0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,9.982294e-09,2.273876e-08,7.755218e-08,1.753310e-07,2.549896e-07,5.743306e-07,5.914560e-07,1.136494e-06,1.333592e-06,1.943214e-06,2.576708e-06,3.069148e-06,4.434933e-06,4.569806e-06,6.478135e-06,6.996267e-06,8.779022e-06,1.021747e-05,1.141227e-05,1.394598e-05,1.430447e-05,1.739161e-05,1.802775e-05,2.062255e-05,2.234525e-05,2.395521e-05,2.680639e-05,2.735301e-05,3.078285e-05,3.133253e-05,3.421428e-05,3.585365e-05,3.761946e-05,4.030779e-05,4.097337e-05,4.425389e-05,4.464169e-05,4.744205e-05,4.881140e-05,5.052206e-05,5.278260e-05,5.348120e-05,5.630976e-05,5.653017e-05,5.900071e-05,6.003746e-05,6.154945e-05,6.329499e-05,6.395346e-05,6.621216e-05,6.629949e-05,6.832664e-05,6.905296e-05,7.029921e-05,7.156115e-05,7.213317e-05,7.383264e-05,7.540236e-05,7.587809e-05,7.684748e-05,7.770952e-05,7.817356e-05,7.933988e-05,7.938628e-05,8.049109e-05,8.078189e-05,8.149376e-05,8.204865e-05,8.239986e-05,8.315293e-05,8.321492e-05,8.394432e-05,8.410722e-05,8.459330e-05,8.492348e-05,8.516686e-05,8.561303e-05,8.566980e-05,8.610672e-05,8.618657e-05,8.648200e-05,8.665417e-05,8.679979e-05,8.702521e-05,8.706405e-05,8.727852e-05,8.730846e-05,8.744673e-05,8.751202e-05,8.757201e-05,8.764345e-05,8.765751e-05,8.770619e-05,8.770969e-05,8.772084e-05,8.771719e-05,8.770408e-05,8.767186e-05,8.765837e-05,8.758602e-05,8.757915e-05,8.748920e-05,8.744407e-05,8.736993e-05,8.727122e-05,8.723011e-05,8.707153e-05,8.706482e-05,8.689586e-05,8.682874e-05,8.670465e-05,8.656650e-05,8.649936e-05,8.628134e-05,8.605188e-05,8.597623e-05,8.581215e-05,8.565384e-05,8.556325e-05,8.531666e-05,8.530623e-05,8.504204e-05,8.496690e-05,8.477156e-05,8.460661e-05,8.449564e-05,8.423765e-05,8.421504e-05,8.393049e-05,8.386168e-05,8.364265e-05,8.348025e-05,8.335213e-05,8.309473e-05,8.305952e-05,8.276534e-05,8.270636e-05,8.247009e-05,8.231629e-05,8.217422e-05,8.192551e-05,8.187814e-05,8.158225e-05,8.153495e-05,8.128690e-05,8.114542e-05,8.099242e-05,8.075766e-05,8.069911e-05,8.040724e-05,8.037233e-05,8.011708e-05,7.999001e-05,7.982885e-05,7.961122e-05,7.954276e-05,7.925901e-05,7.923641e-05,7.897776e-05,7.886600e-05,7.869917e-05,7.850032e-05,7.842339e-05,7.815055e-05,7.813970e-05,7.788075e-05,7.778439e-05,7.761411e-05,7.743464e-05,7.735070e-05,7.709062e-05,7.675250e-05,7.642042e-05,7.609448e-05,7.577476e-05,7.546133e-05,7.515423e-05,7.485348e-05,7.455909e-05,7.427106e-05,7.398937e-05,7.371399e-05,7.344489e-05,7.318200e-05,7.292528e-05,7.267466e-05,7.243007e-05,7.219144e-05,7.195868e-05,7.173172e-05,7.151045e-05,7.129479e-05,7.108465e-05,7.087992e-05,7.068051e-05
0.000000e+00,3.326973e-09,7.599376e-09,2.607092e-08,5.927282e-08,8.647832e-08,1.964851e-07,2.024187e-07,3.926451e-07,4.619984e-07,6.780594e-07,9.047530e-07,1.082341e-06,1.580734e-06,1.630411e-06,2.342455e-06,2.538832e-06,3.224762e-06,3.789667e-06,4.266332e-06,5.297931e-06,5.446032e-06,6.741701e-06,7.013004e-06,8.134176e-06,8.891108e-06,9.607452e-06,1.089729e-05,1.114771e-05,1.274241e-05,1.300182e-05,1.437976e-05,1.517752e-05,1.604850e-05,1.739879e-05,1.773779e-05,1.943732e-05,1.964148e-05,2.113738e-05,2.188322e-05,2.282897e-05,2.410385e-05,2.450391e-05,2.615485e-05,2.628569e-05,2.777535e-05,2.841376e-05,2.935986e-05,3.047578e-05,3.090373e-05,3.240319e-05,3.246219e-05,3.385518e-05,3.436578e-05,3.525726e-05,3.618127e-05,3.660773e-05,3.790547e-05,3.914979e-05,3.953664e-05,4.034047e-05,4.107441e-05,4.147765e-05,4.251943e-05,4.256179e-05,4.359355e-05,4.387318e-05,4.457384e-05,4.513773e-05,4.550370e-05,4.631567e-05,4.638434e-05,4.721705e-05,4.740992e-05,4.800321e-05,4.842365e-05,4.874424e-05,4.936017e-05,4.944160e-05,5.009677e-05,5.022287e-05,5.071124e-05,5.101517e-05,5.128649e-05,5.174048e-05,5.182401e-05,5.232523e-05,5.240216e-05,5.279160e-05,5.300349e-05,5.322452e-05,5.354769e-05,5.362536e-05,5.399546e-05,5.403786e-05,5.433611e-05,5.447701e-05,5.464860e-05,5.486800e-05,5.493414e-05,5.519392e-05,5.521363e-05,5.542910e-05,5.551653e-05,5.564078e-05,5.577924e-05,5.583003e-05,5.599791e-05,5.600419e-05,5.614539e-05,5.619368e-05,5.627345e-05,5.634991e-05,5.638301e-05,5.647496e-05,5.655016e-05,5.657082e-05,5.660943e-05,5.663937e-05,5.665356e-05,5.668240e-05,5.668332e-05,5.669943e-05,5.670159e-05,5.670260e-05,5.669856e-05,5.669349e-05,5.667482e-05,5.667274e-05,5.664099e-05,5.663180e-05,5.659881e-05,5.657086e-05,5.654678e-05,5.649328e-05,5.648544e-05,5.641531e-05,5.640028e-05,5.633689e-05,5.629299e-05,5.625065e-05,5.617251e-05,5.615706e-05,5.605654e-05,5.603984e-05,5.594951e-05,5.589594e-05,5.583638e-05,5.574173e-05,5.571752e-05,5.559329e-05,5.557804e-05,5.546406e-05,5.540570e-05,5.533015e-05,5.522544e-05,5.519187e-05,5.504953e-05,5.503798e-05,5.490342e-05,5.484398e-05,5.475382e-05,5.464409e-05,5.460099e-05,5.444517e-05,5.443888e-05,5.428662e-05,5.422891e-05,5.412555e-05,5.401471e-05,5.396220e-05,5.379675e-05,5.357550e-05,5.335139e-05,5.312481e-05,5.289615e-05,5.266575e-05,5.243395e-05,5.220106e-05,5.196735e-05,5.173310e-05,5.149856e-05,5.126397e-05,5.102953e-05,5.079545e-05,5.056192e-05,5.032910e-05,5.009717e-05,4.986627e-05,4.963654e-05,4.940810e-05,4.918107e-05,4.895557e-05,4.873168e-05,4.850949e-05,4.828911e-05
0.000000e+00,1.248308e-08,2.854617e-08,9.827185e-08,2.245324e-07,3.287924e-07,7.570483e-07,7.804344e-07,1.544155e-06,1.828761e-06,2.733068e-06,3.704456e-06,4.476215e-06,6.659726e-06,6.877040e-06,9.949725e-06,1.077959e-05,1.361663e-05,1.589002e-05,1.777275e-05,2.176391e-05,2.232950e-05,2.721979e-05,2.823304e-05,3.239040e-05,3.517437e-05,3.779502e-05,4.248409e-05,4.339045e-05,4.913489e-05,5.006510e-05,5.498767e-05,5.782390e-05,6.090960e-05,6.567182e-05,6.686344e-05,7.281455e-05,7.352696e-05,7.873133e-05,8.131643e-05,8.458545e-05,8.897716e-05,9.035194e-05,9.600960e-05,9.645695e-05,1.015405e-04,1.037140e-04,1.069299e-04,1.107160e-04,1.121661e-04,1.172398e-04,1.174393e-04,1.221441e-04,1.238671e-04,1.268740e-04,1.299892e-04,1.314266e-04,1.358000e-04,1.399939e-04,1.412981e-04,1.440088e-04,1.464851e-04,1.478463e-04,1.513653e-04,1.515085e-04,1.549981e-04,1.559447e-04,1.583183e-04,1.602306e-04,1.614727e-04,1.642315e-04,1.644650e-04,1.672994e-04,1.679565e-04,1.699799e-04,1.714154e-04,1.725109e-04,1.746179e-04,1.748967e-04,1.771418e-04,1.775743e-04,1.792505e-04,1.802946e-04,1.812273e-04,1.827890e-04,1.830764e-04,1.848023e-04,1.850673e-04,1.864093e-04,1.871396e-04,1.879014e-04,1.890153e-04,1.892829e-04,1.905579e-04,1.907039e-04,1.917302e-04,1.922146e-04,1.928039e-04,1.935562e-04,1.937827e-04,1.946702e-04,1.947374e-04,1.954702e-04,1.957665e-04,1.961862e-04,1.966516e-04,1.968215e-04,1.973796e-04,1.974003e-04,1.978635e-04,1.980203e-04,1.982766e-04,1.985186e-04,1.986218e-04,1.989021e-04,1.991203e-04,1.991775e-04,1.992793e-04,1.993512e-04,1.993817e-04,1.994291e-04,1.994300e-04,1.994269e-04,1.994171e-04,1.993747e-04,1.993208e-04,1.992758e-04,1.991455e-04,1.991324e-04,1.989468e-04,1.988962e-04,1.987209e-04,1.985777e-04,1.984570e-04,1.981947e-04,1.981568e-04,1.978224e-04,1.977516e-04,1.974555e-04,1.972525e-04,1.970579e-04,1.967014e-04,1.966312e-04,1.961772e-04,1.961021e-04,1.956972e-04,1.954581e-04,1.951930e-04,1.947730e-04,1.946658e-04,1.941171e-04,1.940499e-04,1.935482e-04,1.932919e-04,1.929605e-04,1.925019e-04,1.923550e-04,1.917331e-04,1.916826e-04,1.910957e-04,1.908367e-04,1.904441e-04,1.899667e-04,1.897793e-04,1.891022e-04,1.890748e-04,1.884138e-04,1.881634e-04,1.877150e-04,1.872344e-04,1.870067e-04,1.862898e-04,1.853315e-04,1.843613e-04,1.833808e-04,1.823915e-04,1.813949e-04,1.803923e-04,1.793852e-04,1.783746e-04,1.773617e-04,1.763475e-04,1.753331e-04,1.743194e-04,1.733072e-04,1.722973e-04,1.712905e-04,1.702876e-04,1.692890e-04,1.682955e-04,1.673076e-04,1.663258e-04,1.653506e-04,1.643824e-04,1.634216e-04,1.624686e-04
0.000000e+00,5.605688e-09,1.277101e-08,4.361107e-08,9.887034e-08,1.441349e-07,3.278371e-07,3.377887e-07,6.595755e-07,7.782312e-07,1.152154e-06,1.550542e-06,1.866165e-06,2.763406e-06,2.853467e-06,4.148424e-06,4.505193e-06,5.742614e-06,6.746070e-06,7.578715e-06,9.330818e-06,9.576514e-06,1.166311e-05,1.208599e-05,1.378433e-05,1.488810e-05,1.590275e-05,1.766088e-05,1.799247e-05,2.003502e-05,2.035648e-05,2.201676e-05,2.294329e-05,2.392751e-05,2.539986e-05,2.575974e-05,2.750810e-05,2.771208e-05,2.916910e-05,2.987173e-05,3.074084e-05,3.187532e-05,3.222282e-05,3.361560e-05,3.372320e-05,3.492063e-05,3.541857e-05,3.614021e-05,3.696689e-05,3.727702e-05,3.833416e-05,3.837483e-05,3.931503e-05,3.965016e-05,4.022319e-05,4.080104e-05,4.106224e-05,4.183586e-05,4.254767e-05,4.276297e-05,4.320122e-05,4.359052e-05,4.379996e-05,4.432627e-05,4.434721e-05,4.484612e-05,4.497757e-05,4.529972e-05,4.555133e-05,4.571088e-05,4.605400e-05,4.608232e-05,4.641660e-05,4.649157e-05,4.671614e-05,4.686956e-05,4.698321e-05,4.719307e-05,4.721995e-05,4.742836e-05,4.746681e-05,4.761033e-05,4.769510e-05,4.776762e-05,4.788188e-05,4.790188e-05,4.801467e-05,4.803082e-05,4.810742e-05,4.814523e-05,4.818151e-05,4.822818e-05,4.823818e-05,4.827864e-05,4.828246e-05,4.830400e-05,4.831064e-05,4.831529e-05,4.831507e-05,4.831349e-05,4.829951e-05,4.829789e-05,4.827419e-05,4.826107e-05,4.823835e-05,4.820643e-05,4.819271e-05,4.813799e-05,4.813562e-05,4.807483e-05,4.805015e-05,4.800385e-05,4.795141e-05,4.792562e-05,4.784067e-05,4.774952e-05,4.771911e-05,4.765262e-05,4.758780e-05,4.755042e-05,4.744771e-05,4.744334e-05,4.733176e-05,4.729976e-05,4.721604e-05,4.714477e-05,4.709653e-05,4.698350e-05,4.697354e-05,4.684738e-05,4.681666e-05,4.671832e-05,4.664489e-05,4.658664e-05,4.646878e-05,4.645257e-05,4.631635e-05,4.628887e-05,4.617820e-05,4.610566e-05,4.603831e-05,4.591962e-05,4.589689e-05,4.575411e-05,4.573116e-05,4.561015e-05,4.554067e-05,4.546515e-05,4.534852e-05,4.531928e-05,4.517266e-05,4.515503e-05,4.502544e-05,4.496050e-05,4.487773e-05,4.476521e-05,4.472965e-05,4.458131e-05,4.456943e-05,4.443281e-05,4.437338e-05,4.428424e-05,4.417729e-05,4.413570e-05,4.398727e-05,4.398134e-05,4.383903e-05,4.378573e-05,4.369106e-05,4.359062e-05,4.354341e-05,4.339616e-05,4.320251e-05,4.300978e-05,4.281809e-05,4.262756e-05,4.243828e-05,4.225034e-05,4.206383e-05,4.187881e-05,4.169536e-05,4.151354e-05,4.133339e-05,4.115498e-05,4.097834e-05,4.080352e-05,4.063054e-05,4.045944e-05,4.029025e-05,4.012298e-05,3.995766e-05,3.979430e-05,3.963292e-05,3.947353e-05,3.931613e-05,3.916074e-05
0.000000e+00,5.960373e-08,1.359943e-07,4.652407e-07,1.054132e-06,1.534391e-06,3.458698e-06,3.561755e-06,6.829970e-06,8.005556e-06,1.161941e-05,1.534087e-05,1.821276e-05,2.611007e-05,2.688656e-05,3.787638e-05,4.087593e-05,5.130691e-05,5.988010e-05,6.711790e-05,8.280617e-05,8.506054e-05,1.047816e-04,1.089067e-04,1.259172e-04,1.373558e-04,1.481381e-04,1.674300e-04,1.711555e-04,1.947146e-04,1.985188e-04,2.185868e-04,2.300952e-04,2.425655e-04,2.616993e-04,2.664644e-04,2.901177e-04,2.929324e-04,3.133793e-04,3.234573e-04,3.361237e-04,3.529977e-04,3.582451e-04,3.796570e-04,3.813371e-04,4.002907e-04,4.083140e-04,4.200938e-04,4.338162e-04,4.390289e-04,4.570714e-04,4.577743e-04,4.742080e-04,4.801545e-04,4.904350e-04,5.009517e-04,5.057566e-04,5.201838e-04,5.337329e-04,5.378863e-04,5.464242e-04,5.541073e-04,5.582815e-04,5.689041e-04,5.693310e-04,5.796006e-04,5.823403e-04,5.891195e-04,5.944829e-04,5.979176e-04,6.054011e-04,6.060250e-04,6.134721e-04,6.151645e-04,6.202889e-04,6.238420e-04,6.265049e-04,6.315012e-04,6.321493e-04,6.372504e-04,6.382078e-04,6.418357e-04,6.440251e-04,6.459320e-04,6.490139e-04,6.495651e-04,6.527601e-04,6.532322e-04,6.555409e-04,6.567354e-04,6.579306e-04,6.595758e-04,6.599515e-04,6.616247e-04,6.618031e-04,6.629706e-04,6.634641e-04,6.640086e-04,6.646031e-04,6.647574e-04,6.652346e-04,6.652616e-04,6.654573e-04,6.654787e-04,6.654415e-04,6.652911e-04,6.652026e-04,6.647552e-04,6.647332e-04,6.641133e-04,6.638372e-04,6.632901e-04,6.626332e-04,6.622981e-04,6.611494e-04,6.598551e-04,6.594120e-04,6.584262e-04,6.574457e-04,6.568727e-04,6.552732e-04,6.552043e-04,6.534303e-04,6.529158e-04,6.515592e-04,6.503934e-04,6.495993e-04,6.477243e-04,6.475582e-04,6.454435e-04,6.449257e-04,6.432618e-04,6.420134e-04,6.410199e-04,6.390021e-04,6.387239e-04,6.363795e-04,6.359053e-04,6.339923e-04,6.327358e-04,6.315675e-04,6.295051e-04,6.291099e-04,6.266240e-04,6.262240e-04,6.241143e-04,6.229023e-04,6.215847e-04,6.195492e-04,6.190390e-04,6.164808e-04,6.161731e-04,6.139134e-04,6.127816e-04,6.113399e-04,6.093819e-04,6.087633e-04,6.061864e-04,6.059803e-04,6.036115e-04,6.025827e-04,6.010412e-04,5.991947e-04,5.984777e-04,5.959229e-04,5.958209e-04,5.933789e-04,5.924660e-04,5.908473e-04,5.891339e-04,5.883299e-04,5.858282e-04,5.825522e-04,5.793088e-04,5.761008e-04,5.729303e-04,5.697995e-04,5.667101e-04,5.636638e-04,5.606620e-04,5.577057e-04,5.547960e-04,5.519337e-04,5.491195e-04,5.463538e-04,5.436372e-04,5.409697e-04,5.383518e-04,5.357833e-04,5.332642e-04,5.307945e-04,5.283740e-04,5.260024e-04,5.236793e-04,5.214045e-04,5.191774e-04
0.000000e+00,4.785910e-09,1.093443e-08,3.750599e-08,8.516154e-08,1.240865e-07,2.802479e-07,2.886141e-07,5.538021e-07,6.490800e-07,9.414720e-07,1.241735e-06,1.472895e-06,2.106471e-06,2.168635e-06,3.047170e-06,3.286850e-06,4.121631e-06,4.810792e-06,5.395881e-06,6.677610e-06,6.863536e-06,8.511140e-06,8.860829e-06,1.032227e-05,1.132302e-05,1.227984e-05,1.402486e-05,1.436675e-05,1.656588e-05,1.692700e-05,1.886001e-05,1.998986e-05,2.123188e-05,2.317381e-05,2.366433e-05,2.614053e-05,2.643983e-05,2.864422e-05,2.975053e-05,3.115995e-05,3.307106e-05,3.367333e-05,3.617112e-05,3.636991e-05,3.864140e-05,3.961939e-05,4.107359e-05,4.279595e-05,4.345847e-05,4.578816e-05,4.588010e-05,4.805608e-05,4.885633e-05,5.025683e-05,5.171274e-05,5.238612e-05,5.444070e-05,5.641818e-05,5.703441e-05,5.831699e-05,5.949052e-05,6.013626e-05,6.180767e-05,6.187572e-05,6.353561e-05,6.398620e-05,6.511660e-05,6.602775e-05,6.661975e-05,6.793504e-05,6.804639e-05,6.939810e-05,6.971155e-05,7.067666e-05,7.136141e-05,7.188399e-05,7.288914e-05,7.302213e-05,7.409321e-05,7.429957e-05,7.509941e-05,7.559773e-05,7.604294e-05,7.678870e-05,7.692602e-05,7.775088e-05,7.787761e-05,7.851975e-05,7.886955e-05,7.923480e-05,7.976954e-05,7.989819e-05,8.051204e-05,8.058248e-05,8.107844e-05,8.131314e-05,8.159939e-05,8.196614e-05,8.207688e-05,8.251283e-05,8.254597e-05,8.290910e-05,8.305690e-05,8.326749e-05,8.350307e-05,8.358976e-05,8.387760e-05,8.388843e-05,8.413265e-05,8.421674e-05,8.435647e-05,8.449162e-05,8.455060e-05,8.471650e-05,8.485558e-05,8.489464e-05,8.496920e-05,8.502916e-05,8.505867e-05,8.512300e-05,8.512524e-05,8.517012e-05,8.517896e-05,8.519447e-05,8.519969e-05,8.519940e-05,8.518771e-05,8.518598e-05,8.515523e-05,8.514538e-05,8.510813e-05,8.507497e-05,8.504563e-05,8.497859e-05,8.496861e-05,8.487794e-05,8.485824e-05,8.477445e-05,8.471583e-05,8.465892e-05,8.455313e-05,8.453211e-05,8.439474e-05,8.437182e-05,8.424749e-05,8.417350e-05,8.409102e-05,8.395964e-05,8.392597e-05,8.375293e-05,8.373165e-05,8.357247e-05,8.349086e-05,8.338514e-05,8.323849e-05,8.319145e-05,8.299191e-05,8.297571e-05,8.278698e-05,8.270360e-05,8.257712e-05,8.242320e-05,8.236275e-05,8.214427e-05,8.213546e-05,8.192209e-05,8.184127e-05,8.169656e-05,8.154147e-05,8.146803e-05,8.123685e-05,8.092813e-05,8.061601e-05,8.030112e-05,7.998405e-05,7.966535e-05,7.934554e-05,7.902509e-05,7.870445e-05,7.838402e-05,7.806418e-05,7.774529e-05,7.742766e-05,7.711159e-05,7.679735e-05,7.648520e-05,7.617537e-05,7.586805e-05,7.556345e-05,7.526173e-05,7.496306e-05,7.466756e-05,7.437537e-05,7.408660e-05,7.380135e-05
0.000000e+00,5.075720e-09,1.160214e-08,3.988323e-08,9.091962e-08,1.329059e-07,3.040271e-07,3.133142e-07,6.138188e-07,7.246094e-07,1.073462e-06,1.444755e-06,1.738833e-06,2.576044e-06,2.660277e-06,3.878311e-06,4.216794e-06,5.403712e-06,6.383771e-06,7.210916e-06,8.998060e-06,9.254104e-06,1.148683e-05,1.195257e-05,1.387053e-05,1.515932e-05,1.637464e-05,1.855283e-05,1.897427e-05,2.164801e-05,2.208137e-05,2.437654e-05,2.570039e-05,2.714192e-05,2.936937e-05,2.992725e-05,3.271662e-05,3.305089e-05,3.549513e-05,3.671066e-05,3.824909e-05,4.031799e-05,4.096608e-05,4.363503e-05,4.384618e-05,4.624628e-05,4.727272e-05,4.879153e-05,5.057932e-05,5.126387e-05,5.365765e-05,5.375171e-05,5.596843e-05,5.677931e-05,5.819285e-05,5.965488e-05,6.032854e-05,6.237401e-05,6.432851e-05,6.493471e-05,6.619196e-05,6.733697e-05,6.796482e-05,6.958239e-05,6.964802e-05,7.124288e-05,7.167383e-05,7.275104e-05,7.361510e-05,7.417439e-05,7.541076e-05,7.551502e-05,7.677517e-05,7.706589e-05,7.795721e-05,7.858593e-05,7.906356e-05,7.997653e-05,8.009673e-05,8.105923e-05,8.124347e-05,8.195359e-05,8.239257e-05,8.278234e-05,8.342961e-05,8.354798e-05,8.425297e-05,8.436031e-05,8.489976e-05,8.519024e-05,8.549072e-05,8.592488e-05,8.602820e-05,8.651448e-05,8.656950e-05,8.695177e-05,8.712922e-05,8.734223e-05,8.760896e-05,8.768797e-05,8.799102e-05,8.801348e-05,8.825335e-05,8.834730e-05,8.847686e-05,8.861479e-05,8.866340e-05,8.881475e-05,8.882010e-05,8.893264e-05,8.896720e-05,8.901870e-05,8.905988e-05,8.907456e-05,8.910173e-05,8.910171e-05,8.909619e-05,8.907592e-05,8.904652e-05,8.902572e-05,8.895579e-05,8.895244e-05,8.885733e-05,8.882696e-05,8.874162e-05,8.866279e-05,8.860646e-05,8.846591e-05,8.845298e-05,8.828225e-05,8.823882e-05,8.809529e-05,8.798387e-05,8.789309e-05,8.770329e-05,8.767658e-05,8.744668e-05,8.739917e-05,8.720425e-05,8.707351e-05,8.695011e-05,8.672816e-05,8.668505e-05,8.640982e-05,8.636489e-05,8.612516e-05,8.598537e-05,8.583174e-05,8.559114e-05,8.553022e-05,8.522124e-05,8.518368e-05,8.490538e-05,8.476438e-05,8.458323e-05,8.433452e-05,8.425532e-05,8.392218e-05,8.389532e-05,8.358430e-05,8.344792e-05,8.324214e-05,8.299340e-05,8.289617e-05,8.254679e-05,8.253275e-05,8.219442e-05,8.206691e-05,8.183944e-05,8.159675e-05,8.148221e-05,8.112309e-05,8.064669e-05,8.016827e-05,7.968848e-05,7.920795e-05,7.872724e-05,7.824689e-05,7.776739e-05,7.728918e-05,7.681270e-05,7.633834e-05,7.586644e-05,7.539733e-05,7.493133e-05,7.446870e-05,7.400970e-05,7.355456e-05,7.310347e-05,7.265664e-05,7.221423e-05,7.177639e-05,7.134326e-05,7.091495e-05,7.049158e-05,7.007323e-05
0.000000e+00,1.243813e-08,2.839113e-08,9.739125e-08,2.218993e-07,3.245160e-07,7.454395e-07,7.684190e-07,1.519448e-06,1.799762e-06,2.692321e-06,3.654278e-06,4.420738e-06,6.597823e-06,6.815028e-06,9.890147e-06,1.072046e-05,1.355202e-05,1.580903e-05,1.766805e-05,2.157530e-05,2.212518e-05,2.684055e-05,2.780895e-05,3.175273e-05,3.436817e-05,3.681238e-05,4.114475e-05,4.197632e-05,4.720464e-05,4.804459e-05,5.245963e-05,5.498094e-05,5.770559e-05,6.187329e-05,6.290907e-05,6.803947e-05,6.864886e-05,7.306934e-05,7.524435e-05,7.797478e-05,8.160710e-05,8.273554e-05,8.733498e-05,8.769555e-05,9.175994e-05,9.347872e-05,9.600044e-05,9.893548e-05,1.000497e-04,1.039038e-04,1.040539e-04,1.075610e-04,1.088294e-04,1.110215e-04,1.132632e-04,1.142873e-04,1.173618e-04,1.202493e-04,1.211346e-04,1.229545e-04,1.245927e-04,1.254829e-04,1.277492e-04,1.278403e-04,1.300333e-04,1.306188e-04,1.320685e-04,1.332167e-04,1.339527e-04,1.355597e-04,1.356939e-04,1.373001e-04,1.376663e-04,1.387778e-04,1.395515e-04,1.401334e-04,1.412304e-04,1.413733e-04,1.425036e-04,1.427170e-04,1.435302e-04,1.440249e-04,1.444587e-04,1.451669e-04,1.452946e-04,1.460430e-04,1.461549e-04,1.467088e-04,1.470005e-04,1.472968e-04,1.477142e-04,1.478115e-04,1.482571e-04,1.483062e-04,1.486378e-04,1.487857e-04,1.489574e-04,1.491616e-04,1.492194e-04,1.494275e-04,1.494419e-04,1.495848e-04,1.496342e-04,1.496945e-04,1.497457e-04,1.497596e-04,1.497828e-04,1.497829e-04,1.497668e-04,1.497519e-04,1.497141e-04,1.496585e-04,1.496271e-04,1.495079e-04,1.493588e-04,1.493050e-04,1.491817e-04,1.490545e-04,1.489784e-04,1.487604e-04,1.487509e-04,1.485007e-04,1.484269e-04,1.482295e-04,1.480574e-04,1.479388e-04,1.476554e-04,1.476300e-04,1.473044e-04,1.472239e-04,1.469634e-04,1.467660e-04,1.466080e-04,1.462843e-04,1.462395e-04,1.458588e-04,1.457813e-04,1.454671e-04,1.452593e-04,1.450652e-04,1.447205e-04,1.446541e-04,1.442346e-04,1.441667e-04,1.438075e-04,1.436000e-04,1.433735e-04,1.430218e-04,1.429334e-04,1.424877e-04,1.424339e-04,1.420373e-04,1.418377e-04,1.415826e-04,1.412345e-04,1.411242e-04,1.406626e-04,1.406255e-04,1.401983e-04,1.400120e-04,1.397319e-04,1.393949e-04,1.392636e-04,1.387940e-04,1.387752e-04,1.383235e-04,1.381539e-04,1.378523e-04,1.375317e-04,1.373808e-04,1.369095e-04,1.362879e-04,1.356675e-04,1.350490e-04,1.344329e-04,1.338198e-04,1.332099e-04,1.326039e-04,1.320020e-04,1.314046e-04,1.308120e-04,1.302244e-04,1.296423e-04,1.290657e-04,1.284949e-04,1.279300e-04,1.273713e-04,1.268188e-04,1.262728e-04,1.257332e-04,1.252003e-04,1.246741e-04,1.241546e-04,1.236419e-04,1.231360e-04
0.000000e+00,6.744769e-09,1.532663e-08,5.201100e-08,1.170598e-07,1.698333e-07,3.802566e-07,3.915047e-07,7.483370e-07,8.769811e-07,1.273954e-06,1.684937e-06,2.002936e-06,2.874442e-06,2.959475e-06,4.141032e-06,4.455428e-06,5.521712e-06,6.370369e-06,7.071173e-06,8.554166e-06,8.764204e-06,1.058036e-05,1.095676e-05,1.250152e-05,1.353619e-05,1.451010e-05,1.625178e-05,1.658820e-05,1.871748e-05,1.906167e-05,2.087926e-05,2.192297e-05,2.305491e-05,2.479320e-05,2.522630e-05,2.737621e-05,2.763199e-05,2.948877e-05,3.040270e-05,3.154964e-05,3.307354e-05,3.354628e-05,3.546813e-05,3.561837e-05,3.730657e-05,3.801702e-05,3.905490e-05,4.025511e-05,4.070827e-05,4.226352e-05,4.232366e-05,4.371902e-05,4.421849e-05,4.507449e-05,4.593947e-05,4.633079e-05,4.748975e-05,4.855399e-05,4.887505e-05,4.952673e-05,5.010297e-05,5.041169e-05,5.118240e-05,5.121290e-05,5.193463e-05,5.212306e-05,5.258126e-05,5.293504e-05,5.315723e-05,5.362849e-05,5.366693e-05,5.411470e-05,5.421341e-05,5.450472e-05,5.469943e-05,5.484106e-05,5.509572e-05,5.512760e-05,5.536802e-05,5.541088e-05,5.556582e-05,5.565294e-05,5.572430e-05,5.582930e-05,5.584655e-05,5.593547e-05,5.594678e-05,5.599375e-05,5.601160e-05,5.602393e-05,5.602941e-05,5.602834e-05,5.600914e-05,5.600535e-05,5.596836e-05,5.594407e-05,5.590786e-05,5.584974e-05,5.582935e-05,5.573442e-05,5.572617e-05,5.562456e-05,5.557673e-05,5.550110e-05,5.540451e-05,5.536531e-05,5.521833e-05,5.521224e-05,5.506123e-05,5.500239e-05,5.489499e-05,5.477718e-05,5.472050e-05,5.453861e-05,5.435007e-05,5.428846e-05,5.415561e-05,5.402834e-05,5.395586e-05,5.375970e-05,5.375144e-05,5.354289e-05,5.348383e-05,5.333073e-05,5.320190e-05,5.311543e-05,5.291495e-05,5.289742e-05,5.267712e-05,5.262395e-05,5.245488e-05,5.232972e-05,5.223106e-05,5.203304e-05,5.200597e-05,5.177989e-05,5.173458e-05,5.155310e-05,5.143498e-05,5.132585e-05,5.113478e-05,5.109837e-05,5.087087e-05,5.083448e-05,5.064354e-05,5.053454e-05,5.041656e-05,5.023535e-05,5.019011e-05,4.996433e-05,4.993728e-05,4.973936e-05,4.964066e-05,4.951533e-05,4.934577e-05,4.929236e-05,4.907057e-05,4.905288e-05,4.885004e-05,4.876221e-05,4.863088e-05,4.847397e-05,4.841316e-05,4.819697e-05,4.818835e-05,4.798237e-05,4.790551e-05,4.776942e-05,4.762559e-05,4.755819e-05,4.734873e-05,4.707502e-05,4.680456e-05,4.653745e-05,4.627374e-05,4.601351e-05,4.575679e-05,4.550363e-05,4.525406e-05,4.500811e-05,4.476580e-05,4.452712e-05,4.429210e-05,4.406072e-05,4.383300e-05,4.360890e-05,4.338843e-05,4.317157e-05,4.295829e-05,4.274857e-05,4.254239e-05,4.233971e-05,4.214052e-05,4.194476e-05,4.175242e-05
0.000000e+00,4.919057e-08,1.123623e-07,3.861025e-07,8.814339e-07,1.290718e-06,2.977412e-06,3.069808e-06,6.101930e-06,7.237168e-06,1.084512e-05,1.468638e-05,1.768830e-05,2.588435e-05,2.667692e-05,3.754157e-05,4.039241e-05,4.997359e-05,5.753037e-05,6.373962e-05,7.681671e-05,7.866359e-05,9.459305e-05,9.788656e-05,1.113791e-04,1.203958e-04,1.288687e-04,1.439884e-04,1.469042e-04,1.653255e-04,1.682981e-04,1.839745e-04,1.929620e-04,2.026994e-04,2.176382e-04,2.213582e-04,2.398215e-04,2.420183e-04,2.579749e-04,2.658385e-04,2.757205e-04,2.888832e-04,2.929760e-04,3.096743e-04,3.109845e-04,3.257632e-04,3.320188e-04,3.412031e-04,3.519020e-04,3.559663e-04,3.700353e-04,3.705835e-04,3.834012e-04,3.880403e-04,3.960623e-04,4.042713e-04,4.080230e-04,4.192925e-04,4.298841e-04,4.331328e-04,4.398139e-04,4.458301e-04,4.491004e-04,4.574289e-04,4.577638e-04,4.658255e-04,4.679779e-04,4.733077e-04,4.775282e-04,4.802330e-04,4.861320e-04,4.866242e-04,4.925040e-04,4.938415e-04,4.978949e-04,5.007086e-04,5.028192e-04,5.067838e-04,5.072986e-04,5.113541e-04,5.121162e-04,5.150065e-04,5.167531e-04,5.182757e-04,5.207398e-04,5.211809e-04,5.237410e-04,5.241197e-04,5.259737e-04,5.269342e-04,5.278964e-04,5.292225e-04,5.295256e-04,5.308774e-04,5.310217e-04,5.319670e-04,5.323671e-04,5.328089e-04,5.332918e-04,5.334173e-04,5.338054e-04,5.338273e-04,5.339860e-04,5.340030e-04,5.339715e-04,5.338467e-04,5.337733e-04,5.334028e-04,5.333845e-04,5.328703e-04,5.326409e-04,5.321861e-04,5.316390e-04,5.313597e-04,5.304003e-04,5.293166e-04,5.289450e-04,5.281170e-04,5.272920e-04,5.268092e-04,5.254589e-04,5.254008e-04,5.238988e-04,5.234624e-04,5.223101e-04,5.213179e-04,5.206410e-04,5.190397e-04,5.188976e-04,5.170858e-04,5.166413e-04,5.152109e-04,5.141353e-04,5.132781e-04,5.115333e-04,5.112924e-04,5.092585e-04,5.088463e-04,5.071806e-04,5.060842e-04,5.050631e-04,5.032566e-04,5.029098e-04,5.007245e-04,5.003721e-04,4.985106e-04,4.974388e-04,4.962716e-04,4.944644e-04,4.940105e-04,4.917304e-04,4.914556e-04,4.894340e-04,4.884191e-04,4.871240e-04,4.853607e-04,4.848028e-04,4.824727e-04,4.822860e-04,4.801361e-04,4.792001e-04,4.777949e-04,4.761076e-04,4.754512e-04,4.731066e-04,4.730129e-04,4.707630e-04,4.699199e-04,4.684220e-04,4.668323e-04,4.660850e-04,4.637535e-04,4.606865e-04,4.576341e-04,4.545989e-04,4.515831e-04,4.485890e-04,4.456183e-04,4.426729e-04,4.397543e-04,4.368639e-04,4.340029e-04,4.311724e-04,4.283734e-04,4.256067e-04,4.228731e-04,4.201732e-04,4.175076e-04,4.148767e-04,4.122808e-04,4.097203e-04,4.071954e-04,4.047062e-04,4.022529e-04,3.998354e-04,3.974538e-04
0.000000e+00,1.090603e-08,2.492523e-08,8.575526e-08,1.960280e-07,2.872813e-07,6.642508e-07,6.849360e-07,1.365710e-06,1.621799e-06,2.442908e-06,3.335937e-06,4.052647e-06,6.110745e-06,6.317760e-06,9.275907e-06,1.008177e-05,1.284425e-05,1.505514e-05,1.687796e-05,2.070523e-05,2.124290e-05,2.583929e-05,2.677968e-05,3.059556e-05,3.311361e-05,3.545770e-05,3.959141e-05,4.038182e-05,4.533007e-05,4.612173e-05,5.026881e-05,5.262708e-05,5.516797e-05,5.904070e-05,6.000081e-05,6.474414e-05,6.530634e-05,6.937797e-05,7.137777e-05,7.388569e-05,7.721888e-05,7.825393e-05,8.247226e-05,8.280301e-05,8.653301e-05,8.811193e-05,9.043084e-05,9.313446e-05,9.416243e-05,9.772638e-05,9.786545e-05,1.011229e-04,1.023049e-04,1.043533e-04,1.064563e-04,1.074199e-04,1.103259e-04,1.130749e-04,1.139221e-04,1.156711e-04,1.172546e-04,1.181191e-04,1.203339e-04,1.204234e-04,1.225890e-04,1.231712e-04,1.246209e-04,1.257779e-04,1.265240e-04,1.281653e-04,1.283032e-04,1.299635e-04,1.303448e-04,1.315097e-04,1.323275e-04,1.329465e-04,1.341242e-04,1.342787e-04,1.355105e-04,1.357453e-04,1.366466e-04,1.372009e-04,1.376911e-04,1.385006e-04,1.386480e-04,1.395215e-04,1.396538e-04,1.403154e-04,1.406692e-04,1.410333e-04,1.415553e-04,1.416788e-04,1.422553e-04,1.423200e-04,1.427662e-04,1.429710e-04,1.432146e-04,1.435155e-04,1.436036e-04,1.439361e-04,1.439603e-04,1.442148e-04,1.443119e-04,1.444426e-04,1.445765e-04,1.446219e-04,1.447553e-04,1.447597e-04,1.448451e-04,1.448672e-04,1.448936e-04,1.449040e-04,1.449029e-04,1.448751e-04,1.448123e-04,1.447851e-04,1.447162e-04,1.446382e-04,1.445888e-04,1.444386e-04,1.444318e-04,1.442467e-04,1.441901e-04,1.440353e-04,1.438964e-04,1.437990e-04,1.435609e-04,1.435393e-04,1.432575e-04,1.431867e-04,1.429549e-04,1.427769e-04,1.426329e-04,1.423344e-04,1.422926e-04,1.419352e-04,1.418618e-04,1.415617e-04,1.413615e-04,1.411733e-04,1.408361e-04,1.407708e-04,1.403552e-04,1.402876e-04,1.399275e-04,1.397182e-04,1.394885e-04,1.391297e-04,1.390390e-04,1.385798e-04,1.385241e-04,1.381117e-04,1.379030e-04,1.376352e-04,1.372680e-04,1.371512e-04,1.366603e-04,1.366207e-04,1.361630e-04,1.359624e-04,1.356600e-04,1.352945e-04,1.351517e-04,1.346388e-04,1.346182e-04,1.341217e-04,1.339346e-04,1.336009e-04,1.332449e-04,1.330769e-04,1.325500e-04,1.318508e-04,1.311483e-04,1.304433e-04,1.297365e-04,1.290286e-04,1.283204e-04,1.276124e-04,1.269051e-04,1.261992e-04,1.254951e-04,1.247933e-04,1.240941e-04,1.233981e-04,1.227055e-04,1.220167e-04,1.213319e-04,1.206516e-04,1.199758e-04,1.193049e-04,1.186391e-04,1.179786e-04,1.173235e-04,1.166740e-04,1.160303e-04
0.000000e+00,2.864403e-09,6.521270e-09,2.220678e-08,5.009844e-08,7.274585e-08,1.629124e-07,1.677208e-07,3.194229e-07,3.736819e-07,5.396913e-07,7.096422e-07,8.402475e-07,1.197630e-06,1.232667e-06,1.727627e-06,1.862646e-06,2.332967e-06,2.721222e-06,3.050614e-06,3.770106e-06,3.874096e-06,4.789199e-06,4.981638e-06,5.777780e-06,6.314774e-06,6.821651e-06,7.729280e-06,7.904571e-06,9.012602e-06,9.191394e-06,1.013378e-05,1.067351e-05,1.125770e-05,1.215264e-05,1.237523e-05,1.347830e-05,1.360935e-05,1.455985e-05,1.502732e-05,1.561381e-05,1.639316e-05,1.663503e-05,1.761926e-05,1.769630e-05,1.856317e-05,1.892885e-05,1.946423e-05,2.008544e-05,2.032067e-05,2.113145e-05,2.116292e-05,2.189610e-05,2.216007e-05,2.261467e-05,2.307720e-05,2.328764e-05,2.391590e-05,2.450059e-05,2.467871e-05,2.504310e-05,2.536889e-05,2.554500e-05,2.599016e-05,2.600795e-05,2.643374e-05,2.654654e-05,2.682415e-05,2.704218e-05,2.718101e-05,2.748125e-05,2.750613e-05,2.780130e-05,2.786788e-05,2.806826e-05,2.820607e-05,2.830870e-05,2.849961e-05,2.852421e-05,2.871636e-05,2.875211e-05,2.888662e-05,2.896697e-05,2.903639e-05,2.914734e-05,2.916701e-05,2.927973e-05,2.929618e-05,2.937573e-05,2.941620e-05,2.945612e-05,2.950991e-05,2.952197e-05,2.957424e-05,2.957964e-05,2.961387e-05,2.962752e-05,2.964172e-05,2.965551e-05,2.965860e-05,2.966528e-05,2.966540e-05,2.966247e-05,2.965883e-05,2.965082e-05,2.963732e-05,2.963096e-05,2.960349e-05,2.960224e-05,2.956893e-05,2.955485e-05,2.952780e-05,2.949632e-05,2.948057e-05,2.942769e-05,2.936958e-05,2.934995e-05,2.930663e-05,2.926396e-05,2.923919e-05,2.917056e-05,2.916762e-05,2.909223e-05,2.907047e-05,2.901331e-05,2.896439e-05,2.893116e-05,2.885294e-05,2.884602e-05,2.875815e-05,2.873668e-05,2.866778e-05,2.861615e-05,2.857511e-05,2.849184e-05,2.848036e-05,2.838371e-05,2.836417e-05,2.828534e-05,2.823356e-05,2.818541e-05,2.810038e-05,2.808408e-05,2.798150e-05,2.796498e-05,2.787780e-05,2.782766e-05,2.777311e-05,2.768872e-05,2.766755e-05,2.756124e-05,2.754843e-05,2.745427e-05,2.740703e-05,2.734676e-05,2.726474e-05,2.723879e-05,2.713045e-05,2.712177e-05,2.702183e-05,2.697832e-05,2.691299e-05,2.683454e-05,2.680402e-05,2.669498e-05,2.669062e-05,2.658593e-05,2.654669e-05,2.647694e-05,2.640288e-05,2.636806e-05,2.625934e-05,2.611615e-05,2.597345e-05,2.583131e-05,2.568982e-05,2.554908e-05,2.540914e-05,2.527008e-05,2.513196e-05,2.499483e-05,2.485875e-05,2.472375e-05,2.458988e-05,2.445718e-05,2.432568e-05,2.419541e-05,2.406640e-05,2.393866e-05,2.381223e-05,2.368711e-05,2.356333e-05,2.344088e-05,2.331980e-05,2.320008e-05,2.308173e-05
