e-03,2.538409e-03,2.488505e-03,2.441587e-03,2.397525e-03,2.356193e-03,2.317468e-03,2.281234e-03,2.247378e-03,2.215791e-03,2.186367e-03,2.159005e-03,2.133608e-03,2.110083e-03,2.088338e-03,2.068286e-03,2.049844e-03,2.032931e-03,2.017470e-03,2.003384e-03,1.990604e-03,1.979058e-03,1.968681e-03,1.959409e-03,1.951179e-03,1.943933e-03,1.937614e-03,1.932166e-03,1.927537e-03,1.923676e-03,1.920535e-03,1.918067e-03
0.000000e+00,3.901257e-09,1.322057e-07,1.394222e-07,1.243915e-06,5.327631e-06,5.600698e-06,1.564079e-05,2.983271e-05,3.083118e-05,4.792543e-05,6.335709e-05,6.466092e-05,8.034866e-05,9.347140e-05,9.487148e-05,1.082506e-04,1.191203e-04,1.205393e-04,1.317976e-04,1.407014e-04,1.420855e-04,1.514614e-04,1.586733e-04,1.599811e-04,1.676964e-04,1.734581e-04,1.746577e-04,1.809138e-04,1.854419e-04,1.865107e-04,1.914924e-04,1.949777e-04,1.959002e-04,1.997730e-04,2.023812e-04,2.031475e-04,2.060584e-04,2.079330e-04,2.085379e-04,2.106168e-04,2.118815e-04,2.123235e-04,2.136849e-04,2.144461e-04,2.147263e-04,2.154713e-04,2.158200e-04,2.159422e-04,2.161596e-04,2.161737e-04,2.161430e-04,2.159107e-04,2.156567e-04,2.154797e-04,2.148661e-04,2.144004e-04,2.140847e-04,2.131495e-04,2.125201e-04,2.120737e-04,2.108695e-04,2.101167e-04,2.095482e-04,2.081206e-04,2.072785e-04,2.065966e-04,2.049856e-04,2.040825e-04,2.032961e-04,2.015364e-04,2.005961e-04,1.997139e-04,1.978357e-04,1.968778e-04,1.959084e-04,1.939380e-04,1.929786e-04,1.919302e-04,1.898904e-04,1.889426e-04,1.878233e-04,1.857336e-04,1.848081e-04,1.836255e-04,1.815030e-04,1.806081e-04,1.793696e-04,1.772286e-04,1.763709e-04,1.750834e-04,1.729366e-04,1.721210e-04,1.707910e-04,1.686490e-04,1.678793e-04,1.665129e-04,1.643848e-04,1.636633e-04,1.622664e-04,1.601597e-04,1.594883e-04,1.580662e-04,1.559873e-04,1.553667e-04,1.539244e-04,1.518786e-04,1.513091e-04,1.498512e-04,1.478431e-04,1.473242e-04,1.458551e-04,1.438881e-04,1.434192e-04,1.419428e-04,1.400198e-04,1.395998e-04,1.381197e-04,1.362430e-04,1.358705e-04,1.343901e-04,1.325613e-04,1.322348e-04,1.307571e-04,1.289776e-04,1.286952e-04,1.272231e-04,1.254938e-04,1.252537e-04,1.237897e-04,1.221109e-04,1.219112e-04,1.204576e-04,1.188297e-04,1.186683e-04,1.172273e-04,1.156502e-04,1.155251e-04,1.140984e-04,1.125720e-04,1.124812e-04,1.110706e-04,1.095943e-04,1.095357e-04,1.081428e-04,1.067160e-04,1.066878e-04,1.053138e-04,1.039359e-04,1.012787e-04,9.871446e-05,9.624128e-05,9.385724e-05,9.156027e-05,8.934829e-05,8.721911e-05,8.517056e-05,8.320041e-05,8.130645e-05,7.948646e-05,7.773823e-05,7.605958e-05,7.444834e-05,7.290239e-05,7.141962e-05,6.999798e-05,6.863545e-05,6.733005e-05,6.607986e-05,6.488298e-05,6.373759e-05,6.264189e-05,6.159415e-05,6.059266e-05,5.963578e-05,5.872192e-05,5.784952e-05,5.701708e-05,5.622314e-05,5.546628e-05,5.474514e-05,5.405838e-05,5.340473e-05,5.278295e-05,5.219181e-05,5.163018e-05,5.109691e-05,5.059092e-05,5.011116e-05,4.965661e-05,4.922628e-05,4.881924e-05,4.843455e-05,4.807134e-05,4.772875e-05,4.740594e-05,4.710213e-05,4.681653e-05
0.000000e+00,2.738000e-09,4.615919e-08,4.834255e-08,3.289837e-07,1.158023e-06,1.208163e-06,2.807439e-06,4.618181e-06,4.735263e-06,6.645982e-06,8.300408e-06,8.438945e-06,1.009806e-05,1.147876e-05,1.162580e-05,1.302855e-05,1.416534e-05,1.431356e-05,1.548804e-05,1.641483e-05,1.655871e-05,1.753194e-05,1.827875e-05,1.841401e-05,1.921094e-05,1.980490e-05,1.992843e-05,2.057185e-05,2.103667e-05,2.114627e-05,2.165647e-05,2.201274e-05,2.210693e-05,2.250186e-05,2.276729e-05,2.284519e-05,2.314062e-05,2.333044e-05,2.339161e-05,2.360139e-05,2.372863e-05,2.377300e-05,2.390925e-05,2.398502e-05,2.401280e-05,2.408612e-05,2.411989e-05,2.413151e-05,2.415113e-05,2.415095e-05,2.414700e-05,2.412100e-05,2.409370e-05,2.407488e-05,2.401028e-05,2.396162e-05,2.392872e-05,2.383163e-05,2.376648e-05,2.372035e-05,2.359609e-05,2.351854e-05,2.346003e-05,2.331323e-05,2.322671e-05,2.315670e-05,2.299137e-05,2.289874e-05,2.281810e-05,2.263771e-05,2.254134e-05,2.245094e-05,2.225850e-05,2.216035e-05,2.206103e-05,2.185913e-05,2.176081e-05,2.165337e-05,2.144426e-05,2.134709e-05,2.123230e-05,2.101792e-05,2.092293e-05,2.080154e-05,2.058354e-05,2.049159e-05,2.036428e-05,2.014410e-05,2.005583e-05,1.992328e-05,1.970212e-05,1.961805e-05,1.948088e-05,1.925978e-05,1.918027e-05,1.903906e-05,1.881891e-05,1.874422e-05,1.859952e-05,1.838106e-05,1.831138e-05,1.816369e-05,1.794755e-05,1.788297e-05,1.773277e-05,1.751947e-05,1.746002e-05,1.730776e-05,1.709773e-05,1.704341e-05,1.688947e-05,1.668308e-05,1.663382e-05,1.647861e-05,1.627613e-05,1.623185e-05,1.607569e-05,1.587736e-05,1.583795e-05,1.568118e-05,1.548718e-05,1.545249e-05,1.529539e-05,1.510586e-05,1.507574e-05,1.491860e-05,1.473362e-05,1.470791e-05,1.455096e-05,1.437063e-05,1.434914e-05,1.419262e-05,1.401696e-05,1.399952e-05,1.384363e-05,1.367265e-05,1.365908e-05,1.350402e-05,1.333773e-05,1.332782e-05,1.317377e-05,1.301213e-05,1.300572e-05,1.285282e-05,1.269582e-05,1.269270e-05,1.254111e-05,1.238869e-05,1.209356e-05,1.180721e-05,1.152949e-05,1.126024e-05,1.099932e-05,1.074655e-05,1.050176e-05,1.026478e-05,1.003543e-05,9.813515e-06,9.598868e-06,9.391302e-06,9.190637e-06,8.996691e-06,8.809287e-06,8.628247e-06,8.453398e-06,8.284567e-06,8.121586e-06,7.964289e-06,7.812513e-06,7.666099e-06,7.524892e-06,7.388738e-06,7.257488e-06,7.130998e-06,7.009124e-06,6.891729e-06,6.778678e-06,6.669838e-06,6.565082e-06,6.464285e-06,6.367325e-06,6.274084e-06,6.184446e-06,6.098300e-06,6.015537e-06,5.936051e-06,5.859739e-06,5.786500e-06,5.716238e-06,5.648858e-06,5.584268e-06,5.522380e-06,5.463105e-06,5.406360e-06,5.352063e-06,5.300134e-06,5.250497e-06
0.000000e+00,6.159217e-10,9.718484e-09,1.017207e-08,6.696958e-08,2.233114e-07,2.322828e-07,4.963696e-07,7.684862e-07,7.857389e-07,1.066281e-06,1.310349e-06,1.330897e-06,1.578659e-06,1.787517e-06,1.809918e-06,2.025309e-06,2.202274e-06,2.225521e-06,2.411255e-06,2.559937e-06,2.583206e-06,2.742063e-06,2.865877e-06,2.888500e-06,3.023171e-06,3.125268e-06,3.146712e-06,3.259736e-06,3.342978e-06,3.362830e-06,3.456559e-06,3.523511e-06,3.541458e-06,3.618041e-06,3.670984e-06,3.686796e-06,3.748185e-06,3.789130e-06,3.802648e-06,3.850604e-06,3.881325e-06,3.892447e-06,3.928553e-06,3.950605e-06,3.959277e-06,3.984956e-06,3.999698e-06,4.005907e-06,4.022433e-06,4.031054e-06,4.034817e-06,4.043331e-06,4.046866e-06,4.048228e-06,4.049750e-06,4.049099e-06,4.048124e-06,4.043565e-06,4.039507e-06,4.036276e-06,4.026449e-06,4.019659e-06,4.014265e-06,3.999896e-06,3.990954e-06,3.983501e-06,3.965234e-06,3.954641e-06,3.945237e-06,3.923646e-06,3.911832e-06,3.900589e-06,3.876186e-06,3.863515e-06,3.850549e-06,3.823786e-06,3.810569e-06,3.795996e-06,3.767275e-06,3.753775e-06,3.737711e-06,3.707388e-06,3.693825e-06,3.676384e-06,3.644773e-06,3.631333e-06,3.612625e-06,3.580005e-06,3.566838e-06,3.546974e-06,3.513589e-06,3.500821e-06,3.479904e-06,3.445970e-06,3.433702e-06,3.411834e-06,3.377540e-06,3.365852e-06,3.343130e-06,3.308641e-06,3.297595e-06,3.274112e-06,3.239574e-06,3.229216e-06,3.205060e-06,3.170598e-06,3.160962e-06,3.136217e-06,3.101941e-06,3.093050e-06,3.067795e-06,3.033799e-06,3.025665e-06,2.999975e-06,2.966341e-06,2.958969e-06,2.932914e-06,2.899711e-06,2.893098e-06,2.866746e-06,2.834032e-06,2.828171e-06,2.801583e-06,2.769409e-06,2.764287e-06,2.737521e-06,2.705928e-06,2.701529e-06,2.674639e-06,2.643661e-06,2.639965e-06,2.613001e-06,2.582666e-06,2.579650e-06,2.552660e-06,2.522990e-06,2.520631e-06,2.493658e-06,2.464669e-06,2.462940e-06,2.436025e-06,2.407730e-06,2.406606e-06,2.379785e-06,2.352193e-06,2.351645e-06,2.324954e-06,2.298069e-06,2.245885e-06,2.195092e-06,2.145686e-06,2.097660e-06,2.051001e-06,2.005695e-06,1.961727e-06,1.919075e-06,1.877721e-06,1.837640e-06,1.798811e-06,1.761208e-06,1.724806e-06,1.689579e-06,1.655500e-06,1.622543e-06,1.590682e-06,1.559888e-06,1.530135e-06,1.501396e-06,1.473645e-06,1.446855e-06,1.420999e-06,1.396052e-06,1.371989e-06,1.348783e-06,1.326412e-06,1.304849e-06,1.284072e-06,1.264057e-06,1.244782e-06,1.226223e-06,1.208360e-06,1.191172e-06,1.174636e-06,1.158733e-06,1.143444e-06,1.128749e-06,1.114628e-06,1.101065e-06,1.088041e-06,1.075539e-06,1.063542e-06,1.052033e-06,1.040997e-06,1.030418e-06,1.020281e-06,1.010572e-06,1.001276e-06
0.000000e+00,1.260430e-09,1.526107e-08,1.590452e-08,9.317479e-08,3.192300e-07,3.331223e-07,7.899805e-07,1.329069e-06,1.364280e-06,1.938846e-06,2.431261e-06,2.472139e-06,2.956459e-06,3.351149e-06,3.392683e-06,3.783650e-06,4.092846e-06,4.132610e-06,4.442767e-06,4.680794e-06,4.717167e-06,4.958612e-06,5.137844e-06,5.169679e-06,5.352893e-06,5.484007e-06,5.510617e-06,5.645046e-06,5.737192e-06,5.758219e-06,5.852020e-06,5.912862e-06,5.928190e-06,5.988333e-06,6.024235e-06,6.033924e-06,6.066320e-06,6.082536e-06,6.086769e-06,6.096412e-06,6.097258e-06,6.096301e-06,6.087396e-06,6.076405e-06,6.070579e-06,6.046657e-06,6.026710e-06,6.016368e-06,5.980389e-06,5.953828e-06,5.939338e-06,5.893781e-06,5.862500e-06,5.844235e-06,5.791171e-06,5.756697e-06,5.735022e-06,5.676182e-06,5.639737e-06,5.615009e-06,5.551832e-06,5.514390e-06,5.486950e-06,5.420634e-06,5.382964e-06,5.353132e-06,5.284670e-06,5.247375e-06,5.215453e-06,5.145667e-06,5.109211e-06,5.075482e-06,5.005049e-06,4.969784e-06,4.934508e-06,4.863984e-06,4.830173e-06,4.793591e-06,4.723431e-06,4.691261e-06,4.653595e-06,4.584167e-06,4.553766e-06,4.515219e-06,4.446818e-06,4.418268e-06,4.379024e-06,4.311888e-06,4.285228e-06,4.245456e-06,4.179771e-06,4.155013e-06,4.114866e-06,4.050774e-06,4.027905e-06,3.987522e-06,3.925132e-06,3.904119e-06,3.863624e-06,3.803014e-06,3.783811e-06,3.743317e-06,3.684542e-06,3.667090e-06,3.626698e-06,3.569791e-06,3.554026e-06,3.513826e-06,3.458804e-06,3.444653e-06,3.404726e-06,3.351592e-06,3.338980e-06,3.299399e-06,3.248144e-06,3.236993e-06,3.197822e-06,3.148428e-06,3.138660e-06,3.099955e-06,3.052396e-06,3.043932e-06,3.005743e-06,2.959988e-06,2.952750e-06,2.915121e-06,2.871133e-06,2.865044e-06,2.828014e-06,2.785752e-06,2.780738e-06,2.744338e-06,2.703761e-06,2.699749e-06,2.664008e-06,2.625069e-06,2.621989e-06,2.586932e-06,2.549585e-06,2.547369e-06,2.513015e-06,2.477212e-06,2.475796e-06,2.442163e-06,2.407855e-06,2.407177e-06,2.374278e-06,2.341417e-06,2.278425e-06,2.218105e-06,2.160366e-06,2.105118e-06,2.052271e-06,2.001737e-06,1.953431e-06,1.907270e-06,1.863173e-06,1.821059e-06,1.780854e-06,1.742482e-06,1.705872e-06,1.670954e-06,1.637659e-06,1.605925e-06,1.575686e-06,1.546883e-06,1.519457e-06,1.493352e-06,1.468513e-06,1.444887e-06,1.422425e-06,1.401078e-06,1.380799e-06,1.361543e-06,1.343266e-06,1.325928e-06,1.309488e-06,1.293908e-06,1.279151e-06,1.265181e-06,1.251964e-06,1.239468e-06,1.227661e-06,1.216513e-06,1.205994e-06,1.196078e-06,1.186737e-06,1.177946e-06,1.169680e-06,1.161915e-06,1.154629e-06,1.147801e-06,1.141408e-06,1.135432e-06,1.129852e-06,1.124652e-06,1.119812e-06
0.000000e+00,4.683473e-09,8.400526e-08,8.775171e-08,5.482956e-07,1.991078e-06,2.084479e-06,5.535131e-06,1.083875e-05,1.123953e-05,1.873518e-05,2.641967e-05,2.709952e-05,3.553600e-05,4.285297e-05,4.364407e-05,5.129308e-05,5.762321e-05,5.845746e-05,6.514434e-05,7.052588e-05,7.137054e-05,7.715570e-05,8.168930e-05,8.252019e-05,8.748431e-05,9.127009e-05,9.206793e-05,9.629030e-05,9.942064e-05,1.001700e-04,1.037250e-04,1.062835e-04,1.069724e-04,1.099286e-04,1.119902e-04,1.126092e-04,1.150294e-04,1.166610e-04,1.172033e-04,1.191446e-04,1.204057e-04,1.208664e-04,1.223810e-04,1.233243e-04,1.237003e-04,1.248354e-04,1.255076e-04,1.257971e-04,1.265956e-04,1.270380e-04,1.272407e-04,1.277414e-04,1.279903e-04,1.281067e-04,1.283448e-04,1.284321e-04,1.284637e-04,1.284708e-04,1.284245e-04,1.283734e-04,1.281782e-04,1.280228e-04,1.278917e-04,1.275199e-04,1.272767e-04,1.270687e-04,1.265436e-04,1.262311e-04,1.259497e-04,1.252921e-04,1.249265e-04,1.245755e-04,1.238043e-04,1.233995e-04,1.229827e-04,1.221148e-04,1.216828e-04,1.212042e-04,1.202547e-04,1.198057e-04,1.192694e-04,1.182517e-04,1.177945e-04,1.172046e-04,1.161309e-04,1.156727e-04,1.150333e-04,1.139144e-04,1.134614e-04,1.127766e-04,1.116221e-04,1.111794e-04,1.104530e-04,1.092715e-04,1.088434e-04,1.080793e-04,1.068783e-04,1.064683e-04,1.056702e-04,1.044565e-04,1.040671e-04,1.032387e-04,1.020181e-04,1.016516e-04,1.007962e-04,9.957414e-05,9.923208e-05,9.835303e-05,9.713397e-05,9.681748e-05,9.591796e-05,9.470593e-05,9.441573e-05,9.349875e-05,9.229724e-05,9.203374e-05,9.110215e-05,8.991419e-05,8.967751e-05,8.873400e-05,8.756218e-05,8.735219e-05,8.639930e-05,8.524587e-05,8.506223e-05,8.410235e-05,8.296919e-05,8.281140e-05,8.184678e-05,8.073548e-05,8.060289e-05,7.963562e-05,7.854750e-05,7.843935e-05,7.747139e-05,7.640753e-05,7.632296e-05,7.535613e-05,7.431740e-05,7.425548e-05,7.329148e-05,7.227853e-05,7.223829e-05,7.127868e-05,7.029203e-05,7.027243e-05,6.931866e-05,6.835866e-05,6.649746e-05,6.468908e-05,6.293357e-05,6.123078e-05,5.958042e-05,5.798207e-05,5.643516e-05,5.493904e-05,5.349297e-05,5.209614e-05,5.074765e-05,4.944658e-05,4.819194e-05,4.698273e-05,4.581791e-05,4.469641e-05,4.361716e-05,4.257907e-05,4.158106e-05,4.062204e-05,3.970092e-05,3.881661e-05,3.796806e-05,3.715420e-05,3.637397e-05,3.562636e-05,3.491034e-05,3.422491e-05,3.356910e-05,3.294194e-05,3.234250e-05,3.176986e-05,3.122312e-05,3.070141e-05,3.020386e-05,2.972965e-05,2.927796e-05,2.884801e-05,2.843903e-05,2.805027e-05,2.768100e-05,2.733053e-05,2.699816e-05,2.668322e-05,2.638509e-05,2.610312e-05,2.583672e-05,2.558529e-05,2.534827e-05
0.000000e+00,1.393093e-09,1.834508e-08,1.912535e-08,1.056316e-07,3.181682e-07,3.301731e-07,6.944588e-07,1.094214e-06,1.120068e-06,1.544269e-06,1.916231e-06,1.947609e-06,2.326453e-06,2.646392e-06,2.680733e-06,3.011210e-06,3.283106e-06,3.318851e-06,3.604684e-06,3.833842e-06,3.869734e-06,4.114954e-06,4.306332e-06,4.341326e-06,4.549832e-06,4.708144e-06,4.741424e-06,4.917014e-06,5.046556e-06,5.077480e-06,5.223659e-06,5.328278e-06,5.356353e-06,5.476324e-06,5.559442e-06,5.584300e-06,5.680973e-06,5.745623e-06,5.767002e-06,5.843012e-06,5.891870e-06,5.909597e-06,5.967324e-06,6.002749e-06,6.016726e-06,6.058314e-06,6.082377e-06,6.092569e-06,6.119948e-06,6.134463e-06,6.140885e-06,6.155791e-06,6.162346e-06,6.165054e-06,6.169043e-06,6.169021e-06,6.168106e-06,6.162574e-06,6.157180e-06,6.152759e-06,6.138957e-06,6.129235e-06,6.121446e-06,6.100491e-06,6.087345e-06,6.076342e-06,6.049234e-06,6.033444e-06,6.019391e-06,5.987022e-06,5.969259e-06,5.952328e-06,5.915494e-06,5.896331e-06,5.876699e-06,5.836109e-06,5.816035e-06,5.793882e-06,5.750167e-06,5.729596e-06,5.705102e-06,5.658820e-06,5.638102e-06,5.611445e-06,5.563094e-06,5.542522e-06,5.513876e-06,5.463895e-06,5.443711e-06,5.413249e-06,5.362028e-06,5.342431e-06,5.310318e-06,5.258201e-06,5.239353e-06,5.205750e-06,5.153037e-06,5.135068e-06,5.100129e-06,5.047088e-06,5.030096e-06,4.993971e-06,4.940834e-06,4.924896e-06,4.887727e-06,4.834697e-06,4.819868e-06,4.781788e-06,4.729043e-06,4.715361e-06,4.676499e-06,4.624193e-06,4.611678e-06,4.572156e-06,4.520420e-06,4.509082e-06,4.469014e-06,4.417963e-06,4.407798e-06,4.367293e-06,4.317025e-06,4.308021e-06,4.267179e-06,4.217776e-06,4.209914e-06,4.168833e-06,4.120364e-06,4.113617e-06,4.072385e-06,4.024908e-06,4.019245e-06,3.977945e-06,3.931507e-06,3.926893e-06,3.885604e-06,3.840243e-06,3.836638e-06,3.795433e-06,3.751179e-06,3.748541e-06,3.707487e-06,3.664362e-06,3.662649e-06,3.621809e-06,3.579830e-06,3.578996e-06,3.538427e-06,3.497604e-06,3.418487e-06,3.341649e-06,3.267088e-06,3.194794e-06,3.124752e-06,3.056942e-06,2.991339e-06,2.927914e-06,2.866638e-06,2.807475e-06,2.750390e-06,2.695345e-06,2.642299e-06,2.591213e-06,2.542044e-06,2.494749e-06,2.449287e-06,2.405614e-06,2.363685e-06,2.323458e-06,2.284888e-06,2.247933e-06,2.212550e-06,2.178695e-06,2.146326e-06,2.115401e-06,2.085880e-06,2.057720e-06,2.030882e-06,2.005326e-06,1.981013e-06,1.957905e-06,1.935964e-06,1.915152e-06,1.895434e-06,1.876775e-06,1.859138e-06,1.842490e-06,1.826797e-06,1.812026e-06,1.798146e-06,1.785124e-06,1.772930e-06,1.761533e-06,1.750905e-06,1.741016e-06,1.731838e-06,1.723344e-06,1.715507e-06
0.000000e+00,9.469357e-10,6.048037e-08,6.409755e-08,6.663893e-07,3.450565e-06,3.663681e-06,1.361055e-05,3.504627e-05,3.691555e-05,7.696575e-05,1.254190e-04,1.299517e-04,1.882372e-04,2.404753e-04,2.461604e-04,3.011827e-04,3.465518e-04,3.525086e-04,4.000118e-04,4.378738e-04,4.437826e-04,4.839784e-04,5.151077e-04,5.207738e-04,5.543465e-04,5.795941e-04,5.848713e-04,6.125186e-04,6.326756e-04,6.374532e-04,6.598340e-04,6.756163e-04,6.798132e-04,6.975368e-04,7.095841e-04,7.131441e-04,7.267677e-04,7.356465e-04,7.385338e-04,7.485624e-04,7.547713e-04,7.569673e-04,7.638564e-04,7.678317e-04,7.693317e-04,7.734899e-04,7.756121e-04,7.764226e-04,7.782162e-04,7.788157e-04,7.789522e-04,7.787080e-04,7.780710e-04,7.775562e-04,7.755656e-04,7.739388e-04,7.728010e-04,7.693234e-04,7.669187e-04,7.651904e-04,7.604562e-04,7.574551e-04,7.551717e-04,7.493851e-04,7.459421e-04,7.431413e-04,7.364829e-04,7.327291e-04,7.294498e-04,7.220792e-04,7.181250e-04,7.144065e-04,7.064645e-04,7.024022e-04,6.982841e-04,6.898942e-04,6.858007e-04,6.813219e-04,6.725925e-04,6.685309e-04,6.637298e-04,6.547557e-04,6.507772e-04,6.456909e-04,6.365547e-04,6.327005e-04,6.273649e-04,6.181382e-04,6.144407e-04,6.088901e-04,5.996350e-04,5.961190e-04,5.903861e-04,5.811558e-04,5.778396e-04,5.719555e-04,5.627957e-04,5.596923e-04,5.536861e-04,5.446356e-04,5.417533e-04,5.356524e-04,5.267439e-04,5.240870e-04,5.179170e-04,5.091779e-04,5.067475e-04,5.005323e-04,4.919852e-04,4.897797e-04,4.835413e-04,4.752046e-04,4.732201e-04,4.669788e-04,4.588673e-04,4.570983e-04,4.508727e-04,4.429978e-04,4.414373e-04,4.352445e-04,4.276148e-04,4.262547e-04,4.201101e-04,4.127317e-04,4.115630e-04,4.054807e-04,3.983577e-04,3.973707e-04,3.913633e-04,3.844977e-04,3.836825e-04,3.777612e-04,3.711537e-04,3.705000e-04,3.646749e-04,3.583244e-04,3.578219e-04,3.521017e-04,3.460062e-04,3.456445e-04,3.400370e-04,3.341933e-04,3.339622e-04,3.284741e-04,3.228783e-04,3.227676e-04,3.174047e-04,3.120520e-04,3.018055e-04,2.920171e-04,2.826752e-04,2.737675e-04,2.652812e-04,2.572033e-04,2.495204e-04,2.422190e-04,2.352856e-04,2.287068e-04,2.224693e-04,2.165599e-04,2.109656e-04,2.056736e-04,2.006714e-04,1.959468e-04,1.914877e-04,1.872827e-04,1.833203e-04,1.795898e-04,1.760805e-04,1.727822e-04,1.696851e-04,1.667796e-04,1.640565e-04,1.615070e-04,1.591226e-04,1.568952e-04,1.548169e-04,1.528802e-04,1.510779e-04,1.494033e-04,1.478495e-04,1.464105e-04,1.450800e-04,1.438524e-04,1.427221e-04,1.416839e-04,1.407328e-04,1.398640e-04,1.390729e-04,1.383552e-04,1.377067e-04,1.371235e-04,1.366019e-04,1.361382e-04,1.357290e-04,1.353711e-04,1.350615e-04
0.000000e+00,2.511900e-09,3.295840e-08,3.435760e-08,1.931965e-07,6.130248e-07,6.378554e-07,1.440310e-06,2.403084e-06,2.467129e-06,3.530302e-06,4.466311e-06,4.545033e-06,5.490357e-06,6.279549e-06,6.363684e-06,7.167026e-06,7.818599e-06,7.903571e-06,8.576760e-06,9.107655e-06,9.190024e-06,9.746552e-06,1.017259e-05,1.024963e-05,1.070250e-05,1.103861e-05,1.110832e-05,1.147009e-05,1.172973e-05,1.179069e-05,1.207286e-05,1.226794e-05,1.231918e-05,1.253212e-05,1.267305e-05,1.271399e-05,1.286697e-05,1.296280e-05,1.299313e-05,1.309440e-05,1.315294e-05,1.317261e-05,1.322947e-05,1.325743e-05,1.326658e-05,1.328545e-05,1.328859e-05,1.328750e-05,1.327406e-05,1.325731e-05,1.324637e-05,1.320559e-05,1.317313e-05,1.315281e-05,1.308906e-05,1.304444e-05,1.301529e-05,1.293238e-05,1.287861e-05,1.284119e-05,1.274247e-05,1.268206e-05,1.263697e-05,1.252536e-05,1.246043e-05,1.240828e-05,1.228631e-05,1.221861e-05,1.216000e-05,1.202988e-05,1.196086e-05,1.189640e-05,1.176003e-05,1.169088e-05,1.162117e-05,1.148019e-05,1.141189e-05,1.133747e-05,1.119333e-05,1.112663e-05,1.104806e-05,1.090197e-05,1.083749e-05,1.075530e-05,1.060830e-05,1.054651e-05,1.046119e-05,1.031417e-05,1.025544e-05,1.016744e-05,1.002117e-05,9.965746e-06,9.875523e-06,9.730636e-06,9.678689e-06,9.586646e-06,9.443675e-06,9.395318e-06,9.301835e-06,9.161225e-06,9.116505e-06,9.021937e-06,8.884053e-06,8.842972e-06,8.747646e-06,8.612784e-06,8.575307e-06,8.479524e-06,8.347920e-06,8.313980e-06,8.218017e-06,8.089855e-06,8.059359e-06,7.963470e-06,7.838891e-06,7.811728e-06,7.716143e-06,7.595248e-06,7.571292e-06,7.476221e-06,7.359077e-06,7.338192e-06,7.243825e-06,7.130472e-06,7.112512e-06,7.019021e-06,6.909472e-06,6.894287e-06,6.801825e-06,6.696076e-06,6.683513e-06,6.592218e-06,6.490243e-06,6.480149e-06,6.390143e-06,6.291906e-06,6.284127e-06,6.195518e-06,6.100967e-06,6.095352e-06,6.008237e-06,5.917311e-06,5.913711e-06,5.828172e-06,5.740803e-06,5.739073e-06,5.655182e-06,5.571292e-06,5.410212e-06,5.255668e-06,5.107488e-06,4.965497e-06,4.829516e-06,4.699364e-06,4.574860e-06,4.455820e-06,4.342067e-06,4.233419e-06,4.129702e-06,4.030741e-06,3.936367e-06,3.846411e-06,3.760712e-06,3.679110e-06,3.601449e-06,3.527580e-06,3.457354e-06,3.390630e-06,3.327270e-06,3.267140e-06,3.210111e-06,3.156057e-06,3.104857e-06,3.056396e-06,3.010558e-06,2.967237e-06,2.926327e-06,2.887726e-06,2.851337e-06,2.817065e-06,2.784821e-06,2.754517e-06,2.726069e-06,2.699395e-06,2.674419e-06,2.651066e-06,2.629262e-06,2.608940e-06,2.590033e-06,2.572476e-06,2.556208e-06,2.541169e-06,2.527304e-06,2.514556e-06,2.502874e-06,2.492208e-06,2.482508e-06
0.000000e+00,6.516534e-12,1.192993e-09,1.288188e-09,2.978056e-08,2.752034e-07,2.985751e-07,1.827121e-06,7.171795e-06,7.751895e-06,2.447417e-05,5.698779e-05,6.083098e-05,1.251539e-04,2.110815e-04,2.223170e-04,3.524884e-04,4.912426e-04,5.116717e-04,6.932135e-04,8.613696e-04,8.894397e-04,1.092925e-03,1.264736e-03,1.297262e-03,1.497381e-03,1.655690e-03,1.689573e-03,1.871328e-03,2.008160e-03,2.041113e-03,2.198139e-03,2.311589e-03,2.342158e-03,2.473294e-03,2.564563e-03,2.591918e-03,2.698552e-03,2.770102e-03,2.793811e-03,2.878349e-03,2.932953e-03,2.952835e-03,3.017933e-03,3.058263e-03,3.074289e-03,3.122524e-03,3.150987e-03,3.163228e-03,3.196962e-03,3.215666e-03,3.224254e-03,3.245600e-03,3.256358e-03,3.261466e-03,3.272286e-03,3.276640e-03,3.278468e-03,3.280392e-03,3.279651e-03,3.278412e-03,3.272859e-03,3.268123e-03,3.264040e-03,3.252242e-03,3.244433e-03,3.237731e-03,3.220755e-03,3.210645e-03,3.201545e-03,3.180315e-03,3.168543e-03,3.157263e-03,3.132574e-03,3.119670e-03,3.106421e-03,3.078960e-03,3.065359e-03,3.050341e-03,3.020700e-03,3.006757e-03,2.990163e-03,2.958847e-03,2.944850e-03,2.926861e-03,2.894305e-03,2.880483e-03,2.861271e-03,2.827845e-03,2.814382e-03,2.794106e-03,2.760126e-03,2.747165e-03,2.725973e-03,2.691707e-03,2.679356e-03,2.657387e-03,2.623063e-03,2.611401e-03,2.588783e-03,2.554592e-03,2.543675e-03,2.520528e-03,2.486628e-03,2.476495e-03,2.452926e-03,2.419451e-03,2.410123e-03,2.386232e-03,2.353292e-03,2.344776e-03,2.320654e-03,2.288338e-03,2.280633e-03,2.256363e-03,2.224744e-03,2.217837e-03,2.193495e-03,2.162630e-03,2.156504e-03,2.132159e-03,2.102092e-03,2.096724e-03,2.072438e-03,2.043203e-03,2.038565e-03,2.014393e-03,1.986014e-03,1.982076e-03,1.958069e-03,1.930562e-03,1.927291e-03,1.903495e-03,1.876868e-03,1.874230e-03,1.850684e-03,1.824943e-03,1.822902e-03,1.799643e-03,1.774784e-03,1.773306e-03,1.750364e-03,1.726382e-03,1.725432e-03,1.702836e-03,1.679722e-03,1.679264e-03,1.657038e-03,1.634780e-03,1.591953e-03,1.550753e-03,1.511145e-03,1.473095e-03,1.436562e-03,1.401509e-03,1.367894e-03,1.335676e-03,1.304813e-03,1.275263e-03,1.246986e-03,1.219938e-03,1.194080e-03,1.169371e-03,1.145770e-03,1.123239e-03,1.101740e-03,1.081235e-03,1.061687e-03,1.043061e-03,1.025322e-03,1.008436e-03,9.923709e-04,9.770944e-04,9.625757e-04,9.487851e-04,9.356935e-04,9.232730e-04,9.114964e-04,9.003376e-04,8.897712e-04,8.797729e-04,8.703189e-04,8.613866e-04,8.529540e-04,8.449998e-04,8.375036e-04,8.304458e-04,8.238072e-04,8.175696e-04,8.117154e-04,8.062275e-04,8.010897e-04,7.962860e-04,7.918015e-04,7.876213e-04,7.837316e-04,7.801188e-04,7.767698e-04
0.000000e+00,3.280046e-11,6.301043e-09,6.817999e-09,1.749084e-07,1.666825e-06,1.806958e-06,1.032910e-05,3.563728e-05,3.815148e-05,1.014614e-04,2.010387e-04,2.116759e-04,3.697972e-04,5.460863e-04,5.672239e-04,7.902291e-04,9.961976e-04,1.024469e-03,1.257812e-03,1.450933e-03,1.481408e-03,1.689602e-03,1.850274e-03,1.879319e-03,2.049333e-03,2.174003e-03,2.199625e-03,2.330909e-03,2.422987e-03,2.444292e-03,2.541072e-03,2.605907e-03,2.622604e-03,2.690225e-03,2.733104e-03,2.745215e-03,2.788782e-03,2.814330e-03,2.822047e-03,2.846047e-03,2.858127e-03,2.861733e-03,2.869979e-03,2.871755e-03,2.871583e-03,2.867273e-03,2.861304e-03,2.857710e-03,2.843500e-03,2.831843e-03,2.825189e-03,2.803276e-03,2.787571e-03,2.778211e-03,2.750405e-03,2.731952e-03,2.720227e-03,2.688012e-03,2.667832e-03,2.654063e-03,2.618654e-03,2.597545e-03,2.582031e-03,2.544416e-03,2.522993e-03,2.506009e-03,2.466990e-03,2.445722e-03,2.427520e-03,2.387743e-03,2.366982e-03,2.347790e-03,2.307775e-03,2.287777e-03,2.267802e-03,2.227961e-03,2.208908e-03,2.188334e-03,2.148992e-03,2.131008e-03,2.109999e-03,2.071410e-03,2.054571e-03,2.033273e-03,1.995631e-03,1.979977e-03,1.958519e-03,1.921969e-03,1.907512e-03,1.886007e-03,1.850655e-03,1.837385e-03,1.815931e-03,1.781850e-03,1.769741e-03,1.748425e-03,1.715663e-03,1.704677e-03,1.683572e-03,1.652155e-03,1.642245e-03,1.621415e-03,1.591352e-03,1.582465e-03,1.561965e-03,1.533251e-03,1.525332e-03,1.505207e-03,1.477827e-03,1.470816e-03,1.451105e-03,1.425035e-03,1.418875e-03,1.399610e-03,1.374820e-03,1.369450e-03,1.350657e-03,1.327111e-03,1.322476e-03,1.304174e-03,1.281835e-03,1.277877e-03,1.260083e-03,1.238909e-03,1.235574e-03,1.218301e-03,1.198249e-03,1.195485e-03,1.178741e-03,1.159767e-03,1.157526e-03,1.141316e-03,1.123376e-03,1.121610e-03,1.105937e-03,1.088987e-03,1.087652e-03,1.072516e-03,1.056513e-03,1.055567e-03,1.040967e-03,1.025867e-03,1.025272e-03,1.011203e-03,9.969652e-04,9.966847e-04,9.831424e-04,9.697250e-04,9.443155e-04,9.203810e-04,8.978491e-04,8.766499e-04,8.567161e-04,8.379833e-04,8.203897e-04,8.038761e-04,7.883859e-04,7.738651e-04,7.602623e-04,7.475282e-04,7.356162e-04,7.244815e-04,7.140819e-04,7.043769e-04,6.953282e-04,6.868993e-04,6.790556e-04,6.717641e-04,6.649936e-04,6.587144e-04,6.528984e-04,6.475188e-04,6.425503e-04,6.379687e-04,6.337514e-04,6.298766e-04,6.263239e-04,6.230738e-04,6.201079e-04,6.174087e-04,6.149597e-04,6.127453e-04,6.107507e-04,6.089617e-04,6.073651e-04,6.059483e-04,6.046994e-04,6.036072e-04,6.026610e-04,6.018508e-04,6.011671e-04,6.006008e-04,6.001436e-04,5.997873e-04,5.995245e-04,5.993480e-04,5.992511e-04
0.000000e+00,5.064267e-10,5.772880e-09,6.009020e-09,3.330506e-08,1.107326e-07,1.154972e-07,2.777221e-07,4.886789e-07,5.031671e-07,7.484179e-07,9.682762e-07,9.868474e-07,1.210436e-06,1.397725e-06,1.417722e-06,1.608949e-06,1.764478e-06,1.784792e-06,1.946030e-06,2.073620e-06,2.093459e-06,2.227865e-06,2.331262e-06,2.350012e-06,2.460639e-06,2.543253e-06,2.560452e-06,2.650124e-06,2.714993e-06,2.730297e-06,2.801581e-06,2.851382e-06,2.864551e-06,2.919754e-06,2.956833e-06,2.967707e-06,3.008899e-06,3.035297e-06,3.043786e-06,3.072799e-06,3.090280e-06,3.096343e-06,3.114798e-06,3.124884e-06,3.128528e-06,3.137873e-06,3.141887e-06,3.143154e-06,3.144675e-06,3.143760e-06,3.142725e-06,3.137591e-06,3.132751e-06,3.129523e-06,3.118758e-06,3.110825e-06,3.105514e-06,3.089998e-06,3.079679e-06,3.072404e-06,3.052914e-06,3.040807e-06,3.031696e-06,3.008910e-06,2.995520e-06,2.984704e-06,2.959219e-06,2.944971e-06,2.932585e-06,2.904923e-06,2.890170e-06,2.876346e-06,2.846962e-06,2.831999e-06,2.816869e-06,2.786160e-06,2.771226e-06,2.754921e-06,2.723232e-06,2.708524e-06,2.691168e-06,2.658798e-06,2.644475e-06,2.626187e-06,2.593395e-06,2.579582e-06,2.560478e-06,2.527486e-06,2.514280e-06,2.494468e-06,2.461468e-06,2.448941e-06,2.428526e-06,2.395680e-06,2.383885e-06,2.362964e-06,2.330410e-06,2.319384e-06,2.298047e-06,2.265902e-06,2.255666e-06,2.233999e-06,2.202360e-06,2.192923e-06,2.171006e-06,2.139954e-06,2.131316e-06,2.109222e-06,2.078823e-06,2.070976e-06,2.048772e-06,2.019080e-06,2.012009e-06,1.989758e-06,1.960815e-06,1.954499e-06,1.932259e-06,1.904097e-06,1.898512e-06,1.876335e-06,1.848978e-06,1.844097e-06,1.822030e-06,1.795495e-06,1.791288e-06,1.769375e-06,1.743672e-06,1.740107e-06,1.718387e-06,1.693521e-06,1.690565e-06,1.669073e-06,1.645044e-06,1.642664e-06,1.621432e-06,1.598235e-06,1.596397e-06,1.575453e-06,1.553082e-06,1.551753e-06,1.531121e-06,1.509566e-06,1.508713e-06,1.488415e-06,1.467663e-06,1.467252e-06,1.447308e-06,1.427345e-06,1.388960e-06,1.352064e-06,1.316623e-06,1.282598e-06,1.249952e-06,1.218646e-06,1.188640e-06,1.159894e-06,1.132367e-06,1.106020e-06,1.080814e-06,1.056709e-06,1.033665e-06,1.011646e-06,9.906138e-07,9.705316e-07,9.513638e-07,9.330756e-07,9.156332e-07,8.990034e-07,8.831544e-07,8.680550e-07,8.536752e-07,8.399858e-07,8.269585e-07,8.145663e-07,8.027827e-07,7.915824e-07,7.809409e-07,7.708347e-07,7.612410e-07,7.521379e-07,7.435045e-07,7.353204e-07,7.275661e-07,7.202229e-07,7.132728e-07,7.066986e-07,7.004836e-07,6.946118e-07,6.890680e-07,6.838374e-07,6.789061e-07,6.742603e-07,6.698872e-07,6.657743e-07,6.619097e-07,6.582820e-07,6.548801e-07
0.000000e+00,2.186520e-10,2.224621e-08,2.374898e-08,3.241408e-07,1.982359e-06,2.118136e-06,9.222128e-06,2.777749e-05,2.955975e-05,7.306597e-05,1.378777e-04,1.445637e-04,2.388330e-04,3.338236e-04,3.445928e-04,4.514962e-04,5.413765e-04,5.531836e-04,6.467560e-04,7.200379e-04,7.313341e-04,8.069821e-04,8.639393e-04,8.741353e-04,9.333506e-04,9.763890e-04,9.852050e-04,1.030259e-03,1.061767e-03,1.069048e-03,1.102073e-03,1.124138e-03,1.129808e-03,1.152695e-03,1.167102e-03,1.171147e-03,1.185551e-03,1.193815e-03,1.196265e-03,1.203625e-03,1.207023e-03,1.207941e-03,1.209502e-03,1.209098e-03,1.208573e-03,1.205403e-03,1.202083e-03,1.200218e-03,1.193230e-03,1.187725e-03,1.184633e-03,1.174605e-03,1.167512e-03,1.163310e-03,1.150900e-03,1.142707e-03,1.137513e-03,1.123276e-03,1.114375e-03,1.108307e-03,1.092711e-03,1.083417e-03,1.076586e-03,1.060022e-03,1.050585e-03,1.043100e-03,1.025894e-03,1.016508e-03,1.008470e-03,9.908913e-04,9.817073e-04,9.732121e-04,9.554830e-04,9.466141e-04,9.377494e-04,9.200520e-04,9.115811e-04,9.024276e-04,8.849093e-04,8.768947e-04,8.675264e-04,8.503051e-04,8.427850e-04,8.332688e-04,8.164379e-04,8.094347e-04,7.998307e-04,7.834629e-04,7.769859e-04,7.673480e-04,7.514980e-04,7.455466e-04,7.359228e-04,7.206307e-04,7.151963e-04,7.056288e-04,6.909226e-04,6.859907e-04,6.765166e-04,6.624139e-04,6.579656e-04,6.486170e-04,6.351270e-04,6.311400e-04,6.219447e-04,6.090698e-04,6.055198e-04,5.965015e-04,5.842382e-04,5.810995e-04,5.722780e-04,5.606185e-04,5.578646e-04,5.492566e-04,5.381892e-04,5.357936e-04,5.274127e-04,5.169230e-04,5.148591e-04,5.067161e-04,4.967875e-04,4.950296e-04,4.871328e-04,4.777471e-04,4.762700e-04,4.686255e-04,4.597632e-04,4.585429e-04,4.511551e-04,4.427960e-04,4.418094e-04,4.346809e-04,4.268043e-04,4.260296e-04,4.191612e-04,4.117463e-04,4.111628e-04,4.045543e-04,3.975801e-04,3.971685e-04,3.908185e-04,3.842642e-04,3.840063e-04,3.779123e-04,3.717577e-04,3.716365e-04,3.657953e-04,3.600202e-04,3.491193e-04,3.388970e-04,3.293175e-04,3.203464e-04,3.119506e-04,3.040984e-04,2.967592e-04,2.899041e-04,2.835054e-04,2.775366e-04,2.719726e-04,2.667897e-04,2.619652e-04,2.574776e-04,2.533067e-04,2.494332e-04,2.458391e-04,2.425071e-04,2.394210e-04,2.365656e-04,2.339265e-04,2.314900e-04,2.292434e-04,2.271746e-04,2.252722e-04,2.235256e-04,2.219246e-04,2.204599e-04,2.191226e-04,2.179042e-04,2.167969e-04,2.157933e-04,2.148865e-04,2.140700e-04,2.133376e-04,2.126836e-04,2.121026e-04,2.115896e-04,2.111397e-04,2.107485e-04,2.104119e-04,2.101260e-04,2.098869e-04,2.096914e-04,2.095361e-04,2.094181e-04,2.093345e-04,2.092827e-04,2.092601e-04
0.000000e+00,1.094233e-10,1.290527e-08,1.381658e-08,2.138946e-07,1.409976e-06,1.509681e-06,6.776647e-06,2.052634e-05,2.184499e-05,5.416809e-05,1.035031e-04,1.086984e-04,1.843072e-04,2.651022e-04,2.745552e-04,3.715873e-04,4.575971e-04,4.691950e-04,5.636159e-04,6.408264e-04,6.530032e-04,7.366502e-04,8.023700e-04,8.144218e-04,8.864382e-04,9.413526e-04,9.529230e-04,1.014135e-03,1.059486e-03,1.070340e-03,1.121802e-03,1.158816e-03,1.168779e-03,1.211516e-03,1.241308e-03,1.250252e-03,1.285214e-03,1.308785e-03,1.316620e-03,1.344676e-03,1.362914e-03,1.369580e-03,1.391521e-03,1.405212e-03,1.410677e-03,1.427217e-03,1.437053e-03,1.441303e-03,1.453088e-03,1.459675e-03,1.462715e-03,1.470325e-03,1.474196e-03,1.476046e-03,1.480003e-03,1.481622e-03,1.482313e-03,1.483087e-03,1.482859e-03,1.482431e-03,1.480442e-03,1.478716e-03,1.477216e-03,1.472840e-03,1.469920e-03,1.467400e-03,1.460975e-03,1.457122e-03,1.453640e-03,1.445465e-03,1.440904e-03,1.436517e-03,1.426860e-03,1.421785e-03,1.416554e-03,1.405653e-03,1.400226e-03,1.394212e-03,1.382281e-03,1.376640e-03,1.369905e-03,1.357130e-03,1.351394e-03,1.343998e-03,1.330547e-03,1.324812e-03,1.316815e-03,1.302835e-03,1.297182e-03,1.288641e-03,1.274263e-03,1.268757e-03,1.259730e-03,1.245068e-03,1.239763e-03,1.230302e-03,1.215457e-03,1.210395e-03,1.200554e-03,1.185613e-03,1.180827e-03,1.170654e-03,1.155694e-03,1.151209e-03,1.140751e-03,1.125840e-03,1.121672e-03,1.110975e-03,1.096169e-03,1.092331e-03,1.081435e-03,1.066785e-03,1.063283e-03,1.052229e-03,1.037776e-03,1.034611e-03,1.023436e-03,1.009217e-03,1.006389e-03,9.951267e-04,9.811718e-04,9.786748e-04,9.673586e-04,9.536930e-04,9.515205e-04,9.401800e-04,9.268244e-04,9.249674e-04,9.136302e-04,9.006013e-04,8.990491e-04,8.877408e-04,8.750517e-04,8.737924e-04,8.625365e-04,8.501974e-04,8.492179e-04,8.380360e-04,8.260540e-04,8.253408e-04,8.142526e-04,8.026327e-04,8.021717e-04,7.911950e-04,7.799400e-04,7.797168e-04,7.688679e-04,7.579786e-04,7.369566e-04,7.166475e-04,6.970454e-04,6.781424e-04,6.599291e-04,6.423942e-04,6.255254e-04,6.093094e-04,5.937319e-04,5.787779e-04,5.644319e-04,5.506780e-04,5.375001e-04,5.248818e-04,5.128065e-04,5.012578e-04,4.902192e-04,4.796743e-04,4.696069e-04,4.600009e-04,4.508406e-04,4.421103e-04,4.337949e-04,4.258794e-04,4.183492e-04,4.111899e-04,4.043876e-04,3.979289e-04,3.918003e-04,3.859891e-04,3.804828e-04,3.752694e-04,3.703369e-04,3.656741e-04,3.612699e-04,3.571136e-04,3.531950e-04,3.495040e-04,3.460310e-04,3.427668e-04,3.397022e-04,3.368286e-04,3.341377e-04,3.316214e-04,3.292719e-04,3.270817e-04,3.250436e-04,3.231507e-04,3.213962e-04
0.000000e+00,5.855825e-13,1.599993e-10,1.742623e-10,5.974725e-09,7.220548e-08,7.903609e-08,5.786582e-07,2.572838e-06,2.801581e-06,1.001124e-05,2.638915e-05,2.849281e-05,6.821747e-05,1.334128e-04,1.429197e-04,2.696070e-04,4.394338e-04,4.676404e-04,7.575628e-04,1.096023e-03,1.159843e-03,1.693676e-03,2.256191e-03,2.375934e-03,3.220332e-03,4.040845e-03,4.236836e-03,5.431319e-03,6.516306e-03,6.805441e-03,8.356726e-03,9.685754e-03,1.007882e-02,1.196184e-02,1.349270e-02,1.399285e-02,1.615640e-02,1.783255e-02,1.843504e-02,2.080987e-02,2.256821e-02,2.326108e-02,2.576843e-02,2.754612e-02,2.831168e-02,3.087099e-02,3.261071e-02,3.342727e-02,3.596241e-02,3.761577e-02,3.845953e-02,4.090315e-02,4.243246e-02,4.327927e-02,4.557545e-02,4.695412e-02,4.778086e-02,4.988624e-02,5.109819e-02,5.188390e-02,5.376763e-02,5.480606e-02,5.553267e-02,5.717555e-02,5.804134e-02,5.869407e-02,6.008715e-02,6.078718e-02,6.135471e-02,6.249761e-02,6.304316e-02,6.351749e-02,6.441671e-02,6.482196e-02,6.519820e-02,6.586543e-02,6.614624e-02,6.642227e-02,6.687291e-02,6.704577e-02,6.722183e-02,6.747370e-02,6.755500e-02,6.763330e-02,6.770553e-02,6.771099e-02,6.769528e-02,6.760747e-02,6.755172e-02,6.744696e-02,6.721854e-02,6.711492e-02,6.692689e-02,6.657658e-02,6.643697e-02,6.617203e-02,6.571753e-02,6.555235e-02,6.521718e-02,6.467495e-02,6.449321e-02,6.409462e-02,6.347980e-02,6.328914e-02,6.283392e-02,6.216024e-02,6.196705e-02,6.146183e-02,6.074161e-02,6.055112e-02,6.000231e-02,5.924653e-02,5.906296e-02,5.847667e-02,5.769501e-02,5.752167e-02,5.690367e-02,5.610463e-02,5.594406e-02,5.529975e-02,5.449074e-02,5.434480e-02,5.367920e-02,5.286662e-02,5.273660e-02,5.205437e-02,5.124371e-02,5.113041e-02,5.043581e-02,4.963176e-02,4.953558e-02,4.883255e-02,4.803907e-02,4.796007e-02,4.725217e-02,4.647261e-02,4.641058e-02,4.570106e-02,4.493816e-02,4.489267e-02,4.418447e-02,4.344050e-02,4.341096e-02,4.270672e-02,4.198353e-02,4.196918e-02,4.127130e-02,4.057034e-02,3.921678e-02,3.791027e-02,3.665211e-02,3.544315e-02,3.428389e-02,3.317452e-02,3.211494e-02,3.110484e-02,3.014372e-02,2.923091e-02,2.836558e-02,2.754682e-02,2.677358e-02,2.604478e-02,2.535923e-02,2.471571e-02,2.411295e-02,2.354965e-02,2.302447e-02,2.253608e-02,2.208310e-02,2.166416e-02,2.127788e-02,2.092290e-02,2.059784e-02,2.030132e-02,2.003200e-02,1.978853e-02,1.956958e-02,1.937383e-02,1.919999e-02,1.904679e-02,1.891297e-02,1.879731e-02,1.869862e-02,1.861572e-02,1.854747e-02,1.849277e-02,1.845054e-02,1.841975e-02,1.839939e-02,1.838850e-02,1.838615e-02,1.839145e-02,1.840356e-02,1.842167e-02,1.844501e-02,1.847287e-02,1.850454e-02
0.000000e+00,8.484602e-12,1.525241e-09,1.646129e-09,3.673166e-08,3.221210e-07,3.486235e-07,2.002624e-06,7.433047e-06,8.008058e-06,2.410109e-05,5.425570e-05,5.776683e-05,1.155457e-04,1.907787e-04,2.004906e-04,3.112701e-04,4.262453e-04,4.429239e-04,5.884433e-04,7.189713e-04,7.403596e-04,8.919033e-04,1.014888e-03,1.037635e-03,1.173626e-03,1.276074e-03,1.297372e-03,1.407550e-03,1.485618e-03,1.503740e-03,1.586160e-03,1.641289e-03,1.655449e-03,1.712496e-03,1.748286e-03,1.758315e-03,1.793966e-03,1.814418e-03,1.820495e-03,1.838906e-03,1.847664e-03,1.850136e-03,1.855051e-03,1.855158e-03,1.854438e-03,1.849010e-03,1.842900e-03,1.839412e-03,1.826218e-03,1.815793e-03,1.809944e-03,1.791045e-03,1.777763e-03,1.769929e-03,1.746956e-03,1.731922e-03,1.722445e-03,1.696677e-03,1.680717e-03,1.669900e-03,1.642332e-03,1.626058e-03,1.614166e-03,1.585571e-03,1.569425e-03,1.556692e-03,1.527659e-03,1.511957e-03,1.498584e-03,1.469563e-03,1.454523e-03,1.440682e-03,1.412011e-03,1.397775e-03,1.383614e-03,1.355543e-03,1.342198e-03,1.327843e-03,1.300552e-03,1.288145e-03,1.273702e-03,1.247318e-03,1.235862e-03,1.221421e-03,1.196028e-03,1.185516e-03,1.171151e-03,1.146800e-03,1.137209e-03,1.122982e-03,1.099700e-03,1.090995e-03,1.076957e-03,1.054752e-03,1.046890e-03,1.033084e-03,1.011948e-03,1.004883e-03,9.913414e-04,9.712574e-04,9.649399e-04,9.516899e-04,9.326318e-04,9.270125e-04,9.140751e-04,8.960114e-04,8.910407e-04,8.784318e-04,8.613272e-04,8.569566e-04,8.446879e-04,8.285045e-04,8.246871e-04,8.127669e-04,7.974653e-04,7.941565e-04,7.825898e-04,7.681303e-04,7.652875e-04,7.540769e-04,7.404196e-04,7.380025e-04,7.271485e-04,7.142537e-04,7.122248e-04,7.017256e-04,6.895546e-04,6.878787e-04,6.777313e-04,6.662464e-04,6.648905e-04,6.550908e-04,6.442555e-04,6.431893e-04,6.337319e-04,6.235112e-04,6.227064e-04,6.135852e-04,6.039455e-04,6.033760e-04,5.945841e-04,5.854931e-04,5.851349e-04,5.766648e-04,5.680918e-04,5.679228e-04,5.597667e-04,5.516824e-04,5.363591e-04,5.219011e-04,5.082591e-04,4.953867e-04,4.832398e-04,4.717767e-04,4.609581e-04,4.507467e-04,4.411076e-04,4.320075e-04,4.234152e-04,4.153014e-04,4.076383e-04,4.003998e-04,3.935611e-04,3.870991e-04,3.809920e-04,3.752192e-04,3.697613e-04,3.646000e-04,3.597183e-04,3.550999e-04,3.507296e-04,3.465932e-04,3.426771e-04,3.389686e-04,3.354559e-04,3.321277e-04,3.289733e-04,3.259830e-04,3.231472e-04,3.204572e-04,3.179047e-04,3.154818e-04,3.131813e-04,3.109961e-04,3.089199e-04,3.069464e-04,3.050698e-04,3.032848e-04,3.015862e-04,2.999692e-04,2.984293e-04,2.969621e-04,2.955637e-04,2.942303e-04,2.929582e-04,2.917442e-04,2.905850e-04
0.000000e+00,3.816170e-10,4.058258e-08,4.338934e-08,6.384670e-07,3.977713e-06,4.246264e-06,1.739804e-05,4.737449e-05,5.005708e-05,1.098959e-04,1.883748e-04,1.960549e-04,2.995512e-04,3.985342e-04,4.095777e-04,5.183888e-04,6.098955e-04,6.219854e-04,7.188087e-04,7.963586e-04,8.084840e-04,8.911141e-04,9.552765e-04,9.669718e-04,1.036383e-03,1.088727e-03,1.099685e-03,1.157215e-03,1.199303e-03,1.209299e-03,1.256255e-03,1.289517e-03,1.298387e-03,1.335986e-03,1.361702e-03,1.369331e-03,1.398686e-03,1.417989e-03,1.424303e-03,1.446422e-03,1.460309e-03,1.465269e-03,1.481059e-03,1.490403e-03,1.493996e-03,1.504272e-03,1.509833e-03,1.512070e-03,1.517564e-03,1.520007e-03,1.520917e-03,1.522283e-03,1.522181e-03,1.521806e-03,1.519625e-03,1.517473e-03,1.515867e-03,1.510656e-03,1.506880e-03,1.504107e-03,1.496326e-03,1.491290e-03,1.487417e-03,1.477475e-03,1.471491e-03,1.466591e-03,1.454849e-03,1.448180e-03,1.442329e-03,1.429106e-03,1.421976e-03,1.415250e-03,1.400828e-03,1.393424e-03,1.385901e-03,1.370527e-03,1.363005e-03,1.354761e-03,1.338653e-03,1.331141e-03,1.322250e-03,1.305598e-03,1.298203e-03,1.288738e-03,1.271709e-03,1.264515e-03,1.254546e-03,1.237283e-03,1.230358e-03,1.219952e-03,1.202582e-03,1.195977e-03,1.185199e-03,1.167829e-03,1.161584e-03,1.150495e-03,1.133217e-03,1.127360e-03,1.116017e-03,1.098912e-03,1.093461e-03,1.081918e-03,1.065052e-03,1.060019e-03,1.048326e-03,1.031755e-03,1.027145e-03,1.015350e-03,9.991209e-04,9.949315e-04,9.830778e-04,9.672293e-04,9.634555e-04,9.515831e-04,9.361462e-04,9.327788e-04,9.209247e-04,9.059239e-04,9.029507e-04,8.911487e-04,8.766029e-04,8.740093e-04,8.622901e-04,8.482133e-04,8.459830e-04,8.343747e-04,8.207762e-04,8.188917e-04,8.074194e-04,7.943051e-04,7.927477e-04,7.814340e-04,7.688064e-04,7.675570e-04,7.564221e-04,7.442807e-04,7.433199e-04,7.323815e-04,7.207236e-04,7.200318e-04,7.093058e-04,6.981265e-04,6.976842e-04,6.871841e-04,6.764768e-04,6.762651e-04,6.660026e-04,6.557592e-04,6.361492e-04,6.174155e-04,5.995369e-04,5.824909e-04,5.662539e-04,5.508017e-04,5.361095e-04,5.221520e-04,5.089040e-04,4.963400e-04,4.844348e-04,4.731633e-04,4.625008e-04,4.524229e-04,4.429056e-04,4.339257e-04,4.254601e-04,4.174866e-04,4.099835e-04,4.029297e-04,3.963048e-04,3.900890e-04,3.842632e-04,3.788089e-04,3.737084e-04,3.689444e-04,3.645005e-04,3.603608e-04,3.565099e-04,3.529333e-04,3.496169e-04,3.465471e-04,3.437112e-04,3.410966e-04,3.386916e-04,3.364849e-04,3.344655e-04,3.326233e-04,3.309482e-04,3.294309e-04,3.280623e-04,3.268339e-04,3.257375e-04,3.247652e-04,3.239097e-04,3.231640e-04,3.225211e-04,3.219748e-04,3.215190e-04
0.000000e+00,6.174049e-13,1.617390e-10,1.759907e-10,5.865670e-09,7.178081e-08,7.866125e-08,5.972361e-07,2.757425e-06,3.009566e-06,1.115403e-05,3.030189e-05,3.279946e-05,8.093010e-05,1.624133e-04,1.744775e-04,3.384072e-04,5.649813e-04,6.032064e-04,1.003891e-03,1.486246e-03,1.578679e-03,2.367483e-03,3.224793e-03,3.410343e-03,4.745923e-03,6.084830e-03,6.410133e-03,8.434957e-03,1.033286e-02,1.084750e-02,1.366928e-02,1.616452e-02,1.691575e-02,2.059608e-02,2.368525e-02,2.471308e-02,2.926339e-02,3.290436e-02,3.423776e-02,3.962149e-02,4.374038e-02,4.539490e-02,5.153398e-02,5.603417e-02,5.801096e-02,6.479498e-02,6.956656e-02,7.185270e-02,7.914899e-02,8.407759e-02,8.664746e-02,9.431106e-02,9.928524e-02,1.021026e-01,1.099852e-01,1.149022e-01,1.179227e-01,1.258800e-01,1.306499e-01,1.338235e-01,1.417211e-01,1.462687e-01,1.495426e-01,1.572597e-01,1.615260e-01,1.648465e-01,1.722790e-01,1.762206e-01,1.795354e-01,1.865964e-01,1.901851e-01,1.934447e-01,2.000653e-01,2.032859e-01,2.064450e-01,2.125730e-01,2.154223e-01,2.184403e-01,2.240396e-01,2.265238e-01,2.293656e-01,2.344144e-01,2.365474e-01,2.391837e-01,2.436724e-01,2.454740e-01,2.478808e-01,2.518103e-01,2.533046e-01,2.554636e-01,2.588439e-01,2.600577e-01,2.619555e-01,2.648033e-01,2.657651e-01,2.673931e-01,2.697308e-01,2.704694e-01,2.718232e-01,2.736772e-01,2.742213e-01,2.753001e-01,2.766995e-01,2.770769e-01,2.778832e-01,2.788591e-01,2.790962e-01,2.796352e-01,2.802195e-01,2.803411e-01,2.806201e-01,2.808451e-01,2.808738e-01,2.809022e-01,2.807996e-01,2.807563e-01,2.805448e-01,2.801456e-01,2.800491e-01,2.796094e-01,2.789436e-01,2.788105e-01,2.781552e-01,2.772513e-01,2.770964e-01,2.762386e-01,2.751237e-01,2.749598e-01,2.739129e-01,2.726124e-01,2.724506e-01,2.712281e-01,2.697657e-01,2.696153e-01,2.682307e-01,2.666284e-01,2.664975e-01,2.649639e-01,2.632421e-01,2.631371e-01,2.614677e-01,2.596451e-01,2.595713e-01,2.577787e-01,2.558724e-01,2.558339e-01,2.539304e-01,2.519561e-01,2.479661e-01,2.438894e-01,2.397494e-01,2.355668e-01,2.313606e-01,2.271474e-01,2.229424e-01,2.187589e-01,2.146086e-01,2.105020e-01,2.064482e-01,2.024552e-01,1.985299e-01,1.946782e-01,1.909051e-01,1.872151e-01,1.836115e-01,1.800974e-01,1.766749e-01,1.733460e-01,1.701119e-01,1.669735e-01,1.639312e-01,1.609853e-01,1.581354e-01,1.553812e-01,1.527220e-01,1.501569e-01,1.476847e-01,1.453042e-01,1.430139e-01,1.408123e-01,1.386976e-01,1.366680e-01,1.347218e-01,1.328569e-01,1.310712e-01,1.293628e-01,1.277295e-01,1.261691e-01,1.246795e-01,1.232585e-01,1.219039e-01,1.206134e-01,1.193849e-01,1.182162e-01,1.171051e-01,1.160494e-01,1.150470e-01
0.000000e+00,3.156878e-09,1.278363e-07,1.351539e-07,1.372103e-06,6.575067e-06,6.939189e-06,2.079231e-05,4.043259e-05,4.179269e-05,6.464394e-05,8.475861e-05,8.644232e-05,1.065452e-04,1.231586e-04,1.249205e-04,1.416496e-04,1.550888e-04,1.568324e-04,1.705688e-04,1.812989e-04,1.829552e-04,1.940837e-04,2.025235e-04,2.040416e-04,2.129116e-04,2.194281e-04,2.207717e-04,2.276953e-04,2.326062e-04,2.337511e-04,2.390039e-04,2.425824e-04,2.435138e-04,2.473374e-04,2.498170e-04,2.505275e-04,2.531333e-04,2.547125e-04,2.552007e-04,2.567726e-04,2.576201e-04,2.578890e-04,2.585870e-04,2.588454e-04,2.589014e-04,2.588645e-04,2.586541e-04,2.585062e-04,2.578546e-04,2.572765e-04,2.569355e-04,2.557733e-04,2.549122e-04,2.543902e-04,2.528074e-04,2.517342e-04,2.510440e-04,2.491182e-04,2.478917e-04,2.470465e-04,2.448446e-04,2.435134e-04,2.425266e-04,2.401060e-04,2.387102e-04,2.375949e-04,2.350049e-04,2.335772e-04,2.323464e-04,2.296292e-04,2.281960e-04,2.268622e-04,2.240538e-04,2.226365e-04,2.212116e-04,2.183426e-04,2.169579e-04,2.154533e-04,2.125497e-04,2.112108e-04,2.096373e-04,2.067210e-04,2.054378e-04,2.038055e-04,2.008949e-04,1.996749e-04,1.979932e-04,1.951039e-04,1.939523e-04,1.922300e-04,1.893746e-04,1.882949e-04,1.865402e-04,1.837292e-04,1.827234e-04,1.809438e-04,1.781859e-04,1.772548e-04,1.754572e-04,1.727592e-04,1.719026e-04,1.700933e-04,1.674608e-04,1.666777e-04,1.648626e-04,1.622996e-04,1.615884e-04,1.597728e-04,1.572827e-04,1.566413e-04,1.548299e-04,1.524148e-04,1.518409e-04,1.500379e-04,1.476995e-04,1.471902e-04,1.453997e-04,1.431386e-04,1.426911e-04,1.409164e-04,1.387331e-04,1.383442e-04,1.365886e-04,1.344829e-04,1.341495e-04,1.324157e-04,1.303869e-04,1.301059e-04,1.283963e-04,1.264437e-04,1.262119e-04,1.245287e-04,1.226510e-04,1.224653e-04,1.208104e-04,1.190064e-04,1.188636e-04,1.172386e-04,1.155067e-04,1.154039e-04,1.138102e-04,1.121487e-04,1.120830e-04,1.105218e-04,1.089290e-04,1.088975e-04,1.073698e-04,1.058438e-04,1.029183e-04,1.001173e-04,9.743676e-05,9.487300e-05,9.242216e-05,9.008042e-05,8.784400e-05,8.570917e-05,8.367225e-05,8.172964e-05,7.987782e-05,7.811335e-05,7.643286e-05,7.483309e-05,7.331087e-05,7.186312e-05,7.048685e-05,6.917917e-05,6.793728e-05,6.675848e-05,6.564015e-05,6.457977e-05,6.357490e-05,6.262320e-05,6.172240e-05,6.087033e-05,6.006489e-05,5.930405e-05,5.858588e-05,5.790850e-05,5.727011e-05,5.666898e-05,5.610346e-05,5.557195e-05,5.507291e-05,5.460487e-05,5.416641e-05,5.375617e-05,5.337285e-05,5.301521e-05,5.268202e-05,5.237215e-05,5.208449e-05,5.181797e-05,5.157158e-05,5.134434e-05,5.113531e-05,5.094361e-05,5.076836e-05
0.000000e+00,7.782004e-13,1.767643e-10,1.915680e-10,5.103387e-09,5.114210e-08,5.564172e-08,3.653830e-07,1.561125e-06,1.698315e-06,6.098266e-06,1.653306e-05,1.790665e-05,4.480256e-05,9.154292e-05,9.855183e-05,1.952694e-04,3.318798e-04,3.551549e-04,6.017705e-04,9.029177e-04,9.609892e-04,1.459753e-03,2.006134e-03,2.124776e-03,2.981299e-03,3.842538e-03,4.051972e-03,5.355934e-03,6.577277e-03,6.908141e-03,8.718843e-03,1.031423e-02,1.079335e-02,1.313199e-02,1.508340e-02,1.573024e-02,1.857897e-02,2.084064e-02,2.166492e-02,2.497109e-02,2.747671e-02,2.847737e-02,3.216103e-02,3.483196e-02,3.599735e-02,3.996020e-02,4.271345e-02,4.402257e-02,4.815711e-02,5.091219e-02,5.233656e-02,5.653415e-02,5.921814e-02,6.072401e-02,6.488143e-02,6.743246e-02,6.898313e-02,7.300746e-02,7.537656e-02,7.693452e-02,8.074629e-02,8.289787e-02,8.442667e-02,8.796151e-02,8.987282e-02,9.133861e-02,9.454765e-02,9.620760e-02,9.758017e-02,1.004294e-01,1.018369e-01,1.030905e-01,1.055597e-01,1.067218e-01,1.078353e-01,1.099163e-01,1.108463e-01,1.118035e-01,1.134985e-01,1.142143e-01,1.150037e-01,1.163229e-01,1.168454e-01,1.174601e-01,1.184203e-01,1.187721e-01,1.192089e-01,1.198318e-01,1.200359e-01,1.202953e-01,1.206059e-01,1.206853e-01,1.207705e-01,1.207960e-01,1.207724e-01,1.206894e-01,1.204577e-01,1.203518e-01,1.201082e-01,1.196477e-01,1.194781e-01,1.190833e-01,1.184217e-01,1.182053e-01,1.176697e-01,1.168338e-01,1.165856e-01,1.159204e-01,1.149354e-01,1.146684e-01,1.138850e-01,1.127749e-01,1.125001e-01,1.116104e-01,1.103970e-01,1.101240e-01,1.091397e-01,1.078433e-01,1.075797e-01,1.065123e-01,1.051512e-01,1.049034e-01,1.037642e-01,1.023550e-01,1.021277e-01,1.009275e-01,9.948506e-02,9.928213e-02,9.803107e-02,9.656861e-02,9.639268e-02,9.510057e-02,9.362969e-02,9.348255e-02,9.215852e-02,9.068945e-02,9.057208e-02,8.922469e-02,8.776630e-02,8.767904e-02,8.631620e-02,8.487617e-02,8.481881e-02,8.344786e-02,8.203276e-02,8.200460e-02,8.063227e-02,7.924768e-02,7.655754e-02,7.394206e-02,7.140773e-02,6.895974e-02,6.660217e-02,6.433807e-02,6.216965e-02,6.009830e-02,5.812476e-02,5.624915e-02,5.447109e-02,5.278973e-02,5.120383e-02,4.971184e-02,4.831188e-02,4.700185e-02,4.577944e-02,4.464215e-02,4.358733e-02,4.261223e-02,4.171399e-02,4.088967e-02,4.013627e-02,3.945075e-02,3.883004e-02,3.827105e-02,3.777069e-02,3.732588e-02,3.693354e-02,3.659063e-02,3.629415e-02,3.604114e-02,3.582868e-02,3.565390e-02,3.551402e-02,3.540631e-02,3.532811e-02,3.527686e-02,3.525007e-02,3.524534e-02,3.526035e-02,3.529291e-02,3.534090e-02,3.540230e-02,3.547521e-02,3.555782e-02,3.564844e-02,3.574546e-02,3.584740e-02
0.000000e+00,2.548613e-13,7.945790e-11,8.682381e-11,3.407254e-09,4.339997e-08,4.753327e-08,3.412253e-07,1.425481e-06,1.544663e-06,5.046668e-06,1.217728e-05,1.304692e-05,2.839618e-05,5.111578e-05,5.426707e-05,9.376178e-05,1.419199e-04,1.495464e-04,2.235699e-04,3.026513e-04,3.168924e-04,4.296229e-04,5.387484e-04,5.609531e-04,7.092622e-04,8.419618e-04,8.722689e-04,1.047209e-03,1.193696e-03,1.231014e-03,1.420485e-03,1.570157e-03,1.612443e-03,1.803852e-03,1.947225e-03,1.991916e-03,2.174153e-03,2.303991e-03,2.348433e-03,2.513002e-03,2.624688e-03,2.666478e-03,2.807847e-03,2.899224e-03,2.936428e-03,3.051853e-03,3.122763e-03,3.154017e-03,3.243051e-03,3.294770e-03,3.319277e-03,3.383170e-03,3.417860e-03,3.435326e-03,3.476428e-03,3.496685e-03,3.507220e-03,3.528478e-03,3.536987e-03,3.540995e-03,3.545559e-03,3.544868e-03,3.542942e-03,3.533890e-03,3.526276e-03,3.519112e-03,3.499277e-03,3.486684e-03,3.475008e-03,3.446885e-03,3.430915e-03,3.415437e-03,3.381148e-03,3.363077e-03,3.344457e-03,3.305758e-03,3.286575e-03,3.265406e-03,3.223716e-03,3.204168e-03,3.180969e-03,3.137410e-03,3.118044e-03,3.093257e-03,3.048699e-03,3.029905e-03,3.003902e-03,2.959010e-03,2.941055e-03,2.914146e-03,2.869419e-03,2.852477e-03,2.824917e-03,2.780721e-03,2.764898e-03,2.736895e-03,2.693495e-03,2.678844e-03,2.650567e-03,2.608149e-03,2.594689e-03,2.566275e-03,2.524968e-03,2.512690e-03,2.484250e-03,2.444138e-03,2.433017e-03,2.404644e-03,2.365777e-03,2.355775e-03,2.327543e-03,2.289948e-03,2.281021e-03,2.252993e-03,2.216679e-03,2.208776e-03,2.181005e-03,2.145968e-03,2.139037e-03,2.111566e-03,2.077794e-03,2.071781e-03,2.044647e-03,2.012120e-03,2.006973e-03,1.980207e-03,1.948901e-03,1.944567e-03,1.918196e-03,1.888084e-03,1.884510e-03,1.858558e-03,1.829610e-03,1.826747e-03,1.801233e-03,1.773419e-03,1.771218e-03,1.746159e-03,1.719447e-03,1.717861e-03,1.693272e-03,1.667628e-03,1.666614e-03,1.642507e-03,1.617900e-03,1.617413e-03,1.593798e-03,1.570195e-03,1.524898e-03,1.481459e-03,1.439818e-03,1.399913e-03,1.361686e-03,1.325080e-03,1.290037e-03,1.256503e-03,1.224423e-03,1.193747e-03,1.164422e-03,1.136399e-03,1.109632e-03,1.084072e-03,1.059676e-03,1.036399e-03,1.014200e-03,9.930380e-04,9.728727e-04,9.536662e-04,9.353818e-04,9.179836e-04,9.014372e-04,8.857093e-04,8.707676e-04,8.565812e-04,8.431199e-04,8.303549e-04,8.182581e-04,8.068026e-04,7.959624e-04,7.857122e-04,7.760280e-04,7.668862e-04,7.582643e-04,7.501406e-04,7.424940e-04,7.353043e-04,7.285520e-04,7.222183e-04,7.162849e-04,7.107344e-04,7.055498e-04,7.007150e-04,6.962142e-04,6.920323e-04,6.881546e-04,6.845673e-04,6.812567e-04
0.000000e+00,1.300663e-09,2.170624e-08,2.273606e-08,1.541915e-07,5.346586e-07,5.573767e-07,1.267676e-06,2.048839e-06,2.098864e-06,2.910231e-06,3.606678e-06,3.664762e-06,4.357505e-06,4.929743e-06,4.990439e-06,5.566991e-06,6.030611e-06,6.090802e-06,6.565407e-06,6.936793e-06,6.994185e-06,7.380344e-06,7.673998e-06,7.726906e-06,8.036707e-06,8.265177e-06,8.312397e-06,8.556453e-06,8.730502e-06,8.771219e-06,8.958871e-06,9.087732e-06,9.121446e-06,9.260850e-06,9.352397e-06,9.378857e-06,9.477121e-06,9.538034e-06,9.557179e-06,9.620468e-06,9.656405e-06,9.668321e-06,9.701979e-06,9.717717e-06,9.722599e-06,9.731255e-06,9.730819e-06,9.728944e-06,9.716596e-06,9.703368e-06,9.695072e-06,9.665173e-06,9.641989e-06,9.627644e-06,9.583174e-06,9.552400e-06,9.532404e-06,9.475929e-06,9.439536e-06,9.414299e-06,9.348026e-06,9.307648e-06,9.277583e-06,9.203408e-06,9.160393e-06,9.125909e-06,9.045461e-06,9.000916e-06,8.962411e-06,8.877082e-06,8.831909e-06,8.789770e-06,8.700750e-06,8.655680e-06,8.610276e-06,8.518582e-06,8.474199e-06,8.425883e-06,8.332378e-06,8.289146e-06,8.238250e-06,8.143667e-06,8.101946e-06,8.048783e-06,7.953742e-06,7.913809e-06,7.858673e-06,7.763695e-06,7.725754e-06,7.668917e-06,7.574440e-06,7.538636e-06,7.480353e-06,7.386741e-06,7.353172e-06,7.293678e-06,7.201233e-06,7.169954e-06,7.109468e-06,7.018437e-06,6.989471e-06,6.928193e-06,6.838779e-06,6.812123e-06,6.750237e-06,6.662602e-06,6.638231e-06,6.575905e-06,6.490176e-06,6.468048e-06,6.405438e-06,6.321713e-06,6.301772e-06,6.239019e-06,6.157372e-06,6.139551e-06,6.076784e-06,5.997267e-06,5.981493e-06,5.918829e-06,5.841477e-06,5.827669e-06,5.765214e-06,5.690044e-06,5.678119e-06,5.615970e-06,5.542989e-06,5.532859e-06,5.471102e-06,5.400306e-06,5.391883e-06,5.330597e-06,5.261971e-06,5.255168e-06,5.194422e-06,5.127945e-06,5.122672e-06,5.062531e-06,4.998174e-06,4.994346e-06,4.934866e-06,4.872596e-06,4.870127e-06,4.811357e-06,4.751139e-06,4.749944e-06,4.691930e-06,4.633721e-06,4.521374e-06,4.412817e-06,4.307960e-06,4.206711e-06,4.108977e-06,4.014663e-06,3.923675e-06,3.835919e-06,3.751302e-06,3.669729e-06,3.591109e-06,3.515353e-06,3.442369e-06,3.372073e-06,3.304378e-06,3.239201e-06,3.176460e-06,3.116076e-06,3.057971e-06,3.002070e-06,2.948299e-06,2.896587e-06,2.846866e-06,2.799066e-06,2.753123e-06,2.708975e-06,2.666558e-06,2.625814e-06,2.586685e-06,2.549115e-06,2.513049e-06,2.478436e-06,2.445225e-06,2.413367e-06,2.382813e-06,2.353518e-06,2.325438e-06,2.298529e-06,2.272751e-06,2.248062e-06,2.224423e-06,2.201798e-06,2.180150e-06,2.159443e-06,2.139644e-06,2.120719e-06,2.102638e-06,2.085369e-06,2.068882e-06
0.000000e+00,2.501439e-12,5.101244e-10,5.521364e-10,1.423534e-08,1.407766e-07,1.530317e-07,9.680504e-07,3.870598e-06,4.188758e-06,1.356868e-05,3.271448e-05,3.504322e-05,7.567959e-05,1.339578e-04,1.418660e-04,2.376964e-04,3.474185e-04,3.641722e-04,5.192835e-04,6.723093e-04,6.986809e-04,8.965892e-04,1.072514e-03,1.106691e-03,1.322827e-03,1.500659e-03,1.539473e-03,1.751990e-03,1.916538e-03,1.956716e-03,2.150935e-03,2.293902e-03,2.332777e-03,2.501090e-03,2.619583e-03,2.655292e-03,2.795249e-03,2.889753e-03,2.921158e-03,3.033449e-03,3.106191e-03,3.132709e-03,3.219625e-03,3.273517e-03,3.294938e-03,3.359410e-03,3.397447e-03,3.413801e-03,3.458852e-03,3.483819e-03,3.495281e-03,3.523771e-03,3.538138e-03,3.544967e-03,3.559476e-03,3.565364e-03,3.567866e-03,3.570665e-03,3.569868e-03,3.568368e-03,3.561432e-03,3.555452e-03,3.550281e-03,3.535310e-03,3.525394e-03,3.516883e-03,3.495336e-03,3.482515e-03,3.470983e-03,3.444110e-03,3.429230e-03,3.414984e-03,3.383850e-03,3.367601e-03,3.350934e-03,3.316446e-03,3.299391e-03,3.280579e-03,3.243508e-03,3.226097e-03,3.205398e-03,3.166399e-03,3.148993e-03,3.126648e-03,3.086273e-03,3.069158e-03,3.045390e-03,3.004106e-03,2.987502e-03,2.962518e-03,2.920717e-03,2.904794e-03,2.878784e-03,2.836795e-03,2.821678e-03,2.794817e-03,2.752912e-03,2.738692e-03,2.711139e-03,2.669547e-03,2.656283e-03,2.628183e-03,2.587090e-03,2.574820e-03,2.546305e-03,2.505863e-03,2.494605e-03,2.465795e-03,2.426128e-03,2.415883e-03,2.386885e-03,2.348090e-03,2.338848e-03,2.309761e-03,2.271914e-03,2.263654e-03,2.234565e-03,2.197725e-03,2.190419e-03,2.161406e-03,2.125617e-03,2.119232e-03,2.090365e-03,2.055656e-03,2.050153e-03,2.021495e-03,1.987886e-03,1.983225e-03,1.954831e-03,1.922331e-03,1.918468e-03,1.890386e-03,1.858997e-03,1.855889e-03,1.828163e-03,1.797881e-03,1.795482e-03,1.768148e-03,1.738963e-03,1.737230e-03,1.710322e-03,1.682219e-03,1.681106e-03,1.654652e-03,1.627615e-03,1.627079e-03,1.601103e-03,1.575110e-03,1.525155e-03,1.477167e-03,1.431096e-03,1.386891e-03,1.344498e-03,1.303863e-03,1.264931e-03,1.227648e-03,1.191959e-03,1.157810e-03,1.125147e-03,1.093917e-03,1.064070e-03,1.035554e-03,1.008320e-03,9.823197e-04,9.575066e-04,9.338349e-04,9.112605e-04,8.897405e-04,8.692334e-04,8.496990e-04,8.310985e-04,8.133945e-04,7.965507e-04,7.805323e-04,7.653055e-04,7.508378e-04,7.370981e-04,7.240561e-04,7.116829e-04,6.999505e-04,6.888321e-04,6.783018e-04,6.683348e-04,6.589071e-04,6.499957e-04,6.415785e-04,6.336343e-04,6.261426e-04,6.190837e-04,6.124389e-04,6.061899e-04,6.003194e-04,5.948105e-04,5.896473e-04,5.848142e-04,5.802963e-04,5.760795e-04
0.000000e+00,3.902950e-11,5.675074e-09,6.098398e-09,1.108838e-07,8.297019e-07,8.928655e-07,4.537329e-06,1.538958e-05,1.649379e-05,4.575489e-05,9.598788e-05,1.015799e-04,1.882920e-04,2.903757e-04,3.028739e-04,4.369445e-04,5.631102e-04,5.805355e-04,7.249716e-04,8.450750e-04,8.640636e-04,9.940731e-04,1.094864e-03,1.113144e-03,1.220661e-03,1.300272e-03,1.316741e-03,1.401889e-03,1.462592e-03,1.476787e-03,1.542183e-03,1.587082e-03,1.598832e-03,1.647459e-03,1.679476e-03,1.688753e-03,1.723356e-03,1.745007e-03,1.751864e-03,1.774828e-03,1.788216e-03,1.792756e-03,1.806115e-03,1.812979e-03,1.815335e-03,1.820813e-03,1.822586e-03,1.822910e-03,1.821959e-03,1.819812e-03,1.818266e-03,1.812111e-03,1.806999e-03,1.803750e-03,1.793418e-03,1.786117e-03,1.781330e-03,1.767683e-03,1.758822e-03,1.752657e-03,1.736416e-03,1.726499e-03,1.719111e-03,1.700879e-03,1.690311e-03,1.681846e-03,1.662125e-03,1.651227e-03,1.641822e-03,1.621030e-03,1.610055e-03,1.599837e-03,1.578321e-03,1.567464e-03,1.556553e-03,1.534597e-03,1.524010e-03,1.512514e-03,1.490355e-03,1.480150e-03,1.468168e-03,1.445998e-03,1.436258e-03,1.423883e-03,1.401857e-03,1.392641e-03,1.379954e-03,1.358200e-03,1.349546e-03,1.336621e-03,1.315239e-03,1.307170e-03,1.294074e-03,1.273144e-03,1.265670e-03,1.252464e-03,1.232048e-03,1.225169e-03,1.211907e-03,1.192051e-03,1.185759e-03,1.172490e-03,1.153229e-03,1.147511e-03,1.134277e-03,1.115636e-03,1.110473e-03,1.097312e-03,1.079307e-03,1.074678e-03,1.061624e-03,1.044263e-03,1.040145e-03,1.027226e-03,1.010513e-03,1.006879e-03,9.941229e-04,9.780553e-04,9.748803e-04,9.623087e-04,9.468813e-04,9.441381e-04,9.317709e-04,9.169751e-04,9.146367e-04,9.024909e-04,8.883155e-04,8.863554e-04,8.744456e-04,8.608776e-04,8.592695e-04,8.476080e-04,8.346329e-04,8.333515e-04,8.219485e-04,8.095508e-04,8.085712e-04,7.974355e-04,7.855986e-04,7.848972e-04,7.740357e-04,7.627426e-04,7.622964e-04,7.517148e-04,7.409481e-04,7.407354e-04,7.304379e-04,7.201800e-04,7.005960e-04,6.819492e-04,6.642059e-04,6.473324e-04,6.312961e-04,6.160645e-04,6.016063e-04,5.878907e-04,5.748876e-04,5.625681e-04,5.509037e-04,5.398673e-04,5.294323e-04,5.195730e-04,5.102648e-04,5.014838e-04,4.932069e-04,4.854120e-04,4.780776e-04,4.711832e-04,4.647088e-04,4.586355e-04,4.529447e-04,4.476190e-04,4.426412e-04,4.379951e-04,4.336650e-04,4.296358e-04,4.258930e-04,4.224228e-04,4.192118e-04,4.162472e-04,4.135168e-04,4.110086e-04,4.087115e-04,4.066146e-04,4.047074e-04,4.029800e-04,4.014229e-04,4.000269e-04,3.987831e-04,3.976833e-04,3.967193e-04,3.958835e-04,3.951684e-04,3.945670e-04,3.940727e-04,3.936788e-04,3.933793e-04
0.000000e+00,6.763276e-13,1.995956e-10,2.178711e-10,8.464467e-09,1.141300e-07,1.254008e-07,9.843214e-07,4.497639e-06,4.901718e-06,1.761200e-05,4.632825e-05,5.000817e-05,1.193920e-04,2.333551e-04,2.500045e-04,4.728114e-04,7.742757e-04,8.246425e-04,1.346842e-03,1.965852e-03,2.083603e-03,3.080150e-03,4.150580e-03,4.380914e-03,6.027820e-03,7.663308e-03,8.058755e-03,1.050630e-02,1.278217e-02,1.339672e-02,1.674927e-02,1.969294e-02,2.057577e-02,2.488041e-02,2.846996e-02,2.965990e-02,3.490368e-02,3.907305e-02,4.059444e-02,4.670865e-02,5.135700e-02,5.321731e-02,6.008667e-02,6.508980e-02,6.727905e-02,7.475362e-02,7.997556e-02,8.246723e-02,9.037517e-02,9.567878e-02,9.843193e-02,1.065918e-01,1.118474e-01,1.148096e-01,1.230412e-01,1.281328e-01,1.312437e-01,1.393764e-01,1.442063e-01,1.474007e-01,1.552805e-01,1.597713e-01,1.629825e-01,1.704761e-01,1.745711e-01,1.777338e-01,1.847311e-01,1.883936e-01,1.914464e-01,1.978612e-01,2.010728e-01,2.039598e-01,2.097294e-01,2.124876e-01,2.151599e-01,2.202435e-01,2.225589e-01,2.249752e-01,2.293520e-01,2.312458e-01,2.333730e-01,2.370392e-01,2.385407e-01,2.403536e-01,2.433203e-01,2.444640e-01,2.459452e-01,2.482354e-01,2.490595e-01,2.501989e-01,2.518448e-01,2.523890e-01,2.531830e-01,2.542240e-01,2.545281e-01,2.549788e-01,2.554591e-01,2.555619e-01,2.556766e-01,2.556435e-01,2.555820e-01,2.553720e-01,2.548743e-01,2.546827e-01,2.541628e-01,2.532496e-01,2.529594e-01,2.521469e-01,2.508665e-01,2.505059e-01,2.494201e-01,2.478192e-01,2.474132e-01,2.460749e-01,2.441980e-01,2.437683e-01,2.421991e-01,2.400883e-01,2.396536e-01,2.378754e-01,2.355699e-01,2.351458e-01,2.331808e-01,2.307168e-01,2.303161e-01,2.281860e-01,2.255965e-01,2.252297e-01,2.229558e-01,2.202709e-01,2.199461e-01,2.175487e-01,2.147957e-01,2.145189e-01,2.120177e-01,2.092207e-01,2.089963e-01,2.064099e-01,2.035905e-01,2.034212e-01,2.007672e-01,1.979445e-01,1.978317e-01,1.951265e-01,1.923172e-01,1.922611e-01,1.895201e-01,1.867387e-01,1.812896e-01,1.759356e-01,1.706951e-01,1.655835e-01,1.606138e-01,1.557965e-01,1.511399e-01,1.466506e-01,1.423334e-01,1.381916e-01,1.342275e-01,1.304417e-01,1.268344e-01,1.234044e-01,1.201501e-01,1.170691e-01,1.141584e-01,1.114146e-01,1.088337e-01,1.064116e-01,1.041438e-01,1.020253e-01,1.000512e-01,9.821640e-02,9.651552e-02,9.494319e-02,9.349397e-02,9.216235e-02,9.094284e-02,8.982994e-02,8.881818e-02,8.790213e-02,8.707645e-02,8.633584e-02,8.567513e-02,8.508924e-02,8.457322e-02,8.412223e-02,8.373159e-02,8.339675e-02,8.311332e-02,8.287708e-02,8.268395e-02,8.253004e-02,8.241163e-02,8.232517e-02,8.226731e-02,8.223483e-02,8.222474e-02
0.000000e+00,3.994359e-12,8.097233e-10,8.764951e-10,2.301583e-08,2.350820e-07,2.558945e-07,1.663124e-06,6.681555e-06,7.227076e-06,2.291425e-05,5.332880e-05,5.692579e-05,1.173917e-04,1.992103e-04,2.100052e-04,3.367179e-04,4.750452e-04,4.956865e-04,6.820847e-04,8.592849e-04,8.892700e-04,1.109918e-03,1.300442e-03,1.336916e-03,1.563943e-03,1.746426e-03,1.785776e-03,1.998376e-03,2.159816e-03,2.198829e-03,2.385215e-03,2.520096e-03,2.556430e-03,2.712020e-03,2.819823e-03,2.852015e-03,2.976794e-03,3.059692e-03,3.086976e-03,3.183337e-03,3.244637e-03,3.266734e-03,3.338067e-03,3.381307e-03,3.398241e-03,3.448144e-03,3.476647e-03,3.488628e-03,3.520505e-03,3.537201e-03,3.544537e-03,3.561437e-03,3.568818e-03,3.571867e-03,3.576443e-03,3.576590e-03,3.575731e-03,3.570253e-03,3.564880e-03,3.560488e-03,3.546878e-03,3.537382e-03,3.529825e-03,3.509699e-03,3.497214e-03,3.486840e-03,3.461556e-03,3.446995e-03,3.434130e-03,3.404821e-03,3.388916e-03,3.373866e-03,3.341478e-03,3.324810e-03,3.307856e-03,3.273176e-03,3.256203e-03,3.237603e-03,3.201284e-03,3.184365e-03,3.164355e-03,3.126937e-03,3.110347e-03,3.089141e-03,3.051068e-03,3.035017e-03,3.012809e-03,2.974447e-03,2.959090e-03,2.936056e-03,2.897703e-03,2.883152e-03,2.859448e-03,2.821346e-03,2.807676e-03,2.783445e-03,2.745790e-03,2.733050e-03,2.708418e-03,2.671364e-03,2.659579e-03,2.634659e-03,2.598331e-03,2.587510e-03,2.562403e-03,2.526896e-03,2.517032e-03,2.491827e-03,2.457214e-03,2.448291e-03,2.423069e-03,2.389404e-03,2.381397e-03,2.356228e-03,2.323549e-03,2.316426e-03,2.291373e-03,2.259705e-03,2.253432e-03,2.228548e-03,2.197906e-03,2.192445e-03,2.167779e-03,2.138168e-03,2.133478e-03,2.109072e-03,2.080490e-03,2.076530e-03,2.052421e-03,2.024861e-03,2.021588e-03,1.997808e-03,1.971258e-03,1.968631e-03,1.945207e-03,1.919651e-03,1.917628e-03,1.894585e-03,1.870004e-03,1.868544e-03,1.845902e-03,1.822274e-03,1.821339e-03,1.799114e-03,1.776417e-03,1.775968e-03,1.754175e-03,1.732383e-03,1.690538e-03,1.650380e-03,1.611859e-03,1.574925e-03,1.539524e-03,1.505608e-03,1.473124e-03,1.442023e-03,1.412256e-03,1.383776e-03,1.356534e-03,1.330486e-03,1.305587e-03,1.281793e-03,1.259062e-03,1.237354e-03,1.216629e-03,1.196847e-03,1.177974e-03,1.159971e-03,1.142806e-03,1.126444e-03,1.110852e-03,1.096001e-03,1.081859e-03,1.068397e-03,1.055589e-03,1.043406e-03,1.031822e-03,1.020814e-03,1.010356e-03,1.000425e-03,9.909997e-04,9.820577e-04,9.735786e-04,9.655426e-04,9.579303e-04,9.507235e-04,9.439045e-04,9.374560e-04,9.313619e-04,9.256064e-04,9.201743e-04,9.150510e-04,9.102227e-04,9.056758e-04,9.013976e-04,8.973755e-04,8.935976e-04
0.000000e+00,1.097288e-09,2.187397e-08,2.295020e-08,1.551907e-07,4.677270e-07,4.837214e-07,9.080157e-07,1.311006e-06,1.336334e-06,1.749330e-06,2.113122e-06,2.144009e-06,2.520053e-06,2.842718e-06,2.877658e-06,3.217165e-06,3.501279e-06,3.538977e-06,3.843525e-06,4.091978e-06,4.131269e-06,4.402717e-06,4.618531e-06,4.658404e-06,4.898881e-06,5.085107e-06,5.124696e-06,5.336397e-06,5.495957e-06,5.534521e-06,5.719598e-06,5.855234e-06,5.892144e-06,6.052664e-06,6.166917e-06,6.201646e-06,6.339566e-06,6.434777e-06,6.466886e-06,6.584053e-06,6.662370e-06,6.691500e-06,6.789645e-06,6.853029e-06,6.878893e-06,6.959636e-06,7.009876e-06,7.032251e-06,7.097104e-06,7.135827e-06,7.154547e-06,7.204919e-06,7.233598e-06,7.248547e-06,7.285748e-06,7.305719e-06,7.316827e-06,7.342075e-06,7.354544e-06,7.361776e-06,7.376202e-06,7.382255e-06,7.385614e-06,7.390265e-06,7.390880e-06,7.390396e-06,7.386241e-06,7.382295e-06,7.378025e-06,7.365962e-06,7.358238e-06,7.350260e-06,7.331118e-06,7.320318e-06,7.308728e-06,7.283274e-06,7.270019e-06,7.254930e-06,7.223868e-06,7.208712e-06,7.190250e-06,7.154231e-06,7.137661e-06,7.115961e-06,7.075584e-06,7.058030e-06,7.033237e-06,6.989052e-06,6.970892e-06,6.943156e-06,6.895670e-06,6.877232e-06,6.846709e-06,6.796384e-06,6.777954e-06,6.744802e-06,6.692064e-06,6.673887e-06,6.638267e-06,6.583504e-06,6.565791e-06,6.527865e-06,6.471433e-06,6.454362e-06,6.414291e-06,6.356515e-06,6.340234e-06,6.298179e-06,6.239354e-06,6.223988e-06,6.180107e-06,6.120501e-06,6.106150e-06,6.060599e-06,6.000457e-06,5.987199e-06,5.940131e-06,5.879673e-06,5.867571e-06,5.819135e-06,5.758562e-06,5.747658e-06,5.698000e-06,5.637492e-06,5.627818e-06,5.577078e-06,5.516796e-06,5.508370e-06,5.456684e-06,5.396775e-06,5.389601e-06,5.337102e-06,5.277695e-06,5.271770e-06,5.218584e-06,5.159795e-06,5.155107e-06,5.101355e-06,5.043288e-06,5.039816e-06,4.985615e-06,4.928360e-06,4.926078e-06,4.871540e-06,4.815176e-06,4.814053e-06,4.759283e-06,4.703880e-06,4.595680e-06,4.489557e-06,4.385600e-06,4.283885e-06,4.184473e-06,4.087415e-06,3.992750e-06,3.900507e-06,3.810708e-06,3.723365e-06,3.638485e-06,3.556065e-06,3.476099e-06,3.398574e-06,3.323474e-06,3.250777e-06,3.180457e-06,3.112486e-06,3.046832e-06,2.983461e-06,2.922336e-06,2.863419e-06,2.806670e-06,2.752046e-06,2.699505e-06,2.649002e-06,2.600493e-06,2.553933e-06,2.509275e-06,2.466473e-06,2.425481e-06,2.386252e-06,2.348740e-06,2.312898e-06,2.278681e-06,2.246041e-06,2.214935e-06,2.185316e-06,2.157141e-06,2.130365e-06,2.104944e-06,2.080836e-06,2.057998e-06,2.036389e-06,2.015968e-06,1.996695e-06,1.978530e-06,1.961435e-06,1.945371e-06
0.000000e+00,9.914964e-10,1.756488e-08,1.841949e-08,1.302191e-07,4.505423e-07,4.690512e-07,1.009011e-06,1.555415e-06,1.589869e-06,2.148640e-06,2.633673e-06,2.674493e-06,3.166635e-06,3.581552e-06,3.626059e-06,4.054079e-06,4.405836e-06,4.452051e-06,4.821315e-06,5.116934e-06,5.163198e-06,5.479008e-06,5.725081e-06,5.770032e-06,6.037532e-06,6.240192e-06,6.282738e-06,6.506843e-06,6.671711e-06,6.711000e-06,6.896315e-06,7.028463e-06,7.063847e-06,7.214611e-06,7.318574e-06,7.349574e-06,7.469659e-06,7.549461e-06,7.575743e-06,7.668661e-06,7.727856e-06,7.749205e-06,7.818128e-06,7.859844e-06,7.876145e-06,7.923932e-06,7.950913e-06,7.962131e-06,7.991352e-06,8.006001e-06,8.012171e-06,8.025133e-06,8.029546e-06,8.030757e-06,8.029530e-06,8.025533e-06,8.021915e-06,8.008352e-06,7.997531e-06,7.989253e-06,7.965010e-06,7.948739e-06,7.935994e-06,7.902553e-06,7.882018e-06,7.865019e-06,7.823703e-06,7.799924e-06,7.778899e-06,7.730886e-06,7.704738e-06,7.679925e-06,7.626264e-06,7.598495e-06,7.570137e-06,7.511762e-06,7.483006e-06,7.451348e-06,7.389089e-06,7.359881e-06,7.325168e-06,7.259759e-06,7.230550e-06,7.193025e-06,7.125117e-06,7.096281e-06,7.056181e-06,6.986350e-06,6.958196e-06,6.915752e-06,6.844506e-06,6.817286e-06,6.772723e-06,6.700507e-06,6.674423e-06,6.627957e-06,6.555165e-06,6.530375e-06,6.482215e-06,6.409188e-06,6.385816e-06,6.336159e-06,6.263198e-06,6.241333e-06,6.190370e-06,6.117735e-06,6.097439e-06,6.045349e-06,5.973265e-06,5.954579e-06,5.901532e-06,5.830195e-06,5.813137e-06,5.759294e-06,5.688869e-06,5.673442e-06,5.618954e-06,5.549583e-06,5.535777e-06,5.480786e-06,5.412589e-06,5.400379e-06,5.345017e-06,5.278094e-06,5.267448e-06,5.211841e-06,5.146275e-06,5.137151e-06,5.081413e-06,5.017271e-06,5.009623e-06,4.953862e-06,4.891197e-06,4.884972e-06,4.829288e-06,4.768143e-06,4.763285e-06,4.707769e-06,4.648174e-06,4.644623e-06,4.589362e-06,4.531338e-06,4.529034e-06,4.474106e-06,4.417666e-06,4.416546e-06,4.362022e-06,4.307173e-06,4.200918e-06,4.097772e-06,3.997718e-06,3.900727e-06,3.806768e-06,3.715799e-06,3.627777e-06,3.542652e-06,3.460372e-06,3.380880e-06,3.304119e-06,3.230028e-06,3.158547e-06,3.089612e-06,3.023160e-06,2.959127e-06,2.897449e-06,2.838063e-06,2.780905e-06,2.725912e-06,2.673021e-06,2.622171e-06,2.573300e-06,2.526349e-06,2.481258e-06,2.437971e-06,2.396428e-06,2.356577e-06,2.318361e-06,2.281728e-06,2.246625e-06,2.213003e-06,2.180811e-06,2.150002e-06,2.120529e-06,2.092346e-06,2.065409e-06,2.039674e-06,2.015100e-06,1.991646e-06,1.969273e-06,1.947941e-06,1.927614e-06,1.908256e-06,1.889831e-06,1.872306e-06,1.855647e-06,1.839823e-06,1.824803e-06
0.000000e+00,3.817852e-10,7.787506e-09,8.165492e-09,5.308133e-08,1.607569e-07,1.664902e-07,3.245117e-07,4.787858e-07,4.885058e-07,6.468700e-07,7.859313e-07,7.977151e-07,9.408716e-07,1.063252e-06,1.076479e-06,1.204745e-06,1.311732e-06,1.325903e-06,1.440194e-06,1.533181e-06,1.547865e-06,1.649165e-06,1.729513e-06,1.744339e-06,1.833632e-06,1.902631e-06,1.917282e-06,1.995520e-06,2.054367e-06,2.068574e-06,2.136661e-06,2.186458e-06,2.199994e-06,2.258778e-06,2.300534e-06,2.313211e-06,2.363483e-06,2.398115e-06,2.409780e-06,2.452277e-06,2.480619e-06,2.491146e-06,2.526552e-06,2.549360e-06,2.558653e-06,2.587600e-06,2.605559e-06,2.613541e-06,2.636618e-06,2.650345e-06,2.656965e-06,2.674714e-06,2.684768e-06,2.689990e-06,2.702914e-06,2.709797e-06,2.713601e-06,2.722162e-06,2.726323e-06,2.728704e-06,2.733329e-06,2.735172e-06,2.736136e-06,2.737218e-06,2.737105e-06,2.736667e-06,2.734568e-06,2.732821e-06,2.731006e-06,2.726059e-06,2.722966e-06,2.719805e-06,2.712316e-06,2.708131e-06,2.703663e-06,2.693912e-06,2.688861e-06,2.683129e-06,2.671375e-06,2.665658e-06,2.658709e-06,2.645188e-06,2.638981e-06,2.630865e-06,2.615793e-06,2.609252e-06,2.600021e-06,2.583597e-06,2.576855e-06,2.566565e-06,2.548970e-06,2.542144e-06,2.530852e-06,2.512251e-06,2.505443e-06,2.493204e-06,2.473749e-06,2.467047e-06,2.453919e-06,2.433748e-06,2.427226e-06,2.413265e-06,2.392503e-06,2.386223e-06,2.371488e-06,2.350248e-06,2.344264e-06,2.328809e-06,2.307196e-06,2.301551e-06,2.285432e-06,2.263539e-06,2.258268e-06,2.241538e-06,2.219451e-06,2.214582e-06,2.197295e-06,2.175089e-06,2.170644e-06,2.152851e-06,2.130597e-06,2.126590e-06,2.108341e-06,2.086100e-06,2.082544e-06,2.063887e-06,2.041715e-06,2.038614e-06,2.019596e-06,1.997543e-06,1.994901e-06,1.975566e-06,1.953676e-06,1.951492e-06,1.931883e-06,1.910196e-06,1.908466e-06,1.888624e-06,1.867175e-06,1.865892e-06,1.845857e-06,1.824677e-06,1.823833e-06,1.803641e-06,1.782757e-06,1.782341e-06,1.762030e-06,1.741464e-06,1.701244e-06,1.661715e-06,1.622908e-06,1.584847e-06,1.547554e-06,1.511045e-06,1.475334e-06,1.440431e-06,1.406343e-06,1.373075e-06,1.340629e-06,1.309004e-06,1.278198e-06,1.248209e-06,1.219030e-06,1.190655e-06,1.163075e-06,1.136282e-06,1.110267e-06,1.085017e-06,1.060521e-06,1.036768e-06,1.013744e-06,9.914362e-07,9.698314e-07,9.489157e-07,9.286748e-07,9.090946e-07,8.901606e-07,8.718585e-07,8.541736e-07,8.370915e-07,8.205976e-07,8.046776e-07,7.893172e-07,7.745020e-07,7.602181e-07,7.464515e-07,7.331884e-07,7.204153e-07,7.081187e-07,6.962856e-07,6.849029e-07,6.739578e-07,6.634380e-07,6.533310e-07,6.436250e-07,6.343081e-07,6.253687e-07
0.000000e+00,1.131499e-11,1.917421e-09,2.066851e-09,4.359025e-08,3.680952e-07,3.979053e-07,2.235789e-06,8.201492e-06,8.830760e-06,2.634386e-05,5.876782e-05,6.251273e-05,1.232708e-04,2.000534e-04,2.097819e-04,3.179185e-04,4.248518e-04,4.399283e-04,5.668620e-04,6.737043e-04,6.905740e-04,8.048440e-04,8.905577e-04,9.056884e-04,9.911465e-04,1.049427e-03,1.060825e-03,1.115398e-03,1.149049e-03,1.156177e-03,1.184780e-03,1.199733e-03,1.202906e-03,1.212194e-03,1.214274e-03,1.214149e-03,1.210105e-03,1.203936e-03,1.201217e-03,1.188471e-03,1.177375e-03,1.172694e-03,1.154575e-03,1.140807e-03,1.134684e-03,1.113489e-03,1.098529e-03,1.091372e-03,1.068644e-03,1.053433e-03,1.045557e-03,1.022311e-03,1.007427e-03,9.990692e-04,9.759591e-04,9.617424e-04,9.530820e-04,9.305167e-04,9.171530e-04,9.083241e-04,8.865509e-04,8.741289e-04,8.652321e-04,8.443924e-04,8.329381e-04,8.240490e-04,8.042127e-04,7.937143e-04,7.848895e-04,7.660813e-04,7.565042e-04,7.477869e-04,7.300029e-04,7.213005e-04,7.127235e-04,6.959415e-04,6.880604e-04,6.796485e-04,6.638354e-04,6.567197e-04,6.484921e-04,6.336083e-04,6.272022e-04,6.191732e-04,6.051760e-04,5.994251e-04,5.916056e-04,5.784508e-04,5.733028e-04,5.657006e-04,5.533442e-04,5.487496e-04,5.413705e-04,5.297689e-04,5.256814e-04,5.185289e-04,5.076401e-04,5.040161e-04,4.970924e-04,4.868758e-04,4.836749e-04,4.769807e-04,4.673976e-04,4.645821e-04,4.581172e-04,4.491305e-04,4.466657e-04,4.404287e-04,4.320033e-04,4.298569e-04,4.238459e-04,4.159484e-04,4.140908e-04,4.083029e-04,4.009019e-04,3.993057e-04,3.937377e-04,3.868032e-04,3.854432e-04,3.800913e-04,3.735952e-04,3.724483e-04,3.673083e-04,3.612241e-04,3.602690e-04,3.553363e-04,3.496390e-04,3.488562e-04,3.441261e-04,3.387920e-04,3.381636e-04,3.336310e-04,3.286380e-04,3.281477e-04,3.238075e-04,3.191345e-04,3.187673e-04,3.146142e-04,3.102417e-04,3.099839e-04,3.060124e-04,3.019219e-04,3.017611e-04,2.979657e-04,2.941397e-04,2.940645e-04,2.904399e-04,2.868621e-04,2.801235e-04,2.738203e-04,2.679256e-04,2.624144e-04,2.572629e-04,2.524490e-04,2.479517e-04,2.437515e-04,2.398299e-04,2.361697e-04,2.327545e-04,2.295691e-04,2.265992e-04,2.238313e-04,2.212527e-04,2.188517e-04,2.166171e-04,2.145384e-04,2.126058e-04,2.108101e-04,2.091427e-04,2.075954e-04,2.061606e-04,2.048311e-04,2.036004e-04,2.024620e-04,2.014101e-04,2.004390e-04,1.995437e-04,1.987193e-04,1.979611e-04,1.972648e-04,1.966265e-04,1.960423e-04,1.955088e-04,1.950225e-04,1.945803e-04,1.941794e-04,1.938170e-04,1.934905e-04,1.931975e-04,1.929357e-04,1.927030e-04,1.924974e-04,1.923171e-04,1.921602e-04,1.920253e-04,1.919106e-04,1.918149e-04
0.000000e+00,2.166011e-13,6.477268e-11,7.070975e-11,2.726364e-09,3.610428e-08,3.964198e-08,3.074544e-07,1.402357e-06,1.528524e-06,5.515710e-06,1.459897e-05,1.576781e-05,3.793231e-05,7.466269e-05,8.005230e-05,1.525806e-04,2.515706e-04,2.681826e-04,4.413708e-04,6.484494e-04,6.880204e-04,1.024815e-03,1.389763e-03,1.468664e-03,2.036137e-03,2.604759e-03,2.742925e-03,3.603377e-03,4.410913e-03,4.630096e-03,5.833619e-03,6.900490e-03,7.222185e-03,8.801583e-03,1.013165e-02,1.057507e-02,1.254336e-02,1.412436e-02,1.470469e-02,1.705491e-02,1.886053e-02,1.958764e-02,2.229445e-02,2.428738e-02,2.516509e-02,2.818767e-02,3.032311e-02,3.134895e-02,3.463455e-02,3.686375e-02,3.802918e-02,4.151692e-02,4.379038e-02,4.508139e-02,4.870598e-02,5.097613e-02,5.237407e-02,5.606918e-02,5.829246e-02,5.977512e-02,6.347618e-02,6.561455e-02,6.715719e-02,7.080369e-02,7.282551e-02,7.440196e-02,7.793914e-02,7.981955e-02,8.140324e-02,8.478322e-02,8.650417e-02,8.806898e-02,9.125140e-02,9.280128e-02,9.432234e-02,9.727462e-02,9.864770e-02,1.001020e-01,1.027992e-01,1.039949e-01,1.053618e-01,1.077862e-01,1.088084e-01,1.100697e-01,1.122105e-01,1.130667e-01,1.142072e-01,1.160593e-01,1.167597e-01,1.177670e-01,1.193310e-01,1.198879e-01,1.207525e-01,1.220333e-01,1.224603e-01,1.231755e-01,1.241818e-01,1.244934e-01,1.250550e-01,1.257985e-01,1.260096e-01,1.264158e-01,1.269106e-01,1.270358e-01,1.272870e-01,1.275489e-01,1.276024e-01,1.277008e-01,1.277470e-01,1.277422e-01,1.276919e-01,1.275399e-01,1.274896e-01,1.272957e-01,1.269638e-01,1.268794e-01,1.265485e-01,1.260545e-01,1.259466e-01,1.254861e-01,1.248477e-01,1.247257e-01,1.241436e-01,1.233780e-01,1.232501e-01,1.225550e-01,1.216786e-01,1.215519e-01,1.207527e-01,1.197811e-01,1.196617e-01,1.187675e-01,1.177155e-01,1.176083e-01,1.166284e-01,1.155095e-01,1.154187e-01,1.143621e-01,1.131891e-01,1.131180e-01,1.119935e-01,1.107781e-01,1.107291e-01,1.095455e-01,1.082983e-01,1.082733e-01,1.070390e-01,1.057697e-01,1.032358e-01,1.006872e-01,9.813786e-02,9.560021e-02,9.308516e-02,9.060228e-02,8.815988e-02,8.576509e-02,8.342398e-02,8.114167e-02,7.892238e-02,7.676954e-02,7.468588e-02,7.267344e-02,7.073371e-02,6.886765e-02,6.707577e-02,6.535816e-02,6.371459e-02,6.214446e-02,6.064693e-02,5.922092e-02,5.786513e-02,5.657808e-02,5.535816e-02,5.420362e-02,5.311259e-02,5.208314e-02,5.111325e-02,5.020087e-02,4.934388e-02,4.854016e-02,4.778756e-02,4.708394e-02,4.642714e-02,4.581503e-02,4.524551e-02,4.471648e-02,4.422589e-02,4.377172e-02,4.335199e-02,4.296478e-02,4.260819e-02,4.228041e-02,4.197966e-02,4.170422e-02,4.145242e-02,4.122268e-02,4.101345e-02
0.000000e+00,7.002455e-09,1.234349e-07,1.292821e-07,9.245221e-07,3.626181e-06,3.803326e-06,1.021819e-05,1.910393e-05,1.972200e-05,3.013079e-05,3.919295e-05,3.994191e-05,4.872753e-05,5.573111e-05,5.645845e-05,6.320378e-05,6.839415e-05,6.905139e-05,7.408815e-05,7.783325e-05,7.839514e-05,8.204663e-05,8.465706e-05,8.511038e-05,8.764795e-05,8.937545e-05,8.971516e-05,9.136259e-05,9.240918e-05,9.263597e-05,9.357675e-05,9.410372e-05,9.422212e-05,9.460561e-05,9.474064e-05,9.475746e-05,9.470494e-05,9.454900e-05,9.447254e-05,9.408227e-05,9.371471e-05,9.355390e-05,9.290517e-05,9.238805e-05,9.215201e-05,9.130869e-05,9.069031e-05,9.038799e-05,8.940134e-05,8.871905e-05,8.835899e-05,8.727007e-05,8.655254e-05,8.614276e-05,8.498432e-05,8.425334e-05,8.380125e-05,8.259931e-05,8.187124e-05,8.138362e-05,8.015872e-05,7.944567e-05,7.892865e-05,7.769696e-05,7.700769e-05,7.646678e-05,7.524087e-05,7.458152e-05,7.402166e-05,7.281124e-05,7.218593e-05,7.161148e-05,7.042396e-05,6.983523e-05,6.925006e-05,6.809096e-05,6.754015e-05,6.694767e-05,6.582105e-05,6.530860e-05,6.471181e-05,6.362052e-05,6.314618e-05,6.254768e-05,6.149364e-05,6.105662e-05,6.045869e-05,5.944304e-05,5.904222e-05,5.844684e-05,5.747015e-05,5.710414e-05,5.651301e-05,5.557538e-05,5.524260e-05,5.465720e-05,5.375836e-05,5.345714e-05,5.287873e-05,5.201814e-05,5.174675e-05,5.117641e-05,5.035332e-05,5.011000e-05,4.954865e-05,4.876215e-05,4.854515e-05,4.799356e-05,4.724263e-05,4.705024e-05,4.650906e-05,4.579258e-05,4.562314e-05,4.509291e-05,4.440974e-05,4.426162e-05,4.374277e-05,4.309172e-05,4.296339e-05,4.245627e-05,4.183614e-05,4.172612e-05,4.123101e-05,4.064059e-05,4.054747e-05,4.006458e-05,3.950269e-05,3.942514e-05,3.895462e-05,3.842008e-05,3.835683e-05,3.789879e-05,3.739046e-05,3.734032e-05,3.689480e-05,3.641155e-05,3.637342e-05,3.594044e-05,3.548119e-05,3.545400e-05,3.503354e-05,3.459722e-05,3.458000e-05,3.417200e-05,3.375761e-05,3.374943e-05,3.335381e-05,3.296036e-05,3.221092e-05,3.149935e-05,3.082392e-05,3.018297e-05,2.957493e-05,2.899828e-05,2.845156e-05,2.793339e-05,2.744242e-05,2.697738e-05,2.653705e-05,2.612026e-05,2.572590e-05,2.535289e-05,2.500022e-05,2.466691e-05,2.435203e-05,2.405469e-05,2.377404e-05,2.350926e-05,2.325959e-05,2.302427e-05,2.280260e-05,2.259391e-05,2.239755e-05,2.221291e-05,2.203939e-05,2.187644e-05,2.172353e-05,2.158014e-05,2.144578e-05,2.132000e-05,2.120234e-05,2.109239e-05,2.098974e-05,2.089401e-05,2.080483e-05,2.072186e-05,2.064476e-05,2.057321e-05,2.050692e-05,2.044559e-05,2.038895e-05,2.033675e-05,2.028872e-05,2.024464e-05,2.020429e-05,2.016744e-05,2.013390e-05
0.000000e+00,4.469634e-10,5.520781e-09,5.756969e-09,3.455014e-08,1.210129e-07,1.264255e-07,3.116294e-07,5.471159e-07,5.629684e-07,8.261854e-07,1.055578e-06,1.074707e-06,1.302043e-06,1.488093e-06,1.507708e-06,1.692695e-06,1.839427e-06,1.858326e-06,2.005963e-06,2.119546e-06,2.136925e-06,2.252471e-06,2.338489e-06,2.353792e-06,2.442010e-06,2.505313e-06,2.518179e-06,2.583286e-06,2.628027e-06,2.638251e-06,2.683930e-06,2.713627e-06,2.721119e-06,2.750559e-06,2.768172e-06,2.772932e-06,2.788874e-06,2.796877e-06,2.798970e-06,2.803762e-06,2.804211e-06,2.803751e-06,2.799397e-06,2.793995e-06,2.791126e-06,2.779332e-06,2.769484e-06,2.764374e-06,2.746587e-06,2.733447e-06,2.726276e-06,2.703720e-06,2.688227e-06,2.679180e-06,2.652894e-06,2.635816e-06,2.625079e-06,2.595937e-06,2.577890e-06,2.565649e-06,2.534383e-06,2.515862e-06,2.502293e-06,2.469518e-06,2.450913e-06,2.436186e-06,2.402416e-06,2.384036e-06,2.368314e-06,2.333976e-06,2.316056e-06,2.299489e-06,2.264934e-06,2.247653e-06,2.230382e-06,2.195899e-06,2.179389e-06,2.161543e-06,2.127368e-06,2.111721e-06,2.093419e-06,2.059740e-06,2.045017e-06,2.026368e-06,1.993336e-06,1.979571e-06,1.960674e-06,1.928409e-06,1.915619e-06,1.896563e-06,1.865157e-06,1.853341e-06,1.834206e-06,1.803727e-06,1.792872e-06,1.773731e-06,1.744229e-06,1.734313e-06,1.715229e-06,1.686738e-06,1.677730e-06,1.658761e-06,1.631302e-06,1.623165e-06,1.604362e-06,1.577944e-06,1.570640e-06,1.552046e-06,1.526669e-06,1.520156e-06,1.501810e-06,1.477467e-06,1.471701e-06,1.453637e-06,1.430315e-06,1.425252e-06,1.407497e-06,1.385179e-06,1.380775e-06,1.363354e-06,1.342018e-06,1.338229e-06,1.321163e-06,1.300784e-06,1.297567e-06,1.280873e-06,1.261424e-06,1.258738e-06,1.242430e-06,1.223883e-06,1.221687e-06,1.205776e-06,1.188101e-06,1.186357e-06,1.170851e-06,1.154019e-06,1.152690e-06,1.137595e-06,1.121574e-06,1.120625e-06,1.105946e-06,1.090705e-06,1.090104e-06,1.075843e-06,1.061352e-06,1.061066e-06,1.047224e-06,1.033452e-06,1.007205e-06,9.822664e-07,9.585813e-07,9.360951e-07,9.147548e-07,8.945093e-07,8.753090e-07,8.571061e-07,8.398545e-07,8.235098e-07,8.080293e-07,7.933722e-07,7.794991e-07,7.663725e-07,7.539563e-07,7.422159e-07,7.311185e-07,7.206325e-07,7.107277e-07,7.013756e-07,6.925486e-07,6.842206e-07,6.763665e-07,6.689627e-07,6.619863e-07,6.554158e-07,6.492307e-07,6.434112e-07,6.379387e-07,6.327955e-07,6.279646e-07,6.234298e-07,6.191759e-07,6.151882e-07,6.114530e-07,6.079568e-07,6.046873e-07,6.016325e-07,5.987810e-07,5.961220e-07,5.936452e-07,5.913408e-07,5.891997e-07,5.872130e-07,5.853722e-07,5.836695e-07,5.820973e-07,5.806483e-07,5.793157e-07
0.000000e+00,1.220891e-10,1.366926e-08,1.463742e-08,2.365251e-07,1.618292e-06,1.733855e-06,7.714605e-06,2.236617e-05,2.371623e-05,5.476781e-05,9.707823e-05,1.012780e-04,1.585226e-04,2.140209e-04,2.202430e-04,2.817802e-04,3.337829e-04,3.406677e-04,3.959213e-04,4.403335e-04,4.472920e-04,4.948326e-04,5.319223e-04,5.387026e-04,5.790928e-04,6.097535e-04,6.161989e-04,6.502127e-04,6.753216e-04,6.813188e-04,7.096939e-04,7.300388e-04,7.355057e-04,7.589135e-04,7.751888e-04,7.800681e-04,7.991120e-04,8.119249e-04,8.161795e-04,8.313977e-04,8.412770e-04,8.448860e-04,8.567571e-04,8.641618e-04,8.671173e-04,8.760661e-04,8.813934e-04,8.836976e-04,8.901002e-04,8.936931e-04,8.953567e-04,8.995453e-04,9.016996e-04,9.027393e-04,9.050077e-04,9.059779e-04,9.064154e-04,9.070230e-04,9.070276e-04,9.068879e-04,9.060637e-04,9.052898e-04,9.046007e-04,9.025463e-04,9.011543e-04,8.999450e-04,8.968384e-04,8.949645e-04,8.932655e-04,8.892631e-04,8.870236e-04,8.848656e-04,8.801053e-04,8.775986e-04,8.750124e-04,8.696152e-04,8.669244e-04,8.639404e-04,8.580128e-04,8.552078e-04,8.518558e-04,8.454912e-04,8.426303e-04,8.389393e-04,8.322194e-04,8.293513e-04,8.253494e-04,8.183459e-04,8.155107e-04,8.112247e-04,8.040002e-04,8.012308e-04,7.966863e-04,7.892957e-04,7.866186e-04,7.818402e-04,7.743309e-04,7.717674e-04,7.667783e-04,7.591920e-04,7.567587e-04,7.515809e-04,7.439535e-04,7.416632e-04,7.363174e-04,7.286800e-04,7.265423e-04,7.210480e-04,7.134276e-04,7.114489e-04,7.058246e-04,6.982443e-04,6.964289e-04,6.906917e-04,6.831713e-04,6.815216e-04,6.756875e-04,6.682441e-04,6.667605e-04,6.608446e-04,6.534925e-04,6.521743e-04,6.461906e-04,6.389419e-04,6.377872e-04,6.317488e-04,6.246137e-04,6.236195e-04,6.175385e-04,6.105254e-04,6.096880e-04,6.035758e-04,5.966915e-04,5.960067e-04,5.898738e-04,5.831238e-04,5.825868e-04,5.764428e-04,5.698317e-04,5.694372e-04,5.632912e-04,5.568222e-04,5.565649e-04,5.504252e-04,5.441008e-04,5.439751e-04,5.378494e-04,5.316713e-04,5.196560e-04,5.079301e-04,4.964937e-04,4.853463e-04,4.744861e-04,4.639112e-04,4.536186e-04,4.436054e-04,4.338678e-04,4.244020e-04,4.152038e-04,4.062689e-04,3.975925e-04,3.891701e-04,3.809967e-04,3.730674e-04,3.653772e-04,3.579210e-04,3.506939e-04,3.436907e-04,3.369065e-04,3.303363e-04,3.239750e-04,3.178178e-04,3.118598e-04,3.060962e-04,3.005222e-04,2.951332e-04,2.899245e-04,2.848917e-04,2.800303e-04,2.753360e-04,2.708044e-04,2.664313e-04,2.622126e-04,2.581444e-04,2.542225e-04,2.504432e-04,2.468027e-04,2.432972e-04,2.399231e-04,2.366769e-04,2.335551e-04,2.305542e-04,2.276710e-04,2.249022e-04,2.222446e-04,2.196951e-04,2.172507e-04
0.000000e+00,2.430101e-12,5.679890e-10,6.167592e-10,1.836290e-08,1.962961e-07,2.138060e-07,1.387495e-06,5.529753e-06,5.979980e-06,1.905165e-05,4.511212e-05,4.824935e-05,1.023957e-04,1.790516e-04,1.894080e-04,3.145463e-04,4.576661e-04,4.795410e-04,6.826240e-04,8.842824e-04,9.191885e-04,1.182736e-03,1.419544e-03,1.465841e-03,1.760970e-03,2.006983e-03,2.061080e-03,2.359993e-03,2.594779e-03,2.652582e-03,2.934810e-03,3.145791e-03,3.203676e-03,3.457096e-03,3.638536e-03,3.693763e-03,3.913003e-03,4.063902e-03,4.114639e-03,4.298866e-03,4.420984e-03,4.466151e-03,4.617151e-03,4.713577e-03,4.752648e-03,4.873492e-03,4.947747e-03,4.980568e-03,5.074767e-03,5.130311e-03,5.156967e-03,5.228018e-03,5.268016e-03,5.288732e-03,5.339882e-03,5.367113e-03,5.382195e-03,5.416357e-03,5.433211e-03,5.443010e-03,5.462751e-03,5.471255e-03,5.476137e-03,5.483685e-03,5.485543e-03,5.485876e-03,5.483156e-03,5.479792e-03,5.475938e-03,5.464606e-03,5.457206e-03,5.449514e-03,5.430993e-03,5.420541e-03,5.409345e-03,5.384853e-03,5.372164e-03,5.357778e-03,5.328361e-03,5.314105e-03,5.296825e-03,5.263378e-03,5.248105e-03,5.228210e-03,5.191498e-03,5.175658e-03,5.153404e-03,5.114081e-03,5.098039e-03,5.073668e-03,5.032293e-03,5.016343e-03,4.990075e-03,4.947124e-03,4.931502e-03,4.903541e-03,4.859420e-03,4.844312e-03,4.814847e-03,4.769902e-03,4.755452e-03,4.724656e-03,4.679179e-03,4.665500e-03,4.633531e-03,4.587770e-03,4.574944e-03,4.541949e-03,4.496114e-03,4.484201e-03,4.450311e-03,4.404580e-03,4.393620e-03,4.358958e-03,4.313479e-03,4.303496e-03,4.268174e-03,4.223071e-03,4.214077e-03,4.178196e-03,4.133573e-03,4.125569e-03,4.089222e-03,4.045165e-03,4.038144e-03,4.001417e-03,3.957995e-03,3.951943e-03,3.914913e-03,3.872184e-03,3.867081e-03,3.829820e-03,3.787830e-03,3.783652e-03,3.746224e-03,3.705011e-03,3.701731e-03,3.664196e-03,3.623787e-03,3.621375e-03,3.583788e-03,3.544205e-03,3.542630e-03,3.505041e-03,3.466299e-03,3.465529e-03,3.427983e-03,3.390093e-03,3.316339e-03,3.244272e-03,3.173893e-03,3.105198e-03,3.038178e-03,2.972822e-03,2.909113e-03,2.847034e-03,2.786565e-03,2.727684e-03,2.670368e-03,2.614593e-03,2.560334e-03,2.507565e-03,2.456261e-03,2.406395e-03,2.357940e-03,2.310870e-03,2.265157e-03,2.220775e-03,2.177697e-03,2.135897e-03,2.095348e-03,2.056025e-03,2.017902e-03,1.980953e-03,1.945153e-03,1.910478e-03,1.876904e-03,1.844405e-03,1.812959e-03,1.782542e-03,1.753131e-03,1.724703e-03,1.697237e-03,1.670709e-03,1.645099e-03,1.620385e-03,1.596547e-03,1.573563e-03,1.551413e-03,1.530077e-03,1.509536e-03,1.489771e-03,1.470761e-03,1.452489e-03,1.434935e-03,1.418082e-03,1.401911e-03
0.000000e+00,4.028555e-09,2.530041e-07,2.698066e-07,3.559785e-06,1.740260e-05,1.831791e-05,4.840440e-05,8.244334e-05,8.464570e-05,1.209692e-04,1.533576e-04,1.561207e-04,1.899228e-04,2.191830e-04,2.223668e-04,2.534735e-04,2.797624e-04,2.832698e-04,3.117855e-04,3.353087e-04,3.390520e-04,3.651016e-04,3.860672e-04,3.899676e-04,4.136837e-04,4.322966e-04,4.362838e-04,4.578014e-04,4.742587e-04,4.782700e-04,4.977224e-04,5.122107e-04,5.161909e-04,5.337069e-04,5.464012e-04,5.503014e-04,5.660045e-04,5.770682e-04,5.808455e-04,5.948533e-04,6.044386e-04,6.080557e-04,6.204802e-04,6.287287e-04,6.321532e-04,6.431006e-04,6.501432e-04,6.533474e-04,6.629182e-04,6.688761e-04,6.718366e-04,6.801258e-04,6.851110e-04,6.878081e-04,6.949054e-04,6.990212e-04,7.014387e-04,7.074288e-04,7.107703e-04,7.128954e-04,7.178580e-04,7.205128e-04,7.223354e-04,7.263459e-04,7.283944e-04,7.299070e-04,7.330361e-04,7.345520e-04,7.357497e-04,7.380640e-04,7.391149e-04,7.399947e-04,7.415569e-04,7.422045e-04,7.427654e-04,7.436345e-04,7.439352e-04,7.441780e-04,7.444092e-04,7.444143e-04,7.443412e-04,7.439865e-04,7.437428e-04,7.433574e-04,7.424656e-04,7.420155e-04,7.413226e-04,7.399393e-04,7.393212e-04,7.383266e-04,7.364948e-04,7.357434e-04,7.344540e-04,7.322137e-04,7.313603e-04,7.297835e-04,7.271725e-04,7.262450e-04,7.243893e-04,7.214425e-04,7.204663e-04,7.183404e-04,7.150908e-04,7.140883e-04,7.117015e-04,7.081798e-04,7.071710e-04,7.045330e-04,7.007680e-04,6.997705e-04,6.968914e-04,6.929098e-04,6.919393e-04,6.888294e-04,6.846561e-04,6.837261e-04,6.803959e-04,6.760544e-04,6.751768e-04,6.716368e-04,6.671486e-04,6.663336e-04,6.625947e-04,6.579800e-04,6.572363e-04,6.533091e-04,6.485867e-04,6.479217e-04,6.438169e-04,6.390042e-04,6.384239e-04,6.341523e-04,6.292654e-04,6.287749e-04,6.243470e-04,6.194009e-04,6.190041e-04,6.144304e-04,6.094389e-04,6.091388e-04,6.044296e-04,5.994056e-04,5.992044e-04,5.943698e-04,5.893252e-04,5.892242e-04,5.842743e-04,5.792199e-04,5.692114e-04,5.592170e-04,5.492537e-04,5.393368e-04,5.294806e-04,5.196981e-04,5.100009e-04,5.003998e-04,4.909047e-04,4.815242e-04,4.722662e-04,4.631380e-04,4.541458e-04,4.452952e-04,4.365912e-04,4.280382e-04,4.196398e-04,4.113993e-04,4.033195e-04,3.954025e-04,3.876502e-04,3.800641e-04,3.726451e-04,3.653941e-04,3.583113e-04,3.513969e-04,3.446508e-04,3.380725e-04,3.316613e-04,3.254165e-04,3.193369e-04,3.134213e-04,3.076684e-04,3.020766e-04,2.966443e-04,2.913696e-04,2.862507e-04,2.812855e-04,2.764721e-04,2.718081e-04,2.672915e-04,2.629198e-04,2.586908e-04,2.546021e-04,2.506511e-04,2.468354e-04,2.431526e-04,2.396001e-04,2.361753e-04
0.000000e+00,2.393789e-11,3.657525e-09,3.937054e-09,7.899729e-08,6.362465e-07,6.860645e-07,3.566306e-06,1.189789e-05,1.272758e-05,3.393489e-05,6.821727e-05,7.192197e-05,1.274144e-04,1.893474e-04,1.967365e-04,2.738601e-04,3.433987e-04,3.528000e-04,4.289921e-04,4.901131e-04,4.995963e-04,5.632032e-04,6.108870e-04,6.193761e-04,6.682520e-04,7.031845e-04,7.102644e-04,7.459730e-04,7.703994e-04,7.759701e-04,8.008341e-04,8.170145e-04,8.211065e-04,8.372852e-04,8.471237e-04,8.498235e-04,8.591307e-04,8.641564e-04,8.655759e-04,8.694910e-04,8.709120e-04,8.711744e-04,8.708936e-04,8.696577e-04,8.688882e-04,8.653729e-04,8.622189e-04,8.605398e-04,8.545609e-04,8.500625e-04,8.475899e-04,8.397641e-04,8.343641e-04,8.312060e-04,8.220249e-04,8.160631e-04,8.123185e-04,8.021733e-04,7.959082e-04,7.916668e-04,7.808675e-04,7.744942e-04,7.698366e-04,7.586281e-04,7.522918e-04,7.472898e-04,7.358640e-04,7.296710e-04,7.243881e-04,7.128951e-04,7.069217e-04,7.014140e-04,6.899702e-04,6.842693e-04,6.785859e-04,6.672804e-04,6.618868e-04,6.560707e-04,6.449712e-04,6.399060e-04,6.339946e-04,6.231515e-04,6.184253e-04,6.124511e-04,6.019010e-04,5.975164e-04,5.915076e-04,5.812762e-04,5.772299e-04,5.712109e-04,5.613151e-04,5.575997e-04,5.515914e-04,5.420417e-04,5.386466e-04,5.326670e-04,5.234682e-04,5.203807e-04,5.144454e-04,5.055983e-04,5.028043e-04,4.969264e-04,4.884286e-04,4.859130e-04,4.801037e-04,4.719503e-04,4.696979e-04,4.639667e-04,4.561509e-04,4.541461e-04,4.485010e-04,4.410147e-04,4.392421e-04,4.336898e-04,4.265239e-04,4.249685e-04,4.195146e-04,4.126593e-04,4.113065e-04,4.059555e-04,3.994006e-04,3.982363e-04,3.929919e-04,3.867268e-04,3.857376e-04,3.806027e-04,3.746169e-04,3.737898e-04,3.687667e-04,3.630496e-04,3.623723e-04,3.574628e-04,3.520038e-04,3.514648e-04,3.466700e-04,3.414588e-04,3.410471e-04,3.363677e-04,3.313943e-04,3.310995e-04,3.265359e-04,3.217903e-04,3.216027e-04,3.171549e-04,3.126275e-04,3.125380e-04,3.082057e-04,3.038873e-04,2.956328e-04,2.877577e-04,2.802457e-04,2.730808e-04,2.662481e-04,2.597329e-04,2.535213e-04,2.475999e-04,2.419558e-04,2.365767e-04,2.314509e-04,2.265670e-04,2.219142e-04,2.174822e-04,2.132611e-04,2.092414e-04,2.054141e-04,2.017706e-04,1.983024e-04,1.950019e-04,1.918612e-04,1.888734e-04,1.860313e-04,1.833285e-04,1.807585e-04,1.783155e-04,1.759936e-04,1.737872e-04,1.716912e-04,1.697005e-04,1.678103e-04,1.660160e-04,1.643132e-04,1.626977e-04,1.611655e-04,1.597128e-04,1.583359e-04,1.570314e-04,1.557959e-04,1.546261e-04,1.535191e-04,1.524719e-04,1.514818e-04,1.505461e-04,1.496623e-04,1.488279e-04,1.480406e-04,1.472983e-04,1.465987e-04
0.000000e+00,2.920591e-09,5.176053e-08,5.423998e-08,3.652748e-07,1.195417e-06,1.241690e-06,2.547539e-06,3.821276e-06,3.900467e-06,5.166576e-06,6.236490e-06,6.325229e-06,7.378338e-06,8.240921e-06,8.332002e-06,9.192849e-06,9.878704e-06,9.967275e-06,1.066131e-05,1.119823e-05,1.128064e-05,1.183062e-05,1.224274e-05,1.231634e-05,1.274259e-05,1.305092e-05,1.311390e-05,1.343454e-05,1.365728e-05,1.370853e-05,1.393962e-05,1.409235e-05,1.413132e-05,1.428692e-05,1.438293e-05,1.440949e-05,1.450185e-05,1.455230e-05,1.456662e-05,1.460624e-05,1.462045e-05,1.462294e-05,1.461886e-05,1.460469e-05,1.459595e-05,1.455602e-05,1.451999e-05,1.450071e-05,1.443155e-05,1.437900e-05,1.434994e-05,1.425716e-05,1.419248e-05,1.415442e-05,1.404279e-05,1.396957e-05,1.392329e-05,1.379685e-05,1.371800e-05,1.366430e-05,1.352643e-05,1.344431e-05,1.338395e-05,1.323753e-05,1.315404e-05,1.308777e-05,1.293522e-05,1.285186e-05,1.278038e-05,1.262371e-05,1.254165e-05,1.246562e-05,1.230651e-05,1.222667e-05,1.214671e-05,1.198655e-05,1.190963e-05,1.182631e-05,1.166625e-05,1.159275e-05,1.150661e-05,1.134761e-05,1.127789e-05,1.118942e-05,1.103223e-05,1.096655e-05,1.087620e-05,1.072145e-05,1.065994e-05,1.056812e-05,1.041632e-05,1.035905e-05,1.026614e-05,1.011766e-05,1.006464e-05,9.970970e-06,9.826126e-06,9.777311e-06,9.683186e-06,9.542198e-06,9.497501e-06,9.403203e-06,9.266233e-06,9.225541e-06,9.131316e-06,8.998474e-06,8.961653e-06,8.867723e-06,8.739074e-06,8.705970e-06,8.612534e-06,8.488106e-06,8.458558e-06,8.365790e-06,8.245582e-06,8.219419e-06,8.127476e-06,8.011461e-06,7.988508e-06,7.897527e-06,7.785659e-06,7.765741e-06,7.675842e-06,7.568058e-06,7.551000e-06,7.462288e-06,7.358511e-06,7.344140e-06,7.256706e-06,7.156851e-06,7.144998e-06,7.058921e-06,6.962892e-06,6.953392e-06,6.868739e-06,6.776436e-06,6.769131e-06,6.685957e-06,6.597276e-06,6.592012e-06,6.510365e-06,6.425198e-06,6.421827e-06,6.341747e-06,6.259984e-06,6.258365e-06,6.179882e-06,6.101413e-06,5.950755e-06,5.806179e-06,5.667473e-06,5.534430e-06,5.406843e-06,5.284514e-06,5.167244e-06,5.054844e-06,4.947127e-06,4.843911e-06,4.745023e-06,4.650291e-06,4.559551e-06,4.472644e-06,4.389417e-06,4.309721e-06,4.233414e-06,4.160357e-06,4.090419e-06,4.023472e-06,3.959392e-06,3.898061e-06,3.839367e-06,3.783199e-06,3.729453e-06,3.678027e-06,3.628826e-06,3.581756e-06,3.536728e-06,3.493655e-06,3.452457e-06,3.413053e-06,3.375368e-06,3.339330e-06,3.304868e-06,3.271917e-06,3.240411e-06,3.210290e-06,3.181493e-06,3.153966e-06,3.127653e-06,3.102502e-06,3.078465e-06,3.055492e-06,3.033538e-06,3.012559e-06,2.992514e-06,2.973361e-06,2.955062e-06
0.000000e+00,8.132630e-13,1.918394e-10,2.081231e-10,5.925767e-09,6.444436e-08,7.036422e-08,5.042142e-07,2.316356e-06,2.530435e-06,9.652142e-06,2.728040e-05,2.963815e-05,7.663552e-05,1.602222e-04,1.728825e-04,3.496978e-04,6.039352e-04,6.476356e-04,1.115847e-03,1.697577e-03,1.810782e-03,2.794380e-03,3.891418e-03,4.131959e-03,5.889943e-03,7.691066e-03,8.133600e-03,1.092488e-02,1.359053e-02,1.432051e-02,1.837027e-02,2.201023e-02,2.311570e-02,2.858908e-02,3.324979e-02,3.481270e-02,4.179853e-02,4.746007e-02,4.954814e-02,5.805291e-02,6.463398e-02,6.729445e-02,7.724519e-02,8.461375e-02,8.786919e-02,9.912296e-02,1.071100e-01,1.109565e-01,1.233143e-01,1.317285e-01,1.361361e-01,1.493586e-01,1.580008e-01,1.629156e-01,1.767395e-01,1.854145e-01,1.907622e-01,2.049156e-01,2.134425e-01,2.191327e-01,2.333480e-01,2.415671e-01,2.474983e-01,2.615231e-01,2.693006e-01,2.753649e-01,2.889699e-01,2.962003e-01,3.022879e-01,3.152727e-01,3.218790e-01,3.278823e-01,3.400786e-01,3.460111e-01,3.518280e-01,3.631008e-01,3.683349e-01,3.738716e-01,3.841188e-01,3.886518e-01,3.938249e-01,4.029758e-01,4.068235e-01,4.115611e-01,4.195738e-01,4.227673e-01,4.270099e-01,4.338682e-01,4.364501e-01,4.401505e-01,4.458607e-01,4.478819e-01,4.510053e-01,4.555926e-01,4.571095e-01,4.596328e-01,4.631378e-01,4.642099e-01,4.661207e-01,4.685961e-01,4.692835e-01,4.705794e-01,4.720871e-01,4.724493e-01,4.731364e-01,4.737448e-01,4.738387e-01,4.739307e-01,4.737125e-01,4.735919e-01,4.731089e-01,4.721387e-01,4.718534e-01,4.708208e-01,4.691738e-01,4.687692e-01,4.672163e-01,4.649667e-01,4.644833e-01,4.624430e-01,4.596629e-01,4.591366e-01,4.566437e-01,4.534023e-01,4.528642e-01,4.499552e-01,4.463184e-01,4.457950e-01,4.425072e-01,4.385366e-01,4.380501e-01,4.344210e-01,4.301742e-01,4.297429e-01,4.258096e-01,4.213398e-01,4.209780e-01,4.167771e-01,4.121330e-01,4.118521e-01,4.074188e-01,4.026450e-01,4.024529e-01,3.978215e-01,3.929580e-01,3.928604e-01,3.880634e-01,3.831463e-01,3.733750e-01,3.636039e-01,3.538833e-01,3.442578e-01,3.347659e-01,3.254411e-01,3.163119e-01,3.074026e-01,2.987334e-01,2.903210e-01,2.821790e-01,2.743178e-01,2.667454e-01,2.594677e-01,2.524883e-01,2.458091e-01,2.394304e-01,2.333510e-01,2.275687e-01,2.220799e-01,2.168804e-01,2.119650e-01,2.073277e-01,2.029621e-01,1.988612e-01,1.950174e-01,1.914230e-01,1.880699e-01,1.849495e-01,1.820533e-01,1.793727e-01,1.768986e-01,1.746223e-01,1.725346e-01,1.706267e-01,1.688897e-01,1.673145e-01,1.658926e-01,1.646152e-01,1.634738e-01,1.624600e-01,1.615657e-01,1.607826e-01,1.601032e-01,1.595197e-01,1.590247e-01,1.586111e-01,1.582719e-01,1.580006e-01
0.000000e+00,1.486357e-09,1.067467e-07,1.136263e-07,1.435094e-06,7.655808e-06,8.108752e-06,2.630518e-05,5.463151e-05,5.668756e-05,9.254632e-05,1.252717e-04,1.280298e-04,1.610033e-04,1.882014e-04,1.910795e-04,2.183299e-04,2.401001e-04,2.429154e-04,2.650090e-04,2.821462e-04,2.847806e-04,3.023940e-04,3.156366e-04,3.180064e-04,3.317674e-04,3.417696e-04,3.438187e-04,3.542940e-04,3.616241e-04,3.633187e-04,3.710102e-04,3.761548e-04,3.774780e-04,3.828241e-04,3.861954e-04,3.871431e-04,3.905230e-04,3.924677e-04,3.930453e-04,3.947856e-04,3.955938e-04,3.958137e-04,3.961944e-04,3.961078e-04,3.959874e-04,3.952481e-04,3.944674e-04,3.940273e-04,3.923724e-04,3.910635e-04,3.903266e-04,3.879301e-04,3.862295e-04,3.852198e-04,3.822297e-04,3.802491e-04,3.789910e-04,3.755326e-04,3.733632e-04,3.718809e-04,3.680603e-04,3.657757e-04,3.640930e-04,3.599996e-04,3.576593e-04,3.557989e-04,3.515082e-04,3.491593e-04,3.471430e-04,3.427179e-04,3.403976e-04,3.382460e-04,3.337393e-04,3.314764e-04,3.292088e-04,3.246644e-04,3.224808e-04,3.201151e-04,3.155693e-04,3.134814e-04,3.110342e-04,3.065168e-04,3.045362e-04,3.020229e-04,2.975582e-04,2.956929e-04,2.931274e-04,2.887351e-04,2.869898e-04,2.843850e-04,2.800808e-04,2.784578e-04,2.758254e-04,2.716216e-04,2.701213e-04,2.674718e-04,2.633779e-04,2.619991e-04,2.593419e-04,2.553653e-04,2.541055e-04,2.514492e-04,2.475948e-04,2.464506e-04,2.438029e-04,2.400742e-04,2.390415e-04,2.364092e-04,2.328082e-04,2.318825e-04,2.292715e-04,2.257992e-04,2.249754e-04,2.223911e-04,2.190473e-04,2.183203e-04,2.157675e-04,2.125513e-04,2.119156e-04,2.093984e-04,2.063083e-04,2.057587e-04,2.032805e-04,2.003144e-04,1.998456e-04,1.974095e-04,1.945650e-04,1.941716e-04,1.917803e-04,1.890546e-04,1.887314e-04,1.863871e-04,1.837771e-04,1.835192e-04,1.812237e-04,1.787262e-04,1.785288e-04,1.762836e-04,1.738952e-04,1.737536e-04,1.715600e-04,1.692771e-04,1.691869e-04,1.670458e-04,1.648651e-04,1.648220e-04,1.627341e-04,1.606519e-04,1.566698e-04,1.528689e-04,1.492424e-04,1.457837e-04,1.424862e-04,1.393435e-04,1.363495e-04,1.334980e-04,1.307832e-04,1.281994e-04,1.257410e-04,1.234026e-04,1.211793e-04,1.190659e-04,1.170576e-04,1.151500e-04,1.133384e-04,1.116188e-04,1.099869e-04,1.084389e-04,1.069709e-04,1.055794e-04,1.042608e-04,1.030119e-04,1.018295e-04,1.007105e-04,9.965192e-05,9.865106e-05,9.770520e-05,9.681178e-05,9.596834e-05,9.517254e-05,9.442213e-05,9.371497e-05,9.304899e-05,9.242223e-05,9.183282e-05,9.127896e-05,9.075894e-05,9.027112e-05,8.981393e-05,8.938587e-05,8.898551e-05,8.861149e-05,8.826250e-05,8.793730e-05,8.763470e-05,8.735355e-05,8.709277e-05
0.000000e+00,5.293946e-13,1.143204e-10,1.237352e-10,3.071747e-09,2.887931e-08,3.134769e-08,1.966397e-07,8.213429e-07,8.927443e-07,3.183925e-06,8.655105e-06,9.378655e-06,2.364364e-05,4.867069e-05,5.243799e-05,1.046013e-04,1.784703e-04,1.910558e-04,3.241884e-04,4.859539e-04,5.170318e-04,7.823736e-04,1.069888e-03,1.131902e-03,1.575468e-03,2.014676e-03,2.120524e-03,2.771737e-03,3.370387e-03,3.530813e-03,4.396481e-03,5.143151e-03,5.364634e-03,6.428586e-03,7.295845e-03,7.579421e-03,8.806394e-03,9.756270e-03,1.009736e-02,1.143919e-02,1.242915e-02,1.281823e-02,1.422062e-02,1.520887e-02,1.563272e-02,1.704132e-02,1.799078e-02,1.843397e-02,1.979910e-02,2.067989e-02,2.112625e-02,2.240608e-02,2.319654e-02,2.363048e-02,2.479259e-02,2.547930e-02,2.588679e-02,2.690862e-02,2.748557e-02,2.785479e-02,2.872307e-02,2.919044e-02,2.951219e-02,3.022178e-02,3.058455e-02,3.085227e-02,3.140476e-02,3.167126e-02,3.188097e-02,3.228311e-02,3.246381e-02,3.261380e-02,3.287602e-02,3.298245e-02,3.307298e-02,3.320810e-02,3.325202e-02,3.328490e-02,3.330701e-02,3.329982e-02,3.327806e-02,3.320167e-02,3.315395e-02,3.308141e-02,3.292078e-02,3.284210e-02,3.272318e-02,3.249187e-02,3.239061e-02,3.222999e-02,3.194055e-02,3.182393e-02,3.162638e-02,3.129019e-02,3.116425e-02,3.093449e-02,3.056167e-02,3.043140e-02,3.017394e-02,2.977339e-02,2.964283e-02,2.936194e-02,2.894137e-02,2.881367e-02,2.851334e-02,2.807936e-02,2.795697e-02,2.764084e-02,2.719905e-02,2.708380e-02,2.675517e-02,2.631027e-02,2.620346e-02,2.586533e-02,2.542124e-02,2.532374e-02,2.497881e-02,2.453875e-02,2.445109e-02,2.410175e-02,2.366837e-02,2.359079e-02,2.323917e-02,2.281461e-02,2.274714e-02,2.239511e-02,2.198105e-02,2.192353e-02,2.157276e-02,2.117054e-02,2.112269e-02,2.077464e-02,2.038527e-02,2.034670e-02,2.000264e-02,1.962689e-02,1.959714e-02,1.925818e-02,1.889661e-02,1.887514e-02,1.854227e-02,1.819523e-02,1.818150e-02,1.785556e-02,1.752327e-02,1.751670e-02,1.719841e-02,1.688097e-02,1.627434e-02,1.569665e-02,1.514763e-02,1.462687e-02,1.413387e-02,1.366808e-02,1.322886e-02,1.281553e-02,1.242737e-02,1.206366e-02,1.172362e-02,1.140648e-02,1.111144e-02,1.083772e-02,1.058450e-02,1.035100e-02,1.013640e-02,9.939915e-03,9.760754e-03,9.598130e-03,9.451262e-03,9.319380e-03,9.201721e-03,9.097530e-03,9.006064e-03,8.926590e-03,8.858387e-03,8.800746e-03,8.752972e-03,8.714383e-03,8.684313e-03,8.662112e-03,8.647147e-03,8.638802e-03,8.636480e-03,8.639605e-03,8.647620e-03,8.659988e-03,8.676197e-03,8.695756e-03,8.718197e-03,8.743076e-03,8.769974e-03,8.798494e-03,8.828266e-03,8.858943e-03,8.890204e-03,8.921751e-03,8.953310e-03
0.000000e+00,4.023688e-09,6.112952e-08,6.387109e-08,3.935956e-07,1.311693e-06,1.366630e-06,3.139921e-06,5.226714e-06,5.363826e-06,7.617475e-06,9.575368e-06,9.739131e-06,1.169550e-05,1.331439e-05,1.348619e-05,1.511837e-05,1.643067e-05,1.660099e-05,1.794317e-05,1.899190e-05,1.915379e-05,2.024142e-05,2.106595e-05,2.121419e-05,2.207961e-05,2.271435e-05,2.284508e-05,2.351772e-05,2.399353e-05,2.410425e-05,2.461100e-05,2.495471e-05,2.504390e-05,2.540854e-05,2.564324e-05,2.571014e-05,2.595360e-05,2.609902e-05,2.614348e-05,2.628405e-05,2.635699e-05,2.637931e-05,2.643298e-05,2.644766e-05,2.644852e-05,2.642917e-05,2.639762e-05,2.637794e-05,2.629763e-05,2.622998e-05,2.619086e-05,2.606005e-05,2.596477e-05,2.590746e-05,2.573519e-05,2.561936e-05,2.554519e-05,2.533926e-05,2.520876e-05,2.511908e-05,2.488621e-05,2.474591e-05,2.464210e-05,2.438807e-05,2.424194e-05,2.412536e-05,2.385512e-05,2.370643e-05,2.357840e-05,2.329619e-05,2.314757e-05,2.300938e-05,2.271880e-05,2.257234e-05,2.242521e-05,2.212934e-05,2.198669e-05,2.183181e-05,2.153323e-05,2.139568e-05,2.123414e-05,2.093504e-05,2.080355e-05,2.063638e-05,2.033859e-05,2.021387e-05,2.004205e-05,1.974709e-05,1.962963e-05,1.945404e-05,1.916318e-05,1.905328e-05,1.887476e-05,1.858902e-05,1.848684e-05,1.830615e-05,1.802636e-05,1.793196e-05,1.774980e-05,1.747662e-05,1.738993e-05,1.720694e-05,1.694089e-05,1.686179e-05,1.667854e-05,1.642001e-05,1.634831e-05,1.616534e-05,1.591460e-05,1.585005e-05,1.566784e-05,1.542509e-05,1.536743e-05,1.518639e-05,1.495175e-05,1.490068e-05,1.472119e-05,1.449471e-05,1.444991e-05,1.427232e-05,1.405399e-05,1.401513e-05,1.383973e-05,1.362952e-05,1.359625e-05,1.342332e-05,1.322112e-05,1.319313e-05,1.302289e-05,1.282859e-05,1.280554e-05,1.263819e-05,1.245164e-05,1.243320e-05,1.226891e-05,1.208996e-05,1.207580e-05,1.191473e-05,1.174318e-05,1.173300e-05,1.157526e-05,1.141093e-05,1.140443e-05,1.125013e-05,1.109281e-05,1.108970e-05,1.093891e-05,1.078839e-05,1.050011e-05,1.022442e-05,9.960909e-06,9.709150e-06,9.468725e-06,9.239219e-06,9.020224e-06,8.811338e-06,8.612167e-06,8.422326e-06,8.241441e-06,8.069148e-06,7.905092e-06,7.748932e-06,7.600335e-06,7.458981e-06,7.324560e-06,7.196773e-06,7.075332e-06,6.959960e-06,6.850390e-06,6.746365e-06,6.647639e-06,6.553975e-06,6.465145e-06,6.380932e-06,6.301125e-06,6.225525e-06,6.153940e-06,6.086184e-06,6.022081e-06,5.961463e-06,5.904168e-06,5.850041e-06,5.798934e-06,5.750704e-06,5.705218e-06,5.662344e-06,5.621959e-06,5.583945e-06,5.548189e-06,5.514582e-06,5.483020e-06,5.453405e-06,5.425643e-06,5.399643e-06,5.375318e-06,5.352588e-06,5.331373e-06
0.000000e+00,5.093925e-09,1.046364e-07,1.097473e-07,7.399478e-07,2.401519e-06,2.495812e-06,5.278011e-06,8.119649e-06,8.297006e-06,1.111705e-05,1.346208e-05,1.365462e-05,1.591371e-05,1.772506e-05,1.791407e-05,1.967718e-05,2.104886e-05,2.122364e-05,2.257271e-05,2.358871e-05,2.374227e-05,2.474887e-05,2.547969e-05,2.560779e-05,2.633308e-05,2.683720e-05,2.693766e-05,2.743332e-05,2.775872e-05,2.783086e-05,2.814011e-05,2.832584e-05,2.837005e-05,2.852883e-05,2.860650e-05,2.862386e-05,2.866189e-05,2.865696e-05,2.864904e-05,2.859086e-05,2.852375e-05,2.849239e-05,2.835819e-05,2.824522e-05,2.819240e-05,2.799878e-05,2.785296e-05,2.778071e-05,2.754127e-05,2.737288e-05,2.728322e-05,2.700908e-05,2.682623e-05,2.672110e-05,2.642134e-05,2.623040e-05,2.611166e-05,2.579372e-05,2.559962e-05,2.546902e-05,2.513888e-05,2.494541e-05,2.480454e-05,2.446708e-05,2.427712e-05,2.412749e-05,2.378664e-05,2.360233e-05,2.344530e-05,2.310417e-05,2.292708e-05,2.276388e-05,2.242499e-05,2.225622e-05,2.208798e-05,2.175329e-05,2.159358e-05,2.142130e-05,2.109235e-05,2.094213e-05,2.076673e-05,2.044470e-05,2.030420e-05,2.012648e-05,1.981226e-05,1.968152e-05,1.950220e-05,1.919644e-05,1.907537e-05,1.889511e-05,1.859829e-05,1.848669e-05,1.830605e-05,1.801847e-05,1.791608e-05,1.773558e-05,1.745742e-05,1.736392e-05,1.718400e-05,1.691534e-05,1.683037e-05,1.665143e-05,1.639228e-05,1.631545e-05,1.613785e-05,1.588813e-05,1.581905e-05,1.564308e-05,1.540268e-05,1.534094e-05,1.516689e-05,1.493565e-05,1.488083e-05,1.470893e-05,1.448667e-05,1.443837e-05,1.426882e-05,1.405534e-05,1.401315e-05,1.384614e-05,1.364120e-05,1.360475e-05,1.344043e-05,1.324378e-05,1.321269e-05,1.305119e-05,1.286260e-05,1.283651e-05,1.267793e-05,1.249714e-05,1.247570e-05,1.232015e-05,1.214691e-05,1.212979e-05,1.197734e-05,1.181139e-05,1.179827e-05,1.164899e-05,1.149008e-05,1.148065e-05,1.133459e-05,1.118247e-05,1.117646e-05,1.103366e-05,1.088808e-05,1.088520e-05,1.074569e-05,1.060642e-05,1.033965e-05,1.008444e-05,9.840361e-06,9.606989e-06,9.383910e-06,9.170727e-06,8.967055e-06,8.772521e-06,8.586765e-06,8.409439e-06,8.240208e-06,8.078749e-06,7.924750e-06,7.777910e-06,7.637941e-06,7.504563e-06,7.377509e-06,7.256520e-06,7.141349e-06,7.031756e-06,6.927511e-06,6.828394e-06,6.734192e-06,6.644700e-06,6.559722e-06,6.479069e-06,6.402559e-06,6.330018e-06,6.261278e-06,6.196178e-06,6.134562e-06,6.076282e-06,6.021194e-06,5.969161e-06,5.920051e-06,5.873737e-06,5.830096e-06,5.789012e-06,5.750371e-06,5.714067e-06,5.679994e-06,5.648053e-06,5.618148e-06,5.590187e-06,5.564082e-06,5.539748e-06,5.517104e-06,5.496070e-06,5.476573e-06
0.000000e+00,4.833628e-09,6.774189e-08,7.068132e-08,4.230320e-07,1.445986e-06,1.509219e-06,3.670348e-06,6.493538e-06,6.687541e-06,9.970013e-06,1.291543e-05,1.316467e-05,1.617419e-05,1.871083e-05,1.898266e-05,2.159312e-05,2.373236e-05,2.401295e-05,2.625057e-05,2.803576e-05,2.831460e-05,3.021361e-05,3.168744e-05,3.195605e-05,3.355016e-05,3.475227e-05,3.500395e-05,3.632511e-05,3.729157e-05,3.752110e-05,3.859901e-05,3.936222e-05,3.956568e-05,4.042759e-05,4.101640e-05,4.119093e-05,4.186163e-05,4.230162e-05,4.244530e-05,4.294731e-05,4.326104e-05,4.337271e-05,4.372628e-05,4.393347e-05,4.401254e-05,4.423577e-05,4.435368e-05,4.440009e-05,4.450938e-05,4.455315e-05,4.456731e-05,4.457737e-05,4.456024e-05,4.454290e-05,4.446708e-05,4.440068e-05,4.435301e-05,4.420346e-05,4.409780e-05,4.402107e-05,4.380833e-05,4.367197e-05,4.356759e-05,4.330107e-05,4.314134e-05,4.301086e-05,4.269895e-05,4.252215e-05,4.236719e-05,4.201732e-05,4.182879e-05,4.165100e-05,4.126979e-05,4.107406e-05,4.087515e-05,4.046846e-05,4.026936e-05,4.005102e-05,3.962405e-05,3.942476e-05,3.918868e-05,3.874600e-05,3.854917e-05,3.829701e-05,3.784266e-05,3.765044e-05,3.738382e-05,3.692133e-05,3.673548e-05,3.645596e-05,3.598843e-05,3.581035e-05,3.551943e-05,3.504959e-05,3.488035e-05,3.457949e-05,3.410967e-05,3.395010e-05,3.364066e-05,3.317292e-05,3.302358e-05,3.270689e-05,3.224298e-05,3.210428e-05,3.178156e-05,3.132298e-05,3.119514e-05,3.086757e-05,3.041561e-05,3.029870e-05,2.996737e-05,2.952311e-05,2.941710e-05,2.908305e-05,2.864739e-05,2.855216e-05,2.821632e-05,2.779002e-05,2.770534e-05,2.736862e-05,2.695227e-05,2.687787e-05,2.654109e-05,2.613519e-05,2.607074e-05,2.573465e-05,2.533957e-05,2.528469e-05,2.495000e-05,2.456602e-05,2.452032e-05,2.418766e-05,2.381497e-05,2.377801e-05,2.344798e-05,2.308671e-05,2.305805e-05,2.273117e-05,2.238137e-05,2.236057e-05,2.203732e-05,2.169900e-05,2.168559e-05,2.136640e-05,2.103952e-05,2.103304e-05,2.071831e-05,2.040277e-05,1.979456e-05,1.920812e-05,1.864312e-05,1.809917e-05,1.757586e-05,1.707274e-05,1.658934e-05,1.612517e-05,1.567973e-05,1.525251e-05,1.484299e-05,1.445063e-05,1.407492e-05,1.371534e-05,1.337135e-05,1.304245e-05,1.272812e-05,1.242787e-05,1.214119e-05,1.186761e-05,1.160664e-05,1.135783e-05,1.112073e-05,1.089489e-05,1.067988e-05,1.047529e-05,1.028071e-05,1.009574e-05,9.920018e-06,9.753162e-06,9.594817e-06,9.444638e-06,9.302292e-06,9.167456e-06,9.039820e-06,8.919082e-06,8.804954e-06,8.697156e-06,8.595420e-06,8.499487e-06,8.409107e-06,8.324041e-06,8.244057e-06,8.168933e-06,8.098456e-06,8.032420e-06,7.970628e-06,7.912890e-06,7.859023e-06
0.000000e+00,5.946945e-09,2.169376e-07,2.294140e-07,2.205648e-06,9.038141e-06,9.464462e-06,2.300538e-05,3.753311e-05,3.843592e-05,5.255749e-05,6.388544e-05,6.479680e-05,7.526191e-05,8.332712e-05,8.415066e-05,9.165492e-05,9.725105e-05,9.794741e-05,1.031811e-04,1.069385e-04,1.074908e-04,1.109953e-04,1.133936e-04,1.137990e-04,1.159934e-04,1.173947e-04,1.176587e-04,1.188653e-04,1.195419e-04,1.196747e-04,1.201405e-04,1.202958e-04,1.203098e-04,1.202238e-04,1.200098e-04,1.199182e-04,1.194242e-04,1.189536e-04,1.187692e-04,1.179770e-04,1.173334e-04,1.170683e-04,1.160613e-04,1.153065e-04,1.149719e-04,1.138139e-04,1.129935e-04,1.125993e-04,1.113386e-04,1.104856e-04,1.100408e-04,1.087138e-04,1.078525e-04,1.073646e-04,1.059990e-04,1.051464e-04,1.046222e-04,1.032387e-04,1.024070e-04,1.018524e-04,1.004666e-04,9.966424e-05,9.908421e-05,9.770769e-05,9.694020e-05,9.633916e-05,9.498046e-05,9.425141e-05,9.363315e-05,9.229855e-05,9.160996e-05,9.097778e-05,8.967176e-05,8.902454e-05,8.838129e-05,8.710701e-05,8.650126e-05,8.584943e-05,8.460899e-05,8.404424e-05,8.338602e-05,8.218078e-05,8.165613e-05,8.099344e-05,7.982414e-05,7.933843e-05,7.867294e-05,7.753988e-05,7.709174e-05,7.642495e-05,7.532811e-05,7.491604e-05,7.424929e-05,7.318838e-05,7.281082e-05,7.214529e-05,7.111986e-05,7.077522e-05,7.011196e-05,6.912140e-05,6.880806e-05,6.814802e-05,6.719163e-05,6.690800e-05,6.625203e-05,6.532902e-05,6.507353e-05,6.442240e-05,6.353196e-05,6.330306e-05,6.265747e-05,6.179874e-05,6.159496e-05,6.095553e-05,6.012763e-05,5.994753e-05,5.931482e-05,5.851688e-05,5.835906e-05,5.773359e-05,5.696472e-05,5.682784e-05,5.621006e-05,5.546940e-05,5.535218e-05,5.474252e-05,5.402919e-05,5.393039e-05,5.332921e-05,5.264238e-05,5.256083e-05,5.196847e-05,5.130728e-05,5.124185e-05,5.065861e-05,5.002225e-05,4.997187e-05,4.939801e-05,4.878568e-05,4.874932e-05,4.818508e-05,4.759600e-05,4.757268e-05,4.701827e-05,4.645168e-05,4.644046e-05,4.589606e-05,4.535122e-05,4.430355e-05,4.329608e-05,4.232747e-05,4.139644e-05,4.050174e-05,3.964213e-05,3.881645e-05,3.802354e-05,3.726229e-05,3.653164e-05,3.583052e-05,3.515794e-05,3.451291e-05,3.389448e-05,3.330173e-05,3.273377e-05,3.218974e-05,3.166880e-05,3.117014e-05,3.069298e-05,3.023656e-05,2.980014e-05,2.938301e-05,2.898449e-05,2.860390e-05,2.824060e-05,2.789397e-05,2.756340e-05,2.724830e-05,2.694811e-05,2.666228e-05,2.639027e-05,2.613158e-05,2.588571e-05,2.565217e-05,2.543050e-05,2.522025e-05,2.502098e-05,2.483227e-05,2.465371e-05,2.448491e-05,2.432549e-05,2.417507e-05,2.403329e-05,2.389982e-05,2.377431e-05,2.365645e-05,2.354592e-05,2.344242e-05
0.000000e+00,2.995917e-12,6.054121e-10,6.549331e-10,1.636543e-08,1.583488e-07,1.720424e-07,1.083965e-06,4.367813e-06,4.730209e-06,1.553253e-05,3.796596e-05,4.071766e-05,8.928324e-05,1.602506e-04,1.699752e-04,2.892713e-04,4.286110e-04,4.501088e-04,6.515650e-04,8.540754e-04,8.893097e-04,1.156519e-03,1.397716e-03,1.444925e-03,1.745798e-03,1.995889e-03,2.050723e-03,2.352146e-03,2.586434e-03,2.643690e-03,2.920281e-03,3.123170e-03,3.178144e-03,3.414697e-03,3.579243e-03,3.628399e-03,3.818576e-03,3.944152e-03,3.985249e-03,4.128967e-03,4.218744e-03,4.250667e-03,4.351553e-03,4.410519e-03,4.432996e-03,4.496456e-03,4.530098e-03,4.543424e-03,4.575382e-03,4.588954e-03,4.593770e-03,4.599956e-03,4.598110e-03,4.595229e-03,4.580794e-03,4.567464e-03,4.557771e-03,4.527188e-03,4.505605e-03,4.489987e-03,4.447026e-03,4.419779e-03,4.399082e-03,4.346860e-03,4.315988e-03,4.290998e-03,4.232072e-03,4.199161e-03,4.170597e-03,4.107040e-03,4.073306e-03,4.041813e-03,3.975289e-03,3.941645e-03,3.907798e-03,3.839635e-03,3.806756e-03,3.771061e-03,3.702311e-03,3.670684e-03,3.633589e-03,3.565077e-03,3.535041e-03,3.496936e-03,3.429305e-03,3.401082e-03,3.362306e-03,3.296046e-03,3.269770e-03,3.230617e-03,3.166098e-03,3.141834e-03,3.102558e-03,3.040052e-03,3.017813e-03,2.978630e-03,2.918330e-03,2.898090e-03,2.859185e-03,2.801220e-03,2.782924e-03,2.744454e-03,2.688901e-03,2.672474e-03,2.634571e-03,2.581468e-03,2.566820e-03,2.529594e-03,2.478947e-03,2.465979e-03,2.429521e-03,2.381309e-03,2.369918e-03,2.334302e-03,2.288487e-03,2.278567e-03,2.243852e-03,2.200380e-03,2.191824e-03,2.158056e-03,2.116862e-03,2.109566e-03,2.076781e-03,2.037793e-03,2.031655e-03,1.999878e-03,1.963016e-03,1.957939e-03,1.927187e-03,1.892370e-03,1.888259e-03,1.858544e-03,1.825687e-03,1.822454e-03,1.793778e-03,1.762796e-03,1.760357e-03,1.732719e-03,1.703527e-03,1.701803e-03,1.675199e-03,1.647712e-03,1.646630e-03,1.621048e-03,1.595185e-03,1.594676e-03,1.570104e-03,1.545784e-03,1.499800e-03,1.456578e-03,1.415972e-03,1.377847e-03,1.342070e-03,1.308514e-03,1.277059e-03,1.247589e-03,1.219994e-03,1.194169e-03,1.170016e-03,1.147438e-03,1.126347e-03,1.106658e-03,1.088289e-03,1.071164e-03,1.055212e-03,1.040362e-03,1.026551e-03,1.013716e-03,1.001801e-03,9.907502e-04,9.805117e-04,9.710368e-04,9.622793e-04,9.541955e-04,9.467443e-04,9.398866e-04,9.335858e-04,9.278071e-04,9.225179e-04,9.176874e-04,9.132864e-04,9.092876e-04,9.056650e-04,9.023944e-04,8.994526e-04,8.968182e-04,8.944706e-04,8.923903e-04,8.905593e-04,8.889605e-04,8.875779e-04,8.863962e-04,8.854014e-04,8.845800e-04,8.839193e-04,8.834077e-04,8.830338e-04
0.000000e+00,2.189608e-09,2.814807e-08,2.935618e-08,1.766075e-07,6.195877e-07,6.474075e-07,1.612422e-06,2.887680e-06,2.975257e-06,4.444840e-06,5.729486e-06,5.836236e-06,7.097426e-06,8.117089e-06,8.223837e-06,9.222639e-06,1.000369e-05,1.010349e-05,1.087616e-05,1.146121e-05,1.154991e-05,1.213342e-05,1.255975e-05,1.263475e-05,1.306134e-05,1.336021e-05,1.342006e-05,1.371725e-05,1.391462e-05,1.395872e-05,1.414981e-05,1.426705e-05,1.429541e-05,1.440002e-05,1.445463e-05,1.446772e-05,1.450228e-05,1.450854e-05,1.450712e-05,1.448536e-05,1.445484e-05,1.443987e-05,1.437324e-05,1.431531e-05,1.428786e-05,1.418588e-05,1.410807e-05,1.406928e-05,1.393985e-05,1.384819e-05,1.379921e-05,1.364885e-05,1.354814e-05,1.349011e-05,1.332420e-05,1.321824e-05,1.315224e-05,1.297523e-05,1.286698e-05,1.279407e-05,1.260957e-05,1.250133e-05,1.242248e-05,1.223347e-05,1.212700e-05,1.204312e-05,1.185199e-05,1.174862e-05,1.166054e-05,1.146923e-05,1.136992e-05,1.127842e-05,1.108848e-05,1.099392e-05,1.089969e-05,1.071234e-05,1.062300e-05,1.052667e-05,1.034288e-05,1.025902e-05,1.016116e-05,9.981670e-06,9.903438e-06,9.804552e-06,9.629924e-06,9.557347e-06,9.457887e-06,9.288528e-06,9.221551e-06,9.121918e-06,8.958114e-06,8.896614e-06,8.797163e-06,8.639099e-06,8.582908e-06,8.483949e-06,8.331729e-06,8.280643e-06,8.182448e-06,8.036109e-06,7.989901e-06,7.892706e-06,7.752231e-06,7.710657e-06,7.614668e-06,7.479999e-06,7.442806e-06,7.348199e-06,7.219243e-06,7.186176e-06,7.093100e-06,6.969738e-06,6.940542e-06,6.849123e-06,6.731218e-06,6.705639e-06,6.615985e-06,6.503384e-06,6.481175e-06,6.393373e-06,6.285911e-06,6.266835e-06,6.180955e-06,6.078461e-06,6.062288e-06,5.978386e-06,5.880685e-06,5.867194e-06,5.785314e-06,5.692228e-06,5.681209e-06,5.601382e-06,5.512733e-06,5.503987e-06,5.426235e-06,5.341846e-06,5.335185e-06,5.259520e-06,5.179216e-06,5.174461e-06,5.100889e-06,5.024497e-06,5.021481e-06,4.949999e-06,4.877352e-06,4.875918e-06,4.806517e-06,4.737452e-06,4.605771e-06,4.480577e-06,4.361576e-06,4.248490e-06,4.141047e-06,4.038988e-06,3.942063e-06,3.850032e-06,3.762665e-06,3.679743e-06,3.601055e-06,3.526399e-06,3.455584e-06,3.388426e-06,3.324748e-06,3.264384e-06,3.207174e-06,3.152965e-06,3.101612e-06,3.052976e-06,3.006924e-06,2.963332e-06,2.922079e-06,2.883051e-06,2.846139e-06,2.811238e-06,2.778251e-06,2.747083e-06,2.717645e-06,2.689851e-06,2.663619e-06,2.638874e-06,2.615540e-06,2.593548e-06,2.572831e-06,2.553326e-06,2.534972e-06,2.517711e-06,2.501489e-06,2.486254e-06,2.471955e-06,2.458546e-06,2.445982e-06,2.434220e-06,2.423219e-06,2.412940e-06,2.403346e-06,2.394403e-06,2.386077e-06
0.000000e+00,1.375577e-10,1.657230e-08,1.775087e-08,2.829247e-07,1.937569e-06,2.078070e-06,9.696775e-06,3.000721e-05,3.195446e-05,7.885434e-05,1.468609e-04,1.537915e-04,2.506874e-04,3.479567e-04,3.590148e-04,4.695228e-04,5.638550e-04,5.763655e-04,6.766391e-04,7.567535e-04,7.692437e-04,8.539931e-04,9.192640e-04,9.311023e-04,1.000941e-03,1.053077e-03,1.063929e-03,1.120490e-03,1.161392e-03,1.171041e-03,1.215983e-03,1.247390e-03,1.255697e-03,1.290547e-03,1.313992e-03,1.320877e-03,1.347011e-03,1.363830e-03,1.369256e-03,1.387900e-03,1.399245e-03,1.403212e-03,1.415447e-03,1.422308e-03,1.424842e-03,1.431621e-03,1.434843e-03,1.435991e-03,1.438147e-03,1.438446e-03,1.438271e-03,1.436534e-03,1.434519e-03,1.433093e-03,1.428098e-03,1.424281e-03,1.421685e-03,1.413985e-03,1.408796e-03,1.405115e-03,1.395190e-03,1.388990e-03,1.384311e-03,1.372576e-03,1.365665e-03,1.360076e-03,1.346893e-03,1.339518e-03,1.333105e-03,1.318784e-03,1.311149e-03,1.303997e-03,1.288806e-03,1.281077e-03,1.273268e-03,1.257436e-03,1.249747e-03,1.241360e-03,1.225084e-03,1.217542e-03,1.208651e-03,1.192099e-03,1.184788e-03,1.175464e-03,1.158778e-03,1.151763e-03,1.142072e-03,1.125372e-03,1.118700e-03,1.108705e-03,1.092093e-03,1.085799e-03,1.075557e-03,1.059117e-03,1.053226e-03,1.042790e-03,1.026592e-03,1.021116e-03,1.010537e-03,9.946377e-04,9.895849e-04,9.789064e-04,9.633532e-04,9.587234e-04,9.479874e-04,9.328172e-04,9.286056e-04,9.178498e-04,9.030915e-04,8.992893e-04,8.885479e-04,8.742236e-04,8.708189e-04,8.601228e-04,8.462486e-04,8.432270e-04,8.326039e-04,8.191908e-04,8.165361e-04,8.060109e-04,7.930653e-04,7.907601e-04,7.803549e-04,7.678798e-04,7.659056e-04,7.556400e-04,7.436352e-04,7.419732e-04,7.318645e-04,7.203271e-04,7.189582e-04,7.090216e-04,6.979465e-04,6.968516e-04,6.871001e-04,6.764805e-04,6.756406e-04,6.660855e-04,6.559130e-04,6.553096e-04,6.459604e-04,6.362254e-04,6.358405e-04,6.267052e-04,6.173972e-04,6.172132e-04,6.082984e-04,5.994061e-04,5.823967e-04,5.661612e-04,5.506757e-04,5.359154e-04,5.218558e-04,5.084721e-04,4.957396e-04,4.836342e-04,4.721317e-04,4.612086e-04,4.508416e-04,4.410083e-04,4.316864e-04,4.228547e-04,4.144923e-04,4.065789e-04,3.990950e-04,3.920217e-04,3.853407e-04,3.790344e-04,3.730858e-04,3.674786e-04,3.621971e-04,3.572260e-04,3.525509e-04,3.481578e-04,3.440334e-04,3.401647e-04,3.365394e-04,3.331457e-04,3.299723e-04,3.270084e-04,3.242435e-04,3.216678e-04,3.192717e-04,3.170462e-04,3.149825e-04,3.130723e-04,3.113078e-04,3.096812e-04,3.081854e-04,3.068134e-04,3.055587e-04,3.044147e-04,3.033757e-04,3.024357e-04,3.015893e-04,3.008312e-04,3.001565e-04
0.000000e+00,3.214124e-10,3.402211e-08,3.638081e-08,5.460802e-07,3.498674e-06,3.738860e-06,1.562004e-05,4.263437e-05,4.502971e-05,9.726919e-05,1.624398e-04,1.686353e-04,2.494833e-04,3.230243e-04,3.310404e-04,4.083015e-04,4.711152e-04,4.792781e-04,5.435410e-04,5.935792e-04,6.012848e-04,6.529059e-04,6.918600e-04,6.988472e-04,7.395468e-04,7.693023e-04,7.754216e-04,8.068639e-04,8.290732e-04,8.342397e-04,8.578894e-04,8.739534e-04,8.781286e-04,8.952494e-04,9.063425e-04,9.095217e-04,9.211950e-04,9.282962e-04,9.304997e-04,9.376480e-04,9.415699e-04,9.428353e-04,9.462417e-04,9.476557e-04,9.480327e-04,9.483605e-04,9.478196e-04,9.473653e-04,9.451758e-04,9.431343e-04,9.419102e-04,9.376771e-04,9.345065e-04,9.325761e-04,9.266988e-04,9.227022e-04,9.201292e-04,9.129440e-04,9.083671e-04,9.052140e-04,8.970036e-04,8.920450e-04,8.883720e-04,8.793735e-04,8.741927e-04,8.700575e-04,8.604693e-04,8.551932e-04,8.506502e-04,8.406381e-04,8.353670e-04,8.304673e-04,8.201693e-04,8.149816e-04,8.097727e-04,7.993034e-04,7.942594e-04,7.887851e-04,7.782393e-04,7.733844e-04,7.676854e-04,7.571409e-04,7.525086e-04,7.466219e-04,7.361427e-04,7.317565e-04,7.257162e-04,7.153540e-04,7.112296e-04,7.050666e-04,6.948633e-04,6.910098e-04,6.847524e-04,6.747412e-04,6.711628e-04,6.648362e-04,6.550434e-04,6.517402e-04,6.453675e-04,6.358131e-04,6.327820e-04,6.263840e-04,6.170833e-04,6.143186e-04,6.079138e-04,5.988778e-04,5.963719e-04,5.899771e-04,5.812133e-04,5.789572e-04,5.725874e-04,5.641003e-04,5.620842e-04,5.557526e-04,5.475446e-04,5.457575e-04,5.394762e-04,5.315473e-04,5.299782e-04,5.237576e-04,5.161065e-04,5.147439e-04,5.085933e-04,5.012173e-04,5.000498e-04,4.939774e-04,4.868726e-04,4.858886e-04,4.799017e-04,4.730635e-04,4.722518e-04,4.663567e-04,4.597797e-04,4.591291e-04,4.533312e-04,4.470097e-04,4.465094e-04,4.408135e-04,4.347411e-04,4.343806e-04,4.287908e-04,4.229610e-04,4.227302e-04,4.172499e-04,4.116559e-04,4.115452e-04,4.061772e-04,4.008121e-04,3.905176e-04,3.806481e-04,3.711901e-04,3.621302e-04,3.534550e-04,3.451517e-04,3.372072e-04,3.296090e-04,3.223448e-04,3.154026e-04,3.087706e-04,3.024375e-04,2.963922e-04,2.906239e-04,2.851222e-04,2.798770e-04,2.748786e-04,2.701173e-04,2.655841e-04,2.612701e-04,2.571667e-04,2.532657e-04,2.495590e-04,2.460389e-04,2.426979e-04,2.395289e-04,2.365249e-04,2.336793e-04,2.309854e-04,2.284372e-04,2.260286e-04,2.237538e-04,2.216072e-04,2.195834e-04,2.176772e-04,2.158836e-04,2.141978e-04,2.126151e-04,2.111311e-04,2.097413e-04,2.084418e-04,2.072284e-04,2.060972e-04,2.050447e-04,2.040671e-04,2.031611e-04,2.023232e-04,2.015504e-04,2.008395e-04
0.000000e+00,1.711601e-13,3.727040e-11,4.038253e-11,1.095401e-09,1.152662e-08,1.256805e-08,8.656519e-08,3.785863e-07,4.120991e-07,1.470057e-06,3.863561e-06,4.169227e-06,9.860489e-06,1.890931e-05,2.020294e-05,3.693500e-05,5.819968e-05,6.162688e-05,9.547395e-05,1.324432e-04,1.391628e-04,1.928159e-04,2.452881e-04,2.560074e-04,3.278292e-04,3.922671e-04,4.069907e-04,4.919325e-04,5.628988e-04,5.809413e-04,6.722551e-04,7.439692e-04,7.641526e-04,8.550240e-04,9.225034e-04,9.434234e-04,1.028101e-03,1.087749e-03,1.108021e-03,1.182368e-03,1.232099e-03,1.250536e-03,1.312120e-03,1.351183e-03,1.366893e-03,1.414788e-03,1.443455e-03,1.455868e-03,1.490311e-03,1.509532e-03,1.518379e-03,1.540402e-03,1.551498e-03,1.556758e-03,1.567858e-03,1.572286e-03,1.574127e-03,1.575999e-03,1.575191e-03,1.573903e-03,1.568255e-03,1.563511e-03,1.559457e-03,1.547885e-03,1.540328e-03,1.533897e-03,1.517821e-03,1.508378e-03,1.499958e-03,1.480585e-03,1.469998e-03,1.459951e-03,1.438281e-03,1.427122e-03,1.415777e-03,1.392619e-03,1.381317e-03,1.368964e-03,1.344952e-03,1.333822e-03,1.320706e-03,1.296332e-03,1.285591e-03,1.271922e-03,1.247556e-03,1.237352e-03,1.223302e-03,1.199219e-03,1.189646e-03,1.175357e-03,1.151758e-03,1.142866e-03,1.128456e-03,1.105480e-03,1.097294e-03,1.082855e-03,1.060600e-03,1.053120e-03,1.038730e-03,1.017258e-03,1.010472e-03,9.961926e-04,9.755405e-04,9.694262e-04,9.553063e-04,9.354928e-04,9.300205e-04,9.161009e-04,8.971308e-04,8.922675e-04,8.785808e-04,8.604492e-04,8.561594e-04,8.427323e-04,8.254266e-04,8.216741e-04,8.085274e-04,7.920300e-04,7.887782e-04,7.759287e-04,7.602180e-04,7.574311e-04,7.448919e-04,7.299442e-04,7.275872e-04,7.153685e-04,7.011584e-04,6.991978e-04,6.873074e-04,6.738087e-04,6.722122e-04,6.606556e-04,6.478415e-04,6.465784e-04,6.353595e-04,6.232029e-04,6.222442e-04,6.113650e-04,5.998390e-04,5.991572e-04,5.886184e-04,5.776967e-04,5.772659e-04,5.670672e-04,5.567235e-04,5.565195e-04,5.466593e-04,5.368683e-04,5.182638e-04,5.006591e-04,4.840084e-04,4.682677e-04,4.533945e-04,4.393477e-04,4.260881e-04,4.135777e-04,4.017803e-04,3.906610e-04,3.801866e-04,3.703253e-04,3.610464e-04,3.523210e-04,3.441212e-04,3.364205e-04,3.291936e-04,3.224164e-04,3.160658e-04,3.101198e-04,3.045576e-04,2.993593e-04,2.945059e-04,2.899793e-04,2.857623e-04,2.818386e-04,2.781925e-04,2.748093e-04,2.716747e-04,2.687754e-04,2.660986e-04,2.636321e-04,2.613643e-04,2.592842e-04,2.573814e-04,2.556458e-04,2.540680e-04,2.526389e-04,2.513501e-04,2.501932e-04,2.491606e-04,2.482450e-04,2.474392e-04,2.467366e-04,2.461308e-04,2.456159e-04,2.451861e-04,2.448360e-04,2.445604e-04
0.000000e+00,5.005914e-09,2.123731e-07,2.244250e-07,2.199055e-06,1.033032e-05,1.089838e-05,3.269590e-05,6.456261e-05,6.681416e-05,1.053290e-04,1.399612e-04,1.428800e-04,1.779079e-04,2.070727e-04,2.101766e-04,2.397558e-04,2.636674e-04,2.667802e-04,2.913964e-04,3.107520e-04,3.137508e-04,3.339863e-04,3.494477e-04,3.522409e-04,3.686465e-04,3.808080e-04,3.833291e-04,3.964078e-04,4.057920e-04,4.079954e-04,4.181979e-04,4.252587e-04,4.271151e-04,4.348410e-04,4.399701e-04,4.414633e-04,4.470638e-04,4.505962e-04,4.517200e-04,4.555039e-04,4.577264e-04,4.584831e-04,4.607197e-04,4.618751e-04,4.622725e-04,4.631960e-04,4.634906e-04,4.635411e-04,4.633553e-04,4.629633e-04,4.626827e-04,4.615645e-04,4.606329e-04,4.600392e-04,4.581423e-04,4.567944e-04,4.559072e-04,4.533646e-04,4.517035e-04,4.505433e-04,4.474701e-04,4.455820e-04,4.441696e-04,4.406651e-04,4.386215e-04,4.369779e-04,4.331278e-04,4.309876e-04,4.291333e-04,4.250114e-04,4.228230e-04,4.207780e-04,4.164477e-04,4.142505e-04,4.120341e-04,4.075498e-04,4.053756e-04,4.030063e-04,3.984145e-04,3.962887e-04,3.937841e-04,3.891243e-04,3.870669e-04,3.844436e-04,3.797496e-04,3.777760e-04,3.750496e-04,3.703500e-04,3.684717e-04,3.656569e-04,3.609757e-04,3.592011e-04,3.563116e-04,3.516690e-04,3.500038e-04,3.470523e-04,3.424652e-04,3.409130e-04,3.379113e-04,3.333936e-04,3.319561e-04,3.289150e-04,3.244781e-04,3.231555e-04,3.200852e-04,3.157383e-04,3.145297e-04,3.114393e-04,3.071899e-04,3.060933e-04,3.029914e-04,2.988451e-04,2.978579e-04,2.947521e-04,2.907134e-04,2.898322e-04,2.867297e-04,2.828017e-04,2.820229e-04,2.789300e-04,2.751150e-04,2.744344e-04,2.713570e-04,2.676563e-04,2.670695e-04,2.640130e-04,2.604271e-04,2.599296e-04,2.568987e-04,2.534276e-04,2.530150e-04,2.500138e-04,2.466571e-04,2.463246e-04,2.433571e-04,2.401137e-04,2.398567e-04,2.369264e-04,2.337949e-04,2.336088e-04,2.307187e-04,2.276975e-04,2.275778e-04,2.247307e-04,2.218178e-04,2.217601e-04,2.189584e-04,2.161518e-04,2.107484e-04,2.055454e-04,2.005381e-04,1.957214e-04,1.910904e-04,1.866399e-04,1.823649e-04,1.782601e-04,1.743206e-04,1.705411e-04,1.669167e-04,1.634424e-04,1.601134e-04,1.569247e-04,1.538718e-04,1.509499e-04,1.481547e-04,1.454816e-04,1.429264e-04,1.404850e-04,1.381531e-04,1.359270e-04,1.338026e-04,1.317764e-04,1.298445e-04,1.280036e-04,1.262501e-04,1.245808e-04,1.229924e-04,1.214819e-04,1.200461e-04,1.186822e-04,1.173874e-04,1.161588e-04,1.149939e-04,1.138900e-04,1.128447e-04,1.118556e-04,1.109204e-04,1.100367e-04,1.092025e-04,1.084155e-04,1.076739e-04,1.069757e-04,1.063188e-04,1.057016e-04,1.051223e-04,1.045790e-04,1.040703e-04
0.000000e+00,3.450733e-09,4.551737e-08,4.747252e-08,2.833085e-07,9.812545e-07,1.024834e-06,2.532068e-06,4.524926e-06,4.661734e-06,6.945600e-06,8.911882e-06,9.073702e-06,1.096551e-05,1.246599e-05,1.262146e-05,1.405993e-05,1.516253e-05,1.530186e-05,1.636727e-05,1.715644e-05,1.727459e-05,1.804054e-05,1.858584e-05,1.868031e-05,1.920759e-05,1.956473e-05,1.963474e-05,1.997290e-05,2.018611e-05,2.023208e-05,2.042126e-05,2.052543e-05,2.054849e-05,2.062102e-05,2.064359e-05,2.064535e-05,2.062729e-05,2.058971e-05,2.057203e-05,2.048426e-05,2.040329e-05,2.036814e-05,2.022733e-05,2.011589e-05,2.006519e-05,1.988464e-05,1.975273e-05,1.968835e-05,1.947866e-05,1.933397e-05,1.925769e-05,1.902727e-05,1.887563e-05,1.878908e-05,1.854457e-05,1.839039e-05,1.829507e-05,1.804174e-05,1.788833e-05,1.778560e-05,1.752757e-05,1.737736e-05,1.726843e-05,1.700891e-05,1.686363e-05,1.674961e-05,1.649108e-05,1.635198e-05,1.623382e-05,1.597823e-05,1.584611e-05,1.572468e-05,1.547348e-05,1.534885e-05,1.522491e-05,1.497920e-05,1.486233e-05,1.473655e-05,1.449713e-05,1.438812e-05,1.426108e-05,1.402852e-05,1.392733e-05,1.379955e-05,1.357424e-05,1.348072e-05,1.335265e-05,1.313484e-05,1.304878e-05,1.292082e-05,1.271063e-05,1.263176e-05,1.250427e-05,1.230174e-05,1.222977e-05,1.210303e-05,1.190814e-05,1.184274e-05,1.171703e-05,1.152968e-05,1.147052e-05,1.134607e-05,1.116615e-05,1.111289e-05,1.098989e-05,1.081725e-05,1.076955e-05,1.064817e-05,1.048263e-05,1.044016e-05,1.032056e-05,1.016192e-05,1.012435e-05,1.000665e-05,9.854717e-06,9.821731e-06,9.706052e-06,9.560606e-06,9.531898e-06,9.418326e-06,9.279159e-06,9.254435e-06,9.143050e-06,9.009946e-06,8.988924e-06,8.879792e-06,8.752536e-06,8.734949e-06,8.628124e-06,8.506504e-06,8.492094e-06,8.387622e-06,8.271427e-06,8.259954e-06,8.157868e-06,8.046894e-06,8.038127e-06,7.938455e-06,7.832501e-06,7.826221e-06,7.728983e-06,7.627853e-06,7.623856e-06,7.529063e-06,7.432567e-06,7.430660e-06,7.338319e-06,7.246274e-06,7.070347e-06,6.902541e-06,6.742531e-06,6.590000e-06,6.444645e-06,6.306171e-06,6.174296e-06,6.048747e-06,5.929263e-06,5.815590e-06,5.707486e-06,5.604717e-06,5.507059e-06,5.414296e-06,5.326220e-06,5.242631e-06,5.163338e-06,5.088157e-06,5.016911e-06,4.949429e-06,4.885548e-06,4.825112e-06,4.767970e-06,4.713977e-06,4.662994e-06,4.614888e-06,4.569531e-06,4.526800e-06,4.486577e-06,4.448749e-06,4.413207e-06,4.379847e-06,4.348569e-06,4.319277e-06,4.291878e-06,4.266285e-06,4.242413e-06,4.220180e-06,4.199508e-06,4.180323e-06,4.162553e-06,4.146130e-06,4.130986e-06,4.117061e-06,4.104292e-06,4.092621e-06,4.081994e-06,4.072358e-06,4.063660e-06
0.000000e+00,1.792438e-10,2.058140e-08,2.201917e-08,3.265401e-07,2.048070e-06,2.188205e-06,9.306558e-06,2.680317e-05,2.843461e-05,6.698614e-05,1.226649e-04,1.283821e-04,2.094432e-04,2.928491e-04,3.024420e-04,3.992694e-04,4.829142e-04,4.940505e-04,5.835059e-04,6.550623e-04,6.662142e-04,7.418013e-04,7.998739e-04,8.103901e-04,8.723095e-04,9.183862e-04,9.279589e-04,9.777506e-04,1.013638e-03,1.022088e-03,1.061355e-03,1.088700e-03,1.095917e-03,1.126118e-03,1.146352e-03,1.152278e-03,1.174701e-03,1.189054e-03,1.193668e-03,1.209445e-03,1.218967e-03,1.222276e-03,1.232394e-03,1.237978e-03,1.240014e-03,1.245335e-03,1.247737e-03,1.248545e-03,1.249819e-03,1.249679e-03,1.249319e-03,1.247197e-03,1.245053e-03,1.243593e-03,1.238640e-03,1.234945e-03,1.232459e-03,1.225164e-03,1.220296e-03,1.216861e-03,1.207648e-03,1.201924e-03,1.197616e-03,1.186851e-03,1.180532e-03,1.175431e-03,1.163430e-03,1.156731e-03,1.150914e-03,1.137948e-03,1.131046e-03,1.124588e-03,1.110890e-03,1.103929e-03,1.096902e-03,1.082672e-03,1.075767e-03,1.068240e-03,1.053648e-03,1.046891e-03,1.038930e-03,1.024121e-03,1.017583e-03,1.009250e-03,9.943464e-04,9.880834e-04,9.794358e-04,9.645417e-04,9.585936e-04,9.496858e-04,9.348880e-04,9.292838e-04,9.201662e-04,9.055370e-04,9.002960e-04,8.910151e-04,8.766141e-04,8.717475e-04,8.623461e-04,8.482222e-04,8.437345e-04,8.342520e-04,8.204445e-04,8.163352e-04,8.068074e-04,7.933476e-04,7.896115e-04,7.800711e-04,7.669833e-04,7.636119e-04,7.540886e-04,7.413911e-04,7.383733e-04,7.288938e-04,7.165996e-04,7.139224e-04,7.045106e-04,6.926286e-04,6.902771e-04,6.809547e-04,6.694898e-04,6.674484e-04,6.582344e-04,6.471885e-04,6.454406e-04,6.363520e-04,6.257244e-04,6.242532e-04,6.153049e-04,6.050925e-04,6.038808e-04,5.950859e-04,5.852839e-04,5.843148e-04,5.756846e-04,5.662865e-04,5.655433e-04,5.570875e-04,5.480856e-04,5.475517e-04,5.392787e-04,5.306644e-04,5.303238e-04,5.222404e-04,5.140043e-04,5.138415e-04,5.059535e-04,4.980854e-04,4.830355e-04,4.686707e-04,4.549696e-04,4.419105e-04,4.294717e-04,4.176313e-04,4.063678e-04,3.956597e-04,3.854858e-04,3.758256e-04,3.666586e-04,3.579650e-04,3.497255e-04,3.419213e-04,3.345341e-04,3.275463e-04,3.209406e-04,3.147004e-04,3.088099e-04,3.032534e-04,2.980162e-04,2.930838e-04,2.884424e-04,2.840788e-04,2.799801e-04,2.761341e-04,2.725289e-04,2.691533e-04,2.659963e-04,2.630476e-04,2.602972e-04,2.577355e-04,2.553532e-04,2.531417e-04,2.510924e-04,2.491973e-04,2.474487e-04,2.458392e-04,2.443617e-04,2.430094e-04,2.417759e-04,2.406549e-04,2.396405e-04,2.387272e-04,2.379093e-04,2.371818e-04,2.365397e-04,2.359783e-04,2.354930e-04
0.000000e+00,8.401379e-13,2.005493e-10,2.177299e-10,6.527769e-09,7.484883e-08,8.187351e-08,6.041211e-07,2.764560e-06,3.016397e-06,1.112864e-05,3.005611e-05,3.251218e-05,7.940226e-05,1.573890e-04,1.688201e-04,3.219337e-04,5.284635e-04,5.628490e-04,9.170768e-04,1.331661e-03,1.409906e-03,2.064869e-03,2.755419e-03,2.902428e-03,3.938953e-03,4.945661e-03,5.186031e-03,6.650086e-03,7.978516e-03,8.332293e-03,1.022875e-02,1.185132e-02,1.233083e-02,1.462571e-02,1.648878e-02,1.709697e-02,1.972529e-02,2.175872e-02,2.248906e-02,2.536515e-02,2.749198e-02,2.832947e-02,3.135765e-02,3.350238e-02,3.442546e-02,3.750927e-02,3.960381e-02,4.058646e-02,4.363579e-02,4.562346e-02,4.663759e-02,4.957385e-02,5.141112e-02,5.242840e-02,5.518695e-02,5.684354e-02,5.783714e-02,6.036845e-02,6.182649e-02,6.277220e-02,6.504145e-02,6.629383e-02,6.717089e-02,6.915673e-02,7.020513e-02,7.099659e-02,7.268940e-02,7.354235e-02,7.423521e-02,7.563508e-02,7.630596e-02,7.689097e-02,7.800561e-02,7.851099e-02,7.898238e-02,7.982524e-02,8.018353e-02,8.053860e-02,8.112722e-02,8.135748e-02,8.159616e-02,8.195070e-02,8.207185e-02,8.219625e-02,8.233831e-02,8.236844e-02,8.238241e-02,8.233408e-02,8.229009e-02,8.219880e-02,8.198199e-02,8.187932e-02,8.168894e-02,8.132482e-02,8.117732e-02,8.089468e-02,8.040338e-02,8.022325e-02,7.985562e-02,7.925594e-02,7.905379e-02,7.860867e-02,7.791798e-02,7.770290e-02,7.718783e-02,7.642201e-02,7.620169e-02,7.562413e-02,7.479759e-02,7.457840e-02,7.394564e-02,7.307134e-02,7.285851e-02,7.217759e-02,7.126711e-02,7.106482e-02,7.034247e-02,6.940610e-02,6.921761e-02,6.846025e-02,6.750706e-02,6.733486e-02,6.654852e-02,6.558649e-02,6.543236e-02,6.462271e-02,6.365880e-02,6.352393e-02,6.269627e-02,6.173653e-02,6.162161e-02,6.078088e-02,5.983051e-02,5.973581e-02,5.888656e-02,5.795003e-02,5.787546e-02,5.702189e-02,5.610301e-02,5.604818e-02,5.519417e-02,5.429611e-02,5.426042e-02,5.340949e-02,5.253491e-02,5.251755e-02,5.167292e-02,5.082402e-02,4.918344e-02,4.759869e-02,4.607199e-02,4.460499e-02,4.319882e-02,4.185418e-02,4.057138e-02,3.935038e-02,3.819085e-02,3.709221e-02,3.605365e-02,3.507418e-02,3.415263e-02,3.328770e-02,3.247798e-02,3.172194e-02,3.101797e-02,3.036441e-02,2.975951e-02,2.920151e-02,2.868858e-02,2.821890e-02,2.779060e-02,2.740181e-02,2.705067e-02,2.673529e-02,2.645382e-02,2.620440e-02,2.598518e-02,2.579436e-02,2.563014e-02,2.549076e-02,2.537449e-02,2.527965e-02,2.520459e-02,2.514769e-02,2.510740e-02,2.508221e-02,2.507066e-02,2.507135e-02,2.508293e-02,2.510411e-02,2.513366e-02,2.517041e-02,2.521326e-02,2.526115e-02,2.531311e-02,2.536822e-02,2.542562e-02
0.000000e+00,7.328794e-11,1.016784e-08,1.093066e-08,2.114469e-07,1.690757e-06,1.822845e-06,9.412231e-06,3.087809e-05,3.297982e-05,8.488075e-05,1.631306e-04,1.712630e-04,2.875627e-04,4.086590e-04,4.226770e-04,5.653856e-04,6.907839e-04,7.076529e-04,8.448617e-04,9.570910e-04,9.748053e-04,1.096659e-03,1.192655e-03,1.210288e-03,1.315868e-03,1.396647e-03,1.413701e-03,1.504134e-03,1.571394e-03,1.587526e-03,1.664232e-03,1.719645e-03,1.734599e-03,1.798961e-03,1.844060e-03,1.857642e-03,1.910950e-03,1.947114e-03,1.959182e-03,2.002623e-03,2.031085e-03,2.041542e-03,2.076197e-03,2.098051e-03,2.106834e-03,2.133687e-03,2.149901e-03,2.156980e-03,2.176924e-03,2.188350e-03,2.193720e-03,2.207560e-03,2.214950e-03,2.218624e-03,2.227087e-03,2.231099e-03,2.233110e-03,2.236850e-03,2.238060e-03,2.238454e-03,2.238061e-03,2.236970e-03,2.235803e-03,2.231806e-03,2.228853e-03,2.226189e-03,2.219065e-03,2.214629e-03,2.210540e-03,2.200714e-03,2.195123e-03,2.189684e-03,2.177540e-03,2.171077e-03,2.164367e-03,2.150247e-03,2.143155e-03,2.135255e-03,2.119465e-03,2.111951e-03,2.102943e-03,2.085755e-03,2.077997e-03,2.067962e-03,2.049620e-03,2.041767e-03,2.030785e-03,2.011507e-03,2.003683e-03,1.991834e-03,1.971812e-03,1.964121e-03,1.951484e-03,1.930889e-03,1.923417e-03,1.910065e-03,1.889049e-03,1.881865e-03,1.867872e-03,1.846568e-03,1.839728e-03,1.825165e-03,1.803690e-03,1.797238e-03,1.782170e-03,1.760629e-03,1.754597e-03,1.739090e-03,1.717573e-03,1.711984e-03,1.696098e-03,1.674684e-03,1.669555e-03,1.653348e-03,1.632106e-03,1.627446e-03,1.610972e-03,1.589961e-03,1.585775e-03,1.569086e-03,1.548357e-03,1.544642e-03,1.527786e-03,1.507384e-03,1.504135e-03,1.487158e-03,1.467118e-03,1.464328e-03,1.447271e-03,1.427625e-03,1.425282e-03,1.408186e-03,1.388959e-03,1.387048e-03,1.369950e-03,1.351164e-03,1.349671e-03,1.332605e-03,1.314275e-03,1.313183e-03,1.296180e-03,1.278321e-03,1.277611e-03,1.260701e-03,1.243322e-03,1.242976e-03,1.226185e-03,1.209292e-03,1.176569e-03,1.144810e-03,1.114018e-03,1.084189e-03,1.055318e-03,1.027396e-03,1.000414e-03,9.743582e-04,9.492152e-04,9.249693e-04,9.016038e-04,8.791010e-04,8.574424e-04,8.366090e-04,8.165811e-04,7.973388e-04,7.788619e-04,7.611299e-04,7.441224e-04,7.278190e-04,7.121992e-04,6.972429e-04,6.829300e-04,6.692407e-04,6.561553e-04,6.436545e-04,6.317195e-04,6.203315e-04,6.094723e-04,5.991239e-04,5.892690e-04,5.798902e-04,5.709709e-04,5.624948e-04,5.544459e-04,5.468088e-04,5.395682e-04,5.327096e-04,5.262185e-04,5.200811e-04,5.142838e-04,5.088136e-04,5.036576e-04,4.988035e-04,4.942393e-04,4.899532e-04,4.859341e-04,4.821709e-04,4.786531e-04
0.000000e+00,1.931504e-09,1.149934e-07,1.221900e-07,1.495128e-06,8.056264e-06,8.537724e-06,2.798593e-05,5.803535e-05,6.019353e-05,9.729996e-05,1.303835e-04,1.331417e-04,1.657622e-04,1.921524e-04,1.949155e-04,2.207717e-04,2.409947e-04,2.435790e-04,2.635888e-04,2.787419e-04,2.810393e-04,2.961531e-04,3.071947e-04,3.091371e-04,3.201832e-04,3.279197e-04,3.294687e-04,3.371572e-04,3.422598e-04,3.433993e-04,3.483338e-04,3.513571e-04,3.520877e-04,3.547778e-04,3.561767e-04,3.565107e-04,3.573841e-04,3.575299e-04,3.574873e-04,3.569020e-04,3.560962e-04,3.557024e-04,3.539566e-04,3.524429e-04,3.517264e-04,3.490683e-04,3.470427e-04,3.460335e-04,3.426687e-04,3.402880e-04,3.390165e-04,3.351153e-04,3.325043e-04,3.310003e-04,3.267031e-04,3.239601e-04,3.222526e-04,3.176747e-04,3.148768e-04,3.129932e-04,3.082291e-04,3.054358e-04,3.034018e-04,2.985285e-04,2.957852e-04,2.936248e-04,2.887046e-04,2.860453e-04,2.837805e-04,2.788637e-04,2.763132e-04,2.739642e-04,2.690909e-04,2.666665e-04,2.642516e-04,2.594535e-04,2.571668e-04,2.547025e-04,2.500043e-04,2.478621e-04,2.453634e-04,2.407839e-04,2.387894e-04,2.362695e-04,2.318230e-04,2.299765e-04,2.274472e-04,2.231440e-04,2.214436e-04,2.189154e-04,2.147626e-04,2.132046e-04,2.106867e-04,2.066887e-04,2.052686e-04,2.027690e-04,1.989280e-04,1.976400e-04,1.951658e-04,1.914825e-04,1.903204e-04,1.878777e-04,1.843511e-04,1.833083e-04,1.809022e-04,1.775305e-04,1.766002e-04,1.742353e-04,1.710156e-04,1.701908e-04,1.678708e-04,1.647999e-04,1.640737e-04,1.618018e-04,1.588755e-04,1.582413e-04,1.560200e-04,1.532341e-04,1.526852e-04,1.505167e-04,1.478666e-04,1.473966e-04,1.452826e-04,1.427635e-04,1.423664e-04,1.403081e-04,1.379151e-04,1.375851e-04,1.355834e-04,1.333117e-04,1.330431e-04,1.310988e-04,1.289434e-04,1.287310e-04,1.268443e-04,1.248004e-04,1.246392e-04,1.228104e-04,1.208732e-04,1.207586e-04,1.189875e-04,1.171522e-04,1.170799e-04,1.153662e-04,1.136284e-04,1.135941e-04,1.119376e-04,1.102927e-04,1.071672e-04,1.042093e-04,1.014114e-04,9.876565e-05,9.626489e-05,9.390210e-05,9.167056e-05,8.956383e-05,8.757577e-05,8.570048e-05,8.393234e-05,8.226599e-05,8.069629e-05,7.921836e-05,7.782754e-05,7.651940e-05,7.528969e-05,7.413440e-05,7.304969e-05,7.203191e-05,7.107757e-05,7.018339e-05,6.934620e-05,6.856303e-05,6.783103e-05,6.714749e-05,6.650984e-05,6.591563e-05,6.536255e-05,6.484838e-05,6.437102e-05,6.392849e-05,6.351887e-05,6.314037e-05,6.279128e-05,6.246998e-05,6.217490e-05,6.190460e-05,6.165768e-05,6.143280e-05,6.122873e-05,6.104425e-05,6.087824e-05,6.072963e-05,6.059739e-05,6.048054e-05,6.037818e-05,6.028943e-05,6.021346e-05
0.000000e+00,1.380381e-09,2.281349e-08,2.387626e-08,1.528069e-07,4.962141e-07,5.159368e-07,1.108173e-06,1.732140e-06,1.771748e-06,2.413533e-06,2.967022e-06,3.013385e-06,3.569354e-06,4.033389e-06,4.082891e-06,4.556068e-06,4.940785e-06,4.991034e-06,5.389916e-06,5.705672e-06,5.754781e-06,6.087634e-06,6.343904e-06,6.390403e-06,6.664935e-06,6.870219e-06,6.912992e-06,7.136249e-06,7.298070e-06,7.336296e-06,7.514637e-06,7.639592e-06,7.672693e-06,7.811807e-06,7.905645e-06,7.933242e-06,8.038191e-06,8.105902e-06,8.127776e-06,8.203054e-06,8.248955e-06,8.265018e-06,8.314604e-06,8.342420e-06,8.352687e-06,8.380095e-06,8.393031e-06,8.397600e-06,8.405931e-06,8.406739e-06,8.405773e-06,8.397766e-06,8.388803e-06,8.382513e-06,8.360577e-06,8.343854e-06,8.332487e-06,8.298742e-06,8.275974e-06,8.259805e-06,8.216113e-06,8.188755e-06,8.168074e-06,8.116070e-06,8.085350e-06,8.060458e-06,8.001573e-06,7.968525e-06,7.939727e-06,7.875214e-06,7.840704e-06,7.808306e-06,7.739259e-06,7.704008e-06,7.668311e-06,7.595684e-06,7.560288e-06,7.521585e-06,7.446209e-06,7.411157e-06,7.369735e-06,7.292330e-06,7.258018e-06,7.214152e-06,7.135345e-06,7.102091e-06,7.056044e-06,6.976374e-06,6.944430e-06,6.896453e-06,6.816387e-06,6.785946e-06,6.736277e-06,6.656215e-06,6.627421e-06,6.576286e-06,6.496569e-06,6.469527e-06,6.417138e-06,6.338058e-06,6.312837e-06,6.259391e-06,6.181194e-06,6.157834e-06,6.103519e-06,6.026412e-06,6.004930e-06,5.949917e-06,5.874073e-06,5.854465e-06,5.798916e-06,5.724478e-06,5.706723e-06,5.650788e-06,5.577872e-06,5.561937e-06,5.505754e-06,5.434454e-06,5.420293e-06,5.363990e-06,5.294378e-06,5.281940e-06,5.225633e-06,5.157766e-06,5.146989e-06,5.090787e-06,5.024705e-06,5.015526e-06,4.959527e-06,4.895258e-06,4.887607e-06,4.831902e-06,4.769462e-06,4.763268e-06,4.707939e-06,4.647334e-06,4.642525e-06,4.587647e-06,4.528875e-06,4.525378e-06,4.471018e-06,4.414071e-06,4.411812e-06,4.358030e-06,4.302892e-06,4.301799e-06,4.248652e-06,4.195302e-06,4.092276e-06,3.992667e-06,3.896417e-06,3.803459e-06,3.713728e-06,3.627150e-06,3.543654e-06,3.463162e-06,3.385598e-06,3.310885e-06,3.238945e-06,3.169700e-06,3.103072e-06,3.038985e-06,2.977362e-06,2.918128e-06,2.861208e-06,2.806530e-06,2.754023e-06,2.703616e-06,2.655240e-06,2.608829e-06,2.564317e-06,2.521640e-06,2.480736e-06,2.441544e-06,2.404005e-06,2.368063e-06,2.333660e-06,2.300744e-06,2.269262e-06,2.239163e-06,2.210397e-06,2.182916e-06,2.156674e-06,2.131627e-06,2.107730e-06,2.084941e-06,2.063220e-06,2.042526e-06,2.022823e-06,2.004072e-06,1.986238e-06,1.969286e-06,1.953183e-06,1.937896e-06,1.923395e-06,1.909648e-06,1.896627e-06
0.000000e+00,1.598365e-12,3.377217e-10,3.654623e-10,9.077563e-09,8.620788e-08,9.361363e-08,5.902120e-07,2.446211e-06,2.656296e-06,9.245997e-06,2.427899e-05,2.621737e-05,6.297477e-05,1.234156e-04,1.322150e-04,2.488058e-04,4.028251e-04,4.281497e-04,6.844590e-04,9.753363e-04,1.029274e-03,1.470415e-03,1.918138e-03,2.011429e-03,2.651507e-03,3.246984e-03,3.385767e-03,4.205817e-03,4.916185e-03,5.100475e-03,6.056550e-03,6.835677e-03,7.059630e-03,8.094794e-03,8.893846e-03,9.147234e-03,1.020277e-02,1.097806e-02,1.124821e-02,1.227170e-02,1.298910e-02,1.326280e-02,1.421266e-02,1.484905e-02,1.511397e-02,1.596098e-02,1.650365e-02,1.674934e-02,1.747605e-02,1.792098e-02,1.813930e-02,1.873831e-02,1.908800e-02,1.927324e-02,1.974496e-02,2.000635e-02,2.015503e-02,2.050546e-02,2.068808e-02,2.079867e-02,2.103739e-02,2.115203e-02,2.122454e-02,2.136318e-02,2.142078e-02,2.145641e-02,2.150738e-02,2.151843e-02,2.151920e-02,2.149490e-02,2.146898e-02,2.143744e-02,2.134968e-02,2.129529e-02,2.123434e-02,2.109400e-02,2.101848e-02,2.093112e-02,2.074799e-02,2.065756e-02,2.054679e-02,2.032953e-02,2.022935e-02,2.009812e-02,1.985431e-02,1.974860e-02,1.959972e-02,1.933587e-02,1.922806e-02,1.906415e-02,1.878584e-02,1.867860e-02,1.850212e-02,1.821407e-02,1.810951e-02,1.792268e-02,1.762887e-02,1.752858e-02,1.733347e-02,1.703722e-02,1.694236e-02,1.674083e-02,1.644492e-02,1.635632e-02,1.615005e-02,1.585674e-02,1.577496e-02,1.556546e-02,1.527661e-02,1.520196e-02,1.499059e-02,1.470771e-02,1.464033e-02,1.442829e-02,1.415259e-02,1.409246e-02,1.388084e-02,1.361325e-02,1.356025e-02,1.335000e-02,1.309124e-02,1.304515e-02,1.283711e-02,1.258773e-02,1.254827e-02,1.234318e-02,1.210355e-02,1.207039e-02,1.186889e-02,1.163926e-02,1.161204e-02,1.141468e-02,1.119518e-02,1.117351e-02,1.098078e-02,1.077146e-02,1.075493e-02,1.056723e-02,1.036806e-02,1.035627e-02,1.017393e-02,9.984818e-03,9.977357e-03,9.800677e-03,9.621469e-03,9.617934e-03,9.447144e-03,9.277652e-03,8.956090e-03,8.652778e-03,8.367202e-03,8.098815e-03,7.847050e-03,7.611322e-03,7.391037e-03,7.185597e-03,6.994404e-03,6.816861e-03,6.652380e-03,6.500380e-03,6.360291e-03,6.231553e-03,6.113621e-03,6.005961e-03,5.908055e-03,5.819399e-03,5.739502e-03,5.667891e-03,5.604106e-03,5.547702e-03,5.498248e-03,5.455328e-03,5.418541e-03,5.387497e-03,5.361824e-03,5.341160e-03,5.325158e-03,5.313483e-03,5.305814e-03,5.301842e-03,5.301270e-03,5.303814e-03,5.309199e-03,5.317166e-03,5.327465e-03,5.339857e-03,5.354116e-03,5.370026e-03,5.387381e-03,5.405987e-03,5.425660e-03,5.446226e-03,5.467521e-03,5.489392e-03,5.511695e-03,5.534295e-03,5.557067e-03
0.000000e+00,3.551919e-09,1.367014e-07,1.446425e-07,1.515218e-06,7.176741e-06,7.563102e-06,2.127244e-05,3.827108e-05,3.938763e-05,5.768625e-05,7.357484e-05,7.490643e-05,9.086904e-05,1.041788e-04,1.055977e-04,1.191510e-04,1.301561e-04,1.315925e-04,1.429854e-04,1.519911e-04,1.533906e-04,1.628664e-04,1.701484e-04,1.714682e-04,1.792496e-04,1.850543e-04,1.862620e-04,1.925546e-04,1.971017e-04,1.981739e-04,2.031643e-04,2.066471e-04,2.075675e-04,2.114230e-04,2.140101e-04,2.147683e-04,2.176384e-04,2.194758e-04,2.200663e-04,2.220833e-04,2.232975e-04,2.237185e-04,2.249995e-04,2.256993e-04,2.259521e-04,2.266005e-04,2.268794e-04,2.269676e-04,2.270746e-04,2.270126e-04,2.269416e-04,2.265874e-04,2.262528e-04,2.260296e-04,2.252846e-04,2.247355e-04,2.243679e-04,2.232940e-04,2.225798e-04,2.220763e-04,2.207276e-04,2.198900e-04,2.192597e-04,2.176837e-04,2.167577e-04,2.160098e-04,2.142478e-04,2.132629e-04,2.124067e-04,2.104948e-04,2.094754e-04,2.085202e-04,2.064900e-04,2.054562e-04,2.044111e-04,2.022898e-04,2.012583e-04,2.001321e-04,1.979435e-04,1.969277e-04,1.957290e-04,1.934935e-04,1.925043e-04,1.912413e-04,1.889765e-04,1.880224e-04,1.867029e-04,1.844241e-04,1.835118e-04,1.821432e-04,1.798632e-04,1.789977e-04,1.775870e-04,1.753170e-04,1.745018e-04,1.730557e-04,1.708051e-04,1.700426e-04,1.685672e-04,1.663438e-04,1.656357e-04,1.641366e-04,1.619471e-04,1.612939e-04,1.597766e-04,1.576265e-04,1.570282e-04,1.554977e-04,1.533914e-04,1.528475e-04,1.513084e-04,1.492495e-04,1.487590e-04,1.472154e-04,1.452068e-04,1.447684e-04,1.432243e-04,1.412683e-04,1.408803e-04,1.393392e-04,1.374374e-04,1.370980e-04,1.355631e-04,1.337167e-04,1.334238e-04,1.318982e-04,1.301078e-04,1.298594e-04,1.283457e-04,1.266118e-04,1.264057e-04,1.249063e-04,1.232290e-04,1.230628e-04,1.215799e-04,1.199590e-04,1.198305e-04,1.183661e-04,1.168011e-04,1.167081e-04,1.152638e-04,1.137542e-04,1.136944e-04,1.122719e-04,1.108168e-04,1.107880e-04,1.093887e-04,1.079872e-04,1.052901e-04,1.026946e-04,1.001984e-04,9.779919e-05,9.549452e-05,9.328188e-05,9.115870e-05,8.912240e-05,8.717041e-05,8.530012e-05,8.350895e-05,8.179435e-05,8.015380e-05,7.858479e-05,7.708487e-05,7.565165e-05,7.428275e-05,7.297589e-05,7.172881e-05,7.053931e-05,6.940526e-05,6.832457e-05,6.729524e-05,6.631529e-05,6.538282e-05,6.449599e-05,6.365302e-05,6.285217e-05,6.209177e-05,6.137019e-05,6.068587e-05,6.003731e-05,5.942302e-05,5.884162e-05,5.829172e-05,5.777203e-05,5.728127e-05,5.681822e-05,5.638170e-05,5.597058e-05,5.558376e-05,5.522020e-05,5.487886e-05,5.455879e-05,5.425903e-05,5.397869e-05,5.371688e-05,5.347278e-05,5.324558e-05
0.000000e+00,3.665790e-11,5.920940e-09,6.382174e-09,1.382296e-07,1.198782e-06,1.296305e-06,7.150725e-06,2.460450e-05,2.634868e-05,7.056783e-05,1.403179e-04,1.477494e-04,2.574029e-04,3.776025e-04,3.918683e-04,5.406075e-04,6.754788e-04,6.938346e-04,8.442159e-04,9.676318e-04,9.870627e-04,1.119810e-03,1.222671e-03,1.241346e-03,1.351445e-03,1.433370e-03,1.450375e-03,1.538656e-03,1.602037e-03,1.616921e-03,1.685837e-03,1.733532e-03,1.746072e-03,1.798269e-03,1.832944e-03,1.843044e-03,1.880978e-03,1.904966e-03,1.912615e-03,1.938467e-03,1.953768e-03,1.959013e-03,1.974697e-03,1.983007e-03,1.985935e-03,1.993114e-03,1.995861e-03,1.996592e-03,1.996702e-03,1.995081e-03,1.993754e-03,1.988034e-03,1.983043e-03,1.979809e-03,1.969323e-03,1.961788e-03,1.956805e-03,1.942465e-03,1.933068e-03,1.926497e-03,1.909081e-03,1.898381e-03,1.890382e-03,1.870553e-03,1.859008e-03,1.849735e-03,1.828058e-03,1.816038e-03,1.805641e-03,1.782594e-03,1.770394e-03,1.759017e-03,1.735002e-03,1.722858e-03,1.710636e-03,1.685994e-03,1.674090e-03,1.661149e-03,1.636165e-03,1.624642e-03,1.611101e-03,1.586011e-03,1.574976e-03,1.560945e-03,1.535945e-03,1.525475e-03,1.511053e-03,1.486305e-03,1.476454e-03,1.461734e-03,1.437369e-03,1.428170e-03,1.413237e-03,1.389361e-03,1.380832e-03,1.365761e-03,1.342458e-03,1.334605e-03,1.319466e-03,1.296800e-03,1.289617e-03,1.274472e-03,1.252493e-03,1.245969e-03,1.230873e-03,1.209617e-03,1.203732e-03,1.188734e-03,1.168227e-03,1.162957e-03,1.148100e-03,1.128357e-03,1.123676e-03,1.108999e-03,1.090027e-03,1.085905e-03,1.071441e-03,1.053241e-03,1.049648e-03,1.035426e-03,1.017994e-03,1.014897e-03,1.000942e-03,9.842684e-04,9.816355e-04,9.679694e-04,9.520416e-04,9.498411e-04,9.364810e-04,9.212837e-04,9.194842e-04,9.064449e-04,8.919601e-04,8.905309e-04,8.778243e-04,8.640324e-04,8.629438e-04,8.505793e-04,8.374594e-04,8.366827e-04,8.246673e-04,8.121975e-04,8.117053e-04,8.000443e-04,7.882020e-04,7.879683e-04,7.766650e-04,7.654273e-04,7.440374e-04,7.237539e-04,7.045322e-04,6.863284e-04,6.690990e-04,6.528017e-04,6.373950e-04,6.228386e-04,6.090935e-04,5.961216e-04,5.838864e-04,5.723524e-04,5.614859e-04,5.512539e-04,5.416252e-04,5.325695e-04,5.240581e-04,5.160633e-04,5.085585e-04,5.015187e-04,4.949195e-04,4.887380e-04,4.829522e-04,4.775412e-04,4.724851e-04,4.677647e-04,4.633621e-04,4.592600e-04,4.554420e-04,4.518925e-04,4.485967e-04,4.455406e-04,4.427107e-04,4.400944e-04,4.376796e-04,4.354548e-04,4.334092e-04,4.315324e-04,4.298146e-04,4.282466e-04,4.268194e-04,4.255249e-04,4.243549e-04,4.233021e-04,4.223593e-04,4.215197e-04,4.207770e-04,4.201252e-04,4.195583e-04
0.000000e+00,4.372901e-09,2.811334e-07,2.998716e-07,4.001331e-06,1.912069e-05,2.008090e-05,4.949357e-05,8.011145e-05,8.204458e-05,1.133716e-04,1.405365e-04,1.428222e-04,1.703825e-04,1.936300e-04,1.961248e-04,2.201294e-04,2.398776e-04,2.424737e-04,2.632316e-04,2.798686e-04,2.824738e-04,3.002701e-04,3.141517e-04,3.166890e-04,3.317980e-04,3.432563e-04,3.456632e-04,3.583494e-04,3.676916e-04,3.699192e-04,3.804335e-04,3.879396e-04,3.899507e-04,3.985271e-04,4.044491e-04,4.062164e-04,4.130700e-04,4.176326e-04,4.191370e-04,4.244640e-04,4.278662e-04,4.290954e-04,4.330734e-04,4.354907e-04,4.364380e-04,4.392274e-04,4.408140e-04,4.414775e-04,4.432226e-04,4.441134e-04,4.444950e-04,4.453254e-04,4.456385e-04,4.457430e-04,4.457752e-04,4.456131e-04,4.454480e-04,4.447861e-04,4.442380e-04,4.438127e-04,4.425499e-04,4.416931e-04,4.410185e-04,4.392381e-04,4.381394e-04,4.372274e-04,4.350038e-04,4.337204e-04,4.325839e-04,4.299834e-04,4.285647e-04,4.272170e-04,4.242985e-04,4.227864e-04,4.212412e-04,4.180573e-04,4.164875e-04,4.147585e-04,4.113558e-04,4.097585e-04,4.078594e-04,4.042792e-04,4.026796e-04,4.006241e-04,3.969029e-04,3.953223e-04,3.931236e-04,3.892938e-04,3.877494e-04,3.854206e-04,3.815107e-04,3.800166e-04,3.775704e-04,3.736054e-04,3.721731e-04,3.696215e-04,3.656236e-04,3.642620e-04,3.616166e-04,3.576050e-04,3.563210e-04,3.535930e-04,3.495846e-04,3.483833e-04,3.455833e-04,3.415927e-04,3.404777e-04,3.376158e-04,3.336557e-04,3.326291e-04,3.297150e-04,3.257963e-04,3.248593e-04,3.219019e-04,3.180340e-04,3.171869e-04,3.141947e-04,3.103856e-04,3.096276e-04,3.066086e-04,3.028652e-04,3.021950e-04,2.991567e-04,2.954846e-04,2.949005e-04,2.918499e-04,2.882537e-04,2.877533e-04,2.846969e-04,2.811806e-04,2.807613e-04,2.777053e-04,2.742718e-04,2.739307e-04,2.708806e-04,2.675324e-04,2.672664e-04,2.642275e-04,2.609664e-04,2.607721e-04,2.577493e-04,2.545764e-04,2.544505e-04,2.514481e-04,2.483645e-04,2.483033e-04,2.453256e-04,2.423315e-04,2.365354e-04,2.309146e-04,2.254683e-04,2.201951e-04,2.150932e-04,2.101606e-04,2.053949e-04,2.007935e-04,1.963534e-04,1.920717e-04,1.879453e-04,1.839709e-04,1.801450e-04,1.764644e-04,1.729254e-04,1.695247e-04,1.662586e-04,1.631237e-04,1.601164e-04,1.572332e-04,1.544706e-04,1.518252e-04,1.492935e-04,1.468722e-04,1.445580e-04,1.423475e-04,1.402377e-04,1.382252e-04,1.363070e-04,1.344801e-04,1.327414e-04,1.310881e-04,1.295173e-04,1.280263e-04,1.266122e-04,1.252724e-04,1.240043e-04,1.228054e-04,1.216732e-04,1.206053e-04,1.195993e-04,1.186529e-04,1.177639e-04,1.169302e-04,1.161495e-04,1.154199e-04,1.147393e-04,1.141057e-04,1.135173e-04
0.000000e+00,5.426481e-09,1.014451e-07,1.063627e-07,7.382824e-07,2.558855e-06,2.666939e-06,6.005612e-06,9.575997e-06,9.800963e-06,1.338903e-05,1.637595e-05,1.662102e-05,1.949291e-05,2.178938e-05,2.202862e-05,2.425605e-05,2.598270e-05,2.620225e-05,2.789234e-05,2.915874e-05,2.934954e-05,3.059525e-05,3.149270e-05,3.164922e-05,3.252967e-05,3.313397e-05,3.325338e-05,3.383577e-05,3.420950e-05,3.429102e-05,3.463208e-05,3.482651e-05,3.487082e-05,3.501805e-05,3.507484e-05,3.508363e-05,3.507653e-05,3.502930e-05,3.500489e-05,3.487610e-05,3.475179e-05,3.469689e-05,3.447332e-05,3.429339e-05,3.421088e-05,3.391453e-05,3.369594e-05,3.358875e-05,3.323763e-05,3.299381e-05,3.286484e-05,3.247367e-05,3.221506e-05,3.206709e-05,3.164777e-05,3.138246e-05,3.121811e-05,3.078024e-05,3.051440e-05,3.033611e-05,2.988742e-05,2.962572e-05,2.943573e-05,2.898241e-05,2.872830e-05,2.852868e-05,2.807562e-05,2.783159e-05,2.762420e-05,2.717525e-05,2.694303e-05,2.672954e-05,2.628771e-05,2.606843e-05,2.585034e-05,2.541793e-05,2.521226e-05,2.499091e-05,2.456965e-05,2.437789e-05,2.415447e-05,2.374563e-05,2.356780e-05,2.334335e-05,2.294781e-05,2.278373e-05,2.255917e-05,2.217753e-05,2.202685e-05,2.180298e-05,2.143558e-05,2.129786e-05,2.107538e-05,2.072238e-05,2.059706e-05,2.037658e-05,2.003798e-05,1.992448e-05,1.970652e-05,1.938217e-05,1.927988e-05,1.906488e-05,1.875458e-05,1.866284e-05,1.845119e-05,1.815464e-05,1.807281e-05,1.786483e-05,1.758168e-05,1.750914e-05,1.730509e-05,1.703495e-05,1.697107e-05,1.677117e-05,1.651364e-05,1.645781e-05,1.626224e-05,1.601688e-05,1.596852e-05,1.577743e-05,1.554378e-05,1.550233e-05,1.531583e-05,1.509346e-05,1.505839e-05,1.487655e-05,1.466500e-05,1.463581e-05,1.445870e-05,1.425752e-05,1.423372e-05,1.406137e-05,1.387014e-05,1.385128e-05,1.368371e-05,1.350198e-05,1.348765e-05,1.332485e-05,1.315221e-05,1.314200e-05,1.298396e-05,1.282001e-05,1.281353e-05,1.266024e-05,1.250457e-05,1.250149e-05,1.235289e-05,1.220513e-05,1.192371e-05,1.165656e-05,1.140300e-05,1.116240e-05,1.093414e-05,1.071764e-05,1.051234e-05,1.031769e-05,1.013319e-05,9.958347e-06,9.792687e-06,9.635768e-06,9.487162e-06,9.346463e-06,9.213285e-06,9.087257e-06,8.968028e-06,8.855262e-06,8.748640e-06,8.647857e-06,8.552624e-06,8.462664e-06,8.377715e-06,8.297524e-06,8.221856e-06,8.150480e-06,8.083184e-06,8.019762e-06,7.960016e-06,7.903763e-06,7.850824e-06,7.801031e-06,7.754223e-06,7.710247e-06,7.668958e-06,7.630216e-06,7.593892e-06,7.559858e-06,7.527996e-06,7.498192e-06,7.470338e-06,7.444333e-06,7.420077e-06,7.397479e-06,7.376450e-06,7.356905e-06,7.338766e-06,7.321955e-06,7.306402e-06
0.000000e+00,7.225897e-13,1.774836e-10,1.927775e-10,5.879910e-09,6.816434e-08,7.459800e-08,5.596722e-07,2.631806e-06,2.877721e-06,1.106729e-05,3.125502e-05,3.394609e-05,8.729277e-05,1.813375e-04,1.955209e-04,3.925532e-04,6.736742e-04,7.218190e-04,1.235446e-03,1.869721e-03,1.992790e-03,3.058489e-03,4.241455e-03,4.500229e-03,6.386390e-03,8.311593e-03,8.783721e-03,1.175516e-02,1.458435e-02,1.535791e-02,1.964177e-02,2.348279e-02,2.464784e-02,3.040754e-02,3.530232e-02,3.694198e-02,4.426165e-02,5.018406e-02,5.236642e-02,6.124577e-02,6.810744e-02,7.087930e-02,8.123735e-02,8.889900e-02,9.228185e-02,1.039672e-01,1.122529e-01,1.162413e-01,1.290465e-01,1.377590e-01,1.423209e-01,1.559989e-01,1.649334e-01,1.700128e-01,1.842932e-01,1.932504e-01,1.987706e-01,2.133752e-01,2.221706e-01,2.280388e-01,2.426947e-01,2.511660e-01,2.572783e-01,2.717282e-01,2.797397e-01,2.859859e-01,2.999966e-01,3.074416e-01,3.137093e-01,3.270772e-01,3.338778e-01,3.400573e-01,3.526111e-01,3.587172e-01,3.647042e-01,3.763066e-01,3.816936e-01,3.873921e-01,3.979388e-01,4.026043e-01,4.079288e-01,4.173476e-01,4.213081e-01,4.261846e-01,4.344324e-01,4.377197e-01,4.420868e-01,4.491464e-01,4.518040e-01,4.556127e-01,4.614896e-01,4.635695e-01,4.667834e-01,4.715023e-01,4.730623e-01,4.756565e-01,4.792579e-01,4.803588e-01,4.823197e-01,4.848564e-01,4.855598e-01,4.868838e-01,4.884183e-01,4.887851e-01,4.894772e-01,4.900786e-01,4.901675e-01,4.902408e-01,4.899827e-01,4.898490e-01,4.893231e-01,4.882813e-01,4.879765e-01,4.868764e-01,4.851276e-01,4.846985e-01,4.830537e-01,4.806736e-01,4.801624e-01,4.780057e-01,4.750683e-01,4.745124e-01,4.718792e-01,4.684557e-01,4.678873e-01,4.648148e-01,4.609730e-01,4.604201e-01,4.569463e-01,4.527502e-01,4.522360e-01,4.483995e-01,4.439088e-01,4.434525e-01,4.392917e-01,4.345618e-01,4.341789e-01,4.297316e-01,4.248135e-01,4.245159e-01,4.198190e-01,4.147593e-01,4.145557e-01,4.096450e-01,4.044861e-01,4.043825e-01,3.992921e-01,3.940722e-01,3.836933e-01,3.733067e-01,3.629667e-01,3.527212e-01,3.426118e-01,3.326751e-01,3.229424e-01,3.134402e-01,3.041912e-01,2.952139e-01,2.865237e-01,2.781325e-01,2.700498e-01,2.622823e-01,2.548347e-01,2.477094e-01,2.409074e-01,2.344278e-01,2.282686e-01,2.224263e-01,2.168967e-01,2.116742e-01,2.067529e-01,2.021258e-01,1.977854e-01,1.937238e-01,1.899325e-01,1.864029e-01,1.831257e-01,1.800917e-01,1.772915e-01,1.747153e-01,1.723535e-01,1.701962e-01,1.682338e-01,1.664563e-01,1.648540e-01,1.634175e-01,1.621370e-01,1.610034e-01,1.600073e-01,1.591397e-01,1.583919e-01,1.577551e-01,1.572211e-01,1.567818e-01,1.564292e-01,1.561559e-01,1.559545e-01
0.000000e+00,3.594283e-09,6.759476e-08,7.077920e-08,4.415508e-07,1.341584e-06,1.390540e-06,2.774606e-06,4.158148e-06,4.245664e-06,5.672823e-06,6.925406e-06,7.031454e-06,8.318186e-06,9.415325e-06,9.533717e-06,1.067966e-05,1.163207e-05,1.175796e-05,1.277071e-05,1.359096e-05,1.372016e-05,1.460864e-05,1.530961e-05,1.543856e-05,1.621232e-05,1.680659e-05,1.693234e-05,1.760097e-05,1.810044e-05,1.822054e-05,1.879329e-05,1.920895e-05,1.932142e-05,1.980705e-05,2.014897e-05,2.025223e-05,2.065892e-05,2.093621e-05,2.102901e-05,2.136432e-05,2.158519e-05,2.166659e-05,2.193749e-05,2.210933e-05,2.217864e-05,2.239156e-05,2.252098e-05,2.257773e-05,2.273855e-05,2.283146e-05,2.287537e-05,2.298948e-05,2.305117e-05,2.308212e-05,2.315445e-05,2.318960e-05,2.320761e-05,2.324267e-05,2.325545e-05,2.326066e-05,2.326255e-05,2.325665e-05,2.324929e-05,2.322175e-05,2.320042e-05,2.318081e-05,2.312726e-05,2.309338e-05,2.306189e-05,2.298542e-05,2.294152e-05,2.289858e-05,2.280201e-05,2.275029e-05,2.269637e-05,2.258227e-05,2.252466e-05,2.246027e-05,2.233094e-05,2.226913e-05,2.219479e-05,2.205233e-05,2.198777e-05,2.190403e-05,2.175035e-05,2.168430e-05,2.159170e-05,2.142851e-05,2.136204e-05,2.126115e-05,2.108999e-05,2.102403e-05,2.091539e-05,2.073767e-05,2.067298e-05,2.055714e-05,2.037412e-05,2.031137e-05,2.018887e-05,2.000167e-05,1.994140e-05,1.981277e-05,1.962241e-05,1.956505e-05,1.943081e-05,1.923820e-05,1.918411e-05,1.904477e-05,1.885072e-05,1.880018e-05,1.865622e-05,1.846145e-05,1.841468e-05,1.826657e-05,1.807173e-05,1.802889e-05,1.787708e-05,1.768274e-05,1.764392e-05,1.748885e-05,1.729552e-05,1.726079e-05,1.710287e-05,1.691100e-05,1.688038e-05,1.672000e-05,1.652998e-05,1.650346e-05,1.634101e-05,1.615317e-05,1.613071e-05,1.596655e-05,1.578121e-05,1.576274e-05,1.559721e-05,1.541461e-05,1.540006e-05,1.523347e-05,1.505384e-05,1.504312e-05,1.487577e-05,1.469930e-05,1.469228e-05,1.452448e-05,1.435132e-05,1.434788e-05,1.417988e-05,1.401018e-05,1.367940e-05,1.335573e-05,1.303929e-05,1.273021e-05,1.242854e-05,1.213434e-05,1.184764e-05,1.156841e-05,1.129666e-05,1.103234e-05,1.077540e-05,1.052578e-05,1.028340e-05,1.004816e-05,9.819986e-06,9.598761e-06,9.384374e-06,9.176713e-06,8.975655e-06,8.781076e-06,8.592851e-06,8.410850e-06,8.234942e-06,8.064997e-06,7.900880e-06,7.742458e-06,7.589599e-06,7.442168e-06,7.300034e-06,7.163064e-06,7.031129e-06,6.904100e-06,6.781850e-06,6.664252e-06,6.551184e-06,6.442522e-06,6.338147e-06,6.237941e-06,6.141787e-06,6.049572e-06,5.961185e-06,5.876514e-06,5.795454e-06,5.717900e-06,5.643748e-06,5.572898e-06,5.505252e-06,5.440713e-06,5.379188e-06
0.000000e+00,8.296235e-13,2.047972e-10,2.224679e-10,6.795344e-09,7.812645e-08,8.545451e-08,6.307753e-07,2.918393e-06,3.188030e-06,1.209367e-05,3.385469e-05,3.674716e-05,9.393464e-05,1.944932e-04,2.096479e-04,4.200811e-04,7.202883e-04,7.717098e-04,1.320511e-03,1.998790e-03,2.130467e-03,3.271538e-03,4.539697e-03,4.817294e-03,6.842393e-03,8.912123e-03,9.420056e-03,1.261968e-02,1.567005e-02,1.650467e-02,2.113060e-02,2.528326e-02,2.654366e-02,3.277957e-02,3.808465e-02,3.986276e-02,4.780597e-02,5.423862e-02,5.661013e-02,6.626462e-02,7.373058e-02,7.674768e-02,8.802710e-02,9.637452e-02,1.000611e-01,1.127993e-01,1.218343e-01,1.261838e-01,1.401504e-01,1.496537e-01,1.546297e-01,1.695481e-01,1.792912e-01,1.848294e-01,2.003953e-01,2.101546e-01,2.161671e-01,2.320661e-01,2.416342e-01,2.480146e-01,2.639371e-01,2.731313e-01,2.797604e-01,2.954146e-01,3.040821e-01,3.108333e-01,3.259543e-01,3.339754e-01,3.407199e-01,3.550769e-01,3.623649e-01,3.689770e-01,3.823769e-01,3.888769e-01,3.952379e-01,4.075266e-01,4.132133e-01,4.192143e-01,4.302770e-01,4.351505e-01,4.406954e-01,4.504544e-01,4.545366e-01,4.595433e-01,4.679552e-01,4.712854e-01,4.756870e-01,4.827389e-01,4.853699e-01,4.891144e-01,4.948199e-01,4.968142e-01,4.998646e-01,5.042598e-01,5.056856e-01,5.080192e-01,5.111583e-01,5.120872e-01,5.136942e-01,5.156456e-01,5.161498e-01,5.170323e-01,5.178751e-01,5.180251e-01,5.181956e-01,5.180162e-01,5.178794e-01,5.173595e-01,5.162485e-01,5.158881e-01,5.147065e-01,5.127567e-01,5.122307e-01,5.104224e-01,5.077265e-01,5.070872e-01,5.046919e-01,5.013409e-01,5.006347e-01,4.976956e-01,4.937773e-01,4.930447e-01,4.896072e-01,4.852055e-01,4.844811e-01,4.805921e-01,4.757861e-01,4.750989e-01,4.708059e-01,4.656692e-01,4.650430e-01,4.603930e-01,4.549938e-01,4.544477e-01,4.494871e-01,4.438878e-01,4.434363e-01,4.382101e-01,4.324674e-01,4.321211e-01,4.266726e-01,4.208378e-01,4.206038e-01,4.149744e-01,4.090931e-01,4.089754e-01,4.032041e-01,3.973170e-01,3.857003e-01,3.741881e-01,3.628348e-01,3.516873e-01,3.407856e-01,3.301632e-01,3.198480e-01,3.098626e-01,3.002249e-01,2.909488e-01,2.820445e-01,2.735188e-01,2.653756e-01,2.576165e-01,2.502406e-01,2.432451e-01,2.366257e-01,2.303764e-01,2.244903e-01,2.189590e-01,2.137737e-01,2.089244e-01,2.044006e-01,2.001916e-01,1.962859e-01,1.926718e-01,1.893375e-01,1.862708e-01,1.834598e-01,1.808922e-01,1.785558e-01,1.764385e-01,1.745285e-01,1.728138e-01,1.712829e-01,1.699242e-01,1.687267e-01,1.676795e-01,1.667719e-01,1.659937e-01,1.653350e-01,1.647860e-01,1.643376e-01,1.639810e-01,1.637076e-01,1.635093e-01,1.633785e-01,1.633079e-01,1.632905e-01
0.000000e+00,4.675596e-12,1.049246e-09,1.139152e-09,3.462785e-08,3.840734e-07,4.188173e-07,2.733957e-06,1.045012e-05,1.125483e-05,3.290519e-05,7.074659e-05,7.500849e-05,1.426235e-04,2.264982e-04,2.371177e-04,3.562426e-04,4.776342e-04,4.951493e-04,6.476808e-04,7.849087e-04,8.074976e-04,9.688512e-04,1.102074e-03,1.127000e-03,1.278344e-03,1.395573e-03,1.420368e-03,1.551501e-03,1.647993e-03,1.670921e-03,1.778376e-03,1.853977e-03,1.874025e-03,1.958298e-03,2.015107e-03,2.031802e-03,2.095242e-03,2.136147e-03,2.149365e-03,2.194928e-03,2.222850e-03,2.232671e-03,2.263302e-03,2.280871e-03,2.287488e-03,2.305852e-03,2.315308e-03,2.318968e-03,2.327367e-03,2.330563e-03,2.331532e-03,2.331908e-03,2.330347e-03,2.328896e-03,2.322864e-03,2.317755e-03,2.314144e-03,2.303039e-03,2.295344e-03,2.289820e-03,2.274736e-03,2.265222e-03,2.258011e-03,2.239847e-03,2.229116e-03,2.220428e-03,2.199918e-03,2.188443e-03,2.178468e-03,2.156212e-03,2.144361e-03,2.133271e-03,2.109757e-03,2.097815e-03,2.085766e-03,2.061388e-03,2.049573e-03,2.036704e-03,2.011785e-03,2.000262e-03,1.986697e-03,1.961497e-03,1.950388e-03,1.936238e-03,1.910966e-03,1.900359e-03,1.885724e-03,1.860548e-03,1.850504e-03,1.835472e-03,1.810526e-03,1.801086e-03,1.785736e-03,1.761126e-03,1.752314e-03,1.736716e-03,1.712524e-03,1.704352e-03,1.688567e-03,1.664857e-03,1.657325e-03,1.641408e-03,1.618231e-03,1.611331e-03,1.595333e-03,1.572723e-03,1.566445e-03,1.550408e-03,1.528392e-03,1.522718e-03,1.506680e-03,1.485276e-03,1.480185e-03,1.464182e-03,1.443401e-03,1.438871e-03,1.422932e-03,1.402778e-03,1.398785e-03,1.382938e-03,1.363412e-03,1.359931e-03,1.344200e-03,1.325299e-03,1.322304e-03,1.306710e-03,1.288429e-03,1.285894e-03,1.270455e-03,1.252786e-03,1.250686e-03,1.235420e-03,1.218352e-03,1.216662e-03,1.201582e-03,1.185105e-03,1.183799e-03,1.168919e-03,1.153020e-03,1.152075e-03,1.137405e-03,1.122071e-03,1.121464e-03,1.107015e-03,1.092232e-03,1.091939e-03,1.077719e-03,1.063473e-03,1.036039e-03,1.009607e-03,9.841501e-04,9.596395e-04,9.360471e-04,9.133452e-04,8.915062e-04,8.705033e-04,8.503099e-04,8.309001e-04,8.122486e-04,7.943305e-04,7.771218e-04,7.605988e-04,7.447388e-04,7.295192e-04,7.149187e-04,7.009159e-04,6.874907e-04,6.746230e-04,6.622937e-04,6.504841e-04,6.391762e-04,6.283523e-04,6.179956e-04,6.080896e-04,5.986182e-04,5.895662e-04,5.809184e-04,5.726606e-04,5.647786e-04,5.572589e-04,5.500884e-04,5.432544e-04,5.367445e-04,5.305469e-04,5.246501e-04,5.190429e-04,5.137145e-04,5.086546e-04,5.038530e-04,4.992999e-04,4.949860e-04,4.909020e-04,4.870392e-04,4.833890e-04,4.799430e-04,4.766934e-04,4.736323e-04
0.000000e+00,1.938444e-11,4.239889e-09,4.600010e-09,1.330857e-07,1.378403e-06,1.498479e-06,9.057854e-06,3.243380e-05,3.479845e-05,9.609436e-05,1.979536e-04,2.091800e-04,3.832262e-04,5.922586e-04,6.183540e-04,9.071154e-04,1.196122e-03,1.237523e-03,1.596042e-03,1.916967e-03,1.969768e-03,2.347660e-03,2.661865e-03,2.721004e-03,3.083379e-03,3.369183e-03,3.430359e-03,3.759125e-03,4.007916e-03,4.068076e-03,4.356494e-03,4.567126e-03,4.624279e-03,4.871744e-03,5.046577e-03,5.099467e-03,5.308187e-03,5.450892e-03,5.498734e-03,5.671987e-03,5.786519e-03,5.828833e-03,5.970151e-03,6.060295e-03,6.096800e-03,6.209612e-03,6.278830e-03,6.309387e-03,6.396889e-03,6.448275e-03,6.472850e-03,6.537967e-03,6.574258e-03,6.592901e-03,6.638283e-03,6.661885e-03,6.674709e-03,6.702748e-03,6.715771e-03,6.722938e-03,6.735789e-03,6.740072e-03,6.741785e-03,6.741384e-03,6.738529e-03,6.735021e-03,6.723106e-03,6.714502e-03,6.706029e-03,6.684159e-03,6.671008e-03,6.657842e-03,6.627410e-03,6.610748e-03,6.593173e-03,6.555426e-03,6.536143e-03,6.514447e-03,6.470499e-03,6.449355e-03,6.423831e-03,6.374675e-03,6.352316e-03,6.323254e-03,6.269775e-03,6.246748e-03,6.214435e-03,6.157419e-03,6.134183e-03,6.098902e-03,6.039046e-03,6.015983e-03,5.978008e-03,5.915931e-03,5.893356e-03,5.852953e-03,5.789202e-03,5.767372e-03,5.724798e-03,5.659854e-03,5.638975e-03,5.594475e-03,5.528762e-03,5.508997e-03,5.462807e-03,5.396697e-03,5.378169e-03,5.330512e-03,5.264330e-03,5.247132e-03,5.198221e-03,5.132250e-03,5.116444e-03,5.066479e-03,5.000966e-03,4.986593e-03,4.935762e-03,4.870918e-03,4.857997e-03,4.806479e-03,4.742488e-03,4.731020e-03,4.678981e-03,4.615997e-03,4.605970e-03,4.553567e-03,4.491722e-03,4.483112e-03,4.430490e-03,4.369895e-03,4.362667e-03,4.309960e-03,4.250707e-03,4.244819e-03,4.192153e-03,4.134316e-03,4.129720e-03,4.077210e-03,4.020850e-03,4.017492e-03,3.965246e-03,3.910408e-03,3.908231e-03,3.856347e-03,3.803068e-03,3.802010e-03,3.750579e-03,3.698884e-03,3.598886e-03,3.502037e-03,3.408342e-03,3.317796e-03,3.230382e-03,3.146074e-03,3.064839e-03,2.986638e-03,2.911425e-03,2.839148e-03,2.769754e-03,2.703185e-03,2.639380e-03,2.578277e-03,2.519811e-03,2.463916e-03,2.410527e-03,2.359576e-03,2.310995e-03,2.264717e-03,2.220675e-03,2.178800e-03,2.139027e-03,2.101290e-03,2.065523e-03,2.031662e-03,1.999644e-03,1.969407e-03,1.940888e-03,1.914027e-03,1.888765e-03,1.865045e-03,1.842809e-03,1.822000e-03,1.802566e-03,1.784452e-03,1.767607e-03,1.751978e-03,1.737517e-03,1.724175e-03,1.711903e-03,1.700657e-03,1.690390e-03,1.681059e-03,1.672620e-03,1.665033e-03,1.658255e-03,1.652248e-03,1.646972e-03
0.000000e+00,1.469728e-12,3.268279e-10,3.540739e-10,9.331726e-09,9.390302e-08,1.022117e-07,6.827243e-07,2.981624e-06,3.248417e-06,1.194654e-05,3.300458e-05,3.579773e-05,9.088665e-05,1.872132e-04,2.016717e-04,4.009517e-04,6.809978e-04,7.285233e-04,1.228870e-03,1.832697e-03,1.948330e-03,2.932162e-03,3.993397e-03,4.221845e-03,5.852830e-03,7.464645e-03,7.852853e-03,1.024086e-02,1.243742e-02,1.302652e-02,1.621024e-02,1.896476e-02,1.978362e-02,2.373018e-02,2.696493e-02,2.802644e-02,3.264296e-02,3.624546e-02,3.754563e-02,4.269683e-02,4.653720e-02,4.805659e-02,5.358368e-02,5.752997e-02,5.923659e-02,6.497430e-02,6.890402e-02,7.075704e-02,7.654687e-02,8.035461e-02,8.230811e-02,8.800767e-02,9.160894e-02,9.361533e-02,9.910381e-02,1.024361e-01,1.044489e-01,1.096293e-01,1.126509e-01,1.146269e-01,1.194263e-01,1.221140e-01,1.240147e-01,1.283820e-01,1.307282e-01,1.325205e-01,1.364246e-01,1.384339e-01,1.400906e-01,1.435167e-01,1.452034e-01,1.467027e-01,1.496498e-01,1.510344e-01,1.523602e-01,1.548376e-01,1.559452e-01,1.570863e-01,1.591113e-01,1.599694e-01,1.609187e-01,1.625145e-01,1.631515e-01,1.639058e-01,1.650994e-01,1.655436e-01,1.661028e-01,1.669234e-01,1.672022e-01,1.675689e-01,1.680469e-01,1.681862e-01,1.683650e-01,1.685309e-01,1.685549e-01,1.685522e-01,1.684362e-01,1.683668e-01,1.681903e-01,1.678215e-01,1.676788e-01,1.673370e-01,1.667434e-01,1.665451e-01,1.660475e-01,1.652555e-01,1.650174e-01,1.643737e-01,1.634081e-01,1.631440e-01,1.623644e-01,1.612482e-01,1.609701e-01,1.600649e-01,1.588195e-01,1.585377e-01,1.575171e-01,1.561623e-01,1.558855e-01,1.547597e-01,1.533136e-01,1.530490e-01,1.518281e-01,1.503072e-01,1.500609e-01,1.487547e-01,1.471740e-01,1.469507e-01,1.455688e-01,1.439421e-01,1.437456e-01,1.422970e-01,1.406366e-01,1.404699e-01,1.389636e-01,1.372807e-01,1.371457e-01,1.355902e-01,1.338947e-01,1.337929e-01,1.321963e-01,1.304972e-01,1.304293e-01,1.287993e-01,1.271046e-01,1.270707e-01,1.254147e-01,1.237314e-01,1.204239e-01,1.171593e-01,1.139472e-01,1.107960e-01,1.077132e-01,1.047048e-01,1.017764e-01,9.893224e-02,9.617615e-02,9.351109e-02,9.093936e-02,8.846272e-02,8.608236e-02,8.379902e-02,8.161302e-02,7.952426e-02,7.753231e-02,7.563643e-02,7.383557e-02,7.212844e-02,7.051354e-02,6.898912e-02,6.755330e-02,6.620402e-02,6.493907e-02,6.375613e-02,6.265275e-02,6.162642e-02,6.067453e-02,5.979440e-02,5.898331e-02,5.823850e-02,5.755717e-02,5.693650e-02,5.637366e-02,5.586583e-02,5.541019e-02,5.500392e-02,5.464426e-02,5.432845e-02,5.405378e-02,5.381759e-02,5.361728e-02,5.345028e-02,5.331411e-02,5.320635e-02,5.312465e-02,5.306674e-02,5.303044e-02
0.000000e+00,1.030213e-11,1.883974e-09,2.034003e-09,4.631759e-08,4.161159e-07,4.508071e-07,2.647408e-06,9.943540e-06,1.071741e-05,3.234463e-05,7.269420e-05,7.738376e-05,1.545157e-04,2.552812e-04,2.683394e-04,4.183743e-04,5.766262e-04,5.998276e-04,8.052302e-04,9.945834e-04,1.026129e-03,1.254390e-03,1.446631e-03,1.482979e-03,1.706302e-03,1.882561e-03,1.920233e-03,2.121958e-03,2.273353e-03,2.309741e-03,2.482684e-03,2.607078e-03,2.640503e-03,2.783344e-03,2.882146e-03,2.911642e-03,3.026014e-03,3.102105e-03,3.127181e-03,3.215915e-03,3.272549e-03,3.293006e-03,3.359233e-03,3.399537e-03,3.415357e-03,3.462103e-03,3.488890e-03,3.500167e-03,3.530202e-03,3.545929e-03,3.552827e-03,3.568621e-03,3.575398e-03,3.578129e-03,3.581859e-03,3.581481e-03,3.580289e-03,3.573863e-03,3.567851e-03,3.562998e-03,3.548082e-03,3.537719e-03,3.529479e-03,3.507525e-03,3.493887e-03,3.482538e-03,3.454810e-03,3.438795e-03,3.424616e-03,3.392210e-03,3.374564e-03,3.357830e-03,3.321697e-03,3.303037e-03,3.284016e-03,3.244977e-03,3.225809e-03,3.204758e-03,3.163522e-03,3.144255e-03,3.121422e-03,3.078598e-03,3.059560e-03,3.035181e-03,2.991291e-03,2.972744e-03,2.947040e-03,2.902530e-03,2.884674e-03,2.857855e-03,2.813103e-03,2.796094e-03,2.768355e-03,2.723682e-03,2.707632e-03,2.679153e-03,2.634827e-03,2.619814e-03,2.590763e-03,2.547009e-03,2.533082e-03,2.503613e-03,2.460616e-03,2.447801e-03,2.418057e-03,2.375969e-03,2.364274e-03,2.334384e-03,2.293328e-03,2.282743e-03,2.252826e-03,2.212899e-03,2.203404e-03,2.173565e-03,2.134842e-03,2.126406e-03,2.096742e-03,2.059277e-03,2.051861e-03,2.022458e-03,1.986293e-03,1.979853e-03,1.950787e-03,1.915947e-03,1.910434e-03,1.881775e-03,1.848273e-03,1.843636e-03,1.815442e-03,1.783283e-03,1.779469e-03,1.751793e-03,1.720971e-03,1.717925e-03,1.690814e-03,1.661318e-03,1.658986e-03,1.632478e-03,1.604289e-03,1.602619e-03,1.576746e-03,1.549843e-03,1.548780e-03,1.523572e-03,1.497927e-03,1.497420e-03,1.472900e-03,1.448483e-03,1.401905e-03,1.357621e-03,1.315562e-03,1.275657e-03,1.237832e-03,1.202016e-03,1.168133e-03,1.136111e-03,1.105876e-03,1.077356e-03,1.050481e-03,1.025181e-03,1.001389e-03,9.790365e-04,9.580606e-04,9.383984e-04,9.199890e-04,9.027737e-04,8.866957e-04,8.717001e-04,8.577342e-04,8.447470e-04,8.326897e-04,8.215151e-04,8.111782e-04,8.016356e-04,7.928458e-04,7.847690e-04,7.773670e-04,7.706035e-04,7.644434e-04,7.588535e-04,7.538019e-04,7.492581e-04,7.451931e-04,7.415791e-04,7.383898e-04,7.355999e-04,7.331852e-04,7.311230e-04,7.293913e-04,7.279695e-04,7.268378e-04,7.259773e-04,7.253702e-04,7.249996e-04,7.248491e-04,7.249036e-04,7.251483e-04
0.000000e+00,5.457940e-13,1.276428e-10,1.384708e-10,3.949357e-09,4.306187e-08,4.701810e-08,3.358190e-07,1.529480e-06,1.669695e-06,6.287808e-06,1.753530e-05,1.902764e-05,4.842597e-05,9.971385e-05,1.074053e-04,2.133790e-04,3.624532e-04,3.877844e-04,6.551591e-04,9.795770e-04,1.041918e-03,1.574989e-03,2.154966e-03,2.280443e-03,3.182234e-03,4.082891e-03,4.301118e-03,5.653801e-03,6.912545e-03,7.252330e-03,9.103734e-03,1.072477e-02,1.120990e-02,1.356764e-02,1.552303e-02,1.616897e-02,1.900146e-02,2.123684e-02,2.204875e-02,2.529111e-02,2.773388e-02,2.870607e-02,3.226898e-02,3.483709e-02,3.595369e-02,3.973308e-02,4.234313e-02,4.357967e-02,4.746604e-02,5.003977e-02,5.136535e-02,5.525169e-02,5.772068e-02,5.910038e-02,6.288826e-02,6.519675e-02,6.659393e-02,7.019780e-02,7.230386e-02,7.368230e-02,7.703186e-02,7.890737e-02,8.023297e-02,8.327414e-02,8.490372e-02,8.614587e-02,8.884055e-02,9.021994e-02,9.135238e-02,9.367730e-02,9.481151e-02,9.581283e-02,9.775793e-02,9.865913e-02,9.951294e-02,1.010794e-01,1.017650e-01,1.024599e-01,1.036580e-01,1.041490e-01,1.046781e-01,1.055253e-01,1.058447e-01,1.062052e-01,1.067242e-01,1.068957e-01,1.070888e-01,1.073058e-01,1.073529e-01,1.073824e-01,1.073259e-01,1.072710e-01,1.071435e-01,1.068429e-01,1.067071e-01,1.064311e-01,1.059157e-01,1.057180e-01,1.053036e-01,1.046019e-01,1.043596e-01,1.038176e-01,1.029571e-01,1.026852e-01,1.020271e-01,1.010336e-01,1.007449e-01,9.998271e-02,9.888007e-02,9.858559e-02,9.773116e-02,9.654119e-02,9.625005e-02,9.531510e-02,9.405757e-02,9.377714e-02,9.277304e-02,9.146568e-02,9.120182e-02,9.013943e-02,8.879798e-02,8.855518e-02,8.744481e-02,8.608316e-02,8.586471e-02,8.471604e-02,8.334629e-02,8.315446e-02,8.197651e-02,8.060914e-02,8.044533e-02,7.924643e-02,7.789044e-02,7.775529e-02,7.654310e-02,7.520615e-02,7.509969e-02,7.388121e-02,7.256974e-02,7.249151e-02,7.127308e-02,6.999244e-02,6.994157e-02,6.872893e-02,6.748353e-02,6.745882e-02,6.625713e-02,6.505050e-02,6.272240e-02,6.047898e-02,5.832357e-02,5.625851e-02,5.428529e-02,5.240466e-02,5.061673e-02,4.892107e-02,4.731676e-02,4.580250e-02,4.437666e-02,4.303730e-02,4.178228e-02,4.060927e-02,3.951576e-02,3.849912e-02,3.755664e-02,3.668551e-02,3.588287e-02,3.514585e-02,3.447151e-02,3.385694e-02,3.329923e-02,3.279547e-02,3.234278e-02,3.193832e-02,3.157929e-02,3.126293e-02,3.098654e-02,3.074749e-02,3.054319e-02,3.037114e-02,3.022892e-02,3.011417e-02,3.002461e-02,2.995806e-02,2.991242e-02,2.988567e-02,2.987590e-02,2.988127e-02,2.990004e-02,2.993057e-02,2.997131e-02,3.002080e-02,3.007766e-02,3.014063e-02,3.020851e-02,3.028021e-02,3.035471e-02
0.000000e+00,5.864139e-10,5.591523e-08,5.974525e-08,8.986861e-07,5.844601e-06,6.246141e-06,2.554996e-05,6.556090e-05,6.888737e-05,1.348892e-04,2.053663e-04,2.116048e-04,2.881394e-04,3.523861e-04,3.591806e-04,4.231415e-04,4.735084e-04,4.799616e-04,5.300474e-04,5.681248e-04,5.739104e-04,6.120635e-04,6.400570e-04,6.449942e-04,6.731597e-04,6.929997e-04,6.969864e-04,7.168702e-04,7.301862e-04,7.331785e-04,7.462504e-04,7.544020e-04,7.563988e-04,7.639118e-04,7.680225e-04,7.690536e-04,7.720667e-04,7.730574e-04,7.731733e-04,7.725765e-04,7.711968e-04,7.704618e-04,7.669988e-04,7.638558e-04,7.623421e-04,7.566326e-04,7.522146e-04,7.499984e-04,7.425562e-04,7.372536e-04,7.344121e-04,7.256624e-04,7.197854e-04,7.163944e-04,7.066870e-04,7.004794e-04,6.966119e-04,6.862346e-04,6.798878e-04,6.756137e-04,6.648016e-04,6.584621e-04,6.538462e-04,6.427906e-04,6.365702e-04,6.316733e-04,6.205283e-04,6.145095e-04,6.093865e-04,5.982756e-04,5.925182e-04,5.872196e-04,5.762400e-04,5.707850e-04,5.653560e-04,5.545842e-04,5.494578e-04,5.439390e-04,5.334333e-04,5.286506e-04,5.230781e-04,5.128827e-04,5.084495e-04,5.028552e-04,4.930022e-04,4.889174e-04,4.833294e-04,4.738412e-04,4.700985e-04,4.645414e-04,4.554325e-04,4.520217e-04,4.465166e-04,4.377949e-04,4.347028e-04,4.292682e-04,4.209365e-04,4.181481e-04,4.127994e-04,4.048563e-04,4.023553e-04,3.971058e-04,3.895465e-04,3.873158e-04,3.821766e-04,3.749938e-04,3.730159e-04,3.679960e-04,3.611805e-04,3.594380e-04,3.545447e-04,3.480857e-04,3.465615e-04,3.418006e-04,3.356862e-04,3.343636e-04,3.297394e-04,3.239571e-04,3.228200e-04,3.183358e-04,3.128724e-04,3.119054e-04,3.075634e-04,3.024055e-04,3.015941e-04,2.973954e-04,2.925296e-04,2.918598e-04,2.878049e-04,2.832179e-04,2.826766e-04,2.787653e-04,2.744438e-04,2.740187e-04,2.702501e-04,2.661812e-04,2.658610e-04,2.622338e-04,2.584047e-04,2.581787e-04,2.546910e-04,2.510896e-04,2.509478e-04,2.475975e-04,2.442118e-04,2.441452e-04,2.409297e-04,2.377484e-04,2.317359e-04,2.260871e-04,2.207822e-04,2.158023e-04,2.111294e-04,2.067463e-04,2.026368e-04,1.987853e-04,1.951770e-04,1.917982e-04,1.886354e-04,1.856763e-04,1.829090e-04,1.803222e-04,1.779054e-04,1.756485e-04,1.735422e-04,1.715775e-04,1.697459e-04,1.680396e-04,1.664509e-04,1.649729e-04,1.635989e-04,1.623226e-04,1.611381e-04,1.600397e-04,1.590222e-04,1.580807e-04,1.572105e-04,1.564071e-04,1.556665e-04,1.549847e-04,1.543581e-04,1.537831e-04,1.532566e-04,1.527754e-04,1.523367e-04,1.519378e-04,1.515761e-04,1.512492e-04,1.509548e-04,1.506908e-04,1.504552e-04,1.502461e-04,1.500617e-04,1.499004e-04,1.497606e-04,1.496409e-04,1.495397e-04
0.000000e+00,1.016923e-08,2.423505e-07,2.544421e-07,2.004793e-06,8.485691e-06,8.923413e-06,2.489763e-05,4.604154e-05,4.746691e-05,7.116295e-05,9.201640e-05,9.377012e-05,1.148385e-04,1.324522e-04,1.343319e-04,1.523004e-04,1.669051e-04,1.688119e-04,1.839375e-04,1.958910e-04,1.977479e-04,2.103133e-04,2.199566e-04,2.217026e-04,2.319833e-04,2.396323e-04,2.412209e-04,2.494791e-04,2.554215e-04,2.568188e-04,2.632988e-04,2.677924e-04,2.689749e-04,2.739004e-04,2.771730e-04,2.781259e-04,2.816993e-04,2.839505e-04,2.846659e-04,2.870685e-04,2.884719e-04,2.889475e-04,2.903410e-04,2.910468e-04,2.912848e-04,2.918129e-04,2.919507e-04,2.919568e-04,2.917466e-04,2.914277e-04,2.912105e-04,2.903748e-04,2.896943e-04,2.892644e-04,2.879026e-04,2.869415e-04,2.863110e-04,2.845100e-04,2.833369e-04,2.825187e-04,2.803549e-04,2.790276e-04,2.780355e-04,2.755761e-04,2.741431e-04,2.729912e-04,2.702946e-04,2.687964e-04,2.674988e-04,2.646159e-04,2.630860e-04,2.616568e-04,2.586320e-04,2.570980e-04,2.555510e-04,2.524227e-04,2.509068e-04,2.492554e-04,2.460568e-04,2.445769e-04,2.428341e-04,2.395938e-04,2.381642e-04,2.363422e-04,2.330848e-04,2.317162e-04,2.298269e-04,2.265733e-04,2.252740e-04,2.233284e-04,2.200963e-04,2.188723e-04,2.168808e-04,2.136852e-04,2.125403e-04,2.105127e-04,2.073662e-04,2.063028e-04,2.042483e-04,2.011612e-04,2.001802e-04,1.981071e-04,1.950880e-04,1.941894e-04,1.921055e-04,1.891613e-04,1.883439e-04,1.862565e-04,1.833925e-04,1.826547e-04,1.805703e-04,1.777908e-04,1.771301e-04,1.750547e-04,1.723628e-04,1.717766e-04,1.697156e-04,1.671136e-04,1.665986e-04,1.645570e-04,1.620461e-04,1.615991e-04,1.595812e-04,1.571623e-04,1.567795e-04,1.547894e-04,1.524625e-04,1.521404e-04,1.501816e-04,1.479463e-04,1.476812e-04,1.457567e-04,1.436123e-04,1.434003e-04,1.415129e-04,1.394583e-04,1.392958e-04,1.374479e-04,1.354814e-04,1.353648e-04,1.335585e-04,1.316786e-04,1.316043e-04,1.298412e-04,1.280459e-04,1.280104e-04,1.262921e-04,1.245793e-04,1.213069e-04,1.181886e-04,1.152199e-04,1.123962e-04,1.097128e-04,1.071650e-04,1.047479e-04,1.024569e-04,1.002872e-04,9.823428e-05,9.629352e-05,9.446045e-05,9.273070e-05,9.109997e-05,8.956410e-05,8.811901e-05,8.676075e-05,8.548549e-05,8.428950e-05,8.316920e-05,8.212109e-05,8.114182e-05,8.022814e-05,7.937692e-05,7.858514e-05,7.784989e-05,7.716837e-05,7.653791e-05,7.595590e-05,7.541986e-05,7.492741e-05,7.447625e-05,7.406419e-05,7.368912e-05,7.334902e-05,7.304195e-05,7.276606e-05,7.251957e-05,7.230079e-05,7.210809e-05,7.193991e-05,7.179477e-05,7.167124e-05,7.156798e-05,7.148369e-05,7.141713e-05,7.136711e-05,7.133254e-05,7.131231e-05
0.000000e+00,1.073648e-09,1.255338e-08,1.307729e-08,7.646628e-08,2.709081e-07,2.833118e-07,7.225951e-07,1.315480e-06,1.356368e-06,2.044402e-06,2.649798e-06,2.700312e-06,3.299817e-06,3.788477e-06,3.839858e-06,4.322860e-06,4.703665e-06,4.752542e-06,5.132809e-06,5.423216e-06,5.467457e-06,5.760087e-06,5.975913e-06,6.014092e-06,6.232652e-06,6.387518e-06,6.418745e-06,6.575142e-06,6.680617e-06,6.704421e-06,6.808973e-06,6.874794e-06,6.891020e-06,6.952614e-06,6.986920e-06,6.995654e-06,7.021895e-06,7.031461e-06,7.032964e-06,7.030328e-06,7.020728e-06,7.015375e-06,6.989373e-06,6.965223e-06,6.953482e-06,6.908767e-06,6.873826e-06,6.856211e-06,6.796710e-06,6.754036e-06,6.731085e-06,6.660089e-06,6.612154e-06,6.584412e-06,6.504685e-06,6.453474e-06,6.421482e-06,6.335329e-06,6.282421e-06,6.246704e-06,6.156044e-06,6.102687e-06,6.063747e-06,5.970172e-06,5.917335e-06,5.875647e-06,5.780468e-06,5.728895e-06,5.684904e-06,5.589196e-06,5.539444e-06,5.493563e-06,5.398202e-06,5.350680e-06,5.303289e-06,5.208982e-06,5.163971e-06,5.115421e-06,5.022730e-06,4.980416e-06,4.931022e-06,4.840393e-06,4.800881e-06,4.750929e-06,4.662705e-06,4.626037e-06,4.575785e-06,4.490226e-06,4.456394e-06,4.406074e-06,4.323368e-06,4.292327e-06,4.242142e-06,4.162421e-06,4.134095e-06,4.084227e-06,4.007573e-06,3.981864e-06,3.932471e-06,3.858928e-06,3.835723e-06,3.786945e-06,3.716521e-06,3.695698e-06,3.647653e-06,3.580332e-06,3.561759e-06,3.514551e-06,3.450296e-06,3.433838e-06,3.387554e-06,3.326310e-06,3.311832e-06,3.266546e-06,3.208243e-06,3.195611e-06,3.151383e-06,3.095944e-06,3.085025e-06,3.041904e-06,2.989242e-06,2.979908e-06,2.937934e-06,2.887957e-06,2.880082e-06,2.839285e-06,2.791897e-06,2.785363e-06,2.745765e-06,2.700867e-06,2.695561e-06,2.657176e-06,2.614668e-06,2.610482e-06,2.573319e-06,2.533102e-06,2.529933e-06,2.493994e-06,2.455970e-06,2.453722e-06,2.419005e-06,2.383075e-06,2.381659e-06,2.348157e-06,2.314226e-06,2.313557e-06,2.281259e-06,2.249233e-06,2.188510e-06,2.131214e-06,2.077178e-06,2.026241e-06,1.978247e-06,1.933047e-06,1.890498e-06,1.850463e-06,1.812810e-06,1.777413e-06,1.744153e-06,1.712917e-06,1.683594e-06,1.656082e-06,1.630283e-06,1.606101e-06,1.583450e-06,1.562243e-06,1.542402e-06,1.523850e-06,1.506515e-06,1.490328e-06,1.475226e-06,1.461146e-06,1.448030e-06,1.435823e-06,1.424474e-06,1.413932e-06,1.404152e-06,1.395089e-06,1.386700e-06,1.378948e-06,1.371794e-06,1.365202e-06,1.359141e-06,1.353577e-06,1.348481e-06,1.343824e-06,1.339581e-06,1.335726e-06,1.332235e-06,1.329086e-06,1.326256e-06,1.323727e-06,1.321479e-06,1.319495e-06,1.317757e-06,1.316249e-06,1.314957e-06
0.000000e+00,8.209791e-11,1.057770e-08,1.134040e-08,1.849296e-07,1.259280e-06,1.350040e-06,6.262458e-06,1.962066e-05,2.092815e-05,5.397326e-05,1.072880e-04,1.130778e-04,2.007325e-04,3.006595e-04,3.127221e-04,4.402751e-04,5.577249e-04,5.737782e-04,7.054925e-04,8.134652e-04,8.304307e-04,9.459886e-04,1.035051e-03,1.051174e-03,1.145918e-03,1.216087e-03,1.230617e-03,1.305871e-03,1.359718e-03,1.372342e-03,1.430697e-03,1.470992e-03,1.481576e-03,1.525584e-03,1.554784e-03,1.563286e-03,1.595207e-03,1.615396e-03,1.621836e-03,1.643625e-03,1.656551e-03,1.660991e-03,1.674321e-03,1.681444e-03,1.683974e-03,1.690279e-03,1.692811e-03,1.693542e-03,1.694043e-03,1.692988e-03,1.692043e-03,1.687780e-03,1.683967e-03,1.681475e-03,1.673332e-03,1.667442e-03,1.663537e-03,1.652263e-03,1.644855e-03,1.639668e-03,1.625898e-03,1.617426e-03,1.611086e-03,1.595357e-03,1.586190e-03,1.578822e-03,1.561586e-03,1.552020e-03,1.543743e-03,1.525381e-03,1.515655e-03,1.506580e-03,1.487413e-03,1.477713e-03,1.467946e-03,1.448241e-03,1.438714e-03,1.428353e-03,1.408333e-03,1.399093e-03,1.388228e-03,1.368079e-03,1.359210e-03,1.347925e-03,1.327801e-03,1.319365e-03,1.307738e-03,1.287764e-03,1.279806e-03,1.267905e-03,1.248185e-03,1.240732e-03,1.228623e-03,1.209239e-03,1.202307e-03,1.190048e-03,1.171066e-03,1.164663e-03,1.152306e-03,1.133779e-03,1.127901e-03,1.115495e-03,1.097463e-03,1.092103e-03,1.079690e-03,1.062182e-03,1.057329e-03,1.044946e-03,1.027986e-03,1.023622e-03,1.011304e-03,9.949049e-04,9.910112e-04,9.787896e-04,9.629601e-04,9.595160e-04,9.474170e-04,9.321609e-04,9.291441e-04,9.171915e-04,9.025084e-04,8.998958e-04,8.881105e-04,8.739966e-04,8.717646e-04,8.601650e-04,8.466136e-04,8.447386e-04,8.333403e-04,8.203426e-04,8.188013e-04,8.076179e-04,7.951633e-04,7.939326e-04,7.829758e-04,7.710522e-04,7.701096e-04,7.593892e-04,7.479834e-04,7.473071e-04,7.368313e-04,7.259293e-04,7.254983e-04,7.152737e-04,7.048610e-04,7.046552e-04,6.946872e-04,6.847486e-04,6.657490e-04,6.476264e-04,6.303508e-04,6.138925e-04,5.982217e-04,5.833095e-04,5.691269e-04,5.556458e-04,5.428386e-04,5.306783e-04,5.191388e-04,5.081946e-04,4.978210e-04,4.879941e-04,4.786909e-04,4.698888e-04,4.615662e-04,4.537021e-04,4.462765e-04,4.392697e-04,4.326632e-04,4.264390e-04,4.205798e-04,4.150688e-04,4.098901e-04,4.050283e-04,4.004686e-04,3.961967e-04,3.921991e-04,3.884627e-04,3.849748e-04,3.817236e-04,3.786974e-04,3.758851e-04,3.732762e-04,3.708605e-04,3.686282e-04,3.665700e-04,3.646770e-04,3.629405e-04,3.613524e-04,3.599049e-04,3.585904e-04,3.574018e-04,3.563321e-04,3.553748e-04,3.545237e-04,3.537727e-04,3.531161e-04
0.000000e+00,3.826580e-13,9.842116e-11,1.070461e-10,3.445690e-09,3.997053e-08,4.369520e-08,3.124167e-07,1.374438e-06,1.496037e-06,5.326428e-06,1.402713e-05,1.514440e-05,3.621498e-05,7.065906e-05,7.566748e-05,1.420910e-04,2.303231e-04,2.448987e-04,3.935945e-04,5.649721e-04,5.970546e-04,8.629086e-04,1.138824e-03,1.197065e-03,1.603403e-03,1.991728e-03,2.083629e-03,2.637277e-03,3.131429e-03,3.261826e-03,3.952916e-03,4.534392e-03,4.704618e-03,5.509740e-03,6.152385e-03,6.360155e-03,7.247112e-03,7.921653e-03,8.161534e-03,9.094282e-03,9.772162e-03,1.003639e-02,1.097926e-02,1.163536e-02,1.191480e-02,1.283557e-02,1.344979e-02,1.373484e-02,1.460666e-02,1.516448e-02,1.544587e-02,1.624809e-02,1.674041e-02,1.700974e-02,1.772797e-02,1.815050e-02,1.840064e-02,1.902624e-02,1.937861e-02,1.960388e-02,2.013317e-02,2.041802e-02,2.061420e-02,2.104749e-02,2.126958e-02,2.143388e-02,2.177453e-02,2.193993e-02,2.207081e-02,2.232433e-02,2.243983e-02,2.253682e-02,2.271013e-02,2.278270e-02,2.284621e-02,2.294704e-02,2.298351e-02,2.301463e-02,2.305098e-02,2.305776e-02,2.305809e-02,2.303792e-02,2.302090e-02,2.299238e-02,2.292332e-02,2.288774e-02,2.283255e-02,2.272177e-02,2.267222e-02,2.259263e-02,2.244671e-02,2.238717e-02,2.228549e-02,2.211039e-02,2.204422e-02,2.192274e-02,2.172379e-02,2.165379e-02,2.151473e-02,2.129665e-02,2.122514e-02,2.107060e-02,2.083754e-02,2.076639e-02,2.059837e-02,2.035393e-02,2.028464e-02,2.010499e-02,1.985229e-02,1.978605e-02,1.959648e-02,1.933820e-02,1.927591e-02,1.907801e-02,1.881643e-02,1.875875e-02,1.855397e-02,1.829105e-02,1.823846e-02,1.802811e-02,1.776550e-02,1.771829e-02,1.750358e-02,1.724266e-02,1.720102e-02,1.698302e-02,1.672495e-02,1.668895e-02,1.646866e-02,1.621437e-02,1.618400e-02,1.596229e-02,1.571258e-02,1.568775e-02,1.546542e-02,1.522093e-02,1.520149e-02,1.497924e-02,1.474048e-02,1.472625e-02,1.450473e-02,1.427209e-02,1.426285e-02,1.404263e-02,1.381642e-02,1.381193e-02,1.359352e-02,1.337397e-02,1.294931e-02,1.253817e-02,1.214069e-02,1.175693e-02,1.138686e-02,1.103040e-02,1.068742e-02,1.035777e-02,1.004125e-02,9.737635e-03,9.446682e-03,9.168132e-03,8.901712e-03,8.647141e-03,8.404129e-03,8.172382e-03,7.951606e-03,7.741501e-03,7.541771e-03,7.352120e-03,7.172254e-03,7.001882e-03,6.840715e-03,6.688470e-03,6.544866e-03,6.409626e-03,6.282479e-03,6.163158e-03,6.051398e-03,5.946941e-03,5.849532e-03,5.758921e-03,5.674862e-03,5.597112e-03,5.525433e-03,5.459590e-03,5.399354e-03,5.344496e-03,5.294794e-03,5.250028e-03,5.209981e-03,5.174440e-03,5.143196e-03,5.116042e-03,5.092777e-03,5.073200e-03,5.057116e-03,5.044332e-03,5.034661e-03
0.000000e+00,1.636697e-12,3.834332e-10,4.158667e-10,1.157888e-08,1.214782e-07,1.324107e-07,9.073571e-07,4.007116e-06,4.367566e-06,1.614575e-05,4.483653e-05,4.866016e-05,1.248371e-04,2.608788e-04,2.815582e-04,5.721016e-04,9.942010e-04,1.067155e-03,1.854304e-03,2.842757e-03,3.036147e-03,4.727299e-03,6.631209e-03,7.050641e-03,1.013313e-02,1.331625e-02,1.410150e-02,1.907805e-02,2.386218e-02,2.517681e-02,3.250019e-02,3.911970e-02,4.113612e-02,5.115592e-02,5.972986e-02,6.261268e-02,7.554038e-02,8.606314e-02,8.995352e-02,1.058472e-01,1.181950e-01,1.231979e-01,1.419643e-01,1.559127e-01,1.620885e-01,1.834978e-01,1.987469e-01,2.061064e-01,2.298168e-01,2.460178e-01,2.545224e-01,2.801087e-01,2.968908e-01,3.064555e-01,3.334387e-01,3.504324e-01,3.609317e-01,3.888073e-01,4.056637e-01,4.169391e-01,4.452026e-01,4.616078e-01,4.734764e-01,5.016434e-01,5.173283e-01,5.295915e-01,5.572142e-01,5.719597e-01,5.844115e-01,6.110901e-01,6.247291e-01,6.371638e-01,6.625536e-01,6.749694e-01,6.871880e-01,7.110031e-01,7.221264e-01,7.339422e-01,7.559559e-01,7.657596e-01,7.770020e-01,7.970451e-01,8.055386e-01,8.160564e-01,8.340133e-01,8.412367e-01,8.508995e-01,8.667038e-01,8.727213e-01,8.814207e-01,8.950494e-01,8.999436e-01,9.075935e-01,9.190610e-01,9.229278e-01,9.294633e-01,9.388156e-01,9.417593e-01,9.471358e-01,9.544447e-01,9.565737e-01,9.607656e-01,9.661237e-01,9.675474e-01,9.705461e-01,9.740615e-01,9.748873e-01,9.766997e-01,9.784917e-01,9.788230e-01,9.794693e-01,9.796647e-01,9.795989e-01,9.791108e-01,9.778406e-01,9.774683e-01,9.758870e-01,9.732832e-01,9.726873e-01,9.700620e-01,9.662560e-01,9.655113e-01,9.618973e-01,9.570177e-01,9.561907e-01,9.516482e-01,9.458193e-01,9.449683e-01,9.395609e-01,9.329020e-01,9.320774e-01,9.258709e-01,9.184949e-01,9.177394e-01,9.108008e-01,9.028143e-01,9.021635e-01,8.945602e-01,8.860624e-01,8.855453e-01,8.773442e-01,8.684277e-01,8.680672e-01,8.593342e-01,8.500841e-01,8.498977e-01,8.406970e-01,8.311916e-01,8.120908e-01,7.927243e-01,7.732087e-01,7.536493e-01,7.341400e-01,7.147647e-01,6.955977e-01,6.767043e-01,6.581417e-01,6.399595e-01,6.222003e-01,6.049002e-01,5.880895e-01,5.717932e-01,5.560315e-01,5.408201e-01,5.261710e-01,5.120923e-01,4.985891e-01,4.856636e-01,4.733154e-01,4.615416e-01,4.503375e-01,4.396963e-01,4.296100e-01,4.200686e-01,4.110613e-01,4.025761e-01,3.945998e-01,3.871186e-01,3.801180e-01,3.735829e-01,3.674977e-01,3.618464e-01,3.566127e-01,3.517800e-01,3.473318e-01,3.432513e-01,3.395217e-01,3.361263e-01,3.330486e-01,3.302721e-01,3.277805e-01,3.255578e-01,3.235882e-01,3.218564e-01,3.203471e-01,3.190459e-01,3.179383e-01
0.000000e+00,3.779240e-09,1.066075e-07,1.119456e-07,8.486236e-07,3.435221e-06,3.608413e-06,1.015798e-05,2.021635e-05,2.096214e-05,3.436031e-05,4.700465e-05,4.807697e-05,6.087491e-05,7.131804e-05,7.241396e-05,8.268507e-05,9.073642e-05,9.176653e-05,9.975426e-05,1.058218e-04,1.067436e-04,1.128246e-04,1.172921e-04,1.180810e-04,1.225899e-04,1.257795e-04,1.264224e-04,1.296434e-04,1.318203e-04,1.323126e-04,1.344844e-04,1.358651e-04,1.362083e-04,1.375295e-04,1.382898e-04,1.384892e-04,1.391247e-04,1.394063e-04,1.394699e-04,1.395557e-04,1.394728e-04,1.394103e-04,1.390588e-04,1.387027e-04,1.385245e-04,1.378280e-04,1.372714e-04,1.369883e-04,1.360228e-04,1.353242e-04,1.349469e-04,1.337748e-04,1.329800e-04,1.325190e-04,1.311910e-04,1.303360e-04,1.298012e-04,1.283589e-04,1.274719e-04,1.268726e-04,1.253497e-04,1.244524e-04,1.237971e-04,1.222210e-04,1.213302e-04,1.206268e-04,1.190196e-04,1.181479e-04,1.174038e-04,1.157832e-04,1.149399e-04,1.141616e-04,1.125420e-04,1.117338e-04,1.109272e-04,1.093197e-04,1.085514e-04,1.077218e-04,1.061354e-04,1.054100e-04,1.045623e-04,1.030039e-04,1.023233e-04,1.014616e-04,9.993657e-05,9.930142e-05,9.842973e-05,9.694196e-05,9.635236e-05,9.547400e-05,9.402644e-05,9.348183e-05,9.259980e-05,9.119449e-05,9.069387e-05,8.981085e-05,8.844912e-05,8.799116e-05,8.710950e-05,8.579210e-05,8.537525e-05,8.449702e-05,8.322426e-05,8.284678e-05,8.197381e-05,8.074562e-05,8.040570e-05,7.953959e-05,7.835560e-05,7.805135e-05,7.719350e-05,7.605312e-05,7.578264e-05,7.493427e-05,7.383674e-05,7.359812e-05,7.276029e-05,7.170469e-05,7.149605e-05,7.066969e-05,6.965502e-05,6.947452e-05,6.866041e-05,6.768558e-05,6.753143e-05,6.673025e-05,6.579413e-05,6.566459e-05,6.487692e-05,6.397834e-05,6.387174e-05,6.309807e-05,6.223584e-05,6.215059e-05,6.139132e-05,6.056423e-05,6.049881e-05,5.975427e-05,5.896114e-05,5.891408e-05,5.818454e-05,5.742418e-05,5.739409e-05,5.667976e-05,5.595100e-05,5.593659e-05,5.523762e-05,5.453931e-05,5.320009e-05,5.191676e-05,5.068725e-05,4.950952e-05,4.838161e-05,4.730159e-05,4.626763e-05,4.527793e-05,4.433076e-05,4.342445e-05,4.255740e-05,4.172804e-05,4.093489e-05,4.017649e-05,3.945147e-05,3.875848e-05,3.809624e-05,3.746350e-05,3.685909e-05,3.628185e-05,3.573068e-05,3.520452e-05,3.470236e-05,3.422322e-05,3.376615e-05,3.333026e-05,3.291468e-05,3.251856e-05,3.214111e-05,3.178157e-05,3.143918e-05,3.111324e-05,3.080306e-05,3.050799e-05,3.022740e-05,2.996069e-05,2.970726e-05,2.946657e-05,2.923808e-05,2.902126e-05,2.881564e-05,2.862073e-05,2.843607e-05,2.826123e-05,2.809578e-05,2.793933e-05,2.779148e-05,2.765187e-05,2.752013e-05
0.000000e+00,1.369304e-11,2.370669e-09,2.555260e-09,5.255476e-08,4.250885e-07,4.587268e-07,2.494465e-06,9.077580e-06,9.776742e-06,2.966811e-05,6.840907e-05,7.302262e-05,1.513207e-04,2.585052e-04,2.726944e-04,4.393277e-04,6.203934e-04,6.472796e-04,8.881083e-04,1.113393e-03,1.151140e-03,1.425484e-03,1.657493e-03,1.701395e-03,1.970973e-03,2.183113e-03,2.228335e-03,2.469467e-03,2.648999e-03,2.691922e-03,2.894471e-03,3.038404e-03,3.076784e-03,3.239158e-03,3.349653e-03,3.382303e-03,3.507181e-03,3.588476e-03,3.614895e-03,3.706614e-03,3.763410e-03,3.783517e-03,3.846761e-03,3.883505e-03,3.897462e-03,3.936676e-03,3.957293e-03,3.965403e-03,3.984576e-03,3.992422e-03,3.995066e-03,3.997683e-03,3.995573e-03,3.993174e-03,3.982235e-03,3.972506e-03,3.965505e-03,3.943577e-03,3.928155e-03,3.916998e-03,3.886271e-03,3.866733e-03,3.851861e-03,3.814200e-03,3.791838e-03,3.773683e-03,3.730675e-03,3.706534e-03,3.685512e-03,3.638499e-03,3.613416e-03,3.589918e-03,3.540025e-03,3.514661e-03,3.489054e-03,3.437219e-03,3.412088e-03,3.384712e-03,3.331712e-03,3.307210e-03,3.278377e-03,3.224854e-03,3.201278e-03,3.171274e-03,3.117756e-03,3.095324e-03,3.064409e-03,3.011329e-03,2.990192e-03,2.958603e-03,2.906310e-03,2.886566e-03,2.854518e-03,2.803290e-03,2.784996e-03,2.752680e-03,2.702738e-03,2.685917e-03,2.653506e-03,2.605020e-03,2.589668e-03,2.557314e-03,2.510414e-03,2.496504e-03,2.464342e-03,2.419119e-03,2.406611e-03,2.374760e-03,2.331277e-03,2.320116e-03,2.288679e-03,2.246974e-03,2.237098e-03,2.206165e-03,2.166255e-03,2.157596e-03,2.127244e-03,2.089130e-03,2.081615e-03,2.051910e-03,2.015578e-03,2.009132e-03,1.980128e-03,1.945554e-03,1.940103e-03,1.911846e-03,1.878995e-03,1.874464e-03,1.846991e-03,1.815822e-03,1.812137e-03,1.785477e-03,1.755944e-03,1.753035e-03,1.727210e-03,1.699262e-03,1.697059e-03,1.672086e-03,1.645668e-03,1.644107e-03,1.619995e-03,1.595053e-03,1.594070e-03,1.570826e-03,1.547300e-03,1.546837e-03,1.524462e-03,1.502296e-03,1.460334e-03,1.420840e-03,1.383701e-03,1.348809e-03,1.316058e-03,1.285343e-03,1.256562e-03,1.229619e-03,1.204419e-03,1.180870e-03,1.158884e-03,1.138379e-03,1.119272e-03,1.101487e-03,1.084951e-03,1.069592e-03,1.055345e-03,1.042145e-03,1.029931e-03,1.018646e-03,1.008235e-03,9.986453e-04,9.898282e-04,9.817365e-04,9.743259e-04,9.675542e-04,9.613817e-04,9.557705e-04,9.506852e-04,9.460919e-04,9.419588e-04,9.382557e-04,9.349541e-04,9.320274e-04,9.294499e-04,9.271980e-04,9.252489e-04,9.235814e-04,9.221755e-04,9.210122e-04,9.200738e-04,9.193435e-04,9.188056e-04,9.184452e-04,9.182483e-04,9.182019e-04,9.182936e-04,9.185119e-04,9.188460e-04
0.000000e+00,6.663267e-11,8.399365e-09,9.002038e-09,1.456535e-07,9.989548e-07,1.071483e-06,5.034721e-06,1.585187e-05,1.690536e-05,4.297468e-05,8.260500e-05,8.673743e-05,1.457573e-04,2.062906e-04,2.131902e-04,2.816122e-04,3.382579e-04,3.455806e-04,4.021512e-04,4.440695e-04,4.502995e-04,4.901390e-04,5.176577e-04,5.223282e-04,5.477187e-04,5.640768e-04,5.671797e-04,5.815249e-04,5.898127e-04,5.914867e-04,5.977125e-04,6.003423e-04,6.007690e-04,6.011491e-04,5.999135e-04,5.992806e-04,5.955333e-04,5.917401e-04,5.902263e-04,5.836345e-04,5.782268e-04,5.759941e-04,5.675079e-04,5.611583e-04,5.583495e-04,5.486673e-04,5.418498e-04,5.385882e-04,5.282197e-04,5.212632e-04,5.176537e-04,5.069676e-04,5.000962e-04,4.962269e-04,4.854868e-04,4.788488e-04,4.747935e-04,4.641854e-04,4.578751e-04,4.536946e-04,4.433473e-04,4.374203e-04,4.331650e-04,4.231647e-04,4.176494e-04,4.133603e-04,4.037623e-04,3.986682e-04,3.943789e-04,3.852160e-04,3.805398e-04,3.762774e-04,3.675657e-04,3.632953e-04,3.590818e-04,3.508258e-04,3.469435e-04,3.427965e-04,3.349922e-04,3.314771e-04,3.274104e-04,3.200481e-04,3.168774e-04,3.129019e-04,3.059679e-04,3.031180e-04,2.992421e-04,2.927201e-04,2.901674e-04,2.863975e-04,2.802696e-04,2.779911e-04,2.743318e-04,2.685793e-04,2.665529e-04,2.630074e-04,2.576113e-04,2.558158e-04,2.523862e-04,2.473274e-04,2.457430e-04,2.424304e-04,2.376904e-04,2.362983e-04,2.331029e-04,2.286636e-04,2.274465e-04,2.243679e-04,2.202117e-04,2.191534e-04,2.161908e-04,2.123010e-04,2.113865e-04,2.085383e-04,2.048990e-04,2.041144e-04,2.013790e-04,1.979748e-04,1.973076e-04,1.946828e-04,1.914994e-04,1.909377e-04,1.884212e-04,1.854450e-04,1.849780e-04,1.825674e-04,1.797854e-04,1.794033e-04,1.770959e-04,1.744959e-04,1.741898e-04,1.719827e-04,1.695534e-04,1.693150e-04,1.672054e-04,1.649359e-04,1.647577e-04,1.627426e-04,1.606229e-04,1.604980e-04,1.585745e-04,1.565950e-04,1.565172e-04,1.546822e-04,1.528340e-04,1.527977e-04,1.510483e-04,1.493230e-04,1.460775e-04,1.430467e-04,1.402168e-04,1.375752e-04,1.351097e-04,1.328090e-04,1.306626e-04,1.286606e-04,1.267937e-04,1.250531e-04,1.234308e-04,1.219189e-04,1.205105e-04,1.191988e-04,1.179774e-04,1.168406e-04,1.157827e-04,1.147987e-04,1.138837e-04,1.130331e-04,1.122428e-04,1.115087e-04,1.108272e-04,1.101948e-04,1.096082e-04,1.090644e-04,1.085606e-04,1.080940e-04,1.076622e-04,1.072628e-04,1.068938e-04,1.065529e-04,1.062384e-04,1.059484e-04,1.056813e-04,1.054354e-04,1.052095e-04,1.050020e-04,1.048118e-04,1.046375e-04,1.044782e-04,1.043328e-04,1.042003e-04,1.040797e-04,1.039704e-04,1.038714e-04,1.037820e-04,1.037015e-04,1.036294e-04
0.000000e+00,4.571081e-13,1.246071e-10,1.357191e-10,4.718226e-09,5.873330e-08,6.437648e-08,4.870785e-07,2.225151e-06,2.426887e-06,8.897349e-06,2.399499e-05,2.595960e-05,6.375231e-05,1.276785e-04,1.371460e-04,2.659397e-04,4.444432e-04,4.746125e-04,7.916967e-04,1.175185e-03,1.248865e-03,1.879832e-03,2.569447e-03,2.719165e-03,3.801083e-03,4.892300e-03,5.158311e-03,6.821052e-03,8.389346e-03,8.816088e-03,1.116606e-02,1.325717e-02,1.388893e-02,1.699757e-02,1.962303e-02,2.049961e-02,2.439732e-02,2.753481e-02,2.868775e-02,3.336292e-02,3.696031e-02,3.841012e-02,4.381231e-02,4.779398e-02,4.954853e-02,5.559444e-02,5.986874e-02,6.192276e-02,6.850387e-02,7.297063e-02,7.530625e-02,8.229704e-02,8.685447e-02,8.944251e-02,9.670851e-02,1.012590e-01,1.040609e-01,1.114658e-01,1.159202e-01,1.188902e-01,1.263021e-01,1.305831e-01,1.336707e-01,1.409667e-01,1.450104e-01,1.481625e-01,1.552323e-01,1.589891e-01,1.621522e-01,1.689003e-01,1.723348e-01,1.754569e-01,1.818039e-01,1.848939e-01,1.879257e-01,1.938085e-01,1.965438e-01,1.994405e-01,2.048118e-01,2.071927e-01,2.099142e-01,2.147415e-01,2.167771e-01,2.192890e-01,2.235536e-01,2.252599e-01,2.275337e-01,2.312288e-01,2.326273e-01,2.346400e-01,2.377693e-01,2.388851e-01,2.406198e-01,2.431954e-01,2.440563e-01,2.455012e-01,2.475426e-01,2.481776e-01,2.493260e-01,2.508581e-01,2.512965e-01,2.521463e-01,2.531982e-01,2.534688e-01,2.540218e-01,2.546254e-01,2.547562e-01,2.550176e-01,2.552068e-01,2.552239e-01,2.552019e-01,2.550116e-01,2.549394e-01,2.546447e-01,2.541099e-01,2.539706e-01,2.534159e-01,2.525712e-01,2.523849e-01,2.515842e-01,2.504632e-01,2.502478e-01,2.492163e-01,2.478515e-01,2.476227e-01,2.463763e-01,2.447984e-01,2.445697e-01,2.431249e-01,2.413629e-01,2.411459e-01,2.395193e-01,2.376004e-01,2.374046e-01,2.356127e-01,2.335622e-01,2.333956e-01,2.314547e-01,2.292957e-01,2.291647e-01,2.270907e-01,2.248446e-01,2.247539e-01,2.225623e-01,2.202485e-01,2.202019e-01,2.179075e-01,2.155435e-01,2.108102e-01,2.060304e-01,2.012295e-01,1.964299e-01,1.916516e-01,1.869122e-01,1.822269e-01,1.776091e-01,1.730702e-01,1.686201e-01,1.642670e-01,1.600177e-01,1.558781e-01,1.518527e-01,1.479450e-01,1.441578e-01,1.404931e-01,1.369519e-01,1.335350e-01,1.302423e-01,1.270735e-01,1.240276e-01,1.211035e-01,1.182995e-01,1.156139e-01,1.130445e-01,1.105890e-01,1.082449e-01,1.060097e-01,1.038805e-01,1.018545e-01,9.992867e-02,9.810010e-02,9.636568e-02,9.472230e-02,9.316684e-02,9.169616e-02,9.030714e-02,8.899665e-02,8.776159e-02,8.659889e-02,8.550550e-02,8.447842e-02,8.351468e-02,8.261140e-02,8.176572e-02,8.097486e-02,8.023609e-02,7.954676e-02
0.000000e+00,2.056356e-09,4.234826e-08,4.449462e-08,3.328223e-07,1.154693e-06,1.201186e-06,2.513299e-06,3.791529e-06,3.871148e-06,5.148774e-06,6.237180e-06,6.327879e-06,7.409937e-06,8.305062e-06,8.400106e-06,9.304054e-06,1.003256e-05,1.012725e-05,1.087483e-05,1.146096e-05,1.155162e-05,1.216212e-05,1.262686e-05,1.271062e-05,1.320116e-05,1.356284e-05,1.363756e-05,1.402349e-05,1.429820e-05,1.436238e-05,1.465750e-05,1.485932e-05,1.491197e-05,1.512868e-05,1.526985e-05,1.531041e-05,1.545975e-05,1.555085e-05,1.557914e-05,1.567086e-05,1.572097e-05,1.573706e-05,1.577974e-05,1.579664e-05,1.580080e-05,1.580198e-05,1.579228e-05,1.578494e-05,1.575119e-05,1.572047e-05,1.570217e-05,1.563921e-05,1.559218e-05,1.556355e-05,1.547637e-05,1.541699e-05,1.537872e-05,1.527162e-05,1.520322e-05,1.515601e-05,1.503274e-05,1.495807e-05,1.490264e-05,1.476645e-05,1.468778e-05,1.462486e-05,1.447851e-05,1.439771e-05,1.432799e-05,1.417387e-05,1.409247e-05,1.401665e-05,1.385680e-05,1.377603e-05,1.369476e-05,1.353094e-05,1.345179e-05,1.336571e-05,1.319941e-05,1.312264e-05,1.303235e-05,1.286484e-05,1.279105e-05,1.269713e-05,1.252947e-05,1.245913e-05,1.236209e-05,1.219520e-05,1.212862e-05,1.202898e-05,1.186360e-05,1.180101e-05,1.169923e-05,1.153600e-05,1.147754e-05,1.137404e-05,1.121347e-05,1.115922e-05,1.105440e-05,1.089692e-05,1.084687e-05,1.074111e-05,1.058705e-05,1.054118e-05,1.043480e-05,1.028443e-05,1.024267e-05,1.013599e-05,9.989523e-06,9.951769e-06,9.845063e-06,9.702647e-06,9.668774e-06,9.562301e-06,9.424048e-06,9.393915e-06,9.287905e-06,9.153887e-06,9.127339e-06,9.022002e-06,8.892257e-06,8.869130e-06,8.764654e-06,8.639194e-06,8.619318e-06,8.515872e-06,8.394684e-06,8.377888e-06,8.275622e-06,8.158675e-06,8.144783e-06,8.043831e-06,7.931077e-06,7.919916e-06,7.820398e-06,7.711776e-06,7.703175e-06,7.605194e-06,7.500632e-06,7.494422e-06,7.398070e-06,7.297487e-06,7.293504e-06,7.198860e-06,7.102167e-06,7.100253e-06,7.007385e-06,6.914489e-06,6.736022e-06,6.564659e-06,6.400199e-06,6.242441e-06,6.091181e-06,5.946216e-06,5.807341e-06,5.674358e-06,5.547065e-06,5.425268e-06,5.308774e-06,5.197395e-06,5.090945e-06,4.989245e-06,4.892119e-06,4.799396e-06,4.710909e-06,4.626498e-06,4.546006e-06,4.469281e-06,4.396176e-06,4.326549e-06,4.260263e-06,4.197184e-06,4.137183e-06,4.080138e-06,4.025928e-06,3.974438e-06,3.925556e-06,3.879176e-06,3.835193e-06,3.793509e-06,3.754026e-06,3.716652e-06,3.681300e-06,3.647881e-06,3.616315e-06,3.586522e-06,3.558425e-06,3.531950e-06,3.507028e-06,3.483590e-06,3.461570e-06,3.440906e-06,3.421537e-06,3.403404e-06,3.386453e-06,3.370629e-06,3.355881e-06
0.000000e+00,1.801805e-12,4.269133e-10,4.638764e-10,1.463960e-08,1.692227e-07,1.848920e-07,1.276370e-06,5.204532e-06,5.630344e-06,1.780130e-05,4.128808e-05,4.406787e-05,9.105555e-05,1.556335e-04,1.642455e-04,2.669369e-04,3.823358e-04,3.998431e-04,5.612357e-04,7.200535e-04,7.474398e-04,9.534778e-04,1.137761e-03,1.173714e-03,1.402404e-03,1.592409e-03,1.634113e-03,1.863994e-03,2.043796e-03,2.087940e-03,2.302642e-03,2.462038e-03,2.505570e-03,2.694915e-03,2.828988e-03,2.869500e-03,3.028681e-03,3.136422e-03,3.172251e-03,3.300341e-03,3.383195e-03,3.413347e-03,3.511850e-03,3.572553e-03,3.596566e-03,3.668293e-03,3.710078e-03,3.727875e-03,3.776175e-03,3.802290e-03,3.814051e-03,3.842342e-03,3.855794e-03,3.861858e-03,3.873367e-03,3.876801e-03,3.877595e-03,3.875227e-03,3.870908e-03,3.866901e-03,3.853211e-03,3.843032e-03,3.834707e-03,3.811895e-03,3.797414e-03,3.785242e-03,3.755177e-03,3.737664e-03,3.722096e-03,3.686358e-03,3.666836e-03,3.648295e-03,3.608207e-03,3.587492e-03,3.566371e-03,3.523039e-03,3.501775e-03,3.478438e-03,3.432778e-03,3.411471e-03,3.386248e-03,3.339021e-03,3.318061e-03,3.291253e-03,3.243086e-03,3.222769e-03,3.194650e-03,3.146059e-03,3.126604e-03,3.097420e-03,3.048827e-03,3.030391e-03,3.000364e-03,2.952110e-03,2.934803e-03,2.904133e-03,2.856494e-03,2.840384e-03,2.809249e-03,2.762446e-03,2.747570e-03,2.716129e-03,2.670337e-03,2.656707e-03,2.625103e-03,2.580457e-03,2.568065e-03,2.536424e-03,2.493027e-03,2.481850e-03,2.450284e-03,2.408211e-03,2.398215e-03,2.366822e-03,2.326128e-03,2.317270e-03,2.286137e-03,2.246856e-03,2.239086e-03,2.208290e-03,2.170441e-03,2.163704e-03,2.133311e-03,2.096900e-03,2.091141e-03,2.061208e-03,2.026231e-03,2.021392e-03,1.991968e-03,1.958413e-03,1.954433e-03,1.925561e-03,1.893408e-03,1.890231e-03,1.861946e-03,1.831169e-03,1.828736e-03,1.801069e-03,1.771638e-03,1.769893e-03,1.742868e-03,1.714750e-03,1.713639e-03,1.687276e-03,1.660436e-03,1.659905e-03,1.634220e-03,1.608619e-03,1.559704e-03,1.513085e-03,1.468682e-03,1.426417e-03,1.386210e-03,1.347984e-03,1.311662e-03,1.277168e-03,1.244428e-03,1.213369e-03,1.183920e-03,1.156012e-03,1.129579e-03,1.104557e-03,1.080882e-03,1.058494e-03,1.037336e-03,1.017351e-03,9.984849e-04,9.806863e-04,9.639052e-04,9.480937e-04,9.332060e-04,9.191979e-04,9.060274e-04,8.936540e-04,8.820389e-04,8.711452e-04,8.609374e-04,8.513816e-04,8.424455e-04,8.340979e-04,8.263093e-04,8.190514e-04,8.122972e-04,8.060209e-04,8.001979e-04,7.948045e-04,7.898185e-04,7.852183e-04,7.809835e-04,7.770947e-04,7.735333e-04,7.702814e-04,7.673223e-04,7.646398e-04,7.622184e-04,7.600436e-04,7.581015e-04
0.000000e+00,4.384442e-11,6.905930e-09,7.443061e-09,1.617978e-07,1.399653e-06,1.512678e-06,8.108350e-06,2.648502e-05,2.825069e-05,7.047186e-05,1.311905e-04,1.373830e-04,2.246266e-04,3.140707e-04,3.243783e-04,4.289999e-04,5.205342e-04,5.328153e-04,6.323125e-04,7.129876e-04,7.256462e-04,8.120415e-04,8.791180e-04,8.913305e-04,9.636629e-04,1.017990e-03,1.029336e-03,1.088708e-03,1.131925e-03,1.142159e-03,1.190066e-03,1.223821e-03,1.232795e-03,1.270694e-03,1.296473e-03,1.304097e-03,1.333318e-03,1.352424e-03,1.358653e-03,1.380384e-03,1.393945e-03,1.398771e-03,1.414061e-03,1.423045e-03,1.426485e-03,1.436260e-03,1.441497e-03,1.443588e-03,1.448658e-03,1.450854e-03,1.451648e-03,1.452723e-03,1.452479e-03,1.452038e-03,1.449738e-03,1.447560e-03,1.445956e-03,1.440820e-03,1.437136e-03,1.434445e-03,1.426942e-03,1.422114e-03,1.418412e-03,1.408951e-03,1.403279e-03,1.398647e-03,1.387582e-03,1.381317e-03,1.375832e-03,1.363470e-03,1.356821e-03,1.350561e-03,1.337167e-03,1.330306e-03,1.323345e-03,1.309148e-03,1.302215e-03,1.294625e-03,1.279823e-03,1.272931e-03,1.264783e-03,1.249544e-03,1.242785e-03,1.234143e-03,1.218613e-03,1.212059e-03,1.202985e-03,1.187288e-03,1.180995e-03,1.171547e-03,1.155788e-03,1.149800e-03,1.140033e-03,1.124301e-03,1.118647e-03,1.108612e-03,1.092983e-03,1.087685e-03,1.077429e-03,1.061966e-03,1.057039e-03,1.046606e-03,1.031360e-03,1.026811e-03,1.016241e-03,1.001256e-03,9.970865e-04,9.864167e-04,9.717292e-04,9.679362e-04,9.572009e-04,9.428383e-04,9.394165e-04,9.286468e-04,9.146314e-04,9.115721e-04,9.007964e-04,8.871455e-04,8.844377e-04,8.736820e-04,8.604084e-04,8.580395e-04,8.473270e-04,8.344398e-04,8.323960e-04,8.217481e-04,8.092531e-04,8.075195e-04,7.969554e-04,7.848555e-04,7.834168e-04,7.729536e-04,7.612496e-04,7.600901e-04,7.497431e-04,7.384336e-04,7.375373e-04,7.273203e-04,7.164023e-04,7.157534e-04,7.056784e-04,6.951475e-04,6.947303e-04,6.848081e-04,6.746587e-04,6.744577e-04,6.646977e-04,6.549234e-04,6.361136e-04,6.180132e-04,6.006061e-04,5.838756e-04,5.678041e-04,5.523739e-04,5.375669e-04,5.233648e-04,5.097494e-04,4.967024e-04,4.842059e-04,4.722418e-04,4.607926e-04,4.498409e-04,4.393697e-04,4.293623e-04,4.198023e-04,4.106738e-04,4.019614e-04,3.936498e-04,3.857245e-04,3.781711e-04,3.709758e-04,3.641251e-04,3.576061e-04,3.514060e-04,3.455128e-04,3.399145e-04,3.345997e-04,3.295574e-04,3.247770e-04,3.202480e-04,3.159606e-04,3.119052e-04,3.080723e-04,3.044532e-04,3.010391e-04,2.978216e-04,2.947929e-04,2.919450e-04,2.892705e-04,2.867622e-04,2.844132e-04,2.822166e-04,2.801661e-04,2.782555e-04,2.764786e-04,2.748298e-04,2.733033e-04
0.000000e+00,6.293332e-09,9.700062e-08,1.013920e-07,6.611692e-07,2.401553e-06,2.511213e-06,6.260223e-06,1.098201e-05,1.129824e-05,1.653761e-05,2.110910e-05,2.149127e-05,2.604938e-05,2.980750e-05,3.020545e-05,3.397701e-05,3.699596e-05,3.738682e-05,4.045826e-05,4.284648e-05,4.321414e-05,4.567635e-05,4.753298e-05,4.786579e-05,4.980228e-05,5.121462e-05,5.150455e-05,5.299023e-05,5.403401e-05,5.427590e-05,5.537707e-05,5.611728e-05,5.630826e-05,5.708301e-05,5.757499e-05,5.771394e-05,5.821280e-05,5.850341e-05,5.859055e-05,5.885735e-05,5.898608e-05,5.902265e-05,5.909524e-05,5.909528e-05,5.908326e-05,5.899428e-05,5.889336e-05,5.883527e-05,5.861276e-05,5.843407e-05,5.833278e-05,5.800091e-05,5.776368e-05,5.762231e-05,5.720175e-05,5.692189e-05,5.674366e-05,5.625212e-05,5.594273e-05,5.573091e-05,5.518350e-05,5.485527e-05,5.461310e-05,5.402264e-05,5.368426e-05,5.341488e-05,5.279235e-05,5.245086e-05,5.215737e-05,5.151207e-05,5.117309e-05,5.085840e-05,5.019814e-05,4.986607e-05,4.953295e-05,4.886431e-05,4.854255e-05,4.819361e-05,4.752209e-05,4.721324e-05,4.685091e-05,4.618109e-05,4.588706e-05,4.551360e-05,4.484927e-05,4.457139e-05,4.418890e-05,4.353319e-05,4.327235e-05,4.288276e-05,4.223819e-05,4.199490e-05,4.159998e-05,4.096860e-05,4.074305e-05,4.034444e-05,3.972786e-05,3.952001e-05,3.911918e-05,3.851866e-05,3.832826e-05,3.792654e-05,3.734303e-05,3.716968e-05,3.676830e-05,3.620248e-05,3.604567e-05,3.564571e-05,3.509805e-05,3.495717e-05,3.455960e-05,3.403040e-05,3.390477e-05,3.351047e-05,3.299985e-05,3.288876e-05,3.249851e-05,3.200646e-05,3.190916e-05,3.152366e-05,3.105006e-05,3.096579e-05,3.058563e-05,3.013031e-05,3.005830e-05,2.968402e-05,2.924668e-05,2.918616e-05,2.881822e-05,2.839855e-05,2.834878e-05,2.798757e-05,2.758518e-05,2.754541e-05,2.719129e-05,2.680577e-05,2.677529e-05,2.642853e-05,2.605944e-05,2.603755e-05,2.569839e-05,2.534527e-05,2.533131e-05,2.499995e-05,2.466231e-05,2.465564e-05,2.433224e-05,2.400960e-05,2.339224e-05,2.280259e-05,2.223971e-05,2.170263e-05,2.119042e-05,2.070216e-05,2.023693e-05,1.979385e-05,1.937205e-05,1.897068e-05,1.858892e-05,1.822597e-05,1.788106e-05,1.755343e-05,1.724236e-05,1.694715e-05,1.666713e-05,1.640165e-05,1.615006e-05,1.591177e-05,1.568620e-05,1.547279e-05,1.527099e-05,1.508029e-05,1.490019e-05,1.473021e-05,1.456990e-05,1.441880e-05,1.427651e-05,1.414261e-05,1.401672e-05,1.389846e-05,1.378747e-05,1.368341e-05,1.358596e-05,1.349479e-05,1.340961e-05,1.333013e-05,1.325607e-05,1.318717e-05,1.312316e-05,1.306382e-05,1.300890e-05,1.295818e-05,1.291146e-05,1.286852e-05,1.282918e-05,1.279324e-05,1.276053e-05
0.000000e+00,1.894387e-09,1.043747e-07,1.107385e-07,1.298519e-06,7.019114e-06,7.441318e-06,2.440506e-05,4.967809e-05,5.144883e-05,8.121649e-05,1.069949e-04,1.091201e-04,1.340081e-04,1.538130e-04,1.558689e-04,1.749320e-04,1.896012e-04,1.914590e-04,2.056999e-04,2.162953e-04,2.178857e-04,2.282277e-04,2.356316e-04,2.369186e-04,2.441335e-04,2.490603e-04,2.500314e-04,2.547563e-04,2.577791e-04,2.584378e-04,2.611931e-04,2.627673e-04,2.631274e-04,2.643354e-04,2.648205e-04,2.649022e-04,2.649042e-04,2.645827e-04,2.644100e-04,2.634805e-04,2.625727e-04,2.621705e-04,2.605296e-04,2.592077e-04,2.586016e-04,2.564260e-04,2.548231e-04,2.540376e-04,2.514678e-04,2.496860e-04,2.487445e-04,2.458925e-04,2.440100e-04,2.429339e-04,2.398883e-04,2.379641e-04,2.367733e-04,2.336043e-04,2.316827e-04,2.303950e-04,2.271577e-04,2.252714e-04,2.239030e-04,2.206404e-04,2.188131e-04,2.173783e-04,2.141239e-04,2.123721e-04,2.108838e-04,2.076635e-04,2.059985e-04,2.044679e-04,2.013013e-04,1.997300e-04,1.981672e-04,1.950689e-04,1.935953e-04,1.920091e-04,1.889899e-04,1.876153e-04,1.860134e-04,1.830811e-04,1.818053e-04,1.801943e-04,1.773541e-04,1.761753e-04,1.745612e-04,1.718163e-04,1.707319e-04,1.691198e-04,1.664719e-04,1.654785e-04,1.638728e-04,1.613226e-04,1.604164e-04,1.588210e-04,1.563680e-04,1.555450e-04,1.539632e-04,1.516064e-04,1.508622e-04,1.492970e-04,1.470346e-04,1.463650e-04,1.448187e-04,1.426488e-04,1.420494e-04,1.405243e-04,1.384445e-04,1.379110e-04,1.364089e-04,1.344167e-04,1.339450e-04,1.324673e-04,1.305600e-04,1.301460e-04,1.286942e-04,1.268690e-04,1.265088e-04,1.250839e-04,1.233381e-04,1.230279e-04,1.216308e-04,1.199615e-04,1.196979e-04,1.183293e-04,1.167336e-04,1.165131e-04,1.151737e-04,1.136489e-04,1.134683e-04,1.121585e-04,1.107018e-04,1.105580e-04,1.092782e-04,1.078870e-04,1.077771e-04,1.065275e-04,1.051992e-04,1.051204e-04,1.039013e-04,1.026332e-04,1.025831e-04,1.013944e-04,1.001841e-04,1.001602e-04,9.900194e-05,9.784718e-05,9.563947e-05,9.353272e-05,9.152275e-05,8.960551e-05,8.777711e-05,8.603380e-05,8.437198e-05,8.278819e-05,8.127911e-05,7.984154e-05,7.847242e-05,7.716882e-05,7.592790e-05,7.474695e-05,7.362339e-05,7.255472e-05,7.153856e-05,7.057260e-05,6.965466e-05,6.878263e-05,6.795449e-05,6.716831e-05,6.642224e-05,6.571449e-05,6.504336e-05,6.440723e-05,6.380453e-05,6.323375e-05,6.269347e-05,6.218230e-05,6.169894e-05,6.124211e-05,6.081062e-05,6.040329e-05,6.001902e-05,5.965675e-05,5.931546e-05,5.899418e-05,5.869197e-05,5.840793e-05,5.814122e-05,5.789101e-05,5.765653e-05,5.743701e-05,5.723174e-05,5.704004e-05,5.686123e-05,5.669471e-05,5.653985e-05
0.000000e+00,7.530706e-13,2.517112e-10,2.755281e-10,1.179285e-08,1.598635e-07,1.754209e-07,1.298267e-06,5.475732e-06,5.935467e-06,1.946940e-05,4.717766e-05,5.057039e-05,1.108858e-04,2.014636e-04,2.141351e-04,3.748946e-04,5.752179e-04,6.073326e-04,9.240841e-04,1.271802e-03,1.335379e-03,1.848467e-03,2.361138e-03,2.467331e-03,3.192666e-03,3.865287e-03,4.022058e-03,4.950315e-03,5.759104e-03,5.969898e-03,7.071402e-03,7.980545e-03,8.244046e-03,9.476141e-03,1.044482e-02,1.075553e-02,1.206997e-02,1.305813e-02,1.340743e-02,1.475640e-02,1.572867e-02,1.610605e-02,1.744638e-02,1.837418e-02,1.876835e-02,2.006390e-02,2.092614e-02,2.132598e-02,2.254855e-02,2.333130e-02,2.372653e-02,2.485578e-02,2.555137e-02,2.593299e-02,2.695567e-02,2.756152e-02,2.792201e-02,2.883089e-02,2.934837e-02,2.968172e-02,3.047441e-02,3.090766e-02,3.120932e-02,3.188714e-02,3.224215e-02,3.250889e-02,3.307583e-02,3.335971e-02,3.358946e-02,3.405139e-02,3.427174e-02,3.446339e-02,3.482731e-02,3.499184e-02,3.514508e-02,3.541864e-02,3.553483e-02,3.564997e-02,3.584106e-02,3.591598e-02,3.599385e-02,3.611030e-02,3.615051e-02,3.619230e-02,3.624172e-02,3.625319e-02,3.626036e-02,3.624998e-02,3.623809e-02,3.621230e-02,3.614894e-02,3.611847e-02,3.606150e-02,3.595149e-02,3.590664e-02,3.582037e-02,3.566955e-02,3.561403e-02,3.550037e-02,3.531410e-02,3.525108e-02,3.511196e-02,3.489513e-02,3.482738e-02,3.466472e-02,3.442178e-02,3.435165e-02,3.416732e-02,3.390230e-02,3.383178e-02,3.362764e-02,3.334420e-02,3.327496e-02,3.305280e-02,3.275422e-02,3.268764e-02,3.244920e-02,3.213845e-02,3.207567e-02,3.182262e-02,3.150234e-02,3.144427e-02,3.117822e-02,3.085082e-02,3.079816e-02,3.052066e-02,3.018825e-02,3.014156e-02,2.985406e-02,2.951855e-02,2.947822e-02,2.918213e-02,2.884521e-02,2.881151e-02,2.850816e-02,2.817133e-02,2.814440e-02,2.783505e-02,2.749964e-02,2.747955e-02,2.716538e-02,2.683255e-02,2.681928e-02,2.650142e-02,2.617221e-02,2.616565e-02,2.584515e-02,2.552046e-02,2.488528e-02,2.426147e-02,2.365020e-02,2.305247e-02,2.246912e-02,2.190085e-02,2.134823e-02,2.081174e-02,2.029173e-02,1.978847e-02,1.930214e-02,1.883286e-02,1.838067e-02,1.794555e-02,1.752744e-02,1.712622e-02,1.674174e-02,1.637381e-02,1.602221e-02,1.568668e-02,1.536695e-02,1.506272e-02,1.477366e-02,1.449945e-02,1.423974e-02,1.399417e-02,1.376236e-02,1.354395e-02,1.333854e-02,1.314575e-02,1.296519e-02,1.279647e-02,1.263917e-02,1.249292e-02,1.235730e-02,1.223193e-02,1.211641e-02,1.201035e-02,1.191336e-02,1.182506e-02,1.174506e-02,1.167299e-02,1.160849e-02,1.155118e-02,1.150070e-02,1.145671e-02,1.141886e-02,1.138681e-02,1.136023e-02
0.000000e+00,6.689388e-09,1.298360e-07,1.362620e-07,9.877252e-07,3.446078e-06,3.588543e-06,7.770716e-06,1.203323e-05,1.230212e-05,1.665604e-05,2.041787e-05,2.073351e-05,2.452593e-05,2.770279e-05,2.804236e-05,3.129547e-05,3.395090e-05,3.429849e-05,3.706453e-05,3.926351e-05,3.960632e-05,4.193604e-05,4.373757e-05,4.406526e-05,4.600557e-05,4.746352e-05,4.776815e-05,4.936369e-05,5.052677e-05,5.080245e-05,5.209416e-05,5.300559e-05,5.324809e-05,5.427302e-05,5.497084e-05,5.517728e-05,5.596871e-05,5.648611e-05,5.665474e-05,5.724238e-05,5.760828e-05,5.773823e-05,5.814851e-05,5.838796e-05,5.847910e-05,5.873551e-05,5.887016e-05,5.892293e-05,5.904626e-05,5.909479e-05,5.911010e-05,5.911876e-05,5.909723e-05,5.907631e-05,5.898656e-05,5.890875e-05,5.885311e-05,5.867932e-05,5.855700e-05,5.846834e-05,5.822316e-05,5.806638e-05,5.794654e-05,5.764111e-05,5.745840e-05,5.730931e-05,5.695343e-05,5.675200e-05,5.657562e-05,5.617790e-05,5.596385e-05,5.576216e-05,5.533016e-05,5.510858e-05,5.488355e-05,5.442388e-05,5.419903e-05,5.395260e-05,5.347104e-05,5.324643e-05,5.298049e-05,5.248211e-05,5.226063e-05,5.197700e-05,5.146619e-05,5.125018e-05,5.095064e-05,5.043123e-05,5.022257e-05,4.990879e-05,4.938410e-05,4.918428e-05,4.885788e-05,4.833078e-05,4.814093e-05,4.780343e-05,4.727639e-05,4.709737e-05,4.675021e-05,4.622537e-05,4.605778e-05,4.570233e-05,4.518151e-05,4.502575e-05,4.466328e-05,4.414802e-05,4.400432e-05,4.363604e-05,4.312764e-05,4.299608e-05,4.262310e-05,4.212268e-05,4.200321e-05,4.162659e-05,4.113505e-05,4.102754e-05,4.064824e-05,4.016634e-05,4.007056e-05,3.968950e-05,3.921785e-05,3.913351e-05,3.875152e-05,3.829061e-05,3.821738e-05,3.783523e-05,3.738544e-05,3.732292e-05,3.694133e-05,3.650295e-05,3.645074e-05,3.607036e-05,3.564360e-05,3.560125e-05,3.522270e-05,3.480768e-05,3.477473e-05,3.439856e-05,3.399536e-05,3.397136e-05,3.359808e-05,3.320671e-05,3.319118e-05,3.282126e-05,3.244170e-05,3.243416e-05,3.206801e-05,3.170019e-05,3.098908e-05,3.030059e-05,2.963444e-05,2.899029e-05,2.836779e-05,2.776654e-05,2.718612e-05,2.662612e-05,2.608607e-05,2.556553e-05,2.506402e-05,2.458108e-05,2.411623e-05,2.366900e-05,2.323891e-05,2.282550e-05,2.242830e-05,2.204684e-05,2.168066e-05,2.132933e-05,2.099238e-05,2.066938e-05,2.035991e-05,2.006354e-05,1.977986e-05,1.950847e-05,1.924897e-05,1.900098e-05,1.876411e-05,1.853801e-05,1.832231e-05,1.811665e-05,1.792071e-05,1.773414e-05,1.755662e-05,1.738784e-05,1.722749e-05,1.707527e-05,1.693088e-05,1.679405e-05,1.666450e-05,1.654196e-05,1.642618e-05,1.631689e-05,1.621385e-05,1.611683e-05,1.602560e-05,1.593992e-05,1.585957e-05
0.000000e+00,1.940224e-13,4.855995e-11,5.277751e-11,1.677339e-09,2.036989e-08,2.233448e-08,1.749400e-07,8.498717e-07,9.309815e-07,3.676474e-06,1.057839e-05,1.150537e-05,3.003698e-05,6.304733e-05,6.804626e-05,1.377866e-04,2.378083e-04,2.549731e-04,4.384527e-04,6.655273e-04,7.096210e-04,1.091659e-03,1.515874e-03,1.608664e-03,2.284748e-03,2.974190e-03,3.143150e-03,4.205428e-03,5.215010e-03,5.490738e-03,7.015246e-03,8.378730e-03,8.791675e-03,1.082898e-02,1.255505e-02,1.313219e-02,1.570229e-02,1.777442e-02,1.853636e-02,2.162765e-02,2.400702e-02,2.496590e-02,2.853754e-02,3.116787e-02,3.232615e-02,3.631276e-02,3.912608e-02,4.047632e-02,4.479408e-02,4.771665e-02,4.924202e-02,5.379527e-02,5.675289e-02,5.842844e-02,6.311604e-02,6.603858e-02,6.783279e-02,7.255389e-02,7.537861e-02,7.725533e-02,8.191406e-02,8.458789e-02,8.650823e-02,9.101736e-02,9.349815e-02,9.542238e-02,9.970584e-02,1.019627e-01,1.038519e-01,1.078463e-01,1.098592e-01,1.116765e-01,1.153318e-01,1.170909e-01,1.188029e-01,1.220822e-01,1.235864e-01,1.251638e-01,1.280428e-01,1.292983e-01,1.307163e-01,1.331823e-01,1.342013e-01,1.354401e-01,1.374902e-01,1.382896e-01,1.393341e-01,1.409744e-01,1.415742e-01,1.424143e-01,1.436578e-01,1.440798e-01,1.447097e-01,1.455753e-01,1.458425e-01,1.462605e-01,1.467714e-01,1.469066e-01,1.471147e-01,1.472971e-01,1.473227e-01,1.473258e-01,1.472080e-01,1.471452e-01,1.469510e-01,1.465622e-01,1.464307e-01,1.460490e-01,1.454186e-01,1.452364e-01,1.446784e-01,1.438356e-01,1.436188e-01,1.428971e-01,1.418700e-01,1.416328e-01,1.407608e-01,1.395762e-01,1.393307e-01,1.383224e-01,1.370055e-01,1.367622e-01,1.356315e-01,1.342060e-01,1.339735e-01,1.327343e-01,1.312218e-01,1.310070e-01,1.296732e-01,1.280933e-01,1.279018e-01,1.264866e-01,1.248573e-01,1.246933e-01,1.232094e-01,1.215466e-01,1.214131e-01,1.198726e-01,1.181906e-01,1.180895e-01,1.165039e-01,1.148153e-01,1.147477e-01,1.131275e-01,1.114433e-01,1.114096e-01,1.097648e-01,1.080943e-01,1.048184e-01,1.015958e-01,9.843863e-02,9.535673e-02,9.235832e-02,8.945005e-02,8.663714e-02,8.392362e-02,8.131240e-02,7.880547e-02,7.640398e-02,7.410836e-02,7.191843e-02,6.983345e-02,6.785227e-02,6.597332e-02,6.419470e-02,6.251423e-02,6.092949e-02,5.943787e-02,5.803659e-02,5.672275e-02,5.549337e-02,5.434537e-02,5.327564e-02,5.228100e-02,5.135829e-02,5.050433e-02,4.971594e-02,4.898997e-02,4.832332e-02,4.771290e-02,4.715570e-02,4.664873e-02,4.618911e-02,4.577399e-02,4.540061e-02,4.506630e-02,4.476846e-02,4.450457e-02,4.427222e-02,4.406908e-02,4.389290e-02,4.374155e-02,4.361298e-02,4.350524e-02,4.341646e-02,4.334490e-02,4.328887e-02
0.000000e+00,6.243745e-11,1.020250e-08,1.100076e-08,2.404088e-07,2.053098e-06,2.217406e-06,1.169900e-05,3.788210e-05,4.039670e-05,1.007931e-04,1.887835e-04,1.978324e-04,3.266567e-04,4.609861e-04,4.765913e-04,6.361695e-04,7.771455e-04,7.961265e-04,9.502159e-04,1.075228e-03,1.094822e-03,1.228197e-03,1.331107e-03,1.349762e-03,1.459604e-03,1.541229e-03,1.558163e-03,1.646044e-03,1.709112e-03,1.723920e-03,1.792481e-03,1.839928e-03,1.852404e-03,1.904340e-03,1.938853e-03,1.948910e-03,1.986700e-03,2.010625e-03,2.018261e-03,2.044107e-03,2.059449e-03,2.064719e-03,2.080546e-03,2.089001e-03,2.092003e-03,2.099477e-03,2.102467e-03,2.103325e-03,2.103880e-03,2.102592e-03,2.101448e-03,2.096314e-03,2.091732e-03,2.088740e-03,2.078968e-03,2.071904e-03,2.067221e-03,2.053707e-03,2.044829e-03,2.038615e-03,2.022119e-03,2.011973e-03,2.004382e-03,1.985552e-03,1.974580e-03,1.965764e-03,1.945145e-03,1.933705e-03,1.923808e-03,1.901860e-03,1.890238e-03,1.879398e-03,1.856508e-03,1.844930e-03,1.833274e-03,1.809768e-03,1.798408e-03,1.786058e-03,1.762205e-03,1.751201e-03,1.738266e-03,1.714291e-03,1.703743e-03,1.690327e-03,1.666416e-03,1.656398e-03,1.642595e-03,1.618898e-03,1.609461e-03,1.595356e-03,1.571998e-03,1.563174e-03,1.548846e-03,1.525924e-03,1.517733e-03,1.503252e-03,1.480845e-03,1.473290e-03,1.458720e-03,1.436889e-03,1.429968e-03,1.415365e-03,1.394158e-03,1.387858e-03,1.373275e-03,1.352724e-03,1.347030e-03,1.332510e-03,1.312639e-03,1.307529e-03,1.293114e-03,1.273938e-03,1.269388e-03,1.255113e-03,1.236640e-03,1.232623e-03,1.218519e-03,1.200750e-03,1.197238e-03,1.183332e-03,1.166264e-03,1.163228e-03,1.149543e-03,1.133169e-03,1.130581e-03,1.117137e-03,1.101446e-03,1.099276e-03,1.086091e-03,1.071069e-03,1.069289e-03,1.056377e-03,1.042009e-03,1.040590e-03,1.027963e-03,1.014233e-03,1.013148e-03,1.000815e-03,9.877046e-04,9.869277e-04,9.748968e-04,9.623867e-04,9.618924e-04,9.501694e-04,9.382401e-04,9.380044e-04,9.265937e-04,9.152252e-04,8.935156e-04,8.728366e-04,8.531493e-04,8.344151e-04,8.165961e-04,7.996548e-04,7.835550e-04,7.682610e-04,7.537383e-04,7.399532e-04,7.268734e-04,7.144674e-04,7.027048e-04,6.915564e-04,6.809941e-04,6.709907e-04,6.615202e-04,6.525577e-04,6.440790e-04,6.360613e-04,6.284825e-04,6.213215e-04,6.145581e-04,6.081730e-04,6.021476e-04,5.964643e-04,5.911063e-04,5.860574e-04,5.813022e-04,5.768259e-04,5.726146e-04,5.686549e-04,5.649339e-04,5.614395e-04,5.581601e-04,5.550845e-04,5.522022e-04,5.495031e-04,5.469777e-04,5.446167e-04,5.424114e-04,5.403536e-04,5.384354e-04,5.366491e-04,5.349877e-04,5.334444e-04,5.320126e-04,5.306861e-04,5.294591e-04
0.000000e+00,2.628354e-09,1.413049e-07,1.498767e-07,1.738491e-06,9.368519e-06,9.932292e-06,3.263674e-05,6.666695e-05,6.906959e-05,1.101326e-04,1.471541e-04,1.502833e-04,1.879698e-04,2.195619e-04,2.229367e-04,2.552319e-04,2.815324e-04,2.849701e-04,3.122782e-04,3.339160e-04,3.372826e-04,3.601067e-04,3.776822e-04,3.808709e-04,3.996920e-04,4.137551e-04,4.166835e-04,4.319550e-04,4.430050e-04,4.456122e-04,4.577566e-04,4.662416e-04,4.684851e-04,4.778905e-04,4.842079e-04,4.860606e-04,4.930789e-04,4.975772e-04,4.990239e-04,5.039706e-04,5.069540e-04,5.079897e-04,5.111475e-04,5.128793e-04,5.135068e-04,5.151260e-04,5.158327e-04,5.160605e-04,5.163624e-04,5.162389e-04,5.160804e-04,5.152603e-04,5.144729e-04,5.139450e-04,5.121747e-04,5.108653e-04,5.099872e-04,5.074180e-04,5.057070e-04,5.045000e-04,5.012643e-04,4.992536e-04,4.977400e-04,4.939541e-04,4.917293e-04,4.899320e-04,4.856975e-04,4.833304e-04,4.812727e-04,4.766782e-04,4.742285e-04,4.719333e-04,4.670561e-04,4.645731e-04,4.620631e-04,4.569702e-04,4.544943e-04,4.517917e-04,4.465412e-04,4.441053e-04,4.412312e-04,4.358735e-04,4.335037e-04,4.304787e-04,4.250570e-04,4.227741e-04,4.196176e-04,4.141691e-04,4.119889e-04,4.087194e-04,4.032759e-04,4.012103e-04,3.978452e-04,3.924337e-04,3.904913e-04,3.870470e-04,3.816903e-04,3.798767e-04,3.763685e-04,3.710858e-04,3.694043e-04,3.658464e-04,3.606538e-04,3.591057e-04,3.555114e-04,3.504220e-04,3.490068e-04,3.453884e-04,3.404129e-04,3.391291e-04,3.354978e-04,3.306449e-04,3.294896e-04,3.258559e-04,3.211322e-04,3.201019e-04,3.164752e-04,3.118859e-04,3.109762e-04,3.073652e-04,3.029140e-04,3.021202e-04,2.985328e-04,2.942221e-04,2.935389e-04,2.899823e-04,2.858136e-04,2.852357e-04,2.817162e-04,2.776900e-04,2.772117e-04,2.737352e-04,2.698514e-04,2.694669e-04,2.660385e-04,2.622962e-04,2.619999e-04,2.586241e-04,2.550219e-04,2.548080e-04,2.514891e-04,2.480250e-04,2.478879e-04,2.446293e-04,2.413012e-04,2.412353e-04,2.380401e-04,2.348454e-04,2.287127e-04,2.228315e-04,2.171956e-04,2.117987e-04,2.066340e-04,2.016950e-04,1.969747e-04,1.924665e-04,1.881633e-04,1.840584e-04,1.801450e-04,1.764165e-04,1.728663e-04,1.694878e-04,1.662748e-04,1.632210e-04,1.603204e-04,1.575670e-04,1.549550e-04,1.524789e-04,1.501332e-04,1.479127e-04,1.458121e-04,1.438266e-04,1.419513e-04,1.401816e-04,1.385130e-04,1.369411e-04,1.354618e-04,1.340710e-04,1.327649e-04,1.315395e-04,1.303915e-04,1.293171e-04,1.283132e-04,1.273764e-04,1.265036e-04,1.256919e-04,1.249383e-04,1.242402e-04,1.235947e-04,1.229994e-04,1.224518e-04,1.219496e-04,1.214904e-04,1.210721e-04,1.206927e-04,1.203500e-04,1.200422e-04
0.000000e+00,3.005935e-09,6.162301e-08,6.468045e-08,4.425279e-07,1.346962e-06,1.393512e-06,2.610027e-06,3.709890e-06,3.776993e-06,4.837307e-06,5.718584e-06,5.791135e-06,6.645757e-06,7.336584e-06,7.409016e-06,8.088396e-06,8.622445e-06,8.690909e-06,9.223082e-06,9.629127e-06,9.690976e-06,1.010020e-05,1.040242e-05,1.045595e-05,1.076297e-05,1.098148e-05,1.102568e-05,1.124809e-05,1.139950e-05,1.143390e-05,1.158648e-05,1.168442e-05,1.170893e-05,1.180408e-05,1.185975e-05,1.187454e-05,1.192268e-05,1.194521e-05,1.195067e-05,1.196049e-05,1.195735e-05,1.195397e-05,1.193275e-05,1.190997e-05,1.189835e-05,1.185215e-05,1.181464e-05,1.179541e-05,1.172927e-05,1.168098e-05,1.165477e-05,1.157289e-05,1.151700e-05,1.148447e-05,1.139032e-05,1.132939e-05,1.129116e-05,1.118763e-05,1.112368e-05,1.108034e-05,1.096983e-05,1.090445e-05,1.085658e-05,1.074105e-05,1.067551e-05,1.062364e-05,1.050472e-05,1.043999e-05,1.038461e-05,1.026362e-05,1.020045e-05,1.014203e-05,1.002007e-05,9.959021e-06,9.897965e-06,9.775919e-06,9.717411e-06,9.654110e-06,9.532697e-06,9.477021e-06,9.411826e-06,9.291624e-06,9.238977e-06,9.172206e-06,9.053676e-06,9.004181e-06,8.936124e-06,8.819631e-06,8.773346e-06,8.704266e-06,8.590092e-06,8.547030e-06,8.477163e-06,8.365526e-06,8.325661e-06,8.255221e-06,8.146282e-06,8.109560e-06,8.038739e-06,7.932616e-06,7.898959e-06,7.827931e-06,7.724701e-06,7.694017e-06,7.622937e-06,7.522648e-06,7.494832e-06,7.423840e-06,7.326515e-06,7.301454e-06,7.230674e-06,7.136315e-06,7.113889e-06,7.043435e-06,6.952028e-06,6.932115e-06,6.862086e-06,6.773602e-06,6.756080e-06,6.686566e-06,6.600967e-06,6.585711e-06,6.516793e-06,6.434031e-06,6.420920e-06,6.352668e-06,6.272690e-06,6.261603e-06,6.194082e-06,6.116829e-06,6.107649e-06,6.040914e-06,5.966323e-06,5.958936e-06,5.893038e-06,5.821043e-06,5.815338e-06,5.750321e-06,5.680854e-06,5.676726e-06,5.612627e-06,5.545621e-06,5.542966e-06,5.479820e-06,5.415205e-06,5.413925e-06,5.351760e-06,5.289468e-06,5.169460e-06,5.053770e-06,4.942266e-06,4.834817e-06,4.731297e-06,4.631580e-06,4.535545e-06,4.443072e-06,4.354044e-06,4.268349e-06,4.185875e-06,4.106515e-06,4.030165e-06,3.956723e-06,3.886091e-06,3.818174e-06,3.752878e-06,3.690115e-06,3.629796e-06,3.571838e-06,3.516160e-06,3.462682e-06,3.411328e-06,3.362023e-06,3.314697e-06,3.269279e-06,3.225704e-06,3.183905e-06,3.143821e-06,3.105390e-06,3.068554e-06,3.033256e-06,2.999442e-06,2.967057e-06,2.936052e-06,2.906375e-06,2.877980e-06,2.850819e-06,2.824849e-06,2.800025e-06,2.776306e-06,2.753651e-06,2.732022e-06,2.711379e-06,2.691688e-06,2.672911e-06,2.655016e-06,2.637970e-06,2.621739e-06
0.000000e+00,5.366891e-10,7.697575e-09,8.039515e-09,4.832685e-08,1.555992e-07,1.618381e-07,3.539374e-07,5.645102e-07,5.780586e-07,7.992562e-07,9.915538e-07,1.007702e-06,1.201700e-06,1.364050e-06,1.381390e-06,1.547328e-06,1.682491e-06,1.700161e-06,1.840552e-06,1.951841e-06,1.969161e-06,2.086639e-06,2.177186e-06,2.193624e-06,2.290732e-06,2.363408e-06,2.378557e-06,2.457669e-06,2.515052e-06,2.528613e-06,2.591909e-06,2.636288e-06,2.648050e-06,2.697504e-06,2.730890e-06,2.740713e-06,2.778095e-06,2.802239e-06,2.810044e-06,2.836931e-06,2.853352e-06,2.859105e-06,2.876896e-06,2.886909e-06,2.890615e-06,2.900551e-06,2.905287e-06,2.906979e-06,2.910155e-06,2.910589e-06,2.910323e-06,2.907708e-06,2.904673e-06,2.902523e-06,2.894969e-06,2.889178e-06,2.885233e-06,2.873490e-06,2.865550e-06,2.859906e-06,2.844634e-06,2.835060e-06,2.827819e-06,2.809598e-06,2.798826e-06,2.790096e-06,2.769432e-06,2.757830e-06,2.747717e-06,2.725055e-06,2.712930e-06,2.701544e-06,2.677273e-06,2.664880e-06,2.652328e-06,2.626787e-06,2.614337e-06,2.600724e-06,2.574207e-06,2.561875e-06,2.547302e-06,2.520067e-06,2.507994e-06,2.492558e-06,2.464827e-06,2.453125e-06,2.436921e-06,2.408886e-06,2.397645e-06,2.380762e-06,2.352588e-06,2.341877e-06,2.324400e-06,2.296231e-06,2.286100e-06,2.268110e-06,2.240066e-06,2.230553e-06,2.212124e-06,2.184310e-06,2.175439e-06,2.156643e-06,2.129146e-06,2.120932e-06,2.101835e-06,2.074729e-06,2.067177e-06,2.047841e-06,2.021187e-06,2.014297e-06,1.994779e-06,1.968628e-06,1.962391e-06,1.942745e-06,1.917139e-06,1.911543e-06,1.891818e-06,1.866790e-06,1.861820e-06,1.842061e-06,1.817638e-06,1.813274e-06,1.793524e-06,1.769724e-06,1.765946e-06,1.746242e-06,1.723081e-06,1.719865e-06,1.700244e-06,1.677731e-06,1.675052e-06,1.655545e-06,1.633687e-06,1.631520e-06,1.612157e-06,1.590956e-06,1.589274e-06,1.570083e-06,1.549537e-06,1.548315e-06,1.529319e-06,1.509426e-06,1.508637e-06,1.489858e-06,1.470612e-06,1.470231e-06,1.451688e-06,1.433083e-06,1.397177e-06,1.362495e-06,1.329015e-06,1.296714e-06,1.265568e-06,1.235551e-06,1.206638e-06,1.178801e-06,1.152014e-06,1.126247e-06,1.101474e-06,1.077667e-06,1.054798e-06,1.032839e-06,1.011763e-06,9.915444e-07,9.721551e-07,9.535696e-07,9.357621e-07,9.187076e-07,9.023815e-07,8.867596e-07,8.718186e-07,8.575355e-07,8.438879e-07,8.308541e-07,8.184128e-07,8.065433e-07,7.952257e-07,7.844403e-07,7.741683e-07,7.643911e-07,7.550910e-07,7.462506e-07,7.378531e-07,7.298822e-07,7.223220e-07,7.151572e-07,7.083730e-07,7.019549e-07,6.958890e-07,6.901617e-07,6.847601e-07,6.796714e-07,6.748833e-07,6.703840e-07,6.661620e-07,6.622061e-07,6.585056e-07
0.000000e+00,8.932601e-11,1.226862e-08,1.317761e-08,2.371805e-07,1.722788e-06,1.849797e-06,8.662784e-06,2.632874e-05,2.800371e-05,6.818745e-05,1.272754e-04,1.333866e-04,2.206923e-04,3.115519e-04,3.220546e-04,4.284678e-04,5.206269e-04,5.328847e-04,6.309820e-04,7.086556e-04,7.206705e-04,8.012927e-04,8.620837e-04,8.729680e-04,9.361805e-04,9.821364e-04,9.915546e-04,1.039744e-03,1.073552e-03,1.081386e-03,1.117079e-03,1.141147e-03,1.147376e-03,1.172787e-03,1.189122e-03,1.193780e-03,1.210782e-03,1.221024e-03,1.224182e-03,1.234335e-03,1.239819e-03,1.241567e-03,1.246170e-03,1.247975e-03,1.248416e-03,1.248546e-03,1.247542e-03,1.246786e-03,1.243335e-03,1.240222e-03,1.238379e-03,1.232085e-03,1.227425e-03,1.224604e-03,1.216074e-03,1.210315e-03,1.206622e-03,1.196359e-03,1.189856e-03,1.185390e-03,1.173808e-03,1.166842e-03,1.161697e-03,1.149134e-03,1.141927e-03,1.136188e-03,1.122923e-03,1.115648e-03,1.109395e-03,1.095656e-03,1.088443e-03,1.081750e-03,1.067721e-03,1.060672e-03,1.053606e-03,1.039438e-03,1.032627e-03,1.025247e-03,1.011062e-03,1.004545e-03,9.969060e-04,9.828010e-04,9.766160e-04,9.687664e-04,9.548196e-04,9.489919e-04,9.409759e-04,9.272489e-04,9.217935e-04,9.136505e-04,9.001912e-04,8.951152e-04,8.868804e-04,8.737259e-04,8.690299e-04,8.607346e-04,8.479126e-04,8.435926e-04,8.352649e-04,8.227957e-04,8.188438e-04,8.105084e-04,7.984061e-04,7.948118e-04,7.864909e-04,7.747645e-04,7.715151e-04,7.632282e-04,7.518828e-04,7.489644e-04,7.407287e-04,7.297660e-04,7.271634e-04,7.189943e-04,7.084131e-04,7.061107e-04,6.980216e-04,6.878189e-04,6.858008e-04,6.778035e-04,6.679743e-04,6.662247e-04,6.583295e-04,6.488675e-04,6.473705e-04,6.395865e-04,6.304845e-04,6.292244e-04,6.215595e-04,6.128094e-04,6.117711e-04,6.042320e-04,5.958251e-04,5.949937e-04,5.875864e-04,5.795136e-04,5.788749e-04,5.716043e-04,5.638562e-04,5.633964e-04,5.562668e-04,5.488337e-04,5.485396e-04,5.415546e-04,5.344269e-04,5.342859e-04,5.274483e-04,5.206164e-04,5.075123e-04,4.949551e-04,4.829264e-04,4.714081e-04,4.603825e-04,4.498323e-04,4.397405e-04,4.300906e-04,4.208665e-04,4.120527e-04,4.036339e-04,3.955954e-04,3.879231e-04,3.806029e-04,3.736217e-04,3.669663e-04,3.606245e-04,3.545839e-04,3.488330e-04,3.433604e-04,3.381552e-04,3.332070e-04,3.285055e-04,3.240409e-04,3.198038e-04,3.157849e-04,3.119756e-04,3.083673e-04,3.049518e-04,3.017211e-04,2.986677e-04,2.957842e-04,2.930635e-04,2.904987e-04,2.880833e-04,2.858109e-04,2.836754e-04,2.816709e-04,2.797916e-04,2.780322e-04,2.763872e-04,2.748517e-04,2.734206e-04,2.720894e-04,2.708533e-04,2.697082e-04,2.686496e-04,2.676737e-04,2.667763e-04
0.000000e+00,1.309423e-11,2.303934e-09,2.485819e-09,5.533369e-08,4.932038e-07,5.342408e-07,3.129244e-06,1.169062e-05,1.259329e-05,3.745412e-05,8.234625e-05,8.746074e-05,1.691370e-04,2.702585e-04,2.829751e-04,4.236492e-04,5.625649e-04,5.822012e-04,7.486117e-04,8.910040e-04,9.137568e-04,1.070471e-03,1.191940e-03,1.213844e-03,1.341036e-03,1.432394e-03,1.450873e-03,1.543385e-03,1.605455e-03,1.619393e-03,1.680186e-03,1.718010e-03,1.727274e-03,1.762230e-03,1.781632e-03,1.786591e-03,1.801796e-03,1.807929e-03,1.809155e-03,1.809843e-03,1.806795e-03,1.804897e-03,1.795224e-03,1.786067e-03,1.781613e-03,1.764746e-03,1.751720e-03,1.745211e-03,1.723513e-03,1.708219e-03,1.700083e-03,1.675292e-03,1.658857e-03,1.649452e-03,1.622834e-03,1.606039e-03,1.595662e-03,1.568130e-03,1.551506e-03,1.540399e-03,1.512607e-03,1.496505e-03,1.484868e-03,1.457278e-03,1.441924e-03,1.429918e-03,1.402852e-03,1.388379e-03,1.376136e-03,1.349813e-03,1.336292e-03,1.323919e-03,1.298482e-03,1.285942e-03,1.273524e-03,1.249062e-03,1.237500e-03,1.225108e-03,1.201670e-03,1.191063e-03,1.178753e-03,1.156360e-03,1.146673e-03,1.134491e-03,1.113144e-03,1.104333e-03,1.092315e-03,1.072000e-03,1.064016e-03,1.052192e-03,1.032885e-03,1.025678e-03,1.014072e-03,9.957432e-04,9.892621e-04,9.778915e-04,9.605075e-04,9.547018e-04,9.435820e-04,9.271058e-04,9.219267e-04,9.110692e-04,8.954627e-04,8.908631e-04,8.802766e-04,8.655013e-04,8.614366e-04,8.511273e-04,8.371452e-04,8.335728e-04,8.235454e-04,8.103188e-04,8.071989e-04,7.974561e-04,7.849485e-04,7.822435e-04,7.727869e-04,7.609627e-04,7.586376e-04,7.494673e-04,7.382924e-04,7.363144e-04,7.274298e-04,7.168714e-04,7.152097e-04,7.066093e-04,6.966358e-04,6.952621e-04,6.869434e-04,6.775248e-04,6.764127e-04,6.683728e-04,6.594804e-04,6.586052e-04,6.508407e-04,6.424470e-04,6.417860e-04,6.342929e-04,6.263719e-04,6.259039e-04,6.186779e-04,6.112048e-04,6.109104e-04,6.039467e-04,5.968979e-04,5.967591e-04,5.900528e-04,5.834059e-04,5.708090e-04,5.589287e-04,5.477271e-04,5.371683e-04,5.272184e-04,5.178450e-04,5.090173e-04,5.007063e-04,4.928844e-04,4.855253e-04,4.786041e-04,4.720973e-04,4.659825e-04,4.602385e-04,4.548452e-04,4.497834e-04,4.450352e-04,4.405832e-04,4.364113e-04,4.325041e-04,4.288469e-04,4.254259e-04,4.222280e-04,4.192406e-04,4.164521e-04,4.138513e-04,4.114274e-04,4.091707e-04,4.070714e-04,4.051207e-04,4.033100e-04,4.016312e-04,4.000767e-04,3.986392e-04,3.973119e-04,3.960883e-04,3.949622e-04,3.939279e-04,3.929798e-04,3.921127e-04,3.913218e-04,3.906023e-04,3.899498e-04,3.893602e-04,3.888295e-04,3.883541e-04,3.879303e-04,3.875549e-04,3.872248e-04
0.000000e+00,1.289501e-11,2.078770e-09,2.238261e-09,4.452333e-08,3.562190e-07,3.842552e-07,2.055829e-06,7.241813e-06,7.778458e-06,2.233187e-05,4.826023e-05,5.120133e-05,9.788779e-05,1.548980e-04,1.619988e-04,2.394261e-04,3.136984e-04,3.240101e-04,4.094205e-04,4.795152e-04,4.904429e-04,5.635103e-04,6.172728e-04,6.266738e-04,6.792845e-04,7.147088e-04,7.215954e-04,7.544029e-04,7.745190e-04,7.787731e-04,7.958557e-04,8.048441e-04,8.067701e-04,8.125444e-04,8.140587e-04,8.140869e-04,8.121818e-04,8.089486e-04,8.074956e-04,8.005878e-04,7.945030e-04,7.919235e-04,7.818873e-04,7.742179e-04,7.707963e-04,7.589100e-04,7.504831e-04,7.464406e-04,7.335606e-04,7.249042e-04,7.204104e-04,7.071034e-04,6.985479e-04,6.937316e-04,6.803689e-04,6.721154e-04,6.670750e-04,6.538976e-04,6.460634e-04,6.408750e-04,6.280379e-04,6.206870e-04,6.154103e-04,6.030106e-04,5.961717e-04,5.908526e-04,5.789457e-04,5.726227e-04,5.672962e-04,5.559078e-04,5.500897e-04,5.447822e-04,5.339193e-04,5.285861e-04,5.233179e-04,5.129758e-04,5.081027e-04,5.028897e-04,4.930561e-04,4.886163e-04,4.834708e-04,4.741295e-04,4.700954e-04,4.650276e-04,4.561603e-04,4.525048e-04,4.475227e-04,4.391099e-04,4.358065e-04,4.309166e-04,4.229380e-04,4.199613e-04,4.151690e-04,4.076046e-04,4.049306e-04,4.002400e-04,3.930703e-04,3.906761e-04,3.860906e-04,3.792963e-04,3.771605e-04,3.726826e-04,3.662451e-04,3.643475e-04,3.599791e-04,3.538805e-04,3.522023e-04,3.479450e-04,3.421683e-04,3.406919e-04,3.365464e-04,3.310752e-04,3.297842e-04,3.257510e-04,3.205698e-04,3.194488e-04,3.155280e-04,3.106220e-04,3.096567e-04,3.058481e-04,3.012031e-04,3.003804e-04,2.966834e-04,2.922859e-04,2.915934e-04,2.880073e-04,2.838446e-04,2.832709e-04,2.797946e-04,2.758545e-04,2.753889e-04,2.720212e-04,2.682922e-04,2.679249e-04,2.646645e-04,2.611355e-04,2.608574e-04,2.577027e-04,2.543635e-04,2.541660e-04,2.511154e-04,2.479559e-04,2.478314e-04,2.448829e-04,2.418940e-04,2.418351e-04,2.389869e-04,2.361596e-04,2.307883e-04,2.257056e-04,2.208965e-04,2.163467e-04,2.120428e-04,2.079720e-04,2.041223e-04,2.004820e-04,1.970404e-04,1.937869e-04,1.907119e-04,1.878060e-04,1.850603e-04,1.824664e-04,1.800165e-04,1.777029e-04,1.755185e-04,1.734566e-04,1.715106e-04,1.696745e-04,1.679424e-04,1.663090e-04,1.647689e-04,1.633173e-04,1.619495e-04,1.606610e-04,1.594476e-04,1.583054e-04,1.572305e-04,1.562193e-04,1.552685e-04,1.543748e-04,1.535352e-04,1.527468e-04,1.520068e-04,1.513126e-04,1.506617e-04,1.500519e-04,1.494808e-04,1.489464e-04,1.484467e-04,1.479798e-04,1.475439e-04,1.471373e-04,1.467584e-04,1.464057e-04,1.460777e-04,1.457731e-04,1.454906e-04
0.000000e+00,6.807115e-10,1.029818e-08,1.076228e-08,6.540175e-08,2.083081e-07,2.165108e-07,4.647728e-07,7.333919e-07,7.507399e-07,1.037005e-06,1.292024e-06,1.313748e-06,1.578919e-06,1.807380e-06,1.832168e-06,2.073555e-06,2.276303e-06,2.303258e-06,2.521514e-06,2.700263e-06,2.728591e-06,2.924787e-06,3.081410e-06,3.110414e-06,3.285799e-06,3.422207e-06,3.451277e-06,3.607182e-06,3.725241e-06,3.753852e-06,3.891617e-06,3.993105e-06,4.020807e-06,4.141743e-06,4.228327e-06,4.254738e-06,4.360101e-06,4.433331e-06,4.458129e-06,4.549113e-06,4.610420e-06,4.633337e-06,4.711073e-06,4.761772e-06,4.782589e-06,4.848140e-06,4.889436e-06,4.907977e-06,4.962342e-06,4.995337e-06,5.011466e-06,5.055577e-06,5.081278e-06,5.094893e-06,5.129623e-06,5.148944e-06,5.159973e-06,5.186139e-06,5.199909e-06,5.208310e-06,5.226670e-06,5.235642e-06,5.241395e-06,5.252656e-06,5.257510e-06,5.260617e-06,5.265436e-06,5.266787e-06,5.267267e-06,5.266256e-06,5.264654e-06,5.262544e-06,5.256269e-06,5.252211e-06,5.247562e-06,5.236548e-06,5.230478e-06,5.223350e-06,5.208085e-06,5.200399e-06,5.190864e-06,5.171798e-06,5.162851e-06,5.150989e-06,5.128538e-06,5.118642e-06,5.104540e-06,5.079089e-06,5.068521e-06,5.052273e-06,5.024177e-06,5.013182e-06,4.994882e-06,4.964469e-06,4.953261e-06,4.933011e-06,4.900582e-06,4.889347e-06,4.867250e-06,4.833082e-06,4.821982e-06,4.798142e-06,4.762490e-06,4.751665e-06,4.726186e-06,4.689284e-06,4.678853e-06,4.651840e-06,4.613904e-06,4.603966e-06,4.575525e-06,4.536751e-06,4.527391e-06,4.497626e-06,4.458193e-06,4.449480e-06,4.418493e-06,4.378565e-06,4.370556e-06,4.338447e-06,4.298174e-06,4.290911e-06,4.257781e-06,4.217298e-06,4.210815e-06,4.176759e-06,4.136191e-06,4.130511e-06,4.095624e-06,4.055083e-06,4.050221e-06,4.014594e-06,3.974182e-06,3.970145e-06,3.933868e-06,3.893674e-06,3.890464e-06,3.853622e-06,3.813730e-06,3.811342e-06,3.774016e-06,3.734499e-06,3.732923e-06,3.695195e-06,3.656119e-06,3.655340e-06,3.617286e-06,3.578710e-06,3.503136e-06,3.428711e-06,3.355514e-06,3.283618e-06,3.213083e-06,3.143960e-06,3.076296e-06,3.010126e-06,2.945482e-06,2.882387e-06,2.820861e-06,2.760916e-06,2.702563e-06,2.645805e-06,2.590644e-06,2.537077e-06,2.485098e-06,2.434699e-06,2.385867e-06,2.338590e-06,2.292852e-06,2.248635e-06,2.205920e-06,2.164687e-06,2.124913e-06,2.086575e-06,2.049650e-06,2.014113e-06,1.979937e-06,1.947096e-06,1.915564e-06,1.885314e-06,1.856317e-06,1.828546e-06,1.801973e-06,1.776570e-06,1.752308e-06,1.729159e-06,1.707095e-06,1.686088e-06,1.666110e-06,1.647133e-06,1.629128e-06,1.612070e-06,1.595929e-06,1.580680e-06,1.566295e-06,1.552748e-06,1.540013e-06
0.000000e+00,7.643490e-09,1.589250e-07,1.669955e-07,1.353593e-06,5.540111e-06,5.810649e-06,1.485667e-05,2.528229e-05,2.595109e-05,3.674185e-05,4.589018e-05,4.664772e-05,5.561188e-05,6.290889e-05,6.367656e-05,7.090146e-05,7.661261e-05,7.734683e-05,8.307014e-05,8.745618e-05,8.812571e-05,9.256468e-05,9.585222e-05,9.643521e-05,9.978250e-05,1.021667e-04,1.026490e-04,1.050742e-04,1.067217e-04,1.070952e-04,1.087465e-04,1.097985e-04,1.100600e-04,1.110656e-04,1.116409e-04,1.117907e-04,1.122610e-04,1.124588e-04,1.125000e-04,1.125295e-04,1.124324e-04,1.123697e-04,1.120393e-04,1.117157e-04,1.115554e-04,1.109338e-04,1.104399e-04,1.101890e-04,1.093346e-04,1.087166e-04,1.083828e-04,1.073449e-04,1.066404e-04,1.062315e-04,1.050520e-04,1.042915e-04,1.038153e-04,1.025293e-04,1.017372e-04,1.012014e-04,9.983842e-05,9.903421e-05,9.844640e-05,9.703098e-05,9.623006e-05,9.559729e-05,9.414998e-05,9.336428e-05,9.269328e-05,9.123104e-05,9.046965e-05,8.976673e-05,8.830350e-05,8.757320e-05,8.684421e-05,8.539141e-05,8.469706e-05,8.394741e-05,8.251425e-05,8.185916e-05,8.109379e-05,7.968766e-05,7.907389e-05,7.829731e-05,7.692403e-05,7.635261e-05,7.556892e-05,7.423298e-05,7.370416e-05,7.291705e-05,7.162185e-05,7.113524e-05,7.034800e-05,6.909602e-05,6.865074e-05,6.786632e-05,6.665923e-05,6.625403e-05,6.547503e-05,6.431390e-05,6.394724e-05,6.317597e-05,6.206130e-05,6.173144e-05,6.096992e-05,5.990178e-05,5.960686e-05,5.885683e-05,5.783494e-05,5.757301e-05,5.683597e-05,5.585974e-05,5.562881e-05,5.490605e-05,5.397468e-05,5.377275e-05,5.306536e-05,5.217784e-05,5.200292e-05,5.131182e-05,5.046700e-05,5.031716e-05,4.964307e-05,4.883971e-05,4.871306e-05,4.805658e-05,4.729335e-05,4.718806e-05,4.654966e-05,4.582517e-05,4.573951e-05,4.511952e-05,4.443236e-05,4.436464e-05,4.376331e-05,4.311203e-05,4.306069e-05,4.247815e-05,4.186131e-05,4.182483e-05,4.126114e-05,4.067731e-05,4.065429e-05,4.010944e-05,3.955719e-05,3.954630e-05,3.902021e-05,3.849815e-05,3.750717e-05,3.657076e-05,3.568640e-05,3.485162e-05,3.406406e-05,3.332143e-05,3.262152e-05,3.196222e-05,3.134147e-05,3.075734e-05,3.020795e-05,2.969150e-05,2.920630e-05,2.875071e-05,2.832317e-05,2.792218e-05,2.754635e-05,2.719432e-05,2.686480e-05,2.655658e-05,2.626850e-05,2.599944e-05,2.574837e-05,2.551429e-05,2.529625e-05,2.509335e-05,2.490474e-05,2.472961e-05,2.456720e-05,2.441678e-05,2.427766e-05,2.414918e-05,2.403073e-05,2.392171e-05,2.382157e-05,2.372978e-05,2.364585e-05,2.356930e-05,2.349969e-05,2.343659e-05,2.337961e-05,2.332836e-05,2.328249e-05,2.324166e-05,2.320554e-05,2.317383e-05,2.314625e-05,2.312251e-05,2.310238e-05
0.000000e+00,4.535363e-09,7.124897e-08,7.457616e-08,5.089507e-07,1.839771e-06,1.921518e-06,4.558649e-06,7.577328e-06,7.773578e-06,1.099913e-05,1.383205e-05,1.407114e-05,1.695892e-05,1.939908e-05,1.966108e-05,2.218288e-05,2.425832e-05,2.453120e-05,2.671339e-05,2.846287e-05,2.873688e-05,3.060907e-05,3.207011e-05,3.233724e-05,3.392851e-05,3.513606e-05,3.538981e-05,3.672782e-05,3.771381e-05,3.794900e-05,3.905956e-05,3.985284e-05,4.006544e-05,4.097235e-05,4.159876e-05,4.178572e-05,4.251077e-05,4.299337e-05,4.315246e-05,4.371555e-05,4.407484e-05,4.420455e-05,4.462378e-05,4.487793e-05,4.497734e-05,4.526914e-05,4.543420e-05,4.550291e-05,4.568220e-05,4.577232e-05,4.581037e-05,4.589063e-05,4.591827e-05,4.592604e-05,4.591948e-05,4.589555e-05,4.587371e-05,4.579135e-05,4.572541e-05,4.567488e-05,4.552665e-05,4.542702e-05,4.534891e-05,4.514377e-05,4.501768e-05,4.491324e-05,4.465924e-05,4.451296e-05,4.438357e-05,4.408795e-05,4.392688e-05,4.377398e-05,4.344322e-05,4.327200e-05,4.309711e-05,4.273702e-05,4.255960e-05,4.236426e-05,4.198005e-05,4.179979e-05,4.158555e-05,4.118185e-05,4.100158e-05,4.076999e-05,4.035094e-05,4.017301e-05,3.992562e-05,3.949489e-05,3.932127e-05,3.905957e-05,3.862043e-05,3.845270e-05,3.817818e-05,3.773350e-05,3.757295e-05,3.728703e-05,3.683936e-05,3.668698e-05,3.639106e-05,3.594264e-05,3.579920e-05,3.549459e-05,3.504738e-05,3.491344e-05,3.460142e-05,3.415712e-05,3.403307e-05,3.371485e-05,3.327495e-05,3.316101e-05,3.283774e-05,3.240352e-05,3.229978e-05,3.197256e-05,3.154512e-05,3.145158e-05,3.112143e-05,3.070170e-05,3.061825e-05,3.028613e-05,2.987491e-05,2.980136e-05,2.946819e-05,2.906612e-05,2.900223e-05,2.866884e-05,2.827648e-05,2.822194e-05,2.788913e-05,2.750689e-05,2.746137e-05,2.712986e-05,2.675810e-05,2.672122e-05,2.639168e-05,2.603065e-05,2.600201e-05,2.567507e-05,2.532496e-05,2.530413e-05,2.498036e-05,2.464129e-05,2.462784e-05,2.430776e-05,2.397979e-05,2.397328e-05,2.365737e-05,2.334051e-05,2.272946e-05,2.214003e-05,2.157202e-05,2.102519e-05,2.049925e-05,1.999384e-05,1.950860e-05,1.904312e-05,1.859697e-05,1.816970e-05,1.776084e-05,1.736990e-05,1.699639e-05,1.663982e-05,1.629969e-05,1.597549e-05,1.566671e-05,1.537286e-05,1.509345e-05,1.482796e-05,1.457593e-05,1.433687e-05,1.411031e-05,1.389579e-05,1.369285e-05,1.350106e-05,1.331997e-05,1.314916e-05,1.298823e-05,1.283677e-05,1.269439e-05,1.256071e-05,1.243536e-05,1.231799e-05,1.220826e-05,1.210581e-05,1.201034e-05,1.192153e-05,1.183908e-05,1.176268e-05,1.169207e-05,1.162697e-05,1.156711e-05,1.151224e-05,1.146212e-05,1.141652e-05,1.137520e-05,1.133795e-05,1.130456e-05
0.000000e+00,4.479460e-10,7.321753e-09,7.670949e-09,5.310750e-08,1.839231e-07,1.915141e-07,4.147429e-07,6.434224e-07,6.578930e-07,8.929071e-07,1.096985e-06,1.114150e-06,1.320901e-06,1.494830e-06,1.513461e-06,1.692354e-06,1.838929e-06,1.858152e-06,2.011441e-06,2.133710e-06,2.152805e-06,2.282824e-06,2.383690e-06,2.402069e-06,2.511101e-06,2.593272e-06,2.610468e-06,2.700699e-06,2.766647e-06,2.782301e-06,2.855768e-06,2.907729e-06,2.921571e-06,2.980163e-06,3.020136e-06,3.031975e-06,3.077411e-06,3.107153e-06,3.116852e-06,3.150663e-06,3.171717e-06,3.179191e-06,3.202778e-06,3.216530e-06,3.221759e-06,3.236437e-06,3.244104e-06,3.247094e-06,3.254000e-06,3.256628e-06,3.257410e-06,3.257563e-06,3.256058e-06,3.254688e-06,3.249000e-06,3.244151e-06,3.240704e-06,3.229990e-06,3.222478e-06,3.217041e-06,3.202028e-06,3.192439e-06,3.185114e-06,3.166450e-06,3.155288e-06,3.146181e-06,3.124442e-06,3.112138e-06,3.101362e-06,3.077061e-06,3.063980e-06,3.051652e-06,3.025243e-06,3.011694e-06,2.997933e-06,2.969816e-06,2.956060e-06,2.940982e-06,2.911514e-06,2.897767e-06,2.881490e-06,2.850983e-06,2.837425e-06,2.820062e-06,2.788791e-06,2.775568e-06,2.757231e-06,2.725438e-06,2.712667e-06,2.693464e-06,2.661359e-06,2.649135e-06,2.629169e-06,2.596937e-06,2.585330e-06,2.564702e-06,2.532501e-06,2.521567e-06,2.500369e-06,2.468338e-06,2.458115e-06,2.436438e-06,2.404695e-06,2.395207e-06,2.373136e-06,2.341783e-06,2.333044e-06,2.310658e-06,2.279781e-06,2.271796e-06,2.249170e-06,2.218841e-06,2.211605e-06,2.188809e-06,2.159088e-06,2.152593e-06,2.129691e-06,2.100628e-06,2.094857e-06,2.071910e-06,2.043546e-06,2.038478e-06,2.015543e-06,1.987908e-06,1.983521e-06,1.960648e-06,1.933767e-06,1.930034e-06,1.907271e-06,1.881162e-06,1.878056e-06,1.855445e-06,1.830121e-06,1.827610e-06,1.805192e-06,1.780659e-06,1.778714e-06,1.756523e-06,1.732785e-06,1.731373e-06,1.709444e-06,1.686499e-06,1.685590e-06,1.663950e-06,1.641794e-06,1.641355e-06,1.620031e-06,1.598658e-06,1.557481e-06,1.517803e-06,1.479600e-06,1.442844e-06,1.407506e-06,1.373554e-06,1.340954e-06,1.309672e-06,1.279672e-06,1.250920e-06,1.223377e-06,1.197008e-06,1.171775e-06,1.147643e-06,1.124575e-06,1.102535e-06,1.081487e-06,1.061396e-06,1.042229e-06,1.023952e-06,1.006531e-06,9.899340e-07,9.741306e-07,9.590896e-07,9.447815e-07,9.311772e-07,9.182488e-07,9.059691e-07,8.943117e-07,8.832510e-07,8.727625e-07,8.628221e-07,8.534070e-07,8.444947e-07,8.360639e-07,8.280938e-07,8.205644e-07,8.134566e-07,8.067517e-07,8.004319e-07,7.944801e-07,7.888798e-07,7.836150e-07,7.786706e-07,7.740318e-07,7.696846e-07,7.656155e-07,7.618113e-07,7.582598e-07
0.000000e+00,4.478010e-11,6.882263e-09,7.409532e-09,1.482807e-07,1.159001e-06,1.247597e-06,6.170549e-06,1.956364e-05,2.086064e-05,5.283200e-05,1.018459e-04,1.070185e-04,1.826409e-04,2.643208e-04,2.739385e-04,3.732821e-04,4.619121e-04,4.738692e-04,5.708910e-04,6.492836e-04,6.615256e-04,7.444306e-04,8.077840e-04,8.192015e-04,8.859573e-04,9.349790e-04,9.450788e-04,9.970596e-04,1.033858e-03,1.042427e-03,1.081706e-03,1.108441e-03,1.115398e-03,1.143979e-03,1.162556e-03,1.167891e-03,1.187547e-03,1.199578e-03,1.203328e-03,1.215587e-03,1.222417e-03,1.224650e-03,1.230816e-03,1.233558e-03,1.234362e-03,1.235541e-03,1.235111e-03,1.234587e-03,1.231714e-03,1.228863e-03,1.227118e-03,1.220979e-03,1.216318e-03,1.213464e-03,1.204723e-03,1.198750e-03,1.194896e-03,1.184109e-03,1.177226e-03,1.172480e-03,1.160114e-03,1.152643e-03,1.147109e-03,1.133553e-03,1.125752e-03,1.119527e-03,1.105104e-03,1.097174e-03,1.090351e-03,1.075329e-03,1.067430e-03,1.060094e-03,1.044694e-03,1.036948e-03,1.029177e-03,1.013583e-03,1.006082e-03,9.979493e-04,9.823097e-04,9.751220e-04,9.666944e-04,9.511305e-04,9.443051e-04,9.356425e-04,9.202522e-04,9.138223e-04,9.049793e-04,8.898411e-04,8.838271e-04,8.748530e-04,8.600283e-04,8.544404e-04,8.453792e-04,8.309160e-04,8.257565e-04,8.166477e-04,8.025822e-04,7.978474e-04,7.887262e-04,7.750851e-04,7.707661e-04,7.616636e-04,7.484654e-04,7.445500e-04,7.354936e-04,7.227503e-04,7.192234e-04,7.102374e-04,6.979557e-04,6.948005e-04,6.859060e-04,6.740881e-04,6.712863e-04,6.625017e-04,6.511460e-04,6.486786e-04,6.400198e-04,6.291217e-04,6.269693e-04,6.184499e-04,6.080025e-04,6.061457e-04,5.977773e-04,5.877719e-04,5.861912e-04,5.779837e-04,5.684100e-04,5.670867e-04,5.590481e-04,5.498949e-04,5.488104e-04,5.409474e-04,5.322025e-04,5.313391e-04,5.236570e-04,5.153077e-04,5.146481e-04,5.071512e-04,4.991843e-04,4.987123e-04,4.914036e-04,4.838058e-04,4.835057e-04,4.763875e-04,4.691453e-04,4.690023e-04,4.620759e-04,4.551760e-04,4.420009e-04,4.294515e-04,4.175027e-04,4.061297e-04,3.953085e-04,3.850158e-04,3.752289e-04,3.659257e-04,3.570850e-04,3.486863e-04,3.407099e-04,3.331366e-04,3.259481e-04,3.191269e-04,3.126562e-04,3.065196e-04,3.007017e-04,2.951877e-04,2.899632e-04,2.850147e-04,2.803292e-04,2.758943e-04,2.716979e-04,2.677288e-04,2.639760e-04,2.604293e-04,2.570787e-04,2.539148e-04,2.509285e-04,2.481112e-04,2.454548e-04,2.429513e-04,2.405933e-04,2.383736e-04,2.362855e-04,2.343226e-04,2.324785e-04,2.307474e-04,2.291238e-04,2.276021e-04,2.261774e-04,2.248447e-04,2.235994e-04,2.224371e-04,2.213535e-04,2.203447e-04,2.194067e-04,2.185360e-04,2.177291e-04
0.000000e+00,2.482805e-13,6.175198e-11,6.713981e-11,2.169091e-09,2.587850e-08,2.832733e-08,2.086589e-07,9.327221e-07,1.015769e-06,3.617727e-06,9.421602e-06,1.015814e-05,2.378635e-05,4.533720e-05,4.841605e-05,8.830339e-05,1.393060e-04,1.475646e-04,2.297324e-04,3.207357e-04,3.374151e-04,4.720853e-04,6.062872e-04,6.339996e-04,8.222313e-04,9.948535e-04,1.034791e-03,1.268806e-03,1.469101e-03,1.520732e-03,1.786575e-03,2.000874e-03,2.062102e-03,2.343037e-03,2.557598e-03,2.625222e-03,2.904747e-03,3.107777e-03,3.178057e-03,3.442011e-03,3.624742e-03,3.693929e-03,3.931600e-03,4.088544e-03,4.153287e-03,4.357698e-03,4.486371e-03,4.543966e-03,4.711599e-03,4.811943e-03,4.860446e-03,4.990645e-03,5.064355e-03,5.102581e-03,5.196839e-03,5.246723e-03,5.274165e-03,5.335428e-03,5.364870e-03,5.381583e-03,5.413642e-03,5.426189e-03,5.432651e-03,5.439664e-03,5.438742e-03,5.435727e-03,5.421864e-03,5.410600e-03,5.399062e-03,5.368269e-03,5.349398e-03,5.330380e-03,5.286235e-03,5.262064e-03,5.236619e-03,5.182259e-03,5.154681e-03,5.123827e-03,5.061936e-03,5.032462e-03,4.997148e-03,4.929970e-03,4.899774e-03,4.860860e-03,4.790231e-03,4.760204e-03,4.718451e-03,4.645847e-03,4.616642e-03,4.572713e-03,4.499305e-03,4.471386e-03,4.425849e-03,4.352545e-03,4.326226e-03,4.279564e-03,4.207056e-03,4.182535e-03,4.135152e-03,4.063962e-03,4.041347e-03,3.993579e-03,3.924085e-03,3.903420e-03,3.855545e-03,3.788016e-03,3.769295e-03,3.721542e-03,3.656162e-03,3.639345e-03,3.591902e-03,3.528786e-03,3.513810e-03,3.466828e-03,3.406039e-03,3.392823e-03,3.346425e-03,3.287988e-03,3.276442e-03,3.230727e-03,3.174638e-03,3.164666e-03,3.119714e-03,3.065946e-03,3.057450e-03,3.013324e-03,2.961836e-03,2.954717e-03,2.911468e-03,2.862206e-03,2.856368e-03,2.814035e-03,2.766938e-03,2.762287e-03,2.720900e-03,2.675902e-03,2.672347e-03,2.631929e-03,2.588961e-03,2.586415e-03,2.546982e-03,2.505973e-03,2.504352e-03,2.465916e-03,2.426794e-03,2.426021e-03,2.388588e-03,2.351282e-03,2.279996e-03,2.212029e-03,2.147247e-03,2.085520e-03,2.026723e-03,1.970734e-03,1.917433e-03,1.866707e-03,1.818445e-03,1.772541e-03,1.728892e-03,1.687399e-03,1.647968e-03,1.610507e-03,1.574930e-03,1.541151e-03,1.509091e-03,1.478672e-03,1.449819e-03,1.422462e-03,1.396532e-03,1.371964e-03,1.348695e-03,1.326667e-03,1.305820e-03,1.286100e-03,1.267455e-03,1.249834e-03,1.233189e-03,1.217474e-03,1.202645e-03,1.188660e-03,1.175478e-03,1.163060e-03,1.151371e-03,1.140374e-03,1.130036e-03,1.120325e-03,1.111209e-03,1.102660e-03,1.094648e-03,1.087148e-03,1.080134e-03,1.073580e-03,1.067464e-03,1.061763e-03,1.056457e-03,1.051523e-03,1.046944e-03
0.000000e+00,2.271223e-09,3.905431e-08,4.089151e-08,2.588401e-07,7.748831e-07,8.018599e-07,1.528369e-06,2.217722e-06,2.260696e-06,2.953882e-06,3.551675e-06,3.601845e-06,4.204940e-06,4.710605e-06,4.764677e-06,5.282833e-06,5.705900e-06,5.761280e-06,6.201926e-06,6.552106e-06,6.606682e-06,6.977432e-06,7.263933e-06,7.316021e-06,7.624227e-06,7.855489e-06,7.903765e-06,8.156291e-06,8.339925e-06,8.383382e-06,8.586545e-06,8.729329e-06,8.767219e-06,8.926776e-06,9.034710e-06,9.066503e-06,9.187633e-06,9.265985e-06,9.291334e-06,9.378716e-06,9.432119e-06,9.450830e-06,9.508672e-06,9.541175e-06,9.553183e-06,9.585257e-06,9.600395e-06,9.605736e-06,9.615420e-06,9.616266e-06,9.615062e-06,9.605376e-06,9.594594e-06,9.587035e-06,9.560674e-06,9.540568e-06,9.526894e-06,9.486261e-06,9.458816e-06,9.439310e-06,9.386545e-06,9.353466e-06,9.328441e-06,9.265445e-06,9.228188e-06,9.197978e-06,9.126437e-06,9.086244e-06,9.051196e-06,8.972606e-06,8.930525e-06,8.890996e-06,8.806678e-06,8.763595e-06,8.719942e-06,8.631063e-06,8.587715e-06,8.540296e-06,8.447883e-06,8.404883e-06,8.354049e-06,8.259005e-06,8.216853e-06,8.162948e-06,8.066065e-06,8.025169e-06,7.968527e-06,7.870496e-06,7.831179e-06,7.772122e-06,7.673545e-06,7.636061e-06,7.574897e-06,7.476298e-06,7.440837e-06,7.377862e-06,7.279693e-06,7.246393e-06,7.181887e-06,7.084536e-06,7.053493e-06,6.987722e-06,6.891521e-06,6.862791e-06,6.796003e-06,6.701235e-06,6.674842e-06,6.607274e-06,6.514176e-06,6.490117e-06,6.421989e-06,6.330759e-06,6.309010e-06,6.240526e-06,6.151328e-06,6.131846e-06,6.063197e-06,5.976163e-06,5.958890e-06,5.890252e-06,5.805488e-06,5.790354e-06,5.721890e-06,5.639477e-06,5.626402e-06,5.558263e-06,5.478261e-06,5.467158e-06,5.399482e-06,5.321933e-06,5.312711e-06,5.245622e-06,5.170552e-06,5.163114e-06,5.096728e-06,5.024149e-06,5.018396e-06,4.952816e-06,4.882728e-06,4.878562e-06,4.813881e-06,4.746272e-06,4.743594e-06,4.679896e-06,4.614747e-06,4.613456e-06,4.550817e-06,4.488099e-06,4.367459e-06,4.251462e-06,4.140023e-06,4.033050e-06,3.930445e-06,3.832106e-06,3.737924e-06,3.647791e-06,3.561592e-06,3.479215e-06,3.400546e-06,3.325469e-06,3.253869e-06,3.185634e-06,3.120650e-06,3.058805e-06,2.999990e-06,2.944097e-06,2.891020e-06,2.840654e-06,2.792900e-06,2.747656e-06,2.704828e-06,2.664319e-06,2.626040e-06,2.589901e-06,2.555814e-06,2.523697e-06,2.493469e-06,2.465049e-06,2.438362e-06,2.413333e-06,2.389892e-06,2.367970e-06,2.347499e-06,2.328415e-06,2.310657e-06,2.294163e-06,2.278877e-06,2.264741e-06,2.251703e-06,2.239711e-06,2.228715e-06,2.218666e-06,2.209519e-06,2.201228e-06,2.193752e-06,2.187048e-06,2.181078e-06
0.000000e+00,1.226020e-11,2.890304e-09,3.143079e-09,9.974964e-08,1.041634e-06,1.130684e-06,6.336357e-06,2.026022e-05,2.156757e-05,5.214221e-05,9.537010e-05,9.977691e-05,1.622662e-04,2.274635e-04,2.350591e-04,3.130708e-04,3.824960e-04,3.918743e-04,4.681851e-04,5.301664e-04,5.398711e-04,6.057399e-04,6.561836e-04,6.652772e-04,7.184132e-04,7.573419e-04,7.653464e-04,8.064235e-04,8.353472e-04,8.420604e-04,8.726969e-04,8.934034e-04,8.987694e-04,9.206953e-04,9.348279e-04,9.388665e-04,9.536465e-04,9.625981e-04,9.653695e-04,9.743415e-04,9.792558e-04,9.808418e-04,9.851248e-04,9.869283e-04,9.874217e-04,9.879427e-04,9.873806e-04,9.868785e-04,9.844022e-04,9.820711e-04,9.806707e-04,9.758263e-04,9.722018e-04,9.699977e-04,9.633016e-04,9.587610e-04,9.558434e-04,9.477187e-04,9.425602e-04,9.390138e-04,9.298065e-04,9.242642e-04,9.201674e-04,9.101601e-04,9.044167e-04,8.998418e-04,8.892642e-04,8.834611e-04,8.784740e-04,8.675129e-04,8.617584e-04,8.564188e-04,8.452254e-04,8.396010e-04,8.339630e-04,8.226590e-04,8.172255e-04,8.113377e-04,8.000208e-04,7.948220e-04,7.887278e-04,7.774760e-04,7.725423e-04,7.662807e-04,7.551556e-04,7.505069e-04,7.441127e-04,7.331625e-04,7.288106e-04,7.223145e-04,7.115767e-04,7.075268e-04,7.009563e-04,6.904593e-04,6.867116e-04,6.800911e-04,6.698561e-04,6.664072e-04,6.597581e-04,6.498002e-04,6.466437e-04,6.399850e-04,6.303146e-04,6.274419e-04,6.207905e-04,6.114138e-04,6.088149e-04,6.021854e-04,5.931057e-04,5.907694e-04,5.841750e-04,5.753930e-04,5.733074e-04,5.667594e-04,5.582737e-04,5.564266e-04,5.499351e-04,5.417426e-04,5.401216e-04,5.336952e-04,5.257918e-04,5.243843e-04,5.180309e-04,5.104111e-04,5.092049e-04,5.029309e-04,4.955888e-04,4.945719e-04,4.883831e-04,4.813121e-04,4.804726e-04,4.743740e-04,4.675671e-04,4.668935e-04,4.608894e-04,4.543392e-04,4.538206e-04,4.479145e-04,4.416136e-04,4.412394e-04,4.354344e-04,4.293751e-04,4.291352e-04,4.234338e-04,4.176086e-04,4.174933e-04,4.118976e-04,4.062988e-04,3.955371e-04,3.851937e-04,3.752545e-04,3.657052e-04,3.565324e-04,3.477227e-04,3.392629e-04,3.311406e-04,3.233433e-04,3.158592e-04,3.086767e-04,3.017846e-04,2.951721e-04,2.888288e-04,2.827444e-04,2.769094e-04,2.713142e-04,2.659497e-04,2.608072e-04,2.558783e-04,2.511546e-04,2.466285e-04,2.422923e-04,2.381387e-04,2.341607e-04,2.303515e-04,2.267046e-04,2.232138e-04,2.198728e-04,2.166761e-04,2.136178e-04,2.106927e-04,2.078955e-04,2.052213e-04,2.026653e-04,2.002227e-04,1.978892e-04,1.956604e-04,1.935323e-04,1.915008e-04,1.895622e-04,1.877128e-04,1.859490e-04,1.842675e-04,1.826648e-04,1.811381e-04,1.796841e-04,1.782999e-04,1.769828e-04
0.000000e+00,2.152843e-09,1.490829e-07,1.583576e-07,1.821000e-06,9.634035e-06,1.021965e-05,3.582693e-05,8.401326e-05,8.791289e-05,1.642191e-04,2.454902e-04,2.527405e-04,3.432141e-04,4.224004e-04,4.310051e-04,5.146852e-04,5.846632e-04,5.939386e-04,6.687635e-04,7.296358e-04,7.392462e-04,8.055040e-04,8.579923e-04,8.676695e-04,9.258834e-04,9.707722e-04,9.802913e-04,1.031041e-03,1.069107e-03,1.078281e-03,1.122157e-03,1.154139e-03,1.162814e-03,1.200393e-03,1.226978e-03,1.235030e-03,1.266858e-03,1.288679e-03,1.296007e-03,1.322602e-03,1.340236e-03,1.346762e-03,1.368603e-03,1.382573e-03,1.388238e-03,1.405773e-03,1.416552e-03,1.421313e-03,1.434957e-03,1.442970e-03,1.446801e-03,1.456936e-03,1.462568e-03,1.465452e-03,1.472432e-03,1.476025e-03,1.477959e-03,1.482110e-03,1.483971e-03,1.484959e-03,1.486580e-03,1.486984e-03,1.487041e-03,1.486407e-03,1.485598e-03,1.484742e-03,1.482106e-03,1.480300e-03,1.478558e-03,1.474152e-03,1.471539e-03,1.468941e-03,1.462976e-03,1.459726e-03,1.456305e-03,1.448975e-03,1.445235e-03,1.441029e-03,1.432511e-03,1.428411e-03,1.423459e-03,1.413914e-03,1.409566e-03,1.403910e-03,1.393484e-03,1.388987e-03,1.382668e-03,1.371494e-03,1.366932e-03,1.359994e-03,1.348195e-03,1.343638e-03,1.336125e-03,1.323810e-03,1.319321e-03,1.311275e-03,1.298543e-03,1.294174e-03,1.285638e-03,1.272581e-03,1.268373e-03,1.259391e-03,1.246088e-03,1.242078e-03,1.232690e-03,1.219215e-03,1.215430e-03,1.205678e-03,1.192096e-03,1.188559e-03,1.178482e-03,1.164852e-03,1.161580e-03,1.151218e-03,1.137591e-03,1.134596e-03,1.123985e-03,1.110410e-03,1.107699e-03,1.096876e-03,1.083393e-03,1.080972e-03,1.069970e-03,1.056616e-03,1.054486e-03,1.043339e-03,1.030146e-03,1.028306e-03,1.017044e-03,1.004041e-03,1.002487e-03,9.911412e-04,9.783515e-04,9.770788e-04,9.656770e-04,9.531225e-04,9.521235e-04,9.406926e-04,9.283914e-04,9.276575e-04,9.162229e-04,9.041906e-04,9.037122e-04,8.922976e-04,8.805471e-04,8.803135e-04,8.689415e-04,8.574834e-04,8.352396e-04,8.135962e-04,7.925639e-04,7.721507e-04,7.523616e-04,7.331996e-04,7.146653e-04,6.967576e-04,6.794733e-04,6.628081e-04,6.467561e-04,6.313103e-04,6.164627e-04,6.022044e-04,5.885255e-04,5.754158e-04,5.628642e-04,5.508593e-04,5.393893e-04,5.284419e-04,5.180047e-04,5.080649e-04,4.986099e-04,4.896266e-04,4.811021e-04,4.730234e-04,4.653773e-04,4.581511e-04,4.513316e-04,4.449062e-04,4.388621e-04,4.331868e-04,4.278677e-04,4.228927e-04,4.182496e-04,4.139264e-04,4.099115e-04,4.061933e-04,4.027604e-04,3.996017e-04,3.967064e-04,3.940636e-04,3.916630e-04,3.894942e-04,3.875473e-04,3.858124e-04,3.842799e-04,3.829405e-04,3.817850e-04
0.000000e+00,6.255958e-09,1.005431e-07,1.051576e-07,6.994500e-07,2.553920e-06,2.670613e-06,6.637739e-06,1.155730e-05,1.188424e-05,1.728577e-05,2.201369e-05,2.241076e-05,2.717674e-05,3.115642e-05,3.158089e-05,3.563648e-05,3.893019e-05,3.936006e-05,4.276871e-05,4.546122e-05,4.587941e-05,4.870882e-05,5.088002e-05,5.127316e-05,5.358815e-05,5.531102e-05,5.566894e-05,5.753004e-05,5.887011e-05,5.918535e-05,6.064809e-05,6.166344e-05,6.193081e-05,6.304544e-05,6.378711e-05,6.400327e-05,6.481499e-05,6.532754e-05,6.549067e-05,6.603986e-05,6.636200e-05,6.647153e-05,6.679416e-05,6.695942e-05,6.701574e-05,6.714378e-05,6.718105e-05,6.718536e-05,6.714713e-05,6.708124e-05,6.703536e-05,6.685591e-05,6.670811e-05,6.661431e-05,6.631575e-05,6.610418e-05,6.596509e-05,6.556691e-05,6.530698e-05,6.512549e-05,6.464481e-05,6.434952e-05,6.412864e-05,6.358050e-05,6.326081e-05,6.300367e-05,6.240122e-05,6.206627e-05,6.177603e-05,6.113077e-05,6.078814e-05,6.046795e-05,5.978988e-05,5.944582e-05,5.909875e-05,5.839657e-05,5.805615e-05,5.768522e-05,5.696645e-05,5.663377e-05,5.624187e-05,5.551299e-05,5.519129e-05,5.478120e-05,5.404779e-05,5.373956e-05,5.331395e-05,5.258076e-05,5.228791e-05,5.184926e-05,5.112035e-05,5.084423e-05,5.039490e-05,4.967370e-05,4.941524e-05,4.895745e-05,4.824680e-05,4.800657e-05,4.754236e-05,4.684466e-05,4.662290e-05,4.615420e-05,4.547140e-05,4.526811e-05,4.479666e-05,4.413035e-05,4.394533e-05,4.347276e-05,4.282418e-05,4.265706e-05,4.218485e-05,4.155497e-05,4.140523e-05,4.093474e-05,4.032429e-05,4.019132e-05,3.972377e-05,3.913326e-05,3.901637e-05,3.855286e-05,3.798263e-05,3.788107e-05,3.742260e-05,3.687279e-05,3.678577e-05,3.633323e-05,3.580389e-05,3.573060e-05,3.528476e-05,3.477580e-05,3.471540e-05,3.427697e-05,3.378821e-05,3.373988e-05,3.330945e-05,3.284062e-05,3.280354e-05,3.238163e-05,3.193240e-05,3.190576e-05,3.149283e-05,3.106280e-05,3.104580e-05,3.064222e-05,3.023097e-05,3.022284e-05,2.982893e-05,2.943597e-05,2.868423e-05,2.796662e-05,2.728209e-05,2.662959e-05,2.600804e-05,2.541635e-05,2.485344e-05,2.431823e-05,2.380966e-05,2.332668e-05,2.286826e-05,2.243337e-05,2.202105e-05,2.163031e-05,2.126023e-05,2.090990e-05,2.057842e-05,2.026496e-05,1.996867e-05,1.968878e-05,1.942451e-05,1.917512e-05,1.893990e-05,1.871818e-05,1.850928e-05,1.831260e-05,1.812752e-05,1.795347e-05,1.778989e-05,1.763626e-05,1.749208e-05,1.735685e-05,1.723012e-05,1.711145e-05,1.700042e-05,1.689662e-05,1.679969e-05,1.670924e-05,1.662494e-05,1.654646e-05,1.647347e-05,1.640569e-05,1.634283e-05,1.628461e-05,1.623078e-05,1.618110e-05,1.613532e-05,1.609324e-05,1.605464e-05
0.000000e+00,2.200515e-09,3.424034e-08,3.579553e-08,2.223552e-07,7.374027e-07,7.682111e-07,1.773232e-06,2.990074e-06,3.070864e-06,4.396171e-06,5.524972e-06,5.617909e-06,6.707181e-06,7.576179e-06,7.666527e-06,8.505668e-06,9.153273e-06,9.235418e-06,9.866182e-06,1.033686e-05,1.040762e-05,1.086859e-05,1.119956e-05,1.125718e-05,1.158078e-05,1.180235e-05,1.184608e-05,1.205920e-05,1.219583e-05,1.222564e-05,1.235041e-05,1.242174e-05,1.243804e-05,1.249263e-05,1.251429e-05,1.251785e-05,1.251706e-05,1.250149e-05,1.249324e-05,1.244911e-05,1.240613e-05,1.238710e-05,1.230941e-05,1.224676e-05,1.221802e-05,1.211469e-05,1.203843e-05,1.200102e-05,1.187844e-05,1.179329e-05,1.174824e-05,1.161158e-05,1.152120e-05,1.146947e-05,1.132286e-05,1.123006e-05,1.117256e-05,1.101932e-05,1.092624e-05,1.086379e-05,1.070657e-05,1.061481e-05,1.054818e-05,1.038908e-05,1.029984e-05,1.022970e-05,1.007040e-05,9.984520e-06,9.911495e-06,9.753283e-06,9.671370e-06,9.596013e-06,9.439906e-06,9.362351e-06,9.285157e-06,9.131933e-06,9.058971e-06,8.980381e-06,8.830627e-06,8.762374e-06,8.682779e-06,8.536927e-06,8.473406e-06,8.393151e-06,8.251513e-06,8.192676e-06,8.112067e-06,7.974854e-06,7.920603e-06,7.839909e-06,7.707254e-06,7.657450e-06,7.576907e-06,7.448879e-06,7.403357e-06,7.323173e-06,7.199789e-06,7.158367e-06,7.078723e-06,6.959964e-06,6.922447e-06,6.843501e-06,6.729317e-06,6.695503e-06,6.617393e-06,6.507708e-06,6.477395e-06,6.400240e-06,6.294963e-06,6.267947e-06,6.191850e-06,6.090875e-06,6.066955e-06,5.992007e-06,5.895217e-06,5.874199e-06,5.800474e-06,5.707747e-06,5.689441e-06,5.617005e-06,5.528215e-06,5.512437e-06,5.441344e-06,5.356361e-06,5.342937e-06,5.273233e-06,5.191926e-06,5.180687e-06,5.112409e-06,5.034649e-06,5.025435e-06,4.958614e-06,4.884271e-06,4.876929e-06,4.811589e-06,4.740536e-06,4.734921e-06,4.671081e-06,4.603193e-06,4.599169e-06,4.536841e-06,4.471996e-06,4.469433e-06,4.408626e-06,4.346704e-06,4.345481e-06,4.286201e-06,4.227086e-06,4.114030e-06,4.006099e-06,3.903087e-06,3.804794e-06,3.711030e-06,3.621608e-06,3.536349e-06,3.455082e-06,3.377641e-06,3.303867e-06,3.233606e-06,3.166712e-06,3.103042e-06,3.042461e-06,2.984838e-06,2.930047e-06,2.877969e-06,2.828487e-06,2.781491e-06,2.736874e-06,2.694533e-06,2.654371e-06,2.616293e-06,2.580209e-06,2.546033e-06,2.513680e-06,2.483072e-06,2.454131e-06,2.426784e-06,2.400961e-06,2.376594e-06,2.353617e-06,2.331970e-06,2.311591e-06,2.292425e-06,2.274415e-06,2.257510e-06,2.241659e-06,2.226814e-06,2.212928e-06,2.199956e-06,2.187856e-06,2.176587e-06,2.166109e-06,2.156385e-06,2.147379e-06,2.139056e-06,2.131383e-06,2.124329e-06
0.000000e+00,4.968950e-09,9.501276e-08,9.920325e-08,5.989425e-07,2.117807e-06,2.214989e-06,5.738968e-06,1.094833e-05,1.133289e-05,1.830701e-05,2.502272e-05,2.559378e-05,3.231348e-05,3.751290e-05,3.803665e-05,4.269737e-05,4.599303e-05,4.638924e-05,4.924462e-05,5.112985e-05,5.139237e-05,5.294686e-05,5.386667e-05,5.400659e-05,5.465543e-05,5.493103e-05,5.496437e-05,5.499325e-05,5.484890e-05,5.479253e-05,5.440459e-05,5.399514e-05,5.386503e-05,5.320368e-05,5.263513e-05,5.244552e-05,5.161141e-05,5.095565e-05,5.071880e-05,4.978223e-05,4.908754e-05,4.881378e-05,4.782350e-05,4.712185e-05,4.681973e-05,4.580935e-05,4.512144e-05,4.479802e-05,4.379039e-05,4.312928e-05,4.279029e-05,4.180079e-05,4.117425e-05,4.082438e-05,3.986307e-05,3.927533e-05,3.891840e-05,3.799161e-05,3.744450e-05,3.708360e-05,3.619507e-05,3.568885e-05,3.532650e-05,3.447819e-05,3.401206e-05,3.365032e-05,3.284293e-05,3.241544e-05,3.205598e-05,3.128936e-05,3.089869e-05,3.054288e-05,2.981630e-05,2.946039e-05,2.910934e-05,2.842170e-05,2.809839e-05,2.775302e-05,2.710296e-05,2.681007e-05,2.647113e-05,2.585715e-05,2.559256e-05,2.526063e-05,2.468117e-05,2.444278e-05,2.411836e-05,2.357181e-05,2.335765e-05,2.304111e-05,2.252587e-05,2.233405e-05,2.202569e-05,2.154018e-05,2.136891e-05,2.106896e-05,2.061164e-05,2.045926e-05,2.016786e-05,1.973726e-05,1.960219e-05,1.931946e-05,1.891413e-05,1.879491e-05,1.852092e-05,1.813949e-05,1.803476e-05,1.776952e-05,1.741068e-05,1.731916e-05,1.706266e-05,1.672516e-05,1.664569e-05,1.639788e-05,1.608053e-05,1.601202e-05,1.577283e-05,1.547449e-05,1.541593e-05,1.518526e-05,1.490488e-05,1.485532e-05,1.463307e-05,1.436961e-05,1.432822e-05,1.411425e-05,1.386675e-05,1.383271e-05,1.362689e-05,1.339444e-05,1.336703e-05,1.316918e-05,1.295092e-05,1.292947e-05,1.273944e-05,1.253455e-05,1.251843e-05,1.233604e-05,1.214375e-05,1.213240e-05,1.195747e-05,1.177704e-05,1.176995e-05,1.160229e-05,1.143304e-05,1.142971e-05,1.126913e-05,1.111041e-05,1.081084e-05,1.052986e-05,1.026639e-05,1.001941e-05,9.787956e-06,9.571129e-06,9.368069e-06,9.177968e-06,9.000066e-06,8.833642e-06,8.678021e-06,8.532561e-06,8.396662e-06,8.269753e-06,8.151301e-06,8.040798e-06,7.937771e-06,7.841769e-06,7.752370e-06,7.669176e-06,7.591811e-06,7.519921e-06,7.453174e-06,7.391254e-06,7.333868e-06,7.280736e-06,7.231595e-06,7.186200e-06,7.144318e-06,7.105729e-06,7.070228e-06,7.037621e-06,7.007725e-06,6.980368e-06,6.955389e-06,6.932636e-06,6.911966e-06,6.893243e-06,6.876343e-06,6.861145e-06,6.847538e-06,6.835417e-06,6.824682e-06,6.815242e-06,6.807008e-06,6.799899e-06,6.793837e-06,6.788751e-06,6.784572e-06
0.000000e+00,1.581441e-09,3.565659e-08,3.750277e-08,2.851171e-07,9.440294e-07,9.792579e-07,1.932683e-06,2.849486e-06,2.907192e-06,3.848426e-06,4.677514e-06,4.747903e-06,5.604883e-06,6.340456e-06,6.420132e-06,7.194695e-06,7.843516e-06,7.929657e-06,8.626109e-06,9.195100e-06,9.285158e-06,9.907933e-06,1.040388e-05,1.049559e-05,1.104930e-05,1.147883e-05,1.157024e-05,1.205960e-05,1.242915e-05,1.251857e-05,1.294830e-05,1.326393e-05,1.334994e-05,1.372462e-05,1.399202e-05,1.407343e-05,1.439743e-05,1.462184e-05,1.469767e-05,1.497513e-05,1.516135e-05,1.523080e-05,1.546560e-05,1.561804e-05,1.568046e-05,1.587624e-05,1.599890e-05,1.605378e-05,1.621391e-05,1.631043e-05,1.635741e-05,1.648503e-05,1.655871e-05,1.659750e-05,1.669554e-05,1.674936e-05,1.677981e-05,1.685096e-05,1.688762e-05,1.690962e-05,1.695640e-05,1.697831e-05,1.699187e-05,1.701659e-05,1.702593e-05,1.703109e-05,1.703590e-05,1.703464e-05,1.703150e-05,1.701838e-05,1.700826e-05,1.699698e-05,1.696775e-05,1.695033e-05,1.693111e-05,1.688747e-05,1.686414e-05,1.683720e-05,1.678069e-05,1.675270e-05,1.671829e-05,1.665034e-05,1.661878e-05,1.657718e-05,1.649912e-05,1.646494e-05,1.641646e-05,1.632949e-05,1.629355e-05,1.623848e-05,1.614371e-05,1.610677e-05,1.604543e-05,1.594389e-05,1.590657e-05,1.583930e-05,1.573191e-05,1.569480e-05,1.562192e-05,1.550954e-05,1.547311e-05,1.539497e-05,1.527838e-05,1.524304e-05,1.515997e-05,1.503989e-05,1.500599e-05,1.491832e-05,1.479540e-05,1.476324e-05,1.467129e-05,1.454614e-05,1.451596e-05,1.442006e-05,1.429320e-05,1.426519e-05,1.416567e-05,1.403760e-05,1.401192e-05,1.390908e-05,1.378024e-05,1.375702e-05,1.365117e-05,1.352196e-05,1.350128e-05,1.339271e-05,1.326351e-05,1.324543e-05,1.313443e-05,1.300555e-05,1.299010e-05,1.287695e-05,1.274869e-05,1.273589e-05,1.262085e-05,1.249349e-05,1.248332e-05,1.236665e-05,1.224041e-05,1.223285e-05,1.211481e-05,1.198990e-05,1.198492e-05,1.186572e-05,1.174233e-05,1.173987e-05,1.161977e-05,1.149806e-05,1.125976e-05,1.102523e-05,1.079469e-05,1.056833e-05,1.034630e-05,1.012875e-05,9.915791e-06,9.707505e-06,9.503968e-06,9.305233e-06,9.111338e-06,8.922306e-06,8.738147e-06,8.558859e-06,8.384427e-06,8.214830e-06,8.050036e-06,7.890005e-06,7.734690e-06,7.584040e-06,7.437996e-06,7.296494e-06,7.159469e-06,7.026848e-06,6.898559e-06,6.774523e-06,6.654661e-06,6.538894e-06,6.427137e-06,6.319308e-06,6.215321e-06,6.115091e-06,6.018532e-06,5.925558e-06,5.836083e-06,5.750020e-06,5.667285e-06,5.587791e-06,5.511454e-06,5.438191e-06,5.367917e-06,5.300552e-06,5.236012e-06,5.174219e-06,5.115094e-06,5.058557e-06,5.004532e-06,4.952945e-06,4.903720e-06
0.000000e+00,9.504304e-11,1.178714e-08,1.265061e-08,2.288286e-07,1.713975e-06,1.842281e-06,8.751686e-06,2.628958e-05,2.791575e-05,6.511693e-05,1.146682e-04,1.195153e-04,1.845475e-04,2.461839e-04,2.530279e-04,3.201368e-04,3.761261e-04,3.834926e-04,4.422197e-04,4.888961e-04,4.961638e-04,5.454606e-04,5.834495e-04,5.903453e-04,6.310797e-04,6.615680e-04,6.679244e-04,7.011313e-04,7.252390e-04,7.309399e-04,7.575778e-04,7.762930e-04,7.812599e-04,8.021891e-04,8.163721e-04,8.205565e-04,8.365423e-04,8.469386e-04,8.503160e-04,8.620363e-04,8.692875e-04,8.718523e-04,8.799039e-04,8.845608e-04,8.863222e-04,8.912298e-04,8.937629e-04,8.947415e-04,8.969650e-04,8.977758e-04,8.980007e-04,8.979427e-04,8.973725e-04,8.968789e-04,8.948916e-04,8.932294e-04,8.920574e-04,8.884479e-04,8.859382e-04,8.841302e-04,8.791666e-04,8.760149e-04,8.736154e-04,8.675310e-04,8.639097e-04,8.609638e-04,8.539612e-04,8.500143e-04,8.465670e-04,8.388222e-04,8.346691e-04,8.307648e-04,8.224303e-04,8.181695e-04,8.138516e-04,8.050593e-04,8.007715e-04,7.960817e-04,7.869452e-04,7.826958e-04,7.776742e-04,7.682915e-04,7.641331e-04,7.588179e-04,7.492730e-04,7.452471e-04,7.396745e-04,7.300391e-04,7.261781e-04,7.203822e-04,7.107177e-04,7.070459e-04,7.010587e-04,6.914170e-04,6.879524e-04,6.818037e-04,6.722288e-04,6.689837e-04,6.627014e-04,6.532300e-04,6.502123e-04,6.438223e-04,6.344851e-04,6.316986e-04,6.252248e-04,6.160471e-04,6.134929e-04,6.069572e-04,5.979597e-04,5.956361e-04,5.890588e-04,5.802582e-04,5.781614e-04,5.715612e-04,5.629706e-04,5.610953e-04,5.544891e-04,5.461187e-04,5.444582e-04,5.378614e-04,5.297188e-04,5.282654e-04,5.216921e-04,5.137825e-04,5.125279e-04,5.059908e-04,4.983176e-04,4.972529e-04,4.907634e-04,4.833284e-04,4.824442e-04,4.760127e-04,4.688162e-04,4.681031e-04,4.617388e-04,4.547800e-04,4.542284e-04,4.479394e-04,4.412165e-04,4.408169e-04,4.346106e-04,4.281210e-04,4.278638e-04,4.217467e-04,4.154868e-04,4.153628e-04,4.093405e-04,4.033066e-04,3.916868e-04,3.804944e-04,3.697196e-04,3.593523e-04,3.493819e-04,3.397977e-04,3.305888e-04,3.217441e-04,3.132526e-04,3.051032e-04,2.972851e-04,2.897874e-04,2.825995e-04,2.757107e-04,2.691110e-04,2.627900e-04,2.567380e-04,2.509453e-04,2.454026e-04,2.401007e-04,2.350307e-04,2.301841e-04,2.255523e-04,2.211274e-04,2.169015e-04,2.128670e-04,2.090165e-04,2.053428e-04,2.018392e-04,1.984991e-04,1.953158e-04,1.922834e-04,1.893959e-04,1.866474e-04,1.840324e-04,1.815457e-04,1.791819e-04,1.769362e-04,1.748038e-04,1.727801e-04,1.708606e-04,1.690410e-04,1.673173e-04,1.656855e-04,1.641418e-04,1.626825e-04,1.613040e-04,1.600031e-04,1.587763e-04
0.000000e+00,6.748934e-10,1.050928e-08,1.099178e-08,6.926418e-08,2.221276e-07,2.307283e-07,4.794555e-07,7.307647e-07,7.465939e-07,1.002492e-06,1.222815e-06,1.241261e-06,1.462314e-06,1.646519e-06,1.666147e-06,1.853485e-06,2.005302e-06,2.025089e-06,2.181722e-06,2.305031e-06,2.324142e-06,2.453100e-06,2.551564e-06,2.569338e-06,2.673589e-06,2.750623e-06,2.766556e-06,2.848930e-06,2.907650e-06,2.921376e-06,2.984533e-06,3.027741e-06,3.039012e-06,3.085397e-06,3.115577e-06,3.124240e-06,3.156070e-06,3.175401e-06,3.181382e-06,3.200648e-06,3.211027e-06,3.214313e-06,3.222797e-06,3.225865e-06,3.226494e-06,3.225777e-06,3.222948e-06,3.220997e-06,3.212484e-06,3.204971e-06,3.200546e-06,3.185476e-06,3.174314e-06,3.167547e-06,3.147013e-06,3.133081e-06,3.124116e-06,3.099081e-06,3.083121e-06,3.072117e-06,3.043422e-06,3.026059e-06,3.013180e-06,2.981563e-06,2.963318e-06,2.948732e-06,2.914836e-06,2.896138e-06,2.880014e-06,2.844397e-06,2.825602e-06,2.808105e-06,2.771252e-06,2.752647e-06,2.733940e-06,2.696267e-06,2.678082e-06,2.658322e-06,2.620188e-06,2.602604e-06,2.581942e-06,2.543654e-06,2.526812e-06,2.505390e-06,2.467209e-06,2.451211e-06,2.429166e-06,2.391312e-06,2.376233e-06,2.353692e-06,2.316349e-06,2.302239e-06,2.279320e-06,2.242641e-06,2.229528e-06,2.206342e-06,2.170451e-06,2.158346e-06,2.134995e-06,2.099995e-06,2.088895e-06,2.065471e-06,2.031442e-06,2.021332e-06,1.997922e-06,1.964926e-06,1.955782e-06,1.932463e-06,1.900545e-06,1.892336e-06,1.869179e-06,1.838371e-06,1.831061e-06,1.808128e-06,1.778451e-06,1.771999e-06,1.749345e-06,1.720811e-06,1.715172e-06,1.692848e-06,1.665457e-06,1.660587e-06,1.638635e-06,1.612381e-06,1.608233e-06,1.586692e-06,1.561564e-06,1.558091e-06,1.536993e-06,1.512974e-06,1.510128e-06,1.489501e-06,1.466569e-06,1.464305e-06,1.444172e-06,1.422303e-06,1.420576e-06,1.400955e-06,1.380121e-06,1.378887e-06,1.359794e-06,1.339966e-06,1.339183e-06,1.320629e-06,1.301775e-06,1.301403e-06,1.283396e-06,1.265483e-06,1.231361e-06,1.198970e-06,1.168243e-06,1.139116e-06,1.111521e-06,1.085394e-06,1.060670e-06,1.037288e-06,1.015184e-06,9.942998e-07,9.745765e-07,9.559578e-07,9.383894e-07,9.218185e-07,9.061944e-07,8.914685e-07,8.775940e-07,8.645259e-07,8.522214e-07,8.406395e-07,8.297411e-07,8.194887e-07,8.098468e-07,8.007816e-07,7.922606e-07,7.842534e-07,7.767308e-07,7.696652e-07,7.630304e-07,7.568015e-07,7.509551e-07,7.454690e-07,7.403219e-07,7.354941e-07,7.309667e-07,7.267218e-07,7.227428e-07,7.190137e-07,7.155195e-07,7.122462e-07,7.091803e-07,7.063094e-07,7.036217e-07,7.011059e-07,6.987515e-07,6.965487e-07,6.944882e-07,6.925611e-07,6.907593e-07
0.000000e+00,3.529385e-12,6.882745e-10,7.444565e-10,1.880853e-08,1.851303e-07,2.012154e-07,1.261336e-06,4.917129e-06,5.308966e-06,1.634486e-05,3.700677e-05,3.940533e-05,7.868348e-05,1.294322e-04,1.359597e-04,2.101336e-04,2.866816e-04,2.977541e-04,3.940301e-04,4.798462e-04,4.938529e-04,5.925660e-04,6.718455e-04,6.864088e-04,7.726738e-04,8.365415e-04,8.496697e-04,9.165717e-04,9.627069e-04,9.732294e-04,1.019975e-03,1.049964e-03,1.057455e-03,1.086496e-03,1.103480e-03,1.108005e-03,1.122902e-03,1.130190e-03,1.132069e-03,1.136327e-03,1.136775e-03,1.136421e-03,1.133012e-03,1.128858e-03,1.126685e-03,1.117944e-03,1.110848e-03,1.107227e-03,1.094908e-03,1.086056e-03,1.081304e-03,1.066687e-03,1.056907e-03,1.051284e-03,1.035289e-03,1.025145e-03,1.018861e-03,1.002137e-03,9.920087e-04,9.852301e-04,9.682328e-04,9.583645e-04,9.512235e-04,9.342667e-04,9.248139e-04,9.174153e-04,9.007128e-04,8.917682e-04,8.841947e-04,8.678892e-04,8.595020e-04,8.518189e-04,8.360017e-04,8.281925e-04,8.204516e-04,8.051791e-04,7.979492e-04,7.901919e-04,7.754955e-04,7.688338e-04,7.610933e-04,7.469870e-04,7.408741e-04,7.331770e-04,7.196627e-04,7.140745e-04,7.064425e-04,6.935139e-04,6.884235e-04,6.808740e-04,6.685193e-04,6.638985e-04,6.564459e-04,6.446495e-04,6.404697e-04,6.331256e-04,6.218696e-04,6.181028e-04,6.108767e-04,6.001420e-04,5.967605e-04,5.896603e-04,5.794268e-04,5.764043e-04,5.694362e-04,5.596837e-04,5.569949e-04,5.501641e-04,5.408724e-04,5.384932e-04,5.318036e-04,5.229530e-04,5.208607e-04,5.143155e-04,5.058865e-04,5.040596e-04,4.976612e-04,4.896350e-04,4.880533e-04,4.818033e-04,4.741617e-04,4.728061e-04,4.667058e-04,4.594311e-04,4.582838e-04,4.523337e-04,4.454092e-04,4.444533e-04,4.386536e-04,4.320629e-04,4.312830e-04,4.256334e-04,4.193610e-04,4.187423e-04,4.132422e-04,4.072733e-04,4.068022e-04,4.014507e-04,3.957709e-04,3.954346e-04,3.902306e-04,3.848263e-04,3.846129e-04,3.795548e-04,3.744130e-04,3.743115e-04,3.693978e-04,3.645060e-04,3.551730e-04,3.462904e-04,3.378368e-04,3.297920e-04,3.221366e-04,3.148522e-04,3.079211e-04,3.013266e-04,2.950526e-04,2.890839e-04,2.834060e-04,2.780049e-04,2.728675e-04,2.679812e-04,2.633340e-04,2.589145e-04,2.547117e-04,2.507153e-04,2.469154e-04,2.433026e-04,2.398680e-04,2.366030e-04,2.334994e-04,2.305495e-04,2.277460e-04,2.250818e-04,2.225502e-04,2.201449e-04,2.178597e-04,2.156890e-04,2.136272e-04,2.116690e-04,2.098096e-04,2.080441e-04,2.063679e-04,2.047769e-04,2.032670e-04,2.018341e-04,2.004746e-04,1.991849e-04,1.979617e-04,1.968018e-04,1.957022e-04,1.946598e-04,1.936719e-04,1.927360e-04,1.918495e-04,1.910099e-04,1.902151e-04