0.000000e+00,1.308357e-06,2.986255e-06,1.022214e-05,2.316785e-05,3.372381e-05,7.597676e-05,7.823722e-05,1.497777e-04,1.754392e-04,2.540834e-04,3.346949e-04,3.966520e-04,5.659504e-04,5.825145e-04,8.154834e-04,8.786231e-04,1.096907e-03,1.275092e-03,1.424915e-03,1.748673e-03,1.795158e-03,2.202277e-03,2.287645e-03,2.640847e-03,2.879593e-03,3.105652e-03,3.512689e-03,3.591678e-03,4.094086e-03,4.175678e-03,4.608227e-03,4.857875e-03,5.129685e-03,5.549336e-03,5.654335e-03,6.178401e-03,6.241084e-03,6.698496e-03,6.925298e-03,7.211647e-03,7.595411e-03,7.715300e-03,8.207316e-03,8.246119e-03,8.685942e-03,8.873322e-03,9.149793e-03,9.474007e-03,9.597805e-03,1.002921e-02,1.004612e-02,1.044349e-02,1.058837e-02,1.084032e-02,1.110014e-02,1.121960e-02,1.158134e-02,1.192569e-02,1.203224e-02,1.225288e-02,1.245344e-02,1.256326e-02,1.284575e-02,1.285720e-02,1.313514e-02,1.321016e-02,1.339755e-02,1.354775e-02,1.364493e-02,1.385967e-02,1.387778e-02,1.409663e-02,1.414713e-02,1.430202e-02,1.441134e-02,1.449445e-02,1.465348e-02,1.467444e-02,1.484251e-02,1.487474e-02,1.499915e-02,1.507626e-02,1.514486e-02,1.525915e-02,1.528010e-02,1.540534e-02,1.542448e-02,1.552102e-02,1.557328e-02,1.562758e-02,1.570654e-02,1.572544e-02,1.581499e-02,1.582520e-02,1.589664e-02,1.593015e-02,1.597075e-02,1.602225e-02,1.603768e-02,1.609779e-02,1.610231e-02,1.615140e-02,1.617110e-02,1.619884e-02,1.622935e-02,1.624041e-02,1.627641e-02,1.627774e-02,1.630712e-02,1.631693e-02,1.633281e-02,1.634754e-02,1.635373e-02,1.637014e-02,1.638227e-02,1.638529e-02,1.639035e-02,1.639350e-02,1.639460e-02,1.639526e-02,1.639521e-02,1.639240e-02,1.639103e-02,1.638635e-02,1.638124e-02,1.637724e-02,1.636630e-02,1.636524e-02,1.635052e-02,1.634660e-02,1.633324e-02,1.632249e-02,1.631353e-02,1.629431e-02,1.629156e-02,1.626745e-02,1.626239e-02,1.624134e-02,1.622701e-02,1.621335e-02,1.618847e-02,1.618359e-02,1.615219e-02,1.614701e-02,1.611924e-02,1.610291e-02,1.608485e-02,1.605637e-02,1.604912e-02,1.601215e-02,1.600763e-02,1.597401e-02,1.595688e-02,1.593480e-02,1.590433e-02,1.589459e-02,1.585346e-02,1.585013e-02,1.581149e-02,1.579448e-02,1.576874e-02,1.573751e-02,1.572527e-02,1.568116e-02,1.567939e-02,1.563646e-02,1.562024e-02,1.559123e-02,1.556019e-02,1.554551e-02,1.549937e-02,1.543789e-02,1.537584e-02,1.531334e-02,1.525047e-02,1.518731e-02,1.512395e-02,1.506046e-02,1.499690e-02,1.493334e-02,1.486985e-02,1.480646e-02,1.474324e-02,1.468024e-02,1.461748e-02,1.455503e-02,1.449290e-02,1.443115e-02,1.436978e-02,1.430885e-02,1.424837e-02,1.418836e-02,1.412885e-02,1.406986e-02,1.401140e-02
0.000000e+00,4.413442e-09,1.004972e-08,3.423114e-08,7.722973e-08,1.121346e-07,2.509765e-07,2.583743e-07,4.914053e-07,5.745764e-07,8.284543e-07,1.087433e-06,1.285814e-06,1.825748e-06,1.878446e-06,2.618140e-06,2.818299e-06,3.509788e-06,4.073843e-06,4.547763e-06,5.569974e-06,5.716449e-06,6.995097e-06,7.262130e-06,8.362449e-06,9.101890e-06,9.798724e-06,1.104519e-05,1.128584e-05,1.280713e-05,1.305265e-05,1.434709e-05,1.508864e-05,1.589136e-05,1.712100e-05,1.742679e-05,1.894147e-05,1.912132e-05,2.042492e-05,2.106536e-05,2.186811e-05,2.293330e-05,2.326349e-05,2.460495e-05,2.470979e-05,2.588775e-05,2.638362e-05,2.710841e-05,2.794749e-05,2.826465e-05,2.935518e-05,2.939742e-05,3.037959e-05,3.073225e-05,3.133826e-05,3.195308e-05,3.223216e-05,3.306276e-05,3.383194e-05,3.406546e-05,3.454189e-05,3.496626e-05,3.519498e-05,3.577083e-05,3.579378e-05,3.634090e-05,3.648520e-05,3.683904e-05,3.711552e-05,3.729087e-05,3.766795e-05,3.769906e-05,3.806620e-05,3.814849e-05,3.839483e-05,3.856295e-05,3.868738e-05,3.891685e-05,3.894620e-05,3.917352e-05,3.921540e-05,3.937149e-05,3.946351e-05,3.954213e-05,3.966576e-05,3.968737e-05,3.980901e-05,3.982640e-05,3.990876e-05,3.994935e-05,3.998824e-05,4.003825e-05,4.004896e-05,4.009233e-05,4.009644e-05,4.011969e-05,4.012698e-05,4.013228e-05,4.013268e-05,4.013125e-05,4.011771e-05,4.011612e-05,4.009267e-05,4.007965e-05,4.005708e-05,4.002542e-05,4.001182e-05,3.995772e-05,3.995538e-05,3.989554e-05,3.987132e-05,3.982601e-05,3.977488e-05,3.974980e-05,3.966752e-05,3.957975e-05,3.955060e-05,3.948704e-05,3.942534e-05,3.938988e-05,3.929285e-05,3.928873e-05,3.918404e-05,3.915415e-05,3.907620e-05,3.901014e-05,3.896559e-05,3.886167e-05,3.885254e-05,3.873739e-05,3.870948e-05,3.862043e-05,3.855425e-05,3.850194e-05,3.839660e-05,3.838217e-05,3.826136e-05,3.823709e-05,3.813973e-05,3.807623e-05,3.801748e-05,3.791446e-05,3.789481e-05,3.777188e-05,3.775219e-05,3.764885e-05,3.758980e-05,3.752587e-05,3.742762e-05,3.740308e-05,3.728060e-05,3.726593e-05,3.715855e-05,3.710501e-05,3.703703e-05,3.694509e-05,3.691614e-05,3.679597e-05,3.678638e-05,3.667659e-05,3.662908e-05,3.655808e-05,3.647334e-05,3.644052e-05,3.632395e-05,3.631931e-05,3.620844e-05,3.616712e-05,3.609403e-05,3.601688e-05,3.598077e-05,3.586870e-05,3.572264e-05,3.557879e-05,3.543721e-05,3.529794e-05,3.516103e-05,3.502651e-05,3.489440e-05,3.476473e-05,3.463749e-05,3.451271e-05,3.439038e-05,3.427050e-05,3.415306e-05,3.403804e-05,3.392544e-05,3.381524e-05,3.370742e-05,3.360194e-05,3.349880e-05,3.339796e-05,3.329940e-05,3.320307e-05,3.310896e-05,3.301703e-05
0.000000e+00,1.490870e-09,3.399575e-09,1.161584e-08,2.629138e-08,3.824942e-08,8.612258e-08,8.868561e-08,1.699817e-07,1.992452e-07,2.893260e-07,3.823256e-07,4.542705e-07,6.527923e-07,6.723520e-07,9.493853e-07,1.024939e-06,1.287081e-06,1.501825e-06,1.682817e-06,2.075382e-06,2.131934e-06,2.629700e-06,2.734711e-06,3.171878e-06,3.470064e-06,3.754576e-06,4.272580e-06,4.373997e-06,5.026247e-06,5.133384e-06,5.707249e-06,6.043092e-06,6.412719e-06,6.991720e-06,7.138199e-06,7.879110e-06,7.968836e-06,8.630816e-06,8.963798e-06,9.388717e-06,9.966097e-06,1.014833e-05,1.090534e-05,1.096566e-05,1.165569e-05,1.195312e-05,1.239564e-05,1.292002e-05,1.312175e-05,1.383098e-05,1.385896e-05,1.452066e-05,1.476370e-05,1.518849e-05,1.562913e-05,1.583255e-05,1.645129e-05,1.704352e-05,1.722728e-05,1.760837e-05,1.795523e-05,1.814526e-05,1.863406e-05,1.865386e-05,1.913405e-05,1.926341e-05,1.958592e-05,1.984357e-05,2.000978e-05,2.037537e-05,2.040607e-05,2.077536e-05,2.086005e-05,2.111834e-05,2.129921e-05,2.143580e-05,2.169471e-05,2.172857e-05,2.199756e-05,2.204859e-05,2.224370e-05,2.236299e-05,2.246796e-05,2.264015e-05,2.267133e-05,2.285485e-05,2.288244e-05,2.301956e-05,2.309221e-05,2.316638e-05,2.327157e-05,2.329623e-05,2.341001e-05,2.342263e-05,2.350861e-05,2.354740e-05,2.359286e-05,2.364781e-05,2.366360e-05,2.372161e-05,2.372572e-05,2.376765e-05,2.378289e-05,2.380246e-05,2.382096e-05,2.382673e-05,2.384112e-05,2.384150e-05,2.384626e-05,2.384596e-05,2.384275e-05,2.383572e-05,2.383117e-05,2.381207e-05,2.378596e-05,2.377621e-05,2.375333e-05,2.372924e-05,2.371465e-05,2.367222e-05,2.367035e-05,2.362084e-05,2.360610e-05,2.356652e-05,2.353177e-05,2.350775e-05,2.345006e-05,2.344489e-05,2.337826e-05,2.336174e-05,2.330817e-05,2.326751e-05,2.323491e-05,2.316804e-05,2.315876e-05,2.307998e-05,2.306393e-05,2.299881e-05,2.295573e-05,2.291548e-05,2.284397e-05,2.283020e-05,2.274318e-05,2.272910e-05,2.265460e-05,2.261158e-05,2.256464e-05,2.249180e-05,2.247348e-05,2.238126e-05,2.237013e-05,2.228813e-05,2.224691e-05,2.219424e-05,2.212244e-05,2.209970e-05,2.200465e-05,2.199702e-05,2.190918e-05,2.187091e-05,2.181341e-05,2.174433e-05,2.171744e-05,2.162136e-05,2.161751e-05,2.152524e-05,2.149065e-05,2.142918e-05,2.136393e-05,2.133325e-05,2.123751e-05,2.111154e-05,2.098616e-05,2.086149e-05,2.073764e-05,2.061471e-05,2.049279e-05,2.037196e-05,2.025229e-05,2.013385e-05,2.001668e-05,1.990085e-05,1.978639e-05,1.967333e-05,1.956173e-05,1.945159e-05,1.934294e-05,1.923581e-05,1.913020e-05,1.902613e-05,1.892360e-05,1.882263e-05,1.872321e-05,1.862535e-05,1.852903e-05
0.000000e+00,6.195050e-09,1.415895e-08,4.872449e-08,1.114260e-07,1.633500e-07,3.781428e-07,3.899406e-07,7.787186e-07,9.251528e-07,1.395015e-06,1.906065e-06,2.315788e-06,3.487848e-06,3.605276e-06,5.273432e-06,5.725013e-06,7.266339e-06,8.494995e-06,9.506336e-06,1.162873e-05,1.192701e-05,1.448024e-05,1.500356e-05,1.713112e-05,1.853894e-05,1.985241e-05,2.217572e-05,2.262100e-05,2.541615e-05,2.586454e-05,2.821877e-05,2.956148e-05,3.101130e-05,3.322717e-05,3.377763e-05,3.650335e-05,3.682709e-05,3.917586e-05,4.033206e-05,4.178437e-05,4.371843e-05,4.431988e-05,4.677519e-05,4.696797e-05,4.914468e-05,5.006749e-05,5.142427e-05,5.300824e-05,5.361108e-05,5.570350e-05,5.578522e-05,5.770082e-05,5.839656e-05,5.960312e-05,6.084280e-05,6.141121e-05,6.312644e-05,6.475061e-05,6.525146e-05,6.628587e-05,6.722289e-05,6.773465e-05,6.904654e-05,6.909956e-05,7.038332e-05,7.072862e-05,7.158878e-05,7.227567e-05,7.271881e-05,7.369431e-05,7.377631e-05,7.476416e-05,7.499120e-05,7.568522e-05,7.617290e-05,7.654232e-05,7.724584e-05,7.733820e-05,7.807557e-05,7.821626e-05,7.875707e-05,7.909021e-05,7.938523e-05,7.987348e-05,7.996253e-05,8.049138e-05,8.057165e-05,8.097407e-05,8.119002e-05,8.141283e-05,8.173366e-05,8.180981e-05,8.216708e-05,8.220738e-05,8.248661e-05,8.261575e-05,8.277032e-05,8.296311e-05,8.302004e-05,8.323751e-05,8.325356e-05,8.342442e-05,8.349099e-05,8.358237e-05,8.367904e-05,8.371292e-05,8.381753e-05,8.382120e-05,8.389762e-05,8.392071e-05,8.395453e-05,8.398066e-05,8.398956e-05,8.400394e-05,8.399883e-05,8.399327e-05,8.397538e-05,8.395123e-05,8.393464e-05,8.388023e-05,8.387765e-05,8.380537e-05,8.378252e-05,8.371874e-05,8.366024e-05,8.361864e-05,8.351539e-05,8.350593e-05,8.338139e-05,8.334983e-05,8.324581e-05,8.316533e-05,8.309991e-05,8.296353e-05,8.294438e-05,8.277989e-05,8.274597e-05,8.260707e-05,8.251411e-05,8.242651e-05,8.226928e-05,8.223878e-05,8.204443e-05,8.201276e-05,8.184397e-05,8.174572e-05,8.163789e-05,8.146928e-05,8.142664e-05,8.121068e-05,8.118447e-05,8.099042e-05,8.089224e-05,8.076625e-05,8.059351e-05,8.053856e-05,8.030769e-05,8.028910e-05,8.007399e-05,7.997979e-05,7.983778e-05,7.966632e-05,7.959936e-05,7.935901e-05,7.934936e-05,7.911702e-05,7.902955e-05,7.887363e-05,7.870745e-05,7.862909e-05,7.838363e-05,7.805858e-05,7.773278e-05,7.740665e-05,7.708059e-05,7.675497e-05,7.643014e-05,7.610641e-05,7.578407e-05,7.546338e-05,7.514460e-05,7.482793e-05,7.451358e-05,7.420175e-05,7.389260e-05,7.358628e-05,7.328293e-05,7.298268e-05,7.268563e-05,7.239190e-05,7.210156e-05,7.181469e-05,7.153136e-05,7.125164e-05,7.097557e-05
0.000000e+00,8.553831e-09,1.953976e-08,6.706252e-08,1.525942e-07,2.227840e-07,5.075015e-07,5.228972e-07,1.018267e-06,1.199631e-06,1.766674e-06,2.364046e-06,2.833067e-06,4.150170e-06,4.281279e-06,6.150553e-06,6.661680e-06,8.428712e-06,9.862152e-06,1.105718e-05,1.360332e-05,1.396483e-05,1.709063e-05,1.773756e-05,2.038663e-05,2.215462e-05,2.381382e-05,2.676918e-05,2.733835e-05,3.092951e-05,3.150835e-05,3.455882e-05,3.630661e-05,3.819991e-05,4.110501e-05,4.182871e-05,4.542361e-05,4.585178e-05,4.896559e-05,5.050299e-05,5.243834e-05,5.502283e-05,5.582820e-05,5.912402e-05,5.938334e-05,6.231701e-05,6.356385e-05,6.540048e-05,6.755002e-05,6.836966e-05,7.122138e-05,7.133298e-05,7.395391e-05,7.490829e-05,7.656665e-05,7.827504e-05,7.905997e-05,8.143502e-05,8.369364e-05,8.439217e-05,8.583812e-05,8.715194e-05,8.787118e-05,8.972086e-05,8.979580e-05,9.161520e-05,9.210622e-05,9.333272e-05,9.431578e-05,9.495183e-05,9.635750e-05,9.647603e-05,9.790884e-05,9.823951e-05,9.925378e-05,9.996987e-05,1.005143e-04,1.015565e-04,1.016939e-04,1.027959e-04,1.030072e-04,1.038235e-04,1.043295e-04,1.047799e-04,1.055305e-04,1.056682e-04,1.064912e-04,1.066171e-04,1.072521e-04,1.075961e-04,1.079537e-04,1.084742e-04,1.085988e-04,1.091899e-04,1.092573e-04,1.097295e-04,1.099514e-04,1.102203e-04,1.105619e-04,1.106644e-04,1.110641e-04,1.110942e-04,1.114216e-04,1.115533e-04,1.117390e-04,1.119438e-04,1.120183e-04,1.122613e-04,1.122703e-04,1.124699e-04,1.125370e-04,1.126460e-04,1.127479e-04,1.127910e-04,1.129068e-04,1.129948e-04,1.130173e-04,1.130564e-04,1.130827e-04,1.130932e-04,1.131064e-04,1.131065e-04,1.130975e-04,1.130911e-04,1.130675e-04,1.130399e-04,1.130177e-04,1.129553e-04,1.129491e-04,1.128630e-04,1.128399e-04,1.127603e-04,1.126960e-04,1.126421e-04,1.125258e-04,1.125091e-04,1.123624e-04,1.123315e-04,1.122028e-04,1.121150e-04,1.120311e-04,1.118781e-04,1.118481e-04,1.116545e-04,1.116226e-04,1.114510e-04,1.113500e-04,1.112384e-04,1.110621e-04,1.110172e-04,1.107880e-04,1.107600e-04,1.105515e-04,1.104453e-04,1.103082e-04,1.101190e-04,1.100586e-04,1.098032e-04,1.097826e-04,1.095426e-04,1.094369e-04,1.092771e-04,1.090831e-04,1.090071e-04,1.087332e-04,1.087222e-04,1.084556e-04,1.083549e-04,1.081748e-04,1.079822e-04,1.078912e-04,1.076049e-04,1.072237e-04,1.068392e-04,1.064521e-04,1.060631e-04,1.056726e-04,1.052812e-04,1.048893e-04,1.044974e-04,1.041060e-04,1.037153e-04,1.033257e-04,1.029377e-04,1.025514e-04,1.021671e-04,1.017852e-04,1.014057e-04,1.010291e-04,1.006554e-04,1.002848e-04,9.991745e-05,9.955359e-05,9.919330e-05,9.883670e-05,9.848390e-05
0.000000e+00,4.888708e-09,1.115439e-08,3.820916e-08,8.686185e-08,1.268108e-07,2.893965e-07,2.982173e-07,5.837847e-07,6.891824e-07,1.021492e-06,1.375786e-06,1.656694e-06,2.456747e-06,2.537197e-06,3.697173e-06,4.017839e-06,5.133890e-06,6.043868e-06,6.802982e-06,8.415079e-06,8.642978e-06,1.059969e-05,1.100127e-05,1.263293e-05,1.371050e-05,1.471366e-05,1.648194e-05,1.681987e-05,1.893371e-05,1.927159e-05,2.103998e-05,2.204432e-05,2.312534e-05,2.477065e-05,2.517807e-05,2.718790e-05,2.742576e-05,2.914601e-05,2.998924e-05,3.104501e-05,3.244495e-05,3.287886e-05,3.464285e-05,3.478084e-05,3.633345e-05,3.698857e-05,3.794824e-05,3.906309e-05,3.948575e-05,4.094534e-05,4.100210e-05,4.232710e-05,4.280559e-05,4.363170e-05,4.447535e-05,4.486033e-05,4.601454e-05,4.709621e-05,4.742737e-05,4.810746e-05,4.871874e-05,4.905056e-05,4.989408e-05,4.992794e-05,5.074209e-05,5.095907e-05,5.149554e-05,5.191954e-05,5.219085e-05,5.278136e-05,5.283055e-05,5.341717e-05,5.355033e-05,5.395317e-05,5.423212e-05,5.444097e-05,5.483224e-05,5.488294e-05,5.528137e-05,5.535602e-05,5.563848e-05,5.580857e-05,5.595643e-05,5.619476e-05,5.623728e-05,5.648303e-05,5.651922e-05,5.669559e-05,5.678638e-05,5.687681e-05,5.700039e-05,5.702843e-05,5.715216e-05,5.716521e-05,5.724959e-05,5.728454e-05,5.732228e-05,5.736188e-05,5.737169e-05,5.739924e-05,5.740054e-05,5.740625e-05,5.740359e-05,5.739400e-05,5.737395e-05,5.736371e-05,5.731654e-05,5.731432e-05,5.725358e-05,5.722726e-05,5.717588e-05,5.711514e-05,5.708444e-05,5.698020e-05,5.686405e-05,5.682451e-05,5.673685e-05,5.665002e-05,5.659941e-05,5.645854e-05,5.645249e-05,5.629681e-05,5.625175e-05,5.613308e-05,5.603123e-05,5.596192e-05,5.579845e-05,5.578398e-05,5.559981e-05,5.555475e-05,5.540999e-05,5.530141e-05,5.521503e-05,5.503960e-05,5.501542e-05,5.481162e-05,5.477040e-05,5.460408e-05,5.449483e-05,5.439322e-05,5.421381e-05,5.417942e-05,5.396305e-05,5.392821e-05,5.374446e-05,5.363884e-05,5.352397e-05,5.334642e-05,5.330190e-05,5.307852e-05,5.305165e-05,5.285413e-05,5.275513e-05,5.262895e-05,5.245746e-05,5.240325e-05,5.217724e-05,5.215915e-05,5.195113e-05,5.186070e-05,5.172512e-05,5.156255e-05,5.149939e-05,5.127411e-05,5.126511e-05,5.104945e-05,5.096875e-05,5.082555e-05,5.067381e-05,5.060256e-05,5.038060e-05,5.008939e-05,4.980044e-05,4.951399e-05,4.923022e-05,4.894934e-05,4.867150e-05,4.839685e-05,4.812552e-05,4.785761e-05,4.759324e-05,4.733248e-05,4.707540e-05,4.682208e-05,4.657255e-05,4.632686e-05,4.608503e-05,4.584710e-05,4.561308e-05,4.538298e-05,4.515680e-05,4.493453e-05,4.471616e-05,4.450168e-05,4.429108e-05
0.000000e+00,2.185800e-09,4.987483e-09,1.706595e-08,3.868120e-08,5.631966e-08,1.270841e-07,1.308778e-07,2.513889e-07,2.948290e-07,4.286590e-07,5.669161e-07,6.739054e-07,9.693793e-07,9.985289e-07,1.412891e-06,1.526558e-06,1.923660e-06,2.252055e-06,2.530613e-06,3.138072e-06,3.225734e-06,3.995987e-06,4.157796e-06,4.827238e-06,5.279220e-06,5.706519e-06,6.473945e-06,6.622564e-06,7.565568e-06,7.718356e-06,8.526826e-06,8.992378e-06,9.498480e-06,1.027847e-05,1.047339e-05,1.144508e-05,1.156118e-05,1.240773e-05,1.282708e-05,1.335620e-05,1.406477e-05,1.428601e-05,1.519336e-05,1.526488e-05,1.607508e-05,1.642000e-05,1.692862e-05,1.752459e-05,1.775200e-05,1.854372e-05,1.857472e-05,1.930277e-05,1.956790e-05,2.002854e-05,2.050290e-05,2.072076e-05,2.137942e-05,2.200479e-05,2.219795e-05,2.259735e-05,2.295966e-05,2.315773e-05,2.366611e-05,2.368667e-05,2.418505e-05,2.431924e-05,2.465380e-05,2.492124e-05,2.509391e-05,2.547441e-05,2.550642e-05,2.589237e-05,2.598116e-05,2.625281e-05,2.644389e-05,2.658877e-05,2.686501e-05,2.690132e-05,2.719146e-05,2.724689e-05,2.746020e-05,2.759181e-05,2.770852e-05,2.790202e-05,2.793736e-05,2.814765e-05,2.817963e-05,2.834027e-05,2.842671e-05,2.851608e-05,2.864520e-05,2.867593e-05,2.882059e-05,2.883696e-05,2.895083e-05,2.900376e-05,2.906740e-05,2.914727e-05,2.917098e-05,2.926227e-05,2.926906e-05,2.934189e-05,2.937061e-05,2.941046e-05,2.945333e-05,2.946859e-05,2.951682e-05,2.951855e-05,2.955569e-05,2.956750e-05,2.958573e-05,2.960135e-05,2.960740e-05,2.962119e-05,2.962754e-05,2.962807e-05,2.962686e-05,2.962293e-05,2.961957e-05,2.960670e-05,2.960604e-05,2.958665e-05,2.958021e-05,2.956173e-05,2.954427e-05,2.953163e-05,2.949962e-05,2.949665e-05,2.945710e-05,2.944696e-05,2.941326e-05,2.938693e-05,2.936540e-05,2.932017e-05,2.931378e-05,2.925865e-05,2.924722e-05,2.920023e-05,2.916863e-05,2.913876e-05,2.908491e-05,2.907443e-05,2.900746e-05,2.899651e-05,2.893802e-05,2.890387e-05,2.886630e-05,2.880740e-05,2.879247e-05,2.871670e-05,2.870748e-05,2.863913e-05,2.860447e-05,2.855991e-05,2.849869e-05,2.847918e-05,2.839708e-05,2.839046e-05,2.831373e-05,2.828006e-05,2.822924e-05,2.816777e-05,2.814373e-05,2.805730e-05,2.805383e-05,2.797006e-05,2.793847e-05,2.788210e-05,2.782192e-05,2.779351e-05,2.770437e-05,2.758602e-05,2.746703e-05,2.734757e-05,2.722779e-05,2.710782e-05,2.698781e-05,2.686786e-05,2.674809e-05,2.662860e-05,2.650948e-05,2.639083e-05,2.627271e-05,2.615522e-05,2.603841e-05,2.592234e-05,2.580708e-05,2.569267e-05,2.557917e-05,2.546661e-05,2.535503e-05,2.524448e-05,2.513498e-05,2.502656e-05,2.491924e-05
0.000000e+00,4.037548e-09,9.202910e-09,3.142292e-08,7.109480e-08,1.034215e-07,2.329276e-07,2.398662e-07,4.602243e-07,5.396607e-07,7.844151e-07,1.037106e-06,1.232252e-06,1.767013e-06,1.819287e-06,2.549376e-06,2.744973e-06,3.412336e-06,3.947190e-06,4.390716e-06,5.332884e-06,5.466577e-06,6.623487e-06,6.863236e-06,7.846143e-06,8.502997e-06,9.119793e-06,1.021849e-05,1.042999e-05,1.176268e-05,1.197708e-05,1.310439e-05,1.374788e-05,1.444254e-05,1.550275e-05,1.576567e-05,1.706363e-05,1.721726e-05,1.832770e-05,1.887122e-05,1.955060e-05,2.044883e-05,2.072650e-05,2.185091e-05,2.193853e-05,2.292057e-05,2.333259e-05,2.393332e-05,2.462655e-05,2.488795e-05,2.578408e-05,2.581871e-05,2.662202e-05,2.690959e-05,2.740264e-05,2.790136e-05,2.812723e-05,2.879743e-05,2.941512e-05,2.960203e-05,2.998238e-05,3.031997e-05,3.050140e-05,3.095637e-05,3.097444e-05,3.140380e-05,3.151650e-05,3.179176e-05,3.200561e-05,3.214059e-05,3.242887e-05,3.245252e-05,3.272970e-05,3.279129e-05,3.297422e-05,3.309765e-05,3.318811e-05,3.335252e-05,3.337328e-05,3.353159e-05,3.356019e-05,3.366480e-05,3.372470e-05,3.377457e-05,3.384984e-05,3.386251e-05,3.393011e-05,3.393913e-05,3.397880e-05,3.399585e-05,3.400992e-05,3.402303e-05,3.402475e-05,3.402449e-05,3.402350e-05,3.401026e-05,3.399985e-05,3.398312e-05,3.395449e-05,3.394408e-05,3.389407e-05,3.388962e-05,3.383397e-05,3.380729e-05,3.376461e-05,3.370938e-05,3.368677e-05,3.360118e-05,3.359760e-05,3.350851e-05,3.347354e-05,3.340940e-05,3.333864e-05,3.330446e-05,3.319424e-05,3.307926e-05,3.304155e-05,3.296002e-05,3.288168e-05,3.283697e-05,3.271565e-05,3.271053e-05,3.258111e-05,3.254439e-05,3.244907e-05,3.236874e-05,3.231476e-05,3.218947e-05,3.217850e-05,3.204060e-05,3.200729e-05,3.190132e-05,3.182283e-05,3.176093e-05,3.163667e-05,3.161968e-05,3.147777e-05,3.144933e-05,3.133542e-05,3.126129e-05,3.119282e-05,3.107298e-05,3.105015e-05,3.090758e-05,3.088478e-05,3.076524e-05,3.069705e-05,3.062329e-05,3.051009e-05,3.048184e-05,3.034103e-05,3.032418e-05,3.020095e-05,3.013958e-05,3.006171e-05,2.995650e-05,2.992340e-05,2.978609e-05,2.977515e-05,2.964987e-05,2.959571e-05,2.951481e-05,2.941831e-05,2.938096e-05,2.924839e-05,2.924311e-05,2.911713e-05,2.907021e-05,2.898724e-05,2.889972e-05,2.885877e-05,2.873173e-05,2.856630e-05,2.840351e-05,2.824339e-05,2.808599e-05,2.793134e-05,2.777947e-05,2.763038e-05,2.748409e-05,2.734060e-05,2.719991e-05,2.706200e-05,2.692686e-05,2.679448e-05,2.666484e-05,2.653792e-05,2.641368e-05,2.629210e-05,2.617314e-05,2.605678e-05,2.594298e-05,2.583170e-05,2.572291e-05,2.561656e-05,2.551262e-05
0.000000e+00,6.318382e-09,1.442648e-08,4.943043e-08,1.121737e-07,1.634323e-07,3.694034e-07,3.804568e-07,7.319986e-07,8.588837e-07,1.250235e-06,1.655143e-06,1.968848e-06,2.836579e-06,2.922274e-06,4.141492e-06,4.476138e-06,5.645228e-06,6.611699e-06,7.431256e-06,9.218787e-06,9.476913e-06,1.174901e-05,1.222754e-05,1.421329e-05,1.556014e-05,1.683847e-05,1.914744e-05,1.959660e-05,2.246216e-05,2.292902e-05,2.541137e-05,2.685006e-05,2.842173e-05,3.085965e-05,3.147188e-05,3.454171e-05,3.491051e-05,3.761244e-05,3.895934e-05,4.066681e-05,4.296752e-05,4.368921e-05,4.666576e-05,4.690153e-05,4.958435e-05,5.073317e-05,5.243459e-05,5.443952e-05,5.520782e-05,5.789693e-05,5.800266e-05,6.049632e-05,6.140927e-05,6.300170e-05,6.465004e-05,6.540999e-05,6.771920e-05,6.992823e-05,7.061389e-05,7.203678e-05,7.333368e-05,7.404525e-05,7.588008e-05,7.595457e-05,7.776616e-05,7.825613e-05,7.948183e-05,8.046605e-05,8.110367e-05,8.251492e-05,8.263404e-05,8.407547e-05,8.440847e-05,8.543062e-05,8.615285e-05,8.670227e-05,8.775447e-05,8.789322e-05,8.900634e-05,8.921988e-05,9.004451e-05,9.055568e-05,9.101057e-05,9.176842e-05,9.190737e-05,9.273769e-05,9.286456e-05,9.350429e-05,9.385042e-05,9.420986e-05,9.473214e-05,9.485702e-05,9.544835e-05,9.551567e-05,9.598632e-05,9.620675e-05,9.647336e-05,9.681089e-05,9.691181e-05,9.730394e-05,9.733338e-05,9.765195e-05,9.777927e-05,9.795794e-05,9.815339e-05,9.822397e-05,9.845199e-05,9.846035e-05,9.864392e-05,9.870453e-05,9.880157e-05,9.889009e-05,9.892670e-05,9.902099e-05,9.908606e-05,9.910097e-05,9.912347e-05,9.913358e-05,9.913470e-05,9.912220e-05,9.912120e-05,9.908433e-05,9.907000e-05,9.902540e-05,9.897998e-05,9.894567e-05,9.885499e-05,9.884635e-05,9.872859e-05,9.869771e-05,9.859349e-05,9.851066e-05,9.844211e-05,9.829622e-05,9.827545e-05,9.809447e-05,9.805664e-05,9.790010e-05,9.779403e-05,9.769322e-05,9.751038e-05,9.747466e-05,9.724522e-05,9.720755e-05,9.700566e-05,9.688730e-05,9.675672e-05,9.655127e-05,9.649908e-05,9.623341e-05,9.620102e-05,9.596033e-05,9.583798e-05,9.568044e-05,9.546353e-05,9.539432e-05,9.510250e-05,9.507892e-05,9.480550e-05,9.468536e-05,9.450381e-05,9.428396e-05,9.419790e-05,9.388821e-05,9.387575e-05,9.357516e-05,9.346171e-05,9.325914e-05,9.304276e-05,9.294055e-05,9.261972e-05,9.219340e-05,9.176452e-05,9.133377e-05,9.090178e-05,9.046914e-05,9.003639e-05,8.960404e-05,8.917256e-05,8.874237e-05,8.831388e-05,8.788744e-05,8.746340e-05,8.704206e-05,8.662370e-05,8.620858e-05,8.579693e-05,8.538897e-05,8.498489e-05,8.458486e-05,8.418904e-05,8.379756e-05,8.341056e-05,8.302813e-05,8.265039e-05
0.000000e+00,4.404889e-09,1.007285e-08,3.468078e-08,7.926439e-08,1.160980e-07,2.674738e-07,2.757404e-07,5.454448e-07,6.457483e-07,9.635315e-07,1.303526e-06,1.573088e-06,2.336849e-06,2.413152e-06,3.500226e-06,3.796201e-06,4.811824e-06,5.625439e-06,6.296155e-06,7.702323e-06,7.899529e-06,9.581031e-06,9.924021e-06,1.131201e-05,1.222456e-05,1.307168e-05,1.456010e-05,1.484394e-05,1.661562e-05,1.689828e-05,1.837578e-05,1.921382e-05,2.011528e-05,2.148689e-05,2.182658e-05,2.350358e-05,2.370227e-05,2.514144e-05,2.584870e-05,2.673644e-05,2.791823e-05,2.828580e-05,2.978755e-05,2.990559e-05,3.124039e-05,3.180763e-05,3.264353e-05,3.362282e-05,3.399665e-05,3.529977e-05,3.535086e-05,3.655320e-05,3.699237e-05,3.775746e-05,3.854861e-05,3.891322e-05,4.002133e-05,4.108271e-05,4.141264e-05,4.209837e-05,4.272490e-05,4.306939e-05,4.396061e-05,4.399689e-05,4.488200e-05,4.512239e-05,4.572588e-05,4.621291e-05,4.652970e-05,4.723485e-05,4.729464e-05,4.802186e-05,4.819092e-05,4.871254e-05,4.908377e-05,4.936778e-05,4.991597e-05,4.998871e-05,5.057649e-05,5.069017e-05,5.113229e-05,5.140902e-05,5.165716e-05,5.207493e-05,5.215217e-05,5.261836e-05,5.269035e-05,5.305678e-05,5.325764e-05,5.346840e-05,5.377907e-05,5.385421e-05,5.421516e-05,5.425684e-05,5.455217e-05,5.469311e-05,5.486615e-05,5.508992e-05,5.515799e-05,5.542853e-05,5.544928e-05,5.567860e-05,5.577308e-05,5.590902e-05,5.606319e-05,5.612056e-05,5.631399e-05,5.632136e-05,5.649004e-05,5.654930e-05,5.664942e-05,5.674863e-05,5.679282e-05,5.692092e-05,5.703436e-05,5.706767e-05,5.713377e-05,5.719031e-05,5.721975e-05,5.729021e-05,5.729290e-05,5.735377e-05,5.736869e-05,5.740292e-05,5.742700e-05,5.744087e-05,5.746633e-05,5.746813e-05,5.748520e-05,5.748783e-05,5.749255e-05,5.749260e-05,5.749064e-05,5.748166e-05,5.747992e-05,5.746080e-05,5.745601e-05,5.743371e-05,5.741660e-05,5.739903e-05,5.736432e-05,5.735715e-05,5.730843e-05,5.730003e-05,5.725324e-05,5.722454e-05,5.719190e-05,5.713863e-05,5.712475e-05,5.705211e-05,5.704304e-05,5.697427e-05,5.693846e-05,5.689154e-05,5.682555e-05,5.680418e-05,5.671247e-05,5.670496e-05,5.661667e-05,5.657727e-05,5.651703e-05,5.644305e-05,5.641379e-05,5.630717e-05,5.630284e-05,5.619740e-05,5.615715e-05,5.608469e-05,5.600647e-05,5.596924e-05,5.585124e-05,5.569191e-05,5.552887e-05,5.536252e-05,5.519322e-05,5.502132e-05,5.484713e-05,5.467097e-05,5.449313e-05,5.431387e-05,5.413346e-05,5.395213e-05,5.377011e-05,5.358762e-05,5.340484e-05,5.322197e-05,5.303919e-05,5.285666e-05,5.267452e-05,5.249293e-05,5.231201e-05,5.213189e-05,5.195269e-05,5.177451e-05,5.159746e-05
0.000000e+00,4.391763e-09,1.001460e-08,3.421883e-08,7.744755e-08,1.126662e-07,2.535991e-07,2.611412e-07,5.001675e-07,5.861045e-07,8.502625e-07,1.122371e-06,1.332485e-06,1.911078e-06,1.968041e-06,2.775843e-06,2.996850e-06,3.767114e-06,4.402027e-06,4.939163e-06,6.106256e-06,6.274224e-06,7.745603e-06,8.053732e-06,9.325232e-06,1.018084e-05,1.098767e-05,1.243190e-05,1.271087e-05,1.447558e-05,1.476062e-05,1.626473e-05,1.712764e-05,1.806297e-05,1.949874e-05,1.985643e-05,2.163271e-05,2.184417e-05,2.338080e-05,2.413851e-05,2.509112e-05,2.636063e-05,2.675551e-05,2.836716e-05,2.849364e-05,2.992057e-05,3.052465e-05,3.141151e-05,3.244449e-05,3.283683e-05,3.419440e-05,3.424727e-05,3.548299e-05,3.592988e-05,3.670212e-05,3.749153e-05,3.785198e-05,3.893330e-05,3.994725e-05,4.025772e-05,4.089535e-05,4.146841e-05,4.177944e-05,4.256982e-05,4.260154e-05,4.336385e-05,4.356689e-05,4.406866e-05,4.446494e-05,4.471835e-05,4.526944e-05,4.531531e-05,4.586196e-05,4.598593e-05,4.636068e-05,4.661991e-05,4.681384e-05,4.717676e-05,4.722374e-05,4.759265e-05,4.766171e-05,4.792275e-05,4.807978e-05,4.821617e-05,4.843578e-05,4.847494e-05,4.870103e-05,4.873430e-05,4.889634e-05,4.897969e-05,4.906267e-05,4.917604e-05,4.920176e-05,4.931525e-05,4.932722e-05,4.940472e-05,4.943687e-05,4.947168e-05,4.950840e-05,4.951756e-05,4.954371e-05,4.954499e-05,4.955143e-05,4.954963e-05,4.954194e-05,4.952511e-05,4.951641e-05,4.947594e-05,4.947403e-05,4.942158e-05,4.939880e-05,4.935432e-05,4.930169e-05,4.927509e-05,4.918478e-05,4.908423e-05,4.905002e-05,4.897423e-05,4.889922e-05,4.885553e-05,4.873404e-05,4.872883e-05,4.859480e-05,4.855604e-05,4.845406e-05,4.836666e-05,4.830722e-05,4.816721e-05,4.815483e-05,4.799740e-05,4.795893e-05,4.783545e-05,4.774295e-05,4.766943e-05,4.752031e-05,4.749978e-05,4.732691e-05,4.729198e-05,4.715120e-05,4.705884e-05,4.697303e-05,4.682171e-05,4.679273e-05,4.661061e-05,4.658133e-05,4.642699e-05,4.633839e-05,4.624213e-05,4.609353e-05,4.605630e-05,4.586974e-05,4.584731e-05,4.568268e-05,4.560027e-05,4.549534e-05,4.535289e-05,4.530791e-05,4.512058e-05,4.510560e-05,4.493352e-05,4.485881e-05,4.474689e-05,4.461287e-05,4.456084e-05,4.437552e-05,4.436812e-05,4.419103e-05,4.412485e-05,4.400751e-05,4.388333e-05,4.382507e-05,4.364380e-05,4.340647e-05,4.317155e-05,4.293919e-05,4.270955e-05,4.248277e-05,4.225896e-05,4.203823e-05,4.182065e-05,4.160631e-05,4.139526e-05,4.118756e-05,4.098325e-05,4.078235e-05,4.058490e-05,4.039091e-05,4.020038e-05,4.001332e-05,3.982972e-05,3.964957e-05,3.947287e-05,3.929958e-05,3.912969e-05,3.896317e-05,3.879999e-05
0.000000e+00,1.798544e-08,4.025295e-08,1.329597e-07,2.941468e-07,4.243525e-07,9.500287e-07,9.785786e-07,1.911544e-06,2.260214e-06,3.368721e-06,4.549931e-06,5.472062e-06,7.955440e-06,8.190533e-06,1.126126e-05,1.201121e-05,1.434463e-05,1.598666e-05,1.721532e-05,1.949218e-05,1.978359e-05,2.203788e-05,2.245261e-05,2.399860e-05,2.491188e-05,2.569520e-05,2.693787e-05,2.715716e-05,2.841153e-05,2.859460e-05,2.948232e-05,2.993753e-05,3.039119e-05,3.101485e-05,3.115762e-05,3.179928e-05,3.186867e-05,3.233214e-05,3.253588e-05,3.277059e-05,3.304856e-05,3.312733e-05,3.341349e-05,3.343364e-05,3.363904e-05,3.371424e-05,3.381253e-05,3.390941e-05,3.394137e-05,3.403188e-05,3.403478e-05,3.408941e-05,3.410295e-05,3.411852e-05,3.412408e-05,3.412308e-05,3.410637e-05,3.407118e-05,3.405641e-05,3.401986e-05,3.397951e-05,3.395445e-05,3.388000e-05,3.387667e-05,3.378802e-05,3.376143e-05,3.368978e-05,3.362671e-05,3.358308e-05,3.347828e-05,3.346890e-05,3.334810e-05,3.331821e-05,3.322145e-05,3.314822e-05,3.308963e-05,3.296983e-05,3.295325e-05,3.281285e-05,3.278434e-05,3.266894e-05,3.259286e-05,3.252195e-05,3.239639e-05,3.237229e-05,3.222032e-05,3.219582e-05,3.206639e-05,3.199190e-05,3.191080e-05,3.178532e-05,3.175383e-05,3.159574e-05,3.157671e-05,3.143677e-05,3.136659e-05,3.127712e-05,3.115548e-05,3.111702e-05,3.095663e-05,3.094379e-05,3.079612e-05,3.073193e-05,3.063566e-05,3.052024e-05,3.047539e-05,3.031543e-05,3.030904e-05,3.015592e-05,3.009862e-05,2.999695e-05,2.988923e-05,2.983865e-05,2.968109e-05,2.952437e-05,2.947441e-05,2.936857e-05,2.926937e-05,2.921376e-05,2.906613e-05,2.906000e-05,2.890737e-05,2.886484e-05,2.875591e-05,2.866562e-05,2.860567e-05,2.846858e-05,2.845671e-05,2.830906e-05,2.827382e-05,2.816276e-05,2.808143e-05,2.801784e-05,2.789148e-05,2.787434e-05,2.773228e-05,2.770404e-05,2.759169e-05,2.751916e-05,2.745258e-05,2.733689e-05,2.731498e-05,2.717889e-05,2.715726e-05,2.704435e-05,2.698031e-05,2.691134e-05,2.680606e-05,2.677989e-05,2.665001e-05,2.663453e-05,2.652169e-05,2.646572e-05,2.639494e-05,2.629966e-05,2.626976e-05,2.614615e-05,2.613633e-05,2.602412e-05,2.597575e-05,2.590366e-05,2.581790e-05,2.578477e-05,2.566744e-05,2.566278e-05,2.555167e-05,2.551037e-05,2.543745e-05,2.536066e-05,2.532478e-05,2.521364e-05,2.506928e-05,2.492756e-05,2.478846e-05,2.465195e-05,2.451801e-05,2.438661e-05,2.425772e-05,2.413130e-05,2.400734e-05,2.388579e-05,2.376662e-05,2.364981e-05,2.353531e-05,2.342310e-05,2.331313e-05,2.320537e-05,2.309980e-05,2.299636e-05,2.289504e-05,2.279579e-05,2.269857e-05,2.260336e-05,2.251012e-05,2.241881e-05
0.000000e+00,1.286123e-08,2.936751e-08,1.006338e-07,2.283715e-07,3.327104e-07,7.517282e-07,7.742019e-07,1.488137e-06,1.745408e-06,2.537412e-06,3.354418e-06,3.985724e-06,5.725159e-06,5.896475e-06,8.328168e-06,8.994660e-06,1.132465e-05,1.325646e-05,1.490055e-05,1.850624e-05,1.902888e-05,2.364208e-05,2.461508e-05,2.864938e-05,3.137760e-05,3.395734e-05,3.858657e-05,3.948198e-05,4.515186e-05,4.606835e-05,5.090673e-05,5.368392e-05,5.669536e-05,6.132079e-05,6.247374e-05,6.820392e-05,6.888671e-05,7.385334e-05,7.630620e-05,7.939431e-05,8.351853e-05,8.480370e-05,9.006254e-05,9.047627e-05,9.515570e-05,9.714384e-05,1.000715e-04,1.034961e-04,1.048013e-04,1.093393e-04,1.095168e-04,1.136818e-04,1.151969e-04,1.178272e-04,1.205336e-04,1.217757e-04,1.255285e-04,1.290884e-04,1.301873e-04,1.324586e-04,1.345180e-04,1.356434e-04,1.385307e-04,1.386475e-04,1.414759e-04,1.422371e-04,1.441341e-04,1.456497e-04,1.466277e-04,1.487814e-04,1.489625e-04,1.511441e-04,1.516456e-04,1.531785e-04,1.542555e-04,1.550713e-04,1.566245e-04,1.568283e-04,1.584552e-04,1.587654e-04,1.599574e-04,1.606910e-04,1.613403e-04,1.624136e-04,1.626092e-04,1.637692e-04,1.639450e-04,1.648253e-04,1.652967e-04,1.657823e-04,1.664796e-04,1.666448e-04,1.674174e-04,1.675042e-04,1.681043e-04,1.683806e-04,1.687099e-04,1.691181e-04,1.692381e-04,1.696927e-04,1.697261e-04,1.700777e-04,1.702129e-04,1.703965e-04,1.705870e-04,1.706526e-04,1.708492e-04,1.708559e-04,1.709897e-04,1.710271e-04,1.710770e-04,1.711075e-04,1.711141e-04,1.711037e-04,1.710486e-04,1.710219e-04,1.709513e-04,1.708680e-04,1.708142e-04,1.706474e-04,1.706397e-04,1.704301e-04,1.703653e-04,1.701874e-04,1.700268e-04,1.699138e-04,1.696364e-04,1.696112e-04,1.692814e-04,1.691984e-04,1.689263e-04,1.687170e-04,1.685475e-04,1.681959e-04,1.681467e-04,1.677254e-04,1.676388e-04,1.672850e-04,1.670490e-04,1.668271e-04,1.664298e-04,1.663528e-04,1.658636e-04,1.657840e-04,1.653605e-04,1.651144e-04,1.648447e-04,1.644237e-04,1.643174e-04,1.637796e-04,1.637144e-04,1.632322e-04,1.629885e-04,1.626761e-04,1.622484e-04,1.621124e-04,1.615418e-04,1.614959e-04,1.609651e-04,1.607329e-04,1.603831e-04,1.599611e-04,1.597964e-04,1.592059e-04,1.591822e-04,1.586120e-04,1.583976e-04,1.580155e-04,1.576086e-04,1.574169e-04,1.568167e-04,1.560229e-04,1.552284e-04,1.544342e-04,1.536412e-04,1.528503e-04,1.520623e-04,1.512779e-04,1.504979e-04,1.497227e-04,1.489531e-04,1.481894e-04,1.474322e-04,1.466819e-04,1.459389e-04,1.452035e-04,1.444760e-04,1.437567e-04,1.430458e-04,1.423436e-04,1.416503e-04,1.409660e-04,1.402908e-04,1.396248e-04,1.389683e-04
0.000000e+00,7.646992e-09,1.747003e-08,5.995122e-08,1.363160e-07,1.988750e-07,4.515459e-07,4.651576e-07,9.003662e-07,1.058406e-06,1.548392e-06,2.058580e-06,2.455584e-06,3.559409e-06,3.668782e-06,5.230630e-06,5.661151e-06,7.171863e-06,8.429171e-06,9.501394e-06,1.185641e-05,1.219789e-05,1.520938e-05,1.584333e-05,1.846430e-05,2.022805e-05,2.188813e-05,2.484642e-05,2.541543e-05,2.899389e-05,2.956836e-05,3.258325e-05,3.430065e-05,3.615258e-05,3.897727e-05,3.967783e-05,4.314007e-05,4.355056e-05,4.652436e-05,4.798562e-05,4.981895e-05,5.225718e-05,5.301476e-05,5.610492e-05,5.634741e-05,5.908446e-05,6.024450e-05,6.195002e-05,6.394147e-05,6.469958e-05,6.733225e-05,6.743512e-05,6.984804e-05,7.072525e-05,7.224774e-05,7.381390e-05,7.453272e-05,7.670487e-05,7.876641e-05,7.940316e-05,8.071990e-05,8.191469e-05,8.256809e-05,8.424599e-05,8.431390e-05,8.596035e-05,8.640398e-05,8.751057e-05,8.839581e-05,8.896769e-05,9.022874e-05,9.033488e-05,9.161530e-05,9.191004e-05,9.281208e-05,9.344690e-05,9.392833e-05,9.484644e-05,9.496710e-05,9.593142e-05,9.611560e-05,9.682421e-05,9.726116e-05,9.764838e-05,9.828969e-05,9.840672e-05,9.910199e-05,9.920756e-05,9.973685e-05,1.000209e-04,1.003139e-04,1.007356e-04,1.008357e-04,1.013046e-04,1.013574e-04,1.017231e-04,1.018918e-04,1.020933e-04,1.023439e-04,1.024177e-04,1.026982e-04,1.027188e-04,1.029370e-04,1.030212e-04,1.031360e-04,1.032558e-04,1.032973e-04,1.034226e-04,1.034269e-04,1.035138e-04,1.035386e-04,1.035726e-04,1.035949e-04,1.036006e-04,1.035995e-04,1.035708e-04,1.035561e-04,1.035160e-04,1.034679e-04,1.034366e-04,1.033383e-04,1.033338e-04,1.032090e-04,1.031703e-04,1.030635e-04,1.029668e-04,1.028985e-04,1.027304e-04,1.027151e-04,1.025144e-04,1.024638e-04,1.022976e-04,1.021695e-04,1.020657e-04,1.018498e-04,1.018195e-04,1.015601e-04,1.015068e-04,1.012884e-04,1.011425e-04,1.010052e-04,1.007591e-04,1.007114e-04,1.004076e-04,1.003581e-04,1.000947e-04,9.994153e-05,9.977345e-05,9.951082e-05,9.944443e-05,9.910833e-05,9.906755e-05,9.876577e-05,9.861315e-05,9.841734e-05,9.814896e-05,9.806361e-05,9.770511e-05,9.767624e-05,9.734236e-05,9.719618e-05,9.697584e-05,9.670987e-05,9.660601e-05,9.623331e-05,9.621835e-05,9.585816e-05,9.572259e-05,9.548097e-05,9.522349e-05,9.510209e-05,9.472189e-05,9.421858e-05,9.371429e-05,9.320969e-05,9.270541e-05,9.220204e-05,9.170011e-05,9.120014e-05,9.070257e-05,9.020783e-05,8.971631e-05,8.922838e-05,8.874434e-05,8.826451e-05,8.778915e-05,8.731852e-05,8.685282e-05,8.639226e-05,8.593702e-05,8.548726e-05,8.504311e-05,8.460470e-05,8.417214e-05,8.374551e-05,8.332489e-05
0.000000e+00,1.338557e-09,3.053054e-09,1.043391e-08,2.360653e-08,3.432441e-08,7.706222e-08,7.934208e-08,1.511971e-07,1.768410e-07,2.550464e-07,3.346604e-07,3.955138e-07,5.605339e-07,5.765944e-07,8.013111e-07,8.619350e-07,1.071042e-06,1.241505e-06,1.384848e-06,1.694946e-06,1.739519e-06,2.130437e-06,2.212520e-06,2.552466e-06,2.782489e-06,3.000412e-06,3.392974e-06,3.469166e-06,3.953751e-06,4.032429e-06,4.449363e-06,4.689822e-06,4.951437e-06,5.354874e-06,5.455712e-06,5.958292e-06,6.018317e-06,6.455688e-06,6.672098e-06,6.944850e-06,7.309485e-06,7.423170e-06,7.888475e-06,7.925082e-06,8.339009e-06,8.514767e-06,8.773399e-06,9.075575e-06,9.190620e-06,9.589954e-06,9.605548e-06,9.970955e-06,1.010358e-05,1.033341e-05,1.056926e-05,1.067729e-05,1.100273e-05,1.131000e-05,1.140455e-05,1.159947e-05,1.177559e-05,1.187158e-05,1.211696e-05,1.212686e-05,1.236585e-05,1.242993e-05,1.258916e-05,1.271586e-05,1.279738e-05,1.297617e-05,1.299116e-05,1.317110e-05,1.321230e-05,1.333784e-05,1.342568e-05,1.349199e-05,1.361771e-05,1.363416e-05,1.376494e-05,1.378978e-05,1.388490e-05,1.394319e-05,1.399460e-05,1.407922e-05,1.409459e-05,1.418537e-05,1.419908e-05,1.426745e-05,1.430390e-05,1.434130e-05,1.439476e-05,1.440738e-05,1.446613e-05,1.447271e-05,1.451797e-05,1.453869e-05,1.456330e-05,1.459362e-05,1.460249e-05,1.463592e-05,1.463835e-05,1.466392e-05,1.467367e-05,1.468683e-05,1.470034e-05,1.470495e-05,1.471859e-05,1.471905e-05,1.472803e-05,1.473046e-05,1.473354e-05,1.473517e-05,1.473536e-05,1.473375e-05,1.472893e-05,1.472674e-05,1.472111e-05,1.471463e-05,1.471050e-05,1.469787e-05,1.469730e-05,1.468169e-05,1.467691e-05,1.466384e-05,1.465212e-05,1.464391e-05,1.462389e-05,1.462207e-05,1.459847e-05,1.459255e-05,1.457323e-05,1.455843e-05,1.454649e-05,1.452182e-05,1.451838e-05,1.448900e-05,1.448299e-05,1.445848e-05,1.444219e-05,1.442692e-05,1.439967e-05,1.439441e-05,1.436105e-05,1.435563e-05,1.432692e-05,1.431029e-05,1.429210e-05,1.426381e-05,1.425668e-05,1.422072e-05,1.421638e-05,1.418430e-05,1.416815e-05,1.414748e-05,1.411926e-05,1.411031e-05,1.407286e-05,1.406985e-05,1.403518e-05,1.402005e-05,1.399731e-05,1.396996e-05,1.395931e-05,1.392122e-05,1.391969e-05,1.388307e-05,1.386934e-05,1.384492e-05,1.381898e-05,1.380678e-05,1.376870e-05,1.371857e-05,1.366867e-05,1.361903e-05,1.356973e-05,1.352081e-05,1.347231e-05,1.342427e-05,1.337674e-05,1.332973e-05,1.328329e-05,1.323742e-05,1.319217e-05,1.314753e-05,1.310354e-05,1.306020e-05,1.301753e-05,1.297554e-05,1.293423e-05,1.289362e-05,1.285369e-05,1.281447e-05,1.277595e-05,1.273812e-05,1.270100e-05
0.000000e+00,1.928929e-07,4.390646e-07,1.494549e-06,3.370688e-06,4.893845e-06,1.095876e-05,1.128228e-05,2.149603e-05,2.515287e-05,3.635314e-05,4.783298e-05,5.665746e-05,8.074830e-05,8.310083e-05,1.160071e-04,1.248491e-04,1.551126e-04,1.794618e-04,1.997040e-04,2.428171e-04,2.489448e-04,3.020490e-04,3.130694e-04,3.582996e-04,3.885684e-04,4.170225e-04,4.677844e-04,4.775680e-04,5.393056e-04,5.492533e-04,6.016287e-04,6.315817e-04,6.639635e-04,7.134815e-04,7.257794e-04,7.865975e-04,7.938080e-04,8.459968e-04,8.715882e-04,9.036178e-04,9.460350e-04,9.591628e-04,1.012395e-03,1.016547e-03,1.063133e-03,1.082699e-03,1.111249e-03,1.144222e-03,1.156662e-03,1.199331e-03,1.200981e-03,1.239251e-03,1.252952e-03,1.276444e-03,1.300201e-03,1.310957e-03,1.342856e-03,1.372222e-03,1.381099e-03,1.399146e-03,1.415142e-03,1.423728e-03,1.445221e-03,1.446073e-03,1.466288e-03,1.471581e-03,1.484482e-03,1.494474e-03,1.500765e-03,1.514149e-03,1.515243e-03,1.528022e-03,1.530847e-03,1.539203e-03,1.544804e-03,1.548887e-03,1.556244e-03,1.557167e-03,1.564134e-03,1.565378e-03,1.569877e-03,1.572406e-03,1.574476e-03,1.577514e-03,1.578011e-03,1.580556e-03,1.580876e-03,1.582181e-03,1.582654e-03,1.582953e-03,1.582998e-03,1.582934e-03,1.582183e-03,1.582047e-03,1.580757e-03,1.579928e-03,1.578706e-03,1.576760e-03,1.576080e-03,1.572925e-03,1.572651e-03,1.569284e-03,1.567701e-03,1.565198e-03,1.562002e-03,1.560704e-03,1.555839e-03,1.555637e-03,1.550634e-03,1.548684e-03,1.545122e-03,1.541213e-03,1.539331e-03,1.533289e-03,1.527021e-03,1.524971e-03,1.520550e-03,1.516313e-03,1.513899e-03,1.507363e-03,1.507088e-03,1.500137e-03,1.498168e-03,1.493063e-03,1.488767e-03,1.485883e-03,1.479198e-03,1.478614e-03,1.471268e-03,1.469495e-03,1.463860e-03,1.459689e-03,1.456402e-03,1.449807e-03,1.448906e-03,1.441382e-03,1.439875e-03,1.433841e-03,1.429916e-03,1.426292e-03,1.419950e-03,1.418743e-03,1.411202e-03,1.409996e-03,1.403676e-03,1.400072e-03,1.396173e-03,1.390191e-03,1.388699e-03,1.381258e-03,1.380368e-03,1.373857e-03,1.370615e-03,1.366501e-03,1.360942e-03,1.359193e-03,1.351937e-03,1.351359e-03,1.344738e-03,1.341875e-03,1.337599e-03,1.332497e-03,1.330522e-03,1.323511e-03,1.323232e-03,1.316568e-03,1.314085e-03,1.309694e-03,1.305061e-03,1.302893e-03,1.296165e-03,1.287400e-03,1.278769e-03,1.270275e-03,1.261919e-03,1.253703e-03,1.245628e-03,1.237695e-03,1.229904e-03,1.222255e-03,1.214749e-03,1.207384e-03,1.200160e-03,1.193077e-03,1.186132e-03,1.179326e-03,1.172656e-03,1.166121e-03,1.159720e-03,1.153451e-03,1.147312e-03,1.141302e-03,1.135417e-03,1.129658e-03,1.124020e-03
0.000000e+00,3.246827e-09,7.403231e-09,2.529653e-08,5.727087e-08,8.334018e-08,1.878485e-07,1.934497e-07,3.713857e-07,4.355464e-07,6.333243e-07,8.378439e-07,9.962568e-07,1.434470e-06,1.477766e-06,2.094780e-06,2.264658e-06,2.860844e-06,3.357576e-06,3.781782e-06,4.715575e-06,4.851199e-06,6.049189e-06,6.301729e-06,7.346559e-06,8.049970e-06,8.711962e-06,9.890762e-06,1.011729e-05,1.153967e-05,1.176758e-05,1.296113e-05,1.363885e-05,1.436761e-05,1.547445e-05,1.574799e-05,1.709343e-05,1.725218e-05,1.839685e-05,1.895555e-05,1.965265e-05,2.057250e-05,2.085650e-05,2.200519e-05,2.209463e-05,2.309648e-05,2.351660e-05,2.412900e-05,2.483561e-05,2.510207e-05,2.601565e-05,2.605096e-05,2.687025e-05,2.716364e-05,2.766681e-05,2.817596e-05,2.840661e-05,2.909123e-05,2.972245e-05,2.991348e-05,3.030222e-05,3.064721e-05,3.083258e-05,3.129724e-05,3.131568e-05,3.175368e-05,3.186853e-05,3.214875e-05,3.236608e-05,3.250305e-05,3.279484e-05,3.281872e-05,3.309785e-05,3.315963e-05,3.334248e-05,3.346513e-05,3.355457e-05,3.371581e-05,3.373603e-05,3.388871e-05,3.391595e-05,3.401437e-05,3.406960e-05,3.411470e-05,3.418058e-05,3.419131e-05,3.424575e-05,3.425251e-05,3.427949e-05,3.428875e-05,3.429393e-05,3.429248e-05,3.429039e-05,3.427014e-05,3.426665e-05,3.423438e-05,3.421402e-05,3.418423e-05,3.413717e-05,3.412078e-05,3.404503e-05,3.403847e-05,3.395795e-05,3.392014e-05,3.386043e-05,3.378425e-05,3.375334e-05,3.363749e-05,3.363268e-05,3.351362e-05,3.346720e-05,3.338245e-05,3.328944e-05,3.324467e-05,3.310089e-05,3.295172e-05,3.290293e-05,3.279770e-05,3.269684e-05,3.263938e-05,3.248378e-05,3.247723e-05,3.231172e-05,3.226483e-05,3.214327e-05,3.204097e-05,3.197230e-05,3.181309e-05,3.179917e-05,3.162425e-05,3.158204e-05,3.144785e-05,3.134854e-05,3.127029e-05,3.111330e-05,3.109185e-05,3.091279e-05,3.087693e-05,3.073337e-05,3.064000e-05,3.055381e-05,3.040302e-05,3.037432e-05,3.019510e-05,3.016647e-05,3.001634e-05,2.993075e-05,2.983820e-05,2.969624e-05,2.966084e-05,2.948440e-05,2.946329e-05,2.930900e-05,2.923219e-05,2.913478e-05,2.900322e-05,2.896184e-05,2.879027e-05,2.877661e-05,2.862018e-05,2.855258e-05,2.845165e-05,2.833131e-05,2.828474e-05,2.811953e-05,2.811296e-05,2.795608e-05,2.789767e-05,2.779443e-05,2.768557e-05,2.763465e-05,2.747676e-05,2.727132e-05,2.706932e-05,2.687083e-05,2.667588e-05,2.648450e-05,2.629672e-05,2.611256e-05,2.593201e-05,2.575508e-05,2.558174e-05,2.541199e-05,2.524580e-05,2.508315e-05,2.492400e-05,2.476831e-05,2.461605e-05,2.446718e-05,2.432164e-05,2.417939e-05,2.404038e-05,2.390457e-05,2.377188e-05,2.364229e-05,2.351571e-05
0.000000e+00,1.167283e-07,2.654016e-07,9.011712e-07,2.027280e-06,2.938847e-06,6.550740e-06,6.742715e-06,1.277318e-05,1.491932e-05,2.145584e-05,2.810627e-05,3.319143e-05,4.700221e-05,4.834836e-05,6.722156e-05,7.232376e-05,8.994139e-05,1.043023e-04,1.163568e-04,1.422891e-04,1.459938e-04,1.781636e-04,1.848364e-04,2.121367e-04,2.302930e-04,2.472555e-04,2.772307e-04,2.829634e-04,3.187942e-04,3.245114e-04,3.543554e-04,3.712294e-04,3.893145e-04,4.166581e-04,4.233909e-04,4.563518e-04,4.602228e-04,4.880086e-04,5.014850e-04,5.182139e-04,5.401309e-04,5.468590e-04,5.738696e-04,5.759583e-04,5.992027e-04,6.088617e-04,6.228420e-04,6.388164e-04,6.447941e-04,6.650845e-04,6.658620e-04,6.837537e-04,6.900876e-04,7.008545e-04,7.116182e-04,7.164483e-04,7.306031e-04,7.433909e-04,7.472063e-04,7.548858e-04,7.615989e-04,7.651633e-04,7.739538e-04,7.742982e-04,7.823640e-04,7.844407e-04,7.894326e-04,7.932240e-04,7.955731e-04,8.004598e-04,8.008519e-04,8.053321e-04,8.062953e-04,8.090739e-04,8.108680e-04,8.121339e-04,8.143052e-04,8.145655e-04,8.164190e-04,8.167245e-04,8.177413e-04,8.182337e-04,8.185764e-04,8.189313e-04,8.189651e-04,8.189458e-04,8.189072e-04,8.185539e-04,8.182433e-04,8.178226e-04,8.170137e-04,8.167823e-04,8.154617e-04,8.152856e-04,8.138870e-04,8.131200e-04,8.120826e-04,8.105716e-04,8.100712e-04,8.078736e-04,8.076903e-04,8.055091e-04,8.045207e-04,8.029957e-04,8.011031e-04,8.003498e-04,7.975866e-04,7.974738e-04,7.947202e-04,7.936655e-04,7.917635e-04,7.897075e-04,7.887285e-04,7.856262e-04,7.824667e-04,7.814452e-04,7.792594e-04,7.771856e-04,7.760129e-04,7.728666e-04,7.727350e-04,7.694330e-04,7.685051e-04,7.661136e-04,7.641162e-04,7.627829e-04,7.597135e-04,7.594465e-04,7.561095e-04,7.553091e-04,7.527766e-04,7.509136e-04,7.494521e-04,7.465367e-04,7.461400e-04,7.428437e-04,7.421867e-04,7.395666e-04,7.378710e-04,7.363115e-04,7.335963e-04,7.330812e-04,7.298780e-04,7.293682e-04,7.267042e-04,7.251918e-04,7.235617e-04,7.210713e-04,7.204522e-04,7.173773e-04,7.170107e-04,7.143383e-04,7.130129e-04,7.113366e-04,7.090809e-04,7.083732e-04,7.054490e-04,7.052168e-04,7.025649e-04,7.014226e-04,6.997214e-04,6.976997e-04,6.969193e-04,6.941589e-04,6.940494e-04,6.914407e-04,6.904726e-04,6.887650e-04,6.869698e-04,6.861319e-04,6.835417e-04,6.801883e-04,6.769096e-04,6.737055e-04,6.705757e-04,6.675197e-04,6.645368e-04,6.616266e-04,6.587881e-04,6.560205e-04,6.533228e-04,6.506942e-04,6.481335e-04,6.456396e-04,6.432114e-04,6.408477e-04,6.385473e-04,6.363090e-04,6.341316e-04,6.320138e-04,6.299543e-04,6.279520e-04,6.260055e-04,6.241135e-04,6.222749e-04
0.000000e+00,9.899746e-09,2.262149e-08,7.767637e-08,1.767685e-07,2.580563e-07,5.873483e-07,6.051318e-07,1.176041e-06,1.384443e-06,2.033994e-06,2.715232e-06,3.248156e-06,4.737353e-06,4.885111e-06,6.985359e-06,7.558130e-06,9.535209e-06,1.113645e-05,1.246993e-05,1.530698e-05,1.570935e-05,1.918367e-05,1.990164e-05,2.283753e-05,2.479323e-05,2.662580e-05,2.988324e-05,3.050960e-05,3.445425e-05,3.508890e-05,3.842841e-05,4.033809e-05,4.240387e-05,4.556825e-05,4.635561e-05,5.026180e-05,5.072657e-05,5.410384e-05,5.576990e-05,5.786616e-05,6.066431e-05,6.153609e-05,6.510354e-05,6.538426e-05,6.856075e-05,6.991143e-05,7.190200e-05,7.423360e-05,7.512330e-05,7.822214e-05,7.834353e-05,8.119725e-05,8.223792e-05,8.404837e-05,8.591657e-05,8.677607e-05,8.938161e-05,9.186677e-05,9.263695e-05,9.423376e-05,9.568778e-05,9.648512e-05,9.854023e-05,9.862364e-05,1.006523e-04,1.012011e-04,1.025742e-04,1.036775e-04,1.043926e-04,1.059768e-04,1.061107e-04,1.077318e-04,1.081068e-04,1.092592e-04,1.100748e-04,1.106962e-04,1.118886e-04,1.120461e-04,1.133121e-04,1.135555e-04,1.144974e-04,1.150829e-04,1.156051e-04,1.164778e-04,1.166383e-04,1.175999e-04,1.177473e-04,1.184929e-04,1.188980e-04,1.193201e-04,1.199364e-04,1.200843e-04,1.207882e-04,1.208688e-04,1.214345e-04,1.217012e-04,1.220256e-04,1.224395e-04,1.225640e-04,1.230521e-04,1.230891e-04,1.234923e-04,1.236554e-04,1.238867e-04,1.241436e-04,1.242375e-04,1.245468e-04,1.245584e-04,1.248166e-04,1.249045e-04,1.250489e-04,1.251863e-04,1.252454e-04,1.254081e-04,1.255386e-04,1.255739e-04,1.256387e-04,1.256875e-04,1.257099e-04,1.257524e-04,1.257537e-04,1.257717e-04,1.257723e-04,1.257653e-04,1.257503e-04,1.257358e-04,1.256895e-04,1.256846e-04,1.256129e-04,1.255928e-04,1.255220e-04,1.254631e-04,1.254130e-04,1.253029e-04,1.252869e-04,1.251450e-04,1.251148e-04,1.249881e-04,1.249010e-04,1.248173e-04,1.246638e-04,1.246335e-04,1.244376e-04,1.244052e-04,1.242305e-04,1.241273e-04,1.240129e-04,1.238318e-04,1.237856e-04,1.235494e-04,1.235205e-04,1.233050e-04,1.231950e-04,1.230530e-04,1.228569e-04,1.227942e-04,1.225290e-04,1.225076e-04,1.222582e-04,1.221484e-04,1.219822e-04,1.217806e-04,1.217016e-04,1.214169e-04,1.214054e-04,1.211285e-04,1.210239e-04,1.208369e-04,1.206371e-04,1.205426e-04,1.202459e-04,1.198513e-04,1.194542e-04,1.190552e-04,1.186551e-04,1.182546e-04,1.178543e-04,1.174548e-04,1.170565e-04,1.166600e-04,1.162657e-04,1.158741e-04,1.154854e-04,1.151001e-04,1.147185e-04,1.143407e-04,1.139672e-04,1.135981e-04,1.132336e-04,1.128739e-04,1.125192e-04,1.121696e-04,1.118253e-04,1.114863e-04,1.111527e-04
0.000000e+00,1.825587e-09,4.159701e-09,1.419096e-08,3.207405e-08,4.662512e-08,1.047579e-07,1.078658e-07,2.062533e-07,2.415865e-07,3.500965e-07,4.617372e-07,5.478525e-07,7.845280e-07,8.077866e-07,1.136550e-06,1.226091e-06,1.536568e-06,1.790544e-06,2.004083e-06,2.464415e-06,2.530315e-06,3.104702e-06,3.224456e-06,3.717224e-06,4.047831e-06,4.359058e-06,4.915148e-06,5.022442e-06,5.700387e-06,5.809774e-06,6.386486e-06,6.716959e-06,7.074840e-06,7.623500e-06,7.760048e-06,8.437231e-06,8.517742e-06,9.102070e-06,9.389704e-06,9.750826e-06,1.023117e-05,1.038035e-05,1.098809e-05,1.103570e-05,1.157202e-05,1.179858e-05,1.213067e-05,1.251665e-05,1.266302e-05,1.316847e-05,1.318812e-05,1.364673e-05,1.381225e-05,1.409786e-05,1.438928e-05,1.452216e-05,1.492013e-05,1.529243e-05,1.540628e-05,1.563988e-05,1.584961e-05,1.596336e-05,1.625224e-05,1.626383e-05,1.654229e-05,1.661646e-05,1.679978e-05,1.694463e-05,1.703732e-05,1.723915e-05,1.725597e-05,1.745673e-05,1.750236e-05,1.764059e-05,1.773652e-05,1.780850e-05,1.794381e-05,1.796139e-05,1.810016e-05,1.812629e-05,1.822565e-05,1.828593e-05,1.833867e-05,1.842453e-05,1.843999e-05,1.853033e-05,1.854382e-05,1.861040e-05,1.864538e-05,1.868086e-05,1.873071e-05,1.874231e-05,1.879534e-05,1.880117e-05,1.884051e-05,1.885803e-05,1.887833e-05,1.890246e-05,1.890929e-05,1.893385e-05,1.893555e-05,1.895244e-05,1.895830e-05,1.896547e-05,1.897162e-05,1.897331e-05,1.897633e-05,1.897636e-05,1.897486e-05,1.897329e-05,1.896921e-05,1.896314e-05,1.895968e-05,1.894656e-05,1.893009e-05,1.892416e-05,1.891053e-05,1.889649e-05,1.888810e-05,1.886407e-05,1.886302e-05,1.883549e-05,1.882736e-05,1.880569e-05,1.878681e-05,1.877382e-05,1.874280e-05,1.874003e-05,1.870449e-05,1.869571e-05,1.866732e-05,1.864586e-05,1.862869e-05,1.859357e-05,1.858871e-05,1.854750e-05,1.853912e-05,1.850518e-05,1.848277e-05,1.846186e-05,1.842476e-05,1.841763e-05,1.837259e-05,1.836531e-05,1.832682e-05,1.830462e-05,1.828042e-05,1.824288e-05,1.823345e-05,1.818598e-05,1.818026e-05,1.813810e-05,1.811691e-05,1.808985e-05,1.805298e-05,1.804130e-05,1.799250e-05,1.798859e-05,1.794352e-05,1.792388e-05,1.789438e-05,1.785894e-05,1.784515e-05,1.779586e-05,1.779389e-05,1.774656e-05,1.772881e-05,1.769727e-05,1.766379e-05,1.764805e-05,1.759891e-05,1.753423e-05,1.746982e-05,1.740574e-05,1.734205e-05,1.727878e-05,1.721599e-05,1.715372e-05,1.709199e-05,1.703085e-05,1.697032e-05,1.691043e-05,1.685120e-05,1.679265e-05,1.673479e-05,1.667765e-05,1.662124e-05,1.656557e-05,1.651064e-05,1.645647e-05,1.640307e-05,1.635043e-05,1.629857e-05,1.624748e-05,1.619716e-05
0.000000e+00,1.345576e-08,3.024335e-08,1.003052e-07,2.210192e-07,3.169010e-07,6.878154e-07,7.072503e-07,1.309266e-06,1.520725e-06,2.159478e-06,2.804023e-06,3.294363e-06,4.615877e-06,4.743739e-06,6.509700e-06,6.976169e-06,8.540906e-06,9.758701e-06,1.074033e-05,1.273498e-05,1.300795e-05,1.526909e-05,1.571590e-05,1.747511e-05,1.858954e-05,1.959448e-05,2.129175e-05,2.160554e-05,2.349250e-05,2.378207e-05,2.524372e-05,2.603355e-05,2.685100e-05,2.802978e-05,2.830943e-05,2.961719e-05,2.976403e-05,3.077538e-05,3.123845e-05,3.178762e-05,3.246283e-05,3.265974e-05,3.339922e-05,3.345291e-05,3.401482e-05,3.422848e-05,3.451603e-05,3.481165e-05,3.491279e-05,3.521506e-05,3.522532e-05,3.543262e-05,3.549203e-05,3.557485e-05,3.563307e-05,3.565058e-05,3.566801e-05,3.563465e-05,3.561438e-05,3.555732e-05,3.548760e-05,3.544213e-05,3.530103e-05,3.529457e-05,3.511946e-05,3.506609e-05,3.492107e-05,3.479245e-05,3.470316e-05,3.448825e-05,3.446898e-05,3.422139e-05,3.416026e-05,3.396287e-05,3.381412e-05,3.369555e-05,3.345451e-05,3.342129e-05,3.314170e-05,3.308527e-05,3.285817e-05,3.270958e-05,3.257190e-05,3.233007e-05,3.228392e-05,3.199512e-05,3.194889e-05,3.170628e-05,3.156781e-05,3.141804e-05,3.118828e-05,3.113098e-05,3.084560e-05,3.081149e-05,3.056231e-05,3.043842e-05,3.028147e-05,3.006986e-05,3.000339e-05,2.972833e-05,2.970646e-05,2.945652e-05,2.934875e-05,2.918814e-05,2.899712e-05,2.892335e-05,2.866229e-05,2.865193e-05,2.840505e-05,2.831340e-05,2.815174e-05,2.798175e-05,2.790240e-05,2.765710e-05,2.741588e-05,2.733955e-05,2.717875e-05,2.702915e-05,2.694574e-05,2.672593e-05,2.671685e-05,2.649207e-05,2.642987e-05,2.627140e-05,2.614096e-05,2.605481e-05,2.585913e-05,2.584228e-05,2.563378e-05,2.558434e-05,2.542928e-05,2.531649e-05,2.522873e-05,2.505549e-05,2.503210e-05,2.483934e-05,2.480125e-05,2.465040e-05,2.455365e-05,2.446523e-05,2.431257e-05,2.428378e-05,2.410599e-05,2.407788e-05,2.393182e-05,2.384947e-05,2.376119e-05,2.362721e-05,2.359406e-05,2.343036e-05,2.341094e-05,2.327004e-05,2.320055e-05,2.311303e-05,2.299589e-05,2.295929e-05,2.280874e-05,2.279683e-05,2.266133e-05,2.260323e-05,2.251699e-05,2.241495e-05,2.237568e-05,2.223733e-05,2.223185e-05,2.210187e-05,2.205381e-05,2.196926e-05,2.188068e-05,2.183944e-05,2.171234e-05,2.154865e-05,2.138949e-05,2.123473e-05,2.108424e-05,2.093791e-05,2.079562e-05,2.065726e-05,2.052270e-05,2.039183e-05,2.026456e-05,2.014077e-05,2.002036e-05,1.990323e-05,1.978929e-05,1.967843e-05,1.957057e-05,1.946562e-05,1.936349e-05,1.926409e-05,1.916735e-05,1.907318e-05,1.898151e-05,1.889226e-05,1.880535e-05
0.000000e+00,3.094334e-10,7.048925e-10,2.402581e-09,5.421944e-09,7.872100e-09,1.760258e-08,1.812021e-08,3.437668e-08,4.015493e-08,5.771433e-08,7.550780e-08,8.906147e-08,1.256578e-07,1.292099e-07,1.788160e-07,1.921890e-07,2.383910e-07,2.762418e-07,3.082727e-07,3.783903e-07,3.885738e-07,4.791163e-07,4.984146e-07,5.793863e-07,6.351055e-07,6.885526e-07,7.863562e-07,8.055555e-07,9.292184e-07,9.495418e-07,1.058334e-06,1.121897e-06,1.191716e-06,1.300721e-06,1.328217e-06,1.466745e-06,1.483455e-06,1.606266e-06,1.667718e-06,1.745812e-06,1.851332e-06,1.884490e-06,2.021484e-06,2.032348e-06,2.156062e-06,2.209070e-06,2.287582e-06,2.380067e-06,2.415488e-06,2.539311e-06,2.544173e-06,2.658669e-06,2.700484e-06,2.773259e-06,2.848340e-06,2.882857e-06,2.987303e-06,3.086504e-06,3.117133e-06,3.180419e-06,3.237753e-06,3.269057e-06,3.349230e-06,3.352467e-06,3.430734e-06,3.451742e-06,3.503972e-06,3.545557e-06,3.572318e-06,3.631009e-06,3.635927e-06,3.694970e-06,3.708480e-06,3.749624e-06,3.778384e-06,3.800078e-06,3.841152e-06,3.846520e-06,3.889142e-06,3.897224e-06,3.928134e-06,3.947039e-06,3.963686e-06,3.991027e-06,3.995983e-06,4.025204e-06,4.029605e-06,4.051524e-06,4.063177e-06,4.075112e-06,4.092125e-06,4.096130e-06,4.114734e-06,4.116811e-06,4.131071e-06,4.137578e-06,4.145283e-06,4.154746e-06,4.157505e-06,4.167863e-06,4.168615e-06,4.176478e-06,4.179463e-06,4.183466e-06,4.187549e-06,4.188933e-06,4.192982e-06,4.193115e-06,4.195708e-06,4.196383e-06,4.197201e-06,4.197557e-06,4.197548e-06,4.196828e-06,4.195116e-06,4.194370e-06,4.192483e-06,4.190345e-06,4.188994e-06,4.184899e-06,4.184714e-06,4.179699e-06,4.178171e-06,4.174005e-06,4.170284e-06,4.167683e-06,4.161354e-06,4.160781e-06,4.153346e-06,4.151486e-06,4.145418e-06,4.140779e-06,4.137039e-06,4.129320e-06,4.128244e-06,4.119070e-06,4.117193e-06,4.109549e-06,4.104471e-06,4.099711e-06,4.091224e-06,4.089586e-06,4.079200e-06,4.077516e-06,4.068579e-06,4.063405e-06,4.057747e-06,4.048943e-06,4.046724e-06,4.035533e-06,4.034180e-06,4.024193e-06,4.019161e-06,4.012722e-06,4.003926e-06,4.001136e-06,3.989453e-06,3.988515e-06,3.977686e-06,3.972960e-06,3.965851e-06,3.957294e-06,3.953959e-06,3.942023e-06,3.941545e-06,3.930055e-06,3.925741e-06,3.918066e-06,3.909906e-06,3.906065e-06,3.894061e-06,3.878227e-06,3.862423e-06,3.846665e-06,3.830970e-06,3.815350e-06,3.799818e-06,3.784387e-06,3.769066e-06,3.753866e-06,3.738794e-06,3.723858e-06,3.709065e-06,3.694422e-06,3.679934e-06,3.665605e-06,3.651440e-06,3.637443e-06,3.623617e-06,3.609964e-06,3.596487e-06,3.583188e-06,3.570069e-06,3.557131e-06,3.544375e-06
0.000000e+00,6.367476e-09,1.451317e-08,4.960143e-08,1.125101e-07,1.640451e-07,3.730736e-07,3.843896e-07,7.498488e-07,8.844106e-07,1.307854e-06,1.757890e-06,2.113276e-06,3.114158e-06,3.213612e-06,4.619083e-06,4.998419e-06,6.293533e-06,7.328608e-06,8.183584e-06,9.988980e-06,1.024406e-05,1.244224e-05,1.289616e-05,1.475373e-05,1.599369e-05,1.715832e-05,1.923656e-05,1.963750e-05,2.217322e-05,2.258298e-05,2.474751e-05,2.599162e-05,2.734251e-05,2.942162e-05,2.994069e-05,3.252518e-05,3.283364e-05,3.508016e-05,3.619120e-05,3.759108e-05,3.946188e-05,4.004498e-05,4.243051e-05,4.261810e-05,4.473804e-05,4.563738e-05,4.695966e-05,4.850250e-05,4.908919e-05,5.112204e-05,5.120129e-05,5.305502e-05,5.372606e-05,5.488632e-05,5.607315e-05,5.661528e-05,5.824220e-05,5.976829e-05,6.023563e-05,6.119542e-05,6.205797e-05,6.252605e-05,6.371537e-05,6.376309e-05,6.490979e-05,6.521515e-05,6.596965e-05,6.656540e-05,6.694634e-05,6.777467e-05,6.784363e-05,6.866535e-05,6.885174e-05,6.941533e-05,6.980539e-05,7.009733e-05,7.064421e-05,7.071506e-05,7.127210e-05,7.137653e-05,7.177194e-05,7.201037e-05,7.221795e-05,7.255337e-05,7.261336e-05,7.296127e-05,7.301272e-05,7.326461e-05,7.339521e-05,7.352618e-05,7.370718e-05,7.374867e-05,7.393458e-05,7.395454e-05,7.408630e-05,7.414282e-05,7.420610e-05,7.427711e-05,7.429610e-05,7.435830e-05,7.436214e-05,7.439461e-05,7.440229e-05,7.440681e-05,7.440160e-05,7.439656e-05,7.436544e-05,7.436378e-05,7.431493e-05,7.429227e-05,7.424643e-05,7.419023e-05,7.416123e-05,7.406056e-05,7.394558e-05,7.390594e-05,7.381736e-05,7.372882e-05,7.367691e-05,7.353146e-05,7.352518e-05,7.336307e-05,7.331594e-05,7.319141e-05,7.308416e-05,7.301098e-05,7.283788e-05,7.282252e-05,7.262671e-05,7.257870e-05,7.242421e-05,7.230810e-05,7.221560e-05,7.202744e-05,7.200147e-05,7.178234e-05,7.173796e-05,7.155871e-05,7.144080e-05,7.133105e-05,7.113701e-05,7.109979e-05,7.086534e-05,7.082755e-05,7.062808e-05,7.051331e-05,7.038838e-05,7.019508e-05,7.014657e-05,6.990296e-05,6.987362e-05,6.965785e-05,6.954960e-05,6.941152e-05,6.922364e-05,6.916422e-05,6.891618e-05,6.889632e-05,6.866765e-05,6.856814e-05,6.841882e-05,6.823959e-05,6.816989e-05,6.792105e-05,6.791110e-05,6.767246e-05,6.758307e-05,6.742430e-05,6.725586e-05,6.717669e-05,6.692979e-05,6.660518e-05,6.628229e-05,6.596137e-05,6.564265e-05,6.532632e-05,6.501257e-05,6.470156e-05,6.439344e-05,6.408835e-05,6.378640e-05,6.348769e-05,6.319231e-05,6.290035e-05,6.261188e-05,6.232696e-05,6.204562e-05,6.176794e-05,6.149393e-05,6.122362e-05,6.095704e-05,6.069420e-05,6.043512e-05,6.017979e-05,5.992822e-05