0.000000e+00,3.559285e-10,3.936215e-08,4.212597e-08,6.643470e-07,4.566273e-06,4.896144e-06,2.235685e-05,6.622160e-05,7.028333e-05,1.632396e-04,2.874023e-04,2.995765e-04,4.635677e-04,6.204923e-04,6.380326e-04,8.115506e-04,9.588696e-04,9.784552e-04,1.136522e-03,1.264902e-03,1.285137e-03,1.424330e-03,1.534161e-03,1.554365e-03,1.675587e-03,1.768668e-03,1.788361e-03,1.893056e-03,1.971242e-03,1.990039e-03,2.079671e-03,2.144706e-03,2.162302e-03,2.238273e-03,2.291760e-03,2.307914e-03,2.371546e-03,2.414946e-03,2.429476e-03,2.481999e-03,2.516627e-03,2.529399e-03,2.571948e-03,2.598986e-03,2.609906e-03,2.643524e-03,2.664026e-03,2.673039e-03,2.698679e-03,2.713585e-03,2.720662e-03,2.739195e-03,2.749338e-03,2.754477e-03,2.766697e-03,2.772814e-03,2.776034e-03,2.782661e-03,2.785405e-03,2.786742e-03,2.788432e-03,2.788376e-03,2.787880e-03,2.785227e-03,2.782875e-03,2.780609e-03,2.774152e-03,2.769944e-03,2.765979e-03,2.756206e-03,2.750528e-03,2.744942e-03,2.732293e-03,2.725480e-03,2.718358e-03,2.703231e-03,2.695573e-03,2.687001e-03,2.669755e-03,2.661503e-03,2.651572e-03,2.632530e-03,2.623898e-03,2.612701e-03,2.592153e-03,2.583324e-03,2.570952e-03,2.549160e-03,2.540290e-03,2.526834e-03,2.504031e-03,2.495252e-03,2.480803e-03,2.457198e-03,2.448618e-03,2.433265e-03,2.409046e-03,2.400754e-03,2.384583e-03,2.359916e-03,2.351986e-03,2.335082e-03,2.310115e-03,2.302604e-03,2.285049e-03,2.259914e-03,2.252867e-03,2.234738e-03,2.209551e-03,2.203003e-03,2.184376e-03,2.159238e-03,2.153213e-03,2.134159e-03,2.109161e-03,2.103674e-03,2.084262e-03,2.059482e-03,2.054541e-03,2.034836e-03,2.010342e-03,2.005951e-03,1.986014e-03,1.961865e-03,1.958019e-03,1.937908e-03,1.914155e-03,1.910847e-03,1.890617e-03,1.867303e-03,1.864521e-03,1.844222e-03,1.821384e-03,1.819114e-03,1.798795e-03,1.776462e-03,1.774687e-03,1.754392e-03,1.732590e-03,1.731290e-03,1.711061e-03,1.689809e-03,1.688965e-03,1.668839e-03,1.648153e-03,1.647743e-03,1.627756e-03,1.607648e-03,1.568698e-03,1.530905e-03,1.494275e-03,1.458808e-03,1.424501e-03,1.391349e-03,1.359340e-03,1.328462e-03,1.298699e-03,1.270033e-03,1.242446e-03,1.215916e-03,1.190420e-03,1.165937e-03,1.142441e-03,1.119908e-03,1.098311e-03,1.077627e-03,1.057828e-03,1.038888e-03,1.020781e-03,1.003481e-03,9.869620e-04,9.711984e-04,9.561645e-04,9.418351e-04,9.281855e-04,9.151912e-04,9.028282e-04,8.910730e-04,8.799026e-04,8.692946e-04,8.592269e-04,8.496781e-04,8.406273e-04,8.320541e-04,8.239389e-04,8.162623e-04,8.090057e-04,8.021510e-04,7.956807e-04,7.895777e-04,7.838255e-04,7.784084e-04,7.733108e-04,7.685178e-04,7.640153e-04,7.597892e-04,7.558262e-04
0.000000e+00,2.315410e-12,5.132884e-10,5.565041e-10,1.558216e-08,1.652732e-07,1.801314e-07,1.204107e-06,4.972732e-06,5.389408e-06,1.776050e-05,4.323863e-05,4.635417e-05,1.012993e-04,1.820037e-04,1.931243e-04,3.309688e-04,4.954751e-04,5.211963e-04,7.666306e-04,1.021294e-03,1.066409e-03,1.416328e-03,1.744030e-03,1.809499e-03,2.237158e-03,2.606696e-03,2.689479e-03,3.156322e-03,3.533612e-03,3.627840e-03,4.094952e-03,4.451038e-03,4.549639e-03,4.985131e-03,5.299865e-03,5.395977e-03,5.778026e-03,6.040434e-03,6.128345e-03,6.445100e-03,6.651857e-03,6.727417e-03,6.975229e-03,7.128461e-03,7.189126e-03,7.370215e-03,7.475368e-03,7.519994e-03,7.640235e-03,7.704359e-03,7.732896e-03,7.800036e-03,7.830581e-03,7.843754e-03,7.866136e-03,7.870194e-03,7.869217e-03,7.854953e-03,7.838844e-03,7.825197e-03,7.781695e-03,7.750809e-03,7.726068e-03,7.659818e-03,7.618595e-03,7.584321e-03,7.500839e-03,7.452845e-03,7.410515e-03,7.314386e-03,7.262419e-03,7.213388e-03,7.108361e-03,7.054575e-03,7.000059e-03,6.889157e-03,6.835179e-03,6.776255e-03,6.661888e-03,6.608920e-03,6.546530e-03,6.430603e-03,6.379512e-03,6.314477e-03,6.198478e-03,6.149868e-03,6.082896e-03,5.967982e-03,5.922255e-03,5.853958e-03,5.741016e-03,5.698417e-03,5.629322e-03,5.519020e-03,5.479676e-03,5.410232e-03,5.303065e-03,5.267013e-03,5.197606e-03,5.093929e-03,5.061140e-03,4.992097e-03,4.892159e-03,4.862553e-03,4.794155e-03,4.698115e-03,4.671579e-03,4.604062e-03,4.512010e-03,4.488405e-03,4.421968e-03,4.333938e-03,4.313111e-03,4.247920e-03,4.163906e-03,4.145690e-03,4.081885e-03,4.001843e-03,3.986071e-03,3.923764e-03,3.847628e-03,3.834128e-03,3.773412e-03,3.701092e-03,3.689696e-03,3.630644e-03,3.562038e-03,3.552579e-03,3.495247e-03,3.430242e-03,3.422560e-03,3.366991e-03,3.305464e-03,3.299405e-03,3.245628e-03,3.187452e-03,3.182869e-03,3.130903e-03,3.075949e-03,3.072702e-03,3.022556e-03,2.970691e-03,2.968648e-03,2.920323e-03,2.871418e-03,2.870455e-03,2.823945e-03,2.777869e-03,2.690642e-03,2.608528e-03,2.531289e-03,2.458692e-03,2.390512e-03,2.326531e-03,2.266539e-03,2.210334e-03,2.157721e-03,2.108515e-03,2.062536e-03,2.019613e-03,1.979583e-03,1.942290e-03,1.907585e-03,1.875325e-03,1.845374e-03,1.817604e-03,1.791892e-03,1.768119e-03,1.746175e-03,1.725953e-03,1.707352e-03,1.690277e-03,1.674635e-03,1.660341e-03,1.647312e-03,1.635469e-03,1.624739e-03,1.615049e-03,1.606334e-03,1.598530e-03,1.591577e-03,1.585416e-03,1.579994e-03,1.575259e-03,1.571163e-03,1.567659e-03,1.564703e-03,1.562255e-03,1.560274e-03,1.558723e-03,1.557568e-03,1.556776e-03,1.556315e-03,1.556156e-03,1.556270e-03,1.556632e-03,1.557217e-03
0.000000e+00,3.461214e-09,6.286661e-08,6.582675e-08,4.179792e-07,1.327213e-06,1.379012e-06,2.940453e-06,4.600118e-06,4.705250e-06,6.393325e-06,7.816494e-06,7.934063e-06,9.321972e-06,1.044683e-05,1.056489e-05,1.167293e-05,1.254455e-05,1.265630e-05,1.352472e-05,1.418666e-05,1.428740e-05,1.495295e-05,1.544287e-05,1.552944e-05,1.602440e-05,1.637435e-05,1.644482e-05,1.679719e-05,1.703414e-05,1.708752e-05,1.732137e-05,1.746787e-05,1.750386e-05,1.763974e-05,1.771453e-05,1.773337e-05,1.778877e-05,1.780733e-05,1.780963e-05,1.779935e-05,1.777444e-05,1.776106e-05,1.769763e-05,1.763969e-05,1.761169e-05,1.750567e-05,1.742323e-05,1.738176e-05,1.724202e-05,1.714202e-05,1.708830e-05,1.692229e-05,1.681033e-05,1.674557e-05,1.655954e-05,1.644011e-05,1.636552e-05,1.616468e-05,1.604136e-05,1.595811e-05,1.574679e-05,1.562240e-05,1.553160e-05,1.531337e-05,1.519010e-05,1.509282e-05,1.487063e-05,1.475018e-05,1.464740e-05,1.442367e-05,1.430730e-05,1.419994e-05,1.397664e-05,1.386529e-05,1.375418e-05,1.353291e-05,1.342722e-05,1.331315e-05,1.309518e-05,1.299558e-05,1.287925e-05,1.266558e-05,1.257233e-05,1.245437e-05,1.224579e-05,1.215901e-05,1.204000e-05,1.183710e-05,1.175679e-05,1.163723e-05,1.144047e-05,1.136653e-05,1.124689e-05,1.105657e-05,1.098886e-05,1.086955e-05,1.068586e-05,1.062418e-05,1.050555e-05,1.032863e-05,1.027273e-05,1.015510e-05,9.984982e-06,9.934609e-06,9.818261e-06,9.654928e-06,9.609800e-06,9.494968e-06,9.338360e-06,9.298188e-06,9.185080e-06,9.035097e-06,8.999588e-06,8.888380e-06,8.744892e-06,8.713754e-06,8.604595e-06,8.467447e-06,8.440392e-06,8.333407e-06,8.202430e-06,8.179175e-06,8.074468e-06,7.949476e-06,7.929749e-06,7.827403e-06,7.708202e-06,7.691740e-06,7.591821e-06,7.478211e-06,7.464762e-06,7.367321e-06,7.259099e-06,7.248421e-06,7.153494e-06,7.050456e-06,7.042323e-06,6.949934e-06,6.851875e-06,6.846069e-06,6.756231e-06,6.662951e-06,6.659268e-06,6.571985e-06,6.483283e-06,6.481532e-06,6.396798e-06,6.312480e-06,6.151741e-06,5.998952e-06,5.853761e-06,5.715829e-06,5.584825e-06,5.460432e-06,5.342345e-06,5.230269e-06,5.123922e-06,5.023033e-06,4.927341e-06,4.836600e-06,4.750570e-06,4.669024e-06,4.591745e-06,4.518526e-06,4.449169e-06,4.383483e-06,4.321290e-06,4.262418e-06,4.206701e-06,4.153985e-06,4.104121e-06,4.056967e-06,4.012388e-06,3.970256e-06,3.930448e-06,3.892848e-06,3.857346e-06,3.823835e-06,3.792216e-06,3.762393e-06,3.734276e-06,3.707778e-06,3.682816e-06,3.659313e-06,3.637195e-06,3.616390e-06,3.596831e-06,3.578456e-06,3.561202e-06,3.545012e-06,3.529830e-06,3.515606e-06,3.502289e-06,3.489831e-06,3.478188e-06,3.467318e-06,3.457179e-06
0.000000e+00,3.091740e-13,7.316347e-11,7.937924e-11,2.268800e-09,2.479135e-08,2.707488e-08,1.953249e-07,9.048286e-07,9.890440e-07,3.813787e-06,1.089561e-05,1.184837e-05,3.098775e-05,6.540376e-05,7.064229e-05,1.442341e-04,2.509206e-04,2.693280e-04,4.674061e-04,7.150129e-04,7.633377e-04,1.184617e-03,1.656698e-03,1.760449e-03,2.520758e-03,3.302691e-03,3.495184e-03,4.712123e-03,5.878036e-03,6.197857e-03,7.975794e-03,9.578377e-03,1.006584e-02,1.248395e-02,1.454842e-02,1.524173e-02,1.834631e-02,2.086864e-02,2.180023e-02,2.560154e-02,2.855018e-02,2.974389e-02,3.421685e-02,3.753714e-02,3.900615e-02,4.409407e-02,4.771396e-02,4.945987e-02,5.508015e-02,5.891661e-02,6.092937e-02,6.698021e-02,7.094540e-02,7.320408e-02,7.957146e-02,8.357817e-02,8.605236e-02,9.261666e-02,9.658279e-02,9.923441e-02,1.058762e-01,1.097282e-01,1.125134e-01,1.191185e-01,1.227933e-01,1.256649e-01,1.321276e-01,1.355744e-01,1.384833e-01,1.447099e-01,1.478899e-01,1.507873e-01,1.566970e-01,1.595838e-01,1.624225e-01,1.679488e-01,1.705268e-01,1.732629e-01,1.783533e-01,1.806171e-01,1.832105e-01,1.878263e-01,1.897791e-01,1.921944e-01,1.963097e-01,1.979619e-01,2.001688e-01,2.037694e-01,2.051371e-01,2.071107e-01,2.101927e-01,2.112961e-01,2.130168e-01,2.155852e-01,2.164478e-01,2.179011e-01,2.199684e-01,2.206154e-01,2.217917e-01,2.233764e-01,2.238340e-01,2.247282e-01,2.258536e-01,2.261480e-01,2.267592e-01,2.274522e-01,2.276091e-01,2.279399e-01,2.282299e-01,2.282739e-01,2.283300e-01,2.282481e-01,2.282023e-01,2.279922e-01,2.275703e-01,2.274560e-01,2.269904e-01,2.262605e-01,2.260973e-01,2.253886e-01,2.243824e-01,2.241876e-01,2.232498e-01,2.219982e-01,2.217874e-01,2.206352e-01,2.191680e-01,2.189547e-01,2.176037e-01,2.159492e-01,2.157450e-01,2.142113e-01,2.123964e-01,2.122109e-01,2.105108e-01,2.085606e-01,2.084020e-01,2.065517e-01,2.044896e-01,2.043643e-01,2.023798e-01,2.002274e-01,2.001405e-01,1.980376e-01,1.958149e-01,1.957702e-01,1.935640e-01,1.912892e-01,1.867305e-01,1.821237e-01,1.774956e-01,1.728702e-01,1.682689e-01,1.637107e-01,1.592123e-01,1.547880e-01,1.504507e-01,1.462109e-01,1.420781e-01,1.380598e-01,1.341623e-01,1.303909e-01,1.267493e-01,1.232407e-01,1.198670e-01,1.166296e-01,1.135289e-01,1.105648e-01,1.077365e-01,1.050429e-01,1.024823e-01,1.000525e-01,9.775109e-02,9.557540e-02,9.352239e-02,9.158883e-02,8.977131e-02,8.806626e-02,8.646996e-02,8.497861e-02,8.358834e-02,8.229520e-02,8.109522e-02,7.998440e-02,7.895875e-02,7.801428e-02,7.714704e-02,7.635311e-02,7.562862e-02,7.496977e-02,7.437282e-02,7.383412e-02,7.335008e-02,7.291723e-02,7.253219e-02,7.219166e-02,7.189247e-02
0.000000e+00,8.161324e-10,1.482495e-08,1.552985e-08,9.856374e-08,2.910809e-07,3.010212e-07,5.642937e-07,8.073545e-07,8.223255e-07,1.061169e-06,1.263281e-06,1.280082e-06,1.480089e-06,1.644943e-06,1.662415e-06,1.828270e-06,1.961527e-06,1.978822e-06,2.115180e-06,2.221899e-06,2.238395e-06,2.349455e-06,2.434030e-06,2.449284e-06,2.538745e-06,2.604932e-06,2.618642e-06,2.689720e-06,2.740700e-06,2.752671e-06,2.808137e-06,2.846587e-06,2.856710e-06,2.898941e-06,2.927109e-06,2.935338e-06,2.966371e-06,2.986138e-06,2.992474e-06,3.014049e-06,3.026988e-06,3.031467e-06,3.045071e-06,3.052494e-06,3.055177e-06,3.062078e-06,3.065079e-06,3.066044e-06,3.067324e-06,3.066810e-06,3.066148e-06,3.062729e-06,3.059455e-06,3.057263e-06,3.049930e-06,3.044520e-06,3.040898e-06,3.030320e-06,3.023291e-06,3.018338e-06,3.005084e-06,2.996861e-06,2.990678e-06,2.975231e-06,2.966165e-06,2.958846e-06,2.941618e-06,2.931995e-06,2.923634e-06,2.904974e-06,2.895029e-06,2.885712e-06,2.865917e-06,2.855839e-06,2.845651e-06,2.824972e-06,2.814915e-06,2.803932e-06,2.782582e-06,2.772669e-06,2.760965e-06,2.739124e-06,2.729452e-06,2.717096e-06,2.694917e-06,2.685564e-06,2.672618e-06,2.650229e-06,2.641254e-06,2.627777e-06,2.605287e-06,2.596735e-06,2.582781e-06,2.560280e-06,2.552185e-06,2.537804e-06,2.515369e-06,2.507754e-06,2.492992e-06,2.470688e-06,2.463568e-06,2.448468e-06,2.426347e-06,2.419731e-06,2.404334e-06,2.382439e-06,2.376331e-06,2.360672e-06,2.339041e-06,2.333440e-06,2.317552e-06,2.296214e-06,2.291115e-06,2.275031e-06,2.254009e-06,2.249406e-06,2.233153e-06,2.212467e-06,2.208350e-06,2.191954e-06,2.171620e-06,2.167978e-06,2.151465e-06,2.131493e-06,2.128315e-06,2.111706e-06,2.092106e-06,2.089377e-06,2.072694e-06,2.053471e-06,2.051178e-06,2.034440e-06,2.015600e-06,2.013726e-06,1.996952e-06,1.978496e-06,1.977028e-06,1.960233e-06,1.942163e-06,1.941085e-06,1.924286e-06,1.906601e-06,1.905898e-06,1.889109e-06,1.871808e-06,1.871463e-06,1.854698e-06,1.837778e-06,1.804836e-06,1.772631e-06,1.741154e-06,1.710397e-06,1.680351e-06,1.651006e-06,1.622351e-06,1.594376e-06,1.567069e-06,1.540419e-06,1.514414e-06,1.489044e-06,1.464297e-06,1.440161e-06,1.416625e-06,1.393677e-06,1.371305e-06,1.349499e-06,1.328247e-06,1.307539e-06,1.287362e-06,1.267706e-06,1.248562e-06,1.229917e-06,1.211761e-06,1.194086e-06,1.176879e-06,1.160132e-06,1.143834e-06,1.127977e-06,1.112550e-06,1.097544e-06,1.082951e-06,1.068761e-06,1.054965e-06,1.041555e-06,1.028523e-06,1.015860e-06,1.003558e-06,9.916096e-07,9.800059e-07,9.687397e-07,9.578035e-07,9.471898e-07,9.368913e-07,9.269011e-07,9.172120e-07,9.078172e-07,8.987100e-07
0.000000e+00,7.729374e-09,1.768603e-07,1.859091e-07,1.448211e-06,5.380569e-06,5.617835e-06,1.289730e-05,2.055429e-05,2.103681e-05,2.879906e-05,3.541234e-05,3.596293e-05,4.252324e-05,4.793603e-05,4.850987e-05,5.395767e-05,5.833340e-05,5.890109e-05,6.337333e-05,6.686684e-05,6.740612e-05,7.102972e-05,7.377840e-05,7.427288e-05,7.716279e-05,7.928700e-05,7.972515e-05,8.198410e-05,8.358807e-05,8.396229e-05,8.568094e-05,8.685412e-05,8.715988e-05,8.841762e-05,8.923625e-05,8.947145e-05,9.033746e-05,9.086622e-05,9.103060e-05,9.156475e-05,9.185822e-05,9.195290e-05,9.220711e-05,9.231137e-05,9.233855e-05,9.235763e-05,9.231139e-05,9.227403e-05,9.209670e-05,9.193239e-05,9.183397e-05,9.149358e-05,9.123829e-05,9.108267e-05,9.060791e-05,9.028421e-05,9.007546e-05,8.949101e-05,8.911758e-05,8.885982e-05,8.818674e-05,8.777896e-05,8.747630e-05,8.673265e-05,8.630315e-05,8.595965e-05,8.516083e-05,8.471991e-05,8.433950e-05,8.349867e-05,8.305467e-05,8.264114e-05,8.176948e-05,8.132911e-05,8.088608e-05,7.999310e-05,7.956167e-05,7.909256e-05,7.818629e-05,7.776796e-05,7.727600e-05,7.636322e-05,7.596119e-05,7.544939e-05,7.453581e-05,7.415246e-05,7.362366e-05,7.271403e-05,7.235110e-05,7.180791e-05,7.090619e-05,7.056487e-05,7.000971e-05,6.911919e-05,6.880020e-05,6.823531e-05,6.735867e-05,6.706236e-05,6.648981e-05,6.562922e-05,6.535565e-05,6.477733e-05,6.393454e-05,6.368353e-05,6.310118e-05,6.227755e-05,6.204871e-05,6.146391e-05,6.066051e-05,6.045332e-05,5.986752e-05,5.908512e-05,5.889893e-05,5.831344e-05,5.755260e-05,5.738668e-05,5.680269e-05,5.606377e-05,5.591731e-05,5.533590e-05,5.461911e-05,5.449127e-05,5.391341e-05,5.321880e-05,5.310869e-05,5.253526e-05,5.186277e-05,5.176951e-05,5.120130e-05,5.055078e-05,5.047345e-05,4.991117e-05,4.928239e-05,4.922011e-05,4.866438e-05,4.805704e-05,4.800891e-05,4.746029e-05,4.687404e-05,4.683920e-05,4.629819e-05,4.573262e-05,4.571021e-05,4.517725e-05,4.463194e-05,4.462114e-05,4.409660e-05,4.357109e-05,4.255916e-05,4.158438e-05,4.064580e-05,3.974242e-05,3.887324e-05,3.803728e-05,3.723355e-05,3.646105e-05,3.571883e-05,3.500590e-05,3.432134e-05,3.366422e-05,3.303362e-05,3.242865e-05,3.184846e-05,3.129219e-05,3.075901e-05,3.024813e-05,2.975876e-05,2.929015e-05,2.884155e-05,2.841226e-05,2.800157e-05,2.760882e-05,2.723335e-05,2.687453e-05,2.653176e-05,2.620443e-05,2.589198e-05,2.559385e-05,2.530951e-05,2.503844e-05,2.478013e-05,2.453411e-05,2.429991e-05,2.407707e-05,2.386516e-05,2.366375e-05,2.347245e-05,2.329084e-05,2.311856e-05,2.295524e-05,2.280052e-05,2.265406e-05,2.251554e-05,2.238462e-05,2.226101e-05,2.214440e-05,2.203451e-05
0.000000e+00,3.490617e-12,7.172272e-10,7.763517e-10,2.019864e-08,2.049886e-07,2.231459e-07,1.466119e-06,6.044897e-06,6.551931e-06,2.159934e-05,5.232070e-05,5.604785e-05,1.207890e-04,2.129940e-04,2.254697e-04,3.762757e-04,5.485596e-04,5.748565e-04,8.183963e-04,1.058974e-03,1.100474e-03,1.412290e-03,1.689948e-03,1.743925e-03,2.085411e-03,2.366267e-03,2.427514e-03,2.762241e-03,3.020285e-03,3.083081e-03,3.385058e-03,3.605191e-03,3.664648e-03,3.919616e-03,4.096187e-03,4.148818e-03,4.351985e-03,4.485787e-03,4.529526e-03,4.682351e-03,4.777779e-03,4.811720e-03,4.919117e-03,4.982080e-03,5.006150e-03,5.074481e-03,5.111110e-03,5.125766e-03,5.161615e-03,5.177571e-03,5.183568e-03,5.193073e-03,5.193251e-03,5.191480e-03,5.180036e-03,5.168500e-03,5.159886e-03,5.132077e-03,5.112113e-03,5.097555e-03,5.057182e-03,5.031391e-03,5.011728e-03,4.961891e-03,4.932304e-03,4.908298e-03,4.851510e-03,4.819695e-03,4.792030e-03,4.730310e-03,4.697464e-03,4.666750e-03,4.601708e-03,4.568733e-03,4.535504e-03,4.468422e-03,4.435985e-03,4.400713e-03,4.332603e-03,4.301194e-03,4.264292e-03,4.195954e-03,4.165918e-03,4.127747e-03,4.059807e-03,4.031382e-03,3.992255e-03,3.925199e-03,3.898536e-03,3.858730e-03,3.792931e-03,3.768118e-03,3.727872e-03,3.663613e-03,3.640687e-03,3.600209e-03,3.537702e-03,3.516661e-03,3.476131e-03,3.415528e-03,3.396344e-03,3.355920e-03,3.297327e-03,3.279949e-03,3.239765e-03,3.183250e-03,3.167614e-03,3.127788e-03,3.073387e-03,3.059417e-03,3.020050e-03,2.967778e-03,2.955392e-03,2.916570e-03,2.866422e-03,2.855531e-03,2.817329e-03,2.769284e-03,2.759800e-03,2.722280e-03,2.676307e-03,2.668141e-03,2.631355e-03,2.587413e-03,2.580476e-03,2.544469e-03,2.502511e-03,2.496714e-03,2.461524e-03,2.421495e-03,2.416756e-03,2.382411e-03,2.344257e-03,2.340492e-03,2.307017e-03,2.270678e-03,2.267809e-03,2.235223e-03,2.200638e-03,2.198590e-03,2.166907e-03,2.134015e-03,2.132716e-03,2.101946e-03,2.070685e-03,2.070068e-03,2.040216e-03,2.010525e-03,1.953970e-03,1.900287e-03,1.849360e-03,1.801078e-03,1.755330e-03,1.712012e-03,1.671019e-03,1.632252e-03,1.595613e-03,1.561009e-03,1.528350e-03,1.497548e-03,1.468520e-03,1.441184e-03,1.415462e-03,1.391281e-03,1.368567e-03,1.347252e-03,1.327269e-03,1.308554e-03,1.291047e-03,1.274688e-03,1.259422e-03,1.245194e-03,1.231952e-03,1.219646e-03,1.208230e-03,1.197657e-03,1.187883e-03,1.178866e-03,1.170567e-03,1.162947e-03,1.155969e-03,1.149598e-03,1.143799e-03,1.138542e-03,1.133794e-03,1.129526e-03,1.125710e-03,1.122319e-03,1.119327e-03,1.116709e-03,1.114442e-03,1.112503e-03,1.110871e-03,1.109525e-03,1.108447e-03,1.107616e-03,1.107016e-03
0.000000e+00,1.525177e-11,2.858984e-09,3.089372e-09,7.342994e-08,6.686454e-07,7.242327e-07,4.163464e-06,1.506739e-05,1.619746e-05,4.674435e-05,1.009347e-04,1.070851e-04,2.053763e-04,3.281094e-04,3.436594e-04,5.177124e-04,6.936958e-04,7.189348e-04,9.368311e-04,1.129664e-03,1.161095e-03,1.382911e-03,1.562337e-03,1.595519e-03,1.794238e-03,1.944774e-03,1.976215e-03,2.140034e-03,2.257752e-03,2.285342e-03,2.412511e-03,2.499637e-03,2.522376e-03,2.616042e-03,2.677154e-03,2.694747e-03,2.759763e-03,2.799804e-03,2.812349e-03,2.853709e-03,2.877176e-03,2.884975e-03,2.907194e-03,2.917885e-03,2.921331e-03,2.928268e-03,2.929284e-03,2.928805e-03,2.923671e-03,2.917498e-03,2.913523e-03,2.898956e-03,2.887564e-03,2.880506e-03,2.858660e-03,2.843603e-03,2.833853e-03,2.806480e-03,2.788972e-03,2.776893e-03,2.745410e-03,2.726395e-03,2.712318e-03,2.677873e-03,2.658079e-03,2.642305e-03,2.605822e-03,2.585806e-03,2.568608e-03,2.530829e-03,2.511010e-03,2.492633e-03,2.454151e-03,2.434841e-03,2.415502e-03,2.376791e-03,2.358215e-03,2.338110e-03,2.299542e-03,2.281859e-03,2.261161e-03,2.223029e-03,2.206346e-03,2.185205e-03,2.147738e-03,2.132119e-03,2.110671e-03,2.074041e-03,2.059519e-03,2.037882e-03,2.002220e-03,1.988805e-03,1.967081e-03,1.932483e-03,1.920163e-03,1.898443e-03,1.864975e-03,1.853728e-03,1.832090e-03,1.799796e-03,1.789588e-03,1.768100e-03,1.737005e-03,1.727795e-03,1.706515e-03,1.676631e-03,1.668372e-03,1.647352e-03,1.618677e-03,1.611320e-03,1.590603e-03,1.563127e-03,1.556621e-03,1.536243e-03,1.509948e-03,1.504242e-03,1.484236e-03,1.459099e-03,1.454140e-03,1.434532e-03,1.410526e-03,1.406265e-03,1.387075e-03,1.364170e-03,1.360556e-03,1.341804e-03,1.319967e-03,1.316951e-03,1.298651e-03,1.277847e-03,1.275385e-03,1.257547e-03,1.237742e-03,1.235788e-03,1.218422e-03,1.199579e-03,1.198092e-03,1.181204e-03,1.163288e-03,1.162228e-03,1.145822e-03,1.128797e-03,1.128125e-03,1.112205e-03,1.096035e-03,1.095716e-03,1.080281e-03,1.064933e-03,1.035708e-03,1.007979e-03,9.816804e-04,9.567525e-04,9.331355e-04,9.107720e-04,8.896067e-04,8.695861e-04,8.506587e-04,8.327749e-04,8.158871e-04,7.999496e-04,7.849184e-04,7.707514e-04,7.574081e-04,7.448497e-04,7.330391e-04,7.219406e-04,7.115201e-04,7.017450e-04,6.925840e-04,6.840072e-04,6.759858e-04,6.684926e-04,6.615012e-04,6.549866e-04,6.489247e-04,6.432927e-04,6.380685e-04,6.332311e-04,6.287606e-04,6.246376e-04,6.208439e-04,6.173619e-04,6.141748e-04,6.112667e-04,6.086223e-04,6.062269e-04,6.040666e-04,6.021280e-04,6.003984e-04,5.988657e-04,5.975182e-04,5.963450e-04,5.953354e-04,5.944794e-04,5.937674e-04,5.931901e-04,5.927390e-04
0.000000e+00,3.120570e-09,5.578761e-08,5.842646e-08,3.698479e-07,1.092904e-06,1.130058e-06,2.112686e-06,3.028872e-06,3.085758e-06,4.001248e-06,4.788385e-06,4.854363e-06,5.646553e-06,6.309412e-06,6.380218e-06,7.057913e-06,7.610053e-06,7.682241e-06,8.255832e-06,8.710548e-06,8.781318e-06,9.261312e-06,9.631228e-06,9.698377e-06,1.009501e-05,1.039178e-05,1.045363e-05,1.077654e-05,1.101066e-05,1.106596e-05,1.132401e-05,1.150480e-05,1.155268e-05,1.175389e-05,1.188954e-05,1.192942e-05,1.208099e-05,1.217867e-05,1.221020e-05,1.231858e-05,1.238452e-05,1.240755e-05,1.247848e-05,1.251808e-05,1.253263e-05,1.257121e-05,1.258912e-05,1.259533e-05,1.260607e-05,1.260632e-05,1.260443e-05,1.259135e-05,1.257737e-05,1.256770e-05,1.253431e-05,1.250907e-05,1.249198e-05,1.244142e-05,1.240743e-05,1.238332e-05,1.231834e-05,1.227772e-05,1.224706e-05,1.217005e-05,1.212462e-05,1.208785e-05,1.200094e-05,1.195222e-05,1.190980e-05,1.181485e-05,1.176411e-05,1.171650e-05,1.161513e-05,1.156343e-05,1.151109e-05,1.140472e-05,1.135292e-05,1.129631e-05,1.118616e-05,1.113498e-05,1.107454e-05,1.096168e-05,1.091170e-05,1.084784e-05,1.073321e-05,1.068488e-05,1.061799e-05,1.050239e-05,1.045607e-05,1.038656e-05,1.027066e-05,1.022663e-05,1.015484e-05,1.003925e-05,9.997711e-06,9.923995e-06,9.809202e-06,9.770296e-06,9.694973e-06,9.581408e-06,9.545222e-06,9.468594e-06,9.356615e-06,9.323195e-06,9.245544e-06,9.135450e-06,9.104808e-06,9.026395e-06,8.918433e-06,8.890549e-06,8.811616e-06,8.705989e-06,8.680820e-06,8.601592e-06,8.498460e-06,8.475945e-06,8.396627e-06,8.296119e-06,8.276179e-06,8.196962e-06,8.099174e-06,8.081720e-06,8.002775e-06,7.907780e-06,7.892711e-06,7.814199e-06,7.722042e-06,7.709255e-06,7.631317e-06,7.542029e-06,7.531411e-06,7.454179e-06,7.367770e-06,7.359208e-06,7.282800e-06,7.199267e-06,7.192646e-06,7.117167e-06,7.036494e-06,7.031699e-06,6.957243e-06,6.879405e-06,6.876321e-06,6.802972e-06,6.727934e-06,6.726447e-06,6.654280e-06,6.581999e-06,6.442885e-06,6.309002e-06,6.180241e-06,6.056485e-06,5.937611e-06,5.823493e-06,5.714001e-06,5.609004e-06,5.508371e-06,5.411967e-06,5.319662e-06,5.231322e-06,5.146817e-06,5.066019e-06,4.988800e-06,4.915035e-06,4.844602e-06,4.777379e-06,4.713251e-06,4.652102e-06,4.593821e-06,4.538298e-06,4.485428e-06,4.435109e-06,4.387239e-06,4.341722e-06,4.298465e-06,4.257376e-06,4.218368e-06,4.181354e-06,4.146254e-06,4.112986e-06,4.081475e-06,4.051646e-06,4.023427e-06,3.996749e-06,3.971546e-06,3.947753e-06,3.925308e-06,3.904152e-06,3.884227e-06,3.865478e-06,3.847852e-06,3.831296e-06,3.815763e-06,3.801204e-06,3.787574e-06,3.774830e-06,3.762928e-06
0.000000e+00,3.527850e-10,5.731280e-09,6.003742e-09,4.115019e-08,1.407391e-07,1.464682e-07,3.128114e-07,4.787268e-07,4.890623e-07,6.540225e-07,7.925957e-07,8.040430e-07,9.392540e-07,1.048999e-06,1.060527e-06,1.168851e-06,1.254236e-06,1.265195e-06,1.350478e-06,1.415635e-06,1.425564e-06,1.491266e-06,1.539763e-06,1.548347e-06,1.597521e-06,1.632411e-06,1.639453e-06,1.674764e-06,1.698635e-06,1.704031e-06,1.727788e-06,1.742815e-06,1.746532e-06,1.760722e-06,1.768720e-06,1.770779e-06,1.777095e-06,1.779573e-06,1.780030e-06,1.779915e-06,1.778116e-06,1.777055e-06,1.771730e-06,1.766674e-06,1.764197e-06,1.754692e-06,1.747213e-06,1.743431e-06,1.730613e-06,1.721389e-06,1.716419e-06,1.701016e-06,1.690593e-06,1.684555e-06,1.667174e-06,1.655993e-06,1.649001e-06,1.630152e-06,1.618561e-06,1.610730e-06,1.590832e-06,1.579108e-06,1.570546e-06,1.549949e-06,1.538307e-06,1.529114e-06,1.508106e-06,1.496710e-06,1.486983e-06,1.465798e-06,1.454774e-06,1.444600e-06,1.423431e-06,1.412869e-06,1.402329e-06,1.381329e-06,1.371294e-06,1.360462e-06,1.339755e-06,1.330290e-06,1.319233e-06,1.298916e-06,1.290047e-06,1.278825e-06,1.258974e-06,1.250713e-06,1.239380e-06,1.220053e-06,1.212400e-06,1.201005e-06,1.182244e-06,1.175192e-06,1.163779e-06,1.145614e-06,1.139149e-06,1.127755e-06,1.110206e-06,1.104310e-06,1.092969e-06,1.076047e-06,1.070698e-06,1.059439e-06,1.043147e-06,1.038321e-06,1.027171e-06,1.011508e-06,1.007179e-06,9.961582e-07,9.811190e-07,9.772594e-07,9.663880e-07,9.519625e-07,9.485455e-07,9.378393e-07,9.240152e-07,9.210136e-07,9.104863e-07,8.972489e-07,8.946360e-07,8.842988e-07,8.716319e-07,8.693816e-07,8.592438e-07,8.471300e-07,8.452170e-07,8.352860e-07,8.237070e-07,8.221069e-07,8.123885e-07,8.013256e-07,8.000150e-07,7.905136e-07,7.799477e-07,7.789045e-07,7.696232e-07,7.595351e-07,7.587382e-07,7.496789e-07,7.400497e-07,7.394791e-07,7.306428e-07,7.214536e-07,7.210905e-07,7.124774e-07,7.037097e-07,7.035364e-07,6.951458e-07,6.867814e-07,6.707911e-07,6.555320e-07,6.409715e-07,6.270783e-07,6.138221e-07,6.011738e-07,5.891052e-07,5.775894e-07,5.666008e-07,5.561145e-07,5.461069e-07,5.365554e-07,5.274384e-07,5.187353e-07,5.104264e-07,5.024930e-07,4.949171e-07,4.876818e-07,4.807707e-07,4.741684e-07,4.678602e-07,4.618321e-07,4.560707e-07,4.505633e-07,4.452978e-07,4.402627e-07,4.354471e-07,4.308406e-07,4.264333e-07,4.222157e-07,4.181790e-07,4.143145e-07,4.106141e-07,4.070703e-07,4.036755e-07,4.004229e-07,3.973058e-07,3.943179e-07,3.914533e-07,3.887060e-07,3.860709e-07,3.835426e-07,3.811162e-07,3.787872e-07,3.765509e-07,3.744032e-07,3.723401e-07,3.703576e-07,3.684522e-07
0.000000e+00,1.064460e-09,1.888872e-08,1.978618e-08,1.278106e-07,3.915450e-07,4.055592e-07,7.870771e-07,1.151088e-06,1.173751e-06,1.538279e-06,1.850664e-06,1.876786e-06,2.189560e-06,2.449918e-06,2.477650e-06,2.742234e-06,2.956573e-06,2.984506e-06,3.205645e-06,3.379804e-06,3.406807e-06,3.589125e-06,3.728516e-06,3.753700e-06,3.901594e-06,4.011137e-06,4.033828e-06,4.151385e-06,4.235494e-06,4.255201e-06,4.346168e-06,4.408748e-06,4.425132e-06,4.492896e-06,4.537374e-06,4.550219e-06,4.597818e-06,4.627181e-06,4.636371e-06,4.666519e-06,4.683361e-06,4.688865e-06,4.703976e-06,4.710537e-06,4.712388e-06,4.714606e-06,4.712818e-06,4.711102e-06,4.702323e-06,4.693844e-06,4.688689e-06,4.670592e-06,4.656840e-06,4.648403e-06,4.622469e-06,4.604652e-06,4.593114e-06,4.560646e-06,4.539790e-06,4.525349e-06,4.487492e-06,4.464462e-06,4.447327e-06,4.405087e-06,4.380610e-06,4.360993e-06,4.315251e-06,4.289932e-06,4.268051e-06,4.219574e-06,4.193917e-06,4.169986e-06,4.119443e-06,4.093859e-06,4.068090e-06,4.016063e-06,3.990887e-06,3.963486e-06,3.910477e-06,3.885978e-06,3.857144e-06,3.803587e-06,3.779976e-06,3.749900e-06,3.696168e-06,3.673607e-06,3.642471e-06,3.588883e-06,3.567493e-06,3.535470e-06,3.482296e-06,3.462164e-06,3.429417e-06,3.376885e-06,3.358068e-06,3.324748e-06,3.273050e-06,3.255579e-06,3.221830e-06,3.171124e-06,3.155013e-06,3.120965e-06,3.071383e-06,3.056624e-06,3.022402e-06,2.974047e-06,2.960622e-06,2.926338e-06,2.879293e-06,2.867173e-06,2.832930e-06,2.787260e-06,2.776404e-06,2.742297e-06,2.698050e-06,2.688413e-06,2.654527e-06,2.611736e-06,2.603265e-06,2.569680e-06,2.528364e-06,2.521006e-06,2.487790e-06,2.447960e-06,2.441656e-06,2.408873e-06,2.370529e-06,2.365220e-06,2.332926e-06,2.296061e-06,2.291687e-06,2.259931e-06,2.224531e-06,2.221031e-06,2.189857e-06,2.155904e-06,2.153218e-06,2.122664e-06,2.090132e-06,2.088203e-06,2.058301e-06,2.027163e-06,2.025932e-06,1.996710e-06,1.966935e-06,1.966346e-06,1.937828e-06,1.909382e-06,1.854971e-06,1.803043e-06,1.753522e-06,1.706335e-06,1.661406e-06,1.618656e-06,1.578011e-06,1.539393e-06,1.502728e-06,1.467940e-06,1.434956e-06,1.403705e-06,1.374115e-06,1.346119e-06,1.319649e-06,1.294640e-06,1.271028e-06,1.248754e-06,1.227756e-06,1.207979e-06,1.189365e-06,1.171863e-06,1.155421e-06,1.139988e-06,1.125517e-06,1.111962e-06,1.099280e-06,1.087427e-06,1.076363e-06,1.066049e-06,1.056448e-06,1.047524e-06,1.039242e-06,1.031570e-06,1.024476e-06,1.017930e-06,1.011903e-06,1.006368e-06,1.001298e-06,9.966687e-07,9.924557e-07,9.886361e-07,9.851881e-07,9.820907e-07,9.793240e-07,9.768691e-07,9.747077e-07,9.728227e-07,9.711976e-07
0.000000e+00,2.709177e-10,3.610792e-09,3.766805e-09,2.173110e-08,6.895570e-08,7.171888e-08,1.595481e-07,2.625017e-07,2.692815e-07,3.806682e-07,4.770428e-07,4.850814e-07,5.808312e-07,6.596628e-07,6.680064e-07,7.470539e-07,8.102962e-07,8.184821e-07,8.827968e-07,9.327904e-07,9.404855e-07,9.920129e-07,1.030858e-06,1.037820e-06,1.078322e-06,1.107851e-06,1.113911e-06,1.144955e-06,1.166750e-06,1.171798e-06,1.194763e-06,1.210178e-06,1.214151e-06,1.230243e-06,1.240431e-06,1.243302e-06,1.253571e-06,1.259510e-06,1.261280e-06,1.266639e-06,1.269155e-06,1.269846e-06,1.271085e-06,1.270873e-06,1.270527e-06,1.268329e-06,1.265975e-06,1.264641e-06,1.259599e-06,1.255593e-06,1.253332e-06,1.245956e-06,1.240705e-06,1.237582e-06,1.228310e-06,1.222152e-06,1.218234e-06,1.207441e-06,1.200655e-06,1.196012e-06,1.184022e-06,1.176837e-06,1.171538e-06,1.158624e-06,1.151227e-06,1.145339e-06,1.131737e-06,1.124277e-06,1.117867e-06,1.103775e-06,1.096373e-06,1.089502e-06,1.075088e-06,1.067839e-06,1.060568e-06,1.045974e-06,1.038951e-06,1.031336e-06,1.016680e-06,1.009940e-06,1.002033e-06,9.874164e-07,9.810000e-07,9.728507e-07,9.583547e-07,9.522912e-07,9.439453e-07,9.296378e-07,9.239465e-07,9.154461e-07,9.013824e-07,8.960742e-07,8.874579e-07,8.736826e-07,8.687616e-07,8.600650e-07,8.466131e-07,8.420784e-07,8.333335e-07,8.202323e-07,8.160784e-07,8.073145e-07,7.945845e-07,7.908027e-07,7.820461e-07,7.697022e-07,7.662812e-07,7.575555e-07,7.456078e-07,7.425342e-07,7.338607e-07,7.223151e-07,7.195742e-07,7.109717e-07,6.998307e-07,6.974069e-07,6.888921e-07,6.781553e-07,6.760321e-07,6.676198e-07,6.572845e-07,6.554454e-07,6.471484e-07,6.372099e-07,6.356380e-07,6.274675e-07,6.179195e-07,6.165982e-07,6.085640e-07,5.993989e-07,5.983117e-07,5.904220e-07,5.816311e-07,5.807621e-07,5.730238e-07,5.645976e-07,5.639313e-07,5.563501e-07,5.482787e-07,5.478000e-07,5.403808e-07,5.326536e-07,5.323480e-07,5.250945e-07,5.177007e-07,5.175545e-07,5.104695e-07,5.033981e-07,4.898574e-07,4.769107e-07,4.645367e-07,4.527141e-07,4.414218e-07,4.306391e-07,4.203460e-07,4.105227e-07,4.011499e-07,3.922089e-07,3.836817e-07,3.755507e-07,3.677990e-07,3.604101e-07,3.533682e-07,3.466582e-07,3.402655e-07,3.341759e-07,3.283759e-07,3.228526e-07,3.175935e-07,3.125866e-07,3.078205e-07,3.032843e-07,2.989675e-07,2.948600e-07,2.909523e-07,2.872351e-07,2.836996e-07,2.803375e-07,2.771408e-07,2.741017e-07,2.712130e-07,2.684677e-07,2.658591e-07,2.633807e-07,2.610267e-07,2.587910e-07,2.566682e-07,2.546531e-07,2.527405e-07,2.509256e-07,2.492039e-07,2.475710e-07,2.460228e-07,2.445551e-07,2.431642e-07,2.418465e-07,2.405985e-07
0.000000e+00,5.272119e-10,8.066758e-09,8.436136e-09,5.315649e-08,1.726224e-07,1.794771e-07,3.839801e-07,5.962443e-07,6.095944e-07,8.234611e-07,1.003694e-06,1.018596e-06,1.194739e-06,1.337889e-06,1.352937e-06,1.494452e-06,1.606183e-06,1.620539e-06,1.732399e-06,1.818084e-06,1.831164e-06,1.917899e-06,1.982188e-06,1.993597e-06,2.059183e-06,2.106021e-06,2.115514e-06,2.163386e-06,2.196089e-06,2.203533e-06,2.236634e-06,2.257968e-06,2.263318e-06,2.284162e-06,2.296423e-06,2.299693e-06,2.310410e-06,2.315509e-06,2.316765e-06,2.319177e-06,2.318684e-06,2.318022e-06,2.313653e-06,2.308856e-06,2.306392e-06,2.296533e-06,2.288485e-06,2.284348e-06,2.270085e-06,2.259644e-06,2.253972e-06,2.236217e-06,2.224081e-06,2.217011e-06,2.196529e-06,2.183260e-06,2.174931e-06,2.152362e-06,2.138411e-06,2.128957e-06,2.104836e-06,2.090563e-06,2.080112e-06,2.054884e-06,2.040572e-06,2.029246e-06,2.003281e-06,1.989151e-06,1.977066e-06,1.950669e-06,1.936892e-06,1.924154e-06,1.897577e-06,1.884281e-06,1.870990e-06,1.844438e-06,1.831719e-06,1.817965e-06,1.791607e-06,1.779530e-06,1.765398e-06,1.739368e-06,1.727979e-06,1.713545e-06,1.687952e-06,1.677277e-06,1.662611e-06,1.637540e-06,1.627591e-06,1.612756e-06,1.588273e-06,1.579051e-06,1.564104e-06,1.540260e-06,1.531758e-06,1.516750e-06,1.493582e-06,1.485783e-06,1.470761e-06,1.448295e-06,1.441181e-06,1.426185e-06,1.404437e-06,1.397983e-06,1.383052e-06,1.362031e-06,1.356210e-06,1.341375e-06,1.321085e-06,1.315869e-06,1.301159e-06,1.281597e-06,1.276956e-06,1.262398e-06,1.243558e-06,1.239461e-06,1.225076e-06,1.206949e-06,1.203366e-06,1.189174e-06,1.171748e-06,1.168648e-06,1.154666e-06,1.137925e-06,1.135278e-06,1.121522e-06,1.105452e-06,1.103228e-06,1.089710e-06,1.074292e-06,1.072464e-06,1.059194e-06,1.044412e-06,1.042950e-06,1.029939e-06,1.015773e-06,1.014652e-06,1.001907e-06,9.883371e-07,9.875323e-07,9.750588e-07,9.620669e-07,9.615531e-07,9.493566e-07,9.369230e-07,9.366772e-07,9.247615e-07,9.128672e-07,8.900859e-07,8.682969e-07,8.474639e-07,8.275517e-07,8.085258e-07,7.903525e-07,7.729990e-07,7.564333e-07,7.406247e-07,7.255432e-07,7.111597e-07,6.974463e-07,6.843758e-07,6.719221e-07,6.600600e-07,6.487652e-07,6.380142e-07,6.277845e-07,6.180543e-07,6.088027e-07,6.000096e-07,5.916556e-07,5.837221e-07,5.761913e-07,5.690458e-07,5.622692e-07,5.558456e-07,5.497597e-07,5.439969e-07,5.385430e-07,5.333846e-07,5.285085e-07,5.239025e-07,5.195544e-07,5.154528e-07,5.115867e-07,5.079453e-07,5.045187e-07,5.012970e-07,4.982708e-07,4.954312e-07,4.927696e-07,4.902775e-07,4.879472e-07,4.857710e-07,4.837416e-07,4.818520e-07,4.800954e-07,4.784655e-07
0.000000e+00,6.507854e-09,1.116758e-07,1.168563e-07,7.693856e-07,2.684730e-06,2.801150e-06,6.570990e-06,1.089726e-05,1.117439e-05,1.557997e-05,1.916161e-05,1.945030e-05,2.276380e-05,2.531011e-05,2.556951e-05,2.792593e-05,2.967214e-05,2.988857e-05,3.150724e-05,3.265801e-05,3.282611e-05,3.388413e-05,3.459638e-05,3.471539e-05,3.534938e-05,3.574079e-05,3.581267e-05,3.612859e-05,3.628907e-05,3.631762e-05,3.639763e-05,3.639446e-05,3.638421e-05,3.629097e-05,3.617406e-05,3.612975e-05,3.591085e-05,3.571704e-05,3.564322e-05,3.533465e-05,3.509095e-05,3.499188e-05,3.462077e-05,3.434687e-05,3.422639e-05,3.381314e-05,3.352331e-05,3.338481e-05,3.294470e-05,3.264917e-05,3.249565e-05,3.204009e-05,3.174611e-05,3.158014e-05,3.111763e-05,3.083027e-05,3.065410e-05,3.019088e-05,2.991359e-05,2.972913e-05,2.926980e-05,2.900483e-05,2.881372e-05,2.836160e-05,2.811037e-05,2.791403e-05,2.747148e-05,2.723475e-05,2.703438e-05,2.660306e-05,2.638115e-05,2.617779e-05,2.575880e-05,2.555171e-05,2.534626e-05,2.494030e-05,2.474781e-05,2.454102e-05,2.414850e-05,2.397022e-05,2.376277e-05,2.338385e-05,2.321928e-05,2.301175e-05,2.264644e-05,2.249504e-05,2.228791e-05,2.193610e-05,2.179725e-05,2.159097e-05,2.125246e-05,2.112554e-05,2.092049e-05,2.059500e-05,2.047939e-05,2.027590e-05,1.996312e-05,1.985819e-05,1.965656e-05,1.935614e-05,1.926128e-05,1.906176e-05,1.877333e-05,1.868795e-05,1.849077e-05,1.821396e-05,1.813748e-05,1.794283e-05,1.767726e-05,1.760912e-05,1.741717e-05,1.716247e-05,1.710213e-05,1.691304e-05,1.666881e-05,1.661577e-05,1.642968e-05,1.619555e-05,1.614932e-05,1.596634e-05,1.574194e-05,1.570206e-05,1.552228e-05,1.530726e-05,1.527328e-05,1.509680e-05,1.489080e-05,1.486232e-05,1.468919e-05,1.449188e-05,1.446849e-05,1.429879e-05,1.410984e-05,1.409116e-05,1.392494e-05,1.374401e-05,1.372971e-05,1.356699e-05,1.339379e-05,1.338352e-05,1.322434e-05,1.305856e-05,1.305201e-05,1.289639e-05,1.273775e-05,1.273461e-05,1.258257e-05,1.243078e-05,1.213999e-05,1.186174e-05,1.159553e-05,1.134088e-05,1.109735e-05,1.086449e-05,1.064189e-05,1.042914e-05,1.022583e-05,1.003161e-05,9.846101e-06,9.668959e-06,9.499848e-06,9.338445e-06,9.184439e-06,9.037532e-06,8.897436e-06,8.763876e-06,8.636584e-06,8.515306e-06,8.399796e-06,8.289817e-06,8.185143e-06,8.085555e-06,7.990843e-06,7.900806e-06,7.815249e-06,7.733985e-06,7.656837e-06,7.583630e-06,7.514200e-06,7.448387e-06,7.386039e-06,7.327008e-06,7.271152e-06,7.218338e-06,7.168432e-06,7.121311e-06,7.076854e-06,7.034945e-06,6.995473e-06,6.958330e-06,6.923415e-06,6.890629e-06,6.859876e-06,6.831066e-06,6.804111e-06,6.778928e-06,6.755435e-06
0.000000e+00,1.213295e-09,2.143018e-08,2.245259e-08,1.481281e-07,4.753193e-07,4.935636e-07,1.016766e-06,1.540554e-06,1.573461e-06,2.104838e-06,2.562128e-06,2.600428e-06,3.059748e-06,3.443254e-06,3.484177e-06,3.875493e-06,4.193899e-06,4.235508e-06,4.565964e-06,4.827715e-06,4.868437e-06,5.144542e-06,5.357248e-06,5.395854e-06,5.623877e-06,5.794483e-06,5.830042e-06,6.015710e-06,6.150355e-06,6.182170e-06,6.330643e-06,6.434710e-06,6.462283e-06,6.578180e-06,6.656368e-06,6.679363e-06,6.766805e-06,6.823205e-06,6.841420e-06,6.904073e-06,6.942234e-06,6.955576e-06,6.996696e-06,7.019690e-06,7.028155e-06,7.050631e-06,7.061111e-06,7.064763e-06,7.071153e-06,7.071405e-06,7.070366e-06,7.062934e-06,7.054922e-06,7.049357e-06,7.030103e-06,7.015510e-06,7.005614e-06,6.976305e-06,6.956568e-06,6.942563e-06,6.904755e-06,6.881098e-06,6.863222e-06,6.818286e-06,6.791749e-06,6.770248e-06,6.719391e-06,6.690849e-06,6.665978e-06,6.610258e-06,6.580449e-06,6.552462e-06,6.492809e-06,6.462349e-06,6.431499e-06,6.368725e-06,6.338125e-06,6.304662e-06,6.239477e-06,6.209158e-06,6.173325e-06,6.106349e-06,6.076654e-06,6.038685e-06,5.970457e-06,5.941662e-06,5.901783e-06,5.832771e-06,5.805095e-06,5.763523e-06,5.694131e-06,5.667743e-06,5.624683e-06,5.555260e-06,5.530289e-06,5.485937e-06,5.416782e-06,5.393319e-06,5.347860e-06,5.279229e-06,5.257338e-06,5.210944e-06,5.143055e-06,5.122773e-06,5.075608e-06,5.008644e-06,4.989986e-06,4.942202e-06,4.876318e-06,4.859283e-06,4.811022e-06,4.746344e-06,4.730917e-06,4.682311e-06,4.618945e-06,4.605096e-06,4.556268e-06,4.494299e-06,4.481991e-06,4.433054e-06,4.372548e-06,4.361736e-06,4.312794e-06,4.253803e-06,4.244436e-06,4.195585e-06,4.138148e-06,4.130169e-06,4.081498e-06,4.025641e-06,4.018991e-06,3.970580e-06,3.916319e-06,3.910937e-06,3.862860e-06,3.810204e-06,3.806026e-06,3.758350e-06,3.707298e-06,3.704260e-06,3.657046e-06,3.607592e-06,3.605630e-06,3.558933e-06,3.511065e-06,3.510115e-06,3.463984e-06,3.417686e-06,3.328303e-06,3.241922e-06,3.158492e-06,3.077959e-06,3.000264e-06,2.925345e-06,2.853138e-06,2.783576e-06,2.716594e-06,2.652122e-06,2.590092e-06,2.530436e-06,2.473085e-06,2.417972e-06,2.365028e-06,2.314188e-06,2.265385e-06,2.218555e-06,2.173634e-06,2.130561e-06,2.089274e-06,2.049713e-06,2.011820e-06,1.975539e-06,1.940814e-06,1.907592e-06,1.875819e-06,1.845445e-06,1.816420e-06,1.788696e-06,1.762227e-06,1.736967e-06,1.712872e-06,1.689899e-06,1.668008e-06,1.647158e-06,1.627311e-06,1.608429e-06,1.590476e-06,1.573416e-06,1.557217e-06,1.541845e-06,1.527268e-06,1.513455e-06,1.500378e-06,1.488007e-06,1.476315e-06,1.465275e-06,1.454861e-06
0.000000e+00,3.175114e-09,1.242882e-07,1.313444e-07,1.317228e-06,6.339944e-06,6.693442e-06,2.016682e-05,3.903130e-05,4.032847e-05,6.212936e-05,8.152861e-05,8.316651e-05,1.029217e-04,1.195579e-04,1.213404e-04,1.384593e-04,1.524911e-04,1.543318e-04,1.690141e-04,1.807314e-04,1.825619e-04,1.950301e-04,2.047089e-04,2.064731e-04,2.169439e-04,2.248413e-04,2.264948e-04,2.351764e-04,2.415287e-04,2.430377e-04,2.501260e-04,2.551476e-04,2.564868e-04,2.621636e-04,2.660461e-04,2.671978e-04,2.716291e-04,2.745422e-04,2.754949e-04,2.788309e-04,2.809239e-04,2.816710e-04,2.840472e-04,2.854508e-04,2.859898e-04,2.875277e-04,2.883563e-04,2.886881e-04,2.894968e-04,2.898499e-04,2.899784e-04,2.901557e-04,2.901195e-04,2.900503e-04,2.896827e-04,2.893316e-04,2.890722e-04,2.882371e-04,2.876353e-04,2.871943e-04,2.859602e-04,2.851627e-04,2.845498e-04,2.829775e-04,2.820314e-04,2.812569e-04,2.794005e-04,2.783458e-04,2.774203e-04,2.753274e-04,2.741982e-04,2.731325e-04,2.708454e-04,2.696702e-04,2.684754e-04,2.660312e-04,2.648340e-04,2.635209e-04,2.609523e-04,2.597531e-04,2.583324e-04,2.556680e-04,2.544831e-04,2.529653e-04,2.502302e-04,2.490732e-04,2.474683e-04,2.446846e-04,2.435661e-04,2.418838e-04,2.390705e-04,2.379990e-04,2.362488e-04,2.334225e-04,2.324046e-04,2.305952e-04,2.277702e-04,2.268108e-04,2.249506e-04,2.221394e-04,2.212419e-04,2.193390e-04,2.165520e-04,2.157188e-04,2.137805e-04,2.110267e-04,2.102591e-04,2.082925e-04,2.055796e-04,2.048779e-04,2.028895e-04,2.002238e-04,1.995878e-04,1.975837e-04,1.949705e-04,1.943993e-04,1.923853e-04,1.898289e-04,1.893212e-04,1.873023e-04,1.848062e-04,1.843602e-04,1.823414e-04,1.799083e-04,1.795220e-04,1.775076e-04,1.751397e-04,1.748109e-04,1.728050e-04,1.705037e-04,1.702298e-04,1.682362e-04,1.660026e-04,1.657811e-04,1.638030e-04,1.616376e-04,1.614659e-04,1.595065e-04,1.574096e-04,1.572848e-04,1.553468e-04,1.533182e-04,1.532378e-04,1.513236e-04,1.493630e-04,1.493241e-04,1.474360e-04,1.455426e-04,1.418919e-04,1.383700e-04,1.349748e-04,1.317039e-04,1.285546e-04,1.255243e-04,1.226100e-04,1.198088e-04,1.171176e-04,1.145333e-04,1.120528e-04,1.096730e-04,1.073907e-04,1.052028e-04,1.031063e-04,1.010980e-04,9.917494e-05,9.733419e-05,9.557283e-05,9.388802e-05,9.227697e-05,9.073696e-05,8.926536e-05,8.785958e-05,8.651712e-05,8.523556e-05,8.401252e-05,8.284572e-05,8.173295e-05,8.067206e-05,7.966097e-05,7.869768e-05,7.778025e-05,7.690682e-05,7.607557e-05,7.528477e-05,7.453274e-05,7.381786e-05,7.313857e-05,7.249338e-05,7.188083e-05,7.129955e-05,7.074818e-05,7.022545e-05,6.973012e-05,6.926100e-05,6.881695e-05,6.839686e-05,6.799969e-05
0.000000e+00,1.144407e-10,1.952698e-08,2.110813e-08,5.238573e-07,4.681593e-06,5.055126e-06,2.528057e-05,7.331548e-05,7.755207e-05,1.682517e-04,2.787057e-04,2.891550e-04,4.260485e-04,5.528343e-04,5.668409e-04,7.040404e-04,8.187802e-04,8.339159e-04,9.549941e-04,1.051810e-03,1.066935e-03,1.169902e-03,1.249722e-03,1.264258e-03,1.350434e-03,1.415308e-03,1.428878e-03,1.500033e-03,1.552000e-03,1.564331e-03,1.622184e-03,1.663091e-03,1.673989e-03,1.720125e-03,1.751618e-03,1.760950e-03,1.796807e-03,1.820333e-03,1.828019e-03,1.854892e-03,1.871718e-03,1.877717e-03,1.896766e-03,1.907993e-03,1.912298e-03,1.924557e-03,1.931142e-03,1.933773e-03,1.940163e-03,1.942932e-03,1.943932e-03,1.945272e-03,1.944939e-03,1.944365e-03,1.941383e-03,1.938563e-03,1.936487e-03,1.929828e-03,1.925045e-03,1.921547e-03,1.911780e-03,1.905483e-03,1.900651e-03,1.888278e-03,1.880847e-03,1.874772e-03,1.860236e-03,1.851992e-03,1.844767e-03,1.828457e-03,1.819672e-03,1.811391e-03,1.793649e-03,1.784548e-03,1.775306e-03,1.756431e-03,1.747202e-03,1.737091e-03,1.717346e-03,1.708144e-03,1.697254e-03,1.676868e-03,1.667817e-03,1.656236e-03,1.635407e-03,1.626609e-03,1.614421e-03,1.593320e-03,1.584856e-03,1.572140e-03,1.550917e-03,1.542847e-03,1.529682e-03,1.508464e-03,1.500835e-03,1.487291e-03,1.466188e-03,1.459034e-03,1.445179e-03,1.424285e-03,1.417626e-03,1.403525e-03,1.382917e-03,1.376767e-03,1.362479e-03,1.342225e-03,1.336588e-03,1.322168e-03,1.302321e-03,1.297197e-03,1.282696e-03,1.263302e-03,1.258682e-03,1.244148e-03,1.225243e-03,1.221118e-03,1.206593e-03,1.188205e-03,1.184560e-03,1.170085e-03,1.152237e-03,1.149053e-03,1.134665e-03,1.117372e-03,1.114631e-03,1.100362e-03,1.083636e-03,1.081317e-03,1.067196e-03,1.051044e-03,1.049125e-03,1.035180e-03,1.019604e-03,1.018062e-03,1.004317e-03,9.893174e-04,9.881299e-04,9.746052e-04,9.601792e-04,9.593227e-04,9.460378e-04,9.321797e-04,9.316312e-04,9.186028e-04,9.053050e-04,9.050419e-04,8.922842e-04,8.795378e-04,8.550992e-04,8.317039e-04,8.093280e-04,7.879459e-04,7.675310e-04,7.480557e-04,7.294919e-04,7.118108e-04,6.949837e-04,6.789815e-04,6.637755e-04,6.493370e-04,6.356377e-04,6.226497e-04,6.103454e-04,5.986980e-04,5.876811e-04,5.772688e-04,5.674362e-04,5.581587e-04,5.494127e-04,5.411750e-04,5.334233e-04,5.261361e-04,5.192924e-04,5.128719e-04,5.068552e-04,5.012235e-04,4.959585e-04,4.910430e-04,4.864600e-04,4.821934e-04,4.782276e-04,4.745477e-04,4.711395e-04,4.679890e-04,4.650832e-04,4.624093e-04,4.599553e-04,4.577095e-04,4.556608e-04,4.537985e-04,4.521125e-04,4.505930e-04,4.492307e-04,4.480167e-04,4.469425e-04,4.460000e-04,4.451814e-04
0.000000e+00,8.064543e-10,1.254303e-08,1.312314e-08,8.550486e-08,2.943582e-07,3.070141e-07,7.225370e-07,1.225644e-06,1.258994e-06,1.807416e-06,2.280786e-06,2.320180e-06,2.788170e-06,3.171578e-06,3.212051e-06,3.594425e-06,3.898872e-06,3.938177e-06,4.246128e-06,4.484376e-06,4.520953e-06,4.765170e-06,4.948387e-06,4.981135e-06,5.171049e-06,5.308782e-06,5.336962e-06,5.480786e-06,5.581141e-06,5.604299e-06,5.709140e-06,5.778942e-06,5.796840e-06,5.868820e-06,5.913826e-06,5.926398e-06,5.970793e-06,5.995826e-06,6.003135e-06,6.024468e-06,6.033559e-06,6.035764e-06,6.037918e-06,6.034434e-06,6.031760e-06,6.018054e-06,6.004788e-06,5.997511e-06,5.970782e-06,5.950049e-06,5.938473e-06,5.901141e-06,5.874852e-06,5.859301e-06,5.813426e-06,5.783152e-06,5.763956e-06,5.711294e-06,5.678320e-06,5.655811e-06,5.597849e-06,5.563220e-06,5.537722e-06,5.475721e-06,5.440281e-06,5.412110e-06,5.347135e-06,5.311560e-06,5.281018e-06,5.213966e-06,5.178792e-06,5.146166e-06,5.077791e-06,5.043437e-06,5.008998e-06,4.939930e-06,4.906719e-06,4.870719e-06,4.801484e-06,4.769659e-06,4.732335e-06,4.663368e-06,4.633104e-06,4.594675e-06,4.526335e-06,4.497755e-06,4.458421e-06,4.391000e-06,4.364183e-06,4.324131e-06,4.257866e-06,4.232853e-06,4.192252e-06,4.127331e-06,4.104137e-06,4.063141e-06,3.999714e-06,3.978328e-06,3.937079e-06,3.875259e-06,3.855653e-06,3.814278e-06,3.754152e-06,3.736284e-06,3.694898e-06,3.636527e-06,3.620343e-06,3.579049e-06,3.522473e-06,3.507912e-06,3.466805e-06,3.412047e-06,3.399041e-06,3.358203e-06,3.305273e-06,3.293751e-06,3.253256e-06,3.202151e-06,3.192039e-06,3.151953e-06,3.102659e-06,3.093882e-06,3.054264e-06,3.006761e-06,2.999242e-06,2.960143e-06,2.914403e-06,2.908069e-06,2.869533e-06,2.825524e-06,2.820300e-06,2.782367e-06,2.740051e-06,2.735866e-06,2.698568e-06,2.657906e-06,2.654689e-06,2.618056e-06,2.579005e-06,2.576687e-06,2.540743e-06,2.503259e-06,2.501776e-06,2.466541e-06,2.430579e-06,2.429867e-06,2.395359e-06,2.360870e-06,2.294696e-06,2.231252e-06,2.170449e-06,2.112196e-06,2.056405e-06,2.002989e-06,1.951862e-06,1.902939e-06,1.856140e-06,1.811385e-06,1.768595e-06,1.727695e-06,1.688613e-06,1.651278e-06,1.615621e-06,1.581575e-06,1.549076e-06,1.518064e-06,1.488477e-06,1.460259e-06,1.433354e-06,1.407708e-06,1.383270e-06,1.359990e-06,1.337821e-06,1.316717e-06,1.296633e-06,1.277527e-06,1.259358e-06,1.242087e-06,1.225676e-06,1.210089e-06,1.195292e-06,1.181249e-06,1.167930e-06,1.155304e-06,1.143340e-06,1.132011e-06,1.121289e-06,1.111148e-06,1.101562e-06,1.092507e-06,1.083961e-06,1.075900e-06,1.068304e-06,1.061151e-06,1.054423e-06,1.048100e-06,1.042164e-06
0.000000e+00,6.942916e-09,2.892259e-07,3.066271e-07,3.378575e-06,1.568733e-05,1.649744e-05,4.307785e-05,7.292166e-05,7.484305e-05,1.063561e-04,1.341494e-04,1.365061e-04,1.651440e-04,1.896328e-04,1.922798e-04,2.179506e-04,2.393616e-04,2.421973e-04,2.650611e-04,2.836494e-04,2.865833e-04,3.068065e-04,3.228218e-04,3.257740e-04,3.435303e-04,3.572182e-04,3.601203e-04,3.755893e-04,3.871877e-04,3.899825e-04,4.033444e-04,4.130791e-04,4.157190e-04,4.271494e-04,4.352309e-04,4.376775e-04,4.473441e-04,4.539659e-04,4.561885e-04,4.642491e-04,4.695881e-04,4.715627e-04,4.781649e-04,4.823815e-04,4.840899e-04,4.893708e-04,4.926103e-04,4.940395e-04,4.981265e-04,5.005196e-04,5.016613e-04,5.046720e-04,5.063364e-04,5.071857e-04,5.092286e-04,5.102697e-04,5.108256e-04,5.120006e-04,5.125126e-04,5.127765e-04,5.131755e-04,5.132424e-04,5.132184e-04,5.129255e-04,5.126219e-04,5.123159e-04,5.114084e-04,5.108006e-04,5.102204e-04,5.087689e-04,5.079154e-04,5.070701e-04,5.051395e-04,5.040919e-04,5.029918e-04,5.006412e-04,4.994448e-04,4.981012e-04,4.953846e-04,4.940791e-04,4.925037e-04,4.894703e-04,4.880902e-04,4.862956e-04,4.829903e-04,4.815655e-04,4.795645e-04,4.760279e-04,4.745844e-04,4.723899e-04,4.686592e-04,4.672190e-04,4.648442e-04,4.609529e-04,4.595348e-04,4.569928e-04,4.529713e-04,4.515912e-04,4.488951e-04,4.447708e-04,4.434419e-04,4.406046e-04,4.364023e-04,4.351354e-04,4.321695e-04,4.279115e-04,4.267154e-04,4.236333e-04,4.193396e-04,4.182213e-04,4.150349e-04,4.107235e-04,4.096882e-04,4.064094e-04,4.020963e-04,4.011479e-04,3.977878e-04,3.934873e-04,3.926284e-04,3.891979e-04,3.849227e-04,3.841549e-04,3.806644e-04,3.764256e-04,3.757494e-04,3.722090e-04,3.680166e-04,3.674317e-04,3.638508e-04,3.597135e-04,3.592190e-04,3.556066e-04,3.515319e-04,3.511263e-04,3.474910e-04,3.434854e-04,3.431665e-04,3.395166e-04,3.355857e-04,3.353511e-04,3.316941e-04,3.278427e-04,3.276895e-04,3.240327e-04,3.202649e-04,3.201900e-04,3.165401e-04,3.128591e-04,3.057024e-04,2.987244e-04,2.919283e-04,2.853168e-04,2.788913e-04,2.726529e-04,2.666018e-04,2.607376e-04,2.550596e-04,2.495664e-04,2.442562e-04,2.391271e-04,2.341765e-04,2.294018e-04,2.248000e-04,2.203680e-04,2.161026e-04,2.120001e-04,2.080572e-04,2.042700e-04,2.006348e-04,1.971478e-04,1.938051e-04,1.906030e-04,1.875373e-04,1.846043e-04,1.818000e-04,1.791206e-04,1.765623e-04,1.741211e-04,1.717934e-04,1.695754e-04,1.674635e-04,1.654541e-04,1.635436e-04,1.617285e-04,1.600054e-04,1.583710e-04,1.568220e-04,1.553553e-04,1.539676e-04,1.526559e-04,1.514174e-04,1.502490e-04,1.491480e-04,1.481115e-04,1.471371e-04,1.462220e-04,1.453638e-04
0.000000e+00,1.121021e-12,2.536527e-10,2.748622e-10,7.307129e-09,7.426296e-08,8.087893e-08,5.502251e-07,2.460431e-06,2.685021e-06,1.016479e-05,2.887539e-05,3.139575e-05,8.219610e-05,1.740876e-04,1.881148e-04,3.858198e-04,6.735922e-04,7.233182e-04,1.259038e-03,1.929191e-03,2.059965e-03,3.199111e-03,4.473027e-03,4.752583e-03,6.796527e-03,8.890064e-03,9.404155e-03,1.264304e-02,1.572902e-02,1.657278e-02,2.124310e-02,2.542523e-02,2.669247e-02,3.294715e-02,3.824815e-02,4.002076e-02,4.791424e-02,5.427699e-02,5.661617e-02,6.610343e-02,7.340185e-02,7.634205e-02,8.728835e-02,9.534419e-02,9.889014e-02,1.110880e-01,1.196899e-01,1.238166e-01,1.370061e-01,1.459282e-01,1.505834e-01,1.644733e-01,1.734919e-01,1.786000e-01,1.928876e-01,2.017939e-01,2.072615e-01,2.216491e-01,2.302590e-01,2.359804e-01,2.501887e-01,2.583483e-01,2.642113e-01,2.779894e-01,2.855779e-01,2.914689e-01,3.046002e-01,3.115305e-01,3.173387e-01,3.296446e-01,3.358607e-01,3.414826e-01,3.528226e-01,3.582976e-01,3.636388e-01,3.739102e-01,3.786418e-01,3.836197e-01,3.927545e-01,3.967608e-01,4.013053e-01,4.092666e-01,4.125821e-01,4.166360e-01,4.234145e-01,4.260859e-01,4.296054e-01,4.352148e-01,4.372975e-01,4.402509e-01,4.447240e-01,4.462786e-01,4.486462e-01,4.520309e-01,4.531207e-01,4.548931e-01,4.572488e-01,4.579373e-01,4.591148e-01,4.605090e-01,4.608584e-01,4.614495e-01,4.619551e-01,4.620248e-01,4.620448e-01,4.617379e-01,4.615835e-01,4.610537e-01,4.600114e-01,4.596841e-01,4.586301e-01,4.569289e-01,4.564751e-01,4.549265e-01,4.526412e-01,4.521023e-01,4.500911e-01,4.472937e-01,4.467061e-01,4.442662e-01,4.410253e-01,4.404205e-01,4.375870e-01,4.339670e-01,4.333720e-01,4.301805e-01,4.262418e-01,4.256791e-01,4.221650e-01,4.179635e-01,4.174515e-01,4.136501e-01,4.092371e-01,4.087907e-01,4.047362e-01,4.001586e-01,3.997894e-01,3.955150e-01,3.908155e-01,3.905319e-01,3.860697e-01,3.812866e-01,3.810947e-01,3.764750e-01,3.716430e-01,3.715462e-01,3.667982e-01,3.619479e-01,3.523543e-01,3.428136e-01,3.333682e-01,3.240550e-01,3.149059e-01,3.059483e-01,2.972056e-01,2.886972e-01,2.804394e-01,2.724453e-01,2.647252e-01,2.572872e-01,2.501370e-01,2.432783e-01,2.367133e-01,2.304423e-01,2.244646e-01,2.187780e-01,2.133793e-01,2.082646e-01,2.034287e-01,1.988661e-01,1.945706e-01,1.905353e-01,1.867530e-01,1.832160e-01,1.799164e-01,1.768459e-01,1.739961e-01,1.713584e-01,1.689240e-01,1.666842e-01,1.646300e-01,1.627527e-01,1.610433e-01,1.594932e-01,1.580936e-01,1.568359e-01,1.557117e-01,1.547126e-01,1.538306e-01,1.530576e-01,1.523861e-01,1.518083e-01,1.513171e-01,1.509054e-01,1.505665e-01,1.502938e-01,1.500810e-01
0.000000e+00,1.541175e-11,2.782107e-09,3.005003e-09,7.154843e-08,6.736745e-07,7.309052e-07,4.371174e-06,1.616201e-05,1.738531e-05,5.008793e-05,1.062669e-04,1.125143e-04,2.095770e-04,3.251396e-04,3.394279e-04,4.950396e-04,6.458357e-04,6.670183e-04,8.460310e-04,9.995804e-04,1.024243e-03,1.195845e-03,1.332015e-03,1.356986e-03,1.505423e-03,1.616904e-03,1.640116e-03,1.760844e-03,1.847565e-03,1.867913e-03,1.961945e-03,2.026742e-03,2.043726e-03,2.114118e-03,2.160540e-03,2.173999e-03,2.224230e-03,2.255676e-03,2.265637e-03,2.298995e-03,2.318440e-03,2.325033e-03,2.344426e-03,2.354383e-03,2.357798e-03,2.365727e-03,2.368282e-03,2.368744e-03,2.367337e-03,2.364204e-03,2.361954e-03,2.353008e-03,2.345589e-03,2.340877e-03,2.325907e-03,2.315340e-03,2.308415e-03,2.288690e-03,2.275895e-03,2.266998e-03,2.243582e-03,2.229298e-03,2.218662e-03,2.192441e-03,2.177258e-03,2.165103e-03,2.136815e-03,2.121199e-03,2.107730e-03,2.077987e-03,2.062304e-03,2.047713e-03,2.017022e-03,2.001553e-03,1.986018e-03,1.954796e-03,1.939756e-03,1.923439e-03,1.892025e-03,1.877574e-03,1.860622e-03,1.829294e-03,1.815548e-03,1.798096e-03,1.767077e-03,1.754114e-03,1.736283e-03,1.705753e-03,1.693623e-03,1.675522e-03,1.645622e-03,1.634352e-03,1.616079e-03,1.586918e-03,1.576517e-03,1.558159e-03,1.529820e-03,1.520283e-03,1.501917e-03,1.474462e-03,1.465773e-03,1.447466e-03,1.420938e-03,1.413072e-03,1.394885e-03,1.369312e-03,1.362238e-03,1.344224e-03,1.319622e-03,1.313305e-03,1.295508e-03,1.271882e-03,1.266285e-03,1.248744e-03,1.226092e-03,1.221174e-03,1.203924e-03,1.182237e-03,1.177957e-03,1.161026e-03,1.140288e-03,1.136605e-03,1.120019e-03,1.100211e-03,1.097085e-03,1.080862e-03,1.061963e-03,1.059353e-03,1.043509e-03,1.025494e-03,1.023362e-03,1.007911e-03,9.907536e-04,9.890609e-04,9.740139e-04,9.576852e-04,9.563964e-04,9.417604e-04,9.262321e-04,9.253129e-04,9.110931e-04,8.963361e-04,8.957536e-04,8.819536e-04,8.679383e-04,8.676617e-04,8.542829e-04,8.409800e-04,8.156520e-04,7.916217e-04,7.688345e-04,7.472365e-04,7.267757e-04,7.074012e-04,6.890637e-04,6.717157e-04,6.553113e-04,6.398063e-04,6.251580e-04,6.113256e-04,5.982697e-04,5.859529e-04,5.743389e-04,5.633934e-04,5.530833e-04,5.433770e-04,5.342445e-04,5.256569e-04,5.175867e-04,5.100079e-04,5.028953e-04,4.962251e-04,4.899747e-04,4.841224e-04,4.786475e-04,4.735304e-04,4.687525e-04,4.642959e-04,4.601436e-04,4.562796e-04,4.526884e-04,4.493555e-04,4.462669e-04,4.434093e-04,4.407703e-04,4.383379e-04,4.361005e-04,4.340476e-04,4.321686e-04,4.304539e-04,4.288941e-04,4.274804e-04,4.262043e-04,4.250580e-04,4.240337e-04,4.231243e-04,4.223229e-04
0.000000e+00,4.846196e-12,1.093512e-09,1.186949e-09,3.536087e-08,3.841243e-07,4.185999e-07,2.715197e-06,1.051764e-05,1.134352e-05,3.418813e-05,7.614252e-05,8.099184e-05,1.605553e-04,2.648607e-04,2.784469e-04,4.360376e-04,6.056012e-04,6.307690e-04,8.571518e-04,1.071696e-03,1.107997e-03,1.375540e-03,1.607679e-03,1.652290e-03,1.931575e-03,2.158530e-03,2.207816e-03,2.476602e-03,2.684012e-03,2.734634e-03,2.979592e-03,3.160594e-03,3.209977e-03,3.424943e-03,3.577781e-03,3.624151e-03,3.807637e-03,3.933467e-03,3.975707e-03,4.128852e-03,4.230215e-03,4.267684e-03,4.392889e-03,4.472811e-03,4.505190e-03,4.605321e-03,4.666832e-03,4.694013e-03,4.771979e-03,4.817895e-03,4.839905e-03,4.898451e-03,4.931290e-03,4.948246e-03,4.989885e-03,5.011853e-03,5.023931e-03,5.050914e-03,5.063924e-03,5.071335e-03,5.085663e-03,5.091356e-03,5.094339e-03,5.097778e-03,5.097563e-03,5.096369e-03,5.090476e-03,5.085551e-03,5.080441e-03,5.066585e-03,5.057971e-03,5.049209e-03,5.028592e-03,5.017152e-03,5.005000e-03,4.978679e-03,4.965144e-03,4.949860e-03,4.918759e-03,4.903742e-03,4.885579e-03,4.850509e-03,4.834526e-03,4.813727e-03,4.775398e-03,4.758876e-03,4.735676e-03,4.694708e-03,4.678001e-03,4.652627e-03,4.609560e-03,4.592961e-03,4.565625e-03,4.520932e-03,4.504677e-03,4.475584e-03,4.429675e-03,4.413955e-03,4.383296e-03,4.336528e-03,4.321494e-03,4.289450e-03,4.242133e-03,4.227901e-03,4.194643e-03,4.147043e-03,4.133703e-03,4.099390e-03,4.051737e-03,4.039354e-03,4.004134e-03,3.956627e-03,3.945244e-03,3.909257e-03,3.862064e-03,3.851709e-03,3.815084e-03,3.768349e-03,3.759034e-03,3.721891e-03,3.675736e-03,3.667463e-03,3.629912e-03,3.584441e-03,3.577199e-03,3.539344e-03,3.494642e-03,3.488416e-03,3.450351e-03,3.406488e-03,3.401254e-03,3.363067e-03,3.320101e-03,3.315830e-03,3.277601e-03,3.235578e-03,3.232237e-03,3.194041e-03,3.152998e-03,3.150551e-03,3.112455e-03,3.072418e-03,3.070827e-03,3.032893e-03,2.993884e-03,2.993109e-03,2.955393e-03,2.917424e-03,2.843791e-03,2.772218e-03,2.702705e-03,2.635242e-03,2.569817e-03,2.506410e-03,2.444998e-03,2.385553e-03,2.328043e-03,2.272436e-03,2.218697e-03,2.166787e-03,2.116668e-03,2.068301e-03,2.021645e-03,1.976660e-03,1.933303e-03,1.891534e-03,1.851312e-03,1.812594e-03,1.775340e-03,1.739510e-03,1.705064e-03,1.671961e-03,1.640163e-03,1.609632e-03,1.580330e-03,1.552220e-03,1.525265e-03,1.499430e-03,1.474681e-03,1.450983e-03,1.428303e-03,1.406608e-03,1.385868e-03,1.366050e-03,1.347125e-03,1.329063e-03,1.311835e-03,1.295414e-03,1.279773e-03,1.264883e-03,1.250721e-03,1.237260e-03,1.224476e-03,1.212346e-03,1.200845e-03,1.189951e-03,1.179643e-03
0.000000e+00,7.333764e-12,1.429468e-09,1.545853e-09,3.836057e-08,3.684111e-07,4.000119e-07,2.449253e-06,9.378035e-06,1.011506e-05,3.068167e-05,6.873032e-05,7.312553e-05,1.447138e-04,2.364727e-04,2.482288e-04,3.811851e-04,5.172516e-04,5.368380e-04,7.060777e-04,8.551830e-04,8.793468e-04,1.048086e-03,1.181337e-03,1.205560e-03,1.347138e-03,1.449466e-03,1.470184e-03,1.573730e-03,1.642689e-03,1.658065e-03,1.724339e-03,1.764555e-03,1.774216e-03,1.809606e-03,1.828024e-03,1.832474e-03,1.844709e-03,1.847946e-03,1.848050e-03,1.844049e-03,1.837389e-03,1.834059e-03,1.819237e-03,1.806517e-03,1.800561e-03,1.778850e-03,1.762704e-03,1.754782e-03,1.728916e-03,1.711087e-03,1.701713e-03,1.673546e-03,1.655157e-03,1.644720e-03,1.615483e-03,1.597241e-03,1.586038e-03,1.556547e-03,1.538886e-03,1.527140e-03,1.497923e-03,1.481097e-03,1.468978e-03,1.440372e-03,1.424521e-03,1.412158e-03,1.384377e-03,1.369567e-03,1.357061e-03,1.330235e-03,1.316485e-03,1.303916e-03,1.278117e-03,1.265414e-03,1.252845e-03,1.228105e-03,1.216420e-03,1.203901e-03,1.180232e-03,1.169524e-03,1.157097e-03,1.134492e-03,1.124712e-03,1.112412e-03,1.090853e-03,1.081951e-03,1.069807e-03,1.049267e-03,1.041191e-03,1.029226e-03,1.009676e-03,1.002374e-03,9.906084e-04,9.720148e-04,9.654355e-04,9.538864e-04,9.362142e-04,9.303080e-04,9.189892e-04,9.022023e-04,8.969216e-04,8.858446e-04,8.699070e-04,8.652062e-04,8.543803e-04,8.392558e-04,8.350918e-04,8.245245e-04,8.101775e-04,8.065091e-04,7.962062e-04,7.826019e-04,7.793905e-04,7.693562e-04,7.564607e-04,7.536699e-04,7.439071e-04,7.316874e-04,7.292828e-04,7.197936e-04,7.082178e-04,7.061673e-04,6.969523e-04,6.859896e-04,6.842631e-04,6.753222e-04,6.649430e-04,6.635125e-04,6.548447e-04,6.450205e-04,6.438596e-04,6.354634e-04,6.261667e-04,6.252512e-04,6.171241e-04,6.083289e-04,6.076358e-04,5.997750e-04,5.914562e-04,5.909644e-04,5.833665e-04,5.755001e-04,5.751900e-04,5.678512e-04,5.604142e-04,5.602676e-04,5.531838e-04,5.461544e-04,5.328094e-04,5.201935e-04,5.082694e-04,4.970017e-04,4.863565e-04,4.763016e-04,4.668064e-04,4.578415e-04,4.493794e-04,4.413935e-04,4.338589e-04,4.267515e-04,4.200489e-04,4.137294e-04,4.077725e-04,4.021588e-04,3.968699e-04,3.918882e-04,3.871971e-04,3.827808e-04,3.786242e-04,3.747132e-04,3.710341e-04,3.675743e-04,3.643216e-04,3.612643e-04,3.583917e-04,3.556932e-04,3.531590e-04,3.507799e-04,3.485470e-04,3.464518e-04,3.444865e-04,3.426435e-04,3.409156e-04,3.392961e-04,3.377786e-04,3.363570e-04,3.350256e-04,3.337789e-04,3.326118e-04,3.315194e-04,3.304971e-04,3.295405e-04,3.286455e-04,3.278081e-04,3.270247e-04,3.262918e-04,3.256062e-04
0.000000e+00,1.700253e-09,1.923323e-08,2.001365e-08,1.124206e-07,3.945151e-07,4.125757e-07,1.058126e-06,1.949688e-06,2.012075e-06,3.077187e-06,4.034235e-06,4.114815e-06,5.079281e-06,5.876804e-06,5.961292e-06,6.761946e-06,7.402316e-06,7.485165e-06,8.135562e-06,8.640238e-06,8.717826e-06,9.236527e-06,9.626328e-06,9.696049e-06,1.010058e-05,1.039404e-05,1.045408e-05,1.076032e-05,1.097367e-05,1.102284e-05,1.124499e-05,1.139226e-05,1.142990e-05,1.158053e-05,1.167378e-05,1.169963e-05,1.178978e-05,1.183928e-05,1.185340e-05,1.189273e-05,1.190721e-05,1.190989e-05,1.190682e-05,1.189363e-05,1.188536e-05,1.184719e-05,1.181250e-05,1.179389e-05,1.172693e-05,1.167592e-05,1.164768e-05,1.155738e-05,1.149434e-05,1.145722e-05,1.134828e-05,1.127676e-05,1.123155e-05,1.110799e-05,1.103092e-05,1.097843e-05,1.084367e-05,1.076342e-05,1.070445e-05,1.056144e-05,1.047994e-05,1.041527e-05,1.026649e-05,1.018526e-05,1.011564e-05,9.963203e-06,9.883454e-06,9.809613e-06,9.655276e-06,9.577944e-06,9.500560e-06,9.345802e-06,9.271594e-06,9.191307e-06,9.037353e-06,8.966786e-06,8.884191e-06,8.732048e-06,8.665482e-06,8.581130e-06,8.431619e-06,8.369284e-06,8.283680e-06,8.137460e-06,8.079483e-06,7.993089e-06,7.850682e-06,7.797103e-06,7.710338e-06,7.572145e-06,7.522937e-06,7.436178e-06,7.302502e-06,7.257583e-06,7.171170e-06,7.042226e-06,7.001474e-06,6.915706e-06,6.791638e-06,6.754900e-06,6.670043e-06,6.550935e-06,6.518031e-06,6.434321e-06,6.320203e-06,6.290941e-06,6.208578e-06,6.099439e-06,6.073615e-06,5.992775e-06,5.888569e-06,5.865972e-06,5.786803e-06,5.687455e-06,5.667873e-06,5.590500e-06,5.495912e-06,5.479135e-06,5.403661e-06,5.313715e-06,5.299536e-06,5.226043e-06,5.140609e-06,5.128825e-06,5.057379e-06,4.976315e-06,4.966731e-06,4.897380e-06,4.820536e-06,4.812965e-06,4.745743e-06,4.672963e-06,4.667226e-06,4.602155e-06,4.533280e-06,4.529208e-06,4.466296e-06,4.401165e-06,4.398598e-06,4.337846e-06,4.276298e-06,4.275085e-06,4.216482e-06,4.158358e-06,4.048110e-06,3.944041e-06,3.845853e-06,3.753261e-06,3.665983e-06,3.583749e-06,3.506298e-06,3.433380e-06,3.364752e-06,3.300183e-06,3.239452e-06,3.182346e-06,3.128665e-06,3.078215e-06,3.030813e-06,2.986286e-06,2.944468e-06,2.905202e-06,2.868341e-06,2.833742e-06,2.801273e-06,2.770809e-06,2.742230e-06,2.715423e-06,2.690284e-06,2.666711e-06,2.644610e-06,2.623892e-06,2.604474e-06,2.586276e-06,2.569225e-06,2.553249e-06,2.538284e-06,2.524267e-06,2.511141e-06,2.498849e-06,2.487341e-06,2.476569e-06,2.466487e-06,2.457052e-06,2.448224e-06,2.439966e-06,2.432242e-06,2.425019e-06,2.418266e-06,2.411953e-06,2.406053e-06,2.400541e-06,2.395392e-06
0.000000e+00,9.976287e-10,7.283777e-08,7.744809e-08,9.353129e-07,5.149013e-06,5.469962e-06,1.979479e-05,4.753212e-05,4.980600e-05,9.485167e-05,1.432889e-04,1.476007e-04,2.008909e-04,2.463517e-04,2.512091e-04,2.975104e-04,3.348423e-04,3.396908e-04,3.779137e-04,4.077930e-04,4.124062e-04,4.434036e-04,4.669094e-04,4.711365e-04,4.958268e-04,5.139510e-04,5.176859e-04,5.369150e-04,5.505329e-04,5.537043e-04,5.682333e-04,5.781058e-04,5.806708e-04,5.911754e-04,5.979579e-04,5.998957e-04,6.069708e-04,6.112243e-04,6.125312e-04,6.166983e-04,6.188999e-04,6.195856e-04,6.212993e-04,6.218536e-04,6.219379e-04,6.215937e-04,6.208424e-04,6.203527e-04,6.182948e-04,6.165254e-04,6.154944e-04,6.120208e-04,6.094745e-04,6.079387e-04,6.033078e-04,6.001857e-04,5.981838e-04,5.926184e-04,5.890874e-04,5.866595e-04,5.803517e-04,5.765497e-04,5.737363e-04,5.668514e-04,5.628914e-04,5.597322e-04,5.524110e-04,5.483843e-04,5.449181e-04,5.372813e-04,5.332618e-04,5.295260e-04,5.216757e-04,5.177218e-04,5.137522e-04,5.057753e-04,5.019329e-04,4.977635e-04,4.897335e-04,4.860378e-04,4.817005e-04,4.736786e-04,4.701558e-04,4.656805e-04,4.577179e-04,4.543868e-04,4.498014e-04,4.419406e-04,4.388138e-04,4.341441e-04,4.264198e-04,4.235050e-04,4.187746e-04,4.112148e-04,4.085153e-04,4.037459e-04,3.963730e-04,3.938889e-04,3.891004e-04,3.819320e-04,3.796606e-04,3.748709e-04,3.679202e-04,3.658569e-04,3.610822e-04,3.543589e-04,3.524972e-04,3.477521e-04,3.412629e-04,3.395952e-04,3.348926e-04,3.286417e-04,3.271593e-04,3.225108e-04,3.165001e-04,3.151939e-04,3.106096e-04,3.048391e-04,3.036994e-04,2.991883e-04,2.936565e-04,2.926734e-04,2.882433e-04,2.829476e-04,2.821112e-04,2.777686e-04,2.727053e-04,2.720055e-04,2.677563e-04,2.629207e-04,2.623479e-04,2.581969e-04,2.535835e-04,2.531282e-04,2.490793e-04,2.446825e-04,2.443354e-04,2.403917e-04,2.362053e-04,2.359574e-04,2.321216e-04,2.281390e-04,2.279818e-04,2.242558e-04,2.204703e-04,2.203956e-04,2.167807e-04,2.131854e-04,2.063380e-04,1.998397e-04,1.936770e-04,1.878368e-04,1.823057e-04,1.770709e-04,1.721197e-04,1.674398e-04,1.630191e-04,1.588460e-04,1.549091e-04,1.511976e-04,1.477008e-04,1.444086e-04,1.413112e-04,1.383991e-04,1.356634e-04,1.330952e-04,1.306864e-04,1.284289e-04,1.263152e-04,1.243379e-04,1.224900e-04,1.207649e-04,1.191562e-04,1.176579e-04,1.162642e-04,1.149695e-04,1.137687e-04,1.126566e-04,1.116285e-04,1.106798e-04,1.098063e-04,1.090038e-04,1.082684e-04,1.075964e-04,1.069841e-04,1.064283e-04,1.059257e-04,1.054733e-04,1.050681e-04,1.047075e-04,1.043888e-04,1.041095e-04,1.038672e-04,1.036598e-04,1.034850e-04,1.033409e-04,1.032256e-04
0.000000e+00,3.375211e-12,6.716813e-10,7.264987e-10,1.821818e-08,1.805910e-07,1.964615e-07,1.280286e-06,5.292506e-06,5.738638e-06,1.907555e-05,4.659645e-05,4.995035e-05,1.084824e-04,1.923153e-04,2.036816e-04,3.413184e-04,4.988550e-04,5.229159e-04,7.458571e-04,9.662217e-04,1.004247e-03,1.290091e-03,1.544895e-03,1.594469e-03,1.908504e-03,2.167470e-03,2.224049e-03,2.534100e-03,2.774324e-03,2.832980e-03,3.116351e-03,3.324586e-03,3.381121e-03,3.625283e-03,3.796356e-03,3.847734e-03,4.048096e-03,4.182230e-03,4.226546e-03,4.383671e-03,4.484079e-03,4.520345e-03,4.637633e-03,4.708829e-03,4.736716e-03,4.818831e-03,4.865617e-03,4.885230e-03,4.937147e-03,4.964061e-03,4.975778e-03,5.002268e-03,5.013353e-03,5.017702e-03,5.023099e-03,5.021826e-03,5.019414e-03,5.007532e-03,4.996814e-03,4.988277e-03,4.962407e-03,4.944652e-03,4.930626e-03,4.893580e-03,4.870757e-03,4.851862e-03,4.806018e-03,4.779724e-03,4.756547e-03,4.703908e-03,4.675425e-03,4.648521e-03,4.590769e-03,4.561116e-03,4.531001e-03,4.469539e-03,4.439522e-03,4.406673e-03,4.342670e-03,4.312914e-03,4.277771e-03,4.212196e-03,4.183181e-03,4.146145e-03,4.079799e-03,4.051885e-03,4.013321e-03,3.946859e-03,3.920310e-03,3.880548e-03,3.814506e-03,3.789504e-03,3.748842e-03,3.683653e-03,3.660318e-03,3.619025e-03,3.555035e-03,3.533436e-03,3.491751e-03,3.429233e-03,3.409398e-03,3.367534e-03,3.306700e-03,3.288625e-03,3.246772e-03,3.187784e-03,3.171440e-03,3.129765e-03,3.072739e-03,3.058078e-03,3.016727e-03,2.961746e-03,2.948706e-03,2.907808e-03,2.854923e-03,2.843431e-03,2.803098e-03,2.752336e-03,2.742312e-03,2.702640e-03,2.654007e-03,2.645367e-03,2.606437e-03,2.559925e-03,2.552581e-03,2.514464e-03,2.470048e-03,2.463912e-03,2.426667e-03,2.384311e-03,2.379297e-03,2.342971e-03,2.302634e-03,2.298655e-03,2.263287e-03,2.224918e-03,2.221890e-03,2.187512e-03,2.151056e-03,2.148898e-03,2.115534e-03,2.080931e-03,2.079566e-03,2.047232e-03,2.014421e-03,2.013774e-03,1.982482e-03,1.951400e-03,1.892318e-03,1.836404e-03,1.783531e-03,1.733574e-03,1.686410e-03,1.641918e-03,1.599978e-03,1.560476e-03,1.523299e-03,1.488337e-03,1.455486e-03,1.424643e-03,1.395712e-03,1.368596e-03,1.343205e-03,1.319453e-03,1.297256e-03,1.276534e-03,1.257209e-03,1.239210e-03,1.222466e-03,1.206911e-03,1.192479e-03,1.179111e-03,1.166749e-03,1.155337e-03,1.144823e-03,1.135155e-03,1.126287e-03,1.118173e-03,1.110770e-03,1.104036e-03,1.097931e-03,1.092420e-03,1.087466e-03,1.083036e-03,1.079097e-03,1.075619e-03,1.072574e-03,1.069934e-03,1.067673e-03,1.065765e-03,1.064189e-03,1.062921e-03,1.061941e-03,1.061228e-03,1.060764e-03,1.060530e-03,1.060510e-03
0.000000e+00,5.229699e-09,1.091151e-07,1.144774e-07,7.685593e-07,2.375949e-06,2.461578e-06,4.792992e-06,7.006631e-06,7.143947e-06,9.343974e-06,1.121592e-05,1.137187e-05,1.323194e-05,1.476949e-05,1.493265e-05,1.648304e-05,1.773012e-05,1.789203e-05,1.916825e-05,2.016596e-05,2.032002e-05,2.135545e-05,2.214099e-05,2.228230e-05,2.310799e-05,2.371452e-05,2.383956e-05,2.448370e-05,2.494030e-05,2.504670e-05,2.553445e-05,2.586626e-05,2.595253e-05,2.630612e-05,2.653475e-05,2.660012e-05,2.683907e-05,2.698297e-05,2.702723e-05,2.716858e-05,2.724346e-05,2.726683e-05,2.732544e-05,2.734463e-05,2.734765e-05,2.733645e-05,2.731120e-05,2.729466e-05,2.722489e-05,2.716470e-05,2.712956e-05,2.701095e-05,2.692379e-05,2.687115e-05,2.671213e-05,2.660469e-05,2.653571e-05,2.634357e-05,2.622140e-05,2.613728e-05,2.591832e-05,2.578604e-05,2.568802e-05,2.544765e-05,2.530908e-05,2.519837e-05,2.494125e-05,2.479951e-05,2.467731e-05,2.440745e-05,2.426508e-05,2.413255e-05,2.385338e-05,2.371243e-05,2.357068e-05,2.328512e-05,2.314722e-05,2.299733e-05,2.270788e-05,2.257432e-05,2.241729e-05,2.212605e-05,2.199782e-05,2.183461e-05,2.154337e-05,2.142121e-05,2.125272e-05,2.096299e-05,2.084742e-05,2.067449e-05,2.038751e-05,2.027892e-05,2.010232e-05,1.981914e-05,1.971774e-05,1.953820e-05,1.925969e-05,1.916557e-05,1.898377e-05,1.871061e-05,1.862380e-05,1.844035e-05,1.817311e-05,1.809354e-05,1.790900e-05,1.764812e-05,1.757567e-05,1.739057e-05,1.713640e-05,1.707088e-05,1.688568e-05,1.663848e-05,1.657968e-05,1.639483e-05,1.615478e-05,1.610245e-05,1.591834e-05,1.568555e-05,1.563943e-05,1.545642e-05,1.523096e-05,1.519077e-05,1.500917e-05,1.479107e-05,1.475651e-05,1.457663e-05,1.436585e-05,1.433664e-05,1.415873e-05,1.395523e-05,1.393106e-05,1.375536e-05,1.355907e-05,1.353963e-05,1.336634e-05,1.317716e-05,1.316218e-05,1.299149e-05,1.280929e-05,1.279847e-05,1.263054e-05,1.245520e-05,1.244825e-05,1.228323e-05,1.211460e-05,1.211126e-05,1.194926e-05,1.178719e-05,1.147573e-05,1.117656e-05,1.088937e-05,1.061380e-05,1.034954e-05,1.009624e-05,9.853559e-06,9.621174e-06,9.398752e-06,9.185967e-06,8.982500e-06,8.788034e-06,8.602263e-06,8.424884e-06,8.255603e-06,8.094132e-06,7.940191e-06,7.793509e-06,7.653819e-06,7.520865e-06,7.394396e-06,7.274170e-06,7.159952e-06,7.051513e-06,6.948633e-06,6.851098e-06,6.758700e-06,6.671240e-06,6.588523e-06,6.510362e-06,6.436575e-06,6.366989e-06,6.301432e-06,6.239741e-06,6.181758e-06,6.127331e-06,6.076311e-06,6.028556e-06,5.983928e-06,5.942294e-06,5.903526e-06,5.867499e-06,5.834095e-06,5.803197e-06,5.774694e-06,5.748479e-06,5.724447e-06,5.702498e-06,5.682537e-06
0.000000e+00,6.901488e-09,2.511055e-07,2.654561e-07,2.511012e-06,1.027091e-05,1.075834e-05,2.650297e-05,4.406888e-05,4.518828e-05,6.321396e-05,7.850881e-05,7.977772e-05,9.483345e-05,1.071560e-04,1.084564e-04,1.207381e-04,1.305090e-04,1.317697e-04,1.416389e-04,1.492605e-04,1.504292e-04,1.582199e-04,1.640462e-04,1.650855e-04,1.710961e-04,1.754334e-04,1.763180e-04,1.808132e-04,1.839252e-04,1.846397e-04,1.878514e-04,1.899622e-04,1.904985e-04,1.926280e-04,1.939271e-04,1.942833e-04,1.955047e-04,1.961514e-04,1.963297e-04,1.967931e-04,1.969210e-04,1.969270e-04,1.967613e-04,1.964819e-04,1.963236e-04,1.956395e-04,1.950457e-04,1.947326e-04,1.936248e-04,1.927936e-04,1.923365e-04,1.908861e-04,1.898810e-04,1.892912e-04,1.875674e-04,1.864405e-04,1.857296e-04,1.837914e-04,1.825854e-04,1.817651e-04,1.796623e-04,1.784119e-04,1.774936e-04,1.752687e-04,1.740016e-04,1.729965e-04,1.706853e-04,1.694237e-04,1.683425e-04,1.659751e-04,1.647364e-04,1.635894e-04,1.611910e-04,1.599888e-04,1.587854e-04,1.563772e-04,1.552217e-04,1.539709e-04,1.515703e-04,1.504691e-04,1.491792e-04,1.468008e-04,1.457590e-04,1.444379e-04,1.420933e-04,1.411146e-04,1.397693e-04,1.374681e-04,1.365544e-04,1.351916e-04,1.329413e-04,1.320935e-04,1.307189e-04,1.285257e-04,1.277435e-04,1.263627e-04,1.242310e-04,1.235135e-04,1.221314e-04,1.200647e-04,1.194104e-04,1.180314e-04,1.160320e-04,1.154389e-04,1.140670e-04,1.121366e-04,1.116023e-04,1.102410e-04,1.083804e-04,1.079024e-04,1.065549e-04,1.047645e-04,1.043400e-04,1.030090e-04,1.012885e-04,1.009146e-04,9.960266e-05,9.795142e-05,9.762530e-05,9.633451e-05,9.475166e-05,9.447034e-05,9.320256e-05,9.168688e-05,9.144745e-05,9.020428e-05,8.875437e-05,8.855397e-05,8.733677e-05,8.595105e-05,8.578689e-05,8.459679e-05,8.327355e-05,8.314292e-05,8.198089e-05,8.071832e-05,8.061860e-05,7.948540e-05,7.828164e-05,7.821033e-05,7.710655e-05,7.595967e-05,7.591438e-05,7.484050e-05,7.374855e-05,7.372698e-05,7.268333e-05,7.164436e-05,6.966271e-05,6.777826e-05,6.598730e-05,6.428615e-05,6.267121e-05,6.113897e-05,5.968599e-05,5.830893e-05,5.700455e-05,5.576971e-05,5.460135e-05,5.349654e-05,5.245244e-05,5.146631e-05,5.053552e-05,4.965753e-05,4.882989e-05,4.805027e-05,4.731642e-05,4.662616e-05,4.597744e-05,4.536826e-05,4.479672e-05,4.426100e-05,4.375935e-05,4.329010e-05,4.285165e-05,4.244247e-05,4.206110e-05,4.170613e-05,4.137623e-05,4.107012e-05,4.078658e-05,4.052444e-05,4.028258e-05,4.005995e-05,3.985552e-05,3.966832e-05,3.949743e-05,3.934197e-05,3.920109e-05,3.907399e-05,3.895990e-05,3.885808e-05,3.876785e-05,3.868853e-05,3.861949e-05,3.856013e-05,3.850987e-05
0.000000e+00,4.843967e-13,1.137579e-10,1.233948e-10,3.463775e-09,3.670672e-08,4.002777e-08,2.774189e-07,1.238586e-06,1.350929e-06,5.048701e-06,1.413804e-05,1.535339e-05,3.964208e-05,8.313376e-05,8.974785e-05,1.826433e-04,3.173753e-04,3.406318e-04,5.910424e-04,9.043280e-04,9.654915e-04,1.498818e-03,2.096475e-03,2.227803e-03,3.189786e-03,4.178144e-03,4.421279e-03,5.956649e-03,7.424739e-03,7.826945e-03,1.005890e-02,1.206499e-02,1.267412e-02,1.568854e-02,1.825277e-02,1.911200e-02,2.294814e-02,2.605128e-02,2.719438e-02,3.184213e-02,3.542932e-02,3.687711e-02,4.227978e-02,4.626759e-02,4.802586e-02,5.408695e-02,5.837227e-02,6.043114e-02,6.702366e-02,7.149287e-02,7.382754e-02,8.080425e-02,8.534183e-02,8.791431e-02,9.511790e-02,9.961366e-02,1.023753e-01,1.096476e-01,1.140022e-01,1.168966e-01,1.240861e-01,1.282149e-01,1.311811e-01,1.381491e-01,1.419843e-01,1.449596e-01,1.515845e-01,1.550757e-01,1.579983e-01,1.641780e-01,1.672921e-01,1.701034e-01,1.757567e-01,1.784766e-01,1.811229e-01,1.861894e-01,1.885117e-01,1.909459e-01,1.953848e-01,1.973184e-01,1.995004e-01,2.032893e-01,2.048524e-01,2.067499e-01,2.098825e-01,2.111008e-01,2.126891e-01,2.151731e-01,2.160775e-01,2.173395e-01,2.191943e-01,2.198188e-01,2.207447e-01,2.219988e-01,2.223795e-01,2.229657e-01,2.236550e-01,2.238279e-01,2.240769e-01,2.242422e-01,2.242427e-01,2.241619e-01,2.238475e-01,2.237093e-01,2.233106e-01,2.225627e-01,2.223171e-01,2.216157e-01,2.204812e-01,2.201570e-01,2.191709e-01,2.176962e-01,2.173191e-01,2.160684e-01,2.142986e-01,2.138913e-01,2.123977e-01,2.103761e-01,2.099582e-01,2.082440e-01,2.060115e-01,2.055997e-01,2.036880e-01,2.012828e-01,2.008910e-01,1.988047e-01,1.962621e-01,1.959015e-01,1.936632e-01,1.910156e-01,1.906950e-01,1.883267e-01,1.856035e-01,1.853296e-01,1.828525e-01,1.800801e-01,1.798575e-01,1.772920e-01,1.744939e-01,1.743258e-01,1.716910e-01,1.688881e-01,1.687761e-01,1.660899e-01,1.633006e-01,1.632449e-01,1.605242e-01,1.577643e-01,1.523620e-01,1.470617e-01,1.418833e-01,1.368439e-01,1.319571e-01,1.272343e-01,1.226843e-01,1.183138e-01,1.141279e-01,1.101298e-01,1.063213e-01,1.027032e-01,9.927503e-02,9.603542e-02,9.298222e-02,9.011259e-02,8.742310e-02,8.490983e-02,8.256842e-02,8.039416e-02,7.838203e-02,7.652676e-02,7.482290e-02,7.326479e-02,7.184668e-02,7.056269e-02,6.940687e-02,6.837323e-02,6.745573e-02,6.664836e-02,6.594507e-02,6.533989e-02,6.482686e-02,6.440009e-02,6.405380e-02,6.378225e-02,6.357985e-02,6.344111e-02,6.336067e-02,6.333334e-02,6.335406e-02,6.341796e-02,6.352032e-02,6.365663e-02,6.382257e-02,6.401402e-02,6.422706e-02,6.445798e-02,6.470330e-02
0.000000e+00,9.683187e-13,2.474850e-10,2.691424e-10,8.787382e-09,1.070497e-07,1.173122e-07,8.918988e-07,4.116041e-06,4.491888e-06,1.659812e-05,4.493487e-05,4.862388e-05,1.195583e-04,2.393319e-04,2.570485e-04,4.975964e-04,8.298647e-04,8.859185e-04,1.473620e-03,2.181626e-03,2.317372e-03,3.476786e-03,4.738789e-03,5.012172e-03,6.982325e-03,8.961168e-03,9.442471e-03,1.244245e-02,1.526024e-02,1.602521e-02,2.022559e-02,2.394767e-02,2.506954e-02,3.057357e-02,3.520266e-02,3.674452e-02,4.357974e-02,4.905880e-02,5.106732e-02,5.918666e-02,6.540800e-02,6.790915e-02,7.719900e-02,8.401716e-02,8.701413e-02,9.730715e-02,1.045531e-01,1.080263e-01,1.191164e-01,1.266112e-01,1.305199e-01,1.421777e-01,1.497446e-01,1.540300e-01,1.660172e-01,1.734910e-01,1.780803e-01,1.901619e-01,1.973966e-01,2.022066e-01,2.141613e-01,2.210338e-01,2.259758e-01,2.376030e-01,2.440160e-01,2.489992e-01,2.601243e-01,2.660061e-01,2.709418e-01,2.814188e-01,2.867224e-01,2.915262e-01,3.012386e-01,3.059397e-01,3.105342e-01,3.193946e-01,3.234885e-01,3.278049e-01,3.357533e-01,3.392519e-01,3.432310e-01,3.502323e-01,3.531610e-01,3.567539e-01,3.627950e-01,3.651894e-01,3.683573e-01,3.734443e-01,3.753471e-01,3.780614e-01,3.822160e-01,3.836752e-01,3.859167e-01,3.891734e-01,3.902392e-01,3.919973e-01,3.944005e-01,3.951240e-01,3.963960e-01,3.979976e-01,3.984291e-01,3.992193e-01,4.000760e-01,4.002640e-01,4.005826e-01,4.007543e-01,4.007444e-01,4.006065e-01,4.001546e-01,3.999892e-01,3.994140e-01,3.984000e-01,3.981176e-01,3.971276e-01,3.956117e-01,3.952471e-01,3.938671e-01,3.919080e-01,3.914916e-01,3.897484e-01,3.874019e-01,3.869607e-01,3.848818e-01,3.822010e-01,3.817580e-01,3.793718e-01,3.764063e-01,3.759809e-01,3.733159e-01,3.701119e-01,3.697203e-01,3.668047e-01,3.634047e-01,3.630600e-01,3.599216e-01,3.563647e-01,3.560772e-01,3.527429e-01,3.490647e-01,3.488423e-01,3.453380e-01,3.415706e-01,3.414192e-01,3.377696e-01,3.339420e-01,3.338652e-01,3.300942e-01,3.262322e-01,3.185661e-01,3.109078e-01,3.032933e-01,2.957541e-01,2.883177e-01,2.810078e-01,2.738448e-01,2.668460e-01,2.600258e-01,2.533962e-01,2.469670e-01,2.407459e-01,2.347389e-01,2.289502e-01,2.233828e-01,2.180382e-01,2.129170e-01,2.080187e-01,2.033419e-01,1.988845e-01,1.946437e-01,1.906160e-01,1.867974e-01,1.831837e-01,1.797700e-01,1.765511e-01,1.735218e-01,1.706763e-01,1.680089e-01,1.655136e-01,1.631842e-01,1.610146e-01,1.589984e-01,1.571294e-01,1.554013e-01,1.538077e-01,1.523423e-01,1.509989e-01,1.497714e-01,1.486536e-01,1.476395e-01,1.467232e-01,1.458990e-01,1.451612e-01,1.445043e-01,1.439229e-01,1.434119e-01,1.429663e-01,1.425811e-01
0.000000e+00,6.662460e-09,1.999274e-07,2.106281e-07,1.812049e-06,7.358279e-06,7.711504e-06,1.948565e-05,3.337652e-05,3.427970e-05,4.896469e-05,6.152345e-05,6.256695e-05,7.495594e-05,8.509978e-05,8.617023e-05,9.627795e-05,1.043147e-04,1.053512e-04,1.134612e-04,1.197175e-04,1.206762e-04,1.270616e-04,1.318297e-04,1.326794e-04,1.375878e-04,1.411221e-04,1.418419e-04,1.454928e-04,1.480116e-04,1.485886e-04,1.511741e-04,1.528635e-04,1.532910e-04,1.549783e-04,1.559956e-04,1.562721e-04,1.572059e-04,1.576837e-04,1.578111e-04,1.581167e-04,1.581664e-04,1.581496e-04,1.579348e-04,1.576494e-04,1.574953e-04,1.568526e-04,1.563096e-04,1.560265e-04,1.550355e-04,1.542993e-04,1.538965e-04,1.526252e-04,1.517489e-04,1.512362e-04,1.497430e-04,1.487703e-04,1.481579e-04,1.464921e-04,1.454584e-04,1.447563e-04,1.429601e-04,1.418942e-04,1.411125e-04,1.392216e-04,1.381466e-04,1.372949e-04,1.353394e-04,1.342736e-04,1.333613e-04,1.313664e-04,1.303241e-04,1.293599e-04,1.273466e-04,1.263388e-04,1.253309e-04,1.233169e-04,1.223518e-04,1.213080e-04,1.193076e-04,1.183911e-04,1.173186e-04,1.153438e-04,1.144799e-04,1.133853e-04,1.114455e-04,1.106368e-04,1.095263e-04,1.076292e-04,1.068770e-04,1.057559e-04,1.039076e-04,1.032121e-04,1.020856e-04,1.002908e-04,9.965149e-05,9.852406e-05,9.678614e-05,9.620192e-05,9.507765e-05,9.339909e-05,9.286834e-05,9.175086e-05,9.013327e-05,8.965400e-05,8.854655e-05,8.699085e-05,8.656082e-05,8.546625e-05,8.397276e-05,8.358955e-05,8.251035e-05,8.107892e-05,8.073997e-05,7.967833e-05,7.830839e-05,7.801109e-05,7.696887e-05,7.565953e-05,7.540126e-05,7.438006e-05,7.313016e-05,7.290829e-05,7.190948e-05,7.071766e-05,7.052962e-05,6.955431e-05,6.841903e-05,6.826231e-05,6.731141e-05,6.623102e-05,6.610319e-05,6.517743e-05,6.415019e-05,6.404890e-05,6.314884e-05,6.217293e-05,6.209595e-05,6.122200e-05,6.029557e-05,6.024075e-05,5.939318e-05,5.851436e-05,5.847969e-05,5.765864e-05,5.682555e-05,5.680912e-05,5.601463e-05,5.522540e-05,5.372495e-05,5.230421e-05,5.095972e-05,4.968808e-05,4.848598e-05,4.735020e-05,4.627763e-05,4.526525e-05,4.431016e-05,4.340957e-05,4.256077e-05,4.176120e-05,4.100837e-05,4.029990e-05,3.963353e-05,3.900707e-05,3.841847e-05,3.786574e-05,3.734698e-05,3.686040e-05,3.640428e-05,3.597699e-05,3.557697e-05,3.520275e-05,3.485291e-05,3.452612e-05,3.422112e-05,3.393669e-05,3.367169e-05,3.342503e-05,3.319568e-05,3.298266e-05,3.278505e-05,3.260196e-05,3.243256e-05,3.227606e-05,3.213171e-05,3.199880e-05,3.187667e-05,3.176466e-05,3.166219e-05,3.156867e-05,3.148358e-05,3.140639e-05,3.133664e-05,3.127385e-05,3.121760e-05,3.116749e-05,3.112312e-05
0.000000e+00,8.508054e-13,2.177197e-10,2.370708e-10,8.301992e-09,1.029113e-07,1.126740e-07,8.027100e-07,3.279117e-06,3.545671e-06,1.104944e-05,2.513281e-05,2.677533e-05,5.399306e-05,9.016671e-05,9.490579e-05,1.501621e-04,2.099269e-04,2.188055e-04,2.985545e-04,3.736288e-04,3.862545e-04,4.783625e-04,5.565650e-04,5.713710e-04,6.621230e-04,7.330061e-04,7.480097e-04,8.270566e-04,8.844523e-04,8.979291e-04,9.598787e-04,1.001829e-03,1.012655e-03,1.056405e-03,1.083882e-03,1.091570e-03,1.118791e-03,1.134264e-03,1.138827e-03,1.152496e-03,1.158857e-03,1.160619e-03,1.163988e-03,1.163916e-03,1.163342e-03,1.159352e-03,1.155036e-03,1.152615e-03,1.143653e-03,1.136741e-03,1.132917e-03,1.120786e-03,1.112441e-03,1.107582e-03,1.093570e-03,1.084576e-03,1.078971e-03,1.063962e-03,1.054822e-03,1.048688e-03,1.033265e-03,1.024289e-03,1.017785e-03,1.002322e-03,9.936913e-04,9.869317e-04,9.716593e-04,9.634737e-04,9.565391e-04,9.415973e-04,9.339048e-04,9.268535e-04,9.123220e-04,9.051394e-04,8.980134e-04,8.839348e-04,8.772602e-04,8.700909e-04,8.564846e-04,8.503059e-04,8.431176e-04,8.299900e-04,8.242897e-04,8.171017e-04,8.044510e-04,7.992082e-04,7.920364e-04,7.798553e-04,7.750476e-04,7.679051e-04,7.561830e-04,7.517878e-04,7.446860e-04,7.334110e-04,7.294058e-04,7.223549e-04,7.115146e-04,7.078774e-04,7.008866e-04,6.904678e-04,6.871774e-04,6.802547e-04,6.702440e-04,6.672798e-04,6.604323e-04,6.508164e-04,6.481586e-04,6.413929e-04,6.321585e-04,6.297881e-04,6.231100e-04,6.142441e-04,6.121431e-04,6.055576e-04,5.970474e-04,5.951985e-04,5.887103e-04,5.805431e-04,5.789298e-04,5.725429e-04,5.647065e-04,5.633131e-04,5.570310e-04,5.495135e-04,5.483251e-04,5.421509e-04,5.349405e-04,5.339430e-04,5.278794e-04,5.209648e-04,5.201447e-04,5.141939e-04,5.075641e-04,5.069088e-04,5.010727e-04,4.947170e-04,4.942143e-04,4.884945e-04,4.824026e-04,4.820412e-04,4.764388e-04,4.706007e-04,4.703698e-04,4.648859e-04,4.592919e-04,4.591812e-04,4.538164e-04,4.484571e-04,4.381798e-04,4.283322e-04,4.188977e-04,4.098605e-04,4.012051e-04,3.929166e-04,3.849808e-04,3.773838e-04,3.701123e-04,3.631535e-04,3.564951e-04,3.501250e-04,3.440319e-04,3.382047e-04,3.326327e-04,3.273058e-04,3.222140e-04,3.173478e-04,3.126982e-04,3.082564e-04,3.040138e-04,2.999624e-04,2.960944e-04,2.924021e-04,2.888785e-04,2.855164e-04,2.823092e-04,2.792506e-04,2.763342e-04,2.735542e-04,2.709048e-04,2.683805e-04,2.659760e-04,2.636864e-04,2.615066e-04,2.594320e-04,2.574581e-04,2.555806e-04,2.537953e-04,2.520982e-04,2.504855e-04,2.489535e-04,2.474987e-04,2.461176e-04,2.448070e-04,2.435637e-04,2.423849e-04,2.412675e-04,2.402089e-04
0.000000e+00,3.611382e-13,9.341056e-11,1.016123e-10,3.381573e-09,4.248537e-08,4.662887e-08,3.694195e-07,1.774532e-06,1.941388e-06,7.460802e-06,2.086005e-05,2.263225e-05,5.740484e-05,1.178659e-04,1.269323e-04,2.521321e-04,4.295105e-04,4.598099e-04,7.823735e-04,1.180044e-03,1.257195e-03,1.925697e-03,2.669313e-03,2.832245e-03,4.022926e-03,5.243966e-03,5.544281e-03,7.442056e-03,9.260806e-03,9.760021e-03,1.253889e-02,1.505017e-02,1.581540e-02,1.962150e-02,2.288487e-02,2.398373e-02,2.892276e-02,3.295775e-02,3.445308e-02,4.058287e-02,4.536878e-02,4.731396e-02,5.464194e-02,6.012135e-02,6.255642e-02,7.104129e-02,7.712609e-02,8.007514e-02,8.963171e-02,9.621069e-02,9.968039e-02,1.101867e-01,1.171336e-01,1.211130e-01,1.324186e-01,1.396000e-01,1.440610e-01,1.559959e-01,1.632783e-01,1.681777e-01,1.805604e-01,1.878160e-01,1.930975e-01,2.057430e-01,2.128549e-01,2.184514e-01,2.311782e-01,2.380430e-01,2.438800e-01,2.565152e-01,2.630458e-01,2.690438e-01,2.814277e-01,2.875542e-01,2.936313e-01,3.056207e-01,3.112903e-01,3.173648e-01,3.288346e-01,3.340113e-01,3.400039e-01,3.508486e-01,3.555118e-01,3.613472e-01,3.714807e-01,3.756238e-01,3.812324e-01,3.905881e-01,3.942167e-01,3.995356e-01,4.080649e-01,4.111948e-01,4.161683e-01,4.238398e-01,4.264950e-01,4.310754e-01,4.378729e-01,4.400840e-01,4.442315e-01,4.501523e-01,4.519549e-01,4.556377e-01,4.606912e-01,4.621238e-01,4.653179e-01,4.695235e-01,4.706266e-01,4.733152e-01,4.767007e-01,4.775155e-01,4.796888e-01,4.822886e-01,4.828559e-01,4.845103e-01,4.863642e-01,4.867238e-01,4.878613e-01,4.890129e-01,4.892027e-01,4.898305e-01,4.903261e-01,4.903820e-01,4.905115e-01,4.903989e-01,4.903540e-01,4.900004e-01,4.893284e-01,4.892131e-01,4.883948e-01,4.872119e-01,4.870538e-01,4.857916e-01,4.841458e-01,4.839693e-01,4.822862e-01,4.802243e-01,4.800510e-01,4.779714e-01,4.755386e-01,4.753871e-01,4.729367e-01,4.701763e-01,4.700627e-01,4.672676e-01,4.642208e-01,4.641585e-01,4.610455e-01,4.577511e-01,4.509125e-01,4.437100e-01,4.362064e-01,4.284596e-01,4.205233e-01,4.124464e-01,4.042738e-01,3.960463e-01,3.878008e-01,3.795706e-01,3.713856e-01,3.632723e-01,3.552545e-01,3.473531e-01,3.395863e-01,3.319701e-01,3.245183e-01,3.172426e-01,3.101530e-01,3.032576e-01,2.965633e-01,2.900753e-01,2.837976e-01,2.777332e-01,2.718840e-01,2.662507e-01,2.608336e-01,2.556319e-01,2.506443e-01,2.458687e-01,2.413027e-01,2.369433e-01,2.327869e-01,2.288298e-01,2.250678e-01,2.214965e-01,2.181112e-01,2.149071e-01,2.118791e-01,2.090220e-01,2.063304e-01,2.037989e-01,2.014220e-01,1.991941e-01,1.971097e-01,1.951633e-01,1.933491e-01,1.916617e-01,1.900956e-01
0.000000e+00,1.778799e-13,4.443995e-11,4.831047e-11,1.560547e-09,1.909227e-08,2.093045e-08,1.608001e-07,7.468329e-07,8.151817e-07,3.008993e-06,8.086697e-06,8.742910e-06,2.120658e-05,4.179324e-05,4.480218e-05,8.498838e-05,1.390072e-04,1.479895e-04,2.404257e-04,3.485184e-04,3.689167e-04,5.397012e-04,7.199128e-04,7.583027e-04,1.029260e-03,1.292912e-03,1.355935e-03,1.740391e-03,2.090084e-03,2.183344e-03,2.684180e-03,3.113849e-03,3.241021e-03,3.850834e-03,4.347259e-03,4.509567e-03,5.212311e-03,5.757406e-03,5.953469e-03,6.726926e-03,7.300194e-03,7.526218e-03,8.344693e-03,8.925453e-03,9.175657e-03,1.001250e-02,1.058163e-02,1.084881e-02,1.167849e-02,1.221963e-02,1.249579e-02,1.329541e-02,1.379565e-02,1.407255e-02,1.482289e-02,1.527296e-02,1.554265e-02,1.622858e-02,1.662275e-02,1.687797e-02,1.748861e-02,1.782433e-02,1.805878e-02,1.858724e-02,1.886464e-02,1.907317e-02,1.951617e-02,1.973750e-02,1.991618e-02,2.027349e-02,2.044260e-02,2.058868e-02,2.086257e-02,2.098436e-02,2.109623e-02,2.129090e-02,2.137090e-02,2.144798e-02,2.156901e-02,2.161301e-02,2.165559e-02,2.170945e-02,2.172322e-02,2.173232e-02,2.172601e-02,2.171508e-02,2.169229e-02,2.163298e-02,2.160249e-02,2.154984e-02,2.144463e-02,2.139922e-02,2.131905e-02,2.117477e-02,2.111856e-02,2.101339e-02,2.083646e-02,2.077303e-02,2.064547e-02,2.044183e-02,2.037422e-02,2.022690e-02,2.000196e-02,1.993270e-02,1.976820e-02,1.952678e-02,1.945796e-02,1.927877e-02,1.902516e-02,1.895843e-02,1.876690e-02,1.850486e-02,1.844150e-02,1.823985e-02,1.797263e-02,1.791361e-02,1.770389e-02,1.743427e-02,1.738030e-02,1.716437e-02,1.689472e-02,1.684626e-02,1.662583e-02,1.635815e-02,1.631546e-02,1.609209e-02,1.582803e-02,1.579124e-02,1.556630e-02,1.530721e-02,1.527630e-02,1.505103e-02,1.479801e-02,1.477289e-02,1.454838e-02,1.430231e-02,1.428279e-02,1.405999e-02,1.382156e-02,1.380738e-02,1.358715e-02,1.335688e-02,1.334776e-02,1.313084e-02,1.290910e-02,1.290471e-02,1.269173e-02,1.247878e-02,1.207033e-02,1.167954e-02,1.130645e-02,1.095098e-02,1.061296e-02,1.029213e-02,9.988153e-03,9.700664e-03,9.429237e-03,9.173413e-03,8.932709e-03,8.706615e-03,8.494610e-03,8.296166e-03,8.110746e-03,7.937812e-03,7.776828e-03,7.627256e-03,7.488564e-03,7.360227e-03,7.241725e-03,7.132552e-03,7.032209e-03,6.940210e-03,6.856080e-03,6.779359e-03,6.709597e-03,6.646359e-03,6.589224e-03,6.537787e-03,6.491654e-03,6.450451e-03,6.413813e-03,6.381395e-03,6.352863e-03,6.327902e-03,6.306208e-03,6.287493e-03,6.271485e-03,6.257925e-03,6.246569e-03,6.237186e-03,6.229560e-03,6.223487e-03,6.218777e-03,6.215252e-03,6.212747e-03,6.211108e-03,6.210195e-03
0.000000e+00,3.861199e-10,4.841930e-09,5.051172e-09,3.094135e-08,1.094230e-07,1.143229e-07,2.791535e-07,4.793591e-07,4.924974e-07,7.058699e-07,8.856758e-07,9.004342e-07,1.073014e-06,1.210173e-06,1.224403e-06,1.356227e-06,1.457419e-06,1.470211e-06,1.568007e-06,1.640340e-06,1.651153e-06,1.721067e-06,1.770529e-06,1.779057e-06,1.826323e-06,1.857853e-06,1.863964e-06,1.892985e-06,1.910615e-06,1.914303e-06,1.928753e-06,1.935746e-06,1.937092e-06,1.940010e-06,1.938988e-06,1.938131e-06,1.932020e-06,1.925077e-06,1.922190e-06,1.909103e-06,1.897898e-06,1.893173e-06,1.874780e-06,1.860624e-06,1.854265e-06,1.831933e-06,1.815851e-06,1.808059e-06,1.782890e-06,1.765677e-06,1.756647e-06,1.729528e-06,1.711794e-06,1.701710e-06,1.673352e-06,1.655562e-06,1.644595e-06,1.615566e-06,1.598064e-06,1.586375e-06,1.557121e-06,1.540160e-06,1.527892e-06,1.498766e-06,1.482525e-06,1.469809e-06,1.441081e-06,1.425682e-06,1.412634e-06,1.384512e-06,1.370030e-06,1.356754e-06,1.329393e-06,1.315870e-06,1.302457e-06,1.275969e-06,1.263420e-06,1.249949e-06,1.224413e-06,1.212833e-06,1.199374e-06,1.174841e-06,1.164209e-06,1.150821e-06,1.127320e-06,1.117605e-06,1.104340e-06,1.081883e-06,1.073047e-06,1.059948e-06,1.038534e-06,1.030532e-06,1.017636e-06,9.972519e-07,9.900382e-07,9.773756e-07,9.580016e-07,9.515277e-07,9.391233e-07,9.207335e-07,9.149507e-07,9.028246e-07,8.853884e-07,8.802485e-07,8.684167e-07,8.519005e-07,8.473565e-07,8.358311e-07,8.201993e-07,8.162056e-07,8.049958e-07,7.902113e-07,7.867244e-07,7.758365e-07,7.618619e-07,7.588402e-07,7.482781e-07,7.350757e-07,7.324802e-07,7.222455e-07,7.097783e-07,7.075720e-07,6.976648e-07,6.858961e-07,6.840445e-07,6.744633e-07,6.633575e-07,6.618283e-07,6.525701e-07,6.420927e-07,6.408558e-07,6.319168e-07,6.220343e-07,6.210619e-07,6.124372e-07,6.031177e-07,6.023839e-07,5.940679e-07,5.852805e-07,5.847614e-07,5.767480e-07,5.684632e-07,5.681369e-07,5.604192e-07,5.526092e-07,5.524553e-07,5.450263e-07,5.376642e-07,5.237138e-07,5.105567e-07,4.981479e-07,4.864449e-07,4.754075e-07,4.649974e-07,4.551787e-07,4.459174e-07,4.371814e-07,4.289402e-07,4.211655e-07,4.138301e-07,4.069087e-07,4.003773e-07,3.942134e-07,3.883956e-07,3.829041e-07,3.777199e-07,3.728252e-07,3.682034e-07,3.638387e-07,3.597162e-07,3.558220e-07,3.521431e-07,3.486669e-07,3.453819e-07,3.422771e-07,3.393421e-07,3.365674e-07,3.339437e-07,3.314624e-07,3.291154e-07,3.268951e-07,3.247944e-07,3.228063e-07,3.209247e-07,3.191434e-07,3.174568e-07,3.158596e-07,3.143468e-07,3.129137e-07,3.115557e-07,3.102689e-07,3.090491e-07,3.078926e-07,3.067961e-07,3.057561e-07,3.047695e-07,3.038335e-07
0.000000e+00,6.710548e-09,1.857434e-07,1.954430e-07,1.666080e-06,7.269119e-06,7.649272e-06,2.160373e-05,4.045924e-05,4.174661e-05,6.335720e-05,8.259487e-05,8.421934e-05,1.038036e-04,1.202689e-04,1.220310e-04,1.389266e-04,1.527327e-04,1.545406e-04,1.689297e-04,1.803693e-04,1.821524e-04,1.942674e-04,2.036302e-04,2.053324e-04,2.154038e-04,2.229598e-04,2.245369e-04,2.327848e-04,2.387805e-04,2.401990e-04,2.468287e-04,2.514859e-04,2.527213e-04,2.579216e-04,2.614367e-04,2.624716e-04,2.664113e-04,2.689567e-04,2.697796e-04,2.726128e-04,2.743413e-04,2.749462e-04,2.768144e-04,2.778635e-04,2.782510e-04,2.792858e-04,2.797745e-04,2.799471e-04,2.802612e-04,2.802904e-04,2.802530e-04,2.799465e-04,2.796040e-04,2.793637e-04,2.785259e-04,2.778871e-04,2.774529e-04,2.761634e-04,2.752931e-04,2.746750e-04,2.730045e-04,2.719583e-04,2.711674e-04,2.691785e-04,2.680035e-04,2.670516e-04,2.647997e-04,2.635361e-04,2.624351e-04,2.599693e-04,2.586507e-04,2.574130e-04,2.547763e-04,2.534309e-04,2.520688e-04,2.492992e-04,2.479503e-04,2.464759e-04,2.436067e-04,2.422734e-04,2.406987e-04,2.377588e-04,2.364568e-04,2.347933e-04,2.318080e-04,2.305497e-04,2.288086e-04,2.257999e-04,2.245950e-04,2.227869e-04,2.197739e-04,2.186298e-04,2.167649e-04,2.137638e-04,2.126860e-04,2.107740e-04,2.077987e-04,2.067910e-04,2.048410e-04,2.019034e-04,2.009681e-04,1.989886e-04,1.960987e-04,1.952369e-04,1.932359e-04,1.904021e-04,1.896141e-04,1.875990e-04,1.848281e-04,1.841131e-04,1.820908e-04,1.793885e-04,1.787452e-04,1.767221e-04,1.740927e-04,1.735193e-04,1.715012e-04,1.689482e-04,1.684424e-04,1.664346e-04,1.639607e-04,1.635196e-04,1.615270e-04,1.591340e-04,1.587549e-04,1.567819e-04,1.544709e-04,1.541507e-04,1.522012e-04,1.499729e-04,1.497083e-04,1.477859e-04,1.456403e-04,1.454280e-04,1.435360e-04,1.414728e-04,1.413095e-04,1.394506e-04,1.374691e-04,1.373515e-04,1.355280e-04,1.336272e-04,1.335520e-04,1.317663e-04,1.299449e-04,1.299089e-04,1.281627e-04,1.264192e-04,1.230799e-04,1.198874e-04,1.168381e-04,1.139280e-04,1.111532e-04,1.085094e-04,1.059925e-04,1.035982e-04,1.013223e-04,9.916050e-05,9.710856e-05,9.516230e-05,9.331760e-05,9.157040e-05,8.991673e-05,8.835268e-05,8.687447e-05,8.547839e-05,8.416085e-05,8.291837e-05,8.174755e-05,8.064513e-05,7.960794e-05,7.863293e-05,7.771715e-05,7.685777e-05,7.605206e-05,7.529738e-05,7.459122e-05,7.393116e-05,7.331487e-05,7.274012e-05,7.220478e-05,7.170681e-05,7.124424e-05,7.081521e-05,7.041793e-05,7.005070e-05,6.971187e-05,6.939989e-05,6.911329e-05,6.885063e-05,6.861057e-05,6.839182e-05,6.819316e-05,6.801341e-05,6.785148e-05,6.770629e-05,6.757685e-05
0.000000e+00,9.337315e-09,1.406680e-07,1.468707e-07,9.361146e-07,3.530438e-06,3.700789e-06,9.971272e-06,1.901603e-05,1.966033e-05,3.078437e-05,4.086677e-05,4.171650e-05,5.188361e-05,6.027922e-05,6.116782e-05,6.958030e-05,7.629752e-05,7.716584e-05,8.397687e-05,8.925518e-05,9.006616e-05,9.548468e-05,9.955349e-05,1.002810e-04,1.045012e-04,1.075623e-04,1.081886e-04,1.113840e-04,1.136120e-04,1.141258e-04,1.164496e-04,1.179937e-04,1.183890e-04,1.199752e-04,1.209624e-04,1.212372e-04,1.222023e-04,1.227403e-04,1.228958e-04,1.233410e-04,1.235202e-04,1.235599e-04,1.235726e-04,1.234690e-04,1.233980e-04,1.230535e-04,1.227304e-04,1.225551e-04,1.219179e-04,1.214280e-04,1.211557e-04,1.202812e-04,1.196682e-04,1.193063e-04,1.182420e-04,1.175417e-04,1.170983e-04,1.158846e-04,1.151264e-04,1.146094e-04,1.132807e-04,1.124884e-04,1.119057e-04,1.104912e-04,1.096841e-04,1.090433e-04,1.075677e-04,1.067612e-04,1.060696e-04,1.045538e-04,1.037600e-04,1.030246e-04,1.014860e-04,1.007143e-04,9.994165e-05,9.839489e-05,9.765249e-05,9.684874e-05,9.530594e-05,9.459808e-05,9.376899e-05,9.224014e-05,9.157054e-05,9.072142e-05,8.921469e-05,8.858583e-05,8.772157e-05,8.624355e-05,8.565686e-05,8.478194e-05,8.333790e-05,8.279399e-05,8.191247e-05,8.050655e-05,8.000535e-05,7.912093e-05,7.775629e-05,7.729720e-05,7.641321e-05,7.509219e-05,7.467419e-05,7.379364e-05,7.251789e-05,7.213965e-05,7.126520e-05,7.003579e-05,6.969574e-05,6.882978e-05,6.764726e-05,6.734367e-05,6.648829e-05,6.535285e-05,6.508384e-05,6.424089e-05,6.315235e-05,6.291600e-05,6.208709e-05,6.104498e-05,6.083932e-05,6.002585e-05,5.902949e-05,5.885255e-05,5.805571e-05,5.710425e-05,5.695407e-05,5.617486e-05,5.526728e-05,5.514195e-05,5.438122e-05,5.351639e-05,5.341403e-05,5.267248e-05,5.184919e-05,5.176798e-05,5.104617e-05,5.026312e-05,5.020133e-05,4.949970e-05,4.875558e-05,4.871154e-05,4.803041e-05,4.732385e-05,4.729597e-05,4.663556e-05,4.596520e-05,4.595197e-05,4.531242e-05,4.467688e-05,4.346804e-05,4.232280e-05,4.123857e-05,4.021278e-05,3.924294e-05,3.832661e-05,3.746140e-05,3.664501e-05,3.587520e-05,3.514981e-05,3.446676e-05,3.382402e-05,3.321966e-05,3.265182e-05,3.211871e-05,3.161861e-05,3.114986e-05,3.071090e-05,3.030020e-05,2.991632e-05,2.955788e-05,2.922355e-05,2.891207e-05,2.862222e-05,2.835286e-05,2.810288e-05,2.787124e-05,2.765693e-05,2.745900e-05,2.727654e-05,2.710869e-05,2.695461e-05,2.681352e-05,2.668467e-05,2.656736e-05,2.646090e-05,2.636465e-05,2.627799e-05,2.620035e-05,2.613117e-05,2.606993e-05,2.601612e-05,2.596927e-05,2.592893e-05,2.589468e-05,2.586610e-05,2.584282e-05,2.582447e-05,2.581070e-05
0.000000e+00,5.315770e-09,1.385311e-07,1.456682e-07,1.166342e-06,4.684711e-06,4.914328e-06,1.313246e-05,2.433174e-05,2.510966e-05,3.838073e-05,5.045057e-05,5.147882e-05,6.398214e-05,7.465317e-05,7.580438e-05,8.694148e-05,9.618841e-05,9.741005e-05,1.072322e-04,1.151808e-04,1.164323e-04,1.250358e-04,1.318203e-04,1.330680e-04,1.405528e-04,1.462990e-04,1.475146e-04,1.539775e-04,1.588042e-04,1.599647e-04,1.654990e-04,1.695152e-04,1.706020e-04,1.752949e-04,1.785998e-04,1.795981e-04,1.835308e-04,1.862136e-04,1.871118e-04,1.903590e-04,1.925000e-04,1.932896e-04,1.959199e-04,1.975909e-04,1.982656e-04,2.003418e-04,2.016071e-04,2.021629e-04,2.037425e-04,2.046592e-04,2.050938e-04,2.062294e-04,2.068484e-04,2.071611e-04,2.079003e-04,2.082668e-04,2.084581e-04,2.088446e-04,2.089986e-04,2.090700e-04,2.091436e-04,2.091202e-04,2.090743e-04,2.088709e-04,2.087015e-04,2.085415e-04,2.080939e-04,2.078056e-04,2.075354e-04,2.068732e-04,2.064902e-04,2.061141e-04,2.052643e-04,2.048073e-04,2.043300e-04,2.033170e-04,2.028045e-04,2.022308e-04,2.010767e-04,2.005244e-04,1.998596e-04,1.985843e-04,1.980059e-04,1.972552e-04,1.958767e-04,1.952839e-04,1.944528e-04,1.929873e-04,1.923903e-04,1.914839e-04,1.899460e-04,1.893533e-04,1.883771e-04,1.867800e-04,1.861988e-04,1.851579e-04,1.835135e-04,1.829499e-04,1.818495e-04,1.801683e-04,1.796271e-04,1.784724e-04,1.767639e-04,1.762493e-04,1.750451e-04,1.733178e-04,1.728329e-04,1.715839e-04,1.698454e-04,1.693928e-04,1.681037e-04,1.663606e-04,1.659422e-04,1.646175e-04,1.628758e-04,1.624929e-04,1.611367e-04,1.594017e-04,1.590553e-04,1.576717e-04,1.559480e-04,1.556385e-04,1.542315e-04,1.525232e-04,1.522506e-04,1.508239e-04,1.491345e-04,1.488989e-04,1.474559e-04,1.457886e-04,1.455893e-04,1.441334e-04,1.424909e-04,1.423274e-04,1.408617e-04,1.392463e-04,1.391177e-04,1.376452e-04,1.360588e-04,1.359641e-04,1.344876e-04,1.329319e-04,1.328700e-04,1.313921e-04,1.298686e-04,1.298383e-04,1.283615e-04,1.268711e-04,1.239705e-04,1.211378e-04,1.183743e-04,1.156807e-04,1.130574e-04,1.105049e-04,1.080230e-04,1.056117e-04,1.032706e-04,1.009993e-04,9.879697e-05,9.666304e-05,9.459658e-05,9.259667e-05,9.066227e-05,8.879228e-05,8.698556e-05,8.524092e-05,8.355711e-05,8.193288e-05,8.036694e-05,7.885799e-05,7.740471e-05,7.600577e-05,7.465986e-05,7.336563e-05,7.212177e-05,7.092695e-05,6.977987e-05,6.867923e-05,6.762375e-05,6.661215e-05,6.564319e-05,6.471563e-05,6.382827e-05,6.297989e-05,6.216934e-05,6.139545e-05,6.065709e-05,5.995317e-05,5.928258e-05,5.864428e-05,5.803721e-05,5.746036e-05,5.691274e-05,5.639337e-05,5.590130e-05,5.543561e-05,5.499540e-05
0.000000e+00,4.170671e-09,5.515947e-08,5.750448e-08,3.407916e-07,1.197073e-06,1.251119e-06,3.130948e-06,5.589861e-06,5.757152e-06,8.550364e-06,1.099904e-05,1.120373e-05,1.364285e-05,1.564931e-05,1.586148e-05,1.786904e-05,1.947113e-05,1.967818e-05,2.130188e-05,2.255963e-05,2.275282e-05,2.404314e-05,2.501138e-05,2.518444e-05,2.618771e-05,2.691473e-05,2.706337e-05,2.782123e-05,2.834890e-05,2.847049e-05,2.901980e-05,2.938408e-05,2.947722e-05,2.985029e-05,3.008174e-05,3.014602e-05,3.037092e-05,3.049534e-05,3.053107e-05,3.063209e-05,3.067116e-05,3.067921e-05,3.067726e-05,3.064911e-05,3.063072e-05,3.054373e-05,3.046345e-05,3.042015e-05,3.026354e-05,3.014368e-05,3.007718e-05,2.986414e-05,2.971509e-05,2.962721e-05,2.936898e-05,2.919924e-05,2.909184e-05,2.879799e-05,2.861451e-05,2.848946e-05,2.816811e-05,2.797654e-05,2.783566e-05,2.749370e-05,2.729859e-05,2.714367e-05,2.678691e-05,2.659189e-05,2.642464e-05,2.605797e-05,2.586591e-05,2.568794e-05,2.531548e-05,2.512860e-05,2.494144e-05,2.456660e-05,2.438661e-05,2.419168e-05,2.381732e-05,2.364546e-05,2.344410e-05,2.307256e-05,2.290973e-05,2.270317e-05,2.233636e-05,2.218317e-05,2.197253e-05,2.161202e-05,2.146882e-05,2.125515e-05,2.090218e-05,2.076913e-05,2.055337e-05,2.020892e-05,2.008603e-05,1.986904e-05,1.953387e-05,1.942102e-05,1.920358e-05,1.887827e-05,1.877524e-05,1.855804e-05,1.824299e-05,1.814949e-05,1.793317e-05,1.762865e-05,1.754434e-05,1.732946e-05,1.703563e-05,1.696011e-05,1.674717e-05,1.646410e-05,1.639696e-05,1.618640e-05,1.591407e-05,1.585488e-05,1.564709e-05,1.538543e-05,1.533373e-05,1.512905e-05,1.487793e-05,1.483328e-05,1.463200e-05,1.439124e-05,1.435319e-05,1.415557e-05,1.392496e-05,1.389308e-05,1.369934e-05,1.347864e-05,1.345249e-05,1.326281e-05,1.305177e-05,1.303093e-05,1.284547e-05,1.264382e-05,1.262789e-05,1.244676e-05,1.225422e-05,1.224281e-05,1.206612e-05,1.188238e-05,1.187512e-05,1.170295e-05,1.152773e-05,1.152427e-05,1.135666e-05,1.118966e-05,1.087072e-05,1.056687e-05,1.027755e-05,1.000219e-05,9.740231e-06,9.491144e-06,9.254400e-06,9.029485e-06,8.815903e-06,8.613168e-06,8.420814e-06,8.238389e-06,8.065456e-06,7.901593e-06,7.746395e-06,7.599472e-06,7.460448e-06,7.328962e-06,7.204669e-06,7.087235e-06,6.976341e-06,6.871681e-06,6.772963e-06,6.679904e-06,6.592238e-06,6.509705e-06,6.432059e-06,6.359066e-06,6.290499e-06,6.226142e-06,6.165790e-06,6.109245e-06,6.056320e-06,6.006835e-06,5.960617e-06,5.917503e-06,5.877336e-06,5.839966e-06,5.805251e-06,5.773054e-06,5.743246e-06,5.715703e-06,5.690305e-06,5.666941e-06,5.645502e-06,5.625885e-06,5.607994e-06,5.591735e-06,5.577018e-06
0.000000e+00,4.751318e-11,7.153558e-09,7.695115e-09,1.493930e-07,1.201541e-06,1.296703e-06,7.006726e-06,2.461760e-05,2.642130e-05,7.400494e-05,1.538513e-04,1.626027e-04,2.955987e-04,4.474640e-04,4.658051e-04,6.601212e-04,8.401632e-04,8.648901e-04,1.069088e-03,1.238437e-03,1.265217e-03,1.448891e-03,1.591943e-03,1.617975e-03,1.771774e-03,1.886563e-03,1.910425e-03,2.034510e-03,2.123821e-03,2.144824e-03,2.242240e-03,2.309846e-03,2.327651e-03,2.401926e-03,2.451443e-03,2.465901e-03,2.520372e-03,2.555002e-03,2.566086e-03,2.603748e-03,2.626251e-03,2.634018e-03,2.657514e-03,2.670241e-03,2.674812e-03,2.686450e-03,2.691387e-03,2.692927e-03,2.694710e-03,2.693527e-03,2.692232e-03,2.685893e-03,2.679982e-03,2.676065e-03,2.663092e-03,2.653610e-03,2.647293e-03,2.628962e-03,2.616862e-03,2.608371e-03,2.585771e-03,2.571834e-03,2.561393e-03,2.535451e-03,2.520315e-03,2.508142e-03,2.479646e-03,2.463824e-03,2.450130e-03,2.419747e-03,2.403652e-03,2.388636e-03,2.356926e-03,2.340884e-03,2.324735e-03,2.292171e-03,2.276437e-03,2.259331e-03,2.226306e-03,2.211075e-03,2.193177e-03,2.160017e-03,2.145435e-03,2.126895e-03,2.093872e-03,2.080044e-03,2.061001e-03,2.028334e-03,2.015334e-03,1.995914e-03,1.963781e-03,1.951654e-03,1.931972e-03,1.900518e-03,1.889287e-03,1.869447e-03,1.838783e-03,1.828454e-03,1.808549e-03,1.778763e-03,1.769329e-03,1.749442e-03,1.720599e-03,1.712041e-03,1.692245e-03,1.664391e-03,1.656683e-03,1.637044e-03,1.610211e-03,1.603318e-03,1.583895e-03,1.558099e-03,1.551986e-03,1.532827e-03,1.508078e-03,1.502703e-03,1.483851e-03,1.460146e-03,1.455468e-03,1.436961e-03,1.414292e-03,1.410266e-03,1.392135e-03,1.370486e-03,1.367069e-03,1.349341e-03,1.328694e-03,1.325843e-03,1.308539e-03,1.288869e-03,1.286541e-03,1.269679e-03,1.250961e-03,1.249115e-03,1.232709e-03,1.214914e-03,1.213510e-03,1.197570e-03,1.180668e-03,1.179668e-03,1.164201e-03,1.148161e-03,1.147528e-03,1.132540e-03,1.117329e-03,1.117029e-03,1.102521e-03,1.088108e-03,1.060702e-03,1.034748e-03,1.010185e-03,9.869516e-04,9.649876e-04,9.442349e-04,9.246366e-04,9.061378e-04,8.886850e-04,8.722269e-04,8.567140e-04,8.420985e-04,8.283347e-04,8.153788e-04,8.031888e-04,7.917245e-04,7.809476e-04,7.708213e-04,7.613109e-04,7.523830e-04,7.440059e-04,7.361495e-04,7.287852e-04,7.218855e-04,7.154247e-04,7.093782e-04,7.037225e-04,6.984356e-04,6.934964e-04,6.888850e-04,6.845826e-04,6.805711e-04,6.768338e-04,6.733545e-04,6.701180e-04,6.671100e-04,6.643169e-04,6.617257e-04,6.593244e-04,6.571014e-04,6.550457e-04,6.531472e-04,6.513962e-04,6.497833e-04,6.483000e-04,6.469381e-04,6.456898e-04,6.445479e-04,6.435055e-04
0.000000e+00,1.113478e-08,1.877133e-07,1.962967e-07,1.323387e-06,5.022446e-06,5.259931e-06,1.339283e-05,2.336321e-05,2.402140e-05,3.488262e-05,4.442110e-05,4.522474e-05,5.490809e-05,6.305283e-05,6.392500e-05,7.229437e-05,7.914356e-05,8.004118e-05,8.719208e-05,9.288608e-05,9.377441e-05,9.981575e-05,1.044926e-04,1.053436e-04,1.103853e-04,1.141753e-04,1.149673e-04,1.191155e-04,1.221386e-04,1.228550e-04,1.262097e-04,1.285742e-04,1.292027e-04,1.318560e-04,1.336582e-04,1.341905e-04,1.362261e-04,1.375512e-04,1.379817e-04,1.394754e-04,1.403983e-04,1.407242e-04,1.417442e-04,1.423302e-04,1.425506e-04,1.431579e-04,1.434641e-04,1.435798e-04,1.438292e-04,1.439052e-04,1.439183e-04,1.438587e-04,1.437476e-04,1.436613e-04,1.433365e-04,1.430754e-04,1.428939e-04,1.423428e-04,1.419636e-04,1.416917e-04,1.409490e-04,1.404792e-04,1.401222e-04,1.392187e-04,1.386817e-04,1.382451e-04,1.372078e-04,1.366233e-04,1.361128e-04,1.349657e-04,1.343505e-04,1.337719e-04,1.325362e-04,1.319042e-04,1.312634e-04,1.299577e-04,1.293205e-04,1.286232e-04,1.272639e-04,1.266312e-04,1.258832e-04,1.244845e-04,1.238642e-04,1.230710e-04,1.216455e-04,1.210439e-04,1.202107e-04,1.187693e-04,1.181914e-04,1.173235e-04,1.158756e-04,1.153252e-04,1.144275e-04,1.129813e-04,1.124614e-04,1.115386e-04,1.101010e-04,1.096137e-04,1.086701e-04,1.072473e-04,1.067939e-04,1.058337e-04,1.044307e-04,1.040120e-04,1.030392e-04,1.016602e-04,1.012765e-04,1.002947e-04,9.894342e-05,9.859451e-05,9.760712e-05,9.628648e-05,9.597193e-05,9.498210e-05,9.369451e-05,9.341355e-05,9.242419e-05,9.117157e-05,9.092321e-05,8.993702e-05,8.872084e-05,8.850391e-05,8.752334e-05,8.634473e-05,8.615792e-05,8.518521e-05,8.404494e-05,8.388684e-05,8.292404e-05,8.182260e-05,8.169174e-05,8.074068e-05,7.967832e-05,7.957316e-05,7.863553e-05,7.761227e-05,7.753126e-05,7.660852e-05,7.562422e-05,7.556577e-05,7.465927e-05,7.371359e-05,7.367616e-05,7.278706e-05,7.187955e-05,7.186160e-05,7.099092e-05,7.012101e-05,6.845316e-05,6.685663e-05,6.532985e-05,6.387119e-05,6.247887e-05,6.115110e-05,5.988601e-05,5.868168e-05,5.753621e-05,5.644765e-05,5.541407e-05,5.443353e-05,5.350413e-05,5.262397e-05,5.179117e-05,5.100391e-05,5.026039e-05,4.955883e-05,4.889751e-05,4.827475e-05,4.768891e-05,4.713839e-05,4.662165e-05,4.613719e-05,4.568354e-05,4.525931e-05,4.486312e-05,4.449367e-05,4.414968e-05,4.382992e-05,4.353321e-05,4.325842e-05,4.300444e-05,4.277023e-05,4.255477e-05,4.235708e-05,4.217624e-05,4.201134e-05,4.186153e-05,4.172598e-05,4.160390e-05,4.149454e-05,4.139716e-05,4.131108e-05,4.123564e-05,4.117020e-05,4.111416e-05,4.106694e-05,4.102799e-05
0.000000e+00,9.243389e-12,1.605877e-09,1.732106e-09,3.797585e-08,3.366612e-07,3.647054e-07,2.159266e-06,8.247897e-06,8.899677e-06,2.728036e-05,6.172704e-05,6.572262e-05,1.309633e-04,2.146851e-04,2.254107e-04,3.467426e-04,4.712485e-04,4.892281e-04,6.456035e-04,7.856670e-04,8.086489e-04,9.721563e-04,1.106308e-03,1.131329e-03,1.282791e-03,1.399695e-03,1.424391e-03,1.554932e-03,1.651049e-03,1.673914e-03,1.781311e-03,1.857213e-03,1.877406e-03,1.962669e-03,2.020577e-03,2.037676e-03,2.103056e-03,2.145615e-03,2.159449e-03,2.207494e-03,2.237267e-03,2.247812e-03,2.280995e-03,2.300281e-03,2.307607e-03,2.328182e-03,2.338982e-03,2.343222e-03,2.353197e-03,2.357222e-03,2.358548e-03,2.359686e-03,2.358380e-03,2.356992e-03,2.350825e-03,2.345403e-03,2.341515e-03,2.329371e-03,2.320843e-03,2.314678e-03,2.297700e-03,2.286904e-03,2.278683e-03,2.257854e-03,2.245477e-03,2.235422e-03,2.211581e-03,2.198184e-03,2.186509e-03,2.160370e-03,2.146408e-03,2.133317e-03,2.105489e-03,2.091324e-03,2.077013e-03,2.048007e-03,2.033928e-03,2.018579e-03,1.988828e-03,1.975058e-03,1.958842e-03,1.928706e-03,1.915417e-03,1.898492e-03,1.868271e-03,1.855590e-03,1.838102e-03,1.808043e-03,1.796061e-03,1.778143e-03,1.748449e-03,1.737228e-03,1.719001e-03,1.689836e-03,1.679412e-03,1.660986e-03,1.632480e-03,1.622871e-03,1.604344e-03,1.576601e-03,1.567809e-03,1.549269e-03,1.522366e-03,1.514381e-03,1.495907e-03,1.469903e-03,1.462705e-03,1.444364e-03,1.419300e-03,1.412862e-03,1.394716e-03,1.370618e-03,1.364907e-03,1.347009e-03,1.323892e-03,1.318872e-03,1.301266e-03,1.279133e-03,1.274766e-03,1.257491e-03,1.236339e-03,1.232583e-03,1.215673e-03,1.195490e-03,1.192305e-03,1.175785e-03,1.156555e-03,1.153900e-03,1.137794e-03,1.119496e-03,1.117331e-03,1.101655e-03,1.084265e-03,1.082550e-03,1.067318e-03,1.050808e-03,1.049506e-03,1.034728e-03,1.019070e-03,1.018144e-03,1.003827e-03,9.889896e-04,9.884045e-04,9.745515e-04,9.605041e-04,9.602271e-04,9.468396e-04,9.335500e-04,9.083108e-04,8.844475e-04,8.618982e-04,8.406021e-04,8.204997e-04,8.015328e-04,7.836447e-04,7.667809e-04,7.508884e-04,7.359162e-04,7.218155e-04,7.085394e-04,6.960429e-04,6.842832e-04,6.732194e-04,6.628125e-04,6.530254e-04,6.438229e-04,6.351716e-04,6.270398e-04,6.193975e-04,6.122162e-04,6.054690e-04,5.991305e-04,5.931766e-04,5.875847e-04,5.823334e-04,5.774025e-04,5.727729e-04,5.684267e-04,5.643470e-04,5.605177e-04,5.569241e-04,5.535518e-04,5.503877e-04,5.474193e-04,5.446348e-04,5.420231e-04,5.395739e-04,5.372773e-04,5.351243e-04,5.331061e-04,5.312147e-04,5.294425e-04,5.277822e-04,5.262271e-04,5.247710e-04,5.234079e-04,5.221322e-04
0.000000e+00,4.638425e-10,5.387492e-09,5.611029e-09,3.195487e-08,1.080496e-07,1.127458e-07,2.715620e-07,4.718344e-07,4.852707e-07,7.062101e-07,8.934987e-07,9.088314e-07,1.087150e-06,1.227106e-06,1.241514e-06,1.373772e-06,1.473537e-06,1.486018e-06,1.580275e-06,1.648386e-06,1.658423e-06,1.722186e-06,1.765784e-06,1.773136e-06,1.812702e-06,1.837565e-06,1.842181e-06,1.862745e-06,1.873493e-06,1.875453e-06,1.881259e-06,1.881550e-06,1.881020e-06,1.875506e-06,1.868216e-06,1.865409e-06,1.851348e-06,1.838718e-06,1.833876e-06,1.813488e-06,1.797254e-06,1.790626e-06,1.765680e-06,1.747168e-06,1.739001e-06,1.710900e-06,1.691122e-06,1.681654e-06,1.651507e-06,1.631224e-06,1.620677e-06,1.589356e-06,1.569132e-06,1.557714e-06,1.525898e-06,1.506143e-06,1.494040e-06,1.462254e-06,1.443259e-06,1.430641e-06,1.399290e-06,1.381257e-06,1.368276e-06,1.337660e-06,1.320708e-06,1.307494e-06,1.277825e-06,1.262023e-06,1.248690e-06,1.220120e-06,1.205495e-06,1.192139e-06,1.164769e-06,1.151317e-06,1.138023e-06,1.111914e-06,1.099609e-06,1.086448e-06,1.061631e-06,1.050434e-06,1.037465e-06,1.013948e-06,1.003807e-06,9.910795e-07,9.688534e-07,9.597087e-07,9.472641e-07,9.263041e-07,9.180944e-07,9.059648e-07,8.862366e-07,8.788980e-07,8.671092e-07,8.485716e-07,8.420402e-07,8.306123e-07,8.132191e-07,8.074322e-07,7.963798e-07,7.800815e-07,7.749782e-07,7.643114e-07,7.490565e-07,7.445785e-07,7.343036e-07,7.200397e-07,7.161316e-07,7.062518e-07,6.929266e-07,6.895363e-07,6.800515e-07,6.676140e-07,6.646927e-07,6.556011e-07,6.440007e-07,6.415027e-07,6.328006e-07,6.219886e-07,6.198717e-07,6.115531e-07,6.014826e-07,5.997078e-07,5.917657e-07,5.823913e-07,5.809225e-07,5.733487e-07,5.646273e-07,5.634314e-07,5.562169e-07,5.481074e-07,5.471540e-07,5.402892e-07,5.327527e-07,5.320142e-07,5.254887e-07,5.184882e-07,5.179393e-07,5.117427e-07,5.052435e-07,5.048612e-07,4.989825e-07,4.929517e-07,4.927151e-07,4.871433e-07,4.815498e-07,4.814401e-07,4.761640e-07,4.709788e-07,4.612774e-07,4.522852e-07,4.439546e-07,4.362412e-07,4.291032e-07,4.225015e-07,4.163994e-07,4.107629e-07,4.055597e-07,4.007601e-07,3.963361e-07,3.922615e-07,3.885119e-07,3.850645e-07,3.818982e-07,3.789930e-07,3.763304e-07,3.738931e-07,3.716652e-07,3.696314e-07,3.677779e-07,3.660915e-07,3.645601e-07,3.631724e-07,3.619178e-07,3.607864e-07,3.597691e-07,3.588574e-07,3.580434e-07,3.573196e-07,3.566791e-07,3.561156e-07,3.556231e-07,3.551961e-07,3.548293e-07,3.545181e-07,3.542580e-07,3.540448e-07,3.538747e-07,3.537442e-07,3.536499e-07,3.535887e-07,3.535579e-07,3.535548e-07,3.535768e-07,3.536219e-07,3.536877e-07,3.537725e-07,3.538744e-07
0.000000e+00,1.136109e-09,1.470447e-07,1.583168e-07,3.216847e-06,2.282567e-05,2.438714e-05,9.176665e-05,2.030333e-04,2.112983e-04,3.598741e-04,5.034309e-04,5.158953e-04,6.695057e-04,8.030756e-04,8.176097e-04,9.594860e-04,1.079126e-03,1.095066e-03,1.224438e-03,1.330829e-03,1.347729e-03,1.465083e-03,1.559183e-03,1.576651e-03,1.682591e-03,1.765376e-03,1.783066e-03,1.878245e-03,1.950689e-03,1.968297e-03,2.053390e-03,2.116429e-03,2.133694e-03,2.209373e-03,2.263898e-03,2.280593e-03,2.347512e-03,2.394357e-03,2.410289e-03,2.469075e-03,2.509015e-03,2.524021e-03,2.575272e-03,2.609024e-03,2.622968e-03,2.667246e-03,2.695472e-03,2.708241e-03,2.746081e-03,2.769388e-03,2.780891e-03,2.812793e-03,2.831739e-03,2.841905e-03,2.868340e-03,2.883434e-03,2.892209e-03,2.913618e-03,2.925326e-03,2.932671e-03,2.949468e-03,2.958214e-03,2.964105e-03,2.976675e-03,2.982846e-03,2.987270e-03,2.995976e-03,2.999922e-03,3.002878e-03,3.008056e-03,3.010095e-03,3.011591e-03,3.013557e-03,3.013974e-03,3.014027e-03,3.013073e-03,3.012130e-03,3.010763e-03,3.007163e-03,3.005091e-03,3.002336e-03,2.996343e-03,2.993352e-03,2.989244e-03,2.981095e-03,2.977372e-03,2.971951e-03,2.961865e-03,2.957579e-03,2.950888e-03,2.939070e-03,2.934368e-03,2.926456e-03,2.913094e-03,2.908108e-03,2.899026e-03,2.884295e-03,2.879142e-03,2.868940e-03,2.853003e-03,2.847785e-03,2.836519e-03,2.819524e-03,2.814332e-03,2.802055e-03,2.784143e-03,2.779053e-03,2.765821e-03,2.747119e-03,2.742198e-03,2.728068e-03,2.708695e-03,2.704001e-03,2.689028e-03,2.669092e-03,2.664673e-03,2.648913e-03,2.628516e-03,2.624412e-03,2.607921e-03,2.587153e-03,2.583398e-03,2.566231e-03,2.545177e-03,2.541798e-03,2.524009e-03,2.502747e-03,2.499763e-03,2.481407e-03,2.460007e-03,2.457435e-03,2.438562e-03,2.417089e-03,2.414941e-03,2.395602e-03,2.374116e-03,2.372397e-03,2.352643e-03,2.331196e-03,2.329911e-03,2.309788e-03,2.288431e-03,2.287578e-03,2.267135e-03,2.245910e-03,2.245486e-03,2.224767e-03,2.203716e-03,2.162337e-03,2.121415e-03,2.081007e-03,2.041164e-03,2.001934e-03,1.963355e-03,1.925465e-03,1.888292e-03,1.851865e-03,1.816205e-03,1.781332e-03,1.747261e-03,1.714005e-03,1.681574e-03,1.649975e-03,1.619213e-03,1.589290e-03,1.560208e-03,1.531964e-03,1.504556e-03,1.477980e-03,1.452229e-03,1.427296e-03,1.403174e-03,1.379853e-03,1.357323e-03,1.335572e-03,1.314590e-03,1.294362e-03,1.274877e-03,1.256121e-03,1.238079e-03,1.220738e-03,1.204082e-03,1.188097e-03,1.172766e-03,1.158076e-03,1.144010e-03,1.130552e-03,1.117687e-03,1.105398e-03,1.093670e-03,1.082488e-03,1.071835e-03,1.061695e-03,1.052054e-03,1.042895e-03,1.034203e-03,1.025963e-03
0.000000e+00,4.873930e-13,1.369315e-10,1.493018e-10,5.507023e-09,7.169910e-08,7.869216e-08,6.049723e-07,2.728737e-06,2.971607e-06,1.053622e-05,2.733351e-05,2.946646e-05,6.914270e-05,1.328476e-04,1.420447e-04,2.631929e-04,4.229481e-04,4.492809e-04,7.176488e-04,1.027194e-03,1.085228e-03,1.567565e-03,2.071245e-03,2.177990e-03,2.926976e-03,3.649686e-03,3.821705e-03,4.865835e-03,5.808886e-03,6.059455e-03,7.399199e-03,8.541511e-03,8.878488e-03,1.048787e-02,1.179077e-02,1.221545e-02,1.404733e-02,1.546103e-02,1.596806e-02,1.796115e-02,1.943137e-02,2.000946e-02,2.209565e-02,2.356930e-02,2.420252e-02,2.631337e-02,2.774283e-02,2.841223e-02,3.048408e-02,3.182992e-02,3.251507e-02,3.449260e-02,3.572491e-02,3.640542e-02,3.824369e-02,3.934220e-02,3.999894e-02,4.166414e-02,4.261760e-02,4.323356e-02,4.470281e-02,4.550776e-02,4.606867e-02,4.732908e-02,4.798843e-02,4.848302e-02,4.953039e-02,5.005190e-02,5.047196e-02,5.130922e-02,5.170405e-02,5.204430e-02,5.267991e-02,5.296138e-02,5.321920e-02,5.366571e-02,5.384820e-02,5.402329e-02,5.429601e-02,5.439412e-02,5.448810e-02,5.460393e-02,5.463187e-02,5.464790e-02,5.462443e-02,5.459553e-02,5.453793e-02,5.439274e-02,5.431919e-02,5.419312e-02,5.394322e-02,5.383592e-02,5.364706e-02,5.330852e-02,5.317699e-02,5.293132e-02,5.251903e-02,5.237146e-02,5.207502e-02,5.160252e-02,5.144581e-02,5.110458e-02,5.058407e-02,5.042392e-02,5.004369e-02,4.948597e-02,4.932702e-02,4.891328e-02,4.832784e-02,4.817380e-02,4.773172e-02,4.712681e-02,4.698053e-02,4.651491e-02,4.589765e-02,4.576128e-02,4.527654e-02,4.465298e-02,4.452809e-02,4.402826e-02,4.340356e-02,4.329120e-02,4.277994e-02,4.215840e-02,4.205921e-02,4.153983e-02,4.092504e-02,4.083932e-02,4.031478e-02,3.970971e-02,3.963748e-02,3.911043e-02,3.851749e-02,3.845857e-02,3.793137e-02,3.735250e-02,3.730651e-02,3.678126e-02,3.621800e-02,3.618446e-02,3.566300e-02,3.511654e-02,3.509486e-02,3.457883e-02,3.405007e-02,3.403958e-02,3.353041e-02,3.301999e-02,3.203704e-02,3.109131e-02,3.018309e-02,2.931243e-02,2.847915e-02,2.768290e-02,2.692317e-02,2.619934e-02,2.551069e-02,2.485642e-02,2.423564e-02,2.364743e-02,2.309082e-02,2.256481e-02,2.206836e-02,2.160044e-02,2.115998e-02,2.074592e-02,2.035721e-02,1.999277e-02,1.965157e-02,1.933255e-02,1.903469e-02,1.875697e-02,1.849840e-02,1.825800e-02,1.803482e-02,1.782793e-02,1.763642e-02,1.745941e-02,1.729604e-02,1.714549e-02,1.700695e-02,1.687965e-02,1.676284e-02,1.665583e-02,1.655791e-02,1.646844e-02,1.638680e-02,1.631237e-02,1.624461e-02,1.618297e-02,1.612694e-02,1.607603e-02,1.602980e-02,1.598782e-02,1.594968e-02,1.591500e-02,1.588344e-02
0.000000e+00,3.115089e-13,7.377308e-11,8.005628e-11,2.317449e-09,2.544170e-08,2.778057e-08,1.974784e-07,8.875497e-07,9.678931e-07,3.573988e-06,9.777398e-06,1.059214e-05,2.644043e-05,5.362550e-05,5.767341e-05,1.130198e-04,1.901284e-04,2.031801e-04,3.404372e-04,5.063098e-04,5.381427e-04,8.101419e-04,1.106114e-03,1.170190e-03,1.631399e-03,2.093526e-03,2.205749e-03,2.903679e-03,3.556831e-03,3.733762e-03,4.702483e-03,5.557146e-03,5.814097e-03,7.070575e-03,8.122283e-03,8.471621e-03,1.001475e-02,1.124555e-02,1.169543e-02,1.350723e-02,1.488843e-02,1.544206e-02,1.749033e-02,1.898589e-02,1.964126e-02,2.188305e-02,2.345299e-02,2.420316e-02,2.658849e-02,2.819204e-02,2.902565e-02,3.150110e-02,3.309926e-02,3.400138e-02,3.651323e-02,3.807073e-02,3.902378e-02,4.152062e-02,4.300721e-02,4.399196e-02,4.642666e-02,4.781787e-02,4.881434e-02,5.114541e-02,5.242279e-02,5.341113e-02,5.560357e-02,5.675451e-02,5.771571e-02,5.974134e-02,6.075868e-02,6.167514e-02,6.351260e-02,6.439401e-02,6.525000e-02,6.688440e-02,6.763164e-02,6.841357e-02,6.983601e-02,7.045421e-02,7.115081e-02,7.235771e-02,7.285461e-02,7.345696e-02,7.444936e-02,7.483458e-02,7.533612e-02,7.611892e-02,7.640337e-02,7.679977e-02,7.738101e-02,7.757631e-02,7.786530e-02,7.825550e-02,7.837353e-02,7.855471e-02,7.876620e-02,7.881873e-02,7.889338e-02,7.893976e-02,7.893813e-02,7.890895e-02,7.880459e-02,7.875949e-02,7.863038e-02,7.839003e-02,7.831138e-02,7.808723e-02,7.772565e-02,7.762246e-02,7.730892e-02,7.684063e-02,7.672096e-02,7.632429e-02,7.576334e-02,7.563428e-02,7.516113e-02,7.452092e-02,7.438859e-02,7.384587e-02,7.313905e-02,7.300868e-02,7.240341e-02,7.164179e-02,7.151770e-02,7.085692e-02,7.005143e-02,6.993716e-02,6.922782e-02,6.838848e-02,6.828681e-02,6.753568e-02,6.667159e-02,6.658464e-02,6.579827e-02,6.491766e-02,6.484696e-02,6.403161e-02,6.314184e-02,6.308838e-02,6.225000e-02,6.135762e-02,6.132193e-02,6.046614e-02,5.957691e-02,5.955915e-02,5.869118e-02,5.781014e-02,5.608369e-02,5.438736e-02,5.272762e-02,5.110988e-02,4.953866e-02,4.801762e-02,4.654970e-02,4.513713e-02,4.378156e-02,4.248409e-02,4.124536e-02,4.006560e-02,3.894466e-02,3.788210e-02,3.687718e-02,3.592894e-02,3.503621e-02,3.419766e-02,3.341179e-02,3.267701e-02,3.199161e-02,3.135384e-02,3.076184e-02,3.021373e-02,2.970762e-02,2.924157e-02,2.881364e-02,2.842191e-02,2.806445e-02,2.773938e-02,2.744482e-02,2.717893e-02,2.693992e-02,2.672604e-02,2.653558e-02,2.636688e-02,2.621836e-02,2.608846e-02,2.597572e-02,2.587870e-02,2.579605e-02,2.572648e-02,2.566875e-02,2.562170e-02,2.558423e-02,2.555529e-02,2.553391e-02,2.551917e-02,2.551023e-02
0.000000e+00,2.489274e-13,5.224515e-11,5.654096e-11,1.425436e-09,1.392067e-08,1.513579e-08,9.840211e-08,4.174036e-07,4.538103e-07,1.605406e-06,4.250329e-06,4.591683e-06,1.105350e-05,2.160346e-05,2.313116e-05,4.318920e-05,6.922521e-05,7.346159e-05,1.157184e-04,1.624780e-04,1.710243e-04,2.396174e-04,3.070936e-04,3.209060e-04,4.135589e-04,4.966830e-04,5.156580e-04,6.248821e-04,7.156895e-04,7.386946e-04,8.545159e-04,9.446510e-04,9.698694e-04,1.082493e-03,1.165037e-03,1.190417e-03,1.292009e-03,1.362346e-03,1.385992e-03,1.471438e-03,1.527328e-03,1.547753e-03,1.614635e-03,1.655808e-03,1.672041e-03,1.720141e-03,1.747703e-03,1.759277e-03,1.789922e-03,1.805769e-03,1.812642e-03,1.828065e-03,1.834410e-03,1.836851e-03,1.839671e-03,1.838715e-03,1.837189e-03,1.830043e-03,1.823771e-03,1.818840e-03,1.804148e-03,1.794236e-03,1.786490e-03,1.766343e-03,1.754135e-03,1.744137e-03,1.720256e-03,1.706785e-03,1.695040e-03,1.668787e-03,1.654814e-03,1.641759e-03,1.614179e-03,1.600243e-03,1.586240e-03,1.558108e-03,1.544578e-03,1.529922e-03,1.501798e-03,1.488909e-03,1.473834e-03,1.446111e-03,1.434006e-03,1.418693e-03,1.391635e-03,1.380389e-03,1.364980e-03,1.338760e-03,1.328399e-03,1.313001e-03,1.287723e-03,1.278246e-03,1.262939e-03,1.238660e-03,1.230043e-03,1.214890e-03,1.191633e-03,1.183842e-03,1.168888e-03,1.146655e-03,1.139648e-03,1.124929e-03,1.103706e-03,1.097436e-03,1.082979e-03,1.062743e-03,1.057163e-03,1.042989e-03,1.023710e-03,1.018774e-03,1.004898e-03,9.865438e-04,9.822062e-04,9.686398e-04,9.511765e-04,9.473929e-04,9.341451e-04,9.175368e-04,9.142651e-04,9.013428e-04,8.855544e-04,8.827549e-04,8.701629e-04,8.551596e-04,8.527945e-04,8.405360e-04,8.262836e-04,8.243174e-04,8.123941e-04,7.988593e-04,7.972586e-04,7.856713e-04,7.728221e-04,7.715555e-04,7.603040e-04,7.481092e-04,7.471473e-04,7.362303e-04,7.246599e-04,7.239754e-04,7.133909e-04,7.024161e-04,7.019831e-04,6.917285e-04,6.813215e-04,6.811162e-04,6.711883e-04,6.613224e-04,6.425517e-04,6.247559e-04,6.078890e-04,5.919068e-04,5.767671e-04,5.624295e-04,5.488552e-04,5.360075e-04,5.238509e-04,5.123519e-04,5.014781e-04,4.911989e-04,4.814850e-04,4.723085e-04,4.636426e-04,4.554620e-04,4.477424e-04,4.404607e-04,4.335949e-04,4.271241e-04,4.210283e-04,4.152885e-04,4.098864e-04,4.048050e-04,4.000277e-04,3.955390e-04,3.913239e-04,3.873682e-04,3.836585e-04,3.801821e-04,3.769265e-04,3.738803e-04,3.710325e-04,3.683724e-04,3.658901e-04,3.635761e-04,3.614215e-04,3.594175e-04,3.575560e-04,3.558293e-04,3.542299e-04,3.527510e-04,3.513857e-04,3.501279e-04,3.489715e-04,3.479107e-04,3.469401e-04,3.460547e-04,3.452494e-04
0.000000e+00,6.056776e-11,7.739317e-09,8.305462e-09,1.477991e-07,1.105824e-06,1.189265e-06,5.798723e-06,1.808626e-05,1.925506e-05,4.693848e-05,8.584016e-05,8.973859e-05,1.431780e-04,1.950427e-04,2.008329e-04,2.575181e-04,3.041660e-04,3.102268e-04,3.576784e-04,3.940578e-04,3.995982e-04,4.361888e-04,4.630881e-04,4.678378e-04,4.949831e-04,5.141853e-04,5.180565e-04,5.374638e-04,5.506024e-04,5.535790e-04,5.667442e-04,5.751668e-04,5.772712e-04,5.854429e-04,5.902371e-04,5.915161e-04,5.957231e-04,5.977591e-04,5.982740e-04,5.993583e-04,5.993277e-04,5.991471e-04,5.977944e-04,5.962431e-04,5.954387e-04,5.922048e-04,5.895617e-04,5.882046e-04,5.835387e-04,5.801387e-04,5.782973e-04,5.725611e-04,5.686642e-04,5.664027e-04,5.598869e-04,5.556931e-04,5.530714e-04,5.460081e-04,5.416707e-04,5.387433e-04,5.313179e-04,5.269522e-04,5.237687e-04,5.161281e-04,5.118204e-04,5.084250e-04,5.006851e-04,4.964982e-04,4.929308e-04,4.851823e-04,4.811612e-04,4.774570e-04,4.697703e-04,4.659458e-04,4.621358e-04,4.545651e-04,4.509570e-04,4.470686e-04,4.396549e-04,4.362746e-04,4.323317e-04,4.251054e-04,4.219580e-04,4.179815e-04,4.109645e-04,4.080502e-04,4.040583e-04,3.972658e-04,3.945812e-04,3.905895e-04,3.840314e-04,3.815705e-04,3.775927e-04,3.712743e-04,3.690293e-04,3.650770e-04,3.590007e-04,3.569624e-04,3.530455e-04,3.472109e-04,3.453692e-04,3.414963e-04,3.359009e-04,3.342454e-04,3.304237e-04,3.250636e-04,3.235836e-04,3.198192e-04,3.146892e-04,3.133739e-04,3.096720e-04,3.047661e-04,3.036050e-04,2.999697e-04,2.952812e-04,2.942641e-04,2.906989e-04,2.862208e-04,2.853376e-04,2.818453e-04,2.775704e-04,2.768115e-04,2.733943e-04,2.693151e-04,2.686713e-04,2.653310e-04,2.614400e-04,2.609026e-04,2.576404e-04,2.539301e-04,2.534908e-04,2.503075e-04,2.467707e-04,2.464217e-04,2.433178e-04,2.399472e-04,2.396810e-04,2.366569e-04,2.334453e-04,2.332551e-04,2.303107e-04,2.272514e-04,2.271305e-04,2.242656e-04,2.213518e-04,2.212942e-04,2.185083e-04,2.157336e-04,2.104365e-04,2.053911e-04,2.005862e-04,1.960108e-04,1.916546e-04,1.875076e-04,1.835602e-04,1.798032e-04,1.762279e-04,1.728258e-04,1.695890e-04,1.665097e-04,1.635806e-04,1.607948e-04,1.581456e-04,1.556265e-04,1.532316e-04,1.509549e-04,1.487910e-04,1.467345e-04,1.447805e-04,1.429240e-04,1.411605e-04,1.394856e-04,1.378952e-04,1.363852e-04,1.349518e-04,1.335915e-04,1.323008e-04,1.310763e-04,1.299149e-04,1.288136e-04,1.277696e-04,1.267802e-04,1.258427e-04,1.249546e-04,1.241136e-04,1.233175e-04,1.225641e-04,1.218513e-04,1.211772e-04,1.205399e-04,1.199377e-04,1.193689e-04,1.188317e-04,1.183249e-04,1.178467e-04,1.173959e-04,1.169711e-04
0.000000e+00,3.940706e-12,7.236370e-10,7.815479e-10,1.823754e-08,1.674007e-07,1.814869e-07,1.081697e-06,4.115924e-06,4.440293e-06,1.362611e-05,3.110657e-05,3.315447e-05,6.703858e-05,1.113492e-04,1.170688e-04,1.821108e-04,2.489544e-04,2.585762e-04,3.415357e-04,4.141620e-04,4.258760e-04,5.071445e-04,5.705505e-04,5.819921e-04,6.482677e-04,6.954366e-04,7.048993e-04,7.516672e-04,7.822227e-04,7.889544e-04,8.175223e-04,8.343667e-04,8.383309e-04,8.524081e-04,8.592278e-04,8.607629e-04,8.643355e-04,8.644000e-04,8.639686e-04,8.603981e-04,8.562012e-04,8.542538e-04,8.460672e-04,8.393619e-04,8.362814e-04,8.252623e-04,8.172203e-04,8.133100e-04,8.006694e-04,7.920476e-04,7.875391e-04,7.740793e-04,7.653527e-04,7.604189e-04,7.466608e-04,7.381186e-04,7.328873e-04,7.191633e-04,7.109746e-04,7.055402e-04,6.920580e-04,6.843154e-04,6.787477e-04,6.656333e-04,6.583816e-04,6.527326e-04,6.400591e-04,6.333133e-04,6.276223e-04,6.154287e-04,6.091857e-04,6.034826e-04,5.917862e-04,5.860318e-04,5.803400e-04,5.691437e-04,5.638578e-04,5.581956e-04,5.474934e-04,5.426522e-04,5.370342e-04,5.268144e-04,5.223927e-04,5.168305e-04,5.070783e-04,5.030504e-04,4.975536e-04,4.882520e-04,4.845929e-04,4.791693e-04,4.703009e-04,4.669862e-04,4.616424e-04,4.531892e-04,4.501956e-04,4.449371e-04,4.368816e-04,4.341867e-04,4.290183e-04,4.213430e-04,4.189259e-04,4.138514e-04,4.065394e-04,4.043802e-04,3.994029e-04,3.924378e-04,3.905177e-04,3.856402e-04,3.790062e-04,3.773077e-04,3.725321e-04,3.662142e-04,3.647207e-04,3.600487e-04,3.540322e-04,3.527282e-04,3.481612e-04,3.424322e-04,3.413032e-04,3.368420e-04,3.313872e-04,3.304195e-04,3.260648e-04,3.208715e-04,3.200523e-04,3.158043e-04,3.108603e-04,3.101777e-04,3.060365e-04,3.013301e-04,3.007731e-04,2.967383e-04,2.922585e-04,2.918165e-04,2.878879e-04,2.836239e-04,2.832874e-04,2.794641e-04,2.754059e-04,2.751656e-04,2.714470e-04,2.675850e-04,2.674325e-04,2.638175e-04,2.601423e-04,2.600697e-04,2.565573e-04,2.530602e-04,2.463874e-04,2.400355e-04,2.339896e-04,2.282353e-04,2.227591e-04,2.175478e-04,2.125891e-04,2.078710e-04,2.033823e-04,1.991123e-04,1.950505e-04,1.911873e-04,1.875133e-04,1.840195e-04,1.806975e-04,1.775392e-04,1.745368e-04,1.716830e-04,1.689708e-04,1.663934e-04,1.639446e-04,1.616181e-04,1.594083e-04,1.573096e-04,1.553168e-04,1.534247e-04,1.516287e-04,1.499242e-04,1.483068e-04,1.467723e-04,1.453169e-04,1.439368e-04,1.426284e-04,1.413883e-04,1.402131e-04,1.390999e-04,1.380456e-04,1.370475e-04,1.361028e-04,1.352089e-04,1.343635e-04,1.335642e-04,1.328089e-04,1.320952e-04,1.314214e-04,1.307854e-04,1.301854e-04,1.296196e-04,1.290865e-04
0.000000e+00,4.789608e-10,6.683327e-09,6.977350e-09,4.140808e-08,1.333047e-07,1.386932e-07,3.083976e-07,5.011428e-07,5.136309e-07,7.166551e-07,8.901673e-07,9.045710e-07,1.075364e-06,1.214882e-06,1.229588e-06,1.368317e-06,1.478484e-06,1.492687e-06,1.603805e-06,1.689568e-06,1.702718e-06,1.790411e-06,1.856077e-06,1.867804e-06,1.935751e-06,1.984980e-06,1.995049e-06,2.046434e-06,2.082302e-06,2.090584e-06,2.128126e-06,2.153195e-06,2.159638e-06,2.185650e-06,2.202044e-06,2.206652e-06,2.223091e-06,2.232564e-06,2.235382e-06,2.243902e-06,2.247899e-06,2.249000e-06,2.250994e-06,2.250700e-06,2.250176e-06,2.246814e-06,2.243202e-06,2.241156e-06,2.233429e-06,2.227298e-06,2.223841e-06,2.212581e-06,2.204578e-06,2.199823e-06,2.185726e-06,2.176379e-06,2.170438e-06,2.154089e-06,2.143824e-06,2.136805e-06,2.118697e-06,2.107857e-06,2.099867e-06,2.080409e-06,2.069269e-06,2.060407e-06,2.039939e-06,2.028719e-06,2.019077e-06,1.997886e-06,1.986755e-06,1.976423e-06,1.954743e-06,1.943837e-06,1.932895e-06,1.910924e-06,1.900345e-06,1.888869e-06,1.866768e-06,1.856595e-06,1.844654e-06,1.822557e-06,1.812847e-06,1.800505e-06,1.778522e-06,1.769315e-06,1.756630e-06,1.734850e-06,1.726173e-06,1.713199e-06,1.691694e-06,1.683563e-06,1.670349e-06,1.649177e-06,1.641600e-06,1.628190e-06,1.607397e-06,1.600374e-06,1.586809e-06,1.566432e-06,1.559957e-06,1.546273e-06,1.526339e-06,1.520404e-06,1.506635e-06,1.487165e-06,1.481755e-06,1.467932e-06,1.448940e-06,1.444041e-06,1.430191e-06,1.411687e-06,1.407283e-06,1.393429e-06,1.375420e-06,1.371491e-06,1.357658e-06,1.340144e-06,1.336671e-06,1.322879e-06,1.305862e-06,1.302825e-06,1.289092e-06,1.272568e-06,1.269947e-06,1.256289e-06,1.240254e-06,1.238029e-06,1.224462e-06,1.208910e-06,1.207060e-06,1.193598e-06,1.178522e-06,1.177027e-06,1.163681e-06,1.149073e-06,1.147915e-06,1.134696e-06,1.120547e-06,1.119705e-06,1.106624e-06,1.092925e-06,1.092381e-06,1.079446e-06,1.066186e-06,1.065923e-06,1.053142e-06,1.040312e-06,1.015526e-06,9.915469e-07,9.683525e-07,9.459227e-07,9.242368e-07,9.032746e-07,8.830156e-07,8.634401e-07,8.445284e-07,8.262611e-07,8.086194e-07,7.915847e-07,7.751388e-07,7.592641e-07,7.439431e-07,7.291592e-07,7.148957e-07,7.011366e-07,6.878665e-07,6.750699e-07,6.627323e-07,6.508392e-07,6.393767e-07,6.283312e-07,6.176896e-07,6.074390e-07,5.975670e-07,5.880616e-07,5.789110e-07,5.701039e-07,5.616294e-07,5.534766e-07,5.456352e-07,5.380952e-07,5.308467e-07,5.238804e-07,5.171870e-07,5.107576e-07,5.045837e-07,4.986567e-07,4.929687e-07,4.875117e-07,4.822782e-07,4.772606e-07,4.724519e-07,4.678451e-07,4.634334e-07,4.592103e-07,4.551695e-07
0.000000e+00,7.682500e-10,1.087976e-08,1.134766e-08,6.232088e-08,1.839656e-07,1.907676e-07,3.957376e-07,6.171229e-07,6.312395e-07,8.581459e-07,1.048802e-06,1.064501e-06,1.249053e-06,1.397394e-06,1.412887e-06,1.557506e-06,1.670091e-06,1.684439e-06,1.795153e-06,1.878457e-06,1.891038e-06,1.973397e-06,2.033019e-06,2.043448e-06,2.102316e-06,2.142978e-06,2.151046e-06,2.190596e-06,2.216223e-06,2.221850e-06,2.245621e-06,2.259449e-06,2.262654e-06,2.273629e-06,2.278306e-06,2.279173e-06,2.279853e-06,2.277530e-06,2.276185e-06,2.268635e-06,2.261038e-06,2.257633e-06,2.243570e-06,2.232097e-06,2.226804e-06,2.207677e-06,2.193478e-06,2.186491e-06,2.163515e-06,2.147490e-06,2.138993e-06,2.113144e-06,2.095998e-06,2.086169e-06,2.058249e-06,2.040536e-06,2.029547e-06,2.000210e-06,1.982359e-06,1.970372e-06,1.940153e-06,1.922495e-06,1.909662e-06,1.878994e-06,1.861776e-06,1.848238e-06,1.817469e-06,1.800874e-06,1.786758e-06,1.756167e-06,1.740326e-06,1.725751e-06,1.695558e-06,1.680559e-06,1.665632e-06,1.636009e-06,1.621909e-06,1.606724e-06,1.577805e-06,1.564632e-06,1.549277e-06,1.521161e-06,1.508925e-06,1.493475e-06,1.466236e-06,1.454931e-06,1.439455e-06,1.413143e-06,1.402751e-06,1.387307e-06,1.361956e-06,1.352450e-06,1.337092e-06,1.312718e-06,1.304064e-06,1.288838e-06,1.265449e-06,1.257610e-06,1.242553e-06,1.220148e-06,1.213081e-06,1.198230e-06,1.176796e-06,1.170460e-06,1.155842e-06,1.135364e-06,1.129715e-06,1.115356e-06,1.095813e-06,1.090807e-06,1.076728e-06,1.058095e-06,1.053690e-06,1.039908e-06,1.022159e-06,1.018312e-06,1.004841e-06,9.879462e-07,9.846176e-07,9.714682e-07,9.553987e-07,9.525491e-07,9.397303e-07,9.244551e-07,9.220470e-07,9.095654e-07,8.950534e-07,8.930514e-07,8.809113e-07,8.671315e-07,8.655019e-07,8.537062e-07,8.406277e-07,8.393387e-07,8.278885e-07,8.154811e-07,8.145026e-07,8.033980e-07,7.916319e-07,7.909359e-07,7.801755e-07,7.690217e-07,7.685817e-07,7.581634e-07,7.475936e-07,7.473851e-07,7.373056e-07,7.272926e-07,7.082525e-07,6.902149e-07,6.731321e-07,6.569577e-07,6.416476e-07,6.271592e-07,6.134521e-07,6.004872e-07,5.882277e-07,5.766380e-07,5.656844e-07,5.553346e-07,5.455581e-07,5.363255e-07,5.276090e-07,5.193821e-07,5.116197e-07,5.042978e-07,4.973936e-07,4.908855e-07,4.847528e-07,4.789760e-07,4.735366e-07,4.684168e-07,4.636000e-07,4.590701e-07,4.548122e-07,4.508118e-07,4.470552e-07,4.435297e-07,4.402228e-07,4.371231e-07,4.342192e-07,4.315009e-07,4.289582e-07,4.265815e-07,4.243619e-07,4.222910e-07,4.203606e-07,4.185630e-07,4.168911e-07,4.153380e-07,4.138970e-07,4.125621e-07,4.113273e-07,4.101870e-07,4.091360e-07,4.081693e-07,4.072822e-07
0.000000e+00,7.653586e-10,9.579848e-09,9.983588e-09,5.611267e-08,1.790238e-07,1.863000e-07,4.212851e-07,7.030273e-07,7.217207e-07,1.029276e-06,1.293547e-06,1.315434e-06,1.573699e-06,1.782408e-06,1.804263e-06,2.008835e-06,2.168931e-06,2.189396e-06,2.347904e-06,2.468007e-06,2.486223e-06,2.606103e-06,2.693749e-06,2.709174e-06,2.796951e-06,2.858499e-06,2.870830e-06,2.932103e-06,2.972842e-06,2.981951e-06,3.021466e-06,3.045757e-06,3.051643e-06,3.073394e-06,3.084808e-06,3.087557e-06,3.094894e-06,3.096342e-06,3.096104e-06,3.091825e-06,3.085675e-06,3.082641e-06,3.069082e-06,3.057250e-06,3.051634e-06,3.030738e-06,3.014766e-06,3.006796e-06,2.980175e-06,2.961300e-06,2.951208e-06,2.920198e-06,2.899407e-06,2.887420e-06,2.853125e-06,2.831201e-06,2.817540e-06,2.780870e-06,2.758426e-06,2.743302e-06,2.705003e-06,2.682517e-06,2.666128e-06,2.626812e-06,2.604650e-06,2.587181e-06,2.547346e-06,2.525786e-06,2.507408e-06,2.467456e-06,2.446703e-06,2.427571e-06,2.387827e-06,2.368027e-06,2.348286e-06,2.309007e-06,2.290262e-06,2.270041e-06,2.231432e-06,2.213802e-06,2.193219e-06,2.155438e-06,2.138959e-06,2.118118e-06,2.081286e-06,2.065968e-06,2.044965e-06,2.009174e-06,1.995009e-06,1.973928e-06,1.939241e-06,1.926209e-06,1.905125e-06,1.871587e-06,1.859657e-06,1.838635e-06,1.806274e-06,1.795406e-06,1.774506e-06,1.743333e-06,1.733484e-06,1.712757e-06,1.682775e-06,1.673896e-06,1.653386e-06,1.624588e-06,1.616630e-06,1.596377e-06,1.568748e-06,1.561659e-06,1.541697e-06,1.515217e-06,1.508946e-06,1.489302e-06,1.463947e-06,1.458443e-06,1.439144e-06,1.414885e-06,1.410098e-06,1.391164e-06,1.367971e-06,1.363852e-06,1.345300e-06,1.323141e-06,1.319643e-06,1.301487e-06,1.280330e-06,1.277407e-06,1.259659e-06,1.239468e-06,1.237077e-06,1.219747e-06,1.200487e-06,1.198586e-06,1.181681e-06,1.163318e-06,1.161868e-06,1.145392e-06,1.127893e-06,1.126857e-06,1.110813e-06,1.094143e-06,1.093485e-06,1.077876e-06,1.062002e-06,1.061688e-06,1.046514e-06,1.031403e-06,1.002568e-06,9.751215e-07,9.490058e-07,9.241639e-07,9.005408e-07,8.780835e-07,8.567408e-07,8.364635e-07,8.172042e-07,7.989173e-07,7.815592e-07,7.650879e-07,7.494630e-07,7.346460e-07,7.205999e-07,7.072893e-07,6.946803e-07,6.827404e-07,6.714386e-07,6.607451e-07,6.506316e-07,6.410709e-07,6.320369e-07,6.235049e-07,6.154512e-07,6.078530e-07,6.006888e-07,5.939377e-07,5.875801e-07,5.815971e-07,5.759705e-07,5.706834e-07,5.657190e-07,5.610618e-07,5.566968e-07,5.526095e-07,5.487864e-07,5.452144e-07,5.418810e-07,5.387744e-07,5.358833e-07,5.331967e-07,5.307045e-07,5.283967e-07,5.262639e-07,5.242971e-07,5.224878e-07,5.208277e-07,5.193091e-07
0.000000e+00,5.541067e-09,6.257254e-08,6.507141e-08,3.427701e-07,1.096127e-06,1.141876e-06,2.693621e-06,4.746705e-06,4.890029e-06,7.355261e-06,9.609133e-06,9.800807e-06,1.212120e-05,1.408165e-05,1.429186e-05,1.631095e-05,1.796569e-05,1.818271e-05,1.991308e-05,2.129297e-05,2.150842e-05,2.297513e-05,2.411251e-05,2.431969e-05,2.554851e-05,2.647415e-05,2.666782e-05,2.768364e-05,2.842571e-05,2.860180e-05,2.942786e-05,3.001172e-05,3.016719e-05,3.082488e-05,3.127314e-05,3.140581e-05,3.191464e-05,3.224735e-05,3.235577e-05,3.273343e-05,3.296830e-05,3.305162e-05,3.331412e-05,3.346668e-05,3.352455e-05,3.368633e-05,3.377021e-05,3.380270e-05,3.387674e-05,3.390384e-05,3.391136e-05,3.390931e-05,3.388998e-05,3.387322e-05,3.380554e-05,3.374874e-05,3.370861e-05,3.358464e-05,3.349815e-05,3.343571e-05,3.326380e-05,3.315429e-05,3.307075e-05,3.285833e-05,3.273153e-05,3.262819e-05,3.238188e-05,3.224267e-05,3.212087e-05,3.184656e-05,3.169909e-05,3.156023e-05,3.126311e-05,3.111087e-05,3.095636e-05,3.064105e-05,3.048696e-05,3.031820e-05,2.998876e-05,2.983526e-05,2.965363e-05,2.931364e-05,2.916271e-05,2.896958e-05,2.862218e-05,2.847544e-05,2.827212e-05,2.792005e-05,2.777880e-05,2.756656e-05,2.721222e-05,2.707745e-05,2.685752e-05,2.650297e-05,2.637546e-05,2.614901e-05,2.579605e-05,2.567634e-05,2.544447e-05,2.509464e-05,2.498312e-05,2.474688e-05,2.440150e-05,2.429839e-05,2.405876e-05,2.371894e-05,2.362434e-05,2.338225e-05,2.304892e-05,2.296283e-05,2.271914e-05,2.239308e-05,2.231540e-05,2.207091e-05,2.175276e-05,2.168332e-05,2.143876e-05,2.112903e-05,2.106761e-05,2.082367e-05,2.052277e-05,2.046909e-05,2.022640e-05,1.993462e-05,1.988837e-05,1.964750e-05,1.936507e-05,1.932591e-05,1.908738e-05,1.881445e-05,1.878202e-05,1.854631e-05,1.828296e-05,1.825689e-05,1.802441e-05,1.777066e-05,1.775057e-05,1.752171e-05,1.727754e-05,1.726304e-05,1.703813e-05,1.680348e-05,1.679419e-05,1.657354e-05,1.634829e-05,1.634383e-05,1.612770e-05,1.591173e-05,1.549758e-05,1.510105e-05,1.472176e-05,1.435930e-05,1.401324e-05,1.368314e-05,1.336853e-05,1.306894e-05,1.278389e-05,1.251289e-05,1.225546e-05,1.201112e-05,1.177939e-05,1.155979e-05,1.135186e-05,1.115513e-05,1.096915e-05,1.079348e-05,1.062768e-05,1.047134e-05,1.032404e-05,1.018538e-05,1.005498e-05,9.932466e-06,9.817465e-06,9.709631e-06,9.608623e-06,9.514114e-06,9.425787e-06,9.343338e-06,9.266475e-06,9.194915e-06,9.128388e-06,9.066633e-06,9.009402e-06,8.956453e-06,8.907559e-06,8.862498e-06,8.821060e-06,8.783045e-06,8.748258e-06,8.716517e-06,8.687644e-06,8.661472e-06,8.637840e-06,8.616596e-06,8.597592e-06,8.580691e-06,8.565759e-06
0.000000e+00,3.995229e-13,9.531738e-11,1.035154e-10,3.171322e-09,3.690108e-08,4.037678e-08,2.983123e-07,1.357745e-06,1.480745e-06,5.411491e-06,1.443855e-05,1.559918e-05,3.742560e-05,7.274837e-05,7.784816e-05,1.447276e-04,2.317667e-04,2.459790e-04,3.887332e-04,5.490535e-04,5.786394e-04,8.193842e-04,1.062043e-03,1.112442e-03,1.457042e-03,1.776125e-03,1.850318e-03,2.287581e-03,2.664968e-03,2.762681e-03,3.268402e-03,3.679066e-03,3.796865e-03,4.339904e-03,4.757355e-03,4.889397e-03,5.437547e-03,5.838023e-03,5.977102e-03,6.501523e-03,6.866487e-03,7.005085e-03,7.482944e-03,7.800003e-03,7.931153e-03,8.346646e-03,8.609325e-03,8.727197e-03,9.071361e-03,9.278189e-03,9.378396e-03,9.648181e-03,9.801468e-03,9.881134e-03,1.007813e-02,1.018273e-02,1.024039e-02,1.036947e-02,1.043171e-02,1.046712e-02,1.053524e-02,1.056202e-02,1.057586e-02,1.059105e-02,1.058922e-02,1.058288e-02,1.055343e-02,1.052939e-02,1.050471e-02,1.043867e-02,1.039811e-02,1.035717e-02,1.026198e-02,1.020977e-02,1.015475e-02,1.003703e-02,9.977230e-03,9.910265e-03,9.775771e-03,9.711648e-03,9.634766e-03,9.488357e-03,9.422488e-03,9.337552e-03,9.183261e-03,9.117620e-03,9.026305e-03,8.867414e-03,8.803466e-03,8.707246e-03,8.546380e-03,8.485178e-03,8.385334e-03,8.224563e-03,8.166831e-03,8.064466e-03,7.905394e-03,7.851598e-03,7.747650e-03,7.591497e-03,7.541902e-03,7.437160e-03,7.284831e-03,7.239549e-03,7.134674e-03,6.986825e-03,6.945857e-03,6.841399e-03,6.698487e-03,6.661752e-03,6.558166e-03,6.420494e-03,6.387852e-03,6.285515e-03,6.153262e-03,6.124535e-03,6.023756e-03,5.897006e-03,5.871988e-03,5.773017e-03,5.651784e-03,5.630254e-03,5.533297e-03,5.417539e-03,5.399270e-03,5.304489e-03,5.194123e-03,5.178885e-03,5.086412e-03,4.981324e-03,4.968888e-03,4.878826e-03,4.778880e-03,4.769025e-03,4.681450e-03,4.586496e-03,4.579005e-03,4.493976e-03,4.403851e-03,4.398518e-03,4.316076e-03,4.230610e-03,4.227239e-03,4.147410e-03,4.066431e-03,4.064833e-03,3.987630e-03,3.910963e-03,3.765291e-03,3.627481e-03,3.497204e-03,3.374136e-03,3.257959e-03,3.148368e-03,3.045062e-03,2.947753e-03,2.856163e-03,2.770021e-03,2.689068e-03,2.613055e-03,2.541742e-03,2.474899e-03,2.412305e-03,2.353749e-03,2.299028e-03,2.247947e-03,2.200320e-03,2.155970e-03,2.114726e-03,2.076425e-03,2.040912e-03,2.008037e-03,1.977658e-03,1.949639e-03,1.923850e-03,1.900167e-03,1.878470e-03,1.858646e-03,1.840588e-03,1.824190e-03,1.809355e-03,1.795987e-03,1.783998e-03,1.773299e-03,1.763811e-03,1.755453e-03,1.748152e-03,1.741837e-03,1.736438e-03,1.731893e-03,1.728139e-03,1.725117e-03,1.722772e-03,1.721052e-03,1.719905e-03,1.719284e-03,1.719144e-03
0.000000e+00,1.259436e-13,2.853036e-11,3.091888e-11,8.263715e-10,8.402808e-09,9.149889e-09,6.166418e-08,2.712214e-07,2.956151e-07,1.094701e-06,3.044967e-06,3.304782e-06,8.466300e-06,1.761205e-05,1.899508e-05,3.826722e-05,6.586471e-05,7.059691e-05,1.211192e-04,1.835037e-04,1.956009e-04,3.002068e-04,4.159730e-04,4.412461e-04,6.249188e-04,8.114688e-04,8.570832e-04,1.143044e-03,1.413655e-03,1.487386e-03,1.893840e-03,2.255819e-03,2.365191e-03,2.903227e-03,3.357243e-03,3.508715e-03,4.181421e-03,4.721825e-03,4.920140e-03,5.722762e-03,6.338598e-03,6.586347e-03,7.507215e-03,8.183613e-03,8.481042e-03,9.502961e-03,1.022265e-02,1.056767e-02,1.166952e-02,1.241425e-02,1.280265e-02,1.396102e-02,1.471282e-02,1.513855e-02,1.632919e-02,1.707134e-02,1.752696e-02,1.872603e-02,1.944377e-02,1.992081e-02,2.110594e-02,2.178688e-02,2.227634e-02,2.342727e-02,2.406163e-02,2.455433e-02,2.565347e-02,2.623408e-02,2.672101e-02,2.775365e-02,2.827584e-02,2.874845e-02,2.970287e-02,3.016423e-02,3.061469e-02,3.148206e-02,3.188215e-02,3.230347e-02,3.307773e-02,3.341779e-02,3.380394e-02,3.448150e-02,3.476412e-02,3.511007e-02,3.568957e-02,3.591835e-02,3.622013e-02,3.670210e-02,3.688140e-02,3.713603e-02,3.752261e-02,3.765727e-02,3.786271e-02,3.815732e-02,3.825246e-02,3.840757e-02,3.861466e-02,3.867547e-02,3.877990e-02,3.890468e-02,3.893629e-02,3.899042e-02,3.903861e-02,3.904597e-02,3.905078e-02,3.902847e-02,3.901626e-02,3.897325e-02,3.888670e-02,3.885926e-02,3.877039e-02,3.862588e-02,3.858718e-02,3.845474e-02,3.825849e-02,3.821210e-02,3.803865e-02,3.779671e-02,3.774580e-02,3.753412e-02,3.725229e-02,3.719962e-02,3.695261e-02,3.663642e-02,3.658438e-02,3.630502e-02,3.595967e-02,3.591027e-02,3.560158e-02,3.523192e-02,3.518683e-02,3.485181e-02,3.446234e-02,3.442292e-02,3.406454e-02,3.365939e-02,3.362669e-02,3.324784e-02,3.283079e-02,3.280562e-02,3.240910e-02,3.198358e-02,3.196649e-02,3.155500e-02,3.112409e-02,3.111545e-02,3.069155e-02,3.025802e-02,2.939912e-02,2.854312e-02,2.769386e-02,2.685472e-02,2.602863e-02,2.521811e-02,2.442531e-02,2.365204e-02,2.289983e-02,2.216992e-02,2.146330e-02,2.078076e-02,2.012287e-02,1.949005e-02,1.888256e-02,1.830052e-02,1.774395e-02,1.721275e-02,1.670674e-02,1.622564e-02,1.576914e-02,1.533684e-02,1.492830e-02,1.454305e-02,1.418056e-02,1.384027e-02,1.352161e-02,1.322399e-02,1.294677e-02,1.268932e-02,1.245098e-02,1.223111e-02,1.202902e-02,1.184405e-02,1.167550e-02,1.152270e-02,1.138496e-02,1.126159e-02,1.115191e-02,1.105523e-02,1.097087e-02,1.089817e-02,1.083644e-02,1.078504e-02,1.074331e-02,1.071061e-02,1.068630e-02,1.066977e-02,1.066042e-02
0.000000e+00,6.135894e-09,2.093002e-07,2.206532e-07,2.023883e-06,9.394060e-06,9.910970e-06,2.990385e-05,5.925717e-05,6.132870e-05,9.684597e-05,1.292455e-04,1.320079e-04,1.656362e-04,1.944067e-04,1.975152e-04,2.276397e-04,2.527304e-04,2.560510e-04,2.828022e-04,3.045238e-04,3.079501e-04,3.315535e-04,3.502299e-04,3.536713e-04,3.743630e-04,3.903072e-04,3.936872e-04,4.117021e-04,4.252095e-04,4.284645e-04,4.440299e-04,4.553747e-04,4.584522e-04,4.717837e-04,4.812173e-04,4.840750e-04,4.953748e-04,5.031260e-04,5.057301e-04,5.151861e-04,5.214621e-04,5.237863e-04,5.315727e-04,5.365605e-04,5.385854e-04,5.448629e-04,5.487306e-04,5.504422e-04,5.553590e-04,5.582577e-04,5.596473e-04,5.633398e-04,5.654048e-04,5.664678e-04,5.690613e-04,5.704135e-04,5.711490e-04,5.727584e-04,5.735054e-04,5.739157e-04,5.746462e-04,5.748837e-04,5.749738e-04,5.749215e-04,5.747345e-04,5.745112e-04,5.737641e-04,5.732277e-04,5.727002e-04,5.713386e-04,5.705191e-04,5.696977e-04,5.677949e-04,5.667505e-04,5.656469e-04,5.632696e-04,5.620516e-04,5.606783e-04,5.578875e-04,5.565405e-04,5.549109e-04,5.517618e-04,5.503248e-04,5.484527e-04,5.449955e-04,5.435022e-04,5.414018e-04,5.376822e-04,5.361615e-04,5.338472e-04,5.299066e-04,5.283835e-04,5.258698e-04,5.217455e-04,5.202411e-04,5.175424e-04,5.132684e-04,5.118004e-04,5.089311e-04,5.045378e-04,5.031213e-04,5.000954e-04,4.956104e-04,4.942575e-04,4.910890e-04,4.865369e-04,4.852577e-04,4.819599e-04,4.773631e-04,4.761653e-04,4.727515e-04,4.681299e-04,4.670197e-04,4.635025e-04,4.588738e-04,4.578556e-04,4.542475e-04,4.496274e-04,4.487045e-04,4.450171e-04,4.404199e-04,4.395940e-04,4.358388e-04,4.312768e-04,4.305489e-04,4.267367e-04,4.222209e-04,4.215908e-04,4.177320e-04,4.132722e-04,4.127390e-04,4.088435e-04,4.044480e-04,4.040103e-04,4.000874e-04,3.957636e-04,3.954193e-04,3.914779e-04,3.872320e-04,3.869786e-04,3.830272e-04,3.788647e-04,3.786990e-04,3.747455e-04,3.706709e-04,3.705899e-04,3.666417e-04,3.626588e-04,3.549122e-04,3.473552e-04,3.399920e-04,3.328256e-04,3.258583e-04,3.190914e-04,3.125256e-04,3.061609e-04,2.999970e-04,2.940326e-04,2.882663e-04,2.826961e-04,2.773200e-04,2.721352e-04,2.671389e-04,2.623281e-04,2.576995e-04,2.532496e-04,2.489749e-04,2.448716e-04,2.409359e-04,2.371639e-04,2.335516e-04,2.300951e-04,2.267902e-04,2.236330e-04,2.206193e-04,2.177452e-04,2.150065e-04,2.123992e-04,2.099193e-04,2.075629e-04,2.053260e-04,2.032048e-04,2.011955e-04,1.992942e-04,1.974972e-04,1.958010e-04,1.942020e-04,1.926965e-04,1.912812e-04,1.899527e-04,1.887077e-04,1.875429e-04,1.864552e-04,1.854415e-04,1.844988e-04,1.836242e-04,1.828147e-04
0.000000e+00,1.943523e-09,1.473582e-07,1.568531e-07,2.000022e-06,1.139613e-05,1.211694e-05,4.402260e-05,1.026401e-04,1.072529e-04,1.940955e-04,2.817096e-04,2.893761e-04,3.838284e-04,4.653170e-04,4.741272e-04,5.594304e-04,6.302757e-04,6.396329e-04,7.148208e-04,7.755771e-04,7.851331e-04,8.507286e-04,9.023071e-04,9.117763e-04,9.684518e-04,1.011789e-03,1.020935e-03,1.069407e-03,1.105418e-03,1.114049e-03,1.155039e-03,1.184590e-03,1.192554e-03,1.226763e-03,1.250655e-03,1.257834e-03,1.285925e-03,1.304887e-03,1.311193e-03,1.333785e-03,1.348476e-03,1.353845e-03,1.371511e-03,1.382522e-03,1.386912e-03,1.400176e-03,1.408037e-03,1.411424e-03,1.420769e-03,1.425949e-03,1.428323e-03,1.434191e-03,1.437108e-03,1.438472e-03,1.441264e-03,1.442287e-03,1.442657e-03,1.442738e-03,1.442192e-03,1.441591e-03,1.439295e-03,1.437466e-03,1.435924e-03,1.431551e-03,1.428690e-03,1.426244e-03,1.420067e-03,1.416392e-03,1.413083e-03,1.405349e-03,1.401051e-03,1.396923e-03,1.387855e-03,1.383097e-03,1.378197e-03,1.367996e-03,1.362921e-03,1.357298e-03,1.346145e-03,1.340873e-03,1.334577e-03,1.322634e-03,1.317270e-03,1.310352e-03,1.297764e-03,1.292394e-03,1.284904e-03,1.271802e-03,1.266500e-03,1.258488e-03,1.244988e-03,1.239816e-03,1.231330e-03,1.217536e-03,1.212542e-03,1.203631e-03,1.189636e-03,1.184861e-03,1.175572e-03,1.161457e-03,1.156932e-03,1.147309e-03,1.133146e-03,1.128897e-03,1.118984e-03,1.104837e-03,1.100880e-03,1.090719e-03,1.076644e-03,1.072993e-03,1.062623e-03,1.048668e-03,1.045330e-03,1.034790e-03,1.020997e-03,1.017976e-03,1.007301e-03,9.937078e-04,9.910023e-04,9.802266e-04,9.668644e-04,9.644724e-04,9.536278e-04,9.405230e-04,9.384389e-04,9.275556e-04,9.147307e-04,9.129469e-04,9.020530e-04,8.895267e-04,8.880339e-04,8.771557e-04,8.649434e-04,8.637310e-04,8.528928e-04,8.410067e-04,8.400630e-04,8.292874e-04,8.177372e-04,8.170496e-04,8.063576e-04,7.951504e-04,7.947057e-04,7.841166e-04,7.732574e-04,7.730420e-04,7.625735e-04,7.520655e-04,7.317797e-04,7.121853e-04,6.932804e-04,6.750607e-04,6.575200e-04,6.406505e-04,6.244427e-04,6.088860e-04,5.939686e-04,5.796778e-04,5.660001e-04,5.529214e-04,5.404273e-04,5.285026e-04,5.171322e-04,5.063004e-04,4.959917e-04,4.861904e-04,4.768807e-04,4.680470e-04,4.596738e-04,4.517454e-04,4.442468e-04,4.371627e-04,4.304783e-04,4.241790e-04,4.182503e-04,4.126782e-04,4.074489e-04,4.025488e-04,3.979648e-04,3.936839e-04,3.896935e-04,3.859813e-04,3.825354e-04,3.793442e-04,3.763964e-04,3.736809e-04,3.711871e-04,3.689046e-04,3.668233e-04,3.649335e-04,3.632258e-04,3.616910e-04,3.603202e-04,3.591049e-04,3.580368e-04,3.571079e-04,3.563104e-04
0.000000e+00,1.086944e-10,1.464610e-08,1.573486e-08,2.878833e-07,2.081931e-06,2.233686e-06,1.015024e-05,2.967793e-05,3.148381e-05,7.336296e-05,1.315740e-04,1.374226e-04,2.181810e-04,2.975942e-04,3.065114e-04,3.941437e-04,4.663984e-04,4.757736e-04,5.489115e-04,6.044916e-04,6.129053e-04,6.680535e-04,7.080481e-04,7.150539e-04,7.547189e-04,7.823360e-04,7.878524e-04,8.152011e-04,8.333725e-04,8.374421e-04,8.551817e-04,8.662441e-04,8.689611e-04,8.792608e-04,8.850258e-04,8.865076e-04,8.910804e-04,8.929417e-04,8.933150e-04,8.935089e-04,8.925340e-04,8.919255e-04,8.887981e-04,8.858016e-04,8.843328e-04,8.787121e-04,8.743130e-04,8.720970e-04,8.646302e-04,8.592972e-04,8.564373e-04,8.476293e-04,8.417152e-04,8.383043e-04,8.285485e-04,8.223175e-04,8.184383e-04,8.080405e-04,8.016887e-04,7.974142e-04,7.866113e-04,7.802829e-04,7.756774e-04,7.646527e-04,7.584525e-04,7.535722e-04,7.424666e-04,7.364687e-04,7.313627e-04,7.202838e-04,7.145395e-04,7.092503e-04,6.982800e-04,6.928233e-04,6.873880e-04,6.765877e-04,6.714394e-04,6.658902e-04,6.553054e-04,6.504765e-04,6.448415e-04,6.345053e-04,6.299995e-04,6.243029e-04,6.142389e-04,6.100543e-04,6.043174e-04,5.945414e-04,5.906724e-04,5.849135e-04,5.754356e-04,5.718736e-04,5.661090e-04,5.569346e-04,5.536691e-04,5.479128e-04,5.390438e-04,5.360631e-04,5.303273e-04,5.217630e-04,5.190544e-04,5.133501e-04,5.050876e-04,5.026380e-04,4.969745e-04,4.890095e-04,4.868056e-04,4.811912e-04,4.735182e-04,4.715468e-04,4.659888e-04,4.586013e-04,4.568492e-04,4.513540e-04,4.442452e-04,4.426996e-04,4.372728e-04,4.304351e-04,4.290835e-04,4.237301e-04,4.171559e-04,4.159863e-04,4.107105e-04,4.043920e-04,4.033927e-04,3.981983e-04,3.921276e-04,3.912873e-04,3.861777e-04,3.803468e-04,3.796550e-04,3.746330e-04,3.690342e-04,3.684805e-04,3.635485e-04,3.581740e-04,3.577488e-04,3.529088e-04,3.477510e-04,3.474449e-04,3.426988e-04,3.377504e-04,3.375546e-04,3.329038e-04,3.281574e-04,3.280635e-04,3.235093e-04,3.189577e-04,3.102239e-04,3.018490e-04,2.938200e-04,2.861249e-04,2.787514e-04,2.716881e-04,2.649238e-04,2.584475e-04,2.522488e-04,2.463174e-04,2.406437e-04,2.352181e-04,2.300314e-04,2.250749e-04,2.203399e-04,2.158182e-04,2.115018e-04,2.073832e-04,2.034547e-04,1.997093e-04,1.961401e-04,1.927404e-04,1.895037e-04,1.864238e-04,1.834947e-04,1.807107e-04,1.780661e-04,1.755555e-04,1.731737e-04,1.709158e-04,1.687767e-04,1.667520e-04,1.648369e-04,1.630273e-04,1.613187e-04,1.597073e-04,1.581890e-04,1.567600e-04,1.554168e-04,1.541557e-04,1.529733e-04,1.518664e-04,1.508317e-04,1.498663e-04,1.489670e-04,1.481311e-04,1.473559e-04,1.466385e-04,1.459765e-04
0.000000e+00,4.955654e-13,1.030245e-10,1.114376e-10,2.691979e-09,2.470856e-08,2.679119e-08,1.627596e-07,6.532079e-07,7.079507e-07,2.393792e-06,6.149739e-06,6.629414e-06,1.562399e-05,3.018757e-05,3.229321e-05,5.996444e-05,9.607109e-05,1.019716e-04,1.612442e-04,2.277212e-04,2.399709e-04,3.393781e-04,4.390179e-04,4.596367e-04,5.998823e-04,7.285672e-04,7.583241e-04,9.324144e-04,1.080881e-03,1.119050e-03,1.314779e-03,1.471445e-03,1.516001e-03,1.719145e-03,1.872716e-03,1.920808e-03,2.117874e-03,2.259108e-03,2.307589e-03,2.487612e-03,2.610140e-03,2.656037e-03,2.811390e-03,2.911778e-03,2.952615e-03,3.079047e-03,3.156395e-03,3.190367e-03,3.286559e-03,3.341868e-03,3.367867e-03,3.434748e-03,3.470263e-03,3.487827e-03,3.527860e-03,3.546496e-03,3.555692e-03,3.572227e-03,3.577114e-03,3.578402e-03,3.575161e-03,3.569336e-03,3.563438e-03,3.544140e-03,3.530349e-03,3.518135e-03,3.486248e-03,3.466857e-03,3.449250e-03,3.407858e-03,3.384818e-03,3.362730e-03,3.314471e-03,3.289339e-03,3.263625e-03,3.210688e-03,3.184666e-03,3.156099e-03,3.100254e-03,3.074241e-03,3.043501e-03,2.986147e-03,2.960792e-03,2.928462e-03,2.870682e-03,2.846437e-03,2.813012e-03,2.755627e-03,2.732788e-03,2.698680e-03,2.642300e-03,2.621048e-03,2.586597e-03,2.531664e-03,2.512091e-03,2.477577e-03,2.424402e-03,2.406539e-03,2.372189e-03,2.320982e-03,2.304814e-03,2.270813e-03,2.221708e-03,2.207187e-03,2.173685e-03,2.126757e-03,2.113815e-03,2.080933e-03,2.036215e-03,2.024770e-03,1.992604e-03,1.950096e-03,1.940058e-03,1.908686e-03,1.868366e-03,1.859641e-03,1.829124e-03,1.790948e-03,1.783440e-03,1.753826e-03,1.717741e-03,1.711354e-03,1.682678e-03,1.648620e-03,1.643262e-03,1.615549e-03,1.583449e-03,1.579031e-03,1.552299e-03,1.522082e-03,1.518517e-03,1.492778e-03,1.464367e-03,1.461574e-03,1.436831e-03,1.410149e-03,1.408051e-03,1.384303e-03,1.359272e-03,1.357795e-03,1.335037e-03,1.311579e-03,1.310656e-03,1.288878e-03,1.266916e-03,1.266484e-03,1.245674e-03,1.225132e-03,1.186457e-03,1.150320e-03,1.116584e-03,1.085121e-03,1.055805e-03,1.028514e-03,1.003135e-03,9.795568e-04,9.576741e-04,9.373870e-04,9.186002e-04,9.012233e-04,8.851704e-04,8.703600e-04,8.567150e-04,8.441624e-04,8.326331e-04,8.220619e-04,8.123870e-04,8.035504e-04,7.954969e-04,7.881747e-04,7.815350e-04,7.755317e-04,7.701212e-04,7.652627e-04,7.609177e-04,7.570498e-04,7.536250e-04,7.506109e-04,7.479776e-04,7.456964e-04,7.437407e-04,7.420854e-04,7.407069e-04,7.395831e-04,7.386931e-04,7.380174e-04,7.375378e-04,7.372371e-04,7.370993e-04,7.371093e-04,7.372530e-04,7.375172e-04,7.378898e-04,7.383591e-04,7.389145e-04,7.395461e-04,7.402444e-04
0.000000e+00,7.723572e-12,1.470854e-09,1.589927e-09,3.908606e-08,3.817059e-07,4.149153e-07,2.629851e-06,1.045715e-05,1.130664e-05,3.569679e-05,8.276074e-05,8.830535e-05,1.808406e-04,3.042199e-04,3.203569e-04,5.076296e-04,7.081651e-04,7.377853e-04,1.002176e-03,1.249066e-03,1.290474e-03,1.592369e-03,1.849698e-03,1.898671e-03,2.201849e-03,2.444037e-03,2.496154e-03,2.777488e-03,2.991364e-03,3.043153e-03,3.291564e-03,3.472840e-03,3.521969e-03,3.734227e-03,3.883558e-03,3.928604e-03,4.105650e-03,4.225924e-03,4.266083e-03,4.410718e-03,4.505556e-03,4.540417e-03,4.656055e-03,4.729098e-03,4.758494e-03,4.848574e-03,4.903182e-03,4.927102e-03,4.994847e-03,5.034008e-03,5.052540e-03,5.100875e-03,5.127201e-03,5.140503e-03,5.172041e-03,5.187786e-03,5.196066e-03,5.213124e-03,5.220228e-03,5.223726e-03,5.228353e-03,5.228478e-03,5.227456e-03,5.221458e-03,5.216019e-03,5.210755e-03,5.195719e-03,5.185923e-03,5.176701e-03,5.154026e-03,5.140892e-03,5.128000e-03,5.098911e-03,5.083303e-03,5.067027e-03,5.032600e-03,5.015240e-03,4.995863e-03,4.957038e-03,4.938534e-03,4.916329e-03,4.873929e-03,4.854784e-03,4.830017e-03,4.784762e-03,4.765391e-03,4.738318e-03,4.690833e-03,4.671578e-03,4.642442e-03,4.593272e-03,4.574408e-03,4.543442e-03,4.493060e-03,4.474808e-03,4.442230e-03,4.391046e-03,4.373579e-03,4.339597e-03,4.287964e-03,4.271415e-03,4.236224e-03,4.184446e-03,4.168916e-03,4.132697e-03,4.081036e-03,4.066594e-03,4.029518e-03,3.978195e-03,3.964889e-03,3.927114e-03,3.876318e-03,3.864174e-03,3.825848e-03,3.775739e-03,3.764767e-03,3.726024e-03,3.676735e-03,3.666931e-03,3.627899e-03,3.579541e-03,3.570889e-03,3.531683e-03,3.484346e-03,3.476821e-03,3.437548e-03,3.391305e-03,3.384877e-03,3.345633e-03,3.300543e-03,3.295172e-03,3.256048e-03,3.212156e-03,3.207800e-03,3.168876e-03,3.126215e-03,3.122829e-03,3.084178e-03,3.042772e-03,3.040307e-03,3.001998e-03,2.961861e-03,2.960268e-03,2.922360e-03,2.883499e-03,2.882728e-03,2.845276e-03,2.807692e-03,2.735153e-03,2.665094e-03,2.597492e-03,2.532315e-03,2.469528e-03,2.409088e-03,2.350951e-03,2.295068e-03,2.241389e-03,2.189859e-03,2.140425e-03,2.093031e-03,2.047620e-03,2.004137e-03,1.962524e-03,1.922725e-03,1.884683e-03,1.848342e-03,1.813647e-03,1.780543e-03,1.748978e-03,1.718897e-03,1.690250e-03,1.662985e-03,1.637053e-03,1.612406e-03,1.588997e-03,1.566778e-03,1.545706e-03,1.525736e-03,1.506826e-03,1.488935e-03,1.472022e-03,1.456048e-03,1.440976e-03,1.426769e-03,1.413390e-03,1.400807e-03,1.388984e-03,1.377890e-03,1.367494e-03,1.357764e-03,1.348672e-03,1.340190e-03,1.332289e-03,1.324943e-03,1.318127e-03,1.311816e-03,1.305987e-03
0.000000e+00,1.095534e-10,1.862386e-08,2.012357e-08,4.634473e-07,3.557633e-06,3.813141e-06,1.566424e-05,3.798314e-05,3.975370e-05,7.354828e-05,1.082764e-04,1.113188e-04,1.483486e-04,1.789402e-04,1.821403e-04,2.118351e-04,2.345519e-04,2.374126e-04,2.591844e-04,2.751728e-04,2.775554e-04,2.929292e-04,3.038005e-04,3.056782e-04,3.161364e-04,3.232112e-04,3.245994e-04,3.313279e-04,3.356168e-04,3.365509e-04,3.404689e-04,3.427325e-04,3.432571e-04,3.450688e-04,3.458754e-04,3.460375e-04,3.462799e-04,3.460517e-04,3.458973e-04,3.449783e-04,3.440280e-04,3.435997e-04,3.418288e-04,3.403871e-04,3.397236e-04,3.373349e-04,3.355714e-04,3.347068e-04,3.318777e-04,3.299169e-04,3.288811e-04,3.257458e-04,3.236782e-04,3.224970e-04,3.191566e-04,3.170480e-04,3.157436e-04,3.122744e-04,3.101719e-04,3.087633e-04,3.052226e-04,3.031598e-04,3.016631e-04,2.980941e-04,2.960943e-04,2.945236e-04,2.909584e-04,2.890375e-04,2.874045e-04,2.838671e-04,2.820356e-04,2.803505e-04,2.768585e-04,2.751227e-04,2.733943e-04,2.699606e-04,2.683240e-04,2.665598e-04,2.631938e-04,2.616575e-04,2.598641e-04,2.565723e-04,2.551361e-04,2.533193e-04,2.501060e-04,2.487685e-04,2.469333e-04,2.438015e-04,2.425604e-04,2.407112e-04,2.376626e-04,2.365151e-04,2.346559e-04,2.316912e-04,2.306342e-04,2.287685e-04,2.258878e-04,2.249179e-04,2.230489e-04,2.202516e-04,2.193652e-04,2.174958e-04,2.147811e-04,2.139747e-04,2.121073e-04,2.094741e-04,2.087440e-04,2.068811e-04,2.043280e-04,2.036707e-04,2.018143e-04,1.993397e-04,1.987516e-04,1.969038e-04,1.945061e-04,1.939837e-04,1.921462e-04,1.898237e-04,1.893636e-04,1.875381e-04,1.852889e-04,1.848879e-04,1.830758e-04,1.808982e-04,1.805530e-04,1.787557e-04,1.766479e-04,1.763556e-04,1.745743e-04,1.725344e-04,1.722919e-04,1.705278e-04,1.685540e-04,1.683585e-04,1.666126e-04,1.647032e-04,1.645518e-04,1.628252e-04,1.609783e-04,1.608684e-04,1.591620e-04,1.573758e-04,1.573050e-04,1.556194e-04,1.538923e-04,1.538580e-04,1.521940e-04,1.505243e-04,1.473005e-04,1.441836e-04,1.411703e-04,1.382577e-04,1.354428e-04,1.327227e-04,1.300946e-04,1.275557e-04,1.251034e-04,1.227349e-04,1.204479e-04,1.182398e-04,1.161081e-04,1.140506e-04,1.120650e-04,1.101491e-04,1.083006e-04,1.065176e-04,1.047979e-04,1.031396e-04,1.015408e-04,9.999953e-05,9.851411e-05,9.708271e-05,9.570364e-05,9.437523e-05,9.309587e-05,9.186401e-05,9.067811e-05,8.953672e-05,8.843839e-05,8.738175e-05,8.636545e-05,8.538818e-05,8.444867e-05,8.354571e-05,8.267809e-05,8.184466e-05,8.104430e-05,8.027592e-05,7.953846e-05,7.883091e-05,7.815227e-05,7.750158e-05,7.687791e-05,7.628035e-05,7.570802e-05,7.516008e-05,7.463570e-05
0.000000e+00,2.139618e-09,6.387396e-08,6.729260e-08,5.602783e-07,2.180513e-06,2.282734e-06,5.782515e-06,1.032127e-05,1.063172e-05,1.582416e-05,2.031637e-05,2.068702e-05,2.503323e-05,2.850192e-05,2.886267e-05,3.221544e-05,3.480744e-05,3.513666e-05,3.766935e-05,3.956701e-05,3.985312e-05,4.172402e-05,4.307778e-05,4.331472e-05,4.465470e-05,4.558515e-05,4.577058e-05,4.668632e-05,4.728938e-05,4.742348e-05,4.800148e-05,4.835310e-05,4.843774e-05,4.874794e-05,4.890809e-05,4.894615e-05,4.904500e-05,4.906091e-05,4.905586e-05,4.898889e-05,4.889766e-05,4.885324e-05,4.865711e-05,4.848779e-05,4.840784e-05,4.811202e-05,4.788731e-05,4.777556e-05,4.740375e-05,4.714131e-05,4.700131e-05,4.657250e-05,4.628598e-05,4.612109e-05,4.565051e-05,4.535045e-05,4.516377e-05,4.466360e-05,4.435807e-05,4.415242e-05,4.363237e-05,4.332744e-05,4.310537e-05,4.257316e-05,4.227342e-05,4.203725e-05,4.149900e-05,4.120780e-05,4.095961e-05,4.042014e-05,4.013990e-05,3.988153e-05,3.934462e-05,3.907704e-05,3.881015e-05,3.827873e-05,3.802492e-05,3.775096e-05,3.722731e-05,3.698794e-05,3.670822e-05,3.619407e-05,3.596949e-05,3.568517e-05,3.518180e-05,3.497209e-05,3.468420e-05,3.419256e-05,3.399761e-05,3.370705e-05,3.322781e-05,3.304736e-05,3.275494e-05,3.228854e-05,3.212223e-05,3.182867e-05,3.137538e-05,3.122277e-05,3.092871e-05,3.048866e-05,3.034924e-05,3.005524e-05,2.962845e-05,2.950170e-05,2.920827e-05,2.879467e-05,2.868003e-05,2.838762e-05,2.798707e-05,2.788399e-05,2.759299e-05,2.720532e-05,2.711322e-05,2.682399e-05,2.644896e-05,2.636729e-05,2.608015e-05,2.571750e-05,2.564570e-05,2.536094e-05,2.501039e-05,2.494793e-05,2.466579e-05,2.432705e-05,2.427339e-05,2.399410e-05,2.366687e-05,2.362151e-05,2.334527e-05,2.302923e-05,2.299167e-05,2.271866e-05,2.241349e-05,2.238327e-05,2.211365e-05,2.181904e-05,2.179570e-05,2.152960e-05,2.124525e-05,2.122834e-05,2.096590e-05,2.069147e-05,2.068060e-05,2.042191e-05,2.015712e-05,2.015187e-05,1.989703e-05,1.964156e-05,1.914911e-05,1.867394e-05,1.821550e-05,1.777325e-05,1.734668e-05,1.693527e-05,1.653852e-05,1.615596e-05,1.578711e-05,1.543151e-05,1.508874e-05,1.475836e-05,1.443995e-05,1.413312e-05,1.383747e-05,1.355264e-05,1.327824e-05,1.301394e-05,1.275939e-05,1.251426e-05,1.227823e-05,1.205098e-05,1.183223e-05,1.162167e-05,1.141903e-05,1.122404e-05,1.103643e-05,1.085596e-05,1.068236e-05,1.051542e-05,1.035489e-05,1.020056e-05,1.005221e-05,9.909632e-06,9.772628e-06,9.641001e-06,9.514565e-06,9.393138e-06,9.276546e-06,9.164617e-06,9.057190e-06,8.954104e-06,8.855208e-06,8.760352e-06,8.669395e-06,8.582197e-06,8.498626e-06,8.418552e-06,8.341851e-06
0.000000e+00,1.609600e-10,2.299702e-08,2.476281e-08,4.995395e-07,3.664190e-06,3.926081e-06,1.648623e-05,4.184139e-05,4.392085e-05,8.485572e-05,1.285473e-04,1.324276e-04,1.801597e-04,2.202025e-04,2.244221e-04,2.638818e-04,2.944998e-04,2.983870e-04,3.282449e-04,3.505384e-04,3.538923e-04,3.757733e-04,3.915464e-04,3.943016e-04,4.098534e-04,4.206235e-04,4.227674e-04,4.333481e-04,4.403167e-04,4.418679e-04,4.485706e-04,4.526782e-04,4.536739e-04,4.573717e-04,4.593488e-04,4.598363e-04,4.612205e-04,4.616295e-04,4.616597e-04,4.612743e-04,4.605463e-04,4.601704e-04,4.584423e-04,4.569060e-04,4.561730e-04,4.534360e-04,4.513412e-04,4.502963e-04,4.468112e-04,4.443467e-04,4.430314e-04,4.390013e-04,4.363091e-04,4.347604e-04,4.303434e-04,4.275300e-04,4.257809e-04,4.210998e-04,4.182443e-04,4.163239e-04,4.114739e-04,4.086343e-04,4.065681e-04,4.016228e-04,3.988414e-04,3.966519e-04,3.916680e-04,3.889751e-04,3.866817e-04,3.817027e-04,3.791193e-04,3.767392e-04,3.717984e-04,3.693385e-04,3.668866e-04,3.620091e-04,3.596816e-04,3.571708e-04,3.523756e-04,3.501852e-04,3.476270e-04,3.429280e-04,3.408768e-04,3.382811e-04,3.336883e-04,3.317760e-04,3.291516e-04,3.246723e-04,3.228970e-04,3.202516e-04,3.158905e-04,3.142491e-04,3.115897e-04,3.073498e-04,3.058383e-04,3.031710e-04,2.990537e-04,2.976679e-04,2.949980e-04,2.910037e-04,2.897386e-04,2.870709e-04,2.831993e-04,2.820498e-04,2.793887e-04,2.756387e-04,2.745995e-04,2.719489e-04,2.683188e-04,2.673847e-04,2.647481e-04,2.612360e-04,2.604018e-04,2.577822e-04,2.543860e-04,2.536465e-04,2.510467e-04,2.477638e-04,2.471139e-04,2.445366e-04,2.413644e-04,2.407992e-04,2.382466e-04,2.351825e-04,2.346972e-04,2.321714e-04,2.292126e-04,2.288025e-04,2.263053e-04,2.234490e-04,2.231096e-04,2.206429e-04,2.178862e-04,2.176132e-04,2.151784e-04,2.125186e-04,2.123079e-04,2.099063e-04,2.073406e-04,2.071881e-04,2.048210e-04,2.023467e-04,2.022487e-04,1.999171e-04,1.975314e-04,1.974842e-04,1.951891e-04,1.928895e-04,1.884595e-04,1.841892e-04,1.800738e-04,1.761084e-04,1.722883e-04,1.686091e-04,1.650663e-04,1.616556e-04,1.583728e-04,1.552138e-04,1.521746e-04,1.492513e-04,1.464403e-04,1.437378e-04,1.411404e-04,1.386446e-04,1.362470e-04,1.339445e-04,1.317338e-04,1.296120e-04,1.275760e-04,1.256231e-04,1.237504e-04,1.219552e-04,1.202349e-04,1.185871e-04,1.170091e-04,1.154988e-04,1.140536e-04,1.126715e-04,1.113502e-04,1.100876e-04,1.088817e-04,1.077306e-04,1.066322e-04,1.055848e-04,1.045866e-04,1.036357e-04,1.027306e-04,1.018696e-04,1.010511e-04,1.002736e-04,9.953556e-05,9.883558e-05,9.817226e-05,9.754425e-05,9.695024e-05,9.638895e-05,9.585917e-05
0.000000e+00,9.308625e-10,7.517291e-08,7.998204e-08,9.730027e-07,5.528346e-06,5.886992e-06,2.307407e-05,6.068019e-05,6.395115e-05,1.332069e-04,2.151839e-04,2.227849e-04,3.200044e-04,4.068300e-04,4.162810e-04,5.078702e-04,5.836358e-04,5.936042e-04,6.732957e-04,7.370948e-04,7.470762e-04,8.151714e-04,8.681635e-04,8.778356e-04,9.353298e-04,9.788002e-04,9.879147e-04,1.035847e-03,1.071010e-03,1.079376e-03,1.118745e-03,1.146716e-03,1.154188e-03,1.185933e-03,1.207719e-03,1.214196e-03,1.239184e-03,1.255685e-03,1.261097e-03,1.280123e-03,1.292136e-03,1.296442e-03,1.310227e-03,1.318456e-03,1.321641e-03,1.330838e-03,1.335901e-03,1.337965e-03,1.343161e-03,1.345597e-03,1.346558e-03,1.348281e-03,1.348559e-03,1.348447e-03,1.347169e-03,1.345697e-03,1.344551e-03,1.340696e-03,1.337827e-03,1.335695e-03,1.329640e-03,1.325678e-03,1.322614e-03,1.314696e-03,1.309901e-03,1.305962e-03,1.296483e-03,1.291077e-03,1.286323e-03,1.275548e-03,1.269720e-03,1.264215e-03,1.252379e-03,1.246290e-03,1.240095e-03,1.227409e-03,1.221191e-03,1.214369e-03,1.201017e-03,1.194782e-03,1.187394e-03,1.173539e-03,1.167378e-03,1.159486e-03,1.145269e-03,1.139257e-03,1.130919e-03,1.116465e-03,1.110661e-03,1.101935e-03,1.087353e-03,1.081803e-03,1.072743e-03,1.058126e-03,1.052867e-03,1.043525e-03,1.028956e-03,1.024013e-03,1.014438e-03,9.999863e-04,9.953784e-04,9.856165e-04,9.713422e-04,9.670804e-04,9.571759e-04,9.431293e-04,9.392191e-04,9.292129e-04,9.154366e-04,9.118788e-04,9.018090e-04,8.883383e-04,8.851295e-04,8.750316e-04,8.618954e-04,8.590290e-04,8.489356e-04,8.361574e-04,8.336240e-04,8.235653e-04,8.111634e-04,8.089515e-04,7.989551e-04,7.869434e-04,7.850400e-04,7.751309e-04,7.635196e-04,7.619102e-04,7.521113e-04,7.409072e-04,7.395764e-04,7.299082e-04,7.191151e-04,7.180471e-04,7.085281e-04,6.981472e-04,6.973256e-04,6.879722e-04,6.780027e-04,6.774110e-04,6.682378e-04,6.586767e-04,6.582985e-04,6.493182e-04,6.401611e-04,6.399800e-04,6.312039e-04,6.224450e-04,6.056801e-04,5.896705e-04,5.743994e-04,5.598487e-04,5.459995e-04,5.328319e-04,5.203252e-04,5.084585e-04,4.972105e-04,4.865599e-04,4.764852e-04,4.669651e-04,4.579783e-04,4.495040e-04,4.415213e-04,4.340100e-04,4.269502e-04,4.203223e-04,4.141074e-04,4.082869e-04,4.028429e-04,3.977579e-04,3.930149e-04,3.885976e-04,3.844901e-04,3.806771e-04,3.771438e-04,3.738760e-04,3.708600e-04,3.680827e-04,3.655313e-04,3.631938e-04,3.610585e-04,3.591141e-04,3.573500e-04,3.557560e-04,3.543221e-04,3.530392e-04,3.518981e-04,3.508903e-04,3.500078e-04,3.492426e-04,3.485874e-04,3.480350e-04,3.475789e-04,3.472125e-04,3.469298e-04,3.467249e-04,3.465925e-04
0.000000e+00,4.560075e-11,7.811161e-09,8.427345e-09,1.828323e-07,1.471827e-06,1.585031e-06,7.829785e-06,2.454225e-05,2.614883e-05,6.550234e-05,1.257247e-04,1.320995e-04,2.260363e-04,3.293875e-04,3.416995e-04,4.707196e-04,5.887536e-04,6.048938e-04,7.377922e-04,8.477368e-04,8.651181e-04,9.843909e-04,1.077465e-03,1.094429e-03,1.194875e-03,1.270160e-03,1.285852e-03,1.367738e-03,1.427034e-03,1.441032e-03,1.506277e-03,1.551936e-03,1.564024e-03,1.614809e-03,1.649066e-03,1.659144e-03,1.697513e-03,1.722333e-03,1.730370e-03,1.758140e-03,1.775209e-03,1.781221e-03,1.799985e-03,1.810736e-03,1.814776e-03,1.825916e-03,1.831560e-03,1.833705e-03,1.838422e-03,1.839979e-03,1.840326e-03,1.839657e-03,1.837983e-03,1.836640e-03,1.831482e-03,1.827295e-03,1.824377e-03,1.815504e-03,1.809400e-03,1.805028e-03,1.793105e-03,1.785583e-03,1.779878e-03,1.765478e-03,1.756949e-03,1.750030e-03,1.733646e-03,1.724447e-03,1.716432e-03,1.698485e-03,1.688894e-03,1.679896e-03,1.660748e-03,1.650988e-03,1.641116e-03,1.621074e-03,1.611326e-03,1.600685e-03,1.580010e-03,1.570419e-03,1.559104e-03,1.538019e-03,1.528697e-03,1.516802e-03,1.495495e-03,1.486529e-03,1.474138e-03,1.452767e-03,1.444222e-03,1.431415e-03,1.410113e-03,1.402037e-03,1.388887e-03,1.367764e-03,1.360189e-03,1.346765e-03,1.325912e-03,1.318858e-03,1.305222e-03,1.284713e-03,1.278191e-03,1.264401e-03,1.244298e-03,1.238309e-03,1.224416e-03,1.204767e-03,1.199308e-03,1.185359e-03,1.166201e-03,1.161262e-03,1.147301e-03,1.128665e-03,1.124232e-03,1.110297e-03,1.092204e-03,1.088260e-03,1.074387e-03,1.056851e-03,1.053377e-03,1.039597e-03,1.022628e-03,1.019604e-03,1.005945e-03,9.895478e-04,9.869509e-04,9.734375e-04,9.576138e-04,9.554213e-04,9.420761e-04,9.268233e-04,9.250121e-04,9.118544e-04,8.971678e-04,8.957145e-04,8.827616e-04,8.686338e-04,8.675155e-04,8.547822e-04,8.412043e-04,8.403982e-04,8.278975e-04,8.148589e-04,8.143429e-04,8.020857e-04,7.895749e-04,7.893273e-04,7.773231e-04,7.653272e-04,7.423169e-04,7.202697e-04,6.991583e-04,6.789548e-04,6.596310e-04,6.411585e-04,6.235090e-04,6.066545e-04,5.905672e-04,5.752197e-04,5.605851e-04,5.466373e-04,5.333507e-04,5.207003e-04,5.086617e-04,4.972109e-04,4.863249e-04,4.759813e-04,4.661584e-04,4.568353e-04,4.479918e-04,4.396084e-04,4.316660e-04,4.241465e-04,4.170322e-04,4.103062e-04,4.039520e-04,3.979539e-04,3.922967e-04,3.869659e-04,3.819474e-04,3.772276e-04,3.727935e-04,3.686326e-04,3.647329e-04,3.610827e-04,3.576709e-04,3.544868e-04,3.515201e-04,3.487609e-04,3.461998e-04,3.438275e-04,3.416352e-04,3.396147e-04,3.377576e-04,3.360563e-04,3.345033e-04,3.330913e-04,3.318135e-04
0.000000e+00,5.608325e-12,1.137650e-09,1.230836e-09,3.105863e-08,3.059098e-07,3.326402e-07,2.136201e-06,8.688469e-06,9.411290e-06,3.081652e-05,7.458662e-05,7.991033e-05,1.728719e-04,3.067206e-04,3.249493e-04,5.472952e-04,8.053914e-04,8.451404e-04,1.217449e-03,1.592337e-03,1.657700e-03,2.155304e-03,2.608099e-03,2.697205e-03,3.269367e-03,3.751402e-03,3.857977e-03,4.450297e-03,4.919286e-03,5.035200e-03,5.603419e-03,6.030251e-03,6.147599e-03,6.662197e-03,7.031050e-03,7.143308e-03,7.588434e-03,7.893843e-03,7.996251e-03,8.366377e-03,8.609707e-03,8.699170e-03,8.995545e-03,9.182032e-03,9.256820e-03,9.484594e-03,9.621247e-03,9.680646e-03,9.846854e-03,9.941135e-03,9.985138e-03,1.009741e-02,1.015649e-02,1.018556e-02,1.025141e-02,1.028180e-02,1.029670e-02,1.032310e-02,1.033054e-02,1.033219e-02,1.032546e-02,1.031485e-02,1.030429e-02,1.026999e-02,1.024550e-02,1.022378e-02,1.016679e-02,1.013191e-02,1.010008e-02,1.002464e-02,9.982254e-03,9.941359e-03,9.851097e-03,9.803594e-03,9.754634e-03,9.652694e-03,9.602016e-03,9.545947e-03,9.435011e-03,9.382732e-03,9.320457e-03,9.202815e-03,9.150200e-03,9.082569e-03,8.960170e-03,8.908221e-03,8.836030e-03,8.710528e-03,8.660025e-03,8.584013e-03,8.456805e-03,8.408346e-03,8.329198e-03,8.201460e-03,8.155490e-03,8.073836e-03,7.946550e-03,7.903387e-03,7.819807e-03,7.693792e-03,7.653648e-03,7.568672e-03,7.444600e-03,7.407604e-03,7.321714e-03,7.200136e-03,7.166344e-03,7.079977e-03,6.961336e-03,6.930749e-03,6.844300e-03,6.728948e-03,6.701521e-03,6.615346e-03,6.503554e-03,6.479208e-03,6.393623e-03,6.285597e-03,6.264223e-03,6.179512e-03,6.075399e-03,6.056870e-03,5.973282e-03,5.873181e-03,5.857353e-03,5.775110e-03,5.679077e-03,5.665796e-03,5.585089e-03,5.493147e-03,5.482251e-03,5.403248e-03,5.315387e-03,5.306713e-03,5.229556e-03,5.145744e-03,5.139126e-03,5.063937e-03,4.984120e-03,4.979394e-03,4.906275e-03,4.830382e-03,4.827387e-03,4.756422e-03,4.684370e-03,4.682949e-03,4.614205e-03,4.545900e-03,4.416043e-03,4.293169e-03,4.177056e-03,4.067477e-03,3.964200e-03,3.866990e-03,3.775612e-03,3.689829e-03,3.609411e-03,3.534125e-03,3.463747e-03,3.398054e-03,3.336831e-03,3.279865e-03,3.226952e-03,3.177893e-03,3.132494e-03,3.090570e-03,3.051939e-03,3.016428e-03,2.983871e-03,2.954105e-03,2.926977e-03,2.902337e-03,2.880043e-03,2.859957e-03,2.841949e-03,2.825894e-03,2.811671e-03,2.799165e-03,2.788266e-03,2.778871e-03,2.770879e-03,2.764194e-03,2.758726e-03,2.754388e-03,2.751098e-03,2.748778e-03,2.747352e-03,2.746751e-03,2.746908e-03,2.747757e-03,2.749240e-03,2.751300e-03,2.753881e-03,2.756934e-03,2.760410e-03,2.764264e-03,2.768453e-03
0.000000e+00,1.013924e-08,2.535718e-07,2.667850e-07,2.022580e-06,6.823118e-06,7.091219e-06,1.467906e-05,2.214117e-05,2.260799e-05,3.013246e-05,3.659696e-05,3.713814e-05,4.362593e-05,4.903957e-05,4.961703e-05,5.513619e-05,5.962232e-05,6.020814e-05,6.485703e-05,6.853468e-05,6.910640e-05,7.297909e-05,7.595724e-05,7.649720e-05,7.968200e-05,8.205917e-05,8.255390e-05,8.513242e-05,8.699650e-05,8.743612e-05,8.948266e-05,9.091124e-05,9.128878e-05,9.287033e-05,9.393136e-05,9.424228e-05,9.541878e-05,9.617143e-05,9.641316e-05,9.723800e-05,9.773359e-05,9.790515e-05,9.842576e-05,9.870864e-05,9.881032e-05,9.906871e-05,9.917711e-05,9.921021e-05,9.924355e-05,9.921029e-05,9.917690e-05,9.901797e-05,9.887119e-05,9.877399e-05,9.845173e-05,9.821542e-05,9.805754e-05,9.759740e-05,9.729199e-05,9.707688e-05,9.650122e-05,9.614402e-05,9.587533e-05,9.520380e-05,9.480942e-05,9.449093e-05,9.374073e-05,9.332144e-05,9.295696e-05,9.214314e-05,9.170918e-05,9.130255e-05,9.043824e-05,8.999810e-05,8.955309e-05,8.864974e-05,8.821042e-05,8.773070e-05,8.679827e-05,8.636546e-05,8.585461e-05,8.490172e-05,8.448001e-05,8.394146e-05,8.297557e-05,8.256860e-05,8.200565e-05,8.103318e-05,8.064379e-05,8.005955e-05,7.908602e-05,7.871636e-05,7.811378e-05,7.714392e-05,7.679555e-05,7.617743e-05,7.521524e-05,7.488923e-05,7.425819e-05,7.330706e-05,7.300407e-05,7.236256e-05,7.142534e-05,7.114568e-05,7.049599e-05,6.957504e-05,6.931875e-05,6.866299e-05,6.776027e-05,6.752714e-05,6.686728e-05,6.598437e-05,6.577401e-05,6.511186e-05,6.425002e-05,6.406188e-05,6.339911e-05,6.255933e-05,6.239273e-05,6.173088e-05,6.091390e-05,6.076808e-05,6.010854e-05,5.931490e-05,5.918901e-05,5.853306e-05,5.776310e-05,5.765626e-05,5.700507e-05,5.625899e-05,5.617026e-05,5.552487e-05,5.480272e-05,5.473116e-05,5.409252e-05,5.339425e-05,5.333890e-05,5.270787e-05,5.203331e-05,5.199322e-05,5.137054e-05,5.071947e-05,5.069367e-05,5.008002e-05,4.945212e-05,4.943968e-05,4.883567e-05,4.823057e-05,4.706555e-05,4.594374e-05,4.486423e-05,4.382602e-05,4.282808e-05,4.186937e-05,4.094881e-05,4.006530e-05,3.921775e-05,3.840507e-05,3.762616e-05,3.687993e-05,3.616531e-05,3.548125e-05,3.482669e-05,3.420061e-05,3.360201e-05,3.302991e-05,3.248335e-05,3.196138e-05,3.146311e-05,3.098763e-05,3.053410e-05,3.010167e-05,2.968952e-05,2.929688e-05,2.892298e-05,2.856708e-05,2.822847e-05,2.790645e-05,2.760036e-05,2.730955e-05,2.703339e-05,2.677129e-05,2.652267e-05,2.628695e-05,2.606362e-05,2.585213e-05,2.565200e-05,2.546273e-05,2.528386e-05,2.511495e-05,2.495556e-05,2.480527e-05,2.466368e-05,2.453041e-05,2.440509e-05,2.428736e-05,2.417688e-05
0.000000e+00,1.605974e-13,3.733064e-11,4.047999e-11,1.119781e-09,1.185857e-08,1.293617e-08,9.128002e-08,4.186818e-07,4.575086e-07,1.763197e-06,5.062844e-06,5.508873e-06,1.453392e-05,3.094400e-05,3.345501e-05,6.895988e-05,1.209113e-04,1.299138e-04,2.272760e-04,3.498474e-04,3.738499e-04,5.839031e-04,8.205532e-04,8.726986e-04,1.255976e-03,1.651784e-03,1.749423e-03,2.368157e-03,2.962857e-03,3.126255e-03,4.036338e-03,4.858739e-03,5.109220e-03,6.353636e-03,7.418177e-03,7.776046e-03,9.380517e-03,1.068608e-02,1.116866e-02,1.313967e-02,1.467031e-02,1.529034e-02,1.761524e-02,1.934238e-02,2.010684e-02,2.275570e-02,2.464114e-02,2.555069e-02,2.847922e-02,3.047852e-02,3.152744e-02,3.468054e-02,3.674639e-02,3.792293e-02,4.123851e-02,4.332373e-02,4.461086e-02,4.802345e-02,5.008347e-02,5.145984e-02,5.490387e-02,5.689866e-02,5.833975e-02,6.175227e-02,6.364763e-02,6.512689e-02,6.844980e-02,7.021808e-02,7.170807e-02,7.488965e-02,7.651004e-02,7.798345e-02,8.097940e-02,8.243779e-02,8.386838e-02,8.664234e-02,8.793086e-02,8.929419e-02,9.181787e-02,9.293428e-02,9.420827e-02,9.646122e-02,9.740811e-02,9.857348e-02,1.005426e-01,1.013266e-01,1.023671e-01,1.040461e-01,1.046769e-01,1.055796e-01,1.069680e-01,1.074578e-01,1.082126e-01,1.093152e-01,1.096778e-01,1.102780e-01,1.111038e-01,1.113539e-01,1.117956e-01,1.123570e-01,1.125097e-01,1.127917e-01,1.131039e-01,1.131743e-01,1.132978e-01,1.133779e-01,1.133806e-01,1.133489e-01,1.132155e-01,1.131643e-01,1.129826e-01,1.126550e-01,1.125628e-01,1.122377e-01,1.117356e-01,1.116142e-01,1.111536e-01,1.104965e-01,1.103565e-01,1.097693e-01,1.089765e-01,1.088272e-01,1.081229e-01,1.072129e-01,1.070624e-01,1.062511e-01,1.052416e-01,1.050968e-01,1.041888e-01,1.030966e-01,1.029631e-01,1.019690e-01,1.008098e-01,1.006922e-01,9.962246e-02,9.841058e-02,9.831267e-02,9.717747e-02,9.592630e-02,9.585073e-02,9.466011e-02,9.338179e-02,9.333044e-02,9.209407e-02,9.079957e-02,9.077363e-02,8.950073e-02,8.819990e-02,8.562680e-02,8.306984e-02,8.054269e-02,7.805721e-02,7.562367e-02,7.325080e-02,7.094594e-02,6.871519e-02,6.656347e-02,6.449467e-02,6.251174e-02,6.061681e-02,5.881124e-02,5.709573e-02,5.547040e-02,5.393484e-02,5.248818e-02,5.112916e-02,4.985617e-02,4.866732e-02,4.756044e-02,4.653317e-02,4.558296e-02,4.470713e-02,4.390286e-02,4.316724e-02,4.249732e-02,4.189007e-02,4.134244e-02,4.085137e-02,4.041381e-02,4.002671e-02,3.968708e-02,3.939194e-02,3.913837e-02,3.892352e-02,3.874459e-02,3.859888e-02,3.848374e-02,3.839662e-02,3.833508e-02,3.829675e-02,3.827937e-02,3.828077e-02,3.829889e-02,3.833178e-02,3.837758e-02,3.843455e-02,3.850105e-02
0.000000e+00,6.543798e-09,2.245612e-07,2.373200e-07,2.022259e-06,6.279836e-06,6.487702e-06,1.177433e-05,1.655277e-05,1.684745e-05,2.156665e-05,2.559224e-05,2.592836e-05,2.994816e-05,3.328845e-05,3.364396e-05,3.703338e-05,3.977613e-05,4.013340e-05,4.296040e-05,4.518532e-05,4.553018e-05,4.785811e-05,4.963755e-05,4.995904e-05,5.184725e-05,5.324647e-05,5.353642e-05,5.503957e-05,5.611648e-05,5.636906e-05,5.753662e-05,5.834205e-05,5.855332e-05,5.942961e-05,6.000775e-05,6.017532e-05,6.079972e-05,6.118882e-05,6.131152e-05,6.171888e-05,6.195186e-05,6.202950e-05,6.225058e-05,6.235570e-05,6.238888e-05,6.245073e-05,6.245217e-05,6.244207e-05,6.236847e-05,6.228686e-05,6.223513e-05,6.204692e-05,6.189980e-05,6.180841e-05,6.152387e-05,6.132609e-05,6.119727e-05,6.083235e-05,6.059647e-05,6.043260e-05,6.000125e-05,5.973780e-05,5.954135e-05,5.905572e-05,5.877353e-05,5.854702e-05,5.801769e-05,5.772409e-05,5.747003e-05,5.690618e-05,5.660724e-05,5.632812e-05,5.573771e-05,5.543841e-05,5.513665e-05,5.452655e-05,5.423093e-05,5.390889e-05,5.328504e-05,5.299634e-05,5.265627e-05,5.202376e-05,5.174456e-05,5.138861e-05,5.075182e-05,5.048410e-05,5.011432e-05,4.947697e-05,4.922225e-05,4.884056e-05,4.820583e-05,4.796520e-05,4.757343e-05,4.694398e-05,4.671821e-05,4.631804e-05,4.569612e-05,4.548567e-05,4.507870e-05,4.446619e-05,4.427129e-05,4.385899e-05,4.325743e-05,4.307811e-05,4.266184e-05,4.207249e-05,4.190863e-05,4.148965e-05,4.091353e-05,4.076486e-05,4.034433e-05,3.978224e-05,3.964841e-05,3.922739e-05,3.867993e-05,3.856049e-05,3.813996e-05,3.760758e-05,3.750202e-05,3.708287e-05,3.656589e-05,3.647366e-05,3.605669e-05,3.555530e-05,3.547580e-05,3.506174e-05,3.457604e-05,3.450866e-05,3.409818e-05,3.362815e-05,3.357228e-05,3.316595e-05,3.271155e-05,3.266654e-05,3.226491e-05,3.182599e-05,3.179121e-05,3.139475e-05,3.097113e-05,3.094595e-05,3.055507e-05,3.014653e-05,3.013034e-05,2.974542e-05,2.935168e-05,2.934388e-05,2.896524e-05,2.858601e-05,2.785613e-05,2.715359e-05,2.647773e-05,2.582785e-05,2.520323e-05,2.460317e-05,2.402693e-05,2.347379e-05,2.294303e-05,2.243392e-05,2.194576e-05,2.147784e-05,2.102947e-05,2.059998e-05,2.018870e-05,1.979499e-05,1.941822e-05,1.905775e-05,1.871301e-05,1.838340e-05,1.806835e-05,1.776732e-05,1.747977e-05,1.720518e-05,1.694306e-05,1.669292e-05,1.645429e-05,1.622673e-05,1.600979e-05,1.580306e-05,1.560612e-05,1.541859e-05,1.524009e-05,1.507024e-05,1.490872e-05,1.475516e-05,1.460925e-05,1.447067e-05,1.433912e-05,1.421431e-05,1.409596e-05,1.398380e-05,1.387756e-05,1.377701e-05,1.368189e-05,1.359199e-05,1.350706e-05,1.342691e-05,1.335133e-05
0.000000e+00,3.095818e-09,6.308605e-08,6.624886e-08,4.883949e-07,1.726020e-06,1.798415e-06,3.942654e-06,6.149826e-06,6.289520e-06,8.557230e-06,1.052449e-05,1.068989e-05,1.268147e-05,1.435674e-05,1.453624e-05,1.626046e-05,1.767493e-05,1.786061e-05,1.934298e-05,2.052822e-05,2.071360e-05,2.197825e-05,2.296276e-05,2.314252e-05,2.421180e-05,2.502141e-05,2.519133e-05,2.608622e-05,2.674448e-05,2.690135e-05,2.764145e-05,2.816952e-05,2.831098e-05,2.891423e-05,2.933091e-05,2.945532e-05,2.993815e-05,3.026012e-05,3.036642e-05,3.074357e-05,3.098533e-05,3.107291e-05,3.135753e-05,3.153174e-05,3.160037e-05,3.180420e-05,3.192185e-05,3.197161e-05,3.210506e-05,3.217565e-05,3.220684e-05,3.227914e-05,3.231088e-05,3.232398e-05,3.234330e-05,3.234324e-05,3.233888e-05,3.231243e-05,3.228664e-05,3.226553e-05,3.219968e-05,3.215336e-05,3.211628e-05,3.201665e-05,3.195423e-05,3.190202e-05,3.177355e-05,3.169881e-05,3.163233e-05,3.147938e-05,3.139554e-05,3.131566e-05,3.114206e-05,3.105182e-05,3.095942e-05,3.076853e-05,3.067419e-05,3.057013e-05,3.036490e-05,3.026838e-05,3.015349e-05,2.993652e-05,2.983943e-05,2.971453e-05,2.948807e-05,2.939174e-05,2.925763e-05,2.902367e-05,2.892920e-05,2.878663e-05,2.854691e-05,2.845519e-05,2.830488e-05,2.806090e-05,2.797266e-05,2.781530e-05,2.756839e-05,2.748419e-05,2.732044e-05,2.707173e-05,2.699203e-05,2.682251e-05,2.657301e-05,2.649813e-05,2.632343e-05,2.607398e-05,2.600419e-05,2.582485e-05,2.557621e-05,2.551166e-05,2.532821e-05,2.508101e-05,2.502181e-05,2.483474e-05,2.458952e-05,2.453573e-05,2.434548e-05,2.410273e-05,2.405434e-05,2.386135e-05,2.362144e-05,2.357842e-05,2.338310e-05,2.314638e-05,2.310866e-05,2.291137e-05,2.267812e-05,2.264561e-05,2.244670e-05,2.221715e-05,2.218974e-05,2.198954e-05,2.176389e-05,2.174143e-05,2.154024e-05,2.131864e-05,2.130100e-05,2.109911e-05,2.088168e-05,2.086870e-05,2.066638e-05,2.045321e-05,2.044473e-05,2.024221e-05,2.003338e-05,2.002923e-05,1.982674e-05,1.962230e-05,1.922402e-05,1.883443e-05,1.845351e-05,1.808128e-05,1.771767e-05,1.736265e-05,1.701614e-05,1.667806e-05,1.634831e-05,1.602679e-05,1.571339e-05,1.540799e-05,1.511046e-05,1.482068e-05,1.453851e-05,1.426382e-05,1.399648e-05,1.373635e-05,1.348329e-05,1.323716e-05,1.299782e-05,1.276514e-05,1.253897e-05,1.231918e-05,1.210563e-05,1.189820e-05,1.169674e-05,1.150112e-05,1.131123e-05,1.112692e-05,1.094807e-05,1.077456e-05,1.060627e-05,1.044308e-05,1.028487e-05,1.013152e-05,9.982922e-06,9.838964e-06,9.699537e-06,9.564532e-06,9.433844e-06,9.307371e-06,9.185012e-06,9.066666e-06,8.952237e-06,8.841630e-06,8.734751e-06,8.631508e-06,8.531812e-06
0.000000e+00,3.747031e-11,9.069163e-09,9.845865e-09,2.900757e-07,3.212139e-06,3.508320e-06,2.509974e-05,1.139312e-04,1.243480e-04,4.672567e-04,1.305416e-03,1.417005e-03,3.630747e-03,7.546711e-03,8.138663e-03,1.639000e-02,2.822788e-02,3.026096e-02,5.202655e-02,7.904613e-02,8.430266e-02,1.299658e-01,1.808921e-01,1.920593e-01,2.736925e-01,3.573728e-01,3.779407e-01,5.077498e-01,6.318445e-01,6.658496e-01,8.546795e-01,1.024656e+00,1.076327e+00,1.332480e+00,1.551023e+00,1.624394e+00,1.952872e+00,2.219705e+00,2.318256e+00,2.720432e+00,3.032484e+00,3.158842e+00,3.632506e+00,3.984327e+00,4.140052e+00,4.679751e+00,5.064076e+00,5.249550e+00,5.847109e+00,6.255464e+00,6.469856e+00,7.115023e+00,7.538351e+00,7.779687e+00,8.460811e+00,8.890011e+00,9.155283e+00,9.859953e+00,1.028634e+01,1.057167e+01,1.128731e+01,1.170297e+01,1.200381e+01,1.271818e+01,1.311623e+01,1.342756e+01,1.412918e+01,1.450390e+01,1.482043e+01,1.549885e+01,1.584579e+01,1.616215e+01,1.680820e+01,1.712414e+01,1.743506e+01,1.804095e+01,1.832386e+01,1.862430e+01,1.918370e+01,1.943264e+01,1.971793e+01,2.022593e+01,2.044092e+01,2.070684e+01,2.115994e+01,2.134181e+01,2.158468e+01,2.198065e+01,2.213093e+01,2.234761e+01,2.268541e+01,2.280613e+01,2.299408e+01,2.327373e+01,2.336734e+01,2.352458e+01,2.374699e+01,2.381620e+01,2.394136e+01,2.410821e+01,2.415588e+01,2.424811e+01,2.436172e+01,2.439078e+01,2.444975e+01,2.451294e+01,2.452630e+01,2.455212e+01,2.456810e+01,2.456857e+01,2.456178e+01,2.453404e+01,2.452429e+01,2.448580e+01,2.441798e+01,2.440053e+01,2.433154e+01,2.422741e+01,2.420455e+01,2.410654e+01,2.396987e+01,2.394366e+01,2.381833e+01,2.365284e+01,2.362513e+01,2.347432e+01,2.328367e+01,2.325606e+01,2.308176e+01,2.286945e+01,2.284331e+01,2.264758e+01,2.241697e+01,2.239346e+01,2.217842e+01,2.193268e+01,2.191273e+01,2.168050e+01,2.142260e+01,2.140696e+01,2.115967e+01,2.089236e+01,2.088159e+01,2.062133e+01,2.034717e+01,2.034166e+01,2.007047e+01,1.979178e+01,1.923616e+01,1.867859e+01,1.812248e+01,1.757087e+01,1.702643e+01,1.649150e+01,1.596811e+01,1.545799e+01,1.496260e+01,1.448316e+01,1.402064e+01,1.357584e+01,1.314932e+01,1.274152e+01,1.235269e+01,1.198298e+01,1.163237e+01,1.130079e+01,1.098802e+01,1.069380e+01,1.041777e+01,1.015953e+01,9.918609e+00,9.694505e+00,9.486673e+00,9.294536e+00,9.117497e+00,8.954937e+00,8.806225e+00,8.670721e+00,8.547779e+00,8.436753e+00,8.336997e+00,8.247870e+00,8.168739e+00,8.098980e+00,8.037981e+00,7.985145e+00,7.939887e+00,7.901642e+00,7.869859e+00,7.844010e+00,7.823583e+00,7.808089e+00,7.797060e+00,7.790048e+00,7.786627e+00,7.786395e+00,7.788969e+00
0.000000e+00,1.995660e-11,3.386182e-09,3.651419e-09,7.911555e-08,6.825091e-07,7.381432e-07,4.149059e-06,1.496417e-05,1.608847e-05,4.664359e-05,1.011497e-04,1.073391e-04,2.059692e-04,3.279267e-04,3.432698e-04,5.133488e-04,6.824452e-04,7.064849e-04,9.121522e-04,1.091916e-03,1.121069e-03,1.326102e-03,1.491684e-03,1.522351e-03,1.706804e-03,1.848102e-03,1.877869e-03,2.034932e-03,2.150499e-03,2.178012e-03,2.307503e-03,2.399457e-03,2.424010e-03,2.528244e-03,2.599718e-03,2.620960e-03,2.702910e-03,2.757055e-03,2.774829e-03,2.837422e-03,2.877093e-03,2.891360e-03,2.937273e-03,2.964958e-03,2.975756e-03,3.007368e-03,3.025207e-03,3.032631e-03,3.052034e-03,3.061854e-03,3.066035e-03,3.075061e-03,3.078413e-03,3.079513e-03,3.079762e-03,3.077960e-03,3.076158e-03,3.069024e-03,3.063178e-03,3.058666e-03,3.045364e-03,3.036405e-03,3.029382e-03,3.010966e-03,2.999676e-03,2.990345e-03,2.967732e-03,2.954762e-03,2.943323e-03,2.917305e-03,2.903196e-03,2.889847e-03,2.861110e-03,2.846309e-03,2.831241e-03,2.800378e-03,2.785248e-03,2.768647e-03,2.736168e-03,2.721006e-03,2.703048e-03,2.669391e-03,2.654435e-03,2.635289e-03,2.600829e-03,2.586268e-03,2.566090e-03,2.531148e-03,2.517130e-03,2.496070e-03,2.460918e-03,2.447554e-03,2.425751e-03,2.390621e-03,2.377992e-03,2.355576e-03,2.320662e-03,2.308828e-03,2.285918e-03,2.251382e-03,2.240380e-03,2.217088e-03,2.183066e-03,2.172916e-03,2.149344e-03,2.115947e-03,2.106657e-03,2.082897e-03,2.050216e-03,2.041781e-03,2.017920e-03,1.986027e-03,1.978434e-03,1.954550e-03,1.923503e-03,1.916731e-03,1.892895e-03,1.862736e-03,1.856759e-03,1.833034e-03,1.803797e-03,1.798584e-03,1.775029e-03,1.746735e-03,1.742252e-03,1.718919e-03,1.691582e-03,1.687793e-03,1.664727e-03,1.638355e-03,1.635223e-03,1.612465e-03,1.587058e-03,1.584544e-03,1.562132e-03,1.537684e-03,1.535749e-03,1.513714e-03,1.490219e-03,1.488824e-03,1.467194e-03,1.444637e-03,1.443745e-03,1.422545e-03,1.400912e-03,1.400484e-03,1.379734e-03,1.359006e-03,1.319276e-03,1.281251e-03,1.244889e-03,1.210145e-03,1.176972e-03,1.145322e-03,1.115149e-03,1.086403e-03,1.059037e-03,1.033002e-03,1.008252e-03,9.847388e-04,9.624176e-04,9.412429e-04,9.211705e-04,9.021572e-04,8.841608e-04,8.671404e-04,8.510560e-04,8.358691e-04,8.215420e-04,8.080384e-04,7.953231e-04,7.833620e-04,7.721223e-04,7.615721e-04,7.516808e-04,7.424187e-04,7.337574e-04,7.256693e-04,7.181280e-04,7.111079e-04,7.045845e-04,6.985342e-04,6.929342e-04,6.877627e-04,6.829987e-04,6.786220e-04,6.746132e-04,6.709536e-04,6.676255e-04,6.646115e-04,6.618953e-04,6.594610e-04,6.572935e-04,6.553781e-04,6.537010e-04,6.522488e-04,6.510086e-04
0.000000e+00,4.920078e-13,1.115859e-10,1.209488e-10,3.288520e-09,3.436291e-08,3.746348e-08,2.597499e-07,1.164051e-06,1.269810e-06,4.737195e-06,1.313769e-05,1.424986e-05,3.609334e-05,7.401593e-05,7.968865e-05,1.575750e-04,2.665102e-04,2.849643e-04,4.789717e-04,7.128639e-04,7.576550e-04,1.138987e-03,1.551047e-03,1.639866e-03,2.275248e-03,2.905346e-03,3.057424e-03,3.995517e-03,4.862149e-03,5.095146e-03,6.358296e-03,7.456153e-03,7.783350e-03,9.365257e-03,1.066747e-02,1.109581e-02,1.296404e-02,1.442738e-02,1.495658e-02,1.705820e-02,1.862957e-02,1.925219e-02,2.152088e-02,2.314365e-02,2.384603e-02,2.620924e-02,2.782866e-02,2.859232e-02,3.097758e-02,3.254480e-02,3.334812e-02,3.568802e-02,3.716261e-02,3.798253e-02,4.021818e-02,4.156935e-02,4.238286e-02,4.446590e-02,4.567263e-02,4.645805e-02,4.835150e-02,4.940189e-02,5.013982e-02,5.181789e-02,5.270799e-02,5.338190e-02,5.482919e-02,5.556162e-02,5.615822e-02,5.736843e-02,5.795087e-02,5.846019e-02,5.943465e-02,5.987846e-02,6.029370e-02,6.103983e-02,6.135873e-02,6.167607e-02,6.220591e-02,6.241495e-02,6.263317e-02,6.296201e-02,6.307663e-02,6.319677e-02,6.334200e-02,6.337741e-02,6.340233e-02,6.338247e-02,6.335313e-02,6.328714e-02,6.312104e-02,6.304034e-02,6.288884e-02,6.259511e-02,6.247517e-02,6.224432e-02,6.184083e-02,6.169239e-02,6.138885e-02,6.089246e-02,6.072488e-02,6.035557e-02,5.978192e-02,5.960319e-02,5.917508e-02,5.853848e-02,5.835534e-02,5.787533e-02,5.718869e-02,5.700668e-02,5.648144e-02,5.575632e-02,5.557991e-02,5.501587e-02,5.426250e-02,5.409525e-02,5.349846e-02,5.272585e-02,5.257047e-02,5.194663e-02,5.116264e-02,5.102114e-02,5.037554e-02,4.958693e-02,4.946071e-02,4.879824e-02,4.801081e-02,4.790074e-02,4.722588e-02,4.644458e-02,4.635112e-02,4.566796e-02,4.489695e-02,4.482020e-02,4.413244e-02,4.337522e-02,4.331498e-02,4.262600e-02,4.188542e-02,4.184128e-02,4.115408e-02,4.043251e-02,4.040385e-02,3.972116e-02,3.902046e-02,3.900655e-02,3.833077e-02,3.765243e-02,3.634385e-02,3.508256e-02,3.386983e-02,3.270646e-02,3.159289e-02,3.052924e-02,2.951534e-02,2.855082e-02,2.763510e-02,2.676745e-02,2.594701e-02,2.517280e-02,2.444374e-02,2.375869e-02,2.311645e-02,2.251576e-02,2.195533e-02,2.143384e-02,2.094995e-02,2.050231e-02,2.008954e-02,1.971028e-02,1.936314e-02,1.904675e-02,1.875973e-02,1.850073e-02,1.826839e-02,1.806135e-02,1.787830e-02,1.771791e-02,1.757889e-02,1.745995e-02,1.735984e-02,1.727732e-02,1.721119e-02,1.716025e-02,1.712336e-02,1.709940e-02,1.708726e-02,1.708590e-02,1.709429e-02,1.711145e-02,1.713642e-02,1.716831e-02,1.720625e-02,1.724940e-02,1.729699e-02,1.734827e-02,1.740255e-02
0.000000e+00,3.729410e-09,7.163726e-08,7.511622e-08,5.247197e-07,1.860229e-06,1.941734e-06,4.608266e-06,7.762735e-06,7.969390e-06,1.135078e-05,1.426421e-05,1.450685e-05,1.739254e-05,1.976140e-05,2.001171e-05,2.237884e-05,2.426643e-05,2.451031e-05,2.642227e-05,2.790284e-05,2.813023e-05,2.964897e-05,3.078873e-05,3.099247e-05,3.217395e-05,3.303061e-05,3.320585e-05,3.409987e-05,3.472319e-05,3.486695e-05,3.551732e-05,3.594973e-05,3.606050e-05,3.650537e-05,3.678281e-05,3.686017e-05,3.713256e-05,3.728527e-05,3.732964e-05,3.745798e-05,3.751126e-05,3.752367e-05,3.753236e-05,3.750734e-05,3.748927e-05,3.739921e-05,3.731344e-05,3.726665e-05,3.709570e-05,3.696369e-05,3.689015e-05,3.665351e-05,3.648725e-05,3.638903e-05,3.609968e-05,3.590902e-05,3.578823e-05,3.545721e-05,3.525018e-05,3.510894e-05,3.474558e-05,3.452870e-05,3.436910e-05,3.398131e-05,3.375983e-05,3.358388e-05,3.317832e-05,3.295644e-05,3.276605e-05,3.234834e-05,3.212938e-05,3.192637e-05,3.150120e-05,3.128773e-05,3.107383e-05,3.064513e-05,3.043913e-05,3.021593e-05,2.978695e-05,2.958989e-05,2.935888e-05,2.893232e-05,2.874525e-05,2.850781e-05,2.808587e-05,2.790952e-05,2.766692e-05,2.725138e-05,2.708620e-05,2.683960e-05,2.643191e-05,2.627812e-05,2.602859e-05,2.562988e-05,2.548752e-05,2.523602e-05,2.484720e-05,2.471618e-05,2.446359e-05,2.408532e-05,2.396543e-05,2.371254e-05,2.334533e-05,2.323627e-05,2.298378e-05,2.262797e-05,2.252938e-05,2.227795e-05,2.193375e-05,2.184522e-05,2.159541e-05,2.126294e-05,2.118403e-05,2.093635e-05,2.061563e-05,2.054586e-05,2.030076e-05,1.999174e-05,1.993063e-05,1.968852e-05,1.939108e-05,1.933815e-05,1.909938e-05,1.881336e-05,1.876812e-05,1.853298e-05,1.825819e-05,1.822016e-05,1.798892e-05,1.772512e-05,1.769383e-05,1.746673e-05,1.721366e-05,1.718865e-05,1.696587e-05,1.672327e-05,1.670408e-05,1.648579e-05,1.625336e-05,1.623957e-05,1.602590e-05,1.580335e-05,1.579454e-05,1.558561e-05,1.537262e-05,1.536841e-05,1.516430e-05,1.496057e-05,1.457042e-05,1.419736e-05,1.384079e-05,1.350012e-05,1.317478e-05,1.286418e-05,1.256777e-05,1.228499e-05,1.201533e-05,1.175826e-05,1.151328e-05,1.127990e-05,1.105765e-05,1.084607e-05,1.064472e-05,1.045317e-05,1.027102e-05,1.009786e-05,9.933312e-06,9.777013e-06,9.628606e-06,9.487750e-06,9.354118e-06,9.227395e-06,9.107278e-06,8.993477e-06,8.885714e-06,8.783718e-06,8.687235e-06,8.596017e-06,8.509827e-06,8.428438e-06,8.351632e-06,8.279201e-06,8.210944e-06,8.146670e-06,8.086194e-06,8.029340e-06,7.975940e-06,7.925831e-06,7.878859e-06,7.834875e-06,7.793737e-06,7.755310e-06,7.719461e-06,7.686068e-06,7.655011e-06,7.626175e-06,7.599451e-06
0.000000e+00,9.027330e-10,1.061514e-08,1.105098e-08,6.033734e-08,1.942427e-07,2.023345e-07,4.739125e-07,8.244207e-07,8.484698e-07,1.251474e-06,1.598978e-06,1.627494e-06,1.958915e-06,2.218161e-06,2.244783e-06,2.488480e-06,2.671346e-06,2.694156e-06,2.865856e-06,2.989204e-06,3.007319e-06,3.121952e-06,3.199772e-06,3.212836e-06,3.282752e-06,3.326200e-06,3.334202e-06,3.369433e-06,3.387300e-06,3.390458e-06,3.399076e-06,3.398226e-06,3.396895e-06,3.385349e-06,3.371101e-06,3.365714e-06,3.339125e-06,3.315570e-06,3.306591e-06,3.269006e-06,3.239267e-06,3.227165e-06,3.181768e-06,3.148211e-06,3.133437e-06,3.082720e-06,3.047119e-06,3.030101e-06,2.976004e-06,2.939674e-06,2.920803e-06,2.864827e-06,2.828730e-06,2.808363e-06,2.751660e-06,2.716482e-06,2.694937e-06,2.638383e-06,2.604601e-06,2.582162e-06,2.526415e-06,2.494347e-06,2.471261e-06,2.416805e-06,2.386646e-06,2.363132e-06,2.310315e-06,2.282172e-06,2.258415e-06,2.207482e-06,2.181392e-06,2.157554e-06,2.108664e-06,2.084615e-06,2.060834e-06,2.014082e-06,1.992027e-06,1.968419e-06,1.923852e-06,1.903720e-06,1.880383e-06,1.838009e-06,1.819711e-06,1.796726e-06,1.756526e-06,1.739962e-06,1.717398e-06,1.679330e-06,1.664396e-06,1.642307e-06,1.606313e-06,1.592902e-06,1.571333e-06,1.537347e-06,1.525351e-06,1.504336e-06,1.472282e-06,1.461598e-06,1.441164e-06,1.410962e-06,1.401488e-06,1.381655e-06,1.353223e-06,1.344861e-06,1.325644e-06,1.298898e-06,1.291556e-06,1.272964e-06,1.247820e-06,1.241410e-06,1.223448e-06,1.199825e-06,1.194265e-06,1.176933e-06,1.154752e-06,1.149965e-06,1.133261e-06,1.112442e-06,1.108358e-06,1.092277e-06,1.072746e-06,1.069297e-06,1.053832e-06,1.035518e-06,1.032642e-06,1.017785e-06,1.000617e-06,9.982579e-07,9.839981e-07,9.679115e-07,9.660162e-07,9.523418e-07,9.372736e-07,9.357938e-07,9.226922e-07,9.085829e-07,9.074742e-07,8.949318e-07,8.817249e-07,8.809463e-07,8.689491e-07,8.565912e-07,8.561054e-07,8.446386e-07,8.330790e-07,8.328517e-07,8.219005e-07,8.110914e-07,7.907356e-07,7.717003e-07,7.539064e-07,7.372792e-07,7.217483e-07,7.072475e-07,6.937141e-07,6.810895e-07,6.693181e-07,6.583480e-07,6.481299e-07,6.386177e-07,6.297681e-07,6.215401e-07,6.138954e-07,6.067978e-07,6.002132e-07,5.941099e-07,5.884576e-07,5.832283e-07,5.783952e-07,5.739335e-07,5.698197e-07,5.660318e-07,5.625489e-07,5.593517e-07,5.564219e-07,5.537421e-07,5.512963e-07,5.490693e-07,5.470468e-07,5.452155e-07,5.435626e-07,5.420764e-07,5.407458e-07,5.395603e-07,5.385102e-07,5.375863e-07,5.367799e-07,5.360829e-07,5.354878e-07,5.349873e-07,5.345749e-07,5.342441e-07,5.339891e-07,5.338044e-07,5.336848e-07,5.336254e-07,5.336216e-07
0.000000e+00,4.911345e-10,6.186993e-09,6.451680e-09,3.765133e-08,1.239788e-07,1.291470e-07,2.962953e-07,4.937020e-07,5.066796e-07,7.197080e-07,9.041037e-07,9.194945e-07,1.102962e-06,1.254227e-06,1.270249e-06,1.422184e-06,1.543946e-06,1.559722e-06,1.683819e-06,1.780497e-06,1.795398e-06,1.895336e-06,1.970899e-06,1.984467e-06,2.063575e-06,2.121483e-06,2.133397e-06,2.194627e-06,2.237860e-06,2.247911e-06,2.293854e-06,2.324957e-06,2.333020e-06,2.365936e-06,2.387075e-06,2.393093e-06,2.414948e-06,2.427959e-06,2.431927e-06,2.444426e-06,2.450859e-06,2.452812e-06,2.457427e-06,2.458585e-06,2.458589e-06,2.456594e-06,2.453575e-06,2.451717e-06,2.444213e-06,2.437937e-06,2.434320e-06,2.422257e-06,2.413494e-06,2.408230e-06,2.392428e-06,2.381818e-06,2.375029e-06,2.356196e-06,2.344272e-06,2.336081e-06,2.314822e-06,2.302019e-06,2.292548e-06,2.269378e-06,2.256053e-06,2.245422e-06,2.220782e-06,2.207225e-06,2.195551e-06,2.169817e-06,2.156262e-06,2.143658e-06,2.117148e-06,2.103783e-06,2.090355e-06,2.063342e-06,2.050314e-06,2.036165e-06,2.008877e-06,1.996300e-06,1.981526e-06,1.954156e-06,1.942118e-06,1.926808e-06,1.899517e-06,1.888081e-06,1.872319e-06,1.845244e-06,1.834454e-06,1.818318e-06,1.791569e-06,1.781455e-06,1.765018e-06,1.738686e-06,1.729264e-06,1.712592e-06,1.686752e-06,1.678028e-06,1.661182e-06,1.635894e-06,1.627863e-06,1.610900e-06,1.586210e-06,1.578864e-06,1.561835e-06,1.537780e-06,1.531104e-06,1.514054e-06,1.490662e-06,1.484636e-06,1.467609e-06,1.444898e-06,1.439499e-06,1.422534e-06,1.400518e-06,1.395721e-06,1.378851e-06,1.357536e-06,1.353315e-06,1.336573e-06,1.315961e-06,1.312288e-06,1.295701e-06,1.275791e-06,1.272638e-06,1.256231e-06,1.237018e-06,1.234355e-06,1.218150e-06,1.199627e-06,1.197427e-06,1.181444e-06,1.163600e-06,1.161834e-06,1.146090e-06,1.128913e-06,1.127554e-06,1.112065e-06,1.095543e-06,1.094562e-06,1.079342e-06,1.063459e-06,1.062830e-06,1.047890e-06,1.032631e-06,1.032329e-06,1.017679e-06,1.003029e-06,9.748973e-07,9.479015e-07,9.220088e-07,8.971860e-07,8.734001e-07,8.506179e-07,8.288069e-07,8.079348e-07,7.879698e-07,7.688806e-07,7.506368e-07,7.332083e-07,7.165660e-07,7.006815e-07,6.855270e-07,6.710757e-07,6.573013e-07,6.441784e-07,6.316826e-07,6.197898e-07,6.084771e-07,5.977221e-07,5.875032e-07,5.777994e-07,5.685907e-07,5.598575e-07,5.515809e-07,5.437429e-07,5.363257e-07,5.293125e-07,5.226870e-07,5.164333e-07,5.105363e-07,5.049812e-07,4.997541e-07,4.948411e-07,4.902292e-07,4.859056e-07,4.818582e-07,4.780752e-07,4.745452e-07,4.712574e-07,4.682011e-07,4.653662e-07,4.627430e-07,4.603220e-07,4.580941e-07,4.560506e-07,4.541831e-07
0.000000e+00,1.095533e-11,2.501660e-09,2.711147e-09,7.208702e-08,7.256025e-07,7.898075e-07,5.291090e-06,2.335341e-05,2.546803e-05,9.573753e-05,2.722622e-04,2.961539e-04,7.825859e-04,1.679615e-03,1.818015e-03,3.798427e-03,6.752007e-03,7.268831e-03,1.292758e-02,2.018475e-02,2.161929e-02,3.431802e-02,4.886847e-02,5.210268e-02,7.612741e-02,1.013229e-01,1.075889e-01,1.476930e-01,1.867948e-01,1.976217e-01,2.585026e-01,3.142690e-01,3.313814e-01,4.171978e-01,4.915768e-01,5.167658e-01,6.307582e-01,7.247111e-01,7.596955e-01,9.039384e-01,1.017388e+00,1.063685e+00,1.238969e+00,1.370853e+00,1.429668e+00,1.635501e+00,1.783901e+00,1.856044e+00,2.090738e+00,2.253060e+00,2.338899e+00,2.599729e+00,2.772900e+00,2.872334e+00,3.155735e+00,3.336405e+00,3.448878e+00,3.750655e+00,3.935387e+00,4.059913e+00,4.375464e+00,4.560894e+00,4.696106e+00,5.020623e+00,5.203595e+00,5.347808e+00,5.676462e+00,5.854131e+00,6.005410e+00,6.333505e+00,6.503408e+00,6.659638e+00,6.982743e+00,7.142840e+00,7.301801e+00,7.615847e+00,7.764540e+00,7.923973e+00,8.225327e+00,8.361458e+00,8.519123e+00,8.804634e+00,8.927461e+00,9.081197e+00,9.348213e+00,9.457383e+00,9.605149e+00,9.851531e+00,9.947035e+00,1.008695e+01,1.031106e+01,1.039319e+01,1.052356e+01,1.072422e+01,1.079352e+01,1.091286e+01,1.108935e+01,1.114657e+01,1.125361e+01,1.140561e+01,1.145167e+01,1.154537e+01,1.167292e+01,1.170882e+01,1.178837e+01,1.189183e+01,1.191867e+01,1.198347e+01,1.206348e+01,1.208240e+01,1.213207e+01,1.218949e+01,1.220163e+01,1.223598e+01,1.227185e+01,1.227834e+01,1.229738e+01,1.231289e+01,1.231482e+01,1.231871e+01,1.231517e+01,1.231357e+01,1.230262e+01,1.228142e+01,1.227725e+01,1.225193e+01,1.221450e+01,1.220864e+01,1.216949e+01,1.211729e+01,1.211056e+01,1.205825e+01,1.199273e+01,1.198584e+01,1.192110e+01,1.184371e+01,1.183728e+01,1.176091e+01,1.167305e+01,1.166763e+01,1.158047e+01,1.148351e+01,1.147955e+01,1.138249e+01,1.127773e+01,1.127560e+01,1.116954e+01,1.105822e+01,1.082972e+01,1.059225e+01,1.034785e+01,1.009838e+01,9.845570e+00,9.590993e+00,9.336084e+00,9.082139e+00,8.830316e+00,8.581650e+00,8.337051e+00,8.097317e+00,7.863138e+00,7.635103e+00,7.413709e+00,7.199368e+00,6.992412e+00,6.793101e+00,6.601628e+00,6.418129e+00,6.242683e+00,6.075321e+00,5.916031e+00,5.764761e+00,5.621427e+00,5.485911e+00,5.358071e+00,5.237741e+00,5.124736e+00,5.018853e+00,4.919876e+00,4.827576e+00,4.741715e+00,4.662048e+00,4.588324e+00,4.520290e+00,4.457687e+00,4.400259e+00,4.347749e+00,4.299900e+00,4.256459e+00,4.217176e+00,4.181806e+00,4.150108e+00,4.121847e+00,4.096794e+00,4.074727e+00,4.055430e+00,4.038694e+00
0.000000e+00,7.860553e-10,5.936779e-08,6.326644e-08,8.675054e-07,5.175684e-06,5.509230e-06,2.024487e-05,4.665012e-05,4.868464e-05,8.582521e-05,1.212676e-04,1.242823e-04,1.603814e-04,1.900527e-04,1.931809e-04,2.226629e-04,2.460204e-04,2.490272e-04,2.725074e-04,2.905677e-04,2.933313e-04,3.117130e-04,3.254129e-04,3.278524e-04,3.419358e-04,3.520719e-04,3.541365e-04,3.646152e-04,3.718590e-04,3.735211e-04,3.809919e-04,3.859053e-04,3.871552e-04,3.921284e-04,3.951791e-04,3.960198e-04,3.989292e-04,4.005040e-04,4.009481e-04,4.021609e-04,4.025786e-04,4.026449e-04,4.024711e-04,4.019933e-04,4.017048e-04,4.004057e-04,3.992461e-04,3.986285e-04,3.964235e-04,3.947564e-04,3.938367e-04,3.909101e-04,3.888767e-04,3.876823e-04,3.841884e-04,3.819029e-04,3.804607e-04,3.765286e-04,3.740824e-04,3.724188e-04,3.681560e-04,3.656223e-04,3.637625e-04,3.592585e-04,3.566950e-04,3.546627e-04,3.499918e-04,3.474438e-04,3.452613e-04,3.404849e-04,3.379874e-04,3.356754e-04,3.308442e-04,3.284237e-04,3.260015e-04,3.211568e-04,3.188331e-04,3.163184e-04,3.114940e-04,3.092814e-04,3.066904e-04,3.019137e-04,2.998218e-04,2.971693e-04,2.924621e-04,2.904973e-04,2.877966e-04,2.831765e-04,2.813419e-04,2.786052e-04,2.740857e-04,2.723824e-04,2.696206e-04,2.652121e-04,2.636393e-04,2.608623e-04,2.565727e-04,2.551283e-04,2.523448e-04,2.481798e-04,2.468604e-04,2.440785e-04,2.400417e-04,2.388433e-04,2.360699e-04,2.321637e-04,2.310818e-04,2.283232e-04,2.245486e-04,2.235780e-04,2.208399e-04,2.171970e-04,2.163324e-04,2.136196e-04,2.101076e-04,2.093437e-04,2.066605e-04,2.032779e-04,2.026091e-04,1.999593e-04,1.967041e-04,1.961249e-04,1.935118e-04,1.903817e-04,1.898866e-04,1.873131e-04,1.843053e-04,1.838890e-04,1.813575e-04,1.784690e-04,1.781264e-04,1.756390e-04,1.728667e-04,1.725926e-04,1.701512e-04,1.674918e-04,1.672814e-04,1.648874e-04,1.623374e-04,1.621861e-04,1.598408e-04,1.573968e-04,1.573001e-04,1.550045e-04,1.526631e-04,1.526168e-04,1.503716e-04,1.481293e-04,1.438310e-04,1.397153e-04,1.357757e-04,1.320058e-04,1.283994e-04,1.249504e-04,1.216528e-04,1.185008e-04,1.154889e-04,1.126116e-04,1.098636e-04,1.072399e-04,1.047355e-04,1.023457e-04,1.000659e-04,9.789160e-05,9.581862e-05,9.384284e-05,9.196029e-05,9.016717e-05,8.845982e-05,8.683472e-05,8.528847e-05,8.381781e-05,8.241961e-05,8.109087e-05,7.982867e-05,7.863025e-05,7.749293e-05,7.641414e-05,7.539142e-05,7.442239e-05,7.350477e-05,7.263639e-05,7.181514e-05,7.103900e-05,7.030604e-05,6.961440e-05,6.896229e-05,6.834799e-05,6.776985e-05,6.722631e-05,6.671582e-05,6.623695e-05,6.578828e-05,6.536847e-05,6.497623e-05,6.461032e-05,6.426955e-05
0.000000e+00,4.139872e-12,9.521531e-10,1.034228e-09,3.229593e-08,3.704153e-07,4.045477e-07,2.754054e-06,1.100141e-05,1.188300e-05,3.648067e-05,8.200370e-05,8.727592e-05,1.738698e-04,2.874135e-04,3.021964e-04,4.734945e-04,6.573956e-04,6.846523e-04,9.293513e-04,1.160434e-03,1.199452e-03,1.486247e-03,1.733933e-03,1.781401e-03,2.077547e-03,2.316800e-03,2.368577e-03,2.649718e-03,2.865110e-03,2.917455e-03,3.169380e-03,3.353921e-03,3.404006e-03,3.620574e-03,3.772952e-03,3.818888e-03,3.999163e-03,4.121243e-03,4.161906e-03,4.307821e-03,4.402922e-03,4.437736e-03,4.552548e-03,4.624425e-03,4.653183e-03,4.740569e-03,4.792891e-03,4.815618e-03,4.879210e-03,4.915316e-03,4.932188e-03,4.975351e-03,4.998176e-03,5.009455e-03,5.035211e-03,5.047280e-03,5.053283e-03,5.064296e-03,5.067759e-03,5.068831e-03,5.067429e-03,5.064097e-03,5.060597e-03,5.048804e-03,5.040197e-03,5.032487e-03,5.012052e-03,4.999439e-03,4.987877e-03,4.960311e-03,4.944746e-03,4.929680e-03,4.896283e-03,4.878637e-03,4.860402e-03,4.822293e-03,4.803281e-03,4.782197e-03,4.740336e-03,4.720544e-03,4.696914e-03,4.652123e-03,4.632027e-03,4.606138e-03,4.559122e-03,4.539103e-03,4.511223e-03,4.462581e-03,4.442945e-03,4.413324e-03,4.363569e-03,4.344554e-03,4.313424e-03,4.262991e-03,4.244783e-03,4.212361e-03,4.161619e-03,4.144355e-03,4.110842e-03,4.060101e-03,4.043882e-03,4.009461e-03,3.958982e-03,3.943878e-03,3.908719e-03,3.858720e-03,3.844774e-03,3.809032e-03,3.759695e-03,3.746930e-03,3.710747e-03,3.662220e-03,3.650640e-03,3.614146e-03,3.566551e-03,3.556147e-03,3.519460e-03,3.472895e-03,3.463647e-03,3.426874e-03,3.381416e-03,3.373294e-03,3.336534e-03,3.292242e-03,3.285211e-03,3.248551e-03,3.205471e-03,3.199489e-03,3.163010e-03,3.121174e-03,3.116196e-03,3.079969e-03,3.039398e-03,3.035376e-03,2.999465e-03,2.960171e-03,2.957055e-03,2.921518e-03,2.883506e-03,2.881245e-03,2.846133e-03,2.809400e-03,2.807944e-03,2.773303e-03,2.737840e-03,2.737137e-03,2.703008e-03,2.668803e-03,2.602911e-03,2.539424e-03,2.478301e-03,2.419493e-03,2.362953e-03,2.308627e-03,2.256461e-03,2.206399e-03,2.158383e-03,2.112357e-03,2.068263e-03,2.026042e-03,1.985637e-03,1.946991e-03,1.910047e-03,1.874750e-03,1.841044e-03,1.808876e-03,1.778193e-03,1.748943e-03,1.721076e-03,1.694542e-03,1.669293e-03,1.645281e-03,1.622462e-03,1.600791e-03,1.580223e-03,1.560718e-03,1.542235e-03,1.524733e-03,1.508175e-03,1.492522e-03,1.477739e-03,1.463791e-03,1.450643e-03,1.438263e-03,1.426619e-03,1.415680e-03,1.405416e-03,1.395798e-03,1.386799e-03,1.378391e-03,1.370547e-03,1.363244e-03,1.356456e-03,1.350160e-03,1.344333e-03,1.338954e-03,1.334000e-03
0.000000e+00,4.242830e-12,8.636315e-10,9.340354e-10,2.280298e-08,2.165100e-07,2.351463e-07,1.486360e-06,6.112983e-06,6.631306e-06,2.247808e-05,5.678238e-05,6.107860e-05,1.391181e-04,2.586963e-04,2.754915e-04,4.881313e-04,7.496984e-04,7.911763e-04,1.193114e-03,1.619656e-03,1.696061e-03,2.296015e-03,2.868349e-03,2.983793e-03,3.746325e-03,4.416521e-03,4.568061e-03,5.432279e-03,6.142944e-03,6.322201e-03,7.221858e-03,7.920928e-03,8.116701e-03,8.993977e-03,9.642260e-03,9.842922e-03,1.065480e-02,1.122767e-02,1.142282e-02,1.214197e-02,1.262753e-02,1.280884e-02,1.342142e-02,1.381742e-02,1.397885e-02,1.448124e-02,1.479185e-02,1.492948e-02,1.532504e-02,1.555817e-02,1.566985e-02,1.596616e-02,1.613148e-02,1.621645e-02,1.642331e-02,1.653093e-02,1.658941e-02,1.671743e-02,1.677706e-02,1.681001e-02,1.686972e-02,1.689028e-02,1.689906e-02,1.690043e-02,1.688984e-02,1.687612e-02,1.682828e-02,1.679339e-02,1.675896e-02,1.667010e-02,1.661677e-02,1.656350e-02,1.644085e-02,1.637402e-02,1.630375e-02,1.615367e-02,1.607743e-02,1.599199e-02,1.582000e-02,1.573775e-02,1.563888e-02,1.544975e-02,1.536426e-02,1.525364e-02,1.505149e-02,1.496501e-02,1.484420e-02,1.463258e-02,1.454689e-02,1.441739e-02,1.419933e-02,1.411585e-02,1.397904e-02,1.375711e-02,1.367693e-02,1.353411e-02,1.331052e-02,1.323444e-02,1.308680e-02,1.286340e-02,1.279203e-02,1.264068e-02,1.241901e-02,1.235276e-02,1.219871e-02,1.198007e-02,1.191918e-02,1.176336e-02,1.154882e-02,1.149342e-02,1.133666e-02,1.112710e-02,1.107720e-02,1.092029e-02,1.071639e-02,1.067194e-02,1.051555e-02,1.031789e-02,1.027874e-02,1.012350e-02,9.932487e-03,9.898470e-03,9.744927e-03,9.560884e-03,9.531768e-03,9.380415e-03,9.203564e-03,9.179096e-03,9.030366e-03,8.860847e-03,8.840753e-03,8.695025e-03,8.532909e-03,8.516902e-03,8.374504e-03,8.219805e-03,8.207589e-03,8.068803e-03,7.921484e-03,7.912762e-03,7.777828e-03,7.637812e-03,7.632287e-03,7.501406e-03,7.368580e-03,7.365960e-03,7.239299e-03,7.113523e-03,6.874669e-03,6.649055e-03,6.436308e-03,6.236035e-03,6.047822e-03,5.871248e-03,5.705882e-03,5.551289e-03,5.407035e-03,5.272687e-03,5.147816e-03,5.032000e-03,4.924823e-03,4.825877e-03,4.734766e-03,4.651100e-03,4.574503e-03,4.504610e-03,4.441064e-03,4.383523e-03,4.331656e-03,4.285141e-03,4.243669e-03,4.206944e-03,4.174678e-03,4.146595e-03,4.122432e-03,4.101933e-03,4.084855e-03,4.070963e-03,4.060033e-03,4.051851e-03,4.046212e-03,4.042918e-03,4.041782e-03,4.042625e-03,4.045277e-03,4.049576e-03,4.055365e-03,4.062499e-03,4.070838e-03,4.080249e-03,4.090608e-03,4.101795e-03,4.113700e-03,4.126216e-03,4.139246e-03,4.152695e-03,4.166478e-03
0.000000e+00,7.238877e-12,1.678133e-09,1.823482e-09,5.841046e-08,6.874005e-07,7.514353e-07,5.200601e-06,2.086217e-05,2.253374e-05,6.896584e-05,1.541939e-04,1.640238e-04,3.246892e-04,5.339154e-04,5.610772e-04,8.750146e-04,1.211194e-03,1.260998e-03,1.708390e-03,2.132111e-03,2.203841e-03,2.733345e-03,3.194730e-03,3.283683e-03,3.843270e-03,4.302244e-03,4.402519e-03,4.953863e-03,5.385354e-03,5.491593e-03,6.011587e-03,6.403018e-03,6.511026e-03,6.988110e-03,7.335094e-03,7.441822e-03,7.871720e-03,8.174489e-03,8.277784e-03,8.660289e-03,8.921369e-03,9.019716e-03,9.356683e-03,9.579570e-03,9.671892e-03,9.966098e-03,1.015456e-02,1.024008e-02,1.049463e-02,1.065237e-02,1.073053e-02,1.094856e-02,1.107907e-02,1.114947e-02,1.133401e-02,1.144052e-02,1.150290e-02,1.165683e-02,1.174228e-02,1.179647e-02,1.192247e-02,1.198955e-02,1.203545e-02,1.213603e-02,1.218715e-02,1.222478e-02,1.230226e-02,1.233960e-02,1.236901e-02,1.242554e-02,1.245107e-02,1.247236e-02,1.250994e-02,1.252541e-02,1.253874e-02,1.255921e-02,1.256620e-02,1.257177e-02,1.257682e-02,1.257673e-02,1.257476e-02,1.256596e-02,1.256005e-02,1.255079e-02,1.252960e-02,1.251898e-02,1.250270e-02,1.247043e-02,1.245609e-02,1.243309e-02,1.239098e-02,1.237378e-02,1.234437e-02,1.229353e-02,1.227424e-02,1.223872e-02,1.218020e-02,1.215949e-02,1.211819e-02,1.205293e-02,1.203139e-02,1.198463e-02,1.191350e-02,1.189164e-02,1.183974e-02,1.176354e-02,1.174179e-02,1.168508e-02,1.160454e-02,1.158328e-02,1.152209e-02,1.143787e-02,1.141742e-02,1.135206e-02,1.126478e-02,1.124540e-02,1.117619e-02,1.108640e-02,1.106831e-02,1.099556e-02,1.090377e-02,1.088716e-02,1.081116e-02,1.071783e-02,1.070284e-02,1.062389e-02,1.052944e-02,1.051619e-02,1.043458e-02,1.033938e-02,1.032794e-02,1.024394e-02,1.014835e-02,1.013878e-02,1.005267e-02,9.956977e-03,9.949323e-03,9.861348e-03,9.765846e-03,9.760121e-03,9.670533e-03,9.575468e-03,9.571672e-03,9.480709e-03,9.386308e-03,9.384424e-03,9.292316e-03,9.198779e-03,9.015095e-03,8.833689e-03,8.654846e-03,8.478813e-03,8.305808e-03,8.136023e-03,7.969620e-03,7.806741e-03,7.647506e-03,7.492013e-03,7.340345e-03,7.192566e-03,7.048726e-03,6.908862e-03,6.772997e-03,6.641142e-03,6.513300e-03,6.389463e-03,6.269616e-03,6.153734e-03,6.041788e-03,5.933741e-03,5.829549e-03,5.729167e-03,5.632541e-03,5.539615e-03,5.450331e-03,5.364626e-03,5.282433e-03,5.203686e-03,5.128313e-03,5.056243e-03,4.987402e-03,4.921716e-03,4.859109e-03,4.799503e-03,4.742822e-03,4.688986e-03,4.637918e-03,4.589540e-03,4.543771e-03,4.500535e-03,4.459752e-03,4.421344e-03,4.385233e-03,4.351343e-03,4.319597e-03,4.289918e-03,4.262233e-03
0.000000e+00,5.098454e-09,9.130766e-08,9.538600e-08,6.097711e-07,2.305685e-06,2.417782e-06,6.621049e-06,1.299322e-05,1.346148e-05,2.177647e-05,2.952705e-05,3.018412e-05,3.806339e-05,4.457876e-05,4.526842e-05,5.179698e-05,5.700843e-05,5.768197e-05,6.296391e-05,6.705542e-05,6.768389e-05,7.188177e-05,7.503237e-05,7.559555e-05,7.886130e-05,8.122880e-05,8.171301e-05,8.418269e-05,8.590351e-05,8.630022e-05,8.809364e-05,8.928434e-05,8.958902e-05,9.081073e-05,9.157031e-05,9.178160e-05,9.252282e-05,9.293510e-05,9.305407e-05,9.339368e-05,9.352914e-05,9.355867e-05,9.356481e-05,9.348248e-05,9.342675e-05,9.315805e-05,9.290716e-05,9.277128e-05,9.227808e-05,9.189953e-05,9.168922e-05,9.101465e-05,9.054222e-05,9.026357e-05,8.944448e-05,8.890595e-05,8.856522e-05,8.763301e-05,8.705107e-05,8.665453e-05,8.563590e-05,8.502895e-05,8.458277e-05,8.350032e-05,8.288314e-05,8.239332e-05,8.126613e-05,8.065048e-05,8.012276e-05,7.896688e-05,7.836200e-05,7.780183e-05,7.663067e-05,7.604367e-05,7.545618e-05,7.428090e-05,7.371717e-05,7.310713e-05,7.193696e-05,7.140042e-05,7.077228e-05,6.961478e-05,6.910816e-05,6.846600e-05,6.732731e-05,6.685237e-05,6.619994e-05,6.508499e-05,6.464271e-05,6.398342e-05,6.289609e-05,6.248680e-05,6.182375e-05,6.076705e-05,6.039058e-05,5.972656e-05,5.870274e-05,5.835852e-05,5.769602e-05,5.670672e-05,5.639387e-05,5.573511e-05,5.478142e-05,5.449883e-05,5.384580e-05,5.292836e-05,5.267475e-05,5.202918e-05,5.114827e-05,5.092223e-05,5.028564e-05,4.944123e-05,4.924128e-05,4.861498e-05,4.780679e-05,4.763140e-05,4.701652e-05,4.624405e-05,4.609167e-05,4.548919e-05,4.475177e-05,4.462087e-05,4.403158e-05,4.332842e-05,4.321748e-05,4.264205e-05,4.197225e-05,4.187979e-05,4.131877e-05,4.068135e-05,4.060593e-05,4.005974e-05,3.945366e-05,3.939390e-05,3.886286e-05,3.828705e-05,3.824163e-05,3.772597e-05,3.717932e-05,3.714698e-05,3.664684e-05,3.612824e-05,3.610778e-05,3.562324e-05,3.513156e-05,3.512186e-05,3.465292e-05,3.418705e-05,3.330120e-05,3.246218e-05,3.166793e-05,3.091640e-05,3.020563e-05,2.953370e-05,2.889875e-05,2.829898e-05,2.773267e-05,2.719815e-05,2.669382e-05,2.621816e-05,2.576970e-05,2.534702e-05,2.494880e-05,2.457374e-05,2.422062e-05,2.388828e-05,2.357562e-05,2.328156e-05,2.300511e-05,2.274532e-05,2.250127e-05,2.227209e-05,2.205699e-05,2.185516e-05,2.166589e-05,2.148847e-05,2.132223e-05,2.116655e-05,2.102084e-05,2.088453e-05,2.075709e-05,2.063801e-05,2.052682e-05,2.042305e-05,2.032629e-05,2.023614e-05,2.015219e-05,2.007411e-05,2.000153e-05,1.993415e-05,1.987165e-05,1.981374e-05,1.976016e-05,1.971064e-05,1.966494e-05,1.962283e-05,1.958410e-05
0.000000e+00,1.181639e-12,2.644253e-10,2.867446e-10,8.101772e-09,8.667101e-08,9.450271e-08,6.408954e-07,2.705482e-06,2.937013e-06,9.971803e-06,2.497102e-05,2.683389e-05,6.029202e-05,1.106762e-04,1.176935e-04,2.056393e-04,3.121122e-04,3.288583e-04,4.895154e-04,6.572297e-04,6.870009e-04,9.181345e-04,1.134484e-03,1.177649e-03,1.458824e-03,1.700290e-03,1.754146e-03,2.055923e-03,2.297020e-03,2.356789e-03,2.650085e-03,2.869894e-03,2.930108e-03,3.192249e-03,3.377330e-03,3.433020e-03,3.650026e-03,3.794450e-03,3.841862e-03,4.007995e-03,4.111782e-03,4.148621e-03,4.264519e-03,4.331574e-03,4.356909e-03,4.427328e-03,4.463548e-03,4.477521e-03,4.509342e-03,4.521198e-03,4.524681e-03,4.525405e-03,4.519031e-03,4.513309e-03,4.490089e-03,4.470801e-03,4.457317e-03,4.416432e-03,4.388554e-03,4.368736e-03,4.315390e-03,4.282273e-03,4.257426e-03,4.195748e-03,4.159884e-03,4.131144e-03,4.064296e-03,4.027475e-03,3.995791e-03,3.926129e-03,3.889592e-03,3.855737e-03,3.784974e-03,3.749550e-03,3.714144e-03,3.643499e-03,3.609719e-03,3.573252e-03,3.503576e-03,3.471758e-03,3.434616e-03,3.366490e-03,3.336804e-03,3.299292e-03,3.233100e-03,3.205615e-03,3.167975e-03,3.103965e-03,3.078681e-03,3.041106e-03,2.979426e-03,2.956301e-03,2.918945e-03,2.859676e-03,2.838638e-03,2.801627e-03,2.744802e-03,2.725760e-03,2.689199e-03,2.634816e-03,2.617671e-03,2.581647e-03,2.529682e-03,2.514326e-03,2.478912e-03,2.429324e-03,2.415649e-03,2.380904e-03,2.333638e-03,2.321536e-03,2.287511e-03,2.242506e-03,2.231870e-03,2.198607e-03,2.155796e-03,2.146522e-03,2.114057e-03,2.073370e-03,2.065357e-03,2.033718e-03,1.995082e-03,1.988235e-03,1.957445e-03,1.920786e-03,1.915010e-03,1.885088e-03,1.850332e-03,1.845541e-03,1.816500e-03,1.783574e-03,1.779683e-03,1.751534e-03,1.720363e-03,1.717293e-03,1.690044e-03,1.660557e-03,1.658234e-03,1.631886e-03,1.604013e-03,1.602365e-03,1.576921e-03,1.550593e-03,1.549555e-03,1.525012e-03,1.500162e-03,1.499672e-03,1.476027e-03,1.452590e-03,1.408187e-03,1.366342e-03,1.326943e-03,1.289877e-03,1.255038e-03,1.222325e-03,1.191637e-03,1.162881e-03,1.135964e-03,1.110801e-03,1.087305e-03,1.065398e-03,1.045001e-03,1.026040e-03,1.008444e-03,9.921441e-04,9.770759e-04,9.631759e-04,9.503840e-04,9.386424e-04,9.278957e-04,9.180907e-04,9.091766e-04,9.011044e-04,8.938275e-04,8.873008e-04,8.814814e-04,8.763280e-04,8.718011e-04,8.678628e-04,8.644769e-04,8.616086e-04,8.592246e-04,8.572932e-04,8.557837e-04,8.546672e-04,8.539157e-04,8.535026e-04,8.534026e-04,8.535914e-04,8.540458e-04,8.547439e-04,8.556647e-04,8.567881e-04,8.580954e-04,8.595683e-04,8.611899e-04,8.629441e-04,8.648154e-04
0.000000e+00,1.302163e-11,2.962134e-09,3.217126e-09,9.530436e-08,9.567522e-07,1.037996e-06,5.914298e-06,1.987884e-05,2.123879e-05,5.456529e-05,1.049224e-04,1.102054e-04,1.872565e-04,2.708097e-04,2.807023e-04,3.837679e-04,4.772047e-04,4.899183e-04,5.939445e-04,6.789346e-04,6.922625e-04,7.827443e-04,8.519302e-04,8.643805e-04,9.369276e-04,9.897885e-04,1.000620e-03,1.055962e-03,1.094647e-03,1.103587e-03,1.144177e-03,1.171388e-03,1.178406e-03,1.206919e-03,1.225137e-03,1.230315e-03,1.249144e-03,1.260431e-03,1.263903e-03,1.275044e-03,1.281054e-03,1.282972e-03,1.288053e-03,1.290091e-03,1.290612e-03,1.290942e-03,1.290028e-03,1.289305e-03,1.285935e-03,1.282865e-03,1.281042e-03,1.274813e-03,1.270203e-03,1.267415e-03,1.258998e-03,1.253326e-03,1.249694e-03,1.239623e-03,1.233257e-03,1.228891e-03,1.217593e-03,1.210815e-03,1.205814e-03,1.193628e-03,1.186651e-03,1.181103e-03,1.168298e-03,1.161287e-03,1.155268e-03,1.142058e-03,1.135133e-03,1.128713e-03,1.115268e-03,1.108519e-03,1.101757e-03,1.088210e-03,1.081702e-03,1.074652e-03,1.061107e-03,1.054887e-03,1.047596e-03,1.034136e-03,1.028234e-03,1.020743e-03,1.007431e-03,1.001867e-03,9.942124e-04,9.810979e-04,9.758834e-04,9.680968e-04,9.552169e-04,9.503559e-04,9.424654e-04,9.298483e-04,9.253400e-04,9.173706e-04,9.050366e-04,9.008765e-04,8.928501e-04,8.808140e-04,8.769946e-04,8.689308e-04,8.572023e-04,8.537142e-04,8.456301e-04,8.342153e-04,8.310474e-04,8.229586e-04,8.118605e-04,8.090010e-04,8.009212e-04,7.901405e-04,7.875767e-04,7.795181e-04,7.690536e-04,7.667725e-04,7.587462e-04,7.485952e-04,7.465837e-04,7.385995e-04,7.287582e-04,7.270030e-04,7.190699e-04,7.095335e-04,7.080217e-04,7.001476e-04,6.909107e-04,6.896294e-04,6.818215e-04,6.728783e-04,6.718148e-04,6.640796e-04,6.554238e-04,6.545660e-04,6.469092e-04,6.385342e-04,6.378702e-04,6.302972e-04,6.221963e-04,6.217146e-04,6.142300e-04,6.063964e-04,6.060858e-04,5.986940e-04,5.911209e-04,5.909707e-04,5.836754e-04,5.763558e-04,5.622279e-04,5.485737e-04,5.353802e-04,5.226344e-04,5.103238e-04,4.984357e-04,4.869581e-04,4.758790e-04,4.651867e-04,4.548697e-04,4.449170e-04,4.353175e-04,4.260608e-04,4.171365e-04,4.085345e-04,4.002450e-04,3.922585e-04,3.845658e-04,3.771578e-04,3.700257e-04,3.631609e-04,3.565553e-04,3.502008e-04,3.440894e-04,3.382137e-04,3.325662e-04,3.271397e-04,3.219272e-04,3.169221e-04,3.121176e-04,3.075074e-04,3.030852e-04,2.988451e-04,2.947812e-04,2.908877e-04,2.871592e-04,2.835903e-04,2.801757e-04,2.769105e-04,2.737896e-04,2.708083e-04,2.679620e-04,2.652461e-04,2.626563e-04,2.601884e-04,2.578381e-04,2.556015e-04,2.534747e-04,2.514538e-04
0.000000e+00,4.072120e-10,7.105805e-09,7.437976e-09,4.659660e-08,1.451928e-07,1.507043e-07,3.115358e-07,4.718214e-07,4.816237e-07,6.332771e-07,7.524071e-07,7.618735e-07,8.690473e-07,9.493398e-07,9.574022e-07,1.029458e-06,1.081178e-06,1.087465e-06,1.133391e-06,1.164540e-06,1.168953e-06,1.195636e-06,1.212139e-06,1.214732e-06,1.227358e-06,1.233562e-06,1.234476e-06,1.236921e-06,1.236002e-06,1.235416e-06,1.230584e-06,1.224854e-06,1.222962e-06,1.213013e-06,1.204141e-06,1.201132e-06,1.187663e-06,1.176848e-06,1.172899e-06,1.157091e-06,1.145185e-06,1.140454e-06,1.123173e-06,1.110778e-06,1.105404e-06,1.087284e-06,1.074819e-06,1.068925e-06,1.050425e-06,1.038178e-06,1.031866e-06,1.013318e-06,1.001480e-06,9.948396e-07,9.764800e-07,9.651750e-07,9.582803e-07,9.402743e-07,9.295758e-07,9.224904e-07,9.049515e-07,8.948986e-07,8.876761e-07,8.706790e-07,8.612867e-07,8.539719e-07,8.375636e-07,8.288297e-07,8.214605e-07,8.056671e-07,7.975779e-07,7.901861e-07,7.750190e-07,7.675532e-07,7.601657e-07,7.456254e-07,7.387568e-07,7.313963e-07,7.174759e-07,7.111754e-07,7.038611e-07,6.905484e-07,6.847854e-07,6.775335e-07,6.648124e-07,6.595559e-07,6.523801e-07,6.402321e-07,6.354513e-07,6.283633e-07,6.167685e-07,6.124333e-07,6.054426e-07,5.943804e-07,5.904616e-07,5.835766e-07,5.730260e-07,5.694955e-07,5.627232e-07,5.526629e-07,5.494941e-07,5.428401e-07,5.332496e-07,5.304169e-07,5.238862e-07,5.147449e-07,5.122245e-07,5.058208e-07,4.971090e-07,4.948781e-07,4.886047e-07,4.803031e-07,4.783404e-07,4.721996e-07,4.642897e-07,4.625751e-07,4.565689e-07,4.490328e-07,4.475474e-07,4.416772e-07,4.344978e-07,4.332239e-07,4.274905e-07,4.206513e-07,4.195723e-07,4.139762e-07,4.074614e-07,4.065620e-07,4.011032e-07,3.948978e-07,3.941633e-07,3.888417e-07,3.829313e-07,3.823481e-07,3.771631e-07,3.715339e-07,3.710895e-07,3.660403e-07,3.606791e-07,3.603615e-07,3.554471e-07,3.503414e-07,3.501397e-07,3.453588e-07,3.404966e-07,3.404005e-07,3.357517e-07,3.311215e-07,3.222812e-07,3.138593e-07,3.058362e-07,2.981932e-07,2.909128e-07,2.839779e-07,2.773723e-07,2.710808e-07,2.650886e-07,2.593817e-07,2.539468e-07,2.487711e-07,2.438425e-07,2.391494e-07,2.346808e-07,2.304262e-07,2.263755e-07,2.225191e-07,2.188480e-07,2.153534e-07,2.120271e-07,2.088612e-07,2.058480e-07,2.029806e-07,2.002519e-07,1.976555e-07,1.951851e-07,1.928349e-07,1.905992e-07,1.884725e-07,1.864498e-07,1.845261e-07,1.826968e-07,1.809574e-07,1.793037e-07,1.777317e-07,1.762374e-07,1.748173e-07,1.734678e-07,1.721856e-07,1.709675e-07,1.698105e-07,1.687116e-07,1.676682e-07,1.666776e-07,1.657373e-07,1.648449e-07,1.639982e-07,1.631949e-07
0.000000e+00,8.696461e-09,2.192644e-07,2.303129e-07,1.756482e-06,6.802247e-06,7.126151e-06,1.856103e-05,3.414710e-05,3.523800e-05,5.392958e-05,7.084120e-05,7.227103e-05,8.947864e-05,1.038717e-04,1.054070e-04,1.200732e-04,1.319788e-04,1.335322e-04,1.458472e-04,1.555722e-04,1.570825e-04,1.673007e-04,1.751425e-04,1.765626e-04,1.849264e-04,1.911536e-04,1.924477e-04,1.991793e-04,2.040299e-04,2.051715e-04,2.104720e-04,2.141554e-04,2.151261e-04,2.191765e-04,2.218761e-04,2.226638e-04,2.256261e-04,2.275015e-04,2.280995e-04,2.301181e-04,2.313079e-04,2.317139e-04,2.329172e-04,2.335414e-04,2.337566e-04,2.342587e-04,2.344204e-04,2.344488e-04,2.343507e-04,2.341390e-04,2.339867e-04,2.333778e-04,2.328687e-04,2.325437e-04,2.315029e-04,2.307616e-04,2.302729e-04,2.288699e-04,2.279515e-04,2.273093e-04,2.256053e-04,2.245567e-04,2.237715e-04,2.218204e-04,2.206811e-04,2.197639e-04,2.176130e-04,2.164158e-04,2.153779e-04,2.130684e-04,2.118410e-04,2.106934e-04,2.082614e-04,2.070264e-04,2.057801e-04,2.032570e-04,2.020330e-04,2.006988e-04,1.981118e-04,1.969137e-04,1.955019e-04,1.928747e-04,1.917145e-04,1.902351e-04,1.875879e-04,1.864748e-04,1.849374e-04,1.822877e-04,1.812289e-04,1.796425e-04,1.770052e-04,1.760057e-04,1.743789e-04,1.717666e-04,1.708301e-04,1.691710e-04,1.665943e-04,1.657230e-04,1.640390e-04,1.615069e-04,1.607019e-04,1.590000e-04,1.565199e-04,1.557813e-04,1.540681e-04,1.516459e-04,1.509731e-04,1.492545e-04,1.468951e-04,1.462870e-04,1.445686e-04,1.422757e-04,1.417305e-04,1.400172e-04,1.377938e-04,1.373094e-04,1.356059e-04,1.334540e-04,1.330280e-04,1.313385e-04,1.292595e-04,1.288892e-04,1.272174e-04,1.252123e-04,1.248949e-04,1.232442e-04,1.213131e-04,1.210457e-04,1.194191e-04,1.175621e-04,1.173417e-04,1.157419e-04,1.139584e-04,1.137821e-04,1.122114e-04,1.105006e-04,1.103653e-04,1.088258e-04,1.071867e-04,1.070895e-04,1.055830e-04,1.040143e-04,1.039523e-04,1.024803e-04,1.009805e-04,1.009509e-04,9.951465e-05,9.808224e-05,9.534307e-05,9.272991e-05,9.023913e-05,8.786701e-05,8.560975e-05,8.346352e-05,8.142446e-05,7.948873e-05,7.765249e-05,7.591196e-05,7.426341e-05,7.270317e-05,7.122762e-05,6.983327e-05,6.851666e-05,6.727446e-05,6.610341e-05,6.500036e-05,6.396225e-05,6.298613e-05,6.206914e-05,6.120851e-05,6.040160e-05,5.964584e-05,5.893875e-05,5.827797e-05,5.766122e-05,5.708631e-05,5.655113e-05,5.605367e-05,5.559201e-05,5.516429e-05,5.476874e-05,5.440367e-05,5.406746e-05,5.375855e-05,5.347548e-05,5.321682e-05,5.298123e-05,5.276741e-05,5.257414e-05,5.240025e-05,5.224462e-05,5.210618e-05,5.198392e-05,5.187688e-05,5.178413e-05,5.170480e-05,5.163806e-05
0.000000e+00,1.111332e-12,2.492865e-10,2.703716e-10,7.770034e-09,8.559321e-08,9.345387e-08,6.554282e-07,2.842853e-06,3.090798e-06,1.071875e-05,2.721922e-05,2.927975e-05,6.651159e-05,1.230530e-04,1.309590e-04,2.305258e-04,3.520341e-04,3.712279e-04,5.563978e-04,7.515612e-04,7.863952e-04,1.058751e-03,1.316771e-03,1.368613e-03,1.709363e-03,2.006428e-03,2.073276e-03,2.452148e-03,2.760529e-03,2.837833e-03,3.222660e-03,3.517761e-03,3.599734e-03,3.963129e-03,4.227121e-03,4.307968e-03,4.630437e-03,4.852982e-03,4.927742e-03,5.198025e-03,5.375291e-03,5.440258e-03,5.654117e-03,5.787057e-03,5.839866e-03,5.998242e-03,6.090848e-03,6.130339e-03,6.237521e-03,6.295359e-03,6.321337e-03,6.383443e-03,6.412590e-03,6.425555e-03,6.449393e-03,6.455742e-03,6.456655e-03,6.448985e-03,6.437873e-03,6.427954e-03,6.395046e-03,6.371067e-03,6.351647e-03,6.299048e-03,6.266020e-03,6.238435e-03,6.170899e-03,6.131904e-03,6.097432e-03,6.018935e-03,5.976403e-03,5.936222e-03,5.850025e-03,5.805828e-03,5.761001e-03,5.669737e-03,5.625291e-03,5.576757e-03,5.482526e-03,5.438875e-03,5.387455e-03,5.291909e-03,5.249801e-03,5.196207e-03,5.100631e-03,5.060587e-03,5.005427e-03,4.910809e-03,4.873169e-03,4.816964e-03,4.724053e-03,4.689021e-03,4.632214e-03,4.541564e-03,4.509242e-03,4.452206e-03,4.364224e-03,4.334636e-03,4.277688e-03,4.192656e-03,4.165772e-03,4.109176e-03,4.027283e-03,4.003029e-03,3.947007e-03,3.868367e-03,3.846643e-03,3.791378e-03,3.716048e-03,3.696734e-03,3.642378e-03,3.570368e-03,3.553332e-03,3.500012e-03,3.431299e-03,3.416402e-03,3.364219e-03,3.298754e-03,3.285854e-03,3.234889e-03,3.172604e-03,3.161559e-03,3.111878e-03,3.052689e-03,3.043360e-03,2.995013e-03,2.938825e-03,2.931077e-03,2.884102e-03,2.830815e-03,2.824516e-03,2.778940e-03,2.728450e-03,2.723476e-03,2.679316e-03,2.631513e-03,2.627746e-03,2.585013e-03,2.539788e-03,2.537115e-03,2.495812e-03,2.453057e-03,2.451372e-03,2.411497e-03,2.371105e-03,2.370309e-03,2.331854e-03,2.293718e-03,2.221398e-03,2.153152e-03,2.088790e-03,2.028126e-03,1.970982e-03,1.917187e-03,1.866575e-03,1.818989e-03,1.774276e-03,1.732291e-03,1.692896e-03,1.655956e-03,1.621345e-03,1.588942e-03,1.558631e-03,1.530303e-03,1.503851e-03,1.479176e-03,1.456182e-03,1.434778e-03,1.414879e-03,1.396401e-03,1.379266e-03,1.363400e-03,1.348732e-03,1.335194e-03,1.322722e-03,1.311256e-03,1.300736e-03,1.291109e-03,1.282321e-03,1.274323e-03,1.267068e-03,1.260510e-03,1.254608e-03,1.249320e-03,1.244608e-03,1.240435e-03,1.236768e-03,1.233572e-03,1.230818e-03,1.228474e-03,1.226514e-03,1.224911e-03,1.223640e-03,1.222676e-03,1.221998e-03,1.221583e-03,1.221413e-03
0.000000e+00,8.937229e-11,1.330519e-08,1.432599e-08,2.938014e-07,2.348729e-06,2.529363e-06,1.244293e-05,3.821162e-05,4.063114e-05,9.722497e-05,1.759871e-04,1.838766e-04,2.923204e-04,3.982385e-04,4.101002e-04,5.264452e-04,6.221586e-04,6.345660e-04,7.312547e-04,8.045566e-04,8.156338e-04,8.880558e-04,9.402970e-04,9.494143e-04,1.000776e-03,1.036185e-03,1.043210e-03,1.077724e-03,1.100251e-03,1.105234e-03,1.126569e-03,1.139404e-03,1.142471e-03,1.153602e-03,1.159237e-03,1.160553e-03,1.163849e-03,1.164213e-03,1.163959e-03,1.161298e-03,1.157874e-03,1.156233e-03,1.149094e-03,1.143018e-03,1.140169e-03,1.129715e-03,1.121851e-03,1.117960e-03,1.105106e-03,1.096107e-03,1.091330e-03,1.076791e-03,1.067149e-03,1.061626e-03,1.045958e-03,1.036039e-03,1.029895e-03,1.013532e-03,1.003605e-03,9.969516e-04,9.802270e-04,9.704861e-04,9.634220e-04,9.465921e-04,9.371749e-04,9.297860e-04,9.130457e-04,9.040464e-04,8.964079e-04,8.799043e-04,8.713846e-04,8.635619e-04,8.474036e-04,8.393997e-04,8.314490e-04,8.157148e-04,8.082448e-04,8.002149e-04,7.849607e-04,7.780290e-04,7.699617e-04,7.552253e-04,7.488259e-04,7.407571e-04,7.265616e-04,7.206816e-04,7.126419e-04,6.990001e-04,6.936214e-04,6.856371e-04,6.725532e-04,6.676543e-04,6.597476e-04,6.472192e-04,6.427764e-04,6.349661e-04,6.229862e-04,6.189748e-04,6.112768e-04,5.998349e-04,5.962294e-04,5.886570e-04,5.777397e-04,5.745147e-04,5.670790e-04,5.566712e-04,5.538017e-04,5.465119e-04,5.365972e-04,5.340588e-04,5.269225e-04,5.174837e-04,5.152530e-04,5.082762e-04,4.992957e-04,4.973500e-04,4.905376e-04,4.819974e-04,4.803152e-04,4.736708e-04,4.655533e-04,4.641140e-04,4.576405e-04,4.499280e-04,4.487123e-04,4.424115e-04,4.350868e-04,4.340764e-04,4.279496e-04,4.209957e-04,4.201734e-04,4.142211e-04,4.076216e-04,4.069712e-04,4.011935e-04,3.949326e-04,3.944388e-04,3.888352e-04,3.828975e-04,3.825462e-04,3.771157e-04,3.714864e-04,3.712643e-04,3.660058e-04,3.606706e-04,3.605654e-04,3.554772e-04,3.504224e-04,3.408097e-04,3.317026e-04,3.230774e-04,3.149114e-04,3.071830e-04,2.998713e-04,2.929566e-04,2.864199e-04,2.802432e-04,2.744090e-04,2.689010e-04,2.637033e-04,2.588010e-04,2.541796e-04,2.498254e-04,2.457255e-04,2.418672e-04,2.382387e-04,2.348287e-04,2.316263e-04,2.286212e-04,2.258035e-04,2.231639e-04,2.206933e-04,2.183832e-04,2.162254e-04,2.142123e-04,2.123363e-04,2.105904e-04,2.089678e-04,2.074621e-04,2.060673e-04,2.047773e-04,2.035867e-04,2.024902e-04,2.014827e-04,2.005593e-04,1.997155e-04,1.989469e-04,1.982493e-04,1.976188e-04,1.970515e-04,1.965438e-04,1.960924e-04,1.956938e-04,1.953451e-04,1.950432e-04,1.947854e-04,1.945689e-04
0.000000e+00,5.935559e-09,1.327080e-07,1.395409e-07,1.082877e-06,3.898218e-06,4.062637e-06,8.881839e-06,1.371527e-05,1.401682e-05,1.884357e-05,2.292768e-05,2.326661e-05,2.729129e-05,3.059120e-05,3.093982e-05,3.423654e-05,3.686546e-05,3.720513e-05,3.986822e-05,4.193061e-05,4.224738e-05,4.436308e-05,4.595093e-05,4.623477e-05,4.788081e-05,4.907434e-05,4.931848e-05,5.056401e-05,5.143233e-05,5.163258e-05,5.253843e-05,5.314059e-05,5.329480e-05,5.391395e-05,5.429977e-05,5.440728e-05,5.478541e-05,5.499687e-05,5.505816e-05,5.523465e-05,5.530690e-05,5.532334e-05,5.533205e-05,5.529444e-05,5.526800e-05,5.513788e-05,5.501484e-05,5.494788e-05,5.470372e-05,5.451548e-05,5.441066e-05,5.407360e-05,5.383686e-05,5.369701e-05,5.328505e-05,5.301356e-05,5.284154e-05,5.237001e-05,5.207500e-05,5.187370e-05,5.135560e-05,5.104621e-05,5.081846e-05,5.026480e-05,4.994842e-05,4.969697e-05,4.911707e-05,4.879962e-05,4.852709e-05,4.792880e-05,4.761497e-05,4.732387e-05,4.671378e-05,4.640724e-05,4.609992e-05,4.548355e-05,4.518714e-05,4.486582e-05,4.424776e-05,4.396362e-05,4.363034e-05,4.301442e-05,4.274409e-05,4.240078e-05,4.179013e-05,4.153470e-05,4.118311e-05,4.058030e-05,4.034048e-05,3.998223e-05,3.938935e-05,3.916551e-05,3.880209e-05,3.822081e-05,3.801308e-05,3.764585e-05,3.707749e-05,3.688580e-05,3.651599e-05,3.596156e-05,3.578567e-05,3.541441e-05,3.487469e-05,3.471424e-05,3.434254e-05,3.381807e-05,3.367262e-05,3.330139e-05,3.279256e-05,3.266155e-05,3.229163e-05,3.179865e-05,3.168153e-05,3.131365e-05,3.083662e-05,3.073275e-05,3.036758e-05,2.990650e-05,2.981524e-05,2.945336e-05,2.900814e-05,2.892883e-05,2.857078e-05,2.814124e-05,2.807324e-05,2.771947e-05,2.730540e-05,2.724804e-05,2.689896e-05,2.650009e-05,2.645273e-05,2.610870e-05,2.572472e-05,2.568672e-05,2.534806e-05,2.497863e-05,2.494938e-05,2.461634e-05,2.426111e-05,2.424002e-05,2.391284e-05,2.357143e-05,2.355791e-05,2.323678e-05,2.290881e-05,2.290232e-05,2.258740e-05,2.227247e-05,2.166761e-05,2.108695e-05,2.052971e-05,1.999515e-05,1.948248e-05,1.899096e-05,1.851986e-05,1.806845e-05,1.763602e-05,1.722189e-05,1.682539e-05,1.644586e-05,1.608266e-05,1.573519e-05,1.540285e-05,1.508505e-05,1.478125e-05,1.449089e-05,1.421346e-05,1.394846e-05,1.369539e-05,1.345378e-05,1.322320e-05,1.300319e-05,1.279333e-05,1.259323e-05,1.240249e-05,1.222074e-05,1.204762e-05,1.188276e-05,1.172585e-05,1.157656e-05,1.143457e-05,1.129960e-05,1.117134e-05,1.104953e-05,1.093390e-05,1.082420e-05,1.072017e-05,1.062158e-05,1.052821e-05,1.043983e-05,1.035624e-05,1.027723e-05,1.020261e-05,1.013220e-05,1.006581e-05,1.000327e-05,9.944410e-06
0.000000e+00,3.703580e-10,3.555952e-08,3.798644e-08,5.532560e-07,3.432680e-06,3.661978e-06,1.454035e-05,3.758991e-05,3.956271e-05,8.070915e-05,1.285661e-04,1.329723e-04,1.888819e-04,2.380166e-04,2.433128e-04,2.940465e-04,3.351442e-04,3.404893e-04,3.826795e-04,4.157375e-04,4.208495e-04,4.552746e-04,4.814979e-04,4.862280e-04,5.139698e-04,5.344937e-04,5.387447e-04,5.607813e-04,5.765830e-04,5.802930e-04,5.974786e-04,6.093877e-04,6.125226e-04,6.255967e-04,6.343139e-04,6.368600e-04,6.464603e-04,6.525745e-04,6.545341e-04,6.612079e-04,6.652122e-04,6.665986e-04,6.708144e-04,6.731202e-04,6.739551e-04,6.761130e-04,6.770628e-04,6.773734e-04,6.778148e-04,6.776931e-04,6.775100e-04,6.765259e-04,6.755683e-04,6.749243e-04,6.727623e-04,6.711636e-04,6.700925e-04,6.669633e-04,6.648841e-04,6.634195e-04,6.595023e-04,6.570743e-04,6.552496e-04,6.506964e-04,6.480274e-04,6.458749e-04,6.408147e-04,6.379927e-04,6.355432e-04,6.300854e-04,6.271815e-04,6.244644e-04,6.187015e-04,6.157729e-04,6.128161e-04,6.068261e-04,6.039187e-04,6.007481e-04,5.945970e-04,5.917469e-04,5.883868e-04,5.821302e-04,5.793655e-04,5.758386e-04,5.695229e-04,5.668654e-04,5.631926e-04,5.568568e-04,5.543227e-04,5.505234e-04,5.441998e-04,5.418009e-04,5.378929e-04,5.316087e-04,5.293531e-04,5.253528e-04,5.191302e-04,5.170230e-04,5.129456e-04,5.068029e-04,5.048467e-04,5.007060e-04,4.946581e-04,4.928538e-04,4.886623e-04,4.827213e-04,4.810680e-04,4.768374e-04,4.710128e-04,4.695083e-04,4.652493e-04,4.595486e-04,4.581899e-04,4.539120e-04,4.483409e-04,4.471241e-04,4.428363e-04,4.373990e-04,4.363197e-04,4.320299e-04,4.267295e-04,4.257828e-04,4.214984e-04,4.163368e-04,4.155174e-04,4.112450e-04,4.062233e-04,4.055258e-04,4.012716e-04,3.963901e-04,3.958090e-04,3.915785e-04,3.868367e-04,3.863664e-04,3.821646e-04,3.775618e-04,3.771966e-04,3.730281e-04,3.685630e-04,3.682973e-04,3.641663e-04,3.598373e-04,3.596656e-04,3.555757e-04,3.513810e-04,3.512978e-04,3.472526e-04,3.431899e-04,3.353375e-04,3.277359e-04,3.203800e-04,3.132648e-04,3.063850e-04,2.997352e-04,2.933101e-04,2.871041e-04,2.811120e-04,2.753282e-04,2.697475e-04,2.643644e-04,2.591738e-04,2.541704e-04,2.493492e-04,2.447051e-04,2.402332e-04,2.359287e-04,2.317867e-04,2.278028e-04,2.239723e-04,2.202908e-04,2.167540e-04,2.133575e-04,2.100974e-04,2.069694e-04,2.039697e-04,2.010944e-04,1.983398e-04,1.957022e-04,1.931779e-04,1.907636e-04,1.884558e-04,1.862512e-04,1.841465e-04,1.821387e-04,1.802246e-04,1.784012e-04,1.766657e-04,1.750152e-04,1.734468e-04,1.719580e-04,1.705461e-04,1.692085e-04,1.679427e-04,1.667463e-04,1.656168e-04,1.645521e-04,1.635498e-04
0.000000e+00,2.132195e-09,2.333182e-08,2.424391e-08,1.217456e-07,3.728167e-07,3.877952e-07,8.915466e-07,1.570964e-06,1.619660e-06,2.490243e-06,3.334529e-06,3.407800e-06,4.303704e-06,5.064036e-06,5.145384e-06,5.923130e-06,6.554173e-06,6.636436e-06,7.287729e-06,7.800717e-06,7.880261e-06,8.417448e-06,8.828384e-06,8.902662e-06,9.339176e-06,9.662975e-06,9.730117e-06,1.007847e-05,1.032839e-05,1.038705e-05,1.065855e-05,1.084621e-05,1.089550e-05,1.110028e-05,1.123578e-05,1.127514e-05,1.142221e-05,1.151432e-05,1.154348e-05,1.164083e-05,1.169710e-05,1.171602e-05,1.177072e-05,1.179766e-05,1.180649e-05,1.182477e-05,1.182793e-05,1.182696e-05,1.181433e-05,1.179847e-05,1.178809e-05,1.174937e-05,1.171854e-05,1.169924e-05,1.163867e-05,1.159629e-05,1.156860e-05,1.148990e-05,1.143888e-05,1.140338e-05,1.130979e-05,1.125255e-05,1.120985e-05,1.110420e-05,1.104279e-05,1.099348e-05,1.087825e-05,1.081434e-05,1.075905e-05,1.063638e-05,1.057137e-05,1.051069e-05,1.038243e-05,1.031746e-05,1.025199e-05,1.011974e-05,1.005572e-05,9.986027e-06,9.851170e-06,9.788834e-06,9.715464e-06,9.579181e-06,9.519099e-06,9.442573e-06,9.305872e-06,9.248482e-06,9.169293e-06,9.033031e-06,8.978657e-06,8.897268e-06,8.762167e-06,8.711035e-06,8.627880e-06,8.494544e-06,8.446801e-06,8.362285e-06,8.231215e-06,8.186942e-06,8.101439e-06,7.973048e-06,7.932269e-06,7.846125e-06,7.720746e-06,7.683443e-06,7.596976e-06,7.474873e-06,7.440991e-06,7.354491e-06,7.235872e-06,7.205325e-06,7.119055e-06,7.004074e-06,6.976755e-06,6.890955e-06,6.779720e-06,6.755504e-06,6.670388e-06,6.562971e-06,6.541719e-06,6.457481e-06,6.353922e-06,6.335487e-06,6.252298e-06,6.152608e-06,6.136837e-06,6.054850e-06,5.959018e-06,5.945755e-06,5.865103e-06,5.773096e-06,5.762183e-06,5.682983e-06,5.594751e-06,5.586030e-06,5.508383e-06,5.423862e-06,5.417179e-06,5.341169e-06,5.260284e-06,5.255488e-06,5.181187e-06,5.103855e-06,5.100798e-06,5.028264e-06,4.954392e-06,4.952932e-06,4.882217e-06,4.811712e-06,4.676941e-06,4.548418e-06,4.425936e-06,4.309285e-06,4.198255e-06,4.092639e-06,3.992229e-06,3.896821e-06,3.806212e-06,3.720204e-06,3.638603e-06,3.561219e-06,3.487869e-06,3.418373e-06,3.352558e-06,3.290257e-06,3.231308e-06,3.175553e-06,3.122843e-06,3.073032e-06,3.025982e-06,2.981558e-06,2.939633e-06,2.900083e-06,2.862791e-06,2.827644e-06,2.794534e-06,2.763359e-06,2.734021e-06,2.706424e-06,2.680481e-06,2.656104e-06,2.633214e-06,2.611733e-06,2.591586e-06,2.572704e-06,2.555020e-06,2.538469e-06,2.522992e-06,2.508530e-06,2.495030e-06,2.482439e-06,2.470707e-06,2.459788e-06,2.449638e-06,2.440213e-06,2.431474e-06,2.423382e-06,2.415902e-06
0.000000e+00,7.728865e-13,2.296870e-10,2.507591e-10,9.533528e-09,1.197006e-07,1.310415e-07,9.300753e-07,3.832834e-06,4.149188e-06,1.331265e-05,3.153254e-05,3.372834e-05,7.187544e-05,1.269283e-04,1.344681e-04,2.275061e-04,3.382097e-04,3.555245e-04,5.211341e-04,6.940780e-04,7.248590e-04,9.652259e-04,1.193149e-03,1.239030e-03,1.541706e-03,1.807600e-03,1.867745e-03,2.211096e-03,2.494059e-03,2.565539e-03,2.924987e-03,3.205139e-03,3.283730e-03,3.636604e-03,3.898063e-03,3.979100e-03,4.307423e-03,4.539425e-03,4.618502e-03,4.909967e-03,5.106693e-03,5.180109e-03,5.427813e-03,5.587520e-03,5.652489e-03,5.854001e-03,5.977905e-03,6.032586e-03,6.188788e-03,6.279994e-03,6.323393e-03,6.437368e-03,6.499987e-03,6.531809e-03,6.607902e-03,6.646405e-03,6.666880e-03,6.709996e-03,6.728770e-03,6.738495e-03,6.753598e-03,6.756688e-03,6.756488e-03,6.748294e-03,6.739266e-03,6.730088e-03,6.702881e-03,6.684781e-03,6.667616e-03,6.625171e-03,6.600535e-03,6.576360e-03,6.521931e-03,6.492826e-03,6.462571e-03,6.398911e-03,6.366997e-03,6.331524e-03,6.260933e-03,6.227517e-03,6.187611e-03,6.111989e-03,6.078087e-03,6.034454e-03,5.955357e-03,5.921747e-03,5.875013e-03,5.793707e-03,5.760974e-03,5.711694e-03,5.629202e-03,5.597772e-03,5.546435e-03,5.463578e-03,5.433759e-03,5.380793e-03,5.298225e-03,5.270226e-03,5.216005e-03,5.134248e-03,5.108200e-03,5.053054e-03,4.972513e-03,4.948491e-03,4.892705e-03,4.813699e-03,4.791729e-03,4.735554e-03,4.658324e-03,4.638400e-03,4.582054e-03,4.506784e-03,4.488872e-03,4.432546e-03,4.359369e-03,4.343415e-03,4.287276e-03,4.216286e-03,4.202222e-03,4.146415e-03,4.077674e-03,4.065421e-03,4.010072e-03,3.943616e-03,3.933089e-03,3.878308e-03,3.814150e-03,3.805260e-03,3.751142e-03,3.689281e-03,3.681934e-03,3.628563e-03,3.568982e-03,3.563086e-03,3.510532e-03,3.453206e-03,3.448668e-03,3.396993e-03,3.341885e-03,3.338613e-03,3.287870e-03,3.234938e-03,3.232843e-03,3.183077e-03,3.132274e-03,3.131268e-03,3.082516e-03,3.033790e-03,2.940305e-03,2.850704e-03,2.764879e-03,2.682716e-03,2.604103e-03,2.528925e-03,2.457072e-03,2.388431e-03,2.322894e-03,2.260352e-03,2.200700e-03,2.143835e-03,2.089656e-03,2.038065e-03,1.988966e-03,1.942266e-03,1.897875e-03,1.855706e-03,1.815674e-03,1.777697e-03,1.741695e-03,1.707591e-03,1.675310e-03,1.644782e-03,1.615935e-03,1.588703e-03,1.563020e-03,1.538825e-03,1.516055e-03,1.494653e-03,1.474561e-03,1.455725e-03,1.438093e-03,1.421612e-03,1.406234e-03,1.391911e-03,1.378598e-03,1.366248e-03,1.354821e-03,1.344273e-03,1.334566e-03,1.325661e-03,1.317519e-03,1.310106e-03,1.303385e-03,1.297325e-03,1.291892e-03,1.287054e-03,1.282782e-03
0.000000e+00,1.031533e-08,2.322933e-07,2.438528e-07,1.747409e-06,6.180010e-06,6.449475e-06,1.531103e-05,2.607196e-05,2.678790e-05,3.864341e-05,4.903069e-05,4.990239e-05,6.035007e-05,6.904659e-05,6.997246e-05,7.880065e-05,8.594479e-05,8.687538e-05,9.423899e-05,1.000348e-04,1.009332e-04,1.069991e-04,1.116376e-04,1.124759e-04,1.174017e-04,1.210550e-04,1.218125e-04,1.257428e-04,1.285629e-04,1.292249e-04,1.322897e-04,1.344091e-04,1.349660e-04,1.372810e-04,1.388147e-04,1.392605e-04,1.409285e-04,1.419756e-04,1.423076e-04,1.434189e-04,1.440646e-04,1.442825e-04,1.449169e-04,1.452340e-04,1.453395e-04,1.455669e-04,1.456177e-04,1.456141e-04,1.454957e-04,1.453333e-04,1.452249e-04,1.448144e-04,1.444838e-04,1.442758e-04,1.436201e-04,1.431592e-04,1.428575e-04,1.419975e-04,1.414385e-04,1.410491e-04,1.400206e-04,1.393904e-04,1.389197e-04,1.377537e-04,1.370747e-04,1.365292e-04,1.352526e-04,1.345436e-04,1.339297e-04,1.325659e-04,1.318423e-04,1.311663e-04,1.297355e-04,1.290099e-04,1.282780e-04,1.267977e-04,1.260802e-04,1.252985e-04,1.237837e-04,1.230826e-04,1.222566e-04,1.207202e-04,1.200420e-04,1.191772e-04,1.176302e-04,1.169799e-04,1.160816e-04,1.145333e-04,1.139146e-04,1.129876e-04,1.114461e-04,1.108618e-04,1.099105e-04,1.083825e-04,1.078345e-04,1.068633e-04,1.053543e-04,1.048438e-04,1.038567e-04,1.023714e-04,1.018989e-04,1.008995e-04,9.944177e-05,9.900734e-05,9.799905e-05,9.657202e-05,9.617535e-05,9.516131e-05,9.376746e-05,9.340789e-05,9.239097e-05,9.103227e-05,9.070887e-05,8.969172e-05,8.836964e-05,8.808129e-05,8.706631e-05,8.578196e-05,8.552738e-05,8.451676e-05,8.327086e-05,8.304866e-05,8.204438e-05,8.083739e-05,8.064608e-05,7.964994e-05,7.848205e-05,7.832010e-05,7.733370e-05,7.620488e-05,7.607073e-05,7.509553e-05,7.400557e-05,7.389764e-05,7.293493e-05,7.188348e-05,7.180019e-05,7.085111e-05,6.983768e-05,6.977748e-05,6.884305e-05,6.786704e-05,6.782839e-05,6.690950e-05,6.597023e-05,6.595163e-05,6.504905e-05,6.414577e-05,6.240924e-05,6.074042e-05,5.913758e-05,5.759897e-05,5.612279e-05,5.470721e-05,5.335040e-05,5.205053e-05,5.080578e-05,4.961433e-05,4.847439e-05,4.738421e-05,4.634205e-05,4.534620e-05,4.439501e-05,4.348685e-05,4.262013e-05,4.179330e-05,4.100486e-05,4.025335e-05,3.953734e-05,3.885547e-05,3.820638e-05,3.758880e-05,3.700146e-05,3.644316e-05,3.591272e-05,3.540901e-05,3.493094e-05,3.447745e-05,3.404751e-05,3.364015e-05,3.325442e-05,3.288939e-05,3.254420e-05,3.221797e-05,3.190991e-05,3.161921e-05,3.134511e-05,3.108688e-05,3.084382e-05,3.061525e-05,3.040051e-05,3.019897e-05,3.001003e-05,2.983310e-05,2.966763e-05,2.951307e-05,2.936891e-05
0.000000e+00,4.446960e-13,1.100342e-10,1.195871e-10,3.747636e-09,4.309068e-08,4.709619e-08,3.344713e-07,1.450066e-06,1.576326e-06,5.463969e-06,1.395184e-05,1.502024e-05,3.462312e-05,6.532155e-05,6.969207e-05,1.261494e-04,1.981475e-04,2.097993e-04,3.257443e-04,4.543248e-04,4.779190e-04,6.687803e-04,8.596580e-04,8.991608e-04,1.168269e-03,1.416272e-03,1.473813e-03,1.812202e-03,2.103485e-03,2.178816e-03,2.568285e-03,2.884194e-03,2.974778e-03,3.392272e-03,3.713239e-03,3.814789e-03,4.236591e-03,4.545110e-03,4.652346e-03,5.057242e-03,5.339651e-03,5.447063e-03,5.818233e-03,6.065364e-03,6.167830e-03,6.493579e-03,6.700592e-03,6.793813e-03,7.067438e-03,7.233153e-03,7.313874e-03,7.532995e-03,7.659007e-03,7.725069e-03,7.890695e-03,7.980472e-03,8.030741e-03,8.146291e-03,8.204375e-03,8.238589e-03,8.308998e-03,8.340370e-03,8.358954e-03,8.389933e-03,8.399547e-03,8.403423e-03,8.400895e-03,8.393379e-03,8.383789e-03,8.353494e-03,8.332972e-03,8.311337e-03,8.258575e-03,8.228590e-03,8.196391e-03,8.125888e-03,8.089396e-03,8.048092e-03,7.963952e-03,7.923359e-03,7.874336e-03,7.780039e-03,7.737255e-03,7.681786e-03,7.580232e-03,7.536740e-03,7.475971e-03,7.369539e-03,7.326467e-03,7.261414e-03,7.152028e-03,7.110211e-03,7.041763e-03,6.930962e-03,6.891002e-03,6.819929e-03,6.708932e-03,6.671245e-03,6.598210e-03,6.487974e-03,6.452832e-03,6.378408e-03,6.269673e-03,6.237236e-03,6.161911e-03,6.055244e-03,6.025589e-03,5.949781e-03,5.845611e-03,5.818749e-03,5.742816e-03,5.641461e-03,5.617357e-03,5.541605e-03,5.443295e-03,5.421878e-03,5.346571e-03,5.251466e-03,5.232642e-03,5.158007e-03,5.066212e-03,5.049867e-03,4.976098e-03,4.887675e-03,4.873685e-03,4.800949e-03,4.715924e-03,4.704156e-03,4.632598e-03,4.550970e-03,4.541288e-03,4.471033e-03,4.392779e-03,4.385046e-03,4.316199e-03,4.241281e-03,4.235359e-03,4.168012e-03,4.096377e-03,4.092130e-03,4.026360e-03,3.957945e-03,3.955241e-03,3.891114e-03,3.825849e-03,3.824559e-03,3.762130e-03,3.699938e-03,3.581222e-03,3.468250e-03,3.360858e-03,3.258878e-03,3.162140e-03,3.070474e-03,2.983714e-03,2.901692e-03,2.824244e-03,2.751207e-03,2.682423e-03,2.617734e-03,2.556990e-03,2.500039e-03,2.446737e-03,2.396940e-03,2.350510e-03,2.307311e-03,2.267210e-03,2.230079e-03,2.195791e-03,2.164224e-03,2.135259e-03,2.108779e-03,2.084670e-03,2.062822e-03,2.043126e-03,2.025476e-03,2.009771e-03,1.995909e-03,1.983794e-03,1.973329e-03,1.964423e-03,1.956985e-03,1.950926e-03,1.946162e-03,1.942609e-03,1.940186e-03,1.938815e-03,1.938420e-03,1.938928e-03,1.940266e-03,1.942367e-03,1.945163e-03,1.948591e-03,1.952589e-03,1.957097e-03,1.962060e-03,1.967423e-03
0.000000e+00,6.444659e-10,5.952092e-08,6.344021e-08,8.013308e-07,4.442798e-06,4.724009e-06,1.791236e-05,4.672523e-05,4.927166e-05,1.055315e-04,1.785094e-04,1.856155e-04,2.807412e-04,3.705094e-04,3.804466e-04,4.774942e-04,5.578773e-04,5.684120e-04,6.520382e-04,7.180173e-04,7.282479e-04,7.972987e-04,8.500446e-04,8.595689e-04,9.154657e-04,9.568308e-04,9.653959e-04,1.009755e-03,1.041488e-03,1.048924e-03,1.083266e-03,1.106925e-03,1.113127e-03,1.138832e-03,1.155779e-03,1.160690e-03,1.178990e-03,1.190402e-03,1.194005e-03,1.205988e-03,1.212875e-03,1.215181e-03,1.221806e-03,1.225028e-03,1.226072e-03,1.228173e-03,1.228461e-03,1.228295e-03,1.226609e-03,1.224583e-03,1.223273e-03,1.218437e-03,1.214618e-03,1.212239e-03,1.204807e-03,1.199632e-03,1.196260e-03,1.186710e-03,1.180541e-03,1.176260e-03,1.165006e-03,1.158145e-03,1.153036e-03,1.140433e-03,1.133128e-03,1.127274e-03,1.113630e-03,1.106083e-03,1.099566e-03,1.085142e-03,1.077518e-03,1.070414e-03,1.055435e-03,1.047866e-03,1.040252e-03,1.024909e-03,1.017499e-03,1.009446e-03,9.938993e-04,9.867297e-04,9.783042e-04,9.626913e-04,9.558234e-04,9.470891e-04,9.315236e-04,9.250029e-04,9.160186e-04,9.005956e-04,8.944538e-04,8.852741e-04,8.700719e-04,8.643297e-04,8.550049e-04,8.400876e-04,8.347565e-04,8.253327e-04,8.107518e-04,8.058358e-04,7.963551e-04,7.821516e-04,7.776486e-04,7.681492e-04,7.543549e-04,7.502581e-04,7.407745e-04,7.274133e-04,7.237120e-04,7.142754e-04,7.013644e-04,6.980451e-04,6.886832e-04,6.762340e-04,6.732809e-04,6.640184e-04,6.520376e-04,6.494334e-04,6.402921e-04,6.287821e-04,6.265084e-04,6.175075e-04,6.064675e-04,6.045052e-04,5.956613e-04,5.850875e-04,5.834171e-04,5.747446e-04,5.646309e-04,5.632332e-04,5.547443e-04,5.450826e-04,5.439382e-04,5.356434e-04,5.264241e-04,5.255142e-04,5.174220e-04,5.086342e-04,5.079404e-04,5.000578e-04,4.916896e-04,4.911941e-04,4.835267e-04,4.755656e-04,4.752514e-04,4.678033e-04,4.602362e-04,4.600868e-04,4.528611e-04,4.456746e-04,4.319881e-04,4.190006e-04,4.066854e-04,3.950159e-04,3.839657e-04,3.735088e-04,3.636199e-04,3.542741e-04,3.454470e-04,3.371152e-04,3.292557e-04,3.218464e-04,3.148660e-04,3.082939e-04,3.021101e-04,2.962956e-04,2.908321e-04,2.857020e-04,2.808884e-04,2.763751e-04,2.721467e-04,2.681884e-04,2.644862e-04,2.610264e-04,2.577964e-04,2.547837e-04,2.519767e-04,2.493642e-04,2.469356e-04,2.446808e-04,2.425902e-04,2.406546e-04,2.388652e-04,2.372138e-04,2.356925e-04,2.342939e-04,2.330107e-04,2.318362e-04,2.307640e-04,2.297881e-04,2.289025e-04,2.281018e-04,2.273808e-04,2.267345e-04,2.261583e-04,2.256476e-04,2.251983e-04,2.248064e-04,2.244679e-04
0.000000e+00,7.822958e-09,1.180818e-07,1.232307e-07,7.442423e-07,2.587713e-06,2.703061e-06,6.697956e-06,1.197963e-05,1.234323e-05,1.848924e-05,2.397086e-05,2.443232e-05,2.996611e-05,3.456626e-05,3.505529e-05,3.970875e-05,4.345917e-05,4.394649e-05,4.779109e-05,5.080046e-05,5.126543e-05,5.439206e-05,5.676580e-05,5.719293e-05,5.968922e-05,6.152322e-05,6.190131e-05,6.384864e-05,6.522838e-05,6.554976e-05,6.702222e-05,6.802272e-05,6.828263e-05,6.934665e-05,7.003304e-05,7.022899e-05,7.094348e-05,7.137181e-05,7.150311e-05,7.192003e-05,7.213827e-05,7.220563e-05,7.237054e-05,7.241949e-05,7.242466e-05,7.237721e-05,7.229138e-05,7.223686e-05,7.201175e-05,7.182044e-05,7.170943e-05,7.133691e-05,7.106470e-05,7.090075e-05,7.040705e-05,7.007458e-05,6.986152e-05,6.926945e-05,6.889394e-05,6.863577e-05,6.796502e-05,6.756067e-05,6.726140e-05,6.652880e-05,6.610727e-05,6.577088e-05,6.499099e-05,6.456180e-05,6.419221e-05,6.337743e-05,6.294831e-05,6.254929e-05,6.171023e-05,6.128732e-05,6.086251e-05,6.000820e-05,5.959636e-05,5.914921e-05,5.828729e-05,5.789027e-05,5.742405e-05,5.656097e-05,5.618162e-05,5.569940e-05,5.484057e-05,5.448095e-05,5.398560e-05,5.313552e-05,5.279706e-05,5.229125e-05,5.145363e-05,5.113724e-05,5.062342e-05,4.980130e-05,4.950743e-05,4.898788e-05,4.818371e-05,4.791249e-05,4.738928e-05,4.660501e-05,4.635625e-05,4.583128e-05,4.506843e-05,4.484173e-05,4.431673e-05,4.357643e-05,4.337121e-05,4.284773e-05,4.213080e-05,4.194635e-05,4.142578e-05,4.073277e-05,4.056825e-05,4.005186e-05,3.938309e-05,3.923759e-05,3.872649e-05,3.808209e-05,3.795467e-05,3.744985e-05,3.682976e-05,3.671943e-05,3.622177e-05,3.562583e-05,3.553159e-05,3.504185e-05,3.446975e-05,3.439060e-05,3.390943e-05,3.336079e-05,3.329574e-05,3.282372e-05,3.229808e-05,3.224614e-05,3.178375e-05,3.128059e-05,3.124082e-05,3.078846e-05,3.030720e-05,3.027867e-05,2.983668e-05,2.937672e-05,2.935854e-05,2.892718e-05,2.848788e-05,2.847920e-05,2.805868e-05,2.763939e-05,2.683783e-05,2.607320e-05,2.534420e-05,2.464954e-05,2.398790e-05,2.335803e-05,2.275865e-05,2.218854e-05,2.164650e-05,2.113134e-05,2.064194e-05,2.017718e-05,1.973598e-05,1.931732e-05,1.892019e-05,1.854362e-05,1.818668e-05,1.784847e-05,1.752814e-05,1.722485e-05,1.693781e-05,1.666625e-05,1.640945e-05,1.616671e-05,1.593736e-05,1.572075e-05,1.551627e-05,1.532334e-05,1.514139e-05,1.496989e-05,1.480833e-05,1.465621e-05,1.451308e-05,1.437848e-05,1.425199e-05,1.413322e-05,1.402176e-05,1.391725e-05,1.381935e-05,1.372771e-05,1.364202e-05,1.356197e-05,1.348727e-05,1.341765e-05,1.335284e-05,1.329260e-05,1.323668e-05,1.318486e-05,1.313692e-05
0.000000e+00,5.157376e-09,6.294626e-08,6.552924e-08,3.630001e-07,1.213876e-06,1.266711e-06,3.098850e-06,5.571307e-06,5.744365e-06,8.721249e-06,1.144486e-05,1.167667e-05,1.448561e-05,1.686250e-05,1.711755e-05,1.956937e-05,2.158153e-05,2.184563e-05,2.395313e-05,2.563626e-05,2.589930e-05,2.769175e-05,2.908416e-05,2.933805e-05,3.084564e-05,3.198346e-05,3.222178e-05,3.347354e-05,3.438997e-05,3.460772e-05,3.563091e-05,3.635601e-05,3.654940e-05,3.736922e-05,3.792985e-05,3.809614e-05,3.873566e-05,3.915573e-05,3.929302e-05,3.977324e-05,4.007389e-05,4.018104e-05,4.052099e-05,4.072089e-05,4.079738e-05,4.101428e-05,4.112978e-05,4.117557e-05,4.128491e-05,4.133032e-05,4.134579e-05,4.136151e-05,4.134932e-05,4.133519e-05,4.126979e-05,4.121085e-05,4.116811e-05,4.103280e-05,4.093651e-05,4.086636e-05,4.067115e-05,4.054565e-05,4.044943e-05,4.020329e-05,4.005554e-05,3.993473e-05,3.964565e-05,3.948163e-05,3.933780e-05,3.901287e-05,3.883768e-05,3.867242e-05,3.831796e-05,3.813591e-05,3.795088e-05,3.757248e-05,3.738721e-05,3.718402e-05,3.678666e-05,3.660118e-05,3.638147e-05,3.596951e-05,3.578634e-05,3.555171e-05,3.512899e-05,3.495019e-05,3.470219e-05,3.427211e-05,3.409932e-05,3.383948e-05,3.340499e-05,3.323953e-05,3.296928e-05,3.253297e-05,3.237586e-05,3.209660e-05,3.166071e-05,3.151270e-05,3.122577e-05,3.079223e-05,3.065387e-05,3.036052e-05,2.993101e-05,2.980264e-05,2.950407e-05,2.908001e-05,2.896183e-05,2.865915e-05,2.824175e-05,2.813383e-05,2.782809e-05,2.741837e-05,2.732065e-05,2.701282e-05,2.661163e-05,2.652397e-05,2.621498e-05,2.582300e-05,2.574519e-05,2.543586e-05,2.505366e-05,2.498540e-05,2.467653e-05,2.430455e-05,2.424552e-05,2.393781e-05,2.357639e-05,2.352622e-05,2.322033e-05,2.286970e-05,2.282799e-05,2.252453e-05,2.218485e-05,2.215119e-05,2.185069e-05,2.152206e-05,2.149601e-05,2.119897e-05,2.088141e-05,2.086254e-05,2.056939e-05,2.026288e-05,2.025074e-05,1.996188e-05,1.966635e-05,1.966050e-05,1.937627e-05,1.909161e-05,1.854383e-05,1.801682e-05,1.751021e-05,1.702359e-05,1.655651e-05,1.610851e-05,1.567910e-05,1.526775e-05,1.487396e-05,1.449719e-05,1.413691e-05,1.379259e-05,1.346369e-05,1.314968e-05,1.285004e-05,1.256424e-05,1.229178e-05,1.203216e-05,1.178487e-05,1.154945e-05,1.132542e-05,1.111232e-05,1.090972e-05,1.071717e-05,1.053427e-05,1.036059e-05,1.019576e-05,1.003939e-05,9.891119e-06,9.750584e-06,9.617449e-06,9.491383e-06,9.372071e-06,9.259207e-06,9.152498e-06,9.051663e-06,8.956432e-06,8.866544e-06,8.781750e-06,8.701812e-06,8.626499e-06,8.555593e-06,8.488883e-06,8.426167e-06,8.367253e-06,8.311955e-06,8.260097e-06,8.211510e-06,8.166033e-06
0.000000e+00,4.686401e-10,6.853571e-08,7.379566e-08,1.374076e-06,8.520188e-06,9.059172e-06,3.145683e-05,6.812664e-05,7.085471e-05,1.192340e-04,1.631227e-04,1.667363e-04,2.081822e-04,2.392884e-04,2.423931e-04,2.698930e-04,2.892971e-04,2.916340e-04,3.085543e-04,3.198771e-04,3.214715e-04,3.310711e-04,3.369909e-04,3.379233e-04,3.425057e-04,3.448527e-04,3.452189e-04,3.463979e-04,3.464255e-04,3.463216e-04,3.452221e-04,3.437793e-04,3.432920e-04,3.406909e-04,3.383478e-04,3.375514e-04,3.339830e-04,3.311202e-04,3.300764e-04,3.259069e-04,3.227771e-04,3.215363e-04,3.170158e-04,3.137852e-04,3.123877e-04,3.076867e-04,3.044633e-04,3.029415e-04,2.981756e-04,2.950281e-04,2.934080e-04,2.886545e-04,2.856257e-04,2.839279e-04,2.792386e-04,2.763536e-04,2.745948e-04,2.700032e-04,2.672757e-04,2.654693e-04,2.609970e-04,2.584327e-04,2.565898e-04,2.522499e-04,2.498497e-04,2.479792e-04,2.437790e-04,2.415405e-04,2.396501e-04,2.355929e-04,2.335116e-04,2.316077e-04,2.276943e-04,2.257645e-04,2.238525e-04,2.200817e-04,2.182969e-04,2.163816e-04,2.127512e-04,2.111045e-04,2.091900e-04,2.056970e-04,2.041814e-04,2.022713e-04,1.989120e-04,1.975206e-04,1.956181e-04,1.923887e-04,1.911147e-04,1.892226e-04,1.861189e-04,1.849557e-04,1.830766e-04,1.800946e-04,1.790356e-04,1.771718e-04,1.743073e-04,1.733465e-04,1.715000e-04,1.687489e-04,1.678803e-04,1.660530e-04,1.634112e-04,1.626291e-04,1.608226e-04,1.582862e-04,1.575852e-04,1.558010e-04,1.533661e-04,1.527411e-04,1.509805e-04,1.486433e-04,1.480895e-04,1.463536e-04,1.441105e-04,1.436232e-04,1.419131e-04,1.397605e-04,1.393353e-04,1.376519e-04,1.355864e-04,1.352191e-04,1.335632e-04,1.315815e-04,1.312683e-04,1.296405e-04,1.277394e-04,1.274764e-04,1.258774e-04,1.240537e-04,1.238374e-04,1.222677e-04,1.205186e-04,1.203457e-04,1.188056e-04,1.171280e-04,1.169954e-04,1.154853e-04,1.138766e-04,1.137811e-04,1.123013e-04,1.107588e-04,1.106977e-04,1.092483e-04,1.077694e-04,1.077401e-04,1.063213e-04,1.049034e-04,1.021829e-04,9.957415e-05,9.707276e-05,9.467455e-05,9.237548e-05,9.017169e-05,8.805943e-05,8.603511e-05,8.409527e-05,8.223659e-05,8.045586e-05,7.875000e-05,7.711605e-05,7.555117e-05,7.405260e-05,7.261772e-05,7.124398e-05,6.992896e-05,6.867029e-05,6.746575e-05,6.631314e-05,6.521040e-05,6.415551e-05,6.314655e-05,6.218167e-05,6.125908e-05,6.037708e-05,5.953402e-05,5.872832e-05,5.795845e-05,5.722297e-05,5.652045e-05,5.584956e-05,5.520899e-05,5.459751e-05,5.401390e-05,5.345701e-05,5.292575e-05,5.241904e-05,5.193586e-05,5.147523e-05,5.103620e-05,5.061788e-05,5.021937e-05,4.983985e-05,4.947852e-05,4.913459e-05,4.880732e-05,4.849601e-05
0.000000e+00,1.340657e-09,1.045720e-07,1.111672e-07,1.280378e-06,6.759568e-06,7.174026e-06,2.582679e-05,6.327988e-05,6.643300e-05,1.314700e-04,2.062638e-04,2.131120e-04,2.992046e-04,3.731480e-04,3.809961e-04,4.547509e-04,5.123517e-04,5.196850e-04,5.761504e-04,6.184452e-04,6.248155e-04,6.663920e-04,6.963383e-04,7.015615e-04,7.309570e-04,7.511627e-04,7.551606e-04,7.747044e-04,7.873124e-04,7.900743e-04,8.017125e-04,8.084598e-04,8.100211e-04,8.153652e-04,8.176489e-04,8.180758e-04,8.184531e-04,8.173907e-04,8.167686e-04,8.132681e-04,8.097489e-04,8.081739e-04,8.016865e-04,7.964142e-04,7.939871e-04,7.852390e-04,7.787670e-04,7.755894e-04,7.651708e-04,7.579316e-04,7.541023e-04,7.424909e-04,7.348195e-04,7.304326e-04,7.180136e-04,7.101667e-04,7.053107e-04,6.923927e-04,6.845645e-04,6.793210e-04,6.661504e-04,6.584855e-04,6.529295e-04,6.397012e-04,6.323046e-04,6.265037e-04,6.133703e-04,6.063155e-04,6.003306e-04,5.874104e-04,5.807466e-04,5.746320e-04,5.620151e-04,5.557726e-04,5.495767e-04,5.373312e-04,5.315255e-04,5.252906e-04,5.134647e-04,5.080993e-04,5.018621e-04,4.904899e-04,4.855607e-04,4.793538e-04,4.684576e-04,4.639533e-04,4.578039e-04,4.473948e-04,4.433000e-04,4.372317e-04,4.273150e-04,4.236111e-04,4.176438e-04,4.082171e-04,4.048831e-04,3.990334e-04,3.900908e-04,3.871049e-04,3.813870e-04,3.729188e-04,3.702582e-04,3.646830e-04,3.566765e-04,3.543187e-04,3.488956e-04,3.413365e-04,3.392591e-04,3.339951e-04,3.268673e-04,3.250485e-04,3.199489e-04,3.132358e-04,3.116547e-04,3.067234e-04,3.004075e-04,2.990440e-04,2.942835e-04,2.883472e-04,2.871820e-04,2.825938e-04,2.770193e-04,2.760345e-04,2.716190e-04,2.663888e-04,2.655675e-04,2.613243e-04,2.564212e-04,2.557475e-04,2.516754e-04,2.470826e-04,2.465416e-04,2.426389e-04,2.383401e-04,2.379181e-04,2.341824e-04,2.301618e-04,2.298460e-04,2.262746e-04,2.225170e-04,2.222956e-04,2.188854e-04,2.153763e-04,2.152384e-04,2.119861e-04,2.087114e-04,2.086471e-04,2.055489e-04,2.024954e-04,1.967585e-04,1.914125e-04,1.864349e-04,1.818041e-04,1.774999e-04,1.735029e-04,1.697949e-04,1.663585e-04,1.631775e-04,1.602363e-04,1.575205e-04,1.550161e-04,1.527101e-04,1.505904e-04,1.486453e-04,1.468639e-04,1.452359e-04,1.437515e-04,1.424017e-04,1.411777e-04,1.400715e-04,1.390754e-04,1.381821e-04,1.373849e-04,1.366774e-04,1.360535e-04,1.355076e-04,1.350342e-04,1.346284e-04,1.342854e-04,1.340008e-04,1.337703e-04,1.335901e-04,1.334563e-04,1.333655e-04,1.333144e-04,1.332998e-04,1.333190e-04,1.333692e-04,1.334477e-04,1.335522e-04,1.336805e-04,1.338303e-04,1.339998e-04,1.341870e-04,1.343902e-04,1.346077e-04,1.348381e-04,1.350799e-04
0.000000e+00,4.209485e-10,5.662439e-09,5.916014e-09,3.851507e-08,1.408195e-07,1.472543e-07,3.629604e-07,6.236329e-07,6.408936e-07,9.279601e-07,1.183952e-06,1.205693e-06,1.469864e-06,1.695393e-06,1.719738e-06,1.955444e-06,2.151429e-06,2.177342e-06,2.385864e-06,2.554844e-06,2.581469e-06,2.764633e-06,2.909227e-06,2.935835e-06,3.095558e-06,3.218298e-06,3.244277e-06,3.382462e-06,3.485735e-06,3.510573e-06,3.629058e-06,3.715075e-06,3.738353e-06,3.838878e-06,3.909666e-06,3.931045e-06,4.015248e-06,4.072652e-06,4.091862e-06,4.161256e-06,4.206951e-06,4.223787e-06,4.279792e-06,4.315288e-06,4.329598e-06,4.373518e-06,4.400175e-06,4.411852e-06,4.444891e-06,4.463931e-06,4.472911e-06,4.496177e-06,4.508691e-06,4.514944e-06,4.529453e-06,4.536415e-06,4.539941e-06,4.546630e-06,4.548909e-06,4.549734e-06,4.549459e-06,4.547829e-06,4.546001e-06,4.539548e-06,4.534693e-06,4.530279e-06,4.518367e-06,4.510893e-06,4.503974e-06,4.487259e-06,4.477699e-06,4.468370e-06,4.447451e-06,4.436273e-06,4.424639e-06,4.400062e-06,4.387676e-06,4.373847e-06,4.346111e-06,4.332873e-06,4.316968e-06,4.286525e-06,4.272744e-06,4.254884e-06,4.222144e-06,4.208088e-06,4.188398e-06,4.153734e-06,4.139631e-06,4.118237e-06,4.081986e-06,4.068029e-06,4.045058e-06,4.007525e-06,3.993879e-06,3.969456e-06,3.930916e-06,3.917716e-06,3.891966e-06,3.852666e-06,3.840024e-06,3.813070e-06,3.773232e-06,3.761241e-06,3.733201e-06,3.693025e-06,3.681755e-06,3.652747e-06,3.612410e-06,3.601918e-06,3.572053e-06,3.531715e-06,3.522040e-06,3.491429e-06,3.451229e-06,3.442400e-06,3.411147e-06,3.371211e-06,3.363244e-06,3.331450e-06,3.291888e-06,3.284789e-06,3.252549e-06,3.213457e-06,3.207227e-06,3.174633e-06,3.136095e-06,3.130724e-06,3.097863e-06,3.059952e-06,3.055425e-06,3.022379e-06,2.985159e-06,2.981457e-06,2.948303e-06,2.911826e-06,2.908924e-06,2.875737e-06,2.840048e-06,2.837919e-06,2.804767e-06,2.769903e-06,2.768517e-06,2.735464e-06,2.701456e-06,2.700780e-06,2.667885e-06,2.634758e-06,2.570489e-06,2.508002e-06,2.447318e-06,2.388449e-06,2.331398e-06,2.276164e-06,2.222740e-06,2.171114e-06,2.121268e-06,2.073182e-06,2.026831e-06,1.982189e-06,1.939225e-06,1.897907e-06,1.858203e-06,1.820076e-06,1.783490e-06,1.748407e-06,1.714790e-06,1.682598e-06,1.651793e-06,1.622335e-06,1.594185e-06,1.567303e-06,1.541649e-06,1.517185e-06,1.493871e-06,1.471670e-06,1.450542e-06,1.430452e-06,1.411363e-06,1.393237e-06,1.376041e-06,1.359739e-06,1.344299e-06,1.329686e-06,1.315868e-06,1.302816e-06,1.290496e-06,1.278881e-06,1.267941e-06,1.257648e-06,1.247975e-06,1.238895e-06,1.230383e-06,1.222414e-06,1.214964e-06,1.208010e-06,1.201529e-06
0.000000e+00,2.780068e-09,4.338102e-08,4.540338e-08,3.046465e-07,1.067052e-06,1.112665e-06,2.519139e-06,4.033525e-06,4.130442e-06,5.714949e-06,7.104582e-06,7.222036e-06,8.644082e-06,9.851749e-06,9.981788e-06,1.123758e-05,1.227715e-05,1.241427e-05,1.351479e-05,1.440255e-05,1.454207e-05,1.549910e-05,1.625089e-05,1.638885e-05,1.721425e-05,1.784511e-05,1.797822e-05,1.868358e-05,1.920754e-05,1.933311e-05,1.992954e-05,2.035956e-05,2.047546e-05,2.097339e-05,2.132122e-05,2.142576e-05,2.183491e-05,2.211117e-05,2.220307e-05,2.253239e-05,2.274662e-05,2.282494e-05,2.308268e-05,2.324341e-05,2.330751e-05,2.350123e-05,2.361607e-05,2.366555e-05,2.380214e-05,2.387786e-05,2.391256e-05,2.399832e-05,2.404092e-05,2.406084e-05,2.410151e-05,2.411631e-05,2.412161e-05,2.412241e-05,2.411411e-05,2.410507e-05,2.407073e-05,2.404346e-05,2.402047e-05,2.395531e-05,2.391268e-05,2.387623e-05,2.378414e-05,2.372933e-05,2.367995e-05,2.356447e-05,2.350024e-05,2.343852e-05,2.330285e-05,2.323160e-05,2.315819e-05,2.300521e-05,2.292902e-05,2.284456e-05,2.267687e-05,2.259753e-05,2.250272e-05,2.232267e-05,2.224171e-05,2.213724e-05,2.194693e-05,2.186566e-05,2.175221e-05,2.155353e-05,2.147305e-05,2.135132e-05,2.114598e-05,2.106721e-05,2.093788e-05,2.072739e-05,2.065109e-05,2.051483e-05,2.030055e-05,2.022735e-05,2.008482e-05,1.986795e-05,1.979835e-05,1.965019e-05,1.943180e-05,1.936620e-05,1.921302e-05,1.899407e-05,1.893276e-05,1.877516e-05,1.855649e-05,1.849969e-05,1.833824e-05,1.812059e-05,1.806846e-05,1.790369e-05,1.768771e-05,1.764033e-05,1.747278e-05,1.725903e-05,1.721643e-05,1.704659e-05,1.683557e-05,1.679775e-05,1.662608e-05,1.641822e-05,1.638511e-05,1.621207e-05,1.600772e-05,1.597926e-05,1.580525e-05,1.560473e-05,1.558081e-05,1.540623e-05,1.520980e-05,1.519028e-05,1.501550e-05,1.482338e-05,1.480811e-05,1.463348e-05,1.444584e-05,1.443465e-05,1.426050e-05,1.407748e-05,1.407021e-05,1.389682e-05,1.371854e-05,1.371499e-05,1.354265e-05,1.336918e-05,1.303290e-05,1.270620e-05,1.238914e-05,1.208171e-05,1.178389e-05,1.149560e-05,1.121678e-05,1.094732e-05,1.068709e-05,1.043597e-05,1.019380e-05,9.960420e-06,9.735660e-06,9.519341e-06,9.311280e-06,9.111286e-06,8.919165e-06,8.734721e-06,8.557755e-06,8.388068e-06,8.225458e-06,8.069728e-06,7.920678e-06,7.778110e-06,7.641829e-06,7.511641e-06,7.387355e-06,7.268784e-06,7.155742e-06,7.048048e-06,6.945522e-06,6.847991e-06,6.755282e-06,6.667229e-06,6.583668e-06,6.504439e-06,6.429386e-06,6.358357e-06,6.291205e-06,6.227784e-06,6.167956e-06,6.111583e-06,6.058532e-06,6.008675e-06,5.961886e-06,5.918045e-06,5.877032e-06,5.838734e-06,5.803039e-06
0.000000e+00,1.032834e-08,4.031559e-07,4.255683e-07,4.006037e-06,1.842844e-05,1.943040e-05,5.779030e-05,1.139434e-04,1.179177e-04,1.861513e-04,2.481942e-04,2.534647e-04,3.173204e-04,3.714600e-04,3.772800e-04,4.333651e-04,4.796103e-04,4.856965e-04,5.344174e-04,5.735432e-04,5.796767e-04,6.216246e-04,6.544114e-04,6.604109e-04,6.961840e-04,7.233717e-04,7.290895e-04,7.592695e-04,7.815441e-04,7.868621e-04,8.120009e-04,8.299888e-04,8.348147e-04,8.554277e-04,8.696953e-04,8.739593e-04,8.905235e-04,9.015785e-04,9.052291e-04,9.181808e-04,9.264768e-04,9.294793e-04,9.392199e-04,9.451606e-04,9.474941e-04,9.543884e-04,9.583306e-04,9.599854e-04,9.643640e-04,9.666229e-04,9.675990e-04,9.697619e-04,9.706149e-04,9.709204e-04,9.711392e-04,9.708300e-04,9.704797e-04,9.690000e-04,9.677418e-04,9.667557e-04,9.637993e-04,9.617781e-04,9.601807e-04,9.559472e-04,9.533248e-04,9.511440e-04,9.458134e-04,9.427300e-04,9.399961e-04,9.337302e-04,9.303067e-04,9.270519e-04,9.199957e-04,9.163361e-04,9.125940e-04,9.048775e-04,9.010704e-04,8.968754e-04,8.886150e-04,8.847357e-04,8.801223e-04,8.714219e-04,8.675339e-04,8.625368e-04,8.534890e-04,8.496453e-04,8.442989e-04,8.349859e-04,8.312305e-04,8.255684e-04,8.160635e-04,8.124321e-04,8.064873e-04,7.968550e-04,7.933764e-04,7.871809e-04,7.774784e-04,7.741753e-04,7.677600e-04,7.580374e-04,7.549272e-04,7.483218e-04,7.386233e-04,7.357185e-04,7.289516e-04,7.193156e-04,7.166250e-04,7.097237e-04,7.001836e-04,6.977126e-04,6.907026e-04,6.812874e-04,6.790382e-04,6.719442e-04,6.626786e-04,6.606512e-04,6.534961e-04,6.444014e-04,6.425934e-04,6.353991e-04,6.264932e-04,6.249007e-04,6.176876e-04,6.089855e-04,6.076030e-04,6.003901e-04,5.919042e-04,5.907250e-04,5.835302e-04,5.752705e-04,5.742871e-04,5.671269e-04,5.591013e-04,5.583053e-04,5.511952e-04,5.434098e-04,5.427922e-04,5.357463e-04,5.282056e-04,5.277571e-04,5.207885e-04,5.134954e-04,5.132063e-04,5.063269e-04,4.992833e-04,4.991437e-04,4.923646e-04,4.855709e-04,4.724875e-04,4.598914e-04,4.477790e-04,4.361453e-04,4.249843e-04,4.142889e-04,4.040512e-04,3.942625e-04,3.849136e-04,3.759948e-04,3.674959e-04,3.594064e-04,3.517156e-04,3.444126e-04,3.374862e-04,3.309254e-04,3.247188e-04,3.188552e-04,3.133234e-04,3.081123e-04,3.032108e-04,2.986078e-04,2.942926e-04,2.902543e-04,2.864825e-04,2.829667e-04,2.796966e-04,2.766623e-04,2.738538e-04,2.712615e-04,2.688759e-04,2.666877e-04,2.646879e-04,2.628677e-04,2.612183e-04,2.597315e-04,2.583989e-04,2.572126e-04,2.561649e-04,2.552483e-04,2.544553e-04,2.537790e-04,2.532124e-04,2.527488e-04,2.523819e-04,2.521053e-04,2.519131e-04,2.517994e-04,2.517587e-04
0.000000e+00,4.881473e-09,8.379332e-08,8.770499e-08,5.873150e-07,2.098121e-06,2.191870e-06,5.365761e-06,9.377678e-06,9.647208e-06,1.408852e-05,1.788612e-05,1.819938e-05,2.188099e-05,2.483601e-05,2.514441e-05,2.802174e-05,3.026170e-05,3.054729e-05,3.275364e-05,3.441893e-05,3.467103e-05,3.632728e-05,3.753543e-05,3.774787e-05,3.895608e-05,3.980327e-05,3.997312e-05,4.081830e-05,4.138255e-05,4.150916e-05,4.206159e-05,4.240572e-05,4.249001e-05,4.280746e-05,4.298181e-05,4.302574e-05,4.315551e-05,4.320028e-05,4.320643e-05,4.318719e-05,4.313435e-05,4.310566e-05,4.296894e-05,4.284385e-05,4.278343e-05,4.255491e-05,4.237762e-05,4.228857e-05,4.198912e-05,4.177541e-05,4.166077e-05,4.130734e-05,4.106957e-05,4.093224e-05,4.053856e-05,4.028638e-05,4.012907e-05,3.970625e-05,3.944710e-05,3.927234e-05,3.882934e-05,3.856896e-05,3.837905e-05,3.792308e-05,3.766579e-05,3.746286e-05,3.699969e-05,3.674875e-05,3.653471e-05,3.606894e-05,3.582674e-05,3.560331e-05,3.513861e-05,3.490684e-05,3.467557e-05,3.421483e-05,3.399465e-05,3.375694e-05,3.330240e-05,3.309456e-05,3.285165e-05,3.240507e-05,3.220998e-05,3.196299e-05,3.152569e-05,3.134351e-05,3.109342e-05,3.066640e-05,3.049709e-05,3.024479e-05,2.982876e-05,2.967216e-05,2.941843e-05,2.901390e-05,2.886970e-05,2.861525e-05,2.822254e-05,2.809038e-05,2.783581e-05,2.745510e-05,2.733455e-05,2.708043e-05,2.671180e-05,2.660238e-05,2.634919e-05,2.599261e-05,2.589384e-05,2.564202e-05,2.529740e-05,2.520877e-05,2.495870e-05,2.462589e-05,2.454689e-05,2.429892e-05,2.397773e-05,2.390783e-05,2.366226e-05,2.335247e-05,2.329118e-05,2.304827e-05,2.274962e-05,2.269645e-05,2.245645e-05,2.216868e-05,2.212313e-05,2.188625e-05,2.160907e-05,2.157069e-05,2.133709e-05,2.107023e-05,2.103855e-05,2.080842e-05,2.055157e-05,2.052616e-05,2.029962e-05,2.005250e-05,2.003293e-05,1.981012e-05,1.957241e-05,1.955830e-05,1.933931e-05,1.911074e-05,1.910169e-05,1.888662e-05,1.866688e-05,1.866253e-05,1.845145e-05,1.824027e-05,1.783435e-05,1.744425e-05,1.706942e-05,1.670936e-05,1.636357e-05,1.603155e-05,1.571284e-05,1.540697e-05,1.511349e-05,1.483197e-05,1.456199e-05,1.430314e-05,1.405502e-05,1.381725e-05,1.358946e-05,1.337130e-05,1.316241e-05,1.296245e-05,1.277112e-05,1.258807e-05,1.241303e-05,1.224568e-05,1.208576e-05,1.193297e-05,1.178706e-05,1.164778e-05,1.151486e-05,1.138808e-05,1.126720e-05,1.115200e-05,1.104227e-05,1.093778e-05,1.083835e-05,1.074378e-05,1.065387e-05,1.056846e-05,1.048735e-05,1.041040e-05,1.033742e-05,1.026826e-05,1.020277e-05,1.014081e-05,1.008223e-05,1.002689e-05,9.974661e-06,9.925419e-06,9.879038e-06,9.835399e-06,9.794389e-06
0.000000e+00,7.817418e-13,1.642180e-10,1.776613e-10,4.325037e-09,3.989725e-08,4.326799e-08,2.641423e-07,1.067479e-06,1.157609e-06,3.964654e-06,1.036837e-05,1.119762e-05,2.710019e-05,5.389282e-05,5.785048e-05,1.113921e-04,1.846308e-04,1.968977e-04,3.239684e-04,4.734759e-04,5.017212e-04,7.379156e-04,9.857173e-04,1.038241e-03,1.405836e-03,1.757802e-03,1.841062e-03,2.341528e-03,2.785635e-03,2.902301e-03,3.516282e-03,4.026514e-03,4.174677e-03,4.867495e-03,5.410503e-03,5.584061e-03,6.313485e-03,6.855234e-03,7.045079e-03,7.768704e-03,8.279508e-03,8.475039e-03,9.155776e-03,9.613175e-03,9.803746e-03,1.041298e-02,1.080266e-02,1.097872e-02,1.149741e-02,1.181271e-02,1.196655e-02,1.238472e-02,1.262531e-02,1.275137e-02,1.306679e-02,1.323701e-02,1.333192e-02,1.354829e-02,1.365553e-02,1.371790e-02,1.384308e-02,1.389635e-02,1.392644e-02,1.397077e-02,1.397962e-02,1.397896e-02,1.395395e-02,1.392768e-02,1.389868e-02,1.381604e-02,1.376317e-02,1.370880e-02,1.357966e-02,1.350768e-02,1.343117e-02,1.326576e-02,1.318101e-02,1.308567e-02,1.289302e-02,1.280072e-02,1.268974e-02,1.247763e-02,1.238192e-02,1.225830e-02,1.203325e-02,1.193735e-02,1.180382e-02,1.157122e-02,1.147754e-02,1.133654e-02,1.110073e-02,1.101101e-02,1.086467e-02,1.062911e-02,1.054456e-02,1.039472e-02,1.016209e-02,1.008349e-02,9.931723e-03,9.704064e-03,9.631848e-03,9.479490e-03,9.258323e-03,9.192679e-03,9.040836e-03,8.827254e-03,8.768178e-03,8.617769e-03,8.412528e-03,8.359876e-03,8.211656e-03,8.015241e-03,7.968773e-03,7.823354e-03,7.636039e-03,7.595446e-03,7.453322e-03,7.275212e-03,7.240142e-03,7.101703e-03,6.932778e-03,6.902856e-03,6.768406e-03,6.608550e-03,6.583389e-03,6.453162e-03,6.302189e-03,6.281401e-03,6.155569e-03,6.013240e-03,5.996445e-03,5.875130e-03,5.741169e-03,5.727998e-03,5.611279e-03,5.485383e-03,5.475481e-03,5.363402e-03,5.245255e-03,5.238286e-03,5.130860e-03,5.020134e-03,5.015781e-03,4.912997e-03,4.809364e-03,4.807326e-03,4.709153e-03,4.612283e-03,4.430017e-03,4.259905e-03,4.101340e-03,3.953732e-03,3.816507e-03,3.689116e-03,3.571027e-03,3.461732e-03,3.360743e-03,3.267594e-03,3.181840e-03,3.103056e-03,3.030837e-03,2.964798e-03,2.904571e-03,2.849807e-03,2.800173e-03,2.755354e-03,2.715049e-03,2.678973e-03,2.646855e-03,2.618438e-03,2.593476e-03,2.571739e-03,2.553004e-03,2.537063e-03,2.523716e-03,2.512777e-03,2.504065e-03,2.497411e-03,2.492653e-03,2.489641e-03,2.488228e-03,2.488279e-03,2.489664e-03,2.492261e-03,2.495953e-03,2.500633e-03,2.506196e-03,2.512546e-03,2.519592e-03,2.527248e-03,2.535434e-03,2.544073e-03,2.553096e-03,2.562436e-03,2.572032e-03,2.581827e-03,2.591768e-03
0.000000e+00,5.750183e-09,1.857913e-07,1.963066e-07,1.814273e-06,7.190841e-06,7.518651e-06,1.757743e-05,2.816819e-05,2.883697e-05,3.961944e-05,4.883721e-05,4.960583e-05,5.877794e-05,6.636689e-05,6.717269e-05,7.483657e-05,8.101321e-05,8.181613e-05,8.815620e-05,9.312969e-05,9.389933e-05,9.908580e-05,1.030402e-04,1.037538e-04,1.079394e-04,1.110355e-04,1.116766e-04,1.149974e-04,1.173745e-04,1.179318e-04,1.205080e-04,1.222858e-04,1.227523e-04,1.246893e-04,1.259701e-04,1.263420e-04,1.277318e-04,1.286030e-04,1.288790e-04,1.298020e-04,1.303376e-04,1.305183e-04,1.310443e-04,1.313072e-04,1.313949e-04,1.315842e-04,1.316277e-04,1.316255e-04,1.315308e-04,1.313995e-04,1.313116e-04,1.309784e-04,1.307099e-04,1.305410e-04,1.300085e-04,1.296344e-04,1.293895e-04,1.286917e-04,1.282384e-04,1.279226e-04,1.270889e-04,1.265783e-04,1.261970e-04,1.252527e-04,1.247030e-04,1.242614e-04,1.232282e-04,1.226545e-04,1.221577e-04,1.210543e-04,1.204689e-04,1.199220e-04,1.187645e-04,1.181773e-04,1.175851e-04,1.163872e-04,1.158064e-04,1.151736e-04,1.139470e-04,1.133791e-04,1.127099e-04,1.114647e-04,1.109148e-04,1.102134e-04,1.089580e-04,1.084300e-04,1.077004e-04,1.064421e-04,1.059390e-04,1.051847e-04,1.039296e-04,1.034535e-04,1.026780e-04,1.014311e-04,1.009836e-04,1.001900e-04,9.895569e-05,9.853772e-05,9.772899e-05,9.651073e-05,9.612279e-05,9.530163e-05,9.410235e-05,9.374457e-05,9.291348e-05,9.173555e-05,9.140776e-05,9.056905e-05,8.941438e-05,8.911616e-05,8.827194e-05,8.714204e-05,8.687277e-05,8.602499e-05,8.492104e-05,8.467995e-05,8.383040e-05,8.275325e-05,8.253945e-05,8.168975e-05,8.064002e-05,8.045254e-05,7.960416e-05,7.858226e-05,7.842006e-05,7.757437e-05,7.658051e-05,7.644249e-05,7.560072e-05,7.463498e-05,7.452004e-05,7.368329e-05,7.274560e-05,7.265261e-05,7.182189e-05,7.091209e-05,7.083991e-05,7.001614e-05,6.913397e-05,6.908147e-05,6.826548e-05,6.741058e-05,6.737666e-05,6.656917e-05,6.574115e-05,6.572473e-05,6.492641e-05,6.412481e-05,6.257598e-05,6.107720e-05,5.962743e-05,5.822554e-05,5.687042e-05,5.556091e-05,5.429586e-05,5.307410e-05,5.189447e-05,5.075578e-05,4.965690e-05,4.859667e-05,4.757397e-05,4.658769e-05,4.563672e-05,4.472002e-05,4.383651e-05,4.298518e-05,4.216501e-05,4.137504e-05,4.061429e-05,3.988185e-05,3.917679e-05,3.849824e-05,3.784534e-05,3.721724e-05,3.661314e-05,3.603224e-05,3.547378e-05,3.493701e-05,3.442120e-05,3.392566e-05,3.344971e-05,3.299267e-05,3.255392e-05,3.213283e-05,3.172879e-05,3.134123e-05,3.096957e-05,3.061327e-05,3.027179e-05,2.994463e-05,2.963127e-05,2.933124e-05,2.904407e-05,2.876930e-05,2.850650e-05,2.825523e-05,2.801508e-05
0.000000e+00,1.349287e-10,1.554757e-08,1.667113e-08,2.934915e-07,2.156416e-06,2.315328e-06,1.057237e-05,2.987112e-05,3.157348e-05,6.784319e-05,1.109803e-04,1.149852e-04,1.661925e-04,2.116612e-04,2.165805e-04,2.638104e-04,3.021268e-04,3.071092e-04,3.464022e-04,3.771217e-04,3.818648e-04,4.137450e-04,4.379449e-04,4.423009e-04,4.677821e-04,4.865481e-04,4.904243e-04,5.104484e-04,5.247219e-04,5.280610e-04,5.434543e-04,5.540361e-04,5.568074e-04,5.682865e-04,5.758527e-04,5.780460e-04,5.862289e-04,5.913475e-04,5.929677e-04,5.983849e-04,6.015311e-04,6.025941e-04,6.057000e-04,6.072699e-04,6.077996e-04,6.089825e-04,6.093057e-04,6.093313e-04,6.089224e-04,6.082718e-04,6.078261e-04,6.061074e-04,6.047087e-04,6.038263e-04,6.010378e-04,5.990767e-04,5.977930e-04,5.941385e-04,5.917672e-04,5.901174e-04,5.857696e-04,5.831125e-04,5.811313e-04,5.762362e-04,5.733944e-04,5.711151e-04,5.657962e-04,5.628510e-04,5.603055e-04,5.546669e-04,5.516837e-04,5.489021e-04,5.430312e-04,5.400617e-04,5.370724e-04,5.310424e-04,5.281273e-04,5.249566e-04,5.188289e-04,5.159996e-04,5.126720e-04,5.064976e-04,5.037780e-04,5.003160e-04,4.941370e-04,4.915447e-04,4.879692e-04,4.818204e-04,4.793679e-04,4.756978e-04,4.696078e-04,4.673034e-04,4.635561e-04,4.575480e-04,4.553967e-04,4.515881e-04,4.456804e-04,4.436844e-04,4.398288e-04,4.340364e-04,4.321958e-04,4.283062e-04,4.226405e-04,4.209538e-04,4.170418e-04,4.115117e-04,4.099759e-04,4.060520e-04,4.006641e-04,3.992751e-04,3.953489e-04,3.901076e-04,3.888607e-04,3.849408e-04,3.798490e-04,3.787390e-04,3.748328e-04,3.698923e-04,3.689133e-04,3.650276e-04,3.602388e-04,3.593848e-04,3.555257e-04,3.508882e-04,3.501532e-04,3.463260e-04,3.418386e-04,3.412164e-04,3.374257e-04,3.330867e-04,3.325710e-04,3.288211e-04,3.246281e-04,3.242128e-04,3.205073e-04,3.164578e-04,3.161369e-04,3.124789e-04,3.085698e-04,3.083374e-04,3.047297e-04,3.009578e-04,3.008084e-04,2.972533e-04,2.936152e-04,2.935431e-04,2.900427e-04,2.865349e-04,2.797766e-04,2.732614e-04,2.669819e-04,2.609309e-04,2.551014e-04,2.494863e-04,2.440785e-04,2.388713e-04,2.338580e-04,2.290319e-04,2.243866e-04,2.199157e-04,2.156132e-04,2.114730e-04,2.074894e-04,2.036569e-04,1.999699e-04,1.964233e-04,1.930119e-04,1.897308e-04,1.865752e-04,1.835405e-04,1.806224e-04,1.778164e-04,1.751185e-04,1.725247e-04,1.700311e-04,1.676339e-04,1.653297e-04,1.631148e-04,1.609861e-04,1.589403e-04,1.569743e-04,1.550851e-04,1.532698e-04,1.515257e-04,1.498501e-04,1.482405e-04,1.466942e-04,1.452091e-04,1.437827e-04,1.424128e-04,1.410974e-04,1.398343e-04,1.386216e-04,1.374574e-04,1.363399e-04,1.352672e-04,1.342377e-04
0.000000e+00,6.400874e-11,9.504386e-09,1.023407e-08,2.149877e-07,1.821811e-06,1.967385e-06,1.034839e-05,3.322817e-05,3.540363e-05,8.653824e-05,1.576178e-04,1.647243e-04,2.623511e-04,3.580766e-04,3.688482e-04,4.753554e-04,5.645609e-04,5.762601e-04,6.687600e-04,7.408146e-04,7.518810e-04,8.256439e-04,8.807227e-04,8.905358e-04,9.472237e-04,9.880830e-04,9.964158e-04,1.038801e-03,1.068246e-03,1.075028e-03,1.105693e-03,1.126105e-03,1.131345e-03,1.152484e-03,1.165814e-03,1.169567e-03,1.183008e-03,1.190832e-03,1.193183e-03,1.200433e-03,1.204017e-03,1.205068e-03,1.207369e-03,1.207726e-03,1.207588e-03,1.205956e-03,1.203895e-03,1.202680e-03,1.197948e-03,1.194110e-03,1.191930e-03,1.184779e-03,1.179673e-03,1.176634e-03,1.167619e-03,1.161643e-03,1.157848e-03,1.147421e-03,1.140889e-03,1.136430e-03,1.124959e-03,1.118115e-03,1.113080e-03,1.100862e-03,1.093893e-03,1.088363e-03,1.075637e-03,1.068688e-03,1.062733e-03,1.049694e-03,1.042874e-03,1.036559e-03,1.023363e-03,1.016751e-03,1.010135e-03,9.969049e-04,9.905605e-04,9.836958e-04,9.705298e-04,9.644933e-04,9.574262e-04,9.444021e-04,9.387005e-04,9.314724e-04,9.186504e-04,9.133001e-04,9.059476e-04,8.933741e-04,8.883830e-04,8.809387e-04,8.686488e-04,8.640182e-04,8.565109e-04,8.445305e-04,8.402569e-04,8.327120e-04,8.210595e-04,8.171359e-04,8.095758e-04,7.982635e-04,7.946800e-04,7.871244e-04,7.761598e-04,7.729047e-04,7.653708e-04,7.547578e-04,7.518178e-04,7.443210e-04,7.340602e-04,7.314212e-04,7.239749e-04,7.140645e-04,7.117118e-04,7.043278e-04,6.947638e-04,6.926828e-04,6.853711e-04,6.761483e-04,6.743240e-04,6.670936e-04,6.582055e-04,6.566231e-04,6.494819e-04,6.409211e-04,6.395663e-04,6.325209e-04,6.242794e-04,6.231381e-04,6.161944e-04,6.082638e-04,6.073223e-04,6.004853e-04,5.928568e-04,5.921021e-04,5.853759e-04,5.780406e-04,5.774599e-04,5.708484e-04,5.637971e-04,5.633784e-04,5.568844e-04,5.501082e-04,5.498399e-04,5.434661e-04,5.369558e-04,5.368269e-04,5.305752e-04,5.243221e-04,5.123082e-04,5.007686e-04,4.896866e-04,4.790462e-04,4.688317e-04,4.590278e-04,4.496197e-04,4.405929e-04,4.319335e-04,4.236279e-04,4.156630e-04,4.080261e-04,4.007050e-04,3.936879e-04,3.869632e-04,3.805199e-04,3.743475e-04,3.684355e-04,3.627740e-04,3.573535e-04,3.521648e-04,3.471988e-04,3.424471e-04,3.379013e-04,3.335534e-04,3.293958e-04,3.254210e-04,3.216219e-04,3.179917e-04,3.145235e-04,3.112112e-04,3.080484e-04,3.050293e-04,3.021481e-04,2.993994e-04,2.967778e-04,2.942782e-04,2.918957e-04,2.896255e-04,2.874632e-04,2.854042e-04,2.834444e-04,2.815797e-04,2.798061e-04,2.781199e-04,2.765174e-04,2.749952e-04,2.735499e-04,2.721782e-04
0.000000e+00,8.400714e-09,2.004941e-07,2.108581e-07,1.746502e-06,7.156965e-06,7.504484e-06,1.899441e-05,3.227336e-05,3.313681e-05,4.734060e-05,5.984504e-05,6.090191e-05,7.368702e-05,8.452129e-05,8.568631e-05,9.691859e-05,1.061889e-04,1.074096e-04,1.171870e-04,1.250464e-04,1.262791e-04,1.347145e-04,1.413139e-04,1.425221e-04,1.497308e-04,1.552150e-04,1.563691e-04,1.624652e-04,1.669702e-04,1.680467e-04,1.731402e-04,1.767913e-04,1.777719e-04,1.819665e-04,1.848769e-04,1.857481e-04,1.891397e-04,1.914113e-04,1.921632e-04,1.948398e-04,1.965634e-04,1.971894e-04,1.992312e-04,2.004871e-04,2.009834e-04,2.024632e-04,2.033225e-04,2.036873e-04,2.046712e-04,2.051962e-04,2.054298e-04,2.059773e-04,2.062231e-04,2.063271e-04,2.064919e-04,2.065065e-04,2.064839e-04,2.063144e-04,2.061398e-04,2.059944e-04,2.055342e-04,2.052069e-04,2.049435e-04,2.042316e-04,2.037832e-04,2.034072e-04,2.024786e-04,2.019366e-04,2.014537e-04,2.003398e-04,1.997278e-04,1.991441e-04,1.978730e-04,1.972112e-04,1.965330e-04,1.951298e-04,1.944355e-04,1.936692e-04,1.921563e-04,1.914442e-04,1.905961e-04,1.889934e-04,1.882759e-04,1.873526e-04,1.856777e-04,1.849651e-04,1.839729e-04,1.822417e-04,1.815426e-04,1.804876e-04,1.787140e-04,1.780355e-04,1.769238e-04,1.751200e-04,1.744678e-04,1.733053e-04,1.714821e-04,1.708608e-04,1.696530e-04,1.678201e-04,1.672331e-04,1.659855e-04,1.641512e-04,1.636012e-04,1.623190e-04,1.604905e-04,1.599794e-04,1.586674e-04,1.568512e-04,1.563802e-04,1.550431e-04,1.532446e-04,1.528145e-04,1.514568e-04,1.496807e-04,1.492916e-04,1.479174e-04,1.461678e-04,1.458196e-04,1.444327e-04,1.427130e-04,1.424052e-04,1.410094e-04,1.393225e-04,1.390542e-04,1.376530e-04,1.360013e-04,1.357716e-04,1.343680e-04,1.327536e-04,1.325611e-04,1.311583e-04,1.295826e-04,1.294261e-04,1.280268e-04,1.264911e-04,1.263691e-04,1.249758e-04,1.234811e-04,1.233920e-04,1.220071e-04,1.205540e-04,1.204963e-04,1.191219e-04,1.177108e-04,1.176828e-04,1.163210e-04,1.149522e-04,1.123046e-04,1.097399e-04,1.072576e-04,1.048571e-04,1.025375e-04,1.002978e-04,9.813678e-05,9.605313e-05,9.404541e-05,9.211210e-05,9.025159e-05,8.846223e-05,8.674230e-05,8.509007e-05,8.350377e-05,8.198162e-05,8.052183e-05,7.912262e-05,7.778219e-05,7.649878e-05,7.527063e-05,7.409599e-05,7.297316e-05,7.190044e-05,7.087617e-05,6.989872e-05,6.896648e-05,6.807789e-05,6.723141e-05,6.642554e-05,6.565882e-05,6.492983e-05,6.423717e-05,6.357949e-05,6.295546e-05,6.236381e-05,6.180330e-05,6.127270e-05,6.077086e-05,6.029661e-05,5.984887e-05,5.942656e-05,5.902864e-05,5.865411e-05,5.830199e-05,5.797133e-05,5.766123e-05,5.737081e-05,5.709921e-05
0.000000e+00,2.214634e-10,2.947039e-08,3.165034e-08,5.851052e-07,4.531520e-06,4.879304e-06,2.415928e-05,7.386375e-05,7.845454e-05,1.822701e-04,3.186544e-04,3.319711e-04,5.114784e-04,6.844955e-04,7.039430e-04,8.975640e-04,1.063609e-03,1.085788e-03,1.265553e-03,1.412451e-03,1.435669e-03,1.595820e-03,1.722688e-03,1.746071e-03,1.886642e-03,1.994889e-03,2.017823e-03,2.139940e-03,2.231338e-03,2.253337e-03,2.358371e-03,2.434723e-03,2.455402e-03,2.544793e-03,2.607841e-03,2.626902e-03,2.702083e-03,2.753461e-03,2.770682e-03,2.833032e-03,2.874239e-03,2.889460e-03,2.940276e-03,2.972671e-03,2.985783e-03,3.026268e-03,3.051072e-03,3.062009e-03,3.093269e-03,3.111569e-03,3.120301e-03,3.143348e-03,3.156113e-03,3.162640e-03,3.178396e-03,3.186483e-03,3.190828e-03,3.200134e-03,3.204297e-03,3.206505e-03,3.210122e-03,3.211027e-03,3.211159e-03,3.209778e-03,3.208008e-03,3.206137e-03,3.200384e-03,3.196449e-03,3.192659e-03,3.183097e-03,3.177441e-03,3.171824e-03,3.158962e-03,3.151971e-03,3.144625e-03,3.128922e-03,3.120929e-03,3.111955e-03,3.093823e-03,3.085117e-03,3.074618e-03,3.054428e-03,3.045254e-03,3.033336e-03,3.011421e-03,3.001990e-03,2.988758e-03,2.965416e-03,2.955905e-03,2.941463e-03,2.916961e-03,2.907519e-03,2.891971e-03,2.866547e-03,2.857299e-03,2.840744e-03,2.814611e-03,2.805660e-03,2.788196e-03,2.761543e-03,2.752971e-03,2.734694e-03,2.707689e-03,2.699562e-03,2.680564e-03,2.653355e-03,2.645726e-03,2.626094e-03,2.598812e-03,2.591719e-03,2.571538e-03,2.544300e-03,2.537770e-03,2.517121e-03,2.490027e-03,2.484079e-03,2.463038e-03,2.436176e-03,2.430821e-03,2.409460e-03,2.382908e-03,2.378148e-03,2.356537e-03,2.330361e-03,2.326192e-03,2.304396e-03,2.278653e-03,2.275068e-03,2.253147e-03,2.227887e-03,2.224873e-03,2.202884e-03,2.178148e-03,2.175689e-03,2.153687e-03,2.129509e-03,2.127587e-03,2.105621e-03,2.082030e-03,2.080624e-03,2.058741e-03,2.035759e-03,2.034847e-03,2.013090e-03,1.990736e-03,1.990292e-03,1.968702e-03,1.946990e-03,1.904960e-03,1.864219e-03,1.824772e-03,1.786625e-03,1.749775e-03,1.714216e-03,1.679939e-03,1.646932e-03,1.615179e-03,1.584662e-03,1.555361e-03,1.527256e-03,1.500321e-03,1.474534e-03,1.449868e-03,1.426298e-03,1.403795e-03,1.382334e-03,1.361885e-03,1.342421e-03,1.323912e-03,1.306332e-03,1.289650e-03,1.273840e-03,1.258872e-03,1.244718e-03,1.231352e-03,1.218745e-03,1.206871e-03,1.195703e-03,1.185214e-03,1.175379e-03,1.166173e-03,1.157571e-03,1.149548e-03,1.142080e-03,1.135145e-03,1.128720e-03,1.122781e-03,1.117309e-03,1.112280e-03,1.107676e-03,1.103476e-03,1.099659e-03,1.096209e-03,1.093105e-03,1.090330e-03,1.087867e-03,1.085699e-03
0.000000e+00,4.120097e-10,4.348658e-08,4.650040e-08,6.812711e-07,4.076207e-06,4.341189e-06,1.663037e-05,4.242203e-05,4.464889e-05,9.251813e-05,1.525310e-04,1.583127e-04,2.353481e-04,3.081133e-04,3.161981e-04,3.956025e-04,4.620834e-04,4.708488e-04,5.408983e-04,5.968061e-04,6.055310e-04,6.648605e-04,7.107664e-04,7.191174e-04,7.685671e-04,8.057196e-04,8.134817e-04,8.541308e-04,8.837556e-04,8.907766e-04,9.236654e-04,9.468606e-04,9.530298e-04,9.790919e-04,9.968216e-04,1.002064e-03,1.022148e-03,1.035264e-03,1.039535e-03,1.054406e-03,1.063650e-03,1.066930e-03,1.077271e-03,1.083291e-03,1.085579e-03,1.091997e-03,1.095352e-03,1.096661e-03,1.099698e-03,1.100869e-03,1.101227e-03,1.101361e-03,1.100764e-03,1.100207e-03,1.097863e-03,1.095853e-03,1.094423e-03,1.089975e-03,1.086858e-03,1.084603e-03,1.078383e-03,1.074416e-03,1.071388e-03,1.063687e-03,1.059091e-03,1.055344e-03,1.046420e-03,1.041378e-03,1.036969e-03,1.027045e-03,1.021714e-03,1.016698e-03,1.005973e-03,1.000482e-03,9.949135e-04,9.835600e-04,9.780170e-04,9.719501e-04,9.601188e-04,9.546112e-04,9.480990e-04,9.359211e-04,9.305201e-04,9.236135e-04,9.112028e-04,9.059655e-04,8.987134e-04,8.861682e-04,8.811393e-04,8.735884e-04,8.609934e-04,8.562072e-04,8.484016e-04,8.358295e-04,8.313115e-04,8.232928e-04,8.108056e-04,8.065736e-04,7.983811e-04,7.860313e-04,7.820970e-04,7.737672e-04,7.615990e-04,7.579686e-04,7.495358e-04,7.375860e-04,7.342614e-04,7.257572e-04,7.140562e-04,7.110357e-04,7.024893e-04,6.910619e-04,6.883407e-04,6.797791e-04,6.686451e-04,6.662160e-04,6.576638e-04,6.468387e-04,6.446926e-04,6.361725e-04,6.256679e-04,6.237944e-04,6.153269e-04,6.051512e-04,6.035386e-04,5.951423e-04,5.853011e-04,5.839368e-04,5.756285e-04,5.661249e-04,5.649959e-04,5.567906e-04,5.476255e-04,5.467183e-04,5.386295e-04,5.298021e-04,5.291032e-04,5.211427e-04,5.126506e-04,5.121463e-04,5.043247e-04,4.961642e-04,4.958412e-04,4.881676e-04,4.803337e-04,4.801787e-04,4.726611e-04,4.651483e-04,4.507376e-04,4.369332e-04,4.237205e-04,4.110842e-04,3.990085e-04,3.874770e-04,3.764731e-04,3.659799e-04,3.559806e-04,3.464583e-04,3.373963e-04,3.287780e-04,3.205870e-04,3.128071e-04,3.054226e-04,2.984181e-04,2.917783e-04,2.854886e-04,2.795347e-04,2.739026e-04,2.685788e-04,2.635502e-04,2.588042e-04,2.543284e-04,2.501111e-04,2.461409e-04,2.424066e-04,2.388977e-04,2.356039e-04,2.325155e-04,2.296228e-04,2.269170e-04,2.243890e-04,2.220307e-04,2.198339e-04,2.177908e-04,2.158941e-04,2.141365e-04,2.125113e-04,2.110120e-04,2.096322e-04,2.083659e-04,2.072074e-04,2.061511e-04,2.051918e-04,2.043245e-04,2.035442e-04,2.028463e-04,2.022265e-04
0.000000e+00,1.176546e-10,1.617708e-08,1.738732e-08,3.309097e-07,2.562695e-06,2.758282e-06,1.356357e-05,4.215077e-05,4.485847e-05,1.087553e-04,1.984346e-04,2.074343e-04,3.311963e-04,4.520805e-04,4.656216e-04,5.986014e-04,7.084685e-04,7.227619e-04,8.347396e-04,9.205822e-04,9.336483e-04,1.019848e-03,1.083074e-03,1.094222e-03,1.157814e-03,1.202652e-03,1.211673e-03,1.256789e-03,1.287202e-03,1.294073e-03,1.324359e-03,1.343612e-03,1.348402e-03,1.366885e-03,1.377596e-03,1.380426e-03,1.389580e-03,1.393828e-03,1.394851e-03,1.396689e-03,1.396116e-03,1.395500e-03,1.391649e-03,1.387545e-03,1.385462e-03,1.377236e-03,1.370611e-03,1.367231e-03,1.355686e-03,1.347326e-03,1.342812e-03,1.328797e-03,1.319309e-03,1.313812e-03,1.298008e-03,1.287858e-03,1.281520e-03,1.264468e-03,1.254012e-03,1.246960e-03,1.229093e-03,1.218599e-03,1.210950e-03,1.192609e-03,1.182277e-03,1.174136e-03,1.155591e-03,1.145566e-03,1.137026e-03,1.118488e-03,1.108873e-03,1.100018e-03,1.081650e-03,1.072515e-03,1.063417e-03,1.045346e-03,1.036736e-03,1.027460e-03,1.009779e-03,1.001721e-03,9.923226e-04,9.751040e-04,9.676067e-04,9.581364e-04,9.414303e-04,9.344939e-04,9.249945e-04,9.088360e-04,9.024516e-04,8.929606e-04,8.773727e-04,8.715254e-04,8.620755e-04,8.470710e-04,8.417414e-04,8.323607e-04,8.179448e-04,8.131105e-04,8.038233e-04,7.899952e-04,7.856319e-04,7.764591e-04,7.632131e-04,7.592956e-04,7.502549e-04,7.375817e-04,7.340839e-04,7.251906e-04,7.130783e-04,7.099743e-04,7.012412e-04,6.896757e-04,6.869400e-04,6.783778e-04,6.673437e-04,6.649511e-04,6.565690e-04,6.460496e-04,6.439760e-04,6.357812e-04,6.257594e-04,6.239813e-04,6.159799e-04,6.064381e-04,6.049332e-04,5.971298e-04,5.880504e-04,5.867973e-04,5.791955e-04,5.705608e-04,5.695392e-04,5.621418e-04,5.539341e-04,5.531248e-04,5.459335e-04,5.381358e-04,5.375206e-04,5.305365e-04,5.231317e-04,5.226935e-04,5.159171e-04,5.088887e-04,5.086114e-04,5.020425e-04,4.953745e-04,4.952429e-04,4.888808e-04,4.825576e-04,4.705261e-04,4.591197e-04,4.483110e-04,4.380734e-04,4.283814e-04,4.192104e-04,4.105367e-04,4.023378e-04,3.945917e-04,3.872776e-04,3.803754e-04,3.738659e-04,3.677307e-04,3.619520e-04,3.565130e-04,3.513975e-04,3.465899e-04,3.420754e-04,3.378397e-04,3.338693e-04,3.301511e-04,3.266727e-04,3.234220e-04,3.203878e-04,3.175590e-04,3.149253e-04,3.124767e-04,3.102036e-04,3.080969e-04,3.061479e-04,3.043483e-04,3.026900e-04,3.011655e-04,2.997676e-04,2.984892e-04,2.973238e-04,2.962650e-04,2.953068e-04,2.944434e-04,2.936694e-04,2.929795e-04,2.923687e-04,2.918323e-04,2.913656e-04,2.909645e-04,2.906247e-04,2.903424e-04,2.901138e-04,2.899355e-04