0.000000e+00,1.595054e-09,3.643492e-09,1.249166e-08,2.834984e-08,4.129528e-08,9.317877e-08,9.595630e-08,1.839048e-07,2.154627e-07,3.121875e-07,4.113419e-07,4.875680e-07,6.960822e-07,7.165134e-07,1.004904e-06,1.083510e-06,1.357269e-06,1.583426e-06,1.775638e-06,2.197506e-06,2.258791e-06,2.802690e-06,2.918279e-06,3.401724e-06,3.732982e-06,4.049768e-06,4.627497e-06,4.740671e-06,5.468376e-06,5.587825e-06,6.226929e-06,6.600269e-06,7.010477e-06,7.651457e-06,7.813293e-06,8.629826e-06,8.728477e-06,9.454768e-06,9.819105e-06,1.028312e-05,1.091207e-05,1.111023e-05,1.193186e-05,1.199724e-05,1.274420e-05,1.306576e-05,1.354388e-05,1.411014e-05,1.432796e-05,1.509395e-05,1.512418e-05,1.583976e-05,1.610298e-05,1.656370e-05,1.704277e-05,1.726440e-05,1.794083e-05,1.859227e-05,1.879536e-05,1.921820e-05,1.960529e-05,1.981837e-05,2.037022e-05,2.039269e-05,2.094125e-05,2.109026e-05,2.146427e-05,2.176595e-05,2.196208e-05,2.239816e-05,2.243511e-05,2.288386e-05,2.298801e-05,2.330891e-05,2.353681e-05,2.371087e-05,2.404600e-05,2.409038e-05,2.444814e-05,2.451714e-05,2.478482e-05,2.495180e-05,2.510114e-05,2.535163e-05,2.539781e-05,2.567554e-05,2.571827e-05,2.593504e-05,2.605333e-05,2.617701e-05,2.635843e-05,2.640214e-05,2.661111e-05,2.663513e-05,2.680458e-05,2.688497e-05,2.698321e-05,2.710942e-05,2.714762e-05,2.729844e-05,2.730994e-05,2.743627e-05,2.748789e-05,2.756168e-05,2.764461e-05,2.767525e-05,2.777751e-05,2.778137e-05,2.786899e-05,2.789939e-05,2.795021e-05,2.799982e-05,2.802165e-05,2.808379e-05,2.813709e-05,2.815235e-05,2.818198e-05,2.820650e-05,2.821889e-05,2.824720e-05,2.824824e-05,2.827040e-05,2.827537e-05,2.828575e-05,2.829185e-05,2.829467e-05,2.829748e-05,2.829749e-05,2.829455e-05,2.829302e-05,2.828616e-05,2.827920e-05,2.827264e-05,2.825673e-05,2.825428e-05,2.823135e-05,2.822624e-05,2.820413e-05,2.818837e-05,2.817288e-05,2.814369e-05,2.813784e-05,2.809925e-05,2.809276e-05,2.805733e-05,2.803609e-05,2.801230e-05,2.797418e-05,2.796437e-05,2.791373e-05,2.790748e-05,2.786056e-05,2.783642e-05,2.780506e-05,2.776142e-05,2.774739e-05,2.768771e-05,2.768285e-05,2.762618e-05,2.760108e-05,2.756295e-05,2.751644e-05,2.749815e-05,2.743193e-05,2.742925e-05,2.736441e-05,2.733981e-05,2.729571e-05,2.724839e-05,2.722596e-05,2.715525e-05,2.706063e-05,2.696476e-05,2.686786e-05,2.677012e-05,2.667172e-05,2.657283e-05,2.647362e-05,2.637423e-05,2.627480e-05,2.617545e-05,2.607631e-05,2.597747e-05,2.587905e-05,2.578113e-05,2.568379e-05,2.558712e-05,2.549119e-05,2.539606e-05,2.530178e-05,2.520842e-05,2.511602e-05,2.502463e-05,2.493427e-05,2.484500e-05
0.000000e+00,4.800912e-09,1.093686e-08,3.730851e-08,8.436930e-08,1.227228e-07,2.765858e-07,2.848416e-07,5.478127e-07,6.430017e-07,9.376228e-07,1.243804e-06,1.481490e-06,2.136810e-06,2.201083e-06,3.100286e-06,3.341314e-06,4.163214e-06,4.821294e-06,5.366718e-06,6.525303e-06,6.689776e-06,8.114775e-06,8.410608e-06,9.625999e-06,1.044089e-05,1.120833e-05,1.258134e-05,1.284660e-05,1.452549e-05,1.479685e-05,1.622969e-05,1.705228e-05,1.794423e-05,1.931364e-05,1.965476e-05,2.134792e-05,2.154934e-05,2.301156e-05,2.373139e-05,2.463495e-05,2.583606e-05,2.620885e-05,2.772559e-05,2.784426e-05,2.917898e-05,2.974149e-05,3.056428e-05,3.151758e-05,3.187809e-05,3.311829e-05,3.316635e-05,3.428378e-05,3.468501e-05,3.537439e-05,3.607351e-05,3.639072e-05,3.733403e-05,3.820620e-05,3.847060e-05,3.900930e-05,3.948813e-05,3.974574e-05,4.039256e-05,4.041827e-05,4.102973e-05,4.119039e-05,4.158304e-05,4.188837e-05,4.208121e-05,4.249341e-05,4.252724e-05,4.292407e-05,4.301231e-05,4.327458e-05,4.345167e-05,4.358155e-05,4.381785e-05,4.384773e-05,4.407572e-05,4.411696e-05,4.426803e-05,4.435473e-05,4.442705e-05,4.453656e-05,4.455505e-05,4.465420e-05,4.466752e-05,4.472653e-05,4.475230e-05,4.477399e-05,4.479527e-05,4.479839e-05,4.480145e-05,4.480046e-05,4.478478e-05,4.477159e-05,4.474990e-05,4.471210e-05,4.469824e-05,4.463113e-05,4.462513e-05,4.454981e-05,4.451358e-05,4.445547e-05,4.438010e-05,4.434921e-05,4.423204e-05,4.422714e-05,4.410493e-05,4.405691e-05,4.396877e-05,4.387144e-05,4.382439e-05,4.367259e-05,4.351409e-05,4.346207e-05,4.334957e-05,4.324141e-05,4.317965e-05,4.301202e-05,4.300494e-05,4.282598e-05,4.277518e-05,4.264328e-05,4.253206e-05,4.245732e-05,4.228373e-05,4.226853e-05,4.207734e-05,4.203114e-05,4.188411e-05,4.177516e-05,4.168922e-05,4.151658e-05,4.149297e-05,4.129569e-05,4.125613e-05,4.109765e-05,4.099445e-05,4.089911e-05,4.073213e-05,4.070031e-05,4.050149e-05,4.046969e-05,4.030283e-05,4.020760e-05,4.010454e-05,3.994629e-05,3.990679e-05,3.970974e-05,3.968615e-05,3.951354e-05,3.942751e-05,3.931832e-05,3.917069e-05,3.912421e-05,3.893132e-05,3.891594e-05,3.873976e-05,3.866352e-05,3.854961e-05,3.841364e-05,3.836098e-05,3.817393e-05,3.816648e-05,3.798853e-05,3.792221e-05,3.780485e-05,3.768096e-05,3.762295e-05,3.744287e-05,3.720804e-05,3.697656e-05,3.674849e-05,3.652392e-05,3.630287e-05,3.608540e-05,3.587152e-05,3.566127e-05,3.545464e-05,3.525165e-05,3.505229e-05,3.485655e-05,3.466442e-05,3.447588e-05,3.429090e-05,3.410945e-05,3.393151e-05,3.375704e-05,3.358601e-05,3.341837e-05,3.325408e-05,3.309311e-05,3.293540e-05,3.278090e-05
0.000000e+00,2.459553e-09,5.617449e-09,1.926220e-08,4.375364e-08,6.378875e-08,1.445032e-07,1.488435e-07,2.872993e-07,3.374597e-07,4.927287e-07,6.541719e-07,7.797329e-07,1.128757e-06,1.163331e-06,1.656337e-06,1.791801e-06,2.264599e-06,2.654301e-06,2.983659e-06,3.698264e-06,3.801042e-06,4.701675e-06,4.890516e-06,5.671440e-06,6.198889e-06,6.698029e-06,7.596311e-06,7.770595e-06,8.879275e-06,9.059392e-06,1.001486e-05,1.056693e-05,1.116866e-05,1.209929e-05,1.233248e-05,1.349867e-05,1.363843e-05,1.466017e-05,1.516807e-05,1.581060e-05,1.667400e-05,1.694427e-05,1.805624e-05,1.814413e-05,1.914226e-05,1.956859e-05,2.019880e-05,2.093961e-05,2.122297e-05,2.221251e-05,2.225135e-05,2.316570e-05,2.349970e-05,2.408130e-05,2.468202e-05,2.495853e-05,2.579695e-05,2.659647e-05,2.684411e-05,2.735724e-05,2.782398e-05,2.807966e-05,2.873763e-05,2.876430e-05,2.941187e-05,2.958666e-05,3.002323e-05,3.037304e-05,3.059929e-05,3.109896e-05,3.114106e-05,3.164960e-05,3.176683e-05,3.212599e-05,3.237914e-05,3.257134e-05,3.293846e-05,3.298677e-05,3.337339e-05,3.344736e-05,3.373234e-05,3.390843e-05,3.406472e-05,3.432418e-05,3.437162e-05,3.465410e-05,3.469710e-05,3.491322e-05,3.502959e-05,3.514998e-05,3.532397e-05,3.536539e-05,3.556041e-05,3.558249e-05,3.573597e-05,3.580729e-05,3.589299e-05,3.600047e-05,3.603234e-05,3.615488e-05,3.616398e-05,3.626141e-05,3.629972e-05,3.635273e-05,3.640950e-05,3.642961e-05,3.649277e-05,3.649502e-05,3.654292e-05,3.655792e-05,3.658074e-05,3.659975e-05,3.660688e-05,3.662196e-05,3.662659e-05,3.662596e-05,3.662135e-05,3.661306e-05,3.660678e-05,3.658451e-05,3.658341e-05,3.655176e-05,3.654148e-05,3.651230e-05,3.648507e-05,3.646550e-05,3.641635e-05,3.641182e-05,3.635166e-05,3.633630e-05,3.628544e-05,3.624585e-05,3.621354e-05,3.614587e-05,3.613634e-05,3.605419e-05,3.603720e-05,3.596743e-05,3.592060e-05,3.587638e-05,3.579681e-05,3.578135e-05,3.568263e-05,3.566651e-05,3.558050e-05,3.553034e-05,3.547522e-05,3.538890e-05,3.536705e-05,3.525623e-05,3.524277e-05,3.514299e-05,3.509245e-05,3.502755e-05,3.493846e-05,3.491010e-05,3.479086e-05,3.478125e-05,3.467001e-05,3.462125e-05,3.454772e-05,3.445887e-05,3.442416e-05,3.429949e-05,3.429448e-05,3.417386e-05,3.412843e-05,3.404742e-05,3.396105e-05,3.392030e-05,3.379264e-05,3.362347e-05,3.345382e-05,3.328393e-05,3.311401e-05,3.294428e-05,3.277493e-05,3.260613e-05,3.243804e-05,3.227083e-05,3.210461e-05,3.193952e-05,3.177567e-05,3.161316e-05,3.145210e-05,3.129256e-05,3.113461e-05,3.097834e-05,3.082380e-05,3.067105e-05,3.052013e-05,3.037109e-05,3.022396e-05,3.007878e-05,2.993557e-05
0.000000e+00,4.108919e-09,9.314421e-09,3.144996e-08,7.045931e-08,1.019660e-07,2.267965e-07,2.334413e-07,4.431462e-07,5.183086e-07,7.491062e-07,9.867370e-07,1.170139e-06,1.673468e-06,1.722769e-06,2.412735e-06,2.597605e-06,3.225480e-06,3.722669e-06,4.129208e-06,4.972246e-06,5.089472e-06,6.078639e-06,6.278059e-06,7.076534e-06,7.593765e-06,8.068162e-06,8.887627e-06,9.041778e-06,9.987816e-06,1.013608e-05,1.089843e-05,1.132103e-05,1.176729e-05,1.242901e-05,1.258954e-05,1.336170e-05,1.345088e-05,1.408158e-05,1.438145e-05,1.474815e-05,1.521905e-05,1.536141e-05,1.592221e-05,1.596485e-05,1.643208e-05,1.662221e-05,1.689306e-05,1.719604e-05,1.730757e-05,1.767825e-05,1.769221e-05,1.800793e-05,1.811711e-05,1.829942e-05,1.847726e-05,1.855554e-05,1.877904e-05,1.897257e-05,1.902859e-05,1.913864e-05,1.923161e-05,1.927961e-05,1.939339e-05,1.939770e-05,1.949496e-05,1.951872e-05,1.957329e-05,1.961194e-05,1.963444e-05,1.967688e-05,1.967998e-05,1.971139e-05,1.971697e-05,1.972998e-05,1.973525e-05,1.973696e-05,1.973438e-05,1.973344e-05,1.972040e-05,1.971673e-05,1.969875e-05,1.968436e-05,1.966931e-05,1.963911e-05,1.963283e-05,1.959000e-05,1.958260e-05,1.954142e-05,1.951624e-05,1.948767e-05,1.944128e-05,1.942925e-05,1.936662e-05,1.935885e-05,1.930022e-05,1.926991e-05,1.923042e-05,1.917533e-05,1.915759e-05,1.908204e-05,1.907589e-05,1.900407e-05,1.897227e-05,1.892395e-05,1.886507e-05,1.884193e-05,1.875823e-05,1.875485e-05,1.867306e-05,1.864207e-05,1.858661e-05,1.852718e-05,1.849905e-05,1.841056e-05,1.832127e-05,1.829256e-05,1.823133e-05,1.817348e-05,1.814086e-05,1.805361e-05,1.804996e-05,1.795876e-05,1.793319e-05,1.786735e-05,1.781244e-05,1.777582e-05,1.769158e-05,1.768426e-05,1.759273e-05,1.757078e-05,1.750131e-05,1.745019e-05,1.741007e-05,1.732998e-05,1.731907e-05,1.722836e-05,1.721026e-05,1.713800e-05,1.709116e-05,1.704803e-05,1.697279e-05,1.695849e-05,1.686943e-05,1.685522e-05,1.678088e-05,1.673856e-05,1.669287e-05,1.662288e-05,1.660544e-05,1.651861e-05,1.650823e-05,1.643241e-05,1.639469e-05,1.634687e-05,1.628230e-05,1.626200e-05,1.617782e-05,1.617112e-05,1.609435e-05,1.606117e-05,1.601161e-05,1.595249e-05,1.592961e-05,1.584836e-05,1.584513e-05,1.576788e-05,1.573909e-05,1.568817e-05,1.563441e-05,1.560924e-05,1.553110e-05,1.542917e-05,1.532864e-05,1.522952e-05,1.513181e-05,1.503551e-05,1.494064e-05,1.484718e-05,1.475513e-05,1.466450e-05,1.457528e-05,1.448745e-05,1.440102e-05,1.431596e-05,1.423228e-05,1.414997e-05,1.406900e-05,1.398937e-05,1.391106e-05,1.383407e-05,1.375837e-05,1.368395e-05,1.361080e-05,1.353889e-05,1.346823e-05
0.000000e+00,7.514189e-09,1.713852e-08,5.866840e-08,1.333146e-07,1.946009e-07,4.441340e-07,4.576797e-07,8.967275e-07,1.059033e-06,1.571643e-06,2.119490e-06,2.554728e-06,3.798166e-06,3.923513e-06,5.737792e-06,6.241793e-06,8.004518e-06,9.450766e-06,1.066209e-05,1.324306e-05,1.360834e-05,1.674209e-05,1.738389e-05,1.998340e-05,2.169138e-05,2.327413e-05,2.604526e-05,2.657199e-05,2.984506e-05,3.036470e-05,3.306813e-05,3.459125e-05,3.622060e-05,3.868016e-05,3.928539e-05,4.224841e-05,4.259656e-05,4.509816e-05,4.631377e-05,4.782566e-05,4.981257e-05,5.042416e-05,5.288885e-05,5.308014e-05,5.521685e-05,5.610945e-05,5.740692e-05,5.889840e-05,5.945921e-05,6.137512e-05,6.144895e-05,6.315703e-05,6.376631e-05,6.480813e-05,6.585810e-05,6.633226e-05,6.773373e-05,6.901725e-05,6.940386e-05,7.018775e-05,7.087992e-05,7.125034e-05,7.217366e-05,7.221014e-05,7.307231e-05,7.329691e-05,7.384194e-05,7.426139e-05,7.452405e-05,7.507852e-05,7.512356e-05,7.564520e-05,7.575933e-05,7.609360e-05,7.631437e-05,7.647320e-05,7.675371e-05,7.678825e-05,7.704284e-05,7.708686e-05,7.724089e-05,7.732277e-05,7.738611e-05,7.746987e-05,7.748205e-05,7.753208e-05,7.753604e-05,7.753940e-05,7.752865e-05,7.750706e-05,7.745456e-05,7.743793e-05,7.733473e-05,7.732018e-05,7.720003e-05,7.713142e-05,7.703627e-05,7.689379e-05,7.684574e-05,7.663061e-05,7.661240e-05,7.639292e-05,7.629195e-05,7.613457e-05,7.593681e-05,7.585740e-05,7.556308e-05,7.555098e-05,7.525323e-05,7.513817e-05,7.492933e-05,7.470178e-05,7.459280e-05,7.424496e-05,7.388705e-05,7.377058e-05,7.352022e-05,7.328127e-05,7.314556e-05,7.277945e-05,7.276408e-05,7.237673e-05,7.226734e-05,7.198439e-05,7.174694e-05,7.158790e-05,7.122011e-05,7.118801e-05,7.078546e-05,7.068852e-05,7.038089e-05,7.015369e-05,6.997494e-05,6.961700e-05,6.956817e-05,6.916112e-05,6.907972e-05,6.875428e-05,6.854296e-05,6.834811e-05,6.800776e-05,6.794304e-05,6.753944e-05,6.747503e-05,6.713768e-05,6.694558e-05,6.673809e-05,6.642017e-05,6.634096e-05,6.594658e-05,6.589945e-05,6.555519e-05,6.538399e-05,6.516703e-05,6.487431e-05,6.478230e-05,6.440120e-05,6.437087e-05,6.402389e-05,6.387406e-05,6.365052e-05,6.338421e-05,6.328123e-05,6.291615e-05,6.290164e-05,6.255538e-05,6.242657e-05,6.219901e-05,6.195923e-05,6.184712e-05,6.149979e-05,6.104838e-05,6.060512e-05,6.017009e-05,5.974334e-05,5.932492e-05,5.891482e-05,5.851306e-05,5.811960e-05,5.773441e-05,5.735743e-05,5.698862e-05,5.662789e-05,5.627515e-05,5.593033e-05,5.559332e-05,5.526401e-05,5.494230e-05,5.462807e-05,5.432120e-05,5.402157e-05,5.372905e-05,5.344352e-05,5.316485e-05,5.289291e-05
0.000000e+00,1.751058e-08,4.007303e-08,1.382096e-07,3.164649e-07,4.640718e-07,1.073428e-06,1.106825e-06,2.203083e-06,2.614012e-06,3.926874e-06,5.348142e-06,6.485225e-06,9.741419e-06,1.006868e-05,1.475217e-05,1.603247e-05,2.044284e-05,2.400036e-05,2.695355e-05,3.321496e-05,3.410120e-05,4.174284e-05,4.332050e-05,4.977081e-05,5.406915e-05,5.809990e-05,6.527594e-05,6.665786e-05,7.538014e-05,7.678693e-05,8.420760e-05,8.846597e-05,9.308575e-05,1.001913e-04,1.019650e-04,1.108001e-04,1.118554e-04,1.195512e-04,1.233660e-04,1.281836e-04,1.346465e-04,1.366678e-04,1.449790e-04,1.456358e-04,1.530971e-04,1.562864e-04,1.610058e-04,1.665632e-04,1.686926e-04,1.761483e-04,1.764416e-04,1.833662e-04,1.859056e-04,1.903423e-04,1.949466e-04,1.970742e-04,2.035614e-04,2.098047e-04,2.117513e-04,2.158060e-04,2.195211e-04,2.215681e-04,2.268780e-04,2.270946e-04,2.323897e-04,2.338314e-04,2.374578e-04,2.403918e-04,2.423040e-04,2.465709e-04,2.469334e-04,2.513515e-04,2.523810e-04,2.555637e-04,2.578347e-04,2.595757e-04,2.629451e-04,2.633931e-04,2.670216e-04,2.677252e-04,2.704670e-04,2.721880e-04,2.737347e-04,2.763464e-04,2.768304e-04,2.797596e-04,2.802132e-04,2.825277e-04,2.838008e-04,2.851401e-04,2.871214e-04,2.876020e-04,2.899187e-04,2.901871e-04,2.920950e-04,2.930094e-04,2.941360e-04,2.955996e-04,2.960465e-04,2.978312e-04,2.979687e-04,2.994947e-04,3.001271e-04,3.010414e-04,3.020852e-04,3.024757e-04,3.038020e-04,3.038528e-04,3.050242e-04,3.054395e-04,3.061463e-04,3.068543e-04,3.071724e-04,3.081062e-04,3.089513e-04,3.092036e-04,3.097113e-04,3.101547e-04,3.103897e-04,3.109672e-04,3.109898e-04,3.115148e-04,3.116488e-04,3.119679e-04,3.122065e-04,3.123521e-04,3.126474e-04,3.126705e-04,3.129257e-04,3.129779e-04,3.131206e-04,3.132044e-04,3.132579e-04,3.133330e-04,3.133401e-04,3.133696e-04,3.133694e-04,3.133490e-04,3.133192e-04,3.132804e-04,3.131875e-04,3.131663e-04,3.130086e-04,3.129795e-04,3.128096e-04,3.126999e-04,3.125712e-04,3.123534e-04,3.122953e-04,3.119839e-04,3.119442e-04,3.116386e-04,3.114765e-04,3.112614e-04,3.109543e-04,3.108538e-04,3.104175e-04,3.103814e-04,3.099540e-04,3.097613e-04,3.094648e-04,3.090975e-04,3.089513e-04,3.084150e-04,3.083931e-04,3.078572e-04,3.076513e-04,3.072791e-04,3.068750e-04,3.066819e-04,3.060670e-04,3.052299e-04,3.043662e-04,3.034783e-04,3.025684e-04,3.016387e-04,3.006912e-04,2.997278e-04,2.987502e-04,2.977603e-04,2.967596e-04,2.957496e-04,2.947317e-04,2.937074e-04,2.926779e-04,2.916444e-04,2.906080e-04,2.895698e-04,2.885308e-04,2.874919e-04,2.864541e-04,2.854181e-04,2.843847e-04,2.833547e-04,2.823286e-04
0.000000e+00,3.810153e-09,8.682693e-09,2.963433e-08,6.702829e-08,9.749541e-08,2.195817e-07,2.261253e-07,4.341613e-07,5.092869e-07,7.413484e-07,9.821575e-07,1.169258e-06,1.688947e-06,1.740409e-06,2.473852e-06,2.675195e-06,3.376766e-06,3.953058e-06,4.438255e-06,5.483838e-06,5.633332e-06,6.933060e-06,7.203186e-06,8.311335e-06,9.051724e-06,9.746478e-06,1.098267e-05,1.122046e-05,1.271780e-05,1.295861e-05,1.422480e-05,1.494791e-05,1.572909e-05,1.692303e-05,1.721950e-05,1.868599e-05,1.885993e-05,2.011968e-05,2.073808e-05,2.151287e-05,2.254057e-05,2.285907e-05,2.415299e-05,2.425411e-05,2.539046e-05,2.586893e-05,2.656841e-05,2.737846e-05,2.768472e-05,2.873818e-05,2.877900e-05,2.972832e-05,3.006930e-05,3.065539e-05,3.125015e-05,3.152017e-05,3.232390e-05,3.306819e-05,3.329412e-05,3.375497e-05,3.416529e-05,3.438635e-05,3.494247e-05,3.496461e-05,3.549214e-05,3.563109e-05,3.597138e-05,3.623677e-05,3.640479e-05,3.676518e-05,3.679484e-05,3.714395e-05,3.722191e-05,3.745449e-05,3.761241e-05,3.772878e-05,3.794194e-05,3.796905e-05,3.817745e-05,3.821549e-05,3.835605e-05,3.843780e-05,3.850681e-05,3.861333e-05,3.863163e-05,3.873228e-05,3.874625e-05,3.881045e-05,3.884047e-05,3.886776e-05,3.889960e-05,3.890571e-05,3.892574e-05,3.892700e-05,3.892918e-05,3.892578e-05,3.891732e-05,3.889880e-05,3.889134e-05,3.885236e-05,3.884871e-05,3.880143e-05,3.877794e-05,3.873955e-05,3.868872e-05,3.866762e-05,3.858652e-05,3.858310e-05,3.849706e-05,3.846295e-05,3.839999e-05,3.833000e-05,3.829602e-05,3.818581e-05,3.806998e-05,3.803183e-05,3.794911e-05,3.786936e-05,3.782373e-05,3.769960e-05,3.769435e-05,3.756143e-05,3.752363e-05,3.742540e-05,3.734246e-05,3.728667e-05,3.715697e-05,3.714561e-05,3.700258e-05,3.696799e-05,3.685789e-05,3.677626e-05,3.671186e-05,3.658245e-05,3.656475e-05,3.641683e-05,3.638717e-05,3.626834e-05,3.619097e-05,3.611949e-05,3.599433e-05,3.597049e-05,3.582153e-05,3.579771e-05,3.567279e-05,3.560151e-05,3.552441e-05,3.540608e-05,3.537656e-05,3.522936e-05,3.521175e-05,3.508295e-05,3.501880e-05,3.493742e-05,3.482748e-05,3.479289e-05,3.464945e-05,3.463802e-05,3.450718e-05,3.445062e-05,3.436617e-05,3.426545e-05,3.422648e-05,3.408817e-05,3.408267e-05,3.395130e-05,3.390240e-05,3.381593e-05,3.372476e-05,3.368210e-05,3.354984e-05,3.337774e-05,3.320851e-05,3.304221e-05,3.287889e-05,3.271857e-05,3.256129e-05,3.240706e-05,3.225588e-05,3.210776e-05,3.196269e-05,3.182066e-05,3.168166e-05,3.154566e-05,3.141264e-05,3.128258e-05,3.115544e-05,3.103119e-05,3.090979e-05,3.079121e-05,3.067541e-05,3.056233e-05,3.045195e-05,3.034422e-05,3.023909e-05
0.000000e+00,6.108603e-09,1.395414e-08,4.803868e-08,1.101645e-07,1.619509e-07,3.794482e-07,3.915401e-07,7.972990e-07,9.532815e-07,1.462233e-06,2.024953e-06,2.478564e-06,3.765414e-06,3.892536e-06,5.653213e-06,6.115837e-06,7.657523e-06,8.852834e-06,9.819248e-06,1.180753e-05,1.208336e-05,1.441508e-05,1.488727e-05,1.678973e-05,1.803473e-05,1.918720e-05,2.120557e-05,2.158958e-05,2.398032e-05,2.436071e-05,2.634409e-05,2.746500e-05,2.866704e-05,3.048768e-05,3.093686e-05,3.314295e-05,3.340297e-05,3.527667e-05,3.619073e-05,3.733111e-05,3.883626e-05,3.930116e-05,4.118336e-05,4.133008e-05,4.297576e-05,4.366720e-05,4.467696e-05,4.584532e-05,4.628696e-05,4.780668e-05,4.786562e-05,4.923776e-05,4.973162e-05,5.058224e-05,5.144829e-05,5.184264e-05,5.302175e-05,5.412257e-05,5.445880e-05,5.514822e-05,5.576666e-05,5.610190e-05,5.695270e-05,5.698682e-05,5.780618e-05,5.802429e-05,5.856314e-05,5.898864e-05,5.926077e-05,5.985278e-05,5.990209e-05,6.048999e-05,6.062345e-05,6.102729e-05,6.130708e-05,6.151668e-05,6.190978e-05,6.196076e-05,6.236201e-05,6.243733e-05,6.272279e-05,6.289515e-05,6.304536e-05,6.328837e-05,6.333188e-05,6.358440e-05,6.362178e-05,6.380487e-05,6.389986e-05,6.399515e-05,6.412681e-05,6.415699e-05,6.429206e-05,6.430655e-05,6.440195e-05,6.444272e-05,6.448817e-05,6.453874e-05,6.455213e-05,6.459520e-05,6.459778e-05,6.461863e-05,6.462279e-05,6.462366e-05,6.461652e-05,6.461141e-05,6.458298e-05,6.458153e-05,6.453940e-05,6.452019e-05,6.448163e-05,6.443472e-05,6.441060e-05,6.432716e-05,6.423216e-05,6.419944e-05,6.412635e-05,6.405331e-05,6.401048e-05,6.389042e-05,6.388524e-05,6.375128e-05,6.371230e-05,6.360923e-05,6.352036e-05,6.345968e-05,6.331593e-05,6.330317e-05,6.314022e-05,6.310022e-05,6.297134e-05,6.287435e-05,6.279700e-05,6.263939e-05,6.261762e-05,6.243363e-05,6.239631e-05,6.224541e-05,6.214600e-05,6.205335e-05,6.188930e-05,6.185779e-05,6.165906e-05,6.162699e-05,6.145747e-05,6.135978e-05,6.125332e-05,6.108834e-05,6.104688e-05,6.083842e-05,6.081328e-05,6.062819e-05,6.053518e-05,6.041640e-05,6.025455e-05,6.020330e-05,5.998907e-05,5.997189e-05,5.977392e-05,5.968764e-05,5.955803e-05,5.940222e-05,5.934156e-05,5.912470e-05,5.911602e-05,5.890758e-05,5.882938e-05,5.869034e-05,5.854263e-05,5.847314e-05,5.825608e-05,5.797000e-05,5.768465e-05,5.740025e-05,5.711703e-05,5.683518e-05,5.655488e-05,5.627630e-05,5.599958e-05,5.572487e-05,5.545228e-05,5.518193e-05,5.491392e-05,5.464834e-05,5.438528e-05,5.412480e-05,5.386698e-05,5.361188e-05,5.335953e-05,5.310999e-05,5.286331e-05,5.261950e-05,5.237859e-05,5.214063e-05,5.190560e-05
0.000000e+00,1.135594e-08,2.586045e-08,8.822423e-08,1.998008e-07,2.910721e-07,6.605273e-07,6.805012e-07,1.324368e-06,1.560897e-06,2.303582e-06,3.091016e-06,3.712524e-06,5.470524e-06,5.646391e-06,8.166415e-06,8.858501e-06,1.125476e-05,1.319600e-05,1.480747e-05,1.820557e-05,1.868321e-05,2.275426e-05,2.358288e-05,2.692416e-05,2.910773e-05,3.112361e-05,3.463650e-05,3.530190e-05,3.942032e-05,4.007157e-05,4.344811e-05,4.534173e-05,4.736030e-05,5.039310e-05,5.113668e-05,5.476108e-05,5.518517e-05,5.822110e-05,5.968901e-05,6.150778e-05,6.388599e-05,6.461522e-05,6.754034e-05,6.776644e-05,7.028242e-05,7.132823e-05,7.284278e-05,7.457536e-05,7.522444e-05,7.743172e-05,7.751645e-05,7.947005e-05,8.016368e-05,8.134568e-05,8.253160e-05,8.306535e-05,8.463620e-05,8.606556e-05,8.649427e-05,8.736081e-05,8.812281e-05,8.852934e-05,8.953861e-05,8.957837e-05,9.051498e-05,9.075803e-05,9.134603e-05,9.179674e-05,9.207811e-05,9.266965e-05,9.271754e-05,9.327036e-05,9.339079e-05,9.374230e-05,9.397331e-05,9.413883e-05,9.442948e-05,9.446508e-05,9.472595e-05,9.477069e-05,9.492603e-05,9.500749e-05,9.506964e-05,9.514963e-05,9.516087e-05,9.520354e-05,9.520611e-05,9.520125e-05,9.518518e-05,9.515737e-05,9.509446e-05,9.507508e-05,9.495732e-05,9.494094e-05,9.480689e-05,9.473102e-05,9.462637e-05,9.447057e-05,9.441821e-05,9.418468e-05,9.416497e-05,9.392791e-05,9.381914e-05,9.364989e-05,9.343760e-05,9.335247e-05,9.303740e-05,9.302445e-05,9.270630e-05,9.258347e-05,9.236067e-05,9.211807e-05,9.200193e-05,9.163141e-05,9.125032e-05,9.112634e-05,9.085983e-05,9.060547e-05,9.046098e-05,9.007117e-05,9.005479e-05,8.964218e-05,8.952561e-05,8.922400e-05,8.897076e-05,8.880107e-05,8.840841e-05,8.837413e-05,8.794387e-05,8.784019e-05,8.751094e-05,8.726756e-05,8.707595e-05,8.669188e-05,8.663944e-05,8.620193e-05,8.611435e-05,8.576390e-05,8.553607e-05,8.532580e-05,8.495804e-05,8.488803e-05,8.445098e-05,8.438114e-05,8.401500e-05,8.380620e-05,8.358040e-05,8.323392e-05,8.314749e-05,8.271654e-05,8.266497e-05,8.228781e-05,8.209993e-05,8.186153e-05,8.153932e-05,8.143791e-05,8.101714e-05,8.098361e-05,8.059940e-05,8.043320e-05,8.018487e-05,7.988846e-05,7.977367e-05,7.936595e-05,7.934971e-05,7.896182e-05,7.881724e-05,7.856141e-05,7.829129e-05,7.816479e-05,7.777207e-05,7.725975e-05,7.675451e-05,7.625645e-05,7.576569e-05,7.528230e-05,7.480636e-05,7.433792e-05,7.387699e-05,7.342360e-05,7.297774e-05,7.253942e-05,7.210862e-05,7.168529e-05,7.126941e-05,7.086093e-05,7.045978e-05,7.006593e-05,6.967929e-05,6.929980e-05,6.892738e-05,6.856195e-05,6.820344e-05,6.785175e-05,6.750680e-05
0.000000e+00,4.331648e-09,9.902036e-09,3.405811e-08,7.773664e-08,1.137584e-07,2.614093e-07,2.694603e-07,5.317801e-07,6.291869e-07,9.366891e-07,1.261914e-06,1.515438e-06,2.208766e-06,2.276067e-06,3.205805e-06,3.452268e-06,4.288830e-06,4.957675e-06,5.513150e-06,6.699954e-06,6.869376e-06,8.348632e-06,8.658422e-06,9.941311e-06,1.081078e-05,1.163657e-05,1.313102e-05,1.342228e-05,1.528531e-05,1.558965e-05,1.721183e-05,1.815496e-05,1.918773e-05,2.079460e-05,2.119903e-05,2.323224e-05,2.347708e-05,2.527461e-05,2.617309e-05,2.731440e-05,2.885633e-05,2.934098e-05,3.134488e-05,3.150396e-05,3.331793e-05,3.409692e-05,3.525319e-05,3.661988e-05,3.714487e-05,3.898826e-05,3.906094e-05,4.077964e-05,4.141123e-05,4.251616e-05,4.366457e-05,4.419575e-05,4.581703e-05,4.737919e-05,4.786653e-05,4.888193e-05,4.981257e-05,5.032543e-05,5.165580e-05,5.171006e-05,5.303646e-05,5.339755e-05,5.430563e-05,5.504011e-05,5.551866e-05,5.658616e-05,5.667683e-05,5.778151e-05,5.803883e-05,5.883415e-05,5.940145e-05,5.983625e-05,6.067750e-05,6.078934e-05,6.169497e-05,6.187054e-05,6.255472e-05,6.298418e-05,6.337015e-05,6.402198e-05,6.414279e-05,6.487418e-05,6.498747e-05,6.556581e-05,6.588411e-05,6.621917e-05,6.671525e-05,6.683567e-05,6.741674e-05,6.748415e-05,6.796374e-05,6.819397e-05,6.847799e-05,6.884773e-05,6.896080e-05,6.941342e-05,6.944836e-05,6.983705e-05,6.999865e-05,7.023287e-05,7.050129e-05,7.060203e-05,7.094560e-05,7.095883e-05,7.126467e-05,7.137373e-05,7.156024e-05,7.174831e-05,7.183330e-05,7.208481e-05,7.231568e-05,7.238535e-05,7.252680e-05,7.265194e-05,7.271901e-05,7.288651e-05,7.289313e-05,7.304996e-05,7.309088e-05,7.319025e-05,7.326678e-05,7.331472e-05,7.341587e-05,7.342408e-05,7.351901e-05,7.353972e-05,7.360015e-05,7.363980e-05,7.366812e-05,7.371752e-05,7.372353e-05,7.376694e-05,7.377423e-05,7.379892e-05,7.381120e-05,7.381998e-05,7.382962e-05,7.383065e-05,7.383140e-05,7.383063e-05,7.382272e-05,7.381533e-05,7.380504e-05,7.378472e-05,7.377881e-05,7.374443e-05,7.373978e-05,7.370231e-05,7.368143e-05,7.365284e-05,7.361054e-05,7.359637e-05,7.353326e-05,7.352793e-05,7.346385e-05,7.343439e-05,7.338846e-05,7.333065e-05,7.330740e-05,7.322098e-05,7.321741e-05,7.312947e-05,7.309534e-05,7.303315e-05,7.296505e-05,7.293229e-05,7.282714e-05,7.268218e-05,7.253068e-05,7.237316e-05,7.221008e-05,7.204190e-05,7.186903e-05,7.169188e-05,7.151083e-05,7.132623e-05,7.113842e-05,7.094773e-05,7.075444e-05,7.055885e-05,7.036122e-05,7.016180e-05,6.996085e-05,6.975857e-05,6.955519e-05,6.935090e-05,6.914589e-05,6.894034e-05,6.873441e-05,6.852827e-05,6.832206e-05
0.000000e+00,6.979892e-09,1.588102e-08,5.401553e-08,1.217521e-07,1.767271e-07,3.956262e-07,4.073055e-07,7.763039e-07,9.085748e-07,1.314329e-06,1.731347e-06,2.052810e-06,2.935163e-06,3.021741e-06,4.241016e-06,4.571146e-06,5.707500e-06,6.626740e-06,7.392590e-06,9.024199e-06,9.255864e-06,1.125850e-05,1.167273e-05,1.336733e-05,1.449631e-05,1.555389e-05,1.743196e-05,1.779268e-05,2.006009e-05,2.042404e-05,2.233405e-05,2.342176e-05,2.459397e-05,2.637906e-05,2.682099e-05,2.899824e-05,2.925544e-05,3.111100e-05,3.201690e-05,3.314682e-05,3.463624e-05,3.509553e-05,3.694925e-05,3.709326e-05,3.870224e-05,3.937432e-05,4.035071e-05,4.147168e-05,4.189261e-05,4.332746e-05,4.338264e-05,4.465605e-05,4.510866e-05,4.588024e-05,4.665443e-05,4.700279e-05,4.802710e-05,4.895710e-05,4.923548e-05,4.979709e-05,5.028952e-05,5.055158e-05,5.119978e-05,5.122523e-05,5.182275e-05,5.197705e-05,5.234882e-05,5.263209e-05,5.280804e-05,5.317535e-05,5.320491e-05,5.354373e-05,5.361688e-05,5.382867e-05,5.396617e-05,5.406367e-05,5.423216e-05,5.425250e-05,5.439871e-05,5.442314e-05,5.450565e-05,5.454678e-05,5.457645e-05,5.461017e-05,5.461407e-05,5.462127e-05,5.461977e-05,5.460061e-05,5.458151e-05,5.455450e-05,5.450079e-05,5.448516e-05,5.439468e-05,5.438249e-05,5.428497e-05,5.423107e-05,5.415783e-05,5.405057e-05,5.401491e-05,5.385775e-05,5.384461e-05,5.368777e-05,5.361649e-05,5.350628e-05,5.336917e-05,5.331450e-05,5.311355e-05,5.310534e-05,5.290447e-05,5.282739e-05,5.268820e-05,5.253750e-05,5.246565e-05,5.223761e-05,5.200485e-05,5.192948e-05,5.176804e-05,5.161466e-05,5.152783e-05,5.129458e-05,5.128481e-05,5.103951e-05,5.097048e-05,5.079242e-05,5.064350e-05,5.054400e-05,5.031464e-05,5.029467e-05,5.004481e-05,4.998480e-05,4.979477e-05,4.965479e-05,4.954487e-05,4.932530e-05,4.929540e-05,4.904663e-05,4.899698e-05,4.879881e-05,4.867039e-05,4.855216e-05,4.834601e-05,4.830687e-05,4.806313e-05,4.802429e-05,4.782112e-05,4.770560e-05,4.758097e-05,4.739028e-05,4.734282e-05,4.710679e-05,4.707862e-05,4.687300e-05,4.677087e-05,4.664154e-05,4.646724e-05,4.641249e-05,4.618594e-05,4.616792e-05,4.596194e-05,4.587307e-05,4.574056e-05,4.558282e-05,4.552185e-05,4.530585e-05,4.529726e-05,4.509259e-05,4.501650e-05,4.488211e-05,4.474058e-05,4.467443e-05,4.446957e-05,4.420350e-05,4.394239e-05,4.368625e-05,4.343507e-05,4.318884e-05,4.294755e-05,4.271116e-05,4.247964e-05,4.225295e-05,4.203104e-05,4.181386e-05,4.160136e-05,4.139347e-05,4.119014e-05,4.099130e-05,4.079688e-05,4.060681e-05,4.042103e-05,4.023946e-05,4.006202e-05,3.988866e-05,3.971928e-05,3.955383e-05,3.939221e-05
0.000000e+00,8.534815e-09,1.944814e-08,6.637004e-08,1.501108e-07,2.183400e-07,4.917493e-07,5.064031e-07,9.721545e-07,1.140246e-06,1.658942e-06,2.196093e-06,2.612553e-06,3.765234e-06,3.879087e-06,5.498170e-06,5.942112e-06,7.490374e-06,8.765769e-06,9.842636e-06,1.217025e-05,1.250340e-05,1.539589e-05,1.599498e-05,1.843982e-05,2.005896e-05,2.156604e-05,2.421547e-05,2.472016e-05,2.786062e-05,2.835958e-05,3.095552e-05,3.241741e-05,3.398014e-05,3.633609e-05,3.691515e-05,3.974558e-05,4.007763e-05,4.246003e-05,4.361541e-05,4.505019e-05,4.693200e-05,4.751037e-05,4.983711e-05,5.001743e-05,5.202889e-05,5.286777e-05,5.408573e-05,5.548382e-05,5.600899e-05,5.780105e-05,5.787004e-05,5.946513e-05,6.003359e-05,6.100506e-05,6.198349e-05,6.242516e-05,6.373006e-05,6.492459e-05,6.528435e-05,6.601374e-05,6.665779e-05,6.700250e-05,6.786191e-05,6.789588e-05,6.869883e-05,6.890811e-05,6.941619e-05,6.980750e-05,7.005270e-05,7.057083e-05,7.061295e-05,7.110138e-05,7.120840e-05,7.152227e-05,7.173000e-05,7.187972e-05,7.214494e-05,7.217768e-05,7.241991e-05,7.246198e-05,7.261000e-05,7.268940e-05,7.275140e-05,7.283492e-05,7.284735e-05,7.290096e-05,7.290581e-05,7.291519e-05,7.290885e-05,7.289281e-05,7.285034e-05,7.283648e-05,7.274871e-05,7.273618e-05,7.263187e-05,7.257183e-05,7.248819e-05,7.236236e-05,7.231980e-05,7.212869e-05,7.211248e-05,7.191675e-05,7.182654e-05,7.168575e-05,7.150858e-05,7.143737e-05,7.117318e-05,7.116230e-05,7.089465e-05,7.079115e-05,7.060319e-05,7.039826e-05,7.030008e-05,6.998657e-05,6.966379e-05,6.955873e-05,6.933283e-05,6.911719e-05,6.899469e-05,6.866420e-05,6.865032e-05,6.830059e-05,6.820182e-05,6.794633e-05,6.773192e-05,6.758830e-05,6.725621e-05,6.722723e-05,6.686377e-05,6.677626e-05,6.649856e-05,6.629348e-05,6.613215e-05,6.580916e-05,6.576510e-05,6.539788e-05,6.532446e-05,6.503097e-05,6.484044e-05,6.466479e-05,6.435804e-05,6.429972e-05,6.393614e-05,6.387812e-05,6.357436e-05,6.340144e-05,6.321469e-05,6.292867e-05,6.285742e-05,6.250280e-05,6.246043e-05,6.215106e-05,6.199726e-05,6.180241e-05,6.153962e-05,6.145704e-05,6.111513e-05,6.108793e-05,6.077683e-05,6.064255e-05,6.044228e-05,6.020380e-05,6.011161e-05,5.978491e-05,5.977193e-05,5.946230e-05,5.934718e-05,5.914385e-05,5.892972e-05,5.882964e-05,5.851973e-05,5.811730e-05,5.772254e-05,5.733552e-05,5.695627e-05,5.658483e-05,5.622118e-05,5.586532e-05,5.551723e-05,5.517684e-05,5.484412e-05,5.451899e-05,5.420137e-05,5.389118e-05,5.358833e-05,5.329271e-05,5.300422e-05,5.272276e-05,5.244819e-05,5.218041e-05,5.191929e-05,5.166471e-05,5.141655e-05,5.117467e-05,5.093896e-05