0.000000e+00,2.780058e-12,5.866520e-10,6.353463e-10,1.661534e-08,1.618624e-07,1.757675e-07,1.077216e-06,4.172254e-06,4.506497e-06,1.418040e-05,3.349345e-05,3.582370e-05,7.618927e-05,1.336510e-04,1.414324e-04,2.356414e-04,3.435633e-04,3.600594e-04,5.130740e-04,6.645898e-04,6.907586e-04,8.876735e-04,1.063461e-03,1.097686e-03,1.314649e-03,1.493759e-03,1.532913e-03,1.747609e-03,1.914114e-03,1.954792e-03,2.151454e-03,2.296141e-03,2.335453e-03,2.505401e-03,2.624681e-03,2.660545e-03,2.800633e-03,2.894670e-03,2.925796e-03,3.036446e-03,3.107465e-03,3.133193e-03,3.216774e-03,3.267879e-03,3.288000e-03,3.347720e-03,3.382194e-03,3.396789e-03,3.436044e-03,3.456971e-03,3.466295e-03,3.488316e-03,3.498430e-03,3.502838e-03,3.510546e-03,3.512185e-03,3.512079e-03,3.508030e-03,3.503150e-03,3.498946e-03,3.485335e-03,3.475551e-03,3.467662e-03,3.446357e-03,3.432988e-03,3.421814e-03,3.394392e-03,3.378506e-03,3.364424e-03,3.332213e-03,3.314669e-03,3.298035e-03,3.262144e-03,3.243629e-03,3.224772e-03,3.186131e-03,3.167189e-03,3.146413e-03,3.105795e-03,3.086853e-03,3.064437e-03,3.022485e-03,3.003872e-03,2.980071e-03,2.937317e-03,2.919286e-03,2.894332e-03,2.851216e-03,2.833953e-03,2.808058e-03,2.764939e-03,2.748580e-03,2.721933e-03,2.679106e-03,2.663743e-03,2.636516e-03,2.594218e-03,2.579912e-03,2.552259e-03,2.510681e-03,2.497463e-03,2.469523e-03,2.428816e-03,2.416697e-03,2.388591e-03,2.348874e-03,2.337847e-03,2.309687e-03,2.271049e-03,2.261095e-03,2.232977e-03,2.195485e-03,2.186575e-03,2.158585e-03,2.122287e-03,2.114382e-03,2.086597e-03,2.051522e-03,2.044582e-03,2.017067e-03,1.983234e-03,1.977210e-03,1.950025e-03,1.917440e-03,1.912284e-03,1.885479e-03,1.854139e-03,1.849801e-03,1.823419e-03,1.793315e-03,1.789743e-03,1.763822e-03,1.734937e-03,1.732082e-03,1.706654e-03,1.678966e-03,1.676777e-03,1.651869e-03,1.625354e-03,1.623782e-03,1.599416e-03,1.574047e-03,1.573044e-03,1.549239e-03,1.524985e-03,1.524505e-03,1.501276e-03,1.478104e-03,1.433778e-03,1.391462e-03,1.351088e-03,1.312592e-03,1.275905e-03,1.240962e-03,1.207699e-03,1.176050e-03,1.145953e-03,1.117346e-03,1.090170e-03,1.064366e-03,1.039877e-03,1.016648e-03,9.946266e-04,9.737608e-04,9.540010e-04,9.352992e-04,9.176094e-04,9.008869e-04,8.850890e-04,8.701744e-04,8.561036e-04,8.428383e-04,8.303422e-04,8.185800e-04,8.075181e-04,7.971241e-04,7.873670e-04,7.782171e-04,7.696457e-04,7.616256e-04,7.541306e-04,7.471355e-04,7.406162e-04,7.345498e-04,7.289141e-04,7.236879e-04,7.188511e-04,7.143843e-04,7.102688e-04,7.064869e-04,7.030216e-04,6.998567e-04,6.969765e-04,6.943661e-04,6.920114e-04,6.898985e-04,6.880146e-04
0.000000e+00,2.664185e-10,3.239419e-09,3.375964e-09,1.948633e-08,6.586379e-08,6.873289e-08,1.673867e-07,2.983661e-07,3.074424e-07,4.612393e-07,5.973112e-07,6.086626e-07,7.431601e-07,8.523660e-07,8.638227e-07,9.712601e-07,1.055619e-06,1.066424e-06,1.150306e-06,1.214150e-06,1.223860e-06,1.287981e-06,1.335163e-06,1.343501e-06,1.391193e-06,1.424960e-06,1.431769e-06,1.465886e-06,1.488935e-06,1.494146e-06,1.517106e-06,1.531663e-06,1.535273e-06,1.549112e-06,1.557000e-06,1.559051e-06,1.565478e-06,1.568185e-06,1.568750e-06,1.569193e-06,1.567927e-06,1.567102e-06,1.562749e-06,1.558488e-06,1.556379e-06,1.548219e-06,1.541752e-06,1.538472e-06,1.527325e-06,1.519284e-06,1.514947e-06,1.501493e-06,1.492382e-06,1.487101e-06,1.471899e-06,1.462118e-06,1.456003e-06,1.439516e-06,1.429380e-06,1.422533e-06,1.405140e-06,1.394895e-06,1.387414e-06,1.369425e-06,1.359259e-06,1.351235e-06,1.332902e-06,1.322961e-06,1.314477e-06,1.296006e-06,1.286396e-06,1.277529e-06,1.259083e-06,1.249882e-06,1.240702e-06,1.222414e-06,1.213677e-06,1.204246e-06,1.186220e-06,1.177982e-06,1.168358e-06,1.150676e-06,1.142958e-06,1.133191e-06,1.115917e-06,1.108727e-06,1.098864e-06,1.082044e-06,1.075383e-06,1.065465e-06,1.049134e-06,1.042994e-06,1.033057e-06,1.017239e-06,1.011609e-06,1.001684e-06,9.863952e-07,9.812581e-07,9.713748e-07,9.566239e-07,9.519608e-07,9.421436e-07,9.279338e-07,9.237237e-07,9.139944e-07,9.003244e-07,8.965449e-07,8.869226e-07,8.737874e-07,8.704157e-07,8.609168e-07,8.483086e-07,8.453214e-07,8.359602e-07,8.238689e-07,8.212430e-07,8.120317e-07,8.004456e-07,7.981582e-07,7.891072e-07,7.780132e-07,7.760420e-07,7.671600e-07,7.565442e-07,7.548674e-07,7.461619e-07,7.360094e-07,7.346062e-07,7.260831e-07,7.163791e-07,7.152294e-07,7.068936e-07,6.976227e-07,6.967072e-07,6.885625e-07,6.797093e-07,6.790099e-07,6.710592e-07,6.626084e-07,6.621076e-07,6.543531e-07,6.462895e-07,6.459709e-07,6.384139e-07,6.307225e-07,6.305705e-07,6.232117e-07,6.158779e-07,6.018651e-07,5.885047e-07,5.757701e-07,5.636356e-07,5.520762e-07,5.410678e-07,5.305869e-07,5.206110e-07,5.111185e-07,5.020884e-07,4.935007e-07,4.853360e-07,4.775756e-07,4.702019e-07,4.631977e-07,4.565464e-07,4.502325e-07,4.442406e-07,4.385565e-07,4.331661e-07,4.280562e-07,4.232139e-07,4.186272e-07,4.142843e-07,4.101740e-07,4.062856e-07,4.026089e-07,3.991339e-07,3.958514e-07,3.927522e-07,3.898279e-07,3.870702e-07,3.844711e-07,3.820232e-07,3.797193e-07,3.775525e-07,3.755161e-07,3.736039e-07,3.718099e-07,3.701282e-07,3.685535e-07,3.670804e-07,3.657039e-07,3.644193e-07,3.632218e-07,3.621072e-07,3.610712e-07,3.601099e-07,3.592195e-07
0.000000e+00,2.284389e-10,3.363398e-09,3.519230e-09,2.399361e-08,8.895490e-08,9.304231e-08,2.290067e-07,3.888583e-07,3.992440e-07,5.681327e-07,7.123081e-07,7.242596e-07,8.656594e-07,9.805943e-07,9.926718e-07,1.106174e-06,1.195655e-06,1.207141e-06,1.296524e-06,1.364816e-06,1.375222e-06,1.444083e-06,1.494901e-06,1.503894e-06,1.555396e-06,1.591911e-06,1.599276e-06,1.636179e-06,1.661083e-06,1.666705e-06,1.691411e-06,1.706977e-06,1.710817e-06,1.725402e-06,1.733537e-06,1.735611e-06,1.741856e-06,1.744150e-06,1.744517e-06,1.743943e-06,1.741710e-06,1.740458e-06,1.734358e-06,1.728680e-06,1.725917e-06,1.715385e-06,1.707147e-06,1.702993e-06,1.688952e-06,1.678877e-06,1.673457e-06,1.656684e-06,1.645355e-06,1.638796e-06,1.619942e-06,1.607828e-06,1.600258e-06,1.579867e-06,1.567340e-06,1.558882e-06,1.537405e-06,1.524761e-06,1.515532e-06,1.493346e-06,1.480814e-06,1.470924e-06,1.448337e-06,1.436094e-06,1.425647e-06,1.402913e-06,1.391090e-06,1.380184e-06,1.357507e-06,1.346202e-06,1.334925e-06,1.312473e-06,1.301752e-06,1.290185e-06,1.268090e-06,1.257999e-06,1.246215e-06,1.224583e-06,1.215147e-06,1.203213e-06,1.182123e-06,1.173353e-06,1.161328e-06,1.140842e-06,1.132737e-06,1.120676e-06,1.100838e-06,1.093388e-06,1.081337e-06,1.062179e-06,1.055367e-06,1.043369e-06,1.024910e-06,1.018715e-06,1.006805e-06,9.890558e-07,9.834513e-07,9.716627e-07,9.546257e-07,9.495840e-07,9.379440e-07,9.216160e-07,9.171073e-07,9.056398e-07,8.900125e-07,8.860063e-07,8.747313e-07,8.597926e-07,8.562578e-07,8.451925e-07,8.309270e-07,8.278330e-07,8.169916e-07,8.033816e-07,8.006982e-07,7.900921e-07,7.771182e-07,7.748160e-07,7.644546e-07,7.520960e-07,7.501465e-07,7.400370e-07,7.282721e-07,7.266482e-07,7.167958e-07,7.056026e-07,7.042781e-07,6.946867e-07,6.840427e-07,6.829930e-07,6.736649e-07,6.635476e-07,6.627494e-07,6.536855e-07,6.440729e-07,6.435039e-07,6.347043e-07,6.255743e-07,6.252139e-07,6.166775e-07,6.080086e-07,6.078375e-07,5.995623e-07,5.913335e-07,5.756620e-07,5.607844e-07,5.466630e-07,5.332617e-07,5.205458e-07,5.084816e-07,4.970372e-07,4.861817e-07,4.758857e-07,4.661212e-07,4.568612e-07,4.480802e-07,4.397538e-07,4.318587e-07,4.243728e-07,4.172752e-07,4.105458e-07,4.041656e-07,3.981166e-07,3.923816e-07,3.869444e-07,3.817895e-07,3.769024e-07,3.722690e-07,3.678762e-07,3.637116e-07,3.597633e-07,3.560200e-07,3.524711e-07,3.491065e-07,3.459166e-07,3.428924e-07,3.400254e-07,3.373072e-07,3.347304e-07,3.322874e-07,3.299715e-07,3.277760e-07,3.256948e-07,3.237219e-07,3.218517e-07,3.200790e-07,3.183988e-07,3.168063e-07,3.152970e-07,3.138666e-07,3.125112e-07,3.112268e-07,3.100099e-07
0.000000e+00,3.451914e-10,5.576111e-09,5.833092e-09,3.655358e-08,1.181650e-07,1.229058e-07,2.703422e-07,4.343425e-07,4.448382e-07,6.130274e-07,7.529947e-07,7.644526e-07,8.983416e-07,1.004855e-06,1.015923e-06,1.118698e-06,1.198044e-06,1.208114e-06,1.285506e-06,1.343379e-06,1.352093e-06,1.408980e-06,1.450008e-06,1.457173e-06,1.497581e-06,1.525484e-06,1.531024e-06,1.558245e-06,1.575994e-06,1.579914e-06,1.596632e-06,1.606587e-06,1.608943e-06,1.617336e-06,1.621365e-06,1.622249e-06,1.624077e-06,1.623655e-06,1.623177e-06,1.619865e-06,1.616150e-06,1.614429e-06,1.607125e-06,1.601026e-06,1.598185e-06,1.587813e-06,1.580038e-06,1.576195e-06,1.563498e-06,1.554600e-06,1.549871e-06,1.535445e-06,1.525849e-06,1.520339e-06,1.504661e-06,1.494695e-06,1.488506e-06,1.471959e-06,1.461874e-06,1.455096e-06,1.437985e-06,1.427971e-06,1.420686e-06,1.403251e-06,1.393446e-06,1.385728e-06,1.368160e-06,1.358667e-06,1.350583e-06,1.333029e-06,1.323921e-06,1.315529e-06,1.298107e-06,1.289433e-06,1.280786e-06,1.263585e-06,1.255376e-06,1.246521e-06,1.229610e-06,1.221886e-06,1.212864e-06,1.196293e-06,1.189060e-06,1.179908e-06,1.163717e-06,1.156975e-06,1.147725e-06,1.131939e-06,1.125683e-06,1.116363e-06,1.101001e-06,1.095221e-06,1.085856e-06,1.070929e-06,1.065610e-06,1.056223e-06,1.041737e-06,1.036863e-06,1.027473e-06,1.013431e-06,1.008984e-06,9.996087e-07,9.860070e-07,9.819693e-07,9.726243e-07,9.594592e-07,9.558118e-07,9.465102e-07,9.337754e-07,9.304993e-07,9.212529e-07,9.089406e-07,9.060166e-07,8.968361e-07,8.849372e-07,8.823467e-07,8.732413e-07,8.617459e-07,8.594707e-07,8.504485e-07,8.393463e-07,8.373684e-07,8.284367e-07,8.177170e-07,8.160192e-07,8.071843e-07,7.968360e-07,7.954018e-07,7.866693e-07,7.766814e-07,7.754947e-07,7.668695e-07,7.572308e-07,7.562764e-07,7.477627e-07,7.384623e-07,7.377255e-07,7.293270e-07,7.203541e-07,7.198208e-07,7.115408e-07,7.028846e-07,7.025416e-07,6.943828e-07,6.860329e-07,6.858674e-07,6.778322e-07,6.697782e-07,6.542546e-07,6.392774e-07,6.248283e-07,6.108893e-07,5.974430e-07,5.844724e-07,5.719613e-07,5.598937e-07,5.482545e-07,5.370286e-07,5.262019e-07,5.157604e-07,5.056908e-07,4.959801e-07,4.866159e-07,4.775860e-07,4.688788e-07,4.604830e-07,4.523878e-07,4.445827e-07,4.370575e-07,4.298024e-07,4.228080e-07,4.160652e-07,4.095652e-07,4.032994e-07,3.972597e-07,3.914382e-07,3.858271e-07,3.804191e-07,3.752071e-07,3.701841e-07,3.653437e-07,3.606793e-07,3.561847e-07,3.518540e-07,3.476814e-07,3.436614e-07,3.397885e-07,3.360576e-07,3.324637e-07,3.290019e-07,3.256676e-07,3.224563e-07,3.193636e-07,3.163853e-07,3.135174e-07,3.107560e-07,3.080972e-07
0.000000e+00,2.193395e-09,1.331346e-07,1.412637e-07,1.539294e-06,7.414959e-06,7.829329e-06,2.432326e-05,5.134073e-05,5.339969e-05,9.148127e-05,1.291874e-04,1.324607e-04,1.724418e-04,2.063914e-04,2.100300e-04,2.449186e-04,2.733986e-04,2.771247e-04,3.067487e-04,3.302530e-04,3.339126e-04,3.587426e-04,3.778884e-04,3.813647e-04,4.019029e-04,4.172737e-04,4.204775e-04,4.372050e-04,4.493324e-04,4.521972e-04,4.655610e-04,4.749203e-04,4.773987e-04,4.878076e-04,4.948201e-04,4.968806e-04,5.047054e-04,5.097414e-04,5.113654e-04,5.169398e-04,5.203230e-04,5.215029e-04,5.251247e-04,5.271358e-04,5.278720e-04,5.298072e-04,5.306896e-04,5.309895e-04,5.314750e-04,5.314392e-04,5.313159e-04,5.305616e-04,5.297880e-04,5.292585e-04,5.274505e-04,5.260942e-04,5.251789e-04,5.224822e-04,5.206753e-04,5.193966e-04,5.159563e-04,5.138111e-04,5.121932e-04,5.081373e-04,5.057486e-04,5.038166e-04,4.992576e-04,4.967054e-04,4.944850e-04,4.895218e-04,4.868728e-04,4.843895e-04,4.791084e-04,4.764179e-04,4.736972e-04,4.681737e-04,4.654873e-04,4.625541e-04,4.568537e-04,4.542084e-04,4.510869e-04,4.452667e-04,4.426922e-04,4.394055e-04,4.335148e-04,4.310344e-04,4.276050e-04,4.216860e-04,4.193179e-04,4.157669e-04,4.098561e-04,4.076138e-04,4.039612e-04,3.980894e-04,3.959825e-04,3.922472e-04,3.864407e-04,3.844756e-04,3.806752e-04,3.749559e-04,3.731362e-04,3.692873e-04,3.636735e-04,3.620006e-04,3.581183e-04,3.526250e-04,3.510985e-04,3.471968e-04,3.418364e-04,3.404541e-04,3.365461e-04,3.313282e-04,3.300868e-04,3.261844e-04,3.211164e-04,3.200118e-04,3.161257e-04,3.112133e-04,3.102403e-04,3.063803e-04,3.016275e-04,3.007806e-04,2.969555e-04,2.923648e-04,2.916379e-04,2.878557e-04,2.834284e-04,2.828151e-04,2.790829e-04,2.748192e-04,2.743131e-04,2.706371e-04,2.665364e-04,2.661308e-04,2.625166e-04,2.585773e-04,2.582656e-04,2.547180e-04,2.509381e-04,2.507138e-04,2.472370e-04,2.436138e-04,2.434705e-04,2.400679e-04,2.365984e-04,2.365298e-04,2.332045e-04,2.298852e-04,2.235295e-04,2.174551e-04,2.116540e-04,2.061179e-04,2.008384e-04,1.958069e-04,1.910147e-04,1.864533e-04,1.821139e-04,1.779882e-04,1.740678e-04,1.703442e-04,1.668096e-04,1.634559e-04,1.602754e-04,1.572607e-04,1.544044e-04,1.516994e-04,1.491390e-04,1.467164e-04,1.444254e-04,1.422598e-04,1.402136e-04,1.382811e-04,1.364570e-04,1.347359e-04,1.331128e-04,1.315828e-04,1.301415e-04,1.287842e-04,1.275069e-04,1.263054e-04,1.251759e-04,1.241147e-04,1.231183e-04,1.221833e-04,1.213066e-04,1.204851e-04,1.197158e-04,1.189961e-04,1.183233e-04,1.176948e-04,1.171083e-04,1.165615e-04,1.160524e-04,1.155787e-04,1.151386e-04,1.147302e-04,1.143518e-04
0.000000e+00,1.734480e-09,2.770724e-08,2.900058e-08,1.890050e-07,6.130335e-07,6.367082e-07,1.311377e-06,1.985804e-06,2.028366e-06,2.720341e-06,3.324030e-06,3.374970e-06,3.990806e-06,4.512405e-06,4.568487e-06,5.109186e-06,5.555452e-06,5.614207e-06,6.084741e-06,6.462857e-06,6.522153e-06,6.927840e-06,7.245136e-06,7.303217e-06,7.649686e-06,7.913191e-06,7.968631e-06,8.261403e-06,8.477660e-06,8.529316e-06,8.773643e-06,8.948635e-06,8.995609e-06,9.196394e-06,9.335523e-06,9.377130e-06,9.538902e-06,9.647016e-06,9.682748e-06,9.809664e-06,9.891094e-06,9.920597e-06,1.001646e-05,1.007505e-05,1.009811e-05,1.016638e-05,1.020556e-05,1.022205e-05,1.026588e-05,1.028867e-05,1.029858e-05,1.032084e-05,1.032990e-05,1.033330e-05,1.033657e-05,1.033425e-05,1.033126e-05,1.031791e-05,1.030626e-05,1.029705e-05,1.026920e-05,1.025002e-05,1.023482e-05,1.019438e-05,1.016925e-05,1.014831e-05,1.009702e-05,1.006729e-05,1.004090e-05,9.980309e-06,9.947157e-06,9.915610e-06,9.847130e-06,9.811571e-06,9.775184e-06,9.700069e-06,9.662972e-06,9.622067e-06,9.541446e-06,9.503550e-06,9.458457e-06,9.373338e-06,9.335270e-06,9.286315e-06,9.197601e-06,9.159886e-06,9.107397e-06,9.015891e-06,8.978965e-06,8.923263e-06,8.829681e-06,8.793903e-06,8.735304e-06,8.640281e-06,8.605942e-06,8.544752e-06,8.448848e-06,8.416178e-06,8.352695e-06,8.256407e-06,8.225585e-06,8.160095e-06,8.063859e-06,8.035017e-06,7.967795e-06,7.871992e-06,7.845226e-06,7.776534e-06,7.681499e-06,7.656867e-06,7.586957e-06,7.492977e-06,7.470513e-06,7.399621e-06,7.306947e-06,7.286655e-06,7.215007e-06,7.123852e-06,7.105719e-06,7.033526e-06,6.944072e-06,6.928066e-06,6.855527e-06,6.767927e-06,6.754001e-06,6.681303e-06,6.595685e-06,6.583780e-06,6.511097e-06,6.427564e-06,6.417611e-06,6.345106e-06,6.263741e-06,6.255666e-06,6.183487e-06,6.104357e-06,6.098075e-06,6.026363e-06,5.949516e-06,5.944941e-06,5.873823e-06,5.799293e-06,5.796336e-06,5.725930e-06,5.653739e-06,5.652307e-06,5.582721e-06,5.512877e-06,5.378052e-06,5.247819e-06,5.122148e-06,5.001000e-06,4.884319e-06,4.772044e-06,4.664103e-06,4.560416e-06,4.460898e-06,4.365460e-06,4.274007e-06,4.186441e-06,4.102662e-06,4.022568e-06,3.946055e-06,3.873019e-06,3.803355e-06,3.736959e-06,3.673726e-06,3.613553e-06,3.556337e-06,3.501976e-06,3.450371e-06,3.401423e-06,3.355035e-06,3.311113e-06,3.269564e-06,3.230296e-06,3.193221e-06,3.158253e-06,3.125306e-06,3.094299e-06,3.065151e-06,3.037785e-06,3.012126e-06,2.988099e-06,2.965634e-06,2.944662e-06,2.925116e-06,2.906931e-06,2.890046e-06,2.874399e-06,2.859932e-06,2.846589e-06,2.834316e-06,2.823059e-06,2.812769e-06,2.803396e-06,2.794894e-06
0.000000e+00,1.009179e-10,1.967595e-08,2.131521e-08,5.403492e-07,4.383958e-06,4.708414e-06,2.031381e-05,5.126538e-05,5.377479e-05,1.025867e-04,1.537607e-04,1.582630e-04,2.129741e-04,2.576375e-04,2.622597e-04,3.045080e-04,3.358233e-04,3.396901e-04,3.684355e-04,3.886272e-04,3.915560e-04,4.098500e-04,4.220152e-04,4.240357e-04,4.347388e-04,4.412968e-04,4.424978e-04,4.477741e-04,4.504745e-04,4.509619e-04,4.523977e-04,4.524873e-04,4.523681e-04,4.511171e-04,4.494782e-04,4.488521e-04,4.457493e-04,4.430026e-04,4.419581e-04,4.376053e-04,4.341843e-04,4.327980e-04,4.276270e-04,4.238325e-04,4.221691e-04,4.164890e-04,4.125277e-04,4.106412e-04,4.046717e-04,4.006843e-04,3.986193e-04,3.925164e-04,3.885968e-04,3.863902e-04,3.802633e-04,3.764727e-04,3.741546e-04,3.680801e-04,3.644571e-04,3.620525e-04,3.560828e-04,3.526503e-04,3.501796e-04,3.443500e-04,3.411197e-04,3.385996e-04,3.329331e-04,3.299093e-04,3.273539e-04,3.218647e-04,3.190465e-04,3.164674e-04,3.111635e-04,3.085469e-04,3.059538e-04,3.008388e-04,2.984172e-04,2.958185e-04,2.908928e-04,2.886586e-04,2.860612e-04,2.813230e-04,2.792676e-04,2.766775e-04,2.721237e-04,2.702382e-04,2.676605e-04,2.632868e-04,2.615621e-04,2.590014e-04,2.548029e-04,2.532299e-04,2.506900e-04,2.466613e-04,2.452314e-04,2.427156e-04,2.388512e-04,2.375557e-04,2.350670e-04,2.313613e-04,2.301919e-04,2.277328e-04,2.241802e-04,2.231289e-04,2.207019e-04,2.172965e-04,2.163559e-04,2.139628e-04,2.106992e-04,2.098620e-04,2.075046e-04,2.043774e-04,2.036368e-04,2.013164e-04,1.983204e-04,1.976698e-04,1.953880e-04,1.925179e-04,1.919512e-04,1.897089e-04,1.869598e-04,1.864713e-04,1.842694e-04,1.816366e-04,1.812206e-04,1.790600e-04,1.765387e-04,1.761901e-04,1.740715e-04,1.716573e-04,1.713711e-04,1.692950e-04,1.669836e-04,1.667552e-04,1.647220e-04,1.625091e-04,1.623342e-04,1.603442e-04,1.582260e-04,1.581004e-04,1.561537e-04,1.541263e-04,1.540462e-04,1.521430e-04,1.502027e-04,1.501643e-04,1.483046e-04,1.464479e-04,1.428903e-04,1.394849e-04,1.362257e-04,1.331067e-04,1.301222e-04,1.272667e-04,1.245349e-04,1.219219e-04,1.194226e-04,1.170325e-04,1.147472e-04,1.125622e-04,1.104734e-04,1.084770e-04,1.065691e-04,1.047460e-04,1.030043e-04,1.013406e-04,9.975157e-05,9.823423e-05,9.678557e-05,9.540274e-05,9.408299e-05,9.282371e-05,9.162236e-05,9.047654e-05,8.938392e-05,8.834226e-05,8.734944e-05,8.640339e-05,8.550216e-05,8.464386e-05,8.382667e-05,8.304886e-05,8.230876e-05,8.160476e-05,8.093535e-05,8.029904e-05,7.969441e-05,7.912013e-05,7.857489e-05,7.805743e-05,7.756658e-05,7.710117e-05,7.666011e-05,7.624234e-05,7.584686e-05,7.547269e-05,7.511890e-05
0.000000e+00,1.552283e-09,2.928136e-08,3.073503e-08,2.260323e-07,8.088105e-07,8.433189e-07,1.882646e-06,2.967802e-06,3.036561e-06,4.151792e-06,5.116755e-06,5.197750e-06,6.171118e-06,6.986692e-06,7.073874e-06,7.909065e-06,8.590714e-06,8.679928e-06,9.389692e-06,9.953647e-06,1.004153e-05,1.063856e-05,1.109992e-05,1.118380e-05,1.168018e-05,1.205272e-05,1.213050e-05,1.253749e-05,1.283360e-05,1.290371e-05,1.323163e-05,1.346233e-05,1.352359e-05,1.378182e-05,1.395683e-05,1.400844e-05,1.420543e-05,1.433326e-05,1.437471e-05,1.451806e-05,1.460618e-05,1.463718e-05,1.473369e-05,1.478860e-05,1.480909e-05,1.486482e-05,1.489217e-05,1.490223e-05,1.492261e-05,1.492731e-05,1.492715e-05,1.491699e-05,1.490328e-05,1.489321e-05,1.485682e-05,1.482834e-05,1.480876e-05,1.474994e-05,1.470984e-05,1.468121e-05,1.460334e-05,1.455430e-05,1.451711e-05,1.442320e-05,1.436751e-05,1.432228e-05,1.421497e-05,1.415458e-05,1.410187e-05,1.398351e-05,1.392005e-05,1.386041e-05,1.373305e-05,1.366792e-05,1.360190e-05,1.346737e-05,1.340171e-05,1.332986e-05,1.318975e-05,1.312452e-05,1.304738e-05,1.290308e-05,1.283906e-05,1.275716e-05,1.260990e-05,1.254771e-05,1.246156e-05,1.231240e-05,1.225256e-05,1.216265e-05,1.201251e-05,1.195541e-05,1.186220e-05,1.171189e-05,1.165781e-05,1.156176e-05,1.141197e-05,1.136114e-05,1.126266e-05,1.111398e-05,1.106655e-05,1.096604e-05,1.081897e-05,1.077503e-05,1.067287e-05,1.052784e-05,1.048744e-05,1.038397e-05,1.024134e-05,1.020447e-05,1.010002e-05,9.960095e-06,9.926724e-06,9.821610e-06,9.684626e-06,9.654696e-06,9.549193e-06,9.415354e-06,9.388782e-06,9.283150e-06,9.152615e-06,9.129299e-06,9.023780e-06,8.896671e-06,8.876495e-06,8.771310e-06,8.647717e-06,8.630556e-06,8.525907e-06,8.405892e-06,8.391611e-06,8.287682e-06,8.171285e-06,8.159745e-06,8.056704e-06,7.943941e-06,7.934998e-06,7.832996e-06,7.723868e-06,7.717378e-06,7.616552e-06,7.511042e-06,7.506859e-06,7.407331e-06,7.305410e-06,7.303390e-06,7.205269e-06,7.106896e-06,6.917286e-06,6.734448e-06,6.558260e-06,6.388588e-06,6.225289e-06,6.068211e-06,5.917199e-06,5.772092e-06,5.632727e-06,5.498939e-06,5.370561e-06,5.247428e-06,5.129373e-06,5.016233e-06,4.907843e-06,4.804045e-06,4.704679e-06,4.609591e-06,4.518629e-06,4.431643e-06,4.348488e-06,4.269024e-06,4.193110e-06,4.120614e-06,4.051405e-06,3.985356e-06,3.922344e-06,3.862250e-06,3.804959e-06,3.750360e-06,3.698344e-06,3.648808e-06,3.601650e-06,3.556775e-06,3.514087e-06,3.473497e-06,3.434917e-06,3.398264e-06,3.363457e-06,3.330417e-06,3.299071e-06,3.269346e-06,3.241173e-06,3.214484e-06,3.189217e-06,3.165309e-06,3.142701e-06,3.121336e-06,3.101160e-06
0.000000e+00,3.661122e-09,1.054957e-07,1.109553e-07,9.396937e-07,4.278001e-06,4.513804e-06,1.387958e-05,2.846256e-05,2.952276e-05,4.810050e-05,6.540100e-05,6.688256e-05,8.494422e-05,1.003961e-04,1.020642e-04,1.182082e-04,1.316194e-04,1.333915e-04,1.476428e-04,1.591786e-04,1.609951e-04,1.734829e-04,1.833303e-04,1.851413e-04,1.960053e-04,2.043454e-04,2.061097e-04,2.154887e-04,2.224923e-04,2.241759e-04,2.322040e-04,2.380288e-04,2.396047e-04,2.464086e-04,2.511987e-04,2.526454e-04,2.583434e-04,2.622293e-04,2.635301e-04,2.682316e-04,2.713305e-04,2.724732e-04,2.762789e-04,2.786959e-04,2.796718e-04,2.826739e-04,2.845029e-04,2.853063e-04,2.875892e-04,2.889138e-04,2.895418e-04,2.911825e-04,2.920770e-04,2.925288e-04,2.935974e-04,2.941276e-04,2.944044e-04,2.949649e-04,2.951889e-04,2.952934e-04,2.954038e-04,2.953731e-04,2.953093e-04,2.950224e-04,2.947821e-04,2.945550e-04,2.939186e-04,2.935085e-04,2.931240e-04,2.921815e-04,2.916362e-04,2.911009e-04,2.898915e-04,2.892414e-04,2.885623e-04,2.871216e-04,2.863928e-04,2.855775e-04,2.839375e-04,2.831529e-04,2.822089e-04,2.803986e-04,2.795779e-04,2.785131e-04,2.765586e-04,2.757185e-04,2.745409e-04,2.724656e-04,2.716205e-04,2.703380e-04,2.681630e-04,2.673251e-04,2.659454e-04,2.636898e-04,2.628692e-04,2.614002e-04,2.590807e-04,2.582860e-04,2.567352e-04,2.543672e-04,2.536052e-04,2.519800e-04,2.495770e-04,2.488534e-04,2.471610e-04,2.447349e-04,2.440542e-04,2.423015e-04,2.398632e-04,2.392288e-04,2.374224e-04,2.349814e-04,2.343957e-04,2.325422e-04,2.301068e-04,2.295717e-04,2.276770e-04,2.252547e-04,2.247712e-04,2.228413e-04,2.204385e-04,2.200072e-04,2.180475e-04,2.156699e-04,2.152908e-04,2.133067e-04,2.109591e-04,2.106317e-04,2.086282e-04,2.063150e-04,2.060386e-04,2.040203e-04,2.017451e-04,2.015187e-04,1.994900e-04,1.972559e-04,1.970781e-04,1.950433e-04,1.928528e-04,1.927221e-04,1.906850e-04,1.885404e-04,1.884551e-04,1.864194e-04,1.843224e-04,1.842807e-04,1.822498e-04,1.802018e-04,1.762207e-04,1.723391e-04,1.685582e-04,1.648787e-04,1.613010e-04,1.578252e-04,1.544508e-04,1.511774e-04,1.480041e-04,1.449299e-04,1.419535e-04,1.390736e-04,1.362887e-04,1.335971e-04,1.309972e-04,1.284870e-04,1.260648e-04,1.237286e-04,1.214764e-04,1.193063e-04,1.172161e-04,1.152039e-04,1.132677e-04,1.114053e-04,1.096148e-04,1.078941e-04,1.062412e-04,1.046541e-04,1.031309e-04,1.016696e-04,1.002684e-04,9.892527e-05,9.763844e-05,9.640611e-05,9.522649e-05,9.409785e-05,9.301850e-05,9.198678e-05,9.100106e-05,9.005976e-05,8.916135e-05,8.830432e-05,8.748722e-05,8.670860e-05,8.596710e-05,8.526136e-05,8.459007e-05,8.395197e-05,8.334581e-05
0.000000e+00,2.297124e-09,2.946450e-08,3.073028e-08,1.832474e-07,6.286577e-07,6.560872e-07,1.567570e-06,2.661579e-06,2.733205e-06,3.895890e-06,4.875394e-06,4.955777e-06,5.895496e-06,6.642008e-06,6.719444e-06,7.436801e-06,7.987642e-06,8.057300e-06,8.590185e-06,8.984917e-06,9.043988e-06,9.426529e-06,9.698046e-06,9.744965e-06,1.000585e-05,1.018103e-05,1.021516e-05,1.037836e-05,1.047908e-05,1.050043e-05,1.058589e-05,1.062980e-05,1.063886e-05,1.066306e-05,1.066429e-05,1.066184e-05,1.063825e-05,1.060801e-05,1.059503e-05,1.053463e-05,1.048177e-05,1.045928e-05,1.037097e-05,1.030241e-05,1.027149e-05,1.016244e-05,1.008355e-05,1.004524e-05,9.921173e-06,9.836090e-06,9.791387e-06,9.656897e-06,9.568780e-06,9.518613e-06,9.377340e-06,9.288569e-06,9.233797e-06,9.088620e-06,9.000966e-06,8.942372e-06,8.795552e-06,8.710308e-06,8.648596e-06,8.501892e-06,8.419976e-06,8.355778e-06,8.210550e-06,8.132589e-06,8.066468e-06,7.923754e-06,7.850149e-06,7.782603e-06,7.643181e-06,7.574163e-06,7.505630e-06,7.370070e-06,7.305738e-06,7.236601e-06,7.105309e-06,7.045664e-06,6.976259e-06,6.849508e-06,6.794476e-06,6.725096e-06,6.603055e-06,6.552510e-06,6.483406e-06,6.366163e-06,6.319941e-06,6.251331e-06,6.138909e-06,6.096819e-06,6.028890e-06,5.921262e-06,5.883098e-06,5.816009e-06,5.713110e-06,5.678657e-06,5.612542e-06,5.514279e-06,5.483317e-06,5.418291e-06,5.324547e-06,5.296857e-06,5.233015e-06,5.143660e-06,5.119026e-06,5.056447e-06,4.971338e-06,4.949550e-06,4.888297e-06,4.807286e-06,4.788141e-06,4.728266e-06,4.651198e-06,4.634502e-06,4.576044e-06,4.502765e-06,4.488331e-06,4.431322e-06,4.361676e-06,4.349328e-06,4.293790e-06,4.227624e-06,4.217194e-06,4.163141e-06,4.100303e-06,4.091635e-06,4.039074e-06,3.979417e-06,3.972362e-06,3.921296e-06,3.864675e-06,3.859095e-06,3.809521e-06,3.755797e-06,3.751560e-06,3.703471e-06,3.652510e-06,3.649495e-06,3.602881e-06,3.554552e-06,3.552645e-06,3.507491e-06,3.461669e-06,3.460765e-06,3.417054e-06,3.373618e-06,3.290980e-06,3.212634e-06,3.138371e-06,3.067995e-06,3.001315e-06,2.938150e-06,2.878328e-06,2.821684e-06,2.768061e-06,2.717309e-06,2.669286e-06,2.623855e-06,2.580888e-06,2.540261e-06,2.501856e-06,2.465563e-06,2.431274e-06,2.398890e-06,2.368313e-06,2.339453e-06,2.312222e-06,2.286537e-06,2.262321e-06,2.239497e-06,2.217995e-06,2.197746e-06,2.178688e-06,2.160758e-06,2.143898e-06,2.128053e-06,2.113170e-06,2.099199e-06,2.086093e-06,2.073807e-06,2.062296e-06,2.051522e-06,2.041444e-06,2.032026e-06,2.023233e-06,2.015031e-06,2.007388e-06,2.000276e-06,1.993664e-06,1.987526e-06,1.981835e-06,1.976569e-06,1.971702e-06,1.967213e-06,1.963080e-06
0.000000e+00,5.611770e-10,7.264638e-09,7.582913e-09,4.703952e-08,1.652185e-07,1.725381e-07,4.163415e-07,7.114897e-07,7.310427e-07,1.055329e-06,1.342235e-06,1.366482e-06,1.659479e-06,1.907122e-06,1.933710e-06,2.189621e-06,2.400233e-06,2.427925e-06,2.649401e-06,2.827009e-06,2.854833e-06,3.044997e-06,3.193492e-06,3.220653e-06,3.382535e-06,3.505501e-06,3.531356e-06,3.667805e-06,3.768499e-06,3.792540e-06,3.906196e-06,3.987549e-06,4.009381e-06,4.102673e-06,4.167301e-06,4.186627e-06,4.261772e-06,4.312006e-06,4.328613e-06,4.387629e-06,4.425534e-06,4.439279e-06,4.483997e-06,4.511396e-06,4.522195e-06,4.554266e-06,4.572767e-06,4.580586e-06,4.601512e-06,4.612533e-06,4.617381e-06,4.628515e-06,4.633297e-06,4.635219e-06,4.637781e-06,4.637412e-06,4.636478e-06,4.631568e-06,4.626994e-06,4.623298e-06,4.611903e-06,4.603948e-06,4.597602e-06,4.580606e-06,4.569985e-06,4.561112e-06,4.539309e-06,4.526637e-06,4.515373e-06,4.489473e-06,4.475281e-06,4.461766e-06,4.432404e-06,4.417146e-06,4.401527e-06,4.369270e-06,4.353334e-06,4.335759e-06,4.301112e-06,4.284825e-06,4.265443e-06,4.228857e-06,4.212494e-06,4.191454e-06,4.153328e-06,4.137120e-06,4.114567e-06,4.075255e-06,4.059394e-06,4.035470e-06,3.995286e-06,3.979926e-06,3.954772e-06,3.913991e-06,3.899257e-06,3.873006e-06,3.831873e-06,3.817864e-06,3.790645e-06,3.749373e-06,3.736164e-06,3.708102e-06,3.666876e-06,3.654524e-06,3.625737e-06,3.584721e-06,3.573263e-06,3.543863e-06,3.503198e-06,3.492660e-06,3.462753e-06,3.422559e-06,3.412953e-06,3.382641e-06,3.343022e-06,3.334348e-06,3.303725e-06,3.264770e-06,3.257022e-06,3.226176e-06,3.187959e-06,3.181121e-06,3.150136e-06,3.112720e-06,3.106772e-06,3.075724e-06,3.039160e-06,3.034076e-06,3.003037e-06,2.967366e-06,2.963116e-06,2.932154e-06,2.897408e-06,2.893960e-06,2.863135e-06,2.829340e-06,2.826657e-06,2.796027e-06,2.763200e-06,2.761245e-06,2.730861e-06,2.699015e-06,2.697751e-06,2.667661e-06,2.636801e-06,2.636189e-06,2.606436e-06,2.576565e-06,2.518877e-06,2.463115e-06,2.409265e-06,2.357306e-06,2.307213e-06,2.258956e-06,2.212504e-06,2.167821e-06,2.124869e-06,2.083610e-06,2.044002e-06,2.006004e-06,1.969573e-06,1.934666e-06,1.901238e-06,1.869246e-06,1.838646e-06,1.809394e-06,1.781447e-06,1.754761e-06,1.729294e-06,1.705004e-06,1.681850e-06,1.659792e-06,1.638789e-06,1.618803e-06,1.599796e-06,1.581731e-06,1.564571e-06,1.548282e-06,1.532828e-06,1.518178e-06,1.504297e-06,1.491156e-06,1.478723e-06,1.466969e-06,1.455865e-06,1.445383e-06,1.435497e-06,1.426181e-06,1.417410e-06,1.409160e-06,1.401406e-06,1.394128e-06,1.387302e-06,1.380908e-06,1.374927e-06,1.369338e-06,1.364122e-06
0.000000e+00,1.680164e-09,7.290817e-08,7.692582e-08,6.651400e-07,2.754412e-06,2.893284e-06,8.082234e-06,1.602874e-05,1.662450e-05,2.763077e-05,3.864130e-05,3.960144e-05,5.130547e-05,6.110314e-05,6.214084e-05,7.194108e-05,7.971449e-05,8.071500e-05,8.852341e-05,9.452175e-05,9.543890e-05,1.015340e-04,1.060707e-04,1.068779e-04,1.115350e-04,1.148834e-04,1.155651e-04,1.190237e-04,1.214137e-04,1.219621e-04,1.244273e-04,1.260497e-04,1.264628e-04,1.281082e-04,1.291205e-04,1.294001e-04,1.303720e-04,1.309032e-04,1.310544e-04,1.314754e-04,1.316311e-04,1.316606e-04,1.316337e-04,1.315000e-04,1.314159e-04,1.310270e-04,1.306740e-04,1.304848e-04,1.298059e-04,1.292901e-04,1.290050e-04,1.280959e-04,1.274631e-04,1.270911e-04,1.260018e-04,1.252886e-04,1.248385e-04,1.236105e-04,1.228462e-04,1.223264e-04,1.209940e-04,1.202020e-04,1.196205e-04,1.182123e-04,1.174107e-04,1.167752e-04,1.153145e-04,1.145177e-04,1.138351e-04,1.123413e-04,1.115602e-04,1.108372e-04,1.093261e-04,1.085690e-04,1.078114e-04,1.062959e-04,1.055690e-04,1.047823e-04,1.032730e-04,1.025806e-04,1.017699e-04,1.002750e-04,9.962024e-05,9.878992e-05,9.731622e-05,9.670098e-05,9.585519e-05,9.440801e-05,9.383325e-05,9.297570e-05,9.155916e-05,9.102518e-05,9.015918e-05,8.877643e-05,8.828298e-05,8.741151e-05,8.606490e-05,8.561130e-05,8.473703e-05,8.342824e-05,8.301351e-05,8.213881e-05,8.086897e-05,8.049186e-05,7.961886e-05,7.838862e-05,7.804773e-05,7.717832e-05,7.598798e-05,7.568176e-05,7.481760e-05,7.366715e-05,7.339401e-05,7.253657e-05,7.142577e-05,7.118403e-05,7.033463e-05,6.926301e-05,6.905102e-05,6.821078e-05,6.717776e-05,6.699384e-05,6.616376e-05,6.516860e-05,6.501111e-05,6.419206e-05,6.323394e-05,6.310125e-05,6.229399e-05,6.137200e-05,6.126256e-05,6.046773e-05,5.958092e-05,5.949319e-05,5.871134e-05,5.785874e-05,5.779126e-05,5.702286e-05,5.620345e-05,5.615480e-05,5.540024e-05,5.461299e-05,5.458183e-05,5.384143e-05,5.308531e-05,5.307034e-05,5.234437e-05,5.161835e-05,5.022386e-05,4.888491e-05,4.759957e-05,4.636595e-05,4.518219e-05,4.404647e-05,4.295704e-05,4.191217e-05,4.091020e-05,3.994950e-05,3.902850e-05,3.814570e-05,3.729962e-05,3.648885e-05,3.571202e-05,3.496781e-05,3.425494e-05,3.357218e-05,3.291836e-05,3.229233e-05,3.169299e-05,3.111929e-05,3.057021e-05,3.004477e-05,2.954203e-05,2.906108e-05,2.860106e-05,2.816112e-05,2.774045e-05,2.733829e-05,2.695389e-05,2.658654e-05,2.623554e-05,2.590023e-05,2.557999e-05,2.527419e-05,2.498226e-05,2.470363e-05,2.443776e-05,2.418412e-05,2.394223e-05,2.371159e-05,2.349176e-05,2.328228e-05,2.308273e-05,2.289270e-05,2.271181e-05,2.253967e-05,2.237592e-05
0.000000e+00,5.606074e-09,1.364986e-07,1.433910e-07,1.094004e-06,4.218112e-06,4.418317e-06,1.147336e-05,2.099189e-05,2.165106e-05,3.277062e-05,4.254862e-05,4.336333e-05,5.302042e-05,6.088014e-05,6.170619e-05,6.946974e-05,7.559030e-05,7.637596e-05,8.249010e-05,8.716238e-05,8.787450e-05,9.258791e-05,9.606901e-05,9.668537e-05,1.002183e-04,1.027278e-04,1.032346e-04,1.057789e-04,1.075023e-04,1.078925e-04,1.096136e-04,1.107066e-04,1.109777e-04,1.120175e-04,1.126094e-04,1.127631e-04,1.132422e-04,1.134404e-04,1.134805e-04,1.135015e-04,1.133942e-04,1.133267e-04,1.129761e-04,1.126359e-04,1.124679e-04,1.118188e-04,1.113049e-04,1.110443e-04,1.101582e-04,1.095187e-04,1.091736e-04,1.081022e-04,1.073760e-04,1.069548e-04,1.057413e-04,1.049597e-04,1.044707e-04,1.031512e-04,1.023392e-04,1.017903e-04,1.003950e-04,9.957229e-05,9.897128e-05,9.752496e-05,9.670706e-05,9.606112e-05,9.458443e-05,9.378318e-05,9.309912e-05,9.160899e-05,9.083338e-05,9.011749e-05,8.862772e-05,8.788436e-05,8.714246e-05,8.566423e-05,8.495783e-05,8.419525e-05,8.273753e-05,8.207127e-05,8.129286e-05,7.986281e-05,7.923859e-05,7.844878e-05,7.705198e-05,7.647073e-05,7.567348e-05,7.431422e-05,7.377608e-05,7.297499e-05,7.165647e-05,7.116099e-05,7.035924e-05,6.908376e-05,6.862999e-05,6.783042e-05,6.659953e-05,6.618619e-05,6.539132e-05,6.420595e-05,6.383147e-05,6.304352e-05,6.190409e-05,6.156674e-05,6.078764e-05,5.969415e-05,5.939207e-05,5.862352e-05,5.757563e-05,5.730688e-05,5.655033e-05,5.554744e-05,5.531006e-05,5.456675e-05,5.360803e-05,5.340004e-05,5.267104e-05,5.175551e-05,5.157496e-05,5.086117e-05,4.998771e-05,4.983268e-05,4.913483e-05,4.830222e-05,4.817087e-05,4.748956e-05,4.669652e-05,4.658704e-05,4.592275e-05,4.516793e-05,4.507861e-05,4.443171e-05,4.371374e-05,4.364294e-05,4.301369e-05,4.233121e-05,4.227736e-05,4.166595e-05,4.101756e-05,4.097919e-05,4.038571e-05,3.977006e-05,3.974576e-05,3.917026e-05,3.858598e-05,3.857445e-05,3.801688e-05,3.746265e-05,3.640783e-05,3.540751e-05,3.445929e-05,3.356081e-05,3.270983e-05,3.190416e-05,3.114169e-05,3.042039e-05,2.973831e-05,2.909358e-05,2.848440e-05,2.790906e-05,2.736590e-05,2.685335e-05,2.636990e-05,2.591411e-05,2.548461e-05,2.508009e-05,2.469928e-05,2.434099e-05,2.400409e-05,2.368749e-05,2.339015e-05,2.311108e-05,2.284935e-05,2.260406e-05,2.237436e-05,2.215943e-05,2.195852e-05,2.177087e-05,2.159579e-05,2.143263e-05,2.128073e-05,2.113951e-05,2.100839e-05,2.088683e-05,2.077430e-05,2.067032e-05,2.057443e-05,2.048616e-05,2.040512e-05,2.033088e-05,2.026308e-05,2.020134e-05,2.014533e-05,2.009471e-05,2.004918e-05,2.000845e-05,1.997222e-05
0.000000e+00,2.578835e-09,4.058544e-08,4.247582e-08,2.900619e-07,1.062650e-06,1.110683e-06,2.679131e-06,4.462077e-06,4.575716e-06,6.384516e-06,7.867810e-06,7.988143e-06,9.379869e-06,1.046538e-05,1.057692e-05,1.160007e-05,1.237238e-05,1.246914e-05,1.320207e-05,1.373580e-05,1.381492e-05,1.432199e-05,1.467559e-05,1.473607e-05,1.506849e-05,1.528724e-05,1.532932e-05,1.552750e-05,1.564629e-05,1.567095e-05,1.576668e-05,1.581222e-05,1.582086e-05,1.583895e-05,1.583157e-05,1.582580e-05,1.578558e-05,1.574063e-05,1.572207e-05,1.563853e-05,1.556763e-05,1.553787e-05,1.542259e-05,1.533439e-05,1.529491e-05,1.515676e-05,1.505773e-05,1.500986e-05,1.485569e-05,1.475060e-05,1.469555e-05,1.453058e-05,1.442293e-05,1.436178e-05,1.419001e-05,1.408237e-05,1.401604e-05,1.384052e-05,1.373471e-05,1.366403e-05,1.348706e-05,1.338437e-05,1.331005e-05,1.313338e-05,1.303472e-05,1.295737e-05,1.278230e-05,1.268824e-05,1.260841e-05,1.243590e-05,1.234680e-05,1.226494e-05,1.209570e-05,1.201176e-05,1.192829e-05,1.176282e-05,1.168411e-05,1.159938e-05,1.143804e-05,1.136454e-05,1.127885e-05,1.112187e-05,1.105350e-05,1.096712e-05,1.081464e-05,1.075128e-05,1.066445e-05,1.051655e-05,1.045804e-05,1.037096e-05,1.022767e-05,1.017382e-05,1.008667e-05,9.947974e-06,9.898601e-06,9.811554e-06,9.677400e-06,9.632301e-06,9.545496e-06,9.415823e-06,9.374796e-06,9.288360e-06,9.163086e-06,9.125927e-06,9.039977e-06,8.919007e-06,8.885516e-06,8.800152e-06,8.683386e-06,8.653365e-06,8.568680e-06,8.456008e-06,8.429266e-06,8.345342e-06,8.236654e-06,8.213006e-06,8.129917e-06,8.025101e-06,8.004366e-06,7.922179e-06,7.821121e-06,7.803127e-06,7.721901e-06,7.624489e-06,7.609069e-06,7.528858e-06,7.434980e-06,7.421976e-06,7.342828e-06,7.252373e-06,7.241631e-06,7.163589e-06,7.076449e-06,7.067825e-06,6.990927e-06,6.906995e-06,6.900349e-06,6.824629e-06,6.743802e-06,6.739001e-06,6.664489e-06,6.586664e-06,6.583582e-06,6.510304e-06,6.435384e-06,6.433900e-06,6.361879e-06,6.289767e-06,6.150999e-06,6.017419e-06,5.888854e-06,5.765137e-06,5.646104e-06,5.531598e-06,5.421465e-06,5.315559e-06,5.213734e-06,5.115853e-06,5.021779e-06,4.931382e-06,4.844537e-06,4.761120e-06,4.681013e-06,4.604102e-06,4.530274e-06,4.459424e-06,4.391447e-06,4.326243e-06,4.263714e-06,4.203765e-06,4.146307e-06,4.091251e-06,4.038511e-06,3.988005e-06,3.939654e-06,3.893381e-06,3.849110e-06,3.806770e-06,3.766290e-06,3.727605e-06,3.690647e-06,3.655355e-06,3.621667e-06,3.589525e-06,3.558871e-06,3.529650e-06,3.501809e-06,3.475296e-06,3.450063e-06,3.426060e-06,3.403241e-06,3.381562e-06,3.360978e-06,3.341448e-06,3.322932e-06,3.305390e-06,3.288785e-06
0.000000e+00,2.488828e-12,6.104940e-10,6.631354e-10,2.023325e-08,2.319271e-07,2.536218e-07,1.854464e-06,8.448960e-06,9.218736e-06,3.420759e-05,9.360812e-05,1.014009e-04,2.527495e-04,5.118647e-04,5.504222e-04,1.077384e-03,1.811514e-03,1.935807e-03,3.243714e-03,4.826387e-03,5.130379e-03,7.731033e-03,1.056672e-02,1.118136e-02,1.561214e-02,2.006232e-02,2.114443e-02,2.788540e-02,3.420947e-02,3.592493e-02,4.533318e-02,5.365393e-02,5.615891e-02,6.842869e-02,7.872294e-02,8.214678e-02,9.729572e-02,1.094054e-01,1.138374e-01,1.317146e-01,1.453719e-01,1.508528e-01,1.711624e-01,1.860217e-01,1.925409e-01,2.148750e-01,2.305463e-01,2.380432e-01,2.619180e-01,2.779986e-01,2.863677e-01,3.112590e-01,3.273593e-01,3.364581e-01,3.618333e-01,3.775975e-01,3.872554e-01,4.125998e-01,4.277193e-01,4.377473e-01,4.625852e-01,4.768073e-01,4.870076e-01,5.109164e-01,5.240471e-01,5.342215e-01,5.568409e-01,5.687441e-01,5.787012e-01,5.997374e-01,6.103314e-01,6.198929e-01,6.391190e-01,6.483705e-01,6.573752e-01,6.746285e-01,6.825462e-01,6.908535e-01,7.060314e-01,7.126579e-01,7.201498e-01,7.332027e-01,7.386080e-01,7.451894e-01,7.561145e-01,7.603886e-01,7.659873e-01,7.748214e-01,7.780679e-01,7.826341e-01,7.894462e-01,7.917773e-01,7.952815e-01,8.001664e-01,8.016978e-01,8.041295e-01,8.072012e-01,8.080482e-01,8.094137e-01,8.108001e-01,8.110749e-01,8.113949e-01,8.112328e-01,8.110419e-01,8.103494e-01,8.087804e-01,8.082230e-01,8.065613e-01,8.037279e-01,8.028949e-01,8.003153e-01,7.963585e-01,7.953317e-01,7.918917e-01,7.869486e-01,7.858005e-01,7.815620e-01,7.757639e-01,7.745577e-01,7.695855e-01,7.630570e-01,7.618469e-01,7.562074e-01,7.490649e-01,7.478968e-01,7.416566e-01,7.340084e-01,7.329200e-01,7.261453e-01,7.180909e-01,7.171127e-01,7.098682e-01,7.014986e-01,7.006543e-01,6.930027e-01,6.844001e-01,6.837079e-01,6.757093e-01,6.669478e-01,6.664202e-01,6.581320e-01,6.492776e-01,6.489228e-01,6.403992e-01,6.315105e-01,6.313327e-01,6.226244e-01,6.137530e-01,5.962743e-01,5.789754e-01,5.619244e-01,5.451798e-01,5.287909e-01,5.127994e-01,4.972398e-01,4.821400e-01,4.675225e-01,4.534048e-01,4.398000e-01,4.267172e-01,4.141624e-01,4.021384e-01,3.906454e-01,3.796817e-01,3.692432e-01,3.593246e-01,3.499188e-01,3.410176e-01,3.326116e-01,3.246906e-01,3.172435e-01,3.102585e-01,3.037232e-01,2.976249e-01,2.919500e-01,2.866850e-01,2.818157e-01,2.773279e-01,2.732071e-01,2.694386e-01,2.660075e-01,2.628990e-01,2.600980e-01,2.575897e-01,2.553589e-01,2.533909e-01,2.516709e-01,2.501840e-01,2.489159e-01,2.478521e-01,2.469787e-01,2.462818e-01,2.457478e-01,2.453635e-01,2.451161e-01,2.449932e-01,2.449827e-01
0.000000e+00,1.824784e-13,4.855590e-11,5.284539e-11,1.765542e-09,2.146312e-08,2.351365e-08,1.779768e-07,8.289794e-07,9.056770e-07,3.433266e-06,9.588167e-06,1.040517e-05,2.653839e-05,5.488293e-05,5.915470e-05,1.185033e-04,2.033028e-04,2.178436e-04,3.732987e-04,5.660280e-04,6.035115e-04,9.291477e-04,1.292557e-03,1.372295e-03,1.955802e-03,2.555114e-03,2.702603e-03,3.635051e-03,4.528949e-03,4.774306e-03,6.139774e-03,7.373021e-03,7.748640e-03,9.615474e-03,1.121408e-02,1.175193e-02,1.416655e-02,1.613569e-02,1.686462e-02,1.984815e-02,2.217247e-02,2.311589e-02,2.666342e-02,2.930930e-02,3.048330e-02,3.456529e-02,3.748431e-02,3.889655e-02,4.346190e-02,4.659496e-02,4.824410e-02,5.322415e-02,5.650580e-02,5.838157e-02,6.369471e-02,6.705719e-02,6.914102e-02,7.469734e-02,7.807416e-02,8.034015e-02,8.604584e-02,8.937467e-02,9.179089e-02,9.755216e-02,1.007771e-01,1.033070e-01,1.090334e-01,1.121064e-01,1.147104e-01,1.203177e-01,1.231996e-01,1.258363e-01,1.312482e-01,1.339088e-01,1.365367e-01,1.416863e-01,1.441046e-01,1.466830e-01,1.515139e-01,1.536772e-01,1.561675e-01,1.606337e-01,1.625371e-01,1.649036e-01,1.689696e-01,1.706149e-01,1.728254e-01,1.764657e-01,1.778606e-01,1.798866e-01,1.830853e-01,1.842421e-01,1.860598e-01,1.888092e-01,1.897439e-01,1.913337e-01,1.936342e-01,1.943655e-01,1.957122e-01,1.975704e-01,1.981190e-01,1.992117e-01,2.006400e-01,2.010275e-01,2.018595e-01,2.028749e-01,2.031233e-01,2.036915e-01,2.043148e-01,2.044460e-01,2.047508e-01,2.050057e-01,2.050406e-01,2.050859e-01,2.049979e-01,2.049567e-01,2.047487e-01,2.043450e-01,2.042463e-01,2.037938e-01,2.031021e-01,2.029632e-01,2.022769e-01,2.013253e-01,2.011617e-01,2.002541e-01,1.990702e-01,1.988959e-01,1.977805e-01,1.963917e-01,1.962187e-01,1.949103e-01,1.933428e-01,1.931815e-01,1.916955e-01,1.899745e-01,1.898338e-01,1.881858e-01,1.863352e-01,1.862223e-01,1.844283e-01,1.824706e-01,1.823913e-01,1.804673e-01,1.784235e-01,1.783822e-01,1.763439e-01,1.742334e-01,1.699804e-01,1.656557e-01,1.612888e-01,1.569064e-01,1.525326e-01,1.481886e-01,1.438935e-01,1.396638e-01,1.355139e-01,1.314564e-01,1.275017e-01,1.236587e-01,1.199348e-01,1.163358e-01,1.128663e-01,1.095298e-01,1.063287e-01,1.032643e-01,1.003372e-01,9.754727e-02,9.489368e-02,9.237504e-02,8.998947e-02,8.773467e-02,8.560792e-02,8.360619e-02,8.172613e-02,7.996421e-02,7.831666e-02,7.677960e-02,7.534902e-02,7.402082e-02,7.279084e-02,7.165489e-02,7.060875e-02,6.964819e-02,6.876903e-02,6.796712e-02,6.723834e-02,6.657866e-02,6.598411e-02,6.545081e-02,6.497496e-02,6.455289e-02,6.418099e-02,6.385580e-02,6.357397e-02,6.333226e-02,6.312755e-02
0.000000e+00,5.389360e-09,1.014660e-07,1.060502e-07,6.715215e-07,2.411969e-06,2.522959e-06,6.502352e-06,1.219739e-05,1.260739e-05,1.976784e-05,2.623956e-05,2.677741e-05,3.306731e-05,3.801382e-05,3.852239e-05,4.318115e-05,4.668164e-05,4.711870e-05,5.041386e-05,5.279045e-05,5.314055e-05,5.536595e-05,5.689222e-05,5.715039e-05,5.854781e-05,5.943879e-05,5.960629e-05,6.036859e-05,6.079087e-05,6.087272e-05,6.115235e-05,6.123394e-05,6.123733e-05,6.115404e-05,6.099267e-05,6.092581e-05,6.057322e-05,6.024298e-05,6.011440e-05,5.956533e-05,5.912209e-05,5.894008e-05,5.825101e-05,5.773656e-05,5.750897e-05,5.672350e-05,5.616886e-05,5.590292e-05,5.505454e-05,5.448251e-05,5.418473e-05,5.329906e-05,5.272618e-05,5.240238e-05,5.149888e-05,5.093690e-05,5.059219e-05,4.968552e-05,4.914268e-05,4.878160e-05,4.788276e-05,4.736454e-05,4.699095e-05,4.610792e-05,4.561780e-05,4.523512e-05,4.437381e-05,4.391383e-05,4.352497e-05,4.268943e-05,4.226045e-05,4.186789e-05,4.106090e-05,4.066300e-05,4.026889e-05,3.949217e-05,3.912485e-05,3.873097e-05,3.798544e-05,3.764778e-05,3.725567e-05,3.654169e-05,3.623254e-05,3.584348e-05,3.516096e-05,3.487896e-05,3.449405e-05,3.384259e-05,3.358630e-05,3.320643e-05,3.258539e-05,3.235331e-05,3.197925e-05,3.138779e-05,3.117842e-05,3.081079e-05,3.024799e-05,3.005983e-05,2.969914e-05,2.916398e-05,2.899557e-05,2.864224e-05,2.813366e-05,2.798361e-05,2.763796e-05,2.715488e-05,2.702184e-05,2.668413e-05,2.622546e-05,2.610814e-05,2.577857e-05,2.534322e-05,2.524042e-05,2.491913e-05,2.450604e-05,2.441661e-05,2.410369e-05,2.371182e-05,2.363468e-05,2.333018e-05,2.295853e-05,2.289267e-05,2.259661e-05,2.224419e-05,2.218867e-05,2.190104e-05,2.156692e-05,2.152085e-05,2.124161e-05,2.092489e-05,2.088745e-05,2.061653e-05,2.031634e-05,2.028676e-05,2.002410e-05,1.973960e-05,1.971717e-05,1.946266e-05,1.919308e-05,1.917713e-05,1.893066e-05,1.867523e-05,1.866516e-05,1.842661e-05,1.818461e-05,1.817984e-05,1.794907e-05,1.771982e-05,1.728384e-05,1.687066e-05,1.647912e-05,1.610812e-05,1.575662e-05,1.542361e-05,1.510815e-05,1.480933e-05,1.452631e-05,1.425827e-05,1.400444e-05,1.376410e-05,1.353654e-05,1.332111e-05,1.311718e-05,1.292417e-05,1.274151e-05,1.256866e-05,1.240512e-05,1.225041e-05,1.210407e-05,1.196567e-05,1.183480e-05,1.171107e-05,1.159411e-05,1.148357e-05,1.137913e-05,1.128045e-05,1.118725e-05,1.109924e-05,1.101616e-05,1.093774e-05,1.086375e-05,1.079395e-05,1.072813e-05,1.066608e-05,1.060760e-05,1.055252e-05,1.050065e-05,1.045182e-05,1.040588e-05,1.036268e-05,1.032207e-05,1.028392e-05,1.024809e-05,1.021448e-05,1.018296e-05,1.015341e-05,1.012575e-05
0.000000e+00,3.595809e-09,4.456116e-08,4.641241e-08,2.602859e-07,8.611417e-07,8.978841e-07,2.136485e-06,3.713576e-06,3.820535e-06,5.609010e-06,7.185042e-06,7.317252e-06,8.899216e-06,1.021092e-05,1.035024e-05,1.167490e-05,1.274126e-05,1.287975e-05,1.397179e-05,1.482602e-05,1.495796e-05,1.584493e-05,1.651814e-05,1.663927e-05,1.734729e-05,1.786768e-05,1.797501e-05,1.852813e-05,1.892055e-05,1.901204e-05,1.943184e-05,1.971784e-05,1.979228e-05,2.009784e-05,2.029596e-05,2.035272e-05,2.056083e-05,2.068688e-05,2.072583e-05,2.085115e-05,2.091860e-05,2.093996e-05,2.099525e-05,2.101549e-05,2.101978e-05,2.101613e-05,2.099879e-05,2.098672e-05,2.093376e-05,2.088694e-05,2.085936e-05,2.076544e-05,2.069592e-05,2.065380e-05,2.052611e-05,2.043957e-05,2.038393e-05,2.022870e-05,2.012985e-05,2.006175e-05,1.988432e-05,1.977707e-05,1.969757e-05,1.950257e-05,1.939013e-05,1.930029e-05,1.909165e-05,1.897664e-05,1.887750e-05,1.865861e-05,1.854317e-05,1.843572e-05,1.820948e-05,1.809529e-05,1.798050e-05,1.774936e-05,1.763780e-05,1.751657e-05,1.728262e-05,1.717473e-05,1.704793e-05,1.681292e-05,1.670951e-05,1.657796e-05,1.634338e-05,1.624505e-05,1.610950e-05,1.587659e-05,1.578376e-05,1.564491e-05,1.541470e-05,1.532765e-05,1.518617e-05,1.495950e-05,1.487839e-05,1.473487e-05,1.451244e-05,1.443734e-05,1.429235e-05,1.407472e-05,1.400561e-05,1.385965e-05,1.364725e-05,1.358406e-05,1.343760e-05,1.323078e-05,1.317339e-05,1.302685e-05,1.282586e-05,1.277410e-05,1.262787e-05,1.243290e-05,1.238656e-05,1.224100e-05,1.205217e-05,1.201105e-05,1.186645e-05,1.168384e-05,1.164769e-05,1.150435e-05,1.132798e-05,1.129657e-05,1.115473e-05,1.098459e-05,1.095766e-05,1.081755e-05,1.065360e-05,1.063090e-05,1.049272e-05,1.033489e-05,1.031616e-05,1.018009e-05,1.002829e-05,1.001327e-05,9.879467e-06,9.733592e-06,9.722049e-06,9.590635e-06,9.450565e-06,9.442252e-06,9.313347e-06,9.178949e-06,9.173631e-06,9.047334e-06,8.918467e-06,8.915917e-06,8.792311e-06,8.668829e-06,8.432072e-06,8.205349e-06,7.988354e-06,7.780782e-06,7.582328e-06,7.392686e-06,7.211555e-06,7.038637e-06,6.873637e-06,6.716269e-06,6.566250e-06,6.423304e-06,6.287163e-06,6.157564e-06,6.034254e-06,5.916984e-06,5.805516e-06,5.699616e-06,5.599060e-06,5.503631e-06,5.413118e-06,5.327319e-06,5.246036e-06,5.169081e-06,5.096271e-06,5.027430e-06,4.962390e-06,4.900986e-06,4.843061e-06,4.788466e-06,4.737052e-06,4.688682e-06,4.643220e-06,4.600537e-06,4.560508e-06,4.523013e-06,4.487938e-06,4.455172e-06,4.424609e-06,4.396148e-06,4.369689e-06,4.345140e-06,4.322410e-06,4.301413e-06,4.282064e-06,4.264286e-06,4.248000e-06,4.233135e-06,4.219619e-06
0.000000e+00,1.315284e-09,2.000265e-08,2.090717e-08,1.275828e-07,4.062040e-07,4.222466e-07,9.144452e-07,1.451591e-06,1.485887e-06,2.038844e-06,2.507710e-06,2.546555e-06,3.006610e-06,3.381826e-06,3.421348e-06,3.793861e-06,4.089215e-06,4.127257e-06,4.424503e-06,4.653365e-06,4.688404e-06,4.921583e-06,5.095513e-06,5.126495e-06,5.305424e-06,5.434252e-06,5.460494e-06,5.593674e-06,5.685691e-06,5.706793e-06,5.801540e-06,5.863699e-06,5.879479e-06,5.942058e-06,5.980171e-06,5.990612e-06,6.026376e-06,6.045280e-06,6.050489e-06,6.064002e-06,6.067716e-06,6.067886e-06,6.063034e-06,6.054885e-06,6.050272e-06,6.030356e-06,6.013087e-06,6.003987e-06,5.971810e-06,5.947682e-06,5.934419e-06,5.892360e-06,5.863226e-06,5.846135e-06,5.796204e-06,5.763573e-06,5.742991e-06,5.686887e-06,5.651988e-06,5.628251e-06,5.567408e-06,5.531228e-06,5.504660e-06,5.440283e-06,5.403614e-06,5.374528e-06,5.307626e-06,5.271097e-06,5.239788e-06,5.171207e-06,5.135310e-06,5.102058e-06,5.032501e-06,4.997616e-06,4.962682e-06,4.892734e-06,4.859149e-06,4.822777e-06,4.752920e-06,4.720847e-06,4.683262e-06,4.613893e-06,4.583483e-06,4.544892e-06,4.476334e-06,4.447686e-06,4.408281e-06,4.340793e-06,4.313968e-06,4.273923e-06,4.207715e-06,4.182738e-06,4.142211e-06,4.077446e-06,4.054319e-06,4.013454e-06,3.950260e-06,3.928960e-06,3.887889e-06,3.826360e-06,3.806852e-06,3.765692e-06,3.705898e-06,3.688132e-06,3.646990e-06,3.588977e-06,3.572894e-06,3.531866e-06,3.475662e-06,3.461198e-06,3.420369e-06,3.365987e-06,3.353071e-06,3.312517e-06,3.259958e-06,3.248517e-06,3.208306e-06,3.157558e-06,3.147517e-06,3.107710e-06,3.058755e-06,3.050038e-06,3.010687e-06,2.963500e-06,2.956031e-06,2.917185e-06,2.871733e-06,2.865438e-06,2.827136e-06,2.783385e-06,2.778191e-06,2.740469e-06,2.698379e-06,2.694215e-06,2.657103e-06,2.616633e-06,2.613429e-06,2.576955e-06,2.538060e-06,2.535751e-06,2.499937e-06,2.462573e-06,2.461094e-06,2.425958e-06,2.390079e-06,2.389369e-06,2.354926e-06,2.320487e-06,2.254358e-06,2.190892e-06,2.130002e-06,2.071600e-06,2.015598e-06,1.961913e-06,1.910462e-06,1.861163e-06,1.813938e-06,1.768710e-06,1.725404e-06,1.683948e-06,1.644271e-06,1.606307e-06,1.569989e-06,1.535253e-06,1.502038e-06,1.470285e-06,1.439937e-06,1.410939e-06,1.383236e-06,1.356779e-06,1.331518e-06,1.307405e-06,1.284394e-06,1.262442e-06,1.241506e-06,1.221545e-06,1.202520e-06,1.184393e-06,1.167128e-06,1.150689e-06,1.135044e-06,1.120160e-06,1.106006e-06,1.092552e-06,1.079769e-06,1.067630e-06,1.056108e-06,1.045178e-06,1.034815e-06,1.024995e-06,1.015697e-06,1.006898e-06,9.985767e-07,9.907141e-07,9.832904e-07,9.762870e-07,9.696861e-07
0.000000e+00,1.059212e-11,1.908330e-09,2.061086e-09,4.836944e-08,4.389537e-07,4.753581e-07,2.710364e-06,9.664631e-06,1.037740e-05,2.927662e-05,6.165519e-05,6.526195e-05,1.215209e-04,1.890291e-04,1.974125e-04,2.891905e-04,3.789180e-04,3.915835e-04,4.992402e-04,5.925379e-04,6.076138e-04,7.133002e-04,7.983009e-04,8.140159e-04,9.084017e-04,9.805852e-04,9.957829e-04,1.075952e-03,1.134949e-03,1.148999e-03,1.215189e-03,1.262286e-03,1.274881e-03,1.328479e-03,1.365394e-03,1.376399e-03,1.419050e-03,1.447452e-03,1.456825e-03,1.490096e-03,1.511460e-03,1.519214e-03,1.544503e-03,1.560092e-03,1.566268e-03,1.584790e-03,1.595666e-03,1.600330e-03,1.613129e-03,1.620184e-03,1.623411e-03,1.631383e-03,1.635362e-03,1.637236e-03,1.641147e-03,1.642669e-03,1.643279e-03,1.643784e-03,1.643364e-03,1.642801e-03,1.640458e-03,1.638524e-03,1.636876e-03,1.632165e-03,1.629071e-03,1.626425e-03,1.619752e-03,1.615790e-03,1.612231e-03,1.603944e-03,1.599356e-03,1.594963e-03,1.585358e-03,1.580341e-03,1.575192e-03,1.564521e-03,1.559237e-03,1.553401e-03,1.541881e-03,1.536460e-03,1.530006e-03,1.517819e-03,1.512368e-03,1.505358e-03,1.492658e-03,1.487262e-03,1.479754e-03,1.466675e-03,1.461400e-03,1.453448e-03,1.440100e-03,1.435001e-03,1.426655e-03,1.413133e-03,1.408250e-03,1.399555e-03,1.385939e-03,1.381304e-03,1.372302e-03,1.358660e-03,1.354295e-03,1.345025e-03,1.331412e-03,1.327334e-03,1.317831e-03,1.304294e-03,1.300513e-03,1.290811e-03,1.277390e-03,1.273912e-03,1.264039e-03,1.250767e-03,1.247594e-03,1.237579e-03,1.224481e-03,1.221613e-03,1.211480e-03,1.198580e-03,1.196013e-03,1.185786e-03,1.173101e-03,1.170829e-03,1.160529e-03,1.148073e-03,1.146091e-03,1.135736e-03,1.123521e-03,1.121821e-03,1.111429e-03,1.099463e-03,1.098035e-03,1.087623e-03,1.075912e-03,1.074748e-03,1.064330e-03,1.052879e-03,1.051968e-03,1.041559e-03,1.030370e-03,1.029703e-03,1.019313e-03,1.008389e-03,1.007955e-03,9.975971e-04,9.869376e-04,9.867257e-04,9.764103e-04,9.660150e-04,9.458203e-04,9.261384e-04,9.069645e-04,8.882929e-04,8.701175e-04,8.524312e-04,8.352265e-04,8.184955e-04,8.022302e-04,7.864219e-04,7.710621e-04,7.561419e-04,7.416526e-04,7.275850e-04,7.139304e-04,7.006799e-04,6.878245e-04,6.753555e-04,6.632642e-04,6.515419e-04,6.401801e-04,6.291705e-04,6.185046e-04,6.081744e-04,5.981717e-04,5.884888e-04,5.791178e-04,5.700511e-04,5.612812e-04,5.528008e-04,5.446026e-04,5.366797e-04,5.290251e-04,5.216319e-04,5.144936e-04,5.076036e-04,5.009556e-04,4.945433e-04,4.883605e-04,4.824014e-04,4.766599e-04,4.711305e-04,4.658074e-04,4.606851e-04,4.557583e-04,4.510217e-04,4.464702e-04,4.420986e-04,4.379021e-04
0.000000e+00,1.245180e-10,1.483998e-08,1.590204e-08,2.649794e-07,1.908887e-06,2.050696e-06,9.791665e-06,2.994658e-05,3.183480e-05,7.545784e-05,1.343369e-04,1.401335e-04,2.184995e-04,2.937649e-04,3.021805e-04,3.852997e-04,4.554622e-04,4.647479e-04,5.392284e-04,5.990134e-04,6.083709e-04,6.722083e-04,7.218662e-04,7.309266e-04,7.847634e-04,8.254440e-04,8.339712e-04,8.788040e-04,9.116879e-04,9.195109e-04,9.563340e-04,9.825101e-04,9.895062e-04,1.019251e-03,1.039696e-03,1.045781e-03,1.069300e-03,1.084879e-03,1.090000e-03,1.108064e-03,1.119536e-03,1.123666e-03,1.136968e-03,1.144995e-03,1.148126e-03,1.157286e-03,1.162443e-03,1.164584e-03,1.170152e-03,1.172939e-03,1.174112e-03,1.176578e-03,1.177424e-03,1.177660e-03,1.177460e-03,1.176734e-03,1.176073e-03,1.173591e-03,1.171611e-03,1.170098e-03,1.165674e-03,1.162712e-03,1.160395e-03,1.154330e-03,1.150616e-03,1.147546e-03,1.140106e-03,1.135836e-03,1.132067e-03,1.123485e-03,1.118824e-03,1.114410e-03,1.104890e-03,1.099978e-03,1.094971e-03,1.084695e-03,1.079647e-03,1.074100e-03,1.063224e-03,1.058137e-03,1.052102e-03,1.040765e-03,1.035716e-03,1.029243e-03,1.017565e-03,1.012619e-03,1.005756e-03,9.938409e-04,9.890503e-04,9.818424e-04,9.697814e-04,9.651860e-04,9.576776e-04,9.455489e-04,9.411798e-04,9.334124e-04,9.212835e-04,9.171641e-04,9.091768e-04,8.971055e-04,8.932522e-04,8.850820e-04,8.731176e-04,8.695414e-04,8.612227e-04,8.494069e-04,8.461139e-04,8.376790e-04,8.260470e-04,8.230393e-04,8.145182e-04,8.030993e-04,8.003758e-04,7.917963e-04,7.806146e-04,7.781714e-04,7.695592e-04,7.586345e-04,7.564655e-04,7.478443e-04,7.371921e-04,7.352896e-04,7.266810e-04,7.163137e-04,7.146685e-04,7.060925e-04,6.960193e-04,6.946210e-04,6.860958e-04,6.763234e-04,6.751610e-04,6.667031e-04,6.572358e-04,6.562975e-04,6.479221e-04,6.387622e-04,6.380360e-04,6.297564e-04,6.209046e-04,6.203784e-04,6.122067e-04,6.036622e-04,6.033236e-04,5.952706e-04,5.870314e-04,5.868681e-04,5.789436e-04,5.710064e-04,5.557311e-04,5.410331e-04,5.269025e-04,5.133278e-04,5.002970e-04,4.877974e-04,4.758156e-04,4.643379e-04,4.533504e-04,4.428389e-04,4.327891e-04,4.231867e-04,4.140174e-04,4.052671e-04,3.969217e-04,3.889673e-04,3.813903e-04,3.741773e-04,3.673151e-04,3.607908e-04,3.545919e-04,3.487059e-04,3.431210e-04,3.378256e-04,3.328082e-04,3.280579e-04,3.235639e-04,3.193160e-04,3.153040e-04,3.115183e-04,3.079493e-04,3.045881e-04,3.014258e-04,2.984539e-04,2.956643e-04,2.930489e-04,2.906001e-04,2.883106e-04,2.861733e-04,2.841812e-04,2.823279e-04,2.806069e-04,2.790121e-04,2.775376e-04,2.761778e-04,2.749272e-04,2.737805e-04,2.727328e-04,2.717791e-04
0.000000e+00,1.498609e-08,2.939297e-07,3.073250e-07,2.024229e-06,7.764530e-06,8.143869e-06,2.208844e-05,4.172592e-05,4.310128e-05,6.663518e-05,8.809345e-05,8.992330e-05,1.121971e-04,1.312411e-04,1.332974e-04,1.532058e-04,1.697518e-04,1.719385e-04,1.895228e-04,2.037515e-04,2.059912e-04,2.213800e-04,2.335002e-04,2.357275e-04,2.490738e-04,2.592992e-04,2.614596e-04,2.729259e-04,2.814641e-04,2.835132e-04,2.932617e-04,3.003084e-04,3.022104e-04,3.103974e-04,3.161328e-04,3.178596e-04,3.246325e-04,3.292211e-04,3.307507e-04,3.362474e-04,3.398380e-04,3.411543e-04,3.455022e-04,3.482289e-04,3.493205e-04,3.526378e-04,3.546211e-04,3.554810e-04,3.578763e-04,3.592239e-04,3.598484e-04,3.614213e-04,3.622289e-04,3.626176e-04,3.634593e-04,3.638122e-04,3.639671e-04,3.641611e-04,3.641347e-04,3.640601e-04,3.636824e-04,3.633435e-04,3.630455e-04,3.621657e-04,3.615729e-04,3.610590e-04,3.597403e-04,3.589452e-04,3.582241e-04,3.565241e-04,3.555718e-04,3.546533e-04,3.526240e-04,3.515538e-04,3.504482e-04,3.481371e-04,3.469829e-04,3.457014e-04,3.431511e-04,3.419423e-04,3.404961e-04,3.377455e-04,3.365072e-04,3.349080e-04,3.319918e-04,3.307455e-04,3.290049e-04,3.259547e-04,3.247184e-04,3.228482e-04,3.196920e-04,3.184811e-04,3.164927e-04,3.132560e-04,3.120828e-04,3.099878e-04,3.066932e-04,3.055680e-04,3.033775e-04,3.000452e-04,2.989762e-04,2.967010e-04,2.933491e-04,2.923426e-04,2.899934e-04,2.866378e-04,2.856987e-04,2.832857e-04,2.799404e-04,2.790721e-04,2.766050e-04,2.732825e-04,2.724873e-04,2.699756e-04,2.666868e-04,2.659659e-04,2.634184e-04,2.601728e-04,2.595266e-04,2.569519e-04,2.537576e-04,2.531856e-04,2.505918e-04,2.474561e-04,2.469572e-04,2.443519e-04,2.412807e-04,2.408534e-04,2.382437e-04,2.352421e-04,2.348843e-04,2.322770e-04,2.293494e-04,2.290587e-04,2.264600e-04,2.236098e-04,2.233835e-04,2.207994e-04,2.180294e-04,2.178645e-04,2.153003e-04,2.126127e-04,2.125061e-04,2.099670e-04,2.073635e-04,2.073119e-04,2.048025e-04,2.022842e-04,1.974246e-04,1.927340e-04,1.882124e-04,1.838593e-04,1.796736e-04,1.756539e-04,1.717982e-04,1.681041e-04,1.645690e-04,1.611900e-04,1.579641e-04,1.548878e-04,1.519576e-04,1.491700e-04,1.465212e-04,1.440074e-04,1.416247e-04,1.393692e-04,1.372369e-04,1.352240e-04,1.333263e-04,1.315400e-04,1.298612e-04,1.282860e-04,1.268106e-04,1.254311e-04,1.241438e-04,1.229452e-04,1.218315e-04,1.207992e-04,1.198450e-04,1.189653e-04,1.181570e-04,1.174167e-04,1.167414e-04,1.161280e-04,1.155735e-04,1.150750e-04,1.146298e-04,1.142351e-04,1.138883e-04,1.135868e-04,1.133282e-04,1.131100e-04,1.129301e-04,1.127861e-04,1.126759e-04,1.125975e-04,1.125488e-04
0.000000e+00,4.239598e-09,1.413098e-07,1.485741e-07,1.184780e-06,5.130849e-06,5.406429e-06,1.640815e-05,3.433007e-05,3.567694e-05,5.995645e-05,8.301779e-05,8.498786e-05,1.087760e-04,1.286702e-04,1.307881e-04,1.509577e-04,1.672276e-04,1.693424e-04,1.860310e-04,1.990998e-04,2.011194e-04,2.147035e-04,2.250203e-04,2.268770e-04,2.377310e-04,2.457079e-04,2.473526e-04,2.558254e-04,2.618300e-04,2.632289e-04,2.696386e-04,2.739944e-04,2.751259e-04,2.797584e-04,2.827469e-04,2.836000e-04,2.867108e-04,2.885754e-04,2.891468e-04,2.909604e-04,2.919082e-04,2.922002e-04,2.929124e-04,2.931203e-04,2.931402e-04,2.929240e-04,2.925429e-04,2.923019e-04,2.913104e-04,2.904711e-04,2.899849e-04,2.883563e-04,2.871683e-04,2.864533e-04,2.843028e-04,2.828560e-04,2.819294e-04,2.793564e-04,2.777259e-04,2.766054e-04,2.736962e-04,2.719438e-04,2.706475e-04,2.674764e-04,2.656531e-04,2.641989e-04,2.608297e-04,2.589771e-04,2.573826e-04,2.538703e-04,2.520220e-04,2.503044e-04,2.466957e-04,2.448784e-04,2.430541e-04,2.393888e-04,2.376236e-04,2.357083e-04,2.320202e-04,2.303230e-04,2.283315e-04,2.246489e-04,2.230320e-04,2.209782e-04,2.173247e-04,2.157967e-04,2.136935e-04,2.100889e-04,2.086555e-04,2.065150e-04,2.029755e-04,2.016401e-04,1.994735e-04,1.960120e-04,1.947762e-04,1.925936e-04,1.892206e-04,1.880845e-04,1.858950e-04,1.826188e-04,1.815810e-04,1.793933e-04,1.762199e-04,1.752783e-04,1.730998e-04,1.700339e-04,1.691853e-04,1.670230e-04,1.640677e-04,1.633085e-04,1.611684e-04,1.583256e-04,1.576517e-04,1.555393e-04,1.528098e-04,1.522169e-04,1.501369e-04,1.475207e-04,1.470042e-04,1.449608e-04,1.424571e-04,1.420124e-04,1.400092e-04,1.376167e-04,1.372390e-04,1.352791e-04,1.329959e-04,1.326806e-04,1.307666e-04,1.285905e-04,1.283329e-04,1.264670e-04,1.243954e-04,1.241911e-04,1.223750e-04,1.204051e-04,1.202496e-04,1.184848e-04,1.166135e-04,1.165027e-04,1.147903e-04,1.130144e-04,1.129443e-04,1.112850e-04,1.096013e-04,1.095681e-04,1.079624e-04,1.063675e-04,1.033361e-04,1.004672e-04,9.775429e-05,9.519092e-05,9.277069e-05,9.048729e-05,8.833460e-05,8.630662e-05,8.439751e-05,8.260163e-05,8.091351e-05,7.932785e-05,7.783958e-05,7.644378e-05,7.513574e-05,7.391094e-05,7.276505e-05,7.169390e-05,7.069353e-05,6.976015e-05,6.889012e-05,6.807999e-05,6.732647e-05,6.662641e-05,6.597682e-05,6.537485e-05,6.481781e-05,6.430311e-05,6.382832e-05,6.339112e-05,6.298929e-05,6.262076e-05,6.228355e-05,6.197576e-05,6.169563e-05,6.144147e-05,6.121168e-05,6.100474e-05,6.081923e-05,6.065380e-05,6.050716e-05,6.037810e-05,6.026548e-05,6.016823e-05,6.008531e-05,6.001576e-05,5.995868e-05,5.991321e-05,5.987853e-05
0.000000e+00,1.092958e-09,1.317245e-08,1.372512e-08,7.994824e-08,2.789435e-07,2.915572e-07,7.419527e-07,1.384479e-06,1.430742e-06,2.243052e-06,2.996129e-06,3.060108e-06,3.830829e-06,4.474567e-06,4.543119e-06,5.196559e-06,5.724865e-06,5.793641e-06,6.337518e-06,6.765164e-06,6.831421e-06,7.278507e-06,7.620098e-06,7.681803e-06,8.044181e-06,8.312714e-06,8.368366e-06,8.656931e-06,8.863769e-06,8.912299e-06,9.136762e-06,9.291788e-06,9.332488e-06,9.501498e-06,9.613235e-06,9.645665e-06,9.766744e-06,9.842466e-06,9.866408e-06,9.946225e-06,9.992239e-06,1.000768e-05,1.005218e-05,1.007399e-05,1.008112e-05,1.009574e-05,1.009809e-05,1.009718e-05,1.008649e-05,1.007328e-05,1.006467e-05,1.003266e-05,1.000722e-05,9.991309e-06,9.941438e-06,9.906573e-06,9.883803e-06,9.819110e-06,9.777183e-06,9.748019e-06,9.671145e-06,9.624136e-06,9.589062e-06,9.502303e-06,9.451863e-06,9.411367e-06,9.316717e-06,9.264215e-06,9.218784e-06,9.117970e-06,9.064532e-06,9.014646e-06,8.909159e-06,8.855705e-06,8.801828e-06,8.692952e-06,8.640224e-06,8.582805e-06,8.471644e-06,8.420234e-06,8.359703e-06,8.247202e-06,8.197576e-06,8.134340e-06,8.021303e-06,7.973817e-06,7.908262e-06,7.795374e-06,7.750294e-06,7.682783e-06,7.570621e-06,7.528137e-06,7.459008e-06,7.348056e-06,7.308295e-06,7.237865e-06,7.128526e-06,7.091559e-06,7.020121e-06,6.912727e-06,6.878586e-06,6.806411e-06,6.701232e-06,6.669909e-06,6.597246e-06,6.494501e-06,6.465961e-06,6.393040e-06,6.292899e-06,6.267083e-06,6.194112e-06,6.096707e-06,6.073538e-06,6.000708e-06,5.906136e-06,5.885523e-06,5.813007e-06,5.721334e-06,5.703175e-06,5.631128e-06,5.542397e-06,5.526582e-06,5.455145e-06,5.369375e-06,5.355790e-06,5.285088e-06,5.202282e-06,5.190807e-06,5.120952e-06,5.041095e-06,5.031611e-06,4.962704e-06,4.885769e-06,4.878156e-06,4.810282e-06,4.736232e-06,4.730370e-06,4.663607e-06,4.592394e-06,4.588166e-06,4.522581e-06,4.454151e-06,4.451442e-06,4.387091e-06,4.321384e-06,4.320083e-06,4.257014e-06,4.193964e-06,4.072954e-06,3.956914e-06,3.845703e-06,3.739176e-06,3.637187e-06,3.539588e-06,3.446233e-06,3.356976e-06,3.271672e-06,3.190178e-06,3.112355e-06,3.038066e-06,2.967174e-06,2.899550e-06,2.835066e-06,2.773597e-06,2.715022e-06,2.659224e-06,2.606091e-06,2.555511e-06,2.507380e-06,2.461594e-06,2.418054e-06,2.376666e-06,2.337337e-06,2.299979e-06,2.264507e-06,2.230839e-06,2.198897e-06,2.168604e-06,2.139888e-06,2.112679e-06,2.086911e-06,2.062518e-06,2.039439e-06,2.017616e-06,1.996990e-06,1.977509e-06,1.959119e-06,1.941772e-06,1.925418e-06,1.910012e-06,1.895511e-06,1.881872e-06,1.869055e-06,1.857022e-06,1.845736e-06,1.835160e-06,1.825263e-06
0.000000e+00,2.635487e-12,6.292867e-10,6.829600e-10,1.994331e-08,2.237670e-07,2.446456e-07,1.807680e-06,8.483224e-06,9.277026e-06,3.583380e-05,1.017785e-04,1.105983e-04,2.861774e-04,5.974963e-04,6.445661e-04,1.300348e-03,2.239727e-03,2.400894e-03,4.123768e-03,6.257329e-03,6.671859e-03,1.026684e-02,1.426591e-02,1.514162e-02,2.153235e-02,2.806662e-02,2.967047e-02,3.977531e-02,4.941074e-02,5.204737e-02,6.666262e-02,7.978474e-02,8.376789e-02,1.034774e-01,1.202486e-01,1.258706e-01,1.509905e-01,1.713400e-01,1.788438e-01,2.094017e-01,2.330437e-01,2.426007e-01,2.783454e-01,3.048154e-01,3.165105e-01,3.569442e-01,3.856464e-01,3.994712e-01,4.438965e-01,4.741547e-01,4.900082e-01,5.375820e-01,5.686886e-01,5.863837e-01,6.361731e-01,6.674319e-01,6.867069e-01,7.377418e-01,7.685027e-01,7.890366e-01,8.403555e-01,8.700407e-01,8.914691e-01,9.421575e-01,9.702784e-01,9.922106e-01,1.041430e+00,1.067597e+00,1.089632e+00,1.136642e+00,1.160565e+00,1.182305e+00,1.226477e+00,1.247963e+00,1.269029e+00,1.309849e+00,1.328798e+00,1.348837e+00,1.385910e+00,1.402299e+00,1.420995e+00,1.454037e+00,1.467916e+00,1.484991e+00,1.513824e+00,1.525297e+00,1.540519e+00,1.565064e+00,1.574280e+00,1.587461e+00,1.607721e+00,1.614863e+00,1.625862e+00,1.641913e+00,1.647186e+00,1.655908e+00,1.667887e+00,1.671509e+00,1.677897e+00,1.685991e+00,1.688186e+00,1.692225e+00,1.696658e+00,1.697646e+00,1.699355e+00,1.700381e+00,1.700378e+00,1.699804e+00,1.697695e+00,1.696904e+00,1.694124e+00,1.689164e+00,1.687775e+00,1.682887e+00,1.675365e+00,1.673550e+00,1.666670e+00,1.656874e+00,1.654789e+00,1.646047e+00,1.634259e+00,1.632041e+00,1.621579e+00,1.608073e+00,1.605839e+00,1.593806e+00,1.578843e+00,1.576696e+00,1.563245e+00,1.547072e+00,1.545096e+00,1.530382e+00,1.513231e+00,1.511492e+00,1.495672e+00,1.477756e+00,1.476309e+00,1.459534e+00,1.441053e+00,1.439937e+00,1.422357e+00,1.403490e+00,1.402732e+00,1.384492e+00,1.365402e+00,1.365019e+00,1.346256e+00,1.327090e+00,1.289206e+00,1.251598e+00,1.214469e+00,1.177996e+00,1.142331e+00,1.107603e+00,1.073919e+00,1.041369e+00,1.010024e+00,9.799382e-01,9.511535e-01,9.236976e-01,8.975869e-01,8.728274e-01,8.494162e-01,8.273426e-01,8.065886e-01,7.871306e-01,7.689393e-01,7.519814e-01,7.362196e-01,7.216137e-01,7.081209e-01,6.956963e-01,6.842936e-01,6.738655e-01,6.643639e-01,6.557403e-01,6.479460e-01,6.409327e-01,6.346523e-01,6.290576e-01,6.241020e-01,6.197401e-01,6.159278e-01,6.126221e-01,6.097815e-01,6.073661e-01,6.053374e-01,6.036586e-01,6.022948e-01,6.012127e-01,6.003807e-01,5.997691e-01,5.993499e-01,5.990970e-01,5.989858e-01,5.989938e-01,5.990998e-01
0.000000e+00,9.529002e-13,2.327755e-10,2.527783e-10,7.550209e-09,8.440483e-08,9.221328e-08,6.626375e-07,3.010839e-06,3.286136e-06,1.234242e-05,3.445344e-05,3.739564e-05,9.572052e-05,1.987647e-04,2.143307e-04,4.310903e-04,7.415106e-04,7.947686e-04,1.364110e-03,2.069135e-03,2.206102e-03,3.393665e-03,4.714004e-03,5.003021e-03,7.110926e-03,9.263879e-03,9.791976e-03,1.311610e-02,1.628109e-02,1.714639e-02,2.193721e-02,2.623088e-02,2.753283e-02,3.396636e-02,3.942981e-02,4.125914e-02,4.942050e-02,5.601800e-02,5.844782e-02,6.832692e-02,7.595360e-02,7.903267e-02,9.052979e-02,9.902518e-02,1.027738e-01,1.157123e-01,1.248769e-01,1.292856e-01,1.434285e-01,1.530411e-01,1.580712e-01,1.731403e-01,1.829735e-01,1.885602e-01,2.042540e-01,2.140878e-01,2.201445e-01,2.361550e-01,2.457876e-01,2.522103e-01,2.682374e-01,2.774922e-01,2.841657e-01,2.999282e-01,3.086589e-01,3.154614e-01,3.307058e-01,3.387982e-01,3.456063e-01,3.601123e-01,3.674840e-01,3.741776e-01,3.877608e-01,3.943600e-01,4.008253e-01,4.133389e-01,4.191415e-01,4.252741e-01,4.366077e-01,4.416138e-01,4.473208e-01,4.573986e-01,4.616287e-01,4.668302e-01,4.756082e-01,4.790990e-01,4.837288e-01,4.911914e-01,4.939927e-01,4.979984e-01,5.041546e-01,5.063248e-01,5.096677e-01,5.145473e-01,5.161511e-01,5.188052e-01,5.224550e-01,5.235601e-01,5.255119e-01,5.279922e-01,5.286671e-01,5.299138e-01,5.312954e-01,5.316074e-01,5.321563e-01,5.325169e-01,5.325310e-01,5.323977e-01,5.318199e-01,5.315972e-01,5.308047e-01,5.293737e-01,5.289707e-01,5.275481e-01,5.253495e-01,5.248178e-01,5.227989e-01,5.199174e-01,5.193033e-01,5.167257e-01,5.132440e-01,5.125881e-01,5.094922e-01,5.054897e-01,5.048273e-01,5.012554e-01,4.968077e-01,4.961690e-01,4.921643e-01,4.873424e-01,4.867526e-01,4.823587e-01,4.772290e-01,4.767086e-01,4.719687e-01,4.665926e-01,4.661580e-01,4.611147e-01,4.555486e-01,4.552121e-01,4.499070e-01,4.442023e-01,4.439730e-01,4.384461e-01,4.326493e-01,4.325331e-01,4.268226e-01,4.209758e-01,4.093756e-01,3.977989e-01,3.863043e-01,3.749429e-01,3.637593e-01,3.527918e-01,3.420731e-01,3.316306e-01,3.214871e-01,3.116611e-01,3.021672e-01,2.930167e-01,2.842178e-01,2.757760e-01,2.676944e-01,2.599738e-01,2.526134e-01,2.456106e-01,2.389615e-01,2.326608e-01,2.267022e-01,2.210785e-01,2.157817e-01,2.108031e-01,2.061337e-01,2.017636e-01,1.976830e-01,1.938814e-01,1.903484e-01,1.870732e-01,1.840451e-01,1.812532e-01,1.786867e-01,1.763347e-01,1.741866e-01,1.722316e-01,1.704594e-01,1.688595e-01,1.674218e-01,1.661364e-01,1.649936e-01,1.639839e-01,1.630982e-01,1.623275e-01,1.616633e-01,1.610973e-01,1.606214e-01,1.602280e-01,1.599098e-01
0.000000e+00,8.684932e-12,1.965742e-09,2.133667e-09,6.293219e-08,6.693727e-07,7.287512e-07,4.618929e-06,1.756400e-05,1.892307e-05,5.613171e-05,1.234959e-04,1.312329e-04,2.572465e-04,4.206456e-04,4.418194e-04,6.860313e-04,9.465772e-04,9.850927e-04,1.330066e-03,1.654997e-03,1.709818e-03,2.112697e-03,2.460925e-03,2.527734e-03,2.945362e-03,3.284182e-03,3.357722e-03,3.758702e-03,4.068217e-03,4.143798e-03,4.509885e-03,4.780917e-03,4.854964e-03,5.177927e-03,5.408298e-03,5.478335e-03,5.756243e-03,5.947638e-03,6.012056e-03,6.246422e-03,6.402332e-03,6.460145e-03,6.654123e-03,6.778667e-03,6.829306e-03,6.986662e-03,7.083975e-03,7.127157e-03,7.251741e-03,7.325698e-03,7.361333e-03,7.456823e-03,7.510932e-03,7.539064e-03,7.608872e-03,7.646249e-03,7.667020e-03,7.714247e-03,7.737634e-03,7.751254e-03,7.778706e-03,7.790499e-03,7.797232e-03,7.807430e-03,7.809715e-03,7.809865e-03,7.805069e-03,7.799652e-03,7.793548e-03,7.775780e-03,7.764223e-03,7.752216e-03,7.723282e-03,7.706928e-03,7.689381e-03,7.650894e-03,7.630897e-03,7.608179e-03,7.561576e-03,7.538921e-03,7.511403e-03,7.457963e-03,7.433488e-03,7.401539e-03,7.342400e-03,7.316813e-03,7.280797e-03,7.216970e-03,7.190866e-03,7.151140e-03,7.083520e-03,7.057397e-03,7.014307e-03,6.943688e-03,6.917954e-03,6.871836e-03,6.798917e-03,6.773909e-03,6.725085e-03,6.650484e-03,6.626472e-03,6.575250e-03,6.499510e-03,6.476707e-03,6.423382e-03,6.346979e-03,6.325551e-03,6.270404e-03,6.193754e-03,6.173824e-03,6.117119e-03,6.040585e-03,6.022240e-03,5.964229e-03,5.888126e-03,5.871423e-03,5.812342e-03,5.736940e-03,5.721911e-03,5.661980e-03,5.587515e-03,5.574168e-03,5.513595e-03,5.440265e-03,5.428590e-03,5.367569e-03,5.295545e-03,5.285517e-03,5.224228e-03,5.153650e-03,5.145232e-03,5.083842e-03,5.014830e-03,5.007973e-03,4.946637e-03,4.879287e-03,4.873936e-03,4.812797e-03,4.747186e-03,4.743278e-03,4.682469e-03,4.618659e-03,4.616126e-03,4.555768e-03,4.493805e-03,4.492575e-03,4.432779e-03,4.372696e-03,4.256538e-03,4.144126e-03,4.035474e-03,3.930574e-03,3.829411e-03,3.731953e-03,3.638163e-03,3.547992e-03,3.461385e-03,3.378281e-03,3.298614e-03,3.222313e-03,3.149305e-03,3.079512e-03,3.012856e-03,2.949257e-03,2.888632e-03,2.830900e-03,2.775977e-03,2.723780e-03,2.674227e-03,2.627236e-03,2.582724e-03,2.540611e-03,2.500816e-03,2.463261e-03,2.427869e-03,2.394562e-03,2.363266e-03,2.333907e-03,2.306413e-03,2.280711e-03,2.256734e-03,2.234414e-03,2.213683e-03,2.194477e-03,2.176733e-03,2.160389e-03,2.145385e-03,2.131662e-03,2.119163e-03,2.107832e-03,2.097614e-03,2.088458e-03,2.080312e-03,2.073126e-03,2.066851e-03,2.061440e-03,2.056848e-03
0.000000e+00,9.407664e-09,2.743707e-07,2.889191e-07,2.566001e-06,1.163062e-05,1.225609e-05,3.560034e-05,6.753510e-05,6.971444e-05,1.061236e-04,1.381686e-04,1.408565e-04,1.730247e-04,1.997084e-04,2.025431e-04,2.295050e-04,2.512215e-04,2.540426e-04,2.762945e-04,2.937074e-04,2.963974e-04,3.144840e-04,3.282121e-04,3.306819e-04,3.451137e-04,3.557121e-04,3.578964e-04,3.691414e-04,3.771018e-04,3.789549e-04,3.874370e-04,3.931902e-04,3.946828e-04,4.007818e-04,4.047022e-04,4.058184e-04,4.098720e-04,4.122829e-04,4.130173e-04,4.153244e-04,4.165038e-04,4.168593e-04,4.176837e-04,4.178689e-04,4.178550e-04,4.174273e-04,4.168205e-04,4.164517e-04,4.149757e-04,4.137492e-04,4.130438e-04,4.106975e-04,4.089965e-04,4.079757e-04,4.049148e-04,4.028616e-04,4.015485e-04,3.979084e-04,3.956053e-04,3.940240e-04,3.899225e-04,3.874543e-04,3.856295e-04,3.811686e-04,3.786055e-04,3.765620e-04,3.718298e-04,3.692289e-04,3.669909e-04,3.620629e-04,3.594705e-04,3.570618e-04,3.520027e-04,3.494557e-04,3.468993e-04,3.417643e-04,3.392918e-04,3.366095e-04,3.314456e-04,3.290699e-04,3.262825e-04,3.211294e-04,3.188674e-04,3.159946e-04,3.108855e-04,3.087491e-04,3.058091e-04,3.007718e-04,2.987691e-04,2.957791e-04,2.908363e-04,2.889721e-04,2.859480e-04,2.811182e-04,2.793946e-04,2.763508e-04,2.716491e-04,2.700660e-04,2.670159e-04,2.624538e-04,2.610094e-04,2.579651e-04,2.535516e-04,2.522425e-04,2.492151e-04,2.449567e-04,2.437786e-04,2.407778e-04,2.366791e-04,2.356267e-04,2.326614e-04,2.287252e-04,2.277926e-04,2.248707e-04,2.210981e-04,2.202792e-04,2.174075e-04,2.137986e-04,2.130867e-04,2.102713e-04,2.068251e-04,2.062134e-04,2.034596e-04,2.001742e-04,1.996559e-04,1.969681e-04,1.938408e-04,1.934092e-04,1.907912e-04,1.878187e-04,1.874671e-04,1.849222e-04,1.821007e-04,1.818227e-04,1.793532e-04,1.766787e-04,1.764679e-04,1.740760e-04,1.715440e-04,1.713943e-04,1.690815e-04,1.666873e-04,1.665930e-04,1.643603e-04,1.620992e-04,1.620547e-04,1.599028e-04,1.577699e-04,1.537290e-04,1.499224e-04,1.463403e-04,1.429732e-04,1.398116e-04,1.368462e-04,1.340679e-04,1.314677e-04,1.290371e-04,1.267676e-04,1.246510e-04,1.226795e-04,1.208455e-04,1.191416e-04,1.175609e-04,1.160965e-04,1.147421e-04,1.134913e-04,1.123383e-04,1.112774e-04,1.103033e-04,1.094106e-04,1.085946e-04,1.078505e-04,1.071739e-04,1.065607e-04,1.060067e-04,1.055081e-04,1.050614e-04,1.046631e-04,1.043100e-04,1.039991e-04,1.037273e-04,1.034921e-04,1.032907e-04,1.031208e-04,1.029800e-04,1.028662e-04,1.027773e-04,1.027114e-04,1.026666e-04,1.026413e-04,1.026339e-04,1.026429e-04,1.026667e-04,1.027042e-04,1.027541e-04,1.028151e-04,1.028863e-04
0.000000e+00,6.091196e-13,1.419694e-10,1.539618e-10,4.287821e-09,4.576134e-08,4.993492e-08,3.545335e-07,1.629829e-06,1.780982e-06,6.848363e-06,1.956408e-05,2.127626e-05,5.572525e-05,1.178404e-04,1.273087e-04,2.605827e-04,4.543978e-04,4.878925e-04,8.490799e-04,1.302073e-03,1.390638e-03,2.164432e-03,3.034545e-03,3.226130e-03,4.633457e-03,6.086089e-03,6.444410e-03,8.715512e-03,1.089975e-02,1.150019e-02,1.484734e-02,1.787655e-02,1.880007e-02,2.339475e-02,2.733408e-02,2.866021e-02,3.461729e-02,3.947846e-02,4.127848e-02,4.864793e-02,5.439048e-02,5.672150e-02,6.548708e-02,7.202449e-02,7.492501e-02,8.500855e-02,9.221748e-02,9.570460e-02,1.069743e-01,1.147054e-01,1.187738e-01,1.310549e-01,1.391439e-01,1.437662e-01,1.568531e-01,1.651311e-01,1.702595e-01,1.839275e-01,1.922297e-01,1.977989e-01,2.118152e-01,2.199882e-01,2.259186e-01,2.400521e-01,2.479593e-01,2.541604e-01,2.681900e-01,2.757150e-01,2.820894e-01,2.958100e-01,3.028585e-01,3.093055e-01,3.225329e-01,3.290333e-01,3.354519e-01,3.480259e-01,3.539287e-01,3.602209e-01,3.720067e-01,3.772831e-01,3.833560e-01,3.942449e-01,3.988847e-01,4.046527e-01,4.145617e-01,4.185711e-01,4.239572e-01,4.328274e-01,4.362263e-01,4.411633e-01,4.489585e-01,4.517780e-01,4.562090e-01,4.629132e-01,4.651930e-01,4.690717e-01,4.746871e-01,4.764733e-01,4.797639e-01,4.843082e-01,4.856512e-01,4.883280e-01,4.918323e-01,4.927846e-01,4.948315e-01,4.973374e-01,4.979524e-01,4.993625e-01,5.009204e-01,5.012507e-01,5.020253e-01,5.026920e-01,5.027886e-01,5.029362e-01,5.027735e-01,5.026848e-01,5.022204e-01,5.012932e-01,5.010643e-01,5.000085e-01,4.983832e-01,4.980558e-01,4.964340e-01,4.941776e-01,4.937892e-01,4.916306e-01,4.888095e-01,4.883936e-01,4.857306e-01,4.824098e-01,4.819958e-01,4.788630e-01,4.751056e-01,4.747189e-01,4.711527e-01,4.670190e-01,4.666809e-01,4.627189e-01,4.582662e-01,4.579945e-01,4.536745e-01,4.489570e-01,4.487658e-01,4.441262e-01,4.391943e-01,4.390947e-01,4.341731e-01,4.290739e-01,4.187892e-01,4.083196e-01,3.977370e-01,3.871069e-01,3.764882e-01,3.659336e-01,3.554902e-01,3.451994e-01,3.350974e-01,3.252158e-01,3.155816e-01,3.062176e-01,2.971429e-01,2.883732e-01,2.799209e-01,2.717956e-01,2.640041e-01,2.565512e-01,2.494393e-01,2.426691e-01,2.362394e-01,2.301476e-01,2.243898e-01,2.189610e-01,2.138550e-01,2.090648e-01,2.045826e-01,2.004001e-01,1.965081e-01,1.928972e-01,1.895577e-01,1.864792e-01,1.836514e-01,1.810637e-01,1.787055e-01,1.765658e-01,1.746340e-01,1.728992e-01,1.713508e-01,1.699781e-01,1.687707e-01,1.677181e-01,1.668104e-01,1.660375e-01,1.653898e-01,1.648579e-01,1.644326e-01,1.641051e-01,1.638669e-01
0.000000e+00,2.015978e-13,4.648901e-11,5.041133e-11,1.403687e-09,1.501102e-08,1.638043e-08,1.160412e-07,5.299540e-07,5.787965e-07,2.203388e-06,6.227771e-06,6.766179e-06,1.749410e-05,3.652733e-05,3.940413e-05,7.942327e-05,1.365108e-04,1.462764e-04,2.501766e-04,3.777236e-04,4.023762e-04,6.146391e-04,8.479483e-04,8.986909e-04,1.265691e-03,1.635672e-03,1.725764e-03,2.287603e-03,2.815088e-03,2.958170e-03,3.742481e-03,4.435181e-03,4.643492e-03,5.662055e-03,6.514111e-03,6.796960e-03,8.045032e-03,9.038592e-03,9.401279e-03,1.085907e-02,1.196710e-02,1.241037e-02,1.404593e-02,1.523552e-02,1.575554e-02,1.752828e-02,1.876399e-02,1.935272e-02,2.121714e-02,2.246381e-02,2.310972e-02,2.501875e-02,2.624385e-02,2.693276e-02,2.884066e-02,3.001583e-02,3.073188e-02,3.259643e-02,3.369846e-02,3.442501e-02,3.620906e-02,3.722030e-02,3.794078e-02,3.961317e-02,4.052146e-02,4.122006e-02,4.275605e-02,4.355437e-02,4.421658e-02,4.559783e-02,4.628371e-02,4.689675e-02,4.811097e-02,4.868578e-02,4.923883e-02,5.027926e-02,5.074745e-02,5.123180e-02,5.209650e-02,5.246491e-02,5.287393e-02,5.356508e-02,5.384219e-02,5.417133e-02,5.469441e-02,5.488979e-02,5.513637e-02,5.549952e-02,5.562326e-02,5.578637e-02,5.599965e-02,5.606199e-02,5.614221e-02,5.621704e-02,5.622799e-02,5.622722e-02,5.617588e-02,5.614498e-02,5.606620e-02,5.590138e-02,5.583750e-02,5.568459e-02,5.541901e-02,5.533029e-02,5.510777e-02,5.475395e-02,5.464766e-02,5.436057e-02,5.393057e-02,5.381313e-02,5.346684e-02,5.297214e-02,5.284910e-02,5.244916e-02,5.190051e-02,5.177661e-02,5.132867e-02,5.073603e-02,5.061521e-02,5.012488e-02,4.949740e-02,4.938288e-02,4.885567e-02,4.820167e-02,4.809602e-02,4.753726e-02,4.686423e-02,4.676941e-02,4.618424e-02,4.549887e-02,4.541633e-02,4.480960e-02,4.411784e-02,4.404857e-02,4.342487e-02,4.273191e-02,4.267651e-02,4.204012e-02,4.135053e-02,4.130925e-02,4.066414e-02,3.998185e-02,3.995465e-02,3.930450e-02,3.863288e-02,3.861951e-02,3.796769e-02,3.730959e-02,3.602977e-02,3.478406e-02,3.357578e-02,3.240756e-02,3.128148e-02,3.019907e-02,2.916145e-02,2.816931e-02,2.722304e-02,2.632269e-02,2.546807e-02,2.465877e-02,2.389420e-02,2.317358e-02,2.249602e-02,2.186050e-02,2.126592e-02,2.071107e-02,2.019469e-02,1.971549e-02,1.927210e-02,1.886314e-02,1.848721e-02,1.814286e-02,1.782869e-02,1.754324e-02,1.728508e-02,1.705280e-02,1.684498e-02,1.666021e-02,1.649713e-02,1.635437e-02,1.623061e-02,1.612455e-02,1.603492e-02,1.596051e-02,1.590010e-02,1.585255e-02,1.581674e-02,1.579160e-02,1.577611e-02,1.576927e-02,1.577016e-02,1.577789e-02,1.579160e-02,1.581050e-02,1.583385e-02,1.586093e-02,1.589111e-02
0.000000e+00,1.415120e-09,7.371312e-08,7.791422e-08,7.298555e-07,3.374442e-06,3.563071e-06,1.136778e-05,2.529260e-05,2.640988e-05,4.852398e-05,7.300334e-05,7.523225e-05,1.033583e-04,1.278515e-04,1.304745e-04,1.553694e-04,1.751508e-04,1.776933e-04,1.974824e-04,2.125950e-04,2.148971e-04,2.301265e-04,2.413676e-04,2.433578e-04,2.547680e-04,2.628813e-04,2.645217e-04,2.727708e-04,2.783812e-04,2.796553e-04,2.853034e-04,2.889268e-04,2.898330e-04,2.933521e-04,2.954118e-04,2.959593e-04,2.977451e-04,2.985866e-04,2.987920e-04,2.991756e-04,2.990801e-04,2.989649e-04,2.982229e-04,2.974184e-04,2.970071e-04,2.953698e-04,2.940401e-04,2.933585e-04,2.910165e-04,2.893091e-04,2.883836e-04,2.854959e-04,2.835293e-04,2.823861e-04,2.790840e-04,2.769522e-04,2.756170e-04,2.720097e-04,2.697873e-04,2.682844e-04,2.644615e-04,2.622068e-04,2.605595e-04,2.565952e-04,2.543539e-04,2.525842e-04,2.485400e-04,2.463465e-04,2.444743e-04,2.403979e-04,2.382774e-04,2.363209e-04,2.322519e-04,2.302227e-04,2.281983e-04,2.241673e-04,2.222423e-04,2.201651e-04,2.161972e-04,2.143847e-04,2.122682e-04,2.083823e-04,2.066871e-04,2.045433e-04,2.007543e-04,1.991786e-04,1.970182e-04,1.933373e-04,1.918809e-04,1.897137e-04,1.861489e-04,1.848100e-04,1.826444e-04,1.792013e-04,1.779769e-04,1.758204e-04,1.725024e-04,1.713887e-04,1.692478e-04,1.660568e-04,1.650491e-04,1.629295e-04,1.598660e-04,1.589593e-04,1.568661e-04,1.539294e-04,1.531185e-04,1.510558e-04,1.482446e-04,1.475239e-04,1.454954e-04,1.428074e-04,1.421714e-04,1.401802e-04,1.376128e-04,1.370560e-04,1.351046e-04,1.326548e-04,1.321717e-04,1.302624e-04,1.279267e-04,1.275122e-04,1.256466e-04,1.234214e-04,1.230704e-04,1.212500e-04,1.191316e-04,1.188391e-04,1.170650e-04,1.150495e-04,1.148110e-04,1.130839e-04,1.111674e-04,1.109784e-04,1.092989e-04,1.074775e-04,1.073338e-04,1.057022e-04,1.039721e-04,1.038697e-04,1.022862e-04,1.006435e-04,1.005787e-04,9.904319e-05,9.748428e-05,9.745351e-05,9.596585e-05,9.448703e-05,9.167230e-05,8.900257e-05,8.647130e-05,8.407218e-05,8.179911e-05,7.964621e-05,7.760785e-05,7.567860e-05,7.385325e-05,7.212682e-05,7.049454e-05,6.895184e-05,6.749434e-05,6.611788e-05,6.481847e-05,6.359230e-05,6.243574e-05,6.134533e-05,6.031777e-05,5.934989e-05,5.843872e-05,5.758137e-05,5.677514e-05,5.601742e-05,5.530574e-05,5.463775e-05,5.401122e-05,5.342400e-05,5.287407e-05,5.235950e-05,5.187845e-05,5.142917e-05,5.101000e-05,5.061936e-05,5.025574e-05,4.991770e-05,4.960390e-05,4.931303e-05,4.904386e-05,4.879523e-05,4.856601e-05,4.835515e-05,4.816165e-05,4.798455e-05,4.782295e-05,4.767597e-05,4.754280e-05,4.742265e-05,4.731480e-05
0.000000e+00,2.180323e-13,5.171264e-11,5.612428e-11,1.641206e-09,1.825399e-08,1.994328e-08,1.437602e-07,6.542032e-07,7.139630e-07,2.667493e-06,7.365522e-06,7.985174e-06,2.010064e-05,4.102838e-05,4.415418e-05,8.704739e-05,1.471178e-04,1.573108e-04,2.648245e-04,3.953358e-04,4.204399e-04,6.355498e-04,8.706336e-04,9.216461e-04,1.289895e-03,1.660527e-03,1.750754e-03,2.313639e-03,2.842905e-03,2.986659e-03,3.776408e-03,4.476689e-03,4.687833e-03,5.724145e-03,6.596227e-03,6.886800e-03,8.175522e-03,9.209253e-03,9.588361e-03,1.112179e-02,1.229780e-02,1.277085e-02,1.452923e-02,1.582121e-02,1.638951e-02,1.834326e-02,1.972051e-02,2.038123e-02,2.249351e-02,2.392328e-02,2.466969e-02,2.689905e-02,2.834870e-02,2.917065e-02,3.147350e-02,3.291216e-02,3.379667e-02,3.612943e-02,3.752931e-02,3.846130e-02,4.078220e-02,4.211946e-02,4.308245e-02,4.535288e-02,4.660807e-02,4.758488e-02,4.977042e-02,5.092866e-02,5.190208e-02,5.397309e-02,5.502397e-02,5.597729e-02,5.790921e-02,5.884652e-02,5.976399e-02,6.153742e-02,6.235870e-02,6.322591e-02,6.482646e-02,6.553250e-02,6.633666e-02,6.775464e-02,6.834897e-02,6.907905e-02,7.030906e-02,7.079740e-02,7.144427e-02,7.248474e-02,7.287449e-02,7.343091e-02,7.428358e-02,7.458331e-02,7.504391e-02,7.571336e-02,7.593243e-02,7.629363e-02,7.678670e-02,7.693486e-02,7.719475e-02,7.752014e-02,7.760722e-02,7.776542e-02,7.793323e-02,7.796888e-02,7.802637e-02,7.804770e-02,7.804120e-02,7.800016e-02,7.788677e-02,7.784687e-02,7.771054e-02,7.747453e-02,7.740933e-02,7.718180e-02,7.683541e-02,7.675230e-02,7.643837e-02,7.599370e-02,7.589931e-02,7.550434e-02,7.497322e-02,7.487340e-02,7.440317e-02,7.379701e-02,7.369685e-02,7.315743e-02,7.248711e-02,7.239096e-02,7.178860e-02,7.106440e-02,7.097589e-02,7.031692e-02,6.954849e-02,6.947058e-02,6.876133e-02,6.795760e-02,6.789265e-02,6.713936e-02,6.630859e-02,6.625839e-02,6.546717e-02,6.461690e-02,6.458273e-02,6.375950e-02,6.289659e-02,6.287928e-02,6.202972e-02,6.116036e-02,5.943700e-02,5.771908e-02,5.601533e-02,5.433339e-02,5.267995e-02,5.106076e-02,4.948072e-02,4.794395e-02,4.645386e-02,4.501323e-02,4.362423e-02,4.228851e-02,4.100725e-02,3.978121e-02,3.861077e-02,3.749597e-02,3.643658e-02,3.543208e-02,3.448174e-02,3.358464e-02,3.273968e-02,3.194563e-02,3.120112e-02,3.050468e-02,2.985478e-02,2.924980e-02,2.868807e-02,2.816788e-02,2.768749e-02,2.724514e-02,2.683908e-02,2.646753e-02,2.612874e-02,2.582098e-02,2.554250e-02,2.529164e-02,2.506670e-02,2.486608e-02,2.468818e-02,2.453145e-02,2.439439e-02,2.427554e-02,2.417350e-02,2.408693e-02,2.401452e-02,2.395503e-02,2.390728e-02,2.387013e-02,2.384251e-02
0.000000e+00,6.077180e-10,3.592981e-08,3.805771e-08,3.981904e-07,2.102994e-06,2.233830e-06,8.270558e-06,2.075556e-05,2.181304e-05,4.343716e-05,6.744780e-05,6.959801e-05,9.612887e-05,1.185242e-04,1.208980e-04,1.433054e-04,1.610513e-04,1.633331e-04,1.811223e-04,1.947624e-04,1.968458e-04,2.106754e-04,2.209476e-04,2.227732e-04,2.332904e-04,2.408336e-04,2.423670e-04,2.501323e-04,2.554808e-04,2.567055e-04,2.621963e-04,2.657929e-04,2.667055e-04,2.703253e-04,2.725340e-04,2.731406e-04,2.752292e-04,2.763491e-04,2.766625e-04,2.775055e-04,2.777807e-04,2.778177e-04,2.776517e-04,2.772774e-04,2.770565e-04,2.760770e-04,2.752122e-04,2.747538e-04,2.731253e-04,2.719015e-04,2.712286e-04,2.690963e-04,2.676213e-04,2.667570e-04,2.642365e-04,2.625933e-04,2.615584e-04,2.587436e-04,2.569972e-04,2.558115e-04,2.527796e-04,2.509818e-04,2.496640e-04,2.464788e-04,2.446697e-04,2.432372e-04,2.399508e-04,2.381614e-04,2.366305e-04,2.332857e-04,2.315396e-04,2.299250e-04,2.265564e-04,2.248713e-04,2.231867e-04,2.198223e-04,2.182109e-04,2.164687e-04,2.131310e-04,2.116023e-04,2.098137e-04,2.065208e-04,2.050805e-04,2.032557e-04,2.000216e-04,1.986731e-04,1.968211e-04,1.936568e-04,1.924016e-04,1.905306e-04,1.874444e-04,1.862825e-04,1.843998e-04,1.813980e-04,1.803281e-04,1.784402e-04,1.755272e-04,1.745472e-04,1.726598e-04,1.698387e-04,1.689457e-04,1.670641e-04,1.643364e-04,1.635273e-04,1.616559e-04,1.590226e-04,1.582937e-04,1.564365e-04,1.538976e-04,1.532451e-04,1.514056e-04,1.489604e-04,1.483805e-04,1.465617e-04,1.442091e-04,1.436977e-04,1.419023e-04,1.396409e-04,1.391940e-04,1.374243e-04,1.352521e-04,1.348658e-04,1.331238e-04,1.310388e-04,1.307092e-04,1.289966e-04,1.269966e-04,1.267199e-04,1.250381e-04,1.231206e-04,1.228932e-04,1.212435e-04,1.194061e-04,1.192245e-04,1.176078e-04,1.158480e-04,1.157088e-04,1.141260e-04,1.124412e-04,1.123412e-04,1.107929e-04,1.091805e-04,1.091168e-04,1.076034e-04,1.060610e-04,1.060305e-04,1.045525e-04,1.030774e-04,1.002528e-04,9.755183e-05,9.496987e-05,9.250238e-05,9.014492e-05,8.789319e-05,8.574302e-05,8.369035e-05,8.173127e-05,7.986200e-05,7.807889e-05,7.637841e-05,7.475716e-05,7.321187e-05,7.173937e-05,7.033664e-05,6.900075e-05,6.772889e-05,6.651837e-05,6.536659e-05,6.427105e-05,6.322937e-05,6.223923e-05,6.129844e-05,6.040486e-05,5.955647e-05,5.875131e-05,5.798750e-05,5.726325e-05,5.657683e-05,5.592658e-05,5.531091e-05,5.472831e-05,5.417731e-05,5.365651e-05,5.316457e-05,5.270019e-05,5.226214e-05,5.184924e-05,5.146034e-05,5.109438e-05,5.075029e-05,5.042708e-05,5.012379e-05,4.983950e-05,4.957334e-05,4.932446e-05,4.909205e-05,4.887534e-05
0.000000e+00,7.516803e-09,1.771960e-07,1.860658e-07,1.433927e-06,5.735021e-06,6.016497e-06,1.610596e-05,2.975185e-05,3.068980e-05,4.638818e-05,6.005854e-05,6.119317e-05,7.459018e-05,8.541593e-05,8.654920e-05,9.715346e-05,1.054480e-04,1.065081e-04,1.147178e-04,1.209384e-04,1.218820e-04,1.280929e-04,1.326364e-04,1.334364e-04,1.379915e-04,1.411898e-04,1.418312e-04,1.450228e-04,1.471508e-04,1.476277e-04,1.497024e-04,1.509862e-04,1.512988e-04,1.524642e-04,1.530883e-04,1.532417e-04,1.536710e-04,1.537859e-04,1.537883e-04,1.536263e-04,1.533534e-04,1.532145e-04,1.525804e-04,1.520175e-04,1.517486e-04,1.507416e-04,1.499673e-04,1.495800e-04,1.482825e-04,1.473601e-04,1.468662e-04,1.453466e-04,1.443266e-04,1.437382e-04,1.420543e-04,1.409774e-04,1.403062e-04,1.385044e-04,1.374014e-04,1.366581e-04,1.347757e-04,1.336705e-04,1.328650e-04,1.309328e-04,1.298437e-04,1.289853e-04,1.270279e-04,1.259686e-04,1.250656e-04,1.231030e-04,1.220836e-04,1.211439e-04,1.191920e-04,1.182197e-04,1.172504e-04,1.153220e-04,1.144017e-04,1.134092e-04,1.115141e-04,1.106490e-04,1.096389e-04,1.077850e-04,1.069765e-04,1.059541e-04,1.041473e-04,1.033959e-04,1.023657e-04,1.006103e-04,9.991567e-05,9.888185e-05,9.718093e-05,9.654192e-05,9.550810e-05,9.386374e-05,9.327881e-05,9.224818e-05,9.066164e-05,9.012885e-05,8.910424e-05,8.757607e-05,8.709323e-05,8.607713e-05,8.460736e-05,8.417210e-05,8.316666e-05,8.175488e-05,8.136474e-05,8.037183e-05,7.901729e-05,7.866974e-05,7.769099e-05,7.639266e-05,7.608519e-05,7.512198e-05,7.387863e-05,7.360872e-05,7.266225e-05,7.147248e-05,7.123769e-05,7.030895e-05,6.917126e-05,6.896919e-05,6.805902e-05,6.697182e-05,6.680017e-05,6.590926e-05,6.487090e-05,6.472744e-05,6.385634e-05,6.286516e-05,6.274777e-05,6.189693e-05,6.095123e-05,6.085788e-05,6.002763e-05,5.912572e-05,5.905450e-05,5.824508e-05,5.738530e-05,5.733436e-05,5.654595e-05,5.572664e-05,5.569427e-05,5.492695e-05,5.414648e-05,5.413107e-05,5.338485e-05,5.264165e-05,5.122301e-05,4.987222e-05,4.858642e-05,4.736287e-05,4.619890e-05,4.509192e-05,4.403947e-05,4.303916e-05,4.208868e-05,4.118583e-05,4.032848e-05,3.951460e-05,3.874223e-05,3.800950e-05,3.731461e-05,3.665584e-05,3.603153e-05,3.544012e-05,3.488008e-05,3.434996e-05,3.384839e-05,3.337403e-05,3.292562e-05,3.250194e-05,3.210184e-05,3.172419e-05,3.136794e-05,3.103208e-05,3.071563e-05,3.041766e-05,3.013730e-05,2.987368e-05,2.962600e-05,2.939348e-05,2.917538e-05,2.897100e-05,2.877965e-05,2.860070e-05,2.843352e-05,2.827752e-05,2.813213e-05,2.799683e-05,2.787109e-05,2.775443e-05,2.764637e-05,2.754646e-05,2.745428e-05,2.736942e-05,2.729148e-05
0.000000e+00,5.378745e-13,1.316920e-10,1.430252e-10,4.338365e-09,5.010759e-08,5.483159e-08,4.109344e-07,1.934456e-06,2.115475e-06,8.158999e-06,2.312243e-05,2.512151e-05,6.487609e-05,1.353033e-04,1.459501e-04,2.943092e-04,5.069824e-04,5.434906e-04,9.341240e-04,1.418695e-03,1.512937e-03,2.331375e-03,3.243890e-03,3.443971e-03,4.906587e-03,6.406049e-03,6.774648e-03,9.101444e-03,1.132667e-02,1.193658e-02,1.532464e-02,1.837612e-02,1.930403e-02,2.390612e-02,2.783506e-02,2.915462e-02,3.506514e-02,3.986979e-02,4.164507e-02,4.889359e-02,5.452186e-02,5.680186e-02,6.535346e-02,7.171000e-02,7.452480e-02,8.428576e-02,9.124187e-02,9.460038e-02,1.054275e-01,1.128323e-01,1.167217e-01,1.284338e-01,1.361250e-01,1.405119e-01,1.529019e-01,1.607160e-01,1.655483e-01,1.783949e-01,1.861755e-01,1.913854e-01,2.044640e-01,2.120684e-01,2.175760e-01,2.306680e-01,2.379715e-01,2.436886e-01,2.565884e-01,2.634876e-01,2.693208e-01,2.818418e-01,2.882554e-01,2.941103e-01,3.060884e-01,3.119575e-01,3.177413e-01,3.290375e-01,3.343246e-01,3.399487e-01,3.504497e-01,3.551363e-01,3.605187e-01,3.701367e-01,3.742216e-01,3.792881e-01,3.879600e-01,3.914567e-01,3.961424e-01,4.038278e-01,4.067617e-01,4.110114e-01,4.176906e-01,4.200963e-01,4.238651e-01,4.295367e-01,4.314560e-01,4.347090e-01,4.393873e-01,4.408666e-01,4.435785e-01,4.472911e-01,4.483796e-01,4.505346e-01,4.533198e-01,4.540677e-01,4.556584e-01,4.575631e-01,4.580204e-01,4.590471e-01,4.601245e-01,4.603399e-01,4.608098e-01,4.611178e-01,4.611373e-01,4.610638e-01,4.606630e-01,4.605299e-01,4.599312e-01,4.588839e-01,4.586379e-01,4.575367e-01,4.559051e-01,4.555825e-01,4.540047e-01,4.518506e-01,4.514834e-01,4.494578e-01,4.468411e-01,4.464577e-01,4.440150e-01,4.409937e-01,4.406187e-01,4.377909e-01,4.344200e-01,4.340742e-01,4.308942e-01,4.272260e-01,4.269267e-01,4.234276e-01,4.195109e-01,4.192724e-01,4.154872e-01,4.113674e-01,4.112008e-01,4.071621e-01,4.028811e-01,4.027948e-01,3.985343e-01,3.941308e-01,3.852785e-01,3.763012e-01,3.672561e-01,3.581945e-01,3.491621e-01,3.401994e-01,3.313421e-01,3.226210e-01,3.140632e-01,3.056916e-01,2.975257e-01,2.895817e-01,2.818731e-01,2.744104e-01,2.672021e-01,2.602542e-01,2.535711e-01,2.471553e-01,2.410077e-01,2.351281e-01,2.295149e-01,2.241654e-01,2.190763e-01,2.142431e-01,2.096609e-01,2.053242e-01,2.012267e-01,1.973621e-01,1.937234e-01,1.903034e-01,1.870949e-01,1.840901e-01,1.812815e-01,1.786612e-01,1.762214e-01,1.739542e-01,1.718520e-01,1.699068e-01,1.681110e-01,1.664569e-01,1.649372e-01,1.635445e-01,1.622716e-01,1.611114e-01,1.600571e-01,1.591021e-01,1.582399e-01,1.574642e-01,1.567692e-01
0.000000e+00,2.622895e-13,6.001691e-11,6.504911e-11,1.748805e-09,1.802183e-08,1.964035e-08,1.360714e-07,6.200288e-07,6.774538e-07,2.617762e-06,7.577481e-06,8.252265e-06,2.204214e-05,4.750535e-05,5.143045e-05,1.074447e-04,1.904993e-04,2.049812e-04,3.627460e-04,5.633983e-04,6.028822e-04,9.503430e-04,1.344834e-03,1.432085e-03,2.076158e-03,2.745217e-03,2.910747e-03,3.963249e-03,4.979516e-03,5.259396e-03,6.822490e-03,8.240148e-03,8.672750e-03,1.082680e-02,1.267498e-02,1.329728e-02,1.609261e-02,1.837285e-02,1.921686e-02,2.266977e-02,2.535701e-02,2.644685e-02,3.053952e-02,3.358571e-02,3.493546e-02,3.961887e-02,4.295826e-02,4.457085e-02,4.976982e-02,5.332491e-02,5.519188e-02,6.081129e-02,6.449877e-02,6.660086e-02,7.253232e-02,7.626843e-02,7.857678e-02,8.470503e-02,8.841006e-02,9.088792e-02,9.709665e-02,1.006984e-01,1.033031e-01,1.094799e-01,1.129161e-01,1.156008e-01,1.216410e-01,1.248608e-01,1.275769e-01,1.333864e-01,1.363506e-01,1.390493e-01,1.445468e-01,1.472281e-01,1.498619e-01,1.549796e-01,1.573618e-01,1.598862e-01,1.645701e-01,1.666470e-01,1.690212e-01,1.732312e-01,1.750054e-01,1.771932e-01,1.809021e-01,1.823834e-01,1.843540e-01,1.875465e-01,1.887506e-01,1.904785e-01,1.931501e-01,1.940972e-01,1.955625e-01,1.977178e-01,1.984314e-01,1.996194e-01,2.012712e-01,2.017767e-01,2.026781e-01,2.038455e-01,2.041695e-01,2.047796e-01,2.054870e-01,2.056561e-01,2.059749e-01,2.062507e-01,2.062910e-01,2.063223e-01,2.061977e-01,2.061342e-01,2.058853e-01,2.053934e-01,2.052496e-01,2.047306e-01,2.039056e-01,2.037032e-01,2.029269e-01,2.018031e-01,2.015617e-01,2.005428e-01,1.991544e-01,1.988915e-01,1.976462e-01,1.960263e-01,1.957573e-01,1.943028e-01,1.924836e-01,1.922217e-01,1.905763e-01,1.885882e-01,1.883446e-01,1.865267e-01,1.843987e-01,1.841825e-01,1.822109e-01,1.799698e-01,1.797885e-01,1.776818e-01,1.753526e-01,1.752117e-01,1.729882e-01,1.705940e-01,1.704976e-01,1.681751e-01,1.657367e-01,1.656878e-01,1.632835e-01,1.608199e-01,1.559279e-01,1.510423e-01,1.461901e-01,1.413951e-01,1.366783e-01,1.320575e-01,1.275482e-01,1.231636e-01,1.189145e-01,1.148099e-01,1.108570e-01,1.070613e-01,1.034269e-01,9.995669e-02,9.665235e-02,9.351457e-02,9.054311e-02,8.773695e-02,8.509440e-02,8.261315e-02,8.029034e-02,7.812273e-02,7.610659e-02,7.423793e-02,7.251240e-02,7.092544e-02,6.947228e-02,6.814798e-02,6.694747e-02,6.586556e-02,6.489700e-02,6.403646e-02,6.327859e-02,6.261802e-02,6.204939e-02,6.156736e-02,6.116663e-02,6.084196e-02,6.058818e-02,6.040020e-02,6.027304e-02,6.020183e-02,6.018180e-02,6.020833e-02,6.027696e-02,6.038335e-02,6.052335e-02,6.069296e-02,6.088835e-02
0.000000e+00,1.382567e-09,1.878679e-08,1.960710e-08,1.155146e-07,3.672852e-07,3.817406e-07,8.160070e-07,1.273609e-06,1.302609e-06,1.770496e-06,2.169554e-06,2.202747e-06,2.597515e-06,2.921845e-06,2.956135e-06,3.280600e-06,3.539549e-06,3.573016e-06,3.835436e-06,4.038632e-06,4.069833e-06,4.278125e-06,4.434272e-06,4.462161e-06,4.623700e-06,4.740549e-06,4.764412e-06,4.885874e-06,4.970188e-06,4.989576e-06,5.076912e-06,5.134517e-06,5.149189e-06,5.207629e-06,5.243493e-06,5.253371e-06,5.287477e-06,5.305809e-06,5.310936e-06,5.324668e-06,5.329013e-06,5.329525e-06,5.326303e-06,5.319637e-06,5.315738e-06,5.298511e-06,5.283318e-06,5.275257e-06,5.246562e-06,5.224908e-06,5.212968e-06,5.174979e-06,5.148575e-06,5.133059e-06,5.087637e-06,5.057892e-06,5.039110e-06,4.987844e-06,4.955911e-06,4.934177e-06,4.878420e-06,4.845237e-06,4.820860e-06,4.761761e-06,4.728084e-06,4.701365e-06,4.639896e-06,4.606329e-06,4.577557e-06,4.514537e-06,4.481556e-06,4.451008e-06,4.387126e-06,4.355098e-06,4.323035e-06,4.258866e-06,4.228072e-06,4.194737e-06,4.130758e-06,4.101405e-06,4.067027e-06,4.003632e-06,3.975866e-06,3.940654e-06,3.878165e-06,3.852082e-06,3.816231e-06,3.754909e-06,3.730564e-06,3.694252e-06,3.634305e-06,3.611720e-06,3.575109e-06,3.516699e-06,3.495871e-06,3.459108e-06,3.402362e-06,3.383265e-06,3.346483e-06,3.291492e-06,3.274085e-06,3.237405e-06,3.184235e-06,3.168464e-06,3.131992e-06,3.080685e-06,3.066487e-06,3.030319e-06,2.980897e-06,2.968203e-06,2.932422e-06,2.884893e-06,2.873626e-06,2.838308e-06,2.792664e-06,2.782748e-06,2.747956e-06,2.704179e-06,2.695535e-06,2.661327e-06,2.619390e-06,2.611938e-06,2.578361e-06,2.538231e-06,2.531893e-06,2.498989e-06,2.460624e-06,2.455322e-06,2.423125e-06,2.386482e-06,2.382141e-06,2.350680e-06,2.315709e-06,2.312257e-06,2.281555e-06,2.248206e-06,2.245573e-06,2.215648e-06,2.183868e-06,2.181986e-06,2.152852e-06,2.122587e-06,2.121392e-06,2.093060e-06,2.064256e-06,2.063687e-06,2.036162e-06,2.008764e-06,1.956517e-06,1.906842e-06,1.859636e-06,1.814795e-06,1.772222e-06,1.731819e-06,1.693491e-06,1.657147e-06,1.622698e-06,1.590059e-06,1.559145e-06,1.529878e-06,1.502180e-06,1.475978e-06,1.451200e-06,1.427778e-06,1.405646e-06,1.384744e-06,1.365009e-06,1.346386e-06,1.328819e-06,1.312256e-06,1.296647e-06,1.281945e-06,1.268103e-06,1.255079e-06,1.242831e-06,1.231319e-06,1.220507e-06,1.210357e-06,1.200837e-06,1.191913e-06,1.183554e-06,1.175732e-06,1.168417e-06,1.161584e-06,1.155207e-06,1.149262e-06,1.143726e-06,1.138577e-06,1.133794e-06,1.129358e-06,1.125250e-06,1.121452e-06,1.117947e-06,1.114719e-06,1.111753e-06,1.109034e-06,1.106548e-06
0.000000e+00,4.383367e-11,8.123124e-09,8.784774e-09,2.122877e-07,1.800964e-06,1.941499e-06,9.607532e-06,2.916029e-05,3.097875e-05,7.315333e-05,1.317606e-04,1.376669e-04,2.200879e-04,3.036798e-04,3.132805e-04,4.105611e-04,4.956732e-04,5.071085e-04,6.000104e-04,6.758192e-04,6.877651e-04,7.697475e-04,8.340415e-04,8.458180e-04,9.160825e-04,9.695190e-04,9.807602e-04,1.040118e-03,1.083962e-03,1.094436e-03,1.143997e-03,1.179527e-03,1.189073e-03,1.229927e-03,1.258308e-03,1.266811e-03,1.299963e-03,1.322228e-03,1.329612e-03,1.355972e-03,1.373030e-03,1.379248e-03,1.399634e-03,1.412282e-03,1.417312e-03,1.432456e-03,1.441390e-03,1.445229e-03,1.455786e-03,1.461611e-03,1.464273e-03,1.470829e-03,1.474071e-03,1.475583e-03,1.478659e-03,1.479774e-03,1.480173e-03,1.480233e-03,1.479615e-03,1.478943e-03,1.476401e-03,1.474389e-03,1.472699e-03,1.467922e-03,1.464808e-03,1.462153e-03,1.455468e-03,1.451503e-03,1.447939e-03,1.439635e-03,1.435031e-03,1.430619e-03,1.420951e-03,1.415891e-03,1.410688e-03,1.399883e-03,1.394519e-03,1.388586e-03,1.376843e-03,1.371304e-03,1.364698e-03,1.352194e-03,1.346588e-03,1.339368e-03,1.326257e-03,1.320673e-03,1.312894e-03,1.299313e-03,1.293825e-03,1.285542e-03,1.271609e-03,1.266278e-03,1.257541e-03,1.243362e-03,1.238235e-03,1.229095e-03,1.214761e-03,1.209876e-03,1.200380e-03,1.185970e-03,1.181356e-03,1.171549e-03,1.157133e-03,1.152811e-03,1.142736e-03,1.128372e-03,1.124358e-03,1.114055e-03,1.099795e-03,1.096099e-03,1.085605e-03,1.071493e-03,1.068119e-03,1.057469e-03,1.043543e-03,1.040493e-03,1.029721e-03,1.016011e-03,1.013283e-03,1.002419e-03,9.889526e-04,9.865422e-04,9.756156e-04,9.624136e-04,9.603141e-04,9.493510e-04,9.364317e-04,9.346347e-04,9.236594e-04,9.110373e-04,9.095328e-04,8.985680e-04,8.862542e-04,8.850315e-04,8.740979e-04,8.621009e-04,8.611481e-04,8.502648e-04,8.385908e-04,8.378955e-04,8.270799e-04,8.157330e-04,8.152825e-04,8.045505e-04,7.935329e-04,7.933142e-04,7.826802e-04,7.719925e-04,7.513167e-04,7.312837e-04,7.118885e-04,6.931241e-04,6.749824e-04,6.574537e-04,6.405276e-04,6.241924e-04,6.084362e-04,5.932462e-04,5.786092e-04,5.645118e-04,5.509403e-04,5.378807e-04,5.253192e-04,5.132418e-04,5.016345e-04,4.904834e-04,4.797750e-04,4.694955e-04,4.596316e-04,4.501701e-04,4.410981e-04,4.324028e-04,4.240719e-04,4.160931e-04,4.084546e-04,4.011447e-04,3.941522e-04,3.874660e-04,3.810755e-04,3.749701e-04,3.691397e-04,3.635746e-04,3.582650e-04,3.532019e-04,3.483760e-04,3.437789e-04,3.394019e-04,3.352369e-04,3.312760e-04,3.275114e-04,3.239359e-04,3.205422e-04,3.173233e-04,3.142725e-04,3.113833e-04,3.086495e-04,3.060649e-04
0.000000e+00,2.359076e-13,5.470579e-11,5.932578e-11,1.661685e-09,1.804079e-08,1.970367e-08,1.432824e-07,6.728952e-07,7.361995e-07,2.879273e-06,8.304322e-06,9.036208e-06,2.375989e-05,5.020621e-05,5.422428e-05,1.104528e-04,1.913267e-04,2.052138e-04,3.536181e-04,5.369499e-04,5.724932e-04,8.796157e-04,1.218905e-03,1.292884e-03,1.829500e-03,2.372678e-03,2.505216e-03,3.333683e-03,4.113949e-03,4.325933e-03,5.489993e-03,6.520430e-03,6.830654e-03,8.349361e-03,9.621619e-03,1.004423e-02,1.191019e-02,1.339652e-02,1.393919e-02,1.612047e-02,1.777800e-02,1.844092e-02,2.088546e-02,2.266157e-02,2.343738e-02,2.607881e-02,2.791657e-02,2.879101e-02,3.155482e-02,3.339784e-02,3.435096e-02,3.716036e-02,3.895672e-02,3.996443e-02,4.274527e-02,4.445025e-02,4.548594e-02,4.817058e-02,4.974833e-02,5.078455e-02,5.331452e-02,5.473865e-02,5.574855e-02,5.807610e-02,5.932959e-02,6.028810e-02,6.237687e-02,6.345130e-02,6.433612e-02,6.616089e-02,6.705536e-02,6.784751e-02,6.939350e-02,7.011330e-02,7.079751e-02,7.205925e-02,7.261451e-02,7.317936e-02,7.415935e-02,7.456369e-02,7.500149e-02,7.570874e-02,7.597810e-02,7.628467e-02,7.673333e-02,7.688489e-02,7.705923e-02,7.726721e-02,7.731852e-02,7.736240e-02,7.735018e-02,7.731851e-02,7.723605e-02,7.702563e-02,7.692740e-02,7.672461e-02,7.633867e-02,7.618912e-02,7.587348e-02,7.533462e-02,7.514754e-02,7.472761e-02,7.405782e-02,7.384544e-02,7.333051e-02,7.255076e-02,7.232371e-02,7.172350e-02,7.085346e-02,7.062080e-02,6.994518e-02,6.900302e-02,6.877232e-02,6.803110e-02,6.703337e-02,6.681078e-02,6.601355e-02,6.497517e-02,6.476556e-02,6.392154e-02,6.285580e-02,6.266291e-02,6.178086e-02,6.069947e-02,6.052602e-02,5.961418e-02,5.852737e-02,5.837522e-02,5.744124e-02,5.635783e-02,5.622810e-02,5.527904e-02,5.420658e-02,5.409974e-02,5.314205e-02,5.208692e-02,5.200295e-02,5.104250e-02,5.001000e-02,4.994845e-02,4.899052e-02,4.798504e-02,4.794512e-02,4.699444e-02,4.601952e-02,4.600018e-02,4.506096e-02,4.411939e-02,4.230724e-02,4.056710e-02,3.890140e-02,3.731172e-02,3.579895e-02,3.436337e-02,3.300476e-02,3.172247e-02,3.051551e-02,2.938259e-02,2.832218e-02,2.733255e-02,2.641181e-02,2.555796e-02,2.476890e-02,2.404242e-02,2.337630e-02,2.276823e-02,2.221591e-02,2.171698e-02,2.126909e-02,2.086990e-02,2.051702e-02,2.020813e-02,1.994086e-02,1.971291e-02,1.952196e-02,1.936573e-02,1.924197e-02,1.914845e-02,1.908299e-02,1.904345e-02,1.902771e-02,1.903372e-02,1.905949e-02,1.910306e-02,1.916255e-02,1.923614e-02,1.932208e-02,1.941868e-02,1.952433e-02,1.963751e-02,1.975678e-02,1.988075e-02,2.000814e-02,2.013777e-02,2.026850e-02,2.039933e-02,2.052929e-02
0.000000e+00,1.009313e-12,2.281102e-10,2.473668e-10,6.913404e-09,7.227942e-08,7.873259e-08,5.229170e-07,2.189959e-06,2.377269e-06,8.128405e-06,2.070140e-05,2.228593e-05,5.136490e-05,9.673500e-05,1.031690e-04,1.856397e-04,2.890871e-04,3.056544e-04,4.680709e-04,6.434708e-04,6.751648e-04,9.264741e-04,1.169607e-03,1.218989e-03,1.547576e-03,1.839266e-03,1.905530e-03,2.285170e-03,2.599055e-03,2.678398e-03,3.077186e-03,3.387202e-03,3.473958e-03,3.861880e-03,4.147107e-03,4.235040e-03,4.588538e-03,4.835157e-03,4.918510e-03,5.222101e-03,5.423237e-03,5.497386e-03,5.743280e-03,5.897698e-03,5.959420e-03,6.146054e-03,6.256473e-03,6.303924e-03,6.434160e-03,6.505659e-03,6.538183e-03,6.617616e-03,6.656354e-03,6.674211e-03,6.709789e-03,6.722101e-03,6.726190e-03,6.725233e-03,6.717063e-03,6.708681e-03,6.678225e-03,6.654824e-03,6.635464e-03,6.581893e-03,6.547694e-03,6.518901e-03,6.447769e-03,6.406390e-03,6.369668e-03,6.285665e-03,6.239973e-03,6.196721e-03,6.103706e-03,6.055917e-03,6.007395e-03,5.908483e-03,5.860265e-03,5.807587e-03,5.705254e-03,5.657834e-03,5.601969e-03,5.498157e-03,5.452410e-03,5.394190e-03,5.290394e-03,5.246920e-03,5.187051e-03,5.084407e-03,5.043593e-03,4.982672e-03,4.882030e-03,4.844105e-03,4.782634e-03,4.684616e-03,4.649689e-03,4.588087e-03,4.493138e-03,4.461230e-03,4.399847e-03,4.308273e-03,4.279340e-03,4.218466e-03,4.130464e-03,4.104419e-03,4.044294e-03,3.959977e-03,3.936702e-03,3.877525e-03,3.796942e-03,3.776297e-03,3.718229e-03,3.641380e-03,3.623213e-03,3.566386e-03,3.493235e-03,3.477387e-03,3.421909e-03,3.352389e-03,3.338700e-03,3.284654e-03,3.218681e-03,3.206991e-03,3.154444e-03,3.091916e-03,3.082068e-03,3.031070e-03,2.971877e-03,2.963720e-03,2.914307e-03,2.858331e-03,2.851720e-03,2.803918e-03,2.751037e-03,2.745832e-03,2.699657e-03,2.649746e-03,2.645816e-03,2.601274e-03,2.554208e-03,2.551428e-03,2.508518e-03,2.464174e-03,2.462427e-03,2.421144e-03,2.379397e-03,2.378575e-03,2.338905e-03,2.299638e-03,2.225386e-03,2.155599e-03,2.090059e-03,2.028560e-03,1.970899e-03,1.916886e-03,1.866333e-03,1.819064e-03,1.774909e-03,1.733703e-03,1.695293e-03,1.659529e-03,1.626270e-03,1.595379e-03,1.566730e-03,1.540197e-03,1.515666e-03,1.493023e-03,1.472163e-03,1.452986e-03,1.435394e-03,1.419298e-03,1.404609e-03,1.391245e-03,1.379128e-03,1.368183e-03,1.358339e-03,1.349528e-03,1.341687e-03,1.334755e-03,1.328674e-03,1.323389e-03,1.318847e-03,1.315000e-03,1.311800e-03,1.309204e-03,1.307168e-03,1.305652e-03,1.304619e-03,1.304034e-03,1.303860e-03,1.304068e-03,1.304625e-03,1.305503e-03,1.306675e-03,1.308115e-03,1.309798e-03,1.311702e-03,1.313805e-03
0.000000e+00,3.572557e-09,8.293742e-08,8.687599e-08,6.199356e-07,2.574524e-06,2.709624e-06,8.017366e-06,1.628953e-05,1.689247e-05,2.741668e-05,3.701820e-05,3.782721e-05,4.749047e-05,5.543621e-05,5.627497e-05,6.419124e-05,7.047665e-05,7.128655e-05,7.761611e-05,8.248924e-05,8.323515e-05,8.819684e-05,9.189369e-05,9.255170e-05,9.634758e-05,9.907464e-05,9.962935e-05,1.024392e-04,1.043741e-04,1.048168e-04,1.067989e-04,1.080927e-04,1.084201e-04,1.097120e-04,1.104921e-04,1.107045e-04,1.114250e-04,1.117981e-04,1.118989e-04,1.121493e-04,1.122031e-04,1.121974e-04,1.120627e-04,1.118695e-04,1.117635e-04,1.113164e-04,1.109359e-04,1.107370e-04,1.100395e-04,1.095214e-04,1.092381e-04,1.083453e-04,1.077310e-04,1.073720e-04,1.063280e-04,1.056492e-04,1.052223e-04,1.040633e-04,1.033454e-04,1.028584e-04,1.016146e-04,1.008778e-04,1.003381e-04,9.903454e-05,9.829473e-05,9.770922e-05,9.636680e-05,9.563631e-05,9.501157e-05,9.364739e-05,9.293567e-05,9.227778e-05,9.090590e-05,9.022001e-05,8.953460e-05,8.816643e-05,8.751151e-05,8.680371e-05,8.544851e-05,8.482815e-05,8.410267e-05,8.276784e-05,8.218439e-05,8.144550e-05,8.013692e-05,7.959169e-05,7.884324e-05,7.756545e-05,7.705898e-05,7.630442e-05,7.506091e-05,7.459310e-05,7.383555e-05,7.262888e-05,7.219915e-05,7.144137e-05,7.027338e-05,6.988077e-05,6.912523e-05,6.799713e-05,6.764041e-05,6.688927e-05,6.580176e-05,6.547949e-05,6.473467e-05,6.368801e-05,6.339861e-05,6.266177e-05,6.165589e-05,6.139769e-05,6.067029e-05,5.970484e-05,5.947612e-05,5.875941e-05,5.783383e-05,5.763285e-05,5.692791e-05,5.604144e-05,5.586647e-05,5.517422e-05,5.432599e-05,5.417531e-05,5.349651e-05,5.268553e-05,5.255747e-05,5.189277e-05,5.111797e-05,5.101091e-05,5.036083e-05,4.962108e-05,4.953346e-05,4.889842e-05,4.819256e-05,4.812289e-05,4.750321e-05,4.683006e-05,4.677689e-05,4.617281e-05,4.553118e-05,4.549317e-05,4.490485e-05,4.429354e-05,4.426939e-05,4.369694e-05,4.311476e-05,4.310326e-05,4.254671e-05,4.199250e-05,4.093487e-05,3.992818e-05,3.897028e-05,3.805910e-05,3.719261e-05,3.636885e-05,3.558593e-05,3.484202e-05,3.413537e-05,3.346427e-05,3.282711e-05,3.222231e-05,3.164837e-05,3.110387e-05,3.058741e-05,3.009767e-05,2.963341e-05,2.919339e-05,2.877649e-05,2.838157e-05,2.800761e-05,2.765357e-05,2.731851e-05,2.700151e-05,2.670169e-05,2.641821e-05,2.615028e-05,2.589714e-05,2.565805e-05,2.543234e-05,2.521934e-05,2.501842e-05,2.482898e-05,2.465046e-05,2.448230e-05,2.432400e-05,2.417506e-05,2.403500e-05,2.390338e-05,2.377978e-05,2.366379e-05,2.355501e-05,2.345309e-05,2.335766e-05,2.326841e-05,2.318500e-05,2.310714e-05,2.303454e-05,2.296692e-05
0.000000e+00,5.170684e-10,1.132232e-08,1.189121e-08,8.154796e-08,2.356022e-07,2.431196e-07,4.360554e-07,6.131986e-07,6.242060e-07,8.018554e-07,9.555582e-07,9.684883e-07,1.124373e-06,1.255801e-06,1.269899e-06,1.405474e-06,1.516866e-06,1.531498e-06,1.648375e-06,1.741880e-06,1.756507e-06,1.856296e-06,1.933962e-06,1.948140e-06,2.032433e-06,2.096188e-06,2.109559e-06,2.179892e-06,2.231511e-06,2.243794e-06,2.301615e-06,2.342710e-06,2.353690e-06,2.400340e-06,2.432355e-06,2.441873e-06,2.478583e-06,2.502809e-06,2.510750e-06,2.538642e-06,2.556219e-06,2.562512e-06,2.582603e-06,2.594542e-06,2.599146e-06,2.612361e-06,2.619553e-06,2.622456e-06,2.629630e-06,2.632857e-06,2.634071e-06,2.635956e-06,2.635900e-06,2.635455e-06,2.632729e-06,2.629988e-06,2.627929e-06,2.621201e-06,2.616295e-06,2.612681e-06,2.602497e-06,2.595878e-06,2.590773e-06,2.577625e-06,2.569681e-06,2.563161e-06,2.547487e-06,2.538553e-06,2.530698e-06,2.512889e-06,2.503254e-06,2.494146e-06,2.474552e-06,2.464461e-06,2.454185e-06,2.433118e-06,2.422778e-06,2.411421e-06,2.389159e-06,2.378745e-06,2.366393e-06,2.343181e-06,2.332842e-06,2.319579e-06,2.295637e-06,2.285492e-06,2.271403e-06,2.246923e-06,2.237072e-06,2.222240e-06,2.197392e-06,2.187915e-06,2.172418e-06,2.147353e-06,2.138313e-06,2.122229e-06,2.097076e-06,2.088523e-06,2.071925e-06,2.046801e-06,2.038771e-06,2.021729e-06,1.996732e-06,1.989251e-06,1.971833e-06,1.947050e-06,1.940134e-06,1.922403e-06,1.897909e-06,1.891567e-06,1.873583e-06,1.849441e-06,1.843675e-06,1.825495e-06,1.801759e-06,1.796566e-06,1.778243e-06,1.754958e-06,1.750329e-06,1.731913e-06,1.709118e-06,1.705041e-06,1.686579e-06,1.664303e-06,1.660764e-06,1.642298e-06,1.620568e-06,1.617548e-06,1.599118e-06,1.577953e-06,1.575433e-06,1.557076e-06,1.536491e-06,1.534449e-06,1.516200e-06,1.496206e-06,1.494619e-06,1.476509e-06,1.457112e-06,1.455958e-06,1.438016e-06,1.419220e-06,1.418475e-06,1.400726e-06,1.382533e-06,1.382172e-06,1.364640e-06,1.347048e-06,1.313096e-06,1.280307e-06,1.248667e-06,1.218161e-06,1.188770e-06,1.160475e-06,1.133253e-06,1.107081e-06,1.081936e-06,1.057791e-06,1.034622e-06,1.012402e-06,9.911043e-07,9.707023e-07,9.511693e-07,9.324784e-07,9.146031e-07,8.975171e-07,8.811941e-07,8.656085e-07,8.507349e-07,8.365485e-07,8.230249e-07,8.101402e-07,7.978709e-07,7.861944e-07,7.750884e-07,7.645312e-07,7.545018e-07,7.449797e-07,7.359450e-07,7.273783e-07,7.192611e-07,7.115751e-07,7.043028e-07,6.974272e-07,6.909318e-07,6.848008e-07,6.790188e-07,6.735710e-07,6.684431e-07,6.636213e-07,6.590922e-07,6.548430e-07,6.508613e-07,6.471352e-07,6.436534e-07,6.404045e-07,6.373781e-07
0.000000e+00,4.837224e-10,1.037581e-08,1.090214e-08,7.842180e-08,2.432568e-07,2.516733e-07,4.714188e-07,6.735195e-07,6.860077e-07,8.860491e-07,1.056593e-06,1.070825e-06,1.240924e-06,1.382112e-06,1.397130e-06,1.540231e-06,1.655923e-06,1.670986e-06,1.790123e-06,1.883823e-06,1.898342e-06,1.996315e-06,2.071167e-06,2.084687e-06,2.164077e-06,2.222888e-06,2.235073e-06,2.298235e-06,2.343480e-06,2.354091e-06,2.403143e-06,2.436985e-06,2.445863e-06,2.482696e-06,2.507009e-06,2.514059e-06,2.540348e-06,2.556754e-06,2.561934e-06,2.579163e-06,2.589053e-06,2.592359e-06,2.601828e-06,2.606391e-06,2.607853e-06,2.610703e-06,2.610954e-06,2.610626e-06,2.607856e-06,2.604660e-06,2.602612e-06,2.595096e-06,2.589183e-06,2.585501e-06,2.574003e-06,2.565992e-06,2.560769e-06,2.545953e-06,2.536366e-06,2.529701e-06,2.512148e-06,2.501420e-06,2.493419e-06,2.473630e-06,2.462128e-06,2.452893e-06,2.431307e-06,2.419331e-06,2.408967e-06,2.385962e-06,2.373763e-06,2.362372e-06,2.338274e-06,2.326057e-06,2.313738e-06,2.288830e-06,2.276760e-06,2.263610e-06,2.238134e-06,2.226344e-06,2.212455e-06,2.186620e-06,2.175214e-06,2.160673e-06,2.134656e-06,2.123717e-06,2.108607e-06,2.082560e-06,2.072149e-06,2.056548e-06,2.030600e-06,2.020762e-06,2.004743e-06,1.979002e-06,1.969768e-06,1.953399e-06,1.927956e-06,1.919345e-06,1.902691e-06,1.877621e-06,1.869643e-06,1.852762e-06,1.828128e-06,1.820784e-06,1.803732e-06,1.779585e-06,1.772870e-06,1.755697e-06,1.732078e-06,1.725981e-06,1.708734e-06,1.685674e-06,1.680183e-06,1.662904e-06,1.640428e-06,1.635524e-06,1.618252e-06,1.596379e-06,1.592041e-06,1.574812e-06,1.553554e-06,1.549761e-06,1.532608e-06,1.511973e-06,1.508701e-06,1.491652e-06,1.471644e-06,1.468868e-06,1.451951e-06,1.432571e-06,1.430266e-06,1.413504e-06,1.394749e-06,1.392890e-06,1.376304e-06,1.358169e-06,1.356732e-06,1.340342e-06,1.322819e-06,1.321778e-06,1.305600e-06,1.288682e-06,1.288012e-06,1.272062e-06,1.255738e-06,1.255414e-06,1.239706e-06,1.223964e-06,1.193638e-06,1.164410e-06,1.136255e-06,1.109145e-06,1.083053e-06,1.057950e-06,1.033809e-06,1.010601e-06,9.882970e-07,9.668701e-07,9.462919e-07,9.265350e-07,9.075723e-07,8.893775e-07,8.719244e-07,8.551876e-07,8.391422e-07,8.237640e-07,8.090292e-07,7.949149e-07,7.813987e-07,7.684589e-07,7.560745e-07,7.442250e-07,7.328906e-07,7.220522e-07,7.116912e-07,7.017895e-07,6.923298e-07,6.832952e-07,6.746696e-07,6.664372e-07,6.585829e-07,6.510921e-07,6.439506e-07,6.371449e-07,6.306619e-07,6.244887e-07,6.186134e-07,6.130239e-07,6.077090e-07,6.026577e-07,5.978595e-07,5.933042e-07,5.889819e-07,5.848834e-07,5.809994e-07,5.773212e-07,5.738404e-07
0.000000e+00,3.990173e-09,4.641902e-08,4.828264e-08,2.528345e-07,7.926075e-07,8.250050e-07,1.916859e-06,3.380517e-06,3.484561e-06,5.316383e-06,7.036695e-06,7.183588e-06,8.955433e-06,1.043176e-05,1.058851e-05,1.207649e-05,1.326977e-05,1.342438e-05,1.464022e-05,1.558682e-05,1.573265e-05,1.671019e-05,1.744854e-05,1.758104e-05,1.835311e-05,1.891772e-05,1.903381e-05,1.962987e-05,2.005009e-05,2.014769e-05,2.059332e-05,2.089442e-05,2.097238e-05,2.129013e-05,2.149365e-05,2.155148e-05,2.176098e-05,2.188514e-05,2.192288e-05,2.204113e-05,2.210130e-05,2.211938e-05,2.216106e-05,2.217018e-05,2.216933e-05,2.214712e-05,2.211601e-05,2.209716e-05,2.202199e-05,2.195970e-05,2.192394e-05,2.180518e-05,2.171926e-05,2.166774e-05,2.151348e-05,2.141015e-05,2.134412e-05,2.116125e-05,2.104567e-05,2.096636e-05,2.076080e-05,2.063718e-05,2.054583e-05,2.032262e-05,2.019443e-05,2.009224e-05,1.985568e-05,1.972568e-05,1.961384e-05,1.936757e-05,1.923801e-05,1.911763e-05,1.886474e-05,1.873740e-05,1.860955e-05,1.835264e-05,1.822889e-05,1.809458e-05,1.783585e-05,1.771674e-05,1.757692e-05,1.731819e-05,1.720452e-05,1.706006e-05,1.680286e-05,1.669520e-05,1.654692e-05,1.629250e-05,1.619122e-05,1.603988e-05,1.578927e-05,1.569462e-05,1.554090e-05,1.529494e-05,1.520702e-05,1.505157e-05,1.481092e-05,1.472975e-05,1.457314e-05,1.433833e-05,1.426383e-05,1.410659e-05,1.387802e-05,1.381008e-05,1.365269e-05,1.343065e-05,1.336908e-05,1.321197e-05,1.299669e-05,1.294127e-05,1.278483e-05,1.257643e-05,1.252693e-05,1.237151e-05,1.217008e-05,1.212623e-05,1.197213e-05,1.177768e-05,1.173921e-05,1.158672e-05,1.139923e-05,1.136585e-05,1.121521e-05,1.103463e-05,1.100605e-05,1.085747e-05,1.068371e-05,1.065965e-05,1.051332e-05,1.034627e-05,1.032645e-05,1.018253e-05,1.002206e-05,1.000619e-05,9.864819e-06,9.710781e-06,9.698595e-06,9.559899e-06,9.412135e-06,9.403367e-06,9.267445e-06,9.125787e-06,9.120183e-06,8.987118e-06,8.851393e-06,8.848708e-06,8.718567e-06,8.588596e-06,8.339498e-06,8.101058e-06,7.872923e-06,7.654735e-06,7.446146e-06,7.246809e-06,7.056383e-06,6.874535e-06,6.700940e-06,6.535277e-06,6.377236e-06,6.226516e-06,6.082823e-06,5.945874e-06,5.815392e-06,5.691114e-06,5.572781e-06,5.460146e-06,5.352970e-06,5.251022e-06,5.154080e-06,5.061930e-06,4.974368e-06,4.891194e-06,4.812219e-06,4.737260e-06,4.666142e-06,4.598696e-06,4.534759e-06,4.474176e-06,4.416799e-06,4.362483e-06,4.311092e-06,4.262494e-06,4.216562e-06,4.173176e-06,4.132218e-06,4.093577e-06,4.057147e-06,4.022826e-06,3.990514e-06,3.960118e-06,3.931548e-06,3.904718e-06,3.879544e-06,3.855948e-06,3.833853e-06,3.813187e-06,3.793880e-06
0.000000e+00,6.621678e-13,1.683009e-10,1.830232e-10,6.012898e-09,7.481363e-08,8.208098e-08,6.457668e-07,3.091219e-06,3.381305e-06,1.295288e-05,3.603720e-05,3.907711e-05,9.825590e-05,1.996375e-04,2.147135e-04,4.204032e-04,7.059270e-04,7.541634e-04,1.260216e-03,1.869520e-03,1.986232e-03,2.981195e-03,4.060094e-03,4.293243e-03,5.967652e-03,7.639753e-03,8.045065e-03,1.056004e-02,1.290570e-02,1.353992e-02,1.700413e-02,2.004986e-02,2.096375e-02,2.542139e-02,2.913912e-02,3.037144e-02,3.580047e-02,4.011442e-02,4.168781e-02,4.800630e-02,5.280436e-02,5.472314e-02,6.180080e-02,6.694783e-02,6.919792e-02,7.687024e-02,8.222105e-02,8.477147e-02,9.285415e-02,9.826485e-02,1.010704e-01,1.093726e-01,1.147096e-01,1.177143e-01,1.260501e-01,1.311963e-01,1.343368e-01,1.425335e-01,1.473924e-01,1.506020e-01,1.585067e-01,1.630035e-01,1.662152e-01,1.736982e-01,1.777803e-01,1.809295e-01,1.878861e-01,1.915214e-01,1.945482e-01,2.008990e-01,2.040736e-01,2.069246e-01,2.126139e-01,2.153297e-01,2.179585e-01,2.229527e-01,2.252243e-01,2.275929e-01,2.318777e-01,2.337295e-01,2.358077e-01,2.393854e-01,2.408489e-01,2.426148e-01,2.455012e-01,2.466129e-01,2.480516e-01,2.502738e-01,2.510727e-01,2.521765e-01,2.537695e-01,2.542957e-01,2.550631e-01,2.560681e-01,2.563615e-01,2.567960e-01,2.572583e-01,2.573572e-01,2.574671e-01,2.574342e-01,2.573747e-01,2.571720e-01,2.566924e-01,2.565079e-01,2.560075e-01,2.551294e-01,2.548505e-01,2.540697e-01,2.528400e-01,2.524938e-01,2.514515e-01,2.499153e-01,2.495258e-01,2.482421e-01,2.464423e-01,2.460303e-01,2.445259e-01,2.425028e-01,2.420861e-01,2.403821e-01,2.381729e-01,2.377666e-01,2.358839e-01,2.335232e-01,2.331394e-01,2.310987e-01,2.286179e-01,2.282666e-01,2.260880e-01,2.235158e-01,2.232045e-01,2.209075e-01,2.182695e-01,2.180043e-01,2.156074e-01,2.129266e-01,2.127115e-01,2.102323e-01,2.075294e-01,2.073670e-01,2.048222e-01,2.021152e-01,2.020070e-01,1.994122e-01,1.967170e-01,1.966632e-01,1.940330e-01,1.913635e-01,1.861321e-01,1.809897e-01,1.759540e-01,1.710400e-01,1.662601e-01,1.616244e-01,1.571410e-01,1.528163e-01,1.486548e-01,1.446598e-01,1.408332e-01,1.371757e-01,1.336873e-01,1.303667e-01,1.272121e-01,1.242211e-01,1.213905e-01,1.187167e-01,1.161958e-01,1.138234e-01,1.115950e-01,1.095057e-01,1.075504e-01,1.057240e-01,1.040214e-01,1.024371e-01,1.009658e-01,9.960236e-02,9.834134e-02,9.717754e-02,9.610581e-02,9.512107e-02,9.421836e-02,9.339284e-02,9.263980e-02,9.195466e-02,9.133299e-02,9.077054e-02,9.026319e-02,8.980700e-02,8.939818e-02,8.903313e-02,8.870840e-02,8.842071e-02,8.816698e-02,8.794424e-02,8.774974e-02,8.758085e-02,8.743512e-02
0.000000e+00,7.138839e-13,1.848630e-10,2.011551e-10,6.832918e-09,8.732735e-08,9.589630e-08,7.673700e-07,3.702535e-06,4.051191e-06,1.555340e-05,4.321822e-05,4.685400e-05,1.173885e-04,2.374910e-04,2.552931e-04,4.971092e-04,8.304033e-04,8.865017e-04,1.472265e-03,2.172342e-03,2.305920e-03,3.439182e-03,4.658961e-03,4.921514e-03,6.797942e-03,8.658116e-03,9.107238e-03,1.188052e-02,1.444866e-02,1.514032e-02,1.890003e-02,2.218261e-02,2.316376e-02,2.792660e-02,3.187215e-02,3.317504e-02,3.888769e-02,4.339748e-02,4.503619e-02,5.158614e-02,5.652873e-02,5.849815e-02,6.572893e-02,7.095549e-02,7.323228e-02,8.096009e-02,8.631820e-02,8.886331e-02,9.689273e-02,1.022376e-01,1.049998e-01,1.131372e-01,1.183399e-01,1.212594e-01,1.293233e-01,1.342758e-01,1.372885e-01,1.451173e-01,1.497346e-01,1.527753e-01,1.602314e-01,1.644524e-01,1.674579e-01,1.744301e-01,1.782154e-01,1.811269e-01,1.875303e-01,1.908608e-01,1.936254e-01,1.994003e-01,2.022736e-01,2.048458e-01,2.099554e-01,2.123827e-01,2.147248e-01,2.191521e-01,2.211557e-01,2.232375e-01,2.269828e-01,2.285924e-01,2.303916e-01,2.334690e-01,2.347196e-01,2.362211e-01,2.386554e-01,2.395850e-01,2.407802e-01,2.426046e-01,2.432525e-01,2.441384e-01,2.453920e-01,2.457970e-01,2.463759e-01,2.471014e-01,2.473014e-01,2.475796e-01,2.478219e-01,2.478525e-01,2.478397e-01,2.476445e-01,2.475389e-01,2.472476e-01,2.466602e-01,2.464485e-01,2.458933e-01,2.449578e-01,2.446671e-01,2.438642e-01,2.426229e-01,2.422772e-01,2.412438e-01,2.397367e-01,2.393570e-01,2.381110e-01,2.363756e-01,2.359800e-01,2.345394e-01,2.326108e-01,2.322147e-01,2.305977e-01,2.285079e-01,2.281241e-01,2.263487e-01,2.241271e-01,2.237663e-01,2.218499e-01,2.195234e-01,2.191941e-01,2.171537e-01,2.147465e-01,2.144554e-01,2.123073e-01,2.098412e-01,2.095933e-01,2.073532e-01,2.048478e-01,2.046467e-01,2.023293e-01,1.998020e-01,1.996501e-01,1.972696e-01,1.947357e-01,1.946344e-01,1.922038e-01,1.896771e-01,1.896266e-01,1.871585e-01,1.846508e-01,1.797278e-01,1.748759e-01,1.701106e-01,1.654455e-01,1.608918e-01,1.564590e-01,1.521551e-01,1.479862e-01,1.439575e-01,1.400725e-01,1.363340e-01,1.327436e-01,1.293021e-01,1.260096e-01,1.228653e-01,1.198682e-01,1.170163e-01,1.143074e-01,1.117389e-01,1.093077e-01,1.070106e-01,1.048440e-01,1.028040e-01,1.008868e-01,9.908816e-02,9.740399e-02,9.582997e-02,9.436175e-02,9.299495e-02,9.172519e-02,9.054809e-02,8.945928e-02,8.845448e-02,8.752940e-02,8.667987e-02,8.590178e-02,8.519109e-02,8.454390e-02,8.395637e-02,8.342480e-02,8.294559e-02,8.251527e-02,8.213049e-02,8.178804e-02,8.148481e-02,8.121785e-02,8.098432e-02,8.078153e-02,8.060691e-02
0.000000e+00,2.438988e-13,5.377379e-11,5.827272e-11,1.590826e-09,1.692591e-08,1.846696e-08,1.297366e-07,5.799920e-07,6.322240e-07,2.307067e-06,6.181687e-06,6.681579e-06,1.611761e-05,3.144771e-05,3.366329e-05,6.272453e-05,1.005002e-04,1.066606e-04,1.683986e-04,2.374270e-04,2.501310e-04,3.531249e-04,4.562932e-04,4.776446e-04,6.229757e-04,7.565828e-04,7.875240e-04,9.689656e-04,1.124364e-03,1.164426e-03,1.370666e-03,1.536813e-03,1.584256e-03,1.801741e-03,1.967565e-03,2.019769e-03,2.235202e-03,2.391269e-03,2.445199e-03,2.647263e-03,2.786634e-03,2.839278e-03,3.019517e-03,3.137945e-03,3.186640e-03,3.339669e-03,3.435344e-03,3.477973e-03,3.601227e-03,3.674294e-03,3.709377e-03,3.802598e-03,3.854591e-03,3.881265e-03,3.945907e-03,3.979226e-03,3.997182e-03,4.035837e-03,4.053310e-03,4.062687e-03,4.078584e-03,4.083130e-03,4.084402e-03,4.081016e-03,4.075422e-03,4.069290e-03,4.050062e-03,4.036845e-03,4.024139e-03,3.992289e-03,3.973626e-03,3.955234e-03,3.913648e-03,3.891353e-03,3.868157e-03,3.819340e-03,3.794883e-03,3.767724e-03,3.713791e-03,3.688325e-03,3.657976e-03,3.600671e-03,3.575077e-03,3.542229e-03,3.482963e-03,3.457894e-03,3.423152e-03,3.363042e-03,3.338963e-03,3.302849e-03,3.242763e-03,3.219993e-03,3.182949e-03,3.123550e-03,3.102292e-03,3.064689e-03,3.006472e-03,2.986841e-03,2.948988e-03,2.892313e-03,2.874359e-03,2.836511e-03,2.781633e-03,2.765356e-03,2.727722e-03,2.674812e-03,2.660181e-03,2.622931e-03,2.572097e-03,2.559054e-03,2.522326e-03,2.473627e-03,2.462100e-03,2.426006e-03,2.379464e-03,2.369370e-03,2.334000e-03,2.289609e-03,2.280860e-03,2.246286e-03,2.204020e-03,2.196524e-03,2.162802e-03,2.122621e-03,2.116287e-03,2.083462e-03,2.045313e-03,2.040052e-03,2.008158e-03,1.971981e-03,1.967705e-03,1.936767e-03,1.902499e-03,1.899124e-03,1.869160e-03,1.836733e-03,1.834177e-03,1.805200e-03,1.774543e-03,1.772731e-03,1.744746e-03,1.715790e-03,1.714649e-03,1.687657e-03,1.660331e-03,1.659793e-03,1.633794e-03,1.608028e-03,1.559219e-03,1.513235e-03,1.469946e-03,1.429226e-03,1.390954e-03,1.355011e-03,1.321284e-03,1.289661e-03,1.260037e-03,1.232309e-03,1.206379e-03,1.182153e-03,1.159541e-03,1.138456e-03,1.118815e-03,1.100540e-03,1.083554e-03,1.067785e-03,1.053165e-03,1.039628e-03,1.027110e-03,1.015552e-03,1.004897e-03,9.950913e-04,9.860827e-04,9.778222e-04,9.702631e-04,9.633611e-04,9.570739e-04,9.513617e-04,9.461863e-04,9.415118e-04,9.373039e-04,9.335302e-04,9.301601e-04,9.271645e-04,9.245159e-04,9.221884e-04,9.201573e-04,9.183995e-04,9.168932e-04,9.156176e-04,9.145535e-04,9.136825e-04,9.129874e-04,9.124521e-04,9.120614e-04,9.118012e-04,9.116582e-04
0.000000e+00,4.406770e-13,1.051600e-10,1.141510e-10,3.384498e-09,3.847703e-08,4.208020e-08,3.107603e-07,1.436913e-06,1.569253e-06,5.896468e-06,1.623798e-05,1.759535e-05,4.391170e-05,8.870777e-05,9.534720e-05,1.855160e-04,3.097143e-04,3.306078e-04,5.485693e-04,8.085802e-04,8.581326e-04,1.277803e-03,1.728140e-03,1.824898e-03,2.514708e-03,3.195772e-03,3.359818e-03,4.369608e-03,5.300076e-03,5.549946e-03,6.903053e-03,8.077636e-03,8.427527e-03,1.011850e-02,1.151015e-02,1.196792e-02,1.396487e-02,1.552982e-02,1.609600e-02,1.834598e-02,2.003012e-02,2.069791e-02,2.313379e-02,2.487888e-02,2.563496e-02,2.818247e-02,2.993162e-02,3.075748e-02,3.334153e-02,3.504330e-02,3.591688e-02,3.846666e-02,4.007780e-02,4.097516e-02,4.342786e-02,4.491469e-02,4.581162e-02,4.811469e-02,4.945346e-02,5.032677e-02,5.243899e-02,5.361533e-02,5.444392e-02,5.633551e-02,5.734348e-02,5.810903e-02,5.976101e-02,6.060168e-02,6.128913e-02,6.269218e-02,6.337221e-02,6.396990e-02,6.512295e-02,6.565315e-02,6.615278e-02,6.706152e-02,6.745550e-02,6.785195e-02,6.852733e-02,6.880038e-02,6.909138e-02,6.954818e-02,6.971631e-02,6.990209e-02,7.015770e-02,7.023688e-02,7.031976e-02,7.039312e-02,7.039873e-02,7.038269e-02,7.029341e-02,7.023982e-02,7.013017e-02,6.989782e-02,6.979818e-02,6.960113e-02,6.924476e-02,6.911080e-02,6.883323e-02,6.837092e-02,6.821295e-02,6.786207e-02,6.731075e-02,6.713765e-02,6.672084e-02,6.609608e-02,6.591539e-02,6.544000e-02,6.475596e-02,6.457392e-02,6.404712e-02,6.331650e-02,6.313822e-02,6.256691e-02,6.180103e-02,6.163060e-02,6.102135e-02,6.023019e-02,6.007078e-02,5.942975e-02,5.862205e-02,5.847604e-02,5.780898e-02,5.699229e-02,5.686139e-02,5.617361e-02,5.535445e-02,5.523981e-02,5.453619e-02,5.372010e-02,5.362238e-02,5.290738e-02,5.209908e-02,5.201853e-02,5.129619e-02,5.049962e-02,5.043619e-02,4.971018e-02,4.892861e-02,4.888198e-02,4.815558e-02,4.739171e-02,4.736135e-02,4.663752e-02,4.589351e-02,4.587874e-02,4.516011e-02,4.443770e-02,4.304103e-02,4.169084e-02,4.038869e-02,3.913562e-02,3.793226e-02,3.677887e-02,3.567539e-02,3.462152e-02,3.361672e-02,3.266027e-02,3.175129e-02,3.088877e-02,3.007159e-02,2.929855e-02,2.856836e-02,2.787969e-02,2.723116e-02,2.662135e-02,2.604883e-02,2.551216e-02,2.500987e-02,2.454050e-02,2.410262e-02,2.369476e-02,2.331552e-02,2.296348e-02,2.263726e-02,2.233550e-02,2.205686e-02,2.180006e-02,2.156381e-02,2.134689e-02,2.114810e-02,2.096627e-02,2.080028e-02,2.064906e-02,2.051155e-02,2.038676e-02,2.027373e-02,2.017153e-02,2.007928e-02,1.999615e-02,1.992135e-02,1.985411e-02,1.979373e-02,1.973952e-02,1.969086e-02,1.964713e-02,1.960780e-02
0.000000e+00,2.680976e-10,4.062741e-09,4.249415e-09,2.751218e-08,9.482236e-08,9.889728e-08,2.308693e-07,3.856288e-07,3.958071e-07,5.643966e-07,7.139532e-07,7.266283e-07,8.803468e-07,1.011186e-06,1.025290e-06,1.161639e-06,1.274746e-06,1.289684e-06,1.409744e-06,1.506859e-06,1.522146e-06,1.627215e-06,1.710040e-06,1.725270e-06,1.816627e-06,1.886756e-06,1.901592e-06,1.980461e-06,2.039362e-06,2.053523e-06,2.121055e-06,2.170064e-06,2.183325e-06,2.240590e-06,2.280916e-06,2.293097e-06,2.341082e-06,2.373814e-06,2.384773e-06,2.424388e-06,2.450504e-06,2.460135e-06,2.492213e-06,2.512587e-06,2.520812e-06,2.546117e-06,2.561530e-06,2.568299e-06,2.587527e-06,2.598676e-06,2.603959e-06,2.617746e-06,2.625250e-06,2.629035e-06,2.637965e-06,2.642375e-06,2.644667e-06,2.649269e-06,2.651071e-06,2.651889e-06,2.652644e-06,2.652270e-06,2.651643e-06,2.648990e-06,2.646820e-06,2.644785e-06,2.639123e-06,2.635492e-06,2.632094e-06,2.623785e-06,2.618986e-06,2.614278e-06,2.603650e-06,2.597939e-06,2.591975e-06,2.579326e-06,2.572927e-06,2.565768e-06,2.551366e-06,2.544474e-06,2.536180e-06,2.520269e-06,2.513053e-06,2.503688e-06,2.486489e-06,2.479092e-06,2.468720e-06,2.450431e-06,2.442979e-06,2.431665e-06,2.412464e-06,2.405062e-06,2.392869e-06,2.372919e-06,2.365657e-06,2.352649e-06,2.332095e-06,2.325047e-06,2.311287e-06,2.290257e-06,2.283486e-06,2.269035e-06,2.247648e-06,2.241203e-06,2.226121e-06,2.204480e-06,2.198403e-06,2.182748e-06,2.160946e-06,2.155269e-06,2.139097e-06,2.117218e-06,2.111965e-06,2.095328e-06,2.073446e-06,2.068634e-06,2.051586e-06,2.029766e-06,2.025407e-06,2.007997e-06,1.986296e-06,1.982398e-06,1.964673e-06,1.943142e-06,1.939706e-06,1.921712e-06,1.900395e-06,1.897421e-06,1.879201e-06,1.858137e-06,1.855619e-06,1.837213e-06,1.816437e-06,1.814368e-06,1.795815e-06,1.775355e-06,1.773725e-06,1.755062e-06,1.734943e-06,1.733741e-06,1.715002e-06,1.695244e-06,1.694458e-06,1.675674e-06,1.656296e-06,1.655910e-06,1.637113e-06,1.618129e-06,1.581137e-06,1.544955e-06,1.509596e-06,1.475071e-06,1.441388e-06,1.408551e-06,1.376562e-06,1.345418e-06,1.315116e-06,1.285651e-06,1.257017e-06,1.229203e-06,1.202201e-06,1.176000e-06,1.150586e-06,1.125948e-06,1.102072e-06,1.078944e-06,1.056549e-06,1.034871e-06,1.013897e-06,9.936094e-07,9.739932e-07,9.550326e-07,9.367117e-07,9.190145e-07,9.019253e-07,8.854282e-07,8.695078e-07,8.541484e-07,8.393349e-07,8.250520e-07,8.112848e-07,7.980188e-07,7.852394e-07,7.729324e-07,7.610840e-07,7.496806e-07,7.387087e-07,7.281552e-07,7.180075e-07,7.082529e-07,6.988792e-07,6.898747e-07,6.812275e-07,6.729264e-07,6.649602e-07,6.573183e-07,6.499902e-07
0.000000e+00,3.176047e-13,6.981647e-11,7.561976e-11,1.971946e-09,1.963807e-08,2.136547e-08,1.407037e-07,6.033977e-07,6.565121e-07,2.354917e-06,6.336635e-06,6.856496e-06,1.688522e-05,3.383379e-05,3.633600e-05,7.010868e-05,1.160780e-04,1.237561e-04,2.030283e-04,2.958853e-04,3.133963e-04,4.596206e-04,6.129071e-04,6.454079e-04,8.731789e-04,1.092035e-03,1.143947e-03,1.457304e-03,1.737515e-03,1.811493e-03,2.203548e-03,2.533103e-03,2.629482e-03,3.084504e-03,3.446484e-03,3.563241e-03,4.059962e-03,4.435653e-03,4.568782e-03,5.083852e-03,5.455381e-03,5.599509e-03,6.110414e-03,6.462568e-03,6.611649e-03,7.098787e-03,7.419984e-03,7.567944e-03,8.015803e-03,8.298363e-03,8.439613e-03,8.837182e-03,9.077070e-03,9.206854e-03,9.547472e-03,9.743740e-03,9.858338e-03,1.013917e-02,1.029327e-02,1.039005e-02,1.061136e-02,1.072644e-02,1.080379e-02,1.096820e-02,1.104844e-02,1.110568e-02,1.121744e-02,1.126755e-02,1.130478e-02,1.136909e-02,1.139391e-02,1.141181e-02,1.143439e-02,1.143857e-02,1.143826e-02,1.142488e-02,1.141273e-02,1.139562e-02,1.135186e-02,1.132721e-02,1.129488e-02,1.122595e-02,1.119213e-02,1.114622e-02,1.105683e-02,1.101665e-02,1.095881e-02,1.085313e-02,1.080893e-02,1.074072e-02,1.062242e-02,1.057608e-02,1.049899e-02,1.037117e-02,1.032420e-02,1.023960e-02,1.010491e-02,1.005850e-02,9.967638e-03,9.828292e-03,9.783339e-03,9.687330e-03,9.545167e-03,9.502342e-03,9.402181e-03,9.258712e-03,9.218497e-03,9.115067e-03,8.971521e-03,8.934246e-03,8.828323e-03,8.685694e-03,8.651571e-03,8.543834e-03,8.402919e-03,8.372060e-03,8.263105e-03,8.124534e-03,8.096980e-03,7.987328e-03,7.851595e-03,7.827327e-03,7.717431e-03,7.584919e-03,7.563875e-03,7.454130e-03,7.325127e-03,7.307212e-03,7.197962e-03,7.072681e-03,7.057776e-03,6.949320e-03,6.827912e-03,6.815879e-03,6.708479e-03,6.591041e-03,6.581733e-03,6.475613e-03,6.362205e-03,6.355465e-03,6.250821e-03,6.141465e-03,6.137132e-03,6.034134e-03,5.928825e-03,5.926740e-03,5.825532e-03,5.724244e-03,5.529566e-03,5.342598e-03,5.163208e-03,4.991246e-03,4.826545e-03,4.668932e-03,4.518223e-03,4.374227e-03,4.236753e-03,4.105606e-03,3.980590e-03,3.861509e-03,3.748172e-03,3.640386e-03,3.537963e-03,3.440718e-03,3.348470e-03,3.261041e-03,3.178258e-03,3.099952e-03,3.025959e-03,2.956117e-03,2.890272e-03,2.828272e-03,2.769969e-03,2.715221e-03,2.663889e-03,2.615839e-03,2.570939e-03,2.529064e-03,2.490089e-03,2.453896e-03,2.420368e-03,2.389393e-03,2.360862e-03,2.334668e-03,2.310708e-03,2.288881e-03,2.269091e-03,2.251242e-03,2.235242e-03,2.221002e-03,2.208434e-03,2.197453e-03,2.187978e-03,2.179927e-03,2.173223e-03,2.167790e-03,2.163553e-03
0.000000e+00,1.352264e-09,1.516462e-08,1.577697e-08,8.610360e-08,2.878630e-07,3.004093e-07,7.339412e-07,1.307917e-06,1.347536e-06,2.019688e-06,2.622607e-06,2.673483e-06,3.284796e-06,3.794491e-06,3.848751e-06,4.365791e-06,4.783462e-06,4.837798e-06,5.267034e-06,5.603750e-06,5.655835e-06,6.006530e-06,6.273336e-06,6.321400e-06,6.602668e-06,6.809747e-06,6.852487e-06,7.072923e-06,7.229445e-06,7.265950e-06,7.433453e-06,7.547540e-06,7.577221e-06,7.698952e-06,7.777720e-06,7.800251e-06,7.882631e-06,7.932257e-06,7.947523e-06,7.996267e-06,8.022074e-06,8.030123e-06,8.050277e-06,8.056829e-06,8.057839e-06,8.053847e-06,8.045033e-06,8.039277e-06,8.015039e-06,7.994163e-06,7.981987e-06,7.940917e-06,7.910769e-06,7.892572e-06,7.837647e-06,7.800575e-06,7.776789e-06,7.710603e-06,7.668568e-06,7.639650e-06,7.564453e-06,7.519088e-06,7.485500e-06,7.403243e-06,7.355894e-06,7.318102e-06,7.230467e-06,7.182236e-06,7.140700e-06,7.049135e-06,7.000914e-06,6.956082e-06,6.861827e-06,6.814333e-06,6.766636e-06,6.670751e-06,6.624546e-06,6.574397e-06,6.477780e-06,6.433301e-06,6.381091e-06,6.284503e-06,6.242077e-06,6.188174e-06,6.092251e-06,6.052116e-06,5.996865e-06,5.902137e-06,5.864455e-06,5.808176e-06,5.715081e-06,5.679950e-06,5.622939e-06,5.531833e-06,5.499301e-06,5.441831e-06,5.352999e-06,5.323072e-06,5.265391e-06,5.179058e-06,5.151708e-06,5.094042e-06,5.010381e-06,4.985551e-06,4.928106e-06,4.847244e-06,4.824858e-06,4.767816e-06,4.689842e-06,4.669809e-06,4.613334e-06,4.538304e-06,4.520517e-06,4.464756e-06,4.392696e-06,4.377042e-06,4.322123e-06,4.253037e-06,4.239398e-06,4.185433e-06,4.119304e-06,4.107557e-06,4.054642e-06,3.991438e-06,3.981459e-06,3.929678e-06,3.869351e-06,3.861019e-06,3.810441e-06,3.752933e-06,3.746126e-06,3.696810e-06,3.642054e-06,3.636653e-06,3.588646e-06,3.536567e-06,3.532458e-06,3.485797e-06,3.436316e-06,3.433387e-06,3.388102e-06,3.341133e-06,3.339280e-06,3.295389e-06,3.250847e-06,3.249968e-06,3.207484e-06,3.165279e-06,3.085039e-06,3.009074e-06,2.937207e-06,2.869267e-06,2.805082e-06,2.744484e-06,2.687309e-06,2.633397e-06,2.582592e-06,2.534744e-06,2.489706e-06,2.447337e-06,2.407502e-06,2.370070e-06,2.334915e-06,2.301918e-06,2.270964e-06,2.241943e-06,2.214749e-06,2.189282e-06,2.165447e-06,2.143153e-06,2.122314e-06,2.102847e-06,2.084673e-06,2.067720e-06,2.051915e-06,2.037194e-06,2.023491e-06,2.010748e-06,1.998907e-06,1.987915e-06,1.977721e-06,1.968277e-06,1.959538e-06,1.951460e-06,1.944004e-06,1.937130e-06,1.930804e-06,1.924990e-06,1.919657e-06,1.914775e-06,1.910314e-06,1.906249e-06,1.902553e-06,1.899204e-06,1.896177e-06,1.893453e-06,1.891011e-06
0.000000e+00,6.351303e-10,7.338814e-09,7.642005e-09,4.347095e-08,1.491323e-07,1.557491e-07,3.842748e-07,6.813371e-07,7.015576e-07,1.040401e-06,1.339685e-06,1.364797e-06,1.665074e-06,1.913564e-06,1.939922e-06,2.190199e-06,2.391233e-06,2.417315e-06,2.622799e-06,2.783351e-06,2.808139e-06,2.974668e-06,3.100952e-06,3.123667e-06,3.256395e-06,3.353924e-06,3.374038e-06,3.477713e-06,3.551304e-06,3.568470e-06,3.647295e-06,3.701089e-06,3.715108e-06,3.772770e-06,3.810299e-06,3.821083e-06,3.860795e-06,3.885057e-06,3.892603e-06,3.917154e-06,3.930676e-06,3.935048e-06,3.946845e-06,3.951755e-06,3.953063e-06,3.954183e-06,3.952260e-06,3.950649e-06,3.942876e-06,3.935610e-06,3.931245e-06,3.916111e-06,3.904740e-06,3.897802e-06,3.876622e-06,3.862172e-06,3.852851e-06,3.826749e-06,3.810069e-06,3.798555e-06,3.768491e-06,3.750279e-06,3.736762e-06,3.703557e-06,3.684383e-06,3.669050e-06,3.633401e-06,3.613729e-06,3.596759e-06,3.559260e-06,3.539464e-06,3.521030e-06,3.482184e-06,3.462564e-06,3.442829e-06,3.403062e-06,3.383854e-06,3.362973e-06,3.322644e-06,3.304032e-06,3.282149e-06,3.241559e-06,3.223686e-06,3.200936e-06,3.160338e-06,3.143307e-06,3.119817e-06,3.079421e-06,3.063308e-06,3.039194e-06,2.999174e-06,2.984029e-06,2.959399e-06,2.919899e-06,2.905752e-06,2.880704e-06,2.841841e-06,2.828707e-06,2.803333e-06,2.765200e-06,2.753080e-06,2.727462e-06,2.690136e-06,2.679020e-06,2.653235e-06,2.616772e-06,2.606643e-06,2.580759e-06,2.545205e-06,2.536037e-06,2.510119e-06,2.475506e-06,2.467270e-06,2.441373e-06,2.407725e-06,2.400388e-06,2.374564e-06,2.341894e-06,2.335419e-06,2.309716e-06,2.278031e-06,2.272381e-06,2.246840e-06,2.216142e-06,2.211275e-06,2.185935e-06,2.156219e-06,2.152098e-06,2.126992e-06,2.098250e-06,2.094834e-06,2.069992e-06,2.042213e-06,2.039462e-06,2.014911e-06,1.988081e-06,1.985955e-06,1.961720e-06,1.935823e-06,1.934283e-06,1.910385e-06,1.885401e-06,1.884411e-06,1.860867e-06,1.836778e-06,1.836301e-06,1.813128e-06,1.789912e-06,1.745204e-06,1.702134e-06,1.660658e-06,1.620732e-06,1.582311e-06,1.545352e-06,1.509810e-06,1.475641e-06,1.442804e-06,1.411254e-06,1.380951e-06,1.351854e-06,1.323922e-06,1.297117e-06,1.271401e-06,1.246736e-06,1.223086e-06,1.200416e-06,1.178692e-06,1.157881e-06,1.137950e-06,1.118868e-06,1.100606e-06,1.083133e-06,1.066420e-06,1.050442e-06,1.035170e-06,1.020580e-06,1.006646e-06,9.933433e-07,9.806497e-07,9.685424e-07,9.569994e-07,9.459997e-07,9.355229e-07,9.255493e-07,9.160599e-07,9.070364e-07,8.984610e-07,8.903166e-07,8.825865e-07,8.752550e-07,8.683064e-07,8.617259e-07,8.554992e-07,8.496122e-07,8.440517e-07,8.388045e-07,8.338583e-07
0.000000e+00,1.842339e-13,4.661304e-11,5.067442e-11,1.629114e-09,1.988829e-08,2.180780e-08,1.704121e-07,8.210479e-07,8.987940e-07,3.503833e-06,9.953873e-06,1.081434e-05,2.787114e-05,5.790870e-05,6.243516e-05,1.252355e-04,2.146436e-04,2.299380e-04,3.928584e-04,5.935723e-04,6.324686e-04,9.687559e-04,1.341142e-03,1.422495e-03,2.014488e-03,2.617216e-03,2.764821e-03,3.692171e-03,4.572777e-03,4.813194e-03,6.142016e-03,7.330065e-03,7.689832e-03,9.464618e-03,1.096820e-02,1.147096e-02,1.370997e-02,1.551540e-02,1.617934e-02,1.887344e-02,2.094754e-02,2.178350e-02,2.489786e-02,2.719194e-02,2.820227e-02,3.168021e-02,3.413497e-02,3.531321e-02,3.908127e-02,4.163190e-02,4.296315e-02,4.693677e-02,4.951761e-02,5.097952e-02,5.506861e-02,5.761714e-02,5.918133e-02,6.329535e-02,6.575533e-02,6.738897e-02,7.144130e-02,7.376485e-02,7.543246e-02,7.934374e-02,8.149261e-02,8.315771e-02,8.685835e-02,8.880436e-02,9.043104e-02,9.386271e-02,9.558755e-02,9.714179e-02,1.002582e-01,1.017527e-01,1.032035e-01,1.059705e-01,1.072336e-01,1.085536e-01,1.109487e-01,1.119864e-01,1.131526e-01,1.151639e-01,1.159876e-01,1.169819e-01,1.186071e-01,1.192325e-01,1.200411e-01,1.212864e-01,1.217323e-01,1.223461e-01,1.232244e-01,1.235115e-01,1.239258e-01,1.244555e-01,1.246053e-01,1.248193e-01,1.250233e-01,1.250573e-01,1.250738e-01,1.249777e-01,1.249172e-01,1.247419e-01,1.243735e-01,1.242382e-01,1.238797e-01,1.232676e-01,1.230761e-01,1.225446e-01,1.217179e-01,1.214868e-01,1.207945e-01,1.197816e-01,1.195259e-01,1.186859e-01,1.175143e-01,1.172471e-01,1.162734e-01,1.149694e-01,1.147016e-01,1.136087e-01,1.121970e-01,1.119379e-01,1.107401e-01,1.092436e-01,1.090008e-01,1.077125e-01,1.061520e-01,1.059314e-01,1.045667e-01,1.029612e-01,1.027674e-01,1.013396e-01,9.970608e-02,9.954221e-02,9.806432e-02,9.641787e-02,9.628605e-02,9.477006e-02,9.312399e-02,9.302535e-02,9.148254e-02,8.984838e-02,8.978321e-02,8.822401e-02,8.661170e-02,8.657959e-02,8.501356e-02,8.343154e-02,8.035344e-02,7.735721e-02,7.445260e-02,7.164739e-02,6.894761e-02,6.635776e-02,6.388099e-02,6.151925e-02,5.927349e-02,5.714378e-02,5.512945e-02,5.322918e-02,5.144113e-02,4.976300e-02,4.819214e-02,4.672559e-02,4.536015e-02,4.409245e-02,4.291894e-02,4.183600e-02,4.083992e-02,3.992695e-02,3.909331e-02,3.833522e-02,3.764894e-02,3.703072e-02,3.647690e-02,3.598383e-02,3.554797e-02,3.516581e-02,3.483394e-02,3.454904e-02,3.430787e-02,3.410730e-02,3.394427e-02,3.381586e-02,3.371922e-02,3.365163e-02,3.361047e-02,3.359323e-02,3.359752e-02,3.362105e-02,3.366165e-02,3.371727e-02,3.378595e-02,3.386588e-02,3.395532e-02,3.405267e-02,3.415642e-02
0.000000e+00,7.563511e-13,1.881822e-10,2.044418e-10,6.240189e-09,7.091311e-08,7.751535e-08,5.624882e-07,2.563905e-06,2.798423e-06,1.049096e-05,2.915496e-05,3.163028e-05,8.047769e-05,1.662344e-04,1.791542e-04,3.585498e-04,6.145912e-04,6.584650e-04,1.127021e-03,1.706821e-03,1.819459e-03,2.796483e-03,3.884031e-03,4.122304e-03,5.862543e-03,7.644383e-03,8.082117e-03,1.084323e-02,1.348097e-02,1.420355e-02,1.821460e-02,2.182362e-02,2.292048e-02,2.835682e-02,3.299361e-02,3.455009e-02,4.151718e-02,4.717558e-02,4.926523e-02,5.779172e-02,6.440650e-02,6.708478e-02,7.712367e-02,8.457945e-02,8.787940e-02,9.931548e-02,1.074588e-01,1.113887e-01,1.240502e-01,1.327030e-01,1.372460e-01,1.509183e-01,1.598906e-01,1.650062e-01,1.794466e-01,1.885484e-01,1.941750e-01,2.091265e-01,2.181774e-01,2.242361e-01,2.394397e-01,2.482761e-01,2.546746e-01,2.698800e-01,2.783601e-01,2.849972e-01,2.999707e-01,3.079778e-01,3.147476e-01,3.292783e-01,3.367217e-01,3.435170e-01,3.574211e-01,3.642355e-01,3.709519e-01,3.840744e-01,3.902188e-01,3.967572e-01,4.089726e-01,4.144281e-01,4.206967e-01,4.319088e-01,4.366754e-01,4.425919e-01,4.527319e-01,4.568260e-01,4.623180e-01,4.713425e-01,4.747938e-01,4.798002e-01,4.876885e-01,4.905367e-01,4.950074e-01,5.017589e-01,5.040513e-01,5.079472e-01,5.135783e-01,5.153673e-01,5.186599e-01,5.232012e-01,5.245420e-01,5.272129e-01,5.307066e-01,5.316556e-01,5.336952e-01,5.361925e-01,5.368057e-01,5.382130e-01,5.397719e-01,5.401035e-01,5.408848e-01,5.415678e-01,5.416696e-01,5.418376e-01,5.417106e-01,5.416311e-01,5.412038e-01,5.403339e-01,5.401179e-01,5.391180e-01,5.375729e-01,5.372610e-01,5.357151e-01,5.335612e-01,5.331902e-01,5.311275e-01,5.284300e-01,5.280322e-01,5.254845e-01,5.223062e-01,5.219099e-01,5.189103e-01,5.153114e-01,5.149409e-01,5.115237e-01,5.075612e-01,5.072370e-01,5.034372e-01,4.991647e-01,4.989039e-01,4.947563e-01,4.902242e-01,4.900405e-01,4.855798e-01,4.808346e-01,4.807387e-01,4.759992e-01,4.710840e-01,4.611548e-01,4.510233e-01,4.407552e-01,4.304100e-01,4.200416e-01,4.096983e-01,3.994231e-01,3.892545e-01,3.792264e-01,3.693684e-01,3.597066e-01,3.502633e-01,3.410576e-01,3.321055e-01,3.234203e-01,3.150130e-01,3.068920e-01,2.990639e-01,2.915333e-01,2.843032e-01,2.773750e-01,2.707488e-01,2.644235e-01,2.583968e-01,2.526654e-01,2.472254e-01,2.420717e-01,2.371988e-01,2.326007e-01,2.282707e-01,2.242016e-01,2.203861e-01,2.168162e-01,2.134840e-01,2.103812e-01,2.074993e-01,2.048299e-01,2.023642e-01,2.000935e-01,1.980091e-01,1.961025e-01,1.943648e-01,1.927876e-01,1.913623e-01,1.900806e-01,1.889343e-01,1.879154e-01,1.870159e-01,1.862281e-01
0.000000e+00,4.246393e-13,1.024130e-10,1.112426e-10,3.453729e-09,4.107330e-08,4.498849e-08,3.409633e-07,1.581268e-06,1.726187e-06,6.390576e-06,1.720140e-05,1.859736e-05,4.502003e-05,8.828051e-05,9.456699e-05,1.777725e-04,2.877991e-04,3.059241e-04,4.901069e-04,7.009777e-04,7.403075e-04,1.064677e-03,1.398778e-03,1.469005e-03,1.956414e-03,2.418425e-03,2.527267e-03,3.179259e-03,3.756153e-03,3.907639e-03,4.705549e-03,5.370720e-03,5.564414e-03,6.474367e-03,7.193515e-03,7.424674e-03,8.404132e-03,9.141046e-03,9.401438e-03,1.040551e-02,1.112665e-02,1.140575e-02,1.239224e-02,1.306974e-02,1.335596e-02,1.428882e-02,1.490191e-02,1.518379e-02,1.603490e-02,1.657017e-02,1.683723e-02,1.758692e-02,1.803771e-02,1.828106e-02,1.891766e-02,1.928293e-02,1.949559e-02,2.001446e-02,2.029752e-02,2.047454e-02,2.087669e-02,2.108391e-02,2.122226e-02,2.151303e-02,2.165268e-02,2.175108e-02,2.193878e-02,2.202010e-02,2.207869e-02,2.217353e-02,2.220595e-02,2.222608e-02,2.223919e-02,2.223184e-02,2.221570e-02,2.215846e-02,2.211980e-02,2.207021e-02,2.195367e-02,2.189127e-02,2.181142e-02,2.164598e-02,2.156645e-02,2.145971e-02,2.125487e-02,2.116382e-02,2.103360e-02,2.079789e-02,2.069999e-02,2.054962e-02,2.029051e-02,2.018955e-02,2.002219e-02,1.974614e-02,1.964515e-02,1.946376e-02,1.917628e-02,1.907759e-02,1.888487e-02,1.859058e-02,1.849596e-02,1.829437e-02,1.799710e-02,1.790783e-02,1.769956e-02,1.740246e-02,1.731944e-02,1.710644e-02,1.681206e-02,1.673585e-02,1.651982e-02,1.623018e-02,1.616110e-02,1.594354e-02,1.566023e-02,1.559838e-02,1.538057e-02,1.510482e-02,1.505016e-02,1.483320e-02,1.456592e-02,1.451828e-02,1.430314e-02,1.404499e-02,1.400412e-02,1.379159e-02,1.354303e-02,1.350862e-02,1.329938e-02,1.306070e-02,1.303239e-02,1.282701e-02,1.259835e-02,1.257576e-02,1.237472e-02,1.215612e-02,1.213885e-02,1.194254e-02,1.173395e-02,1.172159e-02,1.153032e-02,1.133163e-02,1.132378e-02,1.113781e-02,1.094883e-02,1.094510e-02,1.076463e-02,1.058516e-02,1.024347e-02,9.919538e-03,9.612798e-03,9.322676e-03,9.048580e-03,8.789907e-03,8.546052e-03,8.316413e-03,8.100391e-03,7.897398e-03,7.706853e-03,7.528191e-03,7.360859e-03,7.204318e-03,7.058046e-03,6.921536e-03,6.794297e-03,6.675855e-03,6.565753e-03,6.463550e-03,6.368821e-03,6.281158e-03,6.200167e-03,6.125471e-03,6.056709e-03,5.993534e-03,5.935613e-03,5.882628e-03,5.834275e-03,5.790263e-03,5.750315e-03,5.714165e-03,5.681562e-03,5.652263e-03,5.626042e-03,5.602678e-03,5.581967e-03,5.563711e-03,5.547723e-03,5.533829e-03,5.521860e-03,5.511660e-03,5.503078e-03,5.495976e-03,5.490219e-03,5.485685e-03,5.482255e-03,5.479821e-03,5.478280e-03
0.000000e+00,6.643672e-09,9.124561e-08,9.511370e-08,5.576956e-07,1.957169e-06,2.046209e-06,5.223078e-06,9.663572e-06,9.977345e-06,1.537294e-05,2.024506e-05,2.065525e-05,2.555961e-05,2.960516e-05,3.003313e-05,3.408249e-05,3.731230e-05,3.772952e-05,4.099935e-05,4.352899e-05,4.391723e-05,4.650761e-05,4.844761e-05,4.879391e-05,5.079840e-05,5.224662e-05,5.254217e-05,5.404510e-05,5.508669e-05,5.532596e-05,5.640232e-05,5.711056e-05,5.729066e-05,5.800641e-05,5.844382e-05,5.856392e-05,5.897662e-05,5.919614e-05,5.925696e-05,5.941656e-05,5.946279e-05,5.946619e-05,5.941586e-05,5.932614e-05,5.927484e-05,5.905174e-05,5.885723e-05,5.875452e-05,5.839056e-05,5.811713e-05,5.796669e-05,5.748922e-05,5.715822e-05,5.696397e-05,5.639633e-05,5.602530e-05,5.579126e-05,5.515334e-05,5.475659e-05,5.448680e-05,5.379551e-05,5.338464e-05,5.308305e-05,5.235270e-05,5.193703e-05,5.160748e-05,5.085015e-05,5.043705e-05,5.008324e-05,4.930907e-05,4.890435e-05,4.852976e-05,4.774724e-05,4.735533e-05,4.696327e-05,4.617945e-05,4.580370e-05,4.539723e-05,4.461793e-05,4.426077e-05,4.384275e-05,4.307275e-05,4.273585e-05,4.230891e-05,4.155207e-05,4.123649e-05,4.080303e-05,4.006247e-05,3.976876e-05,3.933099e-05,3.860914e-05,3.833746e-05,3.789738e-05,3.719612e-05,3.694631e-05,3.650572e-05,3.582647e-05,3.559811e-05,3.515862e-05,3.450238e-05,3.429487e-05,3.385793e-05,3.322538e-05,3.303796e-05,3.260485e-05,3.199638e-05,3.182818e-05,3.140003e-05,3.081581e-05,3.066590e-05,3.024370e-05,2.968367e-05,2.955105e-05,2.913567e-05,2.859963e-05,2.848330e-05,2.807548e-05,2.756310e-05,2.746203e-05,2.706240e-05,2.657325e-05,2.648642e-05,2.609552e-05,2.562907e-05,2.555547e-05,2.517374e-05,2.472940e-05,2.466806e-05,2.429587e-05,2.387300e-05,2.382296e-05,2.346060e-05,2.305852e-05,2.301887e-05,2.266657e-05,2.228458e-05,2.225444e-05,2.191236e-05,2.154973e-05,2.152827e-05,2.119651e-05,2.085253e-05,2.083896e-05,2.051759e-05,2.019151e-05,2.018508e-05,1.987411e-05,1.956522e-05,1.897798e-05,1.842198e-05,1.789587e-05,1.739833e-05,1.692805e-05,1.648379e-05,1.606434e-05,1.566852e-05,1.529519e-05,1.494327e-05,1.461171e-05,1.429950e-05,1.400567e-05,1.372931e-05,1.346951e-05,1.322545e-05,1.299630e-05,1.278130e-05,1.257971e-05,1.239082e-05,1.221397e-05,1.204852e-05,1.189387e-05,1.174943e-05,1.161465e-05,1.148902e-05,1.137203e-05,1.126322e-05,1.116214e-05,1.106836e-05,1.098147e-05,1.090110e-05,1.082687e-05,1.075845e-05,1.069550e-05,1.063771e-05,1.058479e-05,1.053646e-05,1.049244e-05,1.045250e-05,1.041639e-05,1.038388e-05,1.035477e-05,1.032884e-05,1.030590e-05,1.028578e-05,1.026829e-05,1.025328e-05,1.024059e-05
0.000000e+00,4.182596e-09,2.051446e-07,2.177498e-07,2.450362e-06,1.145112e-05,1.205467e-05,3.310270e-05,5.891921e-05,6.061452e-05,8.842223e-05,1.126156e-04,1.146458e-04,1.390184e-04,1.593989e-04,1.615751e-04,1.824010e-04,1.993683e-04,2.015870e-04,2.192226e-04,2.332157e-04,2.353949e-04,2.501879e-04,2.616079e-04,2.636832e-04,2.759588e-04,2.851673e-04,2.870897e-04,2.971474e-04,3.044669e-04,3.062002e-04,3.143124e-04,3.200265e-04,3.215452e-04,3.279564e-04,3.323132e-04,3.336007e-04,3.385295e-04,3.417447e-04,3.427911e-04,3.464311e-04,3.486911e-04,3.494922e-04,3.520147e-04,3.534802e-04,3.540363e-04,3.555925e-04,3.564020e-04,3.567166e-04,3.574400e-04,3.577121e-04,3.577918e-04,3.577997e-04,3.576363e-04,3.574895e-04,3.568854e-04,3.563732e-04,3.560100e-04,3.548847e-04,3.540978e-04,3.535293e-04,3.519625e-04,3.509639e-04,3.502018e-04,3.482636e-04,3.471063e-04,3.461630e-04,3.439146e-04,3.426437e-04,3.415316e-04,3.390267e-04,3.376798e-04,3.364114e-04,3.336968e-04,3.323055e-04,3.308932e-04,3.280099e-04,3.266004e-04,3.250561e-04,3.220399e-04,3.206336e-04,3.189691e-04,3.158510e-04,3.144658e-04,3.126923e-04,3.094992e-04,3.081494e-04,3.062777e-04,3.030332e-04,3.017300e-04,2.997706e-04,2.964947e-04,2.952473e-04,2.932099e-04,2.899201e-04,2.887354e-04,2.866292e-04,2.833406e-04,2.822236e-04,2.800575e-04,2.767828e-04,2.757372e-04,2.735193e-04,2.702696e-04,2.692977e-04,2.670359e-04,2.638204e-04,2.629236e-04,2.606250e-04,2.574515e-04,2.566302e-04,2.543016e-04,2.511768e-04,2.504307e-04,2.480784e-04,2.450076e-04,2.443359e-04,2.419657e-04,2.389535e-04,2.383547e-04,2.359720e-04,2.330220e-04,2.324944e-04,2.301042e-04,2.272193e-04,2.267608e-04,2.243678e-04,2.215502e-04,2.211585e-04,2.187670e-04,2.160184e-04,2.156909e-04,2.133048e-04,2.106264e-04,2.103605e-04,2.079835e-04,2.053761e-04,2.051690e-04,2.028043e-04,2.002683e-04,2.001172e-04,1.977680e-04,1.953034e-04,1.952055e-04,1.928745e-04,1.904812e-04,1.904337e-04,1.881234e-04,1.858010e-04,1.813064e-04,1.769484e-04,1.727254e-04,1.686354e-04,1.646763e-04,1.608458e-04,1.571415e-04,1.535609e-04,1.501012e-04,1.467600e-04,1.435344e-04,1.404217e-04,1.374193e-04,1.345242e-04,1.317337e-04,1.290452e-04,1.264559e-04,1.239631e-04,1.215641e-04,1.192564e-04,1.170373e-04,1.149043e-04,1.128548e-04,1.108866e-04,1.089970e-04,1.071839e-04,1.054448e-04,1.037776e-04,1.021800e-04,1.006499e-04,9.918509e-05,9.778363e-05,9.644347e-05,9.516264e-05,9.393925e-05,9.277143e-05,9.165736e-05,9.059526e-05,8.958343e-05,8.862017e-05,8.770384e-05,8.683285e-05,8.600565e-05,8.522071e-05,8.447657e-05,8.377178e-05,8.310494e-05,8.247470e-05,8.187972e-05
0.000000e+00,4.267072e-09,2.709530e-07,2.890735e-07,3.919718e-06,1.910097e-05,2.007662e-05,5.034437e-05,8.237350e-05,8.441040e-05,1.176602e-04,1.468744e-04,1.493496e-04,1.794143e-04,2.051101e-04,2.078871e-04,2.348149e-04,2.572718e-04,2.602461e-04,2.842294e-04,3.037342e-04,3.068136e-04,3.280482e-04,3.448791e-04,3.479835e-04,3.666696e-04,3.810952e-04,3.841566e-04,4.004939e-04,4.127687e-04,4.157302e-04,4.299130e-04,4.402739e-04,4.430884e-04,4.553014e-04,4.639664e-04,4.665954e-04,4.770124e-04,4.841801e-04,4.865927e-04,4.953753e-04,5.012260e-04,5.033978e-04,5.106962e-04,5.153928e-04,5.173051e-04,5.232578e-04,5.269472e-04,5.285863e-04,5.333212e-04,5.361355e-04,5.374921e-04,5.411270e-04,5.431848e-04,5.442532e-04,5.468966e-04,5.483039e-04,5.490819e-04,5.508332e-04,5.516850e-04,5.521731e-04,5.531235e-04,5.535046e-04,5.537054e-04,5.539388e-04,5.539245e-04,5.538429e-04,5.534360e-04,5.530932e-04,5.527357e-04,5.517588e-04,5.511468e-04,5.505212e-04,5.490385e-04,5.482098e-04,5.473252e-04,5.453953e-04,5.443960e-04,5.432623e-04,5.409390e-04,5.398097e-04,5.384375e-04,5.357695e-04,5.345457e-04,5.329462e-04,5.299782e-04,5.286910e-04,5.268756e-04,5.236482e-04,5.223243e-04,5.203051e-04,5.168551e-04,5.155178e-04,5.133066e-04,5.096676e-04,5.083369e-04,5.059457e-04,5.021482e-04,5.008410e-04,4.982819e-04,4.943534e-04,4.930841e-04,4.903689e-04,4.863344e-04,4.851152e-04,4.822555e-04,4.781376e-04,4.769783e-04,4.739858e-04,4.698049e-04,4.687137e-04,4.655995e-04,4.613739e-04,4.603573e-04,4.571323e-04,4.528786e-04,4.519415e-04,4.486165e-04,4.443495e-04,4.434958e-04,4.400808e-04,4.358137e-04,4.350461e-04,4.315512e-04,4.272959e-04,4.266159e-04,4.230505e-04,4.188176e-04,4.182261e-04,4.145994e-04,4.103982e-04,4.098953e-04,4.062160e-04,4.020548e-04,4.016399e-04,3.979164e-04,3.938025e-04,3.934745e-04,3.897147e-04,3.856545e-04,3.854118e-04,3.816233e-04,3.776223e-04,3.774629e-04,3.736529e-04,3.697161e-04,3.696377e-04,3.658129e-04,3.619444e-04,3.543901e-04,3.469809e-04,3.397219e-04,3.326171e-04,3.256698e-04,3.188827e-04,3.122575e-04,3.057956e-04,2.994976e-04,2.933639e-04,2.873942e-04,2.815878e-04,2.759440e-04,2.704613e-04,2.651383e-04,2.599732e-04,2.549640e-04,2.501085e-04,2.454044e-04,2.408492e-04,2.364402e-04,2.321749e-04,2.280503e-04,2.240636e-04,2.202120e-04,2.164925e-04,2.129020e-04,2.094376e-04,2.060962e-04,2.028749e-04,1.997705e-04,1.967802e-04,1.939009e-04,1.911295e-04,1.884633e-04,1.858992e-04,1.834344e-04,1.810660e-04,1.787912e-04,1.766073e-04,1.745115e-04,1.725011e-04,1.705736e-04,1.687263e-04,1.669566e-04,1.652622e-04,1.636406e-04,1.620894e-04,1.606063e-04
0.000000e+00,6.871142e-13,1.516260e-10,1.642292e-10,4.275610e-09,4.262280e-08,4.638047e-08,3.081027e-07,1.339638e-06,1.459006e-06,5.323969e-06,1.454847e-05,1.576234e-05,3.941533e-05,7.997612e-05,8.600549e-05,1.680811e-04,2.812577e-04,3.002846e-04,4.983139e-04,7.331837e-04,7.777640e-04,1.153007e-03,1.551235e-03,1.636226e-03,2.236674e-03,2.820724e-03,2.960185e-03,3.808938e-03,4.577240e-03,4.781454e-03,5.872777e-03,6.801378e-03,7.074814e-03,8.376778e-03,9.425184e-03,9.765694e-03,1.122694e-02,1.234561e-02,1.274480e-02,1.430292e-02,1.544047e-02,1.588488e-02,1.747449e-02,1.858342e-02,1.905623e-02,2.061552e-02,2.165609e-02,2.213890e-02,2.361427e-02,2.455645e-02,2.503092e-02,2.637967e-02,2.720360e-02,2.765279e-02,2.884407e-02,2.953939e-02,2.994869e-02,3.096320e-02,3.152768e-02,3.188539e-02,3.271422e-02,3.315210e-02,3.344964e-02,3.409257e-02,3.441281e-02,3.464470e-02,3.510839e-02,3.532303e-02,3.548660e-02,3.578275e-02,3.590555e-02,3.600061e-02,3.614424e-02,3.618955e-02,3.621792e-02,3.622604e-02,3.620795e-02,3.617305e-02,3.606340e-02,3.599516e-02,3.590152e-02,3.569174e-02,3.558536e-02,3.543829e-02,3.514524e-02,3.501131e-02,3.481654e-02,3.445594e-02,3.430357e-02,3.406699e-02,3.365309e-02,3.348993e-02,3.321740e-02,3.276289e-02,3.259520e-02,3.229235e-02,3.180835e-02,3.164116e-02,3.131329e-02,3.080938e-02,3.064660e-02,3.029866e-02,2.978299e-02,2.962759e-02,2.926408e-02,2.874349e-02,2.859762e-02,2.822263e-02,2.770277e-02,2.756792e-02,2.718509e-02,2.667061e-02,2.654772e-02,2.616027e-02,2.565489e-02,2.554445e-02,2.515523e-02,2.466193e-02,2.456409e-02,2.417558e-02,2.369666e-02,2.361128e-02,2.322563e-02,2.276285e-02,2.268959e-02,2.230865e-02,2.186331e-02,2.180168e-02,2.142705e-02,2.100004e-02,2.094943e-02,2.058245e-02,2.017438e-02,2.013410e-02,1.977591e-02,1.938709e-02,1.935640e-02,1.900795e-02,1.863850e-02,1.861664e-02,1.827872e-02,1.792858e-02,1.791477e-02,1.758802e-02,1.725698e-02,1.725046e-02,1.693539e-02,1.662315e-02,1.603209e-02,1.547640e-02,1.495508e-02,1.446704e-02,1.401114e-02,1.358620e-02,1.319099e-02,1.282429e-02,1.248485e-02,1.217145e-02,1.188285e-02,1.161784e-02,1.137524e-02,1.115388e-02,1.095261e-02,1.077032e-02,1.060594e-02,1.045841e-02,1.032671e-02,1.020987e-02,1.010693e-02,1.001696e-02,9.939102e-03,9.872491e-03,9.816313e-03,9.769786e-03,9.732160e-03,9.702716e-03,9.680767e-03,9.665660e-03,9.656771e-03,9.653505e-03,9.655299e-03,9.661619e-03,9.671960e-03,9.685843e-03,9.702819e-03,9.722465e-03,9.744385e-03,9.768207e-03,9.793586e-03,9.820200e-03,9.847751e-03,9.875964e-03,9.904585e-03,9.933384e-03,9.962148e-03,9.990687e-03,1.001883e-02
0.000000e+00,1.084005e-11,1.864333e-09,2.009921e-09,4.218133e-08,3.466470e-07,3.741570e-07,2.013967e-06,7.076219e-06,7.598944e-06,2.177206e-05,4.719236e-05,5.009521e-05,9.676857e-05,1.553414e-04,1.627610e-04,2.454877e-04,3.281001e-04,3.398341e-04,4.396798e-04,5.254856e-04,5.392109e-04,6.337247e-04,7.067907e-04,7.199311e-04,7.959038e-04,8.499755e-04,8.608427e-04,9.147758e-04,9.503742e-04,9.582809e-04,9.922545e-04,1.012808e-03,1.017743e-03,1.035825e-03,1.045255e-03,1.047539e-03,1.053844e-03,1.055537e-03,1.055600e-03,1.053564e-03,1.050122e-03,1.048391e-03,1.040641e-03,1.033943e-03,1.030793e-03,1.019250e-03,1.010608e-03,1.006352e-03,9.923846e-04,9.826979e-04,9.775865e-04,9.621576e-04,9.520302e-04,9.462646e-04,9.300466e-04,9.198798e-04,9.136194e-04,8.970796e-04,8.871359e-04,8.805079e-04,8.639711e-04,8.544181e-04,8.475248e-04,8.312146e-04,8.221545e-04,8.150777e-04,7.991442e-04,7.906334e-04,7.834382e-04,7.679786e-04,7.600420e-04,7.527800e-04,7.378537e-04,7.304954e-04,7.232082e-04,7.088493e-04,7.020601e-04,6.947811e-04,6.810059e-04,6.747680e-04,6.675247e-04,6.543370e-04,6.486273e-04,6.414421e-04,6.288380e-04,6.236304e-04,6.165222e-04,6.044918e-04,5.997588e-04,5.927433e-04,5.812727e-04,5.769859e-04,5.700760e-04,5.591487e-04,5.552801e-04,5.484865e-04,5.380846e-04,5.346065e-04,5.279384e-04,5.180429e-04,5.149285e-04,5.083933e-04,4.989846e-04,4.962083e-04,4.898120e-04,4.808703e-04,4.784074e-04,4.721547e-04,4.636605e-04,4.614876e-04,4.553827e-04,4.473167e-04,4.454118e-04,4.394576e-04,4.318010e-04,4.301432e-04,4.243421e-04,4.170763e-04,4.156460e-04,4.099993e-04,4.031067e-04,4.018852e-04,3.963941e-04,3.898573e-04,3.888275e-04,3.834922e-04,3.772948e-04,3.764403e-04,3.712610e-04,3.653869e-04,3.646925e-04,3.596686e-04,3.541024e-04,3.535540e-04,3.486846e-04,3.434116e-04,3.429959e-04,3.382798e-04,3.332859e-04,3.329906e-04,3.284264e-04,3.236981e-04,3.235116e-04,3.190977e-04,3.146220e-04,3.145337e-04,3.102679e-04,3.060325e-04,2.979849e-04,2.903687e-04,2.831628e-04,2.763471e-04,2.699022e-04,2.638098e-04,2.580525e-04,2.526135e-04,2.474769e-04,2.426276e-04,2.380512e-04,2.337339e-04,2.296626e-04,2.258250e-04,2.222090e-04,2.188036e-04,2.155978e-04,2.125816e-04,2.097451e-04,2.070791e-04,2.045749e-04,2.022240e-04,2.000186e-04,1.979510e-04,1.960140e-04,1.942008e-04,1.925050e-04,1.909202e-04,1.894407e-04,1.880608e-04,1.867752e-04,1.855789e-04,1.844671e-04,1.834351e-04,1.824788e-04,1.815939e-04,1.807765e-04,1.800230e-04,1.793297e-04,1.786934e-04,1.781108e-04,1.775789e-04,1.770949e-04,1.766560e-04,1.762596e-04,1.759033e-04,1.755846e-04,1.753015e-04,1.750517e-04
0.000000e+00,6.097765e-09,3.051186e-07,3.242721e-07,3.779562e-06,1.668584e-05,1.747767e-05,4.098070e-05,6.479419e-05,6.629155e-05,9.053738e-05,1.115655e-04,1.133356e-04,1.346883e-04,1.527123e-04,1.546471e-04,1.732682e-04,1.885918e-04,1.906064e-04,2.067153e-04,2.196261e-04,2.216478e-04,2.354569e-04,2.462270e-04,2.481954e-04,2.599155e-04,2.688022e-04,2.706687e-04,2.805052e-04,2.877476e-04,2.894743e-04,2.976232e-04,3.034396e-04,3.049978e-04,3.116422e-04,3.162296e-04,3.175985e-04,3.229067e-04,3.264403e-04,3.276054e-04,3.317312e-04,3.343666e-04,3.353189e-04,3.384014e-04,3.402755e-04,3.410102e-04,3.431751e-04,3.444081e-04,3.449243e-04,3.462846e-04,3.469818e-04,3.472815e-04,3.479389e-04,3.481921e-04,3.482796e-04,3.483252e-04,3.482142e-04,3.480960e-04,3.476112e-04,3.472054e-04,3.468892e-04,3.459470e-04,3.453061e-04,3.448010e-04,3.434664e-04,3.426422e-04,3.419578e-04,3.402889e-04,3.393255e-04,3.384724e-04,3.365205e-04,3.354559e-04,3.344448e-04,3.322559e-04,3.311223e-04,3.299641e-04,3.275788e-04,3.264034e-04,3.251092e-04,3.225635e-04,3.213692e-04,3.199499e-04,3.172757e-04,3.160817e-04,3.145479e-04,3.117732e-04,3.105953e-04,3.089577e-04,3.061072e-04,3.049584e-04,3.032271e-04,3.003226e-04,2.992134e-04,2.973982e-04,2.944586e-04,2.933974e-04,2.915078e-04,2.885497e-04,2.875429e-04,2.855879e-04,2.826257e-04,2.816783e-04,2.796664e-04,2.767128e-04,2.758282e-04,2.737676e-04,2.708333e-04,2.700140e-04,2.679122e-04,2.650066e-04,2.642539e-04,2.621183e-04,2.592492e-04,2.585636e-04,2.564010e-04,2.535751e-04,2.529566e-04,2.507732e-04,2.479963e-04,2.474441e-04,2.452457e-04,2.425225e-04,2.420353e-04,2.398276e-04,2.371619e-04,2.367382e-04,2.345262e-04,2.319212e-04,2.315589e-04,2.293474e-04,2.268055e-04,2.265026e-04,2.242958e-04,2.218189e-04,2.215730e-04,2.193749e-04,2.169644e-04,2.167730e-04,2.145874e-04,2.122441e-04,2.121046e-04,2.099347e-04,2.076593e-04,2.075690e-04,2.054179e-04,2.032105e-04,2.031667e-04,2.010372e-04,1.988978e-04,1.947616e-04,1.907572e-04,1.868832e-04,1.831379e-04,1.795194e-04,1.760254e-04,1.726536e-04,1.694015e-04,1.662663e-04,1.632454e-04,1.603358e-04,1.575347e-04,1.548392e-04,1.522462e-04,1.497529e-04,1.473563e-04,1.450533e-04,1.428412e-04,1.407171e-04,1.386780e-04,1.367212e-04,1.348439e-04,1.330434e-04,1.313172e-04,1.296625e-04,1.280768e-04,1.265578e-04,1.251030e-04,1.237100e-04,1.223765e-04,1.211005e-04,1.198796e-04,1.187119e-04,1.175953e-04,1.165278e-04,1.155076e-04,1.145328e-04,1.136016e-04,1.127123e-04,1.118633e-04,1.110530e-04,1.102797e-04,1.095420e-04,1.088385e-04,1.081677e-04,1.075283e-04,1.069190e-04,1.063386e-04,1.057858e-04
0.000000e+00,2.029663e-09,2.971541e-08,3.105896e-08,1.994836e-07,7.038444e-07,7.351570e-07,1.803108e-06,3.189175e-06,3.284107e-06,4.880095e-06,6.284675e-06,6.401927e-06,7.794809e-06,8.933012e-06,9.052899e-06,1.018239e-05,1.107685e-05,1.119196e-05,1.209054e-05,1.278110e-05,1.288670e-05,1.358853e-05,1.411072e-05,1.420360e-05,1.473895e-05,1.512309e-05,1.520117e-05,1.559633e-05,1.586799e-05,1.593008e-05,1.620764e-05,1.638825e-05,1.643384e-05,1.661315e-05,1.672061e-05,1.674969e-05,1.684729e-05,1.689652e-05,1.690946e-05,1.693947e-05,1.694284e-05,1.694030e-05,1.691473e-05,1.688250e-05,1.686531e-05,1.679438e-05,1.673498e-05,1.670412e-05,1.659650e-05,1.651686e-05,1.647336e-05,1.633640e-05,1.624220e-05,1.618715e-05,1.602706e-05,1.592292e-05,1.585741e-05,1.567942e-05,1.556908e-05,1.549418e-05,1.530271e-05,1.518917e-05,1.510593e-05,1.490469e-05,1.479033e-05,1.469975e-05,1.449183e-05,1.437855e-05,1.428158e-05,1.406957e-05,1.395881e-05,1.385635e-05,1.364239e-05,1.353528e-05,1.342816e-05,1.321403e-05,1.311140e-05,1.300039e-05,1.278755e-05,1.268999e-05,1.257581e-05,1.236544e-05,1.227337e-05,1.215667e-05,1.194973e-05,1.186340e-05,1.174479e-05,1.154203e-05,1.146157e-05,1.134159e-05,1.114361e-05,1.106905e-05,1.094821e-05,1.075548e-05,1.068676e-05,1.056550e-05,1.037835e-05,1.031538e-05,1.019410e-05,1.001279e-05,9.955397e-06,9.834460e-06,9.659147e-06,9.607145e-06,9.486873e-06,9.317656e-06,9.270824e-06,9.151504e-06,8.988422e-06,8.946524e-06,8.828409e-06,8.671456e-06,8.634242e-06,8.517554e-06,8.366687e-06,8.333902e-06,8.218836e-06,8.073978e-06,8.045363e-06,7.932089e-06,7.793140e-06,7.768439e-06,7.657102e-06,7.523942e-06,7.502902e-06,7.393627e-06,7.266120e-06,7.248492e-06,7.141386e-06,7.019385e-06,7.004927e-06,6.900079e-06,6.783426e-06,6.771906e-06,6.669388e-06,6.557921e-06,6.549114e-06,6.448985e-06,6.342537e-06,6.336228e-06,6.238535e-06,6.136935e-06,6.132921e-06,6.037696e-06,5.940775e-06,5.938860e-06,5.846130e-06,5.753717e-06,5.577163e-06,5.408873e-06,5.248528e-06,5.095816e-06,4.950429e-06,4.812070e-06,4.680449e-06,4.555283e-06,4.436300e-06,4.323236e-06,4.215835e-06,4.113851e-06,4.017048e-06,3.925195e-06,3.838075e-06,3.755474e-06,3.677191e-06,3.603029e-06,3.532803e-06,3.466333e-06,3.403446e-06,3.343977e-06,3.287770e-06,3.234673e-06,3.184540e-06,3.137235e-06,3.092623e-06,3.050579e-06,3.010981e-06,2.973713e-06,2.938664e-06,2.905730e-06,2.874808e-06,2.845801e-06,2.818619e-06,2.793172e-06,2.769377e-06,2.747152e-06,2.726423e-06,2.707113e-06,2.689155e-06,2.672481e-06,2.657027e-06,2.642732e-06,2.629539e-06,2.617391e-06,2.606237e-06,2.596025e-06,2.586706e-06
0.000000e+00,8.905092e-12,1.676031e-09,1.810999e-09,4.317489e-08,4.036844e-07,4.379783e-07,2.657410e-06,1.026110e-05,1.107905e-05,3.441597e-05,7.930044e-05,8.458807e-05,1.728640e-04,2.905254e-04,3.059013e-04,4.839613e-04,6.736149e-04,7.015224e-04,9.492710e-04,1.178197e-03,1.216343e-03,1.492134e-03,1.723745e-03,1.767436e-03,2.034951e-03,2.244716e-03,2.289364e-03,2.527145e-03,2.703971e-03,2.746236e-03,2.945711e-03,3.087595e-03,3.125466e-03,3.285960e-03,3.395553e-03,3.428020e-03,3.552687e-03,3.634421e-03,3.661117e-03,3.754503e-03,3.813092e-03,3.834030e-03,3.900846e-03,3.940641e-03,3.956043e-03,4.000647e-03,4.025418e-03,4.035614e-03,4.061833e-03,4.074745e-03,4.080121e-03,4.091234e-03,4.094903e-03,4.095865e-03,4.094650e-03,4.091221e-03,4.088177e-03,4.076979e-03,4.068199e-03,4.061548e-03,4.042333e-03,4.029616e-03,4.019742e-03,3.994149e-03,3.978635e-03,3.965896e-03,3.935294e-03,3.917892e-03,3.902625e-03,3.868148e-03,3.849584e-03,3.832098e-03,3.794688e-03,3.775536e-03,3.756114e-03,3.716553e-03,3.697261e-03,3.676165e-03,3.635097e-03,3.616014e-03,3.593482e-03,3.551439e-03,3.532834e-03,3.509079e-03,3.466500e-03,3.448573e-03,3.423791e-03,3.381034e-03,3.363934e-03,3.338301e-03,3.295657e-03,3.279489e-03,3.253163e-03,3.210870e-03,3.195703e-03,3.168826e-03,3.127075e-03,3.112953e-03,3.085654e-03,3.044596e-03,3.031540e-03,3.003933e-03,2.963689e-03,2.951702e-03,2.923889e-03,2.884553e-03,2.873624e-03,2.845698e-03,2.807339e-03,2.797449e-03,2.769491e-03,2.732163e-03,2.723283e-03,2.695365e-03,2.659105e-03,2.651201e-03,2.623389e-03,2.588220e-03,2.581253e-03,2.553604e-03,2.519541e-03,2.513469e-03,2.486034e-03,2.453083e-03,2.447862e-03,2.420686e-03,2.388844e-03,2.384431e-03,2.357554e-03,2.326814e-03,2.323162e-03,2.296620e-03,2.266969e-03,2.264034e-03,2.237857e-03,2.209280e-03,2.207017e-03,2.181233e-03,2.153710e-03,2.152075e-03,2.126707e-03,2.100218e-03,2.099169e-03,2.074237e-03,2.048758e-03,2.048253e-03,2.023775e-03,1.999282e-03,1.952207e-03,1.906976e-03,1.863540e-03,1.821846e-03,1.781842e-03,1.743477e-03,1.706700e-03,1.671459e-03,1.637704e-03,1.605386e-03,1.574456e-03,1.544868e-03,1.516574e-03,1.489529e-03,1.463690e-03,1.439012e-03,1.415454e-03,1.392975e-03,1.371536e-03,1.351097e-03,1.331622e-03,1.313073e-03,1.295417e-03,1.278617e-03,1.262642e-03,1.247460e-03,1.233038e-03,1.219347e-03,1.206358e-03,1.194042e-03,1.182372e-03,1.171321e-03,1.160865e-03,1.150978e-03,1.141635e-03,1.132815e-03,1.124494e-03,1.116652e-03,1.109266e-03,1.102317e-03,1.095786e-03,1.089653e-03,1.083900e-03,1.078510e-03,1.073467e-03,1.068752e-03,1.064352e-03,1.060250e-03,1.056432e-03
0.000000e+00,2.940771e-12,6.111608e-10,6.613476e-10,1.646967e-08,1.547302e-07,1.678565e-07,1.017868e-06,3.986545e-06,4.311337e-06,1.395499e-05,3.413044e-05,3.662611e-05,8.139812e-05,1.489515e-04,1.583796e-04,2.769297e-04,4.213033e-04,4.440853e-04,6.635782e-04,8.943842e-04,9.355265e-04,1.256697e-03,1.560222e-03,1.621132e-03,2.020964e-03,2.368971e-03,2.447234e-03,2.890645e-03,3.251615e-03,3.342151e-03,3.793411e-03,4.140445e-03,4.237059e-03,4.666865e-03,4.981110e-03,5.077778e-03,5.465891e-03,5.736706e-03,5.828360e-03,6.163281e-03,6.386728e-03,6.469566e-03,6.746804e-03,6.923644e-03,6.995134e-03,7.215123e-03,7.348976e-03,7.407672e-03,7.573920e-03,7.669864e-03,7.715171e-03,7.832834e-03,7.896436e-03,7.928375e-03,8.003277e-03,8.039998e-03,8.059012e-03,8.097019e-03,8.111895e-03,8.118690e-03,8.125357e-03,8.122852e-03,8.118289e-03,8.098684e-03,8.082652e-03,8.067670e-03,8.026306e-03,8.000017e-03,7.975581e-03,7.916417e-03,7.882604e-03,7.849672e-03,7.776145e-03,7.737072e-03,7.696576e-03,7.611649e-03,7.569170e-03,7.522000e-03,7.428216e-03,7.383837e-03,7.330837e-03,7.230365e-03,7.185298e-03,7.127261e-03,7.021948e-03,6.977154e-03,6.914818e-03,6.806230e-03,6.762460e-03,6.696512e-03,6.585966e-03,6.543801e-03,6.474871e-03,6.363478e-03,6.323349e-03,6.252020e-03,6.140706e-03,6.102927e-03,6.029729e-03,5.919262e-03,5.884046e-03,5.809463e-03,5.700475e-03,5.667956e-03,5.592425e-03,5.485430e-03,5.455674e-03,5.379592e-03,5.275003e-03,5.248025e-03,5.171746e-03,5.069892e-03,5.045663e-03,4.969505e-03,4.870639e-03,4.849098e-03,4.773342e-03,4.677656e-03,4.658715e-03,4.583613e-03,4.491243e-03,4.474796e-03,4.400569e-03,4.311607e-03,4.297533e-03,4.224372e-03,4.138873e-03,4.127042e-03,4.055115e-03,3.973101e-03,3.963376e-03,3.892828e-03,3.814293e-03,3.806535e-03,3.737488e-03,3.662406e-03,3.656473e-03,3.589034e-03,3.517359e-03,3.513112e-03,3.447367e-03,3.379040e-03,3.376342e-03,3.312362e-03,3.247312e-03,3.246027e-03,3.183870e-03,3.122017e-03,3.004143e-03,2.892228e-03,2.786085e-03,2.685522e-03,2.590346e-03,2.500360e-03,2.415367e-03,2.335174e-03,2.259587e-03,2.188417e-03,2.121480e-03,2.058595e-03,1.999584e-03,1.944278e-03,1.892511e-03,1.844121e-03,1.798955e-03,1.756863e-03,1.717701e-03,1.681330e-03,1.647617e-03,1.616435e-03,1.587660e-03,1.561174e-03,1.536865e-03,1.514623e-03,1.494344e-03,1.475929e-03,1.459282e-03,1.444311e-03,1.430928e-03,1.419048e-03,1.408592e-03,1.399481e-03,1.391640e-03,1.385000e-03,1.379491e-03,1.375047e-03,1.371607e-03,1.369109e-03,1.367495e-03,1.366710e-03,1.366701e-03,1.367416e-03,1.368806e-03,1.370824e-03,1.373425e-03,1.376564e-03,1.380201e-03
0.000000e+00,6.838849e-11,1.096028e-08,1.181428e-08,2.579849e-07,2.255892e-06,2.439584e-06,1.332317e-05,4.441544e-05,4.743854e-05,1.207817e-04,2.282057e-04,2.392299e-04,3.949765e-04,5.540220e-04,5.722263e-04,7.545882e-04,9.091458e-04,9.294283e-04,1.088924e-03,1.210860e-03,1.229302e-03,1.349557e-03,1.435444e-03,1.450307e-03,1.532995e-03,1.588564e-03,1.599397e-03,1.651347e-03,1.683687e-03,1.690602e-03,1.718784e-03,1.734026e-03,1.737356e-03,1.747625e-03,1.750596e-03,1.750752e-03,1.747760e-03,1.742142e-03,1.739551e-03,1.726916e-03,1.715473e-03,1.710551e-03,1.691062e-03,1.675849e-03,1.668982e-03,1.644775e-03,1.627308e-03,1.618845e-03,1.591544e-03,1.572925e-03,1.563178e-03,1.534013e-03,1.515034e-03,1.504277e-03,1.474168e-03,1.455389e-03,1.443857e-03,1.413490e-03,1.395296e-03,1.383193e-03,1.353071e-03,1.335717e-03,1.323215e-03,1.293701e-03,1.277347e-03,1.264593e-03,1.235944e-03,1.220680e-03,1.207797e-03,1.180187e-03,1.166051e-03,1.153142e-03,1.126683e-03,1.113680e-03,1.100829e-03,1.075589e-03,1.063694e-03,1.050972e-03,1.026981e-03,1.016157e-03,1.003619e-03,9.808840e-04,9.710783e-04,9.587721e-04,9.372783e-04,9.284336e-04,9.163957e-04,8.961160e-04,8.881710e-04,8.764302e-04,8.573280e-04,8.502199e-04,8.387985e-04,8.208304e-04,8.144970e-04,8.034117e-04,7.865303e-04,7.809108e-04,7.701736e-04,7.543291e-04,7.493649e-04,7.389840e-04,7.241255e-04,7.197609e-04,7.097409e-04,6.958176e-04,6.920000e-04,6.823429e-04,6.693046e-04,6.659845e-04,6.566901e-04,6.444876e-04,6.416190e-04,6.326851e-04,6.212709e-04,6.188108e-04,6.102336e-04,5.995621e-04,5.974707e-04,5.892452e-04,5.792724e-04,5.775130e-04,5.696332e-04,5.603173e-04,5.588561e-04,5.513149e-04,5.426163e-04,5.414221e-04,5.342119e-04,5.260928e-04,5.251372e-04,5.182499e-04,5.106745e-04,5.099314e-04,5.033583e-04,4.962930e-04,4.957384e-04,4.894707e-04,4.828836e-04,4.824957e-04,4.765243e-04,4.703855e-04,4.701444e-04,4.644601e-04,4.587412e-04,4.586289e-04,4.532223e-04,4.478969e-04,4.378991e-04,4.285893e-04,4.199239e-04,4.118620e-04,4.043653e-04,3.973976e-04,3.909252e-04,3.849163e-04,3.793410e-04,3.741714e-04,3.693812e-04,3.649458e-04,3.608422e-04,3.570488e-04,3.535451e-04,3.503121e-04,3.473322e-04,3.445884e-04,3.420651e-04,3.397476e-04,3.376223e-04,3.356760e-04,3.338968e-04,3.322733e-04,3.307948e-04,3.294515e-04,3.282340e-04,3.271336e-04,3.261420e-04,3.252517e-04,3.244555e-04,3.237466e-04,3.231188e-04,3.225662e-04,3.220833e-04,3.216649e-04,3.213062e-04,3.210027e-04,3.207503e-04,3.205449e-04,3.203830e-04,3.202610e-04,3.201757e-04,3.201242e-04,3.201036e-04,3.201114e-04,3.201450e-04,3.202023e-04,3.202811e-04
0.000000e+00,1.339819e-12,3.012608e-10,3.266883e-10,9.113251e-09,9.422426e-08,1.025620e-07,6.647314e-07,2.697515e-06,2.921793e-06,9.611513e-06,2.359248e-05,2.531723e-05,5.610437e-05,1.021541e-04,1.085526e-04,1.885797e-04,2.852472e-04,3.004394e-04,4.461096e-04,5.981273e-04,6.251141e-04,8.347098e-04,1.031105e-03,1.070321e-03,1.326099e-03,1.546308e-03,1.595506e-03,1.871838e-03,2.093553e-03,2.148669e-03,2.420167e-03,2.624972e-03,2.681313e-03,2.928009e-03,3.103864e-03,3.157109e-03,3.366380e-03,3.507629e-03,3.554433e-03,3.720615e-03,3.826686e-03,3.864897e-03,3.987750e-03,4.061445e-03,4.090035e-03,4.172896e-03,4.218824e-03,4.237671e-03,4.285814e-03,4.309208e-03,4.318830e-03,4.338227e-03,4.344176e-03,4.345477e-03,4.341986e-03,4.335012e-03,4.329079e-03,4.307982e-03,4.291867e-03,4.279823e-03,4.245620e-03,4.223378e-03,4.206291e-03,4.162656e-03,4.136614e-03,4.115443e-03,4.065296e-03,4.037197e-03,4.012777e-03,3.958376e-03,3.929489e-03,3.902521e-03,3.845579e-03,3.816801e-03,3.787867e-03,3.729659e-03,3.701613e-03,3.671189e-03,3.612654e-03,3.585755e-03,3.554225e-03,3.496044e-03,3.470554e-03,3.438231e-03,3.380889e-03,3.356967e-03,3.324103e-03,3.267942e-03,3.245666e-03,3.212465e-03,3.157721e-03,3.137118e-03,3.103747e-03,3.050575e-03,3.031635e-03,2.998231e-03,2.946735e-03,2.929422e-03,2.896099e-03,2.846336e-03,2.830597e-03,2.797452e-03,2.749450e-03,2.735222e-03,2.702332e-03,2.656096e-03,2.643308e-03,2.610741e-03,2.566262e-03,2.554840e-03,2.522653e-03,2.479908e-03,2.469776e-03,2.438018e-03,2.396977e-03,2.388060e-03,2.356774e-03,2.317399e-03,2.309622e-03,2.278842e-03,2.241094e-03,2.234384e-03,2.204141e-03,2.167974e-03,2.162260e-03,2.132581e-03,2.097950e-03,2.093162e-03,2.064070e-03,2.030928e-03,2.027000e-03,1.998513e-03,1.966813e-03,1.963682e-03,1.935815e-03,1.905509e-03,1.903114e-03,1.875881e-03,1.846921e-03,1.845204e-03,1.818616e-03,1.790955e-03,1.789861e-03,1.763926e-03,1.737517e-03,1.736995e-03,1.711718e-03,1.686517e-03,1.638340e-03,1.592379e-03,1.548551e-03,1.506776e-03,1.466976e-03,1.429074e-03,1.392996e-03,1.358672e-03,1.326032e-03,1.295009e-03,1.265538e-03,1.237558e-03,1.211008e-03,1.185829e-03,1.161965e-03,1.139363e-03,1.117970e-03,1.097735e-03,1.078610e-03,1.060548e-03,1.043505e-03,1.027435e-03,1.012299e-03,9.980541e-04,9.846628e-04,9.720873e-04,9.602914e-04,9.492404e-04,9.389007e-04,9.292401e-04,9.202275e-04,9.118330e-04,9.040278e-04,8.967841e-04,8.900751e-04,8.838752e-04,8.781595e-04,8.729043e-04,8.680866e-04,8.636842e-04,8.596760e-04,8.560415e-04,8.527611e-04,8.498157e-04,8.471873e-04,8.448584e-04,8.428121e-04,8.410324e-04,8.395036e-04
0.000000e+00,8.837750e-10,5.689601e-08,6.030375e-08,6.273667e-07,3.203038e-06,3.397040e-06,1.204911e-05,2.871091e-05,3.006148e-05,5.602413e-05,8.185167e-05,8.403324e-05,1.093098e-04,1.283221e-04,1.302115e-04,1.468288e-04,1.583769e-04,1.597545e-04,1.696191e-04,1.760782e-04,1.769752e-04,1.822860e-04,1.854480e-04,1.859335e-04,1.882326e-04,1.892943e-04,1.894415e-04,1.897723e-04,1.895228e-04,1.893990e-04,1.884637e-04,1.874196e-04,1.870827e-04,1.853511e-04,1.838486e-04,1.833460e-04,1.811306e-04,1.793862e-04,1.787560e-04,1.762637e-04,1.744155e-04,1.736874e-04,1.710544e-04,1.691894e-04,1.683866e-04,1.657017e-04,1.638737e-04,1.630141e-04,1.603349e-04,1.585759e-04,1.576734e-04,1.550364e-04,1.533644e-04,1.524299e-04,1.498581e-04,1.482826e-04,1.473245e-04,1.448313e-04,1.433556e-04,1.423806e-04,1.399742e-04,1.385991e-04,1.376128e-04,1.352969e-04,1.340200e-04,1.330269e-04,1.308031e-04,1.296213e-04,1.286252e-04,1.264927e-04,1.254018e-04,1.244056e-04,1.223633e-04,1.213587e-04,1.203650e-04,1.184103e-04,1.174873e-04,1.164984e-04,1.146287e-04,1.137825e-04,1.128002e-04,1.110124e-04,1.102385e-04,1.092645e-04,1.075557e-04,1.068495e-04,1.058853e-04,1.042524e-04,1.036097e-04,1.026564e-04,1.010965e-04,1.005131e-04,9.957200e-05,9.808208e-05,9.755405e-05,9.662608e-05,9.520329e-05,9.472698e-05,9.381300e-05,9.245455e-05,9.202645e-05,9.112724e-05,8.983042e-05,8.944722e-05,8.856343e-05,8.732563e-05,8.698420e-05,8.611641e-05,8.493513e-05,8.463251e-05,8.378121e-05,8.265405e-05,8.238745e-05,8.155307e-05,8.047770e-05,8.024450e-05,7.942738e-05,7.840156e-05,7.819929e-05,7.739972e-05,7.642132e-05,7.624766e-05,7.546586e-05,7.453283e-05,7.438559e-05,7.362174e-05,7.273210e-05,7.260923e-05,7.186344e-05,7.101531e-05,7.091489e-05,7.018724e-05,6.937880e-05,6.929902e-05,6.858954e-05,6.781905e-05,6.775821e-05,6.706691e-05,6.633270e-05,6.628921e-05,6.561604e-05,6.491653e-05,6.488890e-05,6.423378e-05,6.356743e-05,6.355427e-05,6.291711e-05,6.228246e-05,6.107071e-05,5.991638e-05,5.881696e-05,5.777001e-05,5.677322e-05,5.582437e-05,5.492133e-05,5.406207e-05,5.324463e-05,5.246715e-05,5.172783e-05,5.102498e-05,5.035694e-05,4.972216e-05,4.911912e-05,4.854640e-05,4.800261e-05,4.748645e-05,4.699665e-05,4.653200e-05,4.609137e-05,4.567363e-05,4.527774e-05,4.490270e-05,4.454752e-05,4.421130e-05,4.389314e-05,4.359221e-05,4.330769e-05,4.303882e-05,4.278486e-05,4.254510e-05,4.231886e-05,4.210550e-05,4.190442e-05,4.171501e-05,4.153671e-05,4.136899e-05,4.121134e-05,4.106325e-05,4.092427e-05,4.079395e-05,4.067186e-05,4.055758e-05,4.045074e-05,4.035095e-05,4.025787e-05,4.017115e-05,4.009048e-05
0.000000e+00,4.086130e-10,4.694204e-08,5.039803e-08,9.313211e-07,6.618217e-06,7.083836e-06,2.888682e-05,7.049807e-05,7.379365e-05,1.359697e-04,1.984603e-04,2.038923e-04,2.700072e-04,3.254735e-04,3.313672e-04,3.872983e-04,4.321046e-04,4.379062e-04,4.835048e-04,5.189810e-04,5.244452e-04,5.610705e-04,5.887395e-04,5.937058e-04,6.226561e-04,6.438468e-04,6.482074e-04,6.706274e-04,6.864771e-04,6.901656e-04,7.070543e-04,7.185277e-04,7.215095e-04,7.337318e-04,7.416423e-04,7.439071e-04,7.522076e-04,7.572374e-04,7.587930e-04,7.638109e-04,7.665302e-04,7.673978e-04,7.696799e-04,7.705639e-04,7.707739e-04,7.707875e-04,7.702307e-04,7.698202e-04,7.679637e-04,7.662928e-04,7.653028e-04,7.619157e-04,7.594002e-04,7.578742e-04,7.532449e-04,7.501064e-04,7.480887e-04,7.424621e-04,7.388820e-04,7.364168e-04,7.300005e-04,7.261265e-04,7.232571e-04,7.162267e-04,7.121783e-04,7.089465e-04,7.014502e-04,6.973236e-04,6.937692e-04,6.859321e-04,6.818038e-04,6.779648e-04,6.698916e-04,6.658221e-04,6.617341e-04,6.535126e-04,6.495488e-04,6.452451e-04,6.369484e-04,6.331264e-04,6.286377e-04,6.203268e-04,6.166732e-04,6.120282e-04,6.037533e-04,6.002874e-04,5.955123e-04,5.873147e-04,5.840497e-04,5.791687e-04,5.710819e-04,5.680259e-04,5.630611e-04,5.551124e-04,5.522695e-04,5.472410e-04,5.394519e-04,5.368231e-04,5.317492e-04,5.241367e-04,5.217203e-04,5.166176e-04,5.091947e-04,5.069870e-04,5.018705e-04,4.946470e-04,4.926427e-04,4.875259e-04,4.805087e-04,4.787014e-04,4.735965e-04,4.667901e-04,4.651725e-04,4.600904e-04,4.534975e-04,4.520615e-04,4.470120e-04,4.406337e-04,4.393709e-04,4.343626e-04,4.281985e-04,4.271003e-04,4.221410e-04,4.161896e-04,4.152472e-04,4.103438e-04,4.046028e-04,4.038073e-04,3.989658e-04,3.934320e-04,3.927749e-04,3.880005e-04,3.826703e-04,3.821428e-04,3.774403e-04,3.723095e-04,3.719032e-04,3.672766e-04,3.623406e-04,3.620475e-04,3.575002e-04,3.527542e-04,3.525663e-04,3.481014e-04,3.435404e-04,3.434501e-04,3.390700e-04,3.346889e-04,3.262724e-04,3.181905e-04,3.104328e-04,3.029891e-04,2.958492e-04,2.890030e-04,2.824405e-04,2.761520e-04,2.701279e-04,2.643589e-04,2.588358e-04,2.535497e-04,2.484920e-04,2.436542e-04,2.390281e-04,2.346059e-04,2.303798e-04,2.263424e-04,2.224865e-04,2.188052e-04,2.152917e-04,2.119394e-04,2.087422e-04,2.056939e-04,2.027887e-04,2.000209e-04,1.973851e-04,1.948760e-04,1.924885e-04,1.902178e-04,1.880592e-04,1.860080e-04,1.840600e-04,1.822109e-04,1.804566e-04,1.787932e-04,1.772170e-04,1.757243e-04,1.743116e-04,1.729756e-04,1.717130e-04,1.705207e-04,1.693956e-04,1.683350e-04,1.673359e-04,1.663958e-04,1.655120e-04,1.646821e-04,1.639037e-04
0.000000e+00,2.037544e-09,4.202754e-08,4.415879e-08,3.382925e-07,1.249525e-06,1.304654e-06,3.011984e-06,4.823999e-06,4.937823e-06,6.751291e-06,8.260376e-06,8.384227e-06,9.836344e-06,1.099890e-05,1.112010e-05,1.224974e-05,1.312728e-05,1.323901e-05,1.410074e-05,1.474887e-05,1.484676e-05,1.548798e-05,1.595296e-05,1.603441e-05,1.649523e-05,1.681511e-05,1.687881e-05,1.719281e-05,1.739863e-05,1.744421e-05,1.763936e-05,1.775626e-05,1.778404e-05,1.788349e-05,1.793178e-05,1.794250e-05,1.796540e-05,1.796140e-05,1.795608e-05,1.791806e-05,1.787472e-05,1.785453e-05,1.776839e-05,1.769608e-05,1.766230e-05,1.753862e-05,1.744560e-05,1.739955e-05,1.724707e-05,1.714003e-05,1.708310e-05,1.690927e-05,1.679350e-05,1.672700e-05,1.653757e-05,1.641704e-05,1.634214e-05,1.614176e-05,1.601954e-05,1.593735e-05,1.572976e-05,1.560820e-05,1.551974e-05,1.530796e-05,1.518882e-05,1.509502e-05,1.488148e-05,1.476608e-05,1.466780e-05,1.445442e-05,1.434370e-05,1.424170e-05,1.403000e-05,1.392462e-05,1.381960e-05,1.361076e-05,1.351115e-05,1.340373e-05,1.319870e-05,1.310511e-05,1.299584e-05,1.279531e-05,1.270785e-05,1.259724e-05,1.240174e-05,1.232041e-05,1.220890e-05,1.201879e-05,1.194354e-05,1.183150e-05,1.164706e-05,1.157773e-05,1.146552e-05,1.128691e-05,1.122333e-05,1.111124e-05,1.093855e-05,1.088051e-05,1.076882e-05,1.060206e-05,1.054932e-05,1.043827e-05,1.027742e-05,1.022975e-05,1.011952e-05,9.964539e-06,9.921664e-06,9.812452e-06,9.663236e-06,9.624906e-06,9.516862e-06,9.373299e-06,9.339259e-06,9.232515e-06,9.094475e-06,9.064471e-06,8.959144e-06,8.826484e-06,8.800269e-06,8.696457e-06,8.569023e-06,8.546358e-06,8.444145e-06,8.321780e-06,8.302433e-06,8.201890e-06,8.084432e-06,8.068180e-06,7.969366e-06,7.856650e-06,7.843281e-06,7.746245e-06,7.638108e-06,7.627418e-06,7.532200e-06,7.428479e-06,7.420275e-06,7.326905e-06,7.227439e-06,7.221537e-06,7.130041e-06,7.034671e-06,7.030898e-06,6.941291e-06,6.849863e-06,6.848054e-06,6.760349e-06,6.672712e-06,6.504583e-06,6.343388e-06,6.188858e-06,6.040728e-06,5.898746e-06,5.762668e-06,5.632257e-06,5.507284e-06,5.387532e-06,5.272789e-06,5.162851e-06,5.057524e-06,4.956619e-06,4.859957e-06,4.767363e-06,4.678672e-06,4.593723e-06,4.512363e-06,4.434445e-06,4.359827e-06,4.288374e-06,4.219955e-06,4.154445e-06,4.091724e-06,4.031679e-06,3.974197e-06,3.919173e-06,3.866507e-06,3.816100e-06,3.767859e-06,3.721695e-06,3.677521e-06,3.635256e-06,3.594820e-06,3.556138e-06,3.519136e-06,3.483746e-06,3.449901e-06,3.417536e-06,3.386590e-06,3.357004e-06,3.328722e-06,3.301689e-06,3.275854e-06,3.251167e-06,3.227580e-06,3.205046e-06,3.183523e-06,3.162969e-06
0.000000e+00,4.722671e-09,6.369478e-08,6.639944e-08,3.709644e-07,1.172776e-06,1.220486e-06,2.808194e-06,4.899341e-06,5.047064e-06,7.636862e-06,1.005197e-05,1.025716e-05,1.271302e-05,1.472436e-05,1.493565e-05,1.691641e-05,1.846805e-05,1.866639e-05,2.020184e-05,2.136378e-05,2.153984e-05,2.269691e-05,2.354047e-05,2.368865e-05,2.452959e-05,2.511614e-05,2.523324e-05,2.581210e-05,2.619312e-05,2.627770e-05,2.664068e-05,2.685888e-05,2.691081e-05,2.709709e-05,2.718769e-05,2.720778e-05,2.725048e-05,2.724242e-05,2.723215e-05,2.715918e-05,2.707612e-05,2.703743e-05,2.687228e-05,2.673348e-05,2.666861e-05,2.643093e-05,2.625198e-05,2.616333e-05,2.586955e-05,2.566299e-05,2.555301e-05,2.521683e-05,2.499269e-05,2.486384e-05,2.449663e-05,2.426285e-05,2.411753e-05,2.372868e-05,2.349150e-05,2.333201e-05,2.292926e-05,2.269351e-05,2.252201e-05,2.211171e-05,2.188108e-05,2.169961e-05,2.128690e-05,2.106414e-05,2.087460e-05,2.046363e-05,2.025074e-05,2.005484e-05,1.964896e-05,1.944732e-05,1.924665e-05,1.884847e-05,1.865897e-05,1.845495e-05,1.806653e-05,1.788967e-05,1.768359e-05,1.730647e-05,1.714246e-05,1.693547e-05,1.657081e-05,1.641960e-05,1.621271e-05,1.586132e-05,1.572268e-05,1.551679e-05,1.517922e-05,1.505279e-05,1.484869e-05,1.452525e-05,1.441055e-05,1.420893e-05,1.389974e-05,1.379624e-05,1.359768e-05,1.330272e-05,1.320983e-05,1.301484e-05,1.273397e-05,1.265107e-05,1.246007e-05,1.219306e-05,1.211952e-05,1.193287e-05,1.167940e-05,1.161459e-05,1.143257e-05,1.119228e-05,1.113558e-05,1.095843e-05,1.073091e-05,1.068169e-05,1.050960e-05,1.029440e-05,1.025208e-05,1.008519e-05,9.881853e-06,9.845866e-06,9.684267e-06,9.492315e-06,9.462118e-06,9.305876e-06,9.124830e-06,9.099907e-06,8.949055e-06,8.778432e-06,8.758297e-06,8.612840e-06,8.452161e-06,8.436359e-06,8.296278e-06,8.145073e-06,8.133176e-06,7.998431e-06,7.856239e-06,7.847846e-06,7.718383e-06,7.584753e-06,7.579494e-06,7.455240e-06,7.329736e-06,7.327267e-06,7.208137e-06,7.090337e-06,6.867909e-06,6.659217e-06,6.463525e-06,6.280129e-06,6.108355e-06,5.947562e-06,5.797136e-06,5.656495e-06,5.525084e-06,5.402377e-06,5.287874e-06,5.181101e-06,5.081610e-06,4.988975e-06,4.902795e-06,4.822687e-06,4.748293e-06,4.679273e-06,4.615305e-06,4.556085e-06,4.501328e-06,4.450762e-06,4.404133e-06,4.361200e-06,4.321735e-06,4.285525e-06,4.252368e-06,4.222074e-06,4.194462e-06,4.169365e-06,4.146622e-06,4.126083e-06,4.107608e-06,4.091064e-06,4.076323e-06,4.063269e-06,4.051791e-06,4.041783e-06,4.033147e-06,4.025791e-06,4.019627e-06,4.014572e-06,4.010550e-06,4.007489e-06,4.005318e-06,4.003975e-06,4.003398e-06,4.003532e-06,4.004322e-06
0.000000e+00,3.178525e-13,7.517098e-11,8.157695e-11,2.376560e-09,2.642624e-08,2.887442e-08,2.091585e-07,9.601208e-07,1.048517e-06,3.964760e-06,1.107116e-05,1.201367e-05,3.055581e-05,6.280464e-05,6.763167e-05,1.339462e-04,2.267590e-04,2.424858e-04,4.078578e-04,6.072743e-04,6.454661e-04,9.706308e-04,1.322005e-03,1.397742e-03,1.939513e-03,2.476728e-03,2.606380e-03,3.406056e-03,4.144697e-03,4.343264e-03,5.419623e-03,6.354951e-03,6.633678e-03,7.981048e-03,9.089954e-03,9.454668e-03,1.104511e-02,1.229060e-02,1.274095e-02,1.452915e-02,1.586587e-02,1.639544e-02,1.832475e-02,1.970444e-02,2.030152e-02,2.231007e-02,2.368612e-02,2.433491e-02,2.636100e-02,2.769187e-02,2.837394e-02,3.036020e-02,3.161157e-02,3.230725e-02,3.420365e-02,3.534942e-02,3.603912e-02,3.780462e-02,3.882702e-02,3.949231e-02,4.109557e-02,4.198459e-02,4.260897e-02,4.402820e-02,4.478060e-02,4.535005e-02,4.657232e-02,4.719045e-02,4.769372e-02,4.871383e-02,4.920435e-02,4.963301e-02,5.045231e-02,5.082500e-02,5.117337e-02,5.179835e-02,5.206497e-02,5.232989e-02,5.277099e-02,5.294443e-02,5.312497e-02,5.339539e-02,5.348887e-02,5.358603e-02,5.370077e-02,5.372728e-02,5.374361e-02,5.371858e-02,5.369048e-02,5.362976e-02,5.348117e-02,5.340987e-02,5.327681e-02,5.302060e-02,5.291641e-02,5.271637e-02,5.236783e-02,5.223989e-02,5.197861e-02,5.155216e-02,5.140839e-02,5.109183e-02,5.060080e-02,5.044797e-02,5.008212e-02,4.953867e-02,4.938244e-02,4.897319e-02,4.838827e-02,4.823331e-02,4.778635e-02,4.716972e-02,4.701979e-02,4.654055e-02,4.590085e-02,4.575890e-02,4.525252e-02,4.459731e-02,4.446559e-02,4.393685e-02,4.327267e-02,4.315283e-02,4.260617e-02,4.193865e-02,4.183183e-02,4.127131e-02,4.060524e-02,4.051215e-02,3.994147e-02,3.928093e-02,3.920192e-02,3.862445e-02,3.797282e-02,3.790795e-02,3.732674e-02,3.668685e-02,3.663594e-02,3.605371e-02,3.542786e-02,3.539055e-02,3.480975e-02,3.419980e-02,3.417558e-02,3.359838e-02,3.300581e-02,3.299405e-02,3.242238e-02,3.184834e-02,3.074024e-02,2.967106e-02,2.864169e-02,2.765267e-02,2.670423e-02,2.579635e-02,2.492879e-02,2.410115e-02,2.331287e-02,2.256325e-02,2.185153e-02,2.117684e-02,2.053825e-02,1.993478e-02,1.936541e-02,1.882910e-02,1.832478e-02,1.785137e-02,1.740777e-02,1.699290e-02,1.660565e-02,1.624495e-02,1.590970e-02,1.559885e-02,1.531132e-02,1.504609e-02,1.480211e-02,1.457837e-02,1.437389e-02,1.418767e-02,1.401878e-02,1.386627e-02,1.372923e-02,1.360677e-02,1.349802e-02,1.340213e-02,1.331828e-02,1.324567e-02,1.318354e-02,1.313114e-02,1.308773e-02,1.305264e-02,1.302518e-02,1.300471e-02,1.299063e-02,1.298234e-02,1.297927e-02,1.298089e-02,1.298670e-02
0.000000e+00,1.314849e-09,8.389824e-08,8.900005e-08,9.799190e-07,5.132681e-06,5.444333e-06,1.909516e-05,4.459905e-05,4.664339e-05,8.590610e-05,1.260851e-04,1.295862e-04,1.721159e-04,2.075448e-04,2.112912e-04,2.466421e-04,2.746612e-04,2.782671e-04,3.064110e-04,3.280359e-04,3.313429e-04,3.533240e-04,3.696887e-04,3.726009e-04,3.894029e-04,4.014835e-04,4.039428e-04,4.164184e-04,4.250360e-04,4.270127e-04,4.358947e-04,4.417347e-04,4.432203e-04,4.491331e-04,4.527636e-04,4.537651e-04,4.572377e-04,4.591266e-04,4.596619e-04,4.611398e-04,4.616708e-04,4.617649e-04,4.616225e-04,4.611083e-04,4.607908e-04,4.593414e-04,4.580365e-04,4.573395e-04,4.548447e-04,4.529548e-04,4.519114e-04,4.485894e-04,4.462804e-04,4.449239e-04,4.409562e-04,4.383610e-04,4.367238e-04,4.322610e-04,4.294859e-04,4.275990e-04,4.227661e-04,4.198950e-04,4.177881e-04,4.126883e-04,4.097872e-04,4.074880e-04,4.022063e-04,3.993267e-04,3.968609e-04,3.914674e-04,3.886485e-04,3.860400e-04,3.805918e-04,3.778635e-04,3.751342e-04,3.696778e-04,3.670620e-04,3.642320e-04,3.588052e-04,3.563174e-04,3.534049e-04,3.480380e-04,3.456887e-04,3.427104e-04,3.374275e-04,3.352231e-04,3.321940e-04,3.270141e-04,3.249580e-04,3.218915e-04,3.168294e-04,3.149223e-04,3.118306e-04,3.068975e-04,3.051380e-04,3.020321e-04,2.972362e-04,2.956217e-04,2.925112e-04,2.878584e-04,2.863849e-04,2.832787e-04,2.787728e-04,2.774355e-04,2.743413e-04,2.699845e-04,2.687780e-04,2.657027e-04,2.614959e-04,2.604145e-04,2.573641e-04,2.533071e-04,2.523445e-04,2.493246e-04,2.454163e-04,2.445663e-04,2.415816e-04,2.378201e-04,2.370766e-04,2.341312e-04,2.305142e-04,2.298707e-04,2.269683e-04,2.234930e-04,2.229434e-04,2.200872e-04,2.167504e-04,2.162886e-04,2.134814e-04,2.102796e-04,2.098999e-04,2.071440e-04,2.040737e-04,2.037702e-04,2.010676e-04,1.981250e-04,1.978923e-04,1.952448e-04,1.924261e-04,1.922589e-04,1.896679e-04,1.869693e-04,1.868626e-04,1.843292e-04,1.817467e-04,1.816956e-04,1.792208e-04,1.767506e-04,1.720202e-04,1.674968e-04,1.631734e-04,1.590427e-04,1.550978e-04,1.513320e-04,1.477385e-04,1.443109e-04,1.410430e-04,1.379288e-04,1.349622e-04,1.321376e-04,1.294495e-04,1.268925e-04,1.244615e-04,1.221516e-04,1.199578e-04,1.178756e-04,1.159004e-04,1.140281e-04,1.122543e-04,1.105752e-04,1.089867e-04,1.074852e-04,1.060672e-04,1.047290e-04,1.034675e-04,1.022794e-04,1.011615e-04,1.001110e-04,9.912490e-05,9.820049e-05,9.733510e-05,9.652617e-05,9.577122e-05,9.506787e-05,9.441385e-05,9.380693e-05,9.324501e-05,9.272604e-05,9.224804e-05,9.180914e-05,9.140749e-05,9.104135e-05,9.070903e-05,9.040891e-05,9.013941e-05,8.989903e-05,8.968632e-05
0.000000e+00,2.817559e-11,4.359865e-09,4.693542e-09,9.445152e-08,7.660214e-07,8.263586e-07,4.351958e-06,1.470600e-05,1.574323e-05,4.241690e-05,8.583088e-05,9.053485e-05,1.612229e-04,2.406154e-04,2.501251e-04,3.499066e-04,4.407766e-04,4.531335e-04,5.539655e-04,6.358118e-04,6.485938e-04,7.349581e-04,8.004911e-04,8.122362e-04,8.803742e-04,9.296803e-04,9.397441e-04,9.909250e-04,1.026416e-03,1.034576e-03,1.071365e-03,1.095713e-03,1.101937e-03,1.126897e-03,1.142462e-03,1.146808e-03,1.162183e-03,1.170919e-03,1.173493e-03,1.181168e-03,1.184663e-03,1.185597e-03,1.187134e-03,1.186664e-03,1.186102e-03,1.182792e-03,1.179376e-03,1.177468e-03,1.170369e-03,1.164818e-03,1.161713e-03,1.151695e-03,1.144652e-03,1.140493e-03,1.128267e-03,1.120237e-03,1.115163e-03,1.101308e-03,1.092685e-03,1.086822e-03,1.071809e-03,1.062897e-03,1.056364e-03,1.040572e-03,1.031606e-03,1.024509e-03,1.008244e-03,9.993991e-04,9.918383e-04,9.753457e-04,9.667516e-04,9.588151e-04,9.422899e-04,9.340415e-04,9.258084e-04,9.094042e-04,9.015666e-04,8.931072e-04,8.769438e-04,8.695599e-04,8.609369e-04,8.451069e-04,8.382023e-04,8.294710e-04,8.140443e-04,8.076305e-04,7.988393e-04,7.838671e-04,7.779454e-04,7.691367e-04,7.546558e-04,7.492197e-04,7.404304e-04,7.264654e-04,7.215025e-04,7.127644e-04,6.993301e-04,6.948234e-04,6.861641e-04,6.732673e-04,6.691973e-04,6.606401e-04,6.482820e-04,6.446270e-04,6.361921e-04,6.243687e-04,6.211057e-04,6.128101e-04,6.015137e-04,5.986193e-04,5.904770e-04,5.796968e-04,5.771474e-04,5.691699e-04,5.588929e-04,5.566651e-04,5.488620e-04,5.390736e-04,5.371446e-04,5.295236e-04,5.202080e-04,5.185558e-04,5.111227e-04,5.022635e-04,5.008667e-04,4.936260e-04,4.852061e-04,4.840444e-04,4.769993e-04,4.690014e-04,4.680555e-04,4.612080e-04,4.536149e-04,4.528665e-04,4.462178e-04,4.390123e-04,4.384441e-04,4.319944e-04,4.251597e-04,4.247554e-04,4.185042e-04,4.120237e-04,4.117681e-04,4.057143e-04,3.995719e-04,3.994507e-04,3.935926e-04,3.877727e-04,3.767042e-04,3.662166e-04,3.562822e-04,3.468744e-04,3.379677e-04,3.295375e-04,3.215605e-04,3.140140e-04,3.068768e-04,3.001283e-04,2.937489e-04,2.877201e-04,2.820241e-04,2.766439e-04,2.715636e-04,2.667676e-04,2.622416e-04,2.579715e-04,2.539443e-04,2.501473e-04,2.465687e-04,2.431971e-04,2.400218e-04,2.370325e-04,2.342196e-04,2.315738e-04,2.290864e-04,2.267490e-04,2.245537e-04,2.224931e-04,2.205599e-04,2.187476e-04,2.170495e-04,2.154597e-04,2.139724e-04,2.125820e-04,2.112834e-04,2.100716e-04,2.089420e-04,2.078900e-04,2.069114e-04,2.060023e-04,2.051588e-04,2.043773e-04,2.036544e-04,2.029869e-04,2.023716e-04,2.018056e-04,2.012863e-04
0.000000e+00,5.005554e-11,9.529026e-09,1.030661e-08,2.600280e-07,2.485771e-06,2.696315e-06,1.578561e-05,5.636383e-05,6.048635e-05,1.677388e-04,3.454121e-04,3.648795e-04,6.630189e-04,1.011662e-03,1.054480e-03,1.518427e-03,1.965963e-03,2.028798e-03,2.560560e-03,3.019122e-03,3.093101e-03,3.611257e-03,4.027870e-03,4.104919e-03,4.568026e-03,4.922732e-03,4.997481e-03,5.392203e-03,5.683091e-03,5.752411e-03,6.079106e-03,6.311588e-03,6.373741e-03,6.638002e-03,6.819618e-03,6.873665e-03,7.082516e-03,7.220839e-03,7.266312e-03,7.426755e-03,7.528726e-03,7.565464e-03,7.683975e-03,7.755697e-03,7.783742e-03,7.866134e-03,7.912895e-03,7.932437e-03,7.983859e-03,8.010198e-03,8.021531e-03,8.046514e-03,8.056304e-03,8.059799e-03,8.062315e-03,8.058850e-03,8.054930e-03,8.038453e-03,8.024522e-03,8.013645e-03,7.981211e-03,7.959168e-03,7.941814e-03,7.896070e-03,7.867898e-03,7.844556e-03,7.787810e-03,7.755170e-03,7.726333e-03,7.660594e-03,7.624871e-03,7.591028e-03,7.518042e-03,7.480386e-03,7.442014e-03,7.363298e-03,7.324656e-03,7.282220e-03,7.199087e-03,7.160234e-03,7.114181e-03,7.027768e-03,6.989332e-03,6.940091e-03,6.851378e-03,6.813861e-03,6.761839e-03,6.671670e-03,6.635466e-03,6.581051e-03,6.490148e-03,6.455564e-03,6.399117e-03,6.308099e-03,6.275362e-03,6.217226e-03,6.126618e-03,6.095892e-03,6.036386e-03,5.946632e-03,5.918027e-03,5.857448e-03,5.768920e-03,5.742501e-03,5.681125e-03,5.594134e-03,5.569929e-03,5.508011e-03,5.422813e-03,5.400819e-03,5.338592e-03,5.255396e-03,5.235586e-03,5.173266e-03,5.092239e-03,5.074564e-03,5.012348e-03,4.933622e-03,4.918019e-03,4.856086e-03,4.779761e-03,4.766153e-03,4.704667e-03,4.630817e-03,4.619118e-03,4.558225e-03,4.486900e-03,4.477016e-03,4.416850e-03,4.348080e-03,4.339913e-03,4.280592e-03,4.214389e-03,4.207839e-03,4.149470e-03,4.085832e-03,4.080796e-03,4.023471e-03,3.962384e-03,3.958759e-03,3.902563e-03,3.844001e-03,3.841685e-03,3.786690e-03,3.730619e-03,3.729510e-03,3.675778e-03,3.622157e-03,3.519537e-03,3.421549e-03,3.328084e-03,3.239029e-03,3.154263e-03,3.073662e-03,2.997099e-03,2.924446e-03,2.855574e-03,2.790352e-03,2.728651e-03,2.670343e-03,2.615300e-03,2.563395e-03,2.514505e-03,2.468508e-03,2.425283e-03,2.384715e-03,2.346686e-03,2.311087e-03,2.277808e-03,2.246742e-03,2.217785e-03,2.190838e-03,2.165803e-03,2.142584e-03,2.121090e-03,2.101233e-03,2.082925e-03,2.066083e-03,2.050628e-03,2.036482e-03,2.023569e-03,2.011817e-03,2.001157e-03,1.991522e-03,1.982847e-03,1.975071e-03,1.968135e-03,1.961980e-03,1.956554e-03,1.951803e-03,1.947678e-03,1.944130e-03,1.941116e-03,1.938590e-03,1.936513e-03,1.934845e-03,1.933548e-03
0.000000e+00,7.303066e-09,9.869999e-08,1.028601e-07,5.781934e-07,1.877586e-06,1.956292e-06,4.626135e-06,8.239161e-06,8.497609e-06,1.309531e-05,1.750206e-05,1.788190e-05,2.249509e-05,2.636882e-05,2.678115e-05,3.070262e-05,3.385548e-05,3.426444e-05,3.748425e-05,3.999564e-05,4.038291e-05,4.298161e-05,4.494779e-05,4.530093e-05,4.736050e-05,4.886860e-05,4.917892e-05,5.077373e-05,5.189970e-05,5.216142e-05,5.335746e-05,5.416669e-05,5.437635e-05,5.523166e-05,5.578015e-05,5.593610e-05,5.650155e-05,5.683705e-05,5.693910e-05,5.725912e-05,5.742222e-05,5.747129e-05,5.758463e-05,5.760970e-05,5.760757e-05,5.754795e-05,5.746400e-05,5.741308e-05,5.720974e-05,5.704113e-05,5.694427e-05,5.662254e-05,5.638966e-05,5.625003e-05,5.583178e-05,5.555157e-05,5.537249e-05,5.487656e-05,5.456314e-05,5.434810e-05,5.379084e-05,5.345581e-05,5.320825e-05,5.260357e-05,5.225642e-05,5.197977e-05,5.133960e-05,5.098801e-05,5.068560e-05,5.002008e-05,4.967019e-05,4.934522e-05,4.866301e-05,4.831973e-05,4.797528e-05,4.728370e-05,4.695083e-05,4.658981e-05,4.589501e-05,4.557545e-05,4.520058e-05,4.450768e-05,4.420358e-05,4.381740e-05,4.313069e-05,4.284355e-05,4.244844e-05,4.177144e-05,4.150228e-05,4.110042e-05,4.043602e-05,4.018541e-05,3.977882e-05,3.912934e-05,3.889750e-05,3.848802e-05,3.785527e-05,3.764215e-05,3.723144e-05,3.661684e-05,3.642216e-05,3.601174e-05,3.541636e-05,3.523967e-05,3.483089e-05,3.425550e-05,3.409621e-05,3.369030e-05,3.313539e-05,3.299281e-05,3.259085e-05,3.205673e-05,3.193009e-05,3.153304e-05,3.101980e-05,3.090828e-05,3.051699e-05,3.002459e-05,2.992735e-05,2.954255e-05,2.907082e-05,2.898699e-05,2.860932e-05,2.815798e-05,2.808670e-05,2.771670e-05,2.728539e-05,2.722579e-05,2.686393e-05,2.645222e-05,2.640346e-05,2.605012e-05,2.565751e-05,2.561877e-05,2.527427e-05,2.490024e-05,2.487071e-05,2.453530e-05,2.417929e-05,2.415821e-05,2.383208e-05,2.349351e-05,2.348014e-05,2.316343e-05,2.284169e-05,2.283534e-05,2.252815e-05,2.222264e-05,2.164084e-05,2.108876e-05,2.056521e-05,2.006902e-05,1.959905e-05,1.915417e-05,1.873327e-05,1.833527e-05,1.795915e-05,1.760388e-05,1.726849e-05,1.695202e-05,1.665358e-05,1.637229e-05,1.610729e-05,1.585779e-05,1.562300e-05,1.540219e-05,1.519464e-05,1.499967e-05,1.481664e-05,1.464491e-05,1.448391e-05,1.433305e-05,1.419181e-05,1.405967e-05,1.393615e-05,1.382077e-05,1.371310e-05,1.361271e-05,1.351920e-05,1.343220e-05,1.335134e-05,1.327627e-05,1.320668e-05,1.314226e-05,1.308270e-05,1.302773e-05,1.297709e-05,1.293052e-05,1.288779e-05,1.284867e-05,1.281296e-05,1.278043e-05,1.275092e-05,1.272422e-05,1.270018e-05,1.267863e-05,1.265941e-05
0.000000e+00,6.685807e-12,1.281618e-09,1.384365e-09,3.166800e-08,2.812148e-07,3.045570e-07,1.796054e-06,6.969481e-06,7.535120e-06,2.432248e-05,5.933297e-05,6.365010e-05,1.405527e-04,2.547406e-04,2.705159e-04,4.659232e-04,6.975370e-04,7.335292e-04,1.073571e-03,1.419714e-03,1.480333e-03,1.943599e-03,2.366986e-03,2.450433e-03,2.986847e-03,3.439135e-03,3.539139e-03,4.094818e-03,4.534521e-03,4.643151e-03,5.175384e-03,5.574916e-03,5.684729e-03,6.166227e-03,6.511418e-03,6.616511e-03,7.033545e-03,7.320146e-03,7.416370e-03,7.764861e-03,7.994780e-03,8.079524e-03,8.361318e-03,8.539691e-03,8.611520e-03,8.831614e-03,8.964896e-03,9.023205e-03,9.187961e-03,9.282813e-03,9.327556e-03,9.443650e-03,9.506362e-03,9.537854e-03,9.611724e-03,9.647967e-03,9.666748e-03,9.704340e-03,9.719089e-03,9.725841e-03,9.732513e-03,9.730060e-03,9.725547e-03,9.706062e-03,9.690076e-03,9.675108e-03,9.633667e-03,9.607255e-03,9.582661e-03,9.522951e-03,9.488731e-03,9.455342e-03,9.380587e-03,9.340752e-03,9.299390e-03,9.212405e-03,9.168779e-03,9.120246e-03,9.023481e-03,8.977570e-03,8.922642e-03,8.818222e-03,8.771263e-03,8.710682e-03,8.600451e-03,8.553447e-03,8.487924e-03,8.373472e-03,8.327230e-03,8.257438e-03,8.140137e-03,8.095293e-03,8.021865e-03,7.902890e-03,7.859936e-03,7.783465e-03,7.663820e-03,7.623129e-03,7.544169e-03,7.424708e-03,7.386551e-03,7.305619e-03,7.187067e-03,7.151630e-03,7.069205e-03,6.952170e-03,6.919566e-03,6.836088e-03,6.721075e-03,6.691360e-03,6.607234e-03,6.494658e-03,6.467838e-03,6.383434e-03,6.273636e-03,6.249679e-03,6.165333e-03,6.058586e-03,6.037427e-03,5.953446e-03,5.849961e-03,5.831513e-03,5.748172e-03,5.648113e-03,5.632266e-03,5.549813e-03,5.453298e-03,5.439930e-03,5.358587e-03,5.265696e-03,5.254672e-03,5.174637e-03,5.085419e-03,5.076598e-03,4.998045e-03,4.912519e-03,4.905757e-03,4.828839e-03,4.747001e-03,4.742150e-03,4.667000e-03,4.588828e-03,4.585739e-03,4.512473e-03,4.437924e-03,4.436452e-03,4.365168e-03,4.294189e-03,4.158826e-03,4.030219e-03,3.908211e-03,3.792629e-03,3.683292e-03,3.580012e-03,3.482594e-03,3.390842e-03,3.304556e-03,3.223535e-03,3.147579e-03,3.076490e-03,3.010072e-03,2.948130e-03,2.890474e-03,2.836917e-03,2.787277e-03,2.741374e-03,2.699034e-03,2.660089e-03,2.624372e-03,2.591725e-03,2.561993e-03,2.535025e-03,2.510677e-03,2.488807e-03,2.469282e-03,2.451969e-03,2.436743e-03,2.423482e-03,2.412070e-03,2.402393e-03,2.394344e-03,2.387819e-03,2.382718e-03,2.378945e-03,2.376409e-03,2.375020e-03,2.374695e-03,2.375354e-03,2.376919e-03,2.379317e-03,2.382477e-03,2.386333e-03,2.390820e-03,2.395879e-03,2.401451e-03,2.407483e-03,2.413921e-03
0.000000e+00,6.366244e-09,1.501109e-07,1.577131e-07,1.156611e-06,4.075053e-06,4.250567e-06,9.926376e-06,1.663643e-05,1.707629e-05,2.421353e-05,3.020327e-05,3.069364e-05,3.641472e-05,4.094678e-05,4.141638e-05,4.576301e-05,4.909782e-05,4.951949e-05,5.274638e-05,5.514032e-05,5.549908e-05,5.782792e-05,5.949002e-05,5.977842e-05,6.139162e-05,6.248879e-05,6.270447e-05,6.375016e-05,6.441452e-05,6.455853e-05,6.515625e-05,6.549175e-05,6.556729e-05,6.581310e-05,6.590131e-05,6.591290e-05,6.588388e-05,6.578859e-05,6.574144e-05,6.549930e-05,6.527012e-05,6.516966e-05,6.476351e-05,6.443902e-05,6.429075e-05,6.376040e-05,6.337102e-05,6.318049e-05,6.255794e-05,6.212679e-05,6.189906e-05,6.120947e-05,6.075435e-05,6.049416e-05,5.975751e-05,5.929180e-05,5.900344e-05,5.823548e-05,5.776936e-05,5.745677e-05,5.667006e-05,5.621109e-05,5.587782e-05,5.508220e-05,5.463591e-05,5.428515e-05,5.348835e-05,5.305873e-05,5.269333e-05,5.190141e-05,5.149122e-05,5.111374e-05,5.033133e-05,4.994238e-05,4.955507e-05,4.878573e-05,4.841911e-05,4.802398e-05,4.727039e-05,4.692661e-05,4.652545e-05,4.578958e-05,4.546877e-05,4.506314e-05,4.434642e-05,4.404835e-05,4.363966e-05,4.294305e-05,4.266729e-05,4.225676e-05,4.158091e-05,4.132684e-05,4.091557e-05,4.026081e-05,4.002769e-05,3.961665e-05,3.898311e-05,3.877013e-05,3.836018e-05,3.774781e-05,3.755408e-05,3.714597e-05,3.655460e-05,3.637922e-05,3.597363e-05,3.540298e-05,3.524504e-05,3.484256e-05,3.429226e-05,3.415083e-05,3.375199e-05,3.322163e-05,3.309581e-05,3.270107e-05,3.219019e-05,3.207908e-05,3.168886e-05,3.119696e-05,3.109970e-05,3.071436e-05,3.024093e-05,3.015668e-05,2.977654e-05,2.932106e-05,2.924900e-05,2.887434e-05,2.843627e-05,2.837562e-05,2.800669e-05,2.758549e-05,2.753551e-05,2.717253e-05,2.676767e-05,2.672763e-05,2.637079e-05,2.598174e-05,2.595096e-05,2.560041e-05,2.522667e-05,2.520448e-05,2.486037e-05,2.450141e-05,2.448720e-05,2.414965e-05,2.380497e-05,2.379815e-05,2.346725e-05,2.313637e-05,2.250093e-05,2.189092e-05,2.130547e-05,2.074371e-05,2.020483e-05,1.968800e-05,1.919245e-05,1.871743e-05,1.826220e-05,1.782605e-05,1.740831e-05,1.700830e-05,1.662539e-05,1.625896e-05,1.590842e-05,1.557318e-05,1.525268e-05,1.494639e-05,1.465379e-05,1.437437e-05,1.410765e-05,1.385316e-05,1.361044e-05,1.337906e-05,1.315861e-05,1.294865e-05,1.274882e-05,1.255872e-05,1.237798e-05,1.220626e-05,1.204321e-05,1.188850e-05,1.174181e-05,1.160283e-05,1.147126e-05,1.134682e-05,1.122923e-05,1.111822e-05,1.101353e-05,1.091491e-05,1.082212e-05,1.073492e-05,1.065309e-05,1.057642e-05,1.050469e-05,1.043769e-05,1.037524e-05,1.031715e-05,1.026322e-05
0.000000e+00,4.914138e-09,6.030124e-08,6.284807e-08,3.732253e-07,1.321481e-06,1.381374e-06,3.441903e-06,6.066743e-06,6.244049e-06,9.220901e-06,1.189085e-05,1.211754e-05,1.486723e-05,1.720488e-05,1.745656e-05,1.988590e-05,2.189455e-05,2.215929e-05,2.428198e-05,2.599130e-05,2.625967e-05,2.809827e-05,2.953961e-05,2.980379e-05,3.138223e-05,3.258590e-05,3.283953e-05,3.418155e-05,3.517600e-05,3.541399e-05,3.654238e-05,3.735375e-05,3.757208e-05,3.850826e-05,3.916026e-05,3.935587e-05,4.011967e-05,4.063361e-05,4.080422e-05,4.141389e-05,4.180884e-05,4.195285e-05,4.242509e-05,4.271799e-05,4.283440e-05,4.318442e-05,4.339034e-05,4.347861e-05,4.372027e-05,4.385252e-05,4.391254e-05,4.405841e-05,4.412874e-05,4.416073e-05,4.422222e-05,4.424097e-05,4.424544e-05,4.423285e-05,4.420909e-05,4.418679e-05,4.410946e-05,4.405112e-05,4.400298e-05,4.386934e-05,4.378335e-05,4.371044e-05,4.352808e-05,4.342046e-05,4.332397e-05,4.309973e-05,4.297568e-05,4.285690e-05,4.259692e-05,4.246094e-05,4.232119e-05,4.203100e-05,4.188694e-05,4.172759e-05,4.141214e-05,4.126329e-05,4.108575e-05,4.074946e-05,4.059862e-05,4.040427e-05,4.005110e-05,3.990061e-05,3.969085e-05,3.932434e-05,3.917616e-05,3.895235e-05,3.857564e-05,3.843139e-05,3.819489e-05,3.781076e-05,3.767176e-05,3.742387e-05,3.703480e-05,3.690211e-05,3.664409e-05,3.625227e-05,3.612673e-05,3.585980e-05,3.546715e-05,3.534938e-05,3.507472e-05,3.468293e-05,3.457339e-05,3.429213e-05,3.390267e-05,3.380167e-05,3.351487e-05,3.312903e-05,3.303676e-05,3.274544e-05,3.236433e-05,3.228085e-05,3.198597e-05,3.161056e-05,3.153585e-05,3.123831e-05,3.086941e-05,3.080338e-05,3.050404e-05,3.014234e-05,3.008483e-05,2.978448e-05,2.943058e-05,2.938135e-05,2.908075e-05,2.873511e-05,2.869392e-05,2.839376e-05,2.805678e-05,2.802333e-05,2.772425e-05,2.739624e-05,2.737019e-05,2.707280e-05,2.675400e-05,2.673502e-05,2.643987e-05,2.613045e-05,2.611817e-05,2.582576e-05,2.552584e-05,2.551989e-05,2.523070e-05,2.494035e-05,2.437962e-05,2.383768e-05,2.331445e-05,2.280982e-05,2.232358e-05,2.185551e-05,2.140534e-05,2.097276e-05,2.055746e-05,2.015906e-05,1.977721e-05,1.941150e-05,1.906155e-05,1.872693e-05,1.840722e-05,1.810202e-05,1.781088e-05,1.753337e-05,1.726908e-05,1.701757e-05,1.677843e-05,1.655122e-05,1.633554e-05,1.613098e-05,1.593714e-05,1.575361e-05,1.558002e-05,1.541598e-05,1.526112e-05,1.511507e-05,1.497749e-05,1.484801e-05,1.472632e-05,1.461207e-05,1.450495e-05,1.440466e-05,1.431088e-05,1.422332e-05,1.414171e-05,1.406576e-05,1.399522e-05,1.392983e-05,1.386933e-05,1.381349e-05,1.376208e-05,1.371487e-05,1.367165e-05,1.363220e-05,1.359634e-05
0.000000e+00,8.699609e-11,1.160313e-08,1.246668e-08,2.354485e-07,1.816242e-06,1.954023e-06,9.378237e-06,2.768693e-05,2.934486e-05,6.596695e-05,1.123250e-04,1.167668e-04,1.753544e-04,2.297077e-04,2.356921e-04,2.939123e-04,3.418616e-04,3.481262e-04,3.976677e-04,4.364844e-04,4.424793e-04,4.827613e-04,5.133106e-04,5.188059e-04,5.509272e-04,5.745559e-04,5.794337e-04,6.046194e-04,6.225626e-04,6.267595e-04,6.461107e-04,6.594222e-04,6.629108e-04,6.773797e-04,6.869426e-04,6.897206e-04,7.001208e-04,7.066692e-04,7.087523e-04,7.157736e-04,7.199138e-04,7.213298e-04,7.255542e-04,7.277848e-04,7.285691e-04,7.304867e-04,7.312166e-04,7.314096e-04,7.314320e-04,7.309956e-04,7.306400e-04,7.291128e-04,7.277832e-04,7.269227e-04,7.241357e-04,7.221349e-04,7.208126e-04,7.170088e-04,7.145171e-04,7.127751e-04,7.081579e-04,7.053210e-04,7.031996e-04,6.979390e-04,6.948743e-04,6.924115e-04,6.866497e-04,6.834514e-04,6.806831e-04,6.745387e-04,6.712816e-04,6.682412e-04,6.618130e-04,6.585564e-04,6.552748e-04,6.486452e-04,6.454356e-04,6.419412e-04,6.351784e-04,6.320517e-04,6.283709e-04,6.215316e-04,6.185152e-04,6.146720e-04,6.078027e-04,6.049171e-04,6.009334e-04,5.940728e-04,5.913328e-04,5.872287e-04,5.804082e-04,5.778239e-04,5.736177e-04,5.668630e-04,5.644411e-04,5.601493e-04,5.534812e-04,5.512253e-04,5.468630e-04,5.402983e-04,5.382094e-04,5.337904e-04,5.273423e-04,5.254199e-04,5.209566e-04,5.146355e-04,5.128775e-04,5.083811e-04,5.021950e-04,5.005981e-04,4.960789e-04,4.900339e-04,4.885938e-04,4.840611e-04,4.781615e-04,4.768735e-04,4.723357e-04,4.665843e-04,4.654430e-04,4.609078e-04,4.553065e-04,4.543062e-04,4.497805e-04,4.443300e-04,4.434649e-04,4.389549e-04,4.336553e-04,4.329193e-04,4.284308e-04,4.232813e-04,4.226684e-04,4.182064e-04,4.132059e-04,4.127099e-04,4.082793e-04,4.034261e-04,4.030410e-04,3.986459e-04,3.939381e-04,3.936579e-04,3.893021e-04,3.847374e-04,3.845563e-04,3.802433e-04,3.758192e-04,3.757314e-04,3.714644e-04,3.671783e-04,3.588914e-04,3.508653e-04,3.430941e-04,3.355721e-04,3.282932e-04,3.212516e-04,3.144413e-04,3.078564e-04,3.014912e-04,2.953397e-04,2.893962e-04,2.836551e-04,2.781108e-04,2.727579e-04,2.675910e-04,2.626049e-04,2.577944e-04,2.531545e-04,2.486802e-04,2.443668e-04,2.402096e-04,2.362039e-04,2.323454e-04,2.286297e-04,2.250525e-04,2.216097e-04,2.182972e-04,2.151112e-04,2.120478e-04,2.091033e-04,2.062740e-04,2.035564e-04,2.009471e-04,1.984428e-04,1.960402e-04,1.937360e-04,1.915273e-04,1.894111e-04,1.873844e-04,1.854444e-04,1.835883e-04,1.818134e-04,1.801172e-04,1.784971e-04,1.769507e-04,1.754754e-04,1.740691e-04,1.727294e-04,1.714541e-04
0.000000e+00,7.717137e-11,9.420376e-09,1.009752e-08,1.678624e-07,1.171783e-06,1.256686e-06,5.734260e-06,1.688798e-05,1.791548e-05,4.118086e-05,7.127389e-05,7.414594e-05,1.110354e-04,1.424296e-04,1.456596e-04,1.742589e-04,1.935344e-04,1.957474e-04,2.107031e-04,2.192747e-04,2.203565e-04,2.259938e-04,2.284313e-04,2.287064e-04,2.293370e-04,2.287416e-04,2.285060e-04,2.266591e-04,2.246664e-04,2.241131e-04,2.210925e-04,2.185110e-04,2.177564e-04,2.142184e-04,2.114452e-04,2.105594e-04,2.068375e-04,2.040677e-04,2.030942e-04,1.993588e-04,1.966861e-04,1.956521e-04,1.919888e-04,1.894559e-04,1.883791e-04,1.848301e-04,1.824538e-04,1.813464e-04,1.779310e-04,1.757151e-04,1.745856e-04,1.713111e-04,1.692528e-04,1.681078e-04,1.649754e-04,1.630685e-04,1.619130e-04,1.589201e-04,1.571572e-04,1.559954e-04,1.531380e-04,1.515110e-04,1.503466e-04,1.476199e-04,1.461207e-04,1.449565e-04,1.423553e-04,1.409760e-04,1.398149e-04,1.373340e-04,1.360670e-04,1.349113e-04,1.325455e-04,1.313835e-04,1.302353e-04,1.279794e-04,1.269155e-04,1.257766e-04,1.236257e-04,1.226534e-04,1.215256e-04,1.194749e-04,1.185880e-04,1.174727e-04,1.155176e-04,1.147104e-04,1.136088e-04,1.117450e-04,1.110118e-04,1.099252e-04,1.081483e-04,1.074842e-04,1.064135e-04,1.047196e-04,1.041196e-04,1.030657e-04,1.014509e-04,1.009106e-04,9.987417e-05,9.833470e-05,9.784979e-05,9.683158e-05,9.536394e-05,9.493044e-05,9.393093e-05,9.253174e-05,9.214591e-05,9.116555e-05,8.983158e-05,8.948993e-05,8.852907e-05,8.725726e-05,8.695651e-05,8.601541e-05,8.480282e-05,8.453991e-05,8.361879e-05,8.246262e-05,8.223468e-05,8.133366e-05,8.023126e-05,8.003559e-05,7.915477e-05,7.810358e-05,7.793770e-05,7.707708e-05,7.607469e-05,7.593624e-05,7.509582e-05,7.413991e-05,7.402672e-05,7.320641e-05,7.229478e-05,7.220480e-05,7.140451e-05,7.053506e-05,7.046639e-05,6.968596e-05,6.885671e-05,6.880758e-05,6.804684e-05,6.725587e-05,6.722462e-05,6.648336e-05,6.572887e-05,6.571396e-05,6.499196e-05,6.427222e-05,6.289615e-05,6.158269e-05,6.032889e-05,5.913197e-05,5.798925e-05,5.689821e-05,5.585642e-05,5.486157e-05,5.391149e-05,5.300407e-05,5.213732e-05,5.130936e-05,5.051837e-05,4.976263e-05,4.904049e-05,4.835041e-05,4.769088e-05,4.706049e-05,4.645789e-05,4.588180e-05,4.533098e-05,4.480428e-05,4.430057e-05,4.381880e-05,4.335796e-05,4.291709e-05,4.249527e-05,4.209163e-05,4.170534e-05,4.133559e-05,4.098165e-05,4.064279e-05,4.031832e-05,4.000759e-05,3.970998e-05,3.942490e-05,3.915177e-05,3.889006e-05,3.863926e-05,3.839888e-05,3.816845e-05,3.794752e-05,3.773567e-05,3.753250e-05,3.733762e-05,3.715067e-05,3.697129e-05,3.679914e-05,3.663392e-05
0.000000e+00,4.775260e-10,4.257959e-08,4.540673e-08,6.064402e-07,3.510928e-06,3.736005e-06,1.402913e-05,3.478729e-05,3.652796e-05,7.211815e-05,1.124869e-04,1.161676e-04,1.624680e-04,2.026049e-04,2.069011e-04,2.477389e-04,2.803542e-04,2.845616e-04,3.174543e-04,3.427795e-04,3.466555e-04,3.724369e-04,3.916476e-04,3.950674e-04,4.148001e-04,4.289857e-04,4.318727e-04,4.465089e-04,4.566054e-04,4.589188e-04,4.692978e-04,4.761005e-04,4.778269e-04,4.846736e-04,4.888475e-04,4.899925e-04,4.939261e-04,4.960227e-04,4.966057e-04,4.981521e-04,4.986265e-04,4.986763e-04,4.982803e-04,4.975062e-04,4.970580e-04,4.950954e-04,4.933785e-04,4.924714e-04,4.892582e-04,4.868472e-04,4.855221e-04,4.813239e-04,4.784202e-04,4.767189e-04,4.717578e-04,4.685237e-04,4.664871e-04,4.609489e-04,4.575138e-04,4.551818e-04,4.492209e-04,4.456876e-04,4.430982e-04,4.368428e-04,4.332917e-04,4.304810e-04,4.240368e-04,4.205304e-04,4.175319e-04,4.109858e-04,4.075716e-04,4.044164e-04,3.978395e-04,3.945528e-04,3.912695e-04,3.847193e-04,3.815857e-04,3.782005e-04,3.717234e-04,3.687605e-04,3.652971e-04,3.589299e-04,3.561489e-04,3.526288e-04,3.464003e-04,3.438073e-04,3.402499e-04,3.341823e-04,3.317795e-04,3.282019e-04,3.223121e-04,3.200983e-04,3.165159e-04,3.108159e-04,3.087878e-04,3.052141e-04,2.997122e-04,2.978645e-04,2.943114e-04,2.890128e-04,2.873389e-04,2.838169e-04,2.787241e-04,2.772164e-04,2.737346e-04,2.688482e-04,2.674984e-04,2.640646e-04,2.593833e-04,2.581828e-04,2.548036e-04,2.503249e-04,2.492649e-04,2.459461e-04,2.416662e-04,2.407378e-04,2.374841e-04,2.333986e-04,2.325930e-04,2.294083e-04,2.255120e-04,2.248206e-04,2.217082e-04,2.179955e-04,2.174098e-04,2.143723e-04,2.108372e-04,2.103492e-04,2.073885e-04,2.040247e-04,2.036266e-04,2.007442e-04,1.975454e-04,1.972299e-04,1.944267e-04,1.913864e-04,1.911466e-04,1.884231e-04,1.855350e-04,1.853641e-04,1.827206e-04,1.799783e-04,1.798701e-04,1.773065e-04,1.747037e-04,1.746523e-04,1.721683e-04,1.696988e-04,1.649978e-04,1.605377e-04,1.563077e-04,1.522967e-04,1.484946e-04,1.448912e-04,1.414769e-04,1.382426e-04,1.351794e-04,1.322787e-04,1.295325e-04,1.269331e-04,1.244730e-04,1.221452e-04,1.199429e-04,1.178598e-04,1.158897e-04,1.140269e-04,1.122658e-04,1.106012e-04,1.090281e-04,1.075417e-04,1.061375e-04,1.048113e-04,1.035590e-04,1.023767e-04,1.012608e-04,1.002078e-04,9.921444e-05,9.827752e-05,9.739410e-05,9.656137e-05,9.577666e-05,9.503744e-05,9.434130e-05,9.368597e-05,9.306929e-05,9.248921e-05,9.194379e-05,9.143119e-05,9.094966e-05,9.049755e-05,9.007330e-05,8.967540e-05,8.930247e-05,8.895315e-05,8.862618e-05,8.832037e-05,8.803457e-05
0.000000e+00,3.465474e-09,5.147779e-08,5.374134e-08,3.416266e-07,1.284680e-06,1.346334e-06,3.580298e-06,6.637860e-06,6.847538e-06,1.031757e-05,1.325607e-05,1.349581e-05,1.627291e-05,1.843793e-05,1.866009e-05,2.069407e-05,2.222296e-05,2.241401e-05,2.385645e-05,2.490019e-05,2.505430e-05,2.603700e-05,2.671548e-05,2.683079e-05,2.745902e-05,2.786526e-05,2.794245e-05,2.829954e-05,2.850530e-05,2.854664e-05,2.869820e-05,2.875835e-05,2.876698e-05,2.876424e-05,2.872048e-05,2.869990e-05,2.858270e-05,2.846647e-05,2.842028e-05,2.821939e-05,2.805427e-05,2.798593e-05,2.772507e-05,2.752860e-05,2.744131e-05,2.713858e-05,2.692365e-05,2.682030e-05,2.648944e-05,2.626544e-05,2.614858e-05,2.580003e-05,2.557386e-05,2.544580e-05,2.508760e-05,2.486420e-05,2.472696e-05,2.436518e-05,2.414808e-05,2.400349e-05,2.364304e-05,2.343490e-05,2.328468e-05,2.292905e-05,2.273132e-05,2.257675e-05,2.222826e-05,2.204180e-05,2.188398e-05,2.154425e-05,2.136949e-05,2.120935e-05,2.087951e-05,2.071654e-05,2.055489e-05,2.023566e-05,2.008437e-05,1.992191e-05,1.961374e-05,1.947386e-05,1.931118e-05,1.901427e-05,1.888542e-05,1.872302e-05,1.843742e-05,1.831915e-05,1.815745e-05,1.788309e-05,1.777490e-05,1.761429e-05,1.735100e-05,1.725238e-05,1.709316e-05,1.684071e-05,1.675114e-05,1.659358e-05,1.635169e-05,1.627063e-05,1.611496e-05,1.588332e-05,1.581025e-05,1.565667e-05,1.543494e-05,1.536937e-05,1.521804e-05,1.500589e-05,1.494733e-05,1.479840e-05,1.459547e-05,1.454345e-05,1.439704e-05,1.420300e-05,1.415707e-05,1.401326e-05,1.382776e-05,1.378751e-05,1.364639e-05,1.346908e-05,1.343410e-05,1.329575e-05,1.312630e-05,1.309621e-05,1.296066e-05,1.279876e-05,1.277319e-05,1.264050e-05,1.248583e-05,1.246445e-05,1.233465e-05,1.218689e-05,1.216939e-05,1.204249e-05,1.190137e-05,1.188743e-05,1.176345e-05,1.162868e-05,1.161803e-05,1.149697e-05,1.136828e-05,1.136065e-05,1.124252e-05,1.111964e-05,1.111478e-05,1.099957e-05,1.088225e-05,1.087993e-05,1.076763e-05,1.065563e-05,1.044143e-05,1.023689e-05,1.004159e-05,9.855141e-06,9.677151e-06,9.507258e-06,9.345108e-06,9.190366e-06,9.042709e-06,8.901827e-06,8.767426e-06,8.639223e-06,8.516945e-06,8.400333e-06,8.289139e-06,8.183124e-06,8.082062e-06,7.985733e-06,7.893929e-06,7.806450e-06,7.723104e-06,7.643710e-06,7.568091e-06,7.496080e-06,7.427516e-06,7.362246e-06,7.300123e-06,7.241006e-06,7.184760e-06,7.131257e-06,7.080374e-06,7.031993e-06,6.986001e-06,6.942290e-06,6.900756e-06,6.861302e-06,6.823833e-06,6.788258e-06,6.754491e-06,6.722449e-06,6.692054e-06,6.663229e-06,6.635903e-06,6.610006e-06,6.585473e-06,6.562240e-06,6.540247e-06,6.519435e-06,6.499751e-06
0.000000e+00,8.666094e-13,2.542735e-10,2.774377e-10,1.031377e-08,1.297329e-07,1.421059e-07,1.035065e-06,4.447404e-06,4.829562e-06,1.642466e-05,4.135110e-05,4.447634e-05,1.017993e-04,1.921711e-04,2.051190e-04,3.742905e-04,5.949616e-04,6.311637e-04,9.982847e-04,1.418953e-03,1.497591e-03,2.149222e-03,2.827097e-03,2.970522e-03,3.975289e-03,4.943069e-03,5.173264e-03,6.569880e-03,7.831057e-03,8.166206e-03,9.959100e-03,1.148960e-02,1.194151e-02,1.410287e-02,1.585693e-02,1.642961e-02,1.890563e-02,2.082346e-02,2.151292e-02,2.423201e-02,2.624759e-02,2.704256e-02,2.992378e-02,3.197153e-02,3.285486e-02,3.581538e-02,3.783524e-02,3.878560e-02,4.174671e-02,4.368744e-02,4.468108e-02,4.757237e-02,4.939322e-02,5.040564e-02,5.316748e-02,5.483864e-02,5.584595e-02,5.843068e-02,5.993275e-02,6.091275e-02,6.328472e-02,6.460757e-02,6.554052e-02,6.767537e-02,6.881669e-02,6.968573e-02,7.156918e-02,7.253295e-02,7.332433e-02,7.495070e-02,7.574562e-02,7.644868e-02,7.781937e-02,7.845751e-02,7.906454e-02,8.018652e-02,8.068212e-02,8.118811e-02,8.207252e-02,8.244096e-02,8.284330e-02,8.350428e-02,8.376135e-02,8.405948e-02,8.451311e-02,8.467437e-02,8.486947e-02,8.513294e-02,8.521331e-02,8.530795e-02,8.539891e-02,8.541235e-02,8.541022e-02,8.534623e-02,8.530559e-02,8.521123e-02,8.500940e-02,8.492629e-02,8.474486e-02,8.442157e-02,8.430635e-02,8.404343e-02,8.361416e-02,8.347595e-02,8.313737e-02,8.261656e-02,8.246330e-02,8.205504e-02,8.145604e-02,8.129454e-02,8.082261e-02,8.015768e-02,7.999372e-02,7.946404e-02,7.874435e-02,7.858278e-02,7.800115e-02,7.723684e-02,7.708165e-02,7.645369e-02,7.565388e-02,7.550830e-02,7.483943e-02,7.401229e-02,7.387890e-02,7.317428e-02,7.232713e-02,7.220789e-02,7.147244e-02,7.061176e-02,7.050815e-02,6.974652e-02,6.887805e-02,6.879108e-02,6.800764e-02,6.713647e-02,6.706677e-02,6.626564e-02,6.539619e-02,6.534408e-02,6.452909e-02,6.366524e-02,6.363077e-02,6.280550e-02,6.195063e-02,6.193359e-02,6.110137e-02,6.025840e-02,5.861023e-02,5.699340e-02,5.541157e-02,5.386780e-02,5.236464e-02,5.090417e-02,4.948806e-02,4.811761e-02,4.679378e-02,4.551726e-02,4.428847e-02,4.310764e-02,4.197476e-02,4.088965e-02,3.985199e-02,3.886132e-02,3.791704e-02,3.701848e-02,3.616485e-02,3.535529e-02,3.458888e-02,3.386463e-02,3.318151e-02,3.253842e-02,3.193426e-02,3.136786e-02,3.083805e-02,3.034362e-02,2.988335e-02,2.945601e-02,2.906036e-02,2.869514e-02,2.835911e-02,2.805100e-02,2.776958e-02,2.751359e-02,2.728179e-02,2.707297e-02,2.688591e-02,2.671941e-02,2.657230e-02,2.644341e-02,2.633162e-02,2.623580e-02,2.615488e-02,2.608779e-02,2.603351e-02,2.599104e-02,2.595940e-02
0.000000e+00,2.095287e-09,1.050357e-07,1.109726e-07,1.038192e-06,4.956755e-06,5.243207e-06,1.756058e-05,4.070058e-05,4.258948e-05,8.019042e-05,1.212351e-04,1.249165e-04,1.706442e-04,2.098041e-04,2.139887e-04,2.538359e-04,2.858743e-04,2.900277e-04,3.226990e-04,3.481408e-04,3.520605e-04,3.783357e-04,3.981823e-04,4.017437e-04,4.224944e-04,4.376668e-04,4.407864e-04,4.568065e-04,4.681053e-04,4.707305e-04,4.827226e-04,4.908342e-04,4.929359e-04,5.015135e-04,5.070207e-04,5.085884e-04,5.142844e-04,5.176795e-04,5.187163e-04,5.219911e-04,5.236888e-04,5.242086e-04,5.254607e-04,5.258088e-04,5.258329e-04,5.254049e-04,5.246944e-04,5.242500e-04,5.224361e-04,5.209088e-04,5.200263e-04,5.170792e-04,5.149360e-04,5.136485e-04,5.097840e-04,5.071906e-04,5.055320e-04,5.009348e-04,4.980274e-04,4.960319e-04,4.908593e-04,4.877489e-04,4.854505e-04,4.798362e-04,4.766132e-04,4.740449e-04,4.681024e-04,4.648391e-04,4.620327e-04,4.558578e-04,4.526121e-04,4.495979e-04,4.432715e-04,4.400887e-04,4.368954e-04,4.304852e-04,4.274003e-04,4.240549e-04,4.176174e-04,4.146570e-04,4.111844e-04,4.047667e-04,4.019502e-04,3.983738e-04,3.920146e-04,3.893557e-04,3.856969e-04,3.794278e-04,3.769353e-04,3.732138e-04,3.670606e-04,3.647394e-04,3.609732e-04,3.549563e-04,3.528082e-04,3.490137e-04,3.431492e-04,3.411735e-04,3.373657e-04,3.316658e-04,3.298600e-04,3.260520e-04,3.205261e-04,3.188857e-04,3.150898e-04,3.097443e-04,3.082640e-04,3.044908e-04,2.993300e-04,2.980035e-04,2.942626e-04,2.892889e-04,2.881091e-04,2.844090e-04,2.796231e-04,2.785828e-04,2.749310e-04,2.703324e-04,2.694238e-04,2.658268e-04,2.614138e-04,2.606293e-04,2.570928e-04,2.528629e-04,2.521945e-04,2.487234e-04,2.446735e-04,2.441136e-04,2.407121e-04,2.368382e-04,2.363792e-04,2.330508e-04,2.293488e-04,2.289832e-04,2.257310e-04,2.221961e-04,2.219169e-04,2.187431e-04,2.153707e-04,2.151709e-04,2.120775e-04,2.088624e-04,2.087354e-04,2.057239e-04,2.026609e-04,2.026004e-04,1.996719e-04,1.967558e-04,1.911914e-04,1.858969e-04,1.808622e-04,1.760773e-04,1.715323e-04,1.672175e-04,1.631234e-04,1.592409e-04,1.555609e-04,1.520747e-04,1.487738e-04,1.456502e-04,1.426958e-04,1.399032e-04,1.372649e-04,1.347738e-04,1.324233e-04,1.302067e-04,1.281177e-04,1.261504e-04,1.242990e-04,1.225579e-04,1.209218e-04,1.193857e-04,1.179446e-04,1.165940e-04,1.153293e-04,1.141463e-04,1.130409e-04,1.120092e-04,1.110475e-04,1.101522e-04,1.093199e-04,1.085474e-04,1.078316e-04,1.071695e-04,1.065582e-04,1.059952e-04,1.054777e-04,1.050034e-04,1.045698e-04,1.041749e-04,1.038163e-04,1.034922e-04,1.032005e-04,1.029394e-04,1.027071e-04,1.025020e-04,1.023225e-04
0.000000e+00,1.746803e-09,2.962831e-08,3.099298e-08,1.907529e-07,6.038098e-07,6.275681e-07,1.358709e-06,2.167043e-06,2.219187e-06,3.069771e-06,3.805878e-06,3.867496e-06,4.605073e-06,5.218236e-06,5.283491e-06,5.905557e-06,6.408872e-06,6.474434e-06,6.993278e-06,7.401808e-06,7.465154e-06,7.893013e-06,8.220467e-06,8.279678e-06,8.627849e-06,8.886423e-06,8.940083e-06,9.218809e-06,9.419208e-06,9.466318e-06,9.684776e-06,9.836319e-06,9.876218e-06,1.004256e-05,1.015331e-05,1.018561e-05,1.030703e-05,1.038391e-05,1.040844e-05,1.049129e-05,1.054025e-05,1.055699e-05,1.060682e-05,1.063292e-05,1.064201e-05,1.066370e-05,1.067128e-05,1.067295e-05,1.067075e-05,1.066349e-05,1.065804e-05,1.063567e-05,1.061666e-05,1.060445e-05,1.056513e-05,1.053700e-05,1.051842e-05,1.046496e-05,1.042991e-05,1.040537e-05,1.034021e-05,1.030008e-05,1.027001e-05,1.019527e-05,1.015160e-05,1.011644e-05,1.003394e-05,9.988008e-06,9.948174e-06,9.859508e-06,9.812370e-06,9.768284e-06,9.674818e-06,9.627337e-06,9.579404e-06,9.482316e-06,9.435194e-06,9.383807e-06,9.284109e-06,9.237910e-06,9.183441e-06,9.082002e-06,9.037173e-06,8.979977e-06,8.877538e-06,8.834429e-06,8.774842e-06,8.672035e-06,8.630911e-06,8.569249e-06,8.466609e-06,8.427667e-06,8.364226e-06,8.262205e-06,8.225585e-06,8.160641e-06,8.059619e-06,8.025410e-06,7.959219e-06,7.859514e-06,7.827765e-06,7.760567e-06,7.662439e-06,7.633168e-06,7.565183e-06,7.468847e-06,7.442044e-06,7.373475e-06,7.279105e-06,7.254738e-06,7.185772e-06,7.093506e-06,7.071524e-06,7.002334e-06,6.912278e-06,6.892618e-06,6.823360e-06,6.735597e-06,6.718184e-06,6.649002e-06,6.563589e-06,6.548341e-06,6.479366e-06,6.396342e-06,6.383170e-06,6.314521e-06,6.233908e-06,6.222718e-06,6.154504e-06,6.076309e-06,6.067007e-06,5.999324e-06,5.923544e-06,5.916033e-06,5.848968e-06,5.775590e-06,5.769771e-06,5.703404e-06,5.632404e-06,5.628181e-06,5.562582e-06,5.493931e-06,5.491209e-06,5.426441e-06,5.360103e-06,5.358788e-06,5.294906e-06,5.230840e-06,5.107282e-06,4.988023e-06,4.872968e-06,4.762016e-06,4.655065e-06,4.552012e-06,4.452750e-06,4.357174e-06,4.265177e-06,4.176653e-06,4.091498e-06,4.009608e-06,3.930880e-06,3.855214e-06,3.782510e-06,3.712672e-06,3.645604e-06,3.581214e-06,3.519411e-06,3.460106e-06,3.403214e-06,3.348651e-06,3.296335e-06,3.246188e-06,3.198132e-06,3.152093e-06,3.107998e-06,3.065778e-06,3.025364e-06,2.986690e-06,2.949694e-06,2.914312e-06,2.880486e-06,2.848158e-06,2.817271e-06,2.787772e-06,2.759608e-06,2.732730e-06,2.707087e-06,2.682633e-06,2.659323e-06,2.637112e-06,2.615957e-06,2.595819e-06,2.576656e-06,2.558431e-06,2.541107e-06,2.524648e-06,2.509019e-06
0.000000e+00,9.147926e-11,1.135097e-08,1.217836e-08,2.157715e-07,1.603773e-06,1.723945e-06,8.262006e-06,2.517230e-05,2.675397e-05,6.329999e-05,1.126576e-04,1.175144e-04,1.830194e-04,2.454795e-04,2.524263e-04,3.205488e-04,3.772584e-04,3.847027e-04,4.438493e-04,4.905407e-04,4.977804e-04,5.466390e-04,5.839574e-04,5.906964e-04,6.302579e-04,6.595584e-04,6.656295e-04,6.971071e-04,7.196753e-04,7.249724e-04,7.494919e-04,7.664570e-04,7.709175e-04,7.894860e-04,8.018244e-04,8.054196e-04,8.189265e-04,8.274742e-04,8.302012e-04,8.394251e-04,8.448918e-04,8.467671e-04,8.523844e-04,8.553689e-04,8.564230e-04,8.590184e-04,8.600236e-04,8.602966e-04,8.603739e-04,8.598198e-04,8.593583e-04,8.573498e-04,8.555863e-04,8.544408e-04,8.507168e-04,8.480336e-04,8.462569e-04,8.411340e-04,8.377705e-04,8.354158e-04,8.291645e-04,8.253173e-04,8.224375e-04,8.152880e-04,8.111181e-04,8.077650e-04,7.999139e-04,7.955524e-04,7.917758e-04,7.833891e-04,7.789416e-04,7.747891e-04,7.660080e-04,7.615589e-04,7.570754e-04,7.480183e-04,7.436341e-04,7.388618e-04,7.296286e-04,7.253614e-04,7.203396e-04,7.110140e-04,7.069035e-04,7.016689e-04,6.923202e-04,6.883962e-04,6.829824e-04,6.736687e-04,6.699527e-04,6.643910e-04,6.551600e-04,6.516666e-04,6.459856e-04,6.368764e-04,6.336146e-04,6.278403e-04,6.188844e-04,6.158589e-04,6.100151e-04,6.012380e-04,5.984496e-04,5.925581e-04,5.839798e-04,5.814267e-04,5.755070e-04,5.671430e-04,5.648210e-04,5.588908e-04,5.507527e-04,5.486557e-04,5.427308e-04,5.348270e-04,5.329478e-04,5.270425e-04,5.193785e-04,5.177087e-04,5.118358e-04,5.044151e-04,5.029456e-04,4.971165e-04,4.899403e-04,4.886616e-04,4.828864e-04,4.759546e-04,4.748568e-04,4.691445e-04,4.624555e-04,4.615287e-04,4.558871e-04,4.494384e-04,4.486726e-04,4.431086e-04,4.368966e-04,4.362818e-04,4.308014e-04,4.248220e-04,4.243486e-04,4.189570e-04,4.132052e-04,4.128637e-04,4.075654e-04,4.020361e-04,4.018172e-04,3.966159e-04,3.913035e-04,3.911984e-04,3.860974e-04,3.809960e-04,3.711985e-04,3.617939e-04,3.527704e-04,3.441158e-04,3.358182e-04,3.278655e-04,3.202461e-04,3.129482e-04,3.059605e-04,2.992716e-04,2.928708e-04,2.867472e-04,2.808905e-04,2.752905e-04,2.699375e-04,2.648219e-04,2.599346e-04,2.552665e-04,2.508091e-04,2.465539e-04,2.424931e-04,2.386187e-04,2.349232e-04,2.313996e-04,2.280407e-04,2.248399e-04,2.217907e-04,2.188869e-04,2.161224e-04,2.134916e-04,2.109890e-04,2.086090e-04,2.063467e-04,2.041971e-04,2.021554e-04,2.002172e-04,1.983779e-04,1.966335e-04,1.949799e-04,1.934131e-04,1.919295e-04,1.905255e-04,1.891976e-04,1.879425e-04,1.867571e-04,1.856382e-04,1.845831e-04,1.835888e-04,1.826526e-04
0.000000e+00,4.374735e-09,5.632681e-08,5.871128e-08,3.489129e-07,1.249454e-06,1.307352e-06,3.402429e-06,6.415943e-06,6.632590e-06,1.042569e-05,1.394205e-05,1.424157e-05,1.786484e-05,2.091700e-05,2.124359e-05,2.437342e-05,2.692793e-05,2.726221e-05,2.992103e-05,3.203262e-05,3.236160e-05,3.459564e-05,3.632099e-05,3.663457e-05,3.848949e-05,3.988072e-05,4.017108e-05,4.168954e-05,4.279344e-05,4.305464e-05,4.427567e-05,4.513377e-05,4.536148e-05,4.632046e-05,4.696941e-05,4.716063e-05,4.788956e-05,4.836160e-05,4.851445e-05,4.904210e-05,4.936543e-05,4.947896e-05,4.983112e-05,5.003034e-05,5.010435e-05,5.030411e-05,5.040061e-05,5.043553e-05,5.050348e-05,5.051580e-05,5.051255e-05,5.046707e-05,5.041123e-05,5.037112e-05,5.022855e-05,5.011834e-05,5.004298e-05,4.981785e-05,4.966512e-05,4.955636e-05,4.926154e-05,4.907641e-05,4.893625e-05,4.858317e-05,4.837425e-05,4.820481e-05,4.780355e-05,4.757813e-05,4.738160e-05,4.694106e-05,4.670528e-05,4.648388e-05,4.601189e-05,4.577089e-05,4.552682e-05,4.503028e-05,4.478830e-05,4.452376e-05,4.400869e-05,4.376925e-05,4.348638e-05,4.295805e-05,4.272398e-05,4.242486e-05,4.188787e-05,4.166144e-05,4.134808e-05,4.080641e-05,4.058941e-05,4.026372e-05,3.972082e-05,3.951461e-05,3.917844e-05,3.863726e-05,3.844286e-05,3.809793e-05,3.756102e-05,3.737913e-05,3.702708e-05,3.649660e-05,3.632765e-05,3.597003e-05,3.544779e-05,3.529203e-05,3.493027e-05,3.441781e-05,3.427527e-05,3.391071e-05,3.340928e-05,3.327987e-05,3.291376e-05,3.242439e-05,3.230788e-05,3.194136e-05,3.146487e-05,3.136094e-05,3.099508e-05,3.053211e-05,3.044035e-05,3.007610e-05,2.962716e-05,2.954710e-05,2.918535e-05,2.875077e-05,2.868191e-05,2.832346e-05,2.790347e-05,2.784526e-05,2.749083e-05,2.708555e-05,2.703742e-05,2.668766e-05,2.629714e-05,2.625849e-05,2.591399e-05,2.553818e-05,2.550843e-05,2.516969e-05,2.480849e-05,2.478704e-05,2.445452e-05,2.410775e-05,2.409403e-05,2.376813e-05,2.343558e-05,2.342900e-05,2.311005e-05,2.279148e-05,2.218092e-05,2.159673e-05,2.103826e-05,2.050485e-05,1.999578e-05,1.951033e-05,1.904776e-05,1.860733e-05,1.818828e-05,1.778986e-05,1.741133e-05,1.705195e-05,1.671097e-05,1.638770e-05,1.608141e-05,1.579141e-05,1.551703e-05,1.525761e-05,1.501251e-05,1.478111e-05,1.456279e-05,1.435697e-05,1.416309e-05,1.398060e-05,1.380896e-05,1.364768e-05,1.349625e-05,1.335420e-05,1.322109e-05,1.309646e-05,1.297991e-05,1.287102e-05,1.276941e-05,1.267472e-05,1.258658e-05,1.250466e-05,1.242864e-05,1.235819e-05,1.229303e-05,1.223287e-05,1.217744e-05,1.212648e-05,1.207974e-05,1.203699e-05,1.199801e-05,1.196258e-05,1.193050e-05,1.190157e-05,1.187561e-05
0.000000e+00,2.081331e-09,2.597053e-08,2.707488e-08,1.609586e-07,5.646670e-07,5.901240e-07,1.480629e-06,2.679999e-06,2.763361e-06,4.181618e-06,5.451011e-06,5.557743e-06,6.833993e-06,7.888148e-06,7.999784e-06,9.057485e-06,9.903312e-06,1.001274e-05,1.087191e-05,1.153881e-05,1.164136e-05,1.232725e-05,1.284314e-05,1.293547e-05,1.347162e-05,1.386119e-05,1.394098e-05,1.434855e-05,1.463328e-05,1.469902e-05,1.499679e-05,1.519512e-05,1.524598e-05,1.545043e-05,1.557812e-05,1.561375e-05,1.573929e-05,1.580971e-05,1.583018e-05,1.588934e-05,1.591382e-05,1.591949e-05,1.592317e-05,1.591126e-05,1.590272e-05,1.586034e-05,1.582003e-05,1.579805e-05,1.571773e-05,1.565570e-05,1.562114e-05,1.550989e-05,1.543171e-05,1.538550e-05,1.524935e-05,1.515961e-05,1.510274e-05,1.494685e-05,1.484933e-05,1.478279e-05,1.461159e-05,1.450939e-05,1.443417e-05,1.425142e-05,1.414704e-05,1.406412e-05,1.387303e-05,1.376849e-05,1.367880e-05,1.348208e-05,1.337899e-05,1.328343e-05,1.308337e-05,1.298296e-05,1.288238e-05,1.268091e-05,1.258415e-05,1.247936e-05,1.227808e-05,1.218568e-05,1.207742e-05,1.187767e-05,1.179015e-05,1.167911e-05,1.148199e-05,1.139968e-05,1.128653e-05,1.109292e-05,1.101604e-05,1.090135e-05,1.071197e-05,1.064061e-05,1.052493e-05,1.034035e-05,1.027452e-05,1.015834e-05,9.978999e-06,9.918644e-06,9.802404e-06,9.628628e-06,9.573624e-06,9.457727e-06,9.289753e-06,9.239937e-06,9.124742e-06,8.962727e-06,8.917902e-06,8.803729e-06,8.647763e-06,8.607710e-06,8.494840e-06,8.344960e-06,8.309442e-06,8.198122e-06,8.054316e-06,8.023085e-06,7.913532e-06,7.775751e-06,7.748554e-06,7.640954e-06,7.509117e-06,7.485699e-06,7.380213e-06,7.254212e-06,7.234319e-06,7.131082e-06,7.010789e-06,6.994172e-06,6.893297e-06,6.778568e-06,6.764984e-06,6.666563e-06,6.557242e-06,6.546455e-06,6.450562e-06,6.346481e-06,6.338266e-06,6.244957e-06,6.145944e-06,6.140082e-06,6.049399e-06,5.955277e-06,5.951562e-06,5.863534e-06,5.774122e-06,5.772358e-06,5.686999e-06,5.602118e-06,5.440492e-06,5.287132e-06,5.141695e-06,5.003843e-06,4.873244e-06,4.749577e-06,4.632527e-06,4.521790e-06,4.417071e-06,4.318084e-06,4.224555e-06,4.136220e-06,4.052823e-06,3.974122e-06,3.899881e-06,3.829877e-06,3.763896e-06,3.701731e-06,3.643188e-06,3.588079e-06,3.536225e-06,3.487458e-06,3.441614e-06,3.398540e-06,3.358090e-06,3.320122e-06,3.284505e-06,3.251112e-06,3.219823e-06,3.190524e-06,3.163108e-06,3.137471e-06,3.113516e-06,3.091151e-06,3.070287e-06,3.050841e-06,3.032736e-06,3.015895e-06,3.000247e-06,2.985727e-06,2.972269e-06,2.959814e-06,2.948304e-06,2.937685e-06,2.927907e-06,2.918919e-06,2.910677e-06,2.903136e-06,2.896256e-06
0.000000e+00,6.906748e-10,6.849316e-09,7.105703e-09,3.360783e-08,9.961409e-08,1.035046e-07,2.324846e-07,4.022857e-07,4.143067e-07,6.262076e-07,8.261607e-07,8.432214e-07,1.047019e-06,1.211166e-06,1.228150e-06,1.384117e-06,1.501347e-06,1.515966e-06,1.625949e-06,1.704924e-06,1.716525e-06,1.790035e-06,1.840156e-06,1.848604e-06,1.894134e-06,1.922926e-06,1.928309e-06,1.952615e-06,1.965840e-06,1.968362e-06,1.976701e-06,1.978716e-06,1.978641e-06,1.975074e-06,1.969165e-06,1.966782e-06,1.954451e-06,1.943082e-06,1.938682e-06,1.920004e-06,1.905015e-06,1.898877e-06,1.875693e-06,1.858426e-06,1.850796e-06,1.824491e-06,1.805936e-06,1.797044e-06,1.768710e-06,1.749638e-06,1.739717e-06,1.710241e-06,1.691193e-06,1.680433e-06,1.650427e-06,1.631774e-06,1.620336e-06,1.590259e-06,1.572255e-06,1.560281e-06,1.530474e-06,1.513290e-06,1.500902e-06,1.471616e-06,1.455358e-06,1.442661e-06,1.414075e-06,1.398804e-06,1.385890e-06,1.358130e-06,1.343871e-06,1.330818e-06,1.303969e-06,1.290723e-06,1.277598e-06,1.251715e-06,1.239466e-06,1.226326e-06,1.201436e-06,1.190156e-06,1.177049e-06,1.153165e-06,1.142816e-06,1.129785e-06,1.106905e-06,1.097445e-06,1.084525e-06,1.062638e-06,1.054021e-06,1.041241e-06,1.020328e-06,1.012507e-06,9.998932e-07,9.799297e-07,9.728569e-07,9.604306e-07,9.413886e-07,9.350171e-07,9.227962e-07,9.046454e-07,8.989292e-07,8.869285e-07,8.696372e-07,8.645316e-07,8.527634e-07,8.362989e-07,8.317611e-07,8.202356e-07,8.045651e-07,8.005542e-07,7.892794e-07,7.743702e-07,7.708471e-07,7.598295e-07,7.456493e-07,7.425773e-07,7.318217e-07,7.183389e-07,7.156830e-07,7.051931e-07,6.923768e-07,6.901042e-07,6.798824e-07,6.677027e-07,6.657827e-07,6.558304e-07,6.442583e-07,6.426618e-07,6.329796e-07,6.219873e-07,6.206871e-07,6.112747e-07,6.008354e-07,5.998062e-07,5.906627e-07,5.807504e-07,5.799685e-07,5.710924e-07,5.616824e-07,5.611256e-07,5.525148e-07,5.435835e-07,5.432311e-07,5.348830e-07,5.264077e-07,5.262405e-07,5.181523e-07,5.101112e-07,4.948026e-07,4.802758e-07,4.664936e-07,4.534206e-07,4.410228e-07,4.292681e-07,4.181256e-07,4.075659e-07,3.975609e-07,3.880841e-07,3.791099e-07,3.706140e-07,3.625733e-07,3.549657e-07,3.477704e-07,3.409671e-07,3.345370e-07,3.284617e-07,3.227240e-07,3.173073e-07,3.121961e-07,3.073752e-07,3.028305e-07,2.985484e-07,2.945158e-07,2.907206e-07,2.871509e-07,2.837955e-07,2.806439e-07,2.776858e-07,2.749116e-07,2.723121e-07,2.698785e-07,2.676023e-07,2.654758e-07,2.634912e-07,2.616414e-07,2.599195e-07,2.583189e-07,2.568333e-07,2.554569e-07,2.541839e-07,2.530089e-07,2.519269e-07,2.509328e-07,2.500221e-07,2.491902e-07,2.484330e-07,2.477464e-07
0.000000e+00,3.268888e-09,1.611405e-07,1.709303e-07,1.827304e-06,8.067729e-06,8.475696e-06,2.253152e-05,3.989649e-05,4.104305e-05,5.985149e-05,7.613214e-05,7.749293e-05,9.375669e-05,1.072440e-04,1.086777e-04,1.223287e-04,1.333524e-04,1.347869e-04,1.461281e-04,1.550439e-04,1.564253e-04,1.657484e-04,1.728757e-04,1.741638e-04,1.817340e-04,1.873523e-04,1.885180e-04,1.945717e-04,1.989239e-04,1.999472e-04,2.046936e-04,2.079888e-04,2.088569e-04,2.124794e-04,2.148952e-04,2.156006e-04,2.182573e-04,2.199452e-04,2.204851e-04,2.223173e-04,2.234088e-04,2.237844e-04,2.249147e-04,2.255196e-04,2.257345e-04,2.262684e-04,2.264799e-04,2.265392e-04,2.265682e-04,2.264645e-04,2.263752e-04,2.259786e-04,2.256259e-04,2.253956e-04,2.246423e-04,2.240962e-04,2.237334e-04,2.226827e-04,2.219897e-04,2.215031e-04,2.202066e-04,2.194053e-04,2.188041e-04,2.173060e-04,2.164288e-04,2.157218e-04,2.140604e-04,2.131340e-04,2.123300e-04,2.105382e-04,2.095846e-04,2.086921e-04,2.067983e-04,2.058354e-04,2.048628e-04,2.028912e-04,2.019335e-04,2.008887e-04,1.988601e-04,1.979195e-04,1.968099e-04,1.947422e-04,1.938278e-04,1.926607e-04,1.905689e-04,1.896880e-04,1.884700e-04,1.863671e-04,1.855253e-04,1.842627e-04,1.821595e-04,1.813610e-04,1.800597e-04,1.779654e-04,1.772132e-04,1.758785e-04,1.738009e-04,1.730968e-04,1.717340e-04,1.696794e-04,1.690248e-04,1.676384e-04,1.656123e-04,1.650075e-04,1.636020e-04,1.616086e-04,1.610536e-04,1.596330e-04,1.576760e-04,1.571703e-04,1.557382e-04,1.538204e-04,1.533631e-04,1.519230e-04,1.500466e-04,1.496367e-04,1.481916e-04,1.463584e-04,1.459944e-04,1.445473e-04,1.427585e-04,1.424389e-04,1.409923e-04,1.392488e-04,1.389720e-04,1.375282e-04,1.358306e-04,1.355948e-04,1.341561e-04,1.325047e-04,1.323081e-04,1.308765e-04,1.292713e-04,1.291120e-04,1.276892e-04,1.261301e-04,1.260064e-04,1.245939e-04,1.230806e-04,1.229906e-04,1.215900e-04,1.201220e-04,1.200638e-04,1.186765e-04,1.172532e-04,1.172249e-04,1.158520e-04,1.144728e-04,1.118060e-04,1.092230e-04,1.067220e-04,1.043015e-04,1.019595e-04,9.969438e-05,9.750415e-05,9.538699e-05,9.334099e-05,9.136429e-05,8.945498e-05,8.761122e-05,8.583115e-05,8.411297e-05,8.245487e-05,8.085511e-05,7.931196e-05,7.782371e-05,7.638871e-05,7.500534e-05,7.367199e-05,7.238714e-05,7.114925e-05,6.995687e-05,6.880855e-05,6.770290e-05,6.663857e-05,6.561422e-05,6.462858e-05,6.368038e-05,6.276843e-05,6.189153e-05,6.104854e-05,6.023835e-05,5.945988e-05,5.871207e-05,5.799392e-05,5.730444e-05,5.664266e-05,5.600766e-05,5.539854e-05,5.481442e-05,5.425445e-05,5.371782e-05,5.320373e-05,5.271140e-05,5.224008e-05,5.178906e-05,5.135762e-05
0.000000e+00,5.262957e-09,1.084298e-07,1.137945e-07,8.117254e-07,2.775288e-06,2.888699e-06,6.221706e-06,9.489964e-06,9.687912e-06,1.273607e-05,1.512543e-05,1.531557e-05,1.747516e-05,1.910686e-05,1.927169e-05,2.075661e-05,2.184134e-05,2.197477e-05,2.296495e-05,2.365980e-05,2.376060e-05,2.439050e-05,2.480973e-05,2.487939e-05,2.524844e-05,2.547445e-05,2.551580e-05,2.569696e-05,2.578878e-05,2.580515e-05,2.585164e-05,2.585131e-05,2.584605e-05,2.579655e-05,2.573391e-05,2.571014e-05,2.559273e-05,2.548891e-05,2.544940e-05,2.528445e-05,2.515439e-05,2.510156e-05,2.490383e-05,2.475804e-05,2.469394e-05,2.447413e-05,2.432000e-05,2.424634e-05,2.401220e-05,2.385488e-05,2.377311e-05,2.353025e-05,2.337331e-05,2.328462e-05,2.303709e-05,2.288298e-05,2.278838e-05,2.253911e-05,2.238950e-05,2.228981e-05,2.204092e-05,2.189690e-05,2.179281e-05,2.154581e-05,2.140807e-05,2.130018e-05,2.105615e-05,2.092511e-05,2.081391e-05,2.057362e-05,2.044948e-05,2.033541e-05,2.009939e-05,1.998224e-05,1.986566e-05,1.963428e-05,1.952407e-05,1.940532e-05,1.917882e-05,1.907547e-05,1.895483e-05,1.873336e-05,1.863672e-05,1.851444e-05,1.829809e-05,1.820799e-05,1.808432e-05,1.787312e-05,1.778936e-05,1.766450e-05,1.745845e-05,1.738083e-05,1.725497e-05,1.705405e-05,1.698234e-05,1.685567e-05,1.665982e-05,1.659380e-05,1.646648e-05,1.627564e-05,1.621510e-05,1.608728e-05,1.590139e-05,1.584609e-05,1.571793e-05,1.553689e-05,1.548663e-05,1.535824e-05,1.518198e-05,1.513653e-05,1.500806e-05,1.483648e-05,1.479564e-05,1.466720e-05,1.450020e-05,1.446377e-05,1.433547e-05,1.417297e-05,1.414074e-05,1.401268e-05,1.385459e-05,1.382636e-05,1.369865e-05,1.354486e-05,1.352045e-05,1.339319e-05,1.324360e-05,1.322283e-05,1.309609e-05,1.295062e-05,1.293330e-05,1.280718e-05,1.266573e-05,1.265170e-05,1.252626e-05,1.238875e-05,1.237783e-05,1.225316e-05,1.211948e-05,1.211152e-05,1.198768e-05,1.185774e-05,1.185258e-05,1.172965e-05,1.160336e-05,1.160086e-05,1.147888e-05,1.135617e-05,1.111834e-05,1.088721e-05,1.066262e-05,1.044441e-05,1.023242e-05,1.002650e-05,9.826498e-06,9.632263e-06,9.443655e-06,9.260532e-06,9.082757e-06,8.910193e-06,8.742711e-06,8.580180e-06,8.422474e-06,8.269471e-06,8.121050e-06,7.977094e-06,7.837488e-06,7.702121e-06,7.570881e-06,7.443664e-06,7.320365e-06,7.200881e-06,7.085114e-06,6.972966e-06,6.864344e-06,6.759154e-06,6.657307e-06,6.558714e-06,6.463290e-06,6.370952e-06,6.281617e-06,6.195206e-06,6.111641e-06,6.030846e-06,5.952748e-06,5.877274e-06,5.804354e-06,5.733919e-06,5.665903e-06,5.600239e-06,5.536864e-06,5.475715e-06,5.416733e-06,5.359857e-06,5.305030e-06,5.252196e-06,5.201299e-06
0.000000e+00,1.393770e-11,2.501322e-09,2.699659e-09,5.998336e-08,5.143341e-07,5.559194e-07,3.072925e-06,1.098361e-05,1.180706e-05,3.444270e-05,7.612891e-05,8.096087e-05,1.602835e-04,2.634583e-04,2.767798e-04,4.287985e-04,5.866762e-04,6.095839e-04,8.094921e-04,9.888714e-04,1.018273e-03,1.226719e-03,1.396145e-03,1.427520e-03,1.615477e-03,1.757672e-03,1.787322e-03,1.941353e-03,2.051366e-03,2.077040e-03,2.194658e-03,2.274354e-03,2.295000e-03,2.379163e-03,2.433070e-03,2.448391e-03,2.503981e-03,2.537092e-03,2.547214e-03,2.579321e-03,2.596200e-03,2.601457e-03,2.614696e-03,2.619202e-03,2.620025e-03,2.618347e-03,2.613624e-03,2.610481e-03,2.597175e-03,2.585742e-03,2.579102e-03,2.556872e-03,2.540719e-03,2.531035e-03,2.502087e-03,2.482775e-03,2.470476e-03,2.436601e-03,2.415341e-03,2.400823e-03,2.363466e-03,2.341191e-03,2.324820e-03,2.285143e-03,2.262561e-03,2.244667e-03,2.203601e-03,2.181244e-03,2.162127e-03,2.120410e-03,2.098670e-03,2.078596e-03,2.036812e-03,2.015969e-03,1.995174e-03,1.953781e-03,1.934025e-03,1.912720e-03,1.872068e-03,1.853524e-03,1.831892e-03,1.792249e-03,1.774989e-03,1.753189e-03,1.714754e-03,1.698806e-03,1.676979e-03,1.639893e-03,1.625258e-03,1.603522e-03,1.567884e-03,1.554537e-03,1.532994e-03,1.498865e-03,1.486766e-03,1.465503e-03,1.432915e-03,1.422011e-03,1.401101e-03,1.370064e-03,1.360295e-03,1.339799e-03,1.310304e-03,1.301604e-03,1.281572e-03,1.253597e-03,1.245899e-03,1.226371e-03,1.199883e-03,1.193116e-03,1.174124e-03,1.149083e-03,1.143179e-03,1.124749e-03,1.101107e-03,1.095998e-03,1.078147e-03,1.055855e-03,1.051476e-03,1.034217e-03,1.013220e-03,1.009508e-03,9.928507e-04,9.730941e-04,9.699890e-04,9.539366e-04,9.353644e-04,9.328102e-04,9.173634e-04,8.999197e-04,8.978632e-04,8.830195e-04,8.666492e-04,8.650407e-04,8.507951e-04,8.354438e-04,8.342371e-04,8.205822e-04,8.061973e-04,8.053490e-04,7.922760e-04,7.788060e-04,7.782765e-04,7.657749e-04,7.531703e-04,7.529225e-04,7.409805e-04,7.291937e-04,7.070004e-04,6.862566e-04,6.668803e-04,6.487931e-04,6.319206e-04,6.161921e-04,6.015401e-04,5.879012e-04,5.752147e-04,5.634238e-04,5.524742e-04,5.423150e-04,5.328979e-04,5.241775e-04,5.161109e-04,5.086574e-04,5.017789e-04,4.954396e-04,4.896054e-04,4.842444e-04,4.793266e-04,4.748237e-04,4.707089e-04,4.669574e-04,4.635453e-04,4.604507e-04,4.576525e-04,4.551311e-04,4.528681e-04,4.508461e-04,4.490487e-04,4.474606e-04,4.460674e-04,4.448555e-04,4.438122e-04,4.429255e-04,4.421842e-04,4.415778e-04,4.410962e-04,4.407303e-04,4.404712e-04,4.403108e-04,4.402415e-04,4.402559e-04,4.403473e-04,4.405094e-04,4.407363e-04,4.410223e-04,4.413624e-04
0.000000e+00,1.272592e-10,1.869909e-08,2.012741e-08,4.103466e-07,3.328413e-06,3.587362e-06,1.795201e-05,5.498348e-05,5.840988e-05,1.362128e-04,2.388736e-04,2.488908e-04,3.830632e-04,5.095140e-04,5.234703e-04,6.587471e-04,7.683827e-04,7.825147e-04,8.921669e-04,9.748492e-04,9.873163e-04,1.068662e-03,1.127149e-03,1.137337e-03,1.194579e-03,1.233838e-03,1.241599e-03,1.279524e-03,1.304013e-03,1.309386e-03,1.332121e-03,1.345453e-03,1.348574e-03,1.359505e-03,1.364544e-03,1.365600e-03,1.367471e-03,1.366460e-03,1.365666e-03,1.360676e-03,1.355358e-03,1.352937e-03,1.342837e-03,1.334548e-03,1.330719e-03,1.316889e-03,1.306646e-03,1.301617e-03,1.285141e-03,1.273710e-03,1.267670e-03,1.249392e-03,1.237345e-03,1.230467e-03,1.211040e-03,1.198799e-03,1.191236e-03,1.171165e-03,1.159035e-03,1.150924e-03,1.130595e-03,1.118793e-03,1.110251e-03,1.089957e-03,1.078634e-03,1.069766e-03,1.049725e-03,1.038980e-03,1.029875e-03,1.010250e-03,1.000144e-03,9.908798e-04,9.717884e-04,9.623539e-04,9.529965e-04,9.345209e-04,9.257692e-04,9.163754e-04,8.985710e-04,8.904980e-04,8.811163e-04,8.640175e-04,8.566080e-04,8.472792e-04,8.309043e-04,8.241356e-04,8.148942e-04,7.992491e-04,7.930932e-04,7.839682e-04,7.690496e-04,7.634750e-04,7.544906e-04,7.402880e-04,7.352616e-04,7.264379e-04,7.129358e-04,7.084235e-04,6.997768e-04,6.869559e-04,6.829237e-04,6.744674e-04,6.623057e-04,6.587201e-04,6.504649e-04,6.389388e-04,6.357671e-04,6.277214e-04,6.168062e-04,6.140170e-04,6.061871e-04,5.958576e-04,5.934209e-04,5.858114e-04,5.760421e-04,5.739294e-04,5.665435e-04,5.573092e-04,5.554936e-04,5.483331e-04,5.396090e-04,5.380649e-04,5.311308e-04,5.228924e-04,5.215962e-04,5.148881e-04,5.071119e-04,5.060411e-04,4.995582e-04,4.922213e-04,4.913551e-04,4.850956e-04,4.781759e-04,4.774951e-04,4.714567e-04,4.649330e-04,4.644193e-04,4.585994e-04,4.524512e-04,4.520881e-04,4.464834e-04,4.406913e-04,4.404632e-04,4.350701e-04,4.296153e-04,4.295079e-04,4.243225e-04,4.191874e-04,4.094683e-04,4.003189e-04,3.917090e-04,3.836097e-04,3.759937e-04,3.688349e-04,3.621087e-04,3.557916e-04,3.498613e-04,3.442967e-04,3.390776e-04,3.341851e-04,3.296012e-04,3.253086e-04,3.212912e-04,3.175336e-04,3.140212e-04,3.107402e-04,3.076775e-04,3.048208e-04,3.021582e-04,2.996787e-04,2.973717e-04,2.952273e-04,2.932360e-04,2.913888e-04,2.896772e-04,2.880934e-04,2.866296e-04,2.852788e-04,2.840340e-04,2.828889e-04,2.818374e-04,2.808738e-04,2.799926e-04,2.791886e-04,2.784570e-04,2.777933e-04,2.771930e-04,2.766521e-04,2.761666e-04,2.757329e-04,2.753477e-04,2.750075e-04,2.747093e-04,2.744502e-04,2.742275e-04,2.740386e-04,2.738810e-04
0.000000e+00,6.058608e-09,2.148509e-07,2.268176e-07,2.113399e-06,9.160845e-06,9.627217e-06,2.595699e-05,4.629903e-05,4.763935e-05,6.955389e-05,8.840058e-05,8.996992e-05,1.086463e-04,1.240120e-04,1.256383e-04,1.410480e-04,1.533838e-04,1.549813e-04,1.675401e-04,1.773152e-04,1.788211e-04,1.889162e-04,1.965432e-04,1.979122e-04,2.058911e-04,2.117292e-04,2.129302e-04,2.191019e-04,2.234606e-04,2.244742e-04,2.291103e-04,2.322536e-04,2.330694e-04,2.364065e-04,2.385584e-04,2.391727e-04,2.414150e-04,2.427631e-04,2.431775e-04,2.445007e-04,2.452028e-04,2.454225e-04,2.459775e-04,2.461653e-04,2.461982e-04,2.461142e-04,2.458973e-04,2.457532e-04,2.451406e-04,2.446101e-04,2.443000e-04,2.432531e-04,2.424840e-04,2.420197e-04,2.406186e-04,2.396731e-04,2.390666e-04,2.373794e-04,2.363083e-04,2.355716e-04,2.336564e-04,2.325013e-04,2.316461e-04,2.295520e-04,2.283466e-04,2.273844e-04,2.251529e-04,2.239245e-04,2.228664e-04,2.205327e-04,2.193031e-04,2.181593e-04,2.157531e-04,2.145396e-04,2.133201e-04,2.108662e-04,2.096824e-04,2.083965e-04,2.059157e-04,2.047720e-04,2.034282e-04,2.009380e-04,1.998424e-04,1.984487e-04,1.959636e-04,1.949219e-04,1.934857e-04,1.910177e-04,1.900339e-04,1.885621e-04,1.861211e-04,1.851977e-04,1.836966e-04,1.812906e-04,1.804292e-04,1.789046e-04,1.765400e-04,1.757412e-04,1.741983e-04,1.718805e-04,1.711440e-04,1.695877e-04,1.673207e-04,1.666457e-04,1.650803e-04,1.628673e-04,1.622526e-04,1.606822e-04,1.585255e-04,1.579695e-04,1.563977e-04,1.542990e-04,1.537997e-04,1.522298e-04,1.501903e-04,1.497456e-04,1.481806e-04,1.462009e-04,1.458085e-04,1.442512e-04,1.423315e-04,1.419892e-04,1.404419e-04,1.385822e-04,1.382874e-04,1.367524e-04,1.349524e-04,1.347028e-04,1.331820e-04,1.314410e-04,1.312341e-04,1.297293e-04,1.280467e-04,1.278800e-04,1.263929e-04,1.247676e-04,1.246389e-04,1.231707e-04,1.216019e-04,1.215086e-04,1.200608e-04,1.185472e-04,1.184873e-04,1.170608e-04,1.156013e-04,1.155724e-04,1.141683e-04,1.127616e-04,1.100525e-04,1.074424e-04,1.049288e-04,1.025091e-04,1.001806e-04,9.794076e-05,9.578694e-05,9.371658e-05,9.172716e-05,8.981616e-05,8.798113e-05,8.621968e-05,8.452943e-05,8.290808e-05,8.135339e-05,7.986315e-05,7.843521e-05,7.706749e-05,7.575796e-05,7.450463e-05,7.330559e-05,7.215897e-05,7.106294e-05,7.001574e-05,6.901567e-05,6.806105e-05,6.715027e-05,6.628177e-05,6.545404e-05,6.466559e-05,6.391499e-05,6.320088e-05,6.252189e-05,6.187673e-05,6.126414e-05,6.068290e-05,6.013182e-05,5.960975e-05,5.911559e-05,5.864825e-05,5.820668e-05,5.778989e-05,5.739689e-05,5.702672e-05,5.667848e-05,5.635127e-05,5.604423e-05,5.575652e-05,5.548735e-05
0.000000e+00,8.634980e-12,1.791305e-09,1.940385e-09,5.171440e-08,5.062043e-07,5.494410e-07,3.264684e-06,1.187770e-05,1.276565e-05,3.650269e-05,7.789190e-05,8.255593e-05,1.566408e-04,2.487051e-04,2.603692e-04,3.912706e-04,5.247102e-04,5.439650e-04,7.116633e-04,8.625967e-04,8.874522e-04,1.065147e-03,1.212168e-03,1.239719e-03,1.407400e-03,1.537900e-03,1.565591e-03,1.712679e-03,1.821770e-03,1.847823e-03,1.970747e-03,2.058216e-03,2.081577e-03,2.180708e-03,2.248561e-03,2.268696e-03,2.346190e-03,2.397188e-03,2.413886e-03,2.472488e-03,2.509440e-03,2.522688e-03,2.565149e-03,2.590607e-03,2.600503e-03,2.629344e-03,2.645520e-03,2.652226e-03,2.669666e-03,2.678429e-03,2.682142e-03,2.690096e-03,2.693004e-03,2.693938e-03,2.694046e-03,2.692391e-03,2.690766e-03,2.684420e-03,2.679265e-03,2.675303e-03,2.663687e-03,2.655903e-03,2.649820e-03,2.633934e-03,2.624235e-03,2.616239e-03,2.596929e-03,2.585894e-03,2.576184e-03,2.554166e-03,2.542264e-03,2.531026e-03,2.506903e-03,2.494512e-03,2.481922e-03,2.456200e-03,2.443622e-03,2.429843e-03,2.402949e-03,2.390422e-03,2.375606e-03,2.347897e-03,2.335608e-03,2.319895e-03,2.291670e-03,2.279764e-03,2.263282e-03,2.234790e-03,2.223375e-03,2.206243e-03,2.177690e-03,2.166847e-03,2.149172e-03,2.120729e-03,2.110514e-03,2.092395e-03,2.064202e-03,2.054654e-03,2.036179e-03,2.008352e-03,1.999492e-03,1.980743e-03,1.953373e-03,1.945212e-03,1.926261e-03,1.899423e-03,1.891960e-03,1.872874e-03,1.846627e-03,1.839854e-03,1.820693e-03,1.795082e-03,1.788984e-03,1.769802e-03,1.744860e-03,1.739419e-03,1.720264e-03,1.696017e-03,1.691210e-03,1.672125e-03,1.648590e-03,1.644392e-03,1.625415e-03,1.602602e-03,1.598986e-03,1.580153e-03,1.558067e-03,1.555004e-03,1.536345e-03,1.514986e-03,1.512447e-03,1.493990e-03,1.473355e-03,1.471311e-03,1.453079e-03,1.433161e-03,1.431583e-03,1.413598e-03,1.394387e-03,1.393246e-03,1.375527e-03,1.357013e-03,1.356280e-03,1.338843e-03,1.321012e-03,1.320659e-03,1.303519e-03,1.286358e-03,1.253347e-03,1.221595e-03,1.191070e-03,1.161740e-03,1.133572e-03,1.106532e-03,1.080587e-03,1.055703e-03,1.031848e-03,1.008988e-03,9.870908e-04,9.661250e-04,9.460593e-04,9.268631e-04,9.085066e-04,8.909606e-04,8.741967e-04,8.581872e-04,8.429051e-04,8.283243e-04,8.144193e-04,8.011654e-04,7.885387e-04,7.765159e-04,7.650745e-04,7.541928e-04,7.438494e-04,7.340242e-04,7.246971e-04,7.158491e-04,7.074616e-04,6.995167e-04,6.919970e-04,6.848858e-04,6.781669e-04,6.718246e-04,6.658438e-04,6.602097e-04,6.549084e-04,6.499262e-04,6.452497e-04,6.408664e-04,6.367638e-04,6.329301e-04,6.293538e-04,6.260239e-04,6.229295e-04,6.200604e-04,6.174065e-04
0.000000e+00,2.194236e-09,3.628678e-08,3.799786e-08,2.546787e-07,8.621719e-07,8.975285e-07,1.958371e-06,3.053288e-06,3.121634e-06,4.206616e-06,5.105268e-06,5.178879e-06,6.040386e-06,6.727932e-06,6.799495e-06,7.465292e-06,7.980877e-06,8.046411e-06,8.550864e-06,8.929018e-06,8.986028e-06,9.358661e-06,9.627888e-06,9.674946e-06,9.940523e-06,1.012407e-05,1.016052e-05,1.033962e-05,1.045629e-05,1.048203e-05,1.059160e-05,1.065651e-05,1.067180e-05,1.072578e-05,1.075102e-05,1.075637e-05,1.076616e-05,1.076138e-05,1.075746e-05,1.073236e-05,1.070522e-05,1.069277e-05,1.064039e-05,1.059694e-05,1.057675e-05,1.050325e-05,1.044828e-05,1.042114e-05,1.033154e-05,1.026880e-05,1.023546e-05,1.013383e-05,1.006624e-05,1.002745e-05,9.917063e-06,9.846904e-06,9.803331e-06,9.686845e-06,9.615856e-06,9.568137e-06,9.447682e-06,9.377188e-06,9.325906e-06,9.203187e-06,9.134180e-06,9.079864e-06,8.956241e-06,8.889454e-06,8.832584e-06,8.709132e-06,8.645089e-06,8.586096e-06,8.463664e-06,8.402726e-06,8.341999e-06,8.221245e-06,8.163646e-06,8.101531e-06,7.982965e-06,7.928838e-06,7.865645e-06,7.749652e-06,7.699055e-06,7.635059e-06,7.521925e-06,7.474856e-06,7.410301e-06,7.300230e-06,7.256645e-06,7.191748e-06,7.084881e-06,7.044700e-06,6.979651e-06,6.876076e-06,6.839196e-06,6.774167e-06,6.673930e-06,6.640231e-06,6.575370e-06,6.478486e-06,6.447836e-06,6.383275e-06,6.289731e-06,6.261992e-06,6.197846e-06,6.107609e-06,6.082636e-06,6.019008e-06,5.932028e-06,5.909677e-06,5.846654e-06,5.762870e-06,5.742997e-06,5.680658e-06,5.600000e-06,5.582461e-06,5.520875e-06,5.443264e-06,5.427922e-06,5.367146e-06,5.292501e-06,5.279219e-06,5.219306e-06,5.147540e-06,5.136189e-06,5.077182e-06,5.008209e-06,4.998662e-06,4.940598e-06,4.874329e-06,4.866465e-06,4.809377e-06,4.745723e-06,4.739428e-06,4.683343e-06,4.622215e-06,4.617378e-06,4.562318e-06,4.503630e-06,4.500147e-06,4.446130e-06,4.389796e-06,4.387566e-06,4.334607e-06,4.280542e-06,4.279472e-06,4.227582e-06,4.175705e-06,4.076107e-06,3.980525e-06,3.888812e-06,3.800824e-06,3.716422e-06,3.635469e-06,3.557837e-06,3.483397e-06,3.412030e-06,3.343616e-06,3.278042e-06,3.215199e-06,3.154981e-06,3.097286e-06,3.042017e-06,2.989079e-06,2.938380e-06,2.889834e-06,2.843356e-06,2.798865e-06,2.756283e-06,2.715534e-06,2.676547e-06,2.639251e-06,2.603580e-06,2.569469e-06,2.536856e-06,2.505682e-06,2.475889e-06,2.447422e-06,2.420228e-06,2.394256e-06,2.369457e-06,2.345783e-06,2.323190e-06,2.301633e-06,2.281071e-06,2.261463e-06,2.242770e-06,2.224956e-06,2.207984e-06,2.191820e-06,2.176431e-06,2.161784e-06,2.147850e-06,2.134599e-06,2.122002e-06,2.110032e-06,2.098664e-06
0.000000e+00,5.545742e-12,1.474324e-09,1.604098e-09,5.207753e-08,6.072673e-07,6.641015e-07,4.823743e-06,2.182165e-05,2.380513e-05,8.859176e-05,2.454763e-04,2.662993e-04,6.784995e-04,1.407473e-03,1.517791e-03,3.059966e-03,5.286521e-03,5.670437e-03,9.804606e-03,1.498837e-02,1.600254e-02,2.487880e-02,3.489711e-02,3.710841e-02,5.341010e-02,7.033761e-02,7.452789e-02,1.012119e-01,1.270633e-01,1.341996e-01,1.741976e-01,2.106887e-01,2.218651e-01,2.777993e-01,3.261626e-01,3.425227e-01,4.164733e-01,4.773438e-01,4.999962e-01,5.933385e-01,6.667113e-01,6.966465e-01,8.099642e-01,8.952157e-01,9.332345e-01,1.066302e+00,1.162261e+00,1.208917e+00,1.360742e+00,1.465791e+00,1.521356e+00,1.690265e+00,1.802463e+00,1.866907e+00,2.050663e+00,2.167872e+00,2.240863e+00,2.436799e+00,2.556806e+00,2.637728e+00,2.842885e+00,2.963506e+00,3.051488e+00,3.262750e+00,3.381923e+00,3.475880e+00,3.690096e+00,3.805952e+00,3.904626e+00,4.118717e+00,4.229628e+00,4.331640e+00,4.542693e+00,4.647306e+00,4.751202e+00,4.956530e+00,5.053779e+00,5.158076e+00,5.355279e+00,5.444388e+00,5.547616e+00,5.734609e+00,5.815078e+00,5.915819e+00,6.090851e+00,6.162436e+00,6.259352e+00,6.421013e+00,6.483700e+00,6.575564e+00,6.722775e+00,6.776750e+00,6.862458e+00,6.994459e+00,7.040076e+00,7.118663e+00,7.234990e+00,7.272736e+00,7.343389e+00,7.443845e+00,7.474314e+00,7.536368e+00,7.620998e+00,7.644856e+00,7.697797e+00,7.766854e+00,7.784817e+00,7.828276e+00,7.882192e+00,7.894998e+00,7.928746e+00,7.968101e+00,7.976493e+00,8.000430e+00,8.025921e+00,8.030631e+00,8.044774e+00,8.057194e+00,8.058925e+00,8.063398e+00,8.063606e+00,8.063024e+00,8.058046e+00,8.046947e+00,8.044673e+00,8.030543e+00,8.009069e+00,8.005672e+00,7.982761e+00,7.951853e+00,7.947846e+00,7.916581e+00,7.877176e+00,7.873017e+00,7.833870e+00,7.786889e+00,7.782978e+00,7.736457e+00,7.682794e+00,7.679477e+00,7.626116e+00,7.566631e+00,7.564196e+00,7.504546e+00,7.440060e+00,7.438747e+00,7.373368e+00,7.304657e+00,7.163363e+00,7.016208e+00,6.864440e+00,6.709212e+00,6.551580e+00,6.392508e+00,6.232870e+00,6.073454e+00,5.914965e+00,5.758030e+00,5.603204e+00,5.450972e+00,5.301757e+00,5.155921e+00,5.013772e+00,4.875569e+00,4.741526e+00,4.611813e+00,4.486563e+00,4.365875e+00,4.249818e+00,4.138431e+00,4.031731e+00,3.929710e+00,3.832342e+00,3.739582e+00,3.651373e+00,3.567640e+00,3.488300e+00,3.413258e+00,3.342409e+00,3.275644e+00,3.212845e+00,3.153890e+00,3.098654e+00,3.047005e+00,2.998812e+00,2.953941e+00,2.912257e+00,2.873625e+00,2.837910e+00,2.804976e+00,2.774691e+00,2.746921e+00,2.721536e+00,2.698407e+00,2.677409e+00,2.658418e+00,2.641314e+00
0.000000e+00,6.397598e-10,8.700756e-09,9.086422e-09,5.665413e-08,1.969708e-07,2.056019e-07,4.911439e-07,8.339831e-07,8.566072e-07,1.229794e-06,1.555974e-06,1.583338e-06,1.911232e-06,2.184017e-06,2.213048e-06,2.489719e-06,2.713391e-06,2.742509e-06,2.972735e-06,3.153676e-06,3.181699e-06,3.370665e-06,3.514834e-06,3.540851e-06,3.693440e-06,3.806226e-06,3.829562e-06,3.950299e-06,4.036504e-06,4.056679e-06,4.149683e-06,4.213534e-06,4.230231e-06,4.299194e-06,4.344363e-06,4.357391e-06,4.405603e-06,4.435284e-06,4.444562e-06,4.474954e-06,4.491895e-06,4.497423e-06,4.512573e-06,4.519130e-06,4.520973e-06,4.523153e-06,4.521338e-06,4.519612e-06,4.510815e-06,4.502345e-06,4.497201e-06,4.479177e-06,4.465504e-06,4.457125e-06,4.431402e-06,4.413758e-06,4.402342e-06,4.370257e-06,4.349675e-06,4.335437e-06,4.298153e-06,4.275499e-06,4.258658e-06,4.217188e-06,4.193184e-06,4.173962e-06,4.129185e-06,4.104427e-06,4.083046e-06,4.035722e-06,4.010700e-06,3.987377e-06,3.938164e-06,3.913276e-06,3.888224e-06,3.837686e-06,3.813253e-06,3.786674e-06,3.735298e-06,3.711572e-06,3.683663e-06,3.631863e-06,3.609042e-06,3.579987e-06,3.528115e-06,3.506349e-06,3.476324e-06,3.424680e-06,3.404079e-06,3.373247e-06,3.322083e-06,3.302721e-06,3.271238e-06,3.220762e-06,3.202690e-06,3.170698e-06,3.121084e-06,3.104324e-06,3.071957e-06,3.023347e-06,3.007906e-06,2.975285e-06,2.927795e-06,2.913663e-06,2.880900e-06,2.834620e-06,2.821774e-06,2.788973e-06,2.743974e-06,2.732383e-06,2.699637e-06,2.655972e-06,2.645593e-06,2.612988e-06,2.570694e-06,2.561482e-06,2.529095e-06,2.488197e-06,2.480101e-06,2.448001e-06,2.408511e-06,2.401478e-06,2.369727e-06,2.331648e-06,2.325621e-06,2.294275e-06,2.257604e-06,2.252526e-06,2.221633e-06,2.186358e-06,2.182172e-06,2.151776e-06,2.117880e-06,2.114528e-06,2.084666e-06,2.052127e-06,2.049553e-06,2.020257e-06,1.989050e-06,1.987198e-06,1.958497e-06,1.928592e-06,1.927409e-06,1.899327e-06,1.870693e-06,1.870127e-06,1.842682e-06,1.815286e-06,1.762820e-06,1.712660e-06,1.664735e-06,1.618973e-06,1.575303e-06,1.533652e-06,1.493948e-06,1.456121e-06,1.420100e-06,1.385817e-06,1.353203e-06,1.322194e-06,1.292724e-06,1.264731e-06,1.238153e-06,1.212932e-06,1.189011e-06,1.166333e-06,1.144846e-06,1.124496e-06,1.105235e-06,1.087014e-06,1.069786e-06,1.053508e-06,1.038135e-06,1.023628e-06,1.009945e-06,9.970490e-07,9.849035e-07,9.734734e-07,9.627249e-07,9.526259e-07,9.431454e-07,9.342539e-07,9.259229e-07,9.181253e-07,9.108353e-07,9.040278e-07,8.976791e-07,8.917665e-07,8.862681e-07,8.811632e-07,8.764319e-07,8.720551e-07,8.680147e-07,8.642934e-07,8.608745e-07,8.577422e-07,8.548813e-07
0.000000e+00,2.607396e-12,5.915486e-10,6.413271e-10,1.773979e-08,1.882341e-07,2.053032e-07,1.427329e-06,6.335210e-06,6.904340e-06,2.526068e-05,6.852629e-05,7.417728e-05,1.830778e-04,3.666614e-04,3.937304e-04,7.586183e-04,1.254743e-03,1.337605e-03,2.193661e-03,3.198563e-03,3.388388e-03,4.977917e-03,6.653144e-03,7.009545e-03,9.519292e-03,1.195081e-02,1.253045e-02,1.605302e-02,1.923767e-02,2.008396e-02,2.460801e-02,2.846264e-02,2.959906e-02,3.502171e-02,3.940541e-02,4.083307e-02,4.698461e-02,5.172502e-02,5.342388e-02,6.009620e-02,6.501342e-02,6.694610e-02,7.391864e-02,7.884374e-02,8.096049e-02,8.802082e-02,9.280790e-02,9.505192e-02,1.020098e-01,1.065422e-01,1.088544e-01,1.155499e-01,1.197420e-01,1.220648e-01,1.283716e-01,1.321670e-01,1.344471e-01,1.402719e-01,1.436399e-01,1.458305e-01,1.511106e-01,1.540417e-01,1.561031e-01,1.608020e-01,1.633036e-01,1.652036e-01,1.693068e-01,1.713986e-01,1.731123e-01,1.766226e-01,1.783327e-01,1.798420e-01,1.827756e-01,1.841374e-01,1.854302e-01,1.878129e-01,1.888624e-01,1.899319e-01,1.917960e-01,1.925704e-01,1.934142e-01,1.947961e-01,1.953317e-01,1.959512e-01,1.968894e-01,1.972211e-01,1.976205e-01,1.981543e-01,1.983148e-01,1.985006e-01,1.986690e-01,1.986884e-01,1.986690e-01,1.985098e-01,1.984153e-01,1.982004e-01,1.977497e-01,1.975658e-01,1.971661e-01,1.964580e-01,1.962064e-01,1.956333e-01,1.946997e-01,1.943995e-01,1.936646e-01,1.925351e-01,1.922029e-01,1.913182e-01,1.900203e-01,1.896703e-01,1.886477e-01,1.872064e-01,1.868509e-01,1.857022e-01,1.841406e-01,1.837899e-01,1.825268e-01,1.808657e-01,1.805282e-01,1.791621e-01,1.774205e-01,1.771033e-01,1.756452e-01,1.738403e-01,1.735490e-01,1.720096e-01,1.701567e-01,1.698958e-01,1.682853e-01,1.663984e-01,1.661711e-01,1.644993e-01,1.625909e-01,1.623996e-01,1.606759e-01,1.587570e-01,1.586034e-01,1.568366e-01,1.549170e-01,1.548019e-01,1.530004e-01,1.510889e-01,1.510126e-01,1.491845e-01,1.472887e-01,1.472509e-01,1.454035e-01,1.435303e-01,1.398627e-01,1.362582e-01,1.327258e-01,1.292731e-01,1.259065e-01,1.226313e-01,1.194519e-01,1.163720e-01,1.133941e-01,1.105204e-01,1.077523e-01,1.050906e-01,1.025355e-01,1.000870e-01,9.774441e-02,9.550679e-02,9.337288e-02,9.134111e-02,8.940968e-02,8.757651e-02,8.583939e-02,8.419589e-02,8.264348e-02,8.117947e-02,7.980112e-02,7.850552e-02,7.728978e-02,7.615092e-02,7.508595e-02,7.409185e-02,7.316562e-02,7.230426e-02,7.150478e-02,7.076421e-02,7.007962e-02,6.944814e-02,6.886691e-02,6.833317e-02,6.784420e-02,6.739735e-02,6.699007e-02,6.661985e-02,6.628428e-02,6.598104e-02,6.570788e-02,6.546264e-02,6.524325e-02,6.504772e-02,6.487419e-02
0.000000e+00,6.634266e-09,1.510609e-07,1.588980e-07,1.230585e-06,4.314445e-06,4.489379e-06,9.463171e-06,1.438672e-05,1.469597e-05,1.970016e-05,2.402805e-05,2.439157e-05,2.876489e-05,3.243772e-05,3.283089e-05,3.660337e-05,3.969138e-05,4.009620e-05,4.332289e-05,4.589491e-05,4.629644e-05,4.902940e-05,5.114792e-05,5.153374e-05,5.382125e-05,5.554330e-05,5.590345e-05,5.779153e-05,5.916951e-05,5.949632e-05,6.102830e-05,6.210977e-05,6.239754e-05,6.361372e-05,6.444134e-05,6.468607e-05,6.562342e-05,6.623512e-05,6.643419e-05,6.712638e-05,6.755559e-05,6.770756e-05,6.818495e-05,6.846104e-05,6.856538e-05,6.885530e-05,6.900388e-05,6.906083e-05,6.918775e-05,6.923113e-05,6.924154e-05,6.922734e-05,6.918484e-05,6.915003e-05,6.901422e-05,6.890255e-05,6.882424e-05,6.858418e-05,6.841773e-05,6.829790e-05,6.796904e-05,6.776014e-05,6.760101e-05,6.719704e-05,6.695625e-05,6.676016e-05,6.629323e-05,6.602954e-05,6.579892e-05,6.527977e-05,6.500078e-05,6.473814e-05,6.417625e-05,6.388837e-05,6.359620e-05,6.299994e-05,6.270853e-05,6.238932e-05,6.176606e-05,6.147556e-05,6.113176e-05,6.048795e-05,6.020202e-05,5.983603e-05,5.917733e-05,5.889895e-05,5.851308e-05,5.784443e-05,5.757598e-05,5.717245e-05,5.649816e-05,5.624152e-05,5.582248e-05,5.514628e-05,5.490288e-05,5.447037e-05,5.379550e-05,5.356640e-05,5.312235e-05,5.245158e-05,5.223753e-05,5.178377e-05,5.111948e-05,5.092096e-05,5.045921e-05,4.980343e-05,4.962067e-05,4.915255e-05,4.850699e-05,4.834005e-05,4.786708e-05,4.723317e-05,4.708195e-05,4.660553e-05,4.598445e-05,4.584872e-05,4.537016e-05,4.476288e-05,4.464229e-05,4.416281e-05,4.357012e-05,4.346423e-05,4.298495e-05,4.240744e-05,4.231576e-05,4.183772e-05,4.127586e-05,4.119784e-05,4.072197e-05,4.017610e-05,4.011114e-05,3.963831e-05,3.910865e-05,3.905613e-05,3.858713e-05,3.807379e-05,3.803308e-05,3.756863e-05,3.707164e-05,3.704208e-05,3.658283e-05,3.610216e-05,3.608311e-05,3.562962e-05,3.516518e-05,3.515597e-05,3.470878e-05,3.426040e-05,3.339601e-05,3.256237e-05,3.175894e-05,3.098516e-05,3.024041e-05,2.952402e-05,2.883533e-05,2.817361e-05,2.753816e-05,2.692823e-05,2.634309e-05,2.578198e-05,2.524417e-05,2.472890e-05,2.423545e-05,2.376308e-05,2.331108e-05,2.287875e-05,2.246537e-05,2.207028e-05,2.169281e-05,2.133230e-05,2.098812e-05,2.065964e-05,2.034628e-05,2.004743e-05,1.976252e-05,1.949101e-05,1.923236e-05,1.898604e-05,1.875155e-05,1.852840e-05,1.831612e-05,1.811426e-05,1.792236e-05,1.774001e-05,1.756680e-05,1.740232e-05,1.724620e-05,1.709806e-05,1.695755e-05,1.682433e-05,1.669806e-05,1.657843e-05,1.646514e-05,1.635788e-05,1.625638e-05,1.616036e-05,1.606957e-05
0.000000e+00,2.075930e-12,4.920144e-10,5.346039e-10,1.690228e-08,1.973103e-07,2.157086e-07,1.517626e-06,6.328865e-06,6.856885e-06,2.221982e-05,5.264222e-05,5.628527e-05,1.187328e-04,2.063601e-04,2.181611e-04,3.604486e-04,5.230505e-04,5.479225e-04,7.793108e-04,1.010176e-03,1.050263e-03,1.354171e-03,1.629122e-03,1.683079e-03,2.028509e-03,2.318238e-03,2.382142e-03,2.736303e-03,3.015461e-03,3.084274e-03,3.420457e-03,3.671595e-03,3.740404e-03,4.040778e-03,4.254505e-03,4.319249e-03,4.574366e-03,4.747676e-03,4.805420e-03,5.012300e-03,5.146474e-03,5.195370e-03,5.355348e-03,5.454111e-03,5.493217e-03,5.610132e-03,5.678309e-03,5.707360e-03,5.786228e-03,5.828877e-03,5.848081e-03,5.894249e-03,5.916168e-03,5.926032e-03,5.944674e-03,5.950156e-03,5.951363e-03,5.947218e-03,5.939971e-03,5.933289e-03,5.910553e-03,5.893691e-03,5.879918e-03,5.842225e-03,5.818326e-03,5.798250e-03,5.748707e-03,5.719871e-03,5.694252e-03,5.635486e-03,5.603409e-03,5.572959e-03,5.507174e-03,5.473205e-03,5.438590e-03,5.367625e-03,5.332829e-03,5.294660e-03,5.220043e-03,5.185252e-03,5.144089e-03,5.067083e-03,5.032935e-03,4.989285e-03,4.910930e-03,4.877906e-03,4.832230e-03,4.753377e-03,4.721832e-03,4.674543e-03,4.595885e-03,4.566070e-03,4.517542e-03,4.439638e-03,4.411723e-03,4.362286e-03,4.285586e-03,4.259672e-03,4.209625e-03,4.134482e-03,4.110620e-03,4.060225e-03,3.986916e-03,3.965116e-03,3.914607e-03,3.843343e-03,3.823582e-03,3.773164e-03,3.704102e-03,3.686333e-03,3.636186e-03,3.569438e-03,3.553595e-03,3.503878e-03,3.439518e-03,3.425521e-03,3.376370e-03,3.314442e-03,3.302203e-03,3.253738e-03,3.194259e-03,3.183683e-03,3.136005e-03,3.078973e-03,3.069961e-03,3.023158e-03,2.968553e-03,2.961005e-03,2.915150e-03,2.862939e-03,2.856754e-03,2.811910e-03,2.762049e-03,2.757126e-03,2.713344e-03,2.665780e-03,2.662024e-03,2.619344e-03,2.574019e-03,2.571335e-03,2.529791e-03,2.486641e-03,2.484937e-03,2.444554e-03,2.403512e-03,2.402701e-03,2.363497e-03,2.324493e-03,2.250175e-03,2.179607e-03,2.112649e-03,2.049163e-03,1.989010e-03,1.932054e-03,1.878162e-03,1.827203e-03,1.779051e-03,1.733582e-03,1.690676e-03,1.650217e-03,1.612094e-03,1.576198e-03,1.542426e-03,1.510676e-03,1.480854e-03,1.452866e-03,1.426623e-03,1.402041e-03,1.379037e-03,1.357533e-03,1.337455e-03,1.318731e-03,1.301291e-03,1.285071e-03,1.270008e-03,1.256040e-03,1.243112e-03,1.231169e-03,1.220157e-03,1.210027e-03,1.200731e-03,1.192223e-03,1.184461e-03,1.177401e-03,1.171006e-03,1.165236e-03,1.160056e-03,1.155431e-03,1.151329e-03,1.147718e-03,1.144568e-03,1.141851e-03,1.139541e-03,1.137610e-03,1.136035e-03,1.134792e-03,1.133859e-03
0.000000e+00,1.624184e-09,2.909685e-08,3.050993e-08,2.155020e-07,7.627023e-07,7.953761e-07,1.799840e-06,2.875310e-06,2.943789e-06,4.054379e-06,5.011166e-06,5.091192e-06,6.048823e-06,6.844821e-06,6.929541e-06,7.737308e-06,8.391144e-06,8.476336e-06,9.150718e-06,9.681973e-06,9.764369e-06,1.032102e-05,1.074717e-05,1.082424e-05,1.127741e-05,1.161394e-05,1.168377e-05,1.204643e-05,1.230705e-05,1.236830e-05,1.265219e-05,1.284895e-05,1.290072e-05,1.311633e-05,1.325961e-05,1.330135e-05,1.345804e-05,1.355700e-05,1.358850e-05,1.369468e-05,1.375711e-05,1.377839e-05,1.384135e-05,1.387393e-05,1.388515e-05,1.391129e-05,1.391970e-05,1.392117e-05,1.391609e-05,1.390514e-05,1.389727e-05,1.386585e-05,1.383961e-05,1.382288e-05,1.376936e-05,1.373128e-05,1.370621e-05,1.363429e-05,1.358727e-05,1.355441e-05,1.346730e-05,1.341374e-05,1.337366e-05,1.327414e-05,1.321606e-05,1.316933e-05,1.305980e-05,1.299888e-05,1.294607e-05,1.282860e-05,1.276620e-05,1.270787e-05,1.258426e-05,1.252151e-05,1.245818e-05,1.232997e-05,1.226778e-05,1.219998e-05,1.206849e-05,1.200759e-05,1.193580e-05,1.180216e-05,1.174312e-05,1.166782e-05,1.153299e-05,1.147627e-05,1.139789e-05,1.126269e-05,1.120863e-05,1.112758e-05,1.099271e-05,1.094155e-05,1.085822e-05,1.072426e-05,1.067618e-05,1.059094e-05,1.045837e-05,1.041348e-05,1.032665e-05,1.019588e-05,1.015425e-05,1.006614e-05,9.937503e-06,9.899138e-06,9.810039e-06,9.683808e-06,9.648692e-06,9.558866e-06,9.435259e-06,9.403346e-06,9.313032e-06,9.192222e-06,9.163443e-06,9.072862e-06,8.954981e-06,8.929248e-06,8.838603e-06,8.723749e-06,8.700963e-06,8.610436e-06,8.498678e-06,8.478727e-06,8.388486e-06,8.279868e-06,8.262635e-06,8.172830e-06,8.067374e-06,8.052737e-06,7.963503e-06,7.861215e-06,7.849047e-06,7.760507e-06,7.661376e-06,7.651549e-06,7.563814e-06,7.467815e-06,7.460203e-06,7.373370e-06,7.280470e-06,7.274945e-06,7.189103e-06,7.099257e-06,7.095695e-06,7.010920e-06,6.924079e-06,6.922358e-06,6.838719e-06,6.754825e-06,6.592982e-06,6.436702e-06,6.285855e-06,6.140306e-06,5.999916e-06,5.864545e-06,5.734051e-06,5.608294e-06,5.487131e-06,5.370422e-06,5.258030e-06,5.149815e-06,5.045644e-06,4.945384e-06,4.848905e-06,4.756080e-06,4.666784e-06,4.580897e-06,4.498301e-06,4.418880e-06,4.342524e-06,4.269125e-06,4.198576e-06,4.130776e-06,4.065626e-06,4.003030e-06,3.942896e-06,3.885134e-06,3.829656e-06,3.776380e-06,3.725223e-06,3.676109e-06,3.628960e-06,3.583703e-06,3.540269e-06,3.498589e-06,3.458596e-06,3.420229e-06,3.383424e-06,3.348124e-06,3.314271e-06,3.281811e-06,3.250690e-06,3.220857e-06,3.192263e-06,3.164860e-06,3.138603e-06,3.113447e-06,3.089351e-06
0.000000e+00,1.779803e-10,2.130053e-08,2.283698e-08,3.907164e-07,2.782499e-06,2.984385e-06,1.333476e-05,3.715150e-05,3.924267e-05,8.379342e-05,1.372509e-04,1.422530e-04,2.068514e-04,2.651908e-04,2.715544e-04,3.331191e-04,3.836397e-04,3.902443e-04,4.426065e-04,4.838868e-04,4.902882e-04,5.335161e-04,5.665818e-04,5.725587e-04,6.076894e-04,6.337645e-04,6.391743e-04,6.672677e-04,6.874631e-04,6.922108e-04,7.142309e-04,7.295158e-04,7.335423e-04,7.503457e-04,7.615551e-04,7.648292e-04,7.771689e-04,7.850173e-04,7.875294e-04,7.960642e-04,8.011598e-04,8.029168e-04,8.082209e-04,8.110795e-04,8.121011e-04,8.146735e-04,8.157312e-04,8.160462e-04,8.163199e-04,8.159442e-04,8.155882e-04,8.139382e-04,8.124380e-04,8.114510e-04,8.082018e-04,8.058355e-04,8.042605e-04,7.996922e-04,7.966755e-04,7.945571e-04,7.889113e-04,7.854233e-04,7.828065e-04,7.762910e-04,7.724797e-04,7.694093e-04,7.622028e-04,7.581897e-04,7.547095e-04,7.469650e-04,7.428496e-04,7.390020e-04,7.308506e-04,7.267131e-04,7.225387e-04,7.140918e-04,7.099965e-04,7.055338e-04,6.968866e-04,6.928845e-04,6.881703e-04,6.794034e-04,6.755343e-04,6.706027e-04,6.617837e-04,6.580778e-04,6.529607e-04,6.441468e-04,6.406265e-04,6.353540e-04,6.265931e-04,6.232744e-04,6.178739e-04,6.092056e-04,6.060990e-04,6.005961e-04,5.920530e-04,5.891646e-04,5.835828e-04,5.751915e-04,5.725239e-04,5.668847e-04,5.586671e-04,5.562198e-04,5.505428e-04,5.425158e-04,5.402862e-04,5.345894e-04,5.267663e-04,5.247496e-04,5.190491e-04,5.114400e-04,5.096301e-04,5.039407e-04,4.965528e-04,4.949425e-04,4.892774e-04,4.821156e-04,4.806969e-04,4.750680e-04,4.681352e-04,4.668995e-04,4.613175e-04,4.546149e-04,4.535532e-04,4.480275e-04,4.415549e-04,4.406579e-04,4.351969e-04,4.289530e-04,4.282114e-04,4.228226e-04,4.168049e-04,4.162093e-04,4.108992e-04,4.051045e-04,4.046457e-04,3.994200e-04,3.938445e-04,3.935134e-04,3.883769e-04,3.830162e-04,3.828040e-04,3.777611e-04,3.726103e-04,3.725083e-04,3.675626e-04,3.626165e-04,3.531182e-04,3.440025e-04,3.352585e-04,3.268749e-04,3.188405e-04,3.111439e-04,3.037740e-04,2.967194e-04,2.899693e-04,2.835129e-04,2.773394e-04,2.714384e-04,2.657999e-04,2.604138e-04,2.552705e-04,2.503607e-04,2.456753e-04,2.412053e-04,2.369424e-04,2.328781e-04,2.290045e-04,2.253139e-04,2.217988e-04,2.184521e-04,2.152667e-04,2.122361e-04,2.093538e-04,2.066135e-04,2.040093e-04,2.015356e-04,1.991866e-04,1.969573e-04,1.948424e-04,1.928370e-04,1.909364e-04,1.891362e-04,1.874319e-04,1.858193e-04,1.842946e-04,1.828537e-04,1.814931e-04,1.802092e-04,1.789985e-04,1.778578e-04,1.767840e-04,1.757740e-04,1.748250e-04,1.739343e-04,1.730990e-04
0.000000e+00,2.332790e-11,5.876542e-09,6.386805e-09,1.999621e-07,2.340809e-06,2.561937e-06,1.915297e-05,8.942990e-05,9.774440e-05,3.738427e-04,1.053595e-03,1.144249e-03,2.944497e-03,6.130760e-03,6.612437e-03,1.332716e-02,2.296379e-02,2.461933e-02,4.235386e-02,6.439681e-02,6.868859e-02,1.060143e-01,1.477252e-01,1.568822e-01,2.239233e-01,2.928116e-01,3.097668e-01,4.169595e-01,5.196981e-01,5.478913e-01,7.047287e-01,8.462704e-01,8.893583e-01,1.103341e+00,1.286352e+00,1.347877e+00,1.623785e+00,1.848418e+00,1.931487e+00,2.271008e+00,2.534975e+00,2.641982e+00,3.043670e+00,3.342552e+00,3.474975e+00,3.934476e+00,4.262177e+00,4.420455e+00,4.930931e+00,5.280202e+00,5.463699e+00,6.016366e+00,6.379346e+00,6.586387e+00,7.171106e+00,7.539815e+00,7.767787e+00,8.373653e+00,8.740421e+00,8.985915e+00,9.601803e+00,9.959603e+00,1.021859e+01,1.083363e+01,1.117632e+01,1.144434e+01,1.204829e+01,1.237078e+01,1.264313e+01,1.322669e+01,1.352499e+01,1.379691e+01,1.435192e+01,1.462317e+01,1.488998e+01,1.540955e+01,1.565195e+01,1.590922e+01,1.638778e+01,1.660053e+01,1.684416e+01,1.727747e+01,1.746061e+01,1.768695e+01,1.807203e+01,1.822637e+01,1.843225e+01,1.876729e+01,1.889421e+01,1.907698e+01,1.936125e+01,1.946262e+01,1.962017e+01,1.985389e+01,1.993191e+01,2.006267e+01,2.024686e+01,2.030395e+01,2.040687e+01,2.054321e+01,2.058193e+01,2.065645e+01,2.074719e+01,2.077012e+01,2.081610e+01,2.086390e+01,2.087361e+01,2.089134e+01,2.089918e+01,2.089810e+01,2.088822e+01,2.085928e+01,2.084975e+01,2.081319e+01,2.075078e+01,2.073494e+01,2.067289e+01,2.058037e+01,2.056018e+01,2.047405e+01,2.035475e+01,2.033197e+01,2.022331e+01,2.008051e+01,2.005667e+01,1.992716e+01,1.976403e+01,1.974046e+01,1.959187e+01,1.941143e+01,1.938925e+01,1.922340e+01,1.902849e+01,1.900865e+01,1.882737e+01,1.862067e+01,1.860391e+01,1.840902e+01,1.819301e+01,1.817993e+01,1.797322e+01,1.775019e+01,1.774121e+01,1.752444e+01,1.729648e+01,1.729190e+01,1.706676e+01,1.683574e+01,1.637612e+01,1.591607e+01,1.545829e+01,1.500514e+01,1.455869e+01,1.412073e+01,1.369279e+01,1.327616e+01,1.287191e+01,1.248091e+01,1.210386e+01,1.174127e+01,1.139355e+01,1.106093e+01,1.074356e+01,1.044147e+01,1.015461e+01,9.882830e+00,9.625939e+00,9.383670e+00,9.155707e+00,8.941692e+00,8.741231e+00,8.553898e+00,8.379245e+00,8.216803e+00,8.066090e+00,7.926611e+00,7.797864e+00,7.679345e+00,7.570545e+00,7.470961e+00,7.380092e+00,7.297443e+00,7.222528e+00,7.154871e+00,7.094004e+00,7.039475e+00,6.990843e+00,6.947680e+00,6.909576e+00,6.876135e+00,6.846976e+00,6.821736e+00,6.800067e+00,6.781639e+00,6.766139e+00,6.753270e+00,6.742752e+00
0.000000e+00,8.978113e-10,4.981324e-08,5.278388e-08,5.779406e-07,3.089046e-06,3.278802e-06,1.160649e-05,2.698753e-05,2.820508e-05,5.108161e-05,7.352959e-05,7.544424e-05,9.823917e-05,1.166238e-04,1.185368e-04,1.362853e-04,1.499402e-04,1.516688e-04,1.649144e-04,1.747647e-04,1.762431e-04,1.858590e-04,1.927490e-04,1.939476e-04,2.006764e-04,2.052855e-04,2.061961e-04,2.106426e-04,2.135094e-04,2.141377e-04,2.167909e-04,2.183394e-04,2.187003e-04,2.199537e-04,2.205162e-04,2.206297e-04,2.207985e-04,2.206340e-04,2.205228e-04,2.198588e-04,2.191685e-04,2.188563e-04,2.175599e-04,2.164990e-04,2.160093e-04,2.142397e-04,2.129276e-04,2.122827e-04,2.101661e-04,2.086939e-04,2.079148e-04,2.055508e-04,2.039878e-04,2.030937e-04,2.005606e-04,1.989589e-04,1.979671e-04,1.953266e-04,1.937248e-04,1.926511e-04,1.899511e-04,1.883776e-04,1.872359e-04,1.845136e-04,1.829888e-04,1.817915e-04,1.790757e-04,1.776138e-04,1.763717e-04,1.736843e-04,1.722948e-04,1.710175e-04,1.683750e-04,1.670638e-04,1.657597e-04,1.631742e-04,1.619445e-04,1.606209e-04,1.581014e-04,1.569543e-04,1.556174e-04,1.531701e-04,1.521052e-04,1.507606e-04,1.483897e-04,1.474055e-04,1.460579e-04,1.437658e-04,1.428602e-04,1.415137e-04,1.393017e-04,1.384717e-04,1.371299e-04,1.349982e-04,1.342406e-04,1.329066e-04,1.308548e-04,1.301662e-04,1.288425e-04,1.268696e-04,1.262464e-04,1.249355e-04,1.230398e-04,1.224785e-04,1.211821e-04,1.193620e-04,1.188590e-04,1.175789e-04,1.158323e-04,1.153841e-04,1.141216e-04,1.124464e-04,1.120495e-04,1.108059e-04,1.091997e-04,1.088509e-04,1.076272e-04,1.060877e-04,1.057837e-04,1.045807e-04,1.031056e-04,1.028435e-04,1.016619e-04,1.002488e-04,1.000255e-04,9.886592e-05,9.751261e-05,9.732547e-05,9.618828e-05,9.489240e-05,9.473877e-05,9.362438e-05,9.238368e-05,9.226109e-05,9.116976e-05,8.998207e-05,8.988817e-05,8.882008e-05,8.768327e-05,8.761585e-05,8.657112e-05,8.548314e-05,8.544011e-05,8.441881e-05,8.337766e-05,8.335707e-05,8.235920e-05,8.136297e-05,7.945416e-05,7.762717e-05,7.587861e-05,7.420526e-05,7.260399e-05,7.107182e-05,6.960587e-05,6.820338e-05,6.686172e-05,6.557832e-05,6.435077e-05,6.317673e-05,6.205395e-05,6.098028e-05,5.995366e-05,5.897213e-05,5.803378e-05,5.713680e-05,5.627946e-05,5.546007e-05,5.467706e-05,5.392888e-05,5.321406e-05,5.253121e-05,5.187896e-05,5.125604e-05,5.066119e-05,5.009324e-05,4.955105e-05,4.903352e-05,4.853960e-05,4.806831e-05,4.761868e-05,4.718978e-05,4.678074e-05,4.639071e-05,4.601889e-05,4.566449e-05,4.532677e-05,4.500502e-05,4.469856e-05,4.440673e-05,4.412890e-05,4.386448e-05,4.361288e-05,4.337356e-05,4.314598e-05,4.292964e-05,4.272406e-05
0.000000e+00,3.067550e-11,6.492871e-09,7.037953e-09,1.855662e-07,1.647479e-06,1.778449e-06,9.010255e-06,2.756439e-05,2.928869e-05,6.914867e-05,1.241123e-04,1.296211e-04,2.057501e-04,2.810318e-04,2.895159e-04,3.730629e-04,4.416991e-04,4.505417e-04,5.185327e-04,5.683250e-04,5.756582e-04,6.219374e-04,6.530173e-04,6.581910e-04,6.856087e-04,7.024015e-04,7.054773e-04,7.190289e-04,7.260712e-04,7.273711e-04,7.314628e-04,7.322302e-04,7.321149e-04,7.300039e-04,7.268998e-04,7.256895e-04,7.196309e-04,7.142482e-04,7.122035e-04,7.037133e-04,6.970838e-04,6.944089e-04,6.844923e-04,6.772753e-04,6.741271e-04,6.634462e-04,6.560582e-04,6.525564e-04,6.415441e-04,6.342432e-04,6.304787e-04,6.194158e-04,6.123578e-04,6.083997e-04,5.974656e-04,5.907402e-04,5.866415e-04,5.759496e-04,5.696053e-04,5.654071e-04,5.550270e-04,5.490850e-04,5.448193e-04,5.347911e-04,5.292558e-04,5.249477e-04,5.152925e-04,5.101575e-04,5.058271e-04,4.965524e-04,4.918049e-04,4.874682e-04,4.785739e-04,4.741975e-04,4.698680e-04,4.613490e-04,4.573254e-04,4.530143e-04,4.448617e-04,4.411719e-04,4.368885e-04,4.290919e-04,4.257166e-04,4.214691e-04,4.140172e-04,4.109375e-04,4.067329e-04,3.996132e-04,3.968106e-04,3.926548e-04,3.858545e-04,3.833112e-04,3.792093e-04,3.727160e-04,3.704150e-04,3.663716e-04,3.601729e-04,3.580980e-04,3.541169e-04,3.482006e-04,3.463363e-04,3.424208e-04,3.367749e-04,3.351067e-04,3.312598e-04,3.258727e-04,3.243869e-04,3.206109e-04,3.154717e-04,3.141552e-04,3.104522e-04,3.055499e-04,3.043905e-04,3.007622e-04,2.960865e-04,2.950726e-04,2.915203e-04,2.870613e-04,2.861821e-04,2.827070e-04,2.784550e-04,2.777003e-04,2.743031e-04,2.702490e-04,2.696093e-04,2.662906e-04,2.624256e-04,2.618918e-04,2.586519e-04,2.549674e-04,2.545312e-04,2.513702e-04,2.478583e-04,2.475117e-04,2.444297e-04,2.410825e-04,2.408182e-04,2.378149e-04,2.346250e-04,2.344360e-04,2.315110e-04,2.284713e-04,2.283513e-04,2.255041e-04,2.226078e-04,2.225506e-04,2.197807e-04,2.170212e-04,2.117510e-04,2.067282e-04,2.019416e-04,1.973805e-04,1.930347e-04,1.888945e-04,1.849504e-04,1.811937e-04,1.776156e-04,1.742081e-04,1.709634e-04,1.678740e-04,1.649328e-04,1.621331e-04,1.594683e-04,1.569322e-04,1.545189e-04,1.522228e-04,1.500384e-04,1.479606e-04,1.459845e-04,1.441054e-04,1.423187e-04,1.406203e-04,1.390059e-04,1.374718e-04,1.360141e-04,1.346293e-04,1.333141e-04,1.320651e-04,1.308793e-04,1.297536e-04,1.286854e-04,1.276719e-04,1.267105e-04,1.257988e-04,1.249344e-04,1.241151e-04,1.233388e-04,1.226034e-04,1.219070e-04,1.212477e-04,1.206238e-04,1.200336e-04,1.194754e-04,1.189477e-04,1.184491e-04,1.179782e-04,1.175336e-04
0.000000e+00,4.277068e-09,1.036836e-07,1.091730e-07,9.127571e-07,3.584619e-06,3.751044e-06,9.070512e-06,1.496471e-05,1.534210e-05,2.147342e-05,2.676516e-05,2.720812e-05,3.251337e-05,3.693038e-05,3.740091e-05,4.189148e-05,4.553235e-05,4.600717e-05,4.976966e-05,5.273892e-05,5.319991e-05,5.631804e-05,5.871023e-05,5.914338e-05,6.169433e-05,6.359372e-05,6.398847e-05,6.604251e-05,6.752355e-05,6.787230e-05,6.949282e-05,7.062068e-05,7.091822e-05,7.216193e-05,7.299343e-05,7.323658e-05,7.415397e-05,7.473814e-05,7.492518e-05,7.556057e-05,7.593947e-05,7.606993e-05,7.646245e-05,7.667233e-05,7.674675e-05,7.693110e-05,7.700343e-05,7.702340e-05,7.703074e-05,7.699233e-05,7.695983e-05,7.681688e-05,7.669030e-05,7.660773e-05,7.633786e-05,7.614230e-05,7.601238e-05,7.563605e-05,7.538770e-05,7.521332e-05,7.474835e-05,7.446086e-05,7.424504e-05,7.370702e-05,7.339184e-05,7.313769e-05,7.254020e-05,7.220689e-05,7.191750e-05,7.127233e-05,7.092882e-05,7.060725e-05,6.992464e-05,6.957746e-05,6.922671e-05,6.851551e-05,6.816999e-05,6.779296e-05,6.706084e-05,6.672130e-05,6.632079e-05,6.557434e-05,6.524424e-05,6.482290e-05,6.406778e-05,6.374983e-05,6.331019e-05,6.255126e-05,6.224754e-05,6.179201e-05,6.103339e-05,6.074546e-05,6.027628e-05,5.952149e-05,5.925047e-05,5.876975e-05,5.802174e-05,5.776838e-05,5.727808e-05,5.653935e-05,5.630407e-05,5.580604e-05,5.507863e-05,5.486163e-05,5.435755e-05,5.364318e-05,5.344441e-05,5.293586e-05,5.223591e-05,5.205517e-05,5.154360e-05,5.085918e-05,5.069612e-05,5.018286e-05,4.951484e-05,4.936901e-05,4.885528e-05,4.820433e-05,4.807518e-05,4.756210e-05,4.692870e-05,4.681563e-05,4.630421e-05,4.568870e-05,4.559105e-05,4.508221e-05,4.448478e-05,4.440187e-05,4.389644e-05,4.331719e-05,4.324829e-05,4.274703e-05,4.218594e-05,4.213033e-05,4.163392e-05,4.109091e-05,4.104786e-05,4.055689e-05,4.003181e-05,4.000059e-05,3.951561e-05,3.900823e-05,3.898811e-05,3.850960e-05,3.801966e-05,3.800995e-05,3.753833e-05,3.706552e-05,3.615419e-05,3.527526e-05,3.442801e-05,3.361166e-05,3.282543e-05,3.206852e-05,3.134010e-05,3.063935e-05,2.996545e-05,2.931757e-05,2.869491e-05,2.809665e-05,2.752200e-05,2.697017e-05,2.644040e-05,2.593194e-05,2.544403e-05,2.497598e-05,2.452707e-05,2.409662e-05,2.368397e-05,2.328847e-05,2.290950e-05,2.254644e-05,2.219871e-05,2.186574e-05,2.154697e-05,2.124187e-05,2.094992e-05,2.067062e-05,2.040350e-05,2.014807e-05,1.990390e-05,1.967054e-05,1.944758e-05,1.923462e-05,1.903125e-05,1.883712e-05,1.865184e-05,1.847508e-05,1.830650e-05,1.814577e-05,1.799258e-05,1.784663e-05,1.770762e-05,1.757529e-05,1.744935e-05,1.732956e-05,1.721566e-05
0.000000e+00,9.719514e-09,1.936353e-07,2.030420e-07,1.399874e-06,4.822048e-06,5.026833e-06,1.161153e-05,1.934992e-05,1.985987e-05,2.829584e-05,3.574029e-05,3.636903e-05,4.396444e-05,5.038259e-05,5.107164e-05,5.770344e-05,6.316071e-05,6.387819e-05,6.961568e-05,7.421540e-05,7.493585e-05,7.985851e-05,8.370059e-05,8.440310e-05,8.858855e-05,9.176552e-05,9.243320e-05,9.595475e-05,9.855085e-05,9.917027e-05,1.020960e-04,1.041869e-04,1.047475e-04,1.071395e-04,1.087927e-04,1.092863e-04,1.112016e-04,1.124779e-04,1.128989e-04,1.143908e-04,1.153443e-04,1.156889e-04,1.168048e-04,1.174831e-04,1.177490e-04,1.185319e-04,1.189771e-04,1.191632e-04,1.196523e-04,1.199014e-04,1.200079e-04,1.202383e-04,1.203238e-04,1.203516e-04,1.203553e-04,1.203057e-04,1.202565e-04,1.200623e-04,1.199025e-04,1.197789e-04,1.194126e-04,1.191644e-04,1.189690e-04,1.184539e-04,1.181361e-04,1.178724e-04,1.172294e-04,1.168583e-04,1.165297e-04,1.157776e-04,1.153673e-04,1.149775e-04,1.141333e-04,1.136958e-04,1.132487e-04,1.123274e-04,1.118731e-04,1.113726e-04,1.103876e-04,1.099252e-04,1.093754e-04,1.083387e-04,1.078755e-04,1.072803e-04,1.062027e-04,1.057449e-04,1.051082e-04,1.039991e-04,1.035518e-04,1.028775e-04,1.017453e-04,1.013127e-04,1.006045e-04,9.945669e-05,9.904212e-05,9.830362e-05,9.714678e-05,9.675286e-05,9.598762e-05,9.482749e-05,9.445625e-05,9.366765e-05,9.250926e-05,9.216220e-05,9.135345e-05,9.020122e-05,8.987937e-05,8.905353e-05,8.791128e-05,8.761529e-05,8.677528e-05,8.564631e-05,8.537648e-05,8.452506e-05,8.341219e-05,8.316854e-05,8.230830e-05,8.121395e-05,8.099627e-05,8.012964e-05,7.905585e-05,7.886372e-05,7.799299e-05,7.694145e-05,7.677428e-05,7.590158e-05,7.487370e-05,7.473077e-05,7.385809e-05,7.285499e-05,7.273547e-05,7.186464e-05,7.088723e-05,7.079020e-05,6.992292e-05,6.897187e-05,6.889637e-05,6.803420e-05,6.711001e-05,6.705499e-05,6.619939e-05,6.530239e-05,6.526679e-05,6.441906e-05,6.354944e-05,6.353219e-05,6.269353e-05,6.185133e-05,6.022418e-05,5.865047e-05,5.712978e-05,5.566154e-05,5.424506e-05,5.287953e-05,5.156406e-05,5.029769e-05,4.907937e-05,4.790801e-05,4.678247e-05,4.570161e-05,4.466423e-05,4.366915e-05,4.271514e-05,4.180101e-05,4.092552e-05,4.008748e-05,3.928568e-05,3.851893e-05,3.778605e-05,3.708590e-05,3.641733e-05,3.577923e-05,3.517051e-05,3.459010e-05,3.403694e-05,3.351003e-05,3.300836e-05,3.253098e-05,3.207693e-05,3.164532e-05,3.123524e-05,3.084584e-05,3.047629e-05,3.012577e-05,2.979351e-05,2.947875e-05,2.918075e-05,2.889882e-05,2.863226e-05,2.838042e-05,2.814267e-05,2.791838e-05,2.770697e-05,2.750787e-05,2.732052e-05,2.714441e-05,2.697902e-05
0.000000e+00,1.578392e-13,4.288795e-11,4.673769e-11,1.697815e-09,2.202714e-08,2.417194e-08,1.844665e-07,8.200624e-07,8.920277e-07,3.093877e-06,7.838252e-06,8.431631e-06,1.923872e-05,3.601049e-05,3.839056e-05,6.906032e-05,1.081153e-04,1.144381e-04,1.774616e-04,2.476664e-04,2.605900e-04,3.656386e-04,4.716259e-04,4.936786e-04,6.450003e-04,7.861468e-04,8.191290e-04,1.014884e-03,1.185871e-03,1.230471e-03,1.463586e-03,1.655863e-03,1.711539e-03,1.971371e-03,2.174878e-03,2.239974e-03,2.514186e-03,2.718880e-03,2.790895e-03,3.067106e-03,3.264085e-03,3.340012e-03,3.607037e-03,3.789208e-03,3.865872e-03,4.114496e-03,4.276834e-03,4.351183e-03,4.574511e-03,4.714027e-03,4.783347e-03,4.976839e-03,5.092336e-03,5.154391e-03,5.315653e-03,5.407386e-03,5.460487e-03,5.588951e-03,5.658259e-03,5.701269e-03,5.797808e-03,5.846759e-03,5.879057e-03,5.945601e-03,5.976688e-03,5.998104e-03,6.037287e-03,6.053175e-03,6.063914e-03,6.078773e-03,6.082117e-03,6.082670e-03,6.076407e-03,6.069717e-03,6.060785e-03,6.036588e-03,6.022151e-03,6.004576e-03,5.965482e-03,5.945317e-03,5.920012e-03,5.868832e-03,5.844669e-03,5.812576e-03,5.751841e-03,5.725131e-03,5.687182e-03,5.619121e-03,5.591053e-03,5.548139e-03,5.474684e-03,5.446209e-03,5.399166e-03,5.321961e-03,5.293821e-03,5.243414e-03,5.163839e-03,5.136601e-03,5.083521e-03,5.002718e-03,4.976797e-03,4.921662e-03,4.840563e-03,4.816253e-03,4.759607e-03,4.678962e-03,4.656457e-03,4.598775e-03,4.519180e-03,4.498596e-03,4.440290e-03,4.362209e-03,4.343599e-03,4.285024e-03,4.208813e-03,4.192184e-03,4.133643e-03,4.059570e-03,4.044891e-03,3.986642e-03,3.914900e-03,3.902115e-03,3.844377e-03,3.775099e-03,3.764132e-03,3.707089e-03,3.640363e-03,3.631125e-03,3.574933e-03,3.510806e-03,3.503198e-03,3.447986e-03,3.386475e-03,3.380396e-03,3.326272e-03,3.267371e-03,3.262715e-03,3.209768e-03,3.153452e-03,3.150114e-03,3.098415e-03,3.044645e-03,3.042521e-03,2.992130e-03,2.940855e-03,2.939842e-03,2.890806e-03,2.841968e-03,2.748773e-03,2.660127e-03,2.575889e-03,2.495917e-03,2.420064e-03,2.348184e-03,2.280130e-03,2.215756e-03,2.154919e-03,2.097477e-03,2.043291e-03,1.992225e-03,1.944145e-03,1.898924e-03,1.856434e-03,1.816555e-03,1.779167e-03,1.744156e-03,1.711411e-03,1.680824e-03,1.652293e-03,1.625716e-03,1.600999e-03,1.578046e-03,1.556770e-03,1.537083e-03,1.518902e-03,1.502148e-03,1.486743e-03,1.472614e-03,1.459690e-03,1.447902e-03,1.437186e-03,1.427477e-03,1.418717e-03,1.410847e-03,1.403812e-03,1.397559e-03,1.392038e-03,1.387200e-03,1.382999e-03,1.379391e-03,1.376333e-03,1.373786e-03,1.371711e-03,1.370071e-03,1.368832e-03,1.367961e-03,1.367428e-03
0.000000e+00,2.833282e-11,3.849380e-09,4.132793e-09,7.318744e-08,5.397773e-07,5.803958e-07,2.860551e-06,9.270401e-06,9.902610e-06,2.588115e-05,5.126110e-05,5.397937e-05,9.426500e-05,1.385283e-04,1.437759e-04,1.983353e-04,2.475474e-04,2.542292e-04,3.088972e-04,3.537948e-04,3.608787e-04,4.094871e-04,4.475355e-04,4.544930e-04,4.959060e-04,5.272677e-04,5.338485e-04,5.684906e-04,5.939523e-04,6.000174e-04,6.286158e-04,6.490068e-04,6.544675e-04,6.777465e-04,6.938202e-04,6.986185e-04,7.172404e-04,7.296596e-04,7.337605e-04,7.483186e-04,7.576600e-04,7.610467e-04,7.720691e-04,7.788328e-04,7.815027e-04,7.894574e-04,7.940746e-04,7.960360e-04,8.013354e-04,8.041765e-04,8.054462e-04,8.084540e-04,8.098376e-04,8.104393e-04,8.114777e-04,8.116775e-04,8.116407e-04,8.109959e-04,8.102481e-04,8.096073e-04,8.075350e-04,8.060419e-04,8.048347e-04,8.015586e-04,7.994906e-04,7.977549e-04,7.934689e-04,7.909689e-04,7.887428e-04,7.836161e-04,7.808042e-04,7.781255e-04,7.723055e-04,7.692821e-04,7.661882e-04,7.598037e-04,7.566525e-04,7.531801e-04,7.463437e-04,7.431343e-04,7.393189e-04,7.321283e-04,7.289175e-04,7.247932e-04,7.173330e-04,7.141670e-04,7.097664e-04,7.021103e-04,6.990264e-04,6.943807e-04,6.865924e-04,6.836203e-04,6.787591e-04,6.708934e-04,6.680561e-04,6.630071e-04,6.551109e-04,6.524258e-04,6.472149e-04,6.393283e-04,6.368080e-04,6.314597e-04,6.236169e-04,6.212703e-04,6.158073e-04,6.080374e-04,6.058697e-04,6.003133e-04,5.926405e-04,5.906547e-04,5.850243e-04,5.774690e-04,5.756653e-04,5.699790e-04,5.625580e-04,5.609350e-04,5.552094e-04,5.479364e-04,5.464911e-04,5.407417e-04,5.336277e-04,5.323559e-04,5.265966e-04,5.196503e-04,5.185469e-04,5.127905e-04,5.060186e-04,5.050776e-04,4.993358e-04,4.927431e-04,4.919581e-04,4.862414e-04,4.798314e-04,4.791955e-04,4.735135e-04,4.672882e-04,4.667942e-04,4.611557e-04,4.551160e-04,4.547566e-04,4.491692e-04,4.433151e-04,4.430829e-04,4.375536e-04,4.318843e-04,4.317718e-04,4.263068e-04,4.208208e-04,4.102258e-04,3.999821e-04,3.900839e-04,3.805250e-04,3.712983e-04,3.623967e-04,3.538123e-04,3.455372e-04,3.375634e-04,3.298825e-04,3.224862e-04,3.153662e-04,3.085142e-04,3.019217e-04,2.955807e-04,2.894830e-04,2.836206e-04,2.779857e-04,2.725706e-04,2.673678e-04,2.623698e-04,2.575696e-04,2.529602e-04,2.485346e-04,2.442864e-04,2.402090e-04,2.362963e-04,2.325422e-04,2.289408e-04,2.254865e-04,2.221737e-04,2.189972e-04,2.159519e-04,2.130328e-04,2.102350e-04,2.075540e-04,2.049853e-04,2.025247e-04,2.001678e-04,1.979108e-04,1.957498e-04,1.936811e-04,1.917010e-04,1.898062e-04,1.879933e-04,1.862591e-04,1.846004e-04,1.830145e-04,1.814983e-04