0.000000e+00,1.827235e-07,4.151539e-07,1.410352e-06,3.184850e-06,4.634932e-06,1.051466e-05,1.083337e-05,2.116770e-05,2.499403e-05,3.709724e-05,5.002255e-05,6.023427e-05,8.878484e-05,9.159453e-05,1.306245e-04,1.409360e-04,1.754602e-04,2.023484e-04,2.241254e-04,2.689326e-04,2.751420e-04,3.274998e-04,3.380655e-04,3.804776e-04,4.080794e-04,4.335096e-04,4.777436e-04,4.861131e-04,5.378563e-04,5.460287e-04,5.883491e-04,6.120376e-04,6.372434e-04,6.750028e-04,6.842364e-04,7.290757e-04,7.343016e-04,7.715611e-04,7.894691e-04,8.115452e-04,8.401988e-04,8.489311e-04,8.836684e-04,8.863324e-04,9.157470e-04,9.278386e-04,9.451925e-04,9.647947e-04,9.720635e-04,9.964430e-04,9.973677e-04,1.018431e-03,1.025783e-03,1.038141e-03,1.050305e-03,1.055696e-03,1.071225e-03,1.084860e-03,1.088844e-03,1.096729e-03,1.103455e-03,1.106956e-03,1.115345e-03,1.115666e-03,1.122977e-03,1.124789e-03,1.129002e-03,1.132044e-03,1.133847e-03,1.137349e-03,1.137613e-03,1.140392e-03,1.140921e-03,1.142271e-03,1.142961e-03,1.143332e-03,1.143649e-03,1.143650e-03,1.143294e-03,1.143147e-03,1.142327e-03,1.141602e-03,1.140807e-03,1.139144e-03,1.138790e-03,1.136323e-03,1.135889e-03,1.133452e-03,1.131943e-03,1.130218e-03,1.127396e-03,1.126660e-03,1.122811e-03,1.122331e-03,1.118704e-03,1.116822e-03,1.114367e-03,1.110933e-03,1.109826e-03,1.105107e-03,1.104722e-03,1.100231e-03,1.098241e-03,1.095217e-03,1.091533e-03,1.090085e-03,1.084852e-03,1.084640e-03,1.079532e-03,1.077598e-03,1.074139e-03,1.070438e-03,1.068687e-03,1.063188e-03,1.057651e-03,1.055873e-03,1.052086e-03,1.048515e-03,1.046504e-03,1.041134e-03,1.040910e-03,1.035314e-03,1.033747e-03,1.029721e-03,1.026370e-03,1.024138e-03,1.019015e-03,1.018570e-03,1.013023e-03,1.011696e-03,1.007501e-03,1.004422e-03,1.002009e-03,9.972024e-04,9.965491e-04,9.911260e-04,9.900460e-04,9.857425e-04,9.829596e-04,9.804014e-04,9.759495e-04,9.751052e-04,9.698562e-04,9.690209e-04,9.646564e-04,9.621785e-04,9.595076e-04,9.554264e-04,9.544115e-04,9.493694e-04,9.487680e-04,9.443826e-04,9.422062e-04,9.394521e-04,9.357433e-04,9.345790e-04,9.297639e-04,9.293813e-04,9.250077e-04,9.231218e-04,9.203108e-04,9.169660e-04,9.156736e-04,9.110967e-04,9.109149e-04,9.065801e-04,9.049690e-04,9.021242e-04,8.991288e-04,8.977289e-04,8.933944e-04,8.877658e-04,8.822427e-04,8.768247e-04,8.715112e-04,8.663016e-04,8.611951e-04,8.561907e-04,8.512875e-04,8.464843e-04,8.417800e-04,8.371734e-04,8.326631e-04,8.282479e-04,8.239264e-04,8.196972e-04,8.155589e-04,8.115099e-04,8.075489e-04,8.036742e-04,7.998845e-04,7.961782e-04,7.925537e-04,7.890096e-04,7.855444e-04
0.000000e+00,4.763798e-09,1.086854e-08,3.720666e-08,8.447149e-08,1.231856e-07,2.799217e-07,2.883899e-07,5.608462e-07,6.606648e-07,9.732071e-07,1.303296e-06,1.563011e-06,2.294041e-06,2.366884e-06,3.405115e-06,3.688613e-06,4.666535e-06,5.456992e-06,6.113859e-06,7.506597e-06,7.703567e-06,9.398420e-06,9.747321e-06,1.116926e-05,1.211225e-05,1.299289e-05,1.455125e-05,1.484989e-05,1.672331e-05,1.702354e-05,1.859798e-05,1.949422e-05,2.046031e-05,2.193309e-05,2.229818e-05,2.410101e-05,2.431455e-05,2.585975e-05,2.661763e-05,2.756687e-05,2.882597e-05,2.921630e-05,3.080335e-05,3.092751e-05,3.232462e-05,3.291416e-05,3.377781e-05,3.478118e-05,3.516160e-05,3.647552e-05,3.652663e-05,3.771987e-05,3.815094e-05,3.889543e-05,3.965607e-05,4.000334e-05,4.104528e-05,4.202313e-05,4.232285e-05,4.293900e-05,4.349366e-05,4.379514e-05,4.456305e-05,4.459393e-05,4.533774e-05,4.553648e-05,4.602897e-05,4.641947e-05,4.667002e-05,4.721754e-05,4.726329e-05,4.781111e-05,4.793608e-05,4.831575e-05,4.858032e-05,4.877942e-05,4.915527e-05,4.920427e-05,4.959237e-05,4.966575e-05,4.994569e-05,5.011630e-05,5.026613e-05,5.051124e-05,5.055553e-05,5.081563e-05,5.085464e-05,5.104808e-05,5.115031e-05,5.125449e-05,5.140188e-05,5.143636e-05,5.159513e-05,5.161270e-05,5.173217e-05,5.178592e-05,5.184879e-05,5.192452e-05,5.194621e-05,5.202562e-05,5.203123e-05,5.208812e-05,5.210863e-05,5.213478e-05,5.215912e-05,5.216658e-05,5.218449e-05,5.218493e-05,5.218939e-05,5.218814e-05,5.218215e-05,5.217069e-05,5.216355e-05,5.213438e-05,5.209533e-05,5.208087e-05,5.204711e-05,5.201172e-05,5.199034e-05,5.192838e-05,5.192564e-05,5.185359e-05,5.183218e-05,5.177473e-05,5.172436e-05,5.168957e-05,5.160608e-05,5.159860e-05,5.150226e-05,5.147840e-05,5.140101e-05,5.134231e-05,5.129524e-05,5.119872e-05,5.118533e-05,5.107165e-05,5.104849e-05,5.095454e-05,5.089240e-05,5.083433e-05,5.073117e-05,5.071131e-05,5.058577e-05,5.056547e-05,5.045798e-05,5.039592e-05,5.032819e-05,5.022309e-05,5.019665e-05,5.006357e-05,5.004750e-05,4.992916e-05,4.986965e-05,4.979363e-05,4.968998e-05,4.965715e-05,4.951990e-05,4.950889e-05,4.938205e-05,4.932678e-05,4.924375e-05,4.914397e-05,4.910514e-05,4.896635e-05,4.896080e-05,4.882752e-05,4.877755e-05,4.868876e-05,4.859449e-05,4.855017e-05,4.841187e-05,4.822991e-05,4.804880e-05,4.786875e-05,4.768990e-05,4.751242e-05,4.733645e-05,4.716210e-05,4.698949e-05,4.681871e-05,4.664986e-05,4.648301e-05,4.631824e-05,4.615560e-05,4.599515e-05,4.583692e-05,4.568097e-05,4.552732e-05,4.537600e-05,4.522702e-05,4.508042e-05,4.493618e-05,4.479434e-05,4.465488e-05,4.451781e-05
0.000000e+00,1.511326e-09,3.442973e-09,1.174128e-08,2.652872e-08,3.855769e-08,8.659930e-08,8.916721e-08,1.704449e-07,1.996267e-07,2.892206e-07,3.813503e-07,4.523700e-07,6.472571e-07,6.663781e-07,9.358018e-07,1.008844e-06,1.260734e-06,1.465073e-06,1.635682e-06,2.000051e-06,2.051865e-06,2.500350e-06,2.593219e-06,2.973389e-06,3.226845e-06,3.464377e-06,3.886410e-06,3.967504e-06,4.477516e-06,4.559430e-06,4.989611e-06,5.234859e-06,5.499429e-06,5.903009e-06,6.003074e-06,6.497142e-06,6.555643e-06,6.978735e-06,7.186052e-06,7.445467e-06,7.789059e-06,7.895439e-06,8.327212e-06,8.360934e-06,8.739763e-06,8.899244e-06,9.132440e-06,9.402662e-06,9.504907e-06,9.857096e-06,9.870764e-06,1.018917e-05,1.030385e-05,1.050147e-05,1.070279e-05,1.079449e-05,1.106882e-05,1.132513e-05,1.140346e-05,1.156414e-05,1.170839e-05,1.178663e-05,1.198540e-05,1.199338e-05,1.218516e-05,1.223628e-05,1.236276e-05,1.246284e-05,1.252696e-05,1.266681e-05,1.267849e-05,1.281808e-05,1.284988e-05,1.294643e-05,1.301365e-05,1.306421e-05,1.315962e-05,1.317206e-05,1.327058e-05,1.328921e-05,1.336035e-05,1.340376e-05,1.344193e-05,1.350449e-05,1.351582e-05,1.358251e-05,1.359255e-05,1.364247e-05,1.366899e-05,1.369613e-05,1.373480e-05,1.374391e-05,1.378617e-05,1.379089e-05,1.382329e-05,1.383808e-05,1.385561e-05,1.387715e-05,1.388343e-05,1.390708e-05,1.390879e-05,1.392681e-05,1.393367e-05,1.394290e-05,1.395238e-05,1.395560e-05,1.396514e-05,1.396546e-05,1.397173e-05,1.397342e-05,1.397558e-05,1.397673e-05,1.397688e-05,1.397582e-05,1.397255e-05,1.397107e-05,1.396724e-05,1.396284e-05,1.396004e-05,1.395147e-05,1.395108e-05,1.394049e-05,1.393726e-05,1.392841e-05,1.392049e-05,1.391494e-05,1.390141e-05,1.390018e-05,1.388425e-05,1.388026e-05,1.386724e-05,1.385727e-05,1.384923e-05,1.383262e-05,1.383030e-05,1.381054e-05,1.380650e-05,1.379003e-05,1.377908e-05,1.376882e-05,1.375051e-05,1.374698e-05,1.372457e-05,1.372094e-05,1.370166e-05,1.369049e-05,1.367829e-05,1.365929e-05,1.365451e-05,1.363037e-05,1.362745e-05,1.360591e-05,1.359506e-05,1.358118e-05,1.356222e-05,1.355621e-05,1.353104e-05,1.352902e-05,1.350570e-05,1.349552e-05,1.348023e-05,1.346182e-05,1.345465e-05,1.342899e-05,1.342796e-05,1.340328e-05,1.339401e-05,1.337754e-05,1.336003e-05,1.335180e-05,1.332607e-05,1.329216e-05,1.325836e-05,1.322470e-05,1.319121e-05,1.315794e-05,1.312490e-05,1.309212e-05,1.305963e-05,1.302744e-05,1.299558e-05,1.296406e-05,1.293290e-05,1.290212e-05,1.287171e-05,1.284170e-05,1.281209e-05,1.278289e-05,1.275410e-05,1.272574e-05,1.269781e-05,1.267031e-05,1.264324e-05,1.261660e-05,1.259040e-05
0.000000e+00,3.768488e-09,8.545392e-09,2.885861e-08,6.461269e-08,9.343195e-08,2.070206e-07,2.130394e-07,4.015707e-07,4.685000e-07,6.720879e-07,8.790226e-07,1.037173e-06,1.466027e-06,1.507732e-06,2.088830e-06,2.244368e-06,2.775006e-06,3.200017e-06,3.552042e-06,4.298033e-06,4.403667e-06,5.315423e-06,5.503869e-06,6.274866e-06,6.788857e-06,7.270731e-06,8.127541e-06,8.292280e-06,9.329027e-06,9.495628e-06,1.037073e-05,1.086960e-05,1.140755e-05,1.222722e-05,1.243019e-05,1.343014e-05,1.354824e-05,1.439983e-05,1.481519e-05,1.533274e-05,1.601379e-05,1.622347e-05,1.706777e-05,1.713321e-05,1.786248e-05,1.816598e-05,1.860551e-05,1.910781e-05,1.929571e-05,1.993279e-05,1.995717e-05,2.051718e-05,2.071485e-05,2.104995e-05,2.138351e-05,2.153264e-05,2.196719e-05,2.235583e-05,2.247089e-05,2.270100e-05,2.290027e-05,2.300525e-05,2.326127e-05,2.327121e-05,2.350150e-05,2.355995e-05,2.369874e-05,2.380227e-05,2.386544e-05,2.399394e-05,2.400406e-05,2.411691e-05,2.414041e-05,2.420620e-05,2.424670e-05,2.427402e-05,2.431748e-05,2.432230e-05,2.435286e-05,2.435699e-05,2.436737e-05,2.436910e-05,2.436739e-05,2.435726e-05,2.435435e-05,2.432955e-05,2.432458e-05,2.429421e-05,2.427382e-05,2.424942e-05,2.420746e-05,2.419618e-05,2.413542e-05,2.412766e-05,2.406796e-05,2.403635e-05,2.399456e-05,2.393523e-05,2.391591e-05,2.383264e-05,2.382579e-05,2.374530e-05,2.370935e-05,2.365443e-05,2.358707e-05,2.356047e-05,2.346387e-05,2.345995e-05,2.336499e-05,2.332891e-05,2.326420e-05,2.319472e-05,2.316180e-05,2.305808e-05,2.295330e-05,2.291958e-05,2.284769e-05,2.277977e-05,2.274147e-05,2.263910e-05,2.263483e-05,2.252795e-05,2.249800e-05,2.242098e-05,2.235681e-05,2.231406e-05,2.221586e-05,2.220733e-05,2.210090e-05,2.207542e-05,2.199489e-05,2.193573e-05,2.188937e-05,2.179700e-05,2.178445e-05,2.168019e-05,2.165942e-05,2.157667e-05,2.152315e-05,2.147395e-05,2.138833e-05,2.137209e-05,2.127113e-05,2.125507e-05,2.117113e-05,2.112348e-05,2.107212e-05,2.099365e-05,2.097414e-05,2.087721e-05,2.086565e-05,2.078137e-05,2.073955e-05,2.068664e-05,2.061540e-05,2.059304e-05,2.050058e-05,2.049323e-05,2.040928e-05,2.037309e-05,2.031916e-05,2.025500e-05,2.023022e-05,2.014247e-05,2.013898e-05,2.005592e-05,2.002505e-05,1.997057e-05,1.991321e-05,1.988642e-05,1.980347e-05,1.969582e-05,1.959027e-05,1.948679e-05,1.938539e-05,1.928605e-05,1.918874e-05,1.909346e-05,1.900019e-05,1.890889e-05,1.881954e-05,1.873213e-05,1.864663e-05,1.856300e-05,1.848122e-05,1.840126e-05,1.832310e-05,1.824670e-05,1.817204e-05,1.809908e-05,1.802779e-05,1.795814e-05,1.789011e-05,1.782366e-05,1.775876e-05
0.000000e+00,3.745968e-09,8.460124e-09,2.832585e-08,6.289825e-08,9.052071e-08,1.979215e-07,2.035585e-07,3.779523e-07,4.389740e-07,6.221876e-07,8.051917e-07,9.431864e-07,1.310970e-06,1.346338e-06,1.834676e-06,1.964537e-06,2.406962e-06,2.761645e-06,3.055911e-06,3.680467e-06,3.768923e-06,4.531180e-06,4.688254e-06,5.328331e-06,5.752301e-06,6.147493e-06,6.844209e-06,6.977249e-06,7.807405e-06,7.939642e-06,8.628816e-06,9.017557e-06,9.433337e-06,1.005997e-05,1.021384e-05,1.096428e-05,1.105207e-05,1.167970e-05,1.198236e-05,1.235626e-05,1.284272e-05,1.299121e-05,1.358280e-05,1.362822e-05,1.413021e-05,1.433678e-05,1.463344e-05,1.496876e-05,1.509316e-05,1.551062e-05,1.552647e-05,1.588752e-05,1.601365e-05,1.622584e-05,1.643497e-05,1.652778e-05,1.679569e-05,1.703199e-05,1.710133e-05,1.723910e-05,1.735741e-05,1.741936e-05,1.756929e-05,1.757507e-05,1.770840e-05,1.774200e-05,1.782139e-05,1.788023e-05,1.791596e-05,1.798821e-05,1.799387e-05,1.805676e-05,1.806979e-05,1.810612e-05,1.812837e-05,1.814333e-05,1.816699e-05,1.816960e-05,1.818605e-05,1.818826e-05,1.819370e-05,1.819449e-05,1.819343e-05,1.818770e-05,1.818608e-05,1.817236e-05,1.816963e-05,1.815295e-05,1.814178e-05,1.812842e-05,1.810547e-05,1.809930e-05,1.806607e-05,1.806182e-05,1.802915e-05,1.801184e-05,1.798893e-05,1.795638e-05,1.794576e-05,1.789995e-05,1.789618e-05,1.785178e-05,1.783191e-05,1.780150e-05,1.776413e-05,1.774935e-05,1.769553e-05,1.769335e-05,1.764024e-05,1.762001e-05,1.758366e-05,1.754451e-05,1.752593e-05,1.746720e-05,1.740761e-05,1.738838e-05,1.734727e-05,1.730832e-05,1.728631e-05,1.722728e-05,1.722481e-05,1.716288e-05,1.714547e-05,1.710060e-05,1.706310e-05,1.703805e-05,1.698033e-05,1.697531e-05,1.691243e-05,1.689733e-05,1.684950e-05,1.681425e-05,1.678655e-05,1.673120e-05,1.672366e-05,1.666086e-05,1.664831e-05,1.659820e-05,1.656569e-05,1.653572e-05,1.648342e-05,1.647347e-05,1.641148e-05,1.640159e-05,1.634979e-05,1.632028e-05,1.628841e-05,1.623956e-05,1.622739e-05,1.616674e-05,1.615949e-05,1.610650e-05,1.608013e-05,1.604668e-05,1.600152e-05,1.598731e-05,1.592840e-05,1.592370e-05,1.586996e-05,1.584673e-05,1.581203e-05,1.577063e-05,1.575460e-05,1.569769e-05,1.569543e-05,1.564132e-05,1.562116e-05,1.558549e-05,1.554784e-05,1.553022e-05,1.547550e-05,1.540415e-05,1.533380e-05,1.526447e-05,1.519616e-05,1.512888e-05,1.506265e-05,1.499745e-05,1.493330e-05,1.487019e-05,1.480812e-05,1.474710e-05,1.468711e-05,1.462815e-05,1.457023e-05,1.451332e-05,1.445742e-05,1.440253e-05,1.434864e-05,1.429574e-05,1.424381e-05,1.419285e-05,1.414285e-05,1.409380e-05,1.404568e-05
0.000000e+00,6.989175e-09,1.581338e-08,5.314999e-08,1.184599e-07,1.708513e-07,3.758531e-07,3.866612e-07,7.230120e-07,8.415147e-07,1.199491e-06,1.559952e-06,1.833439e-06,2.568374e-06,2.639462e-06,3.627324e-06,3.891818e-06,4.797761e-06,5.528530e-06,6.136934e-06,7.430255e-06,7.613225e-06,9.181222e-06,9.501457e-06,1.079197e-05,1.163177e-05,1.240237e-05,1.373010e-05,1.397900e-05,1.549768e-05,1.573408e-05,1.694158e-05,1.760459e-05,1.829936e-05,1.931860e-05,1.956379e-05,2.073084e-05,2.086424e-05,2.179899e-05,2.223772e-05,2.276877e-05,2.344127e-05,2.364230e-05,2.442296e-05,2.448153e-05,2.511508e-05,2.536824e-05,2.572365e-05,2.611312e-05,2.625408e-05,2.671201e-05,2.672890e-05,2.710314e-05,2.722867e-05,2.743308e-05,2.762529e-05,2.770730e-05,2.793101e-05,2.810915e-05,2.815729e-05,2.824632e-05,2.831459e-05,2.834678e-05,2.841234e-05,2.841447e-05,2.845298e-05,2.845898e-05,2.846558e-05,2.846196e-05,2.845525e-05,2.842780e-05,2.842466e-05,2.837624e-05,2.836222e-05,2.831216e-05,2.827017e-05,2.823436e-05,2.815594e-05,2.814459e-05,2.804440e-05,2.802324e-05,2.793520e-05,2.787528e-05,2.781823e-05,2.771479e-05,2.769460e-05,2.756530e-05,2.754415e-05,2.743121e-05,2.736538e-05,2.729312e-05,2.718024e-05,2.715173e-05,2.700766e-05,2.699022e-05,2.686148e-05,2.679661e-05,2.671367e-05,2.660052e-05,2.656468e-05,2.641490e-05,2.640290e-05,2.626469e-05,2.620455e-05,2.611435e-05,2.600618e-05,2.596415e-05,2.581436e-05,2.580838e-05,2.566517e-05,2.561166e-05,2.551680e-05,2.541645e-05,2.536940e-05,2.522313e-05,2.507813e-05,2.503201e-05,2.493451e-05,2.484336e-05,2.479237e-05,2.465740e-05,2.465181e-05,2.451290e-05,2.447431e-05,2.437571e-05,2.429425e-05,2.424030e-05,2.411734e-05,2.410672e-05,2.397500e-05,2.394368e-05,2.384520e-05,2.377334e-05,2.371732e-05,2.360640e-05,2.359140e-05,2.346745e-05,2.344290e-05,2.334548e-05,2.328285e-05,2.322551e-05,2.312628e-05,2.310754e-05,2.299156e-05,2.297319e-05,2.287758e-05,2.282358e-05,2.276560e-05,2.267743e-05,2.265559e-05,2.254756e-05,2.253473e-05,2.244149e-05,2.239544e-05,2.233737e-05,2.225954e-05,2.223519e-05,2.213491e-05,2.212697e-05,2.203654e-05,2.199772e-05,2.194004e-05,2.187172e-05,2.184540e-05,2.175260e-05,2.174892e-05,2.166161e-05,2.162929e-05,2.157241e-05,2.151276e-05,2.148497e-05,2.139929e-05,2.128880e-05,2.118126e-05,2.107659e-05,2.097474e-05,2.087565e-05,2.077926e-05,2.068551e-05,2.059435e-05,2.050570e-05,2.041952e-05,2.033574e-05,2.025431e-05,2.017517e-05,2.009826e-05,2.002353e-05,1.995092e-05,1.988038e-05,1.981185e-05,1.974528e-05,1.968062e-05,1.961782e-05,1.955683e-05,1.949760e-05,1.944009e-05
0.000000e+00,5.758672e-09,1.312123e-08,4.483715e-08,1.017835e-07,1.485453e-07,3.393754e-07,3.497599e-07,6.878601e-07,8.134904e-07,1.211229e-06,1.634427e-06,1.965997e-06,2.874898e-06,2.962908e-06,4.166680e-06,4.481009e-06,5.530934e-06,6.351466e-06,7.020650e-06,8.415685e-06,8.611203e-06,1.028303e-05,1.062558e-05,1.201835e-05,1.294003e-05,1.379975e-05,1.531902e-05,1.560986e-05,1.743159e-05,1.772303e-05,1.924851e-05,2.011436e-05,2.104525e-05,2.245871e-05,2.280790e-05,2.452423e-05,2.472657e-05,2.618388e-05,2.689391e-05,2.777835e-05,2.894242e-05,2.930101e-05,3.074691e-05,3.085915e-05,3.211264e-05,3.263600e-05,3.339623e-05,3.426906e-05,3.459688e-05,3.571480e-05,3.575781e-05,3.675105e-05,3.710442e-05,3.770733e-05,3.831304e-05,3.858587e-05,3.938931e-05,4.012055e-05,4.033981e-05,4.078272e-05,4.117173e-05,4.137902e-05,4.189257e-05,4.191276e-05,4.238723e-05,4.250991e-05,4.280570e-05,4.303125e-05,4.317140e-05,4.346393e-05,4.348746e-05,4.375691e-05,4.381497e-05,4.398267e-05,4.409105e-05,4.416753e-05,4.429851e-05,4.431417e-05,4.442517e-05,4.444330e-05,4.450294e-05,4.453102e-05,4.454980e-05,4.456687e-05,4.456793e-05,4.455940e-05,4.455570e-05,4.452618e-05,4.450201e-05,4.447011e-05,4.440997e-05,4.439293e-05,4.429627e-05,4.428344e-05,4.418169e-05,4.412597e-05,4.405063e-05,4.394085e-05,4.390446e-05,4.374445e-05,4.373109e-05,4.357181e-05,4.349947e-05,4.338765e-05,4.324853e-05,4.319304e-05,4.298896e-05,4.298061e-05,4.277632e-05,4.269785e-05,4.255601e-05,4.240221e-05,4.232881e-05,4.209549e-05,4.185674e-05,4.177931e-05,4.161323e-05,4.145517e-05,4.136557e-05,4.112443e-05,4.111431e-05,4.086000e-05,4.078832e-05,4.060313e-05,4.044797e-05,4.034415e-05,4.010440e-05,4.008349e-05,3.982155e-05,3.975853e-05,3.955868e-05,3.941120e-05,3.929523e-05,3.906317e-05,3.903152e-05,3.876783e-05,3.871511e-05,3.850442e-05,3.836765e-05,3.824156e-05,3.802133e-05,3.797945e-05,3.771832e-05,3.767665e-05,3.745836e-05,3.733404e-05,3.719973e-05,3.699390e-05,3.694260e-05,3.668711e-05,3.665657e-05,3.643341e-05,3.632237e-05,3.618160e-05,3.599157e-05,3.593181e-05,3.568412e-05,3.566440e-05,3.543863e-05,3.534107e-05,3.519542e-05,3.502176e-05,3.495456e-05,3.471611e-05,3.470662e-05,3.448012e-05,3.439578e-05,3.424665e-05,3.408935e-05,3.401574e-05,3.378742e-05,3.349005e-05,3.319731e-05,3.290923e-05,3.262585e-05,3.234718e-05,3.207322e-05,3.180397e-05,3.153942e-05,3.127955e-05,3.102432e-05,3.077372e-05,3.052769e-05,3.028619e-05,3.004918e-05,2.981661e-05,2.958841e-05,2.936454e-05,2.914493e-05,2.892952e-05,2.871824e-05,2.851104e-05,2.830783e-05,2.810857e-05,2.791317e-05
0.000000e+00,6.701111e-09,1.528011e-08,5.227483e-08,1.187093e-07,1.732145e-07,3.949072e-07,4.069334e-07,7.962639e-07,9.398519e-07,1.390789e-06,1.865029e-06,2.233266e-06,3.233425e-06,3.329891e-06,4.649510e-06,4.995059e-06,6.154458e-06,7.066772e-06,7.814925e-06,9.385826e-06,9.607128e-06,1.150959e-05,1.190146e-05,1.350114e-05,1.456483e-05,1.556030e-05,1.732647e-05,1.766552e-05,1.979562e-05,2.013738e-05,2.193041e-05,2.295122e-05,2.405121e-05,2.572645e-05,2.614127e-05,2.818602e-05,2.842773e-05,3.017307e-05,3.102641e-05,3.209231e-05,3.350062e-05,3.393580e-05,3.569755e-05,3.583482e-05,3.737335e-05,3.801896e-05,3.896053e-05,4.004764e-05,4.045777e-05,4.186482e-05,4.191923e-05,4.318236e-05,4.363501e-05,4.441179e-05,4.519846e-05,4.555508e-05,4.661466e-05,4.759326e-05,4.788979e-05,4.849385e-05,4.903073e-05,4.931956e-05,5.004480e-05,5.007363e-05,5.075933e-05,5.093951e-05,5.137991e-05,5.172234e-05,5.193859e-05,5.240064e-05,5.243855e-05,5.288290e-05,5.298160e-05,5.327464e-05,5.347213e-05,5.361670e-05,5.387885e-05,5.391189e-05,5.416294e-05,5.420808e-05,5.437244e-05,5.446580e-05,5.454290e-05,5.465766e-05,5.467669e-05,5.477611e-05,5.478897e-05,5.484332e-05,5.486476e-05,5.488040e-05,5.488969e-05,5.488932e-05,5.487194e-05,5.486818e-05,5.483006e-05,5.480430e-05,5.476535e-05,5.470190e-05,5.467943e-05,5.457379e-05,5.456454e-05,5.444989e-05,5.439552e-05,5.430907e-05,5.419794e-05,5.415263e-05,5.398177e-05,5.397465e-05,5.379764e-05,5.372831e-05,5.360132e-05,5.346138e-05,5.339383e-05,5.317614e-05,5.294914e-05,5.287468e-05,5.271370e-05,5.255895e-05,5.247061e-05,5.223075e-05,5.222063e-05,5.196447e-05,5.189173e-05,5.170279e-05,5.154340e-05,5.143623e-05,5.118718e-05,5.116536e-05,5.089074e-05,5.082434e-05,5.061289e-05,5.045607e-05,5.033229e-05,5.008345e-05,5.004939e-05,4.976461e-05,4.970747e-05,4.947835e-05,4.932903e-05,4.919098e-05,4.894897e-05,4.890283e-05,4.861424e-05,4.856804e-05,4.832550e-05,4.818693e-05,4.803688e-05,4.780625e-05,4.774865e-05,4.746104e-05,4.742658e-05,4.717427e-05,4.704841e-05,4.688855e-05,4.667223e-05,4.660408e-05,4.632101e-05,4.629843e-05,4.603952e-05,4.592740e-05,4.575975e-05,4.555946e-05,4.548184e-05,4.520591e-05,4.519492e-05,4.493208e-05,4.483403e-05,4.466045e-05,4.447704e-05,4.439110e-05,4.412414e-05,4.377551e-05,4.343130e-05,4.309166e-05,4.275669e-05,4.242648e-05,4.210111e-05,4.178065e-05,4.146514e-05,4.115461e-05,4.084908e-05,4.054857e-05,4.025308e-05,3.996261e-05,3.967712e-05,3.939662e-05,3.912106e-05,3.885040e-05,3.858462e-05,3.832367e-05,3.806749e-05,3.781604e-05,3.756925e-05,3.732708e-05,3.708946e-05
0.000000e+00,8.014043e-09,1.828272e-08,6.263467e-08,1.425104e-07,2.082369e-07,4.771735e-07,4.918317e-07,9.700165e-07,1.148192e-06,1.715138e-06,2.326661e-06,2.815267e-06,4.215586e-06,4.356580e-06,6.380768e-06,6.935804e-06,8.849438e-06,1.039045e-05,1.166488e-05,1.434505e-05,1.472154e-05,1.793441e-05,1.858993e-05,2.124141e-05,2.298265e-05,2.459696e-05,2.742722e-05,2.796591e-05,3.131966e-05,3.185318e-05,3.463400e-05,3.620464e-05,3.788802e-05,4.043562e-05,4.106372e-05,4.414583e-05,4.450876e-05,4.712159e-05,4.839451e-05,4.998078e-05,5.207089e-05,5.271556e-05,5.532029e-05,5.552293e-05,5.779135e-05,5.874188e-05,6.012689e-05,6.172434e-05,6.232660e-05,6.439148e-05,6.447130e-05,6.632362e-05,6.698724e-05,6.812596e-05,6.927924e-05,6.980212e-05,7.135624e-05,7.279284e-05,7.322850e-05,7.411666e-05,7.490700e-05,7.533264e-05,7.640315e-05,7.644577e-05,7.746104e-05,7.772847e-05,7.838344e-05,7.889432e-05,7.921781e-05,7.991181e-05,7.996894e-05,8.064145e-05,8.079165e-05,8.123980e-05,8.154410e-05,8.176830e-05,8.217889e-05,8.223108e-05,8.263210e-05,8.270523e-05,8.297514e-05,8.313181e-05,8.326380e-05,8.346677e-05,8.350151e-05,8.369153e-05,8.371772e-05,8.383696e-05,8.389179e-05,8.394072e-05,8.399560e-05,8.400559e-05,8.403422e-05,8.403534e-05,8.402908e-05,8.401673e-05,8.399252e-05,8.394510e-05,8.392678e-05,8.383393e-05,8.382540e-05,8.371597e-05,8.366218e-05,8.357476e-05,8.345968e-05,8.341205e-05,8.322951e-05,8.322181e-05,8.302868e-05,8.295220e-05,8.281105e-05,8.265417e-05,8.257799e-05,8.233080e-05,8.207070e-05,8.198493e-05,8.179885e-05,8.161919e-05,8.151631e-05,8.123597e-05,8.122411e-05,8.092319e-05,8.083749e-05,8.061445e-05,8.042579e-05,8.029871e-05,8.000274e-05,7.997678e-05,7.964937e-05,7.957005e-05,7.931718e-05,7.912930e-05,7.898085e-05,7.868193e-05,7.864098e-05,7.829814e-05,7.822926e-05,7.795285e-05,7.777249e-05,7.760560e-05,7.731274e-05,7.725685e-05,7.690704e-05,7.685100e-05,7.655655e-05,7.638819e-05,7.620576e-05,7.592514e-05,7.585501e-05,7.550463e-05,7.546262e-05,7.515490e-05,7.500131e-05,7.480612e-05,7.454183e-05,7.445853e-05,7.411236e-05,7.408474e-05,7.376785e-05,7.363055e-05,7.342519e-05,7.317972e-05,7.308457e-05,7.274615e-05,7.273266e-05,7.241010e-05,7.228973e-05,7.207655e-05,7.185125e-05,7.174565e-05,7.141751e-05,7.098878e-05,7.056526e-05,7.014717e-05,6.973466e-05,6.932788e-05,6.892695e-05,6.853197e-05,6.814303e-05,6.776018e-05,6.738349e-05,6.701299e-05,6.664870e-05,6.629063e-05,6.593879e-05,6.559316e-05,6.525373e-05,6.492047e-05,6.459335e-05,6.427232e-05,6.395735e-05,6.364838e-05,6.334535e-05,6.304820e-05,6.275688e-05
0.000000e+00,9.794873e-09,2.229803e-08,7.592766e-08,1.713141e-07,2.487960e-07,5.575595e-07,5.740374e-07,1.094416e-06,1.280728e-06,1.851088e-06,2.435046e-06,2.883516e-06,4.107561e-06,4.227216e-06,5.908198e-06,6.363141e-06,7.933154e-06,9.209882e-06,1.027807e-05,1.256136e-05,1.288568e-05,1.568006e-05,1.625464e-05,1.858726e-05,2.012277e-05,2.154630e-05,2.403697e-05,2.450981e-05,2.744093e-05,2.790486e-05,3.031050e-05,3.165903e-05,3.309532e-05,3.524971e-05,3.577709e-05,3.834178e-05,3.864115e-05,4.077915e-05,4.180937e-05,4.308230e-05,4.474035e-05,4.524720e-05,4.727224e-05,4.742820e-05,4.915788e-05,4.987351e-05,5.090617e-05,5.208175e-05,5.252049e-05,5.400515e-05,5.406190e-05,5.536518e-05,5.582534e-05,5.660612e-05,5.738490e-05,5.773379e-05,5.875416e-05,5.967325e-05,5.994694e-05,6.049700e-05,6.097687e-05,6.123126e-05,6.185725e-05,6.188173e-05,6.245393e-05,6.260085e-05,6.295317e-05,6.321978e-05,6.338445e-05,6.372533e-05,6.375256e-05,6.406205e-05,6.412809e-05,6.431720e-05,6.443787e-05,6.452206e-05,6.466374e-05,6.468041e-05,6.479582e-05,6.481405e-05,6.487165e-05,6.489649e-05,6.491103e-05,6.491809e-05,6.491689e-05,6.489198e-05,6.488531e-05,6.483886e-05,6.480405e-05,6.475992e-05,6.467968e-05,6.465739e-05,6.453335e-05,6.451711e-05,6.438974e-05,6.432082e-05,6.422836e-05,6.409487e-05,6.405089e-05,6.385890e-05,6.384295e-05,6.365383e-05,6.356844e-05,6.343702e-05,6.327437e-05,6.320975e-05,6.297315e-05,6.296351e-05,6.272832e-05,6.263836e-05,6.247625e-05,6.230118e-05,6.221786e-05,6.195401e-05,6.168550e-05,6.159872e-05,6.141306e-05,6.123694e-05,6.113736e-05,6.087021e-05,6.085903e-05,6.057865e-05,6.049984e-05,6.029674e-05,6.012708e-05,6.001381e-05,5.975298e-05,5.973029e-05,5.944661e-05,5.937854e-05,5.916313e-05,5.900461e-05,5.888022e-05,5.863197e-05,5.859819e-05,5.831732e-05,5.826131e-05,5.803789e-05,5.789324e-05,5.776014e-05,5.752829e-05,5.748429e-05,5.721053e-05,5.716693e-05,5.693905e-05,5.680960e-05,5.667001e-05,5.645663e-05,5.640355e-05,5.613982e-05,5.610836e-05,5.587891e-05,5.576504e-05,5.562095e-05,5.542691e-05,5.536601e-05,5.511418e-05,5.509417e-05,5.486553e-05,5.476697e-05,5.462011e-05,5.444545e-05,5.437799e-05,5.413919e-05,5.412971e-05,5.390377e-05,5.381985e-05,5.367174e-05,5.351591e-05,5.344312e-05,5.321794e-05,5.292596e-05,5.263999e-05,5.236002e-05,5.208603e-05,5.181799e-05,5.155586e-05,5.129960e-05,5.104915e-05,5.080446e-05,5.056544e-05,5.033204e-05,5.010416e-05,4.988174e-05,4.966469e-05,4.945292e-05,4.924633e-05,4.904485e-05,4.884837e-05,4.865680e-05,4.847005e-05,4.828802e-05,4.811062e-05,4.793775e-05,4.776931e-05
0.000000e+00,4.310559e-09,9.833633e-09,3.365553e-08,7.638109e-08,1.113545e-07,2.527293e-07,2.603575e-07,5.052398e-07,5.947035e-07,8.740762e-07,1.168234e-06,1.399376e-06,2.051241e-06,2.116473e-06,3.056656e-06,3.317629e-06,4.234090e-06,4.993001e-06,5.634700e-06,7.021799e-06,7.220302e-06,8.944855e-06,9.302663e-06,1.076715e-05,1.174222e-05,1.265454e-05,1.427152e-05,1.458164e-05,1.652821e-05,1.684031e-05,1.847738e-05,1.940956e-05,2.041461e-05,2.194715e-05,2.232712e-05,2.420368e-05,2.442597e-05,2.603443e-05,2.682321e-05,2.781088e-05,2.912025e-05,2.952593e-05,3.117374e-05,3.130252e-05,3.274978e-05,3.335930e-05,3.425066e-05,3.528343e-05,3.567409e-05,3.701874e-05,3.707088e-05,3.828415e-05,3.872032e-05,3.947056e-05,4.023262e-05,4.057885e-05,4.161046e-05,4.256722e-05,4.285792e-05,4.345129e-05,4.398005e-05,4.426508e-05,4.498262e-05,4.501120e-05,4.569239e-05,4.587187e-05,4.631146e-05,4.665426e-05,4.687125e-05,4.733638e-05,4.737464e-05,4.782447e-05,4.792477e-05,4.822353e-05,4.842585e-05,4.857455e-05,4.884585e-05,4.888023e-05,4.914313e-05,4.919080e-05,4.936577e-05,4.946643e-05,4.955055e-05,4.967820e-05,4.969979e-05,4.981569e-05,4.983128e-05,4.990038e-05,4.993055e-05,4.995589e-05,4.998057e-05,4.998413e-05,4.998695e-05,4.998566e-05,4.996609e-05,4.994983e-05,4.992320e-05,4.987683e-05,4.985984e-05,4.977752e-05,4.977016e-05,4.967763e-05,4.963306e-05,4.956151e-05,4.946856e-05,4.943042e-05,4.928553e-05,4.927947e-05,4.912798e-05,4.906837e-05,4.895883e-05,4.883768e-05,4.877906e-05,4.858962e-05,4.839139e-05,4.832624e-05,4.818521e-05,4.804944e-05,4.797185e-05,4.776096e-05,4.775205e-05,4.752651e-05,4.746241e-05,4.729585e-05,4.715527e-05,4.706070e-05,4.684088e-05,4.682163e-05,4.657915e-05,4.652051e-05,4.633378e-05,4.619528e-05,4.608597e-05,4.586624e-05,4.583617e-05,4.558478e-05,4.553434e-05,4.533217e-05,4.520045e-05,4.507870e-05,4.486536e-05,4.482470e-05,4.457047e-05,4.452979e-05,4.431630e-05,4.419440e-05,4.406245e-05,4.385976e-05,4.380916e-05,4.355665e-05,4.352642e-05,4.330515e-05,4.319485e-05,4.305483e-05,4.286549e-05,4.280587e-05,4.255845e-05,4.253872e-05,4.231270e-05,4.221490e-05,4.206876e-05,4.189431e-05,4.182675e-05,4.158680e-05,4.157725e-05,4.134900e-05,4.126394e-05,4.111345e-05,4.095460e-05,4.088023e-05,4.064941e-05,4.034852e-05,4.005207e-05,3.976017e-05,3.947292e-05,3.919039e-05,3.891264e-05,3.863971e-05,3.837164e-05,3.810844e-05,3.785013e-05,3.759670e-05,3.734814e-05,3.710443e-05,3.686555e-05,3.663146e-05,3.640212e-05,3.617749e-05,3.595751e-05,3.574215e-05,3.553134e-05,3.532501e-05,3.512312e-05,3.492559e-05,3.473235e-05