0.000000e+00,1.459956e-09,1.657698e-08,1.725157e-08,9.503837e-08,3.177123e-07,3.315321e-07,8.087774e-07,1.443132e-06,1.487096e-06,2.237088e-06,2.917074e-06,2.974796e-06,3.672907e-06,4.262045e-06,4.325180e-06,4.931267e-06,5.427431e-06,5.492460e-06,6.010534e-06,6.423057e-06,6.487413e-06,6.925056e-06,7.263792e-06,7.325426e-06,7.690445e-06,7.964704e-06,8.021995e-06,8.321902e-06,8.540235e-06,8.591934e-06,8.833790e-06,9.003934e-06,9.049107e-06,9.239441e-06,9.368306e-06,9.406287e-06,9.551096e-06,9.644870e-06,9.675231e-06,9.779996e-06,9.844125e-06,9.866619e-06,9.936273e-06,9.975532e-06,9.990071e-06,1.002907e-05,1.004765e-05,1.005428e-05,1.006664e-05,1.006820e-05,1.006706e-05,1.005639e-05,1.004411e-05,1.003543e-05,1.000496e-05,9.981607e-06,9.965694e-06,9.918315e-06,9.886265e-06,9.863470e-06,9.801768e-06,9.763067e-06,9.733783e-06,9.660059e-06,9.616458e-06,9.581106e-06,9.497406e-06,9.450396e-06,9.409415e-06,9.317559e-06,9.268400e-06,9.222240e-06,9.123836e-06,9.073589e-06,9.022702e-06,8.919172e-06,8.868719e-06,8.813558e-06,8.706154e-06,8.656223e-06,8.597234e-06,8.487056e-06,8.438241e-06,8.375859e-06,8.263869e-06,8.216648e-06,8.151295e-06,8.038333e-06,7.993081e-06,7.925165e-06,7.811961e-06,7.768966e-06,7.698876e-06,7.586059e-06,7.545536e-06,7.473642e-06,7.361753e-06,7.323852e-06,7.250506e-06,7.140008e-06,7.104823e-06,7.030356e-06,6.921640e-06,6.889220e-06,6.813943e-06,6.707339e-06,6.677695e-06,6.601896e-06,6.497677e-06,6.470788e-06,6.394737e-06,6.293127e-06,6.268943e-06,6.192890e-06,6.094068e-06,6.072520e-06,5.996694e-06,5.900801e-06,5.881802e-06,5.806414e-06,5.713557e-06,5.697006e-06,5.622248e-06,5.532504e-06,5.518291e-06,5.444337e-06,5.357756e-06,5.345762e-06,5.272769e-06,5.189380e-06,5.179480e-06,5.107590e-06,5.027400e-06,5.019469e-06,4.948808e-06,4.871808e-06,4.865717e-06,4.796395e-06,4.722561e-06,4.718181e-06,4.650297e-06,4.579593e-06,4.576797e-06,4.510436e-06,4.442813e-06,4.441476e-06,4.376710e-06,4.312113e-06,4.188587e-06,4.070764e-06,3.958501e-06,3.851648e-06,3.750045e-06,3.653531e-06,3.561940e-06,3.475104e-06,3.392855e-06,3.315024e-06,3.241444e-06,3.171949e-06,3.106374e-06,3.044558e-06,2.986343e-06,2.931574e-06,2.880098e-06,2.831769e-06,2.786444e-06,2.743982e-06,2.704250e-06,2.667116e-06,2.632454e-06,2.600143e-06,2.570065e-06,2.542107e-06,2.516161e-06,2.492122e-06,2.469890e-06,2.449369e-06,2.430466e-06,2.413094e-06,2.397168e-06,2.382608e-06,2.369335e-06,2.357277e-06,2.346363e-06,2.336526e-06,2.327702e-06,2.319831e-06,2.312854e-06,2.306716e-06,2.301366e-06,2.296752e-06,2.292828e-06,2.289549e-06,2.286872e-06,2.284756e-06,2.283163e-06
0.000000e+00,9.285414e-09,1.105465e-07,1.150164e-07,6.345799e-07,2.205248e-06,2.306309e-06,6.008755e-06,1.149145e-05,1.189202e-05,1.902492e-05,2.580898e-05,2.639327e-05,3.353208e-05,3.964106e-05,4.029982e-05,4.666365e-05,5.192938e-05,5.262353e-05,5.818960e-05,6.267171e-05,6.337537e-05,6.819555e-05,7.197311e-05,7.266536e-05,7.680008e-05,7.995117e-05,8.061490e-05,8.412488e-05,8.672317e-05,8.734458e-05,9.028825e-05,9.240160e-05,9.296971e-05,9.540232e-05,9.709262e-05,9.759897e-05,9.957204e-05,1.008952e-04,1.013335e-04,1.028946e-04,1.039009e-04,1.042666e-04,1.054597e-04,1.061940e-04,1.064842e-04,1.073495e-04,1.078517e-04,1.080649e-04,1.086391e-04,1.089448e-04,1.090805e-04,1.093971e-04,1.095378e-04,1.095966e-04,1.096861e-04,1.096895e-04,1.096727e-04,1.095629e-04,1.094535e-04,1.093631e-04,1.090792e-04,1.088783e-04,1.087170e-04,1.082818e-04,1.080082e-04,1.077788e-04,1.072130e-04,1.068829e-04,1.065890e-04,1.059111e-04,1.055388e-04,1.051838e-04,1.044109e-04,1.040085e-04,1.035961e-04,1.027433e-04,1.023213e-04,1.018556e-04,1.009364e-04,1.005038e-04,9.998870e-05,9.901541e-05,9.857977e-05,9.801927e-05,9.700287e-05,9.657053e-05,9.596865e-05,9.491893e-05,9.449519e-05,9.385588e-05,9.278156e-05,9.237078e-05,9.169792e-05,9.060677e-05,9.021246e-05,8.950985e-05,8.840876e-05,8.803371e-05,8.730502e-05,8.620006e-05,8.584644e-05,8.509522e-05,8.399175e-05,8.366116e-05,8.289083e-05,8.179354e-05,8.148709e-05,8.070091e-05,7.961390e-05,7.933230e-05,7.853339e-05,7.746020e-05,7.720382e-05,7.639511e-05,7.533882e-05,7.510769e-05,7.429199e-05,7.325522e-05,7.304912e-05,7.222906e-05,7.121403e-05,7.103255e-05,7.021060e-05,6.921918e-05,6.906170e-05,6.824017e-05,6.727391e-05,6.713966e-05,6.632071e-05,6.538086e-05,6.526899e-05,6.445461e-05,6.354218e-05,6.345170e-05,6.264375e-05,6.175948e-05,6.168936e-05,6.088953e-05,6.003401e-05,5.998314e-05,5.919301e-05,5.836659e-05,5.833384e-05,5.755483e-05,5.675775e-05,5.674195e-05,5.597536e-05,5.520768e-05,5.373096e-05,5.231154e-05,5.094895e-05,4.964255e-05,4.839157e-05,4.719510e-05,4.605214e-05,4.496157e-05,4.392223e-05,4.293288e-05,4.199221e-05,4.109889e-05,4.025157e-05,3.944886e-05,3.868936e-05,3.797166e-05,3.729435e-05,3.665602e-05,3.605528e-05,3.549074e-05,3.496103e-05,3.446479e-05,3.400070e-05,3.356745e-05,3.316375e-05,3.278835e-05,3.244001e-05,3.211756e-05,3.181980e-05,3.154561e-05,3.129388e-05,3.106354e-05,3.085354e-05,3.066287e-05,3.049055e-05,3.033564e-05,3.019721e-05,3.007439e-05,2.996632e-05,2.987217e-05,2.979115e-05,2.972250e-05,2.966547e-05,2.961938e-05,2.958352e-05,2.955725e-05,2.953995e-05,2.953102e-05,2.952988e-05
0.000000e+00,8.859713e-10,7.759606e-08,8.293205e-08,1.226387e-06,7.054781e-06,7.487836e-06,2.524111e-05,5.372203e-05,5.582089e-05,9.294374e-05,1.273802e-04,1.302955e-04,1.652205e-04,1.940747e-04,1.971290e-04,2.260581e-04,2.491898e-04,2.521833e-04,2.757006e-04,2.939859e-04,2.968015e-04,3.156665e-04,3.299083e-04,3.324634e-04,3.473489e-04,3.582329e-04,3.604712e-04,3.719690e-04,3.800850e-04,3.819718e-04,3.905998e-04,3.964470e-04,3.979641e-04,4.041683e-04,4.081670e-04,4.093084e-04,4.134729e-04,4.159751e-04,4.167440e-04,4.191977e-04,4.204979e-04,4.209043e-04,4.219288e-04,4.222725e-04,4.223313e-04,4.221673e-04,4.217586e-04,4.214882e-04,4.203412e-04,4.193493e-04,4.187702e-04,4.168156e-04,4.153806e-04,4.145146e-04,4.119016e-04,4.101389e-04,4.090084e-04,4.058641e-04,4.038684e-04,4.024958e-04,3.989282e-04,3.967768e-04,3.951842e-04,3.912848e-04,3.890405e-04,3.872493e-04,3.830957e-04,3.808093e-04,3.788401e-04,3.744977e-04,3.722099e-04,3.700822e-04,3.656062e-04,3.633492e-04,3.610814e-04,3.565183e-04,3.543173e-04,3.519267e-04,3.473154e-04,3.451899e-04,3.426926e-04,3.380656e-04,3.360302e-04,3.334412e-04,3.288255e-04,3.268909e-04,3.242241e-04,3.196420e-04,3.178156e-04,3.150838e-04,3.105537e-04,3.088404e-04,3.060553e-04,3.015921e-04,2.999945e-04,2.971669e-04,2.927826e-04,2.913017e-04,2.884415e-04,2.841457e-04,2.827809e-04,2.798971e-04,2.756973e-04,2.744472e-04,2.715479e-04,2.674499e-04,2.663119e-04,2.634045e-04,2.594126e-04,2.583836e-04,2.554749e-04,2.515921e-04,2.506684e-04,2.477646e-04,2.439928e-04,2.431705e-04,2.402769e-04,2.366172e-04,2.358920e-04,2.330137e-04,2.294663e-04,2.288338e-04,2.259752e-04,2.225400e-04,2.219955e-04,2.191606e-04,2.158367e-04,2.153758e-04,2.125681e-04,2.093543e-04,2.089724e-04,2.061951e-04,2.030900e-04,2.027824e-04,2.000384e-04,1.970400e-04,1.968024e-04,1.940942e-04,1.912005e-04,1.910286e-04,1.883584e-04,1.855672e-04,1.854566e-04,1.828263e-04,1.801352e-04,1.800819e-04,1.774933e-04,1.748999e-04,1.699057e-04,1.650943e-04,1.604608e-04,1.560001e-04,1.517071e-04,1.475769e-04,1.436046e-04,1.397852e-04,1.361139e-04,1.325861e-04,1.291970e-04,1.259421e-04,1.228170e-04,1.198175e-04,1.169392e-04,1.141781e-04,1.115302e-04,1.089917e-04,1.065587e-04,1.042277e-04,1.019950e-04,9.985739e-05,9.781138e-05,9.585382e-05,9.398157e-05,9.219163e-05,9.048109e-05,8.884711e-05,8.728696e-05,8.579800e-05,8.437768e-05,8.302353e-05,8.173314e-05,8.050422e-05,7.933453e-05,7.822190e-05,7.716426e-05,7.615957e-05,7.520589e-05,7.430134e-05,7.344408e-05,7.263236e-05,7.186446e-05,7.113875e-05,7.045362e-05,6.980755e-05,6.919903e-05,6.862663e-05,6.808896e-05
0.000000e+00,7.637759e-13,2.079996e-10,2.266770e-10,8.133626e-09,1.022606e-07,1.120589e-07,8.284170e-07,3.605083e-06,3.916977e-06,1.335668e-05,3.335901e-05,3.583990e-05,8.049194e-05,1.484244e-04,1.579644e-04,2.792256e-04,4.301995e-04,4.543512e-04,6.915247e-04,9.494718e-04,9.963525e-04,1.371516e-03,1.740882e-03,1.816728e-03,2.328941e-03,2.795198e-03,2.902712e-03,3.530689e-03,4.066251e-03,4.204120e-03,4.913372e-03,5.484998e-03,5.648402e-03,6.399176e-03,6.974309e-03,7.156001e-03,7.909799e-03,8.460762e-03,8.652297e-03,9.376156e-03,9.882195e-03,1.007504e-02,1.074363e-02,1.119128e-02,1.137763e-02,1.197369e-02,1.235605e-02,1.252935e-02,1.304300e-02,1.335852e-02,1.351372e-02,1.394123e-02,1.419226e-02,1.432579e-02,1.466813e-02,1.485965e-02,1.496935e-02,1.523083e-02,1.536932e-02,1.545422e-02,1.564129e-02,1.573391e-02,1.579398e-02,1.591428e-02,1.596825e-02,1.600421e-02,1.606581e-02,1.608801e-02,1.610110e-02,1.611204e-02,1.610874e-02,1.610055e-02,1.606846e-02,1.604526e-02,1.601756e-02,1.594951e-02,1.591122e-02,1.586590e-02,1.576824e-02,1.571899e-02,1.565793e-02,1.553629e-02,1.547950e-02,1.540455e-02,1.526385e-02,1.520234e-02,1.511525e-02,1.495973e-02,1.489579e-02,1.479820e-02,1.463149e-02,1.456695e-02,1.446038e-02,1.428556e-02,1.422185e-02,1.410769e-02,1.392736e-02,1.386559e-02,1.374511e-02,1.356143e-02,1.350242e-02,1.337677e-02,1.319153e-02,1.313591e-02,1.300610e-02,1.282081e-02,1.276899e-02,1.263596e-02,1.245182e-02,1.240409e-02,1.226864e-02,1.208665e-02,1.204317e-02,1.190603e-02,1.172698e-02,1.168782e-02,1.154965e-02,1.137417e-02,1.133931e-02,1.120068e-02,1.102928e-02,1.099866e-02,1.086007e-02,1.069312e-02,1.066663e-02,1.052852e-02,1.036633e-02,1.034381e-02,1.020659e-02,1.004934e-02,1.003064e-02,9.894628e-03,9.742476e-03,9.727403e-03,9.592905e-03,9.445931e-03,9.434285e-03,9.301562e-03,9.159803e-03,9.151381e-03,9.020655e-03,8.884114e-03,8.878707e-03,8.750172e-03,8.618818e-03,8.616217e-03,8.490038e-03,8.363816e-03,8.121365e-03,7.888691e-03,7.665597e-03,7.451864e-03,7.247255e-03,7.051524e-03,6.864413e-03,6.685661e-03,6.515002e-03,6.352169e-03,6.196894e-03,6.048913e-03,5.907961e-03,5.773781e-03,5.646115e-03,5.524715e-03,5.409335e-03,5.299734e-03,5.195681e-03,5.096948e-03,5.003312e-03,4.914560e-03,4.830484e-03,4.750880e-03,4.675554e-03,4.604316e-03,4.536983e-03,4.473378e-03,4.413331e-03,4.356676e-03,4.303254e-03,4.252913e-03,4.205503e-03,4.160884e-03,4.118917e-03,4.079472e-03,4.042421e-03,4.007643e-03,3.975020e-03,3.944440e-03,3.915796e-03,3.888984e-03,3.863905e-03,3.840464e-03,3.818569e-03,3.798134e-03,3.779075e-03,3.761313e-03,3.744771e-03
0.000000e+00,1.744455e-09,8.897372e-08,9.416312e-08,9.917133e-07,5.231359e-06,5.549813e-06,1.915631e-05,4.214448e-05,4.385602e-05,7.393652e-05,1.010871e-04,1.033424e-04,1.297650e-04,1.506806e-04,1.528413e-04,1.727531e-04,1.878909e-04,1.897943e-04,2.042630e-04,2.148604e-04,2.164361e-04,2.265661e-04,2.336639e-04,2.348810e-04,2.415868e-04,2.460155e-04,2.468689e-04,2.508943e-04,2.533109e-04,2.538127e-04,2.557584e-04,2.566787e-04,2.568517e-04,2.571999e-04,2.570256e-04,2.568989e-04,2.560339e-04,2.550759e-04,2.546812e-04,2.529087e-04,2.514064e-04,2.507761e-04,2.483362e-04,2.464706e-04,2.456355e-04,2.427153e-04,2.406230e-04,2.396121e-04,2.363586e-04,2.341428e-04,2.329832e-04,2.295119e-04,2.272511e-04,2.259687e-04,2.223743e-04,2.201276e-04,2.187457e-04,2.150976e-04,2.129048e-04,2.114430e-04,2.077931e-04,2.056820e-04,2.041573e-04,2.005445e-04,1.985340e-04,1.969617e-04,1.934151e-04,1.915168e-04,1.899098e-04,1.864505e-04,1.846711e-04,1.830409e-04,1.796839e-04,1.780261e-04,1.763823e-04,1.731381e-04,1.716018e-04,1.699529e-04,1.668279e-04,1.654108e-04,1.637640e-04,1.607618e-04,1.594605e-04,1.578217e-04,1.549439e-04,1.537538e-04,1.521283e-04,1.493747e-04,1.482905e-04,1.466827e-04,1.440518e-04,1.430679e-04,1.414814e-04,1.389708e-04,1.380815e-04,1.365192e-04,1.341259e-04,1.333253e-04,1.317899e-04,1.295103e-04,1.287926e-04,1.272861e-04,1.251163e-04,1.244758e-04,1.229999e-04,1.209359e-04,1.203672e-04,1.189232e-04,1.169608e-04,1.164587e-04,1.150476e-04,1.131825e-04,1.127419e-04,1.113645e-04,1.095926e-04,1.092089e-04,1.078657e-04,1.061829e-04,1.058515e-04,1.045429e-04,1.029450e-04,1.026617e-04,1.013880e-04,9.987107e-05,9.963201e-05,9.839316e-05,9.695335e-05,9.675476e-05,9.555072e-05,9.418435e-05,9.402278e-05,9.285337e-05,9.155689e-05,9.142911e-05,9.029406e-05,8.906405e-05,8.896704e-05,8.786602e-05,8.669919e-05,8.663016e-05,8.556277e-05,8.445598e-05,8.441231e-05,8.337808e-05,8.232835e-05,8.230764e-05,8.130606e-05,8.031051e-05,7.841559e-05,7.661777e-05,7.491219e-05,7.329423e-05,7.175947e-05,7.030374e-05,6.892305e-05,6.761361e-05,6.637182e-05,6.519427e-05,6.407770e-05,6.301903e-05,6.201533e-05,6.106381e-05,6.016182e-05,5.930685e-05,5.849653e-05,5.772857e-05,5.700084e-05,5.631129e-05,5.565797e-05,5.503906e-05,5.445280e-05,5.389753e-05,5.337167e-05,5.287374e-05,5.240230e-05,5.195601e-05,5.153360e-05,5.113383e-05,5.075557e-05,5.039771e-05,5.005922e-05,4.973910e-05,4.943642e-05,4.915029e-05,4.887985e-05,4.862432e-05,4.838292e-05,4.815493e-05,4.793967e-05,4.773648e-05,4.754474e-05,4.736387e-05,4.719330e-05,4.703250e-05,4.688098e-05,4.673825e-05,4.660386e-05
0.000000e+00,5.799155e-10,9.254254e-09,9.686098e-09,6.372607e-08,2.165406e-07,2.255660e-07,5.039439e-07,8.070582e-07,8.265318e-07,1.145105e-06,1.423952e-06,1.447475e-06,1.731555e-06,1.971641e-06,1.997423e-06,2.245641e-06,2.450010e-06,2.476886e-06,2.691865e-06,2.864277e-06,2.891287e-06,3.075862e-06,3.219947e-06,3.246295e-06,3.403278e-06,3.522444e-06,3.547489e-06,3.679583e-06,3.776963e-06,3.800197e-06,3.909943e-06,3.988381e-06,4.009411e-06,4.099166e-06,4.161216e-06,4.179747e-06,4.251668e-06,4.299606e-06,4.315425e-06,4.371492e-06,4.407352e-06,4.420319e-06,4.462333e-06,4.487907e-06,4.497940e-06,4.527528e-06,4.544399e-06,4.551466e-06,4.570105e-06,4.579666e-06,4.583777e-06,4.592797e-06,4.596269e-06,4.597467e-06,4.598070e-06,4.596520e-06,4.594876e-06,4.588143e-06,4.582505e-06,4.578112e-06,4.565015e-06,4.556101e-06,4.549070e-06,4.530484e-06,4.518995e-06,4.509452e-06,4.486160e-06,4.472704e-06,4.460783e-06,4.433487e-06,4.418588e-06,4.404430e-06,4.373759e-06,4.357862e-06,4.341614e-06,4.308129e-06,4.291616e-06,4.273427e-06,4.237627e-06,4.220822e-06,4.200840e-06,4.163171e-06,4.146343e-06,4.124719e-06,4.085576e-06,4.068951e-06,4.045829e-06,4.005563e-06,3.989328e-06,3.964853e-06,3.923772e-06,3.908079e-06,3.882390e-06,3.840769e-06,3.825738e-06,3.798969e-06,3.757048e-06,3.742776e-06,3.715057e-06,3.673047e-06,3.659606e-06,3.631061e-06,3.589145e-06,3.576589e-06,3.547337e-06,3.505674e-06,3.494040e-06,3.464192e-06,3.422922e-06,3.412231e-06,3.381895e-06,3.341136e-06,3.331397e-06,3.300673e-06,3.260528e-06,3.251741e-06,3.220723e-06,3.181278e-06,3.173434e-06,3.142211e-06,3.103538e-06,3.096620e-06,3.065274e-06,3.027433e-06,3.021419e-06,2.990027e-06,2.953068e-06,2.947929e-06,2.916564e-06,2.880525e-06,2.876232e-06,2.844958e-06,2.809870e-06,2.806388e-06,2.775267e-06,2.741154e-06,2.738446e-06,2.707534e-06,2.674411e-06,2.672439e-06,2.641787e-06,2.609664e-06,2.608390e-06,2.578044e-06,2.546927e-06,2.546310e-06,2.516313e-06,2.486202e-06,2.428061e-06,2.371875e-06,2.317625e-06,2.265287e-06,2.214835e-06,2.166235e-06,2.119454e-06,2.074453e-06,2.031194e-06,1.989634e-06,1.949731e-06,1.911441e-06,1.874719e-06,1.839520e-06,1.805798e-06,1.773509e-06,1.742607e-06,1.713048e-06,1.684785e-06,1.657776e-06,1.631977e-06,1.607345e-06,1.583838e-06,1.561415e-06,1.540035e-06,1.519660e-06,1.500251e-06,1.481772e-06,1.464184e-06,1.447453e-06,1.431545e-06,1.416427e-06,1.402065e-06,1.388428e-06,1.375487e-06,1.363212e-06,1.351574e-06,1.340547e-06,1.330103e-06,1.320217e-06,1.310864e-06,1.302022e-06,1.293665e-06,1.285774e-06,1.278326e-06,1.271302e-06,1.264680e-06,1.258444e-06,1.252573e-06
0.000000e+00,3.726222e-09,5.622758e-08,5.884048e-08,4.018180e-07,1.444279e-06,1.506917e-06,3.417183e-06,5.433248e-06,5.561155e-06,7.632579e-06,9.414819e-06,9.563822e-06,1.134596e-05,1.282550e-05,1.298283e-05,1.448111e-05,1.569062e-05,1.584793e-05,1.709032e-05,1.806450e-05,1.821515e-05,1.922911e-05,1.999992e-05,2.013871e-05,2.095027e-05,2.154693e-05,2.166997e-05,2.230373e-05,2.275272e-05,2.285727e-05,2.333606e-05,2.366099e-05,2.374532e-05,2.409000e-05,2.431168e-05,2.437482e-05,2.460422e-05,2.474077e-05,2.478239e-05,2.491326e-05,2.498031e-05,2.500058e-05,2.504785e-05,2.505886e-05,2.505833e-05,2.503511e-05,2.500154e-05,2.498105e-05,2.489884e-05,2.483038e-05,2.479099e-05,2.465985e-05,2.456472e-05,2.450762e-05,2.433633e-05,2.422140e-05,2.414789e-05,2.394407e-05,2.381509e-05,2.372652e-05,2.349679e-05,2.335852e-05,2.325629e-05,2.300636e-05,2.286273e-05,2.274821e-05,2.248299e-05,2.233721e-05,2.221177e-05,2.193550e-05,2.179015e-05,2.165510e-05,2.137139e-05,2.122854e-05,2.108515e-05,2.079709e-05,2.065836e-05,2.050784e-05,2.021802e-05,2.008466e-05,1.992816e-05,1.963877e-05,1.951171e-05,1.935031e-05,1.906319e-05,1.894309e-05,1.877779e-05,1.849446e-05,1.838177e-05,1.821350e-05,1.793520e-05,1.783020e-05,1.765982e-05,1.738757e-05,1.729036e-05,1.711865e-05,1.685326e-05,1.676385e-05,1.659153e-05,1.633362e-05,1.625191e-05,1.607963e-05,1.582968e-05,1.575549e-05,1.558384e-05,1.534220e-05,1.527530e-05,1.510480e-05,1.487170e-05,1.481180e-05,1.464292e-05,1.441850e-05,1.436529e-05,1.419846e-05,1.398278e-05,1.393592e-05,1.377148e-05,1.356455e-05,1.352368e-05,1.336196e-05,1.316370e-05,1.312847e-05,1.296973e-05,1.278004e-05,1.275008e-05,1.259457e-05,1.241329e-05,1.238824e-05,1.223614e-05,1.206310e-05,1.204260e-05,1.189409e-05,1.172907e-05,1.171279e-05,1.156799e-05,1.141077e-05,1.139836e-05,1.125738e-05,1.110773e-05,1.109887e-05,1.096177e-05,1.081944e-05,1.081382e-05,1.068067e-05,1.054540e-05,1.054273e-05,1.041355e-05,1.028507e-05,1.004035e-05,9.808053e-06,9.587661e-06,9.378673e-06,9.180593e-06,8.992932e-06,8.815216e-06,8.646982e-06,8.487780e-06,8.337176e-06,8.194749e-06,8.060094e-06,7.932821e-06,7.812557e-06,7.698943e-06,7.591634e-06,7.490302e-06,7.394632e-06,7.304326e-06,7.219096e-06,7.138671e-06,7.062791e-06,6.991211e-06,6.923695e-06,6.860022e-06,6.799979e-06,6.743366e-06,6.689994e-06,6.639682e-06,6.592259e-06,6.547563e-06,6.505443e-06,6.465752e-06,6.428354e-06,6.393120e-06,6.359927e-06,6.328660e-06,6.299208e-06,6.271469e-06,6.245345e-06,6.220744e-06,6.197579e-06,6.175767e-06,6.155231e-06,6.135899e-06,6.117701e-06,6.100571e-06,6.084449e-06,6.069277e-06
0.000000e+00,3.134406e-10,3.988491e-09,4.161311e-09,2.527496e-08,8.764754e-08,9.150488e-08,2.212705e-07,3.819987e-07,3.926682e-07,5.667700e-07,7.133618e-07,7.253548e-07,8.649826e-07,9.750222e-07,9.863863e-07,1.091158e-06,1.170927e-06,1.180967e-06,1.257382e-06,1.313486e-06,1.321841e-06,1.375645e-06,1.413469e-06,1.419969e-06,1.455875e-06,1.479706e-06,1.484313e-06,1.506141e-06,1.519362e-06,1.522126e-06,1.532954e-06,1.538218e-06,1.539240e-06,1.541535e-06,1.540913e-06,1.540328e-06,1.536060e-06,1.531161e-06,1.529119e-06,1.519857e-06,1.511925e-06,1.508582e-06,1.495571e-06,1.485564e-06,1.481071e-06,1.465300e-06,1.453951e-06,1.448454e-06,1.430706e-06,1.418573e-06,1.412210e-06,1.393101e-06,1.380608e-06,1.373502e-06,1.353520e-06,1.340980e-06,1.333249e-06,1.312774e-06,1.300423e-06,1.292171e-06,1.271502e-06,1.259507e-06,1.250825e-06,1.230189e-06,1.218667e-06,1.209637e-06,1.189208e-06,1.178239e-06,1.168934e-06,1.148842e-06,1.138476e-06,1.128959e-06,1.109304e-06,1.099568e-06,1.089896e-06,1.070750e-06,1.061656e-06,1.051877e-06,1.033289e-06,1.024837e-06,1.014994e-06,9.969991e-07,9.891774e-07,9.793086e-07,9.619268e-07,9.547193e-07,9.448566e-07,9.280995e-07,9.214846e-07,9.116563e-07,8.955269e-07,8.894799e-07,8.797105e-07,8.642057e-07,8.587000e-07,8.490107e-07,8.341231e-07,8.291308e-07,8.195400e-07,8.052584e-07,8.007514e-07,7.912749e-07,7.775856e-07,7.735357e-07,7.641869e-07,7.510745e-07,7.474537e-07,7.382442e-07,7.256916e-07,7.224729e-07,7.134124e-07,7.014019e-07,6.985589e-07,6.896556e-07,6.781690e-07,6.756763e-07,6.669373e-07,6.559560e-07,6.537893e-07,6.452203e-07,6.347257e-07,6.328619e-07,6.244675e-07,6.144412e-07,6.128582e-07,6.046421e-07,5.950659e-07,5.937427e-07,5.857080e-07,5.765640e-07,5.754809e-07,5.676296e-07,5.589005e-07,5.580387e-07,5.503724e-07,5.420412e-07,5.413830e-07,5.339027e-07,5.259529e-07,5.254818e-07,5.181878e-07,5.106035e-07,5.103038e-07,5.031961e-07,4.959619e-07,4.958189e-07,4.888971e-07,4.819982e-07,4.688134e-07,4.562377e-07,4.442449e-07,4.328103e-07,4.219096e-07,4.115200e-07,4.016192e-07,3.921861e-07,3.832002e-07,3.746421e-07,3.664930e-07,3.587350e-07,3.513509e-07,3.443243e-07,3.376393e-07,3.312810e-07,3.252347e-07,3.194867e-07,3.140237e-07,3.088330e-07,3.039025e-07,2.992206e-07,2.947760e-07,2.905582e-07,2.865569e-07,2.827624e-07,2.791653e-07,2.757568e-07,2.725282e-07,2.694714e-07,2.665785e-07,2.638421e-07,2.612550e-07,2.588103e-07,2.565014e-07,2.543222e-07,2.522666e-07,2.503289e-07,2.485035e-07,2.467853e-07,2.451692e-07,2.436504e-07,2.422243e-07,2.408866e-07,2.396330e-07,2.384595e-07,2.373623e-07,2.363378e-07,2.353823e-07
0.000000e+00,3.702442e-13,8.179560e-11,8.864581e-11,2.427446e-09,2.572097e-08,2.805135e-08,1.938259e-07,8.453716e-07,9.198758e-07,3.254918e-06,8.478487e-06,9.142306e-06,2.143556e-05,4.085893e-05,4.362973e-05,7.941015e-05,1.248352e-04,1.321568e-04,2.045165e-04,2.836964e-04,2.981065e-04,4.133721e-04,5.264460e-04,5.495857e-04,7.049586e-04,8.448167e-04,8.768300e-04,1.061900e-03,1.216980e-03,1.256469e-03,1.456674e-03,1.614278e-03,1.658687e-03,1.858884e-03,2.007781e-03,2.053976e-03,2.241088e-03,2.372981e-03,2.417817e-03,2.582247e-03,2.692198e-03,2.732945e-03,2.868936e-03,2.955065e-03,2.989662e-03,3.094934e-03,3.157745e-03,3.184879e-03,3.259887e-03,3.301495e-03,3.320559e-03,3.367655e-03,3.391071e-03,3.402048e-03,3.424691e-03,3.433263e-03,3.436576e-03,3.438709e-03,3.435723e-03,3.432087e-03,3.417679e-03,3.406121e-03,3.396410e-03,3.369154e-03,3.351582e-03,3.336726e-03,3.299878e-03,3.278386e-03,3.259297e-03,3.215611e-03,3.191854e-03,3.169378e-03,3.121102e-03,3.096338e-03,3.071225e-03,3.020139e-03,2.995292e-03,2.968188e-03,2.915671e-03,2.891397e-03,2.862848e-03,2.809942e-03,2.786686e-03,2.757142e-03,2.704611e-03,2.682661e-03,2.652484e-03,2.600876e-03,2.580400e-03,2.549882e-03,2.499581e-03,2.480661e-03,2.450034e-03,2.401295e-03,2.383954e-03,2.353402e-03,2.306387e-03,2.290606e-03,2.260272e-03,2.215075e-03,2.200808e-03,2.170806e-03,2.127472e-03,2.114655e-03,2.085075e-03,2.043613e-03,2.032171e-03,2.003083e-03,1.963478e-03,1.953331e-03,1.924790e-03,1.887011e-03,1.878078e-03,1.850128e-03,1.814131e-03,1.806329e-03,1.779006e-03,1.744740e-03,1.737989e-03,1.711319e-03,1.678729e-03,1.672949e-03,1.646953e-03,1.615979e-03,1.611096e-03,1.585790e-03,1.556372e-03,1.552314e-03,1.527708e-03,1.499785e-03,1.496484e-03,1.472587e-03,1.446099e-03,1.443489e-03,1.420306e-03,1.395193e-03,1.393213e-03,1.370746e-03,1.346949e-03,1.345542e-03,1.323789e-03,1.301251e-03,1.300363e-03,1.279322e-03,1.257988e-03,1.257567e-03,1.237234e-03,1.217048e-03,1.178704e-03,1.142434e-03,1.108142e-03,1.075737e-03,1.045127e-03,1.016229e-03,9.889587e-04,9.632379e-04,9.389908e-04,9.161448e-04,8.946306e-04,8.743818e-04,8.553350e-04,8.374298e-04,8.206083e-04,8.048152e-04,7.899981e-04,7.761067e-04,7.630932e-04,7.509121e-04,7.395198e-04,7.288751e-04,7.189385e-04,7.096725e-04,7.010415e-04,6.930115e-04,6.855501e-04,6.786265e-04,6.722115e-04,6.662772e-04,6.607972e-04,6.557462e-04,6.511004e-04,6.468368e-04,6.429338e-04,6.393710e-04,6.361286e-04,6.331881e-04,6.305317e-04,6.281429e-04,6.260055e-04,6.241044e-04,6.224253e-04,6.209544e-04,6.196788e-04,6.185862e-04,6.176648e-04,6.169036e-04,6.162921e-04
0.000000e+00,4.030513e-09,5.615133e-08,5.868300e-08,3.826100e-07,1.354544e-06,1.413197e-06,3.234261e-06,5.218797e-06,5.346489e-06,7.441836e-06,9.287248e-06,9.443435e-06,1.133622e-05,1.294556e-05,1.311892e-05,1.479364e-05,1.618050e-05,1.636345e-05,1.783183e-05,1.901630e-05,1.920244e-05,2.047909e-05,2.148167e-05,2.166563e-05,2.276595e-05,2.360660e-05,2.378394e-05,2.472339e-05,2.542092e-05,2.558803e-05,2.638148e-05,2.695323e-05,2.710727e-05,2.776878e-05,2.823056e-05,2.836929e-05,2.891195e-05,2.927806e-05,2.939979e-05,2.983572e-05,3.011901e-05,3.022252e-05,3.056287e-05,3.077484e-05,3.085932e-05,3.111431e-05,3.126523e-05,3.133020e-05,3.150920e-05,3.160818e-05,3.165346e-05,3.176502e-05,3.182016e-05,3.184582e-05,3.189772e-05,3.191616e-05,3.192248e-05,3.192181e-05,3.190986e-05,3.189730e-05,3.185048e-05,3.181369e-05,3.178282e-05,3.169571e-05,3.163892e-05,3.159046e-05,3.146833e-05,3.139579e-05,3.133052e-05,3.117817e-05,3.109355e-05,3.101234e-05,3.083407e-05,3.074058e-05,3.064433e-05,3.044405e-05,3.034442e-05,3.023409e-05,3.001529e-05,2.991189e-05,2.978843e-05,2.955427e-05,2.944910e-05,2.931350e-05,2.906680e-05,2.896157e-05,2.881479e-05,2.855808e-05,2.845421e-05,2.829723e-05,2.803277e-05,2.793143e-05,2.776520e-05,2.749501e-05,2.739718e-05,2.722263e-05,2.694849e-05,2.685495e-05,2.667298e-05,2.639648e-05,2.630785e-05,2.611934e-05,2.584188e-05,2.575863e-05,2.556442e-05,2.528724e-05,2.520972e-05,2.501062e-05,2.473480e-05,2.466325e-05,2.446003e-05,2.418652e-05,2.412109e-05,2.391449e-05,2.364411e-05,2.358487e-05,2.337557e-05,2.310903e-05,2.305598e-05,2.284465e-05,2.258256e-05,2.253563e-05,2.232289e-05,2.206576e-05,2.202486e-05,2.181128e-05,2.155956e-05,2.152454e-05,2.131067e-05,2.106470e-05,2.103539e-05,2.082173e-05,2.058182e-05,2.055800e-05,2.034503e-05,2.011140e-05,2.009285e-05,1.988100e-05,1.965385e-05,1.964033e-05,1.942999e-05,1.920945e-05,1.920070e-05,1.899226e-05,1.877842e-05,1.877418e-05,1.856796e-05,1.836088e-05,1.796086e-05,1.757414e-05,1.720066e-05,1.684034e-05,1.649303e-05,1.615858e-05,1.583679e-05,1.552744e-05,1.523029e-05,1.494509e-05,1.467158e-05,1.440945e-05,1.415843e-05,1.391821e-05,1.368848e-05,1.346895e-05,1.325928e-05,1.305918e-05,1.286834e-05,1.268644e-05,1.251318e-05,1.234826e-05,1.219137e-05,1.204223e-05,1.190053e-05,1.176601e-05,1.163838e-05,1.151737e-05,1.140271e-05,1.129415e-05,1.119143e-05,1.109431e-05,1.100255e-05,1.091593e-05,1.083421e-05,1.075719e-05,1.068465e-05,1.061639e-05,1.055221e-05,1.049194e-05,1.043537e-05,1.038234e-05,1.033269e-05,1.028624e-05,1.024284e-05,1.020234e-05,1.016459e-05,1.012946e-05,1.009680e-05
0.000000e+00,1.395665e-12,3.800624e-10,4.139718e-10,1.455162e-08,1.862042e-07,2.043862e-07,1.609056e-06,7.647494e-06,8.361451e-06,3.186986e-05,8.867670e-05,9.617796e-05,2.430782e-04,4.977464e-04,5.358766e-04,1.061271e-03,1.802831e-03,1.929239e-03,3.271130e-03,4.917676e-03,5.236283e-03,7.987564e-03,1.103133e-02,1.169624e-02,1.653657e-02,2.147080e-02,2.268037e-02,3.029190e-02,3.754062e-02,3.952326e-02,5.051027e-02,6.037450e-02,6.336925e-02,7.819440e-02,9.082064e-02,9.505598e-02,1.139992e-01,1.293700e-01,1.350439e-01,1.581845e-01,1.761277e-01,1.833912e-01,2.106105e-01,2.308223e-01,2.397675e-01,2.707671e-01,2.928425e-01,3.034966e-01,3.378278e-01,3.612954e-01,3.736190e-01,4.107180e-01,4.350736e-01,4.489637e-01,4.881891e-01,5.129258e-01,5.282229e-01,5.688918e-01,5.935258e-01,6.100224e-01,6.514430e-01,6.755332e-01,6.929850e-01,7.344844e-01,7.576463e-01,7.757832e-01,8.167301e-01,8.386443e-01,8.571817e-01,8.970028e-01,9.174185e-01,9.360676e-01,9.742594e-01,9.929942e-01,1.011471e+00,1.047607e+00,1.064543e+00,1.082578e+00,1.116308e+00,1.131388e+00,1.148730e+00,1.179785e+00,1.193003e+00,1.209424e+00,1.237609e+00,1.249004e+00,1.264307e+00,1.289494e+00,1.299143e+00,1.313156e+00,1.335284e+00,1.343290e+00,1.355875e+00,1.374935e+00,1.381423e+00,1.392473e+00,1.408504e+00,1.413614e+00,1.423048e+00,1.436131e+00,1.440013e+00,1.447779e+00,1.458025e+00,1.460830e+00,1.466903e+00,1.474450e+00,1.476330e+00,1.480705e+00,1.485711e+00,1.486813e+00,1.489509e+00,1.492143e+00,1.492607e+00,1.493659e+00,1.494102e+00,1.494059e+00,1.493517e+00,1.491951e+00,1.491524e+00,1.489450e+00,1.486060e+00,1.485359e+00,1.481827e+00,1.476794e+00,1.475918e+00,1.471007e+00,1.464509e+00,1.463545e+00,1.457343e+00,1.449550e+00,1.448575e+00,1.441171e+00,1.432245e+00,1.431324e+00,1.422811e+00,1.412906e+00,1.412094e+00,1.402566e+00,1.391825e+00,1.391169e+00,1.380718e+00,1.369275e+00,1.368811e+00,1.357529e+00,1.345508e+00,1.345265e+00,1.333241e+00,1.320756e+00,1.295488e+00,1.269649e+00,1.243408e+00,1.216916e+00,1.190310e+00,1.163710e+00,1.137224e+00,1.110946e+00,1.084958e+00,1.059331e+00,1.034127e+00,1.009398e+00,9.851888e-01,9.615364e-01,9.384710e-01,9.160170e-01,8.941935e-01,8.730149e-01,8.524914e-01,8.326294e-01,8.134322e-01,7.948999e-01,7.770304e-01,7.598191e-01,7.432596e-01,7.273437e-01,7.120620e-01,6.974035e-01,6.833563e-01,6.699075e-01,6.570437e-01,6.447506e-01,6.330134e-01,6.218169e-01,6.111457e-01,6.009840e-01,5.913159e-01,5.821255e-01,5.733967e-01,5.651133e-01,5.572596e-01,5.498195e-01,5.427773e-01,5.361174e-01,5.298245e-01,5.238835e-01,5.182794e-01,5.129975e-01,5.080237e-01
0.000000e+00,1.048816e-11,2.526184e-09,2.742438e-09,8.096243e-08,9.028182e-07,9.864043e-07,7.120525e-06,3.257933e-05,3.557490e-05,1.346348e-04,3.781123e-04,4.105951e-04,1.056372e-03,2.201115e-03,2.374252e-03,4.787816e-03,8.247755e-03,8.841503e-03,1.518863e-02,2.304462e-02,2.457015e-02,3.778703e-02,5.246009e-02,5.566902e-02,7.904243e-02,1.028635e-01,1.086991e-01,1.453682e-01,1.801874e-01,1.896918e-01,2.422056e-01,2.891231e-01,3.033239e-01,3.733303e-01,4.325755e-01,4.523726e-01,5.404626e-01,6.114078e-01,6.374792e-01,7.431747e-01,8.244490e-01,8.571845e-01,9.790382e-01,1.068704e+00,1.108172e+00,1.243944e+00,1.339700e+00,1.385643e+00,1.532512e+00,1.631891e+00,1.683752e+00,1.838542e+00,1.939086e+00,1.996048e+00,2.155436e+00,2.254840e+00,2.315882e+00,2.476582e+00,2.572800e+00,2.636759e+00,2.795668e+00,2.886976e+00,2.952607e+00,3.106916e+00,3.191949e+00,3.257982e+00,3.405246e+00,3.483005e+00,3.548197e+00,3.686379e+00,3.756212e+00,3.819387e+00,3.946871e+00,4.008445e+00,4.068529e+00,4.184111e+00,4.237370e+00,4.293413e+00,4.396279e+00,4.441402e+00,4.492593e+00,4.582281e+00,4.619634e+00,4.665307e+00,4.741670e+00,4.771761e+00,4.811398e+00,4.874553e+00,4.897992e+00,4.931219e+00,4.981505e+00,4.998968e+00,5.025542e+00,5.063479e+00,5.075674e+00,5.095479e+00,5.121721e+00,5.129365e+00,5.142393e+00,5.157695e+00,5.161490e+00,5.167832e+00,5.173016e+00,5.173638e+00,5.173464e+00,5.169394e+00,5.167475e+00,5.161027e+00,5.148582e+00,5.144706e+00,5.132280e+00,5.112338e+00,5.107034e+00,5.088970e+00,5.062389e+00,5.056130e+00,5.032800e+00,5.000408e+00,4.993611e+00,4.965410e+00,4.927997e+00,4.921021e+00,4.888356e+00,4.846668e+00,4.839819e+00,4.803105e+00,4.757837e+00,4.751372e+00,4.711023e+00,4.662818e+00,4.656947e+00,4.613370e+00,4.562821e+00,4.557711e+00,4.511305e+00,4.458951e+00,4.454731e+00,4.405882e+00,4.352212e+00,4.348975e+00,4.298053e+00,4.243508e+00,4.241319e+00,4.188675e+00,4.133648e+00,4.132546e+00,4.078514e+00,4.023354e+00,3.914360e+00,3.806108e+00,3.699073e+00,3.593664e+00,3.490237e+00,3.389090e+00,3.290476e+00,3.194605e+00,3.101647e+00,3.011738e+00,2.924983e+00,2.841460e+00,2.761220e+00,2.684294e+00,2.610694e+00,2.540413e+00,2.473431e+00,2.409714e+00,2.349218e+00,2.291888e+00,2.237660e+00,2.186463e+00,2.138221e+00,2.092852e+00,2.050269e+00,2.010382e+00,1.973099e+00,1.938324e+00,1.905961e+00,1.875911e+00,1.848078e+00,1.822361e+00,1.798663e+00,1.776886e+00,1.756933e+00,1.738708e+00,1.722116e+00,1.707066e+00,1.693467e+00,1.681229e+00,1.670267e+00,1.660496e+00,1.651835e+00,1.644205e+00,1.637531e+00,1.631739e+00,1.626759e+00,1.622523e+00,1.618969e+00
0.000000e+00,8.270997e-09,1.853239e-07,1.945465e-07,1.446244e-06,5.517708e-06,5.778877e-06,1.505863e-05,2.785906e-05,2.875950e-05,4.430421e-05,5.865533e-05,5.988485e-05,7.491070e-05,8.784054e-05,8.924129e-05,1.028534e-04,1.142432e-04,1.157542e-04,1.279598e-04,1.379150e-04,1.394892e-04,1.503631e-04,1.590063e-04,1.606029e-04,1.702305e-04,1.776838e-04,1.792680e-04,1.877373e-04,1.941184e-04,1.956603e-04,2.030586e-04,2.084786e-04,2.099533e-04,2.163649e-04,2.209270e-04,2.223135e-04,2.278187e-04,2.316182e-04,2.328993e-04,2.375737e-04,2.406978e-04,2.418596e-04,2.457742e-04,2.483023e-04,2.493339e-04,2.525549e-04,2.545594e-04,2.554524e-04,2.580414e-04,2.595881e-04,2.603362e-04,2.623506e-04,2.634989e-04,2.640980e-04,2.655911e-04,2.663946e-04,2.668423e-04,2.678634e-04,2.683705e-04,2.686660e-04,2.692608e-04,2.695149e-04,2.696587e-04,2.698697e-04,2.699099e-04,2.699036e-04,2.697697e-04,2.696309e-04,2.694772e-04,2.690346e-04,2.687479e-04,2.684503e-04,2.677322e-04,2.673254e-04,2.668880e-04,2.659251e-04,2.654228e-04,2.648504e-04,2.636708e-04,2.630947e-04,2.623927e-04,2.610223e-04,2.603917e-04,2.595656e-04,2.580283e-04,2.573598e-04,2.564157e-04,2.547332e-04,2.540418e-04,2.529857e-04,2.511781e-04,2.504764e-04,2.493148e-04,2.474003e-04,2.466994e-04,2.454387e-04,2.434341e-04,2.427434e-04,2.413902e-04,2.393107e-04,2.386383e-04,2.371991e-04,2.350586e-04,2.344113e-04,2.328925e-04,2.307037e-04,2.300872e-04,2.284952e-04,2.262696e-04,2.256885e-04,2.240296e-04,2.217776e-04,2.212356e-04,2.195160e-04,2.172471e-04,2.167472e-04,2.149729e-04,2.126956e-04,2.122399e-04,2.104169e-04,2.081387e-04,2.077288e-04,2.058627e-04,2.035907e-04,2.032276e-04,2.013240e-04,1.990641e-04,1.987484e-04,1.968125e-04,1.945704e-04,1.943021e-04,1.923391e-04,1.901196e-04,1.898984e-04,1.879132e-04,1.857207e-04,1.855459e-04,1.835431e-04,1.813814e-04,1.812522e-04,1.792363e-04,1.771087e-04,1.770240e-04,1.749993e-04,1.729087e-04,1.728670e-04,1.708375e-04,1.687864e-04,1.647864e-04,1.608707e-04,1.570423e-04,1.533038e-04,1.496572e-04,1.461041e-04,1.426457e-04,1.392827e-04,1.360156e-04,1.328445e-04,1.297694e-04,1.267898e-04,1.239051e-04,1.211146e-04,1.184174e-04,1.158122e-04,1.132978e-04,1.108729e-04,1.085360e-04,1.062855e-04,1.041198e-04,1.020372e-04,1.000358e-04,9.811393e-05,9.626970e-05,9.450126e-05,9.280670e-05,9.118412e-05,8.963163e-05,8.814730e-05,8.672922e-05,8.537551e-05,8.408426e-05,8.285361e-05,8.168170e-05,8.056670e-05,7.950681e-05,7.850022e-05,7.754520e-05,7.664002e-05,7.578297e-05,7.497240e-05,7.420666e-05,7.348418e-05,7.280337e-05,7.216271e-05,7.156071e-05,7.099591e-05,7.046688e-05
0.000000e+00,5.985418e-09,9.137179e-08,9.551918e-08,6.041488e-07,2.010971e-06,2.093092e-06,4.575096e-06,7.147542e-06,7.307649e-06,9.834451e-06,1.190001e-05,1.206790e-05,1.401574e-05,1.554468e-05,1.570232e-05,1.715334e-05,1.825495e-05,1.839336e-05,1.944404e-05,2.021131e-05,2.032517e-05,2.105505e-05,2.156348e-05,2.165031e-05,2.212600e-05,2.243644e-05,2.249574e-05,2.277181e-05,2.293270e-05,2.296528e-05,2.308605e-05,2.313556e-05,2.314304e-05,2.314422e-05,2.311218e-05,2.309669e-05,2.300682e-05,2.291641e-05,2.288027e-05,2.272209e-05,2.259116e-05,2.253677e-05,2.232831e-05,2.217053e-05,2.210024e-05,2.185572e-05,2.168147e-05,2.159752e-05,2.132811e-05,2.114523e-05,2.104968e-05,2.076413e-05,2.057844e-05,2.047317e-05,2.017828e-05,1.999406e-05,1.988078e-05,1.958181e-05,1.940214e-05,1.928236e-05,1.898332e-05,1.881037e-05,1.868544e-05,1.838938e-05,1.822460e-05,1.809571e-05,1.780490e-05,1.764921e-05,1.751739e-05,1.723351e-05,1.708743e-05,1.695356e-05,1.667780e-05,1.654155e-05,1.640642e-05,1.613958e-05,1.601316e-05,1.587743e-05,1.562005e-05,1.550328e-05,1.536753e-05,1.511990e-05,1.501251e-05,1.487721e-05,1.463947e-05,1.454109e-05,1.440667e-05,1.417880e-05,1.408902e-05,1.395582e-05,1.373771e-05,1.365609e-05,1.352441e-05,1.331588e-05,1.324196e-05,1.311204e-05,1.291285e-05,1.284617e-05,1.271822e-05,1.252809e-05,1.246818e-05,1.234237e-05,1.216100e-05,1.210742e-05,1.198388e-05,1.181095e-05,1.176326e-05,1.164211e-05,1.147729e-05,1.143508e-05,1.131640e-05,1.115935e-05,1.112223e-05,1.100608e-05,1.085648e-05,1.082406e-05,1.071049e-05,1.056802e-05,1.053994e-05,1.042898e-05,1.029331e-05,1.026924e-05,1.016093e-05,1.003175e-05,1.001137e-05,9.905698e-06,9.782707e-06,9.765728e-06,9.662700e-06,9.545605e-06,9.531746e-06,9.431353e-06,9.319875e-06,9.308877e-06,9.211103e-06,9.104972e-06,9.096594e-06,9.001417e-06,8.900375e-06,8.894391e-06,8.801784e-06,8.705583e-06,8.701784e-06,8.611715e-06,8.520121e-06,8.518312e-06,8.430745e-06,8.343532e-06,8.177024e-06,8.018386e-06,7.867236e-06,7.723209e-06,7.585959e-06,7.455156e-06,7.330487e-06,7.211652e-06,7.098369e-06,6.990369e-06,6.887393e-06,6.789200e-06,6.695556e-06,6.606243e-06,6.521051e-06,6.439781e-06,6.362244e-06,6.288260e-06,6.217658e-06,6.150277e-06,6.085962e-06,6.024566e-06,5.965949e-06,5.909980e-06,5.856532e-06,5.805485e-06,5.756726e-06,5.710145e-06,5.665640e-06,5.623114e-06,5.582472e-06,5.543625e-06,5.506491e-06,5.470988e-06,5.437041e-06,5.404576e-06,5.373524e-06,5.343821e-06,5.315402e-06,5.288210e-06,5.262186e-06,5.237278e-06,5.213433e-06,5.190604e-06,5.168744e-06,5.147807e-06,5.127753e-06,5.108541e-06,5.090133e-06
0.000000e+00,2.221011e-09,1.838693e-07,1.961545e-07,2.472553e-06,1.167292e-05,1.229175e-05,3.464198e-05,6.479036e-05,6.686440e-05,1.018581e-04,1.330111e-04,1.356341e-04,1.671360e-04,1.934346e-04,1.962384e-04,2.230134e-04,2.447356e-04,2.475689e-04,2.700187e-04,2.877285e-04,2.904769e-04,3.090564e-04,3.232922e-04,3.258677e-04,3.410185e-04,3.522764e-04,3.546132e-04,3.667516e-04,3.754783e-04,3.775295e-04,3.870377e-04,3.936283e-04,3.953625e-04,4.025853e-04,4.073853e-04,4.087833e-04,4.140287e-04,4.173375e-04,4.183900e-04,4.219311e-04,4.240069e-04,4.247124e-04,4.267905e-04,4.278553e-04,4.282185e-04,4.290463e-04,4.292904e-04,4.293207e-04,4.290854e-04,4.286709e-04,4.283813e-04,4.272469e-04,4.263118e-04,4.257182e-04,4.238288e-04,4.224900e-04,4.216099e-04,4.190913e-04,4.174477e-04,4.163003e-04,4.132624e-04,4.113968e-04,4.100016e-04,4.065401e-04,4.045219e-04,4.028988e-04,3.990969e-04,3.969835e-04,3.951525e-04,3.910824e-04,3.889214e-04,3.869021e-04,3.826262e-04,3.804566e-04,3.782681e-04,3.738405e-04,3.716939e-04,3.693548e-04,3.648219e-04,3.627237e-04,3.602518e-04,3.556536e-04,3.536237e-04,3.510359e-04,3.464065e-04,3.444604e-04,3.417726e-04,3.371411e-04,3.352905e-04,3.325180e-04,3.279091e-04,3.261625e-04,3.233194e-04,3.187538e-04,3.171170e-04,3.142166e-04,3.097118e-04,3.081881e-04,3.052429e-04,3.008132e-04,2.994044e-04,2.964256e-04,2.920829e-04,2.907891e-04,2.877873e-04,2.835412e-04,2.823614e-04,2.793463e-04,2.752043e-04,2.741363e-04,2.711169e-04,2.670852e-04,2.661260e-04,2.631103e-04,2.591933e-04,2.583394e-04,2.553349e-04,2.515358e-04,2.507832e-04,2.477966e-04,2.441176e-04,2.434618e-04,2.404991e-04,2.369414e-04,2.363778e-04,2.334445e-04,2.300084e-04,2.295323e-04,2.266332e-04,2.233186e-04,2.229250e-04,2.200645e-04,2.168706e-04,2.165545e-04,2.137366e-04,2.106620e-04,2.104186e-04,2.076464e-04,2.046895e-04,2.045139e-04,2.017907e-04,1.989493e-04,1.988369e-04,1.961649e-04,1.934369e-04,1.933829e-04,1.907646e-04,1.881474e-04,1.831251e-04,1.783106e-04,1.736983e-04,1.692824e-04,1.650570e-04,1.610163e-04,1.571542e-04,1.534649e-04,1.499424e-04,1.465810e-04,1.433748e-04,1.403183e-04,1.374059e-04,1.346321e-04,1.319916e-04,1.294794e-04,1.270903e-04,1.248195e-04,1.226623e-04,1.206139e-04,1.186701e-04,1.168264e-04,1.150788e-04,1.134231e-04,1.118555e-04,1.103723e-04,1.089698e-04,1.076445e-04,1.063931e-04,1.052123e-04,1.040991e-04,1.030504e-04,1.020634e-04,1.011353e-04,1.002634e-04,9.944521e-05,9.867822e-05,9.796010e-05,9.728858e-05,9.666149e-05,9.607674e-05,9.553232e-05,9.502633e-05,9.455691e-05,9.412230e-05,9.372080e-05,9.335079e-05,9.301072e-05,9.269910e-05
0.000000e+00,5.123810e-09,2.050322e-07,2.165794e-07,1.851194e-06,6.819899e-06,7.120530e-06,1.683068e-05,2.820172e-05,2.894663e-05,4.118481e-05,5.187010e-05,5.276836e-05,6.357212e-05,7.263384e-05,7.360297e-05,8.289162e-05,9.047910e-05,9.147261e-05,9.938085e-05,1.056704e-04,1.066511e-04,1.133174e-04,1.184749e-04,1.194132e-04,1.249708e-04,1.291484e-04,1.300215e-04,1.345951e-04,1.379298e-04,1.387203e-04,1.424244e-04,1.450381e-04,1.457334e-04,1.486719e-04,1.506718e-04,1.512632e-04,1.535295e-04,1.550095e-04,1.554915e-04,1.571692e-04,1.582116e-04,1.585812e-04,1.597450e-04,1.604210e-04,1.606774e-04,1.613940e-04,1.617656e-04,1.619096e-04,1.622382e-04,1.623591e-04,1.623930e-04,1.623863e-04,1.623028e-04,1.622299e-04,1.619346e-04,1.616865e-04,1.615110e-04,1.609686e-04,1.605900e-04,1.603167e-04,1.595638e-04,1.590842e-04,1.587182e-04,1.577873e-04,1.572315e-04,1.567784e-04,1.556981e-04,1.550873e-04,1.545528e-04,1.533484e-04,1.527005e-04,1.520904e-04,1.507840e-04,1.501143e-04,1.494342e-04,1.480455e-04,1.473664e-04,1.466223e-04,1.451684e-04,1.444904e-04,1.436877e-04,1.421837e-04,1.415154e-04,1.406596e-04,1.391186e-04,1.384670e-04,1.375635e-04,1.359970e-04,1.353678e-04,1.344216e-04,1.328395e-04,1.322371e-04,1.312530e-04,1.296641e-04,1.290919e-04,1.280746e-04,1.264863e-04,1.259468e-04,1.249008e-04,1.233195e-04,1.228146e-04,1.217439e-04,1.201751e-04,1.197060e-04,1.186145e-04,1.170631e-04,1.166304e-04,1.155218e-04,1.139916e-04,1.135956e-04,1.124733e-04,1.109677e-04,1.106083e-04,1.094755e-04,1.079972e-04,1.076740e-04,1.065336e-04,1.050850e-04,1.047972e-04,1.036520e-04,1.022350e-04,1.019817e-04,1.008343e-04,9.945031e-05,9.923043e-05,9.808323e-05,9.673336e-05,9.654576e-05,9.540089e-05,9.408601e-05,9.392942e-05,9.278887e-05,9.150957e-05,9.138263e-05,9.024822e-05,8.900489e-05,8.890620e-05,8.777961e-05,8.657241e-05,8.650056e-05,8.538330e-05,8.421225e-05,8.416578e-05,8.305923e-05,8.192420e-05,8.190168e-05,8.080709e-05,7.970782e-05,7.758353e-05,7.552800e-05,7.354024e-05,7.161913e-05,6.976348e-05,6.797198e-05,6.624325e-05,6.457589e-05,6.296842e-05,6.141935e-05,5.992716e-05,5.849033e-05,5.710733e-05,5.577662e-05,5.449668e-05,5.326601e-05,5.208310e-05,5.094650e-05,4.985473e-05,4.880639e-05,4.780006e-05,4.683438e-05,4.590801e-05,4.501964e-05,4.416799e-05,4.335181e-05,4.256988e-05,4.182104e-05,4.110412e-05,4.041802e-05,3.976164e-05,3.913394e-05,3.853389e-05,3.796051e-05,3.741284e-05,3.688994e-05,3.639091e-05,3.591489e-05,3.546103e-05,3.502851e-05,3.461654e-05,3.422436e-05,3.385123e-05,3.349644e-05,3.315929e-05,3.283913e-05,3.253530e-05,3.224719e-05,3.197419e-05
0.000000e+00,7.575972e-13,1.734318e-10,1.880655e-10,5.252140e-09,5.603976e-08,6.113111e-08,4.263980e-07,1.900314e-06,2.071751e-06,7.637500e-06,2.091608e-05,2.266136e-05,5.659599e-05,1.145903e-04,1.231976e-04,2.401610e-04,4.010918e-04,4.281242e-04,7.092773e-04,1.042564e-03,1.105826e-03,1.638514e-03,2.204461e-03,2.325354e-03,3.180649e-03,4.014815e-03,4.214345e-03,5.431693e-03,6.538310e-03,6.833219e-03,8.414912e-03,9.768589e-03,1.016861e-02,1.208255e-02,1.363530e-02,1.414193e-02,1.632959e-02,1.801997e-02,1.862662e-02,2.101301e-02,2.277501e-02,2.346820e-02,2.597161e-02,2.774184e-02,2.850304e-02,3.104310e-02,3.276585e-02,3.357344e-02,3.607703e-02,3.770710e-02,3.853826e-02,4.094312e-02,4.244684e-02,4.327919e-02,4.553567e-02,4.689063e-02,4.770338e-02,4.977468e-02,5.096856e-02,5.174340e-02,5.360477e-02,5.463375e-02,5.535529e-02,5.699263e-02,5.785959e-02,5.851552e-02,5.992365e-02,6.063648e-02,6.121754e-02,6.239844e-02,6.296846e-02,6.346823e-02,6.442932e-02,6.486998e-02,6.528457e-02,6.603720e-02,6.636304e-02,6.669073e-02,6.724891e-02,6.747472e-02,6.771564e-02,6.809495e-02,6.823521e-02,6.839094e-02,6.860773e-02,6.867616e-02,6.874945e-02,6.882018e-02,6.882951e-02,6.882396e-02,6.876475e-02,6.872654e-02,6.864640e-02,6.847268e-02,6.839729e-02,6.824722e-02,6.797357e-02,6.787015e-02,6.765510e-02,6.729508e-02,6.717162e-02,6.689664e-02,6.646276e-02,6.632611e-02,6.599629e-02,6.549996e-02,6.535599e-02,6.497635e-02,6.442793e-02,6.428156e-02,6.385702e-02,6.326585e-02,6.312119e-02,6.265650e-02,6.203096e-02,6.189136e-02,6.139109e-02,6.073866e-02,6.060682e-02,6.007533e-02,5.940267e-02,5.928071e-02,5.872214e-02,5.803512e-02,5.792469e-02,5.734293e-02,5.664678e-02,5.654907e-02,5.594780e-02,5.524707e-02,5.516292e-02,5.454560e-02,5.384430e-02,5.377422e-02,5.314406e-02,5.244569e-02,5.238993e-02,5.174995e-02,5.105754e-02,5.101612e-02,5.036912e-02,4.968528e-02,4.965803e-02,4.900660e-02,4.833359e-02,4.832019e-02,4.766672e-02,4.700646e-02,4.572013e-02,4.446398e-02,4.324032e-02,4.205105e-02,4.089769e-02,3.978147e-02,3.870329e-02,3.766384e-02,3.666354e-02,3.570266e-02,3.478124e-02,3.389921e-02,3.305633e-02,3.225227e-02,3.148657e-02,3.075869e-02,3.006800e-02,2.941379e-02,2.879533e-02,2.821178e-02,2.766228e-02,2.714594e-02,2.666182e-02,2.620896e-02,2.578636e-02,2.539302e-02,2.502790e-02,2.468999e-02,2.437822e-02,2.409154e-02,2.382890e-02,2.358924e-02,2.337152e-02,2.317468e-02,2.299769e-02,2.283951e-02,2.269914e-02,2.257558e-02,2.246783e-02,2.237494e-02,2.229596e-02,2.222996e-02,2.217604e-02,2.213333e-02,2.210098e-02,2.207816e-02,2.206408e-02,2.205798e-02,2.205912e-02
0.000000e+00,1.309731e-10,1.359803e-08,1.452150e-08,1.990438e-07,1.176946e-06,1.254627e-06,5.049459e-06,1.380927e-05,1.460119e-05,3.254335e-05,5.666883e-05,5.905365e-05,9.130137e-05,1.216819e-04,1.250019e-04,1.565232e-04,1.808332e-04,1.838641e-04,2.064365e-04,2.221890e-04,2.244563e-04,2.384614e-04,2.475659e-04,2.490558e-04,2.568027e-04,2.613770e-04,2.621928e-04,2.656422e-04,2.672407e-04,2.674995e-04,2.680553e-04,2.677423e-04,2.675513e-04,2.661884e-04,2.646816e-04,2.641329e-04,2.615228e-04,2.593023e-04,2.584724e-04,2.550761e-04,2.524609e-04,2.514119e-04,2.475444e-04,2.447450e-04,2.435267e-04,2.394026e-04,2.365560e-04,2.352079e-04,2.309722e-04,2.281659e-04,2.267193e-04,2.224691e-04,2.197580e-04,2.182377e-04,2.140381e-04,2.114551e-04,2.098810e-04,2.057747e-04,2.033381e-04,2.017258e-04,1.977394e-04,1.954574e-04,1.938193e-04,1.899687e-04,1.878434e-04,1.861895e-04,1.824834e-04,1.805128e-04,1.788514e-04,1.752941e-04,1.734739e-04,1.718117e-04,1.684040e-04,1.667280e-04,1.650706e-04,1.618109e-04,1.602721e-04,1.586239e-04,1.555089e-04,1.540998e-04,1.524648e-04,1.494904e-04,1.482034e-04,1.465845e-04,1.437460e-04,1.425737e-04,1.409737e-04,1.382664e-04,1.372013e-04,1.356226e-04,1.330411e-04,1.320762e-04,1.305206e-04,1.280598e-04,1.271884e-04,1.256576e-04,1.233126e-04,1.225281e-04,1.210236e-04,1.187893e-04,1.180856e-04,1.166085e-04,1.144800e-04,1.138515e-04,1.124027e-04,1.103754e-04,1.098166e-04,1.083970e-04,1.064663e-04,1.059720e-04,1.045822e-04,1.027437e-04,1.023091e-04,1.009496e-04,9.919908e-05,9.881970e-05,9.749101e-05,9.582441e-05,9.549598e-05,9.419832e-05,9.261177e-05,9.233033e-05,9.106386e-05,8.955366e-05,8.931546e-05,8.808029e-05,8.664288e-05,8.644446e-05,8.524057e-05,8.387255e-05,8.371066e-05,8.253800e-05,8.123611e-05,8.110768e-05,7.996611e-05,7.872725e-05,7.862947e-05,7.751879e-05,7.634000e-05,7.627020e-05,7.519017e-05,7.406861e-05,7.402433e-05,7.297465e-05,7.190762e-05,7.188655e-05,7.086688e-05,6.985180e-05,6.791525e-05,6.607229e-05,6.431851e-05,6.264973e-05,6.106193e-05,5.955129e-05,5.811418e-05,5.674711e-05,5.544678e-05,5.421002e-05,5.303383e-05,5.191534e-05,5.085180e-05,4.984062e-05,4.887930e-05,4.796547e-05,4.709689e-05,4.627140e-05,4.548694e-05,4.474157e-05,4.403343e-05,4.336074e-05,4.272181e-05,4.211503e-05,4.153887e-05,4.099187e-05,4.047264e-05,3.997985e-05,3.951223e-05,3.906859e-05,3.864778e-05,3.824871e-05,3.787033e-05,3.751166e-05,3.717175e-05,3.684970e-05,3.654466e-05,3.625581e-05,3.598237e-05,3.572361e-05,3.547881e-05,3.524731e-05,3.502846e-05,3.482166e-05,3.462633e-05,3.444191e-05,3.426788e-05,3.410373e-05,3.394898e-05
0.000000e+00,8.593243e-11,1.063817e-08,1.139461e-08,1.771720e-07,1.164991e-06,1.247663e-06,5.701745e-06,1.785544e-05,1.904876e-05,4.926268e-05,9.768219e-05,1.028953e-04,1.805106e-04,2.659537e-04,2.760588e-04,3.803997e-04,4.728143e-04,4.851996e-04,5.847688e-04,6.638256e-04,6.760459e-04,7.578317e-04,8.190911e-04,8.300064e-04,8.929849e-04,9.382125e-04,9.474090e-04,9.939863e-04,1.026071e-03,1.033419e-03,1.066374e-03,1.087983e-03,1.093472e-03,1.115285e-03,1.128653e-03,1.132339e-03,1.145115e-03,1.152075e-03,1.154053e-03,1.159554e-03,1.161592e-03,1.161982e-03,1.161672e-03,1.159988e-03,1.158925e-03,1.154018e-03,1.149576e-03,1.147201e-03,1.138702e-03,1.132272e-03,1.128727e-03,1.117463e-03,1.109656e-03,1.105079e-03,1.091729e-03,1.083029e-03,1.077553e-03,1.062675e-03,1.053459e-03,1.047209e-03,1.031258e-03,1.021820e-03,1.014912e-03,9.982561e-04,9.888210e-04,9.813636e-04,9.643018e-04,9.550394e-04,9.471305e-04,9.299032e-04,9.209390e-04,9.126678e-04,8.954668e-04,8.868912e-04,8.783380e-04,8.613149e-04,8.531901e-04,8.444269e-04,8.277001e-04,8.200663e-04,8.111572e-04,7.948180e-04,7.876978e-04,7.786997e-04,7.628171e-04,7.562197e-04,7.471826e-04,7.318069e-04,7.257312e-04,7.166989e-04,7.018656e-04,6.963023e-04,6.873129e-04,6.730453e-04,6.679795e-04,6.590662e-04,6.453777e-04,6.407901e-04,6.319813e-04,6.188774e-04,6.147460e-04,6.060659e-04,5.935457e-04,5.898463e-04,5.813155e-04,5.693732e-04,5.660806e-04,5.577164e-04,5.463421e-04,5.434307e-04,5.352472e-04,5.244281e-04,5.218721e-04,5.138810e-04,5.036020e-04,5.013762e-04,4.935868e-04,4.838311e-04,4.819107e-04,4.743303e-04,4.650799e-04,4.634410e-04,4.560751e-04,4.473111e-04,4.459309e-04,4.387833e-04,4.304866e-04,4.293433e-04,4.224164e-04,4.145676e-04,4.136404e-04,4.069355e-04,3.995153e-04,3.987848e-04,3.923021e-04,3.852912e-04,3.847389e-04,3.784778e-04,3.718574e-04,3.714662e-04,3.654252e-04,3.591767e-04,3.589305e-04,3.531075e-04,3.472130e-04,3.470969e-04,3.414890e-04,3.359312e-04,3.254004e-04,3.154729e-04,3.061180e-04,2.973065e-04,2.890103e-04,2.812024e-04,2.738573e-04,2.669503e-04,2.604582e-04,2.543588e-04,2.486309e-04,2.432543e-04,2.382100e-04,2.334798e-04,2.290466e-04,2.248939e-04,2.210064e-04,2.173692e-04,2.139685e-04,2.107911e-04,2.078245e-04,2.050568e-04,2.024769e-04,2.000741e-04,1.978384e-04,1.957604e-04,1.938309e-04,1.920415e-04,1.903841e-04,1.888511e-04,1.874353e-04,1.861299e-04,1.849284e-04,1.838247e-04,1.828131e-04,1.818881e-04,1.810445e-04,1.802775e-04,1.795824e-04,1.789549e-04,1.783908e-04,1.778863e-04,1.774377e-04,1.770415e-04,1.766944e-04,1.763932e-04,1.761351e-04,1.759173e-04,1.757371e-04
0.000000e+00,1.011846e-12,2.192309e-10,2.373955e-10,6.159046e-09,6.208581e-08,6.760468e-08,4.575857e-07,2.022515e-06,2.204710e-06,8.137584e-06,2.233288e-05,2.419876e-05,6.039585e-05,1.218152e-04,1.308851e-04,2.531281e-04,4.188021e-04,4.463913e-04,7.299659e-04,1.059559e-03,1.121441e-03,1.635266e-03,2.169091e-03,2.281725e-03,3.066365e-03,3.813491e-03,3.989841e-03,5.048112e-03,5.986356e-03,6.232917e-03,7.532418e-03,8.616300e-03,8.931956e-03,1.041483e-02,1.158652e-02,1.196307e-02,1.355814e-02,1.475773e-02,1.518152e-02,1.681531e-02,1.798851e-02,1.844255e-02,2.004761e-02,2.115034e-02,2.161639e-02,2.313644e-02,2.413669e-02,2.459703e-02,2.598920e-02,2.686693e-02,2.730564e-02,2.854069e-02,2.928641e-02,2.969016e-02,3.075123e-02,3.136397e-02,3.172235e-02,3.260303e-02,3.308820e-02,3.339376e-02,3.409583e-02,3.446316e-02,3.471122e-02,3.524248e-02,3.550433e-02,3.569260e-02,3.606493e-02,3.623491e-02,3.636309e-02,3.659086e-02,3.668278e-02,3.675215e-02,3.685092e-02,3.687811e-02,3.689116e-02,3.687680e-02,3.685164e-02,3.681169e-02,3.669963e-02,3.663332e-02,3.654426e-02,3.634910e-02,3.625151e-02,3.611754e-02,3.585280e-02,3.573245e-02,3.555794e-02,3.523587e-02,3.510004e-02,3.488933e-02,3.452092e-02,3.437570e-02,3.413307e-02,3.372804e-02,3.357845e-02,3.330799e-02,3.287488e-02,3.272499e-02,3.243059e-02,3.197683e-02,3.182990e-02,3.151521e-02,3.104721e-02,3.090578e-02,3.057421e-02,3.009748e-02,2.996349e-02,2.961819e-02,2.913741e-02,2.901230e-02,2.865615e-02,2.817532e-02,2.806008e-02,2.769574e-02,2.721819e-02,2.711347e-02,2.674336e-02,2.627188e-02,2.617804e-02,2.580434e-02,2.534125e-02,2.525841e-02,2.488310e-02,2.443030e-02,2.435837e-02,2.398324e-02,2.354225e-02,2.348102e-02,2.310765e-02,2.267971e-02,2.262881e-02,2.225865e-02,2.184469e-02,2.180369e-02,2.143800e-02,2.103873e-02,2.100712e-02,2.064702e-02,2.026297e-02,2.024017e-02,1.988666e-02,1.951817e-02,1.950359e-02,1.915754e-02,1.880480e-02,1.879783e-02,1.845998e-02,1.812307e-02,1.747932e-02,1.686639e-02,1.628394e-02,1.573152e-02,1.520857e-02,1.471444e-02,1.424843e-02,1.380977e-02,1.339766e-02,1.301127e-02,1.264973e-02,1.231217e-02,1.199769e-02,1.170542e-02,1.143445e-02,1.118390e-02,1.095289e-02,1.074056e-02,1.054604e-02,1.036849e-02,1.020708e-02,1.006099e-02,9.929424e-03,9.811605e-03,9.706770e-03,9.614177e-03,9.533103e-03,9.462846e-03,9.402721e-03,9.352066e-03,9.310240e-03,9.276620e-03,9.250606e-03,9.231619e-03,9.219101e-03,9.212514e-03,9.211344e-03,9.215095e-03,9.223294e-03,9.235490e-03,9.251252e-03,9.270170e-03,9.291857e-03,9.315944e-03,9.342084e-03,9.369951e-03,9.399238e-03,9.429659e-03,9.460944e-03
0.000000e+00,4.506188e-13,9.917790e-11,1.073931e-10,2.738254e-09,2.667226e-08,2.900029e-08,1.902632e-07,8.303603e-07,9.050156e-07,3.368493e-06,9.465369e-06,1.028318e-05,2.667574e-05,5.607031e-05,6.053722e-05,1.230958e-04,2.131863e-04,2.286636e-04,3.941035e-04,5.984234e-04,6.380161e-04,9.797669e-04,1.356456e-03,1.438464e-03,2.031984e-03,2.630424e-03,2.776103e-03,3.683799e-03,4.534342e-03,4.764728e-03,6.024890e-03,7.133787e-03,7.466480e-03,9.087896e-03,1.043734e-02,1.088389e-02,1.284587e-02,1.439784e-02,1.496218e-02,1.721863e-02,1.892092e-02,1.959884e-02,2.208478e-02,2.387760e-02,2.465724e-02,2.729625e-02,2.911843e-02,2.998151e-02,3.269282e-02,3.448689e-02,3.541035e-02,3.811502e-02,3.983084e-02,4.078870e-02,4.341443e-02,4.501139e-02,4.597657e-02,4.846090e-02,4.990882e-02,5.085475e-02,5.314697e-02,5.442606e-02,5.532800e-02,5.738980e-02,5.848984e-02,5.932585e-02,6.113108e-02,6.205014e-02,6.280176e-02,6.433546e-02,6.507840e-02,6.573096e-02,6.698808e-02,6.756497e-02,6.810765e-02,6.909139e-02,6.951604e-02,6.994178e-02,7.066199e-02,7.095058e-02,7.125576e-02,7.172734e-02,7.189730e-02,7.208136e-02,7.232280e-02,7.239189e-02,7.245688e-02,7.248900e-02,7.247454e-02,7.242469e-02,7.226954e-02,7.218794e-02,7.202916e-02,7.170914e-02,7.157550e-02,7.131499e-02,7.085216e-02,7.068010e-02,7.032596e-02,6.974156e-02,6.954308e-02,6.910398e-02,6.841804e-02,6.820353e-02,6.768840e-02,6.691950e-02,6.669776e-02,6.611560e-02,6.528074e-02,6.505908e-02,6.441875e-02,6.353327e-02,6.331765e-02,6.262773e-02,6.170535e-02,6.150048e-02,6.076917e-02,5.982202e-02,5.963150e-02,5.886655e-02,5.790523e-02,5.773176e-02,5.694038e-02,5.597412e-02,5.581952e-02,5.500843e-02,5.404513e-02,5.391056e-02,5.308591e-02,5.213231e-02,5.201832e-02,5.118574e-02,5.024750e-02,5.015418e-02,4.931876e-02,4.840061e-02,4.832764e-02,4.749399e-02,4.659979e-02,4.654655e-02,4.571879e-02,4.485169e-02,4.481731e-02,4.399911e-02,4.316160e-02,4.314500e-02,4.233963e-02,4.153362e-02,3.998613e-02,3.850471e-02,3.709076e-02,3.574509e-02,3.446797e-02,3.325920e-02,3.211822e-02,3.104414e-02,3.003580e-02,2.909183e-02,2.821066e-02,2.739059e-02,2.662978e-02,2.592630e-02,2.527817e-02,2.468332e-02,2.413966e-02,2.364506e-02,2.319740e-02,2.279451e-02,2.243426e-02,2.211450e-02,2.183313e-02,2.158805e-02,2.137717e-02,2.119845e-02,2.104989e-02,2.092950e-02,2.083535e-02,2.076554e-02,2.071824e-02,2.069163e-02,2.068398e-02,2.069359e-02,2.071883e-02,2.075812e-02,2.080995e-02,2.087286e-02,2.094545e-02,2.102641e-02,2.111447e-02,2.120843e-02,2.130719e-02,2.140967e-02,2.151488e-02,2.162192e-02,2.172992e-02,2.183809e-02,2.194572e-02
0.000000e+00,3.874751e-09,1.417351e-07,1.494928e-07,1.271636e-06,5.008464e-06,5.247192e-06,1.360270e-05,2.474819e-05,2.551526e-05,3.833376e-05,4.933174e-05,5.023293e-05,6.070578e-05,6.891118e-05,6.975524e-05,7.750158e-05,8.334868e-05,8.408097e-05,8.962267e-05,9.364885e-05,9.424466e-05,9.805345e-05,1.006947e-04,1.011448e-04,1.036045e-04,1.052041e-04,1.055092e-04,1.069273e-04,1.077526e-04,1.079197e-04,1.085405e-04,1.087977e-04,1.088375e-04,1.088533e-04,1.087004e-04,1.086253e-04,1.081866e-04,1.077437e-04,1.075666e-04,1.067910e-04,1.061491e-04,1.058825e-04,1.048612e-04,1.040887e-04,1.037447e-04,1.025485e-04,1.016965e-04,1.012861e-04,9.996958e-05,9.907615e-05,9.860938e-05,9.721471e-05,9.630774e-05,9.579353e-05,9.435292e-05,9.345274e-05,9.289908e-05,9.143738e-05,9.055852e-05,8.997242e-05,8.850827e-05,8.766084e-05,8.704845e-05,8.559600e-05,8.478682e-05,8.415349e-05,8.272318e-05,8.195656e-05,8.130696e-05,7.990645e-05,7.918486e-05,7.852303e-05,7.715784e-05,7.648238e-05,7.581183e-05,7.448579e-05,7.385657e-05,7.318035e-05,7.189600e-05,7.131239e-05,7.063312e-05,6.939201e-05,6.885287e-05,6.817285e-05,6.697576e-05,6.647958e-05,6.580080e-05,6.464794e-05,6.419298e-05,6.351714e-05,6.240829e-05,6.199265e-05,6.132124e-05,6.025582e-05,5.987752e-05,5.921183e-05,5.818904e-05,5.784607e-05,5.718720e-05,5.620606e-05,5.589642e-05,5.524534e-05,5.430474e-05,5.402644e-05,5.338396e-05,5.248271e-05,5.223381e-05,5.160066e-05,5.073750e-05,5.051614e-05,4.989292e-05,4.906658e-05,4.887094e-05,4.825817e-05,4.746735e-05,4.729571e-05,4.669382e-05,4.593723e-05,4.578792e-05,4.519729e-05,4.447365e-05,4.434511e-05,4.376602e-05,4.307409e-05,4.296481e-05,4.239753e-05,4.173605e-05,4.164463e-05,4.108934e-05,4.045712e-05,4.038221e-05,3.983908e-05,3.923493e-05,3.917527e-05,3.864440e-05,3.806719e-05,3.802158e-05,3.750305e-05,3.695169e-05,3.691901e-05,3.641285e-05,3.588627e-05,3.586545e-05,3.537169e-05,3.486886e-05,3.485892e-05,3.437753e-05,3.389746e-05,3.297920e-05,3.210236e-05,3.126519e-05,3.046604e-05,2.970330e-05,2.897544e-05,2.828097e-05,2.761849e-05,2.698663e-05,2.638409e-05,2.580962e-05,2.526201e-05,2.474012e-05,2.424283e-05,2.376910e-05,2.331790e-05,2.288827e-05,2.247928e-05,2.209002e-05,2.171965e-05,2.136734e-05,2.103231e-05,2.071381e-05,2.041111e-05,2.012353e-05,1.985041e-05,1.959110e-05,1.934501e-05,1.911155e-05,1.889016e-05,1.868031e-05,1.848150e-05,1.829323e-05,1.811503e-05,1.794645e-05,1.778707e-05,1.763648e-05,1.749427e-05,1.736008e-05,1.723353e-05,1.711429e-05,1.700203e-05,1.689642e-05,1.679716e-05,1.670396e-05,1.661655e-05,1.653465e-05,1.645802e-05,1.638640e-05
0.000000e+00,1.903876e-09,2.552099e-08,2.664233e-08,1.644425e-07,5.719914e-07,5.971730e-07,1.442276e-06,2.490467e-06,2.560731e-06,3.736208e-06,4.789871e-06,4.879497e-06,5.970135e-06,6.903781e-06,7.004716e-06,7.983627e-06,8.800065e-06,8.908196e-06,9.780048e-06,1.048900e-05,1.060092e-05,1.137261e-05,1.198416e-05,1.209695e-05,1.277577e-05,1.329972e-05,1.341089e-05,1.400410e-05,1.444967e-05,1.455715e-05,1.507176e-05,1.544753e-05,1.554958e-05,1.599222e-05,1.630607e-05,1.640125e-05,1.677817e-05,1.703727e-05,1.712443e-05,1.744144e-05,1.765232e-05,1.773053e-05,1.799303e-05,1.816162e-05,1.823017e-05,1.844316e-05,1.857479e-05,1.863316e-05,1.880128e-05,1.890078e-05,1.894860e-05,1.907613e-05,1.914783e-05,1.918487e-05,1.927577e-05,1.932356e-05,1.934973e-05,1.940762e-05,1.943500e-05,1.945030e-05,1.947855e-05,1.948863e-05,1.949314e-05,1.949482e-05,1.949039e-05,1.948430e-05,1.946225e-05,1.944578e-05,1.942932e-05,1.938613e-05,1.935982e-05,1.933328e-05,1.927134e-05,1.923713e-05,1.920086e-05,1.912235e-05,1.908196e-05,1.903632e-05,1.894324e-05,1.889819e-05,1.884358e-05,1.873777e-05,1.868937e-05,1.862622e-05,1.850934e-05,1.845875e-05,1.838751e-05,1.826108e-05,1.820930e-05,1.813041e-05,1.799584e-05,1.794374e-05,1.785766e-05,1.771619e-05,1.766452e-05,1.757172e-05,1.742452e-05,1.737389e-05,1.727484e-05,1.712294e-05,1.707390e-05,1.696906e-05,1.681341e-05,1.676640e-05,1.665622e-05,1.649768e-05,1.645308e-05,1.633799e-05,1.617734e-05,1.613543e-05,1.601590e-05,1.585383e-05,1.581485e-05,1.569129e-05,1.552843e-05,1.549257e-05,1.536539e-05,1.520230e-05,1.516969e-05,1.503929e-05,1.487648e-05,1.484721e-05,1.471399e-05,1.455191e-05,1.452602e-05,1.439035e-05,1.422940e-05,1.420692e-05,1.406915e-05,1.390969e-05,1.389061e-05,1.375109e-05,1.359343e-05,1.357771e-05,1.343677e-05,1.328118e-05,1.326878e-05,1.312672e-05,1.297345e-05,1.296429e-05,1.282141e-05,1.267067e-05,1.266466e-05,1.252125e-05,1.237321e-05,1.237026e-05,1.222658e-05,1.208139e-05,1.179832e-05,1.152126e-05,1.125041e-05,1.098589e-05,1.072783e-05,1.047630e-05,1.023137e-05,9.993077e-06,9.761421e-06,9.536400e-06,9.317992e-06,9.106156e-06,8.900841e-06,8.701982e-06,8.509504e-06,8.323322e-06,8.143344e-06,7.969470e-06,7.801595e-06,7.639608e-06,7.483395e-06,7.332835e-06,7.187809e-06,7.048191e-06,6.913857e-06,6.784680e-06,6.660532e-06,6.541284e-06,6.426810e-06,6.316981e-06,6.211670e-06,6.110751e-06,6.014098e-06,5.921588e-06,5.833097e-06,5.748506e-06,5.667694e-06,5.590545e-06,5.516943e-06,5.446775e-06,5.379930e-06,5.316298e-06,5.255773e-06,5.198250e-06,5.143627e-06,5.091803e-06,5.042681e-06,4.996166e-06,4.952165e-06
0.000000e+00,2.610024e-10,2.940956e-08,3.148441e-08,4.894816e-07,3.109734e-06,3.319984e-06,1.345411e-05,3.579786e-05,3.776468e-05,8.086730e-05,1.362543e-04,1.416409e-04,2.139550e-04,2.828394e-04,2.905113e-04,3.659244e-04,4.290147e-04,4.373220e-04,5.035724e-04,5.562324e-04,5.644305e-04,6.200205e-04,6.628307e-04,6.705981e-04,7.164537e-04,7.507373e-04,7.578800e-04,7.951610e-04,8.221840e-04,8.285681e-04,8.583592e-04,8.792434e-04,8.847782e-04,9.080557e-04,9.237797e-04,9.284089e-04,9.460425e-04,9.574540e-04,9.611488e-04,9.739089e-04,9.817392e-04,9.844927e-04,9.930597e-04,9.979373e-04,9.997599e-04,1.004734e-03,1.007197e-03,1.008112e-03,1.010020e-03,1.010529e-03,1.010572e-03,1.009876e-03,1.008823e-03,1.008033e-03,1.005140e-03,1.002857e-03,1.001283e-03,9.965466e-04,9.933147e-04,9.910075e-04,9.847381e-04,9.807940e-04,9.778059e-04,9.702740e-04,9.658163e-04,9.622012e-04,9.536422e-04,9.488363e-04,9.446480e-04,9.352663e-04,9.302495e-04,9.255414e-04,9.155142e-04,9.103995e-04,9.052233e-04,8.947041e-04,8.895835e-04,8.839896e-04,8.731104e-04,8.680586e-04,8.620950e-04,8.509697e-04,8.460460e-04,8.397587e-04,8.284846e-04,8.237357e-04,8.171681e-04,8.058284e-04,8.012900e-04,7.944831e-04,7.831484e-04,7.788472e-04,7.718393e-04,7.605695e-04,7.565244e-04,7.493514e-04,7.381965e-04,7.344201e-04,7.271152e-04,7.161171e-04,7.126166e-04,7.052106e-04,6.944037e-04,6.911821e-04,6.837033e-04,6.731158e-04,6.701723e-04,6.626468e-04,6.523014e-04,6.496324e-04,6.420840e-04,6.319986e-04,6.295981e-04,6.220486e-04,6.122370e-04,6.100972e-04,6.025662e-04,5.930384e-04,5.911502e-04,5.836554e-04,5.744186e-04,5.727715e-04,5.653290e-04,5.563875e-04,5.549707e-04,5.475948e-04,5.389510e-04,5.377528e-04,5.304563e-04,5.221106e-04,5.211191e-04,5.139134e-04,5.058644e-04,5.050676e-04,4.979627e-04,4.902077e-04,4.895936e-04,4.825982e-04,4.751333e-04,4.746900e-04,4.678118e-04,4.606322e-04,4.603480e-04,4.535934e-04,4.466937e-04,4.465571e-04,4.399317e-04,4.333057e-04,4.205810e-04,4.083694e-04,3.966570e-04,3.854292e-04,3.746710e-04,3.643676e-04,3.545038e-04,3.450645e-04,3.360349e-04,3.274001e-04,3.191454e-04,3.112567e-04,3.037197e-04,2.965208e-04,2.896466e-04,2.830840e-04,2.768203e-04,2.708433e-04,2.651411e-04,2.597020e-04,2.545151e-04,2.495694e-04,2.448548e-04,2.403611e-04,2.360787e-04,2.319985e-04,2.281114e-04,2.244090e-04,2.208830e-04,2.175256e-04,2.143291e-04,2.112863e-04,2.083903e-04,2.056344e-04,2.030122e-04,2.005176e-04,1.981448e-04,1.958882e-04,1.937424e-04,1.917023e-04,1.897629e-04,1.879197e-04,1.861680e-04,1.845037e-04,1.829226e-04,1.814207e-04,1.799944e-04,1.786401e-04,1.773544e-04
0.000000e+00,5.827578e-13,1.329605e-10,1.441829e-10,4.041690e-09,4.326524e-08,4.719854e-08,3.287636e-07,1.456652e-06,1.587265e-06,5.792105e-06,1.567954e-05,1.696963e-05,4.179358e-05,8.352460e-05,8.966768e-05,1.722699e-04,2.840760e-04,3.027015e-04,4.944409e-04,7.181711e-04,7.602918e-04,1.111460e-03,1.478962e-03,1.556842e-03,2.102556e-03,2.627194e-03,2.751722e-03,3.504451e-03,4.179451e-03,4.358009e-03,5.307113e-03,6.109016e-03,6.344315e-03,7.460425e-03,8.355028e-03,8.644959e-03,9.886564e-03,1.083515e-02,1.117342e-02,1.249359e-02,1.345812e-02,1.383532e-02,1.518731e-02,1.613406e-02,1.653888e-02,1.788016e-02,1.878172e-02,1.920214e-02,2.049678e-02,2.133278e-02,2.175700e-02,2.297672e-02,2.373368e-02,2.415081e-02,2.527502e-02,2.594547e-02,2.634599e-02,2.736114e-02,2.794264e-02,2.831862e-02,2.921725e-02,2.971122e-02,3.005641e-02,3.083600e-02,3.124666e-02,3.155637e-02,3.221826e-02,3.255172e-02,3.282272e-02,3.337108e-02,3.363456e-02,3.386488e-02,3.430584e-02,3.450708e-02,3.469582e-02,3.503675e-02,3.518358e-02,3.533067e-02,3.557965e-02,3.567966e-02,3.578577e-02,3.595112e-02,3.601150e-02,3.607779e-02,3.616782e-02,3.619520e-02,3.622323e-02,3.624598e-02,3.624637e-02,3.623798e-02,3.620109e-02,3.617987e-02,3.613710e-02,3.604773e-02,3.600967e-02,3.593465e-02,3.579944e-02,3.574871e-02,3.564363e-02,3.546868e-02,3.540888e-02,3.527597e-02,3.506684e-02,3.500108e-02,3.484253e-02,3.460426e-02,3.453519e-02,3.435315e-02,3.409030e-02,3.402016e-02,3.381672e-02,3.353339e-02,3.346404e-02,3.324122e-02,3.294110e-02,3.287408e-02,3.263383e-02,3.232019e-02,3.225677e-02,3.200093e-02,3.167673e-02,3.161790e-02,3.134825e-02,3.101610e-02,3.096265e-02,3.068086e-02,3.034307e-02,3.029561e-02,3.000326e-02,2.966190e-02,2.962086e-02,2.931945e-02,2.897634e-02,2.894200e-02,2.863295e-02,2.828968e-02,2.826223e-02,2.794686e-02,2.760483e-02,2.758434e-02,2.726389e-02,2.692434e-02,2.691079e-02,2.658643e-02,2.625042e-02,2.624372e-02,2.591653e-02,2.558499e-02,2.493622e-02,2.429880e-02,2.367390e-02,2.306252e-02,2.246550e-02,2.188354e-02,2.131719e-02,2.076690e-02,2.023300e-02,1.971575e-02,1.921531e-02,1.873178e-02,1.826518e-02,1.781549e-02,1.738263e-02,1.696647e-02,1.656686e-02,1.618360e-02,1.581646e-02,1.546520e-02,1.512955e-02,1.480921e-02,1.450387e-02,1.421321e-02,1.393690e-02,1.367460e-02,1.342595e-02,1.319059e-02,1.296816e-02,1.275828e-02,1.256060e-02,1.237474e-02,1.220031e-02,1.203696e-02,1.188430e-02,1.174196e-02,1.160956e-02,1.148675e-02,1.137315e-02,1.126840e-02,1.117214e-02,1.108401e-02,1.100367e-02,1.093075e-02,1.086493e-02,1.080585e-02,1.075321e-02,1.070665e-02,1.066588e-02
0.000000e+00,2.593104e-12,6.257529e-10,6.792978e-10,1.990444e-08,2.182274e-07,2.382297e-07,1.680759e-06,7.522086e-06,8.202449e-06,3.037472e-05,8.380100e-05,9.086913e-05,2.299333e-04,4.729681e-04,5.094980e-04,1.015079e-03,1.732695e-03,1.855291e-03,3.159224e-03,4.761936e-03,5.072154e-03,7.750146e-03,1.070860e-02,1.135409e-02,1.604365e-02,2.080660e-02,2.197148e-02,2.927806e-02,3.619994e-02,3.808730e-02,4.850296e-02,5.779539e-02,6.060616e-02,7.445359e-02,8.616450e-02,9.007677e-02,1.074821e-01,1.214996e-01,1.266514e-01,1.475432e-01,1.636173e-01,1.700945e-01,1.942227e-01,2.119979e-01,2.198281e-01,2.467961e-01,2.658483e-01,2.749998e-01,3.043028e-01,3.241753e-01,3.345612e-01,3.656261e-01,3.858612e-01,3.973463e-01,4.295697e-01,4.497345e-01,4.621451e-01,4.949246e-01,5.146302e-01,5.277642e-01,5.605255e-01,5.794388e-01,5.930765e-01,6.252924e-01,6.431432e-01,6.570567e-01,6.882611e-01,7.048432e-01,7.188059e-01,7.486005e-01,7.637699e-01,7.775635e-01,8.056220e-01,8.192918e-01,8.327123e-01,8.587789e-01,8.709132e-01,8.837750e-01,9.076615e-01,9.182677e-01,9.304068e-01,9.519867e-01,9.611078e-01,9.723835e-01,9.915858e-01,9.992931e-01,1.009588e+00,1.026390e+00,1.032776e+00,1.041997e+00,1.056418e+00,1.061589e+00,1.069665e+00,1.081756e+00,1.085829e+00,1.092710e+00,1.102550e+00,1.105646e+00,1.111302e+00,1.118992e+00,1.121234e+00,1.125650e+00,1.131307e+00,1.132813e+00,1.135993e+00,1.139743e+00,1.140629e+00,1.142589e+00,1.144566e+00,1.144941e+00,1.145707e+00,1.146048e+00,1.146015e+00,1.145623e+00,1.144467e+00,1.144118e+00,1.142614e+00,1.140097e+00,1.139517e+00,1.136950e+00,1.133206e+00,1.132471e+00,1.128898e+00,1.124056e+00,1.123233e+00,1.118711e+00,1.112895e+00,1.112044e+00,1.106635e+00,1.099961e+00,1.099134e+00,1.092901e+00,1.085480e+00,1.084719e+00,1.077725e+00,1.069661e+00,1.069004e+00,1.061313e+00,1.052702e+00,1.052178e+00,1.043852e+00,1.034785e+00,1.034418e+00,1.025521e+00,1.016080e+00,1.015889e+00,1.006480e+00,9.967408e-01,9.771119e-01,9.571287e-01,9.369066e-01,9.165499e-01,8.961530e-01,8.758009e-01,8.555698e-01,8.355276e-01,8.157345e-01,7.962437e-01,7.771018e-01,7.583495e-01,7.400216e-01,7.221481e-01,7.047542e-01,6.878606e-01,6.714845e-01,6.556389e-01,6.403342e-01,6.255772e-01,6.113723e-01,5.977213e-01,5.846238e-01,5.720775e-01,5.600782e-01,5.486201e-01,5.376960e-01,5.272973e-01,5.174143e-01,5.080364e-01,4.991521e-01,4.907490e-01,4.828141e-01,4.753340e-01,4.682948e-01,4.616820e-01,4.554810e-01,4.496771e-01,4.442551e-01,4.392000e-01,4.344968e-01,4.301302e-01,4.260853e-01,4.223471e-01,4.189010e-01,4.157322e-01,4.128266e-01,4.101699e-01,4.077485e-01
0.000000e+00,1.393779e-12,3.273442e-10,3.551428e-10,1.020804e-08,1.133146e-07,1.238476e-07,9.111658e-07,4.289022e-06,4.692348e-06,1.831119e-05,5.266843e-05,5.729838e-05,1.503930e-04,3.177689e-04,3.432303e-04,7.004648e-04,1.217097e-03,1.306113e-03,2.262240e-03,3.454046e-03,3.686309e-03,5.707568e-03,7.966919e-03,8.462853e-03,1.209214e-02,1.581779e-02,1.673416e-02,2.252221e-02,2.806162e-02,2.958045e-02,3.802064e-02,4.562616e-02,4.793952e-02,5.941678e-02,6.922005e-02,7.251353e-02,8.727147e-02,9.927546e-02,1.037125e-01,1.218389e-01,1.359246e-01,1.416335e-01,1.630611e-01,1.790046e-01,1.860691e-01,2.105891e-01,2.280847e-01,2.365384e-01,2.638214e-01,2.825076e-01,2.923318e-01,3.219540e-01,3.414390e-01,3.525647e-01,3.840351e-01,4.039202e-01,4.162320e-01,4.490197e-01,4.689190e-01,4.822614e-01,5.158204e-01,5.353766e-01,5.495615e-01,5.833521e-01,6.022482e-01,6.170632e-01,6.505700e-01,6.685365e-01,6.837532e-01,7.164990e-01,7.333180e-01,7.487001e-01,7.802560e-01,7.957624e-01,8.110731e-01,8.410652e-01,8.551450e-01,8.701536e-01,8.982668e-01,9.108536e-01,9.253412e-01,9.513202e-01,9.623911e-01,9.761548e-01,9.998029e-01,1.009373e+00,1.022230e+00,1.043406e+00,1.051522e+00,1.063311e+00,1.081928e+00,1.088662e+00,1.099246e+00,1.115262e+00,1.120709e+00,1.129976e+00,1.143392e+00,1.147660e+00,1.155521e+00,1.166375e+00,1.169583e+00,1.175974e+00,1.184336e+00,1.186608e+00,1.191487e+00,1.197453e+00,1.198915e+00,1.202263e+00,1.205949e+00,1.206727e+00,1.208543e+00,1.210080e+00,1.210296e+00,1.210597e+00,1.210131e+00,1.209901e+00,1.208721e+00,1.206404e+00,1.205835e+00,1.203220e+00,1.199210e+00,1.198403e+00,1.194412e+00,1.188867e+00,1.187913e+00,1.182614e+00,1.175693e+00,1.174673e+00,1.168142e+00,1.160000e+00,1.158985e+00,1.151305e+00,1.142093e+00,1.141145e+00,1.132402e+00,1.122266e+00,1.121437e+00,1.111721e+00,1.100800e+00,1.100133e+00,1.089535e+00,1.077959e+00,1.077490e+00,1.066103e+00,1.053994e+00,1.053750e+00,1.041663e+00,1.029137e+00,1.003861e+00,9.781149e-01,9.520735e-01,9.258969e-01,8.997293e-01,8.737000e-01,8.479241e-01,8.225029e-01,7.975256e-01,7.730690e-01,7.491995e-01,7.259730e-01,7.034361e-01,6.816269e-01,6.605757e-01,6.403058e-01,6.208342e-01,6.021718e-01,5.843248e-01,5.672943e-01,5.510777e-01,5.356684e-01,5.210570e-01,5.072310e-01,4.941755e-01,4.818738e-01,4.703070e-01,4.594550e-01,4.492963e-01,4.398084e-01,4.309679e-01,4.227507e-01,4.151324e-01,4.080882e-01,4.015930e-01,3.956218e-01,3.901494e-01,3.851510e-01,3.806017e-01,3.764774e-01,3.727538e-01,3.694074e-01,3.664151e-01,3.637544e-01,3.614033e-01,3.593405e-01,3.575453e-01,3.559978e-01,3.546788e-01
0.000000e+00,5.235429e-11,8.387402e-09,9.047609e-09,2.070459e-07,1.859865e-06,2.012190e-06,1.091890e-05,3.523980e-05,3.753687e-05,9.084842e-05,1.634680e-04,1.706632e-04,2.686896e-04,3.637380e-04,3.743839e-04,4.792057e-04,5.664390e-04,5.778430e-04,6.676951e-04,7.372638e-04,7.479111e-04,8.185875e-04,8.709718e-04,8.802633e-04,9.336424e-04,9.717384e-04,9.794598e-04,1.018425e-03,1.045112e-03,1.051202e-03,1.078401e-03,1.096107e-03,1.100583e-03,1.118262e-03,1.128975e-03,1.131905e-03,1.141941e-03,1.147275e-03,1.148759e-03,1.152711e-03,1.153965e-03,1.154121e-03,1.153277e-03,1.151488e-03,1.150444e-03,1.145858e-03,1.141849e-03,1.139734e-03,1.132264e-03,1.126682e-03,1.123623e-03,1.113966e-03,1.107317e-03,1.103432e-03,1.092148e-03,1.084825e-03,1.080226e-03,1.067767e-03,1.060072e-03,1.054861e-03,1.041588e-03,1.033750e-03,1.028019e-03,1.014220e-03,1.006413e-03,1.000247e-03,9.861510e-04,9.785039e-04,9.719767e-04,9.577642e-04,9.503704e-04,9.435487e-04,9.293616e-04,9.222874e-04,9.152304e-04,9.011792e-04,8.944693e-04,8.872291e-04,8.733986e-04,8.670813e-04,8.597038e-04,8.461585e-04,8.402492e-04,8.327748e-04,8.195628e-04,8.140671e-04,8.065311e-04,7.936873e-04,7.886037e-04,7.810372e-04,7.685859e-04,7.639073e-04,7.563372e-04,7.442942e-04,7.400095e-04,7.324592e-04,7.208339e-04,7.169292e-04,7.094191e-04,6.982154e-04,6.946747e-04,6.872226e-04,6.764402e-04,6.732464e-04,6.658674e-04,6.555030e-04,6.526380e-04,6.453453e-04,6.353928e-04,6.328386e-04,6.256435e-04,6.160951e-04,6.138331e-04,6.067453e-04,5.975916e-04,5.956038e-04,5.886314e-04,5.798621e-04,5.781309e-04,5.712808e-04,5.628847e-04,5.613929e-04,5.546709e-04,5.466364e-04,5.453674e-04,5.387783e-04,5.310935e-04,5.300313e-04,5.235790e-04,5.162317e-04,5.153611e-04,5.090487e-04,5.020269e-04,5.013335e-04,4.951634e-04,4.884551e-04,4.879250e-04,4.818991e-04,4.754924e-04,4.751126e-04,4.692320e-04,4.631152e-04,4.628735e-04,4.571391e-04,4.513008e-04,4.511854e-04,4.455975e-04,4.400265e-04,4.293755e-04,4.192121e-04,4.095161e-04,4.002683e-04,3.914501e-04,3.830435e-04,3.750311e-04,3.673963e-04,3.601229e-04,3.531954e-04,3.465991e-04,3.403196e-04,3.343432e-04,3.286568e-04,3.232476e-04,3.181037e-04,3.132133e-04,3.085652e-04,3.041488e-04,2.999539e-04,2.959706e-04,2.921894e-04,2.886014e-04,2.851978e-04,2.819705e-04,2.789114e-04,2.760130e-04,2.732679e-04,2.706693e-04,2.682103e-04,2.658847e-04,2.636862e-04,2.616091e-04,2.596477e-04,2.577966e-04,2.560506e-04,2.544050e-04,2.528548e-04,2.513957e-04,2.500233e-04,2.487334e-04,2.475222e-04,2.463858e-04,2.453206e-04,2.443232e-04,2.433901e-04,2.425184e-04,2.417049e-04,2.409467e-04
0.000000e+00,1.921090e-09,2.730833e-08,2.852063e-08,1.770806e-07,6.177575e-07,6.452504e-07,1.597910e-06,2.874001e-06,2.962778e-06,4.478708e-06,5.849672e-06,5.965762e-06,7.365875e-06,8.541600e-06,8.667279e-06,9.870629e-06,1.085149e-05,1.097976e-05,1.199926e-05,1.280785e-05,1.293372e-05,1.378772e-05,1.444622e-05,1.456579e-05,1.527232e-05,1.580124e-05,1.591151e-05,1.648741e-05,1.690516e-05,1.700388e-05,1.746459e-05,1.778750e-05,1.787305e-05,1.823257e-05,1.847501e-05,1.854629e-05,1.881719e-05,1.899175e-05,1.904809e-05,1.924165e-05,1.935931e-05,1.940039e-05,1.952667e-05,1.959696e-05,1.962274e-05,1.969071e-05,1.972190e-05,1.973258e-05,1.975021e-05,1.974944e-05,1.974538e-05,1.971976e-05,1.969317e-05,1.967490e-05,1.961230e-05,1.956518e-05,1.953333e-05,1.943931e-05,1.937618e-05,1.933145e-05,1.921092e-05,1.913564e-05,1.907880e-05,1.893610e-05,1.885193e-05,1.878378e-05,1.862274e-05,1.853245e-05,1.845382e-05,1.827780e-05,1.818371e-05,1.809542e-05,1.790738e-05,1.781144e-05,1.771432e-05,1.751685e-05,1.742066e-05,1.731552e-05,1.711088e-05,1.701577e-05,1.690341e-05,1.669357e-05,1.660061e-05,1.648180e-05,1.626849e-05,1.617854e-05,1.605402e-05,1.583873e-05,1.575245e-05,1.562294e-05,1.540695e-05,1.532488e-05,1.519103e-05,1.497545e-05,1.489797e-05,1.476045e-05,1.454623e-05,1.447361e-05,1.433300e-05,1.412094e-05,1.405336e-05,1.391023e-05,1.370103e-05,1.363858e-05,1.349347e-05,1.328769e-05,1.323040e-05,1.308380e-05,1.288191e-05,1.282976e-05,1.268212e-05,1.248452e-05,1.243743e-05,1.228919e-05,1.209619e-05,1.205405e-05,1.190560e-05,1.171745e-05,1.168012e-05,1.153181e-05,1.134872e-05,1.131603e-05,1.116820e-05,1.099029e-05,1.096207e-05,1.081501e-05,1.064239e-05,1.061844e-05,1.047243e-05,1.030516e-05,1.028527e-05,1.014057e-05,9.978665e-06,9.962622e-06,9.819452e-06,9.662923e-06,9.650517e-06,9.509075e-06,9.357897e-06,9.348911e-06,9.209378e-06,9.063505e-06,9.057725e-06,8.920261e-06,8.779629e-06,8.776843e-06,8.641590e-06,8.506122e-06,8.245392e-06,7.994462e-06,7.753128e-06,7.521168e-06,7.298352e-06,7.084443e-06,6.879194e-06,6.682357e-06,6.493681e-06,6.312915e-06,6.139806e-06,5.974104e-06,5.815562e-06,5.663934e-06,5.518979e-06,5.380459e-06,5.248144e-06,5.121805e-06,5.001220e-06,4.886173e-06,4.776453e-06,4.671856e-06,4.572182e-06,4.477238e-06,4.386837e-06,4.300798e-06,4.218947e-06,4.141112e-06,4.067132e-06,3.996847e-06,3.930106e-06,3.866761e-06,3.806671e-06,3.749698e-06,3.695712e-06,3.644586e-06,3.596198e-06,3.550431e-06,3.507172e-06,3.466313e-06,3.427749e-06,3.391381e-06,3.357112e-06,3.324850e-06,3.294506e-06,3.265995e-06,3.239235e-06,3.214149e-06,3.190659e-06
0.000000e+00,9.045573e-13,2.010246e-10,2.177380e-10,5.618477e-09,5.452336e-08,5.924555e-08,3.782969e-07,1.585609e-06,1.723252e-06,6.110479e-06,1.646605e-05,1.782827e-05,4.451585e-05,9.099131e-05,9.796953e-05,1.944194e-04,3.309228e-04,3.541953e-04,6.008571e-04,9.019287e-04,9.599460e-04,1.457545e-03,2.001031e-03,2.118811e-03,2.966627e-03,3.814816e-03,4.020446e-03,5.295408e-03,6.481648e-03,6.801741e-03,8.544438e-03,1.006782e-02,1.052320e-02,1.273261e-02,1.455990e-02,1.516245e-02,1.779824e-02,1.987076e-02,2.062181e-02,2.361194e-02,2.585479e-02,2.674504e-02,2.999586e-02,3.232740e-02,3.333808e-02,3.674497e-02,3.908498e-02,4.018988e-02,4.364678e-02,4.592270e-02,4.709064e-02,5.049778e-02,5.264880e-02,5.384611e-02,5.711538e-02,5.909451e-02,6.028728e-02,6.334556e-02,6.512000e-02,6.627604e-02,6.906665e-02,7.061707e-02,7.170732e-02,7.418998e-02,7.550885e-02,7.650839e-02,7.865812e-02,7.974778e-02,8.063634e-02,8.244172e-02,8.331218e-02,8.407432e-02,8.553537e-02,8.620226e-02,8.682723e-02,8.795317e-02,8.843586e-02,8.891729e-02,8.972438e-02,9.004437e-02,9.037980e-02,9.088937e-02,9.106896e-02,9.125928e-02,9.149601e-02,9.155732e-02,9.160621e-02,9.159668e-02,9.156087e-02,9.147425e-02,9.124578e-02,9.113257e-02,9.091804e-02,9.049775e-02,9.032506e-02,8.999145e-02,8.940559e-02,8.918937e-02,8.874636e-02,8.801982e-02,8.777407e-02,8.723178e-02,8.638784e-02,8.612457e-02,8.549336e-02,8.455343e-02,8.428277e-02,8.357293e-02,8.255648e-02,8.228686e-02,8.150846e-02,8.043301e-02,8.017126e-02,7.933404e-02,7.821523e-02,7.796677e-02,7.708002e-02,7.593166e-02,7.570067e-02,7.477316e-02,7.360737e-02,7.339695e-02,7.243690e-02,7.126422e-02,7.107654e-02,7.009160e-02,6.892114e-02,6.875756e-02,6.775479e-02,6.659435e-02,6.645557e-02,6.544147e-02,6.429767e-02,6.418385e-02,6.316435e-02,6.204276e-02,6.195358e-02,6.093408e-02,5.983934e-02,5.977412e-02,5.875951e-02,5.769543e-02,5.765321e-02,5.664788e-02,5.561754e-02,5.559711e-02,5.460501e-02,5.361085e-02,5.169834e-02,4.986253e-02,4.810554e-02,4.642874e-02,4.483288e-02,4.331816e-02,4.188432e-02,4.053072e-02,3.925636e-02,3.805996e-02,3.694000e-02,3.589475e-02,3.492230e-02,3.402060e-02,3.318749e-02,3.242071e-02,3.171790e-02,3.107664e-02,3.049448e-02,2.996892e-02,2.949741e-02,2.907740e-02,2.870634e-02,2.838166e-02,2.810081e-02,2.786122e-02,2.766039e-02,2.749580e-02,2.736498e-02,2.726552e-02,2.719501e-02,2.715113e-02,2.713158e-02,2.713416e-02,2.715670e-02,2.719712e-02,2.725341e-02,2.732365e-02,2.740597e-02,2.749862e-02,2.759994e-02,2.770832e-02,2.782229e-02,2.794046e-02,2.806151e-02,2.818424e-02,2.830754e-02,2.843040e-02,2.855188e-02
0.000000e+00,3.068768e-12,7.235671e-10,7.852152e-10,2.294129e-08,2.573924e-07,2.813646e-07,2.061288e-06,9.536318e-06,1.041791e-05,3.951763e-05,1.103320e-04,1.197152e-04,3.041636e-04,6.250829e-04,6.731701e-04,1.335613e-03,2.268748e-03,2.427544e-03,4.108523e-03,6.160506e-03,6.556368e-03,9.960952e-03,1.370309e-02,1.451765e-02,2.042085e-02,2.639800e-02,2.785789e-02,3.700366e-02,4.565727e-02,4.801595e-02,6.103172e-02,7.264858e-02,7.616421e-02,9.350092e-02,1.081893e-01,1.131025e-01,1.350020e-01,1.526918e-01,1.592057e-01,1.856931e-01,2.061534e-01,2.144186e-01,2.453130e-01,2.681818e-01,2.782855e-01,3.132258e-01,3.380448e-01,3.500063e-01,3.884843e-01,4.147349e-01,4.285049e-01,4.699030e-01,4.970409e-01,5.125054e-01,5.561338e-01,5.836189e-01,6.006060e-01,6.457385e-01,6.730586e-01,6.913480e-01,7.372532e-01,7.639434e-01,7.832761e-01,8.292438e-01,8.548990e-01,8.749891e-01,9.203516e-01,9.446342e-01,9.651789e-01,1.009327e+00,1.031970e+00,1.052661e+00,1.095054e+00,1.115862e+00,1.136392e+00,1.176568e+00,1.195410e+00,1.215485e+00,1.253057e+00,1.269867e+00,1.289208e+00,1.323872e+00,1.338637e+00,1.356990e+00,1.388514e+00,1.401269e+00,1.418405e+00,1.446632e+00,1.457452e+00,1.473172e+00,1.498010e+00,1.507000e+00,1.521137e+00,1.542553e+00,1.549844e+00,1.562262e+00,1.580274e+00,1.586015e+00,1.596607e+00,1.611281e+00,1.615630e+00,1.624321e+00,1.635758e+00,1.638881e+00,1.645624e+00,1.653956e+00,1.656020e+00,1.660795e+00,1.666182e+00,1.667350e+00,1.670161e+00,1.672778e+00,1.673209e+00,1.674081e+00,1.674119e+00,1.673963e+00,1.672941e+00,1.670597e+00,1.669993e+00,1.667138e+00,1.662615e+00,1.661691e+00,1.657079e+00,1.650581e+00,1.649455e+00,1.643172e+00,1.634902e+00,1.633678e+00,1.625820e+00,1.615976e+00,1.614745e+00,1.605416e+00,1.594189e+00,1.593031e+00,1.582340e+00,1.569914e+00,1.568896e+00,1.556954e+00,1.543503e+00,1.542681e+00,1.529603e+00,1.515292e+00,1.514712e+00,1.500611e+00,1.485596e+00,1.485292e+00,1.470283e+00,1.454706e+00,1.423215e+00,1.391062e+00,1.358467e+00,1.325633e+00,1.292742e+00,1.259955e+00,1.227421e+00,1.195266e+00,1.163604e+00,1.132536e+00,1.102146e+00,1.072507e+00,1.043681e+00,1.015718e+00,9.886593e-01,9.625376e-01,9.373770e-01,9.131947e-01,8.900013e-01,8.678016e-01,8.465954e-01,8.263777e-01,8.071394e-01,7.888679e-01,7.715475e-01,7.551595e-01,7.396833e-01,7.250958e-01,7.113725e-01,6.984874e-01,6.864134e-01,6.751223e-01,6.645853e-01,6.547730e-01,6.456559e-01,6.372040e-01,6.293874e-01,6.221763e-01,6.155410e-01,6.094522e-01,6.038810e-01,5.987987e-01,5.941777e-01,5.899904e-01,5.862104e-01,5.828117e-01,5.797691e-01,5.770583e-01,5.746559e-01
0.000000e+00,9.465908e-11,1.256581e-08,1.348503e-08,2.337336e-07,1.685267e-06,1.810177e-06,8.651351e-06,2.696923e-05,2.872674e-05,7.123109e-05,1.338364e-04,1.402942e-04,2.321838e-04,3.274449e-04,3.384615e-04,4.505474e-04,5.489254e-04,5.621473e-04,6.695222e-04,7.570335e-04,7.708124e-04,8.652861e-04,9.392647e-04,9.528039e-04,1.033509e-03,1.094789e-03,1.107669e-03,1.175598e-03,1.225676e-03,1.237625e-03,1.294079e-03,1.334449e-03,1.345278e-03,1.391530e-03,1.423555e-03,1.433129e-03,1.470357e-03,1.495250e-03,1.503481e-03,1.532756e-03,1.551585e-03,1.558421e-03,1.580707e-03,1.594412e-03,1.599829e-03,1.615992e-03,1.625392e-03,1.629391e-03,1.640207e-03,1.646017e-03,1.648616e-03,1.654780e-03,1.657618e-03,1.658853e-03,1.660983e-03,1.661387e-03,1.661306e-03,1.659953e-03,1.658387e-03,1.657046e-03,1.652700e-03,1.649564e-03,1.647026e-03,1.640125e-03,1.635761e-03,1.632094e-03,1.623024e-03,1.617725e-03,1.613001e-03,1.602106e-03,1.596121e-03,1.590414e-03,1.577997e-03,1.571537e-03,1.564921e-03,1.551251e-03,1.544495e-03,1.537044e-03,1.522357e-03,1.515453e-03,1.507240e-03,1.491745e-03,1.484818e-03,1.475915e-03,1.459793e-03,1.452945e-03,1.443421e-03,1.426835e-03,1.420149e-03,1.410070e-03,1.393160e-03,1.386702e-03,1.376134e-03,1.359021e-03,1.352845e-03,1.341848e-03,1.324640e-03,1.318785e-03,1.307419e-03,1.290206e-03,1.284704e-03,1.273023e-03,1.255886e-03,1.250757e-03,1.238813e-03,1.221820e-03,1.217079e-03,1.204921e-03,1.188130e-03,1.183784e-03,1.171459e-03,1.154919e-03,1.150970e-03,1.138520e-03,1.122273e-03,1.118719e-03,1.106184e-03,1.090264e-03,1.087100e-03,1.074517e-03,1.058952e-03,1.056169e-03,1.043572e-03,1.028385e-03,1.025973e-03,1.013394e-03,9.986024e-04,9.965478e-04,9.840148e-04,9.696339e-04,9.679222e-04,9.554621e-04,9.415018e-04,9.401175e-04,9.277546e-04,9.142220e-04,9.131487e-04,9.009050e-04,8.878045e-04,8.870254e-04,8.749209e-04,8.622545e-04,8.617523e-04,8.498051e-04,8.375726e-04,8.373301e-04,8.255564e-04,8.137558e-04,7.910233e-04,7.691237e-04,7.480461e-04,7.277775e-04,7.083036e-04,6.896084e-04,6.716751e-04,6.544860e-04,6.380227e-04,6.222661e-04,6.071971e-04,5.927961e-04,5.790433e-04,5.659192e-04,5.534040e-04,5.414783e-04,5.301225e-04,5.193177e-04,5.090448e-04,4.992854e-04,4.900213e-04,4.812344e-04,4.729075e-04,4.650233e-04,4.575652e-04,4.505169e-04,4.438626e-04,4.375870e-04,4.316749e-04,4.261120e-04,4.208840e-04,4.159773e-04,4.113786e-04,4.070750e-04,4.030542e-04,3.993040e-04,3.958127e-04,3.925692e-04,3.895624e-04,3.867819e-04,3.842176e-04,3.818595e-04,3.796982e-04,3.777246e-04,3.759299e-04,3.743055e-04,3.728432e-04,3.715352e-04,3.703739e-04
0.000000e+00,3.923470e-11,5.822444e-09,6.259041e-09,1.149803e-07,8.518961e-07,9.159982e-07,4.528851e-06,1.490083e-05,1.594032e-05,4.306154e-05,8.901431e-05,9.412140e-05,1.734860e-04,2.675099e-04,2.790583e-04,4.031608e-04,5.196849e-04,5.357068e-04,6.672967e-04,7.742843e-04,7.909269e-04,9.023361e-04,9.849889e-04,9.995632e-04,1.082256e-03,1.139637e-03,1.151037e-03,1.207030e-03,1.243510e-03,1.251566e-03,1.285999e-03,1.306674e-03,1.311616e-03,1.329596e-03,1.338808e-03,1.340997e-03,1.346754e-03,1.347869e-03,1.347690e-03,1.344525e-03,1.340061e-03,1.337885e-03,1.328317e-03,1.320133e-03,1.316295e-03,1.302230e-03,1.291684e-03,1.286480e-03,1.269354e-03,1.257429e-03,1.251120e-03,1.232010e-03,1.219411e-03,1.212221e-03,1.191926e-03,1.179153e-03,1.171270e-03,1.150381e-03,1.137781e-03,1.129366e-03,1.108318e-03,1.096126e-03,1.087314e-03,1.066422e-03,1.054792e-03,1.045697e-03,1.025185e-03,1.014212e-03,1.004927e-03,9.849531e-04,9.746888e-04,9.652915e-04,9.459631e-04,9.364295e-04,9.269853e-04,9.083713e-04,8.995688e-04,8.901310e-04,8.722716e-04,8.641855e-04,8.547978e-04,8.377123e-04,8.303181e-04,8.210164e-04,8.047095e-04,7.979762e-04,7.887900e-04,7.732552e-04,7.671482e-04,7.581014e-04,7.433242e-04,7.378065e-04,7.289185e-04,7.148787e-04,7.099129e-04,7.011990e-04,6.878730e-04,6.834216e-04,6.748943e-04,6.622560e-04,6.582825e-04,6.499512e-04,6.379730e-04,6.344422e-04,6.263143e-04,6.149680e-04,6.118460e-04,6.039270e-04,5.931842e-04,5.904391e-04,5.827326e-04,5.725653e-04,5.701667e-04,5.626753e-04,5.530558e-04,5.509752e-04,5.437002e-04,5.346018e-04,5.328124e-04,5.257542e-04,5.171508e-04,5.156277e-04,5.087856e-04,5.006524e-04,4.993722e-04,4.927451e-04,4.850579e-04,4.839989e-04,4.775850e-04,4.703208e-04,4.694629e-04,4.632599e-04,4.563967e-04,4.557211e-04,4.497262e-04,4.432431e-04,4.427324e-04,4.369425e-04,4.308195e-04,4.304577e-04,4.248694e-04,4.190875e-04,4.188597e-04,4.134693e-04,4.080105e-04,4.079029e-04,4.027066e-04,3.975536e-04,3.877797e-04,3.785509e-04,3.698382e-04,3.616143e-04,3.538532e-04,3.465302e-04,3.396219e-04,3.331062e-04,3.269621e-04,3.211696e-04,3.157100e-04,3.105652e-04,3.057184e-04,3.011535e-04,2.968553e-04,2.928093e-04,2.890020e-04,2.854203e-04,2.820520e-04,2.788855e-04,2.759098e-04,2.731145e-04,2.704897e-04,2.680260e-04,2.657147e-04,2.635473e-04,2.615158e-04,2.596128e-04,2.578311e-04,2.561640e-04,2.546051e-04,2.531483e-04,2.517879e-04,2.505184e-04,2.493348e-04,2.482322e-04,2.472059e-04,2.462517e-04,2.453654e-04,2.445430e-04,2.437809e-04,2.430756e-04,2.424238e-04,2.418223e-04,2.412682e-04,2.407587e-04,2.402911e-04,2.398629e-04,2.394718e-04
0.000000e+00,5.194516e-13,1.274303e-10,1.385193e-10,4.381863e-09,4.997314e-08,5.457410e-08,3.758488e-07,1.560612e-06,1.691239e-06,5.541782e-06,1.336351e-05,1.431290e-05,3.088208e-05,5.479409e-05,5.805856e-05,9.804121e-05,1.448115e-04,1.520456e-04,2.201513e-04,2.892551e-04,3.013474e-04,3.937224e-04,4.781053e-04,4.947294e-04,6.014706e-04,6.911812e-04,7.109617e-04,8.203489e-04,9.060484e-04,9.270685e-04,1.028950e-03,1.103934e-03,1.124269e-03,1.211751e-03,1.272461e-03,1.290551e-03,1.360213e-03,1.405795e-03,1.420611e-03,1.471888e-03,1.503353e-03,1.514400e-03,1.548654e-03,1.568043e-03,1.575262e-03,1.594897e-03,1.604622e-03,1.608258e-03,1.616043e-03,1.618456e-03,1.618928e-03,1.617554e-03,1.614716e-03,1.612516e-03,1.604357e-03,1.597947e-03,1.593566e-03,1.580579e-03,1.571895e-03,1.565780e-03,1.549505e-03,1.539505e-03,1.532043e-03,1.513643e-03,1.503009e-03,1.494517e-03,1.474846e-03,1.464051e-03,1.454781e-03,1.434450e-03,1.423808e-03,1.413958e-03,1.393393e-03,1.383106e-03,1.372827e-03,1.352321e-03,1.342514e-03,1.331922e-03,1.311671e-03,1.302414e-03,1.291599e-03,1.271731e-03,1.263060e-03,1.252090e-03,1.232690e-03,1.224617e-03,1.213544e-03,1.194663e-03,1.187187e-03,1.176055e-03,1.157724e-03,1.150832e-03,1.139674e-03,1.121908e-03,1.115583e-03,1.104428e-03,1.087234e-03,1.081453e-03,1.070326e-03,1.053704e-03,1.048445e-03,1.037365e-03,1.021310e-03,1.016548e-03,1.005535e-03,9.900379e-04,9.857483e-04,9.748171e-04,9.598695e-04,9.560275e-04,9.451923e-04,9.307826e-04,9.273638e-04,9.166372e-04,9.027530e-04,8.997332e-04,8.891268e-04,8.757552e-04,8.731111e-04,8.626349e-04,8.497624e-04,8.474715e-04,8.371344e-04,8.247473e-04,8.227875e-04,8.125977e-04,8.006819e-04,7.990322e-04,7.889966e-04,7.775382e-04,7.761783e-04,7.663032e-04,7.552882e-04,7.541987e-04,7.444897e-04,7.339042e-04,7.330665e-04,7.235284e-04,7.133589e-04,7.127552e-04,7.033922e-04,6.936250e-04,6.932384e-04,6.840540e-04,6.746759e-04,6.744903e-04,6.654875e-04,6.564855e-04,6.391991e-04,6.226067e-04,6.066848e-04,5.914101e-04,5.767600e-04,5.627128e-04,5.492469e-04,5.363417e-04,5.239772e-04,5.121338e-04,5.007926e-04,4.899354e-04,4.795443e-04,4.696022e-04,4.600925e-04,4.509992e-04,4.423066e-04,4.339997e-04,4.260640e-04,4.184854e-04,4.112504e-04,4.043458e-04,3.977590e-04,3.914778e-04,3.854903e-04,3.797851e-04,3.743511e-04,3.691779e-04,3.642550e-04,3.595726e-04,3.551211e-04,3.508913e-04,3.468743e-04,3.430615e-04,3.394446e-04,3.360155e-04,3.327666e-04,3.296905e-04,3.267799e-04,3.240279e-04,3.214279e-04,3.189734e-04,3.166581e-04,3.144761e-04,3.124217e-04,3.104892e-04,3.086733e-04,3.069689e-04,3.053708e-04
0.000000e+00,2.963878e-09,1.268953e-07,1.341539e-07,1.362335e-06,6.703669e-06,7.085899e-06,2.219870e-05,4.510244e-05,4.674061e-05,7.498780e-05,1.006148e-04,1.027814e-04,1.288473e-04,1.506385e-04,1.529623e-04,1.751565e-04,1.931664e-04,1.955158e-04,2.141385e-04,2.288404e-04,2.311233e-04,2.465672e-04,2.584177e-04,2.605637e-04,2.732027e-04,2.826142e-04,2.845703e-04,2.947483e-04,3.020867e-04,3.038146e-04,3.118427e-04,3.174293e-04,3.189030e-04,3.250616e-04,3.291773e-04,3.303804e-04,3.349181e-04,3.378056e-04,3.387297e-04,3.418671e-04,3.437361e-04,3.443791e-04,3.463115e-04,3.473423e-04,3.477071e-04,3.486063e-04,3.489537e-04,3.490470e-04,3.490645e-04,3.488605e-04,3.486921e-04,3.479610e-04,3.473183e-04,3.469002e-04,3.455370e-04,3.445513e-04,3.438971e-04,3.420043e-04,3.407565e-04,3.398809e-04,3.375479e-04,3.361065e-04,3.350248e-04,3.323298e-04,3.307519e-04,3.294800e-04,3.264912e-04,3.248247e-04,3.233783e-04,3.201551e-04,3.184397e-04,3.168345e-04,3.134284e-04,3.116969e-04,3.099481e-04,3.064039e-04,3.046829e-04,3.028055e-04,2.991619e-04,2.974729e-04,2.954813e-04,2.917715e-04,2.901318e-04,2.880396e-04,2.842923e-04,2.827154e-04,2.805357e-04,2.767755e-04,2.752716e-04,2.730168e-04,2.692645e-04,2.678413e-04,2.655231e-04,2.617964e-04,2.604592e-04,2.580884e-04,2.544024e-04,2.531548e-04,2.507416e-04,2.471087e-04,2.459526e-04,2.435065e-04,2.399372e-04,2.388731e-04,2.364029e-04,2.329056e-04,2.319333e-04,2.294471e-04,2.260288e-04,2.251468e-04,2.226521e-04,2.193182e-04,2.185246e-04,2.160282e-04,2.127831e-04,2.120752e-04,2.095835e-04,2.064303e-04,2.058052e-04,2.033239e-04,2.002649e-04,1.997193e-04,1.972536e-04,1.942902e-04,1.938206e-04,1.913751e-04,1.885083e-04,1.881108e-04,1.856899e-04,1.829198e-04,1.825907e-04,1.801981e-04,1.775245e-04,1.772598e-04,1.748990e-04,1.723212e-04,1.721171e-04,1.697910e-04,1.673081e-04,1.671606e-04,1.648720e-04,1.624825e-04,1.623879e-04,1.601391e-04,1.578414e-04,1.577960e-04,1.555891e-04,1.533815e-04,1.491408e-04,1.450698e-04,1.411645e-04,1.374205e-04,1.338333e-04,1.303984e-04,1.271112e-04,1.239672e-04,1.209618e-04,1.180904e-04,1.153486e-04,1.127318e-04,1.102356e-04,1.078558e-04,1.055882e-04,1.034285e-04,1.013728e-04,9.941706e-05,9.755755e-05,9.579051e-05,9.411232e-05,9.251946e-05,9.100854e-05,8.957625e-05,8.821940e-05,8.693491e-05,8.571979e-05,8.457116e-05,8.348624e-05,8.246233e-05,8.149685e-05,8.058729e-05,7.973125e-05,7.892640e-05,7.817051e-05,7.746142e-05,7.679706e-05,7.617543e-05,7.559461e-05,7.505275e-05,7.454807e-05,7.407886e-05,7.364348e-05,7.324035e-05,7.286793e-05,7.252479e-05,7.220950e-05,7.192073e-05,7.165718e-05
0.000000e+00,6.770451e-09,1.431164e-07,1.501395e-07,1.054326e-06,3.693280e-06,3.852844e-06,9.041200e-06,1.521747e-05,1.562646e-05,2.242738e-05,2.848717e-05,2.900163e-05,3.525112e-05,4.058500e-05,4.116072e-05,4.673419e-05,5.136765e-05,5.198022e-05,5.690919e-05,6.090292e-05,6.153214e-05,6.586057e-05,6.927738e-05,6.990615e-05,7.368057e-05,7.658134e-05,7.719536e-05,8.046195e-05,8.290401e-05,8.349146e-05,8.629467e-05,8.833082e-05,8.888204e-05,9.126372e-05,9.294223e-05,9.344945e-05,9.544866e-05,9.681333e-05,9.727041e-05,9.892338e-05,1.000137e-04,1.004160e-04,1.017562e-04,1.026078e-04,1.029517e-04,1.040099e-04,1.046547e-04,1.049379e-04,1.057426e-04,1.062091e-04,1.064302e-04,1.070072e-04,1.073211e-04,1.074794e-04,1.078526e-04,1.080366e-04,1.081321e-04,1.083232e-04,1.083976e-04,1.084310e-04,1.084600e-04,1.084427e-04,1.084150e-04,1.083002e-04,1.082070e-04,1.081198e-04,1.078777e-04,1.077228e-04,1.075778e-04,1.072237e-04,1.070192e-04,1.068187e-04,1.063662e-04,1.061231e-04,1.058693e-04,1.053310e-04,1.050588e-04,1.047542e-04,1.041415e-04,1.038483e-04,1.034956e-04,1.028188e-04,1.025119e-04,1.021136e-04,1.013821e-04,1.010676e-04,1.006265e-04,9.984888e-05,9.953205e-05,9.905102e-05,9.823480e-05,9.792019e-05,9.740195e-05,9.655411e-05,9.624552e-05,9.569283e-05,9.481961e-05,9.452024e-05,9.393583e-05,9.304284e-05,9.275534e-05,9.214188e-05,9.123416e-05,9.096070e-05,9.032081e-05,8.940288e-05,8.914519e-05,8.848141e-05,8.755732e-05,8.731675e-05,8.663154e-05,8.570491e-05,8.548249e-05,8.477824e-05,8.385227e-05,8.364872e-05,8.292772e-05,8.200526e-05,8.182108e-05,8.108553e-05,8.016910e-05,8.000454e-05,7.925654e-05,7.834837e-05,7.820350e-05,7.744506e-05,7.654708e-05,7.642181e-05,7.565485e-05,7.476877e-05,7.466287e-05,7.388919e-05,7.301647e-05,7.292959e-05,7.215092e-05,7.129283e-05,7.122452e-05,7.044248e-05,6.960011e-05,6.954983e-05,6.876595e-05,6.794021e-05,6.790736e-05,6.712309e-05,6.631474e-05,6.629867e-05,6.551534e-05,6.472502e-05,6.318746e-05,6.168680e-05,6.022366e-05,5.879848e-05,5.741155e-05,5.606302e-05,5.475289e-05,5.348108e-05,5.224738e-05,5.105153e-05,4.989315e-05,4.877182e-05,4.768705e-05,4.663832e-05,4.562502e-05,4.464655e-05,4.370225e-05,4.279144e-05,4.191343e-05,4.106749e-05,4.025290e-05,3.946892e-05,3.871479e-05,3.798978e-05,3.729312e-05,3.662407e-05,3.598188e-05,3.536579e-05,3.477508e-05,3.420902e-05,3.366687e-05,3.314792e-05,3.265148e-05,3.217686e-05,3.172336e-05,3.129032e-05,3.087710e-05,3.048304e-05,3.010752e-05,2.974993e-05,2.940967e-05,2.908614e-05,2.877878e-05,2.848702e-05,2.821032e-05,2.794815e-05,2.769999e-05,2.746534e-05,2.724371e-05
0.000000e+00,5.637613e-09,1.361320e-07,1.424291e-07,9.120843e-07,3.345567e-06,3.505087e-06,9.554389e-06,1.934411e-05,2.010452e-05,3.477052e-05,5.049205e-05,5.190564e-05,6.956476e-05,8.478329e-05,8.641006e-05,1.018609e-04,1.141844e-04,1.157727e-04,1.281734e-04,1.376934e-04,1.391476e-04,1.487952e-04,1.559481e-04,1.572174e-04,1.645120e-04,1.697170e-04,1.707712e-04,1.760818e-04,1.797020e-04,1.805250e-04,1.841762e-04,1.865196e-04,1.871055e-04,1.893776e-04,1.907023e-04,1.910529e-04,1.921867e-04,1.927076e-04,1.928306e-04,1.930313e-04,1.929258e-04,1.928321e-04,1.922732e-04,1.916879e-04,1.913916e-04,1.902211e-04,1.892765e-04,1.887935e-04,1.871376e-04,1.859327e-04,1.852800e-04,1.832453e-04,1.818606e-04,1.810562e-04,1.787343e-04,1.772363e-04,1.762983e-04,1.737652e-04,1.722051e-04,1.711503e-04,1.684679e-04,1.668862e-04,1.657306e-04,1.629504e-04,1.613786e-04,1.601377e-04,1.573023e-04,1.557648e-04,1.544528e-04,1.515971e-04,1.501121e-04,1.487423e-04,1.458948e-04,1.444756e-04,1.430603e-04,1.402441e-04,1.389001e-04,1.374506e-04,1.346839e-04,1.334213e-04,1.319477e-04,1.292452e-04,1.280675e-04,1.265791e-04,1.239519e-04,1.228606e-04,1.213656e-04,1.188221e-04,1.178170e-04,1.163228e-04,1.138692e-04,1.129489e-04,1.114621e-04,1.091025e-04,1.082648e-04,1.067910e-04,1.045280e-04,1.037697e-04,1.023139e-04,1.001489e-04,9.946648e-05,9.803299e-05,9.596609e-05,9.535556e-05,9.394806e-05,9.197865e-05,9.143587e-05,9.005748e-05,8.818419e-05,8.770491e-05,8.635824e-05,8.457913e-05,8.415904e-05,8.284625e-05,8.115895e-05,8.079380e-05,7.951657e-05,7.791839e-05,7.760399e-05,7.636367e-05,7.485166e-05,7.458397e-05,7.338155e-05,7.195257e-05,7.172770e-05,7.056390e-05,6.921472e-05,6.902894e-05,6.790420e-05,6.663151e-05,6.648129e-05,6.539582e-05,6.419630e-05,6.407830e-05,6.303210e-05,6.190241e-05,6.181351e-05,6.080640e-05,5.974326e-05,5.968050e-05,5.871216e-05,5.771232e-05,5.767297e-05,5.674295e-05,5.580325e-05,5.578475e-05,5.489247e-05,5.400984e-05,5.234240e-05,5.077678e-05,4.930756e-05,4.792951e-05,4.663763e-05,4.542712e-05,4.429342e-05,4.323216e-05,4.223918e-05,4.131055e-05,4.044252e-05,3.963154e-05,3.887423e-05,3.816742e-05,3.750808e-05,3.689336e-05,3.632059e-05,3.578720e-05,3.529081e-05,3.482916e-05,3.440011e-05,3.400165e-05,3.363190e-05,3.328907e-05,3.297148e-05,3.267757e-05,3.240584e-05,3.215489e-05,3.192343e-05,3.171020e-05,3.151406e-05,3.133392e-05,3.116874e-05,3.101757e-05,3.087951e-05,3.075370e-05,3.063935e-05,3.053571e-05,3.044207e-05,3.035779e-05,3.028223e-05,3.021482e-05,3.015502e-05,3.010231e-05,3.005621e-05,3.001627e-05,2.998206e-05,2.995321e-05,2.992931e-05
0.000000e+00,1.174861e-10,1.767151e-08,1.900000e-08,3.514214e-07,2.624845e-06,2.823566e-06,1.413246e-05,4.702059e-05,5.033118e-05,1.369583e-04,2.837720e-04,3.000744e-04,5.534095e-04,8.551357e-04,8.924339e-04,1.298429e-03,1.691717e-03,1.746993e-03,2.215135e-03,2.619495e-03,2.684824e-03,3.143644e-03,3.514935e-03,3.583929e-03,4.001466e-03,4.325461e-03,4.394312e-03,4.761902e-03,5.037928e-03,5.104467e-03,5.422676e-03,5.654537e-03,5.717416e-03,5.989674e-03,6.182184e-03,6.240474e-03,6.470840e-03,6.628746e-03,6.681775e-03,6.874256e-03,7.001947e-03,7.049227e-03,7.207597e-03,7.309049e-03,7.350241e-03,7.477995e-03,7.556775e-03,7.591664e-03,7.692015e-03,7.751312e-03,7.779787e-03,7.855681e-03,7.898333e-03,7.920372e-03,7.974501e-03,8.003028e-03,8.018683e-03,8.053504e-03,8.070136e-03,8.079522e-03,8.097272e-03,8.103980e-03,8.107262e-03,8.109977e-03,8.108492e-03,8.105879e-03,8.095408e-03,8.087253e-03,8.078984e-03,8.057006e-03,8.043510e-03,8.029854e-03,7.997889e-03,7.980209e-03,7.961454e-03,7.920877e-03,7.900020e-03,7.876468e-03,7.828522e-03,7.805357e-03,7.777319e-03,7.723125e-03,7.698398e-03,7.666193e-03,7.606762e-03,7.581111e-03,7.545059e-03,7.481299e-03,7.455264e-03,7.415685e-03,7.348411e-03,7.322450e-03,7.279659e-03,7.209602e-03,7.184094e-03,7.138403e-03,7.066216e-03,7.041474e-03,6.993187e-03,6.919453e-03,6.895731e-03,6.845144e-03,6.770381e-03,6.747881e-03,6.695280e-03,6.619948e-03,6.598828e-03,6.544487e-03,6.468993e-03,6.449371e-03,6.393556e-03,6.318258e-03,6.300216e-03,6.243179e-03,6.168392e-03,6.151985e-03,6.093966e-03,6.019965e-03,6.005221e-03,5.946448e-03,5.873471e-03,5.860396e-03,5.801085e-03,5.729338e-03,5.717921e-03,5.658275e-03,5.587935e-03,5.578147e-03,5.518356e-03,5.449573e-03,5.441374e-03,5.381617e-03,5.314518e-03,5.307856e-03,5.248300e-03,5.182987e-03,5.177802e-03,5.118602e-03,5.055162e-03,5.051386e-03,4.992685e-03,4.931185e-03,4.928746e-03,4.870676e-03,4.811169e-03,4.809989e-03,4.752672e-03,4.695195e-03,4.584419e-03,4.477694e-03,4.375035e-03,4.276436e-03,4.181881e-03,4.091335e-03,4.004755e-03,3.922086e-03,3.843264e-03,3.768217e-03,3.696868e-03,3.629133e-03,3.564922e-03,3.504144e-03,3.446702e-03,3.392499e-03,3.341433e-03,3.293404e-03,3.248309e-03,3.206044e-03,3.166507e-03,3.129594e-03,3.095203e-03,3.063232e-03,3.033581e-03,3.006151e-03,2.980843e-03,2.957562e-03,2.936212e-03,2.916703e-03,2.898943e-03,2.882843e-03,2.868319e-03,2.855285e-03,2.843660e-03,2.833365e-03,2.824323e-03,2.816459e-03,2.809702e-03,2.803982e-03,2.799231e-03,2.795386e-03,2.792384e-03,2.790166e-03,2.788673e-03,2.787851e-03,2.787647e-03,2.788011e-03,2.788895e-03
0.000000e+00,8.136790e-10,9.318257e-09,9.697983e-09,5.283358e-08,1.713927e-07,1.785831e-07,4.194402e-07,7.264200e-07,7.473673e-07,1.100493e-06,1.415275e-06,1.441793e-06,1.760117e-06,2.025306e-06,2.053534e-06,2.322562e-06,2.540030e-06,2.568338e-06,2.792146e-06,2.968044e-06,2.995287e-06,3.179030e-06,3.319285e-06,3.344606e-06,3.493201e-06,3.603172e-06,3.625945e-06,3.743912e-06,3.828332e-06,3.848120e-06,3.939531e-06,4.002532e-06,4.019050e-06,4.087531e-06,4.132689e-06,4.145775e-06,4.194535e-06,4.224929e-06,4.234517e-06,4.266382e-06,4.284649e-06,4.290751e-06,4.308204e-06,4.316598e-06,4.319284e-06,4.324500e-06,4.324940e-06,4.324326e-06,4.319206e-06,4.313321e-06,4.309556e-06,4.295761e-06,4.284926e-06,4.278184e-06,4.257161e-06,4.242534e-06,4.233006e-06,4.206013e-06,4.188569e-06,4.176454e-06,4.144583e-06,4.125132e-06,4.110636e-06,4.074834e-06,4.054052e-06,4.037381e-06,3.998467e-06,3.976908e-06,3.958267e-06,3.916947e-06,3.895068e-06,3.874656e-06,3.831537e-06,3.809708e-06,3.787719e-06,3.743323e-06,3.721840e-06,3.698459e-06,3.653232e-06,3.632331e-06,3.607735e-06,3.562056e-06,3.541921e-06,3.516276e-06,3.470469e-06,3.451239e-06,3.424703e-06,3.379040e-06,3.360816e-06,3.333537e-06,3.288246e-06,3.271101e-06,3.243215e-06,3.198486e-06,3.182466e-06,3.154101e-06,3.110093e-06,3.095222e-06,3.066495e-06,3.023336e-06,3.009623e-06,2.980643e-06,2.938437e-06,2.925874e-06,2.896740e-06,2.855570e-06,2.844139e-06,2.814942e-06,2.774871e-06,2.764546e-06,2.735369e-06,2.696446e-06,2.687191e-06,2.658110e-06,2.620368e-06,2.612146e-06,2.583227e-06,2.546690e-06,2.539455e-06,2.510760e-06,2.475440e-06,2.469147e-06,2.440730e-06,2.406632e-06,2.401232e-06,2.373143e-06,2.340262e-06,2.335708e-06,2.307988e-06,2.276317e-06,2.272557e-06,2.245245e-06,2.214770e-06,2.211755e-06,2.184885e-06,2.155586e-06,2.153267e-06,2.126868e-06,2.098725e-06,2.097055e-06,2.071151e-06,2.044139e-06,2.043070e-06,2.017683e-06,1.991776e-06,1.991263e-06,1.966410e-06,1.941580e-06,1.893964e-06,1.848357e-06,1.804698e-06,1.762926e-06,1.722981e-06,1.684800e-06,1.648324e-06,1.613491e-06,1.580242e-06,1.548518e-06,1.518262e-06,1.489417e-06,1.461929e-06,1.435744e-06,1.410809e-06,1.387075e-06,1.364492e-06,1.343012e-06,1.322590e-06,1.303181e-06,1.284743e-06,1.267233e-06,1.250612e-06,1.234841e-06,1.219884e-06,1.205704e-06,1.192268e-06,1.179542e-06,1.167495e-06,1.156096e-06,1.145317e-06,1.135128e-06,1.125503e-06,1.116417e-06,1.107844e-06,1.099760e-06,1.092144e-06,1.084973e-06,1.078226e-06,1.071884e-06,1.065926e-06,1.060336e-06,1.055094e-06,1.050184e-06,1.045591e-06,1.041299e-06,1.037292e-06,1.033558e-06,1.030082e-06
0.000000e+00,7.970402e-12,1.633206e-09,1.769213e-09,4.778440e-08,4.777534e-07,5.190185e-07,3.146347e-06,1.159692e-05,1.247100e-05,3.581284e-05,7.605532e-05,8.054642e-05,1.506977e-04,2.349241e-04,2.453745e-04,3.594411e-04,4.699151e-04,4.853886e-04,6.152764e-04,7.247622e-04,7.421184e-04,8.605875e-04,9.510087e-04,9.671673e-04,1.059966e-03,1.125318e-03,1.138374e-03,1.202696e-03,1.244598e-03,1.253823e-03,1.292974e-03,1.316072e-03,1.321509e-03,1.340804e-03,1.350097e-03,1.352168e-03,1.356807e-03,1.356551e-03,1.355803e-03,1.350107e-03,1.343568e-03,1.340544e-03,1.327825e-03,1.317372e-03,1.312555e-03,1.295248e-03,1.282540e-03,1.276337e-03,1.256188e-03,1.242361e-03,1.235104e-03,1.213344e-03,1.199161e-03,1.191118e-03,1.168604e-03,1.154567e-03,1.145949e-03,1.123273e-03,1.109700e-03,1.100676e-03,1.078238e-03,1.065323e-03,1.056025e-03,1.034090e-03,1.021945e-03,1.012477e-03,9.912185e-04,9.798958e-04,9.703408e-04,9.498640e-04,9.393795e-04,9.298027e-04,9.101674e-04,9.005118e-04,8.909650e-04,8.721991e-04,8.633472e-04,8.538715e-04,8.359815e-04,8.278985e-04,8.185268e-04,8.015040e-04,7.941495e-04,7.849081e-04,7.687336e-04,7.620644e-04,7.529739e-04,7.376222e-04,7.315941e-04,7.226711e-04,7.081129e-04,7.026822e-04,6.939398e-04,6.801436e-04,6.752676e-04,6.667161e-04,6.536491e-04,6.492870e-04,6.409343e-04,6.285634e-04,6.246760e-04,6.165282e-04,6.048205e-04,6.013709e-04,5.934324e-04,5.823558e-04,5.793091e-04,5.715830e-04,5.611062e-04,5.584298e-04,5.509179e-04,5.410107e-04,5.386740e-04,5.313772e-04,5.220105e-04,5.199849e-04,5.129034e-04,5.040492e-04,5.023081e-04,4.954412e-04,4.870729e-04,4.855916e-04,4.789379e-04,4.710301e-04,4.697855e-04,4.633433e-04,4.558717e-04,4.548425e-04,4.486095e-04,4.415510e-04,4.407174e-04,4.346908e-04,4.280235e-04,4.273672e-04,4.215439e-04,4.152470e-04,4.147510e-04,4.091277e-04,4.031814e-04,4.028300e-04,3.974032e-04,3.917886e-04,3.915673e-04,3.863331e-04,3.810325e-04,3.809280e-04,3.758824e-04,3.708789e-04,3.613884e-04,3.524267e-04,3.439656e-04,3.359781e-04,3.284388e-04,3.213238e-04,3.146100e-04,3.082759e-04,3.023011e-04,2.966661e-04,2.913525e-04,2.863430e-04,2.816211e-04,2.771711e-04,2.729784e-04,2.690289e-04,2.653095e-04,2.618076e-04,2.585112e-04,2.554093e-04,2.524912e-04,2.497469e-04,2.471668e-04,2.447418e-04,2.424636e-04,2.403241e-04,2.383155e-04,2.364307e-04,2.346629e-04,2.330056e-04,2.314526e-04,2.299982e-04,2.286369e-04,2.273635e-04,2.261731e-04,2.250611e-04,2.240230e-04,2.230548e-04,2.221524e-04,2.213123e-04,2.205307e-04,2.198045e-04,2.191305e-04,2.185057e-04,2.179272e-04,2.173925e-04,2.168990e-04,2.164442e-04,2.160261e-04
0.000000e+00,6.205063e-11,7.188801e-09,7.697578e-09,1.232805e-07,8.620671e-07,9.252951e-07,4.369332e-06,1.348509e-05,1.435187e-05,3.486394e-05,6.344851e-05,6.628761e-05,1.045704e-04,1.403458e-04,1.442423e-04,1.812248e-04,2.099012e-04,2.134982e-04,2.405302e-04,2.597574e-04,2.625589e-04,2.801191e-04,2.918542e-04,2.938083e-04,3.041918e-04,3.105950e-04,3.117733e-04,3.169906e-04,3.197174e-04,3.202207e-04,3.217863e-04,3.220311e-04,3.219635e-04,3.209878e-04,3.195997e-04,3.190597e-04,3.163497e-04,3.139271e-04,3.130029e-04,3.091419e-04,3.061028e-04,3.048710e-04,3.002779e-04,2.969114e-04,2.954370e-04,2.904107e-04,2.869141e-04,2.852516e-04,2.800037e-04,2.765096e-04,2.747038e-04,2.693827e-04,2.659780e-04,2.640659e-04,2.587744e-04,2.555142e-04,2.535256e-04,2.483337e-04,2.452507e-04,2.432101e-04,2.381642e-04,2.352760e-04,2.332031e-04,2.283325e-04,2.256463e-04,2.235569e-04,2.188794e-04,2.163952e-04,2.143023e-04,2.098269e-04,2.075401e-04,2.054540e-04,2.011838e-04,1.990872e-04,1.970162e-04,1.929504e-04,1.910347e-04,1.889855e-04,1.851203e-04,1.833754e-04,1.813533e-04,1.776832e-04,1.760985e-04,1.741080e-04,1.706261e-04,1.691910e-04,1.672355e-04,1.639343e-04,1.626385e-04,1.607207e-04,1.575925e-04,1.564258e-04,1.545478e-04,1.515846e-04,1.505374e-04,1.487010e-04,1.458948e-04,1.449581e-04,1.431643e-04,1.405075e-04,1.396726e-04,1.379224e-04,1.354073e-04,1.346661e-04,1.329603e-04,1.305795e-04,1.299245e-04,1.282633e-04,1.260099e-04,1.254341e-04,1.238177e-04,1.216850e-04,1.211818e-04,1.196102e-04,1.175917e-04,1.171550e-04,1.156280e-04,1.137177e-04,1.133419e-04,1.118592e-04,1.100513e-04,1.097311e-04,1.082924e-04,1.065812e-04,1.063118e-04,1.049166e-04,1.032971e-04,1.030739e-04,1.017216e-04,1.001888e-04,1.000077e-04,9.869760e-05,9.724684e-05,9.710395e-05,9.583543e-05,9.446228e-05,9.435405e-05,9.312634e-05,9.182659e-05,9.174974e-05,9.056205e-05,8.933175e-05,8.928323e-05,8.813474e-05,8.697013e-05,8.694717e-05,8.583703e-05,8.473457e-05,8.263883e-05,8.065373e-05,7.877333e-05,7.699206e-05,7.530461e-05,7.370599e-05,7.219146e-05,7.075654e-05,6.939699e-05,6.810880e-05,6.688817e-05,6.573152e-05,6.463545e-05,6.359673e-05,6.261234e-05,6.167938e-05,6.079514e-05,5.995705e-05,5.916265e-05,5.840965e-05,5.769586e-05,5.701922e-05,5.637776e-05,5.576964e-05,5.519311e-05,5.464650e-05,5.412824e-05,5.363686e-05,5.317094e-05,5.272915e-05,5.231023e-05,5.191300e-05,5.153631e-05,5.117910e-05,5.084037e-05,5.051914e-05,5.021451e-05,4.992562e-05,4.965166e-05,4.939186e-05,4.914549e-05,4.891185e-05,4.869029e-05,4.848019e-05,4.828096e-05,4.809205e-05,4.791293e-05,4.774309e-05,4.758207e-05
0.000000e+00,3.261363e-12,5.981133e-10,6.456457e-10,1.449121e-08,1.284775e-07,1.391505e-07,8.205773e-07,3.159407e-06,3.412925e-06,1.079077e-05,2.556092e-05,2.733940e-05,5.790011e-05,1.004789e-04,1.061604e-04,1.734313e-04,2.473162e-04,2.583329e-04,3.572930e-04,4.499556e-04,4.654572e-04,5.776256e-04,6.713977e-04,6.889851e-04,7.955590e-04,8.772733e-04,8.943927e-04,9.835501e-04,1.047185e-03,1.061992e-03,1.129399e-03,1.174444e-03,1.185991e-03,1.232350e-03,1.261231e-03,1.269284e-03,1.297715e-03,1.313845e-03,1.318603e-03,1.332888e-03,1.339585e-03,1.341456e-03,1.345122e-03,1.345168e-03,1.344619e-03,1.340595e-03,1.336141e-03,1.333620e-03,1.324186e-03,1.316824e-03,1.312722e-03,1.299591e-03,1.290460e-03,1.285108e-03,1.269537e-03,1.259437e-03,1.253104e-03,1.236001e-03,1.225485e-03,1.218389e-03,1.200404e-03,1.189848e-03,1.182161e-03,1.163757e-03,1.153411e-03,1.145272e-03,1.126775e-03,1.116801e-03,1.108321e-03,1.089958e-03,1.080459e-03,1.071725e-03,1.053655e-03,1.044689e-03,1.035773e-03,1.018102e-03,1.009700e-03,1.000659e-03,9.834588e-04,9.756313e-04,9.665122e-04,9.498281e-04,9.425720e-04,9.334130e-04,9.172717e-04,9.105750e-04,9.014078e-04,8.858231e-04,8.796679e-04,8.705190e-04,8.554955e-04,8.498601e-04,8.407521e-04,8.262875e-04,8.211482e-04,8.120998e-04,7.981869e-04,7.935186e-04,7.845459e-04,7.711741e-04,7.669515e-04,7.580683e-04,7.452250e-04,7.414227e-04,7.326408e-04,7.203121e-04,7.169053e-04,7.082350e-04,6.964057e-04,6.933702e-04,6.848203e-04,6.734748e-04,6.707871e-04,6.623652e-04,6.514877e-04,6.491253e-04,6.408381e-04,6.304125e-04,6.283539e-04,6.202070e-04,6.102177e-04,6.084422e-04,6.004405e-04,5.908716e-04,5.893597e-04,5.815073e-04,5.723437e-04,5.710765e-04,5.633770e-04,5.546035e-04,5.535635e-04,5.460196e-04,5.376217e-04,5.367920e-04,5.294062e-04,5.213697e-04,5.207344e-04,5.135085e-04,5.058195e-04,5.053635e-04,4.982991e-04,4.909441e-04,4.906533e-04,4.837514e-04,4.767176e-04,4.765785e-04,4.698396e-04,4.631145e-04,4.502375e-04,4.379248e-04,4.261542e-04,4.149045e-04,4.041549e-04,3.938858e-04,3.840781e-04,3.747133e-04,3.657736e-04,3.572422e-04,3.491025e-04,3.413388e-04,3.339358e-04,3.268789e-04,3.201541e-04,3.137478e-04,3.076470e-04,3.018391e-04,2.963122e-04,2.910547e-04,2.860554e-04,2.813036e-04,2.767891e-04,2.725020e-04,2.684328e-04,2.645724e-04,2.609119e-04,2.574430e-04,2.541575e-04,2.510477e-04,2.481061e-04,2.453254e-04,2.426989e-04,2.402198e-04,2.378817e-04,2.356786e-04,2.336045e-04,2.316539e-04,2.298211e-04,2.281011e-04,2.264889e-04,2.249795e-04,2.235684e-04,2.222512e-04,2.210235e-04,2.198813e-04,2.188207e-04,2.178378e-04,2.169290e-04
0.000000e+00,3.126592e-13,8.126500e-11,8.843934e-11,2.959096e-09,3.545537e-08,3.879564e-08,2.800176e-07,1.212781e-06,1.317840e-06,4.520878e-06,1.139846e-05,1.225712e-05,2.784367e-05,5.185586e-05,5.524757e-05,9.864388e-05,1.531832e-04,1.619457e-04,2.483939e-04,3.430108e-04,3.602560e-04,4.986556e-04,6.354040e-04,6.635251e-04,8.536628e-04,1.026915e-03,1.066869e-03,1.300131e-03,1.498769e-03,1.549838e-03,1.811995e-03,2.022438e-03,2.082430e-03,2.356973e-03,2.565898e-03,2.631616e-03,2.902629e-03,3.098848e-03,3.166649e-03,3.420745e-03,3.596141e-03,3.662442e-03,3.889737e-03,4.039430e-03,4.101087e-03,4.295386e-03,4.417395e-03,4.471930e-03,4.630377e-03,4.725015e-03,4.770703e-03,4.893153e-03,4.962349e-03,4.998198e-03,5.086490e-03,5.133158e-03,5.158817e-03,5.216075e-03,5.243596e-03,5.259228e-03,5.289282e-03,5.301116e-03,5.307263e-03,5.314190e-03,5.313616e-03,5.311067e-03,5.298863e-03,5.288826e-03,5.278508e-03,5.250882e-03,5.233919e-03,5.216811e-03,5.177064e-03,5.155288e-03,5.132355e-03,5.083339e-03,5.058459e-03,5.030613e-03,4.974723e-03,4.948088e-03,4.916160e-03,4.855370e-03,4.828021e-03,4.792751e-03,4.728656e-03,4.701375e-03,4.663405e-03,4.597276e-03,4.570636e-03,4.530521e-03,4.463357e-03,4.437770e-03,4.395980e-03,4.328560e-03,4.304307e-03,4.261245e-03,4.194164e-03,4.171430e-03,4.127430e-03,4.061142e-03,4.040038e-03,3.995384e-03,3.930229e-03,3.910810e-03,3.865740e-03,3.801972e-03,3.784253e-03,3.738970e-03,3.676774e-03,3.660739e-03,3.615416e-03,3.554925e-03,3.540539e-03,3.495323e-03,3.436629e-03,3.423839e-03,3.378857e-03,3.322020e-03,3.310766e-03,3.266127e-03,3.211185e-03,3.201396e-03,3.157197e-03,3.104166e-03,3.095770e-03,3.052093e-03,3.000977e-03,2.993897e-03,2.950815e-03,2.901605e-03,2.895764e-03,2.853342e-03,2.806020e-03,2.801340e-03,2.759634e-03,2.714175e-03,2.710578e-03,2.669637e-03,2.626012e-03,2.623423e-03,2.583289e-03,2.541461e-03,2.539807e-03,2.500518e-03,2.460449e-03,2.459656e-03,2.421244e-03,2.382893e-03,2.309434e-03,2.239194e-03,2.172084e-03,2.108016e-03,2.046899e-03,1.988642e-03,1.933158e-03,1.880355e-03,1.830146e-03,1.782444e-03,1.737164e-03,1.694220e-03,1.653531e-03,1.615015e-03,1.578595e-03,1.544193e-03,1.511735e-03,1.481146e-03,1.452357e-03,1.425297e-03,1.399900e-03,1.376099e-03,1.353830e-03,1.333033e-03,1.313645e-03,1.295610e-03,1.278869e-03,1.263367e-03,1.249051e-03,1.235868e-03,1.223767e-03,1.212698e-03,1.202615e-03,1.193470e-03,1.185218e-03,1.177814e-03,1.171217e-03,1.165384e-03,1.160276e-03,1.155853e-03,1.152078e-03,1.148913e-03,1.146323e-03,1.144274e-03,1.142731e-03,1.141664e-03,1.141040e-03,1.140830e-03,1.141004e-03
0.000000e+00,8.220879e-11,1.121651e-08,1.204505e-08,2.166898e-07,1.617765e-06,1.739876e-06,8.521690e-06,2.681337e-05,2.856548e-05,7.062422e-05,1.315799e-04,1.378119e-04,2.255961e-04,3.151498e-04,3.254237e-04,4.290490e-04,5.186626e-04,5.306091e-04,6.267231e-04,7.037836e-04,7.158045e-04,7.973343e-04,8.600025e-04,8.713507e-04,9.381519e-04,9.878275e-04,9.981426e-04,1.051759e-03,1.090356e-03,1.099437e-03,1.141598e-03,1.170911e-03,1.178641e-03,1.210948e-03,1.232553e-03,1.238874e-03,1.262754e-03,1.278006e-03,1.282901e-03,1.299609e-03,1.309662e-03,1.313149e-03,1.323776e-03,1.329609e-03,1.331727e-03,1.337222e-03,1.339662e-03,1.340467e-03,1.341652e-03,1.341392e-03,1.340954e-03,1.338539e-03,1.336163e-03,1.334560e-03,1.329158e-03,1.325152e-03,1.322465e-03,1.314605e-03,1.309375e-03,1.305690e-03,1.295826e-03,1.289709e-03,1.285110e-03,1.273633e-03,1.266905e-03,1.261479e-03,1.248724e-03,1.241612e-03,1.235440e-03,1.221694e-03,1.214384e-03,1.207546e-03,1.193054e-03,1.185694e-03,1.178268e-03,1.163237e-03,1.155948e-03,1.148005e-03,1.132612e-03,1.125488e-03,1.117096e-03,1.101492e-03,1.094606e-03,1.085830e-03,1.070140e-03,1.063548e-03,1.054448e-03,1.038778e-03,1.032520e-03,1.023151e-03,1.007588e-03,1.001695e-03,9.921080e-04,9.767261e-04,9.712157e-04,9.614578e-04,9.463165e-04,9.411996e-04,9.313143e-04,9.164622e-04,9.117428e-04,9.017697e-04,8.872457e-04,8.829225e-04,8.728977e-04,8.587325e-04,8.547998e-04,8.447560e-04,8.309732e-04,8.274220e-04,8.173887e-04,8.040060e-04,8.008245e-04,7.908283e-04,7.778582e-04,7.750329e-04,7.650977e-04,7.525484e-04,7.500639e-04,7.402113e-04,7.280871e-04,7.259274e-04,7.161763e-04,7.044787e-04,7.026269e-04,6.929941e-04,6.817219e-04,6.801607e-04,6.706612e-04,6.598109e-04,6.585230e-04,6.491698e-04,6.387363e-04,6.377044e-04,6.285089e-04,6.184856e-04,6.176925e-04,6.086646e-04,5.990437e-04,5.984728e-04,5.896208e-04,5.803935e-04,5.800285e-04,5.713596e-04,5.625165e-04,5.623415e-04,5.538617e-04,5.453927e-04,5.291617e-04,5.136278e-04,4.987699e-04,4.845664e-04,4.709961e-04,4.580374e-04,4.456691e-04,4.338701e-04,4.226196e-04,4.118973e-04,4.016833e-04,3.919581e-04,3.827028e-04,3.738988e-04,3.655282e-04,3.575737e-04,3.500183e-04,3.428457e-04,3.360401e-04,3.295862e-04,3.234694e-04,3.176755e-04,3.121906e-04,3.070017e-04,3.020960e-04,2.974613e-04,2.930858e-04,2.889582e-04,2.850676e-04,2.814035e-04,2.779559e-04,2.747152e-04,2.716720e-04,2.688174e-04,2.661430e-04,2.636403e-04,2.613017e-04,2.591195e-04,2.570864e-04,2.551955e-04,2.534401e-04,2.518137e-04,2.503103e-04,2.489239e-04,2.476489e-04,2.464799e-04,2.454115e-04,2.444389e-04,2.435573e-04
0.000000e+00,4.682109e-09,1.008543e-07,1.055077e-07,6.919942e-07,2.570825e-06,2.692719e-06,7.140943e-06,1.364653e-05,1.411916e-05,2.243835e-05,2.997227e-05,3.059388e-05,3.775538e-05,4.319144e-05,4.373789e-05,4.861386e-05,5.209514e-05,5.251666e-05,5.558144e-05,5.764072e-05,5.793072e-05,5.967211e-05,6.073368e-05,6.089882e-05,6.169131e-05,6.206608e-05,6.211889e-05,6.224107e-05,6.215342e-05,6.210881e-05,6.176558e-05,6.137550e-05,6.124850e-05,6.058911e-05,6.000951e-05,5.981430e-05,5.894686e-05,5.825688e-05,5.800626e-05,5.700895e-05,5.626366e-05,5.596882e-05,5.489765e-05,5.413474e-05,5.380536e-05,5.270025e-05,5.194506e-05,5.158930e-05,5.047830e-05,4.974740e-05,4.937209e-05,4.827467e-05,4.757847e-05,4.718931e-05,4.611870e-05,4.546328e-05,4.506498e-05,4.402992e-05,4.341840e-05,4.301485e-05,4.202084e-05,4.145428e-05,4.104867e-05,4.009888e-05,3.957692e-05,3.917185e-05,3.826781e-05,3.778921e-05,3.738682e-05,3.652886e-05,3.609179e-05,3.569381e-05,3.488147e-05,3.448374e-05,3.409159e-05,3.332385e-05,3.296309e-05,3.257790e-05,3.185335e-05,3.152714e-05,3.114981e-05,3.046683e-05,3.017272e-05,2.980397e-05,2.916077e-05,2.889639e-05,2.853678e-05,2.793153e-05,2.769456e-05,2.734454e-05,2.677535e-05,2.656363e-05,2.622350e-05,2.568853e-05,2.549998e-05,2.516998e-05,2.466739e-05,2.450007e-05,2.418033e-05,2.370836e-05,2.356045e-05,2.325106e-05,2.280800e-05,2.267780e-05,2.237877e-05,2.196298e-05,2.184891e-05,2.156023e-05,2.117014e-05,2.107075e-05,2.079234e-05,2.042647e-05,2.034039e-05,2.007216e-05,1.972907e-05,1.965507e-05,1.939687e-05,1.907523e-05,1.901215e-05,1.876384e-05,1.846237e-05,1.840914e-05,1.817054e-05,1.788804e-05,1.784369e-05,1.761460e-05,1.734993e-05,1.731356e-05,1.709377e-05,1.684586e-05,1.681665e-05,1.660594e-05,1.637377e-05,1.635097e-05,1.614910e-05,1.593172e-05,1.591463e-05,1.572138e-05,1.551788e-05,1.550588e-05,1.532099e-05,1.513053e-05,1.512304e-05,1.494627e-05,1.476804e-05,1.476454e-05,1.459564e-05,1.442889e-05,1.411471e-05,1.382068e-05,1.354556e-05,1.328820e-05,1.304749e-05,1.282240e-05,1.261198e-05,1.241530e-05,1.223152e-05,1.205983e-05,1.189946e-05,1.174972e-05,1.160993e-05,1.147947e-05,1.135775e-05,1.124421e-05,1.113833e-05,1.103963e-05,1.094765e-05,1.086196e-05,1.078215e-05,1.070784e-05,1.063869e-05,1.057435e-05,1.051452e-05,1.045890e-05,1.040721e-05,1.035921e-05,1.031464e-05,1.027328e-05,1.023492e-05,1.019936e-05,1.016641e-05,1.013591e-05,1.010767e-05,1.008156e-05,1.005743e-05,1.003515e-05,1.001458e-05,9.995614e-06,9.978142e-06,9.962060e-06,9.947271e-06,9.933686e-06,9.921222e-06,9.909799e-06,9.899344e-06,9.889790e-06,9.881071e-06
0.000000e+00,2.559598e-09,8.127054e-08,8.547830e-08,7.089454e-07,3.177593e-06,3.351866e-06,1.038439e-05,2.204298e-05,2.292683e-05,3.890389e-05,5.384812e-05,5.510327e-05,6.991986e-05,8.177856e-05,8.301037e-05,9.442951e-05,1.032071e-04,1.043179e-04,1.128249e-04,1.191438e-04,1.200914e-04,1.262472e-04,1.306461e-04,1.314099e-04,1.356866e-04,1.386004e-04,1.391739e-04,1.419591e-04,1.437348e-04,1.441208e-04,1.457300e-04,1.466427e-04,1.468502e-04,1.475387e-04,1.478049e-04,1.478466e-04,1.478201e-04,1.476095e-04,1.475002e-04,1.469239e-04,1.463687e-04,1.461239e-04,1.451299e-04,1.443329e-04,1.439682e-04,1.426621e-04,1.417024e-04,1.412327e-04,1.396987e-04,1.386370e-04,1.380765e-04,1.363811e-04,1.352638e-04,1.346257e-04,1.328217e-04,1.316835e-04,1.309796e-04,1.291086e-04,1.279756e-04,1.272169e-04,1.253115e-04,1.242026e-04,1.233988e-04,1.214843e-04,1.204134e-04,1.195731e-04,1.176692e-04,1.166455e-04,1.157765e-04,1.138981e-04,1.129280e-04,1.120369e-04,1.101954e-04,1.092826e-04,1.083754e-04,1.065789e-04,1.057254e-04,1.048073e-04,1.030619e-04,1.022680e-04,1.013436e-04,9.965328e-05,9.891861e-05,9.799168e-05,9.635926e-05,9.568245e-05,9.475643e-05,9.318344e-05,9.256264e-05,9.164046e-05,9.012756e-05,8.956054e-05,8.864472e-05,8.719186e-05,8.667615e-05,8.576886e-05,8.437549e-05,8.390846e-05,8.301154e-05,8.167671e-05,8.125566e-05,8.037068e-05,7.909312e-05,7.871534e-05,7.784364e-05,7.662186e-05,7.628467e-05,7.542737e-05,7.425974e-05,7.396050e-05,7.311853e-05,7.200330e-05,7.173947e-05,7.091360e-05,6.984897e-05,6.961807e-05,6.880896e-05,6.779309e-05,6.759277e-05,6.680090e-05,6.583194e-05,6.565995e-05,6.488573e-05,6.396183e-05,6.381605e-05,6.305978e-05,6.217912e-05,6.205751e-05,6.131941e-05,6.048020e-05,6.038086e-05,5.966107e-05,5.886158e-05,5.878270e-05,5.808131e-05,5.731983e-05,5.725971e-05,5.657675e-05,5.585164e-05,5.580870e-05,5.514412e-05,5.445380e-05,5.442654e-05,5.378029e-05,5.312321e-05,5.311023e-05,5.248220e-05,5.185688e-05,5.066370e-05,4.952801e-05,4.844724e-05,4.741892e-05,4.644068e-05,4.551026e-05,4.462547e-05,4.378425e-05,4.298460e-05,4.222461e-05,4.150247e-05,4.081643e-05,4.016484e-05,3.954609e-05,3.895867e-05,3.840113e-05,3.787207e-05,3.737017e-05,3.689416e-05,3.644283e-05,3.601502e-05,3.560963e-05,3.522561e-05,3.486194e-05,3.451766e-05,3.419187e-05,3.388366e-05,3.359222e-05,3.331674e-05,3.305646e-05,3.281064e-05,3.257859e-05,3.235965e-05,3.215319e-05,3.195859e-05,3.177529e-05,3.160272e-05,3.144036e-05,3.128772e-05,3.114431e-05,3.100968e-05,3.088339e-05,3.076502e-05,3.065418e-05,3.055049e-05,3.045358e-05,3.036313e-05,3.027879e-05,3.020025e-05
0.000000e+00,9.274725e-12,1.483544e-09,1.597306e-09,3.175857e-08,2.526161e-07,2.723777e-07,1.435440e-06,4.972608e-06,5.335795e-06,1.512080e-05,3.253738e-05,3.452020e-05,6.627998e-05,1.058456e-04,1.108346e-04,1.661161e-04,2.207090e-04,2.284166e-04,2.935853e-04,3.491045e-04,3.579554e-04,4.187975e-04,4.658862e-04,4.743812e-04,5.238230e-04,5.595828e-04,5.668589e-04,6.036292e-04,6.287817e-04,6.345091e-04,6.599909e-04,6.764620e-04,6.806074e-04,6.968875e-04,7.066693e-04,7.093314e-04,7.184001e-04,7.231855e-04,7.245118e-04,7.280411e-04,7.291722e-04,7.293221e-04,7.286514e-04,7.271627e-04,7.262920e-04,7.224762e-04,7.191554e-04,7.174094e-04,7.112725e-04,7.067142e-04,7.042250e-04,6.964077e-04,6.910584e-04,6.879443e-04,6.789435e-04,6.731354e-04,6.695007e-04,6.597000e-04,6.536790e-04,6.496155e-04,6.393117e-04,6.332578e-04,6.288455e-04,6.182661e-04,6.123086e-04,6.076167e-04,5.969350e-04,5.911651e-04,5.862536e-04,5.756010e-04,5.700813e-04,5.650017e-04,5.544773e-04,5.492488e-04,5.440457e-04,5.337226e-04,5.288100e-04,5.235211e-04,5.134524e-04,5.088680e-04,5.035258e-04,4.937490e-04,4.894964e-04,4.841285e-04,4.746693e-04,4.707456e-04,4.653756e-04,4.562504e-04,4.526480e-04,4.472960e-04,4.385139e-04,4.352221e-04,4.299050e-04,4.214697e-04,4.184755e-04,4.132078e-04,4.051187e-04,4.024076e-04,3.972014e-04,3.894549e-04,3.870118e-04,3.818774e-04,3.744674e-04,3.722767e-04,3.672227e-04,3.601414e-04,3.581876e-04,3.532211e-04,3.464595e-04,3.447271e-04,3.398540e-04,3.334022e-04,3.318764e-04,3.271015e-04,3.209491e-04,3.196152e-04,3.149424e-04,3.090787e-04,3.079229e-04,3.033553e-04,2.977693e-04,2.967782e-04,2.923182e-04,2.869991e-04,2.861601e-04,2.818093e-04,2.767462e-04,2.760474e-04,2.718071e-04,2.669894e-04,2.664193e-04,2.622904e-04,2.577076e-04,2.572556e-04,2.532384e-04,2.488803e-04,2.485364e-04,2.446308e-04,2.404876e-04,2.402423e-04,2.364482e-04,2.325102e-04,2.323548e-04,2.286714e-04,2.249295e-04,2.248557e-04,2.212823e-04,2.177276e-04,2.109537e-04,2.045178e-04,1.984045e-04,1.925990e-04,1.870868e-04,1.818545e-04,1.768888e-04,1.721773e-04,1.677081e-04,1.634696e-04,1.594509e-04,1.556416e-04,1.520318e-04,1.486118e-04,1.453726e-04,1.423054e-04,1.394021e-04,1.366547e-04,1.340556e-04,1.315976e-04,1.292739e-04,1.270780e-04,1.250035e-04,1.230445e-04,1.211954e-04,1.194508e-04,1.178054e-04,1.162544e-04,1.147930e-04,1.134169e-04,1.121217e-04,1.109034e-04,1.097582e-04,1.086823e-04,1.076722e-04,1.067247e-04,1.058365e-04,1.050046e-04,1.042261e-04,1.034983e-04,1.028186e-04,1.021845e-04,1.015935e-04,1.010436e-04,1.005324e-04,1.000580e-04,9.961845e-05,9.921188e-05,9.883653e-05
0.000000e+00,2.219311e-09,4.141486e-08,4.346428e-08,3.188711e-07,1.144538e-06,1.193558e-06,2.664351e-06,4.167042e-06,4.260835e-06,5.757787e-06,7.015533e-06,7.119489e-06,8.348649e-06,9.348869e-06,9.454122e-06,1.044535e-05,1.123029e-05,1.133133e-05,1.212050e-05,1.272774e-05,1.282069e-05,1.343922e-05,1.390065e-05,1.398287e-05,1.445795e-05,1.480045e-05,1.487029e-05,1.522529e-05,1.547137e-05,1.552794e-05,1.578282e-05,1.595121e-05,1.599418e-05,1.616592e-05,1.627215e-05,1.630161e-05,1.640451e-05,1.646135e-05,1.647766e-05,1.652381e-05,1.654175e-05,1.654549e-05,1.654502e-05,1.653266e-05,1.652453e-05,1.648598e-05,1.645038e-05,1.643117e-05,1.636173e-05,1.630863e-05,1.627918e-05,1.618491e-05,1.611903e-05,1.608021e-05,1.596622e-05,1.589135e-05,1.584399e-05,1.571448e-05,1.563365e-05,1.557857e-05,1.543706e-05,1.535270e-05,1.529067e-05,1.514008e-05,1.505415e-05,1.498590e-05,1.482869e-05,1.474271e-05,1.466894e-05,1.450712e-05,1.442229e-05,1.434364e-05,1.417888e-05,1.409614e-05,1.401320e-05,1.384689e-05,1.376693e-05,1.368025e-05,1.351354e-05,1.343689e-05,1.334698e-05,1.318080e-05,1.310784e-05,1.301517e-05,1.285026e-05,1.278126e-05,1.268625e-05,1.252325e-05,1.245836e-05,1.236139e-05,1.220079e-05,1.214011e-05,1.204154e-05,1.188374e-05,1.182729e-05,1.172744e-05,1.157274e-05,1.152051e-05,1.141967e-05,1.126830e-05,1.122022e-05,1.111866e-05,1.097080e-05,1.092680e-05,1.082475e-05,1.068053e-05,1.064049e-05,1.053818e-05,1.039769e-05,1.036147e-05,1.025909e-05,1.012239e-05,1.008987e-05,9.987594e-06,9.854704e-06,9.825724e-06,9.723721e-06,9.594645e-06,9.569058e-06,9.467470e-06,9.342191e-06,9.319841e-06,9.218799e-06,9.097286e-06,9.078018e-06,8.977641e-06,8.859850e-06,8.843507e-06,8.743901e-06,8.629779e-06,8.616206e-06,8.517468e-06,8.406952e-06,8.395999e-06,8.298215e-06,8.191238e-06,8.182755e-06,8.086003e-06,7.982492e-06,7.976336e-06,7.880685e-06,7.780563e-06,7.776593e-06,7.682107e-06,7.585295e-06,7.583376e-06,7.490109e-06,7.396527e-06,7.215888e-06,7.041301e-06,6.872604e-06,6.709639e-06,6.552248e-06,6.400273e-06,6.253561e-06,6.111959e-06,5.975318e-06,5.843492e-06,5.716337e-06,5.593713e-06,5.475483e-06,5.361512e-06,5.251672e-06,5.145833e-06,5.043874e-06,4.945672e-06,4.851112e-06,4.760078e-06,4.672460e-06,4.588151e-06,4.507045e-06,4.429041e-06,4.354040e-06,4.281946e-06,4.212666e-06,4.146110e-06,4.082190e-06,4.020821e-06,3.961919e-06,3.905405e-06,3.851202e-06,3.799232e-06,3.749424e-06,3.701707e-06,3.656010e-06,3.612267e-06,3.570414e-06,3.530387e-06,3.492126e-06,3.455570e-06,3.420664e-06,3.387349e-06,3.355574e-06,3.325285e-06,3.296431e-06,3.268963e-06,3.242834e-06
0.000000e+00,6.215537e-13,1.342195e-10,1.453991e-10,3.890575e-09,3.991862e-08,4.346599e-08,2.872689e-07,1.198258e-06,1.300243e-06,4.404045e-06,1.107070e-05,1.190277e-05,2.696152e-05,4.992996e-05,5.314994e-05,9.383504e-05,1.437248e-04,1.516226e-04,2.279753e-04,3.086410e-04,3.230495e-04,4.357332e-04,5.424167e-04,5.638323e-04,7.043451e-04,8.263812e-04,8.537702e-04,1.008402e-03,1.133396e-03,1.164590e-03,1.318938e-03,1.436109e-03,1.468452e-03,1.610623e-03,1.712525e-03,1.743473e-03,1.865543e-03,1.948353e-03,1.975873e-03,2.073943e-03,2.136873e-03,2.159617e-03,2.233075e-03,2.277448e-03,2.294745e-03,2.345244e-03,2.373581e-03,2.385320e-03,2.415802e-03,2.431088e-03,2.437563e-03,2.451484e-03,2.456680e-03,2.458430e-03,2.459232e-03,2.456988e-03,2.454671e-03,2.445473e-03,2.438006e-03,2.432299e-03,2.415750e-03,2.404817e-03,2.396359e-03,2.374604e-03,2.361547e-03,2.350903e-03,2.325619e-03,2.311421e-03,2.299069e-03,2.271526e-03,2.256889e-03,2.243221e-03,2.214355e-03,2.199765e-03,2.185097e-03,2.155589e-03,2.141373e-03,2.125952e-03,2.096284e-03,2.082650e-03,2.066669e-03,2.037176e-03,2.024252e-03,2.007861e-03,1.978771e-03,1.966630e-03,1.949945e-03,1.921413e-03,1.910088e-03,1.893199e-03,1.865324e-03,1.854824e-03,1.837804e-03,1.810650e-03,1.800966e-03,1.783871e-03,1.757476e-03,1.748589e-03,1.731468e-03,1.705851e-03,1.697736e-03,1.680627e-03,1.655797e-03,1.648425e-03,1.631360e-03,1.607317e-03,1.600655e-03,1.583665e-03,1.560402e-03,1.554417e-03,1.537526e-03,1.515034e-03,1.509693e-03,1.492923e-03,1.471189e-03,1.466458e-03,1.449830e-03,1.428840e-03,1.424686e-03,1.408216e-03,1.387954e-03,1.384345e-03,1.368050e-03,1.348499e-03,1.345404e-03,1.329298e-03,1.310441e-03,1.307829e-03,1.291925e-03,1.273744e-03,1.271585e-03,1.255895e-03,1.238373e-03,1.236638e-03,1.221173e-03,1.204290e-03,1.202954e-03,1.187722e-03,1.171462e-03,1.170496e-03,1.155506e-03,1.139851e-03,1.139230e-03,1.124490e-03,1.109421e-03,1.109123e-03,1.094639e-03,1.080139e-03,1.052245e-03,1.025409e-03,9.995966e-04,9.747775e-04,9.509201e-04,9.279940e-04,9.059696e-04,8.848178e-04,8.645103e-04,8.450197e-04,8.263190e-04,8.083823e-04,7.911842e-04,7.746999e-04,7.589056e-04,7.437778e-04,7.292941e-04,7.154324e-04,7.021714e-04,6.894905e-04,6.773694e-04,6.657889e-04,6.547298e-04,6.441740e-04,6.341037e-04,6.245015e-04,6.153508e-04,6.066353e-04,5.983394e-04,5.904477e-04,5.829456e-04,5.758187e-04,5.690530e-04,5.626352e-04,5.565521e-04,5.507912e-04,5.453402e-04,5.401872e-04,5.353207e-04,5.307296e-04,5.264030e-04,5.223304e-04,5.185018e-04,5.149072e-04,5.115372e-04,5.083825e-04,5.054342e-04,5.026837e-04,5.001225e-04
0.000000e+00,2.679190e-10,2.537716e-08,2.706827e-08,3.608464e-07,2.155440e-06,2.299337e-06,9.404698e-06,2.575128e-05,2.720946e-05,5.904483e-05,9.828230e-05,1.019665e-04,1.491485e-04,1.904512e-04,1.948519e-04,2.361607e-04,2.681544e-04,2.721989e-04,3.030565e-04,3.257744e-04,3.291619e-04,3.510193e-04,3.664542e-04,3.691158e-04,3.838969e-04,3.938252e-04,3.957623e-04,4.050689e-04,4.108866e-04,4.121345e-04,4.172415e-04,4.200280e-04,4.206412e-04,4.225562e-04,4.231410e-04,4.231840e-04,4.226997e-04,4.217171e-04,4.212581e-04,4.189946e-04,4.169233e-04,4.160281e-04,4.124626e-04,4.096600e-04,4.083900e-04,4.038909e-04,4.006248e-04,3.990370e-04,3.938934e-04,3.903680e-04,3.885171e-04,3.829570e-04,3.793217e-04,3.772550e-04,3.714468e-04,3.678061e-04,3.655633e-04,3.596316e-04,3.560592e-04,3.536749e-04,3.477135e-04,3.442606e-04,3.417646e-04,3.358431e-04,3.325439e-04,3.299618e-04,3.241317e-04,3.210079e-04,3.183618e-04,3.126600e-04,3.097243e-04,3.070330e-04,3.014860e-04,2.987439e-04,2.960235e-04,2.906492e-04,2.881017e-04,2.853658e-04,2.801756e-04,2.778199e-04,2.750802e-04,2.700809e-04,2.679119e-04,2.651785e-04,2.603733e-04,2.583841e-04,2.556654e-04,2.510546e-04,2.492374e-04,2.465405e-04,2.421224e-04,2.404685e-04,2.377995e-04,2.335708e-04,2.320714e-04,2.294354e-04,2.253919e-04,2.240379e-04,2.214392e-04,2.175759e-04,2.163583e-04,2.138006e-04,2.101118e-04,2.090218e-04,2.065081e-04,2.029879e-04,2.020170e-04,1.995497e-04,1.961921e-04,1.953321e-04,1.929133e-04,1.897119e-04,1.889549e-04,1.865863e-04,1.835350e-04,1.828736e-04,1.805565e-04,1.776491e-04,1.770760e-04,1.748114e-04,1.720420e-04,1.715506e-04,1.693392e-04,1.667017e-04,1.662857e-04,1.641281e-04,1.616169e-04,1.612702e-04,1.591667e-04,1.567761e-04,1.564932e-04,1.544439e-04,1.521686e-04,1.519441e-04,1.499490e-04,1.477838e-04,1.476129e-04,1.456718e-04,1.436117e-04,1.434897e-04,1.416023e-04,1.396425e-04,1.395651e-04,1.377310e-04,1.358669e-04,1.358301e-04,1.340489e-04,1.322760e-04,1.288944e-04,1.256776e-04,1.226177e-04,1.197075e-04,1.169401e-04,1.143088e-04,1.118073e-04,1.094293e-04,1.071692e-04,1.050214e-04,1.029806e-04,1.010417e-04,9.920001e-05,9.745081e-05,9.578977e-05,9.421269e-05,9.271558e-05,9.129465e-05,8.994626e-05,8.866696e-05,8.745344e-05,8.630256e-05,8.521133e-05,8.417689e-05,8.319650e-05,8.226759e-05,8.138767e-05,8.055438e-05,7.976547e-05,7.901882e-05,7.831236e-05,7.764416e-05,7.701236e-05,7.641520e-05,7.585099e-05,7.531813e-05,7.481509e-05,7.434041e-05,7.389270e-05,7.347065e-05,7.307299e-05,7.269852e-05,7.234609e-05,7.201462e-05,7.170308e-05,7.141046e-05,7.113582e-05,7.087828e-05,7.063697e-05
0.000000e+00,9.996237e-13,2.278575e-10,2.471701e-10,7.087034e-09,7.694546e-08,8.395585e-08,5.805506e-07,2.505695e-06,2.724268e-06,9.498573e-06,2.440219e-05,2.628149e-05,6.072874e-05,1.142968e-04,1.218786e-04,2.188320e-04,3.400383e-04,3.594212e-04,5.491657e-04,7.537159e-04,7.906519e-04,1.083356e-03,1.366365e-03,1.423833e-03,1.806172e-03,2.145517e-03,2.222599e-03,2.664148e-03,3.029074e-03,3.121289e-03,3.584506e-03,3.944191e-03,4.044759e-03,4.493828e-03,4.823197e-03,4.924561e-03,5.330999e-03,5.613304e-03,5.708430e-03,6.053374e-03,6.280268e-03,6.363502e-03,6.637524e-03,6.807621e-03,6.875062e-03,7.076519e-03,7.193404e-03,7.242925e-03,7.375811e-03,7.446064e-03,7.477076e-03,7.548885e-03,7.580452e-03,7.593559e-03,7.613506e-03,7.614516e-03,7.611142e-03,7.588846e-03,7.566859e-03,7.548911e-03,7.493520e-03,7.455124e-03,7.424720e-03,7.344411e-03,7.295069e-03,7.254340e-03,7.156095e-03,7.100156e-03,7.051113e-03,6.940682e-03,6.881489e-03,6.825946e-03,6.707922e-03,6.647959e-03,6.587499e-03,6.465456e-03,6.406503e-03,6.342471e-03,6.219128e-03,6.162411e-03,6.095930e-03,5.973305e-03,5.919628e-03,5.851617e-03,5.731171e-03,5.681017e-03,5.612223e-03,5.494983e-03,5.448605e-03,5.379625e-03,5.266288e-03,5.223774e-03,5.155085e-03,5.046100e-03,5.007422e-03,4.939400e-03,4.835031e-03,4.800083e-03,4.733026e-03,4.633404e-03,4.602029e-03,4.536172e-03,4.441331e-03,4.413343e-03,4.348870e-03,4.258774e-03,4.233968e-03,4.171022e-03,4.085586e-03,4.063749e-03,4.002438e-03,3.921543e-03,3.902460e-03,3.842868e-03,3.766374e-03,3.749834e-03,3.692023e-03,3.619775e-03,3.605574e-03,3.549589e-03,3.481424e-03,3.469365e-03,3.415236e-03,3.350985e-03,3.340881e-03,3.288627e-03,3.228119e-03,3.219794e-03,3.169421e-03,3.112489e-03,3.105774e-03,3.057283e-03,3.003761e-03,2.998499e-03,2.951881e-03,2.901605e-03,2.897651e-03,2.852891e-03,2.805702e-03,2.802918e-03,2.759998e-03,2.715741e-03,2.714000e-03,2.672895e-03,2.631422e-03,2.630606e-03,2.591287e-03,2.552454e-03,2.479273e-03,2.410804e-03,2.346796e-03,2.287012e-03,2.231221e-03,2.179205e-03,2.130757e-03,2.085677e-03,2.043775e-03,2.004872e-03,1.968795e-03,1.935380e-03,1.904473e-03,1.875926e-03,1.849598e-03,1.825356e-03,1.803073e-03,1.782630e-03,1.763913e-03,1.746812e-03,1.731227e-03,1.717060e-03,1.704218e-03,1.692615e-03,1.682168e-03,1.672799e-03,1.664434e-03,1.657003e-03,1.650440e-03,1.644683e-03,1.639672e-03,1.635352e-03,1.631670e-03,1.628576e-03,1.626024e-03,1.623970e-03,1.622373e-03,1.621192e-03,1.620393e-03,1.619939e-03,1.619800e-03,1.619944e-03,1.620344e-03,1.620972e-03,1.621804e-03,1.622818e-03,1.623990e-03,1.625302e-03,1.626735e-03
0.000000e+00,1.288089e-09,2.399954e-08,2.515730e-08,1.679834e-07,5.382966e-07,5.587967e-07,1.135162e-06,1.689170e-06,1.723293e-06,2.264101e-06,2.714521e-06,2.751614e-06,3.188650e-06,3.542076e-06,3.579143e-06,3.926967e-06,4.200651e-06,4.235759e-06,4.508902e-06,4.717690e-06,4.749532e-06,4.960548e-06,5.116878e-06,5.144624e-06,5.304216e-06,5.418396e-06,5.441575e-06,5.558766e-06,5.639277e-06,5.657684e-06,5.740049e-06,5.793817e-06,5.807431e-06,5.861263e-06,5.893921e-06,5.902851e-06,5.933385e-06,5.949507e-06,5.953952e-06,5.965539e-06,5.968829e-06,5.969044e-06,5.965283e-06,5.958728e-06,5.955000e-06,5.938871e-06,5.924880e-06,5.917510e-06,5.891474e-06,5.871977e-06,5.861270e-06,5.827360e-06,5.803908e-06,5.790163e-06,5.750057e-06,5.723884e-06,5.707389e-06,5.662472e-06,5.634561e-06,5.615589e-06,5.566998e-06,5.538126e-06,5.516933e-06,5.465607e-06,5.436385e-06,5.413210e-06,5.359917e-06,5.330822e-06,5.305884e-06,5.251255e-06,5.222655e-06,5.196157e-06,5.140706e-06,5.112882e-06,5.085009e-06,5.029158e-06,5.002321e-06,4.973240e-06,4.917332e-06,4.891636e-06,4.861501e-06,4.805812e-06,4.781367e-06,4.750318e-06,4.695069e-06,4.671949e-06,4.640111e-06,4.585483e-06,4.563733e-06,4.531221e-06,4.477355e-06,4.456996e-06,4.423914e-06,4.370922e-06,4.351959e-06,4.318400e-06,4.266368e-06,4.248792e-06,4.214842e-06,4.163836e-06,4.147625e-06,4.113362e-06,4.063430e-06,4.048558e-06,4.014050e-06,3.965228e-06,3.951659e-06,3.916970e-06,3.869281e-06,3.856975e-06,3.822164e-06,3.775622e-06,3.764537e-06,3.729655e-06,3.684266e-06,3.674358e-06,3.639453e-06,3.595217e-06,3.586439e-06,3.551555e-06,3.508467e-06,3.500771e-06,3.465949e-06,3.423998e-06,3.417339e-06,3.382613e-06,3.341789e-06,3.336118e-06,3.301522e-06,3.261808e-06,3.257079e-06,3.222643e-06,3.184023e-06,3.180191e-06,3.145942e-06,3.108397e-06,3.105416e-06,3.071381e-06,3.034889e-06,3.032716e-06,2.998917e-06,2.963458e-06,2.962050e-06,2.928508e-06,2.894061e-06,2.893377e-06,2.860111e-06,2.826653e-06,2.761835e-06,2.698879e-06,2.637740e-06,2.578376e-06,2.520742e-06,2.464794e-06,2.410492e-06,2.357791e-06,2.306651e-06,2.257031e-06,2.208891e-06,2.162192e-06,2.116895e-06,2.072962e-06,2.030357e-06,1.989044e-06,1.948987e-06,1.910153e-06,1.872507e-06,1.836017e-06,1.800652e-06,1.766379e-06,1.733170e-06,1.700993e-06,1.669821e-06,1.639626e-06,1.610379e-06,1.582055e-06,1.554628e-06,1.528072e-06,1.502363e-06,1.477477e-06,1.453391e-06,1.430082e-06,1.407528e-06,1.385707e-06,1.364600e-06,1.344185e-06,1.324442e-06,1.305354e-06,1.286900e-06,1.269063e-06,1.251825e-06,1.235169e-06,1.219078e-06,1.203536e-06,1.188527e-06,1.174035e-06,1.160047e-06
0.000000e+00,1.842375e-12,4.229264e-10,4.585010e-10,1.257514e-08,1.328631e-07,1.449369e-07,1.023792e-06,4.695502e-06,5.130341e-06,1.968272e-05,5.605263e-05,6.093762e-05,1.587838e-04,3.337481e-04,3.602940e-04,7.314101e-04,1.264916e-03,1.356539e-03,2.336265e-03,3.548357e-03,3.783585e-03,5.819198e-03,8.073932e-03,8.566319e-03,1.214548e-02,1.578082e-02,1.666961e-02,2.223978e-02,2.750715e-02,2.894155e-02,3.684228e-02,4.386833e-02,4.598925e-02,5.640858e-02,6.518190e-02,6.810498e-02,8.106210e-02,9.144138e-02,9.524359e-02,1.105945e-01,1.223317e-01,1.270433e-01,1.445036e-01,1.572752e-01,1.628766e-01,1.820538e-01,1.954944e-01,2.019186e-01,2.223491e-01,2.360825e-01,2.432202e-01,2.644056e-01,2.780710e-01,2.857794e-01,3.072184e-01,3.204905e-01,3.286028e-01,3.498180e-01,3.624204e-01,3.707554e-01,3.913136e-01,4.030260e-01,4.113982e-01,4.309232e-01,4.415835e-01,4.498110e-01,4.679923e-01,4.774947e-01,4.854064e-01,5.020010e-01,5.102915e-01,5.177323e-01,5.325643e-01,5.396340e-01,5.464688e-01,5.594248e-01,5.653024e-01,5.714182e-01,5.824414e-01,5.871856e-01,5.924926e-01,6.015755e-01,6.052673e-01,6.096988e-01,6.168756e-01,6.196116e-01,6.231231e-01,6.284618e-01,6.303481e-01,6.329156e-01,6.365107e-01,6.376576e-01,6.392758e-01,6.412414e-01,6.417593e-01,6.424393e-01,6.429028e-01,6.428990e-01,6.426658e-01,6.417632e-01,6.413395e-01,6.402299e-01,6.381011e-01,6.373515e-01,6.354118e-01,6.321969e-01,6.312073e-01,6.284909e-01,6.243275e-01,6.231743e-01,6.197401e-01,6.147610e-01,6.135112e-01,6.094218e-01,6.037532e-01,6.024649e-01,5.977849e-01,5.915454e-01,5.902674e-01,5.850624e-01,5.783623e-01,5.771352e-01,5.714704e-01,5.644111e-01,5.632676e-01,5.572073e-01,5.498812e-01,5.488469e-01,5.424536e-01,5.349443e-01,5.340386e-01,5.273720e-01,5.197545e-01,5.189910e-01,5.121084e-01,5.044494e-01,5.038366e-01,4.967921e-01,4.891503e-01,4.886926e-01,4.815369e-01,4.739638e-01,4.736619e-01,4.664422e-01,4.589823e-01,4.588338e-01,4.515938e-01,4.442855e-01,4.300824e-01,4.162799e-01,4.029235e-01,3.900504e-01,3.776901e-01,3.658650e-01,3.545914e-01,3.438799e-01,3.337366e-01,3.241631e-01,3.151570e-01,3.067129e-01,2.988224e-01,2.914744e-01,2.846559e-01,2.783519e-01,2.725461e-01,2.672206e-01,2.623568e-01,2.579350e-01,2.539350e-01,2.503361e-01,2.471175e-01,2.442579e-01,2.417363e-01,2.395317e-01,2.376232e-01,2.359904e-01,2.346132e-01,2.334719e-01,2.325474e-01,2.318213e-01,2.312757e-01,2.308934e-01,2.306580e-01,2.305538e-01,2.305660e-01,2.306804e-01,2.308837e-01,2.311635e-01,2.315081e-01,2.319066e-01,2.323489e-01,2.328258e-01,2.333288e-01,2.338502e-01,2.343828e-01,2.349203e-01,2.354570e-01
0.000000e+00,9.811147e-09,1.854451e-07,1.943157e-07,1.360412e-06,5.020938e-06,5.251356e-06,1.311165e-05,2.297395e-05,2.363418e-05,3.462255e-05,4.436082e-05,4.518385e-05,5.512835e-05,6.353202e-05,6.443417e-05,7.311551e-05,8.025612e-05,8.119460e-05,8.869557e-05,9.470273e-05,9.564296e-05,1.020613e-04,1.070617e-04,1.079750e-04,1.134079e-04,1.175207e-04,1.183836e-04,1.229254e-04,1.262616e-04,1.270559e-04,1.307973e-04,1.334591e-04,1.341708e-04,1.371971e-04,1.392770e-04,1.398958e-04,1.422860e-04,1.438667e-04,1.443856e-04,1.462121e-04,1.473673e-04,1.477819e-04,1.491106e-04,1.499055e-04,1.502134e-04,1.511045e-04,1.515964e-04,1.517974e-04,1.523049e-04,1.525444e-04,1.526394e-04,1.528124e-04,1.528435e-04,1.528349e-04,1.527174e-04,1.525786e-04,1.524697e-04,1.521013e-04,1.518260e-04,1.516210e-04,1.510372e-04,1.506544e-04,1.503579e-04,1.495905e-04,1.491250e-04,1.487422e-04,1.478196e-04,1.472927e-04,1.468291e-04,1.457766e-04,1.452067e-04,1.446678e-04,1.435080e-04,1.429105e-04,1.423022e-04,1.410550e-04,1.404430e-04,1.397710e-04,1.384542e-04,1.378386e-04,1.371086e-04,1.357379e-04,1.351277e-04,1.343455e-04,1.329346e-04,1.323372e-04,1.315083e-04,1.300693e-04,1.294908e-04,1.286205e-04,1.271641e-04,1.266092e-04,1.257026e-04,1.242381e-04,1.237105e-04,1.227726e-04,1.213080e-04,1.208105e-04,1.198460e-04,1.183882e-04,1.179228e-04,1.169361e-04,1.154911e-04,1.150592e-04,1.140545e-04,1.126275e-04,1.122298e-04,1.112111e-04,1.098063e-04,1.094431e-04,1.084140e-04,1.070351e-04,1.067063e-04,1.056704e-04,1.043204e-04,1.040254e-04,1.029858e-04,1.016673e-04,1.014055e-04,1.003651e-04,9.907993e-05,9.885042e-05,9.781203e-05,9.656176e-05,9.636338e-05,9.532943e-05,9.411530e-05,9.394678e-05,9.291955e-05,9.174238e-05,9.160238e-05,9.058394e-05,8.944430e-05,8.933138e-05,8.832357e-05,8.722179e-05,8.713447e-05,8.613898e-05,8.507513e-05,8.501190e-05,8.403022e-05,8.300420e-05,8.296355e-05,8.199700e-05,8.100854e-05,8.098896e-05,8.003871e-05,7.908738e-05,7.725785e-05,7.549918e-05,7.381001e-05,7.218885e-05,7.063410e-05,6.914406e-05,6.771695e-05,6.635094e-05,6.504417e-05,6.379475e-05,6.260078e-05,6.146035e-05,6.037157e-05,5.933255e-05,5.834144e-05,5.739639e-05,5.649561e-05,5.563734e-05,5.481985e-05,5.404145e-05,5.330051e-05,5.259544e-05,5.192469e-05,5.128677e-05,5.068022e-05,5.010365e-05,4.955570e-05,4.903508e-05,4.854053e-05,4.807083e-05,4.762484e-05,4.720143e-05,4.679954e-05,4.641813e-05,4.605623e-05,4.571289e-05,4.538720e-05,4.507831e-05,4.478539e-05,4.450765e-05,4.424433e-05,4.399472e-05,4.375813e-05,4.353390e-05,4.332141e-05,4.312005e-05,4.292927e-05,4.274853e-05,4.257729e-05
0.000000e+00,2.245616e-11,3.882492e-09,4.189388e-09,9.545540e-08,8.830022e-07,9.578979e-07,5.786775e-06,2.194268e-05,2.364780e-05,7.035056e-05,1.533438e-04,1.627066e-04,3.103322e-04,4.896536e-04,5.120191e-04,7.577604e-04,9.991354e-04,1.033276e-03,1.324077e-03,1.576957e-03,1.617897e-03,1.905563e-03,2.137851e-03,2.180897e-03,2.440147e-03,2.639308e-03,2.681345e-03,2.903733e-03,3.068090e-03,3.107322e-03,3.292589e-03,3.424847e-03,3.460272e-03,3.611246e-03,3.715382e-03,3.746441e-03,3.866800e-03,3.946862e-03,3.973253e-03,4.066702e-03,4.126418e-03,4.148009e-03,4.217999e-03,4.260679e-03,4.277455e-03,4.327116e-03,4.355649e-03,4.367682e-03,4.399813e-03,4.416702e-03,4.424131e-03,4.441221e-03,4.448621e-03,4.451633e-03,4.455884e-03,4.455640e-03,4.454460e-03,4.447816e-03,4.441503e-03,4.436380e-03,4.420552e-03,4.409508e-03,4.400707e-03,4.377198e-03,4.362555e-03,4.350352e-03,4.320479e-03,4.303190e-03,4.287865e-03,4.252780e-03,4.233643e-03,4.215474e-03,4.176183e-03,4.155861e-03,4.135124e-03,4.092503e-03,4.071545e-03,4.048508e-03,4.003317e-03,3.982173e-03,3.957094e-03,3.909992e-03,3.889025e-03,3.862152e-03,3.813708e-03,3.793211e-03,3.764781e-03,3.715484e-03,3.695685e-03,3.665921e-03,3.616190e-03,3.597267e-03,3.566380e-03,3.516573e-03,3.498658e-03,3.466845e-03,3.417265e-03,3.400453e-03,3.367898e-03,3.318801e-03,3.303156e-03,3.270028e-03,3.221628e-03,3.207187e-03,3.173644e-03,3.126118e-03,3.112898e-03,3.079085e-03,3.032578e-03,3.020576e-03,2.986626e-03,2.941256e-03,2.930456e-03,2.896490e-03,2.852349e-03,2.842724e-03,2.808851e-03,2.766012e-03,2.757524e-03,2.723844e-03,2.682360e-03,2.674967e-03,2.641569e-03,2.601478e-03,2.595129e-03,2.562094e-03,2.523420e-03,2.518063e-03,2.485461e-03,2.448218e-03,2.443797e-03,2.411691e-03,2.375880e-03,2.372338e-03,2.340784e-03,2.306400e-03,2.303680e-03,2.272725e-03,2.239755e-03,2.237799e-03,2.207486e-03,2.175911e-03,2.174662e-03,2.145025e-03,2.114821e-03,2.114224e-03,2.085293e-03,2.056432e-03,2.001228e-03,1.948547e-03,1.898320e-03,1.850475e-03,1.804938e-03,1.761632e-03,1.720482e-03,1.681409e-03,1.644337e-03,1.609189e-03,1.575888e-03,1.544360e-03,1.514531e-03,1.486330e-03,1.459686e-03,1.434530e-03,1.410797e-03,1.388420e-03,1.367338e-03,1.347490e-03,1.328817e-03,1.311263e-03,1.294774e-03,1.279296e-03,1.264781e-03,1.251179e-03,1.238443e-03,1.226530e-03,1.215397e-03,1.205003e-03,1.195308e-03,1.186276e-03,1.177871e-03,1.170057e-03,1.162804e-03,1.156080e-03,1.149855e-03,1.144100e-03,1.138790e-03,1.133898e-03,1.129400e-03,1.125273e-03,1.121494e-03,1.118043e-03,1.114900e-03,1.112046e-03,1.109462e-03,1.107132e-03,1.105040e-03
0.000000e+00,3.228884e-13,7.294155e-11,7.912291e-11,2.293259e-09,2.552719e-08,2.788488e-08,1.980580e-07,8.696784e-07,9.462570e-07,3.321703e-06,8.516957e-06,9.168672e-06,2.100378e-05,3.909117e-05,4.162653e-05,7.362725e-05,1.127659e-04,1.189514e-04,1.786141e-04,2.414007e-04,2.525910e-04,3.398660e-04,4.221222e-04,4.385925e-04,5.463181e-04,6.394011e-04,6.602305e-04,7.773911e-04,8.715262e-04,8.949347e-04,1.010225e-03,1.097093e-03,1.120961e-03,1.225244e-03,1.299261e-03,1.321600e-03,1.408971e-03,1.467438e-03,1.486695e-03,1.554456e-03,1.597054e-03,1.612235e-03,1.660260e-03,1.688290e-03,1.698946e-03,1.728850e-03,1.744499e-03,1.750625e-03,1.764979e-03,1.770745e-03,1.772649e-03,1.774368e-03,1.772677e-03,1.770852e-03,1.762783e-03,1.755774e-03,1.750796e-03,1.735480e-03,1.724916e-03,1.717368e-03,1.696937e-03,1.684196e-03,1.674615e-03,1.650777e-03,1.636889e-03,1.625749e-03,1.599815e-03,1.585522e-03,1.573219e-03,1.546169e-03,1.531983e-03,1.518840e-03,1.491381e-03,1.477642e-03,1.463915e-03,1.436545e-03,1.423466e-03,1.409354e-03,1.382413e-03,1.370119e-03,1.355776e-03,1.329489e-03,1.318042e-03,1.303585e-03,1.278094e-03,1.267515e-03,1.253035e-03,1.228424e-03,1.218708e-03,1.204272e-03,1.180587e-03,1.171710e-03,1.157372e-03,1.134630e-03,1.126559e-03,1.112361e-03,1.090562e-03,1.083257e-03,1.069231e-03,1.048364e-03,1.041783e-03,1.027955e-03,1.007999e-03,1.002100e-03,9.884900e-04,9.694215e-04,9.641604e-04,9.507865e-04,9.325781e-04,9.279129e-04,9.147890e-04,8.974119e-04,8.933019e-04,8.804396e-04,8.638644e-04,8.602704e-04,8.476790e-04,8.318759e-04,8.287604e-04,8.164474e-04,8.013862e-04,7.987136e-04,7.866849e-04,7.723361e-04,7.700725e-04,7.583326e-04,7.446674e-04,7.427808e-04,7.313332e-04,7.183233e-04,7.167835e-04,7.056306e-04,6.932485e-04,6.920271e-04,6.811702e-04,6.693891e-04,6.684593e-04,6.578988e-04,6.466929e-04,6.460294e-04,6.357650e-04,6.251091e-04,6.246885e-04,6.147192e-04,6.045891e-04,6.043892e-04,5.947133e-04,5.850858e-04,5.667344e-04,5.492926e-04,5.327196e-04,5.169762e-04,5.020249e-04,4.878295e-04,4.743556e-04,4.615699e-04,4.494407e-04,4.379376e-04,4.270314e-04,4.166945e-04,4.069001e-04,3.976228e-04,3.888382e-04,3.805231e-04,3.726553e-04,3.652136e-04,3.581776e-04,3.515281e-04,3.452465e-04,3.393152e-04,3.337173e-04,3.284368e-04,3.234583e-04,3.187672e-04,3.143495e-04,3.101918e-04,3.062815e-04,3.026063e-04,2.991548e-04,2.959158e-04,2.928789e-04,2.900339e-04,2.873713e-04,2.848820e-04,2.825571e-04,2.803885e-04,2.783682e-04,2.764886e-04,2.747424e-04,2.731229e-04,2.716234e-04,2.702378e-04,2.689600e-04,2.677843e-04,2.667054e-04,2.657181e-04,2.648174e-04
0.000000e+00,2.965389e-09,6.157547e-08,6.459233e-08,4.213611e-07,1.212717e-06,1.252126e-06,2.267712e-06,3.180592e-06,3.236300e-06,4.116856e-06,4.848907e-06,4.909168e-06,5.618814e-06,6.191927e-06,6.251973e-06,6.814623e-06,7.255925e-06,7.312414e-06,7.750655e-06,8.083716e-06,8.134320e-06,8.468052e-06,8.712964e-06,8.756165e-06,9.002662e-06,9.176339e-06,9.211242e-06,9.385319e-06,9.501859e-06,9.528036e-06,9.642283e-06,9.713349e-06,9.730717e-06,9.795775e-06,9.830968e-06,9.839694e-06,9.864525e-06,9.871723e-06,9.872148e-06,9.864285e-06,9.849926e-06,9.842513e-06,9.808275e-06,9.777602e-06,9.762890e-06,9.707565e-06,9.664832e-06,9.643401e-06,9.571406e-06,9.520049e-06,9.492498e-06,9.407517e-06,9.350297e-06,9.317226e-06,9.222324e-06,9.161449e-06,9.123444e-06,9.021165e-06,8.958387e-06,8.916013e-06,8.808464e-06,8.745161e-06,8.698953e-06,8.587873e-06,8.525117e-06,8.475581e-06,8.362398e-06,8.301014e-06,8.248618e-06,8.134503e-06,8.075111e-06,8.020292e-06,7.906197e-06,7.849255e-06,7.792412e-06,7.679109e-06,7.624941e-06,7.566442e-06,7.454548e-06,7.403371e-06,7.343551e-06,7.233558e-06,7.185505e-06,7.124667e-06,7.016960e-06,6.972095e-06,6.910514e-06,6.805391e-06,6.763726e-06,6.701649e-06,6.599334e-06,6.560838e-06,6.498489e-06,6.399146e-06,6.363756e-06,6.301334e-06,6.205076e-06,6.172706e-06,6.110389e-06,6.017287e-06,5.987831e-06,5.925779e-06,5.835871e-06,5.809211e-06,5.747565e-06,5.660860e-06,5.636870e-06,5.575754e-06,5.492241e-06,5.470788e-06,5.410313e-06,5.329961e-06,5.310910e-06,5.251173e-06,5.173936e-06,5.157151e-06,5.098237e-06,5.024059e-06,5.009404e-06,4.951386e-06,4.880202e-06,4.867545e-06,4.810487e-06,4.742223e-06,4.731434e-06,4.675391e-06,4.609971e-06,4.600924e-06,4.545942e-06,4.483284e-06,4.475857e-06,4.421977e-06,4.361997e-06,4.356072e-06,4.303326e-06,4.245940e-06,4.241405e-06,4.189820e-06,4.134943e-06,4.131689e-06,4.081287e-06,4.028832e-06,4.026759e-06,3.977557e-06,3.927439e-06,3.926448e-06,3.878459e-06,3.830594e-06,3.739035e-06,3.651612e-06,3.568170e-06,3.488558e-06,3.412628e-06,3.340237e-06,3.271245e-06,3.205518e-06,3.142924e-06,3.083337e-06,3.026635e-06,2.972699e-06,2.921416e-06,2.872676e-06,2.826373e-06,2.782405e-06,2.740673e-06,2.701084e-06,2.663545e-06,2.627971e-06,2.594275e-06,2.562377e-06,2.532200e-06,2.503668e-06,2.476710e-06,2.451257e-06,2.427241e-06,2.404599e-06,2.383270e-06,2.363195e-06,2.344318e-06,2.326583e-06,2.309940e-06,2.294337e-06,2.279728e-06,2.266065e-06,2.253305e-06,2.241406e-06,2.230325e-06,2.220026e-06,2.210469e-06,2.201619e-06,2.193441e-06,2.185903e-06,2.178973e-06,2.172620e-06,2.166815e-06,2.161531e-06,2.156740e-06
0.000000e+00,2.404506e-09,3.108952e-08,3.243740e-08,1.963334e-07,6.674244e-07,6.958506e-07,1.605109e-06,2.642834e-06,2.710166e-06,3.811198e-06,4.766406e-06,4.846430e-06,5.804962e-06,6.602489e-06,6.687388e-06,7.496817e-06,8.151663e-06,8.236945e-06,8.911581e-06,9.442279e-06,9.524515e-06,1.007946e-05,1.050342e-05,1.058000e-05,1.102959e-05,1.136255e-05,1.143152e-05,1.178892e-05,1.204477e-05,1.210475e-05,1.238182e-05,1.257273e-05,1.262278e-05,1.283012e-05,1.296669e-05,1.300623e-05,1.315333e-05,1.324472e-05,1.327348e-05,1.336860e-05,1.342264e-05,1.344055e-05,1.349102e-05,1.351445e-05,1.352165e-05,1.353396e-05,1.353261e-05,1.352940e-05,1.350942e-05,1.348840e-05,1.347529e-05,1.342819e-05,1.339175e-05,1.336922e-05,1.329942e-05,1.325113e-05,1.321976e-05,1.313112e-05,1.307399e-05,1.303437e-05,1.293027e-05,1.286683e-05,1.281958e-05,1.270297e-05,1.263532e-05,1.258108e-05,1.245452e-05,1.238443e-05,1.232383e-05,1.218954e-05,1.211845e-05,1.205213e-05,1.191203e-05,1.184112e-05,1.176968e-05,1.162546e-05,1.155567e-05,1.147972e-05,1.133279e-05,1.126489e-05,1.118499e-05,1.103659e-05,1.097118e-05,1.088786e-05,1.073905e-05,1.067657e-05,1.059036e-05,1.044202e-05,1.038282e-05,1.029420e-05,1.014708e-05,1.009139e-05,1.000082e-05,9.855560e-06,9.803537e-06,9.711433e-06,9.568559e-06,9.520287e-06,9.427047e-06,9.286993e-06,9.242499e-06,9.148487e-06,9.011607e-06,8.970871e-06,8.876425e-06,8.743002e-06,8.705966e-06,8.611394e-06,8.481649e-06,8.448226e-06,8.353810e-06,8.227913e-06,8.197990e-06,8.103987e-06,7.982059e-06,7.955505e-06,7.862149e-06,7.744273e-06,7.720943e-06,7.628444e-06,7.514671e-06,7.494410e-06,7.402957e-06,7.293305e-06,7.275952e-06,7.185714e-06,7.080180e-06,7.065569e-06,6.976696e-06,6.875253e-06,6.863216e-06,6.775840e-06,6.678446e-06,6.668817e-06,6.583054e-06,6.489650e-06,6.482263e-06,6.398214e-06,6.308729e-06,6.303422e-06,6.221175e-06,6.135529e-06,6.132142e-06,6.051770e-06,5.969875e-06,5.968256e-06,5.889820e-06,5.811580e-06,5.661924e-06,5.519088e-06,5.382866e-06,5.253050e-06,5.129428e-06,5.011791e-06,4.899925e-06,4.793622e-06,4.692674e-06,4.596877e-06,4.506028e-06,4.419932e-06,4.338395e-06,4.261229e-06,4.188250e-06,4.119282e-06,4.054150e-06,3.992688e-06,3.934733e-06,3.880129e-06,3.828723e-06,3.780371e-06,3.734930e-06,3.692265e-06,3.652246e-06,3.614746e-06,3.579644e-06,3.546826e-06,3.516179e-06,3.487595e-06,3.460974e-06,3.436215e-06,3.413225e-06,3.391914e-06,3.372196e-06,3.353986e-06,3.337207e-06,3.321782e-06,3.307640e-06,3.294711e-06,3.282928e-06,3.272230e-06,3.262555e-06,3.253847e-06,3.246049e-06,3.239111e-06,3.232982e-06,3.227615e-06,3.222964e-06
0.000000e+00,2.691963e-10,3.438030e-09,3.586764e-09,2.175231e-08,7.651071e-08,7.996379e-08,2.012638e-07,3.668321e-07,3.784370e-07,5.776372e-07,7.586024e-07,7.739338e-07,9.587464e-07,1.113676e-06,1.130218e-06,1.288382e-06,1.416977e-06,1.433770e-06,1.567030e-06,1.672449e-06,1.688837e-06,1.799867e-06,1.885306e-06,1.900805e-06,1.992297e-06,2.060640e-06,2.074869e-06,2.149069e-06,2.202766e-06,2.215438e-06,2.274485e-06,2.315770e-06,2.326693e-06,2.372518e-06,2.403342e-06,2.412391e-06,2.446717e-06,2.468772e-06,2.475877e-06,2.500232e-06,2.514983e-06,2.520120e-06,2.535857e-06,2.544565e-06,2.547743e-06,2.556059e-06,2.559809e-06,2.561067e-06,2.563016e-06,2.562740e-06,2.562138e-06,2.558650e-06,2.555144e-06,2.552758e-06,2.544651e-06,2.538593e-06,2.534512e-06,2.522506e-06,2.514474e-06,2.508794e-06,2.493521e-06,2.484003e-06,2.476826e-06,2.458840e-06,2.448248e-06,2.439682e-06,2.419466e-06,2.408147e-06,2.398298e-06,2.376276e-06,2.364518e-06,2.353493e-06,2.330035e-06,2.318078e-06,2.305982e-06,2.281410e-06,2.269451e-06,2.256388e-06,2.230981e-06,2.219181e-06,2.205249e-06,2.179249e-06,2.167738e-06,2.153034e-06,2.126651e-06,2.115532e-06,2.100147e-06,2.073561e-06,2.062914e-06,2.046935e-06,2.020302e-06,2.010187e-06,1.993696e-06,1.967149e-06,1.957611e-06,1.940687e-06,1.914336e-06,1.905407e-06,1.888122e-06,1.862064e-06,1.853763e-06,1.836185e-06,1.810500e-06,1.802836e-06,1.785028e-06,1.759784e-06,1.752758e-06,1.734781e-06,1.710031e-06,1.703639e-06,1.685546e-06,1.661336e-06,1.655568e-06,1.637410e-06,1.613775e-06,1.608616e-06,1.590439e-06,1.567408e-06,1.562839e-06,1.544687e-06,1.522281e-06,1.518282e-06,1.500194e-06,1.478428e-06,1.474975e-06,1.456986e-06,1.435871e-06,1.432941e-06,1.415084e-06,1.394626e-06,1.392193e-06,1.374497e-06,1.354698e-06,1.352736e-06,1.335227e-06,1.316086e-06,1.314569e-06,1.297272e-06,1.278785e-06,1.277686e-06,1.260623e-06,1.242784e-06,1.242077e-06,1.225266e-06,1.208066e-06,1.207726e-06,1.191184e-06,1.174615e-06,1.142724e-06,1.112028e-06,1.082505e-06,1.054126e-06,1.026864e-06,1.000691e-06,9.755779e-07,9.514948e-07,9.284121e-07,9.063001e-07,8.851289e-07,8.648691e-07,8.454912e-07,8.269664e-07,8.092661e-07,7.923623e-07,7.762274e-07,7.608346e-07,7.461574e-07,7.321702e-07,7.188478e-07,7.061658e-07,6.941003e-07,6.826282e-07,6.717269e-07,6.613747e-07,6.515504e-07,6.422334e-07,6.334039e-07,6.250424e-07,6.171305e-07,6.096500e-07,6.025834e-07,5.959140e-07,5.896252e-07,5.837015e-07,5.781275e-07,5.728885e-07,5.679704e-07,5.633594e-07,5.590423e-07,5.550063e-07,5.512392e-07,5.477290e-07,5.444644e-07,5.414343e-07,5.386281e-07,5.360355e-07,5.336467e-07
0.000000e+00,2.156358e-11,3.489657e-09,3.758065e-09,7.540871e-08,6.031232e-07,6.504104e-07,3.436775e-06,1.190783e-05,1.277674e-05,3.611892e-05,7.737132e-05,8.204671e-05,1.564528e-04,2.481292e-04,2.596237e-04,3.861737e-04,5.098784e-04,5.272519e-04,6.732804e-04,7.964363e-04,8.159563e-04,9.491879e-04,1.050973e-03,1.069188e-03,1.174106e-03,1.248544e-03,1.263502e-03,1.337867e-03,1.387213e-03,1.398223e-03,1.445858e-03,1.475063e-03,1.482140e-03,1.508415e-03,1.522474e-03,1.525949e-03,1.535900e-03,1.539001e-03,1.539313e-03,1.537115e-03,1.532524e-03,1.530129e-03,1.519079e-03,1.509269e-03,1.504599e-03,1.487244e-03,1.474050e-03,1.467498e-03,1.445786e-03,1.430560e-03,1.422475e-03,1.397887e-03,1.381609e-03,1.372298e-03,1.345949e-03,1.329324e-03,1.319049e-03,1.291777e-03,1.275301e-03,1.264289e-03,1.236717e-03,1.220733e-03,1.209176e-03,1.181762e-03,1.166497e-03,1.154558e-03,1.127635e-03,1.113234e-03,1.101050e-03,1.074853e-03,1.061398e-03,1.049084e-03,1.023776e-03,1.011304e-03,9.989559e-04,9.746441e-04,9.631599e-04,9.508569e-04,9.276062e-04,9.170935e-04,9.049003e-04,8.827442e-04,8.731704e-04,8.611402e-04,8.400885e-04,8.314111e-04,8.195871e-04,7.996324e-04,7.918024e-04,7.802192e-04,7.613413e-04,7.543066e-04,7.429914e-04,7.251613e-04,7.188681e-04,7.078423e-04,6.910248e-04,6.854194e-04,6.746991e-04,6.588549e-04,6.538848e-04,6.434818e-04,6.285692e-04,6.241836e-04,6.141062e-04,6.000821e-04,5.962325e-04,5.864859e-04,5.733068e-04,5.699472e-04,5.605340e-04,5.481569e-04,5.452441e-04,5.361648e-04,5.245473e-04,5.220407e-04,5.132941e-04,5.023951e-04,5.002569e-04,4.918402e-04,4.816198e-04,4.798149e-04,4.717242e-04,4.621440e-04,4.606399e-04,4.528702e-04,4.438937e-04,4.426602e-04,4.352058e-04,4.267979e-04,4.258073e-04,4.186617e-04,4.107891e-04,4.100161e-04,4.031722e-04,3.958033e-04,3.952243e-04,3.886749e-04,3.817797e-04,3.813733e-04,3.751106e-04,3.686608e-04,3.684073e-04,3.624234e-04,3.563921e-04,3.562736e-04,3.505605e-04,3.449223e-04,3.343066e-04,3.243819e-04,3.151066e-04,3.064412e-04,2.983486e-04,2.907938e-04,2.837441e-04,2.771684e-04,2.710377e-04,2.653246e-04,2.600034e-04,2.550500e-04,2.504415e-04,2.461566e-04,2.421752e-04,2.384785e-04,2.350488e-04,2.318693e-04,2.289244e-04,2.261994e-04,2.236805e-04,2.213547e-04,2.192098e-04,2.172343e-04,2.154176e-04,2.137494e-04,2.122203e-04,2.108214e-04,2.095442e-04,2.083810e-04,2.073242e-04,2.063671e-04,2.055030e-04,2.047258e-04,2.040299e-04,2.034097e-04,2.028602e-04,2.023766e-04,2.019545e-04,2.015897e-04,2.012782e-04,2.010163e-04,2.008006e-04,2.006277e-04,2.004947e-04,2.003986e-04,2.003367e-04,2.003066e-04,2.003058e-04
0.000000e+00,1.731675e-10,2.461971e-08,2.652612e-08,5.675853e-07,4.533776e-06,4.876325e-06,2.252396e-05,6.190537e-05,6.527613e-05,1.345816e-04,2.134467e-04,2.206677e-04,3.124429e-04,3.940827e-04,4.029688e-04,4.891323e-04,5.604960e-04,5.698916e-04,6.450647e-04,7.053351e-04,7.147727e-04,7.792280e-04,8.294826e-04,8.386652e-04,8.933216e-04,9.347370e-04,9.434317e-04,9.892258e-04,1.022905e-03,1.030929e-03,1.068762e-03,1.095722e-03,1.102937e-03,1.133660e-03,1.154823e-03,1.161130e-03,1.185537e-03,1.201735e-03,1.207065e-03,1.225887e-03,1.237857e-03,1.242170e-03,1.256071e-03,1.264466e-03,1.267742e-03,1.277325e-03,1.282717e-03,1.284954e-03,1.290760e-03,1.293652e-03,1.294864e-03,1.297380e-03,1.298209e-03,1.298419e-03,1.298083e-03,1.297227e-03,1.296469e-03,1.293671e-03,1.291460e-03,1.289776e-03,1.284865e-03,1.281582e-03,1.279016e-03,1.272304e-03,1.268193e-03,1.264796e-03,1.256559e-03,1.251829e-03,1.247654e-03,1.238138e-03,1.232967e-03,1.228067e-03,1.217492e-03,1.212030e-03,1.206460e-03,1.195018e-03,1.189393e-03,1.183209e-03,1.171071e-03,1.165389e-03,1.158644e-03,1.145962e-03,1.140310e-03,1.133059e-03,1.119965e-03,1.114416e-03,1.106710e-03,1.093321e-03,1.087934e-03,1.079823e-03,1.066241e-03,1.061062e-03,1.052596e-03,1.038908e-03,1.033975e-03,1.025199e-03,1.011484e-03,1.006823e-03,9.977814e-04,9.841063e-04,9.797384e-04,9.704730e-04,9.568948e-04,9.528340e-04,9.433841e-04,9.299521e-04,9.262067e-04,9.166094e-04,9.033656e-04,8.999395e-04,8.902294e-04,8.772090e-04,8.741022e-04,8.643118e-04,8.515443e-04,8.487536e-04,8.389129e-04,8.264228e-04,8.239422e-04,8.140791e-04,8.018862e-04,7.997078e-04,7.898480e-04,7.779681e-04,7.760822e-04,7.662495e-04,7.546947e-04,7.530903e-04,7.433062e-04,7.320858e-04,7.307507e-04,7.210351e-04,7.101555e-04,7.090769e-04,6.994478e-04,6.889129e-04,6.880776e-04,6.785512e-04,6.683629e-04,6.677571e-04,6.583481e-04,6.485067e-04,6.481166e-04,6.388382e-04,6.293420e-04,6.291539e-04,6.200176e-04,6.108641e-04,5.932402e-04,5.762731e-04,5.599521e-04,5.442652e-04,5.291991e-04,5.147396e-04,5.008720e-04,4.875806e-04,4.748497e-04,4.626629e-04,4.510039e-04,4.398562e-04,4.292032e-04,4.190284e-04,4.093155e-04,4.000483e-04,3.912109e-04,3.827876e-04,3.747630e-04,3.671221e-04,3.598500e-04,3.529324e-04,3.463552e-04,3.401048e-04,3.341679e-04,3.285318e-04,3.231839e-04,3.181121e-04,3.133048e-04,3.087508e-04,3.044390e-04,3.003590e-04,2.965006e-04,2.928541e-04,2.894099e-04,2.861592e-04,2.830930e-04,2.802032e-04,2.774814e-04,2.749201e-04,2.725117e-04,2.702492e-04,2.681256e-04,2.661344e-04,2.642692e-04,2.625241e-04,2.608931e-04,2.593708e-04,2.579518e-04
0.000000e+00,1.647669e-11,2.737514e-09,2.950446e-09,6.259700e-08,5.389111e-07,5.830480e-07,3.334395e-06,1.230838e-05,1.325254e-05,3.924304e-05,8.615513e-05,9.149564e-05,1.766119e-04,2.815732e-04,2.947474e-04,4.403207e-04,5.842804e-04,6.046906e-04,7.788121e-04,9.303824e-04,9.549175e-04,1.127174e-03,1.265982e-03,1.291667e-03,1.446050e-03,1.564236e-03,1.589130e-03,1.720492e-03,1.817186e-03,1.840214e-03,1.948660e-03,2.025756e-03,2.046357e-03,2.133904e-03,2.194039e-03,2.211930e-03,2.281062e-03,2.326853e-03,2.341910e-03,2.395057e-03,2.428866e-03,2.441057e-03,2.480433e-03,2.504320e-03,2.513678e-03,2.541252e-03,2.556986e-03,2.563589e-03,2.581092e-03,2.590181e-03,2.594139e-03,2.603084e-03,2.606809e-03,2.608257e-03,2.609963e-03,2.609407e-03,2.608491e-03,2.604107e-03,2.600183e-03,2.597060e-03,2.587582e-03,2.581057e-03,2.575890e-03,2.562183e-03,2.553698e-03,2.546650e-03,2.529463e-03,2.519553e-03,2.510785e-03,2.490766e-03,2.479872e-03,2.469545e-03,2.447251e-03,2.435740e-03,2.424006e-03,2.399920e-03,2.388090e-03,2.375096e-03,2.349631e-03,2.337726e-03,2.323613e-03,2.297124e-03,2.285339e-03,2.270240e-03,2.243031e-03,2.231521e-03,2.215561e-03,2.187891e-03,2.176779e-03,2.160075e-03,2.132163e-03,2.121542e-03,2.104204e-03,2.076238e-03,2.066177e-03,2.048306e-03,2.020443e-03,2.010992e-03,1.992683e-03,1.965054e-03,1.956246e-03,1.937586e-03,1.910301e-03,1.902156e-03,1.883224e-03,1.856375e-03,1.848900e-03,1.829771e-03,1.803430e-03,1.796626e-03,1.777367e-03,1.751594e-03,1.745454e-03,1.726125e-03,1.700968e-03,1.695477e-03,1.676134e-03,1.651630e-03,1.646769e-03,1.627463e-03,1.603640e-03,1.599388e-03,1.580164e-03,1.557041e-03,1.553374e-03,1.534273e-03,1.511864e-03,1.508755e-03,1.489814e-03,1.468126e-03,1.465548e-03,1.446799e-03,1.425835e-03,1.423759e-03,1.405233e-03,1.384991e-03,1.383388e-03,1.365110e-03,1.345587e-03,1.344426e-03,1.326420e-03,1.307607e-03,1.306862e-03,1.289146e-03,1.271034e-03,1.270675e-03,1.253268e-03,1.235845e-03,1.202346e-03,1.170149e-03,1.139225e-03,1.109542e-03,1.081069e-03,1.053770e-03,1.027612e-03,1.002560e-03,9.785801e-04,9.556377e-04,9.336986e-04,9.127288e-04,8.926949e-04,8.735641e-04,8.553041e-04,8.378835e-04,8.212713e-04,8.054374e-04,7.903525e-04,7.759882e-04,7.623166e-04,7.493109e-04,7.369449e-04,7.251934e-04,7.140318e-04,7.034364e-04,6.933844e-04,6.838535e-04,6.748224e-04,6.662703e-04,6.581774e-04,6.505242e-04,6.432924e-04,6.364639e-04,6.300214e-04,6.239484e-04,6.182288e-04,6.128471e-04,6.077884e-04,6.030385e-04,5.985835e-04,5.944102e-04,5.905058e-04,5.868580e-04,5.834549e-04,5.802853e-04,5.773381e-04,5.746029e-04,5.720696e-04
0.000000e+00,5.212266e-09,1.189007e-07,1.249362e-07,8.896416e-07,2.798279e-06,2.898836e-06,5.575384e-06,8.021827e-06,8.170797e-06,1.051281e-05,1.243681e-05,1.259412e-05,1.443316e-05,1.589881e-05,1.605127e-05,1.746884e-05,1.856538e-05,1.870467e-05,1.977603e-05,2.057790e-05,2.069867e-05,2.148710e-05,2.205545e-05,2.215465e-05,2.271351e-05,2.309849e-05,2.317478e-05,2.354856e-05,2.379079e-05,2.384403e-05,2.406949e-05,2.420161e-05,2.423246e-05,2.433974e-05,2.438782e-05,2.439746e-05,2.441117e-05,2.439593e-05,2.438585e-05,2.432601e-05,2.426383e-05,2.423569e-05,2.411854e-05,2.402235e-05,2.397785e-05,2.381656e-05,2.369649e-05,2.363733e-05,2.344253e-05,2.330648e-05,2.323430e-05,2.301456e-05,2.286869e-05,2.278503e-05,2.254725e-05,2.239630e-05,2.230260e-05,2.205232e-05,2.189991e-05,2.179751e-05,2.153914e-05,2.138802e-05,2.127811e-05,2.101520e-05,2.086741e-05,2.075110e-05,2.048643e-05,2.034347e-05,2.022174e-05,1.995752e-05,1.982046e-05,1.969420e-05,1.943216e-05,1.930173e-05,1.917174e-05,1.891321e-05,1.878988e-05,1.865685e-05,1.840288e-05,1.828691e-05,1.815148e-05,1.790283e-05,1.779433e-05,1.765706e-05,1.741430e-05,1.731327e-05,1.717465e-05,1.693820e-05,1.684453e-05,1.670501e-05,1.647514e-05,1.638867e-05,1.624863e-05,1.602552e-05,1.594603e-05,1.580582e-05,1.558956e-05,1.551682e-05,1.537674e-05,1.516735e-05,1.510107e-05,1.496139e-05,1.475886e-05,1.469876e-05,1.455972e-05,1.436397e-05,1.430976e-05,1.417157e-05,1.398250e-05,1.393389e-05,1.379674e-05,1.361423e-05,1.357091e-05,1.343496e-05,1.325888e-05,1.322057e-05,1.308595e-05,1.291614e-05,1.288255e-05,1.274941e-05,1.258571e-05,1.255656e-05,1.242500e-05,1.226724e-05,1.224227e-05,1.211239e-05,1.196039e-05,1.193934e-05,1.181122e-05,1.166482e-05,1.164743e-05,1.152115e-05,1.138016e-05,1.136621e-05,1.124182e-05,1.110608e-05,1.109534e-05,1.097290e-05,1.084224e-05,1.083447e-05,1.071404e-05,1.058827e-05,1.058329e-05,1.046490e-05,1.034387e-05,1.034147e-05,1.022514e-05,1.010869e-05,9.884630e-06,9.669001e-06,9.461504e-06,9.261852e-06,9.069768e-06,8.884982e-06,8.707233e-06,8.536269e-06,8.371843e-06,8.213720e-06,8.061672e-06,7.915477e-06,7.774922e-06,7.639800e-06,7.509914e-06,7.385070e-06,7.265083e-06,7.149775e-06,7.038972e-06,6.932509e-06,6.830225e-06,6.731966e-06,6.637581e-06,6.546926e-06,6.459864e-06,6.376260e-06,6.295986e-06,6.218915e-06,6.144930e-06,6.073914e-06,6.005756e-06,5.940348e-06,5.877586e-06,5.817372e-06,5.759609e-06,5.704204e-06,5.651068e-06,5.600115e-06,5.551262e-06,5.504428e-06,5.459538e-06,5.416516e-06,5.375292e-06,5.335796e-06,5.297962e-06,5.261726e-06,5.227026e-06,5.193803e-06,5.162000e-06
0.000000e+00,8.196113e-11,1.397075e-08,1.509530e-08,3.673186e-07,3.306599e-06,3.574106e-06,1.866569e-05,5.755734e-05,6.113820e-05,1.420406e-04,2.488650e-04,2.593473e-04,4.015809e-04,5.400906e-04,5.557257e-04,7.118399e-04,8.459622e-04,8.638661e-04,1.008701e-03,1.126477e-03,1.145030e-03,1.272478e-03,1.372715e-03,1.391114e-03,1.501204e-03,1.585344e-03,1.603096e-03,1.697168e-03,1.767053e-03,1.783804e-03,1.863383e-03,1.920795e-03,1.936276e-03,2.002843e-03,2.049417e-03,2.063431e-03,2.118372e-03,2.155580e-03,2.167984e-03,2.212574e-03,2.241731e-03,2.252430e-03,2.287831e-03,2.310102e-03,2.319040e-03,2.346306e-03,2.362718e-03,2.369869e-03,2.389955e-03,2.401411e-03,2.406777e-03,2.420539e-03,2.427830e-03,2.431434e-03,2.439645e-03,2.443464e-03,2.445345e-03,2.448698e-03,2.449649e-03,2.449860e-03,2.448977e-03,2.447583e-03,2.446189e-03,2.441627e-03,2.438344e-03,2.435416e-03,2.427673e-03,2.422894e-03,2.418510e-03,2.408031e-03,2.402096e-03,2.396337e-03,2.383521e-03,2.376720e-03,2.369671e-03,2.354872e-03,2.347454e-03,2.339201e-03,2.322734e-03,2.314911e-03,2.305540e-03,2.287685e-03,2.279636e-03,2.269232e-03,2.250239e-03,2.242115e-03,2.230762e-03,2.210853e-03,2.202779e-03,2.190560e-03,2.169929e-03,2.162009e-03,2.149003e-03,2.127823e-03,2.120144e-03,2.106427e-03,2.084851e-03,2.077480e-03,2.063128e-03,2.041289e-03,2.034281e-03,2.019364e-03,1.997381e-03,1.990778e-03,1.975364e-03,1.953338e-03,1.947172e-03,1.931325e-03,1.909346e-03,1.903639e-03,1.887420e-03,1.865566e-03,1.860334e-03,1.843801e-03,1.822139e-03,1.817388e-03,1.800595e-03,1.779183e-03,1.774917e-03,1.757914e-03,1.736801e-03,1.733018e-03,1.715854e-03,1.695082e-03,1.691775e-03,1.674494e-03,1.654099e-03,1.651259e-03,1.633902e-03,1.613912e-03,1.611528e-03,1.594134e-03,1.574574e-03,1.572630e-03,1.555236e-03,1.536124e-03,1.534605e-03,1.517243e-03,1.498596e-03,1.497484e-03,1.480185e-03,1.462013e-03,1.461291e-03,1.444083e-03,1.426395e-03,1.426044e-03,1.408952e-03,1.391754e-03,1.358429e-03,1.326071e-03,1.294680e-03,1.264250e-03,1.234775e-03,1.206245e-03,1.178649e-03,1.151972e-03,1.126200e-03,1.101316e-03,1.077303e-03,1.054142e-03,1.031815e-03,1.010301e-03,9.895818e-04,9.696358e-04,9.504429e-04,9.319825e-04,9.142341e-04,8.971772e-04,8.807914e-04,8.650565e-04,8.499524e-04,8.354595e-04,8.215584e-04,8.082297e-04,7.954549e-04,7.832154e-04,7.714933e-04,7.602708e-04,7.495307e-04,7.392562e-04,7.294308e-04,7.200385e-04,7.110637e-04,7.024912e-04,6.943062e-04,6.864944e-04,6.790417e-04,6.719347e-04,6.651602e-04,6.587054e-04,6.525579e-04,6.467057e-04,6.411372e-04,6.358412e-04,6.308067e-04,6.260231e-04,6.214803e-04
0.000000e+00,3.374701e-09,7.172694e-08,7.525584e-08,5.484761e-07,2.061841e-06,2.158107e-06,5.536880e-06,1.009585e-05,1.041241e-05,1.578176e-05,2.056277e-05,2.096406e-05,2.575884e-05,2.971885e-05,3.013840e-05,3.411644e-05,3.730295e-05,3.771565e-05,4.096021e-05,4.348507e-05,4.387395e-05,4.647977e-05,4.844675e-05,4.879957e-05,5.085414e-05,5.235476e-05,5.266308e-05,5.424489e-05,5.535850e-05,5.561692e-05,5.679540e-05,5.759006e-05,5.779552e-05,5.863143e-05,5.916506e-05,5.931633e-05,5.986251e-05,6.018412e-05,6.028139e-05,6.058361e-05,6.073454e-05,6.077904e-05,6.087686e-05,6.089183e-05,6.088556e-05,6.081307e-05,6.072115e-05,6.066670e-05,6.045325e-05,6.027870e-05,6.017901e-05,5.984981e-05,5.961279e-05,5.947105e-05,5.904772e-05,5.876492e-05,5.858444e-05,5.808549e-05,5.777064e-05,5.755480e-05,5.699602e-05,5.666039e-05,5.641251e-05,5.580738e-05,5.546013e-05,5.518348e-05,5.454343e-05,5.419196e-05,5.388967e-05,5.322443e-05,5.287464e-05,5.254974e-05,5.186748e-05,5.152407e-05,5.117939e-05,5.048703e-05,5.015362e-05,4.979186e-05,4.909518e-05,4.877455e-05,4.839822e-05,4.770205e-05,4.739625e-05,4.700768e-05,4.631602e-05,4.602653e-05,4.562789e-05,4.494402e-05,4.467182e-05,4.426510e-05,4.359172e-05,4.333740e-05,4.292442e-05,4.226368e-05,4.202751e-05,4.160995e-05,4.096358e-05,4.074556e-05,4.032493e-05,3.969428e-05,3.949421e-05,3.907189e-05,3.845798e-05,3.827549e-05,3.785274e-05,3.725632e-05,3.709093e-05,3.666886e-05,3.609045e-05,3.594156e-05,3.552118e-05,3.496111e-05,3.482807e-05,3.441028e-05,3.386872e-05,3.375081e-05,3.333642e-05,3.281338e-05,3.270988e-05,3.229959e-05,3.179500e-05,3.170514e-05,3.129957e-05,3.081324e-05,3.073627e-05,3.033596e-05,2.986765e-05,2.980280e-05,2.940824e-05,2.895763e-05,2.890414e-05,2.851573e-05,2.808245e-05,2.803959e-05,2.765768e-05,2.724133e-05,2.720838e-05,2.683328e-05,2.643342e-05,2.640969e-05,2.604164e-05,2.565782e-05,2.564263e-05,2.528184e-05,2.491358e-05,2.490630e-05,2.455293e-05,2.419975e-05,2.352206e-05,2.287226e-05,2.224940e-05,2.165255e-05,2.108076e-05,2.053313e-05,2.000875e-05,1.950673e-05,1.902621e-05,1.856636e-05,1.812635e-05,1.770541e-05,1.730276e-05,1.691765e-05,1.654938e-05,1.619725e-05,1.586059e-05,1.553875e-05,1.523112e-05,1.493711e-05,1.465613e-05,1.438764e-05,1.413111e-05,1.388602e-05,1.365189e-05,1.342826e-05,1.321466e-05,1.301067e-05,1.281588e-05,1.262989e-05,1.245232e-05,1.228281e-05,1.212100e-05,1.196657e-05,1.181919e-05,1.167856e-05,1.154438e-05,1.141638e-05,1.129428e-05,1.117783e-05,1.106678e-05,1.096089e-05,1.085994e-05,1.076372e-05,1.067202e-05,1.058464e-05,1.050138e-05,1.042208e-05,1.034655e-05
0.000000e+00,9.447684e-12,2.447601e-09,2.662643e-09,8.855416e-08,1.105346e-06,1.212770e-06,9.552503e-06,4.589635e-05,5.022136e-05,1.939287e-04,5.449735e-04,5.915111e-04,1.506477e-03,3.099217e-03,3.337995e-03,6.630914e-03,1.128024e-02,1.207259e-02,2.047816e-02,3.077614e-02,3.276679e-02,4.993186e-02,6.887530e-02,7.300770e-02,1.030354e-01,1.335588e-01,1.410295e-01,1.879473e-01,2.324967e-01,2.446617e-01,3.119385e-01,3.721636e-01,3.904180e-01,4.806018e-01,5.571929e-01,5.828441e-01,6.973470e-01,7.900075e-01,8.241601e-01,9.631839e-01,1.070711e+00,1.114176e+00,1.276759e+00,1.397199e+00,1.450431e+00,1.634579e+00,1.765424e+00,1.828492e+00,2.031371e+00,2.169763e+00,2.242347e+00,2.460496e+00,2.603429e+00,2.684848e+00,2.914403e+00,3.058894e+00,3.148144e+00,3.385047e+00,3.528282e+00,3.624093e+00,3.864279e+00,4.003719e+00,4.104619e+00,4.344165e+00,4.477620e+00,4.582000e+00,4.817253e+00,4.942925e+00,5.049102e+00,5.276773e+00,5.393270e+00,5.499548e+00,5.716763e+00,5.823095e+00,5.927814e+00,6.132151e+00,6.227703e+00,6.329286e+00,6.518785e+00,6.603286e+00,6.700275e+00,6.873435e+00,6.946915e+00,7.037997e+00,7.193747e+00,7.256491e+00,7.340515e+00,7.478183e+00,7.530682e+00,7.606671e+00,7.725947e+00,7.768855e+00,7.836012e+00,7.936906e+00,7.970996e+00,8.028701e+00,8.111500e+00,8.137624e+00,8.185430e+00,8.250648e+00,8.269706e+00,8.307330e+00,8.355673e+00,8.368581e+00,8.395890e+00,8.428210e+00,8.435877e+00,8.452876e+00,8.470140e+00,8.473448e+00,8.480264e+00,8.483518e+00,8.483307e+00,8.480175e+00,8.470515e+00,8.467570e+00,8.454818e+00,8.433366e+00,8.428410e+00,8.406442e+00,8.374325e+00,8.368015e+00,8.337297e+00,8.295631e+00,8.288552e+00,8.249600e+00,8.199472e+00,8.192142e+00,8.145509e+00,8.087967e+00,8.080834e+00,8.027098e+00,7.963144e+00,7.956588e+00,7.896343e+00,7.826926e+00,7.821266e+00,7.755113e+00,7.681121e+00,7.676617e+00,7.605157e+00,7.527419e+00,7.524276e+00,7.448101e+00,7.367386e+00,7.365759e+00,7.285450e+00,7.202462e+00,7.035664e+00,6.866529e+00,6.696108e+00,6.525347e+00,6.355091e+00,6.186090e+00,6.019004e+00,5.854411e+00,5.692813e+00,5.534639e+00,5.380256e+00,5.229971e+00,5.084037e+00,4.942658e+00,4.805996e+00,4.674170e+00,4.547268e+00,4.425342e+00,4.308419e+00,4.196499e+00,4.089561e+00,3.987564e+00,3.890451e+00,3.798149e+00,3.710572e+00,3.627623e+00,3.549195e+00,3.475172e+00,3.405434e+00,3.339852e+00,3.278295e+00,3.220625e+00,3.166705e+00,3.116394e+00,3.069548e+00,3.026026e+00,2.985684e+00,2.948378e+00,2.913967e+00,2.882309e+00,2.853266e+00,2.826701e+00,2.802477e+00,2.780463e+00,2.760530e+00,2.742551e+00,2.726402e+00,2.711965e+00,2.699123e+00
0.000000e+00,9.587613e-10,1.194305e-08,1.244754e-08,7.080785e-08,2.291297e-07,2.385315e-07,5.380086e-07,8.812389e-07,9.035371e-07,1.267198e-06,1.579786e-06,1.605808e-06,1.915178e-06,2.168975e-06,2.195781e-06,2.449137e-06,2.650916e-06,2.676965e-06,2.880982e-06,3.038665e-06,3.062854e-06,3.224184e-06,3.344942e-06,3.366495e-06,3.491235e-06,3.581371e-06,3.599770e-06,3.693386e-06,3.758348e-06,3.773286e-06,3.840591e-06,3.885026e-06,3.896356e-06,3.941561e-06,3.969416e-06,3.977115e-06,4.003864e-06,4.018453e-06,4.022591e-06,4.034011e-06,4.038076e-06,4.038775e-06,4.037492e-06,4.033299e-06,4.030726e-06,4.019029e-06,4.008524e-06,4.002915e-06,3.982831e-06,3.967600e-06,3.959186e-06,3.932360e-06,3.913684e-06,3.902702e-06,3.870533e-06,3.849456e-06,3.836145e-06,3.799809e-06,3.777176e-06,3.761773e-06,3.722264e-06,3.698757e-06,3.681491e-06,3.639644e-06,3.615806e-06,3.596897e-06,3.553410e-06,3.529671e-06,3.509328e-06,3.464784e-06,3.441479e-06,3.419899e-06,3.374782e-06,3.352169e-06,3.329534e-06,3.284245e-06,3.262517e-06,3.238998e-06,3.193866e-06,3.173163e-06,3.148916e-06,3.104208e-06,3.084627e-06,3.059796e-06,3.015729e-06,2.997334e-06,2.972050e-06,2.928798e-06,2.911624e-06,2.886007e-06,2.843706e-06,2.827766e-06,2.801922e-06,2.760679e-06,2.745967e-06,2.719995e-06,2.679888e-06,2.666386e-06,2.640372e-06,2.601460e-06,2.589137e-06,2.563160e-06,2.525481e-06,2.514300e-06,2.488430e-06,2.452009e-06,2.441925e-06,2.416223e-06,2.381073e-06,2.372038e-06,2.346559e-06,2.312681e-06,2.304644e-06,2.279435e-06,2.246821e-06,2.239730e-06,2.214834e-06,2.183470e-06,2.177272e-06,2.152725e-06,2.122591e-06,2.117232e-06,2.093065e-06,2.064139e-06,2.059566e-06,2.035805e-06,2.008058e-06,2.004220e-06,1.980890e-06,1.954292e-06,1.951138e-06,1.928256e-06,1.902775e-06,1.900257e-06,1.877840e-06,1.853442e-06,1.851513e-06,1.829573e-06,1.806224e-06,1.804839e-06,1.783386e-06,1.761051e-06,1.760168e-06,1.739209e-06,1.717852e-06,1.717430e-06,1.696971e-06,1.676558e-06,1.637482e-06,1.600137e-06,1.564456e-06,1.530373e-06,1.497825e-06,1.466751e-06,1.437090e-06,1.408784e-06,1.381776e-06,1.356011e-06,1.331437e-06,1.308003e-06,1.285660e-06,1.264360e-06,1.244057e-06,1.224709e-06,1.206273e-06,1.188710e-06,1.171979e-06,1.156045e-06,1.140871e-06,1.126425e-06,1.112672e-06,1.099582e-06,1.087126e-06,1.075273e-06,1.063998e-06,1.053274e-06,1.043076e-06,1.033380e-06,1.024163e-06,1.015403e-06,1.007079e-06,9.991714e-07,9.916611e-07,9.845297e-07,9.777598e-07,9.713347e-07,9.652383e-07,9.594556e-07,9.539720e-07,9.487735e-07,9.438469e-07,9.391796e-07,9.347594e-07,9.305747e-07,9.266145e-07,9.228682e-07,9.193259e-07
0.000000e+00,2.873399e-09,1.061869e-07,1.119899e-07,1.043401e-06,4.952737e-06,5.229517e-06,1.593551e-05,3.139003e-05,3.246887e-05,5.077140e-05,6.714960e-05,6.853104e-05,8.514240e-05,9.903141e-05,1.005130e-04,1.146680e-04,1.261600e-04,1.276594e-04,1.395453e-04,1.489283e-04,1.503850e-04,1.602373e-04,1.677923e-04,1.691597e-04,1.772078e-04,1.831927e-04,1.844354e-04,1.908941e-04,1.955406e-04,1.966331e-04,2.016992e-04,2.052123e-04,2.061369e-04,2.099888e-04,2.125490e-04,2.132946e-04,2.160915e-04,2.178542e-04,2.184144e-04,2.202967e-04,2.213968e-04,2.217697e-04,2.228629e-04,2.234176e-04,2.236051e-04,2.240244e-04,2.241379e-04,2.241459e-04,2.239927e-04,2.237520e-04,2.235869e-04,2.229487e-04,2.224273e-04,2.220974e-04,2.210509e-04,2.203115e-04,2.198261e-04,2.184388e-04,2.175345e-04,2.169037e-04,2.152346e-04,2.142103e-04,2.134446e-04,2.115457e-04,2.104390e-04,2.095492e-04,2.074657e-04,2.063079e-04,2.053050e-04,2.030763e-04,2.018934e-04,2.007882e-04,1.984486e-04,1.972619e-04,1.960651e-04,1.936445e-04,1.924713e-04,1.911932e-04,1.887172e-04,1.875715e-04,1.862220e-04,1.837128e-04,1.826055e-04,1.811942e-04,1.786707e-04,1.776104e-04,1.761464e-04,1.736249e-04,1.726178e-04,1.711097e-04,1.686039e-04,1.676548e-04,1.661105e-04,1.636321e-04,1.627440e-04,1.611711e-04,1.587298e-04,1.579046e-04,1.563101e-04,1.539140e-04,1.531524e-04,1.515429e-04,1.491985e-04,1.485006e-04,1.468820e-04,1.445947e-04,1.439596e-04,1.423376e-04,1.401116e-04,1.395380e-04,1.379176e-04,1.357562e-04,1.352423e-04,1.336280e-04,1.315336e-04,1.310775e-04,1.294735e-04,1.274478e-04,1.270469e-04,1.254570e-04,1.235012e-04,1.231529e-04,1.215805e-04,1.196951e-04,1.193967e-04,1.178448e-04,1.160298e-04,1.157785e-04,1.142499e-04,1.125051e-04,1.122980e-04,1.107950e-04,1.091197e-04,1.089540e-04,1.074787e-04,1.058719e-04,1.057448e-04,1.042990e-04,1.027596e-04,1.026683e-04,1.012535e-04,9.978021e-05,9.972196e-05,9.833943e-05,9.693076e-05,9.690291e-05,9.555377e-05,9.420807e-05,9.163415e-05,8.917771e-05,8.683518e-05,8.460293e-05,8.247727e-05,8.045451e-05,7.853093e-05,7.670285e-05,7.496662e-05,7.331862e-05,7.175533e-05,7.027325e-05,6.886899e-05,6.753925e-05,6.628079e-05,6.509048e-05,6.396529e-05,6.290227e-05,6.189857e-05,6.095145e-05,6.005825e-05,5.921642e-05,5.842350e-05,5.767712e-05,5.697503e-05,5.631504e-05,5.569505e-05,5.511306e-05,5.456716e-05,5.405551e-05,5.357634e-05,5.312799e-05,5.270885e-05,5.231738e-05,5.195212e-05,5.161167e-05,5.129471e-05,5.099997e-05,5.072623e-05,5.047234e-05,5.023722e-05,5.001982e-05,4.981914e-05,4.963424e-05,4.946423e-05,4.930824e-05,4.916549e-05,4.903518e-05,4.891660e-05
0.000000e+00,2.778628e-10,6.873214e-09,7.227189e-09,4.974847e-08,1.334991e-07,1.373224e-07,2.311011e-07,3.117645e-07,3.166245e-07,3.926054e-07,4.545504e-07,4.595972e-07,5.183782e-07,5.648895e-07,5.697076e-07,6.142854e-07,6.484373e-07,6.527500e-07,6.856820e-07,7.099872e-07,7.136159e-07,7.370426e-07,7.535684e-07,7.564123e-07,7.721372e-07,7.825772e-07,7.845940e-07,7.941263e-07,7.998576e-07,8.010468e-07,8.056399e-07,8.077735e-07,8.081634e-07,8.088509e-07,8.082764e-07,8.079139e-07,8.055435e-07,8.029687e-07,8.019122e-07,7.971756e-07,7.931603e-07,7.914741e-07,7.849340e-07,7.799182e-07,7.776688e-07,7.697808e-07,7.641084e-07,7.613617e-07,7.524937e-07,7.464311e-07,7.432506e-07,7.336984e-07,7.274503e-07,7.238961e-07,7.138965e-07,7.076184e-07,7.037464e-07,6.934878e-07,6.872962e-07,6.831578e-07,6.727892e-07,6.667695e-07,6.624114e-07,6.520500e-07,6.462634e-07,6.417277e-07,6.314645e-07,6.259531e-07,6.212777e-07,6.111824e-07,6.059735e-07,6.011918e-07,5.913173e-07,5.864266e-07,5.815685e-07,5.719536e-07,5.673882e-07,5.624797e-07,5.531525e-07,5.489125e-07,5.439766e-07,5.349560e-07,5.310368e-07,5.260935e-07,5.173914e-07,5.137848e-07,5.088513e-07,5.004741e-07,4.971690e-07,4.922604e-07,4.842100e-07,4.811937e-07,4.763227e-07,4.685977e-07,4.658562e-07,4.610339e-07,4.536301e-07,4.511489e-07,4.463846e-07,4.392957e-07,4.370601e-07,4.323615e-07,4.255799e-07,4.235749e-07,4.189487e-07,4.124656e-07,4.106765e-07,4.061281e-07,3.999339e-07,3.983465e-07,3.938803e-07,3.879649e-07,3.865655e-07,3.821851e-07,3.765381e-07,3.753133e-07,3.710214e-07,3.656324e-07,3.645697e-07,3.603684e-07,3.552268e-07,3.543142e-07,3.502051e-07,3.453005e-07,3.445265e-07,3.405106e-07,3.358328e-07,3.351867e-07,3.312646e-07,3.268036e-07,3.262753e-07,3.224473e-07,3.181932e-07,3.177734e-07,3.140392e-07,3.099827e-07,3.096623e-07,3.060216e-07,3.021536e-07,3.019245e-07,2.983766e-07,2.946883e-07,2.945426e-07,2.910866e-07,2.875696e-07,2.875001e-07,2.841351e-07,2.807812e-07,2.743707e-07,2.682540e-07,2.624172e-07,2.568470e-07,2.515308e-07,2.464564e-07,2.416123e-07,2.369875e-07,2.325716e-07,2.283546e-07,2.243269e-07,2.204796e-07,2.168041e-07,2.132922e-07,2.099362e-07,2.067285e-07,2.036623e-07,2.007308e-07,1.979276e-07,1.952468e-07,1.926824e-07,1.902292e-07,1.878818e-07,1.856353e-07,1.834851e-07,1.814265e-07,1.794555e-07,1.775678e-07,1.757596e-07,1.740274e-07,1.723676e-07,1.707768e-07,1.692519e-07,1.677899e-07,1.663880e-07,1.650434e-07,1.637535e-07,1.625159e-07,1.613281e-07,1.601881e-07,1.590935e-07,1.580424e-07,1.570330e-07,1.560632e-07,1.551314e-07,1.542359e-07,1.533751e-07,1.525475e-07,1.517517e-07
0.000000e+00,1.461911e-12,3.169775e-10,3.436885e-10,9.800482e-09,1.062647e-07,1.159020e-07,7.839969e-07,3.239175e-06,3.509406e-06,1.141908e-05,2.715217e-05,2.903418e-05,6.108367e-05,1.052208e-04,1.110871e-04,1.804144e-04,2.566644e-04,2.680661e-04,3.710458e-04,4.686035e-04,4.850472e-04,6.052023e-04,7.073731e-04,7.267248e-04,8.453664e-04,9.380564e-04,9.576798e-04,1.061118e-03,1.136327e-03,1.154009e-03,1.235459e-03,1.290867e-03,1.305215e-03,1.363516e-03,1.400517e-03,1.410951e-03,1.448339e-03,1.470094e-03,1.476630e-03,1.496825e-03,1.506914e-03,1.509921e-03,1.516874e-03,1.518564e-03,1.518570e-03,1.515815e-03,1.511770e-03,1.509328e-03,1.499741e-03,1.491985e-03,1.487602e-03,1.473387e-03,1.463389e-03,1.457500e-03,1.440282e-03,1.429069e-03,1.422025e-03,1.402968e-03,1.391237e-03,1.383315e-03,1.363235e-03,1.351448e-03,1.342865e-03,1.322322e-03,1.310779e-03,1.301700e-03,1.281077e-03,1.269963e-03,1.260517e-03,1.240071e-03,1.229499e-03,1.219782e-03,1.199684e-03,1.189716e-03,1.179805e-03,1.160166e-03,1.150829e-03,1.140784e-03,1.121672e-03,1.112975e-03,1.102842e-03,1.084300e-03,1.076235e-03,1.066053e-03,1.048105e-03,1.040656e-03,1.030457e-03,1.013111e-03,1.006257e-03,9.960665e-04,9.793238e-04,9.730404e-04,9.628813e-04,9.467371e-04,9.409977e-04,9.308888e-04,9.153338e-04,9.101114e-04,9.000691e-04,8.850915e-04,8.803587e-04,8.703974e-04,8.559833e-04,8.517131e-04,8.418454e-04,8.279798e-04,8.241458e-04,8.143828e-04,8.010503e-04,7.976267e-04,7.879783e-04,7.751628e-04,7.721248e-04,7.625997e-04,7.502851e-04,7.476088e-04,7.382149e-04,7.263850e-04,7.240475e-04,7.147915e-04,7.034303e-04,7.014097e-04,6.922976e-04,6.813894e-04,6.796647e-04,6.707019e-04,6.602311e-04,6.587823e-04,6.499734e-04,6.399249e-04,6.387330e-04,6.300821e-04,6.204411e-04,6.194880e-04,6.109985e-04,6.017506e-04,6.010191e-04,5.926940e-04,5.838251e-04,5.832989e-04,5.751407e-04,5.666372e-04,5.663008e-04,5.583114e-04,5.501601e-04,5.499989e-04,5.421801e-04,5.343681e-04,5.193841e-04,5.050234e-04,4.912631e-04,4.780813e-04,4.654565e-04,4.533681e-04,4.417962e-04,4.307216e-04,4.201256e-04,4.099904e-04,4.002985e-04,3.910332e-04,3.821785e-04,3.737187e-04,3.656388e-04,3.579244e-04,3.505614e-04,3.435363e-04,3.368362e-04,3.304486e-04,3.243613e-04,3.185628e-04,3.130417e-04,3.077872e-04,3.027890e-04,2.980369e-04,2.935213e-04,2.892328e-04,2.851624e-04,2.813014e-04,2.776415e-04,2.741745e-04,2.708928e-04,2.677888e-04,2.648553e-04,2.620853e-04,2.594721e-04,2.570093e-04,2.546906e-04,2.525101e-04,2.504619e-04,2.485405e-04,2.467404e-04,2.450566e-04,2.434840e-04,2.420178e-04,2.406535e-04,2.393864e-04,2.382125e-04
0.000000e+00,1.438380e-12,3.367021e-10,3.655299e-10,1.094031e-08,1.228457e-07,1.341844e-07,9.454602e-07,4.096459e-06,4.453187e-06,1.541618e-05,3.914554e-05,4.211268e-05,9.589282e-05,1.781231e-04,1.896694e-04,3.359596e-04,5.164003e-04,5.450734e-04,8.238148e-04,1.121352e-03,1.174829e-03,1.596553e-03,2.001618e-03,2.083625e-03,2.627604e-03,3.108710e-03,3.217841e-03,3.842349e-03,4.358230e-03,4.488629e-03,5.144355e-03,5.654876e-03,5.797921e-03,6.438835e-03,6.911798e-03,7.057970e-03,7.647692e-03,8.061498e-03,8.201886e-03,8.715916e-03,9.059272e-03,9.186530e-03,9.611720e-03,9.881793e-03,9.990562e-03,1.032305e-02,1.052303e-02,1.060996e-02,1.085266e-02,1.098951e-02,1.105301e-02,1.121323e-02,1.129583e-02,1.133576e-02,1.142321e-02,1.146099e-02,1.147826e-02,1.150359e-02,1.150564e-02,1.150187e-02,1.147568e-02,1.145025e-02,1.142749e-02,1.135965e-02,1.131392e-02,1.127439e-02,1.117378e-02,1.111375e-02,1.105974e-02,1.093405e-02,1.086463e-02,1.079834e-02,1.065411e-02,1.057922e-02,1.050271e-02,1.034540e-02,1.026811e-02,1.018327e-02,1.001734e-02,9.939985e-03,9.848506e-03,9.677578e-03,9.601896e-03,9.505279e-03,9.332251e-03,9.259501e-03,9.159063e-03,8.986219e-03,8.917280e-03,8.814164e-03,8.643287e-03,8.578735e-03,8.473929e-03,8.306389e-03,8.246570e-03,8.140922e-03,7.977752e-03,7.922831e-03,7.817067e-03,7.659028e-03,7.609037e-03,7.503771e-03,7.351407e-03,7.306276e-03,7.202028e-03,7.055707e-03,7.015293e-03,6.912500e-03,6.772449e-03,6.736557e-03,6.635583e-03,6.501920e-03,6.470319e-03,6.371467e-03,6.244221e-03,6.216656e-03,6.120173e-03,5.999305e-03,5.975512e-03,5.881596e-03,5.767015e-03,5.746720e-03,5.655530e-03,5.547104e-03,5.530037e-03,5.441695e-03,5.339260e-03,5.325154e-03,5.239752e-03,5.143122e-03,5.131718e-03,5.049321e-03,4.958296e-03,4.949344e-03,4.869994e-03,4.784361e-03,4.777624e-03,4.701343e-03,4.620883e-03,4.616136e-03,4.542928e-03,4.467420e-03,4.464450e-03,4.394305e-03,4.323526e-03,4.322134e-03,4.255030e-03,4.188760e-03,4.063904e-03,3.947150e-03,3.838092e-03,3.736336e-03,3.641501e-03,3.553217e-03,3.471131e-03,3.394901e-03,3.324201e-03,3.258717e-03,3.198152e-03,3.142220e-03,3.090647e-03,3.043176e-03,2.999560e-03,2.959563e-03,2.922963e-03,2.889547e-03,2.859116e-03,2.831477e-03,2.806450e-03,2.783863e-03,2.763554e-03,2.745369e-03,2.729162e-03,2.714795e-03,2.702139e-03,2.691070e-03,2.681471e-03,2.673233e-03,2.666253e-03,2.660431e-03,2.655677e-03,2.651903e-03,2.649027e-03,2.646973e-03,2.645668e-03,2.645045e-03,2.645039e-03,2.645591e-03,2.646645e-03,2.648148e-03,2.650052e-03,2.652311e-03,2.654881e-03,2.657724e-03,2.660802e-03,2.664081e-03,2.667530e-03
0.000000e+00,1.116088e-12,2.589058e-10,2.812522e-10,8.804024e-09,1.015920e-07,1.110136e-07,7.749454e-07,3.229805e-06,3.499484e-06,1.133811e-05,2.672981e-05,2.855962e-05,5.950961e-05,1.017928e-04,1.073984e-04,1.735746e-04,2.464793e-04,2.574091e-04,3.566321e-04,4.517302e-04,4.678885e-04,5.873179e-04,6.911087e-04,7.110408e-04,8.355030e-04,9.359722e-04,9.576788e-04,1.075156e-03,1.164529e-03,1.186140e-03,1.289394e-03,1.364070e-03,1.384169e-03,1.470105e-03,1.529463e-03,1.547148e-03,1.615470e-03,1.660604e-03,1.675402e-03,1.727382e-03,1.760164e-03,1.771912e-03,1.809524e-03,1.832026e-03,1.840759e-03,1.866152e-03,1.880346e-03,1.886218e-03,1.901445e-03,1.909069e-03,1.912294e-03,1.919191e-03,1.921716e-03,1.922533e-03,1.922684e-03,1.921323e-03,1.919978e-03,1.914721e-03,1.910460e-03,1.907192e-03,1.897645e-03,1.891275e-03,1.886311e-03,1.873399e-03,1.865551e-03,1.859099e-03,1.843584e-03,1.834756e-03,1.827009e-03,1.809515e-03,1.800098e-03,1.791229e-03,1.772266e-03,1.762564e-03,1.752731e-03,1.732715e-03,1.722962e-03,1.712304e-03,1.691573e-03,1.681949e-03,1.670591e-03,1.649419e-03,1.640057e-03,1.628111e-03,1.606718e-03,1.597718e-03,1.585283e-03,1.563847e-03,1.555280e-03,1.542444e-03,1.521107e-03,1.513022e-03,1.499863e-03,1.478739e-03,1.471167e-03,1.457755e-03,1.436931e-03,1.429891e-03,1.416285e-03,1.395833e-03,1.389331e-03,1.375586e-03,1.355557e-03,1.349593e-03,1.335757e-03,1.316192e-03,1.310758e-03,1.296872e-03,1.277801e-03,1.272884e-03,1.258985e-03,1.240429e-03,1.236014e-03,1.222135e-03,1.204106e-03,1.200175e-03,1.186344e-03,1.168851e-03,1.165384e-03,1.151626e-03,1.134671e-03,1.131648e-03,1.117985e-03,1.101567e-03,1.098965e-03,1.085417e-03,1.069533e-03,1.067330e-03,1.053913e-03,1.038557e-03,1.036732e-03,1.023461e-03,1.008624e-03,1.007154e-03,9.940427e-04,9.797152e-04,9.785799e-04,9.656387e-04,9.518102e-04,9.509884e-04,9.382271e-04,9.248862e-04,9.243576e-04,9.117846e-04,8.989191e-04,8.986642e-04,8.862867e-04,8.738840e-04,8.499923e-04,8.269638e-04,8.047733e-04,7.833958e-04,7.628061e-04,7.429795e-04,7.238917e-04,7.055187e-04,6.878371e-04,6.708239e-04,6.544568e-04,6.387138e-04,6.235739e-04,6.090163e-04,5.950209e-04,5.815684e-04,5.686398e-04,5.562168e-04,5.442816e-04,5.328172e-04,5.218069e-04,5.112346e-04,5.010847e-04,4.913422e-04,4.819926e-04,4.730217e-04,4.644160e-04,4.561624e-04,4.482481e-04,4.406609e-04,4.333890e-04,4.264210e-04,4.197457e-04,4.133526e-04,4.072313e-04,4.013718e-04,3.957646e-04,3.904004e-04,3.852703e-04,3.803655e-04,3.756779e-04,3.711993e-04,3.669220e-04,3.628384e-04,3.589416e-04,3.552243e-04,3.516798e-04,3.483018e-04,3.450838e-04
0.000000e+00,1.327142e-11,2.174290e-09,2.343492e-09,5.003501e-08,4.278679e-07,4.625413e-07,2.561586e-06,9.046290e-06,9.710788e-06,2.733930e-05,5.744476e-05,6.078295e-05,1.122991e-04,1.725292e-04,1.798792e-04,2.584166e-04,3.317360e-04,3.418074e-04,4.246221e-04,4.923144e-04,5.028933e-04,5.741995e-04,6.278397e-04,6.373843e-04,6.921762e-04,7.310247e-04,7.388500e-04,7.779772e-04,8.043154e-04,8.102596e-04,8.364307e-04,8.530594e-04,8.571995e-04,8.732249e-04,8.826029e-04,8.851061e-04,8.933792e-04,8.974601e-04,8.985196e-04,9.009472e-04,9.012247e-04,9.010318e-04,8.990982e-04,8.966979e-04,8.954314e-04,8.902810e-04,8.860441e-04,8.838658e-04,8.763771e-04,8.709287e-04,8.679823e-04,8.588278e-04,8.526300e-04,8.490416e-04,8.387351e-04,8.321270e-04,8.280057e-04,8.169383e-04,8.101668e-04,8.056069e-04,7.940757e-04,7.873184e-04,7.824007e-04,7.706303e-04,7.640132e-04,7.588068e-04,7.469663e-04,7.405767e-04,7.351404e-04,7.233561e-04,7.172526e-04,7.116366e-04,7.000018e-04,6.942216e-04,6.884687e-04,6.770516e-04,6.716162e-04,6.657627e-04,6.546121e-04,6.495317e-04,6.436084e-04,6.327585e-04,6.280347e-04,6.220680e-04,6.115416e-04,6.071702e-04,6.011826e-04,5.909938e-04,5.869663e-04,5.809769e-04,5.711334e-04,5.674385e-04,5.614639e-04,5.519685e-04,5.485927e-04,5.426470e-04,5.334988e-04,5.304277e-04,5.245229e-04,5.157181e-04,5.129365e-04,5.070831e-04,4.986162e-04,4.961086e-04,4.903155e-04,4.821792e-04,4.799302e-04,4.742052e-04,4.663912e-04,4.643856e-04,4.587352e-04,4.512347e-04,4.494575e-04,4.438875e-04,4.366912e-04,4.351280e-04,4.296432e-04,4.227413e-04,4.213782e-04,4.159829e-04,4.093656e-04,4.081893e-04,4.028870e-04,3.965446e-04,3.955423e-04,3.903360e-04,3.842587e-04,3.834182e-04,3.783104e-04,3.724887e-04,3.717985e-04,3.667913e-04,3.612157e-04,3.606648e-04,3.557598e-04,3.504212e-04,3.499991e-04,3.451977e-04,3.400872e-04,3.397841e-04,3.350873e-04,3.301960e-04,3.300026e-04,3.254112e-04,3.207307e-04,3.206382e-04,3.161526e-04,3.116748e-04,3.030971e-04,2.948899e-04,2.870389e-04,2.795300e-04,2.723498e-04,2.654854e-04,2.589242e-04,2.526541e-04,2.466636e-04,2.409414e-04,2.354768e-04,2.302596e-04,2.252796e-04,2.205273e-04,2.159935e-04,2.116694e-04,2.075464e-04,2.036164e-04,1.998713e-04,1.963038e-04,1.929064e-04,1.896722e-04,1.865945e-04,1.836667e-04,1.808828e-04,1.782366e-04,1.757225e-04,1.733350e-04,1.710686e-04,1.689185e-04,1.668796e-04,1.649472e-04,1.631169e-04,1.613842e-04,1.597451e-04,1.581955e-04,1.567315e-04,1.553495e-04,1.540459e-04,1.528173e-04,1.516605e-04,1.505722e-04,1.495495e-04,1.485894e-04,1.476892e-04,1.468462e-04,1.460578e-04,1.453216e-04,1.446351e-04
0.000000e+00,1.189537e-10,1.535365e-08,1.648655e-08,3.020717e-07,2.261837e-06,2.430680e-06,1.142719e-05,3.364165e-05,3.566727e-05,8.099049e-05,1.395871e-04,1.452561e-04,2.207245e-04,2.917061e-04,2.995725e-04,3.766243e-04,4.408359e-04,4.492797e-04,5.165458e-04,5.699271e-04,5.782304e-04,6.344802e-04,6.777271e-04,6.855666e-04,7.317975e-04,7.663019e-04,7.734837e-04,8.109262e-04,8.380190e-04,8.444132e-04,8.742182e-04,8.950770e-04,9.006000e-04,9.238025e-04,9.394521e-04,9.440556e-04,9.615750e-04,9.728986e-04,9.765626e-04,9.892080e-04,9.969623e-04,9.996883e-04,1.008169e-03,1.012999e-03,1.014805e-03,1.019740e-03,1.022194e-03,1.023110e-03,1.025040e-03,1.025582e-03,1.025647e-03,1.025041e-03,1.024064e-03,1.023324e-03,1.020590e-03,1.018423e-03,1.016927e-03,1.012418e-03,1.009338e-03,1.007139e-03,1.001162e-03,9.974010e-04,9.945518e-04,9.873706e-04,9.831212e-04,9.796755e-04,9.715193e-04,9.669408e-04,9.629513e-04,9.540171e-04,9.492408e-04,9.447591e-04,9.352165e-04,9.303499e-04,9.254256e-04,9.154201e-04,9.105505e-04,9.052311e-04,8.948875e-04,8.900849e-04,8.844158e-04,8.738405e-04,8.691605e-04,8.631844e-04,8.524683e-04,8.479544e-04,8.417115e-04,8.309316e-04,8.266169e-04,8.201449e-04,8.093663e-04,8.052755e-04,7.986095e-04,7.878870e-04,7.840375e-04,7.772102e-04,7.665896e-04,7.629931e-04,7.560347e-04,7.455540e-04,7.422172e-04,7.351555e-04,7.248462e-04,7.217717e-04,7.146324e-04,7.045199e-04,7.017073e-04,6.945138e-04,6.846187e-04,6.820647e-04,6.748386e-04,6.651771e-04,6.628764e-04,6.556374e-04,6.462221e-04,6.441676e-04,6.369335e-04,6.277737e-04,6.259573e-04,6.187443e-04,6.098466e-04,6.082591e-04,6.010818e-04,5.924506e-04,5.910821e-04,5.839537e-04,5.755913e-04,5.744313e-04,5.673637e-04,5.592708e-04,5.583087e-04,5.513125e-04,5.434884e-04,5.427133e-04,5.357980e-04,5.282406e-04,5.276418e-04,5.208156e-04,5.135222e-04,5.130888e-04,5.063593e-04,4.993261e-04,4.990474e-04,4.924212e-04,4.856437e-04,4.855094e-04,4.789922e-04,4.724654e-04,4.599052e-04,4.478178e-04,4.361917e-04,4.250149e-04,4.142753e-04,4.039606e-04,3.940582e-04,3.845557e-04,3.754407e-04,3.667009e-04,3.583239e-04,3.502977e-04,3.426105e-04,3.352506e-04,3.282066e-04,3.214674e-04,3.150222e-04,3.088604e-04,3.029717e-04,2.973461e-04,2.919737e-04,2.868452e-04,2.819514e-04,2.772833e-04,2.728325e-04,2.685905e-04,2.645495e-04,2.607015e-04,2.570391e-04,2.535551e-04,2.502423e-04,2.470940e-04,2.441037e-04,2.412651e-04,2.385720e-04,2.360188e-04,2.335996e-04,2.313090e-04,2.291418e-04,2.270929e-04,2.251574e-04,2.233307e-04,2.216081e-04,2.199854e-04,2.184582e-04,2.170226e-04,2.156747e-04,2.144106e-04,2.132268e-04
0.000000e+00,5.464981e-10,6.622560e-09,6.906100e-09,4.248623e-08,1.552711e-07,1.624791e-07,4.110488e-07,7.238898e-07,7.448675e-07,1.095467e-06,1.408334e-06,1.434847e-06,1.755835e-06,2.027794e-06,2.057019e-06,2.338525e-06,2.570410e-06,2.600909e-06,2.844866e-06,3.040490e-06,3.071130e-06,3.280449e-06,3.443731e-06,3.473573e-06,3.651253e-06,3.785950e-06,3.814235e-06,3.963252e-06,4.072893e-06,4.099021e-06,4.222241e-06,4.310065e-06,4.333570e-06,4.433642e-06,4.502550e-06,4.523077e-06,4.602500e-06,4.655173e-06,4.672497e-06,4.733617e-06,4.772423e-06,4.786385e-06,4.831300e-06,4.858324e-06,4.868838e-06,4.899453e-06,4.916537e-06,4.923576e-06,4.941620e-06,4.950389e-06,4.953975e-06,4.961012e-06,4.962889e-06,4.963084e-06,4.960527e-06,4.956756e-06,4.953658e-06,4.942780e-06,4.934448e-06,4.928179e-06,4.910126e-06,4.898176e-06,4.888879e-06,4.864681e-06,4.849928e-06,4.837763e-06,4.808344e-06,4.791490e-06,4.776629e-06,4.742814e-06,4.724462e-06,4.707084e-06,4.669612e-06,4.650275e-06,4.630564e-06,4.590094e-06,4.570207e-06,4.548349e-06,4.505467e-06,4.485395e-06,4.461578e-06,4.416804e-06,4.396853e-06,4.371260e-06,4.325056e-06,4.305477e-06,4.278291e-06,4.231062e-06,4.212060e-06,4.183457e-06,4.135562e-06,4.117302e-06,4.087455e-06,4.039208e-06,4.021819e-06,3.990891e-06,3.942568e-06,3.926147e-06,3.894298e-06,3.846138e-06,3.830758e-06,3.798138e-06,3.750347e-06,3.736057e-06,3.702810e-06,3.655567e-06,3.642397e-06,3.608658e-06,3.562116e-06,3.550079e-06,3.515975e-06,3.470263e-06,3.459359e-06,3.425009e-06,3.380237e-06,3.370454e-06,3.335969e-06,3.292226e-06,3.283542e-06,3.249027e-06,3.206388e-06,3.198773e-06,3.164323e-06,3.122846e-06,3.116266e-06,3.081969e-06,3.041701e-06,3.036113e-06,3.002052e-06,2.963028e-06,2.958387e-06,2.924636e-06,2.886880e-06,2.883139e-06,2.849765e-06,2.813293e-06,2.810403e-06,2.777467e-06,2.742287e-06,2.740197e-06,2.707754e-06,2.673867e-06,2.672525e-06,2.640624e-06,2.608025e-06,2.607380e-06,2.576066e-06,2.544745e-06,2.484593e-06,2.426890e-06,2.371597e-06,2.318667e-06,2.268049e-06,2.219688e-06,2.173529e-06,2.129510e-06,2.087570e-06,2.047646e-06,2.009674e-06,1.973590e-06,1.939329e-06,1.906826e-06,1.876017e-06,1.846838e-06,1.819227e-06,1.793122e-06,1.768462e-06,1.745188e-06,1.723241e-06,1.702565e-06,1.683104e-06,1.664805e-06,1.647615e-06,1.631483e-06,1.616361e-06,1.602202e-06,1.588958e-06,1.576586e-06,1.565044e-06,1.554289e-06,1.544283e-06,1.534987e-06,1.526365e-06,1.518382e-06,1.511003e-06,1.504197e-06,1.497933e-06,1.492181e-06,1.486912e-06,1.482099e-06,1.477718e-06,1.473742e-06,1.470148e-06,1.466914e-06,1.464018e-06,1.461440e-06,1.459160e-06
0.000000e+00,1.566349e-09,1.572818e-07,1.684173e-07,2.731929e-06,1.687259e-05,1.794060e-05,6.087690e-05,1.252430e-04,1.298290e-04,2.091817e-04,2.816662e-04,2.878035e-04,3.616098e-04,4.231512e-04,4.297014e-04,4.921100e-04,5.425228e-04,5.490818e-04,6.009025e-04,6.415646e-04,6.478552e-04,6.902163e-04,7.224540e-04,7.282630e-04,7.622696e-04,7.873283e-04,7.925037e-04,8.192233e-04,8.382348e-04,8.426753e-04,8.630944e-04,8.770596e-04,8.807033e-04,8.957115e-04,9.055003e-04,9.083164e-04,9.187032e-04,9.250638e-04,9.270452e-04,9.335048e-04,9.370756e-04,9.382335e-04,9.413728e-04,9.426957e-04,9.430547e-04,9.434022e-04,9.429351e-04,9.425298e-04,9.405444e-04,9.386726e-04,9.375449e-04,9.336239e-04,9.306706e-04,9.288670e-04,9.233538e-04,9.195885e-04,9.171584e-04,9.103493e-04,9.059960e-04,9.029902e-04,8.951402e-04,8.903839e-04,8.868538e-04,8.781817e-04,8.731744e-04,8.691706e-04,8.598639e-04,8.547296e-04,8.503017e-04,8.405207e-04,8.353596e-04,8.305551e-04,8.204364e-04,8.153287e-04,8.101934e-04,7.998529e-04,7.948620e-04,7.894392e-04,7.789749e-04,7.741501e-04,7.684806e-04,7.579752e-04,7.533538e-04,7.474760e-04,7.369988e-04,7.326084e-04,7.265579e-04,7.161665e-04,7.120265e-04,7.058364e-04,6.955785e-04,6.917015e-04,6.854025e-04,6.753171e-04,6.717101e-04,6.653304e-04,6.554493e-04,6.521149e-04,6.456802e-04,6.360287e-04,6.329659e-04,6.264997e-04,6.170977e-04,6.143024e-04,6.078263e-04,5.986888e-04,5.961547e-04,5.896881e-04,5.808265e-04,5.785455e-04,5.721058e-04,5.635278e-04,5.614905e-04,5.550936e-04,5.468041e-04,5.450000e-04,5.386600e-04,5.306616e-04,5.290794e-04,5.228090e-04,5.151020e-04,5.137303e-04,5.075405e-04,5.001238e-04,4.989505e-04,4.928513e-04,4.857221e-04,4.847354e-04,4.787354e-04,4.718899e-04,4.710779e-04,4.651845e-04,4.586179e-04,4.579688e-04,4.521886e-04,4.458953e-04,4.453976e-04,4.397362e-04,4.337099e-04,4.333525e-04,4.278146e-04,4.220485e-04,4.218205e-04,4.164100e-04,4.108972e-04,4.107882e-04,4.055083e-04,4.002414e-04,3.901655e-04,3.805457e-04,3.713671e-04,3.626148e-04,3.542738e-04,3.463295e-04,3.387671e-04,3.315723e-04,3.247311e-04,3.182295e-04,3.120543e-04,3.061921e-04,3.006304e-04,2.953565e-04,2.903586e-04,2.856250e-04,2.811443e-04,2.769058e-04,2.728988e-04,2.691132e-04,2.655392e-04,2.621673e-04,2.589886e-04,2.559941e-04,2.531755e-04,2.505246e-04,2.480338e-04,2.456954e-04,2.435023e-04,2.414476e-04,2.395246e-04,2.377270e-04,2.360487e-04,2.344838e-04,2.330267e-04,2.316719e-04,2.304144e-04,2.292491e-04,2.281713e-04,2.271765e-04,2.262602e-04,2.254184e-04,2.246470e-04,2.239422e-04,2.233003e-04,2.227179e-04,2.221915e-04,2.217180e-04,2.212943e-04
0.000000e+00,7.266004e-09,2.516495e-07,2.657016e-07,2.169588e-06,6.775067e-06,7.003290e-06,1.266774e-05,1.734479e-05,1.761669e-05,2.170134e-05,2.478394e-05,2.502471e-05,2.770763e-05,2.966292e-05,2.985643e-05,3.156007e-05,3.274978e-05,3.289212e-05,3.391340e-05,3.458188e-05,3.467440e-05,3.521719e-05,3.553066e-05,3.557729e-05,3.578455e-05,3.585835e-05,3.586429e-05,3.583792e-05,3.575271e-05,3.572358e-05,3.553668e-05,3.534896e-05,3.529019e-05,3.499503e-05,3.474388e-05,3.466042e-05,3.429417e-05,3.400666e-05,3.390281e-05,3.349178e-05,3.318626e-05,3.306565e-05,3.262826e-05,3.231711e-05,3.218279e-05,3.173189e-05,3.142332e-05,3.127777e-05,3.082224e-05,3.052156e-05,3.036682e-05,2.991277e-05,2.962338e-05,2.946112e-05,2.901271e-05,2.873663e-05,2.856824e-05,2.812827e-05,2.786664e-05,2.769326e-05,2.726357e-05,2.701692e-05,2.683951e-05,2.642131e-05,2.618973e-05,2.600912e-05,2.560310e-05,2.538644e-05,2.520333e-05,2.480989e-05,2.460781e-05,2.442280e-05,2.404209e-05,2.385413e-05,2.366776e-05,2.329980e-05,2.312543e-05,2.293817e-05,2.258284e-05,2.242150e-05,2.223377e-05,2.189089e-05,2.174197e-05,2.155415e-05,2.122349e-05,2.108640e-05,2.089882e-05,2.058010e-05,2.045425e-05,2.026722e-05,1.996013e-05,1.984494e-05,1.965874e-05,1.936297e-05,1.925785e-05,1.907274e-05,1.878796e-05,1.869237e-05,1.850856e-05,1.823445e-05,1.814784e-05,1.796555e-05,1.770178e-05,1.762363e-05,1.744305e-05,1.718928e-05,1.711910e-05,1.694039e-05,1.669629e-05,1.663361e-05,1.645692e-05,1.622218e-05,1.616652e-05,1.599200e-05,1.576630e-05,1.571724e-05,1.554500e-05,1.532802e-05,1.528514e-05,1.511530e-05,1.490675e-05,1.486964e-05,1.470229e-05,1.450186e-05,1.447016e-05,1.430539e-05,1.411280e-05,1.408614e-05,1.392401e-05,1.373898e-05,1.371702e-05,1.355761e-05,1.337985e-05,1.336227e-05,1.320563e-05,1.303489e-05,1.302137e-05,1.286755e-05,1.270356e-05,1.269383e-05,1.254286e-05,1.238537e-05,1.237914e-05,1.223105e-05,1.207983e-05,1.207684e-05,1.193166e-05,1.178647e-05,1.150758e-05,1.123975e-05,1.098255e-05,1.073560e-05,1.049850e-05,1.027088e-05,1.005238e-05,9.842649e-06,9.641350e-06,9.448161e-06,9.262770e-06,9.084876e-06,8.914189e-06,8.750429e-06,8.593327e-06,8.442624e-06,8.298070e-06,8.159425e-06,8.026458e-06,7.898945e-06,7.776673e-06,7.659434e-06,7.547031e-06,7.439273e-06,7.335976e-06,7.236963e-06,7.142065e-06,7.051117e-06,6.963963e-06,6.880451e-06,6.800435e-06,6.723777e-06,6.650342e-06,6.580000e-06,6.512627e-06,6.448104e-06,6.386315e-06,6.327152e-06,6.270507e-06,6.216278e-06,6.164368e-06,6.114682e-06,6.067131e-06,6.021626e-06,5.978084e-06,5.936425e-06,5.896573e-06,5.858451e-06,5.821990e-06
0.000000e+00,8.346291e-10,5.448840e-08,5.773744e-08,5.756576e-07,2.751923e-06,2.911434e-06,9.936776e-06,2.411590e-05,2.533058e-05,5.133493e-05,8.372398e-05,8.682811e-05,1.278138e-04,1.657976e-04,1.699730e-04,2.105371e-04,2.439328e-04,2.483006e-04,2.829207e-04,3.101854e-04,3.144098e-04,3.429027e-04,3.646465e-04,3.685709e-04,3.915929e-04,4.086193e-04,4.121437e-04,4.303912e-04,4.434380e-04,4.464945e-04,4.606044e-04,4.703193e-04,4.728649e-04,4.834115e-04,4.903598e-04,4.923723e-04,4.998669e-04,5.045354e-04,5.060079e-04,5.109010e-04,5.137068e-04,5.146445e-04,5.173308e-04,5.186286e-04,5.190462e-04,5.198708e-04,5.199612e-04,5.198797e-04,5.191429e-04,5.182801e-04,5.177258e-04,5.156889e-04,5.140863e-04,5.130888e-04,5.099783e-04,5.078150e-04,5.064062e-04,5.024181e-04,4.998432e-04,4.980562e-04,4.933599e-04,4.904972e-04,4.883654e-04,4.831068e-04,4.800583e-04,4.776152e-04,4.719198e-04,4.687690e-04,4.660473e-04,4.600226e-04,4.568373e-04,4.538686e-04,4.476066e-04,4.444413e-04,4.412561e-04,4.348351e-04,4.317329e-04,4.283603e-04,4.218467e-04,4.188414e-04,4.153086e-04,4.087586e-04,4.058760e-04,4.022086e-04,3.956694e-04,3.929284e-04,3.891506e-04,3.826614e-04,3.800758e-04,3.762097e-04,3.698030e-04,3.673817e-04,3.634480e-04,3.571506e-04,3.548987e-04,3.509162e-04,3.447498e-04,3.426695e-04,3.386556e-04,3.326374e-04,3.307282e-04,3.266987e-04,3.208423e-04,3.191019e-04,3.150709e-04,3.093868e-04,3.078111e-04,3.037917e-04,2.982872e-04,2.968711e-04,2.928748e-04,2.875554e-04,2.862926e-04,2.823298e-04,2.771986e-04,2.760825e-04,2.721623e-04,2.672210e-04,2.662441e-04,2.623747e-04,2.576234e-04,2.567782e-04,2.529668e-04,2.484044e-04,2.476831e-04,2.439358e-04,2.395604e-04,2.389552e-04,2.352773e-04,2.310860e-04,2.305892e-04,2.269854e-04,2.229746e-04,2.225785e-04,2.190527e-04,2.152185e-04,2.149155e-04,2.114709e-04,2.078088e-04,2.075918e-04,2.042310e-04,2.007363e-04,2.005982e-04,1.973233e-04,1.939909e-04,1.939250e-04,1.907377e-04,1.875624e-04,1.814999e-04,1.757274e-04,1.702342e-04,1.650100e-04,1.600444e-04,1.553273e-04,1.508486e-04,1.465984e-04,1.425671e-04,1.387454e-04,1.351240e-04,1.316941e-04,1.284472e-04,1.253749e-04,1.224693e-04,1.197227e-04,1.171277e-04,1.146771e-04,1.123641e-04,1.101821e-04,1.081248e-04,1.061862e-04,1.043605e-04,1.026422e-04,1.010259e-04,9.950670e-05,9.807969e-05,9.674028e-05,9.548406e-05,9.430685e-05,9.320463e-05,9.217358e-05,9.121006e-05,9.031062e-05,8.947193e-05,8.869085e-05,8.796438e-05,8.728966e-05,8.666398e-05,8.608475e-05,8.554950e-05,8.505588e-05,8.460167e-05,8.418474e-05,8.380308e-05,8.345475e-05,8.313794e-05,8.285090e-05,8.259199e-05
0.000000e+00,2.145559e-10,2.707160e-09,2.823071e-09,1.665472e-08,5.658828e-08,5.904702e-08,1.419632e-07,2.464327e-07,2.534784e-07,3.711801e-07,4.752443e-07,4.839980e-07,5.890503e-07,6.766075e-07,6.859325e-07,7.748689e-07,8.468616e-07,8.562404e-07,9.304615e-07,9.888892e-07,9.979468e-07,1.059100e-06,1.105861e-06,1.114311e-06,1.163959e-06,1.200772e-06,1.208404e-06,1.247990e-06,1.276381e-06,1.283044e-06,1.313875e-06,1.335181e-06,1.340776e-06,1.364026e-06,1.379414e-06,1.383883e-06,1.400594e-06,1.411068e-06,1.414386e-06,1.425477e-06,1.431904e-06,1.434069e-06,1.440351e-06,1.443470e-06,1.444501e-06,1.446686e-06,1.447129e-06,1.447061e-06,1.445771e-06,1.444074e-06,1.442953e-06,1.438733e-06,1.435352e-06,1.433231e-06,1.426557e-06,1.421876e-06,1.418814e-06,1.410100e-06,1.404443e-06,1.400504e-06,1.390110e-06,1.383747e-06,1.378997e-06,1.367237e-06,1.360394e-06,1.354898e-06,1.342042e-06,1.334907e-06,1.328730e-06,1.315015e-06,1.307741e-06,1.300948e-06,1.286575e-06,1.279288e-06,1.271941e-06,1.257087e-06,1.249889e-06,1.242048e-06,1.226861e-06,1.219834e-06,1.211557e-06,1.196165e-06,1.189373e-06,1.180714e-06,1.165228e-06,1.158720e-06,1.149731e-06,1.134244e-06,1.128057e-06,1.118787e-06,1.103377e-06,1.097538e-06,1.088032e-06,1.072766e-06,1.067292e-06,1.057593e-06,1.042526e-06,1.037429e-06,1.027576e-06,1.012753e-06,1.008038e-06,9.980669e-07,9.835260e-07,9.791932e-07,9.691379e-07,9.549093e-07,9.509546e-07,9.408461e-07,9.269536e-07,9.233701e-07,9.132366e-07,8.996991e-07,8.964771e-07,8.863445e-07,8.731759e-07,8.703040e-07,8.601957e-07,8.474061e-07,8.448712e-07,8.348087e-07,8.224048e-07,8.201927e-07,8.101953e-07,7.981807e-07,7.962765e-07,7.863615e-07,7.747376e-07,7.731258e-07,7.633088e-07,7.520747e-07,7.507397e-07,7.410346e-07,7.301876e-07,7.291135e-07,7.195327e-07,7.090687e-07,7.082398e-07,6.987942e-07,6.887079e-07,6.881086e-07,6.788079e-07,6.690928e-07,6.687080e-07,6.595606e-07,6.502094e-07,6.500242e-07,6.410373e-07,6.320422e-07,6.147459e-07,5.981183e-07,5.821417e-07,5.667982e-07,5.520695e-07,5.379369e-07,5.243820e-07,5.113863e-07,4.989313e-07,4.869989e-07,4.755712e-07,4.646306e-07,4.541596e-07,4.441415e-07,4.345596e-07,4.253979e-07,4.166405e-07,4.082723e-07,4.002785e-07,3.926445e-07,3.853565e-07,3.784010e-07,3.717649e-07,3.654356e-07,3.594008e-07,3.536489e-07,3.481683e-07,3.429481e-07,3.379779e-07,3.332473e-07,3.287465e-07,3.244661e-07,3.203970e-07,3.165304e-07,3.128579e-07,3.093714e-07,3.060630e-07,3.029252e-07,2.999509e-07,2.971331e-07,2.944652e-07,2.919406e-07,2.895534e-07,2.872975e-07,2.851674e-07,2.831574e-07,2.812625e-07,2.794776e-07,2.777977e-07
0.000000e+00,1.609708e-12,3.250606e-10,3.517264e-10,8.937114e-09,8.771857e-08,9.534058e-08,6.024476e-07,2.408450e-06,2.606185e-06,8.407329e-06,2.009604e-05,2.150599e-05,4.578726e-05,7.977616e-05,8.432562e-05,1.384473e-04,1.984117e-04,2.073970e-04,2.885834e-04,3.652933e-04,3.781827e-04,4.718442e-04,5.505356e-04,5.653174e-04,6.549048e-04,7.234121e-04,7.377172e-04,8.117599e-04,8.638866e-04,8.758908e-04,9.296991e-04,9.645953e-04,9.733522e-04,1.007433e-03,1.027450e-03,1.032792e-03,1.050426e-03,1.059116e-03,1.061379e-03,1.066672e-03,1.067519e-03,1.067261e-03,1.064010e-03,1.059859e-03,1.057675e-03,1.048905e-03,1.041833e-03,1.038246e-03,1.026150e-03,1.017561e-03,1.012984e-03,9.990452e-04,9.898298e-04,9.845693e-04,9.697422e-04,9.604382e-04,9.547091e-04,9.395823e-04,9.304980e-04,9.244480e-04,9.093720e-04,9.006747e-04,8.944039e-04,8.795808e-04,8.713539e-04,8.649305e-04,8.504732e-04,8.427518e-04,8.362235e-04,8.221919e-04,8.149841e-04,8.083855e-04,7.948088e-04,7.881075e-04,7.814647e-04,7.683544e-04,7.621446e-04,7.554781e-04,7.428352e-04,7.370974e-04,7.304242e-04,7.182434e-04,7.129562e-04,7.062906e-04,6.945637e-04,6.897051e-04,6.830599e-04,6.717767e-04,6.673245e-04,6.607111e-04,6.498601e-04,6.457924e-04,6.392208e-04,6.287899e-04,6.250853e-04,6.185645e-04,6.085412e-04,6.051789e-04,5.987172e-04,5.890891e-04,5.860491e-04,5.796540e-04,5.704086e-04,5.676716e-04,5.613499e-04,5.524747e-04,5.500221e-04,5.437798e-04,5.352623e-04,5.330764e-04,5.269191e-04,5.187471e-04,5.168110e-04,5.107433e-04,5.029049e-04,5.012023e-04,4.952287e-04,4.877120e-04,4.862275e-04,4.803518e-04,4.731454e-04,4.718643e-04,4.660898e-04,4.591823e-04,4.580907e-04,4.524203e-04,4.458009e-04,4.448854e-04,4.393215e-04,4.329796e-04,4.322277e-04,4.267725e-04,4.206977e-04,4.200974e-04,4.147527e-04,4.089351e-04,4.084751e-04,4.032423e-04,3.976720e-04,3.973417e-04,3.922219e-04,3.868897e-04,3.866788e-04,3.816729e-04,3.765696e-04,3.764686e-04,3.715773e-04,3.666941e-04,3.573384e-04,3.483856e-04,3.398201e-04,3.316269e-04,3.237916e-04,3.163001e-04,3.091391e-04,3.022956e-04,2.957570e-04,2.895113e-04,2.835469e-04,2.778525e-04,2.724175e-04,2.672313e-04,2.622842e-04,2.575663e-04,2.530685e-04,2.487818e-04,2.446976e-04,2.408078e-04,2.371043e-04,2.335795e-04,2.302261e-04,2.270369e-04,2.240052e-04,2.211245e-04,2.183883e-04,2.157907e-04,2.133259e-04,2.109882e-04,2.087722e-04,2.066728e-04,2.046850e-04,2.028040e-04,2.010252e-04,1.993441e-04,1.977566e-04,1.962584e-04,1.948457e-04,1.935147e-04,1.922618e-04,1.910834e-04,1.899763e-04,1.889371e-04,1.879628e-04,1.870504e-04,1.861971e-04,1.854001e-04,1.846567e-04
0.000000e+00,1.263262e-12,3.448986e-10,3.757573e-10,1.349843e-08,1.774750e-07,1.949843e-07,1.552026e-06,7.292258e-06,7.962857e-06,2.955442e-05,7.996786e-05,8.652250e-05,2.123987e-04,4.247589e-04,4.561739e-04,8.830632e-04,1.474086e-03,1.573954e-03,2.623725e-03,3.894372e-03,4.138678e-03,6.233380e-03,8.528191e-03,9.027145e-03,1.264042e-02,1.629777e-02,1.719124e-02,2.279194e-02,2.809842e-02,2.954616e-02,3.754637e-02,4.470294e-02,4.687174e-02,5.758658e-02,6.668949e-02,6.973924e-02,8.336145e-02,9.439738e-02,9.846810e-02,1.150574e-01,1.279101e-01,1.331112e-01,1.525961e-01,1.670619e-01,1.734642e-01,1.956543e-01,2.114619e-01,2.190934e-01,2.436977e-01,2.605303e-01,2.693748e-01,2.960242e-01,3.135413e-01,3.235398e-01,3.518105e-01,3.696676e-01,3.807222e-01,4.101587e-01,4.280239e-01,4.400032e-01,4.701394e-01,4.877065e-01,5.004521e-01,5.308289e-01,5.478270e-01,5.611604e-01,5.913411e-01,6.075402e-01,6.212701e-01,6.508515e-01,6.660661e-01,6.799947e-01,7.086153e-01,7.227046e-01,7.366343e-01,7.639792e-01,7.768457e-01,7.905839e-01,8.163883e-01,8.279746e-01,8.413388e-01,8.653878e-01,8.756729e-01,8.884939e-01,9.106213e-01,9.196157e-01,9.317403e-01,9.518264e-01,9.595672e-01,9.708605e-01,9.888284e-01,9.953745e-01,1.005721e+00,1.021532e+00,1.026959e+00,1.036262e+00,1.049913e+00,1.054310e+00,1.062493e+00,1.074010e+00,1.077473e+00,1.084478e+00,1.093912e+00,1.096544e+00,1.102331e+00,1.109755e+00,1.111658e+00,1.116205e+00,1.121707e+00,1.122985e+00,1.126285e+00,1.129967e+00,1.130720e+00,1.132779e+00,1.134752e+00,1.135076e+00,1.135914e+00,1.136296e+00,1.136281e+00,1.135927e+00,1.134839e+00,1.134569e+00,1.133063e+00,1.130629e+00,1.130181e+00,1.127568e+00,1.123911e+00,1.123353e+00,1.119688e+00,1.114929e+00,1.114323e+00,1.109663e+00,1.103919e+00,1.103319e+00,1.097726e+00,1.091111e+00,1.090564e+00,1.084102e+00,1.076724e+00,1.076270e+00,1.069004e+00,1.060967e+00,1.060639e+00,1.052637e+00,1.044036e+00,1.043862e+00,1.035189e+00,1.026116e+00,1.007569e+00,9.883744e-01,9.686744e-01,9.485993e-01,9.282681e-01,9.077887e-01,8.872587e-01,8.667658e-01,8.463883e-01,8.261961e-01,8.062508e-01,7.866068e-01,7.673113e-01,7.484054e-01,7.299244e-01,7.118982e-01,6.943520e-01,6.773065e-01,6.607785e-01,6.447811e-01,6.293245e-01,6.144157e-01,6.000593e-01,5.862573e-01,5.730100e-01,5.603153e-01,5.481700e-01,5.365690e-01,5.255060e-01,5.149735e-01,5.049631e-01,4.954653e-01,4.864699e-01,4.779660e-01,4.699419e-01,4.623856e-01,4.552844e-01,4.486253e-01,4.423950e-01,4.365797e-01,4.311656e-01,4.261386e-01,4.214843e-01,4.171886e-01,4.132369e-01,4.096148e-01,4.063077e-01,4.033014e-01,4.005815e-01
0.000000e+00,3.278633e-10,4.850270e-09,5.070357e-09,3.198792e-08,1.079182e-07,1.124711e-07,2.592798e-07,4.313520e-07,4.426290e-07,6.274232e-07,7.870670e-07,8.003814e-07,9.589789e-07,1.089584e-06,1.103411e-06,1.234469e-06,1.339449e-06,1.353050e-06,1.460042e-06,1.543434e-06,1.556292e-06,1.642601e-06,1.707970e-06,1.719721e-06,1.788356e-06,1.838768e-06,1.849163e-06,1.902754e-06,1.940813e-06,1.949695e-06,1.990515e-06,2.018422e-06,2.025705e-06,2.055718e-06,2.075326e-06,2.080975e-06,2.101867e-06,2.114729e-06,2.118753e-06,2.131968e-06,2.139383e-06,2.141820e-06,2.148594e-06,2.151646e-06,2.152554e-06,2.153943e-06,2.153536e-06,2.152988e-06,2.149896e-06,2.146779e-06,2.144860e-06,2.138056e-06,2.132851e-06,2.129649e-06,2.119790e-06,2.113010e-06,2.108619e-06,2.096264e-06,2.088332e-06,2.082844e-06,2.068468e-06,2.059733e-06,2.053238e-06,2.037246e-06,2.027991e-06,2.020579e-06,2.003314e-06,1.993769e-06,1.985525e-06,1.967279e-06,1.957630e-06,1.948636e-06,1.929654e-06,1.920052e-06,1.910384e-06,1.890874e-06,1.881437e-06,1.871167e-06,1.851305e-06,1.842126e-06,1.831323e-06,1.811255e-06,1.802406e-06,1.791132e-06,1.770983e-06,1.762518e-06,1.750832e-06,1.730704e-06,1.722664e-06,1.710620e-06,1.690600e-06,1.683012e-06,1.670660e-06,1.650818e-06,1.643701e-06,1.631087e-06,1.611481e-06,1.604846e-06,1.592012e-06,1.572690e-06,1.566540e-06,1.553526e-06,1.534527e-06,1.528861e-06,1.515701e-06,1.497055e-06,1.491868e-06,1.478596e-06,1.460328e-06,1.455610e-06,1.442256e-06,1.424383e-06,1.420124e-06,1.406714e-06,1.389252e-06,1.385438e-06,1.371998e-06,1.354955e-06,1.351572e-06,1.338124e-06,1.321507e-06,1.318539e-06,1.305105e-06,1.288917e-06,1.286347e-06,1.272945e-06,1.257188e-06,1.254999e-06,1.241646e-06,1.226319e-06,1.224495e-06,1.211207e-06,1.196307e-06,1.194829e-06,1.181620e-06,1.167144e-06,1.165995e-06,1.152878e-06,1.138821e-06,1.137984e-06,1.124970e-06,1.111326e-06,1.110784e-06,1.097885e-06,1.084647e-06,1.084384e-06,1.071609e-06,1.058770e-06,1.033926e-06,1.009838e-06,9.864891e-07,9.638635e-07,9.419445e-07,9.207153e-07,9.001589e-07,8.802585e-07,8.609975e-07,8.423590e-07,8.243266e-07,8.068842e-07,7.900156e-07,7.737052e-07,7.579373e-07,7.426970e-07,7.279692e-07,7.137394e-07,6.999933e-07,6.867172e-07,6.738972e-07,6.615203e-07,6.495735e-07,6.380441e-07,6.269200e-07,6.161890e-07,6.058396e-07,5.958604e-07,5.862403e-07,5.769685e-07,5.680347e-07,5.594287e-07,5.511404e-07,5.431604e-07,5.354791e-07,5.280876e-07,5.209769e-07,5.141385e-07,5.075640e-07,5.012451e-07,4.951741e-07,4.893432e-07,4.837450e-07,4.783721e-07,4.732175e-07,4.682743e-07,4.635360e-07,4.589959e-07,4.546478e-07
0.000000e+00,5.002935e-11,7.358617e-09,7.914990e-09,1.546075e-07,1.244792e-06,1.342798e-06,7.077574e-06,2.383475e-05,2.550272e-05,6.772207e-05,1.341238e-04,1.411764e-04,2.445151e-04,3.559046e-04,3.689797e-04,5.033742e-04,6.221209e-04,6.380499e-04,7.664353e-04,8.689542e-04,8.848574e-04,9.917284e-04,1.072320e-03,1.086733e-03,1.170241e-03,1.230620e-03,1.242945e-03,1.305660e-03,1.349203e-03,1.359224e-03,1.404448e-03,1.434429e-03,1.442100e-03,1.472891e-03,1.492112e-03,1.497481e-03,1.516475e-03,1.527257e-03,1.530430e-03,1.539857e-03,1.544103e-03,1.545220e-03,1.546948e-03,1.546203e-03,1.545428e-03,1.541016e-03,1.536530e-03,1.534036e-03,1.524782e-03,1.517559e-03,1.513522e-03,1.500500e-03,1.491346e-03,1.485940e-03,1.470040e-03,1.459591e-03,1.452985e-03,1.434941e-03,1.423702e-03,1.416056e-03,1.396467e-03,1.384832e-03,1.376297e-03,1.355657e-03,1.343930e-03,1.334646e-03,1.313354e-03,1.301768e-03,1.291862e-03,1.270243e-03,1.258973e-03,1.248562e-03,1.226877e-03,1.216050e-03,1.205240e-03,1.183697e-03,1.173402e-03,1.162289e-03,1.141052e-03,1.131349e-03,1.120017e-03,1.099214e-03,1.090140e-03,1.078667e-03,1.058395e-03,1.049968e-03,1.038419e-03,1.018753e-03,1.010976e-03,9.994104e-04,9.804026e-04,9.732693e-04,9.617385e-04,9.434253e-04,9.369196e-04,9.254687e-04,9.078730e-04,9.019733e-04,8.906412e-04,8.737749e-04,8.684551e-04,8.572751e-04,8.411415e-04,8.363727e-04,8.253731e-04,8.099682e-04,8.057196e-04,7.949243e-04,7.802386e-04,7.764786e-04,7.659076e-04,7.519273e-04,7.486238e-04,7.382935e-04,7.250014e-04,7.221226e-04,7.120463e-04,6.994228e-04,6.969374e-04,6.871256e-04,6.751492e-04,6.730271e-04,6.634878e-04,6.521357e-04,6.503477e-04,6.410869e-04,6.303355e-04,6.288537e-04,6.198755e-04,6.097008e-04,6.084987e-04,5.998053e-04,5.901831e-04,5.892356e-04,5.808280e-04,5.717342e-04,5.710178e-04,5.628957e-04,5.543065e-04,5.537989e-04,5.459608e-04,5.378528e-04,5.375334e-04,5.299769e-04,5.223273e-04,5.221766e-04,5.148986e-04,5.076853e-04,4.940173e-04,4.811319e-04,4.689900e-04,4.575538e-04,4.467872e-04,4.366553e-04,4.271250e-04,4.181646e-04,4.097438e-04,4.018337e-04,3.944069e-04,3.874371e-04,3.808996e-04,3.747706e-04,3.690277e-04,3.636495e-04,3.586159e-04,3.539075e-04,3.495063e-04,3.453948e-04,3.415569e-04,3.379769e-04,3.346401e-04,3.315328e-04,3.286416e-04,3.259542e-04,3.234587e-04,3.211439e-04,3.189994e-04,3.170150e-04,3.151814e-04,3.134897e-04,3.119312e-04,3.104982e-04,3.091829e-04,3.079784e-04,3.068777e-04,3.058746e-04,3.049630e-04,3.041372e-04,3.033919e-04,3.027219e-04,3.021226e-04,3.015893e-04,3.011178e-04,3.007041e-04,3.003443e-04,3.000348e-04,2.997724e-04
0.000000e+00,3.964531e-10,3.306015e-08,3.526494e-08,5.009391e-07,3.127774e-06,3.337021e-06,1.310523e-05,3.247173e-05,3.404391e-05,6.415165e-05,9.408840e-05,9.663196e-05,1.264850e-04,1.496646e-04,1.520164e-04,1.731993e-04,1.886058e-04,1.904933e-04,2.044229e-04,2.140805e-04,2.154699e-04,2.240562e-04,2.296357e-04,2.305469e-04,2.352568e-04,2.379816e-04,2.384572e-04,2.403817e-04,2.411387e-04,2.412313e-04,2.411784e-04,2.406067e-04,2.403711e-04,2.389363e-04,2.374936e-04,2.369825e-04,2.346025e-04,2.326138e-04,2.318752e-04,2.288683e-04,2.265627e-04,2.256390e-04,2.222362e-04,2.197734e-04,2.187012e-04,2.150690e-04,2.125589e-04,2.113692e-04,2.076268e-04,2.051438e-04,2.038628e-04,2.000948e-04,1.976881e-04,1.963375e-04,1.926032e-04,1.903039e-04,1.889018e-04,1.852417e-04,1.830684e-04,1.816298e-04,1.780715e-04,1.760340e-04,1.745713e-04,1.711325e-04,1.692347e-04,1.677579e-04,1.644493e-04,1.626906e-04,1.612081e-04,1.580354e-04,1.564128e-04,1.549316e-04,1.518968e-04,1.504053e-04,1.489310e-04,1.460338e-04,1.446673e-04,1.432046e-04,1.404427e-04,1.391947e-04,1.377474e-04,1.351175e-04,1.339809e-04,1.325522e-04,1.300503e-04,1.290181e-04,1.276106e-04,1.252319e-04,1.242973e-04,1.229131e-04,1.206528e-04,1.198090e-04,1.184498e-04,1.163029e-04,1.155435e-04,1.142108e-04,1.121723e-04,1.114911e-04,1.101860e-04,1.082509e-04,1.076422e-04,1.063656e-04,1.045289e-04,1.039873e-04,1.027398e-04,1.009969e-04,1.005171e-04,9.929926e-05,9.764566e-05,9.722280e-05,9.603502e-05,9.446628e-05,9.409590e-05,9.293837e-05,9.145027e-05,9.112814e-05,9.000099e-05,8.858952e-05,8.831169e-05,8.721493e-05,8.587626e-05,8.563904e-05,8.457260e-05,8.330307e-05,8.310305e-05,8.206677e-05,8.086288e-05,8.069687e-05,7.969055e-05,7.854898e-05,7.841402e-05,7.743739e-05,7.635499e-05,7.624833e-05,7.530105e-05,7.427482e-05,7.419390e-05,7.327561e-05,7.230270e-05,7.224515e-05,7.135543e-05,7.043314e-05,7.039676e-05,6.953517e-05,6.866092e-05,6.864367e-05,6.780975e-05,6.698109e-05,6.540445e-05,6.390942e-05,6.249188e-05,6.114792e-05,5.987382e-05,5.866606e-05,5.752128e-05,5.643630e-05,5.540810e-05,5.443380e-05,5.351068e-05,5.263615e-05,5.180774e-05,5.102312e-05,5.028007e-05,4.957649e-05,4.891036e-05,4.827979e-05,4.768298e-05,4.711820e-05,4.658384e-05,4.607834e-05,4.560023e-05,4.514813e-05,4.472070e-05,4.431668e-05,4.393489e-05,4.357418e-05,4.323348e-05,4.291177e-05,4.260807e-05,4.232145e-05,4.205106e-05,4.179604e-05,4.155561e-05,4.132902e-05,4.111556e-05,4.091454e-05,4.072533e-05,4.054732e-05,4.037992e-05,4.022258e-05,4.007478e-05,3.993603e-05,3.980585e-05,3.968379e-05,3.956944e-05,3.946238e-05,3.936223e-05
0.000000e+00,5.628750e-11,8.528439e-09,9.175758e-09,1.804635e-07,1.477766e-06,1.596072e-06,8.788833e-06,3.130882e-05,3.362697e-05,9.507734e-05,1.987138e-04,2.100923e-04,3.832930e-04,5.815411e-04,6.055136e-04,8.598855e-04,1.096273e-03,1.128797e-03,1.398007e-03,1.622240e-03,1.657793e-03,1.902405e-03,2.093988e-03,2.128966e-03,2.336430e-03,2.492297e-03,2.524823e-03,2.694746e-03,2.817976e-03,2.847085e-03,2.982844e-03,3.077895e-03,3.103062e-03,3.208771e-03,3.280020e-03,3.300966e-03,3.380605e-03,3.431991e-03,3.448598e-03,3.505805e-03,3.540775e-03,3.553041e-03,3.591071e-03,3.612603e-03,3.620616e-03,3.642352e-03,3.652997e-03,3.656913e-03,3.664892e-03,3.666823e-03,3.666843e-03,3.663286e-03,3.658344e-03,3.654705e-03,3.641551e-03,3.631286e-03,3.624246e-03,3.603183e-03,3.588893e-03,3.578726e-03,3.551215e-03,3.533986e-03,3.520968e-03,3.488278e-03,3.469006e-03,3.453416e-03,3.416638e-03,3.396064e-03,3.378177e-03,3.338250e-03,3.316976e-03,3.297059e-03,3.254790e-03,3.233305e-03,3.211614e-03,3.167690e-03,3.146385e-03,3.123165e-03,3.078172e-03,3.057353e-03,3.032836e-03,2.987270e-03,2.967176e-03,2.941579e-03,2.895857e-03,2.876666e-03,2.850193e-03,2.804665e-03,2.786508e-03,2.759346e-03,2.714301e-03,2.697269e-03,2.669591e-03,2.625269e-03,2.609417e-03,2.581383e-03,2.537977e-03,2.523336e-03,2.495090e-03,2.452757e-03,2.439332e-03,2.411007e-03,2.369868e-03,2.357649e-03,2.329364e-03,2.289514e-03,2.278475e-03,2.250335e-03,2.211844e-03,2.201950e-03,2.174051e-03,2.136967e-03,2.128173e-03,2.100599e-03,2.064953e-03,2.057209e-03,2.030034e-03,1.995842e-03,1.989092e-03,1.962380e-03,1.929647e-03,1.923832e-03,1.897641e-03,1.866358e-03,1.861420e-03,1.835796e-03,1.805949e-03,1.801827e-03,1.776811e-03,1.748375e-03,1.745010e-03,1.720636e-03,1.693583e-03,1.690916e-03,1.667210e-03,1.641508e-03,1.639480e-03,1.616466e-03,1.592075e-03,1.590632e-03,1.568326e-03,1.545207e-03,1.544295e-03,1.522708e-03,1.500819e-03,1.500387e-03,1.479528e-03,1.458824e-03,1.419520e-03,1.382387e-03,1.347337e-03,1.314282e-03,1.283137e-03,1.253814e-03,1.226231e-03,1.200305e-03,1.175956e-03,1.153106e-03,1.131680e-03,1.111606e-03,1.092814e-03,1.075235e-03,1.058805e-03,1.043462e-03,1.029146e-03,1.015801e-03,1.003371e-03,9.918053e-04,9.810540e-04,9.710699e-04,9.618082e-04,9.532261e-04,9.452831e-04,9.379408e-04,9.311625e-04,9.249137e-04,9.191617e-04,9.138752e-04,9.090250e-04,9.045832e-04,9.005236e-04,8.968213e-04,8.934529e-04,8.903963e-04,8.876305e-04,8.851359e-04,8.828939e-04,8.808871e-04,8.790989e-04,8.775138e-04,8.761174e-04,8.748958e-04,8.738362e-04,8.729264e-04,8.721551e-04,8.715117e-04,8.709860e-04
0.000000e+00,1.292753e-09,6.214025e-08,6.570123e-08,6.589711e-07,3.317787e-06,3.513623e-06,1.173680e-05,2.559083e-05,2.662974e-05,4.509314e-05,6.210404e-05,6.353333e-05,8.049991e-05,9.427542e-05,9.571946e-05,1.092479e-04,1.198530e-04,1.212103e-04,1.317393e-04,1.397448e-04,1.409617e-04,1.489954e-04,1.549052e-04,1.559496e-04,1.619253e-04,1.661606e-04,1.670154e-04,1.713055e-04,1.742144e-04,1.748738e-04,1.777920e-04,1.796591e-04,1.801254e-04,1.819337e-04,1.829902e-04,1.832710e-04,1.841867e-04,1.846193e-04,1.847253e-04,1.849273e-04,1.848850e-04,1.848293e-04,1.844645e-04,1.840667e-04,1.838631e-04,1.830521e-04,1.823936e-04,1.820562e-04,1.808979e-04,1.800542e-04,1.795971e-04,1.781718e-04,1.772018e-04,1.766382e-04,1.750113e-04,1.739615e-04,1.733041e-04,1.715286e-04,1.704351e-04,1.696955e-04,1.678143e-04,1.667047e-04,1.658938e-04,1.639416e-04,1.628372e-04,1.619648e-04,1.599696e-04,1.588865e-04,1.579616e-04,1.559457e-04,1.548959e-04,1.539265e-04,1.519079e-04,1.508999e-04,1.498934e-04,1.478863e-04,1.469262e-04,1.458892e-04,1.439046e-04,1.429965e-04,1.419347e-04,1.399814e-04,1.391277e-04,1.380465e-04,1.361312e-04,1.353330e-04,1.342369e-04,1.323647e-04,1.316222e-04,1.305155e-04,1.286901e-04,1.280028e-04,1.268891e-04,1.251132e-04,1.244801e-04,1.233627e-04,1.216380e-04,1.210576e-04,1.199394e-04,1.182671e-04,1.177376e-04,1.166213e-04,1.150018e-04,1.145212e-04,1.134090e-04,1.118426e-04,1.114087e-04,1.103026e-04,1.087889e-04,1.083996e-04,1.073014e-04,1.058399e-04,1.054930e-04,1.044042e-04,1.029941e-04,1.026873e-04,1.016093e-04,1.002497e-04,9.998078e-05,9.891492e-05,9.760469e-05,9.737143e-05,9.631872e-05,9.505671e-05,9.485699e-05,9.381836e-05,9.260335e-05,9.243509e-05,9.141136e-05,9.024206e-05,9.010326e-05,8.909513e-05,8.797024e-05,8.785895e-05,8.686705e-05,8.578523e-05,8.569959e-05,8.472444e-05,8.368435e-05,8.362260e-05,8.266463e-05,8.166496e-05,8.162538e-05,8.068499e-05,7.972440e-05,7.970538e-05,7.878287e-05,7.786008e-05,7.608697e-05,7.438362e-05,7.274763e-05,7.117668e-05,6.966848e-05,6.822082e-05,6.683156e-05,6.549859e-05,6.421990e-05,6.299351e-05,6.181753e-05,6.069010e-05,5.960946e-05,5.857386e-05,5.758166e-05,5.663123e-05,5.572102e-05,5.484952e-05,5.401529e-05,5.321692e-05,5.245307e-05,5.172241e-05,5.102371e-05,5.035573e-05,4.971731e-05,4.910731e-05,4.852465e-05,4.796827e-05,4.743715e-05,4.693033e-05,4.644685e-05,4.598580e-05,4.554632e-05,4.512754e-05,4.472867e-05,4.434891e-05,4.398751e-05,4.364373e-05,4.331688e-05,4.300628e-05,4.271127e-05,4.243122e-05,4.216554e-05,4.191363e-05,4.167494e-05,4.144892e-05,4.123505e-05,4.103283e-05,4.084178e-05
0.000000e+00,3.617419e-12,7.985185e-10,8.655616e-10,2.370260e-08,2.423663e-07,2.637290e-07,1.699479e-06,6.863194e-06,7.430966e-06,2.424172e-05,5.888013e-05,6.312117e-05,1.380597e-04,2.484215e-04,2.636442e-04,4.524800e-04,6.779723e-04,7.132299e-04,1.049597e-03,1.398446e-03,1.460231e-03,1.939315e-03,2.387933e-03,2.477573e-03,3.063414e-03,3.570360e-03,3.684060e-03,4.326514e-03,4.847780e-03,4.978327e-03,5.628129e-03,6.127129e-03,6.265980e-03,6.883528e-03,7.335086e-03,7.474044e-03,8.032370e-03,8.422565e-03,8.554778e-03,9.038807e-03,9.362732e-03,9.483078e-03,9.887123e-03,1.014614e-02,1.025121e-02,1.057617e-02,1.077543e-02,1.086327e-02,1.111412e-02,1.126069e-02,1.133052e-02,1.151440e-02,1.161596e-02,1.166779e-02,1.179272e-02,1.185677e-02,1.189121e-02,1.196521e-02,1.199866e-02,1.201664e-02,1.204730e-02,1.205625e-02,1.205892e-02,1.205313e-02,1.204285e-02,1.203145e-02,1.199534e-02,1.197030e-02,1.194611e-02,1.188501e-02,1.184895e-02,1.181321e-02,1.173178e-02,1.168776e-02,1.164171e-02,1.154391e-02,1.149448e-02,1.143925e-02,1.132849e-02,1.127571e-02,1.121238e-02,1.109157e-02,1.103709e-02,1.096668e-02,1.083828e-02,1.078343e-02,1.070688e-02,1.057296e-02,1.051879e-02,1.043697e-02,1.029930e-02,1.024662e-02,1.016032e-02,1.002038e-02,9.969830e-03,9.879788e-03,9.738820e-03,9.690852e-03,9.597737e-03,9.456777e-03,9.411732e-03,9.316156e-03,9.176067e-03,9.134172e-03,9.036691e-03,8.898187e-03,8.859583e-03,8.760702e-03,8.624367e-03,8.589123e-03,8.489300e-03,8.355607e-03,8.323736e-03,8.223382e-03,8.092710e-03,8.064179e-03,7.963666e-03,7.836316e-03,7.811054e-03,7.710717e-03,7.586921e-03,7.564832e-03,7.464970e-03,7.344901e-03,7.325867e-03,7.226747e-03,7.110533e-03,7.094419e-03,6.996280e-03,6.884004e-03,6.870664e-03,6.773718e-03,6.665430e-03,6.654711e-03,6.559145e-03,6.454866e-03,6.446610e-03,6.352591e-03,6.252316e-03,6.246363e-03,6.154036e-03,6.057743e-03,6.053932e-03,5.963425e-03,5.871072e-03,5.869245e-03,5.780670e-03,5.692203e-03,5.522683e-03,5.360547e-03,5.205639e-03,5.057795e-03,4.916840e-03,4.782593e-03,4.654870e-03,4.533482e-03,4.418240e-03,4.308952e-03,4.205431e-03,4.107485e-03,4.014929e-03,3.927576e-03,3.845245e-03,3.767757e-03,3.694933e-03,3.626601e-03,3.562591e-03,3.502737e-03,3.446874e-03,3.394844e-03,3.346490e-03,3.301661e-03,3.260205e-03,3.221979e-03,3.186839e-03,3.154646e-03,3.125266e-03,3.098564e-03,3.074412e-03,3.052685e-03,3.033258e-03,3.016012e-03,3.000831e-03,2.987600e-03,2.976208e-03,2.966549e-03,2.958517e-03,2.952011e-03,2.946931e-03,2.943182e-03,2.940672e-03,2.939310e-03,2.939009e-03,2.939687e-03,2.941260e-03,2.943653e-03,2.946790e-03
0.000000e+00,1.874825e-09,2.775387e-08,2.896955e-08,1.806435e-07,6.564059e-07,6.868505e-07,1.768648e-06,3.255980e-06,3.359909e-06,5.117646e-06,6.646009e-06,6.771760e-06,8.237331e-06,9.390217e-06,9.509018e-06,1.060105e-05,1.142734e-05,1.153094e-05,1.231570e-05,1.288655e-05,1.297106e-05,1.351133e-05,1.388574e-05,1.394948e-05,1.429717e-05,1.452219e-05,1.456492e-05,1.476217e-05,1.487491e-05,1.489736e-05,1.497807e-05,1.500758e-05,1.501106e-05,1.500240e-05,1.497130e-05,1.495747e-05,1.488110e-05,1.480688e-05,1.477757e-05,1.465070e-05,1.454682e-05,1.450388e-05,1.434014e-05,1.421690e-05,1.416216e-05,1.397230e-05,1.383750e-05,1.377268e-05,1.356515e-05,1.342466e-05,1.335137e-05,1.313277e-05,1.299094e-05,1.291063e-05,1.268608e-05,1.254609e-05,1.246011e-05,1.223356e-05,1.209768e-05,1.200720e-05,1.178167e-05,1.165148e-05,1.155755e-05,1.133531e-05,1.121185e-05,1.111539e-05,1.089814e-05,1.078204e-05,1.068385e-05,1.047280e-05,1.036439e-05,1.026518e-05,1.006117e-05,9.960571e-06,9.860923e-06,9.664539e-06,9.571673e-06,9.472105e-06,9.283686e-06,9.198373e-06,9.099322e-06,8.919039e-06,8.841009e-06,8.742845e-06,8.570737e-06,8.499666e-06,8.402698e-06,8.238704e-06,8.174231e-06,8.078719e-06,7.922701e-06,7.864444e-06,7.770601e-06,7.622366e-06,7.569936e-06,7.477936e-06,7.337250e-06,7.290258e-06,7.200242e-06,7.066845e-06,7.024908e-06,6.936987e-06,6.810599e-06,6.773348e-06,6.687607e-06,6.567937e-06,6.535015e-06,6.451517e-06,6.338273e-06,6.309340e-06,6.228130e-06,6.121015e-06,6.095749e-06,6.016854e-06,5.915577e-06,5.893676e-06,5.817110e-06,5.721384e-06,5.702562e-06,5.628328e-06,5.537874e-06,5.521864e-06,5.449954e-06,5.364502e-06,5.351055e-06,5.281453e-06,5.200742e-06,5.189625e-06,5.122307e-06,5.046087e-06,5.037086e-06,4.972021e-06,4.900052e-06,4.892969e-06,4.830122e-06,4.762175e-06,4.756823e-06,4.696155e-06,4.632011e-06,4.628220e-06,4.569689e-06,4.509138e-06,4.506753e-06,4.450311e-06,4.393157e-06,4.392030e-06,4.337630e-06,4.283685e-06,4.181364e-06,4.084736e-06,3.993486e-06,3.907313e-06,3.825936e-06,3.749087e-06,3.676512e-06,3.607971e-06,3.543238e-06,3.482099e-06,3.424351e-06,3.369804e-06,3.318276e-06,3.269597e-06,3.223606e-06,3.180150e-06,3.139087e-06,3.100279e-06,3.063600e-06,3.028929e-06,2.996151e-06,2.965158e-06,2.935849e-06,2.908128e-06,2.881905e-06,2.857094e-06,2.833615e-06,2.811391e-06,2.790351e-06,2.770427e-06,2.751556e-06,2.733677e-06,2.716733e-06,2.700672e-06,2.685442e-06,2.670996e-06,2.657288e-06,2.644278e-06,2.631924e-06,2.620190e-06,2.609039e-06,2.598439e-06,2.588358e-06,2.578765e-06,2.569634e-06,2.560938e-06,2.552651e-06,2.544751e-06,2.537215e-06
0.000000e+00,1.506520e-10,2.011647e-08,2.161083e-08,4.006075e-07,2.994318e-06,3.217253e-06,1.504771e-05,4.409949e-05,4.674217e-05,1.056683e-04,1.812347e-04,1.885007e-04,2.842306e-04,3.720599e-04,3.816286e-04,4.732552e-04,5.462281e-04,5.555637e-04,6.275398e-04,6.813653e-04,6.894545e-04,7.421002e-04,7.798454e-04,7.864147e-04,8.233248e-04,8.486732e-04,8.536925e-04,8.782968e-04,8.943027e-04,8.978364e-04,9.129342e-04,9.219857e-04,9.241443e-04,9.319585e-04,9.358961e-04,9.368125e-04,9.390922e-04,9.393238e-04,9.391384e-04,9.372516e-04,9.348461e-04,9.336965e-04,9.287061e-04,9.244697e-04,9.224856e-04,9.152155e-04,9.097540e-04,9.070544e-04,8.981417e-04,8.919078e-04,8.885999e-04,8.785364e-04,8.718659e-04,8.680451e-04,8.572083e-04,8.503479e-04,8.460980e-04,8.347773e-04,8.279071e-04,8.233013e-04,8.117179e-04,8.049670e-04,8.000688e-04,7.883904e-04,7.818496e-04,7.767141e-04,7.650672e-04,7.587987e-04,7.534735e-04,7.419531e-04,7.359974e-04,7.305236e-04,7.191997e-04,7.135815e-04,7.079944e-04,6.969182e-04,6.916503e-04,6.859804e-04,6.751884e-04,6.702748e-04,6.645484e-04,6.540656e-04,6.495040e-04,6.437440e-04,6.335867e-04,6.293703e-04,6.235962e-04,6.137743e-04,6.098930e-04,6.041220e-04,5.946399e-04,5.910814e-04,5.853281e-04,5.761866e-04,5.729372e-04,5.672147e-04,5.584115e-04,5.554567e-04,5.497760e-04,5.413069e-04,5.386316e-04,5.330026e-04,5.248614e-04,5.224505e-04,5.168815e-04,5.090610e-04,5.068995e-04,5.013978e-04,4.938899e-04,4.919630e-04,4.865351e-04,4.793311e-04,4.776244e-04,4.722758e-04,4.653667e-04,4.638662e-04,4.586017e-04,4.519783e-04,4.506705e-04,4.454943e-04,4.391473e-04,4.380192e-04,4.329349e-04,4.268549e-04,4.258942e-04,4.209049e-04,4.150826e-04,4.142775e-04,4.093857e-04,4.038120e-04,4.031513e-04,3.983591e-04,3.930250e-04,3.924980e-04,3.878073e-04,3.827040e-04,3.823006e-04,3.777128e-04,3.728317e-04,3.725423e-04,3.680585e-04,3.633913e-04,3.632068e-04,3.588279e-04,3.543664e-04,3.542782e-04,3.500048e-04,3.457411e-04,3.375807e-04,3.297824e-04,3.223324e-04,3.152170e-04,3.084232e-04,3.019384e-04,2.957504e-04,2.898475e-04,2.842183e-04,2.788520e-04,2.737380e-04,2.688661e-04,2.642267e-04,2.598102e-04,2.556076e-04,2.516101e-04,2.478094e-04,2.441974e-04,2.407662e-04,2.375083e-04,2.344166e-04,2.314841e-04,2.287040e-04,2.260699e-04,2.235756e-04,2.212152e-04,2.189830e-04,2.168733e-04,2.148809e-04,2.130006e-04,2.112276e-04,2.095571e-04,2.079846e-04,2.065056e-04,2.051161e-04,2.038118e-04,2.025890e-04,2.014439e-04,2.003729e-04,1.993725e-04,1.984395e-04,1.975705e-04,1.967627e-04,1.960129e-04,1.953184e-04,1.946764e-04,1.940844e-04,1.935399e-04,1.930403e-04
0.000000e+00,9.166594e-13,2.211100e-10,2.400649e-10,7.176187e-09,8.183601e-08,8.950520e-08,6.622660e-07,3.080183e-06,3.365818e-06,1.281581e-05,3.589442e-05,3.895783e-05,9.933010e-05,2.047928e-04,2.206263e-04,4.392691e-04,7.483049e-04,8.009761e-04,1.359459e-03,2.042586e-03,2.174476e-03,3.309479e-03,4.557460e-03,4.829080e-03,6.796525e-03,8.785931e-03,9.271336e-03,1.230723e-02,1.517125e-02,1.595039e-02,2.023809e-02,2.404796e-02,2.519778e-02,3.084650e-02,3.560469e-02,3.719067e-02,4.422621e-02,4.986965e-02,5.193894e-02,6.030523e-02,6.671579e-02,6.929273e-02,7.886140e-02,8.588045e-02,8.896446e-02,9.954953e-02,1.069938e-01,1.105597e-01,1.219346e-01,1.296115e-01,1.336116e-01,1.455265e-01,1.532470e-01,1.576147e-01,1.698122e-01,1.774018e-01,1.820559e-01,1.942846e-01,2.015900e-01,2.064395e-01,2.184647e-01,2.253591e-01,2.303077e-01,2.419193e-01,2.483038e-01,2.532544e-01,2.642717e-01,2.700756e-01,2.749340e-01,2.852084e-01,2.903879e-01,2.950657e-01,3.044813e-01,3.090166e-01,3.134339e-01,3.219066e-01,3.257988e-01,3.298855e-01,3.373606e-01,3.406280e-01,3.443250e-01,3.507749e-01,3.534494e-01,3.567091e-01,3.621294e-01,3.642534e-01,3.670395e-01,3.714455e-01,3.730686e-01,3.753556e-01,3.787794e-01,3.799552e-01,3.817281e-01,3.842145e-01,3.849990e-01,3.862521e-01,3.878556e-01,3.883047e-01,3.890406e-01,3.898231e-01,3.899912e-01,3.902198e-01,3.902475e-01,3.901864e-01,3.899235e-01,3.892651e-01,3.890232e-01,3.882897e-01,3.870146e-01,3.866361e-01,3.854570e-01,3.836339e-01,3.831587e-01,3.815620e-01,3.792578e-01,3.787212e-01,3.767371e-01,3.740157e-01,3.734487e-01,3.711087e-01,3.680309e-01,3.674599e-01,3.647964e-01,3.614190e-01,3.608662e-01,3.579118e-01,3.542875e-01,3.537714e-01,3.505582e-01,3.467356e-01,3.462711e-01,3.428306e-01,3.388539e-01,3.384527e-01,3.348154e-01,3.307247e-01,3.303955e-01,3.265907e-01,3.224220e-01,3.221709e-01,3.182265e-01,3.140119e-01,3.138431e-01,3.097853e-01,3.055533e-01,3.054686e-01,3.013222e-01,2.970978e-01,2.887745e-01,2.805368e-01,2.724178e-01,2.644455e-01,2.566437e-01,2.490323e-01,2.416277e-01,2.344431e-01,2.274890e-01,2.207735e-01,2.143022e-01,2.080793e-01,2.021068e-01,1.963855e-01,1.909150e-01,1.856937e-01,1.807190e-01,1.759875e-01,1.714951e-01,1.672371e-01,1.632083e-01,1.594031e-01,1.558154e-01,1.524390e-01,1.492674e-01,1.462937e-01,1.435111e-01,1.409125e-01,1.384910e-01,1.362394e-01,1.341505e-01,1.322171e-01,1.304322e-01,1.287887e-01,1.272795e-01,1.258979e-01,1.246368e-01,1.234897e-01,1.224499e-01,1.215111e-01,1.206668e-01,1.199112e-01,1.192381e-01,1.186418e-01,1.181168e-01,1.176576e-01,1.172592e-01,1.169164e-01,1.166246e-01
0.000000e+00,8.708838e-13,2.043628e-10,2.216827e-10,6.287254e-09,6.861722e-08,7.494442e-08,5.433399e-07,2.535141e-06,2.772444e-06,1.077650e-05,3.099137e-05,3.371907e-05,8.870245e-05,1.879883e-04,2.031254e-04,4.161187e-04,7.254610e-04,7.788684e-04,1.353860e-03,2.072881e-03,2.213211e-03,3.436315e-03,4.806132e-03,5.107053e-03,7.310793e-03,9.574521e-03,1.013139e-02,1.364834e-02,1.701236e-02,1.793425e-02,2.305263e-02,2.765715e-02,2.905612e-02,3.598526e-02,4.188789e-02,4.386754e-02,5.271700e-02,5.988912e-02,6.253421e-02,7.330651e-02,8.164027e-02,8.500867e-02,9.760368e-02,1.069263e-01,1.110438e-01,1.252719e-01,1.353639e-01,1.402224e-01,1.558228e-01,1.664375e-01,1.719953e-01,1.886576e-01,1.995393e-01,2.057247e-01,2.231096e-01,2.340097e-01,2.407252e-01,2.584846e-01,2.691736e-01,2.763024e-01,2.940956e-01,3.043728e-01,3.117844e-01,3.292924e-01,3.389910e-01,3.465477e-01,3.634829e-01,3.724726e-01,3.800356e-01,3.961484e-01,4.043359e-01,4.117696e-01,4.268526e-01,4.341792e-01,4.413564e-01,4.552451e-01,4.616842e-01,4.684885e-01,4.810609e-01,4.866132e-01,4.929421e-01,5.041162e-01,5.088058e-01,5.145719e-01,5.243021e-01,5.281715e-01,5.333034e-01,5.415763e-01,5.446822e-01,5.491245e-01,5.559547e-01,5.583638e-01,5.620765e-01,5.675019e-01,5.692873e-01,5.722452e-01,5.763225e-01,5.775602e-01,5.797517e-01,5.825522e-01,5.833189e-01,5.847446e-01,5.863504e-01,5.867211e-01,5.873920e-01,5.878926e-01,5.879390e-01,5.878756e-01,5.873648e-01,5.871541e-01,5.863843e-01,5.849581e-01,5.845521e-01,5.831101e-01,5.808641e-01,5.803189e-01,5.782436e-01,5.752717e-01,5.746372e-01,5.719712e-01,5.683641e-01,5.676839e-01,5.644721e-01,5.603164e-01,5.596283e-01,5.559172e-01,5.512944e-01,5.506304e-01,5.464670e-01,5.414534e-01,5.408401e-01,5.362713e-01,5.309377e-01,5.303966e-01,5.254686e-01,5.198797e-01,5.194279e-01,5.141858e-01,5.084008e-01,5.080511e-01,5.025383e-01,4.966108e-01,4.963726e-01,4.906305e-01,4.846087e-01,4.844879e-01,4.785561e-01,4.724828e-01,4.604336e-01,4.484077e-01,4.364639e-01,4.246537e-01,4.130217e-01,4.016057e-01,3.904383e-01,3.795464e-01,3.689523e-01,3.586744e-01,3.487268e-01,3.391206e-01,3.298640e-01,3.209623e-01,3.124188e-01,3.042345e-01,2.964089e-01,2.889397e-01,2.818234e-01,2.750552e-01,2.686295e-01,2.625396e-01,2.567783e-01,2.513376e-01,2.462090e-01,2.413836e-01,2.368520e-01,2.326047e-01,2.286319e-01,2.249235e-01,2.214694e-01,2.182594e-01,2.152834e-01,2.125309e-01,2.099919e-01,2.076561e-01,2.055135e-01,2.035543e-01,2.017685e-01,2.001466e-01,1.986792e-01,1.973570e-01,1.961711e-01,1.951126e-01,1.941730e-01,1.933441e-01,1.926179e-01,1.919867e-01,1.914432e-01
0.000000e+00,3.059250e-09,4.942777e-08,5.176575e-08,3.660293e-07,1.389968e-06,1.455138e-06,3.663132e-06,6.348166e-06,6.525635e-06,9.464412e-06,1.206113e-05,1.228053e-05,1.493160e-05,1.717229e-05,1.741287e-05,1.972851e-05,2.163432e-05,2.188491e-05,2.388895e-05,2.549586e-05,2.574758e-05,2.746767e-05,2.881045e-05,2.905601e-05,3.051921e-05,3.163018e-05,3.186371e-05,3.309576e-05,3.400449e-05,3.422138e-05,3.524635e-05,3.597955e-05,3.617624e-05,3.701636e-05,3.759795e-05,3.777179e-05,3.844735e-05,3.889858e-05,3.904767e-05,3.957713e-05,3.991681e-05,4.003990e-05,4.043994e-05,4.068467e-05,4.078102e-05,4.106674e-05,4.123116e-05,4.130051e-05,4.148552e-05,4.158242e-05,4.162486e-05,4.172140e-05,4.176201e-05,4.177791e-05,4.179698e-05,4.179109e-05,4.178109e-05,4.173258e-05,4.168873e-05,4.165365e-05,4.154639e-05,4.147199e-05,4.141279e-05,4.125472e-05,4.115618e-05,4.107396e-05,4.087218e-05,4.075504e-05,4.065097e-05,4.041183e-05,4.028086e-05,4.015616e-05,3.988531e-05,3.974458e-05,3.960053e-05,3.930302e-05,3.915602e-05,3.899390e-05,3.867423e-05,3.852392e-05,3.834502e-05,3.800719e-05,3.785606e-05,3.766166e-05,3.730923e-05,3.715936e-05,3.695072e-05,3.658685e-05,3.643996e-05,3.621832e-05,3.584579e-05,3.570331e-05,3.546988e-05,3.509115e-05,3.495423e-05,3.471016e-05,3.432741e-05,3.419696e-05,3.394337e-05,3.355850e-05,3.343524e-05,3.317322e-05,3.278790e-05,3.267236e-05,3.240292e-05,3.201862e-05,3.191118e-05,3.163531e-05,3.125330e-05,3.115422e-05,3.087285e-05,3.049421e-05,3.040364e-05,3.011764e-05,2.974335e-05,2.966133e-05,2.937153e-05,2.900239e-05,2.892889e-05,2.863608e-05,2.827278e-05,2.820772e-05,2.791263e-05,2.755575e-05,2.749896e-05,2.720228e-05,2.685232e-05,2.680362e-05,2.650598e-05,2.616335e-05,2.612248e-05,2.582450e-05,2.548951e-05,2.545623e-05,2.515845e-05,2.483137e-05,2.480538e-05,2.450833e-05,2.418936e-05,2.417035e-05,2.387451e-05,2.356380e-05,2.355145e-05,2.325725e-05,2.295490e-05,2.294890e-05,2.265675e-05,2.236282e-05,2.179328e-05,2.124029e-05,2.070380e-05,2.018369e-05,1.967984e-05,1.919205e-05,1.872013e-05,1.826384e-05,1.782292e-05,1.739710e-05,1.698608e-05,1.658957e-05,1.620725e-05,1.583880e-05,1.548390e-05,1.514222e-05,1.481342e-05,1.449717e-05,1.419314e-05,1.390100e-05,1.362041e-05,1.335105e-05,1.309260e-05,1.284474e-05,1.260714e-05,1.237951e-05,1.216154e-05,1.195292e-05,1.175336e-05,1.156258e-05,1.138030e-05,1.120623e-05,1.104012e-05,1.088169e-05,1.073070e-05,1.058688e-05,1.045001e-05,1.031983e-05,1.019612e-05,1.007866e-05,9.967221e-06,9.861594e-06,9.761570e-06,9.666948e-06,9.577533e-06,9.493133e-06,9.413563e-06,9.338645e-06,9.268203e-06
0.000000e+00,8.471158e-10,1.262020e-08,1.319936e-08,8.607843e-08,2.981468e-07,3.109110e-07,7.140055e-07,1.159035e-06,1.187396e-06,1.643570e-06,2.028527e-06,2.060329e-06,2.435724e-06,2.739918e-06,2.771840e-06,3.071462e-06,3.307171e-06,3.337394e-06,3.572296e-06,3.751409e-06,3.778674e-06,3.958874e-06,4.091620e-06,4.115088e-06,4.249356e-06,4.344413e-06,4.363572e-06,4.459495e-06,4.524158e-06,4.538749e-06,4.602837e-06,4.643192e-06,4.653144e-06,4.690947e-06,4.712041e-06,4.717421e-06,4.733646e-06,4.739643e-06,4.740617e-06,4.739245e-06,4.733564e-06,4.730367e-06,4.714752e-06,4.700193e-06,4.693105e-06,4.666070e-06,4.644912e-06,4.634238e-06,4.598150e-06,4.572244e-06,4.558302e-06,4.515146e-06,4.485982e-06,4.469094e-06,4.420525e-06,4.389300e-06,4.369782e-06,4.317180e-06,4.284846e-06,4.263004e-06,4.207515e-06,4.174824e-06,4.150949e-06,4.093521e-06,4.061059e-06,4.035426e-06,3.976841e-06,3.945058e-06,3.917925e-06,3.858823e-06,3.828060e-06,3.799665e-06,3.740569e-06,3.711078e-06,3.681640e-06,3.622973e-06,3.594931e-06,3.564652e-06,3.506753e-06,3.480280e-06,3.449344e-06,3.392483e-06,3.367652e-06,3.336223e-06,3.280611e-06,3.257457e-06,3.225687e-06,3.171485e-06,3.150013e-06,3.118036e-06,3.065365e-06,3.045559e-06,3.013495e-06,2.962444e-06,2.944269e-06,2.912226e-06,2.862853e-06,2.846261e-06,2.814335e-06,2.766677e-06,2.751609e-06,2.719883e-06,2.673957e-06,2.660348e-06,2.628898e-06,2.584705e-06,2.572486e-06,2.541375e-06,2.498905e-06,2.488003e-06,2.457290e-06,2.416522e-06,2.406863e-06,2.376596e-06,2.337502e-06,2.329012e-06,2.299233e-06,2.261778e-06,2.254383e-06,2.225127e-06,2.189271e-06,2.182900e-06,2.154198e-06,2.119896e-06,2.114479e-06,2.086356e-06,2.053563e-06,2.049032e-06,2.021508e-06,1.990177e-06,1.986465e-06,1.959557e-06,1.929638e-06,1.926684e-06,1.900406e-06,1.871848e-06,1.869592e-06,1.843953e-06,1.816708e-06,1.815093e-06,1.790100e-06,1.764117e-06,1.763091e-06,1.738747e-06,1.713978e-06,1.713488e-06,1.689797e-06,1.666192e-06,1.621111e-06,1.578153e-06,1.537230e-06,1.498259e-06,1.461154e-06,1.425838e-06,1.392230e-06,1.360258e-06,1.329849e-06,1.300934e-06,1.273445e-06,1.247319e-06,1.222494e-06,1.198912e-06,1.176516e-06,1.155251e-06,1.135066e-06,1.115911e-06,1.097739e-06,1.080504e-06,1.064163e-06,1.048673e-06,1.033996e-06,1.020094e-06,1.006929e-06,9.944674e-07,9.826762e-07,9.715235e-07,9.609791e-07,9.510143e-07,9.416013e-07,9.327140e-07,9.243271e-07,9.164168e-07,9.089601e-07,9.019353e-07,8.953215e-07,8.890987e-07,8.832482e-07,8.777516e-07,8.725918e-07,8.677523e-07,8.632173e-07,8.589718e-07,8.550015e-07,8.512928e-07,8.478325e-07,8.446084e-07,8.416085e-07
0.000000e+00,6.216478e-10,1.109556e-08,1.163129e-08,7.928121e-08,2.618533e-07,2.721416e-07,5.664307e-07,8.568521e-07,8.749689e-07,1.165803e-06,1.413743e-06,1.434414e-06,1.681141e-06,1.885390e-06,1.907083e-06,2.113434e-06,2.279751e-06,2.301368e-06,2.472022e-06,2.605794e-06,2.626483e-06,2.765797e-06,2.871845e-06,2.890960e-06,3.002918e-06,3.085501e-06,3.102568e-06,3.190760e-06,3.253601e-06,3.268292e-06,3.335918e-06,3.382246e-06,3.394345e-06,3.444238e-06,3.476835e-06,3.486221e-06,3.520878e-06,3.542131e-06,3.548757e-06,3.570371e-06,3.582323e-06,3.586199e-06,3.596691e-06,3.601086e-06,3.602267e-06,3.603319e-06,3.601639e-06,3.600214e-06,3.593296e-06,3.586797e-06,3.582884e-06,3.569278e-06,3.559023e-06,3.552756e-06,3.533579e-06,3.520463e-06,3.511989e-06,3.488212e-06,3.472985e-06,3.462460e-06,3.434927e-06,3.418216e-06,3.405798e-06,3.375242e-06,3.357566e-06,3.343416e-06,3.310469e-06,3.292259e-06,3.276536e-06,3.241743e-06,3.223351e-06,3.206210e-06,3.170043e-06,3.151755e-06,3.133345e-06,3.096210e-06,3.078254e-06,3.058722e-06,3.020963e-06,3.003523e-06,2.983005e-06,2.944918e-06,2.928135e-06,2.906764e-06,2.868600e-06,2.852582e-06,2.830480e-06,2.792453e-06,2.777278e-06,2.754562e-06,2.716850e-06,2.702573e-06,2.679352e-06,2.642105e-06,2.628763e-06,2.605137e-06,2.568479e-06,2.556090e-06,2.532154e-06,2.496186e-06,2.484755e-06,2.460596e-06,2.425401e-06,2.414922e-06,2.390619e-06,2.356263e-06,2.346722e-06,2.322347e-06,2.288883e-06,2.280257e-06,2.255880e-06,2.223345e-06,2.215608e-06,2.191288e-06,2.159713e-06,2.152832e-06,2.128625e-06,2.098028e-06,2.091968e-06,2.067925e-06,2.038318e-06,2.033041e-06,2.009208e-06,1.980595e-06,1.976063e-06,1.952480e-06,1.924861e-06,1.921034e-06,1.897737e-06,1.871106e-06,1.867943e-06,1.844966e-06,1.819313e-06,1.816775e-06,1.794145e-06,1.769458e-06,1.767504e-06,1.745248e-06,1.721510e-06,1.720101e-06,1.698241e-06,1.675435e-06,1.674532e-06,1.653087e-06,1.631193e-06,1.630759e-06,1.609746e-06,1.588741e-06,1.548435e-06,1.509796e-06,1.472778e-06,1.437333e-06,1.403414e-06,1.370973e-06,1.339962e-06,1.310334e-06,1.282041e-06,1.255036e-06,1.229275e-06,1.204712e-06,1.181302e-06,1.159003e-06,1.137772e-06,1.117568e-06,1.098351e-06,1.080083e-06,1.062724e-06,1.046239e-06,1.030593e-06,1.015749e-06,1.001676e-06,9.883406e-07,9.757118e-07,9.637595e-07,9.524545e-07,9.417687e-07,9.316750e-07,9.221473e-07,9.131604e-07,9.046899e-07,8.967124e-07,8.892055e-07,8.821475e-07,8.755174e-07,8.692952e-07,8.634616e-07,8.579981e-07,8.528867e-07,8.481104e-07,8.436528e-07,8.394978e-07,8.356305e-07,8.320363e-07,8.287011e-07,8.256116e-07,8.227549e-07,8.201187e-07
0.000000e+00,3.957465e-09,5.284643e-08,5.514967e-08,3.395955e-07,1.200691e-06,1.254599e-06,3.091487e-06,5.401106e-06,5.555898e-06,8.130187e-06,1.040228e-05,1.059371e-05,1.289824e-05,1.483202e-05,1.503879e-05,1.701989e-05,1.863662e-05,1.884818e-05,2.053084e-05,2.186699e-05,2.207512e-05,2.348820e-05,2.457897e-05,2.477714e-05,2.594880e-05,2.682671e-05,2.700982e-05,2.796655e-05,2.866099e-05,2.882515e-05,2.959155e-05,3.012897e-05,3.027139e-05,3.087005e-05,3.127389e-05,3.139264e-05,3.184403e-05,3.213493e-05,3.222882e-05,3.255139e-05,3.274745e-05,3.281588e-05,3.302621e-05,3.314320e-05,3.318607e-05,3.329899e-05,3.335065e-05,3.336826e-05,3.339702e-05,3.339525e-05,3.338821e-05,3.334463e-05,3.329971e-05,3.326890e-05,3.316349e-05,3.308427e-05,3.303075e-05,3.287286e-05,3.276693e-05,3.269190e-05,3.248982e-05,3.236366e-05,3.226845e-05,3.202951e-05,3.188863e-05,3.177461e-05,3.150529e-05,3.135436e-05,3.122296e-05,3.092897e-05,3.077191e-05,3.062457e-05,3.031094e-05,3.015101e-05,2.998917e-05,2.966031e-05,2.950022e-05,2.932531e-05,2.898507e-05,2.882704e-05,2.864044e-05,2.829221e-05,2.813803e-05,2.794109e-05,2.758779e-05,2.743890e-05,2.723292e-05,2.687708e-05,2.673460e-05,2.652082e-05,2.616464e-05,2.602941e-05,2.580901e-05,2.545438e-05,2.532703e-05,2.510113e-05,2.474965e-05,2.463060e-05,2.440026e-05,2.405329e-05,2.394281e-05,2.370901e-05,2.336770e-05,2.326592e-05,2.302959e-05,2.269489e-05,2.260182e-05,2.236381e-05,2.203652e-05,2.195206e-05,2.171318e-05,2.139393e-05,2.131793e-05,2.107890e-05,2.076820e-05,2.070043e-05,2.046193e-05,2.016017e-05,2.010037e-05,1.986301e-05,1.957049e-05,1.951834e-05,1.928268e-05,1.899961e-05,1.895476e-05,1.872131e-05,1.844781e-05,1.840990e-05,1.817913e-05,1.791526e-05,1.788392e-05,1.765623e-05,1.740201e-05,1.737685e-05,1.715260e-05,1.690798e-05,1.688862e-05,1.666814e-05,1.643304e-05,1.641909e-05,1.620266e-05,1.597696e-05,1.596803e-05,1.575591e-05,1.553946e-05,1.553517e-05,1.532757e-05,1.512019e-05,1.472271e-05,1.434234e-05,1.397864e-05,1.363117e-05,1.329945e-05,1.298301e-05,1.268136e-05,1.239402e-05,1.212049e-05,1.186027e-05,1.161290e-05,1.137787e-05,1.115472e-05,1.094299e-05,1.074220e-05,1.055192e-05,1.037171e-05,1.020114e-05,1.003979e-05,9.887280e-06,9.743203e-06,9.607188e-06,9.478870e-06,9.357897e-06,9.243931e-06,9.136644e-06,9.035722e-06,8.940862e-06,8.851774e-06,8.768176e-06,8.689802e-06,8.616393e-06,8.547703e-06,8.483496e-06,8.423545e-06,8.367634e-06,8.315556e-06,8.267112e-06,8.222112e-06,8.180377e-06,8.141731e-06,8.106012e-06,8.073061e-06,8.042727e-06,8.014868e-06,7.989348e-06,7.966036e-06,7.944807e-06,7.925545e-06
0.000000e+00,1.501693e-10,1.979256e-09,2.065801e-09,1.265921e-08,4.442914e-08,4.642603e-08,1.162955e-07,2.110073e-07,2.176192e-07,3.306206e-07,4.325740e-07,4.411834e-07,5.446225e-07,6.308267e-07,6.400017e-07,7.274272e-07,7.980792e-07,8.072753e-07,8.799843e-07,9.371402e-07,9.459945e-07,1.005735e-06,1.051374e-06,1.059618e-06,1.108034e-06,1.143916e-06,1.151354e-06,1.189929e-06,1.217596e-06,1.224090e-06,1.254150e-06,1.274940e-06,1.280403e-06,1.303123e-06,1.318187e-06,1.322568e-06,1.338982e-06,1.349310e-06,1.352591e-06,1.363606e-06,1.370042e-06,1.372225e-06,1.378634e-06,1.381899e-06,1.383006e-06,1.385502e-06,1.386206e-06,1.386274e-06,1.385460e-06,1.384119e-06,1.383193e-06,1.379595e-06,1.376647e-06,1.374780e-06,1.368854e-06,1.364665e-06,1.361915e-06,1.354057e-06,1.348936e-06,1.345364e-06,1.335917e-06,1.330121e-06,1.325789e-06,1.315049e-06,1.308791e-06,1.303761e-06,1.291986e-06,1.285443e-06,1.279777e-06,1.267186e-06,1.260504e-06,1.254262e-06,1.241046e-06,1.234343e-06,1.227582e-06,1.213905e-06,1.207275e-06,1.200051e-06,1.186053e-06,1.179573e-06,1.171939e-06,1.157738e-06,1.151469e-06,1.143475e-06,1.129173e-06,1.123160e-06,1.114854e-06,1.100536e-06,1.094814e-06,1.086240e-06,1.071980e-06,1.066574e-06,1.057772e-06,1.043631e-06,1.038558e-06,1.029568e-06,1.015595e-06,1.010866e-06,1.001722e-06,9.879601e-07,9.835808e-07,9.743164e-07,9.607990e-07,9.567695e-07,9.474148e-07,9.341699e-07,9.304870e-07,9.210698e-07,9.081194e-07,9.047773e-07,8.953229e-07,8.826842e-07,8.796747e-07,8.702063e-07,8.578921e-07,8.552051e-07,8.457438e-07,8.337635e-07,8.313877e-07,8.219526e-07,8.103123e-07,8.082353e-07,7.988437e-07,7.875472e-07,7.857558e-07,7.764233e-07,7.654719e-07,7.639525e-07,7.546931e-07,7.440865e-07,7.428252e-07,7.336515e-07,7.233875e-07,7.223705e-07,7.132936e-07,7.033689e-07,7.025822e-07,6.936121e-07,6.840221e-07,6.834520e-07,6.745975e-07,6.653369e-07,6.649699e-07,6.562387e-07,6.473013e-07,6.471242e-07,6.385231e-07,6.299022e-07,6.132903e-07,5.972740e-07,5.818383e-07,5.669676e-07,5.526464e-07,5.388588e-07,5.255888e-07,5.128207e-07,5.005386e-07,4.887270e-07,4.773705e-07,4.664538e-07,4.559622e-07,4.458811e-07,4.361961e-07,4.268935e-07,4.179595e-07,4.093812e-07,4.011455e-07,3.932402e-07,3.856530e-07,3.783722e-07,3.713866e-07,3.646851e-07,3.582570e-07,3.520922e-07,3.461806e-07,3.405127e-07,3.350792e-07,3.298712e-07,3.248800e-07,3.200973e-07,3.155150e-07,3.111255e-07,3.069213e-07,3.028951e-07,2.990401e-07,2.953496e-07,2.918171e-07,2.884365e-07,2.852019e-07,2.821073e-07,2.791475e-07,2.763170e-07,2.736107e-07,2.710237e-07,2.685513e-07,2.661889e-07,2.639321e-07
0.000000e+00,2.325530e-11,4.692096e-09,5.085972e-09,1.433742e-07,1.457304e-06,1.582543e-06,9.186007e-06,3.087051e-05,3.296422e-05,8.343649e-05,1.576050e-04,1.652842e-04,2.758563e-04,3.939607e-04,4.078851e-04,5.529306e-04,6.854336e-04,7.036135e-04,8.544529e-04,9.814892e-04,1.001817e-03,1.143523e-03,1.257295e-03,1.278385e-03,1.405853e-03,1.504732e-03,1.525756e-03,1.638137e-03,1.722736e-03,1.743163e-03,1.841064e-03,1.912648e-03,1.932101e-03,2.016552e-03,2.076505e-03,2.094701e-03,2.166828e-03,2.216489e-03,2.233211e-03,2.294121e-03,2.334736e-03,2.349822e-03,2.400569e-03,2.433275e-03,2.446607e-03,2.488174e-03,2.514002e-03,2.525497e-03,2.558796e-03,2.578671e-03,2.588280e-03,2.614151e-03,2.628902e-03,2.636602e-03,2.655817e-03,2.666183e-03,2.671973e-03,2.685240e-03,2.691880e-03,2.695778e-03,2.703742e-03,2.707241e-03,2.709281e-03,2.712535e-03,2.713410e-03,2.713639e-03,2.712722e-03,2.711429e-03,2.709905e-03,2.705307e-03,2.702249e-03,2.699039e-03,2.691206e-03,2.686735e-03,2.681911e-03,2.671249e-03,2.665673e-03,2.659313e-03,2.646189e-03,2.639777e-03,2.631962e-03,2.616710e-03,2.609695e-03,2.600510e-03,2.583432e-03,2.576014e-03,2.565545e-03,2.546914e-03,2.539267e-03,2.527600e-03,2.507661e-03,2.499933e-03,2.487154e-03,2.466131e-03,2.458446e-03,2.444642e-03,2.422734e-03,2.415198e-03,2.400452e-03,2.377839e-03,2.370540e-03,2.354935e-03,2.331778e-03,2.324787e-03,2.308405e-03,2.284849e-03,2.278225e-03,2.261142e-03,2.237315e-03,2.231104e-03,2.213397e-03,2.189415e-03,2.183653e-03,2.165394e-03,2.141359e-03,2.136071e-03,2.117331e-03,2.093333e-03,2.088538e-03,2.069383e-03,2.045502e-03,2.041211e-03,2.021705e-03,1.998011e-03,1.994230e-03,1.974433e-03,1.950987e-03,1.947716e-03,1.927686e-03,1.904542e-03,1.901776e-03,1.881568e-03,1.858772e-03,1.856503e-03,1.836166e-03,1.813759e-03,1.811976e-03,1.791560e-03,1.769575e-03,1.768263e-03,1.747812e-03,1.726278e-03,1.725422e-03,1.704979e-03,1.683920e-03,1.683501e-03,1.663106e-03,1.642541e-03,1.602574e-03,1.563624e-03,1.525711e-03,1.488848e-03,1.453045e-03,1.418304e-03,1.384628e-03,1.352012e-03,1.320450e-03,1.289933e-03,1.260451e-03,1.231989e-03,1.204534e-03,1.178067e-03,1.152572e-03,1.128028e-03,1.104418e-03,1.081718e-03,1.059910e-03,1.038969e-03,1.018876e-03,9.996065e-04,9.811389e-04,9.634506e-04,9.465190e-04,9.303219e-04,9.148369e-04,9.000419e-04,8.859152e-04,8.724351e-04,8.595805e-04,8.473305e-04,8.356646e-04,8.245626e-04,8.140048e-04,8.039721e-04,7.944454e-04,7.854064e-04,7.768371e-04,7.687200e-04,7.610381e-04,7.537746e-04,7.469136e-04,7.404392e-04,7.343363e-04,7.285900e-04,7.231859e-04,7.181101e-04,7.133492e-04
0.000000e+00,4.097294e-13,9.475162e-11,1.027629e-10,2.879185e-09,3.049164e-08,3.324420e-08,2.278139e-07,9.939447e-07,1.082096e-06,3.900193e-06,1.049345e-05,1.135358e-05,2.794728e-05,5.605783e-05,6.021727e-05,1.165961e-04,1.939917e-04,2.069857e-04,3.421319e-04,5.024540e-04,5.329050e-04,7.895847e-04,1.062795e-03,1.121218e-03,1.535098e-03,1.939554e-03,2.036399e-03,2.627947e-03,3.166522e-03,3.310156e-03,4.081076e-03,4.741377e-03,4.936553e-03,5.870463e-03,6.627947e-03,6.875012e-03,7.941060e-03,8.763591e-03,9.058460e-03,1.021639e-02,1.106893e-02,1.140368e-02,1.260908e-02,1.345771e-02,1.382156e-02,1.503047e-02,1.584535e-02,1.622580e-02,1.739823e-02,1.815536e-02,1.853934e-02,1.964158e-02,2.032354e-02,2.069839e-02,2.170418e-02,2.230008e-02,2.265432e-02,2.354513e-02,2.404993e-02,2.437381e-02,2.513841e-02,2.555202e-02,2.583776e-02,2.647138e-02,2.679753e-02,2.703944e-02,2.754267e-02,2.778787e-02,2.798229e-02,2.835992e-02,2.853244e-02,2.867756e-02,2.893746e-02,2.904654e-02,2.914213e-02,2.929423e-02,2.934938e-02,2.939655e-02,2.945195e-02,2.946249e-02,2.946336e-02,2.943367e-02,2.940834e-02,2.936580e-02,2.926260e-02,2.920939e-02,2.912684e-02,2.896124e-02,2.888723e-02,2.876839e-02,2.855079e-02,2.846212e-02,2.831084e-02,2.805080e-02,2.795268e-02,2.777280e-02,2.747888e-02,2.737566e-02,2.717093e-02,2.685073e-02,2.674596e-02,2.651994e-02,2.618010e-02,2.607660e-02,2.583264e-02,2.547889e-02,2.537888e-02,2.512006e-02,2.475728e-02,2.466244e-02,2.439159e-02,2.402392e-02,2.393548e-02,2.365514e-02,2.328603e-02,2.320486e-02,2.291731e-02,2.254963e-02,2.247628e-02,2.218358e-02,2.181967e-02,2.175443e-02,2.145839e-02,2.110016e-02,2.104315e-02,2.074536e-02,2.039433e-02,2.034550e-02,2.004736e-02,1.970473e-02,1.966392e-02,1.936667e-02,1.903337e-02,1.900031e-02,1.870501e-02,1.838174e-02,1.835610e-02,1.806370e-02,1.775098e-02,1.773239e-02,1.744368e-02,1.714187e-02,1.712991e-02,1.684561e-02,1.655493e-02,1.654918e-02,1.626988e-02,1.599045e-02,1.545385e-02,1.493934e-02,1.444674e-02,1.397582e-02,1.352624e-02,1.309761e-02,1.268950e-02,1.230143e-02,1.193290e-02,1.158338e-02,1.125234e-02,1.093921e-02,1.064345e-02,1.036448e-02,1.010176e-02,9.854710e-03,9.622778e-03,9.405409e-03,9.202052e-03,9.012167e-03,8.835215e-03,8.670671e-03,8.518012e-03,8.376726e-03,8.246311e-03,8.126272e-03,8.016124e-03,7.915390e-03,7.823605e-03,7.740313e-03,7.665066e-03,7.597428e-03,7.536974e-03,7.483288e-03,7.435965e-03,7.394613e-03,7.358849e-03,7.328301e-03,7.302609e-03,7.281427e-03,7.264418e-03,7.251257e-03,7.241634e-03,7.235247e-03,7.231810e-03,7.231047e-03,7.232696e-03,7.236507e-03,7.242240e-03
0.000000e+00,4.716068e-13,1.008495e-10,1.092226e-10,2.894326e-09,2.977882e-08,3.243921e-08,2.182301e-07,9.323716e-07,1.013356e-06,3.523144e-06,9.045420e-06,9.741547e-06,2.248318e-05,4.221541e-05,4.500001e-05,8.043832e-05,1.243357e-04,1.313173e-04,1.991523e-04,2.713348e-04,2.842721e-04,3.858210e-04,4.824589e-04,5.019060e-04,6.298339e-04,7.413260e-04,7.663889e-04,9.081087e-04,1.022871e-03,1.051531e-03,1.193396e-03,1.301081e-03,1.330791e-03,1.461246e-03,1.554514e-03,1.582781e-03,1.693919e-03,1.768861e-03,1.793658e-03,1.881436e-03,1.937114e-03,1.957071e-03,2.020704e-03,2.058310e-03,2.072732e-03,2.113747e-03,2.135719e-03,2.144486e-03,2.165773e-03,2.175072e-03,2.178489e-03,2.183526e-03,2.183129e-03,2.181768e-03,2.174066e-03,2.166662e-03,2.161227e-03,2.143999e-03,2.131844e-03,2.123069e-03,2.099058e-03,2.083942e-03,2.072523e-03,2.043958e-03,2.027238e-03,2.013794e-03,1.982408e-03,1.965068e-03,1.950126e-03,1.917224e-03,1.899950e-03,1.883939e-03,1.850470e-03,1.833720e-03,1.816984e-03,1.783616e-03,1.767676e-03,1.750481e-03,1.717671e-03,1.702709e-03,1.685260e-03,1.653307e-03,1.639405e-03,1.621858e-03,1.590948e-03,1.578133e-03,1.560603e-03,1.530843e-03,1.519106e-03,1.501681e-03,1.473124e-03,1.462432e-03,1.445177e-03,1.417839e-03,1.408147e-03,1.391110e-03,1.364985e-03,1.356239e-03,1.339458e-03,1.314522e-03,1.306667e-03,1.290170e-03,1.266393e-03,1.259371e-03,1.243181e-03,1.220525e-03,1.214280e-03,1.198415e-03,1.176841e-03,1.171318e-03,1.155793e-03,1.135259e-03,1.130407e-03,1.115231e-03,1.095698e-03,1.091465e-03,1.076648e-03,1.058072e-03,1.054413e-03,1.039961e-03,1.022303e-03,1.019172e-03,1.005089e-03,9.883094e-04,9.856644e-04,9.719548e-04,9.560156e-04,9.538167e-04,9.404826e-04,9.253467e-04,9.235566e-04,9.105989e-04,8.962303e-04,8.948140e-04,8.822323e-04,8.685964e-04,8.675209e-04,8.553143e-04,8.423777e-04,8.416123e-04,8.297786e-04,8.175092e-04,8.170251e-04,8.055617e-04,7.939285e-04,7.936990e-04,7.826022e-04,7.715756e-04,7.505990e-04,7.307154e-04,7.118733e-04,6.940233e-04,6.771182e-04,6.611127e-04,6.459634e-04,6.316289e-04,6.180697e-04,6.052478e-04,5.931272e-04,5.816734e-04,5.708535e-04,5.606361e-04,5.509912e-04,5.418903e-04,5.333061e-04,5.252127e-04,5.175854e-04,5.104006e-04,5.036358e-04,4.972698e-04,4.912820e-04,4.856532e-04,4.803648e-04,4.753994e-04,4.707402e-04,4.663712e-04,4.622773e-04,4.584441e-04,4.548579e-04,4.515056e-04,4.483749e-04,4.454539e-04,4.427313e-04,4.401966e-04,4.378396e-04,4.356505e-04,4.336203e-04,4.317401e-04,4.300018e-04,4.283973e-04,4.269193e-04,4.255606e-04,4.243145e-04,4.231745e-04,4.221346e-04,4.211889e-04,4.203320e-04
0.000000e+00,5.473858e-09,6.955772e-08,7.251328e-08,4.242643e-07,1.424645e-06,1.485071e-06,3.423997e-06,5.635126e-06,5.777933e-06,8.093348e-06,1.006331e-05,1.022642e-05,1.215450e-05,1.371966e-05,1.388403e-05,1.542778e-05,1.664350e-05,1.679947e-05,1.801247e-05,1.893841e-05,1.907946e-05,2.001241e-05,2.070075e-05,2.082256e-05,2.152041e-05,2.201575e-05,2.211577e-05,2.261774e-05,2.295779e-05,2.303478e-05,2.337463e-05,2.359078e-05,2.364448e-05,2.385098e-05,2.396930e-05,2.400019e-05,2.409772e-05,2.413964e-05,2.414867e-05,2.415774e-05,2.414077e-05,2.412922e-05,2.406704e-05,2.400542e-05,2.397478e-05,2.385571e-05,2.376098e-05,2.371284e-05,2.354888e-05,2.343033e-05,2.336631e-05,2.316742e-05,2.303251e-05,2.295425e-05,2.272869e-05,2.258337e-05,2.249243e-05,2.224704e-05,2.209601e-05,2.199392e-05,2.173434e-05,2.158129e-05,2.146946e-05,2.120034e-05,2.104813e-05,2.092791e-05,2.065304e-05,2.050387e-05,2.037650e-05,2.009899e-05,1.995450e-05,1.982112e-05,1.954347e-05,1.940489e-05,1.926654e-05,1.899079e-05,1.885896e-05,1.871660e-05,1.844435e-05,1.831985e-05,1.817435e-05,1.790689e-05,1.779007e-05,1.764220e-05,1.738052e-05,1.727156e-05,1.712203e-05,1.686690e-05,1.676581e-05,1.661526e-05,1.636724e-05,1.627396e-05,1.612294e-05,1.588246e-05,1.579683e-05,1.564584e-05,1.541317e-05,1.533496e-05,1.518446e-05,1.495977e-05,1.488871e-05,1.473910e-05,1.452247e-05,1.445827e-05,1.430989e-05,1.410134e-05,1.404367e-05,1.389682e-05,1.369632e-05,1.364484e-05,1.349980e-05,1.330724e-05,1.326161e-05,1.311861e-05,1.293388e-05,1.289376e-05,1.275300e-05,1.257594e-05,1.254098e-05,1.240264e-05,1.223307e-05,1.220294e-05,1.206717e-05,1.190490e-05,1.187927e-05,1.174620e-05,1.159102e-05,1.156957e-05,1.143931e-05,1.129101e-05,1.127344e-05,1.114606e-05,1.100442e-05,1.099044e-05,1.086603e-05,1.073082e-05,1.072014e-05,1.059875e-05,1.046976e-05,1.046212e-05,1.034379e-05,1.022079e-05,1.021593e-05,1.010070e-05,9.983470e-06,9.981154e-06,9.869041e-06,9.757362e-06,9.544137e-06,9.341072e-06,9.147767e-06,8.963834e-06,8.788894e-06,8.622581e-06,8.464539e-06,8.314423e-06,8.171901e-06,8.036651e-06,7.908364e-06,7.786739e-06,7.671490e-06,7.562339e-06,7.459019e-06,7.361273e-06,7.268854e-06,7.181525e-06,7.099058e-06,7.021232e-06,6.947839e-06,6.878676e-06,6.813549e-06,6.752271e-06,6.694665e-06,6.640559e-06,6.589787e-06,6.542193e-06,6.497626e-06,6.455940e-06,6.416996e-06,6.380662e-06,6.346809e-06,6.315315e-06,6.286063e-06,6.258940e-06,6.233839e-06,6.210657e-06,6.189296e-06,6.169660e-06,6.151660e-06,6.135209e-06,6.120224e-06,6.106626e-06,6.094339e-06,6.083292e-06,6.073414e-06,6.064640e-06,6.056907e-06
0.000000e+00,1.785277e-09,2.774247e-08,2.901898e-08,1.849330e-07,6.090667e-07,6.337005e-07,1.383433e-06,2.187353e-06,2.238618e-06,3.070123e-06,3.786241e-06,3.846126e-06,4.562623e-06,5.158013e-06,5.221370e-06,5.825300e-06,6.313896e-06,6.377538e-06,6.881170e-06,7.277704e-06,7.339189e-06,7.754467e-06,8.072281e-06,8.129747e-06,8.467637e-06,8.718548e-06,8.770614e-06,9.041020e-06,9.235384e-06,9.281066e-06,9.492832e-06,9.639644e-06,9.678280e-06,9.839252e-06,9.946289e-06,9.977478e-06,1.009458e-05,1.016854e-05,1.019209e-05,1.027142e-05,1.031805e-05,1.033392e-05,1.038085e-05,1.040506e-05,1.041338e-05,1.043260e-05,1.043860e-05,1.043955e-05,1.043519e-05,1.042655e-05,1.042042e-05,1.039608e-05,1.037585e-05,1.036297e-05,1.032181e-05,1.029256e-05,1.027330e-05,1.021807e-05,1.018196e-05,1.015673e-05,1.008983e-05,1.004869e-05,1.001790e-05,9.941418e-06,9.896772e-06,9.860843e-06,9.776596e-06,9.729716e-06,9.689072e-06,9.598635e-06,9.550571e-06,9.505627e-06,9.410365e-06,9.361981e-06,9.313143e-06,9.214235e-06,9.166236e-06,9.113895e-06,9.012359e-06,8.965312e-06,8.909846e-06,8.806557e-06,8.760914e-06,8.702681e-06,8.598390e-06,8.554504e-06,8.493845e-06,8.389194e-06,8.347335e-06,8.284573e-06,8.180107e-06,8.140476e-06,8.075913e-06,7.972096e-06,7.934833e-06,7.868753e-06,7.765973e-06,7.731172e-06,7.663839e-06,7.562424e-06,7.530135e-06,7.461797e-06,7.362017e-06,7.332257e-06,7.263142e-06,7.165220e-06,7.137980e-06,7.068298e-06,6.972416e-06,6.947661e-06,6.877609e-06,6.783910e-06,6.761591e-06,6.691347e-06,6.599945e-06,6.579994e-06,6.509724e-06,6.420704e-06,6.403045e-06,6.332899e-06,6.246323e-06,6.230871e-06,6.160987e-06,6.076898e-06,6.063560e-06,5.994063e-06,5.912485e-06,5.901165e-06,5.832168e-06,5.753111e-06,5.743709e-06,5.675315e-06,5.598776e-06,5.591192e-06,5.523493e-06,5.449459e-06,5.443590e-06,5.376669e-06,5.305117e-06,5.300863e-06,5.234795e-06,5.165695e-06,5.162957e-06,5.097808e-06,5.031123e-06,5.029802e-06,4.965631e-06,4.901320e-06,4.777424e-06,4.658020e-06,4.543008e-06,4.432284e-06,4.325741e-06,4.223268e-06,4.124756e-06,4.030092e-06,3.939166e-06,3.851865e-06,3.768079e-06,3.687699e-06,3.610615e-06,3.536721e-06,3.465912e-06,3.398086e-06,3.333141e-06,3.270979e-06,3.211505e-06,3.154623e-06,3.100243e-06,3.048276e-06,2.998635e-06,2.951236e-06,2.905997e-06,2.862840e-06,2.821687e-06,2.782464e-06,2.745098e-06,2.709520e-06,2.675662e-06,2.643458e-06,2.612845e-06,2.583761e-06,2.556148e-06,2.529947e-06,2.505103e-06,2.481563e-06,2.459275e-06,2.438188e-06,2.418254e-06,2.399427e-06,2.381661e-06,2.364913e-06,2.349140e-06,2.334303e-06,2.320362e-06,2.307278e-06,2.295016e-06
0.000000e+00,4.955772e-12,9.938018e-10,1.074851e-09,2.645070e-08,2.507448e-07,2.721778e-07,1.674874e-06,6.601670e-06,7.139543e-06,2.292712e-05,5.498788e-05,5.888102e-05,1.267587e-04,2.241938e-04,2.374348e-04,3.983409e-04,5.836324e-04,6.120215e-04,8.759677e-04,1.138096e-03,1.183418e-03,1.524672e-03,1.829261e-03,1.888518e-03,2.263495e-03,2.571709e-03,2.638863e-03,3.005241e-03,3.286642e-03,3.354939e-03,3.682064e-03,3.918813e-03,3.982447e-03,4.253459e-03,4.438939e-03,4.493793e-03,4.703218e-03,4.838612e-03,4.882319e-03,5.032286e-03,5.123117e-03,5.154735e-03,5.251559e-03,5.305177e-03,5.324795e-03,5.376533e-03,5.400498e-03,5.408850e-03,5.423757e-03,5.424991e-03,5.423167e-03,5.408870e-03,5.393299e-03,5.382525e-03,5.345656e-03,5.318128e-03,5.299655e-03,5.245786e-03,5.210168e-03,5.185190e-03,5.118889e-03,5.078185e-03,5.047799e-03,4.972736e-03,4.929241e-03,4.894429e-03,4.813525e-03,4.768961e-03,4.730596e-03,4.646148e-03,4.601787e-03,4.560630e-03,4.474433e-03,4.431191e-03,4.387904e-03,4.301346e-03,4.259867e-03,4.215023e-03,4.129166e-03,4.089884e-03,4.043975e-03,3.959623e-03,3.922813e-03,3.876258e-03,3.794009e-03,3.759824e-03,3.712984e-03,3.633273e-03,3.601774e-03,3.554953e-03,3.478087e-03,3.449269e-03,3.402724e-03,3.328906e-03,3.302716e-03,3.256663e-03,3.186018e-03,3.162366e-03,3.116986e-03,3.049575e-03,3.028347e-03,2.983790e-03,2.919627e-03,2.900694e-03,2.857080e-03,2.796141e-03,2.779364e-03,2.736794e-03,2.679024e-03,2.664260e-03,2.622813e-03,2.568139e-03,2.555243e-03,2.514980e-03,2.463312e-03,2.452143e-03,2.413110e-03,2.364347e-03,2.354764e-03,2.316995e-03,2.271028e-03,2.262899e-03,2.226416e-03,2.183130e-03,2.176325e-03,2.141141e-03,2.100421e-03,2.094819e-03,2.060939e-03,2.022667e-03,2.018154e-03,1.985575e-03,1.949634e-03,1.946103e-03,1.914817e-03,1.881094e-03,1.878442e-03,1.848437e-03,1.816818e-03,1.814953e-03,1.786211e-03,1.756588e-03,1.755423e-03,1.727922e-03,1.700189e-03,1.699644e-03,1.673362e-03,1.647416e-03,1.598548e-03,1.552855e-03,1.510161e-03,1.470296e-03,1.433101e-03,1.398421e-03,1.366113e-03,1.336036e-03,1.308060e-03,1.282062e-03,1.257922e-03,1.235530e-03,1.214779e-03,1.195571e-03,1.177810e-03,1.161408e-03,1.146280e-03,1.132347e-03,1.119534e-03,1.107771e-03,1.096989e-03,1.087126e-03,1.078123e-03,1.069923e-03,1.062475e-03,1.055726e-03,1.049632e-03,1.044148e-03,1.039231e-03,1.034843e-03,1.030946e-03,1.027507e-03,1.024491e-03,1.021868e-03,1.019610e-03,1.017689e-03,1.016078e-03,1.014755e-03,1.013696e-03,1.012881e-03,1.012288e-03,1.011900e-03,1.011699e-03,1.011668e-03,1.011792e-03,1.012056e-03,1.012447e-03,1.012952e-03,1.013560e-03
0.000000e+00,5.840864e-09,1.371931e-07,1.442722e-07,1.079571e-06,3.614793e-06,3.754619e-06,7.643386e-06,1.141683e-05,1.165270e-05,1.545804e-05,1.873558e-05,1.901038e-05,2.231025e-05,2.507218e-05,2.536726e-05,2.819248e-05,3.049574e-05,3.079699e-05,3.319175e-05,3.509167e-05,3.538749e-05,3.739482e-05,3.894294e-05,3.922407e-05,4.088532e-05,4.212903e-05,4.238832e-05,4.374249e-05,4.472475e-05,4.495685e-05,4.604004e-05,4.679918e-05,4.700029e-05,4.784540e-05,4.841526e-05,4.858278e-05,4.921949e-05,4.962979e-05,4.976222e-05,5.021725e-05,5.049391e-05,5.059052e-05,5.088762e-05,5.105311e-05,5.111383e-05,5.127414e-05,5.134790e-05,5.137322e-05,5.141549e-05,5.141431e-05,5.140512e-05,5.134601e-05,5.128431e-05,5.124185e-05,5.109609e-05,5.098626e-05,5.091198e-05,5.069259e-05,5.054521e-05,5.044078e-05,5.015925e-05,4.998335e-05,4.985053e-05,4.951701e-05,4.932023e-05,4.916090e-05,4.878430e-05,4.857310e-05,4.838916e-05,4.797731e-05,4.775713e-05,4.755048e-05,4.711028e-05,4.688563e-05,4.665820e-05,4.619565e-05,4.597029e-05,4.572394e-05,4.524431e-05,4.502134e-05,4.475790e-05,4.426578e-05,4.404769e-05,4.376894e-05,4.326831e-05,4.305712e-05,4.276476e-05,4.225908e-05,4.205639e-05,4.175204e-05,4.124431e-05,4.105133e-05,4.073654e-05,4.022933e-05,4.004697e-05,3.972322e-05,3.921873e-05,3.904765e-05,3.871632e-05,3.821643e-05,3.805707e-05,3.771946e-05,3.722577e-05,3.707836e-05,3.673570e-05,3.624955e-05,3.611417e-05,3.576760e-05,3.529011e-05,3.516673e-05,3.481731e-05,3.434941e-05,3.423786e-05,3.388659e-05,3.342902e-05,3.332908e-05,3.297686e-05,3.253024e-05,3.244159e-05,3.208927e-05,3.165406e-05,3.157634e-05,3.122469e-05,3.080125e-05,3.073405e-05,3.038379e-05,2.997237e-05,2.991526e-05,2.956704e-05,2.916782e-05,2.912032e-05,2.877473e-05,2.838780e-05,2.834944e-05,2.800702e-05,2.763241e-05,2.760270e-05,2.726394e-05,2.690162e-05,2.688008e-05,2.654542e-05,2.619531e-05,2.618143e-05,2.585127e-05,2.551326e-05,2.550656e-05,2.518125e-05,2.485519e-05,2.422699e-05,2.362156e-05,2.303849e-05,2.247732e-05,2.193757e-05,2.141872e-05,2.092026e-05,2.044166e-05,1.998237e-05,1.954186e-05,1.911956e-05,1.871493e-05,1.832744e-05,1.795654e-05,1.760169e-05,1.726237e-05,1.693805e-05,1.662824e-05,1.633243e-05,1.605013e-05,1.578086e-05,1.552416e-05,1.527956e-05,1.504664e-05,1.482495e-05,1.461407e-05,1.441359e-05,1.422312e-05,1.404228e-05,1.387069e-05,1.370798e-05,1.355381e-05,1.340784e-05,1.326974e-05,1.313918e-05,1.301587e-05,1.289951e-05,1.278980e-05,1.268647e-05,1.258925e-05,1.249788e-05,1.241211e-05,1.233170e-05,1.225641e-05,1.218602e-05,1.212032e-05,1.205908e-05,1.200212e-05,1.194923e-05
0.000000e+00,2.329022e-09,1.371779e-07,1.455249e-07,1.666901e-06,8.999900e-06,9.548466e-06,3.256705e-05,7.037995e-05,7.317541e-05,1.225712e-04,1.684201e-04,1.723121e-04,2.191578e-04,2.582417e-04,2.624018e-04,3.020393e-04,3.340592e-04,3.382254e-04,3.711480e-04,3.969980e-04,4.009994e-04,4.279687e-04,4.485305e-04,4.522400e-04,4.739905e-04,4.900646e-04,4.933904e-04,5.106012e-04,5.228972e-04,5.257765e-04,5.390612e-04,5.481991e-04,5.505921e-04,5.604982e-04,5.670146e-04,5.689000e-04,5.759094e-04,5.802620e-04,5.816316e-04,5.861657e-04,5.887469e-04,5.896044e-04,5.920340e-04,5.931782e-04,5.935361e-04,5.941867e-04,5.941791e-04,5.940567e-04,5.932126e-04,5.922947e-04,5.917166e-04,5.896278e-04,5.880054e-04,5.870009e-04,5.838852e-04,5.817286e-04,5.803272e-04,5.763694e-04,5.738194e-04,5.720516e-04,5.674112e-04,5.645855e-04,5.624823e-04,5.572966e-04,5.542916e-04,5.518839e-04,5.462716e-04,5.431670e-04,5.404851e-04,5.345478e-04,5.314082e-04,5.284816e-04,5.223066e-04,5.191841e-04,5.160412e-04,5.097026e-04,5.066388e-04,5.033066e-04,4.968679e-04,4.938954e-04,4.903998e-04,4.839146e-04,4.810587e-04,4.774237e-04,4.709374e-04,4.682168e-04,4.644652e-04,4.580157e-04,4.554440e-04,4.515968e-04,4.452157e-04,4.428022e-04,4.388790e-04,4.325925e-04,4.303427e-04,4.263616e-04,4.201911e-04,4.181077e-04,4.140853e-04,4.080482e-04,4.061314e-04,4.020831e-04,3.961931e-04,3.944412e-04,3.903809e-04,3.846488e-04,3.830585e-04,3.789989e-04,3.734328e-04,3.719996e-04,3.679521e-04,3.625580e-04,3.612764e-04,3.572515e-04,3.520334e-04,3.508973e-04,3.469042e-04,3.418645e-04,3.408673e-04,3.369143e-04,3.320539e-04,3.311886e-04,3.272832e-04,3.226020e-04,3.218613e-04,3.180101e-04,3.135070e-04,3.128837e-04,3.090923e-04,3.047655e-04,3.042521e-04,3.005257e-04,2.963725e-04,2.959619e-04,2.923048e-04,2.883220e-04,2.880070e-04,2.844231e-04,2.806071e-04,2.803808e-04,2.768732e-04,2.732202e-04,2.730757e-04,2.696471e-04,2.661528e-04,2.660837e-04,2.627362e-04,2.593963e-04,2.530046e-04,2.468998e-04,2.410726e-04,2.355138e-04,2.302143e-04,2.251647e-04,2.203561e-04,2.157794e-04,2.114259e-04,2.072868e-04,2.033538e-04,1.996185e-04,1.960729e-04,1.927091e-04,1.895196e-04,1.864971e-04,1.836342e-04,1.809243e-04,1.783606e-04,1.759366e-04,1.736463e-04,1.714835e-04,1.694426e-04,1.675179e-04,1.657043e-04,1.639965e-04,1.623896e-04,1.608789e-04,1.594598e-04,1.581281e-04,1.568795e-04,1.557100e-04,1.546157e-04,1.535931e-04,1.526385e-04,1.517486e-04,1.509201e-04,1.501500e-04,1.494352e-04,1.487729e-04,1.481605e-04,1.475953e-04,1.470748e-04,1.465967e-04,1.461586e-04,1.457585e-04,1.453942e-04,1.450638e-04,1.447654e-04
0.000000e+00,4.677471e-10,3.623552e-08,3.858847e-08,5.150245e-07,3.180695e-06,3.394625e-06,1.357968e-05,3.441987e-05,3.613728e-05,6.966109e-05,1.042976e-04,1.073107e-04,1.436789e-04,1.734793e-04,1.765969e-04,2.056445e-04,2.281349e-04,2.309911e-04,2.529513e-04,2.693796e-04,2.718536e-04,2.880080e-04,2.996625e-04,3.016983e-04,3.131835e-04,3.211214e-04,3.226985e-04,3.304561e-04,3.355267e-04,3.366486e-04,3.414494e-04,3.443290e-04,3.450148e-04,3.474856e-04,3.487095e-04,3.489881e-04,3.496359e-04,3.496253e-04,3.495308e-04,3.487641e-04,3.478488e-04,3.474178e-04,3.455649e-04,3.440019e-04,3.432711e-04,3.405949e-04,3.385836e-04,3.375887e-04,3.342992e-04,3.319935e-04,3.307683e-04,3.270330e-04,3.245507e-04,3.231266e-04,3.190786e-04,3.165093e-04,3.149152e-04,3.106598e-04,3.080711e-04,3.063330e-04,3.019533e-04,2.993953e-04,2.975368e-04,2.930980e-04,2.906073e-04,2.886495e-04,2.842024e-04,2.818051e-04,2.797666e-04,2.753506e-04,2.730647e-04,2.709620e-04,2.666073e-04,2.644444e-04,2.622921e-04,2.580215e-04,2.559886e-04,2.537995e-04,2.496297e-04,2.477301e-04,2.455153e-04,2.414588e-04,2.396929e-04,2.374623e-04,2.335275e-04,2.318936e-04,2.296558e-04,2.258483e-04,2.243435e-04,2.221059e-04,2.184290e-04,2.170491e-04,2.148181e-04,2.112733e-04,2.100133e-04,2.077946e-04,2.043819e-04,2.032366e-04,2.010350e-04,1.977534e-04,1.967170e-04,1.945367e-04,1.913843e-04,1.904510e-04,1.882956e-04,1.852700e-04,1.844340e-04,1.823065e-04,1.794046e-04,1.786601e-04,1.765633e-04,1.737818e-04,1.731230e-04,1.710591e-04,1.683945e-04,1.678159e-04,1.657869e-04,1.632354e-04,1.627317e-04,1.607390e-04,1.582969e-04,1.578630e-04,1.559080e-04,1.535715e-04,1.532024e-04,1.512862e-04,1.490514e-04,1.487425e-04,1.468660e-04,1.447290e-04,1.444758e-04,1.426397e-04,1.405969e-04,1.403952e-04,1.385999e-04,1.366477e-04,1.364934e-04,1.347394e-04,1.328741e-04,1.327636e-04,1.310510e-04,1.292692e-04,1.291988e-04,1.275279e-04,1.258262e-04,1.257925e-04,1.241632e-04,1.225383e-04,1.194300e-04,1.164615e-04,1.136271e-04,1.109213e-04,1.083386e-04,1.058739e-04,1.035223e-04,1.012789e-04,9.913922e-05,9.709881e-05,9.515345e-05,9.329909e-05,9.153184e-05,8.984797e-05,8.824390e-05,8.671619e-05,8.526156e-05,8.387684e-05,8.255901e-05,8.130517e-05,8.011255e-05,7.897847e-05,7.790039e-05,7.687586e-05,7.590253e-05,7.497816e-05,7.410060e-05,7.326778e-05,7.247772e-05,7.172854e-05,7.101842e-05,7.034562e-05,6.970848e-05,6.910540e-05,6.853486e-05,6.799539e-05,6.748559e-05,6.700413e-05,6.654971e-05,6.612110e-05,6.571712e-05,6.533665e-05,6.497860e-05,6.464194e-05,6.432568e-05,6.402886e-05,6.375058e-05,6.348997e-05,6.324619e-05
0.000000e+00,2.437674e-12,5.246142e-10,5.684763e-10,1.566344e-08,1.674844e-07,1.826857e-07,1.257416e-06,5.406313e-06,5.875970e-06,2.033086e-05,5.165887e-05,5.557424e-05,1.263391e-04,2.336652e-04,2.486509e-04,4.368859e-04,6.654186e-04,7.014088e-04,1.047278e-03,1.409572e-03,1.474033e-03,1.976300e-03,2.449917e-03,2.544884e-03,3.168039e-03,3.710593e-03,3.832693e-03,4.525496e-03,5.091363e-03,5.233636e-03,5.945398e-03,6.496416e-03,6.650500e-03,7.340254e-03,7.849793e-03,8.007588e-03,8.646963e-03,9.099617e-03,9.254238e-03,9.826503e-03,1.021577e-02,1.036190e-02,1.085943e-02,1.118500e-02,1.131882e-02,1.174032e-02,1.200566e-02,1.212466e-02,1.247287e-02,1.268351e-02,1.278621e-02,1.306609e-02,1.322836e-02,1.331403e-02,1.353161e-02,1.365197e-02,1.372044e-02,1.388212e-02,1.396674e-02,1.401820e-02,1.413023e-02,1.418477e-02,1.421968e-02,1.428799e-02,1.431752e-02,1.433652e-02,1.436660e-02,1.437561e-02,1.437946e-02,1.437631e-02,1.436871e-02,1.435825e-02,1.432637e-02,1.430555e-02,1.428166e-02,1.422509e-02,1.419399e-02,1.415756e-02,1.407993e-02,1.404105e-02,1.399300e-02,1.389753e-02,1.385301e-02,1.379425e-02,1.368381e-02,1.363545e-02,1.356687e-02,1.344402e-02,1.339335e-02,1.331582e-02,1.318282e-02,1.313112e-02,1.304550e-02,1.290434e-02,1.285266e-02,1.275977e-02,1.261222e-02,1.256145e-02,1.246208e-02,1.230970e-02,1.226052e-02,1.215543e-02,1.199958e-02,1.195257e-02,1.184247e-02,1.168437e-02,1.163996e-02,1.152554e-02,1.136623e-02,1.132476e-02,1.120666e-02,1.104706e-02,1.100877e-02,1.088760e-02,1.072849e-02,1.069355e-02,1.056989e-02,1.041196e-02,1.038047e-02,1.025485e-02,1.009870e-02,1.007070e-02,9.943617e-03,9.789734e-03,9.765230e-03,9.637151e-03,9.485968e-03,9.464919e-03,9.336273e-03,9.188148e-03,9.170482e-03,9.041667e-03,8.896898e-03,8.882517e-03,8.753901e-03,8.612731e-03,8.601518e-03,8.473438e-03,8.336064e-03,8.327884e-03,8.200649e-03,8.067227e-03,8.061932e-03,7.935826e-03,7.806472e-03,7.803906e-03,7.679185e-03,7.553985e-03,7.312292e-03,7.078901e-03,6.853841e-03,6.637105e-03,6.428654e-03,6.228417e-03,6.036303e-03,5.852198e-03,5.675971e-03,5.507476e-03,5.346555e-03,5.193040e-03,5.046754e-03,4.907515e-03,4.775135e-03,4.649422e-03,4.530183e-03,4.417222e-03,4.310343e-03,4.209351e-03,4.114049e-03,4.024244e-03,3.939745e-03,3.860362e-03,3.785906e-03,3.716195e-03,3.651046e-03,3.590282e-03,3.533727e-03,3.481211e-03,3.432567e-03,3.387630e-03,3.346242e-03,3.308244e-03,3.273487e-03,3.241820e-03,3.213100e-03,3.187185e-03,3.163939e-03,3.143228e-03,3.124924e-03,3.108899e-03,3.095034e-03,3.083208e-03,3.073307e-03,3.065221e-03,3.058841e-03,3.054063e-03,3.050787e-03
0.000000e+00,2.546864e-10,2.889734e-08,3.094631e-08,5.007083e-07,3.438371e-06,3.684553e-06,1.641152e-05,4.703034e-05,4.980315e-05,1.113778e-04,1.895934e-04,1.970667e-04,2.948498e-04,3.838704e-04,3.935611e-04,4.866817e-04,5.618251e-04,5.715407e-04,6.475347e-04,7.059893e-04,7.149253e-04,7.742632e-04,8.183380e-04,8.261689e-04,8.712523e-04,9.035371e-04,9.100922e-04,9.432308e-04,9.659774e-04,9.711733e-04,9.943891e-04,1.009497e-03,1.013314e-03,1.028350e-03,1.037406e-03,1.039868e-03,1.048212e-03,1.052529e-03,1.053697e-03,1.056610e-03,1.057266e-03,1.057218e-03,1.055763e-03,1.053637e-03,1.052468e-03,1.047535e-03,1.043340e-03,1.041149e-03,1.033482e-03,1.027794e-03,1.024685e-03,1.014901e-03,1.008180e-03,1.004256e-03,9.928667e-04,9.854786e-04,9.808393e-04,9.682697e-04,9.605042e-04,9.552449e-04,9.418436e-04,9.339267e-04,9.281370e-04,9.141896e-04,9.062958e-04,9.000594e-04,8.857987e-04,8.780604e-04,8.714546e-04,8.570694e-04,8.495855e-04,8.426808e-04,8.283227e-04,8.211646e-04,8.140252e-04,7.998151e-04,7.930325e-04,7.857162e-04,7.717493e-04,7.653740e-04,7.579328e-04,7.442828e-04,7.383332e-04,7.308132e-04,7.175361e-04,7.120197e-04,7.044619e-04,6.915993e-04,6.865151e-04,6.789556e-04,6.665371e-04,6.618781e-04,6.543485e-04,6.423938e-04,6.381479e-04,6.306759e-04,6.191967e-04,6.153485e-04,6.079577e-04,5.969594e-04,5.934908e-04,5.862019e-04,5.756845e-04,5.725760e-04,5.654064e-04,5.553658e-04,5.525968e-04,5.455611e-04,5.359900e-04,5.335394e-04,5.266499e-04,5.175383e-04,5.153851e-04,5.086519e-04,4.999878e-04,4.981112e-04,4.915425e-04,4.833124e-04,4.816919e-04,4.752941e-04,4.674838e-04,4.660997e-04,4.598776e-04,4.524718e-04,4.513052e-04,4.452625e-04,4.382456e-04,4.372784e-04,4.314173e-04,4.247735e-04,4.239885e-04,4.183103e-04,4.120238e-04,4.114047e-04,4.059100e-04,3.999650e-04,3.994965e-04,3.941849e-04,3.885658e-04,3.882337e-04,3.831040e-04,3.777957e-04,3.775865e-04,3.726372e-04,3.676249e-04,3.675261e-04,3.627550e-04,3.580241e-04,3.490534e-04,3.405875e-04,3.326009e-04,3.250694e-04,3.179695e-04,3.112787e-04,3.049757e-04,2.990399e-04,2.934519e-04,2.881930e-04,2.832455e-04,2.785927e-04,2.742184e-04,2.701075e-04,2.662456e-04,2.626190e-04,2.592146e-04,2.560202e-04,2.530241e-04,2.502152e-04,2.475831e-04,2.451178e-04,2.428099e-04,2.406505e-04,2.386313e-04,2.367443e-04,2.349819e-04,2.333370e-04,2.318029e-04,2.303731e-04,2.290418e-04,2.278030e-04,2.266516e-04,2.255824e-04,2.245905e-04,2.236714e-04,2.228209e-04,2.220348e-04,2.213094e-04,2.206409e-04,2.200260e-04,2.194614e-04,2.189440e-04,2.184711e-04,2.180398e-04,2.176475e-04,2.172919e-04,2.169707e-04,2.166816e-04
0.000000e+00,5.522740e-13,1.320300e-10,1.434472e-10,4.511326e-09,5.310104e-08,5.809971e-08,4.228149e-07,1.858553e-06,2.021382e-06,7.015902e-06,1.774857e-05,1.908443e-05,4.313004e-05,7.947354e-05,8.454640e-05,1.483403e-04,2.260927e-04,2.383721e-04,3.568595e-04,4.818533e-04,5.041790e-04,6.789273e-04,8.448068e-04,8.781753e-04,1.097829e-03,1.289781e-03,1.333034e-03,1.578566e-03,1.778892e-03,1.829174e-03,2.079859e-03,2.272504e-03,2.326077e-03,2.563878e-03,2.736928e-03,2.789973e-03,3.001761e-03,3.148109e-03,3.197304e-03,3.375287e-03,3.492116e-03,3.534952e-03,3.676021e-03,3.763759e-03,3.798622e-03,3.903209e-03,3.964392e-03,3.990490e-03,4.061365e-03,4.099652e-03,4.116865e-03,4.158102e-03,4.177541e-03,4.186231e-03,4.202416e-03,4.206957e-03,4.207804e-03,4.203508e-03,4.196725e-03,4.190587e-03,4.170041e-03,4.155001e-03,4.142802e-03,4.109731e-03,4.088962e-03,4.071619e-03,4.029187e-03,4.004709e-03,3.983086e-03,3.933905e-03,3.907290e-03,3.882169e-03,3.828348e-03,3.800788e-03,3.772859e-03,3.716072e-03,3.688450e-03,3.658312e-03,3.599864e-03,3.572817e-03,3.540979e-03,3.481874e-03,3.455849e-03,3.422740e-03,3.363740e-03,3.339035e-03,3.305016e-03,3.246690e-03,3.223494e-03,3.188864e-03,3.131628e-03,3.110049e-03,3.075056e-03,3.019211e-03,2.999295e-03,2.964144e-03,2.909899e-03,2.891649e-03,2.856510e-03,2.804005e-03,2.787394e-03,2.752406e-03,2.701729e-03,2.686708e-03,2.651986e-03,2.603184e-03,2.589689e-03,2.555328e-03,2.508418e-03,2.496377e-03,2.462455e-03,2.417433e-03,2.406768e-03,2.373349e-03,2.330194e-03,2.320823e-03,2.287960e-03,2.246638e-03,2.238482e-03,2.206216e-03,2.166685e-03,2.159663e-03,2.128031e-03,2.090242e-03,2.084275e-03,2.053304e-03,2.017205e-03,2.012217e-03,1.981930e-03,1.947466e-03,1.943384e-03,1.913798e-03,1.880912e-03,1.877665e-03,1.848793e-03,1.817429e-03,1.814952e-03,1.786803e-03,1.756903e-03,1.755132e-03,1.727713e-03,1.699221e-03,1.698095e-03,1.671411e-03,1.644270e-03,1.643734e-03,1.617785e-03,1.591942e-03,1.542614e-03,1.495650e-03,1.450952e-03,1.408425e-03,1.367976e-03,1.329518e-03,1.292964e-03,1.258232e-03,1.225243e-03,1.193920e-03,1.164190e-03,1.135983e-03,1.109231e-03,1.083870e-03,1.059836e-03,1.037071e-03,1.015517e-03,9.951186e-04,9.758242e-04,9.575830e-04,9.403468e-04,9.240694e-04,9.087065e-04,8.942156e-04,8.805563e-04,8.676895e-04,8.555782e-04,8.441866e-04,8.334808e-04,8.234280e-04,8.139971e-04,8.051581e-04,7.968824e-04,7.891428e-04,7.819130e-04,7.751679e-04,7.688837e-04,7.630373e-04,7.576070e-04,7.525716e-04,7.479111e-04,7.436064e-04,7.396391e-04,7.359918e-04,7.326475e-04,7.295903e-04,7.268049e-04,7.242767e-04,7.219916e-04
0.000000e+00,1.430345e-09,7.825073e-08,8.294625e-08,9.311320e-07,5.009767e-06,5.315403e-06,1.825757e-05,3.997247e-05,4.159353e-05,7.037487e-05,9.705341e-05,9.930843e-05,1.262801e-04,1.484983e-04,1.508462e-04,1.730372e-04,1.907094e-04,1.929909e-04,2.108652e-04,2.246920e-04,2.268145e-04,2.409828e-04,2.516084e-04,2.535073e-04,2.645178e-04,2.725024e-04,2.741362e-04,2.824760e-04,2.882987e-04,2.896431e-04,2.957357e-04,2.998009e-04,3.008450e-04,3.050554e-04,3.077025e-04,3.084452e-04,3.110865e-04,3.125987e-04,3.130462e-04,3.143858e-04,3.149984e-04,3.151622e-04,3.154278e-04,3.153359e-04,3.152310e-04,3.146163e-04,3.139806e-04,3.136246e-04,3.122938e-04,3.112465e-04,3.106584e-04,3.087504e-04,3.073999e-04,3.065992e-04,3.042316e-04,3.026659e-04,3.016723e-04,2.989442e-04,2.972349e-04,2.960678e-04,2.930624e-04,2.912671e-04,2.899453e-04,2.867326e-04,2.848971e-04,2.834387e-04,2.800771e-04,2.782380e-04,2.766599e-04,2.731982e-04,2.713839e-04,2.697021e-04,2.661808e-04,2.644133e-04,2.626427e-04,2.590953e-04,2.573913e-04,2.555455e-04,2.519996e-04,2.503713e-04,2.484631e-04,2.449411e-04,2.433972e-04,2.414382e-04,2.379584e-04,2.365047e-04,2.345054e-04,2.310824e-04,2.297223e-04,2.276924e-04,2.243378e-04,2.230729e-04,2.210211e-04,2.177440e-04,2.165743e-04,2.145084e-04,2.113157e-04,2.102402e-04,2.081672e-04,2.050641e-04,2.040807e-04,2.020070e-04,1.989969e-04,1.981032e-04,1.960343e-04,1.931197e-04,1.923122e-04,1.902533e-04,1.874354e-04,1.867107e-04,1.846661e-04,1.819454e-04,1.812997e-04,1.792733e-04,1.766496e-04,1.760789e-04,1.740742e-04,1.715467e-04,1.710469e-04,1.690668e-04,1.666342e-04,1.662013e-04,1.642485e-04,1.619092e-04,1.615392e-04,1.596158e-04,1.573678e-04,1.570567e-04,1.551647e-04,1.530059e-04,1.527498e-04,1.508908e-04,1.488188e-04,1.486140e-04,1.467893e-04,1.448018e-04,1.446446e-04,1.428554e-04,1.409497e-04,1.408367e-04,1.390840e-04,1.372575e-04,1.371852e-04,1.354697e-04,1.337198e-04,1.336852e-04,1.320073e-04,1.303315e-04,1.271189e-04,1.240426e-04,1.210973e-04,1.182784e-04,1.155809e-04,1.130003e-04,1.105319e-04,1.081712e-04,1.059141e-04,1.037562e-04,1.016937e-04,9.972253e-05,9.783899e-05,9.603944e-05,9.432038e-05,9.267845e-05,9.111040e-05,8.961313e-05,8.818363e-05,8.681903e-05,8.551658e-05,8.427360e-05,8.308757e-05,8.195604e-05,8.087666e-05,7.984720e-05,7.886549e-05,7.792948e-05,7.703718e-05,7.618670e-05,7.537622e-05,7.460400e-05,7.386838e-05,7.316775e-05,7.250058e-05,7.186542e-05,7.126085e-05,7.068554e-05,7.013819e-05,6.961758e-05,6.912251e-05,6.865187e-05,6.820458e-05,6.777958e-05,6.737591e-05,6.699259e-05,6.662874e-05,6.628347e-05,6.595595e-05
0.000000e+00,8.218785e-09,2.586839e-07,2.731893e-07,2.443496e-06,9.110367e-06,9.493780e-06,2.045236e-05,3.133938e-05,3.202459e-05,4.315123e-05,5.285052e-05,5.366898e-05,6.356602e-05,7.195438e-05,7.285671e-05,8.156078e-05,8.875211e-05,8.969966e-05,9.729548e-05,1.034108e-04,1.043708e-04,1.109485e-04,1.161057e-04,1.170511e-04,1.227010e-04,1.270114e-04,1.279199e-04,1.327291e-04,1.362952e-04,1.371491e-04,1.411998e-04,1.441152e-04,1.449002e-04,1.482684e-04,1.506170e-04,1.513222e-04,1.540781e-04,1.559353e-04,1.565523e-04,1.587600e-04,1.601929e-04,1.607160e-04,1.624340e-04,1.635024e-04,1.639276e-04,1.652094e-04,1.659662e-04,1.662914e-04,1.671852e-04,1.676775e-04,1.679019e-04,1.684519e-04,1.687210e-04,1.688451e-04,1.690911e-04,1.691737e-04,1.691989e-04,1.691770e-04,1.691051e-04,1.690337e-04,1.687766e-04,1.685784e-04,1.684132e-04,1.679505e-04,1.676505e-04,1.673951e-04,1.667534e-04,1.663731e-04,1.660313e-04,1.652346e-04,1.647926e-04,1.643686e-04,1.634386e-04,1.629510e-04,1.624492e-04,1.614053e-04,1.608861e-04,1.603111e-04,1.591707e-04,1.586317e-04,1.579881e-04,1.567671e-04,1.562185e-04,1.555110e-04,1.542233e-04,1.536738e-04,1.529071e-04,1.515653e-04,1.510221e-04,1.502008e-04,1.488162e-04,1.482854e-04,1.474141e-04,1.459967e-04,1.454831e-04,1.445663e-04,1.431250e-04,1.426328e-04,1.416747e-04,1.402175e-04,1.397499e-04,1.387549e-04,1.372886e-04,1.368483e-04,1.358203e-04,1.343512e-04,1.339400e-04,1.328829e-04,1.314166e-04,1.310358e-04,1.299534e-04,1.284945e-04,1.281451e-04,1.270410e-04,1.255938e-04,1.252763e-04,1.241538e-04,1.227218e-04,1.224365e-04,1.212988e-04,1.198853e-04,1.196320e-04,1.184821e-04,1.170898e-04,1.168681e-04,1.157090e-04,1.143401e-04,1.141495e-04,1.129838e-04,1.116404e-04,1.114801e-04,1.103104e-04,1.089941e-04,1.088633e-04,1.076919e-04,1.064041e-04,1.063017e-04,1.051309e-04,1.038727e-04,1.037976e-04,1.026295e-04,1.014017e-04,1.013529e-04,1.001893e-04,9.899256e-05,9.896879e-05,9.781157e-05,9.664643e-05,9.438651e-05,9.218947e-05,9.005549e-05,8.798454e-05,8.597637e-05,8.403059e-05,8.214664e-05,8.032384e-05,7.856140e-05,7.685844e-05,7.521397e-05,7.362697e-05,7.209633e-05,7.062090e-05,6.919950e-05,6.783091e-05,6.651389e-05,6.524720e-05,6.402953e-05,6.285964e-05,6.173623e-05,6.065804e-05,5.962380e-05,5.863224e-05,5.768213e-05,5.677223e-05,5.590133e-05,5.506821e-05,5.427171e-05,5.351066e-05,5.278391e-05,5.209034e-05,5.142886e-05,5.079841e-05,5.019794e-05,4.962641e-05,4.908284e-05,4.856624e-05,4.807566e-05,4.761019e-05,4.716890e-05,4.675092e-05,4.635539e-05,4.598148e-05,4.562839e-05,4.529531e-05,4.498149e-05,4.468619e-05,4.440868e-05