0.000000e+00,1.802849e-09,4.110042e-09,1.403413e-08,3.173527e-08,4.613717e-08,1.036125e-07,1.066817e-07,2.036218e-07,2.383257e-07,3.445268e-07,4.531727e-07,5.365146e-07,7.632304e-07,7.853129e-07,1.093728e-06,1.176643e-06,1.461597e-06,1.692985e-06,1.887277e-06,2.307998e-06,2.368619e-06,2.903084e-06,3.016095e-06,3.487629e-06,3.810198e-06,4.118605e-06,4.681406e-06,4.791750e-06,5.502242e-06,5.619039e-06,6.244797e-06,6.610973e-06,7.013799e-06,7.644138e-06,7.803434e-06,8.607835e-06,8.705079e-06,9.421216e-06,9.780499e-06,1.023799e-05,1.085775e-05,1.105289e-05,1.186100e-05,1.192522e-05,1.265788e-05,1.297259e-05,1.343957e-05,1.399101e-05,1.420259e-05,1.494401e-05,1.497318e-05,1.566137e-05,1.591333e-05,1.635269e-05,1.680711e-05,1.701643e-05,1.765149e-05,1.825710e-05,1.844459e-05,1.883284e-05,1.918557e-05,1.937858e-05,1.987437e-05,1.989444e-05,2.038074e-05,2.051167e-05,2.083799e-05,2.109866e-05,2.126683e-05,2.163694e-05,2.166803e-05,2.204245e-05,2.212842e-05,2.239100e-05,2.257525e-05,2.271466e-05,2.297968e-05,2.301442e-05,2.329132e-05,2.334405e-05,2.354638e-05,2.367071e-05,2.378061e-05,2.396201e-05,2.399502e-05,2.419062e-05,2.422023e-05,2.436835e-05,2.444760e-05,2.452917e-05,2.464626e-05,2.467399e-05,2.480368e-05,2.481826e-05,2.491908e-05,2.496554e-05,2.502100e-05,2.508993e-05,2.511022e-05,2.518748e-05,2.519317e-05,2.525348e-05,2.527689e-05,2.530890e-05,2.534261e-05,2.535437e-05,2.539050e-05,2.539176e-05,2.541787e-05,2.542568e-05,2.543701e-05,2.544560e-05,2.544845e-05,2.545268e-05,2.545017e-05,2.544801e-05,2.544133e-05,2.543256e-05,2.542661e-05,2.540728e-05,2.540637e-05,2.538100e-05,2.537302e-05,2.535084e-05,2.533059e-05,2.531623e-05,2.528071e-05,2.527746e-05,2.523485e-05,2.522408e-05,2.518866e-05,2.516132e-05,2.513915e-05,2.509304e-05,2.508657e-05,2.503116e-05,2.501976e-05,2.497313e-05,2.494199e-05,2.491269e-05,2.486020e-05,2.485003e-05,2.478534e-05,2.477481e-05,2.471878e-05,2.468623e-05,2.465053e-05,2.459481e-05,2.458074e-05,2.450954e-05,2.450091e-05,2.443708e-05,2.440483e-05,2.436349e-05,2.430687e-05,2.428887e-05,2.421336e-05,2.420728e-05,2.413704e-05,2.410632e-05,2.406004e-05,2.400421e-05,2.398243e-05,2.390430e-05,2.390117e-05,2.382575e-05,2.379738e-05,2.374685e-05,2.369303e-05,2.366767e-05,2.358828e-05,2.348327e-05,2.337816e-05,2.327306e-05,2.316809e-05,2.306336e-05,2.295896e-05,2.285499e-05,2.275154e-05,2.264866e-05,2.254644e-05,2.244493e-05,2.234419e-05,2.224427e-05,2.214522e-05,2.204707e-05,2.194987e-05,2.185365e-05,2.175844e-05,2.166425e-05,2.157113e-05,2.147908e-05,2.138813e-05,2.129828e-05,2.120956e-05
0.000000e+00,5.937714e-09,1.355243e-08,4.649131e-08,1.059659e-07,1.550287e-07,3.567287e-07,3.677602e-07,7.292208e-07,8.644582e-07,1.295171e-06,1.757247e-06,2.121927e-06,3.133151e-06,3.231893e-06,4.593569e-06,4.951772e-06,6.153272e-06,7.095921e-06,7.866207e-06,9.474782e-06,9.700449e-06,1.163176e-05,1.202781e-05,1.363939e-05,1.470707e-05,1.570402e-05,1.746873e-05,1.780704e-05,1.993056e-05,2.027107e-05,2.205761e-05,2.307519e-05,2.417254e-05,2.584623e-05,2.626126e-05,2.831147e-05,2.855439e-05,3.031274e-05,3.117550e-05,3.225642e-05,3.369080e-05,3.413562e-05,3.594511e-05,3.608673e-05,3.768108e-05,3.835428e-05,3.934102e-05,4.048826e-05,4.092351e-05,4.242806e-05,4.248662e-05,4.385493e-05,4.434974e-05,4.520500e-05,4.607987e-05,4.647965e-05,4.768062e-05,4.880996e-05,4.915658e-05,4.986991e-05,5.051296e-05,5.086287e-05,5.175541e-05,5.179134e-05,5.265789e-05,5.288977e-05,5.346506e-05,5.392192e-05,5.421541e-05,5.485773e-05,5.491147e-05,5.555573e-05,5.570291e-05,5.615061e-05,5.646306e-05,5.669848e-05,5.714354e-05,5.720163e-05,5.766227e-05,5.774949e-05,5.808255e-05,5.828583e-05,5.846453e-05,5.875724e-05,5.881018e-05,5.912140e-05,5.916813e-05,5.940003e-05,5.952270e-05,5.964779e-05,5.982491e-05,5.986637e-05,6.005734e-05,6.007848e-05,6.022225e-05,6.028693e-05,6.036254e-05,6.045354e-05,6.047959e-05,6.057473e-05,6.058143e-05,6.064922e-05,6.067350e-05,6.070425e-05,6.073247e-05,6.074097e-05,6.076046e-05,6.076090e-05,6.076376e-05,6.076118e-05,6.075185e-05,6.073554e-05,6.072566e-05,6.068608e-05,6.063395e-05,6.061475e-05,6.057007e-05,6.052337e-05,6.049520e-05,6.041366e-05,6.041006e-05,6.031534e-05,6.028719e-05,6.021169e-05,6.014547e-05,6.009972e-05,5.998986e-05,5.998001e-05,5.985312e-05,5.982166e-05,5.971957e-05,5.964207e-05,5.957987e-05,5.945221e-05,5.943447e-05,5.928384e-05,5.925312e-05,5.912838e-05,5.904577e-05,5.896850e-05,5.883105e-05,5.880457e-05,5.863696e-05,5.860982e-05,5.846600e-05,5.838284e-05,5.829201e-05,5.815084e-05,5.811530e-05,5.793614e-05,5.791449e-05,5.775482e-05,5.767441e-05,5.757158e-05,5.743118e-05,5.738666e-05,5.720030e-05,5.718533e-05,5.701270e-05,5.693736e-05,5.682407e-05,5.668773e-05,5.663460e-05,5.644446e-05,5.643685e-05,5.625384e-05,5.618512e-05,5.606287e-05,5.593290e-05,5.587173e-05,5.568053e-05,5.542831e-05,5.517652e-05,5.492542e-05,5.467525e-05,5.442623e-05,5.417856e-05,5.393242e-05,5.368797e-05,5.344537e-05,5.320476e-05,5.296625e-05,5.272996e-05,5.249600e-05,5.226444e-05,5.203538e-05,5.180888e-05,5.158500e-05,5.136381e-05,5.114534e-05,5.092965e-05,5.071675e-05,5.050669e-05,5.029948e-05,5.009515e-05
0.000000e+00,3.870289e-09,8.836931e-09,3.028445e-08,6.875873e-08,1.002227e-07,2.269641e-07,2.337801e-07,4.513291e-07,5.302167e-07,7.746989e-07,1.029348e-06,1.227643e-06,1.779137e-06,1.833731e-06,2.609653e-06,2.821738e-06,3.557712e-06,4.159961e-06,4.666709e-06,5.762487e-06,5.919931e-06,7.301046e-06,7.591312e-06,8.795562e-06,9.613138e-06,1.039035e-05,1.179832e-05,1.207291e-05,1.383085e-05,1.411828e-05,1.565168e-05,1.654433e-05,1.752284e-05,1.904756e-05,1.943177e-05,2.136611e-05,2.159936e-05,2.331391e-05,2.417225e-05,2.526380e-05,2.674055e-05,2.720517e-05,2.912825e-05,2.928103e-05,3.102424e-05,3.177326e-05,3.288533e-05,3.419985e-05,3.470472e-05,3.647662e-05,3.654644e-05,3.819619e-05,3.880164e-05,3.985949e-05,4.095678e-05,4.146342e-05,4.300565e-05,4.448453e-05,4.494420e-05,4.589901e-05,4.677022e-05,4.724858e-05,4.848306e-05,4.853320e-05,4.975320e-05,5.008331e-05,5.090927e-05,5.157260e-05,5.200234e-05,5.295336e-05,5.303362e-05,5.400446e-05,5.422864e-05,5.491639e-05,5.540194e-05,5.577103e-05,5.647709e-05,5.657011e-05,5.731541e-05,5.745818e-05,5.800876e-05,5.834937e-05,5.865198e-05,5.915490e-05,5.924692e-05,5.979542e-05,5.987900e-05,6.029933e-05,6.052589e-05,6.076044e-05,6.109972e-05,6.118054e-05,6.156138e-05,6.160452e-05,6.190466e-05,6.204424e-05,6.221205e-05,6.242268e-05,6.248519e-05,6.272565e-05,6.274352e-05,6.293496e-05,6.301030e-05,6.311461e-05,6.322640e-05,6.326603e-05,6.339062e-05,6.339506e-05,6.348971e-05,6.351940e-05,6.356461e-05,6.360236e-05,6.361656e-05,6.364675e-05,6.365636e-05,6.365526e-05,6.364648e-05,6.363043e-05,6.361819e-05,6.357466e-05,6.357251e-05,6.351042e-05,6.349023e-05,6.343288e-05,6.337932e-05,6.334079e-05,6.324396e-05,6.323501e-05,6.311638e-05,6.308608e-05,6.298569e-05,6.290752e-05,6.284370e-05,6.270998e-05,6.269114e-05,6.252871e-05,6.249510e-05,6.235707e-05,6.226440e-05,6.217686e-05,6.201930e-05,6.198868e-05,6.179312e-05,6.176118e-05,6.159071e-05,6.149129e-05,6.138200e-05,6.121082e-05,6.116747e-05,6.094762e-05,6.092090e-05,6.072288e-05,6.062257e-05,6.049370e-05,6.031681e-05,6.026049e-05,6.002364e-05,6.000454e-05,5.978351e-05,5.968662e-05,5.954047e-05,5.936386e-05,5.929484e-05,5.904695e-05,5.903699e-05,5.879710e-05,5.870673e-05,5.854557e-05,5.837371e-05,5.829263e-05,5.803854e-05,5.770179e-05,5.736398e-05,5.702559e-05,5.668707e-05,5.634884e-05,5.601127e-05,5.567473e-05,5.533953e-05,5.500598e-05,5.467434e-05,5.434488e-05,5.401781e-05,5.369335e-05,5.337168e-05,5.305298e-05,5.273740e-05,5.242508e-05,5.211614e-05,5.181069e-05,5.150883e-05,5.121064e-05,5.091619e-05,5.062555e-05,5.033878e-05
0.000000e+00,2.010014e-08,4.576179e-08,1.557946e-07,3.512405e-07,5.097169e-07,1.138608e-06,1.172053e-06,2.222436e-06,2.595925e-06,3.731766e-06,4.884410e-06,5.763695e-06,8.143758e-06,8.375224e-06,1.161505e-05,1.249037e-05,1.551789e-05,1.799875e-05,2.009589e-05,2.467163e-05,2.533398e-05,3.119513e-05,3.243794e-05,3.763048e-05,4.118610e-05,4.458648e-05,5.079130e-05,5.200759e-05,5.983652e-05,6.112307e-05,6.801409e-05,7.204529e-05,7.647922e-05,8.341632e-05,8.516929e-05,9.402088e-05,9.509091e-05,1.029706e-04,1.069235e-04,1.119563e-04,1.187723e-04,1.209177e-04,1.297975e-04,1.305028e-04,1.385424e-04,1.419914e-04,1.471033e-04,1.531283e-04,1.554362e-04,1.635025e-04,1.638191e-04,1.712687e-04,1.739856e-04,1.787072e-04,1.835664e-04,1.857954e-04,1.925161e-04,1.988568e-04,2.008042e-04,2.048096e-04,2.084139e-04,2.103707e-04,2.153405e-04,2.155398e-04,2.203200e-04,2.215895e-04,2.247172e-04,2.271750e-04,2.287395e-04,2.321175e-04,2.323969e-04,2.357011e-04,2.364429e-04,2.386650e-04,2.401814e-04,2.413027e-04,2.433656e-04,2.436287e-04,2.456582e-04,2.460299e-04,2.474065e-04,2.482096e-04,2.488891e-04,2.499403e-04,2.501213e-04,2.511183e-04,2.512570e-04,2.518949e-04,2.521937e-04,2.524657e-04,2.527835e-04,2.528446e-04,2.530451e-04,2.530578e-04,2.530803e-04,2.530467e-04,2.529629e-04,2.527789e-04,2.527047e-04,2.523169e-04,2.522806e-04,2.518099e-04,2.515760e-04,2.511937e-04,2.506876e-04,2.504775e-04,2.496704e-04,2.496363e-04,2.487806e-04,2.484415e-04,2.478159e-04,2.471209e-04,2.467836e-04,2.456905e-04,2.445428e-04,2.441650e-04,2.433464e-04,2.425577e-04,2.421068e-04,2.408810e-04,2.408292e-04,2.395184e-04,2.391460e-04,2.381786e-04,2.373626e-04,2.368141e-04,2.355402e-04,2.354286e-04,2.340257e-04,2.336867e-04,2.326084e-04,2.318096e-04,2.311799e-04,2.299156e-04,2.297428e-04,2.282997e-04,2.280106e-04,2.268530e-04,2.260999e-04,2.254047e-04,2.241884e-04,2.239568e-04,2.225112e-04,2.222802e-04,2.210694e-04,2.203792e-04,2.196330e-04,2.184886e-04,2.182032e-04,2.167814e-04,2.166114e-04,2.153687e-04,2.147502e-04,2.139660e-04,2.129073e-04,2.125743e-04,2.111945e-04,2.110847e-04,2.098272e-04,2.092840e-04,2.084732e-04,2.075068e-04,2.071330e-04,2.058071e-04,2.057543e-04,2.044960e-04,2.040276e-04,2.032000e-04,2.023276e-04,2.019196e-04,2.006550e-04,1.990103e-04,1.973941e-04,1.958067e-04,1.942484e-04,1.927192e-04,1.912192e-04,1.897485e-04,1.883069e-04,1.868944e-04,1.855107e-04,1.841557e-04,1.828290e-04,1.815303e-04,1.802594e-04,1.790158e-04,1.777992e-04,1.766092e-04,1.754453e-04,1.743071e-04,1.731942e-04,1.721062e-04,1.710425e-04,1.700027e-04,1.689864e-04
0.000000e+00,1.365112e-08,3.123465e-08,1.075750e-07,2.455957e-07,3.592574e-07,8.228837e-07,8.480520e-07,1.662228e-06,1.962150e-06,2.904618e-06,3.902107e-06,4.685671e-06,6.871433e-06,7.087151e-06,1.012221e-05,1.094098e-05,1.375157e-05,1.602508e-05,1.792637e-05,2.201890e-05,2.260595e-05,2.775639e-05,2.884018e-05,3.334568e-05,3.641452e-05,3.934025e-05,4.466211e-05,4.570335e-05,5.239469e-05,5.349291e-05,5.937094e-05,6.280743e-05,6.658658e-05,7.250013e-05,7.399499e-05,8.154956e-05,8.246375e-05,8.920473e-05,9.259355e-05,9.691689e-05,1.027909e-04,1.046451e-04,1.123516e-04,1.129661e-04,1.200021e-04,1.230397e-04,1.275661e-04,1.329434e-04,1.350167e-04,1.423306e-04,1.426200e-04,1.494882e-04,1.520234e-04,1.564730e-04,1.611171e-04,1.632717e-04,1.698736e-04,1.762703e-04,1.782730e-04,1.824561e-04,1.863022e-04,1.884266e-04,1.939530e-04,1.941788e-04,1.997115e-04,2.012212e-04,2.050243e-04,2.081068e-04,2.101182e-04,2.146127e-04,2.149948e-04,2.196568e-04,2.207440e-04,2.241075e-04,2.265093e-04,2.283515e-04,2.319185e-04,2.323929e-04,2.362361e-04,2.369813e-04,2.398856e-04,2.417083e-04,2.433462e-04,2.461107e-04,2.466227e-04,2.497204e-04,2.501997e-04,2.526441e-04,2.539872e-04,2.553991e-04,2.574849e-04,2.579903e-04,2.604229e-04,2.607044e-04,2.627018e-04,2.636572e-04,2.648322e-04,2.663549e-04,2.668188e-04,2.686667e-04,2.688087e-04,2.703806e-04,2.710297e-04,2.719652e-04,2.730287e-04,2.734252e-04,2.747650e-04,2.748162e-04,2.759891e-04,2.764023e-04,2.771019e-04,2.777971e-04,2.781075e-04,2.790101e-04,2.798137e-04,2.800506e-04,2.805223e-04,2.809277e-04,2.811396e-04,2.816499e-04,2.816695e-04,2.821154e-04,2.822257e-04,2.824809e-04,2.826631e-04,2.827695e-04,2.829698e-04,2.829844e-04,2.831288e-04,2.831533e-04,2.832058e-04,2.832207e-04,2.832185e-04,2.831788e-04,2.831698e-04,2.830625e-04,2.830343e-04,2.828994e-04,2.827934e-04,2.826831e-04,2.824621e-04,2.824161e-04,2.821010e-04,2.820462e-04,2.817401e-04,2.815512e-04,2.813357e-04,2.809824e-04,2.808901e-04,2.804054e-04,2.803448e-04,2.798838e-04,2.796431e-04,2.793272e-04,2.788819e-04,2.787375e-04,2.781166e-04,2.780656e-04,2.774663e-04,2.771984e-04,2.767884e-04,2.762841e-04,2.760844e-04,2.753561e-04,2.753265e-04,2.746049e-04,2.743292e-04,2.738324e-04,2.732955e-04,2.730399e-04,2.722288e-04,2.711319e-04,2.700079e-04,2.688595e-04,2.676892e-04,2.664995e-04,2.652927e-04,2.640710e-04,2.628365e-04,2.615912e-04,2.603369e-04,2.590752e-04,2.578079e-04,2.565365e-04,2.552624e-04,2.539871e-04,2.527116e-04,2.514373e-04,2.501652e-04,2.488965e-04,2.476320e-04,2.463726e-04,2.451192e-04,2.438726e-04,2.426335e-04
0.000000e+00,1.393451e-09,3.182889e-09,1.091214e-08,2.476549e-08,3.607532e-08,8.141379e-08,8.384141e-08,1.607345e-07,1.883363e-07,2.729686e-07,3.597756e-07,4.265423e-07,6.093376e-07,6.272626e-07,8.806235e-07,9.498193e-07,1.191420e-06,1.391887e-06,1.562990e-06,1.941039e-06,1.996244e-06,2.489058e-06,2.594383e-06,3.036665e-06,3.341021e-06,3.632800e-06,4.166177e-06,4.270799e-06,4.944192e-06,5.054807e-06,5.646883e-06,5.992886e-06,6.373140e-06,6.967458e-06,7.117538e-06,7.874935e-06,7.966463e-06,8.640464e-06,8.978683e-06,9.409549e-06,9.993797e-06,1.017793e-05,1.094169e-05,1.100248e-05,1.169728e-05,1.199650e-05,1.244152e-05,1.296877e-05,1.317163e-05,1.388520e-05,1.391336e-05,1.458019e-05,1.482550e-05,1.525490e-05,1.570140e-05,1.590795e-05,1.653829e-05,1.714511e-05,1.733422e-05,1.772785e-05,1.808801e-05,1.828619e-05,1.879909e-05,1.881997e-05,1.932922e-05,1.946743e-05,1.981409e-05,2.009342e-05,2.027485e-05,2.067780e-05,2.071190e-05,2.112568e-05,2.122158e-05,2.151672e-05,2.172599e-05,2.188561e-05,2.219239e-05,2.223296e-05,2.255942e-05,2.262226e-05,2.286567e-05,2.301715e-05,2.315239e-05,2.337865e-05,2.342027e-05,2.367003e-05,2.370835e-05,2.390234e-05,2.400785e-05,2.411790e-05,2.427874e-05,2.431739e-05,2.450147e-05,2.452256e-05,2.467082e-05,2.474082e-05,2.482606e-05,2.493500e-05,2.496783e-05,2.509673e-05,2.510650e-05,2.521336e-05,2.525671e-05,2.531829e-05,2.538691e-05,2.541208e-05,2.549527e-05,2.549838e-05,2.556837e-05,2.559231e-05,2.563188e-05,2.566985e-05,2.568630e-05,2.573209e-05,2.576968e-05,2.578006e-05,2.579953e-05,2.581475e-05,2.582203e-05,2.583709e-05,2.583759e-05,2.584658e-05,2.584798e-05,2.584938e-05,2.584824e-05,2.584634e-05,2.583867e-05,2.583779e-05,2.582405e-05,2.582002e-05,2.580544e-05,2.579299e-05,2.578224e-05,2.575826e-05,2.575474e-05,2.572322e-05,2.571645e-05,2.568791e-05,2.566815e-05,2.564909e-05,2.561392e-05,2.560697e-05,2.556178e-05,2.555429e-05,2.551375e-05,2.548974e-05,2.546306e-05,2.542074e-05,2.540992e-05,2.535451e-05,2.534772e-05,2.529701e-05,2.527109e-05,2.523759e-05,2.519124e-05,2.517640e-05,2.511360e-05,2.510851e-05,2.504933e-05,2.502324e-05,2.498373e-05,2.493575e-05,2.491694e-05,2.484906e-05,2.484633e-05,2.478023e-05,2.475524e-05,2.471055e-05,2.466274e-05,2.464013e-05,2.456907e-05,2.447445e-05,2.437908e-05,2.428315e-05,2.418684e-05,2.409031e-05,2.399371e-05,2.389718e-05,2.380085e-05,2.370484e-05,2.360925e-05,2.351418e-05,2.341974e-05,2.332599e-05,2.323302e-05,2.314089e-05,2.304967e-05,2.295941e-05,2.287016e-05,2.278198e-05,2.269489e-05,2.260894e-05,2.252415e-05,2.244056e-05,2.235818e-05
0.000000e+00,9.780489e-10,2.232711e-09,7.644003e-09,1.732220e-08,2.520865e-08,5.671787e-08,5.840075e-08,1.115081e-07,1.304853e-07,1.884139e-07,2.474540e-07,2.926230e-07,4.153092e-07,4.272680e-07,5.950771e-07,6.405458e-07,7.982698e-07,9.281096e-07,1.038343e-06,1.280514e-06,1.315761e-06,1.629699e-06,1.696704e-06,1.978060e-06,2.171826e-06,2.357802e-06,2.698443e-06,2.765371e-06,3.197018e-06,3.268064e-06,3.648965e-06,3.872010e-06,4.117474e-06,4.501744e-06,4.598888e-06,5.089662e-06,5.149021e-06,5.586400e-06,5.806016e-06,6.085882e-06,6.465467e-06,6.585105e-06,7.081310e-06,7.120799e-06,7.571996e-06,7.766218e-06,8.054940e-06,8.396763e-06,8.528197e-06,8.990099e-06,9.008319e-06,9.439245e-06,9.597587e-06,9.874487e-06,1.016203e-05,1.029491e-05,1.069982e-05,1.108871e-05,1.120972e-05,1.146126e-05,1.169103e-05,1.181729e-05,1.214349e-05,1.215675e-05,1.247972e-05,1.256721e-05,1.278635e-05,1.296259e-05,1.307690e-05,1.333026e-05,1.335167e-05,1.361103e-05,1.367102e-05,1.385538e-05,1.398582e-05,1.408516e-05,1.427568e-05,1.430084e-05,1.450288e-05,1.454169e-05,1.469178e-05,1.478498e-05,1.486803e-05,1.500667e-05,1.503213e-05,1.518457e-05,1.520791e-05,1.532583e-05,1.538981e-05,1.545640e-05,1.555347e-05,1.557674e-05,1.568732e-05,1.569995e-05,1.578858e-05,1.583029e-05,1.588095e-05,1.594548e-05,1.596487e-05,1.604073e-05,1.604647e-05,1.610893e-05,1.613415e-05,1.616985e-05,1.620941e-05,1.622386e-05,1.627129e-05,1.627306e-05,1.631251e-05,1.632588e-05,1.634781e-05,1.636861e-05,1.637753e-05,1.640195e-05,1.642136e-05,1.642656e-05,1.643604e-05,1.644306e-05,1.644623e-05,1.645205e-05,1.645221e-05,1.645420e-05,1.645407e-05,1.645242e-05,1.644965e-05,1.644711e-05,1.643927e-05,1.643846e-05,1.642668e-05,1.642340e-05,1.641195e-05,1.640248e-05,1.639445e-05,1.637690e-05,1.637436e-05,1.635184e-05,1.634705e-05,1.632704e-05,1.631329e-05,1.630011e-05,1.627596e-05,1.627120e-05,1.624044e-05,1.623536e-05,1.620796e-05,1.619179e-05,1.617387e-05,1.614552e-05,1.613830e-05,1.610135e-05,1.609683e-05,1.606313e-05,1.604593e-05,1.602373e-05,1.599307e-05,1.598326e-05,1.594180e-05,1.593845e-05,1.589944e-05,1.588226e-05,1.585625e-05,1.582469e-05,1.581232e-05,1.576772e-05,1.576592e-05,1.572250e-05,1.570609e-05,1.567675e-05,1.564536e-05,1.563052e-05,1.558387e-05,1.552174e-05,1.545909e-05,1.539604e-05,1.533268e-05,1.526911e-05,1.520542e-05,1.514170e-05,1.507801e-05,1.501442e-05,1.495101e-05,1.488782e-05,1.482492e-05,1.476235e-05,1.470016e-05,1.463839e-05,1.457708e-05,1.451626e-05,1.445597e-05,1.439623e-05,1.433707e-05,1.427852e-05,1.422058e-05,1.416329e-05,1.410666e-05
0.000000e+00,5.295210e-07,1.209180e-06,4.146054e-06,9.422180e-06,1.374421e-05,3.121740e-05,3.215987e-05,6.237834e-05,7.339733e-05,1.077240e-04,1.437094e-04,1.718454e-04,2.502940e-04,2.580563e-04,3.678529e-04,3.976318e-04,5.000894e-04,5.829664e-04,6.521121e-04,8.001040e-04,8.212200e-04,1.005143e-03,1.043531e-03,1.201947e-03,1.308784e-03,1.409858e-03,1.591819e-03,1.627144e-03,1.852072e-03,1.888653e-03,2.082905e-03,2.195294e-03,2.317919e-03,2.507811e-03,2.555437e-03,2.793859e-03,2.822459e-03,3.031694e-03,3.135798e-03,3.267576e-03,3.444782e-03,3.500282e-03,3.728742e-03,3.746806e-03,3.952036e-03,4.039730e-03,4.169395e-03,4.321860e-03,4.380189e-03,4.583923e-03,4.591919e-03,4.780216e-03,4.849005e-03,4.968799e-03,5.092537e-03,5.149494e-03,5.322205e-03,5.486907e-03,5.537924e-03,5.643632e-03,5.739785e-03,5.792461e-03,5.928023e-03,5.933517e-03,6.066954e-03,6.102975e-03,6.192951e-03,6.265060e-03,6.311706e-03,6.414750e-03,6.423435e-03,6.528363e-03,6.552559e-03,6.626721e-03,6.679019e-03,6.718745e-03,6.794678e-03,6.804675e-03,6.884749e-03,6.900082e-03,6.959203e-03,6.995777e-03,7.028273e-03,7.082298e-03,7.092187e-03,7.151171e-03,7.160166e-03,7.205444e-03,7.229885e-03,7.255221e-03,7.291944e-03,7.300708e-03,7.342106e-03,7.346808e-03,7.379611e-03,7.394928e-03,7.413410e-03,7.436731e-03,7.443686e-03,7.470612e-03,7.472627e-03,7.494357e-03,7.503001e-03,7.515084e-03,7.528225e-03,7.532947e-03,7.548096e-03,7.548647e-03,7.560674e-03,7.564599e-03,7.570818e-03,7.576394e-03,7.578661e-03,7.584329e-03,7.587942e-03,7.588683e-03,7.589615e-03,7.589720e-03,7.589460e-03,7.587689e-03,7.587582e-03,7.584082e-03,7.582825e-03,7.579057e-03,7.575348e-03,7.572598e-03,7.565465e-03,7.564793e-03,7.555727e-03,7.553372e-03,7.545479e-03,7.539252e-03,7.534125e-03,7.523278e-03,7.521739e-03,7.508390e-03,7.505610e-03,7.494143e-03,7.486401e-03,7.479062e-03,7.465793e-03,7.463206e-03,7.446633e-03,7.443918e-03,7.429395e-03,7.420901e-03,7.411546e-03,7.396858e-03,7.393133e-03,7.374204e-03,7.371900e-03,7.354802e-03,7.346126e-03,7.334969e-03,7.319633e-03,7.314746e-03,7.294169e-03,7.292509e-03,7.273275e-03,7.264836e-03,7.252098e-03,7.236693e-03,7.230669e-03,7.209020e-03,7.208150e-03,7.187178e-03,7.179274e-03,7.165172e-03,7.150128e-03,7.143028e-03,7.120768e-03,7.091249e-03,7.061620e-03,7.031926e-03,7.002211e-03,6.972513e-03,6.942868e-03,6.913310e-03,6.883869e-03,6.854573e-03,6.825449e-03,6.796519e-03,6.767805e-03,6.739326e-03,6.711101e-03,6.683144e-03,6.655472e-03,6.628095e-03,6.601027e-03,6.574277e-03,6.547855e-03,6.521768e-03,6.496023e-03,6.470626e-03,6.445583e-03
0.000000e+00,2.406940e-09,5.485306e-09,1.878071e-08,4.282050e-08,6.272942e-08,1.455038e-07,1.500742e-07,3.016679e-07,3.588217e-07,5.389474e-07,7.248845e-07,8.653260e-07,1.231875e-06,1.266361e-06,1.729315e-06,1.848786e-06,2.247215e-06,2.559577e-06,2.815687e-06,3.354638e-06,3.430767e-06,4.087989e-06,4.224044e-06,4.782114e-06,5.155682e-06,5.507150e-06,6.135246e-06,6.256489e-06,7.023183e-06,7.146992e-06,7.800186e-06,8.174776e-06,8.580613e-06,9.203019e-06,9.357940e-06,1.012618e-05,1.021749e-05,1.087998e-05,1.120586e-05,1.161472e-05,1.215797e-05,1.232653e-05,1.301229e-05,1.306594e-05,1.366956e-05,1.392409e-05,1.429661e-05,1.472868e-05,1.489225e-05,1.545586e-05,1.547773e-05,1.598723e-05,1.617066e-05,1.648655e-05,1.680801e-05,1.695430e-05,1.739123e-05,1.779825e-05,1.792235e-05,1.817643e-05,1.840388e-05,1.852695e-05,1.883857e-05,1.885104e-05,1.914997e-05,1.922934e-05,1.942502e-05,1.957913e-05,1.967748e-05,1.989087e-05,1.990860e-05,2.011962e-05,2.016741e-05,2.031172e-05,2.041147e-05,2.048606e-05,2.062565e-05,2.064372e-05,2.078576e-05,2.081238e-05,2.091317e-05,2.097395e-05,2.102689e-05,2.111248e-05,2.112780e-05,2.121674e-05,2.122992e-05,2.129452e-05,2.132810e-05,2.136185e-05,2.140868e-05,2.141945e-05,2.146796e-05,2.147320e-05,2.150800e-05,2.152309e-05,2.154014e-05,2.155962e-05,2.156492e-05,2.158284e-05,2.158399e-05,2.159437e-05,2.159730e-05,2.159996e-05,2.160052e-05,2.160000e-05,2.159490e-05,2.159459e-05,2.158500e-05,2.158033e-05,2.157065e-05,2.155852e-05,2.155217e-05,2.152984e-05,2.150395e-05,2.149496e-05,2.147475e-05,2.145444e-05,2.144249e-05,2.140885e-05,2.140739e-05,2.136966e-05,2.135866e-05,2.132951e-05,2.130434e-05,2.128713e-05,2.124630e-05,2.124267e-05,2.119632e-05,2.118493e-05,2.114822e-05,2.112057e-05,2.109852e-05,2.105356e-05,2.104735e-05,2.099484e-05,2.098419e-05,2.094111e-05,2.091272e-05,2.088627e-05,2.083942e-05,2.083043e-05,2.077368e-05,2.076452e-05,2.071611e-05,2.068822e-05,2.065782e-05,2.061072e-05,2.059889e-05,2.053938e-05,2.053221e-05,2.047938e-05,2.045284e-05,2.041895e-05,2.037277e-05,2.035815e-05,2.029705e-05,2.029215e-05,2.023569e-05,2.021109e-05,2.017414e-05,2.012973e-05,2.011244e-05,2.005064e-05,2.004816e-05,1.998878e-05,1.996650e-05,1.992690e-05,1.988483e-05,1.986504e-05,1.980323e-05,1.972180e-05,1.964059e-05,1.955967e-05,1.947912e-05,1.939897e-05,1.931928e-05,1.924011e-05,1.916148e-05,1.908344e-05,1.900603e-05,1.892927e-05,1.885319e-05,1.877782e-05,1.870319e-05,1.862931e-05,1.855621e-05,1.848389e-05,1.841238e-05,1.834168e-05,1.827181e-05,1.820277e-05,1.813458e-05,1.806724e-05,1.800076e-05
0.000000e+00,5.150808e-07,1.174163e-06,4.013487e-06,9.102918e-06,1.327030e-05,3.015191e-05,3.106477e-05,6.048748e-05,7.129255e-05,1.052025e-04,1.411143e-04,1.694098e-04,2.490362e-04,2.569575e-04,3.693650e-04,3.998754e-04,5.045338e-04,5.885688e-04,6.581134e-04,8.049796e-04,8.257053e-04,1.003789e-03,1.040416e-03,1.189663e-03,1.288663e-03,1.381160e-03,1.544997e-03,1.576421e-03,1.773775e-03,1.805441e-03,1.971684e-03,2.066456e-03,2.168729e-03,2.324868e-03,2.363614e-03,2.555172e-03,2.577885e-03,2.742380e-03,2.823142e-03,2.924363e-03,3.058723e-03,3.100394e-03,3.269894e-03,3.283157e-03,3.432417e-03,3.495398e-03,3.587647e-03,3.694777e-03,3.735377e-03,3.875497e-03,3.880943e-03,4.007986e-03,4.053821e-03,4.132895e-03,4.213561e-03,4.250339e-03,4.360473e-03,4.463492e-03,4.494991e-03,4.559619e-03,4.617636e-03,4.649099e-03,4.728984e-03,4.732188e-03,4.809153e-03,4.829643e-03,4.880264e-03,4.920235e-03,4.945794e-03,5.001382e-03,5.006010e-03,5.061177e-03,5.073695e-03,5.111556e-03,5.137769e-03,5.157396e-03,5.194175e-03,5.198942e-03,5.236428e-03,5.243458e-03,5.270079e-03,5.286134e-03,5.300112e-03,5.322694e-03,5.326732e-03,5.350138e-03,5.353597e-03,5.370516e-03,5.379275e-03,5.388045e-03,5.400132e-03,5.402896e-03,5.415228e-03,5.416546e-03,5.425196e-03,5.428870e-03,5.432944e-03,5.437432e-03,5.438609e-03,5.442321e-03,5.442537e-03,5.444204e-03,5.444471e-03,5.444373e-03,5.443496e-03,5.442939e-03,5.440006e-03,5.439858e-03,5.435671e-03,5.433786e-03,5.430029e-03,5.425490e-03,5.423167e-03,5.415167e-03,5.406108e-03,5.402997e-03,5.396063e-03,5.389150e-03,5.385103e-03,5.373781e-03,5.373294e-03,5.360696e-03,5.357036e-03,5.347370e-03,5.339048e-03,5.333370e-03,5.319940e-03,5.318749e-03,5.303555e-03,5.299828e-03,5.287835e-03,5.278819e-03,5.271633e-03,5.257009e-03,5.254990e-03,5.237945e-03,5.234491e-03,5.220535e-03,5.211348e-03,5.202793e-03,5.187659e-03,5.184753e-03,5.166446e-03,5.163494e-03,5.147900e-03,5.138921e-03,5.129142e-03,5.114000e-03,5.110198e-03,5.091091e-03,5.088789e-03,5.071846e-03,5.063340e-03,5.052483e-03,5.037700e-03,5.033021e-03,5.013481e-03,5.011915e-03,4.993879e-03,4.986025e-03,4.974233e-03,4.960068e-03,4.954557e-03,4.934867e-03,4.934079e-03,4.915176e-03,4.908090e-03,4.895498e-03,4.882130e-03,4.875844e-03,4.856225e-03,4.830401e-03,4.804679e-03,4.779082e-03,4.753626e-03,4.728330e-03,4.703210e-03,4.678278e-03,4.653548e-03,4.629032e-03,4.604740e-03,4.580681e-03,4.556864e-03,4.533295e-03,4.509982e-03,4.486930e-03,4.464144e-03,4.441628e-03,4.419387e-03,4.397422e-03,4.375737e-03,4.354333e-03,4.333212e-03,4.312375e-03,4.291823e-03
0.000000e+00,7.536441e-09,1.720939e-08,5.900624e-08,1.340948e-07,1.956058e-07,4.442837e-07,4.576963e-07,8.876743e-07,1.044419e-06,1.532611e-06,2.044591e-06,2.445553e-06,3.571491e-06,3.683881e-06,5.302330e-06,5.752123e-06,7.338458e-06,8.663549e-06,9.793602e-06,1.226625e-05,1.262315e-05,1.574906e-05,1.640212e-05,1.908533e-05,2.087768e-05,2.255663e-05,2.553297e-05,2.610354e-05,2.968057e-05,3.025322e-05,3.325253e-05,3.495684e-05,3.679147e-05,3.958349e-05,4.027474e-05,4.368375e-05,4.408709e-05,4.700328e-05,4.843224e-05,5.022097e-05,5.259222e-05,5.332707e-05,5.631407e-05,5.654771e-05,5.917651e-05,6.028572e-05,6.191069e-05,6.379862e-05,6.451447e-05,6.698701e-05,6.708319e-05,6.932862e-05,7.013975e-05,7.154049e-05,7.297143e-05,7.362459e-05,7.558352e-05,7.742033e-05,7.798287e-05,7.913845e-05,8.017746e-05,8.074158e-05,8.217601e-05,8.223361e-05,8.361858e-05,8.398774e-05,8.490057e-05,8.562205e-05,8.608372e-05,8.708846e-05,8.717215e-05,8.816996e-05,8.839640e-05,8.908119e-05,8.955514e-05,8.990981e-05,9.057373e-05,9.065969e-05,9.133462e-05,9.146093e-05,9.193827e-05,9.222519e-05,9.247422e-05,9.287463e-05,9.294593e-05,9.335673e-05,9.341702e-05,9.370985e-05,9.385977e-05,9.400839e-05,9.420995e-05,9.425536e-05,9.445361e-05,9.447426e-05,9.460592e-05,9.465907e-05,9.471493e-05,9.477039e-05,9.478319e-05,9.481312e-05,9.481393e-05,9.480706e-05,9.479507e-05,9.476724e-05,9.471886e-05,9.469579e-05,9.459473e-05,9.459010e-05,9.446602e-05,9.441328e-05,9.431151e-05,9.419261e-05,9.413296e-05,9.393207e-05,9.371042e-05,9.363537e-05,9.346956e-05,9.330599e-05,9.321092e-05,9.294719e-05,9.293590e-05,9.264579e-05,9.256203e-05,9.234186e-05,9.215335e-05,9.202527e-05,9.172381e-05,9.169716e-05,9.135858e-05,9.127588e-05,9.101054e-05,9.081186e-05,9.065399e-05,9.033391e-05,9.028984e-05,8.991893e-05,8.984401e-05,8.954207e-05,8.934401e-05,8.916002e-05,8.883562e-05,8.877350e-05,8.838319e-05,8.832043e-05,8.798972e-05,8.779990e-05,8.759368e-05,8.727539e-05,8.719565e-05,8.679616e-05,8.674815e-05,8.639569e-05,8.621930e-05,8.599473e-05,8.568992e-05,8.559369e-05,8.519300e-05,8.516097e-05,8.479303e-05,8.463333e-05,8.439415e-05,8.410781e-05,8.399668e-05,8.360093e-05,8.358514e-05,8.320719e-05,8.306599e-05,8.281573e-05,8.255096e-05,8.242679e-05,8.204061e-05,8.153541e-05,8.103582e-05,8.054221e-05,8.005495e-05,7.957434e-05,7.910065e-05,7.863410e-05,7.817491e-05,7.772324e-05,7.727923e-05,7.684301e-05,7.641466e-05,7.599425e-05,7.558183e-05,7.517743e-05,7.478108e-05,7.439276e-05,7.401246e-05,7.364015e-05,7.327579e-05,7.291933e-05,7.257071e-05,7.222986e-05,7.189669e-05
0.000000e+00,5.334949e-09,1.219230e-08,4.193178e-08,9.577088e-08,1.402501e-07,3.232924e-07,3.333044e-07,6.610878e-07,7.835698e-07,1.173463e-06,1.592707e-06,1.925464e-06,2.861625e-06,2.954186e-06,4.248173e-06,4.592811e-06,5.756496e-06,6.674469e-06,7.426192e-06,8.997724e-06,9.218236e-06,1.110480e-05,1.149146e-05,1.306405e-05,1.410525e-05,1.507713e-05,1.679711e-05,1.712685e-05,1.919730e-05,1.952950e-05,2.127386e-05,2.226886e-05,2.334338e-05,2.498607e-05,2.539425e-05,2.741643e-05,2.765675e-05,2.940149e-05,3.026131e-05,3.134246e-05,3.278464e-05,3.323377e-05,3.507105e-05,3.521559e-05,3.685103e-05,3.754642e-05,3.857136e-05,3.977214e-05,4.023046e-05,4.182741e-05,4.188999e-05,4.336185e-05,4.389895e-05,4.483385e-05,4.579934e-05,4.624382e-05,4.759247e-05,4.888075e-05,4.928042e-05,5.010976e-05,5.086580e-05,5.128076e-05,5.235162e-05,5.239512e-05,5.345426e-05,5.374113e-05,5.445967e-05,5.503778e-05,5.541291e-05,5.624515e-05,5.631554e-05,5.716914e-05,5.736689e-05,5.797530e-05,5.840661e-05,5.873557e-05,5.936788e-05,5.945151e-05,6.012465e-05,6.025428e-05,6.075653e-05,6.106929e-05,6.134863e-05,6.181634e-05,6.190243e-05,6.241936e-05,6.249874e-05,6.290082e-05,6.311973e-05,6.334820e-05,6.368246e-05,6.376283e-05,6.414602e-05,6.418995e-05,6.449905e-05,6.464514e-05,6.482315e-05,6.505085e-05,6.511952e-05,6.538932e-05,6.540980e-05,6.563370e-05,6.572458e-05,6.585375e-05,6.599772e-05,6.605054e-05,6.622508e-05,6.623162e-05,6.637838e-05,6.642856e-05,6.651141e-05,6.659075e-05,6.662508e-05,6.672030e-05,6.679794e-05,6.681921e-05,6.685883e-05,6.688939e-05,6.690378e-05,6.693267e-05,6.693358e-05,6.694897e-05,6.695080e-05,6.695067e-05,6.694542e-05,6.693939e-05,6.691811e-05,6.691579e-05,6.688051e-05,6.687038e-05,6.683418e-05,6.680363e-05,6.677739e-05,6.671923e-05,6.671073e-05,6.663473e-05,6.661845e-05,6.654993e-05,6.650252e-05,6.645683e-05,6.637258e-05,6.635593e-05,6.624769e-05,6.622972e-05,6.613256e-05,6.607498e-05,6.601097e-05,6.590933e-05,6.588334e-05,6.575005e-05,6.573370e-05,6.561149e-05,6.554895e-05,6.546803e-05,6.535593e-05,6.532000e-05,6.516774e-05,6.515539e-05,6.501158e-05,6.494808e-05,6.485180e-05,6.473469e-05,6.468871e-05,6.452257e-05,6.451587e-05,6.435366e-05,6.429222e-05,6.418223e-05,6.406434e-05,6.400852e-05,6.383276e-05,6.359798e-05,6.336049e-05,6.312074e-05,6.287914e-05,6.263609e-05,6.239196e-05,6.214708e-05,6.190178e-05,6.165637e-05,6.141110e-05,6.116626e-05,6.092207e-05,6.067876e-05,6.043653e-05,6.019558e-05,5.995609e-05,5.971821e-05,5.948210e-05,5.924788e-05,5.901570e-05,5.878566e-05,5.855786e-05,5.833240e-05,5.810937e-05
0.000000e+00,2.221165e-09,5.053607e-09,1.719084e-08,3.876457e-08,5.629017e-08,1.262327e-07,1.299718e-07,2.485028e-07,2.911781e-07,4.226943e-07,5.587814e-07,6.642905e-07,9.563869e-07,9.852322e-07,1.394591e-06,1.506357e-06,1.893669e-06,2.209480e-06,2.473937e-06,3.040253e-06,3.120896e-06,3.819473e-06,3.964193e-06,4.556637e-06,4.951564e-06,5.321628e-06,5.979068e-06,6.105396e-06,6.900044e-06,7.027714e-06,7.698474e-06,8.081140e-06,8.494212e-06,9.124876e-06,9.281352e-06,1.005456e-05,1.014618e-05,1.080910e-05,1.113410e-05,1.154086e-05,1.207962e-05,1.224639e-05,1.292286e-05,1.297565e-05,1.356807e-05,1.381702e-05,1.418041e-05,1.460033e-05,1.475883e-05,1.530277e-05,1.532381e-05,1.581214e-05,1.598708e-05,1.628713e-05,1.659075e-05,1.672828e-05,1.713641e-05,1.751251e-05,1.762629e-05,1.785776e-05,1.806311e-05,1.817344e-05,1.844992e-05,1.846090e-05,1.872154e-05,1.878992e-05,1.895681e-05,1.908638e-05,1.916812e-05,1.934260e-05,1.935690e-05,1.952454e-05,1.956177e-05,1.967237e-05,1.974699e-05,1.980169e-05,1.990118e-05,1.991376e-05,2.000976e-05,2.002714e-05,2.009083e-05,2.012744e-05,2.015803e-05,2.020451e-05,2.021239e-05,2.025485e-05,2.026060e-05,2.028631e-05,2.029776e-05,2.030762e-05,2.031789e-05,2.031956e-05,2.032288e-05,2.032273e-05,2.031826e-05,2.031388e-05,2.030635e-05,2.029279e-05,2.028775e-05,2.026302e-05,2.026079e-05,2.023267e-05,2.021908e-05,2.019720e-05,2.016875e-05,2.015706e-05,2.011266e-05,2.011080e-05,2.006440e-05,2.004615e-05,2.001263e-05,1.997560e-05,1.995769e-05,1.989990e-05,1.983954e-05,1.981973e-05,1.977688e-05,1.973569e-05,1.971218e-05,1.964835e-05,1.964565e-05,1.957752e-05,1.955819e-05,1.950799e-05,1.946567e-05,1.943723e-05,1.937120e-05,1.936542e-05,1.929271e-05,1.927515e-05,1.921926e-05,1.917785e-05,1.914519e-05,1.907960e-05,1.907063e-05,1.899569e-05,1.898067e-05,1.892049e-05,1.888131e-05,1.884511e-05,1.878173e-05,1.876966e-05,1.869421e-05,1.868214e-05,1.861884e-05,1.858271e-05,1.854362e-05,1.848360e-05,1.846862e-05,1.839389e-05,1.838494e-05,1.831949e-05,1.828688e-05,1.824548e-05,1.818951e-05,1.817189e-05,1.809878e-05,1.809295e-05,1.802617e-05,1.799728e-05,1.795411e-05,1.790257e-05,1.788261e-05,1.781173e-05,1.780891e-05,1.774147e-05,1.771634e-05,1.767187e-05,1.762492e-05,1.760294e-05,1.753470e-05,1.744572e-05,1.735800e-05,1.727158e-05,1.718649e-05,1.710273e-05,1.702032e-05,1.693928e-05,1.685962e-05,1.678133e-05,1.670442e-05,1.662889e-05,1.655473e-05,1.648195e-05,1.641053e-05,1.634048e-05,1.627177e-05,1.620439e-05,1.613834e-05,1.607361e-05,1.601017e-05,1.594801e-05,1.588713e-05,1.582749e-05,1.576909e-05
0.000000e+00,5.408962e-09,1.238222e-08,4.276968e-08,9.820468e-08,1.443355e-07,3.367738e-07,3.474073e-07,7.006842e-07,8.349508e-07,1.269100e-06,1.745658e-06,2.130075e-06,3.237094e-06,3.348420e-06,4.934573e-06,5.364999e-06,6.836233e-06,8.010888e-06,8.978870e-06,1.101339e-05,1.129966e-05,1.375364e-05,1.425742e-05,1.630861e-05,1.766868e-05,1.893974e-05,2.119349e-05,2.162628e-05,2.434992e-05,2.478802e-05,2.709406e-05,2.841404e-05,2.984361e-05,3.203794e-05,3.258495e-05,3.530602e-05,3.563067e-05,3.799622e-05,3.916773e-05,4.064647e-05,4.262927e-05,4.324926e-05,4.579837e-05,4.599982e-05,4.828883e-05,4.926768e-05,5.071675e-05,5.242447e-05,5.307923e-05,5.537425e-05,5.546462e-05,5.760041e-05,5.838477e-05,5.975680e-05,6.118311e-05,6.184310e-05,6.385939e-05,6.580610e-05,6.641445e-05,6.768392e-05,6.884999e-05,6.949377e-05,7.116828e-05,7.123672e-05,7.291399e-05,7.337203e-05,7.452688e-05,7.546430e-05,7.607681e-05,7.744839e-05,7.756523e-05,7.899364e-05,7.932770e-05,8.036358e-05,8.110577e-05,8.167658e-05,8.278616e-05,8.293421e-05,8.413802e-05,8.437246e-05,8.528956e-05,8.586822e-05,8.639037e-05,8.727697e-05,8.744198e-05,8.844589e-05,8.860219e-05,8.940358e-05,8.984728e-05,9.031651e-05,9.101559e-05,9.118612e-05,9.201381e-05,9.211038e-05,9.280096e-05,9.313482e-05,9.354892e-05,9.409198e-05,9.425901e-05,9.493252e-05,9.498486e-05,9.557069e-05,9.581635e-05,9.617477e-05,9.658926e-05,9.674594e-05,9.728537e-05,9.730630e-05,9.779418e-05,9.797008e-05,9.827350e-05,9.858312e-05,9.872437e-05,9.914786e-05,9.954497e-05,9.966663e-05,9.991668e-05,1.001417e-04,1.002639e-04,1.005752e-04,1.005877e-04,1.008888e-04,1.009692e-04,1.011682e-04,1.013258e-04,1.014267e-04,1.016468e-04,1.016651e-04,1.018843e-04,1.019341e-04,1.020849e-04,1.021894e-04,1.022677e-04,1.024145e-04,1.024335e-04,1.025829e-04,1.026109e-04,1.027166e-04,1.027802e-04,1.028353e-04,1.029239e-04,1.029396e-04,1.030301e-04,1.030433e-04,1.031074e-04,1.031400e-04,1.031721e-04,1.032151e-04,1.032246e-04,1.032657e-04,1.032698e-04,1.032957e-04,1.033055e-04,1.033151e-04,1.033231e-04,1.033245e-04,1.033243e-04,1.033239e-04,1.033149e-04,1.033087e-04,1.032968e-04,1.032786e-04,1.032704e-04,1.032360e-04,1.032345e-04,1.031942e-04,1.031774e-04,1.031452e-04,1.031080e-04,1.030894e-04,1.030271e-04,1.029356e-04,1.028342e-04,1.027235e-04,1.026043e-04,1.024771e-04,1.023426e-04,1.022013e-04,1.020538e-04,1.019006e-04,1.017421e-04,1.015789e-04,1.014113e-04,1.012398e-04,1.010648e-04,1.008867e-04,1.007057e-04,1.005223e-04,1.003367e-04,1.001493e-04,9.996026e-05,9.976994e-05,9.957856e-05,9.938635e-05,9.919355e-05
0.000000e+00,6.511840e-09,1.487273e-08,5.102811e-08,1.160786e-07,1.694503e-07,3.859061e-07,3.976096e-07,7.741658e-07,9.120268e-07,1.343053e-06,1.797146e-06,2.153720e-06,3.155814e-06,3.255676e-06,4.683394e-06,5.075423e-06,6.437171e-06,7.549112e-06,8.480538e-06,1.047562e-05,1.075981e-05,1.322375e-05,1.373484e-05,1.583037e-05,1.723075e-05,1.854597e-05,2.089068e-05,2.134253e-05,2.419566e-05,2.465592e-05,2.708357e-05,2.847625e-05,2.998652e-05,3.230767e-05,3.288668e-05,3.576812e-05,3.611195e-05,3.861678e-05,3.985661e-05,4.142049e-05,4.351485e-05,4.416896e-05,4.685355e-05,4.706533e-05,4.946711e-05,5.049137e-05,5.200413e-05,5.378095e-05,5.446034e-05,5.683261e-05,5.692572e-05,5.911883e-05,5.992054e-05,6.131772e-05,6.276275e-05,6.342868e-05,6.545170e-05,6.738731e-05,6.798838e-05,6.923640e-05,7.037497e-05,7.100020e-05,7.261458e-05,7.268020e-05,7.427808e-05,7.471103e-05,7.579572e-05,7.666859e-05,7.723506e-05,7.849189e-05,7.859818e-05,7.988721e-05,8.018579e-05,8.110430e-05,8.175527e-05,8.225166e-05,8.320539e-05,8.333147e-05,8.434594e-05,8.454119e-05,8.529726e-05,8.576770e-05,8.618758e-05,8.688989e-05,8.701906e-05,8.779379e-05,8.791262e-05,8.851384e-05,8.884065e-05,8.918125e-05,8.967861e-05,8.979801e-05,9.036605e-05,9.043103e-05,9.088728e-05,9.110227e-05,9.136355e-05,9.169655e-05,9.179666e-05,9.218836e-05,9.221795e-05,9.254035e-05,9.267041e-05,9.285431e-05,9.305770e-05,9.313182e-05,9.337446e-05,9.338346e-05,9.358373e-05,9.365118e-05,9.376110e-05,9.386421e-05,9.390798e-05,9.402574e-05,9.411571e-05,9.413884e-05,9.417917e-05,9.420645e-05,9.421736e-05,9.423135e-05,9.423147e-05,9.422266e-05,9.421623e-05,9.419203e-05,9.416363e-05,9.414066e-05,9.407598e-05,9.406959e-05,9.397981e-05,9.395559e-05,9.387228e-05,9.380466e-05,9.374793e-05,9.362529e-05,9.360764e-05,9.345227e-05,9.341946e-05,9.328265e-05,9.318907e-05,9.309956e-05,9.293591e-05,9.290376e-05,9.269600e-05,9.266169e-05,9.247696e-05,9.236801e-05,9.224732e-05,9.205642e-05,9.200773e-05,9.175882e-05,9.172835e-05,9.150117e-05,9.138519e-05,9.123536e-05,9.102823e-05,9.096194e-05,9.068142e-05,9.065869e-05,9.039433e-05,9.027775e-05,9.010112e-05,8.988649e-05,8.980227e-05,8.949822e-05,8.948596e-05,8.918939e-05,8.907712e-05,8.887619e-05,8.866090e-05,8.855899e-05,8.823817e-05,8.780974e-05,8.737637e-05,8.693880e-05,8.649770e-05,8.605371e-05,8.560743e-05,8.515941e-05,8.471018e-05,8.426023e-05,8.381002e-05,8.335998e-05,8.291051e-05,8.246198e-05,8.201474e-05,8.156911e-05,8.112539e-05,8.068385e-05,8.024476e-05,7.980834e-05,7.937481e-05,7.894439e-05,7.851724e-05,7.809354e-05,7.767344e-05
0.000000e+00,2.200234e-09,5.017545e-09,1.715444e-08,3.887547e-08,5.661598e-08,1.280079e-07,1.318463e-07,2.543937e-07,2.988607e-07,4.367816e-07,5.806043e-07,6.927039e-07,1.004963e-06,1.035917e-06,1.476690e-06,1.597396e-06,2.016423e-06,2.358617e-06,2.645332e-06,3.259366e-06,3.346782e-06,4.103541e-06,4.260184e-06,4.900909e-06,5.327534e-06,5.726948e-06,6.435728e-06,6.571810e-06,7.427086e-06,7.564392e-06,8.285412e-06,8.696548e-06,9.140271e-06,9.817774e-06,9.985913e-06,1.081731e-05,1.091591e-05,1.163017e-05,1.198100e-05,1.242089e-05,1.300522e-05,1.318657e-05,1.392492e-05,1.398276e-05,1.463426e-05,1.490959e-05,1.531339e-05,1.578325e-05,1.596161e-05,1.657857e-05,1.660260e-05,1.716429e-05,1.736754e-05,1.771902e-05,1.807880e-05,1.824328e-05,1.873772e-05,1.920316e-05,1.934612e-05,1.964049e-05,1.990609e-05,2.005070e-05,2.041993e-05,2.043481e-05,2.079387e-05,2.089007e-05,2.112896e-05,2.131894e-05,2.144113e-05,2.170899e-05,2.173144e-05,2.200093e-05,2.206262e-05,2.225061e-05,2.238215e-05,2.248148e-05,2.266984e-05,2.269449e-05,2.289055e-05,2.292781e-05,2.307056e-05,2.315811e-05,2.323537e-05,2.336266e-05,2.338580e-05,2.352262e-05,2.354330e-05,2.364659e-05,2.370174e-05,2.375841e-05,2.383959e-05,2.385877e-05,2.394832e-05,2.395836e-05,2.402766e-05,2.405949e-05,2.409738e-05,2.414428e-05,2.415804e-05,2.421016e-05,2.421398e-05,2.425425e-05,2.426975e-05,2.429079e-05,2.431267e-05,2.432022e-05,2.434297e-05,2.434375e-05,2.435945e-05,2.436392e-05,2.437004e-05,2.437406e-05,2.437510e-05,2.437499e-05,2.437002e-05,2.436746e-05,2.436052e-05,2.435218e-05,2.434676e-05,2.432981e-05,2.432903e-05,2.430759e-05,2.430095e-05,2.428269e-05,2.426618e-05,2.425456e-05,2.422602e-05,2.422343e-05,2.418950e-05,2.418097e-05,2.415298e-05,2.413146e-05,2.411405e-05,2.407794e-05,2.407289e-05,2.402967e-05,2.402080e-05,2.398455e-05,2.396038e-05,2.393767e-05,2.389705e-05,2.388919e-05,2.383922e-05,2.383110e-05,2.378791e-05,2.376283e-05,2.373536e-05,2.369252e-05,2.368170e-05,2.362702e-05,2.362040e-05,2.357143e-05,2.354671e-05,2.351503e-05,2.347167e-05,2.345790e-05,2.340012e-05,2.339547e-05,2.334178e-05,2.331830e-05,2.328295e-05,2.324033e-05,2.322371e-05,2.316411e-05,2.316172e-05,2.310422e-05,2.308260e-05,2.304410e-05,2.300312e-05,2.298381e-05,2.292340e-05,2.284355e-05,2.276368e-05,2.268388e-05,2.260424e-05,2.252484e-05,2.244577e-05,2.236708e-05,2.228884e-05,2.221110e-05,2.213393e-05,2.205736e-05,2.198144e-05,2.190621e-05,2.183170e-05,2.175794e-05,2.168497e-05,2.161280e-05,2.154147e-05,2.147098e-05,2.140136e-05,2.133262e-05,2.126478e-05,2.119784e-05,2.113182e-05
0.000000e+00,5.910355e-09,1.341174e-08,4.538362e-08,1.018902e-07,1.476313e-07,3.294887e-07,3.391925e-07,6.463683e-07,7.568211e-07,1.096623e-06,1.446413e-06,1.715329e-06,2.443155e-06,2.513418e-06,3.476684e-06,3.729216e-06,4.575419e-06,5.238669e-06,5.780116e-06,6.908416e-06,7.066363e-06,8.413453e-06,8.688495e-06,9.802553e-06,1.053552e-05,1.121579e-05,1.240903e-05,1.263608e-05,1.404740e-05,1.427138e-05,1.543508e-05,1.608889e-05,1.678615e-05,1.783316e-05,1.808957e-05,1.933641e-05,1.948188e-05,2.051975e-05,2.101898e-05,2.163470e-05,2.243438e-05,2.267820e-05,2.364880e-05,2.372329e-05,2.454642e-05,2.488524e-05,2.537212e-05,2.592314e-05,2.612783e-05,2.681619e-05,2.684237e-05,2.744033e-05,2.764995e-05,2.800368e-05,2.835389e-05,2.850990e-05,2.896283e-05,2.936609e-05,2.948523e-05,2.972329e-05,2.992936e-05,3.003795e-05,3.030313e-05,3.031344e-05,3.055298e-05,3.061403e-05,3.075959e-05,3.086892e-05,3.093606e-05,3.107405e-05,3.108501e-05,3.120887e-05,3.123511e-05,3.130985e-05,3.135719e-05,3.139002e-05,3.144485e-05,3.145125e-05,3.149528e-05,3.150216e-05,3.152367e-05,3.153274e-05,3.153788e-05,3.153982e-05,3.153922e-05,3.152890e-05,3.152624e-05,3.150801e-05,3.149453e-05,3.147756e-05,3.144692e-05,3.143845e-05,3.139153e-05,3.138541e-05,3.133756e-05,3.131175e-05,3.127722e-05,3.122751e-05,3.121117e-05,3.113996e-05,3.113406e-05,3.106415e-05,3.103264e-05,3.098420e-05,3.092433e-05,3.090057e-05,3.081366e-05,3.081012e-05,3.072385e-05,3.069087e-05,3.063147e-05,3.056735e-05,3.053684e-05,3.044024e-05,3.034195e-05,3.031017e-05,3.024220e-05,3.017769e-05,3.014121e-05,3.004329e-05,3.003920e-05,2.993634e-05,2.990741e-05,2.983281e-05,2.977044e-05,2.972878e-05,2.963274e-05,2.962438e-05,2.951975e-05,2.949462e-05,2.941502e-05,2.935636e-05,2.931029e-05,2.921823e-05,2.920568e-05,2.910128e-05,2.908044e-05,2.899718e-05,2.894319e-05,2.889346e-05,2.880668e-05,2.879019e-05,2.868745e-05,2.867106e-05,2.858529e-05,2.853648e-05,2.848377e-05,2.840305e-05,2.838295e-05,2.828287e-05,2.827091e-05,2.818357e-05,2.814014e-05,2.808510e-05,2.801084e-05,2.798749e-05,2.789078e-05,2.788308e-05,2.779498e-05,2.775693e-05,2.770014e-05,2.763246e-05,2.760627e-05,2.751340e-05,2.750970e-05,2.742154e-05,2.738872e-05,2.733070e-05,2.726953e-05,2.724091e-05,2.715218e-05,2.703668e-05,2.692306e-05,2.681132e-05,2.670149e-05,2.659357e-05,2.648756e-05,2.638346e-05,2.628127e-05,2.618098e-05,2.608259e-05,2.598608e-05,2.589145e-05,2.579867e-05,2.570774e-05,2.561863e-05,2.553133e-05,2.544581e-05,2.536207e-05,2.528007e-05,2.519979e-05,2.512122e-05,2.504432e-05,2.496908e-05,2.489547e-05
0.000000e+00,2.072797e-09,4.729824e-09,1.617875e-08,3.663246e-08,5.328578e-08,1.197434e-07,1.232901e-07,2.351085e-07,2.750228e-07,3.967479e-07,5.206453e-07,6.153273e-07,8.720189e-07,8.969997e-07,1.246662e-06,1.341083e-06,1.667290e-06,1.934009e-06,2.158956e-06,2.647795e-06,2.718308e-06,3.339275e-06,3.470222e-06,4.014479e-06,4.384463e-06,4.736219e-06,5.372836e-06,5.496835e-06,6.288791e-06,6.417918e-06,7.104723e-06,7.502785e-06,7.937513e-06,8.611316e-06,8.780386e-06,9.627018e-06,9.728585e-06,1.047161e-05,1.084123e-05,1.130897e-05,1.193768e-05,1.213451e-05,1.294429e-05,1.300829e-05,1.373499e-05,1.404531e-05,1.450390e-05,1.504276e-05,1.524882e-05,1.596807e-05,1.599629e-05,1.666043e-05,1.690293e-05,1.732505e-05,1.776088e-05,1.796143e-05,1.856934e-05,1.914882e-05,1.932828e-05,1.970008e-05,2.003827e-05,2.022353e-05,2.070036e-05,2.071969e-05,2.118918e-05,2.131595e-05,2.163271e-05,2.188668e-05,2.205105e-05,2.241437e-05,2.244500e-05,2.281543e-05,2.290092e-05,2.316317e-05,2.334832e-05,2.348910e-05,2.375856e-05,2.379408e-05,2.407897e-05,2.413361e-05,2.434463e-05,2.447545e-05,2.459188e-05,2.478595e-05,2.482155e-05,2.503443e-05,2.506698e-05,2.523128e-05,2.532031e-05,2.541288e-05,2.554765e-05,2.557993e-05,2.573314e-05,2.575063e-05,2.587319e-05,2.593081e-05,2.600073e-05,2.608969e-05,2.611639e-05,2.622077e-05,2.622865e-05,2.631445e-05,2.634905e-05,2.639798e-05,2.645215e-05,2.647190e-05,2.653672e-05,2.653913e-05,2.659293e-05,2.661114e-05,2.664098e-05,2.666923e-05,2.668134e-05,2.671442e-05,2.674063e-05,2.674764e-05,2.676037e-05,2.676978e-05,2.677401e-05,2.678169e-05,2.678190e-05,2.678437e-05,2.678414e-05,2.678176e-05,2.677788e-05,2.677437e-05,2.676360e-05,2.676249e-05,2.674640e-05,2.674194e-05,2.672637e-05,2.671352e-05,2.670265e-05,2.667891e-05,2.667548e-05,2.664509e-05,2.663864e-05,2.661170e-05,2.659322e-05,2.657551e-05,2.654310e-05,2.653673e-05,2.649553e-05,2.648873e-05,2.645210e-05,2.643052e-05,2.640661e-05,2.636884e-05,2.635921e-05,2.631007e-05,2.630406e-05,2.625931e-05,2.623650e-05,2.620708e-05,2.616648e-05,2.615350e-05,2.609871e-05,2.609428e-05,2.604282e-05,2.602017e-05,2.598593e-05,2.594441e-05,2.592815e-05,2.586958e-05,2.586722e-05,2.581031e-05,2.578882e-05,2.575044e-05,2.570941e-05,2.569003e-05,2.562918e-05,2.554830e-05,2.546693e-05,2.538521e-05,2.530329e-05,2.522128e-05,2.513931e-05,2.505748e-05,2.497589e-05,2.489463e-05,2.481378e-05,2.473342e-05,2.465362e-05,2.457443e-05,2.449592e-05,2.441814e-05,2.434114e-05,2.426495e-05,2.418961e-05,2.411516e-05,2.404163e-05,2.396904e-05,2.389742e-05,2.382679e-05,2.375716e-05
0.000000e+00,1.543209e-09,3.521800e-09,1.204966e-08,2.728975e-08,3.970114e-08,8.924849e-08,9.189337e-08,1.753083e-07,2.050963e-07,2.959800e-07,3.885508e-07,4.593410e-07,6.514933e-07,6.702130e-07,9.326550e-07,1.003669e-06,1.249563e-06,1.451344e-06,1.622117e-06,1.995426e-06,2.049549e-06,2.529526e-06,2.631549e-06,3.058762e-06,3.352171e-06,3.633409e-06,4.148109e-06,4.249220e-06,4.901605e-06,5.009058e-06,5.585684e-06,5.923809e-06,6.296360e-06,6.880542e-06,7.028409e-06,7.776580e-06,7.867197e-06,8.535702e-06,8.871889e-06,9.300778e-06,9.883289e-06,1.006707e-05,1.083015e-05,1.089094e-05,1.158599e-05,1.188547e-05,1.233095e-05,1.285877e-05,1.306183e-05,1.377584e-05,1.380401e-05,1.447063e-05,1.471567e-05,1.514426e-05,1.558942e-05,1.579515e-05,1.642209e-05,1.702419e-05,1.721151e-05,1.760083e-05,1.795636e-05,1.815167e-05,1.865608e-05,1.867658e-05,1.917562e-05,1.931074e-05,1.964902e-05,1.992090e-05,2.009714e-05,2.048749e-05,2.052046e-05,2.091955e-05,2.101180e-05,2.129506e-05,2.149531e-05,2.164769e-05,2.193966e-05,2.197817e-05,2.228728e-05,2.234661e-05,2.257582e-05,2.271799e-05,2.284458e-05,2.305564e-05,2.309437e-05,2.332599e-05,2.336142e-05,2.354025e-05,2.363715e-05,2.373791e-05,2.388462e-05,2.391976e-05,2.408653e-05,2.410556e-05,2.423895e-05,2.430165e-05,2.437773e-05,2.447450e-05,2.450355e-05,2.461708e-05,2.462565e-05,2.471894e-05,2.475656e-05,2.480976e-05,2.486863e-05,2.489011e-05,2.496055e-05,2.496317e-05,2.502164e-05,2.504144e-05,2.507388e-05,2.510460e-05,2.511776e-05,2.515377e-05,2.518234e-05,2.518999e-05,2.520392e-05,2.521424e-05,2.521890e-05,2.522745e-05,2.522769e-05,2.523065e-05,2.523048e-05,2.522813e-05,2.522413e-05,2.522048e-05,2.520918e-05,2.520801e-05,2.519104e-05,2.518632e-05,2.516984e-05,2.515623e-05,2.514470e-05,2.511952e-05,2.511588e-05,2.508362e-05,2.507678e-05,2.504817e-05,2.502854e-05,2.500974e-05,2.497531e-05,2.496855e-05,2.492479e-05,2.491757e-05,2.487867e-05,2.485575e-05,2.483036e-05,2.479026e-05,2.478004e-05,2.472786e-05,2.472148e-05,2.467398e-05,2.464977e-05,2.461854e-05,2.457545e-05,2.456169e-05,2.450355e-05,2.449885e-05,2.444425e-05,2.442022e-05,2.438390e-05,2.433986e-05,2.432261e-05,2.426049e-05,2.425799e-05,2.419764e-05,2.417485e-05,2.413414e-05,2.409065e-05,2.407010e-05,2.400558e-05,2.391982e-05,2.383354e-05,2.374690e-05,2.366003e-05,2.357307e-05,2.348614e-05,2.339935e-05,2.331280e-05,2.322658e-05,2.314078e-05,2.305548e-05,2.297074e-05,2.288664e-05,2.280323e-05,2.272057e-05,2.263869e-05,2.255766e-05,2.247749e-05,2.239824e-05,2.231993e-05,2.224258e-05,2.216622e-05,2.209087e-05,2.201655e-05
0.000000e+00,1.488944e-09,3.394866e-09,1.159580e-08,2.623116e-08,3.814449e-08,8.573044e-08,8.827318e-08,1.686640e-07,1.974777e-07,2.857698e-07,3.763159e-07,4.459834e-07,6.369253e-07,6.556675e-07,9.208969e-07,9.934148e-07,1.246702e-06,1.456734e-06,1.635695e-06,2.029325e-06,2.086538e-06,2.593453e-06,2.700807e-06,3.147477e-06,3.450846e-06,3.738569e-06,4.256709e-06,4.357172e-06,4.994826e-06,5.098113e-06,5.644188e-06,5.958132e-06,6.298863e-06,6.822627e-06,6.953227e-06,7.602306e-06,7.679626e-06,8.241705e-06,8.518963e-06,8.867575e-06,9.332122e-06,9.476590e-06,1.006593e-05,1.011216e-05,1.063328e-05,1.085362e-05,1.117676e-05,1.155248e-05,1.169497e-05,1.218687e-05,1.220599e-05,1.265183e-05,1.281254e-05,1.308951e-05,1.337151e-05,1.349986e-05,1.388309e-05,1.423959e-05,1.434811e-05,1.456994e-05,1.476795e-05,1.487484e-05,1.514436e-05,1.515511e-05,1.541166e-05,1.547937e-05,1.564543e-05,1.577517e-05,1.585742e-05,1.603410e-05,1.604866e-05,1.622018e-05,1.625852e-05,1.637300e-05,1.645080e-05,1.650815e-05,1.661326e-05,1.662663e-05,1.672941e-05,1.674816e-05,1.681744e-05,1.685770e-05,1.689165e-05,1.694395e-05,1.695291e-05,1.700208e-05,1.700888e-05,1.703997e-05,1.705438e-05,1.706736e-05,1.708220e-05,1.708497e-05,1.709353e-05,1.709398e-05,1.709368e-05,1.709125e-05,1.708606e-05,1.707545e-05,1.707127e-05,1.704988e-05,1.704790e-05,1.702241e-05,1.700983e-05,1.698936e-05,1.696239e-05,1.695122e-05,1.690841e-05,1.690661e-05,1.686137e-05,1.684347e-05,1.681047e-05,1.677385e-05,1.675609e-05,1.669858e-05,1.663825e-05,1.661840e-05,1.657540e-05,1.653399e-05,1.651033e-05,1.644600e-05,1.644328e-05,1.637451e-05,1.635497e-05,1.630424e-05,1.626145e-05,1.623269e-05,1.616591e-05,1.616006e-05,1.608653e-05,1.606877e-05,1.601228e-05,1.597043e-05,1.593745e-05,1.587125e-05,1.586220e-05,1.578667e-05,1.577154e-05,1.571098e-05,1.567160e-05,1.563525e-05,1.557168e-05,1.555958e-05,1.548407e-05,1.547201e-05,1.540882e-05,1.537282e-05,1.533391e-05,1.527427e-05,1.525941e-05,1.518540e-05,1.517655e-05,1.511193e-05,1.507979e-05,1.503906e-05,1.498412e-05,1.496685e-05,1.489535e-05,1.488966e-05,1.482459e-05,1.479651e-05,1.475462e-05,1.470475e-05,1.468547e-05,1.461716e-05,1.461445e-05,1.454973e-05,1.452567e-05,1.448320e-05,1.443848e-05,1.441758e-05,1.435291e-05,1.426899e-05,1.418675e-05,1.410622e-05,1.402740e-05,1.395031e-05,1.387495e-05,1.380131e-05,1.372940e-05,1.365920e-05,1.359070e-05,1.352389e-05,1.345874e-05,1.339525e-05,1.333339e-05,1.327313e-05,1.321445e-05,1.315733e-05,1.310174e-05,1.304765e-05,1.299503e-05,1.294386e-05,1.289410e-05,1.284573e-05,1.279871e-05
0.000000e+00,2.654988e-09,6.051951e-09,2.066245e-08,4.672966e-08,6.794953e-08,1.527564e-07,1.572908e-07,3.008238e-07,3.523550e-07,5.105467e-07,6.732118e-07,7.986466e-07,1.143476e-06,1.177391e-06,1.658071e-06,1.789585e-06,2.248392e-06,2.627401e-06,2.948761e-06,3.649295e-06,3.750352e-06,4.637590e-06,4.823760e-06,5.592935e-06,6.111148e-06,6.600145e-06,7.475989e-06,7.645234e-06,8.716213e-06,8.889256e-06,9.802629e-06,1.032683e-05,1.089520e-05,1.176806e-05,1.198560e-05,1.306639e-05,1.319511e-05,1.413095e-05,1.459271e-05,1.517353e-05,1.594812e-05,1.618918e-05,1.717377e-05,1.725109e-05,1.812394e-05,1.849377e-05,1.903708e-05,1.967049e-05,1.991123e-05,2.074506e-05,2.077756e-05,2.153776e-05,2.181299e-05,2.228899e-05,2.277616e-05,2.299881e-05,2.366763e-05,2.429610e-05,2.448884e-05,2.488513e-05,2.524189e-05,2.543578e-05,2.592940e-05,2.594924e-05,2.642682e-05,2.655429e-05,2.686987e-05,2.711971e-05,2.727980e-05,2.762892e-05,2.765804e-05,2.800602e-05,2.808518e-05,2.832513e-05,2.849175e-05,2.861679e-05,2.885183e-05,2.888237e-05,2.912321e-05,2.916852e-05,2.934060e-05,2.944480e-05,2.953580e-05,2.968350e-05,2.971001e-05,2.986440e-05,2.988734e-05,3.000007e-05,3.005886e-05,3.011809e-05,3.020048e-05,3.021948e-05,3.030520e-05,3.031448e-05,3.037618e-05,3.040297e-05,3.043330e-05,3.046796e-05,3.047740e-05,3.050928e-05,3.051132e-05,3.052967e-05,3.053478e-05,3.053931e-05,3.053998e-05,3.053887e-05,3.052899e-05,3.052841e-05,3.051028e-05,3.050149e-05,3.048331e-05,3.046054e-05,3.044864e-05,3.040678e-05,3.035821e-05,3.034133e-05,3.030341e-05,3.026526e-05,3.024280e-05,3.017954e-05,3.017680e-05,3.010580e-05,3.008508e-05,3.003017e-05,2.998272e-05,2.995026e-05,2.987324e-05,2.986639e-05,2.977888e-05,2.975737e-05,2.968802e-05,2.963578e-05,2.959409e-05,2.950909e-05,2.949734e-05,2.939803e-05,2.937788e-05,2.929638e-05,2.924267e-05,2.919261e-05,2.910396e-05,2.908693e-05,2.897953e-05,2.896220e-05,2.887060e-05,2.881782e-05,2.876030e-05,2.867120e-05,2.864881e-05,2.853626e-05,2.852269e-05,2.842281e-05,2.837264e-05,2.830859e-05,2.822135e-05,2.819373e-05,2.807834e-05,2.806908e-05,2.796253e-05,2.791612e-05,2.784642e-05,2.776268e-05,2.773009e-05,2.761365e-05,2.760899e-05,2.749717e-05,2.745525e-05,2.738075e-05,2.730165e-05,2.726445e-05,2.714834e-05,2.699549e-05,2.684324e-05,2.669171e-05,2.654102e-05,2.639128e-05,2.624258e-05,2.609501e-05,2.594866e-05,2.580358e-05,2.565985e-05,2.551751e-05,2.537663e-05,2.523725e-05,2.509940e-05,2.496312e-05,2.482844e-05,2.469539e-05,2.456398e-05,2.443423e-05,2.430616e-05,2.417978e-05,2.405510e-05,2.393213e-05,2.381086e-05
0.000000e+00,8.872823e-09,2.024541e-08,6.931475e-08,1.573356e-07,2.293658e-07,5.200658e-07,5.357227e-07,1.036323e-06,1.218110e-06,1.781595e-06,2.367820e-06,2.823433e-06,4.086684e-06,4.211532e-06,5.987521e-06,6.474850e-06,8.178085e-06,9.588921e-06,1.078864e-05,1.341803e-05,1.379909e-05,1.716295e-05,1.787233e-05,2.081046e-05,2.279126e-05,2.465627e-05,2.797401e-05,2.861036e-05,3.258945e-05,3.322360e-05,3.652494e-05,3.838279e-05,4.036557e-05,4.334555e-05,4.407595e-05,4.763309e-05,4.804891e-05,5.102301e-05,5.245944e-05,5.423801e-05,5.656229e-05,5.727482e-05,6.013320e-05,6.035421e-05,6.281515e-05,6.383927e-05,6.532420e-05,6.702624e-05,6.766502e-05,6.984305e-05,6.992687e-05,7.186426e-05,7.255472e-05,7.373496e-05,7.492437e-05,7.546164e-05,7.705084e-05,7.850913e-05,7.894919e-05,7.984296e-05,8.063423e-05,8.105867e-05,8.212035e-05,8.216243e-05,8.316022e-05,8.342140e-05,8.405781e-05,8.455059e-05,8.486076e-05,8.552048e-05,8.557441e-05,8.620387e-05,8.634296e-05,8.675403e-05,8.702923e-05,8.722955e-05,8.758981e-05,8.763489e-05,8.797428e-05,8.803460e-05,8.825175e-05,8.837285e-05,8.847115e-05,8.861323e-05,8.863611e-05,8.875009e-05,8.876382e-05,8.881638e-05,8.883218e-05,8.883809e-05,8.882533e-05,8.881815e-05,8.875938e-05,8.874984e-05,8.866440e-05,8.861179e-05,8.853572e-05,8.841686e-05,8.837572e-05,8.818662e-05,8.817030e-05,8.797054e-05,8.787701e-05,8.772948e-05,8.754151e-05,8.746532e-05,8.717985e-05,8.716801e-05,8.687475e-05,8.676041e-05,8.655159e-05,8.632231e-05,8.621189e-05,8.585703e-05,8.548835e-05,8.536766e-05,8.510711e-05,8.485706e-05,8.471447e-05,8.432784e-05,8.431154e-05,8.389936e-05,8.378242e-05,8.347891e-05,8.322306e-05,8.305111e-05,8.265179e-05,8.261682e-05,8.217686e-05,8.207051e-05,8.173198e-05,8.148097e-05,8.128290e-05,8.088476e-05,8.083028e-05,8.037475e-05,8.028335e-05,7.991690e-05,7.967808e-05,7.945727e-05,7.907018e-05,7.899637e-05,7.853469e-05,7.846078e-05,7.807267e-05,7.785090e-05,7.761072e-05,7.724147e-05,7.714923e-05,7.668857e-05,7.663336e-05,7.622907e-05,7.602733e-05,7.577103e-05,7.542409e-05,7.531476e-05,7.486051e-05,7.482427e-05,7.440854e-05,7.422843e-05,7.395906e-05,7.363711e-05,7.351230e-05,7.306845e-05,7.305076e-05,7.262768e-05,7.246979e-05,7.219016e-05,7.189457e-05,7.175603e-05,7.132543e-05,7.076267e-05,7.020652e-05,6.965721e-05,6.911494e-05,6.857986e-05,6.805211e-05,6.753181e-05,6.701904e-05,6.651388e-05,6.601639e-05,6.552660e-05,6.504453e-05,6.457020e-05,6.410359e-05,6.364470e-05,6.319350e-05,6.274995e-05,6.231401e-05,6.188563e-05,6.146476e-05,6.105132e-05,6.064525e-05,6.024647e-05,5.985490e-05
0.000000e+00,4.034320e-09,9.206489e-09,3.151321e-08,7.145981e-08,1.040790e-07,2.351116e-07,2.421430e-07,4.657884e-07,5.465184e-07,7.955004e-07,1.053007e-06,1.252387e-06,1.803172e-06,1.857510e-06,2.629898e-06,2.841829e-06,3.582878e-06,4.196970e-06,4.719007e-06,5.860811e-06,6.025865e-06,7.476494e-06,7.780830e-06,9.035802e-06,9.877757e-06,1.066864e-05,1.207475e-05,1.234477e-05,1.404003e-05,1.431172e-05,1.573553e-05,1.654497e-05,1.741642e-05,1.874262e-05,1.907092e-05,2.068965e-05,2.088112e-05,2.226514e-05,2.294310e-05,2.379155e-05,2.491603e-05,2.526445e-05,2.668060e-05,2.679137e-05,2.803781e-05,2.856386e-05,2.933473e-05,3.023084e-05,3.057080e-05,3.174603e-05,3.179178e-05,3.286095e-05,3.324773e-05,3.391650e-05,3.460098e-05,3.491392e-05,3.585468e-05,3.674045e-05,3.701257e-05,3.757302e-05,3.807881e-05,3.835427e-05,3.905777e-05,3.908612e-05,3.977054e-05,3.995394e-05,4.040947e-05,4.077181e-05,4.100487e-05,4.151583e-05,4.155864e-05,4.207268e-05,4.219034e-05,4.254880e-05,4.279954e-05,4.298881e-05,4.334751e-05,4.339442e-05,4.376732e-05,4.383812e-05,4.410912e-05,4.427509e-05,4.442138e-05,4.466194e-05,4.470559e-05,4.496318e-05,4.500202e-05,4.519555e-05,4.529852e-05,4.540401e-05,4.555442e-05,4.558984e-05,4.575423e-05,4.577257e-05,4.589835e-05,4.595562e-05,4.602330e-05,4.610611e-05,4.613015e-05,4.621991e-05,4.622638e-05,4.629353e-05,4.631866e-05,4.635193e-05,4.638505e-05,4.639599e-05,4.642654e-05,4.642750e-05,4.644439e-05,4.644784e-05,4.645027e-05,4.644781e-05,4.644492e-05,4.642902e-05,4.640322e-05,4.639297e-05,4.636813e-05,4.634108e-05,4.632436e-05,4.627468e-05,4.627245e-05,4.621295e-05,4.619499e-05,4.614634e-05,4.610318e-05,4.607313e-05,4.600032e-05,4.599375e-05,4.590865e-05,4.588742e-05,4.581823e-05,4.576542e-05,4.572288e-05,4.563519e-05,4.562297e-05,4.551885e-05,4.549755e-05,4.541085e-05,4.535327e-05,4.529929e-05,4.520305e-05,4.518447e-05,4.506665e-05,4.504754e-05,4.494612e-05,4.488738e-05,4.482313e-05,4.472311e-05,4.469790e-05,4.457068e-05,4.455529e-05,4.444167e-05,4.438439e-05,4.431107e-05,4.421088e-05,4.417908e-05,4.404588e-05,4.403517e-05,4.391162e-05,4.385767e-05,4.377649e-05,4.367873e-05,4.364062e-05,4.350416e-05,4.349869e-05,4.336724e-05,4.331786e-05,4.322999e-05,4.313653e-05,4.309253e-05,4.295496e-05,4.277341e-05,4.259209e-05,4.241120e-05,4.223095e-05,4.205150e-05,4.187302e-05,4.169564e-05,4.151950e-05,4.134473e-05,4.117143e-05,4.099970e-05,4.082963e-05,4.066130e-05,4.049478e-05,4.033014e-05,4.016743e-05,4.000670e-05,3.984801e-05,3.969137e-05,3.953683e-05,3.938442e-05,3.923415e-05,3.908604e-05,3.894012e-05
0.000000e+00,5.428030e-09,1.241179e-08,4.267342e-08,9.720330e-08,1.419589e-07,3.232888e-07,3.330801e-07,6.472490e-07,7.618433e-07,1.118659e-06,1.492080e-06,1.783334e-06,2.591066e-06,2.670626e-06,3.790649e-06,4.093350e-06,5.134797e-06,5.979832e-06,6.688132e-06,8.217013e-06,8.436739e-06,1.036822e-05,1.077540e-05,1.247033e-05,1.362654e-05,1.472987e-05,1.673885e-05,1.713216e-05,1.966108e-05,2.007630e-05,2.229919e-05,2.359892e-05,2.502820e-05,2.726428e-05,2.782939e-05,3.068407e-05,3.102936e-05,3.357412e-05,3.485244e-05,3.648220e-05,3.869436e-05,3.939206e-05,4.228874e-05,4.251949e-05,4.515873e-05,4.629651e-05,4.799002e-05,4.999862e-05,5.077209e-05,5.349593e-05,5.360356e-05,5.615391e-05,5.709341e-05,5.873972e-05,6.045414e-05,6.124810e-05,6.367451e-05,6.601596e-05,6.674693e-05,6.827037e-05,6.966687e-05,7.043641e-05,7.243207e-05,7.251344e-05,7.450133e-05,7.504200e-05,7.640043e-05,7.749760e-05,7.821155e-05,7.980103e-05,7.993580e-05,8.157456e-05,8.195531e-05,8.312941e-05,8.396414e-05,8.460214e-05,8.583174e-05,8.599468e-05,8.730904e-05,8.756271e-05,8.854733e-05,8.916190e-05,8.971172e-05,9.063430e-05,9.080440e-05,9.182761e-05,9.198503e-05,9.278358e-05,9.321921e-05,9.367453e-05,9.434197e-05,9.450269e-05,9.527024e-05,9.535838e-05,9.597937e-05,9.627342e-05,9.663220e-05,9.709200e-05,9.723084e-05,9.777735e-05,9.781888e-05,9.827374e-05,9.845871e-05,9.872200e-05,9.901602e-05,9.912404e-05,9.948175e-05,9.949516e-05,9.979696e-05,9.990037e-05,1.000714e-04,1.002357e-04,1.003069e-04,1.005051e-04,1.006676e-04,1.007124e-04,1.007961e-04,1.008611e-04,1.008919e-04,1.009547e-04,1.009568e-04,1.009919e-04,1.009967e-04,1.009989e-04,1.009901e-04,1.009790e-04,1.009380e-04,1.009335e-04,1.008636e-04,1.008434e-04,1.007707e-04,1.007090e-04,1.006558e-04,1.005375e-04,1.005201e-04,1.003648e-04,1.003314e-04,1.001907e-04,1.000932e-04,9.999901e-05,9.982505e-05,9.979063e-05,9.956652e-05,9.952926e-05,9.932757e-05,9.920787e-05,9.907466e-05,9.886284e-05,9.880862e-05,9.853026e-05,9.849606e-05,9.824034e-05,9.810930e-05,9.793960e-05,9.770425e-05,9.762876e-05,9.730850e-05,9.728249e-05,9.697947e-05,9.684554e-05,9.664230e-05,9.639483e-05,9.629759e-05,9.594591e-05,9.593171e-05,9.558782e-05,9.545744e-05,9.522385e-05,9.497324e-05,9.485449e-05,9.448024e-05,9.397951e-05,9.347205e-05,9.295882e-05,9.244070e-05,9.191853e-05,9.139310e-05,9.086515e-05,9.033536e-05,8.980438e-05,8.927281e-05,8.874122e-05,8.821013e-05,8.768004e-05,8.715139e-05,8.662461e-05,8.610009e-05,8.557819e-05,8.505926e-05,8.454359e-05,8.403148e-05,8.352318e-05,8.301893e-05,8.251896e-05,8.202345e-05