0.000000e+00,8.675005e-13,2.054378e-10,2.230521e-10,6.692076e-09,7.514212e-08,8.207593e-08,5.776952e-07,2.500936e-06,2.718737e-06,9.430676e-06,2.408404e-05,2.592718e-05,5.967776e-05,1.122881e-04,1.197565e-04,2.158180e-04,3.373950e-04,3.569875e-04,5.508887e-04,7.640163e-04,8.029375e-04,1.115946e-03,1.426138e-03,1.490021e-03,1.922705e-03,2.318004e-03,2.409299e-03,2.943291e-03,3.399375e-03,3.516841e-03,4.121258e-03,4.608292e-03,4.747460e-03,5.386368e-03,5.875033e-03,6.029232e-03,6.667887e-03,7.133401e-03,7.294940e-03,7.903888e-03,8.327967e-03,8.489183e-03,9.046249e-03,9.417418e-03,9.571456e-03,1.006208e-02,1.037495e-02,1.051622e-02,1.093273e-02,1.118675e-02,1.131112e-02,1.165146e-02,1.184956e-02,1.195432e-02,1.222064e-02,1.236796e-02,1.245169e-02,1.264897e-02,1.275182e-02,1.281416e-02,1.294907e-02,1.301417e-02,1.305556e-02,1.313556e-02,1.316949e-02,1.319098e-02,1.322371e-02,1.323262e-02,1.323563e-02,1.322848e-02,1.321780e-02,1.320397e-02,1.316371e-02,1.313815e-02,1.310922e-02,1.304192e-02,1.300547e-02,1.296315e-02,1.287416e-02,1.283011e-02,1.277610e-02,1.267002e-02,1.262106e-02,1.255691e-02,1.243766e-02,1.238595e-02,1.231311e-02,1.218399e-02,1.213122e-02,1.205099e-02,1.191474e-02,1.186224e-02,1.177581e-02,1.163470e-02,1.158346e-02,1.149188e-02,1.134777e-02,1.129854e-02,1.120275e-02,1.105715e-02,1.101050e-02,1.091130e-02,1.076545e-02,1.072174e-02,1.061987e-02,1.047476e-02,1.043425e-02,1.033034e-02,1.018676e-02,1.014960e-02,1.004420e-02,9.902792e-03,9.869039e-03,9.762655e-03,9.623902e-03,9.593571e-03,9.486627e-03,9.350917e-03,9.323968e-03,9.216841e-03,9.084467e-03,9.060825e-03,8.953845e-03,8.825024e-03,8.804582e-03,8.698041e-03,8.572930e-03,8.555565e-03,8.449718e-03,8.328428e-03,8.314003e-03,8.209076e-03,8.091676e-03,8.080043e-03,7.976235e-03,7.862759e-03,7.853766e-03,7.751250e-03,7.641706e-03,7.635196e-03,7.534123e-03,7.428495e-03,7.424310e-03,7.324813e-03,7.223068e-03,7.221053e-03,7.123248e-03,7.025340e-03,6.837062e-03,6.656092e-03,6.482287e-03,6.315494e-03,6.155550e-03,6.002285e-03,5.855526e-03,5.715095e-03,5.580813e-03,5.452501e-03,5.329978e-03,5.213066e-03,5.101586e-03,4.995362e-03,4.894222e-03,4.797992e-03,4.706505e-03,4.619595e-03,4.537100e-03,4.458860e-03,4.384719e-03,4.314525e-03,4.248129e-03,4.185384e-03,4.126149e-03,4.070284e-03,4.017653e-03,3.968126e-03,3.921572e-03,3.877866e-03,3.836887e-03,3.798515e-03,3.762635e-03,3.729133e-03,3.697902e-03,3.668835e-03,3.641828e-03,3.616782e-03,3.593599e-03,3.572186e-03,3.552451e-03,3.534306e-03,3.517667e-03,3.502449e-03,3.488575e-03,3.475966e-03,3.464548e-03,3.454250e-03,3.445003e-03
0.000000e+00,5.444526e-13,1.261073e-10,1.368221e-10,3.910222e-09,4.139081e-08,4.509946e-08,3.001914e-07,1.251155e-06,1.357556e-06,4.601885e-06,1.162875e-05,1.251129e-05,2.866465e-05,5.384919e-05,5.742484e-05,1.034107e-04,1.615529e-04,1.709136e-04,2.633863e-04,3.646363e-04,3.830792e-04,5.308505e-04,6.763085e-04,7.061420e-04,9.070878e-04,1.088952e-03,1.130718e-03,1.373219e-03,1.577874e-03,1.630209e-03,1.897014e-03,2.108894e-03,2.168912e-03,2.441340e-03,2.646116e-03,2.710058e-03,2.971267e-03,3.157777e-03,3.221686e-03,3.458591e-03,3.619561e-03,3.679824e-03,3.883779e-03,4.015666e-03,4.069368e-03,4.235966e-03,4.338282e-03,4.383362e-03,4.511695e-03,4.586154e-03,4.621402e-03,4.713156e-03,4.762845e-03,4.787811e-03,4.846357e-03,4.875036e-03,4.889873e-03,4.919493e-03,4.931077e-03,4.936375e-03,4.941672e-03,4.939882e-03,4.936512e-03,4.921987e-03,4.910151e-03,4.899133e-03,4.868930e-03,4.849887e-03,4.832288e-03,4.790054e-03,4.766143e-03,4.743003e-03,4.691842e-03,4.664923e-03,4.637212e-03,4.579691e-03,4.551208e-03,4.519797e-03,4.457991e-03,4.429033e-03,4.394684e-03,4.330239e-03,4.301605e-03,4.264973e-03,4.199166e-03,4.171426e-03,4.133062e-03,4.066874e-03,4.040417e-03,4.000785e-03,3.934953e-03,3.910033e-03,3.869515e-03,3.804586e-03,3.781356e-03,3.740266e-03,3.676638e-03,3.655175e-03,3.613772e-03,3.551726e-03,3.532053e-03,3.490549e-03,3.430280e-03,3.412382e-03,3.370952e-03,3.312589e-03,3.296423e-03,3.255210e-03,3.198832e-03,3.184338e-03,3.143462e-03,3.089108e-03,3.076215e-03,3.035774e-03,2.983460e-03,2.972087e-03,2.932163e-03,2.881881e-03,2.871946e-03,2.832608e-03,2.784338e-03,2.775755e-03,2.737061e-03,2.690770e-03,2.683454e-03,2.645453e-03,2.601099e-03,2.594966e-03,2.557698e-03,2.515236e-03,2.510203e-03,2.473701e-03,2.433080e-03,2.429068e-03,2.393360e-03,2.354526e-03,2.351458e-03,2.316567e-03,2.279466e-03,2.277268e-03,2.243212e-03,2.207789e-03,2.206389e-03,2.173183e-03,2.139381e-03,2.138713e-03,2.106368e-03,2.074131e-03,2.012532e-03,1.953812e-03,1.897862e-03,1.844580e-03,1.793863e-03,1.745613e-03,1.699733e-03,1.656127e-03,1.614705e-03,1.575379e-03,1.538061e-03,1.502670e-03,1.469124e-03,1.437347e-03,1.407262e-03,1.378798e-03,1.351886e-03,1.326457e-03,1.302448e-03,1.279796e-03,1.258441e-03,1.238325e-03,1.219393e-03,1.201592e-03,1.184871e-03,1.169180e-03,1.154472e-03,1.140701e-03,1.127824e-03,1.115798e-03,1.104584e-03,1.094143e-03,1.084437e-03,1.075431e-03,1.067091e-03,1.059383e-03,1.052276e-03,1.045740e-03,1.039746e-03,1.034266e-03,1.029273e-03,1.024741e-03,1.020646e-03,1.016965e-03,1.013674e-03,1.010751e-03,1.008178e-03,1.005932e-03,1.003995e-03
0.000000e+00,5.090684e-09,2.359262e-07,2.501806e-07,2.736778e-06,1.274169e-05,1.341681e-05,3.759881e-05,6.910783e-05,7.123330e-05,1.066742e-04,1.380402e-04,1.406864e-04,1.725957e-04,1.994642e-04,2.023431e-04,2.299936e-04,2.526646e-04,2.556394e-04,2.793752e-04,2.983300e-04,3.012924e-04,3.214828e-04,3.371737e-04,3.400358e-04,3.570387e-04,3.698828e-04,3.725747e-04,3.867241e-04,3.970971e-04,3.995638e-04,4.111674e-04,4.194054e-04,4.216051e-04,4.309440e-04,4.373460e-04,4.392479e-04,4.465777e-04,4.514089e-04,4.529915e-04,4.585444e-04,4.620389e-04,4.632888e-04,4.672745e-04,4.696387e-04,4.705491e-04,4.731574e-04,4.745724e-04,4.751423e-04,4.765441e-04,4.771688e-04,4.774015e-04,4.777509e-04,4.777239e-04,4.776268e-04,4.770621e-04,4.765043e-04,4.760877e-04,4.747332e-04,4.737496e-04,4.730262e-04,4.709932e-04,4.696745e-04,4.686589e-04,4.660471e-04,4.644715e-04,4.631799e-04,4.600783e-04,4.583130e-04,4.567622e-04,4.532503e-04,4.513527e-04,4.495603e-04,4.457089e-04,4.437276e-04,4.417118e-04,4.375837e-04,4.355598e-04,4.333385e-04,4.289895e-04,4.269575e-04,4.245489e-04,4.200283e-04,4.180168e-04,4.154386e-04,4.107900e-04,4.088223e-04,4.060920e-04,4.013537e-04,3.994490e-04,3.965834e-04,3.917890e-04,3.899624e-04,3.869779e-04,3.821568e-04,3.804201e-04,3.773323e-04,3.725102e-04,3.708723e-04,3.676962e-04,3.628953e-04,3.613626e-04,3.581124e-04,3.533519e-04,3.519288e-04,3.486180e-04,3.439143e-04,3.426032e-04,3.392444e-04,3.346115e-04,3.334134e-04,3.300186e-04,3.254684e-04,3.243829e-04,3.209633e-04,3.165055e-04,3.155314e-04,3.120972e-04,3.077401e-04,3.068750e-04,3.034360e-04,2.991862e-04,2.984272e-04,2.949922e-04,2.908550e-04,2.901984e-04,2.867757e-04,2.827551e-04,2.821970e-04,2.787940e-04,2.748931e-04,2.744290e-04,2.710528e-04,2.672736e-04,2.668990e-04,2.635557e-04,2.598994e-04,2.596095e-04,2.563048e-04,2.527720e-04,2.525620e-04,2.493009e-04,2.458915e-04,2.457564e-04,2.425436e-04,2.392569e-04,2.391918e-04,2.360313e-04,2.328663e-04,2.267772e-04,2.209211e-04,2.152940e-04,2.098915e-04,2.047087e-04,1.997405e-04,1.949815e-04,1.904259e-04,1.860680e-04,1.819020e-04,1.779218e-04,1.741214e-04,1.704949e-04,1.670362e-04,1.637394e-04,1.605987e-04,1.576083e-04,1.547624e-04,1.520554e-04,1.494820e-04,1.470368e-04,1.447145e-04,1.425101e-04,1.404186e-04,1.384353e-04,1.365555e-04,1.347747e-04,1.330886e-04,1.314930e-04,1.299837e-04,1.285570e-04,1.272089e-04,1.259360e-04,1.247346e-04,1.236014e-04,1.225332e-04,1.215269e-04,1.205795e-04,1.196881e-04,1.188501e-04,1.180627e-04,1.173234e-04,1.166299e-04,1.159798e-04,1.153710e-04,1.148013e-04,1.142686e-04,1.137712e-04,1.133071e-04
0.000000e+00,4.701583e-10,3.953763e-08,4.211117e-08,5.404282e-07,3.151924e-06,3.357087e-06,1.292902e-05,3.240665e-05,3.402571e-05,6.621532e-05,1.003460e-04,1.033315e-04,1.391602e-04,1.677126e-04,1.706329e-04,1.970625e-04,2.163859e-04,2.187577e-04,2.362910e-04,2.484855e-04,2.502437e-04,2.611410e-04,2.682703e-04,2.694408e-04,2.755384e-04,2.791354e-04,2.797741e-04,2.824396e-04,2.836107e-04,2.837849e-04,2.840239e-04,2.835607e-04,2.833392e-04,2.818865e-04,2.803513e-04,2.797987e-04,2.771888e-04,2.749785e-04,2.741531e-04,2.707731e-04,2.681659e-04,2.671184e-04,2.632478e-04,2.604369e-04,2.592111e-04,2.550505e-04,2.521689e-04,2.508015e-04,2.464941e-04,2.436316e-04,2.421534e-04,2.378007e-04,2.350170e-04,2.334537e-04,2.291271e-04,2.264603e-04,2.248332e-04,2.205821e-04,2.180557e-04,2.163824e-04,2.122408e-04,2.098676e-04,2.081630e-04,2.041531e-04,2.019385e-04,2.002144e-04,1.963496e-04,1.942940e-04,1.925605e-04,1.888485e-04,1.869491e-04,1.852146e-04,1.816591e-04,1.799108e-04,1.781821e-04,1.747833e-04,1.731795e-04,1.714623e-04,1.682186e-04,1.667522e-04,1.650512e-04,1.619591e-04,1.606222e-04,1.589415e-04,1.559971e-04,1.547820e-04,1.531247e-04,1.503231e-04,1.492220e-04,1.475910e-04,1.449271e-04,1.439324e-04,1.423300e-04,1.397984e-04,1.389028e-04,1.373308e-04,1.349260e-04,1.341224e-04,1.325826e-04,1.302992e-04,1.295810e-04,1.280745e-04,1.259071e-04,1.252679e-04,1.237958e-04,1.217392e-04,1.211730e-04,1.197361e-04,1.177852e-04,1.172864e-04,1.158853e-04,1.140352e-04,1.135985e-04,1.122337e-04,1.104796e-04,1.100999e-04,1.087717e-04,1.071091e-04,1.067818e-04,1.054904e-04,1.039148e-04,1.036356e-04,1.023811e-04,1.008882e-04,1.006531e-04,9.943528e-05,9.802124e-05,9.782632e-05,9.664514e-05,9.530603e-05,9.514778e-05,9.400300e-05,9.273515e-05,9.261026e-05,9.150159e-05,9.030148e-05,9.020689e-05,8.913397e-05,8.799823e-05,8.793108e-05,8.689348e-05,8.581894e-05,8.577658e-05,8.477383e-05,8.375742e-05,8.373738e-05,8.276898e-05,8.180779e-05,7.998235e-05,7.825589e-05,7.662344e-05,7.508031e-05,7.362201e-05,7.224426e-05,7.094300e-05,6.971434e-05,6.855460e-05,6.746026e-05,6.642799e-05,6.545460e-05,6.453706e-05,6.367250e-05,6.285817e-05,6.209147e-05,6.136991e-05,6.069115e-05,6.005293e-05,5.945313e-05,5.888973e-05,5.836079e-05,5.786448e-05,5.739908e-05,5.696291e-05,5.655442e-05,5.617212e-05,5.581458e-05,5.548046e-05,5.516848e-05,5.487743e-05,5.460616e-05,5.435358e-05,5.411865e-05,5.390038e-05,5.369785e-05,5.351016e-05,5.333648e-05,5.317600e-05,5.302798e-05,5.289170e-05,5.276648e-05,5.265168e-05,5.254669e-05,5.245092e-05,5.236384e-05,5.228492e-05,5.221367e-05,5.214964e-05
0.000000e+00,5.858265e-12,1.159621e-09,1.254022e-09,3.097055e-08,3.000868e-07,3.261296e-07,2.076648e-06,8.471976e-06,9.181875e-06,3.047704e-05,7.491069e-05,8.036162e-05,1.763264e-04,3.155167e-04,3.344929e-04,5.655456e-04,8.318185e-04,8.725923e-04,1.251143e-03,1.625927e-03,1.690605e-03,2.176461e-03,2.608568e-03,2.692484e-03,3.222571e-03,3.657385e-03,3.752059e-03,4.268496e-03,4.665495e-03,4.761961e-03,5.225079e-03,5.561923e-03,5.652803e-03,6.042101e-03,6.311370e-03,6.391595e-03,6.701197e-03,6.905108e-03,6.971787e-03,7.204934e-03,7.350742e-03,7.402669e-03,7.567303e-03,7.664162e-03,7.701288e-03,7.807116e-03,7.864252e-03,7.887243e-03,7.944041e-03,7.969847e-03,7.979763e-03,7.996527e-03,7.998225e-03,7.996307e-03,7.980925e-03,7.964516e-03,7.952060e-03,7.911248e-03,7.881616e-03,7.859894e-03,7.799274e-03,7.760330e-03,7.730548e-03,7.654767e-03,7.609608e-03,7.572885e-03,7.485761e-03,7.436812e-03,7.394174e-03,7.298826e-03,7.247971e-03,7.200348e-03,7.099309e-03,7.047992e-03,6.996221e-03,6.891543e-03,6.840855e-03,6.785687e-03,6.679022e-03,6.629778e-03,6.571880e-03,6.464555e-03,6.417343e-03,6.357310e-03,6.250380e-03,6.205614e-03,6.143972e-03,6.038271e-03,5.996225e-03,5.933439e-03,5.829619e-03,5.790459e-03,5.726936e-03,5.625500e-03,5.589307e-03,5.525406e-03,5.426736e-03,5.393526e-03,5.329561e-03,5.233939e-03,5.203677e-03,5.139922e-03,5.047550e-03,5.020164e-03,4.956856e-03,4.867867e-03,4.843259e-03,4.780603e-03,4.695078e-03,4.673128e-03,4.611302e-03,4.529279e-03,4.509854e-03,4.449009e-03,4.370491e-03,4.353452e-03,4.293718e-03,4.218680e-03,4.203880e-03,4.145367e-03,4.073763e-03,4.061055e-03,4.003854e-03,3.935621e-03,3.924858e-03,3.869046e-03,3.804107e-03,3.795145e-03,3.740784e-03,3.679053e-03,3.671751e-03,3.618891e-03,3.560274e-03,3.554497e-03,3.503177e-03,3.447575e-03,3.443191e-03,3.393442e-03,3.340752e-03,3.337636e-03,3.289479e-03,3.239597e-03,3.237630e-03,3.191079e-03,3.143900e-03,3.142970e-03,3.098032e-03,3.053449e-03,2.968866e-03,2.889019e-03,2.813711e-03,2.742747e-03,2.675938e-03,2.613100e-03,2.554054e-03,2.498625e-03,2.446646e-03,2.397955e-03,2.352392e-03,2.309808e-03,2.270055e-03,2.232992e-03,2.198485e-03,2.166403e-03,2.136620e-03,2.109017e-03,2.083477e-03,2.059889e-03,2.038148e-03,2.018150e-03,1.999799e-03,1.983000e-03,1.967663e-03,1.953704e-03,1.941038e-03,1.929589e-03,1.919280e-03,1.910040e-03,1.901800e-03,1.894495e-03,1.888062e-03,1.882442e-03,1.877578e-03,1.873416e-03,1.869906e-03,1.866997e-03,1.864645e-03,1.862805e-03,1.861436e-03,1.860498e-03,1.859954e-03,1.859769e-03,1.859909e-03,1.860345e-03,1.861045e-03,1.861982e-03,1.863131e-03
0.000000e+00,7.934460e-10,7.397418e-09,7.661677e-09,3.367806e-08,9.634930e-08,1.000428e-07,2.243276e-07,3.947256e-07,4.070881e-07,6.311293e-07,8.525709e-07,8.719147e-07,1.109200e-06,1.310640e-06,1.332146e-06,1.536961e-06,1.701708e-06,1.723068e-06,1.891047e-06,2.021732e-06,2.041849e-06,2.176531e-06,2.277986e-06,2.296157e-06,2.401765e-06,2.478603e-06,2.494350e-06,2.574863e-06,2.631185e-06,2.644200e-06,2.703211e-06,2.742585e-06,2.752692e-06,2.793390e-06,2.818879e-06,2.826006e-06,2.851196e-06,2.865417e-06,2.869572e-06,2.881706e-06,2.886878e-06,2.888131e-06,2.889346e-06,2.887344e-06,2.885812e-06,2.877961e-06,2.870362e-06,2.866193e-06,2.850882e-06,2.839004e-06,2.832373e-06,2.810988e-06,2.795931e-06,2.787025e-06,2.760759e-06,2.743432e-06,2.732448e-06,2.702328e-06,2.683479e-06,2.670618e-06,2.637520e-06,2.617762e-06,2.603222e-06,2.567896e-06,2.547724e-06,2.531701e-06,2.494784e-06,2.474596e-06,2.457279e-06,2.419309e-06,2.399420e-06,2.380989e-06,2.342422e-06,2.323076e-06,2.303703e-06,2.264920e-06,2.246304e-06,2.226150e-06,2.187467e-06,2.169721e-06,2.148936e-06,2.110616e-06,2.093836e-06,2.072561e-06,2.034818e-06,2.019070e-06,1.997432e-06,1.960440e-06,1.945762e-06,1.923878e-06,1.887776e-06,1.874184e-06,1.852161e-06,1.817058e-06,1.804549e-06,1.782485e-06,1.748462e-06,1.737022e-06,1.715002e-06,1.682120e-06,1.671722e-06,1.649825e-06,1.618126e-06,1.608734e-06,1.587030e-06,1.556540e-06,1.548112e-06,1.526661e-06,1.497394e-06,1.489885e-06,1.468739e-06,1.440697e-06,1.434058e-06,1.413264e-06,1.386439e-06,1.380619e-06,1.360218e-06,1.334595e-06,1.329542e-06,1.309566e-06,1.285125e-06,1.280788e-06,1.261266e-06,1.237981e-06,1.234309e-06,1.215264e-06,1.193105e-06,1.190047e-06,1.171497e-06,1.150432e-06,1.147940e-06,1.129901e-06,1.109894e-06,1.107922e-06,1.090403e-06,1.071418e-06,1.069921e-06,1.052930e-06,1.034930e-06,1.033865e-06,1.017407e-06,1.000352e-06,9.996792e-07,9.837553e-07,9.676076e-07,9.672892e-07,9.518990e-07,9.366199e-07,9.075972e-07,8.801476e-07,8.541994e-07,8.296822e-07,8.065273e-07,7.846685e-07,7.640413e-07,7.445835e-07,7.262353e-07,7.089391e-07,6.926398e-07,6.772846e-07,6.628228e-07,6.492063e-07,6.363890e-07,6.243271e-07,6.129787e-07,6.023043e-07,5.922662e-07,5.828284e-07,5.739572e-07,5.656203e-07,5.577872e-07,5.504292e-07,5.435188e-07,5.370302e-07,5.309391e-07,5.252224e-07,5.198583e-07,5.148261e-07,5.101066e-07,5.056813e-07,5.015330e-07,4.976453e-07,4.940030e-07,4.905915e-07,4.873971e-07,4.844070e-07,4.816091e-07,4.789919e-07,4.765446e-07,4.742573e-07,4.721202e-07,4.701245e-07,4.682616e-07,4.665237e-07,4.649032e-07,4.633932e-07,4.619869e-07
0.000000e+00,2.415306e-11,4.603462e-09,4.984706e-09,1.352215e-07,1.359036e-06,1.475923e-06,8.695047e-06,3.007740e-05,3.218058e-05,8.394996e-05,1.618514e-04,1.699778e-04,2.875093e-04,4.132983e-04,4.281132e-04,5.820301e-04,7.218403e-04,7.409584e-04,8.989875e-04,1.031305e-03,1.052418e-03,1.199185e-03,1.316564e-03,1.338284e-03,1.469343e-03,1.570787e-03,1.592336e-03,1.707424e-03,1.793970e-03,1.814858e-03,1.914929e-03,1.988073e-03,2.007947e-03,2.094223e-03,2.155472e-03,2.174063e-03,2.247768e-03,2.298531e-03,2.315628e-03,2.377925e-03,2.419486e-03,2.434929e-03,2.486900e-03,2.520419e-03,2.534087e-03,2.576732e-03,2.603252e-03,2.615062e-03,2.649299e-03,2.669756e-03,2.679653e-03,2.706327e-03,2.721556e-03,2.729513e-03,2.749397e-03,2.760144e-03,2.766155e-03,2.779956e-03,2.786885e-03,2.790962e-03,2.799328e-03,2.803028e-03,2.805201e-03,2.808722e-03,2.809717e-03,2.810026e-03,2.809242e-03,2.807994e-03,2.806493e-03,2.801896e-03,2.798812e-03,2.795562e-03,2.787599e-03,2.783039e-03,2.778109e-03,2.767188e-03,2.761465e-03,2.754929e-03,2.741421e-03,2.734812e-03,2.726748e-03,2.710990e-03,2.703733e-03,2.694223e-03,2.676521e-03,2.668823e-03,2.657951e-03,2.638581e-03,2.630623e-03,2.618472e-03,2.597685e-03,2.589620e-03,2.576277e-03,2.554300e-03,2.546259e-03,2.531806e-03,2.508845e-03,2.500939e-03,2.485461e-03,2.461699e-03,2.454022e-03,2.437601e-03,2.413205e-03,2.405834e-03,2.388550e-03,2.363670e-03,2.356668e-03,2.338599e-03,2.313370e-03,2.306787e-03,2.288010e-03,2.262551e-03,2.256428e-03,2.237017e-03,2.211434e-03,2.205801e-03,2.185826e-03,2.160216e-03,2.155096e-03,2.134625e-03,2.109072e-03,2.104478e-03,2.083577e-03,2.058157e-03,2.054098e-03,2.032829e-03,2.007608e-03,2.004087e-03,1.982509e-03,1.957546e-03,1.954560e-03,1.932730e-03,1.908074e-03,1.905618e-03,1.883590e-03,1.859286e-03,1.857350e-03,1.835174e-03,1.811261e-03,1.809833e-03,1.787556e-03,1.764067e-03,1.763132e-03,1.740800e-03,1.717761e-03,1.717303e-03,1.694958e-03,1.672394e-03,1.628444e-03,1.585485e-03,1.543543e-03,1.502638e-03,1.462784e-03,1.423992e-03,1.386266e-03,1.349611e-03,1.314023e-03,1.279499e-03,1.246032e-03,1.213612e-03,1.182230e-03,1.151871e-03,1.122521e-03,1.094164e-03,1.066784e-03,1.040363e-03,1.014881e-03,9.903206e-04,9.666605e-04,9.438809e-04,9.219613e-04,9.008807e-04,8.806183e-04,8.611530e-04,8.424639e-04,8.245300e-04,8.073304e-04,7.908446e-04,7.750519e-04,7.599322e-04,7.454655e-04,7.316320e-04,7.184124e-04,7.057876e-04,6.937388e-04,6.822476e-04,6.712961e-04,6.608664e-04,6.509414e-04,6.415042e-04,6.325383e-04,6.240275e-04,6.159562e-04,6.083089e-04,6.010708e-04,5.942272e-04,5.877640e-04
0.000000e+00,2.253430e-10,2.735947e-09,2.851905e-09,1.673607e-08,5.735463e-08,5.987526e-08,1.461146e-07,2.575506e-07,2.651037e-07,3.896535e-07,4.947071e-07,5.032602e-07,6.020938e-07,6.787753e-07,6.866223e-07,7.582373e-07,8.117481e-07,8.184115e-07,8.685132e-07,9.044864e-07,9.097727e-07,9.432851e-07,9.661629e-07,9.700222e-07,9.908438e-07,1.004039e-06,1.006510e-06,1.017691e-06,1.023807e-06,1.024979e-06,1.028893e-06,1.029901e-06,1.029892e-06,1.028377e-06,1.025765e-06,1.024704e-06,1.019181e-06,1.014065e-06,1.012081e-06,1.003642e-06,9.968546e-07,9.940723e-07,9.835556e-07,9.757167e-07,9.722514e-07,9.602992e-07,9.518646e-07,9.478211e-07,9.349234e-07,9.262266e-07,9.216987e-07,9.082275e-07,8.995094e-07,8.945800e-07,8.808168e-07,8.722488e-07,8.669903e-07,8.531460e-07,8.448475e-07,8.393235e-07,8.255568e-07,8.176090e-07,8.118743e-07,7.983005e-07,7.907546e-07,7.848564e-07,7.715603e-07,7.644473e-07,7.584272e-07,7.454696e-07,7.388044e-07,7.326976e-07,7.201193e-07,7.139051e-07,7.077418e-07,6.955702e-07,6.898022e-07,6.836086e-07,6.718596e-07,6.665270e-07,6.603251e-07,6.490063e-07,6.440945e-07,6.379036e-07,6.270167e-07,6.225085e-07,6.163450e-07,6.058874e-07,6.017639e-07,5.956421e-07,5.856074e-07,5.818490e-07,5.757812e-07,5.661609e-07,5.627475e-07,5.567440e-07,5.475278e-07,5.444394e-07,5.385093e-07,5.296855e-07,5.269025e-07,5.210534e-07,5.126099e-07,5.101131e-07,5.043516e-07,4.962755e-07,4.940463e-07,4.883782e-07,4.806564e-07,4.786771e-07,4.731070e-07,4.657266e-07,4.639801e-07,4.585120e-07,4.514600e-07,4.499301e-07,4.445674e-07,4.378309e-07,4.365021e-07,4.312476e-07,4.248142e-07,4.236719e-07,4.185277e-07,4.123851e-07,4.114155e-07,4.063835e-07,4.005198e-07,3.997098e-07,3.947913e-07,3.891951e-07,3.885323e-07,3.837283e-07,3.783883e-07,3.778612e-07,3.731724e-07,3.680779e-07,3.676755e-07,3.631022e-07,3.582429e-07,3.579549e-07,3.534972e-07,3.488630e-07,3.486799e-07,3.443376e-07,3.399189e-07,3.398316e-07,3.356044e-07,3.313919e-07,3.233434e-07,3.156694e-07,3.083539e-07,3.013814e-07,2.947371e-07,2.884069e-07,2.823772e-07,2.766349e-07,2.711674e-07,2.659629e-07,2.610097e-07,2.562970e-07,2.518141e-07,2.475508e-07,2.434976e-07,2.396451e-07,2.359844e-07,2.325071e-07,2.292048e-07,2.260699e-07,2.230948e-07,2.202723e-07,2.175957e-07,2.150582e-07,2.126537e-07,2.103760e-07,2.082195e-07,2.061785e-07,2.042478e-07,2.024224e-07,2.006974e-07,1.990681e-07,1.975302e-07,1.960793e-07,1.947115e-07,1.934228e-07,1.922095e-07,1.910681e-07,1.899951e-07,1.889874e-07,1.880417e-07,1.871552e-07,1.863250e-07,1.855483e-07,1.848226e-07,1.841453e-07,1.835142e-07,1.829269e-07,1.823812e-07
0.000000e+00,3.555657e-09,1.993885e-07,2.108910e-07,2.000240e-06,9.362795e-06,9.895055e-06,3.252714e-05,7.457410e-05,7.799214e-05,1.456467e-04,2.189020e-04,2.254653e-04,3.073517e-04,3.786225e-04,3.863305e-04,4.608397e-04,5.224489e-04,5.305629e-04,5.955395e-04,6.477266e-04,6.559067e-04,7.118343e-04,7.555160e-04,7.635050e-04,8.111086e-04,8.472429e-04,8.548365e-04,8.948796e-04,9.243876e-04,9.314260e-04,9.646591e-04,9.883956e-04,9.947570e-04,1.021892e-03,1.040635e-03,1.046229e-03,1.067928e-03,1.082375e-03,1.087139e-03,1.104010e-03,1.114785e-03,1.118678e-03,1.131275e-03,1.138930e-03,1.141929e-03,1.150759e-03,1.155779e-03,1.157878e-03,1.163397e-03,1.166213e-03,1.167419e-03,1.170040e-03,1.171026e-03,1.171355e-03,1.171452e-03,1.170937e-03,1.170414e-03,1.168322e-03,1.166591e-03,1.165250e-03,1.161270e-03,1.158573e-03,1.156450e-03,1.150854e-03,1.147404e-03,1.144542e-03,1.137572e-03,1.133553e-03,1.129997e-03,1.121868e-03,1.117439e-03,1.113235e-03,1.104143e-03,1.099438e-03,1.094634e-03,1.084750e-03,1.079883e-03,1.074528e-03,1.064005e-03,1.059072e-03,1.053214e-03,1.042187e-03,1.037268e-03,1.030955e-03,1.019545e-03,1.014706e-03,1.007984e-03,9.962968e-04,9.915919e-04,9.845069e-04,9.726360e-04,9.681081e-04,9.607044e-04,9.487314e-04,9.444144e-04,9.367347e-04,9.247310e-04,9.206510e-04,9.127359e-04,9.007638e-04,8.969399e-04,8.888282e-04,8.769417e-04,8.733870e-04,8.651156e-04,8.533610e-04,8.500838e-04,8.416875e-04,8.301045e-04,8.271088e-04,8.186204e-04,8.072428e-04,8.045289e-04,7.959790e-04,7.848353e-04,7.824005e-04,7.738179e-04,7.629318e-04,7.607709e-04,7.521822e-04,7.415733e-04,7.396789e-04,7.311090e-04,7.207928e-04,7.191562e-04,7.106278e-04,7.006168e-04,6.992276e-04,6.907620e-04,6.810655e-04,6.799126e-04,6.715289e-04,6.621538e-04,6.612252e-04,6.529411e-04,6.438918e-04,6.431750e-04,6.350066e-04,6.262857e-04,6.257676e-04,6.177293e-04,6.093376e-04,6.090053e-04,6.011102e-04,5.930468e-04,5.928872e-04,5.851468e-04,5.774097e-04,5.625670e-04,5.483514e-04,5.347534e-04,5.217621e-04,5.093654e-04,4.975502e-04,4.863028e-04,4.756084e-04,4.654521e-04,4.558183e-04,4.466913e-04,4.380550e-04,4.298933e-04,4.221902e-04,4.149296e-04,4.080956e-04,4.016722e-04,3.956439e-04,3.899952e-04,3.847110e-04,3.797762e-04,3.751764e-04,3.708971e-04,3.669245e-04,3.632448e-04,3.598448e-04,3.567116e-04,3.538326e-04,3.511956e-04,3.487886e-04,3.466003e-04,3.446195e-04,3.428354e-04,3.412376e-04,3.398161e-04,3.385611e-04,3.374632e-04,3.365135e-04,3.357033e-04,3.350240e-04,3.344678e-04,3.340268e-04,3.336936e-04,3.334611e-04,3.333224e-04,3.332710e-04,3.333006e-04,3.334052e-04,3.335791e-04
0.000000e+00,2.628387e-11,3.963462e-09,4.262358e-09,8.046854e-08,6.221521e-07,6.703742e-07,3.514389e-06,1.228850e-05,1.319743e-05,3.800162e-05,8.286580e-05,8.800006e-05,1.704437e-04,2.729870e-04,2.858788e-04,4.280277e-04,5.671921e-04,5.867551e-04,7.515337e-04,8.914016e-04,9.136930e-04,1.067213e-03,1.186833e-03,1.208539e-03,1.336013e-03,1.429895e-03,1.449230e-03,1.548543e-03,1.618489e-03,1.634717e-03,1.708702e-03,1.758599e-03,1.771509e-03,1.824142e-03,1.857927e-03,1.867554e-03,1.902637e-03,1.923724e-03,1.930217e-03,1.951050e-03,1.962265e-03,1.965830e-03,1.975189e-03,1.978825e-03,1.979703e-03,1.979895e-03,1.977801e-03,1.976240e-03,1.969173e-03,1.962830e-03,1.959083e-03,1.946328e-03,1.936916e-03,1.931229e-03,1.914078e-03,1.902530e-03,1.895139e-03,1.874650e-03,1.861704e-03,1.852828e-03,1.829868e-03,1.816100e-03,1.805946e-03,1.781220e-03,1.767076e-03,1.755832e-03,1.729913e-03,1.715737e-03,1.703578e-03,1.676930e-03,1.662980e-03,1.650062e-03,1.623059e-03,1.609530e-03,1.595994e-03,1.568935e-03,1.555966e-03,1.541940e-03,1.515063e-03,1.502751e-03,1.488349e-03,1.461841e-03,1.450251e-03,1.435574e-03,1.409580e-03,1.398751e-03,1.383887e-03,1.358520e-03,1.348469e-03,1.333499e-03,1.308842e-03,1.299571e-03,1.284563e-03,1.260677e-03,1.252176e-03,1.237193e-03,1.214119e-03,1.206369e-03,1.191463e-03,1.169229e-03,1.162204e-03,1.147421e-03,1.126042e-03,1.119712e-03,1.105093e-03,1.084573e-03,1.078905e-03,1.064483e-03,1.044820e-03,1.039777e-03,1.025582e-03,1.006767e-03,1.002314e-03,9.883700e-04,9.703879e-04,9.664871e-04,9.528160e-04,9.356495e-04,9.322644e-04,9.188832e-04,9.025116e-04,8.996062e-04,8.865290e-04,8.709296e-04,8.684688e-04,8.557071e-04,8.408553e-04,8.388053e-04,8.263680e-04,8.122387e-04,8.105669e-04,7.984608e-04,7.850279e-04,7.837033e-04,7.719333e-04,7.591706e-04,7.581637e-04,7.467331e-04,7.346144e-04,7.338972e-04,7.228078e-04,7.113069e-04,7.108531e-04,7.001053e-04,6.891965e-04,6.889813e-04,6.785744e-04,6.682325e-04,6.485587e-04,6.299129e-04,6.122496e-04,5.955245e-04,5.796949e-04,5.647197e-04,5.505592e-04,5.371752e-04,5.245309e-04,5.125913e-04,5.013224e-04,4.906921e-04,4.806693e-04,4.712243e-04,4.623290e-04,4.539561e-04,4.460799e-04,4.386755e-04,4.317195e-04,4.251894e-04,4.190635e-04,4.133215e-04,4.079437e-04,4.029116e-04,3.982074e-04,3.938141e-04,3.897156e-04,3.858965e-04,3.823421e-04,3.790384e-04,3.759722e-04,3.731307e-04,3.705019e-04,3.680743e-04,3.658368e-04,3.637792e-04,3.618914e-04,3.601640e-04,3.585880e-04,3.571548e-04,3.558563e-04,3.546848e-04,3.536327e-04,3.526932e-04,3.518596e-04,3.511255e-04,3.504848e-04,3.499319e-04,3.494613e-04
0.000000e+00,1.113606e-12,2.322936e-10,2.512690e-10,6.089332e-09,5.670666e-08,6.154526e-08,3.865519e-07,1.621563e-06,1.762905e-06,6.287382e-06,1.694764e-05,1.834281e-05,4.530180e-05,9.080534e-05,9.750673e-05,1.874501e-04,3.083757e-04,3.284153e-04,5.329468e-04,7.677125e-04,8.114695e-04,1.171256e-03,1.538971e-03,1.615831e-03,2.144797e-03,2.638735e-03,2.754028e-03,3.436124e-03,4.027593e-03,4.181053e-03,4.976861e-03,5.624476e-03,5.810399e-03,6.668012e-03,7.327533e-03,7.536131e-03,8.401775e-03,9.033652e-03,9.252936e-03,1.007886e-02,1.065260e-02,1.087022e-02,1.161923e-02,1.211492e-02,1.231961e-02,1.296660e-02,1.337428e-02,1.355683e-02,1.408822e-02,1.440620e-02,1.455983e-02,1.497176e-02,1.520446e-02,1.532492e-02,1.562095e-02,1.577673e-02,1.586203e-02,1.605081e-02,1.614018e-02,1.619023e-02,1.628346e-02,1.631767e-02,1.633381e-02,1.634462e-02,1.633466e-02,1.631925e-02,1.626100e-02,1.621699e-02,1.617304e-02,1.605845e-02,1.598932e-02,1.592016e-02,1.576090e-02,1.567423e-02,1.558327e-02,1.538967e-02,1.529172e-02,1.518231e-02,1.496325e-02,1.485907e-02,1.473436e-02,1.449736e-02,1.439092e-02,1.425381e-02,1.400511e-02,1.389944e-02,1.375254e-02,1.349725e-02,1.339460e-02,1.324025e-02,1.298246e-02,1.288447e-02,1.272470e-02,1.246769e-02,1.237548e-02,1.221207e-02,1.195839e-02,1.187267e-02,1.170715e-02,1.145878e-02,1.137997e-02,1.121365e-02,1.097209e-02,1.090036e-02,1.073436e-02,1.050071e-02,1.043605e-02,1.027134e-02,1.004639e-02,9.988652e-03,9.826020e-03,9.610325e-03,9.559264e-03,9.399390e-03,9.193278e-03,9.148586e-03,8.992033e-03,8.795682e-03,8.757001e-03,8.604236e-03,8.417695e-03,8.384637e-03,8.236044e-03,8.059261e-03,8.031425e-03,7.887312e-03,7.720157e-03,7.697136e-03,7.557749e-03,7.400032e-03,7.381419e-03,7.246949e-03,7.098435e-03,7.083832e-03,6.954422e-03,6.814840e-03,6.803863e-03,6.679614e-03,6.548669e-03,6.540947e-03,6.421925e-03,6.299304e-03,6.294484e-03,6.180724e-03,6.066103e-03,6.063851e-03,5.955360e-03,5.848410e-03,5.647519e-03,5.460533e-03,5.286816e-03,5.125742e-03,4.976695e-03,4.839077e-03,4.712303e-03,4.595809e-03,4.489047e-03,4.391489e-03,4.302625e-03,4.221967e-03,4.149044e-03,4.083404e-03,4.024615e-03,3.972260e-03,3.925941e-03,3.885277e-03,3.849903e-03,3.819469e-03,3.793642e-03,3.772102e-03,3.754543e-03,3.740674e-03,3.730216e-03,3.722902e-03,3.718480e-03,3.716708e-03,3.717354e-03,3.720200e-03,3.725036e-03,3.731666e-03,3.739901e-03,3.749562e-03,3.760482e-03,3.772501e-03,3.785470e-03,3.799246e-03,3.813698e-03,3.828701e-03,3.844139e-03,3.859903e-03,3.875894e-03,3.892017e-03,3.908188e-03,3.924326e-03,3.940359e-03,3.956223e-03,3.971856e-03
0.000000e+00,8.026900e-09,1.317103e-07,1.379270e-07,9.442378e-07,3.337963e-06,3.481291e-06,7.896451e-06,1.265793e-05,1.296315e-05,1.795854e-05,2.234274e-05,2.271327e-05,2.719778e-05,3.100285e-05,3.141233e-05,3.536393e-05,3.863061e-05,3.906114e-05,4.251294e-05,4.529211e-05,4.572839e-05,4.871668e-05,5.105810e-05,5.148711e-05,5.404901e-05,5.600064e-05,5.641162e-05,5.858413e-05,6.019133e-05,6.057557e-05,6.239480e-05,6.369981e-05,6.405044e-05,6.555087e-05,6.659232e-05,6.690409e-05,6.811798e-05,6.893096e-05,6.920001e-05,7.015737e-05,7.077335e-05,7.099694e-05,7.172532e-05,7.217242e-05,7.234882e-05,7.287349e-05,7.317674e-05,7.330506e-05,7.364904e-05,7.383064e-05,7.391067e-05,7.409495e-05,7.417451e-05,7.420665e-05,7.425030e-05,7.424510e-05,7.423023e-05,7.415054e-05,7.407575e-05,7.401515e-05,7.382779e-05,7.369671e-05,7.359199e-05,7.331112e-05,7.313534e-05,7.298837e-05,7.262677e-05,7.241638e-05,7.222921e-05,7.179842e-05,7.156215e-05,7.133700e-05,7.084740e-05,7.059277e-05,7.033197e-05,6.979290e-05,6.952637e-05,6.923229e-05,6.865212e-05,6.837920e-05,6.805427e-05,6.744051e-05,6.716585e-05,6.681251e-05,6.617187e-05,6.589939e-05,6.552007e-05,6.485853e-05,6.459148e-05,6.418858e-05,6.351147e-05,6.325254e-05,6.282839e-05,6.214045e-05,6.189181e-05,6.144871e-05,6.075413e-05,6.051750e-05,6.005766e-05,5.936016e-05,5.913687e-05,5.866243e-05,5.796526e-05,5.775632e-05,5.726934e-05,5.657535e-05,5.638146e-05,5.588391e-05,5.519560e-05,5.501722e-05,5.451096e-05,5.383050e-05,5.366786e-05,5.315468e-05,5.248394e-05,5.233710e-05,5.181867e-05,5.115926e-05,5.102810e-05,5.050603e-05,4.985930e-05,4.974360e-05,4.921936e-05,4.858647e-05,4.848588e-05,4.796087e-05,4.734278e-05,4.725685e-05,4.673239e-05,4.612987e-05,4.605811e-05,4.553539e-05,4.494908e-05,4.489090e-05,4.437107e-05,4.380146e-05,4.375625e-05,4.324034e-05,4.268779e-05,4.265491e-05,4.214387e-05,4.160865e-05,4.158742e-05,4.108214e-05,4.056439e-05,4.055413e-05,4.005542e-05,3.955522e-05,3.859074e-05,3.766057e-05,3.676450e-05,3.590221e-05,3.507330e-05,3.427730e-05,3.351364e-05,3.278173e-05,3.208093e-05,3.141055e-05,3.076986e-05,3.015812e-05,2.957457e-05,2.901843e-05,2.848890e-05,2.798519e-05,2.750650e-05,2.705203e-05,2.662098e-05,2.621256e-05,2.582598e-05,2.546046e-05,2.511524e-05,2.478956e-05,2.448268e-05,2.419387e-05,2.392242e-05,2.366763e-05,2.342881e-05,2.320530e-05,2.299644e-05,2.280162e-05,2.262020e-05,2.245159e-05,2.229521e-05,2.215050e-05,2.201690e-05,2.189388e-05,2.178094e-05,2.167756e-05,2.158328e-05,2.149762e-05,2.142014e-05,2.135041e-05,2.128800e-05,2.123251e-05,2.118356e-05,2.114077e-05,2.110379e-05
0.000000e+00,3.577073e-09,6.869143e-08,7.206613e-08,5.067122e-07,1.713691e-06,1.782951e-06,3.818921e-06,5.906386e-06,6.038498e-06,8.186773e-06,1.005985e-05,1.021784e-05,1.212734e-05,1.374429e-05,1.391814e-05,1.559454e-05,1.697879e-05,1.716113e-05,1.862259e-05,1.979892e-05,1.998359e-05,2.124874e-05,2.224073e-05,2.242260e-05,2.350959e-05,2.433913e-05,2.451402e-05,2.544004e-05,2.612710e-05,2.629165e-05,2.707268e-05,2.763527e-05,2.778682e-05,2.843758e-05,2.889186e-05,2.902834e-05,2.956231e-05,2.992269e-05,3.004256e-05,3.047204e-05,3.075140e-05,3.085354e-05,3.118975e-05,3.139951e-05,3.148320e-05,3.173630e-05,3.188655e-05,3.195137e-05,3.213059e-05,3.223027e-05,3.227607e-05,3.238978e-05,3.244676e-05,3.247362e-05,3.252938e-05,3.255060e-05,3.255877e-05,3.256343e-05,3.255499e-05,3.254489e-05,3.250463e-05,3.247187e-05,3.244403e-05,3.236442e-05,3.231201e-05,3.226706e-05,3.215315e-05,3.208515e-05,3.202381e-05,3.188012e-05,3.180007e-05,3.172310e-05,3.155372e-05,3.146468e-05,3.137289e-05,3.118148e-05,3.108609e-05,3.098032e-05,3.077018e-05,3.067071e-05,3.055181e-05,3.032590e-05,3.022428e-05,3.009311e-05,2.985407e-05,2.975196e-05,2.960938e-05,2.935959e-05,2.925837e-05,2.910523e-05,2.884680e-05,2.874763e-05,2.858478e-05,2.831960e-05,2.822345e-05,2.805169e-05,2.778144e-05,2.768910e-05,2.750924e-05,2.723542e-05,2.714751e-05,2.696032e-05,2.668425e-05,2.660129e-05,2.640751e-05,2.613037e-05,2.605273e-05,2.585309e-05,2.557590e-05,2.550388e-05,2.529904e-05,2.502273e-05,2.495651e-05,2.474715e-05,2.447249e-05,2.441221e-05,2.419894e-05,2.392665e-05,2.387235e-05,2.365577e-05,2.338644e-05,2.333813e-05,2.311879e-05,2.285295e-05,2.281059e-05,2.258902e-05,2.232711e-05,2.229061e-05,2.206732e-05,2.180973e-05,2.177897e-05,2.155442e-05,2.130146e-05,2.127630e-05,2.105093e-05,2.080289e-05,2.078316e-05,2.055739e-05,2.031447e-05,2.029998e-05,2.007419e-05,1.983659e-05,1.982714e-05,1.960169e-05,1.936954e-05,1.936492e-05,1.914015e-05,1.891355e-05,1.847319e-05,1.804394e-05,1.762588e-05,1.721902e-05,1.682335e-05,1.643882e-05,1.606536e-05,1.570286e-05,1.535121e-05,1.501025e-05,1.467985e-05,1.435982e-05,1.404998e-05,1.375015e-05,1.346013e-05,1.317971e-05,1.290868e-05,1.264682e-05,1.239394e-05,1.214979e-05,1.191417e-05,1.168686e-05,1.146764e-05,1.125629e-05,1.105260e-05,1.085635e-05,1.066734e-05,1.048535e-05,1.031018e-05,1.014163e-05,9.979500e-06,9.823594e-06,9.673724e-06,9.529703e-06,9.391348e-06,9.258482e-06,9.130929e-06,9.008520e-06,8.891088e-06,8.778472e-06,8.670513e-06,8.567058e-06,8.467958e-06,8.373066e-06,8.282241e-06,8.195345e-06,8.112245e-06,8.032810e-06,7.956914e-06
0.000000e+00,6.579488e-09,1.896038e-07,2.000685e-07,1.762659e-06,6.704921e-06,6.995721e-06,1.549475e-05,2.413491e-05,2.468325e-05,3.366153e-05,4.160920e-05,4.228541e-05,5.053647e-05,5.764580e-05,5.841742e-05,6.593491e-05,7.225578e-05,7.309668e-05,7.991108e-05,8.550042e-05,8.638702e-05,9.253393e-05,9.745022e-05,9.836161e-05,1.038802e-04,1.081819e-04,1.090998e-04,1.140308e-04,1.177746e-04,1.186834e-04,1.230675e-04,1.263072e-04,1.271932e-04,1.310701e-04,1.338559e-04,1.347076e-04,1.381149e-04,1.404934e-04,1.413010e-04,1.442746e-04,1.462888e-04,1.470441e-04,1.496177e-04,1.513069e-04,1.520033e-04,1.542085e-04,1.556088e-04,1.562408e-04,1.581072e-04,1.592516e-04,1.598147e-04,1.613700e-04,1.622885e-04,1.627795e-04,1.640495e-04,1.647695e-04,1.651860e-04,1.661947e-04,1.667409e-04,1.670813e-04,1.678511e-04,1.682462e-04,1.685094e-04,1.690612e-04,1.693255e-04,1.695113e-04,1.698644e-04,1.700163e-04,1.701249e-04,1.702973e-04,1.703534e-04,1.703856e-04,1.703939e-04,1.703692e-04,1.703260e-04,1.701857e-04,1.700937e-04,1.699765e-04,1.697019e-04,1.695546e-04,1.693653e-04,1.689697e-04,1.687777e-04,1.685182e-04,1.680139e-04,1.677870e-04,1.674596e-04,1.668579e-04,1.666045e-04,1.662115e-04,1.655229e-04,1.652507e-04,1.647946e-04,1.640288e-04,1.637444e-04,1.632279e-04,1.623938e-04,1.621031e-04,1.615288e-04,1.606348e-04,1.603429e-04,1.597137e-04,1.587673e-04,1.584787e-04,1.577973e-04,1.568055e-04,1.565241e-04,1.557934e-04,1.547626e-04,1.544917e-04,1.537145e-04,1.526506e-04,1.523931e-04,1.515722e-04,1.504807e-04,1.502389e-04,1.493772e-04,1.482630e-04,1.480390e-04,1.471392e-04,1.460068e-04,1.458022e-04,1.448670e-04,1.437207e-04,1.435368e-04,1.425689e-04,1.414125e-04,1.412502e-04,1.402523e-04,1.390891e-04,1.389494e-04,1.379239e-04,1.367572e-04,1.366405e-04,1.355899e-04,1.344227e-04,1.343293e-04,1.332560e-04,1.320907e-04,1.320209e-04,1.309273e-04,1.297663e-04,1.297199e-04,1.286082e-04,1.274537e-04,1.274306e-04,1.263031e-04,1.251569e-04,1.229022e-04,1.206695e-04,1.184617e-04,1.162811e-04,1.141300e-04,1.120103e-04,1.099236e-04,1.078714e-04,1.058550e-04,1.038755e-04,1.019338e-04,1.000306e-04,9.816658e-05,9.634214e-05,9.455768e-05,9.281344e-05,9.110958e-05,8.944616e-05,8.782314e-05,8.624042e-05,8.469785e-05,8.319516e-05,8.173210e-05,8.030832e-05,7.892344e-05,7.757703e-05,7.626865e-05,7.499780e-05,7.376397e-05,7.256662e-05,7.140519e-05,7.027909e-05,6.918773e-05,6.813052e-05,6.710680e-05,6.611596e-05,6.515737e-05,6.423038e-05,6.333434e-05,6.246860e-05,6.163253e-05,6.082548e-05,6.004679e-05,5.929584e-05,5.857197e-05,5.787456e-05,5.720296e-05,5.655656e-05,5.593473e-05
0.000000e+00,1.071730e-08,2.589392e-07,2.723467e-07,1.961889e-06,5.628232e-06,5.803635e-06,1.027455e-05,1.437788e-05,1.463345e-05,1.877052e-05,2.237091e-05,2.267473e-05,2.634923e-05,2.946397e-05,2.979897e-05,3.302917e-05,3.569455e-05,3.604540e-05,3.885390e-05,4.110841e-05,4.146170e-05,4.387641e-05,4.576132e-05,4.610595e-05,4.815867e-05,4.971591e-05,5.004306e-05,5.176753e-05,5.303757e-05,5.334041e-05,5.476979e-05,5.579016e-05,5.606354e-05,5.722924e-05,5.803402e-05,5.827417e-05,5.920529e-05,5.982499e-05,6.002928e-05,6.075250e-05,6.121422e-05,6.138099e-05,6.192052e-05,6.224821e-05,6.237657e-05,6.275436e-05,6.296907e-05,6.305881e-05,6.329462e-05,6.341483e-05,6.346624e-05,6.357788e-05,6.361971e-05,6.363353e-05,6.363697e-05,6.361447e-05,6.359178e-05,6.350135e-05,6.342670e-05,6.336886e-05,6.319735e-05,6.308113e-05,6.298968e-05,6.274854e-05,6.259984e-05,6.247649e-05,6.217592e-05,6.200257e-05,6.184912e-05,6.149823e-05,6.130691e-05,6.112525e-05,6.073211e-05,6.052853e-05,6.032057e-05,5.989234e-05,5.968134e-05,5.944901e-05,5.899206e-05,5.877769e-05,5.852291e-05,5.804287e-05,5.782853e-05,5.755319e-05,5.705502e-05,5.684353e-05,5.654947e-05,5.603756e-05,5.583123e-05,5.552025e-05,5.499844e-05,5.479915e-05,5.447298e-05,5.394465e-05,5.375390e-05,5.341419e-05,5.288230e-05,5.270124e-05,5.234960e-05,5.181671e-05,5.164623e-05,5.128417e-05,5.075252e-05,5.059326e-05,5.022222e-05,4.969374e-05,4.954615e-05,4.916748e-05,4.864384e-05,4.850816e-05,4.812316e-05,4.760577e-05,4.748213e-05,4.709199e-05,4.658208e-05,4.647045e-05,4.607630e-05,4.557489e-05,4.547515e-05,4.507805e-05,4.458598e-05,4.449793e-05,4.409885e-05,4.361683e-05,4.354019e-05,4.314006e-05,4.266866e-05,4.260310e-05,4.220275e-05,4.174244e-05,4.168758e-05,4.128779e-05,4.083891e-05,4.079434e-05,4.039584e-05,3.995866e-05,3.992394e-05,3.952739e-05,3.910208e-05,3.907675e-05,3.868275e-05,3.826944e-05,3.825303e-05,3.786214e-05,3.746087e-05,3.745290e-05,3.706562e-05,3.667640e-05,3.592345e-05,3.519390e-05,3.448755e-05,3.380411e-05,3.314327e-05,3.250465e-05,3.188787e-05,3.129248e-05,3.071804e-05,3.016407e-05,2.963008e-05,2.911559e-05,2.862007e-05,2.814302e-05,2.768393e-05,2.724228e-05,2.681756e-05,2.640925e-05,2.601686e-05,2.563989e-05,2.527783e-05,2.493022e-05,2.459656e-05,2.427641e-05,2.396929e-05,2.367475e-05,2.339238e-05,2.312173e-05,2.286238e-05,2.261395e-05,2.237602e-05,2.214823e-05,2.193018e-05,2.172153e-05,2.152193e-05,2.133102e-05,2.114848e-05,2.097400e-05,2.080725e-05,2.064795e-05,2.049579e-05,2.035050e-05,2.021182e-05,2.007946e-05,1.995319e-05,1.983275e-05,1.971791e-05,1.960844e-05,1.950411e-05
0.000000e+00,6.578210e-13,1.606731e-10,1.745318e-10,5.362451e-09,6.216112e-08,6.800270e-08,4.993083e-07,2.254259e-06,2.457189e-06,8.918852e-06,2.378033e-05,2.569851e-05,6.212808e-05,1.223970e-04,1.312182e-04,2.493039e-04,4.087145e-04,4.352854e-04,7.096091e-04,1.032102e-03,1.093137e-03,1.606025e-03,2.150380e-03,2.266711e-03,3.091058e-03,3.898128e-03,4.091709e-03,5.277643e-03,6.363341e-03,6.653941e-03,8.221737e-03,9.575950e-03,9.978333e-03,1.191744e-02,1.350746e-02,1.402951e-02,1.630217e-02,1.807873e-02,1.872067e-02,2.126835e-02,2.317256e-02,2.392713e-02,2.667797e-02,2.864785e-02,2.950128e-02,3.237737e-02,3.435327e-02,3.528671e-02,3.821034e-02,4.013887e-02,4.113003e-02,4.402854e-02,4.586499e-02,4.688979e-02,4.969893e-02,5.140847e-02,5.244250e-02,5.510840e-02,5.666615e-02,5.768594e-02,6.016586e-02,6.155631e-02,6.254025e-02,6.480253e-02,6.601841e-02,6.694739e-02,6.897074e-02,7.001171e-02,7.086955e-02,7.264185e-02,7.351308e-02,7.428661e-02,7.580364e-02,7.651441e-02,7.719352e-02,7.845752e-02,7.902006e-02,7.959751e-02,8.061586e-02,8.104423e-02,8.151542e-02,8.229938e-02,8.260860e-02,8.297127e-02,8.353489e-02,8.374027e-02,8.399420e-02,8.435335e-02,8.446991e-02,8.461659e-02,8.478824e-02,8.483035e-02,8.487266e-02,8.487421e-02,8.485533e-02,8.479726e-02,8.464611e-02,8.457857e-02,8.442500e-02,8.413811e-02,8.403308e-02,8.378951e-02,8.338319e-02,8.325062e-02,8.292301e-02,8.241272e-02,8.226135e-02,8.185594e-02,8.125617e-02,8.109360e-02,8.061677e-02,7.994097e-02,7.977371e-02,7.923188e-02,7.849245e-02,7.832599e-02,7.772553e-02,7.693381e-02,7.677272e-02,7.611988e-02,7.528618e-02,7.513420e-02,7.443505e-02,7.356868e-02,7.342879e-02,7.268918e-02,7.179853e-02,7.167306e-02,7.089860e-02,6.999116e-02,6.988184e-02,6.907787e-02,6.816031e-02,6.806838e-02,6.723996e-02,6.631819e-02,6.624443e-02,6.539632e-02,6.447557e-02,6.442039e-02,6.355708e-02,6.264192e-02,6.260539e-02,6.173108e-02,6.082550e-02,6.080745e-02,5.992604e-02,5.903351e-02,5.728960e-02,5.558087e-02,5.391174e-02,5.228591e-02,5.070650e-02,4.917606e-02,4.769667e-02,4.626995e-02,4.489713e-02,4.357912e-02,4.231652e-02,4.110965e-02,3.995863e-02,3.886336e-02,3.782353e-02,3.683870e-02,3.590826e-02,3.503148e-02,3.420754e-02,3.343549e-02,3.271432e-02,3.204293e-02,3.142014e-02,3.084472e-02,3.031538e-02,2.983078e-02,2.938953e-02,2.899021e-02,2.863135e-02,2.831145e-02,2.802898e-02,2.778240e-02,2.757013e-02,2.739058e-02,2.724213e-02,2.712318e-02,2.703209e-02,2.696724e-02,2.692700e-02,2.690975e-02,2.691387e-02,2.693776e-02,2.697985e-02,2.703858e-02,2.711240e-02,2.719983e-02,2.729939e-02,2.740965e-02,2.752923e-02
0.000000e+00,4.240283e-10,7.496515e-09,7.849705e-09,4.932147e-08,1.470665e-07,1.521903e-07,2.890117e-07,4.131511e-07,4.206401e-07,5.370185e-07,6.304226e-07,6.379598e-07,7.248193e-07,7.921774e-07,7.990762e-07,8.621095e-07,9.092939e-07,9.151738e-07,9.594037e-07,9.911578e-07,9.958213e-07,1.025345e-06,1.045421e-06,1.048796e-06,1.066911e-06,1.078244e-06,1.080343e-06,1.089676e-06,1.094540e-06,1.095427e-06,1.098056e-06,1.098203e-06,1.097970e-06,1.095530e-06,1.092300e-06,1.091056e-06,1.084829e-06,1.079241e-06,1.077100e-06,1.068088e-06,1.060916e-06,1.057989e-06,1.046972e-06,1.038797e-06,1.035191e-06,1.022777e-06,1.014035e-06,1.009847e-06,9.965051e-07,9.875171e-07,9.828398e-07,9.689307e-07,9.599332e-07,9.548468e-07,9.406483e-07,9.318109e-07,9.263876e-07,9.121104e-07,9.035528e-07,8.978562e-07,8.836594e-07,8.754633e-07,8.695493e-07,8.555514e-07,8.477697e-07,8.416872e-07,8.279753e-07,8.206397e-07,8.144311e-07,8.010676e-07,7.941937e-07,7.878957e-07,7.749242e-07,7.685159e-07,7.621603e-07,7.496096e-07,7.436623e-07,7.372765e-07,7.251642e-07,7.196673e-07,7.132748e-07,7.016097e-07,6.965483e-07,6.901694e-07,6.789539e-07,6.743103e-07,6.679625e-07,6.571939e-07,6.529486e-07,6.466467e-07,6.363187e-07,6.324511e-07,6.262078e-07,6.163114e-07,6.128007e-07,6.066268e-07,5.971511e-07,5.939764e-07,5.878811e-07,5.788137e-07,5.759543e-07,5.699455e-07,5.612732e-07,5.587091e-07,5.527933e-07,5.445023e-07,5.422142e-07,5.363968e-07,5.284732e-07,5.264424e-07,5.207280e-07,5.131577e-07,5.113665e-07,5.057588e-07,4.985278e-07,4.969592e-07,4.914613e-07,4.845558e-07,4.831938e-07,4.778081e-07,4.712146e-07,4.700439e-07,4.647722e-07,4.584776e-07,4.574840e-07,4.523277e-07,4.463192e-07,4.454891e-07,4.404491e-07,4.347143e-07,4.340351e-07,4.291119e-07,4.236390e-07,4.230987e-07,4.182927e-07,4.130701e-07,4.126575e-07,4.079685e-07,4.029852e-07,4.026899e-07,3.981175e-07,3.933629e-07,3.931751e-07,3.887188e-07,3.841827e-07,3.840931e-07,3.797522e-07,3.754248e-07,3.671520e-07,3.592570e-07,3.517231e-07,3.445341e-07,3.376748e-07,3.311303e-07,3.248866e-07,3.189302e-07,3.132484e-07,3.078287e-07,3.026594e-07,2.977293e-07,2.930278e-07,2.885444e-07,2.842695e-07,2.801936e-07,2.763079e-07,2.726037e-07,2.690730e-07,2.657079e-07,2.625009e-07,2.594450e-07,2.565333e-07,2.537594e-07,2.511171e-07,2.486003e-07,2.462035e-07,2.439213e-07,2.417484e-07,2.396799e-07,2.377112e-07,2.358376e-07,2.340550e-07,2.323591e-07,2.307461e-07,2.292121e-07,2.277537e-07,2.263673e-07,2.250498e-07,2.237979e-07,2.226087e-07,2.214794e-07,2.204071e-07,2.193894e-07,2.184236e-07,2.175075e-07,2.166388e-07,2.158152e-07,2.150347e-07
0.000000e+00,2.569811e-10,2.553164e-08,2.727438e-08,3.935408e-07,2.447101e-06,2.611829e-06,1.055740e-05,2.783303e-05,2.932821e-05,6.082969e-05,9.767643e-05,1.010526e-04,1.431934e-04,1.784589e-04,1.821241e-04,2.155896e-04,2.402076e-04,2.432279e-04,2.654879e-04,2.808457e-04,2.830468e-04,2.965820e-04,3.052911e-04,3.067042e-04,3.139455e-04,3.180572e-04,3.187641e-04,3.215527e-04,3.225492e-04,3.226468e-04,3.223328e-04,3.212684e-04,3.208543e-04,3.184186e-04,3.160366e-04,3.152016e-04,3.113522e-04,3.081715e-04,3.069966e-04,3.022412e-04,2.986208e-04,2.971759e-04,2.918764e-04,2.880618e-04,2.864062e-04,2.808186e-04,2.769750e-04,2.751581e-04,2.694620e-04,2.656982e-04,2.637610e-04,2.580808e-04,2.544662e-04,2.524423e-04,2.468627e-04,2.434392e-04,2.413560e-04,2.359334e-04,2.327240e-04,2.306038e-04,2.253744e-04,2.223893e-04,2.202503e-04,2.152357e-04,2.124763e-04,2.103332e-04,2.055447e-04,2.030068e-04,2.008714e-04,1.963134e-04,1.939889e-04,1.918708e-04,1.875427e-04,1.854213e-04,1.833281e-04,1.792258e-04,1.772961e-04,1.752341e-04,1.713513e-04,1.696012e-04,1.675753e-04,1.639041e-04,1.623215e-04,1.603356e-04,1.568675e-04,1.554403e-04,1.534975e-04,1.502234e-04,1.489401e-04,1.470428e-04,1.439534e-04,1.428028e-04,1.409529e-04,1.380390e-04,1.370107e-04,1.352094e-04,1.324620e-04,1.315462e-04,1.297945e-04,1.272047e-04,1.263920e-04,1.246905e-04,1.222498e-04,1.215316e-04,1.198806e-04,1.175809e-04,1.169491e-04,1.153487e-04,1.131821e-04,1.126294e-04,1.110794e-04,1.090385e-04,1.085578e-04,1.070579e-04,1.051358e-04,1.047206e-04,1.032704e-04,1.014602e-04,1.011046e-04,9.970356e-05,9.799897e-05,9.769755e-05,9.634490e-05,9.473990e-05,9.448756e-05,9.318255e-05,9.167146e-05,9.146352e-05,9.020529e-05,8.878274e-05,8.861491e-05,8.740254e-05,8.606345e-05,8.593176e-05,8.476429e-05,8.350388e-05,8.340468e-05,8.228109e-05,8.109483e-05,8.102480e-05,7.994404e-05,7.882767e-05,7.878372e-05,7.774472e-05,7.669421e-05,7.667353e-05,7.567520e-05,7.468676e-05,7.281637e-05,7.105570e-05,6.939848e-05,6.783880e-05,6.637107e-05,6.499003e-05,6.369070e-05,6.246841e-05,6.131874e-05,6.023752e-05,5.922082e-05,5.826495e-05,5.736640e-05,5.652188e-05,5.572830e-05,5.498271e-05,5.428235e-05,5.362463e-05,5.300709e-05,5.242741e-05,5.188341e-05,5.137304e-05,5.089435e-05,5.044551e-05,5.002480e-05,4.963059e-05,4.926135e-05,4.891563e-05,4.859208e-05,4.828940e-05,4.800638e-05,4.774188e-05,4.749483e-05,4.726421e-05,4.704905e-05,4.684847e-05,4.666160e-05,4.648765e-05,4.632586e-05,4.617551e-05,4.603594e-05,4.590650e-05,4.578661e-05,4.567569e-05,4.557321e-05,4.547869e-05,4.539163e-05,4.531160e-05,4.523818e-05
0.000000e+00,5.224830e-12,1.185525e-09,1.286521e-09,3.807857e-08,4.234275e-07,4.622004e-07,3.167311e-06,1.310879e-05,1.420151e-05,4.619893e-05,1.104595e-04,1.182170e-04,2.527501e-04,4.453441e-04,4.715597e-04,7.920049e-04,1.166728e-03,1.224765e-03,1.773095e-03,2.334449e-03,2.433317e-03,3.196074e-03,3.906291e-03,4.047944e-03,4.973069e-03,5.774509e-03,5.954586e-03,6.975779e-03,7.810677e-03,8.020911e-03,9.075766e-03,9.897254e-03,1.012794e-02,1.116694e-02,1.194242e-02,1.218417e-02,1.317276e-02,1.388273e-02,1.412744e-02,1.504429e-02,1.567943e-02,1.592058e-02,1.675454e-02,1.731257e-02,1.754518e-02,1.829218e-02,1.877526e-02,1.899568e-02,1.965623e-02,2.006905e-02,2.027465e-02,2.085200e-02,2.120050e-02,2.138947e-02,2.188836e-02,2.217890e-02,2.235004e-02,2.277590e-02,2.301482e-02,2.316737e-02,2.352587e-02,2.371923e-02,2.385278e-02,2.414948e-02,2.430294e-02,2.441731e-02,2.465759e-02,2.477633e-02,2.487159e-02,2.506052e-02,2.514926e-02,2.522559e-02,2.536794e-02,2.543094e-02,2.548867e-02,2.558885e-02,2.562994e-02,2.566950e-02,2.573162e-02,2.575422e-02,2.577614e-02,2.580398e-02,2.581117e-02,2.581602e-02,2.581310e-02,2.580761e-02,2.579603e-02,2.576559e-02,2.574984e-02,2.572252e-02,2.566753e-02,2.564366e-02,2.560132e-02,2.552453e-02,2.549442e-02,2.543780e-02,2.534174e-02,2.530705e-02,2.523691e-02,2.512389e-02,2.508608e-02,2.500319e-02,2.487534e-02,2.483566e-02,2.474081e-02,2.460008e-02,2.455963e-02,2.445359e-02,2.430177e-02,2.426147e-02,2.414503e-02,2.398375e-02,2.394441e-02,2.381832e-02,2.364908e-02,2.361138e-02,2.347639e-02,2.330057e-02,2.326505e-02,2.312192e-02,2.294074e-02,2.290789e-02,2.275733e-02,2.257194e-02,2.254211e-02,2.238483e-02,2.219625e-02,2.216975e-02,2.200644e-02,2.181561e-02,2.179265e-02,2.162397e-02,2.143174e-02,2.141249e-02,2.123909e-02,2.104621e-02,2.103077e-02,2.085327e-02,2.066044e-02,2.064888e-02,2.046787e-02,2.027570e-02,2.026802e-02,2.008408e-02,1.989314e-02,1.988933e-02,1.970300e-02,1.951377e-02,1.914225e-02,1.877554e-02,1.841435e-02,1.805929e-02,1.771090e-02,1.736965e-02,1.703595e-02,1.671013e-02,1.639250e-02,1.608330e-02,1.578272e-02,1.549092e-02,1.520801e-02,1.493409e-02,1.466920e-02,1.441337e-02,1.416659e-02,1.392883e-02,1.370005e-02,1.348017e-02,1.326912e-02,1.306677e-02,1.287303e-02,1.268775e-02,1.251079e-02,1.234201e-02,1.218122e-02,1.202828e-02,1.188298e-02,1.174516e-02,1.161462e-02,1.149116e-02,1.137460e-02,1.126471e-02,1.116131e-02,1.106417e-02,1.097311e-02,1.088790e-02,1.080834e-02,1.073421e-02,1.066532e-02,1.060146e-02,1.054241e-02,1.048798e-02,1.043796e-02,1.039215e-02,1.035037e-02,1.031241e-02,1.027808e-02
0.000000e+00,1.304023e-09,1.365043e-08,1.417327e-08,7.022059e-08,2.191183e-07,2.281620e-07,5.376150e-07,9.570353e-07,9.867250e-07,1.501405e-06,1.966499e-06,2.005296e-06,2.461284e-06,2.823203e-06,2.860596e-06,3.204854e-06,3.465746e-06,3.498468e-06,3.746322e-06,3.926490e-06,3.953142e-06,4.123320e-06,4.240909e-06,4.260883e-06,4.369498e-06,4.439304e-06,4.452490e-06,4.512860e-06,4.546699e-06,4.553318e-06,4.576291e-06,4.583484e-06,4.583961e-06,4.578280e-06,4.566112e-06,4.560990e-06,4.533650e-06,4.507775e-06,4.497656e-06,4.454249e-06,4.419029e-06,4.404531e-06,4.349484e-06,4.308250e-06,4.289978e-06,4.226786e-06,4.182062e-06,4.160591e-06,4.091996e-06,4.045671e-06,4.021535e-06,3.949677e-06,3.903148e-06,3.876835e-06,3.803372e-06,3.757652e-06,3.729603e-06,3.655805e-06,3.611613e-06,3.582218e-06,3.509051e-06,3.466878e-06,3.436483e-06,3.364668e-06,3.324830e-06,3.293738e-06,3.223804e-06,3.186487e-06,3.154959e-06,3.087282e-06,3.052574e-06,3.020837e-06,2.955674e-06,2.923587e-06,2.891835e-06,2.829350e-06,2.799846e-06,2.768242e-06,2.708527e-06,2.681528e-06,2.650212e-06,2.593301e-06,2.568705e-06,2.537792e-06,2.483678e-06,2.461364e-06,2.430950e-06,2.379594e-06,2.359432e-06,2.329594e-06,2.280932e-06,2.262787e-06,2.233588e-06,2.187541e-06,2.171277e-06,2.142767e-06,2.099241e-06,2.084722e-06,2.056939e-06,2.015835e-06,2.002931e-06,1.975903e-06,1.937116e-06,1.925699e-06,1.899447e-06,1.862870e-06,1.852820e-06,1.827356e-06,1.792880e-06,1.784083e-06,1.759415e-06,1.726934e-06,1.719283e-06,1.695412e-06,1.664821e-06,1.658214e-06,1.635138e-06,1.606336e-06,1.600679e-06,1.578391e-06,1.551279e-06,1.546485e-06,1.524976e-06,1.499459e-06,1.495448e-06,1.474706e-06,1.450693e-06,1.447390e-06,1.427401e-06,1.404806e-06,1.402141e-06,1.382889e-06,1.361630e-06,1.359539e-06,1.341009e-06,1.321006e-06,1.319432e-06,1.301604e-06,1.282784e-06,1.281673e-06,1.264529e-06,1.246822e-06,1.246125e-06,1.229645e-06,1.212984e-06,1.212656e-06,1.196821e-06,1.181143e-06,1.151470e-06,1.123526e-06,1.097210e-06,1.072422e-06,1.049072e-06,1.027072e-06,1.006343e-06,9.868072e-07,9.683935e-07,9.510344e-07,9.346666e-07,9.192306e-07,9.046707e-07,8.909343e-07,8.779723e-07,8.657383e-07,8.541889e-07,8.432835e-07,8.329836e-07,8.232535e-07,8.140594e-07,8.053696e-07,7.971543e-07,7.893855e-07,7.820370e-07,7.750842e-07,7.685040e-07,7.622747e-07,7.563759e-07,7.507884e-07,7.454941e-07,7.404763e-07,7.357189e-07,7.312070e-07,7.269267e-07,7.228646e-07,7.190086e-07,7.153468e-07,7.118685e-07,7.085633e-07,7.054216e-07,7.024341e-07,6.995925e-07,6.968886e-07,6.943149e-07,6.918642e-07,6.895298e-07,6.873056e-07,6.851854e-07
0.000000e+00,7.518828e-13,1.631221e-10,1.766209e-10,4.526327e-09,4.459886e-08,4.851157e-08,3.199113e-07,1.387848e-06,1.511523e-06,5.529665e-06,1.519179e-05,1.646833e-05,4.147786e-05,8.468367e-05,9.112586e-05,1.790856e-04,3.007681e-04,3.212450e-04,5.344605e-04,7.872503e-04,8.352003e-04,1.238281e-03,1.664927e-03,1.755831e-03,2.396552e-03,3.017386e-03,3.165301e-03,4.062967e-03,4.872058e-03,5.086599e-03,6.229739e-03,7.198332e-03,7.482886e-03,8.834050e-03,9.917998e-03,1.026934e-02,1.177358e-02,1.292174e-02,1.333081e-02,1.492487e-02,1.608641e-02,1.653979e-02,1.816016e-02,1.928985e-02,1.977147e-02,2.136030e-02,2.242160e-02,2.291448e-02,2.442324e-02,2.538951e-02,2.587717e-02,2.726832e-02,2.812262e-02,2.859012e-02,2.983730e-02,3.057129e-02,3.100589e-02,3.209307e-02,3.270551e-02,3.309705e-02,3.401700e-02,3.451205e-02,3.485295e-02,3.560563e-02,3.599124e-02,3.627641e-02,3.686720e-02,3.715378e-02,3.738034e-02,3.781853e-02,3.801774e-02,3.818472e-02,3.848212e-02,3.860605e-02,3.871403e-02,3.888391e-02,3.894442e-02,3.899520e-02,3.905139e-02,3.905969e-02,3.905594e-02,3.901224e-02,3.897860e-02,3.892364e-02,3.879339e-02,3.872702e-02,3.862462e-02,3.842035e-02,3.832937e-02,3.818350e-02,3.791683e-02,3.780822e-02,3.762297e-02,3.730443e-02,3.718418e-02,3.696360e-02,3.660269e-02,3.647580e-02,3.622384e-02,3.582903e-02,3.569963e-02,3.542013e-02,3.499888e-02,3.487034e-02,3.456692e-02,3.412578e-02,3.400081e-02,3.367688e-02,3.322156e-02,3.310228e-02,3.276104e-02,3.229648e-02,3.218450e-02,3.182893e-02,3.135938e-02,3.125590e-02,3.088875e-02,3.041786e-02,3.032373e-02,2.994751e-02,2.947840e-02,2.939414e-02,2.901118e-02,2.854646e-02,2.847238e-02,2.808480e-02,2.762669e-02,2.756286e-02,2.717259e-02,2.672292e-02,2.666928e-02,2.627807e-02,2.583837e-02,2.579469e-02,2.540413e-02,2.497563e-02,2.494160e-02,2.455311e-02,2.413679e-02,2.411202e-02,2.372688e-02,2.332353e-02,2.330754e-02,2.292691e-02,2.253712e-02,2.252940e-02,2.215429e-02,2.177850e-02,2.105548e-02,2.036076e-02,1.969451e-02,1.905678e-02,1.844743e-02,1.786621e-02,1.731277e-02,1.678666e-02,1.628736e-02,1.581429e-02,1.536680e-02,1.494424e-02,1.454588e-02,1.417101e-02,1.381888e-02,1.348872e-02,1.317977e-02,1.289124e-02,1.262238e-02,1.237240e-02,1.214054e-02,1.192604e-02,1.172814e-02,1.154611e-02,1.137921e-02,1.122673e-02,1.108795e-02,1.096219e-02,1.084877e-02,1.074703e-02,1.065632e-02,1.057600e-02,1.050548e-02,1.044414e-02,1.039140e-02,1.034671e-02,1.030952e-02,1.027929e-02,1.025552e-02,1.023772e-02,1.022540e-02,1.021811e-02,1.021541e-02,1.021688e-02,1.022211e-02,1.023073e-02,1.024236e-02,1.025665e-02,1.027328e-02
0.000000e+00,8.639918e-09,2.198587e-07,2.312874e-07,1.902808e-06,7.661269e-06,8.030416e-06,2.051663e-05,3.553046e-05,3.651270e-05,5.257778e-05,6.648113e-05,6.764428e-05,8.156041e-05,9.312030e-05,9.435006e-05,1.060676e-04,1.155390e-04,1.167720e-04,1.265223e-04,1.341883e-04,1.353759e-04,1.433883e-04,1.495079e-04,1.506131e-04,1.571012e-04,1.619060e-04,1.629014e-04,1.680597e-04,1.717536e-04,1.726198e-04,1.766228e-04,1.793835e-04,1.801076e-04,1.831106e-04,1.850918e-04,1.856661e-04,1.878065e-04,1.891409e-04,1.895619e-04,1.909609e-04,1.917624e-04,1.920299e-04,1.927941e-04,1.931601e-04,1.932767e-04,1.934997e-04,1.935137e-04,1.934837e-04,1.932478e-04,1.929804e-04,1.928099e-04,1.921870e-04,1.916984e-04,1.913946e-04,1.904475e-04,1.897886e-04,1.893593e-04,1.881430e-04,1.873566e-04,1.868103e-04,1.853726e-04,1.844947e-04,1.838401e-04,1.822226e-04,1.812831e-04,1.805291e-04,1.787680e-04,1.777917e-04,1.769472e-04,1.750738e-04,1.740812e-04,1.731547e-04,1.711962e-04,1.702039e-04,1.692040e-04,1.671836e-04,1.662053e-04,1.651401e-04,1.630779e-04,1.621243e-04,1.610016e-04,1.589149e-04,1.579945e-04,1.568216e-04,1.547251e-04,1.538444e-04,1.526285e-04,1.505347e-04,1.496985e-04,1.484462e-04,1.463655e-04,1.455774e-04,1.442949e-04,1.422363e-04,1.414985e-04,1.401916e-04,1.381625e-04,1.374764e-04,1.361504e-04,1.341569e-04,1.335231e-04,1.321831e-04,1.302301e-04,1.296485e-04,1.282990e-04,1.263907e-04,1.258606e-04,1.245059e-04,1.226454e-04,1.221657e-04,1.208098e-04,1.189995e-04,1.185689e-04,1.172152e-04,1.154570e-04,1.150738e-04,1.137255e-04,1.120207e-04,1.116830e-04,1.103430e-04,1.086925e-04,1.083983e-04,1.070693e-04,1.054735e-04,1.052207e-04,1.039050e-04,1.023639e-04,1.021504e-04,1.008502e-04,9.936362e-05,9.918706e-05,9.790421e-05,9.647179e-05,9.633003e-05,9.506619e-05,9.368724e-05,9.357807e-05,9.233473e-05,9.100844e-05,9.092969e-05,8.970812e-05,8.843354e-05,8.838308e-05,8.718441e-05,8.596047e-05,8.593624e-05,8.476142e-05,8.358696e-05,8.133288e-05,7.917155e-05,7.710042e-05,7.511689e-05,7.321832e-05,7.140205e-05,6.966542e-05,6.800577e-05,6.642047e-05,6.490693e-05,6.346258e-05,6.208490e-05,6.077143e-05,5.951974e-05,5.832749e-05,5.719238e-05,5.611218e-05,5.508471e-05,5.410786e-05,5.317960e-05,5.229795e-05,5.146098e-05,5.066685e-05,4.991378e-05,4.920003e-05,4.852394e-05,4.788390e-05,4.727836e-05,4.670583e-05,4.616487e-05,4.565410e-05,4.517219e-05,4.471785e-05,4.428986e-05,4.388704e-05,4.350823e-05,4.315235e-05,4.281835e-05,4.250522e-05,4.221199e-05,4.193772e-05,4.168153e-05,4.144256e-05,4.121997e-05,4.101299e-05,4.082087e-05,4.064286e-05,4.047828e-05,4.032647e-05
0.000000e+00,1.157589e-08,1.662605e-07,1.733983e-07,1.010284e-06,3.374353e-06,3.519077e-06,8.452963e-06,1.506497e-05,1.553125e-05,2.363419e-05,3.110599e-05,3.174136e-05,3.941528e-05,4.586362e-05,4.655283e-05,5.314986e-05,5.852359e-05,5.922605e-05,6.480670e-05,6.922982e-05,6.991816e-05,7.458656e-05,7.818423e-05,7.883730e-05,8.269491e-05,8.558131e-05,8.618288e-05,8.932365e-05,9.160069e-05,9.213860e-05,9.464796e-05,9.640553e-05,9.687097e-05,9.882588e-05,1.001430e-04,1.005299e-04,1.019994e-04,1.029449e-04,1.032498e-04,1.042958e-04,1.049300e-04,1.051511e-04,1.058288e-04,1.062041e-04,1.063412e-04,1.067000e-04,1.068618e-04,1.069160e-04,1.069997e-04,1.069872e-04,1.069608e-04,1.068083e-04,1.066552e-04,1.065511e-04,1.061971e-04,1.059325e-04,1.057541e-04,1.052293e-04,1.048779e-04,1.046293e-04,1.039607e-04,1.035438e-04,1.032293e-04,1.024409e-04,1.019764e-04,1.016006e-04,1.007134e-04,1.002164e-04,9.978391e-05,9.881657e-05,9.829993e-05,9.781540e-05,9.678424e-05,9.625853e-05,9.572665e-05,9.464597e-05,9.411997e-05,9.354533e-05,9.242765e-05,9.190855e-05,9.129565e-05,9.015187e-05,8.964549e-05,8.899867e-05,8.783827e-05,8.734925e-05,8.667271e-05,8.550391e-05,8.503588e-05,8.433362e-05,8.316350e-05,8.271922e-05,8.199506e-05,8.082971e-05,8.041119e-05,7.966874e-05,7.851336e-05,7.812201e-05,7.736467e-05,7.622368e-05,7.586035e-05,7.509133e-05,7.396845e-05,7.363356e-05,7.285584e-05,7.175419e-05,7.144778e-05,7.066414e-05,6.958629e-05,6.930811e-05,6.852115e-05,6.746918e-05,6.721872e-05,6.643082e-05,6.540643e-05,6.518297e-05,6.439633e-05,6.340082e-05,6.320349e-05,6.242014e-05,6.145450e-05,6.128230e-05,6.050408e-05,5.956903e-05,5.942085e-05,5.864945e-05,5.774545e-05,5.762014e-05,5.685708e-05,5.598439e-05,5.588072e-05,5.512739e-05,5.428609e-05,5.420282e-05,5.346045e-05,5.265045e-05,5.258632e-05,5.185602e-05,5.107711e-05,5.103086e-05,5.031362e-05,4.956546e-05,4.953585e-05,4.883253e-05,4.811470e-05,4.810049e-05,4.741185e-05,4.672384e-05,4.540482e-05,4.414221e-05,4.293473e-05,4.178103e-05,4.067969e-05,3.962923e-05,3.862819e-05,3.767503e-05,3.676826e-05,3.590633e-05,3.508775e-05,3.431100e-05,3.357458e-05,3.287704e-05,3.221691e-05,3.159279e-05,3.100328e-05,3.044701e-05,2.992266e-05,2.942893e-05,2.896457e-05,2.852833e-05,2.811904e-05,2.773553e-05,2.737669e-05,2.704143e-05,2.672870e-05,2.643748e-05,2.616679e-05,2.591569e-05,2.568325e-05,2.546860e-05,2.527088e-05,2.508927e-05,2.492298e-05,2.477125e-05,2.463335e-05,2.450856e-05,2.439622e-05,2.429567e-05,2.420628e-05,2.412745e-05,2.405860e-05,2.399917e-05,2.394864e-05,2.390648e-05,2.387222e-05,2.384537e-05,2.382549e-05
0.000000e+00,4.072902e-13,9.473649e-11,1.027888e-10,2.945727e-09,3.152274e-08,3.437087e-08,2.340901e-07,1.004836e-06,1.092535e-06,3.839000e-06,1.003463e-05,1.082758e-05,2.569642e-05,4.972016e-05,5.318848e-05,9.868610e-05,1.579253e-04,1.675992e-04,2.647515e-04,3.737687e-04,3.938723e-04,5.572516e-04,7.215131e-04,7.555734e-04,9.879176e-04,1.202191e-03,1.251893e-03,1.543863e-03,1.794533e-03,1.859234e-03,2.192755e-03,2.461900e-03,2.538821e-03,2.891744e-03,3.161136e-03,3.245991e-03,3.596370e-03,3.850368e-03,3.938170e-03,4.267267e-03,4.494364e-03,4.580168e-03,4.874043e-03,5.067241e-03,5.146709e-03,5.396603e-03,5.552994e-03,5.622731e-03,5.824616e-03,5.944549e-03,6.002228e-03,6.155922e-03,6.242031e-03,6.286365e-03,6.394479e-03,6.450776e-03,6.481375e-03,6.548310e-03,6.579447e-03,6.596631e-03,6.627741e-03,6.638457e-03,6.643058e-03,6.643993e-03,6.638750e-03,6.631925e-03,6.608182e-03,6.590954e-03,6.574029e-03,6.530662e-03,6.504843e-03,6.479196e-03,6.420667e-03,6.389054e-03,6.356026e-03,6.286147e-03,6.250980e-03,6.211822e-03,6.133769e-03,6.096793e-03,6.052634e-03,5.968996e-03,5.931537e-03,5.883371e-03,5.796218e-03,5.759257e-03,5.707943e-03,5.618905e-03,5.583148e-03,5.529418e-03,5.439758e-03,5.405693e-03,5.350166e-03,5.260851e-03,5.228801e-03,5.171994e-03,5.083752e-03,5.053914e-03,4.996259e-03,4.909630e-03,4.882108e-03,4.823965e-03,4.739344e-03,4.714173e-03,4.655841e-03,4.573511e-03,4.550677e-03,4.492405e-03,4.412561e-03,4.392013e-03,4.334012e-03,4.256781e-03,4.238444e-03,4.180889e-03,4.106349e-03,4.090133e-03,4.033171e-03,3.961361e-03,3.947163e-03,3.890920e-03,3.821848e-03,3.809560e-03,3.754142e-03,3.687796e-03,3.677306e-03,3.622802e-03,3.559152e-03,3.550347e-03,3.496835e-03,3.435838e-03,3.428607e-03,3.376150e-03,3.317756e-03,3.311987e-03,3.260641e-03,3.204790e-03,3.200377e-03,3.150188e-03,3.096816e-03,3.093652e-03,3.044658e-03,2.993698e-03,2.991684e-03,2.943916e-03,2.895296e-03,2.894335e-03,2.847819e-03,2.801468e-03,2.712941e-03,2.628614e-03,2.548345e-03,2.471995e-03,2.399424e-03,2.330498e-03,2.265082e-03,2.203045e-03,2.144261e-03,2.088604e-03,2.035952e-03,1.986189e-03,1.939200e-03,1.894873e-03,1.853101e-03,1.813780e-03,1.776808e-03,1.742088e-03,1.709526e-03,1.679029e-03,1.650509e-03,1.623882e-03,1.599064e-03,1.575975e-03,1.554538e-03,1.534679e-03,1.516326e-03,1.499408e-03,1.483859e-03,1.469613e-03,1.456608e-03,1.444783e-03,1.434079e-03,1.424440e-03,1.415810e-03,1.408137e-03,1.401370e-03,1.395459e-03,1.390356e-03,1.386017e-03,1.382395e-03,1.379449e-03,1.377137e-03,1.375420e-03,1.374258e-03,1.373615e-03,1.373456e-03,1.373746e-03,1.374452e-03
0.000000e+00,3.693698e-09,5.917977e-08,6.189476e-08,4.093595e-07,1.459328e-06,1.523629e-06,3.593803e-06,5.936748e-06,6.087223e-06,8.518122e-06,1.057982e-05,1.075046e-05,1.276766e-05,1.440600e-05,1.457810e-05,1.619488e-05,1.746830e-05,1.763166e-05,1.890176e-05,1.987049e-05,2.001795e-05,2.099235e-05,2.170967e-05,2.183641e-05,2.256091e-05,2.307284e-05,2.317589e-05,2.369073e-05,2.403639e-05,2.411416e-05,2.445424e-05,2.466648e-05,2.471846e-05,2.491377e-05,2.502008e-05,2.504658e-05,2.512275e-05,2.514583e-05,2.514765e-05,2.512628e-05,2.508484e-05,2.506323e-05,2.496272e-05,2.487217e-05,2.482865e-05,2.466460e-05,2.453767e-05,2.447397e-05,2.425986e-05,2.410702e-05,2.402501e-05,2.377195e-05,2.360151e-05,2.350299e-05,2.322025e-05,2.303888e-05,2.292566e-05,2.262100e-05,2.243404e-05,2.230786e-05,2.198771e-05,2.179935e-05,2.166189e-05,2.133161e-05,2.114513e-05,2.099798e-05,2.066200e-05,2.047992e-05,2.032459e-05,1.998655e-05,1.981077e-05,1.964863e-05,1.931149e-05,1.914341e-05,1.897574e-05,1.864191e-05,1.848250e-05,1.831048e-05,1.798188e-05,1.783178e-05,1.765649e-05,1.733465e-05,1.719423e-05,1.701664e-05,1.670273e-05,1.657216e-05,1.639314e-05,1.608807e-05,1.596735e-05,1.578769e-05,1.549212e-05,1.538110e-05,1.520150e-05,1.491592e-05,1.481436e-05,1.463545e-05,1.436015e-05,1.426773e-05,1.409006e-05,1.382521e-05,1.374157e-05,1.356562e-05,1.331128e-05,1.323601e-05,1.306220e-05,1.281835e-05,1.275101e-05,1.257971e-05,1.234625e-05,1.228639e-05,1.211791e-05,1.189466e-05,1.184183e-05,1.167645e-05,1.146321e-05,1.141696e-05,1.125489e-05,1.105142e-05,1.101130e-05,1.085273e-05,1.065875e-05,1.062433e-05,1.046941e-05,1.028463e-05,1.025548e-05,1.010433e-05,9.928450e-06,9.904174e-06,9.756894e-06,9.589585e-06,9.569790e-06,9.426446e-06,9.267393e-06,9.251710e-06,9.112347e-06,8.961227e-06,8.949305e-06,8.813952e-06,8.670442e-06,8.661949e-06,8.530616e-06,8.394396e-06,8.389021e-06,8.261702e-06,8.132457e-06,8.129906e-06,8.006583e-06,7.884005e-06,7.650729e-06,7.429506e-06,7.219783e-06,7.021021e-06,6.832702e-06,6.654326e-06,6.485413e-06,6.325499e-06,6.174143e-06,6.030920e-06,5.895423e-06,5.767264e-06,5.646073e-06,5.531494e-06,5.423191e-06,5.320841e-06,5.224137e-06,5.132788e-06,5.046516e-06,4.965055e-06,4.888155e-06,4.815576e-06,4.747091e-06,4.682485e-06,4.621552e-06,4.564097e-06,4.509935e-06,4.458892e-06,4.410800e-06,4.365502e-06,4.322847e-06,4.282694e-06,4.244907e-06,4.209359e-06,4.175928e-06,4.144499e-06,4.114964e-06,4.087218e-06,4.061165e-06,4.036712e-06,4.013770e-06,3.992257e-06,3.972093e-06,3.953204e-06,3.935519e-06,3.918971e-06,3.903497e-06,3.889036e-06,3.875532e-06
0.000000e+00,1.565994e-09,2.487930e-08,2.604618e-08,1.743877e-07,5.907845e-07,6.148115e-07,1.319219e-06,2.025773e-06,2.069643e-06,2.765558e-06,3.342651e-06,3.389976e-06,3.944543e-06,4.388078e-06,4.434291e-06,4.864636e-06,5.198331e-06,5.240769e-06,5.567545e-06,5.812540e-06,5.849468e-06,6.090707e-06,6.264730e-06,6.295108e-06,6.466212e-06,6.583957e-06,6.607265e-06,6.721228e-06,6.794727e-06,6.810819e-06,6.878526e-06,6.917607e-06,6.926609e-06,6.957124e-06,6.969726e-06,6.971946e-06,6.972777e-06,6.965297e-06,6.961158e-06,6.938488e-06,6.916039e-06,6.906034e-06,6.864945e-06,6.831605e-06,6.816259e-06,6.760916e-06,6.719918e-06,6.699767e-06,6.633580e-06,6.587475e-06,6.563047e-06,6.488794e-06,6.439583e-06,6.411385e-06,6.331329e-06,6.280568e-06,6.249084e-06,6.165059e-06,6.113946e-06,6.079626e-06,5.993114e-06,5.942562e-06,5.905822e-06,5.818015e-06,5.768707e-06,5.729930e-06,5.641780e-06,5.594219e-06,5.553753e-06,5.466016e-06,5.420557e-06,5.378717e-06,5.291989e-06,5.248875e-06,5.205946e-06,5.120690e-06,5.080073e-06,5.036310e-06,4.952882e-06,4.914844e-06,4.870475e-06,4.789144e-06,4.753712e-06,4.708938e-06,4.629900e-06,4.597060e-06,4.552062e-06,4.475454e-06,4.445160e-06,4.400098e-06,4.326011e-06,4.298193e-06,4.253206e-06,4.181693e-06,4.156266e-06,4.111478e-06,4.042561e-06,4.019426e-06,3.974944e-06,3.908622e-06,3.887672e-06,3.843591e-06,3.779843e-06,3.760967e-06,3.717369e-06,3.656158e-06,3.639244e-06,3.596198e-06,3.537477e-06,3.522411e-06,3.479980e-06,3.423691e-06,3.410360e-06,3.368596e-06,3.314677e-06,3.302971e-06,3.261918e-06,3.210301e-06,3.200113e-06,3.159807e-06,3.110420e-06,3.101647e-06,3.062121e-06,3.014890e-06,3.007431e-06,2.968710e-06,2.923562e-06,2.917322e-06,2.879427e-06,2.836286e-06,2.831175e-06,2.794120e-06,2.752912e-06,2.748844e-06,2.712643e-06,2.673294e-06,2.670186e-06,2.634848e-06,2.597285e-06,2.595059e-06,2.560590e-06,2.524743e-06,2.523327e-06,2.489728e-06,2.455528e-06,2.454852e-06,2.422126e-06,2.389504e-06,2.327154e-06,2.267678e-06,2.210956e-06,2.156872e-06,2.105314e-06,2.056174e-06,2.009348e-06,1.964736e-06,1.922243e-06,1.881776e-06,1.843247e-06,1.806570e-06,1.771664e-06,1.738451e-06,1.706857e-06,1.676808e-06,1.648238e-06,1.621078e-06,1.595268e-06,1.570746e-06,1.547454e-06,1.525337e-06,1.504343e-06,1.484420e-06,1.465520e-06,1.447596e-06,1.430605e-06,1.414504e-06,1.399252e-06,1.384810e-06,1.371141e-06,1.358210e-06,1.345983e-06,1.334426e-06,1.323510e-06,1.313204e-06,1.303480e-06,1.294311e-06,1.285670e-06,1.277534e-06,1.269877e-06,1.262678e-06,1.255915e-06,1.249567e-06,1.243614e-06,1.238038e-06,1.232820e-06,1.227942e-06,1.223389e-06
0.000000e+00,1.416300e-10,3.045117e-09,3.200578e-09,2.383740e-08,8.024338e-08,8.334604e-08,1.683457e-07,2.482803e-07,2.531979e-07,3.312818e-07,3.966272e-07,4.020239e-07,4.658087e-07,5.176962e-07,5.231561e-07,5.745776e-07,6.153064e-07,6.205504e-07,6.615162e-07,6.930545e-07,6.978835e-07,7.300311e-07,7.540318e-07,7.583102e-07,7.830460e-07,8.008974e-07,8.045398e-07,8.230715e-07,8.359381e-07,8.388990e-07,8.522607e-07,8.611136e-07,8.633770e-07,8.724487e-07,8.780905e-07,8.796613e-07,8.851850e-07,8.882777e-07,8.891762e-07,8.917781e-07,8.928660e-07,8.931230e-07,8.933318e-07,8.928612e-07,8.925145e-07,8.907719e-07,8.891061e-07,8.881968e-07,8.848736e-07,8.823083e-07,8.808796e-07,8.762855e-07,8.730604e-07,8.711560e-07,8.655501e-07,8.618591e-07,8.595218e-07,8.531203e-07,8.491190e-07,8.463903e-07,8.393728e-07,8.351858e-07,8.321052e-07,8.246215e-07,8.203480e-07,8.169528e-07,8.091271e-07,8.048451e-07,8.011702e-07,7.931053e-07,7.888760e-07,7.849537e-07,7.767346e-07,7.726053e-07,7.684655e-07,7.601622e-07,7.561687e-07,7.518390e-07,7.435089e-07,7.396779e-07,7.351835e-07,7.268734e-07,7.232242e-07,7.185880e-07,7.103360e-07,7.068819e-07,7.021249e-07,6.939616e-07,6.907111e-07,6.858523e-07,6.778025e-07,6.747601e-07,6.698168e-07,6.618998e-07,6.590672e-07,6.540551e-07,6.462861e-07,6.436623e-07,6.385956e-07,6.309862e-07,6.285687e-07,6.234601e-07,6.160192e-07,6.138037e-07,6.086649e-07,6.013985e-07,5.993799e-07,5.942212e-07,5.871337e-07,5.853058e-07,5.801368e-07,5.732308e-07,5.715869e-07,5.664161e-07,5.596928e-07,5.582259e-07,5.530609e-07,5.465204e-07,5.452232e-07,5.400710e-07,5.337124e-07,5.325775e-07,5.274443e-07,5.212661e-07,5.202859e-07,5.151773e-07,5.091773e-07,5.083444e-07,5.032656e-07,4.974412e-07,4.967481e-07,4.917036e-07,4.860518e-07,4.854913e-07,4.804852e-07,4.750027e-07,4.745678e-07,4.696037e-07,4.642870e-07,4.639706e-07,4.590519e-07,4.538974e-07,4.536929e-07,4.488226e-07,4.438264e-07,4.437273e-07,4.389080e-07,4.340663e-07,4.247023e-07,4.156278e-07,4.068351e-07,3.983167e-07,3.900650e-07,3.820727e-07,3.743325e-07,3.668371e-07,3.595795e-07,3.525529e-07,3.457504e-07,3.391655e-07,3.327918e-07,3.266229e-07,3.206527e-07,3.148752e-07,3.092848e-07,3.038756e-07,2.986423e-07,2.935795e-07,2.886819e-07,2.839446e-07,2.793627e-07,2.749314e-07,2.706461e-07,2.665023e-07,2.624957e-07,2.586220e-07,2.548771e-07,2.512571e-07,2.477582e-07,2.443765e-07,2.411084e-07,2.379504e-07,2.348992e-07,2.319513e-07,2.291036e-07,2.263529e-07,2.236962e-07,2.211307e-07,2.186533e-07,2.162615e-07,2.139525e-07,2.117236e-07,2.095725e-07,2.074966e-07,2.054936e-07,2.035612e-07,2.016972e-07
0.000000e+00,7.825383e-11,1.206076e-08,1.297691e-08,2.511789e-07,1.969028e-06,2.122075e-06,1.105390e-05,3.763702e-05,4.032601e-05,1.105852e-04,2.281567e-04,2.410885e-04,4.393845e-04,6.704534e-04,6.987144e-04,1.002975e-03,1.293065e-03,1.333544e-03,1.674010e-03,1.965256e-03,2.012104e-03,2.339703e-03,2.603172e-03,2.651982e-03,2.946428e-03,3.173805e-03,3.221999e-03,3.478539e-03,3.670288e-03,3.716389e-03,3.936160e-03,4.095503e-03,4.138590e-03,4.324478e-03,4.455191e-03,4.494639e-03,4.649880e-03,4.755618e-03,4.790991e-03,4.918734e-03,5.002848e-03,5.033848e-03,5.137038e-03,5.202540e-03,5.228981e-03,5.310326e-03,5.359901e-03,5.381688e-03,5.443656e-03,5.479683e-03,5.496791e-03,5.541627e-03,5.566202e-03,5.578671e-03,5.608405e-03,5.623372e-03,5.631289e-03,5.647757e-03,5.654732e-03,5.658224e-03,5.663083e-03,5.663478e-03,5.662704e-03,5.657444e-03,5.652490e-03,5.647635e-03,5.633596e-03,5.624362e-03,5.615627e-03,5.594014e-03,5.581425e-03,5.569027e-03,5.540920e-03,5.525773e-03,5.509936e-03,5.476303e-03,5.459282e-03,5.440238e-03,5.401943e-03,5.383633e-03,5.361614e-03,5.319431e-03,5.300328e-03,5.275567e-03,5.230184e-03,5.210707e-03,5.183435e-03,5.135465e-03,5.115965e-03,5.086409e-03,5.036395e-03,5.017164e-03,4.985545e-03,4.933971e-03,4.915248e-03,4.881780e-03,4.829072e-03,4.811050e-03,4.775940e-03,4.722474e-03,4.705308e-03,4.668756e-03,4.614863e-03,4.598672e-03,4.560867e-03,4.506837e-03,4.491711e-03,4.452836e-03,4.398922e-03,4.384926e-03,4.345151e-03,4.291574e-03,4.278750e-03,4.238238e-03,4.185188e-03,4.173560e-03,4.132465e-03,4.080107e-03,4.069682e-03,4.028149e-03,3.976622e-03,3.967396e-03,3.925558e-03,3.874982e-03,3.866937e-03,3.824921e-03,3.775396e-03,3.768507e-03,3.726430e-03,3.678039e-03,3.672272e-03,3.630243e-03,3.583054e-03,3.578370e-03,3.536489e-03,3.490557e-03,3.486910e-03,3.445271e-03,3.400638e-03,3.397981e-03,3.356668e-03,3.313368e-03,3.311650e-03,3.270741e-03,3.228795e-03,3.227963e-03,3.187531e-03,3.146952e-03,3.068636e-03,2.993018e-03,2.920093e-03,2.849844e-03,2.782246e-03,2.717267e-03,2.654871e-03,2.595012e-03,2.537645e-03,2.482716e-03,2.430172e-03,2.379955e-03,2.332006e-03,2.286264e-03,2.242666e-03,2.201151e-03,2.161654e-03,2.124113e-03,2.088462e-03,2.054640e-03,2.022582e-03,1.992226e-03,1.963512e-03,1.936377e-03,1.910763e-03,1.886610e-03,1.863860e-03,1.842457e-03,1.822346e-03,1.803472e-03,1.785782e-03,1.769225e-03,1.753751e-03,1.739310e-03,1.725856e-03,1.713341e-03,1.701722e-03,1.690954e-03,1.680995e-03,1.671805e-03,1.663344e-03,1.655574e-03,1.648458e-03,1.641960e-03,1.636047e-03,1.630684e-03,1.625840e-03,1.621484e-03,1.617587e-03
0.000000e+00,6.361556e-09,1.879428e-07,1.981418e-07,1.676587e-06,6.434427e-06,6.727284e-06,1.608474e-05,2.652495e-05,2.719317e-05,3.799448e-05,4.719925e-05,4.796387e-05,5.704371e-05,6.448329e-05,6.526876e-05,7.269055e-05,7.859950e-05,7.936221e-05,8.533516e-05,8.995046e-05,9.065835e-05,9.537816e-05,9.890906e-05,9.953899e-05,1.031827e-04,1.058126e-04,1.063490e-04,1.090750e-04,1.109623e-04,1.113956e-04,1.133435e-04,1.146238e-04,1.149491e-04,1.162409e-04,1.170290e-04,1.172451e-04,1.179864e-04,1.183791e-04,1.184875e-04,1.187695e-04,1.188480e-04,1.188520e-04,1.187532e-04,1.185852e-04,1.184898e-04,1.180774e-04,1.177193e-04,1.175304e-04,1.168620e-04,1.163604e-04,1.160845e-04,1.152093e-04,1.146027e-04,1.142467e-04,1.132065e-04,1.125265e-04,1.120975e-04,1.109280e-04,1.102004e-04,1.097055e-04,1.084368e-04,1.076824e-04,1.071285e-04,1.057863e-04,1.050219e-04,1.044156e-04,1.030214e-04,1.022603e-04,1.016082e-04,1.001801e-04,9.943290e-05,9.874095e-05,9.729415e-05,9.656889e-05,9.584288e-05,9.438999e-05,9.369281e-05,9.293811e-05,9.148959e-05,9.082500e-05,9.004658e-05,8.861103e-05,8.798221e-05,8.718469e-05,8.576913e-05,8.517815e-05,8.436576e-05,8.297584e-05,8.242390e-05,8.160051e-05,8.024076e-05,7.972833e-05,7.889748e-05,7.757143e-05,7.709840e-05,7.626329e-05,7.497365e-05,7.453947e-05,7.370300e-05,7.245177e-05,7.205553e-05,7.122030e-05,7.000890e-05,6.964942e-05,6.881778e-05,6.764711e-05,6.732301e-05,6.649703e-05,6.536761e-05,6.507735e-05,6.425889e-05,6.317087e-05,6.291282e-05,6.210351e-05,6.105676e-05,6.082923e-05,6.003052e-05,5.902466e-05,5.882593e-05,5.803906e-05,5.707355e-05,5.690188e-05,5.612795e-05,5.520206e-05,5.505574e-05,5.429568e-05,5.340858e-05,5.328591e-05,5.254052e-05,5.169127e-05,5.159062e-05,5.086057e-05,5.004816e-05,4.996792e-05,4.925378e-05,4.847714e-05,4.841577e-05,4.771798e-05,4.697602e-05,4.693204e-05,4.625096e-05,4.554254e-05,4.551455e-05,4.485046e-05,4.417444e-05,4.416108e-05,4.351418e-05,4.286941e-05,4.163731e-05,4.046258e-05,3.934305e-05,3.827656e-05,3.726102e-05,3.629437e-05,3.537461e-05,3.449980e-05,3.366804e-05,3.287752e-05,3.212645e-05,3.141313e-05,3.073591e-05,3.009320e-05,2.948347e-05,2.890526e-05,2.835714e-05,2.783776e-05,2.734581e-05,2.688005e-05,2.643927e-05,2.602233e-05,2.562812e-05,2.525559e-05,2.490372e-05,2.457156e-05,2.425818e-05,2.396268e-05,2.368424e-05,2.342202e-05,2.317527e-05,2.294325e-05,2.272523e-05,2.252056e-05,2.232858e-05,2.214868e-05,2.198026e-05,2.182277e-05,2.167567e-05,2.153844e-05,2.141060e-05,2.129167e-05,2.118121e-05,2.107880e-05,2.098401e-05,2.089648e-05,2.081581e-05,2.074167e-05,2.067371e-05
0.000000e+00,1.782833e-10,2.084077e-09,2.167420e-09,1.091012e-08,3.201330e-08,3.322823e-08,7.234988e-08,1.217090e-07,1.251393e-07,1.845067e-07,2.390167e-07,2.436259e-07,2.986605e-07,3.436719e-07,3.484022e-07,3.927970e-07,4.276754e-07,4.321427e-07,4.668213e-07,4.932082e-07,4.972206e-07,5.237115e-07,5.431986e-07,5.466417e-07,5.663336e-07,5.802742e-07,5.830850e-07,5.971700e-07,6.066880e-07,6.088402e-07,6.183260e-07,6.243449e-07,6.258384e-07,6.315704e-07,6.348450e-07,6.356982e-07,6.383827e-07,6.395269e-07,6.397707e-07,6.399961e-07,6.395073e-07,6.391807e-07,6.374356e-07,6.357153e-07,6.348618e-07,6.315515e-07,6.289228e-07,6.275883e-07,6.230483e-07,6.197698e-07,6.180007e-07,6.125082e-07,6.087860e-07,6.066277e-07,6.004111e-07,5.964086e-07,5.939050e-07,5.871521e-07,5.829980e-07,5.801907e-07,5.730556e-07,5.688501e-07,5.657781e-07,5.583866e-07,5.542071e-07,5.509065e-07,5.433609e-07,5.392664e-07,5.357705e-07,5.281538e-07,5.241883e-07,5.205274e-07,5.129064e-07,5.091021e-07,5.053041e-07,4.977322e-07,4.941118e-07,4.902015e-07,4.827214e-07,4.792998e-07,4.753001e-07,4.679449e-07,4.647313e-07,4.606623e-07,4.534578e-07,4.504564e-07,4.463364e-07,4.393022e-07,4.365138e-07,4.323588e-07,4.255094e-07,4.229317e-07,4.187564e-07,4.121019e-07,4.097308e-07,4.055478e-07,3.990953e-07,3.969248e-07,3.927454e-07,3.864989e-07,3.845219e-07,3.803562e-07,3.743176e-07,3.725263e-07,3.683830e-07,3.625522e-07,3.609382e-07,3.568250e-07,3.512008e-07,3.497553e-07,3.456789e-07,3.402586e-07,3.389728e-07,3.349391e-07,3.297193e-07,3.285843e-07,3.245983e-07,3.195748e-07,3.185818e-07,3.146479e-07,3.098161e-07,3.089564e-07,3.050783e-07,3.004331e-07,2.996984e-07,2.958792e-07,2.914153e-07,2.907974e-07,2.870399e-07,2.827516e-07,2.822428e-07,2.785491e-07,2.744309e-07,2.740237e-07,2.703956e-07,2.664418e-07,2.661289e-07,2.625680e-07,2.587728e-07,2.585475e-07,2.550548e-07,2.514125e-07,2.512684e-07,2.478447e-07,2.443499e-07,2.442808e-07,2.409267e-07,2.375738e-07,2.311372e-07,2.249605e-07,2.190338e-07,2.133473e-07,2.078917e-07,2.026578e-07,1.976368e-07,1.928201e-07,1.881995e-07,1.837670e-07,1.795151e-07,1.754364e-07,1.715237e-07,1.677703e-07,1.641696e-07,1.607153e-07,1.574015e-07,1.542222e-07,1.511720e-07,1.482455e-07,1.454376e-07,1.427433e-07,1.401580e-07,1.376771e-07,1.352963e-07,1.330115e-07,1.308187e-07,1.287140e-07,1.266938e-07,1.247547e-07,1.228932e-07,1.211061e-07,1.193903e-07,1.177430e-07,1.161612e-07,1.146423e-07,1.131836e-07,1.117827e-07,1.104372e-07,1.091447e-07,1.079032e-07,1.067105e-07,1.055646e-07,1.044636e-07,1.034056e-07,1.023889e-07,1.014118e-07,1.004727e-07,9.956998e-08
0.000000e+00,1.651758e-09,1.878349e-08,1.955228e-08,1.093921e-07,3.698936e-07,3.860738e-07,9.396535e-07,1.651222e-06,1.699416e-06,2.501869e-06,3.202021e-06,3.260391e-06,3.953754e-06,4.520752e-06,4.580508e-06,5.143833e-06,5.590391e-06,5.647889e-06,6.096901e-06,6.442138e-06,6.494942e-06,6.845879e-06,7.106943e-06,7.153365e-06,7.420832e-06,7.612557e-06,7.651499e-06,7.848374e-06,7.983436e-06,8.014263e-06,8.151779e-06,8.240912e-06,8.263348e-06,8.351223e-06,8.403450e-06,8.417490e-06,8.464081e-06,8.486948e-06,8.492784e-06,8.505251e-06,8.505034e-06,8.503007e-06,8.487460e-06,8.469363e-06,8.459911e-06,8.421558e-06,8.389873e-06,8.373505e-06,8.316768e-06,8.275024e-06,8.252285e-06,8.180917e-06,8.131997e-06,8.103456e-06,8.020630e-06,7.966879e-06,7.933107e-06,7.841501e-06,7.784813e-06,7.746374e-06,7.648240e-06,7.590134e-06,7.547573e-06,7.444803e-06,7.386482e-06,7.340325e-06,7.234498e-06,7.176908e-06,7.127651e-06,7.020082e-06,6.963952e-06,6.912064e-06,6.803842e-06,6.749725e-06,6.695641e-06,6.587662e-06,6.535967e-06,6.480090e-06,6.373088e-06,6.324100e-06,6.266805e-06,6.161374e-06,6.115285e-06,6.056913e-06,5.953528e-06,5.910451e-06,5.851314e-06,5.750353e-06,5.710336e-06,5.650717e-06,5.552471e-06,5.515513e-06,5.455669e-06,5.360359e-06,5.326420e-06,5.266581e-06,5.174368e-06,5.143377e-06,5.083748e-06,4.994744e-06,4.966607e-06,4.907373e-06,4.821648e-06,4.796252e-06,4.737577e-06,4.655165e-06,4.632387e-06,4.574414e-06,4.495322e-06,4.475029e-06,4.417884e-06,4.342095e-06,4.324150e-06,4.267945e-06,4.195422e-06,4.179684e-06,4.124514e-06,4.055206e-06,4.041535e-06,3.987482e-06,3.921325e-06,3.909582e-06,3.856716e-06,3.793635e-06,3.783683e-06,3.732063e-06,3.671978e-06,3.663683e-06,3.613358e-06,3.556182e-06,3.549416e-06,3.500425e-06,3.446066e-06,3.440706e-06,3.393081e-06,3.341446e-06,3.337373e-06,3.291137e-06,3.242130e-06,3.239231e-06,3.194402e-06,3.147928e-06,3.146095e-06,3.102685e-06,3.058648e-06,3.057779e-06,3.015794e-06,2.974099e-06,2.894869e-06,2.819911e-06,2.749047e-06,2.682105e-06,2.618915e-06,2.559314e-06,2.503143e-06,2.450247e-06,2.400479e-06,2.353693e-06,2.309752e-06,2.268521e-06,2.229873e-06,2.193682e-06,2.159831e-06,2.128206e-06,2.098696e-06,2.071198e-06,2.045609e-06,2.021834e-06,1.999780e-06,1.979359e-06,1.960486e-06,1.943080e-06,1.927063e-06,1.912361e-06,1.898903e-06,1.886622e-06,1.875452e-06,1.865333e-06,1.856203e-06,1.848008e-06,1.840693e-06,1.834207e-06,1.828500e-06,1.823526e-06,1.819240e-06,1.815599e-06,1.812563e-06,1.810093e-06,1.808153e-06,1.806706e-06,1.805720e-06,1.805163e-06,1.805004e-06,1.805215e-06,1.805768e-06,1.806638e-06,1.807800e-06
0.000000e+00,4.241231e-10,3.814021e-08,4.068681e-08,5.573951e-07,3.333237e-06,3.551897e-06,1.380521e-05,3.520218e-05,3.701975e-05,7.451206e-05,1.172187e-04,1.211067e-04,1.698709e-04,2.119463e-04,2.164420e-04,2.591336e-04,2.932113e-04,2.976083e-04,3.320070e-04,3.585346e-04,3.625992e-04,3.896749e-04,4.099072e-04,4.135154e-04,4.343867e-04,4.494608e-04,4.525378e-04,4.682009e-04,4.790853e-04,4.815914e-04,4.929093e-04,5.004177e-04,5.023391e-04,5.100515e-04,5.148614e-04,5.162034e-04,5.209394e-04,5.236113e-04,5.243927e-04,5.266855e-04,5.276806e-04,5.279290e-04,5.282254e-04,5.279199e-04,5.276684e-04,5.263441e-04,5.250456e-04,5.243310e-04,5.217019e-04,5.196617e-04,5.185231e-04,5.148552e-04,5.122772e-04,5.107544e-04,5.062727e-04,5.033238e-04,5.014575e-04,4.963507e-04,4.931630e-04,4.909912e-04,4.854136e-04,4.820913e-04,4.796496e-04,4.737282e-04,4.703535e-04,4.676760e-04,4.615167e-04,4.581537e-04,4.552717e-04,4.489607e-04,4.456590e-04,4.426018e-04,4.362111e-04,4.330083e-04,4.298030e-04,4.233906e-04,4.203146e-04,4.169857e-04,4.105992e-04,4.076702e-04,4.042404e-04,3.979180e-04,3.951496e-04,3.916395e-04,3.854117e-04,3.828127e-04,3.792408e-04,3.731320e-04,3.707070e-04,3.670901e-04,3.611191e-04,3.588695e-04,3.552227e-04,3.494039e-04,3.473287e-04,3.436655e-04,3.380096e-04,3.361058e-04,3.324383e-04,3.269530e-04,3.252161e-04,3.215550e-04,3.162453e-04,3.146697e-04,3.110246e-04,3.058935e-04,3.044728e-04,3.008522e-04,2.959010e-04,2.946284e-04,2.910397e-04,2.862681e-04,2.851363e-04,2.815861e-04,2.769930e-04,2.759944e-04,2.724884e-04,2.680716e-04,2.671987e-04,2.637419e-04,2.594984e-04,2.587437e-04,2.553404e-04,2.512668e-04,2.506228e-04,2.472768e-04,2.433691e-04,2.428286e-04,2.395429e-04,2.357970e-04,2.353528e-04,2.321303e-04,2.285415e-04,2.281869e-04,2.250296e-04,2.215934e-04,2.213217e-04,2.182316e-04,2.149431e-04,2.147481e-04,2.117267e-04,2.085811e-04,2.084568e-04,2.055052e-04,2.024976e-04,2.024382e-04,1.995573e-04,1.966829e-04,1.911818e-04,1.859254e-04,1.809049e-04,1.761112e-04,1.715357e-04,1.671701e-04,1.630060e-04,1.590354e-04,1.552507e-04,1.516443e-04,1.482090e-04,1.449377e-04,1.418238e-04,1.388607e-04,1.360421e-04,1.333620e-04,1.308146e-04,1.283942e-04,1.260954e-04,1.239132e-04,1.218424e-04,1.198784e-04,1.180165e-04,1.162523e-04,1.145816e-04,1.130002e-04,1.115044e-04,1.100903e-04,1.087544e-04,1.074932e-04,1.063034e-04,1.051817e-04,1.041253e-04,1.031311e-04,1.021963e-04,1.013183e-04,1.004945e-04,9.972230e-05,9.899949e-05,9.832372e-05,9.769284e-05,9.710473e-05,9.655741e-05,9.604896e-05,9.557752e-05,9.514133e-05,9.473871e-05,9.436803e-05,9.402774e-05
0.000000e+00,1.157846e-12,2.620927e-10,2.841040e-10,7.723066e-09,7.916681e-08,8.619747e-08,5.723918e-07,2.437415e-06,2.650000e-06,9.370905e-06,2.490325e-05,2.692111e-05,6.569641e-05,1.311122e-04,1.407782e-04,2.716329e-04,4.510123e-04,4.811116e-04,7.939766e-04,1.164816e-03,1.235224e-03,1.828437e-03,2.459447e-03,2.594340e-03,3.549670e-03,4.482956e-03,4.706406e-03,6.071351e-03,7.314426e-03,7.646045e-03,9.426949e-03,1.095408e-02,1.140586e-02,1.357048e-02,1.533020e-02,1.590504e-02,1.839105e-02,2.031617e-02,2.100795e-02,2.373389e-02,2.575140e-02,2.654626e-02,2.942233e-02,3.146148e-02,3.233974e-02,3.527685e-02,3.727481e-02,3.821314e-02,4.112944e-02,4.303461e-02,4.400811e-02,4.683318e-02,4.860644e-02,4.959039e-02,5.226724e-02,5.388173e-02,5.485295e-02,5.733843e-02,5.877841e-02,5.971616e-02,6.198016e-02,6.323931e-02,6.412585e-02,6.614991e-02,6.722942e-02,6.805022e-02,6.982571e-02,7.073248e-02,7.147621e-02,7.300242e-02,7.374737e-02,7.440573e-02,7.568813e-02,7.628476e-02,7.685216e-02,7.790076e-02,7.836406e-02,7.883727e-02,7.966526e-02,8.001075e-02,8.038857e-02,8.101117e-02,8.125426e-02,8.153715e-02,8.197069e-02,8.212622e-02,8.231598e-02,8.257723e-02,8.265913e-02,8.275861e-02,8.286425e-02,8.288538e-02,8.289821e-02,8.286446e-02,8.283649e-02,8.276688e-02,8.260925e-02,8.254262e-02,8.239521e-02,8.212831e-02,8.203230e-02,8.181196e-02,8.144944e-02,8.133216e-02,8.104391e-02,8.059841e-02,8.046690e-02,8.011583e-02,7.959895e-02,7.945927e-02,7.905043e-02,7.847279e-02,7.833009e-02,7.786844e-02,7.723970e-02,7.709832e-02,7.658873e-02,7.591763e-02,7.578116e-02,7.522835e-02,7.452278e-02,7.439418e-02,7.380268e-02,7.306974e-02,7.295138e-02,7.232554e-02,7.157160e-02,7.146536e-02,7.080934e-02,7.004010e-02,6.994738e-02,6.926514e-02,6.848567e-02,6.840751e-02,6.770279e-02,6.691759e-02,6.685470e-02,6.613105e-02,6.534410e-02,6.529689e-02,6.455764e-02,6.377248e-02,6.374111e-02,6.298941e-02,6.220914e-02,6.219356e-02,6.143236e-02,6.065969e-02,5.914426e-02,5.765140e-02,5.618470e-02,5.474723e-02,5.334164e-02,5.197011e-02,5.063452e-02,4.933634e-02,4.807680e-02,4.685683e-02,4.567715e-02,4.453827e-02,4.344050e-02,4.238398e-02,4.136869e-02,4.039447e-02,3.946103e-02,3.856800e-02,3.771489e-02,3.690112e-02,3.612606e-02,3.538900e-02,3.468916e-02,3.402572e-02,3.339781e-02,3.280454e-02,3.224494e-02,3.171807e-02,3.122292e-02,3.075848e-02,3.032373e-02,2.991763e-02,2.953912e-02,2.918717e-02,2.886070e-02,2.855867e-02,2.828003e-02,2.802374e-02,2.778875e-02,2.757404e-02,2.737861e-02,2.720144e-02,2.704157e-02,2.689803e-02,2.676987e-02,2.665617e-02,2.655604e-02,2.646860e-02,2.639301e-02
0.000000e+00,1.697828e-10,1.904884e-09,1.982546e-09,1.097122e-08,3.642021e-08,3.797672e-08,8.966199e-08,1.518614e-07,1.559189e-07,2.208953e-07,2.736810e-07,2.779129e-07,3.260919e-07,3.624656e-07,3.661312e-07,3.990165e-07,4.227971e-07,4.257011e-07,4.470396e-07,4.616893e-07,4.637820e-07,4.765826e-07,4.847079e-07,4.860111e-07,4.925621e-07,4.960900e-07,4.966653e-07,4.986928e-07,4.990381e-07,4.989665e-07,4.977642e-07,4.959573e-07,4.953257e-07,4.918571e-07,4.886420e-07,4.875356e-07,4.825132e-07,4.784226e-07,4.769201e-07,4.708677e-07,4.662795e-07,4.644511e-07,4.577516e-07,4.529309e-07,4.508381e-07,4.437694e-07,4.388997e-07,4.365952e-07,4.293577e-07,4.245638e-07,4.220924e-07,4.148289e-07,4.101931e-07,4.075926e-07,4.004043e-07,3.959794e-07,3.932813e-07,3.862378e-07,3.820549e-07,3.792856e-07,3.724341e-07,3.685095e-07,3.656910e-07,3.590624e-07,3.554022e-07,3.525529e-07,3.461659e-07,3.427687e-07,3.399038e-07,3.337685e-07,3.306284e-07,3.277606e-07,3.218805e-07,3.189883e-07,3.161280e-07,3.105025e-07,3.078471e-07,3.050031e-07,2.996284e-07,2.971975e-07,2.943770e-07,2.892471e-07,2.870280e-07,2.842370e-07,2.793446e-07,2.773245e-07,2.745680e-07,2.699049e-07,2.680709e-07,2.653532e-07,2.609106e-07,2.592506e-07,2.565750e-07,2.523440e-07,2.508460e-07,2.482153e-07,2.441869e-07,2.428396e-07,2.402563e-07,2.364213e-07,2.352140e-07,2.326799e-07,2.290297e-07,2.279522e-07,2.254688e-07,2.219948e-07,2.210374e-07,2.186059e-07,2.152999e-07,2.144536e-07,2.120748e-07,2.089288e-07,2.081853e-07,2.058598e-07,2.028661e-07,2.022173e-07,1.999457e-07,1.970969e-07,1.965355e-07,1.943179e-07,1.916070e-07,1.911261e-07,1.889625e-07,1.863829e-07,1.859760e-07,1.838664e-07,1.814115e-07,1.810727e-07,1.790168e-07,1.766806e-07,1.764042e-07,1.744016e-07,1.721784e-07,1.719591e-07,1.700095e-07,1.678937e-07,1.677266e-07,1.658295e-07,1.638157e-07,1.636965e-07,1.618511e-07,1.599345e-07,1.598588e-07,1.580645e-07,1.562402e-07,1.562042e-07,1.544603e-07,1.527238e-07,1.494091e-07,1.462521e-07,1.432452e-07,1.403809e-07,1.376525e-07,1.350533e-07,1.325771e-07,1.302178e-07,1.279699e-07,1.258279e-07,1.237867e-07,1.218414e-07,1.199875e-07,1.182204e-07,1.165360e-07,1.149304e-07,1.133997e-07,1.119403e-07,1.105488e-07,1.092219e-07,1.079566e-07,1.067499e-07,1.055990e-07,1.045012e-07,1.034540e-07,1.024549e-07,1.015018e-07,1.005923e-07,9.972453e-08,9.889637e-08,9.810599e-08,9.735161e-08,9.663152e-08,9.594410e-08,9.528783e-08,9.466124e-08,9.406293e-08,9.349158e-08,9.294594e-08,9.242479e-08,9.192701e-08,9.145151e-08,9.099724e-08,9.056323e-08,9.014855e-08,8.975229e-08,8.937362e-08,8.901172e-08,8.866583e-08
0.000000e+00,1.856688e-09,7.323323e-08,7.720291e-08,6.996859e-07,3.406584e-06,3.605935e-06,1.209090e-05,2.691467e-05,2.804995e-05,4.862485e-05,6.801759e-05,6.965847e-05,8.922091e-05,1.051785e-04,1.068536e-04,1.225605e-04,1.348830e-04,1.364602e-04,1.486940e-04,1.579893e-04,1.594015e-04,1.687148e-04,1.755511e-04,1.767573e-04,1.836434e-04,1.885016e-04,1.894790e-04,1.943618e-04,1.976428e-04,1.983819e-04,2.016222e-04,2.036573e-04,2.041586e-04,2.060607e-04,2.071217e-04,2.073925e-04,2.082120e-04,2.085201e-04,2.085724e-04,2.085224e-04,2.082572e-04,2.081062e-04,2.073639e-04,2.066700e-04,2.063322e-04,2.050445e-04,2.040382e-04,2.035311e-04,2.018195e-04,2.005934e-04,1.999346e-04,1.978991e-04,1.965269e-04,1.957335e-04,1.934565e-04,1.919962e-04,1.910848e-04,1.886337e-04,1.871307e-04,1.861169e-04,1.835468e-04,1.820361e-04,1.809345e-04,1.782902e-04,1.767988e-04,1.756229e-04,1.729406e-04,1.714886e-04,1.702507e-04,1.675597e-04,1.661619e-04,1.648735e-04,1.621971e-04,1.608641e-04,1.595352e-04,1.568919e-04,1.556308e-04,1.542707e-04,1.516749e-04,1.504902e-04,1.491073e-04,1.465701e-04,1.454640e-04,1.440656e-04,1.415955e-04,1.405688e-04,1.391614e-04,1.367646e-04,1.358166e-04,1.344061e-04,1.320869e-04,1.312161e-04,1.298077e-04,1.275689e-04,1.267729e-04,1.253711e-04,1.232144e-04,1.224906e-04,1.210992e-04,1.190254e-04,1.183705e-04,1.169930e-04,1.150018e-04,1.144125e-04,1.130519e-04,1.111428e-04,1.106155e-04,1.092742e-04,1.074459e-04,1.069771e-04,1.056574e-04,1.039083e-04,1.034943e-04,1.021981e-04,1.005263e-04,1.001636e-04,9.889233e-05,9.729574e-05,9.698086e-05,9.573592e-05,9.421229e-05,9.394184e-05,9.272426e-05,9.127122e-05,9.104194e-05,8.985256e-05,8.846767e-05,8.827644e-05,8.711593e-05,8.579672e-05,8.564057e-05,8.450941e-05,8.325339e-05,8.312949e-05,8.202804e-05,8.083275e-05,8.073840e-05,7.966689e-05,7.852986e-05,7.846255e-05,7.742107e-05,7.633992e-05,7.629724e-05,7.528581e-05,7.425817e-05,7.423788e-05,7.325642e-05,7.228000e-05,7.041923e-05,6.865133e-05,6.697221e-05,6.537791e-05,6.386462e-05,6.242865e-05,6.106647e-05,5.977468e-05,5.855002e-05,5.738935e-05,5.628968e-05,5.524813e-05,5.426197e-05,5.332855e-05,5.244536e-05,5.161001e-05,5.082018e-05,5.007369e-05,4.936844e-05,4.870243e-05,4.807375e-05,4.748057e-05,4.692116e-05,4.639384e-05,4.589705e-05,4.542927e-05,4.498905e-05,4.457503e-05,4.418589e-05,4.382039e-05,4.347733e-05,4.315558e-05,4.285406e-05,4.257174e-05,4.230764e-05,4.206082e-05,4.183039e-05,4.161549e-05,4.141533e-05,4.122913e-05,4.105616e-05,4.089572e-05,4.074714e-05,4.060980e-05,4.048309e-05,4.036643e-05,4.025928e-05,4.016112e-05,4.007146e-05
0.000000e+00,8.147126e-09,1.995000e-07,2.094283e-07,1.571724e-06,6.150328e-06,6.448513e-06,1.721249e-05,3.231890e-05,3.338721e-05,5.189083e-05,6.902637e-05,7.049551e-05,8.845682e-05,1.039188e-04,1.055941e-04,1.218744e-04,1.354965e-04,1.373036e-04,1.518993e-04,1.638017e-04,1.656835e-04,1.786804e-04,1.890080e-04,1.909155e-04,2.024155e-04,2.113156e-04,2.132070e-04,2.233169e-04,2.309319e-04,2.327718e-04,2.415979e-04,2.480623e-04,2.498209e-04,2.574658e-04,2.629044e-04,2.645571e-04,2.711185e-04,2.756465e-04,2.771732e-04,2.827434e-04,2.864661e-04,2.878506e-04,2.925157e-04,2.955290e-04,2.967588e-04,3.005991e-04,3.029901e-04,3.040555e-04,3.071458e-04,3.089934e-04,3.098875e-04,3.122972e-04,3.136726e-04,3.143910e-04,3.161843e-04,3.171517e-04,3.176919e-04,3.189282e-04,3.195455e-04,3.199069e-04,3.206411e-04,3.209599e-04,3.211435e-04,3.214262e-04,3.214930e-04,3.215010e-04,3.213790e-04,3.212351e-04,3.210710e-04,3.205872e-04,3.202695e-04,3.199376e-04,3.191316e-04,3.186728e-04,3.181783e-04,3.170865e-04,3.165156e-04,3.158643e-04,3.145199e-04,3.138625e-04,3.130608e-04,3.114944e-04,3.107730e-04,3.098277e-04,3.080674e-04,3.073017e-04,3.062198e-04,3.042912e-04,3.034983e-04,3.022873e-04,3.002138e-04,2.994087e-04,2.980759e-04,2.958789e-04,2.950744e-04,2.936275e-04,2.913264e-04,2.905335e-04,2.889801e-04,2.865928e-04,2.858208e-04,2.841685e-04,2.817110e-04,2.809679e-04,2.792241e-04,2.767111e-04,2.760033e-04,2.741755e-04,2.716204e-04,2.709532e-04,2.690487e-04,2.664633e-04,2.658410e-04,2.638669e-04,2.612621e-04,2.606882e-04,2.586514e-04,2.560369e-04,2.555138e-04,2.534210e-04,2.508057e-04,2.503352e-04,2.481930e-04,2.455846e-04,2.451678e-04,2.429825e-04,2.403881e-04,2.400256e-04,2.378031e-04,2.352289e-04,2.349208e-04,2.326670e-04,2.301186e-04,2.298645e-04,2.275849e-04,2.250671e-04,2.248664e-04,2.225663e-04,2.200834e-04,2.199351e-04,2.176195e-04,2.151753e-04,2.150779e-04,2.127517e-04,2.103494e-04,2.103016e-04,2.079691e-04,2.056116e-04,2.010128e-04,1.965092e-04,1.921043e-04,1.878008e-04,1.836009e-04,1.795064e-04,1.755186e-04,1.716381e-04,1.678656e-04,1.642011e-04,1.606444e-04,1.571950e-04,1.538523e-04,1.506153e-04,1.474829e-04,1.444539e-04,1.415269e-04,1.387003e-04,1.359725e-04,1.333416e-04,1.308059e-04,1.283634e-04,1.260121e-04,1.237501e-04,1.215753e-04,1.194856e-04,1.174788e-04,1.155530e-04,1.137060e-04,1.119356e-04,1.102398e-04,1.086165e-04,1.070635e-04,1.055788e-04,1.041604e-04,1.028062e-04,1.015142e-04,1.002825e-04,9.910918e-05,9.799228e-05,9.692995e-05,9.592036e-05,9.496171e-05,9.405225e-05,9.319025e-05,9.237404e-05,9.160197e-05,9.087243e-05,9.018386e-05
0.000000e+00,1.720874e-10,2.314481e-08,2.484675e-08,4.383712e-07,3.194390e-06,3.432079e-06,1.647384e-05,5.157153e-05,5.495355e-05,1.374836e-04,2.611079e-04,2.739660e-04,4.583216e-04,6.508455e-04,6.731261e-04,8.991913e-04,1.095593e-03,1.121774e-03,1.331949e-03,1.499384e-03,1.525381e-03,1.700612e-03,1.833770e-03,1.857717e-03,1.997497e-03,2.099950e-03,2.121042e-03,2.229526e-03,2.306254e-03,2.324115e-03,2.405925e-03,2.461544e-03,2.476007e-03,2.535345e-03,2.573823e-03,2.584855e-03,2.625386e-03,2.650064e-03,2.657726e-03,2.682603e-03,2.696274e-03,2.700691e-03,2.712613e-03,2.717598e-03,2.718942e-03,2.720209e-03,2.718429e-03,2.716901e-03,2.709469e-03,2.702508e-03,2.698327e-03,2.683858e-03,2.673014e-03,2.666411e-03,2.646310e-03,2.632646e-03,2.623852e-03,2.599308e-03,2.583687e-03,2.572931e-03,2.544949e-03,2.528067e-03,2.515572e-03,2.484995e-03,2.467413e-03,2.453392e-03,2.420927e-03,2.403090e-03,2.387747e-03,2.353986e-03,2.336242e-03,2.319768e-03,2.285204e-03,2.267825e-03,2.250397e-03,2.215439e-03,2.198630e-03,2.180414e-03,2.145399e-03,2.129315e-03,2.110463e-03,2.075667e-03,2.060416e-03,2.041067e-03,2.006714e-03,1.992370e-03,1.972653e-03,1.938923e-03,1.925532e-03,1.905561e-03,1.872598e-03,1.860183e-03,1.840063e-03,1.807979e-03,1.796543e-03,1.776367e-03,1.745248e-03,1.734782e-03,1.714635e-03,1.684542e-03,1.675024e-03,1.654981e-03,1.625961e-03,1.617361e-03,1.597489e-03,1.569570e-03,1.561852e-03,1.542208e-03,1.515407e-03,1.508530e-03,1.489167e-03,1.463489e-03,1.457410e-03,1.438372e-03,1.413813e-03,1.408485e-03,1.389812e-03,1.366363e-03,1.361739e-03,1.343463e-03,1.321108e-03,1.317141e-03,1.299291e-03,1.278008e-03,1.274652e-03,1.257253e-03,1.237017e-03,1.234226e-03,1.217296e-03,1.198081e-03,1.195809e-03,1.179366e-03,1.161142e-03,1.159346e-03,1.143401e-03,1.126137e-03,1.124776e-03,1.109340e-03,1.093003e-03,1.092037e-03,1.077117e-03,1.061674e-03,1.061066e-03,1.046666e-03,1.032084e-03,1.031797e-03,1.017920e-03,1.004166e-03,9.781089e-04,9.535610e-04,9.304593e-04,9.087418e-04,8.883478e-04,8.692180e-04,8.512948e-04,8.345220e-04,8.188454e-04,8.042123e-04,7.905720e-04,7.778754e-04,7.660752e-04,7.551259e-04,7.449836e-04,7.356063e-04,7.269536e-04,7.189865e-04,7.116678e-04,7.049618e-04,6.988344e-04,6.932528e-04,6.881856e-04,6.836028e-04,6.794758e-04,6.757771e-04,6.724806e-04,6.695613e-04,6.669953e-04,6.647599e-04,6.628335e-04,6.611953e-04,6.598257e-04,6.587060e-04,6.578185e-04,6.571462e-04,6.566730e-04,6.563837e-04,6.562640e-04,6.562999e-04,6.564787e-04,6.567881e-04,6.572163e-04,6.577525e-04,6.583864e-04,6.591082e-04,6.599086e-04,6.607792e-04,6.617118e-04
0.000000e+00,5.120841e-09,1.507977e-07,1.584016e-07,1.214250e-06,4.985409e-06,5.240655e-06,1.509305e-05,3.095477e-05,3.216868e-05,5.497593e-05,7.829157e-05,8.034575e-05,1.057272e-04,1.276075e-04,1.299671e-04,1.527274e-04,1.714897e-04,1.739572e-04,1.936903e-04,2.095075e-04,2.119845e-04,2.289048e-04,2.421049e-04,2.445178e-04,2.588891e-04,2.697921e-04,2.720829e-04,2.841612e-04,2.930613e-04,2.951843e-04,3.052096e-04,3.123724e-04,3.142925e-04,3.224859e-04,3.281491e-04,3.298403e-04,3.364037e-04,3.407785e-04,3.422220e-04,3.473391e-04,3.506125e-04,3.517964e-04,3.556335e-04,3.579708e-04,3.588882e-04,3.615961e-04,3.631426e-04,3.637913e-04,3.655061e-04,3.663896e-04,3.667711e-04,3.676155e-04,3.679480e-04,3.680670e-04,3.681516e-04,3.680309e-04,3.678944e-04,3.673188e-04,3.668300e-04,3.664472e-04,3.653008e-04,3.645179e-04,3.638996e-04,3.622625e-04,3.612494e-04,3.604075e-04,3.583516e-04,3.571636e-04,3.561109e-04,3.537005e-04,3.523848e-04,3.511348e-04,3.484273e-04,3.470244e-04,3.455909e-04,3.426375e-04,3.411818e-04,3.395787e-04,3.364250e-04,3.349453e-04,3.331867e-04,3.298733e-04,3.283939e-04,3.264937e-04,3.230564e-04,3.215975e-04,3.195693e-04,3.160399e-04,3.146178e-04,3.124751e-04,3.088815e-04,3.075097e-04,3.052653e-04,3.016322e-04,3.003213e-04,2.979877e-04,2.943368e-04,2.930948e-04,2.906841e-04,2.870341e-04,2.858674e-04,2.833909e-04,2.797584e-04,2.786712e-04,2.761399e-04,2.725389e-04,2.715342e-04,2.689584e-04,2.654012e-04,2.644804e-04,2.618699e-04,2.583669e-04,2.575307e-04,2.548945e-04,2.514547e-04,2.507025e-04,2.480493e-04,2.446800e-04,2.440106e-04,2.413484e-04,2.380559e-04,2.374674e-04,2.348036e-04,2.315929e-04,2.310831e-04,2.284246e-04,2.252997e-04,2.248657e-04,2.222189e-04,2.191830e-04,2.188217e-04,2.161925e-04,2.132480e-04,2.129561e-04,2.103499e-04,2.074984e-04,2.072723e-04,2.046940e-04,2.019366e-04,2.017727e-04,1.992266e-04,1.965640e-04,1.964585e-04,1.939487e-04,1.913808e-04,1.913299e-04,1.888601e-04,1.863866e-04,1.816273e-04,1.770501e-04,1.726528e-04,1.684326e-04,1.643862e-04,1.605101e-04,1.568007e-04,1.532538e-04,1.498654e-04,1.466311e-04,1.435466e-04,1.406074e-04,1.378089e-04,1.351467e-04,1.326162e-04,1.302128e-04,1.279322e-04,1.257698e-04,1.237213e-04,1.217823e-04,1.199487e-04,1.182163e-04,1.165810e-04,1.150389e-04,1.135860e-04,1.122187e-04,1.109333e-04,1.097261e-04,1.085938e-04,1.075330e-04,1.065405e-04,1.056131e-04,1.047478e-04,1.039417e-04,1.031920e-04,1.024959e-04,1.018508e-04,1.012542e-04,1.007037e-04,1.001969e-04,9.973157e-05,9.930561e-05,9.891691e-05,9.856351e-05,9.824348e-05,9.795502e-05,9.769638e-05,9.746589e-05,9.726195e-05
0.000000e+00,2.612410e-10,3.015949e-08,3.227029e-08,4.852810e-07,3.154584e-06,3.377018e-06,1.517003e-05,4.583673e-05,4.874932e-05,1.181101e-04,2.169829e-04,2.269782e-04,3.655358e-04,5.028830e-04,5.184088e-04,6.727505e-04,8.035128e-04,8.207961e-04,9.588787e-04,1.068659e-03,1.085731e-03,1.201251e-03,1.289808e-03,1.305828e-03,1.400033e-03,1.469981e-03,1.484492e-03,1.559831e-03,1.613946e-03,1.626659e-03,1.685561e-03,1.726364e-03,1.737097e-03,1.781795e-03,1.811502e-03,1.820157e-03,1.852658e-03,1.873197e-03,1.879742e-03,1.901830e-03,1.914860e-03,1.919313e-03,1.932560e-03,1.939499e-03,1.941917e-03,1.947704e-03,1.949755e-03,1.950223e-03,1.949755e-03,1.947938e-03,1.946563e-03,1.940890e-03,1.936064e-03,1.932966e-03,1.923002e-03,1.915886e-03,1.911194e-03,1.897727e-03,1.888922e-03,1.882771e-03,1.866484e-03,1.856486e-03,1.849013e-03,1.830493e-03,1.819711e-03,1.811051e-03,1.790803e-03,1.779572e-03,1.769857e-03,1.748313e-03,1.736904e-03,1.726263e-03,1.703791e-03,1.692422e-03,1.680976e-03,1.657890e-03,1.646732e-03,1.634599e-03,1.611164e-03,1.600350e-03,1.587640e-03,1.564078e-03,1.553711e-03,1.540526e-03,1.517024e-03,1.507178e-03,1.493613e-03,1.470327e-03,1.461054e-03,1.447198e-03,1.424254e-03,1.415590e-03,1.401523e-03,1.379026e-03,1.370989e-03,1.356785e-03,1.334818e-03,1.327415e-03,1.313142e-03,1.291772e-03,1.285000e-03,1.270719e-03,1.249996e-03,1.243844e-03,1.229610e-03,1.209572e-03,1.204024e-03,1.189886e-03,1.170559e-03,1.165593e-03,1.151595e-03,1.132998e-03,1.128589e-03,1.114769e-03,1.096911e-03,1.093032e-03,1.079424e-03,1.062308e-03,1.058929e-03,1.045563e-03,1.029187e-03,1.026279e-03,1.013179e-03,9.975359e-04,9.950668e-04,9.822556e-04,9.673347e-04,9.652742e-04,9.527697e-04,9.385569e-04,9.368748e-04,9.246920e-04,9.111709e-04,9.098375e-04,8.979887e-04,8.851408e-04,8.841273e-04,8.726222e-04,8.604277e-04,8.597062e-04,8.485521e-04,8.369900e-04,8.365339e-04,8.257359e-04,8.147843e-04,8.145683e-04,8.041297e-04,7.937663e-04,7.740842e-04,7.554778e-04,7.379032e-04,7.213168e-04,7.056756e-04,6.909373e-04,6.770604e-04,6.640046e-04,6.517308e-04,6.402009e-04,6.293780e-04,6.192266e-04,6.097127e-04,6.008031e-04,5.924664e-04,5.846722e-04,5.773914e-04,5.705963e-04,5.642605e-04,5.583584e-04,5.528659e-04,5.477601e-04,5.430189e-04,5.386215e-04,5.345480e-04,5.307796e-04,5.272983e-04,5.240870e-04,5.211297e-04,5.184111e-04,5.159165e-04,5.136323e-04,5.115454e-04,5.096435e-04,5.079149e-04,5.063485e-04,5.049340e-04,5.036613e-04,5.025213e-04,5.015051e-04,5.006044e-04,4.998113e-04,4.991184e-04,4.985187e-04,4.980058e-04,4.975732e-04,4.972152e-04,4.969264e-04,4.967014e-04
0.000000e+00,5.217792e-09,7.845432e-08,8.190772e-08,5.267123e-07,2.028786e-06,2.128325e-06,5.767030e-06,1.073623e-05,1.107659e-05,1.675538e-05,2.169097e-05,2.210050e-05,2.693319e-05,3.083083e-05,3.123824e-05,3.504296e-05,3.800676e-05,3.838457e-05,4.130118e-05,4.349734e-05,4.382916e-05,4.600257e-05,4.757743e-05,4.785304e-05,4.940989e-05,5.048656e-05,5.070033e-05,5.174951e-05,5.243080e-05,5.258063e-05,5.321519e-05,5.358641e-05,5.367286e-05,5.397177e-05,5.410305e-05,5.412854e-05,5.415839e-05,5.410700e-05,5.407523e-05,5.389179e-05,5.370416e-05,5.361965e-05,5.326938e-05,5.298288e-05,5.285058e-05,5.237198e-05,5.201642e-05,5.184147e-05,5.126622e-05,5.086523e-05,5.065273e-05,5.000684e-05,4.957894e-05,4.933386e-05,4.863854e-05,4.819813e-05,4.792519e-05,4.719766e-05,4.675579e-05,4.645942e-05,4.571355e-05,4.527857e-05,4.496285e-05,4.420978e-05,4.378785e-05,4.345653e-05,4.270507e-05,4.230064e-05,4.195712e-05,4.121421e-05,4.083033e-05,4.047767e-05,3.974867e-05,3.938732e-05,3.902824e-05,3.831724e-05,3.797955e-05,3.761645e-05,3.692650e-05,3.661292e-05,3.624794e-05,3.558121e-05,3.529170e-05,3.492670e-05,3.428468e-05,3.401881e-05,3.365539e-05,3.303900e-05,3.279609e-05,3.243564e-05,3.184536e-05,3.162449e-05,3.126820e-05,3.070414e-05,3.050428e-05,3.015315e-05,2.961514e-05,2.943516e-05,2.909002e-05,2.857767e-05,2.841639e-05,2.807794e-05,2.759069e-05,2.744691e-05,2.711572e-05,2.665287e-05,2.652542e-05,2.620193e-05,2.576271e-05,2.565040e-05,2.533497e-05,2.491852e-05,2.482022e-05,2.451312e-05,2.411854e-05,2.403317e-05,2.373457e-05,2.336096e-05,2.328746e-05,2.299749e-05,2.264392e-05,2.258131e-05,2.230002e-05,2.196557e-05,2.191291e-05,2.164032e-05,2.132407e-05,2.128050e-05,2.101657e-05,2.071762e-05,2.068231e-05,2.042698e-05,2.014445e-05,2.011664e-05,1.986982e-05,1.960286e-05,1.958183e-05,1.934339e-05,1.909119e-05,1.907629e-05,1.884608e-05,1.860785e-05,1.859846e-05,1.837632e-05,1.815130e-05,1.814687e-05,1.793262e-05,1.772010e-05,1.731679e-05,1.693566e-05,1.657547e-05,1.623506e-05,1.591332e-05,1.560921e-05,1.532172e-05,1.504992e-05,1.479292e-05,1.454988e-05,1.432001e-05,1.410256e-05,1.389682e-05,1.370213e-05,1.351785e-05,1.334341e-05,1.317823e-05,1.302180e-05,1.287362e-05,1.273323e-05,1.260018e-05,1.247406e-05,1.235449e-05,1.224110e-05,1.213353e-05,1.203148e-05,1.193462e-05,1.184267e-05,1.175537e-05,1.167245e-05,1.159368e-05,1.151883e-05,1.144768e-05,1.138003e-05,1.131570e-05,1.125451e-05,1.119628e-05,1.114086e-05,1.108811e-05,1.103786e-05,1.099001e-05,1.094441e-05,1.090096e-05,1.085953e-05,1.082003e-05,1.078235e-05,1.074641e-05,1.071211e-05,1.067937e-05
0.000000e+00,2.223846e-09,1.020588e-07,1.076500e-07,9.425261e-07,4.393316e-06,4.646150e-06,1.566299e-05,3.677634e-05,3.850747e-05,7.279745e-05,1.096298e-04,1.129107e-04,1.536197e-04,1.887541e-04,1.925382e-04,2.289497e-04,2.588128e-04,2.627282e-04,2.939267e-04,3.187732e-04,3.226497e-04,3.490165e-04,3.694329e-04,3.731489e-04,3.951672e-04,4.117274e-04,4.151891e-04,4.333286e-04,4.465590e-04,4.496958e-04,4.643965e-04,4.747717e-04,4.775323e-04,4.892001e-04,4.971427e-04,4.994920e-04,5.084950e-04,5.143766e-04,5.162924e-04,5.229628e-04,5.271098e-04,5.285811e-04,5.332184e-04,5.359167e-04,5.369416e-04,5.398149e-04,5.413148e-04,5.418996e-04,5.432520e-04,5.437695e-04,5.439255e-04,5.439704e-04,5.436909e-04,5.434334e-04,5.423591e-04,5.414417e-04,5.407894e-04,5.387633e-04,5.373440e-04,5.363178e-04,5.334880e-04,5.316835e-04,5.303064e-04,5.268037e-04,5.247128e-04,5.230088e-04,5.189487e-04,5.166550e-04,5.146489e-04,5.101329e-04,5.077067e-04,5.054232e-04,5.005406e-04,4.980406e-04,4.955046e-04,4.903335e-04,4.878085e-04,4.850444e-04,4.796533e-04,4.771432e-04,4.741749e-04,4.686232e-04,4.661606e-04,4.630112e-04,4.573508e-04,4.549618e-04,4.516534e-04,4.459293e-04,4.436344e-04,4.401882e-04,4.344391e-04,4.322541e-04,4.286902e-04,4.229494e-04,4.208860e-04,4.172237e-04,4.115196e-04,4.095862e-04,4.058432e-04,4.002000e-04,3.984021e-04,3.945953e-04,3.890335e-04,3.873740e-04,3.835191e-04,3.780558e-04,3.765357e-04,3.726472e-04,3.672965e-04,3.659152e-04,3.620066e-04,3.567800e-04,3.555353e-04,3.516192e-04,3.465260e-04,3.454148e-04,3.415025e-04,3.365501e-04,3.355682e-04,3.316702e-04,3.268641e-04,3.260069e-04,3.221326e-04,3.174768e-04,3.167389e-04,3.128972e-04,3.083944e-04,3.077701e-04,3.039687e-04,2.996204e-04,2.991038e-04,2.953497e-04,2.911566e-04,2.907415e-04,2.870410e-04,2.830028e-04,2.826831e-04,2.790417e-04,2.751573e-04,2.749267e-04,2.713494e-04,2.676173e-04,2.674696e-04,2.639606e-04,2.603787e-04,2.603078e-04,2.568709e-04,2.534366e-04,2.468504e-04,2.405431e-04,2.345081e-04,2.287383e-04,2.232266e-04,2.179654e-04,2.129470e-04,2.081637e-04,2.036077e-04,1.992711e-04,1.951463e-04,1.912254e-04,1.875010e-04,1.839654e-04,1.806113e-04,1.774315e-04,1.744190e-04,1.715668e-04,1.688683e-04,1.663169e-04,1.639064e-04,1.616306e-04,1.594836e-04,1.574596e-04,1.555531e-04,1.537588e-04,1.520714e-04,1.504860e-04,1.489979e-04,1.476024e-04,1.462951e-04,1.450717e-04,1.439282e-04,1.428606e-04,1.418652e-04,1.409384e-04,1.400767e-04,1.392768e-04,1.385356e-04,1.378500e-04,1.372170e-04,1.366341e-04,1.360983e-04,1.356074e-04,1.351587e-04,1.347501e-04,1.343793e-04,1.340441e-04,1.337426e-04
0.000000e+00,1.279856e-09,1.620846e-08,1.689926e-08,9.801229e-08,3.252076e-07,3.389937e-07,7.966812e-07,1.363032e-06,1.400958e-06,2.028976e-06,2.573856e-06,2.619183e-06,3.156339e-06,3.593564e-06,3.639518e-06,4.071340e-06,4.411564e-06,4.455212e-06,4.794613e-06,5.053496e-06,5.092903e-06,5.353269e-06,5.544880e-06,5.578726e-06,5.772106e-06,5.908608e-06,5.936062e-06,6.073077e-06,6.164851e-06,6.185464e-06,6.275375e-06,6.331194e-06,6.344810e-06,6.395625e-06,6.422852e-06,6.429536e-06,6.448132e-06,6.452901e-06,6.452881e-06,6.445138e-06,6.432533e-06,6.426152e-06,6.397075e-06,6.371288e-06,6.358967e-06,6.312805e-06,6.277275e-06,6.259485e-06,6.199833e-06,6.157363e-06,6.134604e-06,6.064493e-06,6.017357e-06,5.990137e-06,5.912118e-06,5.862142e-06,5.830968e-06,5.747176e-06,5.695819e-06,5.661186e-06,5.573404e-06,5.521816e-06,5.484198e-06,5.393905e-06,5.342981e-06,5.302829e-06,5.211248e-06,5.161672e-06,5.119410e-06,5.027543e-06,4.979829e-06,4.935851e-06,4.844515e-06,4.799033e-06,4.753701e-06,4.663556e-06,4.620563e-06,4.574210e-06,4.485780e-06,4.445439e-06,4.398370e-06,4.312068e-06,4.274468e-06,4.226955e-06,4.143100e-06,4.108270e-06,4.060561e-06,3.979388e-06,3.947312e-06,3.899625e-06,3.821307e-06,3.791931e-06,3.744463e-06,3.669115e-06,3.642360e-06,3.595281e-06,3.522972e-06,3.498736e-06,3.452197e-06,3.382960e-06,3.361129e-06,3.315260e-06,3.249095e-06,3.229543e-06,3.184457e-06,3.121338e-06,3.103936e-06,3.059727e-06,2.999610e-06,2.984223e-06,2.940973e-06,2.883797e-06,2.870290e-06,2.828064e-06,2.773756e-06,2.761997e-06,2.720850e-06,2.669325e-06,2.659184e-06,2.619159e-06,2.570328e-06,2.561678e-06,2.522808e-06,2.476575e-06,2.469295e-06,2.431604e-06,2.387870e-06,2.381844e-06,2.345348e-06,2.304013e-06,2.299131e-06,2.263839e-06,2.224801e-06,2.220959e-06,2.186874e-06,2.150032e-06,2.147130e-06,2.114250e-06,2.079504e-06,2.077452e-06,2.045769e-06,2.013020e-06,2.011731e-06,1.981234e-06,1.950387e-06,1.949779e-06,1.920455e-06,1.891415e-06,1.836458e-06,1.784738e-06,1.736088e-06,1.690348e-06,1.647364e-06,1.606989e-06,1.569082e-06,1.533508e-06,1.500140e-06,1.468855e-06,1.439537e-06,1.412074e-06,1.386363e-06,1.362303e-06,1.339799e-06,1.318763e-06,1.299109e-06,1.280757e-06,1.263632e-06,1.247660e-06,1.232776e-06,1.218913e-06,1.206013e-06,1.194017e-06,1.182871e-06,1.172525e-06,1.162931e-06,1.154043e-06,1.145818e-06,1.138216e-06,1.131200e-06,1.124732e-06,1.118780e-06,1.113312e-06,1.108297e-06,1.103708e-06,1.099517e-06,1.095700e-06,1.092233e-06,1.089094e-06,1.086262e-06,1.083717e-06,1.081440e-06,1.079415e-06,1.077624e-06,1.076053e-06,1.074686e-06,1.073510e-06,1.072513e-06
0.000000e+00,6.719394e-10,1.025731e-08,1.073046e-08,6.913621e-08,2.272351e-07,2.362642e-07,5.017752e-07,7.754114e-07,7.927606e-07,1.074858e-06,1.320287e-06,1.340951e-06,1.590105e-06,1.800107e-06,1.822628e-06,2.039118e-06,2.216898e-06,2.240245e-06,2.426681e-06,2.575739e-06,2.599047e-06,2.757996e-06,2.881626e-06,2.904186e-06,3.038261e-06,3.139600e-06,3.160844e-06,3.272538e-06,3.354443e-06,3.373922e-06,3.465554e-06,3.530600e-06,3.547967e-06,3.621673e-06,3.672167e-06,3.687160e-06,3.744896e-06,3.782894e-06,3.795327e-06,3.838878e-06,3.866203e-06,3.875955e-06,3.906943e-06,3.925211e-06,3.932213e-06,3.952113e-06,3.962749e-06,3.966978e-06,3.977126e-06,3.981386e-06,3.982857e-06,3.984460e-06,3.983446e-06,3.982207e-06,3.976357e-06,3.971032e-06,3.967156e-06,3.954837e-06,3.946043e-06,3.939623e-06,3.921723e-06,3.910190e-06,3.901337e-06,3.878654e-06,3.865014e-06,3.853851e-06,3.827100e-06,3.811901e-06,3.798561e-06,3.768385e-06,3.752094e-06,3.736715e-06,3.703689e-06,3.686707e-06,3.669433e-06,3.634069e-06,3.616735e-06,3.597712e-06,3.560469e-06,3.543068e-06,3.522442e-06,3.483727e-06,3.466498e-06,3.444415e-06,3.404589e-06,3.387729e-06,3.364331e-06,3.323715e-06,3.307385e-06,3.282812e-06,3.241688e-06,3.226016e-06,3.200405e-06,3.159022e-06,3.144110e-06,3.117592e-06,3.076167e-06,3.062093e-06,3.034795e-06,2.993518e-06,2.980337e-06,2.952380e-06,2.911417e-06,2.899168e-06,2.870666e-06,2.830161e-06,2.818867e-06,2.789930e-06,2.750004e-06,2.739676e-06,2.710408e-06,2.671166e-06,2.661803e-06,2.632299e-06,2.593830e-06,2.585421e-06,2.555774e-06,2.518151e-06,2.510679e-06,2.480974e-06,2.444257e-06,2.437698e-06,2.408013e-06,2.372253e-06,2.366577e-06,2.336986e-06,2.302221e-06,2.297395e-06,2.267965e-06,2.234225e-06,2.230212e-06,2.201006e-06,2.168313e-06,2.165073e-06,2.136149e-06,2.104517e-06,2.102009e-06,2.073419e-06,2.042856e-06,2.041039e-06,2.012829e-06,1.983339e-06,1.982170e-06,1.954384e-06,1.925963e-06,1.925400e-06,1.898075e-06,1.870717e-06,1.818104e-06,1.767537e-06,1.718986e-06,1.672417e-06,1.627791e-06,1.585067e-06,1.544201e-06,1.505146e-06,1.467856e-06,1.432280e-06,1.398368e-06,1.366069e-06,1.335333e-06,1.306107e-06,1.278342e-06,1.251985e-06,1.226987e-06,1.203297e-06,1.180867e-06,1.159649e-06,1.139595e-06,1.120659e-06,1.102796e-06,1.085962e-06,1.070113e-06,1.055208e-06,1.041206e-06,1.028068e-06,1.015755e-06,1.004231e-06,9.934600e-07,9.834068e-07,9.740382e-07,9.653220e-07,9.572270e-07,9.497233e-07,9.427819e-07,9.363751e-07,9.304761e-07,9.250593e-07,9.200999e-07,9.155743e-07,9.114598e-07,9.077346e-07,9.043776e-07,9.013690e-07,8.986896e-07,8.963209e-07,8.942455e-07
0.000000e+00,2.758694e-08,6.788470e-07,7.148186e-07,5.905063e-06,2.155032e-05,2.244279e-05,4.768497e-05,7.239482e-05,7.393892e-05,9.880972e-05,1.201478e-04,1.219326e-04,1.433064e-04,1.611014e-04,1.629968e-04,1.810815e-04,1.957304e-04,1.976393e-04,2.127489e-04,2.246441e-04,2.264879e-04,2.389325e-04,2.484403e-04,2.501573e-04,2.602349e-04,2.676918e-04,2.692355e-04,2.772266e-04,2.829361e-04,2.842728e-04,2.904359e-04,2.946681e-04,2.957748e-04,3.003451e-04,3.033370e-04,3.041994e-04,3.073868e-04,3.093440e-04,3.099545e-04,3.119468e-04,3.130486e-04,3.134056e-04,3.143708e-04,3.147734e-04,3.148810e-04,3.149727e-04,3.148128e-04,3.146787e-04,3.140299e-04,3.134216e-04,3.130554e-04,3.117827e-04,3.108234e-04,3.102370e-04,3.084425e-04,3.072149e-04,3.064217e-04,3.041955e-04,3.027695e-04,3.017838e-04,2.992049e-04,2.976394e-04,2.964760e-04,2.936133e-04,2.919574e-04,2.906318e-04,2.875455e-04,2.858399e-04,2.843675e-04,2.811100e-04,2.793886e-04,2.777845e-04,2.744015e-04,2.726915e-04,2.709707e-04,2.675014e-04,2.658250e-04,2.640020e-04,2.604803e-04,2.588549e-04,2.569437e-04,2.533988e-04,2.518380e-04,2.498518e-04,2.463085e-04,2.448227e-04,2.427741e-04,2.392535e-04,2.378502e-04,2.357512e-04,2.322711e-04,2.309553e-04,2.288170e-04,2.253924e-04,2.241673e-04,2.220002e-04,2.186433e-04,2.175105e-04,2.153243e-04,2.120453e-04,2.110048e-04,2.088084e-04,2.056155e-04,2.046665e-04,2.024682e-04,1.993679e-04,1.985084e-04,1.963158e-04,1.933129e-04,1.925404e-04,1.903604e-04,1.874588e-04,1.867701e-04,1.846089e-04,1.818111e-04,1.812026e-04,1.790659e-04,1.763736e-04,1.758414e-04,1.737343e-04,1.711481e-04,1.706883e-04,1.686152e-04,1.661354e-04,1.657435e-04,1.637085e-04,1.613344e-04,1.610063e-04,1.590129e-04,1.567435e-04,1.564747e-04,1.545260e-04,1.523600e-04,1.521462e-04,1.502448e-04,1.481802e-04,1.480172e-04,1.461655e-04,1.442001e-04,1.440838e-04,1.422836e-04,1.404152e-04,1.403415e-04,1.385943e-04,1.368204e-04,1.367853e-04,1.350925e-04,1.334102e-04,1.302107e-04,1.271811e-04,1.243158e-04,1.216089e-04,1.190546e-04,1.166471e-04,1.143805e-04,1.122491e-04,1.102472e-04,1.083692e-04,1.066096e-04,1.049631e-04,1.034243e-04,1.019882e-04,1.006499e-04,9.940437e-05,9.824709e-05,9.717351e-05,9.617924e-05,9.526006e-05,9.441191e-05,9.363086e-05,9.291314e-05,9.225514e-05,9.165337e-05,9.110450e-05,9.060534e-05,9.015282e-05,8.974401e-05,8.937613e-05,8.904651e-05,8.875259e-05,8.849194e-05,8.826227e-05,8.806136e-05,8.788714e-05,8.773761e-05,8.761089e-05,8.750521e-05,8.741887e-05,8.735027e-05,8.729790e-05,8.726035e-05,8.723626e-05,8.722438e-05,8.722352e-05,8.723255e-05,8.725044e-05,8.727620e-05
0.000000e+00,8.105667e-10,1.150141e-08,1.201346e-08,7.343916e-08,2.427459e-07,2.527698e-07,5.673805e-07,9.161896e-07,9.385195e-07,1.299335e-06,1.606301e-06,1.631768e-06,1.933732e-06,2.180419e-06,2.206420e-06,2.451625e-06,2.646135e-06,2.671189e-06,2.866896e-06,3.017414e-06,3.040436e-06,3.193413e-06,3.307136e-06,3.327345e-06,3.443670e-06,3.526871e-06,3.543742e-06,3.628840e-06,3.686944e-06,3.700161e-06,3.758832e-06,3.796492e-06,3.805904e-06,3.842359e-06,3.863530e-06,3.869113e-06,3.887019e-06,3.895040e-06,3.896868e-06,3.899395e-06,3.897067e-06,3.895284e-06,3.885166e-06,3.874825e-06,3.869627e-06,3.849208e-06,3.832793e-06,3.824410e-06,3.795696e-06,3.774807e-06,3.763491e-06,3.728191e-06,3.704143e-06,3.690158e-06,3.649726e-06,3.623589e-06,3.607202e-06,3.562868e-06,3.535509e-06,3.516985e-06,3.469790e-06,3.441903e-06,3.421501e-06,3.372318e-06,3.344454e-06,3.322423e-06,3.271983e-06,3.244573e-06,3.221150e-06,3.170062e-06,3.143438e-06,3.118845e-06,3.067613e-06,3.042023e-06,3.016468e-06,2.965505e-06,2.941132e-06,2.914807e-06,2.864450e-06,2.841419e-06,2.814501e-06,2.765021e-06,2.743413e-06,2.716064e-06,2.667676e-06,2.647534e-06,2.619901e-06,2.572774e-06,2.554113e-06,2.526328e-06,2.480590e-06,2.463401e-06,2.435584e-06,2.391329e-06,2.375584e-06,2.347841e-06,2.305134e-06,2.290794e-06,2.263219e-06,2.222102e-06,2.209115e-06,2.181791e-06,2.142287e-06,2.130594e-06,2.103593e-06,2.065707e-06,2.055244e-06,2.028629e-06,1.992355e-06,1.983055e-06,1.956880e-06,1.922198e-06,1.913992e-06,1.888303e-06,1.855186e-06,1.848004e-06,1.822839e-06,1.791252e-06,1.785025e-06,1.760417e-06,1.730321e-06,1.724981e-06,1.700954e-06,1.672305e-06,1.667787e-06,1.644362e-06,1.617112e-06,1.613352e-06,1.590544e-06,1.564644e-06,1.561581e-06,1.539401e-06,1.514801e-06,1.512376e-06,1.490832e-06,1.467480e-06,1.465638e-06,1.444733e-06,1.422578e-06,1.421267e-06,1.401001e-06,1.379991e-06,1.379162e-06,1.359534e-06,1.339618e-06,1.339225e-06,1.320230e-06,1.301358e-06,1.265467e-06,1.231457e-06,1.199240e-06,1.168726e-06,1.139832e-06,1.112476e-06,1.086581e-06,1.062070e-06,1.038873e-06,1.016920e-06,9.961462e-07,9.764884e-07,9.578874e-07,9.402862e-07,9.236311e-07,9.078708e-07,8.929567e-07,8.788426e-07,8.654849e-07,8.528420e-07,8.408748e-07,8.295460e-07,8.188206e-07,8.086653e-07,7.990486e-07,7.899409e-07,7.813141e-07,7.731416e-07,7.653984e-07,7.580608e-07,7.511065e-07,7.445143e-07,7.382645e-07,7.323381e-07,7.267174e-07,7.213856e-07,7.163272e-07,7.115269e-07,7.069710e-07,7.026461e-07,6.985397e-07,6.946400e-07,6.909359e-07,6.874167e-07,6.840727e-07,6.808944e-07,6.778731e-07,6.750003e-07,6.722682e-07
0.000000e+00,1.005752e-08,1.640966e-07,1.711839e-07,1.045019e-06,3.937123e-06,4.129939e-06,1.140723e-05,2.223299e-05,2.301040e-05,3.645208e-05,4.858072e-05,4.959820e-05,6.169908e-05,7.157078e-05,7.260823e-05,8.235063e-05,9.001359e-05,9.099564e-05,9.862199e-05,1.044257e-04,1.053080e-04,1.111288e-04,1.154018e-04,1.161556e-04,1.204552e-04,1.234823e-04,1.240903e-04,1.271194e-04,1.291432e-04,1.295972e-04,1.315740e-04,1.327985e-04,1.330968e-04,1.342091e-04,1.348047e-04,1.349510e-04,1.353592e-04,1.354663e-04,1.354673e-04,1.353058e-04,1.350388e-04,1.349033e-04,1.342857e-04,1.337384e-04,1.334771e-04,1.324998e-04,1.317502e-04,1.313756e-04,1.301228e-04,1.292336e-04,1.287581e-04,1.272965e-04,1.263168e-04,1.257520e-04,1.241369e-04,1.231052e-04,1.224628e-04,1.207398e-04,1.196865e-04,1.189774e-04,1.171839e-04,1.161326e-04,1.153671e-04,1.135338e-04,1.125023e-04,1.116902e-04,1.098418e-04,1.088435e-04,1.079937e-04,1.061503e-04,1.051949e-04,1.043156e-04,1.024930e-04,1.015873e-04,1.006858e-04,9.889670e-05,9.804507e-05,9.712809e-05,9.538211e-05,9.458708e-05,9.366060e-05,9.196512e-05,9.122772e-05,9.029704e-05,8.865750e-05,8.797764e-05,8.704745e-05,8.546768e-05,8.484440e-05,8.391881e-05,8.240133e-05,8.183300e-05,8.091559e-05,7.946184e-05,7.894635e-05,7.804021e-05,7.665074e-05,7.618565e-05,7.529341e-05,7.396810e-05,7.355073e-05,7.267464e-05,7.141278e-05,7.104035e-05,7.018227e-05,6.898275e-05,6.865239e-05,6.781386e-05,6.667520e-05,6.638405e-05,6.556634e-05,6.448680e-05,6.423202e-05,6.343612e-05,6.241378e-05,6.219263e-05,6.141929e-05,6.045209e-05,6.026188e-05,5.951167e-05,5.859747e-05,5.843565e-05,5.770894e-05,5.684553e-05,5.670968e-05,5.600669e-05,5.519186e-05,5.507967e-05,5.440048e-05,5.363200e-05,5.354129e-05,5.288587e-05,5.216156e-05,5.209030e-05,5.145851e-05,5.077619e-05,5.072249e-05,5.011409e-05,4.947168e-05,4.943375e-05,4.884844e-05,4.824388e-05,4.822008e-05,4.765750e-05,4.708881e-05,4.707761e-05,4.653734e-05,4.600261e-05,4.499148e-05,4.404076e-05,4.314715e-05,4.230749e-05,4.151876e-05,4.077811e-05,4.008280e-05,3.943025e-05,3.881799e-05,3.824369e-05,3.770515e-05,3.720028e-05,3.672712e-05,3.628378e-05,3.586852e-05,3.547967e-05,3.511565e-05,3.477500e-05,3.445631e-05,3.415826e-05,3.387963e-05,3.361923e-05,3.337597e-05,3.314881e-05,3.293678e-05,3.273897e-05,3.255450e-05,3.238257e-05,3.222240e-05,3.207327e-05,3.193452e-05,3.180549e-05,3.168559e-05,3.157427e-05,3.147097e-05,3.137522e-05,3.128654e-05,3.120449e-05,3.112865e-05,3.105863e-05,3.099407e-05,3.093463e-05,3.087997e-05,3.082980e-05,3.078382e-05,3.074178e-05,3.070341e-05,3.066847e-05,3.063676e-05
0.000000e+00,3.782199e-09,8.716247e-08,9.126953e-08,6.004139e-07,2.111523e-06,2.205395e-06,5.445687e-06,9.854705e-06,1.016769e-05,1.563084e-05,2.060614e-05,2.101976e-05,2.581270e-05,2.946846e-05,2.983603e-05,3.311237e-05,3.544503e-05,3.572697e-05,3.777303e-05,3.914357e-05,3.933629e-05,4.049192e-05,4.119529e-05,4.130467e-05,4.182992e-05,4.207947e-05,4.211492e-05,4.219984e-05,4.214683e-05,4.211879e-05,4.190063e-05,4.165118e-05,4.156985e-05,4.114716e-05,4.077534e-05,4.065009e-05,4.009341e-05,3.965050e-05,3.948959e-05,3.884913e-05,3.837033e-05,3.818086e-05,3.749221e-05,3.700140e-05,3.678939e-05,3.607762e-05,3.559074e-05,3.536123e-05,3.464385e-05,3.417132e-05,3.392849e-05,3.321760e-05,3.276594e-05,3.251324e-05,3.181705e-05,3.139012e-05,3.113038e-05,3.045432e-05,3.005414e-05,2.978972e-05,2.913724e-05,2.876456e-05,2.849738e-05,2.787053e-05,2.752526e-05,2.725692e-05,2.665673e-05,2.633824e-05,2.607004e-05,2.549687e-05,2.520416e-05,2.493719e-05,2.439091e-05,2.412276e-05,2.385791e-05,2.333806e-05,2.309314e-05,2.283116e-05,2.233703e-05,2.211397e-05,2.185546e-05,2.138623e-05,2.118362e-05,2.092910e-05,2.048384e-05,2.030031e-05,2.005020e-05,1.962793e-05,1.946216e-05,1.921679e-05,1.881653e-05,1.866723e-05,1.842690e-05,1.804764e-05,1.791360e-05,1.767852e-05,1.731929e-05,1.719937e-05,1.696972e-05,1.662955e-05,1.652265e-05,1.629857e-05,1.597654e-05,1.588164e-05,1.566324e-05,1.535844e-05,1.527459e-05,1.506193e-05,1.477349e-05,1.469980e-05,1.449293e-05,1.422003e-05,1.415566e-05,1.395460e-05,1.369644e-05,1.364061e-05,1.344537e-05,1.320120e-05,1.315317e-05,1.296374e-05,1.273282e-05,1.269194e-05,1.250827e-05,1.228992e-05,1.225555e-05,1.207761e-05,1.187117e-05,1.184273e-05,1.167045e-05,1.147531e-05,1.145225e-05,1.128558e-05,1.110112e-05,1.108296e-05,1.092180e-05,1.074748e-05,1.073375e-05,1.057803e-05,1.041330e-05,1.040356e-05,1.025318e-05,1.009755e-05,1.009141e-05,9.946272e-06,9.799242e-06,9.796344e-06,9.656343e-06,9.517463e-06,9.253915e-06,9.004891e-06,8.769623e-06,8.547382e-06,8.337477e-06,8.139254e-06,7.952089e-06,7.775394e-06,7.608610e-06,7.451208e-06,7.302685e-06,7.162566e-06,7.030398e-06,6.905756e-06,6.788233e-06,6.677446e-06,6.573031e-06,6.474644e-06,6.381958e-06,6.294663e-06,6.212467e-06,6.135093e-06,6.062277e-06,5.993771e-06,5.929338e-06,5.868756e-06,5.811813e-06,5.758310e-06,5.708055e-06,5.660871e-06,5.616586e-06,5.575041e-06,5.536083e-06,5.499568e-06,5.465360e-06,5.433330e-06,5.403355e-06,5.375320e-06,5.349116e-06,5.324639e-06,5.301791e-06,5.280481e-06,5.260619e-06,5.242124e-06,5.224918e-06,5.208926e-06,5.194078e-06,5.180308e-06,5.167553e-06
0.000000e+00,1.399175e-09,1.651101e-08,1.719382e-08,9.691713e-08,3.254752e-07,3.396011e-07,8.245374e-07,1.467469e-06,1.512033e-06,2.268107e-06,2.940259e-06,2.996557e-06,3.667222e-06,4.217814e-06,4.275947e-06,4.825031e-06,5.261809e-06,5.318158e-06,5.759206e-06,6.099737e-06,6.151949e-06,6.499986e-06,6.760280e-06,6.806715e-06,7.075329e-06,7.269257e-06,7.308821e-06,7.509986e-06,7.649406e-06,7.681439e-06,7.825606e-06,7.920565e-06,7.944735e-06,8.040933e-06,8.099910e-06,8.116147e-06,8.172192e-06,8.202315e-06,8.210744e-06,8.233359e-06,8.240586e-06,8.241477e-06,8.236434e-06,8.225738e-06,8.219464e-06,8.191708e-06,8.167215e-06,8.154221e-06,8.107977e-06,8.073099e-06,8.053875e-06,7.992745e-06,7.950289e-06,7.925351e-06,7.852399e-06,7.804665e-06,7.774539e-06,7.692368e-06,7.641227e-06,7.606437e-06,7.517250e-06,7.464214e-06,7.425271e-06,7.330927e-06,7.277207e-06,7.234607e-06,7.136669e-06,7.083226e-06,7.037440e-06,6.937219e-06,6.884804e-06,6.836279e-06,6.734867e-06,6.684056e-06,6.633211e-06,6.531516e-06,6.482743e-06,6.429968e-06,6.328736e-06,6.282318e-06,6.227972e-06,6.127815e-06,6.083970e-06,6.028387e-06,5.929800e-06,5.888668e-06,5.832152e-06,5.735531e-06,5.697188e-06,5.640016e-06,5.545674e-06,5.510145e-06,5.452567e-06,5.360747e-06,5.328015e-06,5.270258e-06,5.181141e-06,5.151159e-06,5.093427e-06,5.007143e-06,4.979838e-06,4.922312e-06,4.838951e-06,4.814231e-06,4.757073e-06,4.676688e-06,4.654448e-06,4.597800e-06,4.520414e-06,4.500540e-06,4.444529e-06,4.370141e-06,4.352510e-06,4.297246e-06,4.225835e-06,4.210323e-06,4.155901e-06,4.087430e-06,4.073911e-06,4.020412e-06,3.954831e-06,3.943178e-06,3.890672e-06,3.827920e-06,3.818008e-06,3.766555e-06,3.706562e-06,3.698271e-06,3.647919e-06,3.590609e-06,3.583820e-06,3.534610e-06,3.479903e-06,3.474502e-06,3.426466e-06,3.374277e-06,3.370156e-06,3.323317e-06,3.273561e-06,3.270614e-06,3.224990e-06,3.177582e-06,3.175709e-06,3.131313e-06,3.086163e-06,3.085271e-06,3.042110e-06,2.999132e-06,2.917122e-06,2.839076e-06,2.764830e-06,2.694227e-06,2.627108e-06,2.563324e-06,2.502727e-06,2.445176e-06,2.390533e-06,2.338665e-06,2.289444e-06,2.242748e-06,2.198458e-06,2.156461e-06,2.116649e-06,2.078917e-06,2.043167e-06,2.009302e-06,1.977231e-06,1.946867e-06,1.918127e-06,1.890931e-06,1.865203e-06,1.840872e-06,1.817868e-06,1.796125e-06,1.775581e-06,1.756176e-06,1.737853e-06,1.720558e-06,1.704240e-06,1.688848e-06,1.674337e-06,1.660662e-06,1.647781e-06,1.635652e-06,1.624239e-06,1.613504e-06,1.603413e-06,1.593933e-06,1.585032e-06,1.576681e-06,1.568851e-06,1.561515e-06,1.554647e-06,1.548224e-06,1.542222e-06,1.536618e-06,1.531393e-06
0.000000e+00,7.742266e-12,1.394706e-09,1.505721e-09,3.454217e-08,3.136414e-07,3.398917e-07,1.999203e-06,7.433829e-06,8.004187e-06,2.360940e-05,5.157017e-05,5.474856e-05,1.054876e-04,1.685256e-04,1.764828e-04,2.650961e-04,3.538884e-04,3.665604e-04,4.753545e-04,5.707855e-04,5.862693e-04,6.950127e-04,7.823315e-04,7.984204e-04,8.944085e-04,9.667309e-04,9.817966e-04,1.060093e-03,1.116167e-03,1.129291e-03,1.189703e-03,1.231046e-03,1.241834e-03,1.286292e-03,1.315344e-03,1.323721e-03,1.354771e-03,1.374009e-03,1.380065e-03,1.400193e-03,1.411793e-03,1.415699e-03,1.427083e-03,1.432845e-03,1.434801e-03,1.439266e-03,1.440635e-03,1.440849e-03,1.439887e-03,1.438004e-03,1.436679e-03,1.431496e-03,1.427256e-03,1.424581e-03,1.416150e-03,1.410248e-03,1.406398e-03,1.395498e-03,1.388473e-03,1.383607e-03,1.370863e-03,1.363131e-03,1.357392e-03,1.343303e-03,1.335181e-03,1.328697e-03,1.313661e-03,1.305392e-03,1.298275e-03,1.282609e-03,1.274373e-03,1.266725e-03,1.250679e-03,1.242610e-03,1.234519e-03,1.218291e-03,1.210488e-03,1.202032e-03,1.185776e-03,1.178308e-03,1.169555e-03,1.153393e-03,1.146308e-03,1.137316e-03,1.121343e-03,1.114670e-03,1.105493e-03,1.089782e-03,1.083539e-03,1.074222e-03,1.058826e-03,1.053021e-03,1.043605e-03,1.028566e-03,1.023198e-03,1.013717e-03,9.990641e-04,9.941279e-04,9.846130e-04,9.703675e-04,9.658530e-04,9.563312e-04,9.425065e-04,9.384007e-04,9.288955e-04,9.154995e-04,9.117873e-04,9.023193e-04,8.893554e-04,8.860202e-04,8.766076e-04,8.640755e-04,8.610999e-04,8.517585e-04,8.396554e-04,8.370214e-04,8.277651e-04,8.160859e-04,8.137752e-04,8.046162e-04,7.933540e-04,7.913487e-04,7.822974e-04,7.714442e-04,7.697264e-04,7.607921e-04,7.503388e-04,7.488911e-04,7.400819e-04,7.300188e-04,7.288242e-04,7.201471e-04,7.104640e-04,7.095060e-04,7.009670e-04,6.916533e-04,6.909161e-04,6.825203e-04,6.735653e-04,6.730336e-04,6.647856e-04,6.561783e-04,6.558376e-04,6.477409e-04,6.394706e-04,6.393069e-04,6.313647e-04,6.234205e-04,6.081577e-04,5.934979e-04,5.794211e-04,5.659074e-04,5.529375e-04,5.404926e-04,5.285543e-04,5.171046e-04,5.061263e-04,4.956024e-04,4.855165e-04,4.758528e-04,4.665959e-04,4.577308e-04,4.492432e-04,4.411191e-04,4.333451e-04,4.259080e-04,4.187953e-04,4.119948e-04,4.054948e-04,3.992839e-04,3.933511e-04,3.876859e-04,3.822780e-04,3.771176e-04,3.721952e-04,3.675016e-04,3.630280e-04,3.587657e-04,3.547066e-04,3.508428e-04,3.471665e-04,3.436703e-04,3.403473e-04,3.371904e-04,3.341931e-04,3.313489e-04,3.286518e-04,3.260957e-04,3.236750e-04,3.213842e-04,3.192180e-04,3.171712e-04,3.152388e-04,3.134163e-04,3.116989e-04,3.100822e-04,3.085621e-04
0.000000e+00,8.425834e-09,1.374242e-07,1.438352e-07,9.989368e-07,3.784992e-06,3.962470e-06,9.988187e-06,1.734240e-05,1.782848e-05,2.585722e-05,3.290276e-05,3.349549e-05,4.062212e-05,4.658998e-05,4.722744e-05,5.332789e-05,5.829704e-05,5.894668e-05,6.410842e-05,6.819990e-05,6.883660e-05,7.315420e-05,7.648057e-05,7.708427e-05,8.064916e-05,8.331502e-05,8.387043e-05,8.676876e-05,8.886824e-05,8.936395e-05,9.167491e-05,9.329174e-05,9.371961e-05,9.551511e-05,9.672303e-05,9.707762e-05,9.842245e-05,9.928605e-05,9.956411e-05,1.005163e-04,1.010919e-04,1.012920e-04,1.019035e-04,1.022399e-04,1.023622e-04,1.026790e-04,1.028186e-04,1.028642e-04,1.029274e-04,1.029068e-04,1.028778e-04,1.027239e-04,1.025744e-04,1.024737e-04,1.021349e-04,1.018834e-04,1.017145e-04,1.012193e-04,1.008889e-04,1.006555e-04,1.000291e-04,9.963920e-05,9.934548e-05,9.860999e-05,9.817726e-05,9.782745e-05,9.700243e-05,9.654078e-05,9.613922e-05,9.524181e-05,9.476290e-05,9.431396e-05,9.335917e-05,9.287271e-05,9.238073e-05,9.138169e-05,9.089568e-05,9.036491e-05,8.933306e-05,8.885404e-05,8.828862e-05,8.723390e-05,8.676713e-05,8.617106e-05,8.510210e-05,8.465176e-05,8.402887e-05,8.295312e-05,8.252246e-05,8.187642e-05,8.080027e-05,8.039176e-05,7.972602e-05,7.865496e-05,7.827038e-05,7.758823e-05,7.652691e-05,7.616747e-05,7.547199e-05,7.442437e-05,7.409080e-05,7.338487e-05,7.235425e-05,7.204690e-05,7.133319e-05,7.032232e-05,7.004118e-05,6.932221e-05,6.833335e-05,6.807815e-05,6.735621e-05,6.639119e-05,6.616143e-05,6.543865e-05,6.449891e-05,6.429392e-05,6.357226e-05,6.265892e-05,6.247788e-05,6.175912e-05,6.087302e-05,6.071499e-05,6.000076e-05,5.914247e-05,5.900644e-05,5.829823e-05,5.746810e-05,5.735302e-05,5.665214e-05,5.585037e-05,5.575511e-05,5.506278e-05,5.428936e-05,5.421280e-05,5.353009e-05,5.278490e-05,5.272590e-05,5.205375e-05,5.133656e-05,5.129397e-05,5.063324e-05,4.994370e-05,4.991640e-05,4.926782e-05,4.860550e-05,4.859239e-05,4.795661e-05,4.732101e-05,4.610120e-05,4.493183e-05,4.381167e-05,4.273946e-05,4.171385e-05,4.073351e-05,3.979704e-05,3.890307e-05,3.805020e-05,3.723703e-05,3.646219e-05,3.572430e-05,3.502201e-05,3.435400e-05,3.371896e-05,3.311561e-05,3.254271e-05,3.199903e-05,3.148338e-05,3.099463e-05,3.053163e-05,3.009332e-05,2.967863e-05,2.928654e-05,2.891607e-05,2.856628e-05,2.823622e-05,2.792504e-05,2.763185e-05,2.735585e-05,2.709624e-05,2.685226e-05,2.662316e-05,2.640826e-05,2.620686e-05,2.601833e-05,2.584202e-05,2.567735e-05,2.552374e-05,2.538063e-05,2.524750e-05,2.512384e-05,2.500917e-05,2.490301e-05,2.480493e-05,2.471450e-05,2.463131e-05,2.455498e-05,2.448512e-05
0.000000e+00,7.484076e-10,9.181103e-09,9.568585e-09,5.542594e-08,1.885908e-07,1.968740e-07,4.841425e-07,8.712978e-07,8.983370e-07,1.360731e-06,1.777024e-06,1.812083e-06,2.231670e-06,2.578571e-06,2.615319e-06,2.963597e-06,3.242243e-06,3.278303e-06,3.561521e-06,3.781503e-06,3.815346e-06,4.041811e-06,4.212322e-06,4.242859e-06,4.420329e-06,4.549487e-06,4.575964e-06,4.711398e-06,4.806237e-06,4.828168e-06,4.927713e-06,4.994271e-06,5.011381e-06,5.080428e-06,5.123853e-06,5.136032e-06,5.179294e-06,5.203965e-06,5.211234e-06,5.232802e-06,5.242408e-06,5.244883e-06,5.248299e-06,5.245947e-06,5.243816e-06,5.232142e-06,5.220435e-06,5.213938e-06,5.189815e-06,5.170928e-06,5.160340e-06,5.126040e-06,5.101782e-06,5.087401e-06,5.044876e-06,5.016744e-06,4.998883e-06,4.949806e-06,4.919031e-06,4.898005e-06,4.843808e-06,4.811398e-06,4.787521e-06,4.729425e-06,4.696198e-06,4.669778e-06,4.608820e-06,4.575435e-06,4.546769e-06,4.483829e-06,4.450810e-06,4.420184e-06,4.356004e-06,4.323763e-06,4.291446e-06,4.226652e-06,4.195505e-06,4.161752e-06,4.096867e-06,4.067054e-06,4.032103e-06,3.967560e-06,3.939255e-06,3.903327e-06,3.839486e-06,3.812807e-06,3.776109e-06,3.713262e-06,3.688285e-06,3.651005e-06,3.589390e-06,3.566155e-06,3.528465e-06,3.468272e-06,3.446789e-06,3.408848e-06,3.350225e-06,3.330481e-06,3.292432e-06,3.235492e-06,3.217456e-06,3.179428e-06,3.124256e-06,3.107881e-06,3.069991e-06,3.016645e-06,3.001874e-06,2.964226e-06,2.912743e-06,2.899511e-06,2.862199e-06,2.812598e-06,2.800834e-06,2.763940e-06,2.716226e-06,2.705855e-06,2.669451e-06,2.623615e-06,2.614559e-06,2.578711e-06,2.534733e-06,2.526915e-06,2.491676e-06,2.449531e-06,2.442872e-06,2.408290e-06,2.367944e-06,2.362366e-06,2.328482e-06,2.289894e-06,2.285322e-06,2.252170e-06,2.215298e-06,2.211657e-06,2.179266e-06,2.144062e-06,2.141281e-06,2.109674e-06,2.076088e-06,2.074098e-06,2.043293e-06,2.011275e-06,2.010010e-06,1.980020e-06,1.949517e-06,1.948915e-06,1.919751e-06,1.890710e-06,1.835292e-06,1.782558e-06,1.732406e-06,1.684734e-06,1.639444e-06,1.596436e-06,1.555617e-06,1.516894e-06,1.480175e-06,1.445374e-06,1.412405e-06,1.381187e-06,1.351640e-06,1.323689e-06,1.297259e-06,1.272280e-06,1.248684e-06,1.226406e-06,1.205383e-06,1.185556e-06,1.166865e-06,1.149258e-06,1.132680e-06,1.117081e-06,1.102414e-06,1.088632e-06,1.075690e-06,1.063548e-06,1.052165e-06,1.041502e-06,1.031524e-06,1.022194e-06,1.013480e-06,1.005350e-06,9.977740e-07,9.907227e-07,9.841688e-07,9.780861e-07,9.724498e-07,9.672361e-07,9.624223e-07,9.579869e-07,9.539095e-07,9.501705e-07,9.467513e-07,9.436343e-07,9.408027e-07,9.382405e-07,9.359323e-07
0.000000e+00,5.432735e-09,9.732661e-08,1.018518e-07,6.902720e-07,2.579826e-06,2.701251e-06,7.022489e-06,1.293234e-05,1.334382e-05,2.034365e-05,2.662702e-05,2.715722e-05,3.353065e-05,3.885333e-05,3.942068e-05,4.483632e-05,4.922669e-05,4.979910e-05,5.433319e-05,5.790823e-05,5.846296e-05,6.221228e-05,6.508463e-05,6.560425e-05,6.866110e-05,7.093259e-05,7.140409e-05,7.385353e-05,7.561473e-05,7.602872e-05,7.794797e-05,7.927847e-05,7.962858e-05,8.108695e-05,8.205619e-05,8.233849e-05,8.339776e-05,8.406592e-05,8.427845e-05,8.499345e-05,8.541247e-05,8.555486e-05,8.597405e-05,8.618861e-05,8.626170e-05,8.642784e-05,8.647622e-05,8.648186e-05,8.643258e-05,8.634749e-05,8.628825e-05,8.605661e-05,8.586590e-05,8.574489e-05,8.535989e-05,8.508717e-05,8.490793e-05,8.439497e-05,8.406023e-05,8.382654e-05,8.320782e-05,8.282785e-05,8.254365e-05,8.183855e-05,8.142740e-05,8.109674e-05,8.032214e-05,7.989153e-05,7.951842e-05,7.868900e-05,7.824860e-05,7.783704e-05,7.696551e-05,7.652326e-05,7.607714e-05,7.517450e-05,7.473686e-05,7.425994e-05,7.333567e-05,7.290781e-05,7.240372e-05,7.146598e-05,7.105199e-05,7.052418e-05,6.957993e-05,6.918298e-05,6.863473e-05,6.768993e-05,6.731242e-05,6.674681e-05,6.580652e-05,6.545017e-05,6.487012e-05,6.393859e-05,6.360460e-05,6.301281e-05,6.209361e-05,6.178271e-05,6.118172e-05,6.027781e-05,5.999034e-05,5.938249e-05,5.849630e-05,5.823230e-05,5.761974e-05,5.675326e-05,5.651250e-05,5.589724e-05,5.505203e-05,5.483409e-05,5.421794e-05,5.339523e-05,5.319950e-05,5.258414e-05,5.178486e-05,5.161063e-05,5.099757e-05,5.022238e-05,5.006881e-05,4.945943e-05,4.870879e-05,4.857498e-05,4.797052e-05,4.724466e-05,4.712968e-05,4.653125e-05,4.583027e-05,4.573313e-05,4.514172e-05,4.446557e-05,4.438526e-05,4.380177e-05,4.315027e-05,4.308580e-05,4.251101e-05,4.188389e-05,4.183425e-05,4.126884e-05,4.066576e-05,4.062995e-05,4.007454e-05,3.949507e-05,3.947214e-05,3.892723e-05,3.837090e-05,3.835989e-05,3.782594e-05,3.729222e-05,3.626806e-05,3.528629e-05,3.434573e-05,3.344520e-05,3.258347e-05,3.175932e-05,3.097153e-05,3.021885e-05,2.950007e-05,2.881399e-05,2.815942e-05,2.753519e-05,2.694016e-05,2.637320e-05,2.583323e-05,2.531918e-05,2.483001e-05,2.436473e-05,2.392235e-05,2.350193e-05,2.310255e-05,2.272335e-05,2.236345e-05,2.202204e-05,2.169832e-05,2.139154e-05,2.110094e-05,2.082583e-05,2.056552e-05,2.031935e-05,2.008670e-05,1.986696e-05,1.965954e-05,1.946389e-05,1.927947e-05,1.910577e-05,1.894230e-05,1.878857e-05,1.864414e-05,1.850858e-05,1.838146e-05,1.826240e-05,1.815099e-05,1.804689e-05,1.794974e-05,1.785920e-05,1.777495e-05,1.769669e-05,1.762412e-05
0.000000e+00,2.986998e-09,4.577008e-08,4.784224e-08,2.940561e-07,9.463555e-07,9.839416e-07,2.118296e-06,3.327958e-06,3.405411e-06,4.673268e-06,5.787864e-06,5.882188e-06,7.025627e-06,7.998644e-06,8.103517e-06,9.117182e-06,9.957432e-06,1.006833e-05,1.095886e-05,1.167779e-05,1.179082e-05,1.256634e-05,1.317578e-05,1.328764e-05,1.395698e-05,1.446865e-05,1.457662e-05,1.514880e-05,1.557385e-05,1.567572e-05,1.615955e-05,1.650838e-05,1.660239e-05,1.700625e-05,1.728833e-05,1.737310e-05,1.770481e-05,1.792873e-05,1.800320e-05,1.827002e-05,1.844353e-05,1.850694e-05,1.871557e-05,1.884559e-05,1.889743e-05,1.905400e-05,1.914674e-05,1.918668e-05,1.929683e-05,1.935780e-05,1.938571e-05,1.945457e-05,1.948867e-05,1.950457e-05,1.953682e-05,1.954838e-05,1.955241e-05,1.955233e-05,1.954518e-05,1.953757e-05,1.950905e-05,1.948655e-05,1.946765e-05,1.941420e-05,1.937931e-05,1.934951e-05,1.927434e-05,1.922965e-05,1.918941e-05,1.909541e-05,1.904317e-05,1.899300e-05,1.888278e-05,1.882494e-05,1.876537e-05,1.864131e-05,1.857956e-05,1.851115e-05,1.837538e-05,1.831118e-05,1.823449e-05,1.808893e-05,1.802352e-05,1.793914e-05,1.778551e-05,1.771995e-05,1.762845e-05,1.746832e-05,1.740348e-05,1.730546e-05,1.714020e-05,1.707684e-05,1.697286e-05,1.680372e-05,1.674244e-05,1.663306e-05,1.646114e-05,1.640245e-05,1.628822e-05,1.611452e-05,1.605880e-05,1.594025e-05,1.576563e-05,1.571321e-05,1.559085e-05,1.541610e-05,1.536719e-05,1.524153e-05,1.506731e-05,1.502209e-05,1.489359e-05,1.472052e-05,1.467909e-05,1.454821e-05,1.437680e-05,1.433922e-05,1.420639e-05,1.403710e-05,1.400339e-05,1.386902e-05,1.370224e-05,1.367237e-05,1.353685e-05,1.337292e-05,1.334684e-05,1.321054e-05,1.304975e-05,1.302737e-05,1.289063e-05,1.273323e-05,1.271446e-05,1.257759e-05,1.242378e-05,1.240850e-05,1.227182e-05,1.212175e-05,1.210983e-05,1.197362e-05,1.182744e-05,1.181873e-05,1.168324e-05,1.154105e-05,1.153540e-05,1.140088e-05,1.126275e-05,1.126001e-05,1.112668e-05,1.099267e-05,1.073345e-05,1.048240e-05,1.023950e-05,1.000476e-05,9.778098e-06,9.559460e-06,9.348750e-06,9.145862e-06,8.950671e-06,8.763044e-06,8.582835e-06,8.409889e-06,8.244045e-06,8.085136e-06,7.932988e-06,7.787427e-06,7.648272e-06,7.515344e-06,7.388460e-06,7.267439e-06,7.152100e-06,7.042261e-06,6.937743e-06,6.838368e-06,6.743959e-06,6.654345e-06,6.569352e-06,6.488815e-06,6.412568e-06,6.340448e-06,6.272299e-06,6.207965e-06,6.147296e-06,6.090143e-06,6.036362e-06,5.985814e-06,5.938362e-06,5.893874e-06,5.852220e-06,5.813275e-06,5.776919e-06,5.743034e-06,5.711505e-06,5.682221e-06,5.655078e-06,5.629970e-06,5.606797e-06,5.585465e-06,5.565878e-06
0.000000e+00,3.591393e-11,5.378977e-09,5.783206e-09,1.074172e-07,8.146552e-07,8.770649e-07,4.494376e-06,1.526832e-05,1.636123e-05,4.503993e-05,9.314339e-05,9.842313e-05,1.787115e-04,2.699909e-04,2.809492e-04,3.956410e-04,4.987138e-04,5.125614e-04,6.234130e-04,7.097072e-04,7.228081e-04,8.080757e-04,8.682646e-04,8.785646e-04,9.348939e-04,9.714117e-04,9.783528e-04,1.010498e-03,1.029136e-03,1.032914e-03,1.047089e-03,1.053293e-03,1.054363e-03,1.055908e-03,1.053877e-03,1.052733e-03,1.045703e-03,1.038452e-03,1.035548e-03,1.022884e-03,1.012509e-03,1.008233e-03,9.920268e-04,9.799556e-04,9.746310e-04,9.563484e-04,9.435405e-04,9.374316e-04,9.180900e-04,9.051771e-04,8.984966e-04,8.787942e-04,8.661825e-04,8.591000e-04,8.395099e-04,8.274510e-04,8.201015e-04,8.009374e-04,7.895775e-04,7.820676e-04,7.635317e-04,7.529463e-04,7.453605e-04,7.275773e-04,7.177948e-04,7.101994e-04,6.932391e-04,6.842572e-04,6.767044e-04,6.606000e-04,6.523963e-04,6.449274e-04,6.296863e-04,6.222268e-04,6.148742e-04,6.004868e-04,5.937303e-04,5.865190e-04,5.729643e-04,5.668659e-04,5.598154e-04,5.470647e-04,5.415783e-04,5.347037e-04,5.227240e-04,5.178040e-04,5.111166e-04,4.998726e-04,4.954746e-04,4.889827e-04,4.784378e-04,4.745193e-04,4.682288e-04,4.583465e-04,4.548671e-04,4.487819e-04,4.395261e-04,4.364479e-04,4.305702e-04,4.219057e-04,4.191932e-04,4.135241e-04,4.054169e-04,4.030371e-04,3.975761e-04,3.899938e-04,3.879159e-04,3.826620e-04,3.755733e-04,3.737691e-04,3.687202e-04,3.620956e-04,3.605389e-04,3.556923e-04,3.495037e-04,3.481703e-04,3.435230e-04,3.377437e-04,3.366115e-04,3.321596e-04,3.267646e-04,3.258131e-04,3.215527e-04,3.165183e-04,3.157288e-04,3.116556e-04,3.069593e-04,3.063148e-04,3.024241e-04,2.980449e-04,2.975296e-04,2.938167e-04,2.897347e-04,2.893344e-04,2.857943e-04,2.819909e-04,2.816924e-04,2.783201e-04,2.747776e-04,2.745691e-04,2.713595e-04,2.680615e-04,2.679321e-04,2.648800e-04,2.618110e-04,2.617507e-04,2.588510e-04,2.559964e-04,2.506421e-04,2.456625e-04,2.410337e-04,2.367334e-04,2.327405e-04,2.290354e-04,2.255995e-04,2.224154e-04,2.194669e-04,2.167386e-04,2.142161e-04,2.118860e-04,2.097356e-04,2.077531e-04,2.059273e-04,2.042479e-04,2.027051e-04,2.012896e-04,1.999930e-04,1.988071e-04,1.977244e-04,1.967379e-04,1.958409e-04,1.950273e-04,1.942911e-04,1.936271e-04,1.930300e-04,1.924951e-04,1.920181e-04,1.915946e-04,1.912208e-04,1.908931e-04,1.906080e-04,1.903623e-04,1.901531e-04,1.899776e-04,1.898331e-04,1.897173e-04,1.896279e-04,1.895628e-04,1.895199e-04,1.894975e-04,1.894938e-04,1.895072e-04,1.895363e-04,1.895796e-04,1.896358e-04,1.897038e-04,1.897825e-04
0.000000e+00,2.865659e-09,3.558408e-08,3.710055e-08,2.215430e-07,7.681343e-07,8.018497e-07,1.912384e-06,3.214955e-06,3.299458e-06,4.668260e-06,5.827586e-06,5.923295e-06,7.050954e-06,7.960722e-06,8.055925e-06,8.946404e-06,9.642121e-06,9.730952e-06,1.041784e-05,1.093646e-05,1.101493e-05,1.152961e-05,1.190335e-05,1.196882e-05,1.233910e-05,1.259556e-05,1.264652e-05,1.289675e-05,1.305930e-05,1.309505e-05,1.324629e-05,1.333451e-05,1.335499e-05,1.342529e-05,1.345540e-05,1.346102e-05,1.346570e-05,1.345109e-05,1.344257e-05,1.339459e-05,1.334619e-05,1.332448e-05,1.323473e-05,1.316145e-05,1.312762e-05,1.300525e-05,1.291429e-05,1.286951e-05,1.272214e-05,1.261928e-05,1.256472e-05,1.239871e-05,1.228856e-05,1.222541e-05,1.204600e-05,1.193219e-05,1.186159e-05,1.167314e-05,1.155850e-05,1.148154e-05,1.128759e-05,1.117431e-05,1.109202e-05,1.089548e-05,1.078521e-05,1.069855e-05,1.050176e-05,1.039572e-05,1.030557e-05,1.011041e-05,1.000946e-05,9.916646e-06,9.724603e-06,9.629321e-06,9.534575e-06,9.346816e-06,9.257564e-06,9.161548e-06,8.978964e-06,8.895923e-06,8.799229e-06,8.622485e-06,8.545697e-06,8.448852e-06,8.278429e-06,8.207828e-06,8.111295e-06,7.947516e-06,7.882955e-06,7.787140e-06,7.630204e-06,7.571475e-06,7.476730e-06,7.326732e-06,7.273585e-06,7.180212e-06,7.037164e-06,6.989317e-06,6.897575e-06,6.761423e-06,6.718576e-06,6.628682e-06,6.499318e-06,6.461163e-06,6.373296e-06,6.250572e-06,6.216794e-06,6.131101e-06,6.014836e-06,5.985125e-06,5.901724e-06,5.791712e-06,5.765764e-06,5.684745e-06,5.580765e-06,5.558284e-06,5.479714e-06,5.381533e-06,5.362236e-06,5.286162e-06,5.193539e-06,5.177154e-06,5.103604e-06,5.016296e-06,5.002566e-06,4.931553e-06,4.849314e-06,4.837997e-06,4.769519e-06,4.692108e-06,4.682976e-06,4.617020e-06,4.544197e-06,4.537037e-06,4.473580e-06,4.405112e-06,4.399725e-06,4.338735e-06,4.274393e-06,4.270596e-06,4.212032e-06,4.151598e-06,4.149220e-06,4.093037e-06,4.036297e-06,4.035180e-06,3.981327e-06,3.928077e-06,3.827526e-06,3.733160e-06,3.644628e-06,3.561596e-06,3.483744e-06,3.410771e-06,3.342390e-06,3.278328e-06,3.218329e-06,3.162149e-06,3.109559e-06,3.060341e-06,3.014291e-06,2.971216e-06,2.930934e-06,2.893274e-06,2.858074e-06,2.825184e-06,2.794460e-06,2.765769e-06,2.738985e-06,2.713989e-06,2.690670e-06,2.668923e-06,2.648650e-06,2.629759e-06,2.612164e-06,2.595784e-06,2.580541e-06,2.566366e-06,2.553190e-06,2.540951e-06,2.529590e-06,2.519052e-06,2.509284e-06,2.500237e-06,2.491866e-06,2.484127e-06,2.476982e-06,2.470391e-06,2.464320e-06,2.458735e-06,2.453606e-06,2.448903e-06,2.444598e-06,2.440667e-06,2.437084e-06,2.433828e-06,2.430878e-06
0.000000e+00,2.568526e-12,5.180980e-10,5.604744e-10,1.389750e-08,1.306751e-07,1.417435e-07,8.507479e-07,3.256226e-06,3.514953e-06,1.096842e-05,2.576442e-05,2.754571e-05,5.832553e-05,1.019729e-04,1.078712e-04,1.790711e-04,2.601609e-04,2.725104e-04,3.864628e-04,4.981703e-04,5.173428e-04,6.603849e-04,7.861026e-04,8.103450e-04,9.620934e-04,1.084617e-03,1.111038e-03,1.253375e-03,1.360499e-03,1.386190e-03,1.507449e-03,1.593190e-03,1.615918e-03,1.711040e-03,1.774379e-03,1.792797e-03,1.861582e-03,1.904526e-03,1.918079e-03,1.963161e-03,1.989097e-03,1.997803e-03,2.023028e-03,2.035628e-03,2.039853e-03,2.049263e-03,2.051901e-03,2.052183e-03,2.049467e-03,2.044969e-03,2.041895e-03,2.030169e-03,2.020776e-03,2.014915e-03,1.996686e-03,1.984106e-03,1.975969e-03,1.953190e-03,1.938690e-03,1.928722e-03,1.902886e-03,1.887385e-03,1.875960e-03,1.848186e-03,1.832340e-03,1.819770e-03,1.790890e-03,1.775157e-03,1.761699e-03,1.732326e-03,1.717017e-03,1.702882e-03,1.673463e-03,1.658788e-03,1.644148e-03,1.615005e-03,1.601096e-03,1.586093e-03,1.557459e-03,1.544392e-03,1.529143e-03,1.501178e-03,1.488992e-03,1.473593e-03,1.446408e-03,1.435115e-03,1.419644e-03,1.393313e-03,1.382905e-03,1.367427e-03,1.341995e-03,1.332451e-03,1.317022e-03,1.292513e-03,1.283803e-03,1.268469e-03,1.244891e-03,1.236981e-03,1.221779e-03,1.199130e-03,1.191980e-03,1.176943e-03,1.155213e-03,1.148783e-03,1.133937e-03,1.113110e-03,1.107358e-03,1.092726e-03,1.072780e-03,1.067665e-03,1.053266e-03,1.034178e-03,1.029659e-03,1.015509e-03,9.972536e-04,9.932921e-04,9.794041e-04,9.619539e-04,9.585111e-04,9.448961e-04,9.282237e-04,9.252630e-04,9.119297e-04,8.960072e-04,8.934936e-04,8.804492e-04,8.652488e-04,8.631489e-04,8.503991e-04,8.358932e-04,8.341753e-04,8.217243e-04,8.078858e-04,8.065199e-04,7.943710e-04,7.811733e-04,7.801310e-04,7.682862e-04,7.557034e-04,7.549579e-04,7.434184e-04,7.314252e-04,7.309515e-04,7.197176e-04,7.082895e-04,7.080638e-04,6.971351e-04,6.862485e-04,6.654610e-04,6.456578e-04,6.267974e-04,6.088394e-04,5.917452e-04,5.754776e-04,5.600007e-04,5.452803e-04,5.312833e-04,5.179781e-04,5.053342e-04,4.933225e-04,4.819151e-04,4.710851e-04,4.608070e-04,4.510561e-04,4.418088e-04,4.330426e-04,4.247358e-04,4.168678e-04,4.094188e-04,4.023698e-04,3.957026e-04,3.893999e-04,3.834451e-04,3.778221e-04,3.725159e-04,3.675117e-04,3.627957e-04,3.583546e-04,3.541755e-04,3.502463e-04,3.465553e-04,3.430912e-04,3.398434e-04,3.368017e-04,3.339563e-04,3.312978e-04,3.288172e-04,3.265060e-04,3.243560e-04,3.223594e-04,3.205086e-04,3.187965e-04,3.172162e-04,3.157611e-04,3.144251e-04,3.132020e-04,3.120861e-04
0.000000e+00,3.292288e-09,8.987105e-08,9.441473e-08,7.692547e-07,3.487959e-06,3.681185e-06,1.142911e-05,2.350023e-05,2.436884e-05,3.925183e-05,5.243009e-05,5.352540e-05,6.643860e-05,7.682115e-05,7.790429e-05,8.799782e-05,9.583160e-05,9.682830e-05,1.045069e-04,1.102694e-04,1.111384e-04,1.168199e-04,1.209237e-04,1.216406e-04,1.256830e-04,1.284702e-04,1.290227e-04,1.317292e-04,1.334817e-04,1.338665e-04,1.354930e-04,1.364417e-04,1.366623e-04,1.374233e-04,1.377561e-04,1.378205e-04,1.378945e-04,1.377631e-04,1.376822e-04,1.372171e-04,1.367427e-04,1.365293e-04,1.356464e-04,1.349256e-04,1.345931e-04,1.333919e-04,1.325009e-04,1.320628e-04,1.306241e-04,1.296226e-04,1.290922e-04,1.274818e-04,1.264160e-04,1.258060e-04,1.240768e-04,1.229825e-04,1.223047e-04,1.204993e-04,1.194035e-04,1.186689e-04,1.168212e-04,1.157442e-04,1.149628e-04,1.130998e-04,1.120564e-04,1.112373e-04,1.093802e-04,1.083809e-04,1.075323e-04,1.056975e-04,1.047496e-04,1.038788e-04,1.020789e-04,1.011868e-04,1.003002e-04,9.854486e-05,9.771107e-05,9.681450e-05,9.511062e-05,9.433608e-05,9.343446e-05,9.178705e-05,9.107152e-05,9.016921e-05,8.858160e-05,8.792395e-05,8.702472e-05,8.549894e-05,8.489739e-05,8.400449e-05,8.254151e-05,8.199384e-05,8.111003e-05,7.971003e-05,7.921371e-05,7.834137e-05,7.700386e-05,7.655617e-05,7.569727e-05,7.442130e-05,7.401940e-05,7.317561e-05,7.195982e-05,7.160085e-05,7.077352e-05,6.961629e-05,6.929741e-05,6.848766e-05,6.738716e-05,6.710557e-05,6.631429e-05,6.526854e-05,6.502154e-05,6.424941e-05,6.325636e-05,6.304134e-05,6.228887e-05,6.134642e-05,6.116088e-05,6.042846e-05,5.953446e-05,5.937604e-05,5.866389e-05,5.781623e-05,5.768270e-05,5.699095e-05,5.618752e-05,5.607676e-05,5.540545e-05,5.464420e-05,5.455423e-05,5.390329e-05,5.318222e-05,5.311119e-05,5.248050e-05,5.179766e-05,5.174383e-05,5.113322e-05,5.048671e-05,5.044848e-05,4.985770e-05,4.924572e-05,4.922159e-05,4.865034e-05,4.807114e-05,4.805972e-05,4.750770e-05,4.695961e-05,4.591812e-05,4.493224e-05,4.399911e-05,4.311600e-05,4.228029e-05,4.148953e-05,4.074134e-05,4.003349e-05,3.936387e-05,3.873044e-05,3.813130e-05,3.756462e-05,3.702869e-05,3.652188e-05,3.604264e-05,3.558950e-05,3.516108e-05,3.475605e-05,3.437318e-05,3.401127e-05,3.366923e-05,3.334599e-05,3.304054e-05,3.275193e-05,3.247928e-05,3.222173e-05,3.197847e-05,3.174874e-05,3.153182e-05,3.132703e-05,3.113372e-05,3.095127e-05,3.077912e-05,3.061671e-05,3.046351e-05,3.031904e-05,3.018284e-05,3.005446e-05,2.993348e-05,2.981951e-05,2.971217e-05,2.961111e-05,2.951600e-05,2.942651e-05,2.934235e-05,2.926322e-05,2.918887e-05,2.911903e-05,2.905347e-05
0.000000e+00,4.337162e-09,1.151314e-07,1.206974e-07,8.757506e-07,3.698729e-06,3.896787e-06,1.193480e-05,2.540417e-05,2.642684e-05,4.490523e-05,6.231467e-05,6.378993e-05,8.142341e-05,9.588583e-05,9.740877e-05,1.117375e-04,1.230463e-04,1.244985e-04,1.358015e-04,1.444396e-04,1.457561e-04,1.544673e-04,1.608975e-04,1.620356e-04,1.685554e-04,1.731818e-04,1.741157e-04,1.787995e-04,1.819679e-04,1.826846e-04,1.858429e-04,1.878453e-04,1.883416e-04,1.902424e-04,1.913226e-04,1.916027e-04,1.924750e-04,1.928351e-04,1.929080e-04,1.929463e-04,1.927526e-04,1.926308e-04,1.919993e-04,1.913877e-04,1.910861e-04,1.899228e-04,1.890038e-04,1.885383e-04,1.869590e-04,1.858217e-04,1.852090e-04,1.833102e-04,1.820263e-04,1.812828e-04,1.791449e-04,1.777713e-04,1.769132e-04,1.746027e-04,1.731844e-04,1.722272e-04,1.697990e-04,1.683710e-04,1.673294e-04,1.648285e-04,1.634178e-04,1.623055e-04,1.597686e-04,1.583955e-04,1.572252e-04,1.546821e-04,1.533617e-04,1.521451e-04,1.496195e-04,1.483625e-04,1.471101e-04,1.446211e-04,1.434347e-04,1.421561e-04,1.397185e-04,1.386071e-04,1.373110e-04,1.349362e-04,1.339021e-04,1.325961e-04,1.302927e-04,1.293366e-04,1.280274e-04,1.258017e-04,1.249227e-04,1.236164e-04,1.214726e-04,1.206690e-04,1.193709e-04,1.173118e-04,1.165810e-04,1.152956e-04,1.133226e-04,1.126616e-04,1.113928e-04,1.095062e-04,1.089117e-04,1.076628e-04,1.058623e-04,1.053304e-04,1.041044e-04,1.023887e-04,1.019158e-04,1.007149e-04,9.908247e-05,9.866476e-05,9.749090e-05,9.593963e-05,9.557325e-05,9.442806e-05,9.295556e-05,9.263680e-05,9.152150e-05,9.012519e-05,8.985040e-05,8.876595e-05,8.744307e-05,8.720876e-05,8.615584e-05,8.490353e-05,8.470636e-05,8.368543e-05,8.250079e-05,8.233757e-05,8.134889e-05,8.022899e-05,8.009672e-05,7.914037e-05,7.808229e-05,7.797814e-05,7.705404e-05,7.605491e-05,7.597622e-05,7.508419e-05,7.414117e-05,7.408546e-05,7.322518e-05,7.233552e-05,7.230047e-05,7.147154e-05,7.063256e-05,7.061604e-05,6.981795e-05,6.902707e-05,6.752867e-05,6.611613e-05,6.478492e-05,6.353071e-05,6.234935e-05,6.123688e-05,6.018954e-05,5.920373e-05,5.827604e-05,5.740323e-05,5.658222e-05,5.581009e-05,5.508408e-05,5.440157e-05,5.376008e-05,5.315728e-05,5.259094e-05,5.205897e-05,5.155939e-05,5.109034e-05,5.065005e-05,5.023685e-05,4.984918e-05,4.948555e-05,4.914456e-05,4.882489e-05,4.852530e-05,4.824461e-05,4.798172e-05,4.773558e-05,4.750522e-05,4.728970e-05,4.708815e-05,4.689975e-05,4.672372e-05,4.655933e-05,4.640590e-05,4.626277e-05,4.612933e-05,4.600500e-05,4.588925e-05,4.578156e-05,4.568145e-05,4.558847e-05,4.550218e-05,4.542219e-05,4.534812e-05,4.527960e-05,4.521631e-05
0.000000e+00,2.264082e-09,2.987459e-08,3.119433e-08,1.985935e-07,7.225454e-07,7.557237e-07,1.893625e-06,3.327989e-06,3.424238e-06,5.028686e-06,6.449755e-06,6.569623e-06,8.013490e-06,9.225619e-06,9.355236e-06,1.059701e-05,1.161024e-05,1.174282e-05,1.279716e-05,1.363420e-05,1.376458e-05,1.464957e-05,1.533250e-05,1.545655e-05,1.618979e-05,1.673893e-05,1.685343e-05,1.745149e-05,1.788530e-05,1.798780e-05,1.846602e-05,1.880099e-05,1.888968e-05,1.926212e-05,1.951289e-05,1.958653e-05,1.986596e-05,2.004548e-05,2.010329e-05,2.030125e-05,2.042088e-05,2.046245e-05,2.058933e-05,2.065899e-05,2.068423e-05,2.074935e-05,2.077769e-05,2.078678e-05,2.079848e-05,2.079302e-05,2.078632e-05,2.075206e-05,2.071931e-05,2.069736e-05,2.062380e-05,2.056936e-05,2.053284e-05,2.042590e-05,2.035460e-05,2.030427e-05,2.016922e-05,2.008519e-05,2.002190e-05,1.986341e-05,1.977017e-05,1.969479e-05,1.951701e-05,1.941753e-05,1.933100e-05,1.913760e-05,1.903438e-05,1.893762e-05,1.873183e-05,1.862697e-05,1.852093e-05,1.830558e-05,1.820083e-05,1.808642e-05,1.786403e-05,1.776079e-05,1.763894e-05,1.741167e-05,1.731111e-05,1.718270e-05,1.695246e-05,1.685549e-05,1.672138e-05,1.648983e-05,1.639716e-05,1.625818e-05,1.602674e-05,1.593892e-05,1.579584e-05,1.556576e-05,1.548318e-05,1.533676e-05,1.510907e-05,1.503200e-05,1.488294e-05,1.465855e-05,1.458715e-05,1.443610e-05,1.421577e-05,1.415010e-05,1.399770e-05,1.378204e-05,1.372211e-05,1.356892e-05,1.335847e-05,1.330420e-05,1.315077e-05,1.294593e-05,1.289721e-05,1.274403e-05,1.254515e-05,1.250181e-05,1.234934e-05,1.215667e-05,1.211852e-05,1.196718e-05,1.178091e-05,1.174773e-05,1.159790e-05,1.141818e-05,1.138972e-05,1.124175e-05,1.106864e-05,1.104467e-05,1.089886e-05,1.073241e-05,1.071266e-05,1.056930e-05,1.040951e-05,1.039371e-05,1.025303e-05,1.009987e-05,1.008776e-05,9.949992e-06,9.803389e-06,9.794697e-06,9.660037e-06,9.519910e-06,9.514372e-06,9.382983e-06,9.249226e-06,9.246583e-06,9.118608e-06,8.991096e-06,8.747650e-06,8.515960e-06,8.295720e-06,8.086610e-06,7.888299e-06,7.700448e-06,7.522709e-06,7.354735e-06,7.196174e-06,7.046677e-06,6.905896e-06,6.773486e-06,6.649105e-06,6.532418e-06,6.423097e-06,6.320817e-06,6.225265e-06,6.136133e-06,6.053121e-06,5.975940e-06,5.904307e-06,5.837949e-06,5.776601e-06,5.720007e-06,5.667921e-06,5.620104e-06,5.576328e-06,5.536371e-06,5.500022e-06,5.467076e-06,5.437338e-06,5.410621e-06,5.386745e-06,5.365537e-06,5.346834e-06,5.330478e-06,5.316318e-06,5.304211e-06,5.294021e-06,5.285618e-06,5.278876e-06,5.273679e-06,5.269914e-06,5.267474e-06,5.266259e-06,5.266172e-06,5.267122e-06,5.269024e-06,5.271796e-06
0.000000e+00,4.597888e-10,6.697425e-09,6.999271e-09,4.388916e-08,1.489669e-07,1.552892e-07,3.573679e-07,5.887647e-07,6.038545e-07,8.524991e-07,1.071482e-06,1.089977e-06,1.313454e-06,1.502372e-06,1.522659e-06,1.717957e-06,1.878724e-06,1.899864e-06,2.068920e-06,2.204444e-06,2.225668e-06,2.370643e-06,2.483709e-06,2.504371e-06,2.627372e-06,2.720589e-06,2.740160e-06,2.843236e-06,2.919038e-06,2.937095e-06,3.022217e-06,3.082848e-06,3.099069e-06,3.168101e-06,3.215606e-06,3.229752e-06,3.284438e-06,3.320659e-06,3.332561e-06,3.374507e-06,3.401090e-06,3.410643e-06,3.441319e-06,3.459722e-06,3.466868e-06,3.487610e-06,3.499123e-06,3.503846e-06,3.515864e-06,3.521618e-06,3.523937e-06,3.528322e-06,3.529308e-06,3.529267e-06,3.527003e-06,3.524086e-06,3.521752e-06,3.513723e-06,3.507654e-06,3.503113e-06,3.490110e-06,3.481542e-06,3.474890e-06,3.457623e-06,3.447118e-06,3.438465e-06,3.417567e-06,3.405609e-06,3.395070e-06,3.371108e-06,3.358111e-06,3.345806e-06,3.319284e-06,3.305601e-06,3.291653e-06,3.263020e-06,3.248949e-06,3.233483e-06,3.203137e-06,3.188930e-06,3.172069e-06,3.140363e-06,3.126230e-06,3.108096e-06,3.075343e-06,3.061458e-06,3.042171e-06,3.008645e-06,2.995150e-06,2.974827e-06,2.940772e-06,2.927780e-06,2.906534e-06,2.872162e-06,2.859764e-06,2.837703e-06,2.803200e-06,2.791467e-06,2.768695e-06,2.734223e-06,2.723206e-06,2.699822e-06,2.665523e-06,2.655258e-06,2.631357e-06,2.597351e-06,2.587862e-06,2.563533e-06,2.529925e-06,2.521224e-06,2.496551e-06,2.463430e-06,2.455521e-06,2.430582e-06,2.398023e-06,2.390901e-06,2.365771e-06,2.333838e-06,2.327491e-06,2.302238e-06,2.270983e-06,2.265394e-06,2.240083e-06,2.209548e-06,2.204697e-06,2.179387e-06,2.149607e-06,2.145469e-06,2.120215e-06,2.091216e-06,2.087763e-06,2.062616e-06,2.034419e-06,2.031622e-06,2.006628e-06,1.979246e-06,1.977073e-06,1.952276e-06,1.925718e-06,1.924138e-06,1.899575e-06,1.873846e-06,1.872826e-06,1.848533e-06,1.823634e-06,1.823140e-06,1.799149e-06,1.775076e-06,1.728625e-06,1.683770e-06,1.640492e-06,1.598769e-06,1.558574e-06,1.519878e-06,1.482650e-06,1.446857e-06,1.412465e-06,1.379438e-06,1.347740e-06,1.317334e-06,1.288184e-06,1.260251e-06,1.233499e-06,1.207890e-06,1.183387e-06,1.159955e-06,1.137556e-06,1.116156e-06,1.095719e-06,1.076212e-06,1.057600e-06,1.039851e-06,1.022934e-06,1.006816e-06,9.914686e-07,9.768609e-07,9.629647e-07,9.497522e-07,9.371963e-07,9.252710e-07,9.139507e-07,9.032111e-07,8.930284e-07,8.833797e-07,8.742428e-07,8.655963e-07,8.574196e-07,8.496928e-07,8.423965e-07,8.355124e-07,8.290226e-07,8.229098e-07,8.171574e-07,8.117496e-07,8.066710e-07,8.019069e-07,7.974429e-07
0.000000e+00,3.162577e-10,5.835302e-09,6.118189e-09,4.187825e-08,1.394986e-07,1.450562e-07,3.069844e-07,4.720847e-07,4.825315e-07,6.523141e-07,8.000253e-07,8.124648e-07,9.625126e-07,1.089103e-06,1.102687e-06,1.233365e-06,1.340826e-06,1.354949e-06,1.467845e-06,1.558291e-06,1.572452e-06,1.669163e-06,1.744583e-06,1.758367e-06,1.840443e-06,1.902688e-06,1.915764e-06,1.984687e-06,2.035455e-06,2.047562e-06,2.104725e-06,2.145550e-06,2.156492e-06,2.203172e-06,2.235426e-06,2.245056e-06,2.282424e-06,2.307326e-06,2.315541e-06,2.344659e-06,2.363282e-06,2.370017e-06,2.391842e-06,2.405134e-06,2.410351e-06,2.425748e-06,2.434539e-06,2.438226e-06,2.447969e-06,2.452987e-06,2.455152e-06,2.459939e-06,2.461817e-06,2.462486e-06,2.462940e-06,2.462233e-06,2.461442e-06,2.458124e-06,2.455312e-06,2.453111e-06,2.446520e-06,2.442019e-06,2.438464e-06,2.429048e-06,2.423218e-06,2.418371e-06,2.406529e-06,2.399681e-06,2.393610e-06,2.379698e-06,2.372097e-06,2.364871e-06,2.349206e-06,2.341081e-06,2.332773e-06,2.315637e-06,2.307181e-06,2.297862e-06,2.279506e-06,2.270883e-06,2.260626e-06,2.241274e-06,2.232622e-06,2.221498e-06,2.201346e-06,2.192781e-06,2.180861e-06,2.160084e-06,2.151700e-06,2.139053e-06,2.117805e-06,2.109681e-06,2.096373e-06,2.074790e-06,2.066989e-06,2.053086e-06,2.031287e-06,2.023859e-06,2.009421e-06,1.987512e-06,1.980496e-06,1.965583e-06,1.943655e-06,1.937080e-06,1.921749e-06,1.899882e-06,1.893769e-06,1.878073e-06,1.856337e-06,1.850699e-06,1.834689e-06,1.813144e-06,1.807989e-06,1.791714e-06,1.770411e-06,1.765742e-06,1.749246e-06,1.728230e-06,1.724046e-06,1.707372e-06,1.686681e-06,1.682974e-06,1.666163e-06,1.645828e-06,1.642591e-06,1.625681e-06,1.605728e-06,1.602950e-06,1.585974e-06,1.566426e-06,1.564094e-06,1.547086e-06,1.527959e-06,1.526059e-06,1.509049e-06,1.490358e-06,1.488873e-06,1.471890e-06,1.453645e-06,1.452558e-06,1.435628e-06,1.417838e-06,1.417131e-06,1.400278e-06,1.382948e-06,1.382604e-06,1.365850e-06,1.348983e-06,1.316271e-06,1.284468e-06,1.253572e-06,1.223576e-06,1.194473e-06,1.166253e-06,1.138904e-06,1.112414e-06,1.086769e-06,1.061953e-06,1.037952e-06,1.014748e-06,9.923242e-07,9.706641e-07,9.497498e-07,9.295634e-07,9.100870e-07,8.913026e-07,8.731921e-07,8.557376e-07,8.389215e-07,8.227263e-07,8.071342e-07,7.921285e-07,7.776920e-07,7.638080e-07,7.504602e-07,7.376323e-07,7.253087e-07,7.134738e-07,7.021125e-07,6.912101e-07,6.807521e-07,6.707245e-07,6.611134e-07,6.519055e-07,6.430878e-07,6.346474e-07,6.265720e-07,6.188495e-07,6.114682e-07,6.044166e-07,5.976835e-07,5.912583e-07,5.851305e-07,5.792897e-07,5.737262e-07,5.684304e-07,5.633928e-07
0.000000e+00,8.798416e-11,1.189825e-08,1.278012e-08,2.310466e-07,1.662287e-06,1.783292e-06,8.087673e-06,2.354684e-05,2.497006e-05,5.772933e-05,1.026605e-04,1.071428e-04,1.684895e-04,2.277799e-04,2.343660e-04,2.981733e-04,3.492649e-04,3.557718e-04,4.053677e-04,4.414082e-04,4.467161e-04,4.803682e-04,5.033157e-04,5.071852e-04,5.280835e-04,5.414104e-04,5.439240e-04,5.554719e-04,5.620691e-04,5.633914e-04,5.682537e-04,5.702411e-04,5.705477e-04,5.706908e-04,5.695822e-04,5.690390e-04,5.658954e-04,5.627619e-04,5.615178e-04,5.561249e-04,5.517187e-04,5.499024e-04,5.430083e-04,5.378556e-04,5.355768e-04,5.277210e-04,5.221863e-04,5.195368e-04,5.111055e-04,5.054392e-04,5.024956e-04,4.937651e-04,4.881372e-04,4.849628e-04,4.761298e-04,4.706531e-04,4.673002e-04,4.585026e-04,4.532496e-04,4.497609e-04,4.410949e-04,4.361098e-04,4.325208e-04,4.240522e-04,4.193600e-04,4.156999e-04,4.074726e-04,4.030843e-04,3.993772e-04,3.914191e-04,3.873367e-04,3.836026e-04,3.759304e-04,3.721492e-04,3.684048e-04,3.610269e-04,3.575382e-04,3.537975e-04,3.467165e-04,3.435090e-04,3.397835e-04,3.329978e-04,3.300585e-04,3.263582e-04,3.198633e-04,3.171782e-04,3.135115e-04,3.073009e-04,3.048558e-04,3.012297e-04,2.952957e-04,2.930763e-04,2.894967e-04,2.838306e-04,2.818229e-04,2.782950e-04,2.728875e-04,2.710778e-04,2.676059e-04,2.624476e-04,2.608227e-04,2.574104e-04,2.524919e-04,2.510391e-04,2.476895e-04,2.430011e-04,2.417085e-04,2.384243e-04,2.339566e-04,2.328127e-04,2.295959e-04,2.253399e-04,2.243337e-04,2.211862e-04,2.171328e-04,2.162543e-04,2.131774e-04,2.093179e-04,2.085573e-04,2.055522e-04,2.018782e-04,2.012265e-04,1.982939e-04,1.947974e-04,1.942459e-04,1.913865e-04,1.880596e-04,1.876004e-04,1.848145e-04,1.816496e-04,1.812751e-04,1.785630e-04,1.755529e-04,1.752560e-04,1.726176e-04,1.697554e-04,1.695296e-04,1.669647e-04,1.642438e-04,1.640827e-04,1.615911e-04,1.590050e-04,1.589029e-04,1.564841e-04,1.540268e-04,1.539783e-04,1.516317e-04,1.492973e-04,1.448491e-04,1.406230e-04,1.366090e-04,1.327975e-04,1.291793e-04,1.257456e-04,1.224879e-04,1.193983e-04,1.164689e-04,1.136925e-04,1.110620e-04,1.085707e-04,1.062121e-04,1.039801e-04,1.018689e-04,9.987280e-05,9.798648e-05,9.620481e-05,9.452289e-05,9.293607e-05,9.143985e-05,9.002999e-05,8.870240e-05,8.745319e-05,8.627863e-05,8.517517e-05,8.413942e-05,8.316813e-05,8.225820e-05,8.140667e-05,8.061071e-05,7.986762e-05,7.917483e-05,7.852985e-05,7.793034e-05,7.737405e-05,7.685884e-05,7.638264e-05,7.594349e-05,7.553954e-05,7.516898e-05,7.483011e-05,7.452131e-05,7.424100e-05,7.398771e-05,7.376002e-05,7.355656e-05,7.337605e-05,7.321725e-05
0.000000e+00,2.988299e-12,6.328154e-10,6.856450e-10,1.860864e-08,1.894437e-07,2.060568e-07,1.302014e-06,5.072643e-06,5.476729e-06,1.690143e-05,3.857603e-05,4.111559e-05,8.331420e-05,1.393018e-04,1.466082e-04,2.311058e-04,3.208187e-04,3.339843e-04,4.502643e-04,5.563564e-04,5.738668e-04,6.986149e-04,8.002224e-04,8.189927e-04,9.305997e-04,1.013353e-03,1.030330e-03,1.116345e-03,1.174755e-03,1.187907e-03,1.245157e-03,1.280361e-03,1.288874e-03,1.320248e-03,1.336708e-03,1.340701e-03,1.351731e-03,1.354700e-03,1.354817e-03,1.351341e-03,1.345480e-03,1.342549e-03,1.329535e-03,1.318420e-03,1.313235e-03,1.294437e-03,1.280563e-03,1.273789e-03,1.251818e-03,1.236803e-03,1.228948e-03,1.205515e-03,1.190345e-03,1.181779e-03,1.157946e-03,1.143190e-03,1.134171e-03,1.110572e-03,1.096535e-03,1.087238e-03,1.064234e-03,1.051063e-03,1.041608e-03,1.019395e-03,1.007144e-03,9.976158e-04,9.762877e-04,9.649613e-04,9.554194e-04,9.350158e-04,9.245900e-04,9.150781e-04,8.956050e-04,8.860418e-04,8.765933e-04,8.580383e-04,8.492924e-04,8.399341e-04,8.222740e-04,8.142975e-04,8.050508e-04,7.882567e-04,7.810012e-04,7.718837e-04,7.559238e-04,7.493419e-04,7.403687e-04,7.252102e-04,7.192560e-04,7.104399e-04,6.960495e-04,6.906791e-04,6.820308e-04,6.683755e-04,6.635470e-04,6.550754e-04,6.421226e-04,6.377963e-04,6.295091e-04,6.172270e-04,6.133656e-04,6.052689e-04,5.936270e-04,5.901949e-04,5.822939e-04,5.712623e-04,5.682265e-04,5.605250e-04,5.500749e-04,5.474041e-04,5.399051e-04,5.300087e-04,5.276736e-04,5.203792e-04,5.110100e-04,5.089831e-04,5.018947e-04,4.930270e-04,4.912826e-04,4.844008e-04,4.760101e-04,4.745243e-04,4.678490e-04,4.599117e-04,4.586621e-04,4.521927e-04,4.446864e-04,4.436522e-04,4.373875e-04,4.302907e-04,4.294524e-04,4.233908e-04,4.166830e-04,4.160226e-04,4.101623e-04,4.038238e-04,4.033245e-04,3.976630e-04,3.916753e-04,3.913214e-04,3.858562e-04,3.802013e-04,3.799785e-04,3.747065e-04,3.693676e-04,3.692624e-04,3.641806e-04,3.591414e-04,3.495854e-04,3.405655e-04,3.320543e-04,3.240258e-04,3.164553e-04,3.093190e-04,3.025945e-04,2.962606e-04,2.902969e-04,2.846842e-04,2.794041e-04,2.744392e-04,2.697730e-04,2.653896e-04,2.612743e-04,2.574128e-04,2.537915e-04,2.503978e-04,2.472193e-04,2.442447e-04,2.414628e-04,2.388634e-04,2.364364e-04,2.341725e-04,2.320628e-04,2.300988e-04,2.282725e-04,2.265762e-04,2.250027e-04,2.235451e-04,2.221969e-04,2.209519e-04,2.198043e-04,2.187484e-04,2.177790e-04,2.168910e-04,2.160797e-04,2.153405e-04,2.146693e-04,2.140619e-04,2.135144e-04,2.130233e-04,2.125850e-04,2.121963e-04,2.118541e-04,2.115554e-04,2.112975e-04,2.110776e-04,2.108934e-04
0.000000e+00,2.861577e-10,3.078966e-08,3.290736e-08,4.680413e-07,2.825701e-06,3.013889e-06,1.225203e-05,3.379425e-05,3.575524e-05,8.072897e-05,1.427161e-04,1.489364e-04,2.348719e-04,3.196825e-04,3.292398e-04,4.237618e-04,5.029303e-04,5.133179e-04,5.955767e-04,6.599540e-04,6.698772e-04,7.363542e-04,7.864731e-04,7.954558e-04,8.477266e-04,8.858802e-04,8.937199e-04,9.339677e-04,9.623658e-04,9.689692e-04,9.991883e-04,1.019717e-03,1.025054e-03,1.046962e-03,1.061189e-03,1.065275e-03,1.080326e-03,1.089545e-03,1.092422e-03,1.101841e-03,1.107111e-03,1.108840e-03,1.113654e-03,1.115837e-03,1.116494e-03,1.117558e-03,1.117357e-03,1.117022e-03,1.115050e-03,1.113035e-03,1.111790e-03,1.107378e-03,1.104007e-03,1.101937e-03,1.095578e-03,1.091221e-03,1.088405e-03,1.080512e-03,1.075465e-03,1.071982e-03,1.062893e-03,1.057394e-03,1.053316e-03,1.043316e-03,1.037552e-03,1.032949e-03,1.022269e-03,1.016389e-03,1.011324e-03,1.000158e-03,9.942777e-04,9.888104e-04,9.773165e-04,9.715249e-04,9.657087e-04,9.540165e-04,9.483822e-04,9.422665e-04,9.304828e-04,9.250569e-04,9.186868e-04,9.068978e-04,9.017175e-04,8.951334e-04,8.834094e-04,8.785008e-04,8.717399e-04,8.601376e-04,8.555180e-04,8.486135e-04,8.371778e-04,8.328573e-04,8.258394e-04,8.146062e-04,8.105894e-04,8.034853e-04,7.924826e-04,7.887696e-04,7.816035e-04,7.708527e-04,7.674402e-04,7.602341e-04,7.497512e-04,7.466333e-04,7.394070e-04,7.292038e-04,7.263725e-04,7.191436e-04,7.092280e-04,7.066737e-04,6.994581e-04,6.898349e-04,6.875472e-04,6.803589e-04,6.710306e-04,6.689982e-04,6.618500e-04,6.528171e-04,6.510282e-04,6.439314e-04,6.351925e-04,6.336350e-04,6.265997e-04,6.181523e-04,6.168141e-04,6.098493e-04,6.016898e-04,6.005588e-04,5.936725e-04,5.857963e-04,5.848606e-04,5.780599e-04,5.704619e-04,5.697096e-04,5.630009e-04,5.556754e-04,5.550952e-04,5.484839e-04,5.414249e-04,5.410055e-04,5.344966e-04,5.276976e-04,5.274283e-04,5.210261e-04,5.144805e-04,5.143508e-04,5.080591e-04,5.017601e-04,4.896430e-04,4.779861e-04,4.667762e-04,4.560001e-04,4.456447e-04,4.356972e-04,4.261446e-04,4.169746e-04,4.081749e-04,3.997333e-04,3.916382e-04,3.838782e-04,3.764418e-04,3.693184e-04,3.624972e-04,3.559678e-04,3.497203e-04,3.437448e-04,3.380319e-04,3.325722e-04,3.273569e-04,3.223772e-04,3.176247e-04,3.130912e-04,3.087687e-04,3.046495e-04,3.007262e-04,2.969915e-04,2.934384e-04,2.900600e-04,2.868498e-04,2.838014e-04,2.809085e-04,2.781652e-04,2.755656e-04,2.731041e-04,2.707752e-04,2.685736e-04,2.664943e-04,2.645322e-04,2.626825e-04,2.609407e-04,2.593021e-04,2.577624e-04,2.563174e-04,2.549630e-04,2.536953e-04,2.525105e-04,2.514048e-04
0.000000e+00,7.137016e-12,1.437865e-09,1.556138e-09,3.988887e-08,3.868894e-07,4.200551e-07,2.549018e-06,9.625620e-06,1.037336e-05,3.110598e-05,6.927610e-05,7.368301e-05,1.455320e-04,2.379244e-04,2.497875e-04,3.843317e-04,5.226538e-04,5.426095e-04,7.154176e-04,8.680725e-04,8.928321e-04,1.065746e-03,1.202081e-03,1.226816e-03,1.370856e-03,1.474053e-03,1.494805e-03,1.597433e-03,1.664285e-03,1.678945e-03,1.740554e-03,1.775966e-03,1.784106e-03,1.811772e-03,1.823567e-03,1.825815e-03,1.828431e-03,1.824215e-03,1.821656e-03,1.807310e-03,1.793189e-03,1.786973e-03,1.761990e-03,1.742346e-03,1.733483e-03,1.702379e-03,1.680134e-03,1.669428e-03,1.635236e-03,1.612226e-03,1.600282e-03,1.564947e-03,1.542272e-03,1.529527e-03,1.494252e-03,1.472533e-03,1.459298e-03,1.424800e-03,1.404362e-03,1.390857e-03,1.357544e-03,1.338532e-03,1.324913e-03,1.293003e-03,1.275458e-03,1.261838e-03,1.231432e-03,1.215332e-03,1.201794e-03,1.172926e-03,1.158217e-03,1.144823e-03,1.117481e-03,1.104092e-03,1.090890e-03,1.065040e-03,1.052891e-03,1.039918e-03,1.015511e-03,1.004520e-03,9.918056e-04,9.687860e-04,9.588708e-04,9.464373e-04,9.247440e-04,9.158245e-04,9.036905e-04,8.832613e-04,8.752609e-04,8.634408e-04,8.442138e-04,8.370599e-04,8.255648e-04,8.074788e-04,8.011028e-04,7.899409e-04,7.729364e-04,7.672738e-04,7.564509e-04,7.404702e-04,7.354608e-04,7.249805e-04,7.099682e-04,7.055556e-04,6.954200e-04,6.813229e-04,6.774548e-04,6.676642e-04,6.544313e-04,6.510590e-04,6.416123e-04,6.291952e-04,6.262736e-04,6.171686e-04,6.055211e-04,6.030084e-04,5.942417e-04,5.833199e-04,5.811775e-04,5.727452e-04,5.625073e-04,5.606995e-04,5.525965e-04,5.430031e-04,5.414970e-04,5.337178e-04,5.247315e-04,5.234968e-04,5.160353e-04,5.076205e-04,5.066293e-04,4.994789e-04,4.916023e-04,4.908289e-04,4.839827e-04,4.766125e-04,4.760334e-04,4.694841e-04,4.625904e-04,4.621841e-04,4.559242e-04,4.494787e-04,4.492254e-04,4.432472e-04,4.372233e-04,4.371049e-04,4.314006e-04,4.257730e-04,4.151831e-04,4.052910e-04,3.960551e-04,3.874361e-04,3.793972e-04,3.719033e-04,3.649216e-04,3.584211e-04,3.523727e-04,3.467487e-04,3.415233e-04,3.366720e-04,3.321718e-04,3.280011e-04,3.241394e-04,3.205676e-04,3.172675e-04,3.142222e-04,3.114155e-04,3.088323e-04,3.064585e-04,3.042807e-04,3.022862e-04,3.004632e-04,2.988005e-04,2.972877e-04,2.959148e-04,2.946727e-04,2.935524e-04,2.925459e-04,2.916454e-04,2.908436e-04,2.901337e-04,2.895092e-04,2.889641e-04,2.884927e-04,2.880897e-04,2.877501e-04,2.874691e-04,2.872424e-04,2.870658e-04,2.869355e-04,2.868477e-04,2.867991e-04,2.867865e-04,2.868067e-04,2.868571e-04,2.869350e-04,2.870378e-04
0.000000e+00,6.060569e-13,1.647718e-10,1.794915e-10,6.214652e-09,7.476876e-08,8.178702e-08,5.808343e-07,2.456724e-06,2.665218e-06,8.899758e-06,2.192488e-05,2.353167e-05,5.228061e-05,9.566500e-05,1.017353e-04,1.785628e-04,2.735776e-04,2.887250e-04,4.368382e-04,5.967894e-04,6.257463e-04,8.563202e-04,1.081454e-03,1.127464e-03,1.436285e-03,1.714581e-03,1.778376e-03,2.148167e-03,2.459687e-03,2.539298e-03,2.944983e-03,3.267091e-03,3.358343e-03,3.772691e-03,4.084378e-03,4.181757e-03,4.579863e-03,4.864451e-03,4.962035e-03,5.324080e-03,5.570352e-03,5.662602e-03,5.974991e-03,6.177090e-03,6.259389e-03,6.514633e-03,6.671250e-03,6.740188e-03,6.936061e-03,7.049292e-03,7.102728e-03,7.241051e-03,7.315233e-03,7.352201e-03,7.437587e-03,7.478276e-03,7.498791e-03,7.537509e-03,7.550678e-03,7.555502e-03,7.554556e-03,7.546031e-03,7.536447e-03,7.502911e-03,7.478018e-03,7.455620e-03,7.396173e-03,7.359551e-03,7.326074e-03,7.246731e-03,7.202258e-03,7.159451e-03,7.065435e-03,7.016248e-03,6.965781e-03,6.861489e-03,6.810050e-03,6.753460e-03,6.642503e-03,6.590681e-03,6.529340e-03,6.414613e-03,6.363787e-03,6.298891e-03,6.182671e-03,6.133817e-03,6.066388e-03,5.950423e-03,5.904200e-03,5.835102e-03,5.720707e-03,5.677532e-03,5.607481e-03,5.495627e-03,5.455730e-03,5.385319e-03,5.276698e-03,5.240173e-03,5.169883e-03,5.064969e-03,5.031811e-03,4.962033e-03,4.861133e-03,4.831267e-03,4.762314e-03,4.665608e-03,4.638912e-03,4.571036e-03,4.478610e-03,4.454931e-03,4.388332e-03,4.300200e-03,4.279366e-03,4.214203e-03,4.130327e-03,4.112156e-03,4.048552e-03,3.968856e-03,3.953164e-03,3.891213e-03,3.815597e-03,3.802198e-03,3.741975e-03,3.670317e-03,3.659032e-03,3.600590e-03,3.532758e-03,3.523411e-03,3.466788e-03,3.402644e-03,3.395067e-03,3.340289e-03,3.279687e-03,3.273722e-03,3.220801e-03,3.163596e-03,3.159091e-03,3.108035e-03,3.054081e-03,3.050894e-03,3.001698e-03,2.950850e-03,2.948848e-03,2.901503e-03,2.853621e-03,2.852678e-03,2.807169e-03,2.762114e-03,2.676891e-03,2.596755e-03,2.521458e-03,2.450761e-03,2.384434e-03,2.322256e-03,2.264013e-03,2.209503e-03,2.158530e-03,2.110907e-03,2.066456e-03,2.025007e-03,1.986395e-03,1.950467e-03,1.917074e-03,1.886076e-03,1.857337e-03,1.830730e-03,1.806134e-03,1.783432e-03,1.762516e-03,1.743280e-03,1.725626e-03,1.709458e-03,1.694688e-03,1.681230e-03,1.669004e-03,1.657933e-03,1.647943e-03,1.638967e-03,1.630938e-03,1.623795e-03,1.617479e-03,1.611935e-03,1.607109e-03,1.602951e-03,1.599415e-03,1.596456e-03,1.594031e-03,1.592101e-03,1.590627e-03,1.589575e-03,1.588909e-03,1.588600e-03,1.588616e-03,1.588929e-03,1.589513e-03,1.590344e-03,1.591396e-03
0.000000e+00,2.361068e-10,2.948742e-08,3.164639e-08,5.642072e-07,4.073074e-06,4.369206e-06,1.949488e-05,5.412358e-05,5.715864e-05,1.216724e-04,1.986234e-04,2.057895e-04,2.976306e-04,3.791452e-04,3.879376e-04,4.718262e-04,5.388775e-04,5.475112e-04,6.147844e-04,6.662325e-04,6.740754e-04,7.260138e-04,7.644455e-04,7.712624e-04,8.104544e-04,8.384870e-04,8.441787e-04,8.729756e-04,8.927988e-04,8.973390e-04,9.177187e-04,9.311134e-04,9.345230e-04,9.481226e-04,9.565224e-04,9.588527e-04,9.670166e-04,9.715679e-04,9.728883e-04,9.767149e-04,9.783298e-04,9.787194e-04,9.791030e-04,9.785047e-04,9.780466e-04,9.757136e-04,9.734735e-04,9.722508e-04,9.677907e-04,9.643589e-04,9.624521e-04,9.563422e-04,9.520719e-04,9.495572e-04,9.421839e-04,9.373515e-04,9.343001e-04,9.259756e-04,9.207957e-04,9.172731e-04,9.082492e-04,9.028883e-04,8.989545e-04,8.894345e-04,8.840202e-04,8.797299e-04,8.698770e-04,8.645064e-04,8.599086e-04,8.498540e-04,8.446003e-04,8.397392e-04,8.295874e-04,8.245043e-04,8.194195e-04,8.092540e-04,8.043803e-04,7.991074e-04,7.889943e-04,7.843571e-04,7.789275e-04,7.689187e-04,7.645359e-04,7.589780e-04,7.491142e-04,7.449963e-04,7.393352e-04,7.296477e-04,7.257997e-04,7.200577e-04,7.105705e-04,7.069933e-04,7.011906e-04,6.919217e-04,6.886127e-04,6.827671e-04,6.737294e-04,6.706836e-04,6.648108e-04,6.560133e-04,6.532239e-04,6.473384e-04,6.387872e-04,6.362461e-04,6.303606e-04,6.220589e-04,6.197569e-04,6.138826e-04,6.058318e-04,6.037591e-04,5.979063e-04,5.901060e-04,5.882525e-04,5.824305e-04,5.748791e-04,5.732344e-04,5.674513e-04,5.601463e-04,5.587000e-04,5.529632e-04,5.459011e-04,5.446427e-04,5.389589e-04,5.321355e-04,5.310547e-04,5.254298e-04,5.188407e-04,5.179275e-04,5.123669e-04,5.060071e-04,5.052515e-04,4.997601e-04,4.936245e-04,4.930170e-04,4.875990e-04,4.816822e-04,4.812135e-04,4.758728e-04,4.701693e-04,4.698305e-04,4.645705e-04,4.590749e-04,4.588572e-04,4.536811e-04,4.483877e-04,4.482829e-04,4.431934e-04,4.380967e-04,4.282880e-04,4.188460e-04,4.097603e-04,4.010205e-04,3.926162e-04,3.845376e-04,3.767747e-04,3.693180e-04,3.621581e-04,3.552857e-04,3.486919e-04,3.423679e-04,3.363052e-04,3.304955e-04,3.249307e-04,3.196028e-04,3.145042e-04,3.096275e-04,3.049652e-04,3.005104e-04,2.962561e-04,2.921956e-04,2.883224e-04,2.846302e-04,2.811128e-04,2.777641e-04,2.745784e-04,2.715499e-04,2.686732e-04,2.659428e-04,2.633536e-04,2.609005e-04,2.585784e-04,2.563828e-04,2.543088e-04,2.523519e-04,2.505078e-04,2.487721e-04,2.471407e-04,2.456096e-04,2.441747e-04,2.428324e-04,2.415788e-04,2.404104e-04,2.393237e-04,2.383153e-04,2.373818e-04,2.365202e-04,2.357271e-04
0.000000e+00,5.996809e-09,1.355700e-07,1.421699e-07,9.705885e-07,3.312808e-06,3.453193e-06,8.065866e-06,1.389896e-05,1.430083e-05,2.115581e-05,2.727262e-05,2.778216e-05,3.378037e-05,3.857373e-05,3.907164e-05,4.368790e-05,4.723615e-05,4.768505e-05,5.112087e-05,5.366854e-05,5.405006e-05,5.652317e-05,5.828213e-05,5.858651e-05,6.028232e-05,6.142571e-05,6.164903e-05,6.272148e-05,6.338892e-05,6.353128e-05,6.410705e-05,6.441043e-05,6.447468e-05,6.465756e-05,6.468607e-05,6.467682e-05,6.455155e-05,6.437603e-05,6.429903e-05,6.393486e-05,6.361149e-05,6.347311e-05,6.292626e-05,6.249899e-05,6.230572e-05,6.162171e-05,6.112502e-05,6.088335e-05,6.009892e-05,5.955961e-05,5.927587e-05,5.842082e-05,5.785956e-05,5.753970e-05,5.663781e-05,5.607030e-05,5.571988e-05,5.479013e-05,5.422819e-05,5.385233e-05,5.290980e-05,5.236215e-05,5.196551e-05,5.102206e-05,5.049496e-05,5.008175e-05,4.914662e-05,4.864444e-05,4.821844e-05,4.729876e-05,4.682433e-05,4.638892e-05,4.549009e-05,4.504512e-05,4.460327e-05,4.372931e-05,4.331459e-05,4.286893e-05,4.202274e-05,4.163839e-05,4.119123e-05,4.037480e-05,4.002044e-05,3.957377e-05,3.878839e-05,3.846323e-05,3.801881e-05,3.726516e-05,3.696817e-05,3.652749e-05,3.580582e-05,3.553577e-05,3.510011e-05,3.441031e-05,3.416586e-05,3.373631e-05,3.307799e-05,3.285771e-05,3.243520e-05,3.180775e-05,3.161019e-05,3.119548e-05,3.059816e-05,3.042185e-05,3.001558e-05,2.944750e-05,2.929101e-05,2.889370e-05,2.835391e-05,2.821583e-05,2.782788e-05,2.731536e-05,2.719434e-05,2.681609e-05,2.632979e-05,2.622452e-05,2.585620e-05,2.539505e-05,2.530429e-05,2.494608e-05,2.450902e-05,2.443159e-05,2.408360e-05,2.366956e-05,2.360435e-05,2.326663e-05,2.287457e-05,2.282053e-05,2.249311e-05,2.212200e-05,2.207815e-05,2.176099e-05,2.140983e-05,2.137525e-05,2.106829e-05,2.073613e-05,2.070995e-05,2.041311e-05,2.009900e-05,2.008043e-05,1.979359e-05,1.949664e-05,1.948493e-05,1.920794e-05,1.892729e-05,1.892175e-05,1.865447e-05,1.838928e-05,1.788595e-05,1.741028e-05,1.696085e-05,1.653630e-05,1.613534e-05,1.575674e-05,1.539933e-05,1.506199e-05,1.474366e-05,1.444334e-05,1.416008e-05,1.389296e-05,1.364112e-05,1.340375e-05,1.318007e-05,1.296936e-05,1.277090e-05,1.258404e-05,1.240815e-05,1.224264e-05,1.208695e-05,1.194055e-05,1.180292e-05,1.167360e-05,1.155212e-05,1.143806e-05,1.133102e-05,1.123060e-05,1.113644e-05,1.104820e-05,1.096555e-05,1.088818e-05,1.081580e-05,1.074813e-05,1.068491e-05,1.062588e-05,1.057082e-05,1.051950e-05,1.047171e-05,1.042725e-05,1.038593e-05,1.034757e-05,1.031201e-05,1.027909e-05,1.024864e-05,1.022054e-05,1.019464e-05,1.017081e-05,1.014894e-05
0.000000e+00,7.448986e-10,6.596515e-08,7.042921e-08,1.017385e-06,6.208977e-06,6.615829e-06,2.520963e-05,6.175459e-05,6.475141e-05,1.239347e-04,1.874497e-04,1.931178e-04,2.636451e-04,3.248289e-04,3.314373e-04,3.952434e-04,4.479230e-04,4.548572e-04,5.103681e-04,5.549484e-04,5.619374e-04,6.097425e-04,6.471204e-04,6.539618e-04,6.947716e-04,7.258119e-04,7.323435e-04,7.668444e-04,7.923425e-04,7.984354e-04,8.272719e-04,8.479480e-04,8.535026e-04,8.772704e-04,8.937709e-04,8.987117e-04,9.179569e-04,9.308578e-04,9.351303e-04,9.503504e-04,9.601630e-04,9.637302e-04,9.753771e-04,9.825539e-04,9.853935e-04,9.938767e-04,9.988169e-04,1.000919e-03,1.006609e-03,1.009664e-03,1.011029e-03,1.014259e-03,1.015737e-03,1.016375e-03,1.017448e-03,1.017619e-03,1.017545e-03,1.016732e-03,1.015833e-03,1.015070e-03,1.012616e-03,1.010852e-03,1.009426e-03,1.005551e-03,1.003100e-03,1.001040e-03,9.959415e-04,9.929592e-04,9.902985e-04,9.841528e-04,9.807717e-04,9.775443e-04,9.705103e-04,9.668449e-04,9.630862e-04,9.553053e-04,9.514532e-04,9.471995e-04,9.387984e-04,9.348426e-04,9.301303e-04,9.212218e-04,9.172323e-04,9.120978e-04,9.027820e-04,8.988176e-04,8.932967e-04,8.836630e-04,8.797724e-04,8.739005e-04,8.640278e-04,8.602509e-04,8.540623e-04,8.440205e-04,8.403898e-04,8.339177e-04,8.237685e-04,8.203096e-04,8.135863e-04,8.033838e-04,8.001166e-04,7.931728e-04,7.829646e-04,7.799042e-04,7.727694e-04,7.625970e-04,7.597540e-04,7.524563e-04,7.423558e-04,7.397372e-04,7.323032e-04,7.223059e-04,7.199155e-04,7.123704e-04,7.025032e-04,7.003421e-04,6.927098e-04,6.829955e-04,6.810626e-04,6.733654e-04,6.638237e-04,6.621159e-04,6.543746e-04,6.450219e-04,6.435346e-04,6.357689e-04,6.266187e-04,6.253460e-04,6.175741e-04,6.086375e-04,6.075725e-04,5.998113e-04,5.910973e-04,5.902321e-04,5.824972e-04,5.740127e-04,5.733390e-04,5.656450e-04,5.573952e-04,5.569040e-04,5.492642e-04,5.412527e-04,5.409348e-04,5.333614e-04,5.255906e-04,5.254364e-04,5.179407e-04,5.104117e-04,4.958612e-04,4.817837e-04,4.681764e-04,4.550352e-04,4.423548e-04,4.301288e-04,4.183501e-04,4.070107e-04,3.961021e-04,3.856153e-04,3.755407e-04,3.658686e-04,3.565889e-04,3.476914e-04,3.391658e-04,3.310016e-04,3.231885e-04,3.157160e-04,3.085737e-04,3.017514e-04,2.952388e-04,2.890259e-04,2.831029e-04,2.774599e-04,2.720874e-04,2.669760e-04,2.621165e-04,2.575000e-04,2.531176e-04,2.489609e-04,2.450214e-04,2.412911e-04,2.377620e-04,2.344265e-04,2.312771e-04,2.283065e-04,2.255077e-04,2.228738e-04,2.203983e-04,2.180747e-04,2.158968e-04,2.138585e-04,2.119541e-04,2.101779e-04,2.085244e-04,2.069884e-04,2.055648e-04,2.042486e-04,2.030350e-04
0.000000e+00,5.342867e-11,1.265763e-08,1.376615e-08,4.122055e-07,3.693125e-06,3.977644e-06,1.795179e-05,4.630564e-05,4.863608e-05,9.506068e-05,1.463797e-04,1.510463e-04,2.100819e-04,2.620932e-04,2.677132e-04,3.216131e-04,3.652077e-04,3.708619e-04,4.152853e-04,4.497496e-04,4.550455e-04,4.904336e-04,5.170203e-04,5.217770e-04,5.494023e-04,5.694996e-04,5.736208e-04,5.947247e-04,6.095485e-04,6.129857e-04,6.286553e-04,6.392288e-04,6.419658e-04,6.531313e-04,6.603041e-04,6.623484e-04,6.697976e-04,6.742697e-04,6.756444e-04,6.800404e-04,6.823856e-04,6.831245e-04,6.850237e-04,6.857108e-04,6.858543e-04,6.857227e-04,6.851334e-04,6.847259e-04,6.829526e-04,6.813965e-04,6.804837e-04,6.773932e-04,6.751204e-04,6.737484e-04,6.696108e-04,6.668228e-04,6.650364e-04,6.600760e-04,6.569342e-04,6.547764e-04,6.491796e-04,6.458127e-04,6.433243e-04,6.372454e-04,6.337555e-04,6.309747e-04,6.245410e-04,6.210084e-04,6.179706e-04,6.112872e-04,6.077745e-04,6.045124e-04,5.976657e-04,5.942209e-04,5.907646e-04,5.838252e-04,5.804849e-04,5.768618e-04,5.698875e-04,5.666789e-04,5.629140e-04,5.559517e-04,5.528943e-04,5.490100e-04,5.420975e-04,5.392048e-04,5.352217e-04,5.283892e-04,5.256698e-04,5.216062e-04,5.148779e-04,5.123365e-04,5.082090e-04,5.016037e-04,4.992420e-04,4.950656e-04,4.885978e-04,4.864153e-04,4.822032e-04,4.758840e-04,4.738781e-04,4.696423e-04,4.634797e-04,4.616466e-04,4.573978e-04,4.513975e-04,4.497322e-04,4.454798e-04,4.396455e-04,4.381423e-04,4.338950e-04,4.282286e-04,4.268812e-04,4.226465e-04,4.171488e-04,4.159506e-04,4.117353e-04,4.064058e-04,4.053500e-04,4.011601e-04,3.959976e-04,3.950772e-04,3.909180e-04,3.859206e-04,3.851286e-04,3.810048e-04,3.761700e-04,3.754995e-04,3.714154e-04,3.667402e-04,3.661844e-04,3.621435e-04,3.576247e-04,3.571770e-04,3.531827e-04,3.488166e-04,3.484706e-04,3.445256e-04,3.403086e-04,3.400579e-04,3.361648e-04,3.320930e-04,3.319317e-04,3.280925e-04,3.241621e-04,3.240842e-04,3.203009e-04,3.165079e-04,3.091949e-04,3.021376e-04,2.953282e-04,2.887591e-04,2.824229e-04,2.763122e-04,2.704198e-04,2.647385e-04,2.592615e-04,2.539820e-04,2.488935e-04,2.439896e-04,2.392640e-04,2.347108e-04,2.303241e-04,2.260982e-04,2.220277e-04,2.181071e-04,2.143314e-04,2.106955e-04,2.071946e-04,2.038240e-04,2.005793e-04,1.974559e-04,1.944498e-04,1.915567e-04,1.887728e-04,1.860943e-04,1.835173e-04,1.810384e-04,1.786542e-04,1.763611e-04,1.741562e-04,1.720362e-04,1.699981e-04,1.680391e-04,1.661563e-04,1.643471e-04,1.626088e-04,1.609388e-04,1.593348e-04,1.577944e-04,1.563153e-04,1.548954e-04,1.535324e-04,1.522244e-04,1.509694e-04,1.497655e-04,1.486108e-04
0.000000e+00,3.962143e-09,6.042755e-08,6.320385e-08,4.044600e-07,1.308865e-06,1.359381e-06,2.791709e-06,4.198218e-06,4.285969e-06,5.695004e-06,6.896142e-06,6.996252e-06,8.190494e-06,9.177778e-06,9.282540e-06,1.027787e-05,1.107812e-05,1.118198e-05,1.200028e-05,1.263943e-05,1.273807e-05,1.340050e-05,1.390233e-05,1.399253e-05,1.451894e-05,1.490483e-05,1.498428e-05,1.539288e-05,1.568166e-05,1.574883e-05,1.605599e-05,1.626404e-05,1.631798e-05,1.653821e-05,1.667962e-05,1.671986e-05,1.686593e-05,1.695276e-05,1.697920e-05,1.706229e-05,1.710480e-05,1.711763e-05,1.714751e-05,1.715440e-05,1.715403e-05,1.713918e-05,1.711782e-05,1.710481e-05,1.705261e-05,1.700919e-05,1.698420e-05,1.690106e-05,1.684075e-05,1.680456e-05,1.669599e-05,1.662315e-05,1.657655e-05,1.644734e-05,1.636555e-05,1.630939e-05,1.616364e-05,1.607590e-05,1.601100e-05,1.585227e-05,1.576100e-05,1.568821e-05,1.551952e-05,1.542674e-05,1.534686e-05,1.517081e-05,1.507812e-05,1.499195e-05,1.481077e-05,1.471946e-05,1.462774e-05,1.444331e-05,1.435440e-05,1.425786e-05,1.407177e-05,1.398605e-05,1.388537e-05,1.369897e-05,1.361703e-05,1.351286e-05,1.332728e-05,1.324955e-05,1.314248e-05,1.295866e-05,1.288546e-05,1.277603e-05,1.259476e-05,1.252627e-05,1.241501e-05,1.223692e-05,1.217325e-05,1.206063e-05,1.188624e-05,1.182741e-05,1.171387e-05,1.154360e-05,1.148957e-05,1.137552e-05,1.120969e-05,1.116039e-05,1.104618e-05,1.088504e-05,1.084035e-05,1.072632e-05,1.057005e-05,1.052983e-05,1.041627e-05,1.026500e-05,1.022907e-05,1.011626e-05,9.970062e-06,9.938242e-06,9.826423e-06,9.685343e-06,9.657434e-06,9.546824e-06,9.410863e-06,9.386661e-06,9.277454e-06,9.146587e-06,9.125884e-06,9.018251e-06,8.892431e-06,8.875016e-06,8.769110e-06,8.648268e-06,8.633933e-06,8.529886e-06,8.413939e-06,8.402477e-06,8.300403e-06,8.189254e-06,8.180464e-06,8.080463e-06,7.974004e-06,7.967690e-06,7.869846e-06,7.767961e-06,7.763932e-06,7.668317e-06,7.570883e-06,7.568957e-06,7.475628e-06,7.382520e-06,7.204371e-06,7.034253e-06,6.871911e-06,6.717084e-06,6.569515e-06,6.428948e-06,6.295131e-06,6.167814e-06,6.046753e-06,5.931708e-06,5.822444e-06,5.718733e-06,5.620353e-06,5.527086e-06,5.438723e-06,5.355059e-06,5.275899e-06,5.201049e-06,5.130327e-06,5.063552e-06,5.000554e-06,4.941165e-06,4.885225e-06,4.832580e-06,4.783081e-06,4.736586e-06,4.692955e-06,4.652056e-06,4.613763e-06,4.577951e-06,4.544504e-06,4.513308e-06,4.484254e-06,4.457238e-06,4.432159e-06,4.408922e-06,4.387434e-06,4.367607e-06,4.349355e-06,4.332598e-06,4.317256e-06,4.303257e-06,4.290527e-06,4.278998e-06,4.268604e-06,4.259283e-06,4.250974e-06,4.243620e-06,4.237164e-06
0.000000e+00,1.198034e-11,2.471724e-09,2.676659e-09,7.088832e-08,7.068999e-07,7.682338e-07,4.744305e-06,1.801188e-05,1.941190e-05,5.807548e-05,1.288990e-04,1.370687e-04,2.705670e-04,4.439910e-04,4.664498e-04,7.248523e-04,9.987738e-04,1.039084e-03,1.397819e-03,1.731608e-03,1.787507e-03,2.194411e-03,2.540291e-03,2.605998e-03,3.011709e-03,3.334117e-03,3.403248e-03,3.774516e-03,4.054096e-03,4.121373e-03,4.441306e-03,4.671338e-03,4.733089e-03,4.996469e-03,5.177898e-03,5.231893e-03,5.440293e-03,5.577836e-03,5.622916e-03,5.781201e-03,5.880954e-03,5.916680e-03,6.030917e-03,6.099075e-03,6.125461e-03,6.201819e-03,6.244095e-03,6.261435e-03,6.305676e-03,6.327083e-03,6.335833e-03,6.353118e-03,6.357952e-03,6.358665e-03,6.353531e-03,6.345417e-03,6.338696e-03,6.315073e-03,6.297036e-03,6.283508e-03,6.244784e-03,6.219333e-03,6.199629e-03,6.148713e-03,6.117918e-03,6.092659e-03,6.032040e-03,5.997597e-03,5.967388e-03,5.899192e-03,5.862481e-03,5.827903e-03,5.753940e-03,5.716076e-03,5.677684e-03,5.599491e-03,5.561366e-03,5.519685e-03,5.438564e-03,5.400883e-03,5.356403e-03,5.273452e-03,5.236764e-03,5.189943e-03,5.106085e-03,5.070808e-03,5.022071e-03,4.938077e-03,4.904521e-03,4.854261e-03,4.770769e-03,4.739155e-03,4.687733e-03,4.605271e-03,4.575746e-03,4.523490e-03,4.442487e-03,4.415139e-03,4.362349e-03,4.283153e-03,4.258020e-03,4.204967e-03,4.127852e-03,4.104935e-03,4.051862e-03,3.977043e-03,3.956310e-03,3.903437e-03,3.831077e-03,3.812471e-03,3.759993e-03,3.690210e-03,3.673657e-03,3.621747e-03,3.554621e-03,3.540035e-03,3.488845e-03,3.424426e-03,3.411705e-03,3.361370e-03,3.299680e-03,3.288721e-03,3.239356e-03,3.180396e-03,3.171089e-03,3.122795e-03,3.066547e-03,3.058779e-03,3.011642e-03,2.958072e-03,2.951732e-03,2.905824e-03,2.854886e-03,2.849864e-03,2.805245e-03,2.756884e-03,2.753070e-03,2.709789e-03,2.663942e-03,2.661231e-03,2.619326e-03,2.575923e-03,2.574212e-03,2.533715e-03,2.492681e-03,2.491872e-03,2.452803e-03,2.414062e-03,2.340626e-03,2.271408e-03,2.206248e-03,2.144987e-03,2.087466e-03,2.033528e-03,1.983018e-03,1.935783e-03,1.891675e-03,1.850549e-03,1.812264e-03,1.776683e-03,1.743672e-03,1.713105e-03,1.684856e-03,1.658807e-03,1.634842e-03,1.612851e-03,1.592727e-03,1.574368e-03,1.557677e-03,1.542560e-03,1.528925e-03,1.516689e-03,1.505767e-03,1.496082e-03,1.487557e-03,1.480121e-03,1.473706e-03,1.468245e-03,1.463675e-03,1.459939e-03,1.456977e-03,1.454737e-03,1.453167e-03,1.452217e-03,1.451842e-03,1.451996e-03,1.452637e-03,1.453726e-03,1.455225e-03,1.457098e-03,1.459310e-03,1.461830e-03,1.464626e-03,1.467671e-03,1.470937e-03,1.474399e-03,1.478032e-03
0.000000e+00,7.297601e-10,9.455372e-09,9.867459e-09,6.033987e-08,2.079834e-07,2.170061e-07,5.115005e-07,8.552564e-07,8.776190e-07,1.242284e-06,1.556139e-06,1.582308e-06,1.894181e-06,2.151355e-06,2.178603e-06,2.437086e-06,2.644390e-06,2.671261e-06,2.882737e-06,3.047633e-06,3.073061e-06,3.243714e-06,3.372891e-06,3.396101e-06,3.531552e-06,3.630866e-06,3.651320e-06,3.756584e-06,3.831097e-06,3.848448e-06,3.927941e-06,3.981980e-06,3.996027e-06,4.053603e-06,4.090849e-06,4.101506e-06,4.140514e-06,4.164081e-06,4.171350e-06,4.194683e-06,4.207188e-06,4.211135e-06,4.221286e-06,4.224932e-06,4.225674e-06,4.224800e-06,4.221437e-06,4.219126e-06,4.209086e-06,4.200263e-06,4.195081e-06,4.177489e-06,4.164505e-06,4.156648e-06,4.132879e-06,4.116801e-06,4.106475e-06,4.077704e-06,4.059411e-06,4.046818e-06,4.014046e-06,3.994260e-06,3.979603e-06,3.943684e-06,3.922993e-06,3.906471e-06,3.868131e-06,3.847014e-06,3.828819e-06,3.788677e-06,3.767518e-06,3.747835e-06,3.706413e-06,3.685520e-06,3.664522e-06,3.622264e-06,3.601876e-06,3.579730e-06,3.537006e-06,3.517311e-06,3.494170e-06,3.451292e-06,3.432429e-06,3.408437e-06,3.365666e-06,3.347740e-06,3.323032e-06,3.280583e-06,3.263666e-06,3.238365e-06,3.196418e-06,3.180557e-06,3.154777e-06,3.113476e-06,3.098697e-06,3.072544e-06,3.032006e-06,3.018317e-06,2.991886e-06,2.952206e-06,2.939604e-06,2.912983e-06,2.874234e-06,2.862703e-06,2.835971e-06,2.798209e-06,2.787726e-06,2.760956e-06,2.724222e-06,2.714757e-06,2.688013e-06,2.652337e-06,2.643854e-06,2.617196e-06,2.582596e-06,2.575056e-06,2.548537e-06,2.515023e-06,2.508385e-06,2.482053e-06,2.449627e-06,2.443848e-06,2.417745e-06,2.386404e-06,2.381440e-06,2.355603e-06,2.325339e-06,2.321144e-06,2.295607e-06,2.266406e-06,2.262937e-06,2.237731e-06,2.209576e-06,2.206789e-06,2.181938e-06,2.154811e-06,2.152663e-06,2.128190e-06,2.102069e-06,2.100518e-06,2.076443e-06,2.051306e-06,2.050310e-06,2.026651e-06,2.002472e-06,2.001993e-06,1.978763e-06,1.955518e-06,1.910834e-06,1.867890e-06,1.826635e-06,1.787016e-06,1.748982e-06,1.712481e-06,1.677463e-06,1.643877e-06,1.611675e-06,1.580807e-06,1.551226e-06,1.522887e-06,1.495744e-06,1.469754e-06,1.444874e-06,1.421062e-06,1.398279e-06,1.376486e-06,1.355644e-06,1.335718e-06,1.316673e-06,1.298474e-06,1.281088e-06,1.264484e-06,1.248631e-06,1.233499e-06,1.219060e-06,1.205287e-06,1.192152e-06,1.179630e-06,1.167697e-06,1.156329e-06,1.145503e-06,1.135197e-06,1.125389e-06,1.116060e-06,1.107190e-06,1.098759e-06,1.090750e-06,1.083145e-06,1.075927e-06,1.069081e-06,1.062589e-06,1.056439e-06,1.050614e-06,1.045102e-06,1.039889e-06,1.034962e-06,1.030308e-06
0.000000e+00,1.175214e-08,2.288211e-07,2.391537e-07,1.515718e-06,5.505139e-06,5.761383e-06,1.497125e-05,2.797385e-05,2.889821e-05,4.492624e-05,5.963989e-05,6.089040e-05,7.600414e-05,8.872696e-05,9.008813e-05,1.031288e-04,1.137643e-04,1.151552e-04,1.262084e-04,1.349704e-04,1.363338e-04,1.455783e-04,1.526973e-04,1.539889e-04,1.616123e-04,1.673081e-04,1.684941e-04,1.746783e-04,1.791520e-04,1.802074e-04,1.851222e-04,1.885543e-04,1.894615e-04,1.932624e-04,1.958127e-04,1.965600e-04,1.993877e-04,2.011964e-04,2.017772e-04,2.037582e-04,2.049477e-04,2.053592e-04,2.066069e-04,2.072836e-04,2.075265e-04,2.081418e-04,2.083979e-04,2.084753e-04,2.085481e-04,2.084631e-04,2.083802e-04,2.079902e-04,2.076323e-04,2.073958e-04,2.066137e-04,2.060413e-04,2.056594e-04,2.045475e-04,2.038105e-04,2.032918e-04,2.019051e-04,2.010458e-04,2.003998e-04,1.987871e-04,1.978411e-04,1.970777e-04,1.952814e-04,1.942785e-04,1.934075e-04,1.914648e-04,1.904301e-04,1.894614e-04,1.874049e-04,1.863589e-04,1.853023e-04,1.831604e-04,1.821200e-04,1.809851e-04,1.787824e-04,1.777613e-04,1.765573e-04,1.743150e-04,1.733241e-04,1.720600e-04,1.697965e-04,1.688443e-04,1.675285e-04,1.652596e-04,1.643525e-04,1.629931e-04,1.607322e-04,1.598752e-04,1.584797e-04,1.562383e-04,1.554345e-04,1.540102e-04,1.517978e-04,1.510494e-04,1.496029e-04,1.474275e-04,1.467358e-04,1.452733e-04,1.431416e-04,1.425067e-04,1.410338e-04,1.389513e-04,1.383728e-04,1.368949e-04,1.348658e-04,1.343428e-04,1.328648e-04,1.308925e-04,1.304235e-04,1.289497e-04,1.270369e-04,1.266202e-04,1.251546e-04,1.233032e-04,1.229366e-04,1.214829e-04,1.196941e-04,1.193755e-04,1.179369e-04,1.162115e-04,1.159384e-04,1.145178e-04,1.128561e-04,1.126259e-04,1.112261e-04,1.096279e-04,1.094382e-04,1.080613e-04,1.065262e-04,1.063744e-04,1.050224e-04,1.035498e-04,1.034333e-04,1.021080e-04,1.006968e-04,1.006131e-04,9.931596e-05,9.796514e-05,9.791172e-05,9.664401e-05,9.535224e-05,9.532670e-05,9.408946e-05,9.285531e-05,9.049464e-05,8.824162e-05,8.609303e-05,8.404558e-05,8.209593e-05,8.024070e-05,7.847650e-05,7.679994e-05,7.520768e-05,7.369641e-05,7.226286e-05,7.090384e-05,6.961621e-05,6.839693e-05,6.724301e-05,6.615157e-05,6.511981e-05,6.414500e-05,6.322453e-05,6.235587e-05,6.153656e-05,6.076426e-05,6.003671e-05,5.935172e-05,5.870722e-05,5.810120e-05,5.753173e-05,5.699698e-05,5.649519e-05,5.602467e-05,5.558382e-05,5.517109e-05,5.478501e-05,5.442418e-05,5.408727e-05,5.377300e-05,5.348014e-05,5.320755e-05,5.295412e-05,5.271879e-05,5.250057e-05,5.229850e-05,5.211168e-05,5.193926e-05,5.178041e-05,5.163435e-05,5.150035e-05,5.137771e-05,5.126575e-05
0.000000e+00,1.597572e-09,3.416996e-08,3.590322e-08,2.631589e-07,8.803260e-07,9.145215e-07,1.868600e-06,2.791707e-06,2.849176e-06,3.771655e-06,4.558268e-06,4.623856e-06,5.406730e-06,6.054808e-06,6.123637e-06,6.778305e-06,7.305851e-06,7.374410e-06,7.915479e-06,8.339357e-06,8.404885e-06,8.845853e-06,9.181087e-06,9.241458e-06,9.594637e-06,9.854547e-06,9.908180e-06,1.018474e-05,1.038105e-05,1.042683e-05,1.063683e-05,1.077979e-05,1.081697e-05,1.096939e-05,1.106791e-05,1.109607e-05,1.119889e-05,1.126066e-05,1.127961e-05,1.133989e-05,1.137150e-05,1.138126e-05,1.140520e-05,1.141232e-05,1.141307e-05,1.140615e-05,1.139361e-05,1.138564e-05,1.135266e-05,1.132458e-05,1.130826e-05,1.125343e-05,1.121329e-05,1.118909e-05,1.111610e-05,1.106685e-05,1.103526e-05,1.094733e-05,1.089145e-05,1.085300e-05,1.075291e-05,1.069247e-05,1.064769e-05,1.053789e-05,1.047460e-05,1.042403e-05,1.030662e-05,1.024190e-05,1.018610e-05,1.006289e-05,9.997894e-06,9.937393e-06,9.809967e-06,9.745638e-06,9.680952e-06,9.550659e-06,9.487750e-06,9.419378e-06,9.287376e-06,9.226483e-06,9.154901e-06,9.022179e-06,8.963758e-06,8.889420e-06,8.756817e-06,8.701213e-06,8.624546e-06,8.492770e-06,8.440231e-06,8.361636e-06,8.231282e-06,8.181978e-06,8.101830e-06,7.973393e-06,7.927424e-06,7.846072e-06,7.719960e-06,7.677372e-06,7.595139e-06,7.471685e-06,7.432479e-06,7.349663e-06,7.229132e-06,7.193272e-06,7.110145e-06,6.992748e-06,6.960168e-06,6.876981e-06,6.762878e-06,6.733487e-06,6.650468e-06,6.539776e-06,6.513468e-06,6.430822e-06,6.323622e-06,6.300275e-06,6.218189e-06,6.114530e-06,6.094012e-06,6.012653e-06,5.912558e-06,5.894731e-06,5.814247e-06,5.717717e-06,5.702437e-06,5.622962e-06,5.529977e-06,5.517099e-06,5.438750e-06,5.349274e-06,5.338653e-06,5.261534e-06,5.175517e-06,5.167009e-06,5.091208e-06,5.008590e-06,5.002054e-06,4.927648e-06,4.848361e-06,4.843656e-06,4.770710e-06,4.694677e-06,4.691669e-06,4.620240e-06,4.547377e-06,4.545936e-06,4.476068e-06,4.406290e-06,4.272557e-06,4.144559e-06,4.022115e-06,3.905041e-06,3.793154e-06,3.686270e-06,3.584207e-06,3.486787e-06,3.393831e-06,3.305168e-06,3.220627e-06,3.140043e-06,3.063254e-06,2.990103e-06,2.920439e-06,2.854114e-06,2.790985e-06,2.730915e-06,2.673770e-06,2.619422e-06,2.567748e-06,2.518629e-06,2.471950e-06,2.427602e-06,2.385480e-06,2.345482e-06,2.307510e-06,2.271473e-06,2.237281e-06,2.204849e-06,2.174094e-06,2.144940e-06,2.117310e-06,2.091134e-06,2.066343e-06,2.042872e-06,2.020658e-06,1.999642e-06,1.979766e-06,1.960977e-06,1.943223e-06,1.926453e-06,1.910621e-06,1.895682e-06,1.881592e-06,1.868311e-06,1.855798e-06,1.844018e-06,1.832934e-06
0.000000e+00,2.291780e-13,5.221956e-11,5.664602e-11,1.637970e-09,1.822915e-08,1.991556e-08,1.425701e-07,6.354502e-07,6.922269e-07,2.487634e-06,6.549114e-06,7.067615e-06,1.672238e-05,3.209737e-05,3.429878e-05,6.285538e-05,9.936774e-05,1.052745e-04,1.639187e-04,2.285696e-04,2.403833e-04,3.353630e-04,4.293114e-04,4.486267e-04,5.790805e-04,6.976151e-04,7.248936e-04,8.836620e-04,1.018132e-03,1.052586e-03,1.228645e-03,1.368941e-03,1.408758e-03,1.589919e-03,1.726557e-03,1.769307e-03,1.944366e-03,2.069795e-03,2.112861e-03,2.272907e-03,2.382040e-03,2.422982e-03,2.561919e-03,2.652092e-03,2.688891e-03,2.803379e-03,2.873968e-03,2.905144e-03,2.994187e-03,3.046080e-03,3.070716e-03,3.135105e-03,3.170174e-03,3.187863e-03,3.229600e-03,3.250239e-03,3.260998e-03,3.282787e-03,3.291563e-03,3.295725e-03,3.300575e-03,3.299981e-03,3.298094e-03,3.289021e-03,3.281326e-03,3.274064e-03,3.253897e-03,3.241066e-03,3.229155e-03,3.200430e-03,3.184102e-03,3.168268e-03,3.133174e-03,3.114671e-03,3.095604e-03,3.055973e-03,3.036329e-03,3.014654e-03,2.971982e-03,2.951982e-03,2.928256e-03,2.883739e-03,2.863962e-03,2.838665e-03,2.793241e-03,2.774102e-03,2.747645e-03,2.702033e-03,2.683814e-03,2.656539e-03,2.611278e-03,2.594162e-03,2.566350e-03,2.521839e-03,2.505931e-03,2.477816e-03,2.434340e-03,2.419691e-03,2.391460e-03,2.349217e-03,2.335840e-03,2.307645e-03,2.266768e-03,2.254643e-03,2.226607e-03,2.187177e-03,2.176269e-03,2.148490e-03,2.110552e-03,2.100811e-03,2.073368e-03,2.036939e-03,2.028309e-03,2.001265e-03,1.966342e-03,1.958759e-03,1.932166e-03,1.898732e-03,1.892134e-03,1.866032e-03,1.834059e-03,1.828380e-03,1.802803e-03,1.772256e-03,1.767434e-03,1.742408e-03,1.713248e-03,1.709220e-03,1.684767e-03,1.656953e-03,1.653659e-03,1.629795e-03,1.603282e-03,1.600666e-03,1.577403e-03,1.552146e-03,1.550152e-03,1.527500e-03,1.503453e-03,1.502029e-03,1.479995e-03,1.457113e-03,1.456210e-03,1.434798e-03,1.413038e-03,1.412608e-03,1.391821e-03,1.371138e-03,1.331715e-03,1.294258e-03,1.258687e-03,1.224924e-03,1.192894e-03,1.162525e-03,1.133745e-03,1.106486e-03,1.080683e-03,1.056271e-03,1.033190e-03,1.011379e-03,9.907833e-04,9.713466e-04,9.530163e-04,9.357417e-04,9.194740e-04,9.041662e-04,8.897732e-04,8.762516e-04,8.635597e-04,8.516577e-04,8.405071e-04,8.300711e-04,8.203144e-04,8.112031e-04,8.027046e-04,7.947879e-04,7.874231e-04,7.805815e-04,7.742357e-04,7.683594e-04,7.629275e-04,7.579159e-04,7.533015e-04,7.490624e-04,7.451773e-04,7.416263e-04,7.383899e-04,7.354498e-04,7.327884e-04,7.303889e-04,7.282354e-04,7.263124e-04,7.246055e-04,7.231007e-04,7.217850e-04,7.206455e-04,7.196705e-04
0.000000e+00,3.657897e-09,7.331354e-08,7.658610e-08,4.767866e-07,1.769483e-06,1.855013e-06,5.110671e-06,1.028737e-05,1.068095e-05,1.796693e-05,2.510612e-05,2.571663e-05,3.298931e-05,3.883926e-05,3.944618e-05,4.505426e-05,4.933300e-05,4.987192e-05,5.397641e-05,5.699427e-05,5.744412e-05,6.034568e-05,6.239261e-05,6.274527e-05,6.470070e-05,6.600929e-05,6.626386e-05,6.748122e-05,6.823421e-05,6.839433e-05,6.904022e-05,6.937989e-05,6.945192e-05,6.965883e-05,6.969530e-05,6.968707e-05,6.955985e-05,6.937783e-05,6.929778e-05,6.891912e-05,6.858347e-05,6.844008e-05,6.787498e-05,6.743508e-05,6.723653e-05,6.653594e-05,6.602915e-05,6.578312e-05,6.498684e-05,6.444127e-05,6.415480e-05,6.329382e-05,6.273039e-05,6.240987e-05,6.150822e-05,6.094236e-05,6.059349e-05,5.966972e-05,5.911261e-05,5.874046e-05,5.780879e-05,5.726840e-05,5.687742e-05,5.594870e-05,5.543054e-05,5.502465e-05,5.410703e-05,5.361472e-05,5.319733e-05,5.229685e-05,5.183262e-05,5.140670e-05,5.052779e-05,5.009281e-05,4.966092e-05,4.880672e-05,4.840137e-05,4.796573e-05,4.713838e-05,4.676247e-05,4.632500e-05,4.552585e-05,4.517878e-05,4.474112e-05,4.397095e-05,4.365184e-05,4.321540e-05,4.247451e-05,4.218226e-05,4.174826e-05,4.103661e-05,4.076999e-05,4.033947e-05,3.965674e-05,3.941446e-05,3.898830e-05,3.833400e-05,3.811474e-05,3.769369e-05,3.706717e-05,3.686957e-05,3.645427e-05,3.585479e-05,3.567753e-05,3.526853e-05,3.469526e-05,3.453705e-05,3.413478e-05,3.358687e-05,3.344644e-05,3.305129e-05,3.252783e-05,3.240398e-05,3.201626e-05,3.151635e-05,3.140792e-05,3.102788e-05,3.055062e-05,3.045649e-05,3.008434e-05,2.962883e-05,2.954797e-05,2.918386e-05,2.874921e-05,2.868061e-05,2.832467e-05,2.791003e-05,2.785276e-05,2.750507e-05,2.710958e-05,2.706275e-05,2.672336e-05,2.634621e-05,2.630899e-05,2.597794e-05,2.561834e-05,2.558994e-05,2.526722e-05,2.492441e-05,2.490410e-05,2.458971e-05,2.426294e-05,2.425003e-05,2.394393e-05,2.363250e-05,2.362635e-05,2.332849e-05,2.303172e-05,2.246486e-05,2.192453e-05,2.140956e-05,2.091881e-05,2.045121e-05,2.000572e-05,1.958133e-05,1.917711e-05,1.879214e-05,1.842556e-05,1.807652e-05,1.774424e-05,1.742796e-05,1.712695e-05,1.684051e-05,1.656799e-05,1.630874e-05,1.606217e-05,1.582769e-05,1.560474e-05,1.539281e-05,1.519139e-05,1.499999e-05,1.481815e-05,1.464544e-05,1.448142e-05,1.432571e-05,1.417792e-05,1.403768e-05,1.390464e-05,1.377847e-05,1.365884e-05,1.354546e-05,1.343804e-05,1.333628e-05,1.323994e-05,1.314875e-05,1.306248e-05,1.298089e-05,1.290376e-05,1.283088e-05,1.276206e-05,1.269709e-05,1.263580e-05,1.257801e-05,1.252355e-05,1.247226e-05,1.242400e-05,1.237861e-05
0.000000e+00,2.597312e-10,4.446941e-08,4.807998e-08,1.166009e-06,9.649175e-06,1.037760e-05,4.642897e-05,1.207260e-04,1.268556e-04,2.487459e-04,3.823228e-04,3.944049e-04,5.465966e-04,6.803285e-04,6.948000e-04,8.342195e-04,9.483338e-04,9.632571e-04,1.081734e-03,1.175442e-03,1.190003e-03,1.288584e-03,1.364308e-03,1.378028e-03,1.458881e-03,1.519140e-03,1.531670e-03,1.596902e-03,1.643974e-03,1.655064e-03,1.706620e-03,1.742534e-03,1.752013e-03,1.791667e-03,1.818212e-03,1.825980e-03,1.855332e-03,1.874069e-03,1.880080e-03,1.900560e-03,1.912841e-03,1.917089e-03,1.929964e-03,1.936953e-03,1.939465e-03,1.945853e-03,1.948544e-03,1.949373e-03,1.950255e-03,1.949497e-03,1.948714e-03,1.944949e-03,1.941461e-03,1.939149e-03,1.931489e-03,1.925877e-03,1.922132e-03,1.911230e-03,1.904007e-03,1.898926e-03,1.885353e-03,1.876948e-03,1.870634e-03,1.854883e-03,1.845653e-03,1.838210e-03,1.820712e-03,1.810953e-03,1.802483e-03,1.783609e-03,1.773566e-03,1.764169e-03,1.744239e-03,1.734112e-03,1.723887e-03,1.703177e-03,1.693126e-03,1.682167e-03,1.660913e-03,1.651069e-03,1.639466e-03,1.617872e-03,1.608335e-03,1.596174e-03,1.574411e-03,1.565261e-03,1.552622e-03,1.530838e-03,1.522134e-03,1.509092e-03,1.487412e-03,1.479196e-03,1.465822e-03,1.444349e-03,1.436650e-03,1.423011e-03,1.401831e-03,1.394669e-03,1.380825e-03,1.360010e-03,1.353391e-03,1.339400e-03,1.319008e-03,1.312935e-03,1.298847e-03,1.278926e-03,1.273393e-03,1.259255e-03,1.239843e-03,1.234839e-03,1.220697e-03,1.201822e-03,1.197333e-03,1.183224e-03,1.164909e-03,1.160918e-03,1.146879e-03,1.129138e-03,1.125625e-03,1.111689e-03,1.094532e-03,1.091475e-03,1.077671e-03,1.061105e-03,1.058482e-03,1.044835e-03,1.028860e-03,1.026647e-03,1.013181e-03,9.977971e-04,9.959707e-04,9.827063e-04,9.679076e-04,9.664437e-04,9.533993e-04,9.391793e-04,9.380541e-04,9.252456e-04,9.115957e-04,9.107857e-04,8.982270e-04,8.851368e-04,8.846190e-04,8.723222e-04,8.597800e-04,8.595320e-04,8.475073e-04,8.355006e-04,8.124992e-04,7.905006e-04,7.694770e-04,7.493998e-04,7.302399e-04,7.119681e-04,6.945550e-04,6.779716e-04,6.621889e-04,6.471782e-04,6.329113e-04,6.193606e-04,6.064988e-04,5.942994e-04,5.827365e-04,5.717848e-04,5.614196e-04,5.516170e-04,5.423538e-04,5.336075e-04,5.253562e-04,5.175789e-04,5.102550e-04,5.033647e-04,4.968891e-04,4.908095e-04,4.851083e-04,4.797682e-04,4.747728e-04,4.701059e-04,4.657523e-04,4.616970e-04,4.579260e-04,4.544253e-04,4.511819e-04,4.481829e-04,4.454162e-04,4.428700e-04,4.405330e-04,4.383943e-04,4.364436e-04,4.346707e-04,4.330661e-04,4.316206e-04,4.303252e-04,4.291715e-04,4.281514e-04,4.272569e-04,4.264807e-04
0.000000e+00,4.559651e-12,1.551848e-09,1.699002e-09,7.007896e-08,8.448006e-07,9.212356e-07,5.723248e-06,2.025215e-05,2.170957e-05,5.941264e-05,1.229250e-04,1.300202e-04,2.426426e-04,3.844229e-04,4.026142e-04,6.110326e-04,8.324743e-04,8.652356e-04,1.159770e-03,1.439902e-03,1.487489e-03,1.840539e-03,2.150959e-03,2.211125e-03,2.592032e-03,2.907604e-03,2.976927e-03,3.360483e-03,3.663435e-03,3.738391e-03,4.107289e-03,4.387121e-03,4.464647e-03,4.808647e-03,5.060374e-03,5.138052e-03,5.452089e-03,5.674332e-03,5.750351e-03,6.032709e-03,6.226194e-03,6.299238e-03,6.550171e-03,6.716721e-03,6.785845e-03,7.006672e-03,7.148587e-03,7.213113e-03,7.405660e-03,7.525377e-03,7.584822e-03,7.751115e-03,7.851025e-03,7.905051e-03,8.047138e-03,8.129501e-03,8.177874e-03,8.297746e-03,8.364650e-03,8.407225e-03,8.506769e-03,8.560128e-03,8.596822e-03,8.677811e-03,8.719361e-03,8.750150e-03,8.814238e-03,8.845549e-03,8.870457e-03,8.919176e-03,8.941666e-03,8.960753e-03,8.995528e-03,9.010468e-03,9.023830e-03,9.045976e-03,9.054510e-03,9.062270e-03,9.073004e-03,9.076153e-03,9.078459e-03,9.078904e-03,9.077580e-03,9.074599e-03,9.065793e-03,9.060809e-03,9.052723e-03,9.035620e-03,9.027699e-03,9.014704e-03,8.990185e-03,8.979966e-03,8.962267e-03,8.931143e-03,8.919189e-03,8.896999e-03,8.860015e-03,8.846824e-03,8.820362e-03,8.778203e-03,8.764209e-03,8.733696e-03,8.686992e-03,8.672574e-03,8.638234e-03,8.587560e-03,8.573046e-03,8.535103e-03,8.480989e-03,8.466664e-03,8.425340e-03,8.368270e-03,8.354374e-03,8.309890e-03,8.250307e-03,8.237047e-03,8.189621e-03,8.127928e-03,8.115477e-03,8.065322e-03,8.001889e-03,7.990390e-03,7.937714e-03,7.872878e-03,7.862448e-03,7.807456e-03,7.741522e-03,7.732255e-03,7.675145e-03,7.608392e-03,7.600359e-03,7.541324e-03,7.474003e-03,7.467260e-03,7.406486e-03,7.338826e-03,7.333409e-03,7.271076e-03,7.203284e-03,7.199216e-03,7.135497e-03,7.067759e-03,7.065051e-03,7.000113e-03,6.932598e-03,6.931249e-03,6.865251e-03,6.798109e-03,6.665902e-03,6.534867e-03,6.405221e-03,6.277154e-03,6.150835e-03,6.026413e-03,5.904018e-03,5.783764e-03,5.665749e-03,5.550057e-03,5.436757e-03,5.325911e-03,5.217564e-03,5.111756e-03,5.008517e-03,4.907866e-03,4.809819e-03,4.714383e-03,4.621558e-03,4.531341e-03,4.443721e-03,4.358686e-03,4.276218e-03,4.196295e-03,4.118894e-03,4.043985e-03,3.971541e-03,3.901529e-03,3.833914e-03,3.768662e-03,3.705734e-03,3.645092e-03,3.586696e-03,3.530506e-03,3.476479e-03,3.424575e-03,3.374749e-03,3.326959e-03,3.281161e-03,3.237311e-03,3.195365e-03,3.155280e-03,3.117010e-03,3.080512e-03,3.045742e-03,3.012655e-03,2.981209e-03,2.951359e-03,2.923063e-03
0.000000e+00,1.073830e-09,1.158739e-08,1.204591e-08,6.345902e-08,2.065789e-07,2.153659e-07,5.136537e-07,8.975712e-07,9.238280e-07,1.369483e-06,1.774940e-06,1.809563e-06,2.231791e-06,2.593972e-06,2.633144e-06,3.013083e-06,3.329846e-06,3.371780e-06,3.709650e-06,3.983961e-06,4.027221e-06,4.325089e-06,4.560545e-06,4.603902e-06,4.864336e-06,5.064667e-06,5.107090e-06,5.332867e-06,5.501741e-06,5.542375e-06,5.736310e-06,5.877212e-06,5.915360e-06,6.080196e-06,6.196367e-06,6.231470e-06,6.369816e-06,6.464230e-06,6.495847e-06,6.610155e-06,6.685518e-06,6.713310e-06,6.805863e-06,6.864625e-06,6.888342e-06,6.961257e-06,7.005626e-06,7.025096e-06,7.080328e-06,7.112287e-06,7.127405e-06,7.166757e-06,7.188079e-06,7.198797e-06,7.223922e-06,7.236195e-06,7.242513e-06,7.254931e-06,7.259564e-06,7.261523e-06,7.262625e-06,7.260875e-06,7.258557e-06,7.249623e-06,7.242603e-06,7.236114e-06,7.218310e-06,7.207004e-06,7.196477e-06,7.170871e-06,7.156145e-06,7.141733e-06,7.109295e-06,7.091908e-06,7.073778e-06,7.035392e-06,7.016008e-06,6.994339e-06,6.950810e-06,6.930006e-06,6.904987e-06,6.857044e-06,6.835320e-06,6.807145e-06,6.755449e-06,6.733236e-06,6.702104e-06,6.647254e-06,6.624923e-06,6.591034e-06,6.533572e-06,6.511437e-06,6.474991e-06,6.415407e-06,6.393732e-06,6.354930e-06,6.293664e-06,6.272672e-06,6.231710e-06,6.169160e-06,6.149033e-06,6.106104e-06,6.042626e-06,6.023512e-06,5.978806e-06,5.914719e-06,5.896736e-06,5.850436e-06,5.786025e-06,5.769265e-06,5.721549e-06,5.657068e-06,5.641598e-06,5.592638e-06,5.528313e-06,5.514181e-06,5.464143e-06,5.400173e-06,5.387407e-06,5.336449e-06,5.273011e-06,5.261626e-06,5.209899e-06,5.147148e-06,5.137144e-06,5.084792e-06,5.022864e-06,5.014229e-06,4.961391e-06,4.900401e-06,4.893116e-06,4.839920e-06,4.779972e-06,4.774007e-06,4.720577e-06,4.661755e-06,4.657075e-06,4.603526e-06,4.545905e-06,4.542467e-06,4.488908e-06,4.432550e-06,4.430309e-06,4.376842e-06,4.321796e-06,4.320702e-06,4.267422e-06,4.213729e-06,4.109458e-06,4.007939e-06,3.909208e-06,3.813288e-06,3.720194e-06,3.629927e-06,3.542480e-06,3.457841e-06,3.375987e-06,3.296891e-06,3.220521e-06,3.146838e-06,3.075803e-06,3.007368e-06,2.941487e-06,2.878110e-06,2.817182e-06,2.758651e-06,2.702461e-06,2.648555e-06,2.596875e-06,2.547364e-06,2.499964e-06,2.454616e-06,2.411262e-06,2.369844e-06,2.330305e-06,2.292587e-06,2.256634e-06,2.222390e-06,2.189801e-06,2.158811e-06,2.129368e-06,2.101420e-06,2.074914e-06,2.049801e-06,2.026032e-06,2.003558e-06,1.982332e-06,1.962309e-06,1.943443e-06,1.925690e-06,1.909009e-06,1.893357e-06,1.878693e-06,1.864979e-06,1.852177e-06,1.840248e-06,1.829157e-06
0.000000e+00,1.576691e-09,2.482056e-08,2.597065e-08,1.687152e-07,5.636208e-07,5.864826e-07,1.264261e-06,1.960548e-06,2.004450e-06,2.713968e-06,3.324637e-06,3.375770e-06,3.988729e-06,4.500016e-06,4.554535e-06,5.075329e-06,5.498114e-06,5.553276e-06,5.990502e-06,6.335544e-06,6.389099e-06,6.751129e-06,7.028461e-06,7.078621e-06,7.373567e-06,7.592499e-06,7.637906e-06,7.873518e-06,8.042543e-06,8.082213e-06,8.265725e-06,8.392450e-06,8.425710e-06,8.563753e-06,8.654913e-06,8.681348e-06,8.779902e-06,8.841363e-06,8.860751e-06,8.925150e-06,8.962000e-06,8.974285e-06,9.009278e-06,9.025924e-06,9.031181e-06,9.040993e-06,9.041247e-06,9.039665e-06,9.028080e-06,9.015211e-06,9.007050e-06,8.977348e-06,8.954123e-06,8.939696e-06,8.894770e-06,8.863541e-06,8.843202e-06,8.785587e-06,8.748347e-06,8.722479e-06,8.654398e-06,8.612825e-06,8.581828e-06,8.505222e-06,8.460717e-06,8.425001e-06,8.341562e-06,8.295298e-06,8.255274e-06,8.166479e-06,8.119423e-06,8.075498e-06,7.982629e-06,7.935574e-06,7.888149e-06,7.792314e-06,7.745903e-06,7.695364e-06,7.597521e-06,7.552271e-06,7.498990e-06,7.399962e-06,7.356278e-06,7.300613e-06,7.201106e-06,7.159302e-06,7.101590e-06,7.002205e-06,6.962516e-06,6.903078e-06,6.804325e-06,6.766920e-06,6.706054e-06,6.608364e-06,6.573355e-06,6.511344e-06,6.415076e-06,6.382530e-06,6.319635e-06,6.225088e-06,6.195031e-06,6.131495e-06,6.038913e-06,6.011343e-06,5.947390e-06,5.856970e-06,5.831856e-06,5.767693e-06,5.679591e-06,5.656881e-06,5.592697e-06,5.507034e-06,5.486661e-06,5.422627e-06,5.339494e-06,5.321377e-06,5.257650e-06,5.177110e-06,5.161159e-06,5.097883e-06,5.019976e-06,5.006093e-06,4.943395e-06,4.868143e-06,4.856226e-06,4.794220e-06,4.721626e-06,4.711569e-06,4.650358e-06,4.580411e-06,4.572106e-06,4.511781e-06,4.444460e-06,4.437799e-06,4.378440e-06,4.313711e-06,4.308588e-06,4.250264e-06,4.188087e-06,4.184396e-06,4.127168e-06,4.067494e-06,4.065133e-06,4.009052e-06,3.951828e-06,3.950696e-06,3.895807e-06,3.840974e-06,3.735849e-06,3.635195e-06,3.538886e-06,3.446789e-06,3.358771e-06,3.274699e-06,3.194438e-06,3.117856e-06,3.044819e-06,2.975197e-06,2.908862e-06,2.845688e-06,2.785551e-06,2.728330e-06,2.673910e-06,2.622174e-06,2.573012e-06,2.526318e-06,2.481985e-06,2.439914e-06,2.400008e-06,2.362171e-06,2.326314e-06,2.292350e-06,2.260193e-06,2.229763e-06,2.200982e-06,2.173775e-06,2.148071e-06,2.123800e-06,2.100896e-06,2.079296e-06,2.058938e-06,2.039765e-06,2.021720e-06,2.004750e-06,1.988803e-06,1.973831e-06,1.959786e-06,1.946623e-06,1.934300e-06,1.922775e-06,1.912009e-06,1.901964e-06,1.892605e-06,1.883895e-06,1.875804e-06,1.868300e-06,1.861352e-06
0.000000e+00,3.966003e-09,1.997585e-07,2.116199e-07,2.232651e-06,1.069526e-05,1.128940e-05,3.448225e-05,7.012724e-05,7.272629e-05,1.186014e-04,1.617400e-04,1.654464e-04,2.107583e-04,2.497099e-04,2.539256e-04,2.948427e-04,3.289997e-04,3.335250e-04,3.700207e-04,3.997038e-04,4.043898e-04,4.366976e-04,4.622936e-04,4.670131e-04,4.954081e-04,5.173096e-04,5.219549e-04,5.467266e-04,5.653147e-04,5.697958e-04,5.912337e-04,6.068678e-04,6.111101e-04,6.294928e-04,6.425055e-04,6.464481e-04,6.620399e-04,6.727366e-04,6.763303e-04,6.893793e-04,6.980383e-04,7.012445e-04,7.119818e-04,7.188557e-04,7.216449e-04,7.302855e-04,7.356025e-04,7.379533e-04,7.446961e-04,7.486621e-04,7.505600e-04,7.555891e-04,7.583893e-04,7.598258e-04,7.633110e-04,7.651116e-04,7.660837e-04,7.681815e-04,7.691313e-04,7.696404e-04,7.704949e-04,7.707267e-04,7.707781e-04,7.705217e-04,7.701538e-04,7.697561e-04,7.685105e-04,7.676482e-04,7.668127e-04,7.646895e-04,7.634258e-04,7.621663e-04,7.592677e-04,7.576850e-04,7.560170e-04,7.524366e-04,7.506072e-04,7.485478e-04,7.443712e-04,7.423587e-04,7.399262e-04,7.352314e-04,7.330912e-04,7.303048e-04,7.251632e-04,7.229436e-04,7.198230e-04,7.142996e-04,7.120423e-04,7.086078e-04,7.027616e-04,7.005023e-04,6.967744e-04,6.906590e-04,6.884285e-04,6.844277e-04,6.780918e-04,6.759158e-04,6.716626e-04,6.651504e-04,6.630506e-04,6.585652e-04,6.519165e-04,6.499108e-04,6.452132e-04,6.384639e-04,6.365670e-04,6.316767e-04,6.248592e-04,6.230827e-04,6.180188e-04,6.111622e-04,6.095150e-04,6.042960e-04,5.974264e-04,5.959152e-04,5.905592e-04,5.836999e-04,5.823294e-04,5.768536e-04,5.700253e-04,5.687985e-04,5.632195e-04,5.564407e-04,5.553588e-04,5.496928e-04,5.429796e-04,5.420428e-04,5.363049e-04,5.296719e-04,5.288788e-04,5.230837e-04,5.165433e-04,5.158920e-04,5.100535e-04,5.036168e-04,5.031042e-04,4.972355e-04,4.909118e-04,4.905343e-04,4.846478e-04,4.784454e-04,4.781986e-04,4.723062e-04,4.662318e-04,4.661110e-04,4.602237e-04,4.542832e-04,4.427249e-04,4.314442e-04,4.204471e-04,4.097386e-04,3.993221e-04,3.892000e-04,3.793733e-04,3.698424e-04,3.606066e-04,3.516645e-04,3.430141e-04,3.346527e-04,3.265769e-04,3.187832e-04,3.112675e-04,3.040252e-04,2.970517e-04,2.903419e-04,2.838906e-04,2.776924e-04,2.717416e-04,2.660327e-04,2.605598e-04,2.553171e-04,2.502987e-04,2.454988e-04,2.409113e-04,2.365305e-04,2.323503e-04,2.283651e-04,2.245689e-04,2.209561e-04,2.175209e-04,2.142578e-04,2.111613e-04,2.082259e-04,2.054463e-04,2.028173e-04,2.003336e-04,1.979902e-04,1.957822e-04,1.937047e-04,1.917529e-04,1.899223e-04,1.882083e-04,1.866064e-04,1.851124e-04,1.837220e-04,1.824310e-04
0.000000e+00,3.894387e-11,5.696031e-09,6.122308e-09,1.136009e-07,8.813429e-07,9.501135e-07,5.056409e-06,1.782267e-05,1.914035e-05,5.437689e-05,1.147146e-04,1.213836e-04,2.234720e-04,3.408601e-04,3.550558e-04,5.053372e-04,6.439781e-04,6.629491e-04,8.187869e-04,9.466987e-04,9.667993e-04,1.103605e-03,1.208740e-03,1.227724e-03,1.338859e-03,1.420544e-03,1.437373e-03,1.523961e-03,1.585202e-03,1.599455e-03,1.664725e-03,1.709087e-03,1.720623e-03,1.767963e-03,1.798691e-03,1.807511e-03,1.839977e-03,1.859834e-03,1.866023e-03,1.886256e-03,1.897542e-03,1.901238e-03,1.911485e-03,1.916096e-03,1.917471e-03,1.919627e-03,1.919112e-03,1.918353e-03,1.914011e-03,1.909626e-03,1.906932e-03,1.897419e-03,1.890182e-03,1.885748e-03,1.872171e-03,1.862897e-03,1.856916e-03,1.840193e-03,1.829533e-03,1.822189e-03,1.803078e-03,1.791548e-03,1.783015e-03,1.762143e-03,1.750149e-03,1.740590e-03,1.718471e-03,1.706330e-03,1.695893e-03,1.672950e-03,1.660904e-03,1.649728e-03,1.626304e-03,1.614539e-03,1.602748e-03,1.579122e-03,1.567774e-03,1.555483e-03,1.531880e-03,1.521047e-03,1.508358e-03,1.484958e-03,1.474709e-03,1.461714e-03,1.438659e-03,1.429039e-03,1.415820e-03,1.393221e-03,1.384254e-03,1.370884e-03,1.348828e-03,1.340523e-03,1.327068e-03,1.305619e-03,1.297975e-03,1.284492e-03,1.263697e-03,1.256704e-03,1.243242e-03,1.223134e-03,1.216774e-03,1.203379e-03,1.183979e-03,1.178229e-03,1.164939e-03,1.146260e-03,1.141094e-03,1.127942e-03,1.109987e-03,1.105378e-03,1.092393e-03,1.075160e-03,1.071077e-03,1.058285e-03,1.041765e-03,1.038179e-03,1.025600e-03,1.009784e-03,1.006662e-03,9.943144e-04,9.791877e-04,9.765009e-04,9.643994e-04,9.499451e-04,9.476631e-04,9.358203e-04,9.220202e-04,9.201138e-04,9.085397e-04,8.953740e-04,8.938150e-04,8.825177e-04,8.699658e-04,8.687272e-04,8.577130e-04,8.457539e-04,8.448097e-04,8.340831e-04,8.226954e-04,8.220210e-04,8.115853e-04,8.007476e-04,8.003196e-04,7.901767e-04,7.798675e-04,7.796639e-04,7.698146e-04,7.600128e-04,7.413257e-04,7.235628e-04,7.066855e-04,6.906558e-04,6.754370e-04,6.609936e-04,6.472910e-04,6.342962e-04,6.219771e-04,6.103028e-04,5.992437e-04,5.887714e-04,5.788584e-04,5.694785e-04,5.606066e-04,5.522187e-04,5.442915e-04,5.368032e-04,5.297325e-04,5.230592e-04,5.167641e-04,5.108287e-04,5.052353e-04,4.999672e-04,4.950081e-04,4.903429e-04,4.859566e-04,4.818355e-04,4.779661e-04,4.743357e-04,4.709320e-04,4.677436e-04,4.647593e-04,4.619686e-04,4.593613e-04,4.569280e-04,4.546594e-04,4.525469e-04,4.505821e-04,4.487570e-04,4.470643e-04,4.454966e-04,4.440471e-04,4.427094e-04,4.414771e-04,4.403445e-04,4.393057e-04,4.383556e-04,4.374890e-04
0.000000e+00,4.127618e-10,5.491459e-09,5.730582e-09,3.391529e-08,1.103845e-07,1.149036e-07,2.585504e-07,4.233630e-07,4.340468e-07,6.072561e-07,7.543601e-07,7.665314e-07,9.103838e-07,1.027242e-06,1.039524e-06,1.155032e-06,1.246273e-06,1.258003e-06,1.349478e-06,1.419697e-06,1.430432e-06,1.501769e-06,1.554874e-06,1.564326e-06,1.618876e-06,1.658133e-06,1.666130e-06,1.706742e-06,1.734855e-06,1.741312e-06,1.770391e-06,1.789585e-06,1.794480e-06,1.814043e-06,1.826143e-06,1.829499e-06,1.841236e-06,1.847735e-06,1.849605e-06,1.854930e-06,1.857045e-06,1.857504e-06,1.857596e-06,1.856315e-06,1.855450e-06,1.851291e-06,1.847418e-06,1.845323e-06,1.837735e-06,1.831921e-06,1.828695e-06,1.818361e-06,1.811134e-06,1.806875e-06,1.794369e-06,1.786156e-06,1.780962e-06,1.766758e-06,1.757896e-06,1.751857e-06,1.736349e-06,1.727108e-06,1.720313e-06,1.703826e-06,1.694420e-06,1.686952e-06,1.669753e-06,1.660350e-06,1.652284e-06,1.634595e-06,1.625325e-06,1.616732e-06,1.598736e-06,1.589700e-06,1.580644e-06,1.562490e-06,1.553763e-06,1.544305e-06,1.526115e-06,1.517754e-06,1.507946e-06,1.489821e-06,1.481865e-06,1.471759e-06,1.453779e-06,1.446255e-06,1.435896e-06,1.418126e-06,1.411053e-06,1.400481e-06,1.382973e-06,1.376358e-06,1.365612e-06,1.348407e-06,1.342253e-06,1.331366e-06,1.314497e-06,1.308801e-06,1.297804e-06,1.281294e-06,1.276050e-06,1.264970e-06,1.248838e-06,1.244036e-06,1.232900e-06,1.217158e-06,1.212786e-06,1.201616e-06,1.186274e-06,1.182318e-06,1.171134e-06,1.156197e-06,1.152643e-06,1.141464e-06,1.126935e-06,1.123766e-06,1.112609e-06,1.098488e-06,1.095688e-06,1.084569e-06,1.070853e-06,1.068405e-06,1.057338e-06,1.044024e-06,1.041913e-06,1.030910e-06,1.017993e-06,1.016201e-06,1.005273e-06,9.927486e-07,9.912587e-07,9.804174e-07,9.682779e-07,9.670745e-07,9.563285e-07,9.445672e-07,9.436343e-07,9.329921e-07,9.216013e-07,9.209237e-07,9.103929e-07,8.993647e-07,8.989273e-07,8.885148e-07,8.778410e-07,8.776293e-07,8.673414e-07,8.570137e-07,8.370638e-07,8.177632e-07,7.990954e-07,7.810438e-07,7.635921e-07,7.467241e-07,7.304239e-07,7.146755e-07,6.994637e-07,6.847732e-07,6.705890e-07,6.568967e-07,6.436820e-07,6.309309e-07,6.186299e-07,6.067657e-07,5.953253e-07,5.842962e-07,5.736661e-07,5.634230e-07,5.535552e-07,5.440514e-07,5.349006e-07,5.260921e-07,5.176153e-07,5.094602e-07,5.016169e-07,4.940757e-07,4.868273e-07,4.798626e-07,4.731729e-07,4.667495e-07,4.605841e-07,4.546686e-07,4.489950e-07,4.435559e-07,4.383436e-07,4.333511e-07,4.285712e-07,4.239971e-07,4.196223e-07,4.154402e-07,4.114446e-07,4.076294e-07,4.039886e-07,4.005167e-07,3.972079e-07,3.940568e-07,3.910582e-07
0.000000e+00,3.543206e-09,7.769216e-08,8.132308e-08,5.486943e-07,2.086044e-06,2.186911e-06,5.925745e-06,1.153519e-05,1.194772e-05,1.929626e-05,2.607198e-05,2.663578e-05,3.318793e-05,3.824483e-05,3.875818e-05,4.339156e-05,4.677680e-05,4.719266e-05,5.027055e-05,5.241562e-05,5.272517e-05,5.464468e-05,5.590006e-05,5.610595e-05,5.717606e-05,5.780260e-05,5.791302e-05,5.836702e-05,5.855580e-05,5.858136e-05,5.859338e-05,5.848310e-05,5.843516e-05,5.813433e-05,5.782503e-05,5.771459e-05,5.719628e-05,5.675963e-05,5.659685e-05,5.593122e-05,5.541824e-05,5.521218e-05,5.445065e-05,5.389734e-05,5.365594e-05,5.283600e-05,5.226752e-05,5.199759e-05,5.114647e-05,5.058016e-05,5.028750e-05,4.942481e-05,4.887236e-05,4.856186e-05,4.770160e-05,4.717067e-05,4.684646e-05,4.599850e-05,4.549388e-05,4.515940e-05,4.433056e-05,4.385500e-05,4.351313e-05,4.270802e-05,4.226283e-05,4.191598e-05,4.113757e-05,4.072305e-05,4.037323e-05,3.962330e-05,3.923910e-05,3.888798e-05,3.816744e-05,3.781273e-05,3.746174e-05,3.677088e-05,3.644454e-05,3.609484e-05,3.543353e-05,3.513424e-05,3.478683e-05,3.415460e-05,3.388096e-05,3.353668e-05,3.293287e-05,3.268343e-05,3.234297e-05,3.176676e-05,3.154005e-05,3.120401e-05,3.065449e-05,3.044908e-05,3.011795e-05,2.959415e-05,2.940865e-05,2.908284e-05,2.858377e-05,2.841683e-05,2.809669e-05,2.762135e-05,2.747168e-05,2.715750e-05,2.670489e-05,2.657127e-05,2.626329e-05,2.583244e-05,2.571370e-05,2.541211e-05,2.500206e-05,2.489711e-05,2.460207e-05,2.421189e-05,2.411969e-05,2.383131e-05,2.346011e-05,2.337969e-05,2.309807e-05,2.274498e-05,2.267542e-05,2.240063e-05,2.206481e-05,2.200525e-05,2.173732e-05,2.141798e-05,2.136763e-05,2.110658e-05,2.080295e-05,2.076105e-05,2.050689e-05,2.021823e-05,2.018408e-05,1.993678e-05,1.966239e-05,1.963533e-05,1.939488e-05,1.913409e-05,1.911351e-05,1.887985e-05,1.863201e-05,1.861734e-05,1.839042e-05,1.815493e-05,1.814563e-05,1.792538e-05,1.770164e-05,1.769723e-05,1.748357e-05,1.727104e-05,1.686601e-05,1.648114e-05,1.611549e-05,1.576814e-05,1.543821e-05,1.512490e-05,1.482739e-05,1.454495e-05,1.427684e-05,1.402239e-05,1.378094e-05,1.355187e-05,1.333458e-05,1.312851e-05,1.293312e-05,1.274788e-05,1.257232e-05,1.240596e-05,1.224836e-05,1.209908e-05,1.195774e-05,1.182393e-05,1.169729e-05,1.157748e-05,1.146415e-05,1.135699e-05,1.125569e-05,1.115998e-05,1.106956e-05,1.098418e-05,1.090358e-05,1.082754e-05,1.075582e-05,1.068821e-05,1.062450e-05,1.056450e-05,1.050801e-05,1.045487e-05,1.040490e-05,1.035795e-05,1.031385e-05,1.027246e-05,1.023365e-05,1.019728e-05,1.016322e-05,1.013137e-05,1.010159e-05,1.007379e-05,1.004786e-05
0.000000e+00,5.443498e-09,1.681007e-07,1.771192e-07,1.540625e-06,6.509590e-06,6.838091e-06,1.846770e-05,3.331437e-05,3.430026e-05,5.039241e-05,6.402993e-05,6.515235e-05,7.832149e-05,8.886206e-05,8.996043e-05,1.001896e-04,1.081241e-04,1.091335e-04,1.169095e-04,1.227453e-04,1.236256e-04,1.293813e-04,1.335410e-04,1.342681e-04,1.383699e-04,1.412021e-04,1.417640e-04,1.445214e-04,1.463126e-04,1.467069e-04,1.483799e-04,1.493641e-04,1.495946e-04,1.504001e-04,1.507665e-04,1.508414e-04,1.509589e-04,1.508593e-04,1.507896e-04,1.503666e-04,1.499220e-04,1.497200e-04,1.488770e-04,1.481833e-04,1.478621e-04,1.466973e-04,1.458299e-04,1.454025e-04,1.439956e-04,1.430134e-04,1.424926e-04,1.409079e-04,1.398569e-04,1.392546e-04,1.375442e-04,1.364597e-04,1.357871e-04,1.339927e-04,1.329016e-04,1.321691e-04,1.303239e-04,1.292463e-04,1.284635e-04,1.265938e-04,1.255447e-04,1.247200e-04,1.228468e-04,1.218369e-04,1.209781e-04,1.191177e-04,1.181545e-04,1.172685e-04,1.154335e-04,1.145221e-04,1.136150e-04,1.118151e-04,1.109583e-04,1.100356e-04,1.082781e-04,1.074774e-04,1.065440e-04,1.048342e-04,1.040899e-04,1.031499e-04,1.014917e-04,1.008032e-04,9.986028e-05,9.825618e-05,9.762228e-05,9.667976e-05,9.513130e-05,9.455026e-05,9.361097e-05,9.211889e-05,9.158866e-05,9.065507e-05,8.921949e-05,8.873780e-05,8.781204e-05,8.643259e-05,8.599705e-05,8.508094e-05,8.375688e-05,8.336500e-05,8.246013e-05,8.119041e-05,8.083969e-05,7.994741e-05,7.873077e-05,7.841873e-05,7.754016e-05,7.637520e-05,7.609939e-05,7.523551e-05,7.412068e-05,7.387872e-05,7.303032e-05,7.196402e-05,7.175361e-05,7.092136e-05,6.990192e-05,6.972086e-05,6.890529e-05,6.793103e-05,6.777720e-05,6.697874e-05,6.604798e-05,6.591937e-05,6.513834e-05,6.424941e-05,6.414411e-05,6.338076e-05,6.253199e-05,6.244819e-05,6.170269e-05,6.089246e-05,6.082846e-05,6.010090e-05,5.932763e-05,5.928180e-05,5.857224e-05,5.783437e-05,5.780521e-05,5.711364e-05,5.640967e-05,5.639576e-05,5.572211e-05,5.505059e-05,5.376696e-05,5.254222e-05,5.137381e-05,5.025927e-05,4.919622e-05,4.818240e-05,4.721563e-05,4.629380e-05,4.541492e-05,4.457706e-05,4.377838e-05,4.301712e-05,4.229159e-05,4.160017e-05,4.094133e-05,4.031359e-05,3.971552e-05,3.914580e-05,3.860312e-05,3.808626e-05,3.759402e-05,3.712530e-05,3.667902e-05,3.625413e-05,3.584968e-05,3.546471e-05,3.509833e-05,3.474969e-05,3.441796e-05,3.410238e-05,3.380218e-05,3.351667e-05,3.324516e-05,3.298700e-05,3.274157e-05,3.250828e-05,3.228656e-05,3.207588e-05,3.187572e-05,3.168558e-05,3.150500e-05,3.133353e-05,3.117074e-05,3.101622e-05,3.086958e-05,3.073044e-05,3.059846e-05,3.047329e-05,3.035461e-05
0.000000e+00,1.277717e-13,3.282759e-11,3.571733e-11,1.199971e-09,1.487345e-08,1.630455e-08,1.237166e-07,5.617234e-07,6.121539e-07,2.198839e-06,5.765039e-06,6.219766e-06,1.470652e-05,2.835971e-05,3.033017e-05,5.623825e-05,9.024053e-05,9.582727e-05,1.524934e-04,2.173033e-04,2.293948e-04,3.292488e-04,4.324363e-04,4.541775e-04,6.056054e-04,7.500487e-04,7.842094e-04,9.899140e-04,1.173479e-03,1.221925e-03,1.478795e-03,1.695130e-03,1.758506e-03,2.058570e-03,2.298484e-03,2.376132e-03,2.708077e-03,2.961053e-03,3.051128e-03,3.401944e-03,3.657469e-03,3.757198e-03,4.113652e-03,4.362224e-03,4.468219e-03,4.818011e-03,5.051776e-03,5.160371e-03,5.492907e-03,5.705958e-03,5.813500e-03,6.120322e-03,6.308735e-03,6.411827e-03,6.686752e-03,6.848431e-03,6.944102e-03,7.183139e-03,7.317555e-03,7.403365e-03,7.604496e-03,7.712364e-03,7.786452e-03,7.949325e-03,8.032286e-03,8.093365e-03,8.218956e-03,8.279276e-03,8.326597e-03,8.416883e-03,8.457192e-03,8.490483e-03,8.548132e-03,8.571217e-03,8.590609e-03,8.618722e-03,8.627358e-03,8.633303e-03,8.635194e-03,8.632034e-03,8.625238e-03,8.604270e-03,8.591769e-03,8.573112e-03,8.532564e-03,8.512921e-03,8.483402e-03,8.426374e-03,8.401522e-03,8.362197e-03,8.291559e-03,8.263159e-03,8.215110e-03,8.133466e-03,8.102916e-03,8.047211e-03,7.956891e-03,7.925348e-03,7.863019e-03,7.766073e-03,7.734474e-03,7.666498e-03,7.564709e-03,7.533798e-03,7.461086e-03,7.355985e-03,7.326337e-03,7.249731e-03,7.142625e-03,7.114672e-03,7.034940e-03,6.926930e-03,6.900985e-03,6.818824e-03,6.710830e-03,6.687105e-03,6.603138e-03,6.495919e-03,6.474547e-03,6.389330e-03,6.283508e-03,6.264552e-03,6.178580e-03,6.074656e-03,6.058129e-03,5.971839e-03,5.870215e-03,5.856088e-03,5.769864e-03,5.670854e-03,5.659066e-03,5.573245e-03,5.477091e-03,5.467557e-03,5.382435e-03,5.289316e-03,5.281933e-03,5.197765e-03,5.107811e-03,5.102465e-03,5.019475e-03,4.932773e-03,4.929339e-03,4.847718e-03,4.764320e-03,4.762669e-03,4.682584e-03,4.602514e-03,4.448882e-03,4.301743e-03,4.161037e-03,4.026675e-03,3.898548e-03,3.776533e-03,3.660490e-03,3.550273e-03,3.445726e-03,3.346688e-03,3.252994e-03,3.164479e-03,3.080974e-03,3.002311e-03,2.928320e-03,2.858836e-03,2.793693e-03,2.732728e-03,2.675779e-03,2.622689e-03,2.573302e-03,2.527465e-03,2.485028e-03,2.445846e-03,2.409775e-03,2.376675e-03,2.346408e-03,2.318842e-03,2.293846e-03,2.271293e-03,2.251057e-03,2.233020e-03,2.217063e-03,2.203071e-03,2.190934e-03,2.180542e-03,2.171791e-03,2.164579e-03,2.158807e-03,2.154378e-03,2.151201e-03,2.149184e-03,2.148243e-03,2.148293e-03,2.149253e-03,2.151047e-03,2.153599e-03,2.156839e-03,2.160698e-03
0.000000e+00,6.168826e-09,7.257513e-08,7.549410e-08,4.149469e-07,1.453828e-06,1.521225e-06,4.018670e-06,7.765659e-06,8.040253e-06,1.293467e-05,1.759571e-05,1.799751e-05,2.291247e-05,2.712748e-05,2.758253e-05,3.198394e-05,3.563367e-05,3.611534e-05,3.998257e-05,4.310339e-05,4.359391e-05,4.695856e-05,4.960125e-05,5.008613e-05,5.298636e-05,5.520179e-05,5.566906e-05,5.814398e-05,5.998079e-05,6.042074e-05,6.250875e-05,6.401230e-05,6.441721e-05,6.615503e-05,6.736697e-05,6.773084e-05,6.915298e-05,7.011116e-05,7.042947e-05,7.156802e-05,7.230654e-05,7.257605e-05,7.346065e-05,7.401008e-05,7.422862e-05,7.488647e-05,7.527411e-05,7.544044e-05,7.589648e-05,7.614660e-05,7.626028e-05,7.653727e-05,7.667139e-05,7.673264e-05,7.685133e-05,7.688849e-05,7.689806e-05,7.687734e-05,7.683432e-05,7.679344e-05,7.665046e-05,7.654200e-05,7.645229e-05,7.620261e-05,7.604163e-05,7.590497e-05,7.556270e-05,7.536046e-05,7.517900e-05,7.475690e-05,7.452318e-05,7.429926e-05,7.380883e-05,7.355213e-05,7.328820e-05,7.273982e-05,7.246744e-05,7.216605e-05,7.156908e-05,7.128727e-05,7.095103e-05,7.031387e-05,7.002796e-05,6.965949e-05,6.898968e-05,6.870416e-05,6.830611e-05,6.761039e-05,6.732903e-05,6.690400e-05,6.618839e-05,6.591432e-05,6.546488e-05,6.473475e-05,6.447051e-05,6.399918e-05,6.325930e-05,6.300694e-05,6.251616e-05,6.177075e-05,6.153190e-05,6.102402e-05,6.027682e-05,6.005270e-05,5.953000e-05,5.878431e-05,5.857581e-05,5.804047e-05,5.729915e-05,5.710690e-05,5.656099e-05,5.582656e-05,5.565092e-05,5.509642e-05,5.437106e-05,5.421217e-05,5.365096e-05,5.293654e-05,5.279438e-05,5.222822e-05,5.152636e-05,5.140074e-05,5.083130e-05,5.014336e-05,5.003396e-05,4.946281e-05,4.878992e-05,4.869634e-05,4.812493e-05,4.746804e-05,4.738977e-05,4.681945e-05,4.617933e-05,4.611579e-05,4.554783e-05,4.492509e-05,4.487565e-05,4.431121e-05,4.370631e-05,4.367030e-05,4.311046e-05,4.252374e-05,4.250046e-05,4.194620e-05,4.137789e-05,4.136662e-05,4.081884e-05,4.026907e-05,3.920792e-05,3.818315e-05,3.719458e-05,3.624192e-05,3.532479e-05,3.444271e-05,3.359511e-05,3.278138e-05,3.200085e-05,3.125278e-05,3.053641e-05,2.985097e-05,2.919563e-05,2.856956e-05,2.797191e-05,2.740183e-05,2.685847e-05,2.634096e-05,2.584845e-05,2.538009e-05,2.493505e-05,2.451248e-05,2.411158e-05,2.373152e-05,2.337154e-05,2.303084e-05,2.270868e-05,2.240432e-05,2.211702e-05,2.184610e-05,2.159087e-05,2.135065e-05,2.112482e-05,2.091274e-05,2.071381e-05,2.052744e-05,2.035307e-05,2.019015e-05,2.003814e-05,1.989654e-05,1.976485e-05,1.964261e-05,1.952935e-05,1.942463e-05,1.932803e-05,1.923914e-05,1.915756e-05,1.908294e-05,1.901489e-05
0.000000e+00,2.063401e-12,4.073820e-10,4.402891e-10,1.035491e-08,9.472291e-08,1.027255e-07,6.293150e-07,2.547683e-06,2.762420e-06,9.380216e-06,2.404408e-05,2.590672e-05,6.043600e-05,1.149913e-04,1.227612e-04,2.226029e-04,3.477484e-04,3.677398e-04,5.626504e-04,7.706389e-04,8.079295e-04,1.100438e-03,1.378170e-03,1.433965e-03,1.800160e-03,2.118154e-03,2.189503e-03,2.592190e-03,2.917603e-03,2.998822e-03,3.400903e-03,3.706630e-03,3.791143e-03,4.163591e-03,4.431869e-03,4.513640e-03,4.837954e-03,5.060050e-03,5.134341e-03,5.401590e-03,5.575717e-03,5.639305e-03,5.847741e-03,5.976617e-03,6.027659e-03,6.180194e-03,6.268982e-03,6.306743e-03,6.408873e-03,6.463709e-03,6.488248e-03,6.546574e-03,6.573643e-03,6.585553e-03,6.606851e-03,6.611885e-03,6.612076e-03,6.602759e-03,6.590795e-03,6.580348e-03,6.546200e-03,6.521520e-03,6.501582e-03,6.447670e-03,6.413824e-03,6.385543e-03,6.316202e-03,6.276083e-03,6.240562e-03,6.159464e-03,6.115394e-03,6.073677e-03,5.983901e-03,5.937718e-03,5.890773e-03,5.794873e-03,5.748012e-03,5.696725e-03,5.596805e-03,5.550367e-03,5.495543e-03,5.393329e-03,5.348145e-03,5.290513e-03,5.187409e-03,5.144089e-03,5.084301e-03,4.981442e-03,4.940419e-03,4.879057e-03,4.777348e-03,4.738914e-03,4.676495e-03,4.576655e-03,4.540988e-03,4.477967e-03,4.380555e-03,4.347744e-03,4.284524e-03,4.189966e-03,4.160032e-03,4.096961e-03,4.005577e-03,3.978486e-03,3.915869e-03,3.827885e-03,3.803564e-03,3.741662e-03,3.657231e-03,3.635576e-03,3.574615e-03,3.493828e-03,3.474713e-03,3.414882e-03,3.337781e-03,3.321067e-03,3.262526e-03,3.189111e-03,3.174649e-03,3.117530e-03,3.047770e-03,3.035406e-03,2.979817e-03,2.913654e-03,2.903233e-03,2.849261e-03,2.786616e-03,2.777984e-03,2.725695e-03,2.666475e-03,2.659481e-03,2.608927e-03,2.553025e-03,2.547524e-03,2.498739e-03,2.446040e-03,2.441892e-03,2.394899e-03,2.345284e-03,2.342355e-03,2.297164e-03,2.250509e-03,2.248672e-03,2.205286e-03,2.161463e-03,2.160601e-03,2.119010e-03,2.077894e-03,2.000309e-03,1.927602e-03,1.859537e-03,1.795880e-03,1.736408e-03,1.680901e-03,1.629148e-03,1.580945e-03,1.536099e-03,1.494421e-03,1.455733e-03,1.419865e-03,1.386654e-03,1.355944e-03,1.327589e-03,1.301449e-03,1.277390e-03,1.255286e-03,1.235019e-03,1.216475e-03,1.199548e-03,1.184135e-03,1.170141e-03,1.157476e-03,1.146054e-03,1.135794e-03,1.126621e-03,1.118462e-03,1.111249e-03,1.104918e-03,1.099409e-03,1.094665e-03,1.090632e-03,1.087259e-03,1.084500e-03,1.082308e-03,1.080643e-03,1.079463e-03,1.078731e-03,1.078413e-03,1.078475e-03,1.078886e-03,1.079617e-03,1.080639e-03,1.081928e-03,1.083459e-03,1.085209e-03,1.087158e-03,1.089284e-03
0.000000e+00,3.431298e-10,5.020433e-09,5.248616e-09,3.368635e-08,1.171652e-07,1.222683e-07,2.893990e-07,4.861680e-07,4.990267e-07,7.096220e-07,8.921983e-07,9.074761e-07,1.090210e-06,1.241863e-06,1.257986e-06,1.411492e-06,1.535390e-06,1.551505e-06,1.678803e-06,1.778683e-06,1.794136e-06,1.898230e-06,1.977492e-06,1.991780e-06,2.075453e-06,2.137144e-06,2.149888e-06,2.215696e-06,2.262521e-06,2.273456e-06,2.323720e-06,2.358058e-06,2.367009e-06,2.403818e-06,2.427746e-06,2.434612e-06,2.459830e-06,2.475144e-06,2.479884e-06,2.495164e-06,2.503414e-06,2.506033e-06,2.512835e-06,2.515348e-06,2.515890e-06,2.515500e-06,2.513412e-06,2.511947e-06,2.505496e-06,2.499771e-06,2.496393e-06,2.484870e-06,2.476326e-06,2.471144e-06,2.455415e-06,2.444741e-06,2.437872e-06,2.418691e-06,2.406464e-06,2.398036e-06,2.376061e-06,2.362767e-06,2.352909e-06,2.328712e-06,2.314752e-06,2.303594e-06,2.277671e-06,2.263375e-06,2.251048e-06,2.223824e-06,2.209461e-06,2.196091e-06,2.167934e-06,2.153721e-06,2.139431e-06,2.110656e-06,2.096766e-06,2.081674e-06,2.052549e-06,2.039119e-06,2.023337e-06,1.994091e-06,1.981224e-06,1.964859e-06,1.935684e-06,1.923458e-06,1.906609e-06,1.877669e-06,1.866139e-06,1.848899e-06,1.820329e-06,1.809531e-06,1.791987e-06,1.763899e-06,1.753854e-06,1.736087e-06,1.708572e-06,1.699288e-06,1.681372e-06,1.654504e-06,1.645978e-06,1.627982e-06,1.601818e-06,1.594041e-06,1.576025e-06,1.550611e-06,1.543565e-06,1.525586e-06,1.500955e-06,1.494617e-06,1.476725e-06,1.452901e-06,1.447245e-06,1.429487e-06,1.406484e-06,1.401479e-06,1.383896e-06,1.361723e-06,1.357338e-06,1.339965e-06,1.318623e-06,1.314825e-06,1.297695e-06,1.277180e-06,1.273936e-06,1.257076e-06,1.237380e-06,1.234656e-06,1.218091e-06,1.199203e-06,1.196964e-06,1.180714e-06,1.162621e-06,1.160833e-06,1.144917e-06,1.127600e-06,1.126231e-06,1.110664e-06,1.094105e-06,1.093123e-06,1.077917e-06,1.062095e-06,1.061470e-06,1.046634e-06,1.031529e-06,1.031230e-06,1.016773e-06,1.002361e-06,9.748183e-07,9.485569e-07,9.235317e-07,8.996971e-07,8.770079e-07,8.554193e-07,8.348869e-07,8.153673e-07,7.968181e-07,7.791976e-07,7.624656e-07,7.465827e-07,7.315108e-07,7.172132e-07,7.036543e-07,6.907998e-07,6.786167e-07,6.670732e-07,6.561387e-07,6.457841e-07,6.359811e-07,6.267029e-07,6.179238e-07,6.096191e-07,6.017652e-07,5.943397e-07,5.873211e-07,5.806889e-07,5.744236e-07,5.685065e-07,5.629199e-07,5.576469e-07,5.526713e-07,5.479780e-07,5.435523e-07,5.393803e-07,5.354488e-07,5.317454e-07,5.282582e-07,5.249757e-07,5.218873e-07,5.189827e-07,5.162522e-07,5.136867e-07,5.112774e-07,5.090160e-07,5.068946e-07,5.049058e-07,5.030424e-07
0.000000e+00,7.613043e-13,2.354557e-10,2.574327e-10,1.062573e-08,1.422774e-07,1.560646e-07,1.141295e-06,4.714853e-06,5.102105e-06,1.618226e-05,3.773659e-05,4.030536e-05,8.428111e-05,1.462842e-04,1.546783e-04,2.568327e-04,3.757838e-04,3.941872e-04,5.680076e-04,7.460469e-04,7.774235e-04,1.019703e-03,1.245587e-03,1.290663e-03,1.585124e-03,1.840109e-03,1.897359e-03,2.221479e-03,2.485472e-03,2.551757e-03,2.882859e-03,3.138594e-03,3.210006e-03,3.529068e-03,3.764001e-03,3.836598e-03,4.129829e-03,4.336344e-03,4.406641e-03,4.665502e-03,4.840183e-03,4.905406e-03,5.125796e-03,5.268353e-03,5.326500e-03,5.507655e-03,5.619864e-03,5.669650e-03,5.813068e-03,5.897897e-03,5.938639e-03,6.047194e-03,6.108154e-03,6.139635e-03,6.216905e-03,6.257615e-03,6.279964e-03,6.329772e-03,6.353689e-03,6.367272e-03,6.393383e-03,6.403660e-03,6.408992e-03,6.414946e-03,6.414366e-03,6.412052e-03,6.401071e-03,6.392032e-03,6.382718e-03,6.357666e-03,6.342201e-03,6.326542e-03,6.289933e-03,6.269743e-03,6.248383e-03,6.202399e-03,6.178890e-03,6.152448e-03,6.098964e-03,6.073286e-03,6.042347e-03,5.982966e-03,5.956052e-03,5.921162e-03,5.857247e-03,5.829844e-03,5.791511e-03,5.724217e-03,5.696919e-03,5.655610e-03,5.585912e-03,5.559183e-03,5.515327e-03,5.444043e-03,5.418243e-03,5.372232e-03,5.300048e-03,5.275447e-03,5.227637e-03,5.155128e-03,5.131924e-03,5.082639e-03,5.010278e-03,4.988609e-03,4.938142e-03,4.866322e-03,4.846279e-03,4.794896e-03,4.723936e-03,4.705572e-03,4.653510e-03,4.583674e-03,4.567007e-03,4.514481e-03,4.445979e-03,4.431005e-03,4.378208e-03,4.311206e-03,4.297901e-03,4.245005e-03,4.179634e-03,4.167957e-03,4.115117e-03,4.051476e-03,4.041376e-03,3.988728e-03,3.926890e-03,3.918306e-03,3.865973e-03,3.805988e-03,3.798852e-03,3.746942e-03,3.688843e-03,3.683085e-03,3.631693e-03,3.575495e-03,3.571041e-03,3.520251e-03,3.465959e-03,3.462732e-03,3.412618e-03,3.360224e-03,3.358148e-03,3.308774e-03,3.258262e-03,3.257261e-03,3.208683e-03,3.160030e-03,3.066398e-03,2.976301e-03,2.889668e-03,2.806420e-03,2.726474e-03,2.649743e-03,2.576138e-03,2.505569e-03,2.437945e-03,2.373174e-03,2.311163e-03,2.251823e-03,2.195064e-03,2.140797e-03,2.088935e-03,2.039393e-03,1.992087e-03,1.946937e-03,1.903862e-03,1.862786e-03,1.823632e-03,1.786330e-03,1.750806e-03,1.716994e-03,1.684825e-03,1.654237e-03,1.625166e-03,1.597553e-03,1.571338e-03,1.546467e-03,1.522885e-03,1.500538e-03,1.479377e-03,1.459353e-03,1.440419e-03,1.422529e-03,1.405639e-03,1.389708e-03,1.374694e-03,1.360558e-03,1.347263e-03,1.334772e-03,1.323050e-03,1.312063e-03,1.301779e-03,1.292166e-03,1.283194e-03,1.274835e-03,1.267059e-03
0.000000e+00,3.197021e-13,6.710889e-11,7.262559e-11,1.833864e-09,1.810791e-08,1.970237e-08,1.310087e-07,5.701105e-07,6.208459e-07,2.251711e-06,6.066390e-06,6.561745e-06,1.598940e-05,3.145732e-05,3.369995e-05,6.316241e-05,1.014051e-04,1.076257e-04,1.696413e-04,2.382002e-04,2.507248e-04,3.511964e-04,4.499711e-04,4.701857e-04,6.057695e-04,7.274182e-04,7.551923e-04,9.151295e-04,1.048215e-03,1.081953e-03,1.251976e-03,1.384526e-03,1.421654e-03,1.587749e-03,1.709825e-03,1.747429e-03,1.898340e-03,2.003259e-03,2.038628e-03,2.166929e-03,2.251365e-03,2.282349e-03,2.384408e-03,2.447827e-03,2.472995e-03,2.548300e-03,2.592136e-03,2.610761e-03,2.661004e-03,2.687838e-03,2.699792e-03,2.727981e-03,2.740876e-03,2.746475e-03,2.756200e-03,2.758229e-03,2.758074e-03,2.752989e-03,2.746953e-03,2.741795e-03,2.725289e-03,2.713575e-03,2.704210e-03,2.679234e-03,2.663776e-03,2.650974e-03,2.619980e-03,2.602280e-03,2.586741e-03,2.551690e-03,2.532876e-03,2.515207e-03,2.477621e-03,2.458505e-03,2.439219e-03,2.400248e-03,2.381404e-03,2.360921e-03,2.321417e-03,2.303229e-03,2.281889e-03,2.242465e-03,2.225179e-03,2.203252e-03,2.164339e-03,2.148103e-03,2.125800e-03,2.087695e-03,2.072586e-03,2.050074e-03,2.012976e-03,1.999022e-03,1.976432e-03,1.940467e-03,1.927664e-03,1.905098e-03,1.870341e-03,1.858665e-03,1.836205e-03,1.802697e-03,1.792107e-03,1.769819e-03,1.737573e-03,1.728023e-03,1.705959e-03,1.674974e-03,1.666410e-03,1.644614e-03,1.614874e-03,1.607243e-03,1.585750e-03,1.557234e-03,1.550480e-03,1.529320e-03,1.501999e-03,1.496068e-03,1.475265e-03,1.449110e-03,1.443947e-03,1.423523e-03,1.398498e-03,1.394053e-03,1.374025e-03,1.350096e-03,1.346317e-03,1.326700e-03,1.303830e-03,1.300669e-03,1.281475e-03,1.259628e-03,1.257040e-03,1.238278e-03,1.217418e-03,1.215359e-03,1.197038e-03,1.177129e-03,1.175556e-03,1.157682e-03,1.138689e-03,1.137564e-03,1.120141e-03,1.102029e-03,1.101313e-03,1.084345e-03,1.067080e-03,1.066739e-03,1.050227e-03,1.033777e-03,1.002363e-03,9.724366e-04,9.439379e-04,9.168095e-04,8.909955e-04,8.664420e-04,8.430968e-04,8.209095e-04,7.998318e-04,7.798167e-04,7.608193e-04,7.427961e-04,7.257054e-04,7.095070e-04,6.941624e-04,6.796343e-04,6.658872e-04,6.528867e-04,6.405999e-04,6.289952e-04,6.180423e-04,6.077120e-04,5.979764e-04,5.888085e-04,5.801826e-04,5.720740e-04,5.644589e-04,5.573145e-04,5.506191e-04,5.443517e-04,5.384921e-04,5.330211e-04,5.279202e-04,5.231717e-04,5.187584e-04,5.146642e-04,5.108733e-04,5.073708e-04,5.041423e-04,5.011740e-04,4.984527e-04,4.959657e-04,4.937008e-04,4.916465e-04,4.897915e-04,4.881253e-04,4.866375e-04,4.853183e-04,4.841583e-04
0.000000e+00,8.899551e-13,1.920554e-10,2.079718e-10,5.392087e-09,5.362769e-08,5.833973e-08,3.823519e-07,1.623523e-06,1.765016e-06,6.230757e-06,1.646165e-05,1.778142e-05,4.278795e-05,8.379654e-05,8.975633e-05,1.685160e-04,2.721002e-04,2.890918e-04,4.605522e-04,6.542291e-04,6.900552e-04,9.822047e-04,1.277387e-03,1.338748e-03,1.758582e-03,2.147544e-03,2.237996e-03,2.771084e-03,3.231131e-03,3.350240e-03,3.966691e-03,4.467357e-03,4.611006e-03,5.273552e-03,5.783450e-03,5.944880e-03,6.616040e-03,7.107720e-03,7.278805e-03,7.925832e-03,8.378334e-03,8.550756e-03,9.148221e-03,9.547738e-03,9.713873e-03,1.024432e-02,1.058361e-02,1.073707e-02,1.119045e-02,1.146763e-02,1.160352e-02,1.197596e-02,1.219308e-02,1.230800e-02,1.260032e-02,1.276207e-02,1.285399e-02,1.307033e-02,1.318287e-02,1.325093e-02,1.339751e-02,1.346767e-02,1.351193e-02,1.359610e-02,1.363075e-02,1.365198e-02,1.368150e-02,1.368717e-02,1.368661e-02,1.366919e-02,1.365183e-02,1.363106e-02,1.357398e-02,1.353886e-02,1.349963e-02,1.340961e-02,1.336129e-02,1.330544e-02,1.318854e-02,1.313086e-02,1.306024e-02,1.292179e-02,1.285797e-02,1.277438e-02,1.261907e-02,1.255174e-02,1.245689e-02,1.228877e-02,1.222005e-02,1.211557e-02,1.193809e-02,1.186968e-02,1.175706e-02,1.157317e-02,1.150639e-02,1.138704e-02,1.119922e-02,1.113507e-02,1.101025e-02,1.082059e-02,1.075983e-02,1.063069e-02,1.044093e-02,1.038408e-02,1.025167e-02,1.006325e-02,1.001068e-02,9.875948e-03,9.690033e-03,9.641953e-03,9.505747e-03,9.323299e-03,9.279808e-03,9.142884e-03,8.964670e-03,8.925774e-03,8.788808e-03,8.615430e-03,8.581063e-03,8.444653e-03,8.276576e-03,8.246616e-03,8.111287e-03,7.948861e-03,7.923143e-03,7.789358e-03,7.632831e-03,7.611158e-03,7.479321e-03,7.328860e-03,7.311011e-03,7.181471e-03,7.037172e-03,7.022912e-03,6.895970e-03,6.757869e-03,6.746955e-03,6.622866e-03,6.490952e-03,6.483135e-03,6.362114e-03,6.236335e-03,6.231367e-03,6.113593e-03,5.993864e-03,5.991500e-03,5.877120e-03,5.763329e-03,5.546603e-03,5.341039e-03,5.146327e-03,4.962134e-03,4.788116e-03,4.623915e-03,4.469172e-03,4.323523e-03,4.186604e-03,4.058053e-03,3.937514e-03,3.824636e-03,3.719074e-03,3.620492e-03,3.528565e-03,3.442975e-03,3.363416e-03,3.289590e-03,3.221210e-03,3.158001e-03,3.099696e-03,3.046039e-03,2.996786e-03,2.951699e-03,2.910554e-03,2.873133e-03,2.839230e-03,2.808645e-03,2.781188e-03,2.756679e-03,2.734942e-03,2.715813e-03,2.699133e-03,2.684750e-03,2.672521e-03,2.662306e-03,2.653974e-03,2.647400e-03,2.642465e-03,2.639053e-03,2.637057e-03,2.636372e-03,2.636900e-03,2.638547e-03,2.641223e-03,2.644844e-03,2.649329e-03,2.654601e-03,2.660587e-03
0.000000e+00,3.079137e-09,1.271990e-07,1.346649e-07,1.425273e-06,6.662476e-06,7.014163e-06,1.909737e-05,3.332395e-05,3.423614e-05,4.880742e-05,6.084437e-05,6.182540e-05,7.323186e-05,8.221686e-05,8.314502e-05,9.170600e-05,9.822891e-05,9.905019e-05,1.053022e-04,1.098923e-04,1.105756e-04,1.149743e-04,1.180624e-04,1.185925e-04,1.215158e-04,1.234491e-04,1.238219e-04,1.255810e-04,1.266371e-04,1.268563e-04,1.277046e-04,1.281030e-04,1.281771e-04,1.283194e-04,1.282322e-04,1.281726e-04,1.277733e-04,1.273346e-04,1.271542e-04,1.263446e-04,1.256584e-04,1.253705e-04,1.242551e-04,1.234014e-04,1.230190e-04,1.216807e-04,1.207207e-04,1.202565e-04,1.187607e-04,1.177407e-04,1.172063e-04,1.156046e-04,1.145594e-04,1.139657e-04,1.122984e-04,1.112539e-04,1.106105e-04,1.089090e-04,1.078841e-04,1.071999e-04,1.054884e-04,1.044965e-04,1.037792e-04,1.020764e-04,1.011269e-04,1.003834e-04,9.870336e-05,9.780241e-05,9.703879e-05,9.539197e-05,9.454329e-05,9.376482e-05,9.215896e-05,9.136445e-05,9.057574e-05,8.901630e-05,8.827648e-05,8.748154e-05,8.597221e-05,8.528663e-05,8.448890e-05,8.303206e-05,8.239951e-05,8.160199e-05,8.019890e-05,7.961767e-05,7.882289e-05,7.747401e-05,7.694203e-05,7.615218e-05,7.485732e-05,7.437230e-05,7.358924e-05,7.234773e-05,7.190724e-05,7.113254e-05,6.994338e-05,6.954493e-05,6.877992e-05,6.764182e-05,6.728293e-05,6.652872e-05,6.544022e-05,6.511841e-05,6.437592e-05,6.333543e-05,6.304830e-05,6.231831e-05,6.132413e-05,6.106935e-05,6.035248e-05,5.940291e-05,5.917825e-05,5.847499e-05,5.756828e-05,5.737161e-05,5.668235e-05,5.581677e-05,5.564606e-05,5.497111e-05,5.414493e-05,5.399826e-05,5.333783e-05,5.254937e-05,5.242493e-05,5.177916e-05,5.102679e-05,5.092286e-05,5.029185e-05,4.957395e-05,4.948893e-05,4.887271e-05,4.818774e-05,4.812012e-05,4.751867e-05,4.686514e-05,4.681352e-05,4.622679e-05,4.560326e-05,4.556631e-05,4.499421e-05,4.439930e-05,4.437579e-05,4.381820e-05,4.325058e-05,4.323937e-05,4.269613e-05,4.215454e-05,4.111894e-05,4.013029e-05,3.918640e-05,3.828519e-05,3.742468e-05,3.660297e-05,3.581825e-05,3.506880e-05,3.435296e-05,3.366917e-05,3.301595e-05,3.239185e-05,3.179552e-05,3.122568e-05,3.068108e-05,3.016055e-05,2.966298e-05,2.918729e-05,2.873248e-05,2.829756e-05,2.788163e-05,2.748380e-05,2.710324e-05,2.673916e-05,2.639078e-05,2.605739e-05,2.573831e-05,2.543286e-05,2.514043e-05,2.486041e-05,2.459226e-05,2.433541e-05,2.408935e-05,2.385360e-05,2.362769e-05,2.341116e-05,2.320360e-05,2.300459e-05,2.281376e-05,2.263072e-05,2.245514e-05,2.228668e-05,2.212501e-05,2.196984e-05,2.182087e-05,2.167783e-05,2.154045e-05,2.140849e-05,2.128169e-05
0.000000e+00,1.023952e-09,1.169415e-08,1.217070e-08,6.669899e-08,2.190739e-07,2.283953e-07,5.442780e-07,9.540185e-07,9.821444e-07,1.456694e-06,1.877589e-06,1.912884e-06,2.334259e-06,2.681669e-06,2.718436e-06,3.066570e-06,3.344672e-06,3.380630e-06,3.662732e-06,3.881388e-06,3.914984e-06,4.139430e-06,4.307914e-06,4.338032e-06,4.512659e-06,4.639206e-06,4.665078e-06,4.796961e-06,4.888739e-06,4.909877e-06,5.005299e-06,5.068474e-06,5.084605e-06,5.149086e-06,5.188920e-06,5.199945e-06,5.238305e-06,5.259264e-06,5.265214e-06,5.281646e-06,5.287502e-06,5.288509e-06,5.286649e-06,5.280578e-06,5.276849e-06,5.259840e-06,5.244503e-06,5.236299e-06,5.206855e-06,5.184474e-06,5.172092e-06,5.132551e-06,5.104969e-06,5.088732e-06,5.041101e-06,5.009845e-06,4.990087e-06,4.936086e-06,4.902407e-06,4.879468e-06,4.820570e-06,4.785489e-06,4.759706e-06,4.697164e-06,4.661508e-06,4.633211e-06,4.568090e-06,4.532519e-06,4.502026e-06,4.435227e-06,4.400263e-06,4.367880e-06,4.300161e-06,4.266211e-06,4.232227e-06,4.164223e-06,4.131596e-06,4.096282e-06,4.028523e-06,3.997446e-06,3.961056e-06,3.893980e-06,3.864614e-06,3.827384e-06,3.761349e-06,3.733799e-06,3.695947e-06,3.631243e-06,3.605570e-06,3.567295e-06,3.504155e-06,3.480383e-06,3.441868e-06,3.380473e-06,3.358596e-06,3.320006e-06,3.260496e-06,3.240486e-06,3.201970e-06,3.144449e-06,3.126258e-06,3.087951e-06,3.032490e-06,3.016056e-06,2.978079e-06,2.924725e-06,2.909977e-06,2.872435e-06,2.821213e-06,2.808070e-06,2.771059e-06,2.721973e-06,2.710351e-06,2.673953e-06,2.626994e-06,2.616805e-06,2.581091e-06,2.536238e-06,2.527392e-06,2.492425e-06,2.449643e-06,2.442052e-06,2.407884e-06,2.367134e-06,2.360707e-06,2.327382e-06,2.288616e-06,2.283267e-06,2.250822e-06,2.213987e-06,2.209631e-06,2.178096e-06,2.143134e-06,2.139689e-06,2.109087e-06,2.075940e-06,2.073326e-06,2.043676e-06,2.012280e-06,2.010423e-06,1.981736e-06,1.952028e-06,1.950857e-06,1.923141e-06,1.895058e-06,1.894504e-06,1.867763e-06,1.841240e-06,1.790939e-06,1.743480e-06,1.698739e-06,1.656599e-06,1.616942e-06,1.579654e-06,1.544625e-06,1.511747e-06,1.480917e-06,1.452033e-06,1.424998e-06,1.399721e-06,1.376110e-06,1.354079e-06,1.333547e-06,1.314433e-06,1.296662e-06,1.280162e-06,1.264863e-06,1.250699e-06,1.237607e-06,1.225527e-06,1.214401e-06,1.204175e-06,1.194798e-06,1.186218e-06,1.178390e-06,1.171269e-06,1.164812e-06,1.158979e-06,1.153732e-06,1.149035e-06,1.144852e-06,1.141152e-06,1.137903e-06,1.135077e-06,1.132644e-06,1.130580e-06,1.128860e-06,1.127459e-06,1.126355e-06,1.125529e-06,1.124959e-06,1.124627e-06,1.124516e-06,1.124609e-06,1.124890e-06,1.125344e-06,1.125957e-06
0.000000e+00,8.917221e-11,1.101433e-08,1.180355e-08,1.915661e-07,1.309677e-06,1.404027e-06,6.452304e-06,1.975320e-05,2.103008e-05,5.227068e-05,9.969105e-05,1.046696e-04,1.769219e-04,2.539180e-04,2.629218e-04,3.553488e-04,4.373226e-04,4.483800e-04,5.384175e-04,6.120384e-04,6.236461e-04,7.033459e-04,7.659022e-04,7.773666e-04,8.458202e-04,8.979522e-04,9.089286e-04,9.669513e-04,1.009888e-03,1.020156e-03,1.068808e-03,1.103760e-03,1.113162e-03,1.153464e-03,1.181529e-03,1.189949e-03,1.222840e-03,1.244992e-03,1.252351e-03,1.278683e-03,1.295783e-03,1.302030e-03,1.322572e-03,1.335376e-03,1.340483e-03,1.355928e-03,1.365100e-03,1.369060e-03,1.380027e-03,1.386148e-03,1.388969e-03,1.396016e-03,1.399590e-03,1.401294e-03,1.404919e-03,1.406386e-03,1.407004e-03,1.407653e-03,1.407395e-03,1.406966e-03,1.405038e-03,1.403385e-03,1.401956e-03,1.397804e-03,1.395042e-03,1.392663e-03,1.386605e-03,1.382978e-03,1.379702e-03,1.372020e-03,1.367739e-03,1.363622e-03,1.354566e-03,1.349810e-03,1.344909e-03,1.334703e-03,1.329624e-03,1.323997e-03,1.312838e-03,1.307564e-03,1.301269e-03,1.289331e-03,1.283972e-03,1.277064e-03,1.264503e-03,1.259148e-03,1.251683e-03,1.238635e-03,1.233359e-03,1.225390e-03,1.211975e-03,1.206839e-03,1.198417e-03,1.184741e-03,1.179793e-03,1.170970e-03,1.157124e-03,1.152404e-03,1.143226e-03,1.129292e-03,1.124829e-03,1.115342e-03,1.101390e-03,1.097207e-03,1.087453e-03,1.073545e-03,1.069658e-03,1.059678e-03,1.045866e-03,1.042285e-03,1.032119e-03,1.018448e-03,1.015179e-03,1.004862e-03,9.913706e-04,9.884160e-04,9.779819e-04,9.647034e-04,9.620615e-04,9.515419e-04,9.385039e-04,9.361706e-04,9.255949e-04,9.128204e-04,9.107892e-04,9.001849e-04,8.876927e-04,8.859555e-04,8.753477e-04,8.631532e-04,8.617002e-04,8.511123e-04,8.392276e-04,8.380479e-04,8.275015e-04,8.159359e-04,8.150176e-04,8.045325e-04,7.932927e-04,7.926236e-04,7.822177e-04,7.713084e-04,7.708755e-04,7.605654e-04,7.499893e-04,7.497794e-04,7.395801e-04,7.293381e-04,7.095513e-04,6.904164e-04,6.719286e-04,6.540811e-04,6.368658e-04,6.202729e-04,6.042917e-04,5.889105e-04,5.741167e-04,5.598974e-04,5.462388e-04,5.331270e-04,5.205478e-04,5.084865e-04,4.969287e-04,4.858597e-04,4.752649e-04,4.651297e-04,4.554397e-04,4.461806e-04,4.373384e-04,4.288992e-04,4.208492e-04,4.131752e-04,4.058641e-04,3.989029e-04,3.922791e-04,3.859805e-04,3.799952e-04,3.743116e-04,3.689183e-04,3.638044e-04,3.589591e-04,3.543721e-04,3.500334e-04,3.459331e-04,3.420619e-04,3.384105e-04,3.349701e-04,3.317322e-04,3.286883e-04,3.258305e-04,3.231511e-04,3.206424e-04,3.182973e-04,3.161088e-04,3.140701e-04,3.121747e-04,3.104163e-04
0.000000e+00,3.601600e-13,8.773385e-11,9.529033e-11,2.920176e-09,3.418522e-08,3.742426e-08,2.814019e-07,1.307410e-06,1.427807e-06,5.345705e-06,1.463165e-05,1.584585e-05,3.928081e-05,7.895134e-05,8.481889e-05,1.643593e-04,2.737409e-04,2.921368e-04,4.840993e-04,7.134036e-04,7.571526e-04,1.128356e-03,1.528073e-03,1.614141e-03,2.229599e-03,2.840337e-03,2.987884e-03,3.899737e-03,4.745257e-03,4.973149e-03,6.213156e-03,7.297404e-03,7.621756e-03,9.197945e-03,1.050564e-02,1.093783e-02,1.283484e-02,1.433457e-02,1.487996e-02,1.706206e-02,1.871080e-02,1.936821e-02,2.178402e-02,2.353205e-02,2.429396e-02,2.688172e-02,2.867729e-02,2.953051e-02,3.222338e-02,3.401659e-02,3.494342e-02,3.767410e-02,3.941988e-02,4.039937e-02,4.310392e-02,4.476396e-02,4.577329e-02,4.839399e-02,4.993782e-02,5.095357e-02,5.344072e-02,5.484604e-02,5.584531e-02,5.815835e-02,5.941071e-02,6.037204e-02,6.247977e-02,6.357189e-02,6.447601e-02,6.635637e-02,6.728720e-02,6.811747e-02,6.975691e-02,7.053051e-02,7.127321e-02,7.266576e-02,7.329023e-02,7.393468e-02,7.508084e-02,7.556724e-02,7.610573e-02,7.701141e-02,7.737279e-02,7.780045e-02,7.847584e-02,7.872642e-02,7.904097e-02,7.949952e-02,7.965398e-02,7.985545e-02,8.011291e-02,8.018582e-02,8.027624e-02,8.034987e-02,8.035529e-02,8.033834e-02,8.024619e-02,8.019732e-02,8.007803e-02,7.983837e-02,7.974733e-02,7.953177e-02,7.916264e-02,7.904037e-02,7.873537e-02,7.825423e-02,7.811042e-02,7.772337e-02,7.714682e-02,7.698991e-02,7.652849e-02,7.587212e-02,7.570934e-02,7.518134e-02,7.445959e-02,7.429698e-02,7.371019e-02,7.293629e-02,7.277884e-02,7.214089e-02,7.132682e-02,7.117852e-02,7.049679e-02,6.965335e-02,6.951731e-02,6.879888e-02,6.793566e-02,6.781423e-02,6.706579e-02,6.619126e-02,6.608610e-02,6.531393e-02,6.443552e-02,6.434769e-02,6.355765e-02,6.268180e-02,6.261186e-02,6.180936e-02,6.094161e-02,6.088972e-02,6.007972e-02,5.922477e-02,5.919073e-02,5.837776e-02,5.753959e-02,5.752292e-02,5.671108e-02,5.589297e-02,5.430638e-02,5.276757e-02,5.128006e-02,4.984650e-02,4.846883e-02,4.714833e-02,4.588575e-02,4.468133e-02,4.353491e-02,4.244596e-02,4.141366e-02,4.043692e-02,3.951443e-02,3.864471e-02,3.782614e-02,3.705698e-02,3.633540e-02,3.565951e-02,3.502736e-02,3.443699e-02,3.388641e-02,3.337365e-02,3.289672e-02,3.245368e-02,3.204260e-02,3.166161e-02,3.130888e-02,3.098264e-02,3.068116e-02,3.040279e-02,3.014592e-02,2.990902e-02,2.969061e-02,2.948929e-02,2.930373e-02,2.913267e-02,2.897491e-02,2.882930e-02,2.869480e-02,2.857042e-02,2.845524e-02,2.834837e-02,2.824902e-02,2.815641e-02,2.806984e-02,2.798868e-02,2.791232e-02,2.784022e-02,2.777188e-02
0.000000e+00,1.911664e-11,2.962642e-09,3.187725e-09,6.149315e-08,4.795542e-07,5.167578e-07,2.694784e-06,9.287129e-06,9.962748e-06,2.809924e-05,6.009660e-05,6.371782e-05,1.211792e-04,1.915222e-04,2.003070e-04,2.965566e-04,3.899406e-04,4.030121e-04,5.126031e-04,6.048921e-04,6.195330e-04,7.197866e-04,7.970849e-04,8.110203e-04,8.921836e-04,9.510825e-04,9.631031e-04,1.024136e-03,1.066270e-03,1.075923e-03,1.119232e-03,1.147641e-03,1.154860e-03,1.183586e-03,1.201256e-03,1.206145e-03,1.223214e-03,1.232677e-03,1.235411e-03,1.243295e-03,1.246586e-03,1.247370e-03,1.248089e-03,1.246815e-03,1.245858e-03,1.241043e-03,1.236460e-03,1.233969e-03,1.224928e-03,1.218012e-03,1.214183e-03,1.201966e-03,1.193473e-03,1.188487e-03,1.173932e-03,1.164442e-03,1.158468e-03,1.142243e-03,1.132199e-03,1.125390e-03,1.108026e-03,1.097763e-03,1.090256e-03,1.072175e-03,1.061943e-03,1.053863e-03,1.035395e-03,1.025380e-03,1.016835e-03,9.982414e-04,9.885759e-04,9.796635e-04,9.611460e-04,9.519223e-04,9.427280e-04,9.244432e-04,9.157228e-04,9.063215e-04,8.883883e-04,8.802086e-04,8.706659e-04,8.531732e-04,8.455535e-04,8.359264e-04,8.189393e-04,8.118849e-04,8.022231e-04,7.857873e-04,7.792933e-04,7.696395e-04,7.537858e-04,7.478394e-04,7.382306e-04,7.229774e-04,7.175605e-04,7.080282e-04,6.933846e-04,6.884754e-04,6.790466e-04,6.650142e-04,6.605881e-04,6.512860e-04,6.378606e-04,6.338916e-04,6.247355e-04,6.119083e-04,6.083696e-04,5.993758e-04,5.871346e-04,5.839991e-04,5.751810e-04,5.635111e-04,5.607522e-04,5.521209e-04,5.410059e-04,5.385971e-04,5.301617e-04,5.195837e-04,5.174996e-04,5.092673e-04,4.992077e-04,4.974239e-04,4.894001e-04,4.798397e-04,4.783327e-04,4.705217e-04,4.614412e-04,4.601886e-04,4.525933e-04,4.439732e-04,4.429539e-04,4.355762e-04,4.273974e-04,4.265914e-04,4.194322e-04,4.116758e-04,4.110641e-04,4.041236e-04,3.967710e-04,3.963361e-04,3.896136e-04,3.826468e-04,3.823721e-04,3.758664e-04,3.692680e-04,3.691379e-04,3.628474e-04,3.566003e-04,3.447273e-04,3.334881e-04,3.228528e-04,3.127930e-04,3.032812e-04,2.942912e-04,2.857977e-04,2.777768e-04,2.702054e-04,2.630614e-04,2.563240e-04,2.499730e-04,2.439893e-04,2.383547e-04,2.330517e-04,2.280638e-04,2.233752e-04,2.189707e-04,2.148361e-04,2.109577e-04,2.073224e-04,2.039179e-04,2.007322e-04,1.977543e-04,1.949734e-04,1.923793e-04,1.899622e-04,1.877130e-04,1.856229e-04,1.836835e-04,1.818869e-04,1.802254e-04,1.786919e-04,1.772795e-04,1.759817e-04,1.747922e-04,1.737052e-04,1.727151e-04,1.718165e-04,1.710043e-04,1.702736e-04,1.696200e-04,1.690389e-04,1.685263e-04,1.680783e-04,1.676909e-04,1.673608e-04,1.670844e-04,1.668585e-04
0.000000e+00,5.231804e-13,1.072226e-10,1.159608e-10,2.803125e-09,2.607263e-08,2.829049e-08,1.752014e-07,7.152612e-07,7.759810e-07,2.663660e-06,6.923772e-06,7.470912e-06,1.780378e-05,3.470222e-05,3.715603e-05,6.954577e-05,1.120243e-04,1.189775e-04,1.888831e-04,2.672468e-04,2.816707e-04,3.984521e-04,5.149355e-04,5.389615e-04,7.016392e-04,8.497448e-04,8.838331e-04,1.082068e-03,1.249527e-03,1.292342e-03,1.510408e-03,1.683170e-03,1.732019e-03,1.953138e-03,2.118577e-03,2.170083e-03,2.379630e-03,2.528320e-03,2.579072e-03,2.766234e-03,2.892443e-03,2.939469e-03,3.097621e-03,3.198956e-03,3.239979e-03,3.366226e-03,3.442869e-03,3.476380e-03,3.570734e-03,3.624594e-03,3.649801e-03,3.714265e-03,3.748226e-03,3.764931e-03,3.802690e-03,3.820029e-03,3.828482e-03,3.843269e-03,3.847258e-03,3.848010e-03,3.843648e-03,3.837308e-03,3.831093e-03,3.811215e-03,3.797193e-03,3.784835e-03,3.752721e-03,3.733249e-03,3.715586e-03,3.674089e-03,3.650989e-03,3.628833e-03,3.580368e-03,3.555090e-03,3.529194e-03,3.475764e-03,3.449436e-03,3.420483e-03,3.363718e-03,3.337199e-03,3.305794e-03,3.247004e-03,3.220929e-03,3.187605e-03,3.127828e-03,3.102658e-03,3.067874e-03,3.007923e-03,2.983979e-03,2.948131e-03,2.888636e-03,2.866131e-03,2.829558e-03,2.771000e-03,2.750064e-03,2.713052e-03,2.655793e-03,2.636493e-03,2.599288e-03,2.543593e-03,2.525950e-03,2.488757e-03,2.434819e-03,2.418817e-03,2.381810e-03,2.329758e-03,2.315358e-03,2.278683e-03,2.228602e-03,2.215745e-03,2.179525e-03,2.131460e-03,2.120075e-03,2.084411e-03,2.038381e-03,2.028390e-03,1.993367e-03,1.949366e-03,1.940687e-03,1.906372e-03,1.864379e-03,1.856926e-03,1.823377e-03,1.783356e-03,1.777043e-03,1.744304e-03,1.706209e-03,1.700951e-03,1.669058e-03,1.632837e-03,1.628552e-03,1.597530e-03,1.563124e-03,1.559733e-03,1.529603e-03,1.496950e-03,1.494375e-03,1.465150e-03,1.434187e-03,1.432356e-03,1.404044e-03,1.374705e-03,1.373548e-03,1.346153e-03,1.318372e-03,1.317824e-03,1.291346e-03,1.265057e-03,1.215121e-03,1.167892e-03,1.123248e-03,1.081070e-03,1.041245e-03,1.003661e-03,9.682102e-04,9.347901e-04,9.033010e-04,8.736474e-04,8.457380e-04,8.194853e-04,7.948056e-04,7.716191e-04,7.498493e-04,7.294236e-04,7.102724e-04,6.923296e-04,6.755324e-04,6.598206e-04,6.451373e-04,6.314282e-04,6.186416e-04,6.067284e-04,5.956420e-04,5.853380e-04,5.757743e-04,5.669108e-04,5.587095e-04,5.511341e-04,5.441505e-04,5.377259e-04,5.318294e-04,5.264316e-04,5.215046e-04,5.170218e-04,5.129581e-04,5.092897e-04,5.059936e-04,5.030486e-04,5.004340e-04,4.981305e-04,4.961197e-04,4.943840e-04,4.929069e-04,4.916726e-04,4.906663e-04,4.898736e-04,4.892812e-04
0.000000e+00,2.289704e-11,3.650902e-09,3.932201e-09,8.065926e-08,6.645574e-07,7.174055e-07,3.849684e-06,1.322357e-05,1.416847e-05,3.853739e-05,7.798868e-05,8.223375e-05,1.451714e-04,2.136715e-04,2.217024e-04,3.034153e-04,3.731841e-04,3.822810e-04,4.525233e-04,5.036146e-04,5.110526e-04,5.570237e-04,5.863836e-04,5.910879e-04,6.146927e-04,6.274588e-04,6.295709e-04,6.374273e-04,6.396877e-04,6.397841e-04,6.379206e-04,6.342117e-04,6.328728e-04,6.254594e-04,6.186410e-04,6.163177e-04,6.059384e-04,5.976855e-04,5.946973e-04,5.828804e-04,5.741396e-04,5.707044e-04,5.583334e-04,5.496255e-04,5.458918e-04,5.334743e-04,5.250816e-04,5.211527e-04,5.089802e-04,5.010476e-04,4.969962e-04,4.852292e-04,4.778218e-04,4.736993e-04,4.624201e-04,4.555569e-04,4.514003e-04,4.406451e-04,4.343202e-04,4.301572e-04,4.199367e-04,4.141310e-04,4.099826e-04,4.002923e-04,3.949799e-04,3.908628e-04,3.816900e-04,3.768419e-04,3.727695e-04,3.640966e-04,3.596828e-04,3.556660e-04,3.474725e-04,3.434630e-04,3.395108e-04,3.317754e-04,3.281412e-04,3.242609e-04,3.169619e-04,3.136752e-04,3.098728e-04,3.029885e-04,3.000228e-04,2.963035e-04,2.898126e-04,2.871430e-04,2.835106e-04,2.773926e-04,2.749958e-04,2.714536e-04,2.656887e-04,2.635427e-04,2.600931e-04,2.546622e-04,2.527466e-04,2.493914e-04,2.442763e-04,2.425718e-04,2.393124e-04,2.344955e-04,2.329845e-04,2.298215e-04,2.252864e-04,2.239524e-04,2.208862e-04,2.166170e-04,2.154446e-04,2.124752e-04,2.084570e-04,2.074321e-04,2.045589e-04,2.007775e-04,1.998869e-04,1.971093e-04,1.935511e-04,1.927828e-04,1.900998e-04,1.867522e-04,1.860948e-04,1.835053e-04,1.803561e-04,1.797994e-04,1.773018e-04,1.743397e-04,1.738741e-04,1.714670e-04,1.686811e-04,1.682979e-04,1.659795e-04,1.633597e-04,1.630507e-04,1.608193e-04,1.583559e-04,1.581137e-04,1.559673e-04,1.536512e-04,1.534690e-04,1.514056e-04,1.492283e-04,1.490998e-04,1.471173e-04,1.450706e-04,1.449901e-04,1.430864e-04,1.411628e-04,1.411250e-04,1.392980e-04,1.374903e-04,1.340726e-04,1.308593e-04,1.278386e-04,1.249993e-04,1.223307e-04,1.198230e-04,1.174667e-04,1.152530e-04,1.131735e-04,1.112205e-04,1.093865e-04,1.076645e-04,1.060480e-04,1.045308e-04,1.031071e-04,1.017714e-04,1.005184e-04,9.934346e-05,9.824185e-05,9.720928e-05,9.624170e-05,9.533527e-05,9.448639e-05,9.369166e-05,9.294789e-05,9.225206e-05,9.160134e-05,9.099306e-05,9.042470e-05,8.989390e-05,8.939842e-05,8.893617e-05,8.850517e-05,8.810355e-05,8.772957e-05,8.738157e-05,8.705799e-05,8.675738e-05,8.647835e-05,8.621960e-05,8.597991e-05,8.575813e-05,8.555317e-05,8.536402e-05,8.518970e-05,8.502931e-05,8.488201e-05,8.474698e-05,8.462346e-05
0.000000e+00,3.476499e-10,3.711338e-09,3.858553e-09,2.065080e-08,6.889275e-08,7.190237e-08,1.767785e-07,3.187030e-07,3.286178e-07,4.979766e-07,6.498584e-07,6.626140e-07,8.147626e-07,9.397446e-07,9.529368e-07,1.077463e-06,1.176382e-06,1.189133e-06,1.288837e-06,1.365684e-06,1.377456e-06,1.455835e-06,1.514344e-06,1.524770e-06,1.585012e-06,1.628415e-06,1.637260e-06,1.682168e-06,1.713219e-06,1.720343e-06,1.752351e-06,1.773376e-06,1.778718e-06,1.799932e-06,1.812888e-06,1.816446e-06,1.828676e-06,1.835197e-06,1.837008e-06,1.841799e-06,1.843241e-06,1.843377e-06,1.842047e-06,1.839538e-06,1.838091e-06,1.831765e-06,1.826232e-06,1.823307e-06,1.812938e-06,1.805145e-06,1.800858e-06,1.787255e-06,1.777828e-06,1.772297e-06,1.756142e-06,1.745588e-06,1.738933e-06,1.720803e-06,1.709533e-06,1.701872e-06,1.682251e-06,1.670595e-06,1.662042e-06,1.641337e-06,1.629557e-06,1.620221e-06,1.598772e-06,1.587076e-06,1.577060e-06,1.555150e-06,1.543698e-06,1.533099e-06,1.510962e-06,1.499876e-06,1.488785e-06,1.466614e-06,1.455985e-06,1.444487e-06,1.422439e-06,1.412333e-06,1.400503e-06,1.378707e-06,1.369169e-06,1.357078e-06,1.335638e-06,1.326694e-06,1.314407e-06,1.293403e-06,1.285069e-06,1.272643e-06,1.252141e-06,1.244420e-06,1.231908e-06,1.211955e-06,1.204842e-06,1.192291e-06,1.172924e-06,1.166408e-06,1.153860e-06,1.135104e-06,1.129168e-06,1.116660e-06,1.098532e-06,1.093155e-06,1.080722e-06,1.063231e-06,1.058391e-06,1.046060e-06,1.029210e-06,1.024881e-06,1.012679e-06,9.964679e-07,9.926244e-07,9.805738e-07,9.649954e-07,9.616103e-07,9.497304e-07,9.347760e-07,9.318222e-07,9.201295e-07,9.057877e-07,9.032383e-07,8.917471e-07,8.780041e-07,8.758325e-07,8.645548e-07,8.513954e-07,8.495759e-07,8.385216e-07,8.259293e-07,8.244369e-07,8.136141e-07,8.015716e-07,8.003822e-07,7.897974e-07,7.782868e-07,7.773773e-07,7.670355e-07,7.560386e-07,7.553868e-07,7.452918e-07,7.347903e-07,7.343752e-07,7.245295e-07,7.145049e-07,7.143068e-07,7.047118e-07,6.951458e-07,6.768571e-07,6.594060e-07,6.427586e-07,6.268816e-07,6.117428e-07,5.973106e-07,5.835547e-07,5.704457e-07,5.579550e-07,5.460552e-07,5.347201e-07,5.239241e-07,5.136428e-07,5.038529e-07,4.945319e-07,4.856583e-07,4.772114e-07,4.691716e-07,4.615199e-07,4.542382e-07,4.473094e-07,4.407170e-07,4.344451e-07,4.284788e-07,4.228036e-07,4.174060e-07,4.122728e-07,4.073915e-07,4.027503e-07,3.983377e-07,3.941431e-07,3.901559e-07,3.863665e-07,3.827654e-07,3.793437e-07,3.760929e-07,3.730049e-07,3.700719e-07,3.672865e-07,3.646418e-07,3.621310e-07,3.597477e-07,3.574859e-07,3.553398e-07,3.533038e-07,3.513728e-07,3.495416e-07,3.478056e-07,3.461601e-07
0.000000e+00,1.221912e-11,2.935703e-09,3.186331e-09,9.328894e-08,1.051044e-06,1.149423e-06,8.583267e-06,4.101161e-05,4.491334e-05,1.784058e-04,5.223466e-04,5.691713e-04,1.524633e-03,3.282079e-03,3.552426e-03,7.401281e-03,1.309299e-02,1.408465e-02,2.488542e-02,3.863442e-02,4.134271e-02,6.522285e-02,9.244246e-02,9.847812e-02,1.431964e-01,1.899386e-01,2.015456e-01,2.757154e-01,3.478923e-01,3.678600e-01,4.800433e-01,5.827005e-01,6.141885e-01,7.720342e-01,9.087897e-01,9.550964e-01,1.164639e+00,1.337341e+00,1.401650e+00,1.666828e+00,1.875433e+00,1.960571e+00,2.282978e+00,2.525623e+00,2.633850e+00,3.012700e+00,3.285923e+00,3.418770e+00,3.851043e+00,4.150100e+00,4.308270e+00,4.788988e+00,5.108219e+00,5.291545e+00,5.814130e+00,6.147341e+00,6.354794e+00,6.911478e+00,7.252292e+00,7.482042e+00,8.064282e+00,8.406450e+00,8.655960e+00,9.254824e+00,9.592491e+00,9.858634e+00,1.046517e+01,1.079307e+01,1.107227e+01,1.167781e+01,1.199140e+01,1.227976e+01,1.287617e+01,1.317171e+01,1.346517e+01,1.404501e+01,1.431959e+01,1.461404e+01,1.517073e+01,1.542227e+01,1.571367e+01,1.624159e+01,1.646880e+01,1.675330e+01,1.724777e+01,1.745008e+01,1.772406e+01,1.818138e+01,1.835883e+01,1.861902e+01,1.903641e+01,1.918961e+01,1.943309e+01,1.980867e+01,1.993867e+01,2.016290e+01,2.049561e+01,2.060380e+01,2.080670e+01,2.109617e+01,2.118424e+01,2.136410e+01,2.161063e+01,2.168045e+01,2.183597e+01,2.204040e+01,2.209394e+01,2.222425e+01,2.238788e+01,2.242716e+01,2.253171e+01,2.265621e+01,2.268327e+01,2.276187e+01,2.284922e+01,2.286603e+01,2.291879e+01,2.297116e+01,2.297962e+01,2.300692e+01,2.302666e+01,2.302856e+01,2.303100e+01,2.302057e+01,2.301757e+01,2.299597e+01,2.295783e+01,2.295145e+01,2.290679e+01,2.284345e+01,2.283506e+01,2.276844e+01,2.268237e+01,2.267318e+01,2.258583e+01,2.247942e+01,2.247050e+01,2.236371e+01,2.223928e+01,2.223155e+01,2.210668e+01,2.196644e+01,2.196068e+01,2.181910e+01,2.166517e+01,2.166203e+01,2.150514e+01,2.133949e+01,2.099671e+01,2.063709e+01,2.026378e+01,1.987968e+01,1.948745e+01,1.908950e+01,1.868802e+01,1.828499e+01,1.788218e+01,1.748118e+01,1.708338e+01,1.669002e+01,1.630219e+01,1.592085e+01,1.554679e+01,1.518073e+01,1.482325e+01,1.447486e+01,1.413596e+01,1.380689e+01,1.348789e+01,1.317916e+01,1.288085e+01,1.259303e+01,1.231575e+01,1.204899e+01,1.179273e+01,1.154689e+01,1.131137e+01,1.108605e+01,1.087078e+01,1.066539e+01,1.046970e+01,1.028351e+01,1.010661e+01,9.938776e+00,9.779779e+00,9.629378e+00,9.487325e+00,9.353370e+00,9.227257e+00,9.108726e+00,8.997515e+00,8.893361e+00,8.796000e+00,8.705169e+00,8.620606e+00,8.542048e+00,8.469238e+00
0.000000e+00,5.742481e-13,1.220867e-10,1.321173e-10,3.259651e-09,3.034730e-08,3.291994e-08,2.016649e-07,8.136483e-07,8.821374e-07,3.003625e-06,7.792658e-06,8.409220e-06,2.012694e-05,3.956480e-05,4.241252e-05,8.051401e-05,1.317158e-04,1.402137e-04,2.272591e-04,3.279397e-04,3.467967e-04,5.028963e-04,6.642655e-04,6.982156e-04,9.338214e-04,1.156740e-03,1.209158e-03,1.522144e-03,1.797381e-03,1.869359e-03,2.246294e-03,2.557534e-03,2.647630e-03,3.067525e-03,3.395311e-03,3.499886e-03,3.938612e-03,4.263885e-03,4.377803e-03,4.811923e-03,5.118499e-03,5.235934e-03,5.645374e-03,5.921238e-03,6.036417e-03,6.405891e-03,6.643500e-03,6.751273e-03,7.070667e-03,7.266571e-03,7.362762e-03,7.626785e-03,7.780873e-03,7.862442e-03,8.069858e-03,8.184472e-03,8.249516e-03,8.402197e-03,8.481274e-03,8.528924e-03,8.630906e-03,8.679246e-03,8.709495e-03,8.766138e-03,8.788834e-03,8.802346e-03,8.819653e-03,8.821683e-03,8.819598e-03,8.803697e-03,8.789658e-03,8.773425e-03,8.730206e-03,8.704169e-03,8.675398e-03,8.610288e-03,8.575733e-03,8.536084e-03,8.453917e-03,8.413738e-03,8.364835e-03,8.269808e-03,8.226345e-03,8.169725e-03,8.065399e-03,8.020497e-03,7.957569e-03,7.846907e-03,7.801987e-03,7.734019e-03,7.619447e-03,7.575573e-03,7.503682e-03,7.387154e-03,7.345093e-03,7.270251e-03,7.153312e-03,7.113600e-03,7.036641e-03,6.920503e-03,6.883490e-03,6.805130e-03,6.690724e-03,6.656617e-03,6.577459e-03,6.465486e-03,6.434383e-03,6.354933e-03,6.245908e-03,6.217824e-03,6.138502e-03,6.032791e-03,6.007681e-03,5.928838e-03,5.826690e-03,5.804465e-03,5.726393e-03,5.627973e-03,5.608517e-03,5.531453e-03,5.436853e-03,5.420029e-03,5.344174e-03,5.253424e-03,5.239083e-03,5.164601e-03,5.077696e-03,5.065681e-03,4.992698e-03,4.909596e-03,4.899750e-03,4.828370e-03,4.749003e-03,4.741168e-03,4.671474e-03,4.595758e-03,4.589779e-03,4.521835e-03,4.449676e-03,4.445402e-03,4.379257e-03,4.310551e-03,4.307838e-03,4.243530e-03,4.178165e-03,4.176874e-03,4.114429e-03,4.052290e-03,3.933859e-03,3.821350e-03,3.714535e-03,3.613187e-03,3.517083e-03,3.426002e-03,3.339729e-03,3.258055e-03,3.180776e-03,3.107693e-03,3.038615e-03,2.973357e-03,2.911739e-03,2.853590e-03,2.798743e-03,2.747039e-03,2.698324e-03,2.652452e-03,2.609280e-03,2.568674e-03,2.530504e-03,2.494646e-03,2.460981e-03,2.429396e-03,2.399781e-03,2.372033e-03,2.346054e-03,2.321748e-03,2.299026e-03,2.277800e-03,2.257990e-03,2.239516e-03,2.222305e-03,2.206284e-03,2.191387e-03,2.177549e-03,2.164709e-03,2.152808e-03,2.141790e-03,2.131604e-03,2.122198e-03,2.113525e-03,2.105539e-03,2.098199e-03,2.091461e-03,2.085289e-03,2.079645e-03,2.074494e-03,2.069803e-03
0.000000e+00,1.171896e-13,2.572016e-11,2.786508e-11,7.450505e-10,7.687719e-09,8.376214e-09,5.695504e-08,2.489475e-07,2.710877e-07,9.801403e-07,2.634545e-06,2.849543e-06,6.959298e-06,1.378232e-05,1.477947e-05,2.804443e-05,4.566127e-05,4.856470e-05,7.802392e-05,1.115700e-04,1.178000e-04,1.688342e-04,2.207335e-04,2.315566e-04,3.058681e-04,3.750440e-04,3.911674e-04,4.864146e-04,5.688480e-04,5.902164e-04,7.009220e-04,7.909035e-04,8.167210e-04,9.357350e-04,1.027186e-03,1.056099e-03,1.176030e-03,1.263523e-03,1.293878e-03,1.408167e-03,1.487526e-03,1.517619e-03,1.621164e-03,1.689665e-03,1.717948e-03,1.807323e-03,1.863628e-03,1.888838e-03,1.962220e-03,2.006137e-03,2.027358e-03,2.084281e-03,2.116465e-03,2.133137e-03,2.174172e-03,2.195824e-03,2.207708e-03,2.234130e-03,2.246745e-03,2.253865e-03,2.267370e-03,2.272534e-03,2.275117e-03,2.277584e-03,2.276837e-03,2.275246e-03,2.268568e-03,2.263315e-03,2.257997e-03,2.243962e-03,2.235430e-03,2.226866e-03,2.207090e-03,2.196307e-03,2.184984e-03,2.160874e-03,2.148678e-03,2.135058e-03,2.107808e-03,2.094860e-03,2.079370e-03,2.049965e-03,2.036774e-03,2.019794e-03,1.989034e-03,1.975978e-03,1.957843e-03,1.926360e-03,1.913713e-03,1.894709e-03,1.862997e-03,1.850950e-03,1.831318e-03,1.799754e-03,1.788433e-03,1.768376e-03,1.737243e-03,1.726723e-03,1.706408e-03,1.675914e-03,1.666234e-03,1.645798e-03,1.616092e-03,1.607263e-03,1.586819e-03,1.558002e-03,1.550017e-03,1.529657e-03,1.501796e-03,1.494633e-03,1.474430e-03,1.447565e-03,1.441193e-03,1.421208e-03,1.395360e-03,1.389742e-03,1.370023e-03,1.345197e-03,1.340293e-03,1.320880e-03,1.297070e-03,1.292838e-03,1.273762e-03,1.250954e-03,1.247350e-03,1.228638e-03,1.206812e-03,1.203795e-03,1.185467e-03,1.164599e-03,1.162126e-03,1.144199e-03,1.124262e-03,1.122294e-03,1.104781e-03,1.085748e-03,1.084244e-03,1.067155e-03,1.048996e-03,1.047920e-03,1.031263e-03,1.013948e-03,1.013264e-03,9.970442e-04,9.805437e-04,9.802178e-04,9.644391e-04,9.487227e-04,9.187211e-04,8.901558e-04,8.629712e-04,8.371127e-04,8.125269e-04,7.891620e-04,7.669677e-04,7.458950e-04,7.258967e-04,7.069271e-04,6.889420e-04,6.718989e-04,6.557571e-04,6.404770e-04,6.260203e-04,6.123506e-04,5.994324e-04,5.872319e-04,5.757167e-04,5.648555e-04,5.546184e-04,5.449768e-04,5.359029e-04,5.273704e-04,5.193538e-04,5.118289e-04,5.047723e-04,4.981616e-04,4.919755e-04,4.861936e-04,4.807961e-04,4.757642e-04,4.710801e-04,4.667263e-04,4.626864e-04,4.589447e-04,4.554859e-04,4.522957e-04,4.493603e-04,4.466663e-04,4.442011e-04,4.419527e-04,4.399094e-04,4.380602e-04,4.363944e-04,4.349020e-04,4.335734e-04,4.323992e-04,4.313707e-04
0.000000e+00,2.339150e-10,2.909576e-08,3.120350e-08,5.356698e-07,3.878644e-06,4.166118e-06,1.975569e-05,6.036668e-05,6.419612e-05,1.541804e-04,2.799714e-04,2.925974e-04,4.670325e-04,6.404756e-04,6.602015e-04,8.584870e-04,1.030748e-03,1.053889e-03,1.242558e-03,1.398208e-03,1.422937e-03,1.594545e-03,1.731892e-03,1.757355e-03,1.911520e-03,2.031642e-03,2.057267e-03,2.194853e-03,2.299226e-03,2.324547e-03,2.446624e-03,2.536734e-03,2.561360e-03,2.669027e-03,2.746293e-03,2.769895e-03,2.864226e-03,2.929975e-03,2.952278e-03,3.034303e-03,3.089764e-03,3.110542e-03,3.181234e-03,3.227540e-03,3.246607e-03,3.306884e-03,3.345071e-03,3.362279e-03,3.413001e-03,3.444016e-03,3.459251e-03,3.501223e-03,3.525927e-03,3.539105e-03,3.573078e-03,3.592255e-03,3.603317e-03,3.629991e-03,3.644353e-03,3.653264e-03,3.673292e-03,3.683482e-03,3.690227e-03,3.704216e-03,3.710815e-03,3.715398e-03,3.723911e-03,3.727443e-03,3.729884e-03,3.733443e-03,3.734380e-03,3.734709e-03,3.733799e-03,3.732564e-03,3.730826e-03,3.725896e-03,3.722865e-03,3.719114e-03,3.710579e-03,3.706091e-03,3.700388e-03,3.688632e-03,3.682987e-03,3.675400e-03,3.660778e-03,3.654241e-03,3.644846e-03,3.627685e-03,3.620493e-03,3.609368e-03,3.589969e-03,3.582328e-03,3.569557e-03,3.548198e-03,3.540289e-03,3.525956e-03,3.502893e-03,3.494875e-03,3.479067e-03,3.454534e-03,3.446544e-03,3.429349e-03,3.403563e-03,3.395718e-03,3.377226e-03,3.350384e-03,3.342784e-03,3.323083e-03,3.295366e-03,3.288097e-03,3.267275e-03,3.238849e-03,3.231981e-03,3.210125e-03,3.181141e-03,3.174733e-03,3.151930e-03,3.122525e-03,3.116624e-03,3.092958e-03,3.063258e-03,3.057900e-03,3.033454e-03,3.003573e-03,2.998786e-03,2.973640e-03,2.943681e-03,2.939485e-03,2.913718e-03,2.883773e-03,2.880182e-03,2.853869e-03,2.824024e-03,2.821043e-03,2.794258e-03,2.764588e-03,2.762219e-03,2.735031e-03,2.705604e-03,2.703843e-03,2.676322e-03,2.647199e-03,2.646037e-03,2.618248e-03,2.589483e-03,2.588909e-03,2.560914e-03,2.532554e-03,2.477057e-03,2.422492e-03,2.368923e-03,2.316408e-03,2.264994e-03,2.214723e-03,2.165628e-03,2.117738e-03,2.071075e-03,2.025658e-03,1.981497e-03,1.938602e-03,1.896978e-03,1.856625e-03,1.817542e-03,1.779722e-03,1.743159e-03,1.707842e-03,1.673759e-03,1.640896e-03,1.609238e-03,1.578767e-03,1.549465e-03,1.521312e-03,1.494287e-03,1.468368e-03,1.443535e-03,1.419762e-03,1.397028e-03,1.375308e-03,1.354577e-03,1.334812e-03,1.315986e-03,1.298077e-03,1.281058e-03,1.264905e-03,1.249592e-03,1.235095e-03,1.221389e-03,1.208449e-03,1.196251e-03,1.184771e-03,1.173986e-03,1.163870e-03,1.154401e-03,1.145556e-03,1.137312e-03,1.129647e-03,1.122539e-03
0.000000e+00,4.069404e-13,9.631055e-11,1.045090e-10,2.977739e-09,3.128874e-08,3.408742e-08,2.278102e-07,9.669416e-07,1.050869e-06,3.684242e-06,9.686664e-06,1.046075e-05,2.517228e-05,4.954021e-05,5.310699e-05,1.007937e-04,1.648783e-04,1.755219e-04,2.847430e-04,4.116219e-04,4.354573e-04,6.336667e-04,8.402620e-04,8.839453e-04,1.189153e-03,1.481175e-03,1.550295e-03,1.966517e-03,2.337453e-03,2.435210e-03,2.952203e-03,3.385502e-03,3.512018e-03,4.108148e-03,4.581064e-03,4.733362e-03,5.379992e-03,5.867682e-03,6.040209e-03,6.706262e-03,7.185223e-03,7.370680e-03,8.026451e-03,8.476874e-03,8.667143e-03,9.287002e-03,9.694014e-03,9.881009e-03,1.044491e-02,1.079887e-02,1.097522e-02,1.146920e-02,1.176532e-02,1.192483e-02,1.234075e-02,1.257834e-02,1.271622e-02,1.305104e-02,1.323252e-02,1.334549e-02,1.360027e-02,1.373025e-02,1.381641e-02,1.399525e-02,1.407968e-02,1.413835e-02,1.424746e-02,1.429289e-02,1.432444e-02,1.437124e-02,1.438431e-02,1.438987e-02,1.438234e-02,1.436940e-02,1.435067e-02,1.429683e-02,1.426368e-02,1.422274e-02,1.413025e-02,1.408202e-02,1.402115e-02,1.389713e-02,1.383825e-02,1.375979e-02,1.361064e-02,1.354483e-02,1.345110e-02,1.328249e-02,1.321277e-02,1.310602e-02,1.292283e-02,1.285168e-02,1.273397e-02,1.254040e-02,1.246973e-02,1.234299e-02,1.214256e-02,1.207386e-02,1.193984e-02,1.173548e-02,1.166985e-02,1.153011e-02,1.132425e-02,1.126247e-02,1.111840e-02,1.091300e-02,1.085563e-02,1.070846e-02,1.050511e-02,1.045248e-02,1.030329e-02,1.010326e-02,1.005555e-02,9.905276e-03,9.709554e-03,9.666818e-03,9.516285e-03,9.325637e-03,9.287835e-03,9.137753e-03,8.952758e-03,8.919773e-03,8.770756e-03,8.591838e-03,8.563502e-03,8.416077e-03,8.243534e-03,8.219637e-03,8.074257e-03,7.908284e-03,7.888590e-03,7.745641e-03,7.586348e-03,7.570603e-03,7.430414e-03,7.277842e-03,7.265781e-03,7.128628e-03,6.982764e-03,6.974119e-03,6.840235e-03,6.701022e-03,6.695522e-03,6.565102e-03,6.432449e-03,6.429829e-03,6.303032e-03,6.176819e-03,5.936228e-03,5.707763e-03,5.491101e-03,5.285906e-03,5.091830e-03,4.908516e-03,4.735605e-03,4.572739e-03,4.419561e-03,4.275718e-03,4.140864e-03,4.014659e-03,3.896771e-03,3.786877e-03,3.684660e-03,3.589814e-03,3.502041e-03,3.421054e-03,3.346570e-03,3.278318e-03,3.216034e-03,3.159461e-03,3.108351e-03,3.062461e-03,3.021556e-03,2.985408e-03,2.953791e-03,2.926490e-03,2.903292e-03,2.883989e-03,2.868378e-03,2.856261e-03,2.847444e-03,2.841737e-03,2.838953e-03,2.838911e-03,2.841431e-03,2.846338e-03,2.853461e-03,2.862631e-03,2.873685e-03,2.886462e-03,2.900804e-03,2.916560e-03,2.933579e-03,2.951718e-03,2.970837e-03,2.990799e-03,3.011472e-03
0.000000e+00,1.454942e-11,2.560394e-09,2.764179e-09,6.415109e-08,5.880517e-07,6.373151e-07,3.723432e-06,1.360816e-05,1.463282e-05,4.211799e-05,8.974080e-05,9.506177e-05,1.781949e-04,2.780354e-04,2.904340e-04,4.261905e-04,5.590728e-04,5.778547e-04,7.379063e-04,8.774524e-04,9.000991e-04,1.059832e-03,1.189821e-03,1.214032e-03,1.360836e-03,1.474975e-03,1.499244e-03,1.628832e-03,1.726102e-03,1.749538e-03,1.861519e-03,1.942982e-03,1.965051e-03,2.060482e-03,2.127819e-03,2.148183e-03,2.228541e-03,2.283503e-03,2.301937e-03,2.368744e-03,2.412968e-03,2.429323e-03,2.484020e-03,2.518987e-03,2.533168e-03,2.577083e-03,2.604111e-03,2.616068e-03,2.650408e-03,2.670662e-03,2.680378e-03,2.706237e-03,2.720743e-03,2.728231e-03,2.746595e-03,2.756256e-03,2.761552e-03,2.773311e-03,2.778915e-03,2.782073e-03,2.788027e-03,2.790266e-03,2.791355e-03,2.792225e-03,2.791699e-03,2.790799e-03,2.787232e-03,2.784466e-03,2.781666e-03,2.774241e-03,2.769688e-03,2.765085e-03,2.754322e-03,2.748375e-03,2.742069e-03,2.728435e-03,2.721431e-03,2.713524e-03,2.697435e-03,2.689664e-03,2.680261e-03,2.662091e-03,2.653801e-03,2.643006e-03,2.623086e-03,2.614488e-03,2.602405e-03,2.581032e-03,2.572304e-03,2.559033e-03,2.536472e-03,2.527763e-03,2.513406e-03,2.489890e-03,2.481325e-03,2.465977e-03,2.441716e-03,2.433396e-03,2.417152e-03,2.392330e-03,2.384339e-03,2.367289e-03,2.342069e-03,2.334473e-03,2.316704e-03,2.291229e-03,2.284081e-03,2.265676e-03,2.240073e-03,2.233412e-03,2.214450e-03,2.188830e-03,2.182685e-03,2.163240e-03,2.137701e-03,2.132092e-03,2.112235e-03,2.086861e-03,2.081799e-03,2.061598e-03,2.036462e-03,2.031952e-03,2.011469e-03,1.986635e-03,1.982677e-03,1.961972e-03,1.937493e-03,1.934082e-03,1.913210e-03,1.889133e-03,1.886258e-03,1.865272e-03,1.841635e-03,1.839284e-03,1.818232e-03,1.795069e-03,1.793226e-03,1.772153e-03,1.749490e-03,1.748138e-03,1.727085e-03,1.704944e-03,1.704064e-03,1.683071e-03,1.661470e-03,1.661041e-03,1.640143e-03,1.619094e-03,1.578246e-03,1.538509e-03,1.499893e-03,1.462402e-03,1.426036e-03,1.390791e-03,1.356659e-03,1.323630e-03,1.291693e-03,1.260832e-03,1.231032e-03,1.202273e-03,1.174539e-03,1.147808e-03,1.122059e-03,1.097271e-03,1.073421e-03,1.050488e-03,1.028448e-03,1.007278e-03,9.869552e-04,9.674566e-04,9.487590e-04,9.308397e-04,9.136760e-04,8.972454e-04,8.815259e-04,8.664956e-04,8.521331e-04,8.384172e-04,8.253273e-04,8.128429e-04,8.009442e-04,7.896116e-04,7.788261e-04,7.685690e-04,7.588222e-04,7.495679e-04,7.407887e-04,7.324679e-04,7.245889e-04,7.171358e-04,7.100930e-04,7.034454e-04,6.971781e-04,6.912769e-04,6.857278e-04,6.805174e-04,6.756324e-04
0.000000e+00,7.275039e-13,1.694419e-10,1.837645e-10,5.135514e-09,5.479007e-08,5.977736e-08,4.211308e-07,1.914709e-06,2.090780e-06,7.954696e-06,2.257990e-05,2.454636e-05,6.409068e-05,1.354371e-04,1.463199e-04,2.996628e-04,5.229995e-04,5.616209e-04,9.783270e-04,1.501170e-03,1.603389e-03,2.496185e-03,3.499134e-03,3.719802e-03,5.338776e-03,7.006120e-03,7.416821e-03,1.001465e-02,1.250481e-02,1.318798e-02,1.698590e-02,2.040854e-02,2.144938e-02,2.661035e-02,3.101312e-02,3.249088e-02,3.910290e-02,4.446806e-02,4.644802e-02,5.451782e-02,6.076701e-02,6.329421e-02,7.275005e-02,7.975477e-02,8.284995e-02,9.355111e-02,1.011465e-01,1.048043e-01,1.165549e-01,1.245543e-01,1.287440e-01,1.413090e-01,1.495181e-01,1.541853e-01,1.673067e-01,1.755357e-01,1.806064e-01,1.940180e-01,2.020914e-01,2.074761e-01,2.209169e-01,2.286803e-01,2.342789e-01,2.475033e-01,2.548280e-01,2.605346e-01,2.733206e-01,2.801058e-01,2.858129e-01,2.979671e-01,3.041401e-01,3.097429e-01,3.211039e-01,3.266186e-01,3.320180e-01,3.424571e-01,3.472920e-01,3.523973e-01,3.618185e-01,3.659733e-01,3.707043e-01,3.790421e-01,3.825346e-01,3.868225e-01,3.940396e-01,3.969020e-01,4.006904e-01,4.067748e-01,4.090504e-01,4.122951e-01,4.172563e-01,4.189963e-01,4.216652e-01,4.255310e-01,4.267917e-01,4.288642e-01,4.316771e-01,4.325174e-01,4.339834e-01,4.357979e-01,4.362771e-01,4.371362e-01,4.380152e-01,4.381918e-01,4.384520e-01,4.384645e-01,4.383944e-01,4.380709e-01,4.372898e-01,4.370255e-01,4.361398e-01,4.346397e-01,4.342297e-01,4.328083e-01,4.306641e-01,4.301522e-01,4.282256e-01,4.255110e-01,4.249365e-01,4.225382e-01,4.193246e-01,4.187219e-01,4.158874e-01,4.122433e-01,4.116421e-01,4.084085e-01,4.043987e-01,4.038243e-01,4.002292e-01,3.959145e-01,3.953876e-01,3.914688e-01,3.869057e-01,3.864434e-01,3.822382e-01,3.774787e-01,3.770943e-01,3.726392e-01,3.677311e-01,3.674346e-01,3.627651e-01,3.577515e-01,3.575501e-01,3.527000e-01,3.476200e-01,3.475182e-01,3.425201e-01,3.374086e-01,3.272835e-01,3.171977e-01,3.071998e-01,2.973318e-01,2.876303e-01,2.781266e-01,2.688472e-01,2.598144e-01,2.510465e-01,2.425583e-01,2.343616e-01,2.264651e-01,2.188753e-01,2.115964e-01,2.046305e-01,1.979782e-01,1.916385e-01,1.856091e-01,1.798865e-01,1.744664e-01,1.693433e-01,1.645113e-01,1.599637e-01,1.556934e-01,1.516926e-01,1.479535e-01,1.444678e-01,1.412267e-01,1.382217e-01,1.354438e-01,1.328839e-01,1.305331e-01,1.283823e-01,1.264222e-01,1.246438e-01,1.230381e-01,1.215962e-01,1.203090e-01,1.191679e-01,1.181643e-01,1.172896e-01,1.165356e-01,1.158941e-01,1.153573e-01,1.149173e-01,1.145669e-01,1.142986e-01,1.141054e-01,1.139808e-01
0.000000e+00,5.847254e-09,8.967698e-08,9.370093e-08,5.856438e-07,2.005232e-06,2.091856e-06,4.976451e-06,8.561552e-06,8.801963e-06,1.278546e-05,1.625214e-05,1.654143e-05,1.998571e-05,2.281791e-05,2.311744e-05,2.595301e-05,2.821865e-05,2.851173e-05,3.081293e-05,3.260018e-05,3.287519e-05,3.471615e-05,3.610376e-05,3.635248e-05,3.779985e-05,3.885603e-05,3.907295e-05,4.018549e-05,4.096852e-05,4.115023e-05,4.197910e-05,4.253844e-05,4.268316e-05,4.327265e-05,4.364987e-05,4.375702e-05,4.414512e-05,4.437515e-05,4.444509e-05,4.466448e-05,4.477647e-05,4.481026e-05,4.488891e-05,4.490725e-05,4.490642e-05,4.486831e-05,4.481325e-05,4.477968e-05,4.464525e-05,4.453356e-05,4.446936e-05,4.425603e-05,4.410157e-05,4.400897e-05,4.373158e-05,4.354576e-05,4.342702e-05,4.309818e-05,4.289035e-05,4.274775e-05,4.237819e-05,4.215597e-05,4.199176e-05,4.159054e-05,4.136012e-05,4.117646e-05,4.075127e-05,4.051762e-05,4.031658e-05,3.987390e-05,3.964099e-05,3.942457e-05,3.896984e-05,3.874081e-05,3.851085e-05,3.804866e-05,3.782595e-05,3.758421e-05,3.711837e-05,3.690385e-05,3.665195e-05,3.618567e-05,3.598072e-05,3.572019e-05,3.525610e-05,3.506173e-05,3.479394e-05,3.433422e-05,3.415111e-05,3.387737e-05,3.342380e-05,3.325238e-05,3.297386e-05,3.252788e-05,3.236835e-05,3.208614e-05,3.164891e-05,3.150132e-05,3.121641e-05,3.078884e-05,3.065308e-05,3.036637e-05,2.994917e-05,2.982505e-05,2.953735e-05,2.913105e-05,2.901828e-05,2.873034e-05,2.833532e-05,2.823356e-05,2.794605e-05,2.756257e-05,2.747141e-05,2.718494e-05,2.681317e-05,2.673216e-05,2.644728e-05,2.608728e-05,2.601598e-05,2.573317e-05,2.538494e-05,2.532288e-05,2.504258e-05,2.470606e-05,2.465276e-05,2.437536e-05,2.405044e-05,2.400541e-05,2.373127e-05,2.341779e-05,2.338056e-05,2.310997e-05,2.280776e-05,2.277785e-05,2.251110e-05,2.221994e-05,2.219688e-05,2.193422e-05,2.165387e-05,2.163722e-05,2.137885e-05,2.110907e-05,2.109839e-05,2.084449e-05,2.058502e-05,2.057989e-05,2.033061e-05,2.008119e-05,1.960178e-05,1.914111e-05,1.869864e-05,1.827382e-05,1.786612e-05,1.747500e-05,1.709992e-05,1.674036e-05,1.639582e-05,1.606577e-05,1.574974e-05,1.544723e-05,1.515779e-05,1.488094e-05,1.461624e-05,1.436325e-05,1.412156e-05,1.389075e-05,1.367043e-05,1.346021e-05,1.325972e-05,1.306858e-05,1.288646e-05,1.271302e-05,1.254791e-05,1.239084e-05,1.224148e-05,1.209954e-05,1.196473e-05,1.183678e-05,1.171542e-05,1.160038e-05,1.149142e-05,1.138830e-05,1.129078e-05,1.119863e-05,1.111164e-05,1.102960e-05,1.095230e-05,1.087954e-05,1.081115e-05,1.074693e-05,1.068671e-05,1.063032e-05,1.057760e-05,1.052838e-05,1.048252e-05,1.043987e-05,1.040028e-05
0.000000e+00,6.828128e-13,1.553709e-10,1.683693e-10,4.470681e-09,4.522821e-08,4.924747e-08,3.336618e-07,1.491536e-06,1.627921e-06,6.199689e-06,1.781771e-05,1.939765e-05,5.175594e-05,1.119091e-04,1.212228e-04,2.550587e-04,4.558450e-04,4.910753e-04,8.780585e-04,1.376608e-03,1.475370e-03,2.351810e-03,3.359520e-03,3.583881e-03,5.253622e-03,7.009082e-03,7.446173e-03,1.024723e-02,1.298259e-02,1.374051e-02,1.800539e-02,2.191477e-02,2.311470e-02,2.913286e-02,3.434840e-02,3.611431e-02,4.410230e-02,5.068023e-02,5.312801e-02,6.321002e-02,7.112689e-02,7.435414e-02,8.655344e-02,9.571094e-02,9.978864e-02,1.140287e-01,1.242649e-01,1.292315e-01,1.453450e-01,1.564493e-01,1.623079e-01,1.800509e-01,1.917811e-01,1.984983e-01,2.175684e-01,2.296671e-01,2.371755e-01,2.572304e-01,2.694404e-01,2.776419e-01,2.983180e-01,3.103950e-01,3.191664e-01,3.400959e-01,3.518184e-01,3.610169e-01,3.818425e-01,3.930190e-01,4.024888e-01,4.228757e-01,4.333490e-01,4.429273e-01,4.625723e-01,4.722215e-01,4.817446e-01,5.003829e-01,5.091230e-01,5.184314e-01,5.358398e-01,5.436202e-01,5.525632e-01,5.685620e-01,5.753630e-01,5.838022e-01,5.982548e-01,6.040841e-01,6.118961e-01,6.247073e-01,6.295960e-01,6.366743e-01,6.477875e-01,6.517854e-01,6.580416e-01,6.674351e-01,6.706064e-01,6.759704e-01,6.836534e-01,6.860730e-01,6.904930e-01,6.965011e-01,6.982503e-01,7.016921e-01,7.060830e-01,7.072470e-01,7.096927e-01,7.125420e-01,7.132066e-01,7.146535e-01,7.160508e-01,7.163002e-01,7.167591e-01,7.168043e-01,7.167194e-01,7.162131e-01,7.150129e-01,7.146698e-01,7.132314e-01,7.108965e-01,7.103657e-01,7.080366e-01,7.046797e-01,7.040249e-01,7.008538e-01,6.965867e-01,6.958649e-01,6.919059e-01,6.868382e-01,6.860994e-01,6.814104e-01,6.756481e-01,6.749354e-01,6.695770e-01,6.632216e-01,6.625713e-01,6.566058e-01,6.497530e-01,6.491952e-01,6.426856e-01,6.354252e-01,6.349839e-01,6.279928e-01,6.204083e-01,6.201021e-01,6.126911e-01,6.048595e-01,6.047018e-01,5.969310e-01,5.889225e-01,5.728909e-01,5.567216e-01,5.405173e-01,5.243693e-01,5.083584e-01,4.925554e-01,4.770215e-01,4.618095e-01,4.469643e-01,4.325235e-01,4.185180e-01,4.049729e-01,3.919078e-01,3.793375e-01,3.672727e-01,3.557200e-01,3.446827e-01,3.341611e-01,3.241531e-01,3.146540e-01,3.056573e-01,2.971546e-01,2.891363e-01,2.815914e-01,2.745077e-01,2.678723e-01,2.616716e-01,2.558912e-01,2.505164e-01,2.455319e-01,2.409224e-01,2.366724e-01,2.327662e-01,2.291881e-01,2.259225e-01,2.229537e-01,2.202664e-01,2.178453e-01,2.156754e-01,2.137419e-01,2.120303e-01,2.105266e-01,2.092170e-01,2.080881e-01,2.071269e-01,2.063208e-01,2.056578e-01,2.051262e-01,2.047146e-01
0.000000e+00,6.246550e-13,1.507044e-10,1.635810e-10,4.773658e-09,5.280409e-08,5.768638e-08,4.181005e-07,1.941055e-06,2.122100e-06,8.223436e-06,2.368734e-05,2.578101e-05,6.826901e-05,1.459611e-04,1.578876e-04,3.273395e-04,5.773199e-04,6.208304e-04,1.094218e-03,1.695920e-03,1.814357e-03,2.857748e-03,4.045471e-03,4.308650e-03,6.256816e-03,8.290399e-03,8.795001e-03,1.201640e-02,1.514682e-02,1.601217e-02,2.086895e-02,2.530677e-02,2.666684e-02,3.347744e-02,3.936907e-02,4.136230e-02,5.037170e-02,5.778555e-02,6.054378e-02,7.190392e-02,8.082632e-02,8.446449e-02,9.822486e-02,1.085644e-01,1.131717e-01,1.292794e-01,1.408773e-01,1.465109e-01,1.648183e-01,1.774630e-01,1.841440e-01,2.044216e-01,2.178650e-01,2.255773e-01,2.475304e-01,2.615044e-01,2.701952e-01,2.934817e-01,3.077133e-01,3.172967e-01,3.415451e-01,3.557699e-01,3.661308e-01,3.909573e-01,4.049298e-01,4.159293e-01,4.409528e-01,4.544545e-01,4.659361e-01,4.907906e-01,5.036355e-01,5.154309e-01,5.397758e-01,5.518132e-01,5.637483e-01,5.872759e-01,5.983912e-01,6.102912e-01,6.327320e-01,6.428458e-01,6.545409e-01,6.756663e-01,6.847327e-01,6.960614e-01,7.156849e-01,7.236878e-01,7.345006e-01,7.524772e-01,7.594268e-01,7.695884e-01,7.858129e-01,7.917420e-01,8.011336e-01,8.155380e-01,8.204975e-01,8.290176e-01,8.415680e-01,8.456231e-01,8.531882e-01,8.638809e-01,8.671075e-01,8.736517e-01,8.825093e-01,8.849902e-01,8.904651e-01,8.975330e-01,8.993550e-01,9.037289e-01,9.090709e-01,9.103223e-01,9.135788e-01,9.172739e-01,9.180423e-01,9.201790e-01,9.223180e-01,9.226882e-01,9.237157e-01,9.243980e-01,9.244509e-01,9.243912e-01,9.237221e-01,9.235335e-01,9.224181e-01,9.205065e-01,9.201461e-01,9.180151e-01,9.149714e-01,9.145027e-01,9.114027e-01,9.073367e-01,9.068167e-01,9.028003e-01,8.978202e-01,8.972988e-01,8.924229e-01,8.866341e-01,8.861549e-01,8.804795e-01,8.739838e-01,8.735837e-01,8.671711e-01,8.600653e-01,8.597753e-01,8.526891e-01,8.450650e-01,8.449101e-01,8.372144e-01,8.291583e-01,8.126794e-01,7.956216e-01,7.781221e-01,7.603069e-01,7.422913e-01,7.241802e-01,7.060682e-01,6.880406e-01,6.701734e-01,6.525340e-01,6.351818e-01,6.181686e-01,6.015395e-01,5.853327e-01,5.695808e-01,5.543105e-01,5.395439e-01,5.252983e-01,5.115867e-01,4.984185e-01,4.857995e-01,4.737325e-01,4.622175e-01,4.512520e-01,4.408313e-01,4.309487e-01,4.215957e-01,4.127623e-01,4.044373e-01,3.966082e-01,3.892615e-01,3.823831e-01,3.759578e-01,3.699703e-01,3.644045e-01,3.592441e-01,3.544725e-01,3.500732e-01,3.460292e-01,3.423238e-01,3.389403e-01,3.358620e-01,3.330726e-01,3.305560e-01,3.282962e-01,3.262778e-01,3.244855e-01,3.229046e-01,3.215207e-01
0.000000e+00,6.669218e-13,1.531759e-10,1.660481e-10,4.523545e-09,4.744902e-08,5.175003e-08,3.652146e-07,1.689233e-06,1.847263e-06,7.226786e-06,2.109230e-05,2.298413e-05,6.175673e-05,1.335813e-04,1.446664e-04,3.030784e-04,5.384374e-04,5.795181e-04,1.027668e-03,1.598949e-03,1.711507e-03,2.703727e-03,3.833376e-03,4.083616e-03,5.934579e-03,7.863441e-03,8.341498e-03,1.138807e-02,1.433979e-02,1.515425e-02,1.971394e-02,2.386402e-02,2.513295e-02,3.146730e-02,3.692167e-02,3.876192e-02,4.704964e-02,5.383429e-02,5.635068e-02,6.667238e-02,7.473342e-02,7.800927e-02,9.034345e-02,9.955529e-02,1.036452e-01,1.178737e-01,1.280528e-01,1.329780e-01,1.488984e-01,1.598203e-01,1.655671e-01,1.829098e-01,1.943261e-01,2.008467e-01,2.192939e-01,2.309494e-01,2.381645e-01,2.573699e-01,2.690166e-01,2.768205e-01,2.964271e-01,3.078356e-01,3.161016e-01,3.357580e-01,3.467264e-01,3.553128e-01,3.746862e-01,3.850454e-01,3.938019e-01,4.125883e-01,4.222046e-01,4.309782e-01,4.489097e-01,4.576855e-01,4.663258e-01,4.831750e-01,4.910476e-01,4.994113e-01,5.149938e-01,5.219323e-01,5.298871e-01,5.440608e-01,5.500626e-01,5.574898e-01,5.701538e-01,5.752406e-01,5.820372e-01,5.931289e-01,5.973422e-01,6.034219e-01,6.129135e-01,6.163102e-01,6.216043e-01,6.294986e-01,6.321469e-01,6.366037e-01,6.429298e-01,6.449054e-01,6.484897e-01,6.532987e-01,6.546817e-01,6.573739e-01,6.607345e-01,6.616064e-01,6.634010e-01,6.653956e-01,6.658367e-01,6.667412e-01,6.674622e-01,6.675503e-01,6.675832e-01,6.671297e-01,6.669382e-01,6.661275e-01,6.646028e-01,6.641999e-01,6.625817e-01,6.600905e-01,6.595382e-01,6.571551e-01,6.538014e-01,6.531553e-01,6.500549e-01,6.459405e-01,6.452497e-01,6.414830e-01,6.367064e-01,6.360135e-01,6.316342e-01,6.262893e-01,6.256307e-01,6.206939e-01,6.148694e-01,6.142752e-01,6.088366e-01,6.026154e-01,6.021102e-01,5.962252e-01,5.896843e-01,5.892875e-01,5.830106e-01,5.762208e-01,5.759470e-01,5.693312e-01,5.623571e-01,5.622169e-01,5.553132e-01,5.482133e-01,5.340413e-01,5.197949e-01,5.055578e-01,4.914037e-01,4.773975e-01,4.635955e-01,4.500459e-01,4.367902e-01,4.238631e-01,4.112934e-01,3.991046e-01,3.873154e-01,3.759401e-01,3.649893e-01,3.544701e-01,3.443865e-01,3.347400e-01,3.255296e-01,3.167525e-01,3.084039e-01,3.004775e-01,2.929659e-01,2.858603e-01,2.791509e-01,2.728274e-01,2.668785e-01,2.612926e-01,2.560576e-01,2.511610e-01,2.465902e-01,2.423322e-01,2.383741e-01,2.347030e-01,2.313057e-01,2.281694e-01,2.252814e-01,2.226288e-01,2.201994e-01,2.179808e-01,2.159611e-01,2.141285e-01,2.124716e-01,2.109794e-01,2.096410e-01,2.084460e-01,2.073843e-01,2.064462e-01,2.056224e-01,2.049040e-01
0.000000e+00,6.793224e-13,1.401167e-10,1.515507e-10,3.677187e-09,3.429749e-08,3.721975e-08,2.313615e-07,9.480405e-07,1.028728e-06,3.537665e-06,9.177690e-06,9.899366e-06,2.342577e-05,4.521798e-05,4.835545e-05,8.928438e-05,1.419336e-04,1.504646e-04,2.351677e-04,3.282793e-04,3.452434e-04,4.809189e-04,6.137119e-04,6.408264e-04,8.222052e-04,9.842894e-04,1.021215e-03,1.233302e-03,1.409094e-03,1.453561e-03,1.677062e-03,1.850617e-03,1.899123e-03,2.115512e-03,2.273907e-03,2.322584e-03,2.517354e-03,2.652183e-03,2.697518e-03,2.861439e-03,2.968807e-03,3.008094e-03,3.137011e-03,3.216681e-03,3.248187e-03,3.342006e-03,3.396230e-03,3.419157e-03,3.480559e-03,3.512975e-03,3.527289e-03,3.560527e-03,3.575286e-03,3.581502e-03,3.591448e-03,3.592609e-03,3.591578e-03,3.583060e-03,3.574258e-03,3.566994e-03,3.544405e-03,3.528689e-03,3.516234e-03,3.483337e-03,3.463141e-03,3.446483e-03,3.406358e-03,3.383547e-03,3.363569e-03,3.318649e-03,3.294606e-03,3.272063e-03,3.224214e-03,3.199927e-03,3.175450e-03,3.126066e-03,3.102219e-03,3.076318e-03,3.026420e-03,3.003467e-03,2.976553e-03,2.926869e-03,2.905100e-03,2.877496e-03,2.828538e-03,2.808121e-03,2.780082e-03,2.732199e-03,2.713220e-03,2.684947e-03,2.638372e-03,2.620859e-03,2.592512e-03,2.547394e-03,2.531337e-03,2.503041e-03,2.459469e-03,2.444835e-03,2.416691e-03,2.374714e-03,2.361451e-03,2.333542e-03,2.293177e-03,2.281225e-03,2.253619e-03,2.214865e-03,2.204157e-03,2.176911e-03,2.139752e-03,2.130220e-03,2.103381e-03,2.067791e-03,2.059364e-03,2.032973e-03,1.998919e-03,1.991529e-03,1.965619e-03,1.933064e-03,1.926641e-03,1.901242e-03,1.870145e-03,1.864623e-03,1.839760e-03,1.810077e-03,1.805392e-03,1.781085e-03,1.752773e-03,1.748863e-03,1.725130e-03,1.698144e-03,1.694949e-03,1.671804e-03,1.646098e-03,1.643562e-03,1.621017e-03,1.596547e-03,1.594615e-03,1.572678e-03,1.549399e-03,1.548021e-03,1.526699e-03,1.504567e-03,1.503694e-03,1.482993e-03,1.461964e-03,1.461549e-03,1.441471e-03,1.421503e-03,1.383474e-03,1.347384e-03,1.313155e-03,1.280711e-03,1.249979e-03,1.220889e-03,1.193371e-03,1.167360e-03,1.142790e-03,1.119599e-03,1.097728e-03,1.077118e-03,1.057714e-03,1.039461e-03,1.022307e-03,1.006203e-03,9.910991e-04,9.769502e-04,9.637109e-04,9.513383e-04,9.397908e-04,9.290285e-04,9.190131e-04,9.097077e-04,9.010767e-04,8.930861e-04,8.857032e-04,8.788963e-04,8.726352e-04,8.668910e-04,8.616357e-04,8.568426e-04,8.524860e-04,8.485412e-04,8.449847e-04,8.417937e-04,8.389468e-04,8.364229e-04,8.342024e-04,8.322661e-04,8.305960e-04,8.291745e-04,8.279851e-04,8.270120e-04,8.262401e-04,8.256548e-04,8.252426e-04,8.249902e-04,8.248854e-04
0.000000e+00,4.923468e-10,5.646149e-09,5.879720e-09,3.346985e-08,1.122709e-07,1.170476e-07,2.702381e-07,4.400409e-07,4.506460e-07,6.140876e-07,7.385840e-07,7.482352e-07,8.542812e-07,9.289917e-07,9.362201e-07,9.981217e-07,1.038865e-06,1.043550e-06,1.075501e-06,1.094108e-06,1.096462e-06,1.108488e-06,1.112938e-06,1.113280e-06,1.112244e-06,1.107866e-06,1.106540e-06,1.097126e-06,1.087462e-06,1.084795e-06,1.070196e-06,1.057577e-06,1.053857e-06,1.036219e-06,1.022167e-06,1.017638e-06,9.984060e-07,9.838957e-07,9.787588e-07,9.588863e-07,9.445264e-07,9.389427e-07,9.190511e-07,9.052109e-07,8.993088e-07,8.797922e-07,8.666812e-07,8.605615e-07,8.416625e-07,8.293882e-07,8.231300e-07,8.049894e-07,7.935939e-07,7.872591e-07,7.699513e-07,7.594359e-07,7.530731e-07,7.366281e-07,7.269692e-07,7.206165e-07,7.050360e-07,6.961954e-07,6.898827e-07,6.751508e-07,6.670825e-07,6.608335e-07,6.469231e-07,6.395777e-07,6.334112e-07,6.202888e-07,6.136161e-07,6.075468e-07,5.951758e-07,5.891265e-07,5.831663e-07,5.715087e-07,5.660353e-07,5.601935e-07,5.492110e-07,5.442683e-07,5.385521e-07,5.282074e-07,5.237530e-07,5.181679e-07,5.084248e-07,5.044190e-07,4.989694e-07,4.897931e-07,4.861989e-07,4.808878e-07,4.722454e-07,4.690286e-07,4.638581e-07,4.557181e-07,4.528469e-07,4.478182e-07,4.401512e-07,4.375962e-07,4.327100e-07,4.254878e-07,4.232219e-07,4.184781e-07,4.116744e-07,4.096726e-07,4.050706e-07,3.986607e-07,3.968998e-07,3.924387e-07,3.863991e-07,3.848580e-07,3.805363e-07,3.748451e-07,3.735041e-07,3.693202e-07,3.639567e-07,3.627979e-07,3.587497e-07,3.536945e-07,3.527012e-07,3.487865e-07,3.440213e-07,3.431784e-07,3.393947e-07,3.349024e-07,3.341958e-07,3.305405e-07,3.263050e-07,3.257219e-07,3.221921e-07,3.181982e-07,3.177267e-07,3.143197e-07,3.105531e-07,3.101825e-07,3.068952e-07,3.033426e-07,3.030629e-07,2.998922e-07,2.965410e-07,2.963430e-07,2.932860e-07,2.901243e-07,2.899998e-07,2.870532e-07,2.840700e-07,2.840112e-07,2.811720e-07,2.783566e-07,2.730168e-07,2.679734e-07,2.632093e-07,2.587083e-07,2.544554e-07,2.504361e-07,2.466370e-07,2.430456e-07,2.396498e-07,2.364386e-07,2.334012e-07,2.305278e-07,2.278091e-07,2.252363e-07,2.228010e-07,2.204956e-07,2.183125e-07,2.162450e-07,2.142865e-07,2.124309e-07,2.106725e-07,2.090057e-07,2.074255e-07,2.059270e-07,2.045057e-07,2.031574e-07,2.018780e-07,2.006636e-07,1.995108e-07,1.984161e-07,1.973764e-07,1.963886e-07,1.954499e-07,1.945578e-07,1.937096e-07,1.929030e-07,1.921357e-07,1.914058e-07,1.907110e-07,1.900497e-07,1.894200e-07,1.888203e-07,1.882489e-07,1.877045e-07,1.871855e-07,1.866907e-07,1.862188e-07,1.857687e-07,1.853391e-07
0.000000e+00,3.936081e-10,3.947104e-08,4.216421e-08,6.069904e-07,3.826304e-06,4.088390e-06,1.722160e-05,4.815375e-05,5.095741e-05,1.141341e-04,1.974901e-04,2.056400e-04,3.151671e-04,4.195779e-04,4.312274e-04,5.463014e-04,6.438672e-04,6.568365e-04,7.615437e-04,8.466846e-04,8.601154e-04,9.526060e-04,1.025725e-03,1.039190e-03,1.120081e-03,1.182322e-03,1.195505e-03,1.265689e-03,1.318215e-03,1.330859e-03,1.391238e-03,1.435149e-03,1.447045e-03,1.498491e-03,1.534801e-03,1.545783e-03,1.589120e-03,1.618756e-03,1.628694e-03,1.664692e-03,1.688496e-03,1.697291e-03,1.726664e-03,1.745394e-03,1.752975e-03,1.776382e-03,1.790718e-03,1.797037e-03,1.815085e-03,1.825636e-03,1.830665e-03,1.843910e-03,1.851221e-03,1.854949e-03,1.863902e-03,1.868457e-03,1.870887e-03,1.876015e-03,1.878245e-03,1.879392e-03,1.881122e-03,1.881408e-03,1.881300e-03,1.880020e-03,1.878700e-03,1.877371e-03,1.873437e-03,1.870807e-03,1.868299e-03,1.862035e-03,1.858356e-03,1.854716e-03,1.846415e-03,1.841916e-03,1.837197e-03,1.827125e-03,1.822006e-03,1.816261e-03,1.804663e-03,1.799096e-03,1.792384e-03,1.779477e-03,1.773612e-03,1.765992e-03,1.751977e-03,1.745942e-03,1.737475e-03,1.722529e-03,1.716436e-03,1.707180e-03,1.691467e-03,1.685408e-03,1.675425e-03,1.659090e-03,1.653144e-03,1.642494e-03,1.625668e-03,1.619900e-03,1.608641e-03,1.591442e-03,1.585906e-03,1.574096e-03,1.556629e-03,1.551369e-03,1.539064e-03,1.521422e-03,1.516472e-03,1.503726e-03,1.485995e-03,1.481381e-03,1.468246e-03,1.450499e-03,1.446242e-03,1.432769e-03,1.415072e-03,1.411184e-03,1.397421e-03,1.379832e-03,1.376322e-03,1.362316e-03,1.344885e-03,1.341757e-03,1.327551e-03,1.310323e-03,1.307578e-03,1.293212e-03,1.276227e-03,1.273859e-03,1.259375e-03,1.242665e-03,1.240669e-03,1.226103e-03,1.209696e-03,1.208064e-03,1.193451e-03,1.177372e-03,1.176093e-03,1.161465e-03,1.145734e-03,1.144796e-03,1.130184e-03,1.114818e-03,1.114207e-03,1.099639e-03,1.084651e-03,1.084353e-03,1.069857e-03,1.055258e-03,1.026936e-03,9.994014e-04,9.726612e-04,9.467203e-04,9.215799e-04,8.972384e-04,8.736917e-04,8.509335e-04,8.289555e-04,8.077476e-04,7.872984e-04,7.675950e-04,7.486237e-04,7.303696e-04,7.128173e-04,6.959505e-04,6.797528e-04,6.642069e-04,6.492957e-04,6.350016e-04,6.213069e-04,6.081941e-04,5.956454e-04,5.836433e-04,5.721703e-04,5.612092e-04,5.507429e-04,5.407545e-04,5.312274e-04,5.221454e-04,5.134926e-04,5.052532e-04,4.974120e-04,4.899540e-04,4.828647e-04,4.761298e-04,4.697355e-04,4.636684e-04,4.579153e-04,4.524636e-04,4.473008e-04,4.424152e-04,4.377950e-04,4.334291e-04,4.293067e-04,4.254171e-04,4.217504e-04,4.182966e-04,4.150464e-04
0.000000e+00,6.331984e-12,1.225172e-09,1.323907e-09,3.116438e-08,2.873689e-07,3.117269e-07,1.910478e-06,7.630457e-06,8.262197e-06,2.716820e-05,6.670482e-05,7.156912e-05,1.576804e-04,2.839270e-04,3.012454e-04,5.139043e-04,7.626687e-04,8.010856e-04,1.161684e-03,1.525578e-03,1.589071e-03,2.072771e-03,2.513442e-03,2.600236e-03,3.158376e-03,3.630137e-03,3.734695e-03,4.318003e-03,4.783230e-03,4.898790e-03,5.469326e-03,5.903298e-03,6.023589e-03,6.557088e-03,6.946663e-03,7.066644e-03,7.550158e-03,7.890436e-03,8.006390e-03,8.434776e-03,8.725922e-03,8.835257e-03,9.208150e-03,9.453068e-03,9.554045e-03,9.873718e-03,1.007657e-02,1.016807e-02,1.043809e-02,1.060346e-02,1.068479e-02,1.090921e-02,1.104164e-02,1.111241e-02,1.129540e-02,1.139915e-02,1.145920e-02,1.160478e-02,1.168379e-02,1.173311e-02,1.184508e-02,1.190288e-02,1.194159e-02,1.202347e-02,1.206324e-02,1.209154e-02,1.214658e-02,1.217114e-02,1.218932e-02,1.222048e-02,1.223234e-02,1.224074e-02,1.225074e-02,1.225209e-02,1.225110e-02,1.224241e-02,1.223519e-02,1.222523e-02,1.220011e-02,1.218602e-02,1.216754e-02,1.212802e-02,1.210855e-02,1.208201e-02,1.202995e-02,1.200638e-02,1.197226e-02,1.190935e-02,1.188281e-02,1.184159e-02,1.176935e-02,1.174079e-02,1.169297e-02,1.161277e-02,1.158303e-02,1.152908e-02,1.144217e-02,1.141195e-02,1.135234e-02,1.125986e-02,1.122974e-02,1.116496e-02,1.106790e-02,1.103840e-02,1.096890e-02,1.086818e-02,1.083969e-02,1.076593e-02,1.066236e-02,1.063523e-02,1.055764e-02,1.045195e-02,1.042646e-02,1.034545e-02,1.023829e-02,1.021465e-02,1.013063e-02,1.002260e-02,1.000096e-02,9.914319e-03,9.805921e-03,9.786406e-03,9.697517e-03,9.589216e-03,9.571904e-03,9.481118e-03,9.373318e-03,9.358255e-03,9.265906e-03,9.158966e-03,9.146169e-03,9.052575e-03,8.946807e-03,8.936267e-03,8.841730e-03,8.737407e-03,8.729096e-03,8.633897e-03,8.531256e-03,8.525126e-03,8.429533e-03,8.328776e-03,8.324767e-03,8.229029e-03,8.130331e-03,8.128368e-03,8.032719e-03,7.936226e-03,7.748588e-03,7.565662e-03,7.387611e-03,7.214569e-03,7.046633e-03,6.883876e-03,6.726343e-03,6.574057e-03,6.427021e-03,6.285221e-03,6.148625e-03,6.017188e-03,5.890854e-03,5.769555e-03,5.653213e-03,5.541743e-03,5.435053e-03,5.333044e-03,5.235614e-03,5.142654e-03,5.054055e-03,4.969703e-03,4.889482e-03,4.813276e-03,4.740966e-03,4.672433e-03,4.607560e-03,4.546227e-03,4.488316e-03,4.433710e-03,4.382292e-03,4.333948e-03,4.288564e-03,4.246027e-03,4.206228e-03,4.169057e-03,4.134408e-03,4.102178e-03,4.072262e-03,4.044562e-03,4.018979e-03,3.995418e-03,3.973786e-03,3.953992e-03,3.935947e-03,3.919566e-03,3.904765e-03,3.891462e-03,3.879579e-03
0.000000e+00,1.529940e-12,3.130436e-10,3.389808e-10,9.083202e-09,9.405289e-08,1.024183e-07,6.699157e-07,2.705181e-06,2.927157e-06,9.342357e-06,2.183423e-05,2.331120e-05,4.802669e-05,8.097707e-05,8.527578e-05,1.348326e-04,1.869811e-04,1.945855e-04,2.611503e-04,3.208770e-04,3.306369e-04,3.993181e-04,4.540894e-04,4.640848e-04,5.226659e-04,5.650792e-04,5.736615e-04,6.164505e-04,6.447570e-04,6.510335e-04,6.778572e-04,6.938551e-04,6.976493e-04,7.112848e-04,7.180955e-04,7.196815e-04,7.237288e-04,7.244075e-04,7.242434e-04,7.219460e-04,7.189004e-04,7.174523e-04,7.112764e-04,7.061804e-04,7.038376e-04,6.954720e-04,6.893918e-04,6.864448e-04,6.769634e-04,6.705358e-04,6.671869e-04,6.572365e-04,6.508200e-04,6.472031e-04,6.371546e-04,6.309395e-04,6.271410e-04,6.171990e-04,6.112795e-04,6.073549e-04,5.976275e-04,5.920445e-04,5.880300e-04,5.785713e-04,5.733375e-04,5.692576e-04,5.600925e-04,5.552059e-04,5.510781e-04,5.422155e-04,5.376670e-04,5.335047e-04,5.249453e-04,5.207221e-04,5.165363e-04,5.082763e-04,5.043640e-04,5.001639e-04,4.921975e-04,4.885814e-04,4.843751e-04,4.766949e-04,4.733602e-04,4.691550e-04,4.617534e-04,4.586855e-04,4.544880e-04,4.473569e-04,4.445416e-04,4.403580e-04,4.334892e-04,4.309127e-04,4.267485e-04,4.201339e-04,4.177832e-04,4.136434e-04,4.072750e-04,4.051372e-04,4.010266e-04,3.948964e-04,3.929593e-04,3.888823e-04,3.829824e-04,3.812344e-04,3.771948e-04,3.715177e-04,3.699476e-04,3.659491e-04,3.604872e-04,3.590843e-04,3.551301e-04,3.498761e-04,3.486303e-04,3.447234e-04,3.396702e-04,3.385717e-04,3.347149e-04,3.298556e-04,3.288951e-04,3.250907e-04,3.204186e-04,3.195873e-04,3.158376e-04,3.113461e-04,3.106356e-04,3.069425e-04,3.026252e-04,3.020276e-04,2.983928e-04,2.942437e-04,2.937513e-04,2.901763e-04,2.861894e-04,2.857950e-04,2.822813e-04,2.784507e-04,2.781475e-04,2.746962e-04,2.710163e-04,2.707979e-04,2.674099e-04,2.638754e-04,2.637355e-04,2.604116e-04,2.570173e-04,2.569501e-04,2.536911e-04,2.504318e-04,2.441711e-04,2.381586e-04,2.323854e-04,2.268428e-04,2.215225e-04,2.164164e-04,2.115167e-04,2.068159e-04,2.023065e-04,1.979818e-04,1.938347e-04,1.898588e-04,1.860478e-04,1.823955e-04,1.788961e-04,1.755439e-04,1.723333e-04,1.692591e-04,1.663162e-04,1.634996e-04,1.608046e-04,1.582266e-04,1.557611e-04,1.534040e-04,1.511510e-04,1.489983e-04,1.469419e-04,1.449783e-04,1.431037e-04,1.413148e-04,1.396083e-04,1.379810e-04,1.364298e-04,1.349517e-04,1.335439e-04,1.322035e-04,1.309280e-04,1.297148e-04,1.285613e-04,1.274653e-04,1.264244e-04,1.254363e-04,1.244990e-04,1.236105e-04,1.227686e-04,1.219715e-04,1.212174e-04,1.205045e-04,1.198311e-04
0.000000e+00,1.489562e-08,3.883401e-07,4.084493e-07,3.209711e-06,1.181404e-05,1.232866e-05,2.805819e-05,4.467924e-05,4.572943e-05,6.263701e-05,7.703419e-05,7.823171e-05,9.248002e-05,1.041993e-04,1.054393e-04,1.171838e-04,1.265747e-04,1.277899e-04,1.373315e-04,1.447410e-04,1.458808e-04,1.535083e-04,1.592525e-04,1.602814e-04,1.662640e-04,1.706223e-04,1.715165e-04,1.760952e-04,1.793090e-04,1.800533e-04,1.834401e-04,1.857148e-04,1.863015e-04,1.886803e-04,1.901899e-04,1.906162e-04,1.921461e-04,1.930370e-04,1.933041e-04,1.941221e-04,1.945170e-04,1.946292e-04,1.948528e-04,1.948542e-04,1.948180e-04,1.945481e-04,1.942413e-04,1.940646e-04,1.933875e-04,1.928435e-04,1.925351e-04,1.915245e-04,1.908019e-04,1.903713e-04,1.890900e-04,1.882373e-04,1.876941e-04,1.861958e-04,1.852525e-04,1.846066e-04,1.829369e-04,1.819354e-04,1.811963e-04,1.793938e-04,1.783604e-04,1.775375e-04,1.756349e-04,1.745907e-04,1.736930e-04,1.717181e-04,1.706800e-04,1.697160e-04,1.676920e-04,1.666734e-04,1.656511e-04,1.635977e-04,1.626089e-04,1.615360e-04,1.594696e-04,1.585185e-04,1.574020e-04,1.553363e-04,1.544287e-04,1.532753e-04,1.512216e-04,1.503618e-04,1.491776e-04,1.471453e-04,1.463361e-04,1.451266e-04,1.431233e-04,1.423665e-04,1.411370e-04,1.391690e-04,1.384652e-04,1.372205e-04,1.352927e-04,1.346421e-04,1.333865e-04,1.315029e-04,1.309050e-04,1.296425e-04,1.278060e-04,1.272598e-04,1.259940e-04,1.242070e-04,1.237112e-04,1.224454e-04,1.207095e-04,1.202624e-04,1.189996e-04,1.173160e-04,1.169159e-04,1.156588e-04,1.140280e-04,1.136728e-04,1.124239e-04,1.108463e-04,1.105340e-04,1.092954e-04,1.077710e-04,1.074995e-04,1.062731e-04,1.048016e-04,1.045686e-04,1.033564e-04,1.019372e-04,1.017406e-04,1.005440e-04,9.917654e-05,9.901416e-05,9.783461e-05,9.651799e-05,9.638771e-05,9.522646e-05,9.395975e-05,9.385948e-05,9.271761e-05,9.149979e-05,9.142748e-05,9.030598e-05,8.913592e-05,8.908961e-05,8.798932e-05,8.686587e-05,8.684363e-05,8.576528e-05,8.468725e-05,8.261811e-05,8.063380e-05,7.873190e-05,7.690999e-05,7.516564e-05,7.349646e-05,7.190006e-05,7.037412e-05,6.891631e-05,6.752438e-05,6.619612e-05,6.492934e-05,6.372192e-05,6.257180e-05,6.147696e-05,6.043542e-05,5.944529e-05,5.850468e-05,5.761180e-05,5.676488e-05,5.596222e-05,5.520216e-05,5.448309e-05,5.380344e-05,5.316171e-05,5.255641e-05,5.198614e-05,5.144950e-05,5.094516e-05,5.047183e-05,5.002823e-05,4.961317e-05,4.922545e-05,4.886393e-05,4.852751e-05,4.821511e-05,4.792569e-05,4.765825e-05,4.741181e-05,4.718544e-05,4.697821e-05,4.678925e-05,4.661770e-05,4.646273e-05,4.632355e-05,4.619938e-05,4.608947e-05,4.599310e-05,4.590957e-05
0.000000e+00,3.951210e-09,9.719387e-08,1.022705e-07,7.898764e-07,2.760749e-06,2.873976e-06,6.147023e-06,9.335007e-06,9.529970e-06,1.257802e-05,1.504158e-05,1.524096e-05,1.754616e-05,1.934635e-05,1.953157e-05,2.123362e-05,2.252323e-05,2.268520e-05,2.391559e-05,2.481674e-05,2.495082e-05,2.581394e-05,2.642099e-05,2.652541e-05,2.710350e-05,2.748942e-05,2.756439e-05,2.792246e-05,2.814346e-05,2.819040e-05,2.837945e-05,2.847859e-05,2.849956e-05,2.855948e-05,2.856955e-05,2.856693e-05,2.852875e-05,2.847466e-05,2.845092e-05,2.833874e-05,2.823934e-05,2.819687e-05,2.802939e-05,2.789888e-05,2.783993e-05,2.763164e-05,2.748070e-05,2.740733e-05,2.716944e-05,2.700605e-05,2.692013e-05,2.666129e-05,2.649141e-05,2.639459e-05,2.612150e-05,2.594953e-05,2.584328e-05,2.556108e-05,2.539026e-05,2.527588e-05,2.498853e-05,2.482119e-05,2.469980e-05,2.441035e-05,2.424816e-05,2.412075e-05,2.383152e-05,2.367564e-05,2.354309e-05,2.325584e-05,2.310704e-05,2.297010e-05,2.268616e-05,2.254495e-05,2.240427e-05,2.212465e-05,2.199129e-05,2.184747e-05,2.157290e-05,2.144751e-05,2.130107e-05,2.103208e-05,2.091466e-05,2.076604e-05,2.050302e-05,2.039347e-05,2.024308e-05,1.998628e-05,1.988444e-05,1.973265e-05,1.948222e-05,1.938791e-05,1.923503e-05,1.899107e-05,1.890404e-05,1.875036e-05,1.851291e-05,1.843291e-05,1.827870e-05,1.804773e-05,1.797450e-05,1.781998e-05,1.759546e-05,1.752872e-05,1.737412e-05,1.715597e-05,1.709545e-05,1.694096e-05,1.672908e-05,1.667450e-05,1.652031e-05,1.631461e-05,1.626569e-05,1.611195e-05,1.591231e-05,1.586879e-05,1.571565e-05,1.552195e-05,1.548356e-05,1.533117e-05,1.514327e-05,1.510976e-05,1.495823e-05,1.477602e-05,1.474712e-05,1.459659e-05,1.441991e-05,1.439539e-05,1.424596e-05,1.407469e-05,1.405432e-05,1.390607e-05,1.374008e-05,1.372362e-05,1.357667e-05,1.341581e-05,1.340305e-05,1.325747e-05,1.310162e-05,1.309235e-05,1.294822e-05,1.279724e-05,1.279125e-05,1.264864e-05,1.250240e-05,1.249950e-05,1.235848e-05,1.221686e-05,1.194307e-05,1.167790e-05,1.142111e-05,1.117247e-05,1.093176e-05,1.069875e-05,1.047322e-05,1.025497e-05,1.004379e-05,9.839484e-06,9.641848e-06,9.450695e-06,9.265840e-06,9.087101e-06,8.914301e-06,8.747270e-06,8.585840e-06,8.429848e-06,8.279135e-06,8.133549e-06,7.992938e-06,7.857157e-06,7.726064e-06,7.599521e-06,7.477393e-06,7.359549e-06,7.245864e-06,7.136212e-06,7.030475e-06,6.928535e-06,6.830278e-06,6.735596e-06,6.644379e-06,6.556523e-06,6.471928e-06,6.390494e-06,6.312126e-06,6.236731e-06,6.164217e-06,6.094496e-06,6.027484e-06,5.963096e-06,5.901253e-06,5.841874e-06,5.784884e-06,5.730209e-06,5.677776e-06,5.627515e-06,5.579358e-06
0.000000e+00,4.148437e-13,8.467654e-11,9.158474e-11,2.242057e-09,2.134588e-08,2.318655e-08,1.474110e-07,6.138100e-07,6.665902e-07,2.314840e-06,6.026276e-06,6.500714e-06,1.536216e-05,2.951838e-05,3.154541e-05,5.776982e-05,9.099891e-05,9.633692e-05,1.487312e-04,2.052147e-04,2.153935e-04,2.956820e-04,3.725007e-04,3.879870e-04,4.899484e-04,5.787747e-04,5.987200e-04,7.112369e-04,8.018945e-04,8.244534e-04,9.355338e-04,1.019077e-03,1.041988e-03,1.141755e-03,1.212106e-03,1.233239e-03,1.315306e-03,1.369548e-03,1.387260e-03,1.448789e-03,1.486634e-03,1.499912e-03,1.540913e-03,1.563848e-03,1.572284e-03,1.594665e-03,1.605122e-03,1.608793e-03,1.615461e-03,1.616171e-03,1.615484e-03,1.609666e-03,1.603237e-03,1.598784e-03,1.583571e-03,1.572264e-03,1.564706e-03,1.542808e-03,1.528448e-03,1.518435e-03,1.492084e-03,1.476068e-03,1.464191e-03,1.435135e-03,1.418480e-03,1.405245e-03,1.374800e-03,1.358214e-03,1.344038e-03,1.313160e-03,1.297114e-03,1.282332e-03,1.251692e-03,1.236479e-03,1.221353e-03,1.191404e-03,1.177190e-03,1.161920e-03,1.132957e-03,1.119822e-03,1.104560e-03,1.076761e-03,1.064726e-03,1.049586e-03,1.023050e-03,1.012099e-03,9.971653e-04,9.719365e-04,9.620292e-04,9.473654e-04,9.234502e-04,9.145336e-04,9.001865e-04,8.775673e-04,8.695807e-04,8.555845e-04,8.342283e-04,8.271082e-04,8.134883e-04,7.933530e-04,7.870355e-04,7.738104e-04,7.548480e-04,7.492705e-04,7.364530e-04,7.186123e-04,7.137144e-04,7.013128e-04,6.845413e-04,6.802655e-04,6.682846e-04,6.525299e-04,6.488220e-04,6.372642e-04,6.224748e-04,6.192838e-04,6.081490e-04,5.942746e-04,5.915528e-04,5.808392e-04,5.678308e-04,5.655337e-04,5.552377e-04,5.430483e-04,5.411347e-04,5.312513e-04,5.198356e-04,5.182672e-04,5.087904e-04,4.981052e-04,4.968466e-04,4.877695e-04,4.777734e-04,4.767921e-04,4.681069e-04,4.587603e-04,4.580262e-04,4.497245e-04,4.409901e-04,4.404754e-04,4.325483e-04,4.243904e-04,4.240699e-04,4.165080e-04,4.088928e-04,4.087432e-04,4.015368e-04,3.944323e-04,3.810777e-04,3.686228e-04,3.570142e-04,3.462014e-04,3.361366e-04,3.267749e-04,3.180737e-04,3.099928e-04,3.024945e-04,2.955430e-04,2.891047e-04,2.831479e-04,2.776428e-04,2.725612e-04,2.678766e-04,2.635641e-04,2.596002e-04,2.559628e-04,2.526311e-04,2.495855e-04,2.468076e-04,2.442800e-04,2.419864e-04,2.399115e-04,2.380408e-04,2.363607e-04,2.348586e-04,2.335223e-04,2.323406e-04,2.313029e-04,2.303992e-04,2.296202e-04,2.289569e-04,2.284012e-04,2.279453e-04,2.275819e-04,2.273041e-04,2.271055e-04,2.269800e-04,2.269220e-04,2.269262e-04,2.269875e-04,2.271013e-04,2.272632e-04,2.274691e-04,2.277151e-04,2.279977e-04,2.283135e-04,2.286594e-04
0.000000e+00,2.944083e-12,6.251033e-10,6.772498e-10,1.812795e-08,1.794057e-07,1.948867e-07,1.194822e-06,4.566324e-06,4.925980e-06,1.509471e-05,3.455011e-05,3.684549e-05,7.542618e-05,1.277262e-04,1.346350e-04,2.158158e-04,3.044505e-04,3.176644e-04,4.366896e-04,5.490848e-04,5.680075e-04,7.061797e-04,8.236538e-04,8.459145e-04,9.825530e-04,1.089618e-03,1.112336e-03,1.232490e-03,1.320425e-03,1.341190e-03,1.437442e-03,1.503655e-03,1.520931e-03,1.591858e-03,1.637704e-03,1.650797e-03,1.698571e-03,1.727296e-03,1.736138e-03,1.764516e-03,1.779834e-03,1.784729e-03,1.797770e-03,1.803133e-03,1.804570e-03,1.805979e-03,1.804253e-03,1.802766e-03,1.795620e-03,1.789047e-03,1.785149e-03,1.771889e-03,1.762157e-03,1.756307e-03,1.738804e-03,1.727141e-03,1.719725e-03,1.699370e-03,1.686650e-03,1.677991e-03,1.655808e-03,1.642648e-03,1.633007e-03,1.609745e-03,1.596568e-03,1.586157e-03,1.562356e-03,1.549450e-03,1.538439e-03,1.514488e-03,1.502043e-03,1.490571e-03,1.466746e-03,1.454883e-03,1.443061e-03,1.419559e-03,1.408352e-03,1.396271e-03,1.373228e-03,1.362716e-03,1.350451e-03,1.327961e-03,1.318160e-03,1.305772e-03,1.283898e-03,1.274807e-03,1.262347e-03,1.241128e-03,1.232735e-03,1.220247e-03,1.199706e-03,1.191991e-03,1.179510e-03,1.159660e-03,1.152598e-03,1.140155e-03,1.120996e-03,1.114561e-03,1.102182e-03,1.083711e-03,1.077872e-03,1.065580e-03,1.047787e-03,1.042514e-03,1.030328e-03,1.013201e-03,1.008465e-03,9.964019e-04,9.799261e-04,9.756949e-04,9.637700e-04,9.479292e-04,9.441738e-04,9.323993e-04,9.171760e-04,9.138675e-04,9.022546e-04,8.876306e-04,8.847411e-04,8.732993e-04,8.592561e-04,8.567586e-04,8.454963e-04,8.320152e-04,8.298837e-04,8.188081e-04,8.058704e-04,8.040804e-04,7.931975e-04,7.807847e-04,7.793124e-04,7.686274e-04,7.567212e-04,7.555442e-04,7.450616e-04,7.336440e-04,7.327409e-04,7.224642e-04,7.115177e-04,7.108682e-04,7.008002e-04,6.903076e-04,6.898926e-04,6.800357e-04,6.699802e-04,6.697813e-04,6.601372e-04,6.505026e-04,6.320256e-04,6.143202e-04,5.973574e-04,5.811090e-04,5.655478e-04,5.506472e-04,5.363821e-04,5.227276e-04,5.096600e-04,4.971565e-04,4.851949e-04,4.737540e-04,4.628131e-04,4.523525e-04,4.423531e-04,4.327965e-04,4.236652e-04,4.149419e-04,4.066104e-04,3.986550e-04,3.910603e-04,3.838119e-04,3.768956e-04,3.702981e-04,3.640062e-04,3.580075e-04,3.522900e-04,3.468421e-04,3.416527e-04,3.367111e-04,3.320071e-04,3.275309e-04,3.232728e-04,3.192238e-04,3.153752e-04,3.117185e-04,3.082456e-04,3.049487e-04,3.018203e-04,2.988533e-04,2.960408e-04,2.933761e-04,2.908528e-04,2.884648e-04,2.862063e-04,2.840715e-04,2.820550e-04,2.801517e-04,2.783564e-04
0.000000e+00,3.470393e-12,7.592409e-10,8.232783e-10,2.335693e-08,2.485097e-07,2.707760e-07,1.780603e-06,7.150513e-06,7.733444e-06,2.450391e-05,5.721083e-05,6.109845e-05,1.270403e-04,2.178591e-04,2.299649e-04,3.739938e-04,5.349063e-04,5.592214e-04,7.821259e-04,9.992809e-04,1.036510e-03,1.314608e-03,1.560452e-03,1.608108e-03,1.908949e-03,2.155992e-03,2.209872e-03,2.504724e-03,2.732878e-03,2.788572e-03,3.057691e-03,3.255660e-03,3.309463e-03,3.542218e-03,3.705825e-03,3.755073e-03,3.947773e-03,4.077512e-03,4.120541e-03,4.273952e-03,4.372876e-03,4.408826e-03,4.526143e-03,4.598390e-03,4.626974e-03,4.712436e-03,4.762344e-03,4.783651e-03,4.841726e-03,4.873379e-03,4.887730e-03,4.922681e-03,4.939697e-03,4.947543e-03,4.963220e-03,4.968698e-03,4.970553e-03,4.970329e-03,4.966870e-03,4.963271e-03,4.950049e-03,4.939802e-03,4.931282e-03,4.907537e-03,4.892261e-03,4.879335e-03,4.847157e-03,4.828283e-03,4.811441e-03,4.772589e-03,4.751270e-03,4.730969e-03,4.686920e-03,4.664081e-03,4.640749e-03,4.592737e-03,4.569114e-03,4.543142e-03,4.492199e-03,4.468372e-03,4.440121e-03,4.387105e-03,4.363526e-03,4.333327e-03,4.278949e-03,4.255967e-03,4.224119e-03,4.168970e-03,4.146849e-03,4.113624e-03,4.058189e-03,4.037122e-03,4.002767e-03,3.947446e-03,3.927572e-03,3.892308e-03,3.837426e-03,3.818836e-03,3.782866e-03,3.728686e-03,3.711437e-03,3.674939e-03,3.621672e-03,3.605792e-03,3.568928e-03,3.516743e-03,3.502235e-03,3.465149e-03,3.414176e-03,3.401028e-03,3.363849e-03,3.314189e-03,3.302372e-03,3.265214e-03,3.216942e-03,3.206418e-03,3.169385e-03,3.122554e-03,3.113276e-03,3.076458e-03,3.031104e-03,3.023020e-03,2.986497e-03,2.942641e-03,2.935694e-03,2.899537e-03,2.857186e-03,2.851317e-03,2.815589e-03,2.774742e-03,2.769891e-03,2.734645e-03,2.695293e-03,2.691399e-03,2.656682e-03,2.618808e-03,2.615810e-03,2.581665e-03,2.545247e-03,2.543085e-03,2.509547e-03,2.474558e-03,2.473173e-03,2.440273e-03,2.406684e-03,2.406019e-03,2.373782e-03,2.341560e-03,2.279730e-03,2.220461e-03,2.163680e-03,2.109317e-03,2.057296e-03,2.007544e-03,1.959989e-03,1.914557e-03,1.871175e-03,1.829773e-03,1.790282e-03,1.752631e-03,1.716755e-03,1.682589e-03,1.650067e-03,1.619129e-03,1.589714e-03,1.561763e-03,1.535218e-03,1.510026e-03,1.486133e-03,1.463485e-03,1.442034e-03,1.421731e-03,1.402529e-03,1.384382e-03,1.367247e-03,1.351081e-03,1.335842e-03,1.321493e-03,1.307993e-03,1.295307e-03,1.283399e-03,1.272235e-03,1.261781e-03,1.252006e-03,1.242878e-03,1.234369e-03,1.226448e-03,1.219090e-03,1.212268e-03,1.205955e-03,1.200127e-03,1.194760e-03,1.189833e-03,1.185322e-03,1.181206e-03,1.177466e-03,1.174081e-03
0.000000e+00,4.338205e-11,7.200661e-09,7.772754e-09,1.794646e-07,1.549906e-06,1.672964e-06,8.525612e-06,2.614736e-05,2.777691e-05,6.491698e-05,1.146214e-04,1.195233e-04,1.861784e-04,2.508615e-04,2.581216e-04,3.298639e-04,3.900351e-04,3.979399e-04,4.605917e-04,5.096246e-04,5.171759e-04,5.676664e-04,6.055656e-04,6.123378e-04,6.515891e-04,6.800357e-04,6.858552e-04,7.155667e-04,7.363322e-04,7.411323e-04,7.629329e-04,7.775513e-04,7.813207e-04,7.966191e-04,8.063628e-04,8.091242e-04,8.191070e-04,8.250167e-04,8.268148e-04,8.324735e-04,8.353952e-04,8.362888e-04,8.384480e-04,8.390661e-04,8.391219e-04,8.384658e-04,8.373326e-04,8.366210e-04,8.337160e-04,8.312750e-04,8.298675e-04,8.251815e-04,8.217879e-04,8.197545e-04,8.136738e-04,8.096106e-04,8.070188e-04,7.998615e-04,7.953534e-04,7.922671e-04,7.842948e-04,7.795189e-04,7.759980e-04,7.674252e-04,7.625203e-04,7.586202e-04,7.496226e-04,7.446966e-04,7.404682e-04,7.311891e-04,7.263244e-04,7.218144e-04,7.123702e-04,7.076296e-04,7.028802e-04,6.933655e-04,6.887953e-04,6.838450e-04,6.743357e-04,6.699694e-04,6.648527e-04,6.554096e-04,6.512704e-04,6.460184e-04,6.366899e-04,6.327928e-04,6.274334e-04,6.182574e-04,6.146112e-04,6.091692e-04,6.001752e-04,5.967834e-04,5.912811e-04,5.824917e-04,5.793539e-04,5.738111e-04,5.652429e-04,5.623559e-04,5.567902e-04,5.484554e-04,5.458135e-04,5.402405e-04,5.321471e-04,5.297430e-04,5.241766e-04,5.163298e-04,5.141549e-04,5.086073e-04,5.010095e-04,4.990545e-04,4.935365e-04,4.861882e-04,4.844431e-04,4.789643e-04,4.718642e-04,4.703188e-04,4.648874e-04,4.580330e-04,4.566768e-04,4.513002e-04,4.446880e-04,4.435105e-04,4.381952e-04,4.318207e-04,4.308117e-04,4.255633e-04,4.194215e-04,4.185708e-04,4.133941e-04,4.074795e-04,4.067773e-04,4.016765e-04,3.959833e-04,3.954200e-04,3.903986e-04,3.849208e-04,3.844872e-04,3.795483e-04,3.742795e-04,3.739667e-04,3.691129e-04,3.640468e-04,3.638463e-04,3.590798e-04,3.542101e-04,3.541137e-04,3.494362e-04,3.447565e-04,3.357626e-04,3.271197e-04,3.188161e-04,3.108398e-04,3.031796e-04,2.958241e-04,2.887625e-04,2.819843e-04,2.754789e-04,2.692366e-04,2.632475e-04,2.575023e-04,2.519919e-04,2.467075e-04,2.416406e-04,2.367829e-04,2.321267e-04,2.276643e-04,2.233882e-04,2.192913e-04,2.153669e-04,2.116083e-04,2.080091e-04,2.045631e-04,2.012646e-04,1.981077e-04,1.950870e-04,1.921972e-04,1.894333e-04,1.867903e-04,1.842634e-04,1.818483e-04,1.795404e-04,1.773356e-04,1.752299e-04,1.732193e-04,1.713000e-04,1.694686e-04,1.677214e-04,1.660552e-04,1.644668e-04,1.629529e-04,1.615107e-04,1.601373e-04,1.588300e-04,1.575860e-04,1.564029e-04,1.552781e-04,1.542093e-04
0.000000e+00,4.996754e-12,9.333710e-10,1.007905e-09,2.281516e-08,1.990392e-07,2.153199e-07,1.221859e-06,4.503195e-06,4.850901e-06,1.467082e-05,3.356713e-05,3.580614e-05,7.362860e-05,1.251425e-04,1.319492e-04,2.117008e-04,2.979033e-04,3.106515e-04,4.240400e-04,5.284043e-04,5.456883e-04,6.691510e-04,7.699757e-04,7.886136e-04,8.994410e-04,9.815597e-04,9.983940e-04,1.083595e-03,1.141350e-03,1.154343e-03,1.210848e-03,1.245573e-03,1.253971e-03,1.284973e-03,1.301325e-03,1.305317e-03,1.316527e-03,1.319811e-03,1.320075e-03,1.317323e-03,1.312127e-03,1.309484e-03,1.297610e-03,1.287383e-03,1.282596e-03,1.265185e-03,1.252293e-03,1.245988e-03,1.225501e-03,1.211468e-03,1.204119e-03,1.182158e-03,1.167916e-03,1.159865e-03,1.137430e-03,1.123518e-03,1.115005e-03,1.092701e-03,1.079415e-03,1.070607e-03,1.048787e-03,1.036276e-03,1.027288e-03,1.006146e-03,9.944724e-04,9.853863e-04,9.650254e-04,9.542008e-04,9.450751e-04,9.255420e-04,9.155509e-04,9.064294e-04,8.877379e-04,8.785496e-04,8.694659e-04,8.516106e-04,8.431869e-04,8.341677e-04,8.171321e-04,8.094308e-04,8.004979e-04,7.842591e-04,7.772376e-04,7.684092e-04,7.529411e-04,7.465567e-04,7.378479e-04,7.231222e-04,7.173333e-04,7.087568e-04,6.947443e-04,6.895105e-04,6.810772e-04,6.677484e-04,6.630315e-04,6.547507e-04,6.420767e-04,6.378401e-04,6.297195e-04,6.176718e-04,6.138808e-04,6.059268e-04,5.944776e-04,5.910994e-04,5.833173e-04,5.724393e-04,5.694431e-04,5.618370e-04,5.515041e-04,5.488609e-04,5.414342e-04,5.316210e-04,5.293034e-04,5.220585e-04,5.127406e-04,5.107229e-04,5.036615e-04,4.948154e-04,4.930736e-04,4.861967e-04,4.777999e-04,4.763116e-04,4.696195e-04,4.616504e-04,4.603945e-04,4.538872e-04,4.463249e-04,4.452819e-04,4.389586e-04,4.317834e-04,4.309350e-04,4.247946e-04,4.179875e-04,4.173166e-04,4.113577e-04,4.049006e-04,4.043913e-04,3.986120e-04,3.924876e-04,3.921252e-04,3.865233e-04,3.807151e-04,3.804860e-04,3.750590e-04,3.695513e-04,3.694426e-04,3.641880e-04,3.589657e-04,3.490271e-04,3.396002e-04,3.306592e-04,3.221801e-04,3.141395e-04,3.065155e-04,2.992870e-04,2.924342e-04,2.859381e-04,2.797805e-04,2.739443e-04,2.684132e-04,2.631716e-04,2.582048e-04,2.534987e-04,2.490400e-04,2.448160e-04,2.408147e-04,2.370246e-04,2.334348e-04,2.300351e-04,2.268155e-04,2.237669e-04,2.208802e-04,2.181472e-04,2.155597e-04,2.131103e-04,2.107918e-04,2.085972e-04,2.065201e-04,2.045543e-04,2.026940e-04,2.009337e-04,1.992679e-04,1.976917e-04,1.962004e-04,1.947895e-04,1.934546e-04,1.921917e-04,1.909969e-04,1.898666e-04,1.887973e-04,1.877857e-04,1.868286e-04,1.859231e-04,1.850664e-04,1.842557e-04,1.834887e-04,1.827627e-04
0.000000e+00,9.376182e-13,1.890472e-10,2.045006e-10,5.096694e-09,4.915567e-08,5.339797e-08,3.348620e-07,1.342666e-06,1.453628e-06,4.752647e-06,1.158441e-05,1.242142e-05,2.716577e-05,4.861058e-05,5.153926e-05,8.726114e-05,1.284837e-04,1.347942e-04,1.932711e-04,2.508260e-04,2.607111e-04,3.343987e-04,3.989068e-04,4.113018e-04,4.884417e-04,5.499988e-04,5.631675e-04,6.333249e-04,6.850759e-04,6.973269e-04,7.541471e-04,7.931316e-04,8.032664e-04,8.445876e-04,8.709088e-04,8.783413e-04,9.049923e-04,9.205000e-04,9.251569e-04,9.395330e-04,9.467071e-04,9.488461e-04,9.538079e-04,9.550536e-04,9.550895e-04,9.533057e-04,9.506245e-04,9.490051e-04,9.426667e-04,9.375697e-04,9.347022e-04,9.254604e-04,9.190120e-04,9.152324e-04,9.042589e-04,8.971687e-04,8.927364e-04,8.808242e-04,8.735442e-04,8.686502e-04,8.563162e-04,8.491216e-04,8.439027e-04,8.314728e-04,8.245237e-04,8.190757e-04,8.067494e-04,8.001332e-04,7.945230e-04,7.824188e-04,7.761786e-04,7.704536e-04,7.586398e-04,7.527927e-04,7.469866e-04,7.355005e-04,7.300478e-04,7.241858e-04,7.130454e-04,7.079799e-04,7.020811e-04,6.912939e-04,6.866036e-04,6.806837e-04,6.702503e-04,6.659208e-04,6.599927e-04,6.499098e-04,6.459252e-04,6.400002e-04,6.302622e-04,6.266064e-04,6.206942e-04,6.112943e-04,6.079511e-04,6.020605e-04,5.929911e-04,5.899445e-04,5.840837e-04,5.753363e-04,5.725706e-04,5.667468e-04,5.583128e-04,5.558127e-04,5.500323e-04,5.419031e-04,5.396537e-04,5.339228e-04,5.260895e-04,5.240766e-04,5.184008e-04,5.108546e-04,5.090645e-04,5.034488e-04,4.961812e-04,4.946006e-04,4.890495e-04,4.820518e-04,4.806681e-04,4.751858e-04,4.684494e-04,4.672505e-04,4.618406e-04,4.553573e-04,4.543315e-04,4.489975e-04,4.427592e-04,4.418954e-04,4.366402e-04,4.306388e-04,4.299264e-04,4.247529e-04,4.189806e-04,4.184095e-04,4.133199e-04,4.077691e-04,4.073297e-04,4.023262e-04,3.969894e-04,3.966725e-04,3.917569e-04,3.866269e-04,3.864238e-04,3.815976e-04,3.766674e-04,3.765698e-04,3.718345e-04,3.670971e-04,3.579929e-04,3.492443e-04,3.408393e-04,3.327659e-04,3.250126e-04,3.175682e-04,3.104218e-04,3.035631e-04,2.969818e-04,2.906682e-04,2.846126e-04,2.788060e-04,2.732393e-04,2.679040e-04,2.627918e-04,2.578946e-04,2.532045e-04,2.487141e-04,2.444161e-04,2.403035e-04,2.363694e-04,2.326073e-04,2.290108e-04,2.255739e-04,2.222905e-04,2.191549e-04,2.161617e-04,2.133055e-04,2.105811e-04,2.079836e-04,2.055081e-04,2.031500e-04,2.009048e-04,1.987682e-04,1.967360e-04,1.948041e-04,1.929688e-04,1.912261e-04,1.895725e-04,1.880045e-04,1.865187e-04,1.851118e-04,1.837806e-04,1.825223e-04,1.813337e-04,1.802121e-04,1.791547e-04,1.781589e-04,1.772222e-04
0.000000e+00,3.198346e-13,7.733024e-11,8.395429e-11,2.497189e-09,2.845128e-08,3.112212e-08,2.323218e-07,1.097765e-06,1.200991e-06,4.673352e-06,1.337623e-05,1.454565e-05,3.798454e-05,7.999014e-05,8.637472e-05,1.759380e-04,3.055921e-04,3.279543e-04,5.685880e-04,8.695815e-04,9.283620e-04,1.441354e-03,2.017419e-03,2.144189e-03,3.074918e-03,4.035054e-03,4.271840e-03,5.772344e-03,7.215202e-03,7.611821e-03,9.822669e-03,1.182347e-02,1.243345e-02,1.546819e-02,1.806999e-02,1.894583e-02,2.287985e-02,2.608965e-02,2.727806e-02,3.214253e-02,3.593182e-02,3.746960e-02,4.325011e-02,4.755876e-02,4.946967e-02,5.610901e-02,6.085161e-02,6.314442e-02,7.054823e-02,7.562155e-02,7.828930e-02,8.633360e-02,9.162434e-02,9.464470e-02,1.031844e-01,1.085764e-01,1.119130e-01,1.207904e-01,1.261712e-01,1.297757e-01,1.388284e-01,1.440940e-01,1.479085e-01,1.569768e-01,1.620357e-01,1.659954e-01,1.749279e-01,1.797033e-01,1.837396e-01,1.923976e-01,1.968289e-01,2.008715e-01,2.091329e-01,2.131757e-01,2.171557e-01,2.249163e-01,2.285419e-01,2.323933e-01,2.395681e-01,2.427624e-01,2.464242e-01,2.529475e-01,2.557092e-01,2.591263e-01,2.649512e-01,2.672902e-01,2.704146e-01,2.755115e-01,2.774467e-01,2.802382e-01,2.845933e-01,2.861508e-01,2.885769e-01,2.921908e-01,2.934018e-01,2.954380e-01,2.983230e-01,2.992225e-01,3.008517e-01,3.030308e-01,3.036555e-01,3.048681e-01,3.063721e-01,3.067598e-01,3.075524e-01,3.084190e-01,3.086068e-01,3.089824e-01,3.092536e-01,3.092777e-01,3.092442e-01,3.089658e-01,3.088603e-01,3.084303e-01,3.076498e-01,3.074465e-01,3.066364e-01,3.054023e-01,3.051300e-01,3.039595e-01,3.023201e-01,3.020050e-01,3.004959e-01,2.984987e-01,2.981639e-01,2.963401e-01,2.940312e-01,2.936966e-01,2.915831e-01,2.890066e-01,2.886893e-01,2.863120e-01,2.835096e-01,2.832238e-01,2.806090e-01,2.776198e-01,2.773771e-01,2.745510e-01,2.714115e-01,2.712210e-01,2.682095e-01,2.649533e-01,2.648220e-01,2.616504e-01,2.583083e-01,2.582411e-01,2.549338e-01,2.515338e-01,2.447503e-01,2.379361e-01,2.311312e-01,2.243716e-01,2.176886e-01,2.111096e-01,2.046583e-01,1.983548e-01,1.922163e-01,1.862570e-01,1.804885e-01,1.749200e-01,1.695587e-01,1.644098e-01,1.594770e-01,1.547622e-01,1.502661e-01,1.459884e-01,1.419275e-01,1.380810e-01,1.344457e-01,1.310178e-01,1.277928e-01,1.247657e-01,1.219312e-01,1.192835e-01,1.168166e-01,1.145243e-01,1.124000e-01,1.104372e-01,1.086292e-01,1.069692e-01,1.054505e-01,1.040662e-01,1.028095e-01,1.016738e-01,1.006524e-01,9.973873e-02,9.892634e-02,9.820893e-02,9.758030e-02,9.703443e-02,9.656546e-02,9.616769e-02,9.583563e-02,9.556395e-02,9.534756e-02,9.518152e-02,9.506114e-02
0.000000e+00,2.758908e-13,6.194392e-11,6.714796e-11,1.855350e-09,1.983287e-08,2.164085e-08,1.524611e-07,6.867590e-07,7.491801e-07,2.784538e-06,7.649440e-06,8.288213e-06,2.066033e-05,4.160741e-05,4.469797e-05,8.631685e-05,1.426725e-04,1.520547e-04,2.484777e-04,3.605527e-04,3.815977e-04,5.563808e-04,7.380480e-04,7.763888e-04,1.043569e-03,1.298095e-03,1.358187e-03,1.718877e-03,2.038736e-03,2.122798e-03,2.565842e-03,2.935312e-03,3.042892e-03,3.548091e-03,3.946985e-03,4.075111e-03,4.617403e-03,5.024674e-03,5.168417e-03,5.721797e-03,6.118303e-03,6.271530e-03,6.812071e-03,7.182279e-03,7.338421e-03,7.846189e-03,8.178912e-03,8.331614e-03,8.791575e-03,9.079961e-03,9.223572e-03,9.625701e-03,9.866746e-03,9.996616e-03,1.033548e-02,1.052930e-02,1.064192e-02,1.091596e-02,1.106498e-02,1.115798e-02,1.136864e-02,1.147683e-02,1.154889e-02,1.169984e-02,1.177206e-02,1.182279e-02,1.191912e-02,1.196060e-02,1.199034e-02,1.203798e-02,1.205396e-02,1.206362e-02,1.206881e-02,1.206424e-02,1.205513e-02,1.202410e-02,1.200347e-02,1.197719e-02,1.191585e-02,1.188317e-02,1.184144e-02,1.175527e-02,1.171395e-02,1.165856e-02,1.155248e-02,1.150540e-02,1.143812e-02,1.131649e-02,1.126602e-02,1.118854e-02,1.105515e-02,1.100321e-02,1.091713e-02,1.077522e-02,1.072332e-02,1.063011e-02,1.048242e-02,1.043172e-02,1.033271e-02,1.018151e-02,1.013289e-02,1.002929e-02,9.876473e-03,9.830569e-03,9.723438e-03,9.570533e-03,9.527785e-03,9.418064e-03,9.266308e-03,9.226999e-03,9.115509e-03,8.965886e-03,8.930173e-03,8.817629e-03,8.670909e-03,8.638852e-03,8.525872e-03,8.382648e-03,8.354230e-03,8.241347e-03,8.102064e-03,8.077214e-03,7.964882e-03,7.829866e-03,7.808469e-03,7.697075e-03,7.566553e-03,7.548463e-03,7.438337e-03,7.312454e-03,7.297506e-03,7.188925e-03,7.067763e-03,7.055777e-03,6.948974e-03,6.832561e-03,6.823351e-03,6.718521e-03,6.606845e-03,6.600219e-03,6.497522e-03,6.390537e-03,6.386306e-03,6.285873e-03,6.183508e-03,6.181484e-03,6.083421e-03,5.985586e-03,5.798413e-03,5.619741e-03,5.449332e-03,5.286933e-03,5.132286e-03,4.985126e-03,4.845188e-03,4.712207e-03,4.585919e-03,4.466064e-03,4.352387e-03,4.244637e-03,4.142570e-03,4.045948e-03,3.954540e-03,3.868121e-03,3.786473e-03,3.709386e-03,3.636657e-03,3.568090e-03,3.503495e-03,3.442691e-03,3.385501e-03,3.331756e-03,3.281295e-03,3.233961e-03,3.189603e-03,3.148078e-03,3.109247e-03,3.072977e-03,3.039141e-03,3.007617e-03,2.978286e-03,2.951038e-03,2.925764e-03,2.902361e-03,2.880730e-03,2.860777e-03,2.842410e-03,2.825545e-03,2.810096e-03,2.795986e-03,2.783139e-03,2.771481e-03,2.760944e-03,2.751461e-03,2.742970e-03,2.735409e-03,2.728722e-03
0.000000e+00,5.986508e-13,1.378349e-10,1.494532e-10,4.131095e-09,4.356350e-08,4.750431e-08,3.301234e-07,1.479824e-06,1.614361e-06,6.038209e-06,1.683826e-05,1.827478e-05,4.669980e-05,9.666105e-05,1.041813e-04,2.082732e-04,3.556685e-04,3.807911e-04,6.468791e-04,9.712631e-04,1.033733e-03,1.569150e-03,2.153476e-03,2.280071e-03,3.191221e-03,4.102880e-03,4.323950e-03,5.695325e-03,6.972576e-03,7.317473e-03,9.197214e-03,1.084332e-02,1.133594e-02,1.372970e-02,1.571416e-02,1.636950e-02,1.924174e-02,2.150658e-02,2.232873e-02,2.560937e-02,2.807798e-02,2.905972e-02,3.265373e-02,3.524032e-02,3.636389e-02,4.016184e-02,4.277998e-02,4.401896e-02,4.790690e-02,5.047635e-02,5.179801e-02,5.566575e-02,5.811719e-02,5.948504e-02,6.323249e-02,6.551033e-02,6.688662e-02,7.042798e-02,7.249137e-02,7.383926e-02,7.710531e-02,7.892789e-02,8.021319e-02,8.315204e-02,8.472061e-02,8.591310e-02,8.848959e-02,8.980234e-02,9.087659e-02,9.307093e-02,9.413528e-02,9.507107e-02,9.687697e-02,9.770741e-02,9.848987e-02,9.991224e-02,1.005283e-01,1.011476e-01,1.022003e-01,1.026247e-01,1.030757e-01,1.037796e-01,1.040366e-01,1.043184e-01,1.046990e-01,1.048135e-01,1.049287e-01,1.050148e-01,1.050108e-01,1.049651e-01,1.047872e-01,1.046876e-01,1.044888e-01,1.040778e-01,1.039037e-01,1.035618e-01,1.029482e-01,1.027187e-01,1.022445e-01,1.014578e-01,1.011897e-01,1.005951e-01,9.966304e-02,9.937089e-02,9.866815e-02,9.761660e-02,9.731283e-02,9.651433e-02,9.536698e-02,9.506196e-02,9.417995e-02,9.295832e-02,9.266053e-02,9.170693e-02,9.043032e-02,9.014651e-02,8.913277e-02,8.781829e-02,8.755370e-02,8.649065e-02,8.515335e-02,8.491187e-02,8.380968e-02,8.246267e-02,8.224703e-02,8.111517e-02,7.976978e-02,7.958174e-02,7.842893e-02,7.709486e-02,7.693532e-02,7.576961e-02,7.445505e-02,7.432425e-02,7.315291e-02,7.186476e-02,7.176235e-02,7.059200e-02,6.933593e-02,6.926112e-02,6.809770e-02,6.687835e-02,6.682999e-02,6.567882e-02,6.449991e-02,6.447655e-02,6.334236e-02,6.220680e-02,6.002532e-02,5.793545e-02,5.593949e-02,5.403882e-02,5.223401e-02,5.052497e-02,4.891102e-02,4.739100e-02,4.596332e-02,4.462605e-02,4.337697e-02,4.221361e-02,4.113335e-02,4.013334e-02,3.921066e-02,3.836225e-02,3.758502e-02,3.687579e-02,3.623139e-02,3.564861e-02,3.512427e-02,3.465519e-02,3.423822e-02,3.387025e-02,3.354822e-02,3.326915e-02,3.303010e-02,3.282820e-02,3.266068e-02,3.252486e-02,3.241812e-02,3.233796e-02,3.228196e-02,3.224783e-02,3.223334e-02,3.223640e-02,3.225502e-02,3.228730e-02,3.233147e-02,3.238585e-02,3.244889e-02,3.251911e-02,3.259516e-02,3.267579e-02,3.275984e-02,3.284627e-02,3.293409e-02,3.302245e-02,3.311056e-02
0.000000e+00,5.636873e-13,1.526311e-10,1.662848e-10,5.856484e-09,7.259957e-08,7.952469e-08,5.858147e-07,2.566448e-06,2.790357e-06,9.645406e-06,2.443733e-05,2.628770e-05,5.995192e-05,1.119873e-04,1.193492e-04,2.137380e-04,3.327702e-04,3.519301e-04,5.414156e-04,7.496669e-04,7.877130e-04,1.093984e-03,1.398166e-03,1.460905e-03,1.886748e-03,2.277246e-03,2.367634e-03,2.897883e-03,3.352914e-03,3.470433e-03,4.077264e-03,4.568888e-03,4.709809e-03,5.359326e-03,5.859007e-03,6.017217e-03,6.675289e-03,7.157885e-03,7.325946e-03,7.962337e-03,8.408294e-03,8.578447e-03,9.169137e-03,9.565181e-03,9.730151e-03,1.025809e-02,1.059686e-02,1.075039e-02,1.120522e-02,1.148430e-02,1.162145e-02,1.199856e-02,1.221937e-02,1.233656e-02,1.263591e-02,1.280246e-02,1.289746e-02,1.312236e-02,1.324027e-02,1.331199e-02,1.346795e-02,1.354364e-02,1.359195e-02,1.368580e-02,1.372588e-02,1.375137e-02,1.379055e-02,1.380139e-02,1.380521e-02,1.379721e-02,1.378470e-02,1.376836e-02,1.372041e-02,1.368979e-02,1.365503e-02,1.357382e-02,1.352967e-02,1.347831e-02,1.336993e-02,1.331613e-02,1.325004e-02,1.311989e-02,1.305968e-02,1.298066e-02,1.283346e-02,1.276950e-02,1.267929e-02,1.251911e-02,1.245355e-02,1.235378e-02,1.218409e-02,1.211863e-02,1.201079e-02,1.183454e-02,1.177049e-02,1.165597e-02,1.147562e-02,1.141399e-02,1.129402e-02,1.111163e-02,1.105316e-02,1.092886e-02,1.074611e-02,1.069134e-02,1.056372e-02,1.038200e-02,1.033128e-02,1.020123e-02,1.002166e-02,9.975192e-03,9.843509e-03,9.666988e-03,9.624885e-03,9.492270e-03,9.319514e-03,9.281785e-03,9.148857e-03,8.980423e-03,8.947012e-03,8.814316e-03,8.650628e-03,8.621428e-03,8.489439e-03,8.330814e-03,8.305676e-03,8.174810e-03,8.021473e-03,8.000220e-03,7.870839e-03,7.722936e-03,7.705373e-03,7.577788e-03,7.435407e-03,7.421322e-03,7.295803e-03,7.158978e-03,7.148153e-03,7.024930e-03,6.893653e-03,6.885864e-03,6.765134e-03,6.639361e-03,6.634387e-03,6.516314e-03,6.395973e-03,6.393593e-03,6.278315e-03,6.163314e-03,5.943343e-03,5.733447e-03,5.533369e-03,5.342837e-03,5.161569e-03,4.989274e-03,4.825654e-03,4.670411e-03,4.523247e-03,4.383866e-03,4.251977e-03,4.127293e-03,4.009531e-03,3.898415e-03,3.793673e-03,3.695044e-03,3.602270e-03,3.515104e-03,3.433305e-03,3.356640e-03,3.284883e-03,3.217815e-03,3.155227e-03,3.096914e-03,3.042679e-03,2.992334e-03,2.945694e-03,2.902584e-03,2.862834e-03,2.826280e-03,2.792764e-03,2.762134e-03,2.734244e-03,2.708951e-03,2.686121e-03,2.665623e-03,2.647330e-03,2.631121e-03,2.616880e-03,2.604495e-03,2.593856e-03,2.584861e-03,2.577410e-03,2.571406e-03,2.566757e-03,2.563374e-03,2.561174e-03,2.560073e-03,2.559994e-03
0.000000e+00,9.341674e-13,2.210136e-10,2.400515e-10,7.378001e-09,8.412094e-08,9.191023e-08,6.461134e-07,2.758628e-06,2.995196e-06,1.013061e-05,2.512070e-05,2.696837e-05,5.984016e-05,1.086929e-04,1.154588e-04,1.997903e-04,3.012391e-04,3.171615e-04,4.697538e-04,6.291478e-04,6.574850e-04,8.781974e-04,1.086311e-03,1.128049e-03,1.401992e-03,1.640575e-03,1.694269e-03,1.998855e-03,2.247397e-03,2.309830e-03,2.621660e-03,2.862266e-03,2.929384e-03,3.228732e-03,3.448432e-03,3.516168e-03,3.788887e-03,3.979960e-03,4.044781e-03,4.282374e-03,4.441572e-03,4.500745e-03,4.699455e-03,4.826814e-03,4.878456e-03,5.038027e-03,5.135696e-03,5.178693e-03,5.301173e-03,5.372460e-03,5.406324e-03,5.495093e-03,5.543771e-03,5.568486e-03,5.627536e-03,5.657399e-03,5.673280e-03,5.706740e-03,5.721334e-03,5.728909e-03,5.740745e-03,5.743238e-03,5.743161e-03,5.737021e-03,5.730149e-03,5.723135e-03,5.702265e-03,5.688342e-03,5.675117e-03,5.642350e-03,5.623295e-03,5.604573e-03,5.562345e-03,5.539726e-03,5.516184e-03,5.466564e-03,5.441647e-03,5.413919e-03,5.358647e-03,5.332440e-03,5.301110e-03,5.241641e-03,5.214942e-03,5.180542e-03,5.118086e-03,5.091510e-03,5.054523e-03,4.990079e-03,4.964102e-03,4.924961e-03,4.859354e-03,4.834331e-03,4.793426e-03,4.727329e-03,4.703519e-03,4.661200e-03,4.595162e-03,4.572750e-03,4.529325e-03,4.463789e-03,4.442896e-03,4.398642e-03,4.333963e-03,4.314661e-03,4.269823e-03,4.206282e-03,4.188607e-03,4.143398e-03,4.081218e-03,4.065172e-03,4.019785e-03,3.959135e-03,3.944699e-03,3.899300e-03,3.840308e-03,3.827445e-03,3.782182e-03,3.724941e-03,3.713600e-03,3.668601e-03,3.613174e-03,3.603295e-03,3.558672e-03,3.505100e-03,3.496616e-03,3.452465e-03,3.400770e-03,3.393607e-03,3.350015e-03,3.300200e-03,3.294285e-03,3.251322e-03,3.203379e-03,3.198636e-03,3.156366e-03,3.110277e-03,3.106629e-03,3.065104e-03,3.020841e-03,3.018214e-03,2.977479e-03,2.935009e-03,2.933328e-03,2.893420e-03,2.852703e-03,2.851898e-03,2.812847e-03,2.773841e-03,2.699070e-03,2.627493e-03,2.559014e-03,2.493536e-03,2.430960e-03,2.371188e-03,2.314123e-03,2.259665e-03,2.207721e-03,2.158195e-03,2.110994e-03,2.066030e-03,2.023214e-03,1.982461e-03,1.943686e-03,1.906811e-03,1.871757e-03,1.838448e-03,1.806812e-03,1.776778e-03,1.748278e-03,1.721246e-03,1.695621e-03,1.671340e-03,1.648344e-03,1.626579e-03,1.605990e-03,1.586523e-03,1.568130e-03,1.550763e-03,1.534374e-03,1.518920e-03,1.504358e-03,1.490646e-03,1.477746e-03,1.465620e-03,1.454232e-03,1.443546e-03,1.433530e-03,1.424152e-03,1.415380e-03,1.407186e-03,1.399542e-03,1.392420e-03,1.385794e-03,1.379640e-03,1.373935e-03,1.368654e-03,1.363777e-03
0.000000e+00,1.934160e-09,7.652785e-08,8.096792e-08,8.241247e-07,3.744204e-06,3.939940e-06,1.080904e-05,1.913965e-05,1.967267e-05,2.802956e-05,3.461985e-05,3.514228e-05,4.103972e-05,4.543860e-05,4.587963e-05,4.981932e-05,5.265141e-05,5.299648e-05,5.552872e-05,5.726736e-05,5.751611e-05,5.904378e-05,6.002505e-05,6.018414e-05,6.099879e-05,6.146070e-05,6.154003e-05,6.185227e-05,6.196267e-05,6.197314e-05,6.193447e-05,6.181103e-05,6.176319e-05,6.148206e-05,6.120686e-05,6.111027e-05,6.066401e-05,6.029393e-05,6.015691e-05,5.960048e-05,5.917479e-05,5.900438e-05,5.837677e-05,5.792239e-05,5.772447e-05,5.705324e-05,5.658849e-05,5.636791e-05,5.567252e-05,5.520972e-05,5.497045e-05,5.426456e-05,5.381189e-05,5.355721e-05,5.285038e-05,5.241314e-05,5.214572e-05,5.144461e-05,5.102613e-05,5.074818e-05,5.005736e-05,4.965955e-05,4.937290e-05,4.869544e-05,4.831932e-05,4.802550e-05,4.736346e-05,4.700936e-05,4.670964e-05,4.606430e-05,4.573214e-05,4.542762e-05,4.479975e-05,4.448914e-05,4.418077e-05,4.357074e-05,4.328112e-05,4.296970e-05,4.237764e-05,4.210831e-05,4.179455e-05,4.122040e-05,4.097060e-05,4.065514e-05,4.009872e-05,3.986763e-05,3.955105e-05,3.901205e-05,3.879887e-05,3.848166e-05,3.795977e-05,3.776366e-05,3.744629e-05,3.694112e-05,3.676128e-05,3.644417e-05,3.595531e-05,3.579093e-05,3.547446e-05,3.500150e-05,3.485181e-05,3.453633e-05,3.407883e-05,3.394307e-05,3.362891e-05,3.318644e-05,3.306388e-05,3.275133e-05,3.232346e-05,3.221339e-05,3.190274e-05,3.148904e-05,3.139079e-05,3.108228e-05,3.068234e-05,3.059525e-05,3.028911e-05,2.990251e-05,2.982597e-05,2.952242e-05,2.914874e-05,2.908216e-05,2.878139e-05,2.842024e-05,2.836303e-05,2.806523e-05,2.771623e-05,2.766785e-05,2.737317e-05,2.703594e-05,2.699586e-05,2.670446e-05,2.637864e-05,2.634636e-05,2.605838e-05,2.574360e-05,2.571865e-05,2.543420e-05,2.513011e-05,2.511204e-05,2.483124e-05,2.453751e-05,2.452587e-05,2.424883e-05,2.396512e-05,2.395949e-05,2.368630e-05,2.341230e-05,2.288367e-05,2.237302e-05,2.187977e-05,2.140337e-05,2.094328e-05,2.049898e-05,2.006996e-05,1.965573e-05,1.925581e-05,1.886974e-05,1.849707e-05,1.813737e-05,1.779021e-05,1.745520e-05,1.713193e-05,1.682002e-05,1.651910e-05,1.622881e-05,1.594880e-05,1.567874e-05,1.541830e-05,1.516716e-05,1.492503e-05,1.469159e-05,1.446656e-05,1.424968e-05,1.404066e-05,1.383925e-05,1.364519e-05,1.345824e-05,1.327817e-05,1.310475e-05,1.293775e-05,1.277696e-05,1.262217e-05,1.247318e-05,1.232981e-05,1.219185e-05,1.205913e-05,1.193147e-05,1.180870e-05,1.169066e-05,1.157719e-05,1.146812e-05,1.136332e-05,1.126264e-05,1.116593e-05,1.107307e-05,1.098392e-05
0.000000e+00,5.274567e-11,8.698091e-09,9.379260e-09,2.073938e-07,1.839756e-06,1.991195e-06,1.116375e-05,3.844152e-05,4.115050e-05,1.090335e-04,2.142867e-04,2.254259e-04,3.889967e-04,5.678082e-04,5.890527e-04,8.113490e-04,1.014800e-03,1.042668e-03,1.272927e-03,1.464910e-03,1.495420e-03,1.706199e-03,1.872688e-03,1.903250e-03,2.085788e-03,2.224582e-03,2.253751e-03,2.407483e-03,2.520587e-03,2.547533e-03,2.674552e-03,2.765025e-03,2.789232e-03,2.892270e-03,2.963217e-03,2.984355e-03,3.066158e-03,3.120454e-03,3.138325e-03,3.201473e-03,3.241687e-03,3.256191e-03,3.303040e-03,3.331437e-03,3.342550e-03,3.375222e-03,3.393778e-03,3.401533e-03,3.421936e-03,3.432373e-03,3.436857e-03,3.446703e-03,3.450518e-03,3.451855e-03,3.452670e-03,3.451146e-03,3.449486e-03,3.442617e-03,3.436851e-03,3.432360e-03,3.418992e-03,3.409917e-03,3.402774e-03,3.383950e-03,3.372356e-03,3.362748e-03,3.339384e-03,3.325940e-03,3.314059e-03,3.286961e-03,3.272229e-03,3.258267e-03,3.228141e-03,3.212589e-03,3.196737e-03,3.164199e-03,3.148218e-03,3.130663e-03,3.096252e-03,3.080163e-03,3.061086e-03,3.025272e-03,3.009335e-03,2.988912e-03,2.952101e-03,2.936527e-03,2.914926e-03,2.877469e-03,2.862425e-03,2.839806e-03,2.802007e-03,2.787621e-03,2.764136e-03,2.726254e-03,2.712625e-03,2.688417e-03,2.650674e-03,2.637872e-03,2.613074e-03,2.575659e-03,2.563732e-03,2.538469e-03,2.501540e-03,2.490518e-03,2.464906e-03,2.428597e-03,2.418493e-03,2.392641e-03,2.357061e-03,2.347875e-03,2.321881e-03,2.287121e-03,2.278843e-03,2.252798e-03,2.218930e-03,2.211541e-03,2.185529e-03,2.152609e-03,2.146084e-03,2.120180e-03,2.088252e-03,2.082559e-03,2.056833e-03,2.025929e-03,2.021033e-03,1.995546e-03,1.965688e-03,1.961550e-03,1.936359e-03,1.907561e-03,1.904141e-03,1.879294e-03,1.851561e-03,1.848816e-03,1.824359e-03,1.797690e-03,1.795579e-03,1.771550e-03,1.745939e-03,1.744419e-03,1.720853e-03,1.696288e-03,1.695316e-03,1.672242e-03,1.648710e-03,1.648245e-03,1.625688e-03,1.603170e-03,1.560054e-03,1.518853e-03,1.479520e-03,1.442005e-03,1.406257e-03,1.372223e-03,1.339846e-03,1.309074e-03,1.279849e-03,1.252117e-03,1.225822e-03,1.200910e-03,1.177326e-03,1.155019e-03,1.133935e-03,1.114025e-03,1.095238e-03,1.077525e-03,1.060841e-03,1.045138e-03,1.030374e-03,1.016505e-03,1.003489e-03,9.912865e-04,9.798591e-04,9.691696e-04,9.591818e-04,9.498615e-04,9.411753e-04,9.330915e-04,9.255795e-04,9.186098e-04,9.121544e-04,9.061862e-04,9.006793e-04,8.956092e-04,8.909519e-04,8.866850e-04,8.827866e-04,8.792362e-04,8.760139e-04,8.731008e-04,8.704789e-04,8.681310e-04,8.660407e-04,8.641923e-04,8.625709e-04,8.611623e-04,8.599529e-04
0.000000e+00,1.387684e-13,3.440887e-11,3.738913e-11,1.169710e-09,1.386065e-08,1.517939e-08,1.150459e-07,5.394760e-07,5.895689e-07,2.236706e-06,6.204853e-06,6.727665e-06,1.691876e-05,3.441776e-05,3.702287e-05,7.261106e-05,1.220917e-04,1.304562e-04,2.182545e-04,3.240091e-04,3.442665e-04,5.169226e-04,7.040164e-04,7.444256e-04,1.034384e-03,1.323484e-03,1.393491e-03,1.827271e-03,2.230903e-03,2.339883e-03,2.934006e-03,3.454794e-03,3.610779e-03,4.369807e-03,5.000577e-03,5.209212e-03,6.125730e-03,6.850988e-03,7.114846e-03,8.170941e-03,8.969157e-03,9.287465e-03,1.045711e-02,1.130328e-02,1.167201e-02,1.292387e-02,1.379192e-02,1.420419e-02,1.550438e-02,1.636924e-02,1.681592e-02,1.813046e-02,1.896963e-02,1.944000e-02,2.073687e-02,2.153140e-02,2.201391e-02,2.326446e-02,2.399952e-02,2.448244e-02,2.566237e-02,2.632735e-02,2.679938e-02,2.788922e-02,2.847755e-02,2.892826e-02,2.991346e-02,3.042220e-02,3.084238e-02,3.171314e-02,3.214247e-02,3.252437e-02,3.327519e-02,3.362781e-02,3.396520e-02,3.459439e-02,3.487489e-02,3.516313e-02,3.567215e-02,3.588651e-02,3.612246e-02,3.651534e-02,3.667040e-02,3.685231e-02,3.713507e-02,3.723811e-02,3.736549e-02,3.754556e-02,3.760397e-02,3.767739e-02,3.776316e-02,3.778414e-02,3.780509e-02,3.780547e-02,3.779587e-02,3.776657e-02,3.769066e-02,3.765683e-02,3.758003e-02,3.743690e-02,3.738459e-02,3.726346e-02,3.706187e-02,3.699621e-02,3.683420e-02,3.658248e-02,3.650796e-02,3.630867e-02,3.601464e-02,3.593511e-02,3.570220e-02,3.537308e-02,3.529179e-02,3.502892e-02,3.467130e-02,3.459097e-02,3.430170e-02,3.392153e-02,3.384435e-02,3.353213e-02,3.313476e-02,3.306248e-02,3.273059e-02,3.232075e-02,3.225472e-02,3.190627e-02,3.148813e-02,3.142935e-02,3.106724e-02,3.064445e-02,3.059363e-02,3.022055e-02,2.979628e-02,2.975386e-02,2.937232e-02,2.894929e-02,2.891551e-02,2.852779e-02,2.810833e-02,2.808324e-02,2.769143e-02,2.727753e-02,2.726104e-02,2.686704e-02,2.646034e-02,2.645225e-02,2.605778e-02,2.565967e-02,2.488561e-02,2.413195e-02,2.340020e-02,2.269153e-02,2.200683e-02,2.134674e-02,2.071168e-02,2.010189e-02,1.951746e-02,1.895832e-02,1.842431e-02,1.791515e-02,1.743048e-02,1.696986e-02,1.653282e-02,1.611881e-02,1.572725e-02,1.535751e-02,1.500895e-02,1.468092e-02,1.437271e-02,1.408364e-02,1.381299e-02,1.356007e-02,1.332415e-02,1.310453e-02,1.290049e-02,1.271133e-02,1.253635e-02,1.237487e-02,1.222619e-02,1.208966e-02,1.196461e-02,1.185041e-02,1.174643e-02,1.165206e-02,1.156669e-02,1.148977e-02,1.142072e-02,1.135900e-02,1.130409e-02,1.125549e-02,1.121272e-02,1.117530e-02,1.114280e-02,1.111480e-02,1.109088e-02,1.107066e-02,1.105379e-02
0.000000e+00,6.211333e-09,1.199641e-07,1.259159e-07,9.698423e-07,3.785714e-06,3.961982e-06,9.558039e-06,1.561279e-05,1.599572e-05,2.214725e-05,2.735356e-05,2.778498e-05,3.289724e-05,3.707165e-05,3.751164e-05,4.166195e-05,4.495677e-05,4.538143e-05,4.870165e-05,5.126052e-05,5.165246e-05,5.426200e-05,5.620974e-05,5.655681e-05,5.856189e-05,6.000636e-05,6.030069e-05,6.179516e-05,6.282863e-05,6.306578e-05,6.413161e-05,6.483221e-05,6.501032e-05,6.571833e-05,6.615160e-05,6.627077e-05,6.668167e-05,6.690223e-05,6.696393e-05,6.712947e-05,6.718259e-05,6.718927e-05,6.715342e-05,6.707641e-05,6.703120e-05,6.683117e-05,6.665473e-05,6.656117e-05,6.622840e-05,6.597763e-05,6.583949e-05,6.540051e-05,6.509587e-05,6.491701e-05,6.439411e-05,6.405218e-05,6.383647e-05,6.324837e-05,6.288254e-05,6.263373e-05,6.199612e-05,6.161709e-05,6.133882e-05,6.066481e-05,6.028108e-05,5.997680e-05,5.927730e-05,5.889558e-05,5.856855e-05,5.785262e-05,5.747812e-05,5.713137e-05,5.640652e-05,5.604322e-05,5.567958e-05,5.495197e-05,5.460285e-05,5.422494e-05,5.349963e-05,5.316685e-05,5.277706e-05,5.205816e-05,5.174322e-05,5.134375e-05,5.063458e-05,5.033844e-05,4.993130e-05,4.923450e-05,4.895771e-05,4.854470e-05,4.786237e-05,4.760512e-05,4.718790e-05,4.652164e-05,4.628386e-05,4.586391e-05,4.521495e-05,4.499635e-05,4.457500e-05,4.394424e-05,4.374437e-05,4.332282e-05,4.271088e-05,4.252916e-05,4.210850e-05,4.151576e-05,4.135153e-05,4.093271e-05,4.035938e-05,4.021191e-05,3.979579e-05,3.924192e-05,3.911044e-05,3.869777e-05,3.816329e-05,3.804700e-05,3.763845e-05,3.712317e-05,3.702126e-05,3.661741e-05,3.612108e-05,3.603274e-05,3.563411e-05,3.515640e-05,3.508081e-05,3.468785e-05,3.422838e-05,3.416477e-05,3.377786e-05,3.333620e-05,3.328379e-05,3.290328e-05,3.247898e-05,3.243702e-05,3.206319e-05,3.165578e-05,3.162355e-05,3.125664e-05,3.086564e-05,3.084243e-05,3.048265e-05,3.010755e-05,3.009270e-05,2.974021e-05,2.938051e-05,2.937339e-05,2.902832e-05,2.868351e-05,2.802210e-05,2.738818e-05,2.678079e-05,2.619901e-05,2.564189e-05,2.510855e-05,2.459810e-05,2.410969e-05,2.364247e-05,2.319564e-05,2.276841e-05,2.236003e-05,2.196976e-05,2.159688e-05,2.124071e-05,2.090058e-05,2.057585e-05,2.026591e-05,1.997016e-05,1.968803e-05,1.941895e-05,1.916241e-05,1.891788e-05,1.868488e-05,1.846293e-05,1.825157e-05,1.805037e-05,1.785890e-05,1.767675e-05,1.750354e-05,1.733889e-05,1.718244e-05,1.703384e-05,1.689276e-05,1.675888e-05,1.663189e-05,1.651149e-05,1.639741e-05,1.628937e-05,1.618710e-05,1.609036e-05,1.599890e-05,1.591250e-05,1.583093e-05,1.575397e-05,1.568142e-05,1.561308e-05,1.554877e-05,1.548830e-05
0.000000e+00,2.719912e-09,3.871721e-08,4.043600e-08,2.507469e-07,8.624672e-07,8.999914e-07,2.160128e-06,3.752552e-06,3.860228e-06,5.652532e-06,7.211644e-06,7.341279e-06,8.876206e-06,1.012384e-05,1.025491e-05,1.148621e-05,1.245654e-05,1.258109e-05,1.355053e-05,1.429185e-05,1.440490e-05,1.515396e-05,1.570841e-05,1.580674e-05,1.637166e-05,1.677481e-05,1.685649e-05,1.726836e-05,1.754975e-05,1.761383e-05,1.789888e-05,1.808289e-05,1.812909e-05,1.830955e-05,1.841633e-05,1.844495e-05,1.853956e-05,1.858565e-05,1.859733e-05,1.862185e-05,1.862079e-05,1.861643e-05,1.858409e-05,1.854693e-05,1.852760e-05,1.844947e-05,1.838517e-05,1.835202e-05,1.823737e-05,1.815322e-05,1.810744e-05,1.796400e-05,1.786586e-05,1.780866e-05,1.764287e-05,1.753544e-05,1.746799e-05,1.728522e-05,1.717224e-05,1.709568e-05,1.690037e-05,1.678482e-05,1.670022e-05,1.649606e-05,1.638026e-05,1.628864e-05,1.607866e-05,1.596442e-05,1.586673e-05,1.565342e-05,1.554213e-05,1.543924e-05,1.522464e-05,1.511732e-05,1.501005e-05,1.479582e-05,1.469323e-05,1.458231e-05,1.436980e-05,1.427246e-05,1.415857e-05,1.394885e-05,1.385711e-05,1.374087e-05,1.353479e-05,1.344886e-05,1.333081e-05,1.312905e-05,1.304900e-05,1.292965e-05,1.273271e-05,1.265855e-05,1.253835e-05,1.234663e-05,1.227827e-05,1.215763e-05,1.197140e-05,1.190873e-05,1.178800e-05,1.160746e-05,1.155029e-05,1.142980e-05,1.125507e-05,1.120321e-05,1.108326e-05,1.091438e-05,1.086762e-05,1.074845e-05,1.058545e-05,1.054355e-05,1.042538e-05,1.026823e-05,1.023095e-05,1.011399e-05,9.962625e-06,9.929711e-06,9.814129e-06,9.668474e-06,9.639682e-06,9.525634e-06,9.385579e-06,9.360663e-06,9.248281e-06,9.113706e-06,9.092425e-06,8.981823e-06,8.852598e-06,8.834716e-06,8.725994e-06,8.601975e-06,8.587265e-06,8.480506e-06,8.361548e-06,8.349789e-06,8.245064e-06,8.131016e-06,8.121996e-06,8.019364e-06,7.910071e-06,7.903588e-06,7.803098e-06,7.698405e-06,7.694264e-06,7.595954e-06,7.495708e-06,7.493725e-06,7.397626e-06,7.301671e-06,7.117807e-06,6.941841e-06,6.773486e-06,6.612462e-06,6.458496e-06,6.311321e-06,6.170677e-06,6.036312e-06,5.907981e-06,5.785448e-06,5.668484e-06,5.556866e-06,5.450382e-06,5.348824e-06,5.251993e-06,5.159697e-06,5.071751e-06,4.987976e-06,4.908200e-06,4.832259e-06,4.759992e-06,4.691246e-06,4.625875e-06,4.563736e-06,4.504694e-06,4.448616e-06,4.395378e-06,4.344859e-06,4.296941e-06,4.251514e-06,4.208470e-06,4.167705e-06,4.129122e-06,4.092625e-06,4.058123e-06,4.025528e-06,3.994756e-06,3.965726e-06,3.938361e-06,3.912586e-06,3.888330e-06,3.865525e-06,3.844105e-06,3.824007e-06,3.805170e-06,3.787536e-06,3.771050e-06,3.755659e-06,3.741311e-06
0.000000e+00,1.535625e-12,3.290024e-10,3.564975e-10,9.732648e-09,1.009299e-07,1.098999e-07,7.178503e-07,2.904797e-06,3.144140e-06,1.012892e-05,2.405736e-05,2.572968e-05,5.441450e-05,9.448576e-05,9.985542e-05,1.639907e-04,2.357922e-04,2.466300e-04,3.455877e-04,4.409530e-04,4.571692e-04,5.768091e-04,6.800101e-04,6.996973e-04,8.212922e-04,9.172602e-04,9.376740e-04,1.045746e-03,1.124705e-03,1.143296e-03,1.228962e-03,1.287114e-03,1.302130e-03,1.362800e-03,1.400825e-03,1.411441e-03,1.448855e-03,1.469905e-03,1.476056e-03,1.494165e-03,1.502222e-03,1.504336e-03,1.507695e-03,1.506564e-03,1.505302e-03,1.498123e-03,1.490954e-03,1.487025e-03,1.472763e-03,1.461940e-03,1.455992e-03,1.437264e-03,1.424469e-03,1.417044e-03,1.395717e-03,1.382080e-03,1.373599e-03,1.350947e-03,1.337187e-03,1.327968e-03,1.304827e-03,1.291384e-03,1.281656e-03,1.258559e-03,1.245689e-03,1.235618e-03,1.212895e-03,1.200733e-03,1.190438e-03,1.168285e-03,1.156894e-03,1.146462e-03,1.124990e-03,1.114391e-03,1.103884e-03,1.083155e-03,1.073340e-03,1.062808e-03,1.042849e-03,1.033799e-03,1.023279e-03,1.004099e-03,9.957828e-04,9.853073e-04,9.669022e-04,9.592866e-04,9.488808e-04,9.312397e-04,9.242888e-04,9.139748e-04,8.970817e-04,8.907588e-04,8.805557e-04,8.643917e-04,8.586603e-04,8.485847e-04,8.331293e-04,8.279535e-04,8.180199e-04,8.032510e-04,7.985959e-04,7.888168e-04,7.747117e-04,7.705435e-04,7.609299e-04,7.474656e-04,7.437517e-04,7.343131e-04,7.214666e-04,7.181760e-04,7.089205e-04,6.966691e-04,6.937719e-04,6.847066e-04,6.730275e-04,6.704956e-04,6.616262e-04,6.504972e-04,6.483036e-04,6.396350e-04,6.290343e-04,6.271535e-04,6.186897e-04,6.085960e-04,6.070040e-04,5.987481e-04,5.891407e-04,5.878146e-04,5.797689e-04,5.706278e-04,5.695461e-04,5.617124e-04,5.530179e-04,5.521604e-04,5.445397e-04,5.362731e-04,5.356207e-04,5.282135e-04,5.203565e-04,5.198914e-04,5.126976e-04,5.052326e-04,5.049380e-04,4.979572e-04,4.908672e-04,4.907273e-04,4.839586e-04,4.772273e-04,4.644073e-04,4.522375e-04,4.406895e-04,4.297358e-04,4.193502e-04,4.095073e-04,4.001830e-04,3.913538e-04,3.829976e-04,3.750928e-04,3.676190e-04,3.605564e-04,3.538863e-04,3.475905e-04,3.416517e-04,3.360535e-04,3.307797e-04,3.258154e-04,3.211459e-04,3.167573e-04,3.126361e-04,3.087697e-04,3.051459e-04,3.017528e-04,2.985793e-04,2.956147e-04,2.928487e-04,2.902715e-04,2.878737e-04,2.856463e-04,2.835807e-04,2.816686e-04,2.799023e-04,2.782741e-04,2.767769e-04,2.754038e-04,2.741482e-04,2.730038e-04,2.719646e-04,2.710248e-04,2.701789e-04,2.694218e-04,2.687483e-04,2.681538e-04,2.676335e-04,2.671832e-04,2.667986e-04,2.664759e-04,2.662111e-04
0.000000e+00,6.356527e-10,1.321341e-08,1.384969e-08,8.672905e-08,2.501624e-07,2.585748e-07,4.797683e-07,6.734491e-07,6.848812e-07,8.585145e-07,9.920011e-07,1.002526e-06,1.120925e-06,1.208736e-06,1.217511e-06,1.295592e-06,1.351252e-06,1.357996e-06,1.407140e-06,1.440376e-06,1.445082e-06,1.473573e-06,1.491297e-06,1.494101e-06,1.507931e-06,1.515030e-06,1.516135e-06,1.519622e-06,1.519537e-06,1.519163e-06,1.515410e-06,1.510555e-06,1.508916e-06,1.500149e-06,1.492212e-06,1.489505e-06,1.477318e-06,1.467474e-06,1.463871e-06,1.449403e-06,1.438469e-06,1.434116e-06,1.418182e-06,1.406721e-06,1.401744e-06,1.384924e-06,1.373321e-06,1.367824e-06,1.350530e-06,1.339046e-06,1.333115e-06,1.315639e-06,1.304447e-06,1.298154e-06,1.280703e-06,1.269916e-06,1.263320e-06,1.246036e-06,1.235724e-06,1.228876e-06,1.211859e-06,1.202061e-06,1.195002e-06,1.178319e-06,1.169057e-06,1.161822e-06,1.145518e-06,1.136797e-06,1.129416e-06,1.113520e-06,1.105337e-06,1.097834e-06,1.082362e-06,1.074707e-06,1.067105e-06,1.052065e-06,1.044923e-06,1.037243e-06,1.022637e-06,1.015992e-06,1.008249e-06,9.940774e-07,9.879099e-07,9.801204e-07,9.663769e-07,9.606680e-07,9.528453e-07,9.395237e-07,9.342534e-07,9.264100e-07,9.135022e-07,9.086507e-07,9.007978e-07,8.882947e-07,8.838423e-07,8.759903e-07,8.638822e-07,8.598098e-07,8.519680e-07,8.402450e-07,8.365336e-07,8.287107e-07,8.173627e-07,8.139942e-07,8.061983e-07,7.952150e-07,7.921718e-07,7.844102e-07,7.737814e-07,7.710464e-07,7.633260e-07,7.530416e-07,7.505985e-07,7.429256e-07,7.329756e-07,7.308086e-07,7.231891e-07,7.135637e-07,7.116577e-07,7.040970e-07,6.947866e-07,6.931271e-07,6.856302e-07,6.766254e-07,6.751986e-07,6.677700e-07,6.590617e-07,6.578541e-07,6.504982e-07,6.420773e-07,6.410763e-07,6.337969e-07,6.256548e-07,6.248481e-07,6.176488e-07,6.097769e-07,6.091529e-07,6.020370e-07,5.944271e-07,5.939746e-07,5.869451e-07,5.795890e-07,5.792974e-07,5.723570e-07,5.652470e-07,5.651061e-07,5.582572e-07,5.513857e-07,5.381219e-07,5.253006e-07,5.129081e-07,5.009312e-07,4.893570e-07,4.781731e-07,4.673672e-07,4.569276e-07,4.468430e-07,4.371021e-07,4.276943e-07,4.186091e-07,4.098364e-07,4.013663e-07,3.931893e-07,3.852962e-07,3.776781e-07,3.703261e-07,3.632319e-07,3.563874e-07,3.497845e-07,3.434157e-07,3.372734e-07,3.313504e-07,3.256398e-07,3.201347e-07,3.148285e-07,3.097150e-07,3.047878e-07,3.000410e-07,2.954689e-07,2.910657e-07,2.868260e-07,2.827446e-07,2.788162e-07,2.750360e-07,2.713992e-07,2.679010e-07,2.645369e-07,2.613026e-07,2.581938e-07,2.552063e-07,2.523363e-07,2.495799e-07,2.469332e-07,2.443927e-07,2.419549e-07,2.396163e-07,2.373736e-07
0.000000e+00,4.890711e-09,1.336331e-07,1.404294e-07,1.100462e-06,4.437895e-06,4.657695e-06,1.270144e-05,2.435590e-05,2.519683e-05,3.998813e-05,5.373442e-05,5.490280e-05,6.897474e-05,8.071758e-05,8.196730e-05,9.387091e-05,1.034819e-04,1.047322e-04,1.146104e-04,1.223659e-04,1.235665e-04,1.316600e-04,1.378338e-04,1.389481e-04,1.454849e-04,1.503207e-04,1.513219e-04,1.565077e-04,1.602182e-04,1.610878e-04,1.651052e-04,1.678742e-04,1.686002e-04,1.716105e-04,1.735961e-04,1.741716e-04,1.763167e-04,1.776546e-04,1.780769e-04,1.794812e-04,1.802874e-04,1.805570e-04,1.813297e-04,1.817031e-04,1.818231e-04,1.820593e-04,1.820837e-04,1.820591e-04,1.818420e-04,1.815888e-04,1.814262e-04,1.808284e-04,1.803578e-04,1.800646e-04,1.791494e-04,1.785120e-04,1.780965e-04,1.769185e-04,1.761567e-04,1.756274e-04,1.742344e-04,1.733838e-04,1.727497e-04,1.711829e-04,1.702730e-04,1.695429e-04,1.678380e-04,1.668931e-04,1.660759e-04,1.642636e-04,1.633037e-04,1.624079e-04,1.605148e-04,1.595561e-04,1.585901e-04,1.566390e-04,1.556945e-04,1.546664e-04,1.526767e-04,1.517569e-04,1.506742e-04,1.486627e-04,1.477757e-04,1.466456e-04,1.446263e-04,1.437783e-04,1.426077e-04,1.405926e-04,1.397881e-04,1.385835e-04,1.365827e-04,1.358250e-04,1.345922e-04,1.326141e-04,1.319053e-04,1.306500e-04,1.287015e-04,1.280428e-04,1.267700e-04,1.248570e-04,1.242488e-04,1.229634e-04,1.210904e-04,1.205326e-04,1.192388e-04,1.174096e-04,1.169015e-04,1.156034e-04,1.138209e-04,1.133614e-04,1.120626e-04,1.103290e-04,1.099167e-04,1.086206e-04,1.069375e-04,1.065707e-04,1.052803e-04,1.036489e-04,1.033258e-04,1.020437e-04,1.004648e-04,1.001833e-04,9.891211e-05,9.738581e-05,9.714405e-05,9.588586e-05,9.441222e-05,9.420801e-05,9.296482e-05,9.154357e-05,9.137477e-05,9.014833e-05,8.877895e-05,8.864343e-05,8.743528e-05,8.611710e-05,8.601275e-05,8.482422e-05,8.355641e-05,8.348114e-05,8.231343e-05,8.109501e-05,8.104678e-05,7.990090e-05,7.873082e-05,7.870766e-05,7.758447e-05,7.646158e-05,7.430623e-05,7.223921e-05,7.025803e-05,6.836017e-05,6.654308e-05,6.480420e-05,6.314097e-05,6.155085e-05,6.003133e-05,5.857992e-05,5.719419e-05,5.587173e-05,5.461021e-05,5.340734e-05,5.226089e-05,5.116869e-05,5.012862e-05,4.913863e-05,4.819674e-05,4.730103e-05,4.644962e-05,4.564072e-05,4.487258e-05,4.414352e-05,4.345193e-05,4.279622e-05,4.217491e-05,4.158652e-05,4.102966e-05,4.050299e-05,4.000519e-05,3.953503e-05,3.909131e-05,3.867285e-05,3.827857e-05,3.790738e-05,3.755826e-05,3.723023e-05,3.692234e-05,3.663368e-05,3.636337e-05,3.611058e-05,3.587451e-05,3.565437e-05,3.544943e-05,3.525898e-05,3.508233e-05,3.491884e-05,3.476786e-05
0.000000e+00,5.343888e-12,9.890655e-10,1.068757e-09,2.576546e-08,2.423682e-07,2.629196e-07,1.570110e-06,5.853263e-06,6.302092e-06,1.854241e-05,4.033316e-05,4.280062e-05,8.195603e-05,1.300273e-04,1.360515e-04,2.024803e-04,2.678149e-04,2.770362e-04,3.550992e-04,4.218469e-04,4.325143e-04,5.060511e-04,5.631931e-04,5.735184e-04,6.336653e-04,6.771507e-04,6.859867e-04,7.305100e-04,7.607573e-04,7.676088e-04,7.978565e-04,8.171221e-04,8.219210e-04,8.404943e-04,8.513528e-04,8.542489e-04,8.638136e-04,8.685329e-04,8.697609e-04,8.726033e-04,8.729842e-04,8.727944e-04,8.707317e-04,8.681346e-04,8.667624e-04,8.611876e-04,8.566142e-04,8.542679e-04,8.462287e-04,8.404049e-04,8.372640e-04,8.275410e-04,8.209876e-04,8.172035e-04,8.063747e-04,7.994612e-04,7.951604e-04,7.836514e-04,7.766372e-04,7.719251e-04,7.600479e-04,7.531126e-04,7.480764e-04,7.360586e-04,7.293241e-04,7.240357e-04,7.120423e-04,7.055886e-04,7.001077e-04,6.882568e-04,6.821344e-04,6.765103e-04,6.648858e-04,6.591238e-04,6.533976e-04,6.420577e-04,6.366701e-04,6.308757e-04,6.198593e-04,6.148492e-04,6.090148e-04,5.983471e-04,5.937102e-04,5.878597e-04,5.775553e-04,5.732825e-04,5.674357e-04,5.575018e-04,5.535804e-04,5.477540e-04,5.381922e-04,5.346073e-04,5.288156e-04,5.196232e-04,5.163589e-04,5.106138e-04,5.017856e-04,4.988249e-04,4.931367e-04,4.846651e-04,4.819913e-04,4.763686e-04,4.682447e-04,4.658409e-04,4.602910e-04,4.525050e-04,4.503546e-04,4.448840e-04,4.374253e-04,4.355123e-04,4.301262e-04,4.229840e-04,4.212929e-04,4.159959e-04,4.091592e-04,4.076751e-04,4.024710e-04,3.959287e-04,3.946375e-04,3.895295e-04,3.832706e-04,3.821587e-04,3.771495e-04,3.711633e-04,3.702178e-04,3.653095e-04,3.595854e-04,3.587942e-04,3.539884e-04,3.485161e-04,3.478677e-04,3.431659e-04,3.379354e-04,3.374188e-04,3.328220e-04,3.278234e-04,3.274284e-04,3.229373e-04,3.181612e-04,3.178781e-04,3.134930e-04,3.089304e-04,3.087501e-04,3.044712e-04,3.001132e-04,3.000270e-04,2.958542e-04,2.916924e-04,2.837301e-04,2.761247e-04,2.688615e-04,2.619260e-04,2.553046e-04,2.489840e-04,2.429515e-04,2.371950e-04,2.317028e-04,2.264636e-04,2.214666e-04,2.167016e-04,2.121585e-04,2.078279e-04,2.037007e-04,1.997680e-04,1.960216e-04,1.924533e-04,1.890554e-04,1.858206e-04,1.827418e-04,1.798122e-04,1.770253e-04,1.743748e-04,1.718548e-04,1.694596e-04,1.671837e-04,1.650219e-04,1.629690e-04,1.610204e-04,1.591714e-04,1.574176e-04,1.557547e-04,1.541787e-04,1.526858e-04,1.512722e-04,1.499343e-04,1.486688e-04,1.474725e-04,1.463421e-04,1.452747e-04,1.442674e-04,1.433175e-04,1.424224e-04,1.415796e-04,1.407867e-04,1.400413e-04,1.393412e-04,1.386845e-04
0.000000e+00,1.260193e-09,9.419038e-08,1.001997e-07,1.213176e-06,6.431617e-06,6.818135e-06,2.331955e-05,5.347782e-05,5.590397e-05,1.035973e-04,1.551087e-04,1.597244e-04,2.171474e-04,2.665452e-04,2.718392e-04,3.224274e-04,3.633767e-04,3.687065e-04,4.108307e-04,4.439172e-04,4.490403e-04,4.835888e-04,5.099613e-04,5.147233e-04,5.426802e-04,5.633912e-04,5.676834e-04,5.899444e-04,6.059124e-04,6.096614e-04,6.270209e-04,6.390372e-04,6.421971e-04,6.553532e-04,6.640949e-04,6.666415e-04,6.762042e-04,6.822480e-04,6.841740e-04,6.906745e-04,6.945101e-04,6.958210e-04,6.997211e-04,7.017633e-04,7.024747e-04,7.041750e-04,7.047741e-04,7.049087e-04,7.047565e-04,7.042075e-04,7.037936e-04,7.020896e-04,7.006403e-04,6.997095e-04,6.967136e-04,6.945717e-04,6.931580e-04,6.890948e-04,6.864335e-04,6.845723e-04,6.796353e-04,6.765984e-04,6.743254e-04,6.686814e-04,6.653882e-04,6.627389e-04,6.565312e-04,6.530797e-04,6.500890e-04,6.434408e-04,6.399110e-04,6.366127e-04,6.296293e-04,6.260864e-04,6.225130e-04,6.152846e-04,6.117808e-04,6.079632e-04,6.005666e-04,5.971434e-04,5.931110e-04,5.856115e-04,5.823015e-04,5.780819e-04,5.705349e-04,5.673628e-04,5.629822e-04,5.554343e-04,5.524188e-04,5.479012e-04,5.403917e-04,5.375461e-04,5.329141e-04,5.254758e-04,5.228089e-04,5.180835e-04,5.107435e-04,5.082608e-04,5.034612e-04,4.962418e-04,4.939457e-04,4.890898e-04,4.820093e-04,4.798996e-04,4.750038e-04,4.680767e-04,4.661516e-04,4.612309e-04,4.544688e-04,4.527246e-04,4.477927e-04,4.412046e-04,4.396367e-04,4.347061e-04,4.282985e-04,4.269012e-04,4.219832e-04,4.157611e-04,4.145279e-04,4.096329e-04,4.035992e-04,4.025233e-04,3.976605e-04,3.918171e-04,3.908910e-04,3.860690e-04,3.804163e-04,3.796325e-04,3.748589e-04,3.693965e-04,3.687473e-04,3.640288e-04,3.587554e-04,3.582332e-04,3.535758e-04,3.484895e-04,3.480866e-04,3.434958e-04,3.385941e-04,3.383029e-04,3.337834e-04,3.290632e-04,3.288762e-04,3.244324e-04,3.198902e-04,3.198003e-04,3.154358e-04,3.110681e-04,3.026720e-04,2.946042e-04,2.868564e-04,2.794204e-04,2.722875e-04,2.654491e-04,2.588966e-04,2.526213e-04,2.466149e-04,2.408688e-04,2.353747e-04,2.301243e-04,2.251097e-04,2.203228e-04,2.157559e-04,2.114014e-04,2.072519e-04,2.033001e-04,1.995391e-04,1.959620e-04,1.925621e-04,1.893329e-04,1.862682e-04,1.833618e-04,1.806079e-04,1.780006e-04,1.755344e-04,1.732039e-04,1.710039e-04,1.689292e-04,1.669750e-04,1.651365e-04,1.634091e-04,1.617883e-04,1.602699e-04,1.588495e-04,1.575232e-04,1.562872e-04,1.551374e-04,1.540704e-04,1.530826e-04,1.521705e-04,1.513308e-04,1.505604e-04,1.498560e-04,1.492148e-04,1.486338e-04,1.481102e-04,1.476413e-04
0.000000e+00,1.596229e-09,2.542938e-08,2.663024e-08,1.831851e-07,6.512448e-07,6.793035e-07,1.541350e-06,2.466671e-06,2.525873e-06,3.492714e-06,4.337392e-06,4.408589e-06,5.267716e-06,5.992684e-06,6.070471e-06,6.818698e-06,7.433757e-06,7.514571e-06,8.160308e-06,8.677224e-06,8.758112e-06,9.310155e-06,9.740073e-06,9.818575e-06,1.028547e-05,1.063878e-05,1.071289e-05,1.110285e-05,1.138917e-05,1.145731e-05,1.177815e-05,1.200626e-05,1.206722e-05,1.232627e-05,1.250413e-05,1.255701e-05,1.276107e-05,1.289581e-05,1.293999e-05,1.309524e-05,1.319315e-05,1.322822e-05,1.334028e-05,1.340696e-05,1.343270e-05,1.350673e-05,1.354715e-05,1.356352e-05,1.360425e-05,1.362287e-05,1.363001e-05,1.364178e-05,1.364242e-05,1.364052e-05,1.362712e-05,1.361308e-05,1.360242e-05,1.356724e-05,1.354142e-05,1.352233e-05,1.346841e-05,1.343328e-05,1.340617e-05,1.333624e-05,1.329396e-05,1.325924e-05,1.317574e-05,1.312814e-05,1.308629e-05,1.299138e-05,1.294004e-05,1.289152e-05,1.278714e-05,1.273340e-05,1.267870e-05,1.256658e-05,1.251157e-05,1.245116e-05,1.233282e-05,1.227749e-05,1.221188e-05,1.208866e-05,1.203380e-05,1.196346e-05,1.183655e-05,1.178280e-05,1.170820e-05,1.157865e-05,1.152655e-05,1.144814e-05,1.131687e-05,1.126684e-05,1.118506e-05,1.105288e-05,1.100524e-05,1.092051e-05,1.078812e-05,1.074313e-05,1.065586e-05,1.052386e-05,1.048170e-05,1.039226e-05,1.026119e-05,1.022199e-05,1.013075e-05,1.000105e-05,9.964880e-06,9.872186e-06,9.744245e-06,9.711142e-06,9.617309e-06,9.491453e-06,9.461416e-06,9.366745e-06,9.243248e-06,9.216247e-06,9.121018e-06,9.000107e-06,8.976087e-06,8.880560e-06,8.762419e-06,8.741306e-06,8.645722e-06,8.530501e-06,8.512204e-06,8.416784e-06,8.304598e-06,8.289016e-06,8.193964e-06,8.084900e-06,8.071919e-06,7.977422e-06,7.871543e-06,7.861043e-06,7.767272e-06,7.664616e-06,7.656474e-06,7.563582e-06,7.464171e-06,7.458258e-06,7.366385e-06,7.270222e-06,7.266409e-06,7.175680e-06,7.082754e-06,7.080912e-06,6.991439e-06,6.901727e-06,6.728790e-06,6.562019e-06,6.401320e-06,6.246583e-06,6.097687e-06,5.954501e-06,5.816890e-06,5.684710e-06,5.557815e-06,5.436053e-06,5.319273e-06,5.207321e-06,5.100042e-06,4.997283e-06,4.898891e-06,4.804713e-06,4.714601e-06,4.628408e-06,4.545989e-06,4.467203e-06,4.391911e-06,4.319978e-06,4.251271e-06,4.185662e-06,4.123027e-06,4.063244e-06,4.006195e-06,3.951767e-06,3.899850e-06,3.850337e-06,3.803126e-06,3.758118e-06,3.715216e-06,3.674328e-06,3.635367e-06,3.598245e-06,3.562882e-06,3.529198e-06,3.497118e-06,3.466567e-06,3.437478e-06,3.409781e-06,3.383413e-06,3.358313e-06,3.334420e-06,3.311679e-06,3.290035e-06,3.269436e-06,3.249832e-06
0.000000e+00,5.746693e-11,1.041239e-08,1.125587e-08,2.752410e-07,2.486926e-06,2.689683e-06,1.448544e-05,4.729155e-05,5.045266e-05,1.268008e-04,2.392160e-04,2.508458e-04,4.176663e-04,5.939629e-04,6.145948e-04,8.274023e-04,1.018283e-03,1.044202e-03,1.256691e-03,1.432066e-03,1.459822e-03,1.650919e-03,1.801271e-03,1.828833e-03,1.993308e-03,2.118300e-03,2.144571e-03,2.283099e-03,2.385147e-03,2.409482e-03,2.524358e-03,2.606389e-03,2.628373e-03,2.722163e-03,2.786985e-03,2.806344e-03,2.881508e-03,2.931659e-03,2.948222e-03,3.007023e-03,3.044749e-03,3.058424e-03,3.102908e-03,3.130178e-03,3.140934e-03,3.172935e-03,3.191464e-03,3.199321e-03,3.220478e-03,3.231754e-03,3.236769e-03,3.248540e-03,3.253850e-03,3.256112e-03,3.259790e-03,3.260242e-03,3.259862e-03,3.256597e-03,3.253143e-03,3.250250e-03,3.241057e-03,3.234511e-03,3.229245e-03,3.215024e-03,3.206082e-03,3.198591e-03,3.180133e-03,3.169386e-03,3.159824e-03,3.137829e-03,3.125775e-03,3.114299e-03,3.089380e-03,3.076442e-03,3.063206e-03,3.035904e-03,3.022433e-03,3.007592e-03,2.978379e-03,2.964668e-03,2.948371e-03,2.917663e-03,2.903954e-03,2.886346e-03,2.854505e-03,2.840994e-03,2.822217e-03,2.789557e-03,2.776404e-03,2.756592e-03,2.723387e-03,2.710718e-03,2.690000e-03,2.656486e-03,2.644400e-03,2.622897e-03,2.589280e-03,2.577852e-03,2.555679e-03,2.522134e-03,2.511418e-03,2.488683e-03,2.455360e-03,2.445394e-03,2.422199e-03,2.389227e-03,2.380032e-03,2.356471e-03,2.323958e-03,2.315547e-03,2.291708e-03,2.259744e-03,2.252117e-03,2.228083e-03,2.196743e-03,2.189892e-03,2.165738e-03,2.135084e-03,2.128996e-03,2.104792e-03,2.074873e-03,2.069528e-03,2.045338e-03,2.016194e-03,2.011568e-03,1.987451e-03,1.959113e-03,1.955179e-03,1.931187e-03,1.903678e-03,1.900405e-03,1.876590e-03,1.849924e-03,1.847281e-03,1.823685e-03,1.797874e-03,1.795827e-03,1.772491e-03,1.747538e-03,1.746055e-03,1.723014e-03,1.698919e-03,1.697964e-03,1.675252e-03,1.652012e-03,1.651551e-03,1.629196e-03,1.606804e-03,1.563703e-03,1.522228e-03,1.482351e-03,1.444043e-03,1.407273e-03,1.372005e-03,1.338204e-03,1.305831e-03,1.274850e-03,1.245219e-03,1.216901e-03,1.189854e-03,1.164040e-03,1.139418e-03,1.115949e-03,1.093594e-03,1.072315e-03,1.052073e-03,1.032832e-03,1.014554e-03,9.972049e-04,9.807484e-04,9.651508e-04,9.503788e-04,9.363998e-04,9.231824e-04,9.106959e-04,8.989103e-04,8.877969e-04,8.773274e-04,8.674748e-04,8.582126e-04,8.495154e-04,8.413583e-04,8.337176e-04,8.265701e-04,8.198935e-04,8.136662e-04,8.078674e-04,8.024771e-04,7.974757e-04,7.928447e-04,7.885659e-04,7.846221e-04,7.809963e-04,7.776726e-04,7.746354e-04,7.718696e-04,7.693611e-04
0.000000e+00,6.805008e-10,5.530982e-08,5.896442e-08,7.935066e-07,4.544508e-06,4.830219e-06,1.740412e-05,4.105448e-05,4.296666e-05,8.038276e-05,1.201250e-04,1.236538e-04,1.672624e-04,2.045444e-04,2.085355e-04,2.466738e-04,2.775734e-04,2.815982e-04,3.134394e-04,3.384938e-04,3.423773e-04,3.685983e-04,3.886571e-04,3.922835e-04,4.136058e-04,4.294419e-04,4.327288e-04,4.498067e-04,4.620943e-04,4.649845e-04,4.783986e-04,4.877194e-04,4.901764e-04,5.004375e-04,5.072907e-04,5.092937e-04,5.168492e-04,5.216606e-04,5.232018e-04,5.284430e-04,5.315766e-04,5.326580e-04,5.359262e-04,5.376904e-04,5.383217e-04,5.399138e-04,5.405705e-04,5.407667e-04,5.409405e-04,5.407105e-04,5.404911e-04,5.394707e-04,5.385405e-04,5.379277e-04,5.359072e-04,5.344332e-04,5.334512e-04,5.305986e-04,5.287121e-04,5.273860e-04,5.238471e-04,5.216574e-04,5.200131e-04,5.159133e-04,5.135115e-04,5.115748e-04,5.070226e-04,5.044839e-04,5.022802e-04,4.973690e-04,4.947552e-04,4.923092e-04,4.871193e-04,4.844810e-04,4.818165e-04,4.764168e-04,4.737948e-04,4.709348e-04,4.653843e-04,4.628115e-04,4.597777e-04,4.541267e-04,4.516289e-04,4.484419e-04,4.427333e-04,4.403308e-04,4.370099e-04,4.312801e-04,4.289881e-04,4.255515e-04,4.198312e-04,4.176610e-04,4.141256e-04,4.084406e-04,4.064002e-04,4.027817e-04,3.971537e-04,3.952480e-04,3.915611e-04,3.860079e-04,3.842399e-04,3.804979e-04,3.750344e-04,3.734049e-04,3.696204e-04,3.642586e-04,3.627670e-04,3.589514e-04,3.537009e-04,3.523453e-04,3.485090e-04,3.433775e-04,3.421550e-04,3.383077e-04,3.333010e-04,3.322081e-04,3.283584e-04,3.234810e-04,3.225134e-04,3.186694e-04,3.139242e-04,3.130772e-04,3.092461e-04,3.046353e-04,3.039038e-04,3.000921e-04,2.956167e-04,2.949956e-04,2.912092e-04,2.868695e-04,2.863533e-04,2.825976e-04,2.783932e-04,2.779765e-04,2.742562e-04,2.701862e-04,2.698635e-04,2.661829e-04,2.622459e-04,2.620118e-04,2.583748e-04,2.545690e-04,2.544181e-04,2.508280e-04,2.471513e-04,2.470784e-04,2.435382e-04,2.399882e-04,2.331425e-04,2.265362e-04,2.201638e-04,2.140195e-04,2.080974e-04,2.023918e-04,1.968965e-04,1.916057e-04,1.865132e-04,1.816132e-04,1.768998e-04,1.723672e-04,1.680096e-04,1.638213e-04,1.597970e-04,1.559312e-04,1.522186e-04,1.486541e-04,1.452326e-04,1.419493e-04,1.387994e-04,1.357783e-04,1.328815e-04,1.301047e-04,1.274436e-04,1.248941e-04,1.224523e-04,1.201143e-04,1.178764e-04,1.157350e-04,1.136866e-04,1.117278e-04,1.098553e-04,1.080661e-04,1.063571e-04,1.047252e-04,1.031677e-04,1.016819e-04,1.002649e-04,9.891441e-05,9.762777e-05,9.640264e-05,9.523670e-05,9.412770e-05,9.307350e-05,9.207201e-05,9.112120e-05,9.021915e-05,8.936396e-05
0.000000e+00,1.567672e-11,3.116045e-09,3.374684e-09,9.146456e-08,9.284227e-07,1.009154e-06,6.149364e-06,2.236141e-05,2.401218e-05,6.684080e-05,1.370551e-04,1.446937e-04,2.604706e-04,3.932583e-04,4.093856e-04,5.816823e-04,7.436486e-04,7.660502e-04,9.521624e-04,1.107397e-03,1.131955e-03,1.299917e-03,1.429427e-03,1.452795e-03,1.589089e-03,1.688257e-03,1.708527e-03,1.811621e-03,1.882975e-03,1.899346e-03,1.972906e-03,2.021277e-03,2.033589e-03,2.082677e-03,2.112987e-03,2.121397e-03,2.150893e-03,2.167405e-03,2.172218e-03,2.186327e-03,2.192504e-03,2.194082e-03,2.196260e-03,2.194842e-03,2.193557e-03,2.186595e-03,2.179714e-03,2.175930e-03,2.162056e-03,2.151359e-03,2.145416e-03,2.126401e-03,2.113148e-03,2.105361e-03,2.082603e-03,2.067753e-03,2.058404e-03,2.033006e-03,2.017283e-03,2.006625e-03,1.979451e-03,1.963395e-03,1.951654e-03,1.923381e-03,1.907390e-03,1.894764e-03,1.865918e-03,1.850281e-03,1.836943e-03,1.807930e-03,1.792853e-03,1.778954e-03,1.750085e-03,1.735709e-03,1.721381e-03,1.692894e-03,1.679309e-03,1.664666e-03,1.636736e-03,1.623998e-03,1.609137e-03,1.581895e-03,1.570029e-03,1.555035e-03,1.528576e-03,1.517586e-03,1.502532e-03,1.476919e-03,1.466796e-03,1.451746e-03,1.427020e-03,1.417743e-03,1.402748e-03,1.378934e-03,1.370474e-03,1.355580e-03,1.332687e-03,1.325009e-03,1.310255e-03,1.288283e-03,1.281348e-03,1.266768e-03,1.245707e-03,1.239477e-03,1.225098e-03,1.204934e-03,1.199368e-03,1.185212e-03,1.165926e-03,1.160982e-03,1.147070e-03,1.128639e-03,1.124278e-03,1.110626e-03,1.093024e-03,1.089206e-03,1.075828e-03,1.059029e-03,1.055716e-03,1.042622e-03,1.026598e-03,1.023754e-03,1.010952e-03,9.956763e-04,9.932660e-04,9.807634e-04,9.662064e-04,9.641964e-04,9.519984e-04,9.381322e-04,9.364909e-04,9.246011e-04,9.113981e-04,9.100955e-04,8.985163e-04,8.859491e-04,8.849571e-04,8.736897e-04,8.617317e-04,8.610237e-04,8.500685e-04,8.386937e-04,8.382446e-04,8.276011e-04,8.167845e-04,8.165709e-04,8.062377e-04,7.959548e-04,7.763504e-04,7.577133e-04,7.400008e-04,7.231716e-04,7.071864e-04,6.920069e-04,6.775970e-04,6.639215e-04,6.509470e-04,6.386414e-04,6.269739e-04,6.159151e-04,6.054368e-04,5.955120e-04,5.861149e-04,5.772208e-04,5.688061e-04,5.608482e-04,5.533254e-04,5.462173e-04,5.395039e-04,5.331665e-04,5.271869e-04,5.215481e-04,5.162333e-04,5.112271e-04,5.065142e-04,5.020803e-04,4.979117e-04,4.939952e-04,4.903184e-04,4.868693e-04,4.836364e-04,4.806088e-04,4.777762e-04,4.751285e-04,4.726563e-04,4.703504e-04,4.682024e-04,4.662038e-04,4.643469e-04,4.626241e-04,4.610283e-04,4.595526e-04,4.581905e-04,4.569357e-04,4.557825e-04,4.547250e-04,4.537580e-04
0.000000e+00,3.315996e-11,5.482073e-09,5.907381e-09,1.241175e-07,1.064641e-06,1.151853e-06,6.607000e-06,2.446355e-05,2.634282e-05,7.799896e-05,1.709452e-04,1.815132e-04,3.498916e-04,5.579448e-04,5.841197e-04,8.745874e-04,1.164573e-03,1.205943e-03,1.561849e-03,1.876582e-03,1.928015e-03,2.293423e-03,2.594048e-03,2.650355e-03,2.993845e-03,3.263385e-03,3.320981e-03,3.630263e-03,3.864426e-03,3.921116e-03,4.193539e-03,4.393444e-03,4.447869e-03,4.684637e-03,4.853226e-03,4.904482e-03,5.108086e-03,5.248710e-03,5.296151e-03,5.469379e-03,5.585301e-03,5.628456e-03,5.774052e-03,5.868298e-03,5.906819e-03,6.027381e-03,6.102702e-03,6.136344e-03,6.234289e-03,6.293168e-03,6.321772e-03,6.399331e-03,6.443999e-03,6.467480e-03,6.526710e-03,6.559163e-03,6.577496e-03,6.620289e-03,6.642310e-03,6.655524e-03,6.683615e-03,6.696792e-03,6.704960e-03,6.719939e-03,6.725683e-03,6.728917e-03,6.732240e-03,6.731802e-03,6.730243e-03,6.723243e-03,6.717727e-03,6.711543e-03,6.695435e-03,6.685815e-03,6.675196e-03,6.651091e-03,6.638221e-03,6.623371e-03,6.592279e-03,6.576908e-03,6.558045e-03,6.520888e-03,6.503666e-03,6.481016e-03,6.438630e-03,6.420124e-03,6.393920e-03,6.347065e-03,6.327762e-03,6.298239e-03,6.247606e-03,6.227923e-03,6.195320e-03,6.141531e-03,6.121826e-03,6.086379e-03,6.029998e-03,6.010571e-03,5.972515e-03,5.914051e-03,5.895154e-03,5.854721e-03,5.794632e-03,5.776473e-03,5.733888e-03,5.672587e-03,5.655336e-03,5.610821e-03,5.548676e-03,5.532467e-03,5.486236e-03,5.423579e-03,5.408517e-03,5.360778e-03,5.297903e-03,5.284067e-03,5.235019e-03,5.172188e-03,5.159634e-03,5.109469e-03,5.046916e-03,5.035678e-03,4.984580e-03,4.922510e-03,4.912607e-03,4.860751e-03,4.799345e-03,4.790778e-03,4.738331e-03,4.677748e-03,4.670508e-03,4.617628e-03,4.558005e-03,4.552072e-03,4.498908e-03,4.440365e-03,4.435706e-03,4.382401e-03,4.325039e-03,4.321617e-03,4.268302e-03,4.212210e-03,4.209980e-03,4.156780e-03,4.102030e-03,4.100942e-03,4.047974e-03,3.994626e-03,3.891135e-03,3.790548e-03,3.692928e-03,3.598322e-03,3.506761e-03,3.418264e-03,3.332837e-03,3.250476e-03,3.171170e-03,3.094894e-03,3.021620e-03,2.951313e-03,2.883932e-03,2.819431e-03,2.757760e-03,2.698866e-03,2.642691e-03,2.589175e-03,2.538258e-03,2.489875e-03,2.443960e-03,2.400447e-03,2.359269e-03,2.320359e-03,2.283649e-03,2.249070e-03,2.216555e-03,2.186036e-03,2.157445e-03,2.130714e-03,2.105778e-03,2.082570e-03,2.061025e-03,2.041080e-03,2.022671e-03,2.005737e-03,1.990216e-03,1.976049e-03,1.963177e-03,1.951543e-03,1.941090e-03,1.931763e-03,1.923508e-03,1.916274e-03,1.910008e-03,1.904662e-03,1.900186e-03,1.896534e-03,1.893658e-03
0.000000e+00,1.095150e-11,2.039548e-09,2.203608e-09,5.248322e-08,4.892412e-07,5.306546e-07,3.182963e-06,1.208019e-05,1.302686e-05,3.957468e-05,8.924395e-05,9.501644e-05,1.897452e-04,3.125915e-04,3.284241e-04,5.088110e-04,6.959513e-04,7.231140e-04,9.604938e-04,1.174324e-03,1.209474e-03,1.459672e-03,1.664571e-03,1.702692e-03,1.932395e-03,2.107922e-03,2.144740e-03,2.337433e-03,2.476767e-03,2.509528e-03,2.661043e-03,2.765350e-03,2.792644e-03,2.905398e-03,2.979276e-03,3.000596e-03,3.079629e-03,3.128535e-03,3.143905e-03,3.194796e-03,3.223886e-03,3.233609e-03,3.261568e-03,3.275294e-03,3.279810e-03,3.289378e-03,3.291422e-03,3.291229e-03,3.286234e-03,3.279574e-03,3.275184e-03,3.258798e-03,3.245814e-03,3.237726e-03,3.212556e-03,3.195127e-03,3.183819e-03,3.151993e-03,3.131597e-03,3.117512e-03,3.080763e-03,3.058549e-03,3.042097e-03,3.001827e-03,2.978682e-03,2.960236e-03,2.917577e-03,2.894178e-03,2.874076e-03,2.829936e-03,2.806792e-03,2.785338e-03,2.740443e-03,2.717930e-03,2.695394e-03,2.650319e-03,2.628706e-03,2.605329e-03,2.560525e-03,2.540002e-03,2.515995e-03,2.471816e-03,2.452506e-03,2.428055e-03,2.384772e-03,2.366748e-03,2.342016e-03,2.299832e-03,2.283126e-03,2.258256e-03,2.217320e-03,2.201938e-03,2.177051e-03,2.137471e-03,2.123395e-03,2.098598e-03,2.060447e-03,2.047641e-03,2.023027e-03,1.986346e-03,1.974766e-03,1.950411e-03,1.915222e-03,1.904811e-03,1.880781e-03,1.847088e-03,1.837787e-03,1.814138e-03,1.781928e-03,1.773674e-03,1.750452e-03,1.719704e-03,1.712431e-03,1.689675e-03,1.660358e-03,1.654003e-03,1.631744e-03,1.603822e-03,1.598320e-03,1.576582e-03,1.550014e-03,1.545302e-03,1.524105e-03,1.498846e-03,1.494864e-03,1.474224e-03,1.450227e-03,1.446917e-03,1.426843e-03,1.404061e-03,1.401367e-03,1.381868e-03,1.360251e-03,1.358121e-03,1.339200e-03,1.318701e-03,1.317085e-03,1.298743e-03,1.279313e-03,1.278164e-03,1.260400e-03,1.241993e-03,1.241267e-03,1.224078e-03,1.206646e-03,1.206302e-03,1.189685e-03,1.173182e-03,1.141821e-03,1.112136e-03,1.084046e-03,1.057474e-03,1.032346e-03,1.008591e-03,9.861389e-04,9.649260e-04,9.448891e-04,9.259687e-04,9.081075e-04,8.912513e-04,8.753483e-04,8.603490e-04,8.462065e-04,8.328761e-04,8.203151e-04,8.084831e-04,7.973417e-04,7.868542e-04,7.769859e-04,7.677037e-04,7.589763e-04,7.507739e-04,7.430682e-04,7.358324e-04,7.290408e-04,7.226694e-04,7.166950e-04,7.110960e-04,7.058516e-04,7.009422e-04,6.963492e-04,6.920549e-04,6.880425e-04,6.842962e-04,6.808009e-04,6.775423e-04,6.745068e-04,6.716817e-04,6.690548e-04,6.666144e-04,6.643498e-04,6.622505e-04,6.603068e-04,6.585093e-04,6.568492e-04,6.553184e-04,6.539088e-04
0.000000e+00,5.124576e-11,7.183787e-09,7.718895e-09,1.426686e-07,1.089098e-06,1.172404e-06,5.902782e-06,1.928459e-05,2.060298e-05,5.369087e-05,1.053256e-04,1.107972e-04,1.908241e-04,2.769136e-04,2.870144e-04,3.908859e-04,4.829281e-04,4.953096e-04,5.955703e-04,6.764701e-04,6.891088e-04,7.748387e-04,8.406336e-04,8.525293e-04,9.223906e-04,9.741190e-04,9.848323e-04,1.040339e-03,1.080087e-03,1.089410e-03,1.132534e-03,1.162342e-03,1.170175e-03,1.202769e-03,1.224418e-03,1.230726e-03,1.254425e-03,1.269431e-03,1.274222e-03,1.290443e-03,1.300080e-03,1.303393e-03,1.313354e-03,1.318690e-03,1.320588e-03,1.325335e-03,1.327258e-03,1.327819e-03,1.328247e-03,1.327495e-03,1.326807e-03,1.323676e-03,1.320860e-03,1.319016e-03,1.312974e-03,1.308596e-03,1.305690e-03,1.297289e-03,1.291762e-03,1.287889e-03,1.277596e-03,1.271256e-03,1.266509e-03,1.254720e-03,1.247842e-03,1.242311e-03,1.229360e-03,1.222166e-03,1.215937e-03,1.202107e-03,1.194774e-03,1.187929e-03,1.173458e-03,1.166128e-03,1.158743e-03,1.143830e-03,1.136614e-03,1.128761e-03,1.113573e-03,1.106557e-03,1.098302e-03,1.082979e-03,1.076227e-03,1.067632e-03,1.052289e-03,1.045852e-03,1.036973e-03,1.021705e-03,1.015616e-03,1.006505e-03,9.913907e-04,9.856731e-04,9.763779e-04,9.614807e-04,9.561486e-04,9.467120e-04,9.320832e-04,9.271431e-04,9.176043e-04,9.032844e-04,8.987369e-04,8.891313e-04,8.751521e-04,8.709931e-04,8.613527e-04,8.477384e-04,8.439602e-04,8.343138e-04,8.210824e-04,8.176743e-04,8.080475e-04,7.952117e-04,7.921610e-04,7.825770e-04,7.701448e-04,7.674371e-04,7.579164e-04,7.458925e-04,7.435122e-04,7.340732e-04,7.224587e-04,7.203898e-04,7.110486e-04,6.998424e-04,6.980682e-04,6.888391e-04,6.780378e-04,6.765417e-04,6.674372e-04,6.570358e-04,6.558010e-04,6.468320e-04,6.368241e-04,6.358340e-04,6.270101e-04,6.173880e-04,6.166265e-04,6.079558e-04,5.987113e-04,5.981625e-04,5.896521e-04,5.807759e-04,5.804246e-04,5.720803e-04,5.635629e-04,5.633943e-04,5.552211e-04,5.470525e-04,5.313793e-04,5.163548e-04,5.019587e-04,4.881708e-04,4.749709e-04,4.623391e-04,4.502556e-04,4.387011e-04,4.276565e-04,4.171033e-04,4.070233e-04,3.973988e-04,3.882126e-04,3.794481e-04,3.710889e-04,3.631194e-04,3.555244e-04,3.482891e-04,3.413993e-04,3.348412e-04,3.286017e-04,3.226678e-04,3.170272e-04,3.116681e-04,3.065788e-04,3.017484e-04,2.971662e-04,2.928219e-04,2.887056e-04,2.848079e-04,2.811196e-04,2.776318e-04,2.743362e-04,2.712244e-04,2.682888e-04,2.655216e-04,2.629158e-04,2.604642e-04,2.581601e-04,2.559972e-04,2.539693e-04,2.520702e-04,2.502944e-04,2.486363e-04,2.470905e-04,2.456521e-04,2.443161e-04,2.430777e-04,2.419325e-04
0.000000e+00,4.499855e-13,9.771989e-11,1.058591e-10,2.829443e-09,2.924462e-08,3.186342e-08,2.157279e-07,9.305870e-07,1.012158e-06,3.568538e-06,9.302086e-06,1.003199e-05,2.358049e-05,4.505185e-05,4.811824e-05,8.775056e-05,1.380943e-04,1.462081e-04,2.263572e-04,3.139483e-04,3.298748e-04,4.571070e-04,5.816424e-04,6.070950e-04,7.777277e-04,9.309496e-04,9.659764e-04,1.168170e-03,1.337256e-03,1.380270e-03,1.598129e-03,1.769448e-03,1.817705e-03,2.035237e-03,2.197108e-03,2.247363e-03,2.451200e-03,2.595294e-03,2.644385e-03,2.825079e-03,2.946674e-03,2.991944e-03,3.144111e-03,3.241625e-03,3.281128e-03,3.402899e-03,3.477089e-03,3.509629e-03,3.601764e-03,3.654880e-03,3.679938e-03,3.744923e-03,3.779990e-03,3.797585e-03,3.838844e-03,3.859112e-03,3.869645e-03,3.890933e-03,3.899527e-03,3.903635e-03,3.908640e-03,3.908351e-03,3.906792e-03,3.898881e-03,3.892078e-03,3.885638e-03,3.867735e-03,3.856348e-03,3.845785e-03,3.820339e-03,3.805894e-03,3.791897e-03,3.760902e-03,3.744572e-03,3.727749e-03,3.692788e-03,3.675456e-03,3.656327e-03,3.618637e-03,3.600953e-03,3.579955e-03,3.540487e-03,3.522920e-03,3.500414e-03,3.459892e-03,3.442772e-03,3.419057e-03,3.378026e-03,3.361582e-03,3.336901e-03,3.295769e-03,3.280153e-03,3.254707e-03,3.213778e-03,3.199087e-03,3.173039e-03,3.132537e-03,3.118828e-03,3.092313e-03,3.052403e-03,3.039703e-03,3.012835e-03,2.973637e-03,2.961952e-03,2.934828e-03,2.896428e-03,2.885752e-03,2.858453e-03,2.820915e-03,2.811228e-03,2.783825e-03,2.747192e-03,2.738468e-03,2.711023e-03,2.675325e-03,2.667535e-03,2.640101e-03,2.605356e-03,2.598464e-03,2.571091e-03,2.537309e-03,2.531280e-03,2.504010e-03,2.471195e-03,2.465989e-03,2.438863e-03,2.407012e-03,2.402592e-03,2.375643e-03,2.344752e-03,2.341077e-03,2.314338e-03,2.284398e-03,2.281430e-03,2.254929e-03,2.225928e-03,2.223628e-03,2.197392e-03,2.169317e-03,2.167647e-03,2.141699e-03,2.114536e-03,2.113459e-03,2.087822e-03,2.061553e-03,2.061032e-03,2.035726e-03,2.010335e-03,1.961333e-03,1.913992e-03,1.868275e-03,1.824145e-03,1.781568e-03,1.740504e-03,1.700919e-03,1.662775e-03,1.626036e-03,1.590666e-03,1.556629e-03,1.523891e-03,1.492417e-03,1.462172e-03,1.433124e-03,1.405240e-03,1.378487e-03,1.352833e-03,1.328248e-03,1.304701e-03,1.282161e-03,1.260601e-03,1.239992e-03,1.220305e-03,1.201512e-03,1.183588e-03,1.166506e-03,1.150239e-03,1.134763e-03,1.120053e-03,1.106086e-03,1.092836e-03,1.080282e-03,1.068400e-03,1.057169e-03,1.046566e-03,1.036571e-03,1.027163e-03,1.018321e-03,1.010026e-03,1.002258e-03,9.949974e-04,9.882264e-04,9.819264e-04,9.760796e-04,9.706686e-04,9.656762e-04,9.610858e-04,9.568809e-04
0.000000e+00,5.542940e-10,6.822421e-09,7.107529e-09,3.941412e-08,1.260022e-07,1.311950e-07,3.050565e-07,5.346263e-07,5.508086e-07,8.330892e-07,1.093944e-06,1.116036e-06,1.380335e-06,1.597503e-06,1.620395e-06,1.836034e-06,2.006627e-06,2.028564e-06,2.199624e-06,2.330826e-06,2.350867e-06,2.483877e-06,2.582605e-06,2.600140e-06,2.701046e-06,2.773238e-06,2.787886e-06,2.861860e-06,2.912522e-06,2.924075e-06,2.975556e-06,3.008872e-06,3.017251e-06,3.050030e-06,3.069477e-06,3.074699e-06,3.092003e-06,3.100472e-06,3.102629e-06,3.107208e-06,3.107090e-06,3.106323e-06,3.100507e-06,3.093769e-06,3.090255e-06,3.076018e-06,3.064275e-06,3.058213e-06,3.037220e-06,3.021791e-06,3.013392e-06,2.987049e-06,2.969007e-06,2.958487e-06,2.927975e-06,2.908189e-06,2.895762e-06,2.862074e-06,2.841240e-06,2.827118e-06,2.791082e-06,2.769756e-06,2.754140e-06,2.716449e-06,2.695069e-06,2.678153e-06,2.639382e-06,2.618290e-06,2.600255e-06,2.560879e-06,2.540338e-06,2.521353e-06,2.481764e-06,2.461972e-06,2.442193e-06,2.402712e-06,2.383813e-06,2.363386e-06,2.324272e-06,2.306366e-06,2.285424e-06,2.246887e-06,2.230040e-06,2.208703e-06,2.170909e-06,2.155159e-06,2.133537e-06,2.096616e-06,2.081980e-06,2.060171e-06,2.024223e-06,2.010697e-06,1.988791e-06,1.953891e-06,1.941460e-06,1.919536e-06,1.885738e-06,1.874374e-06,1.852504e-06,1.819842e-06,1.809512e-06,1.787758e-06,1.756254e-06,1.746917e-06,1.725334e-06,1.694999e-06,1.686609e-06,1.665247e-06,1.636078e-06,1.628590e-06,1.607491e-06,1.579481e-06,1.572844e-06,1.552044e-06,1.525178e-06,1.519343e-06,1.498876e-06,1.473133e-06,1.468050e-06,1.447942e-06,1.423298e-06,1.418919e-06,1.399193e-06,1.375620e-06,1.371898e-06,1.352572e-06,1.330042e-06,1.326928e-06,1.308020e-06,1.286500e-06,1.283950e-06,1.265472e-06,1.244929e-06,1.242902e-06,1.224863e-06,1.205265e-06,1.203717e-06,1.186126e-06,1.167437e-06,1.166330e-06,1.149192e-06,1.131381e-06,1.130677e-06,1.113995e-06,1.097026e-06,1.096691e-06,1.080467e-06,1.064308e-06,1.033463e-06,1.004095e-06,9.761412e-07,9.495429e-07,9.242420e-07,9.001822e-07,8.773092e-07,8.555705e-07,8.349154e-07,8.152953e-07,7.966633e-07,7.789742e-07,7.621849e-07,7.462538e-07,7.311411e-07,7.168088e-07,7.032204e-07,6.903409e-07,6.781371e-07,6.665769e-07,6.556299e-07,6.452669e-07,6.354601e-07,6.261829e-07,6.174099e-07,6.091168e-07,6.012807e-07,5.938793e-07,5.868917e-07,5.802977e-07,5.740783e-07,5.682151e-07,5.626907e-07,5.574886e-07,5.525928e-07,5.479884e-07,5.436609e-07,5.395965e-07,5.357823e-07,5.322057e-07,5.288549e-07,5.257185e-07,5.227858e-07,5.200464e-07,5.174906e-07,5.151091e-07,5.128929e-07,5.108336e-07,5.089231e-07
0.000000e+00,2.502274e-12,4.860525e-10,5.251997e-10,1.229169e-08,1.127072e-07,1.222448e-07,7.497298e-07,3.018912e-06,3.271406e-06,1.094867e-05,2.750748e-05,2.957934e-05,6.713110e-05,1.242578e-04,1.322355e-04,2.322107e-04,3.526115e-04,3.714520e-04,5.506557e-04,7.345876e-04,7.668986e-04,1.014339e-03,1.240650e-03,1.285212e-03,1.570868e-03,1.810056e-03,1.862663e-03,2.152629e-03,2.378632e-03,2.433907e-03,2.700966e-03,2.896676e-03,2.949642e-03,3.177068e-03,3.334609e-03,3.381532e-03,3.562289e-03,3.680786e-03,3.719378e-03,3.853431e-03,3.936268e-03,3.965510e-03,4.056970e-03,4.109542e-03,4.129346e-03,4.184253e-03,4.212446e-03,4.223325e-03,4.248168e-03,4.257520e-03,4.260320e-03,4.261228e-03,4.256534e-03,4.252237e-03,4.234585e-03,4.219788e-03,4.209396e-03,4.177690e-03,4.155925e-03,4.140385e-03,4.098300e-03,4.071992e-03,4.052167e-03,4.002636e-03,3.973631e-03,3.950282e-03,3.895615e-03,3.865293e-03,3.839083e-03,3.781080e-03,3.750454e-03,3.721952e-03,3.662004e-03,3.631806e-03,3.601501e-03,3.540675e-03,3.511425e-03,3.479729e-03,3.418838e-03,3.390890e-03,3.358155e-03,3.297810e-03,3.271396e-03,3.237918e-03,3.178577e-03,3.153838e-03,3.119869e-03,3.061866e-03,3.038876e-03,3.004628e-03,2.948205e-03,2.926987e-03,2.892639e-03,2.837964e-03,2.818505e-03,2.784208e-03,2.731394e-03,2.713654e-03,2.679536e-03,2.628649e-03,2.612572e-03,2.578741e-03,2.529816e-03,2.515331e-03,2.481877e-03,2.434923e-03,2.421952e-03,2.388951e-03,2.343957e-03,2.332418e-03,2.299934e-03,2.256873e-03,2.246681e-03,2.214766e-03,2.173603e-03,2.164672e-03,2.133371e-03,2.094060e-03,2.086307e-03,2.055656e-03,2.018146e-03,2.011488e-03,1.981517e-03,1.945754e-03,1.940111e-03,1.910842e-03,1.876769e-03,1.872064e-03,1.843517e-03,1.811074e-03,1.807234e-03,1.779423e-03,1.748551e-03,1.745506e-03,1.718441e-03,1.689080e-03,1.686763e-03,1.660453e-03,1.632544e-03,1.630892e-03,1.605340e-03,1.578826e-03,1.577779e-03,1.552987e-03,1.527810e-03,1.527313e-03,1.503281e-03,1.479386e-03,1.433891e-03,1.390727e-03,1.349793e-03,1.310994e-03,1.274236e-03,1.239431e-03,1.206492e-03,1.175335e-03,1.145882e-03,1.118054e-03,1.091780e-03,1.066988e-03,1.043609e-03,1.021580e-03,1.000838e-03,9.813217e-04,9.629753e-04,9.457431e-04,9.295727e-04,9.144133e-04,9.002167e-04,8.869365e-04,8.745283e-04,8.629495e-04,8.521594e-04,8.421189e-04,8.327907e-04,8.241389e-04,8.161294e-04,8.087291e-04,8.019068e-04,7.956323e-04,7.898768e-04,7.846128e-04,7.798138e-04,7.754546e-04,7.715110e-04,7.679599e-04,7.647792e-04,7.619477e-04,7.594452e-04,7.572524e-04,7.553507e-04,7.537225e-04,7.523510e-04,7.512201e-04,7.503143e-04,7.496190e-04,7.491201e-04
0.000000e+00,1.944030e-12,3.960893e-10,4.288625e-10,1.145300e-08,1.188735e-07,1.294733e-07,8.521597e-07,3.455364e-06,3.739360e-06,1.192897e-05,2.778599e-05,2.965503e-05,6.081866e-05,1.021776e-04,1.075648e-04,1.696118e-04,2.349060e-04,2.444349e-04,3.279955e-04,4.032925e-04,4.156338e-04,5.028492e-04,5.729692e-04,5.858325e-04,6.617362e-04,7.173788e-04,7.287279e-04,7.858976e-04,8.244349e-04,8.330870e-04,8.706923e-04,8.938535e-04,8.994766e-04,9.204094e-04,9.317146e-04,9.345435e-04,9.429257e-04,9.460065e-04,9.465382e-04,9.462657e-04,9.441015e-04,9.428796e-04,9.370364e-04,9.317812e-04,9.292831e-04,9.200680e-04,9.131548e-04,9.097535e-04,8.986286e-04,8.909556e-04,8.869222e-04,8.748136e-04,8.669192e-04,8.624430e-04,8.499186e-04,8.421139e-04,8.373244e-04,8.247245e-04,8.171829e-04,8.121682e-04,7.996926e-04,7.925048e-04,7.873250e-04,7.750862e-04,7.682946e-04,7.629915e-04,7.510519e-04,7.446719e-04,7.392753e-04,7.276669e-04,7.216981e-04,7.162300e-04,7.049670e-04,6.994014e-04,6.938797e-04,6.829686e-04,6.777940e-04,6.722339e-04,6.616750e-04,6.568767e-04,6.512910e-04,6.410804e-04,6.366425e-04,6.310422e-04,6.211747e-04,6.170810e-04,6.114767e-04,6.019463e-04,5.981808e-04,5.925821e-04,5.833821e-04,5.799287e-04,5.743444e-04,5.654670e-04,5.623100e-04,5.567479e-04,5.481851e-04,5.453089e-04,5.397765e-04,5.315201e-04,5.289099e-04,5.234139e-04,5.154557e-04,5.130968e-04,5.076435e-04,4.999751e-04,4.978534e-04,4.924484e-04,4.850613e-04,4.831633e-04,4.778117e-04,4.706976e-04,4.690101e-04,4.637168e-04,4.568672e-04,4.553778e-04,4.501470e-04,4.435539e-04,4.422503e-04,4.370860e-04,4.307412e-04,4.296121e-04,4.245177e-04,4.184133e-04,4.174475e-04,4.124262e-04,4.065544e-04,4.057415e-04,4.007961e-04,3.951493e-04,3.944791e-04,3.896122e-04,3.841830e-04,3.836460e-04,3.788599e-04,3.736409e-04,3.732279e-04,3.685245e-04,3.635089e-04,3.632111e-04,3.585922e-04,3.537729e-04,3.535821e-04,3.490493e-04,3.444196e-04,3.443280e-04,3.398823e-04,3.354358e-04,3.268934e-04,3.186888e-04,3.108103e-04,3.032467e-04,2.959869e-04,2.890205e-04,2.823372e-04,2.759269e-04,2.697802e-04,2.638877e-04,2.582403e-04,2.528294e-04,2.476465e-04,2.426834e-04,2.379323e-04,2.333854e-04,2.290356e-04,2.248755e-04,2.208983e-04,2.170973e-04,2.134661e-04,2.099985e-04,2.066884e-04,2.035300e-04,2.005176e-04,1.976460e-04,1.949097e-04,1.923037e-04,1.898232e-04,1.874634e-04,1.852196e-04,1.830875e-04,1.810629e-04,1.791415e-04,1.773194e-04,1.755927e-04,1.739577e-04,1.724109e-04,1.709486e-04,1.695677e-04,1.682648e-04,1.670368e-04,1.658806e-04,1.647935e-04,1.637724e-04,1.628148e-04,1.619179e-04,1.610792e-04,1.602964e-04
0.000000e+00,3.922261e-09,1.146928e-07,1.209299e-07,9.402112e-07,2.729086e-06,2.813374e-06,4.920930e-06,6.790109e-06,6.904489e-06,8.722270e-06,1.025155e-05,1.037832e-05,1.188304e-05,1.311683e-05,1.324722e-05,1.448094e-05,1.546616e-05,1.559357e-05,1.659380e-05,1.737034e-05,1.748979e-05,1.828920e-05,1.889136e-05,1.899925e-05,1.962672e-05,2.008413e-05,2.017801e-05,2.065909e-05,2.099717e-05,2.107555e-05,2.143261e-05,2.167301e-05,2.173511e-05,2.198757e-05,2.214856e-05,2.219417e-05,2.235878e-05,2.245567e-05,2.248498e-05,2.257609e-05,2.262169e-05,2.263517e-05,2.266502e-05,2.266994e-05,2.266827e-05,2.264733e-05,2.262042e-05,2.260443e-05,2.254160e-05,2.249014e-05,2.246074e-05,2.236362e-05,2.229366e-05,2.225182e-05,2.212682e-05,2.204329e-05,2.198997e-05,2.184250e-05,2.174940e-05,2.168556e-05,2.152022e-05,2.142085e-05,2.134743e-05,2.116808e-05,2.106508e-05,2.098298e-05,2.079290e-05,2.068842e-05,2.059850e-05,2.040043e-05,2.029617e-05,2.019926e-05,1.999551e-05,1.989282e-05,1.978967e-05,1.958219e-05,1.948213e-05,1.937346e-05,1.916386e-05,1.906725e-05,1.895373e-05,1.874336e-05,1.865080e-05,1.853305e-05,1.832304e-05,1.823499e-05,1.811357e-05,1.790485e-05,1.782161e-05,1.769706e-05,1.749038e-05,1.741217e-05,1.728496e-05,1.708095e-05,1.700787e-05,1.687847e-05,1.667762e-05,1.660973e-05,1.647852e-05,1.628125e-05,1.621853e-05,1.608590e-05,1.589252e-05,1.583490e-05,1.570118e-05,1.551195e-05,1.545934e-05,1.532485e-05,1.513994e-05,1.509222e-05,1.495725e-05,1.477680e-05,1.473382e-05,1.459861e-05,1.442272e-05,1.438433e-05,1.424913e-05,1.407785e-05,1.404387e-05,1.390888e-05,1.374224e-05,1.371250e-05,1.357793e-05,1.341593e-05,1.339023e-05,1.325625e-05,1.309888e-05,1.307704e-05,1.294382e-05,1.279104e-05,1.277286e-05,1.264054e-05,1.249230e-05,1.247761e-05,1.234632e-05,1.220257e-05,1.219117e-05,1.206103e-05,1.192170e-05,1.191341e-05,1.178454e-05,1.164954e-05,1.164418e-05,1.151667e-05,1.138593e-05,1.138334e-05,1.125728e-05,1.113070e-05,1.088610e-05,1.064936e-05,1.042029e-05,1.019871e-05,9.984437e-06,9.777281e-06,9.577059e-06,9.383585e-06,9.196678e-06,9.016158e-06,8.841846e-06,8.673570e-06,8.511156e-06,8.354437e-06,8.203247e-06,8.057427e-06,7.916817e-06,7.781264e-06,7.650617e-06,7.524730e-06,7.403458e-06,7.286663e-06,7.174208e-06,7.065960e-06,6.961791e-06,6.861575e-06,6.765188e-06,6.672513e-06,6.583433e-06,6.497836e-06,6.415611e-06,6.336653e-06,6.260857e-06,6.188123e-06,6.118352e-06,6.051450e-06,5.987324e-06,5.925884e-06,5.867041e-06,5.810712e-06,5.756814e-06,5.705265e-06,5.655989e-06,5.608909e-06,5.563952e-06,5.521046e-06,5.480121e-06,5.441111e-06,5.403949e-06
0.000000e+00,7.423800e-13,1.576886e-10,1.707279e-10,4.413905e-09,4.390752e-08,4.776192e-08,3.111387e-07,1.302864e-06,1.414776e-06,4.879335e-06,1.254866e-05,1.352044e-05,3.146100e-05,5.964965e-05,6.365674e-05,1.151030e-04,1.796643e-04,1.899961e-04,2.910727e-04,3.996810e-04,4.192370e-04,5.734923e-04,7.212844e-04,7.511207e-04,9.480336e-04,1.120386e-03,1.159206e-03,1.379129e-03,1.557608e-03,1.602217e-03,1.823155e-03,1.990889e-03,2.037153e-03,2.240119e-03,2.384935e-03,2.428755e-03,2.600576e-03,2.715872e-03,2.753887e-03,2.887721e-03,2.971814e-03,3.001749e-03,3.096182e-03,3.150957e-03,3.171665e-03,3.229175e-03,3.258632e-03,3.269934e-03,3.295317e-03,3.304358e-03,3.306791e-03,3.305851e-03,3.299417e-03,3.293972e-03,3.272577e-03,3.255129e-03,3.243015e-03,3.206539e-03,3.181816e-03,3.164295e-03,3.117322e-03,3.088281e-03,3.066548e-03,3.012792e-03,2.981659e-03,2.956774e-03,2.899118e-03,2.867494e-03,2.840359e-03,2.780956e-03,2.749943e-03,2.721296e-03,2.661701e-03,2.632015e-03,2.602443e-03,2.543740e-03,2.515815e-03,2.485775e-03,2.428690e-03,2.402759e-03,2.372600e-03,2.317595e-03,2.293753e-03,2.263740e-03,2.211086e-03,2.189337e-03,2.159666e-03,2.109503e-03,2.089793e-03,2.060609e-03,2.012986e-03,1.995223e-03,1.966633e-03,1.921541e-03,1.905614e-03,1.877696e-03,1.835083e-03,1.820872e-03,1.793683e-03,1.753475e-03,1.740856e-03,1.714435e-03,1.676541e-03,1.665393e-03,1.639769e-03,1.604093e-03,1.594296e-03,1.569488e-03,1.535928e-03,1.527371e-03,1.503389e-03,1.471844e-03,1.464419e-03,1.441268e-03,1.411637e-03,1.405242e-03,1.382924e-03,1.355107e-03,1.349649e-03,1.328161e-03,1.302063e-03,1.297454e-03,1.276789e-03,1.252318e-03,1.248475e-03,1.228625e-03,1.205691e-03,1.202540e-03,1.183493e-03,1.162012e-03,1.159481e-03,1.141225e-03,1.121115e-03,1.119140e-03,1.101660e-03,1.082843e-03,1.081365e-03,1.064645e-03,1.047048e-03,1.046011e-03,1.030034e-03,1.013587e-03,1.012940e-03,9.976887e-04,9.823240e-04,9.820220e-04,9.674767e-04,9.531315e-04,9.261510e-04,9.009685e-04,8.774783e-04,8.555800e-04,8.351787e-04,8.161849e-04,7.985136e-04,7.820849e-04,7.668231e-04,7.526569e-04,7.395189e-04,7.273456e-04,7.160770e-04,7.056566e-04,6.960312e-04,6.871505e-04,6.789672e-04,6.714368e-04,6.645171e-04,6.581688e-04,6.523545e-04,6.470391e-04,6.421897e-04,6.377751e-04,6.337662e-04,6.301353e-04,6.268568e-04,6.239061e-04,6.212604e-04,6.188983e-04,6.167995e-04,6.149450e-04,6.133170e-04,6.118986e-04,6.106743e-04,6.096292e-04,6.087496e-04,6.080223e-04,6.074353e-04,6.069771e-04,6.066371e-04,6.064052e-04,6.062722e-04,6.062293e-04,6.062682e-04,6.063815e-04,6.065618e-04,6.068027e-04,6.070979e-04
0.000000e+00,7.638942e-12,1.460528e-09,1.580405e-09,4.149069e-08,4.192834e-07,4.558738e-07,2.820726e-06,1.048711e-05,1.127800e-05,3.214349e-05,6.711469e-05,7.095325e-05,1.296317e-04,1.976718e-04,2.059718e-04,2.949985e-04,3.791474e-04,3.908152e-04,4.880055e-04,5.694259e-04,5.823392e-04,6.709295e-04,7.396339e-04,7.520755e-04,8.249849e-04,8.784964e-04,8.894952e-04,9.458423e-04,9.853500e-04,9.944906e-04,1.036019e-03,1.063867e-03,1.071048e-03,1.100194e-03,1.118775e-03,1.124048e-03,1.143162e-03,1.154555e-03,1.158044e-03,1.169158e-03,1.175063e-03,1.176923e-03,1.181718e-03,1.183492e-03,1.183885e-03,1.183732e-03,1.182444e-03,1.181534e-03,1.177538e-03,1.174024e-03,1.171965e-03,1.165015e-03,1.159927e-03,1.156865e-03,1.147673e-03,1.141514e-03,1.137582e-03,1.126718e-03,1.119877e-03,1.115195e-03,1.103114e-03,1.095888e-03,1.090566e-03,1.077629e-03,1.070243e-03,1.064377e-03,1.050873e-03,1.043496e-03,1.037173e-03,1.023328e-03,1.016086e-03,1.009382e-03,9.953754e-04,9.883603e-04,9.813428e-04,9.673151e-04,9.605917e-04,9.533196e-04,9.393803e-04,9.329930e-04,9.255183e-04,9.117519e-04,9.057292e-04,8.980973e-04,8.845685e-04,8.789269e-04,8.711777e-04,8.579353e-04,8.526820e-04,8.448504e-04,8.319303e-04,8.270653e-04,8.191817e-04,8.066096e-04,8.021278e-04,7.942186e-04,7.820121e-04,7.779044e-04,7.699929e-04,7.581630e-04,7.544178e-04,7.465242e-04,7.350772e-04,7.316806e-04,7.238226e-04,7.127606e-04,7.096976e-04,7.018907e-04,6.912124e-04,6.884673e-04,6.807248e-04,6.704267e-04,6.679833e-04,6.603169e-04,6.503937e-04,6.482354e-04,6.406554e-04,6.311001e-04,6.292109e-04,6.217260e-04,6.125308e-04,6.108945e-04,6.035124e-04,5.946685e-04,5.932695e-04,5.859968e-04,5.774949e-04,5.763181e-04,5.691605e-04,5.609909e-04,5.600216e-04,5.529839e-04,5.451368e-04,5.443608e-04,5.374472e-04,5.299126e-04,5.293164e-04,5.225304e-04,5.152982e-04,5.148690e-04,5.082134e-04,5.012736e-04,5.009990e-04,4.944763e-04,4.878190e-04,4.876873e-04,4.812994e-04,4.749149e-04,4.626632e-04,4.509140e-04,4.396494e-04,4.288520e-04,4.185051e-04,4.085920e-04,3.990970e-04,3.900045e-04,3.812995e-04,3.729677e-04,3.649948e-04,3.573675e-04,3.500726e-04,3.430975e-04,3.364299e-04,3.300580e-04,3.239705e-04,3.181564e-04,3.126050e-04,3.073063e-04,3.022503e-04,2.974274e-04,2.928287e-04,2.884452e-04,2.842684e-04,2.802902e-04,2.765026e-04,2.728981e-04,2.694692e-04,2.662090e-04,2.631106e-04,2.601675e-04,2.573733e-04,2.547220e-04,2.522078e-04,2.498249e-04,2.475680e-04,2.454319e-04,2.434114e-04,2.415019e-04,2.396986e-04,2.379970e-04,2.363928e-04,2.348819e-04,2.334602e-04,2.321240e-04,2.308695e-04,2.296932e-04,2.285916e-04
0.000000e+00,3.707623e-09,1.605669e-07,1.697909e-07,1.718722e-06,8.204091e-06,8.657119e-06,2.580830e-05,4.993442e-05,5.160306e-05,7.970263e-05,1.046056e-04,1.066987e-04,1.318018e-04,1.527136e-04,1.549408e-04,1.761869e-04,1.933960e-04,1.956387e-04,2.133905e-04,2.273694e-04,2.295369e-04,2.441734e-04,2.553695e-04,2.573932e-04,2.692859e-04,2.781077e-04,2.799370e-04,2.894282e-04,2.962383e-04,2.978371e-04,3.052369e-04,3.103530e-04,3.116969e-04,3.172827e-04,3.209811e-04,3.220556e-04,3.260738e-04,3.285935e-04,3.293918e-04,3.320607e-04,3.336077e-04,3.341288e-04,3.356413e-04,3.363922e-04,3.366405e-04,3.371662e-04,3.372724e-04,3.372557e-04,3.369440e-04,3.365344e-04,3.362637e-04,3.352454e-04,3.344297e-04,3.339179e-04,3.323080e-04,3.311791e-04,3.304407e-04,3.283395e-04,3.269757e-04,3.260262e-04,3.235214e-04,3.219883e-04,3.208440e-04,3.180118e-04,3.163644e-04,3.150415e-04,3.119484e-04,3.102322e-04,3.087470e-04,3.054507e-04,3.037033e-04,3.020719e-04,2.986221e-04,2.968741e-04,2.951122e-04,2.915521e-04,2.898282e-04,2.879510e-04,2.843175e-04,2.826374e-04,2.806595e-04,2.769844e-04,2.753636e-04,2.732988e-04,2.696091e-04,2.680595e-04,2.659209e-04,2.622395e-04,2.607700e-04,2.585699e-04,2.549164e-04,2.535331e-04,2.512830e-04,2.476736e-04,2.463808e-04,2.440915e-04,2.405398e-04,2.393396e-04,2.370212e-04,2.335383e-04,2.324317e-04,2.300934e-04,2.266884e-04,2.256750e-04,2.233253e-04,2.200055e-04,2.190839e-04,2.167306e-04,2.135017e-04,2.126699e-04,2.103201e-04,2.071865e-04,2.064417e-04,2.041018e-04,2.010667e-04,2.004056e-04,1.980816e-04,1.951471e-04,1.945663e-04,1.922634e-04,1.894308e-04,1.889264e-04,1.866495e-04,1.839193e-04,1.834873e-04,1.812404e-04,1.786127e-04,1.782488e-04,1.760359e-04,1.735099e-04,1.732102e-04,1.710344e-04,1.686091e-04,1.683693e-04,1.662336e-04,1.639076e-04,1.637236e-04,1.616306e-04,1.594020e-04,1.592699e-04,1.572215e-04,1.550885e-04,1.550042e-04,1.530024e-04,1.509627e-04,1.509224e-04,1.489688e-04,1.470200e-04,1.432921e-04,1.397338e-04,1.363399e-04,1.331053e-04,1.300246e-04,1.270925e-04,1.243038e-04,1.216533e-04,1.191356e-04,1.167459e-04,1.144789e-04,1.123298e-04,1.102937e-04,1.083661e-04,1.065422e-04,1.048177e-04,1.031883e-04,1.016498e-04,1.001981e-04,9.882934e-05,9.753980e-05,9.632580e-05,9.518385e-05,9.411057e-05,9.310272e-05,9.215717e-05,9.127092e-05,9.044110e-05,8.966495e-05,8.893980e-05,8.826313e-05,8.763249e-05,8.704556e-05,8.650011e-05,8.599399e-05,8.552517e-05,8.509168e-05,8.469167e-05,8.432334e-05,8.398500e-05,8.367501e-05,8.339183e-05,8.313397e-05,8.290001e-05,8.268862e-05,8.249849e-05,8.232842e-05,8.217724e-05,8.204382e-05
0.000000e+00,2.170920e-11,3.722003e-09,4.010265e-09,8.005085e-08,6.198476e-07,6.675803e-07,3.458354e-06,1.211651e-05,1.302334e-05,3.852552e-05,8.798356e-05,9.389287e-05,1.951676e-04,3.368027e-04,3.557899e-04,5.823690e-04,8.350122e-04,8.730222e-04,1.218462e-03,1.548744e-03,1.604684e-03,2.015925e-03,2.369558e-03,2.437027e-03,2.854919e-03,3.187861e-03,3.259274e-03,3.642576e-03,3.930621e-03,3.999817e-03,4.328061e-03,4.563055e-03,4.625968e-03,4.893362e-03,5.076539e-03,5.130872e-03,5.339654e-03,5.476523e-03,5.521192e-03,5.677144e-03,5.774558e-03,5.809241e-03,5.919219e-03,5.983956e-03,6.008778e-03,6.079551e-03,6.117743e-03,6.133093e-03,6.170868e-03,6.187835e-03,6.194253e-03,6.204532e-03,6.204789e-03,6.202903e-03,6.190481e-03,6.177815e-03,6.168298e-03,6.137316e-03,6.114875e-03,6.098423e-03,6.052440e-03,6.022825e-03,6.000130e-03,5.942195e-03,5.907538e-03,5.879284e-03,5.811996e-03,5.774037e-03,5.740884e-03,5.666457e-03,5.626602e-03,5.589183e-03,5.509494e-03,5.468869e-03,5.427787e-03,5.344424e-03,5.303920e-03,5.259739e-03,5.174038e-03,5.134352e-03,5.087600e-03,5.000680e-03,4.962343e-03,4.913511e-03,4.826304e-03,4.789713e-03,4.739252e-03,4.652528e-03,4.617966e-03,4.566290e-03,4.480680e-03,4.448340e-03,4.395826e-03,4.311842e-03,4.281841e-03,4.228830e-03,4.146881e-03,4.119275e-03,4.066075e-03,3.986482e-03,3.961279e-03,3.908165e-03,3.831176e-03,3.808345e-03,3.755561e-03,3.681359e-03,3.660840e-03,3.608603e-03,3.537319e-03,3.519029e-03,3.467528e-03,3.399246e-03,3.383084e-03,3.332485e-03,3.267253e-03,3.253107e-03,3.203552e-03,3.141384e-03,3.129134e-03,3.080745e-03,3.021630e-03,3.011151e-03,2.964031e-03,2.907936e-03,2.899100e-03,2.853335e-03,2.800211e-03,2.792890e-03,2.748548e-03,2.698330e-03,2.692400e-03,2.649538e-03,2.602150e-03,2.597488e-03,2.556147e-03,2.511506e-03,2.507992e-03,2.468204e-03,2.426218e-03,2.423740e-03,2.385525e-03,2.346099e-03,2.344548e-03,2.307917e-03,2.270953e-03,2.270226e-03,2.235182e-03,2.200579e-03,2.135412e-03,2.074529e-03,2.017733e-03,1.964833e-03,1.915638e-03,1.869964e-03,1.827630e-03,1.788461e-03,1.752287e-03,1.718944e-03,1.688276e-03,1.660129e-03,1.634360e-03,1.610827e-03,1.589399e-03,1.569947e-03,1.552351e-03,1.536494e-03,1.522265e-03,1.509561e-03,1.498281e-03,1.488330e-03,1.479619e-03,1.472062e-03,1.465578e-03,1.460091e-03,1.455529e-03,1.451823e-03,1.448908e-03,1.446722e-03,1.445209e-03,1.444313e-03,1.443984e-03,1.444172e-03,1.444832e-03,1.445922e-03,1.447400e-03,1.449229e-03,1.451374e-03,1.453800e-03,1.456478e-03,1.459377e-03,1.462470e-03,1.465731e-03,1.469138e-03,1.472667e-03,1.476299e-03,1.480014e-03,1.483793e-03
0.000000e+00,5.994791e-10,5.894695e-08,6.310711e-08,1.041433e-06,6.952836e-06,7.427413e-06,2.903626e-05,6.837731e-05,7.142040e-05,1.276255e-04,1.830253e-04,1.878359e-04,2.467796e-04,2.972523e-04,3.026910e-04,3.551758e-04,3.985291e-04,4.042391e-04,4.499840e-04,4.867654e-04,4.925351e-04,5.320197e-04,5.629096e-04,5.685643e-04,6.022947e-04,6.279430e-04,6.333383e-04,6.618227e-04,6.828527e-04,6.878744e-04,7.116173e-04,7.286121e-04,7.331726e-04,7.526576e-04,7.661518e-04,7.701861e-04,7.858671e-04,7.963435e-04,7.998055e-04,8.121019e-04,8.199925e-04,8.228521e-04,8.321478e-04,8.378364e-04,8.400765e-04,8.467212e-04,8.505468e-04,8.521611e-04,8.564716e-04,8.587327e-04,8.597242e-04,8.619868e-04,8.629452e-04,8.633239e-04,8.637968e-04,8.636815e-04,8.634634e-04,8.623789e-04,8.613895e-04,8.605954e-04,8.581623e-04,8.564720e-04,8.551263e-04,8.515319e-04,8.492907e-04,8.474208e-04,8.428327e-04,8.401700e-04,8.378050e-04,8.323733e-04,8.294003e-04,8.265709e-04,8.204294e-04,8.172409e-04,8.139787e-04,8.072468e-04,8.039235e-04,8.002603e-04,7.930442e-04,7.896542e-04,7.856220e-04,7.780160e-04,7.746165e-04,7.702470e-04,7.623346e-04,7.589731e-04,7.542973e-04,7.461524e-04,7.428680e-04,7.379162e-04,7.296041e-04,7.264285e-04,7.212302e-04,7.128080e-04,7.097667e-04,7.043501e-04,6.958683e-04,6.929810e-04,6.873734e-04,6.788757e-04,6.761575e-04,6.703849e-04,6.619097e-04,6.593714e-04,6.534585e-04,6.450389e-04,6.426880e-04,6.366581e-04,6.283227e-04,6.261636e-04,6.200387e-04,6.118120e-04,6.098467e-04,6.036476e-04,5.955503e-04,5.937784e-04,5.875246e-04,5.795744e-04,5.779937e-04,5.717034e-04,5.639149e-04,5.625220e-04,5.562120e-04,5.485974e-04,5.473875e-04,5.410735e-04,5.336425e-04,5.326097e-04,5.263064e-04,5.190668e-04,5.182046e-04,5.119252e-04,5.048829e-04,5.041842e-04,4.979411e-04,4.911005e-04,4.905577e-04,4.843621e-04,4.777262e-04,4.773313e-04,4.711935e-04,4.647641e-04,4.645091e-04,4.584383e-04,4.522161e-04,4.520927e-04,4.460975e-04,4.400822e-04,4.284757e-04,4.172702e-04,4.064614e-04,3.960440e-04,3.860117e-04,3.763576e-04,3.670741e-04,3.581532e-04,3.495863e-04,3.413647e-04,3.334794e-04,3.259210e-04,3.186803e-04,3.117478e-04,3.051140e-04,2.987696e-04,2.927052e-04,2.869116e-04,2.813794e-04,2.760997e-04,2.710636e-04,2.662623e-04,2.616873e-04,2.573302e-04,2.531829e-04,2.492372e-04,2.454856e-04,2.419204e-04,2.385342e-04,2.353200e-04,2.322709e-04,2.293800e-04,2.266410e-04,2.240475e-04,2.215934e-04,2.192730e-04,2.170805e-04,2.150104e-04,2.130574e-04,2.112166e-04,2.094828e-04,2.078515e-04,2.063180e-04,2.048780e-04,2.035272e-04,2.022615e-04,2.010771e-04,1.999702e-04,1.989372e-04
0.000000e+00,1.086437e-12,2.288239e-10,2.476308e-10,6.192144e-09,5.937441e-08,6.449824e-08,4.091568e-07,1.695908e-06,1.841245e-06,6.376794e-06,1.662682e-05,1.794206e-05,4.270909e-05,8.297047e-05,8.879751e-05,1.654017e-04,2.653134e-04,2.816308e-04,4.453758e-04,6.286814e-04,6.624246e-04,9.359286e-04,1.209630e-03,1.266228e-03,1.650979e-03,2.003888e-03,2.085504e-03,2.563270e-03,2.971374e-03,3.076431e-03,3.616359e-03,4.050339e-03,4.174124e-03,4.740927e-03,5.172579e-03,5.308416e-03,5.868926e-03,6.275174e-03,6.415653e-03,6.942750e-03,7.307332e-03,7.445347e-03,7.919544e-03,8.232955e-03,8.362365e-03,8.771690e-03,9.030180e-03,9.146168e-03,9.485120e-03,9.689298e-03,9.788448e-03,1.005654e-02,1.020997e-02,1.029018e-02,1.049046e-02,1.059847e-02,1.065874e-02,1.079654e-02,1.086527e-02,1.090551e-02,1.098737e-02,1.102313e-02,1.104390e-02,1.107686e-02,1.108568e-02,1.108801e-02,1.107907e-02,1.106647e-02,1.105170e-02,1.100749e-02,1.097836e-02,1.094798e-02,1.087461e-02,1.083316e-02,1.078875e-02,1.069169e-02,1.064147e-02,1.058461e-02,1.046866e-02,1.041263e-02,1.034487e-02,1.021422e-02,1.015479e-02,1.007760e-02,9.935844e-03,9.874962e-03,9.789718e-03,9.639927e-03,9.579132e-03,9.487120e-03,9.331891e-03,9.272383e-03,9.174784e-03,9.016298e-03,8.958994e-03,8.856888e-03,8.696969e-03,8.642548e-03,8.536917e-03,8.377076e-03,8.326023e-03,8.217757e-03,8.059239e-03,8.011878e-03,7.901776e-03,7.745596e-03,7.702123e-03,7.590902e-03,7.437877e-03,7.398385e-03,7.286684e-03,7.137467e-03,7.101963e-03,6.990351e-03,6.845449e-03,6.813878e-03,6.702858e-03,6.562661e-03,6.534915e-03,6.424929e-03,6.289722e-03,6.265657e-03,6.157090e-03,6.027073e-03,6.006516e-03,5.899703e-03,5.775004e-03,5.757760e-03,5.652992e-03,5.533676e-03,5.519540e-03,5.417062e-03,5.303146e-03,5.291903e-03,5.191924e-03,5.083382e-03,5.074814e-03,4.977507e-03,4.874280e-03,4.868170e-03,4.773678e-03,4.675676e-03,4.671810e-03,4.580248e-03,4.487361e-03,4.485529e-03,4.396985e-03,4.309086e-03,4.142211e-03,3.984612e-03,3.835985e-03,3.696010e-03,3.564364e-03,3.440719e-03,3.324747e-03,3.216122e-03,3.114522e-03,3.019628e-03,2.931131e-03,2.848728e-03,2.772124e-03,2.701033e-03,2.635179e-03,2.574295e-03,2.518124e-03,2.466418e-03,2.418939e-03,2.375459e-03,2.335760e-03,2.299632e-03,2.266875e-03,2.237297e-03,2.210714e-03,2.186953e-03,2.165846e-03,2.147234e-03,2.130965e-03,2.116895e-03,2.104886e-03,2.094806e-03,2.086531e-03,2.079941e-03,2.074922e-03,2.071368e-03,2.069175e-03,2.068245e-03,2.068487e-03,2.069811e-03,2.072135e-03,2.075378e-03,2.079465e-03,2.084324e-03,2.089887e-03,2.096089e-03,2.102870e-03,2.110172e-03,2.117939e-03
0.000000e+00,1.914027e-09,9.844096e-08,1.039195e-07,9.079372e-07,4.176233e-06,4.417032e-06,1.522305e-05,3.741304e-05,3.930466e-05,7.850424e-05,1.231249e-04,1.271729e-04,1.777780e-04,2.213834e-04,2.260502e-04,2.705146e-04,3.062525e-04,3.108819e-04,3.472507e-04,3.754893e-04,3.798314e-04,4.088609e-04,4.306758e-04,4.345774e-04,4.572118e-04,4.736280e-04,4.769858e-04,4.941108e-04,5.060389e-04,5.087878e-04,5.212077e-04,5.294448e-04,5.315509e-04,5.399873e-04,5.452225e-04,5.466769e-04,5.517696e-04,5.545928e-04,5.554054e-04,5.577154e-04,5.586264e-04,5.588214e-04,5.588367e-04,5.582552e-04,5.578666e-04,5.560085e-04,5.542842e-04,5.533528e-04,5.499831e-04,5.474056e-04,5.459764e-04,5.414041e-04,5.382115e-04,5.363318e-04,5.308199e-04,5.272064e-04,5.249241e-04,5.186955e-04,5.148182e-04,5.121809e-04,5.054235e-04,5.014085e-04,4.984624e-04,4.913338e-04,4.872809e-04,4.840704e-04,4.767022e-04,4.726896e-04,4.692566e-04,4.617582e-04,4.578458e-04,4.542296e-04,4.466911e-04,4.429240e-04,4.391612e-04,4.316563e-04,4.280673e-04,4.241914e-04,4.167798e-04,4.133917e-04,4.094334e-04,4.021628e-04,3.989902e-04,3.949773e-04,3.878853e-04,3.849362e-04,3.808938e-04,3.740093e-04,3.712867e-04,3.672372e-04,3.605820e-04,3.580845e-04,3.540476e-04,3.476374e-04,3.453607e-04,3.413540e-04,3.351994e-04,3.331364e-04,3.291751e-04,3.232825e-04,3.214247e-04,3.175221e-04,3.118942e-04,3.102317e-04,3.063989e-04,3.010359e-04,2.995579e-04,2.958045e-04,2.907040e-04,2.893991e-04,2.857332e-04,2.808910e-04,2.797478e-04,2.761758e-04,2.715862e-04,2.705932e-04,2.671204e-04,2.627765e-04,2.619222e-04,2.585527e-04,2.544469e-04,2.537202e-04,2.504570e-04,2.465808e-04,2.459710e-04,2.428161e-04,2.391607e-04,2.386575e-04,2.356123e-04,2.321685e-04,2.317622e-04,2.288272e-04,2.255858e-04,2.252671e-04,2.224422e-04,2.193939e-04,2.191541e-04,2.164386e-04,2.135741e-04,2.134051e-04,2.107980e-04,2.081081e-04,2.080023e-04,2.055021e-04,2.029778e-04,2.029282e-04,2.005330e-04,1.981656e-04,1.936980e-04,1.895092e-04,1.855838e-04,1.819068e-04,1.784640e-04,1.752416e-04,1.722268e-04,1.694070e-04,1.667705e-04,1.643062e-04,1.620035e-04,1.598523e-04,1.578432e-04,1.559673e-04,1.542162e-04,1.525820e-04,1.510571e-04,1.496347e-04,1.483080e-04,1.470710e-04,1.459178e-04,1.448429e-04,1.438414e-04,1.429082e-04,1.420391e-04,1.412298e-04,1.404763e-04,1.397750e-04,1.391225e-04,1.385154e-04,1.379509e-04,1.374261e-04,1.369384e-04,1.364852e-04,1.360644e-04,1.356738e-04,1.353113e-04,1.349751e-04,1.346635e-04,1.343748e-04,1.341075e-04,1.338601e-04,1.336314e-04,1.334201e-04,1.332250e-04,1.330451e-04,1.328793e-04,1.327268e-04,1.325865e-04
0.000000e+00,5.915398e-09,8.784210e-08,9.185368e-08,6.178053e-07,2.312552e-06,2.420595e-06,6.133346e-06,1.079377e-05,1.110520e-05,1.627285e-05,2.081549e-05,2.119731e-05,2.578054e-05,2.960544e-05,3.001319e-05,3.390675e-05,3.706555e-05,3.747758e-05,4.074303e-05,4.332025e-05,4.372037e-05,4.642648e-05,4.850196e-05,4.887767e-05,5.108963e-05,5.273543e-05,5.307730e-05,5.485495e-05,5.613503e-05,5.643620e-05,5.783396e-05,5.880472e-05,5.906045e-05,6.012730e-05,6.083802e-05,6.104533e-05,6.182483e-05,6.231818e-05,6.247547e-05,6.300640e-05,6.331939e-05,6.342621e-05,6.374296e-05,6.390746e-05,6.396426e-05,6.409724e-05,6.414067e-05,6.414863e-05,6.412473e-05,6.407059e-05,6.403144e-05,6.387432e-05,6.374267e-05,6.365856e-05,6.338907e-05,6.319702e-05,6.307042e-05,6.270689e-05,6.246891e-05,6.230249e-05,6.186100e-05,6.158932e-05,6.138592e-05,6.088054e-05,6.058546e-05,6.034795e-05,5.979101e-05,5.948109e-05,5.921240e-05,5.861462e-05,5.829698e-05,5.800001e-05,5.737074e-05,5.705124e-05,5.672883e-05,5.607617e-05,5.575960e-05,5.541452e-05,5.474549e-05,5.443569e-05,5.407061e-05,5.339127e-05,5.309129e-05,5.270877e-05,5.202432e-05,5.173654e-05,5.133902e-05,5.065390e-05,5.038012e-05,4.996992e-05,4.928793e-05,4.902946e-05,4.860874e-05,4.793308e-05,4.769084e-05,4.726164e-05,4.659501e-05,4.636956e-05,4.593378e-05,4.527844e-05,4.507005e-05,4.462945e-05,4.398725e-05,4.379596e-05,4.335220e-05,4.272464e-05,4.255031e-05,4.210487e-05,4.149317e-05,4.133548e-05,4.088978e-05,4.029489e-05,4.015340e-05,3.970868e-05,3.913132e-05,3.900551e-05,3.856294e-05,3.800364e-05,3.789288e-05,3.745351e-05,3.691262e-05,3.681624e-05,3.638102e-05,3.585875e-05,3.577606e-05,3.534583e-05,3.484227e-05,3.477251e-05,3.434805e-05,3.386316e-05,3.380560e-05,3.338757e-05,3.292124e-05,3.287512e-05,3.246413e-05,3.201617e-05,3.198072e-05,3.157729e-05,3.114744e-05,3.112193e-05,3.072652e-05,3.031446e-05,3.029816e-05,2.991117e-05,2.951654e-05,2.950874e-05,2.913049e-05,2.875290e-05,2.802986e-05,2.733874e-05,2.667867e-05,2.604872e-05,2.544798e-05,2.487548e-05,2.433029e-05,2.381145e-05,2.331803e-05,2.284910e-05,2.240372e-05,2.198101e-05,2.158005e-05,2.120000e-05,2.083998e-05,2.049919e-05,2.017680e-05,1.987204e-05,1.958414e-05,1.931237e-05,1.905601e-05,1.881437e-05,1.858678e-05,1.837261e-05,1.817123e-05,1.798203e-05,1.780446e-05,1.763794e-05,1.748196e-05,1.733598e-05,1.719954e-05,1.707214e-05,1.695335e-05,1.684271e-05,1.673983e-05,1.664430e-05,1.655573e-05,1.647376e-05,1.639805e-05,1.632825e-05,1.626404e-05,1.620513e-05,1.615121e-05,1.610200e-05,1.605725e-05,1.601670e-05,1.598010e-05,1.594722e-05,1.591785e-05
0.000000e+00,2.954198e-13,6.965619e-11,7.559438e-11,2.207737e-09,2.450617e-08,2.677017e-08,1.919508e-07,8.672410e-07,9.459783e-07,3.501735e-06,9.574128e-06,1.037000e-05,2.577890e-05,5.194653e-05,5.581919e-05,1.082765e-04,1.801510e-04,1.922026e-04,3.173188e-04,4.652903e-04,4.933488e-04,7.293683e-04,9.797773e-04,1.033232e-03,1.411119e-03,1.779229e-03,1.867218e-03,2.403549e-03,2.890325e-03,3.019921e-03,3.714002e-03,4.306624e-03,4.481484e-03,5.316312e-03,5.991241e-03,6.210965e-03,7.156767e-03,7.884016e-03,8.144198e-03,9.163208e-03,9.910669e-03,1.020350e-02,1.125480e-02,1.199187e-02,1.230708e-02,1.335078e-02,1.405099e-02,1.437694e-02,1.537732e-02,1.601982e-02,1.634453e-02,1.727206e-02,1.784224e-02,1.815433e-02,1.898663e-02,1.947588e-02,1.976520e-02,2.048713e-02,2.089220e-02,2.115034e-02,2.175353e-02,2.207561e-02,2.229609e-02,2.277805e-02,2.302168e-02,2.320001e-02,2.356308e-02,2.373516e-02,2.386876e-02,2.411895e-02,2.422782e-02,2.431580e-02,2.446172e-02,2.451639e-02,2.455930e-02,2.461125e-02,2.462080e-02,2.462036e-02,2.458948e-02,2.456262e-02,2.452144e-02,2.441908e-02,2.436389e-02,2.428518e-02,2.412244e-02,2.404613e-02,2.393350e-02,2.372088e-02,2.362975e-02,2.348700e-02,2.323417e-02,2.313358e-02,2.296456e-02,2.268022e-02,2.257463e-02,2.238310e-02,2.207498e-02,2.196802e-02,2.175756e-02,2.143238e-02,2.132692e-02,2.110088e-02,2.076439e-02,2.066265e-02,2.042412e-02,2.008121e-02,1.998485e-02,1.973665e-02,1.939139e-02,1.930161e-02,1.904625e-02,1.870200e-02,1.861959e-02,1.835933e-02,1.801884e-02,1.794428e-02,1.768108e-02,1.734654e-02,1.728005e-02,1.701564e-02,1.668879e-02,1.663041e-02,1.636630e-02,1.604847e-02,1.599806e-02,1.573555e-02,1.542776e-02,1.538509e-02,1.512529e-02,1.482828e-02,1.479302e-02,1.453688e-02,1.425117e-02,1.422292e-02,1.397125e-02,1.369718e-02,1.367550e-02,1.342899e-02,1.316673e-02,1.315118e-02,1.291040e-02,1.266001e-02,1.265012e-02,1.241554e-02,1.217698e-02,1.217227e-02,1.194430e-02,1.171745e-02,1.128533e-02,1.087551e-02,1.048748e-02,1.012070e-02,9.774559e-03,9.448440e-03,9.141685e-03,8.853629e-03,8.583600e-03,8.330922e-03,8.094923e-03,7.874934e-03,7.670293e-03,7.480348e-03,7.304459e-03,7.141999e-03,6.992352e-03,6.854917e-03,6.729109e-03,6.614354e-03,6.510097e-03,6.415795e-03,6.330921e-03,6.254962e-03,6.187422e-03,6.127817e-03,6.075679e-03,6.030554e-03,5.992003e-03,5.959601e-03,5.932936e-03,5.911611e-03,5.895243e-03,5.883462e-03,5.875912e-03,5.872251e-03,5.872149e-03,5.875291e-03,5.881375e-03,5.890112e-03,5.901227e-03,5.914456e-03,5.929551e-03,5.946273e-03,5.964400e-03,5.983720e-03,6.004032e-03,6.025152e-03,6.046902e-03
0.000000e+00,3.312534e-13,6.847039e-11,7.406187e-11,1.801059e-09,1.679046e-08,1.821931e-08,1.127964e-07,4.598444e-07,4.988274e-07,1.708841e-06,4.432053e-06,4.781280e-06,1.136099e-05,2.207673e-05,2.362924e-05,4.405925e-05,7.071744e-05,7.506930e-05,1.186721e-04,1.672795e-04,1.761993e-04,2.481417e-04,3.194556e-04,3.341134e-04,4.329182e-04,5.222232e-04,5.426916e-04,6.610829e-04,7.602313e-04,7.854517e-04,9.130538e-04,1.013094e-03,1.041203e-03,1.167399e-03,1.260623e-03,1.289422e-03,1.405390e-03,1.486405e-03,1.513791e-03,1.613480e-03,1.679408e-03,1.703671e-03,1.783902e-03,1.834034e-03,1.853998e-03,1.914027e-03,1.949226e-03,1.964257e-03,2.005109e-03,2.027193e-03,2.037123e-03,2.060918e-03,2.072141e-03,2.077162e-03,2.086546e-03,2.089223e-03,2.089762e-03,2.087488e-03,2.083760e-03,2.080374e-03,2.069034e-03,2.060747e-03,2.054039e-03,2.035913e-03,2.024576e-03,2.015136e-03,1.992138e-03,1.978934e-03,1.967305e-03,1.940978e-03,1.926798e-03,1.913457e-03,1.885005e-03,1.870503e-03,1.855852e-03,1.826194e-03,1.811831e-03,1.796203e-03,1.766024e-03,1.752113e-03,1.735780e-03,1.705575e-03,1.692321e-03,1.675498e-03,1.645621e-03,1.633147e-03,1.616005e-03,1.586701e-03,1.575077e-03,1.557751e-03,1.529188e-03,1.518441e-03,1.501039e-03,1.473325e-03,1.463458e-03,1.446063e-03,1.419265e-03,1.410262e-03,1.392941e-03,1.367096e-03,1.358927e-03,1.341734e-03,1.316858e-03,1.309490e-03,1.292468e-03,1.268563e-03,1.261956e-03,1.245141e-03,1.222199e-03,1.216312e-03,1.199733e-03,1.177739e-03,1.172531e-03,1.156212e-03,1.135146e-03,1.130573e-03,1.114535e-03,1.094374e-03,1.090395e-03,1.074655e-03,1.055373e-03,1.051948e-03,1.036521e-03,1.018092e-03,1.015182e-03,1.000079e-03,9.824753e-04,9.800430e-04,9.652739e-04,9.484678e-04,9.464773e-04,9.320500e-04,9.160135e-04,9.144306e-04,9.003514e-04,8.850569e-04,8.838490e-04,8.701228e-04,8.555426e-04,8.546789e-04,8.413094e-04,8.274164e-04,8.268677e-04,8.138571e-04,8.006248e-04,8.003635e-04,7.877131e-04,7.751156e-04,7.510748e-04,7.281928e-04,7.064229e-04,6.857198e-04,6.660395e-04,6.473397e-04,6.295791e-04,6.127183e-04,5.967191e-04,5.815446e-04,5.671593e-04,5.535293e-04,5.406215e-04,5.284046e-04,5.168482e-04,5.059230e-04,4.956012e-04,4.858559e-04,4.766612e-04,4.679924e-04,4.598258e-04,4.521385e-04,4.449086e-04,4.381153e-04,4.317383e-04,4.257583e-04,4.201569e-04,4.149164e-04,4.100196e-04,4.054504e-04,4.011930e-04,3.972325e-04,3.935545e-04,3.901453e-04,3.869917e-04,3.840810e-04,3.814011e-04,3.789403e-04,3.766877e-04,3.746326e-04,3.727645e-04,3.710739e-04,3.695513e-04,3.681878e-04,3.669746e-04,3.659037e-04,3.649671e-04,3.641573e-04,3.634669e-04
0.000000e+00,8.344820e-11,1.162684e-08,1.249811e-08,2.384197e-07,1.846843e-06,1.987675e-06,9.708720e-06,2.958480e-05,3.143226e-05,7.381010e-05,1.308514e-04,1.364798e-04,2.129115e-04,2.868127e-04,2.950912e-04,3.767801e-04,4.452565e-04,4.542597e-04,5.257659e-04,5.820188e-04,5.907133e-04,6.491190e-04,6.933317e-04,7.012714e-04,7.475640e-04,7.814472e-04,7.884186e-04,8.242531e-04,8.495762e-04,8.554680e-04,8.824413e-04,9.007648e-04,9.055274e-04,9.250571e-04,9.377112e-04,9.413379e-04,9.546549e-04,9.627571e-04,9.652716e-04,9.734318e-04,9.779128e-04,9.793600e-04,9.832633e-04,9.848934e-04,9.853322e-04,9.857421e-04,9.851560e-04,9.846543e-04,9.822170e-04,9.799356e-04,9.785663e-04,9.738272e-04,9.702764e-04,9.681145e-04,9.615333e-04,9.570595e-04,9.541801e-04,9.461432e-04,9.410268e-04,9.375035e-04,9.283351e-04,9.228021e-04,9.187056e-04,9.086771e-04,9.029080e-04,8.983059e-04,8.876437e-04,8.817819e-04,8.767377e-04,8.656305e-04,8.597885e-04,8.543615e-04,8.429659e-04,8.372310e-04,8.314762e-04,8.199216e-04,8.143602e-04,8.083285e-04,7.967211e-04,7.913829e-04,7.851209e-04,7.735476e-04,7.684684e-04,7.620187e-04,7.505501e-04,7.457547e-04,7.391559e-04,7.278488e-04,7.233530e-04,7.166402e-04,7.055399e-04,7.013521e-04,6.945568e-04,6.836989e-04,6.798220e-04,6.729728e-04,6.623845e-04,6.588168e-04,6.519391e-04,6.416411e-04,6.383775e-04,6.314941e-04,6.215013e-04,6.185339e-04,6.116651e-04,6.019875e-04,5.993065e-04,5.924702e-04,5.831143e-04,5.807083e-04,5.739204e-04,5.648891e-04,5.627458e-04,5.560203e-04,5.473140e-04,5.454203e-04,5.387695e-04,5.303864e-04,5.287290e-04,5.221635e-04,5.141000e-04,5.126654e-04,5.061945e-04,4.984457e-04,4.972203e-04,4.908520e-04,4.834118e-04,4.823823e-04,4.761233e-04,4.689848e-04,4.681382e-04,4.619943e-04,4.551499e-04,4.544734e-04,4.484495e-04,4.418911e-04,4.413725e-04,4.354725e-04,4.291916e-04,4.288191e-04,4.230462e-04,4.170341e-04,4.167964e-04,4.111532e-04,4.054012e-04,4.052874e-04,3.997758e-04,3.942749e-04,3.837417e-04,3.736705e-04,3.640446e-04,3.548472e-04,3.460620e-04,3.376730e-04,3.296646e-04,3.220215e-04,3.147292e-04,3.077732e-04,3.011397e-04,2.948154e-04,2.887874e-04,2.830432e-04,2.775707e-04,2.723585e-04,2.673954e-04,2.626706e-04,2.581740e-04,2.538957e-04,2.498260e-04,2.459560e-04,2.422769e-04,2.387803e-04,2.354581e-04,2.323027e-04,2.293066e-04,2.264629e-04,2.237646e-04,2.212052e-04,2.187787e-04,2.164789e-04,2.143001e-04,2.122370e-04,2.102842e-04,2.084367e-04,2.066898e-04,2.050388e-04,2.034794e-04,2.020073e-04,2.006184e-04,1.993090e-04,1.980754e-04,1.969140e-04,1.958214e-04,1.947944e-04,1.938299e-04,1.929250e-04,1.920769e-04
0.000000e+00,9.101334e-10,1.782575e-08,1.867161e-08,1.158388e-07,3.419829e-07,3.539680e-07,6.841406e-07,1.004852e-06,1.024961e-06,1.350588e-06,1.633134e-06,1.656920e-06,1.943818e-06,2.185901e-06,2.211881e-06,2.461863e-06,2.667514e-06,2.694549e-06,2.910693e-06,3.083906e-06,3.111030e-06,3.296319e-06,3.440878e-06,3.467305e-06,3.624712e-06,3.744144e-06,3.769238e-06,3.901559e-06,3.999063e-06,4.022321e-06,4.132145e-06,4.210596e-06,4.231623e-06,4.321325e-06,4.383292e-06,4.401790e-06,4.473535e-06,4.521304e-06,4.537054e-06,4.592817e-06,4.628414e-06,4.641269e-06,4.682838e-06,4.708058e-06,4.717928e-06,4.746925e-06,4.763351e-06,4.770196e-06,4.788089e-06,4.797115e-06,4.800936e-06,4.809052e-06,4.811902e-06,4.812736e-06,4.812271e-06,4.810018e-06,4.807928e-06,4.799962e-06,4.793544e-06,4.788615e-06,4.774120e-06,4.764356e-06,4.756693e-06,4.736542e-06,4.724140e-06,4.713862e-06,4.688841e-06,4.674418e-06,4.661653e-06,4.632466e-06,4.616551e-06,4.601437e-06,4.568716e-06,4.551766e-06,4.534444e-06,4.498755e-06,4.481157e-06,4.461773e-06,4.423620e-06,4.405707e-06,4.384408e-06,4.344242e-06,4.326293e-06,4.303223e-06,4.261446e-06,4.243695e-06,4.219000e-06,4.175969e-06,4.158611e-06,4.132433e-06,4.088465e-06,4.071659e-06,4.044136e-06,3.999512e-06,3.983388e-06,3.954655e-06,3.909623e-06,3.894282e-06,3.864470e-06,3.819247e-06,3.804769e-06,3.774003e-06,3.728783e-06,3.715227e-06,3.683627e-06,3.638576e-06,3.625985e-06,3.593666e-06,3.548930e-06,3.537332e-06,3.504401e-06,3.460108e-06,3.449516e-06,3.416078e-06,3.372337e-06,3.362755e-06,3.328908e-06,3.285813e-06,3.277236e-06,3.243072e-06,3.200702e-06,3.193116e-06,3.158721e-06,3.117145e-06,3.110531e-06,3.075987e-06,3.035259e-06,3.029593e-06,2.994974e-06,2.955142e-06,2.950393e-06,2.915772e-06,2.876873e-06,2.873009e-06,2.838451e-06,2.800513e-06,2.797499e-06,2.763065e-06,2.726111e-06,2.723910e-06,2.689656e-06,2.653703e-06,2.652275e-06,2.618254e-06,2.583311e-06,2.582618e-06,2.548876e-06,2.514950e-06,2.449278e-06,2.385597e-06,2.323900e-06,2.264172e-06,2.206392e-06,2.150537e-06,2.096578e-06,2.044486e-06,1.994226e-06,1.945764e-06,1.899061e-06,1.854079e-06,1.810778e-06,1.769118e-06,1.729056e-06,1.690551e-06,1.653561e-06,1.618044e-06,1.583958e-06,1.551261e-06,1.519911e-06,1.489869e-06,1.461092e-06,1.433541e-06,1.407178e-06,1.381963e-06,1.357859e-06,1.334828e-06,1.312834e-06,1.291843e-06,1.271818e-06,1.252727e-06,1.234536e-06,1.217214e-06,1.200729e-06,1.185051e-06,1.170150e-06,1.155997e-06,1.142566e-06,1.129828e-06,1.117757e-06,1.106328e-06,1.095517e-06,1.085299e-06,1.075652e-06,1.066552e-06,1.057978e-06,1.049909e-06,1.042325e-06
0.000000e+00,8.314984e-09,1.508105e-07,1.575174e-07,9.704399e-07,3.436557e-06,3.593224e-06,9.201188e-06,1.730339e-05,1.789448e-05,2.847949e-05,3.855602e-05,3.941713e-05,4.977846e-05,5.835304e-05,5.925952e-05,6.782204e-05,7.462708e-05,7.550430e-05,8.236316e-05,8.764877e-05,8.845831e-05,9.384800e-05,9.787078e-05,9.858763e-05,1.027294e-04,1.057139e-04,1.063222e-04,1.094115e-04,1.115490e-04,1.120397e-04,1.142459e-04,1.156974e-04,1.160667e-04,1.175356e-04,1.184358e-04,1.186837e-04,1.195398e-04,1.200009e-04,1.201303e-04,1.204797e-04,1.205947e-04,1.206105e-04,1.205436e-04,1.203893e-04,1.202979e-04,1.198913e-04,1.195311e-04,1.193398e-04,1.186584e-04,1.181442e-04,1.178608e-04,1.169596e-04,1.163338e-04,1.159663e-04,1.148917e-04,1.141888e-04,1.137454e-04,1.125364e-04,1.117843e-04,1.112728e-04,1.099622e-04,1.091833e-04,1.086115e-04,1.072268e-04,1.064387e-04,1.058139e-04,1.043781e-04,1.035949e-04,1.029241e-04,1.014563e-04,1.006889e-04,9.997857e-05,9.849454e-05,9.775118e-05,9.700744e-05,9.552023e-05,9.480712e-05,9.403557e-05,9.255586e-05,9.187746e-05,9.108327e-05,8.961974e-05,8.897912e-05,8.816703e-05,8.672669e-05,8.612578e-05,8.530011e-05,8.388853e-05,8.332834e-05,8.249302e-05,8.111454e-05,8.059536e-05,7.975393e-05,7.841190e-05,7.793344e-05,7.708909e-05,7.578603e-05,7.534757e-05,7.450317e-05,7.324089e-05,7.284135e-05,7.199948e-05,7.077918e-05,7.041723e-05,6.958016e-05,6.840254e-05,6.807665e-05,6.724640e-05,6.611177e-05,6.582030e-05,6.499865e-05,6.390697e-05,6.364816e-05,6.283669e-05,6.178768e-05,6.155974e-05,6.075982e-05,5.975296e-05,5.955409e-05,5.876690e-05,5.780147e-05,5.762987e-05,5.685646e-05,5.593162e-05,5.578550e-05,5.502673e-05,5.414153e-05,5.401916e-05,5.327576e-05,5.242915e-05,5.232883e-05,5.160142e-05,5.079230e-05,5.071240e-05,5.000150e-05,4.922873e-05,4.916768e-05,4.847369e-05,4.773609e-05,4.769238e-05,4.701562e-05,4.631200e-05,4.628421e-05,4.562493e-05,4.495409e-05,4.494084e-05,4.429921e-05,4.365997e-05,4.243928e-05,4.127652e-05,4.016944e-05,3.911585e-05,3.811361e-05,3.716065e-05,3.625492e-05,3.539447e-05,3.457738e-05,3.380182e-05,3.306599e-05,3.236819e-05,3.170675e-05,3.108008e-05,3.048664e-05,2.992495e-05,2.939360e-05,2.889123e-05,2.841651e-05,2.796820e-05,2.754510e-05,2.714603e-05,2.676991e-05,2.641566e-05,2.608227e-05,2.576876e-05,2.547420e-05,2.519770e-05,2.493840e-05,2.469547e-05,2.446815e-05,2.425567e-05,2.405731e-05,2.387239e-05,2.370026e-05,2.354027e-05,2.339184e-05,2.325438e-05,2.312735e-05,2.301022e-05,2.290248e-05,2.280365e-05,2.271327e-05,2.263091e-05,2.255614e-05,2.248856e-05,2.242779e-05,2.237346e-05,2.232522e-05
0.000000e+00,6.446008e-09,1.055220e-07,1.104757e-07,7.575507e-07,2.744761e-06,2.867210e-06,6.843482e-06,1.140263e-05,1.169675e-05,1.645884e-05,2.050354e-05,2.083827e-05,2.479376e-05,2.800326e-05,2.834023e-05,3.150427e-05,3.399460e-05,3.431396e-05,3.679639e-05,3.868917e-05,3.897726e-05,4.088076e-05,4.228200e-05,4.252960e-05,4.394502e-05,4.494545e-05,4.514686e-05,4.615356e-05,4.682999e-05,4.698227e-05,4.764886e-05,4.806575e-05,4.816803e-05,4.855335e-05,4.876441e-05,4.881734e-05,4.897154e-05,4.902126e-05,4.902659e-05,4.899227e-05,4.891730e-05,4.887757e-05,4.869076e-05,4.852117e-05,4.843942e-05,4.813053e-05,4.789089e-05,4.777047e-05,4.736510e-05,4.707535e-05,4.691977e-05,4.643941e-05,4.611567e-05,4.592849e-05,4.539113e-05,4.504634e-05,4.483107e-05,4.425173e-05,4.389619e-05,4.365624e-05,4.304742e-05,4.268923e-05,4.242787e-05,4.179992e-05,4.144541e-05,4.116571e-05,4.052717e-05,4.018118e-05,3.988604e-05,3.924391e-05,3.891008e-05,3.860219e-05,3.796216e-05,3.764315e-05,3.732498e-05,3.669166e-05,3.638932e-05,3.606314e-05,3.544023e-05,3.515577e-05,3.482364e-05,3.421403e-05,3.394816e-05,3.361196e-05,3.301792e-05,3.277092e-05,3.243233e-05,3.185556e-05,3.162739e-05,3.128793e-05,3.072970e-05,3.052008e-05,3.018109e-05,2.964228e-05,2.945073e-05,2.911341e-05,2.859459e-05,2.842049e-05,2.808589e-05,2.758736e-05,2.742999e-05,2.709904e-05,2.662091e-05,2.647946e-05,2.615296e-05,2.569516e-05,2.556878e-05,2.524745e-05,2.480976e-05,2.469759e-05,2.438201e-05,2.396410e-05,2.386526e-05,2.355595e-05,2.315742e-05,2.307103e-05,2.276841e-05,2.238878e-05,2.231397e-05,2.201840e-05,2.165713e-05,2.159306e-05,2.130484e-05,2.096137e-05,2.090722e-05,2.062657e-05,2.030029e-05,2.025529e-05,1.998239e-05,1.967270e-05,1.963608e-05,1.937106e-05,1.907733e-05,1.904839e-05,1.879134e-05,1.851294e-05,1.849099e-05,1.824197e-05,1.797828e-05,1.796269e-05,1.772171e-05,1.747211e-05,1.746227e-05,1.722933e-05,1.699320e-05,1.698855e-05,1.676360e-05,1.654036e-05,1.611657e-05,1.571607e-05,1.533780e-05,1.498070e-05,1.464377e-05,1.432605e-05,1.402661e-05,1.374455e-05,1.347900e-05,1.322916e-05,1.299421e-05,1.277342e-05,1.256606e-05,1.237144e-05,1.218890e-05,1.201781e-05,1.185757e-05,1.170761e-05,1.156740e-05,1.143640e-05,1.131412e-05,1.120010e-05,1.109389e-05,1.099507e-05,1.090322e-05,1.081797e-05,1.073895e-05,1.066580e-05,1.059821e-05,1.053586e-05,1.047845e-05,1.042570e-05,1.037734e-05,1.033311e-05,1.029277e-05,1.025610e-05,1.022288e-05,1.019289e-05,1.016595e-05,1.014187e-05,1.012047e-05,1.010158e-05,1.008506e-05,1.007074e-05,1.005849e-05,1.004817e-05,1.003965e-05,1.003282e-05,1.002756e-05
0.000000e+00,1.626361e-08,4.280982e-07,4.508587e-07,3.716759e-06,1.386338e-05,1.446576e-05,3.246957e-05,5.111837e-05,5.230207e-05,7.161953e-05,8.858708e-05,9.002419e-05,1.074699e-04,1.223594e-04,1.239670e-04,1.395368e-04,1.524909e-04,1.542042e-04,1.679967e-04,1.791808e-04,1.809435e-04,1.930750e-04,2.026582e-04,2.044224e-04,2.150169e-04,2.231644e-04,2.248896e-04,2.340714e-04,2.409394e-04,2.425921e-04,2.504813e-04,2.562148e-04,2.577674e-04,2.644783e-04,2.692101e-04,2.706404e-04,2.762794e-04,2.801301e-04,2.814201e-04,2.860866e-04,2.891657e-04,2.903018e-04,2.940877e-04,2.964939e-04,2.974657e-04,3.004561e-04,3.022782e-04,3.030785e-04,3.053518e-04,3.066697e-04,3.072940e-04,3.089223e-04,3.098075e-04,3.102534e-04,3.113030e-04,3.118192e-04,3.120865e-04,3.126184e-04,3.128226e-04,3.129126e-04,3.129825e-04,3.129253e-04,3.128409e-04,3.124999e-04,3.122263e-04,3.119713e-04,3.112663e-04,3.108160e-04,3.103955e-04,3.093691e-04,3.087772e-04,3.081970e-04,3.068883e-04,3.061855e-04,3.054520e-04,3.038965e-04,3.031100e-04,3.022300e-04,3.004602e-04,2.996135e-04,2.985945e-04,2.966398e-04,2.957533e-04,2.946029e-04,2.924901e-04,2.915816e-04,2.903076e-04,2.880610e-04,2.871458e-04,2.857560e-04,2.833978e-04,2.824887e-04,2.809913e-04,2.785412e-04,2.776494e-04,2.760522e-04,2.735284e-04,2.726631e-04,2.709739e-04,2.683927e-04,2.675616e-04,2.657882e-04,2.631641e-04,2.623735e-04,2.605236e-04,2.578698e-04,2.571248e-04,2.552057e-04,2.525340e-04,2.518385e-04,2.498575e-04,2.471786e-04,2.465355e-04,2.444996e-04,2.418228e-04,2.412344e-04,2.391503e-04,2.364840e-04,2.359517e-04,2.338259e-04,2.311776e-04,2.307021e-04,2.285408e-04,2.259172e-04,2.254987e-04,2.233080e-04,2.207146e-04,2.203529e-04,2.181385e-04,2.155806e-04,2.152749e-04,2.130421e-04,2.105241e-04,2.102735e-04,2.080275e-04,2.055533e-04,2.053563e-04,2.031021e-04,2.006748e-04,2.005299e-04,1.982720e-04,1.958945e-04,1.958000e-04,1.935428e-04,1.912175e-04,1.911712e-04,1.889189e-04,1.866477e-04,1.822326e-04,1.779285e-04,1.737375e-04,1.696610e-04,1.657001e-04,1.618554e-04,1.581271e-04,1.545151e-04,1.510189e-04,1.476378e-04,1.443709e-04,1.412171e-04,1.381750e-04,1.352430e-04,1.324196e-04,1.297030e-04,1.270913e-04,1.245825e-04,1.221746e-04,1.198655e-04,1.176530e-04,1.155349e-04,1.135090e-04,1.115730e-04,1.097247e-04,1.079617e-04,1.062818e-04,1.046826e-04,1.031620e-04,1.017176e-04,1.003471e-04,9.904840e-05,9.781920e-05,9.665730e-05,9.556055e-05,9.452681e-05,9.355395e-05,9.263991e-05,9.178263e-05,9.098009e-05,9.023030e-05,8.953133e-05,8.888125e-05,8.827820e-05,8.772033e-05,8.720585e-05,8.673298e-05,8.630001e-05,8.590524e-05
0.000000e+00,4.037289e-10,3.945527e-08,4.214733e-08,6.131753e-07,3.840904e-06,4.099554e-06,1.642142e-05,4.216695e-05,4.433232e-05,8.788397e-05,1.344490e-04,1.385067e-04,1.864691e-04,2.229473e-04,2.265480e-04,2.576750e-04,2.783513e-04,2.807392e-04,2.971454e-04,3.069586e-04,3.082360e-04,3.151423e-04,3.183839e-04,3.187777e-04,3.198698e-04,3.192766e-04,3.189961e-04,3.166137e-04,3.138674e-04,3.130844e-04,3.086939e-04,3.048180e-04,3.036673e-04,2.981821e-04,2.937935e-04,2.923775e-04,2.863625e-04,2.818269e-04,2.802224e-04,2.740233e-04,2.695527e-04,2.678165e-04,2.616418e-04,2.573550e-04,2.555292e-04,2.495016e-04,2.454602e-04,2.435759e-04,2.377645e-04,2.339961e-04,2.320764e-04,2.265178e-04,2.230301e-04,2.210925e-04,2.158030e-04,2.125922e-04,2.106502e-04,2.056341e-04,2.026899e-04,2.007541e-04,1.960089e-04,1.933178e-04,1.913967e-04,1.869150e-04,1.844614e-04,1.825613e-04,1.783330e-04,1.761008e-04,1.742272e-04,1.702411e-04,1.682145e-04,1.663715e-04,1.626156e-04,1.607794e-04,1.589704e-04,1.554329e-04,1.537722e-04,1.520000e-04,1.486690e-04,1.471702e-04,1.454371e-04,1.423013e-04,1.409514e-04,1.392591e-04,1.363077e-04,1.350946e-04,1.334446e-04,1.306672e-04,1.295797e-04,1.279731e-04,1.253599e-04,1.243876e-04,1.228252e-04,1.203667e-04,1.194999e-04,1.179823e-04,1.156697e-04,1.148995e-04,1.134269e-04,1.112519e-04,1.105698e-04,1.091426e-04,1.070971e-04,1.064956e-04,1.051136e-04,1.031902e-04,1.026622e-04,1.013252e-04,9.951686e-05,9.905576e-05,9.776349e-05,9.606347e-05,9.566323e-05,9.441524e-05,9.281726e-05,9.247231e-05,9.126806e-05,8.976619e-05,8.947137e-05,8.831024e-05,8.689887e-05,8.664945e-05,8.553074e-05,8.420458e-05,8.399620e-05,8.291914e-05,8.167322e-05,8.150188e-05,8.046564e-05,7.929526e-05,7.915726e-05,7.816097e-05,7.706170e-05,7.695366e-05,7.599642e-05,7.496411e-05,7.488291e-05,7.396378e-05,7.299449e-05,7.293729e-05,7.205530e-05,7.114533e-05,7.110953e-05,7.026370e-05,6.940956e-05,6.939275e-05,6.858209e-05,6.778051e-05,6.626670e-05,6.484559e-05,6.351177e-05,6.226013e-05,6.108587e-05,5.998446e-05,5.895164e-05,5.798339e-05,5.707592e-05,5.622566e-05,5.542925e-05,5.468352e-05,5.398549e-05,5.333235e-05,5.272146e-05,5.215030e-05,5.161655e-05,5.111798e-05,5.065251e-05,5.021817e-05,4.981312e-05,4.943561e-05,4.908400e-05,4.875674e-05,4.845238e-05,4.816955e-05,4.790695e-05,4.766336e-05,4.743765e-05,4.722872e-05,4.703557e-05,4.685723e-05,4.669280e-05,4.654144e-05,4.640234e-05,4.627475e-05,4.615796e-05,4.605130e-05,4.595414e-05,4.586589e-05,4.578599e-05,4.571391e-05,4.564917e-05,4.559129e-05,4.553983e-05,4.549439e-05,4.545458e-05,4.542002e-05,4.539037e-05
0.000000e+00,5.475363e-09,1.080154e-07,1.130303e-07,7.301474e-07,2.520886e-06,2.630762e-06,6.360783e-06,1.128635e-05,1.163019e-05,1.752674e-05,2.281377e-05,2.325556e-05,2.848044e-05,3.269611e-05,3.313645e-05,3.724451e-05,4.043899e-05,4.084587e-05,4.398459e-05,4.634633e-05,4.670315e-05,4.904120e-05,5.073802e-05,5.103542e-05,5.271948e-05,5.389075e-05,5.412429e-05,5.527796e-05,5.603742e-05,5.620618e-05,5.693230e-05,5.737208e-05,5.747751e-05,5.786106e-05,5.805524e-05,5.810040e-05,5.821130e-05,5.821915e-05,5.820807e-05,5.810364e-05,5.797239e-05,5.790970e-05,5.763680e-05,5.740393e-05,5.729448e-05,5.689134e-05,5.658645e-05,5.643513e-05,5.593287e-05,5.557922e-05,5.539082e-05,5.481468e-05,5.443042e-05,5.420952e-05,5.357993e-05,5.317913e-05,5.293002e-05,5.226347e-05,5.185695e-05,5.158359e-05,5.089333e-05,5.048928e-05,5.019534e-05,4.949196e-05,4.909651e-05,4.878530e-05,4.807723e-05,4.769488e-05,4.736942e-05,4.666332e-05,4.629726e-05,4.596024e-05,4.526131e-05,4.491373e-05,4.456756e-05,4.387984e-05,4.355212e-05,4.319894e-05,4.252552e-05,4.221842e-05,4.186015e-05,4.120332e-05,4.091713e-05,4.055545e-05,3.991690e-05,3.965155e-05,3.928794e-05,3.866883e-05,3.842398e-05,3.805975e-05,3.746084e-05,3.723595e-05,3.687223e-05,3.629397e-05,3.608835e-05,3.572613e-05,3.516871e-05,3.498156e-05,3.462170e-05,3.408509e-05,3.391557e-05,3.355883e-05,3.304285e-05,3.289005e-05,3.253707e-05,3.204141e-05,3.190442e-05,3.155576e-05,3.108002e-05,3.095793e-05,3.061406e-05,3.015776e-05,3.004967e-05,2.971099e-05,2.927361e-05,2.917864e-05,2.884548e-05,2.842646e-05,2.834373e-05,2.801639e-05,2.761514e-05,2.754383e-05,2.722254e-05,2.683844e-05,2.677777e-05,2.646271e-05,2.609517e-05,2.604436e-05,2.573568e-05,2.538409e-05,2.534242e-05,2.504025e-05,2.470400e-05,2.467078e-05,2.437519e-05,2.405369e-05,2.402828e-05,2.373933e-05,2.343198e-05,2.341376e-05,2.313150e-05,2.283774e-05,2.282612e-05,2.255056e-05,2.226983e-05,2.226428e-05,2.199540e-05,2.172716e-05,2.121375e-05,2.072306e-05,2.025413e-05,1.980603e-05,1.937789e-05,1.896883e-05,1.857806e-05,1.820476e-05,1.784820e-05,1.750763e-05,1.718237e-05,1.687174e-05,1.657511e-05,1.629187e-05,1.602143e-05,1.576322e-05,1.551671e-05,1.528139e-05,1.505677e-05,1.484236e-05,1.463773e-05,1.444245e-05,1.425609e-05,1.407827e-05,1.390861e-05,1.374675e-05,1.359235e-05,1.344507e-05,1.330460e-05,1.317064e-05,1.304290e-05,1.292111e-05,1.280500e-05,1.269432e-05,1.258883e-05,1.248831e-05,1.239252e-05,1.230127e-05,1.221434e-05,1.213155e-05,1.205271e-05,1.197765e-05,1.190620e-05,1.183820e-05,1.177349e-05,1.171193e-05,1.165338e-05,1.159770e-05,1.154477e-05
0.000000e+00,4.220268e-10,4.628078e-08,4.952366e-08,7.672110e-07,5.035917e-06,5.386496e-06,2.295830e-05,6.343550e-05,6.703077e-05,1.449947e-04,2.402027e-04,2.491106e-04,3.628169e-04,4.617113e-04,4.722015e-04,5.700730e-04,6.448909e-04,6.542708e-04,7.251163e-04,7.762844e-04,7.838258e-04,8.318098e-04,8.648174e-04,8.704160e-04,9.008607e-04,9.204949e-04,9.242210e-04,9.414457e-04,9.513717e-04,9.533687e-04,9.607233e-04,9.637051e-04,9.641526e-04,9.642210e-04,9.623312e-04,9.614220e-04,9.561877e-04,9.509705e-04,9.488958e-04,9.398755e-04,9.324731e-04,9.294135e-04,9.177596e-04,9.090101e-04,9.051308e-04,8.917149e-04,8.822265e-04,8.776748e-04,8.631515e-04,8.533613e-04,8.482668e-04,8.331256e-04,8.233428e-04,8.178181e-04,8.024217e-04,7.928608e-04,7.870027e-04,7.716178e-04,7.624235e-04,7.563150e-04,7.411350e-04,7.324006e-04,7.261122e-04,7.112753e-04,7.030569e-04,6.966483e-04,6.822509e-04,6.745775e-04,6.680991e-04,6.542060e-04,6.470872e-04,6.405816e-04,6.272337e-04,6.206653e-04,6.141681e-04,6.013887e-04,5.953570e-04,5.888980e-04,5.766972e-04,5.711823e-04,5.647864e-04,5.531647e-04,5.481423e-04,5.418303e-04,5.307809e-04,5.262244e-04,5.200134e-04,5.095245e-04,5.054061e-04,4.993103e-04,4.893665e-04,4.856579e-04,4.796888e-04,4.702723e-04,4.669454e-04,4.611123e-04,4.522038e-04,4.492313e-04,4.435417e-04,4.351208e-04,4.324763e-04,4.269360e-04,4.189820e-04,4.166400e-04,4.112536e-04,4.037456e-04,4.016822e-04,3.964529e-04,3.893703e-04,3.875626e-04,3.824927e-04,3.758152e-04,3.742418e-04,3.693328e-04,3.630406e-04,3.616814e-04,3.569338e-04,3.510078e-04,3.498439e-04,3.452578e-04,3.396794e-04,3.386932e-04,3.342681e-04,3.290195e-04,3.281945e-04,3.239293e-04,3.189934e-04,3.183145e-04,3.142077e-04,3.095682e-04,3.090211e-04,3.050709e-04,3.007121e-04,3.002837e-04,2.964881e-04,2.923951e-04,2.920732e-04,2.884297e-04,2.845883e-04,2.843617e-04,2.808676e-04,2.772643e-04,2.771226e-04,2.737752e-04,2.703971e-04,2.703306e-04,2.671269e-04,2.639618e-04,2.579931e-04,2.524030e-04,2.471708e-04,2.422769e-04,2.377026e-04,2.334304e-04,2.294434e-04,2.257257e-04,2.222623e-04,2.190389e-04,2.160419e-04,2.132584e-04,2.106763e-04,2.082839e-04,2.060703e-04,2.040252e-04,2.021386e-04,2.004012e-04,1.988042e-04,1.973393e-04,1.959984e-04,1.947740e-04,1.936590e-04,1.926467e-04,1.917307e-04,1.909049e-04,1.901636e-04,1.895013e-04,1.889130e-04,1.883937e-04,1.879390e-04,1.875443e-04,1.872057e-04,1.869193e-04,1.866813e-04,1.864884e-04,1.863372e-04,1.862246e-04,1.861478e-04,1.861040e-04,1.860905e-04,1.861050e-04,1.861451e-04,1.862087e-04,1.862937e-04,1.863983e-04,1.865205e-04,1.866588e-04,1.868115e-04
0.000000e+00,8.491494e-10,7.353148e-08,7.857730e-08,1.207057e-06,7.518315e-06,8.004061e-06,2.829280e-05,6.014749e-05,6.244474e-05,1.023089e-04,1.385984e-04,1.416594e-04,1.783099e-04,2.086362e-04,2.118512e-04,2.423549e-04,2.668218e-04,2.699933e-04,2.949533e-04,3.144166e-04,3.174182e-04,3.375644e-04,3.528186e-04,3.555601e-04,3.715650e-04,3.833092e-04,3.857294e-04,3.981946e-04,4.070323e-04,4.090926e-04,4.185474e-04,4.249946e-04,4.266741e-04,4.335797e-04,4.380730e-04,4.393640e-04,4.441196e-04,4.470270e-04,4.479320e-04,4.508807e-04,4.525104e-04,4.530392e-04,4.544756e-04,4.550853e-04,4.552528e-04,4.554292e-04,4.552336e-04,4.550586e-04,4.541908e-04,4.533681e-04,4.528717e-04,4.511439e-04,4.498418e-04,4.490465e-04,4.466159e-04,4.449562e-04,4.438853e-04,4.408857e-04,4.389686e-04,4.376454e-04,4.341905e-04,4.320981e-04,4.305453e-04,4.267320e-04,4.245307e-04,4.227709e-04,4.186809e-04,4.164248e-04,4.144793e-04,4.101819e-04,4.079143e-04,4.058033e-04,4.013570e-04,3.991123e-04,3.968552e-04,3.923092e-04,3.901145e-04,3.877293e-04,3.831248e-04,3.810010e-04,3.785045e-04,3.738762e-04,3.718391e-04,3.692471e-04,3.646236e-04,3.626849e-04,3.600118e-04,3.554170e-04,3.535849e-04,3.508441e-04,3.462975e-04,3.445776e-04,3.417813e-04,3.372991e-04,3.356944e-04,3.328540e-04,3.284490e-04,3.269608e-04,3.240866e-04,3.197692e-04,3.183975e-04,3.154988e-04,3.112772e-04,3.100205e-04,3.071059e-04,3.029864e-04,3.018424e-04,2.989198e-04,2.949071e-04,2.938727e-04,2.909491e-04,2.870466e-04,2.861183e-04,2.832001e-04,2.794101e-04,2.785839e-04,2.756768e-04,2.720006e-04,2.712722e-04,2.683815e-04,2.648195e-04,2.641845e-04,2.613148e-04,2.578670e-04,2.573207e-04,2.544762e-04,2.511420e-04,2.506797e-04,2.478641e-04,2.446424e-04,2.442595e-04,2.414762e-04,2.383654e-04,2.380573e-04,2.353093e-04,2.323076e-04,2.320698e-04,2.293597e-04,2.264650e-04,2.262931e-04,2.236232e-04,2.208334e-04,2.207229e-04,2.180953e-04,2.154081e-04,2.153548e-04,2.127712e-04,2.101841e-04,2.052057e-04,2.004146e-04,1.958058e-04,1.913741e-04,1.871143e-04,1.830212e-04,1.790899e-04,1.753152e-04,1.716921e-04,1.682158e-04,1.648815e-04,1.616844e-04,1.586200e-04,1.556838e-04,1.528713e-04,1.501784e-04,1.476008e-04,1.451345e-04,1.427755e-04,1.405202e-04,1.383647e-04,1.363054e-04,1.343390e-04,1.324619e-04,1.306710e-04,1.289630e-04,1.273349e-04,1.257838e-04,1.243066e-04,1.229007e-04,1.215634e-04,1.202920e-04,1.190841e-04,1.179372e-04,1.168489e-04,1.158170e-04,1.148392e-04,1.139135e-04,1.130378e-04,1.122101e-04,1.114285e-04,1.106911e-04,1.099961e-04,1.093419e-04,1.087267e-04,1.081490e-04,1.076071e-04,1.070996e-04,1.066250e-04
0.000000e+00,1.277531e-10,1.825354e-08,1.961962e-08,3.679381e-07,2.844670e-06,3.063800e-06,1.557934e-05,5.089590e-05,5.435226e-05,1.397095e-04,2.689161e-04,2.824031e-04,4.767602e-04,6.821552e-04,7.061193e-04,9.519533e-04,1.170074e-03,1.199509e-03,1.439209e-03,1.634954e-03,1.665768e-03,1.876756e-03,2.041359e-03,2.071401e-03,2.249805e-03,2.384340e-03,2.412495e-03,2.560190e-03,2.668080e-03,2.693681e-03,2.813779e-03,2.898675e-03,2.921286e-03,3.016985e-03,3.082283e-03,3.101628e-03,3.175941e-03,3.224688e-03,3.240612e-03,3.296299e-03,3.331182e-03,3.343625e-03,3.383181e-03,3.406546e-03,3.415523e-03,3.441178e-03,3.455056e-03,3.460639e-03,3.474371e-03,3.480510e-03,3.482813e-03,3.486374e-03,3.486271e-03,3.485441e-03,3.480373e-03,3.475304e-03,3.471510e-03,3.459169e-03,3.450220e-03,3.443648e-03,3.425225e-03,3.413313e-03,3.404160e-03,3.380696e-03,3.366594e-03,3.355062e-03,3.327468e-03,3.311823e-03,3.298114e-03,3.267185e-03,3.250536e-03,3.234852e-03,3.201277e-03,3.184072e-03,3.166610e-03,3.130991e-03,3.113593e-03,3.094547e-03,3.057402e-03,3.040110e-03,3.019665e-03,2.981441e-03,2.964493e-03,2.942826e-03,2.903909e-03,2.887494e-03,2.864773e-03,2.825493e-03,2.809757e-03,2.786141e-03,2.746781e-03,2.731835e-03,2.707473e-03,2.668271e-03,2.654194e-03,2.629226e-03,2.590384e-03,2.577232e-03,2.551788e-03,2.513476e-03,2.501282e-03,2.475483e-03,2.437840e-03,2.426621e-03,2.400578e-03,2.363721e-03,2.353477e-03,2.327293e-03,2.291316e-03,2.282037e-03,2.255807e-03,2.220783e-03,2.212451e-03,2.186259e-03,2.152248e-03,2.144836e-03,2.118761e-03,2.085807e-03,2.079280e-03,2.053393e-03,2.021527e-03,2.015850e-03,1.990214e-03,1.959458e-03,1.954589e-03,1.929262e-03,1.899628e-03,1.895524e-03,1.870557e-03,1.842049e-03,1.838666e-03,1.814104e-03,1.786721e-03,1.784014e-03,1.759897e-03,1.733630e-03,1.731553e-03,1.707917e-03,1.682754e-03,1.681262e-03,1.658137e-03,1.634061e-03,1.633110e-03,1.610522e-03,1.587515e-03,1.587060e-03,1.565033e-03,1.543071e-03,1.501095e-03,1.461083e-03,1.422981e-03,1.386736e-03,1.352291e-03,1.319588e-03,1.288569e-03,1.259178e-03,1.231355e-03,1.205043e-03,1.180185e-03,1.156725e-03,1.134608e-03,1.113779e-03,1.094185e-03,1.075774e-03,1.058495e-03,1.042299e-03,1.027138e-03,1.012966e-03,9.997367e-04,9.874067e-04,9.759334e-04,9.652758e-04,9.553942e-04,9.462501e-04,9.378066e-04,9.300279e-04,9.228796e-04,9.163284e-04,9.103426e-04,9.048913e-04,8.999449e-04,8.954751e-04,8.914545e-04,8.878569e-04,8.846571e-04,8.818310e-04,8.793555e-04,8.772084e-04,8.753684e-04,8.738153e-04,8.725297e-04,8.714929e-04,8.706874e-04,8.700961e-04,8.697030e-04,8.694928e-04,8.694507e-04
0.000000e+00,1.785331e-09,3.269432e-08,3.417880e-08,1.967063e-07,5.794813e-07,6.007671e-07,1.241617e-06,1.935327e-06,1.979534e-06,2.686869e-06,3.273526e-06,3.321425e-06,3.879158e-06,4.319504e-06,4.365045e-06,4.785624e-06,5.106837e-06,5.147337e-06,5.456162e-06,5.683631e-06,5.717563e-06,5.936511e-06,6.090929e-06,6.117512e-06,6.264655e-06,6.362644e-06,6.381626e-06,6.471755e-06,6.526557e-06,6.538041e-06,6.583180e-06,6.605283e-06,6.609606e-06,6.619509e-06,6.617201e-06,6.614852e-06,6.597397e-06,6.577178e-06,6.568727e-06,6.530255e-06,6.497192e-06,6.483229e-06,6.428774e-06,6.386778e-06,6.367896e-06,6.301498e-06,6.253611e-06,6.230391e-06,6.155330e-06,6.103960e-06,6.076994e-06,5.995946e-06,5.942893e-06,5.912702e-06,5.827710e-06,5.774316e-06,5.741374e-06,5.654052e-06,5.601319e-06,5.566061e-06,5.477678e-06,5.426334e-06,5.389149e-06,5.300691e-06,5.251259e-06,5.212497e-06,5.124734e-06,5.077574e-06,5.037549e-06,4.951070e-06,4.906418e-06,4.865408e-06,4.780659e-06,4.738652e-06,4.696904e-06,4.614215e-06,4.574921e-06,4.532651e-06,4.452262e-06,4.415689e-06,4.373089e-06,4.295167e-06,4.261285e-06,4.218522e-06,4.143176e-06,4.111921e-06,4.069143e-06,3.996435e-06,3.967725e-06,3.925059e-06,3.855018e-06,3.828753e-06,3.786312e-06,3.718936e-06,3.695006e-06,3.652887e-06,3.588155e-06,3.566445e-06,3.524732e-06,3.462605e-06,3.442996e-06,3.401762e-06,3.342188e-06,3.324561e-06,3.283868e-06,3.226787e-06,3.211023e-06,3.170926e-06,3.116269e-06,3.102253e-06,3.062797e-06,3.010492e-06,2.998110e-06,2.959334e-06,2.909306e-06,2.898449e-06,2.860386e-06,2.812556e-06,2.803120e-06,2.765797e-06,2.720088e-06,2.711971e-06,2.675410e-06,2.631744e-06,2.624850e-06,2.589071e-06,2.547370e-06,2.541608e-06,2.506623e-06,2.466811e-06,2.462096e-06,2.427916e-06,2.389919e-06,2.386168e-06,2.352801e-06,2.316545e-06,2.313681e-06,2.281132e-06,2.246546e-06,2.244497e-06,2.212769e-06,2.179783e-06,2.178480e-06,2.147573e-06,2.116122e-06,2.115500e-06,2.085413e-06,2.055431e-06,1.998149e-06,1.943538e-06,1.891484e-06,1.841878e-06,1.794614e-06,1.749592e-06,1.706714e-06,1.665888e-06,1.627024e-06,1.590037e-06,1.554844e-06,1.521366e-06,1.489529e-06,1.459260e-06,1.430489e-06,1.403151e-06,1.377181e-06,1.352519e-06,1.329106e-06,1.306888e-06,1.285810e-06,1.265821e-06,1.246872e-06,1.228917e-06,1.211911e-06,1.195811e-06,1.180575e-06,1.166165e-06,1.152544e-06,1.139674e-06,1.127521e-06,1.116054e-06,1.105239e-06,1.095048e-06,1.085451e-06,1.076421e-06,1.067931e-06,1.059956e-06,1.052472e-06,1.045456e-06,1.038886e-06,1.032740e-06,1.026999e-06,1.021643e-06,1.016654e-06,1.012014e-06,1.007706e-06,1.003714e-06,1.000023e-06
0.000000e+00,1.238513e-11,2.317056e-09,2.504135e-09,5.982568e-08,5.387790e-07,5.830559e-07,3.248512e-06,1.127659e-05,1.208692e-05,3.313288e-05,6.812084e-05,7.196563e-05,1.310206e-04,2.001867e-04,2.086696e-04,3.001513e-04,3.871913e-04,3.992829e-04,5.000010e-04,5.840408e-04,5.973103e-04,6.876474e-04,7.565200e-04,7.688434e-04,8.398791e-04,8.904049e-04,9.005802e-04,9.513322e-04,9.852458e-04,9.928523e-04,1.026023e-03,1.046703e-03,1.051781e-03,1.071046e-03,1.081877e-03,1.084678e-03,1.093464e-03,1.097262e-03,1.098106e-03,1.099222e-03,1.098148e-03,1.097351e-03,1.092963e-03,1.088613e-03,1.086463e-03,1.078200e-03,1.071728e-03,1.068473e-03,1.057539e-03,1.049769e-03,1.045618e-03,1.032898e-03,1.024413e-03,1.019540e-03,1.005681e-03,9.968893e-04,9.914387e-04,9.769128e-04,9.680970e-04,9.621882e-04,9.473374e-04,9.386906e-04,9.324216e-04,9.174929e-04,9.091440e-04,9.025955e-04,8.877663e-04,8.797981e-04,8.730367e-04,8.584328e-04,8.508960e-04,8.439767e-04,8.296864e-04,8.226081e-04,8.155767e-04,8.016598e-04,7.950511e-04,7.879455e-04,7.744414e-04,7.683019e-04,7.611537e-04,7.480868e-04,7.424083e-04,7.352441e-04,7.226276e-04,7.173965e-04,7.102386e-04,6.980778e-04,6.932773e-04,6.861448e-04,6.744390e-04,6.700502e-04,6.629592e-04,6.517038e-04,6.477064e-04,6.406708e-04,6.298580e-04,6.262313e-04,6.192628e-04,6.088827e-04,6.056061e-04,5.987148e-04,5.887562e-04,5.858090e-04,5.790037e-04,5.694543e-04,5.668164e-04,5.601047e-04,5.509516e-04,5.486036e-04,5.419918e-04,5.332219e-04,5.311450e-04,5.246386e-04,5.162387e-04,5.144150e-04,5.080187e-04,4.999755e-04,4.983877e-04,4.921056e-04,4.844059e-04,4.830378e-04,4.768731e-04,4.695040e-04,4.683399e-04,4.622954e-04,4.552443e-04,4.542695e-04,4.483475e-04,4.416020e-04,4.408025e-04,4.350048e-04,4.285529e-04,4.279156e-04,4.222434e-04,4.160735e-04,4.155859e-04,4.100403e-04,4.041410e-04,4.037913e-04,3.983730e-04,3.927334e-04,3.925105e-04,3.872198e-04,3.818295e-04,3.817229e-04,3.765599e-04,3.714085e-04,3.615481e-04,3.521231e-04,3.431158e-04,3.345088e-04,3.262856e-04,3.184304e-04,3.109278e-04,3.037631e-04,2.969221e-04,2.903913e-04,2.841577e-04,2.782087e-04,2.725323e-04,2.671169e-04,2.619515e-04,2.570255e-04,2.523286e-04,2.478512e-04,2.435837e-04,2.395172e-04,2.356432e-04,2.319532e-04,2.284395e-04,2.250943e-04,2.219105e-04,2.188810e-04,2.159990e-04,2.132583e-04,2.106527e-04,2.081762e-04,2.058233e-04,2.035884e-04,2.014665e-04,1.994525e-04,1.975416e-04,1.957295e-04,1.940116e-04,1.923837e-04,1.908420e-04,1.893825e-04,1.880016e-04,1.866957e-04,1.854614e-04,1.842955e-04,1.831950e-04,1.821567e-04,1.811780e-04,1.802560e-04,1.793881e-04
0.000000e+00,5.943146e-13,1.426856e-10,1.548700e-10,4.531424e-09,5.057986e-08,5.527764e-08,4.027540e-07,1.854565e-06,2.025434e-06,7.652255e-06,2.133219e-05,2.314623e-05,5.890782e-05,1.215660e-04,1.309964e-04,2.617968e-04,4.482379e-04,4.801714e-04,8.211210e-04,1.243033e-03,1.325017e-03,2.036503e-03,2.829336e-03,3.003165e-03,4.274068e-03,5.577666e-03,5.898250e-03,7.923250e-03,9.861981e-03,1.039373e-02,1.335024e-02,1.601670e-02,1.682817e-02,2.085688e-02,2.430127e-02,2.545905e-02,3.065023e-02,3.487600e-02,3.643860e-02,4.282488e-02,4.778982e-02,4.980250e-02,5.735779e-02,6.297957e-02,6.547041e-02,7.411382e-02,8.027831e-02,8.325583e-02,9.285931e-02,9.943040e-02,1.028828e-01,1.132811e-01,1.201107e-01,1.240063e-01,1.350083e-01,1.419458e-01,1.462352e-01,1.576344e-01,1.645346e-01,1.691531e-01,1.807386e-01,1.874684e-01,1.923393e-01,2.039046e-01,2.103475e-01,2.153858e-01,2.267362e-01,2.327953e-01,2.379114e-01,2.488697e-01,2.544693e-01,2.595722e-01,2.699829e-01,2.750684e-01,2.800689e-01,2.898005e-01,2.943378e-01,2.991511e-01,3.080974e-01,3.120713e-01,3.166192e-01,3.246992e-01,3.281106e-01,3.323232e-01,3.394799e-01,3.423443e-01,3.461608e-01,3.523600e-01,3.547040e-01,3.580740e-01,3.633018e-01,3.651610e-01,3.680443e-01,3.723048e-01,3.737214e-01,3.760881e-01,3.794009e-01,3.804215e-01,3.822515e-01,3.846493e-01,3.853227e-01,3.866051e-01,3.881310e-01,3.885068e-01,3.892396e-01,3.899446e-01,3.900716e-01,3.902603e-01,3.902017e-01,3.901270e-01,3.897840e-01,3.890230e-01,3.887910e-01,3.879345e-01,3.865347e-01,3.861865e-01,3.848397e-01,3.828657e-01,3.824389e-01,3.806289e-01,3.781452e-01,3.776731e-01,3.754303e-01,3.724999e-01,3.720121e-01,3.693693e-01,3.660533e-01,3.655751e-01,3.625667e-01,3.589236e-01,3.584765e-01,3.551379e-01,3.512229e-01,3.508248e-01,3.471918e-01,3.430569e-01,3.427220e-01,3.388304e-01,3.345239e-01,3.342632e-01,3.301484e-01,3.257146e-01,3.255362e-01,3.212327e-01,3.167125e-01,3.166217e-01,3.121630e-01,3.075932e-01,2.985171e-01,2.894530e-01,2.804538e-01,2.715666e-01,2.628324e-01,2.542867e-01,2.459601e-01,2.378786e-01,2.300637e-01,2.225332e-01,2.153011e-01,2.083784e-01,2.017730e-01,1.954903e-01,1.895334e-01,1.839032e-01,1.785988e-01,1.736176e-01,1.689557e-01,1.646077e-01,1.605672e-01,1.568270e-01,1.533788e-01,1.502138e-01,1.473224e-01,1.446946e-01,1.423200e-01,1.401879e-01,1.382872e-01,1.366067e-01,1.351349e-01,1.338606e-01,1.327722e-01,1.318582e-01,1.311073e-01,1.305082e-01,1.300497e-01,1.297210e-01,1.295112e-01,1.294100e-01,1.294071e-01,1.294926e-01,1.296569e-01,1.298909e-01,1.301857e-01,1.305328e-01,1.309243e-01,1.313523e-01,1.318099e-01
0.000000e+00,1.313148e-08,2.373580e-07,2.486695e-07,1.744882e-06,6.336579e-06,6.616617e-06,1.545610e-05,2.507430e-05,2.568264e-05,3.542251e-05,4.360034e-05,4.427483e-05,5.222552e-05,5.865264e-05,5.932618e-05,6.563737e-05,7.058562e-05,7.121877e-05,7.612739e-05,7.985207e-05,8.041737e-05,8.413981e-05,8.686333e-05,8.734279e-05,9.007131e-05,9.198417e-05,9.236732e-05,9.426979e-05,9.553275e-05,9.581479e-05,9.703568e-05,9.778283e-05,9.796319e-05,9.862561e-05,9.896786e-05,9.904897e-05,9.925716e-05,9.928566e-05,9.927211e-05,9.911391e-05,9.890318e-05,9.880096e-05,9.835013e-05,9.796081e-05,9.777682e-05,9.709511e-05,9.657623e-05,9.631785e-05,9.545679e-05,9.484781e-05,9.452261e-05,9.352506e-05,9.285751e-05,9.247303e-05,9.137455e-05,9.067342e-05,9.023697e-05,8.906692e-05,8.835185e-05,8.787045e-05,8.665299e-05,8.593922e-05,8.541949e-05,8.417439e-05,8.347359e-05,8.292171e-05,8.166506e-05,8.098597e-05,8.040768e-05,7.915246e-05,7.850148e-05,7.790201e-05,7.665863e-05,7.604025e-05,7.542438e-05,7.420106e-05,7.361824e-05,7.299029e-05,7.179347e-05,7.124796e-05,7.061183e-05,6.944643e-05,6.893904e-05,6.829819e-05,6.716790e-05,6.669870e-05,6.605623e-05,6.496371e-05,6.453218e-05,6.389082e-05,6.283791e-05,6.244310e-05,6.180526e-05,6.079308e-05,6.043373e-05,5.980150e-05,5.883061e-05,5.850522e-05,5.788043e-05,5.695093e-05,5.665785e-05,5.604206e-05,5.515370e-05,5.489117e-05,5.428572e-05,5.343795e-05,5.320417e-05,5.261019e-05,5.180223e-05,5.159537e-05,5.101382e-05,5.024470e-05,5.006295e-05,4.949460e-05,4.876324e-05,4.860483e-05,4.805032e-05,4.735552e-05,4.721871e-05,4.667853e-05,4.601904e-05,4.590217e-05,4.537671e-05,4.475122e-05,4.465268e-05,4.414223e-05,4.354941e-05,4.346768e-05,4.297242e-05,4.241093e-05,4.234458e-05,4.186460e-05,4.133311e-05,4.128077e-05,4.081613e-05,4.031331e-05,4.027369e-05,3.982435e-05,3.934892e-05,3.932081e-05,3.888669e-05,3.843736e-05,3.841965e-05,3.800062e-05,3.757617e-05,3.756780e-05,3.716369e-05,3.676290e-05,3.600270e-05,3.528498e-05,3.460765e-05,3.396867e-05,3.336610e-05,3.279807e-05,3.226279e-05,3.175856e-05,3.128375e-05,3.083681e-05,3.041626e-05,3.002070e-05,2.964878e-05,2.929923e-05,2.897083e-05,2.866245e-05,2.837298e-05,2.810139e-05,2.784669e-05,2.760796e-05,2.738430e-05,2.717488e-05,2.697890e-05,2.679561e-05,2.662429e-05,2.646427e-05,2.631490e-05,2.617558e-05,2.604573e-05,2.592481e-05,2.581231e-05,2.570773e-05,2.561061e-05,2.552053e-05,2.543705e-05,2.535980e-05,2.528841e-05,2.522252e-05,2.516181e-05,2.510595e-05,2.505467e-05,2.500767e-05,2.496470e-05,2.492550e-05,2.488983e-05,2.485749e-05,2.482825e-05,2.480192e-05,2.477832e-05
0.000000e+00,3.003439e-10,2.589426e-08,2.761480e-08,3.864429e-07,2.466072e-06,2.635707e-06,1.094892e-05,2.876451e-05,3.026666e-05,6.039544e-05,9.286520e-05,9.574404e-05,1.310715e-04,1.607183e-04,1.638528e-04,1.933550e-04,2.165854e-04,2.195621e-04,2.426734e-04,2.602616e-04,2.629362e-04,2.805955e-04,2.935867e-04,2.958821e-04,3.090105e-04,3.183046e-04,3.201785e-04,3.295692e-04,3.359155e-04,3.373507e-04,3.436782e-04,3.476960e-04,3.486937e-04,3.525279e-04,3.547260e-04,3.553007e-04,3.571216e-04,3.579155e-04,3.580909e-04,3.583000e-04,3.580268e-04,3.578320e-04,3.567624e-04,3.556928e-04,3.551599e-04,3.530867e-04,3.514372e-04,3.505995e-04,3.477497e-04,3.456929e-04,3.445836e-04,3.411431e-04,3.388150e-04,3.374664e-04,3.335878e-04,3.310953e-04,3.295382e-04,3.253454e-04,3.227716e-04,3.210346e-04,3.166285e-04,3.140373e-04,3.121472e-04,3.076091e-04,3.050491e-04,3.030304e-04,2.984258e-04,2.959332e-04,2.938082e-04,2.891894e-04,2.867905e-04,2.845795e-04,2.799878e-04,2.777013e-04,2.754224e-04,2.708904e-04,2.687288e-04,2.663981e-04,2.619509e-04,2.599217e-04,2.575537e-04,2.532105e-04,2.513176e-04,2.489249e-04,2.447000e-04,2.429443e-04,2.405383e-04,2.364419e-04,2.348221e-04,2.324126e-04,2.284519e-04,2.269650e-04,2.245607e-04,2.207399e-04,2.193818e-04,2.169902e-04,2.133118e-04,2.120774e-04,2.097049e-04,2.061695e-04,2.050532e-04,2.027054e-04,1.993124e-04,1.983083e-04,1.959900e-04,1.927375e-04,1.918393e-04,1.895546e-04,1.864402e-04,1.856417e-04,1.833939e-04,1.804145e-04,1.797093e-04,1.775013e-04,1.746533e-04,1.740354e-04,1.718695e-04,1.691490e-04,1.686123e-04,1.664905e-04,1.638932e-04,1.634321e-04,1.613559e-04,1.588774e-04,1.584863e-04,1.564568e-04,1.540929e-04,1.537664e-04,1.517846e-04,1.495308e-04,1.492639e-04,1.473304e-04,1.451822e-04,1.449702e-04,1.430853e-04,1.410385e-04,1.408768e-04,1.390407e-04,1.370909e-04,1.369754e-04,1.351880e-04,1.333311e-04,1.332577e-04,1.315190e-04,1.297508e-04,1.297159e-04,1.280255e-04,1.263421e-04,1.231289e-04,1.200690e-04,1.171554e-04,1.143815e-04,1.117408e-04,1.092270e-04,1.068342e-04,1.045569e-04,1.023894e-04,1.003266e-04,9.836365e-05,9.649566e-05,9.471816e-05,9.302682e-05,9.141753e-05,8.988636e-05,8.842956e-05,8.704358e-05,8.572502e-05,8.447063e-05,8.327734e-05,8.214221e-05,8.106244e-05,8.003538e-05,7.905849e-05,7.812935e-05,7.724568e-05,7.640529e-05,7.560609e-05,7.484610e-05,7.412345e-05,7.343634e-05,7.278306e-05,7.216199e-05,7.157157e-05,7.101035e-05,7.047691e-05,6.996993e-05,6.948814e-05,6.903032e-05,6.859533e-05,6.818207e-05,6.778951e-05,6.741665e-05,6.706256e-05,6.672632e-05,6.640709e-05,6.610405e-05,6.581644e-05
0.000000e+00,1.661013e-10,1.923536e-08,2.062739e-08,3.588115e-07,2.540194e-06,2.722621e-06,1.193040e-05,3.277231e-05,3.459149e-05,7.298970e-05,1.180454e-04,1.221995e-04,1.748742e-04,2.209179e-04,2.258551e-04,2.727730e-04,3.101323e-04,3.149393e-04,3.523948e-04,3.810589e-04,3.854309e-04,4.143996e-04,4.358450e-04,4.396485e-04,4.615007e-04,4.770952e-04,4.802551e-04,4.961895e-04,5.070802e-04,5.095613e-04,5.206083e-04,5.277529e-04,5.295500e-04,5.365885e-04,5.407796e-04,5.419093e-04,5.456830e-04,5.475720e-04,5.480660e-04,5.492014e-04,5.493204e-04,5.492202e-04,5.482421e-04,5.470232e-04,5.463763e-04,5.437222e-04,5.415138e-04,5.403705e-04,5.364036e-04,5.334852e-04,5.318966e-04,5.269173e-04,5.235116e-04,5.215276e-04,5.157836e-04,5.120667e-04,5.097358e-04,5.034301e-04,4.995404e-04,4.969082e-04,4.902074e-04,4.862524e-04,4.833615e-04,4.764011e-04,4.724635e-04,4.693535e-04,4.622433e-04,4.583857e-04,4.550928e-04,4.479216e-04,4.441904e-04,4.407475e-04,4.335862e-04,4.300149e-04,4.264519e-04,4.193570e-04,4.159687e-04,4.123125e-04,4.053283e-04,4.021381e-04,3.984127e-04,3.915735e-04,3.885901e-04,3.848170e-04,3.781488e-04,3.753758e-04,3.715739e-04,3.650964e-04,3.625334e-04,3.587197e-04,3.524467e-04,3.500906e-04,3.462797e-04,3.402207e-04,3.380662e-04,3.342711e-04,3.284319e-04,3.264718e-04,3.227037e-04,3.170871e-04,3.153133e-04,3.115820e-04,3.061884e-04,3.045920e-04,3.009059e-04,2.957340e-04,2.943056e-04,2.906719e-04,2.857187e-04,2.844485e-04,2.808734e-04,2.761348e-04,2.750133e-04,2.715018e-04,2.669730e-04,2.659905e-04,2.625470e-04,2.582222e-04,2.573693e-04,2.539973e-04,2.498705e-04,2.491380e-04,2.458403e-04,2.419050e-04,2.412841e-04,2.380630e-04,2.343125e-04,2.337946e-04,2.306519e-04,2.270795e-04,2.266566e-04,2.235934e-04,2.201922e-04,2.198566e-04,2.168739e-04,2.136370e-04,2.133815e-04,2.104797e-04,2.074004e-04,2.072180e-04,2.043973e-04,2.014689e-04,2.013533e-04,1.986136e-04,1.958297e-04,1.957747e-04,1.931156e-04,1.904698e-04,1.854265e-04,1.806333e-04,1.760788e-04,1.717521e-04,1.676427e-04,1.637406e-04,1.600360e-04,1.565197e-04,1.531828e-04,1.500166e-04,1.470131e-04,1.441645e-04,1.414632e-04,1.389022e-04,1.364747e-04,1.341741e-04,1.319944e-04,1.299296e-04,1.279740e-04,1.261223e-04,1.243695e-04,1.227106e-04,1.211410e-04,1.196564e-04,1.182524e-04,1.169251e-04,1.156707e-04,1.144856e-04,1.133663e-04,1.123095e-04,1.113121e-04,1.103711e-04,1.094838e-04,1.086473e-04,1.078592e-04,1.071170e-04,1.064184e-04,1.057612e-04,1.051433e-04,1.045626e-04,1.040173e-04,1.035057e-04,1.030258e-04,1.025762e-04,1.021553e-04,1.017616e-04,1.013936e-04,1.010501e-04,1.007298e-04
0.000000e+00,4.482697e-13,1.194124e-10,1.299681e-10,4.322411e-09,5.147701e-08,5.632976e-08,4.118016e-07,1.842173e-06,2.007067e-06,7.252602e-06,1.935552e-05,2.092221e-05,5.083257e-05,1.007833e-04,1.081311e-04,2.071554e-04,3.422749e-04,3.649215e-04,6.003413e-04,8.800544e-04,9.332838e-04,1.383581e-03,1.866354e-03,1.970072e-03,2.709741e-03,3.440776e-03,3.617000e-03,4.703141e-03,5.706210e-03,5.975958e-03,7.439551e-03,8.713948e-03,9.094273e-03,1.093683e-02,1.245878e-02,1.296050e-02,1.515539e-02,1.688251e-02,1.750887e-02,2.000596e-02,2.188335e-02,2.262975e-02,2.536189e-02,2.732849e-02,2.818298e-02,3.107304e-02,3.306736e-02,3.401186e-02,3.697938e-02,3.894411e-02,3.995599e-02,4.292279e-02,4.480807e-02,4.586185e-02,4.875635e-02,5.052171e-02,5.159078e-02,5.435097e-02,5.596611e-02,5.702423e-02,5.959932e-02,6.104400e-02,6.206652e-02,6.441755e-02,6.568078e-02,6.664558e-02,6.874516e-02,6.982401e-02,7.071214e-02,7.254361e-02,7.344179e-02,7.423780e-02,7.579398e-02,7.652035e-02,7.721239e-02,7.849412e-02,7.906132e-02,7.964103e-02,8.065565e-02,8.107879e-02,8.154110e-02,8.230101e-02,8.259661e-02,8.293939e-02,8.346064e-02,8.364575e-02,8.386941e-02,8.417056e-02,8.426201e-02,8.436912e-02,8.447020e-02,8.448413e-02,8.447898e-02,8.440063e-02,8.435210e-02,8.424033e-02,8.400314e-02,8.390589e-02,8.369412e-02,8.331815e-02,8.318449e-02,8.288003e-02,8.238441e-02,8.222519e-02,8.183579e-02,8.123850e-02,8.106310e-02,8.059669e-02,7.991435e-02,7.973078e-02,7.919528e-02,7.844312e-02,7.825806e-02,7.766130e-02,7.685310e-02,7.667206e-02,7.602160e-02,7.516972e-02,7.499715e-02,7.430022e-02,7.341568e-02,7.325505e-02,7.251853e-02,7.161105e-02,7.146504e-02,7.069537e-02,6.977347e-02,6.964401e-02,6.884721e-02,6.791832e-02,6.780675e-02,6.698840e-02,6.605893e-02,6.596607e-02,6.513130e-02,6.420678e-02,6.413299e-02,6.328654e-02,6.237166e-02,6.231696e-02,6.146314e-02,6.056188e-02,6.052599e-02,5.966872e-02,5.878442e-02,5.876683e-02,5.790967e-02,5.704510e-02,5.536545e-02,5.373166e-02,5.214674e-02,5.061307e-02,4.913242e-02,4.770611e-02,4.633500e-02,4.501957e-02,4.376002e-02,4.255623e-02,4.140788e-02,4.031441e-02,3.927513e-02,3.828916e-02,3.735553e-02,3.647312e-02,3.564076e-02,3.485716e-02,3.412100e-02,3.343090e-02,3.278540e-02,3.218305e-02,3.162232e-02,3.110170e-02,3.061964e-02,3.017459e-02,2.976497e-02,2.938923e-02,2.904579e-02,2.873310e-02,2.844961e-02,2.819378e-02,2.796410e-02,2.775906e-02,2.757719e-02,2.741703e-02,2.727718e-02,2.715623e-02,2.705286e-02,2.696573e-02,2.689359e-02,2.683519e-02,2.678936e-02,2.675494e-02,2.673084e-02,2.671602e-02,2.670947e-02,2.671023e-02,2.671742e-02
0.000000e+00,1.122186e-12,2.674395e-10,2.902237e-10,8.406080e-09,9.307316e-08,1.016960e-07,7.411166e-07,3.455461e-06,3.778419e-06,1.465283e-05,4.209260e-05,4.579646e-05,1.205741e-04,2.561245e-04,2.768407e-04,5.694376e-04,9.971849e-04,1.071301e-03,1.873132e-03,2.883706e-03,3.081772e-03,4.817515e-03,6.777994e-03,7.210646e-03,1.039749e-02,1.369996e-02,1.451625e-02,1.970283e-02,2.470835e-02,2.608688e-02,3.378825e-02,4.077907e-02,4.291379e-02,5.355479e-02,6.270149e-02,6.578489e-02,7.965870e-02,9.100465e-02,9.521081e-02,1.124555e-01,1.259170e-01,1.313866e-01,1.519786e-01,1.673580e-01,1.741868e-01,1.979489e-01,2.149555e-01,2.231867e-01,2.498072e-01,2.680832e-01,2.777046e-01,3.067623e-01,3.259106e-01,3.368548e-01,3.678493e-01,3.874584e-01,3.996075e-01,4.319880e-01,4.516553e-01,4.648472e-01,4.980414e-01,5.173913e-01,5.314281e-01,5.648671e-01,5.835647e-01,5.982220e-01,6.313611e-01,6.491219e-01,6.641584e-01,6.964941e-01,7.130885e-01,7.282554e-01,7.593369e-01,7.745921e-01,7.896413e-01,8.190792e-01,8.328775e-01,8.475694e-01,8.750393e-01,8.873147e-01,9.014242e-01,9.266679e-01,9.374009e-01,9.507223e-01,9.735468e-01,9.827582e-01,9.951086e-01,1.015382e+00,1.023126e+00,1.034349e+00,1.051996e+00,1.058355e+00,1.068319e+00,1.083316e+00,1.088391e+00,1.096993e+00,1.109360e+00,1.113269e+00,1.120431e+00,1.130226e+00,1.133095e+00,1.138767e+00,1.146080e+00,1.148038e+00,1.152193e+00,1.157138e+00,1.158318e+00,1.160950e+00,1.163662e+00,1.164192e+00,1.165314e+00,1.165944e+00,1.165947e+00,1.165591e+00,1.164296e+00,1.163889e+00,1.162101e+00,1.159046e+00,1.158336e+00,1.155174e+00,1.150526e+00,1.149611e+00,1.145145e+00,1.139070e+00,1.138037e+00,1.132343e+00,1.125005e+00,1.123931e+00,1.117094e+00,1.108650e+00,1.107602e+00,1.099710e+00,1.090310e+00,1.089347e+00,1.080488e+00,1.070278e+00,1.069445e+00,1.059713e+00,1.048826e+00,1.048164e+00,1.037650e+00,1.026213e+00,1.025751e+00,1.014546e+00,1.002677e+00,1.002437e+00,9.906312e-01,9.784358e-01,9.539414e-01,9.291315e-01,9.041666e-01,8.791907e-01,8.543323e-01,8.297058e-01,8.054113e-01,7.815367e-01,7.581580e-01,7.353401e-01,7.131380e-01,6.915976e-01,6.707564e-01,6.506444e-01,6.312848e-01,6.126948e-01,5.948859e-01,5.778647e-01,5.616336e-01,5.461909e-01,5.315316e-01,5.176474e-01,5.045276e-01,4.921590e-01,4.805265e-01,4.696131e-01,4.594003e-01,4.498684e-01,4.409965e-01,4.327628e-01,4.251448e-01,4.181196e-01,4.116634e-01,4.057526e-01,4.003631e-01,3.954706e-01,3.910510e-01,3.870803e-01,3.835346e-01,3.803901e-01,3.776235e-01,3.752119e-01,3.731326e-01,3.713636e-01,3.698834e-01,3.686709e-01,3.677057e-01,3.669681e-01,3.664391e-01
0.000000e+00,2.751111e-09,4.302136e-08,4.501240e-08,2.984189e-07,1.061516e-06,1.108677e-06,2.680062e-06,4.599650e-06,4.727580e-06,6.859690e-06,8.759145e-06,8.920167e-06,1.087191e-05,1.253032e-05,1.270887e-05,1.443258e-05,1.585854e-05,1.604655e-05,1.755483e-05,1.877062e-05,1.896162e-05,2.027121e-05,2.129926e-05,2.148785e-05,2.261575e-05,2.347731e-05,2.365904e-05,2.462175e-05,2.533655e-05,2.550781e-05,2.632099e-05,2.690705e-05,2.706496e-05,2.774325e-05,2.821689e-05,2.835922e-05,2.891613e-05,2.929204e-05,2.941708e-05,2.986506e-05,3.015640e-05,3.026290e-05,3.061335e-05,3.083186e-05,3.091900e-05,3.118233e-05,3.133844e-05,3.140573e-05,3.159145e-05,3.169445e-05,3.174167e-05,3.185844e-05,3.191654e-05,3.194374e-05,3.199943e-05,3.201987e-05,3.202730e-05,3.202906e-05,3.201826e-05,3.200633e-05,3.196065e-05,3.192422e-05,3.189349e-05,3.180625e-05,3.174913e-05,3.170026e-05,3.157679e-05,3.150327e-05,3.143703e-05,3.128214e-05,3.119597e-05,3.111319e-05,3.093123e-05,3.083567e-05,3.073722e-05,3.053210e-05,3.042996e-05,3.031675e-05,3.009202e-05,2.998570e-05,2.985868e-05,2.961751e-05,2.950909e-05,2.936920e-05,2.911443e-05,2.900566e-05,2.885385e-05,2.858806e-05,2.848042e-05,2.831763e-05,2.804311e-05,2.793782e-05,2.776500e-05,2.748378e-05,2.738187e-05,2.719992e-05,2.691384e-05,2.681614e-05,2.662594e-05,2.633662e-05,2.624380e-05,2.604623e-05,2.575511e-05,2.566767e-05,2.546357e-05,2.517191e-05,2.509027e-05,2.488043e-05,2.458937e-05,2.451380e-05,2.429899e-05,2.400951e-05,2.394019e-05,2.372115e-05,2.343411e-05,2.337116e-05,2.314859e-05,2.286474e-05,2.280819e-05,2.258275e-05,2.230275e-05,2.225257e-05,2.202489e-05,2.174929e-05,2.170541e-05,2.147607e-05,2.120536e-05,2.116766e-05,2.093723e-05,2.067179e-05,2.064012e-05,2.040912e-05,2.014930e-05,2.012348e-05,1.989239e-05,1.963846e-05,1.961828e-05,1.938757e-05,1.913975e-05,1.912498e-05,1.889507e-05,1.865355e-05,1.864396e-05,1.841523e-05,1.818014e-05,1.817547e-05,1.794829e-05,1.771972e-05,1.727684e-05,1.684691e-05,1.642995e-05,1.602593e-05,1.563478e-05,1.525641e-05,1.489068e-05,1.453744e-05,1.419649e-05,1.386763e-05,1.355064e-05,1.324530e-05,1.295134e-05,1.266852e-05,1.239657e-05,1.213522e-05,1.188419e-05,1.164322e-05,1.141201e-05,1.119030e-05,1.097780e-05,1.077424e-05,1.057933e-05,1.039282e-05,1.021442e-05,1.004388e-05,9.880926e-06,9.725311e-06,9.576779e-06,9.435085e-06,9.299986e-06,9.171248e-06,9.048640e-06,8.931937e-06,8.820921e-06,8.715379e-06,8.615104e-06,8.519894e-06,8.429555e-06,8.343895e-06,8.262732e-06,8.185886e-06,8.113186e-06,8.044463e-06,7.979555e-06,7.918306e-06,7.860565e-06,7.806183e-06,7.755021e-06
0.000000e+00,3.377909e-13,8.149919e-11,8.850380e-11,2.657570e-09,2.972574e-08,3.246860e-08,2.305411e-07,1.025674e-06,1.117649e-06,4.069658e-06,1.097651e-05,1.187565e-05,2.912795e-05,5.801718e-05,6.226248e-05,1.192297e-04,1.961040e-04,2.088910e-04,3.402790e-04,4.931211e-04,5.218475e-04,7.608129e-04,1.009960e-03,1.062644e-03,1.430728e-03,1.782875e-03,1.866218e-03,2.368039e-03,2.815190e-03,2.933023e-03,3.556152e-03,4.078382e-03,4.230865e-03,4.949400e-03,5.519521e-03,5.703151e-03,6.483010e-03,7.071453e-03,7.279691e-03,8.084011e-03,8.662869e-03,8.887131e-03,9.680756e-03,1.022654e-02,1.045728e-02,1.120989e-02,1.170494e-02,1.193264e-02,1.262049e-02,1.305329e-02,1.326927e-02,1.387573e-02,1.424048e-02,1.443741e-02,1.495267e-02,1.524838e-02,1.542057e-02,1.584080e-02,1.607015e-02,1.621363e-02,1.653982e-02,1.670808e-02,1.682053e-02,1.705727e-02,1.717130e-02,1.725183e-02,1.740622e-02,1.747363e-02,1.752258e-02,1.760318e-02,1.763173e-02,1.765035e-02,1.766643e-02,1.766355e-02,1.765377e-02,1.761468e-02,1.758719e-02,1.755140e-02,1.746611e-02,1.742007e-02,1.736091e-02,1.723777e-02,1.717839e-02,1.709858e-02,1.694510e-02,1.687679e-02,1.677901e-02,1.660185e-02,1.652821e-02,1.641506e-02,1.621998e-02,1.614394e-02,1.601783e-02,1.580974e-02,1.573357e-02,1.559673e-02,1.537975e-02,1.530523e-02,1.515965e-02,1.493720e-02,1.486564e-02,1.471311e-02,1.448801e-02,1.442037e-02,1.426246e-02,1.403698e-02,1.397392e-02,1.381201e-02,1.358797e-02,1.352991e-02,1.336521e-02,1.314405e-02,1.309124e-02,1.292477e-02,1.270763e-02,1.266016e-02,1.249283e-02,1.228057e-02,1.223844e-02,1.207101e-02,1.186428e-02,1.182738e-02,1.166052e-02,1.145982e-02,1.142800e-02,1.126227e-02,1.106793e-02,1.104099e-02,1.087688e-02,1.068914e-02,1.066684e-02,1.050476e-02,1.032377e-02,1.030585e-02,1.014617e-02,9.971971e-03,9.958183e-03,9.801185e-03,9.633804e-03,9.623869e-03,9.469818e-03,9.309214e-03,9.302860e-03,9.151974e-03,8.998076e-03,8.995032e-03,8.847495e-03,8.700202e-03,8.418144e-03,8.148594e-03,7.891264e-03,7.645847e-03,7.412021e-03,7.189451e-03,6.977801e-03,6.776727e-03,6.585885e-03,6.404932e-03,6.233527e-03,6.071332e-03,5.918012e-03,5.773240e-03,5.636691e-03,5.508048e-03,5.387000e-03,5.273244e-03,5.166480e-03,5.066419e-03,4.972776e-03,4.885274e-03,4.803643e-03,4.727619e-03,4.656948e-03,4.591377e-03,4.530667e-03,4.474579e-03,4.422884e-03,4.375361e-03,4.331791e-03,4.291966e-03,4.255682e-03,4.222740e-03,4.192952e-03,4.166130e-03,4.142098e-03,4.120682e-03,4.101715e-03,4.085038e-03,4.070495e-03,4.057937e-03,4.047223e-03,4.038214e-03,4.030780e-03,4.024794e-03,4.020137e-03,4.016693e-03,4.014354e-03
0.000000e+00,1.554435e-10,2.284481e-08,2.458542e-08,4.953096e-07,3.984094e-06,4.293157e-06,2.144585e-05,6.594837e-05,7.008869e-05,1.651380e-04,2.936408e-04,3.063745e-04,4.805554e-04,6.516382e-04,6.709899e-04,8.642102e-04,1.029691e-03,1.051712e-03,1.229023e-03,1.371852e-03,1.394221e-03,1.546767e-03,1.665218e-03,1.686797e-03,1.814748e-03,1.911050e-03,1.931186e-03,2.036720e-03,2.113711e-03,2.131968e-03,2.217540e-03,2.277954e-03,2.294032e-03,2.362019e-03,2.408341e-03,2.422052e-03,2.474658e-03,2.509101e-03,2.520339e-03,2.559571e-03,2.584079e-03,2.592804e-03,2.620464e-03,2.636724e-03,2.642950e-03,2.660640e-03,2.670111e-03,2.673888e-03,2.683028e-03,2.686963e-03,2.688372e-03,2.690215e-03,2.689686e-03,2.688833e-03,2.684484e-03,2.680405e-03,2.677411e-03,2.667843e-03,2.660993e-03,2.655992e-03,2.642058e-03,2.633096e-03,2.626227e-03,2.608673e-03,2.598150e-03,2.589557e-03,2.569032e-03,2.557413e-03,2.547240e-03,2.524311e-03,2.511980e-03,2.500369e-03,2.475528e-03,2.462804e-03,2.449894e-03,2.423568e-03,2.410712e-03,2.396641e-03,2.369199e-03,2.356425e-03,2.341322e-03,2.313084e-03,2.300563e-03,2.284554e-03,2.255795e-03,2.243662e-03,2.226866e-03,2.197821e-03,2.186182e-03,2.168710e-03,2.139580e-03,2.128515e-03,2.110474e-03,2.081431e-03,2.070998e-03,2.052487e-03,2.023675e-03,2.013914e-03,1.995025e-03,1.966566e-03,1.957504e-03,1.938322e-03,1.910317e-03,1.901965e-03,1.882571e-03,1.855103e-03,1.847464e-03,1.827930e-03,1.801067e-03,1.794136e-03,1.774529e-03,1.748326e-03,1.742089e-03,1.722470e-03,1.696971e-03,1.691410e-03,1.671836e-03,1.647073e-03,1.642165e-03,1.622687e-03,1.598684e-03,1.594404e-03,1.575067e-03,1.551840e-03,1.548161e-03,1.529006e-03,1.506567e-03,1.503457e-03,1.484523e-03,1.462875e-03,1.460304e-03,1.441623e-03,1.420766e-03,1.418702e-03,1.400304e-03,1.380235e-03,1.378647e-03,1.360557e-03,1.341268e-03,1.340123e-03,1.322365e-03,1.303845e-03,1.303112e-03,1.285706e-03,1.267943e-03,1.267591e-03,1.250553e-03,1.233533e-03,1.200905e-03,1.169675e-03,1.139809e-03,1.111268e-03,1.084014e-03,1.058010e-03,1.033216e-03,1.009591e-03,9.870978e-04,9.656956e-04,9.453456e-04,9.260095e-04,9.076491e-04,8.902273e-04,8.737074e-04,8.580538e-04,8.432315e-04,8.292065e-04,8.159458e-04,8.034172e-04,7.915895e-04,7.804325e-04,7.699168e-04,7.600141e-04,7.506970e-04,7.419389e-04,7.337144e-04,7.259987e-04,7.187680e-04,7.119994e-04,7.056707e-04,6.997606e-04,6.942488e-04,6.891154e-04,6.843416e-04,6.799091e-04,6.758004e-04,6.719987e-04,6.684878e-04,6.652522e-04,6.622772e-04,6.595483e-04,6.570520e-04,6.547751e-04,6.527051e-04,6.508300e-04,6.491382e-04,6.476188e-04,6.462613e-04
0.000000e+00,1.525865e-12,3.439361e-10,3.728158e-10,1.023456e-08,1.082733e-07,1.180879e-07,8.208759e-07,3.633349e-06,3.958333e-06,1.434567e-05,3.839991e-05,4.151249e-05,1.007052e-04,1.984687e-04,2.127419e-04,4.028148e-04,6.565855e-04,6.985948e-04,1.128047e-03,1.624301e-03,1.717304e-03,2.488842e-03,3.290727e-03,3.460098e-03,4.642581e-03,5.773667e-03,6.041468e-03,7.655623e-03,9.097361e-03,9.477958e-03,1.149606e-02,1.319533e-02,1.369301e-02,1.604821e-02,1.792978e-02,1.853842e-02,2.113855e-02,2.311812e-02,2.382257e-02,2.656427e-02,2.855950e-02,2.933787e-02,3.211861e-02,3.405682e-02,3.488316e-02,3.760996e-02,3.943255e-02,4.027945e-02,4.287421e-02,4.453836e-02,4.537907e-02,4.778105e-02,4.925925e-02,5.006934e-02,5.223524e-02,5.351359e-02,5.427199e-02,5.617468e-02,5.725053e-02,5.794007e-02,5.956644e-02,6.044583e-02,6.105340e-02,6.240174e-02,6.309692e-02,6.361331e-02,6.469079e-02,6.521806e-02,6.563762e-02,6.645784e-02,6.683579e-02,6.715595e-02,6.773686e-02,6.798497e-02,6.820574e-02,6.856797e-02,6.870557e-02,6.882904e-02,6.899452e-02,6.904006e-02,6.906994e-02,6.906084e-02,6.903146e-02,6.897264e-02,6.881065e-02,6.872187e-02,6.858007e-02,6.828590e-02,6.815152e-02,6.793300e-02,6.752602e-02,6.735812e-02,6.706943e-02,6.656750e-02,6.637650e-02,6.602431e-02,6.544369e-02,6.523842e-02,6.482934e-02,6.418468e-02,6.397254e-02,6.351302e-02,6.281744e-02,6.260455e-02,6.210086e-02,6.136602e-02,6.115734e-02,6.061548e-02,5.985166e-02,5.965117e-02,5.907681e-02,5.829304e-02,5.810383e-02,5.750232e-02,5.670647e-02,5.653086e-02,5.590720e-02,5.510609e-02,5.494578e-02,5.430463e-02,5.350418e-02,5.336030e-02,5.270600e-02,5.191125e-02,5.178449e-02,5.112103e-02,5.033632e-02,5.022695e-02,4.955803e-02,4.878699e-02,4.869499e-02,4.802398e-02,4.726969e-02,4.719476e-02,4.652475e-02,4.578973e-02,4.573138e-02,4.506517e-02,4.435152e-02,4.430906e-02,4.364920e-02,4.295859e-02,4.293121e-02,4.228001e-02,4.161375e-02,4.160055e-02,4.096006e-02,4.031916e-02,3.908858e-02,3.790986e-02,3.678365e-02,3.571022e-02,3.468953e-02,3.372127e-02,3.280486e-02,3.193956e-02,3.112442e-02,3.035835e-02,2.964016e-02,2.896850e-02,2.834200e-02,2.775915e-02,2.721845e-02,2.671830e-02,2.625711e-02,2.583324e-02,2.544506e-02,2.509091e-02,2.476914e-02,2.447813e-02,2.421625e-02,2.398189e-02,2.377347e-02,2.358944e-02,2.342828e-02,2.328850e-02,2.316865e-02,2.306732e-02,2.298314e-02,2.291479e-02,2.286100e-02,2.282052e-02,2.279219e-02,2.277487e-02,2.276747e-02,2.276898e-02,2.277841e-02,2.279483e-02,2.281736e-02,2.284519e-02,2.287754e-02,2.291368e-02,2.295293e-02,2.299466e-02,2.303830e-02,2.308331e-02,2.312920e-02
0.000000e+00,1.051377e-09,1.582716e-08,1.650899e-08,8.931620e-08,2.609318e-07,2.705933e-07,5.704545e-07,9.208819e-07,9.442475e-07,1.335265e-06,1.685199e-06,1.714896e-06,2.075037e-06,2.381168e-06,2.414128e-06,2.732290e-06,2.995410e-06,3.030094e-06,3.308247e-06,3.532321e-06,3.567510e-06,3.808667e-06,3.997825e-06,4.032508e-06,4.239815e-06,4.398008e-06,4.431356e-06,4.607877e-06,4.738771e-06,4.770108e-06,4.918750e-06,5.025695e-06,5.054481e-06,5.177954e-06,5.263982e-06,5.289795e-06,5.390606e-06,5.458444e-06,5.480963e-06,5.561419e-06,5.613514e-06,5.632503e-06,5.694721e-06,5.733259e-06,5.748559e-06,5.794478e-06,5.821407e-06,5.832921e-06,5.864312e-06,5.881363e-06,5.889054e-06,5.907532e-06,5.916241e-06,5.920114e-06,5.927151e-06,5.928877e-06,5.928979e-06,5.925915e-06,5.921856e-06,5.918265e-06,5.906317e-06,5.897528e-06,5.890349e-06,5.870624e-06,5.858030e-06,5.847391e-06,5.820889e-06,5.805299e-06,5.791344e-06,5.758974e-06,5.741092e-06,5.723981e-06,5.686562e-06,5.667001e-06,5.646902e-06,5.605176e-06,5.584464e-06,5.561552e-06,5.516189e-06,5.494779e-06,5.469236e-06,5.420836e-06,5.399117e-06,5.371125e-06,5.320231e-06,5.298532e-06,5.268276e-06,5.215373e-06,5.193972e-06,5.161633e-06,5.107158e-06,5.086286e-06,5.052046e-06,4.996387e-06,4.976234e-06,4.940270e-06,4.883776e-06,4.864496e-06,4.826982e-06,4.769960e-06,4.751677e-06,4.712781e-06,4.655507e-06,4.638316e-06,4.598200e-06,4.540916e-06,4.524888e-06,4.483710e-06,4.426631e-06,4.411817e-06,4.369725e-06,4.313038e-06,4.299470e-06,4.256610e-06,4.200480e-06,4.188174e-06,4.144682e-06,4.089251e-06,4.078212e-06,4.034217e-06,3.979609e-06,3.969827e-06,3.925454e-06,3.871775e-06,3.863232e-06,3.818596e-06,3.765937e-06,3.758607e-06,3.713817e-06,3.662253e-06,3.656104e-06,3.611262e-06,3.560858e-06,3.555851e-06,3.511054e-06,3.461861e-06,3.457952e-06,3.413289e-06,3.365349e-06,3.362493e-06,3.318048e-06,3.271392e-06,3.269539e-06,3.225389e-06,3.180043e-06,3.179143e-06,3.135358e-06,3.091338e-06,3.006147e-06,2.923583e-06,2.843646e-06,2.766329e-06,2.691615e-06,2.619483e-06,2.549903e-06,2.482841e-06,2.418260e-06,2.356118e-06,2.296367e-06,2.238961e-06,2.183848e-06,2.130977e-06,2.080292e-06,2.031739e-06,1.985263e-06,1.940808e-06,1.898316e-06,1.857732e-06,1.818998e-06,1.782059e-06,1.746859e-06,1.713341e-06,1.681452e-06,1.651139e-06,1.622346e-06,1.595024e-06,1.569120e-06,1.544585e-06,1.521370e-06,1.499426e-06,1.478707e-06,1.459166e-06,1.440760e-06,1.423445e-06,1.407178e-06,1.391918e-06,1.377625e-06,1.364259e-06,1.351784e-06,1.340162e-06,1.329358e-06,1.319337e-06,1.310065e-06,1.301511e-06,1.293642e-06,1.286427e-06,1.279838e-06
0.000000e+00,1.607300e-11,2.957428e-09,3.193888e-09,7.430211e-08,6.854918e-07,7.434856e-07,4.491129e-06,1.729536e-05,1.866935e-05,5.762439e-05,1.315937e-04,1.402477e-04,2.834733e-04,4.719860e-04,4.964860e-04,7.787786e-04,1.077792e-03,1.121729e-03,1.511830e-03,1.873455e-03,1.933915e-03,2.373528e-03,2.747212e-03,2.818282e-03,3.258373e-03,3.610606e-03,3.686546e-03,4.097760e-03,4.412288e-03,4.488765e-03,4.857669e-03,5.129464e-03,5.203569e-03,5.526250e-03,5.756102e-03,5.825965e-03,6.103268e-03,6.294478e-03,6.358906e-03,6.593733e-03,6.750433e-03,6.808660e-03,7.004620e-03,7.131006e-03,7.182544e-03,7.343350e-03,7.443376e-03,7.487929e-03,7.617145e-03,7.694417e-03,7.731829e-03,7.832779e-03,7.890534e-03,7.920759e-03,7.996501e-03,8.037622e-03,8.060702e-03,8.114030e-03,8.141073e-03,8.157120e-03,8.190580e-03,8.205803e-03,8.214987e-03,8.230893e-03,8.236283e-03,8.238821e-03,8.239271e-03,8.236574e-03,8.232720e-03,8.219618e-03,8.210360e-03,8.200397e-03,8.175466e-03,8.160982e-03,8.145215e-03,8.110012e-03,8.091461e-03,8.070211e-03,8.026145e-03,8.004530e-03,7.978130e-03,7.926469e-03,7.902656e-03,7.871446e-03,7.813333e-03,7.788066e-03,7.752387e-03,7.688852e-03,7.662765e-03,7.622958e-03,7.554924e-03,7.528553e-03,7.484957e-03,7.413254e-03,7.387051e-03,7.339999e-03,7.265367e-03,7.239709e-03,7.189525e-03,7.112629e-03,7.087824e-03,7.034826e-03,6.956255e-03,6.932554e-03,6.877049e-03,6.797330e-03,6.774932e-03,6.717214e-03,6.636813e-03,6.615874e-03,6.556228e-03,6.475556e-03,6.456192e-03,6.394888e-03,6.314310e-03,6.296602e-03,6.233900e-03,6.153734e-03,6.137736e-03,6.073881e-03,5.994407e-03,5.980146e-03,5.915372e-03,5.836832e-03,5.824315e-03,5.758841e-03,5.681447e-03,5.670662e-03,5.604695e-03,5.528626e-03,5.519546e-03,5.453281e-03,5.378693e-03,5.371277e-03,5.304896e-03,5.231919e-03,5.226117e-03,5.159790e-03,5.088533e-03,5.084286e-03,5.018171e-03,4.948724e-03,4.945965e-03,4.880210e-03,4.812645e-03,4.811303e-03,4.746043e-03,4.680417e-03,4.553398e-03,4.430312e-03,4.311203e-03,4.196097e-03,4.085003e-03,3.977914e-03,3.874811e-03,3.775663e-03,3.680427e-03,3.589054e-03,3.501485e-03,3.417657e-03,3.337500e-03,3.260938e-03,3.187895e-03,3.118287e-03,3.052031e-03,2.989041e-03,2.929227e-03,2.872502e-03,2.818775e-03,2.767956e-03,2.719956e-03,2.674682e-03,2.632047e-03,2.591961e-03,2.554335e-03,2.519082e-03,2.486116e-03,2.455351e-03,2.426704e-03,2.400092e-03,2.375434e-03,2.352650e-03,2.331663e-03,2.312396e-03,2.294774e-03,2.278725e-03,2.264176e-03,2.251058e-03,2.239303e-03,2.228845e-03,2.219619e-03,2.211562e-03,2.204613e-03,2.198713e-03,2.193803e-03,2.189828e-03,2.186734e-03
0.000000e+00,7.320236e-12,1.329034e-09,1.434998e-09,3.304170e-08,3.003590e-07,3.255186e-07,1.922064e-06,7.216713e-06,7.776985e-06,2.333474e-05,5.189117e-05,5.517369e-05,1.081858e-04,1.749408e-04,1.834008e-04,2.776907e-04,3.716713e-04,3.849983e-04,4.981060e-04,5.947585e-04,6.101579e-04,7.156045e-04,7.961960e-04,8.105777e-04,8.928424e-04,9.501717e-04,9.615288e-04,1.016781e-03,1.051843e-03,1.059414e-03,1.090635e-03,1.107953e-03,1.111827e-03,1.124398e-03,1.129018e-03,1.129693e-03,1.128945e-03,1.125149e-03,1.123246e-03,1.113541e-03,1.104532e-03,1.100639e-03,1.085222e-03,1.073243e-03,1.067860e-03,1.049023e-03,1.035574e-03,1.029101e-03,1.008411e-03,9.944640e-04,9.872138e-04,9.657190e-04,9.518866e-04,9.440975e-04,9.224861e-04,9.091411e-04,9.009943e-04,8.797091e-04,8.670665e-04,8.586994e-04,8.380186e-04,8.261912e-04,8.177081e-04,7.977993e-04,7.868347e-04,7.783153e-04,7.592725e-04,7.491770e-04,7.406821e-04,7.225507e-04,7.133050e-04,7.048816e-04,6.876754e-04,6.792453e-04,6.709300e-04,6.546416e-04,6.469840e-04,6.388049e-04,6.234134e-04,6.164808e-04,6.084597e-04,5.939360e-04,5.876795e-04,5.798335e-04,5.661435e-04,5.605144e-04,5.528567e-04,5.399637e-04,5.349146e-04,5.274550e-04,5.153211e-04,5.108065e-04,5.035524e-04,4.921395e-04,4.881161e-04,4.810730e-04,4.703436e-04,4.667707e-04,4.599421e-04,4.498596e-04,4.466991e-04,4.400872e-04,4.306163e-04,4.278325e-04,4.214383e-04,4.125449e-04,4.101046e-04,4.039279e-04,3.955795e-04,3.934519e-04,3.874917e-04,3.796571e-04,3.778137e-04,3.720683e-04,3.647180e-04,3.631323e-04,3.575993e-04,3.507054e-04,3.493530e-04,3.440296e-04,3.375654e-04,3.364238e-04,3.313065e-04,3.252469e-04,3.242954e-04,3.193805e-04,3.137017e-04,3.129213e-04,3.082047e-04,3.028841e-04,3.022572e-04,2.977346e-04,2.927510e-04,2.922616e-04,2.879283e-04,2.832617e-04,2.828950e-04,2.787465e-04,2.743779e-04,2.741204e-04,2.701516e-04,2.660633e-04,2.659026e-04,2.621087e-04,2.582838e-04,2.582086e-04,2.545845e-04,2.510071e-04,2.442689e-04,2.379662e-04,2.320729e-04,2.265643e-04,2.214174e-04,2.166103e-04,2.121224e-04,2.079345e-04,2.040284e-04,2.003868e-04,1.969937e-04,1.938340e-04,1.908932e-04,1.881581e-04,1.856159e-04,1.832548e-04,1.810635e-04,1.790316e-04,1.771492e-04,1.754070e-04,1.737961e-04,1.723084e-04,1.709362e-04,1.696721e-04,1.685094e-04,1.674415e-04,1.664625e-04,1.655666e-04,1.647486e-04,1.640033e-04,1.633260e-04,1.627124e-04,1.621583e-04,1.616597e-04,1.612130e-04,1.608146e-04,1.604614e-04,1.601503e-04,1.598785e-04,1.596432e-04,1.594419e-04,1.592723e-04,1.591321e-04,1.590192e-04,1.589316e-04,1.588676e-04,1.588254e-04,1.588034e-04,1.588000e-04
0.000000e+00,1.459712e-09,1.984461e-08,2.071524e-08,1.245288e-07,4.131276e-07,4.304567e-07,9.984138e-07,1.696365e-06,1.743329e-06,2.530300e-06,3.233331e-06,3.292903e-06,4.014278e-06,4.626102e-06,4.691909e-06,5.326562e-06,5.850720e-06,5.919774e-06,6.473272e-06,6.918862e-06,6.988820e-06,7.468169e-06,7.844103e-06,7.913033e-06,8.325079e-06,8.639601e-06,8.705920e-06,9.057109e-06,9.317718e-06,9.380141e-06,9.676451e-06,9.889908e-06,9.947412e-06,1.019434e-05,1.036671e-05,1.041850e-05,1.062108e-05,1.075779e-05,1.080325e-05,1.096609e-05,1.107197e-05,1.111066e-05,1.123796e-05,1.131731e-05,1.134895e-05,1.144453e-05,1.150117e-05,1.152558e-05,1.159291e-05,1.163023e-05,1.164733e-05,1.168958e-05,1.171057e-05,1.172039e-05,1.174043e-05,1.174773e-05,1.175035e-05,1.175078e-05,1.174672e-05,1.174229e-05,1.172546e-05,1.171209e-05,1.170082e-05,1.166886e-05,1.164796e-05,1.163008e-05,1.158493e-05,1.155806e-05,1.153385e-05,1.147725e-05,1.144576e-05,1.141552e-05,1.134903e-05,1.131412e-05,1.127814e-05,1.120319e-05,1.116586e-05,1.112449e-05,1.104234e-05,1.100348e-05,1.095704e-05,1.086885e-05,1.082920e-05,1.077803e-05,1.068482e-05,1.064501e-05,1.058945e-05,1.049214e-05,1.045272e-05,1.039310e-05,1.029253e-05,1.025395e-05,1.019060e-05,1.008749e-05,1.005012e-05,9.983370e-06,9.878388e-06,9.842525e-06,9.772693e-06,9.666423e-06,9.632317e-06,9.559708e-06,9.452670e-06,9.420513e-06,9.345425e-06,9.238079e-06,9.208019e-06,9.130736e-06,9.023491e-06,8.995634e-06,8.916432e-06,8.809644e-06,8.784064e-06,8.703205e-06,8.597189e-06,8.573929e-06,8.491664e-06,8.386694e-06,8.365772e-06,8.282339e-06,8.178653e-06,8.160065e-06,8.075689e-06,7.973493e-06,7.957216e-06,7.872111e-06,7.771583e-06,7.757579e-06,7.671946e-06,7.573235e-06,7.561453e-06,7.475482e-06,7.378715e-06,7.369093e-06,7.282961e-06,7.188244e-06,7.180712e-06,7.094586e-06,7.002005e-06,6.996485e-06,6.910520e-06,6.820146e-06,6.816554e-06,6.730895e-06,6.642782e-06,6.641031e-06,6.555814e-06,6.470001e-06,6.303525e-06,6.141644e-06,5.984377e-06,5.831729e-06,5.683690e-06,5.540236e-06,5.401332e-06,5.266933e-06,5.136985e-06,5.011428e-06,4.890193e-06,4.773209e-06,4.660396e-06,4.551675e-06,4.446959e-06,4.346162e-06,4.249196e-06,4.155968e-06,4.066388e-06,3.980363e-06,3.897800e-06,3.818607e-06,3.742692e-06,3.669962e-06,3.600327e-06,3.533695e-06,3.469979e-06,3.409089e-06,3.350939e-06,3.295444e-06,3.242519e-06,3.192082e-06,3.144052e-06,3.098350e-06,3.054899e-06,3.013621e-06,2.974444e-06,2.937295e-06,2.902102e-06,2.868798e-06,2.837315e-06,2.807586e-06,2.779549e-06,2.753140e-06,2.728300e-06,2.704969e-06,2.683090e-06,2.662608e-06,2.643467e-06
0.000000e+00,1.070982e-10,1.448044e-08,1.555968e-08,2.928551e-07,2.239057e-06,2.408298e-06,1.158034e-05,3.489466e-05,3.705314e-05,8.636427e-05,1.522424e-04,1.587137e-04,2.461051e-04,3.298590e-04,3.392045e-04,4.311465e-04,5.080074e-04,5.181114e-04,5.984450e-04,6.618618e-04,6.716895e-04,7.379464e-04,7.884420e-04,7.975474e-04,8.509020e-04,8.902901e-04,8.984354e-04,9.405633e-04,9.706416e-04,9.776834e-04,1.010172e-03,1.032526e-03,1.038383e-03,1.062648e-03,1.078643e-03,1.083279e-03,1.100563e-03,1.111360e-03,1.114773e-03,1.126159e-03,1.132740e-03,1.134955e-03,1.141380e-03,1.144574e-03,1.145634e-03,1.147907e-03,1.148410e-03,1.148373e-03,1.147192e-03,1.145584e-03,1.144515e-03,1.140481e-03,1.137247e-03,1.135219e-03,1.128848e-03,1.124389e-03,1.121478e-03,1.113211e-03,1.107860e-03,1.104142e-03,1.094358e-03,1.088387e-03,1.083939e-03,1.072960e-03,1.066593e-03,1.061490e-03,1.049591e-03,1.043008e-03,1.037322e-03,1.024736e-03,1.018083e-03,1.011884e-03,9.988092e-04,9.922020e-04,9.855547e-04,9.721582e-04,9.656879e-04,9.586548e-04,9.450764e-04,9.388134e-04,9.314525e-04,9.178096e-04,9.118072e-04,9.041723e-04,8.905626e-04,8.848598e-04,8.770009e-04,8.635052e-04,8.581292e-04,8.500923e-04,8.367769e-04,8.317455e-04,8.235726e-04,8.104913e-04,8.058143e-04,7.975440e-04,7.847400e-04,7.804209e-04,7.720881e-04,7.595957e-04,7.556329e-04,7.472694e-04,7.351149e-04,7.315028e-04,7.231371e-04,7.113402e-04,7.080700e-04,6.997279e-04,6.883030e-04,6.853636e-04,6.770680e-04,6.660248e-04,6.634031e-04,6.551746e-04,6.445186e-04,6.422004e-04,6.340572e-04,6.237907e-04,6.217607e-04,6.137188e-04,6.038413e-04,6.020839e-04,5.941573e-04,5.846659e-04,5.831651e-04,5.753661e-04,5.662563e-04,5.649960e-04,5.573350e-04,5.486006e-04,5.475649e-04,5.400511e-04,5.316846e-04,5.308579e-04,5.234990e-04,5.154920e-04,5.148591e-04,5.076614e-04,5.000048e-04,4.995509e-04,4.925197e-04,4.852037e-04,4.849145e-04,4.780541e-04,4.710685e-04,4.709304e-04,4.642442e-04,4.575785e-04,4.448380e-04,4.326883e-04,4.211085e-04,4.100779e-04,3.995758e-04,3.895820e-04,3.800765e-04,3.710400e-04,3.624531e-04,3.542975e-04,3.465550e-04,3.392081e-04,3.322398e-04,3.256337e-04,3.193739e-04,3.134452e-04,3.078327e-04,3.025223e-04,2.975002e-04,2.927534e-04,2.882692e-04,2.840354e-04,2.800404e-04,2.762731e-04,2.727227e-04,2.693791e-04,2.662323e-04,2.632729e-04,2.604921e-04,2.578810e-04,2.554315e-04,2.531358e-04,2.509862e-04,2.489755e-04,2.470968e-04,2.453437e-04,2.437096e-04,2.421888e-04,2.407753e-04,2.394637e-04,2.382488e-04,2.371256e-04,2.360893e-04,2.351354e-04,2.342594e-04,2.334573e-04,2.327251e-04,2.320590e-04,2.314555e-04
0.000000e+00,1.179280e-10,1.498995e-08,1.610401e-08,3.085735e-07,2.402621e-06,2.584576e-06,1.218053e-05,3.447007e-05,3.641271e-05,7.701702e-05,1.238403e-04,1.281232e-04,1.820186e-04,2.284984e-04,2.334432e-04,2.799812e-04,3.163410e-04,3.209665e-04,3.565310e-04,3.830956e-04,3.870905e-04,4.131255e-04,4.318410e-04,4.351030e-04,4.534536e-04,4.660696e-04,4.685675e-04,4.807972e-04,4.887191e-04,4.904608e-04,4.978453e-04,5.021907e-04,5.032098e-04,5.067882e-04,5.084437e-04,5.087912e-04,5.094082e-04,5.090736e-04,5.088100e-04,5.071494e-04,5.053737e-04,5.045638e-04,5.011759e-04,4.983863e-04,4.970955e-04,4.924205e-04,4.889468e-04,4.872383e-04,4.816266e-04,4.777215e-04,4.756546e-04,4.693836e-04,4.652387e-04,4.628681e-04,4.561563e-04,4.519154e-04,4.492909e-04,4.423095e-04,4.380789e-04,4.352452e-04,4.281273e-04,4.239846e-04,4.209814e-04,4.138299e-04,4.098301e-04,4.066925e-04,3.995862e-04,3.957671e-04,3.925260e-04,3.855245e-04,3.819107e-04,3.785928e-04,3.717404e-04,3.683465e-04,3.649754e-04,3.583044e-04,3.551375e-04,3.517332e-04,3.452665e-04,3.423280e-04,3.389081e-04,3.326610e-04,3.299481e-04,3.265275e-04,3.205095e-04,3.180167e-04,3.146082e-04,3.088242e-04,3.065437e-04,3.031581e-04,2.976098e-04,2.955322e-04,2.921789e-04,2.868650e-04,2.849804e-04,2.816671e-04,2.765842e-04,2.748820e-04,2.716152e-04,2.667587e-04,2.652281e-04,2.620132e-04,2.573772e-04,2.560075e-04,2.528490e-04,2.484267e-04,2.472073e-04,2.441088e-04,2.398932e-04,2.388136e-04,2.357781e-04,2.317615e-04,2.308120e-04,2.278416e-04,2.240165e-04,2.231875e-04,2.202841e-04,2.166425e-04,2.159249e-04,2.130898e-04,2.096240e-04,2.090093e-04,2.062433e-04,2.029457e-04,2.024257e-04,1.997293e-04,1.965924e-04,1.961595e-04,1.935330e-04,1.905494e-04,1.901964e-04,1.876398e-04,1.848025e-04,1.845227e-04,1.820357e-04,1.793377e-04,1.791248e-04,1.767069e-04,1.741417e-04,1.739898e-04,1.716405e-04,1.692017e-04,1.691054e-04,1.668237e-04,1.645052e-04,1.644594e-04,1.622446e-04,1.600405e-04,1.558377e-04,1.518404e-04,1.480387e-04,1.444229e-04,1.409840e-04,1.377132e-04,1.346022e-04,1.316432e-04,1.288286e-04,1.261512e-04,1.236044e-04,1.211815e-04,1.188765e-04,1.166835e-04,1.145970e-04,1.126116e-04,1.107224e-04,1.089245e-04,1.072135e-04,1.055850e-04,1.040350e-04,1.025595e-04,1.011549e-04,9.981762e-05,9.854439e-05,9.733203e-05,9.617752e-05,9.507801e-05,9.403080e-05,9.303330e-05,9.208307e-05,9.117779e-05,9.031524e-05,8.949334e-05,8.871008e-05,8.796359e-05,8.725206e-05,8.657378e-05,8.592713e-05,8.531058e-05,8.472266e-05,8.416198e-05,8.362722e-05,8.311712e-05,8.263049e-05,8.216620e-05,8.172317e-05,8.130038e-05,8.089686e-05
0.000000e+00,3.667176e-09,6.566434e-08,6.870630e-08,4.641453e-07,1.739644e-06,1.821751e-06,4.741310e-06,8.700837e-06,8.974265e-06,1.355713e-05,1.752408e-05,1.785114e-05,2.167824e-05,2.471465e-05,2.502913e-05,2.793637e-05,3.016004e-05,3.044062e-05,3.258179e-05,3.416105e-05,3.439678e-05,3.591893e-05,3.699392e-05,3.717913e-05,3.820549e-05,3.889059e-05,3.902353e-05,3.965636e-05,4.004338e-05,4.012486e-05,4.044784e-05,4.060971e-05,4.064225e-05,4.072331e-05,4.071759e-05,4.070471e-05,4.059873e-05,4.047054e-05,4.041634e-05,4.016742e-05,3.995197e-05,3.986076e-05,3.950424e-05,3.922881e-05,3.910489e-05,3.866899e-05,3.835459e-05,3.820214e-05,3.770932e-05,3.737201e-05,3.719496e-05,3.666302e-05,3.631498e-05,3.611699e-05,3.555997e-05,3.521033e-05,3.499473e-05,3.442368e-05,3.407918e-05,3.384899e-05,3.327253e-05,3.293804e-05,3.269597e-05,3.212078e-05,3.179974e-05,3.154821e-05,3.097939e-05,3.067413e-05,3.041529e-05,2.985672e-05,2.956870e-05,2.930441e-05,2.875898e-05,2.848900e-05,2.822094e-05,2.769073e-05,2.743912e-05,2.716872e-05,2.665520e-05,2.642191e-05,2.615042e-05,2.565457e-05,2.543926e-05,2.516779e-05,2.469018e-05,2.449234e-05,2.422181e-05,2.376272e-05,2.358169e-05,2.331292e-05,2.287240e-05,2.270742e-05,2.244110e-05,2.201899e-05,2.186927e-05,2.160599e-05,2.120202e-05,2.106670e-05,2.080697e-05,2.042074e-05,2.029899e-05,2.004322e-05,1.967428e-05,1.956525e-05,1.931379e-05,1.896162e-05,1.886448e-05,1.861762e-05,1.828166e-05,1.819561e-05,1.795359e-05,1.763326e-05,1.755752e-05,1.732053e-05,1.701524e-05,1.694907e-05,1.671726e-05,1.642642e-05,1.636910e-05,1.614259e-05,1.586561e-05,1.581647e-05,1.559533e-05,1.533162e-05,1.529002e-05,1.507432e-05,1.482330e-05,1.478865e-05,1.457841e-05,1.433953e-05,1.431126e-05,1.410650e-05,1.387919e-05,1.385677e-05,1.365748e-05,1.344124e-05,1.342417e-05,1.323033e-05,1.302463e-05,1.301245e-05,1.282402e-05,1.262838e-05,1.262066e-05,1.243759e-05,1.225154e-05,1.224786e-05,1.207010e-05,1.189318e-05,1.155575e-05,1.123476e-05,1.092944e-05,1.063903e-05,1.036282e-05,1.010013e-05,9.850317e-06,9.612752e-06,9.386848e-06,9.172040e-06,8.967792e-06,8.773593e-06,8.588956e-06,8.413416e-06,8.246533e-06,8.087885e-06,7.937073e-06,7.793716e-06,7.657451e-06,7.527934e-06,7.404836e-06,7.287845e-06,7.176664e-06,7.071011e-06,6.970616e-06,6.875223e-06,6.784590e-06,6.698484e-06,6.616686e-06,6.538986e-06,6.465184e-06,6.395092e-06,6.328528e-06,6.265322e-06,6.205310e-06,6.148337e-06,6.094255e-06,6.042924e-06,5.994211e-06,5.947988e-06,5.904134e-06,5.862535e-06,5.823080e-06,5.785667e-06,5.750196e-06,5.716572e-06,5.684707e-06,5.654515e-06,5.625915e-06
0.000000e+00,1.043462e-09,7.532213e-08,8.004229e-08,9.493297e-07,5.382210e-06,5.730153e-06,2.220688e-05,5.725123e-05,6.024643e-05,1.221083e-04,1.925240e-04,1.989464e-04,2.801284e-04,3.518444e-04,3.596371e-04,4.352060e-04,4.979394e-04,5.062154e-04,5.726073e-04,6.260978e-04,6.344975e-04,6.920543e-04,7.371871e-04,7.454609e-04,7.949035e-04,8.326182e-04,8.405668e-04,8.826326e-04,9.138144e-04,9.212783e-04,9.566767e-04,9.821410e-04,9.889952e-04,1.018395e-03,1.038884e-03,1.045034e-03,1.069059e-03,1.085241e-03,1.090616e-03,1.109842e-03,1.122315e-03,1.126868e-03,1.141820e-03,1.151118e-03,1.154819e-03,1.165978e-03,1.172571e-03,1.175407e-03,1.183209e-03,1.187515e-03,1.189483e-03,1.194323e-03,1.196710e-03,1.197819e-03,1.200056e-03,1.200845e-03,1.201113e-03,1.201069e-03,1.200544e-03,1.199995e-03,1.197961e-03,1.196367e-03,1.195032e-03,1.191270e-03,1.188822e-03,1.186735e-03,1.181482e-03,1.178365e-03,1.175564e-03,1.169031e-03,1.165407e-03,1.161931e-03,1.154308e-03,1.150314e-03,1.146206e-03,1.137664e-03,1.133419e-03,1.128720e-03,1.119411e-03,1.115015e-03,1.109769e-03,1.099828e-03,1.095367e-03,1.089618e-03,1.079166e-03,1.074711e-03,1.068500e-03,1.057646e-03,1.053256e-03,1.046626e-03,1.035464e-03,1.031189e-03,1.024180e-03,1.012795e-03,1.008675e-03,1.001327e-03,9.897940e-04,9.858607e-04,9.782118e-04,9.665961e-04,9.628743e-04,9.549613e-04,9.433209e-04,9.398296e-04,9.316875e-04,9.200729e-04,9.168257e-04,9.084881e-04,8.969432e-04,8.939493e-04,8.854479e-04,8.740110e-04,8.712757e-04,8.626406e-04,8.513444e-04,8.488699e-04,8.401295e-04,8.290023e-04,8.267880e-04,8.179689e-04,8.070347e-04,8.050774e-04,7.962047e-04,7.854836e-04,7.837785e-04,7.748753e-04,7.643839e-04,7.629246e-04,7.540126e-04,7.437646e-04,7.425432e-04,7.336426e-04,7.236491e-04,7.226569e-04,7.137863e-04,7.040560e-04,7.032834e-04,6.944601e-04,6.849998e-04,6.844365e-04,6.756763e-04,6.664906e-04,6.661261e-04,6.574435e-04,6.485354e-04,6.483587e-04,6.397668e-04,6.311380e-04,6.144652e-04,5.983392e-04,5.827570e-04,5.677139e-04,5.532039e-04,5.392196e-04,5.257524e-04,5.127931e-04,5.003314e-04,4.883567e-04,4.768577e-04,4.658228e-04,4.552399e-04,4.450969e-04,4.353815e-04,4.260812e-04,4.171835e-04,4.086759e-04,4.005461e-04,3.927818e-04,3.853708e-04,3.783010e-04,3.715606e-04,3.651380e-04,3.590217e-04,3.532005e-04,3.476636e-04,3.424001e-04,3.373996e-04,3.326521e-04,3.281474e-04,3.238761e-04,3.198286e-04,3.159961e-04,3.123695e-04,3.089403e-04,3.057003e-04,3.026414e-04,2.997558e-04,2.970360e-04,2.944747e-04,2.920650e-04,2.898000e-04,2.876731e-04,2.856781e-04,2.838089e-04,2.820595e-04,2.804244e-04,2.788980e-04
0.000000e+00,2.038129e-11,4.788126e-09,5.194164e-09,1.473708e-07,1.595354e-06,1.741460e-06,1.237505e-05,5.625939e-05,6.141599e-05,2.316603e-04,6.491210e-04,7.047568e-04,1.809419e-03,3.764765e-03,4.060371e-03,8.180542e-03,1.408948e-02,1.510403e-02,2.596098e-02,3.942859e-02,4.204752e-02,6.478465e-02,9.011831e-02,9.567050e-02,1.362293e-01,1.777594e-01,1.879609e-01,2.522936e-01,3.137201e-01,3.305409e-01,4.238640e-01,5.077600e-01,5.332443e-01,6.594595e-01,7.669940e-01,8.030676e-01,9.643997e-01,1.095265e+00,1.143558e+00,1.340420e+00,1.492940e+00,1.554645e+00,1.785685e+00,1.957033e+00,2.032807e+00,2.295107e+00,2.481606e+00,2.571527e+00,2.860884e+00,3.058321e+00,3.161882e+00,3.473143e+00,3.677070e+00,3.793220e+00,4.120624e+00,4.326629e+00,4.453838e+00,4.791339e+00,4.995267e+00,5.131613e+00,5.473168e+00,5.671283e+00,5.814552e+00,6.154360e+00,6.343460e+00,6.491247e+00,6.823935e+00,7.001414e+00,7.151220e+00,7.471980e+00,7.635847e+00,7.785174e+00,8.089849e+00,8.238718e+00,8.385140e+00,8.670271e+00,8.803321e+00,8.944558e+00,9.207399e+00,9.324320e+00,9.458284e+00,9.696782e+00,9.797703e+00,9.922542e+00,1.013529e+01,1.022072e+01,1.033483e+01,1.052103e+01,1.059175e+01,1.069381e+01,1.085319e+01,1.091024e+01,1.099920e+01,1.113196e+01,1.117653e+01,1.125160e+01,1.135833e+01,1.139172e+01,1.145237e+01,1.153400e+01,1.155755e+01,1.160351e+01,1.166122e+01,1.167628e+01,1.170748e+01,1.174266e+01,1.175058e+01,1.176715e+01,1.178134e+01,1.178339e+01,1.178564e+01,1.178046e+01,1.177786e+01,1.176624e+01,1.174339e+01,1.173725e+01,1.171235e+01,1.167353e+01,1.166487e+01,1.162737e+01,1.157428e+01,1.156402e+01,1.151468e+01,1.144897e+01,1.143792e+01,1.137757e+01,1.130085e+01,1.128971e+01,1.121921e+01,1.113302e+01,1.112238e+01,1.104263e+01,1.094841e+01,1.093879e+01,1.085069e+01,1.074981e+01,1.074161e+01,1.064607e+01,1.053979e+01,1.053334e+01,1.043125e+01,1.032075e+01,1.031629e+01,1.020854e+01,1.009489e+01,1.009260e+01,9.980034e+00,9.864212e+00,9.632884e+00,9.400210e+00,9.167613e+00,8.936360e+00,8.707567e+00,8.482214e+00,8.261150e+00,8.045104e+00,7.834699e+00,7.630453e+00,7.432795e+00,7.242070e+00,7.058548e+00,6.882429e+00,6.713854e+00,6.552908e+00,6.399628e+00,6.254009e+00,6.116005e+00,5.985537e+00,5.862498e+00,5.746752e+00,5.638142e+00,5.536492e+00,5.441609e+00,5.353284e+00,5.271301e+00,5.195430e+00,5.125438e+00,5.061082e+00,5.002119e+00,4.948300e+00,4.899376e+00,4.855100e+00,4.815224e+00,4.779502e+00,4.747691e+00,4.719554e+00,4.694856e+00,4.673369e+00,4.654870e+00,4.639142e+00,4.625976e+00,4.615169e+00,4.606526e+00,4.599860e+00,4.594991e+00,4.591748e+00,4.589968e+00
0.000000e+00,1.283647e-11,2.552101e-09,2.761959e-09,7.192119e-08,7.247335e-07,7.882840e-07,4.998229e-06,1.946670e-05,2.101020e-05,6.408563e-05,1.436242e-04,1.528054e-04,3.024501e-04,4.952491e-04,5.200719e-04,8.033215e-04,1.099113e-03,1.142277e-03,1.522568e-03,1.870640e-03,1.928423e-03,2.344926e-03,2.693625e-03,2.759346e-03,3.161677e-03,3.477379e-03,3.544635e-03,3.903353e-03,4.170874e-03,4.234936e-03,4.538020e-03,4.754451e-03,4.812355e-03,5.058471e-03,5.227276e-03,5.277414e-03,5.470547e-03,5.597749e-03,5.639407e-03,5.785613e-03,5.877769e-03,5.910794e-03,6.016545e-03,6.079835e-03,6.104402e-03,6.175824e-03,6.215710e-03,6.232188e-03,6.274782e-03,6.295939e-03,6.304809e-03,6.323387e-03,6.329749e-03,6.331550e-03,6.330258e-03,6.325100e-03,6.320398e-03,6.302790e-03,6.288824e-03,6.278191e-03,6.247297e-03,6.226750e-03,6.210752e-03,6.169145e-03,6.143840e-03,6.123023e-03,6.072885e-03,6.044306e-03,6.019194e-03,5.962372e-03,5.931718e-03,5.902809e-03,5.840862e-03,5.809098e-03,5.776859e-03,5.711100e-03,5.678994e-03,5.643861e-03,5.575395e-03,5.543552e-03,5.505931e-03,5.435681e-03,5.404572e-03,5.364838e-03,5.293578e-03,5.263563e-03,5.222060e-03,5.150431e-03,5.121778e-03,5.078823e-03,5.007357e-03,4.980259e-03,4.936141e-03,4.865274e-03,4.839865e-03,4.794845e-03,4.724934e-03,4.701296e-03,4.655614e-03,4.586948e-03,4.565122e-03,4.518994e-03,4.451803e-03,4.431801e-03,4.385421e-03,4.319887e-03,4.301694e-03,4.255236e-03,4.191499e-03,4.175080e-03,4.128701e-03,4.066866e-03,4.052171e-03,4.006012e-03,3.946154e-03,3.933121e-03,3.887306e-03,3.829478e-03,3.818035e-03,3.772675e-03,3.716905e-03,3.706976e-03,3.662170e-03,3.608471e-03,3.599975e-03,3.555807e-03,3.504177e-03,3.497032e-03,3.453578e-03,3.404005e-03,3.398124e-03,3.355451e-03,3.307910e-03,3.303211e-03,3.261373e-03,3.215834e-03,3.212233e-03,3.171281e-03,3.127705e-03,3.125121e-03,3.085095e-03,3.043439e-03,3.041793e-03,3.002727e-03,2.962945e-03,2.962159e-03,2.924082e-03,2.886125e-03,2.813590e-03,2.744450e-03,2.678601e-03,2.615936e-03,2.556346e-03,2.499724e-03,2.445963e-03,2.394957e-03,2.346603e-03,2.300796e-03,2.257437e-03,2.216428e-03,2.177672e-03,2.141076e-03,2.106548e-03,2.074000e-03,2.043346e-03,2.014502e-03,1.987387e-03,1.961924e-03,1.938036e-03,1.915650e-03,1.894695e-03,1.875104e-03,1.856810e-03,1.839749e-03,1.823861e-03,1.809087e-03,1.795369e-03,1.782653e-03,1.770887e-03,1.760019e-03,1.750002e-03,1.740789e-03,1.732334e-03,1.724595e-03,1.717531e-03,1.711102e-03,1.705270e-03,1.700000e-03,1.695256e-03,1.691005e-03,1.687216e-03,1.683858e-03,1.680903e-03,1.678323e-03,1.676092e-03,1.674184e-03,1.672577e-03
0.000000e+00,2.659204e-11,6.664999e-09,7.243690e-09,2.294164e-07,2.765122e-06,3.030479e-06,2.337014e-05,1.109090e-04,1.212842e-04,4.644430e-04,1.299088e-03,1.409615e-03,3.581827e-03,7.366497e-03,7.934443e-03,1.578152e-02,2.690129e-02,2.880040e-02,4.900647e-02,7.388319e-02,7.870488e-02,1.204248e-01,1.667149e-01,1.768420e-01,2.506959e-01,3.261770e-01,3.447052e-01,4.614868e-01,5.729561e-01,6.034816e-01,7.728884e-01,9.252900e-01,9.716086e-01,1.201202e+00,1.397086e+00,1.462856e+00,1.757360e+00,1.996685e+00,2.085101e+00,2.446058e+00,2.726295e+00,2.839814e+00,3.265571e+00,3.582036e+00,3.722172e+00,4.208131e+00,4.554453e+00,4.721663e+00,5.260720e+00,5.629383e+00,5.823027e+00,6.406121e+00,6.789009e+00,7.007390e+00,7.624106e+00,8.013000e+00,8.253465e+00,8.892622e+00,9.279629e+00,9.538717e+00,1.018891e+01,1.056680e+01,1.084042e+01,1.149051e+01,1.185296e+01,1.213655e+01,1.277603e+01,1.311777e+01,1.340655e+01,1.402585e+01,1.434275e+01,1.463183e+01,1.522253e+01,1.551159e+01,1.579618e+01,1.635116e+01,1.661048e+01,1.688601e+01,1.739945e+01,1.762813e+01,1.789036e+01,1.835778e+01,1.855580e+01,1.880092e+01,1.921913e+01,1.938723e+01,1.961192e+01,1.997893e+01,2.011846e+01,2.031993e+01,2.063483e+01,2.074764e+01,2.092363e+01,2.118647e+01,2.127477e+01,2.142356e+01,2.163523e+01,2.170147e+01,2.182187e+01,2.198396e+01,2.203073e+01,2.212204e+01,2.223671e+01,2.226664e+01,2.232862e+01,2.239847e+01,2.241417e+01,2.244699e+01,2.247497e+01,2.247897e+01,2.248318e+01,2.247244e+01,2.246714e+01,2.244359e+01,2.239746e+01,2.238507e+01,2.233489e+01,2.225675e+01,2.223932e+01,2.216386e+01,2.205708e+01,2.203645e+01,2.193723e+01,2.180514e+01,2.178292e+01,2.166160e+01,2.150742e+01,2.148503e+01,2.134337e+01,2.117020e+01,2.114884e+01,2.098864e+01,2.079942e+01,2.078010e+01,2.060321e+01,2.040069e+01,2.038423e+01,2.019249e+01,1.997925e+01,1.996631e+01,1.976155e+01,1.953995e+01,1.953102e+01,1.931502e+01,1.908726e+01,1.908268e+01,1.885718e+01,1.862524e+01,1.816225e+01,1.769694e+01,1.723217e+01,1.677047e+01,1.631408e+01,1.586495e+01,1.542474e+01,1.499490e+01,1.457663e+01,1.417091e+01,1.377858e+01,1.340024e+01,1.303640e+01,1.268740e+01,1.235345e+01,1.203467e+01,1.173108e+01,1.144260e+01,1.116910e+01,1.091036e+01,1.066613e+01,1.043608e+01,1.021986e+01,1.001709e+01,9.827327e+00,9.650145e+00,9.485085e+00,9.331673e+00,9.189431e+00,9.057867e+00,8.936493e+00,8.824812e+00,8.722332e+00,8.628566e+00,8.543031e+00,8.465252e+00,8.394768e+00,8.331123e+00,8.273877e+00,8.222601e+00,8.176879e+00,8.136309e+00,8.100507e+00,8.069100e+00,8.041734e+00,8.018069e+00,7.997784e+00,7.980570e+00,7.966138e+00
0.000000e+00,3.047212e-10,3.854528e-09,4.019094e-09,2.341671e-08,7.819964e-08,8.154408e-08,1.943258e-07,3.400604e-07,3.500830e-07,5.201847e-07,6.731208e-07,6.860479e-07,8.417235e-07,9.721449e-07,9.860699e-07,1.119228e-06,1.227518e-06,1.241662e-06,1.353913e-06,1.442728e-06,1.456536e-06,1.550077e-06,1.622020e-06,1.635064e-06,1.712009e-06,1.769447e-06,1.781401e-06,1.843707e-06,1.888749e-06,1.899372e-06,1.948819e-06,1.983330e-06,1.992449e-06,2.030642e-06,2.056254e-06,2.063757e-06,2.092133e-06,2.110270e-06,2.116091e-06,2.135931e-06,2.147829e-06,2.151942e-06,2.164393e-06,2.171126e-06,2.173537e-06,2.179613e-06,2.182107e-06,2.182845e-06,2.183446e-06,2.182498e-06,2.181614e-06,2.177539e-06,2.173834e-06,2.171394e-06,2.163347e-06,2.157470e-06,2.153551e-06,2.142153e-06,2.134603e-06,2.129291e-06,2.115092e-06,2.106292e-06,2.099677e-06,2.083160e-06,2.073468e-06,2.065645e-06,2.047233e-06,2.036949e-06,2.028014e-06,2.008077e-06,1.997453e-06,1.987502e-06,1.966365e-06,1.955608e-06,1.944737e-06,1.922683e-06,1.911964e-06,1.900265e-06,1.877540e-06,1.866998e-06,1.854562e-06,1.831380e-06,1.821127e-06,1.808040e-06,1.784584e-06,1.774709e-06,1.761054e-06,1.737485e-06,1.728054e-06,1.713911e-06,1.690364e-06,1.681429e-06,1.666873e-06,1.643464e-06,1.635062e-06,1.620162e-06,1.596990e-06,1.589145e-06,1.573968e-06,1.551115e-06,1.543841e-06,1.528449e-06,1.505984e-06,1.499286e-06,1.483736e-06,1.461717e-06,1.455594e-06,1.439939e-06,1.418411e-06,1.412857e-06,1.397145e-06,1.376147e-06,1.371148e-06,1.355424e-06,1.334984e-06,1.330526e-06,1.314832e-06,1.294972e-06,1.291036e-06,1.275409e-06,1.256145e-06,1.252709e-06,1.237183e-06,1.218526e-06,1.215569e-06,1.200175e-06,1.182130e-06,1.179628e-06,1.164393e-06,1.146963e-06,1.144892e-06,1.129840e-06,1.113024e-06,1.111359e-06,1.096513e-06,1.080306e-06,1.079022e-06,1.064401e-06,1.048796e-06,1.047870e-06,1.033490e-06,1.018479e-06,1.017885e-06,1.003762e-06,9.893350e-07,9.890494e-07,9.751955e-07,9.613404e-07,9.347334e-07,9.092021e-07,8.847188e-07,8.612544e-07,8.387793e-07,8.172631e-07,7.966753e-07,7.769852e-07,7.581621e-07,7.401756e-07,7.229955e-07,7.065921e-07,6.909360e-07,6.759987e-07,6.617521e-07,6.481688e-07,6.352221e-07,6.228860e-07,6.111356e-07,5.999462e-07,5.892942e-07,5.791569e-07,5.695122e-07,5.603386e-07,5.516157e-07,5.433238e-07,5.354437e-07,5.279571e-07,5.208465e-07,5.140948e-07,5.076859e-07,5.016042e-07,4.958348e-07,4.903632e-07,4.851759e-07,4.802595e-07,4.756016e-07,4.711900e-07,4.670133e-07,4.630604e-07,4.593208e-07,4.557843e-07,4.524413e-07,4.492827e-07,4.462995e-07,4.434835e-07,4.408265e-07,4.383209e-07,4.359594e-07
0.000000e+00,9.408459e-10,1.655662e-08,1.733475e-08,1.093848e-07,3.396442e-07,3.524195e-07,7.211257e-07,1.088341e-06,1.111116e-06,1.472340e-06,1.772318e-06,1.796955e-06,2.086224e-06,2.318549e-06,2.342818e-06,2.569496e-06,2.746306e-06,2.768872e-06,2.943369e-06,3.075251e-06,3.095227e-06,3.226505e-06,3.322264e-06,3.339096e-06,3.434736e-06,3.501630e-06,3.515013e-06,3.581383e-06,3.625362e-06,3.635174e-06,3.677602e-06,3.703523e-06,3.709774e-06,3.732704e-06,3.744520e-06,3.747313e-06,3.754445e-06,3.755361e-06,3.754865e-06,3.749273e-06,3.741883e-06,3.738304e-06,3.722539e-06,3.708935e-06,3.702506e-06,3.678685e-06,3.660547e-06,3.651511e-06,3.621382e-06,3.600056e-06,3.588660e-06,3.553672e-06,3.530229e-06,3.516715e-06,3.478059e-06,3.453347e-06,3.437948e-06,3.396603e-06,3.371288e-06,3.354224e-06,3.310994e-06,3.285596e-06,3.267076e-06,3.222619e-06,3.197537e-06,3.177755e-06,3.132605e-06,3.108143e-06,3.087277e-06,3.041870e-06,3.018255e-06,2.996469e-06,2.951154e-06,2.928551e-06,2.905995e-06,2.861053e-06,2.839575e-06,2.816386e-06,2.772041e-06,2.751763e-06,2.728063e-06,2.684490e-06,2.665456e-06,2.641357e-06,2.598693e-06,2.580920e-06,2.556523e-06,2.514871e-06,2.498359e-06,2.473754e-06,2.433190e-06,2.417923e-06,2.393191e-06,2.353770e-06,2.339721e-06,2.314934e-06,2.276692e-06,2.263826e-06,2.239049e-06,2.202008e-06,2.190283e-06,2.165572e-06,2.129742e-06,2.119112e-06,2.094519e-06,2.059900e-06,2.050315e-06,2.025885e-06,1.992471e-06,1.983881e-06,1.959653e-06,1.927428e-06,1.919782e-06,1.895792e-06,1.864738e-06,1.857984e-06,1.834262e-06,1.804358e-06,1.798445e-06,1.775018e-06,1.746236e-06,1.741115e-06,1.718006e-06,1.690320e-06,1.685941e-06,1.663171e-06,1.636552e-06,1.632867e-06,1.610454e-06,1.584870e-06,1.581834e-06,1.559793e-06,1.535214e-06,1.532783e-06,1.511125e-06,1.487520e-06,1.485652e-06,1.464389e-06,1.441726e-06,1.440380e-06,1.419521e-06,1.397768e-06,1.396907e-06,1.376458e-06,1.355584e-06,1.355171e-06,1.335138e-06,1.315113e-06,1.276674e-06,1.239797e-06,1.204425e-06,1.170503e-06,1.137979e-06,1.106799e-06,1.076914e-06,1.048275e-06,1.020834e-06,9.945465e-07,9.693674e-07,9.452545e-07,9.221664e-07,9.000636e-07,8.789077e-07,8.586618e-07,8.392904e-07,8.207592e-07,8.030353e-07,7.860869e-07,7.698835e-07,7.543956e-07,7.395951e-07,7.254546e-07,7.119480e-07,6.990502e-07,6.867369e-07,6.749848e-07,6.637715e-07,6.530756e-07,6.428762e-07,6.331536e-07,6.238886e-07,6.150627e-07,6.066583e-07,5.986585e-07,5.910467e-07,5.838075e-07,5.769256e-07,5.703864e-07,5.641762e-07,5.582814e-07,5.526892e-07,5.473871e-07,5.423632e-07,5.376062e-07,5.331049e-07,5.288488e-07,5.248277e-07
0.000000e+00,6.219684e-10,1.139993e-08,1.195112e-08,8.143973e-08,2.737127e-07,2.848738e-07,6.211900e-07,9.758411e-07,9.983590e-07,1.363232e-06,1.677725e-06,1.704055e-06,2.019576e-06,2.282588e-06,2.310627e-06,2.578451e-06,2.795958e-06,2.824352e-06,3.049612e-06,3.227774e-06,3.255471e-06,3.443124e-06,3.587515e-06,3.613707e-06,3.768304e-06,3.883869e-06,3.907944e-06,4.033600e-06,4.124676e-06,4.146192e-06,4.246585e-06,4.316950e-06,4.335596e-06,4.413994e-06,4.466921e-06,4.482496e-06,4.541787e-06,4.580108e-06,4.592503e-06,4.635241e-06,4.661390e-06,4.670565e-06,4.699001e-06,4.715074e-06,4.721044e-06,4.737158e-06,4.744952e-06,4.747778e-06,4.753312e-06,4.754364e-06,4.754141e-06,4.750623e-06,4.746246e-06,4.743093e-06,4.731863e-06,4.723173e-06,4.717228e-06,4.699462e-06,4.687407e-06,4.678822e-06,4.655548e-06,4.640931e-06,4.629864e-06,4.601981e-06,4.585479e-06,4.572095e-06,4.540389e-06,4.522572e-06,4.507036e-06,4.472194e-06,4.453538e-06,4.436014e-06,4.398634e-06,4.379536e-06,4.360186e-06,4.320789e-06,4.301575e-06,4.280557e-06,4.239596e-06,4.220536e-06,4.198003e-06,4.155870e-06,4.137183e-06,4.113282e-06,4.070317e-06,4.052177e-06,4.027049e-06,3.983545e-06,3.966093e-06,3.939870e-06,3.896082e-06,3.879424e-06,3.852234e-06,3.808377e-06,3.792595e-06,3.764558e-06,3.720818e-06,3.705973e-06,3.677199e-06,3.633736e-06,3.619867e-06,3.590463e-06,3.547411e-06,3.534543e-06,3.504608e-06,3.462080e-06,3.450224e-06,3.419850e-06,3.377941e-06,3.367099e-06,3.336372e-06,3.295160e-06,3.285325e-06,3.254323e-06,3.213874e-06,3.205029e-06,3.173827e-06,3.134194e-06,3.126318e-06,3.094985e-06,3.056209e-06,3.049276e-06,3.017874e-06,2.979988e-06,2.973968e-06,2.942556e-06,2.905585e-06,2.900446e-06,2.869077e-06,2.833038e-06,2.828745e-06,2.797470e-06,2.762374e-06,2.758891e-06,2.727753e-06,2.693608e-06,2.690897e-06,2.659939e-06,2.626746e-06,2.624770e-06,2.594029e-06,2.561787e-06,2.560507e-06,2.530018e-06,2.498721e-06,2.498099e-06,2.467893e-06,2.437534e-06,2.378792e-06,2.321850e-06,2.266682e-06,2.213259e-06,2.161551e-06,2.111525e-06,2.063146e-06,2.016378e-06,1.971187e-06,1.927533e-06,1.885382e-06,1.844694e-06,1.805433e-06,1.767562e-06,1.731042e-06,1.695838e-06,1.661913e-06,1.629231e-06,1.597756e-06,1.567454e-06,1.538291e-06,1.510232e-06,1.483246e-06,1.457299e-06,1.432360e-06,1.408398e-06,1.385384e-06,1.363287e-06,1.342080e-06,1.321733e-06,1.302220e-06,1.283515e-06,1.265591e-06,1.248423e-06,1.231987e-06,1.216258e-06,1.201214e-06,1.186832e-06,1.173089e-06,1.159966e-06,1.147440e-06,1.135491e-06,1.124101e-06,1.113250e-06,1.102919e-06,1.093090e-06,1.083747e-06,1.074872e-06,1.066448e-06
0.000000e+00,4.895741e-09,1.179246e-07,1.237494e-07,8.188528e-07,2.588105e-06,2.688557e-06,5.738379e-06,9.048053e-06,9.260122e-06,1.270925e-05,1.569354e-05,1.594376e-05,1.894684e-05,2.145693e-05,2.172491e-05,2.428854e-05,2.637606e-05,2.664895e-05,2.881730e-05,3.053681e-05,3.080452e-05,3.262120e-05,3.402290e-05,3.427755e-05,3.578336e-05,3.691235e-05,3.714796e-05,3.838021e-05,3.927640e-05,3.948854e-05,4.048092e-05,4.117935e-05,4.136489e-05,4.214750e-05,4.267863e-05,4.283545e-05,4.343503e-05,4.382533e-05,4.395218e-05,4.439250e-05,4.466491e-05,4.476123e-05,4.506331e-05,4.523760e-05,4.530337e-05,4.548579e-05,4.557900e-05,4.561464e-05,4.569379e-05,4.572055e-05,4.572683e-05,4.571715e-05,4.569001e-05,4.566793e-05,4.558215e-05,4.551185e-05,4.546262e-05,4.531195e-05,4.520763e-05,4.513261e-05,4.492689e-05,4.479635e-05,4.469697e-05,4.444485e-05,4.429469e-05,4.417245e-05,4.388153e-05,4.371732e-05,4.357375e-05,4.325066e-05,4.307710e-05,4.291373e-05,4.256430e-05,4.238531e-05,4.220366e-05,4.183298e-05,4.165182e-05,4.145338e-05,4.106588e-05,4.088525e-05,4.067146e-05,4.027102e-05,4.009314e-05,3.986540e-05,3.945537e-05,3.928203e-05,3.904168e-05,3.862499e-05,3.845762e-05,3.820594e-05,3.778512e-05,3.762486e-05,3.736307e-05,3.694030e-05,3.678802e-05,3.651727e-05,3.609443e-05,3.595078e-05,3.567217e-05,3.525087e-05,3.511631e-05,3.483087e-05,3.441248e-05,3.428733e-05,3.399601e-05,3.358171e-05,3.346614e-05,3.316984e-05,3.276063e-05,3.265469e-05,3.235427e-05,3.195096e-05,3.185464e-05,3.155087e-05,3.115416e-05,3.106735e-05,3.076097e-05,3.037142e-05,3.029396e-05,2.998564e-05,2.960372e-05,2.953540e-05,2.922577e-05,2.885185e-05,2.879240e-05,2.848204e-05,2.811641e-05,2.806556e-05,2.775500e-05,2.739787e-05,2.735530e-05,2.704505e-05,2.669657e-05,2.666197e-05,2.635247e-05,2.601275e-05,2.598576e-05,2.567743e-05,2.534653e-05,2.532682e-05,2.502004e-05,2.469797e-05,2.468517e-05,2.438030e-05,2.406704e-05,2.406082e-05,2.375816e-05,2.345366e-05,2.286358e-05,2.229041e-05,2.173393e-05,2.119391e-05,2.067008e-05,2.016217e-05,1.966987e-05,1.919288e-05,1.873086e-05,1.828348e-05,1.785042e-05,1.743133e-05,1.702587e-05,1.663369e-05,1.625446e-05,1.588783e-05,1.553347e-05,1.519104e-05,1.486022e-05,1.454068e-05,1.423210e-05,1.393418e-05,1.364660e-05,1.336906e-05,1.310126e-05,1.284293e-05,1.259377e-05,1.235352e-05,1.212190e-05,1.189865e-05,1.168352e-05,1.147625e-05,1.127662e-05,1.108437e-05,1.089929e-05,1.072114e-05,1.054972e-05,1.038481e-05,1.022621e-05,1.007371e-05,9.927135e-06,9.786282e-06,9.650973e-06,9.521033e-06,9.396288e-06,9.276572e-06,9.161723e-06,9.051584e-06,8.946002e-06
0.000000e+00,2.499017e-09,4.941421e-08,5.179773e-08,3.517113e-07,1.215897e-06,1.268393e-06,3.016731e-06,5.212396e-06,5.360577e-06,7.821790e-06,9.958421e-06,1.013609e-05,1.224152e-05,1.395691e-05,1.413738e-05,1.583602e-05,1.717918e-05,1.735191e-05,1.869929e-05,1.973356e-05,1.989163e-05,2.094155e-05,2.172205e-05,2.186081e-05,2.266038e-05,2.323385e-05,2.335041e-05,2.394033e-05,2.434607e-05,2.443886e-05,2.485405e-05,2.512485e-05,2.519334e-05,2.546355e-05,2.562662e-05,2.567099e-05,2.582145e-05,2.589925e-05,2.592024e-05,2.597226e-05,2.598329e-05,2.598200e-05,2.595358e-05,2.591301e-05,2.589077e-05,2.579701e-05,2.571724e-05,2.567553e-05,2.552923e-05,2.542037e-05,2.536076e-05,2.517256e-05,2.504280e-05,2.496687e-05,2.474574e-05,2.460170e-05,2.451102e-05,2.426443e-05,2.411144e-05,2.400753e-05,2.374174e-05,2.358403e-05,2.346836e-05,2.318856e-05,2.302947e-05,2.290342e-05,2.261391e-05,2.245608e-05,2.232093e-05,2.202529e-05,2.187075e-05,2.172771e-05,2.142887e-05,2.127916e-05,2.112935e-05,2.082971e-05,2.068599e-05,2.053044e-05,2.023197e-05,2.009506e-05,1.993471e-05,1.963901e-05,1.950948e-05,1.934519e-05,1.905354e-05,1.893175e-05,1.876431e-05,1.847772e-05,1.836387e-05,1.819398e-05,1.791326e-05,1.780741e-05,1.763571e-05,1.736146e-05,1.726357e-05,1.709064e-05,1.682334e-05,1.673328e-05,1.655965e-05,1.629963e-05,1.621720e-05,1.604334e-05,1.579082e-05,1.571581e-05,1.554212e-05,1.529726e-05,1.522939e-05,1.505625e-05,1.481911e-05,1.475809e-05,1.458584e-05,1.435643e-05,1.430195e-05,1.413088e-05,1.390917e-05,1.386090e-05,1.369128e-05,1.347719e-05,1.343482e-05,1.326687e-05,1.306029e-05,1.302351e-05,1.285743e-05,1.265824e-05,1.262670e-05,1.246268e-05,1.227072e-05,1.224413e-05,1.208232e-05,1.189742e-05,1.187547e-05,1.171600e-05,1.153799e-05,1.152038e-05,1.136336e-05,1.119206e-05,1.117850e-05,1.102404e-05,1.085925e-05,1.084946e-05,1.069764e-05,1.053917e-05,1.053289e-05,1.038378e-05,1.023143e-05,1.022841e-05,1.008206e-05,9.935634e-06,9.654185e-06,9.383685e-06,9.123764e-06,8.874056e-06,8.634203e-06,8.403855e-06,8.182671e-06,7.970316e-06,7.766468e-06,7.570813e-06,7.383044e-06,7.202868e-06,7.029998e-06,6.864157e-06,6.705079e-06,6.552505e-06,6.406187e-06,6.265883e-06,6.131363e-06,6.002403e-06,5.878787e-06,5.760308e-06,5.646767e-06,5.537971e-06,5.433735e-06,5.333880e-06,5.238235e-06,5.146635e-06,5.058921e-06,4.974941e-06,4.894547e-06,4.817599e-06,4.743959e-06,4.673499e-06,4.606091e-06,4.541616e-06,4.479956e-06,4.421001e-06,4.364642e-06,4.310778e-06,4.259308e-06,4.210137e-06,4.163174e-06,4.118330e-06,4.075522e-06,4.034666e-06,3.995686e-06,3.958506e-06,3.923053e-06
0.000000e+00,1.401468e-09,1.897094e-08,1.980436e-08,1.200071e-07,3.988027e-07,4.152983e-07,9.280697e-07,1.498395e-06,1.535530e-06,2.151857e-06,2.705353e-06,2.752667e-06,3.332155e-06,3.834262e-06,3.888901e-06,4.422603e-06,4.873226e-06,4.933300e-06,5.421184e-06,5.822739e-06,5.886548e-06,6.329772e-06,6.685295e-06,6.751302e-06,7.151644e-06,7.464497e-06,7.531345e-06,7.890981e-06,8.164644e-06,8.231149e-06,8.552458e-06,8.790381e-06,8.855520e-06,9.140948e-06,9.346455e-06,9.409352e-06,9.661328e-06,9.837560e-06,9.897463e-06,1.011834e-05,1.026823e-05,1.032451e-05,1.051653e-05,1.064281e-05,1.069494e-05,1.086024e-05,1.096543e-05,1.101297e-05,1.115360e-05,1.124003e-05,1.128262e-05,1.140050e-05,1.147031e-05,1.150769e-05,1.160462e-05,1.165975e-05,1.169171e-05,1.176939e-05,1.181164e-05,1.183804e-05,1.189805e-05,1.192905e-05,1.194980e-05,1.199364e-05,1.201487e-05,1.202993e-05,1.205899e-05,1.207180e-05,1.208116e-05,1.209675e-05,1.210235e-05,1.210606e-05,1.210938e-05,1.210889e-05,1.210701e-05,1.209922e-05,1.209363e-05,1.208626e-05,1.206839e-05,1.205860e-05,1.204587e-05,1.201892e-05,1.200571e-05,1.198777e-05,1.195264e-05,1.193676e-05,1.191375e-05,1.187130e-05,1.185337e-05,1.182549e-05,1.177650e-05,1.175709e-05,1.172452e-05,1.166973e-05,1.164934e-05,1.161228e-05,1.155236e-05,1.153144e-05,1.149010e-05,1.142567e-05,1.140462e-05,1.135920e-05,1.129084e-05,1.126999e-05,1.122072e-05,1.114897e-05,1.112861e-05,1.107571e-05,1.100106e-05,1.098144e-05,1.092513e-05,1.084804e-05,1.082937e-05,1.076988e-05,1.069076e-05,1.067323e-05,1.061077e-05,1.053001e-05,1.051377e-05,1.044855e-05,1.036650e-05,1.035167e-05,1.028393e-05,1.020091e-05,1.018759e-05,1.011752e-05,1.003383e-05,1.002210e-05,9.949916e-06,9.865831e-06,9.855733e-06,9.781640e-06,9.697403e-06,9.688979e-06,9.613176e-06,9.529012e-06,9.522284e-06,9.444963e-06,9.361076e-06,9.356049e-06,9.277399e-06,9.193974e-06,9.190643e-06,9.110844e-06,9.028049e-06,9.026397e-06,8.945626e-06,8.863610e-06,8.702553e-06,8.543466e-06,8.386566e-06,8.232044e-06,8.080070e-06,7.930793e-06,7.784344e-06,7.640833e-06,7.500358e-06,7.363000e-06,7.228826e-06,7.097890e-06,6.970236e-06,6.845896e-06,6.724892e-06,6.607238e-06,6.492938e-06,6.381991e-06,6.274386e-06,6.170110e-06,6.069140e-06,5.971448e-06,5.877003e-06,5.785769e-06,5.697708e-06,5.612778e-06,5.530931e-06,5.452121e-06,5.376297e-06,5.303406e-06,5.233393e-06,5.166201e-06,5.101774e-06,5.040053e-06,4.980978e-06,4.924488e-06,4.870523e-06,4.819021e-06,4.769921e-06,4.723160e-06,4.678676e-06,4.636408e-06,4.596295e-06,4.558273e-06,4.522283e-06,4.488263e-06,4.456153e-06,4.425892e-06,4.397422e-06
0.000000e+00,1.357551e-11,3.135705e-09,3.399190e-09,9.190330e-08,9.468487e-07,1.031772e-06,7.121130e-06,3.235539e-05,3.534875e-05,1.366701e-04,3.972402e-04,4.328329e-04,1.165288e-03,2.534322e-03,2.746717e-03,5.805035e-03,1.040484e-02,1.121280e-02,2.009875e-02,3.156719e-02,3.384117e-02,5.404481e-02,7.731741e-02,8.250420e-02,1.211568e-01,1.618785e-01,1.720297e-01,2.371824e-01,3.009558e-01,3.186500e-01,4.183880e-01,5.100470e-01,5.382216e-01,6.797997e-01,8.028335e-01,8.445572e-01,1.033683e+00,1.189876e+00,1.248096e+00,1.488430e+00,1.677723e+00,1.755024e+00,2.047918e+00,2.268469e+00,2.366860e+00,2.711314e+00,2.959714e+00,3.080473e+00,3.473276e+00,3.744862e+00,3.888435e+00,4.324451e+00,4.613678e+00,4.779644e+00,5.252176e+00,5.552997e+00,5.740082e+00,6.241292e+00,6.547514e+00,6.753661e+00,7.274992e+00,7.580595e+00,7.803062e+00,8.335643e+00,8.635035e+00,8.870526e+00,9.405537e+00,9.693746e+00,9.938554e+00,1.046753e+01,1.074034e+01,1.099049e+01,1.150557e+01,1.175959e+01,1.201099e+01,1.250510e+01,1.273780e+01,1.298636e+01,1.345336e+01,1.366303e+01,1.390480e+01,1.433952e+01,1.452523e+01,1.475649e+01,1.515481e+01,1.531634e+01,1.553368e+01,1.589246e+01,1.603021e+01,1.623059e+01,1.654767e+01,1.666257e+01,1.684337e+01,1.711748e+01,1.721086e+01,1.736991e+01,1.760062e+01,1.767412e+01,1.780969e+01,1.799728e+01,1.805281e+01,1.816362e+01,1.830900e+01,1.834858e+01,1.843378e+01,1.853839e+01,1.856413e+01,1.862329e+01,1.868900e+01,1.870301e+01,1.873607e+01,1.876509e+01,1.876944e+01,1.877669e+01,1.877149e+01,1.876816e+01,1.875018e+01,1.871342e+01,1.870427e+01,1.866190e+01,1.859634e+01,1.858310e+01,1.851742e+01,1.842586e+01,1.841009e+01,1.832236e+01,1.820762e+01,1.819069e+01,1.808232e+01,1.794717e+01,1.793032e+01,1.780282e+01,1.764995e+01,1.763422e+01,1.748920e+01,1.732120e+01,1.730746e+01,1.714656e+01,1.696590e+01,1.695488e+01,1.677977e+01,1.658876e+01,1.658103e+01,1.639340e+01,1.619421e+01,1.619019e+01,1.599169e+01,1.578633e+01,1.537311e+01,1.495389e+01,1.453169e+01,1.410927e+01,1.368907e+01,1.327326e+01,1.286376e+01,1.246223e+01,1.207009e+01,1.168857e+01,1.131868e+01,1.096127e+01,1.061699e+01,1.028638e+01,9.969809e+00,9.667548e+00,9.379742e+00,9.106442e+00,8.847613e+00,8.603139e+00,8.372842e+00,8.156480e+00,7.953763e+00,7.764358e+00,7.587892e+00,7.423964e+00,7.272146e+00,7.131990e+00,7.003031e+00,6.884795e+00,6.776796e+00,6.678546e+00,6.589553e+00,6.509327e+00,6.437380e+00,6.373229e+00,6.316399e+00,6.266424e+00,6.222845e+00,6.185218e+00,6.153110e+00,6.126101e+00,6.103787e+00,6.085776e+00,6.071695e+00,6.061184e+00,6.053901e+00,6.049520e+00,6.047731e+00
0.000000e+00,9.812298e-11,1.321789e-08,1.420417e-08,2.682000e-07,2.030587e-06,2.182399e-06,1.020853e-05,2.958455e-05,3.132489e-05,6.925134e-05,1.154867e-04,1.197875e-04,1.739218e-04,2.190658e-04,2.236968e-04,2.648925e-04,2.932455e-04,2.965625e-04,3.195889e-04,3.336511e-04,3.355134e-04,3.459077e-04,3.513594e-04,3.521196e-04,3.552200e-04,3.560220e-04,3.560282e-04,3.551593e-04,3.535687e-04,3.530713e-04,3.501037e-04,3.473423e-04,3.465074e-04,3.424679e-04,3.391873e-04,3.381223e-04,3.335718e-04,3.301168e-04,3.288904e-04,3.241326e-04,3.206824e-04,3.193380e-04,3.145356e-04,3.111810e-04,3.097469e-04,3.049878e-04,3.017751e-04,3.002710e-04,2.956066e-04,2.925602e-04,2.910015e-04,2.864606e-04,2.835898e-04,2.819873e-04,2.775835e-04,2.748883e-04,2.732498e-04,2.689871e-04,2.664636e-04,2.647954e-04,2.606748e-04,2.583173e-04,2.566250e-04,2.526455e-04,2.504477e-04,2.487362e-04,2.448963e-04,2.428515e-04,2.411253e-04,2.374222e-04,2.355232e-04,2.337863e-04,2.302168e-04,2.284568e-04,2.267130e-04,2.232742e-04,2.216463e-04,2.198992e-04,2.165874e-04,2.150848e-04,2.133376e-04,2.101490e-04,2.087652e-04,2.070208e-04,2.039520e-04,2.026806e-04,2.009417e-04,1.979891e-04,1.968240e-04,1.950932e-04,1.922531e-04,1.911882e-04,1.894678e-04,1.867366e-04,1.857664e-04,1.840585e-04,1.814327e-04,1.805516e-04,1.788582e-04,1.763342e-04,1.755371e-04,1.738599e-04,1.714344e-04,1.707162e-04,1.690569e-04,1.667266e-04,1.660824e-04,1.644425e-04,1.622040e-04,1.616294e-04,1.600102e-04,1.578604e-04,1.573509e-04,1.557537e-04,1.536894e-04,1.532408e-04,1.516667e-04,1.496850e-04,1.492934e-04,1.477433e-04,1.458412e-04,1.455029e-04,1.439777e-04,1.421523e-04,1.418637e-04,1.403642e-04,1.386128e-04,1.383704e-04,1.368973e-04,1.352171e-04,1.350179e-04,1.335717e-04,1.319602e-04,1.318009e-04,1.303821e-04,1.288369e-04,1.287146e-04,1.273238e-04,1.258422e-04,1.257543e-04,1.243917e-04,1.229716e-04,1.229154e-04,1.215813e-04,1.202202e-04,1.201933e-04,1.188880e-04,1.175838e-04,1.150828e-04,1.126861e-04,1.103899e-04,1.081905e-04,1.060842e-04,1.040675e-04,1.021371e-04,1.002896e-04,9.852192e-05,9.683103e-05,9.521399e-05,9.366797e-05,9.219023e-05,9.077815e-05,8.942918e-05,8.814088e-05,8.691090e-05,8.573695e-05,8.461685e-05,8.354847e-05,8.252979e-05,8.155883e-05,8.063371e-05,7.975260e-05,7.891375e-05,7.811545e-05,7.735609e-05,7.663409e-05,7.594793e-05,7.529616e-05,7.467737e-05,7.409021e-05,7.353337e-05,7.300561e-05,7.250571e-05,7.203250e-05,7.158487e-05,7.116175e-05,7.076208e-05,7.038487e-05,7.002916e-05,6.969403e-05,6.937857e-05,6.908194e-05,6.880330e-05,6.854187e-05,6.829689e-05,6.806760e-05,6.785332e-05
0.000000e+00,4.646942e-12,1.110179e-09,1.204680e-09,3.464912e-08,3.808584e-07,4.160588e-07,3.028740e-06,1.420974e-05,1.554745e-05,6.111557e-05,1.784808e-04,1.944877e-04,5.225624e-04,1.131225e-03,1.225295e-03,2.573276e-03,4.586961e-03,4.939592e-03,8.804936e-03,1.377264e-02,1.475591e-02,2.347713e-02,3.350463e-02,3.573808e-02,5.237606e-02,6.990521e-02,7.427620e-02,1.023500e-01,1.298697e-01,1.375130e-01,1.806635e-01,2.204209e-01,2.326616e-01,2.943104e-01,3.480698e-01,3.663393e-01,4.493899e-01,5.182659e-01,5.440042e-01,6.506158e-01,7.349885e-01,7.695435e-01,9.009876e-01,1.000494e+00,1.045029e+00,1.201629e+00,1.315216e+00,1.370633e+00,1.551776e+00,1.677804e+00,1.744686e+00,1.948893e+00,2.085260e+00,2.163838e+00,2.388878e+00,2.533163e+00,2.623301e+00,2.866330e+00,3.015937e+00,3.117139e+00,3.374857e+00,3.527144e+00,3.638581e+00,3.907383e+00,4.059780e+00,4.180322e+00,4.456448e+00,4.606549e+00,4.734817e+00,5.014488e+00,5.160125e+00,5.294540e+00,5.574072e+00,5.713368e+00,5.852208e+00,6.128106e+00,6.259504e+00,6.400959e+00,6.669999e+00,6.792275e+00,6.934499e+00,7.193777e+00,7.306039e+00,7.447196e+00,7.694169e+00,7.795843e+00,7.934154e+00,8.166658e+00,8.257464e+00,8.391238e+00,8.607498e+00,8.687420e+00,8.815087e+00,9.013705e+00,9.082961e+00,9.203094e+00,9.383041e+00,9.442040e+00,9.553373e+00,9.713960e+00,9.763273e+00,9.864709e+00,1.000556e+01,1.004589e+01,1.013650e+01,1.025754e+01,1.028966e+01,1.036872e+01,1.047010e+01,1.049487e+01,1.056179e+01,1.064390e+01,1.066220e+01,1.071658e+01,1.078000e+01,1.079272e+01,1.083433e+01,1.087976e+01,1.088780e+01,1.091653e+01,1.094484e+01,1.094906e+01,1.096494e+01,1.097707e+01,1.097829e+01,1.098149e+01,1.097846e+01,1.097746e+01,1.096824e+01,1.095112e+01,1.094861e+01,1.092735e+01,1.089722e+01,1.089387e+01,1.086101e+01,1.081899e+01,1.081539e+01,1.077144e+01,1.071863e+01,1.071531e+01,1.066084e+01,1.059834e+01,1.059574e+01,1.053139e+01,1.046025e+01,1.045878e+01,1.038518e+01,1.030644e+01,1.014064e+01,9.963236e+00,9.775985e+00,9.580540e+00,9.378456e+00,9.171180e+00,8.960058e+00,8.746330e+00,8.531136e+00,8.315515e+00,8.100415e+00,7.886688e+00,7.675105e+00,7.466353e+00,7.261039e+00,7.059701e+00,6.862808e+00,6.670763e+00,6.483915e+00,6.302554e+00,6.126921e+00,5.957214e+00,5.793584e+00,5.636145e+00,5.484975e+00,5.340122e+00,5.201602e+00,5.069405e+00,4.943499e+00,4.823828e+00,4.710318e+00,4.602878e+00,4.501402e+00,4.405770e+00,4.315850e+00,4.231500e+00,4.152570e+00,4.078901e+00,4.010328e+00,3.946683e+00,3.887792e+00,3.833475e+00,3.783556e+00,3.737850e+00,3.696176e+00,3.658351e+00,3.624193e+00,3.593520e+00,3.566153e+00
0.000000e+00,4.056920e-10,6.100614e-09,6.375022e-09,3.879082e-08,1.253267e-07,1.303778e-07,2.868054e-07,4.571234e-07,4.679133e-07,6.397354e-07,7.813911e-07,7.929303e-07,9.270357e-07,1.032616e-06,1.043522e-06,1.144153e-06,1.220930e-06,1.230608e-06,1.304423e-06,1.358852e-06,1.366980e-06,1.419523e-06,1.456741e-06,1.463169e-06,1.498923e-06,1.522986e-06,1.527685e-06,1.550264e-06,1.564363e-06,1.567383e-06,1.579688e-06,1.586319e-06,1.587758e-06,1.592107e-06,1.593208e-06,1.593194e-06,1.591426e-06,1.588494e-06,1.587165e-06,1.580734e-06,1.574921e-06,1.572417e-06,1.562470e-06,1.554657e-06,1.551115e-06,1.538552e-06,1.529409e-06,1.524956e-06,1.510485e-06,1.500521e-06,1.495275e-06,1.479448e-06,1.469046e-06,1.463113e-06,1.446363e-06,1.435807e-06,1.429283e-06,1.411947e-06,1.401449e-06,1.394419e-06,1.376758e-06,1.366473e-06,1.359012e-06,1.341227e-06,1.331265e-06,1.323441e-06,1.305688e-06,1.296125e-06,1.287997e-06,1.270394e-06,1.261283e-06,1.252902e-06,1.235539e-06,1.226912e-06,1.218323e-06,1.201268e-06,1.193142e-06,1.184385e-06,1.167687e-06,1.160069e-06,1.151180e-06,1.134874e-06,1.127764e-06,1.118773e-06,1.102884e-06,1.096274e-06,1.087209e-06,1.071752e-06,1.065631e-06,1.056516e-06,1.041501e-06,1.035854e-06,1.026710e-06,1.012142e-06,1.006953e-06,9.977984e-07,9.836779e-07,9.789277e-07,9.697801e-07,9.561041e-07,9.517744e-07,9.426486e-07,9.294120e-07,9.254835e-07,9.163928e-07,9.035889e-07,9.000421e-07,8.909984e-07,8.786191e-07,8.754348e-07,8.664487e-07,8.544848e-07,8.516439e-07,8.427251e-07,8.311669e-07,8.286510e-07,8.198079e-07,8.086452e-07,8.064361e-07,7.976764e-07,7.868988e-07,7.849789e-07,7.763096e-07,7.659062e-07,7.642587e-07,7.556859e-07,7.456459e-07,7.442546e-07,7.357837e-07,7.260966e-07,7.249458e-07,7.165818e-07,7.072367e-07,7.063115e-07,6.980587e-07,6.890452e-07,6.883312e-07,6.801936e-07,6.715013e-07,6.709847e-07,6.629657e-07,6.545843e-07,6.542523e-07,6.463548e-07,6.382745e-07,6.381144e-07,6.303410e-07,6.225520e-07,6.075467e-07,5.930803e-07,5.791352e-07,5.656943e-07,5.527409e-07,5.402590e-07,5.282327e-07,5.166468e-07,5.054867e-07,4.947379e-07,4.843866e-07,4.744193e-07,4.648231e-07,4.555852e-07,4.466936e-07,4.381363e-07,4.299020e-07,4.219795e-07,4.143582e-07,4.070277e-07,3.999779e-07,3.931991e-07,3.866820e-07,3.804175e-07,3.743968e-07,3.686115e-07,3.630532e-07,3.577141e-07,3.525865e-07,3.476629e-07,3.429363e-07,3.383996e-07,3.340461e-07,3.298694e-07,3.258632e-07,3.220214e-07,3.183382e-07,3.148079e-07,3.114251e-07,3.081843e-07,3.050806e-07,3.021090e-07,2.992647e-07,2.965430e-07,2.939396e-07,2.914501e-07,2.890703e-07,2.867962e-07,2.846239e-07
0.000000e+00,1.086253e-08,1.835624e-07,1.920151e-07,1.284241e-06,4.723458e-06,4.940579e-06,1.230524e-05,2.131361e-05,2.190742e-05,3.164614e-05,4.006010e-05,4.076175e-05,4.911815e-05,5.599502e-05,5.672262e-05,6.361293e-05,6.912022e-05,6.983256e-05,7.542260e-05,7.975736e-05,8.042351e-05,8.487481e-05,8.821695e-05,8.881441e-05,9.227853e-05,9.478854e-05,9.530163e-05,9.791638e-05,9.973496e-05,1.001536e-04,1.020424e-04,1.032913e-04,1.036100e-04,1.048820e-04,1.056658e-04,1.058823e-04,1.066332e-04,1.070407e-04,1.071557e-04,1.074691e-04,1.075756e-04,1.075916e-04,1.075400e-04,1.074087e-04,1.073299e-04,1.069759e-04,1.066600e-04,1.064916e-04,1.058893e-04,1.054329e-04,1.051808e-04,1.043768e-04,1.038168e-04,1.034874e-04,1.025217e-04,1.018884e-04,1.014883e-04,1.003950e-04,9.971342e-05,9.924925e-05,9.805772e-05,9.734812e-05,9.682661e-05,9.556166e-05,9.484049e-05,9.426815e-05,9.295091e-05,9.223132e-05,9.161440e-05,9.026273e-05,8.955512e-05,8.889964e-05,8.752857e-05,8.684103e-05,8.615266e-05,8.477478e-05,8.411347e-05,8.339754e-05,8.202334e-05,8.139283e-05,8.065434e-05,7.929249e-05,7.869601e-05,7.793958e-05,7.659721e-05,7.603690e-05,7.526681e-05,7.394969e-05,7.342682e-05,7.264699e-05,7.135974e-05,7.087483e-05,7.008885e-05,6.883512e-05,6.838812e-05,6.759925e-05,6.638185e-05,6.597223e-05,6.518343e-05,6.400445e-05,6.363134e-05,6.284526e-05,6.170619e-05,6.136842e-05,6.058746e-05,5.948928e-05,5.918548e-05,5.841177e-05,5.735502e-05,5.708367e-05,5.631908e-05,5.530396e-05,5.506343e-05,5.430963e-05,5.333603e-05,5.312461e-05,5.238307e-05,5.145063e-05,5.126659e-05,5.053857e-05,4.964673e-05,4.948834e-05,4.877493e-05,4.792297e-05,4.778848e-05,4.709063e-05,4.627768e-05,4.616540e-05,4.548389e-05,4.470900e-05,4.461727e-05,4.395275e-05,4.321486e-05,4.314208e-05,4.249508e-05,4.179311e-05,4.173771e-05,4.110867e-05,4.044146e-05,4.040197e-05,3.979120e-05,3.915758e-05,3.913258e-05,3.854032e-05,3.793911e-05,3.792725e-05,3.735365e-05,3.678365e-05,3.569948e-05,3.467243e-05,3.370022e-05,3.278062e-05,3.191143e-05,3.109051e-05,3.031577e-05,2.958519e-05,2.889679e-05,2.824866e-05,2.763896e-05,2.706592e-05,2.652781e-05,2.602299e-05,2.554986e-05,2.510691e-05,2.469266e-05,2.430570e-05,2.394470e-05,2.360835e-05,2.329543e-05,2.300473e-05,2.273514e-05,2.248556e-05,2.225496e-05,2.204235e-05,2.184677e-05,2.166733e-05,2.150315e-05,2.135342e-05,2.121734e-05,2.109416e-05,2.098317e-05,2.088367e-05,2.079501e-05,2.071657e-05,2.064776e-05,2.058801e-05,2.053677e-05,2.049353e-05,2.045780e-05,2.042911e-05,2.040702e-05,2.039110e-05,2.038095e-05,2.037618e-05,2.037642e-05,2.038134e-05,2.039059e-05
0.000000e+00,2.494467e-12,5.953787e-10,6.467548e-10,1.937851e-08,2.035971e-07,2.215184e-07,1.390557e-06,5.330336e-06,5.748974e-06,1.748199e-05,3.958827e-05,4.217704e-05,8.531407e-05,1.431013e-04,1.506972e-04,2.395382e-04,3.360045e-04,3.503586e-04,4.795014e-04,6.014004e-04,6.219340e-04,7.720736e-04,9.001436e-04,9.244693e-04,1.074276e-03,1.192368e-03,1.217521e-03,1.351197e-03,1.449834e-03,1.473243e-03,1.582429e-03,1.658307e-03,1.678227e-03,1.760656e-03,1.814610e-03,1.830140e-03,1.887388e-03,1.922390e-03,1.933285e-03,1.968812e-03,1.988541e-03,1.994985e-03,2.012811e-03,2.020843e-03,2.023258e-03,2.027234e-03,2.026672e-03,2.025577e-03,2.019050e-03,2.012412e-03,2.008341e-03,1.994063e-03,1.983306e-03,1.976761e-03,1.956915e-03,1.943521e-03,1.934949e-03,1.911229e-03,1.896293e-03,1.886080e-03,1.859780e-03,1.844097e-03,1.832573e-03,1.804669e-03,1.788807e-03,1.776250e-03,1.747471e-03,1.731830e-03,1.718468e-03,1.689357e-03,1.674209e-03,1.660236e-03,1.631190e-03,1.616719e-03,1.602293e-03,1.573603e-03,1.559922e-03,1.545175e-03,1.517050e-03,1.504225e-03,1.489265e-03,1.461851e-03,1.449913e-03,1.434832e-03,1.408229e-03,1.397184e-03,1.382058e-03,1.356332e-03,1.346168e-03,1.331059e-03,1.306249e-03,1.296943e-03,1.281905e-03,1.258030e-03,1.249550e-03,1.234626e-03,1.211693e-03,1.204002e-03,1.189229e-03,1.167232e-03,1.160291e-03,1.145699e-03,1.124625e-03,1.118392e-03,1.104007e-03,1.083838e-03,1.078270e-03,1.064113e-03,1.044826e-03,1.039883e-03,1.025971e-03,1.007541e-03,1.003180e-03,9.895294e-04,9.719290e-04,9.681114e-04,9.547327e-04,9.379336e-04,9.346207e-04,9.215242e-04,9.054973e-04,9.026525e-04,8.898457e-04,8.745622e-04,8.721505e-04,8.596394e-04,8.450703e-04,8.430584e-04,8.308476e-04,8.169643e-04,8.153208e-04,8.034135e-04,7.901882e-04,7.888833e-04,7.772816e-04,7.646869e-04,7.636926e-04,7.523974e-04,7.404067e-04,7.396966e-04,7.287083e-04,7.172958e-04,7.168452e-04,7.061631e-04,6.953039e-04,6.950895e-04,6.847123e-04,6.743823e-04,6.546783e-04,6.359335e-04,6.181057e-04,6.011546e-04,5.850410e-04,5.697276e-04,5.551785e-04,5.413594e-04,5.282372e-04,5.157805e-04,5.039588e-04,4.927434e-04,4.821064e-04,4.720214e-04,4.624630e-04,4.534069e-04,4.448298e-04,4.367097e-04,4.290252e-04,4.217561e-04,4.148831e-04,4.083874e-04,4.022515e-04,3.964584e-04,3.909919e-04,3.858366e-04,3.809777e-04,3.764011e-04,3.720934e-04,3.680415e-04,3.642333e-04,3.606570e-04,3.573013e-04,3.541556e-04,3.512096e-04,3.484536e-04,3.458781e-04,3.434744e-04,3.412337e-04,3.391482e-04,3.372099e-04,3.354114e-04,3.337457e-04,3.322061e-04,3.307860e-04,3.294794e-04,3.282802e-04,3.271830e-04,3.261824e-04
0.000000e+00,1.245812e-08,1.710362e-07,1.784033e-07,1.079599e-06,3.831302e-06,4.005210e-06,1.002595e-05,1.777912e-05,1.830302e-05,2.704613e-05,3.476705e-05,3.541658e-05,4.321634e-05,4.972726e-05,5.042135e-05,5.704795e-05,6.242135e-05,6.312197e-05,6.867127e-05,7.304535e-05,7.372384e-05,7.830730e-05,8.181466e-05,8.244866e-05,8.617418e-05,8.893664e-05,8.950925e-05,9.247829e-05,9.460575e-05,9.510471e-05,9.741084e-05,9.900099e-05,9.941795e-05,1.011462e-04,1.022850e-04,1.026147e-04,1.038416e-04,1.046041e-04,1.048440e-04,1.056381e-04,1.060895e-04,1.062392e-04,1.066615e-04,1.068581e-04,1.069187e-04,1.070232e-04,1.070133e-04,1.069872e-04,1.068218e-04,1.066469e-04,1.065376e-04,1.061443e-04,1.058397e-04,1.056513e-04,1.050673e-04,1.046631e-04,1.044004e-04,1.036582e-04,1.031798e-04,1.028479e-04,1.019761e-04,1.014448e-04,1.010491e-04,1.000726e-04,9.950630e-05,9.905225e-05,9.799296e-05,9.740646e-05,9.689953e-05,9.577637e-05,9.518195e-05,9.462758e-05,9.345699e-05,9.286465e-05,9.226816e-05,9.106438e-05,9.048217e-05,8.984873e-05,8.862403e-05,8.805836e-05,8.739291e-05,8.615782e-05,8.561370e-05,8.492099e-05,8.368451e-05,8.316575e-05,8.245026e-05,8.122002e-05,8.072941e-05,7.999539e-05,7.877784e-05,7.831732e-05,7.756873e-05,7.636928e-05,7.594006e-05,7.518061e-05,7.400375e-05,7.360647e-05,7.283960e-05,7.168900e-05,7.132379e-05,7.055269e-05,6.943133e-05,6.909793e-05,6.832551e-05,6.723575e-05,6.693356e-05,6.616251e-05,6.510619e-05,6.483436e-05,6.406712e-05,6.304559e-05,6.280306e-05,6.204184e-05,6.105607e-05,6.084163e-05,6.008844e-05,5.913905e-05,5.895137e-05,5.820798e-05,5.729529e-05,5.713296e-05,5.640099e-05,5.552506e-05,5.538661e-05,5.466747e-05,5.382816e-05,5.371211e-05,5.300703e-05,5.220400e-05,5.210885e-05,5.141893e-05,5.065169e-05,5.057594e-05,4.990213e-05,4.917007e-05,4.911225e-05,4.845533e-05,4.775773e-05,4.771642e-05,4.707707e-05,4.641312e-05,4.638691e-05,4.576568e-05,4.513451e-05,4.512205e-05,4.451939e-05,4.392008e-05,4.277913e-05,4.169727e-05,4.067256e-05,3.970299e-05,3.878657e-05,3.792130e-05,3.710520e-05,3.633629e-05,3.561263e-05,3.493233e-05,3.429350e-05,3.369432e-05,3.313301e-05,3.260785e-05,3.211713e-05,3.165924e-05,3.123258e-05,3.083564e-05,3.046694e-05,3.012506e-05,2.980862e-05,2.951631e-05,2.924686e-05,2.899905e-05,2.877171e-05,2.856372e-05,2.837401e-05,2.820154e-05,2.804534e-05,2.790445e-05,2.777798e-05,2.766507e-05,2.756489e-05,2.747666e-05,2.739963e-05,2.733309e-05,2.727636e-05,2.722879e-05,2.718977e-05,2.715870e-05,2.713503e-05,2.711824e-05,2.710782e-05,2.710329e-05,2.710421e-05,2.711013e-05,2.712067e-05,2.713543e-05,2.715404e-05
0.000000e+00,1.899229e-09,1.111672e-07,1.182302e-07,1.466139e-06,7.561829e-06,7.993291e-06,2.424501e-05,4.647129e-05,4.798839e-05,7.338558e-05,9.584490e-05,9.773461e-05,1.204386e-04,1.394242e-04,1.414508e-04,1.608369e-04,1.766200e-04,1.786831e-04,1.950769e-04,2.080786e-04,2.101030e-04,2.238427e-04,2.344471e-04,2.363741e-04,2.477720e-04,2.563229e-04,2.581081e-04,2.674510e-04,2.742539e-04,2.758656e-04,2.834137e-04,2.887373e-04,2.901536e-04,2.961405e-04,3.002189e-04,3.014261e-04,3.060591e-04,3.090945e-04,3.100853e-04,3.135476e-04,3.157138e-04,3.164860e-04,3.189384e-04,3.203847e-04,3.209398e-04,3.225234e-04,3.233773e-04,3.237198e-04,3.245580e-04,3.249280e-04,3.250648e-04,3.252655e-04,3.252441e-04,3.251835e-04,3.248408e-04,3.245065e-04,3.242580e-04,3.234542e-04,3.228732e-04,3.224472e-04,3.212536e-04,3.204821e-04,3.198892e-04,3.183683e-04,3.174533e-04,3.167044e-04,3.149103e-04,3.138915e-04,3.129976e-04,3.109773e-04,3.098876e-04,3.088595e-04,3.066538e-04,3.055208e-04,3.043690e-04,3.020134e-04,3.008597e-04,2.995945e-04,2.971195e-04,2.959640e-04,2.945951e-04,2.920273e-04,2.908853e-04,2.894220e-04,2.867843e-04,2.856681e-04,2.841193e-04,2.814315e-04,2.803510e-04,2.787252e-04,2.760042e-04,2.749671e-04,2.732722e-04,2.705326e-04,2.695451e-04,2.677885e-04,2.650428e-04,2.641094e-04,2.622981e-04,2.595570e-04,2.586809e-04,2.568216e-04,2.540940e-04,2.532776e-04,2.513762e-04,2.486700e-04,2.479145e-04,2.459769e-04,2.432984e-04,2.426046e-04,2.406360e-04,2.379908e-04,2.373586e-04,2.353639e-04,2.327565e-04,2.321856e-04,2.301694e-04,2.276035e-04,2.270929e-04,2.250596e-04,2.225382e-04,2.220869e-04,2.200402e-04,2.175659e-04,2.171723e-04,2.151160e-04,2.126908e-04,2.123532e-04,2.102906e-04,2.079159e-04,2.076327e-04,2.055670e-04,2.032440e-04,2.030131e-04,2.009471e-04,1.986766e-04,1.984961e-04,1.964325e-04,1.942149e-04,1.940827e-04,1.920240e-04,1.898597e-04,1.897737e-04,1.877221e-04,1.856112e-04,1.855693e-04,1.835269e-04,1.814692e-04,1.774731e-04,1.735803e-04,1.697899e-04,1.661007e-04,1.625115e-04,1.590209e-04,1.556274e-04,1.523295e-04,1.491256e-04,1.460138e-04,1.429925e-04,1.400599e-04,1.372143e-04,1.344538e-04,1.317766e-04,1.291809e-04,1.266650e-04,1.242270e-04,1.218652e-04,1.195778e-04,1.173631e-04,1.152194e-04,1.131450e-04,1.111382e-04,1.091974e-04,1.073209e-04,1.055073e-04,1.037549e-04,1.020622e-04,1.004278e-04,9.885012e-05,9.732776e-05,9.585930e-05,9.444338e-05,9.307863e-05,9.176374e-05,9.049741e-05,8.927836e-05,8.810536e-05,8.697718e-05,8.589264e-05,8.485056e-05,8.384980e-05,8.288925e-05,8.196780e-05,8.108438e-05,8.023795e-05,7.942748e-05,7.865196e-05
0.000000e+00,4.179675e-10,4.748828e-09,4.938870e-09,2.538301e-08,7.666655e-08,7.965892e-08,1.766924e-07,2.982901e-07,3.066434e-07,4.490584e-07,5.778727e-07,5.887741e-07,7.200653e-07,8.299773e-07,8.417055e-07,9.537850e-07,1.044843e-06,1.056730e-06,1.151049e-06,1.225660e-06,1.237261e-06,1.315871e-06,1.376387e-06,1.387368e-06,1.452217e-06,1.500743e-06,1.510859e-06,1.563713e-06,1.602094e-06,1.611173e-06,1.653606e-06,1.683438e-06,1.691360e-06,1.724759e-06,1.747419e-06,1.754110e-06,1.779698e-06,1.796369e-06,1.801792e-06,1.820643e-06,1.832339e-06,1.836485e-06,1.849538e-06,1.857126e-06,1.860008e-06,1.868085e-06,1.872304e-06,1.873950e-06,1.877770e-06,1.879248e-06,1.879702e-06,1.879890e-06,1.879159e-06,1.878472e-06,1.875575e-06,1.873088e-06,1.871317e-06,1.865809e-06,1.861948e-06,1.859155e-06,1.851450e-06,1.846536e-06,1.842785e-06,1.833243e-06,1.827546e-06,1.822902e-06,1.811835e-06,1.805581e-06,1.800109e-06,1.787788e-06,1.781165e-06,1.774929e-06,1.761588e-06,1.754752e-06,1.747815e-06,1.733657e-06,1.726738e-06,1.719159e-06,1.704360e-06,1.697463e-06,1.689300e-06,1.674012e-06,1.667222e-06,1.658530e-06,1.642883e-06,1.636270e-06,1.627101e-06,1.611208e-06,1.604826e-06,1.595229e-06,1.579187e-06,1.573078e-06,1.563101e-06,1.546991e-06,1.541189e-06,1.530875e-06,1.514768e-06,1.509296e-06,1.498686e-06,1.482642e-06,1.477518e-06,1.466649e-06,1.450719e-06,1.445953e-06,1.434862e-06,1.419088e-06,1.414687e-06,1.403406e-06,1.387825e-06,1.383791e-06,1.372351e-06,1.356992e-06,1.353323e-06,1.341753e-06,1.326640e-06,1.323333e-06,1.311659e-06,1.296813e-06,1.293861e-06,1.282107e-06,1.267544e-06,1.264938e-06,1.253128e-06,1.238861e-06,1.236592e-06,1.224746e-06,1.210785e-06,1.208842e-06,1.196979e-06,1.183331e-06,1.181703e-06,1.169841e-06,1.156510e-06,1.155186e-06,1.143341e-06,1.130332e-06,1.129298e-06,1.117484e-06,1.104799e-06,1.104043e-06,1.092275e-06,1.079912e-06,1.079421e-06,1.067711e-06,1.055671e-06,1.055432e-06,1.043792e-06,1.032073e-06,1.009338e-06,9.872215e-07,9.657161e-07,9.448131e-07,9.245033e-07,9.047767e-07,8.856228e-07,8.670307e-07,8.489892e-07,8.314869e-07,8.145120e-07,7.980528e-07,7.820976e-07,7.666344e-07,7.516516e-07,7.371372e-07,7.230798e-07,7.094678e-07,6.962898e-07,6.835347e-07,6.711914e-07,6.592491e-07,6.476970e-07,6.365247e-07,6.257220e-07,6.152788e-07,6.051852e-07,5.954317e-07,5.860087e-07,5.769072e-07,5.681180e-07,5.596325e-07,5.514419e-07,5.435381e-07,5.359127e-07,5.285579e-07,5.214659e-07,5.146290e-07,5.080400e-07,5.016916e-07,4.955768e-07,4.896887e-07,4.840208e-07,4.785666e-07,4.733197e-07,4.682740e-07,4.634235e-07,4.587623e-07,4.542848e-07
0.000000e+00,9.106081e-11,1.154369e-08,1.238007e-08,2.116209e-07,1.547405e-06,1.663549e-06,8.114895e-06,2.540330e-05,2.704532e-05,6.564422e-05,1.190323e-04,1.243391e-04,1.964914e-04,2.656829e-04,2.733640e-04,3.481085e-04,4.089450e-04,4.167981e-04,4.777983e-04,5.238680e-04,5.308207e-04,5.762304e-04,6.089394e-04,6.146435e-04,6.467443e-04,6.688250e-04,6.731986e-04,6.946278e-04,7.085372e-04,7.116008e-04,7.246317e-04,7.323600e-04,7.341855e-04,7.406805e-04,7.438039e-04,7.444928e-04,7.459597e-04,7.457141e-04,7.453832e-04,7.430330e-04,7.403788e-04,7.391498e-04,7.339478e-04,7.296247e-04,7.276176e-04,7.203281e-04,7.149006e-04,7.122293e-04,7.034535e-04,6.973483e-04,6.941181e-04,6.843264e-04,6.778627e-04,6.741694e-04,6.637272e-04,6.571411e-04,6.530703e-04,6.422601e-04,6.357231e-04,6.313505e-04,6.203887e-04,6.140232e-04,6.094154e-04,5.984661e-04,5.923566e-04,5.875715e-04,5.767580e-04,5.709606e-04,5.660482e-04,5.554614e-04,5.500103e-04,5.450138e-04,5.347192e-04,5.296329e-04,5.245889e-04,5.146324e-04,5.099173e-04,5.048572e-04,4.952693e-04,4.909231e-04,4.858733e-04,4.766727e-04,4.726869e-04,4.676697e-04,4.588659e-04,4.552279e-04,4.502618e-04,4.418574e-04,4.385514e-04,4.336519e-04,4.256442e-04,4.226528e-04,4.178326e-04,4.102150e-04,4.075198e-04,4.027892e-04,3.955524e-04,3.931344e-04,3.885017e-04,3.816341e-04,3.794747e-04,3.749465e-04,3.684353e-04,3.665159e-04,3.620973e-04,3.559288e-04,3.542315e-04,3.499263e-04,3.440863e-04,3.425941e-04,3.384051e-04,3.328790e-04,3.315754e-04,3.275044e-04,3.222778e-04,3.211475e-04,3.171956e-04,3.122541e-04,3.112824e-04,3.074500e-04,3.027796e-04,3.019529e-04,2.982397e-04,2.938268e-04,2.931323e-04,2.895376e-04,2.853690e-04,2.847948e-04,2.813177e-04,2.773806e-04,2.769157e-04,2.735547e-04,2.698369e-04,2.694710e-04,2.662244e-04,2.627143e-04,2.624378e-04,2.593037e-04,2.559901e-04,2.557943e-04,2.527706e-04,2.496427e-04,2.495195e-04,2.466040e-04,2.436518e-04,2.435936e-04,2.407839e-04,2.379978e-04,2.327140e-04,2.277252e-04,2.230153e-04,2.185690e-04,2.143716e-04,2.104097e-04,2.066700e-04,2.031404e-04,1.998093e-04,1.966655e-04,1.936989e-04,1.908995e-04,1.882581e-04,1.857659e-04,1.834146e-04,1.811964e-04,1.791040e-04,1.771303e-04,1.752688e-04,1.735133e-04,1.718578e-04,1.702968e-04,1.688250e-04,1.674376e-04,1.661298e-04,1.648972e-04,1.637357e-04,1.626413e-04,1.616103e-04,1.606391e-04,1.597245e-04,1.588633e-04,1.580525e-04,1.572895e-04,1.565714e-04,1.558959e-04,1.552605e-04,1.546631e-04,1.541015e-04,1.535737e-04,1.530780e-04,1.526124e-04,1.521754e-04,1.517653e-04,1.513807e-04,1.510201e-04,1.506822e-04,1.503657e-04,1.500695e-04
0.000000e+00,3.603886e-12,7.539721e-10,8.167709e-10,2.233204e-08,2.364117e-07,2.576876e-07,1.724670e-06,7.076667e-06,7.663487e-06,2.473043e-05,5.836929e-05,6.237863e-05,1.304507e-04,2.240507e-04,2.365015e-04,3.841088e-04,5.478640e-04,5.725063e-04,7.972333e-04,1.014266e-03,1.051300e-03,1.326437e-03,1.567621e-03,1.614167e-03,1.906579e-03,2.144988e-03,2.196796e-03,2.479192e-03,2.696520e-03,2.749426e-03,3.004349e-03,3.191172e-03,3.241853e-03,3.460697e-03,3.614175e-03,3.660324e-03,3.840705e-03,3.961996e-03,4.002199e-03,4.145440e-03,4.237725e-03,4.271245e-03,4.380548e-03,4.447772e-03,4.474342e-03,4.553645e-03,4.599812e-03,4.619471e-03,4.672812e-03,4.701642e-03,4.714621e-03,4.745812e-03,4.760603e-03,4.767249e-03,4.779746e-03,4.783343e-03,4.784070e-03,4.780934e-03,4.775752e-03,4.771007e-03,4.754910e-03,4.742975e-03,4.733220e-03,4.706474e-03,4.689475e-03,4.675170e-03,4.639769e-03,4.619101e-03,4.600698e-03,4.558353e-03,4.535161e-03,4.513098e-03,4.465272e-03,4.440493e-03,4.415186e-03,4.363129e-03,4.337520e-03,4.309365e-03,4.254141e-03,4.228309e-03,4.197680e-03,4.140189e-03,4.114618e-03,4.081861e-03,4.022870e-03,3.997934e-03,3.963375e-03,3.903525e-03,3.879516e-03,3.843454e-03,3.783286e-03,3.760420e-03,3.723132e-03,3.663094e-03,3.641528e-03,3.603267e-03,3.543733e-03,3.523573e-03,3.484572e-03,3.425850e-03,3.407162e-03,3.367631e-03,3.309971e-03,3.292790e-03,3.252920e-03,3.196523e-03,3.180855e-03,3.140820e-03,3.085845e-03,3.071675e-03,3.031629e-03,2.978199e-03,2.965496e-03,2.925579e-03,2.873787e-03,2.862506e-03,2.822841e-03,2.772755e-03,2.762842e-03,2.723539e-03,2.675203e-03,2.666596e-03,2.627753e-03,2.581193e-03,2.573826e-03,2.535527e-03,2.490755e-03,2.484558e-03,2.446876e-03,2.403889e-03,2.398790e-03,2.361790e-03,2.320575e-03,2.316502e-03,2.280238e-03,2.240773e-03,2.237653e-03,2.202172e-03,2.164428e-03,2.162190e-03,2.127531e-03,2.091472e-03,2.090047e-03,2.056240e-03,2.021826e-03,2.021146e-03,1.988219e-03,1.955407e-03,1.892739e-03,1.833049e-03,1.776242e-03,1.722219e-03,1.670882e-03,1.622130e-03,1.575867e-03,1.531992e-03,1.490411e-03,1.451029e-03,1.413752e-03,1.378491e-03,1.345157e-03,1.313665e-03,1.283932e-03,1.255877e-03,1.229423e-03,1.204497e-03,1.181024e-03,1.158938e-03,1.138170e-03,1.118657e-03,1.100338e-03,1.083154e-03,1.067049e-03,1.051969e-03,1.037862e-03,1.024680e-03,1.012374e-03,1.000900e-03,9.902146e-04,9.802770e-04,9.710480e-04,9.624900e-04,9.545674e-04,9.472460e-04,9.404936e-04,9.342790e-04,9.285728e-04,9.233470e-04,9.185747e-04,9.142304e-04,9.102899e-04,9.067301e-04,9.035289e-04,9.006654e-04,8.981197e-04,8.958728e-04,8.939066e-04
0.000000e+00,2.126876e-12,4.454393e-10,4.823155e-10,1.265756e-08,1.278697e-07,1.391494e-07,9.077611e-07,3.754044e-06,4.071664e-06,1.368817e-05,3.412146e-05,3.665454e-05,8.197148e-05,1.495885e-04,1.589497e-04,2.752258e-04,4.137436e-04,4.353331e-04,6.401176e-04,8.500181e-04,8.869202e-04,1.170269e-03,1.431172e-03,1.482802e-03,1.816202e-03,2.099212e-03,2.162003e-03,2.512200e-03,2.790696e-03,2.859663e-03,3.198357e-03,3.453287e-03,3.523428e-03,3.831173e-03,4.051813e-03,4.118955e-03,4.385063e-03,4.567461e-03,4.628573e-03,4.849187e-03,4.993951e-03,5.047110e-03,5.222923e-03,5.333285e-03,5.377478e-03,5.511814e-03,5.592201e-03,5.627088e-03,5.724519e-03,5.779654e-03,5.805351e-03,5.870815e-03,5.905204e-03,5.922115e-03,5.960409e-03,5.978106e-03,5.986799e-03,6.002322e-03,6.006828e-03,6.007953e-03,6.004604e-03,5.998882e-03,5.993120e-03,5.974289e-03,5.960806e-03,5.948833e-03,5.917423e-03,5.898204e-03,5.880674e-03,5.839151e-03,5.815847e-03,5.793375e-03,5.743824e-03,5.717771e-03,5.690936e-03,5.635111e-03,5.607380e-03,5.576716e-03,5.516088e-03,5.487535e-03,5.453534e-03,5.389335e-03,5.360633e-03,5.323748e-03,5.257007e-03,5.228683e-03,5.189325e-03,5.120898e-03,5.093358e-03,5.051902e-03,4.982500e-03,4.956052e-03,4.912838e-03,4.843049e-03,4.817918e-03,4.773255e-03,4.703564e-03,4.679911e-03,4.634076e-03,4.564880e-03,4.542813e-03,4.496058e-03,4.427680e-03,4.407263e-03,4.359813e-03,4.292514e-03,4.273779e-03,4.225835e-03,4.159823e-03,4.142774e-03,4.094518e-03,4.029956e-03,4.014576e-03,3.966170e-03,3.903186e-03,3.889440e-03,3.841029e-03,3.779719e-03,3.767560e-03,3.719273e-03,3.659705e-03,3.649077e-03,3.601027e-03,3.543249e-03,3.534089e-03,3.486378e-03,3.430419e-03,3.422658e-03,3.375375e-03,3.321249e-03,3.314816e-03,3.268041e-03,3.215749e-03,3.210570e-03,3.164372e-03,3.113905e-03,3.109907e-03,3.064346e-03,3.015688e-03,3.012797e-03,2.967925e-03,2.921051e-03,2.919194e-03,2.875057e-03,2.829937e-03,2.829044e-03,2.785681e-03,2.742281e-03,2.658834e-03,2.578628e-03,2.501579e-03,2.427606e-03,2.356621e-03,2.288538e-03,2.223269e-03,2.160725e-03,2.100821e-03,2.043469e-03,1.988584e-03,1.936082e-03,1.885882e-03,1.837901e-03,1.792062e-03,1.748288e-03,1.706503e-03,1.666636e-03,1.628614e-03,1.592370e-03,1.557837e-03,1.524950e-03,1.493646e-03,1.463865e-03,1.435547e-03,1.408637e-03,1.383079e-03,1.358820e-03,1.335808e-03,1.313995e-03,1.293331e-03,1.273771e-03,1.255270e-03,1.237784e-03,1.221272e-03,1.205693e-03,1.191009e-03,1.177182e-03,1.164175e-03,1.151953e-03,1.140483e-03,1.129732e-03,1.119668e-03,1.110261e-03,1.101481e-03,1.093301e-03,1.085692e-03,1.078628e-03,1.072083e-03
0.000000e+00,1.365183e-12,3.061871e-10,3.320395e-10,9.268345e-09,9.544127e-08,1.038595e-07,6.679506e-07,2.690709e-06,2.913186e-06,9.526568e-06,2.329805e-05,2.499477e-05,5.523459e-05,1.003397e-04,1.065965e-04,1.846529e-04,2.784878e-04,2.931928e-04,4.336552e-04,5.792743e-04,6.050292e-04,8.041342e-04,9.893047e-04,1.026127e-03,1.265103e-03,1.469267e-03,1.514688e-03,1.768538e-03,1.970695e-03,2.020741e-03,2.266076e-03,2.449824e-03,2.500169e-03,2.719558e-03,2.874848e-03,2.921676e-03,3.104790e-03,3.227452e-03,3.267910e-03,3.410676e-03,3.500936e-03,3.533247e-03,3.636187e-03,3.697022e-03,3.720368e-03,3.786878e-03,3.822636e-03,3.836950e-03,3.871897e-03,3.887329e-03,3.893063e-03,3.901785e-03,3.901439e-03,3.899362e-03,3.887040e-03,3.874945e-03,3.865989e-03,3.837304e-03,3.816852e-03,3.801995e-03,3.760987e-03,3.734925e-03,3.715121e-03,3.665158e-03,3.635647e-03,3.611783e-03,3.555608e-03,3.524304e-03,3.497179e-03,3.436980e-03,3.405122e-03,3.375441e-03,3.312938e-03,3.281430e-03,3.249803e-03,3.186326e-03,3.155811e-03,3.122760e-03,3.059323e-03,3.030240e-03,2.996207e-03,2.933574e-03,2.906206e-03,2.871565e-03,2.810298e-03,2.784812e-03,2.749873e-03,2.690376e-03,2.666853e-03,2.631875e-03,2.574429e-03,2.552885e-03,2.518082e-03,2.462871e-03,2.443279e-03,2.408825e-03,2.355964e-03,2.338263e-03,2.304302e-03,2.253846e-03,2.237956e-03,2.204601e-03,2.156566e-03,2.142390e-03,2.109734e-03,2.064099e-03,2.051534e-03,2.019650e-03,1.976373e-03,1.965311e-03,1.934253e-03,1.893274e-03,1.883607e-03,1.853419e-03,1.814667e-03,1.806288e-03,1.776999e-03,1.740394e-03,1.733199e-03,1.704831e-03,1.670288e-03,1.664176e-03,1.636742e-03,1.604171e-03,1.599049e-03,1.572554e-03,1.541866e-03,1.537643e-03,1.512087e-03,1.483193e-03,1.479784e-03,1.455163e-03,1.427974e-03,1.425301e-03,1.401606e-03,1.376036e-03,1.374024e-03,1.351243e-03,1.327207e-03,1.325789e-03,1.303908e-03,1.281325e-03,1.280436e-03,1.259439e-03,1.238230e-03,1.237812e-03,1.217679e-03,1.197770e-03,1.160167e-03,1.124868e-03,1.091746e-03,1.060676e-03,1.031544e-03,1.004237e-03,9.786519e-04,9.546886e-04,9.322531e-04,9.112564e-04,8.916144e-04,8.732477e-04,8.560813e-04,8.400443e-04,8.250697e-04,8.110945e-04,7.980591e-04,7.859074e-04,7.745864e-04,7.640463e-04,7.542400e-04,7.451231e-04,7.366540e-04,7.287931e-04,7.215035e-04,7.147501e-04,7.085002e-04,7.027226e-04,6.973882e-04,6.924696e-04,6.879407e-04,6.837773e-04,6.799564e-04,6.764564e-04,6.732570e-04,6.703390e-04,6.676845e-04,6.652764e-04,6.630987e-04,6.611366e-04,6.593759e-04,6.578032e-04,6.564061e-04,6.551728e-04,6.540922e-04,6.531541e-04,6.523485e-04,6.516663e-04,6.510988e-04
0.000000e+00,2.365543e-11,3.914667e-09,4.218350e-09,8.706473e-08,7.029033e-07,7.579564e-07,3.961125e-06,1.346547e-05,1.442955e-05,3.999491e-05,8.457910e-05,8.961647e-05,1.698152e-04,2.692776e-04,2.818212e-04,4.211842e-04,5.599123e-04,5.796135e-04,7.475650e-04,8.929207e-04,9.163172e-04,1.079072e-03,1.207706e-03,1.231201e-03,1.370004e-03,1.472982e-03,1.494253e-03,1.603741e-03,1.680981e-03,1.698902e-03,1.780538e-03,1.835456e-03,1.849634e-03,1.907241e-03,1.943984e-03,1.954405e-03,1.992131e-03,2.014529e-03,2.021361e-03,2.042971e-03,2.054265e-03,2.057763e-03,2.066472e-03,2.069309e-03,2.069767e-03,2.068257e-03,2.064770e-03,2.062494e-03,2.052980e-03,2.044868e-03,2.040168e-03,2.024468e-03,2.013078e-03,2.006252e-03,1.985856e-03,1.972249e-03,1.963582e-03,1.939705e-03,1.924712e-03,1.914469e-03,1.888096e-03,1.872358e-03,1.860785e-03,1.832715e-03,1.816723e-03,1.804044e-03,1.774916e-03,1.759043e-03,1.745460e-03,1.715790e-03,1.700310e-03,1.686006e-03,1.656200e-03,1.641313e-03,1.626450e-03,1.596828e-03,1.582673e-03,1.567395e-03,1.538207e-03,1.524876e-03,1.509311e-03,1.480750e-03,1.468298e-03,1.452559e-03,1.424769e-03,1.413223e-03,1.397406e-03,1.370493e-03,1.359858e-03,1.344048e-03,1.318087e-03,1.308351e-03,1.292620e-03,1.267660e-03,1.258799e-03,1.243212e-03,1.219282e-03,1.211264e-03,1.195873e-03,1.172986e-03,1.165773e-03,1.150623e-03,1.128781e-03,1.122330e-03,1.107458e-03,1.086650e-03,1.080916e-03,1.066353e-03,1.046562e-03,1.041498e-03,1.027270e-03,1.008471e-03,1.004032e-03,9.901587e-04,9.723250e-04,9.684650e-04,9.549622e-04,9.380624e-04,9.347372e-04,9.216169e-04,9.056174e-04,9.027842e-04,8.900551e-04,8.749211e-04,8.725388e-04,8.602064e-04,8.459022e-04,8.439319e-04,8.319994e-04,8.184890e-04,8.168937e-04,8.053621e-04,7.926098e-04,7.913548e-04,7.802231e-04,7.681935e-04,7.672462e-04,7.565120e-04,7.451703e-04,7.445004e-04,7.341598e-04,7.234721e-04,7.230512e-04,7.130991e-04,7.030326e-04,7.028343e-04,6.932646e-04,6.837875e-04,6.658510e-04,6.489669e-04,6.330800e-04,6.181372e-04,6.040880e-04,5.908839e-04,5.784789e-04,5.668291e-04,5.558930e-04,5.456307e-04,5.360049e-04,5.269797e-04,5.185214e-04,5.105979e-04,5.031789e-04,4.962356e-04,4.897409e-04,4.836689e-04,4.779954e-04,4.726973e-04,4.677529e-04,4.631416e-04,4.588441e-04,4.548419e-04,4.511178e-04,4.476552e-04,4.444388e-04,4.414539e-04,4.386866e-04,4.361241e-04,4.337539e-04,4.315645e-04,4.295449e-04,4.276848e-04,4.259745e-04,4.244046e-04,4.229667e-04,4.216523e-04,4.204538e-04,4.193640e-04,4.183759e-04,4.174831e-04,4.166794e-04,4.159592e-04,4.153170e-04,4.147477e-04,4.142464e-04,4.138087e-04,4.134302e-04
0.000000e+00,4.249802e-09,9.541801e-08,1.002458e-07,7.271681e-07,2.472116e-06,2.573013e-06,5.597953e-06,8.710816e-06,8.903706e-06,1.192836e-05,1.436745e-05,1.456413e-05,1.682630e-05,1.857242e-05,1.875073e-05,2.037416e-05,2.158089e-05,2.173062e-05,2.285091e-05,2.364664e-05,2.376269e-05,2.449078e-05,2.497669e-05,2.505733e-05,2.548214e-05,2.573709e-05,2.578276e-05,2.597492e-05,2.606001e-05,2.607260e-05,2.608817e-05,2.605046e-05,2.603266e-05,2.591580e-05,2.579132e-05,2.574624e-05,2.553161e-05,2.534767e-05,2.527850e-05,2.499287e-05,2.477014e-05,2.468012e-05,2.434485e-05,2.409899e-05,2.399117e-05,2.362262e-05,2.336513e-05,2.324235e-05,2.285309e-05,2.259243e-05,2.245724e-05,2.205688e-05,2.179916e-05,2.165388e-05,2.124983e-05,2.099940e-05,2.084610e-05,2.044388e-05,2.020371e-05,2.004421e-05,1.964795e-05,1.941999e-05,1.925587e-05,1.886858e-05,1.865400e-05,1.848663e-05,1.811046e-05,1.790986e-05,1.774044e-05,1.737687e-05,1.719044e-05,1.701999e-05,1.667000e-05,1.649763e-05,1.632703e-05,1.599117e-05,1.583251e-05,1.566250e-05,1.534105e-05,1.519561e-05,1.502683e-05,1.471982e-05,1.458701e-05,1.441998e-05,1.412727e-05,1.400644e-05,1.384162e-05,1.356294e-05,1.345341e-05,1.329115e-05,1.302616e-05,1.292721e-05,1.276784e-05,1.251610e-05,1.242706e-05,1.227081e-05,1.203186e-05,1.195204e-05,1.179912e-05,1.157247e-05,1.150121e-05,1.135178e-05,1.113692e-05,1.107358e-05,1.092776e-05,1.072418e-05,1.066816e-05,1.052604e-05,1.033323e-05,1.028395e-05,1.014560e-05,9.963051e-06,9.919978e-06,9.785443e-06,9.612658e-06,9.575281e-06,9.444578e-06,9.281084e-06,9.248925e-06,9.122060e-06,8.967393e-06,8.940006e-06,8.816970e-06,8.670683e-06,8.647653e-06,8.528424e-06,8.390088e-06,8.371028e-06,8.255573e-06,8.124778e-06,8.109328e-06,7.997606e-06,7.873960e-06,7.861786e-06,7.753747e-06,7.636875e-06,7.627667e-06,7.523256e-06,7.412801e-06,7.406273e-06,7.305428e-06,7.201052e-06,7.196938e-06,7.099593e-06,7.000973e-06,6.999029e-06,6.905114e-06,6.811943e-06,6.635109e-06,6.467984e-06,6.310051e-06,6.160823e-06,6.019835e-06,5.886649e-06,5.760847e-06,5.642035e-06,5.529839e-06,5.423904e-06,5.323894e-06,5.229492e-06,5.140396e-06,5.056322e-06,4.976998e-06,4.902170e-06,4.831594e-06,4.765042e-06,4.702297e-06,4.643152e-06,4.587413e-06,4.534896e-06,4.485426e-06,4.438839e-06,4.394977e-06,4.353693e-06,4.314846e-06,4.278303e-06,4.243940e-06,4.211638e-06,4.181282e-06,4.152768e-06,4.125995e-06,4.100865e-06,4.077291e-06,4.055185e-06,4.034467e-06,4.015060e-06,3.996892e-06,3.979894e-06,3.964002e-06,3.949153e-06,3.935291e-06,3.922358e-06,3.910305e-06,3.899081e-06,3.888639e-06,3.878936e-06,3.869930e-06
0.000000e+00,5.590232e-12,1.260419e-09,1.367341e-09,3.887630e-08,4.016241e-07,4.369178e-07,2.760220e-06,1.077298e-05,1.163589e-05,3.639646e-05,8.503661e-05,9.085927e-05,1.908293e-04,3.316058e-04,3.505986e-04,5.800173e-04,8.427581e-04,8.829778e-04,1.257342e-03,1.631016e-03,1.695905e-03,2.187887e-03,2.633112e-03,2.720511e-03,3.280411e-03,3.750815e-03,3.854710e-03,4.431755e-03,4.888579e-03,5.001534e-03,5.555853e-03,5.973307e-03,6.088303e-03,6.594131e-03,6.958680e-03,7.070042e-03,7.513972e-03,7.821235e-03,7.924860e-03,8.302440e-03,8.553844e-03,8.647050e-03,8.959475e-03,9.159602e-03,9.240816e-03,9.492396e-03,9.647210e-03,9.715671e-03,9.912169e-03,1.002795e-02,1.008345e-02,1.023105e-02,1.031379e-02,1.035649e-02,1.046125e-02,1.051643e-02,1.054673e-02,1.061428e-02,1.064673e-02,1.066517e-02,1.070063e-02,1.071457e-02,1.072179e-02,1.072973e-02,1.072878e-02,1.072546e-02,1.070994e-02,1.069719e-02,1.068405e-02,1.064864e-02,1.062672e-02,1.060448e-02,1.055232e-02,1.052345e-02,1.049283e-02,1.042667e-02,1.039271e-02,1.035442e-02,1.027667e-02,1.023919e-02,1.019392e-02,1.010667e-02,1.006698e-02,1.001539e-02,9.920483e-03,9.879644e-03,9.822366e-03,9.721404e-03,9.680302e-03,9.617945e-03,9.512312e-03,9.471664e-03,9.404804e-03,9.295700e-03,9.256083e-03,9.185262e-03,9.073729e-03,9.035599e-03,8.961326e-03,8.848260e-03,8.811972e-03,8.734725e-03,8.620899e-03,8.586720e-03,8.506947e-03,8.393021e-03,8.361146e-03,8.279262e-03,8.165801e-03,8.136364e-03,8.052756e-03,7.940238e-03,7.913323e-03,7.828348e-03,7.717178e-03,7.692826e-03,7.606813e-03,7.497332e-03,7.475548e-03,7.388803e-03,7.281293e-03,7.262053e-03,7.174858e-03,7.069552e-03,7.052811e-03,6.965421e-03,6.862509e-03,6.848201e-03,6.760854e-03,6.660488e-03,6.648533e-03,6.561443e-03,6.463743e-03,6.454048e-03,6.367412e-03,6.272469e-03,6.264934e-03,6.178930e-03,6.086811e-03,6.081329e-03,5.996121e-03,5.906871e-03,5.903331e-03,5.819066e-03,5.732712e-03,5.731000e-03,5.647811e-03,5.564365e-03,5.403428e-03,5.248171e-03,5.098553e-03,4.954518e-03,4.815997e-03,4.682909e-03,4.555162e-03,4.432658e-03,4.315292e-03,4.202954e-03,4.095529e-03,3.992901e-03,3.894949e-03,3.801554e-03,3.712593e-03,3.627943e-03,3.547483e-03,3.471091e-03,3.398645e-03,3.330026e-03,3.265113e-03,3.203789e-03,3.145938e-03,3.091444e-03,3.040194e-03,2.992077e-03,2.946982e-03,2.904802e-03,2.865429e-03,2.828761e-03,2.794693e-03,2.763124e-03,2.733957e-03,2.707093e-03,2.682437e-03,2.659896e-03,2.639377e-03,2.620792e-03,2.604051e-03,2.589069e-03,2.575762e-03,2.564045e-03,2.553840e-03,2.545067e-03,2.537648e-03,2.531510e-03,2.526578e-03,2.522781e-03,2.520050e-03
0.000000e+00,7.076268e-12,1.935909e-09,2.108802e-09,7.439645e-08,9.555436e-07,1.049020e-06,8.288593e-06,3.944853e-05,4.313159e-05,1.642093e-04,4.558021e-04,4.942378e-04,1.245038e-03,2.541668e-03,2.735455e-03,5.399695e-03,9.147881e-03,9.785810e-03,1.654529e-02,2.481713e-02,2.641562e-02,4.019768e-02,5.541068e-02,5.873019e-02,8.286286e-02,1.074168e-01,1.134299e-01,1.512253e-01,1.871599e-01,1.969801e-01,2.513438e-01,3.000826e-01,3.148683e-01,3.879964e-01,4.502013e-01,4.710534e-01,5.642428e-01,6.397780e-01,6.676448e-01,7.812177e-01,8.692033e-01,9.048027e-01,1.038130e+00,1.137059e+00,1.180825e+00,1.332422e+00,1.440316e+00,1.492371e+00,1.660049e+00,1.774620e+00,1.834772e+00,2.015806e+00,2.134625e+00,2.202381e+00,2.393696e+00,2.514334e+00,2.588934e+00,2.787272e+00,2.907420e+00,2.987886e+00,3.189961e+00,3.307519e+00,3.392700e+00,3.595327e+00,3.708471e+00,3.797097e+00,3.997294e+00,4.104507e+00,4.195243e+00,4.390306e+00,4.490399e+00,4.581889e+00,4.769442e+00,4.861548e+00,4.952461e+00,5.130486e+00,5.214042e+00,5.303106e+00,5.469951e+00,5.544670e+00,5.630698e+00,5.785068e+00,5.850908e+00,5.932824e+00,6.073769e+00,6.130896e+00,6.207747e+00,6.334635e+00,6.383385e+00,6.454349e+00,6.566836e+00,6.607680e+00,6.672073e+00,6.770066e+00,6.803575e+00,6.860847e+00,6.944474e+00,6.971290e+00,7.021024e+00,7.090595e+00,7.111403e+00,7.153304e+00,7.209283e+00,7.224786e+00,7.258678e+00,7.301648e+00,7.312551e+00,7.338361e+00,7.368996e+00,7.375988e+00,7.393739e+00,7.412783e+00,7.416527e+00,7.426324e+00,7.434563e+00,7.435684e+00,7.437705e+00,7.435954e+00,7.435035e+00,7.429517e+00,7.418601e+00,7.416176e+00,7.403410e+00,7.384149e+00,7.380703e+00,7.361019e+00,7.334219e+00,7.330186e+00,7.303947e+00,7.270394e+00,7.266156e+00,7.233749e+00,7.194197e+00,7.190088e+00,7.151917e+00,7.107086e+00,7.103395e+00,7.059874e+00,7.010447e+00,7.007414e+00,6.958964e+00,6.905583e+00,6.903410e+00,6.850451e+00,6.793716e+00,6.792565e+00,6.735515e+00,6.675984e+00,6.554688e+00,6.429621e+00,6.301650e+00,6.171568e+00,6.040094e+00,5.907885e+00,5.775530e+00,5.643559e+00,5.512448e+00,5.382618e+00,5.254442e+00,5.128250e+00,5.004330e+00,4.882930e+00,4.764266e+00,4.648520e+00,4.535846e+00,4.426370e+00,4.320195e+00,4.217400e+00,4.118046e+00,4.022175e+00,3.929813e+00,3.840971e+00,3.755646e+00,3.673825e+00,3.595482e+00,3.520582e+00,3.449083e+00,3.380933e+00,3.316074e+00,3.254444e+00,3.195973e+00,3.140588e+00,3.088212e+00,3.038763e+00,2.992158e+00,2.948311e+00,2.907134e+00,2.868538e+00,2.832431e+00,2.798722e+00,2.767320e+00,2.738131e+00,2.711064e+00,2.686028e+00,2.662930e+00,2.641681e+00,2.622191e+00
0.000000e+00,4.124038e-12,1.167687e-09,1.273069e-09,4.674545e-08,6.148758e-07,6.754655e-07,5.384734e-06,2.560277e-05,2.798616e-05,1.059403e-04,2.922737e-04,3.167560e-04,7.931869e-04,1.612055e-03,1.734205e-03,3.410342e-03,5.763096e-03,6.163193e-03,1.039961e-02,1.558053e-02,1.658157e-02,2.521283e-02,3.474335e-02,3.682354e-02,5.195390e-02,6.736220e-02,7.113777e-02,9.488708e-02,1.174948e-01,1.236775e-01,1.579360e-01,1.886925e-01,1.980304e-01,2.442612e-01,2.836431e-01,2.968554e-01,3.559631e-01,4.039410e-01,4.216554e-01,4.939250e-01,5.499873e-01,5.726875e-01,6.577854e-01,7.210048e-01,7.489921e-01,8.460177e-01,9.151440e-01,9.485153e-01,1.056087e+00,1.129652e+00,1.168293e+00,1.284656e+00,1.361077e+00,1.404670e+00,1.527810e+00,1.605488e+00,1.653533e+00,1.781289e+00,1.858689e+00,1.910527e+00,2.040697e+00,2.116411e+00,2.171261e+00,2.301691e+00,2.374483e+00,2.431478e+00,2.560132e+00,2.628970e+00,2.687190e+00,2.812210e+00,2.876279e+00,2.934783e+00,3.054527e+00,3.113227e+00,3.171090e+00,3.284155e+00,3.337097e+00,3.393432e+00,3.498665e+00,3.545651e+00,3.599628e+00,3.696127e+00,3.737128e+00,3.787996e+00,3.875099e+00,3.910235e+00,3.957329e+00,4.034603e+00,4.064111e+00,4.106864e+00,4.174080e+00,4.198296e+00,4.236240e+00,4.293352e+00,4.312683e+00,4.345448e+00,4.392572e+00,4.407473e+00,4.434788e+00,4.472174e+00,4.483131e+00,4.504819e+00,4.532826e+00,4.540340e+00,4.556307e+00,4.575385e+00,4.579955e+00,4.590188e+00,4.600853e+00,4.602966e+00,4.607522e+00,4.610341e+00,4.610461e+00,4.609459e+00,4.605030e+00,4.603595e+00,4.597207e+00,4.586145e+00,4.583558e+00,4.572001e+00,4.554928e+00,4.551556e+00,4.535083e+00,4.512617e+00,4.508789e+00,4.487682e+00,4.460426e+00,4.456433e+00,4.430995e+00,4.399533e+00,4.395627e+00,4.366178e+00,4.331068e+00,4.327466e+00,4.294335e+00,4.256107e+00,4.252988e+00,4.216509e+00,4.175662e+00,4.173174e+00,4.133681e+00,4.090679e+00,4.088940e+00,4.046764e+00,4.002039e+00,4.001137e+00,3.956603e+00,3.910551e+00,3.817903e+00,3.723850e+00,3.628987e+00,3.533851e+00,3.438920e+00,3.344624e+00,3.251338e+00,3.159395e+00,3.069084e+00,2.980654e+00,2.894317e+00,2.810255e+00,2.728617e+00,2.649524e+00,2.573075e+00,2.499345e+00,2.428389e+00,2.360244e+00,2.294930e+00,2.232454e+00,2.172811e+00,2.115981e+00,2.061938e+00,2.010645e+00,1.962058e+00,1.916126e+00,1.872793e+00,1.831995e+00,1.793668e+00,1.757741e+00,1.724141e+00,1.692793e+00,1.663620e+00,1.636541e+00,1.611477e+00,1.588347e+00,1.567069e+00,1.547561e+00,1.529740e+00,1.513527e+00,1.498840e+00,1.485598e+00,1.473723e+00,1.463138e+00,1.453766e+00,1.445532e+00,1.438363e+00,1.432187e+00,1.426936e+00
0.000000e+00,9.923710e-09,2.305912e-07,2.426616e-07,1.968199e-06,7.371667e-06,7.693122e-06,1.725729e-05,2.706341e-05,2.768202e-05,3.769721e-05,4.634914e-05,4.707507e-05,5.579720e-05,6.310407e-05,6.388514e-05,7.136798e-05,7.747590e-05,7.827537e-05,8.463625e-05,8.969091e-05,9.047867e-05,9.582985e-05,9.996452e-05,1.007162e-04,1.051632e-04,1.084993e-04,1.091956e-04,1.128375e-04,1.154854e-04,1.161120e-04,1.190413e-04,1.211002e-04,1.216466e-04,1.239477e-04,1.255047e-04,1.259634e-04,1.277121e-04,1.288442e-04,1.292107e-04,1.304758e-04,1.312513e-04,1.315237e-04,1.323694e-04,1.328484e-04,1.330266e-04,1.335085e-04,1.337423e-04,1.338273e-04,1.339947e-04,1.340275e-04,1.340214e-04,1.339180e-04,1.337879e-04,1.336939e-04,1.333584e-04,1.330982e-04,1.329200e-04,1.323869e-04,1.320247e-04,1.317666e-04,1.310662e-04,1.306259e-04,1.302924e-04,1.294516e-04,1.289537e-04,1.285497e-04,1.275921e-04,1.270537e-04,1.265842e-04,1.255307e-04,1.249664e-04,1.244363e-04,1.233052e-04,1.227272e-04,1.221415e-04,1.209489e-04,1.203673e-04,1.197309e-04,1.184909e-04,1.179139e-04,1.172318e-04,1.159566e-04,1.153911e-04,1.146679e-04,1.133682e-04,1.128196e-04,1.120599e-04,1.107450e-04,1.102177e-04,1.094257e-04,1.081038e-04,1.076011e-04,1.067810e-04,1.054589e-04,1.049834e-04,1.041391e-04,1.028229e-04,1.023764e-04,1.015116e-04,1.002063e-04,9.979012e-05,9.890826e-05,9.761836e-05,9.723313e-05,9.633755e-05,9.506667e-05,9.471270e-05,9.380648e-05,9.255769e-05,9.223496e-05,9.132095e-05,9.009682e-05,8.980497e-05,8.888585e-05,8.768848e-05,8.742693e-05,8.650516e-05,8.533626e-05,8.510424e-05,8.418211e-05,8.304300e-05,8.283958e-05,8.191920e-05,8.081092e-05,8.063505e-05,7.971836e-05,7.864166e-05,7.849220e-05,7.758097e-05,7.653638e-05,7.641211e-05,7.550797e-05,7.449581e-05,7.439548e-05,7.349991e-05,7.252030e-05,7.244264e-05,7.155698e-05,7.060992e-05,7.055362e-05,6.967909e-05,6.876443e-05,6.872818e-05,6.786588e-05,6.698336e-05,6.696588e-05,6.611679e-05,6.526605e-05,6.362787e-05,6.205040e-05,6.053256e-05,5.907320e-05,5.767108e-05,5.632489e-05,5.503329e-05,5.379489e-05,5.260828e-05,5.147203e-05,5.038470e-05,4.934485e-05,4.835104e-05,4.740185e-05,4.649585e-05,4.563164e-05,4.480785e-05,4.402310e-05,4.327607e-05,4.256543e-05,4.188991e-05,4.124825e-05,4.063922e-05,4.006161e-05,3.951427e-05,3.899604e-05,3.850582e-05,3.804253e-05,3.760512e-05,3.719257e-05,3.680389e-05,3.643811e-05,3.609431e-05,3.577158e-05,3.546904e-05,3.518583e-05,3.492114e-05,3.467417e-05,3.444414e-05,3.423031e-05,3.403195e-05,3.384837e-05,3.367888e-05,3.352283e-05,3.337960e-05,3.324857e-05,3.312914e-05,3.302076e-05,3.292287e-05
0.000000e+00,3.322223e-09,1.251616e-07,1.321289e-07,1.221010e-06,5.348537e-06,5.627101e-06,1.592953e-05,3.035094e-05,3.135116e-05,4.809602e-05,6.251510e-05,6.370009e-05,7.752179e-05,8.842889e-05,8.955543e-05,9.994042e-05,1.078440e-04,1.088384e-04,1.164039e-04,1.219529e-04,1.227786e-04,1.280909e-04,1.318187e-04,1.324585e-04,1.359864e-04,1.383188e-04,1.387685e-04,1.408905e-04,1.421649e-04,1.424295e-04,1.434555e-04,1.439400e-04,1.440308e-04,1.442114e-04,1.441157e-04,1.440474e-04,1.435835e-04,1.430709e-04,1.428597e-04,1.419116e-04,1.411079e-04,1.407707e-04,1.394652e-04,1.384668e-04,1.380199e-04,1.364571e-04,1.353372e-04,1.347961e-04,1.330545e-04,1.318682e-04,1.312473e-04,1.293881e-04,1.281765e-04,1.274888e-04,1.255597e-04,1.243528e-04,1.236100e-04,1.216478e-04,1.204674e-04,1.196800e-04,1.177127e-04,1.165741e-04,1.157513e-04,1.138003e-04,1.127138e-04,1.118637e-04,1.099449e-04,1.089172e-04,1.080469e-04,1.061720e-04,1.052069e-04,1.043224e-04,1.024998e-04,1.015991e-04,1.007056e-04,9.894115e-05,9.810499e-05,9.720721e-05,9.550458e-05,9.473203e-05,9.383379e-05,9.219524e-05,9.148456e-05,9.058918e-05,8.901573e-05,8.836462e-05,8.747491e-05,8.596666e-05,8.537244e-05,8.449081e-05,8.304715e-05,8.250694e-05,8.163539e-05,8.025521e-05,7.976600e-05,7.890622e-05,7.758802e-05,7.714676e-05,7.630016e-05,7.504217e-05,7.464584e-05,7.381357e-05,7.261384e-05,7.225948e-05,7.144247e-05,7.029894e-05,6.998366e-05,6.918270e-05,6.809321e-05,6.781426e-05,6.702993e-05,6.599232e-05,6.574705e-05,6.497983e-05,6.399192e-05,6.377782e-05,6.302805e-05,6.208770e-05,6.190240e-05,6.117033e-05,6.027542e-05,6.011669e-05,5.940247e-05,5.855095e-05,5.841666e-05,5.772037e-05,5.691024e-05,5.679842e-05,5.612007e-05,5.534939e-05,5.525820e-05,5.459774e-05,5.386466e-05,5.379235e-05,5.314970e-05,5.245241e-05,5.239738e-05,5.177238e-05,5.110919e-05,5.106992e-05,5.046241e-05,4.983165e-05,4.980674e-05,4.921651e-05,4.861661e-05,4.860477e-05,4.803158e-05,4.746104e-05,4.637275e-05,4.533720e-05,4.435184e-05,4.341422e-05,4.252202e-05,4.167301e-05,4.086509e-05,4.009625e-05,3.936459e-05,3.866828e-05,3.800560e-05,3.737490e-05,3.677462e-05,3.620327e-05,3.565944e-05,3.514179e-05,3.464904e-05,3.417998e-05,3.373344e-05,3.330834e-05,3.290363e-05,3.251831e-05,3.215144e-05,3.180214e-05,3.146953e-05,3.115282e-05,3.085123e-05,3.056404e-05,3.029053e-05,3.003006e-05,2.978199e-05,2.954572e-05,2.932068e-05,2.910634e-05,2.890217e-05,2.870770e-05,2.852244e-05,2.834596e-05,2.817784e-05,2.801768e-05,2.786510e-05,2.771972e-05,2.758122e-05,2.744926e-05,2.732353e-05,2.720373e-05,2.708959e-05,2.698082e-05,2.687718e-05
0.000000e+00,4.071150e-09,5.304877e-08,5.534032e-08,3.368535e-07,1.196449e-06,1.250902e-06,3.165405e-06,5.756868e-06,5.937333e-06,9.026450e-06,1.184826e-05,1.208903e-05,1.502009e-05,1.752600e-05,1.779657e-05,2.041643e-05,2.259496e-05,2.288301e-05,2.520107e-05,2.707989e-05,2.737596e-05,2.941321e-05,3.102219e-05,3.131837e-05,3.309699e-05,3.446487e-05,3.475454e-05,3.629636e-05,3.745000e-05,3.772767e-05,3.905352e-05,4.001763e-05,4.027881e-05,4.140825e-05,4.220535e-05,4.244642e-05,4.339768e-05,4.404814e-05,4.426625e-05,4.505618e-05,4.557842e-05,4.577136e-05,4.641551e-05,4.682609e-05,4.699223e-05,4.750494e-05,4.781870e-05,4.795692e-05,4.835133e-05,4.858157e-05,4.869118e-05,4.897936e-05,4.913796e-05,4.921864e-05,4.941166e-05,4.950921e-05,4.956095e-05,4.966893e-05,4.971486e-05,4.973792e-05,4.977012e-05,4.977279e-05,4.976766e-05,4.973256e-05,4.969936e-05,4.966673e-05,4.957203e-05,4.950951e-05,4.945022e-05,4.930297e-05,4.921688e-05,4.913189e-05,4.893850e-05,4.883390e-05,4.872427e-05,4.849058e-05,4.837190e-05,4.823877e-05,4.797009e-05,4.784117e-05,4.768576e-05,4.738691e-05,4.725110e-05,4.707464e-05,4.675000e-05,4.661019e-05,4.641396e-05,4.606747e-05,4.592616e-05,4.571143e-05,4.534670e-05,4.520598e-05,4.497406e-05,4.459431e-05,4.445600e-05,4.420816e-05,4.381632e-05,4.368191e-05,4.341943e-05,4.301812e-05,4.288887e-05,4.261299e-05,4.220459e-05,4.208152e-05,4.179346e-05,4.138009e-05,4.126402e-05,4.096497e-05,4.054854e-05,4.044011e-05,4.013123e-05,3.971344e-05,3.961314e-05,3.929554e-05,3.887790e-05,3.878609e-05,3.846085e-05,3.804470e-05,3.796161e-05,3.762976e-05,3.721630e-05,3.714206e-05,3.680459e-05,3.639487e-05,3.632951e-05,3.598738e-05,3.558232e-05,3.552582e-05,3.517991e-05,3.478033e-05,3.473258e-05,3.438375e-05,3.399035e-05,3.395119e-05,3.360027e-05,3.321365e-05,3.318287e-05,3.283062e-05,3.245131e-05,3.242867e-05,3.207582e-05,3.170424e-05,3.168946e-05,3.133668e-05,3.097323e-05,3.096600e-05,3.061394e-05,3.025889e-05,2.956864e-05,2.889565e-05,2.824024e-05,2.760264e-05,2.698299e-05,2.638139e-05,2.579784e-05,2.523233e-05,2.468475e-05,2.415500e-05,2.364291e-05,2.314828e-05,2.267090e-05,2.221052e-05,2.176685e-05,2.133962e-05,2.092852e-05,2.053323e-05,2.015341e-05,1.978873e-05,1.943884e-05,1.910338e-05,1.878199e-05,1.847433e-05,1.818001e-05,1.789869e-05,1.762999e-05,1.737355e-05,1.712902e-05,1.689603e-05,1.667424e-05,1.646329e-05,1.626284e-05,1.607254e-05,1.589206e-05,1.572106e-05,1.555923e-05,1.540624e-05,1.526178e-05,1.512554e-05,1.499722e-05,1.487653e-05,1.476317e-05,1.465686e-05,1.455734e-05,1.446433e-05,1.437756e-05,1.429679e-05,1.422176e-05
0.000000e+00,1.598237e-09,9.641283e-08,1.021181e-07,1.026300e-06,4.934767e-06,5.218483e-06,1.729784e-05,3.987306e-05,4.172209e-05,7.894345e-05,1.206266e-04,1.244183e-04,1.721305e-04,2.137139e-04,2.181885e-04,2.610519e-04,2.958281e-04,3.003565e-04,3.361467e-04,3.642392e-04,3.685860e-04,3.978675e-04,4.201679e-04,4.241883e-04,4.477416e-04,4.651209e-04,4.687134e-04,4.872821e-04,5.005209e-04,5.036170e-04,5.178785e-04,5.276609e-04,5.302181e-04,5.407781e-04,5.476963e-04,5.496925e-04,5.570872e-04,5.616502e-04,5.630796e-04,5.677799e-04,5.704220e-04,5.712909e-04,5.737092e-04,5.748002e-04,5.751247e-04,5.756215e-04,5.754746e-04,5.752777e-04,5.741664e-04,5.730459e-04,5.723558e-04,5.699091e-04,5.680367e-04,5.668852e-04,5.633389e-04,5.609005e-04,5.593214e-04,5.548800e-04,5.520302e-04,5.500587e-04,5.448983e-04,5.417650e-04,5.394368e-04,5.337091e-04,5.303977e-04,5.277480e-04,5.215834e-04,5.181798e-04,5.152432e-04,5.087532e-04,5.053272e-04,5.021372e-04,4.954171e-04,4.920243e-04,4.886130e-04,4.817437e-04,4.784283e-04,4.748262e-04,4.678763e-04,4.646725e-04,4.609084e-04,4.539357e-04,4.508693e-04,4.469703e-04,4.400232e-04,4.371134e-04,4.331046e-04,4.262235e-04,4.234835e-04,4.193883e-04,4.126064e-04,4.100447e-04,4.058847e-04,3.992292e-04,3.968505e-04,3.926454e-04,3.861383e-04,3.839441e-04,3.797121e-04,3.733708e-04,3.713600e-04,3.671176e-04,3.609555e-04,3.591250e-04,3.548870e-04,3.489144e-04,3.472595e-04,3.430395e-04,3.372637e-04,3.357784e-04,3.315883e-04,3.260143e-04,3.246917e-04,3.205424e-04,3.151731e-04,3.140056e-04,3.099066e-04,3.047430e-04,3.037227e-04,2.996823e-04,2.947243e-04,2.938427e-04,2.898684e-04,2.851143e-04,2.843631e-04,2.804613e-04,2.759086e-04,2.752792e-04,2.714554e-04,2.671008e-04,2.665848e-04,2.628437e-04,2.586831e-04,2.582723e-04,2.546179e-04,2.506467e-04,2.503331e-04,2.467685e-04,2.429818e-04,2.427575e-04,2.392855e-04,2.356780e-04,2.355355e-04,2.321580e-04,2.287242e-04,2.286563e-04,2.253750e-04,2.221091e-04,2.158824e-04,2.099651e-04,2.043457e-04,1.990128e-04,1.939553e-04,1.891619e-04,1.846219e-04,1.803245e-04,1.762594e-04,1.724163e-04,1.687854e-04,1.653571e-04,1.621223e-04,1.590719e-04,1.561973e-04,1.534903e-04,1.509427e-04,1.485470e-04,1.462957e-04,1.441818e-04,1.421985e-04,1.403392e-04,1.385978e-04,1.369682e-04,1.354448e-04,1.340221e-04,1.326949e-04,1.314583e-04,1.303075e-04,1.292379e-04,1.282453e-04,1.273256e-04,1.264748e-04,1.256891e-04,1.249651e-04,1.242993e-04,1.236885e-04,1.231297e-04,1.226198e-04,1.221562e-04,1.217361e-04,1.213571e-04,1.210167e-04,1.207127e-04,1.204430e-04,1.202054e-04,1.199980e-04,1.198190e-04,1.196666e-04
0.000000e+00,1.335159e-12,3.164184e-10,3.436866e-10,1.050449e-08,1.172180e-07,1.279204e-07,8.691538e-07,3.582627e-06,3.881173e-06,1.266126e-05,3.043722e-05,3.259119e-05,7.008853e-05,1.239625e-04,1.312995e-04,2.208793e-04,3.251212e-04,3.412002e-04,4.920804e-04,6.443821e-04,6.709612e-04,8.733829e-04,1.057432e-03,1.093604e-03,1.325237e-03,1.519148e-03,1.561817e-03,1.797251e-03,1.981116e-03,2.026140e-03,2.243964e-03,2.403866e-03,2.447170e-03,2.633169e-03,2.761949e-03,2.800270e-03,2.947581e-03,3.043701e-03,3.074886e-03,3.182517e-03,3.248239e-03,3.271228e-03,3.342079e-03,3.381722e-03,3.396339e-03,3.435400e-03,3.454016e-03,3.460707e-03,3.473708e-03,3.476234e-03,3.475812e-03,3.468357e-03,3.459153e-03,3.452598e-03,3.429689e-03,3.412359e-03,3.400680e-03,3.366518e-03,3.343903e-03,3.328048e-03,3.286019e-03,3.260274e-03,3.241088e-03,3.193832e-03,3.166541e-03,3.144749e-03,3.094273e-03,3.066570e-03,3.042776e-03,2.990577e-03,2.963249e-03,2.937950e-03,2.885125e-03,2.858702e-03,2.832300e-03,2.779641e-03,2.754465e-03,2.727286e-03,2.675353e-03,2.651633e-03,2.623939e-03,2.573124e-03,2.550973e-03,2.522976e-03,2.473548e-03,2.453014e-03,2.424884e-03,2.377018e-03,2.358101e-03,2.329977e-03,2.283782e-03,2.266453e-03,2.238448e-03,2.193986e-03,2.178194e-03,2.150402e-03,2.107700e-03,2.093383e-03,2.065881e-03,2.024941e-03,2.012025e-03,1.984877e-03,1.945683e-03,1.934094e-03,1.907352e-03,1.869876e-03,1.859535e-03,1.833245e-03,1.797449e-03,1.788277e-03,1.762476e-03,1.728315e-03,1.720236e-03,1.694955e-03,1.662381e-03,1.655320e-03,1.630583e-03,1.599546e-03,1.593428e-03,1.569257e-03,1.539704e-03,1.534462e-03,1.510873e-03,1.482750e-03,1.478316e-03,1.455323e-03,1.428578e-03,1.424887e-03,1.402500e-03,1.377079e-03,1.374071e-03,1.352299e-03,1.328149e-03,1.325768e-03,1.304615e-03,1.281684e-03,1.279876e-03,1.259345e-03,1.237585e-03,1.236297e-03,1.216391e-03,1.195751e-03,1.194937e-03,1.175654e-03,1.156088e-03,1.155702e-03,1.137042e-03,1.118503e-03,1.083253e-03,1.049867e-03,1.018264e-03,9.883666e-04,9.600992e-04,9.333893e-04,9.081674e-04,8.843664e-04,8.619223e-04,8.407733e-04,8.208602e-04,8.021264e-04,7.845172e-04,7.679806e-04,7.524665e-04,7.379270e-04,7.243160e-04,7.115896e-04,6.997056e-04,6.886234e-04,6.783045e-04,6.687118e-04,6.598095e-04,6.515639e-04,6.439421e-04,6.369131e-04,6.304469e-04,6.245149e-04,6.190896e-04,6.141448e-04,6.096553e-04,6.055970e-04,6.019470e-04,5.986830e-04,5.957841e-04,5.932298e-04,5.910009e-04,5.890789e-04,5.874460e-04,5.860852e-04,5.849803e-04,5.841158e-04,5.834768e-04,5.830492e-04,5.828193e-04,5.827743e-04,5.829017e-04,5.831897e-04,5.836271e-04
0.000000e+00,3.220904e-09,1.151938e-07,1.213728e-07,1.085743e-06,5.122471e-06,5.411958e-06,1.709228e-05,3.546692e-05,3.679917e-05,5.988476e-05,8.078091e-05,8.253950e-05,1.035670e-04,1.209322e-04,1.227712e-04,1.401964e-04,1.541359e-04,1.559398e-04,1.701072e-04,1.811105e-04,1.828031e-04,1.941284e-04,2.026531e-04,2.041795e-04,2.130482e-04,2.194997e-04,2.208218e-04,2.275827e-04,2.323144e-04,2.334083e-04,2.383715e-04,2.416883e-04,2.425408e-04,2.459800e-04,2.481425e-04,2.487490e-04,2.509033e-04,2.521320e-04,2.524942e-04,2.535691e-04,2.540489e-04,2.541730e-04,2.543474e-04,2.542348e-04,2.541310e-04,2.535599e-04,2.529863e-04,2.526678e-04,2.514857e-04,2.505608e-04,2.500426e-04,2.483653e-04,2.471806e-04,2.464791e-04,2.444082e-04,2.430407e-04,2.421733e-04,2.397939e-04,2.383042e-04,2.372874e-04,2.346702e-04,2.331074e-04,2.319571e-04,2.291619e-04,2.275654e-04,2.262972e-04,2.233748e-04,2.217764e-04,2.204051e-04,2.173979e-04,2.158224e-04,2.143623e-04,2.113062e-04,2.097729e-04,2.082372e-04,2.051621e-04,2.036857e-04,2.020870e-04,1.990175e-04,1.976088e-04,1.959587e-04,1.929152e-04,1.915820e-04,1.898911e-04,1.868902e-04,1.856375e-04,1.839157e-04,1.809708e-04,1.798016e-04,1.780579e-04,1.751796e-04,1.740953e-04,1.723379e-04,1.695346e-04,1.685351e-04,1.667713e-04,1.640493e-04,1.631335e-04,1.613699e-04,1.587341e-04,1.578999e-04,1.561425e-04,1.535960e-04,1.528409e-04,1.510949e-04,1.486398e-04,1.479607e-04,1.462309e-04,1.438684e-04,1.432617e-04,1.415522e-04,1.392825e-04,1.387446e-04,1.370590e-04,1.348817e-04,1.344088e-04,1.327502e-04,1.306643e-04,1.302526e-04,1.286237e-04,1.266278e-04,1.262733e-04,1.246763e-04,1.227687e-04,1.224675e-04,1.209045e-04,1.190830e-04,1.188314e-04,1.173038e-04,1.155663e-04,1.153605e-04,1.138697e-04,1.122135e-04,1.120501e-04,1.105971e-04,1.090197e-04,1.088952e-04,1.074808e-04,1.059796e-04,1.058907e-04,1.045154e-04,1.030875e-04,1.030312e-04,1.016954e-04,1.003382e-04,1.003114e-04,9.901532e-05,9.772604e-05,9.526974e-05,9.293726e-05,9.072340e-05,8.862311e-05,8.663142e-05,8.474351e-05,8.295469e-05,8.126041e-05,7.965630e-05,7.813811e-05,7.670177e-05,7.534335e-05,7.405909e-05,7.284537e-05,7.169873e-05,7.061585e-05,6.959356e-05,6.862881e-05,6.771872e-05,6.686051e-05,6.605156e-05,6.528933e-05,6.457143e-05,6.389557e-05,6.325958e-05,6.266138e-05,6.209900e-05,6.157057e-05,6.107429e-05,6.060848e-05,6.017152e-05,5.976187e-05,5.937808e-05,5.901876e-05,5.868260e-05,5.836836e-05,5.807484e-05,5.780092e-05,5.754553e-05,5.730766e-05,5.708634e-05,5.688066e-05,5.668975e-05,5.651280e-05,5.634901e-05,5.619766e-05,5.605804e-05,5.592949e-05,5.581137e-05
0.000000e+00,7.568937e-13,1.921796e-10,2.089855e-10,6.798896e-09,8.217065e-08,9.001063e-08,6.764016e-07,3.082240e-06,3.360750e-06,1.222176e-05,3.252645e-05,3.514086e-05,8.460200e-05,1.658971e-04,1.777554e-04,3.357899e-04,5.476129e-04,5.827901e-04,9.442963e-04,1.366221e-03,1.445771e-03,2.111134e-03,2.812235e-03,2.961486e-03,4.014095e-03,5.037229e-03,5.281670e-03,6.771933e-03,8.126386e-03,8.487467e-03,1.042581e-02,1.208789e-02,1.257972e-02,1.493764e-02,1.685681e-02,1.748426e-02,2.020111e-02,2.230892e-02,2.306723e-02,2.605981e-02,2.827934e-02,2.915487e-02,3.232778e-02,3.458192e-02,3.555388e-02,3.880888e-02,4.102677e-02,4.206932e-02,4.531287e-02,4.743415e-02,4.851864e-02,5.166734e-02,5.364440e-02,5.474147e-02,5.772537e-02,5.952396e-02,6.060527e-02,6.336931e-02,6.496788e-02,6.600748e-02,6.851160e-02,6.989994e-02,7.087518e-02,7.309335e-02,7.427071e-02,7.516277e-02,7.708144e-02,7.805454e-02,7.884864e-02,8.046477e-02,8.124588e-02,8.193121e-02,8.325024e-02,8.385539e-02,8.442488e-02,8.545880e-02,8.590631e-02,8.635620e-02,8.712175e-02,8.743098e-02,8.776043e-02,8.827752e-02,8.846793e-02,8.867850e-02,8.896897e-02,8.905937e-02,8.915460e-02,8.924110e-02,8.924921e-02,8.923414e-02,8.913936e-02,8.908147e-02,8.896229e-02,8.870833e-02,8.859911e-02,8.838277e-02,8.799073e-02,8.784318e-02,8.753716e-02,8.702682e-02,8.685228e-02,8.646431e-02,8.585400e-02,8.566221e-02,8.520008e-02,8.450655e-02,8.430579e-02,8.377720e-02,8.301562e-02,8.281276e-02,8.222523e-02,8.140923e-02,8.120993e-02,8.057068e-02,7.971242e-02,7.952123e-02,7.883715e-02,7.794738e-02,7.776790e-02,7.704550e-02,7.613371e-02,7.596870e-02,7.521408e-02,7.428855e-02,7.414004e-02,7.335891e-02,7.242687e-02,7.229628e-02,7.149394e-02,7.056162e-02,7.044984e-02,6.963121e-02,6.870396e-02,6.861145e-02,6.778101e-02,6.686342e-02,6.679028e-02,6.595216e-02,6.504814e-02,6.499414e-02,6.415216e-02,6.326499e-02,6.322970e-02,6.238732e-02,6.151978e-02,6.150254e-02,6.066293e-02,5.981730e-02,5.817780e-02,5.658712e-02,5.504771e-02,5.356147e-02,5.212981e-02,5.075377e-02,4.943396e-02,4.817074e-02,4.696412e-02,4.581392e-02,4.471970e-02,4.368086e-02,4.269664e-02,4.176612e-02,4.088829e-02,4.006200e-02,3.928605e-02,3.855911e-02,3.787983e-02,3.724675e-02,3.665839e-02,3.611322e-02,3.560967e-02,3.514614e-02,3.472101e-02,3.433265e-02,3.397941e-02,3.365964e-02,3.337168e-02,3.311389e-02,3.288462e-02,3.268226e-02,3.250519e-02,3.235185e-02,3.222066e-02,3.211011e-02,3.201872e-02,3.194502e-02,3.188760e-02,3.184512e-02,3.181623e-02,3.179968e-02,3.179425e-02,3.179876e-02,3.181211e-02,3.183323e-02,3.186114e-02,3.189487e-02,3.193355e-02
0.000000e+00,4.074413e-10,6.268362e-09,6.561093e-09,4.418075e-08,1.538384e-07,1.603152e-07,3.555288e-07,5.595765e-07,5.724879e-07,7.811374e-07,9.600369e-07,9.749686e-07,1.153260e-06,1.300859e-06,1.316532e-06,1.465571e-06,1.585601e-06,1.601194e-06,1.724200e-06,1.820481e-06,1.835358e-06,1.935405e-06,2.011378e-06,2.025051e-06,2.104979e-06,2.163726e-06,2.175840e-06,2.238256e-06,2.282507e-06,2.292818e-06,2.340088e-06,2.372237e-06,2.380594e-06,2.414838e-06,2.436965e-06,2.443289e-06,2.466388e-06,2.480279e-06,2.484548e-06,2.498157e-06,2.505342e-06,2.507577e-06,2.513147e-06,2.514925e-06,2.515182e-06,2.513979e-06,2.511452e-06,2.509812e-06,2.502939e-06,2.497036e-06,2.493598e-06,2.482011e-06,2.473514e-06,2.468387e-06,2.452917e-06,2.442479e-06,2.435782e-06,2.417148e-06,2.405313e-06,2.397169e-06,2.375990e-06,2.363208e-06,2.353743e-06,2.330552e-06,2.317195e-06,2.306531e-06,2.281788e-06,2.268160e-06,2.256419e-06,2.230516e-06,2.216864e-06,2.204163e-06,2.177437e-06,2.163956e-06,2.150409e-06,2.123146e-06,2.109993e-06,2.095707e-06,2.068149e-06,2.055447e-06,2.040524e-06,2.012877e-06,2.000717e-06,1.985252e-06,1.957688e-06,1.946139e-06,1.930222e-06,1.902886e-06,1.891995e-06,1.875710e-06,1.848721e-06,1.838519e-06,1.821943e-06,1.795399e-06,1.785905e-06,1.769109e-06,1.743090e-06,1.734309e-06,1.717359e-06,1.691930e-06,1.683858e-06,1.666814e-06,1.642024e-06,1.634652e-06,1.617569e-06,1.593458e-06,1.586769e-06,1.569697e-06,1.546292e-06,1.540266e-06,1.523250e-06,1.500573e-06,1.495185e-06,1.478265e-06,1.456328e-06,1.451552e-06,1.434764e-06,1.413575e-06,1.409382e-06,1.392759e-06,1.372318e-06,1.368679e-06,1.352251e-06,1.332555e-06,1.329439e-06,1.313231e-06,1.294275e-06,1.291650e-06,1.275685e-06,1.257459e-06,1.255296e-06,1.239593e-06,1.222085e-06,1.220353e-06,1.204930e-06,1.188125e-06,1.186796e-06,1.171666e-06,1.155550e-06,1.154594e-06,1.139771e-06,1.124326e-06,1.123715e-06,1.109209e-06,1.094417e-06,1.094124e-06,1.079944e-06,1.065787e-06,1.038666e-06,1.012723e-06,9.879202e-07,9.642201e-07,9.415842e-07,9.199749e-07,8.993549e-07,8.796874e-07,8.609365e-07,8.430668e-07,8.260440e-07,8.098342e-07,7.944048e-07,7.797239e-07,7.657607e-07,7.524854e-07,7.398690e-07,7.278836e-07,7.165022e-07,7.056989e-07,6.954485e-07,6.857267e-07,6.765104e-07,6.677770e-07,6.595052e-07,6.516741e-07,6.442638e-07,6.372552e-07,6.306300e-07,6.243706e-07,6.184599e-07,6.128818e-07,6.076208e-07,6.026619e-07,5.979908e-07,5.935939e-07,5.894580e-07,5.855705e-07,5.819193e-07,5.784931e-07,5.752806e-07,5.722714e-07,5.694554e-07,5.668228e-07,5.643644e-07,5.620714e-07,5.599353e-07,5.579480e-07,5.561018e-07
0.000000e+00,3.168520e-12,6.534779e-10,7.071028e-10,1.775503e-08,1.714530e-07,1.862642e-07,1.173636e-06,4.755215e-06,5.152616e-06,1.713767e-05,4.260513e-05,4.576899e-05,1.026512e-04,1.883862e-04,2.003249e-04,3.497616e-04,5.300206e-04,5.582968e-04,8.284958e-04,1.108512e-03,1.158005e-03,1.540171e-03,1.894731e-03,1.965126e-03,2.421028e-03,2.809110e-03,2.895261e-03,3.375434e-03,3.756139e-03,3.850144e-03,4.309466e-03,4.651734e-03,4.745230e-03,5.151099e-03,5.436700e-03,5.522516e-03,5.856544e-03,6.078713e-03,6.151664e-03,6.407550e-03,6.567816e-03,6.624830e-03,6.804868e-03,6.909739e-03,6.949569e-03,7.061206e-03,7.119504e-03,7.142280e-03,7.195404e-03,7.216434e-03,7.223208e-03,7.228275e-03,7.220739e-03,7.213092e-03,7.180018e-03,7.151504e-03,7.131262e-03,7.068864e-03,7.025663e-03,6.994696e-03,6.910464e-03,6.857613e-03,6.817711e-03,6.717826e-03,6.659244e-03,6.612052e-03,6.501497e-03,6.440160e-03,6.387145e-03,6.269867e-03,6.207985e-03,6.150432e-03,6.029515e-03,5.968689e-03,5.907709e-03,5.785530e-03,5.726887e-03,5.663429e-03,5.541797e-03,5.486099e-03,5.420972e-03,5.301243e-03,5.248975e-03,5.182860e-03,5.066035e-03,5.017477e-03,4.950947e-03,4.837747e-03,4.793024e-03,4.726559e-03,4.617487e-03,4.576611e-03,4.510611e-03,4.405997e-03,4.368900e-03,4.303695e-03,4.203740e-03,4.170294e-03,4.106157e-03,4.010959e-03,3.981001e-03,3.918152e-03,3.827733e-03,3.801072e-03,3.739693e-03,3.654014e-03,3.630445e-03,3.570677e-03,3.489657e-03,3.468967e-03,3.410924e-03,3.334446e-03,3.316424e-03,3.260190e-03,3.188117e-03,3.172550e-03,3.118189e-03,3.050365e-03,3.037049e-03,2.984604e-03,2.920864e-03,2.909602e-03,2.859102e-03,2.799273e-03,2.789877e-03,2.741334e-03,2.685242e-03,2.677534e-03,2.630952e-03,2.578420e-03,2.572232e-03,2.527603e-03,2.478457e-03,2.473633e-03,2.430940e-03,2.385009e-03,2.381402e-03,2.340622e-03,2.297739e-03,2.295213e-03,2.256318e-03,2.216320e-03,2.214749e-03,2.177706e-03,2.140437e-03,2.139705e-03,2.104476e-03,2.069785e-03,2.004706e-03,1.944196e-03,1.887995e-03,1.835857e-03,1.787546e-03,1.742837e-03,1.701517e-03,1.663384e-03,1.628247e-03,1.595923e-03,1.566240e-03,1.539035e-03,1.514154e-03,1.491451e-03,1.470787e-03,1.452032e-03,1.435064e-03,1.419764e-03,1.406023e-03,1.393737e-03,1.382807e-03,1.373141e-03,1.364651e-03,1.357254e-03,1.350872e-03,1.345432e-03,1.340863e-03,1.337101e-03,1.334083e-03,1.331751e-03,1.330051e-03,1.328930e-03,1.328341e-03,1.328237e-03,1.328575e-03,1.329316e-03,1.330420e-03,1.331853e-03,1.333580e-03,1.335571e-03,1.337797e-03,1.340229e-03,1.342843e-03,1.345615e-03,1.348522e-03,1.351544e-03,1.354661e-03,1.357855e-03,1.361111e-03
0.000000e+00,5.595745e-11,1.413333e-08,1.536263e-08,4.867666e-07,5.794280e-06,6.345974e-06,4.810548e-05,2.257826e-04,2.467890e-04,9.412852e-04,2.635138e-03,2.859922e-03,7.292964e-03,1.505946e-02,1.622805e-02,3.242747e-02,5.549264e-02,5.944068e-02,1.015558e-01,1.535955e-01,1.636994e-01,2.512964e-01,3.487543e-01,3.701037e-01,5.260297e-01,6.857138e-01,7.249502e-01,9.725311e-01,1.209204e+00,1.274065e+00,1.634323e+00,1.958776e+00,2.057440e+00,2.546807e+00,2.964653e+00,3.105004e+00,3.733754e+00,4.244980e+00,4.433898e+00,5.205393e+00,5.804572e+00,6.047330e+00,6.957972e+00,7.634981e+00,7.934800e+00,8.974580e+00,9.715629e+00,1.007343e+01,1.122688e+01,1.201569e+01,1.243000e+01,1.367743e+01,1.449643e+01,1.496349e+01,1.628227e+01,1.711367e+01,1.762767e+01,1.899352e+01,1.982028e+01,2.037364e+01,2.176188e+01,2.256839e+01,2.315219e+01,2.453870e+01,2.531136e+01,2.591573e+01,2.727785e+01,2.800536e+01,2.861989e+01,2.993701e+01,3.061055e+01,3.122469e+01,3.247875e+01,3.309196e+01,3.369537e+01,3.487108e+01,3.541998e+01,3.600280e+01,3.708780e+01,3.757055e+01,3.812371e+01,3.910851e+01,3.952519e+01,4.004053e+01,4.091843e+01,4.127075e+01,4.174118e+01,4.250806e+01,4.279906e+01,4.321862e+01,4.387270e+01,4.410646e+01,4.447038e+01,4.501197e+01,4.519330e+01,4.549798e+01,4.592913e+01,4.606339e+01,4.630634e+01,4.663063e+01,4.672343e+01,4.690322e+01,4.712543e+01,4.718248e+01,4.729868e+01,4.742451e+01,4.745146e+01,4.750451e+01,4.754036e+01,4.754267e+01,4.753380e+01,4.748658e+01,4.746939e+01,4.740050e+01,4.727739e+01,4.724551e+01,4.711907e+01,4.692737e+01,4.688519e+01,4.670413e+01,4.645115e+01,4.640259e+01,4.617023e+01,4.586313e+01,4.581168e+01,4.553160e+01,4.517733e+01,4.512602e+01,4.480200e+01,4.440723e+01,4.435863e+01,4.399460e+01,4.356564e+01,4.352190e+01,4.312183e+01,4.266462e+01,4.262750e+01,4.219537e+01,4.171542e+01,4.168632e+01,4.122606e+01,4.072850e+01,4.070844e+01,4.022390e+01,3.971340e+01,3.970314e+01,3.919806e+01,3.867888e+01,3.764334e+01,3.660342e+01,3.556531e+01,3.453448e+01,3.351577e+01,3.251338e+01,3.153096e+01,3.057161e+01,2.963797e+01,2.873223e+01,2.785618e+01,2.701124e+01,2.619850e+01,2.541876e+01,2.467257e+01,2.396020e+01,2.328176e+01,2.263714e+01,2.202608e+01,2.144818e+01,2.090292e+01,2.038964e+01,1.990763e+01,1.945608e+01,1.903410e+01,1.864077e+01,1.827510e+01,1.793609e+01,1.762269e+01,1.733383e+01,1.706844e+01,1.682543e+01,1.660371e+01,1.640219e+01,1.621978e+01,1.605543e+01,1.590807e+01,1.577667e+01,1.566020e+01,1.555767e+01,1.546811e+01,1.539058e+01,1.532416e+01,1.526798e+01,1.522118e+01,1.518295e+01,1.515251e+01,1.512910e+01,1.511202e+01
0.000000e+00,3.456312e-09,7.076515e-08,7.418946e-08,5.432788e-07,2.133236e-06,2.237065e-06,5.977437e-06,1.114403e-05,1.150374e-05,1.757516e-05,2.289871e-05,2.334123e-05,2.857299e-05,3.281208e-05,3.325660e-05,3.742488e-05,4.069892e-05,4.111842e-05,4.437726e-05,4.686099e-05,4.723908e-05,4.973892e-05,5.158286e-05,5.190922e-05,5.377980e-05,5.510935e-05,5.537811e-05,5.672928e-05,5.764782e-05,5.785634e-05,5.878034e-05,5.937260e-05,5.952063e-05,6.009496e-05,6.043047e-05,6.051950e-05,6.080892e-05,6.094403e-05,6.097663e-05,6.103496e-05,6.101556e-05,6.099511e-05,6.086728e-05,6.073046e-05,6.066077e-05,6.038407e-05,6.015978e-05,6.004488e-05,5.965022e-05,5.936250e-05,5.920650e-05,5.871952e-05,5.838761e-05,5.819457e-05,5.763645e-05,5.727568e-05,5.704952e-05,5.643773e-05,5.606025e-05,5.580470e-05,5.515366e-05,5.476898e-05,5.448757e-05,5.380910e-05,5.342466e-05,5.312067e-05,5.242445e-05,5.204596e-05,5.172243e-05,5.101638e-05,5.064817e-05,5.030789e-05,4.959843e-05,4.924373e-05,4.888926e-05,4.818157e-05,4.784270e-05,4.747638e-05,4.677462e-05,4.645320e-05,4.607713e-05,4.538464e-05,4.508170e-05,4.469780e-05,4.401718e-05,4.373331e-05,4.334330e-05,4.267660e-05,4.241201e-05,4.201745e-05,4.136621e-05,4.112087e-05,4.072316e-05,4.008854e-05,3.986218e-05,3.946256e-05,3.884539e-05,3.863759e-05,3.823718e-05,3.763803e-05,3.744823e-05,3.704802e-05,3.646723e-05,3.629479e-05,3.589568e-05,3.533341e-05,3.517763e-05,3.478041e-05,3.423667e-05,3.409681e-05,3.370217e-05,3.317688e-05,3.305218e-05,3.266074e-05,3.215370e-05,3.204337e-05,3.165569e-05,3.116663e-05,3.106989e-05,3.068645e-05,3.021505e-05,3.013113e-05,2.975235e-05,2.929824e-05,2.922638e-05,2.885263e-05,2.841541e-05,2.835487e-05,2.798648e-05,2.756572e-05,2.751577e-05,2.715302e-05,2.674827e-05,2.670823e-05,2.635136e-05,2.596216e-05,2.593136e-05,2.558057e-05,2.520646e-05,2.518425e-05,2.483972e-05,2.448023e-05,2.446600e-05,2.412788e-05,2.378255e-05,2.377571e-05,2.344412e-05,2.311247e-05,2.247539e-05,2.186360e-05,2.127622e-05,2.071241e-05,2.017135e-05,1.965222e-05,1.915425e-05,1.867667e-05,1.821875e-05,1.777975e-05,1.735899e-05,1.695579e-05,1.656950e-05,1.619949e-05,1.584514e-05,1.550587e-05,1.518111e-05,1.487031e-05,1.457294e-05,1.428849e-05,1.401647e-05,1.375639e-05,1.350780e-05,1.327026e-05,1.304335e-05,1.282664e-05,1.261975e-05,1.242230e-05,1.223391e-05,1.205424e-05,1.188293e-05,1.171967e-05,1.156414e-05,1.141603e-05,1.127504e-05,1.114091e-05,1.101334e-05,1.089209e-05,1.077690e-05,1.066753e-05,1.056374e-05,1.046530e-05,1.037201e-05,1.028365e-05,1.020002e-05,1.012093e-05,1.004619e-05,9.975630e-06,9.909067e-06
0.000000e+00,4.263867e-09,5.880611e-08,6.139141e-08,3.862228e-07,1.394301e-06,1.457973e-06,3.639221e-06,6.385549e-06,6.569493e-06,9.624270e-06,1.230768e-05,1.253298e-05,1.523340e-05,1.748065e-05,1.771985e-05,2.000019e-05,2.184503e-05,2.208532e-05,2.398671e-05,2.548361e-05,2.571571e-05,2.728330e-05,2.848306e-05,2.870001e-05,2.997589e-05,3.092372e-05,3.112046e-05,3.214276e-05,3.287829e-05,3.305129e-05,3.385407e-05,3.441169e-05,3.455863e-05,3.517204e-05,3.558137e-05,3.570094e-05,3.615152e-05,3.643796e-05,3.652960e-05,3.684061e-05,3.702587e-05,3.708963e-05,3.728142e-05,3.738400e-05,3.742040e-05,3.751073e-05,3.754633e-05,3.755625e-05,3.756059e-05,3.754253e-05,3.752710e-05,3.745893e-05,3.739845e-05,3.735898e-05,3.723000e-05,3.713657e-05,3.707451e-05,3.689488e-05,3.677643e-05,3.669330e-05,3.647183e-05,3.633502e-05,3.623237e-05,3.597669e-05,3.582704e-05,3.570643e-05,3.542313e-05,3.526523e-05,3.512820e-05,3.482297e-05,3.466058e-05,3.450865e-05,3.418637e-05,3.402259e-05,3.385720e-05,3.352210e-05,3.335942e-05,3.318198e-05,3.283766e-05,3.267808e-05,3.248992e-05,3.213947e-05,3.198458e-05,3.178696e-05,3.143301e-05,3.128405e-05,3.107816e-05,3.072294e-05,3.058085e-05,3.036781e-05,3.001321e-05,2.987868e-05,2.965953e-05,2.930714e-05,2.918067e-05,2.895638e-05,2.860755e-05,2.848943e-05,2.826092e-05,2.791674e-05,2.780716e-05,2.757525e-05,2.723666e-05,2.713567e-05,2.690114e-05,2.656886e-05,2.647643e-05,2.623999e-05,2.591464e-05,2.583064e-05,2.559294e-05,2.527500e-05,2.519926e-05,2.496091e-05,2.465074e-05,2.458303e-05,2.434456e-05,2.404245e-05,2.398251e-05,2.374443e-05,2.345056e-05,2.339811e-05,2.316087e-05,2.287538e-05,2.283009e-05,2.259411e-05,2.231706e-05,2.227861e-05,2.204426e-05,2.177568e-05,2.174374e-05,2.151134e-05,2.125122e-05,2.122544e-05,2.099531e-05,2.074359e-05,2.072363e-05,2.049604e-05,2.025263e-05,2.023816e-05,2.001334e-05,1.977814e-05,1.976882e-05,1.954700e-05,1.931988e-05,1.931538e-05,1.909674e-05,1.887755e-05,1.845505e-05,1.804754e-05,1.765470e-05,1.727616e-05,1.691157e-05,1.656056e-05,1.622277e-05,1.589780e-05,1.558530e-05,1.528490e-05,1.499621e-05,1.471889e-05,1.445258e-05,1.419691e-05,1.395154e-05,1.371614e-05,1.349037e-05,1.327391e-05,1.306644e-05,1.286765e-05,1.267724e-05,1.249492e-05,1.232040e-05,1.215341e-05,1.199367e-05,1.184094e-05,1.169494e-05,1.155545e-05,1.142221e-05,1.129501e-05,1.117361e-05,1.105780e-05,1.094738e-05,1.084213e-05,1.074187e-05,1.064640e-05,1.055554e-05,1.046912e-05,1.038696e-05,1.030890e-05,1.023477e-05,1.016443e-05,1.009772e-05,1.003450e-05,9.974632e-06,9.917978e-06,9.864409e-06,9.813801e-06,9.766032e-06
0.000000e+00,2.052420e-09,6.733546e-08,7.098659e-08,6.383490e-07,2.822157e-06,2.971112e-06,8.591192e-06,1.678982e-05,1.737039e-05,2.722856e-05,3.583464e-05,3.654490e-05,4.486325e-05,5.148046e-05,5.216721e-05,5.853395e-05,6.343266e-05,6.405311e-05,6.881060e-05,7.235326e-05,7.288538e-05,7.634918e-05,7.883407e-05,7.926660e-05,8.169566e-05,8.335999e-05,8.368876e-05,8.529336e-05,8.632620e-05,8.655222e-05,8.750376e-05,8.805498e-05,8.818254e-05,8.861955e-05,8.880722e-05,8.884262e-05,8.887671e-05,8.879353e-05,8.874420e-05,8.846513e-05,8.818359e-05,8.805743e-05,8.753721e-05,8.711387e-05,8.691884e-05,8.621519e-05,8.569391e-05,8.543775e-05,8.459681e-05,8.401150e-05,8.370155e-05,8.276018e-05,8.213690e-05,8.178000e-05,8.076754e-05,8.012618e-05,7.972861e-05,7.866838e-05,7.802395e-05,7.759145e-05,7.650191e-05,7.586565e-05,7.540339e-05,7.429911e-05,7.367927e-05,7.319192e-05,7.208432e-05,7.148684e-05,7.097854e-05,6.987653e-05,6.930555e-05,6.878001e-05,6.769048e-05,6.714875e-05,6.660925e-05,6.553747e-05,6.502666e-05,6.447612e-05,6.342607e-05,6.294704e-05,6.238803e-05,6.136264e-05,6.091561e-05,6.035042e-05,5.935180e-05,5.893653e-05,5.836716e-05,5.739678e-05,5.701268e-05,5.644090e-05,5.549968e-05,5.514590e-05,5.457327e-05,5.366175e-05,5.333725e-05,5.276516e-05,5.188351e-05,5.158716e-05,5.101681e-05,5.016499e-05,4.989554e-05,4.932799e-05,4.850574e-05,4.826192e-05,4.769812e-05,4.690502e-05,4.668554e-05,4.612630e-05,4.536183e-05,4.516538e-05,4.461144e-05,4.387498e-05,4.370028e-05,4.315227e-05,4.244314e-05,4.228894e-05,4.174741e-05,4.106489e-05,4.092996e-05,4.039540e-05,3.973873e-05,3.962188e-05,3.909471e-05,3.846313e-05,3.836322e-05,3.784381e-05,3.723653e-05,3.715246e-05,3.664112e-05,3.605736e-05,3.598808e-05,3.548507e-05,3.492406e-05,3.486857e-05,3.437413e-05,3.383509e-05,3.379243e-05,3.330675e-05,3.278892e-05,3.275818e-05,3.228142e-05,3.178406e-05,3.176437e-05,3.129666e-05,3.081904e-05,3.080958e-05,3.035102e-05,2.989244e-05,2.901158e-05,2.816570e-05,2.735354e-05,2.657385e-05,2.582543e-05,2.510714e-05,2.441785e-05,2.375648e-05,2.312200e-05,2.251338e-05,2.192967e-05,2.136992e-05,2.083322e-05,2.031871e-05,1.982555e-05,1.935292e-05,1.890004e-05,1.846617e-05,1.805058e-05,1.765257e-05,1.727147e-05,1.690663e-05,1.655744e-05,1.622328e-05,1.590358e-05,1.559780e-05,1.530538e-05,1.502582e-05,1.475862e-05,1.450331e-05,1.425942e-05,1.402651e-05,1.380416e-05,1.359195e-05,1.338949e-05,1.319641e-05,1.301233e-05,1.283691e-05,1.266981e-05,1.251070e-05,1.235926e-05,1.221520e-05,1.207823e-05,1.194806e-05,1.182443e-05,1.170708e-05,1.159576e-05,1.149023e-05,1.139025e-05
0.000000e+00,1.566559e-10,1.983886e-08,2.129461e-08,3.882895e-07,2.991633e-06,3.220801e-06,1.604156e-05,5.066205e-05,5.397051e-05,1.327674e-04,2.444762e-04,2.557241e-04,4.109201e-04,5.636862e-04,5.809029e-04,7.516308e-04,8.958624e-04,9.149098e-04,1.067040e-03,1.188030e-03,1.206857e-03,1.334385e-03,1.432374e-03,1.450128e-03,1.554755e-03,1.632745e-03,1.648966e-03,1.733451e-03,1.794481e-03,1.808870e-03,1.875846e-03,1.922609e-03,1.934972e-03,1.986801e-03,2.021635e-03,2.031858e-03,2.070632e-03,2.095551e-03,2.103583e-03,2.131142e-03,2.147875e-03,2.153715e-03,2.171679e-03,2.181701e-03,2.185387e-03,2.195173e-03,2.199744e-03,2.201343e-03,2.204190e-03,2.204380e-03,2.203983e-03,2.200975e-03,2.197691e-03,2.195404e-03,2.187488e-03,2.181494e-03,2.177434e-03,2.165432e-03,2.157372e-03,2.151662e-03,2.136290e-03,2.126702e-03,2.119472e-03,2.101351e-03,2.090684e-03,2.082062e-03,2.061729e-03,2.050357e-03,2.040469e-03,2.018391e-03,2.006620e-03,1.995594e-03,1.972171e-03,1.960253e-03,1.948209e-03,1.923788e-03,1.911924e-03,1.898981e-03,1.873857e-03,1.862211e-03,1.848479e-03,1.822906e-03,1.811607e-03,1.797192e-03,1.771387e-03,1.760533e-03,1.745536e-03,1.719682e-03,1.709348e-03,1.693863e-03,1.668115e-03,1.658356e-03,1.642470e-03,1.616957e-03,1.607811e-03,1.591605e-03,1.566437e-03,1.557926e-03,1.541476e-03,1.516742e-03,1.508878e-03,1.492253e-03,1.468026e-03,1.460811e-03,1.444076e-03,1.420415e-03,1.413843e-03,1.397055e-03,1.374007e-03,1.368067e-03,1.351280e-03,1.328881e-03,1.323555e-03,1.306817e-03,1.285094e-03,1.280361e-03,1.263716e-03,1.242689e-03,1.238525e-03,1.222013e-03,1.201693e-03,1.198073e-03,1.181730e-03,1.162124e-03,1.159020e-03,1.142877e-03,1.123987e-03,1.121371e-03,1.105455e-03,1.087280e-03,1.085123e-03,1.069460e-03,1.051994e-03,1.050266e-03,1.034878e-03,1.018111e-03,1.016785e-03,1.001691e-03,9.856129e-04,9.846591e-04,9.698750e-04,9.544734e-04,9.538642e-04,9.394045e-04,9.246645e-04,9.243730e-04,9.102494e-04,8.961553e-04,8.691791e-04,8.434109e-04,8.188157e-04,7.953582e-04,7.730022e-04,7.517116e-04,7.314498e-04,7.121810e-04,6.938693e-04,6.764794e-04,6.599765e-04,6.443264e-04,6.294957e-04,6.154516e-04,6.021624e-04,5.895968e-04,5.777248e-04,5.665171e-04,5.559452e-04,5.459818e-04,5.366000e-04,5.277743e-04,5.194796e-04,5.116921e-04,5.043885e-04,4.975465e-04,4.911446e-04,4.851621e-04,4.795789e-04,4.743760e-04,4.695349e-04,4.650377e-04,4.608674e-04,4.570077e-04,4.534429e-04,4.501577e-04,4.471376e-04,4.443689e-04,4.418381e-04,4.395325e-04,4.374397e-04,4.355480e-04,4.338463e-04,4.323236e-04,4.309698e-04,4.297748e-04,4.287294e-04,4.278244e-04,4.270513e-04
0.000000e+00,4.142566e-11,6.264320e-09,6.743701e-09,1.371445e-07,1.118268e-06,1.206116e-06,6.243175e-06,2.032046e-05,2.168742e-05,5.501035e-05,1.042437e-04,1.093110e-04,1.809270e-04,2.537561e-04,2.620568e-04,3.446981e-04,4.139269e-04,4.229534e-04,4.934671e-04,5.468505e-04,5.548898e-04,6.071332e-04,6.443357e-04,6.507738e-04,6.866678e-04,7.109685e-04,7.157383e-04,7.388724e-04,7.536516e-04,7.568783e-04,7.704733e-04,7.784224e-04,7.802855e-04,7.868614e-04,7.899881e-04,7.906741e-04,7.921329e-04,7.919068e-04,7.915914e-04,7.893541e-04,7.868420e-04,7.856835e-04,7.808054e-04,7.767777e-04,7.749145e-04,7.681784e-04,7.631891e-04,7.607406e-04,7.527249e-04,7.471703e-04,7.442377e-04,7.353706e-04,7.295330e-04,7.262019e-04,7.167988e-04,7.108767e-04,7.072187e-04,6.975110e-04,6.916429e-04,6.877180e-04,6.778757e-04,6.721572e-04,6.680154e-04,6.581631e-04,6.526577e-04,6.483410e-04,6.385680e-04,6.333168e-04,6.288602e-04,6.192309e-04,6.142586e-04,6.096916e-04,6.002517e-04,5.955716e-04,5.909192e-04,5.817005e-04,5.773176e-04,5.726009e-04,5.636248e-04,5.595381e-04,5.547754e-04,5.460554e-04,5.422601e-04,5.374668e-04,5.290110e-04,5.254994e-04,5.206889e-04,5.125011e-04,5.092636e-04,5.044476e-04,4.965284e-04,4.935542e-04,4.887430e-04,4.810907e-04,4.783684e-04,4.735708e-04,4.661822e-04,4.636998e-04,4.589238e-04,4.517944e-04,4.495400e-04,4.447926e-04,4.379170e-04,4.358787e-04,4.311661e-04,4.245384e-04,4.227044e-04,4.180321e-04,4.116458e-04,4.100048e-04,4.053778e-04,3.992263e-04,3.977671e-04,3.931897e-04,3.872663e-04,3.859782e-04,3.814544e-04,3.757522e-04,3.746248e-04,3.701580e-04,3.646703e-04,3.636936e-04,3.592871e-04,3.540069e-04,3.531715e-04,3.488280e-04,3.437487e-04,3.430455e-04,3.387674e-04,3.338824e-04,3.333026e-04,3.290922e-04,3.243950e-04,3.239304e-04,3.197894e-04,3.152737e-04,3.149163e-04,3.108465e-04,3.065062e-04,3.062485e-04,3.022513e-04,2.980803e-04,2.979152e-04,2.939918e-04,2.899842e-04,2.899049e-04,2.860563e-04,2.822065e-04,2.748092e-04,2.677026e-04,2.608764e-04,2.543208e-04,2.480262e-04,2.419834e-04,2.361835e-04,2.306178e-04,2.252778e-04,2.201556e-04,2.152432e-04,2.105331e-04,2.060180e-04,2.016908e-04,1.975446e-04,1.935728e-04,1.897692e-04,1.861275e-04,1.826417e-04,1.793062e-04,1.761154e-04,1.730639e-04,1.701466e-04,1.673585e-04,1.646947e-04,1.621507e-04,1.597219e-04,1.574040e-04,1.551928e-04,1.530844e-04,1.510747e-04,1.491601e-04,1.473370e-04,1.456017e-04,1.439510e-04,1.423816e-04,1.408903e-04,1.394741e-04,1.381302e-04,1.368555e-04,1.356475e-04,1.345035e-04,1.334209e-04,1.323974e-04,1.314304e-04,1.305179e-04,1.296574e-04,1.288470e-04,1.280845e-04
0.000000e+00,7.100203e-09,1.387363e-07,1.457186e-07,1.119086e-06,4.100270e-06,4.275157e-06,9.384350e-06,1.452120e-05,1.484317e-05,2.002291e-05,2.444406e-05,2.481255e-05,2.920752e-05,3.283908e-05,3.322432e-05,3.688331e-05,3.982350e-05,4.020494e-05,4.320912e-05,4.555333e-05,4.591487e-05,4.834075e-05,5.017540e-05,5.050476e-05,5.242426e-05,5.382752e-05,5.411592e-05,5.559567e-05,5.663710e-05,5.687866e-05,5.797925e-05,5.871983e-05,5.891098e-05,5.968664e-05,6.017916e-05,6.031821e-05,6.081695e-05,6.110672e-05,6.119339e-05,6.145739e-05,6.158304e-05,6.161816e-05,6.168431e-05,6.167862e-05,6.166384e-05,6.156425e-05,6.145491e-05,6.139251e-05,6.115509e-05,6.096537e-05,6.085804e-05,6.050699e-05,6.025639e-05,6.010714e-05,5.966336e-05,5.936814e-05,5.918015e-05,5.866169e-05,5.833533e-05,5.811187e-05,5.753427e-05,5.718786e-05,5.693223e-05,5.630883e-05,5.595147e-05,5.566693e-05,5.500915e-05,5.464822e-05,5.433794e-05,5.365554e-05,5.329696e-05,5.296401e-05,5.226528e-05,5.191377e-05,5.156110e-05,5.085306e-05,5.051228e-05,5.014267e-05,4.943127e-05,4.910404e-05,4.872011e-05,4.801031e-05,4.769871e-05,4.730293e-05,4.659889e-05,4.630440e-05,4.589905e-05,4.520419e-05,4.492780e-05,4.451502e-05,4.383216e-05,4.357445e-05,4.315618e-05,4.248760e-05,4.224881e-05,4.182686e-05,4.117437e-05,4.095447e-05,4.053048e-05,3.989551e-05,3.969425e-05,3.926972e-05,3.865335e-05,3.847031e-05,3.804660e-05,3.744963e-05,3.728425e-05,3.686257e-05,3.628555e-05,3.613718e-05,3.571864e-05,3.516190e-05,3.502981e-05,3.461538e-05,3.407910e-05,3.396249e-05,3.355305e-05,3.303723e-05,3.293529e-05,3.253161e-05,3.203615e-05,3.194804e-05,3.155079e-05,3.107547e-05,3.100035e-05,3.061012e-05,3.015464e-05,3.009166e-05,2.970895e-05,2.927295e-05,2.922128e-05,2.884653e-05,2.842958e-05,2.838840e-05,2.802199e-05,2.762362e-05,2.759214e-05,2.723436e-05,2.685407e-05,2.683153e-05,2.648262e-05,2.611989e-05,2.610556e-05,2.576572e-05,2.541999e-05,2.541316e-05,2.508255e-05,2.475327e-05,2.412477e-05,2.352658e-05,2.295759e-05,2.241670e-05,2.190283e-05,2.141491e-05,2.095190e-05,2.051277e-05,2.009651e-05,1.970217e-05,1.932878e-05,1.897544e-05,1.864125e-05,1.832535e-05,1.802692e-05,1.774515e-05,1.747928e-05,1.722856e-05,1.699228e-05,1.676975e-05,1.656033e-05,1.636337e-05,1.617827e-05,1.600446e-05,1.584137e-05,1.568848e-05,1.554528e-05,1.541128e-05,1.528601e-05,1.516903e-05,1.505992e-05,1.495827e-05,1.486369e-05,1.477582e-05,1.469429e-05,1.461878e-05,1.454895e-05,1.448451e-05,1.442517e-05,1.437063e-05,1.432065e-05,1.427496e-05,1.423332e-05,1.419551e-05,1.416130e-05,1.413049e-05,1.410288e-05,1.407828e-05,1.405651e-05
0.000000e+00,4.192301e-12,9.165816e-10,9.943153e-10,2.906604e-08,3.163451e-07,3.448770e-07,2.269009e-06,8.908874e-06,9.615149e-06,2.920397e-05,6.509064e-05,6.922313e-05,1.365272e-04,2.234221e-04,2.346377e-04,3.631654e-04,4.985433e-04,5.184008e-04,6.944791e-04,8.573975e-04,8.846037e-04,1.082036e-03,1.249086e-03,1.280746e-03,1.475753e-03,1.630170e-03,1.663222e-03,1.840407e-03,1.973516e-03,2.005511e-03,2.157509e-03,2.266678e-03,2.295975e-03,2.420923e-03,2.507037e-03,2.532683e-03,2.631790e-03,2.697373e-03,2.718912e-03,2.794786e-03,2.842882e-03,2.860181e-03,2.915864e-03,2.949465e-03,2.962584e-03,3.001063e-03,3.022872e-03,3.031985e-03,3.055992e-03,3.068343e-03,3.073686e-03,3.085626e-03,3.090488e-03,3.092329e-03,3.094275e-03,3.093288e-03,3.091907e-03,3.085633e-03,3.080152e-03,3.075830e-03,3.062843e-03,3.053979e-03,3.046992e-03,3.028569e-03,3.017230e-03,3.007844e-03,2.985064e-03,2.971989e-03,2.960456e-03,2.934230e-03,2.920016e-03,2.906576e-03,2.877670e-03,2.862798e-03,2.847672e-03,2.816732e-03,2.801585e-03,2.784983e-03,2.752549e-03,2.737431e-03,2.719543e-03,2.686069e-03,2.671217e-03,2.652221e-03,2.618086e-03,2.603682e-03,2.583741e-03,2.549259e-03,2.535443e-03,2.514705e-03,2.480137e-03,2.467010e-03,2.445611e-03,2.411174e-03,2.398807e-03,2.376870e-03,2.342740e-03,2.331182e-03,2.308819e-03,2.275140e-03,2.264418e-03,2.241731e-03,2.208618e-03,2.198746e-03,2.175826e-03,2.143373e-03,2.134350e-03,2.111279e-03,2.079559e-03,2.071376e-03,2.048228e-03,2.017298e-03,2.009936e-03,1.986779e-03,1.956680e-03,1.950115e-03,1.927008e-03,1.897771e-03,1.891976e-03,1.868972e-03,1.840617e-03,1.835560e-03,1.812707e-03,1.785246e-03,1.780894e-03,1.758234e-03,1.731673e-03,1.727990e-03,1.705561e-03,1.679898e-03,1.676849e-03,1.654684e-03,1.629915e-03,1.627463e-03,1.605591e-03,1.581707e-03,1.579816e-03,1.558262e-03,1.535252e-03,1.533885e-03,1.512673e-03,1.490521e-03,1.489643e-03,1.468792e-03,1.447482e-03,1.447060e-03,1.426586e-03,1.406099e-03,1.366724e-03,1.328896e-03,1.292575e-03,1.257719e-03,1.224286e-03,1.192234e-03,1.161521e-03,1.132105e-03,1.103945e-03,1.076999e-03,1.051228e-03,1.026591e-03,1.003049e-03,9.805655e-04,9.591021e-04,9.386229e-04,9.190926e-04,9.004770e-04,8.827428e-04,8.658574e-04,8.497896e-04,8.345088e-04,8.199854e-04,8.061908e-04,7.930973e-04,7.806779e-04,7.689068e-04,7.577586e-04,7.472092e-04,7.372349e-04,7.278130e-04,7.189215e-04,7.105391e-04,7.026452e-04,6.952200e-04,6.882443e-04,6.816994e-04,6.755675e-04,6.698313e-04,6.644740e-04,6.594795e-04,6.548321e-04,6.505168e-04,6.465191e-04,6.428248e-04,6.394204e-04,6.362929e-04,6.334295e-04,6.308181e-04
0.000000e+00,2.230727e-10,1.879566e-08,2.004236e-08,2.745855e-07,1.643906e-06,1.751348e-06,6.739121e-06,1.703124e-05,1.790507e-05,3.608121e-05,5.722514e-05,5.916806e-05,8.358401e-05,1.043782e-04,1.065675e-04,1.269194e-04,1.424816e-04,1.444391e-04,1.593154e-04,1.702116e-04,1.718330e-04,1.822776e-04,1.896405e-04,1.909097e-04,1.979613e-04,2.027082e-04,2.036365e-04,2.081146e-04,2.109409e-04,2.115519e-04,2.140841e-04,2.155084e-04,2.158309e-04,2.168976e-04,2.173107e-04,2.173766e-04,2.173489e-04,2.170442e-04,2.168854e-04,2.160478e-04,2.152437e-04,2.148901e-04,2.134594e-04,2.123179e-04,2.117971e-04,2.099391e-04,2.085799e-04,2.079166e-04,2.057570e-04,2.042683e-04,2.034842e-04,2.011187e-04,1.995647e-04,1.986787e-04,1.961799e-04,1.946071e-04,1.936358e-04,1.910583e-04,1.895002e-04,1.884577e-04,1.858428e-04,1.843227e-04,1.832212e-04,1.805997e-04,1.791338e-04,1.779838e-04,1.753785e-04,1.739776e-04,1.727880e-04,1.702159e-04,1.688866e-04,1.676651e-04,1.651383e-04,1.638846e-04,1.626377e-04,1.601650e-04,1.589885e-04,1.577218e-04,1.553093e-04,1.542102e-04,1.529285e-04,1.505803e-04,1.495575e-04,1.482651e-04,1.459835e-04,1.450353e-04,1.437358e-04,1.415223e-04,1.406464e-04,1.393430e-04,1.371979e-04,1.363918e-04,1.350871e-04,1.330103e-04,1.322710e-04,1.309675e-04,1.289585e-04,1.282830e-04,1.269828e-04,1.250404e-04,1.244257e-04,1.231307e-04,1.212536e-04,1.206967e-04,1.194086e-04,1.175954e-04,1.170933e-04,1.158135e-04,1.140626e-04,1.136123e-04,1.123421e-04,1.106518e-04,1.102506e-04,1.089912e-04,1.073598e-04,1.070048e-04,1.057573e-04,1.041831e-04,1.038716e-04,1.026368e-04,1.011181e-04,1.008476e-04,9.962642e-05,9.816140e-05,9.792944e-05,9.672259e-05,9.530959e-05,9.511380e-05,9.392195e-05,9.255928e-05,9.239741e-05,9.122115e-05,8.990716e-05,8.977707e-05,8.861691e-05,8.735000e-05,8.724964e-05,8.610604e-05,8.488464e-05,8.481206e-05,8.368542e-05,8.250800e-05,8.246135e-05,8.135201e-05,8.021709e-05,8.019460e-05,7.910288e-05,7.800901e-05,7.590184e-05,7.387044e-05,7.191225e-05,7.002476e-05,6.820558e-05,6.645238e-05,6.476289e-05,6.313493e-05,6.156639e-05,6.005523e-05,5.859948e-05,5.719723e-05,5.584663e-05,5.454590e-05,5.329331e-05,5.208721e-05,5.092598e-05,4.980807e-05,4.873197e-05,4.769624e-05,4.669946e-05,4.574030e-05,4.481743e-05,4.392960e-05,4.307558e-05,4.225419e-05,4.146429e-05,4.070479e-05,3.997462e-05,3.927275e-05,3.859819e-05,3.794999e-05,3.732721e-05,3.672897e-05,3.615440e-05,3.560267e-05,3.507297e-05,3.456452e-05,3.407658e-05,3.360842e-05,3.315933e-05,3.272865e-05,3.231572e-05,3.191991e-05,3.154060e-05,3.117721e-05,3.082918e-05,3.049594e-05,3.017698e-05
0.000000e+00,4.230132e-11,5.831319e-09,6.261041e-09,1.102133e-07,8.035294e-07,8.636404e-07,4.225525e-06,1.363077e-05,1.455505e-05,3.769347e-05,7.362801e-05,7.742434e-05,1.326977e-04,1.916102e-04,1.984822e-04,2.685991e-04,3.297604e-04,3.379072e-04,4.030572e-04,4.543981e-04,4.623048e-04,5.150084e-04,5.542131e-04,5.611706e-04,6.011195e-04,6.295670e-04,6.353220e-04,6.642859e-04,6.840227e-04,6.885122e-04,7.084751e-04,7.213703e-04,7.246138e-04,7.373317e-04,7.449371e-04,7.469967e-04,7.539430e-04,7.575124e-04,7.584738e-04,7.608635e-04,7.613983e-04,7.613597e-04,7.601863e-04,7.584801e-04,7.575446e-04,7.536162e-04,7.502936e-04,7.485639e-04,7.425343e-04,7.380838e-04,7.356589e-04,7.280560e-04,7.228578e-04,7.198315e-04,7.110802e-04,7.054275e-04,7.018870e-04,6.923281e-04,6.864457e-04,6.824713e-04,6.723774e-04,6.664357e-04,6.621000e-04,6.516870e-04,6.458125e-04,6.411809e-04,6.306191e-04,6.249045e-04,6.200350e-04,6.094579e-04,6.039692e-04,5.989135e-04,5.884246e-04,5.832072e-04,5.780109e-04,5.676895e-04,5.627725e-04,5.574755e-04,5.473816e-04,5.427819e-04,5.374190e-04,5.275971e-04,5.233221e-04,5.179238e-04,5.084057e-04,5.044558e-04,4.990483e-04,4.898558e-04,4.862259e-04,4.808319e-04,4.719792e-04,4.686604e-04,4.632996e-04,4.547944e-04,4.517754e-04,4.464643e-04,4.383093e-04,4.355764e-04,4.303291e-04,4.225231e-04,4.200618e-04,4.148902e-04,4.074291e-04,4.052241e-04,4.001383e-04,3.930158e-04,3.910514e-04,3.860595e-04,3.792673e-04,3.775279e-04,3.726367e-04,3.661654e-04,3.646357e-04,3.598507e-04,3.536901e-04,3.523551e-04,3.476807e-04,3.418198e-04,3.406652e-04,3.361045e-04,3.305320e-04,3.295439e-04,3.250994e-04,3.198039e-04,3.189692e-04,3.146426e-04,3.096126e-04,3.089188e-04,3.047112e-04,2.999354e-04,2.993706e-04,2.952825e-04,2.907496e-04,2.903028e-04,2.863341e-04,2.820331e-04,2.816939e-04,2.778440e-04,2.737642e-04,2.735229e-04,2.697911e-04,2.659221e-04,2.657694e-04,2.621547e-04,2.584864e-04,2.584140e-04,2.549148e-04,2.514375e-04,2.448217e-04,2.385490e-04,2.326026e-04,2.269663e-04,2.216248e-04,2.165633e-04,2.117676e-04,2.072245e-04,2.029211e-04,1.988452e-04,1.949853e-04,1.913303e-04,1.878698e-04,1.845937e-04,1.814926e-04,1.785576e-04,1.757799e-04,1.731516e-04,1.706649e-04,1.683125e-04,1.660874e-04,1.639831e-04,1.619932e-04,1.601118e-04,1.583334e-04,1.566525e-04,1.550641e-04,1.535633e-04,1.521456e-04,1.508067e-04,1.495425e-04,1.483490e-04,1.472226e-04,1.461597e-04,1.451571e-04,1.442115e-04,1.433201e-04,1.424799e-04,1.416883e-04,1.409427e-04,1.402407e-04,1.395800e-04,1.389585e-04,1.383741e-04,1.378247e-04,1.373087e-04,1.368241e-04,1.363694e-04,1.359430e-04
0.000000e+00,1.897438e-11,4.247551e-09,4.615099e-09,1.433364e-07,1.512897e-06,1.643658e-06,9.442584e-06,3.078709e-05,3.280532e-05,8.019684e-05,1.471849e-04,1.539956e-04,2.500716e-04,3.492110e-04,3.606852e-04,4.776209e-04,5.803067e-04,5.940803e-04,7.053090e-04,7.945642e-04,8.084528e-04,9.021063e-04,9.731095e-04,9.858429e-04,1.059832e-03,1.113572e-03,1.124571e-03,1.180717e-03,1.219928e-03,1.228986e-03,1.270091e-03,1.297621e-03,1.304716e-03,1.333505e-03,1.351848e-03,1.357050e-03,1.375895e-03,1.387106e-03,1.390533e-03,1.401414e-03,1.407152e-03,1.408944e-03,1.413492e-03,1.415079e-03,1.415388e-03,1.414931e-03,1.413415e-03,1.412391e-03,1.408009e-03,1.404215e-03,1.402004e-03,1.394571e-03,1.389146e-03,1.385885e-03,1.376106e-03,1.369556e-03,1.365374e-03,1.353817e-03,1.346534e-03,1.341548e-03,1.328671e-03,1.320959e-03,1.315276e-03,1.301446e-03,1.293538e-03,1.287254e-03,1.272766e-03,1.264840e-03,1.258040e-03,1.243129e-03,1.235318e-03,1.228080e-03,1.212934e-03,1.205336e-03,1.197728e-03,1.182496e-03,1.175184e-03,1.167267e-03,1.152067e-03,1.145091e-03,1.136918e-03,1.121842e-03,1.115235e-03,1.106855e-03,1.091975e-03,1.085760e-03,1.077214e-03,1.062585e-03,1.056773e-03,1.048098e-03,1.033763e-03,1.028357e-03,1.019587e-03,1.005577e-03,1.000575e-03,9.917381e-04,9.780760e-04,9.734718e-04,9.645943e-04,9.512962e-04,9.470801e-04,9.381844e-04,9.252607e-04,9.214205e-04,9.125266e-04,8.999833e-04,8.965054e-04,8.876312e-04,8.754707e-04,8.723403e-04,8.635015e-04,8.517233e-04,8.489248e-04,8.401354e-04,8.287369e-04,8.262546e-04,8.175268e-04,8.065038e-04,8.043215e-04,7.956664e-04,7.850131e-04,7.831150e-04,7.745423e-04,7.642520e-04,7.626222e-04,7.541405e-04,7.442058e-04,7.428289e-04,7.344458e-04,7.248585e-04,7.237195e-04,7.154417e-04,7.061933e-04,7.052776e-04,6.971111e-04,6.881928e-04,6.874864e-04,6.794363e-04,6.708392e-04,6.703284e-04,6.623994e-04,6.541146e-04,6.537864e-04,6.459824e-04,6.380006e-04,6.378425e-04,6.301671e-04,6.224795e-04,6.076798e-04,5.934263e-04,5.797022e-04,5.664907e-04,5.537758e-04,5.415413e-04,5.297718e-04,5.184521e-04,5.075674e-04,4.971033e-04,4.870459e-04,4.773814e-04,4.680968e-04,4.591791e-04,4.506160e-04,4.423953e-04,4.345054e-04,4.269348e-04,4.196727e-04,4.127083e-04,4.060312e-04,3.996315e-04,3.934996e-04,3.876259e-04,3.820015e-04,3.766174e-04,3.714653e-04,3.665368e-04,3.618240e-04,3.573192e-04,3.530148e-04,3.489036e-04,3.449787e-04,3.412332e-04,3.376607e-04,3.342547e-04,3.310091e-04,3.279179e-04,3.249755e-04,3.221763e-04,3.195149e-04,3.169861e-04,3.145848e-04,3.123062e-04,3.101457e-04,3.080985e-04,3.061604e-04,3.043271e-04,3.025944e-04
0.000000e+00,1.080601e-09,1.438337e-08,1.502046e-08,9.466524e-08,3.289988e-07,3.431341e-07,7.857941e-07,1.269621e-06,1.300524e-06,1.801178e-06,2.230417e-06,2.266197e-06,2.692636e-06,3.044309e-06,3.081567e-06,3.434922e-06,3.718098e-06,3.754781e-06,4.043202e-06,4.267627e-06,4.302185e-06,4.533659e-06,4.708198e-06,4.739480e-06,4.921421e-06,5.053985e-06,5.081177e-06,5.220352e-06,5.317898e-06,5.340466e-06,5.442950e-06,5.511518e-06,5.529150e-06,5.600331e-06,5.645116e-06,5.657678e-06,5.702299e-06,5.727739e-06,5.735233e-06,5.757447e-06,5.767310e-06,5.769839e-06,5.773243e-06,5.770697e-06,5.768437e-06,5.756149e-06,5.743868e-06,5.737058e-06,5.711794e-06,5.692025e-06,5.680944e-06,5.645056e-06,5.619686e-06,5.604653e-06,5.560229e-06,5.530858e-06,5.512215e-06,5.461015e-06,5.428920e-06,5.406998e-06,5.350508e-06,5.316736e-06,5.291862e-06,5.231354e-06,5.196757e-06,5.169252e-06,5.105806e-06,5.071068e-06,5.041245e-06,4.975779e-06,4.941444e-06,4.909603e-06,4.842894e-06,4.809392e-06,4.775816e-06,4.708517e-06,4.676175e-06,4.641133e-06,4.573788e-06,4.542855e-06,4.506597e-06,4.439660e-06,4.410314e-06,4.373074e-06,4.306920e-06,4.279284e-06,4.241278e-06,4.176214e-06,4.150364e-06,4.111790e-06,4.048062e-06,4.024038e-06,3.985078e-06,3.922881e-06,3.900690e-06,3.861509e-06,3.800996e-06,3.780622e-06,3.741370e-06,3.682656e-06,3.664064e-06,3.624876e-06,3.568047e-06,3.551186e-06,3.512183e-06,3.457295e-06,3.442103e-06,3.403393e-06,3.350482e-06,3.336888e-06,3.298567e-06,3.247649e-06,3.235577e-06,3.197729e-06,3.148804e-06,3.138174e-06,3.100872e-06,3.053928e-06,3.044658e-06,3.007967e-06,2.962980e-06,2.954985e-06,2.918959e-06,2.875897e-06,2.869095e-06,2.833782e-06,2.792604e-06,2.786913e-06,2.752352e-06,2.713014e-06,2.708354e-06,2.674577e-06,2.637029e-06,2.633322e-06,2.600356e-06,2.564544e-06,2.561716e-06,2.529581e-06,2.495451e-06,2.493429e-06,2.462140e-06,2.429635e-06,2.428351e-06,2.397920e-06,2.366981e-06,2.366370e-06,2.336803e-06,2.307372e-06,2.251243e-06,2.197872e-06,2.147145e-06,2.098954e-06,2.053190e-06,2.009748e-06,1.968525e-06,1.929422e-06,1.892342e-06,1.857191e-06,1.823880e-06,1.792321e-06,1.762431e-06,1.734129e-06,1.707339e-06,1.681986e-06,1.658000e-06,1.635313e-06,1.613860e-06,1.593579e-06,1.574412e-06,1.556301e-06,1.539193e-06,1.523037e-06,1.507784e-06,1.493387e-06,1.479803e-06,1.466988e-06,1.454904e-06,1.443512e-06,1.432775e-06,1.422660e-06,1.413134e-06,1.404165e-06,1.395724e-06,1.387783e-06,1.380315e-06,1.373296e-06,1.366701e-06,1.360507e-06,1.354694e-06,1.349239e-06,1.344125e-06,1.339331e-06,1.334842e-06,1.330641e-06,1.326710e-06,1.323037e-06,1.319607e-06
0.000000e+00,9.440473e-12,2.006217e-09,2.174267e-09,5.898038e-08,5.779585e-07,6.271553e-07,3.673868e-06,1.304899e-05,1.400004e-05,3.884935e-05,8.078115e-05,8.544021e-05,1.583845e-04,2.473426e-04,2.585296e-04,3.832858e-04,5.095791e-04,5.277660e-04,6.860622e-04,8.287293e-04,8.522692e-04,1.021137e-03,1.161874e-03,1.188376e-03,1.350721e-03,1.478535e-03,1.505847e-03,1.652225e-03,1.762404e-03,1.788950e-03,1.915588e-03,2.007294e-03,2.032046e-03,2.138466e-03,2.212812e-03,2.235148e-03,2.322494e-03,2.381388e-03,2.400963e-03,2.471042e-03,2.516584e-03,2.533230e-03,2.588024e-03,2.622240e-03,2.635907e-03,2.677344e-03,2.702068e-03,2.712782e-03,2.742643e-03,2.759492e-03,2.767328e-03,2.787217e-03,2.797593e-03,2.802663e-03,2.814002e-03,2.819108e-03,2.821547e-03,2.825589e-03,2.826449e-03,2.826405e-03,2.824251e-03,2.821736e-03,2.819366e-03,2.811976e-03,2.806821e-03,2.802289e-03,2.790501e-03,2.783327e-03,2.776794e-03,2.761339e-03,2.752665e-03,2.744295e-03,2.725808e-03,2.716068e-03,2.706018e-03,2.685052e-03,2.674606e-03,2.663030e-03,2.640063e-03,2.629210e-03,2.616255e-03,2.591703e-03,2.580687e-03,2.566495e-03,2.540714e-03,2.529735e-03,2.514439e-03,2.487740e-03,2.476957e-03,2.460684e-03,2.433333e-03,2.422874e-03,2.405743e-03,2.377968e-03,2.367933e-03,2.350056e-03,2.322052e-03,2.312517e-03,2.293998e-03,2.265933e-03,2.256955e-03,2.237891e-03,2.209905e-03,2.201525e-03,2.182006e-03,2.154220e-03,2.146464e-03,2.126573e-03,2.099088e-03,2.091971e-03,2.071786e-03,2.044686e-03,2.038214e-03,2.017805e-03,1.991159e-03,1.985330e-03,1.964763e-03,1.938629e-03,1.933434e-03,1.912768e-03,1.887192e-03,1.882619e-03,1.861909e-03,1.836927e-03,1.832958e-03,1.812254e-03,1.787896e-03,1.784511e-03,1.763858e-03,1.740145e-03,1.737321e-03,1.716760e-03,1.693708e-03,1.691421e-03,1.670990e-03,1.648609e-03,1.646833e-03,1.626565e-03,1.604861e-03,1.603569e-03,1.583495e-03,1.562470e-03,1.561636e-03,1.541783e-03,1.521435e-03,1.521031e-03,1.501424e-03,1.481750e-03,1.443780e-03,1.407106e-03,1.371711e-03,1.337572e-03,1.304668e-03,1.272972e-03,1.242458e-03,1.213098e-03,1.184865e-03,1.157729e-03,1.131660e-03,1.106630e-03,1.082608e-03,1.059565e-03,1.037472e-03,1.016299e-03,9.960176e-04,9.765998e-04,9.580176e-04,9.402435e-04,9.232508e-04,9.070133e-04,8.915053e-04,8.767019e-04,8.625785e-04,8.491116e-04,8.362779e-04,8.240549e-04,8.124208e-04,8.013543e-04,7.908347e-04,7.808420e-04,7.713568e-04,7.623602e-04,7.538340e-04,7.457603e-04,7.381221e-04,7.309027e-04,7.240860e-04,7.176564e-04,7.115987e-04,7.058984e-04,7.005414e-04,6.955138e-04,6.908025e-04,6.863947e-04,6.822779e-04,6.784401e-04,6.748697e-04
0.000000e+00,5.686796e-09,1.988219e-07,2.101582e-07,2.078072e-06,9.110916e-06,9.565022e-06,2.433252e-05,4.080254e-05,4.185609e-05,5.894427e-05,7.365136e-05,7.488081e-05,8.958639e-05,1.018006e-04,1.031001e-04,1.154827e-04,1.254943e-04,1.267979e-04,1.371078e-04,1.452165e-04,1.464729e-04,1.549516e-04,1.614299e-04,1.626002e-04,1.694727e-04,1.745653e-04,1.756208e-04,1.810936e-04,1.850172e-04,1.859379e-04,1.901979e-04,1.931417e-04,1.939148e-04,1.971281e-04,1.992560e-04,1.998744e-04,2.021883e-04,2.036413e-04,2.041021e-04,2.056461e-04,2.065447e-04,2.068486e-04,2.077360e-04,2.081831e-04,2.083331e-04,2.086631e-04,2.087460e-04,2.087475e-04,2.086064e-04,2.083989e-04,2.082586e-04,2.077216e-04,2.072862e-04,2.070118e-04,2.061443e-04,2.055335e-04,2.051332e-04,2.039919e-04,2.032497e-04,2.027325e-04,2.013664e-04,2.005294e-04,1.999043e-04,1.983560e-04,1.974548e-04,1.967307e-04,1.950369e-04,1.940965e-04,1.932824e-04,1.914746e-04,1.905158e-04,1.896204e-04,1.877258e-04,1.867653e-04,1.857969e-04,1.838389e-04,1.828902e-04,1.818569e-04,1.798554e-04,1.789293e-04,1.778387e-04,1.758107e-04,1.749157e-04,1.737750e-04,1.717350e-04,1.708776e-04,1.696936e-04,1.676538e-04,1.668388e-04,1.656180e-04,1.635886e-04,1.628196e-04,1.615678e-04,1.595576e-04,1.588368e-04,1.575596e-04,1.555757e-04,1.549046e-04,1.536071e-04,1.516554e-04,1.510345e-04,1.497216e-04,1.478068e-04,1.472362e-04,1.459121e-04,1.440383e-04,1.435174e-04,1.421861e-04,1.403562e-04,1.398842e-04,1.385493e-04,1.367658e-04,1.363414e-04,1.350063e-04,1.332709e-04,1.328925e-04,1.315602e-04,1.298743e-04,1.295401e-04,1.282135e-04,1.265778e-04,1.262861e-04,1.249675e-04,1.233826e-04,1.231313e-04,1.218230e-04,1.202890e-04,1.200762e-04,1.187803e-04,1.172969e-04,1.171206e-04,1.158388e-04,1.144058e-04,1.142639e-04,1.129978e-04,1.116147e-04,1.115051e-04,1.102562e-04,1.089222e-04,1.088429e-04,1.076124e-04,1.063267e-04,1.062758e-04,1.050648e-04,1.038265e-04,1.038020e-04,1.026116e-04,1.014196e-04,9.912659e-05,9.692073e-05,9.479981e-05,9.276154e-05,9.080359e-05,8.892360e-05,8.711923e-05,8.538812e-05,8.372794e-05,8.213638e-05,8.061117e-05,7.915005e-05,7.775083e-05,7.641136e-05,7.512952e-05,7.390326e-05,7.273057e-05,7.160950e-05,7.053815e-05,6.951468e-05,6.853728e-05,6.760422e-05,6.671381e-05,6.586443e-05,6.505449e-05,6.428246e-05,6.354687e-05,6.284629e-05,6.217933e-05,6.154467e-05,6.094101e-05,6.036711e-05,5.982177e-05,5.930384e-05,5.881220e-05,5.834577e-05,5.790351e-05,5.748443e-05,5.708756e-05,5.671197e-05,5.635677e-05,5.602109e-05,5.570411e-05,5.540502e-05,5.512305e-05,5.485748e-05,5.460757e-05,5.437265e-05,5.415205e-05
0.000000e+00,3.570043e-09,5.612262e-08,5.865988e-08,3.655923e-07,1.225244e-06,1.276878e-06,2.959384e-06,4.952181e-06,5.080946e-06,7.091967e-06,8.617221e-06,8.734124e-06,1.000054e-05,1.086932e-05,1.095221e-05,1.165315e-05,1.210571e-05,1.215735e-05,1.250798e-05,1.271282e-05,1.273903e-05,1.287715e-05,1.293674e-05,1.294318e-05,1.295344e-05,1.292929e-05,1.292070e-05,1.285494e-05,1.278385e-05,1.276394e-05,1.265382e-05,1.255775e-05,1.252933e-05,1.239418e-05,1.228614e-05,1.225127e-05,1.210284e-05,1.199050e-05,1.195065e-05,1.179607e-05,1.168390e-05,1.164016e-05,1.148374e-05,1.137429e-05,1.132745e-05,1.117178e-05,1.106646e-05,1.101709e-05,1.086368e-05,1.076327e-05,1.071182e-05,1.056164e-05,1.046646e-05,1.041326e-05,1.026680e-05,1.017698e-05,1.012231e-05,9.979832e-06,9.895329e-06,9.839407e-06,9.701049e-06,9.621751e-06,9.564764e-06,9.430553e-06,9.356298e-06,9.298409e-06,9.168323e-06,9.098929e-06,9.040283e-06,8.914271e-06,8.849541e-06,8.790268e-06,8.668253e-06,8.607983e-06,8.548202e-06,8.430094e-06,8.374085e-06,8.313905e-06,8.199610e-06,8.147664e-06,8.087186e-06,7.976606e-06,7.928530e-06,7.867847e-06,7.760882e-06,7.716485e-06,7.655686e-06,7.552234e-06,7.511337e-06,7.450502e-06,7.350464e-06,7.312889e-06,7.252096e-06,7.155373e-06,7.120950e-06,7.060270e-06,6.966763e-06,6.935330e-06,6.874828e-06,6.784442e-06,6.755842e-06,6.695581e-06,6.608221e-06,6.582303e-06,6.522340e-06,6.437915e-06,6.414534e-06,6.354924e-06,6.273343e-06,6.252360e-06,6.193151e-06,6.114327e-06,6.095610e-06,6.036849e-06,5.960696e-06,5.944118e-06,5.885846e-06,5.812280e-06,5.797719e-06,5.739977e-06,5.668918e-06,5.656257e-06,5.599081e-06,5.530448e-06,5.519577e-06,5.462999e-06,5.396716e-06,5.387528e-06,5.331580e-06,5.267572e-06,5.259966e-06,5.204674e-06,5.142868e-06,5.136747e-06,5.082137e-06,5.022463e-06,5.017735e-06,4.963830e-06,4.906219e-06,4.902794e-06,4.849615e-06,4.794001e-06,4.791797e-06,4.739361e-06,4.685679e-06,4.684615e-06,4.632939e-06,4.581126e-06,4.481212e-06,4.384758e-06,4.291650e-06,4.201782e-06,4.115047e-06,4.031344e-06,3.950574e-06,3.872642e-06,3.797453e-06,3.724919e-06,3.654951e-06,3.587467e-06,3.522384e-06,3.459622e-06,3.399105e-06,3.340759e-06,3.284512e-06,3.230295e-06,3.178038e-06,3.127679e-06,3.079152e-06,3.032398e-06,2.987356e-06,2.943970e-06,2.902183e-06,2.861943e-06,2.823196e-06,2.785894e-06,2.749987e-06,2.715427e-06,2.682170e-06,2.650171e-06,2.619388e-06,2.589778e-06,2.561303e-06,2.533923e-06,2.507601e-06,2.482300e-06,2.457986e-06,2.434624e-06,2.412183e-06,2.390629e-06,2.369932e-06,2.350063e-06,2.330993e-06,2.312693e-06,2.295138e-06,2.278300e-06,2.262155e-06
0.000000e+00,4.372353e-10,6.420011e-09,6.714633e-09,4.363932e-08,1.466990e-07,1.526636e-07,3.280008e-07,5.008233e-07,5.113583e-07,6.748623e-07,8.049083e-07,8.153357e-07,9.346801e-07,1.026094e-06,1.035396e-06,1.119834e-06,1.182344e-06,1.190088e-06,1.248007e-06,1.289193e-06,1.295212e-06,1.333127e-06,1.358716e-06,1.363002e-06,1.385926e-06,1.400209e-06,1.402852e-06,1.414612e-06,1.420790e-06,1.421930e-06,1.425435e-06,1.425877e-06,1.425675e-06,1.423128e-06,1.419584e-06,1.418206e-06,1.411266e-06,1.405016e-06,1.402619e-06,1.392534e-06,1.384516e-06,1.381245e-06,1.368954e-06,1.359849e-06,1.355836e-06,1.342043e-06,1.332346e-06,1.327706e-06,1.312938e-06,1.303004e-06,1.297838e-06,1.282489e-06,1.272570e-06,1.266965e-06,1.251330e-06,1.241604e-06,1.235636e-06,1.219928e-06,1.210513e-06,1.204245e-06,1.188621e-06,1.179596e-06,1.173082e-06,1.157654e-06,1.149070e-06,1.142355e-06,1.127204e-06,1.119088e-06,1.112213e-06,1.097395e-06,1.089761e-06,1.082759e-06,1.068312e-06,1.061162e-06,1.054061e-06,1.040011e-06,1.033340e-06,1.026166e-06,1.012527e-06,1.006323e-06,9.990965e-07,9.858761e-07,9.801257e-07,9.728658e-07,9.600656e-07,9.547520e-07,9.474748e-07,9.350925e-07,9.301976e-07,9.229173e-07,9.109478e-07,9.064529e-07,8.991820e-07,8.876179e-07,8.835038e-07,8.762534e-07,8.650861e-07,8.613338e-07,8.541137e-07,8.433335e-07,8.399240e-07,8.327430e-07,8.223396e-07,8.192546e-07,8.121205e-07,8.020831e-07,7.993048e-07,7.922246e-07,7.825423e-07,7.800534e-07,7.730334e-07,7.636953e-07,7.614792e-07,7.545251e-07,7.455202e-07,7.435611e-07,7.366779e-07,7.279955e-07,7.262779e-07,7.194703e-07,7.110997e-07,7.096093e-07,7.028812e-07,6.948122e-07,6.935349e-07,6.868901e-07,6.791125e-07,6.780350e-07,6.714769e-07,6.639808e-07,6.630905e-07,6.566219e-07,6.493978e-07,6.486827e-07,6.423061e-07,6.353447e-07,6.347933e-07,6.285112e-07,6.218034e-07,6.214048e-07,6.152191e-07,6.087562e-07,6.085002e-07,6.024126e-07,5.961862e-07,5.960628e-07,5.900749e-07,5.840767e-07,5.725264e-07,5.613968e-07,5.506736e-07,5.403425e-07,5.303902e-07,5.208035e-07,5.115698e-07,5.026767e-07,4.941124e-07,4.858656e-07,4.779251e-07,4.702804e-07,4.629210e-07,4.558371e-07,4.490189e-07,4.424572e-07,4.361430e-07,4.300676e-07,4.242226e-07,4.186000e-07,4.131918e-07,4.079906e-07,4.029890e-07,3.981799e-07,3.935566e-07,3.891125e-07,3.848412e-07,3.807366e-07,3.767927e-07,3.730039e-07,3.693645e-07,3.658693e-07,3.625131e-07,3.592909e-07,3.561979e-07,3.532294e-07,3.503810e-07,3.476483e-07,3.450271e-07,3.425135e-07,3.401034e-07,3.377932e-07,3.355791e-07,3.334578e-07,3.314256e-07,3.294795e-07,3.276163e-07,3.258329e-07,3.241263e-07
0.000000e+00,1.882584e-11,2.953913e-09,3.178670e-09,6.135326e-08,4.786506e-07,5.158704e-07,2.716103e-06,9.529379e-06,1.023669e-05,2.962735e-05,6.508905e-05,6.917715e-05,1.355940e-04,2.200415e-04,2.307899e-04,3.510706e-04,4.716574e-04,4.888111e-04,6.350603e-04,7.613678e-04,7.816546e-04,9.223206e-04,1.032806e-03,1.052909e-03,1.171110e-03,1.258113e-03,1.276002e-03,1.367586e-03,1.431641e-03,1.446430e-03,1.513401e-03,1.558037e-03,1.569498e-03,1.615745e-03,1.644923e-03,1.653143e-03,1.682628e-03,1.699864e-03,1.705064e-03,1.721241e-03,1.729415e-03,1.731871e-03,1.737598e-03,1.739002e-03,1.739001e-03,1.736598e-03,1.733030e-03,1.730855e-03,1.722189e-03,1.715052e-03,1.710974e-03,1.697542e-03,1.687922e-03,1.682192e-03,1.665192e-03,1.653928e-03,1.646779e-03,1.627167e-03,1.614903e-03,1.606545e-03,1.585083e-03,1.572310e-03,1.562932e-03,1.540226e-03,1.527314e-03,1.517085e-03,1.493615e-03,1.480837e-03,1.469909e-03,1.446050e-03,1.433607e-03,1.422111e-03,1.398157e-03,1.386193e-03,1.374246e-03,1.350428e-03,1.339042e-03,1.326747e-03,1.303242e-03,1.292497e-03,1.279945e-03,1.256886e-03,1.246822e-03,1.234090e-03,1.211578e-03,1.202213e-03,1.189370e-03,1.167479e-03,1.158815e-03,1.145919e-03,1.124702e-03,1.116731e-03,1.103835e-03,1.083325e-03,1.076030e-03,1.063178e-03,1.043397e-03,1.036755e-03,1.023985e-03,1.004944e-03,9.989294e-04,9.862744e-04,9.679753e-04,9.625577e-04,9.500459e-04,9.324845e-04,9.276329e-04,9.152885e-04,8.984552e-04,8.941375e-04,8.819810e-04,8.658624e-04,8.620464e-04,8.500952e-04,8.346751e-04,8.313288e-04,8.195975e-04,8.048576e-04,8.019497e-04,7.904504e-04,7.763709e-04,7.738710e-04,7.626138e-04,7.491739e-04,7.470525e-04,7.360456e-04,7.232237e-04,7.214528e-04,7.107026e-04,6.984770e-04,6.970295e-04,6.865412e-04,6.748900e-04,6.737403e-04,6.635177e-04,6.524191e-04,6.515429e-04,6.415887e-04,6.310213e-04,6.303955e-04,6.207115e-04,6.106541e-04,6.102569e-04,6.008439e-04,5.912759e-04,5.910870e-04,5.819450e-04,5.728463e-04,5.554967e-04,5.390011e-04,5.233235e-04,5.084292e-04,4.942847e-04,4.808577e-04,4.681172e-04,4.560330e-04,4.445766e-04,4.337202e-04,4.234373e-04,4.137024e-04,4.044910e-04,3.957797e-04,3.875459e-04,3.797682e-04,3.724257e-04,3.654988e-04,3.589684e-04,3.528164e-04,3.470252e-04,3.415782e-04,3.364595e-04,3.316537e-04,3.271461e-04,3.229227e-04,3.189700e-04,3.152752e-04,3.118259e-04,3.086103e-04,3.056170e-04,3.028354e-04,3.002549e-04,2.978657e-04,2.956583e-04,2.936235e-04,2.917526e-04,2.900373e-04,2.884697e-04,2.870420e-04,2.857471e-04,2.845777e-04,2.835274e-04,2.825897e-04,2.817584e-04,2.810277e-04,2.803920e-04,2.798460e-04,2.793844e-04
0.000000e+00,6.102134e-10,4.438855e-08,4.720785e-08,5.696679e-07,3.054214e-06,3.240159e-06,1.135585e-05,2.680808e-05,2.807690e-05,5.354947e-05,8.174831e-05,8.429110e-05,1.159161e-04,1.428308e-04,1.456862e-04,1.725920e-04,1.937730e-04,1.964848e-04,2.175114e-04,2.334716e-04,2.358948e-04,2.518665e-04,2.635799e-04,2.656459e-04,2.774373e-04,2.857561e-04,2.874300e-04,2.957986e-04,3.014322e-04,3.027031e-04,3.082896e-04,3.118186e-04,3.126919e-04,3.160315e-04,3.179273e-04,3.184190e-04,3.199550e-04,3.205975e-04,3.207308e-04,3.208292e-04,3.205231e-04,3.203253e-04,3.192872e-04,3.182758e-04,3.177763e-04,3.158485e-04,3.143254e-04,3.135542e-04,3.109389e-04,3.090572e-04,3.080439e-04,3.049062e-04,3.027864e-04,3.015594e-04,2.980338e-04,2.957701e-04,2.943566e-04,2.905523e-04,2.882180e-04,2.866430e-04,2.826485e-04,2.802997e-04,2.785866e-04,2.744732e-04,2.721527e-04,2.703227e-04,2.661478e-04,2.638873e-04,2.619599e-04,2.577692e-04,2.555919e-04,2.535847e-04,2.494144e-04,2.473369e-04,2.452655e-04,2.411442e-04,2.391774e-04,2.370560e-04,2.330058e-04,2.311567e-04,2.289978e-04,2.250357e-04,2.233077e-04,2.211226e-04,2.172612e-04,2.156555e-04,2.134540e-04,2.097027e-04,2.082183e-04,2.060091e-04,2.023744e-04,2.010089e-04,1.987997e-04,1.952859e-04,1.940359e-04,1.918334e-04,1.884428e-04,1.873042e-04,1.851143e-04,1.818479e-04,1.808158e-04,1.786437e-04,1.755014e-04,1.745707e-04,1.724207e-04,1.694014e-04,1.685669e-04,1.664429e-04,1.635447e-04,1.628010e-04,1.607062e-04,1.579268e-04,1.572685e-04,1.552058e-04,1.525424e-04,1.519641e-04,1.499359e-04,1.473855e-04,1.468821e-04,1.448903e-04,1.424495e-04,1.420159e-04,1.400623e-04,1.377277e-04,1.373589e-04,1.354448e-04,1.332128e-04,1.329043e-04,1.310308e-04,1.288978e-04,1.286451e-04,1.268131e-04,1.247755e-04,1.245743e-04,1.227844e-04,1.208387e-04,1.206850e-04,1.189376e-04,1.170802e-04,1.169701e-04,1.152656e-04,1.134930e-04,1.134230e-04,1.117616e-04,1.100704e-04,1.100370e-04,1.084187e-04,1.068056e-04,1.037224e-04,1.007815e-04,9.797671e-05,9.530241e-05,9.275305e-05,9.032327e-05,8.800793e-05,8.580208e-05,8.370095e-05,8.169998e-05,7.979478e-05,7.798113e-05,7.625500e-05,7.461252e-05,7.304997e-05,7.156381e-05,7.015064e-05,6.880718e-05,6.753034e-05,6.631711e-05,6.516465e-05,6.407022e-05,6.303121e-05,6.204512e-05,6.110954e-05,6.022220e-05,5.938090e-05,5.858356e-05,5.782817e-05,5.711281e-05,5.643566e-05,5.579496e-05,5.518905e-05,5.461633e-05,5.407525e-05,5.356437e-05,5.308229e-05,5.262766e-05,5.219922e-05,5.179573e-05,5.141604e-05,5.105903e-05,5.072362e-05,5.040881e-05,5.011362e-05,4.983711e-05,4.957839e-05,4.933662e-05,4.911098e-05
0.000000e+00,2.048042e-09,3.328323e-08,3.484314e-08,2.296921e-07,7.613711e-07,7.915980e-07,1.664562e-06,2.536716e-06,2.591285e-06,3.467593e-06,4.213231e-06,4.275285e-06,5.014388e-06,5.623818e-06,5.688405e-06,6.301334e-06,6.793264e-06,6.857054e-06,7.359235e-06,7.750944e-06,7.811351e-06,8.216697e-06,8.523351e-06,8.578421e-06,8.899524e-06,9.134532e-06,9.182872e-06,9.431185e-06,9.606352e-06,9.647048e-06,9.832898e-06,9.958511e-06,9.991035e-06,1.012362e-05,1.020854e-05,1.023266e-05,1.032007e-05,1.037186e-05,1.038760e-05,1.043688e-05,1.046194e-05,1.046946e-05,1.048675e-05,1.049046e-05,1.049006e-05,1.048063e-05,1.046751e-05,1.045958e-05,1.042796e-05,1.040179e-05,1.038676e-05,1.033687e-05,1.030078e-05,1.027914e-05,1.021432e-05,1.017090e-05,1.014315e-05,1.006628e-05,1.001768e-05,9.984325e-06,9.897851e-06,9.845832e-06,9.807379e-06,9.713389e-06,9.659383e-06,9.616320e-06,9.516579e-06,9.461741e-06,9.414540e-06,9.310550e-06,9.255810e-06,9.204926e-06,9.097960e-06,9.044059e-06,8.989920e-06,8.881051e-06,8.828566e-06,8.771578e-06,8.661707e-06,8.611086e-06,8.551628e-06,8.441513e-06,8.393093e-06,8.331521e-06,8.221793e-06,8.175818e-06,8.112461e-06,8.003643e-06,7.960284e-06,7.895447e-06,7.787970e-06,7.747336e-06,7.681300e-06,7.575517e-06,7.537666e-06,7.470692e-06,7.366889e-06,7.331838e-06,7.264163e-06,7.162567e-06,7.130302e-06,7.062144e-06,6.962933e-06,6.933411e-06,6.864968e-06,6.768280e-06,6.741440e-06,6.672893e-06,6.578829e-06,6.554591e-06,6.486106e-06,6.394738e-06,6.373012e-06,6.304736e-06,6.216110e-06,6.196798e-06,6.128866e-06,6.043008e-06,6.026003e-06,5.958537e-06,5.875453e-06,5.860645e-06,5.793754e-06,5.713437e-06,5.700714e-06,5.634496e-06,5.556925e-06,5.546174e-06,5.480717e-06,5.405863e-06,5.396970e-06,5.332352e-06,5.260174e-06,5.253030e-06,5.189319e-06,5.119773e-06,5.114266e-06,5.051524e-06,4.984558e-06,4.980581e-06,4.918862e-06,4.854422e-06,4.851870e-06,4.791222e-06,4.729247e-06,4.728020e-06,4.668483e-06,4.608914e-06,4.494429e-06,4.384441e-06,4.278825e-06,4.177453e-06,4.080200e-06,3.986939e-06,3.897545e-06,3.811895e-06,3.729867e-06,3.651341e-06,3.576200e-06,3.504330e-06,3.435617e-06,3.369952e-06,3.307229e-06,3.247343e-06,3.190193e-06,3.135680e-06,3.083709e-06,3.034186e-06,2.987022e-06,2.942130e-06,2.899423e-06,2.858821e-06,2.820243e-06,2.783613e-06,2.748856e-06,2.715899e-06,2.684673e-06,2.655110e-06,2.627145e-06,2.600714e-06,2.575756e-06,2.552213e-06,2.530025e-06,2.509139e-06,2.489501e-06,2.471059e-06,2.453763e-06,2.437564e-06,2.422417e-06,2.408275e-06,2.395096e-06,2.382837e-06,2.371458e-06,2.360919e-06,2.351183e-06,2.342212e-06,2.333971e-06
0.000000e+00,5.914548e-13,1.308018e-10,1.416862e-10,3.699148e-09,3.666609e-08,3.987906e-08,2.600490e-07,1.101973e-06,1.197998e-06,4.237499e-06,1.125751e-05,1.216800e-05,2.958993e-05,5.871336e-05,6.299335e-05,1.204824e-04,1.982651e-04,2.112263e-04,3.447585e-04,5.008305e-04,5.302441e-04,7.758091e-04,1.033354e-03,1.087994e-03,1.471367e-03,1.840589e-03,1.928300e-03,2.458900e-03,2.935089e-03,3.061083e-03,3.730752e-03,4.296229e-03,4.462050e-03,5.247674e-03,5.875933e-03,6.079205e-03,6.947452e-03,7.607930e-03,7.842772e-03,8.755382e-03,9.417729e-03,9.675617e-03,1.059416e-02,1.123142e-02,1.150225e-02,1.239177e-02,1.298228e-02,1.325543e-02,1.408677e-02,1.461503e-02,1.488026e-02,1.563123e-02,1.608778e-02,1.633594e-02,1.699149e-02,1.737229e-02,1.759578e-02,1.814748e-02,1.845296e-02,1.864593e-02,1.909108e-02,1.932502e-02,1.948342e-02,1.982392e-02,1.999245e-02,2.011393e-02,2.035514e-02,2.046578e-02,2.054949e-02,2.069915e-02,2.076006e-02,2.080641e-02,2.087370e-02,2.089313e-02,2.090350e-02,2.089832e-02,2.088415e-02,2.086067e-02,2.079303e-02,2.075252e-02,2.069783e-02,2.057742e-02,2.051704e-02,2.043407e-02,2.026999e-02,2.019539e-02,2.008723e-02,1.988778e-02,1.980375e-02,1.967350e-02,1.944613e-02,1.935665e-02,1.920733e-02,1.895861e-02,1.886692e-02,1.870140e-02,1.843702e-02,1.834572e-02,1.816670e-02,1.789154e-02,1.780265e-02,1.761259e-02,1.733079e-02,1.724582e-02,1.704700e-02,1.676200e-02,1.668209e-02,1.647653e-02,1.619122e-02,1.611714e-02,1.590667e-02,1.562341e-02,1.555568e-02,1.534192e-02,1.506263e-02,1.500152e-02,1.478592e-02,1.451213e-02,1.445775e-02,1.424157e-02,1.397450e-02,1.392682e-02,1.371117e-02,1.345177e-02,1.341065e-02,1.319649e-02,1.294548e-02,1.291069e-02,1.269888e-02,1.245679e-02,1.242805e-02,1.221932e-02,1.198652e-02,1.196350e-02,1.175847e-02,1.153521e-02,1.151756e-02,1.131677e-02,1.110318e-02,1.109052e-02,1.089444e-02,1.069055e-02,1.068250e-02,1.049152e-02,1.029731e-02,1.029348e-02,1.010791e-02,9.923297e-03,9.571718e-03,9.238411e-03,8.922986e-03,8.625004e-03,8.343985e-03,8.079423e-03,7.830788e-03,7.597538e-03,7.379120e-03,7.174978e-03,6.984556e-03,6.807301e-03,6.642663e-03,6.490104e-03,6.349092e-03,6.219106e-03,6.099637e-03,5.990189e-03,5.890279e-03,5.799435e-03,5.717202e-03,5.643135e-03,5.576805e-03,5.517796e-03,5.465704e-03,5.420140e-03,5.380726e-03,5.347097e-03,5.318902e-03,5.295800e-03,5.277462e-03,5.263573e-03,5.253826e-03,5.247928e-03,5.245594e-03,5.246551e-03,5.250537e-03,5.257299e-03,5.266595e-03,5.278191e-03,5.291865e-03,5.307403e-03,5.324601e-03,5.343265e-03,5.363209e-03,5.384257e-03,5.406240e-03,5.429000e-03,5.452388e-03
0.000000e+00,5.520557e-09,1.538471e-07,1.616678e-07,1.285690e-06,5.395704e-06,5.673429e-06,1.612481e-05,3.146937e-05,3.256409e-05,5.137744e-05,6.823101e-05,6.964313e-05,8.645797e-05,1.002472e-04,1.017022e-04,1.154350e-04,1.263438e-04,1.277500e-04,1.387448e-04,1.472173e-04,1.485148e-04,1.571507e-04,1.635918e-04,1.647389e-04,1.713609e-04,1.761239e-04,1.770934e-04,1.820083e-04,1.853968e-04,1.861728e-04,1.896496e-04,1.919217e-04,1.924970e-04,1.947693e-04,1.961427e-04,1.965169e-04,1.977864e-04,1.984436e-04,1.986210e-04,1.990609e-04,1.991541e-04,1.991431e-04,1.989018e-04,1.985573e-04,1.983685e-04,1.975724e-04,1.968949e-04,1.965406e-04,1.952976e-04,1.943729e-04,1.938665e-04,1.922682e-04,1.911666e-04,1.905221e-04,1.886460e-04,1.874248e-04,1.866562e-04,1.845677e-04,1.832730e-04,1.823943e-04,1.801485e-04,1.788174e-04,1.778419e-04,1.754849e-04,1.741467e-04,1.730873e-04,1.706578e-04,1.693354e-04,1.682043e-04,1.657341e-04,1.644452e-04,1.632538e-04,1.607693e-04,1.595273e-04,1.582862e-04,1.558091e-04,1.546236e-04,1.533426e-04,1.508906e-04,1.497685e-04,1.484565e-04,1.460436e-04,1.449894e-04,1.436548e-04,1.412923e-04,1.403085e-04,1.389586e-04,1.366553e-04,1.357430e-04,1.343844e-04,1.321471e-04,1.313061e-04,1.299448e-04,1.277785e-04,1.270076e-04,1.256491e-04,1.235573e-04,1.228547e-04,1.215036e-04,1.194886e-04,1.188520e-04,1.175125e-04,1.155756e-04,1.150022e-04,1.136779e-04,1.118195e-04,1.113062e-04,1.100004e-04,1.082204e-04,1.077639e-04,1.064792e-04,1.047768e-04,1.043739e-04,1.031127e-04,1.014866e-04,1.011339e-04,9.989809e-05,9.834678e-05,9.804094e-05,9.683218e-05,9.535381e-05,9.509151e-05,9.391113e-05,9.250361e-05,9.228163e-05,9.113070e-05,8.979181e-05,8.960705e-05,8.848638e-05,8.721380e-05,8.706327e-05,8.597347e-05,8.476479e-05,8.464564e-05,8.358714e-05,8.243991e-05,8.234942e-05,8.132247e-05,8.023422e-05,8.016984e-05,7.917454e-05,7.814282e-05,7.810213e-05,7.713845e-05,7.616082e-05,7.614153e-05,7.520933e-05,7.428340e-05,7.252314e-05,7.085628e-05,6.927848e-05,6.778552e-05,6.637332e-05,6.503794e-05,6.377559e-05,6.258263e-05,6.145556e-05,6.039104e-05,5.938587e-05,5.843698e-05,5.754146e-05,5.669651e-05,5.589949e-05,5.514787e-05,5.443924e-05,5.377131e-05,5.314191e-05,5.254898e-05,5.199055e-05,5.146476e-05,5.096985e-05,5.050414e-05,5.006604e-05,4.965405e-05,4.926673e-05,4.890274e-05,4.856080e-05,4.823969e-05,4.793826e-05,4.765542e-05,4.739016e-05,4.714148e-05,4.690847e-05,4.669025e-05,4.648600e-05,4.629493e-05,4.611631e-05,4.594943e-05,4.579364e-05,4.564831e-05,4.551284e-05,4.538668e-05,4.526929e-05,4.516017e-05,4.505886e-05,4.496490e-05,4.487787e-05
0.000000e+00,1.659559e-12,3.365937e-10,3.641302e-10,9.105659e-09,8.865378e-08,9.636219e-08,6.165580e-07,2.538955e-06,2.754016e-06,9.317798e-06,2.350120e-05,2.527569e-05,5.741680e-05,1.062526e-04,1.130683e-04,1.984215e-04,3.010938e-04,3.171494e-04,4.697092e-04,6.259613e-04,6.533692e-04,8.627825e-04,1.053427e-03,1.090848e-03,1.329633e-03,1.527851e-03,1.571198e-03,1.808229e-03,1.990343e-03,2.034469e-03,2.244934e-03,2.395755e-03,2.435980e-03,2.605238e-03,2.718509e-03,2.751480e-03,2.874439e-03,2.950706e-03,2.974610e-03,3.053066e-03,3.096922e-03,3.111277e-03,3.150970e-03,3.168731e-03,3.174005e-03,3.182275e-03,3.180419e-03,3.177643e-03,3.161881e-03,3.146191e-03,3.136645e-03,3.103451e-03,3.078667e-03,3.063665e-03,3.018505e-03,2.988282e-03,2.969042e-03,2.916211e-03,2.883237e-03,2.860820e-03,2.803561e-03,2.769731e-03,2.745024e-03,2.685706e-03,2.652305e-03,2.626024e-03,2.566327e-03,2.534187e-03,2.506901e-03,2.447982e-03,2.417610e-03,2.389761e-03,2.332392e-03,2.304066e-03,2.275996e-03,2.220670e-03,2.194516e-03,2.166486e-03,2.113498e-03,2.089536e-03,2.061744e-03,2.011250e-03,1.989436e-03,1.962031e-03,1.914091e-03,1.894339e-03,1.867432e-03,1.822044e-03,1.804243e-03,1.777917e-03,1.735035e-03,1.719063e-03,1.693379e-03,1.652929e-03,1.638658e-03,1.613662e-03,1.575553e-03,1.562856e-03,1.538579e-03,1.502712e-03,1.491464e-03,1.467927e-03,1.434198e-03,1.424281e-03,1.401498e-03,1.369799e-03,1.361100e-03,1.339077e-03,1.309304e-03,1.301715e-03,1.280455e-03,1.252504e-03,1.245926e-03,1.225426e-03,1.199197e-03,1.193538e-03,1.173793e-03,1.149190e-03,1.144364e-03,1.125366e-03,1.102297e-03,1.098223e-03,1.079961e-03,1.058338e-03,1.054943e-03,1.037406e-03,1.017145e-03,1.014361e-03,9.975358e-04,9.785580e-04,9.763222e-04,9.601933e-04,9.424234e-04,9.406784e-04,9.252305e-04,9.085973e-04,9.072903e-04,8.925070e-04,8.769433e-04,8.760259e-04,8.618903e-04,8.473325e-04,8.467603e-04,8.332549e-04,8.196431e-04,8.193755e-04,8.064828e-04,7.937603e-04,7.698096e-04,7.474242e-04,7.265106e-04,7.069807e-04,6.887514e-04,6.717444e-04,6.558859e-04,6.411064e-04,6.273404e-04,6.145263e-04,6.026060e-04,5.915248e-04,5.812312e-04,5.716768e-04,5.628159e-04,5.546057e-04,5.470055e-04,5.399775e-04,5.334858e-04,5.274966e-04,5.219783e-04,5.169010e-04,5.122367e-04,5.079589e-04,5.040428e-04,5.004650e-04,4.972035e-04,4.942376e-04,4.915479e-04,4.891161e-04,4.869250e-04,4.849584e-04,4.832011e-04,4.816389e-04,4.802583e-04,4.790467e-04,4.779922e-04,4.770837e-04,4.763108e-04,4.756637e-04,4.751330e-04,4.747102e-04,4.743872e-04,4.741563e-04,4.740104e-04,4.739428e-04,4.739473e-04,4.740178e-04,4.741490e-04
0.000000e+00,5.363423e-11,8.083802e-09,8.692197e-09,1.621487e-07,1.235547e-06,1.330537e-06,6.876174e-06,2.364471e-05,2.536037e-05,7.105727e-05,1.499353e-04,1.587383e-04,2.958455e-04,4.590283e-04,4.791602e-04,6.975279e-04,9.075420e-04,9.369300e-04,1.184470e-03,1.396229e-03,1.430252e-03,1.667618e-03,1.857532e-03,1.892592e-03,2.103107e-03,2.264332e-03,2.298334e-03,2.478192e-03,2.611229e-03,2.643015e-03,2.793362e-03,2.901011e-03,2.929900e-03,3.053341e-03,3.138841e-03,3.164407e-03,3.263813e-03,3.330275e-03,3.352252e-03,3.430395e-03,3.480643e-03,3.498882e-03,3.558328e-03,3.594873e-03,3.609314e-03,3.652397e-03,3.677447e-03,3.688100e-03,3.716923e-03,3.732408e-03,3.739339e-03,3.755792e-03,3.763388e-03,3.766704e-03,3.772475e-03,3.773637e-03,3.773480e-03,3.770075e-03,3.766054e-03,3.762593e-03,3.751350e-03,3.743224e-03,3.736644e-03,3.718754e-03,3.707444e-03,3.697944e-03,3.674462e-03,3.660754e-03,3.648541e-03,3.620401e-03,3.604959e-03,3.590246e-03,3.558270e-03,3.541657e-03,3.524656e-03,3.489572e-03,3.472258e-03,3.453179e-03,3.415626e-03,3.398001e-03,3.377053e-03,3.337591e-03,3.319978e-03,3.297362e-03,3.256481e-03,3.239142e-03,3.215054e-03,3.173181e-03,3.156328e-03,3.130955e-03,3.088462e-03,3.072262e-03,3.045783e-03,3.002991e-03,2.987573e-03,2.960157e-03,2.917345e-03,2.902804e-03,2.874613e-03,2.832016e-03,2.818422e-03,2.789606e-03,2.747429e-03,2.734828e-03,2.705527e-03,2.663941e-03,2.652358e-03,2.622705e-03,2.581852e-03,2.571297e-03,2.541414e-03,2.501415e-03,2.491884e-03,2.461882e-03,2.422836e-03,2.414313e-03,2.384297e-03,2.346282e-03,2.338743e-03,2.308807e-03,2.271885e-03,2.265299e-03,2.235529e-03,2.199749e-03,2.194078e-03,2.164553e-03,2.129949e-03,2.125152e-03,2.095943e-03,2.062540e-03,2.058572e-03,2.029743e-03,1.997554e-03,1.994369e-03,1.965975e-03,1.935007e-03,1.932556e-03,1.904649e-03,1.874900e-03,1.873134e-03,1.845758e-03,1.817220e-03,1.816091e-03,1.789284e-03,1.761945e-03,1.761405e-03,1.735200e-03,1.709043e-03,1.658967e-03,1.611131e-03,1.565487e-03,1.521978e-03,1.480547e-03,1.441134e-03,1.403677e-03,1.368112e-03,1.334376e-03,1.302402e-03,1.272128e-03,1.243487e-03,1.216417e-03,1.190855e-03,1.166739e-03,1.144007e-03,1.122601e-03,1.102463e-03,1.083536e-03,1.065766e-03,1.049098e-03,1.033482e-03,1.018867e-03,1.005206e-03,9.924512e-04,9.805588e-04,9.694852e-04,9.591889e-04,9.496300e-04,9.407701e-04,9.325725e-04,9.250019e-04,9.180247e-04,9.116085e-04,9.057224e-04,9.003368e-04,8.954235e-04,8.909555e-04,8.869070e-04,8.832535e-04,8.799715e-04,8.770388e-04,8.744339e-04,8.721368e-04,8.701281e-04,8.683895e-04,8.669034e-04,8.656534e-04,8.646238e-04
0.000000e+00,6.955816e-13,1.590575e-10,1.726190e-10,5.142721e-09,5.848014e-08,6.392353e-08,4.588970e-07,2.017212e-06,2.194453e-06,7.656643e-06,1.945427e-05,2.092449e-05,4.738303e-05,8.724969e-05,9.279919e-05,1.622632e-04,2.461561e-04,2.593328e-04,3.855439e-04,5.169968e-04,5.403070e-04,7.211082e-04,8.901838e-04,9.239106e-04,1.143645e-03,1.332535e-03,1.374705e-03,1.611394e-03,1.801132e-03,1.848280e-03,2.080458e-03,2.255550e-03,2.303714e-03,2.514614e-03,2.664980e-03,2.710516e-03,2.889546e-03,3.010449e-03,3.050526e-03,3.192887e-03,3.283808e-03,3.316571e-03,3.421942e-03,3.485163e-03,3.509688e-03,3.580734e-03,3.620059e-03,3.636173e-03,3.677202e-03,3.696992e-03,3.705068e-03,3.721026e-03,3.725562e-03,3.726312e-03,3.722113e-03,3.715243e-03,3.709555e-03,3.689691e-03,3.674674e-03,3.663493e-03,3.631850e-03,3.611324e-03,3.595571e-03,3.555381e-03,3.531413e-03,3.511933e-03,3.465805e-03,3.439965e-03,3.417510e-03,3.367500e-03,3.340950e-03,3.316169e-03,3.263864e-03,3.237441e-03,3.210884e-03,3.157488e-03,3.131778e-03,3.103901e-03,3.050316e-03,3.025713e-03,2.996895e-03,2.943778e-03,2.920534e-03,2.891084e-03,2.838912e-03,2.817176e-03,2.787346e-03,2.736455e-03,2.716300e-03,2.686295e-03,2.636913e-03,2.618360e-03,2.588347e-03,2.540623e-03,2.523654e-03,2.493766e-03,2.447791e-03,2.432362e-03,2.402709e-03,2.358529e-03,2.344582e-03,2.315253e-03,2.272882e-03,2.260347e-03,2.231413e-03,2.190843e-03,2.179644e-03,2.151165e-03,2.112371e-03,2.102428e-03,2.074452e-03,2.037396e-03,2.028630e-03,2.001194e-03,1.965832e-03,1.958165e-03,1.931299e-03,1.897581e-03,1.890934e-03,1.864664e-03,1.832535e-03,1.826835e-03,1.801180e-03,1.770584e-03,1.765758e-03,1.740733e-03,1.711613e-03,1.707594e-03,1.683210e-03,1.655508e-03,1.652231e-03,1.628495e-03,1.602156e-03,1.599558e-03,1.576476e-03,1.551442e-03,1.549467e-03,1.527041e-03,1.503258e-03,1.501851e-03,1.480081e-03,1.457496e-03,1.456605e-03,1.435491e-03,1.414052e-03,1.413629e-03,1.393167e-03,1.372823e-03,1.334093e-03,1.297347e-03,1.262497e-03,1.229456e-03,1.198144e-03,1.168481e-03,1.140392e-03,1.113804e-03,1.088648e-03,1.064857e-03,1.042367e-03,1.021117e-03,1.001049e-03,9.821063e-04,9.642353e-04,9.473849e-04,9.315059e-04,9.165515e-04,9.024768e-04,8.892390e-04,8.767970e-04,8.651118e-04,8.541460e-04,8.438637e-04,8.342309e-04,8.252150e-04,8.167848e-04,8.089106e-04,8.015640e-04,7.947179e-04,7.883465e-04,7.824251e-04,7.769300e-04,7.718388e-04,7.671302e-04,7.627835e-04,7.587792e-04,7.550989e-04,7.517246e-04,7.486395e-04,7.458275e-04,7.432731e-04,7.409618e-04,7.388795e-04,7.370130e-04,7.353496e-04,7.338772e-04,7.325845e-04,7.314605e-04
0.000000e+00,2.154545e-09,8.958443e-08,9.435495e-08,7.811221e-07,3.511415e-06,3.708577e-06,1.211147e-05,2.754339e-05,2.877711e-05,5.243820e-05,7.668170e-05,7.880240e-05,1.047724e-04,1.268185e-04,1.291770e-04,1.517263e-04,1.700225e-04,1.724075e-04,1.912873e-04,2.061497e-04,2.084532e-04,2.239988e-04,2.358743e-04,2.380190e-04,2.506089e-04,2.599272e-04,2.618565e-04,2.718467e-04,2.789897e-04,2.806629e-04,2.883851e-04,2.936982e-04,2.950895e-04,3.008485e-04,3.046351e-04,3.057303e-04,3.097995e-04,3.123235e-04,3.131169e-04,3.157397e-04,3.172282e-04,3.177214e-04,3.191125e-04,3.197603e-04,3.199602e-04,3.203084e-04,3.202812e-04,3.201987e-04,3.196696e-04,3.191083e-04,3.187572e-04,3.174953e-04,3.165188e-04,3.159153e-04,3.140465e-04,3.127550e-04,3.119164e-04,3.095503e-04,3.080274e-04,3.069721e-04,3.042038e-04,3.025192e-04,3.012659e-04,2.981776e-04,2.963891e-04,2.949565e-04,2.916192e-04,2.897741e-04,2.881808e-04,2.846555e-04,2.827923e-04,2.810563e-04,2.773955e-04,2.755454e-04,2.736840e-04,2.699324e-04,2.681201e-04,2.661500e-04,2.623457e-04,2.605906e-04,2.585275e-04,2.547029e-04,2.530197e-04,2.508785e-04,2.470607e-04,2.454605e-04,2.432551e-04,2.394669e-04,2.379575e-04,2.357008e-04,2.319611e-04,2.305478e-04,2.282518e-04,2.245762e-04,2.232619e-04,2.209377e-04,2.173389e-04,2.161248e-04,2.137824e-04,2.102706e-04,2.091565e-04,2.068053e-04,2.033883e-04,2.023728e-04,2.000211e-04,1.967051e-04,1.957859e-04,1.934413e-04,1.902307e-04,1.894048e-04,1.870741e-04,1.839721e-04,1.832358e-04,1.809252e-04,1.779336e-04,1.772830e-04,1.749978e-04,1.721177e-04,1.715484e-04,1.692935e-04,1.665250e-04,1.660326e-04,1.638121e-04,1.611545e-04,1.607345e-04,1.585521e-04,1.560043e-04,1.556519e-04,1.535108e-04,1.510711e-04,1.507819e-04,1.486846e-04,1.463510e-04,1.461205e-04,1.440694e-04,1.418393e-04,1.416631e-04,1.396601e-04,1.375310e-04,1.374048e-04,1.354513e-04,1.334203e-04,1.333401e-04,1.314373e-04,1.295014e-04,1.294632e-04,1.276120e-04,1.257682e-04,1.222490e-04,1.188993e-04,1.157129e-04,1.126835e-04,1.098051e-04,1.070714e-04,1.044765e-04,1.020144e-04,9.967939e-05,9.746584e-05,9.536830e-05,9.338148e-05,9.150026e-05,8.971969e-05,8.803503e-05,8.644167e-05,8.493521e-05,8.351142e-05,8.216622e-05,8.089573e-05,7.969623e-05,7.856414e-05,7.749606e-05,7.648874e-05,7.553908e-05,7.464410e-05,7.380099e-05,7.300705e-05,7.225973e-05,7.155658e-05,7.089528e-05,7.027362e-05,6.968951e-05,6.914095e-05,6.862603e-05,6.814297e-05,6.769005e-05,6.726564e-05,6.686821e-05,6.649629e-05,6.614849e-05,6.582349e-05,6.552004e-05,6.523697e-05,6.497315e-05,6.472752e-05,6.449906e-05,6.428682e-05,6.408990e-05
0.000000e+00,1.031740e-08,1.326987e-07,1.381318e-07,7.582949e-07,2.525207e-06,2.634886e-06,6.436705e-06,1.155622e-05,1.191367e-05,1.804058e-05,2.362218e-05,2.409691e-05,2.985281e-05,3.473532e-05,3.526017e-05,4.031641e-05,4.448230e-05,4.503026e-05,4.941379e-05,5.292955e-05,5.348030e-05,5.724364e-05,6.018086e-05,6.071789e-05,6.391704e-05,6.634476e-05,6.685490e-05,6.954492e-05,7.152729e-05,7.200016e-05,7.423323e-05,7.582860e-05,7.625623e-05,7.808078e-05,7.934158e-05,7.971800e-05,8.117849e-05,8.215147e-05,8.247241e-05,8.360942e-05,8.433609e-05,8.459872e-05,8.544908e-05,8.596616e-05,8.616886e-05,8.676597e-05,8.710580e-05,8.724796e-05,8.762200e-05,8.781307e-05,8.789492e-05,8.807316e-05,8.814039e-05,8.816285e-05,8.816983e-05,8.813506e-05,8.809964e-05,8.795751e-05,8.783978e-05,8.774841e-05,8.747706e-05,8.729292e-05,8.714792e-05,8.676521e-05,8.652900e-05,8.633294e-05,8.585489e-05,8.557897e-05,8.533463e-05,8.477555e-05,8.447056e-05,8.418085e-05,8.355357e-05,8.322860e-05,8.289654e-05,8.221247e-05,8.187526e-05,8.150390e-05,8.077324e-05,8.043035e-05,8.002275e-05,7.925456e-05,7.891147e-05,7.847069e-05,7.767302e-05,7.733432e-05,7.686334e-05,7.604332e-05,7.571278e-05,7.521454e-05,7.437848e-05,7.405916e-05,7.353653e-05,7.268998e-05,7.238434e-05,7.184007e-05,7.098792e-05,7.069787e-05,7.013461e-05,6.928115e-05,6.900816e-05,6.842846e-05,6.757741e-05,6.732254e-05,6.672882e-05,6.588344e-05,6.564741e-05,6.504197e-05,6.420507e-05,6.398830e-05,6.337334e-05,6.254734e-05,6.235001e-05,6.172758e-05,6.091454e-05,6.073662e-05,6.010866e-05,5.931033e-05,5.915161e-05,5.851994e-05,5.773780e-05,5.759792e-05,5.696423e-05,5.619950e-05,5.607798e-05,5.544386e-05,5.469753e-05,5.459380e-05,5.396072e-05,5.323359e-05,5.314699e-05,5.251631e-05,5.180901e-05,5.173883e-05,5.111180e-05,5.042479e-05,5.037028e-05,4.974806e-05,4.908167e-05,4.904202e-05,4.842568e-05,4.778012e-05,4.775451e-05,4.714502e-05,4.652038e-05,4.650800e-05,4.590623e-05,4.530253e-05,4.413801e-05,4.301419e-05,4.193070e-05,4.088706e-05,3.988272e-05,3.891703e-05,3.798929e-05,3.709875e-05,3.624460e-05,3.542601e-05,3.464209e-05,3.389197e-05,3.317473e-05,3.248947e-05,3.183526e-05,3.121118e-05,3.061630e-05,3.004971e-05,2.951050e-05,2.899777e-05,2.851063e-05,2.804820e-05,2.760962e-05,2.719404e-05,2.680064e-05,2.642861e-05,2.607715e-05,2.574548e-05,2.543286e-05,2.513854e-05,2.486180e-05,2.460196e-05,2.435832e-05,2.413023e-05,2.391705e-05,2.371815e-05,2.353294e-05,2.336083e-05,2.320124e-05,2.305365e-05,2.291750e-05,2.279229e-05,2.267753e-05,2.257272e-05,2.247741e-05,2.239115e-05,2.231349e-05,2.224404e-05,2.218237e-05
0.000000e+00,2.467299e-10,4.547972e-09,4.771118e-09,3.348092e-08,1.107327e-07,1.150149e-07,2.347114e-07,3.507419e-07,3.579757e-07,4.743728e-07,5.741920e-07,5.825434e-07,6.826201e-07,7.660756e-07,7.749752e-07,8.600160e-07,9.291229e-07,9.381469e-07,1.009762e-06,1.066431e-06,1.075243e-06,1.134955e-06,1.180913e-06,1.189250e-06,1.238462e-06,1.275246e-06,1.282909e-06,1.322893e-06,1.351860e-06,1.358700e-06,1.390602e-06,1.412938e-06,1.418852e-06,1.443687e-06,1.460418e-06,1.465334e-06,1.484006e-06,1.496026e-06,1.499903e-06,1.513218e-06,1.521309e-06,1.524134e-06,1.532818e-06,1.537654e-06,1.539428e-06,1.544114e-06,1.546271e-06,1.547012e-06,1.548254e-06,1.548227e-06,1.547963e-06,1.546253e-06,1.544464e-06,1.543232e-06,1.539003e-06,1.535816e-06,1.533660e-06,1.527293e-06,1.523016e-06,1.519985e-06,1.511814e-06,1.506709e-06,1.502855e-06,1.493175e-06,1.487464e-06,1.482840e-06,1.471910e-06,1.465780e-06,1.460441e-06,1.448487e-06,1.442095e-06,1.436096e-06,1.423315e-06,1.416791e-06,1.410187e-06,1.396752e-06,1.390206e-06,1.383048e-06,1.369111e-06,1.362630e-06,1.354972e-06,1.340663e-06,1.334320e-06,1.326211e-06,1.311644e-06,1.305497e-06,1.296985e-06,1.282259e-06,1.276354e-06,1.267485e-06,1.252684e-06,1.247056e-06,1.237874e-06,1.223071e-06,1.217748e-06,1.208293e-06,1.193552e-06,1.188551e-06,1.178863e-06,1.164237e-06,1.159572e-06,1.149686e-06,1.135220e-06,1.130899e-06,1.120849e-06,1.106582e-06,1.102607e-06,1.092427e-06,1.078390e-06,1.074761e-06,1.064479e-06,1.050700e-06,1.047413e-06,1.037057e-06,1.023557e-06,1.020606e-06,1.010202e-06,9.969971e-07,9.943744e-07,9.839458e-07,9.710509e-07,9.687467e-07,9.583152e-07,9.457408e-07,9.437441e-07,9.333298e-07,9.210837e-07,9.193825e-07,9.090039e-07,8.970915e-07,8.956733e-07,8.853472e-07,8.737716e-07,8.726234e-07,8.623652e-07,8.511280e-07,8.502363e-07,8.400601e-07,8.291612e-07,8.285126e-07,8.184310e-07,8.078690e-07,8.074500e-07,7.974745e-07,7.872467e-07,7.870439e-07,7.771849e-07,7.672879e-07,7.481740e-07,7.296928e-07,7.118336e-07,6.945849e-07,6.779345e-07,6.618694e-07,6.463764e-07,6.314415e-07,6.170510e-07,6.031905e-07,5.898459e-07,5.770029e-07,5.646473e-07,5.527649e-07,5.413418e-07,5.303639e-07,5.198177e-07,5.096897e-07,4.999667e-07,4.906356e-07,4.816839e-07,4.730989e-07,4.648686e-07,4.569812e-07,4.494250e-07,4.421887e-07,4.352615e-07,4.286326e-07,4.222916e-07,4.162284e-07,4.104333e-07,4.048968e-07,3.996095e-07,3.945625e-07,3.897472e-07,3.851551e-07,3.807781e-07,3.766082e-07,3.726377e-07,3.688594e-07,3.652660e-07,3.618506e-07,3.586064e-07,3.555269e-07,3.526059e-07,3.498374e-07,3.472153e-07,3.447340e-07,3.423881e-07
0.000000e+00,6.858089e-10,8.606958e-09,8.972574e-09,5.172127e-08,1.713814e-07,1.786715e-07,4.247632e-07,7.447529e-07,7.668391e-07,1.142268e-06,1.479216e-06,1.507622e-06,1.848454e-06,2.131929e-06,2.162071e-06,2.448965e-06,2.680341e-06,2.710420e-06,2.947893e-06,3.134062e-06,3.162855e-06,3.356736e-06,3.504313e-06,3.530912e-06,3.686696e-06,3.801592e-06,3.825336e-06,3.948009e-06,4.035403e-06,4.055830e-06,4.149845e-06,4.214229e-06,4.231040e-06,4.300342e-06,4.345597e-06,4.358624e-06,4.406703e-06,4.436165e-06,4.445345e-06,4.475267e-06,4.491790e-06,4.497141e-06,4.511598e-06,4.517620e-06,4.519225e-06,4.520572e-06,4.518166e-06,4.516155e-06,4.506454e-06,4.497377e-06,4.491919e-06,4.472968e-06,4.458704e-06,4.449992e-06,4.423358e-06,4.405158e-06,4.393405e-06,4.360451e-06,4.339362e-06,4.324792e-06,4.286702e-06,4.263597e-06,4.246437e-06,4.204237e-06,4.179843e-06,4.160322e-06,4.114899e-06,4.089811e-06,4.068158e-06,4.020277e-06,3.994984e-06,3.971421e-06,3.921741e-06,3.896636e-06,3.871378e-06,3.820464e-06,3.795865e-06,3.769119e-06,3.717453e-06,3.693608e-06,3.665571e-06,3.613565e-06,3.590666e-06,3.561524e-06,3.509526e-06,3.487719e-06,3.457647e-06,3.405951e-06,3.385339e-06,3.354502e-06,3.303355e-06,3.284009e-06,3.252560e-06,3.202166e-06,3.184130e-06,3.152212e-06,3.102738e-06,3.086032e-06,3.053778e-06,3.005361e-06,2.989988e-06,2.957517e-06,2.910268e-06,2.896213e-06,2.863636e-06,2.817641e-06,2.804879e-06,2.772299e-06,2.727624e-06,2.716119e-06,2.683627e-06,2.640320e-06,2.630030e-06,2.597711e-06,2.555806e-06,2.546682e-06,2.514610e-06,2.474128e-06,2.466117e-06,2.434361e-06,2.395311e-06,2.388358e-06,2.356978e-06,2.319362e-06,2.313409e-06,2.282459e-06,2.246268e-06,2.241258e-06,2.210786e-06,2.176007e-06,2.171880e-06,2.141927e-06,2.108541e-06,2.105241e-06,2.075843e-06,2.043827e-06,2.041295e-06,2.012485e-06,1.981810e-06,1.979991e-06,1.951795e-06,1.922432e-06,1.921271e-06,1.893712e-06,1.865628e-06,1.865073e-06,1.838170e-06,1.811330e-06,1.759975e-06,1.710935e-06,1.664139e-06,1.619514e-06,1.576987e-06,1.536484e-06,1.497934e-06,1.461264e-06,1.426404e-06,1.393285e-06,1.361839e-06,1.331999e-06,1.303700e-06,1.276879e-06,1.251475e-06,1.227429e-06,1.204683e-06,1.183180e-06,1.162868e-06,1.143693e-06,1.125606e-06,1.108557e-06,1.092500e-06,1.077391e-06,1.063185e-06,1.049840e-06,1.037317e-06,1.025577e-06,1.014583e-06,1.004300e-06,9.946922e-07,9.857280e-07,9.773757e-07,9.696050e-07,9.623870e-07,9.556939e-07,9.494993e-07,9.437777e-07,9.385045e-07,9.336566e-07,9.292116e-07,9.251480e-07,9.214455e-07,9.180843e-07,9.150459e-07,9.123122e-07,9.098663e-07,9.076917e-07,9.057728e-07
0.000000e+00,4.045745e-10,5.225173e-09,5.450666e-09,3.232667e-08,1.094221e-07,1.141706e-07,2.770132e-07,4.953934e-07,5.107219e-07,7.753129e-07,1.017474e-06,1.038035e-06,1.286261e-06,1.494791e-06,1.517078e-06,1.730400e-06,1.904156e-06,1.926869e-06,2.107309e-06,2.250319e-06,2.272574e-06,2.423507e-06,2.539818e-06,2.560932e-06,2.685641e-06,2.778945e-06,2.798390e-06,2.899902e-06,2.973481e-06,2.990860e-06,3.071920e-06,3.128675e-06,3.143701e-06,3.206793e-06,3.249275e-06,3.261753e-06,3.309108e-06,3.339551e-06,3.349360e-06,3.382981e-06,3.403332e-06,3.410415e-06,3.432086e-06,3.444040e-06,3.448391e-06,3.459707e-06,3.464732e-06,3.466386e-06,3.468765e-06,3.468133e-06,3.467159e-06,3.461863e-06,3.456669e-06,3.453160e-06,3.441312e-06,3.432497e-06,3.426568e-06,3.409161e-06,3.397531e-06,3.389312e-06,3.367227e-06,3.353470e-06,3.343100e-06,3.317114e-06,3.301814e-06,3.289441e-06,3.260241e-06,3.243892e-06,3.229666e-06,3.197858e-06,3.180874e-06,3.164948e-06,3.131062e-06,3.113789e-06,3.096315e-06,3.060818e-06,3.043543e-06,3.024671e-06,2.987971e-06,2.970927e-06,2.950805e-06,2.913257e-06,2.896635e-06,2.875404e-06,2.837317e-06,2.821268e-06,2.799065e-06,2.760709e-06,2.745351e-06,2.722308e-06,2.683914e-06,2.669336e-06,2.645577e-06,2.607343e-06,2.593613e-06,2.569256e-06,2.531353e-06,2.518515e-06,2.493672e-06,2.456244e-06,2.444326e-06,2.419101e-06,2.382270e-06,2.371285e-06,2.345777e-06,2.309644e-06,2.299595e-06,2.273893e-06,2.238543e-06,2.229420e-06,2.203611e-06,2.169111e-06,2.160897e-06,2.135058e-06,2.101463e-06,2.094135e-06,2.068338e-06,2.035691e-06,2.029220e-06,2.003531e-06,1.971865e-06,1.966217e-06,1.940697e-06,1.910033e-06,1.905173e-06,1.879876e-06,1.850230e-06,1.846120e-06,1.821095e-06,1.792474e-06,1.789074e-06,1.764367e-06,1.736774e-06,1.734043e-06,1.709693e-06,1.683124e-06,1.681021e-06,1.657064e-06,1.631512e-06,1.629995e-06,1.606463e-06,1.581916e-06,1.580945e-06,1.557866e-06,1.534309e-06,1.533843e-06,1.511242e-06,1.488659e-06,1.445354e-06,1.403888e-06,1.364219e-06,1.326300e-06,1.290084e-06,1.255522e-06,1.222563e-06,1.191159e-06,1.161258e-06,1.132808e-06,1.105761e-06,1.080065e-06,1.055671e-06,1.032531e-06,1.010595e-06,9.898183e-07,9.701535e-07,9.515560e-07,9.339818e-07,9.173883e-07,9.017341e-07,8.869788e-07,8.730836e-07,8.600104e-07,8.477228e-07,8.361853e-07,8.253638e-07,8.152252e-07,8.057378e-07,7.968708e-07,7.885948e-07,7.808813e-07,7.737030e-07,7.670336e-07,7.608478e-07,7.551213e-07,7.498308e-07,7.449540e-07,7.404694e-07,7.363564e-07,7.325954e-07,7.291674e-07,7.260543e-07,7.232389e-07,7.207046e-07,7.184354e-07,7.164163e-07,7.146328e-07,7.130710e-07
0.000000e+00,3.552264e-12,8.630360e-10,9.383276e-10,2.978713e-08,3.308207e-07,3.606317e-07,2.338481e-06,8.979641e-06,9.677993e-06,2.879472e-05,6.330699e-05,6.726192e-05,1.314339e-04,2.140214e-04,2.246750e-04,3.467804e-04,4.755160e-04,4.944118e-04,6.620790e-04,8.173174e-04,8.432406e-04,1.031246e-03,1.189981e-03,1.220009e-03,1.404394e-03,1.549467e-03,1.580380e-03,1.745051e-03,1.867322e-03,1.896488e-03,2.033616e-03,2.130360e-03,2.156026e-03,2.263817e-03,2.336236e-03,2.357453e-03,2.437641e-03,2.488826e-03,2.505243e-03,2.561198e-03,2.594818e-03,2.606476e-03,2.642040e-03,2.661654e-03,2.668818e-03,2.687692e-03,2.696433e-03,2.699484e-03,2.704956e-03,2.705449e-03,2.704809e-03,2.699683e-03,2.694059e-03,2.690157e-03,2.676758e-03,2.666715e-03,2.659960e-03,2.640191e-03,2.627066e-03,2.617837e-03,2.593242e-03,2.578074e-03,2.566717e-03,2.538540e-03,2.522133e-03,2.508959e-03,2.478198e-03,2.461167e-03,2.446456e-03,2.413910e-03,2.396723e-03,2.380720e-03,2.347028e-03,2.330033e-03,2.312959e-03,2.278626e-03,2.262082e-03,2.244128e-03,2.209556e-03,2.193650e-03,2.174987e-03,2.140492e-03,2.125353e-03,2.106130e-03,2.071958e-03,2.057674e-03,2.038023e-03,2.004366e-03,1.990989e-03,1.971023e-03,1.938028e-03,1.925586e-03,1.905406e-03,1.873182e-03,1.861683e-03,1.841376e-03,1.810005e-03,1.799441e-03,1.779084e-03,1.748624e-03,1.738976e-03,1.718636e-03,1.689126e-03,1.680368e-03,1.660102e-03,1.631567e-03,1.623665e-03,1.603524e-03,1.575975e-03,1.568893e-03,1.548920e-03,1.522360e-03,1.516058e-03,1.496292e-03,1.470714e-03,1.465153e-03,1.445625e-03,1.421020e-03,1.416157e-03,1.396895e-03,1.373247e-03,1.369040e-03,1.350070e-03,1.327359e-03,1.323768e-03,1.305108e-03,1.283313e-03,1.280298e-03,1.261967e-03,1.241063e-03,1.238584e-03,1.220596e-03,1.200560e-03,1.198579e-03,1.180947e-03,1.161750e-03,1.160233e-03,1.142965e-03,1.124582e-03,1.123492e-03,1.106597e-03,1.089002e-03,1.088306e-03,1.071790e-03,1.054956e-03,1.054623e-03,1.038491e-03,1.022389e-03,9.915540e-04,9.620669e-04,9.338779e-04,9.069383e-04,8.812006e-04,8.566185e-04,8.331472e-04,8.107429e-04,7.893636e-04,7.689684e-04,7.495178e-04,7.309738e-04,7.132995e-04,6.964595e-04,6.804197e-04,6.651472e-04,6.506102e-04,6.367784e-04,6.236223e-04,6.111138e-04,5.992258e-04,5.879321e-04,5.772078e-04,5.670287e-04,5.573718e-04,5.482148e-04,5.395363e-04,5.313159e-04,5.235340e-04,5.161715e-04,5.092103e-04,5.026330e-04,4.964228e-04,4.905636e-04,4.850401e-04,4.798374e-04,4.749413e-04,4.703382e-04,4.660149e-04,4.619588e-04,4.581578e-04,4.546005e-04,4.512756e-04,4.481724e-04,4.452807e-04,4.425907e-04,4.400928e-04,4.377781e-04,4.356377e-04
0.000000e+00,4.975175e-09,8.225695e-08,8.602091e-08,5.715336e-07,2.126345e-06,2.226302e-06,5.785500e-06,1.064658e-05,1.098463e-05,1.673769e-05,2.192681e-05,2.236650e-05,2.768031e-05,3.216516e-05,3.264610e-05,3.726848e-05,4.106261e-05,4.156075e-05,4.553823e-05,4.871905e-05,4.921660e-05,5.261143e-05,5.525511e-05,5.573794e-05,5.861089e-05,6.078753e-05,6.124455e-05,6.365262e-05,6.542548e-05,6.584820e-05,6.784381e-05,6.926924e-05,6.965135e-05,7.128212e-05,7.240989e-05,7.274684e-05,7.405568e-05,7.492954e-05,7.521826e-05,7.624368e-05,7.690191e-05,7.714056e-05,7.791701e-05,7.839302e-05,7.858074e-05,7.913899e-05,7.946186e-05,7.959860e-05,7.996606e-05,8.016106e-05,8.024743e-05,8.044850e-05,8.053755e-05,8.057467e-05,8.063108e-05,8.063314e-05,8.062254e-05,8.055359e-05,8.048501e-05,8.042851e-05,8.025135e-05,8.012623e-05,8.002589e-05,7.975571e-05,7.958613e-05,7.944417e-05,7.909444e-05,7.889077e-05,7.870951e-05,7.829216e-05,7.806322e-05,7.784505e-05,7.737063e-05,7.712393e-05,7.687125e-05,7.634909e-05,7.609097e-05,7.580621e-05,7.524453e-05,7.498035e-05,7.466587e-05,7.407193e-05,7.380617e-05,7.346430e-05,7.284449e-05,7.258087e-05,7.221389e-05,7.157381e-05,7.131541e-05,7.092549e-05,7.027009e-05,7.001940e-05,6.960867e-05,6.894225e-05,6.870130e-05,6.827178e-05,6.759813e-05,6.736851e-05,6.692212e-05,6.624453e-05,6.602748e-05,6.556607e-05,6.488741e-05,6.468386e-05,6.420916e-05,6.353192e-05,6.334254e-05,6.285621e-05,6.218252e-05,6.200776e-05,6.151133e-05,6.084306e-05,6.068315e-05,6.017810e-05,5.951683e-05,5.937188e-05,5.885957e-05,5.820665e-05,5.807661e-05,5.755835e-05,5.691493e-05,5.679966e-05,5.627664e-05,5.564368e-05,5.554292e-05,5.501627e-05,5.439458e-05,5.430801e-05,5.377878e-05,5.316901e-05,5.309625e-05,5.256541e-05,5.196810e-05,5.190872e-05,5.137718e-05,5.079274e-05,5.074627e-05,5.021488e-05,4.964364e-05,4.960958e-05,4.907911e-05,4.852132e-05,4.849915e-05,4.797032e-05,4.742615e-05,4.741533e-05,4.688881e-05,4.635834e-05,4.532830e-05,4.432521e-05,4.334901e-05,4.239955e-05,4.147662e-05,4.057996e-05,3.970926e-05,3.886416e-05,3.804427e-05,3.724920e-05,3.647850e-05,3.573171e-05,3.500838e-05,3.430802e-05,3.363014e-05,3.297425e-05,3.233984e-05,3.172643e-05,3.113351e-05,3.056057e-05,3.000713e-05,2.947269e-05,2.895677e-05,2.845888e-05,2.797854e-05,2.751530e-05,2.706867e-05,2.663822e-05,2.622350e-05,2.582406e-05,2.543947e-05,2.506933e-05,2.471320e-05,2.437070e-05,2.404142e-05,2.372498e-05,2.342101e-05,2.312912e-05,2.284896e-05,2.258018e-05,2.232244e-05,2.207540e-05,2.183873e-05,2.161212e-05,2.139524e-05,2.118781e-05,2.098951e-05,2.080007e-05,2.061921e-05
0.000000e+00,3.796397e-09,5.547824e-08,5.794213e-08,3.501222e-07,1.145251e-06,1.192218e-06,2.673061e-06,4.345379e-06,4.453794e-06,6.230649e-06,7.783497e-06,7.914228e-06,9.489145e-06,1.081383e-05,1.095570e-05,1.231742e-05,1.343246e-05,1.357865e-05,1.474388e-05,1.567262e-05,1.581759e-05,1.680418e-05,1.756885e-05,1.770811e-05,1.853378e-05,1.915544e-05,1.928548e-05,1.996736e-05,2.046529e-05,2.058343e-05,2.113754e-05,2.152912e-05,2.163338e-05,2.207446e-05,2.237512e-05,2.246412e-05,2.280555e-05,2.302894e-05,2.310177e-05,2.335565e-05,2.351375e-05,2.356990e-05,2.374708e-05,2.385038e-05,2.388965e-05,2.399989e-05,2.405750e-05,2.407998e-05,2.413198e-05,2.415186e-05,2.415783e-05,2.415936e-05,2.414838e-05,2.413830e-05,2.409628e-05,2.406038e-05,2.403485e-05,2.395544e-05,2.389975e-05,2.385944e-05,2.374813e-05,2.367703e-05,2.362271e-05,2.348434e-05,2.340159e-05,2.333408e-05,2.317294e-05,2.308175e-05,2.300189e-05,2.282180e-05,2.272487e-05,2.263352e-05,2.243784e-05,2.233746e-05,2.223550e-05,2.202718e-05,2.192526e-05,2.181355e-05,2.159521e-05,2.149335e-05,2.137273e-05,2.114665e-05,2.104616e-05,2.091747e-05,2.068566e-05,2.058762e-05,2.045165e-05,2.021586e-05,2.012113e-05,1.997867e-05,1.974043e-05,1.964969e-05,1.950147e-05,1.926211e-05,1.917590e-05,1.902263e-05,1.878330e-05,1.870201e-05,1.854437e-05,1.830606e-05,1.822997e-05,1.806859e-05,1.783215e-05,1.776145e-05,1.759693e-05,1.736309e-05,1.729789e-05,1.713080e-05,1.690018e-05,1.684051e-05,1.667137e-05,1.644449e-05,1.639034e-05,1.621964e-05,1.599693e-05,1.594823e-05,1.577644e-05,1.555825e-05,1.551490e-05,1.534245e-05,1.512908e-05,1.509093e-05,1.491820e-05,1.470988e-05,1.467679e-05,1.450415e-05,1.430105e-05,1.427283e-05,1.410062e-05,1.390288e-05,1.387934e-05,1.370786e-05,1.351557e-05,1.349650e-05,1.332604e-05,1.313926e-05,1.312444e-05,1.295525e-05,1.277401e-05,1.276323e-05,1.259555e-05,1.241985e-05,1.241288e-05,1.224693e-05,1.207675e-05,1.207338e-05,1.190933e-05,1.174464e-05,1.142657e-05,1.111904e-05,1.082190e-05,1.053497e-05,1.025807e-05,9.990990e-06,9.733522e-06,9.485441e-06,9.246518e-06,9.016520e-06,8.795211e-06,8.582351e-06,8.377701e-06,8.181022e-06,7.992076e-06,7.810627e-06,7.636441e-06,7.469288e-06,7.308942e-06,7.155179e-06,7.007781e-06,6.866534e-06,6.731229e-06,6.601662e-06,6.477634e-06,6.358950e-06,6.245421e-06,6.136863e-06,6.033099e-06,5.933954e-06,5.839260e-06,5.748853e-06,5.662576e-06,5.580274e-06,5.501800e-06,5.427009e-06,5.355762e-06,5.287925e-06,5.223366e-06,5.161961e-06,5.103587e-06,5.048127e-06,4.995467e-06,4.945498e-06,4.898113e-06,4.853210e-06,4.810691e-06,4.770459e-06,4.732423e-06
0.000000e+00,5.262046e-10,4.303682e-08,4.595244e-08,7.046365e-07,4.689424e-06,5.012313e-06,1.999560e-05,4.769420e-05,4.983067e-05,8.878406e-05,1.261741e-04,1.293789e-04,1.681968e-04,2.008597e-04,2.043503e-04,2.377517e-04,2.649468e-04,2.685012e-04,2.967353e-04,3.191116e-04,3.225939e-04,3.462135e-04,3.644198e-04,3.677253e-04,3.872548e-04,4.018743e-04,4.049223e-04,4.208435e-04,4.323975e-04,4.351289e-04,4.478836e-04,4.568341e-04,4.592075e-04,4.691951e-04,4.759470e-04,4.779356e-04,4.855134e-04,4.904194e-04,4.920080e-04,4.974944e-04,5.008600e-04,5.020429e-04,5.057201e-04,5.078091e-04,5.085882e-04,5.107059e-04,5.117455e-04,5.121282e-04,5.129070e-04,5.130922e-04,5.130908e-04,5.127250e-04,5.122225e-04,5.118526e-04,5.105136e-04,5.094657e-04,5.087456e-04,5.065838e-04,5.051115e-04,5.040612e-04,5.012087e-04,4.994146e-04,4.980553e-04,4.946280e-04,4.925987e-04,4.909522e-04,4.870516e-04,4.848596e-04,4.829482e-04,4.786628e-04,4.763689e-04,4.742147e-04,4.696219e-04,4.672766e-04,4.649013e-04,4.600685e-04,4.577132e-04,4.551381e-04,4.501237e-04,4.477925e-04,4.450381e-04,4.398929e-04,4.376131e-04,4.346992e-04,4.294672e-04,4.272605e-04,4.242061e-04,4.189249e-04,4.168085e-04,4.136315e-04,4.083335e-04,4.063205e-04,4.030378e-04,3.977509e-04,3.958509e-04,3.924785e-04,3.872262e-04,3.854459e-04,3.819989e-04,3.768011e-04,3.751448e-04,3.716372e-04,3.665109e-04,3.649808e-04,3.614256e-04,3.563847e-04,3.549815e-04,3.513909e-04,3.464469e-04,3.451699e-04,3.415550e-04,3.367173e-04,3.355646e-04,3.319358e-04,3.272120e-04,3.261807e-04,3.225475e-04,3.179436e-04,3.170302e-04,3.134013e-04,3.089217e-04,3.081221e-04,3.045056e-04,3.001536e-04,2.994633e-04,2.958663e-04,2.916441e-04,2.910583e-04,2.874875e-04,2.833965e-04,2.829100e-04,2.793714e-04,2.754121e-04,2.750198e-04,2.715186e-04,2.676909e-04,2.673875e-04,2.639286e-04,2.602317e-04,2.600120e-04,2.565997e-04,2.530324e-04,2.528911e-04,2.495293e-04,2.460900e-04,2.460218e-04,2.427139e-04,2.394006e-04,2.330232e-04,2.268848e-04,2.209805e-04,2.153047e-04,2.098520e-04,2.046165e-04,1.995923e-04,1.947733e-04,1.901536e-04,1.857270e-04,1.814875e-04,1.774291e-04,1.735458e-04,1.698317e-04,1.662812e-04,1.628884e-04,1.596477e-04,1.565538e-04,1.536014e-04,1.507851e-04,1.480999e-04,1.455410e-04,1.431034e-04,1.407826e-04,1.385741e-04,1.364733e-04,1.344762e-04,1.325786e-04,1.307766e-04,1.290662e-04,1.274437e-04,1.259057e-04,1.244485e-04,1.230690e-04,1.217637e-04,1.205297e-04,1.193639e-04,1.182635e-04,1.172256e-04,1.162475e-04,1.153267e-04,1.144607e-04,1.136471e-04,1.128836e-04,1.121679e-04,1.114979e-04,1.108717e-04,1.102871e-04,1.097423e-04
0.000000e+00,3.856782e-12,7.400998e-10,7.999737e-10,1.939211e-08,1.845139e-07,2.003428e-07,1.239474e-06,4.868985e-06,5.262504e-06,1.660720e-05,3.875533e-05,4.138268e-05,8.562446e-05,1.453753e-04,1.532327e-04,2.448430e-04,3.433381e-04,3.578889e-04,4.874752e-04,6.075280e-04,6.275306e-04,7.718509e-04,8.922596e-04,9.148488e-04,1.051969e-03,1.157615e-03,1.179833e-03,1.296199e-03,1.380141e-03,1.399811e-03,1.490202e-03,1.551593e-03,1.567496e-03,1.632235e-03,1.673527e-03,1.685222e-03,1.727416e-03,1.752291e-03,1.759840e-03,1.783525e-03,1.795730e-03,1.799470e-03,1.808613e-03,1.811435e-03,1.811823e-03,1.809891e-03,1.806007e-03,1.803529e-03,1.793373e-03,1.784870e-03,1.779989e-03,1.763874e-03,1.752333e-03,1.745469e-03,1.725158e-03,1.711758e-03,1.703278e-03,1.680123e-03,1.665725e-03,1.655947e-03,1.630973e-03,1.616200e-03,1.605394e-03,1.579376e-03,1.564669e-03,1.553064e-03,1.526580e-03,1.512246e-03,1.500032e-03,1.473510e-03,1.459755e-03,1.447092e-03,1.420846e-03,1.407804e-03,1.394826e-03,1.369081e-03,1.356833e-03,1.343651e-03,1.318567e-03,1.307153e-03,1.293859e-03,1.269547e-03,1.258980e-03,1.245649e-03,1.222181e-03,1.212454e-03,1.199151e-03,1.176568e-03,1.167662e-03,1.154438e-03,1.132764e-03,1.124647e-03,1.111547e-03,1.090786e-03,1.083425e-03,1.070482e-03,1.050631e-03,1.043984e-03,1.031229e-03,1.012272e-03,1.006299e-03,9.937555e-04,9.756729e-04,9.703318e-04,9.580182e-04,9.407848e-04,9.360341e-04,9.239661e-04,9.075547e-04,9.033536e-04,8.915434e-04,8.759247e-04,8.722338e-04,8.606911e-04,8.458347e-04,8.426162e-04,8.313481e-04,8.172233e-04,8.144411e-04,8.034528e-04,7.900289e-04,7.876488e-04,7.769440e-04,7.641905e-04,7.621802e-04,7.517611e-04,7.396483e-04,7.379774e-04,7.278449e-04,7.163437e-04,7.149835e-04,7.051377e-04,6.942198e-04,6.931436e-04,6.835834e-04,6.732217e-04,6.724044e-04,6.631281e-04,6.532962e-04,6.527144e-04,6.437196e-04,6.343923e-04,6.340243e-04,6.253081e-04,6.164610e-04,6.162865e-04,6.078454e-04,5.994554e-04,5.834874e-04,5.683409e-04,5.539758e-04,5.403542e-04,5.274397e-04,5.151976e-04,5.035948e-04,4.925998e-04,4.821827e-04,4.723147e-04,4.629687e-04,4.541187e-04,4.457401e-04,4.378093e-04,4.303040e-04,4.232028e-04,4.164857e-04,4.101331e-04,4.041270e-04,3.984498e-04,3.930849e-04,3.880167e-04,3.832300e-04,3.787107e-04,3.744451e-04,3.704204e-04,3.666244e-04,3.630453e-04,3.596722e-04,3.564944e-04,3.535019e-04,3.506853e-04,3.480354e-04,3.455438e-04,3.432021e-04,3.410027e-04,3.389381e-04,3.370013e-04,3.351856e-04,3.334848e-04,3.318927e-04,3.304037e-04,3.290123e-04,3.277133e-04,3.265019e-04,3.253733e-04,3.243232e-04,3.233472e-04,3.224415e-04
0.000000e+00,4.195746e-09,6.960030e-08,7.290557e-08,5.002112e-07,1.725297e-06,1.796572e-06,3.909730e-06,6.098791e-06,6.237846e-06,8.503825e-06,1.048331e-05,1.065034e-05,1.266892e-05,1.437748e-05,1.456111e-05,1.633074e-05,1.779013e-05,1.798222e-05,1.952024e-05,2.075584e-05,2.094958e-05,2.227504e-05,2.331163e-05,2.350138e-05,2.463332e-05,2.549431e-05,2.567548e-05,2.663234e-05,2.733937e-05,2.750828e-05,2.830740e-05,2.887993e-05,2.903366e-05,2.969112e-05,3.014711e-05,3.028355e-05,3.081452e-05,3.116988e-05,3.128743e-05,3.170555e-05,3.197440e-05,3.207196e-05,3.238963e-05,3.258451e-05,3.266138e-05,3.288990e-05,3.302192e-05,3.307776e-05,3.322738e-05,3.330631e-05,3.334108e-05,3.342107e-05,3.345555e-05,3.346945e-05,3.348821e-05,3.348580e-05,3.347925e-05,3.344436e-05,3.341170e-05,3.338526e-05,3.330357e-05,3.324645e-05,3.320083e-05,3.307850e-05,3.300196e-05,3.293797e-05,3.278055e-05,3.268897e-05,3.260749e-05,3.241998e-05,3.231713e-05,3.221913e-05,3.200599e-05,3.189514e-05,3.178159e-05,3.154685e-05,3.143078e-05,3.130269e-05,3.104995e-05,3.093103e-05,3.078944e-05,3.052191e-05,3.040216e-05,3.024808e-05,2.996863e-05,2.984973e-05,2.968419e-05,2.939537e-05,2.927874e-05,2.910274e-05,2.880682e-05,2.869362e-05,2.850813e-05,2.820714e-05,2.809830e-05,2.790428e-05,2.759999e-05,2.749628e-05,2.729466e-05,2.698864e-05,2.689063e-05,2.668230e-05,2.637594e-05,2.628408e-05,2.606989e-05,2.576441e-05,2.567901e-05,2.545977e-05,2.515623e-05,2.507752e-05,2.485401e-05,2.455332e-05,2.448141e-05,2.425437e-05,2.395734e-05,2.389227e-05,2.366240e-05,2.336971e-05,2.331146e-05,2.307942e-05,2.279165e-05,2.274013e-05,2.250654e-05,2.222419e-05,2.217928e-05,2.194472e-05,2.166821e-05,2.162974e-05,2.139474e-05,2.112441e-05,2.109218e-05,2.085727e-05,2.059339e-05,2.056718e-05,2.033282e-05,2.007562e-05,2.005519e-05,1.982181e-05,1.957145e-05,1.955654e-05,1.932456e-05,1.908117e-05,1.907151e-05,1.884130e-05,1.860496e-05,1.860027e-05,1.837217e-05,1.814293e-05,1.769954e-05,1.727009e-05,1.685453e-05,1.645277e-05,1.606466e-05,1.569005e-05,1.532874e-05,1.498053e-05,1.464517e-05,1.432242e-05,1.401202e-05,1.371368e-05,1.342713e-05,1.315207e-05,1.288822e-05,1.263526e-05,1.239290e-05,1.216084e-05,1.193878e-05,1.172641e-05,1.152344e-05,1.132958e-05,1.114454e-05,1.096802e-05,1.079974e-05,1.063943e-05,1.048681e-05,1.034161e-05,1.020358e-05,1.007245e-05,9.947985e-06,9.829926e-06,9.718042e-06,9.612101e-06,9.511877e-06,9.417151e-06,9.327708e-06,9.243343e-06,9.163854e-06,9.089045e-06,9.018728e-06,8.952719e-06,8.890839e-06,8.832918e-06,8.778787e-06,8.728287e-06,8.681260e-06,8.637556e-06,8.597029e-06
0.000000e+00,4.766462e-12,9.210084e-10,9.953140e-10,2.365288e-08,2.209255e-07,2.397598e-07,1.477795e-06,5.860739e-06,6.340450e-06,2.042767e-05,4.890230e-05,5.234538e-05,1.119309e-04,1.962982e-04,2.076785e-04,3.447120e-04,5.002841e-04,5.239547e-04,7.424120e-04,9.571709e-04,9.941400e-04,1.271450e-03,1.518072e-03,1.566024e-03,1.869792e-03,2.120618e-03,2.175498e-03,2.477021e-03,2.711901e-03,2.769471e-03,3.049155e-03,3.256727e-03,3.313452e-03,3.560652e-03,3.736474e-03,3.789791e-03,4.000482e-03,4.144534e-03,4.192778e-03,4.367052e-03,4.481698e-03,4.523900e-03,4.664066e-03,4.752699e-03,4.788382e-03,4.897730e-03,4.963995e-03,4.993007e-03,5.075109e-03,5.122504e-03,5.144909e-03,5.203250e-03,5.234950e-03,5.250941e-03,5.288752e-03,5.307553e-03,5.317409e-03,5.337601e-03,5.345924e-03,5.349974e-03,5.355137e-03,5.355053e-03,5.353659e-03,5.346074e-03,5.339347e-03,5.332883e-03,5.314554e-03,5.302675e-03,5.291524e-03,5.264203e-03,5.248427e-03,5.232972e-03,5.198188e-03,5.179569e-03,5.160185e-03,5.119272e-03,5.098687e-03,5.075740e-03,5.029859e-03,5.008034e-03,4.981879e-03,4.932037e-03,4.909572e-03,4.880548e-03,4.827618e-03,4.805002e-03,4.773433e-03,4.718170e-03,4.695800e-03,4.661991e-03,4.605048e-03,4.583238e-03,4.547480e-03,4.489417e-03,4.468417e-03,4.430980e-03,4.372280e-03,4.352280e-03,4.313419e-03,4.254493e-03,4.235638e-03,4.195589e-03,4.136788e-03,4.119179e-03,4.078164e-03,4.019784e-03,4.003491e-03,3.961712e-03,3.904004e-03,3.889066e-03,3.846713e-03,3.789886e-03,3.776321e-03,3.733566e-03,3.677792e-03,3.665599e-03,3.622601e-03,3.568023e-03,3.557183e-03,3.514087e-03,3.460819e-03,3.451303e-03,3.408241e-03,3.356374e-03,3.348143e-03,3.305236e-03,3.254840e-03,3.247845e-03,3.205202e-03,3.156331e-03,3.150518e-03,3.108237e-03,3.060927e-03,3.056240e-03,3.014408e-03,2.968684e-03,2.965061e-03,2.923758e-03,2.879632e-03,2.877010e-03,2.836307e-03,2.793782e-03,2.792098e-03,2.752056e-03,2.711127e-03,2.710316e-03,2.670991e-03,2.631645e-03,2.556051e-03,2.483493e-03,2.413918e-03,2.347271e-03,2.283486e-03,2.222497e-03,2.164234e-03,2.108621e-03,2.055584e-03,2.005046e-03,1.956929e-03,1.911155e-03,1.867647e-03,1.826328e-03,1.787121e-03,1.749950e-03,1.714740e-03,1.681420e-03,1.649917e-03,1.620161e-03,1.592084e-03,1.565618e-03,1.540700e-03,1.517264e-03,1.495251e-03,1.474600e-03,1.455253e-03,1.437154e-03,1.420250e-03,1.404486e-03,1.389813e-03,1.376181e-03,1.363543e-03,1.351852e-03,1.341064e-03,1.331138e-03,1.322030e-03,1.313703e-03,1.306116e-03,1.299234e-03,1.293021e-03,1.287442e-03,1.282465e-03,1.278057e-03,1.274189e-03,1.270830e-03,1.267954e-03,1.265531e-03,1.263538e-03
0.000000e+00,5.638139e-09,8.261511e-08,8.627748e-08,5.320729e-07,1.812516e-06,1.890341e-06,4.461663e-06,7.619747e-06,7.830925e-06,1.133703e-05,1.441718e-05,1.467597e-05,1.778217e-05,2.037517e-05,2.065169e-05,2.329304e-05,2.543748e-05,2.571732e-05,2.793608e-05,2.968861e-05,2.996082e-05,3.180277e-05,3.321671e-05,3.347280e-05,3.498134e-05,3.610488e-05,3.633840e-05,3.755349e-05,3.842944e-05,3.863565e-05,3.959347e-05,4.025948e-05,4.043506e-05,4.116809e-05,4.165708e-05,4.179983e-05,4.233714e-05,4.267775e-05,4.278646e-05,4.315386e-05,4.337088e-05,4.344506e-05,4.366547e-05,4.378039e-05,4.382021e-05,4.391408e-05,4.394550e-05,4.395170e-05,4.393741e-05,4.390148e-05,4.387518e-05,4.376879e-05,4.367916e-05,4.362176e-05,4.343742e-05,4.330576e-05,4.321887e-05,4.296903e-05,4.280525e-05,4.269064e-05,4.238628e-05,4.219880e-05,4.205834e-05,4.170909e-05,4.150499e-05,4.134063e-05,4.095493e-05,4.074014e-05,4.055384e-05,4.013909e-05,3.991856e-05,3.971229e-05,3.927494e-05,3.905276e-05,3.882845e-05,3.837412e-05,3.815362e-05,3.791317e-05,3.744673e-05,3.723062e-05,3.697586e-05,3.650153e-05,3.629197e-05,3.602467e-05,3.554610e-05,3.534478e-05,3.506661e-05,3.458692e-05,3.439513e-05,3.410769e-05,3.362955e-05,3.344826e-05,3.315306e-05,3.267873e-05,3.250860e-05,3.220706e-05,3.173847e-05,3.157993e-05,3.127337e-05,3.081212e-05,3.066539e-05,3.035506e-05,2.990248e-05,2.976762e-05,2.945466e-05,2.901185e-05,2.888879e-05,2.857425e-05,2.814208e-05,2.803063e-05,2.771550e-05,2.729467e-05,2.719454e-05,2.687972e-05,2.647076e-05,2.638161e-05,2.606790e-05,2.567122e-05,2.559263e-05,2.528079e-05,2.489666e-05,2.482819e-05,2.451888e-05,2.414748e-05,2.408864e-05,2.378247e-05,2.342387e-05,2.337418e-05,2.307168e-05,2.272590e-05,2.268483e-05,2.238650e-05,2.205346e-05,2.202051e-05,2.172676e-05,2.140636e-05,2.138100e-05,2.109221e-05,2.078428e-05,2.076600e-05,2.048251e-05,2.018685e-05,2.017515e-05,1.989723e-05,1.961360e-05,1.960799e-05,1.933589e-05,1.906403e-05,1.854272e-05,1.804350e-05,1.756576e-05,1.710887e-05,1.667221e-05,1.625513e-05,1.585699e-05,1.547713e-05,1.511490e-05,1.476968e-05,1.444082e-05,1.412771e-05,1.382973e-05,1.354629e-05,1.327680e-05,1.302070e-05,1.277742e-05,1.254644e-05,1.232723e-05,1.211928e-05,1.192212e-05,1.173525e-05,1.155824e-05,1.139063e-05,1.123202e-05,1.108198e-05,1.094012e-05,1.080608e-05,1.067949e-05,1.056000e-05,1.044727e-05,1.034100e-05,1.024086e-05,1.014658e-05,1.005786e-05,9.974434e-06,9.896051e-06,9.822463e-06,9.753433e-06,9.688735e-06,9.628155e-06,9.571487e-06,9.518535e-06,9.469110e-06,9.423034e-06,9.380136e-06,9.340253e-06,9.303228e-06,9.268914e-06
0.000000e+00,7.456687e-11,1.834755e-08,1.992720e-08,6.033761e-07,6.929815e-06,7.581285e-06,5.655968e-05,2.664202e-04,2.914206e-04,1.132121e-03,3.243030e-03,3.527121e-03,9.237565e-03,1.952262e-02,2.108995e-02,4.315340e-02,7.526686e-02,8.082081e-02,1.407911e-01,2.161966e-01,2.309617e-01,3.602457e-01,5.061435e-01,5.383331e-01,7.754151e-01,1.021138e+00,1.081889e+00,1.468059e+00,1.841066e+00,1.943850e+00,2.518542e+00,3.040895e+00,3.200529e+00,3.997120e+00,4.682956e+00,4.914376e+00,5.956985e+00,6.811174e+00,7.128176e+00,8.429675e+00,9.447618e+00,9.861692e+00,1.142294e+01,1.259131e+01,1.311070e+01,1.492087e+01,1.621901e+01,1.684807e+01,1.888575e+01,2.028750e+01,2.102634e+01,2.326133e+01,2.473701e+01,2.558145e+01,2.797677e+01,2.949509e+01,3.043689e+01,3.295102e+01,3.448085e+01,3.550815e+01,3.809713e+01,3.960896e+01,4.070685e+01,4.332629e+01,4.479337e+01,4.594461e+01,4.855132e+01,4.995051e+01,5.113625e+01,5.368968e+01,5.500194e+01,5.620240e+01,5.866572e+01,5.987629e+01,6.107152e+01,6.341231e+01,6.451075e+01,6.568121e+01,6.787200e+01,6.885197e+01,6.997908e+01,7.199750e+01,7.285639e+01,7.392295e+01,7.575174e+01,7.649024e+01,7.748078e+01,7.910760e+01,7.972926e+01,8.063028e+01,8.204742e+01,8.255808e+01,8.335818e+01,8.456218e+01,8.496948e+01,8.565948e+01,8.665059e+01,8.696353e+01,8.753641e+01,8.831818e+01,8.854663e+01,8.899750e+01,8.957624e+01,8.973057e+01,9.005657e+01,9.044087e+01,9.053161e+01,9.073174e+01,9.093199e+01,9.096956e+01,9.104454e+01,9.107248e+01,9.106695e+01,9.101901e+01,9.088740e+01,9.084829e+01,9.068099e+01,9.040319e+01,9.033936e+01,9.005741e+01,8.964710e+01,8.956665e+01,8.917569e+01,8.864661e+01,8.855684e+01,8.806326e+01,8.742900e+01,8.733633e+01,8.674713e+01,8.602092e+01,8.593094e+01,8.525355e+01,8.444813e+01,8.436562e+01,8.360772e+01,8.273527e+01,8.266417e+01,8.183364e+01,8.090562e+01,8.084916e+01,7.995389e+01,7.898104e+01,7.894172e+01,7.798957e+01,7.698188e+01,7.696157e+01,7.596025e+01,7.492689e+01,7.285436e+01,7.075916e+01,6.865504e+01,6.655431e+01,6.446795e+01,6.240566e+01,6.037597e+01,5.838625e+01,5.644288e+01,5.455125e+01,5.271589e+01,5.094052e+01,4.922815e+01,4.758111e+01,4.600117e+01,4.448952e+01,4.304693e+01,4.167370e+01,4.036980e+01,3.913484e+01,3.796815e+01,3.686880e+01,3.583565e+01,3.486736e+01,3.396242e+01,3.311920e+01,3.233594e+01,3.161076e+01,3.094173e+01,3.032684e+01,2.976400e+01,2.925113e+01,2.878607e+01,2.836668e+01,2.799078e+01,2.765621e+01,2.736079e+01,2.710239e+01,2.687886e+01,2.668811e+01,2.652805e+01,2.639665e+01,2.629190e+01,2.621186e+01,2.615463e+01,2.611834e+01,2.610120e+01,2.610148e+01,2.611749e+01
0.000000e+00,3.109285e-09,1.532107e-07,1.620578e-07,1.658476e-06,8.503247e-06,9.011574e-06,3.063178e-05,6.799536e-05,7.083961e-05,1.222445e-04,1.709017e-04,1.750450e-04,2.249281e-04,2.664825e-04,2.709000e-04,3.129239e-04,3.467786e-04,3.511770e-04,3.858772e-04,4.130455e-04,4.172443e-04,4.454920e-04,4.669598e-04,4.708255e-04,4.934404e-04,5.100870e-04,5.135231e-04,5.312507e-04,5.438497e-04,5.467904e-04,5.603002e-04,5.695245e-04,5.719286e-04,5.818151e-04,5.882454e-04,5.900917e-04,5.968814e-04,6.010168e-04,6.023000e-04,6.064559e-04,6.087230e-04,6.094496e-04,6.113757e-04,6.121360e-04,6.123220e-04,6.123708e-04,6.119309e-04,6.115991e-04,6.100784e-04,6.086968e-04,6.078750e-04,6.050510e-04,6.029449e-04,6.016644e-04,5.977688e-04,5.951199e-04,5.934141e-04,5.886466e-04,5.856061e-04,5.835096e-04,5.780429e-04,5.747360e-04,5.722838e-04,5.662666e-04,5.627963e-04,5.600233e-04,5.535833e-04,5.500337e-04,5.469740e-04,5.402206e-04,5.366597e-04,5.333464e-04,5.263730e-04,5.228553e-04,5.193202e-04,5.122063e-04,5.087749e-04,5.050481e-04,4.978610e-04,4.945491e-04,4.906592e-04,4.834556e-04,4.802886e-04,4.762622e-04,4.690899e-04,4.660861e-04,4.619484e-04,4.548468e-04,4.520192e-04,4.477933e-04,4.407953e-04,4.381520e-04,4.338594e-04,4.269917e-04,4.245371e-04,4.201976e-04,4.134818e-04,4.112171e-04,4.068487e-04,4.003021e-04,3.982260e-04,3.938453e-04,3.874812e-04,3.855904e-04,3.812123e-04,3.750408e-04,3.733305e-04,3.689685e-04,3.629969e-04,3.614609e-04,3.571272e-04,3.513604e-04,3.499918e-04,3.456973e-04,3.401382e-04,3.389292e-04,3.346835e-04,3.293334e-04,3.282759e-04,3.240876e-04,3.189461e-04,3.180317e-04,3.139084e-04,3.089740e-04,3.081940e-04,3.041423e-04,2.994126e-04,2.987586e-04,2.947841e-04,2.902558e-04,2.897191e-04,2.858268e-04,2.814959e-04,2.810682e-04,2.772622e-04,2.731243e-04,2.727973e-04,2.690810e-04,2.651311e-04,2.648971e-04,2.612733e-04,2.575062e-04,2.573574e-04,2.538285e-04,2.502387e-04,2.501678e-04,2.467354e-04,2.433173e-04,2.367947e-04,2.305888e-04,2.246883e-04,2.190818e-04,2.137582e-04,2.087063e-04,2.039151e-04,1.993741e-04,1.950728e-04,1.910009e-04,1.871484e-04,1.835059e-04,1.800638e-04,1.768133e-04,1.737454e-04,1.708519e-04,1.681245e-04,1.655555e-04,1.631373e-04,1.608626e-04,1.587246e-04,1.567166e-04,1.548321e-04,1.530651e-04,1.514096e-04,1.498601e-04,1.484111e-04,1.470575e-04,1.457945e-04,1.446173e-04,1.435214e-04,1.425025e-04,1.415565e-04,1.406796e-04,1.398679e-04,1.391180e-04,1.384265e-04,1.377901e-04,1.372057e-04,1.366704e-04,1.361814e-04,1.357361e-04,1.353319e-04,1.349663e-04,1.346372e-04,1.343423e-04,1.340796e-04,1.338470e-04,1.336427e-04
0.000000e+00,5.689375e-11,1.053834e-08,1.140362e-08,2.990157e-07,2.878120e-06,3.118557e-06,1.709678e-05,5.431862e-05,5.779492e-05,1.379421e-04,2.475352e-04,2.584795e-04,4.096214e-04,5.601857e-04,5.773063e-04,7.486339e-04,8.949094e-04,9.142681e-04,1.068585e-03,1.190097e-03,1.208839e-03,1.334172e-03,1.428078e-03,1.444825e-03,1.541604e-03,1.611345e-03,1.625562e-03,1.697823e-03,1.747956e-03,1.759494e-03,1.811619e-03,1.846274e-03,1.855164e-03,1.891014e-03,1.913611e-03,1.919972e-03,1.942768e-03,1.956059e-03,1.960060e-03,1.972441e-03,1.978617e-03,1.980447e-03,1.984562e-03,1.985361e-03,1.985219e-03,1.982811e-03,1.979603e-03,1.977689e-03,1.970170e-03,1.964035e-03,1.960540e-03,1.949054e-03,1.940838e-03,1.935944e-03,1.921417e-03,1.911780e-03,1.905658e-03,1.888834e-03,1.878293e-03,1.871097e-03,1.852580e-03,1.841531e-03,1.833404e-03,1.813677e-03,1.802426e-03,1.793496e-03,1.772948e-03,1.761727e-03,1.752110e-03,1.731051e-03,1.720035e-03,1.709834e-03,1.688514e-03,1.677830e-03,1.667139e-03,1.645754e-03,1.635498e-03,1.624399e-03,1.603106e-03,1.593341e-03,1.581907e-03,1.560830e-03,1.551600e-03,1.539897e-03,1.519130e-03,1.510461e-03,1.498547e-03,1.478165e-03,1.470071e-03,1.457997e-03,1.438055e-03,1.430539e-03,1.418351e-03,1.398892e-03,1.391949e-03,1.379687e-03,1.360741e-03,1.354360e-03,1.342061e-03,1.323649e-03,1.317815e-03,1.305511e-03,1.287647e-03,1.282342e-03,1.270061e-03,1.252752e-03,1.247956e-03,1.235723e-03,1.218973e-03,1.214664e-03,1.202502e-03,1.186309e-03,1.182464e-03,1.170393e-03,1.154753e-03,1.151349e-03,1.139387e-03,1.124293e-03,1.121307e-03,1.109469e-03,1.094914e-03,1.092322e-03,1.080624e-03,1.066596e-03,1.064376e-03,1.052829e-03,1.039320e-03,1.037449e-03,1.026065e-03,1.013061e-03,1.011517e-03,1.000306e-03,9.877955e-04,9.865579e-04,9.755276e-04,9.634985e-04,9.625464e-04,9.517052e-04,9.401443e-04,9.394580e-04,9.288126e-04,9.177069e-04,9.172673e-04,9.068237e-04,8.961600e-04,8.959490e-04,8.857125e-04,8.754778e-04,8.558287e-04,8.369766e-04,8.188971e-04,8.015660e-04,7.849596e-04,7.690546e-04,7.538283e-04,7.392584e-04,7.253232e-04,7.120014e-04,6.992724e-04,6.871160e-04,6.755127e-04,6.644432e-04,6.538890e-04,6.438321e-04,6.342548e-04,6.251399e-04,6.164710e-04,6.082318e-04,6.004066e-04,5.929802e-04,5.859377e-04,5.792647e-04,5.729473e-04,5.669719e-04,5.613253e-04,5.559946e-04,5.509675e-04,5.462319e-04,5.417761e-04,5.375887e-04,5.336588e-04,5.299755e-04,5.265287e-04,5.233082e-04,5.203043e-04,5.175075e-04,5.149088e-04,5.124992e-04,5.102702e-04,5.082134e-04,5.063209e-04,5.045848e-04,5.029977e-04,5.015523e-04,5.002415e-04,4.990586e-04,4.979970e-04
0.000000e+00,1.158762e-12,2.504491e-10,2.712765e-10,7.177537e-09,7.274310e-08,7.917605e-08,5.205236e-07,2.176886e-06,2.363012e-06,8.070409e-06,2.049571e-05,2.205755e-05,5.061409e-05,9.492685e-05,1.011959e-04,1.813567e-04,2.816167e-04,2.976571e-04,4.547978e-04,6.244385e-04,6.550968e-04,8.983279e-04,1.133959e-03,1.181861e-03,1.501023e-03,1.784990e-03,1.849585e-03,2.220298e-03,2.527614e-03,2.605413e-03,2.997143e-03,3.302478e-03,3.388048e-03,3.771315e-03,4.053777e-03,4.140965e-03,4.491962e-03,4.737274e-03,4.820260e-03,5.122796e-03,5.323435e-03,5.397431e-03,5.642869e-03,5.796981e-03,5.858559e-03,6.044591e-03,6.154448e-03,6.201581e-03,6.330560e-03,6.400985e-03,6.432873e-03,6.510102e-03,6.547164e-03,6.563988e-03,6.596361e-03,6.606447e-03,6.609082e-03,6.604007e-03,6.593165e-03,6.582930e-03,6.547592e-03,6.521217e-03,6.499644e-03,6.440633e-03,6.403297e-03,6.372003e-03,6.295086e-03,6.250538e-03,6.211099e-03,6.121149e-03,6.072355e-03,6.026238e-03,5.927266e-03,5.876513e-03,5.825041e-03,5.720284e-03,5.669292e-03,5.613635e-03,5.505658e-03,5.455682e-03,5.396852e-03,5.287654e-03,5.239583e-03,5.178446e-03,5.069562e-03,5.023998e-03,4.961290e-03,4.853881e-03,4.811209e-03,4.747550e-03,4.642480e-03,4.602918e-03,4.538828e-03,4.436726e-03,4.400370e-03,4.336283e-03,4.237592e-03,4.204450e-03,4.140728e-03,4.045749e-03,4.015763e-03,3.952705e-03,3.861629e-03,3.834695e-03,3.772549e-03,3.685480e-03,3.661463e-03,3.600433e-03,3.517411e-03,3.496156e-03,3.436409e-03,3.357420e-03,3.338761e-03,3.280431e-03,3.205427e-03,3.189190e-03,3.132387e-03,3.061289e-03,3.047300e-03,2.992108e-03,2.924817e-03,2.912903e-03,2.859387e-03,2.795790e-03,2.785782e-03,2.733992e-03,2.673963e-03,2.665698e-03,2.615669e-03,2.559077e-03,2.552399e-03,2.504152e-03,2.450861e-03,2.445621e-03,2.399170e-03,2.349042e-03,2.345099e-03,2.300445e-03,2.253345e-03,2.250565e-03,2.207705e-03,2.163494e-03,2.161755e-03,2.120677e-03,2.079222e-03,2.078406e-03,2.039094e-03,2.000263e-03,1.927076e-03,1.858602e-03,1.794608e-03,1.734869e-03,1.679166e-03,1.627291e-03,1.579045e-03,1.534237e-03,1.492684e-03,1.454211e-03,1.418652e-03,1.385849e-03,1.355650e-03,1.327912e-03,1.302496e-03,1.279273e-03,1.258119e-03,1.238914e-03,1.221548e-03,1.205912e-03,1.191906e-03,1.179432e-03,1.168398e-03,1.158717e-03,1.150305e-03,1.143084e-03,1.136977e-03,1.131913e-03,1.127823e-03,1.124644e-03,1.122312e-03,1.120769e-03,1.119958e-03,1.119828e-03,1.120327e-03,1.121406e-03,1.123021e-03,1.125127e-03,1.127683e-03,1.130650e-03,1.133991e-03,1.137670e-03,1.141653e-03,1.145909e-03,1.150408e-03,1.155122e-03,1.160022e-03,1.165084e-03,1.170285e-03
0.000000e+00,1.005351e-12,2.100771e-10,2.273732e-10,5.806259e-09,5.771915e-08,6.279863e-08,4.126894e-07,1.746062e-06,1.897184e-06,6.593209e-06,1.699826e-05,1.831504e-05,4.254561e-05,8.037318e-05,8.573181e-05,1.542394e-04,2.396942e-04,2.533335e-04,3.864354e-04,5.290842e-04,5.547532e-04,7.572648e-04,9.516550e-04,9.909722e-04,1.251325e-03,1.480785e-03,1.532715e-03,1.828968e-03,2.072430e-03,2.133780e-03,2.441080e-03,2.678892e-03,2.745293e-03,3.041524e-03,3.258753e-03,3.325648e-03,3.594351e-03,3.781751e-03,3.845110e-03,4.076142e-03,4.229621e-03,4.286333e-03,4.475144e-03,4.594548e-03,4.642526e-03,4.788827e-03,4.876596e-03,4.914705e-03,5.021056e-03,5.081062e-03,5.108943e-03,5.179540e-03,5.216218e-03,5.234083e-03,5.273837e-03,5.291609e-03,5.300058e-03,5.313974e-03,5.316912e-03,5.316768e-03,5.309563e-03,5.301222e-03,5.293417e-03,5.269315e-03,5.252687e-03,5.238173e-03,5.200832e-03,5.178364e-03,5.158062e-03,5.110567e-03,5.084217e-03,5.058985e-03,5.003893e-03,4.975195e-03,4.945812e-03,4.885211e-03,4.855352e-03,4.822510e-03,4.758088e-03,4.727969e-03,4.692280e-03,4.625388e-03,4.595682e-03,4.557679e-03,4.489391e-03,4.460590e-03,4.420737e-03,4.351903e-03,4.324356e-03,4.283054e-03,4.214339e-03,4.188289e-03,4.145886e-03,4.077808e-03,4.053411e-03,4.010205e-03,3.943166e-03,3.920514e-03,3.876764e-03,3.811067e-03,3.790202e-03,3.746132e-03,3.682007e-03,3.662935e-03,3.618736e-03,3.556353e-03,3.539049e-03,3.494888e-03,3.434367e-03,3.418789e-03,3.374810e-03,3.316232e-03,3.302320e-03,3.258646e-03,3.202062e-03,3.189749e-03,3.146486e-03,3.091923e-03,3.081132e-03,3.038374e-03,2.985838e-03,2.976489e-03,2.934314e-03,2.883797e-03,2.875808e-03,2.834283e-03,2.785764e-03,2.779051e-03,2.738234e-03,2.691682e-03,2.686162e-03,2.646101e-03,2.601478e-03,2.597069e-03,2.557805e-03,2.515069e-03,2.511690e-03,2.473258e-03,2.432361e-03,2.429936e-03,2.392364e-03,2.353255e-03,2.351709e-03,2.315020e-03,2.277646e-03,2.276908e-03,2.241120e-03,2.205428e-03,2.137165e-03,2.072012e-03,2.009863e-03,1.950612e-03,1.894155e-03,1.840390e-03,1.789217e-03,1.740537e-03,1.694255e-03,1.650277e-03,1.608513e-03,1.568875e-03,1.531279e-03,1.495641e-03,1.461882e-03,1.429925e-03,1.399695e-03,1.371120e-03,1.344131e-03,1.318662e-03,1.294647e-03,1.272025e-03,1.250736e-03,1.230723e-03,1.211929e-03,1.194302e-03,1.177789e-03,1.162342e-03,1.147913e-03,1.134456e-03,1.121926e-03,1.110282e-03,1.099483e-03,1.089489e-03,1.080262e-03,1.071766e-03,1.063965e-03,1.056827e-03,1.050319e-03,1.044410e-03,1.039069e-03,1.034267e-03,1.029978e-03,1.026174e-03,1.022830e-03,1.019920e-03,1.017422e-03,1.015312e-03,1.013569e-03
0.000000e+00,2.299268e-10,2.332698e-08,2.492538e-08,3.654843e-07,2.357775e-06,2.521604e-06,1.081530e-05,3.032830e-05,3.208141e-05,7.068846e-05,1.191376e-04,1.237423e-04,1.837545e-04,2.382898e-04,2.442381e-04,3.016886e-04,3.486534e-04,3.547797e-04,4.032326e-04,4.412774e-04,4.471640e-04,4.868140e-04,5.170083e-04,5.224520e-04,5.543466e-04,5.778894e-04,5.827576e-04,6.079329e-04,6.259021e-04,6.301079e-04,6.495047e-04,6.628409e-04,6.663329e-04,6.807891e-04,6.903031e-04,6.930574e-04,7.033104e-04,7.096951e-04,7.117088e-04,7.184030e-04,7.222463e-04,7.235326e-04,7.272281e-04,7.290268e-04,7.296105e-04,7.307925e-04,7.309644e-04,7.308788e-04,7.299667e-04,7.288619e-04,7.281464e-04,7.255016e-04,7.234123e-04,7.221099e-04,7.180435e-04,7.152128e-04,7.133688e-04,7.081477e-04,7.047768e-04,7.024374e-04,6.962906e-04,6.925448e-04,6.897561e-04,6.828792e-04,6.788942e-04,6.757014e-04,6.682613e-04,6.641471e-04,6.605942e-04,6.527327e-04,6.485780e-04,6.447070e-04,6.365447e-04,6.324203e-04,6.282711e-04,6.199096e-04,6.158713e-04,6.114816e-04,6.030066e-04,5.990974e-04,5.945026e-04,5.859859e-04,5.822385e-04,5.774715e-04,5.689729e-04,5.654113e-04,5.605026e-04,5.520718e-04,5.487128e-04,5.436905e-04,5.353681e-04,5.322227e-04,5.271126e-04,5.189316e-04,5.160060e-04,5.108318e-04,5.028190e-04,5.001154e-04,4.948984e-04,4.870748e-04,4.845924e-04,4.793522e-04,4.717342e-04,4.694696e-04,4.642238e-04,4.568236e-04,4.547716e-04,4.495359e-04,4.423626e-04,4.405164e-04,4.353051e-04,4.283645e-04,4.267163e-04,4.215419e-04,4.148377e-04,4.133788e-04,4.082525e-04,4.017862e-04,4.005073e-04,3.954390e-04,3.892106e-04,3.881020e-04,3.831005e-04,3.771082e-04,3.761603e-04,3.712330e-04,3.654741e-04,3.646771e-04,3.598306e-04,3.543015e-04,3.536456e-04,3.488856e-04,3.435817e-04,3.430574e-04,3.383886e-04,3.333049e-04,3.329029e-04,3.283292e-04,3.234602e-04,3.231714e-04,3.186963e-04,3.140359e-04,3.138516e-04,3.094777e-04,3.050199e-04,3.049317e-04,3.006610e-04,2.963994e-04,2.882422e-04,2.804474e-04,2.730024e-04,2.658945e-04,2.591112e-04,2.526402e-04,2.464693e-04,2.405866e-04,2.349806e-04,2.296398e-04,2.245534e-04,2.197106e-04,2.151011e-04,2.107150e-04,2.065424e-04,2.025742e-04,1.988014e-04,1.952153e-04,1.918076e-04,1.885704e-04,1.854959e-04,1.825768e-04,1.798060e-04,1.771768e-04,1.746827e-04,1.723174e-04,1.700751e-04,1.679500e-04,1.659366e-04,1.640298e-04,1.622246e-04,1.605162e-04,1.589000e-04,1.573717e-04,1.559271e-04,1.545622e-04,1.532733e-04,1.520567e-04,1.509090e-04,1.498268e-04,1.488070e-04,1.478465e-04,1.469426e-04,1.460924e-04,1.452933e-04,1.445428e-04,1.438386e-04,1.431783e-04,1.425598e-04
0.000000e+00,2.181561e-12,5.324999e-10,5.787459e-10,1.823007e-08,2.078949e-07,2.270134e-07,1.549481e-06,6.311950e-06,6.830607e-06,2.185803e-05,5.173892e-05,5.533837e-05,1.177765e-04,2.075371e-04,2.197984e-04,3.705050e-04,5.485154e-04,5.762385e-04,8.399087e-04,1.112598e-03,1.160867e-03,1.535205e-03,1.886149e-03,1.956342e-03,2.415748e-03,2.814219e-03,2.903703e-03,3.410001e-03,3.821448e-03,3.924550e-03,4.437841e-03,4.831775e-03,4.941292e-03,5.427462e-03,5.781541e-03,5.890166e-03,6.324493e-03,6.625421e-03,6.726769e-03,7.094464e-03,7.336912e-03,7.426076e-03,7.720993e-03,7.905650e-03,7.979355e-03,8.201914e-03,8.333419e-03,8.389907e-03,8.544938e-03,8.630098e-03,8.668869e-03,8.763738e-03,8.810187e-03,8.831682e-03,8.874873e-03,8.890173e-03,8.895478e-03,8.895609e-03,8.886709e-03,8.877298e-03,8.842480e-03,8.815446e-03,8.792979e-03,8.730495e-03,8.690430e-03,8.656614e-03,8.572795e-03,8.523877e-03,8.480376e-03,8.380574e-03,8.326131e-03,8.274497e-03,8.163146e-03,8.105779e-03,8.047425e-03,7.928146e-03,7.869846e-03,7.806038e-03,7.681752e-03,7.624010e-03,7.555867e-03,7.428899e-03,7.372811e-03,7.301307e-03,7.173496e-03,7.119838e-03,7.045824e-03,6.918606e-03,6.867909e-03,6.792119e-03,6.666603e-03,6.619207e-03,6.542272e-03,6.419308e-03,6.375408e-03,6.297873e-03,6.178101e-03,6.137779e-03,6.060111e-03,5.944000e-03,5.907256e-03,5.829853e-03,5.717738e-03,5.684508e-03,5.607710e-03,5.499815e-03,5.469992e-03,5.394089e-03,5.290556e-03,5.264000e-03,5.189237e-03,5.090140e-03,5.066689e-03,4.993273e-03,4.898632e-03,4.878110e-03,4.806214e-03,4.716008e-03,4.698230e-03,4.627999e-03,4.542171e-03,4.526952e-03,4.458504e-03,4.376974e-03,4.364125e-03,4.297556e-03,4.220224e-03,4.209562e-03,4.144949e-03,4.071700e-03,4.063045e-03,4.000446e-03,3.931156e-03,3.924333e-03,3.863795e-03,3.798329e-03,3.793173e-03,3.734725e-03,3.672948e-03,3.669298e-03,3.612962e-03,3.554731e-03,3.552438e-03,3.498222e-03,3.443398e-03,3.442318e-03,3.390223e-03,3.338664e-03,3.241202e-03,3.149665e-03,3.063787e-03,2.983312e-03,2.907987e-03,2.837568e-03,2.771818e-03,2.710510e-03,2.653421e-03,2.600340e-03,2.551061e-03,2.505387e-03,2.463130e-03,2.424109e-03,2.388150e-03,2.355085e-03,2.324756e-03,2.297010e-03,2.271701e-03,2.248690e-03,2.227843e-03,2.209033e-03,2.192137e-03,2.177040e-03,2.163630e-03,2.151803e-03,2.141455e-03,2.132493e-03,2.124822e-03,2.118357e-03,2.113013e-03,2.108711e-03,2.105376e-03,2.102935e-03,2.101321e-03,2.100469e-03,2.100317e-03,2.100807e-03,2.101883e-03,2.103492e-03,2.105586e-03,2.108116e-03,2.111039e-03,2.114313e-03,2.117899e-03,2.121758e-03,2.125857e-03,2.130162e-03,2.134643e-03
0.000000e+00,5.104272e-09,1.597028e-07,1.687161e-07,1.469712e-06,4.817156e-06,4.986365e-06,9.373014e-06,1.341504e-05,1.366590e-05,1.770563e-05,2.118457e-05,2.147646e-05,2.498536e-05,2.792840e-05,2.824321e-05,3.126131e-05,3.372780e-05,3.405084e-05,3.662277e-05,3.866879e-05,3.898785e-05,4.115664e-05,4.283430e-05,4.313947e-05,4.494638e-05,4.630361e-05,4.658710e-05,4.807102e-05,4.915132e-05,4.940714e-05,5.060410e-05,5.144643e-05,5.167013e-05,5.261310e-05,5.325206e-05,5.344048e-05,5.415941e-05,5.462558e-05,5.477664e-05,5.529859e-05,5.561881e-05,5.573132e-05,5.608062e-05,5.627841e-05,5.635192e-05,5.655041e-05,5.664629e-05,5.668097e-05,5.674822e-05,5.676007e-05,5.675655e-05,5.671008e-05,5.665340e-05,5.661273e-05,5.646818e-05,5.635640e-05,5.627992e-05,5.605124e-05,5.589593e-05,5.578525e-05,5.548486e-05,5.529598e-05,5.515285e-05,5.479181e-05,5.457787e-05,5.440419e-05,5.399231e-05,5.376057e-05,5.355833e-05,5.310429e-05,5.286092e-05,5.263214e-05,5.214366e-05,5.189384e-05,5.164057e-05,5.112445e-05,5.087253e-05,5.059680e-05,5.005904e-05,4.980863e-05,4.951247e-05,4.895833e-05,4.871241e-05,4.839778e-05,4.783189e-05,4.759288e-05,4.726169e-05,4.668812e-05,4.645794e-05,4.611205e-05,4.553431e-05,4.531450e-05,4.495568e-05,4.437685e-05,4.416856e-05,4.379851e-05,4.322126e-05,4.302534e-05,4.264567e-05,4.207228e-05,4.188935e-05,4.150159e-05,4.093403e-05,4.076444e-05,4.037003e-05,3.980998e-05,3.965392e-05,3.925422e-05,3.870309e-05,3.856059e-05,3.815688e-05,3.761585e-05,3.748681e-05,3.708026e-05,3.655033e-05,3.643452e-05,3.602625e-05,3.550821e-05,3.540534e-05,3.499637e-05,3.449087e-05,3.440056e-05,3.399183e-05,3.349938e-05,3.342120e-05,3.301359e-05,3.253456e-05,3.246804e-05,3.206236e-05,3.159703e-05,3.154165e-05,3.113862e-05,3.068717e-05,3.064241e-05,3.024270e-05,2.980523e-05,2.977053e-05,2.937476e-05,2.895129e-05,2.892610e-05,2.853481e-05,2.812531e-05,2.810907e-05,2.772276e-05,2.732713e-05,2.731929e-05,2.693840e-05,2.655651e-05,2.582042e-05,2.511062e-05,2.442667e-05,2.376809e-05,2.313434e-05,2.252487e-05,2.193908e-05,2.137639e-05,2.083616e-05,2.031778e-05,1.982061e-05,1.934402e-05,1.888737e-05,1.845004e-05,1.803139e-05,1.763081e-05,1.724768e-05,1.688141e-05,1.653141e-05,1.619709e-05,1.587789e-05,1.557326e-05,1.528267e-05,1.500558e-05,1.474148e-05,1.448988e-05,1.425030e-05,1.402226e-05,1.380532e-05,1.359904e-05,1.340299e-05,1.321676e-05,1.303996e-05,1.287219e-05,1.271310e-05,1.256232e-05,1.241949e-05,1.228431e-05,1.215643e-05,1.203555e-05,1.192138e-05,1.181362e-05,1.171201e-05,1.161627e-05,1.152615e-05,1.144140e-05,1.136179e-05,1.128709e-05,1.121708e-05
0.000000e+00,1.672163e-09,4.343419e-08,4.575524e-08,3.555262e-07,1.090197e-06,1.126362e-06,2.048845e-06,2.879860e-06,2.930891e-06,3.743748e-06,4.429664e-06,4.486589e-06,5.162866e-06,5.717961e-06,5.776641e-06,6.331907e-06,6.775168e-06,6.832469e-06,7.281944e-06,7.630262e-06,7.683774e-06,8.041233e-06,8.309488e-06,8.357431e-06,8.635318e-06,8.836560e-06,8.877684e-06,9.087160e-06,9.232729e-06,9.266222e-06,9.417195e-06,9.516861e-06,9.542258e-06,9.643451e-06,9.705570e-06,9.722679e-06,9.781724e-06,9.813404e-06,9.822246e-06,9.845795e-06,9.853054e-06,9.853813e-06,9.847640e-06,9.835549e-06,9.828528e-06,9.797640e-06,9.770465e-06,9.756058e-06,9.704783e-06,9.666089e-06,9.644750e-06,9.576823e-06,9.529582e-06,9.501807e-06,9.420446e-06,9.367120e-06,9.333428e-06,9.241393e-06,9.184010e-06,9.144929e-06,9.044584e-06,8.984806e-06,8.940863e-06,8.834230e-06,8.773405e-06,8.725115e-06,8.613915e-06,8.553129e-06,8.500994e-06,8.386687e-06,8.326803e-06,8.271302e-06,8.155124e-06,8.096818e-06,8.038410e-06,7.921399e-06,7.865193e-06,7.804308e-06,7.687336e-06,7.633618e-06,7.570662e-06,7.454452e-06,7.403505e-06,7.338853e-06,7.224003e-06,7.176019e-06,7.110023e-06,6.997023e-06,6.952119e-06,6.885101e-06,6.774346e-06,6.732582e-06,6.664837e-06,6.556643e-06,6.518027e-06,6.449825e-06,6.344439e-06,6.308942e-06,6.240531e-06,6.138140e-06,6.105702e-06,6.037302e-06,5.938046e-06,5.908581e-06,5.840394e-06,5.744367e-06,5.717773e-06,5.649980e-06,5.557242e-06,5.533401e-06,5.466161e-06,5.376742e-06,5.355528e-06,5.288984e-06,5.202888e-06,5.184169e-06,5.118447e-06,5.035655e-06,5.019294e-06,4.954505e-06,4.874984e-06,4.860843e-06,4.797082e-06,4.720783e-06,4.708723e-06,4.646074e-06,4.572936e-06,4.562822e-06,4.501354e-06,4.431308e-06,4.423005e-06,4.362779e-06,4.295747e-06,4.289125e-06,4.230192e-06,4.166091e-06,4.161025e-06,4.103424e-06,4.042167e-06,4.038536e-06,3.982299e-06,3.923797e-06,3.921485e-06,3.866638e-06,3.810799e-06,3.809695e-06,3.756256e-06,3.702986e-06,3.601176e-06,3.504086e-06,3.411537e-06,3.323353e-06,3.239359e-06,3.159385e-06,3.083265e-06,3.010838e-06,2.941945e-06,2.876433e-06,2.814156e-06,2.754970e-06,2.698737e-06,2.645325e-06,2.594604e-06,2.546453e-06,2.500752e-06,2.457389e-06,2.416255e-06,2.377244e-06,2.340257e-06,2.305199e-06,2.271977e-06,2.240504e-06,2.210696e-06,2.182474e-06,2.155761e-06,2.130483e-06,2.106572e-06,2.083960e-06,2.062584e-06,2.042384e-06,2.023301e-06,2.005282e-06,1.988273e-06,1.972224e-06,1.957088e-06,1.942819e-06,1.929375e-06,1.916713e-06,1.904796e-06,1.893584e-06,1.883043e-06,1.873139e-06,1.863840e-06,1.855115e-06,1.846934e-06,1.839270e-06,1.832097e-06
0.000000e+00,1.166446e-10,1.571849e-08,1.687391e-08,2.963337e-07,2.145249e-06,2.304371e-06,1.103508e-05,3.467005e-05,3.695795e-05,9.320954e-05,1.785586e-04,1.874952e-04,3.166982e-04,4.536885e-04,4.696810e-04,6.336977e-04,7.790652e-04,7.986696e-04,9.582327e-04,1.088513e-03,1.109028e-03,1.249615e-03,1.359516e-03,1.379604e-03,1.499130e-03,1.589592e-03,1.608566e-03,1.708384e-03,1.781651e-03,1.799087e-03,1.881183e-03,1.939564e-03,1.955171e-03,2.021535e-03,2.067161e-03,2.080742e-03,2.133237e-03,2.168015e-03,2.179449e-03,2.219781e-03,2.245397e-03,2.254620e-03,2.284330e-03,2.302262e-03,2.309258e-03,2.329730e-03,2.341264e-03,2.346055e-03,2.358525e-03,2.364778e-03,2.367416e-03,2.372989e-03,2.374930e-03,2.375492e-03,2.375155e-03,2.373616e-03,2.372197e-03,2.366821e-03,2.362517e-03,2.359222e-03,2.349578e-03,2.343116e-03,2.338061e-03,2.324829e-03,2.316727e-03,2.310033e-03,2.293812e-03,2.284507e-03,2.276298e-03,2.257615e-03,2.247476e-03,2.237878e-03,2.217196e-03,2.206532e-03,2.195669e-03,2.173393e-03,2.162460e-03,2.150456e-03,2.126941e-03,2.115951e-03,2.102925e-03,2.078480e-03,2.067606e-03,2.053673e-03,2.028567e-03,2.017948e-03,2.003220e-03,1.977686e-03,1.967431e-03,1.952015e-03,1.926254e-03,1.916450e-03,1.900446e-03,1.874631e-03,1.865343e-03,1.848846e-03,1.823124e-03,1.814399e-03,1.797498e-03,1.771996e-03,1.763866e-03,1.746645e-03,1.721469e-03,1.713954e-03,1.696490e-03,1.671729e-03,1.664838e-03,1.647204e-03,1.622932e-03,1.616665e-03,1.598929e-03,1.575206e-03,1.569556e-03,1.551778e-03,1.528655e-03,1.523609e-03,1.505846e-03,1.483360e-03,1.478902e-03,1.461204e-03,1.439386e-03,1.435494e-03,1.417909e-03,1.396780e-03,1.393432e-03,1.376002e-03,1.355578e-03,1.352747e-03,1.335510e-03,1.315800e-03,1.313459e-03,1.296449e-03,1.277458e-03,1.275579e-03,1.258827e-03,1.240555e-03,1.239108e-03,1.222641e-03,1.205084e-03,1.204041e-03,1.187882e-03,1.171033e-03,1.170367e-03,1.154536e-03,1.138386e-03,1.138067e-03,1.122583e-03,1.107121e-03,1.077502e-03,1.049184e-03,1.022134e-03,9.963204e-04,9.717085e-04,9.482630e-04,9.259474e-04,9.047251e-04,8.845590e-04,8.654121e-04,8.472474e-04,8.300282e-04,8.137184e-04,7.982824e-04,7.836850e-04,7.698921e-04,7.568701e-04,7.445864e-04,7.330091e-04,7.221072e-04,7.118509e-04,7.022111e-04,6.931596e-04,6.846692e-04,6.767138e-04,6.692679e-04,6.623071e-04,6.558080e-04,6.497480e-04,6.441052e-04,6.388589e-04,6.339889e-04,6.294760e-04,6.253017e-04,6.214484e-04,6.178990e-04,6.146373e-04,6.116478e-04,6.089156e-04,6.064264e-04,6.041668e-04,6.021236e-04,6.002844e-04,5.986375e-04,5.971715e-04,5.958756e-04,5.947396e-04,5.937536e-04,5.929082e-04
0.000000e+00,5.785026e-11,8.420891e-09,9.056814e-09,1.745256e-07,1.345144e-06,1.447519e-06,7.113728e-06,2.233391e-05,2.379374e-05,5.909423e-05,1.110662e-04,1.164201e-04,1.922390e-04,2.695956e-04,2.784248e-04,3.664350e-04,4.402915e-04,4.499300e-04,5.253072e-04,5.824967e-04,5.911213e-04,6.472668e-04,6.873753e-04,6.943293e-04,7.331819e-04,7.595756e-04,7.647656e-04,7.899866e-04,8.061421e-04,8.096737e-04,8.245671e-04,8.332790e-04,8.353196e-04,8.425035e-04,8.458867e-04,8.466188e-04,8.481010e-04,8.477278e-04,8.473297e-04,8.446349e-04,8.416664e-04,8.403038e-04,8.345861e-04,8.298757e-04,8.276981e-04,8.198272e-04,8.139972e-04,8.111356e-04,8.017640e-04,7.952660e-04,7.918341e-04,7.814521e-04,7.746138e-04,7.707110e-04,7.596913e-04,7.527502e-04,7.484627e-04,7.370850e-04,7.302086e-04,7.256097e-04,7.140805e-04,7.073839e-04,7.025349e-04,6.910050e-04,6.845657e-04,6.795186e-04,6.680993e-04,6.619679e-04,6.567672e-04,6.455392e-04,6.397467e-04,6.344296e-04,6.234502e-04,6.180125e-04,6.126109e-04,6.019200e-04,5.968432e-04,5.913843e-04,5.810091e-04,5.762916e-04,5.707986e-04,5.607562e-04,5.563913e-04,5.508840e-04,5.411838e-04,5.371613e-04,5.316566e-04,5.223029e-04,5.186100e-04,5.131226e-04,5.041154e-04,5.007378e-04,4.952804e-04,4.866167e-04,4.835394e-04,4.781228e-04,4.697973e-04,4.670047e-04,4.616385e-04,4.536444e-04,4.511207e-04,4.458129e-04,4.381421e-04,4.358718e-04,4.306296e-04,4.232732e-04,4.212411e-04,4.160706e-04,4.090195e-04,4.072107e-04,4.021173e-04,3.953617e-04,3.937619e-04,3.887503e-04,3.822806e-04,3.808760e-04,3.759501e-04,3.697565e-04,3.685340e-04,3.636973e-04,3.577700e-04,3.567169e-04,3.519723e-04,3.463018e-04,3.454062e-04,3.407562e-04,3.353330e-04,3.345834e-04,3.300301e-04,3.248451e-04,3.242307e-04,3.197758e-04,3.148199e-04,3.143305e-04,3.099753e-04,3.052399e-04,3.048657e-04,3.006114e-04,2.960879e-04,2.958198e-04,2.916673e-04,2.873474e-04,2.871767e-04,2.831265e-04,2.790024e-04,2.789209e-04,2.749733e-04,2.710373e-04,2.635113e-04,2.563290e-04,2.494767e-04,2.429414e-04,2.367105e-04,2.307719e-04,2.251139e-04,2.197251e-04,2.145949e-04,2.097126e-04,2.050683e-04,2.006522e-04,1.964552e-04,1.924682e-04,1.886826e-04,1.850901e-04,1.816828e-04,1.784529e-04,1.753932e-04,1.724965e-04,1.697561e-04,1.671652e-04,1.647177e-04,1.624075e-04,1.602286e-04,1.581756e-04,1.562431e-04,1.544257e-04,1.527186e-04,1.511169e-04,1.496160e-04,1.482115e-04,1.468992e-04,1.456748e-04,1.445345e-04,1.434745e-04,1.424911e-04,1.415808e-04,1.407402e-04,1.399661e-04,1.392554e-04,1.386050e-04,1.380122e-04,1.374740e-04,1.369880e-04,1.365514e-04,1.361619e-04,1.358171e-04,1.355147e-04
0.000000e+00,6.007332e-09,1.324205e-07,1.389019e-07,9.361824e-07,3.054196e-06,3.176570e-06,6.996025e-06,1.137568e-05,1.166129e-05,1.627970e-05,2.012831e-05,2.044218e-05,2.409038e-05,2.696232e-05,2.725897e-05,2.999638e-05,3.208603e-05,3.234959e-05,3.436152e-05,3.584839e-05,3.607081e-05,3.751204e-05,3.853818e-05,3.871606e-05,3.971035e-05,4.038642e-05,4.051938e-05,4.116490e-05,4.157664e-05,4.166622e-05,4.204049e-05,4.225408e-05,4.230293e-05,4.246707e-05,4.253349e-05,4.254488e-05,4.254702e-05,4.250548e-05,4.248292e-05,4.236094e-05,4.224146e-05,4.218847e-05,4.197204e-05,4.179754e-05,4.171750e-05,4.143007e-05,4.121821e-05,4.111435e-05,4.077434e-05,4.053843e-05,4.041371e-05,4.003562e-05,3.978578e-05,3.964286e-05,3.923792e-05,3.898171e-05,3.882299e-05,3.840002e-05,3.814309e-05,3.797070e-05,3.753656e-05,3.728307e-05,3.709891e-05,3.665894e-05,3.641193e-05,3.621767e-05,3.577602e-05,3.553765e-05,3.533477e-05,3.489463e-05,3.466639e-05,3.445620e-05,3.402002e-05,3.380292e-05,3.358655e-05,3.315619e-05,3.295083e-05,3.272930e-05,3.230616e-05,3.211285e-05,3.188704e-05,3.147217e-05,3.129102e-05,3.106173e-05,3.065588e-05,3.048683e-05,3.025476e-05,2.985846e-05,2.970132e-05,2.946708e-05,2.908069e-05,2.893518e-05,2.869934e-05,2.832307e-05,2.818886e-05,2.795191e-05,2.758587e-05,2.746259e-05,2.722497e-05,2.686919e-05,2.675642e-05,2.651853e-05,2.617297e-05,2.607030e-05,2.583250e-05,2.549707e-05,2.540405e-05,2.516666e-05,2.484124e-05,2.475744e-05,2.452076e-05,2.420519e-05,2.413018e-05,2.389447e-05,2.358857e-05,2.352191e-05,2.328743e-05,2.299100e-05,2.293228e-05,2.269923e-05,2.241208e-05,2.236087e-05,2.212948e-05,2.185138e-05,2.180730e-05,2.157773e-05,2.130847e-05,2.127112e-05,2.104354e-05,2.078290e-05,2.075191e-05,2.052649e-05,2.027425e-05,2.024925e-05,2.002612e-05,1.978205e-05,1.976270e-05,1.954199e-05,1.930588e-05,1.929184e-05,1.907366e-05,1.884529e-05,1.883623e-05,1.862071e-05,1.839986e-05,1.839548e-05,1.818269e-05,1.796915e-05,1.755685e-05,1.715818e-05,1.677276e-05,1.640020e-05,1.604012e-05,1.569218e-05,1.535601e-05,1.503127e-05,1.471762e-05,1.441473e-05,1.412229e-05,1.383998e-05,1.356751e-05,1.330457e-05,1.305088e-05,1.280616e-05,1.257014e-05,1.234256e-05,1.212316e-05,1.191170e-05,1.170792e-05,1.151160e-05,1.132250e-05,1.114041e-05,1.096511e-05,1.079638e-05,1.063403e-05,1.047786e-05,1.032767e-05,1.018328e-05,1.004450e-05,9.911161e-06,9.783091e-06,9.660123e-06,9.542095e-06,9.428850e-06,9.320235e-06,9.216104e-06,9.116311e-06,9.020718e-06,8.929189e-06,8.841591e-06,8.757797e-06,8.677683e-06,8.601128e-06,8.528014e-06,8.458228e-06,8.391660e-06,8.328202e-06
0.000000e+00,2.897570e-13,6.489642e-11,7.035009e-11,1.931952e-09,2.005971e-08,2.185082e-08,1.461501e-07,6.220186e-07,6.760758e-07,2.368232e-06,6.189325e-06,6.678717e-06,1.586086e-05,3.069022e-05,3.282910e-05,6.082185e-05,9.707201e-05,1.029704e-04,1.618852e-04,2.273396e-04,2.393385e-04,3.360806e-04,4.320460e-04,4.517909e-04,5.851450e-04,7.061560e-04,7.339654e-04,8.954235e-04,1.031509e-03,1.066262e-03,1.243012e-03,1.382736e-03,1.422190e-03,1.600462e-03,1.733451e-03,1.774774e-03,1.942437e-03,2.060878e-03,2.101185e-03,2.249200e-03,2.348335e-03,2.385106e-03,2.507954e-03,2.585865e-03,2.617186e-03,2.712587e-03,2.769593e-03,2.794243e-03,2.862485e-03,2.900426e-03,2.917841e-03,2.960994e-03,2.982567e-03,2.992730e-03,3.013911e-03,3.022136e-03,3.025436e-03,3.028217e-03,3.026066e-03,3.023160e-03,3.011141e-03,3.001312e-03,2.992998e-03,2.969524e-03,2.954325e-03,2.941452e-03,2.909462e-03,2.890779e-03,2.874173e-03,2.836144e-03,2.815455e-03,2.795878e-03,2.753824e-03,2.732252e-03,2.710377e-03,2.665886e-03,2.644250e-03,2.620654e-03,2.574946e-03,2.553824e-03,2.528989e-03,2.482978e-03,2.462760e-03,2.437079e-03,2.391433e-03,2.372366e-03,2.346157e-03,2.301348e-03,2.283575e-03,2.257089e-03,2.213444e-03,2.197032e-03,2.170467e-03,2.128201e-03,2.113166e-03,2.086679e-03,2.045926e-03,2.032248e-03,2.005959e-03,1.966791e-03,1.954428e-03,1.928430e-03,1.890879e-03,1.879772e-03,1.854138e-03,1.818205e-03,1.808288e-03,1.783074e-03,1.748740e-03,1.739943e-03,1.715193e-03,1.682425e-03,1.674675e-03,1.650425e-03,1.619181e-03,1.612407e-03,1.588681e-03,1.558913e-03,1.553046e-03,1.529865e-03,1.501523e-03,1.496495e-03,1.473874e-03,1.446905e-03,1.442652e-03,1.420602e-03,1.394952e-03,1.391413e-03,1.369942e-03,1.345559e-03,1.342674e-03,1.321789e-03,1.298619e-03,1.296335e-03,1.276037e-03,1.254029e-03,1.252293e-03,1.232584e-03,1.211688e-03,1.210452e-03,1.191330e-03,1.171498e-03,1.170715e-03,1.152179e-03,1.133362e-03,1.132991e-03,1.115036e-03,1.097189e-03,1.063223e-03,1.031010e-03,1.000468e-03,9.715212e-04,9.440947e-04,9.181173e-04,8.935207e-04,8.702393e-04,8.482102e-04,8.273736e-04,8.076718e-04,7.890499e-04,7.714554e-04,7.548381e-04,7.391501e-04,7.243456e-04,7.103810e-04,6.972145e-04,6.848064e-04,6.731188e-04,6.621155e-04,6.517621e-04,6.420257e-04,6.328750e-04,6.242802e-04,6.162128e-04,6.086457e-04,6.015531e-04,5.949105e-04,5.886944e-04,5.828827e-04,5.774540e-04,5.723882e-04,5.676661e-04,5.632693e-04,5.591805e-04,5.553830e-04,5.518611e-04,5.485997e-04,5.455846e-04,5.428022e-04,5.402395e-04,5.378843e-04,5.357249e-04,5.337501e-04,5.319494e-04,5.303127e-04,5.288305e-04,5.274937e-04
0.000000e+00,1.649744e-09,1.806644e-08,1.878298e-08,9.918750e-08,3.237991e-07,3.376622e-07,8.185480e-07,1.480160e-06,1.527240e-06,2.348695e-06,3.106436e-06,3.170739e-06,3.944779e-06,4.590606e-06,4.659344e-06,5.314156e-06,5.842901e-06,5.911680e-06,6.455025e-06,6.881423e-06,6.947408e-06,7.392007e-06,7.730799e-06,7.791901e-06,8.150042e-06,8.414542e-06,8.469247e-06,8.752186e-06,8.954127e-06,9.001384e-06,9.219224e-06,9.368819e-06,9.407950e-06,9.569671e-06,9.675741e-06,9.706368e-06,9.819900e-06,9.890029e-06,9.912010e-06,9.984333e-06,1.002501e-05,1.003840e-05,1.007564e-05,1.009241e-05,1.009739e-05,1.010491e-05,1.010249e-05,1.009937e-05,1.008186e-05,1.006424e-05,1.005340e-05,1.001496e-05,9.985525e-06,9.967413e-06,9.911597e-06,9.873180e-06,9.848286e-06,9.778201e-06,9.733181e-06,9.702015e-06,9.620353e-06,9.570710e-06,9.533796e-06,9.442886e-06,9.390264e-06,9.348126e-06,9.249980e-06,9.195729e-06,9.148884e-06,9.045237e-06,8.990457e-06,8.939412e-06,8.831752e-06,8.777335e-06,8.722577e-06,8.612180e-06,8.558837e-06,8.500833e-06,8.388787e-06,8.337076e-06,8.276273e-06,8.163503e-06,8.113855e-06,8.050673e-06,7.937962e-06,7.890699e-06,7.825535e-06,7.713540e-06,7.668895e-06,7.602117e-06,7.491389e-06,7.449519e-06,7.381470e-06,7.272465e-06,7.233464e-06,7.164464e-06,7.057553e-06,7.021465e-06,6.951807e-06,6.847293e-06,6.814119e-06,6.744071e-06,6.642194e-06,6.611901e-06,6.541709e-06,6.442658e-06,6.415185e-06,6.345074e-06,6.248989e-06,6.224256e-06,6.154428e-06,6.061413e-06,6.039321e-06,5.969960e-06,5.880083e-06,5.860522e-06,5.791792e-06,5.705094e-06,5.687946e-06,5.619992e-06,5.536489e-06,5.521628e-06,5.454583e-06,5.374269e-06,5.361567e-06,5.295544e-06,5.218399e-06,5.207724e-06,5.142825e-06,5.068812e-06,5.060034e-06,4.996347e-06,4.925417e-06,4.918408e-06,4.856008e-06,4.788103e-06,4.782735e-06,4.721687e-06,4.656742e-06,4.652892e-06,4.593250e-06,4.531192e-06,4.528739e-06,4.470549e-06,4.411300e-06,4.410129e-06,4.353426e-06,4.296905e-06,4.188906e-06,4.085966e-06,3.987919e-06,3.894594e-06,3.805823e-06,3.721438e-06,3.641273e-06,3.565163e-06,3.492948e-06,3.424468e-06,3.359571e-06,3.298104e-06,3.239922e-06,3.184883e-06,3.132847e-06,3.083683e-06,3.037259e-06,2.993453e-06,2.952143e-06,2.913213e-06,2.876552e-06,2.842053e-06,2.809612e-06,2.779130e-06,2.750513e-06,2.723668e-06,2.698509e-06,2.674952e-06,2.652916e-06,2.632324e-06,2.613104e-06,2.595185e-06,2.578499e-06,2.562983e-06,2.548574e-06,2.535216e-06,2.522852e-06,2.511427e-06,2.500893e-06,2.491200e-06,2.482301e-06,2.474154e-06,2.466715e-06,2.459945e-06,2.453806e-06,2.448262e-06,2.443278e-06,2.438821e-06,2.434860e-06
0.000000e+00,1.310069e-12,2.901079e-10,3.141938e-10,8.102716e-09,8.006786e-08,8.711214e-08,5.809142e-07,2.573369e-06,2.807292e-06,1.059710e-05,3.009750e-05,3.272470e-05,8.564499e-05,1.811162e-04,1.956599e-04,3.999014e-04,6.951421e-04,7.459535e-04,1.290263e-03,1.964729e-03,2.095655e-03,3.228311e-03,4.481251e-03,4.754570e-03,6.737823e-03,8.745781e-03,9.235727e-03,1.229787e-02,1.518091e-02,1.596399e-02,2.026273e-02,2.406618e-02,2.521094e-02,3.081355e-02,3.550541e-02,3.706373e-02,4.394360e-02,4.942394e-02,5.142507e-02,5.947103e-02,6.558868e-02,6.803653e-02,7.707019e-02,8.364222e-02,8.651552e-02,9.631231e-02,1.031429e-01,1.063978e-01,1.167082e-01,1.236049e-01,1.271791e-01,1.377474e-01,1.445337e-01,1.483514e-01,1.589317e-01,1.654548e-01,1.694321e-01,1.797997e-01,1.859358e-01,1.899853e-01,1.999441e-01,2.055999e-01,2.096352e-01,2.190222e-01,2.241339e-01,2.280729e-01,2.367594e-01,2.412902e-01,2.450580e-01,2.529490e-01,2.568858e-01,2.604165e-01,2.674481e-01,2.707976e-01,2.740350e-01,2.801714e-01,2.829558e-01,2.858542e-01,2.910833e-01,2.933368e-01,2.958607e-01,3.001908e-01,3.019558e-01,3.040796e-01,3.075351e-01,3.088594e-01,3.105666e-01,3.131846e-01,3.141187e-01,3.154009e-01,3.172281e-01,3.178231e-01,3.186793e-01,3.197686e-01,3.200749e-01,3.205102e-01,3.209190e-01,3.209847e-01,3.210097e-01,3.207973e-01,3.206678e-01,3.202970e-01,3.195237e-01,3.192407e-01,3.184923e-01,3.172174e-01,3.168188e-01,3.157136e-01,3.139950e-01,3.135148e-01,3.120756e-01,3.099689e-01,3.094368e-01,3.076879e-01,3.052455e-01,3.046878e-01,3.026541e-01,2.999256e-01,2.993644e-01,2.970714e-01,2.941028e-01,2.935571e-01,2.910303e-01,2.878642e-01,2.873496e-01,2.846143e-01,2.812899e-01,2.808191e-01,2.779001e-01,2.744532e-01,2.740362e-01,2.709575e-01,2.674207e-01,2.670650e-01,2.638500e-01,2.602525e-01,2.599638e-01,2.566348e-01,2.530029e-01,2.527847e-01,2.493629e-01,2.457202e-01,2.455745e-01,2.420801e-01,2.384476e-01,2.383750e-01,2.348271e-01,2.312230e-01,2.241509e-01,2.171872e-01,2.103564e-01,2.036796e-01,1.971750e-01,1.908576e-01,1.847400e-01,1.788324e-01,1.731429e-01,1.676776e-01,1.624409e-01,1.574358e-01,1.526637e-01,1.481249e-01,1.438185e-01,1.397426e-01,1.358947e-01,1.322711e-01,1.288678e-01,1.256799e-01,1.227024e-01,1.199293e-01,1.173546e-01,1.149718e-01,1.127744e-01,1.107552e-01,1.089073e-01,1.072233e-01,1.056958e-01,1.043174e-01,1.030807e-01,1.019781e-01,1.010023e-01,1.001457e-01,9.940110e-02,9.876123e-02,9.821897e-02,9.776734e-02,9.739951e-02,9.710884e-02,9.688887e-02,9.673335e-02,9.663624e-02,9.659174e-02,9.659428e-02,9.663853e-02,9.671943e-02,9.683215e-02,9.697213e-02
0.000000e+00,2.852351e-09,3.819566e-08,3.981741e-08,2.214158e-07,6.970006e-07,7.252604e-07,1.659791e-06,2.851875e-06,2.933836e-06,4.328770e-06,5.592384e-06,5.699685e-06,6.998485e-06,8.096585e-06,8.214400e-06,9.346929e-06,1.027635e-05,1.039833e-05,1.137165e-05,1.214880e-05,1.227022e-05,1.309746e-05,1.373973e-05,1.385681e-05,1.455170e-05,1.507577e-05,1.518550e-05,1.576152e-05,1.618289e-05,1.628297e-05,1.675293e-05,1.708568e-05,1.717439e-05,1.755018e-05,1.780693e-05,1.788305e-05,1.817559e-05,1.836756e-05,1.843026e-05,1.864941e-05,1.878647e-05,1.883528e-05,1.898997e-05,1.908080e-05,1.911551e-05,1.921381e-05,1.926602e-05,1.928668e-05,1.933582e-05,1.935606e-05,1.936287e-05,1.936934e-05,1.936336e-05,1.935669e-05,1.932629e-05,1.929911e-05,1.927944e-05,1.921736e-05,1.917328e-05,1.914120e-05,1.905206e-05,1.899481e-05,1.895095e-05,1.883886e-05,1.877163e-05,1.871669e-05,1.858530e-05,1.851081e-05,1.844552e-05,1.829809e-05,1.821865e-05,1.814374e-05,1.798314e-05,1.790070e-05,1.781693e-05,1.764570e-05,1.756190e-05,1.747002e-05,1.729041e-05,1.720661e-05,1.710737e-05,1.692134e-05,1.683866e-05,1.673278e-05,1.654208e-05,1.646144e-05,1.634962e-05,1.615575e-05,1.607789e-05,1.596081e-05,1.576511e-05,1.569060e-05,1.556893e-05,1.537254e-05,1.530184e-05,1.517619e-05,1.498010e-05,1.491354e-05,1.478451e-05,1.458959e-05,1.452740e-05,1.439555e-05,1.420254e-05,1.414486e-05,1.401072e-05,1.382025e-05,1.376717e-05,1.363124e-05,1.344383e-05,1.339538e-05,1.325812e-05,1.307422e-05,1.303036e-05,1.289221e-05,1.271218e-05,1.267285e-05,1.253421e-05,1.235836e-05,1.232345e-05,1.218469e-05,1.201326e-05,1.198264e-05,1.184411e-05,1.167729e-05,1.165081e-05,1.151282e-05,1.135075e-05,1.132825e-05,1.119108e-05,1.103386e-05,1.101516e-05,1.087909e-05,1.072678e-05,1.071169e-05,1.057695e-05,1.042959e-05,1.041791e-05,1.028472e-05,1.014233e-05,1.013387e-05,1.000241e-05,9.864969e-06,9.859523e-06,9.729986e-06,9.597453e-06,9.594827e-06,9.467357e-06,9.339684e-06,9.093973e-06,8.857545e-06,8.630234e-06,8.411854e-06,8.202206e-06,8.001080e-06,7.808255e-06,7.623505e-06,7.446599e-06,7.277302e-06,7.115378e-06,6.960589e-06,6.812699e-06,6.671472e-06,6.536675e-06,6.408078e-06,6.285453e-06,6.168579e-06,6.057237e-06,5.951213e-06,5.850297e-06,5.754287e-06,5.662985e-06,5.576197e-06,5.493735e-06,5.415420e-06,5.341074e-06,5.270527e-06,5.203614e-06,5.140175e-06,5.080057e-06,5.023112e-06,4.969195e-06,4.918169e-06,4.869901e-06,4.824263e-06,4.781131e-06,4.740387e-06,4.701918e-06,4.665613e-06,4.631367e-06,4.599080e-06,4.568655e-06,4.539999e-06,4.513022e-06,4.487641e-06,4.463772e-06,4.441337e-06,4.420262e-06
0.000000e+00,4.921967e-09,8.755056e-08,9.163746e-08,6.158999e-07,2.239905e-06,2.342559e-06,5.955651e-06,1.097352e-05,1.133075e-05,1.756074e-05,2.332367e-05,2.381462e-05,2.976010e-05,3.478361e-05,3.532227e-05,4.049794e-05,4.474359e-05,4.530083e-05,4.974861e-05,5.330365e-05,5.385959e-05,5.765187e-05,6.060395e-05,6.114300e-05,6.434991e-05,6.677890e-05,6.728882e-05,6.997520e-05,7.195244e-05,7.242382e-05,7.464868e-05,7.623729e-05,7.666305e-05,7.847952e-05,7.973503e-05,8.011000e-05,8.156577e-05,8.253690e-05,8.285758e-05,8.399555e-05,8.472503e-05,8.498925e-05,8.584776e-05,8.637286e-05,8.657961e-05,8.719291e-05,8.754615e-05,8.769529e-05,8.809396e-05,8.830360e-05,8.839573e-05,8.860703e-05,8.869761e-05,8.873393e-05,8.878216e-05,8.877493e-05,8.875710e-05,8.866386e-05,8.857720e-05,8.850724e-05,8.829177e-05,8.814152e-05,8.802171e-05,8.770108e-05,8.750086e-05,8.733368e-05,8.692307e-05,8.668456e-05,8.647261e-05,8.598547e-05,8.571866e-05,8.546463e-05,8.491289e-05,8.462626e-05,8.433289e-05,8.372710e-05,8.342785e-05,8.309786e-05,8.244736e-05,8.214156e-05,8.177766e-05,8.109068e-05,8.078342e-05,8.038826e-05,7.967209e-05,7.936759e-05,7.894377e-05,7.820480e-05,7.790655e-05,7.745659e-05,7.670045e-05,7.641129e-05,7.593761e-05,7.516924e-05,7.489148e-05,7.439641e-05,7.362012e-05,7.335557e-05,7.284134e-05,7.206092e-05,7.181098e-05,7.127970e-05,7.049844e-05,7.026417e-05,6.971786e-05,6.893862e-05,6.872075e-05,6.816133e-05,6.738657e-05,6.718561e-05,6.661487e-05,6.584672e-05,6.566295e-05,6.508259e-05,6.432288e-05,6.415638e-05,6.356800e-05,6.281829e-05,6.266900e-05,6.207410e-05,6.133571e-05,6.120343e-05,6.060340e-05,5.987743e-05,5.976188e-05,5.915804e-05,5.844541e-05,5.834620e-05,5.773976e-05,5.704123e-05,5.695790e-05,5.635000e-05,5.566618e-05,5.559821e-05,5.498991e-05,5.432128e-05,5.426813e-05,5.366040e-05,5.300733e-05,5.296840e-05,5.236215e-05,5.172491e-05,5.169959e-05,5.109566e-05,5.047443e-05,5.046209e-05,4.986125e-05,4.925614e-05,4.808184e-05,4.693920e-05,4.582810e-05,4.474835e-05,4.369968e-05,4.268177e-05,4.169422e-05,4.073660e-05,3.980845e-05,3.890926e-05,3.803849e-05,3.719560e-05,3.638002e-05,3.559117e-05,3.482846e-05,3.409129e-05,3.337907e-05,3.269118e-05,3.202703e-05,3.138602e-05,3.076755e-05,3.017102e-05,2.959586e-05,2.904149e-05,2.850734e-05,2.799285e-05,2.749747e-05,2.702066e-05,2.656188e-05,2.612062e-05,2.569637e-05,2.528861e-05,2.489688e-05,2.452068e-05,2.415955e-05,2.381304e-05,2.348070e-05,2.316210e-05,2.285680e-05,2.256440e-05,2.228450e-05,2.201670e-05,2.176061e-05,2.151587e-05,2.128211e-05,2.105898e-05,2.084613e-05,2.064322e-05,2.044994e-05
0.000000e+00,5.706452e-09,1.668084e-07,1.753924e-07,1.449659e-06,6.432547e-06,6.780595e-06,2.042866e-05,4.131180e-05,4.281651e-05,6.888960e-05,9.266773e-05,9.468146e-05,1.189412e-04,1.392583e-04,1.414266e-04,1.621475e-04,1.789774e-04,1.811738e-04,1.985890e-04,2.123420e-04,2.144776e-04,2.289229e-04,2.400008e-04,2.420057e-04,2.538049e-04,2.625760e-04,2.643967e-04,2.738549e-04,2.806531e-04,2.822505e-04,2.896516e-04,2.947761e-04,2.961234e-04,3.017281e-04,3.054443e-04,3.065249e-04,3.105696e-04,3.131100e-04,3.139155e-04,3.166126e-04,3.181795e-04,3.187083e-04,3.202472e-04,3.210156e-04,3.212712e-04,3.218198e-04,3.219404e-04,3.219302e-04,3.216371e-04,3.212387e-04,3.209734e-04,3.199697e-04,3.191623e-04,3.186548e-04,3.170557e-04,3.159326e-04,3.151976e-04,3.131041e-04,3.117444e-04,3.107975e-04,3.082982e-04,3.067681e-04,3.056257e-04,3.027980e-04,3.011529e-04,2.998317e-04,2.967428e-04,2.950289e-04,2.935456e-04,2.902540e-04,2.885092e-04,2.868804e-04,2.834368e-04,2.816921e-04,2.799339e-04,2.763820e-04,2.746624e-04,2.727904e-04,2.691679e-04,2.674934e-04,2.655225e-04,2.618617e-04,2.602478e-04,2.581923e-04,2.545206e-04,2.529793e-04,2.508526e-04,2.471936e-04,2.457336e-04,2.435484e-04,2.399216e-04,2.385491e-04,2.363173e-04,2.327393e-04,2.314583e-04,2.291909e-04,2.256753e-04,2.244880e-04,2.221953e-04,2.187533e-04,2.176603e-04,2.153517e-04,2.119924e-04,2.109932e-04,2.086773e-04,2.054079e-04,2.045009e-04,2.021857e-04,1.990118e-04,1.981947e-04,1.958873e-04,1.928131e-04,1.920828e-04,1.897898e-04,1.868182e-04,1.861714e-04,1.838986e-04,1.810315e-04,1.804644e-04,1.782171e-04,1.754555e-04,1.749640e-04,1.727469e-04,1.700911e-04,1.696711e-04,1.674882e-04,1.649379e-04,1.645850e-04,1.624400e-04,1.599942e-04,1.597042e-04,1.576001e-04,1.552574e-04,1.550260e-04,1.529657e-04,1.507243e-04,1.505472e-04,1.485329e-04,1.463908e-04,1.462639e-04,1.442976e-04,1.422525e-04,1.421716e-04,1.402549e-04,1.383042e-04,1.382657e-04,1.363997e-04,1.345408e-04,1.309917e-04,1.276128e-04,1.243984e-04,1.213428e-04,1.184402e-04,1.156850e-04,1.130713e-04,1.105936e-04,1.082463e-04,1.060239e-04,1.039212e-04,1.019328e-04,1.000539e-04,9.827935e-05,9.660450e-05,9.502473e-05,9.353557e-05,9.213274e-05,9.081208e-05,8.956962e-05,8.840153e-05,8.730413e-05,8.627388e-05,8.530742e-05,8.440150e-05,8.355302e-05,8.275902e-05,8.201665e-05,8.132322e-05,8.067613e-05,8.007292e-05,7.951124e-05,7.898884e-05,7.850358e-05,7.805344e-05,7.763646e-05,7.725080e-05,7.689471e-05,7.656651e-05,7.626463e-05,7.598754e-05,7.573381e-05,7.550209e-05,7.529107e-05,7.509954e-05,7.492631e-05,7.477029e-05,7.463043e-05,7.450573e-05
0.000000e+00,1.050385e-09,5.859522e-08,6.227032e-08,7.626314e-07,4.016809e-06,4.252324e-06,1.367913e-05,2.843723e-05,2.951486e-05,4.843273e-05,6.591257e-05,6.739695e-05,8.530324e-05,1.003293e-04,1.019349e-04,1.173046e-04,1.298350e-04,1.314744e-04,1.445152e-04,1.548810e-04,1.564973e-04,1.674881e-04,1.760014e-04,1.775518e-04,1.867487e-04,1.936837e-04,1.951361e-04,2.027673e-04,2.083620e-04,2.096930e-04,2.159601e-04,2.204201e-04,2.216132e-04,2.266937e-04,2.301959e-04,2.312404e-04,2.352899e-04,2.379865e-04,2.388762e-04,2.420313e-04,2.440528e-04,2.447850e-04,2.471653e-04,2.486233e-04,2.491982e-04,2.509084e-04,2.518987e-04,2.523187e-04,2.534504e-04,2.540545e-04,2.543235e-04,2.549569e-04,2.552445e-04,2.553679e-04,2.555730e-04,2.556034e-04,2.555874e-04,2.554253e-04,2.552490e-04,2.551002e-04,2.546245e-04,2.542842e-04,2.540099e-04,2.532672e-04,2.527991e-04,2.524066e-04,2.514376e-04,2.508724e-04,2.503690e-04,2.492092e-04,2.485727e-04,2.479659e-04,2.466463e-04,2.459599e-04,2.452570e-04,2.438044e-04,2.430864e-04,2.422944e-04,2.407323e-04,2.399977e-04,2.391233e-04,2.374722e-04,2.367335e-04,2.357834e-04,2.340609e-04,2.333284e-04,2.323087e-04,2.305302e-04,2.298123e-04,2.287289e-04,2.269078e-04,2.262112e-04,2.250698e-04,2.232176e-04,2.225478e-04,2.213537e-04,2.194804e-04,2.188417e-04,2.175998e-04,2.157139e-04,2.151096e-04,2.138246e-04,2.119337e-04,2.113663e-04,2.100426e-04,2.081528e-04,2.076242e-04,2.062658e-04,2.043828e-04,2.038940e-04,2.025050e-04,2.006333e-04,2.001851e-04,1.987689e-04,1.969125e-04,1.965053e-04,1.950652e-04,1.932275e-04,1.928612e-04,1.914003e-04,1.895842e-04,1.892585e-04,1.877797e-04,1.859874e-04,1.857018e-04,1.842078e-04,1.824414e-04,1.821951e-04,1.806885e-04,1.789495e-04,1.787418e-04,1.772248e-04,1.755145e-04,1.753443e-04,1.738191e-04,1.721387e-04,1.720049e-04,1.704735e-04,1.688238e-04,1.687253e-04,1.671895e-04,1.655710e-04,1.655066e-04,1.639683e-04,1.623814e-04,1.623498e-04,1.608105e-04,1.592557e-04,1.562244e-04,1.532563e-04,1.503513e-04,1.475092e-04,1.447296e-04,1.420122e-04,1.393563e-04,1.367613e-04,1.342266e-04,1.317512e-04,1.293345e-04,1.269756e-04,1.246735e-04,1.224273e-04,1.202361e-04,1.180989e-04,1.160148e-04,1.139828e-04,1.120019e-04,1.100712e-04,1.081895e-04,1.063561e-04,1.045699e-04,1.028299e-04,1.011353e-04,9.948499e-05,9.787816e-05,9.631385e-05,9.479117e-05,9.330922e-05,9.186712e-05,9.046402e-05,8.909906e-05,8.777140e-05,8.648024e-05,8.522475e-05,8.400415e-05,8.281765e-05,8.166450e-05,8.054394e-05,7.945524e-05,7.839767e-05,7.737053e-05,7.637311e-05,7.540475e-05,7.446476e-05,7.355249e-05,7.266731e-05,7.180857e-05
0.000000e+00,1.775543e-09,1.942704e-08,2.019615e-08,1.037799e-07,3.171895e-07,3.296681e-07,7.292341e-07,1.205928e-06,1.237501e-06,1.752302e-06,2.181049e-06,2.215764e-06,2.614497e-06,2.920164e-06,2.951217e-06,3.232185e-06,3.438510e-06,3.463926e-06,3.652497e-06,3.784315e-06,3.803352e-06,3.921351e-06,3.998245e-06,4.010802e-06,4.075508e-06,4.112466e-06,4.118821e-06,4.143689e-06,4.152054e-06,4.152701e-06,4.148124e-06,4.136409e-06,4.131947e-06,4.105909e-06,4.080466e-06,4.071528e-06,4.030134e-06,3.995673e-06,3.982883e-06,3.930786e-06,3.890773e-06,3.874721e-06,3.815455e-06,3.772422e-06,3.753650e-06,3.689877e-06,3.645650e-06,3.624646e-06,3.558389e-06,3.514280e-06,3.491478e-06,3.424236e-06,3.381155e-06,3.356936e-06,3.289815e-06,3.248379e-06,3.223074e-06,3.156884e-06,3.117494e-06,3.091387e-06,3.026705e-06,2.989603e-06,2.962939e-06,2.900172e-06,2.865485e-06,2.838472e-06,2.777895e-06,2.745665e-06,2.718482e-06,2.660266e-06,2.630476e-06,2.603274e-06,2.547520e-06,2.520112e-06,2.493016e-06,2.439768e-06,2.414654e-06,2.387773e-06,2.337030e-06,2.314106e-06,2.287530e-06,2.239262e-06,2.218412e-06,2.192215e-06,2.146373e-06,2.127475e-06,2.101719e-06,2.058235e-06,2.041165e-06,2.015902e-06,1.974699e-06,1.959333e-06,1.934605e-06,1.895598e-06,1.881817e-06,1.857656e-06,1.820757e-06,1.808445e-06,1.784878e-06,1.749997e-06,1.739042e-06,1.716091e-06,1.683136e-06,1.673432e-06,1.651112e-06,1.619995e-06,1.611442e-06,1.589763e-06,1.560396e-06,1.552899e-06,1.531870e-06,1.504165e-06,1.497636e-06,1.477261e-06,1.451136e-06,1.445491e-06,1.425771e-06,1.401146e-06,1.396308e-06,1.377242e-06,1.354040e-06,1.349936e-06,1.331521e-06,1.309667e-06,1.306231e-06,1.288461e-06,1.267886e-06,1.265055e-06,1.247924e-06,1.228559e-06,1.226274e-06,1.209774e-06,1.191555e-06,1.189764e-06,1.173886e-06,1.156752e-06,1.155404e-06,1.140139e-06,1.124031e-06,1.123081e-06,1.108416e-06,1.093280e-06,1.092684e-06,1.078610e-06,1.064392e-06,1.064112e-06,1.050615e-06,1.037267e-06,1.012054e-06,9.883854e-07,9.661779e-07,9.453517e-07,9.258313e-07,9.075453e-07,8.904258e-07,8.744087e-07,8.594331e-07,8.454412e-07,8.323785e-07,8.201930e-07,8.088358e-07,7.982604e-07,7.884227e-07,7.792809e-07,7.707957e-07,7.629295e-07,7.556468e-07,7.489142e-07,7.426998e-07,7.369735e-07,7.317067e-07,7.268726e-07,7.224453e-07,7.184009e-07,7.147163e-07,7.113699e-07,7.083411e-07,7.056104e-07,7.031594e-07,7.009709e-07,6.990281e-07,6.973157e-07,6.958187e-07,6.945233e-07,6.934163e-07,6.924853e-07,6.917183e-07,6.911043e-07,6.906327e-07,6.902936e-07,6.900776e-07,6.899758e-07,6.899799e-07,6.900819e-07,6.902744e-07,6.905503e-07,6.909030e-07
0.000000e+00,2.047070e-10,1.970150e-08,2.101043e-08,2.701520e-07,1.513791e-06,1.610398e-06,6.197532e-06,1.646100e-05,1.738011e-05,3.809788e-05,6.605295e-05,6.883765e-05,1.071179e-04,1.447417e-04,1.489798e-04,1.909336e-04,2.261962e-04,2.308357e-04,2.677146e-04,2.967857e-04,3.012860e-04,3.315842e-04,3.546190e-04,3.587667e-04,3.830294e-04,4.008886e-04,4.045753e-04,4.236018e-04,4.371362e-04,4.402976e-04,4.548410e-04,4.647991e-04,4.673999e-04,4.781313e-04,4.851557e-04,4.871821e-04,4.946893e-04,4.993263e-04,5.007806e-04,5.055749e-04,5.082858e-04,5.091824e-04,5.117058e-04,5.128784e-04,5.132402e-04,5.138740e-04,5.138325e-04,5.136890e-04,5.127609e-04,5.117757e-04,5.111600e-04,5.089513e-04,5.072466e-04,5.061947e-04,5.029459e-04,5.007071e-04,4.992561e-04,4.951727e-04,4.925520e-04,4.907393e-04,4.859963e-04,4.831182e-04,4.809807e-04,4.757269e-04,4.726924e-04,4.702661e-04,4.646274e-04,4.615179e-04,4.588373e-04,4.529201e-04,4.498005e-04,4.468983e-04,4.407923e-04,4.377136e-04,4.346208e-04,4.284010e-04,4.254029e-04,4.221484e-04,4.158774e-04,4.129901e-04,4.096008e-04,4.033305e-04,4.005763e-04,3.970771e-04,3.908503e-04,3.882450e-04,3.846587e-04,3.785102e-04,3.760644e-04,3.724118e-04,3.663699e-04,3.640900e-04,3.603901e-04,3.544774e-04,3.523661e-04,3.486361e-04,3.428701e-04,3.409275e-04,3.371829e-04,3.315773e-04,3.298011e-04,3.260558e-04,3.206206e-04,3.190072e-04,3.152735e-04,3.100159e-04,3.085600e-04,3.048490e-04,2.997737e-04,2.984692e-04,2.947905e-04,2.899000e-04,2.887401e-04,2.851024e-04,2.803977e-04,2.793751e-04,2.757857e-04,2.712662e-04,2.703733e-04,2.668387e-04,2.625027e-04,2.617319e-04,2.582575e-04,2.541024e-04,2.534459e-04,2.500365e-04,2.460589e-04,2.455090e-04,2.421685e-04,2.383643e-04,2.379135e-04,2.346451e-04,2.310099e-04,2.306509e-04,2.274573e-04,2.239861e-04,2.237119e-04,2.205951e-04,2.172829e-04,2.170866e-04,2.140482e-04,2.108896e-04,2.107649e-04,2.078059e-04,2.047957e-04,2.047362e-04,2.018575e-04,1.989901e-04,1.935158e-04,1.883028e-04,1.833406e-04,1.786189e-04,1.741275e-04,1.698564e-04,1.657961e-04,1.619372e-04,1.582706e-04,1.547876e-04,1.514795e-04,1.483383e-04,1.453562e-04,1.425254e-04,1.398389e-04,1.372896e-04,1.348709e-04,1.325765e-04,1.304002e-04,1.283363e-04,1.263793e-04,1.245237e-04,1.227646e-04,1.210972e-04,1.195168e-04,1.180191e-04,1.166000e-04,1.152554e-04,1.139816e-04,1.127751e-04,1.116324e-04,1.105503e-04,1.095257e-04,1.085557e-04,1.076375e-04,1.067685e-04,1.059461e-04,1.051680e-04,1.044319e-04,1.037357e-04,1.030773e-04,1.024548e-04,1.018663e-04,1.013101e-04,1.007846e-04,1.002881e-04,9.981918e-05,9.937643e-05,9.895848e-05
0.000000e+00,4.038544e-10,3.880191e-08,4.141254e-08,5.727157e-07,3.509884e-06,3.746400e-06,1.536518e-05,4.159420e-05,4.390893e-05,9.388190e-05,1.548816e-04,1.606101e-04,2.344262e-04,3.003425e-04,3.074712e-04,3.757125e-04,4.306491e-04,4.377555e-04,4.934355e-04,5.364433e-04,5.430366e-04,5.869763e-04,6.198305e-04,6.256916e-04,6.596063e-04,6.841157e-04,6.891206e-04,7.146088e-04,7.323356e-04,7.364194e-04,7.548759e-04,7.671368e-04,7.702774e-04,7.829005e-04,7.907940e-04,7.930009e-04,8.008145e-04,8.052523e-04,8.065578e-04,8.104299e-04,8.121627e-04,8.126142e-04,8.132789e-04,8.129229e-04,8.125778e-04,8.106518e-04,8.087088e-04,8.076301e-04,8.036310e-04,8.005089e-04,7.987623e-04,7.931226e-04,7.891506e-04,7.868022e-04,7.798832e-04,7.753260e-04,7.724407e-04,7.645428e-04,7.596117e-04,7.562519e-04,7.476246e-04,7.424870e-04,7.387123e-04,7.295617e-04,7.243494e-04,7.202154e-04,7.107117e-04,7.055266e-04,7.010854e-04,6.913680e-04,6.862885e-04,6.815880e-04,6.717709e-04,6.668558e-04,6.619399e-04,6.521156e-04,6.474079e-04,6.423167e-04,6.325597e-04,6.280898e-04,6.228596e-04,6.132295e-04,6.090175e-04,6.036812e-04,5.942250e-04,5.902831e-04,5.848700e-04,5.756242e-04,5.719580e-04,5.664945e-04,5.574871e-04,5.540974e-04,5.486069e-04,5.398585e-04,5.367421e-04,5.312455e-04,5.227710e-04,5.199216e-04,5.144373e-04,5.062465e-04,5.036558e-04,4.981999e-04,4.902987e-04,4.879568e-04,4.825434e-04,4.749344e-04,4.728301e-04,4.674717e-04,4.601549e-04,4.582763e-04,4.529835e-04,4.459567e-04,4.442916e-04,4.390735e-04,4.323328e-04,4.308689e-04,4.257333e-04,4.192735e-04,4.179982e-04,4.129519e-04,4.067667e-04,4.056678e-04,4.007163e-04,3.947987e-04,3.938641e-04,3.890120e-04,3.833543e-04,3.825724e-04,3.778235e-04,3.724177e-04,3.717772e-04,3.671346e-04,3.619721e-04,3.614624e-04,3.569282e-04,3.520007e-04,3.516115e-04,3.471875e-04,3.424864e-04,3.422078e-04,3.378952e-04,3.334118e-04,3.332347e-04,3.290341e-04,3.247600e-04,3.246756e-04,3.205873e-04,3.165141e-04,3.087341e-04,3.013201e-04,2.942565e-04,2.875284e-04,2.811215e-04,2.750216e-04,2.692153e-04,2.636895e-04,2.584316e-04,2.534295e-04,2.486717e-04,2.441469e-04,2.398445e-04,2.357543e-04,2.318663e-04,2.281712e-04,2.246601e-04,2.213242e-04,2.181554e-04,2.151457e-04,2.122878e-04,2.095744e-04,2.069986e-04,2.045540e-04,2.022342e-04,2.000334e-04,1.979457e-04,1.959659e-04,1.940886e-04,1.923090e-04,1.906224e-04,1.890243e-04,1.875103e-04,1.860764e-04,1.847187e-04,1.834335e-04,1.822172e-04,1.810665e-04,1.799781e-04,1.789490e-04,1.779763e-04,1.770570e-04,1.761887e-04,1.753688e-04,1.745948e-04,1.738645e-04,1.731756e-04,1.725261e-04,1.719140e-04
0.000000e+00,3.448562e-10,5.039211e-09,5.263084e-09,3.148915e-08,1.023109e-07,1.065186e-07,2.424224e-07,4.017889e-07,4.121152e-07,5.768970e-07,7.106283e-07,7.213705e-07,8.441313e-07,9.376779e-07,9.471635e-07,1.032912e-06,1.095895e-06,1.103663e-06,1.161440e-06,1.202104e-06,1.208008e-06,1.244901e-06,1.269395e-06,1.273452e-06,1.294823e-06,1.307701e-06,1.310023e-06,1.319932e-06,1.324566e-06,1.325313e-06,1.326831e-06,1.325706e-06,1.325061e-06,1.320502e-06,1.315438e-06,1.313583e-06,1.304679e-06,1.297003e-06,1.294112e-06,1.282159e-06,1.272831e-06,1.269060e-06,1.255023e-06,1.244736e-06,1.240226e-06,1.224821e-06,1.214066e-06,1.208939e-06,1.192693e-06,1.181818e-06,1.176179e-06,1.159479e-06,1.148728e-06,1.142665e-06,1.125796e-06,1.115333e-06,1.108924e-06,1.092092e-06,1.082028e-06,1.075337e-06,1.058691e-06,1.049096e-06,1.042178e-06,1.025822e-06,1.016738e-06,1.009640e-06,9.936481e-07,9.850955e-07,9.778576e-07,9.622790e-07,9.542645e-07,9.469201e-07,9.317874e-07,9.243074e-07,9.168855e-07,9.022180e-07,8.952616e-07,8.877872e-07,8.735948e-07,8.671465e-07,8.596413e-07,8.459268e-07,8.399679e-07,8.324506e-07,8.192118e-07,8.137219e-07,8.062088e-07,7.934399e-07,7.883974e-07,7.809029e-07,7.685954e-07,7.639782e-07,7.565149e-07,7.446587e-07,7.404448e-07,7.330238e-07,7.216073e-07,7.177749e-07,7.104060e-07,6.994169e-07,6.959447e-07,6.886367e-07,6.780622e-07,6.749294e-07,6.676901e-07,6.575172e-07,6.547040e-07,6.475401e-07,6.377557e-07,6.352429e-07,6.281607e-07,6.187517e-07,6.165209e-07,6.095257e-07,6.004793e-07,5.985129e-07,5.916095e-07,5.829131e-07,5.811944e-07,5.743870e-07,5.660281e-07,5.645411e-07,5.578335e-07,5.498001e-07,5.485295e-07,5.419249e-07,5.342052e-07,5.331367e-07,5.266380e-07,5.192205e-07,5.183403e-07,5.119499e-07,5.048236e-07,5.041188e-07,4.978388e-07,4.909929e-07,4.904511e-07,4.842832e-07,4.777073e-07,4.773170e-07,4.712626e-07,4.649467e-07,4.646967e-07,4.587570e-07,4.526913e-07,4.525713e-07,4.467472e-07,4.409224e-07,4.297323e-07,4.189839e-07,4.086606e-07,3.987466e-07,3.892264e-07,3.800852e-07,3.713089e-07,3.628835e-07,3.547958e-07,3.470331e-07,3.395829e-07,3.324335e-07,3.255735e-07,3.189917e-07,3.126776e-07,3.066210e-07,3.008121e-07,2.952413e-07,2.898996e-07,2.847781e-07,2.798685e-07,2.751626e-07,2.706526e-07,2.663309e-07,2.621903e-07,2.582238e-07,2.544247e-07,2.507865e-07,2.473030e-07,2.439682e-07,2.407763e-07,2.377219e-07,2.347994e-07,2.320039e-07,2.293303e-07,2.267740e-07,2.243302e-07,2.219946e-07,2.197631e-07,2.176315e-07,2.155959e-07,2.136525e-07,2.117977e-07,2.100280e-07,2.083400e-07,2.067305e-07,2.051964e-07,2.037346e-07,2.023424e-07
0.000000e+00,1.671619e-09,1.788119e-08,1.857569e-08,9.325168e-08,2.889559e-07,3.007259e-07,6.983389e-07,1.228338e-06,1.265682e-06,1.914495e-06,2.512740e-06,2.563578e-06,3.176315e-06,3.688220e-06,3.742717e-06,4.261796e-06,4.680670e-06,4.735127e-06,5.164993e-06,5.501791e-06,5.553856e-06,5.904199e-06,6.170500e-06,6.218453e-06,6.498975e-06,6.705421e-06,6.748025e-06,6.967759e-06,7.123820e-06,7.160227e-06,7.327367e-06,7.441337e-06,7.471012e-06,7.592886e-06,7.671952e-06,7.694611e-06,7.777713e-06,7.828063e-06,7.843622e-06,7.893678e-06,7.920610e-06,7.929137e-06,7.951175e-06,7.959208e-06,7.960892e-06,7.959316e-06,7.952285e-06,7.947406e-06,7.926060e-06,7.907211e-06,7.896114e-06,7.858348e-06,7.830412e-06,7.813490e-06,7.762216e-06,7.727483e-06,7.705158e-06,7.642903e-06,7.603283e-06,7.575994e-06,7.504941e-06,7.462017e-06,7.430212e-06,7.352246e-06,7.307322e-06,7.271446e-06,7.188188e-06,7.142330e-06,7.102819e-06,7.015661e-06,6.969730e-06,6.927009e-06,6.837138e-06,6.791826e-06,6.746301e-06,6.654731e-06,6.610579e-06,6.562640e-06,6.470226e-06,6.427658e-06,6.377670e-06,6.285136e-06,6.244468e-06,6.192776e-06,6.100727e-06,6.062190e-06,6.009116e-06,5.918056e-06,5.881809e-06,5.827650e-06,5.737994e-06,5.704139e-06,5.649171e-06,5.561257e-06,5.529843e-06,5.474319e-06,5.388420e-06,5.359460e-06,5.303611e-06,5.219940e-06,5.193412e-06,5.137448e-06,5.056171e-06,5.032030e-06,4.976141e-06,4.897382e-06,4.875561e-06,4.819918e-06,4.743765e-06,4.724182e-06,4.668938e-06,4.595447e-06,4.578009e-06,4.523300e-06,4.452502e-06,4.437108e-06,4.383055e-06,4.314958e-06,4.301500e-06,4.248209e-06,4.182804e-06,4.171173e-06,4.118736e-06,4.055997e-06,4.046082e-06,3.994578e-06,3.934468e-06,3.926156e-06,3.875654e-06,3.818124e-06,3.811306e-06,3.761863e-06,3.706856e-06,3.701424e-06,3.653088e-06,3.600541e-06,3.596389e-06,3.549199e-06,3.499044e-06,3.496072e-06,3.450058e-06,3.402223e-06,3.400333e-06,3.355519e-06,3.309927e-06,3.309027e-06,3.265429e-06,3.222005e-06,3.139117e-06,3.060210e-06,2.985131e-06,2.913731e-06,2.845859e-06,2.781368e-06,2.720114e-06,2.661957e-06,2.606758e-06,2.554386e-06,2.504710e-06,2.457607e-06,2.412955e-06,2.370638e-06,2.330545e-06,2.292568e-06,2.256603e-06,2.222554e-06,2.190323e-06,2.159822e-06,2.130963e-06,2.103664e-06,2.077845e-06,2.053433e-06,2.030353e-06,2.008540e-06,1.987926e-06,1.968450e-06,1.950054e-06,1.932680e-06,1.916277e-06,1.900792e-06,1.886178e-06,1.872389e-06,1.859381e-06,1.847114e-06,1.835548e-06,1.824646e-06,1.814373e-06,1.804695e-06,1.795581e-06,1.787000e-06,1.778925e-06,1.771327e-06,1.764181e-06,1.757464e-06,1.751152e-06,1.745223e-06,1.739657e-06
0.000000e+00,1.462569e-12,3.128731e-10,3.389430e-10,9.208414e-09,9.793240e-08,1.068251e-07,7.396022e-07,3.205576e-06,3.485515e-06,1.211094e-05,3.076651e-05,3.309355e-05,7.502522e-05,1.383317e-04,1.471530e-04,2.577214e-04,3.915976e-04,4.126580e-04,6.148479e-04,8.263831e-04,8.640016e-04,1.156976e-03,1.433040e-03,1.488373e-03,1.851256e-03,2.166871e-03,2.237848e-03,2.640149e-03,2.968085e-03,3.050425e-03,3.461555e-03,3.778754e-03,3.867255e-03,4.262194e-03,4.552439e-03,4.642023e-03,5.003345e-03,5.257299e-03,5.343645e-03,5.661185e-03,5.875102e-03,5.954905e-03,6.224310e-03,6.398393e-03,6.469368e-03,6.690414e-03,6.827317e-03,6.888068e-03,7.063160e-03,7.166833e-03,7.216670e-03,7.349679e-03,7.424570e-03,7.463326e-03,7.558781e-03,7.609340e-03,7.637213e-03,7.699778e-03,7.730170e-03,7.747601e-03,7.781768e-03,7.795740e-03,7.803319e-03,7.813244e-03,7.814074e-03,7.812478e-03,7.801906e-03,7.792415e-03,7.782359e-03,7.754614e-03,7.737191e-03,7.719401e-03,7.677399e-03,7.654052e-03,7.629243e-03,7.575522e-03,7.547923e-03,7.516787e-03,7.453545e-03,7.423073e-03,7.386271e-03,7.315404e-03,7.283190e-03,7.241350e-03,7.164487e-03,7.131451e-03,7.085163e-03,7.003703e-03,6.970588e-03,6.920404e-03,6.835543e-03,6.802940e-03,6.749374e-03,6.662132e-03,6.630504e-03,6.574034e-03,6.485280e-03,6.454987e-03,6.396053e-03,6.306523e-03,6.277835e-03,6.216845e-03,6.127162e-03,6.100276e-03,6.037604e-03,5.948291e-03,5.923342e-03,5.859331e-03,5.770825e-03,5.747900e-03,5.682864e-03,5.595529e-03,5.574671e-03,5.508896e-03,5.423032e-03,5.404252e-03,5.337999e-03,5.253850e-03,5.237131e-03,5.170636e-03,5.088399e-03,5.073703e-03,5.007179e-03,4.927010e-03,4.914282e-03,4.847921e-03,4.769940e-03,4.759113e-03,4.693088e-03,4.617385e-03,4.608378e-03,4.542846e-03,4.469485e-03,4.462214e-03,4.397312e-03,4.326336e-03,4.320710e-03,4.256562e-03,4.187995e-03,4.183919e-03,4.120635e-03,4.054482e-03,4.051861e-03,3.989536e-03,3.925794e-03,3.924531e-03,3.863250e-03,3.801899e-03,3.683919e-03,3.570526e-03,3.461645e-03,3.357190e-03,3.257064e-03,3.161167e-03,3.069392e-03,2.981628e-03,2.897761e-03,2.817676e-03,2.741258e-03,2.668390e-03,2.598957e-03,2.532843e-03,2.469936e-03,2.410122e-03,2.353291e-03,2.299336e-03,2.248151e-03,2.199633e-03,2.153680e-03,2.110194e-03,2.069080e-03,2.030245e-03,1.993598e-03,1.959052e-03,1.926522e-03,1.895925e-03,1.867183e-03,1.840217e-03,1.814953e-03,1.791318e-03,1.769243e-03,1.748660e-03,1.729503e-03,1.711710e-03,1.695219e-03,1.679972e-03,1.665912e-03,1.652983e-03,1.641133e-03,1.630311e-03,1.620467e-03,1.611553e-03,1.603525e-03,1.596336e-03,1.589944e-03,1.584309e-03,1.579389e-03
0.000000e+00,5.867270e-09,1.336536e-07,1.403544e-07,9.957699e-07,3.392208e-06,3.533364e-06,7.943037e-06,1.286573e-05,1.318375e-05,1.838110e-05,2.290048e-05,2.327994e-05,2.783822e-05,3.165257e-05,3.205997e-05,3.595905e-05,3.913589e-05,3.955129e-05,4.285257e-05,4.547092e-05,4.587856e-05,4.864450e-05,5.077773e-05,5.116514e-05,5.345474e-05,5.516942e-05,5.552698e-05,5.739495e-05,5.875068e-05,5.907116e-05,6.056750e-05,6.161707e-05,6.189526e-05,6.306516e-05,6.385496e-05,6.408734e-05,6.497138e-05,6.554199e-05,6.572635e-05,6.636082e-05,6.674758e-05,6.688287e-05,6.730012e-05,6.753371e-05,6.761977e-05,6.784860e-05,6.795559e-05,6.799298e-05,6.805894e-05,6.806229e-05,6.805215e-05,6.797794e-05,6.789739e-05,6.784132e-05,6.764702e-05,6.749955e-05,6.739949e-05,6.710288e-05,6.690301e-05,6.676114e-05,6.637795e-05,6.613807e-05,6.595676e-05,6.550083e-05,6.523148e-05,6.501322e-05,6.449678e-05,6.420687e-05,6.395420e-05,6.338800e-05,6.308503e-05,6.280053e-05,6.219401e-05,6.188426e-05,6.157051e-05,6.093196e-05,6.062065e-05,6.028017e-05,5.961683e-05,5.930826e-05,5.894353e-05,5.826175e-05,5.795943e-05,5.757285e-05,5.687813e-05,5.658490e-05,5.617878e-05,5.547591e-05,5.519402e-05,5.477057e-05,5.406372e-05,5.379491e-05,5.335625e-05,5.264899e-05,5.239458e-05,5.194272e-05,5.123814e-05,5.099909e-05,5.053591e-05,4.983664e-05,4.961359e-05,4.914089e-05,4.844918e-05,4.824253e-05,4.776198e-05,4.707972e-05,4.688963e-05,4.640280e-05,4.573158e-05,4.555804e-05,4.506640e-05,4.440755e-05,4.425039e-05,4.375529e-05,4.310989e-05,4.296884e-05,4.247155e-05,4.184047e-05,4.171514e-05,4.121682e-05,4.060076e-05,4.049068e-05,3.999242e-05,3.939191e-05,3.929657e-05,3.879934e-05,3.821479e-05,3.813360e-05,3.763832e-05,3.707000e-05,3.700235e-05,3.650985e-05,3.595792e-05,3.590318e-05,3.541422e-05,3.487877e-05,3.483629e-05,3.435155e-05,3.383257e-05,3.380169e-05,3.332180e-05,3.281923e-05,3.279929e-05,3.232481e-05,3.183852e-05,3.182887e-05,3.136030e-05,3.089011e-05,2.998262e-05,2.910591e-05,2.825947e-05,2.744273e-05,2.665505e-05,2.589581e-05,2.516433e-05,2.445992e-05,2.378189e-05,2.312952e-05,2.250210e-05,2.189892e-05,2.131927e-05,2.076244e-05,2.022773e-05,1.971445e-05,1.922192e-05,1.874947e-05,1.829644e-05,1.786219e-05,1.744609e-05,1.704753e-05,1.666590e-05,1.630062e-05,1.595113e-05,1.561686e-05,1.529729e-05,1.499188e-05,1.470014e-05,1.442157e-05,1.415569e-05,1.390204e-05,1.366018e-05,1.342967e-05,1.321009e-05,1.300104e-05,1.280212e-05,1.261297e-05,1.243320e-05,1.226247e-05,1.210043e-05,1.194675e-05,1.180112e-05,1.166323e-05,1.153277e-05,1.140947e-05,1.129304e-05,1.118321e-05,1.107973e-05
0.000000e+00,1.046805e-10,1.303508e-08,1.399941e-08,2.658584e-07,2.075935e-06,2.233955e-06,1.070783e-05,3.117100e-05,3.299333e-05,7.202838e-05,1.184565e-04,1.227490e-04,1.771187e-04,2.242275e-04,2.292378e-04,2.762955e-04,3.128667e-04,3.175031e-04,3.530151e-04,3.793697e-04,3.833198e-04,4.089785e-04,4.273367e-04,4.305297e-04,4.484636e-04,4.607785e-04,4.632175e-04,4.751799e-04,4.829724e-04,4.846948e-04,4.920668e-04,4.965036e-04,4.975650e-04,5.014272e-04,5.033984e-04,5.038633e-04,5.050583e-04,5.052402e-04,5.051753e-04,5.043578e-04,5.032621e-04,5.027322e-04,5.004097e-04,4.984221e-04,4.974880e-04,4.940529e-04,4.914626e-04,4.901798e-04,4.859351e-04,4.829584e-04,4.813767e-04,4.765556e-04,4.733531e-04,4.715165e-04,4.662984e-04,4.629887e-04,4.609358e-04,4.554585e-04,4.521282e-04,4.498928e-04,4.442615e-04,4.409732e-04,4.385846e-04,4.328795e-04,4.296780e-04,4.271613e-04,4.214433e-04,4.183597e-04,4.157368e-04,4.100518e-04,4.071069e-04,4.043967e-04,3.987789e-04,3.959860e-04,3.932048e-04,3.876798e-04,3.850466e-04,3.822084e-04,3.767946e-04,3.743245e-04,3.714416e-04,3.661522e-04,3.638456e-04,3.609286e-04,3.557726e-04,3.536276e-04,3.506858e-04,3.456692e-04,3.436825e-04,3.407238e-04,3.358502e-04,3.340171e-04,3.310487e-04,3.263197e-04,3.246350e-04,3.216632e-04,3.170790e-04,3.155369e-04,3.125671e-04,3.081270e-04,3.067213e-04,3.037584e-04,2.994608e-04,2.981853e-04,2.952337e-04,2.910763e-04,2.899247e-04,2.869882e-04,2.829686e-04,2.819346e-04,2.790166e-04,2.751317e-04,2.742092e-04,2.713129e-04,2.675595e-04,2.667424e-04,2.638706e-04,2.602454e-04,2.595279e-04,2.566830e-04,2.531827e-04,2.525591e-04,2.497434e-04,2.463643e-04,2.458292e-04,2.430447e-04,2.397835e-04,2.393316e-04,2.365800e-04,2.334332e-04,2.330594e-04,2.303424e-04,2.273067e-04,2.270061e-04,2.243252e-04,2.213970e-04,2.211651e-04,2.185215e-04,2.156976e-04,2.155298e-04,2.129247e-04,2.102019e-04,2.100940e-04,2.075284e-04,2.049034e-04,2.048514e-04,2.023262e-04,1.997959e-04,1.949216e-04,1.902227e-04,1.856936e-04,1.813289e-04,1.771231e-04,1.730711e-04,1.691679e-04,1.654087e-04,1.617887e-04,1.583033e-04,1.549480e-04,1.517186e-04,1.486109e-04,1.456209e-04,1.427445e-04,1.399781e-04,1.373179e-04,1.347604e-04,1.323021e-04,1.299397e-04,1.276699e-04,1.254896e-04,1.233958e-04,1.213855e-04,1.194559e-04,1.176043e-04,1.158279e-04,1.141241e-04,1.124906e-04,1.109249e-04,1.094245e-04,1.079874e-04,1.066112e-04,1.052938e-04,1.040333e-04,1.028275e-04,1.016746e-04,1.005727e-04,9.952008e-05,9.851489e-05,9.755548e-05,9.664021e-05,9.576750e-05,9.493582e-05,9.414369e-05,9.338967e-05,9.267237e-05,9.199046e-05,9.134263e-05
0.000000e+00,1.619028e-12,3.605710e-10,3.910762e-10,1.127684e-08,1.242439e-07,1.356378e-07,9.454562e-07,4.055247e-06,4.404990e-06,1.500441e-05,3.731470e-05,4.006024e-05,8.863193e-05,1.598068e-04,1.695730e-04,2.896082e-04,4.303054e-04,4.520564e-04,6.563934e-04,8.625995e-04,8.985454e-04,1.171666e-03,1.418739e-03,1.467130e-03,1.775535e-03,2.031528e-03,2.087563e-03,2.394642e-03,2.631732e-03,2.689387e-03,2.965834e-03,3.165829e-03,3.219507e-03,3.447370e-03,3.602169e-03,3.647681e-03,3.819811e-03,3.929176e-03,3.964033e-03,4.081332e-03,4.149942e-03,4.173206e-03,4.241505e-03,4.276385e-03,4.288289e-03,4.315714e-03,4.324411e-03,4.325945e-03,4.321088e-03,4.310595e-03,4.303145e-03,4.273981e-03,4.250226e-03,4.235310e-03,4.188680e-03,4.156386e-03,4.135476e-03,4.076926e-03,4.039685e-03,4.014110e-03,3.947967e-03,3.908406e-03,3.879312e-03,3.808841e-03,3.768809e-03,3.737149e-03,3.664740e-03,3.625494e-03,3.592040e-03,3.519404e-03,3.481759e-03,3.447127e-03,3.375453e-03,3.339906e-03,3.304581e-03,3.234673e-03,3.201498e-03,3.165857e-03,3.098236e-03,3.067554e-03,3.031889e-03,2.966875e-03,2.938704e-03,2.903240e-03,2.841013e-03,2.815302e-03,2.780213e-03,2.720849e-03,2.697507e-03,2.662925e-03,2.606435e-03,2.585343e-03,2.551370e-03,2.497717e-03,2.478744e-03,2.445459e-03,2.394576e-03,2.377585e-03,2.345046e-03,2.296846e-03,2.281698e-03,2.249950e-03,2.204333e-03,2.190894e-03,2.159968e-03,2.116828e-03,2.104965e-03,2.074886e-03,2.034113e-03,2.023700e-03,1.994483e-03,1.955968e-03,1.946887e-03,1.918540e-03,1.882173e-03,1.874312e-03,1.846840e-03,1.812515e-03,1.805769e-03,1.779172e-03,1.746784e-03,1.741054e-03,1.715328e-03,1.684778e-03,1.679973e-03,1.655111e-03,1.626302e-03,1.622336e-03,1.598328e-03,1.571168e-03,1.567962e-03,1.544798e-03,1.519198e-03,1.516679e-03,1.494345e-03,1.470220e-03,1.468321e-03,1.446803e-03,1.424072e-03,1.422730e-03,1.402011e-03,1.380599e-03,1.379755e-03,1.359818e-03,1.339651e-03,1.339254e-03,1.320081e-03,1.301090e-03,1.265133e-03,1.231262e-03,1.199360e-03,1.169317e-03,1.141028e-03,1.114393e-03,1.089320e-03,1.065720e-03,1.043508e-03,1.022605e-03,1.002936e-03,9.844301e-04,9.670199e-04,9.506419e-04,9.352362e-04,9.207461e-04,9.071180e-04,8.943014e-04,8.822485e-04,8.709142e-04,8.602559e-04,8.502335e-04,8.408090e-04,8.319467e-04,8.236127e-04,8.157752e-04,8.084042e-04,8.014713e-04,7.949497e-04,7.888143e-04,7.830414e-04,7.776084e-04,7.724944e-04,7.676794e-04,7.631448e-04,7.588727e-04,7.548468e-04,7.510512e-04,7.474713e-04,7.440931e-04,7.409038e-04,7.378909e-04,7.350430e-04,7.323491e-04,7.297992e-04,7.273835e-04,7.250931e-04,7.229196e-04,7.208549e-04
0.000000e+00,1.547358e-12,3.676387e-10,3.989297e-10,1.140915e-08,1.221606e-07,1.332386e-07,9.227647e-07,4.087633e-06,4.455458e-06,1.644013e-05,4.541391e-05,4.925669e-05,1.251684e-04,2.586462e-04,2.787633e-04,5.579912e-04,9.556228e-04,1.023626e-03,1.747324e-03,2.636620e-03,2.808634e-03,4.291366e-03,5.924210e-03,6.279720e-03,8.854504e-03,1.145559e-02,1.208968e-02,1.604946e-02,1.977448e-02,2.078597e-02,2.633765e-02,3.124965e-02,3.272824e-02,3.996641e-02,4.603101e-02,4.804597e-02,5.694643e-02,6.404193e-02,6.663411e-02,7.706336e-02,8.500051e-02,8.817815e-02,9.991367e-02,1.084596e-01,1.121980e-01,1.249537e-01,1.338557e-01,1.380998e-01,1.515529e-01,1.605593e-01,1.652289e-01,1.790442e-01,1.879212e-01,1.929169e-01,2.067677e-01,2.153109e-01,2.205210e-01,2.341050e-01,2.421462e-01,2.474529e-01,2.605032e-01,2.679136e-01,2.731997e-01,2.854917e-01,2.921816e-01,2.973344e-01,3.086883e-01,3.146041e-01,3.195198e-01,3.298006e-01,3.349212e-01,3.395077e-01,3.486228e-01,3.529539e-01,3.571324e-01,3.650275e-01,3.685973e-01,3.723030e-01,3.789576e-01,3.818107e-01,3.849935e-01,3.904159e-01,3.926093e-01,3.952327e-01,3.994544e-01,4.010530e-01,4.030936e-01,4.061649e-01,4.072379e-01,4.086843e-01,4.106694e-01,4.112875e-01,4.121388e-01,4.131120e-01,4.133447e-01,4.136092e-01,4.136513e-01,4.135657e-01,4.132595e-01,4.124551e-01,4.121141e-01,4.112596e-01,4.096944e-01,4.091560e-01,4.077809e-01,4.055400e-01,4.048567e-01,4.029926e-01,4.001590e-01,3.993778e-01,3.970590e-01,3.937123e-01,3.928744e-01,3.901375e-01,3.863530e-01,3.854941e-01,3.823766e-01,3.782253e-01,3.773755e-01,3.739156e-01,3.694632e-01,3.686479e-01,3.648834e-01,3.601907e-01,3.594303e-01,3.553988e-01,3.505211e-01,3.498321e-01,3.455701e-01,3.405577e-01,3.399527e-01,3.354954e-01,3.303937e-01,3.298818e-01,3.252629e-01,3.201126e-01,3.197000e-01,3.149517e-01,3.097888e-01,3.094792e-01,3.046319e-01,2.994883e-01,2.992830e-01,2.943652e-01,2.892690e-01,2.891674e-01,2.842059e-01,2.791813e-01,2.693670e-01,2.597609e-01,2.503938e-01,2.412917e-01,2.324761e-01,2.239646e-01,2.157708e-01,2.079055e-01,2.003764e-01,1.931886e-01,1.863450e-01,1.798466e-01,1.736925e-01,1.678801e-01,1.624058e-01,1.572645e-01,1.524501e-01,1.479557e-01,1.437735e-01,1.398951e-01,1.363116e-01,1.330133e-01,1.299903e-01,1.272325e-01,1.247291e-01,1.224695e-01,1.204426e-01,1.186374e-01,1.170426e-01,1.156471e-01,1.144396e-01,1.134090e-01,1.125442e-01,1.118341e-01,1.112680e-01,1.108352e-01,1.105252e-01,1.103279e-01,1.102332e-01,1.102315e-01,1.103134e-01,1.104699e-01,1.106923e-01,1.109724e-01,1.113022e-01,1.116742e-01,1.120812e-01,1.125165e-01,1.129739e-01
0.000000e+00,5.703352e-09,9.613782e-08,1.007653e-07,7.269560e-07,2.686329e-06,2.805595e-06,6.507127e-06,1.052871e-05,1.078781e-05,1.505764e-05,1.885737e-05,1.918099e-05,2.313124e-05,2.653521e-05,2.690461e-05,3.050259e-05,3.352610e-05,3.392819e-05,3.718504e-05,3.985408e-05,4.027724e-05,4.320917e-05,4.555154e-05,4.598550e-05,4.861105e-05,5.065497e-05,5.109079e-05,5.342968e-05,5.520273e-05,5.563270e-05,5.770480e-05,5.923326e-05,5.965081e-05,6.147552e-05,6.278403e-05,6.318356e-05,6.477949e-05,6.589089e-05,6.626771e-05,6.765251e-05,6.858788e-05,6.893806e-05,7.012838e-05,7.090705e-05,7.122739e-05,7.223886e-05,7.287853e-05,7.316645e-05,7.401371e-05,7.453055e-05,7.478405e-05,7.548077e-05,7.588951e-05,7.610706e-05,7.666600e-05,7.698004e-05,7.716058e-05,7.759364e-05,7.782511e-05,7.796797e-05,7.828622e-05,7.844614e-05,7.855098e-05,7.876472e-05,7.886303e-05,7.892983e-05,7.904862e-05,7.909429e-05,7.912330e-05,7.915601e-05,7.915712e-05,7.914881e-05,7.910367e-05,7.906748e-05,7.902251e-05,7.890715e-05,7.884016e-05,7.875937e-05,7.858086e-05,7.848888e-05,7.837326e-05,7.813813e-05,7.802634e-05,7.787698e-05,7.759127e-05,7.746429e-05,7.728240e-05,7.695169e-05,7.681358e-05,7.660044e-05,7.622988e-05,7.608426e-05,7.584121e-05,7.543555e-05,7.528557e-05,7.501402e-05,7.457764e-05,7.442607e-05,7.412743e-05,7.366435e-05,7.351360e-05,7.318933e-05,7.270327e-05,7.255542e-05,7.220700e-05,7.170134e-05,7.155818e-05,7.118708e-05,7.066497e-05,7.052802e-05,7.013571e-05,6.959999e-05,6.947053e-05,6.905847e-05,6.851177e-05,6.839086e-05,6.796049e-05,6.740521e-05,6.729372e-05,6.684646e-05,6.628478e-05,6.618340e-05,6.572066e-05,6.515457e-05,6.506385e-05,6.458698e-05,6.401830e-05,6.393863e-05,6.344896e-05,6.287935e-05,6.281100e-05,6.230984e-05,6.174079e-05,6.168392e-05,6.117253e-05,6.060538e-05,6.056006e-05,6.003965e-05,5.947563e-05,5.944185e-05,5.891359e-05,5.835380e-05,5.833145e-05,5.779649e-05,5.724190e-05,5.723084e-05,5.669026e-05,5.614176e-05,5.506579e-05,5.400430e-05,5.295855e-05,5.192961e-05,5.091843e-05,4.992583e-05,4.895252e-05,4.799910e-05,4.706607e-05,4.615384e-05,4.526275e-05,4.439304e-05,4.354492e-05,4.271849e-05,4.191384e-05,4.113096e-05,4.036984e-05,3.963040e-05,3.891252e-05,3.821605e-05,3.754081e-05,3.688660e-05,3.625318e-05,3.564029e-05,3.504766e-05,3.447498e-05,3.392196e-05,3.338826e-05,3.287355e-05,3.237747e-05,3.189969e-05,3.143982e-05,3.099751e-05,3.057237e-05,3.016404e-05,2.977212e-05,2.939625e-05,2.903602e-05,2.869107e-05,2.836100e-05,2.804543e-05,2.774398e-05,2.745628e-05,2.718194e-05,2.692059e-05,2.667186e-05,2.643539e-05,2.621080e-05,2.599775e-05
0.000000e+00,8.128157e-10,1.004441e-08,1.047026e-08,6.122988e-08,2.103203e-07,2.196326e-07,5.421696e-07,9.692961e-07,9.987829e-07,1.501007e-06,1.957836e-06,1.996771e-06,2.470305e-06,2.874392e-06,2.917974e-06,3.339412e-06,3.688992e-06,3.735148e-06,4.105974e-06,4.405628e-06,4.452765e-06,4.776427e-06,5.031100e-06,5.077877e-06,5.358036e-06,5.572523e-06,5.617822e-06,5.858141e-06,6.036980e-06,6.079885e-06,6.283925e-06,6.431335e-06,6.471112e-06,6.642270e-06,6.762122e-06,6.798197e-06,6.939663e-06,7.035475e-06,7.067409e-06,7.182149e-06,7.257092e-06,7.284565e-06,7.375312e-06,7.432235e-06,7.455028e-06,7.524313e-06,7.565762e-06,7.583740e-06,7.633866e-06,7.662110e-06,7.675216e-06,7.708294e-06,7.725346e-06,7.733582e-06,7.751538e-06,7.759182e-06,7.762602e-06,7.767191e-06,7.767003e-06,7.765703e-06,7.758520e-06,7.751886e-06,7.746001e-06,7.728491e-06,7.716629e-06,7.706320e-06,7.679798e-06,7.663772e-06,7.649222e-06,7.614875e-06,7.595614e-06,7.577025e-06,7.535928e-06,7.514238e-06,7.491826e-06,7.444950e-06,7.421528e-06,7.395517e-06,7.343736e-06,7.319182e-06,7.289803e-06,7.233904e-06,7.208733e-06,7.176218e-06,7.116912e-06,7.091558e-06,7.056144e-06,6.994064e-06,6.968897e-06,6.930816e-06,6.866532e-06,6.841860e-06,6.801341e-06,6.735363e-06,6.711440e-06,6.668711e-06,6.601491e-06,6.578525e-06,6.533805e-06,6.465748e-06,6.443906e-06,6.397409e-06,6.328873e-06,6.308285e-06,6.260218e-06,6.191519e-06,6.172285e-06,6.122846e-06,6.054263e-06,6.036455e-06,5.985833e-06,5.917613e-06,5.901277e-06,5.849656e-06,5.782012e-06,5.767177e-06,5.714728e-06,5.647847e-06,5.634523e-06,5.581409e-06,5.515453e-06,5.503634e-06,5.450011e-06,5.385117e-06,5.374787e-06,5.320801e-06,5.257088e-06,5.248218e-06,5.194004e-06,5.131572e-06,5.124125e-06,5.069812e-06,5.008744e-06,5.002675e-06,4.948383e-06,4.888746e-06,4.884007e-06,4.829847e-06,4.771696e-06,4.768231e-06,4.714306e-06,4.657684e-06,4.655436e-06,4.601840e-06,4.546780e-06,4.545687e-06,4.492510e-06,4.439034e-06,4.335507e-06,4.235122e-06,4.137884e-06,4.043784e-06,3.952803e-06,3.864914e-06,3.780082e-06,3.698266e-06,3.619417e-06,3.543483e-06,3.470407e-06,3.400130e-06,3.332588e-06,3.267716e-06,3.205447e-06,3.145712e-06,3.088442e-06,3.033568e-06,2.981018e-06,2.930722e-06,2.882611e-06,2.836615e-06,2.792664e-06,2.750691e-06,2.710628e-06,2.672409e-06,2.635968e-06,2.601243e-06,2.568170e-06,2.536689e-06,2.506739e-06,2.478262e-06,2.451202e-06,2.425503e-06,2.401112e-06,2.377976e-06,2.356045e-06,2.335269e-06,2.315601e-06,2.296995e-06,2.279405e-06,2.262790e-06,2.247106e-06,2.232314e-06,2.218375e-06,2.205250e-06,2.192905e-06,2.181303e-06,2.170411e-06
0.000000e+00,4.038066e-09,1.931404e-07,2.051033e-07,2.448660e-06,1.198120e-05,1.261641e-05,3.354988e-05,5.721065e-05,5.873715e-05,8.376581e-05,1.057726e-04,1.076341e-04,1.301887e-04,1.493674e-04,1.514339e-04,1.714051e-04,1.879589e-04,1.901439e-04,2.076934e-04,2.218683e-04,2.240975e-04,2.394008e-04,2.514376e-04,2.536481e-04,2.668847e-04,2.770162e-04,2.791557e-04,2.905061e-04,2.989529e-04,3.009794e-04,3.106182e-04,3.175838e-04,3.194638e-04,3.275564e-04,3.332268e-04,3.349343e-04,3.416344e-04,3.461772e-04,3.476924e-04,3.531424e-04,3.567081e-04,3.580167e-04,3.623467e-04,3.650697e-04,3.661619e-04,3.694909e-04,3.714907e-04,3.723606e-04,3.747970e-04,3.761796e-04,3.768247e-04,3.784671e-04,3.793265e-04,3.797467e-04,3.806848e-04,3.811039e-04,3.813017e-04,3.816167e-04,3.816685e-04,3.816483e-04,3.814138e-04,3.811625e-04,3.809300e-04,3.802127e-04,3.797147e-04,3.792770e-04,3.781371e-04,3.774416e-04,3.768068e-04,3.752988e-04,3.744485e-04,3.736255e-04,3.717985e-04,3.708308e-04,3.698289e-04,3.677271e-04,3.666743e-04,3.655033e-04,3.631667e-04,3.620565e-04,3.607263e-04,3.581907e-04,3.570469e-04,3.555679e-04,3.528655e-04,3.517085e-04,3.500907e-04,3.472504e-04,3.460974e-04,3.443510e-04,3.413986e-04,3.402641e-04,3.383991e-04,3.353579e-04,3.342539e-04,3.322802e-04,3.291708e-04,3.281073e-04,3.260344e-04,3.228753e-04,3.218602e-04,3.196975e-04,3.165050e-04,3.155449e-04,3.133014e-04,3.100901e-04,3.091899e-04,3.068743e-04,3.036570e-04,3.028206e-04,3.004411e-04,2.972293e-04,2.964594e-04,2.940241e-04,2.908277e-04,2.901259e-04,2.876424e-04,2.844703e-04,2.838376e-04,2.813132e-04,2.781729e-04,2.776096e-04,2.750512e-04,2.719495e-04,2.714552e-04,2.688693e-04,2.658119e-04,2.653857e-04,2.627785e-04,2.597704e-04,2.594111e-04,2.567885e-04,2.538338e-04,2.535398e-04,2.509072e-04,2.480095e-04,2.477789e-04,2.451414e-04,2.423036e-04,2.421343e-04,2.394968e-04,2.367214e-04,2.366111e-04,2.339780e-04,2.312670e-04,2.312131e-04,2.285887e-04,2.259436e-04,2.208049e-04,2.157989e-04,2.109267e-04,2.061890e-04,2.015858e-04,1.971169e-04,1.927818e-04,1.885796e-04,1.845089e-04,1.805684e-04,1.767563e-04,1.730709e-04,1.695100e-04,1.660716e-04,1.627534e-04,1.595531e-04,1.564683e-04,1.534965e-04,1.506352e-04,1.478818e-04,1.452337e-04,1.426884e-04,1.402433e-04,1.378956e-04,1.356430e-04,1.334827e-04,1.314122e-04,1.294291e-04,1.275308e-04,1.257149e-04,1.239790e-04,1.223205e-04,1.207372e-04,1.192268e-04,1.177869e-04,1.164153e-04,1.151099e-04,1.138684e-04,1.126888e-04,1.115691e-04,1.105072e-04,1.095012e-04,1.085491e-04,1.076491e-04,1.067993e-04,1.059980e-04,1.052433e-04,1.045337e-04,1.038674e-04
0.000000e+00,4.869985e-11,1.215904e-08,1.321165e-08,4.103110e-07,4.816312e-06,5.272753e-06,3.972736e-05,1.863767e-04,2.037350e-04,7.793028e-04,2.190907e-03,2.378789e-03,6.100846e-03,1.267084e-02,1.366326e-02,2.749389e-02,4.735645e-02,5.077166e-02,8.741719e-02,1.331203e-01,1.420378e-01,2.198341e-01,3.072313e-01,3.264770e-01,4.679648e-01,6.143126e-01,6.504680e-01,8.801713e-01,1.101988e+00,1.163118e+00,1.505063e+00,1.816187e+00,1.911341e+00,2.386744e+00,2.796866e+00,2.935430e+00,3.560838e+00,4.074629e+00,4.265629e+00,5.051647e+00,5.668474e+00,5.919899e+00,6.870546e+00,7.584700e+00,7.902922e+00,9.015550e+00,9.816864e+00,1.020619e+01,1.147188e+01,1.234661e+01,1.280900e+01,1.421332e+01,1.514517e+01,1.568008e+01,1.720407e+01,1.817524e+01,1.877968e+01,2.040096e+01,2.139310e+01,2.206176e+01,2.375570e+01,2.475082e+01,2.547632e+01,2.721709e+01,2.819831e+01,2.897153e+01,3.073317e+01,3.168521e+01,3.249568e+01,3.425290e+01,3.516257e+01,3.599885e+01,3.772779e+01,3.858415e+01,3.943423e+01,4.111299e+01,4.190751e+01,4.275918e+01,4.436825e+01,4.509478e+01,4.593597e+01,4.745847e+01,4.811312e+01,4.893222e+01,5.035404e+01,5.093504e+01,5.172112e+01,5.303096e+01,5.353839e+01,5.428144e+01,5.547072e+01,5.590629e+01,5.659734e+01,5.766010e+01,5.802689e+01,5.865813e+01,5.959081e+01,5.989297e+01,6.045782e+01,6.125906e+01,6.150159e+01,6.199470e+01,6.266510e+01,6.285358e+01,6.327084e+01,6.381268e+01,6.395308e+01,6.429158e+01,6.470861e+01,6.480705e+01,6.506502e+01,6.536217e+01,6.542482e+01,6.560153e+01,6.578469e+01,6.581761e+01,6.591331e+01,6.598911e+01,6.599809e+01,6.601391e+01,6.598954e+01,6.598007e+01,6.591789e+01,6.580089e+01,6.577808e+01,6.564046e+01,6.543857e+01,6.540711e+01,6.519717e+01,6.491821e+01,6.488230e+01,6.460363e+01,6.425537e+01,6.421876e+01,6.387533e+01,6.346539e+01,6.343136e+01,6.302740e+01,6.256319e+01,6.253454e+01,6.207453e+01,6.156316e+01,6.154226e+01,6.103079e+01,6.047905e+01,6.046783e+01,5.990956e+01,5.932387e+01,5.812225e+01,5.687406e+01,5.558960e+01,5.427835e+01,5.294906e+01,5.160967e+01,5.026740e+01,4.892873e+01,4.759948e+01,4.628482e+01,4.498933e+01,4.371699e+01,4.247131e+01,4.125526e+01,4.007142e+01,3.892190e+01,3.780848e+01,3.673257e+01,3.569530e+01,3.469749e+01,3.373973e+01,3.282236e+01,3.194553e+01,3.110921e+01,3.031319e+01,2.955714e+01,2.884059e+01,2.816295e+01,2.752354e+01,2.692159e+01,2.635626e+01,2.582662e+01,2.533172e+01,2.487053e+01,2.444201e+01,2.404506e+01,2.367856e+01,2.334137e+01,2.303234e+01,2.275030e+01,2.249407e+01,2.226248e+01,2.205434e+01,2.186849e+01,2.170377e+01,2.155900e+01,2.143306e+01,2.132481e+01,2.123316e+01
0.000000e+00,2.795362e-10,3.860161e-08,4.156048e-08,8.558474e-07,6.550465e-06,7.031161e-06,3.067197e-05,7.964657e-05,8.370152e-05,1.645379e-04,2.534600e-04,2.615290e-04,3.638453e-04,4.553500e-04,4.653755e-04,5.635249e-04,6.463779e-04,6.574083e-04,7.468060e-04,8.201040e-04,8.317259e-04,9.122510e-04,9.765756e-04,9.884910e-04,1.060568e-03,1.116656e-03,1.128612e-03,1.192756e-03,1.241355e-03,1.253136e-03,1.309890e-03,1.351727e-03,1.363152e-03,1.413056e-03,1.448819e-03,1.459735e-03,1.503315e-03,1.533644e-03,1.543923e-03,1.581680e-03,1.607166e-03,1.616704e-03,1.649109e-03,1.670293e-03,1.679005e-03,1.706500e-03,1.723878e-03,1.731697e-03,1.754697e-03,1.768719e-03,1.775594e-03,1.794483e-03,1.805559e-03,1.811453e-03,1.826591e-03,1.835092e-03,1.839979e-03,1.851700e-03,1.857963e-03,1.861829e-03,1.870442e-03,1.874771e-03,1.877610e-03,1.883403e-03,1.886071e-03,1.887887e-03,1.891126e-03,1.892379e-03,1.893182e-03,1.894114e-03,1.894174e-03,1.893979e-03,1.892832e-03,1.891896e-03,1.890726e-03,1.887711e-03,1.885956e-03,1.883836e-03,1.879148e-03,1.876730e-03,1.873690e-03,1.867508e-03,1.864569e-03,1.860641e-03,1.853131e-03,1.849793e-03,1.845013e-03,1.836327e-03,1.832700e-03,1.827105e-03,1.817383e-03,1.813564e-03,1.807192e-03,1.796563e-03,1.792635e-03,1.785525e-03,1.774108e-03,1.770145e-03,1.762339e-03,1.750242e-03,1.746307e-03,1.737844e-03,1.725168e-03,1.721314e-03,1.712237e-03,1.699072e-03,1.695347e-03,1.685695e-03,1.672125e-03,1.668568e-03,1.658382e-03,1.644484e-03,1.641127e-03,1.630447e-03,1.616289e-03,1.613160e-03,1.602026e-03,1.587672e-03,1.584791e-03,1.573242e-03,1.558749e-03,1.556135e-03,1.544207e-03,1.529628e-03,1.527292e-03,1.515023e-03,1.500405e-03,1.498358e-03,1.485783e-03,1.471168e-03,1.469415e-03,1.456570e-03,1.441997e-03,1.440541e-03,1.427458e-03,1.412961e-03,1.411804e-03,1.398515e-03,1.384127e-03,1.383265e-03,1.369802e-03,1.355549e-03,1.354980e-03,1.341373e-03,1.327279e-03,1.326998e-03,1.313274e-03,1.299363e-03,1.272113e-03,1.245283e-03,1.218902e-03,1.192996e-03,1.167588e-03,1.142696e-03,1.118336e-03,1.094522e-03,1.071264e-03,1.048571e-03,1.026449e-03,1.004901e-03,9.839315e-04,9.635406e-04,9.437281e-04,9.244924e-04,9.058305e-04,8.877386e-04,8.702119e-04,8.532446e-04,8.368305e-04,8.209623e-04,8.056326e-04,7.908332e-04,7.765554e-04,7.627905e-04,7.495289e-04,7.367613e-04,7.244777e-04,7.126681e-04,7.013224e-04,6.904303e-04,6.799813e-04,6.699652e-04,6.603713e-04,6.511892e-04,6.424085e-04,6.340187e-04,6.260096e-04,6.183706e-04,6.110917e-04,6.041627e-04,5.975735e-04,5.913141e-04,5.853749e-04,5.797460e-04,5.744180e-04,5.693814e-04,5.646269e-04
0.000000e+00,1.678661e-12,3.693115e-10,4.002420e-10,1.097916e-08,1.164169e-07,1.269624e-07,8.762880e-07,3.815249e-06,4.150924e-06,1.464465e-05,3.800127e-05,4.096116e-05,9.554994e-05,1.812270e-04,1.934085e-04,3.500821e-04,5.478121e-04,5.795940e-04,8.927660e-04,1.234129e-03,1.296154e-03,1.791631e-03,2.277160e-03,2.376518e-03,3.044128e-03,3.646431e-03,3.784561e-03,4.585602e-03,5.260940e-03,5.433622e-03,6.314401e-03,7.015053e-03,7.213828e-03,8.118462e-03,8.801809e-03,9.015936e-03,9.895242e-03,1.052859e-02,1.074689e-02,1.156295e-02,1.212484e-02,1.233705e-02,1.306428e-02,1.354353e-02,1.374113e-02,1.436526e-02,1.475890e-02,1.493545e-02,1.545138e-02,1.576235e-02,1.591348e-02,1.632285e-02,1.655788e-02,1.668106e-02,1.699007e-02,1.715793e-02,1.725213e-02,1.746970e-02,1.757995e-02,1.764534e-02,1.778170e-02,1.784383e-02,1.788142e-02,1.794713e-02,1.797003e-02,1.798140e-02,1.798673e-02,1.797842e-02,1.796551e-02,1.792003e-02,1.788751e-02,1.785245e-02,1.776483e-02,1.771411e-02,1.765910e-02,1.753706e-02,1.747318e-02,1.740039e-02,1.725068e-02,1.717783e-02,1.708937e-02,1.691782e-02,1.683942e-02,1.673728e-02,1.654890e-02,1.646771e-02,1.635376e-02,1.615281e-02,1.607102e-02,1.594698e-02,1.573707e-02,1.565640e-02,1.552386e-02,1.530803e-02,1.522981e-02,1.509022e-02,1.487101e-02,1.479625e-02,1.465093e-02,1.443046e-02,1.435990e-02,1.421004e-02,1.399007e-02,1.392422e-02,1.377090e-02,1.355288e-02,1.349208e-02,1.333628e-02,1.312139e-02,1.306582e-02,1.290843e-02,1.269763e-02,1.264737e-02,1.248916e-02,1.228322e-02,1.223826e-02,1.207994e-02,1.187945e-02,1.183970e-02,1.168189e-02,1.148734e-02,1.145265e-02,1.129590e-02,1.110763e-02,1.107781e-02,1.092261e-02,1.074089e-02,1.071571e-02,1.056250e-02,1.038749e-02,1.036672e-02,1.021588e-02,1.004767e-02,1.003104e-02,9.882897e-03,9.721549e-03,9.708789e-03,9.563628e-03,9.409127e-03,9.399965e-03,9.258034e-03,9.110333e-03,9.104495e-03,8.966004e-03,8.825023e-03,8.822237e-03,8.687362e-03,8.552993e-03,8.296521e-03,8.052542e-03,7.820750e-03,7.600815e-03,7.392390e-03,7.195116e-03,7.008626e-03,6.832548e-03,6.666506e-03,6.510126e-03,6.363034e-03,6.224860e-03,6.095238e-03,5.973808e-03,5.860219e-03,5.754122e-03,5.655181e-03,5.563065e-03,5.477452e-03,5.398029e-03,5.324492e-03,5.256547e-03,5.193906e-03,5.136292e-03,5.083438e-03,5.035082e-03,4.990976e-03,4.950876e-03,4.914549e-03,4.881770e-03,4.852323e-03,4.825998e-03,4.802596e-03,4.781925e-03,4.763798e-03,4.748040e-03,4.734481e-03,4.722959e-03,4.713318e-03,4.705411e-03,4.699096e-03,4.694240e-03,4.690714e-03,4.688397e-03,4.687174e-03,4.686936e-03,4.687580e-03,4.689010e-03,4.691134e-03
0.000000e+00,2.491200e-11,6.047969e-09,6.565854e-09,1.936224e-07,2.162303e-06,2.362908e-06,1.716419e-05,7.903746e-05,8.633477e-05,3.281499e-04,9.235270e-04,1.003012e-03,2.585626e-03,5.402335e-03,5.829551e-03,1.181460e-02,2.047725e-02,2.197238e-02,3.808905e-02,5.832501e-02,6.228659e-02,9.698555e-02,1.361935e-01,1.448530e-01,2.087397e-01,2.751579e-01,2.916102e-01,3.964705e-01,4.981926e-01,5.262943e-01,6.839533e-01,8.279980e-01,8.721522e-01,1.093369e+00,1.284943e+00,1.349806e+00,1.643346e+00,1.885366e+00,1.975518e+00,2.347477e+00,2.640365e+00,2.759982e+00,3.213394e+00,3.555118e+00,3.707675e+00,4.242391e+00,4.628696e+00,4.816731e+00,5.429524e+00,5.854312e+00,6.079260e+00,6.764117e+00,7.219897e+00,7.481992e+00,8.230531e+00,8.708905e+00,9.007163e+00,9.809133e+00,1.030127e+01,1.063354e+01,1.147735e+01,1.197443e+01,1.233746e+01,1.321072e+01,1.370429e+01,1.409392e+01,1.498388e+01,1.546616e+01,1.587745e+01,1.677151e+01,1.723561e+01,1.766304e+01,1.854909e+01,1.898916e+01,1.942682e+01,2.029352e+01,2.070486e+01,2.114662e+01,2.198367e+01,2.236270e+01,2.280241e+01,2.360072e+01,2.394499e+01,2.437663e+01,2.512836e+01,2.543649e+01,2.585430e+01,2.655300e+01,2.682455e+01,2.722316e+01,2.786368e+01,2.809909e+01,2.847358e+01,2.905208e+01,2.925252e+01,2.959851e+01,3.011238e+01,3.027961e+01,3.059332e+01,3.104110e+01,3.117736e+01,3.145561e+01,3.183687e+01,3.194478e+01,3.218501e+01,3.250024e+01,3.258266e+01,3.278291e+01,3.303342e+01,3.309335e+01,3.325228e+01,3.344004e+01,3.348055e+01,3.359737e+01,3.372494e+01,3.374909e+01,3.382352e+01,3.389392e+01,3.390469e+01,3.393696e+01,3.395354e+01,3.395378e+01,3.394456e+01,3.391094e+01,3.390334e+01,3.385366e+01,3.377366e+01,3.376071e+01,3.367194e+01,3.354947e+01,3.353343e+01,3.340725e+01,3.324626e+01,3.322916e+01,3.306748e+01,3.287188e+01,3.285554e+01,3.266045e+01,3.243413e+01,3.242009e+01,3.219385e+01,3.194055e+01,3.193016e+01,3.167514e+01,3.139849e+01,3.139285e+01,3.111147e+01,3.081494e+01,3.020290e+01,2.956284e+01,2.890047e+01,2.822111e+01,2.752971e+01,2.683080e+01,2.612854e+01,2.542671e+01,2.472872e+01,2.403763e+01,2.335618e+01,2.268679e+01,2.203159e+01,2.139243e+01,2.077090e+01,2.016835e+01,1.958592e+01,1.902453e+01,1.848494e+01,1.796771e+01,1.747326e+01,1.700186e+01,1.655366e+01,1.612870e+01,1.572689e+01,1.534807e+01,1.499199e+01,1.465832e+01,1.434666e+01,1.405657e+01,1.378753e+01,1.353900e+01,1.331038e+01,1.310104e+01,1.291034e+01,1.273758e+01,1.258207e+01,1.244309e+01,1.231992e+01,1.221180e+01,1.211799e+01,1.203774e+01,1.197031e+01,1.191494e+01,1.187089e+01,1.183743e+01,1.181382e+01,1.179936e+01,1.179333e+01
0.000000e+00,1.328334e-12,2.815078e-10,3.046711e-10,7.603324e-09,7.171386e-08,7.782710e-08,4.797572e-07,1.931090e-06,2.092827e-06,7.057701e-06,1.808412e-05,1.949196e-05,4.593982e-05,8.902555e-05,9.528180e-05,1.780496e-04,2.873390e-04,3.053165e-04,4.874434e-04,6.945079e-04,7.329423e-04,1.047634e-03,1.367484e-03,1.434170e-03,1.891922e-03,2.317903e-03,2.417175e-03,3.003542e-03,3.510978e-03,3.642518e-03,4.324095e-03,4.878301e-03,5.037370e-03,5.771111e-03,6.335610e-03,6.514243e-03,7.256232e-03,7.798835e-03,7.987395e-03,8.699106e-03,9.195261e-03,9.383912e-03,1.003559e-02,1.046932e-02,1.064913e-02,1.122073e-02,1.158403e-02,1.174767e-02,1.222821e-02,1.251951e-02,1.266150e-02,1.304747e-02,1.326989e-02,1.338668e-02,1.368022e-02,1.383994e-02,1.392962e-02,1.413673e-02,1.424155e-02,1.430362e-02,1.443257e-02,1.449090e-02,1.452593e-02,1.458614e-02,1.460628e-02,1.461562e-02,1.461679e-02,1.460647e-02,1.459198e-02,1.454347e-02,1.450960e-02,1.447343e-02,1.438393e-02,1.433250e-02,1.427693e-02,1.415426e-02,1.409033e-02,1.401766e-02,1.386874e-02,1.379650e-02,1.370897e-02,1.353975e-02,1.346262e-02,1.336234e-02,1.317793e-02,1.309864e-02,1.298758e-02,1.279229e-02,1.271299e-02,1.259295e-02,1.239039e-02,1.231273e-02,1.218536e-02,1.197853e-02,1.190376e-02,1.177053e-02,1.156191e-02,1.149092e-02,1.135317e-02,1.114477e-02,1.107822e-02,1.093711e-02,1.073058e-02,1.066888e-02,1.052548e-02,1.032212e-02,1.026552e-02,1.012075e-02,9.921607e-03,9.870220e-03,9.724892e-03,9.530784e-03,9.484603e-03,9.339438e-03,9.150989e-03,9.109931e-03,8.965554e-03,8.783232e-03,8.747149e-03,8.604106e-03,8.428246e-03,8.396943e-03,8.255708e-03,8.086534e-03,8.059781e-03,7.920760e-03,7.758407e-03,7.735952e-03,7.599493e-03,7.444025e-03,7.425600e-03,7.292001e-03,7.143418e-03,7.128748e-03,6.998261e-03,6.856514e-03,6.845321e-03,6.718156e-03,6.583159e-03,6.575166e-03,6.451496e-03,6.323133e-03,6.318066e-03,6.198033e-03,6.076160e-03,6.073755e-03,5.957469e-03,5.841922e-03,5.622231e-03,5.414326e-03,5.217835e-03,5.032378e-03,4.857567e-03,4.693013e-03,4.538327e-03,4.393123e-03,4.257021e-03,4.129650e-03,4.010644e-03,3.899652e-03,3.796327e-03,3.700331e-03,3.611335e-03,3.529023e-03,3.453086e-03,3.383228e-03,3.319164e-03,3.260616e-03,3.207316e-03,3.159006e-03,3.115434e-03,3.076359e-03,3.041547e-03,3.010775e-03,2.983823e-03,2.960482e-03,2.940549e-03,2.923826e-03,2.910124e-03,2.899260e-03,2.891055e-03,2.885340e-03,2.881948e-03,2.880720e-03,2.881501e-03,2.884142e-03,2.888500e-03,2.894436e-03,2.901817e-03,2.910514e-03,2.920405e-03,2.931370e-03,2.943296e-03,2.956074e-03,2.969600e-03,2.983775e-03,2.998504e-03
0.000000e+00,6.235372e-10,1.078800e-08,1.128766e-08,6.857075e-08,2.020071e-07,2.090277e-07,3.987285e-07,5.770875e-07,5.881161e-07,7.644418e-07,9.140465e-07,9.264952e-07,1.074790e-06,1.197097e-06,1.210059e-06,1.333049e-06,1.431704e-06,1.444491e-06,1.545091e-06,1.623463e-06,1.635540e-06,1.716500e-06,1.777642e-06,1.788611e-06,1.852484e-06,1.899121e-06,1.908700e-06,1.957811e-06,1.992334e-06,2.000337e-06,2.036768e-06,2.061250e-06,2.067564e-06,2.093156e-06,2.109375e-06,2.113948e-06,2.130320e-06,2.139798e-06,2.142625e-06,2.151193e-06,2.155222e-06,2.156333e-06,2.158332e-06,2.158008e-06,2.157460e-06,2.153964e-06,2.150208e-06,2.148078e-06,2.140019e-06,2.133607e-06,2.129987e-06,2.118169e-06,2.109750e-06,2.104740e-06,2.089861e-06,2.079973e-06,2.073681e-06,2.056338e-06,2.045429e-06,2.037963e-06,2.018673e-06,2.007109e-06,1.998579e-06,1.977783e-06,1.965866e-06,1.956380e-06,1.934455e-06,1.922428e-06,1.912091e-06,1.889360e-06,1.877418e-06,1.866331e-06,1.843067e-06,1.831364e-06,1.819625e-06,1.796058e-06,1.784716e-06,1.772415e-06,1.748740e-06,1.737850e-06,1.725074e-06,1.701455e-06,1.691085e-06,1.677915e-06,1.654486e-06,1.644685e-06,1.631195e-06,1.608068e-06,1.598868e-06,1.585127e-06,1.562394e-06,1.553814e-06,1.539886e-06,1.517621e-06,1.509667e-06,1.495612e-06,1.473873e-06,1.466545e-06,1.452414e-06,1.431248e-06,1.424537e-06,1.410380e-06,1.389821e-06,1.383714e-06,1.369574e-06,1.349647e-06,1.344125e-06,1.330043e-06,1.310766e-06,1.305808e-06,1.291818e-06,1.273201e-06,1.268783e-06,1.254917e-06,1.236966e-06,1.233061e-06,1.219347e-06,1.202062e-06,1.198644e-06,1.185108e-06,1.168484e-06,1.165526e-06,1.152188e-06,1.136219e-06,1.133694e-06,1.120573e-06,1.105248e-06,1.103128e-06,1.090241e-06,1.075549e-06,1.073807e-06,1.061167e-06,1.047094e-06,1.045703e-06,1.033323e-06,1.019853e-06,1.018788e-06,1.006678e-06,9.937938e-07,9.930299e-07,9.811971e-07,9.688830e-07,9.683963e-07,9.568472e-07,9.450851e-07,9.448526e-07,9.335922e-07,9.223640e-07,9.008950e-07,8.804101e-07,8.608736e-07,8.422503e-07,8.245054e-07,8.076046e-07,7.915141e-07,7.762012e-07,7.616337e-07,7.477804e-07,7.346110e-07,7.220962e-07,7.102075e-07,6.989174e-07,6.881995e-07,6.780282e-07,6.683788e-07,6.592278e-07,6.505523e-07,6.423305e-07,6.345414e-07,6.271649e-07,6.201817e-07,6.135733e-07,6.073220e-07,6.014108e-07,5.958235e-07,5.905447e-07,5.855594e-07,5.808535e-07,5.764134e-07,5.722262e-07,5.682794e-07,5.645613e-07,5.610606e-07,5.577666e-07,5.546688e-07,5.517576e-07,5.490235e-07,5.464577e-07,5.440516e-07,5.417971e-07,5.396865e-07,5.377123e-07,5.358676e-07,5.341456e-07,5.325399e-07,5.310445e-07,5.296535e-07
0.000000e+00,1.009571e-13,2.411806e-11,2.619299e-11,7.990504e-10,9.161260e-09,1.001647e-08,7.253133e-08,3.247024e-07,3.537994e-07,1.277298e-06,3.381836e-06,3.651606e-06,8.705432e-06,1.683457e-05,1.800452e-05,3.328218e-05,5.302462e-05,5.623607e-05,8.833774e-05,1.241106e-04,1.306849e-04,1.839099e-04,2.371360e-04,2.481442e-04,3.230324e-04,3.918473e-04,4.077827e-04,5.012421e-04,5.813291e-04,6.019852e-04,7.084056e-04,7.942624e-04,8.188035e-04,9.314641e-04,1.017572e-03,1.044724e-03,1.157022e-03,1.238666e-03,1.266944e-03,1.373244e-03,1.446933e-03,1.474859e-03,1.570919e-03,1.634482e-03,1.660739e-03,1.743817e-03,1.796279e-03,1.819814e-03,1.888542e-03,1.929889e-03,1.949946e-03,2.004086e-03,2.034991e-03,2.051116e-03,2.091269e-03,2.112837e-03,2.124839e-03,2.152167e-03,2.165723e-03,2.173628e-03,2.189615e-03,2.196540e-03,2.200535e-03,2.206797e-03,2.208420e-03,2.208805e-03,2.206953e-03,2.204482e-03,2.201620e-03,2.193170e-03,2.187657e-03,2.181943e-03,2.168260e-03,2.160591e-03,2.152419e-03,2.134696e-03,2.125596e-03,2.115344e-03,2.094594e-03,2.084639e-03,2.072657e-03,2.049723e-03,2.039361e-03,2.025963e-03,2.001530e-03,1.991102e-03,1.976562e-03,1.951181e-03,1.940937e-03,1.925493e-03,1.899595e-03,1.889717e-03,1.873572e-03,1.847496e-03,1.838108e-03,1.821432e-03,1.795436e-03,1.786621e-03,1.769556e-03,1.743835e-03,1.735643e-03,1.718307e-03,1.693004e-03,1.685461e-03,1.667952e-03,1.643172e-03,1.636285e-03,1.618683e-03,1.594501e-03,1.588266e-03,1.570638e-03,1.547105e-03,1.541507e-03,1.523909e-03,1.501056e-03,1.496075e-03,1.478553e-03,1.456401e-03,1.452013e-03,1.434604e-03,1.413163e-03,1.409341e-03,1.392077e-03,1.371348e-03,1.368064e-03,1.350973e-03,1.330951e-03,1.328177e-03,1.311281e-03,1.291960e-03,1.289664e-03,1.272984e-03,1.254352e-03,1.252507e-03,1.236059e-03,1.218102e-03,1.216680e-03,1.200478e-03,1.183182e-03,1.182155e-03,1.166211e-03,1.149560e-03,1.148901e-03,1.133226e-03,1.117204e-03,1.116887e-03,1.101490e-03,1.086080e-03,1.056447e-03,1.027953e-03,1.000565e-03,9.742499e-04,9.489740e-04,9.247045e-04,9.014092e-04,8.790563e-04,8.576147e-04,8.370540e-04,8.173443e-04,7.984567e-04,7.803628e-04,7.630350e-04,7.464466e-04,7.305713e-04,7.153839e-04,7.008597e-04,6.869748e-04,6.737060e-04,6.610308e-04,6.489274e-04,6.373746e-04,6.263520e-04,6.158398e-04,6.058187e-04,5.962703e-04,5.871764e-04,5.785198e-04,5.702836e-04,5.624515e-04,5.550078e-04,5.479373e-04,5.412252e-04,5.348574e-04,5.288201e-04,5.231001e-04,5.176844e-04,5.125607e-04,5.077171e-04,5.031419e-04,4.988240e-04,4.947526e-04,4.909173e-04,4.873080e-04,4.839150e-04,4.807290e-04,4.777408e-04,4.749418e-04
0.000000e+00,8.754660e-10,1.706920e-08,1.788270e-08,1.106245e-07,3.098169e-07,3.196336e-07,5.704478e-07,7.940343e-07,8.076574e-07,1.022900e-06,1.201854e-06,1.216589e-06,1.390189e-06,1.530497e-06,1.545203e-06,1.683056e-06,1.791234e-06,1.805084e-06,1.912543e-06,1.994204e-06,2.006609e-06,2.088386e-06,2.148340e-06,2.158907e-06,2.219134e-06,2.261466e-06,2.269959e-06,2.312214e-06,2.340365e-06,2.346665e-06,2.374023e-06,2.390860e-06,2.394941e-06,2.410022e-06,2.417923e-06,2.419820e-06,2.424845e-06,2.425768e-06,2.425565e-06,2.422409e-06,2.417959e-06,2.415771e-06,2.406013e-06,2.397505e-06,2.393467e-06,2.378438e-06,2.366943e-06,2.361204e-06,2.342019e-06,2.328402e-06,2.321116e-06,2.298709e-06,2.283669e-06,2.274991e-06,2.250139e-06,2.234233e-06,2.224315e-06,2.197666e-06,2.181338e-06,2.170327e-06,2.142419e-06,2.126016e-06,2.114053e-06,2.085329e-06,2.069121e-06,2.056338e-06,2.027163e-06,2.011359e-06,1.997879e-06,1.968551e-06,1.953305e-06,1.939242e-06,1.910005e-06,1.895429e-06,1.880889e-06,1.851939e-06,1.838112e-06,1.823192e-06,1.794684e-06,1.781659e-06,1.766445e-06,1.738504e-06,1.726310e-06,1.710883e-06,1.683603e-06,1.672253e-06,1.656684e-06,1.630140e-06,1.619631e-06,1.603986e-06,1.578232e-06,1.568552e-06,1.552887e-06,1.527961e-06,1.519091e-06,1.503459e-06,1.479385e-06,1.471299e-06,1.455745e-06,1.432539e-06,1.425205e-06,1.409769e-06,1.387436e-06,1.380821e-06,1.365539e-06,1.344077e-06,1.338145e-06,1.323048e-06,1.302450e-06,1.297165e-06,1.282280e-06,1.262533e-06,1.257856e-06,1.243207e-06,1.224296e-06,1.220191e-06,1.205796e-06,1.187703e-06,1.184132e-06,1.170010e-06,1.152713e-06,1.149641e-06,1.135806e-06,1.119282e-06,1.116674e-06,1.103137e-06,1.087364e-06,1.085185e-06,1.071957e-06,1.056909e-06,1.055127e-06,1.042215e-06,1.027868e-06,1.026453e-06,1.013863e-06,1.000192e-06,9.991121e-07,9.868489e-07,9.738283e-07,9.730572e-07,9.611237e-07,9.487287e-07,9.482393e-07,9.366373e-07,9.248432e-07,9.246103e-07,9.133405e-07,9.021232e-07,8.807317e-07,8.603907e-07,8.410561e-07,8.226853e-07,8.052368e-07,7.886705e-07,7.729479e-07,7.580314e-07,7.438852e-07,7.304745e-07,7.177662e-07,7.057282e-07,6.943297e-07,6.835414e-07,6.733349e-07,6.636832e-07,6.545602e-07,6.459411e-07,6.378022e-07,6.301206e-07,6.228746e-07,6.160432e-07,6.096066e-07,6.035457e-07,5.978423e-07,5.924789e-07,5.874389e-07,5.827065e-07,5.782664e-07,5.741040e-07,5.702057e-07,5.665580e-07,5.631484e-07,5.599648e-07,5.569957e-07,5.542300e-07,5.516574e-07,5.492677e-07,5.470515e-07,5.449995e-07,5.431032e-07,5.413542e-07,5.397445e-07,5.382667e-07,5.369135e-07,5.356781e-07,5.345540e-07,5.335349e-07,5.326148e-07
0.000000e+00,4.862334e-10,4.313723e-08,4.603237e-08,6.454126e-07,3.878105e-06,4.130822e-06,1.567571e-05,3.839079e-05,4.025495e-05,7.707001e-05,1.163748e-04,1.198597e-04,1.627255e-04,1.989339e-04,2.027794e-04,2.391782e-04,2.681517e-04,2.718879e-04,3.011076e-04,3.236353e-04,3.270866e-04,3.500739e-04,3.672451e-04,3.703066e-04,3.880081e-04,4.007816e-04,4.033874e-04,4.166395e-04,4.258318e-04,4.279457e-04,4.374745e-04,4.437739e-04,4.453820e-04,4.518124e-04,4.557941e-04,4.568992e-04,4.607653e-04,4.629073e-04,4.635241e-04,4.652802e-04,4.659781e-04,4.661299e-04,4.661614e-04,4.657403e-04,4.654559e-04,4.640879e-04,4.628145e-04,4.621260e-04,4.596330e-04,4.577251e-04,4.566669e-04,4.532803e-04,4.509149e-04,4.495219e-04,4.454364e-04,4.427573e-04,4.410648e-04,4.364443e-04,4.335667e-04,4.316087e-04,4.265893e-04,4.236051e-04,4.214144e-04,4.161093e-04,4.130904e-04,4.106975e-04,4.052005e-04,4.022035e-04,3.996374e-04,3.940255e-04,3.910934e-04,3.883807e-04,3.827174e-04,3.798829e-04,3.770485e-04,3.713857e-04,3.686728e-04,3.657394e-04,3.601190e-04,3.575446e-04,3.545329e-04,3.489887e-04,3.465642e-04,3.434929e-04,3.380514e-04,3.357835e-04,3.326695e-04,3.273518e-04,3.252435e-04,3.221022e-04,3.169243e-04,3.149761e-04,3.118210e-04,3.067949e-04,3.050048e-04,3.018480e-04,2.969823e-04,2.953466e-04,2.921990e-04,2.874993e-04,2.860132e-04,2.828841e-04,2.783540e-04,2.770117e-04,2.739095e-04,2.695506e-04,2.683454e-04,2.652774e-04,2.610897e-04,2.600149e-04,2.569872e-04,2.529695e-04,2.520178e-04,2.490360e-04,2.451860e-04,2.443502e-04,2.414188e-04,2.377334e-04,2.370061e-04,2.341291e-04,2.306047e-04,2.299787e-04,2.271592e-04,2.237916e-04,2.232599e-04,2.205006e-04,2.172853e-04,2.168411e-04,2.141443e-04,2.110764e-04,2.107131e-04,2.080804e-04,2.051550e-04,2.048663e-04,2.022990e-04,1.995111e-04,1.992909e-04,1.967899e-04,1.941343e-04,1.939771e-04,1.915430e-04,1.890146e-04,1.889148e-04,1.865479e-04,1.841417e-04,1.840942e-04,1.817946e-04,1.795055e-04,1.751392e-04,1.709858e-04,1.670362e-04,1.632814e-04,1.597129e-04,1.563221e-04,1.531012e-04,1.500422e-04,1.471376e-04,1.443803e-04,1.417634e-04,1.392802e-04,1.369244e-04,1.346898e-04,1.325707e-04,1.305615e-04,1.286569e-04,1.268518e-04,1.251413e-04,1.235209e-04,1.219860e-04,1.205326e-04,1.191566e-04,1.178542e-04,1.166217e-04,1.154557e-04,1.143528e-04,1.133100e-04,1.123242e-04,1.113925e-04,1.105123e-04,1.096811e-04,1.088962e-04,1.081554e-04,1.074564e-04,1.067972e-04,1.061758e-04,1.055901e-04,1.050385e-04,1.045191e-04,1.040303e-04,1.035706e-04,1.031384e-04,1.027324e-04,1.023512e-04,1.019934e-04,1.016580e-04,1.013436e-04,1.010493e-04
0.000000e+00,8.066595e-12,1.399335e-09,1.510229e-09,3.418588e-08,3.005531e-07,3.250859e-07,1.806274e-06,6.347239e-06,6.811403e-06,1.914209e-05,4.044896e-05,4.283456e-05,8.021968e-05,1.251553e-04,1.307196e-04,1.911281e-04,2.488670e-04,2.568831e-04,3.234179e-04,3.784139e-04,3.870395e-04,4.452491e-04,4.889323e-04,4.966761e-04,5.408314e-04,5.716767e-04,5.778246e-04,6.081221e-04,6.279685e-04,6.323669e-04,6.512633e-04,6.627383e-04,6.655065e-04,6.757440e-04,6.812070e-04,6.825593e-04,6.864678e-04,6.877548e-04,6.879180e-04,6.872977e-04,6.857578e-04,6.849397e-04,6.811295e-04,6.777303e-04,6.761108e-04,6.700917e-04,6.655188e-04,6.632494e-04,6.557346e-04,6.504698e-04,6.476760e-04,6.391829e-04,6.335627e-04,6.303480e-04,6.212504e-04,6.155078e-04,6.119571e-04,6.025250e-04,5.968194e-04,5.930021e-04,5.834293e-04,5.778679e-04,5.738409e-04,5.642660e-04,5.589191e-04,5.547288e-04,5.452498e-04,5.401614e-04,5.358459e-04,5.265313e-04,5.217270e-04,5.173177e-04,5.082148e-04,5.037072e-04,4.992301e-04,4.903700e-04,4.861629e-04,4.816393e-04,4.730419e-04,4.691327e-04,4.645807e-04,4.562576e-04,4.526395e-04,4.480740e-04,4.400307e-04,4.366945e-04,4.321281e-04,4.243660e-04,4.213004e-04,4.167440e-04,4.092613e-04,4.064542e-04,4.019170e-04,3.947099e-04,3.921487e-04,3.876386e-04,3.807017e-04,3.783734e-04,3.738975e-04,3.672243e-04,3.651163e-04,3.606804e-04,3.542639e-04,3.523635e-04,3.479729e-04,3.418055e-04,3.401005e-04,3.357598e-04,3.298337e-04,3.283123e-04,3.240253e-04,3.183326e-04,3.169834e-04,3.127537e-04,3.072866e-04,3.060986e-04,3.019293e-04,2.966798e-04,2.956427e-04,2.915363e-04,2.864969e-04,2.856007e-04,2.815596e-04,2.767226e-04,2.759578e-04,2.719840e-04,2.673420e-04,2.666997e-04,2.627948e-04,2.583406e-04,2.578123e-04,2.539777e-04,2.497044e-04,2.492819e-04,2.455190e-04,2.414197e-04,2.410955e-04,2.374051e-04,2.334733e-04,2.332400e-04,2.296230e-04,2.258524e-04,2.257032e-04,2.221601e-04,2.185446e-04,2.184730e-04,2.150043e-04,2.115379e-04,2.048866e-04,1.985083e-04,1.923927e-04,1.865296e-04,1.809094e-04,1.755228e-04,1.703608e-04,1.654146e-04,1.606761e-04,1.561372e-04,1.517900e-04,1.476273e-04,1.436417e-04,1.398265e-04,1.361751e-04,1.326809e-04,1.293380e-04,1.261404e-04,1.230823e-04,1.201584e-04,1.173634e-04,1.146923e-04,1.121401e-04,1.097022e-04,1.073741e-04,1.051515e-04,1.030302e-04,1.010062e-04,9.907571e-05,9.723496e-05,9.548041e-05,9.380864e-05,9.221636e-05,9.070042e-05,8.925776e-05,8.788545e-05,8.658069e-05,8.534076e-05,8.416306e-05,8.304510e-05,8.198445e-05,8.097882e-05,8.002596e-05,7.912374e-05,7.827011e-05,7.746307e-05,7.670073e-05,7.598125e-05,7.530288e-05
0.000000e+00,2.093757e-09,2.695311e-08,2.812368e-08,1.720702e-07,5.992085e-07,6.255359e-07,1.496520e-06,2.534729e-06,2.602615e-06,3.706463e-06,4.643165e-06,4.720457e-06,5.630144e-06,6.362455e-06,6.438999e-06,7.154171e-06,7.712075e-06,7.783268e-06,8.333612e-06,8.749179e-06,8.812082e-06,9.225084e-06,9.525773e-06,9.578560e-06,9.878005e-06,1.008680e-05,1.012848e-05,1.033466e-05,1.047059e-05,1.050081e-05,1.063086e-05,1.070957e-05,1.072841e-05,1.079673e-05,1.083096e-05,1.083882e-05,1.085741e-05,1.085752e-05,1.085500e-05,1.083387e-05,1.080823e-05,1.079608e-05,1.074350e-05,1.069883e-05,1.067786e-05,1.060071e-05,1.054240e-05,1.051346e-05,1.041739e-05,1.034972e-05,1.031367e-05,1.020334e-05,1.012971e-05,1.008737e-05,9.966612e-06,9.889684e-06,9.841848e-06,9.713784e-06,9.635627e-06,9.583053e-06,9.450228e-06,9.372435e-06,9.315824e-06,9.180304e-06,9.104082e-06,9.044083e-06,8.907532e-06,8.833776e-06,8.770983e-06,8.634733e-06,8.564090e-06,8.499046e-06,8.364156e-06,8.297075e-06,8.230268e-06,8.097568e-06,8.034341e-06,7.966214e-06,7.836346e-06,7.777141e-06,7.708088e-06,7.581544e-06,7.526431e-06,7.456805e-06,7.333947e-06,7.282924e-06,7.213036e-06,7.094124e-06,7.047130e-06,6.977256e-06,6.862466e-06,6.819396e-06,6.749780e-06,6.639218e-06,6.599938e-06,6.530792e-06,6.424510e-06,6.388862e-06,6.320372e-06,6.218377e-06,6.186190e-06,6.118517e-06,6.020780e-06,5.991871e-06,5.925153e-06,5.831619e-06,5.805802e-06,5.740158e-06,5.650748e-06,5.627835e-06,5.563365e-06,5.477984e-06,5.457787e-06,5.394577e-06,5.313117e-06,5.295454e-06,5.233575e-06,5.155919e-06,5.140612e-06,5.080120e-06,5.006147e-06,4.993023e-06,4.933966e-06,4.863546e-06,4.852440e-06,4.794855e-06,4.727860e-06,4.718614e-06,4.662529e-06,4.598828e-06,4.591292e-06,4.536725e-06,4.476189e-06,4.470220e-06,4.417186e-06,4.359685e-06,4.355148e-06,4.303653e-06,4.249061e-06,4.245831e-06,4.195876e-06,4.144069e-06,4.142025e-06,4.093608e-06,4.044464e-06,4.043494e-06,3.996607e-06,3.950009e-06,3.861347e-06,3.777291e-06,3.697632e-06,3.622170e-06,3.550711e-06,3.483069e-06,3.419064e-06,3.358524e-06,3.301286e-06,3.247191e-06,3.196088e-06,3.147833e-06,3.102288e-06,3.059320e-06,3.018803e-06,2.980617e-06,2.944646e-06,2.910780e-06,2.878915e-06,2.848949e-06,2.820788e-06,2.794341e-06,2.769519e-06,2.746241e-06,2.724428e-06,2.704003e-06,2.684895e-06,2.667036e-06,2.650360e-06,2.634805e-06,2.620312e-06,2.606824e-06,2.594288e-06,2.582653e-06,2.571869e-06,2.561891e-06,2.552674e-06,2.544176e-06,2.536358e-06,2.529180e-06,2.522608e-06,2.516606e-06,2.511142e-06,2.506185e-06,2.501704e-06,2.497673e-06,2.494064e-06,2.490852e-06,2.488013e-06
0.000000e+00,4.285771e-09,1.018660e-07,1.070432e-07,7.166298e-07,1.903430e-06,1.957897e-06,3.311666e-06,4.512269e-06,4.585912e-06,5.759839e-06,6.752996e-06,6.835554e-06,7.818105e-06,8.627172e-06,8.712847e-06,9.525076e-06,1.017569e-05,1.025996e-05,1.092251e-05,1.143813e-05,1.151755e-05,1.204972e-05,1.245139e-05,1.252343e-05,1.294287e-05,1.324907e-05,1.331196e-05,1.363441e-05,1.386113e-05,1.391369e-05,1.415305e-05,1.431400e-05,1.435553e-05,1.452398e-05,1.463087e-05,1.466104e-05,1.476920e-05,1.483198e-05,1.485075e-05,1.490786e-05,1.493497e-05,1.494252e-05,1.495661e-05,1.495516e-05,1.495185e-05,1.492988e-05,1.490587e-05,1.489218e-05,1.484016e-05,1.479862e-05,1.477512e-05,1.469826e-05,1.464340e-05,1.461071e-05,1.451351e-05,1.444882e-05,1.440761e-05,1.429392e-05,1.422231e-05,1.417327e-05,1.404641e-05,1.397028e-05,1.391408e-05,1.377692e-05,1.369823e-05,1.363554e-05,1.349051e-05,1.341086e-05,1.334235e-05,1.319154e-05,1.311221e-05,1.303851e-05,1.288369e-05,1.280572e-05,1.272744e-05,1.257011e-05,1.249431e-05,1.241203e-05,1.225347e-05,1.218045e-05,1.209471e-05,1.193600e-05,1.186624e-05,1.177756e-05,1.161959e-05,1.155343e-05,1.146228e-05,1.130580e-05,1.124348e-05,1.115031e-05,1.099594e-05,1.093760e-05,1.084282e-05,1.069107e-05,1.063680e-05,1.054079e-05,1.039206e-05,1.034187e-05,1.024498e-05,1.009961e-05,1.005346e-05,9.956019e-06,9.814261e-06,9.772099e-06,9.674387e-06,9.536437e-06,9.498162e-06,9.400449e-06,9.266452e-06,9.231942e-06,9.134471e-06,9.004527e-06,8.973645e-06,8.876634e-06,8.750805e-06,8.723401e-06,8.627047e-06,8.505364e-06,8.481277e-06,8.385758e-06,8.268225e-06,8.247290e-06,8.152763e-06,8.039363e-06,8.021410e-06,7.928016e-06,7.818712e-06,7.803571e-06,7.711436e-06,7.606174e-06,7.593678e-06,7.502911e-06,7.401627e-06,7.391607e-06,7.302306e-06,7.204925e-06,7.197218e-06,7.109465e-06,7.015904e-06,7.010350e-06,6.924219e-06,6.834387e-06,6.830832e-06,6.746384e-06,6.660186e-06,6.658480e-06,6.575768e-06,6.493106e-06,6.334515e-06,6.182508e-06,6.036885e-06,5.897442e-06,5.763980e-06,5.636299e-06,5.514200e-06,5.397490e-06,5.285977e-06,5.179474e-06,5.077797e-06,4.980766e-06,4.888207e-06,4.799949e-06,4.715826e-06,4.635679e-06,4.559351e-06,4.486692e-06,4.417555e-06,4.351800e-06,4.289289e-06,4.229890e-06,4.173477e-06,4.119926e-06,4.069118e-06,4.020940e-06,3.975280e-06,3.932033e-06,3.891095e-06,3.852370e-06,3.815761e-06,3.781178e-06,3.748532e-06,3.717740e-06,3.688718e-06,3.661391e-06,3.635681e-06,3.611517e-06,3.588829e-06,3.567551e-06,3.547619e-06,3.528970e-06,3.511545e-06,3.495287e-06,3.480143e-06,3.466059e-06,3.452984e-06,3.440871e-06,3.429673e-06
0.000000e+00,8.166556e-13,1.672282e-10,1.808839e-10,4.443417e-09,4.245028e-08,4.611827e-08,2.947082e-07,1.236365e-06,1.343460e-06,4.719903e-06,1.245524e-05,1.345310e-05,3.233977e-05,6.316574e-05,6.762786e-05,1.261583e-04,2.019586e-04,2.142733e-04,3.368366e-04,4.719462e-04,4.965895e-04,6.939037e-04,8.873535e-04,9.268925e-04,1.191768e-03,1.429147e-03,1.483335e-03,1.795522e-03,2.055785e-03,2.121879e-03,2.455997e-03,2.718094e-03,2.791839e-03,3.123961e-03,3.370955e-03,3.447648e-03,3.758978e-03,3.979542e-03,4.054829e-03,4.332835e-03,4.520986e-03,4.591324e-03,4.829235e-03,4.983223e-03,5.046030e-03,5.241608e-03,5.362595e-03,5.416216e-03,5.570380e-03,5.661278e-03,5.704832e-03,5.820458e-03,5.885031e-03,5.918245e-03,5.999244e-03,6.041507e-03,6.064537e-03,6.115214e-03,6.139052e-03,6.152348e-03,6.176989e-03,6.185956e-03,6.190147e-03,6.192787e-03,6.190016e-03,6.185826e-03,6.170126e-03,6.158300e-03,6.146495e-03,6.115692e-03,6.097077e-03,6.078424e-03,6.035348e-03,6.011824e-03,5.987074e-03,5.934165e-03,5.907276e-03,5.877140e-03,5.816479e-03,5.787478e-03,5.752625e-03,5.685983e-03,5.655875e-03,5.616927e-03,5.545801e-03,5.515387e-03,5.472919e-03,5.398569e-03,5.368478e-03,5.323014e-03,5.246497e-03,5.217215e-03,5.169238e-03,5.091437e-03,5.063332e-03,5.013279e-03,4.934930e-03,4.908275e-03,4.856542e-03,4.778253e-03,4.753242e-03,4.700187e-03,4.622458e-03,4.599221e-03,4.545168e-03,4.468409e-03,4.447023e-03,4.392263e-03,4.316805e-03,4.297307e-03,4.242100e-03,4.168208e-03,4.150600e-03,4.095180e-03,4.023062e-03,4.007323e-03,3.951896e-03,3.881715e-03,3.867800e-03,3.812551e-03,3.744430e-03,3.732280e-03,3.677373e-03,3.611398e-03,3.600944e-03,3.546522e-03,3.482755e-03,3.473917e-03,3.420106e-03,3.358582e-03,3.351275e-03,3.298187e-03,3.238923e-03,3.233059e-03,3.180789e-03,3.123784e-03,3.119273e-03,3.067905e-03,3.013146e-03,3.009896e-03,2.959501e-03,2.906963e-03,2.904884e-03,2.855523e-03,2.805173e-03,2.804177e-03,2.755901e-03,2.707696e-03,2.615355e-03,2.527054e-03,2.442690e-03,2.362153e-03,2.285329e-03,2.212102e-03,2.142355e-03,2.075970e-03,2.012829e-03,1.952817e-03,1.895816e-03,1.841715e-03,1.790401e-03,1.741765e-03,1.695702e-03,1.652107e-03,1.610880e-03,1.571924e-03,1.535143e-03,1.500446e-03,1.467744e-03,1.436950e-03,1.407983e-03,1.380763e-03,1.355212e-03,1.331255e-03,1.308823e-03,1.287845e-03,1.268255e-03,1.249991e-03,1.232989e-03,1.217192e-03,1.202543e-03,1.188987e-03,1.176472e-03,1.164948e-03,1.154366e-03,1.144681e-03,1.135847e-03,1.127823e-03,1.120566e-03,1.114038e-03,1.108201e-03,1.103019e-03,1.098457e-03,1.094482e-03,1.091062e-03,1.088165e-03,1.085764e-03
0.000000e+00,4.129328e-09,1.079852e-07,1.135252e-07,9.097376e-07,3.681866e-06,3.862899e-06,1.026927e-05,1.860335e-05,1.916087e-05,2.820317e-05,3.564449e-05,3.624403e-05,4.310587e-05,4.834123e-05,4.887212e-05,5.366885e-05,5.718525e-05,5.761818e-05,6.082998e-05,6.307660e-05,6.340134e-05,6.541763e-05,6.673749e-05,6.695383e-05,6.807572e-05,6.872715e-05,6.884090e-05,6.929979e-05,6.947616e-05,6.949642e-05,6.946919e-05,6.931423e-05,6.925156e-05,6.887266e-05,6.849252e-05,6.835777e-05,6.772885e-05,6.720133e-05,6.700494e-05,6.620255e-05,6.558432e-05,6.533594e-05,6.441746e-05,6.374943e-05,6.345777e-05,6.246604e-05,6.177744e-05,6.145018e-05,6.041696e-05,5.972839e-05,5.937222e-05,5.832099e-05,5.764681e-05,5.726756e-05,5.621556e-05,5.556542e-05,5.516809e-05,5.412778e-05,5.350796e-05,5.309684e-05,5.207714e-05,5.149147e-05,5.107020e-05,5.007732e-05,4.952783e-05,4.909952e-05,4.813767e-05,4.762514e-05,4.719242e-05,4.626431e-05,4.578861e-05,4.535374e-05,4.446098e-05,4.402133e-05,4.358620e-05,4.272948e-05,4.232469e-05,4.189088e-05,4.107035e-05,4.069895e-05,4.026781e-05,3.948313e-05,3.914349e-05,3.871616e-05,3.796671e-05,3.765711e-05,3.723455e-05,3.651947e-05,3.623816e-05,3.582120e-05,3.513948e-05,3.488471e-05,3.447404e-05,3.382458e-05,3.359463e-05,3.319082e-05,3.257246e-05,3.236567e-05,3.196919e-05,3.138073e-05,3.119549e-05,3.080676e-05,3.024699e-05,3.008178e-05,2.970111e-05,2.916884e-05,2.902220e-05,2.864987e-05,2.814391e-05,2.801445e-05,2.765067e-05,2.716986e-05,2.705628e-05,2.670120e-05,2.624443e-05,2.614550e-05,2.579925e-05,2.536541e-05,2.527998e-05,2.494264e-05,2.453068e-05,2.445766e-05,2.412929e-05,2.373820e-05,2.367657e-05,2.335718e-05,2.298599e-05,2.293479e-05,2.262439e-05,2.227215e-05,2.223050e-05,2.192906e-05,2.159488e-05,2.156195e-05,2.126941e-05,2.095244e-05,2.092744e-05,2.064376e-05,2.034316e-05,2.032538e-05,2.005046e-05,1.976546e-05,1.975422e-05,1.948797e-05,1.921781e-05,1.921248e-05,1.895481e-05,1.869877e-05,1.821175e-05,1.775011e-05,1.731266e-05,1.689821e-05,1.650566e-05,1.613393e-05,1.578203e-05,1.544898e-05,1.513386e-05,1.483579e-05,1.455395e-05,1.428752e-05,1.403576e-05,1.379793e-05,1.357335e-05,1.336136e-05,1.316133e-05,1.297268e-05,1.279482e-05,1.262722e-05,1.246937e-05,1.232077e-05,1.218096e-05,1.204948e-05,1.192593e-05,1.180989e-05,1.170098e-05,1.159884e-05,1.150311e-05,1.141347e-05,1.132961e-05,1.125121e-05,1.117800e-05,1.110970e-05,1.104606e-05,1.098683e-05,1.093178e-05,1.088068e-05,1.083332e-05,1.078951e-05,1.074905e-05,1.071175e-05,1.067745e-05,1.064598e-05,1.061719e-05,1.059092e-05,1.056704e-05,1.054541e-05,1.052590e-05
0.000000e+00,3.641441e-12,7.012579e-10,7.579698e-10,1.827390e-08,1.724512e-07,1.871897e-07,1.153730e-06,4.562090e-06,4.935022e-06,1.592724e-05,3.839939e-05,4.113550e-05,8.891499e-05,1.573760e-04,1.666507e-04,2.786231e-04,4.057108e-04,4.250015e-04,6.020855e-04,7.740206e-04,8.033667e-04,1.020874e-03,1.210096e-03,1.246394e-03,1.472370e-03,1.653501e-03,1.692436e-03,1.901644e-03,2.058771e-03,2.096456e-03,2.274602e-03,2.401175e-03,2.434871e-03,2.576885e-03,2.672738e-03,2.700886e-03,2.807548e-03,2.875871e-03,2.897830e-03,2.972858e-03,3.018108e-03,3.033836e-03,3.081988e-03,3.108707e-03,3.118514e-03,3.144563e-03,3.156847e-03,3.161216e-03,3.169480e-03,3.170792e-03,3.170282e-03,3.164469e-03,3.157637e-03,3.152814e-03,3.136018e-03,3.123304e-03,3.114715e-03,3.089477e-03,3.072663e-03,3.060820e-03,3.029207e-03,3.009683e-03,2.995055e-03,2.958739e-03,2.937582e-03,2.920593e-03,2.880918e-03,2.858955e-03,2.839984e-03,2.798031e-03,2.775885e-03,2.755274e-03,2.711904e-03,2.690043e-03,2.668092e-03,2.623990e-03,2.602758e-03,2.579732e-03,2.535439e-03,2.515082e-03,2.491216e-03,2.447156e-03,2.427843e-03,2.403342e-03,2.359845e-03,2.341686e-03,2.316729e-03,2.274048e-03,2.257109e-03,2.231851e-03,2.190179e-03,2.174488e-03,2.149066e-03,2.108543e-03,2.094104e-03,2.068635e-03,2.029364e-03,2.016160e-03,1.990746e-03,1.952795e-03,1.940794e-03,1.915523e-03,1.878937e-03,1.868096e-03,1.843043e-03,1.807845e-03,1.798115e-03,1.773345e-03,1.739542e-03,1.730867e-03,1.706435e-03,1.674022e-03,1.666345e-03,1.642297e-03,1.611257e-03,1.604520e-03,1.580896e-03,1.551205e-03,1.545347e-03,1.522180e-03,1.493810e-03,1.488773e-03,1.466089e-03,1.439007e-03,1.434732e-03,1.412554e-03,1.386722e-03,1.383154e-03,1.361500e-03,1.336878e-03,1.333963e-03,1.312847e-03,1.289396e-03,1.287082e-03,1.266514e-03,1.244192e-03,1.242430e-03,1.222419e-03,1.201184e-03,1.199927e-03,1.180477e-03,1.160289e-03,1.159492e-03,1.140607e-03,1.121423e-03,1.121044e-03,1.102726e-03,1.084506e-03,1.049798e-03,1.016845e-03,9.855745e-04,9.559134e-04,9.277926e-04,9.011450e-04,8.759056e-04,8.520118e-04,8.294034e-04,8.080225e-04,7.878134e-04,7.687225e-04,7.506985e-04,7.336921e-04,7.176560e-04,7.025450e-04,6.883157e-04,6.749264e-04,6.623374e-04,6.505105e-04,6.394093e-04,6.289989e-04,6.192458e-04,6.101182e-04,6.015853e-04,5.936180e-04,5.861882e-04,5.792694e-04,5.728357e-04,5.668629e-04,5.613275e-04,5.562071e-04,5.514805e-04,5.471271e-04,5.431276e-04,5.394631e-04,5.361160e-04,5.330692e-04,5.303064e-04,5.278121e-04,5.255716e-04,5.235705e-04,5.217955e-04,5.202337e-04,5.188726e-04,5.177006e-04,5.167064e-04,5.158794e-04,5.152094e-04
0.000000e+00,3.340167e-09,7.394346e-08,7.770166e-08,5.541113e-07,1.685238e-06,1.742480e-06,3.246363e-06,4.662454e-06,4.751250e-06,6.196386e-06,7.465323e-06,7.572893e-06,8.880443e-06,9.999322e-06,1.012031e-05,1.129411e-05,1.227379e-05,1.240359e-05,1.345058e-05,1.430248e-05,1.443701e-05,1.536489e-05,1.610056e-05,1.623627e-05,1.705325e-05,1.768405e-05,1.781793e-05,1.853239e-05,1.906919e-05,1.919869e-05,1.981884e-05,2.027179e-05,2.039481e-05,2.092850e-05,2.130698e-05,2.142178e-05,2.187644e-05,2.218904e-05,2.229421e-05,2.267678e-05,2.293134e-05,2.302577e-05,2.334272e-05,2.354635e-05,2.362916e-05,2.388652e-05,2.404563e-05,2.411620e-05,2.431954e-05,2.443994e-05,2.449783e-05,2.465230e-05,2.473921e-05,2.478414e-05,2.489451e-05,2.495263e-05,2.498448e-05,2.505512e-05,2.508865e-05,2.510744e-05,2.514241e-05,2.515511e-05,2.516095e-05,2.516396e-05,2.515917e-05,2.515228e-05,2.512675e-05,2.510747e-05,2.508814e-05,2.503720e-05,2.500608e-05,2.497466e-05,2.490119e-05,2.486057e-05,2.481747e-05,2.472412e-05,2.467607e-05,2.462174e-05,2.451091e-05,2.445725e-05,2.439219e-05,2.426609e-05,2.420841e-05,2.413313e-05,2.399378e-05,2.393346e-05,2.384850e-05,2.369773e-05,2.363598e-05,2.354190e-05,2.338139e-05,2.331925e-05,2.321659e-05,2.304787e-05,2.298624e-05,2.287557e-05,2.270002e-05,2.263965e-05,2.252153e-05,2.234041e-05,2.228194e-05,2.215693e-05,2.197138e-05,2.191534e-05,2.178400e-05,2.159504e-05,2.154188e-05,2.140473e-05,2.121330e-05,2.116337e-05,2.102096e-05,2.082790e-05,2.078148e-05,2.063431e-05,2.044037e-05,2.039768e-05,2.024625e-05,2.005212e-05,2.001330e-05,1.985811e-05,1.966438e-05,1.962955e-05,1.947105e-05,1.927827e-05,1.924748e-05,1.908613e-05,1.889477e-05,1.886805e-05,1.870428e-05,1.851477e-05,1.849210e-05,1.832633e-05,1.813904e-05,1.812038e-05,1.795299e-05,1.776826e-05,1.775354e-05,1.758491e-05,1.740302e-05,1.739216e-05,1.722265e-05,1.704385e-05,1.703673e-05,1.686668e-05,1.669118e-05,1.668769e-05,1.651741e-05,1.634541e-05,1.601019e-05,1.568229e-05,1.536192e-05,1.504925e-05,1.474442e-05,1.444752e-05,1.415861e-05,1.387772e-05,1.360488e-05,1.334007e-05,1.308325e-05,1.283437e-05,1.259336e-05,1.236014e-05,1.213461e-05,1.191668e-05,1.170621e-05,1.150309e-05,1.130719e-05,1.111836e-05,1.093647e-05,1.076137e-05,1.059290e-05,1.043091e-05,1.027525e-05,1.012577e-05,9.982292e-06,9.844670e-06,9.712745e-06,9.586358e-06,9.465352e-06,9.349572e-06,9.238862e-06,9.133071e-06,9.032046e-06,8.935640e-06,8.843705e-06,8.756097e-06,8.672673e-06,8.593295e-06,8.517827e-06,8.446132e-06,8.378082e-06,8.313547e-06,8.252401e-06,8.194523e-06,8.139793e-06,8.088093e-06,8.039311e-06
0.000000e+00,7.033442e-10,6.744471e-08,7.225412e-08,1.175526e-06,6.904291e-06,7.321106e-06,2.303575e-05,4.415898e-05,4.558574e-05,6.912317e-05,8.923255e-05,9.088889e-05,1.103196e-04,1.258672e-04,1.274873e-04,1.425799e-04,1.542985e-04,1.557906e-04,1.672997e-04,1.759631e-04,1.772726e-04,1.858608e-04,1.921061e-04,1.932023e-04,1.994232e-04,2.037690e-04,2.046383e-04,2.089517e-04,2.118171e-04,2.124580e-04,2.152427e-04,2.169636e-04,2.173828e-04,2.189483e-04,2.197926e-04,2.200019e-04,2.206002e-04,2.207801e-04,2.207943e-04,2.206303e-04,2.203137e-04,2.201492e-04,2.193885e-04,2.187076e-04,2.183814e-04,2.171581e-04,2.162166e-04,2.157455e-04,2.141678e-04,2.130467e-04,2.124467e-04,2.106018e-04,2.093642e-04,2.086505e-04,2.066084e-04,2.053030e-04,2.044897e-04,2.023068e-04,2.009710e-04,2.000709e-04,1.977922e-04,1.964544e-04,1.954794e-04,1.931407e-04,1.918224e-04,1.907832e-04,1.884131e-04,1.871300e-04,1.860361e-04,1.836572e-04,1.824209e-04,1.812808e-04,1.789108e-04,1.777294e-04,1.765508e-04,1.742037e-04,1.730825e-04,1.718722e-04,1.695587e-04,1.685011e-04,1.672652e-04,1.649935e-04,1.640013e-04,1.627451e-04,1.605214e-04,1.595951e-04,1.583235e-04,1.561523e-04,1.552915e-04,1.540086e-04,1.518931e-04,1.510968e-04,1.498064e-04,1.477488e-04,1.470153e-04,1.457208e-04,1.437225e-04,1.430499e-04,1.417541e-04,1.398157e-04,1.392017e-04,1.379073e-04,1.360289e-04,1.354713e-04,1.341805e-04,1.323620e-04,1.318581e-04,1.305731e-04,1.288137e-04,1.283610e-04,1.270835e-04,1.253825e-04,1.249785e-04,1.237102e-04,1.220664e-04,1.217085e-04,1.204508e-04,1.188631e-04,1.185488e-04,1.173029e-04,1.157700e-04,1.154969e-04,1.142640e-04,1.127845e-04,1.125502e-04,1.113312e-04,1.099037e-04,1.097059e-04,1.085017e-04,1.071248e-04,1.069613e-04,1.057727e-04,1.044448e-04,1.043134e-04,1.031410e-04,1.018608e-04,1.017594e-04,1.006039e-04,9.936985e-05,9.929653e-05,9.815835e-05,9.696903e-05,9.692191e-05,9.580153e-05,9.465549e-05,9.463278e-05,9.353056e-05,9.242640e-05,9.030009e-05,8.825122e-05,8.627724e-05,8.437565e-05,8.254401e-05,8.077998e-05,7.908124e-05,7.744559e-05,7.587085e-05,7.435493e-05,7.289581e-05,7.149152e-05,7.014016e-05,6.883989e-05,6.758893e-05,6.638557e-05,6.522813e-05,6.411500e-05,6.304464e-05,6.201553e-05,6.102623e-05,6.007532e-05,5.916146e-05,5.828333e-05,5.743967e-05,5.662924e-05,5.585088e-05,5.510343e-05,5.438579e-05,5.369691e-05,5.303575e-05,5.240132e-05,5.179266e-05,5.120884e-05,5.064897e-05,5.011219e-05,4.959765e-05,4.910457e-05,4.863215e-05,4.817965e-05,4.774633e-05,4.733152e-05,4.693452e-05,4.655468e-05,4.619137e-05,4.584400e-05,4.551197e-05,4.519471e-05,4.489169e-05
0.000000e+00,5.461515e-13,1.287068e-10,1.396703e-10,4.016832e-09,4.281036e-08,4.666513e-08,3.150394e-07,1.339967e-06,1.456118e-06,5.078745e-06,1.323667e-05,1.428201e-05,3.397321e-05,6.615873e-05,7.084087e-05,1.329959e-04,2.157058e-04,2.293827e-04,3.690858e-04,5.304130e-04,5.606443e-04,8.114552e-04,1.072221e-03,1.127314e-03,1.512111e-03,1.880443e-03,1.967687e-03,2.493823e-03,2.964140e-03,3.088352e-03,3.747350e-03,4.302677e-03,4.465390e-03,5.235835e-03,5.851800e-03,6.051133e-03,6.903118e-03,7.552210e-03,7.783284e-03,8.683040e-03,9.338232e-03,9.593922e-03,1.050778e-02,1.114511e-02,1.141692e-02,1.231421e-02,1.291428e-02,1.319320e-02,1.404811e-02,1.459668e-02,1.487390e-02,1.566625e-02,1.615411e-02,1.642156e-02,1.713693e-02,1.755937e-02,1.781008e-02,1.843938e-02,1.879542e-02,1.902371e-02,1.956249e-02,1.985404e-02,2.005557e-02,2.050317e-02,2.073418e-02,2.090590e-02,2.126463e-02,2.144043e-02,2.158047e-02,2.185474e-02,2.198142e-02,2.208893e-02,2.228465e-02,2.236860e-02,2.244358e-02,2.256750e-02,2.261506e-02,2.265819e-02,2.271749e-02,2.273473e-02,2.274721e-02,2.274916e-02,2.274168e-02,2.272511e-02,2.267681e-02,2.264970e-02,2.260594e-02,2.251414e-02,2.247192e-02,2.240299e-02,2.227400e-02,2.222061e-02,2.212863e-02,2.196824e-02,2.190708e-02,2.179416e-02,2.160765e-02,2.154161e-02,2.140987e-02,2.120194e-02,2.113344e-02,2.098493e-02,2.075981e-02,2.069084e-02,2.052753e-02,2.028895e-02,2.022113e-02,2.004489e-02,1.979612e-02,1.973076e-02,1.954336e-02,1.928727e-02,1.922538e-02,1.902848e-02,1.876756e-02,1.870993e-02,1.850505e-02,1.824146e-02,1.818866e-02,1.797725e-02,1.771284e-02,1.766526e-02,1.744864e-02,1.718501e-02,1.714291e-02,1.692229e-02,1.666079e-02,1.662429e-02,1.640079e-02,1.614257e-02,1.611171e-02,1.588636e-02,1.563237e-02,1.560711e-02,1.538082e-02,1.513188e-02,1.511208e-02,1.488571e-02,1.464247e-02,1.462797e-02,1.440229e-02,1.416529e-02,1.415587e-02,1.393157e-02,1.370124e-02,1.369666e-02,1.347436e-02,1.325103e-02,1.281949e-02,1.240244e-02,1.200014e-02,1.161273e-02,1.124029e-02,1.088278e-02,1.054013e-02,1.021219e-02,9.898764e-03,9.599620e-03,9.314491e-03,9.043081e-03,8.785071e-03,8.540125e-03,8.307891e-03,8.088007e-03,7.880102e-03,7.683802e-03,7.498729e-03,7.324507e-03,7.160761e-03,7.007117e-03,6.863204e-03,6.728656e-03,6.603113e-03,6.486219e-03,6.377625e-03,6.276989e-03,6.183979e-03,6.098269e-03,6.019540e-03,5.947482e-03,5.881793e-03,5.822176e-03,5.768346e-03,5.720021e-03,5.676931e-03,5.638811e-03,5.605406e-03,5.576467e-03,5.551754e-03,5.531032e-03,5.514075e-03,5.500664e-03,5.490586e-03,5.483634e-03,5.479611e-03,5.478322e-03,5.479583e-03
0.000000e+00,2.485493e-09,3.347752e-08,3.495914e-08,2.198600e-07,7.766024e-07,8.110830e-07,1.952811e-06,3.318377e-06,3.408554e-06,4.904657e-06,6.233050e-06,6.345611e-06,7.709948e-06,8.869519e-06,8.994384e-06,1.020000e-05,1.119750e-05,1.132902e-05,1.238404e-05,1.323427e-05,1.336781e-05,1.428314e-05,1.500123e-05,1.513290e-05,1.591995e-05,1.652054e-05,1.664714e-05,1.731727e-05,1.781413e-05,1.793307e-05,1.849722e-05,1.890306e-05,1.901230e-05,1.948080e-05,1.980719e-05,1.990513e-05,2.028760e-05,2.054498e-05,2.063043e-05,2.093574e-05,2.113349e-05,2.120558e-05,2.144188e-05,2.158835e-05,2.164652e-05,2.182129e-05,2.192393e-05,2.196787e-05,2.208792e-05,2.215337e-05,2.218298e-05,2.225454e-05,2.228867e-05,2.230403e-05,2.233280e-05,2.234080e-05,2.234214e-05,2.233328e-05,2.231971e-05,2.230738e-05,2.226555e-05,2.223441e-05,2.220885e-05,2.213829e-05,2.209309e-05,2.205484e-05,2.195942e-05,2.190321e-05,2.185287e-05,2.173602e-05,2.167145e-05,2.160966e-05,2.147452e-05,2.140389e-05,2.133132e-05,2.118072e-05,2.110599e-05,2.102335e-05,2.085982e-05,2.078268e-05,2.069069e-05,2.051649e-05,2.043837e-05,2.033773e-05,2.015490e-05,2.007701e-05,1.996845e-05,1.977881e-05,1.970216e-05,1.958640e-05,1.939159e-05,1.931701e-05,1.919475e-05,1.899621e-05,1.892438e-05,1.879630e-05,1.859533e-05,1.852680e-05,1.839357e-05,1.819129e-05,1.812650e-05,1.798876e-05,1.778619e-05,1.772545e-05,1.758382e-05,1.738185e-05,1.732540e-05,1.718048e-05,1.697989e-05,1.692788e-05,1.678024e-05,1.658169e-05,1.653422e-05,1.638439e-05,1.618848e-05,1.614557e-05,1.599407e-05,1.580130e-05,1.576295e-05,1.561026e-05,1.542106e-05,1.538720e-05,1.523378e-05,1.504851e-05,1.501906e-05,1.486534e-05,1.468431e-05,1.465915e-05,1.450551e-05,1.432899e-05,1.430796e-05,1.415479e-05,1.398297e-05,1.396592e-05,1.381356e-05,1.364660e-05,1.363335e-05,1.348213e-05,1.332016e-05,1.331052e-05,1.316072e-05,1.300383e-05,1.299761e-05,1.284951e-05,1.269776e-05,1.269475e-05,1.254859e-05,1.240201e-05,1.211943e-05,1.184698e-05,1.158463e-05,1.133228e-05,1.108983e-05,1.085714e-05,1.063406e-05,1.042041e-05,1.021600e-05,1.002063e-05,9.834086e-06,9.656150e-06,9.486592e-06,9.325176e-06,9.171666e-06,9.025821e-06,8.887399e-06,8.756158e-06,8.631857e-06,8.514254e-06,8.403111e-06,8.298192e-06,8.199262e-06,8.106092e-06,8.018457e-06,7.936133e-06,7.858905e-06,7.786558e-06,7.718886e-06,7.655685e-06,7.596759e-06,7.541914e-06,7.490964e-06,7.443728e-06,7.400028e-06,7.359695e-06,7.322564e-06,7.288474e-06,7.257270e-06,7.228804e-06,7.202932e-06,7.179514e-06,7.158417e-06,7.139512e-06,7.122675e-06,7.107787e-06,7.094733e-06,7.083404e-06,7.073695e-06
0.000000e+00,1.311516e-10,1.813745e-08,1.948389e-08,3.552656e-07,2.656166e-06,2.856312e-06,1.394642e-05,4.401071e-05,4.690901e-05,1.174330e-04,2.223923e-04,2.332804e-04,3.893367e-04,5.532300e-04,5.723182e-04,7.681005e-04,9.423098e-04,9.658949e-04,1.158973e-03,1.318458e-03,1.343751e-03,1.518596e-03,1.657363e-03,1.682950e-03,1.836790e-03,1.955251e-03,1.980347e-03,2.113964e-03,2.213963e-03,2.238032e-03,2.352954e-03,2.436508e-03,2.459140e-03,2.556992e-03,2.626030e-03,2.646906e-03,2.729266e-03,2.785568e-03,2.804444e-03,2.872801e-03,2.917989e-03,2.934682e-03,2.990423e-03,3.025960e-03,3.040343e-03,3.084751e-03,3.111950e-03,3.123940e-03,3.158193e-03,3.178228e-03,3.187781e-03,3.212962e-03,3.226879e-03,3.233983e-03,3.251081e-03,3.259810e-03,3.264481e-03,3.274399e-03,3.278764e-03,3.281040e-03,3.284602e-03,3.285331e-03,3.285271e-03,3.283226e-03,3.280960e-03,3.278638e-03,3.271668e-03,3.266969e-03,3.262472e-03,3.251196e-03,3.244558e-03,3.237981e-03,3.222960e-03,3.214812e-03,3.206260e-03,3.188001e-03,3.178717e-03,3.168299e-03,3.147262e-03,3.137166e-03,3.124995e-03,3.101595e-03,3.090964e-03,3.077155e-03,3.051766e-03,3.040839e-03,3.025509e-03,2.998466e-03,2.987446e-03,2.970712e-03,2.942319e-03,2.931376e-03,2.913353e-03,2.883880e-03,2.873157e-03,2.853959e-03,2.823649e-03,2.813265e-03,2.793003e-03,2.762073e-03,2.752123e-03,2.730907e-03,2.699550e-03,2.690112e-03,2.668045e-03,2.636433e-03,2.627568e-03,2.604752e-03,2.573037e-03,2.564790e-03,2.541323e-03,2.509640e-03,2.502044e-03,2.478018e-03,2.446485e-03,2.439563e-03,2.415067e-03,2.383789e-03,2.377552e-03,2.352672e-03,2.321738e-03,2.316190e-03,2.291006e-03,2.260495e-03,2.255635e-03,2.230222e-03,2.200202e-03,2.196021e-03,2.170450e-03,2.140980e-03,2.137463e-03,2.111803e-03,2.082931e-03,2.080061e-03,2.054375e-03,2.026143e-03,2.023899e-03,1.998244e-03,1.970687e-03,1.969044e-03,1.943477e-03,1.916622e-03,1.915555e-03,1.890126e-03,1.863995e-03,1.863476e-03,1.838233e-03,1.812843e-03,1.763683e-03,1.716014e-03,1.669848e-03,1.625188e-03,1.582036e-03,1.540384e-03,1.500223e-03,1.461540e-03,1.424317e-03,1.388534e-03,1.354169e-03,1.321198e-03,1.289593e-03,1.259328e-03,1.230373e-03,1.202698e-03,1.176272e-03,1.151064e-03,1.127042e-03,1.104174e-03,1.082426e-03,1.061768e-03,1.042166e-03,1.023589e-03,1.006003e-03,9.893779e-04,9.736817e-04,9.588834e-04,9.449523e-04,9.318583e-04,9.195717e-04,9.080634e-04,8.973048e-04,8.872678e-04,8.779250e-04,8.692494e-04,8.612147e-04,8.537952e-04,8.469658e-04,8.407019e-04,8.349795e-04,8.297755e-04,8.250669e-04,8.208316e-04,8.170480e-04,8.136952e-04,8.107526e-04,8.082004e-04,8.060192e-04
0.000000e+00,2.153895e-09,8.716818e-08,9.193600e-08,8.543055e-07,4.270365e-06,4.525035e-06,1.549208e-05,3.461051e-05,3.606083e-05,6.203050e-05,8.617366e-05,8.820922e-05,1.124343e-04,1.321598e-04,1.342291e-04,1.536211e-04,1.688195e-04,1.707637e-04,1.858345e-04,1.972714e-04,1.990077e-04,2.104477e-04,2.188299e-04,2.203072e-04,2.287278e-04,2.346513e-04,2.358406e-04,2.417667e-04,2.457287e-04,2.466181e-04,2.504978e-04,2.529108e-04,2.535008e-04,2.557143e-04,2.569181e-04,2.572184e-04,2.580861e-04,2.583581e-04,2.583844e-04,2.581743e-04,2.577397e-04,2.575115e-04,2.564465e-04,2.554867e-04,2.550257e-04,2.532906e-04,2.519509e-04,2.512795e-04,2.490265e-04,2.474227e-04,2.465635e-04,2.439187e-04,2.421425e-04,2.411177e-04,2.381839e-04,2.363074e-04,2.351380e-04,2.319990e-04,2.300781e-04,2.287840e-04,2.255083e-04,2.235860e-04,2.221855e-04,2.188283e-04,2.169373e-04,2.154475e-04,2.120533e-04,2.102180e-04,2.086544e-04,2.052589e-04,2.034969e-04,2.018738e-04,1.985052e-04,1.968289e-04,1.951588e-04,1.918395e-04,1.902572e-04,1.885516e-04,1.852989e-04,1.838153e-04,1.820845e-04,1.789114e-04,1.775290e-04,1.757820e-04,1.726985e-04,1.714175e-04,1.696625e-04,1.666755e-04,1.654947e-04,1.637388e-04,1.608533e-04,1.597704e-04,1.580197e-04,1.552387e-04,1.542505e-04,1.525106e-04,1.498357e-04,1.489383e-04,1.472140e-04,1.446455e-04,1.438348e-04,1.421302e-04,1.396677e-04,1.389392e-04,1.372577e-04,1.348999e-04,1.342490e-04,1.325938e-04,1.303388e-04,1.297608e-04,1.281344e-04,1.259801e-04,1.254704e-04,1.238750e-04,1.218185e-04,1.213726e-04,1.198100e-04,1.178487e-04,1.174620e-04,1.159337e-04,1.140644e-04,1.137328e-04,1.122400e-04,1.104596e-04,1.101788e-04,1.087225e-04,1.070278e-04,1.067939e-04,1.053747e-04,1.037625e-04,1.035718e-04,1.021903e-04,1.006573e-04,1.005061e-04,9.916271e-05,9.770574e-05,9.759078e-05,9.628559e-05,9.490149e-05,9.481958e-05,9.355266e-05,9.223834e-05,9.218647e-05,9.095777e-05,8.971020e-05,8.968558e-05,8.849490e-05,8.731115e-05,8.505763e-05,8.291963e-05,8.089193e-05,7.896952e-05,7.714755e-05,7.542138e-05,7.378654e-05,7.223874e-05,7.077388e-05,6.938802e-05,6.807740e-05,6.683841e-05,6.566760e-05,6.456168e-05,6.351750e-05,6.253207e-05,6.160250e-05,6.072606e-05,5.990014e-05,5.912224e-05,5.838998e-05,5.770109e-05,5.705341e-05,5.644487e-05,5.587351e-05,5.533746e-05,5.483492e-05,5.436419e-05,5.392365e-05,5.351176e-05,5.312703e-05,5.276806e-05,5.243353e-05,5.212215e-05,5.183270e-05,5.156404e-05,5.131506e-05,5.108472e-05,5.087202e-05,5.067600e-05,5.049577e-05,5.033046e-05,5.017926e-05,5.004137e-05,4.991607e-05,4.980265e-05,4.970043e-05,4.960878e-05,4.952708e-05
0.000000e+00,1.905437e-09,2.513929e-08,2.622656e-08,1.560519e-07,5.260842e-07,5.486467e-07,1.297585e-06,2.209225e-06,2.269273e-06,3.241496e-06,4.048479e-06,4.113979e-06,4.869954e-06,5.455876e-06,5.515812e-06,6.062505e-06,6.470408e-06,6.521143e-06,6.901943e-06,7.174229e-06,7.214121e-06,7.465936e-06,7.636227e-06,7.664756e-06,7.817141e-06,7.911563e-06,7.928929e-06,8.005304e-06,8.044016e-06,8.050866e-06,8.069687e-06,8.068139e-06,8.065374e-06,8.041108e-06,8.011064e-06,7.999701e-06,7.943630e-06,7.893990e-06,7.875076e-06,7.795960e-06,7.733410e-06,7.707967e-06,7.612578e-06,7.542109e-06,7.511094e-06,7.404652e-06,7.329952e-06,7.294247e-06,7.180749e-06,7.104520e-06,7.064919e-06,6.947418e-06,6.871610e-06,6.828821e-06,6.709628e-06,6.635620e-06,6.590270e-06,6.471120e-06,6.399866e-06,6.352500e-06,6.234685e-06,6.166815e-06,6.117910e-06,6.002375e-06,5.938281e-06,5.888249e-06,5.775673e-06,5.715569e-06,5.664765e-06,5.555621e-06,5.499590e-06,5.448319e-06,5.342922e-06,5.290954e-06,5.239479e-06,5.138024e-06,5.090040e-06,5.038584e-06,4.941174e-06,4.897050e-06,4.845803e-06,4.752472e-06,4.712051e-06,4.661174e-06,4.571902e-06,4.535008e-06,4.484639e-06,4.399368e-06,4.365813e-06,4.316068e-06,4.234713e-06,4.204304e-06,4.155279e-06,4.077735e-06,4.050277e-06,4.002053e-06,3.928201e-06,3.903503e-06,3.856147e-06,3.785859e-06,3.763734e-06,3.717302e-06,3.650444e-06,3.630712e-06,3.585249e-06,3.521684e-06,3.504174e-06,3.459715e-06,3.399307e-06,3.383852e-06,3.340426e-06,3.283040e-06,3.269485e-06,3.227113e-06,3.172614e-06,3.160813e-06,3.119510e-06,3.067768e-06,3.057581e-06,3.017358e-06,2.968247e-06,2.959543e-06,2.920405e-06,2.873802e-06,2.866458e-06,2.828408e-06,2.784195e-06,2.778097e-06,2.741133e-06,2.699195e-06,2.694237e-06,2.658354e-06,2.618583e-06,2.614663e-06,2.579854e-06,2.542144e-06,2.539171e-06,2.505427e-06,2.469678e-06,2.467563e-06,2.434873e-06,2.400989e-06,2.399652e-06,2.368003e-06,2.335892e-06,2.335258e-06,2.304635e-06,2.274210e-06,2.216343e-06,2.161502e-06,2.109537e-06,2.060307e-06,2.013676e-06,1.969515e-06,1.927702e-06,1.888121e-06,1.850659e-06,1.815212e-06,1.781678e-06,1.749963e-06,1.719975e-06,1.691626e-06,1.664836e-06,1.639526e-06,1.615621e-06,1.593050e-06,1.571746e-06,1.551645e-06,1.532686e-06,1.514811e-06,1.497964e-06,1.482095e-06,1.467152e-06,1.453088e-06,1.439859e-06,1.427422e-06,1.415735e-06,1.404761e-06,1.394463e-06,1.384805e-06,1.375755e-06,1.367280e-06,1.359352e-06,1.351941e-06,1.345020e-06,1.338564e-06,1.332548e-06,1.326948e-06,1.321744e-06,1.316913e-06,1.312436e-06,1.308293e-06,1.304468e-06,1.300942e-06,1.297699e-06,1.294724e-06,1.292002e-06
0.000000e+00,4.047852e-10,4.935383e-09,5.143621e-09,2.950344e-08,9.684053e-08,1.008743e-07,2.309271e-07,3.825779e-07,3.924717e-07,5.537549e-07,6.917162e-07,7.031591e-07,8.386222e-07,9.488566e-07,9.604473e-07,1.069446e-06,1.155467e-06,1.166516e-06,1.252543e-06,1.318342e-06,1.328375e-06,1.394814e-06,1.443917e-06,1.452615e-06,1.502486e-06,1.537926e-06,1.545086e-06,1.581032e-06,1.605383e-06,1.610895e-06,1.635204e-06,1.650628e-06,1.654451e-06,1.669090e-06,1.677391e-06,1.679538e-06,1.686184e-06,1.688866e-06,1.689385e-06,1.689470e-06,1.687773e-06,1.686742e-06,1.681480e-06,1.676427e-06,1.673941e-06,1.664361e-06,1.656794e-06,1.652960e-06,1.639938e-06,1.630545e-06,1.625477e-06,1.609747e-06,1.599085e-06,1.592901e-06,1.575081e-06,1.563600e-06,1.556415e-06,1.537022e-06,1.525083e-06,1.517011e-06,1.496480e-06,1.484370e-06,1.475520e-06,1.454212e-06,1.442156e-06,1.432631e-06,1.410846e-06,1.399019e-06,1.388919e-06,1.366904e-06,1.355440e-06,1.344854e-06,1.322815e-06,1.311812e-06,1.300826e-06,1.278927e-06,1.268456e-06,1.257149e-06,1.235524e-06,1.225635e-06,1.214078e-06,1.192834e-06,1.183557e-06,1.171815e-06,1.151038e-06,1.142388e-06,1.130520e-06,1.110276e-06,1.102257e-06,1.090317e-06,1.070654e-06,1.063262e-06,1.051297e-06,1.032253e-06,1.025475e-06,1.013528e-06,9.951274e-07,9.889458e-07,9.770550e-07,9.593138e-07,9.537070e-07,9.419059e-07,9.248325e-07,9.197758e-07,9.080941e-07,8.916905e-07,8.871573e-07,8.756208e-07,8.598838e-07,8.558464e-07,8.444775e-07,8.293997e-07,8.258297e-07,8.146478e-07,8.002187e-07,7.970872e-07,7.861090e-07,7.723151e-07,7.695939e-07,7.588332e-07,7.456592e-07,7.433202e-07,7.327888e-07,7.202177e-07,7.182338e-07,7.079413e-07,6.959550e-07,6.942998e-07,6.842540e-07,6.728334e-07,6.714816e-07,6.616885e-07,6.508142e-07,6.497415e-07,6.402057e-07,6.298579e-07,6.290412e-07,6.197660e-07,6.099248e-07,6.093422e-07,6.003295e-07,5.909751e-07,5.906059e-07,5.818567e-07,5.729694e-07,5.727939e-07,5.643083e-07,5.558687e-07,5.397931e-07,5.245309e-07,5.100468e-07,4.963064e-07,4.832765e-07,4.709249e-07,4.592205e-07,4.481333e-07,4.376345e-07,4.276963e-07,4.182923e-07,4.093968e-07,4.009854e-07,3.930346e-07,3.855222e-07,3.784266e-07,3.717275e-07,3.654052e-07,3.594411e-07,3.538174e-07,3.485170e-07,3.435239e-07,3.388226e-07,3.343984e-07,3.302371e-07,3.263256e-07,3.226511e-07,3.192014e-07,3.159650e-07,3.129311e-07,3.100891e-07,3.074290e-07,3.049416e-07,3.026176e-07,3.004487e-07,2.984267e-07,2.965438e-07,2.947927e-07,2.931663e-07,2.916581e-07,2.902616e-07,2.889709e-07,2.877804e-07,2.866844e-07,2.856779e-07,2.847561e-07,2.839141e-07,2.831476e-07,2.824524e-07
0.000000e+00,8.329555e-10,1.355210e-08,1.419312e-08,9.507408e-08,3.102927e-07,3.221616e-07,6.535889e-07,9.769088e-07,9.971406e-07,1.323536e-06,1.604364e-06,1.627887e-06,1.910034e-06,2.145617e-06,2.170751e-06,2.411003e-06,2.606287e-06,2.631786e-06,2.834093e-06,2.994049e-06,3.018906e-06,3.187190e-06,3.316466e-06,3.339888e-06,3.477914e-06,3.580765e-06,3.602148e-06,3.713436e-06,3.793689e-06,3.812586e-06,3.900370e-06,3.961428e-06,3.977526e-06,4.044746e-06,4.089591e-06,4.102683e-06,4.151964e-06,4.183205e-06,4.193176e-06,4.226875e-06,4.246782e-06,4.253585e-06,4.273802e-06,4.284339e-06,4.287989e-06,4.296588e-06,4.299454e-06,4.300010e-06,4.298646e-06,4.295301e-06,4.292859e-06,4.282994e-06,4.274690e-06,4.269373e-06,4.252300e-06,4.240106e-06,4.232059e-06,4.208918e-06,4.193746e-06,4.183128e-06,4.154922e-06,4.137544e-06,4.124523e-06,4.092135e-06,4.073203e-06,4.057954e-06,4.022159e-06,4.002219e-06,3.984920e-06,3.946395e-06,3.925904e-06,3.906733e-06,3.866071e-06,3.845406e-06,3.824538e-06,3.782256e-06,3.761727e-06,3.739335e-06,3.695881e-06,3.675740e-06,3.651990e-06,3.607754e-06,3.588203e-06,3.563256e-06,3.518575e-06,3.499771e-06,3.473782e-06,3.428944e-06,3.411011e-06,3.384124e-06,3.339379e-06,3.322407e-06,3.294762e-06,3.250321e-06,3.234374e-06,3.206101e-06,3.162144e-06,3.147265e-06,3.118486e-06,3.075164e-06,3.061376e-06,3.032207e-06,2.989645e-06,2.976957e-06,2.947503e-06,2.905806e-06,2.894213e-06,2.864574e-06,2.823826e-06,2.813313e-06,2.783579e-06,2.743849e-06,2.734392e-06,2.704648e-06,2.665988e-06,2.657556e-06,2.627879e-06,2.590329e-06,2.582887e-06,2.553347e-06,2.516938e-06,2.510446e-06,2.481106e-06,2.445857e-06,2.440271e-06,2.411191e-06,2.377111e-06,2.372387e-06,2.343619e-06,2.310713e-06,2.306804e-06,2.278395e-06,2.246661e-06,2.243520e-06,2.215511e-06,2.184941e-06,2.182521e-06,2.154949e-06,2.125532e-06,2.123785e-06,2.096685e-06,2.068403e-06,2.067284e-06,2.040683e-06,2.013518e-06,2.012981e-06,1.986904e-06,1.960835e-06,1.910801e-06,1.862832e-06,1.816874e-06,1.772874e-06,1.730778e-06,1.690528e-06,1.652068e-06,1.615341e-06,1.580290e-06,1.546856e-06,1.514984e-06,1.484618e-06,1.455703e-06,1.428184e-06,1.402009e-06,1.377125e-06,1.353483e-06,1.331032e-06,1.309725e-06,1.289515e-06,1.270356e-06,1.252205e-06,1.235020e-06,1.218758e-06,1.203381e-06,1.188849e-06,1.175127e-06,1.162177e-06,1.149967e-06,1.138461e-06,1.127629e-06,1.117440e-06,1.107865e-06,1.098874e-06,1.090441e-06,1.082539e-06,1.075144e-06,1.068231e-06,1.061776e-06,1.055759e-06,1.050157e-06,1.044950e-06,1.040118e-06,1.035644e-06,1.031508e-06,1.027694e-06,1.024185e-06,1.020966e-06,1.018021e-06
0.000000e+00,5.034196e-10,6.385965e-09,6.662918e-09,4.061307e-08,1.398160e-07,1.458413e-07,3.386752e-07,5.575663e-07,5.717462e-07,8.036840e-07,1.005177e-06,1.022071e-06,1.224553e-06,1.393208e-06,1.411172e-06,1.582546e-06,1.721339e-06,1.739425e-06,1.882588e-06,1.995323e-06,2.012801e-06,2.130821e-06,2.221066e-06,2.237373e-06,2.333160e-06,2.404146e-06,2.418856e-06,2.495105e-06,2.549717e-06,2.562522e-06,2.621688e-06,2.662468e-06,2.673159e-06,2.717462e-06,2.746645e-06,2.755093e-06,2.786522e-06,2.806048e-06,2.812192e-06,2.832520e-06,2.844070e-06,2.847899e-06,2.858699e-06,2.863721e-06,2.865266e-06,2.867928e-06,2.867664e-06,2.866991e-06,2.862741e-06,2.858255e-06,2.855450e-06,2.845371e-06,2.837566e-06,2.832739e-06,2.817777e-06,2.807423e-06,2.800694e-06,2.781683e-06,2.769428e-06,2.760927e-06,2.738596e-06,2.724985e-06,2.714848e-06,2.689832e-06,2.675321e-06,2.663686e-06,2.636539e-06,2.621507e-06,2.608512e-06,2.579717e-06,2.564474e-06,2.550257e-06,2.520230e-06,2.505032e-06,2.489725e-06,2.458827e-06,2.443879e-06,2.427613e-06,2.396154e-06,2.381620e-06,2.364517e-06,2.332764e-06,2.318771e-06,2.300951e-06,2.269130e-06,2.255775e-06,2.237351e-06,2.205656e-06,2.193011e-06,2.174086e-06,2.142680e-06,2.130795e-06,2.111470e-06,2.080488e-06,2.069396e-06,2.049763e-06,2.019319e-06,2.009037e-06,1.989180e-06,1.959367e-06,1.949899e-06,1.929899e-06,1.900792e-06,1.892133e-06,1.872062e-06,1.843721e-06,1.835857e-06,1.815781e-06,1.788252e-06,1.781163e-06,1.761144e-06,1.734463e-06,1.728123e-06,1.708215e-06,1.682406e-06,1.676787e-06,1.657040e-06,1.632119e-06,1.627188e-06,1.607646e-06,1.583623e-06,1.579346e-06,1.560049e-06,1.536925e-06,1.533267e-06,1.514250e-06,1.492023e-06,1.488947e-06,1.470242e-06,1.448904e-06,1.446373e-06,1.428007e-06,1.407547e-06,1.405525e-06,1.387521e-06,1.367925e-06,1.366375e-06,1.348754e-06,1.330004e-06,1.328893e-06,1.311671e-06,1.293749e-06,1.293040e-06,1.276232e-06,1.259117e-06,1.258778e-06,1.242396e-06,1.226064e-06,1.194854e-06,1.165101e-06,1.136759e-06,1.109779e-06,1.084113e-06,1.059715e-06,1.036535e-06,1.014527e-06,9.936433e-07,9.738393e-07,9.550697e-07,9.372907e-07,9.204597e-07,9.045351e-07,8.894767e-07,8.752454e-07,8.618035e-07,8.491144e-07,8.371430e-07,8.258555e-07,8.152190e-07,8.052023e-07,7.957753e-07,7.869089e-07,7.785754e-07,7.707483e-07,7.634020e-07,7.565122e-07,7.500556e-07,7.440098e-07,7.383537e-07,7.330668e-07,7.281297e-07,7.235240e-07,7.192320e-07,7.152368e-07,7.115224e-07,7.080736e-07,7.048757e-07,7.019151e-07,6.991783e-07,6.966531e-07,6.943273e-07,6.921898e-07,6.902297e-07,6.884368e-07,6.868015e-07,6.853144e-07,6.839668e-07
0.000000e+00,7.889327e-12,1.927648e-09,2.093496e-09,6.342490e-08,7.304537e-07,7.991978e-07,5.967779e-06,2.805315e-05,3.067868e-05,1.185597e-04,3.373338e-04,3.666449e-04,9.518506e-04,1.994478e-03,2.152498e-03,4.360930e-03,7.539346e-03,8.085926e-03,1.394549e-02,2.123270e-02,2.265156e-02,3.498869e-02,4.876587e-02,5.178889e-02,7.390458e-02,9.659987e-02,1.021814e-01,1.374323e-01,1.711652e-01,1.804138e-01,2.318054e-01,2.781101e-01,2.921936e-01,3.620577e-01,4.217192e-01,4.417599e-01,5.315408e-01,6.045402e-01,6.315163e-01,7.416785e-01,8.272353e-01,8.618988e-01,9.919344e-01,1.088616e+00,1.131435e+00,1.279953e+00,1.385826e+00,1.436953e+00,1.601821e+00,1.714617e+00,1.773879e+00,1.952394e+00,2.069676e+00,2.136592e+00,2.325666e+00,2.444979e+00,2.518789e+00,2.715123e+00,2.834114e+00,2.913826e+00,3.114067e+00,3.230586e+00,3.315024e+00,3.515902e+00,3.628071e+00,3.715930e+00,3.914370e+00,4.020618e+00,4.110520e+00,4.303719e+00,4.402809e+00,4.493349e+00,4.678837e+00,4.769862e+00,4.859657e+00,5.035328e+00,5.117693e+00,5.205419e+00,5.369544e+00,5.442944e+00,5.527367e+00,5.678594e+00,5.742980e+00,5.822979e+00,5.960316e+00,6.015855e+00,6.090442e+00,6.213233e+00,6.260275e+00,6.328602e+00,6.436496e+00,6.475530e+00,6.536896e+00,6.629813e+00,6.661439e+00,6.715287e+00,6.793384e+00,6.818271e+00,6.864191e+00,6.927820e+00,6.946686e+00,6.984400e+00,7.034078e+00,7.047659e+00,7.077015e+00,7.113388e+00,7.122421e+00,7.143382e+00,7.167194e+00,7.172398e+00,7.185029e+00,7.197099e+00,7.199162e+00,7.203620e+00,7.204811e+00,7.204380e+00,7.200897e+00,7.192102e+00,7.189777e+00,7.178650e+00,7.160767e+00,7.157095e+00,7.138676e+00,7.112599e+00,7.108071e+00,7.082753e+00,7.049356e+00,7.044409e+00,7.012617e+00,6.972746e+00,6.967760e+00,6.929943e+00,6.884408e+00,6.879711e+00,6.836331e+00,6.785901e+00,6.781770e+00,6.733297e+00,6.678695e+00,6.675359e+00,6.622263e+00,6.564167e+00,6.561810e+00,6.504560e+00,6.443595e+00,6.442363e+00,6.381417e+00,6.318163e+00,6.190260e+00,6.059612e+00,5.927092e+00,5.793487e+00,5.659504e+00,5.525776e+00,5.392863e+00,5.261259e+00,5.131398e+00,5.003658e+00,4.878362e+00,4.755791e+00,4.636178e+00,4.519722e+00,4.406581e+00,4.296885e+00,4.190735e+00,4.088206e+00,3.989348e+00,3.894193e+00,3.802754e+00,3.715028e+00,3.630997e+00,3.550632e+00,3.473890e+00,3.400721e+00,3.331065e+00,3.264855e+00,3.202018e+00,3.142476e+00,3.086144e+00,3.032936e+00,2.982761e+00,2.935525e+00,2.891133e+00,2.849489e+00,2.810493e+00,2.774047e+00,2.740052e+00,2.708408e+00,2.679016e+00,2.651776e+00,2.626592e+00,2.603366e+00,2.582003e+00,2.562409e+00,2.544490e+00,2.528157e+00,2.513319e+00
0.000000e+00,1.355664e-09,1.251587e-07,1.335954e-07,1.890013e-06,1.164261e-05,1.242004e-05,4.933243e-05,1.267606e-04,1.333165e-04,2.677337e-04,4.207211e-04,4.347502e-04,6.137662e-04,7.749864e-04,7.926990e-04,9.666194e-04,1.114222e-03,1.133931e-03,1.294218e-03,1.426406e-03,1.447432e-03,1.593652e-03,1.711160e-03,1.733000e-03,1.865628e-03,1.969485e-03,1.991703e-03,2.111401e-03,2.202693e-03,2.224908e-03,2.332410e-03,2.412215e-03,2.434096e-03,2.530154e-03,2.599510e-03,2.620772e-03,2.706133e-03,2.766023e-03,2.786419e-03,2.861809e-03,2.913156e-03,2.932477e-03,2.998592e-03,3.042253e-03,3.060320e-03,3.117824e-03,3.154594e-03,3.171260e-03,3.220782e-03,3.251395e-03,3.266539e-03,3.308675e-03,3.333807e-03,3.347332e-03,3.382645e-03,3.402918e-03,3.414747e-03,3.443768e-03,3.459752e-03,3.469831e-03,3.493057e-03,3.505275e-03,3.513564e-03,3.531466e-03,3.540394e-03,3.546872e-03,3.559888e-03,3.565960e-03,3.570619e-03,3.579163e-03,3.582774e-03,3.585618e-03,3.590077e-03,3.591586e-03,3.592629e-03,3.593364e-03,3.593095e-03,3.592364e-03,3.589713e-03,3.587960e-03,3.585488e-03,3.579766e-03,3.576793e-03,3.572621e-03,3.564123e-03,3.560168e-03,3.554343e-03,3.543344e-03,3.538619e-03,3.531193e-03,3.517950e-03,3.512643e-03,3.503674e-03,3.488425e-03,3.482707e-03,3.472256e-03,3.455221e-03,3.449241e-03,3.437372e-03,3.418758e-03,3.412648e-03,3.399427e-03,3.379424e-03,3.373300e-03,3.358795e-03,3.337582e-03,3.331543e-03,3.315826e-03,3.293565e-03,3.287700e-03,3.270839e-03,3.247684e-03,3.242066e-03,3.224134e-03,3.200224e-03,3.194918e-03,3.175985e-03,3.151450e-03,3.146510e-03,3.126647e-03,3.101606e-03,3.097075e-03,3.076353e-03,3.050916e-03,3.046831e-03,3.025320e-03,2.999588e-03,2.995976e-03,2.973744e-03,2.947810e-03,2.944693e-03,2.921808e-03,2.895758e-03,2.893151e-03,2.869678e-03,2.843589e-03,2.841502e-03,2.817507e-03,2.791450e-03,2.789887e-03,2.765433e-03,2.739473e-03,2.738436e-03,2.713583e-03,2.687778e-03,2.687263e-03,2.662072e-03,2.636477e-03,2.586171e-03,2.536434e-03,2.487343e-03,2.438968e-03,2.391371e-03,2.344609e-03,2.298729e-03,2.253774e-03,2.209782e-03,2.166784e-03,2.124809e-03,2.083878e-03,2.044010e-03,2.005219e-03,1.967518e-03,1.930914e-03,1.895411e-03,1.861013e-03,1.827718e-03,1.795525e-03,1.764427e-03,1.734419e-03,1.705492e-03,1.677636e-03,1.650838e-03,1.625086e-03,1.600366e-03,1.576661e-03,1.553956e-03,1.532234e-03,1.511475e-03,1.491662e-03,1.472775e-03,1.454794e-03,1.437698e-03,1.421466e-03,1.406078e-03,1.391511e-03,1.377744e-03,1.364755e-03,1.352521e-03,1.341021e-03,1.330232e-03,1.320132e-03,1.310700e-03,1.301911e-03,1.293745e-03,1.286180e-03,1.279194e-03
0.000000e+00,4.175379e-13,9.824408e-11,1.066934e-10,3.290826e-09,3.853533e-08,4.216963e-08,3.111062e-07,1.405420e-06,1.531750e-06,5.522293e-06,1.448376e-05,1.562160e-05,3.660867e-05,6.944894e-05,7.410552e-05,1.337190e-04,2.082853e-04,2.202079e-04,3.368652e-04,4.625117e-04,4.851896e-04,6.648354e-04,8.385055e-04,8.737795e-04,1.108629e-03,1.317480e-03,1.364996e-03,1.637890e-03,1.864580e-03,1.922065e-03,2.212330e-03,2.439793e-03,2.503778e-03,2.791957e-03,3.006369e-03,3.072974e-03,3.343550e-03,3.535469e-03,3.601029e-03,3.843363e-03,4.007609e-03,4.069063e-03,4.277145e-03,4.412014e-03,4.467067e-03,4.638661e-03,4.744938e-03,4.792069e-03,4.927682e-03,5.007717e-03,5.046086e-03,5.148009e-03,5.204974e-03,5.234287e-03,5.305824e-03,5.343185e-03,5.363561e-03,5.408458e-03,5.429631e-03,5.441471e-03,5.463541e-03,5.471686e-03,5.475576e-03,5.478452e-03,5.476374e-03,5.473000e-03,5.460001e-03,5.450105e-03,5.440192e-03,5.414263e-03,5.398574e-03,5.382851e-03,5.346551e-03,5.326740e-03,5.305908e-03,5.261424e-03,5.238845e-03,5.213561e-03,5.162741e-03,5.138479e-03,5.109350e-03,5.053739e-03,5.028651e-03,4.996230e-03,4.937114e-03,4.911870e-03,4.876654e-03,4.815092e-03,4.790207e-03,4.752644e-03,4.689507e-03,4.665373e-03,4.625860e-03,4.561862e-03,4.538765e-03,4.497657e-03,4.433377e-03,4.411526e-03,4.369138e-03,4.305044e-03,4.284580e-03,4.241189e-03,4.177657e-03,4.158672e-03,4.114523e-03,4.051853e-03,4.034396e-03,3.989705e-03,3.928133e-03,3.912224e-03,3.867181e-03,3.806891e-03,3.792524e-03,3.747297e-03,3.688430e-03,3.675579e-03,3.630315e-03,3.572975e-03,3.561602e-03,3.516430e-03,3.460694e-03,3.450749e-03,3.405781e-03,3.351701e-03,3.343126e-03,3.298461e-03,3.246068e-03,3.238801e-03,3.194526e-03,3.143836e-03,3.137811e-03,3.094000e-03,3.045016e-03,3.040164e-03,2.996883e-03,2.949597e-03,2.945851e-03,2.903155e-03,2.857550e-03,2.854841e-03,2.812779e-03,2.768833e-03,2.767092e-03,2.725706e-03,2.683390e-03,2.682552e-03,2.641876e-03,2.601157e-03,2.522840e-03,2.447527e-03,2.375140e-03,2.305600e-03,2.238825e-03,2.174734e-03,2.113244e-03,2.054272e-03,1.997737e-03,1.943558e-03,1.891657e-03,1.841955e-03,1.794376e-03,1.748846e-03,1.705291e-03,1.663642e-03,1.623828e-03,1.585783e-03,1.549443e-03,1.514743e-03,1.481624e-03,1.450025e-03,1.419890e-03,1.391162e-03,1.363789e-03,1.337719e-03,1.312901e-03,1.289286e-03,1.266829e-03,1.245484e-03,1.225207e-03,1.205956e-03,1.187690e-03,1.170370e-03,1.153958e-03,1.138418e-03,1.123714e-03,1.109812e-03,1.096680e-03,1.084284e-03,1.072596e-03,1.061585e-03,1.051223e-03,1.041482e-03,1.032336e-03,1.023759e-03,1.015727e-03,1.008216e-03,1.001203e-03
0.000000e+00,6.781935e-10,4.924414e-08,5.237732e-08,6.247228e-07,3.190871e-06,3.376269e-06,1.098420e-05,2.401929e-05,2.503393e-05,4.415774e-05,6.317224e-05,6.479167e-05,8.368873e-05,9.795608e-05,9.936980e-05,1.117225e-04,1.201768e-04,1.211757e-04,1.282528e-04,1.327998e-04,1.334246e-04,1.370816e-04,1.392151e-04,1.395387e-04,1.410482e-04,1.417210e-04,1.418108e-04,1.419867e-04,1.417912e-04,1.417028e-04,1.410601e-04,1.403619e-04,1.401388e-04,1.390023e-04,1.380261e-04,1.377011e-04,1.362750e-04,1.351582e-04,1.347557e-04,1.331680e-04,1.319939e-04,1.315319e-04,1.298628e-04,1.286816e-04,1.281731e-04,1.264727e-04,1.253141e-04,1.247690e-04,1.230682e-04,1.219495e-04,1.213749e-04,1.196928e-04,1.186236e-04,1.180249e-04,1.163732e-04,1.153582e-04,1.147396e-04,1.131253e-04,1.121664e-04,1.115312e-04,1.099582e-04,1.090556e-04,1.084066e-04,1.068768e-04,1.060298e-04,1.053691e-04,1.038835e-04,1.030906e-04,1.024202e-04,1.009789e-04,1.002382e-04,9.955975e-05,9.816249e-05,9.747203e-05,9.678699e-05,9.543308e-05,9.479080e-05,9.410053e-05,9.278913e-05,9.219292e-05,9.149864e-05,9.022883e-05,8.967659e-05,8.897943e-05,8.775019e-05,8.723986e-05,8.654085e-05,8.535116e-05,8.488072e-05,8.418084e-05,8.302964e-05,8.259713e-05,8.189728e-05,8.078350e-05,8.038704e-05,7.968805e-05,7.861065e-05,7.824841e-05,7.755106e-05,7.650900e-05,7.617920e-05,7.548423e-05,7.447648e-05,7.417744e-05,7.348551e-05,7.251107e-05,7.224116e-05,7.155291e-05,7.061079e-05,7.036844e-05,6.968446e-05,6.877369e-05,6.855739e-05,6.787823e-05,6.699786e-05,6.680618e-05,6.613234e-05,6.528145e-05,6.511301e-05,6.444496e-05,6.362265e-05,6.347613e-05,6.281430e-05,6.201970e-05,6.189382e-05,6.123862e-05,6.047085e-05,6.036442e-05,5.971620e-05,5.897446e-05,5.888630e-05,5.824541e-05,5.752887e-05,5.745789e-05,5.682463e-05,5.613250e-05,5.607765e-05,5.545229e-05,5.478382e-05,5.474408e-05,5.412688e-05,5.348131e-05,5.345572e-05,5.284692e-05,5.222353e-05,5.221117e-05,5.161097e-05,5.100906e-05,4.984804e-05,4.872683e-05,4.764416e-05,4.659882e-05,4.558963e-05,4.461542e-05,4.367509e-05,4.276756e-05,4.189178e-05,4.104673e-05,4.023142e-05,3.944490e-05,3.868623e-05,3.795454e-05,3.724893e-05,3.656856e-05,3.591263e-05,3.528033e-05,3.467089e-05,3.408358e-05,3.351767e-05,3.297246e-05,3.244727e-05,3.194146e-05,3.145437e-05,3.098540e-05,3.053396e-05,3.009946e-05,2.968134e-05,2.927906e-05,2.889210e-05,2.851995e-05,2.816211e-05,2.781811e-05,2.748749e-05,2.716980e-05,2.686461e-05,2.657149e-05,2.629004e-05,2.601987e-05,2.576060e-05,2.551185e-05,2.527327e-05,2.504452e-05,2.482525e-05,2.461515e-05,2.441389e-05,2.422118e-05,2.403672e-05
0.000000e+00,2.713661e-09,4.768485e-08,4.996623e-08,3.370920e-07,1.114603e-06,1.158582e-06,2.421986e-06,3.661993e-06,3.738546e-06,4.948811e-06,5.948002e-06,6.029793e-06,6.986640e-06,7.749771e-06,7.829171e-06,8.567467e-06,9.138508e-06,9.211032e-06,9.768670e-06,1.018573e-05,1.024851e-05,1.065802e-05,1.095269e-05,1.100406e-05,1.129292e-05,1.149117e-05,1.153035e-05,1.172158e-05,1.184451e-05,1.187137e-05,1.198404e-05,1.204870e-05,1.206353e-05,1.211340e-05,1.213349e-05,1.213688e-05,1.213690e-05,1.212339e-05,1.211612e-05,1.207688e-05,1.203843e-05,1.202136e-05,1.195149e-05,1.189499e-05,1.186902e-05,1.177555e-05,1.170644e-05,1.167250e-05,1.156115e-05,1.148367e-05,1.144264e-05,1.131803e-05,1.123551e-05,1.118824e-05,1.105412e-05,1.096913e-05,1.091642e-05,1.077581e-05,1.069031e-05,1.063290e-05,1.048822e-05,1.040369e-05,1.034226e-05,1.019545e-05,1.011301e-05,1.004817e-05,9.900777e-06,9.821241e-06,9.753563e-06,9.606801e-06,9.530743e-06,9.460728e-06,9.315556e-06,9.243367e-06,9.171471e-06,9.028633e-06,8.960556e-06,8.887184e-06,8.747249e-06,8.683416e-06,8.608932e-06,8.472326e-06,8.412781e-06,8.337508e-06,8.204545e-06,8.149267e-06,8.073491e-06,7.944393e-06,7.893309e-06,7.817286e-06,7.692198e-06,7.645199e-06,7.569152e-06,7.448162e-06,7.405111e-06,7.329238e-06,7.212385e-06,7.173126e-06,7.097603e-06,6.984888e-06,6.949255e-06,6.874233e-06,6.765628e-06,6.733445e-06,6.659060e-06,6.554513e-06,6.525600e-06,6.451970e-06,6.351411e-06,6.325588e-06,6.252815e-06,6.156160e-06,6.133249e-06,6.061423e-06,5.968578e-06,5.948404e-06,5.877601e-06,5.788465e-06,5.770856e-06,5.701143e-06,5.615608e-06,5.600400e-06,5.531834e-06,5.449791e-06,5.436823e-06,5.369452e-06,5.290789e-06,5.279908e-06,5.213773e-06,5.138376e-06,5.129436e-06,5.064571e-06,4.992329e-06,4.985189e-06,4.921622e-06,4.852422e-06,4.846951e-06,4.784703e-06,4.718436e-06,4.714506e-06,4.653595e-06,4.590153e-06,4.587644e-06,4.528083e-06,4.467359e-06,4.466158e-06,4.407957e-06,4.349849e-06,4.238519e-06,4.131977e-06,4.030039e-06,3.932525e-06,3.839263e-06,3.750083e-06,3.664825e-06,3.583332e-06,3.505453e-06,3.431044e-06,3.359963e-06,3.292078e-06,3.227257e-06,3.165376e-06,3.106316e-06,3.049960e-06,2.996199e-06,2.944925e-06,2.896035e-06,2.849433e-06,2.805021e-06,2.762711e-06,2.722415e-06,2.684048e-06,2.647530e-06,2.612784e-06,2.579735e-06,2.548313e-06,2.518448e-06,2.490076e-06,2.463132e-06,2.437556e-06,2.413291e-06,2.390279e-06,2.368468e-06,2.347806e-06,2.328244e-06,2.309734e-06,2.292231e-06,2.275691e-06,2.260071e-06,2.245333e-06,2.231437e-06,2.218346e-06,2.206025e-06,2.194440e-06,2.183557e-06,2.173346e-06,2.163776e-06
0.000000e+00,1.193545e-09,1.622608e-08,1.694789e-08,1.071689e-07,3.745144e-07,3.907372e-07,9.011669e-07,1.458348e-06,1.493766e-06,2.062944e-06,2.542141e-06,2.581656e-06,3.046967e-06,3.422206e-06,3.461475e-06,3.828908e-06,4.116303e-06,4.153030e-06,4.437379e-06,4.652608e-06,4.685225e-06,4.899592e-06,5.055847e-06,5.083287e-06,5.238923e-06,5.347320e-06,5.368935e-06,5.475598e-06,5.545546e-06,5.561032e-06,5.627213e-06,5.666653e-06,5.675975e-06,5.709020e-06,5.724594e-06,5.727919e-06,5.734121e-06,5.731325e-06,5.728960e-06,5.713658e-06,5.696990e-06,5.689329e-06,5.656996e-06,5.630104e-06,5.617593e-06,5.571973e-06,5.537799e-06,5.520913e-06,5.465125e-06,5.426035e-06,5.405262e-06,5.341907e-06,5.299770e-06,5.275581e-06,5.206757e-06,5.163024e-06,5.135869e-06,5.063302e-06,5.019104e-06,4.989406e-06,4.914494e-06,4.870691e-06,4.838848e-06,4.762721e-06,4.719966e-06,4.686340e-06,4.609907e-06,4.568675e-06,4.533601e-06,4.457582e-06,4.418215e-06,4.381994e-06,4.306962e-06,4.269689e-06,4.232596e-06,4.158993e-06,4.123960e-06,4.086238e-06,4.014404e-06,3.981687e-06,3.943553e-06,3.873741e-06,3.843364e-06,3.805012e-06,3.737406e-06,3.709353e-06,3.670953e-06,3.605678e-06,3.579903e-06,3.541603e-06,3.478741e-06,3.455175e-06,3.417104e-06,3.356699e-06,3.335255e-06,3.297527e-06,3.239590e-06,3.220172e-06,3.182883e-06,3.127403e-06,3.109907e-06,3.073141e-06,3.020088e-06,3.004406e-06,2.968232e-06,2.917561e-06,2.903584e-06,2.868061e-06,2.819717e-06,2.807335e-06,2.772512e-06,2.726430e-06,2.715535e-06,2.681452e-06,2.637562e-06,2.628049e-06,2.594738e-06,2.552964e-06,2.544733e-06,2.512219e-06,2.472483e-06,2.465437e-06,2.433738e-06,2.395962e-06,2.390006e-06,2.359136e-06,2.323241e-06,2.318288e-06,2.288256e-06,2.254161e-06,2.250128e-06,2.220937e-06,2.188565e-06,2.185374e-06,2.157025e-06,2.126298e-06,2.123874e-06,2.096365e-06,2.067209e-06,2.065483e-06,2.038809e-06,2.011149e-06,2.010058e-06,1.984211e-06,1.957977e-06,1.957459e-06,1.932429e-06,1.907553e-06,1.860209e-06,1.815304e-06,1.772718e-06,1.732335e-06,1.694047e-06,1.657747e-06,1.623336e-06,1.590718e-06,1.559801e-06,1.530498e-06,1.502728e-06,1.476409e-06,1.451469e-06,1.427835e-06,1.405440e-06,1.384219e-06,1.364111e-06,1.345059e-06,1.327006e-06,1.309902e-06,1.293695e-06,1.278340e-06,1.263791e-06,1.250007e-06,1.236946e-06,1.224571e-06,1.212846e-06,1.201736e-06,1.191210e-06,1.181236e-06,1.171785e-06,1.162830e-06,1.154344e-06,1.146303e-06,1.138682e-06,1.131460e-06,1.124616e-06,1.118129e-06,1.111981e-06,1.106153e-06,1.100628e-06,1.095391e-06,1.090426e-06,1.085718e-06,1.081255e-06,1.077021e-06,1.073007e-06,1.069198e-06,1.065585e-06
0.000000e+00,5.837399e-13,1.294700e-10,1.403444e-10,3.896159e-09,4.173559e-08,4.553332e-08,3.171953e-07,1.396467e-06,1.520628e-06,5.454638e-06,1.440497e-05,1.555098e-05,3.695864e-05,7.114865e-05,7.604577e-05,1.395069e-04,2.203392e-04,2.333768e-04,3.621986e-04,5.029141e-04,5.284830e-04,7.324944e-04,9.316802e-04,9.723232e-04,1.244174e-03,1.487332e-03,1.542787e-03,1.861911e-03,2.127436e-03,2.194778e-03,2.534531e-03,2.800058e-03,2.874574e-03,3.208844e-03,3.455714e-03,3.532004e-03,3.839549e-03,4.054915e-03,4.127856e-03,4.394180e-03,4.571215e-03,4.636605e-03,4.853974e-03,4.990938e-03,5.045797e-03,5.212154e-03,5.310993e-03,5.353593e-03,5.471037e-03,5.535981e-03,5.565691e-03,5.638966e-03,5.675351e-03,5.692405e-03,5.727627e-03,5.741038e-03,5.746278e-03,5.749988e-03,5.745707e-03,5.740347e-03,5.718874e-03,5.701568e-03,5.687005e-03,5.646082e-03,5.619677e-03,5.597347e-03,5.541936e-03,5.509608e-03,5.480885e-03,5.415123e-03,5.379347e-03,5.345486e-03,5.272717e-03,5.235367e-03,5.197476e-03,5.120345e-03,5.082802e-03,5.041833e-03,4.962383e-03,4.925630e-03,4.882382e-03,4.802158e-03,4.766865e-03,4.721998e-03,4.642144e-03,4.608747e-03,4.562802e-03,4.484146e-03,4.452909e-03,4.406322e-03,4.329451e-03,4.300511e-03,4.253631e-03,4.178945e-03,4.152349e-03,4.105457e-03,4.033218e-03,4.008949e-03,3.962267e-03,3.892635e-03,3.870634e-03,3.824340e-03,3.757397e-03,3.737579e-03,3.691813e-03,3.627588e-03,3.609849e-03,3.564722e-03,3.503205e-03,3.487431e-03,3.443032e-03,3.384187e-03,3.370261e-03,3.326658e-03,3.270430e-03,3.258232e-03,3.215484e-03,3.161802e-03,3.151216e-03,3.109364e-03,3.058151e-03,3.049061e-03,3.008141e-03,2.959313e-03,2.951609e-03,2.911645e-03,2.865117e-03,2.858693e-03,2.819707e-03,2.775392e-03,2.770147e-03,2.732152e-03,2.689965e-03,2.685803e-03,2.648810e-03,2.608665e-03,2.605496e-03,2.569509e-03,2.531322e-03,2.529061e-03,2.494084e-03,2.457773e-03,2.456340e-03,2.422371e-03,2.387858e-03,2.387176e-03,2.354213e-03,2.321420e-03,2.258924e-03,2.199548e-03,2.143155e-03,2.089614e-03,2.038798e-03,1.990587e-03,1.944862e-03,1.901511e-03,1.860427e-03,1.821506e-03,1.784647e-03,1.749757e-03,1.716743e-03,1.685517e-03,1.655996e-03,1.628100e-03,1.601750e-03,1.576874e-03,1.553400e-03,1.531260e-03,1.510391e-03,1.490730e-03,1.472217e-03,1.454796e-03,1.438413e-03,1.423016e-03,1.408554e-03,1.394982e-03,1.382253e-03,1.370324e-03,1.359154e-03,1.348703e-03,1.338933e-03,1.329809e-03,1.321296e-03,1.313361e-03,1.305974e-03,1.299103e-03,1.292721e-03,1.286800e-03,1.281314e-03,1.276240e-03,1.271552e-03,1.267230e-03,1.263252e-03,1.259596e-03,1.256245e-03,1.253180e-03,1.250382e-03
0.000000e+00,6.685036e-12,1.522100e-09,1.652149e-09,4.884639e-08,5.241626e-07,5.709338e-07,3.667487e-06,1.414143e-05,1.524970e-05,4.596282e-05,1.027165e-04,1.093042e-04,2.181073e-04,3.625190e-04,3.814609e-04,6.031619e-04,8.454456e-04,8.817151e-04,1.211354e-03,1.529199e-03,1.583492e-03,1.988159e-03,2.345763e-03,2.415185e-03,2.855031e-03,3.219331e-03,3.299289e-03,3.740915e-03,4.088481e-03,4.174262e-03,4.594995e-03,4.912327e-03,4.999933e-03,5.386866e-03,5.667995e-03,5.754373e-03,6.101657e-03,6.345424e-03,6.428397e-03,6.734627e-03,6.942570e-03,7.020642e-03,7.286917e-03,7.461884e-03,7.534055e-03,7.762734e-03,7.908062e-03,7.973682e-03,8.167650e-03,8.286736e-03,8.345397e-03,8.507675e-03,8.603758e-03,8.655225e-03,8.788771e-03,8.864843e-03,8.909011e-03,9.016622e-03,9.075398e-03,9.112253e-03,9.196531e-03,9.240447e-03,9.270055e-03,9.333397e-03,9.364627e-03,9.387106e-03,9.431708e-03,9.452183e-03,9.467703e-03,9.495570e-03,9.507002e-03,9.515767e-03,9.528729e-03,9.532628e-03,9.534872e-03,9.534595e-03,9.532293e-03,9.528275e-03,9.516273e-03,9.508940e-03,9.498935e-03,9.476587e-03,9.465249e-03,9.449544e-03,9.418102e-03,9.403654e-03,9.382546e-03,9.343147e-03,9.326369e-03,9.300161e-03,9.253834e-03,9.235402e-03,9.204399e-03,9.152077e-03,9.132576e-03,9.097081e-03,9.039611e-03,9.019542e-03,8.979858e-03,8.918003e-03,8.897794e-03,8.854219e-03,8.788670e-03,8.768684e-03,8.721511e-03,8.652891e-03,8.633434e-03,8.582949e-03,8.511818e-03,8.493145e-03,8.439625e-03,8.366490e-03,8.348810e-03,8.292525e-03,8.217839e-03,8.201321e-03,8.142532e-03,8.066702e-03,8.051481e-03,7.990439e-03,7.913829e-03,7.900009e-03,7.836954e-03,7.759890e-03,7.747547e-03,7.682711e-03,7.605483e-03,7.594672e-03,7.528273e-03,7.451141e-03,7.441893e-03,7.374144e-03,7.297335e-03,7.289667e-03,7.220766e-03,7.144483e-03,7.138395e-03,7.068532e-03,6.992954e-03,6.988432e-03,6.917788e-03,6.843071e-03,6.840092e-03,6.768836e-03,6.695116e-03,6.693648e-03,6.621941e-03,6.549336e-03,6.407364e-03,6.267909e-03,6.131120e-03,5.997124e-03,5.866027e-03,5.737915e-03,5.612856e-03,5.490903e-03,5.372094e-03,5.256456e-03,5.144003e-03,5.034739e-03,4.928661e-03,4.825755e-03,4.726003e-03,4.629378e-03,4.535848e-03,4.445378e-03,4.357926e-03,4.273448e-03,4.191897e-03,4.113222e-03,4.037371e-03,3.964288e-03,3.893918e-03,3.826203e-03,3.761084e-03,3.698501e-03,3.638395e-03,3.580704e-03,3.525369e-03,3.472326e-03,3.421517e-03,3.372879e-03,3.326353e-03,3.281878e-03,3.239396e-03,3.198847e-03,3.160172e-03,3.123315e-03,3.088218e-03,3.054824e-03,3.023079e-03,2.992928e-03,2.964316e-03,2.937191e-03,2.911502e-03,2.887198e-03,2.864228e-03
0.000000e+00,5.455996e-11,8.792041e-09,9.472847e-09,1.988261e-07,1.676221e-06,1.810992e-06,9.859705e-06,3.397968e-05,3.640557e-05,9.870447e-05,1.993237e-04,2.101779e-04,3.726936e-04,5.549501e-04,5.768182e-04,8.073467e-04,1.019776e-03,1.048900e-03,1.289110e-03,1.488055e-03,1.519499e-03,1.735039e-03,1.902741e-03,1.933239e-03,2.113280e-03,2.247471e-03,2.275344e-03,2.420163e-03,2.524270e-03,2.548737e-03,2.662176e-03,2.740876e-03,2.761605e-03,2.848121e-03,2.905883e-03,2.922771e-03,2.986536e-03,3.027256e-03,3.040333e-03,3.085012e-03,3.111981e-03,3.121363e-03,3.150112e-03,3.166074e-03,3.171930e-03,3.187436e-03,3.194667e-03,3.197199e-03,3.201745e-03,3.202122e-03,3.201555e-03,3.197074e-03,3.192144e-03,3.188710e-03,3.176839e-03,3.167871e-03,3.161806e-03,3.143930e-03,3.131961e-03,3.123501e-03,3.100789e-03,3.086667e-03,3.076039e-03,3.049479e-03,3.033893e-03,3.021317e-03,2.991745e-03,2.975251e-03,2.960937e-03,2.929055e-03,2.912101e-03,2.896247e-03,2.862648e-03,2.845592e-03,2.828384e-03,2.793567e-03,2.776690e-03,2.758302e-03,2.722685e-03,2.706207e-03,2.686803e-03,2.650734e-03,2.634824e-03,2.614553e-03,2.578325e-03,2.563110e-03,2.542111e-03,2.505965e-03,2.491538e-03,2.469938e-03,2.434074e-03,2.420497e-03,2.398414e-03,2.362996e-03,2.350311e-03,2.327852e-03,2.293013e-03,2.281241e-03,2.258504e-03,2.224351e-03,2.213500e-03,2.190573e-03,2.157191e-03,2.147256e-03,2.124221e-03,2.091678e-03,2.082644e-03,2.059573e-03,2.027919e-03,2.019764e-03,1.996725e-03,1.965998e-03,1.958694e-03,1.935745e-03,1.905971e-03,1.899485e-03,1.876681e-03,1.847877e-03,1.842175e-03,1.819563e-03,1.791738e-03,1.786782e-03,1.764405e-03,1.737563e-03,1.733314e-03,1.711211e-03,1.685347e-03,1.681765e-03,1.659970e-03,1.635077e-03,1.632123e-03,1.610666e-03,1.586733e-03,1.584366e-03,1.563275e-03,1.540287e-03,1.538468e-03,1.517766e-03,1.495707e-03,1.494398e-03,1.474105e-03,1.452955e-03,1.452119e-03,1.432253e-03,1.411993e-03,1.411592e-03,1.392169e-03,1.372777e-03,1.335629e-03,1.300106e-03,1.266161e-03,1.233748e-03,1.202823e-03,1.173338e-03,1.145248e-03,1.118508e-03,1.093073e-03,1.068898e-03,1.045941e-03,1.024160e-03,1.003511e-03,9.839556e-04,9.654528e-04,9.479640e-04,9.314514e-04,9.158782e-04,9.012084e-04,8.874072e-04,8.744406e-04,8.622756e-04,8.508802e-04,8.402230e-04,8.302741e-04,8.210038e-04,8.123837e-04,8.043862e-04,7.969843e-04,7.901520e-04,7.838640e-04,7.780957e-04,7.728234e-04,7.680240e-04,7.636752e-04,7.597551e-04,7.562429e-04,7.531181e-04,7.503611e-04,7.479527e-04,7.458744e-04,7.441084e-04,7.426373e-04,7.414444e-04,7.405135e-04,7.398289e-04,7.393756e-04,7.391390e-04,7.391049e-04
0.000000e+00,1.938234e-12,4.110202e-10,4.450340e-10,1.162562e-08,1.182391e-07,1.287563e-07,8.609003e-07,3.663086e-06,3.979993e-06,1.373996e-05,3.496313e-05,3.762243e-05,8.592208e-05,1.599202e-04,1.703155e-04,3.020341e-04,4.644305e-04,4.902254e-04,7.408369e-04,1.008100e-03,1.056117e-03,1.434660e-03,1.798226e-03,1.871847e-03,2.360530e-03,2.793462e-03,2.891796e-03,3.455729e-03,3.923504e-03,4.042079e-03,4.640811e-03,5.110339e-03,5.242524e-03,5.838736e-03,6.283584e-03,6.422050e-03,6.986236e-03,7.388400e-03,7.526233e-03,8.038100e-03,8.387554e-03,8.518926e-03,8.966720e-03,9.259858e-03,9.380295e-03,9.759145e-03,9.996941e-03,1.010333e-02,1.041339e-02,1.059974e-02,1.069019e-02,1.093490e-02,1.107530e-02,1.114888e-02,1.133365e-02,1.143422e-02,1.149079e-02,1.162194e-02,1.168885e-02,1.172877e-02,1.181291e-02,1.185195e-02,1.187597e-02,1.191950e-02,1.193592e-02,1.194501e-02,1.195393e-02,1.195232e-02,1.194761e-02,1.192734e-02,1.191170e-02,1.189434e-02,1.184974e-02,1.182343e-02,1.179461e-02,1.172995e-02,1.169579e-02,1.165667e-02,1.157564e-02,1.153598e-02,1.148766e-02,1.139348e-02,1.135025e-02,1.129378e-02,1.118920e-02,1.114397e-02,1.108034e-02,1.096773e-02,1.092176e-02,1.085189e-02,1.073327e-02,1.068755e-02,1.061230e-02,1.048937e-02,1.044471e-02,1.036486e-02,1.023909e-02,1.019610e-02,1.011237e-02,9.984975e-03,9.944111e-03,9.857172e-03,9.729194e-03,9.690799e-03,9.601256e-03,9.473557e-03,9.437868e-03,9.346275e-03,9.219576e-03,9.186749e-03,9.093608e-03,8.968508e-03,8.938626e-03,8.844396e-03,8.721384e-03,8.694479e-03,8.599572e-03,8.479050e-03,8.455107e-03,8.359897e-03,8.242184e-03,8.221154e-03,8.125976e-03,8.011328e-03,7.993133e-03,7.898289e-03,7.786903e-03,7.771442e-03,7.677204e-03,7.569226e-03,7.556385e-03,7.462993e-03,7.358529e-03,7.348180e-03,7.255849e-03,7.154968e-03,7.146976e-03,7.055895e-03,6.958637e-03,6.952859e-03,6.863196e-03,6.769574e-03,6.765867e-03,6.677769e-03,6.587776e-03,6.585994e-03,6.499588e-03,6.413198e-03,6.247406e-03,6.088520e-03,5.936420e-03,5.790973e-03,5.652030e-03,5.519430e-03,5.393007e-03,5.272584e-03,5.157983e-03,5.049023e-03,4.945518e-03,4.847286e-03,4.754142e-03,4.665903e-03,4.582390e-03,4.503424e-03,4.428828e-03,4.358431e-03,4.292063e-03,4.229558e-03,4.170756e-03,4.115500e-03,4.063634e-03,4.015012e-03,3.969486e-03,3.926918e-03,3.887170e-03,3.850110e-03,3.815611e-03,3.783548e-03,3.753801e-03,3.726255e-03,3.700799e-03,3.677323e-03,3.655725e-03,3.635904e-03,3.617763e-03,3.601210e-03,3.586156e-03,3.572513e-03,3.560200e-03,3.549137e-03,3.539248e-03,3.530461e-03,3.522704e-03,3.515911e-03,3.510019e-03,3.504965e-03,3.500691e-03
0.000000e+00,2.811038e-09,1.636564e-07,1.736914e-07,1.992946e-06,1.013620e-05,1.071594e-05,3.297933e-05,6.477925e-05,6.699540e-05,1.045676e-04,1.380984e-04,1.409213e-04,1.748038e-04,2.030565e-04,2.060666e-04,2.347910e-04,2.580675e-04,2.611017e-04,2.851324e-04,3.040775e-04,3.070171e-04,3.268879e-04,3.421167e-04,3.448726e-04,3.610939e-04,3.731619e-04,3.756690e-04,3.887085e-04,3.981052e-04,4.003174e-04,4.105949e-04,4.177472e-04,4.196341e-04,4.275226e-04,4.327993e-04,4.343430e-04,4.401724e-04,4.438906e-04,4.450828e-04,4.491419e-04,4.515730e-04,4.524130e-04,4.549558e-04,4.563323e-04,4.568257e-04,4.580745e-04,4.585939e-04,4.587508e-04,4.589001e-04,4.587306e-04,4.585647e-04,4.577842e-04,4.570682e-04,4.565954e-04,4.550329e-04,4.538906e-04,4.531288e-04,4.509130e-04,4.494458e-04,4.484137e-04,4.456569e-04,4.439495e-04,4.426668e-04,4.394660e-04,4.375894e-04,4.360756e-04,4.325151e-04,4.305283e-04,4.288030e-04,4.249559e-04,4.229074e-04,4.209898e-04,4.169192e-04,4.148489e-04,4.127576e-04,4.085177e-04,4.064582e-04,4.042112e-04,3.998488e-04,3.978261e-04,3.954406e-04,3.909958e-04,3.890307e-04,3.865230e-04,3.820301e-04,3.801389e-04,3.775245e-04,3.730128e-04,3.712078e-04,3.685013e-04,3.639956e-04,3.622861e-04,3.595010e-04,3.550224e-04,3.534148e-04,3.505641e-04,3.461301e-04,3.446288e-04,3.417242e-04,3.373496e-04,3.359569e-04,3.330095e-04,3.287065e-04,3.274233e-04,3.244433e-04,3.202220e-04,3.190478e-04,3.160447e-04,3.119132e-04,3.108467e-04,3.078290e-04,3.037937e-04,3.028327e-04,2.998085e-04,2.958745e-04,2.950160e-04,2.919926e-04,2.881637e-04,2.874044e-04,2.843885e-04,2.806674e-04,2.800035e-04,2.770011e-04,2.733898e-04,2.728171e-04,2.698338e-04,2.663334e-04,2.658477e-04,2.628885e-04,2.594993e-04,2.590963e-04,2.561657e-04,2.528876e-04,2.525629e-04,2.496649e-04,2.464973e-04,2.462463e-04,2.433846e-04,2.403265e-04,2.401448e-04,2.373227e-04,2.343728e-04,2.342559e-04,2.314763e-04,2.286329e-04,2.285766e-04,2.258421e-04,2.231034e-04,2.178324e-04,2.127594e-04,2.078801e-04,2.031897e-04,1.986837e-04,1.943570e-04,1.902049e-04,1.862223e-04,1.824043e-04,1.787461e-04,1.752427e-04,1.718892e-04,1.686808e-04,1.656129e-04,1.626808e-04,1.598799e-04,1.572058e-04,1.546540e-04,1.522204e-04,1.499008e-04,1.476910e-04,1.455872e-04,1.435854e-04,1.416820e-04,1.398732e-04,1.381556e-04,1.365257e-04,1.349802e-04,1.335159e-04,1.321296e-04,1.308182e-04,1.295788e-04,1.284086e-04,1.273049e-04,1.262648e-04,1.252859e-04,1.243656e-04,1.235016e-04,1.226914e-04,1.219328e-04,1.212237e-04,1.205618e-04,1.199452e-04,1.193719e-04,1.188399e-04,1.183475e-04,1.178928e-04,1.174741e-04,1.170898e-04
0.000000e+00,7.269608e-10,9.902654e-09,1.034588e-08,6.681817e-08,2.404724e-07,2.512510e-07,6.035888e-07,1.011325e-06,1.037827e-06,1.471435e-06,1.847368e-06,1.878829e-06,2.255084e-06,2.567163e-06,2.600326e-06,2.915918e-06,3.170426e-06,3.203515e-06,3.464782e-06,3.669636e-06,3.701317e-06,3.914595e-06,4.076852e-06,4.106086e-06,4.277211e-06,4.403293e-06,4.429331e-06,4.563742e-06,4.659351e-06,4.681677e-06,4.784301e-06,4.854433e-06,4.872720e-06,4.947972e-06,4.996962e-06,5.011036e-06,5.062832e-06,5.094416e-06,5.104222e-06,5.136015e-06,5.153390e-06,5.158967e-06,5.173784e-06,5.179672e-06,5.181129e-06,5.181617e-06,5.178329e-06,5.175826e-06,5.164292e-06,5.153778e-06,5.147516e-06,5.125964e-06,5.109867e-06,5.100072e-06,5.070243e-06,5.049939e-06,5.036854e-06,5.000255e-06,4.976891e-06,4.960771e-06,4.918703e-06,4.893231e-06,4.874332e-06,4.827918e-06,4.801124e-06,4.779702e-06,4.729908e-06,4.702436e-06,4.678742e-06,4.626396e-06,4.598769e-06,4.573047e-06,4.518859e-06,4.491498e-06,4.463982e-06,4.408556e-06,4.381795e-06,4.352709e-06,4.296559e-06,4.270658e-06,4.240214e-06,4.183775e-06,4.158936e-06,4.127332e-06,4.070970e-06,4.047340e-06,4.014764e-06,3.958785e-06,3.936472e-06,3.903097e-06,3.847756e-06,3.826829e-06,3.792816e-06,3.738324e-06,3.718825e-06,3.684323e-06,3.630850e-06,3.612797e-06,3.577942e-06,3.525627e-06,3.509016e-06,3.473934e-06,3.422886e-06,3.407701e-06,3.372505e-06,3.322810e-06,3.309020e-06,3.273814e-06,3.225534e-06,3.213099e-06,3.177978e-06,3.131158e-06,3.120031e-06,3.085080e-06,3.039750e-06,3.029878e-06,2.995172e-06,2.951350e-06,2.942676e-06,2.908283e-06,2.865974e-06,2.858438e-06,2.824420e-06,2.783619e-06,2.777161e-06,2.743570e-06,2.704268e-06,2.698825e-06,2.665709e-06,2.627887e-06,2.623398e-06,2.590797e-06,2.554433e-06,2.550836e-06,2.518787e-06,2.483852e-06,2.481088e-06,2.449621e-06,2.416085e-06,2.414095e-06,2.383236e-06,2.351065e-06,2.349793e-06,2.319564e-06,2.288723e-06,2.288113e-06,2.258533e-06,2.228984e-06,2.172331e-06,2.118079e-06,2.066151e-06,2.016468e-06,1.968956e-06,1.923537e-06,1.880135e-06,1.838675e-06,1.799086e-06,1.761294e-06,1.725231e-06,1.690827e-06,1.658016e-06,1.626734e-06,1.596918e-06,1.568508e-06,1.541444e-06,1.515671e-06,1.491134e-06,1.467779e-06,1.445557e-06,1.424418e-06,1.404316e-06,1.385205e-06,1.367041e-06,1.349783e-06,1.333391e-06,1.317826e-06,1.303051e-06,1.289031e-06,1.275732e-06,1.263122e-06,1.251169e-06,1.239843e-06,1.229116e-06,1.218961e-06,1.209350e-06,1.200260e-06,1.191665e-06,1.183544e-06,1.175874e-06,1.168633e-06,1.161803e-06,1.155363e-06,1.149295e-06,1.143582e-06,1.138207e-06,1.133153e-06,1.128406e-06
0.000000e+00,1.222876e-10,1.672644e-08,1.796917e-08,3.325268e-07,2.535448e-06,2.728048e-06,1.333103e-05,4.090300e-05,4.347856e-05,1.029065e-04,1.835987e-04,1.915943e-04,3.006929e-04,4.070595e-04,4.190287e-04,5.377496e-04,6.381914e-04,6.514662e-04,7.575314e-04,8.418575e-04,8.549700e-04,9.436794e-04,1.011662e-03,1.023959e-03,1.096270e-03,1.149983e-03,1.161131e-03,1.219064e-03,1.260764e-03,1.270576e-03,1.316151e-03,1.347875e-03,1.356248e-03,1.391296e-03,1.414805e-03,1.421699e-03,1.447830e-03,1.464626e-03,1.470042e-03,1.488658e-03,1.500005e-03,1.503979e-03,1.516283e-03,1.523240e-03,1.525829e-03,1.532854e-03,1.536305e-03,1.537579e-03,1.540208e-03,1.540886e-03,1.540927e-03,1.539911e-03,1.538424e-03,1.537318e-03,1.533297e-03,1.530147e-03,1.527984e-03,1.521503e-03,1.517102e-03,1.513970e-03,1.505490e-03,1.500177e-03,1.496162e-03,1.486076e-03,1.480128e-03,1.475314e-03,1.463953e-03,1.457594e-03,1.452063e-03,1.439707e-03,1.433118e-03,1.426945e-03,1.413832e-03,1.407159e-03,1.400417e-03,1.386746e-03,1.380106e-03,1.372862e-03,1.358801e-03,1.352284e-03,1.344599e-03,1.330289e-03,1.323966e-03,1.315900e-03,1.301458e-03,1.295383e-03,1.286989e-03,1.272514e-03,1.266728e-03,1.258055e-03,1.243628e-03,1.238158e-03,1.229252e-03,1.214940e-03,1.209807e-03,1.200709e-03,1.186568e-03,1.181784e-03,1.172531e-03,1.158607e-03,1.154176e-03,1.144804e-03,1.131132e-03,1.127057e-03,1.117598e-03,1.104207e-03,1.100484e-03,1.090966e-03,1.077879e-03,1.074503e-03,1.064951e-03,1.052187e-03,1.049148e-03,1.039588e-03,1.027157e-03,1.024446e-03,1.014898e-03,1.002812e-03,1.000416e-03,9.909010e-04,9.791654e-04,9.770717e-04,9.676065e-04,9.562248e-04,9.544203e-04,9.450208e-04,9.339945e-04,9.324650e-04,9.231457e-04,9.124743e-04,9.112056e-04,9.019796e-04,8.916609e-04,8.906387e-04,8.815175e-04,8.715484e-04,8.707584e-04,8.617526e-04,8.521287e-04,8.515567e-04,8.426756e-04,8.333918e-04,8.330240e-04,8.242759e-04,8.153263e-04,8.151490e-04,8.065415e-04,7.979198e-04,7.813231e-04,7.653454e-04,7.499722e-04,7.351890e-04,7.209809e-04,7.073329e-04,6.942299e-04,6.816567e-04,6.695983e-04,6.580398e-04,6.469664e-04,6.363634e-04,6.262165e-04,6.165114e-04,6.072343e-04,5.983714e-04,5.899094e-04,5.818351e-04,5.741357e-04,5.667987e-04,5.598117e-04,5.531628e-04,5.468403e-04,5.408328e-04,5.351292e-04,5.297186e-04,5.245905e-04,5.197346e-04,5.151408e-04,5.107995e-04,5.067011e-04,5.028364e-04,4.991965e-04,4.957725e-04,4.925561e-04,4.895389e-04,4.867130e-04,4.840705e-04,4.816039e-04,4.793058e-04,4.771693e-04,4.751872e-04,4.733529e-04,4.716600e-04,4.701020e-04,4.686729e-04,4.673667e-04,4.661778e-04,4.651005e-04
0.000000e+00,2.754684e-11,6.507908e-09,7.060605e-09,2.017613e-07,2.208084e-06,2.411633e-06,1.740804e-05,8.043312e-05,8.789484e-05,3.368270e-04,9.552707e-04,1.038114e-03,2.692718e-03,5.643841e-03,6.091413e-03,1.235242e-02,2.137668e-02,2.292967e-02,3.959274e-02,6.034075e-02,6.438281e-02,9.955050e-02,1.388544e-01,1.474815e-01,2.106165e-01,2.754286e-01,2.913698e-01,3.920519e-01,4.883892e-01,5.147987e-01,6.615098e-01,7.936289e-01,8.337975e-01,1.032947e+00,1.202853e+00,1.259890e+00,1.515187e+00,1.722483e+00,1.799021e+00,2.111203e+00,2.353230e+00,2.451181e+00,2.818062e+00,3.090251e+00,3.210637e+00,3.627408e+00,3.923748e+00,4.066622e+00,4.526308e+00,4.839874e+00,5.004308e+00,5.498321e+00,5.821781e+00,6.005932e+00,6.524649e+00,6.850721e+00,7.051938e+00,7.585253e+00,7.907080e+00,8.122063e+00,8.659879e+00,8.971314e+00,9.196277e+00,9.728918e+00,1.002472e+01,1.025557e+01,1.077411e+01,1.105004e+01,1.128255e+01,1.177904e+01,1.203192e+01,1.226188e+01,1.272951e+01,1.295719e+01,1.318054e+01,1.361372e+01,1.381498e+01,1.402796e+01,1.442231e+01,1.459681e+01,1.479598e+01,1.514832e+01,1.529646e+01,1.547883e+01,1.578711e+01,1.590990e+01,1.607292e+01,1.633612e+01,1.643505e+01,1.657667e+01,1.679465e+01,1.687160e+01,1.699024e+01,1.716368e+01,1.722076e+01,1.731532e+01,1.744555e+01,1.748504e+01,1.755485e+01,1.764374e+01,1.766797e+01,1.771280e+01,1.776264e+01,1.777394e+01,1.779392e+01,1.780732e+01,1.780796e+01,1.780355e+01,1.778334e+01,1.777548e+01,1.774743e+01,1.769657e+01,1.768222e+01,1.763152e+01,1.755305e+01,1.753406e+01,1.746190e+01,1.735884e+01,1.733687e+01,1.724461e+01,1.711995e+01,1.709646e+01,1.698558e+01,1.684220e+01,1.681847e+01,1.669052e+01,1.653121e+01,1.650833e+01,1.636492e+01,1.619229e+01,1.617118e+01,1.601394e+01,1.583046e+01,1.581186e+01,1.564243e+01,1.545040e+01,1.543488e+01,1.525489e+01,1.505641e+01,1.504441e+01,1.485544e+01,1.465244e+01,1.464428e+01,1.444786e+01,1.424210e+01,1.423797e+01,1.403556e+01,1.382863e+01,1.341905e+01,1.301176e+01,1.260897e+01,1.221259e+01,1.182432e+01,1.144557e+01,1.107757e+01,1.072133e+01,1.037768e+01,1.004727e+01,9.730618e+00,9.428100e+00,9.139971e+00,8.866377e+00,8.607369e+00,8.362912e+00,8.132897e+00,7.917149e+00,7.715434e+00,7.527471e+00,7.352934e+00,7.191458e+00,7.042651e+00,6.906089e+00,6.781329e+00,6.667910e+00,6.565354e+00,6.473174e+00,6.390874e+00,6.317953e+00,6.253907e+00,6.198232e+00,6.150426e+00,6.109989e+00,6.076430e+00,6.049263e+00,6.028010e+00,6.012207e+00,6.001399e+00,5.995145e+00,5.993017e+00,5.994604e+00,5.999509e+00,6.007352e+00,6.017771e+00,6.030422e+00,6.044978e+00,6.061131e+00,6.078592e+00
0.000000e+00,3.281827e-09,9.390038e-08,9.899662e-08,9.031039e-07,3.929011e-06,4.128537e-06,1.091605e-05,1.879839e-05,1.930008e-05,2.726587e-05,3.378618e-05,3.431531e-05,4.044131e-05,4.523159e-05,4.572458e-05,5.025493e-05,5.368574e-05,5.411638e-05,5.738480e-05,5.977325e-05,6.012801e-05,6.240649e-05,6.400078e-05,6.427402e-05,6.577887e-05,6.677257e-05,6.696410e-05,6.786815e-05,6.841205e-05,6.852522e-05,6.896577e-05,6.917660e-05,6.921685e-05,6.930247e-05,6.927009e-05,6.924394e-05,6.906013e-05,6.885335e-05,6.876774e-05,6.838156e-05,6.805284e-05,6.791467e-05,6.737859e-05,6.696769e-05,6.678354e-05,6.613851e-05,6.567543e-05,6.545144e-05,6.472930e-05,6.423652e-05,6.397827e-05,6.320376e-05,6.269797e-05,6.241052e-05,6.160275e-05,6.109625e-05,6.078410e-05,5.995779e-05,5.945951e-05,5.912663e-05,5.829308e-05,5.780937e-05,5.745927e-05,5.662707e-05,5.616235e-05,5.579809e-05,5.497373e-05,5.453094e-05,5.415521e-05,5.334355e-05,5.292451e-05,5.253965e-05,5.174428e-05,5.134998e-05,5.095805e-05,5.018153e-05,4.981238e-05,4.941515e-05,4.865928e-05,4.831519e-05,4.791421e-05,4.718020e-05,4.686078e-05,4.645741e-05,4.574598e-05,4.545060e-05,4.504602e-05,4.435756e-05,4.408541e-05,4.368065e-05,4.301528e-05,4.276546e-05,4.236142e-05,4.171902e-05,4.149055e-05,4.108802e-05,4.046835e-05,4.026022e-05,3.985990e-05,3.926256e-05,3.907375e-05,3.867623e-05,3.810078e-05,3.793025e-05,3.753608e-05,3.698199e-05,3.682873e-05,3.643837e-05,3.590507e-05,3.576808e-05,3.538195e-05,3.486885e-05,3.474718e-05,3.436562e-05,3.387211e-05,3.376482e-05,3.338816e-05,3.291362e-05,3.281982e-05,3.244832e-05,3.199213e-05,3.191097e-05,3.154488e-05,3.110641e-05,3.103706e-05,3.067659e-05,3.025524e-05,3.019692e-05,2.984224e-05,2.943741e-05,2.938938e-05,2.904063e-05,2.865175e-05,2.861329e-05,2.827061e-05,2.789709e-05,2.786753e-05,2.753104e-05,2.717232e-05,2.715102e-05,2.682079e-05,2.647634e-05,2.646270e-05,2.613881e-05,2.580809e-05,2.580154e-05,2.548404e-05,2.516655e-05,2.455675e-05,2.397122e-05,2.340905e-05,2.286938e-05,2.235135e-05,2.185416e-05,2.137702e-05,2.091918e-05,2.047991e-05,2.005849e-05,1.965427e-05,1.926657e-05,1.889478e-05,1.853829e-05,1.819651e-05,1.786889e-05,1.755487e-05,1.725394e-05,1.696559e-05,1.668935e-05,1.642475e-05,1.617133e-05,1.592867e-05,1.569635e-05,1.547397e-05,1.526115e-05,1.505751e-05,1.486271e-05,1.467638e-05,1.449822e-05,1.432789e-05,1.416509e-05,1.400953e-05,1.386092e-05,1.371899e-05,1.358348e-05,1.345414e-05,1.333071e-05,1.321298e-05,1.310070e-05,1.299368e-05,1.289169e-05,1.279454e-05,1.270203e-05,1.261398e-05,1.253021e-05,1.245055e-05,1.237483e-05,1.230289e-05
0.000000e+00,3.339868e-09,1.115929e-07,1.178131e-07,1.103838e-06,4.726934e-06,4.962565e-06,1.292190e-05,2.221168e-05,2.280446e-05,3.219818e-05,3.983255e-05,4.044926e-05,4.755473e-05,5.306251e-05,5.362669e-05,5.878553e-05,6.265824e-05,6.314203e-05,6.679498e-05,6.944080e-05,6.983187e-05,7.232997e-05,7.406211e-05,7.435745e-05,7.597434e-05,7.703106e-05,7.723346e-05,7.818124e-05,7.874285e-05,7.885843e-05,7.930076e-05,7.950303e-05,7.953956e-05,7.960226e-05,7.954706e-05,7.951292e-05,7.929255e-05,7.905603e-05,7.895954e-05,7.852990e-05,7.816868e-05,7.801767e-05,7.743518e-05,7.699144e-05,7.679317e-05,7.610100e-05,7.560592e-05,7.536691e-05,7.459814e-05,7.407485e-05,7.380099e-05,7.298087e-05,7.244612e-05,7.214246e-05,7.128996e-05,7.075590e-05,7.042690e-05,6.955644e-05,6.903180e-05,6.868139e-05,6.780402e-05,6.729488e-05,6.692634e-05,6.605016e-05,6.556072e-05,6.517697e-05,6.430807e-05,6.384104e-05,6.344456e-05,6.258741e-05,6.214448e-05,6.173743e-05,6.089534e-05,6.047743e-05,6.006171e-05,5.923705e-05,5.884452e-05,5.842176e-05,5.761617e-05,5.724893e-05,5.682056e-05,5.603515e-05,5.569285e-05,5.526012e-05,5.449559e-05,5.417765e-05,5.374168e-05,5.299843e-05,5.270413e-05,5.226589e-05,5.154407e-05,5.127259e-05,5.083296e-05,5.013253e-05,4.988298e-05,4.944274e-05,4.876354e-05,4.853501e-05,4.809485e-05,4.743661e-05,4.722816e-05,4.678872e-05,4.615109e-05,4.596179e-05,4.552363e-05,4.490623e-05,4.473515e-05,4.429878e-05,4.370117e-05,4.354739e-05,4.311328e-05,4.253500e-05,4.239763e-05,4.196621e-05,4.140679e-05,4.128496e-05,4.085661e-05,4.031555e-05,4.020843e-05,3.978350e-05,3.926032e-05,3.916708e-05,3.874590e-05,3.824011e-05,3.815997e-05,3.774283e-05,3.725393e-05,3.718615e-05,3.677331e-05,3.630083e-05,3.624467e-05,3.583637e-05,3.537983e-05,3.533460e-05,3.493107e-05,3.448999e-05,3.445504e-05,3.405648e-05,3.363040e-05,3.360507e-05,3.321166e-05,3.280014e-05,3.278383e-05,3.239574e-05,3.199833e-05,3.199046e-05,3.160782e-05,3.122410e-05,3.048396e-05,2.976922e-05,2.907911e-05,2.841287e-05,2.776976e-05,2.714908e-05,2.655012e-05,2.597220e-05,2.541468e-05,2.487690e-05,2.435826e-05,2.385814e-05,2.337597e-05,2.291118e-05,2.246321e-05,2.203154e-05,2.161564e-05,2.121502e-05,2.082918e-05,2.045765e-05,2.009998e-05,1.975572e-05,1.942444e-05,1.910572e-05,1.879916e-05,1.850435e-05,1.822093e-05,1.794852e-05,1.768677e-05,1.743531e-05,1.719383e-05,1.696199e-05,1.673948e-05,1.652599e-05,1.632121e-05,1.612488e-05,1.593669e-05,1.575639e-05,1.558371e-05,1.541839e-05,1.526019e-05,1.510887e-05,1.496420e-05,1.482595e-05,1.469391e-05,1.456786e-05,1.444760e-05,1.433292e-05,1.422365e-05
0.000000e+00,1.099287e-08,1.809276e-07,1.893776e-07,1.274277e-06,4.451790e-06,4.641583e-06,1.054237e-05,1.699818e-05,1.741259e-05,2.418003e-05,3.008529e-05,3.058269e-05,3.658069e-05,4.163603e-05,4.217809e-05,4.738800e-05,5.166446e-05,5.222590e-05,5.670796e-05,6.029039e-05,6.085052e-05,6.466990e-05,6.764017e-05,6.818214e-05,7.140289e-05,7.383709e-05,7.434737e-05,7.703024e-05,7.899769e-05,7.946562e-05,8.166709e-05,8.323021e-05,8.364761e-05,8.541963e-05,8.663424e-05,8.699501e-05,8.838509e-05,8.930083e-05,8.960069e-05,9.065210e-05,9.131300e-05,9.154917e-05,9.230122e-05,9.274617e-05,9.291718e-05,9.340549e-05,9.366875e-05,9.377420e-05,9.403096e-05,9.414265e-05,9.418305e-05,9.423738e-05,9.422388e-05,9.420049e-05,9.407861e-05,9.396295e-05,9.387763e-05,9.360315e-05,9.340541e-05,9.326049e-05,9.285467e-05,9.259224e-05,9.239045e-05,9.187232e-05,9.156023e-05,9.130458e-05,9.069124e-05,9.034243e-05,9.003613e-05,8.934284e-05,8.896839e-05,8.861480e-05,8.785522e-05,8.746456e-05,8.706713e-05,8.625341e-05,8.585452e-05,8.541675e-05,8.455970e-05,8.415927e-05,8.368466e-05,8.279388e-05,8.239750e-05,8.188949e-05,8.097348e-05,8.058575e-05,8.004774e-05,7.911401e-05,7.873866e-05,7.817395e-05,7.722911e-05,7.686912e-05,7.628094e-05,7.533078e-05,7.498849e-05,7.437992e-05,7.342952e-05,7.310669e-05,7.248069e-05,7.153446e-05,7.123237e-05,7.059178e-05,6.965354e-05,6.937305e-05,6.872055e-05,6.779359e-05,6.753522e-05,6.687336e-05,6.596049e-05,6.572443e-05,6.505560e-05,6.415922e-05,6.394542e-05,6.327186e-05,6.239398e-05,6.220216e-05,6.152599e-05,6.066827e-05,6.049799e-05,5.982116e-05,5.898497e-05,5.883563e-05,5.815996e-05,5.734638e-05,5.721729e-05,5.654445e-05,5.575435e-05,5.564469e-05,5.497623e-05,5.421025e-05,5.411915e-05,5.345649e-05,5.271507e-05,5.264161e-05,5.198605e-05,5.126949e-05,5.121270e-05,5.056541e-05,4.987384e-05,4.983275e-05,4.919479e-05,4.852823e-05,4.850183e-05,4.787416e-05,4.723252e-05,4.721982e-05,4.660328e-05,4.598637e-05,4.480100e-05,4.366308e-05,4.257183e-05,4.152640e-05,4.052584e-05,3.956914e-05,3.865523e-05,3.778297e-05,3.695121e-05,3.615878e-05,3.540445e-05,3.468703e-05,3.400529e-05,3.335801e-05,3.274399e-05,3.216202e-05,3.161091e-05,3.108950e-05,3.059662e-05,3.013116e-05,2.969200e-05,2.927807e-05,2.888830e-05,2.852168e-05,2.817719e-05,2.785387e-05,2.755078e-05,2.726700e-05,2.700165e-05,2.675387e-05,2.652284e-05,2.630775e-05,2.610784e-05,2.592237e-05,2.575063e-05,2.559191e-05,2.544557e-05,2.531097e-05,2.518750e-05,2.507457e-05,2.497162e-05,2.487811e-05,2.479353e-05,2.471738e-05,2.464918e-05,2.458850e-05,2.453488e-05,2.448792e-05,2.444722e-05
0.000000e+00,4.602396e-12,9.401769e-10,1.017915e-09,2.712457e-08,2.825181e-07,3.077801e-07,2.034303e-06,8.226049e-06,8.898441e-06,2.812579e-05,6.493253e-05,6.925365e-05,1.411442e-04,2.366961e-04,2.491812e-04,3.939198e-04,5.485108e-04,5.712955e-04,7.738537e-04,9.611581e-04,9.923446e-04,1.217204e-03,1.404554e-03,1.439667e-03,1.652455e-03,1.815803e-03,1.850063e-03,2.028775e-03,2.156674e-03,2.186480e-03,2.322402e-03,2.413434e-03,2.436795e-03,2.530655e-03,2.589155e-03,2.605463e-03,2.662976e-03,2.695505e-03,2.705074e-03,2.733641e-03,2.746849e-03,2.750483e-03,2.757284e-03,2.756896e-03,2.755574e-03,2.746719e-03,2.737236e-03,2.731921e-03,2.712226e-03,2.696989e-03,2.688537e-03,2.661623e-03,2.643012e-03,2.632138e-03,2.600635e-03,2.580296e-03,2.567576e-03,2.533351e-03,2.512393e-03,2.498283e-03,2.462639e-03,2.441792e-03,2.426643e-03,2.390476e-03,2.370206e-03,2.354291e-03,2.318210e-03,2.298806e-03,2.282334e-03,2.246745e-03,2.228374e-03,2.211508e-03,2.176679e-03,2.159430e-03,2.142299e-03,2.108402e-03,2.092311e-03,2.075014e-03,2.042155e-03,2.027222e-03,2.009841e-03,1.978080e-03,1.964283e-03,1.946881e-03,1.916247e-03,1.903551e-03,1.886182e-03,1.856684e-03,1.845043e-03,1.827752e-03,1.799384e-03,1.788751e-03,1.771575e-03,1.744320e-03,1.734643e-03,1.717614e-03,1.691450e-03,1.682677e-03,1.665822e-03,1.640723e-03,1.632801e-03,1.616145e-03,1.592080e-03,1.584960e-03,1.568521e-03,1.545460e-03,1.539092e-03,1.522890e-03,1.500801e-03,1.495135e-03,1.479185e-03,1.458036e-03,1.453028e-03,1.437343e-03,1.417101e-03,1.412707e-03,1.397300e-03,1.377932e-03,1.374110e-03,1.358990e-03,1.340466e-03,1.337175e-03,1.322352e-03,1.304640e-03,1.301843e-03,1.287323e-03,1.270394e-03,1.268054e-03,1.253844e-03,1.237667e-03,1.235751e-03,1.221856e-03,1.206403e-03,1.204877e-03,1.191302e-03,1.176545e-03,1.175379e-03,1.162126e-03,1.148038e-03,1.147203e-03,1.134275e-03,1.120830e-03,1.120298e-03,1.107697e-03,1.094869e-03,1.094616e-03,1.082341e-03,1.070106e-03,1.046724e-03,1.024424e-03,1.003163e-03,9.828993e-04,9.635921e-04,9.452026e-04,9.276933e-04,9.110277e-04,8.951711e-04,8.800896e-04,8.657509e-04,8.521237e-04,8.391778e-04,8.268842e-04,8.152151e-04,8.041436e-04,7.936437e-04,7.836906e-04,7.742604e-04,7.653300e-04,7.568772e-04,7.488807e-04,7.413200e-04,7.341754e-04,7.274281e-04,7.210597e-04,7.150527e-04,7.093905e-04,7.040568e-04,6.990361e-04,6.943135e-04,6.898748e-04,6.857063e-04,6.817947e-04,6.781274e-04,6.746924e-04,6.714780e-04,6.684731e-04,6.656670e-04,6.630495e-04,6.606108e-04,6.583416e-04,6.562327e-04,6.542757e-04,6.524623e-04,6.507847e-04,6.492353e-04,6.478069e-04,6.464928e-04
0.000000e+00,2.109033e-13,4.882124e-11,5.293427e-11,1.451799e-09,1.513645e-08,1.649875e-08,1.138404e-07,5.106139e-07,5.571978e-07,2.102949e-06,5.949067e-06,6.466123e-06,1.687100e-05,3.568044e-05,3.855302e-05,7.910128e-05,1.383284e-04,1.485856e-04,2.594610e-04,3.989633e-04,4.262747e-04,6.652175e-04,9.342952e-04,9.935706e-04,1.429094e-03,1.878569e-03,1.989403e-03,2.691363e-03,3.365439e-03,3.550543e-03,4.580732e-03,5.510552e-03,5.793547e-03,7.198131e-03,8.397943e-03,8.800936e-03,1.060560e-02,1.207159e-02,1.261293e-02,1.482092e-02,1.653237e-02,1.722485e-02,1.981748e-02,2.173954e-02,2.258921e-02,2.552837e-02,2.761579e-02,2.862142e-02,3.185328e-02,3.405444e-02,3.520759e-02,3.866701e-02,4.092789e-02,4.221349e-02,4.582853e-02,4.809609e-02,4.949344e-02,5.318959e-02,5.541460e-02,5.689859e-02,6.060250e-02,6.274159e-02,6.428401e-02,6.792656e-02,6.994347e-02,7.151445e-02,7.503299e-02,7.689931e-02,7.846852e-02,8.180853e-02,8.350376e-02,8.504163e-02,8.815761e-02,8.966883e-02,9.114747e-02,9.400335e-02,9.532457e-02,9.671856e-02,9.928754e-02,1.004189e-01,1.017058e-01,1.039700e-01,1.049167e-01,1.060776e-01,1.080270e-01,1.087985e-01,1.098178e-01,1.114501e-01,1.120588e-01,1.129248e-01,1.142435e-01,1.147041e-01,1.154084e-01,1.164224e-01,1.167512e-01,1.172888e-01,1.180113e-01,1.182249e-01,1.185941e-01,1.190415e-01,1.191568e-01,1.193583e-01,1.195495e-01,1.195831e-01,1.196201e-01,1.195756e-01,1.195432e-01,1.194212e-01,1.191624e-01,1.190787e-01,1.188047e-01,1.183535e-01,1.182319e-01,1.178143e-01,1.171925e-01,1.170451e-01,1.164934e-01,1.157223e-01,1.155599e-01,1.148844e-01,1.139845e-01,1.138163e-01,1.130277e-01,1.120186e-01,1.118526e-01,1.109619e-01,1.098620e-01,1.097048e-01,1.087231e-01,1.075495e-01,1.074065e-01,1.063449e-01,1.051133e-01,1.049888e-01,1.038581e-01,1.025829e-01,1.024801e-01,1.012909e-01,9.998515e-02,9.990644e-02,9.866865e-02,9.734416e-02,9.729105e-02,9.601429e-02,9.468152e-02,9.465485e-02,9.334815e-02,9.201636e-02,8.939193e-02,8.679578e-02,8.424025e-02,8.173590e-02,7.929166e-02,7.691504e-02,7.461215e-02,7.238794e-02,7.024624e-02,6.818994e-02,6.622107e-02,6.434089e-02,6.255001e-02,6.084844e-02,5.923567e-02,5.771075e-02,5.627236e-02,5.491882e-02,5.364820e-02,5.245831e-02,5.134677e-02,5.031104e-02,4.934844e-02,4.845621e-02,4.763148e-02,4.687136e-02,4.617290e-02,4.553314e-02,4.494913e-02,4.441792e-02,4.393661e-02,4.350231e-02,4.311221e-02,4.276352e-02,4.245355e-02,4.217966e-02,4.193931e-02,4.173002e-02,4.154940e-02,4.139518e-02,4.126514e-02,4.115718e-02,4.106931e-02,4.099960e-02,4.094625e-02,4.090755e-02,4.088188e-02,4.086772e-02,4.086366e-02
0.000000e+00,2.732054e-12,5.593700e-10,6.051673e-10,1.500253e-08,1.419423e-07,1.540542e-07,9.467635e-07,3.758536e-06,4.068211e-06,1.335268e-05,3.307202e-05,3.552911e-05,8.003061e-05,1.481292e-04,1.576946e-04,2.788014e-04,4.276099e-04,4.511757e-04,6.789082e-04,9.190642e-04,9.618966e-04,1.296122e-03,1.611297e-03,1.674422e-03,2.087495e-03,2.444875e-03,2.524934e-03,2.976130e-03,3.340180e-03,3.430993e-03,3.880447e-03,4.222220e-03,4.316725e-03,4.733498e-03,5.034143e-03,5.125879e-03,5.490331e-03,5.740636e-03,5.824528e-03,6.127182e-03,6.325293e-03,6.397867e-03,6.636846e-03,6.785676e-03,6.844916e-03,7.023265e-03,7.128307e-03,7.173362e-03,7.296859e-03,7.364644e-03,7.395509e-03,7.471112e-03,7.508233e-03,7.525464e-03,7.560324e-03,7.572898e-03,7.577393e-03,7.578290e-03,7.571709e-03,7.564551e-03,7.537615e-03,7.516480e-03,7.498828e-03,7.449440e-03,7.417588e-03,7.390610e-03,7.323405e-03,7.283981e-03,7.248809e-03,7.167726e-03,7.123277e-03,7.080984e-03,6.989342e-03,6.941902e-03,6.893492e-03,6.794067e-03,6.745244e-03,6.691643e-03,6.586745e-03,6.537794e-03,6.479850e-03,6.371390e-03,6.323275e-03,6.261759e-03,6.151311e-03,6.104757e-03,6.040367e-03,5.929219e-03,5.884762e-03,5.818127e-03,5.707325e-03,5.665341e-03,5.597025e-03,5.487413e-03,5.448155e-03,5.378660e-03,5.270912e-03,5.234532e-03,5.164304e-03,5.058953e-03,5.025522e-03,4.954960e-03,4.852415e-03,4.821947e-03,4.751398e-03,4.651973e-03,4.624428e-03,4.554199e-03,4.458123e-03,4.433427e-03,4.363785e-03,4.271219e-03,4.249269e-03,4.180448e-03,4.091492e-03,4.072167e-03,4.004366e-03,3.919078e-03,3.902242e-03,3.835633e-03,3.754029e-03,3.739536e-03,3.674264e-03,3.596330e-03,3.584030e-03,3.520218e-03,3.445914e-03,3.435655e-03,3.373404e-03,3.302671e-03,3.294302e-03,3.233695e-03,3.166457e-03,3.159828e-03,3.100933e-03,3.037101e-03,3.032066e-03,2.974935e-03,2.914411e-03,2.910831e-03,2.855502e-03,2.798181e-03,2.795921e-03,2.742421e-03,2.688194e-03,2.687125e-03,2.635472e-03,2.584227e-03,2.487006e-03,2.395239e-03,2.308705e-03,2.227184e-03,2.150459e-03,2.078318e-03,2.010554e-03,1.946965e-03,1.887356e-03,1.831537e-03,1.779325e-03,1.730545e-03,1.685025e-03,1.642604e-03,1.603125e-03,1.566438e-03,1.532399e-03,1.500870e-03,1.471720e-03,1.444823e-03,1.420059e-03,1.397313e-03,1.376475e-03,1.357440e-03,1.340108e-03,1.324385e-03,1.310179e-03,1.297403e-03,1.285975e-03,1.275815e-03,1.266848e-03,1.259003e-03,1.252211e-03,1.246406e-03,1.241527e-03,1.237515e-03,1.234312e-03,1.231864e-03,1.230122e-03,1.229035e-03,1.228558e-03,1.228645e-03,1.229255e-03,1.230348e-03,1.231885e-03,1.233831e-03,1.236151e-03,1.238811e-03,1.241782e-03
0.000000e+00,3.863194e-12,7.935568e-10,8.591617e-10,2.254917e-08,2.261909e-07,2.459784e-07,1.560444e-06,6.169083e-06,6.668155e-06,2.101415e-05,4.896024e-05,5.227760e-05,1.083529e-04,1.849222e-04,1.950699e-04,3.147813e-04,4.464180e-04,4.661263e-04,6.446875e-04,8.151704e-04,8.440697e-04,1.057029e-03,1.241142e-03,1.276393e-03,1.495699e-03,1.671665e-03,1.709553e-03,1.913755e-03,2.068095e-03,2.105275e-03,2.282128e-03,2.409152e-03,2.443205e-03,2.588097e-03,2.687445e-03,2.716918e-03,2.830166e-03,2.904379e-03,2.928593e-03,3.013112e-03,3.065912e-03,3.084719e-03,3.144445e-03,3.179732e-03,3.193311e-03,3.232309e-03,3.253675e-03,3.262382e-03,3.284410e-03,3.294943e-03,3.299213e-03,3.307548e-03,3.309808e-03,3.310103e-03,3.307510e-03,3.303570e-03,3.300341e-03,3.289115e-03,3.280629e-03,3.274301e-03,3.256323e-03,3.244598e-03,3.235563e-03,3.212367e-03,3.198429e-03,3.187043e-03,3.159871e-03,3.144519e-03,3.131102e-03,3.100962e-03,3.084816e-03,3.069654e-03,3.037358e-03,3.020892e-03,3.004239e-03,2.970444e-03,2.954020e-03,2.936102e-03,2.901334e-03,2.885226e-03,2.866242e-03,2.830922e-03,2.815331e-03,2.795458e-03,2.759925e-03,2.744997e-03,2.724391e-03,2.688915e-03,2.674753e-03,2.653550e-03,2.618345e-03,2.605017e-03,2.583339e-03,2.548572e-03,2.536120e-03,2.514074e-03,2.479875e-03,2.468320e-03,2.446000e-03,2.412471e-03,2.401817e-03,2.379306e-03,2.346522e-03,2.336764e-03,2.314134e-03,2.282153e-03,2.273273e-03,2.250590e-03,2.219453e-03,2.211428e-03,2.188749e-03,2.158483e-03,2.151285e-03,2.128659e-03,2.099282e-03,2.092879e-03,2.070352e-03,2.041872e-03,2.036230e-03,2.013841e-03,1.986260e-03,1.981343e-03,1.959127e-03,1.932442e-03,1.928214e-03,1.906202e-03,1.880404e-03,1.876828e-03,1.855047e-03,1.830126e-03,1.827165e-03,1.805639e-03,1.781581e-03,1.779198e-03,1.757948e-03,1.734737e-03,1.732898e-03,1.711943e-03,1.689560e-03,1.688230e-03,1.667586e-03,1.646014e-03,1.645159e-03,1.624840e-03,1.604059e-03,1.603647e-03,1.583665e-03,1.563654e-03,1.525142e-03,1.488069e-03,1.452395e-03,1.418081e-03,1.385084e-03,1.353366e-03,1.322888e-03,1.293610e-03,1.265496e-03,1.238507e-03,1.212607e-03,1.187762e-03,1.163935e-03,1.141094e-03,1.119205e-03,1.098236e-03,1.078157e-03,1.058936e-03,1.040544e-03,1.022952e-03,1.006133e-03,9.900594e-04,9.747051e-04,9.600445e-04,9.460530e-04,9.327064e-04,9.199817e-04,9.078561e-04,8.963079e-04,8.853158e-04,8.748592e-04,8.649183e-04,8.554737e-04,8.465067e-04,8.379992e-04,8.299336e-04,8.222928e-04,8.150605e-04,8.082205e-04,8.017575e-04,7.956563e-04,7.899027e-04,7.844823e-04,7.793818e-04,7.745878e-04,7.700877e-04,7.658691e-04,7.619200e-04,7.582290e-04
0.000000e+00,1.196143e-09,1.507316e-08,1.572992e-08,9.937383e-08,3.660595e-07,3.830638e-07,9.637498e-07,1.677441e-06,1.724689e-06,2.505061e-06,3.188188e-06,3.245533e-06,3.933042e-06,4.505465e-06,4.566407e-06,5.147412e-06,5.617382e-06,5.678578e-06,6.162575e-06,6.543117e-06,6.602064e-06,6.999638e-06,7.303053e-06,7.357815e-06,7.679019e-06,7.916456e-06,7.965582e-06,8.219735e-06,8.401154e-06,8.443604e-06,8.639215e-06,8.773413e-06,8.808488e-06,8.953243e-06,9.047921e-06,9.075200e-06,9.175984e-06,9.237837e-06,9.257127e-06,9.320070e-06,9.354887e-06,9.366174e-06,9.396715e-06,9.409480e-06,9.412895e-06,9.415842e-06,9.410830e-06,9.406615e-06,9.386210e-06,9.367073e-06,9.355557e-06,9.315531e-06,9.285376e-06,9.266950e-06,9.210582e-06,9.172039e-06,9.147143e-06,9.077303e-06,9.032589e-06,9.001689e-06,8.920887e-06,8.871861e-06,8.835443e-06,8.745867e-06,8.694078e-06,8.652635e-06,8.556188e-06,8.502917e-06,8.456939e-06,8.355273e-06,8.301570e-06,8.251544e-06,8.146085e-06,8.092803e-06,8.039201e-06,7.931179e-06,7.879002e-06,7.822281e-06,7.712751e-06,7.662217e-06,7.602814e-06,7.492677e-06,7.444204e-06,7.382532e-06,7.272556e-06,7.226455e-06,7.162908e-06,7.053738e-06,7.010234e-06,6.945181e-06,6.837360e-06,6.796605e-06,6.730388e-06,6.624367e-06,6.586451e-06,6.519390e-06,6.415541e-06,6.380502e-06,6.312894e-06,6.211516e-06,6.179353e-06,6.111467e-06,6.012801e-06,5.983478e-06,5.915565e-06,5.819798e-06,5.793251e-06,5.725536e-06,5.632809e-06,5.608955e-06,5.541643e-06,5.452058e-06,5.430795e-06,5.364071e-06,5.277696e-06,5.258911e-06,5.192941e-06,5.109814e-06,5.093384e-06,5.028316e-06,4.948449e-06,4.934246e-06,4.870210e-06,4.793595e-06,4.781487e-06,4.718599e-06,4.645211e-06,4.635064e-06,4.573422e-06,4.503220e-06,4.494902e-06,4.434591e-06,4.367522e-06,4.360900e-06,4.301995e-06,4.237995e-06,4.232940e-06,4.175502e-06,4.114498e-06,4.110884e-06,4.054963e-06,3.996877e-06,3.994584e-06,3.940220e-06,3.884969e-06,3.883878e-06,3.831103e-06,3.778599e-06,3.678571e-06,3.583619e-06,3.493560e-06,3.408213e-06,3.327398e-06,3.250935e-06,3.178645e-06,3.110354e-06,3.045889e-06,2.985082e-06,2.927770e-06,2.873793e-06,2.822996e-06,2.775228e-06,2.730345e-06,2.688207e-06,2.648678e-06,2.611629e-06,2.576935e-06,2.544475e-06,2.514134e-06,2.485802e-06,2.459372e-06,2.434745e-06,2.411823e-06,2.390514e-06,2.370729e-06,2.352385e-06,2.335401e-06,2.319701e-06,2.305212e-06,2.291865e-06,2.279594e-06,2.268337e-06,2.258034e-06,2.248628e-06,2.240065e-06,2.232296e-06,2.225271e-06,2.218945e-06,2.213274e-06,2.208217e-06,2.203735e-06,2.199791e-06,2.196351e-06,2.193381e-06,2.190850e-06,2.188728e-06,2.186987e-06
0.000000e+00,7.111223e-13,1.630251e-10,1.767055e-10,4.735840e-09,4.761242e-08,5.180651e-08,3.408396e-07,1.458538e-06,1.586900e-06,5.713638e-06,1.555632e-05,1.685661e-05,4.247844e-05,8.753249e-05,9.433330e-05,1.890800e-04,3.250802e-04,3.484540e-04,5.990009e-04,9.107169e-04,9.714344e-04,1.499707e-03,2.090246e-03,2.219895e-03,3.168988e-03,4.143825e-03,4.383673e-03,5.899165e-03,7.350211e-03,7.748146e-03,9.959855e-03,1.195306e-02,1.255932e-02,1.556679e-02,1.813479e-02,1.899730e-02,2.286046e-02,2.600034e-02,2.716034e-02,3.189551e-02,3.557078e-02,3.705923e-02,4.263973e-02,4.678542e-02,4.862054e-02,5.498091e-02,5.951038e-02,6.169629e-02,6.873882e-02,7.355131e-02,7.607784e-02,8.368041e-02,8.866840e-02,9.151182e-02,9.953606e-02,1.045918e-01,1.077163e-01,1.160154e-01,1.210365e-01,1.243963e-01,1.328221e-01,1.377155e-01,1.412570e-01,1.496659e-01,1.543510e-01,1.580153e-01,1.662730e-01,1.706833e-01,1.744087e-01,1.823936e-01,1.864774e-01,1.902013e-01,1.978072e-01,2.015273e-01,2.051887e-01,2.123256e-01,2.156590e-01,2.191996e-01,2.257947e-01,2.287308e-01,2.320968e-01,2.380939e-01,2.406335e-01,2.437762e-01,2.491355e-01,2.512886e-01,2.541657e-01,2.588621e-01,2.606465e-01,2.632218e-01,2.672437e-01,2.686834e-01,2.709278e-01,2.742756e-01,2.753989e-01,2.772898e-01,2.799743e-01,2.808127e-01,2.823340e-01,2.843746e-01,2.849614e-01,2.861030e-01,2.875263e-01,2.878950e-01,2.886527e-01,2.894909e-01,2.896751e-01,2.900499e-01,2.903394e-01,2.903717e-01,2.903692e-01,2.901495e-01,2.900608e-01,2.896908e-01,2.890036e-01,2.888228e-01,2.880985e-01,2.869864e-01,2.867400e-01,2.856778e-01,2.841834e-01,2.838955e-01,2.825140e-01,2.806799e-01,2.803719e-01,2.786916e-01,2.765592e-01,2.762497e-01,2.742928e-01,2.719021e-01,2.716073e-01,2.693967e-01,2.667859e-01,2.665193e-01,2.640787e-01,2.612841e-01,2.610570e-01,2.584103e-01,2.554658e-01,2.552870e-01,2.524583e-01,2.493955e-01,2.492720e-01,2.462848e-01,2.431331e-01,2.430697e-01,2.399473e-01,2.367336e-01,2.303125e-01,2.238505e-01,2.173876e-01,2.109596e-01,2.045982e-01,1.983317e-01,1.921845e-01,1.861779e-01,1.803302e-01,1.746569e-01,1.691706e-01,1.638820e-01,1.587993e-01,1.539289e-01,1.492754e-01,1.448419e-01,1.406299e-01,1.366397e-01,1.328705e-01,1.293206e-01,1.259870e-01,1.228664e-01,1.199546e-01,1.172467e-01,1.147374e-01,1.124209e-01,1.102911e-01,1.083415e-01,1.065654e-01,1.049558e-01,1.035056e-01,1.022074e-01,1.010540e-01,1.000380e-01,9.915177e-02,9.838802e-02,9.773933e-02,9.719834e-02,9.675781e-02,9.641059e-02,9.614967e-02,9.596818e-02,9.585941e-02,9.581686e-02,9.583421e-02,9.590535e-02,9.602440e-02,9.618573e-02,9.638394e-02
0.000000e+00,9.804778e-10,1.516580e-08,1.585408e-08,9.644008e-08,3.009743e-07,3.124717e-07,6.502796e-07,9.973546e-07,1.019207e-06,1.370811e-06,1.670253e-06,1.695167e-06,1.991737e-06,2.235907e-06,2.261758e-06,2.506782e-06,2.702975e-06,2.728381e-06,2.928079e-06,3.083421e-06,3.107340e-06,3.267559e-06,3.388398e-06,3.410060e-06,3.536098e-06,3.627996e-06,3.646855e-06,3.743444e-06,3.811220e-06,3.826911e-06,3.898239e-06,3.946040e-06,3.958346e-06,4.008091e-06,4.039466e-06,4.048281e-06,4.079666e-06,4.097638e-06,4.102949e-06,4.118785e-06,4.125919e-06,4.127784e-06,4.130517e-06,4.128987e-06,4.127514e-06,4.119269e-06,4.110905e-06,4.106244e-06,4.088867e-06,4.075209e-06,4.067535e-06,4.042619e-06,4.024951e-06,4.014463e-06,3.983390e-06,3.962791e-06,3.949697e-06,3.913660e-06,3.891021e-06,3.875536e-06,3.835565e-06,3.811623e-06,3.793967e-06,3.750944e-06,3.726300e-06,3.706684e-06,3.661362e-06,3.636504e-06,3.615141e-06,3.568168e-06,3.543492e-06,3.520582e-06,3.472506e-06,3.448322e-06,3.424058e-06,3.375346e-06,3.351899e-06,3.326466e-06,3.277510e-06,3.254987e-06,3.228558e-06,3.179688e-06,3.158228e-06,3.130967e-06,3.082459e-06,3.062163e-06,3.034221e-06,2.986305e-06,2.967239e-06,2.938757e-06,2.891621e-06,2.873825e-06,2.844934e-06,2.798732e-06,2.782223e-06,2.753043e-06,2.707897e-06,2.692675e-06,2.663317e-06,2.619325e-06,2.605374e-06,2.575939e-06,2.533175e-06,2.520469e-06,2.491048e-06,2.449569e-06,2.438072e-06,2.408748e-06,2.368593e-06,2.358262e-06,2.329110e-06,2.290304e-06,2.281092e-06,2.252180e-06,2.214738e-06,2.206592e-06,2.177980e-06,2.141905e-06,2.134772e-06,2.106514e-06,2.071802e-06,2.065626e-06,2.037769e-06,2.004410e-06,1.999134e-06,1.971720e-06,1.939696e-06,1.935265e-06,1.908331e-06,1.877619e-06,1.873977e-06,1.847555e-06,1.818131e-06,1.815224e-06,1.789340e-06,1.761175e-06,1.758949e-06,1.733628e-06,1.706690e-06,1.705093e-06,1.680355e-06,1.654612e-06,1.653595e-06,1.629454e-06,1.604872e-06,1.604386e-06,1.580857e-06,1.557400e-06,1.512568e-06,1.469818e-06,1.429081e-06,1.390286e-06,1.353365e-06,1.318248e-06,1.284867e-06,1.253157e-06,1.223052e-06,1.194488e-06,1.167403e-06,1.141738e-06,1.117434e-06,1.094433e-06,1.072682e-06,1.052126e-06,1.032715e-06,1.014398e-06,9.971284e-07,9.808595e-07,9.655469e-07,9.511476e-07,9.376205e-07,9.249260e-07,9.130258e-07,9.018833e-07,8.914634e-07,8.817321e-07,8.726570e-07,8.642068e-07,8.563518e-07,8.490630e-07,8.423130e-07,8.360752e-07,8.303245e-07,8.250363e-07,8.201874e-07,8.157555e-07,8.117191e-07,8.080577e-07,8.047516e-07,8.017820e-07,7.991308e-07,7.967807e-07,7.947152e-07,7.929184e-07,7.913752e-07,7.900709e-07,7.889918e-07
0.000000e+00,3.338472e-09,1.233483e-07,1.300093e-07,1.163538e-06,5.418416e-06,5.722205e-06,1.810648e-05,3.873812e-05,4.029948e-05,6.855494e-05,9.549819e-05,9.780437e-05,1.257317e-04,1.492399e-04,1.517528e-04,1.758018e-04,1.953799e-04,1.979381e-04,2.182509e-04,2.343341e-04,2.368354e-04,2.537869e-04,2.668323e-04,2.691984e-04,2.831604e-04,2.935891e-04,2.957603e-04,3.070818e-04,3.152726e-04,3.172052e-04,3.262067e-04,3.324959e-04,3.341590e-04,3.411307e-04,3.458136e-04,3.471869e-04,3.523893e-04,3.557236e-04,3.567958e-04,3.604612e-04,3.626705e-04,3.634371e-04,3.657721e-04,3.670502e-04,3.675125e-04,3.687012e-04,3.692154e-04,3.693790e-04,3.695839e-04,3.694776e-04,3.693518e-04,3.687166e-04,3.681130e-04,3.677097e-04,3.663609e-04,3.653653e-04,3.646982e-04,3.627477e-04,3.614495e-04,3.605339e-04,3.580800e-04,3.565552e-04,3.554074e-04,3.525363e-04,3.508489e-04,3.494856e-04,3.462731e-04,3.444769e-04,3.429153e-04,3.394276e-04,3.375675e-04,3.358246e-04,3.321196e-04,3.302329e-04,3.283254e-04,3.244536e-04,3.225709e-04,3.205153e-04,3.165205e-04,3.146667e-04,3.124789e-04,3.083992e-04,3.065943e-04,3.042897e-04,3.001580e-04,2.984177e-04,2.960111e-04,2.918556e-04,2.901923e-04,2.876975e-04,2.835424e-04,2.819654e-04,2.793956e-04,2.752618e-04,2.737776e-04,2.711453e-04,2.670502e-04,2.656635e-04,2.629803e-04,2.589388e-04,2.576521e-04,2.549290e-04,2.509536e-04,2.497680e-04,2.470151e-04,2.431159e-04,2.420315e-04,2.392582e-04,2.354437e-04,2.344592e-04,2.316742e-04,2.279512e-04,2.270647e-04,2.242760e-04,2.206498e-04,2.198587e-04,2.170736e-04,2.135483e-04,2.128495e-04,2.100747e-04,2.066534e-04,2.060432e-04,2.032849e-04,1.999697e-04,1.994442e-04,1.967080e-04,1.935001e-04,1.930553e-04,1.903462e-04,1.872462e-04,1.868779e-04,1.842003e-04,1.812083e-04,1.809121e-04,1.782702e-04,1.753856e-04,1.751572e-04,1.725545e-04,1.697765e-04,1.696115e-04,1.670513e-04,1.643784e-04,1.642726e-04,1.617577e-04,1.591884e-04,1.591376e-04,1.566703e-04,1.542029e-04,1.494646e-04,1.449184e-04,1.405599e-04,1.363843e-04,1.323866e-04,1.285620e-04,1.249053e-04,1.214113e-04,1.180750e-04,1.148912e-04,1.118548e-04,1.089607e-04,1.062041e-04,1.035800e-04,1.010836e-04,9.871029e-05,9.645535e-05,9.431435e-05,9.228292e-05,9.035679e-05,8.853185e-05,8.680406e-05,8.516955e-05,8.362454e-05,8.216537e-05,8.078850e-05,7.949052e-05,7.826813e-05,7.711813e-05,7.603745e-05,7.502310e-05,7.407223e-05,7.318206e-05,7.234993e-05,7.157327e-05,7.084960e-05,7.017655e-05,6.955182e-05,6.897320e-05,6.843856e-05,6.794585e-05,6.749312e-05,6.707845e-05,6.670004e-05,6.635612e-05,6.604502e-05,6.576512e-05,6.551486e-05,6.529274e-05
0.000000e+00,7.438935e-13,1.711313e-10,1.855416e-10,5.083843e-09,5.269933e-08,5.741750e-08,3.899212e-07,1.710981e-06,1.864193e-06,6.849022e-06,1.889757e-05,2.049635e-05,5.211876e-05,1.078593e-04,1.162717e-04,2.332529e-04,4.003128e-04,4.289234e-04,7.339127e-04,1.109598e-03,1.182351e-03,1.810312e-03,2.503147e-03,2.654132e-03,3.748758e-03,4.856110e-03,5.126244e-03,6.814453e-03,8.404167e-03,8.836051e-03,1.120777e-02,1.330766e-02,1.393997e-02,1.703647e-02,1.963205e-02,2.049462e-02,2.430558e-02,2.734445e-02,2.845474e-02,3.292234e-02,3.632269e-02,3.768406e-02,4.271183e-02,4.637299e-02,4.797449e-02,5.343857e-02,5.725134e-02,5.906900e-02,6.482979e-02,6.868570e-02,7.068468e-02,7.659766e-02,8.039616e-02,8.253354e-02,8.845832e-02,9.211181e-02,9.433958e-02,1.001468e-01,1.035836e-01,1.058515e-01,1.114276e-01,1.145933e-01,1.168513e-01,1.221013e-01,1.249583e-01,1.271587e-01,1.320074e-01,1.345338e-01,1.366333e-01,1.410248e-01,1.432127e-01,1.451728e-01,1.490699e-01,1.509227e-01,1.527110e-01,1.560927e-01,1.576233e-01,1.592136e-01,1.620735e-01,1.633018e-01,1.646739e-01,1.670175e-01,1.679683e-01,1.691083e-01,1.709509e-01,1.716523e-01,1.725514e-01,1.739160e-01,1.743974e-01,1.750520e-01,1.759672e-01,1.762587e-01,1.766695e-01,1.771675e-01,1.772984e-01,1.774699e-01,1.775855e-01,1.775839e-01,1.775235e-01,1.772928e-01,1.771848e-01,1.769024e-01,1.763614e-01,1.761711e-01,1.756786e-01,1.748627e-01,1.746116e-01,1.739224e-01,1.728659e-01,1.725732e-01,1.717014e-01,1.704367e-01,1.701192e-01,1.690797e-01,1.676377e-01,1.673097e-01,1.661177e-01,1.645266e-01,1.642005e-01,1.628711e-01,1.611573e-01,1.608430e-01,1.593912e-01,1.575785e-01,1.572845e-01,1.557247e-01,1.538349e-01,1.535678e-01,1.519141e-01,1.499667e-01,1.497314e-01,1.479972e-01,1.460098e-01,1.458102e-01,1.440082e-01,1.419962e-01,1.418349e-01,1.399771e-01,1.379542e-01,1.378327e-01,1.359304e-01,1.339086e-01,1.338278e-01,1.318914e-01,1.298812e-01,1.298411e-01,1.278803e-01,1.258908e-01,1.219926e-01,1.181598e-01,1.144040e-01,1.107346e-01,1.071595e-01,1.036851e-01,1.003168e-01,9.705839e-02,9.391305e-02,9.088290e-02,8.796936e-02,8.517315e-02,8.249443e-02,7.993286e-02,7.748764e-02,7.515765e-02,7.294139e-02,7.083713e-02,6.884284e-02,6.695633e-02,6.517522e-02,6.349698e-02,6.191897e-02,6.043842e-02,5.905249e-02,5.775827e-02,5.655276e-02,5.543295e-02,5.439574e-02,5.343805e-02,5.255675e-02,5.174871e-02,5.101077e-02,5.033981e-02,4.973267e-02,4.918626e-02,4.869745e-02,4.826318e-02,4.788041e-02,4.754614e-02,4.725739e-02,4.701127e-02,4.680492e-02,4.663554e-02,4.650041e-02,4.639686e-02,4.632232e-02,4.627427e-02,4.625030e-02
0.000000e+00,6.998296e-09,2.110958e-07,2.224008e-07,1.845134e-06,7.030835e-06,7.347720e-06,1.728421e-05,2.806359e-05,2.874795e-05,3.976578e-05,4.911361e-05,4.988887e-05,5.908144e-05,6.659426e-05,6.738642e-05,7.486082e-05,8.079578e-05,8.156052e-05,8.753607e-05,9.213417e-05,9.283765e-05,9.751361e-05,1.009918e-04,1.016102e-04,1.051713e-04,1.077212e-04,1.082387e-04,1.108520e-04,1.126407e-04,1.130483e-04,1.148625e-04,1.160333e-04,1.163271e-04,1.174725e-04,1.181470e-04,1.183270e-04,1.189168e-04,1.191971e-04,1.192661e-04,1.193973e-04,1.193685e-04,1.193313e-04,1.190871e-04,1.188196e-04,1.186824e-04,1.181333e-04,1.176853e-04,1.174550e-04,1.166610e-04,1.160799e-04,1.157641e-04,1.147758e-04,1.141004e-04,1.137069e-04,1.125670e-04,1.118286e-04,1.113652e-04,1.101096e-04,1.093336e-04,1.088077e-04,1.074665e-04,1.066730e-04,1.060921e-04,1.046903e-04,1.038953e-04,1.032664e-04,1.018250e-04,1.010409e-04,1.003705e-04,9.890682e-05,9.814329e-05,9.743755e-05,9.596589e-05,9.523010e-05,9.449479e-05,9.302686e-05,9.232410e-05,9.156450e-05,9.010984e-05,8.944381e-05,8.866479e-05,8.723108e-05,8.660424e-05,8.581024e-05,8.440361e-05,8.381737e-05,8.301242e-05,8.163771e-05,8.109265e-05,8.028041e-05,7.894133e-05,7.843741e-05,7.762118e-05,7.632054e-05,7.585719e-05,7.503992e-05,7.377974e-05,7.335600e-05,7.254035e-05,7.132202e-05,7.093664e-05,7.012497e-05,6.894933e-05,6.860084e-05,6.779523e-05,6.666270e-05,6.634946e-05,6.555176e-05,6.446238e-05,6.418267e-05,6.339450e-05,6.234801e-05,6.210003e-05,6.132280e-05,6.031872e-05,6.010064e-05,5.933559e-05,5.837322e-05,5.818322e-05,5.743141e-05,5.650991e-05,5.634619e-05,5.560851e-05,5.472693e-05,5.458771e-05,5.386493e-05,5.302222e-05,5.290576e-05,5.219852e-05,5.139355e-05,5.129820e-05,5.060702e-05,4.983863e-05,4.976278e-05,4.908808e-05,4.835506e-05,4.829717e-05,4.763928e-05,4.694042e-05,4.689902e-05,4.625818e-05,4.559226e-05,4.556595e-05,4.494234e-05,4.430813e-05,4.429561e-05,4.368932e-05,4.308561e-05,4.193365e-05,4.083743e-05,3.979471e-05,3.880329e-05,3.786104e-05,3.696589e-05,3.611583e-05,3.530890e-05,3.454324e-05,3.381701e-05,3.312848e-05,3.247595e-05,3.185780e-05,3.127248e-05,3.071848e-05,3.019437e-05,2.969877e-05,2.923036e-05,2.878787e-05,2.837008e-05,2.797584e-05,2.760404e-05,2.725359e-05,2.692350e-05,2.661278e-05,2.632051e-05,2.604578e-05,2.578776e-05,2.554563e-05,2.531861e-05,2.510595e-05,2.490696e-05,2.472094e-05,2.454725e-05,2.438527e-05,2.423443e-05,2.409416e-05,2.396392e-05,2.384319e-05,2.373149e-05,2.362836e-05,2.353333e-05,2.344600e-05,2.336595e-05,2.329280e-05,2.322617e-05,2.316573e-05,2.311112e-05,2.306204e-05
0.000000e+00,3.191678e-10,4.809208e-09,5.030642e-09,3.281600e-08,1.127853e-07,1.175571e-07,2.662545e-07,4.296584e-07,4.401666e-07,6.118606e-07,7.615244e-07,7.741147e-07,9.256798e-07,1.052997e-06,1.066623e-06,1.197313e-06,1.304186e-06,1.318188e-06,1.429706e-06,1.518476e-06,1.532324e-06,1.626493e-06,1.699392e-06,1.712659e-06,1.791252e-06,1.850340e-06,1.862689e-06,1.927373e-06,1.974518e-06,1.985690e-06,2.038010e-06,2.074885e-06,2.084688e-06,2.126064e-06,2.154160e-06,2.162457e-06,2.194172e-06,2.214803e-06,2.221502e-06,2.244721e-06,2.259042e-06,2.264092e-06,2.279863e-06,2.288887e-06,2.292269e-06,2.301533e-06,2.306145e-06,2.307865e-06,2.311466e-06,2.312438e-06,2.312524e-06,2.311217e-06,2.309218e-06,2.307714e-06,2.302175e-06,2.297785e-06,2.294750e-06,2.285582e-06,2.279300e-06,2.274804e-06,2.262544e-06,2.254800e-06,2.248919e-06,2.234044e-06,2.225208e-06,2.218025e-06,2.200960e-06,2.191344e-06,2.182944e-06,2.164067e-06,2.153937e-06,2.144410e-06,2.124052e-06,2.113633e-06,2.103067e-06,2.081524e-06,2.071005e-06,2.059488e-06,2.037020e-06,2.026555e-06,2.014176e-06,1.991011e-06,1.980729e-06,1.967574e-06,1.943912e-06,1.933917e-06,1.920069e-06,1.896086e-06,1.886462e-06,1.872001e-06,1.847850e-06,1.838662e-06,1.823665e-06,1.799479e-06,1.790777e-06,1.775319e-06,1.751212e-06,1.743032e-06,1.727183e-06,1.703255e-06,1.695623e-06,1.679449e-06,1.655785e-06,1.648716e-06,1.632280e-06,1.608951e-06,1.602453e-06,1.585814e-06,1.562881e-06,1.556954e-06,1.540167e-06,1.517682e-06,1.512321e-06,1.495437e-06,1.473441e-06,1.468636e-06,1.451704e-06,1.430231e-06,1.425970e-06,1.409032e-06,1.388111e-06,1.384375e-06,1.367473e-06,1.347124e-06,1.343895e-06,1.327067e-06,1.307306e-06,1.304563e-06,1.287843e-06,1.268681e-06,1.266401e-06,1.249821e-06,1.231264e-06,1.229426e-06,1.213013e-06,1.195066e-06,1.193643e-06,1.177424e-06,1.160087e-06,1.159056e-06,1.143054e-06,1.126325e-06,1.125662e-06,1.109897e-06,1.093770e-06,1.093451e-06,1.077943e-06,1.062412e-06,1.032530e-06,1.003786e-06,9.761599e-07,9.496289e-07,9.241688e-07,8.997541e-07,8.763582e-07,8.539539e-07,8.325132e-07,8.120079e-07,7.924096e-07,7.736897e-07,7.558199e-07,7.387718e-07,7.225175e-07,7.070293e-07,6.922801e-07,6.782430e-07,6.648919e-07,6.522011e-07,6.401454e-07,6.287005e-07,6.178425e-07,6.075481e-07,5.977949e-07,5.885609e-07,5.798249e-07,5.715663e-07,5.637652e-07,5.564024e-07,5.494592e-07,5.429176e-07,5.367602e-07,5.309703e-07,5.255316e-07,5.204285e-07,5.156462e-07,5.111700e-07,5.069860e-07,5.030808e-07,4.994416e-07,4.960559e-07,4.929117e-07,4.899977e-07,4.873027e-07,4.848162e-07,4.825281e-07,4.804286e-07,4.785082e-07
0.000000e+00,1.588997e-12,3.813677e-10,4.139247e-10,1.206290e-08,1.333597e-07,1.456764e-07,1.049333e-06,4.803462e-06,5.245304e-06,1.985130e-05,5.570557e-05,6.048595e-05,1.554784e-04,3.239377e-04,3.494363e-04,7.055566e-04,1.218213e-03,1.306427e-03,2.253329e-03,3.433972e-03,3.664215e-03,5.670642e-03,7.919480e-03,8.413942e-03,1.204095e-02,1.577832e-02,1.669954e-02,2.253424e-02,2.814123e-02,2.968208e-02,3.826881e-02,4.603753e-02,4.840573e-02,6.018693e-02,7.028712e-02,7.368722e-02,8.896072e-02,1.014246e-01,1.060399e-01,1.249353e-01,1.396592e-01,1.456357e-01,1.681087e-01,1.848671e-01,1.923017e-01,2.181433e-01,2.366126e-01,2.455447e-01,2.744019e-01,2.941885e-01,3.045972e-01,3.360011e-01,3.566701e-01,3.684748e-01,4.018720e-01,4.229755e-01,4.360406e-01,4.708253e-01,4.919262e-01,5.060685e-01,5.416127e-01,5.623047e-01,5.773020e-01,6.129833e-01,6.329056e-01,6.485076e-01,6.837312e-01,7.025784e-01,7.185169e-01,7.527340e-01,7.702613e-01,7.862601e-01,8.189809e-01,8.350059e-01,8.507907e-01,8.815929e-01,8.959940e-01,9.113001e-01,9.398341e-01,9.525465e-01,9.671260e-01,9.931160e-01,1.004126e+00,1.017753e+00,1.040995e+00,1.050332e+00,1.062808e+00,1.083167e+00,1.090899e+00,1.102054e+00,1.119458e+00,1.125681e+00,1.135375e+00,1.149808e+00,1.154642e+00,1.162766e+00,1.174263e+00,1.177843e+00,1.184319e+00,1.192957e+00,1.195427e+00,1.200206e+00,1.206098e+00,1.207606e+00,1.210668e+00,1.213954e+00,1.214649e+00,1.215997e+00,1.216840e+00,1.216869e+00,1.216529e+00,1.215108e+00,1.214607e+00,1.212626e+00,1.209131e+00,1.208231e+00,1.204672e+00,1.199298e+00,1.198118e+00,1.193059e+00,1.186004e+00,1.184651e+00,1.178182e+00,1.169641e+00,1.168212e+00,1.160431e+00,1.150597e+00,1.149173e+00,1.140186e+00,1.129245e+00,1.127898e+00,1.117816e+00,1.105943e+00,1.104733e+00,1.093668e+00,1.081032e+00,1.080006e+00,1.068073e+00,1.054830e+00,1.054027e+00,1.041339e+00,1.027636e+00,1.027083e+00,1.013752e+00,9.997215e-01,9.994396e-01,9.855742e-01,9.713393e-01,9.430033e-01,9.146315e-01,8.864023e-01,8.584743e-01,8.309866e-01,8.040604e-01,7.777998e-01,7.522936e-01,7.276157e-01,7.038269e-01,6.809758e-01,6.590997e-01,6.382259e-01,6.183730e-01,5.995510e-01,5.817629e-01,5.650054e-01,5.492693e-01,5.345407e-01,5.208011e-01,5.080284e-01,4.961973e-01,4.852797e-01,4.752453e-01,4.660618e-01,4.576955e-01,4.501115e-01,4.432737e-01,4.371459e-01,4.316910e-01,4.268721e-01,4.226522e-01,4.189945e-01,4.158626e-01,4.132205e-01,4.110331e-01,4.092659e-01,4.078854e-01,4.068588e-01,4.061546e-01,4.057425e-01,4.055930e-01,4.056782e-01,4.059714e-01,4.064470e-01,4.070810e-01,4.078504e-01,4.087341e-01,4.097117e-01
0.000000e+00,8.849490e-11,1.246899e-08,1.340262e-08,2.489743e-07,1.821802e-06,1.955693e-06,9.019407e-06,2.668634e-05,2.832698e-05,6.642669e-05,1.192238e-04,1.245120e-04,1.972328e-04,2.682351e-04,2.761766e-04,3.538396e-04,4.172230e-04,4.253917e-04,4.885482e-04,5.356834e-04,5.427371e-04,5.883123e-04,6.204893e-04,6.260327e-04,6.567787e-04,6.773963e-04,6.814175e-04,7.007502e-04,7.128816e-04,7.154952e-04,7.262869e-04,7.323207e-04,7.336819e-04,7.381659e-04,7.398891e-04,7.401617e-04,7.400369e-04,7.387686e-04,7.381105e-04,7.346590e-04,7.313652e-04,7.299216e-04,7.241054e-04,7.194890e-04,7.173892e-04,7.099270e-04,7.044954e-04,7.018520e-04,6.932788e-04,6.873963e-04,6.843066e-04,6.750210e-04,6.689481e-04,6.654955e-04,6.557932e-04,6.497132e-04,6.459686e-04,6.360678e-04,6.301076e-04,6.261305e-04,6.161903e-04,6.104351e-04,6.062757e-04,5.964109e-04,5.909160e-04,5.866161e-04,5.769087e-04,5.717081e-04,5.673029e-04,5.578109e-04,5.529234e-04,5.484426e-04,5.392060e-04,5.346393e-04,5.301077e-04,5.211526e-04,5.169063e-04,5.123448e-04,5.036873e-04,4.997560e-04,4.951823e-04,4.868314e-04,4.832060e-04,4.786353e-04,4.705944e-04,4.672635e-04,4.627085e-04,4.549769e-04,4.519274e-04,4.473989e-04,4.399732e-04,4.371911e-04,4.326984e-04,4.255729e-04,4.230440e-04,4.185950e-04,4.117627e-04,4.094726e-04,4.050741e-04,3.985269e-04,3.964614e-04,3.921192e-04,3.858485e-04,3.839937e-04,3.797127e-04,3.737095e-04,3.720520e-04,3.678364e-04,3.620913e-04,3.606182e-04,3.564717e-04,3.509753e-04,3.496742e-04,3.455998e-04,3.403429e-04,3.392021e-04,3.352023e-04,3.301757e-04,3.291838e-04,3.252608e-04,3.204555e-04,3.196020e-04,3.157575e-04,3.111646e-04,3.104394e-04,3.066748e-04,3.022859e-04,3.016794e-04,2.979958e-04,2.938026e-04,2.933058e-04,2.897041e-04,2.856984e-04,2.853029e-04,2.817836e-04,2.779577e-04,2.776554e-04,2.742189e-04,2.705654e-04,2.703489e-04,2.669953e-04,2.635069e-04,2.633691e-04,2.600984e-04,2.567682e-04,2.567024e-04,2.535145e-04,2.503357e-04,2.442564e-04,2.384525e-04,2.329122e-04,2.276244e-04,2.225783e-04,2.177637e-04,2.131706e-04,2.087895e-04,2.046114e-04,2.006276e-04,1.968295e-04,1.932093e-04,1.897592e-04,1.864719e-04,1.833403e-04,1.803575e-04,1.775172e-04,1.748131e-04,1.722392e-04,1.697898e-04,1.674595e-04,1.652430e-04,1.631353e-04,1.611316e-04,1.592273e-04,1.574179e-04,1.556993e-04,1.540674e-04,1.525183e-04,1.510484e-04,1.496540e-04,1.483318e-04,1.470786e-04,1.458911e-04,1.447665e-04,1.437018e-04,1.426943e-04,1.417414e-04,1.408407e-04,1.399896e-04,1.391859e-04,1.384275e-04,1.377121e-04,1.370378e-04,1.364027e-04,1.358049e-04,1.352427e-04,1.347143e-04,1.342182e-04
0.000000e+00,5.684162e-13,1.301376e-10,1.410648e-10,3.818756e-09,3.939941e-08,4.292933e-08,2.937606e-07,1.307664e-06,1.426213e-06,5.329161e-06,1.490558e-05,1.618373e-05,4.163063e-05,8.686492e-05,9.371642e-05,1.894112e-04,3.269904e-04,3.506334e-04,6.038184e-04,9.180247e-04,9.791228e-04,1.509376e-03,2.099618e-03,2.228888e-03,3.172218e-03,4.136391e-03,4.372973e-03,5.862709e-03,7.281863e-03,7.669962e-03,9.819457e-03,1.174687e-02,1.233148e-02,1.522144e-02,1.767708e-02,1.849959e-02,2.217094e-02,2.514094e-02,2.623526e-02,3.068724e-02,3.412719e-02,3.551675e-02,4.070919e-02,4.454999e-02,4.624589e-02,5.210456e-02,5.625950e-02,5.825977e-02,6.468343e-02,6.905551e-02,7.134534e-02,7.821361e-02,8.270237e-02,8.525518e-02,9.243626e-02,9.694364e-02,9.972275e-02,1.070806e-01,1.115156e-01,1.144762e-01,1.218767e-01,1.261586e-01,1.292502e-01,1.365661e-01,1.406269e-01,1.437953e-01,1.509101e-01,1.546955e-01,1.578849e-01,1.646955e-01,1.681649e-01,1.713201e-01,1.777385e-01,1.808646e-01,1.839326e-01,1.898863e-01,1.926545e-01,1.955855e-01,2.010180e-01,2.034245e-01,2.061734e-01,2.110433e-01,2.130937e-01,2.156207e-01,2.199008e-01,2.216088e-01,2.238799e-01,2.275560e-01,2.289414e-01,2.309285e-01,2.339981e-01,2.350855e-01,2.367667e-01,2.392371e-01,2.400543e-01,2.414135e-01,2.433008e-01,2.438776e-01,2.449046e-01,2.462315e-01,2.465988e-01,2.472887e-01,2.480837e-01,2.482723e-01,2.486248e-01,2.489206e-01,2.489606e-01,2.489800e-01,2.488123e-01,2.487327e-01,2.484270e-01,2.478337e-01,2.476614e-01,2.470420e-01,2.460618e-01,2.458218e-01,2.449029e-01,2.435750e-01,2.432900e-01,2.420879e-01,2.404512e-01,2.401414e-01,2.386743e-01,2.367667e-01,2.364500e-01,2.347375e-01,2.325957e-01,2.322873e-01,2.303499e-01,2.280088e-01,2.277219e-01,2.255806e-01,2.230733e-01,2.228186e-01,2.204948e-01,2.178524e-01,2.176385e-01,2.151535e-01,2.124049e-01,2.122385e-01,2.096133e-01,2.067851e-01,2.066713e-01,2.039265e-01,2.010432e-01,2.009853e-01,1.981408e-01,1.952245e-01,1.894289e-01,1.836344e-01,1.778731e-01,1.721735e-01,1.665605e-01,1.610559e-01,1.556785e-01,1.504444e-01,1.453672e-01,1.404580e-01,1.357260e-01,1.311785e-01,1.268209e-01,1.226572e-01,1.186898e-01,1.149203e-01,1.113489e-01,1.079750e-01,1.047970e-01,1.018127e-01,9.901910e-02,9.641258e-02,9.398912e-02,9.174422e-02,8.967300e-02,8.777026e-02,8.603049e-02,8.444797e-02,8.301676e-02,8.173074e-02,8.058369e-02,7.956926e-02,7.868104e-02,7.791255e-02,7.725729e-02,7.670876e-02,7.626047e-02,7.590598e-02,7.563890e-02,7.545291e-02,7.534180e-02,7.529947e-02,7.531994e-02,7.539740e-02,7.552617e-02,7.570076e-02,7.591588e-02,7.616642e-02,7.644749e-02
0.000000e+00,1.076654e-08,1.584566e-07,1.651619e-07,9.494613e-07,3.249682e-06,3.394232e-06,8.505085e-06,1.572252e-05,1.624180e-05,2.538471e-05,3.388045e-05,3.460086e-05,4.323700e-05,5.036656e-05,5.112023e-05,5.824189e-05,6.390606e-05,6.463647e-05,7.034873e-05,7.475081e-05,7.542488e-05,7.991018e-05,8.325306e-05,8.384806e-05,8.727986e-05,8.974379e-05,9.024466e-05,9.277926e-05,9.452048e-05,9.491820e-05,9.669381e-05,9.784607e-05,9.813630e-05,9.927384e-05,9.995065e-05,1.001327e-04,1.007372e-04,1.010343e-04,1.011102e-04,1.012726e-04,1.012703e-04,1.012441e-04,1.010427e-04,1.008080e-04,1.006853e-04,1.001874e-04,9.977600e-05,9.956344e-05,9.882666e-05,9.828459e-05,9.798935e-05,9.706285e-05,9.642795e-05,9.605764e-05,9.498336e-05,9.428654e-05,9.384888e-05,9.266237e-05,9.192863e-05,9.143132e-05,9.016262e-05,8.941203e-05,8.886258e-05,8.753699e-05,8.678548e-05,8.619110e-05,8.482972e-05,8.408971e-05,8.345727e-05,8.207779e-05,8.135891e-05,8.069493e-05,7.931200e-05,7.862145e-05,7.793198e-05,7.655760e-05,7.590063e-05,7.519130e-05,7.383526e-05,7.321547e-05,7.249142e-05,7.116151e-05,7.058117e-05,6.984709e-05,6.854951e-05,6.800985e-05,6.726999e-05,6.600956e-05,6.551095e-05,6.476913e-05,6.354948e-05,6.309160e-05,6.235126e-05,6.117503e-05,6.075705e-05,6.002123e-05,5.889024e-05,5.851094e-05,5.778232e-05,5.669767e-05,5.635553e-05,5.563644e-05,5.459868e-05,5.429194e-05,5.358442e-05,5.259360e-05,5.232037e-05,5.162616e-05,5.068195e-05,5.044025e-05,4.976083e-05,4.886258e-05,4.865038e-05,4.798698e-05,4.713378e-05,4.694905e-05,4.630269e-05,4.549342e-05,4.533416e-05,4.470565e-05,4.393905e-05,4.380328e-05,4.319326e-05,4.246793e-05,4.235376e-05,4.176270e-05,4.107718e-05,4.098276e-05,4.041100e-05,3.976376e-05,3.968735e-05,3.913508e-05,3.852456e-05,3.846449e-05,3.793181e-05,3.735642e-05,3.731113e-05,3.679801e-05,3.625618e-05,3.622419e-05,3.573054e-05,3.522070e-05,3.520063e-05,3.472627e-05,3.424687e-05,3.423743e-05,3.378212e-05,3.333165e-05,3.248040e-05,3.168089e-05,3.093040e-05,3.022631e-05,2.956611e-05,2.894737e-05,2.836779e-05,2.782513e-05,2.731730e-05,2.684228e-05,2.639815e-05,2.598309e-05,2.559538e-05,2.523338e-05,2.489554e-05,2.458040e-05,2.428657e-05,2.401275e-05,2.375769e-05,2.352025e-05,2.329931e-05,2.309384e-05,2.290288e-05,2.272551e-05,2.256086e-05,2.240813e-05,2.226655e-05,2.213541e-05,2.201404e-05,2.190181e-05,2.179812e-05,2.170242e-05,2.161419e-05,2.153294e-05,2.145820e-05,2.138956e-05,2.132661e-05,2.126897e-05,2.121628e-05,2.116822e-05,2.112447e-05,2.108474e-05,2.104877e-05,2.101629e-05,2.098706e-05,2.096087e-05,2.093751e-05,2.091677e-05,2.089847e-05
0.000000e+00,8.171403e-10,8.218775e-09,8.531609e-09,4.287348e-08,1.406966e-07,1.468849e-07,3.716750e-07,7.087932e-07,7.338659e-07,1.191114e-06,1.639015e-06,1.677863e-06,2.152980e-06,2.557832e-06,2.601307e-06,3.018973e-06,3.360967e-06,3.405781e-06,3.762661e-06,4.046608e-06,4.090886e-06,4.391834e-06,4.624572e-06,4.666901e-06,4.917466e-06,5.105593e-06,5.144878e-06,5.350448e-06,5.500028e-06,5.535438e-06,5.701063e-06,5.817556e-06,5.848484e-06,5.978813e-06,6.067084e-06,6.093106e-06,6.192371e-06,6.256716e-06,6.277564e-06,6.349593e-06,6.393789e-06,6.409321e-06,6.457565e-06,6.484919e-06,6.495099e-06,6.522657e-06,6.536055e-06,6.540935e-06,6.550589e-06,6.552540e-06,6.552240e-06,6.546471e-06,6.539143e-06,6.533837e-06,6.514861e-06,6.500127e-06,6.490034e-06,6.459821e-06,6.439292e-06,6.424662e-06,6.384968e-06,6.360022e-06,6.341128e-06,6.293509e-06,6.265320e-06,6.242455e-06,6.188290e-06,6.157855e-06,6.131318e-06,6.071827e-06,6.039984e-06,6.010083e-06,5.946339e-06,5.913791e-06,5.880831e-06,5.813781e-06,5.781111e-06,5.745396e-06,5.675870e-06,5.643555e-06,5.605384e-06,5.534109e-06,5.502538e-06,5.462201e-06,5.389808e-06,5.359293e-06,5.317069e-06,5.244110e-06,5.214892e-06,5.171050e-06,5.098001e-06,5.070266e-06,5.025063e-06,4.952332e-06,4.926216e-06,4.879894e-06,4.807832e-06,4.783430e-06,4.736219e-06,4.665123e-06,4.642492e-06,4.594608e-06,4.524730e-06,4.503899e-06,4.455542e-06,4.387092e-06,4.368064e-06,4.319423e-06,4.252573e-06,4.235331e-06,4.186578e-06,4.121470e-06,4.105979e-06,4.057275e-06,3.994020e-06,3.980232e-06,3.931725e-06,3.870409e-06,3.858265e-06,3.810089e-06,3.750778e-06,3.740210e-06,3.692487e-06,3.635226e-06,3.626160e-06,3.579001e-06,3.523818e-06,3.516176e-06,3.469680e-06,3.416590e-06,3.410289e-06,3.364547e-06,3.313550e-06,3.308507e-06,3.263596e-06,3.214683e-06,3.210815e-06,3.166805e-06,3.119957e-06,3.117179e-06,3.074131e-06,3.029320e-06,3.027549e-06,2.985516e-06,2.942710e-06,2.941864e-06,2.900891e-06,2.860049e-06,2.782020e-06,2.707688e-06,2.636955e-06,2.569719e-06,2.505876e-06,2.445316e-06,2.387929e-06,2.333605e-06,2.282232e-06,2.233698e-06,2.187894e-06,2.144710e-06,2.104039e-06,2.065774e-06,2.029812e-06,1.996052e-06,1.964395e-06,1.934743e-06,1.907005e-06,1.881089e-06,1.856907e-06,1.834374e-06,1.813409e-06,1.793931e-06,1.775866e-06,1.759139e-06,1.743680e-06,1.729421e-06,1.716298e-06,1.704247e-06,1.693210e-06,1.683130e-06,1.673951e-06,1.665622e-06,1.658093e-06,1.651316e-06,1.645246e-06,1.639840e-06,1.635057e-06,1.630858e-06,1.627205e-06,1.624064e-06,1.621400e-06,1.619181e-06,1.617378e-06,1.615962e-06,1.614906e-06,1.614184e-06,1.613771e-06
0.000000e+00,2.400519e-12,5.561699e-10,6.031485e-10,1.667538e-08,1.718310e-07,1.870989e-07,1.241019e-06,5.273994e-06,5.733387e-06,2.025301e-05,5.382031e-05,5.818285e-05,1.420811e-04,2.838736e-04,3.048494e-04,5.893639e-04,9.808685e-04,1.046714e-03,1.733439e-03,2.552245e-03,2.708236e-03,4.028549e-03,5.443607e-03,5.747396e-03,7.910667e-03,1.004221e-02,1.055501e-02,1.370640e-02,1.660274e-02,1.737936e-02,2.157673e-02,2.520967e-02,2.629006e-02,3.150029e-02,3.577514e-02,3.717887e-02,4.328901e-02,4.806293e-02,4.978711e-02,5.662423e-02,6.172735e-02,6.374757e-02,7.110185e-02,7.635703e-02,7.863060e-02,8.627734e-02,9.151617e-02,9.398663e-02,1.017049e-01,1.067790e-01,1.093812e-01,1.169678e-01,1.217556e-01,1.244205e-01,1.316993e-01,1.361087e-01,1.387679e-01,1.455946e-01,1.495628e-01,1.521517e-01,1.584155e-01,1.619063e-01,1.643666e-01,1.699892e-01,1.729897e-01,1.752712e-01,1.802038e-01,1.827200e-01,1.847814e-01,1.890010e-01,1.910535e-01,1.928624e-01,1.963675e-01,1.979877e-01,1.995205e-01,2.023272e-01,2.035534e-01,2.047948e-01,2.069320e-01,2.078068e-01,2.087486e-01,2.102552e-01,2.108229e-01,2.114634e-01,2.123849e-01,2.126895e-01,2.130323e-01,2.134182e-01,2.135022e-01,2.135554e-01,2.134570e-01,2.133605e-01,2.131358e-01,2.126047e-01,2.123646e-01,2.118764e-01,2.109632e-01,2.106129e-01,2.098775e-01,2.086312e-01,2.082003e-01,2.072357e-01,2.057022e-01,2.052170e-01,2.040417e-01,2.022646e-01,2.017474e-01,2.003808e-01,1.984000e-01,1.978702e-01,1.963313e-01,1.941836e-01,1.936574e-01,1.919653e-01,1.896842e-01,1.891748e-01,1.873481e-01,1.849640e-01,1.844820e-01,1.825387e-01,1.800787e-01,1.796326e-01,1.775900e-01,1.750783e-01,1.746746e-01,1.725490e-01,1.700072e-01,1.696506e-01,1.674575e-01,1.649045e-01,1.645981e-01,1.623522e-01,1.598045e-01,1.595501e-01,1.572650e-01,1.547370e-01,1.545354e-01,1.522238e-01,1.497281e-01,1.495790e-01,1.472526e-01,1.447999e-01,1.447023e-01,1.423721e-01,1.399713e-01,1.399236e-01,1.375994e-01,1.352583e-01,1.307194e-01,1.263175e-01,1.220612e-01,1.179574e-01,1.140112e-01,1.102264e-01,1.066056e-01,1.031504e-01,9.986112e-02,9.673754e-02,9.377859e-02,9.098255e-02,8.834716e-02,8.586966e-02,8.354689e-02,8.137529e-02,7.935100e-02,7.746988e-02,7.572756e-02,7.411947e-02,7.264086e-02,7.128683e-02,7.005240e-02,6.893247e-02,6.792188e-02,6.701541e-02,6.620781e-02,6.549385e-02,6.486826e-02,6.432582e-02,6.386134e-02,6.346969e-02,6.314580e-02,6.288470e-02,6.268150e-02,6.253145e-02,6.242988e-02,6.237229e-02,6.235433e-02,6.237178e-02,6.242060e-02,6.249694e-02,6.259710e-02,6.271758e-02,6.285509e-02,6.300649e-02,6.316889e-02,6.333955e-02,6.351596e-02
0.000000e+00,6.525802e-09,1.388868e-07,1.454846e-07,1.043264e-06,4.245781e-06,4.462636e-06,1.270733e-05,2.497534e-05,2.585445e-05,4.104422e-05,5.479854e-05,5.595696e-05,6.981039e-05,8.124090e-05,8.245024e-05,9.389361e-05,1.030219e-04,1.042011e-04,1.134424e-04,1.205911e-04,1.216882e-04,1.290069e-04,1.344865e-04,1.354645e-04,1.411239e-04,1.452110e-04,1.460449e-04,1.502841e-04,1.532207e-04,1.538951e-04,1.569280e-04,1.589228e-04,1.594300e-04,1.614453e-04,1.626768e-04,1.630150e-04,1.641776e-04,1.647969e-04,1.649688e-04,1.654217e-04,1.655558e-04,1.655672e-04,1.654339e-04,1.651889e-04,1.650482e-04,1.644346e-04,1.638989e-04,1.636159e-04,1.626129e-04,1.618595e-04,1.614451e-04,1.601304e-04,1.592195e-04,1.586852e-04,1.571246e-04,1.561054e-04,1.554628e-04,1.537126e-04,1.526250e-04,1.518858e-04,1.499933e-04,1.488696e-04,1.480451e-04,1.460503e-04,1.449161e-04,1.440173e-04,1.419538e-04,1.408293e-04,1.398667e-04,1.377625e-04,1.366634e-04,1.356469e-04,1.335252e-04,1.324636e-04,1.314023e-04,1.292824e-04,1.282672e-04,1.271696e-04,1.250673e-04,1.241047e-04,1.229787e-04,1.209068e-04,1.200010e-04,1.188540e-04,1.168226e-04,1.159763e-04,1.148146e-04,1.128319e-04,1.120462e-04,1.108760e-04,1.089482e-04,1.082233e-04,1.070497e-04,1.051816e-04,1.045167e-04,1.033447e-04,1.015397e-04,1.009333e-04,9.976710e-05,9.802748e-05,9.747781e-05,9.632114e-05,9.464835e-05,9.415308e-05,9.300926e-05,9.140396e-05,9.096053e-05,8.983245e-05,8.829467e-05,8.790036e-05,8.679050e-05,8.531977e-05,8.497175e-05,8.388225e-05,8.247768e-05,8.217306e-05,8.110574e-05,7.976608e-05,7.950199e-05,7.845833e-05,7.718210e-05,7.695569e-05,7.593694e-05,7.472241e-05,7.453090e-05,7.353806e-05,7.238338e-05,7.222407e-05,7.125791e-05,7.016111e-05,7.003140e-05,6.909250e-05,6.805153e-05,6.794893e-05,6.703769e-05,6.605045e-05,6.597260e-05,6.508927e-05,6.415362e-05,6.409828e-05,6.324297e-05,6.235678e-05,6.232184e-05,6.149454e-05,6.065570e-05,6.063915e-05,5.983974e-05,5.904616e-05,5.753884e-05,5.611328e-05,5.476564e-05,5.349223e-05,5.228943e-05,5.115376e-05,5.008189e-05,4.907057e-05,4.811673e-05,4.721738e-05,4.636971e-05,4.557098e-05,4.481861e-05,4.411013e-05,4.344318e-05,4.281553e-05,4.222504e-05,4.166969e-05,4.114755e-05,4.065680e-05,4.019570e-05,3.976260e-05,3.935595e-05,3.897428e-05,3.861617e-05,3.828031e-05,3.796545e-05,3.767039e-05,3.739401e-05,3.713525e-05,3.689311e-05,3.666663e-05,3.645492e-05,3.625713e-05,3.607245e-05,3.590013e-05,3.573946e-05,3.558975e-05,3.545037e-05,3.532071e-05,3.520020e-05,3.508831e-05,3.498453e-05,3.488838e-05,3.479940e-05,3.471718e-05,3.464129e-05,3.457138e-05,3.450707e-05
0.000000e+00,4.585236e-12,1.109354e-09,1.206808e-09,3.969899e-08,4.486744e-07,4.891336e-07,3.119325e-06,1.147867e-05,1.232962e-05,3.440230e-05,7.068920e-05,7.464759e-05,1.348906e-04,2.044081e-04,2.128692e-04,3.032819e-04,3.878618e-04,3.994920e-04,4.950696e-04,5.727345e-04,5.847908e-04,6.650608e-04,7.236955e-04,7.339028e-04,7.906936e-04,8.285053e-04,8.358014e-04,8.702286e-04,8.909730e-04,8.953112e-04,9.124958e-04,9.213262e-04,9.231896e-04,9.286724e-04,9.300437e-04,9.300540e-04,9.282652e-04,9.253522e-04,9.240641e-04,9.180554e-04,9.128799e-04,9.107122e-04,9.023997e-04,8.961562e-04,8.933963e-04,8.839124e-04,8.772709e-04,8.741052e-04,8.640917e-04,8.574125e-04,8.539579e-04,8.437673e-04,8.372375e-04,8.335664e-04,8.233895e-04,8.171030e-04,8.132613e-04,8.031999e-04,7.972009e-04,7.932187e-04,7.833272e-04,7.776341e-04,7.735325e-04,7.638396e-04,7.584574e-04,7.542520e-04,7.447726e-04,7.396994e-04,7.354032e-04,7.261450e-04,7.213749e-04,7.169987e-04,7.079646e-04,7.034898e-04,6.990430e-04,6.902336e-04,6.860450e-04,6.815364e-04,6.729508e-04,6.690388e-04,6.644765e-04,6.561128e-04,6.524677e-04,6.478591e-04,6.397146e-04,6.363263e-04,6.316785e-04,6.237501e-04,6.206086e-04,6.159284e-04,6.082126e-04,6.053081e-04,6.006017e-04,5.930947e-04,5.904175e-04,5.856908e-04,5.783889e-04,5.759293e-04,5.711879e-04,5.640870e-04,5.618356e-04,5.570849e-04,5.501808e-04,5.481286e-04,5.433736e-04,5.366622e-04,5.348001e-04,5.300456e-04,5.235227e-04,5.218420e-04,5.170925e-04,5.107540e-04,5.092462e-04,5.045060e-04,4.983475e-04,4.970046e-04,4.922776e-04,4.862951e-04,4.851090e-04,4.803990e-04,4.745884e-04,4.735514e-04,4.688621e-04,4.632191e-04,4.623239e-04,4.576585e-04,4.521793e-04,4.514186e-04,4.467804e-04,4.414609e-04,4.408278e-04,4.362197e-04,4.310559e-04,4.305438e-04,4.259686e-04,4.209568e-04,4.205591e-04,4.160195e-04,4.111557e-04,4.108662e-04,4.063647e-04,4.016454e-04,4.014581e-04,3.969969e-04,3.924183e-04,3.923274e-04,3.879087e-04,3.834673e-04,3.748709e-04,3.665315e-04,3.584425e-04,3.505975e-04,3.429901e-04,3.356144e-04,3.284641e-04,3.215335e-04,3.148169e-04,3.083085e-04,3.020030e-04,2.958949e-04,2.899790e-04,2.842502e-04,2.787036e-04,2.733343e-04,2.681374e-04,2.631084e-04,2.582427e-04,2.535359e-04,2.489838e-04,2.445819e-04,2.403264e-04,2.362131e-04,2.322381e-04,2.283976e-04,2.246879e-04,2.211054e-04,2.176464e-04,2.143075e-04,2.110853e-04,2.079765e-04,2.049779e-04,2.020863e-04,1.992987e-04,1.966120e-04,1.940234e-04,1.915299e-04,1.891289e-04,1.868174e-04,1.845930e-04,1.824530e-04,1.803948e-04,1.784161e-04,1.765143e-04,1.746872e-04,1.729324e-04,1.712477e-04,1.696309e-04
0.000000e+00,1.331670e-09,1.833958e-08,1.915835e-08,1.253921e-07,4.740168e-07,4.966776e-07,1.303091e-06,2.365050e-06,2.436926e-06,3.631248e-06,4.671956e-06,4.758728e-06,5.789917e-06,6.634079e-06,6.723113e-06,7.563330e-06,8.230917e-06,8.317006e-06,8.990642e-06,9.510691e-06,9.590440e-06,1.012223e-05,1.052038e-05,1.059147e-05,1.100327e-05,1.130143e-05,1.136238e-05,1.167323e-05,1.188993e-05,1.193993e-05,1.216628e-05,1.231710e-05,1.235581e-05,1.251178e-05,1.260972e-05,1.263718e-05,1.273478e-05,1.279060e-05,1.280712e-05,1.285658e-05,1.287923e-05,1.288530e-05,1.289528e-05,1.289208e-05,1.288832e-05,1.286607e-05,1.284300e-05,1.283007e-05,1.278171e-05,1.274365e-05,1.272227e-05,1.265292e-05,1.260383e-05,1.257473e-05,1.248868e-05,1.243179e-05,1.239568e-05,1.229654e-05,1.223442e-05,1.219200e-05,1.208276e-05,1.201749e-05,1.196943e-05,1.185258e-05,1.178581e-05,1.173274e-05,1.161036e-05,1.154338e-05,1.148589e-05,1.135972e-05,1.129355e-05,1.123219e-05,1.110363e-05,1.103906e-05,1.097434e-05,1.084457e-05,1.078218e-05,1.071457e-05,1.058455e-05,1.052480e-05,1.045472e-05,1.032524e-05,1.026842e-05,1.019627e-05,1.006797e-05,1.001430e-05,9.940443e-06,9.813817e-06,9.763442e-06,9.688192e-06,9.563656e-06,9.516635e-06,9.440290e-06,9.318164e-06,9.274515e-06,9.197340e-06,9.077871e-06,9.037569e-06,8.959805e-06,8.843180e-06,8.806171e-06,8.728032e-06,8.614389e-06,8.580594e-06,8.502275e-06,8.391709e-06,8.361029e-06,8.282705e-06,8.175276e-06,8.147603e-06,8.069429e-06,7.965170e-06,7.940384e-06,7.862500e-06,7.761419e-06,7.739395e-06,7.661925e-06,7.564014e-06,7.544621e-06,7.467677e-06,7.372909e-06,7.356017e-06,7.279699e-06,7.188036e-06,7.173513e-06,7.097908e-06,7.009303e-06,6.997019e-06,6.922206e-06,6.836603e-06,6.826430e-06,6.752478e-06,6.669815e-06,6.661628e-06,6.588597e-06,6.508807e-06,6.502485e-06,6.430429e-06,6.353443e-06,6.348868e-06,6.277832e-06,6.203578e-06,6.200636e-06,6.130662e-06,6.059065e-06,6.057646e-06,5.988769e-06,5.919755e-06,5.786816e-06,5.658683e-06,5.535211e-06,5.416258e-06,5.301680e-06,5.191339e-06,5.085098e-06,4.982823e-06,4.884384e-06,4.789651e-06,4.698501e-06,4.610813e-06,4.526469e-06,4.445354e-06,4.367357e-06,4.292371e-06,4.220290e-06,4.151013e-06,4.084443e-06,4.020484e-06,3.959044e-06,3.900033e-06,3.843367e-06,3.788961e-06,3.736736e-06,3.686612e-06,3.638515e-06,3.592371e-06,3.548111e-06,3.505667e-06,3.464973e-06,3.425965e-06,3.388582e-06,3.352765e-06,3.318456e-06,3.285601e-06,3.254147e-06,3.224040e-06,3.195233e-06,3.167676e-06,3.141324e-06,3.116131e-06,3.092055e-06,3.069053e-06,3.047086e-06,3.026115e-06,3.006101e-06,2.987009e-06,2.968805e-06
0.000000e+00,1.040751e-08,3.422231e-07,3.615101e-07,3.293021e-06,1.258403e-05,1.312766e-05,2.888911e-05,4.461430e-05,4.559918e-05,6.146976e-05,7.508981e-05,7.622919e-05,8.987712e-05,1.012470e-04,1.024586e-04,1.140254e-04,1.234062e-04,1.246295e-04,1.343221e-04,1.419673e-04,1.431538e-04,1.511742e-04,1.573199e-04,1.584319e-04,1.649742e-04,1.698370e-04,1.708466e-04,1.760927e-04,1.798667e-04,1.807542e-04,1.848705e-04,1.877271e-04,1.884794e-04,1.916160e-04,1.937043e-04,1.943133e-04,1.966026e-04,1.980511e-04,1.985130e-04,2.000721e-04,2.009918e-04,2.013059e-04,2.022387e-04,2.027250e-04,2.028937e-04,2.032930e-04,2.034287e-04,2.034566e-04,2.034032e-04,2.032575e-04,2.031501e-04,2.027138e-04,2.023453e-04,2.021093e-04,2.013508e-04,2.008092e-04,2.004518e-04,1.994245e-04,1.987514e-04,1.982805e-04,1.970306e-04,1.962612e-04,1.956849e-04,1.942526e-04,1.934160e-04,1.927425e-04,1.911627e-04,1.902833e-04,1.895208e-04,1.878238e-04,1.869217e-04,1.860782e-04,1.842901e-04,1.833818e-04,1.824651e-04,1.806084e-04,1.797074e-04,1.787249e-04,1.768192e-04,1.759362e-04,1.748952e-04,1.729570e-04,1.721006e-04,1.710080e-04,1.690516e-04,1.682285e-04,1.670908e-04,1.651284e-04,1.643435e-04,1.631669e-04,1.612088e-04,1.604660e-04,1.592562e-04,1.573111e-04,1.566131e-04,1.553754e-04,1.534507e-04,1.527991e-04,1.515385e-04,1.496403e-04,1.490360e-04,1.477573e-04,1.458906e-04,1.453339e-04,1.440413e-04,1.422103e-04,1.417010e-04,1.403984e-04,1.386065e-04,1.381439e-04,1.368351e-04,1.350848e-04,1.346680e-04,1.333563e-04,1.316498e-04,1.312774e-04,1.299658e-04,1.283046e-04,1.279751e-04,1.266666e-04,1.250518e-04,1.247637e-04,1.234606e-04,1.218930e-04,1.216444e-04,1.203492e-04,1.188292e-04,1.186183e-04,1.173330e-04,1.158607e-04,1.156856e-04,1.144122e-04,1.129874e-04,1.128463e-04,1.115864e-04,1.102089e-04,1.100997e-04,1.088549e-04,1.075243e-04,1.074452e-04,1.062168e-04,1.049323e-04,1.048814e-04,1.036707e-04,1.024317e-04,1.024071e-04,1.012151e-04,1.000207e-04,9.772053e-05,9.550465e-05,9.337118e-05,9.131809e-05,8.934331e-05,8.744474e-05,8.562025e-05,8.386768e-05,8.218491e-05,8.056979e-05,7.902020e-05,7.753405e-05,7.610927e-05,7.474382e-05,7.343572e-05,7.218301e-05,7.098376e-05,6.983611e-05,6.873823e-05,6.768834e-05,6.668471e-05,6.572564e-05,6.480950e-05,6.393469e-05,6.309967e-05,6.230294e-05,6.154304e-05,6.081856e-05,6.012814e-05,5.947045e-05,5.884422e-05,5.824821e-05,5.768122e-05,5.714209e-05,5.662969e-05,5.614296e-05,5.568084e-05,5.524233e-05,5.482645e-05,5.443226e-05,5.405886e-05,5.370535e-05,5.337091e-05,5.305471e-05,5.275597e-05,5.247393e-05,5.220785e-05,5.195704e-05,5.172081e-05
0.000000e+00,1.317758e-09,1.852922e-08,1.933729e-08,1.115162e-07,3.501269e-07,3.640547e-07,8.112207e-07,1.356843e-06,1.393747e-06,2.014880e-06,2.570460e-06,2.617449e-06,3.184708e-06,3.662789e-06,3.714025e-06,4.206157e-06,4.609690e-06,4.662642e-06,5.085195e-06,5.422772e-06,5.475547e-06,5.835403e-06,6.115322e-06,6.166410e-06,6.470155e-06,6.699950e-06,6.748156e-06,7.001869e-06,7.188286e-06,7.232680e-06,7.441911e-06,7.590941e-06,7.630818e-06,7.800586e-06,7.917508e-06,7.952348e-06,8.087181e-06,8.176662e-06,8.206107e-06,8.310091e-06,8.376223e-06,8.400048e-06,8.476847e-06,8.523217e-06,8.541307e-06,8.594208e-06,8.623955e-06,8.636285e-06,8.668236e-06,8.684098e-06,8.690719e-06,8.704358e-06,8.708720e-06,8.709744e-06,8.707432e-06,8.702365e-06,8.697949e-06,8.681794e-06,8.669094e-06,8.659436e-06,8.631320e-06,8.612540e-06,8.597865e-06,8.559466e-06,8.535944e-06,8.516498e-06,8.469313e-06,8.442197e-06,8.418242e-06,8.363600e-06,8.333874e-06,8.305682e-06,8.244766e-06,8.213266e-06,8.181114e-06,8.114974e-06,8.082412e-06,8.046578e-06,7.976145e-06,7.943118e-06,7.903880e-06,7.829977e-06,7.796988e-06,7.754617e-06,7.677973e-06,7.645438e-06,7.600203e-06,7.521459e-06,7.489721e-06,7.441882e-06,7.361604e-06,7.330941e-06,7.280750e-06,7.199435e-06,7.170070e-06,7.117768e-06,7.035851e-06,7.007960e-06,6.953780e-06,6.871641e-06,6.845357e-06,6.789520e-06,6.707491e-06,6.682912e-06,6.625628e-06,6.543998e-06,6.521191e-06,6.462661e-06,6.381677e-06,6.360685e-06,6.301097e-06,6.220972e-06,6.201815e-06,6.141348e-06,6.062266e-06,6.044945e-06,5.983765e-06,5.905881e-06,5.890381e-06,5.828647e-06,5.752092e-06,5.738386e-06,5.676243e-06,5.601126e-06,5.589177e-06,5.526763e-06,5.453174e-06,5.442934e-06,5.380377e-06,5.308389e-06,5.299805e-06,5.237223e-06,5.166894e-06,5.159907e-06,5.097411e-06,5.028784e-06,5.023331e-06,4.961022e-06,4.894131e-06,4.890146e-06,4.828118e-06,4.762986e-06,4.760399e-06,4.698739e-06,4.635379e-06,4.634121e-06,4.572908e-06,4.511326e-06,4.392015e-06,4.276177e-06,4.163791e-06,4.054828e-06,3.949249e-06,3.847010e-06,3.748061e-06,3.652349e-06,3.559814e-06,3.470395e-06,3.384028e-06,3.300648e-06,3.220187e-06,3.142576e-06,3.067746e-06,2.995627e-06,2.926149e-06,2.859243e-06,2.794839e-06,2.732869e-06,2.673263e-06,2.615955e-06,2.560878e-06,2.507966e-06,2.457155e-06,2.408382e-06,2.361586e-06,2.316704e-06,2.273678e-06,2.232449e-06,2.192962e-06,2.155160e-06,2.118989e-06,2.084396e-06,2.051331e-06,2.019743e-06,1.989583e-06,1.960804e-06,1.933360e-06,1.907205e-06,1.882296e-06,1.858591e-06,1.836048e-06,1.814627e-06,1.794290e-06,1.774998e-06,1.756714e-06,1.739404e-06,1.723032e-06
0.000000e+00,6.258731e-11,9.739550e-09,1.048423e-08,2.075314e-07,1.623093e-06,1.747821e-06,8.784567e-06,2.850074e-05,3.044107e-05,7.955683e-05,1.587810e-04,1.673861e-04,2.979689e-04,4.481346e-04,4.663888e-04,6.614167e-04,8.445584e-04,8.698684e-04,1.080037e-03,1.255467e-03,1.283266e-03,1.474064e-03,1.622517e-03,1.649488e-03,1.808365e-03,1.926223e-03,1.950622e-03,2.076811e-03,2.166771e-03,2.187799e-03,2.284589e-03,2.350895e-03,2.368215e-03,2.439697e-03,2.486502e-03,2.500007e-03,2.550064e-03,2.581013e-03,2.590728e-03,2.622800e-03,2.640992e-03,2.647026e-03,2.664099e-03,2.672140e-03,2.674661e-03,2.679309e-03,2.679373e-03,2.678592e-03,2.673023e-03,2.666920e-03,2.663073e-03,2.649179e-03,2.638405e-03,2.631745e-03,2.611144e-03,2.596932e-03,2.587718e-03,2.561787e-03,2.545148e-03,2.533642e-03,2.503552e-03,2.485307e-03,2.471766e-03,2.438511e-03,2.419325e-03,2.403997e-03,2.368416e-03,2.348821e-03,2.331944e-03,2.294743e-03,2.275160e-03,2.256960e-03,2.218732e-03,2.199489e-03,2.180180e-03,2.141416e-03,2.122765e-03,2.102544e-03,2.063655e-03,2.045784e-03,2.024834e-03,1.986156e-03,1.969201e-03,1.947690e-03,1.909498e-03,1.893552e-03,1.871634e-03,1.834149e-03,1.819270e-03,1.797085e-03,1.760482e-03,1.746702e-03,1.724375e-03,1.688793e-03,1.676117e-03,1.653762e-03,1.619306e-03,1.607725e-03,1.585443e-03,1.552189e-03,1.541679e-03,1.519558e-03,1.487562e-03,1.478088e-03,1.456208e-03,1.425503e-03,1.417023e-03,1.395452e-03,1.366057e-03,1.358522e-03,1.337320e-03,1.309240e-03,1.302599e-03,1.281816e-03,1.255045e-03,1.249243e-03,1.228923e-03,1.203446e-03,1.198427e-03,1.178607e-03,1.154400e-03,1.150109e-03,1.130818e-03,1.107853e-03,1.104236e-03,1.085497e-03,1.063742e-03,1.060743e-03,1.042577e-03,1.021994e-03,1.019562e-03,1.001982e-03,9.825320e-04,9.806175e-04,9.636333e-04,9.452755e-04,9.438299e-04,9.274480e-04,9.101403e-04,9.091181e-04,8.933415e-04,8.770409e-04,8.763991e-04,8.612277e-04,8.458913e-04,8.455893e-04,8.310207e-04,8.166054e-04,7.893647e-04,7.637857e-04,7.397887e-04,7.172960e-04,6.962321e-04,6.765236e-04,6.580998e-04,6.408926e-04,6.248366e-04,6.098688e-04,5.959293e-04,5.829603e-04,5.709071e-04,5.597173e-04,5.493411e-04,5.397310e-04,5.308420e-04,5.226313e-04,5.150582e-04,5.080845e-04,5.016734e-04,4.957907e-04,4.904035e-04,4.854809e-04,4.809938e-04,4.769146e-04,4.732172e-04,4.698770e-04,4.668707e-04,4.641765e-04,4.617737e-04,4.596427e-04,4.577653e-04,4.561242e-04,4.547030e-04,4.534863e-04,4.524598e-04,4.516099e-04,4.509237e-04,4.503893e-04,4.499953e-04,4.497310e-04,4.495866e-04,4.495526e-04,4.496201e-04,4.497810e-04,4.500275e-04,4.503522e-04,4.507484e-04
0.000000e+00,1.635276e-09,1.052700e-07,1.118861e-07,1.387128e-06,7.846635e-06,8.337888e-06,2.938891e-05,6.485079e-05,6.749636e-05,1.145895e-04,1.587428e-04,1.625066e-04,2.079862e-04,2.461755e-04,2.502541e-04,2.892560e-04,3.209677e-04,3.251087e-04,3.579654e-04,3.839454e-04,3.879826e-04,4.153136e-04,4.363046e-04,4.401071e-04,4.625076e-04,4.791892e-04,4.826557e-04,5.006874e-04,5.136775e-04,5.167342e-04,5.309229e-04,5.407785e-04,5.433749e-04,5.542065e-04,5.614230e-04,5.635282e-04,5.714453e-04,5.764584e-04,5.780573e-04,5.834581e-04,5.866469e-04,5.877367e-04,5.909767e-04,5.926690e-04,5.932567e-04,5.946508e-04,5.951283e-04,5.952284e-04,5.950546e-04,5.945580e-04,5.941902e-04,5.926922e-04,5.914258e-04,5.906142e-04,5.880069e-04,5.861451e-04,5.849170e-04,5.813882e-04,5.790774e-04,5.774616e-04,5.731757e-04,5.705394e-04,5.685663e-04,5.636666e-04,5.608076e-04,5.585076e-04,5.531180e-04,5.501212e-04,5.475245e-04,5.417525e-04,5.386882e-04,5.358251e-04,5.297638e-04,5.266891e-04,5.235884e-04,5.173175e-04,5.142787e-04,5.109684e-04,5.045568e-04,5.015906e-04,4.980973e-04,4.916035e-04,4.887387e-04,4.850879e-04,4.785621e-04,4.758207e-04,4.720365e-04,4.655209e-04,4.629194e-04,4.590240e-04,4.525542e-04,4.501043e-04,4.461188e-04,4.397246e-04,4.374339e-04,4.333777e-04,4.270838e-04,4.249569e-04,4.208480e-04,4.146747e-04,4.127132e-04,4.085681e-04,4.025319e-04,4.007352e-04,3.965692e-04,3.906830e-04,3.890489e-04,3.848758e-04,3.791499e-04,3.776747e-04,3.735071e-04,3.679490e-04,3.666279e-04,3.624771e-04,3.570925e-04,3.559197e-04,3.517961e-04,3.465886e-04,3.455578e-04,3.414705e-04,3.364422e-04,3.355466e-04,3.315038e-04,3.266554e-04,3.258880e-04,3.218968e-04,3.172279e-04,3.165814e-04,3.126484e-04,3.081577e-04,3.076247e-04,3.037553e-04,2.994407e-04,2.990140e-04,2.952130e-04,2.910716e-04,2.907440e-04,2.870156e-04,2.830440e-04,2.828084e-04,2.791560e-04,2.753506e-04,2.752001e-04,2.716266e-04,2.679832e-04,2.679111e-04,2.644190e-04,2.609331e-04,2.542571e-04,2.478741e-04,2.417747e-04,2.359492e-04,2.303884e-04,2.250824e-04,2.200220e-04,2.151978e-04,2.106004e-04,2.062208e-04,2.020502e-04,1.980799e-04,1.943015e-04,1.907067e-04,1.872877e-04,1.840367e-04,1.809462e-04,1.780092e-04,1.752186e-04,1.725677e-04,1.700503e-04,1.676600e-04,1.653910e-04,1.632376e-04,1.611943e-04,1.592559e-04,1.574174e-04,1.556739e-04,1.540210e-04,1.524541e-04,1.509692e-04,1.495622e-04,1.482293e-04,1.469668e-04,1.457713e-04,1.446395e-04,1.435680e-04,1.425541e-04,1.415946e-04,1.406870e-04,1.398285e-04,1.390168e-04,1.382493e-04,1.375240e-04,1.368385e-04,1.361908e-04,1.355791e-04,1.350014e-04,1.344559e-04
0.000000e+00,4.853104e-10,8.607364e-09,9.000331e-09,5.256000e-08,1.551806e-07,1.608580e-07,3.310600e-07,5.157482e-07,5.275478e-07,7.161705e-07,8.716965e-07,8.843445e-07,1.031050e-06,1.146206e-06,1.158088e-06,1.267646e-06,1.351251e-06,1.361800e-06,1.442417e-06,1.502189e-06,1.511154e-06,1.569473e-06,1.611358e-06,1.618664e-06,1.659858e-06,1.688373e-06,1.694051e-06,1.722116e-06,1.740674e-06,1.744819e-06,1.762831e-06,1.774006e-06,1.776742e-06,1.787069e-06,1.792800e-06,1.794262e-06,1.798718e-06,1.800456e-06,1.800780e-06,1.800753e-06,1.799592e-06,1.798905e-06,1.795473e-06,1.792243e-06,1.790670e-06,1.784684e-06,1.780018e-06,1.777670e-06,1.769769e-06,1.764127e-06,1.761101e-06,1.751772e-06,1.745499e-06,1.741877e-06,1.731496e-06,1.724849e-06,1.720703e-06,1.709559e-06,1.702728e-06,1.698120e-06,1.686434e-06,1.679560e-06,1.674543e-06,1.662485e-06,1.655673e-06,1.650294e-06,1.637997e-06,1.631322e-06,1.625620e-06,1.613184e-06,1.606701e-06,1.600710e-06,1.588214e-06,1.581963e-06,1.575712e-06,1.563215e-06,1.557223e-06,1.550736e-06,1.538285e-06,1.532569e-06,1.525870e-06,1.513499e-06,1.508072e-06,1.501179e-06,1.488915e-06,1.483783e-06,1.476713e-06,1.464577e-06,1.459742e-06,1.452511e-06,1.440518e-06,1.435981e-06,1.428601e-06,1.416763e-06,1.412521e-06,1.405005e-06,1.393330e-06,1.389379e-06,1.381738e-06,1.370232e-06,1.366568e-06,1.358812e-06,1.347480e-06,1.344097e-06,1.336235e-06,1.325079e-06,1.321971e-06,1.314012e-06,1.303034e-06,1.300194e-06,1.292145e-06,1.281346e-06,1.278768e-06,1.270637e-06,1.260018e-06,1.257693e-06,1.249488e-06,1.239047e-06,1.236970e-06,1.228696e-06,1.218433e-06,1.216595e-06,1.208259e-06,1.198174e-06,1.196568e-06,1.188177e-06,1.178267e-06,1.176886e-06,1.168444e-06,1.158708e-06,1.157546e-06,1.149059e-06,1.139496e-06,1.138544e-06,1.130018e-06,1.120624e-06,1.119877e-06,1.111316e-06,1.102091e-06,1.101540e-06,1.092949e-06,1.083891e-06,1.083530e-06,1.074915e-06,1.066020e-06,1.065843e-06,1.057207e-06,1.048474e-06,1.031419e-06,1.014674e-06,9.982343e-07,9.820952e-07,9.662526e-07,9.507019e-07,9.354387e-07,9.204587e-07,9.057574e-07,8.913304e-07,8.771736e-07,8.632824e-07,8.496528e-07,8.362804e-07,8.231611e-07,8.102908e-07,7.976654e-07,7.852808e-07,7.731331e-07,7.612183e-07,7.495326e-07,7.380720e-07,7.268329e-07,7.158114e-07,7.050039e-07,6.944067e-07,6.840163e-07,6.738292e-07,6.638418e-07,6.540508e-07,6.444527e-07,6.350443e-07,6.258222e-07,6.167833e-07,6.079244e-07,5.992422e-07,5.907339e-07,5.823963e-07,5.742265e-07,5.662215e-07,5.583785e-07,5.506945e-07,5.431669e-07,5.357929e-07,5.285698e-07,5.214948e-07,5.145655e-07,5.077792e-07,5.011334e-07
0.000000e+00,6.710846e-09,1.126974e-07,1.179257e-07,7.702664e-07,2.647376e-06,2.760573e-06,6.416458e-06,1.066537e-05,1.094188e-05,1.545210e-05,1.933655e-05,1.966061e-05,2.352515e-05,2.671552e-05,2.705372e-05,3.026337e-05,3.283877e-05,3.317263e-05,3.579988e-05,3.784744e-05,3.816304e-05,4.027941e-05,4.187863e-05,4.216562e-05,4.383753e-05,4.505918e-05,4.531020e-05,4.659792e-05,4.750398e-05,4.771412e-05,4.867145e-05,4.931557e-05,4.948182e-05,5.015638e-05,5.058468e-05,5.070559e-05,5.113922e-05,5.139111e-05,5.146643e-05,5.169574e-05,5.180475e-05,5.183516e-05,5.189212e-05,5.188667e-05,5.187357e-05,5.178598e-05,5.169009e-05,5.163540e-05,5.142745e-05,5.126133e-05,5.116735e-05,5.085999e-05,5.064057e-05,5.050988e-05,5.012125e-05,4.986267e-05,4.969800e-05,4.924376e-05,4.895776e-05,4.876192e-05,4.825558e-05,4.795184e-05,4.772767e-05,4.718085e-05,4.686731e-05,4.661761e-05,4.604027e-05,4.572338e-05,4.545093e-05,4.485156e-05,4.453653e-05,4.424397e-05,4.362984e-05,4.332080e-05,4.301069e-05,4.238795e-05,4.208814e-05,4.176290e-05,4.113675e-05,4.084865e-05,4.051058e-05,3.988540e-05,3.961087e-05,3.926211e-05,3.864154e-05,3.838190e-05,3.802446e-05,3.741155e-05,3.716769e-05,3.680342e-05,3.620065e-05,3.597311e-05,3.560374e-05,3.501313e-05,3.480214e-05,3.442924e-05,3.385242e-05,3.365797e-05,3.328300e-05,3.272125e-05,3.254315e-05,3.216741e-05,3.162170e-05,3.145961e-05,3.108431e-05,3.055537e-05,3.040880e-05,3.003502e-05,2.952337e-05,2.939177e-05,2.902048e-05,2.852642e-05,2.840917e-05,2.804124e-05,2.756496e-05,2.746137e-05,2.709758e-05,2.663910e-05,2.654847e-05,2.618950e-05,2.574875e-05,2.567035e-05,2.531680e-05,2.489361e-05,2.482671e-05,2.447912e-05,2.407325e-05,2.401711e-05,2.367593e-05,2.328707e-05,2.324097e-05,2.290659e-05,2.253439e-05,2.249762e-05,2.217037e-05,2.181443e-05,2.178630e-05,2.146646e-05,2.112636e-05,2.110620e-05,2.079400e-05,2.046927e-05,2.045644e-05,2.015206e-05,1.984225e-05,1.983613e-05,1.953972e-05,1.924434e-05,1.868013e-05,1.814254e-05,1.763063e-05,1.714344e-05,1.668005e-05,1.623952e-05,1.582096e-05,1.542347e-05,1.504618e-05,1.468824e-05,1.434885e-05,1.402719e-05,1.372249e-05,1.343401e-05,1.316103e-05,1.290285e-05,1.265880e-05,1.242823e-05,1.221052e-05,1.200508e-05,1.181134e-05,1.162873e-05,1.145674e-05,1.129485e-05,1.114260e-05,1.099950e-05,1.086512e-05,1.073903e-05,1.062083e-05,1.051013e-05,1.040655e-05,1.030974e-05,1.021937e-05,1.013510e-05,1.005663e-05,9.983668e-06,9.915926e-06,9.853137e-06,9.795044e-06,9.741403e-06,9.691981e-06,9.646554e-06,9.604911e-06,9.566849e-06,9.532175e-06,9.500705e-06,9.472265e-06,9.446686e-06,9.423811e-06
0.000000e+00,4.923328e-11,7.133942e-09,7.664594e-09,1.367768e-07,9.902673e-07,1.063970e-06,5.188209e-06,1.695683e-05,1.813363e-05,4.869244e-05,9.985309e-05,1.054951e-04,1.922752e-04,2.935769e-04,3.059518e-04,4.386466e-04,5.638216e-04,5.811581e-04,7.255147e-04,8.467122e-04,8.659931e-04,9.990513e-04,1.103679e-03,1.122815e-03,1.236515e-03,1.322152e-03,1.340045e-03,1.433666e-03,1.501723e-03,1.517821e-03,1.593037e-03,1.645855e-03,1.659867e-03,1.718867e-03,1.758801e-03,1.770573e-03,1.815502e-03,1.844675e-03,1.854143e-03,1.886960e-03,1.907227e-03,1.914389e-03,1.936841e-03,1.949804e-03,1.954703e-03,1.968334e-03,1.975360e-03,1.978073e-03,1.984237e-03,1.986491e-03,1.987121e-03,1.987001e-03,1.985468e-03,1.984136e-03,1.978766e-03,1.974277e-03,1.971115e-03,1.961391e-03,1.954644e-03,1.949790e-03,1.936493e-03,1.928070e-03,1.921667e-03,1.905470e-03,1.895855e-03,1.888047e-03,1.869533e-03,1.859127e-03,1.850054e-03,1.829726e-03,1.818856e-03,1.808657e-03,1.786946e-03,1.775879e-03,1.764686e-03,1.741961e-03,1.730911e-03,1.718850e-03,1.695427e-03,1.684566e-03,1.671757e-03,1.647903e-03,1.637363e-03,1.623920e-03,1.599861e-03,1.589744e-03,1.575772e-03,1.551699e-03,1.542083e-03,1.527681e-03,1.503754e-03,1.494692e-03,1.479951e-03,1.456302e-03,1.447832e-03,1.432835e-03,1.409574e-03,1.401717e-03,1.386542e-03,1.363757e-03,1.356522e-03,1.341239e-03,1.319002e-03,1.312388e-03,1.297060e-03,1.275427e-03,1.269427e-03,1.254113e-03,1.233127e-03,1.227725e-03,1.212477e-03,1.192170e-03,1.187348e-03,1.172211e-03,1.152605e-03,1.148339e-03,1.133355e-03,1.114465e-03,1.110730e-03,1.095936e-03,1.077769e-03,1.074537e-03,1.059964e-03,1.042522e-03,1.039765e-03,1.025441e-03,1.008721e-03,1.006409e-03,9.923584e-04,9.763521e-04,9.744552e-04,9.606992e-04,9.453967e-04,9.438856e-04,9.304412e-04,9.158290e-04,9.146748e-04,9.015564e-04,8.876190e-04,8.867934e-04,8.740127e-04,8.607329e-04,8.602084e-04,8.477749e-04,8.351340e-04,8.348844e-04,8.228053e-04,8.107837e-04,7.878671e-04,7.660942e-04,7.454243e-04,7.258159e-04,7.072279e-04,6.896195e-04,6.729502e-04,6.571803e-04,6.422708e-04,6.281837e-04,6.148818e-04,6.023292e-04,5.904908e-04,5.793329e-04,5.688230e-04,5.589295e-04,5.496222e-04,5.408720e-04,5.326510e-04,5.249324e-04,5.176905e-04,5.109008e-04,5.045398e-04,4.985851e-04,4.930152e-04,4.878098e-04,4.829492e-04,4.784150e-04,4.741894e-04,4.702556e-04,4.665976e-04,4.632000e-04,4.600485e-04,4.571291e-04,4.544288e-04,4.519352e-04,4.496365e-04,4.475214e-04,4.455792e-04,4.438000e-04,4.421740e-04,4.406923e-04,4.393462e-04,4.381275e-04,4.370286e-04,4.360421e-04,4.351611e-04,4.343789e-04,4.336895e-04
0.000000e+00,1.393694e-11,2.721514e-09,2.945326e-09,7.639215e-08,7.452010e-07,8.089313e-07,4.832410e-06,1.771069e-05,1.904344e-05,5.477646e-05,1.169629e-04,1.239411e-04,2.337552e-04,3.673879e-04,3.840976e-04,5.683942e-04,7.505627e-04,7.764055e-04,9.970859e-04,1.189419e-03,1.220558e-03,1.439060e-03,1.614695e-03,1.647120e-03,1.841298e-03,1.988832e-03,2.019749e-03,2.181775e-03,2.299604e-03,2.327453e-03,2.457340e-03,2.548219e-03,2.572268e-03,2.673211e-03,2.741201e-03,2.761188e-03,2.837217e-03,2.886363e-03,2.902276e-03,2.957296e-03,2.991186e-03,3.003149e-03,3.040641e-03,3.062314e-03,3.070521e-03,3.093479e-03,3.105462e-03,3.110149e-03,3.121114e-03,3.125487e-03,3.126909e-03,3.128026e-03,3.126496e-03,3.124916e-03,3.117993e-03,3.111953e-03,3.107635e-03,3.094189e-03,3.084773e-03,3.077974e-03,3.059281e-03,3.047409e-03,3.038376e-03,3.015505e-03,3.001922e-03,2.990890e-03,2.964736e-03,2.950039e-03,2.937229e-03,2.908542e-03,2.893210e-03,2.878829e-03,2.848234e-03,2.832647e-03,2.816886e-03,2.784905e-03,2.769361e-03,2.752398e-03,2.719463e-03,2.704195e-03,2.686192e-03,2.652665e-03,2.637852e-03,2.618957e-03,2.585135e-03,2.570911e-03,2.551260e-03,2.517388e-03,2.503851e-03,2.483569e-03,2.449847e-03,2.437067e-03,2.416264e-03,2.382856e-03,2.370879e-03,2.349657e-03,2.316695e-03,2.305547e-03,2.283998e-03,2.251588e-03,2.241282e-03,2.219488e-03,2.187715e-03,2.178249e-03,2.156285e-03,2.125213e-03,2.116579e-03,2.094512e-03,2.064192e-03,2.056372e-03,2.034262e-03,2.004731e-03,1.997703e-03,1.975604e-03,1.946887e-03,1.940625e-03,1.918585e-03,1.890701e-03,1.885174e-03,1.863237e-03,1.836195e-03,1.831372e-03,1.809575e-03,1.783379e-03,1.779227e-03,1.757606e-03,1.732254e-03,1.728739e-03,1.707323e-03,1.682811e-03,1.679897e-03,1.658715e-03,1.635033e-03,1.632687e-03,1.611762e-03,1.588899e-03,1.587087e-03,1.566440e-03,1.544382e-03,1.543071e-03,1.522721e-03,1.501453e-03,1.500610e-03,1.480573e-03,1.460078e-03,1.459672e-03,1.439962e-03,1.420222e-03,1.382226e-03,1.345647e-03,1.310447e-03,1.276588e-03,1.244033e-03,1.212744e-03,1.182682e-03,1.153811e-03,1.126094e-03,1.099494e-03,1.073976e-03,1.049505e-03,1.026047e-03,1.003569e-03,9.820369e-04,9.614204e-04,9.416882e-04,9.228100e-04,9.047566e-04,8.874995e-04,8.710110e-04,8.552642e-04,8.402330e-04,8.258922e-04,8.122170e-04,7.991836e-04,7.867689e-04,7.749505e-04,7.637065e-04,7.530160e-04,7.428583e-04,7.332137e-04,7.240630e-04,7.153875e-04,7.071692e-04,6.993906e-04,6.920347e-04,6.850850e-04,6.785257e-04,6.723414e-04,6.665170e-04,6.610381e-04,6.558907e-04,6.510612e-04,6.465364e-04,6.423035e-04,6.383504e-04,6.346649e-04,6.312355e-04
0.000000e+00,4.958401e-11,6.337978e-09,6.800011e-09,1.184496e-07,8.627962e-07,9.269289e-07,4.424843e-06,1.370883e-05,1.459686e-05,3.605478e-05,6.770891e-05,7.097560e-05,1.173434e-04,1.648599e-04,1.702996e-04,2.247935e-04,2.711044e-04,2.772054e-04,3.255638e-04,3.632951e-04,3.690890e-04,4.076752e-04,4.364227e-04,4.415361e-04,4.710099e-04,4.921648e-04,4.964672e-04,5.182720e-04,5.333173e-04,5.367671e-04,5.522697e-04,5.624725e-04,5.650710e-04,5.754374e-04,5.818379e-04,5.836121e-04,5.898167e-04,5.932590e-04,5.942529e-04,5.971043e-04,5.982704e-04,5.985379e-04,5.987055e-04,5.981439e-04,5.977449e-04,5.957813e-04,5.939314e-04,5.929281e-04,5.892885e-04,5.865012e-04,5.849557e-04,5.800145e-04,5.765684e-04,5.745413e-04,5.686057e-04,5.647210e-04,5.622702e-04,5.555916e-04,5.514413e-04,5.486212e-04,5.414051e-04,5.371239e-04,5.339851e-04,5.263987e-04,5.220903e-04,5.186796e-04,5.108583e-04,5.066021e-04,5.029621e-04,4.950154e-04,4.908706e-04,4.870402e-04,4.790559e-04,4.750659e-04,4.710800e-04,4.631282e-04,4.593239e-04,4.552141e-04,4.473501e-04,4.437525e-04,4.395470e-04,4.318142e-04,4.284362e-04,4.241600e-04,4.165917e-04,4.134402e-04,4.091157e-04,4.017372e-04,3.988142e-04,3.944610e-04,3.872910e-04,3.845950e-04,3.802305e-04,3.732822e-04,3.708087e-04,3.664483e-04,3.597304e-04,3.574731e-04,3.531300e-04,3.466478e-04,3.445987e-04,3.402846e-04,3.340405e-04,3.321906e-04,3.279157e-04,3.219098e-04,3.202494e-04,3.160224e-04,3.102528e-04,3.087719e-04,3.046003e-04,2.990640e-04,2.977524e-04,2.936426e-04,2.883351e-04,2.871826e-04,2.831400e-04,2.780561e-04,2.770526e-04,2.730819e-04,2.682158e-04,2.673513e-04,2.634564e-04,2.588018e-04,2.580667e-04,2.542506e-04,2.498010e-04,2.491861e-04,2.454513e-04,2.411998e-04,2.406961e-04,2.370447e-04,2.329843e-04,2.325834e-04,2.290169e-04,2.251406e-04,2.248344e-04,2.213538e-04,2.176548e-04,2.174356e-04,2.140418e-04,2.105131e-04,2.103736e-04,2.070669e-04,2.037017e-04,2.036352e-04,2.004158e-04,1.972075e-04,1.910777e-04,1.852336e-04,1.796631e-04,1.743547e-04,1.692971e-04,1.644796e-04,1.598916e-04,1.555231e-04,1.513644e-04,1.474063e-04,1.436398e-04,1.400563e-04,1.366476e-04,1.334060e-04,1.303237e-04,1.273937e-04,1.246089e-04,1.219629e-04,1.194491e-04,1.170618e-04,1.147949e-04,1.126430e-04,1.106008e-04,1.086632e-04,1.068255e-04,1.050830e-04,1.034312e-04,1.018660e-04,1.003834e-04,9.897948e-05,9.765058e-05,9.639320e-05,9.520399e-05,9.407975e-05,9.301742e-05,9.201410e-05,9.106698e-05,9.017341e-05,8.933086e-05,8.853689e-05,8.778919e-05,8.708555e-05,8.642386e-05,8.580210e-05,8.521836e-05,8.467079e-05,8.415765e-05,8.367726e-05,8.322803e-05
0.000000e+00,7.902205e-10,5.711701e-08,6.066378e-08,6.950093e-07,3.892133e-06,4.144525e-06,1.633226e-05,4.311692e-05,4.543725e-05,9.381817e-05,1.490024e-04,1.540099e-04,2.166650e-04,2.707917e-04,2.765953e-04,3.320306e-04,3.768276e-04,3.826503e-04,4.285861e-04,4.645344e-04,4.700879e-04,5.074271e-04,5.357720e-04,5.408723e-04,5.706827e-04,5.925893e-04,5.971064e-04,6.203805e-04,6.368839e-04,6.407304e-04,6.583698e-04,6.703775e-04,6.735010e-04,6.863146e-04,6.946137e-04,6.969900e-04,7.056957e-04,7.109630e-04,7.125894e-04,7.178190e-04,7.206316e-04,7.215223e-04,7.238282e-04,7.246756e-04,7.248568e-04,7.247201e-04,7.240149e-04,7.235221e-04,7.213598e-04,7.194484e-04,7.183233e-04,7.144961e-04,7.116680e-04,7.099562e-04,7.047754e-04,7.012710e-04,6.990206e-04,6.927537e-04,6.887718e-04,6.860321e-04,6.789088e-04,6.746126e-04,6.714327e-04,6.636491e-04,6.591717e-04,6.555998e-04,6.473232e-04,6.427720e-04,6.388550e-04,6.302279e-04,6.256890e-04,6.214719e-04,6.126146e-04,6.081560e-04,6.036814e-04,5.946954e-04,5.903696e-04,5.856778e-04,5.766480e-04,5.724951e-04,5.676236e-04,5.586208e-04,5.546702e-04,5.496541e-04,5.407366e-04,5.370089e-04,5.318804e-04,5.230962e-04,5.196049e-04,5.143937e-04,5.057814e-04,5.025341e-04,4.972672e-04,4.888578e-04,4.858573e-04,4.805593e-04,4.723770e-04,4.696223e-04,4.643155e-04,4.563787e-04,4.538658e-04,4.485701e-04,4.408927e-04,4.386154e-04,4.333487e-04,4.259401e-04,4.238901e-04,4.186682e-04,4.115344e-04,4.097023e-04,4.045393e-04,3.976835e-04,3.960588e-04,3.909670e-04,3.843899e-04,3.829616e-04,3.779517e-04,3.716518e-04,3.704084e-04,3.654896e-04,3.594640e-04,3.583938e-04,3.535739e-04,3.478181e-04,3.469096e-04,3.421953e-04,3.367038e-04,3.359454e-04,3.313422e-04,3.261086e-04,3.254891e-04,3.210014e-04,3.160186e-04,3.155271e-04,3.111584e-04,3.064189e-04,3.060449e-04,3.017979e-04,2.972935e-04,2.970269e-04,2.929037e-04,2.886262e-04,2.884574e-04,2.844591e-04,2.804002e-04,2.803201e-04,2.764474e-04,2.725986e-04,2.652764e-04,2.583370e-04,2.517644e-04,2.455425e-04,2.396556e-04,2.340885e-04,2.288264e-04,2.238549e-04,2.191599e-04,2.147281e-04,2.105465e-04,2.066025e-04,2.028842e-04,1.993800e-04,1.960791e-04,1.929708e-04,1.900450e-04,1.872922e-04,1.847032e-04,1.822692e-04,1.799820e-04,1.778335e-04,1.758163e-04,1.739233e-04,1.721475e-04,1.704826e-04,1.689224e-04,1.674611e-04,1.660932e-04,1.648134e-04,1.636168e-04,1.624987e-04,1.614547e-04,1.604804e-04,1.595721e-04,1.587258e-04,1.579379e-04,1.572052e-04,1.565244e-04,1.558925e-04,1.553067e-04,1.547641e-04,1.542624e-04,1.537990e-04,1.533717e-04,1.529783e-04,1.526167e-04,1.522852e-04,1.519818e-04
0.000000e+00,2.947790e-09,9.182562e-08,9.657701e-08,7.978631e-07,3.525596e-06,3.716148e-06,1.126476e-05,2.330014e-05,2.419074e-05,3.986318e-05,5.403117e-05,5.520846e-05,6.901401e-05,7.997076e-05,8.110483e-05,9.158117e-05,9.958493e-05,1.005943e-04,1.082954e-04,1.139759e-04,1.148243e-04,1.203081e-04,1.241914e-04,1.248619e-04,1.285897e-04,1.310961e-04,1.315852e-04,1.339324e-04,1.353946e-04,1.357070e-04,1.369769e-04,1.376562e-04,1.378026e-04,1.382383e-04,1.383386e-04,1.383324e-04,1.381280e-04,1.378074e-04,1.376636e-04,1.369733e-04,1.363537e-04,1.360876e-04,1.350335e-04,1.342084e-04,1.338350e-04,1.325134e-04,1.315540e-04,1.310875e-04,1.295741e-04,1.285346e-04,1.279881e-04,1.263425e-04,1.252634e-04,1.246488e-04,1.229174e-04,1.218290e-04,1.211572e-04,1.193762e-04,1.183005e-04,1.175812e-04,1.157785e-04,1.147315e-04,1.139733e-04,1.121704e-04,1.111634e-04,1.103739e-04,1.085872e-04,1.076276e-04,1.068134e-04,1.050553e-04,1.041479e-04,1.033150e-04,1.015944e-04,1.007421e-04,9.989539e-05,9.821914e-05,9.742301e-05,9.656691e-05,9.493961e-05,9.419967e-05,9.333808e-05,9.176290e-05,9.107830e-05,9.021456e-05,8.869341e-05,8.806269e-05,8.719968e-05,8.573351e-05,8.515478e-05,8.429498e-05,8.288406e-05,8.235514e-05,8.150069e-05,8.014473e-05,7.966327e-05,7.881603e-05,7.751435e-05,7.707789e-05,7.623945e-05,7.499104e-05,7.459709e-05,7.376881e-05,7.257242e-05,7.221849e-05,7.140153e-05,7.025576e-05,6.993940e-05,6.913474e-05,6.803808e-05,6.775689e-05,6.696539e-05,6.591625e-05,6.566791e-05,6.489026e-05,6.388701e-05,6.366931e-05,6.290609e-05,6.194709e-05,6.175788e-05,6.100958e-05,6.009318e-05,5.993043e-05,5.919745e-05,5.832201e-05,5.818379e-05,5.746644e-05,5.663036e-05,5.651484e-05,5.581336e-05,5.501506e-05,5.492050e-05,5.423507e-05,5.347302e-05,5.339779e-05,5.272853e-05,5.200124e-05,5.194379e-05,5.129078e-05,5.059681e-05,5.055569e-05,4.991896e-05,4.925690e-05,4.923074e-05,4.861029e-05,4.797879e-05,4.796631e-05,4.736209e-05,4.675986e-05,4.560892e-05,4.451113e-05,4.346423e-05,4.246602e-05,4.151443e-05,4.060742e-05,3.974307e-05,3.891954e-05,3.813504e-05,3.738787e-05,3.667641e-05,3.599908e-05,3.535439e-05,3.474091e-05,3.415727e-05,3.360214e-05,3.307428e-05,3.257246e-05,3.209554e-05,3.164241e-05,3.121201e-05,3.080334e-05,3.041541e-05,3.004730e-05,2.969812e-05,2.936702e-05,2.905319e-05,2.875584e-05,2.847423e-05,2.820765e-05,2.795540e-05,2.771685e-05,2.749136e-05,2.727834e-05,2.707720e-05,2.688741e-05,2.670843e-05,2.653977e-05,2.638095e-05,2.623150e-05,2.609099e-05,2.595900e-05,2.583512e-05,2.571896e-05,2.561017e-05,2.550839e-05,2.541329e-05,2.532453e-05,2.524181e-05
0.000000e+00,6.295311e-09,1.365060e-07,1.434099e-07,1.096346e-06,4.156108e-06,4.348342e-06,1.082042e-05,1.871615e-05,1.923715e-05,2.777838e-05,3.513578e-05,3.574796e-05,4.302028e-05,4.897840e-05,4.960736e-05,5.554980e-05,6.028183e-05,6.089282e-05,6.568068e-05,6.938630e-05,6.995536e-05,7.375641e-05,7.661044e-05,7.712087e-05,8.008336e-05,8.223531e-05,8.267608e-05,8.492899e-05,8.650541e-05,8.686990e-05,8.852454e-05,8.963183e-05,8.991677e-05,9.106878e-05,9.179633e-05,9.200107e-05,9.273256e-05,9.315497e-05,9.328081e-05,9.366199e-05,9.384126e-05,9.389074e-05,9.398065e-05,9.396775e-05,9.394428e-05,9.379319e-05,9.363048e-05,9.353823e-05,9.318992e-05,9.291348e-05,9.275759e-05,9.224966e-05,9.188849e-05,9.167384e-05,9.103726e-05,9.061497e-05,9.034649e-05,8.960754e-05,8.914336e-05,8.882592e-05,8.800670e-05,8.751618e-05,8.715455e-05,8.627376e-05,8.576948e-05,8.536826e-05,8.444164e-05,8.393365e-05,8.349718e-05,8.253789e-05,8.203412e-05,8.156652e-05,8.058560e-05,8.009228e-05,7.959742e-05,7.860410e-05,7.812605e-05,7.760755e-05,7.660951e-05,7.615036e-05,7.561158e-05,7.461517e-05,7.417758e-05,7.362161e-05,7.263207e-05,7.221792e-05,7.164761e-05,7.066919e-05,7.027972e-05,6.969769e-05,6.873388e-05,6.836979e-05,6.777845e-05,6.683202e-05,6.649361e-05,6.589514e-05,6.496830e-05,6.465554e-05,6.405193e-05,6.314640e-05,6.285898e-05,6.225204e-05,6.136913e-05,6.110653e-05,6.049791e-05,5.963857e-05,5.940012e-05,5.879130e-05,5.795622e-05,5.774111e-05,5.713344e-05,5.632304e-05,5.613039e-05,5.552507e-05,5.473958e-05,5.456844e-05,5.396657e-05,5.320604e-05,5.305543e-05,5.245797e-05,5.172233e-05,5.159123e-05,5.099907e-05,5.028812e-05,5.017551e-05,4.958941e-05,4.890287e-05,4.880772e-05,4.822840e-05,4.756589e-05,4.748719e-05,4.691525e-05,4.627636e-05,4.621311e-05,4.564910e-05,4.503335e-05,4.498458e-05,4.442898e-05,4.383586e-05,4.380063e-05,4.325385e-05,4.268283e-05,4.266021e-05,4.212264e-05,4.157314e-05,4.156226e-05,4.103420e-05,4.050566e-05,3.948930e-05,3.851202e-05,3.757270e-05,3.667019e-05,3.580337e-05,3.497111e-05,3.417231e-05,3.340590e-05,3.267081e-05,3.196598e-05,3.129042e-05,3.064311e-05,3.002309e-05,2.942942e-05,2.886118e-05,2.831747e-05,2.779742e-05,2.730019e-05,2.682497e-05,2.637095e-05,2.593737e-05,2.552349e-05,2.512858e-05,2.475194e-05,2.439289e-05,2.405079e-05,2.372498e-05,2.341487e-05,2.311985e-05,2.283935e-05,2.257282e-05,2.231971e-05,2.207951e-05,2.185172e-05,2.163584e-05,2.143141e-05,2.123797e-05,2.105509e-05,2.088234e-05,2.071932e-05,2.056561e-05,2.042085e-05,2.028466e-05,2.015669e-05,2.003658e-05,1.992401e-05,1.981866e-05,1.972021e-05,1.962837e-05
0.000000e+00,4.891237e-13,1.096995e-10,1.189048e-10,3.254770e-09,3.416736e-08,3.724714e-08,2.551135e-07,1.109438e-06,1.207235e-06,4.288078e-06,1.127034e-05,1.216490e-05,2.895487e-05,5.613388e-05,6.006316e-05,1.117415e-04,1.794025e-04,1.904911e-04,3.024376e-04,4.292576e-04,4.527758e-04,6.453454e-04,8.414129e-04,8.823636e-04,1.164317e-03,1.428248e-03,1.489990e-03,1.856609e-03,2.176659e-03,2.260060e-03,2.695163e-03,3.052705e-03,3.155963e-03,3.636024e-03,4.009665e-03,4.128702e-03,4.627389e-03,4.996530e-03,5.125722e-03,5.617749e-03,5.965041e-03,6.098057e-03,6.561856e-03,6.874462e-03,7.005033e-03,7.424174e-03,7.694044e-03,7.816557e-03,8.180130e-03,8.403590e-03,8.513468e-03,8.815721e-03,8.992676e-03,9.086556e-03,9.326091e-03,9.459091e-03,9.534832e-03,9.713609e-03,9.806940e-03,9.863520e-03,9.985867e-03,1.004477e-02,1.008211e-02,1.015381e-02,1.018384e-02,1.020260e-02,1.023015e-02,1.023680e-02,1.023815e-02,1.022824e-02,1.021654e-02,1.020201e-02,1.016103e-02,1.013548e-02,1.010678e-02,1.004067e-02,1.000511e-02,9.964005e-03,9.878035e-03,9.835683e-03,9.783905e-03,9.682672e-03,9.636134e-03,9.575312e-03,9.462717e-03,9.414065e-03,9.345703e-03,9.225011e-03,9.175856e-03,9.101310e-03,8.975206e-03,8.926771e-03,8.847241e-03,8.717901e-03,8.671088e-03,8.587622e-03,8.456792e-03,8.412247e-03,8.325757e-03,8.194822e-03,8.152990e-03,8.064260e-03,7.934309e-03,7.895476e-03,7.805181e-03,7.677059e-03,7.641388e-03,7.550107e-03,7.424464e-03,7.392028e-03,7.300255e-03,7.177585e-03,7.148383e-03,7.056545e-03,6.937214e-03,6.911198e-03,6.819660e-03,6.703937e-03,6.681017e-03,6.590093e-03,6.478166e-03,6.458226e-03,6.368188e-03,6.260182e-03,6.243086e-03,6.154168e-03,6.050158e-03,6.035757e-03,5.948161e-03,5.848182e-03,5.836320e-03,5.750220e-03,5.654274e-03,5.644790e-03,5.560336e-03,5.468399e-03,5.461130e-03,5.378452e-03,5.290481e-03,5.285265e-03,5.204471e-03,5.120406e-03,5.117083e-03,5.038266e-03,4.958034e-03,4.956448e-03,4.879687e-03,4.803203e-03,4.657175e-03,4.518176e-03,4.386013e-03,4.260482e-03,4.141377e-03,4.028489e-03,3.921606e-03,3.820517e-03,3.725014e-03,3.634889e-03,3.549935e-03,3.469953e-03,3.394742e-03,3.324110e-03,3.257867e-03,3.195827e-03,3.137810e-03,3.083641e-03,3.033148e-03,2.986165e-03,2.942531e-03,2.902091e-03,2.864691e-03,2.830186e-03,2.798433e-03,2.769294e-03,2.742635e-03,2.718328e-03,2.696249e-03,2.676276e-03,2.658292e-03,2.642187e-03,2.627850e-03,2.615177e-03,2.604067e-03,2.594423e-03,2.586151e-03,2.579159e-03,2.573363e-03,2.568677e-03,2.565021e-03,2.562319e-03,2.560497e-03,2.559484e-03,2.559212e-03,2.559616e-03,2.560635e-03,2.562209e-03,2.564283e-03
0.000000e+00,2.508762e-11,3.915241e-09,4.218313e-09,8.819770e-08,7.120623e-07,7.671933e-07,3.840602e-06,1.214475e-05,1.294412e-05,3.246868e-05,6.199931e-05,6.509793e-05,1.101584e-04,1.585196e-04,1.642027e-04,2.228619e-04,2.752714e-04,2.823578e-04,3.400923e-04,3.871752e-04,3.945744e-04,4.451041e-04,4.843252e-04,4.914616e-04,5.336851e-04,5.653355e-04,5.719372e-04,6.064341e-04,6.314841e-04,6.374084e-04,6.650919e-04,6.845451e-04,6.897087e-04,7.114718e-04,7.262274e-04,7.305823e-04,7.472295e-04,7.580674e-04,7.615910e-04,7.738335e-04,7.814238e-04,7.841127e-04,7.925749e-04,7.974909e-04,7.993567e-04,8.045860e-04,8.073164e-04,8.083823e-04,8.108574e-04,8.118182e-04,8.121158e-04,8.122550e-04,8.117992e-04,8.113663e-04,8.095347e-04,8.079607e-04,8.068397e-04,8.033555e-04,8.009151e-04,7.991511e-04,7.942912e-04,7.911959e-04,7.888358e-04,7.828410e-04,7.792678e-04,7.763588e-04,7.694381e-04,7.655345e-04,7.621238e-04,7.544582e-04,7.503463e-04,7.464803e-04,7.382265e-04,7.340067e-04,7.297305e-04,7.210236e-04,7.167780e-04,7.121350e-04,7.030916e-04,6.988866e-04,6.939183e-04,6.846383e-04,6.805268e-04,6.752729e-04,6.658418e-04,6.618656e-04,6.563633e-04,6.468542e-04,6.430455e-04,6.373299e-04,6.278047e-04,6.241877e-04,6.182917e-04,6.088029e-04,6.053950e-04,5.993493e-04,5.899410e-04,5.867541e-04,5.805870e-04,5.712958e-04,5.683372e-04,5.620751e-04,5.529315e-04,5.502045e-04,5.438715e-04,5.349006e-04,5.324054e-04,5.260238e-04,5.172457e-04,5.149800e-04,5.085701e-04,5.000008e-04,4.979603e-04,4.915408e-04,4.831928e-04,4.813715e-04,4.749591e-04,4.668418e-04,4.652325e-04,4.588426e-04,4.509627e-04,4.495572e-04,4.432035e-04,4.355657e-04,4.343549e-04,4.280499e-04,4.206567e-04,4.196314e-04,4.133862e-04,4.062384e-04,4.053889e-04,3.992133e-04,3.923106e-04,3.916270e-04,3.855298e-04,3.788704e-04,3.783429e-04,3.723318e-04,3.659132e-04,3.655319e-04,3.596138e-04,3.534325e-04,3.531876e-04,3.473683e-04,3.414202e-04,3.413024e-04,3.355870e-04,3.298674e-04,3.188728e-04,3.083084e-04,2.981632e-04,2.884258e-04,2.790844e-04,2.701273e-04,2.615426e-04,2.533182e-04,2.454422e-04,2.379028e-04,2.306883e-04,2.237873e-04,2.171883e-04,2.108804e-04,2.048526e-04,1.990944e-04,1.935955e-04,1.883458e-04,1.833357e-04,1.785556e-04,1.739965e-04,1.696494e-04,1.655059e-04,1.615576e-04,1.577965e-04,1.542151e-04,1.508058e-04,1.475614e-04,1.444752e-04,1.415404e-04,1.387506e-04,1.360998e-04,1.335820e-04,1.311915e-04,1.289230e-04,1.267710e-04,1.247307e-04,1.227972e-04,1.209658e-04,1.192322e-04,1.175919e-04,1.160410e-04,1.145756e-04,1.131917e-04,1.118859e-04,1.106547e-04,1.094946e-04,1.084027e-04,1.073757e-04
0.000000e+00,1.206277e-12,2.645430e-10,2.866861e-10,7.819561e-09,8.156639e-08,8.887180e-08,5.961851e-07,2.513842e-06,2.729257e-06,9.299448e-06,2.340951e-05,2.516888e-05,5.695539e-05,1.053213e-04,1.120957e-04,1.976504e-04,3.025955e-04,3.192210e-04,4.802062e-04,6.508989e-04,6.814630e-04,9.213451e-04,1.149944e-03,1.196017e-03,1.499942e-03,1.766325e-03,1.826438e-03,2.168231e-03,2.447719e-03,2.517951e-03,2.868530e-03,3.138399e-03,3.213515e-03,3.547261e-03,3.790455e-03,3.865053e-03,4.163140e-03,4.369358e-03,4.438723e-03,4.689886e-03,4.854948e-03,4.915513e-03,5.115181e-03,5.239568e-03,5.289048e-03,5.437743e-03,5.524973e-03,5.562261e-03,5.663869e-03,5.719081e-03,5.744022e-03,5.804292e-03,5.833184e-03,5.846312e-03,5.871721e-03,5.879843e-03,5.882133e-03,5.879107e-03,5.871460e-03,5.864123e-03,5.838574e-03,5.819429e-03,5.803755e-03,5.760857e-03,5.733715e-03,5.710970e-03,5.655083e-03,5.622727e-03,5.594089e-03,5.528789e-03,5.493372e-03,5.459898e-03,5.388054e-03,5.351203e-03,5.313819e-03,5.237694e-03,5.200613e-03,5.160115e-03,5.081469e-03,5.045028e-03,5.002092e-03,4.922278e-03,4.887088e-03,4.842283e-03,4.762331e-03,4.728811e-03,4.682614e-03,4.603300e-03,4.571720e-03,4.524532e-03,4.446433e-03,4.416954e-03,4.369110e-03,4.292651e-03,4.265353e-03,4.217135e-03,4.142624e-03,4.117529e-03,4.069172e-03,3.996826e-03,3.973914e-03,3.925620e-03,3.855585e-03,3.834807e-03,3.786744e-03,3.719115e-03,3.700398e-03,3.652711e-03,3.587541e-03,3.570800e-03,3.523611e-03,3.460923e-03,3.446063e-03,3.399476e-03,3.339269e-03,3.326189e-03,3.280295e-03,3.222548e-03,3.211145e-03,3.166018e-03,3.110697e-03,3.100866e-03,3.056571e-03,3.003630e-03,2.995268e-03,2.951859e-03,2.901245e-03,2.894250e-03,2.851772e-03,2.803427e-03,2.797700e-03,2.756192e-03,2.710051e-03,2.705497e-03,2.664989e-03,2.620989e-03,2.617514e-03,2.578033e-03,2.536104e-03,2.533620e-03,2.495185e-03,2.455259e-03,2.453683e-03,2.416309e-03,2.378317e-03,2.377567e-03,2.341266e-03,2.305139e-03,2.236267e-03,2.170819e-03,2.108666e-03,2.049682e-03,1.993742e-03,1.940726e-03,1.890518e-03,1.843003e-03,1.798070e-03,1.755612e-03,1.715526e-03,1.677711e-03,1.642072e-03,1.608513e-03,1.576946e-03,1.547282e-03,1.519439e-03,1.493334e-03,1.468891e-03,1.446034e-03,1.424691e-03,1.404792e-03,1.386270e-03,1.369060e-03,1.353101e-03,1.338332e-03,1.324697e-03,1.312138e-03,1.300604e-03,1.290043e-03,1.280405e-03,1.271642e-03,1.263710e-03,1.256563e-03,1.250160e-03,1.244460e-03,1.239423e-03,1.235013e-03,1.231192e-03,1.227926e-03,1.225182e-03,1.222927e-03,1.221130e-03,1.219762e-03,1.218795e-03,1.218202e-03,1.217955e-03,1.218031e-03,1.218404e-03
0.000000e+00,2.955552e-09,7.640743e-08,8.042513e-08,6.122562e-07,2.034861e-06,2.112720e-06,4.233278e-06,6.171760e-06,6.288621e-06,8.103676e-06,9.561102e-06,9.678835e-06,1.103833e-05,1.209830e-05,1.220730e-05,1.320848e-05,1.396678e-05,1.406202e-05,1.478569e-05,1.531620e-05,1.539519e-05,1.590439e-05,1.626362e-05,1.632555e-05,1.666952e-05,1.690072e-05,1.694586e-05,1.716300e-05,1.729914e-05,1.732841e-05,1.744864e-05,1.751479e-05,1.752945e-05,1.757591e-05,1.759098e-05,1.759244e-05,1.758294e-05,1.756119e-05,1.755085e-05,1.749918e-05,1.745136e-05,1.743059e-05,1.734748e-05,1.728177e-05,1.725189e-05,1.714560e-05,1.706801e-05,1.703017e-05,1.690698e-05,1.682201e-05,1.677722e-05,1.664194e-05,1.655290e-05,1.650207e-05,1.635841e-05,1.626776e-05,1.621168e-05,1.606249e-05,1.597202e-05,1.591137e-05,1.575881e-05,1.566983e-05,1.560522e-05,1.545095e-05,1.536438e-05,1.529632e-05,1.514161e-05,1.505811e-05,1.498705e-05,1.483285e-05,1.475288e-05,1.467920e-05,1.452624e-05,1.445007e-05,1.437411e-05,1.422294e-05,1.415074e-05,1.407281e-05,1.392382e-05,1.385569e-05,1.377604e-05,1.362953e-05,1.356548e-05,1.348435e-05,1.334054e-05,1.328055e-05,1.319813e-05,1.305717e-05,1.300119e-05,1.291767e-05,1.277965e-05,1.272760e-05,1.264314e-05,1.250813e-05,1.245990e-05,1.237465e-05,1.224269e-05,1.219817e-05,1.211226e-05,1.198336e-05,1.194243e-05,1.185598e-05,1.173013e-05,1.169267e-05,1.160580e-05,1.148298e-05,1.144887e-05,1.136167e-05,1.124186e-05,1.121095e-05,1.112354e-05,1.100669e-05,1.097887e-05,1.089131e-05,1.077739e-05,1.075252e-05,1.066492e-05,1.055388e-05,1.053184e-05,1.044426e-05,1.033605e-05,1.031672e-05,1.022923e-05,1.012380e-05,1.010706e-05,1.001974e-05,9.917035e-06,9.902764e-06,9.815672e-06,9.715637e-06,9.703722e-06,9.616918e-06,9.519501e-06,9.509830e-06,9.423371e-06,9.328516e-06,9.320982e-06,9.234921e-06,9.142574e-06,9.137072e-06,9.051460e-06,8.961565e-06,8.957995e-06,8.872877e-06,8.785382e-06,8.783644e-06,8.699066e-06,8.613917e-06,8.448710e-06,8.287921e-06,8.131452e-06,7.979203e-06,7.831077e-06,7.686980e-06,7.546817e-06,7.410497e-06,7.277929e-06,7.149027e-06,7.023702e-06,6.901870e-06,6.783447e-06,6.668353e-06,6.556508e-06,6.447833e-06,6.342252e-06,6.239690e-06,6.140073e-06,6.043332e-06,5.949394e-06,5.858192e-06,5.769659e-06,5.683728e-06,5.600336e-06,5.519421e-06,5.440920e-06,5.364775e-06,5.290925e-06,5.219315e-06,5.149887e-06,5.082588e-06,5.017363e-06,4.954161e-06,4.892931e-06,4.833621e-06,4.776185e-06,4.720573e-06,4.666739e-06,4.614638e-06,4.564225e-06,4.515457e-06,4.468291e-06,4.422686e-06,4.378601e-06,4.335996e-06,4.294833e-06,4.255073e-06,4.216681e-06
0.000000e+00,1.090284e-09,1.409859e-08,1.471782e-08,9.286403e-08,3.318082e-07,3.465945e-07,8.269974e-07,1.378350e-06,1.414129e-06,1.999990e-06,2.509974e-06,2.552783e-06,3.066651e-06,3.495958e-06,3.541766e-06,3.979696e-06,4.335815e-06,4.382331e-06,4.751593e-06,5.043913e-06,5.089377e-06,5.397531e-06,5.634792e-06,5.677842e-06,5.932034e-06,6.122142e-06,6.161758e-06,6.368591e-06,6.518588e-06,6.554035e-06,6.719509e-06,6.835584e-06,6.866359e-06,6.995853e-06,7.083399e-06,7.109187e-06,7.207483e-06,7.271164e-06,7.291798e-06,7.363124e-06,7.406961e-06,7.422392e-06,7.470473e-06,7.497915e-06,7.508187e-06,7.536299e-06,7.550298e-06,7.555526e-06,7.566542e-06,7.569621e-06,7.569974e-06,7.566412e-06,7.560717e-06,7.556406e-06,7.540470e-06,7.527824e-06,7.519085e-06,7.492702e-06,7.474649e-06,7.461740e-06,7.426593e-06,7.404435e-06,7.387626e-06,7.345182e-06,7.320014e-06,7.299579e-06,7.251117e-06,7.223856e-06,7.200072e-06,7.146703e-06,7.118114e-06,7.091252e-06,7.033944e-06,7.004659e-06,6.974987e-06,6.914577e-06,6.885118e-06,6.852895e-06,6.790109e-06,6.760901e-06,6.726377e-06,6.661843e-06,6.633230e-06,6.596644e-06,6.530904e-06,6.503160e-06,6.464739e-06,6.398258e-06,6.371600e-06,6.331561e-06,6.264739e-06,6.239331e-06,6.197877e-06,6.131055e-06,6.107023e-06,6.064346e-06,5.997816e-06,5.975247e-06,5.931526e-06,5.865534e-06,5.844488e-06,5.799892e-06,5.734647e-06,5.715157e-06,5.669843e-06,5.605519e-06,5.587599e-06,5.541712e-06,5.478455e-06,5.462102e-06,5.415777e-06,5.353706e-06,5.338902e-06,5.292266e-06,5.231479e-06,5.218196e-06,5.171365e-06,5.111940e-06,5.100139e-06,5.053220e-06,4.995218e-06,4.984855e-06,4.937947e-06,4.881415e-06,4.872439e-06,4.825632e-06,4.770605e-06,4.762962e-06,4.716340e-06,4.662841e-06,4.656473e-06,4.610112e-06,4.558156e-06,4.553003e-06,4.506973e-06,4.456565e-06,4.452566e-06,4.406931e-06,4.358071e-06,4.355164e-06,4.309982e-06,4.262663e-06,4.260787e-06,4.216111e-06,4.170321e-06,4.169413e-06,4.125291e-06,4.081015e-06,3.995556e-06,3.912994e-06,3.833284e-06,3.756373e-06,3.682209e-06,3.610734e-06,3.541888e-06,3.475613e-06,3.411846e-06,3.350525e-06,3.291587e-06,3.234970e-06,3.180609e-06,3.128444e-06,3.078410e-06,3.030447e-06,2.984494e-06,2.940491e-06,2.898378e-06,2.858097e-06,2.819590e-06,2.782803e-06,2.747678e-06,2.714163e-06,2.682205e-06,2.651751e-06,2.622751e-06,2.595156e-06,2.568918e-06,2.543988e-06,2.520323e-06,2.497876e-06,2.476603e-06,2.456464e-06,2.437415e-06,2.419417e-06,2.402430e-06,2.386417e-06,2.371339e-06,2.357162e-06,2.343849e-06,2.331366e-06,2.319681e-06,2.308761e-06,2.298574e-06,2.289091e-06,2.280282e-06,2.272118e-06,2.264571e-06
0.000000e+00,9.930387e-10,1.417678e-08,1.481485e-08,9.288807e-08,3.072238e-07,3.195879e-07,6.848809e-07,1.059109e-06,1.082644e-06,1.461044e-06,1.782718e-06,1.809448e-06,2.127143e-06,2.387921e-06,2.415483e-06,2.676217e-06,2.884235e-06,2.911115e-06,3.121882e-06,3.285088e-06,3.310149e-06,3.477467e-06,3.602910e-06,3.625318e-06,3.755129e-06,3.849065e-06,3.868255e-06,3.965981e-06,4.033891e-06,4.049519e-06,4.120011e-06,4.166628e-06,4.178525e-06,4.226061e-06,4.255423e-06,4.263552e-06,4.291866e-06,4.307387e-06,4.311810e-06,4.324132e-06,4.328676e-06,4.329525e-06,4.328633e-06,4.324588e-06,4.322049e-06,4.310322e-06,4.299670e-06,4.293959e-06,4.273428e-06,4.257805e-06,4.249160e-06,4.221553e-06,4.202302e-06,4.190973e-06,4.157756e-06,4.135974e-06,4.122212e-06,4.084626e-06,4.061204e-06,4.045259e-06,4.004350e-06,3.980004e-06,3.962119e-06,3.918768e-06,3.894071e-06,3.874480e-06,3.829423e-06,3.804827e-06,3.783750e-06,3.737603e-06,3.713462e-06,3.691109e-06,3.644383e-06,3.620966e-06,3.597531e-06,3.550648e-06,3.528159e-06,3.503821e-06,3.457129e-06,3.435715e-06,3.410641e-06,3.364421e-06,3.344184e-06,3.318526e-06,3.273007e-06,3.254012e-06,3.227909e-06,3.183272e-06,3.165554e-06,3.139132e-06,3.095520e-06,3.079091e-06,3.052463e-06,3.009986e-06,2.994840e-06,2.968109e-06,2.926849e-06,2.912964e-06,2.886221e-06,2.846237e-06,2.833579e-06,2.806906e-06,2.768238e-06,2.756768e-06,2.730237e-06,2.692908e-06,2.682577e-06,2.656253e-06,2.620273e-06,2.611029e-06,2.584969e-06,2.550338e-06,2.542126e-06,2.516378e-06,2.483086e-06,2.475851e-06,2.450457e-06,2.418487e-06,2.412171e-06,2.387170e-06,2.356499e-06,2.351046e-06,2.326467e-06,2.297068e-06,2.292422e-06,2.268293e-06,2.240135e-06,2.236242e-06,2.212584e-06,2.185633e-06,2.182439e-06,2.159272e-06,2.133492e-06,2.130945e-06,2.108284e-06,2.083638e-06,2.081690e-06,2.059545e-06,2.035995e-06,2.034599e-06,2.012979e-06,1.990487e-06,1.989598e-06,1.968509e-06,1.947036e-06,1.946612e-06,1.926059e-06,1.905566e-06,1.866387e-06,1.829001e-06,1.793336e-06,1.759322e-06,1.726891e-06,1.695976e-06,1.666513e-06,1.638439e-06,1.611693e-06,1.586217e-06,1.561955e-06,1.538852e-06,1.516857e-06,1.495920e-06,1.475991e-06,1.457027e-06,1.438981e-06,1.421812e-06,1.405479e-06,1.389943e-06,1.375168e-06,1.361118e-06,1.347759e-06,1.335058e-06,1.322985e-06,1.311509e-06,1.300603e-06,1.290240e-06,1.280394e-06,1.271040e-06,1.262155e-06,1.253717e-06,1.245703e-06,1.238095e-06,1.230872e-06,1.224015e-06,1.217508e-06,1.211334e-06,1.205475e-06,1.199917e-06,1.194646e-06,1.189646e-06,1.184906e-06,1.180413e-06,1.176153e-06,1.172117e-06,1.168292e-06,1.164669e-06,1.161238e-06
0.000000e+00,3.255975e-11,5.658546e-09,6.105833e-09,1.353471e-07,1.151538e-06,1.243719e-06,6.661217e-06,2.259024e-05,2.418513e-05,6.520987e-05,1.323524e-04,1.396700e-04,2.508909e-04,3.789658e-04,3.945465e-04,5.612649e-04,7.184009e-04,7.401703e-04,9.214822e-04,1.073572e-03,1.097731e-03,1.263915e-03,1.393554e-03,1.417124e-03,1.555995e-03,1.658917e-03,1.680199e-03,1.790047e-03,1.868035e-03,1.886214e-03,1.969558e-03,2.026266e-03,2.041015e-03,2.101528e-03,2.140766e-03,2.152018e-03,2.193360e-03,2.218551e-03,2.226379e-03,2.251844e-03,2.265903e-03,2.270467e-03,2.282909e-03,2.288267e-03,2.289776e-03,2.291627e-03,2.290285e-03,2.288976e-03,2.282293e-03,2.275885e-03,2.272010e-03,2.258520e-03,2.248372e-03,2.242186e-03,2.223336e-03,2.210520e-03,2.202274e-03,2.179272e-03,2.164646e-03,2.154583e-03,2.128434e-03,2.112682e-03,2.101034e-03,2.072572e-03,2.056234e-03,2.043219e-03,2.013132e-03,1.996630e-03,1.982452e-03,1.951308e-03,1.934968e-03,1.919815e-03,1.888079e-03,1.872149e-03,1.856193e-03,1.824243e-03,1.808907e-03,1.792305e-03,1.760448e-03,1.745838e-03,1.728733e-03,1.697215e-03,1.683422e-03,1.665943e-03,1.634959e-03,1.622042e-03,1.604303e-03,1.574007e-03,1.561996e-03,1.544101e-03,1.514610e-03,1.503517e-03,1.485557e-03,1.456960e-03,1.446780e-03,1.428836e-03,1.401197e-03,1.391912e-03,1.374054e-03,1.347417e-03,1.339001e-03,1.321292e-03,1.295685e-03,1.288104e-03,1.270598e-03,1.246033e-03,1.239249e-03,1.221992e-03,1.198474e-03,1.192445e-03,1.175477e-03,1.152999e-03,1.147681e-03,1.131037e-03,1.109586e-03,1.104935e-03,1.088642e-03,1.068200e-03,1.064171e-03,1.048253e-03,1.028796e-03,1.025345e-03,1.009821e-03,9.913226e-04,9.884065e-04,9.732926e-04,9.557237e-04,9.533004e-04,9.386082e-04,9.219381e-04,9.199673e-04,9.057055e-04,8.899023e-04,8.883452e-04,8.745201e-04,8.595510e-04,8.583710e-04,8.449864e-04,8.308182e-04,8.299805e-04,8.170381e-04,8.036378e-04,8.031095e-04,7.906091e-04,7.779439e-04,7.776942e-04,7.656341e-04,7.536716e-04,7.309798e-04,7.095583e-04,6.893482e-04,6.702925e-04,6.523356e-04,6.354244e-04,6.195074e-04,6.045350e-04,5.904600e-04,5.772366e-04,5.648215e-04,5.531729e-04,5.422510e-04,5.320179e-04,5.224372e-04,5.134745e-04,5.050968e-04,4.972728e-04,4.899726e-04,4.831680e-04,4.768318e-04,4.709386e-04,4.654639e-04,4.603846e-04,4.556786e-04,4.513251e-04,4.473042e-04,4.435970e-04,4.401857e-04,4.370534e-04,4.341838e-04,4.315618e-04,4.291729e-04,4.270033e-04,4.250400e-04,4.232706e-04,4.216833e-04,4.202672e-04,4.190116e-04,4.179065e-04,4.169425e-04,4.161106e-04,4.154023e-04,4.148096e-04,4.143247e-04,4.139406e-04,4.136503e-04,4.134475e-04,4.133258e-04
0.000000e+00,1.882549e-09,2.420874e-08,2.525724e-08,1.543582e-07,5.472777e-07,5.720044e-07,1.417344e-06,2.476093e-06,2.546943e-06,3.728779e-06,4.781993e-06,4.871275e-06,5.953449e-06,6.873015e-06,6.972022e-06,7.927844e-06,8.718529e-06,8.822774e-06,9.658903e-06,1.033257e-05,1.043837e-05,1.116332e-05,1.173173e-05,1.183592e-05,1.245833e-05,1.293278e-05,1.303272e-05,1.356125e-05,1.395250e-05,1.404607e-05,1.448925e-05,1.480736e-05,1.489287e-05,1.525891e-05,1.551318e-05,1.558933e-05,1.588600e-05,1.608487e-05,1.615073e-05,1.638525e-05,1.653635e-05,1.659125e-05,1.677031e-05,1.688045e-05,1.692397e-05,1.705370e-05,1.712897e-05,1.716091e-05,1.724691e-05,1.729269e-05,1.731300e-05,1.736038e-05,1.738143e-05,1.739022e-05,1.740362e-05,1.740413e-05,1.740163e-05,1.738524e-05,1.736890e-05,1.735542e-05,1.731305e-05,1.728308e-05,1.725901e-05,1.719410e-05,1.715330e-05,1.711911e-05,1.703476e-05,1.698557e-05,1.694176e-05,1.684076e-05,1.678529e-05,1.673239e-05,1.661725e-05,1.655731e-05,1.649590e-05,1.636887e-05,1.630602e-05,1.623666e-05,1.609976e-05,1.603533e-05,1.595861e-05,1.581365e-05,1.574876e-05,1.566527e-05,1.551385e-05,1.544943e-05,1.535975e-05,1.520332e-05,1.514016e-05,1.504486e-05,1.488468e-05,1.482342e-05,1.472306e-05,1.456027e-05,1.450143e-05,1.439656e-05,1.423215e-05,1.417614e-05,1.406728e-05,1.390215e-05,1.384928e-05,1.373694e-05,1.357185e-05,1.352237e-05,1.340704e-05,1.324266e-05,1.319674e-05,1.307887e-05,1.291580e-05,1.287354e-05,1.275358e-05,1.259233e-05,1.255378e-05,1.243215e-05,1.227315e-05,1.223834e-05,1.211543e-05,1.195906e-05,1.192795e-05,1.180412e-05,1.165070e-05,1.162325e-05,1.149885e-05,1.134864e-05,1.132477e-05,1.120013e-05,1.105335e-05,1.103294e-05,1.090836e-05,1.076520e-05,1.074814e-05,1.062389e-05,1.048448e-05,1.047065e-05,1.034700e-05,1.021145e-05,1.020069e-05,1.007787e-05,9.946272e-06,9.938439e-06,9.816667e-06,9.689069e-06,9.684007e-06,9.563484e-06,9.439918e-06,9.437468e-06,9.318375e-06,9.198855e-06,8.968167e-06,8.745371e-06,8.530410e-06,8.323202e-06,8.123644e-06,7.931618e-06,7.746992e-06,7.569620e-06,7.399346e-06,7.236007e-06,7.079433e-06,6.929447e-06,6.785871e-06,6.648522e-06,6.517216e-06,6.391769e-06,6.271994e-06,6.157709e-06,6.048731e-06,5.944877e-06,5.845970e-06,5.751832e-06,5.662291e-06,5.577177e-06,5.496322e-06,5.419564e-06,5.346744e-06,5.277706e-06,5.212300e-06,5.150378e-06,5.091797e-06,5.036419e-06,4.984108e-06,4.934735e-06,4.888173e-06,4.844300e-06,4.802997e-06,4.764150e-06,4.727649e-06,4.693387e-06,4.661262e-06,4.631175e-06,4.603031e-06,4.576736e-06,4.552204e-06,4.529349e-06,4.508089e-06,4.488345e-06,4.470042e-06
0.000000e+00,1.239894e-09,1.874591e-08,1.959793e-08,1.235844e-07,4.176398e-07,4.353328e-07,1.007981e-06,1.681102e-06,1.725379e-06,2.458493e-06,3.109015e-06,3.164184e-06,3.833949e-06,4.405218e-06,4.466867e-06,5.063636e-06,5.559715e-06,5.625299e-06,6.153016e-06,6.580621e-06,6.647992e-06,7.111462e-06,7.477339e-06,7.544671e-06,7.948866e-06,8.259523e-06,8.325283e-06,8.675139e-06,8.936699e-06,8.999622e-06,9.299891e-06,9.518014e-06,9.577068e-06,9.832239e-06,1.001210e-05,1.006645e-05,1.028072e-05,1.042700e-05,1.047600e-05,1.065324e-05,1.077019e-05,1.081333e-05,1.095713e-05,1.104855e-05,1.108547e-05,1.119914e-05,1.126843e-05,1.129889e-05,1.138544e-05,1.143568e-05,1.145950e-05,1.152173e-05,1.155564e-05,1.157276e-05,1.161321e-05,1.163323e-05,1.164365e-05,1.166465e-05,1.167294e-05,1.167674e-05,1.168041e-05,1.167889e-05,1.167617e-05,1.166447e-05,1.165483e-05,1.164577e-05,1.162047e-05,1.160421e-05,1.158898e-05,1.155170e-05,1.153014e-05,1.150898e-05,1.146118e-05,1.143548e-05,1.140863e-05,1.135166e-05,1.132282e-05,1.129055e-05,1.122561e-05,1.119452e-05,1.115710e-05,1.108529e-05,1.105272e-05,1.101044e-05,1.093277e-05,1.089936e-05,1.085251e-05,1.076988e-05,1.073621e-05,1.068508e-05,1.059830e-05,1.056485e-05,1.050974e-05,1.041956e-05,1.038673e-05,1.032793e-05,1.023501e-05,1.020315e-05,1.014095e-05,1.004589e-05,1.001528e-05,9.949967e-06,9.853303e-06,9.824178e-06,9.756021e-06,9.658236e-06,9.630780e-06,9.560054e-06,9.461578e-06,9.435938e-06,9.362903e-06,9.264122e-06,9.240408e-06,9.165319e-06,9.066575e-06,9.044867e-06,8.967966e-06,8.869564e-06,8.849914e-06,8.771435e-06,8.673643e-06,8.656081e-06,8.576247e-06,8.479302e-06,8.463836e-06,8.382861e-06,8.286972e-06,8.273594e-06,8.191680e-06,8.097028e-06,8.085714e-06,8.003054e-06,7.909796e-06,7.900511e-06,7.817288e-06,7.725560e-06,7.718256e-06,7.634642e-06,7.544561e-06,7.539183e-06,7.455340e-06,7.367003e-06,7.363488e-06,7.279570e-06,7.193059e-06,7.191339e-06,7.107488e-06,7.022872e-06,6.858199e-06,6.697409e-06,6.540569e-06,6.387727e-06,6.238916e-06,6.094151e-06,5.953436e-06,5.816762e-06,5.684109e-06,5.555449e-06,5.430743e-06,5.309949e-06,5.193013e-06,5.079882e-06,4.970492e-06,4.864780e-06,4.762677e-06,4.664111e-06,4.569009e-06,4.477296e-06,4.388893e-06,4.303724e-06,4.221710e-06,4.142771e-06,4.066828e-06,3.993801e-06,3.923612e-06,3.856182e-06,3.791433e-06,3.729287e-06,3.669669e-06,3.612504e-06,3.557716e-06,3.505234e-06,3.454984e-06,3.406898e-06,3.360905e-06,3.316939e-06,3.274932e-06,3.234820e-06,3.196540e-06,3.160031e-06,3.125230e-06,3.092081e-06,3.060524e-06,3.030505e-06,3.001969e-06,2.974863e-06,2.949135e-06
0.000000e+00,2.908894e-10,3.111277e-08,3.333470e-08,5.709965e-07,4.062739e-06,4.354782e-06,1.888249e-05,5.006380e-05,5.268778e-05,1.054645e-04,1.633176e-04,1.685201e-04,2.335694e-04,2.901614e-04,2.962672e-04,3.550431e-04,4.032269e-04,4.095409e-04,4.598189e-04,4.998178e-04,5.060552e-04,5.484573e-04,5.812660e-04,5.872355e-04,6.225953e-04,6.491796e-04,6.547361e-04,6.838491e-04,7.050833e-04,7.101182e-04,7.337189e-04,7.503831e-04,7.548187e-04,7.735770e-04,7.863604e-04,7.901447e-04,8.046654e-04,8.141727e-04,8.172745e-04,8.281002e-04,8.348587e-04,8.372636e-04,8.448789e-04,8.493464e-04,8.510538e-04,8.558897e-04,8.584623e-04,8.594823e-04,8.619215e-04,8.629410e-04,8.632922e-04,8.636738e-04,8.634338e-04,8.631413e-04,8.617652e-04,8.605174e-04,8.596115e-04,8.567422e-04,8.547017e-04,8.532158e-04,8.490869e-04,8.464364e-04,8.444068e-04,8.392235e-04,8.361180e-04,8.335822e-04,8.275250e-04,8.240953e-04,8.210916e-04,8.143188e-04,8.106744e-04,8.072412e-04,7.998913e-04,7.961238e-04,7.922993e-04,7.844932e-04,7.806782e-04,7.764996e-04,7.683430e-04,7.645426e-04,7.600463e-04,7.516308e-04,7.478955e-04,7.431163e-04,7.345214e-04,7.308917e-04,7.258632e-04,7.171575e-04,7.136654e-04,7.084193e-04,6.996621e-04,6.963321e-04,6.908987e-04,6.821407e-04,6.789913e-04,6.733990e-04,6.646835e-04,6.617279e-04,6.560034e-04,6.473672e-04,6.446141e-04,6.387825e-04,6.302565e-04,6.277111e-04,6.217955e-04,6.134056e-04,6.110699e-04,6.050921e-04,5.968598e-04,5.947332e-04,5.887131e-04,5.806559e-04,5.787359e-04,5.726917e-04,5.648238e-04,5.631061e-04,5.570549e-04,5.493874e-04,5.478663e-04,5.418236e-04,5.343651e-04,5.330339e-04,5.270137e-04,5.197706e-04,5.186218e-04,5.126369e-04,5.056135e-04,5.046391e-04,4.987010e-04,4.919000e-04,4.910914e-04,4.852107e-04,4.786332e-04,4.779816e-04,4.721676e-04,4.658137e-04,4.653103e-04,4.595713e-04,4.534399e-04,4.530755e-04,4.474190e-04,4.415080e-04,4.412739e-04,4.357063e-04,4.300131e-04,4.299003e-04,4.244275e-04,4.189486e-04,4.084112e-04,3.982800e-04,3.885460e-04,3.791996e-04,3.702310e-04,3.616298e-04,3.533854e-04,3.454873e-04,3.379247e-04,3.306867e-04,3.237627e-04,3.171419e-04,3.108138e-04,3.047681e-04,2.989944e-04,2.934827e-04,2.882233e-04,2.832065e-04,2.784229e-04,2.738635e-04,2.695195e-04,2.653821e-04,2.614431e-04,2.576945e-04,2.541283e-04,2.507370e-04,2.475133e-04,2.444503e-04,2.415410e-04,2.387789e-04,2.361577e-04,2.336713e-04,2.313139e-04,2.290797e-04,2.269635e-04,2.249600e-04,2.230641e-04,2.212711e-04,2.195763e-04,2.179753e-04,2.164639e-04,2.150380e-04,2.136936e-04,2.124270e-04,2.112346e-04,2.101128e-04,2.090585e-04,2.080685e-04,2.071396e-04
0.000000e+00,1.997759e-12,5.461812e-10,5.949956e-10,2.102369e-08,2.683495e-07,2.944650e-07,2.288725e-06,1.065382e-05,1.163039e-05,4.310270e-05,1.167081e-04,1.262823e-04,3.100935e-04,6.195764e-04,6.652833e-04,1.284546e-03,2.136959e-03,2.280499e-03,3.781937e-03,5.584062e-03,5.928915e-03,8.867171e-03,1.205350e-02,1.274237e-02,1.769455e-02,2.265017e-02,2.385308e-02,3.133231e-02,3.833167e-02,4.022804e-02,5.061495e-02,5.978607e-02,6.254482e-02,7.604567e-02,8.736034e-02,9.112155e-02,1.077532e-01,1.210388e-01,1.258993e-01,1.454978e-01,1.604634e-01,1.664681e-01,1.887132e-01,2.049843e-01,2.121222e-01,2.365726e-01,2.537269e-01,2.619329e-01,2.880650e-01,3.056661e-01,3.148267e-01,3.420736e-01,3.596993e-01,3.696610e-01,3.974465e-01,4.147115e-01,4.252905e-01,4.530586e-01,4.696293e-01,4.806223e-01,5.078599e-01,5.234631e-01,5.346576e-01,5.609099e-01,5.753366e-01,5.865202e-01,6.114009e-01,6.245051e-01,6.354736e-01,6.586692e-01,6.703640e-01,6.809276e-01,7.021977e-01,7.124484e-01,7.224368e-01,7.416108e-01,7.504279e-01,7.596933e-01,7.766652e-01,7.840958e-01,7.925147e-01,8.072361e-01,8.133562e-01,8.208301e-01,8.333025e-01,8.382089e-01,8.446643e-01,8.549307e-01,8.587348e-01,8.641211e-01,8.722584e-01,8.750797e-01,8.793683e-01,8.854794e-01,8.874408e-01,8.906226e-01,8.948303e-01,8.960539e-01,8.981368e-01,9.005774e-01,9.011814e-01,9.021883e-01,9.030062e-01,9.031025e-01,9.030683e-01,9.024119e-01,9.021045e-01,9.010743e-01,8.990923e-01,8.984760e-01,8.965026e-01,8.933411e-01,8.925012e-01,8.896431e-01,8.854432e-01,8.844553e-01,8.807751e-01,8.756715e-01,8.746013e-01,8.701641e-01,8.642836e-01,8.631878e-01,8.580597e-01,8.515208e-01,8.504472e-01,8.446943e-01,8.376065e-01,8.365947e-01,8.302823e-01,8.227458e-01,8.218283e-01,8.150198e-01,8.071260e-01,8.063282e-01,7.990851e-01,7.909165e-01,7.902581e-01,7.826388e-01,7.742696e-01,7.737649e-01,7.658252e-01,7.573213e-01,7.569801e-01,7.487725e-01,7.401924e-01,7.400206e-01,7.315941e-01,7.229895e-01,7.059772e-01,6.890626e-01,6.723141e-01,6.557901e-01,6.395408e-01,6.236082e-01,6.080274e-01,5.928274e-01,5.780315e-01,5.636580e-01,5.497211e-01,5.362309e-01,5.231945e-01,5.106157e-01,4.984959e-01,4.868343e-01,4.756282e-01,4.648730e-01,4.545630e-01,4.446910e-01,4.352489e-01,4.262276e-01,4.176176e-01,4.094083e-01,4.015889e-01,3.941482e-01,3.870744e-01,3.803561e-01,3.739810e-01,3.679372e-01,3.622126e-01,3.567951e-01,3.516726e-01,3.468331e-01,3.422647e-01,3.379557e-01,3.338946e-01,3.300699e-01,3.264705e-01,3.230855e-01,3.199044e-01,3.169167e-01,3.141123e-01,3.114814e-01,3.090145e-01,3.067024e-01,3.045362e-01,3.025073e-01,3.006075e-01
0.000000e+00,6.475781e-09,2.155481e-07,2.277348e-07,2.271829e-06,1.041903e-05,1.096267e-05,2.932052e-05,5.048432e-05,5.184627e-05,7.399623e-05,9.313145e-05,9.473410e-05,1.139434e-04,1.299605e-04,1.316681e-04,1.479795e-04,1.612232e-04,1.629516e-04,1.766570e-04,1.874845e-04,1.891663e-04,2.005481e-04,2.092860e-04,2.108686e-04,2.201922e-04,2.271371e-04,2.285806e-04,2.360931e-04,2.415105e-04,2.427861e-04,2.487134e-04,2.528380e-04,2.539259e-04,2.584718e-04,2.615091e-04,2.623968e-04,2.657438e-04,2.678723e-04,2.685532e-04,2.708631e-04,2.722372e-04,2.727094e-04,2.741257e-04,2.748783e-04,2.751436e-04,2.757929e-04,2.760382e-04,2.761014e-04,2.760954e-04,2.759310e-04,2.757992e-04,2.752361e-04,2.747455e-04,2.744274e-04,2.733934e-04,2.726475e-04,2.721530e-04,2.707240e-04,2.697829e-04,2.691228e-04,2.673649e-04,2.662794e-04,2.654650e-04,2.634364e-04,2.622489e-04,2.612918e-04,2.590431e-04,2.577894e-04,2.567012e-04,2.542765e-04,2.529861e-04,2.517785e-04,2.492161e-04,2.479134e-04,2.465977e-04,2.439310e-04,2.426360e-04,2.412233e-04,2.384811e-04,2.372099e-04,2.357108e-04,2.329182e-04,2.316837e-04,2.301084e-04,2.272867e-04,2.260991e-04,2.244575e-04,2.216250e-04,2.204920e-04,2.187933e-04,2.159659e-04,2.148934e-04,2.131462e-04,2.103373e-04,2.093293e-04,2.075420e-04,2.047628e-04,2.038220e-04,2.020021e-04,1.992622e-04,1.983902e-04,1.965450e-04,1.938523e-04,1.930495e-04,1.911856e-04,1.885466e-04,1.878128e-04,1.859365e-04,1.833565e-04,1.826908e-04,1.808077e-04,1.782910e-04,1.776919e-04,1.758073e-04,1.733573e-04,1.728229e-04,1.709416e-04,1.685608e-04,1.680889e-04,1.662153e-04,1.639056e-04,1.634937e-04,1.616319e-04,1.593946e-04,1.590400e-04,1.571937e-04,1.550294e-04,1.547294e-04,1.529019e-04,1.508110e-04,1.505626e-04,1.487569e-04,1.467394e-04,1.465397e-04,1.447585e-04,1.428140e-04,1.426600e-04,1.409057e-04,1.390335e-04,1.389223e-04,1.371971e-04,1.353963e-04,1.353250e-04,1.336308e-04,1.319003e-04,1.318661e-04,1.302046e-04,1.285432e-04,1.253536e-04,1.222947e-04,1.193633e-04,1.165564e-04,1.138706e-04,1.113028e-04,1.088495e-04,1.065073e-04,1.042729e-04,1.021428e-04,1.001136e-04,9.818200e-05,9.634470e-05,9.459841e-05,9.293993e-05,9.136609e-05,8.987381e-05,8.846005e-05,8.712186e-05,8.585635e-05,8.466071e-05,8.353220e-05,8.246816e-05,8.146599e-05,8.052317e-05,7.963727e-05,7.880591e-05,7.802680e-05,7.729770e-05,7.661647e-05,7.598102e-05,7.538933e-05,7.483945e-05,7.432949e-05,7.385763e-05,7.342211e-05,7.302122e-05,7.265334e-05,7.231687e-05,7.201029e-05,7.173212e-05,7.148096e-05,7.125542e-05,7.105419e-05,7.087601e-05,7.071966e-05,7.058395e-05,7.046777e-05,7.037003e-05
0.000000e+00,2.598385e-13,6.443374e-11,7.004410e-11,2.230142e-09,2.605811e-08,2.849856e-08,2.056546e-07,9.061540e-07,9.861049e-07,3.477773e-06,9.000788e-06,9.699818e-06,2.258620e-05,4.283350e-05,4.571584e-05,8.287014e-05,1.299610e-04,1.375486e-04,2.125470e-04,2.946957e-04,3.096591e-04,4.295241e-04,5.474367e-04,5.716089e-04,7.343026e-04,8.813475e-04,9.150878e-04,1.110759e-03,1.275562e-03,1.317654e-03,1.531886e-03,1.701560e-03,1.749543e-03,1.966862e-03,2.129644e-03,2.180364e-03,2.386954e-03,2.533804e-03,2.583981e-03,2.769270e-03,2.894438e-03,2.941122e-03,3.098304e-03,3.199157e-03,3.240014e-03,3.365840e-03,3.442280e-03,3.475711e-03,3.569845e-03,3.623568e-03,3.648702e-03,3.712926e-03,3.746711e-03,3.763309e-03,3.800743e-03,3.817867e-03,3.826185e-03,3.840628e-03,3.844432e-03,3.845075e-03,3.840513e-03,3.834119e-03,3.827902e-03,3.808162e-03,3.794318e-03,3.782159e-03,3.750704e-03,3.731718e-03,3.714547e-03,3.674374e-03,3.652108e-03,3.630812e-03,3.584428e-03,3.560338e-03,3.535728e-03,3.485166e-03,3.460354e-03,3.433143e-03,3.380012e-03,3.355287e-03,3.326084e-03,3.271630e-03,3.247564e-03,3.216883e-03,3.162046e-03,3.139030e-03,3.107292e-03,3.052770e-03,3.031055e-03,2.998606e-03,2.944905e-03,2.924639e-03,2.891756e-03,2.839234e-03,2.820491e-03,2.787398e-03,2.736299e-03,2.719101e-03,2.685976e-03,2.636460e-03,2.620790e-03,2.587776e-03,2.539942e-03,2.525759e-03,2.492970e-03,2.446870e-03,2.434119e-03,2.401646e-03,2.357301e-03,2.345915e-03,2.313832e-03,2.271238e-03,2.261146e-03,2.229514e-03,2.188652e-03,2.179778e-03,2.148646e-03,2.109486e-03,2.101755e-03,2.071163e-03,2.033666e-03,2.027004e-03,1.996985e-03,1.961107e-03,1.955441e-03,1.926022e-03,1.891717e-03,1.886976e-03,1.858180e-03,1.825399e-03,1.821515e-03,1.793360e-03,1.762051e-03,1.758960e-03,1.731460e-03,1.701574e-03,1.699213e-03,1.672380e-03,1.643866e-03,1.642176e-03,1.616019e-03,1.588826e-03,1.587752e-03,1.562276e-03,1.536356e-03,1.535844e-03,1.511053e-03,1.486356e-03,1.439197e-03,1.394275e-03,1.351502e-03,1.310792e-03,1.272062e-03,1.235230e-03,1.200218e-03,1.166951e-03,1.135354e-03,1.105358e-03,1.076894e-03,1.049896e-03,1.024302e-03,1.000049e-03,9.770794e-04,9.553371e-04,9.347675e-04,9.153185e-04,8.969402e-04,8.795844e-04,8.632049e-04,8.477575e-04,8.331997e-04,8.194905e-04,8.065909e-04,7.944634e-04,7.830718e-04,7.723816e-04,7.623596e-04,7.529741e-04,7.441946e-04,7.359920e-04,7.283381e-04,7.212063e-04,7.145708e-04,7.084070e-04,7.026912e-04,6.974009e-04,6.925142e-04,6.880105e-04,6.838698e-04,6.800732e-04,6.766023e-04,6.734396e-04,6.705685e-04,6.679730e-04,6.656375e-04,6.635475e-04,6.616890e-04
0.000000e+00,6.298298e-12,1.190074e-09,1.285727e-09,3.025075e-08,2.790048e-07,3.025695e-07,1.822075e-06,7.036069e-06,7.598917e-06,2.382034e-05,5.573871e-05,5.954977e-05,1.243951e-04,2.135626e-04,2.253980e-04,3.648951e-04,5.173952e-04,5.401085e-04,7.441601e-04,9.356541e-04,9.677601e-04,1.200912e-03,1.397247e-03,1.434246e-03,1.659858e-03,1.834784e-03,1.871684e-03,2.065533e-03,2.205940e-03,2.238906e-03,2.390702e-03,2.494080e-03,2.520898e-03,2.630244e-03,2.700164e-03,2.719999e-03,2.791726e-03,2.834200e-03,2.847133e-03,2.887956e-03,2.909270e-03,2.915885e-03,2.932516e-03,2.938229e-03,2.939321e-03,2.937638e-03,2.932262e-03,2.928665e-03,2.913467e-03,2.900488e-03,2.892984e-03,2.868044e-03,2.850081e-03,2.839369e-03,2.807587e-03,2.786563e-03,2.773242e-03,2.736810e-03,2.714121e-03,2.698699e-03,2.659262e-03,2.635905e-03,2.618807e-03,2.577595e-03,2.554271e-03,2.535852e-03,2.493774e-03,2.470972e-03,2.451527e-03,2.409255e-03,2.387304e-03,2.367078e-03,2.325102e-03,2.304218e-03,2.283415e-03,2.242092e-03,2.222405e-03,2.201196e-03,2.160779e-03,2.142361e-03,2.120886e-03,2.081553e-03,2.064432e-03,2.042810e-03,2.004681e-03,1.988855e-03,1.967185e-03,1.930337e-03,1.915781e-03,1.894146e-03,1.858622e-03,1.845299e-03,1.823769e-03,1.789590e-03,1.777451e-03,1.756085e-03,1.723253e-03,1.712243e-03,1.691091e-03,1.659596e-03,1.649657e-03,1.628761e-03,1.598581e-03,1.589653e-03,1.569049e-03,1.540157e-03,1.532181e-03,1.511898e-03,1.484262e-03,1.477178e-03,1.457241e-03,1.430826e-03,1.424576e-03,1.405008e-03,1.379775e-03,1.374302e-03,1.355120e-03,1.331031e-03,1.326281e-03,1.307500e-03,1.284516e-03,1.280436e-03,1.262068e-03,1.240148e-03,1.236689e-03,1.218746e-03,1.197850e-03,1.194965e-03,1.177453e-03,1.157543e-03,1.155186e-03,1.138112e-03,1.119150e-03,1.117280e-03,1.100648e-03,1.082596e-03,1.081171e-03,1.064986e-03,1.047808e-03,1.046791e-03,1.031054e-03,1.014714e-03,1.014069e-03,9.987812e-04,9.832460e-04,9.829393e-04,9.681004e-04,9.533363e-04,9.251977e-04,8.984631e-04,8.730741e-04,8.489745e-04,8.261104e-04,8.044294e-04,7.838816e-04,7.644186e-04,7.459942e-04,7.285638e-04,7.120844e-04,6.965151e-04,6.818162e-04,6.679497e-04,6.548791e-04,6.425694e-04,6.309868e-04,6.200990e-04,6.098748e-04,6.002846e-04,5.912995e-04,5.828919e-04,5.750355e-04,5.677047e-04,5.608752e-04,5.545235e-04,5.486270e-04,5.431640e-04,5.381137e-04,5.334561e-04,5.291721e-04,5.252430e-04,5.216512e-04,5.183797e-04,5.154121e-04,5.127326e-04,5.103261e-04,5.081782e-04,5.062750e-04,5.046030e-04,5.031494e-04,5.019019e-04,5.008487e-04,4.999784e-04,4.992802e-04,4.987436e-04,4.983587e-04,4.981159e-04,4.980060e-04
0.000000e+00,5.108044e-13,1.170858e-10,1.269277e-10,3.463155e-09,3.617431e-08,3.943663e-08,2.731651e-07,1.224220e-06,1.335518e-06,4.993168e-06,1.391113e-05,1.509676e-05,3.856066e-05,7.988764e-05,8.612028e-05,1.727186e-04,2.963127e-04,3.174816e-04,5.433134e-04,8.221056e-04,8.761837e-04,1.344197e-03,1.863109e-03,1.976535e-03,2.802355e-03,3.643642e-03,3.849713e-03,5.144577e-03,6.374254e-03,6.709958e-03,8.565196e-03,1.022338e-02,1.072540e-02,1.320109e-02,1.529728e-02,1.599795e-02,1.911678e-02,2.162984e-02,2.255360e-02,2.629978e-02,2.918150e-02,3.034241e-02,3.466461e-02,3.784571e-02,3.924601e-02,4.406322e-02,4.746049e-02,4.909033e-02,5.429941e-02,5.782284e-02,5.966104e-02,6.514478e-02,6.870417e-02,7.071968e-02,7.635468e-02,7.986504e-02,8.201901e-02,8.768258e-02,9.106820e-02,9.331628e-02,9.889225e-02,1.020894e-01,1.043841e-01,1.097672e-01,1.127256e-01,1.150187e-01,1.201175e-01,1.228007e-01,1.250449e-01,1.297839e-01,1.321687e-01,1.343197e-01,1.386395e-01,1.407150e-01,1.427326e-01,1.465902e-01,1.483561e-01,1.502053e-01,1.535728e-01,1.550378e-01,1.566894e-01,1.595530e-01,1.607327e-01,1.621633e-01,1.645214e-01,1.654371e-01,1.666295e-01,1.684909e-01,1.691674e-01,1.701101e-01,1.714922e-01,1.719565e-01,1.726434e-01,1.735705e-01,1.738507e-01,1.742807e-01,1.747820e-01,1.749062e-01,1.750825e-01,1.751908e-01,1.751863e-01,1.751157e-01,1.748661e-01,1.747586e-01,1.744512e-01,1.738799e-01,1.736932e-01,1.731615e-01,1.723050e-01,1.720608e-01,1.713192e-01,1.702131e-01,1.699306e-01,1.689952e-01,1.676739e-01,1.673702e-01,1.662575e-01,1.647540e-01,1.644436e-01,1.631711e-01,1.615163e-01,1.612113e-01,1.597966e-01,1.580191e-01,1.577297e-01,1.561902e-01,1.543163e-01,1.540507e-01,1.524034e-01,1.504573e-01,1.502218e-01,1.484833e-01,1.464866e-01,1.462858e-01,1.444720e-01,1.424442e-01,1.422815e-01,1.404074e-01,1.383657e-01,1.382431e-01,1.363229e-01,1.342825e-01,1.342010e-01,1.322480e-01,1.302223e-01,1.301819e-01,1.282083e-01,1.262087e-01,1.223015e-01,1.184772e-01,1.147501e-01,1.111320e-01,1.076326e-01,1.042597e-01,1.010192e-01,9.791560e-02,9.495204e-02,9.213037e-02,8.945146e-02,8.691520e-02,8.452072e-02,8.226644e-02,8.015018e-02,7.816924e-02,7.632051e-02,7.460047e-02,7.300531e-02,7.153091e-02,7.017299e-02,6.892705e-02,6.778849e-02,6.675260e-02,6.581460e-02,6.496968e-02,6.421300e-02,6.353974e-02,6.294509e-02,6.242430e-02,6.197268e-02,6.158562e-02,6.125860e-02,6.098721e-02,6.076715e-02,6.059427e-02,6.046452e-02,6.037403e-02,6.031905e-02,6.029602e-02,6.030151e-02,6.033228e-02,6.038523e-02,6.045747e-02,6.054623e-02,6.064896e-02,6.076324e-02,6.088684e-02,6.101768e-02
0.000000e+00,7.423691e-13,1.729815e-10,1.877662e-10,5.607097e-09,6.341729e-08,6.929888e-08,4.930884e-07,2.149911e-06,2.337828e-06,8.126011e-06,2.070831e-05,2.228586e-05,5.101586e-05,9.536005e-05,1.016212e-04,1.815775e-04,2.815743e-04,2.975875e-04,4.548160e-04,6.254463e-04,6.563944e-04,9.032094e-04,1.144590e-03,1.193944e-03,1.525309e-03,1.823943e-03,1.892394e-03,2.289092e-03,2.623166e-03,2.708527e-03,3.143461e-03,3.488805e-03,3.586656e-03,4.031162e-03,4.365880e-03,4.470545e-03,4.899049e-03,5.206179e-03,5.311695e-03,5.704324e-03,5.972722e-03,6.073608e-03,6.417017e-03,6.641024e-03,6.732767e-03,7.019751e-03,7.198190e-03,7.277464e-03,7.505913e-03,7.640856e-03,7.705537e-03,7.877130e-03,7.972725e-03,8.021765e-03,8.140725e-03,8.202212e-03,8.235448e-03,8.307472e-03,8.340452e-03,8.358390e-03,8.389816e-03,8.399745e-03,8.403354e-03,8.400574e-03,8.392458e-03,8.382994e-03,8.352066e-03,8.330302e-03,8.309167e-03,8.255592e-03,8.223920e-03,8.192553e-03,8.121174e-03,8.082685e-03,8.042494e-03,7.957468e-03,7.914662e-03,7.866972e-03,7.771804e-03,7.726660e-03,7.672688e-03,7.570283e-03,7.524337e-03,7.465181e-03,7.357917e-03,7.312338e-03,7.248971e-03,7.138774e-03,7.094432e-03,7.027710e-03,6.916123e-03,6.873647e-03,6.804317e-03,6.692563e-03,6.652392e-03,6.581101e-03,6.470142e-03,6.432564e-03,6.359872e-03,6.250456e-03,6.215647e-03,6.142036e-03,6.034738e-03,6.002783e-03,5.928668e-03,5.823922e-03,5.794841e-03,5.720577e-03,5.618703e-03,5.592464e-03,5.518356e-03,5.419584e-03,5.396117e-03,5.322426e-03,5.226915e-03,5.206126e-03,5.133075e-03,5.040926e-03,5.022701e-03,4.950481e-03,4.861749e-03,4.845960e-03,4.774734e-03,4.689438e-03,4.675950e-03,4.605858e-03,4.523988e-03,4.512662e-03,4.443820e-03,4.365343e-03,4.356039e-03,4.288546e-03,4.213414e-03,4.205992e-03,4.139931e-03,4.068080e-03,4.062402e-03,3.997842e-03,3.929198e-03,3.925130e-03,3.862128e-03,3.796610e-03,3.794022e-03,3.732624e-03,3.670146e-03,3.668911e-03,3.609153e-03,3.549624e-03,3.435981e-03,3.327798e-03,3.224891e-03,3.127078e-03,3.034175e-03,2.946001e-03,2.862379e-03,2.783134e-03,2.708095e-03,2.637097e-03,2.569976e-03,2.506577e-03,2.446745e-03,2.390333e-03,2.337197e-03,2.287199e-03,2.240204e-03,2.196083e-03,2.154710e-03,2.115966e-03,2.079733e-03,2.045899e-03,2.014356e-03,1.984999e-03,1.957727e-03,1.932444e-03,1.909057e-03,1.887474e-03,1.867609e-03,1.849379e-03,1.832704e-03,1.817505e-03,1.803707e-03,1.791240e-03,1.780033e-03,1.770021e-03,1.761138e-03,1.753323e-03,1.746517e-03,1.740663e-03,1.735704e-03,1.731589e-03,1.728267e-03,1.725688e-03,1.723805e-03,1.722574e-03,1.721951e-03,1.721894e-03,1.722364e-03
0.000000e+00,6.961257e-13,1.551320e-10,1.680706e-10,4.445923e-09,4.505903e-08,4.906107e-08,3.293803e-07,1.433357e-06,1.560722e-06,5.653451e-06,1.529447e-05,1.655545e-05,4.094737e-05,8.240281e-05,8.854515e-05,1.719372e-04,2.867175e-04,3.060157e-04,5.071248e-04,7.465079e-04,7.920640e-04,1.177070e-03,1.588651e-03,1.676880e-03,2.303935e-03,2.919865e-03,3.067776e-03,3.974638e-03,4.805053e-03,5.027245e-03,6.224786e-03,7.256883e-03,7.563044e-03,9.034660e-03,1.023613e-02,1.062949e-02,1.233501e-02,1.365994e-02,1.413680e-02,1.601902e-02,1.741459e-02,1.796482e-02,1.995688e-02,2.136947e-02,2.197771e-02,2.401013e-02,2.539025e-02,2.603747e-02,2.804394e-02,2.934956e-02,3.001478e-02,3.193645e-02,3.313481e-02,3.379673e-02,3.558482e-02,3.665302e-02,3.729137e-02,3.890847e-02,3.983303e-02,4.042962e-02,4.184971e-02,4.262551e-02,4.316495e-02,4.437276e-02,4.500163e-02,4.547170e-02,4.646136e-02,4.695048e-02,4.734225e-02,4.811573e-02,4.847614e-02,4.878385e-02,4.934930e-02,4.959452e-02,4.981532e-02,5.018555e-02,5.033040e-02,5.046399e-02,5.065492e-02,5.071459e-02,5.076282e-02,5.079229e-02,5.078162e-02,5.074803e-02,5.063476e-02,5.056774e-02,5.045719e-02,5.021996e-02,5.010939e-02,4.992764e-02,4.958468e-02,4.944199e-02,4.919542e-02,4.876401e-02,4.859916e-02,4.829445e-02,4.779059e-02,4.761211e-02,4.725606e-02,4.669433e-02,4.650937e-02,4.610866e-02,4.550216e-02,4.531658e-02,4.487771e-02,4.423804e-02,4.405656e-02,4.358569e-02,4.292302e-02,4.274932e-02,4.225224e-02,4.157539e-02,4.141226e-02,4.089436e-02,4.021088e-02,4.006035e-02,3.952657e-02,3.884289e-02,3.870635e-02,3.816119e-02,3.748271e-02,3.736102e-02,3.680857e-02,3.613978e-02,3.603334e-02,3.547728e-02,3.482188e-02,3.473074e-02,3.417435e-02,3.353534e-02,3.345927e-02,3.290547e-02,3.228526e-02,3.222378e-02,3.167517e-02,3.107563e-02,3.102814e-02,3.048699e-02,2.990956e-02,2.987527e-02,2.934360e-02,2.878933e-02,2.876741e-02,2.824694e-02,2.771657e-02,2.770609e-02,2.719835e-02,2.669235e-02,2.572673e-02,2.480942e-02,2.394027e-02,2.311887e-02,2.234458e-02,2.161658e-02,2.093391e-02,2.029548e-02,1.970010e-02,1.914651e-02,1.863338e-02,1.815935e-02,1.772300e-02,1.732290e-02,1.695758e-02,1.662559e-02,1.632545e-02,1.605568e-02,1.581481e-02,1.560138e-02,1.541394e-02,1.525104e-02,1.511127e-02,1.499321e-02,1.489547e-02,1.481671e-02,1.475557e-02,1.471076e-02,1.468100e-02,1.466504e-02,1.466167e-02,1.466972e-02,1.468805e-02,1.471558e-02,1.475125e-02,1.479405e-02,1.484303e-02,1.489727e-02,1.495590e-02,1.501811e-02,1.508312e-02,1.515023e-02,1.521876e-02,1.528808e-02,1.535764e-02,1.542690e-02,1.549541e-02,1.556271e-02,1.562845e-02
0.000000e+00,4.197901e-13,1.051923e-10,1.143323e-10,3.608534e-09,4.254736e-08,4.657077e-08,3.460139e-07,1.581447e-06,1.725338e-06,6.366314e-06,1.726811e-05,1.868990e-05,4.608604e-05,9.245146e-05,9.931440e-05,1.925217e-04,3.212084e-04,3.429040e-04,5.700875e-04,8.430645e-04,8.953163e-04,1.340539e-03,1.823171e-03,1.927471e-03,2.676706e-03,3.425360e-03,3.606910e-03,4.734154e-03,5.786632e-03,6.071383e-03,7.628037e-03,8.998364e-03,9.409832e-03,1.141868e-02,1.309624e-02,1.365271e-02,1.610647e-02,1.805862e-02,1.877110e-02,2.163472e-02,2.381164e-02,2.468273e-02,2.789825e-02,3.023881e-02,3.126253e-02,3.475534e-02,3.719306e-02,3.835543e-02,4.204089e-02,4.450928e-02,4.578953e-02,4.957924e-02,5.201613e-02,5.338825e-02,5.719543e-02,5.954604e-02,6.098052e-02,6.472432e-02,6.694323e-02,6.840882e-02,7.201735e-02,7.406942e-02,7.553466e-02,7.894698e-02,8.080738e-02,8.224203e-02,8.540905e-02,8.706269e-02,8.843878e-02,9.132341e-02,9.276389e-02,9.405654e-02,9.663314e-02,9.786152e-02,9.904946e-02,1.013029e-01,1.023263e-01,1.033921e-01,1.053166e-01,1.061467e-01,1.070770e-01,1.086746e-01,1.093265e-01,1.101116e-01,1.113909e-01,1.118820e-01,1.125159e-01,1.134906e-01,1.138393e-01,1.143193e-01,1.150069e-01,1.152322e-01,1.155583e-01,1.159790e-01,1.160995e-01,1.162744e-01,1.164501e-01,1.164836e-01,1.165119e-01,1.164656e-01,1.164288e-01,1.163168e-01,1.160714e-01,1.159798e-01,1.157351e-01,1.153133e-01,1.151807e-01,1.148117e-01,1.142355e-01,1.140741e-01,1.135900e-01,1.128802e-01,1.127009e-01,1.121111e-01,1.112874e-01,1.110993e-01,1.104136e-01,1.094940e-01,1.093050e-01,1.085330e-01,1.075344e-01,1.073509e-01,1.065020e-01,1.054395e-01,1.052669e-01,1.043503e-01,1.032377e-01,1.030802e-01,1.021047e-01,1.009542e-01,1.008151e-01,9.978898e-02,9.861161e-02,9.849330e-02,9.742450e-02,9.622992e-02,9.613409e-02,9.502998e-02,9.382666e-02,9.375440e-02,9.262182e-02,9.141719e-02,9.136903e-02,9.021435e-02,8.901479e-02,8.899084e-02,8.781990e-02,8.663093e-02,8.429881e-02,8.200253e-02,7.974891e-02,7.754363e-02,7.539135e-02,7.329586e-02,7.126018e-02,6.928663e-02,6.737697e-02,6.553244e-02,6.375381e-02,6.204150e-02,6.039558e-02,5.881583e-02,5.730178e-02,5.585277e-02,5.446794e-02,5.314629e-02,5.188667e-02,5.068783e-02,4.954844e-02,4.846706e-02,4.744221e-02,4.647235e-02,4.555589e-02,4.469119e-02,4.387663e-02,4.311051e-02,4.239115e-02,4.171685e-02,4.108592e-02,4.049665e-02,3.994734e-02,3.943630e-02,3.896185e-02,3.852233e-02,3.811610e-02,3.774154e-02,3.739703e-02,3.708102e-02,3.679196e-02,3.652833e-02,3.628867e-02,3.607152e-02,3.587548e-02,3.569919e-02,3.554133e-02,3.540061e-02,3.527579e-02
0.000000e+00,1.768994e-10,2.266038e-08,2.435243e-08,4.749270e-07,3.724338e-06,4.006085e-06,1.864696e-05,5.150122e-05,5.431277e-05,1.119737e-04,1.770922e-04,1.830202e-04,2.577076e-04,3.228805e-04,3.298884e-04,3.968374e-04,4.507623e-04,4.577495e-04,5.126423e-04,5.552693e-04,5.618254e-04,6.056862e-04,6.387048e-04,6.446186e-04,6.790009e-04,7.040505e-04,7.091906e-04,7.355236e-04,7.540255e-04,7.583148e-04,7.778583e-04,7.910250e-04,7.944286e-04,8.082810e-04,8.171376e-04,8.196526e-04,8.287628e-04,8.341686e-04,8.358149e-04,8.409965e-04,8.436668e-04,8.444808e-04,8.464272e-04,8.469539e-04,8.469828e-04,8.462827e-04,8.451533e-04,8.444512e-04,8.416026e-04,8.392165e-04,8.378415e-04,8.332644e-04,8.299477e-04,8.279593e-04,8.220071e-04,8.180246e-04,8.154820e-04,8.084518e-04,8.040172e-04,8.009785e-04,7.931188e-04,7.884039e-04,7.849247e-04,7.764434e-04,7.715847e-04,7.677182e-04,7.587883e-04,7.538939e-04,7.496898e-04,7.404550e-04,7.356091e-04,7.311139e-04,7.216931e-04,7.169607e-04,7.122173e-04,7.027085e-04,6.981384e-04,6.931866e-04,6.836697e-04,6.792982e-04,6.741742e-04,6.647145e-04,6.605671e-04,6.553040e-04,6.459542e-04,6.420480e-04,6.366758e-04,6.274781e-04,6.238235e-04,6.183694e-04,6.093570e-04,6.059589e-04,6.004473e-04,5.916459e-04,5.885049e-04,5.829578e-04,5.743871e-04,5.715005e-04,5.659375e-04,5.576119e-04,5.549744e-04,5.494129e-04,5.413426e-04,5.389469e-04,5.334026e-04,5.255941e-04,5.234314e-04,5.179180e-04,5.103750e-04,5.084357e-04,5.029653e-04,4.956890e-04,4.939625e-04,4.885458e-04,4.815355e-04,4.800109e-04,4.746573e-04,4.679105e-04,4.665768e-04,4.612942e-04,4.548075e-04,4.536535e-04,4.484490e-04,4.422175e-04,4.412322e-04,4.361117e-04,4.301302e-04,4.293026e-04,4.242713e-04,4.185336e-04,4.178531e-04,4.129153e-04,4.074149e-04,4.068713e-04,4.020306e-04,3.967606e-04,3.963439e-04,3.916032e-04,3.865565e-04,3.862572e-04,3.816189e-04,3.767884e-04,3.765974e-04,3.720632e-04,3.674416e-04,3.673502e-04,3.629216e-04,3.585015e-04,3.500372e-04,3.419433e-04,3.342061e-04,3.268120e-04,3.197478e-04,3.130006e-04,3.065579e-04,3.004073e-04,2.945371e-04,2.889358e-04,2.835924e-04,2.784960e-04,2.736365e-04,2.690037e-04,2.645882e-04,2.603807e-04,2.563723e-04,2.525545e-04,2.489191e-04,2.454582e-04,2.421643e-04,2.390300e-04,2.360484e-04,2.332129e-04,2.305170e-04,2.279546e-04,2.255197e-04,2.232068e-04,2.210105e-04,2.189254e-04,2.169468e-04,2.150698e-04,2.132898e-04,2.116025e-04,2.100037e-04,2.084895e-04,2.070559e-04,2.056993e-04,2.044162e-04,2.032033e-04,2.020572e-04,2.009749e-04,1.999536e-04,1.989902e-04,1.980823e-04,1.972270e-04,1.964221e-04,1.956650e-04,1.949537e-04
0.000000e+00,1.851240e-12,4.382373e-10,4.758652e-10,1.406538e-08,1.489055e-07,1.621332e-07,1.045420e-06,4.150973e-06,4.488024e-06,1.425443e-05,3.368501e-05,3.602334e-05,7.641118e-05,1.337651e-04,1.415321e-04,2.357233e-04,3.441653e-04,3.608010e-04,5.159149e-04,6.709513e-04,6.978712e-04,9.017318e-04,1.085539e-03,1.121511e-03,1.350834e-03,1.541625e-03,1.583485e-03,1.813800e-03,1.993076e-03,2.036923e-03,2.248923e-03,2.404613e-03,2.446822e-03,2.628545e-03,2.755032e-03,2.792827e-03,2.939084e-03,3.035680e-03,3.067296e-03,3.177885e-03,3.247005e-03,3.271597e-03,3.349405e-03,3.395005e-03,3.412432e-03,3.461875e-03,3.488363e-03,3.498960e-03,3.524900e-03,3.536488e-03,3.540868e-03,3.547972e-03,3.548347e-03,3.547247e-03,3.539648e-03,3.531873e-03,3.526052e-03,3.507251e-03,3.493773e-03,3.483960e-03,3.456816e-03,3.439534e-03,3.426388e-03,3.393180e-03,3.373538e-03,3.357638e-03,3.320156e-03,3.299232e-03,3.281079e-03,3.240709e-03,3.219295e-03,3.199311e-03,3.157118e-03,3.135787e-03,3.114330e-03,3.071125e-03,3.050283e-03,3.027654e-03,2.984051e-03,2.963982e-03,2.940431e-03,2.896892e-03,2.877784e-03,2.853522e-03,2.810393e-03,2.792367e-03,2.767570e-03,2.725107e-03,2.708233e-03,2.683050e-03,2.641439e-03,2.625751e-03,2.600308e-03,2.559683e-03,2.545188e-03,2.519590e-03,2.480046e-03,2.466730e-03,2.441068e-03,2.402669e-03,2.390504e-03,2.364857e-03,2.327640e-03,2.316592e-03,2.291025e-03,2.255014e-03,2.245039e-03,2.219609e-03,2.184810e-03,2.175862e-03,2.150618e-03,2.117030e-03,2.109058e-03,2.084043e-03,2.051654e-03,2.044608e-03,2.019859e-03,1.988652e-03,1.982481e-03,1.958030e-03,1.927984e-03,1.922637e-03,1.898511e-03,1.869602e-03,1.865029e-03,1.841252e-03,1.813452e-03,1.809604e-03,1.786197e-03,1.759478e-03,1.756308e-03,1.733289e-03,1.707621e-03,1.705082e-03,1.682466e-03,1.657818e-03,1.655868e-03,1.633669e-03,1.610010e-03,1.608606e-03,1.586834e-03,1.564133e-03,1.563235e-03,1.541900e-03,1.520126e-03,1.519695e-03,1.498804e-03,1.477926e-03,1.437870e-03,1.399468e-03,1.362664e-03,1.327402e-03,1.293628e-03,1.261288e-03,1.230331e-03,1.200707e-03,1.172366e-03,1.145263e-03,1.119351e-03,1.094585e-03,1.070923e-03,1.048322e-03,1.026743e-03,1.006146e-03,9.864938e-04,9.677501e-04,9.498796e-04,9.328483e-04,9.166233e-04,9.011730e-04,8.864666e-04,8.724748e-04,8.591690e-04,8.465217e-04,8.345063e-04,8.230973e-04,8.122700e-04,8.020005e-04,7.922659e-04,7.830441e-04,7.743136e-04,7.660539e-04,7.582450e-04,7.508680e-04,7.439043e-04,7.373361e-04,7.311462e-04,7.253182e-04,7.198361e-04,7.146846e-04,7.098489e-04,7.053146e-04,7.010682e-04,6.970964e-04,6.933864e-04,6.899260e-04,6.867034e-04
0.000000e+00,3.308010e-13,7.605652e-11,8.245117e-11,2.248203e-09,2.348116e-08,2.560117e-08,1.785099e-07,8.118622e-07,8.867387e-07,3.394537e-06,9.698722e-06,1.054898e-05,2.770178e-05,5.875118e-05,6.349198e-05,1.303351e-04,2.277091e-04,2.445444e-04,4.260874e-04,6.535884e-04,6.980306e-04,1.085750e-03,1.520452e-03,1.615986e-03,2.315836e-03,3.034864e-03,3.211733e-03,4.328495e-03,5.396046e-03,5.688468e-03,7.310798e-03,8.768380e-03,9.210860e-03,1.139983e-02,1.326098e-02,1.388444e-02,1.666685e-02,1.891631e-02,1.974465e-02,2.311106e-02,2.570758e-02,2.675511e-02,3.066199e-02,3.354356e-02,3.481347e-02,3.918828e-02,4.227867e-02,4.376263e-02,4.851066e-02,5.172623e-02,5.340494e-02,5.841696e-02,6.167297e-02,6.351753e-02,6.867729e-02,7.189323e-02,7.386703e-02,7.905808e-02,8.216173e-02,8.422265e-02,8.933406e-02,9.226430e-02,9.436703e-02,9.929782e-02,1.020062e-01,1.041044e-01,1.087667e-01,1.112178e-01,1.132664e-01,1.175872e-01,1.197585e-01,1.217148e-01,1.256370e-01,1.275178e-01,1.293434e-01,1.328256e-01,1.344154e-01,1.360770e-01,1.390926e-01,1.403997e-01,1.418694e-01,1.444057e-01,1.454454e-01,1.467014e-01,1.487575e-01,1.495502e-01,1.505766e-01,1.521621e-01,1.527319e-01,1.535185e-01,1.546513e-01,1.550244e-01,1.555666e-01,1.562712e-01,1.564747e-01,1.567725e-01,1.570784e-01,1.571394e-01,1.571972e-01,1.571374e-01,1.570820e-01,1.569078e-01,1.565174e-01,1.563702e-01,1.559750e-01,1.552898e-01,1.550736e-01,1.544707e-01,1.535267e-01,1.532619e-01,1.524666e-01,1.512990e-01,1.510037e-01,1.500323e-01,1.486748e-01,1.483648e-01,1.472345e-01,1.457192e-01,1.454078e-01,1.441362e-01,1.424928e-01,1.421911e-01,1.407958e-01,1.390519e-01,1.387689e-01,1.372672e-01,1.354478e-01,1.351906e-01,1.335993e-01,1.317271e-01,1.315011e-01,1.298362e-01,1.279314e-01,1.277403e-01,1.260171e-01,1.240976e-01,1.239439e-01,1.221767e-01,1.202581e-01,1.201432e-01,1.183453e-01,1.164413e-01,1.163654e-01,1.145491e-01,1.126715e-01,1.126341e-01,1.108107e-01,1.089693e-01,1.053878e-01,1.019037e-01,9.852831e-02,9.527076e-02,9.213810e-02,8.913555e-02,8.626678e-02,8.353402e-02,8.093834e-02,7.847974e-02,7.615732e-02,7.396944e-02,7.191379e-02,6.998752e-02,6.818731e-02,6.650948e-02,6.495003e-02,6.350475e-02,6.216919e-02,6.093879e-02,5.980889e-02,5.877476e-02,5.783163e-02,5.697475e-02,5.619939e-02,5.550084e-02,5.487448e-02,5.431578e-02,5.382028e-02,5.338365e-02,5.300167e-02,5.267026e-02,5.238548e-02,5.214352e-02,5.194075e-02,5.177368e-02,5.163897e-02,5.153346e-02,5.145414e-02,5.139819e-02,5.136291e-02,5.134579e-02,5.134449e-02,5.135681e-02,5.138070e-02,5.141429e-02,5.145583e-02,5.150371e-02,5.155650e-02
0.000000e+00,9.249886e-13,2.050020e-10,2.220619e-10,5.807727e-09,5.818066e-08,6.332468e-08,4.237418e-07,1.862286e-06,2.029941e-06,7.535498e-06,2.101204e-05,2.280860e-05,5.847555e-05,1.214234e-04,1.309110e-04,2.623105e-04,4.481861e-04,4.798230e-04,8.139559e-04,1.218876e-03,1.296559e-03,1.958691e-03,2.674425e-03,2.828622e-03,3.930140e-03,5.019042e-03,5.281270e-03,6.893441e-03,8.374350e-03,8.771097e-03,1.091170e-02,1.275821e-02,1.330606e-02,1.593895e-02,1.808707e-02,1.878993e-02,2.183418e-02,2.419491e-02,2.504357e-02,2.838753e-02,3.086060e-02,3.183410e-02,3.535073e-02,3.783670e-02,3.890507e-02,4.246569e-02,4.487512e-02,4.600259e-02,4.948772e-02,5.174690e-02,5.289526e-02,5.620195e-02,5.825567e-02,5.938718e-02,6.243309e-02,6.424486e-02,6.532459e-02,6.804930e-02,6.959988e-02,7.059742e-02,7.296164e-02,7.424657e-02,7.513697e-02,7.712053e-02,7.814713e-02,7.891136e-02,8.051022e-02,8.129452e-02,8.191938e-02,8.314244e-02,8.370641e-02,8.418413e-02,8.505013e-02,8.541924e-02,8.574689e-02,8.628149e-02,8.648270e-02,8.666148e-02,8.689474e-02,8.695501e-02,8.698941e-02,8.695375e-02,8.689890e-02,8.679604e-02,8.652454e-02,8.637855e-02,8.614741e-02,8.567264e-02,8.545715e-02,8.510802e-02,8.446110e-02,8.419522e-02,8.373916e-02,8.294919e-02,8.264945e-02,8.209788e-02,8.119157e-02,8.087199e-02,8.023632e-02,7.923784e-02,7.891009e-02,7.820152e-02,7.713243e-02,7.680603e-02,7.603533e-02,7.491465e-02,7.459721e-02,7.377456e-02,7.261891e-02,7.231635e-02,7.145131e-02,7.027506e-02,6.999182e-02,6.909325e-02,6.790872e-02,6.764802e-02,6.672408e-02,6.554172e-02,6.530571e-02,6.436383e-02,6.319242e-02,6.298240e-02,6.202932e-02,6.087619e-02,6.069271e-02,5.973453e-02,5.860569e-02,5.844875e-02,5.749091e-02,5.639127e-02,5.626038e-02,5.530775e-02,5.424121e-02,5.413552e-02,5.319242e-02,5.216205e-02,5.208044e-02,5.115068e-02,5.015880e-02,5.009992e-02,4.918684e-02,4.823516e-02,4.819752e-02,4.730404e-02,4.639373e-02,4.637574e-02,4.550439e-02,4.463617e-02,4.297964e-02,4.140634e-02,3.991590e-02,3.850751e-02,3.717996e-02,3.593174e-02,3.476109e-02,3.366601e-02,3.264436e-02,3.169383e-02,3.081202e-02,2.999645e-02,2.924454e-02,2.855370e-02,2.792129e-02,2.734465e-02,2.682113e-02,2.634805e-02,2.592277e-02,2.554266e-02,2.520511e-02,2.490755e-02,2.464745e-02,2.442233e-02,2.422976e-02,2.406735e-02,2.393280e-02,2.382386e-02,2.373834e-02,2.367415e-02,2.362927e-02,2.360175e-02,2.358973e-02,2.359145e-02,2.360523e-02,2.362947e-02,2.366267e-02,2.370343e-02,2.375043e-02,2.380245e-02,2.385835e-02,2.391710e-02,2.397774e-02,2.403940e-02,2.410130e-02,2.416273e-02,2.422306e-02,2.428175e-02,2.433832e-02
0.000000e+00,7.980786e-09,1.473030e-07,1.542027e-07,1.060380e-06,3.972694e-06,4.158223e-06,1.054478e-05,1.855029e-05,1.908227e-05,2.782931e-05,3.538804e-05,3.601783e-05,4.351017e-05,4.966465e-05,5.031523e-05,5.647073e-05,6.138382e-05,6.201894e-05,6.700161e-05,7.086511e-05,7.145896e-05,7.542924e-05,7.841451e-05,7.894878e-05,8.205189e-05,8.430841e-05,8.477085e-05,8.713587e-05,8.879205e-05,8.917514e-05,9.091520e-05,9.208064e-05,9.238067e-05,9.359450e-05,9.436188e-05,9.457798e-05,9.535046e-05,9.579673e-05,9.592970e-05,9.633239e-05,9.652169e-05,9.657394e-05,9.666951e-05,9.665722e-05,9.663324e-05,9.647737e-05,9.630892e-05,9.621331e-05,9.585150e-05,9.556384e-05,9.540153e-05,9.487226e-05,9.449571e-05,9.427186e-05,9.360785e-05,9.316726e-05,9.288713e-05,9.211607e-05,9.163173e-05,9.130053e-05,9.044588e-05,8.993422e-05,8.955704e-05,8.863855e-05,8.811281e-05,8.769456e-05,8.672889e-05,8.619964e-05,8.574501e-05,8.474612e-05,8.422175e-05,8.373515e-05,8.271476e-05,8.220180e-05,8.168738e-05,8.065524e-05,8.015872e-05,7.962035e-05,7.858456e-05,7.810826e-05,7.754954e-05,7.651681e-05,7.606349e-05,7.548773e-05,7.446355e-05,7.403513e-05,7.344539e-05,7.243426e-05,7.203198e-05,7.143105e-05,7.043659e-05,7.006114e-05,6.945159e-05,6.847670e-05,6.812832e-05,6.751248e-05,6.655944e-05,6.623804e-05,6.561802e-05,6.468860e-05,6.439377e-05,6.377150e-05,6.286700e-05,6.259815e-05,6.197535e-05,6.109674e-05,6.085309e-05,6.023133e-05,5.937925e-05,5.915991e-05,5.854059e-05,5.771542e-05,5.751939e-05,5.690378e-05,5.610568e-05,5.593192e-05,5.532114e-05,5.455011e-05,5.439753e-05,5.379257e-05,5.304846e-05,5.291594e-05,5.231771e-05,5.160023e-05,5.148666e-05,5.089593e-05,5.020471e-05,5.010898e-05,4.952645e-05,4.886104e-05,4.878204e-05,4.820833e-05,4.756820e-05,4.750487e-05,4.694050e-05,4.632509e-05,4.627638e-05,4.572181e-05,4.513052e-05,4.509542e-05,4.455104e-05,4.398323e-05,4.396076e-05,4.342692e-05,4.288194e-05,4.287115e-05,4.234813e-05,4.182532e-05,4.082196e-05,3.985976e-05,3.893743e-05,3.805367e-05,3.720720e-05,3.639675e-05,3.562108e-05,3.487898e-05,3.416925e-05,3.349073e-05,3.284228e-05,3.222280e-05,3.163121e-05,3.106648e-05,3.052758e-05,3.001354e-05,2.952342e-05,2.905628e-05,2.861124e-05,2.818743e-05,2.778403e-05,2.740024e-05,2.703527e-05,2.668837e-05,2.635884e-05,2.604595e-05,2.574905e-05,2.546749e-05,2.520063e-05,2.494788e-05,2.470865e-05,2.448238e-05,2.426853e-05,2.406659e-05,2.387605e-05,2.369642e-05,2.352724e-05,2.336807e-05,2.321847e-05,2.307802e-05,2.294633e-05,2.282301e-05,2.270769e-05,2.260001e-05,2.249964e-05,2.240623e-05,2.231947e-05,2.223906e-05,2.216469e-05
0.000000e+00,1.326192e-12,3.593767e-10,3.913760e-10,1.364684e-08,1.726350e-07,1.893551e-07,1.450559e-06,6.629279e-06,7.228367e-06,2.631440e-05,7.042668e-05,7.614575e-05,1.857837e-04,3.707278e-04,3.981118e-04,7.710312e-04,1.289714e-03,1.377606e-03,2.305232e-03,3.435767e-03,3.653968e-03,5.534212e-03,7.610497e-03,8.063903e-03,1.136544e-02,1.473541e-02,1.556246e-02,2.077671e-02,2.575922e-02,2.712496e-02,3.471626e-02,4.156442e-02,4.364948e-02,5.401118e-02,6.288665e-02,6.587393e-02,7.929499e-02,9.025458e-02,9.431540e-02,1.109595e-01,1.239535e-01,1.292347e-01,1.491318e-01,1.640118e-01,1.706253e-01,1.936740e-01,2.102077e-01,2.182224e-01,2.442012e-01,2.620917e-01,2.715289e-01,3.001132e-01,3.190200e-01,3.298523e-01,3.606361e-01,3.801958e-01,3.923480e-01,4.248663e-01,4.447122e-01,4.580653e-01,4.918170e-01,5.115953e-01,5.259922e-01,5.604615e-01,5.798450e-01,5.950969e-01,6.297722e-01,6.484701e-01,6.643646e-01,6.987547e-01,7.165193e-01,7.328279e-01,7.664747e-01,7.831056e-01,7.995913e-01,8.320799e-01,8.474243e-01,8.638491e-01,8.948142e-01,9.087665e-01,9.248974e-01,9.540276e-01,9.665263e-01,9.821410e-01,1.009180e+00,1.020204e+00,1.035096e+00,1.059844e+00,1.069407e+00,1.083387e+00,1.105696e+00,1.113844e+00,1.126745e+00,1.146517e+00,1.153320e+00,1.164999e+00,1.182183e+00,1.187729e+00,1.198066e+00,1.212652e+00,1.217046e+00,1.225946e+00,1.237960e+00,1.241317e+00,1.248708e+00,1.258208e+00,1.260647e+00,1.266482e+00,1.273552e+00,1.275197e+00,1.279446e+00,1.284194e+00,1.285165e+00,1.287824e+00,1.290371e+00,1.290789e+00,1.291868e+00,1.292350e+00,1.292328e+00,1.291855e+00,1.290419e+00,1.290063e+00,1.288080e+00,1.284876e+00,1.284286e+00,1.280847e+00,1.276030e+00,1.275295e+00,1.270465e+00,1.264190e+00,1.263391e+00,1.257243e+00,1.249663e+00,1.248871e+00,1.241486e+00,1.232749e+00,1.232027e+00,1.223489e+00,1.213742e+00,1.213142e+00,1.203541e+00,1.192921e+00,1.192488e+00,1.181914e+00,1.170554e+00,1.170323e+00,1.158870e+00,1.146892e+00,1.122426e+00,1.097138e+00,1.071227e+00,1.044877e+00,1.018254e+00,9.915115e-01,9.647878e-01,9.382069e-01,9.118799e-01,8.859054e-01,8.603704e-01,8.353509e-01,8.109128e-01,7.871125e-01,7.639980e-01,7.416093e-01,7.199792e-01,6.991338e-01,6.790935e-01,6.598731e-01,6.414823e-01,6.239269e-01,6.072081e-01,5.913241e-01,5.762697e-01,5.620370e-01,5.486155e-01,5.359924e-01,5.241531e-01,5.130813e-01,5.027589e-01,4.931668e-01,4.842845e-01,4.760907e-01,4.685630e-01,4.616784e-01,4.554135e-01,4.497440e-01,4.446455e-01,4.400931e-01,4.360619e-01,4.325267e-01,4.294624e-01,4.268438e-01,4.246458e-01,4.228436e-01,4.214126e-01,4.203283e-01,4.195669e-01
0.000000e+00,1.493716e-12,4.057506e-10,4.419031e-10,1.542617e-08,1.946907e-07,2.135151e-07,1.628594e-06,7.411117e-06,8.078693e-06,2.928260e-05,7.807293e-05,8.438557e-05,2.050690e-04,4.077812e-04,4.377337e-04,8.445374e-04,1.407989e-03,1.503265e-03,2.506140e-03,3.723339e-03,3.957761e-03,5.972370e-03,8.187917e-03,8.670679e-03,1.217645e-02,1.574033e-02,1.661304e-02,2.210003e-02,2.732193e-02,2.875010e-02,3.666620e-02,4.377858e-02,4.593920e-02,5.664582e-02,6.577988e-02,6.884720e-02,8.258773e-02,9.376323e-02,9.789450e-02,1.147770e-01,1.279043e-01,1.332274e-01,1.532206e-01,1.681126e-01,1.747158e-01,1.976565e-01,2.140467e-01,2.219727e-01,2.475814e-01,2.651460e-01,2.743887e-01,3.022909e-01,3.206716e-01,3.311762e-01,3.609265e-01,3.797521e-01,3.914184e-01,4.225254e-01,4.414313e-01,4.541186e-01,4.860686e-01,5.047122e-01,5.182464e-01,5.505247e-01,5.685979e-01,5.827790e-01,6.148883e-01,6.321259e-01,6.467362e-01,6.782113e-01,6.943957e-01,7.092079e-01,7.396266e-01,7.545899e-01,7.693745e-01,7.983657e-01,8.119892e-01,8.265211e-01,8.537692e-01,8.659806e-01,8.800454e-01,9.052925e-01,9.160621e-01,9.294604e-01,9.525059e-01,9.618414e-01,9.743927e-01,9.950910e-01,1.003032e+00,1.014577e+00,1.032834e+00,1.039447e+00,1.049850e+00,1.065619e+00,1.070991e+00,1.080140e+00,1.093417e+00,1.097649e+00,1.105458e+00,1.116274e+00,1.119479e+00,1.125883e+00,1.134303e+00,1.136600e+00,1.141557e+00,1.147671e+00,1.149182e+00,1.152671e+00,1.156589e+00,1.157434e+00,1.159456e+00,1.161305e+00,1.161601e+00,1.162171e+00,1.162090e+00,1.161949e+00,1.161099e+00,1.159235e+00,1.158761e+00,1.156537e+00,1.153042e+00,1.152331e+00,1.148789e+00,1.143816e+00,1.142956e+00,1.138161e+00,1.131863e+00,1.130932e+00,1.124958e+00,1.117484e+00,1.116551e+00,1.109477e+00,1.100972e+00,1.100096e+00,1.092005e+00,1.082610e+00,1.081840e+00,1.072819e+00,1.062665e+00,1.062045e+00,1.052179e+00,1.041392e+00,1.040955e+00,1.030333e+00,1.019030e+00,1.018802e+00,1.007510e+00,9.957998e-01,9.721489e-01,9.480315e-01,9.236148e-01,8.990505e-01,8.744756e-01,8.500126e-01,8.257710e-01,8.018472e-01,7.783262e-01,7.552818e-01,7.327776e-01,7.108679e-01,6.895984e-01,6.690071e-01,6.491246e-01,6.299751e-01,6.115773e-01,5.939441e-01,5.770841e-01,5.610016e-01,5.456971e-01,5.311676e-01,5.174075e-01,5.044082e-01,4.921587e-01,4.806463e-01,4.698563e-01,4.597723e-01,4.503767e-01,4.416508e-01,4.335747e-01,4.261276e-01,4.192881e-01,4.130340e-01,4.073430e-01,4.021919e-01,3.975575e-01,3.934162e-01,3.897446e-01,3.865190e-01,3.837156e-01,3.813111e-01,3.792820e-01,3.776051e-01,3.762577e-01,3.752172e-01,3.744614e-01,3.739688e-01,3.737182e-01
0.000000e+00,5.256938e-09,1.734051e-07,1.825397e-07,1.563453e-06,7.030052e-06,7.412177e-06,2.231134e-05,4.470740e-05,4.630261e-05,7.358591e-05,9.792584e-05,9.996493e-05,1.242656e-04,1.442394e-04,1.463502e-04,1.663113e-04,1.822281e-04,1.842846e-04,2.004099e-04,2.129028e-04,2.148222e-04,2.276496e-04,2.372884e-04,2.390129e-04,2.490253e-04,2.563017e-04,2.577924e-04,2.654132e-04,2.707476e-04,2.719812e-04,2.775838e-04,2.813360e-04,2.823021e-04,2.862117e-04,2.886854e-04,2.893826e-04,2.918794e-04,2.933284e-04,2.937620e-04,2.950856e-04,2.957213e-04,2.959013e-04,2.962561e-04,2.962535e-04,2.961932e-04,2.957526e-04,2.952562e-04,2.949711e-04,2.938823e-04,2.930107e-04,2.925175e-04,2.909050e-04,2.897553e-04,2.890712e-04,2.870402e-04,2.856917e-04,2.848341e-04,2.824731e-04,2.809900e-04,2.799759e-04,2.773596e-04,2.757936e-04,2.746396e-04,2.718303e-04,2.702230e-04,2.689448e-04,2.659950e-04,2.643793e-04,2.629919e-04,2.599453e-04,2.583469e-04,2.568643e-04,2.537573e-04,2.521964e-04,2.506317e-04,2.474943e-04,2.459861e-04,2.443515e-04,2.412087e-04,2.397645e-04,2.380711e-04,2.349433e-04,2.335713e-04,2.318295e-04,2.287333e-04,2.274390e-04,2.256581e-04,2.226070e-04,2.213939e-04,2.195825e-04,2.165872e-04,2.154571e-04,2.136231e-04,2.106921e-04,2.096454e-04,2.077958e-04,2.049358e-04,2.039718e-04,2.021131e-04,1.993289e-04,1.984462e-04,1.965841e-04,1.938795e-04,1.930760e-04,1.912156e-04,1.885931e-04,1.878662e-04,1.860123e-04,1.834734e-04,1.828203e-04,1.809768e-04,1.785226e-04,1.779398e-04,1.761107e-04,1.737412e-04,1.732256e-04,1.714139e-04,1.691288e-04,1.686769e-04,1.668857e-04,1.646843e-04,1.642924e-04,1.625243e-04,1.604055e-04,1.600702e-04,1.583274e-04,1.562898e-04,1.560077e-04,1.542921e-04,1.523341e-04,1.521018e-04,1.504152e-04,1.485350e-04,1.483491e-04,1.466930e-04,1.448888e-04,1.447460e-04,1.431217e-04,1.413914e-04,1.412887e-04,1.396972e-04,1.380387e-04,1.379731e-04,1.364154e-04,1.348266e-04,1.347952e-04,1.332719e-04,1.317507e-04,1.288356e-04,1.260457e-04,1.233768e-04,1.208248e-04,1.183856e-04,1.160553e-04,1.138300e-04,1.117058e-04,1.096790e-04,1.077460e-04,1.059033e-04,1.041474e-04,1.024749e-04,1.008826e-04,9.936748e-05,9.792636e-05,9.655634e-05,9.525457e-05,9.401830e-05,9.284488e-05,9.173173e-05,9.067637e-05,8.967642e-05,8.872956e-05,8.783356e-05,8.698627e-05,8.618563e-05,8.542963e-05,8.471636e-05,8.404395e-05,8.341062e-05,8.281466e-05,8.225440e-05,8.172824e-05,8.123466e-05,8.077217e-05,8.033936e-05,7.993484e-05,7.955731e-05,7.920550e-05,7.887819e-05,7.857421e-05,7.829243e-05,7.803178e-05,7.779120e-05,7.756971e-05,7.736634e-05,7.718017e-05,7.701032e-05
0.000000e+00,5.861984e-09,1.847839e-07,1.948683e-07,1.746911e-06,7.388683e-06,7.758212e-06,2.057166e-05,3.649429e-05,3.754903e-05,5.493934e-05,7.012429e-05,7.139834e-05,8.667603e-05,9.941202e-05,1.007693e-04,1.137257e-04,1.242331e-04,1.256034e-04,1.364616e-04,1.450286e-04,1.463584e-04,1.553505e-04,1.622450e-04,1.634929e-04,1.708387e-04,1.763036e-04,1.774387e-04,1.833415e-04,1.875927e-04,1.885930e-04,1.932369e-04,1.964640e-04,1.973145e-04,2.008646e-04,2.032326e-04,2.039240e-04,2.065270e-04,2.081786e-04,2.087062e-04,2.104920e-04,2.115503e-04,2.119130e-04,2.129961e-04,2.135667e-04,2.137663e-04,2.142475e-04,2.144208e-04,2.144616e-04,2.144293e-04,2.142826e-04,2.141702e-04,2.137023e-04,2.133013e-04,2.130428e-04,2.122073e-04,2.116077e-04,2.112110e-04,2.100676e-04,2.093165e-04,2.087902e-04,2.073909e-04,2.065279e-04,2.058810e-04,2.042712e-04,2.033297e-04,2.025713e-04,2.007904e-04,1.997982e-04,1.989373e-04,1.970199e-04,1.959999e-04,1.950456e-04,1.930214e-04,1.919926e-04,1.909537e-04,1.888486e-04,1.878264e-04,1.867115e-04,1.845477e-04,1.835448e-04,1.823620e-04,1.801589e-04,1.791850e-04,1.779423e-04,1.757163e-04,1.747793e-04,1.734842e-04,1.712494e-04,1.703553e-04,1.690148e-04,1.667833e-04,1.659366e-04,1.645573e-04,1.623393e-04,1.615431e-04,1.601313e-04,1.579354e-04,1.571919e-04,1.557534e-04,1.535868e-04,1.528971e-04,1.514373e-04,1.493061e-04,1.486705e-04,1.471945e-04,1.451036e-04,1.445220e-04,1.430344e-04,1.409878e-04,1.404595e-04,1.389646e-04,1.369656e-04,1.364894e-04,1.349912e-04,1.330422e-04,1.326169e-04,1.311189e-04,1.292218e-04,1.288456e-04,1.273513e-04,1.255075e-04,1.251785e-04,1.236908e-04,1.219013e-04,1.216175e-04,1.201391e-04,1.184044e-04,1.181638e-04,1.166972e-04,1.150176e-04,1.148179e-04,1.133654e-04,1.117407e-04,1.115797e-04,1.101434e-04,1.085733e-04,1.084489e-04,1.070304e-04,1.055145e-04,1.054244e-04,1.040254e-04,1.025630e-04,1.025051e-04,1.011270e-04,9.971726e-05,9.968933e-05,9.833347e-05,9.697543e-05,9.436140e-05,9.184515e-05,8.942444e-05,8.709695e-05,8.486027e-05,8.271196e-05,8.064955e-05,7.867054e-05,7.677242e-05,7.495272e-05,7.320896e-05,7.153870e-05,6.993952e-05,6.840904e-05,6.694495e-05,6.554494e-05,6.420680e-05,6.292832e-05,6.170739e-05,6.054192e-05,5.942990e-05,5.836936e-05,5.735839e-05,5.639514e-05,5.547782e-05,5.460467e-05,5.377402e-05,5.298423e-05,5.223372e-05,5.152096e-05,5.084447e-05,5.020282e-05,4.959462e-05,4.901855e-05,4.847330e-05,4.795764e-05,4.747037e-05,4.701031e-05,4.657636e-05,4.616743e-05,4.578248e-05,4.542050e-05,4.508053e-05,4.476162e-05,4.446288e-05,4.418344e-05,4.392245e-05,4.367911e-05,4.345265e-05
0.000000e+00,7.129226e-09,1.183104e-07,1.236307e-07,8.013799e-07,2.994232e-06,3.136768e-06,8.303598e-06,1.554576e-05,1.605346e-05,2.467561e-05,3.228734e-05,3.292061e-05,4.039611e-05,4.641880e-05,4.704767e-05,5.291281e-05,5.747061e-05,5.805085e-05,6.252379e-05,6.588375e-05,6.639075e-05,6.970709e-05,7.210485e-05,7.252403e-05,7.488960e-05,7.652295e-05,7.684694e-05,7.843544e-05,7.946538e-05,7.969171e-05,8.064938e-05,8.120892e-05,8.133915e-05,8.178906e-05,8.198639e-05,8.202468e-05,8.206930e-05,8.199190e-05,8.194412e-05,8.166841e-05,8.138657e-05,8.125965e-05,8.073371e-05,8.030360e-05,8.010499e-05,7.938649e-05,7.885269e-05,7.859000e-05,7.772619e-05,7.712389e-05,7.680465e-05,7.583408e-05,7.519082e-05,7.482229e-05,7.377634e-05,7.311349e-05,7.270254e-05,7.160660e-05,7.094054e-05,7.049360e-05,6.936813e-05,6.871127e-05,6.823427e-05,6.709566e-05,6.645719e-05,6.595555e-05,6.481683e-05,6.420341e-05,6.368205e-05,6.255347e-05,6.196974e-05,6.143309e-05,6.032266e-05,5.977166e-05,5.922370e-05,5.813754e-05,5.762108e-05,5.706535e-05,5.600810e-05,5.552702e-05,5.496663e-05,5.394166e-05,5.349605e-05,5.293377e-05,5.194344e-05,5.153284e-05,5.097107e-05,5.001696e-05,4.964048e-05,4.908133e-05,4.816433e-05,4.782078e-05,4.726607e-05,4.638658e-05,4.607456e-05,4.552585e-05,4.468382e-05,4.440178e-05,4.386042e-05,4.305551e-05,4.280181e-05,4.226893e-05,4.150051e-05,4.127350e-05,4.075005e-05,4.001732e-05,3.981530e-05,3.930209e-05,3.860409e-05,3.842540e-05,3.792306e-05,3.725874e-05,3.710175e-05,3.661082e-05,3.597902e-05,3.584216e-05,3.536305e-05,3.476260e-05,3.464435e-05,3.417737e-05,3.360706e-05,3.350596e-05,3.305135e-05,3.250994e-05,3.242462e-05,3.198252e-05,3.146879e-05,3.139795e-05,3.096846e-05,3.048120e-05,3.042360e-05,3.000674e-05,2.954477e-05,2.949925e-05,2.909500e-05,2.865715e-05,2.862263e-05,2.823093e-05,2.781607e-05,2.779153e-05,2.741229e-05,2.701931e-05,2.700381e-05,2.663688e-05,2.626474e-05,2.625740e-05,2.590262e-05,2.555029e-05,2.488056e-05,2.424636e-05,2.364593e-05,2.307756e-05,2.253964e-05,2.203062e-05,2.154902e-05,2.109344e-05,2.066254e-05,2.025504e-05,1.986973e-05,1.950546e-05,1.916113e-05,1.883570e-05,1.852818e-05,1.823763e-05,1.796317e-05,1.770394e-05,1.745914e-05,1.722801e-05,1.700984e-05,1.680393e-05,1.660963e-05,1.642633e-05,1.625345e-05,1.609043e-05,1.593674e-05,1.579190e-05,1.565542e-05,1.552687e-05,1.540581e-05,1.529185e-05,1.518460e-05,1.508370e-05,1.498882e-05,1.489963e-05,1.481582e-05,1.473710e-05,1.466319e-05,1.459384e-05,1.452880e-05,1.446783e-05,1.441070e-05,1.435722e-05,1.430717e-05,1.426038e-05,1.421665e-05,1.417583e-05,1.413775e-05
0.000000e+00,6.856613e-09,1.721100e-07,1.804893e-07,1.311340e-06,5.189057e-06,5.445484e-06,1.488709e-05,2.849617e-05,2.946766e-05,4.634841e-05,6.193149e-05,6.326213e-05,7.945171e-05,9.326831e-05,9.475842e-05,1.091674e-04,1.211190e-04,1.226969e-04,1.353739e-04,1.456172e-04,1.472285e-04,1.582926e-04,1.669993e-04,1.685987e-04,1.781791e-04,1.855163e-04,1.870662e-04,1.952916e-04,2.014162e-04,2.028861e-04,2.098797e-04,2.149364e-04,2.163016e-04,2.221796e-04,2.262999e-04,2.275409e-04,2.324113e-04,2.357142e-04,2.368160e-04,2.407789e-04,2.433716e-04,2.443230e-04,2.474704e-04,2.494489e-04,2.502423e-04,2.526589e-04,2.541091e-04,2.547395e-04,2.565028e-04,2.575013e-04,2.579664e-04,2.591474e-04,2.597624e-04,2.600619e-04,2.607254e-04,2.610172e-04,2.611527e-04,2.613578e-04,2.613800e-04,2.613544e-04,2.611551e-04,2.609547e-04,2.607723e-04,2.602176e-04,2.598361e-04,2.595022e-04,2.586366e-04,2.581103e-04,2.576309e-04,2.564948e-04,2.558555e-04,2.552374e-04,2.538673e-04,2.531427e-04,2.523929e-04,2.508220e-04,2.500359e-04,2.491621e-04,2.474203e-04,2.465934e-04,2.456032e-04,2.437174e-04,2.428675e-04,2.417689e-04,2.397634e-04,2.389054e-04,2.377064e-04,2.356031e-04,2.347499e-04,2.334584e-04,2.312768e-04,2.304391e-04,2.290629e-04,2.268207e-04,2.260074e-04,2.245543e-04,2.222671e-04,2.214854e-04,2.199629e-04,2.176448e-04,2.169006e-04,2.153160e-04,2.129794e-04,2.122773e-04,2.106378e-04,2.082937e-04,2.076373e-04,2.059496e-04,2.036079e-04,2.029996e-04,2.012705e-04,1.989395e-04,1.983813e-04,1.966169e-04,1.943044e-04,1.937971e-04,1.920035e-04,1.897159e-04,1.892601e-04,1.874429e-04,1.851859e-04,1.847815e-04,1.829462e-04,1.807247e-04,1.803711e-04,1.785227e-04,1.763410e-04,1.760372e-04,1.741805e-04,1.720421e-04,1.717870e-04,1.699265e-04,1.678344e-04,1.676265e-04,1.657663e-04,1.637229e-04,1.635605e-04,1.617046e-04,1.597119e-04,1.595932e-04,1.577452e-04,1.558047e-04,1.557277e-04,1.538909e-04,1.520039e-04,1.519665e-04,1.501440e-04,1.483114e-04,1.447636e-04,1.413238e-04,1.379923e-04,1.347688e-04,1.316528e-04,1.286435e-04,1.257396e-04,1.229399e-04,1.202426e-04,1.176461e-04,1.151483e-04,1.127473e-04,1.104409e-04,1.082268e-04,1.061028e-04,1.040664e-04,1.021152e-04,1.002469e-04,9.845899e-05,9.674901e-05,9.511453e-05,9.355315e-05,9.206244e-05,9.064004e-05,8.928360e-05,8.799081e-05,8.675939e-05,8.558713e-05,8.447183e-05,8.341137e-05,8.240366e-05,8.144666e-05,8.053841e-05,7.967696e-05,7.886044e-05,7.808705e-05,7.735500e-05,7.666258e-05,7.600814e-05,7.539008e-05,7.480682e-05,7.425689e-05,7.373881e-05,7.325120e-05,7.279270e-05,7.236200e-05,7.195785e-05,7.157904e-05,7.122440e-05
0.000000e+00,1.103322e-10,1.429110e-08,1.533132e-08,2.633424e-07,1.900623e-06,2.041709e-06,9.755337e-06,3.001246e-05,3.192264e-05,7.660385e-05,1.384379e-04,1.446105e-04,2.293051e-04,3.123057e-04,3.216529e-04,4.142942e-04,4.924125e-04,5.027099e-04,5.846978e-04,6.494487e-04,6.594772e-04,7.270003e-04,7.783129e-04,7.875478e-04,8.415275e-04,8.812006e-04,8.893824e-04,9.315548e-04,9.614900e-04,9.684733e-04,1.000546e-03,1.022448e-03,1.028160e-03,1.051679e-03,1.067029e-03,1.071449e-03,1.087788e-03,1.097849e-03,1.100998e-03,1.111357e-03,1.117195e-03,1.119122e-03,1.124535e-03,1.127042e-03,1.127815e-03,1.129166e-03,1.129079e-03,1.128775e-03,1.126815e-03,1.124738e-03,1.123443e-03,1.118806e-03,1.115235e-03,1.113035e-03,1.106253e-03,1.101590e-03,1.098571e-03,1.090092e-03,1.084661e-03,1.080909e-03,1.071107e-03,1.065169e-03,1.060763e-03,1.049950e-03,1.043714e-03,1.038732e-03,1.027167e-03,1.020798e-03,1.015311e-03,1.003211e-03,9.968384e-04,9.909131e-04,9.784568e-04,9.721811e-04,9.658793e-04,9.532139e-04,9.471122e-04,9.404907e-04,9.277371e-04,9.218671e-04,9.149778e-04,9.022350e-04,8.966386e-04,8.895288e-04,8.768773e-04,8.715839e-04,8.642966e-04,8.518012e-04,8.468299e-04,8.394040e-04,8.271165e-04,8.224781e-04,8.149489e-04,8.029102e-04,7.986094e-04,7.910084e-04,7.792503e-04,7.752864e-04,7.676421e-04,7.561889e-04,7.525573e-04,7.448951e-04,7.337646e-04,7.304578e-04,7.228005e-04,7.120054e-04,7.090133e-04,7.013812e-04,6.909297e-04,6.882407e-04,6.806520e-04,6.705488e-04,6.681501e-04,6.606207e-04,6.508676e-04,6.487454e-04,6.412894e-04,6.318857e-04,6.300259e-04,6.226559e-04,6.135989e-04,6.119870e-04,6.047139e-04,5.959996e-04,5.946211e-04,5.874546e-04,5.790774e-04,5.779179e-04,5.708664e-04,5.628198e-04,5.618651e-04,5.549357e-04,5.472124e-04,5.464489e-04,5.396478e-04,5.322399e-04,5.316540e-04,5.249866e-04,5.178857e-04,5.174645e-04,5.109352e-04,5.041329e-04,5.038638e-04,4.974764e-04,4.909636e-04,4.908348e-04,4.845923e-04,4.783602e-04,4.664224e-04,4.550040e-04,4.440877e-04,4.336561e-04,4.236924e-04,4.141799e-04,4.051023e-04,3.964436e-04,3.881881e-04,3.803208e-04,3.728268e-04,3.656918e-04,3.589019e-04,3.524435e-04,3.463038e-04,3.404699e-04,3.349297e-04,3.296714e-04,3.246836e-04,3.199552e-04,3.154755e-04,3.112345e-04,3.072220e-04,3.034287e-04,2.998453e-04,2.964630e-04,2.932732e-04,2.902677e-04,2.874386e-04,2.847782e-04,2.822792e-04,2.799345e-04,2.777374e-04,2.756812e-04,2.737596e-04,2.719667e-04,2.702965e-04,2.687435e-04,2.673021e-04,2.659673e-04,2.647340e-04,2.635974e-04,2.625529e-04,2.615960e-04,2.607225e-04,2.599282e-04,2.592092e-04,2.585617e-04,2.579820e-04
0.000000e+00,4.904123e-10,1.133303e-08,1.189787e-08,7.793457e-08,2.156709e-07,2.222367e-07,3.856711e-07,5.264468e-07,5.348916e-07,6.662146e-07,7.721830e-07,7.807688e-07,8.801926e-07,9.580399e-07,9.660584e-07,1.039802e-06,1.095705e-06,1.102724e-06,1.156000e-06,1.194914e-06,1.200690e-06,1.237750e-06,1.263615e-06,1.268039e-06,1.292327e-06,1.308253e-06,1.311306e-06,1.325591e-06,1.334014e-06,1.335736e-06,1.342233e-06,1.345051e-06,1.345520e-06,1.345989e-06,1.344678e-06,1.343990e-06,1.339834e-06,1.335533e-06,1.333796e-06,1.326124e-06,1.319712e-06,1.317036e-06,1.306727e-06,1.298878e-06,1.295370e-06,1.283118e-06,1.274346e-06,1.270108e-06,1.256461e-06,1.247157e-06,1.242283e-06,1.227670e-06,1.218128e-06,1.212705e-06,1.197463e-06,1.187903e-06,1.182010e-06,1.166403e-06,1.156987e-06,1.150694e-06,1.134926e-06,1.125770e-06,1.119140e-06,1.103371e-06,1.094558e-06,1.087648e-06,1.071997e-06,1.063584e-06,1.056443e-06,1.041004e-06,1.033027e-06,1.025698e-06,1.010540e-06,1.003021e-06,9.955428e-07,9.807169e-07,9.736641e-07,9.660716e-07,9.516144e-07,9.450291e-07,9.373518e-07,9.232890e-07,9.171657e-07,9.094300e-07,8.957781e-07,8.901067e-07,8.823358e-07,8.691048e-07,8.638718e-07,8.560862e-07,8.432805e-07,8.384701e-07,8.306877e-07,8.183075e-07,8.139025e-07,8.061391e-07,7.941814e-07,7.901635e-07,7.824331e-07,7.708925e-07,7.672432e-07,7.595580e-07,7.484274e-07,7.451277e-07,7.374987e-07,7.267696e-07,7.238008e-07,7.162376e-07,7.059002e-07,7.032441e-07,6.957550e-07,6.857992e-07,6.834377e-07,6.760303e-07,6.664454e-07,6.643612e-07,6.570419e-07,6.478170e-07,6.459932e-07,6.387678e-07,6.298917e-07,6.283122e-07,6.211858e-07,6.126474e-07,6.112966e-07,6.042737e-07,5.960619e-07,5.949250e-07,5.880094e-07,5.801133e-07,5.791761e-07,5.723710e-07,5.647799e-07,5.640290e-07,5.573372e-07,5.500405e-07,5.494630e-07,5.428871e-07,5.358745e-07,5.354582e-07,5.290001e-07,5.222616e-07,5.219948e-07,5.156564e-07,5.091821e-07,5.090539e-07,5.028364e-07,4.966169e-07,4.846658e-07,4.731831e-07,4.621520e-07,4.515560e-07,4.413793e-07,4.316067e-07,4.222233e-07,4.132149e-07,4.045677e-07,3.962683e-07,3.883039e-07,3.806621e-07,3.733310e-07,3.662990e-07,3.595550e-07,3.530882e-07,3.468883e-07,3.409454e-07,3.352497e-07,3.297920e-07,3.245634e-07,3.195553e-07,3.147592e-07,3.101673e-07,3.057718e-07,3.015653e-07,2.975406e-07,2.936907e-07,2.900090e-07,2.864892e-07,2.831249e-07,2.799103e-07,2.768396e-07,2.739072e-07,2.711079e-07,2.684365e-07,2.658880e-07,2.634576e-07,2.611408e-07,2.589331e-07,2.568303e-07,2.548283e-07,2.529230e-07,2.511107e-07,2.493878e-07,2.477505e-07,2.461957e-07,2.447198e-07,2.433199e-07
0.000000e+00,4.353494e-09,1.435956e-07,1.515410e-07,1.368685e-06,5.584291e-06,5.851247e-06,1.463949e-05,2.475640e-05,2.540760e-05,3.594204e-05,4.492002e-05,4.566590e-05,5.452654e-05,6.179283e-05,6.256040e-05,6.981679e-05,7.559931e-05,7.634608e-05,8.219740e-05,8.672349e-05,8.741815e-05,9.205359e-05,9.552655e-05,9.614670e-05,9.973810e-05,1.023355e-04,1.028660e-04,1.055662e-04,1.074410e-04,1.078721e-04,1.098152e-04,1.110977e-04,1.114246e-04,1.127274e-04,1.135281e-04,1.137489e-04,1.145128e-04,1.149251e-04,1.150409e-04,1.153535e-04,1.154558e-04,1.154695e-04,1.154063e-04,1.152644e-04,1.151804e-04,1.148067e-04,1.144754e-04,1.142992e-04,1.136708e-04,1.131958e-04,1.129336e-04,1.120986e-04,1.115176e-04,1.111761e-04,1.101755e-04,1.095199e-04,1.091058e-04,1.079748e-04,1.072700e-04,1.067902e-04,1.055588e-04,1.048256e-04,1.042868e-04,1.029803e-04,1.022355e-04,1.016444e-04,1.002842e-04,9.954123e-05,9.890424e-05,9.750857e-05,9.677791e-05,9.610104e-05,9.468514e-05,9.397505e-05,9.326404e-05,9.184067e-05,9.115742e-05,9.041766e-05,8.899741e-05,8.834564e-05,8.758213e-05,8.617379e-05,8.555678e-05,8.477418e-05,8.338491e-05,8.280486e-05,8.200745e-05,8.064309e-05,8.010128e-05,7.929299e-05,7.795819e-05,7.745518e-05,7.663961e-05,7.533805e-05,7.487379e-05,7.405421e-05,7.278871e-05,7.236271e-05,7.154207e-05,7.031475e-05,6.992615e-05,6.910711e-05,6.791946e-05,6.756710e-05,6.675205e-05,6.560506e-05,6.528758e-05,6.447863e-05,6.337286e-05,6.308874e-05,6.228778e-05,6.122342e-05,6.097105e-05,6.017974e-05,5.915669e-05,5.893437e-05,5.815416e-05,5.717206e-05,5.697808e-05,5.621024e-05,5.526853e-05,5.510115e-05,5.434676e-05,5.344473e-05,5.330222e-05,5.256222e-05,5.169901e-05,5.157969e-05,5.085485e-05,5.002951e-05,4.993171e-05,4.922270e-05,4.843418e-05,4.835632e-05,4.766366e-05,4.691087e-05,4.685140e-05,4.617551e-05,4.545731e-05,4.541475e-05,4.475596e-05,4.407117e-05,4.404412e-05,4.340266e-05,4.275011e-05,4.273722e-05,4.211323e-05,4.149174e-05,4.030537e-05,3.917584e-05,3.810088e-05,3.707827e-05,3.610584e-05,3.518145e-05,3.430304e-05,3.346860e-05,3.267618e-05,3.192390e-05,3.120992e-05,3.053251e-05,2.988996e-05,2.928065e-05,2.870302e-05,2.815558e-05,2.763687e-05,2.714553e-05,2.668024e-05,2.623974e-05,2.582282e-05,2.542832e-05,2.505515e-05,2.470226e-05,2.436865e-05,2.405335e-05,2.375545e-05,2.347409e-05,2.320844e-05,2.295770e-05,2.272113e-05,2.249801e-05,2.228765e-05,2.208941e-05,2.190268e-05,2.172685e-05,2.156138e-05,2.140573e-05,2.125940e-05,2.112190e-05,2.099278e-05,2.087160e-05,2.075796e-05,2.065145e-05,2.055170e-05,2.045836e-05,2.037109e-05,2.028957e-05,2.021350e-05
0.000000e+00,1.369773e-09,2.050937e-08,2.138268e-08,1.112609e-07,3.087813e-07,3.195408e-07,6.445914e-07,1.020703e-06,1.046077e-06,1.478540e-06,1.875058e-06,1.908924e-06,2.320436e-06,2.669974e-06,2.707547e-06,3.069438e-06,3.367547e-06,3.406762e-06,3.720585e-06,3.972561e-06,4.012068e-06,4.282374e-06,4.493898e-06,4.532639e-06,4.763955e-06,4.940227e-06,4.977365e-06,5.173866e-06,5.319531e-06,5.354406e-06,5.519886e-06,5.639058e-06,5.671162e-06,5.809046e-06,5.905357e-06,5.934309e-06,6.047683e-06,6.124333e-06,6.149859e-06,6.241494e-06,6.301296e-06,6.323211e-06,6.395598e-06,6.441018e-06,6.459213e-06,6.514584e-06,6.547782e-06,6.562209e-06,6.602562e-06,6.625429e-06,6.636090e-06,6.663215e-06,6.677400e-06,6.684337e-06,6.699834e-06,6.706775e-06,6.710064e-06,6.715363e-06,6.716310e-06,6.716052e-06,6.712431e-06,6.708469e-06,6.704785e-06,6.693383e-06,6.685452e-06,6.678478e-06,6.660312e-06,6.649226e-06,6.639109e-06,6.615084e-06,6.601543e-06,6.588438e-06,6.559361e-06,6.543967e-06,6.528032e-06,6.494621e-06,6.477891e-06,6.459287e-06,6.422180e-06,6.404555e-06,6.383442e-06,6.343207e-06,6.325062e-06,6.301601e-06,6.258741e-06,6.240393e-06,6.214740e-06,6.169702e-06,6.151420e-06,6.123727e-06,6.076908e-06,6.058913e-06,6.029331e-06,5.981080e-06,5.963559e-06,5.932231e-06,5.882857e-06,5.865963e-06,5.833028e-06,5.782806e-06,5.766662e-06,5.732252e-06,5.681422e-06,5.666127e-06,5.630370e-06,5.579145e-06,5.564777e-06,5.527793e-06,5.476359e-06,5.462978e-06,5.424883e-06,5.373403e-06,5.361052e-06,5.321956e-06,5.270573e-06,5.259281e-06,5.219287e-06,5.168126e-06,5.157912e-06,5.117118e-06,5.066288e-06,5.057159e-06,5.015658e-06,4.965252e-06,4.957209e-06,4.915089e-06,4.865187e-06,4.858223e-06,4.815565e-06,4.766239e-06,4.760340e-06,4.717223e-06,4.668530e-06,4.663679e-06,4.620174e-06,4.572166e-06,4.568341e-06,4.524517e-06,4.477236e-06,4.474411e-06,4.430332e-06,4.383813e-06,4.381960e-06,4.337686e-06,4.291958e-06,4.291048e-06,4.246635e-06,4.201722e-06,4.114020e-06,4.027971e-06,3.943599e-06,3.860917e-06,3.779935e-06,3.700657e-06,3.623084e-06,3.547209e-06,3.473026e-06,3.400523e-06,3.329688e-06,3.260504e-06,3.192953e-06,3.127016e-06,3.062673e-06,2.999902e-06,2.938679e-06,2.878981e-06,2.820784e-06,2.764063e-06,2.708793e-06,2.654948e-06,2.602503e-06,2.551432e-06,2.501709e-06,2.453308e-06,2.406204e-06,2.360372e-06,2.315786e-06,2.272421e-06,2.230252e-06,2.189255e-06,2.149406e-06,2.110680e-06,2.073055e-06,2.036506e-06,2.001011e-06,1.966547e-06,1.933093e-06,1.900627e-06,1.869126e-06,1.838571e-06,1.808940e-06,1.780213e-06,1.752370e-06,1.725392e-06,1.699259e-06,1.673953e-06,1.649455e-06
0.000000e+00,4.994563e-13,1.056943e-10,1.143806e-10,2.856222e-09,2.752012e-08,2.990859e-08,1.932550e-07,8.234349e-07,8.957972e-07,3.216352e-06,8.688663e-06,9.405099e-06,2.326279e-05,4.671043e-05,5.016887e-05,9.668630e-05,1.594366e-04,1.698523e-04,2.763488e-04,3.988733e-04,4.217324e-04,6.098469e-04,8.022544e-04,8.424764e-04,1.119238e-03,1.377456e-03,1.437683e-03,1.793561e-03,2.101426e-03,2.181177e-03,2.593805e-03,2.928310e-03,3.024108e-03,3.464526e-03,3.801416e-03,3.907616e-03,4.346339e-03,4.664376e-03,4.774270e-03,5.185748e-03,5.469093e-03,5.575970e-03,5.941026e-03,6.179942e-03,6.277901e-03,6.584431e-03,6.774807e-03,6.859242e-03,7.101675e-03,7.243903e-03,7.311694e-03,7.489794e-03,7.587443e-03,7.636910e-03,7.754329e-03,7.812887e-03,7.843605e-03,7.906488e-03,7.932327e-03,7.944856e-03,7.960658e-03,7.960261e-03,7.955868e-03,7.932445e-03,7.911905e-03,7.892301e-03,7.837276e-03,7.801996e-03,7.769121e-03,7.689485e-03,7.644052e-03,7.599905e-03,7.501806e-03,7.449975e-03,7.396495e-03,7.285166e-03,7.229911e-03,7.168898e-03,7.048668e-03,6.992275e-03,6.925347e-03,6.799716e-03,6.743888e-03,6.672466e-03,6.544206e-03,6.490167e-03,6.415472e-03,6.286731e-03,6.235326e-03,6.158390e-03,6.030799e-03,5.982575e-03,5.904259e-03,5.779030e-03,5.734312e-03,5.655330e-03,5.533344e-03,5.492287e-03,5.413225e-03,5.295100e-03,5.257738e-03,5.179071e-03,5.065220e-03,5.031500e-03,4.953612e-03,4.844294e-03,4.814100e-03,4.737301e-03,4.632656e-03,4.605835e-03,4.530372e-03,4.430453e-03,4.406824e-03,4.332896e-03,4.237690e-03,4.217059e-03,4.144821e-03,4.054268e-03,4.036434e-03,3.966008e-03,3.880013e-03,3.864773e-03,3.796254e-03,3.714698e-03,3.701852e-03,3.635312e-03,3.558060e-03,3.547413e-03,3.482905e-03,3.409810e-03,3.401175e-03,3.338736e-03,3.269644e-03,3.262842e-03,3.202496e-03,3.137251e-03,3.132112e-03,3.073871e-03,3.012315e-03,3.008679e-03,2.952546e-03,2.894523e-03,2.892238e-03,2.838208e-03,2.783563e-03,2.782486e-03,2.730549e-03,2.679130e-03,2.581879e-03,2.490453e-03,2.404578e-03,2.323990e-03,2.248435e-03,2.177668e-03,2.111453e-03,2.049564e-03,1.991785e-03,1.937907e-03,1.887731e-03,1.841066e-03,1.797731e-03,1.757552e-03,1.720362e-03,1.686001e-03,1.654319e-03,1.625171e-03,1.598417e-03,1.573926e-03,1.551571e-03,1.531233e-03,1.512797e-03,1.496152e-03,1.481195e-03,1.467825e-03,1.455947e-03,1.445471e-03,1.436309e-03,1.428380e-03,1.421604e-03,1.415906e-03,1.411214e-03,1.407461e-03,1.404581e-03,1.402512e-03,1.401194e-03,1.400573e-03,1.400594e-03,1.401207e-03,1.402362e-03,1.404016e-03,1.406123e-03,1.408642e-03,1.411535e-03,1.414764e-03,1.418295e-03,1.422093e-03,1.426129e-03
0.000000e+00,7.731327e-12,1.576650e-09,1.707001e-09,4.526931e-08,4.640854e-07,5.051479e-07,3.258934e-06,1.286362e-05,1.389422e-05,4.290154e-05,9.726601e-05,1.035927e-04,2.079060e-04,3.450285e-04,3.628748e-04,5.692205e-04,7.894277e-04,8.219274e-04,1.111942e-03,1.382740e-03,1.428155e-03,1.759121e-03,2.040761e-03,2.094276e-03,2.424646e-03,2.686939e-03,2.743131e-03,3.044497e-03,3.270826e-03,3.325190e-03,3.583072e-03,3.767699e-03,3.817128e-03,4.027200e-03,4.171082e-03,4.213752e-03,4.377678e-03,4.485096e-03,4.520145e-03,4.642484e-03,4.718898e-03,4.746109e-03,4.832448e-03,4.883356e-03,4.902910e-03,4.958850e-03,4.989258e-03,5.001561e-03,5.032256e-03,5.046487e-03,5.052069e-03,5.062052e-03,5.063734e-03,5.063176e-03,5.056338e-03,5.048462e-03,5.042359e-03,5.021994e-03,5.006999e-03,4.995932e-03,4.964806e-03,4.944661e-03,4.929191e-03,4.889612e-03,4.865898e-03,4.846550e-03,4.800441e-03,4.774416e-03,4.751682e-03,4.700635e-03,4.673298e-03,4.647630e-03,4.592965e-03,4.565096e-03,4.536912e-03,4.479716e-03,4.451922e-03,4.421600e-03,4.362768e-03,4.335515e-03,4.303401e-03,4.243665e-03,4.217303e-03,4.183708e-03,4.123665e-03,4.098451e-03,4.063657e-03,4.003793e-03,3.979909e-03,3.944169e-03,3.884874e-03,3.862445e-03,3.825986e-03,3.767572e-03,3.746672e-03,3.709697e-03,3.652413e-03,3.633080e-03,3.595769e-03,3.539807e-03,3.522049e-03,3.484563e-03,3.430069e-03,3.413872e-03,3.376354e-03,3.323439e-03,3.308769e-03,3.271345e-03,3.220087e-03,3.206899e-03,3.169680e-03,3.120133e-03,3.108371e-03,3.071454e-03,3.023650e-03,3.013250e-03,2.976722e-03,2.930674e-03,2.921570e-03,2.885506e-03,2.841215e-03,2.833336e-03,2.797799e-03,2.755254e-03,2.748527e-03,2.713575e-03,2.672756e-03,2.667109e-03,2.632789e-03,2.593667e-03,2.589029e-03,2.555382e-03,2.517924e-03,2.514224e-03,2.481284e-03,2.445452e-03,2.442620e-03,2.410418e-03,2.376170e-03,2.374139e-03,2.342697e-03,2.309989e-03,2.308696e-03,2.278033e-03,2.246819e-03,2.246202e-03,2.216333e-03,2.186565e-03,2.129693e-03,2.075492e-03,2.023869e-03,1.974731e-03,1.927986e-03,1.883544e-03,1.841315e-03,1.801212e-03,1.763150e-03,1.727047e-03,1.692821e-03,1.660396e-03,1.629694e-03,1.600642e-03,1.573170e-03,1.547208e-03,1.522690e-03,1.499553e-03,1.477733e-03,1.457173e-03,1.437814e-03,1.419601e-03,1.402481e-03,1.386402e-03,1.371317e-03,1.357176e-03,1.343935e-03,1.331551e-03,1.319980e-03,1.309183e-03,1.299121e-03,1.289757e-03,1.281055e-03,1.272980e-03,1.265501e-03,1.258585e-03,1.252203e-03,1.246325e-03,1.240923e-03,1.235972e-03,1.231446e-03,1.227320e-03,1.223571e-03,1.220177e-03,1.217117e-03,1.214370e-03,1.211918e-03,1.209740e-03,1.207821e-03
0.000000e+00,6.313991e-12,1.669337e-09,1.816913e-09,6.194670e-08,7.832531e-07,8.594841e-07,6.710044e-06,3.143406e-05,3.432978e-05,1.281784e-04,3.499093e-04,3.789108e-04,9.405297e-04,1.900354e-03,2.043242e-03,4.000555e-03,6.743876e-03,7.210270e-03,1.214979e-02,1.819706e-02,1.936653e-02,2.946455e-02,4.064430e-02,4.308842e-02,6.090558e-02,7.911633e-02,8.358801e-02,1.117942e-01,1.387595e-01,1.461519e-01,1.872428e-01,2.243058e-01,2.355885e-01,2.916393e-01,3.396219e-01,3.557650e-01,4.282479e-01,4.873811e-01,5.092783e-01,5.989525e-01,6.688749e-01,6.972724e-01,8.041473e-01,8.839569e-01,9.193970e-01,1.042756e+00,1.131101e+00,1.173882e+00,1.312357e+00,1.407547e+00,1.457702e+00,1.609380e+00,1.709508e+00,1.766804e+00,1.929350e+00,2.032413e+00,2.096360e+00,2.267153e+00,2.371156e+00,2.441034e+00,2.617296e+00,2.720341e+00,2.795235e+00,2.974149e+00,3.074510e+00,3.153351e+00,3.332166e+00,3.428336e+00,3.509945e+00,3.686061e+00,3.776785e+00,3.859918e+00,4.030952e+00,4.115243e+00,4.198633e+00,4.362467e+00,4.439606e+00,4.522000e+00,4.676814e+00,4.746339e+00,4.826532e+00,4.970817e+00,5.032503e+00,5.109369e+00,5.241929e+00,5.295763e+00,5.368275e+00,5.488220e+00,5.534371e+00,5.601615e+00,5.708344e+00,5.747136e+00,5.808325e+00,5.901505e+00,5.933379e+00,5.987861e+00,6.067397e+00,6.092890e+00,6.140144e+00,6.206154e+00,6.225866e+00,6.265502e+00,6.318283e+00,6.332853e+00,6.364610e+00,6.404611e+00,6.414698e+00,6.438432e+00,6.466227e+00,6.472488e+00,6.488166e+00,6.504426e+00,6.507503e+00,6.515192e+00,6.520658e+00,6.521169e+00,6.521021e+00,6.516485e+00,6.515008e+00,6.507256e+00,6.493541e+00,6.490612e+00,6.475550e+00,6.453493e+00,6.449600e+00,6.427578e+00,6.398015e+00,6.393597e+00,6.365009e+00,6.328763e+00,6.324206e+00,6.289478e+00,6.247351e+00,6.242990e+00,6.202575e+00,6.155337e+00,6.151458e+00,6.105823e+00,6.054211e+00,6.051051e+00,6.000674e+00,5.945382e+00,5.943136e+00,5.888497e+00,5.830176e+00,5.828996e+00,5.770571e+00,5.709828e+00,5.586744e+00,5.460765e+00,5.332827e+00,5.203780e+00,5.074393e+00,4.945355e+00,4.817280e+00,4.690714e+00,4.566136e+00,4.443966e+00,4.324564e+00,4.208240e+00,4.095254e+00,3.985824e+00,3.880125e+00,3.778297e+00,3.680447e+00,3.586653e+00,3.496963e+00,3.411404e+00,3.329981e+00,3.252677e+00,3.179461e+00,3.110286e+00,3.045091e+00,2.983804e+00,2.926341e+00,2.872612e+00,2.822516e+00,2.775947e+00,2.732795e+00,2.692943e+00,2.656270e+00,2.622654e+00,2.591969e+00,2.564088e+00,2.538883e+00,2.516225e+00,2.495985e+00,2.478036e+00,2.462249e+00,2.448499e+00,2.436661e+00,2.426612e+00,2.418234e+00,2.411408e+00,2.406020e+00,2.401958e+00,2.399114e+00
0.000000e+00,3.077050e-12,7.471746e-10,8.112353e-10,2.410020e-08,2.712674e-07,2.965256e-07,2.170782e-06,1.008527e-05,1.102365e-05,4.242450e-05,1.209504e-04,1.315093e-04,3.436850e-04,7.259464e-04,7.842179e-04,1.604915e-03,2.800259e-03,3.007048e-03,5.240421e-03,8.048999e-03,8.598928e-03,1.341328e-02,1.884385e-02,2.004161e-02,2.885881e-02,3.798912e-02,4.024520e-02,5.457527e-02,6.840011e-02,7.220695e-02,9.347180e-02,1.127728e-01,1.186665e-01,1.480457e-01,1.733017e-01,1.818165e-01,2.201338e-01,2.514770e-01,2.630983e-01,3.107556e-01,3.479713e-01,3.630959e-01,4.200551e-01,4.626150e-01,4.815178e-01,5.473199e-01,5.944393e-01,6.172528e-01,6.910676e-01,7.417748e-01,7.684795e-01,8.491734e-01,9.023835e-01,9.328087e-01,1.019025e+00,1.073610e+00,1.107445e+00,1.197682e+00,1.252534e+00,1.289345e+00,1.382038e+00,1.436117e+00,1.475369e+00,1.568952e+00,1.621327e+00,1.662410e+00,1.755378e+00,1.805253e+00,1.847506e+00,1.938461e+00,1.985188e+00,2.027927e+00,2.115609e+00,2.158694e+00,2.201233e+00,2.284546e+00,2.323648e+00,2.365319e+00,2.443344e+00,2.478261e+00,2.518436e+00,2.590431e+00,2.621091e+00,2.659190e+00,2.724593e+00,2.751036e+00,2.786541e+00,2.844955e+00,2.867318e+00,2.899777e+00,2.950965e+00,2.969458e+00,2.998495e+00,3.042358e+00,3.057252e+00,3.082562e+00,3.119127e+00,3.130736e+00,3.152088e+00,3.181489e+00,3.190155e+00,3.207387e+00,3.229847e+00,3.235926e+00,3.248944e+00,3.264759e+00,3.268611e+00,3.277380e+00,3.286903e+00,3.288884e+00,3.293426e+00,3.297054e+00,3.297505e+00,3.297892e+00,3.296050e+00,3.295296e+00,3.291639e+00,3.284773e+00,3.283115e+00,3.275564e+00,3.264126e+00,3.261840e+00,3.250574e+00,3.235019e+00,3.232352e+00,3.217575e+00,3.198352e+00,3.195525e+00,3.177458e+00,3.155001e+00,3.152206e+00,3.131085e+00,3.105813e+00,3.103215e+00,3.079285e+00,3.051598e+00,3.049336e+00,3.022846e+00,2.993121e+00,2.991309e+00,2.962511e+00,2.931101e+00,2.929829e+00,2.898973e+00,2.866206e+00,2.865544e+00,2.832876e+00,2.799056e+00,2.730914e+00,2.661624e+00,2.591642e+00,2.521382e+00,2.451212e+00,2.381465e+00,2.312431e+00,2.244369e+00,2.177503e+00,2.112028e+00,2.048110e+00,1.985890e+00,1.925487e+00,1.866998e+00,1.810501e+00,1.756058e+00,1.703714e+00,1.653502e+00,1.605442e+00,1.559543e+00,1.515804e+00,1.474216e+00,1.434762e+00,1.397419e+00,1.362156e+00,1.328938e+00,1.297727e+00,1.268479e+00,1.241147e+00,1.215680e+00,1.192026e+00,1.170129e+00,1.149933e+00,1.131380e+00,1.114408e+00,1.098958e+00,1.084966e+00,1.072371e+00,1.061109e+00,1.051117e+00,1.042332e+00,1.034690e+00,1.028129e+00,1.022586e+00,1.017998e+00,1.014306e+00,1.011448e+00,1.009367e+00,1.008003e+00
0.000000e+00,9.970556e-10,2.009532e-08,2.110233e-08,1.501964e-07,4.716187e-07,4.882607e-07,9.257595e-07,1.329571e-06,1.354536e-06,1.754714e-06,2.096372e-06,2.124908e-06,2.466271e-06,2.750089e-06,2.780306e-06,3.068526e-06,3.301983e-06,3.332412e-06,3.573397e-06,3.763386e-06,3.792867e-06,3.992157e-06,4.144901e-06,4.172543e-06,4.335243e-06,4.456271e-06,4.481411e-06,4.612143e-06,4.706311e-06,4.728472e-06,4.831374e-06,4.902909e-06,4.921767e-06,5.000514e-06,5.053076e-06,5.068429e-06,5.126273e-06,5.163016e-06,5.174761e-06,5.214566e-06,5.238205e-06,5.246318e-06,5.270607e-06,5.283467e-06,5.287987e-06,5.298977e-06,5.303049e-06,5.304063e-06,5.303699e-06,5.300682e-06,5.298312e-06,5.288301e-06,5.279641e-06,5.274040e-06,5.255876e-06,5.242799e-06,5.234137e-06,5.209127e-06,5.192670e-06,5.181131e-06,5.150415e-06,5.131452e-06,5.117228e-06,5.081801e-06,5.061065e-06,5.044351e-06,5.005079e-06,4.983182e-06,4.964175e-06,4.921812e-06,4.899263e-06,4.878156e-06,4.833358e-06,4.810576e-06,4.787560e-06,4.740894e-06,4.718222e-06,4.693482e-06,4.645437e-06,4.623154e-06,4.596867e-06,4.547868e-06,4.526197e-06,4.498532e-06,4.448944e-06,4.428060e-06,4.399180e-06,4.349314e-06,4.329354e-06,4.299413e-06,4.249537e-06,4.230603e-06,4.199743e-06,4.150085e-06,4.132251e-06,4.100610e-06,4.051362e-06,4.034677e-06,4.002383e-06,3.953709e-06,3.938203e-06,3.905374e-06,3.857409e-06,3.843096e-06,3.809842e-06,3.762699e-06,3.749579e-06,3.716004e-06,3.669776e-06,3.657836e-06,3.624035e-06,3.578798e-06,3.568018e-06,3.534079e-06,3.489892e-06,3.480243e-06,3.446248e-06,3.403158e-06,3.394607e-06,3.360630e-06,3.318672e-06,3.311181e-06,3.277291e-06,3.236490e-06,3.230016e-06,3.196276e-06,3.156650e-06,3.151149e-06,3.117615e-06,3.079174e-06,3.074600e-06,3.041325e-06,3.004071e-06,3.000378e-06,2.967409e-06,2.931339e-06,2.928479e-06,2.895860e-06,2.860968e-06,2.858894e-06,2.826662e-06,2.792938e-06,2.791601e-06,2.759793e-06,2.727222e-06,2.726577e-06,2.695223e-06,2.663789e-06,2.603202e-06,2.544777e-06,2.488471e-06,2.434239e-06,2.382034e-06,2.331808e-06,2.283511e-06,2.237094e-06,2.192505e-06,2.149693e-06,2.108609e-06,2.069201e-06,2.031420e-06,1.995215e-06,1.960538e-06,1.927340e-06,1.895574e-06,1.865194e-06,1.836153e-06,1.808406e-06,1.781911e-06,1.756624e-06,1.732504e-06,1.709509e-06,1.687600e-06,1.666738e-06,1.646886e-06,1.628008e-06,1.610066e-06,1.593028e-06,1.576858e-06,1.561526e-06,1.546998e-06,1.533244e-06,1.520235e-06,1.507941e-06,1.496334e-06,1.485388e-06,1.475075e-06,1.465371e-06,1.456251e-06,1.447690e-06,1.439666e-06,1.432156e-06,1.425139e-06,1.418593e-06,1.412499e-06,1.406836e-06,1.401587e-06
0.000000e+00,3.787623e-09,2.296215e-07,2.443658e-07,2.749641e-06,1.083139e-05,1.129373e-05,2.435966e-05,3.715780e-05,3.795919e-05,5.092352e-05,6.216403e-05,6.311029e-05,7.452600e-05,8.416340e-05,8.519800e-05,9.515719e-05,1.033570e-04,1.044355e-04,1.130652e-04,1.199923e-04,1.210781e-04,1.285056e-04,1.343147e-04,1.353783e-04,1.417253e-04,1.465577e-04,1.475752e-04,1.529549e-04,1.569376e-04,1.578904e-04,1.624062e-04,1.656524e-04,1.665258e-04,1.702715e-04,1.728813e-04,1.736646e-04,1.767251e-04,1.787872e-04,1.794724e-04,1.819246e-04,1.835170e-04,1.840988e-04,1.860115e-04,1.872031e-04,1.876781e-04,1.891134e-04,1.899644e-04,1.903313e-04,1.913449e-04,1.919080e-04,1.921667e-04,1.928085e-04,1.931301e-04,1.932816e-04,1.935966e-04,1.937169e-04,1.937634e-04,1.937916e-04,1.937458e-04,1.936902e-04,1.934676e-04,1.932861e-04,1.931318e-04,1.926905e-04,1.924000e-04,1.921509e-04,1.915197e-04,1.911430e-04,1.908033e-04,1.900077e-04,1.895647e-04,1.891388e-04,1.882019e-04,1.877096e-04,1.872021e-04,1.861442e-04,1.856172e-04,1.850328e-04,1.838722e-04,1.833229e-04,1.826663e-04,1.814191e-04,1.808581e-04,1.801340e-04,1.788146e-04,1.782509e-04,1.774639e-04,1.760851e-04,1.755263e-04,1.746809e-04,1.732540e-04,1.727064e-04,1.718069e-04,1.703420e-04,1.698107e-04,1.688615e-04,1.673675e-04,1.668569e-04,1.658620e-04,1.643468e-04,1.638601e-04,1.628236e-04,1.612940e-04,1.608342e-04,1.597597e-04,1.582220e-04,1.577910e-04,1.566822e-04,1.551416e-04,1.547411e-04,1.536014e-04,1.520627e-04,1.516938e-04,1.505265e-04,1.489938e-04,1.486571e-04,1.474654e-04,1.459422e-04,1.456383e-04,1.444250e-04,1.429145e-04,1.426433e-04,1.414113e-04,1.399161e-04,1.396777e-04,1.384295e-04,1.369519e-04,1.367458e-04,1.354840e-04,1.340261e-04,1.338518e-04,1.325786e-04,1.311420e-04,1.309990e-04,1.297166e-04,1.283027e-04,1.281901e-04,1.269006e-04,1.255106e-04,1.254276e-04,1.241329e-04,1.227678e-04,1.227135e-04,1.214154e-04,1.200759e-04,1.200492e-04,1.187494e-04,1.174362e-04,1.148754e-04,1.123675e-04,1.099130e-04,1.075122e-04,1.051654e-04,1.028723e-04,1.006330e-04,9.844716e-05,9.631435e-05,9.423414e-05,9.220601e-05,9.022935e-05,8.830350e-05,8.642778e-05,8.460141e-05,8.282365e-05,8.109367e-05,7.941065e-05,7.777375e-05,7.618211e-05,7.463487e-05,7.313117e-05,7.167014e-05,7.025092e-05,6.887263e-05,6.753441e-05,6.623541e-05,6.497476e-05,6.375162e-05,6.256516e-05,6.141455e-05,6.029897e-05,5.921763e-05,5.816973e-05,5.715450e-05,5.617117e-05,5.521898e-05,5.429721e-05,5.340512e-05,5.254200e-05,5.170716e-05,5.089990e-05,5.011956e-05,4.936548e-05,4.863702e-05,4.793353e-05,4.725441e-05,4.659906e-05,4.596687e-05
0.000000e+00,4.135681e-13,9.523312e-11,1.032728e-10,2.893362e-09,3.127075e-08,3.413976e-08,2.446318e-07,1.126343e-06,1.230629e-06,4.702750e-06,1.328011e-05,1.442443e-05,3.709460e-05,7.686843e-05,8.284208e-05,1.651814e-04,2.808394e-04,3.004601e-04,5.069292e-04,7.559318e-04,8.036013e-04,1.209056e-03,1.646228e-03,1.740318e-03,2.411898e-03,3.075307e-03,3.235048e-03,4.217264e-03,5.120033e-03,5.362016e-03,6.668709e-03,7.797573e-03,8.132823e-03,9.746208e-03,1.106533e-02,1.149750e-02,1.337262e-02,1.483041e-02,1.535527e-02,1.742754e-02,1.896442e-02,1.957042e-02,2.176429e-02,2.331979e-02,2.398946e-02,2.622652e-02,2.774491e-02,2.845673e-02,3.066234e-02,3.209647e-02,3.282681e-02,3.493499e-02,3.624834e-02,3.697328e-02,3.892966e-02,4.009688e-02,4.079379e-02,4.255698e-02,4.356342e-02,4.421212e-02,4.575368e-02,4.659408e-02,4.717759e-02,4.848114e-02,4.915798e-02,4.966292e-02,5.072266e-02,5.124440e-02,5.166111e-02,5.247995e-02,5.285928e-02,5.318167e-02,5.376941e-02,5.402169e-02,5.424692e-02,5.461839e-02,5.476037e-02,5.488841e-02,5.506187e-02,5.511062e-02,5.514382e-02,5.513950e-02,5.511163e-02,5.505420e-02,5.489322e-02,5.480431e-02,5.466185e-02,5.436530e-02,5.422959e-02,5.400870e-02,5.359700e-02,5.342712e-02,5.313504e-02,5.262745e-02,5.243441e-02,5.207868e-02,5.149299e-02,5.128616e-02,5.087440e-02,5.022676e-02,5.001397e-02,4.955368e-02,4.885856e-02,4.864621e-02,4.814459e-02,4.741478e-02,4.720797e-02,4.667189e-02,4.591853e-02,4.572124e-02,4.515709e-02,4.438982e-02,4.420504e-02,4.361876e-02,4.284580e-02,4.267567e-02,4.207269e-02,4.130100e-02,4.114697e-02,4.053221e-02,3.976762e-02,3.963053e-02,3.900844e-02,3.825575e-02,3.813599e-02,3.751054e-02,3.677368e-02,3.667124e-02,3.604597e-02,3.532810e-02,3.524265e-02,3.462070e-02,3.392432e-02,3.385531e-02,3.323943e-02,3.256645e-02,3.251314e-02,3.190575e-02,3.125761e-02,3.121913e-02,3.062231e-02,3.000005e-02,2.997543e-02,2.939100e-02,2.879529e-02,2.878351e-02,2.821301e-02,2.764424e-02,2.655800e-02,2.552478e-02,2.454421e-02,2.361567e-02,2.273830e-02,2.191106e-02,2.113276e-02,2.040210e-02,1.971771e-02,1.907810e-02,1.848180e-02,1.792724e-02,1.741287e-02,1.693712e-02,1.649842e-02,1.609518e-02,1.572584e-02,1.538885e-02,1.508268e-02,1.480581e-02,1.455674e-02,1.433402e-02,1.413619e-02,1.396184e-02,1.380959e-02,1.367808e-02,1.356599e-02,1.347202e-02,1.339491e-02,1.333345e-02,1.328644e-02,1.325273e-02,1.323122e-02,1.322081e-02,1.322049e-02,1.322926e-02,1.324615e-02,1.327027e-02,1.330074e-02,1.333674e-02,1.337748e-02,1.342222e-02,1.347027e-02,1.352098e-02,1.357374e-02,1.362798e-02,1.368317e-02,1.373885e-02,1.379455e-02
0.000000e+00,2.568925e-10,2.975190e-08,3.192620e-08,5.439413e-07,3.384507e-06,3.602416e-06,1.302237e-05,2.975772e-05,3.106226e-05,5.543980e-05,7.941190e-05,8.145896e-05,1.057283e-04,1.249723e-04,1.269488e-04,1.449969e-04,1.584776e-04,1.601563e-04,1.727923e-04,1.819069e-04,1.832521e-04,1.918429e-04,1.978108e-04,1.988311e-04,2.044470e-04,2.081677e-04,2.088884e-04,2.123250e-04,2.144494e-04,2.149025e-04,2.167463e-04,2.177451e-04,2.179642e-04,2.186487e-04,2.188614e-04,2.188791e-04,2.187234e-04,2.183942e-04,2.182400e-04,2.174790e-04,2.167835e-04,2.164833e-04,2.152899e-04,2.143540e-04,2.139303e-04,2.124316e-04,2.113450e-04,2.108170e-04,2.091064e-04,2.079333e-04,2.073170e-04,2.054633e-04,2.042492e-04,2.035580e-04,2.016117e-04,2.003886e-04,1.996338e-04,1.976320e-04,1.964223e-04,1.956131e-04,1.935830e-04,1.924024e-04,1.915466e-04,1.895080e-04,1.883669e-04,1.874709e-04,1.854385e-04,1.843438e-04,1.834132e-04,1.813973e-04,1.803534e-04,1.793928e-04,1.774011e-04,1.764106e-04,1.754238e-04,1.734618e-04,1.725258e-04,1.715162e-04,1.695878e-04,1.687066e-04,1.676771e-04,1.657848e-04,1.649582e-04,1.639113e-04,1.620570e-04,1.612839e-04,1.602220e-04,1.584067e-04,1.576861e-04,1.566112e-04,1.548355e-04,1.541660e-04,1.530798e-04,1.513440e-04,1.507240e-04,1.496282e-04,1.479324e-04,1.473603e-04,1.462564e-04,1.446003e-04,1.440745e-04,1.429639e-04,1.413471e-04,1.408659e-04,1.397499e-04,1.381720e-04,1.377336e-04,1.366133e-04,1.350738e-04,1.346766e-04,1.335532e-04,1.320514e-04,1.316937e-04,1.305682e-04,1.291035e-04,1.287838e-04,1.276571e-04,1.262289e-04,1.259454e-04,1.248186e-04,1.234261e-04,1.231773e-04,1.220511e-04,1.206937e-04,1.204781e-04,1.193534e-04,1.180303e-04,1.178464e-04,1.167240e-04,1.154344e-04,1.152808e-04,1.141614e-04,1.129048e-04,1.127800e-04,1.116643e-04,1.104398e-04,1.103425e-04,1.092312e-04,1.080382e-04,1.079671e-04,1.068607e-04,1.056984e-04,1.056523e-04,1.045514e-04,1.034192e-04,1.033968e-04,1.023019e-04,1.011992e-04,9.905833e-05,9.697283e-05,9.494144e-05,9.296292e-05,9.103604e-05,8.915960e-05,8.733243e-05,8.555336e-05,8.382127e-05,8.213503e-05,8.049358e-05,7.889583e-05,7.734074e-05,7.582730e-05,7.435449e-05,7.292136e-05,7.152692e-05,7.017026e-05,6.885045e-05,6.756661e-05,6.631784e-05,6.510331e-05,6.392217e-05,6.277360e-05,6.165681e-05,6.057102e-05,5.951547e-05,5.848940e-05,5.749210e-05,5.652285e-05,5.558096e-05,5.466575e-05,5.377656e-05,5.291275e-05,5.207368e-05,5.125873e-05,5.046731e-05,4.969882e-05,4.895270e-05,4.822838e-05,4.752531e-05,4.684297e-05,4.618083e-05,4.553838e-05,4.491513e-05,4.431058e-05,4.372428e-05,4.315574e-05,4.260453e-05
0.000000e+00,3.694243e-10,2.712232e-08,2.892370e-08,3.993098e-07,2.222444e-06,2.355967e-06,7.675720e-06,1.567689e-05,1.624369e-05,2.585428e-05,3.422922e-05,3.491973e-05,4.299886e-05,4.941720e-05,5.008299e-05,5.625338e-05,6.099938e-05,6.160043e-05,6.620902e-05,6.964102e-05,7.015657e-05,7.351318e-05,7.592257e-05,7.634219e-05,7.870073e-05,8.031995e-05,8.064028e-05,8.220711e-05,8.322028e-05,8.344277e-05,8.438458e-05,8.493688e-05,8.506604e-05,8.551724e-05,8.572272e-05,8.576494e-05,8.583319e-05,8.578088e-05,8.574346e-05,8.551499e-05,8.527432e-05,8.516499e-05,8.470876e-05,8.433366e-05,8.416012e-05,8.353128e-05,8.306347e-05,8.283313e-05,8.207546e-05,8.154705e-05,8.126695e-05,8.041533e-05,7.985087e-05,7.952746e-05,7.860949e-05,7.802764e-05,7.766685e-05,7.670437e-05,7.611916e-05,7.572634e-05,7.473656e-05,7.415845e-05,7.373840e-05,7.273484e-05,7.217147e-05,7.172849e-05,7.072167e-05,7.017852e-05,6.971642e-05,6.871452e-05,6.819539e-05,6.771755e-05,6.672685e-05,6.623424e-05,6.574363e-05,6.476891e-05,6.430433e-05,6.380359e-05,6.284843e-05,6.241265e-05,6.190408e-05,6.097109e-05,6.056430e-05,6.004994e-05,5.914100e-05,5.876297e-05,5.824459e-05,5.736097e-05,5.701114e-05,5.649032e-05,5.563281e-05,5.531042e-05,5.478853e-05,5.395756e-05,5.366167e-05,5.313992e-05,5.233562e-05,5.206520e-05,5.154465e-05,5.076694e-05,5.052086e-05,5.000244e-05,4.925106e-05,4.902819e-05,4.851270e-05,4.778726e-05,4.758643e-05,4.707460e-05,4.637460e-05,4.619466e-05,4.568711e-05,4.501199e-05,4.485178e-05,4.434907e-05,4.369820e-05,4.355661e-05,4.305922e-05,4.243195e-05,4.230789e-05,4.181623e-05,4.121188e-05,4.110429e-05,4.061873e-05,4.003662e-05,3.994449e-05,3.946535e-05,3.890476e-05,3.882712e-05,3.835467e-05,3.781492e-05,3.775083e-05,3.728531e-05,3.676570e-05,3.671428e-05,3.625589e-05,3.575574e-05,3.571614e-05,3.526505e-05,3.478368e-05,3.475509e-05,3.431146e-05,3.384822e-05,3.382987e-05,3.339380e-05,3.294805e-05,3.293922e-05,3.251081e-05,3.208193e-05,3.125680e-05,3.046269e-05,2.969848e-05,2.896309e-05,2.825547e-05,2.757461e-05,2.691953e-05,2.628928e-05,2.568295e-05,2.509967e-05,2.453858e-05,2.399885e-05,2.347970e-05,2.298037e-05,2.250012e-05,2.203823e-05,2.159404e-05,2.116687e-05,2.075609e-05,2.036110e-05,1.998129e-05,1.961611e-05,1.926501e-05,1.892746e-05,1.860296e-05,1.829101e-05,1.799114e-05,1.770290e-05,1.742586e-05,1.715959e-05,1.690369e-05,1.665777e-05,1.642144e-05,1.619437e-05,1.597618e-05,1.576655e-05,1.556515e-05,1.537168e-05,1.518584e-05,1.500733e-05,1.483588e-05,1.467122e-05,1.451309e-05,1.436125e-05,1.421546e-05,1.407549e-05,1.394112e-05,1.381213e-05,1.368832e-05
0.000000e+00,3.124862e-10,2.808002e-08,2.995770e-08,4.180357e-07,2.595276e-06,2.770235e-06,1.119255e-05,2.914119e-05,3.066633e-05,6.182220e-05,9.651480e-05,9.963565e-05,1.383447e-04,1.711932e-04,1.746756e-04,2.074771e-04,2.332863e-04,2.365896e-04,2.621927e-04,2.816083e-04,2.845542e-04,3.039514e-04,3.181486e-04,3.206492e-04,3.348946e-04,3.449062e-04,3.469153e-04,3.569202e-04,3.636033e-04,3.651028e-04,3.716416e-04,3.757069e-04,3.767008e-04,3.804306e-04,3.824615e-04,3.829689e-04,3.844411e-04,3.849119e-04,3.849617e-04,3.846351e-04,3.839289e-04,3.835560e-04,3.818106e-04,3.802346e-04,3.794772e-04,3.766269e-04,3.744266e-04,3.733241e-04,3.696271e-04,3.669971e-04,3.655888e-04,3.612569e-04,3.583505e-04,3.566745e-04,3.518806e-04,3.488178e-04,3.469104e-04,3.417953e-04,3.386688e-04,3.365640e-04,3.312420e-04,3.281227e-04,3.258521e-04,3.204148e-04,3.173562e-04,3.149486e-04,3.094698e-04,3.065112e-04,3.039930e-04,2.985311e-04,2.957006e-04,2.930955e-04,2.876963e-04,2.850133e-04,2.823425e-04,2.770419e-04,2.745185e-04,2.718012e-04,2.666263e-04,2.642694e-04,2.615223e-04,2.564935e-04,2.543057e-04,2.515436e-04,2.466757e-04,2.446562e-04,2.418923e-04,2.371953e-04,2.353412e-04,2.325865e-04,2.280671e-04,2.263733e-04,2.236378e-04,2.192993e-04,2.177597e-04,2.150518e-04,2.108954e-04,2.095029e-04,2.068298e-04,2.028546e-04,2.016015e-04,1.989693e-04,1.951731e-04,1.940515e-04,1.914652e-04,1.878446e-04,1.868463e-04,1.843102e-04,1.808609e-04,1.799778e-04,1.774954e-04,1.742124e-04,1.734366e-04,1.710106e-04,1.678886e-04,1.672123e-04,1.648449e-04,1.618780e-04,1.612938e-04,1.589866e-04,1.561690e-04,1.556696e-04,1.534238e-04,1.507495e-04,1.503281e-04,1.481445e-04,1.456073e-04,1.452574e-04,1.431365e-04,1.407304e-04,1.404460e-04,1.383877e-04,1.361068e-04,1.358821e-04,1.338863e-04,1.317248e-04,1.315544e-04,1.296208e-04,1.275729e-04,1.274518e-04,1.255798e-04,1.236401e-04,1.235636e-04,1.217524e-04,1.199155e-04,1.198793e-04,1.181281e-04,1.163888e-04,1.130825e-04,1.099510e-04,1.069854e-04,1.041772e-04,1.015183e-04,9.900092e-05,9.661762e-05,9.436137e-05,9.222546e-05,9.020354e-05,8.828955e-05,8.647777e-05,8.476273e-05,8.313928e-05,8.160252e-05,8.014782e-05,7.877077e-05,7.746723e-05,7.623323e-05,7.506507e-05,7.395919e-05,7.291227e-05,7.192114e-05,7.098280e-05,7.009443e-05,6.925334e-05,6.845700e-05,6.770303e-05,6.698914e-05,6.631320e-05,6.567318e-05,6.506715e-05,6.449332e-05,6.394995e-05,6.343544e-05,6.294824e-05,6.248690e-05,6.205006e-05,6.163641e-05,6.124472e-05,6.087384e-05,6.052266e-05,6.019015e-05,5.987532e-05,5.957725e-05,5.929505e-05,5.902789e-05,5.877499e-05,5.853559e-05
0.000000e+00,7.332400e-12,1.875646e-09,2.039528e-09,6.630696e-08,8.159273e-07,8.948481e-07,6.989152e-06,3.334881e-05,3.647588e-05,1.399866e-04,3.921520e-04,4.255825e-04,1.084142e-03,2.237152e-03,2.410684e-03,4.818983e-03,8.258383e-03,8.848337e-03,1.516245e-02,2.301167e-02,2.454109e-02,3.786565e-02,5.281081e-02,5.609983e-02,8.026688e-02,1.052526e-01,1.114247e-01,1.506403e-01,1.885211e-01,1.989636e-01,2.574038e-01,3.106210e-01,3.269058e-01,4.083304e-01,4.786581e-01,5.024366e-01,6.098668e-01,6.982510e-01,7.311358e-01,8.666221e-01,9.731143e-01,1.016563e+00,1.181051e+00,1.304828e+00,1.360038e+00,1.553331e+00,1.692782e+00,1.760606e+00,1.981407e+00,2.134269e+00,2.215157e+00,2.461171e+00,2.624696e+00,2.718662e+00,2.986755e+00,3.157881e+00,3.264496e+00,3.550870e+00,3.726394e+00,3.844806e+00,4.145192e+00,4.321924e+00,4.450890e+00,4.760740e+00,4.935635e+00,5.073577e+00,5.388239e+00,5.558509e+00,5.703574e+00,6.018453e+00,6.181641e+00,6.331772e+00,6.642464e+00,6.796503e+00,6.949504e+00,7.251912e+00,7.395147e+00,7.548758e+00,7.839169e+00,7.970370e+00,8.122328e+00,8.397477e+00,8.515825e+00,8.663923e+00,8.921031e+00,9.026093e+00,9.168232e+00,9.405018e+00,9.496714e+00,9.630944e+00,9.845626e+00,9.924189e+00,1.004874e+01,1.024003e+01,1.030595e+01,1.041927e+01,1.058631e+01,1.064031e+01,1.074106e+01,1.088345e+01,1.092641e+01,1.101349e+01,1.113120e+01,1.116413e+01,1.123667e+01,1.133001e+01,1.135400e+01,1.141138e+01,1.148096e+01,1.149715e+01,1.153896e+01,1.158563e+01,1.159518e+01,1.162124e+01,1.164606e+01,1.165011e+01,1.166042e+01,1.166462e+01,1.166428e+01,1.165902e+01,1.164396e+01,1.164027e+01,1.161980e+01,1.158691e+01,1.158086e+01,1.154567e+01,1.149645e+01,1.148895e+01,1.143965e+01,1.137563e+01,1.136748e+01,1.130480e+01,1.122752e+01,1.121945e+01,1.114418e+01,1.105515e+01,1.104779e+01,1.096080e+01,1.086151e+01,1.085540e+01,1.075762e+01,1.064949e+01,1.064509e+01,1.053747e+01,1.042188e+01,1.041953e+01,1.030306e+01,1.018131e+01,9.932843e+00,9.676391e+00,9.414071e+00,9.147833e+00,8.879469e+00,8.610611e+00,8.342737e+00,8.077175e+00,7.815109e+00,7.557588e+00,7.305532e+00,7.059738e+00,6.820892e+00,6.589575e+00,6.366271e+00,6.151373e+00,5.945198e+00,5.747984e+00,5.559904e+00,5.381070e+00,5.211538e+00,5.051317e+00,4.900371e+00,4.758622e+00,4.625963e+00,4.502250e+00,4.387318e+00,4.280973e+00,4.183003e+00,4.093177e+00,4.011248e+00,3.936958e+00,3.870034e+00,3.810197e+00,3.757157e+00,3.710620e+00,3.670285e+00,3.635851e+00,3.607011e+00,3.583457e+00,3.564884e+00,3.550984e+00,3.541454e+00,3.535991e+00,3.534297e+00,3.536079e+00,3.541047e+00,3.548919e+00,3.559420e+00
0.000000e+00,5.334499e-13,1.244226e-10,1.349638e-10,3.832026e-09,4.181111e-08,4.566034e-08,3.285177e-07,1.510488e-06,1.649957e-06,6.270168e-06,1.759625e-05,1.910250e-05,4.884922e-05,1.009127e-04,1.087316e-04,2.166511e-04,3.688794e-04,3.947833e-04,6.687090e-04,1.002064e-03,1.066226e-03,1.615992e-03,2.216079e-03,2.346138e-03,3.282954e-03,4.221820e-03,4.449737e-03,5.865844e-03,7.188299e-03,7.545988e-03,9.499767e-03,1.121660e-02,1.173144e-02,1.423991e-02,1.632779e-02,1.701890e-02,2.005725e-02,2.246363e-02,2.333943e-02,2.684602e-02,2.949708e-02,3.055431e-02,3.443898e-02,3.724860e-02,3.847266e-02,4.262662e-02,4.550496e-02,4.687132e-02,5.117698e-02,5.403775e-02,5.551408e-02,5.985379e-02,6.261971e-02,6.416837e-02,6.843149e-02,7.103788e-02,7.261847e-02,7.670652e-02,7.910313e-02,8.067487e-02,8.450486e-02,8.665627e-02,8.818002e-02,9.168605e-02,9.357096e-02,9.501085e-02,9.814441e-02,9.975414e-02,1.010788e-01,1.038079e-01,1.051446e-01,1.063277e-01,1.086356e-01,1.097098e-01,1.107308e-01,1.126137e-01,1.134426e-01,1.142863e-01,1.157515e-01,1.163570e-01,1.170135e-01,1.180771e-01,1.184836e-01,1.189480e-01,1.196327e-01,1.198664e-01,1.201381e-01,1.204714e-01,1.205584e-01,1.206405e-01,1.206533e-01,1.206188e-01,1.205177e-01,1.202422e-01,1.201103e-01,1.198348e-01,1.193039e-01,1.190967e-01,1.186575e-01,1.179038e-01,1.176412e-01,1.170505e-01,1.161053e-01,1.158050e-01,1.150758e-01,1.139692e-01,1.136464e-01,1.127924e-01,1.115521e-01,1.112201e-01,1.102549e-01,1.089068e-01,1.085764e-01,1.075138e-01,1.060814e-01,1.057615e-01,1.046149e-01,1.031193e-01,1.028171e-01,1.015994e-01,1.000597e-01,9.978071e-02,9.850421e-02,9.693703e-02,9.668544e-02,9.536179e-02,9.378192e-02,9.356055e-02,9.220062e-02,9.062088e-02,9.043155e-02,8.904546e-02,8.747690e-02,8.732052e-02,8.591758e-02,8.436966e-02,8.424638e-02,8.283513e-02,8.131583e-02,8.122520e-02,7.981343e-02,7.832943e-02,7.827048e-02,7.686522e-02,7.542205e-02,7.539340e-02,7.400101e-02,7.260313e-02,6.990698e-02,6.731070e-02,6.481863e-02,6.243388e-02,6.015854e-02,5.799374e-02,5.593984e-02,5.399655e-02,5.216296e-02,5.043768e-02,4.881893e-02,4.730454e-02,4.589206e-02,4.457881e-02,4.336187e-02,4.223818e-02,4.120454e-02,4.025763e-02,3.939405e-02,3.861032e-02,3.790293e-02,3.726832e-02,3.670292e-02,3.620316e-02,3.576548e-02,3.538632e-02,3.506215e-02,3.478950e-02,3.456492e-02,3.438503e-02,3.424652e-02,3.414613e-02,3.408069e-02,3.404712e-02,3.404244e-02,3.406376e-02,3.410828e-02,3.417334e-02,3.425638e-02,3.435496e-02,3.446676e-02,3.458959e-02,3.472138e-02,3.486021e-02,3.500427e-02,3.515188e-02,3.530151e-02,3.545172e-02,3.560124e-02
0.000000e+00,4.092758e-13,9.336498e-11,1.012165e-10,2.779767e-09,2.932484e-08,3.198245e-08,2.236067e-07,1.009351e-06,1.101560e-06,4.141034e-06,1.156278e-05,1.254878e-05,3.199894e-05,6.596887e-05,7.106354e-05,1.412192e-04,2.397296e-04,2.564465e-04,4.325174e-04,6.453021e-04,6.860944e-04,1.033760e-03,1.409950e-03,1.491083e-03,2.071782e-03,2.647970e-03,2.787062e-03,3.645115e-03,4.437750e-03,4.650823e-03,5.805630e-03,6.808743e-03,7.107581e-03,8.551490e-03,9.738898e-03,1.012922e-02,1.183006e-02,1.316041e-02,1.364108e-02,1.554766e-02,1.697067e-02,1.753388e-02,1.958295e-02,2.104548e-02,2.167766e-02,2.380075e-02,2.525197e-02,2.593523e-02,2.806472e-02,2.945983e-02,3.017362e-02,3.224739e-02,3.354993e-02,3.427265e-02,3.623730e-02,3.742018e-02,3.813061e-02,3.994327e-02,4.098878e-02,4.166731e-02,4.329618e-02,4.419518e-02,4.482461e-02,4.624863e-02,4.699939e-02,4.756545e-02,4.877339e-02,4.938012e-02,4.987176e-02,5.086082e-02,5.133225e-02,5.174162e-02,5.251593e-02,5.286388e-02,5.318615e-02,5.375521e-02,5.399340e-02,5.422649e-02,5.460372e-02,5.474677e-02,5.489094e-02,5.509238e-02,5.515497e-02,5.521244e-02,5.525564e-02,5.525195e-02,5.522651e-02,5.512961e-02,5.507289e-02,5.496947e-02,5.475054e-02,5.465285e-02,5.447720e-02,5.415369e-02,5.402574e-02,5.378413e-02,5.337250e-02,5.322364e-02,5.292260e-02,5.243808e-02,5.227629e-02,5.192241e-02,5.137888e-02,5.121086e-02,5.081062e-02,5.022056e-02,5.005182e-02,4.961148e-02,4.898597e-02,4.882095e-02,4.834646e-02,4.769522e-02,4.753741e-02,4.703437e-02,4.636587e-02,4.621795e-02,4.569154e-02,4.501307e-02,4.487701e-02,4.433201e-02,4.364979e-02,4.352697e-02,4.296774e-02,4.228705e-02,4.217835e-02,4.160884e-02,4.093411e-02,4.083997e-02,4.026377e-02,3.959867e-02,3.951925e-02,3.893956e-02,3.828712e-02,3.822226e-02,3.764196e-02,3.700464e-02,3.695400e-02,3.637564e-02,3.575539e-02,3.571847e-02,3.514430e-02,3.454268e-02,3.451882e-02,3.395084e-02,3.336904e-02,3.335751e-02,3.279748e-02,3.223636e-02,3.115671e-02,3.011942e-02,2.912499e-02,2.817361e-02,2.726519e-02,2.639944e-02,2.557587e-02,2.479385e-02,2.405262e-02,2.335131e-02,2.268897e-02,2.206458e-02,2.147706e-02,2.092530e-02,2.040816e-02,1.992445e-02,1.947298e-02,1.905253e-02,1.866190e-02,1.829985e-02,1.796517e-02,1.765664e-02,1.737306e-02,1.711323e-02,1.687596e-02,1.666009e-02,1.646445e-02,1.628792e-02,1.612937e-02,1.598773e-02,1.586191e-02,1.575089e-02,1.565364e-02,1.556919e-02,1.549657e-02,1.543488e-02,1.538321e-02,1.534072e-02,1.530657e-02,1.527999e-02,1.526022e-02,1.524655e-02,1.523829e-02,1.523482e-02,1.523551e-02,1.523980e-02,1.524716e-02,1.525708e-02,1.526911e-02
0.000000e+00,3.285081e-13,7.571645e-11,8.208986e-11,2.255102e-09,2.385787e-08,2.602846e-08,1.846940e-07,8.546109e-07,9.344276e-07,3.636496e-06,1.051941e-05,1.145241e-05,3.038046e-05,6.487367e-05,7.015379e-05,1.447936e-04,2.538525e-04,2.727293e-04,4.764926e-04,7.321016e-04,7.820500e-04,1.217869e-03,1.706457e-03,1.813814e-03,2.599976e-03,3.407074e-03,3.605508e-03,4.857541e-03,6.053003e-03,6.380231e-03,8.193960e-03,9.821163e-03,1.031472e-02,1.275367e-02,1.482403e-02,1.551692e-02,1.860538e-02,2.109798e-02,2.201493e-02,2.573653e-02,2.860185e-02,2.975660e-02,3.405740e-02,3.722366e-02,3.861751e-02,4.341233e-02,4.679309e-02,4.841466e-02,5.359521e-02,5.709709e-02,5.892319e-02,6.436682e-02,6.789654e-02,6.989382e-02,7.547192e-02,7.894199e-02,8.106923e-02,8.665466e-02,8.998769e-02,9.219824e-02,9.767142e-02,1.008029e-01,1.030473e-01,1.083008e-01,1.111805e-01,1.134087e-01,1.183502e-01,1.209427e-01,1.231064e-01,1.276606e-01,1.299440e-01,1.319983e-01,1.361072e-01,1.380726e-01,1.399771e-01,1.435999e-01,1.452491e-01,1.469693e-01,1.500809e-01,1.514250e-01,1.529323e-01,1.555224e-01,1.565793e-01,1.578517e-01,1.599222e-01,1.607153e-01,1.617369e-01,1.633002e-01,1.638563e-01,1.646174e-01,1.656946e-01,1.660424e-01,1.665387e-01,1.671575e-01,1.673266e-01,1.675589e-01,1.677517e-01,1.677713e-01,1.677447e-01,1.675472e-01,1.674454e-01,1.671687e-01,1.666187e-01,1.664216e-01,1.659067e-01,1.650425e-01,1.647745e-01,1.640356e-01,1.628954e-01,1.625783e-01,1.616313e-01,1.602525e-01,1.599055e-01,1.587678e-01,1.571859e-01,1.568257e-01,1.555154e-01,1.537644e-01,1.534053e-01,1.519408e-01,1.500522e-01,1.497059e-01,1.481058e-01,1.461086e-01,1.457848e-01,1.440673e-01,1.419882e-01,1.416944e-01,1.398773e-01,1.377404e-01,1.374824e-01,1.355828e-01,1.334096e-01,1.331916e-01,1.312256e-01,1.290353e-01,1.288600e-01,1.268430e-01,1.246526e-01,1.245214e-01,1.224678e-01,1.202921e-01,1.202053e-01,1.181285e-01,1.159802e-01,1.159374e-01,1.138497e-01,1.117397e-01,1.076310e-01,1.036270e-01,9.974080e-02,9.598299e-02,9.236203e-02,8.888446e-02,8.555511e-02,8.237733e-02,7.935316e-02,7.648351e-02,7.376832e-02,7.120666e-02,6.879687e-02,6.653669e-02,6.442331e-02,6.245347e-02,6.062354e-02,5.892958e-02,5.736736e-02,5.593246e-02,5.462028e-02,5.342606e-02,5.234496e-02,5.137203e-02,5.050227e-02,4.973066e-02,4.905215e-02,4.846169e-02,4.795424e-02,4.752483e-02,4.716849e-02,4.688034e-02,4.665555e-02,4.648939e-02,4.637723e-02,4.631455e-02,4.629693e-02,4.632011e-02,4.637995e-02,4.647245e-02,4.659379e-02,4.674028e-02,4.690844e-02,4.709491e-02,4.729655e-02,4.751039e-02,4.773363e-02,4.796368e-02,4.819811e-02
0.000000e+00,1.284614e-12,3.347251e-10,3.641970e-10,1.226906e-08,1.558504e-07,1.711278e-07,1.373026e-06,6.695744e-06,7.332953e-06,2.867681e-05,8.137147e-05,8.838898e-05,2.271781e-04,4.709013e-04,5.075920e-04,1.016270e-03,1.740286e-03,1.864170e-03,3.184907e-03,4.815163e-03,5.131504e-03,7.871945e-03,1.091725e-02,1.158394e-02,1.644925e-02,2.142595e-02,2.264802e-02,3.035320e-02,3.771051e-02,3.972554e-02,5.090911e-02,6.096999e-02,6.402755e-02,7.918109e-02,9.210579e-02,9.644440e-02,1.158652e-01,1.316384e-01,1.374635e-01,1.612320e-01,1.796707e-01,1.871362e-01,2.151160e-01,2.358927e-01,2.450873e-01,2.769437e-01,2.996193e-01,3.105592e-01,3.457901e-01,3.698512e-01,3.824783e-01,4.204531e-01,4.453494e-01,4.595346e-01,4.995359e-01,5.247148e-01,5.402655e-01,5.815301e-01,6.064652e-01,6.231363e-01,6.648930e-01,6.891068e-01,7.066129e-01,7.481145e-01,7.711947e-01,7.892233e-01,8.297731e-01,8.513820e-01,8.696071e-01,9.085784e-01,9.284570e-01,9.465511e-01,9.834005e-01,1.001368e+00,1.019014e+00,1.053289e+00,1.069239e+00,1.086137e+00,1.117480e+00,1.131374e+00,1.147252e+00,1.175397e+00,1.187254e+00,1.201871e+00,1.226641e+00,1.236530e+00,1.249682e+00,1.270979e+00,1.279009e+00,1.290528e+00,1.308331e+00,1.314640e+00,1.324397e+00,1.338745e+00,1.343494e+00,1.351398e+00,1.362385e+00,1.365747e+00,1.371741e+00,1.379505e+00,1.381661e+00,1.385722e+00,1.390438e+00,1.391567e+00,1.393703e+00,1.395569e+00,1.395848e+00,1.396092e+00,1.395327e+00,1.394925e+00,1.393333e+00,1.390168e+00,1.389241e+00,1.385891e+00,1.380562e+00,1.379254e+00,1.374238e+00,1.366980e+00,1.365422e+00,1.358846e+00,1.349893e+00,1.348198e+00,1.340177e+00,1.329754e+00,1.328025e+00,1.318679e+00,1.307004e+00,1.305324e+00,1.294779e+00,1.282056e+00,1.280498e+00,1.268881e+00,1.255302e+00,1.253923e+00,1.241362e+00,1.227104e+00,1.225951e+00,1.212569e+00,1.197797e+00,1.196904e+00,1.182824e+00,1.167687e+00,1.167078e+00,1.152418e+00,1.137050e+00,1.136742e+00,1.121614e+00,1.106137e+00,1.075477e+00,1.044954e+00,1.014734e+00,9.849633e-01,9.557654e-01,9.272469e-01,8.994965e-01,8.725874e-01,8.465785e-01,8.215160e-01,7.974346e-01,7.743587e-01,7.523038e-01,7.312771e-01,7.112791e-01,6.923040e-01,6.743405e-01,6.573730e-01,6.413818e-01,6.263438e-01,6.122334e-01,5.990226e-01,5.866816e-01,5.751789e-01,5.644821e-01,5.545579e-01,5.453723e-01,5.368913e-01,5.290806e-01,5.219062e-01,5.153341e-01,5.093310e-01,5.038641e-01,4.989013e-01,4.944110e-01,4.903627e-01,4.867269e-01,4.834747e-01,4.805787e-01,4.780121e-01,4.757496e-01,4.737666e-01,4.720401e-01,4.705478e-01,4.692687e-01,4.681830e-01,4.672720e-01,4.665178e-01,4.659041e-01
0.000000e+00,1.738033e-10,2.286691e-08,2.457987e-08,4.826273e-07,3.852495e-06,4.148994e-06,2.019438e-05,5.928285e-05,6.278019e-05,1.385794e-04,2.317582e-04,2.405803e-04,3.560611e-04,4.629390e-04,4.747565e-04,5.908538e-04,6.887566e-04,7.017494e-04,8.065176e-04,8.915589e-04,9.049620e-04,9.971660e-04,1.069928e-03,1.083313e-03,1.163621e-03,1.225278e-03,1.238320e-03,1.307643e-03,1.359385e-03,1.371820e-03,1.431077e-03,1.474027e-03,1.485640e-03,1.535728e-03,1.570935e-03,1.581557e-03,1.623334e-03,1.651759e-03,1.661261e-03,1.695533e-03,1.718051e-03,1.726337e-03,1.753853e-03,1.771250e-03,1.778253e-03,1.799705e-03,1.812689e-03,1.818367e-03,1.834390e-03,1.843591e-03,1.847921e-03,1.859098e-03,1.865079e-03,1.868056e-03,1.874922e-03,1.878181e-03,1.879816e-03,1.882856e-03,1.883836e-03,1.884152e-03,1.883810e-03,1.882901e-03,1.881931e-03,1.878611e-03,1.876157e-03,1.873943e-03,1.868012e-03,1.864315e-03,1.860904e-03,1.852697e-03,1.848020e-03,1.843467e-03,1.833285e-03,1.827859e-03,1.822221e-03,1.810339e-03,1.804364e-03,1.797702e-03,1.784367e-03,1.778015e-03,1.770392e-03,1.755829e-03,1.749248e-03,1.740728e-03,1.725137e-03,1.718454e-03,1.709103e-03,1.692667e-03,1.685989e-03,1.675870e-03,1.658752e-03,1.652170e-03,1.641348e-03,1.623694e-03,1.617283e-03,1.605821e-03,1.587762e-03,1.581584e-03,1.569544e-03,1.551197e-03,1.545302e-03,1.532745e-03,1.514214e-03,1.508642e-03,1.495626e-03,1.477003e-03,1.471785e-03,1.458365e-03,1.439733e-03,1.434891e-03,1.421123e-03,1.402553e-03,1.398104e-03,1.384038e-03,1.365594e-03,1.361547e-03,1.347234e-03,1.328971e-03,1.325331e-03,1.310818e-03,1.292785e-03,1.289552e-03,1.274882e-03,1.257120e-03,1.254292e-03,1.239508e-03,1.222054e-03,1.219623e-03,1.204764e-03,1.187647e-03,1.185605e-03,1.170709e-03,1.153955e-03,1.152290e-03,1.137392e-03,1.121022e-03,1.119722e-03,1.104853e-03,1.088885e-03,1.087934e-03,1.073125e-03,1.057574e-03,1.056956e-03,1.042235e-03,1.027111e-03,1.026810e-03,1.012203e-03,9.975135e-04,9.690771e-04,9.415087e-04,9.148119e-04,8.889866e-04,8.640299e-04,8.399361e-04,8.166971e-04,7.943030e-04,7.727417e-04,7.520000e-04,7.320632e-04,7.129155e-04,6.945401e-04,6.769198e-04,6.600363e-04,6.438712e-04,6.284056e-04,6.136203e-04,5.994963e-04,5.860139e-04,5.731541e-04,5.608974e-04,5.492248e-04,5.381172e-04,5.275559e-04,5.175224e-04,5.079983e-04,4.989659e-04,4.904075e-04,4.823059e-04,4.746443e-04,4.674061e-04,4.605753e-04,4.541363e-04,4.480736e-04,4.423725e-04,4.370185e-04,4.319975e-04,4.272959e-04,4.229004e-04,4.187982e-04,4.149768e-04,4.114241e-04,4.081285e-04,4.050787e-04,4.022637e-04,3.996730e-04,3.972963e-04,3.951237e-04
0.000000e+00,9.467415e-13,2.398726e-10,2.607427e-10,8.249488e-09,9.772644e-08,1.070077e-07,8.072720e-07,3.780250e-06,4.131696e-06,1.576192e-05,4.420233e-05,4.798246e-05,1.227164e-04,2.541827e-04,2.740051e-04,5.495511e-04,9.435849e-04,1.011180e-03,1.734257e-03,2.631573e-03,2.806183e-03,4.324161e-03,6.020109e-03,6.392452e-03,9.119304e-03,1.192328e-02,1.261377e-02,1.698255e-02,2.117546e-02,2.232703e-02,2.874056e-02,3.453906e-02,3.630614e-02,4.509442e-02,5.262676e-02,5.516222e-02,6.655143e-02,7.584622e-02,7.928832e-02,9.338324e-02,1.043700e-01,1.088307e-01,1.256099e-01,1.381291e-01,1.436851e-01,1.630068e-01,1.768265e-01,1.835131e-01,2.051301e-01,2.199655e-01,2.277741e-01,2.513528e-01,2.668879e-01,2.757665e-01,3.009096e-01,3.168168e-01,3.266726e-01,3.529425e-01,3.689003e-01,3.796052e-01,4.065458e-01,4.222538e-01,4.336505e-01,4.608070e-01,4.759964e-01,4.879060e-01,5.148416e-01,5.292829e-01,5.415122e-01,5.678212e-01,5.813285e-01,5.936775e-01,6.189956e-01,6.314279e-01,6.436965e-01,6.677073e-01,6.789677e-01,6.909618e-01,7.134003e-01,7.234332e-01,7.349698e-01,7.556239e-01,7.644111e-01,7.753224e-01,7.940318e-01,8.015879e-01,8.117243e-01,8.283782e-01,8.347451e-01,8.439772e-01,8.585106e-01,8.637524e-01,8.719724e-01,8.843615e-01,8.885594e-01,8.956811e-01,9.059386e-01,9.091860e-01,9.151450e-01,9.233147e-01,9.257128e-01,9.304653e-01,9.366171e-01,9.382712e-01,9.417930e-01,9.460180e-01,9.470342e-01,9.493189e-01,9.517245e-01,9.522070e-01,9.532647e-01,9.539705e-01,9.540193e-01,9.538741e-01,9.530082e-01,9.527177e-01,9.514061e-01,9.491015e-01,9.485593e-01,9.461282e-01,9.425201e-01,9.418058e-01,9.383109e-01,9.335341e-01,9.327194e-01,9.282229e-01,9.224099e-01,9.215578e-01,9.161273e-01,9.094066e-01,9.085722e-01,9.022787e-01,8.947738e-01,8.940037e-01,8.869209e-01,8.787488e-01,8.780821e-01,8.702849e-01,8.615556e-01,8.610240e-01,8.525870e-01,8.434036e-01,8.430321e-01,8.340292e-01,8.244868e-01,8.242944e-01,8.147982e-01,8.049845e-01,7.852616e-01,7.652705e-01,7.451420e-01,7.249935e-01,7.049299e-01,6.850440e-01,6.654174e-01,6.461213e-01,6.272174e-01,6.087584e-01,5.907889e-01,5.733461e-01,5.564604e-01,5.401562e-01,5.244525e-01,5.093632e-01,4.948978e-01,4.810620e-01,4.678580e-01,4.552846e-01,4.433382e-01,4.320127e-01,4.212998e-01,4.111893e-01,4.016696e-01,3.927275e-01,3.843486e-01,3.765177e-01,3.692184e-01,3.624339e-01,3.561465e-01,3.503382e-01,3.449907e-01,3.400851e-01,3.356027e-01,3.315244e-01,3.278312e-01,3.245040e-01,3.215240e-01,3.188723e-01,3.165304e-01,3.144799e-01,3.127029e-01,3.111816e-01,3.098987e-01,3.088374e-01,3.079812e-01,3.073140e-01,3.068206e-01
0.000000e+00,1.308336e-12,2.989728e-10,3.240724e-10,8.815133e-09,9.274183e-08,1.011684e-07,7.177803e-07,3.327074e-06,3.638065e-06,1.414713e-05,4.074031e-05,4.432939e-05,1.166050e-04,2.466811e-04,2.664660e-04,5.437848e-04,9.437496e-04,1.012532e-03,1.749069e-03,2.662020e-03,2.839348e-03,4.375405e-03,6.079171e-03,6.451498e-03,9.160240e-03,1.191501e-02,1.258899e-02,1.681663e-02,2.081993e-02,2.191096e-02,2.792662e-02,3.328475e-02,3.490370e-02,4.286696e-02,4.958478e-02,5.182552e-02,6.177316e-02,6.975942e-02,7.268897e-02,8.453835e-02,9.362202e-02,9.727427e-02,1.108387e-01,1.207911e-01,1.251644e-01,1.401762e-01,1.507348e-01,1.557928e-01,1.719285e-01,1.828195e-01,1.884947e-01,2.054011e-01,2.163580e-01,2.225574e-01,2.398739e-01,2.506523e-01,2.572634e-01,2.746412e-01,2.850285e-01,2.919266e-01,3.090429e-01,3.188644e-01,3.259184e-01,3.424867e-01,3.516077e-01,3.586866e-01,3.744625e-01,3.827874e-01,3.897646e-01,4.045487e-01,4.120187e-01,4.187763e-01,4.324141e-01,4.390030e-01,4.454345e-01,4.578145e-01,4.635240e-01,4.695362e-01,4.805859e-01,4.854405e-01,4.909545e-01,5.006366e-01,5.046786e-01,5.096304e-01,5.179376e-01,5.212229e-01,5.255629e-01,5.325134e-01,5.351068e-01,5.387991e-01,5.444317e-01,5.464038e-01,5.494253e-01,5.537952e-01,5.552189e-01,5.575584e-01,5.607329e-01,5.616815e-01,5.633378e-01,5.653930e-01,5.659380e-01,5.669190e-01,5.679367e-01,5.681460e-01,5.684673e-01,5.685325e-01,5.684702e-01,5.681537e-01,5.673525e-01,5.670776e-01,5.661503e-01,5.645685e-01,5.641346e-01,5.626279e-01,5.603491e-01,5.598044e-01,5.577525e-01,5.548577e-01,5.542447e-01,5.516842e-01,5.482506e-01,5.476064e-01,5.445755e-01,5.406763e-01,5.400328e-01,5.365704e-01,5.322743e-01,5.316586e-01,5.278040e-01,5.231749e-01,5.226095e-01,5.184019e-01,5.134991e-01,5.130022e-01,5.084802e-01,5.033583e-01,5.029445e-01,4.981459e-01,4.928548e-01,4.925351e-01,4.874965e-01,4.820818e-01,4.818642e-01,4.766210e-01,4.711240e-01,4.710137e-01,4.655999e-01,4.600576e-01,4.490625e-01,4.380878e-01,4.271865e-01,4.164053e-01,4.057855e-01,3.953630e-01,3.851687e-01,3.752292e-01,3.655672e-01,3.562012e-01,3.471467e-01,3.384158e-01,3.300179e-01,3.219598e-01,3.142460e-01,3.068790e-01,2.998591e-01,2.931854e-01,2.868550e-01,2.808639e-01,2.752069e-01,2.698778e-01,2.648694e-01,2.601736e-01,2.557818e-01,2.516847e-01,2.478726e-01,2.443354e-01,2.410625e-01,2.380433e-01,2.352667e-01,2.327219e-01,2.303978e-01,2.282832e-01,2.263672e-01,2.246387e-01,2.230871e-01,2.217015e-01,2.204717e-01,2.193873e-01,2.184384e-01,2.176153e-01,2.169087e-01,2.163094e-01,2.158088e-01,2.153984e-01,2.150702e-01,2.148165e-01,2.146300e-01
0.000000e+00,4.081819e-10,3.997308e-08,4.265862e-08,5.715919e-07,3.296663e-06,3.509502e-06,1.357234e-05,3.562064e-05,3.756753e-05,8.053513e-05,1.363844e-04,1.418408e-04,2.152855e-04,2.852248e-04,2.929943e-04,3.689904e-04,4.318582e-04,4.400765e-04,5.050388e-04,5.558427e-04,5.636773e-04,6.162131e-04,6.558922e-04,6.630106e-04,7.044698e-04,7.347616e-04,7.409873e-04,7.729431e-04,7.954654e-04,8.006963e-04,8.245838e-04,8.407360e-04,8.449208e-04,8.620008e-04,8.729722e-04,8.760971e-04,8.874634e-04,8.942560e-04,8.963351e-04,9.029305e-04,9.063836e-04,9.074515e-04,9.100851e-04,9.108989e-04,9.110044e-04,9.103691e-04,9.091251e-04,9.083271e-04,9.050146e-04,9.021940e-04,9.005576e-04,8.950722e-04,8.910717e-04,8.886656e-04,8.814364e-04,8.765814e-04,8.734756e-04,8.648667e-04,8.594226e-04,8.556868e-04,8.460066e-04,8.401888e-04,8.358913e-04,8.254004e-04,8.193822e-04,8.145890e-04,8.035072e-04,7.974270e-04,7.922010e-04,7.807124e-04,7.746791e-04,7.690798e-04,7.573385e-04,7.514371e-04,7.455204e-04,7.336548e-04,7.279502e-04,7.217680e-04,7.098842e-04,7.044247e-04,6.980251e-04,6.862104e-04,6.810307e-04,6.744580e-04,6.627839e-04,6.579076e-04,6.512024e-04,6.397264e-04,6.351681e-04,6.283674e-04,6.171355e-04,6.129027e-04,6.060399e-04,5.950883e-04,5.911824e-04,5.842878e-04,5.736444e-04,5.700624e-04,5.631633e-04,5.528489e-04,5.495841e-04,5.427049e-04,5.327344e-04,5.297774e-04,5.229398e-04,5.133231e-04,5.106625e-04,5.038857e-04,4.946287e-04,4.922515e-04,4.855525e-04,4.766575e-04,4.745496e-04,4.679435e-04,4.594100e-04,4.575568e-04,4.510563e-04,4.428816e-04,4.412680e-04,4.348845e-04,4.270638e-04,4.256747e-04,4.194178e-04,4.119449e-04,4.107652e-04,4.046431e-04,3.975105e-04,3.965254e-04,3.905450e-04,3.837443e-04,3.829392e-04,3.771062e-04,3.706283e-04,3.699892e-04,3.643081e-04,3.581433e-04,3.576568e-04,3.521313e-04,3.462695e-04,3.459226e-04,3.405554e-04,3.349864e-04,3.347666e-04,3.295598e-04,3.242731e-04,3.241688e-04,3.191236e-04,3.141087e-04,3.045660e-04,2.955207e-04,2.869528e-04,2.788429e-04,2.711717e-04,2.639205e-04,2.570712e-04,2.506061e-04,2.445081e-04,2.387605e-04,2.333474e-04,2.282534e-04,2.234635e-04,2.189634e-04,2.147394e-04,2.107783e-04,2.070673e-04,2.035943e-04,2.003476e-04,1.973160e-04,1.944888e-04,1.918558e-04,1.894072e-04,1.871335e-04,1.850259e-04,1.830756e-04,1.812747e-04,1.796152e-04,1.780896e-04,1.766908e-04,1.754121e-04,1.742468e-04,1.731889e-04,1.722323e-04,1.713715e-04,1.706011e-04,1.699158e-04,1.693109e-04,1.687816e-04,1.683235e-04,1.679324e-04,1.676042e-04,1.673351e-04,1.671214e-04,1.669596e-04,1.668465e-04,1.667788e-04,1.667536e-04,1.667680e-04
0.000000e+00,1.700338e-12,3.761444e-10,4.074242e-10,1.064975e-08,1.074815e-07,1.170431e-07,7.956453e-07,3.551435e-06,3.874450e-06,1.452539e-05,4.056158e-05,4.402173e-05,1.122677e-04,2.313063e-04,2.491400e-04,4.942529e-04,8.371998e-04,8.952760e-04,1.505217e-03,2.238872e-03,2.379158e-03,3.570889e-03,4.853853e-03,5.129798e-03,7.098242e-03,9.041664e-03,9.509557e-03,1.238673e-02,1.503229e-02,1.574172e-02,1.957538e-02,2.289197e-02,2.387789e-02,2.862956e-02,3.252400e-02,3.380193e-02,3.935909e-02,4.369464e-02,4.525909e-02,5.145536e-02,5.607228e-02,5.789815e-02,6.453580e-02,6.927010e-02,7.131603e-02,7.818695e-02,8.288511e-02,8.509802e-02,9.200084e-02,9.652987e-02,9.884975e-02,1.056023e-01,1.098554e-01,1.122198e-01,1.186671e-01,1.225652e-01,1.249132e-01,1.309310e-01,1.344223e-01,1.366974e-01,1.421928e-01,1.452497e-01,1.474017e-01,1.523117e-01,1.549273e-01,1.569138e-01,1.612019e-01,1.633857e-01,1.651727e-01,1.688253e-01,1.705992e-01,1.721608e-01,1.751827e-01,1.765774e-01,1.778957e-01,1.803062e-01,1.813581e-01,1.824219e-01,1.842514e-01,1.849994e-01,1.858042e-01,1.870904e-01,1.875747e-01,1.881209e-01,1.889067e-01,1.891665e-01,1.894591e-01,1.897898e-01,1.898625e-01,1.899101e-01,1.898318e-01,1.897524e-01,1.895663e-01,1.891249e-01,1.889251e-01,1.885187e-01,1.877584e-01,1.874668e-01,1.868548e-01,1.858180e-01,1.854598e-01,1.846580e-01,1.833843e-01,1.829814e-01,1.820061e-01,1.805323e-01,1.801037e-01,1.789714e-01,1.773314e-01,1.768930e-01,1.756200e-01,1.738447e-01,1.734099e-01,1.720123e-01,1.701297e-01,1.697094e-01,1.682030e-01,1.662382e-01,1.658411e-01,1.642409e-01,1.622165e-01,1.618496e-01,1.601700e-01,1.581060e-01,1.577745e-01,1.560291e-01,1.539433e-01,1.536509e-01,1.518527e-01,1.497607e-01,1.495098e-01,1.476709e-01,1.455864e-01,1.453784e-01,1.435103e-01,1.414451e-01,1.412805e-01,1.393936e-01,1.373581e-01,1.372365e-01,1.353407e-01,1.333436e-01,1.332641e-01,1.313685e-01,1.294172e-01,1.293785e-01,1.274913e-01,1.255922e-01,1.219159e-01,1.183583e-01,1.149265e-01,1.116258e-01,1.084604e-01,1.054333e-01,1.025463e-01,9.980038e-02,9.719552e-02,9.473104e-02,9.240560e-02,9.021725e-02,8.816355e-02,8.624163e-02,8.444822e-02,8.277972e-02,8.123228e-02,7.980179e-02,7.848392e-02,7.727424e-02,7.616814e-02,7.516095e-02,7.424794e-02,7.342433e-02,7.268532e-02,7.202614e-02,7.144204e-02,7.092833e-02,7.048037e-02,7.009364e-02,6.976367e-02,6.948616e-02,6.925689e-02,6.907180e-02,6.892695e-02,6.881859e-02,6.874310e-02,6.869704e-02,6.867712e-02,6.868024e-02,6.870348e-02,6.874407e-02,6.879943e-02,6.886716e-02,6.894503e-02,6.903096e-02,6.912305e-02,6.921957e-02,6.931894e-02
0.000000e+00,1.265286e-13,3.303154e-11,3.593970e-11,1.191344e-09,1.446030e-08,1.584093e-08,1.194554e-07,5.504375e-07,6.007726e-07,2.229186e-06,6.062513e-06,6.562415e-06,1.617885e-05,3.237395e-05,3.476301e-05,6.703095e-05,1.111296e-04,1.185207e-04,1.952902e-04,2.862827e-04,3.035680e-04,4.493967e-04,6.049775e-04,6.383036e-04,8.750182e-04,1.107438e-03,1.163252e-03,1.505546e-03,1.819213e-03,1.903188e-03,2.356186e-03,2.747200e-03,2.863306e-03,3.422149e-03,3.879375e-03,4.029266e-03,4.680300e-03,5.187359e-03,5.370141e-03,6.093089e-03,6.630688e-03,6.843025e-03,7.613565e-03,8.161725e-03,8.398214e-03,9.190505e-03,9.730392e-03,9.984114e-03,1.077297e-02,1.128821e-02,1.155134e-02,1.231390e-02,1.279138e-02,1.305579e-02,1.377264e-02,1.420279e-02,1.446059e-02,1.511635e-02,1.549316e-02,1.573711e-02,1.632062e-02,1.664127e-02,1.686511e-02,1.736928e-02,1.763367e-02,1.783229e-02,1.825372e-02,1.846396e-02,1.863349e-02,1.897189e-02,1.913169e-02,1.926950e-02,1.952715e-02,1.964132e-02,1.974591e-02,1.992704e-02,2.000103e-02,2.007196e-02,2.018222e-02,2.022175e-02,2.025945e-02,2.030538e-02,2.031612e-02,2.032174e-02,2.031035e-02,2.029771e-02,2.027297e-02,2.021140e-02,2.018039e-02,2.012740e-02,2.002268e-02,1.997781e-02,1.989894e-02,1.975781e-02,1.970305e-02,1.960085e-02,1.942957e-02,1.936833e-02,1.924541e-02,1.904973e-02,1.898489e-02,1.884383e-02,1.862891e-02,1.856285e-02,1.840612e-02,1.817655e-02,1.811119e-02,1.794118e-02,1.770095e-02,1.763780e-02,1.745672e-02,1.720932e-02,1.714955e-02,1.695946e-02,1.670784e-02,1.665231e-02,1.645508e-02,1.620175e-02,1.615106e-02,1.594838e-02,1.569544e-02,1.564999e-02,1.544337e-02,1.519257e-02,1.515258e-02,1.494338e-02,1.469612e-02,1.466167e-02,1.445108e-02,1.420852e-02,1.417959e-02,1.396867e-02,1.373172e-02,1.370819e-02,1.349786e-02,1.326724e-02,1.324893e-02,1.303999e-02,1.281624e-02,1.280293e-02,1.259609e-02,1.237962e-02,1.237104e-02,1.216690e-02,1.195798e-02,1.195384e-02,1.175293e-02,1.155177e-02,1.116505e-02,1.079379e-02,1.043799e-02,1.009757e-02,9.772341e-03,9.462089e-03,9.166536e-03,8.885372e-03,8.618253e-03,8.364816e-03,8.124676e-03,7.897440e-03,7.682706e-03,7.480066e-03,7.289111e-03,7.109430e-03,6.940613e-03,6.782255e-03,6.633954e-03,6.495313e-03,6.365942e-03,6.245456e-03,6.133479e-03,6.029642e-03,5.933583e-03,5.844951e-03,5.763401e-03,5.688596e-03,5.620211e-03,5.557924e-03,5.501427e-03,5.450417e-03,5.404601e-03,5.363695e-03,5.327422e-03,5.295514e-03,5.267713e-03,5.243767e-03,5.223433e-03,5.206476e-03,5.192670e-03,5.181796e-03,5.173643e-03,5.168009e-03,5.164698e-03,5.163523e-03,5.164305e-03,5.166871e-03,5.171056e-03
0.000000e+00,7.296322e-13,1.893573e-10,2.060052e-10,6.771951e-09,8.089909e-08,8.854736e-08,6.505897e-07,2.907662e-06,3.167037e-06,1.135425e-05,2.997136e-05,3.236314e-05,7.753959e-05,1.517267e-04,1.625497e-04,3.068894e-04,5.006984e-04,5.329211e-04,8.646192e-04,1.252878e-03,1.326200e-03,1.940789e-03,2.590621e-03,2.729221e-03,3.709070e-03,4.665040e-03,4.893908e-03,6.292836e-03,7.569244e-03,7.910261e-03,9.745891e-03,1.132622e-02,1.179492e-02,1.404838e-02,1.589003e-02,1.649356e-02,1.911456e-02,2.115648e-02,2.189286e-02,2.480789e-02,2.697905e-02,2.783763e-02,3.095914e-02,3.318632e-02,3.414911e-02,3.738425e-02,3.959830e-02,4.064178e-02,4.389973e-02,4.604002e-02,4.713723e-02,5.033474e-02,5.235176e-02,5.347422e-02,5.653925e-02,5.839566e-02,5.951513e-02,6.238886e-02,6.405932e-02,6.514921e-02,6.778663e-02,6.925684e-02,7.029325e-02,7.266275e-02,7.392792e-02,7.489031e-02,7.697251e-02,7.803565e-02,7.890720e-02,8.069340e-02,8.156354e-02,8.233121e-02,8.382166e-02,8.451218e-02,8.516662e-02,8.636870e-02,8.689587e-02,8.743112e-02,8.835765e-02,8.873936e-02,8.915249e-02,8.982023e-02,9.007502e-02,9.036573e-02,9.079408e-02,9.094031e-02,9.111052e-02,9.132040e-02,9.137572e-02,9.142912e-02,9.144210e-02,9.142305e-02,9.136473e-02,9.120233e-02,9.112406e-02,9.096015e-02,9.064334e-02,9.051952e-02,9.025690e-02,8.980571e-02,8.964842e-02,8.929447e-02,8.872773e-02,8.854755e-02,8.810988e-02,8.744511e-02,8.725112e-02,8.673745e-02,8.599074e-02,8.579065e-02,8.520864e-02,8.439464e-02,8.419490e-02,8.355204e-02,8.268399e-02,8.248990e-02,8.179344e-02,8.088322e-02,8.069904e-02,7.995594e-02,7.901412e-02,7.884323e-02,7.806009e-02,7.709605e-02,7.694102e-02,7.612407e-02,7.514607e-02,7.500878e-02,7.416387e-02,7.317915e-02,7.306089e-02,7.219348e-02,7.120834e-02,7.110991e-02,7.022508e-02,6.924497e-02,6.916674e-02,6.826919e-02,6.729882e-02,6.724079e-02,6.633486e-02,6.537825e-02,6.534015e-02,6.442982e-02,6.349036e-02,6.347167e-02,6.256060e-02,6.164118e-02,5.985353e-02,5.811273e-02,5.642207e-02,5.478415e-02,5.320101e-02,5.167419e-02,5.020476e-02,4.879343e-02,4.744053e-02,4.614613e-02,4.491001e-02,4.373175e-02,4.261072e-02,4.154611e-02,4.053697e-02,3.958223e-02,3.868071e-02,3.783113e-02,3.703213e-02,3.628230e-02,3.558014e-02,3.492414e-02,3.431272e-02,3.374430e-02,3.321726e-02,3.272996e-02,3.228077e-02,3.186802e-02,3.149007e-02,3.114528e-02,3.083201e-02,3.054864e-02,3.029356e-02,3.006520e-02,2.986199e-02,2.968241e-02,2.952495e-02,2.938816e-02,2.927059e-02,2.917087e-02,2.908764e-02,2.901960e-02,2.896549e-02,2.892410e-02,2.889425e-02,2.887484e-02,2.886480e-02,2.886312e-02,2.886883e-02
0.000000e+00,1.329393e-12,3.151262e-10,3.423030e-10,1.062096e-08,1.230006e-07,1.344827e-07,9.600285e-07,4.133072e-06,4.488897e-06,1.521775e-05,3.770841e-05,4.047718e-05,8.967020e-05,1.626882e-04,1.727995e-04,2.988854e-04,4.508347e-04,4.747174e-04,7.041301e-04,9.448809e-04,9.878072e-04,1.323505e-03,1.642327e-03,1.706545e-03,2.130448e-03,2.503208e-03,2.587582e-03,3.069769e-03,3.468024e-03,3.568790e-03,4.076773e-03,4.474538e-03,4.586481e-03,5.091483e-03,5.468699e-03,5.586247e-03,6.066163e-03,6.409527e-03,6.527520e-03,6.967446e-03,7.269706e-03,7.383821e-03,7.775190e-03,8.033776e-03,8.140670e-03,8.479858e-03,8.695470e-03,8.792746e-03,9.079641e-03,9.255014e-03,9.341098e-03,9.577865e-03,9.716842e-03,9.790825e-03,9.980964e-03,1.008785e-02,1.014933e-02,1.029700e-02,1.037613e-02,1.042509e-02,1.053467e-02,1.059018e-02,1.062684e-02,1.070264e-02,1.073833e-02,1.076311e-02,1.080922e-02,1.082848e-02,1.084192e-02,1.086211e-02,1.086796e-02,1.087066e-02,1.086838e-02,1.086341e-02,1.085603e-02,1.083436e-02,1.082085e-02,1.080406e-02,1.076577e-02,1.074565e-02,1.072012e-02,1.066767e-02,1.064259e-02,1.060898e-02,1.054456e-02,1.051592e-02,1.047490e-02,1.040043e-02,1.036940e-02,1.032160e-02,1.023880e-02,1.020637e-02,1.015240e-02,1.006276e-02,1.002975e-02,9.970201e-03,9.875043e-03,9.842148e-03,9.777571e-03,9.678057e-03,9.645824e-03,9.576756e-03,9.473906e-03,9.442783e-03,9.369730e-03,9.264434e-03,9.234778e-03,9.158215e-03,9.051252e-03,9.023342e-03,8.943717e-03,8.835765e-03,8.809812e-03,8.727546e-03,8.619195e-03,8.595353e-03,8.510840e-03,8.402599e-03,8.380974e-03,8.294582e-03,8.186891e-03,8.167549e-03,8.079620e-03,7.972857e-03,7.955827e-03,7.866682e-03,7.761169e-03,7.746454e-03,7.656386e-03,7.552397e-03,7.539975e-03,7.449260e-03,7.347026e-03,7.336854e-03,7.245743e-03,7.145456e-03,7.137478e-03,7.046205e-03,6.948024e-03,6.942168e-03,6.850947e-03,6.755002e-03,6.751188e-03,6.660216e-03,6.566610e-03,6.564750e-03,6.474205e-03,6.383020e-03,6.206124e-03,6.034154e-03,5.867173e-03,5.705214e-03,5.548292e-03,5.396398e-03,5.249508e-03,5.107583e-03,4.970569e-03,4.838405e-03,4.711017e-03,4.588327e-03,4.470247e-03,4.356688e-03,4.247555e-03,4.142749e-03,4.042170e-03,3.945716e-03,3.853282e-03,3.764764e-03,3.680059e-03,3.599060e-03,3.521665e-03,3.447770e-03,3.377274e-03,3.310074e-03,3.246070e-03,3.185166e-03,3.127263e-03,3.072266e-03,3.020083e-03,2.970621e-03,2.923789e-03,2.879501e-03,2.837670e-03,2.798211e-03,2.761041e-03,2.726081e-03,2.693249e-03,2.662470e-03,2.633668e-03,2.606769e-03,2.581701e-03,2.558394e-03,2.536778e-03,2.516787e-03,2.498354e-03,2.481417e-03,2.465913e-03
0.000000e+00,6.283328e-13,1.535856e-10,1.667848e-10,4.996451e-09,5.631311e-08,6.154813e-08,4.469463e-07,2.046894e-06,2.234921e-06,8.429786e-06,2.354571e-05,2.555484e-05,6.529279e-05,1.352250e-04,1.457685e-04,2.922343e-04,5.012777e-04,5.370880e-04,9.192712e-04,1.391504e-03,1.483159e-03,2.277082e-03,3.158727e-03,3.351621e-03,4.757822e-03,6.193361e-03,6.545421e-03,8.761195e-03,1.087074e-02,1.144749e-02,1.464099e-02,1.750358e-02,1.837171e-02,2.266231e-02,2.630704e-02,2.752762e-02,3.297442e-02,3.737900e-02,3.900149e-02,4.559977e-02,5.069525e-02,5.275279e-02,6.043718e-02,6.611678e-02,6.862331e-02,7.727600e-02,8.340610e-02,8.635527e-02,9.581714e-02,1.022488e-01,1.056145e-01,1.156977e-01,1.222773e-01,1.260155e-01,1.365159e-01,1.430948e-01,1.471464e-01,1.578552e-01,1.642966e-01,1.685910e-01,1.793042e-01,1.854887e-01,1.899472e-01,2.004742e-01,2.063026e-01,2.108423e-01,2.210112e-01,2.264063e-01,2.309436e-01,2.406052e-01,2.455117e-01,2.499649e-01,2.589949e-01,2.633784e-01,2.676704e-01,2.759701e-01,2.798149e-01,2.838755e-01,2.913712e-01,2.946781e-01,2.984448e-01,3.050867e-01,3.078704e-01,3.112897e-01,3.170495e-01,3.193357e-01,3.223636e-01,3.272322e-01,3.290553e-01,3.316571e-01,3.356422e-01,3.370422e-01,3.391927e-01,3.423158e-01,3.433370e-01,3.450196e-01,3.473137e-01,3.480021e-01,3.492084e-01,3.507154e-01,3.511176e-01,3.518466e-01,3.526150e-01,3.527767e-01,3.530339e-01,3.531169e-01,3.530819e-01,3.528783e-01,3.523323e-01,3.521417e-01,3.514932e-01,3.503757e-01,3.500677e-01,3.489942e-01,3.473631e-01,3.469721e-01,3.454966e-01,3.434090e-01,3.429661e-01,3.411139e-01,3.386252e-01,3.381577e-01,3.359560e-01,3.331194e-01,3.326509e-01,3.301280e-01,3.269940e-01,3.265446e-01,3.237294e-01,3.203456e-01,3.199320e-01,3.168536e-01,3.132641e-01,3.129002e-01,3.095875e-01,3.058333e-01,3.055299e-01,3.020112e-01,2.981300e-01,2.978954e-01,2.941982e-01,2.902242e-01,2.900644e-01,2.862155e-01,2.821796e-01,2.820986e-01,2.781234e-01,2.740535e-01,2.659788e-01,2.579188e-01,2.499127e-01,2.419949e-01,2.341954e-01,2.265400e-01,2.190510e-01,2.117470e-01,2.046439e-01,1.977545e-01,1.910892e-01,1.846563e-01,1.784618e-01,1.725101e-01,1.668042e-01,1.613452e-01,1.561335e-01,1.511681e-01,1.464472e-01,1.419680e-01,1.377272e-01,1.337208e-01,1.299440e-01,1.263920e-01,1.230592e-01,1.199400e-01,1.170282e-01,1.143176e-01,1.118015e-01,1.094735e-01,1.073267e-01,1.053542e-01,1.035490e-01,1.019041e-01,1.004126e-01,9.906719e-02,9.786102e-02,9.678701e-02,9.583820e-02,9.500769e-02,9.428863e-02,9.367429e-02,9.315802e-02,9.273331e-02,9.239376e-02,9.213312e-02,9.194529e-02,9.182434e-02,9.176451e-02
0.000000e+00,2.838687e-10,3.176193e-08,3.402278e-08,5.678563e-07,4.043065e-06,4.337826e-06,1.967078e-05,5.588116e-05,5.909593e-05,1.281372e-04,2.113026e-04,2.190752e-04,3.192327e-04,4.094905e-04,4.193392e-04,5.148323e-04,5.937050e-04,6.040645e-04,6.866932e-04,7.525706e-04,7.628537e-04,8.328289e-04,8.870607e-04,8.969369e-04,9.554969e-04,9.995940e-04,1.008819e-03,1.057202e-03,1.092547e-03,1.100935e-03,1.140293e-03,1.168127e-03,1.175542e-03,1.206936e-03,1.228366e-03,1.234717e-03,1.259115e-03,1.275122e-03,1.280351e-03,1.298632e-03,1.310077e-03,1.314156e-03,1.327109e-03,1.334741e-03,1.337667e-03,1.345996e-03,1.350469e-03,1.352256e-03,1.356596e-03,1.358478e-03,1.359159e-03,1.360077e-03,1.359859e-03,1.359475e-03,1.357471e-03,1.355572e-03,1.354174e-03,1.349687e-03,1.346464e-03,1.344107e-03,1.337524e-03,1.333281e-03,1.330026e-03,1.321691e-03,1.316686e-03,1.312595e-03,1.302808e-03,1.297258e-03,1.292395e-03,1.281418e-03,1.275507e-03,1.269936e-03,1.258002e-03,1.251882e-03,1.245667e-03,1.232977e-03,1.226774e-03,1.219977e-03,1.206708e-03,1.200524e-03,1.193207e-03,1.179511e-03,1.173432e-03,1.165653e-03,1.151663e-03,1.145755e-03,1.137570e-03,1.123400e-03,1.117717e-03,1.109179e-03,1.094929e-03,1.089511e-03,1.080671e-03,1.066425e-03,1.061303e-03,1.052209e-03,1.038039e-03,1.033235e-03,1.023931e-03,1.009899e-03,1.005426e-03,9.959549e-04,9.821115e-04,9.779797e-04,9.683793e-04,9.547680e-04,9.509798e-04,9.412865e-04,9.279428e-04,9.244970e-04,9.147442e-04,9.016971e-04,8.985890e-04,8.888074e-04,8.760802e-04,8.733025e-04,8.635201e-04,8.511310e-04,8.486740e-04,8.389165e-04,8.268795e-04,8.247319e-04,8.150226e-04,8.033478e-04,8.014969e-04,7.918569e-04,7.805511e-04,7.789832e-04,7.694315e-04,7.584988e-04,7.571994e-04,7.477533e-04,7.371951e-04,7.361496e-04,7.268241e-04,7.166399e-04,7.158333e-04,7.066420e-04,6.968295e-04,6.962467e-04,6.872016e-04,6.777570e-04,6.773830e-04,6.684945e-04,6.594126e-04,6.592328e-04,6.505099e-04,6.417846e-04,6.250252e-04,6.089398e-04,5.935125e-04,5.787266e-04,5.645646e-04,5.510084e-04,5.380397e-04,5.256399e-04,5.137903e-04,5.024722e-04,4.916671e-04,4.813566e-04,4.715224e-04,4.621468e-04,4.532120e-04,4.447011e-04,4.365972e-04,4.288839e-04,4.215453e-04,4.145659e-04,4.079308e-04,4.016253e-04,3.956355e-04,3.899477e-04,3.845487e-04,3.794259e-04,3.745670e-04,3.699603e-04,3.655944e-04,3.614585e-04,3.575420e-04,3.538348e-04,3.503274e-04,3.470104e-04,3.438748e-04,3.409122e-04,3.381144e-04,3.354734e-04,3.329818e-04,3.306324e-04,3.284183e-04,3.263329e-04,3.243699e-04,3.225231e-04,3.207870e-04,3.191559e-04,3.176246e-04,3.161880e-04,3.148413e-04
0.000000e+00,4.450090e-12,1.063364e-09,1.153966e-09,3.353007e-08,3.763787e-07,4.115814e-07,3.070495e-06,1.462038e-05,1.600492e-05,6.293728e-05,1.817709e-04,1.978067e-04,5.209465e-04,1.104502e-03,1.193515e-03,2.447867e-03,4.276295e-03,4.592753e-03,8.013148e-03,1.232084e-02,1.316510e-02,2.056632e-02,2.893509e-02,3.078354e-02,4.441752e-02,5.858058e-02,6.208666e-02,8.441025e-02,1.060269e-01,1.119919e-01,1.454039e-01,1.758535e-01,1.851731e-01,2.317682e-01,2.719949e-01,2.855897e-01,3.469610e-01,3.973812e-01,4.161228e-01,4.932288e-01,5.537040e-01,5.783437e-01,6.714433e-01,7.413075e-01,7.724160e-01,8.810662e-01,9.591963e-01,9.971185e-01,1.120224e+00,1.205137e+00,1.249965e+00,1.385864e+00,1.475829e+00,1.527392e+00,1.673974e+00,1.767125e+00,1.824996e+00,1.979819e+00,2.074262e+00,2.137780e+00,2.298203e+00,2.392108e+00,2.460407e+00,2.623710e+00,2.715387e+00,2.787437e+00,2.950925e+00,3.038882e+00,3.113531e+00,3.274631e+00,3.357609e+00,3.433629e+00,3.589959e+00,3.666955e+00,3.743086e+00,3.892512e+00,3.962785e+00,4.037775e+00,4.178450e+00,4.241513e+00,4.314153e+00,4.444538e+00,4.500142e+00,4.569299e+00,4.688168e+00,4.736280e+00,4.800918e+00,4.907360e+00,4.948135e+00,5.007340e+00,5.100739e+00,5.134487e+00,5.187474e+00,5.267493e+00,5.294651e+00,5.340774e+00,5.407324e+00,5.428423e+00,5.467178e+00,5.520394e+00,5.536035e+00,5.567056e+00,5.607266e+00,5.618088e+00,5.641146e+00,5.668838e+00,5.675503e+00,5.690495e+00,5.706287e+00,5.709454e+00,5.716394e+00,5.721008e+00,5.721319e+00,5.720328e+00,5.714561e+00,5.712631e+00,5.703920e+00,5.688623e+00,5.685024e+00,5.668890e+00,5.644943e+00,5.640202e+00,5.617006e+00,5.585302e+00,5.579895e+00,5.550054e+00,5.511483e+00,5.505830e+00,5.469807e+00,5.425240e+00,5.419708e+00,5.377996e+00,5.328280e+00,5.323180e+00,5.276295e+00,5.222238e+00,5.217829e+00,5.166301e+00,5.108669e+00,5.105162e+00,5.049524e+00,4.989037e+00,4.986592e+00,4.927377e+00,4.864704e+00,4.863441e+00,4.801172e+00,4.736930e+00,4.608176e+00,4.478200e+00,4.347920e+00,4.218157e+00,4.089642e+00,3.963016e+00,3.838838e+00,3.717586e+00,3.599670e+00,3.485429e+00,3.375142e+00,3.269032e+00,3.167270e+00,3.069983e+00,2.977254e+00,2.889129e+00,2.805624e+00,2.726721e+00,2.652381e+00,2.582540e+00,2.517116e+00,2.456008e+00,2.399103e+00,2.346275e+00,2.297389e+00,2.252302e+00,2.210863e+00,2.172917e+00,2.138306e+00,2.106870e+00,2.078446e+00,2.052873e+00,2.029989e+00,2.009634e+00,1.991649e+00,1.975880e+00,1.962175e+00,1.950384e+00,1.940365e+00,1.931978e+00,1.925088e+00,1.919565e+00,1.915284e+00,1.912126e+00,1.909977e+00,1.908729e+00,1.908280e+00,1.908532e+00,1.909396e+00
0.000000e+00,5.071336e-09,9.387292e-08,9.846683e-08,6.844396e-07,2.166053e-06,2.243914e-06,4.324875e-06,6.280106e-06,6.401546e-06,8.353171e-06,1.002438e-05,1.016410e-05,1.183681e-05,1.322878e-05,1.337702e-05,1.479099e-05,1.593584e-05,1.608499e-05,1.726517e-05,1.819372e-05,1.833759e-05,1.930821e-05,2.004918e-05,2.018293e-05,2.096751e-05,2.154753e-05,2.166754e-05,2.228839e-05,2.273154e-05,2.283523e-05,2.331299e-05,2.364070e-05,2.372634e-05,2.407975e-05,2.431084e-05,2.437742e-05,2.462332e-05,2.477418e-05,2.482122e-05,2.497464e-05,2.505945e-05,2.508693e-05,2.516120e-05,2.519215e-05,2.520039e-05,2.520729e-05,2.519485e-05,2.518446e-05,2.513435e-05,2.508744e-05,2.505923e-05,2.496124e-05,2.488744e-05,2.484236e-05,2.470448e-05,2.461022e-05,2.454933e-05,2.437855e-05,2.426922e-05,2.419367e-05,2.399609e-05,2.387622e-05,2.378716e-05,2.356810e-05,2.344144e-05,2.334007e-05,2.310414e-05,2.297381e-05,2.286131e-05,2.261250e-05,2.248104e-05,2.235857e-05,2.210032e-05,2.196981e-05,2.183849e-05,2.157377e-05,2.144586e-05,2.130679e-05,2.103812e-05,2.091413e-05,2.076833e-05,2.049790e-05,2.037882e-05,2.022729e-05,1.995692e-05,1.984353e-05,1.968718e-05,1.941843e-05,1.931128e-05,1.915098e-05,1.888514e-05,1.878460e-05,1.862118e-05,1.835933e-05,1.826563e-05,1.809982e-05,1.784285e-05,1.775609e-05,1.758860e-05,1.733723e-05,1.725742e-05,1.708888e-05,1.684369e-05,1.677076e-05,1.660175e-05,1.636318e-05,1.629699e-05,1.612805e-05,1.589645e-05,1.583681e-05,1.566842e-05,1.544402e-05,1.539071e-05,1.522330e-05,1.500628e-05,1.495904e-05,1.479300e-05,1.458346e-05,1.454200e-05,1.437768e-05,1.417566e-05,1.413969e-05,1.397739e-05,1.378288e-05,1.375210e-05,1.359210e-05,1.340504e-05,1.337915e-05,1.322168e-05,1.304199e-05,1.302067e-05,1.286594e-05,1.269351e-05,1.267646e-05,1.252465e-05,1.235933e-05,1.234625e-05,1.219750e-05,1.203914e-05,1.202975e-05,1.188419e-05,1.173260e-05,1.172661e-05,1.158434e-05,1.143935e-05,1.143648e-05,1.129759e-05,1.115900e-05,1.089377e-05,1.064040e-05,1.039848e-05,1.016760e-05,9.947373e-06,9.737385e-06,9.537241e-06,9.346550e-06,9.164928e-06,8.991998e-06,8.827394e-06,8.670758e-06,8.521744e-06,8.380016e-06,8.245249e-06,8.117130e-06,7.995355e-06,7.879633e-06,7.769684e-06,7.665237e-06,7.566034e-06,7.471826e-06,7.382375e-06,7.297453e-06,7.216841e-06,7.140331e-06,7.067724e-06,6.998829e-06,6.933464e-06,6.871454e-06,6.812635e-06,6.756848e-06,6.703943e-06,6.653776e-06,6.606210e-06,6.561115e-06,6.518367e-06,6.477848e-06,6.439445e-06,6.403052e-06,6.368567e-06,6.335893e-06,6.304939e-06,6.275616e-06,6.247841e-06,6.221537e-06,6.196627e-06,6.173040e-06,6.150709e-06
0.000000e+00,1.085839e-08,1.983303e-07,2.074682e-07,1.422147e-06,5.678584e-06,5.966166e-06,1.693939e-05,3.348236e-05,3.467966e-05,5.569913e-05,7.541407e-05,7.710959e-05,9.786838e-05,1.157533e-04,1.176908e-04,1.365110e-04,1.522410e-04,1.543262e-04,1.711528e-04,1.848508e-04,1.870143e-04,2.019371e-04,2.137677e-04,2.159498e-04,2.290821e-04,2.392154e-04,2.413651e-04,2.528301e-04,2.614346e-04,2.635090e-04,2.734336e-04,2.806713e-04,2.826353e-04,2.911452e-04,2.971689e-04,2.989939e-04,3.062108e-04,3.111617e-04,3.128249e-04,3.188642e-04,3.228718e-04,3.243557e-04,3.293255e-04,3.325076e-04,3.337990e-04,3.378003e-04,3.402635e-04,3.413529e-04,3.444792e-04,3.463196e-04,3.472009e-04,3.495388e-04,3.508429e-04,3.515129e-04,3.531422e-04,3.539873e-04,3.544452e-04,3.554394e-04,3.558948e-04,3.561418e-04,3.565685e-04,3.566958e-04,3.567351e-04,3.566563e-04,3.565104e-04,3.563466e-04,3.558193e-04,3.554488e-04,3.550877e-04,3.541641e-04,3.536119e-04,3.530604e-04,3.517881e-04,3.510921e-04,3.503580e-04,3.487805e-04,3.479739e-04,3.470655e-04,3.452225e-04,3.443343e-04,3.432606e-04,3.411884e-04,3.402438e-04,3.390140e-04,3.367454e-04,3.357663e-04,3.343900e-04,3.319549e-04,3.309601e-04,3.294469e-04,3.268725e-04,3.258781e-04,3.242378e-04,3.215486e-04,3.205683e-04,3.188106e-04,3.160289e-04,3.150741e-04,3.132086e-04,3.103544e-04,3.094347e-04,3.074709e-04,3.045624e-04,3.036856e-04,3.016329e-04,2.986862e-04,2.978585e-04,2.957260e-04,2.927557e-04,2.919822e-04,2.897786e-04,2.867978e-04,2.860822e-04,2.838161e-04,2.808363e-04,2.801813e-04,2.778610e-04,2.748926e-04,2.742999e-04,2.719333e-04,2.689854e-04,2.684562e-04,2.660509e-04,2.631315e-04,2.626659e-04,2.602291e-04,2.573454e-04,2.569433e-04,2.544819e-04,2.516399e-04,2.513004e-04,2.488209e-04,2.460260e-04,2.457479e-04,2.432565e-04,2.405134e-04,2.402951e-04,2.377976e-04,2.351101e-04,2.349498e-04,2.324517e-04,2.298232e-04,2.297186e-04,2.272252e-04,2.246583e-04,2.246073e-04,2.221232e-04,2.196203e-04,2.147612e-04,2.100330e-04,2.054377e-04,2.009769e-04,1.966513e-04,1.924613e-04,1.884068e-04,1.844871e-04,1.807015e-04,1.770485e-04,1.735266e-04,1.701341e-04,1.668688e-04,1.637285e-04,1.607109e-04,1.578135e-04,1.550335e-04,1.523682e-04,1.498148e-04,1.473704e-04,1.450321e-04,1.427969e-04,1.406619e-04,1.386241e-04,1.366804e-04,1.348280e-04,1.330638e-04,1.313849e-04,1.297884e-04,1.282715e-04,1.268314e-04,1.254652e-04,1.241702e-04,1.229439e-04,1.217835e-04,1.206864e-04,1.196503e-04,1.186726e-04,1.177510e-04,1.168832e-04,1.160668e-04,1.152997e-04,1.145798e-04,1.139050e-04,1.132733e-04,1.126827e-04,1.121314e-04,1.116175e-04,1.111393e-04
0.000000e+00,1.349127e-12,3.439400e-10,3.741745e-10,1.256172e-08,1.569860e-07,1.721701e-07,1.320726e-06,6.026474e-06,6.568133e-06,2.355026e-05,6.138555e-05,6.618492e-05,1.550439e-04,2.960604e-04,3.162668e-04,5.794372e-04,9.195439e-04,9.749749e-04,1.531539e-03,2.157917e-03,2.273786e-03,3.220685e-03,4.183388e-03,4.384460e-03,5.770137e-03,7.070723e-03,7.375625e-03,9.192206e-03,1.078786e-02,1.120534e-02,1.339564e-02,1.521228e-02,1.573997e-02,1.821254e-02,2.016063e-02,2.078594e-02,2.343210e-02,2.542069e-02,2.612315e-02,2.883207e-02,3.077914e-02,3.153331e-02,3.420319e-02,3.604183e-02,3.682020e-02,3.936524e-02,4.104616e-02,4.182167e-02,4.417536e-02,4.566675e-02,4.641463e-02,4.853013e-02,4.981570e-02,5.051470e-02,5.236324e-02,5.343954e-02,5.407252e-02,5.564095e-02,5.651430e-02,5.706841e-02,5.835606e-02,5.903969e-02,5.950616e-02,6.052187e-02,6.103341e-02,6.140712e-02,6.216645e-02,6.252588e-02,6.280486e-02,6.332774e-02,6.355582e-02,6.374068e-02,6.404946e-02,6.416662e-02,6.425994e-02,6.437798e-02,6.440352e-02,6.440941e-02,6.435997e-02,6.431163e-02,6.423530e-02,6.404084e-02,6.393454e-02,6.378189e-02,6.346351e-02,6.331326e-02,6.309060e-02,6.266781e-02,6.248573e-02,6.219958e-02,6.169012e-02,6.148656e-02,6.114343e-02,6.056328e-02,6.034693e-02,5.995322e-02,5.931661e-02,5.909467e-02,5.865658e-02,5.797608e-02,5.775446e-02,5.727788e-02,5.656455e-02,5.634796e-02,5.583849e-02,5.510195e-02,5.489413e-02,5.435702e-02,5.360563e-02,5.340944e-02,5.284959e-02,5.209055e-02,5.190811e-02,5.133007e-02,5.056957e-02,5.040239e-02,4.981036e-02,4.905365e-02,4.890271e-02,4.830055e-02,4.755210e-02,4.741794e-02,4.680921e-02,4.607275e-02,4.595556e-02,4.534349e-02,4.462215e-02,4.452183e-02,4.390936e-02,4.320570e-02,4.312190e-02,4.251170e-02,4.182783e-02,4.176002e-02,4.115451e-02,4.049209e-02,4.043958e-02,3.984093e-02,3.920129e-02,3.916328e-02,3.857343e-02,3.795757e-02,3.793319e-02,3.735388e-02,3.676252e-02,3.675082e-02,3.618360e-02,3.561723e-02,3.453305e-02,3.349860e-02,3.251385e-02,3.157853e-02,3.069216e-02,2.985406e-02,2.906337e-02,2.831911e-02,2.762020e-02,2.696542e-02,2.635349e-02,2.578308e-02,2.525278e-02,2.476113e-02,2.430667e-02,2.388787e-02,2.350322e-02,2.315117e-02,2.283019e-02,2.253873e-02,2.227525e-02,2.203823e-02,2.182617e-02,2.163757e-02,2.147097e-02,2.132492e-02,2.119803e-02,2.108892e-02,2.099626e-02,2.091875e-02,2.085514e-02,2.080422e-02,2.076483e-02,2.073586e-02,2.071624e-02,2.070497e-02,2.070107e-02,2.070365e-02,2.071184e-02,2.072484e-02,2.074191e-02,2.076232e-02,2.078545e-02,2.081069e-02,2.083748e-02,2.086534e-02,2.089379e-02,2.092243e-02,2.095089e-02
0.000000e+00,1.134190e-11,2.754838e-09,2.990296e-09,8.604444e-08,9.105054e-07,9.923233e-07,6.720976e-06,2.911914e-05,3.169696e-05,1.146748e-04,3.127476e-04,3.389234e-04,8.551535e-04,1.764894e-03,1.902420e-03,3.823182e-03,6.593147e-03,7.070498e-03,1.220686e-02,1.863817e-02,1.989534e-02,3.088433e-02,4.325955e-02,4.598745e-02,6.606017e-02,8.684016e-02,9.197496e-02,1.245961e-01,1.560825e-01,1.647557e-01,2.132311e-01,2.572699e-01,2.707251e-01,3.378496e-01,3.956215e-01,4.151121e-01,5.029054e-01,5.748167e-01,6.015012e-01,7.110466e-01,7.967163e-01,8.315633e-01,9.629501e-01,1.061276e+00,1.104987e+00,1.257343e+00,1.366620e+00,1.419580e+00,1.591168e+00,1.709243e+00,1.771491e+00,1.959860e+00,2.084294e+00,2.155523e+00,2.357677e+00,2.485903e+00,2.565478e+00,2.778056e+00,2.907525e+00,2.994519e+00,3.213969e+00,3.342263e+00,3.435506e+00,3.658240e+00,3.783168e+00,3.881299e+00,4.103831e+00,4.223490e+00,4.325017e+00,4.544071e+00,4.656886e+00,4.760245e+00,4.972836e+00,5.077580e+00,5.181184e+00,5.384678e+00,5.480464e+00,5.582755e+00,5.774901e+00,5.861168e+00,5.960655e+00,6.139604e+00,6.216091e+00,6.311386e+00,6.475686e+00,6.542395e+00,6.632238e+00,6.780822e+00,6.837983e+00,6.921261e+00,7.053421e+00,7.101450e+00,7.177208e+00,7.292566e+00,7.332026e+00,7.399474e+00,7.497945e+00,7.529510e+00,7.588023e+00,7.669779e+00,7.694198e+00,7.743311e+00,7.808741e+00,7.826811e+00,7.866212e+00,7.915887e+00,7.928423e+00,7.957946e+00,7.992582e+00,8.000397e+00,8.020004e+00,8.040432e+00,8.044319e+00,8.054093e+00,8.061223e+00,8.061940e+00,8.062067e+00,8.056871e+00,8.055129e+00,8.045887e+00,8.029367e+00,8.025825e+00,8.007567e+00,7.980740e+00,7.975998e+00,7.949141e+00,7.913021e+00,7.907618e+00,7.872630e+00,7.828214e+00,7.822625e+00,7.780014e+00,7.728269e+00,7.722908e+00,7.673211e+00,7.615069e+00,7.610291e+00,7.554063e+00,7.490411e+00,7.486512e+00,7.424321e+00,7.355996e+00,7.353220e+00,7.285634e+00,7.213425e+00,7.211963e+00,7.139551e+00,7.064189e+00,6.911240e+00,6.754352e+00,6.594660e+00,6.433197e+00,6.270900e+00,6.108612e+00,5.947088e+00,5.787000e+00,5.628942e+00,5.473435e+00,5.320933e+00,5.171828e+00,5.026453e+00,4.885091e+00,4.747974e+00,4.615292e+00,4.487195e+00,4.363797e+00,4.245181e+00,4.131399e+00,4.022477e+00,3.918419e+00,3.819206e+00,3.724803e+00,3.635157e+00,3.550200e+00,3.469853e+00,3.394023e+00,3.322611e+00,3.255507e+00,3.192594e+00,3.133749e+00,3.078843e+00,3.027744e+00,2.980315e+00,2.936419e+00,2.895913e+00,2.858655e+00,2.824503e+00,2.793311e+00,2.764937e+00,2.739238e+00,2.716071e+00,2.695297e+00,2.676776e+00,2.660372e+00,2.645951e+00,2.633382e+00,2.622535e+00
0.000000e+00,6.613730e-13,1.496199e-10,1.621576e-10,4.349874e-09,4.401443e-08,4.790401e-08,3.164951e-07,1.352347e-06,1.470936e-06,5.253215e-06,1.412545e-05,1.528646e-05,3.781571e-05,7.638036e-05,8.211777e-05,1.604370e-04,2.691191e-04,2.874631e-04,4.794695e-04,7.093926e-04,7.532675e-04,1.125124e-03,1.524100e-03,1.609763e-03,2.219528e-03,2.819560e-03,2.963758e-03,3.848381e-03,4.658859e-03,4.875742e-03,6.044605e-03,7.051683e-03,7.350340e-03,8.785226e-03,9.955795e-03,1.033885e-02,1.199856e-02,1.328663e-02,1.374996e-02,1.557739e-02,1.693100e-02,1.746440e-02,1.939420e-02,2.076151e-02,2.135000e-02,2.331542e-02,2.464935e-02,2.527475e-02,2.721319e-02,2.847441e-02,2.911703e-02,3.097376e-02,3.213213e-02,3.277221e-02,3.450254e-02,3.553737e-02,3.615629e-02,3.772637e-02,3.862579e-02,3.920698e-02,4.059359e-02,4.135338e-02,4.188285e-02,4.307249e-02,4.369468e-02,4.416127e-02,4.514885e-02,4.564019e-02,4.603569e-02,4.682296e-02,4.719358e-02,4.751250e-02,4.810662e-02,4.836876e-02,4.860813e-02,4.902018e-02,4.918719e-02,4.934623e-02,4.958997e-02,4.967550e-02,4.975525e-02,4.984606e-02,4.986346e-02,4.986644e-02,4.982047e-02,4.978236e-02,4.971223e-02,4.954575e-02,4.946375e-02,4.932502e-02,4.905391e-02,4.893848e-02,4.873622e-02,4.837562e-02,4.823598e-02,4.797563e-02,4.753967e-02,4.738384e-02,4.707100e-02,4.657272e-02,4.640751e-02,4.604781e-02,4.549907e-02,4.533020e-02,4.492917e-02,4.434062e-02,4.417282e-02,4.373581e-02,4.311696e-02,4.295403e-02,4.248618e-02,4.184542e-02,4.169036e-02,4.119652e-02,4.054119e-02,4.039631e-02,3.988103e-02,3.921752e-02,3.908454e-02,3.855204e-02,3.788587e-02,3.776598e-02,3.722018e-02,3.655606e-02,3.645001e-02,3.589451e-02,3.523645e-02,3.514465e-02,3.458272e-02,3.393409e-02,3.385663e-02,3.329126e-02,3.265487e-02,3.259161e-02,3.202550e-02,3.140366e-02,3.135426e-02,3.078984e-02,3.018444e-02,3.014839e-02,2.958784e-02,2.900037e-02,2.897707e-02,2.842233e-02,2.785396e-02,2.784269e-02,2.729549e-02,2.674709e-02,2.569161e-02,2.467716e-02,2.370428e-02,2.277321e-02,2.188393e-02,2.103617e-02,2.022952e-02,1.946335e-02,1.873697e-02,1.804953e-02,1.740013e-02,1.678779e-02,1.621148e-02,1.567013e-02,1.516265e-02,1.468791e-02,1.424481e-02,1.383220e-02,1.344897e-02,1.309397e-02,1.276610e-02,1.246426e-02,1.218735e-02,1.193428e-02,1.170401e-02,1.149549e-02,1.130768e-02,1.113958e-02,1.099020e-02,1.085857e-02,1.074373e-02,1.064474e-02,1.056070e-02,1.049071e-02,1.043389e-02,1.038939e-02,1.035636e-02,1.033400e-02,1.032151e-02,1.031812e-02,1.032308e-02,1.033566e-02,1.035515e-02,1.038088e-02,1.041218e-02,1.044842e-02,1.048901e-02,1.053335e-02,1.058089e-02
0.000000e+00,1.094383e-08,1.872630e-07,1.955951e-07,1.270088e-06,5.038321e-06,5.296116e-06,1.543928e-05,3.168718e-05,3.289666e-05,5.446631e-05,7.470728e-05,7.643110e-05,9.720602e-05,1.145253e-04,1.163657e-04,1.338544e-04,1.479033e-04,1.497250e-04,1.640609e-04,1.752315e-04,1.769529e-04,1.884909e-04,1.972005e-04,1.987623e-04,2.078506e-04,2.144765e-04,2.158359e-04,2.227948e-04,2.276720e-04,2.288002e-04,2.339214e-04,2.373447e-04,2.382243e-04,2.417713e-04,2.439978e-04,2.446212e-04,2.468296e-04,2.480815e-04,2.484485e-04,2.495271e-04,2.499950e-04,2.501113e-04,2.502439e-04,2.500898e-04,2.499653e-04,2.493129e-04,2.486737e-04,2.483217e-04,2.470242e-04,2.460149e-04,2.454507e-04,2.436295e-04,2.423461e-04,2.415867e-04,2.393465e-04,2.378685e-04,2.369316e-04,2.343626e-04,2.327555e-04,2.316590e-04,2.288386e-04,2.271558e-04,2.259178e-04,2.229119e-04,2.211966e-04,2.198348e-04,2.166994e-04,2.149863e-04,2.135176e-04,2.103003e-04,2.086165e-04,2.070573e-04,2.037979e-04,2.021647e-04,2.005304e-04,1.972623e-04,1.956955e-04,1.940006e-04,1.907516e-04,1.892629e-04,1.875209e-04,1.843137e-04,1.829112e-04,1.811347e-04,1.779879e-04,1.766767e-04,1.748770e-04,1.718055e-04,1.705886e-04,1.687762e-04,1.657917e-04,1.646698e-04,1.628542e-04,1.599658e-04,1.589382e-04,1.571280e-04,1.543423e-04,1.534073e-04,1.516100e-04,1.489319e-04,1.480866e-04,1.463090e-04,1.437416e-04,1.429824e-04,1.412304e-04,1.387756e-04,1.380983e-04,1.363772e-04,1.340354e-04,1.334358e-04,1.317500e-04,1.295208e-04,1.289941e-04,1.273475e-04,1.252297e-04,1.247712e-04,1.231670e-04,1.211588e-04,1.207636e-04,1.192045e-04,1.173034e-04,1.169668e-04,1.154549e-04,1.136582e-04,1.133755e-04,1.119125e-04,1.102170e-04,1.099836e-04,1.085708e-04,1.069731e-04,1.067846e-04,1.054230e-04,1.039195e-04,1.037717e-04,1.024618e-04,1.010489e-04,1.009378e-04,9.967989e-05,9.835379e-05,9.827557e-05,9.706966e-05,9.582656e-05,9.577768e-05,9.462354e-05,9.345965e-05,9.343677e-05,9.233395e-05,9.124551e-05,8.919669e-05,8.728323e-05,8.549818e-05,8.383482e-05,8.228660e-05,8.084719e-05,7.951051e-05,7.827069e-05,7.712212e-05,7.605940e-05,7.507740e-05,7.417121e-05,7.333615e-05,7.256780e-05,7.186192e-05,7.121450e-05,7.062177e-05,7.008011e-05,6.958615e-05,6.913668e-05,6.872866e-05,6.835924e-05,6.802573e-05,6.772561e-05,6.745649e-05,6.721613e-05,6.700243e-05,6.681342e-05,6.664724e-05,6.650216e-05,6.637656e-05,6.626891e-05,6.617778e-05,6.610185e-05,6.603988e-05,6.599070e-05,6.595322e-05,6.592644e-05,6.590941e-05,6.590126e-05,6.590118e-05,6.590840e-05,6.592222e-05,6.594198e-05,6.596708e-05,6.599695e-05,6.603108e-05,6.606898e-05,6.611021e-05
0.000000e+00,3.238011e-13,6.971748e-11,7.551395e-11,2.002846e-09,2.045307e-08,2.227108e-08,1.483489e-07,6.313238e-07,6.861825e-07,2.400056e-06,6.245192e-06,6.735459e-06,1.586153e-05,3.038231e-05,3.245911e-05,5.932235e-05,9.342246e-05,9.891106e-05,1.529764e-04,2.116956e-04,2.223281e-04,3.067605e-04,3.885145e-04,4.051143e-04,5.154384e-04,6.130765e-04,6.352059e-04,7.615471e-04,8.653426e-04,8.914716e-04,1.022058e-03,1.122626e-03,1.150604e-03,1.274730e-03,1.364870e-03,1.392446e-03,1.502175e-03,1.577535e-03,1.602756e-03,1.693417e-03,1.752303e-03,1.773739e-03,1.843608e-03,1.886362e-03,1.903161e-03,1.952741e-03,1.981005e-03,1.992841e-03,2.024066e-03,2.040140e-03,2.047093e-03,2.062637e-03,2.068994e-03,2.071425e-03,2.074175e-03,2.073153e-03,2.071580e-03,2.064296e-03,2.057933e-03,2.052938e-03,2.038070e-03,2.028044e-03,2.020209e-03,1.999817e-03,1.987449e-03,1.977311e-03,1.953057e-03,1.939349e-03,1.927381e-03,1.900565e-03,1.886254e-03,1.872857e-03,1.844470e-03,1.830080e-03,1.815587e-03,1.786367e-03,1.772262e-03,1.756944e-03,1.727431e-03,1.713853e-03,1.697927e-03,1.668511e-03,1.655614e-03,1.639252e-03,1.610207e-03,1.598084e-03,1.581424e-03,1.552942e-03,1.541641e-03,1.524793e-03,1.497003e-03,1.486542e-03,1.469594e-03,1.442582e-03,1.432958e-03,1.415981e-03,1.389801e-03,1.380997e-03,1.364049e-03,1.338731e-03,1.330722e-03,1.313851e-03,1.289410e-03,1.282164e-03,1.265410e-03,1.241849e-03,1.235330e-03,1.218726e-03,1.196040e-03,1.190213e-03,1.173787e-03,1.151964e-03,1.146790e-03,1.130567e-03,1.109592e-03,1.105034e-03,1.089034e-03,1.068888e-03,1.064907e-03,1.049148e-03,1.029811e-03,1.026372e-03,1.010869e-03,9.923172e-04,9.893848e-04,9.741503e-04,9.563623e-04,9.539019e-04,9.389473e-04,9.218994e-04,9.198781e-04,9.052128e-04,8.888815e-04,8.872677e-04,8.728997e-04,8.572613e-04,8.560249e-04,8.419605e-04,8.269916e-04,8.261039e-04,8.123486e-04,7.980259e-04,7.974595e-04,7.840177e-04,7.703184e-04,7.700475e-04,7.569225e-04,7.438244e-04,7.187477e-04,6.947759e-04,6.718686e-04,6.499868e-04,6.290922e-04,6.091480e-04,5.901186e-04,5.719694e-04,5.546670e-04,5.381792e-04,5.224749e-04,5.075239e-04,4.932974e-04,4.797674e-04,4.669068e-04,4.546898e-04,4.430912e-04,4.320870e-04,4.216538e-04,4.117693e-04,4.024118e-04,3.935606e-04,3.851956e-04,3.772975e-04,3.698475e-04,3.628279e-04,3.562213e-04,3.500110e-04,3.441810e-04,3.387157e-04,3.336001e-04,3.288200e-04,3.243614e-04,3.202108e-04,3.163554e-04,3.127826e-04,3.094804e-04,3.064371e-04,3.036416e-04,3.010829e-04,2.987505e-04,2.966344e-04,2.947247e-04,2.930121e-04,2.914873e-04,2.901416e-04,2.889664e-04,2.879535e-04,2.870949e-04
0.000000e+00,2.936795e-12,6.350868e-10,6.886219e-10,1.946622e-08,2.035098e-07,2.214950e-07,1.402221e-06,5.352773e-06,5.768306e-06,1.713936e-05,3.756891e-05,3.989892e-05,7.734783e-05,1.245269e-04,1.305297e-04,1.979895e-04,2.664748e-04,2.763011e-04,3.609588e-04,4.352510e-04,4.472688e-04,5.310289e-04,5.969644e-04,6.089283e-04,6.786934e-04,7.289064e-04,7.390462e-04,7.895543e-04,8.229981e-04,8.304289e-04,8.623243e-04,8.815555e-04,8.861600e-04,9.029778e-04,9.117192e-04,9.138374e-04,9.197471e-04,9.214750e-04,9.216204e-04,9.202570e-04,9.176583e-04,9.163384e-04,9.104325e-04,9.053682e-04,9.030033e-04,8.944234e-04,8.880858e-04,8.849892e-04,8.749333e-04,8.680455e-04,8.644365e-04,8.536382e-04,8.466197e-04,8.426456e-04,8.315403e-04,8.246264e-04,8.203845e-04,8.092253e-04,8.025434e-04,7.980984e-04,7.870309e-04,7.806472e-04,7.760432e-04,7.651508e-04,7.590973e-04,7.543657e-04,7.436967e-04,7.379863e-04,7.331508e-04,7.227330e-04,7.173677e-04,7.124472e-04,7.022963e-04,6.972722e-04,6.922826e-04,6.824074e-04,6.777169e-04,6.726719e-04,6.630766e-04,6.587099e-04,6.536217e-04,6.443072e-04,6.402533e-04,6.351329e-04,6.260984e-04,6.223454e-04,6.172030e-04,6.084462e-04,6.049820e-04,5.998269e-04,5.913443e-04,5.881565e-04,5.829972e-04,5.747847e-04,5.718609e-04,5.667054e-04,5.587582e-04,5.560860e-04,5.509418e-04,5.432547e-04,5.408219e-04,5.356956e-04,5.282631e-04,5.260579e-04,5.209558e-04,5.137722e-04,5.117827e-04,5.067108e-04,4.997700e-04,4.979850e-04,4.929485e-04,4.862445e-04,4.846530e-04,4.796568e-04,4.731836e-04,4.717747e-04,4.668235e-04,4.605750e-04,4.593385e-04,4.544364e-04,4.484064e-04,4.473324e-04,4.424833e-04,4.366657e-04,4.357445e-04,4.309520e-04,4.253408e-04,4.245633e-04,4.198305e-04,4.144197e-04,4.137770e-04,4.091069e-04,4.038907e-04,4.033744e-04,3.987696e-04,3.937422e-04,3.933441e-04,3.888071e-04,3.839629e-04,3.836751e-04,3.792082e-04,3.745415e-04,3.743567e-04,3.699616e-04,3.654672e-04,3.653782e-04,3.610568e-04,3.567292e-04,3.483997e-04,3.403797e-04,3.326595e-04,3.252299e-04,3.180815e-04,3.112056e-04,3.045933e-04,2.982362e-04,2.921261e-04,2.862551e-04,2.806153e-04,2.751991e-04,2.699993e-04,2.650087e-04,2.602205e-04,2.556278e-04,2.512241e-04,2.470033e-04,2.429590e-04,2.390853e-04,2.353765e-04,2.318270e-04,2.284313e-04,2.251841e-04,2.220803e-04,2.191149e-04,2.162832e-04,2.135804e-04,2.110020e-04,2.085437e-04,2.062011e-04,2.039702e-04,2.018469e-04,1.998273e-04,1.979077e-04,1.960845e-04,1.943540e-04,1.927129e-04,1.911578e-04,1.896854e-04,1.882927e-04,1.869767e-04,1.857343e-04,1.845628e-04,1.834593e-04,1.824212e-04,1.814460e-04,1.805310e-04,1.796738e-04
0.000000e+00,1.967802e-13,5.832615e-11,6.367471e-11,2.471825e-09,3.294496e-08,3.617847e-08,2.804473e-07,1.269747e-06,1.383089e-06,4.927712e-06,1.286735e-05,1.388077e-05,3.289288e-05,6.389964e-05,6.841552e-05,1.286467e-04,2.098027e-04,2.233403e-04,3.635198e-04,5.295471e-04,5.611336e-04,8.286825e-04,1.116748e-03,1.178846e-03,1.624124e-03,2.068662e-03,2.176510e-03,2.847202e-03,3.475802e-03,3.646357e-03,4.582891e-03,5.413648e-03,5.664326e-03,6.896681e-03,7.937001e-03,8.284403e-03,9.830337e-03,1.107698e-02,1.153573e-02,1.340027e-02,1.484031e-02,1.542212e-02,1.759804e-02,1.921044e-02,1.992343e-02,2.239247e-02,2.414999e-02,2.499826e-02,2.773286e-02,2.960405e-02,3.058753e-02,3.355276e-02,3.550388e-02,3.661844e-02,3.977401e-02,4.177080e-02,4.300850e-02,4.631074e-02,4.831989e-02,4.966939e-02,5.307308e-02,5.506338e-02,5.651048e-02,5.997041e-02,6.191371e-02,6.344189e-02,6.691423e-02,6.878598e-02,7.037706e-02,7.382040e-02,7.560005e-02,7.723472e-02,8.061094e-02,8.228207e-02,8.394050e-02,8.721535e-02,8.876561e-02,9.042797e-02,9.357139e-02,9.499233e-02,9.663920e-02,9.962554e-02,1.009123e-01,1.025251e-01,1.053332e-01,1.064843e-01,1.080455e-01,1.106585e-01,1.116751e-01,1.131689e-01,1.155740e-01,1.164598e-01,1.178716e-01,1.200601e-01,1.208209e-01,1.221380e-01,1.241046e-01,1.247477e-01,1.259592e-01,1.277017e-01,1.282357e-01,1.293324e-01,1.308518e-01,1.312860e-01,1.322606e-01,1.335600e-01,1.339044e-01,1.347514e-01,1.358362e-01,1.361011e-01,1.368164e-01,1.376938e-01,1.378893e-01,1.384706e-01,1.391492e-01,1.392855e-01,1.397318e-01,1.402211e-01,1.403080e-01,1.406197e-01,1.409304e-01,1.409772e-01,1.411558e-01,1.412989e-01,1.413144e-01,1.413626e-01,1.413497e-01,1.413419e-01,1.412632e-01,1.411060e-01,1.410825e-01,1.408810e-01,1.405913e-01,1.405589e-01,1.402397e-01,1.398290e-01,1.397937e-01,1.393622e-01,1.388421e-01,1.388092e-01,1.382714e-01,1.376528e-01,1.376271e-01,1.369891e-01,1.362828e-01,1.362683e-01,1.355366e-01,1.347528e-01,1.330999e-01,1.313276e-01,1.294530e-01,1.274922e-01,1.254601e-01,1.233706e-01,1.212366e-01,1.190698e-01,1.168810e-01,1.146803e-01,1.124765e-01,1.102777e-01,1.080913e-01,1.059238e-01,1.037810e-01,1.016681e-01,9.958967e-02,9.754956e-02,9.555124e-02,9.359764e-02,9.169123e-02,8.983407e-02,8.802784e-02,8.627387e-02,8.457317e-02,8.292648e-02,8.133426e-02,7.979676e-02,7.831399e-02,7.688579e-02,7.551181e-02,7.419157e-02,7.292442e-02,7.170965e-02,7.054637e-02,6.943366e-02,6.837048e-02,6.735576e-02,6.638832e-02,6.546698e-02,6.459049e-02,6.375756e-02,6.296690e-02,6.221719e-02,6.150708e-02,6.083523e-02,6.020029e-02,5.960090e-02,5.903573e-02
0.000000e+00,8.168072e-09,1.294765e-07,1.352483e-07,8.359397e-07,2.872243e-06,2.997513e-06,7.224845e-06,1.257034e-05,1.292970e-05,1.884162e-05,2.385743e-05,2.426860e-05,2.906253e-05,3.284898e-05,3.324044e-05,3.685331e-05,3.960869e-05,3.995579e-05,4.259963e-05,4.454293e-05,4.483245e-05,4.669774e-05,4.800964e-05,4.823510e-05,4.948049e-05,5.030677e-05,5.046646e-05,5.122246e-05,5.167960e-05,5.177502e-05,5.214805e-05,5.232828e-05,5.236303e-05,5.243928e-05,5.241505e-05,5.239392e-05,5.224234e-05,5.206997e-05,5.199835e-05,5.167420e-05,5.139737e-05,5.128085e-05,5.082812e-05,5.048057e-05,5.032471e-05,4.977834e-05,4.938581e-05,4.919588e-05,4.858343e-05,4.816542e-05,4.794638e-05,4.728950e-05,4.686068e-05,4.661704e-05,4.593271e-05,4.550393e-05,4.523982e-05,4.454125e-05,4.412046e-05,4.383956e-05,4.313698e-05,4.272985e-05,4.243545e-05,4.173667e-05,4.134712e-05,4.104212e-05,4.035309e-05,3.998370e-05,3.967068e-05,3.899583e-05,3.864817e-05,3.832935e-05,3.767193e-05,3.734680e-05,3.702414e-05,3.638645e-05,3.608407e-05,3.575927e-05,3.514289e-05,3.486306e-05,3.453757e-05,3.394349e-05,3.368570e-05,3.336079e-05,3.278956e-05,3.255307e-05,3.222984e-05,3.168165e-05,3.146560e-05,3.114497e-05,3.061975e-05,3.042316e-05,3.010592e-05,2.960340e-05,2.942524e-05,2.911207e-05,2.863182e-05,2.847103e-05,2.816250e-05,2.770397e-05,2.755950e-05,2.725608e-05,2.681865e-05,2.668944e-05,2.639153e-05,2.597454e-05,2.585957e-05,2.556750e-05,2.517022e-05,2.506851e-05,2.478253e-05,2.440424e-05,2.431483e-05,2.403516e-05,2.367511e-05,2.359709e-05,2.332391e-05,2.298136e-05,2.291387e-05,2.264728e-05,2.232150e-05,2.226373e-05,2.200383e-05,2.169410e-05,2.164526e-05,2.139212e-05,2.109772e-05,2.105710e-05,2.081073e-05,2.053099e-05,2.049790e-05,2.025832e-05,1.999257e-05,1.996637e-05,1.973357e-05,1.948116e-05,1.946125e-05,1.923519e-05,1.899551e-05,1.898132e-05,1.876197e-05,1.853442e-05,1.852544e-05,1.831272e-05,1.809673e-05,1.809247e-05,1.788632e-05,1.768134e-05,1.729102e-05,1.692053e-05,1.656892e-05,1.623530e-05,1.591879e-05,1.561858e-05,1.533388e-05,1.506395e-05,1.480807e-05,1.456555e-05,1.433575e-05,1.411806e-05,1.391187e-05,1.371663e-05,1.353181e-05,1.335688e-05,1.319137e-05,1.303482e-05,1.288677e-05,1.274682e-05,1.261456e-05,1.248961e-05,1.237160e-05,1.226020e-05,1.215507e-05,1.205590e-05,1.196240e-05,1.187427e-05,1.179125e-05,1.171308e-05,1.163951e-05,1.157032e-05,1.150528e-05,1.144418e-05,1.138682e-05,1.133300e-05,1.128255e-05,1.123528e-05,1.119104e-05,1.114967e-05,1.111102e-05,1.107495e-05,1.104133e-05,1.101001e-05,1.098089e-05,1.095385e-05,1.092877e-05,1.090555e-05,1.088409e-05
0.000000e+00,2.088410e-09,1.142654e-07,1.210296e-07,1.301142e-06,6.881276e-06,7.300379e-06,2.527146e-05,5.623871e-05,5.858572e-05,1.010288e-04,1.417398e-04,1.452466e-04,1.880774e-04,2.247387e-04,2.286948e-04,2.669579e-04,2.987011e-04,3.028923e-04,3.365641e-04,3.637715e-04,3.680512e-04,3.974356e-04,4.205545e-04,4.248008e-04,4.502312e-04,4.696996e-04,4.738112e-04,4.956240e-04,5.118571e-04,5.157518e-04,5.342744e-04,5.476581e-04,5.512700e-04,5.668138e-04,5.777012e-04,5.809788e-04,5.938351e-04,6.025459e-04,6.054500e-04,6.158883e-04,6.227102e-04,6.252120e-04,6.334807e-04,6.386716e-04,6.407513e-04,6.470781e-04,6.508681e-04,6.525135e-04,6.571072e-04,6.597012e-04,6.609068e-04,6.639578e-04,6.655376e-04,6.663034e-04,6.679850e-04,6.687116e-04,6.690421e-04,6.695122e-04,6.695275e-04,6.694312e-04,6.688333e-04,6.682624e-04,6.677508e-04,6.662150e-04,6.651679e-04,6.642551e-04,6.618994e-04,6.604721e-04,6.591745e-04,6.561057e-04,6.543822e-04,6.527173e-04,6.490321e-04,6.470852e-04,6.450721e-04,6.408578e-04,6.387505e-04,6.364091e-04,6.317444e-04,6.295311e-04,6.268817e-04,6.218376e-04,6.195649e-04,6.166281e-04,6.112683e-04,6.089758e-04,6.057725e-04,6.001543e-04,5.978756e-04,5.944264e-04,5.886011e-04,5.863643e-04,5.826898e-04,5.767033e-04,5.745318e-04,5.706519e-04,5.645453e-04,5.624581e-04,5.583926e-04,5.522024e-04,5.502150e-04,5.459828e-04,5.397415e-04,5.378659e-04,5.334855e-04,5.272218e-04,5.254674e-04,5.209566e-04,5.146959e-04,5.130696e-04,5.084453e-04,5.022101e-04,5.007164e-04,4.959950e-04,4.898048e-04,4.884467e-04,4.836436e-04,4.775155e-04,4.762942e-04,4.714242e-04,4.653732e-04,4.642885e-04,4.593655e-04,4.534043e-04,4.524550e-04,4.474922e-04,4.416318e-04,4.408156e-04,4.358254e-04,4.300751e-04,4.293889e-04,4.243830e-04,4.187507e-04,4.181908e-04,4.131799e-04,4.076721e-04,4.072343e-04,4.022287e-04,3.968506e-04,3.965301e-04,3.915392e-04,3.862952e-04,3.860868e-04,3.811194e-04,3.760126e-04,3.759112e-04,3.709754e-04,3.660083e-04,3.563815e-04,3.470331e-04,3.379641e-04,3.291742e-04,3.206625e-04,3.124272e-04,3.044656e-04,2.967747e-04,2.893506e-04,2.821893e-04,2.752861e-04,2.686362e-04,2.622342e-04,2.560749e-04,2.501527e-04,2.444617e-04,2.389962e-04,2.337502e-04,2.287178e-04,2.238929e-04,2.192697e-04,2.148420e-04,2.106041e-04,2.065499e-04,2.026737e-04,1.989698e-04,1.954324e-04,1.920561e-04,1.888354e-04,1.857649e-04,1.828394e-04,1.800538e-04,1.774031e-04,1.748823e-04,1.724868e-04,1.702119e-04,1.680530e-04,1.660058e-04,1.640660e-04,1.622295e-04,1.604923e-04,1.588503e-04,1.573000e-04,1.558375e-04,1.544594e-04,1.531621e-04,1.519425e-04,1.507971e-04,1.497230e-04
0.000000e+00,1.629769e-12,4.216228e-10,4.589607e-10,1.546532e-08,1.819746e-07,1.988551e-07,1.370961e-06,5.585995e-06,6.043714e-06,1.920296e-05,4.492687e-05,4.799452e-05,1.004186e-04,1.738451e-04,1.837366e-04,3.031967e-04,4.403092e-04,4.613463e-04,6.579270e-04,8.556902e-04,8.902002e-04,1.153525e-03,1.394430e-03,1.442015e-03,1.749168e-03,2.010330e-03,2.068394e-03,2.393423e-03,2.653781e-03,2.718573e-03,3.038918e-03,3.282781e-03,3.350352e-03,3.649588e-03,3.867275e-03,3.934111e-03,4.202105e-03,4.389049e-03,4.452362e-03,4.684183e-03,4.839511e-03,4.897294e-03,5.091755e-03,5.216945e-03,5.267888e-03,5.426215e-03,5.524039e-03,5.567397e-03,5.692195e-03,5.765986e-03,5.801435e-03,5.895978e-03,5.949177e-03,5.976699e-03,6.044469e-03,6.080359e-03,6.100144e-03,6.144555e-03,6.166129e-03,6.178503e-03,6.202755e-03,6.212667e-03,6.218040e-03,6.225052e-03,6.225610e-03,6.224443e-03,6.216829e-03,6.210010e-03,6.202789e-03,6.182866e-03,6.170351e-03,6.157568e-03,6.127371e-03,6.110575e-03,6.092719e-03,6.054028e-03,6.034136e-03,6.011684e-03,5.966048e-03,5.944042e-03,5.917454e-03,5.866216e-03,5.842909e-03,5.812624e-03,5.756948e-03,5.733003e-03,5.699438e-03,5.640326e-03,5.616282e-03,5.579829e-03,5.518145e-03,5.494434e-03,5.455461e-03,5.391947e-03,5.368910e-03,5.327761e-03,5.263050e-03,5.240953e-03,5.197948e-03,5.132580e-03,5.111624e-03,5.067059e-03,5.001492e-03,4.981828e-03,4.935975e-03,4.870596e-03,4.852326e-03,4.805437e-03,4.740573e-03,4.723764e-03,4.676070e-03,4.611990e-03,4.596680e-03,4.548390e-03,4.485321e-03,4.471522e-03,4.422828e-03,4.360952e-03,4.348655e-03,4.299731e-03,4.239199e-03,4.228378e-03,4.179383e-03,4.120311e-03,4.110930e-03,4.062006e-03,4.004488e-03,3.996500e-03,3.947775e-03,3.891880e-03,3.885228e-03,3.836818e-03,3.782597e-03,3.777222e-03,3.729227e-03,3.676714e-03,3.672550e-03,3.625062e-03,3.574275e-03,3.571255e-03,3.524355e-03,3.475303e-03,3.473359e-03,3.427117e-03,3.379797e-03,3.378859e-03,3.333339e-03,3.287740e-03,3.199967e-03,3.115496e-03,3.034273e-03,2.956235e-03,2.881312e-03,2.809430e-03,2.740510e-03,2.674472e-03,2.611231e-03,2.550703e-03,2.492802e-03,2.437442e-03,2.384536e-03,2.333999e-03,2.285747e-03,2.239696e-03,2.195766e-03,2.153876e-03,2.113948e-03,2.075905e-03,2.039674e-03,2.005181e-03,1.972357e-03,1.941133e-03,1.911443e-03,1.883223e-03,1.856412e-03,1.830949e-03,1.806778e-03,1.783842e-03,1.762088e-03,1.741463e-03,1.721920e-03,1.703408e-03,1.685883e-03,1.669300e-03,1.653616e-03,1.638791e-03,1.624785e-03,1.611560e-03,1.599081e-03,1.587312e-03,1.576220e-03,1.565774e-03,1.555941e-03,1.546694e-03,1.538003e-03,1.529843e-03,1.522186e-03