0.000000e+00,1.105157e-09,2.523531e-09,8.646650e-09,1.961778e-08,2.857528e-08,6.451347e-08,6.643951e-08,1.275560e-07,1.495501e-07,2.171746e-07,2.868154e-07,3.405485e-07,4.881948e-07,5.026982e-07,7.075539e-07,7.633052e-07,9.565878e-07,1.114835e-06,1.248139e-06,1.536811e-06,1.578319e-06,1.942468e-06,2.018963e-06,2.335959e-06,2.550702e-06,2.754393e-06,3.122069e-06,3.193558e-06,3.649373e-06,3.723583e-06,4.117885e-06,4.346157e-06,4.595293e-06,4.981199e-06,5.078000e-06,5.562660e-06,5.620802e-06,6.046221e-06,6.257926e-06,6.525960e-06,6.886524e-06,6.999489e-06,7.464749e-06,7.501559e-06,7.920019e-06,8.099005e-06,8.363893e-06,8.675784e-06,8.795247e-06,9.213219e-06,9.229650e-06,9.617178e-06,9.759085e-06,1.000670e-05,1.026318e-05,1.038151e-05,1.074152e-05,1.108672e-05,1.119408e-05,1.141724e-05,1.162115e-05,1.173326e-05,1.202323e-05,1.203504e-05,1.232288e-05,1.240103e-05,1.259714e-05,1.275533e-05,1.285819e-05,1.308702e-05,1.310642e-05,1.334223e-05,1.339703e-05,1.356605e-05,1.368631e-05,1.377830e-05,1.395583e-05,1.397938e-05,1.416973e-05,1.420654e-05,1.434973e-05,1.443939e-05,1.451981e-05,1.465528e-05,1.468034e-05,1.483172e-05,1.485511e-05,1.497431e-05,1.503974e-05,1.510848e-05,1.520999e-05,1.523458e-05,1.535295e-05,1.536665e-05,1.546391e-05,1.551047e-05,1.556779e-05,1.564218e-05,1.566488e-05,1.575548e-05,1.576246e-05,1.583987e-05,1.587195e-05,1.591833e-05,1.597129e-05,1.599111e-05,1.605847e-05,1.606105e-05,1.612064e-05,1.614179e-05,1.617785e-05,1.621404e-05,1.623034e-05,1.627830e-05,1.632195e-05,1.633504e-05,1.636149e-05,1.638471e-05,1.639708e-05,1.642773e-05,1.642893e-05,1.645720e-05,1.646449e-05,1.648205e-05,1.649538e-05,1.650364e-05,1.652076e-05,1.652212e-05,1.653765e-05,1.654095e-05,1.655035e-05,1.655628e-05,1.656036e-05,1.656705e-05,1.656781e-05,1.657282e-05,1.657354e-05,1.657550e-05,1.657602e-05,1.657598e-05,1.657474e-05,1.657434e-05,1.657070e-05,1.656994e-05,1.656516e-05,1.656185e-05,1.655781e-05,1.655068e-05,1.654873e-05,1.653802e-05,1.653663e-05,1.652575e-05,1.651989e-05,1.651201e-05,1.650063e-05,1.649687e-05,1.648041e-05,1.647903e-05,1.646268e-05,1.645525e-05,1.644376e-05,1.642944e-05,1.642371e-05,1.640260e-05,1.640173e-05,1.638047e-05,1.637227e-05,1.635739e-05,1.634118e-05,1.633341e-05,1.630858e-05,1.627457e-05,1.623928e-05,1.620280e-05,1.616522e-05,1.612663e-05,1.608713e-05,1.604678e-05,1.600566e-05,1.596385e-05,1.592141e-05,1.587840e-05,1.583489e-05,1.579093e-05,1.574657e-05,1.570187e-05,1.565687e-05,1.561162e-05,1.556615e-05,1.552051e-05,1.547474e-05,1.542887e-05,1.538293e-05,1.533696e-05,1.529098e-05
0.000000e+00,2.218846e-09,5.073377e-09,1.745802e-08,3.986455e-08,5.835164e-08,1.341928e-07,1.383311e-07,2.733704e-07,3.236422e-07,4.830216e-07,6.530752e-07,7.868775e-07,1.158020e-06,1.194391e-06,1.701031e-06,1.836275e-06,2.297007e-06,2.666574e-06,2.974008e-06,3.631944e-06,3.725971e-06,4.548000e-06,4.720406e-06,5.435436e-06,5.921125e-06,6.383320e-06,7.222259e-06,7.386164e-06,8.437914e-06,8.610301e-06,9.532028e-06,1.007023e-05,1.066160e-05,1.158601e-05,1.181951e-05,1.299866e-05,1.314124e-05,1.419203e-05,1.471987e-05,1.539289e-05,1.630664e-05,1.659490e-05,1.779220e-05,1.788762e-05,1.897952e-05,1.945057e-05,2.015213e-05,2.098494e-05,2.130587e-05,2.243718e-05,2.248192e-05,2.354305e-05,2.393443e-05,2.462096e-05,2.533693e-05,2.566891e-05,2.668531e-05,2.766897e-05,2.797668e-05,2.861905e-05,2.920922e-05,2.953501e-05,3.038199e-05,3.041659e-05,3.126374e-05,3.149478e-05,3.207660e-05,3.254799e-05,3.285550e-05,3.354246e-05,3.360087e-05,3.431328e-05,3.447942e-05,3.499335e-05,3.536034e-05,3.564182e-05,3.618694e-05,3.625945e-05,3.684706e-05,3.696105e-05,3.740547e-05,3.768460e-05,3.793557e-05,3.835960e-05,3.843822e-05,3.891430e-05,3.898806e-05,3.936469e-05,3.957201e-05,3.979027e-05,4.011345e-05,4.019190e-05,4.057044e-05,4.061435e-05,4.092673e-05,4.107666e-05,4.126160e-05,4.150226e-05,4.157584e-05,4.187026e-05,4.189298e-05,4.214562e-05,4.225059e-05,4.240266e-05,4.257680e-05,4.264212e-05,4.286469e-05,4.287325e-05,4.307107e-05,4.314153e-05,4.326192e-05,4.338316e-05,4.343789e-05,4.359958e-05,4.374762e-05,4.379220e-05,4.388257e-05,4.396234e-05,4.400500e-05,4.411126e-05,4.411546e-05,4.421446e-05,4.424020e-05,4.430251e-05,4.435029e-05,4.438010e-05,4.444265e-05,4.444770e-05,4.450576e-05,4.451832e-05,4.455471e-05,4.457831e-05,4.459498e-05,4.462355e-05,4.462697e-05,4.465106e-05,4.465497e-05,4.466763e-05,4.467340e-05,4.467705e-05,4.467968e-05,4.467965e-05,4.467577e-05,4.467457e-05,4.466572e-05,4.465880e-05,4.464982e-05,4.463309e-05,4.462837e-05,4.460163e-05,4.459808e-05,4.456989e-05,4.455441e-05,4.453341e-05,4.450266e-05,4.449243e-05,4.444720e-05,4.444341e-05,4.439796e-05,4.437718e-05,4.434491e-05,4.430448e-05,4.428828e-05,4.422826e-05,4.422579e-05,4.416506e-05,4.414156e-05,4.409885e-05,4.405222e-05,4.402983e-05,4.395816e-05,4.385978e-05,4.375744e-05,4.365147e-05,4.354220e-05,4.342994e-05,4.331496e-05,4.319754e-05,4.307793e-05,4.295639e-05,4.283312e-05,4.270834e-05,4.258227e-05,4.245508e-05,4.232694e-05,4.219804e-05,4.206853e-05,4.193854e-05,4.180823e-05,4.167772e-05,4.154713e-05,4.141657e-05,4.128616e-05,4.115599e-05,4.102615e-05
0.000000e+00,2.127916e-09,4.869802e-09,1.677039e-08,3.824971e-08,5.589487e-08,1.274347e-07,1.312983e-07,2.552420e-07,3.004343e-07,4.411507e-07,5.886413e-07,7.040930e-07,1.027999e-06,1.060300e-06,1.524436e-06,1.652995e-06,2.104645e-06,2.480092e-06,2.799544e-06,3.499419e-06,3.600850e-06,4.498219e-06,4.688348e-06,5.481986e-06,6.024833e-06,6.543664e-06,7.490075e-06,7.675607e-06,8.870576e-06,9.067144e-06,1.012145e-05,1.073963e-05,1.142108e-05,1.249107e-05,1.276229e-05,1.413790e-05,1.430494e-05,1.554080e-05,1.616494e-05,1.696409e-05,1.805533e-05,1.840113e-05,1.984563e-05,1.996134e-05,2.129174e-05,2.186941e-05,2.273406e-05,2.376741e-05,2.416769e-05,2.558824e-05,2.564473e-05,2.699181e-05,2.749227e-05,2.837501e-05,2.930243e-05,2.973490e-05,3.106898e-05,3.237512e-05,3.278689e-05,3.365159e-05,3.445230e-05,3.489699e-05,3.606232e-05,3.611022e-05,3.729042e-05,3.761487e-05,3.843700e-05,3.910862e-05,3.954954e-05,4.054282e-05,4.062782e-05,4.167177e-05,4.191721e-05,4.268144e-05,4.323195e-05,4.365701e-05,4.448752e-05,4.459875e-05,4.550702e-05,4.568470e-05,4.638224e-05,4.682445e-05,4.722489e-05,4.790791e-05,4.803548e-05,4.881457e-05,4.893634e-05,4.956276e-05,4.991110e-05,5.028067e-05,5.083362e-05,5.096894e-05,5.162820e-05,5.170540e-05,5.225914e-05,5.252794e-05,5.286240e-05,5.330280e-05,5.343868e-05,5.398863e-05,5.403151e-05,5.451294e-05,5.471564e-05,5.501228e-05,5.535673e-05,5.548733e-05,5.593874e-05,5.595631e-05,5.636717e-05,5.651590e-05,5.677327e-05,5.703700e-05,5.715769e-05,5.752106e-05,5.786400e-05,5.796953e-05,5.818712e-05,5.838381e-05,5.849104e-05,5.876528e-05,5.877634e-05,5.904360e-05,5.911528e-05,5.929339e-05,5.943512e-05,5.952628e-05,5.972608e-05,5.974281e-05,5.994351e-05,5.998939e-05,6.012892e-05,6.022625e-05,6.029953e-05,6.043784e-05,6.045586e-05,6.059838e-05,6.062528e-05,6.072759e-05,6.078967e-05,6.084394e-05,6.093207e-05,6.094788e-05,6.103987e-05,6.105351e-05,6.112033e-05,6.115498e-05,6.118968e-05,6.123744e-05,6.124833e-05,6.129669e-05,6.130182e-05,6.133513e-05,6.134901e-05,6.136405e-05,6.137987e-05,6.138379e-05,6.139473e-05,6.139523e-05,6.139720e-05,6.139590e-05,6.139156e-05,6.138265e-05,6.137811e-05,6.135720e-05,6.135621e-05,6.132911e-05,6.131730e-05,6.129415e-05,6.126661e-05,6.125262e-05,6.120480e-05,6.113250e-05,6.105032e-05,6.095885e-05,6.085865e-05,6.075025e-05,6.063417e-05,6.051091e-05,6.038094e-05,6.024470e-05,6.010265e-05,5.995519e-05,5.980271e-05,5.964561e-05,5.948424e-05,5.931894e-05,5.915006e-05,5.897789e-05,5.880276e-05,5.862493e-05,5.844469e-05,5.826230e-05,5.807800e-05,5.789203e-05,5.770462e-05
0.000000e+00,6.273264e-09,1.433153e-08,4.915759e-08,1.116434e-07,1.627148e-07,3.679513e-07,3.789629e-07,7.288892e-07,8.550286e-07,1.243448e-06,1.644217e-06,1.953851e-06,2.805612e-06,2.889298e-06,4.070083e-06,4.390793e-06,5.500280e-06,6.406629e-06,7.169588e-06,8.823458e-06,9.061710e-06,1.115956e-05,1.160233e-05,1.344617e-05,1.470404e-05,1.590406e-05,1.808757e-05,1.851476e-05,2.125863e-05,2.170864e-05,2.411507e-05,2.551992e-05,2.706285e-05,2.947245e-05,3.008058e-05,3.314717e-05,3.351747e-05,3.624228e-05,3.760816e-05,3.934667e-05,4.170116e-05,4.244247e-05,4.551345e-05,4.575760e-05,4.854503e-05,4.974372e-05,5.152447e-05,5.363111e-05,5.444072e-05,5.728448e-05,5.739661e-05,6.004803e-05,6.102204e-05,6.272519e-05,6.449378e-05,6.531110e-05,6.780215e-05,7.019576e-05,7.094085e-05,7.249035e-05,7.390655e-05,7.468517e-05,7.669829e-05,7.678018e-05,7.877593e-05,7.931708e-05,8.067346e-05,8.176544e-05,8.247426e-05,8.404714e-05,8.418016e-05,8.579325e-05,8.616684e-05,8.731585e-05,8.812990e-05,8.875044e-05,8.994215e-05,9.009964e-05,9.136615e-05,9.160977e-05,9.255274e-05,9.313911e-05,9.366221e-05,9.453662e-05,9.469737e-05,9.566100e-05,9.580873e-05,9.655588e-05,9.696182e-05,9.738478e-05,9.800219e-05,9.815037e-05,9.885533e-05,9.893597e-05,9.950224e-05,9.976915e-05,1.000937e-04,1.005075e-04,1.006320e-04,1.011198e-04,1.011567e-04,1.015592e-04,1.017220e-04,1.019526e-04,1.022086e-04,1.023021e-04,1.026100e-04,1.026214e-04,1.028781e-04,1.029653e-04,1.031085e-04,1.032446e-04,1.033031e-04,1.034638e-04,1.035923e-04,1.036269e-04,1.036902e-04,1.037377e-04,1.037594e-04,1.038000e-04,1.038012e-04,1.038173e-04,1.038174e-04,1.038090e-04,1.037930e-04,1.037779e-04,1.037301e-04,1.037251e-04,1.036520e-04,1.036316e-04,1.035599e-04,1.035004e-04,1.034498e-04,1.033390e-04,1.033229e-04,1.031804e-04,1.031501e-04,1.030231e-04,1.029359e-04,1.028521e-04,1.026986e-04,1.026684e-04,1.024728e-04,1.024405e-04,1.022662e-04,1.021634e-04,1.020494e-04,1.018691e-04,1.018232e-04,1.015882e-04,1.015595e-04,1.013453e-04,1.012361e-04,1.010951e-04,1.009005e-04,1.008383e-04,1.005754e-04,1.005541e-04,1.003070e-04,1.001982e-04,1.000336e-04,9.983407e-05,9.975589e-05,9.947423e-05,9.946289e-05,9.918913e-05,9.908574e-05,9.890103e-05,9.870363e-05,9.861036e-05,9.831750e-05,9.792823e-05,9.753663e-05,9.714346e-05,9.674942e-05,9.635515e-05,9.596125e-05,9.556828e-05,9.517673e-05,9.478707e-05,9.439972e-05,9.401509e-05,9.363351e-05,9.325532e-05,9.288081e-05,9.251023e-05,9.214384e-05,9.178184e-05,9.142443e-05,9.107176e-05,9.072399e-05,9.038126e-05,9.004366e-05,8.971129e-05,8.938424e-05
0.000000e+00,1.699375e-09,3.880460e-09,1.329784e-08,3.017894e-08,4.396921e-08,9.936765e-08,1.023399e-07,1.968310e-07,2.309202e-07,3.360119e-07,4.446559e-07,5.287436e-07,7.606757e-07,7.835073e-07,1.106346e-06,1.194232e-06,1.498871e-06,1.748409e-06,1.958943e-06,2.416837e-06,2.482974e-06,3.067276e-06,3.191054e-06,3.708282e-06,4.062818e-06,4.402362e-06,5.023576e-06,5.145635e-06,5.933856e-06,6.063839e-06,6.762399e-06,7.172971e-06,7.626286e-06,8.339321e-06,8.520265e-06,9.438903e-06,9.550536e-06,1.037669e-05,1.079397e-05,1.132816e-05,1.205711e-05,1.228794e-05,1.325092e-05,1.332795e-05,1.421224e-05,1.459529e-05,1.516741e-05,1.584899e-05,1.611231e-05,1.704324e-05,1.708014e-05,1.795693e-05,1.828107e-05,1.885053e-05,1.944545e-05,1.972162e-05,2.056815e-05,2.138848e-05,2.164522e-05,2.218128e-05,2.267377e-05,2.294559e-05,2.365186e-05,2.368070e-05,2.438617e-05,2.457835e-05,2.506179e-05,2.545282e-05,2.570754e-05,2.627540e-05,2.632360e-05,2.691026e-05,2.704672e-05,2.746795e-05,2.776780e-05,2.799720e-05,2.843991e-05,2.849864e-05,2.897294e-05,2.906461e-05,2.942084e-05,2.964357e-05,2.984312e-05,3.017861e-05,3.024057e-05,3.061402e-05,3.067160e-05,3.096430e-05,3.112445e-05,3.129225e-05,3.153909e-05,3.159870e-05,3.188449e-05,3.191743e-05,3.215042e-05,3.226134e-05,3.239730e-05,3.257267e-05,3.262592e-05,3.283705e-05,3.285321e-05,3.303144e-05,3.310468e-05,3.320983e-05,3.332875e-05,3.337291e-05,3.352138e-05,3.352703e-05,3.365590e-05,3.370104e-05,3.377711e-05,3.385224e-05,3.388563e-05,3.398205e-05,3.406695e-05,3.409177e-05,3.414088e-05,3.418268e-05,3.420437e-05,3.425597e-05,3.425793e-05,3.430206e-05,3.431278e-05,3.433721e-05,3.435419e-05,3.436385e-05,3.438121e-05,3.438240e-05,3.439328e-05,3.439480e-05,3.439689e-05,3.439587e-05,3.439360e-05,3.438529e-05,3.438378e-05,3.436778e-05,3.436387e-05,3.434593e-05,3.433236e-05,3.431855e-05,3.429150e-05,3.428594e-05,3.424840e-05,3.424195e-05,3.420620e-05,3.418437e-05,3.415962e-05,3.411936e-05,3.410890e-05,3.405428e-05,3.404748e-05,3.399601e-05,3.396927e-05,3.393430e-05,3.388523e-05,3.386937e-05,3.380141e-05,3.379584e-05,3.373061e-05,3.370155e-05,3.365717e-05,3.360276e-05,3.358126e-05,3.350305e-05,3.349987e-05,3.342269e-05,3.339326e-05,3.334033e-05,3.328327e-05,3.325613e-05,3.317022e-05,3.305443e-05,3.293617e-05,3.281572e-05,3.269333e-05,3.256924e-05,3.244366e-05,3.231681e-05,3.218887e-05,3.206004e-05,3.193047e-05,3.180034e-05,3.166977e-05,3.153893e-05,3.140792e-05,3.127688e-05,3.114592e-05,3.101513e-05,3.088462e-05,3.075448e-05,3.062479e-05,3.049562e-05,3.036705e-05,3.023915e-05,3.011197e-05
0.000000e+00,8.201897e-08,1.872893e-07,6.431400e-07,1.467393e-06,2.148180e-06,4.953200e-06,5.106869e-06,1.015110e-05,1.203937e-05,1.802884e-05,2.436934e-05,2.929297e-05,4.262695e-05,4.391091e-05,6.148790e-05,6.610361e-05,8.166009e-05,9.399317e-05,1.041761e-04,1.257785e-04,1.288471e-04,1.554997e-04,1.610522e-04,1.839510e-04,1.993900e-04,2.139979e-04,2.403070e-04,2.454163e-04,2.779642e-04,2.832598e-04,3.113873e-04,3.276650e-04,3.454260e-04,3.729275e-04,3.798237e-04,4.143329e-04,4.184702e-04,4.487200e-04,4.637556e-04,4.827704e-04,5.083037e-04,5.162907e-04,5.491106e-04,5.517014e-04,5.810839e-04,5.936079e-04,6.120880e-04,6.337537e-04,6.420227e-04,6.708093e-04,6.719360e-04,6.983888e-04,7.080134e-04,7.247194e-04,7.418969e-04,7.497749e-04,7.735428e-04,7.960220e-04,8.029444e-04,8.172213e-04,8.301247e-04,8.371576e-04,8.551299e-04,8.558544e-04,8.733405e-04,8.780241e-04,8.896491e-04,8.988840e-04,9.048164e-04,9.177954e-04,9.188809e-04,9.318829e-04,9.348498e-04,9.438635e-04,9.501421e-04,9.548645e-04,9.637683e-04,9.649277e-04,9.740947e-04,9.758242e-04,9.824066e-04,9.864042e-04,9.899037e-04,9.956005e-04,9.966255e-04,1.002611e-03,1.003502e-03,1.007896e-03,1.010195e-03,1.012518e-03,1.015762e-03,1.016512e-03,1.019911e-03,1.020281e-03,1.022748e-03,1.023827e-03,1.025055e-03,1.026471e-03,1.026860e-03,1.028192e-03,1.028279e-03,1.029080e-03,1.029316e-03,1.029549e-03,1.029642e-03,1.029625e-03,1.029331e-03,1.029311e-03,1.028690e-03,1.028378e-03,1.027724e-03,1.026893e-03,1.026454e-03,1.024900e-03,1.023081e-03,1.022445e-03,1.021014e-03,1.019569e-03,1.018716e-03,1.016308e-03,1.016204e-03,1.013493e-03,1.012700e-03,1.010598e-03,1.008778e-03,1.007532e-03,1.004572e-03,1.004309e-03,1.000941e-03,1.000113e-03,9.974401e-04,9.954256e-04,9.938171e-04,9.905366e-04,9.900829e-04,9.862475e-04,9.854691e-04,9.823202e-04,9.802448e-04,9.783101e-04,9.748839e-04,9.742257e-04,9.700749e-04,9.694051e-04,9.658653e-04,9.638259e-04,9.616040e-04,9.581623e-04,9.572977e-04,9.529528e-04,9.524291e-04,9.485752e-04,9.466402e-04,9.441706e-04,9.408082e-04,9.397442e-04,9.353009e-04,9.349449e-04,9.308455e-04,9.290609e-04,9.263823e-04,9.231663e-04,9.219154e-04,9.174486e-04,9.172700e-04,9.129856e-04,9.113805e-04,9.085298e-04,9.055054e-04,9.040841e-04,8.996517e-04,8.938258e-04,8.880333e-04,8.822796e-04,8.765695e-04,8.709071e-04,8.652965e-04,8.597410e-04,8.542437e-04,8.488074e-04,8.434344e-04,8.381270e-04,8.328869e-04,8.277158e-04,8.226149e-04,8.175855e-04,8.126284e-04,8.077445e-04,8.029342e-04,7.981980e-04,7.935361e-04,7.889488e-04,7.844360e-04,7.799975e-04,7.756333e-04
0.000000e+00,2.309098e-09,5.268078e-09,1.802218e-08,4.084595e-08,5.947382e-08,1.342576e-07,1.382694e-07,2.658577e-07,3.119218e-07,4.540775e-07,6.013096e-07,7.154965e-07,1.031948e-06,1.063253e-06,1.509895e-06,1.632950e-06,2.064614e-06,2.423550e-06,2.729235e-06,3.398826e-06,3.495699e-06,4.348103e-06,4.527251e-06,5.267836e-06,5.766859e-06,6.237608e-06,7.080165e-06,7.242873e-06,8.271665e-06,8.437765e-06,9.313988e-06,9.816558e-06,1.036131e-05,1.119775e-05,1.140622e-05,1.244222e-05,1.256567e-05,1.346368e-05,1.390723e-05,1.446571e-05,1.521167e-05,1.544415e-05,1.639558e-05,1.647044e-05,1.731719e-05,1.767697e-05,1.820680e-05,1.882656e-05,1.906277e-05,1.988398e-05,1.991609e-05,2.066971e-05,2.094381e-05,2.141963e-05,2.190911e-05,2.213374e-05,2.281229e-05,2.345575e-05,2.365435e-05,2.406479e-05,2.443686e-05,2.464019e-05,2.516177e-05,2.518286e-05,2.569380e-05,2.583131e-05,2.617403e-05,2.644788e-05,2.662465e-05,2.701401e-05,2.704675e-05,2.744146e-05,2.753224e-05,2.780988e-05,2.800512e-05,2.815312e-05,2.843520e-05,2.847227e-05,2.876840e-05,2.882495e-05,2.904255e-05,2.917676e-05,2.929573e-05,2.949292e-05,2.952893e-05,2.974311e-05,2.977567e-05,2.993917e-05,3.002711e-05,3.011801e-05,3.024925e-05,3.028047e-05,3.042738e-05,3.044400e-05,3.055952e-05,3.061318e-05,3.067765e-05,3.075849e-05,3.078248e-05,3.087471e-05,3.088156e-05,3.095499e-05,3.098391e-05,3.102397e-05,3.106697e-05,3.108224e-05,3.113038e-05,3.113210e-05,3.116893e-05,3.118057e-05,3.119843e-05,3.121358e-05,3.121938e-05,3.123225e-05,3.123749e-05,3.123764e-05,3.123555e-05,3.123073e-05,3.122683e-05,3.121246e-05,3.121174e-05,3.119063e-05,3.118369e-05,3.116387e-05,3.114525e-05,3.113180e-05,3.109789e-05,3.109475e-05,3.105301e-05,3.104234e-05,3.100689e-05,3.097925e-05,3.095666e-05,3.090927e-05,3.090259e-05,3.084492e-05,3.083297e-05,3.078390e-05,3.075092e-05,3.071975e-05,3.066360e-05,3.065269e-05,3.058292e-05,3.057152e-05,3.051065e-05,3.047512e-05,3.043605e-05,3.037481e-05,3.035929e-05,3.028056e-05,3.027098e-05,3.020000e-05,3.016401e-05,3.011776e-05,3.005423e-05,3.003400e-05,2.994883e-05,2.994196e-05,2.986240e-05,2.982750e-05,2.977482e-05,2.971111e-05,2.968620e-05,2.959667e-05,2.959307e-05,2.950631e-05,2.947360e-05,2.941523e-05,2.935294e-05,2.932353e-05,2.923128e-05,2.910883e-05,2.898575e-05,2.886223e-05,2.873841e-05,2.861443e-05,2.849043e-05,2.836653e-05,2.824284e-05,2.811948e-05,2.799653e-05,2.787409e-05,2.775224e-05,2.763106e-05,2.751061e-05,2.739095e-05,2.727216e-05,2.715427e-05,2.703734e-05,2.692142e-05,2.680653e-05,2.669272e-05,2.658003e-05,2.646847e-05,2.635808e-05
0.000000e+00,1.096496e-08,2.506969e-08,8.618238e-08,1.963301e-07,2.867788e-07,6.537627e-07,6.736046e-07,1.311694e-06,1.545102e-06,2.273781e-06,3.038569e-06,3.635794e-06,5.290814e-06,5.453537e-06,7.736288e-06,8.350616e-06,1.045644e-05,1.215716e-05,1.357783e-05,1.663084e-05,1.706819e-05,2.089862e-05,2.170303e-05,2.504068e-05,2.730785e-05,2.946442e-05,3.337459e-05,3.413769e-05,3.902626e-05,3.982604e-05,4.409443e-05,4.658027e-05,4.930586e-05,5.355389e-05,5.462449e-05,6.001533e-05,6.066548e-05,6.544524e-05,6.783874e-05,7.088341e-05,7.500451e-05,7.630167e-05,8.167478e-05,8.210200e-05,8.698056e-05,8.907961e-05,9.219979e-05,9.589476e-05,9.731613e-05,1.023160e-04,1.025134e-04,1.071882e-04,1.089092e-04,1.119240e-04,1.150629e-04,1.165166e-04,1.209609e-04,1.252535e-04,1.265947e-04,1.293923e-04,1.319600e-04,1.333764e-04,1.370557e-04,1.372059e-04,1.408817e-04,1.418836e-04,1.444053e-04,1.464473e-04,1.477789e-04,1.507525e-04,1.510052e-04,1.540871e-04,1.548057e-04,1.570279e-04,1.586145e-04,1.598312e-04,1.621871e-04,1.625005e-04,1.650396e-04,1.655322e-04,1.674525e-04,1.686586e-04,1.697431e-04,1.715755e-04,1.719153e-04,1.739730e-04,1.742919e-04,1.759202e-04,1.768167e-04,1.777607e-04,1.791589e-04,1.794985e-04,1.811371e-04,1.813273e-04,1.826805e-04,1.833303e-04,1.841321e-04,1.851762e-04,1.854956e-04,1.867744e-04,1.868731e-04,1.879719e-04,1.884288e-04,1.890913e-04,1.898508e-04,1.901360e-04,1.911089e-04,1.911464e-04,1.920131e-04,1.923224e-04,1.928516e-04,1.933857e-04,1.936272e-04,1.943425e-04,1.950003e-04,1.951991e-04,1.956032e-04,1.959613e-04,1.961536e-04,1.966348e-04,1.966539e-04,1.971065e-04,1.972249e-04,1.975135e-04,1.977368e-04,1.978772e-04,1.981752e-04,1.981995e-04,1.984826e-04,1.985449e-04,1.987283e-04,1.988502e-04,1.989385e-04,1.990955e-04,1.991149e-04,1.992594e-04,1.992846e-04,1.993735e-04,1.994214e-04,1.994589e-04,1.995095e-04,1.995170e-04,1.995494e-04,1.995522e-04,1.995574e-04,1.995529e-04,1.995423e-04,1.995146e-04,1.995056e-04,1.994484e-04,1.994402e-04,1.993719e-04,1.993325e-04,1.992773e-04,1.991940e-04,1.991657e-04,1.990380e-04,1.990272e-04,1.988954e-04,1.988344e-04,1.987388e-04,1.986178e-04,1.985690e-04,1.983871e-04,1.983796e-04,1.981937e-04,1.981215e-04,1.979898e-04,1.978455e-04,1.977761e-04,1.975533e-04,1.972464e-04,1.969265e-04,1.965950e-04,1.962531e-04,1.959022e-04,1.955435e-04,1.951779e-04,1.948067e-04,1.944307e-04,1.940508e-04,1.936679e-04,1.932828e-04,1.928961e-04,1.925087e-04,1.921210e-04,1.917337e-04,1.913472e-04,1.909622e-04,1.905791e-04,1.901982e-04,1.898200e-04,1.894448e-04,1.890729e-04,1.887047e-04
0.000000e+00,3.281212e-09,7.501850e-09,2.577661e-08,5.864905e-08,8.557394e-08,1.941651e-07,2.000067e-07,3.863239e-07,4.537828e-07,6.623906e-07,8.789387e-07,1.047117e-06,1.513697e-06,1.559858e-06,2.217493e-06,2.398145e-06,3.029339e-06,3.551269e-06,3.994213e-06,4.962965e-06,5.103294e-06,6.345158e-06,6.608465e-06,7.708602e-06,8.462148e-06,9.183166e-06,1.050032e-05,1.075880e-05,1.242546e-05,1.269989e-05,1.417287e-05,1.503722e-05,1.599047e-05,1.748784e-05,1.786747e-05,1.979298e-05,2.002678e-05,2.175617e-05,2.262918e-05,2.374649e-05,2.527099e-05,2.575376e-05,2.776839e-05,2.792961e-05,2.978143e-05,3.058434e-05,3.178470e-05,3.321682e-05,3.377079e-05,3.573300e-05,3.581091e-05,3.766553e-05,3.835299e-05,3.956335e-05,4.083183e-05,4.142218e-05,4.323843e-05,4.500917e-05,4.556580e-05,4.673205e-05,4.780873e-05,4.840527e-05,4.996356e-05,5.002746e-05,5.159770e-05,5.202797e-05,5.311542e-05,5.400074e-05,5.458038e-05,5.588157e-05,5.599261e-05,5.735235e-05,5.767092e-05,5.866005e-05,5.936986e-05,5.991633e-05,6.097991e-05,6.112193e-05,6.227772e-05,6.250298e-05,6.338464e-05,6.394126e-05,6.444371e-05,6.529715e-05,6.545602e-05,6.642267e-05,6.657318e-05,6.734484e-05,6.777201e-05,6.822367e-05,6.889634e-05,6.906036e-05,6.985610e-05,6.994890e-05,7.061208e-05,7.093241e-05,7.132947e-05,7.184961e-05,7.200946e-05,7.265320e-05,7.270317e-05,7.326184e-05,7.349573e-05,7.383652e-05,7.422988e-05,7.437834e-05,7.488839e-05,7.490815e-05,7.536774e-05,7.553299e-05,7.581743e-05,7.610680e-05,7.623848e-05,7.663188e-05,7.699861e-05,7.711048e-05,7.733961e-05,7.754477e-05,7.765580e-05,7.793684e-05,7.794809e-05,7.821733e-05,7.828871e-05,7.846439e-05,7.860232e-05,7.869008e-05,7.887953e-05,7.889521e-05,7.908054e-05,7.912216e-05,7.924684e-05,7.933192e-05,7.939483e-05,7.951048e-05,7.952522e-05,7.963871e-05,7.965943e-05,7.973594e-05,7.978030e-05,7.981758e-05,7.987455e-05,7.988423e-05,7.993651e-05,7.994358e-05,7.997500e-05,7.998875e-05,8.000027e-05,8.001133e-05,8.001286e-05,8.001329e-05,8.001255e-05,8.000209e-05,7.999360e-05,7.997974e-05,7.995560e-05,7.994673e-05,7.990351e-05,7.989963e-05,7.985054e-05,7.982671e-05,7.978823e-05,7.973783e-05,7.971701e-05,7.963729e-05,7.963393e-05,7.954943e-05,7.951589e-05,7.945383e-05,7.938458e-05,7.935084e-05,7.924082e-05,7.908537e-05,7.891898e-05,7.874236e-05,7.855618e-05,7.836108e-05,7.815768e-05,7.794656e-05,7.772826e-05,7.750333e-05,7.727225e-05,7.703551e-05,7.679356e-05,7.654684e-05,7.629575e-05,7.604068e-05,7.578201e-05,7.552008e-05,7.525523e-05,7.498778e-05,7.471802e-05,7.444624e-05,7.417271e-05,7.389769e-05,7.362141e-05
0.000000e+00,1.811544e-08,4.134019e-08,1.416615e-07,3.221717e-07,4.704746e-07,1.074856e-06,1.107685e-06,2.172792e-06,2.567001e-06,3.812966e-06,5.143518e-06,6.196532e-06,9.159644e-06,9.453253e-06,1.357860e-05,1.468458e-05,1.844231e-05,2.143132e-05,2.389463e-05,2.908792e-05,2.982122e-05,3.613987e-05,3.744477e-05,4.278576e-05,4.635174e-05,4.970140e-05,5.567861e-05,5.683161e-05,6.412181e-05,6.529947e-05,7.151796e-05,7.509016e-05,7.896724e-05,8.493086e-05,8.641912e-05,9.382629e-05,9.471005e-05,1.011455e-04,1.043280e-04,1.083382e-04,1.136991e-04,1.153707e-04,1.222143e-04,1.227529e-04,1.288454e-04,1.314340e-04,1.352451e-04,1.397013e-04,1.413988e-04,1.472960e-04,1.475265e-04,1.529297e-04,1.548924e-04,1.582958e-04,1.617911e-04,1.633930e-04,1.682225e-04,1.727868e-04,1.741921e-04,1.770905e-04,1.797106e-04,1.811390e-04,1.847916e-04,1.849389e-04,1.884974e-04,1.894516e-04,1.918224e-04,1.937086e-04,1.949220e-04,1.975817e-04,1.978046e-04,2.004788e-04,2.010906e-04,2.029532e-04,2.042549e-04,2.052365e-04,2.070942e-04,2.073369e-04,2.092630e-04,2.096280e-04,2.110228e-04,2.118749e-04,2.126243e-04,2.138530e-04,2.140754e-04,2.153833e-04,2.155798e-04,2.165555e-04,2.170719e-04,2.175988e-04,2.183452e-04,2.185200e-04,2.193256e-04,2.194148e-04,2.200218e-04,2.202949e-04,2.206144e-04,2.209992e-04,2.211094e-04,2.215120e-04,2.215404e-04,2.218275e-04,2.219305e-04,2.220610e-04,2.221809e-04,2.222171e-04,2.223004e-04,2.223023e-04,2.223153e-04,2.223048e-04,2.222659e-04,2.221976e-04,2.221562e-04,2.219898e-04,2.217705e-04,2.216896e-04,2.215014e-04,2.213047e-04,2.211860e-04,2.208424e-04,2.208273e-04,2.204281e-04,2.203095e-04,2.199913e-04,2.197123e-04,2.195196e-04,2.190568e-04,2.190153e-04,2.184809e-04,2.183484e-04,2.179187e-04,2.175925e-04,2.173307e-04,2.167936e-04,2.167190e-04,2.160856e-04,2.159564e-04,2.154321e-04,2.150850e-04,2.147605e-04,2.141833e-04,2.140722e-04,2.133688e-04,2.132550e-04,2.126518e-04,2.123032e-04,2.119226e-04,2.113313e-04,2.111824e-04,2.104325e-04,2.103419e-04,2.096741e-04,2.093380e-04,2.089082e-04,2.083218e-04,2.081359e-04,2.073582e-04,2.072958e-04,2.065759e-04,2.062620e-04,2.057900e-04,2.052224e-04,2.050013e-04,2.042104e-04,2.041788e-04,2.034183e-04,2.031329e-04,2.026254e-04,2.020862e-04,2.018325e-04,2.010401e-04,1.999960e-04,1.989550e-04,1.979182e-04,1.968866e-04,1.958612e-04,1.948427e-04,1.938319e-04,1.928295e-04,1.918360e-04,1.908522e-04,1.898784e-04,1.889150e-04,1.879626e-04,1.870214e-04,1.860917e-04,1.851739e-04,1.842681e-04,1.833745e-04,1.824932e-04,1.816246e-04,1.807685e-04,1.799252e-04,1.790946e-04,1.782769e-04
0.000000e+00,1.327426e-09,2.997783e-09,1.004331e-08,2.234143e-08,3.220546e-08,7.090356e-08,7.295011e-08,1.370266e-07,1.597903e-07,2.291581e-07,2.998891e-07,3.541055e-07,5.018999e-07,5.163423e-07,7.192879e-07,7.742495e-07,9.641142e-07,1.118766e-06,1.248320e-06,1.525384e-06,1.564697e-06,1.901738e-06,1.970440e-06,2.245992e-06,2.423665e-06,2.585191e-06,2.859482e-06,2.910282e-06,3.215718e-06,3.262549e-06,3.498744e-06,3.626326e-06,3.758475e-06,3.949634e-06,3.995166e-06,4.209723e-06,4.234040e-06,4.403401e-06,4.482372e-06,4.577635e-06,4.697969e-06,4.733922e-06,4.873768e-06,4.884290e-06,4.998639e-06,5.044710e-06,5.109933e-06,5.182402e-06,5.208969e-06,5.296969e-06,5.300276e-06,5.375061e-06,5.400948e-06,5.444269e-06,5.486735e-06,5.505523e-06,5.559658e-06,5.607423e-06,5.621473e-06,5.649485e-06,5.673687e-06,5.686434e-06,5.717583e-06,5.718795e-06,5.747032e-06,5.754256e-06,5.771553e-06,5.784634e-06,5.792720e-06,5.809507e-06,5.810853e-06,5.826233e-06,5.829543e-06,5.839109e-06,5.845311e-06,5.849704e-06,5.857296e-06,5.858213e-06,5.864812e-06,5.865916e-06,5.869655e-06,5.871528e-06,5.872884e-06,5.874440e-06,5.874623e-06,5.874985e-06,5.874922e-06,5.874073e-06,5.873210e-06,5.871979e-06,5.869509e-06,5.868786e-06,5.864573e-06,5.864002e-06,5.859409e-06,5.856852e-06,5.853358e-06,5.848203e-06,5.846480e-06,5.838830e-06,5.838186e-06,5.830457e-06,5.826917e-06,5.821410e-06,5.814503e-06,5.811732e-06,5.801463e-06,5.801041e-06,5.790642e-06,5.786618e-06,5.779304e-06,5.771316e-06,5.767483e-06,5.755209e-06,5.742512e-06,5.738365e-06,5.729421e-06,5.720847e-06,5.715960e-06,5.702714e-06,5.702155e-06,5.688029e-06,5.684019e-06,5.673604e-06,5.664814e-06,5.658900e-06,5.645144e-06,5.643938e-06,5.628735e-06,5.625053e-06,5.613310e-06,5.604581e-06,5.597680e-06,5.583767e-06,5.581859e-06,5.565865e-06,5.562646e-06,5.549710e-06,5.541251e-06,5.533409e-06,5.519613e-06,5.516975e-06,5.500420e-06,5.497760e-06,5.483755e-06,5.475721e-06,5.466993e-06,5.453519e-06,5.450143e-06,5.433216e-06,5.431180e-06,5.416222e-06,5.408725e-06,5.399169e-06,5.386176e-06,5.382067e-06,5.364924e-06,5.363551e-06,5.347748e-06,5.340870e-06,5.330547e-06,5.318150e-06,5.313327e-06,5.296095e-06,5.295406e-06,5.278859e-06,5.272655e-06,5.261625e-06,5.249909e-06,5.244398e-06,5.227184e-06,5.204490e-06,5.181841e-06,5.159246e-06,5.136717e-06,5.114262e-06,5.091891e-06,5.069613e-06,5.047434e-06,5.025363e-06,5.003406e-06,4.981569e-06,4.959859e-06,4.938281e-06,4.916840e-06,4.895540e-06,4.874387e-06,4.853383e-06,4.832534e-06,4.811841e-06,4.791309e-06,4.770940e-06,4.750736e-06,4.730701e-06,4.710836e-06
0.000000e+00,2.561368e-09,5.841205e-09,1.996940e-08,4.524633e-08,6.588308e-08,1.488613e-07,1.533196e-07,2.954870e-07,3.469673e-07,5.060153e-07,6.702053e-07,7.964438e-07,1.137891e-06,1.170880e-06,1.625588e-06,1.745953e-06,2.154145e-06,2.480012e-06,2.750181e-06,3.325486e-06,3.407356e-06,4.118880e-06,4.267062e-06,4.877298e-06,5.287551e-06,5.674549e-06,6.368069e-06,6.502178e-06,7.351619e-06,7.488988e-06,8.214482e-06,8.631066e-06,9.082812e-06,9.776467e-06,9.949288e-06,1.080737e-05,1.090950e-05,1.165138e-05,1.201701e-05,1.247651e-05,1.308853e-05,1.327882e-05,1.405522e-05,1.411614e-05,1.480335e-05,1.509429e-05,1.552152e-05,1.601941e-05,1.620863e-05,1.686409e-05,1.688964e-05,1.748771e-05,1.770444e-05,1.807965e-05,1.846429e-05,1.864034e-05,1.917044e-05,1.967076e-05,1.982472e-05,2.014222e-05,2.042929e-05,2.058585e-05,2.098656e-05,2.100274e-05,2.139398e-05,2.149909e-05,2.176071e-05,2.196945e-05,2.210405e-05,2.240022e-05,2.242511e-05,2.272498e-05,2.279391e-05,2.300472e-05,2.315297e-05,2.326537e-05,2.347972e-05,2.350790e-05,2.373329e-05,2.377639e-05,2.394243e-05,2.404506e-05,2.413622e-05,2.428773e-05,2.431547e-05,2.448099e-05,2.450625e-05,2.463353e-05,2.470235e-05,2.477381e-05,2.487767e-05,2.490251e-05,2.502029e-05,2.503372e-05,2.512775e-05,2.517192e-05,2.522549e-05,2.529359e-05,2.531404e-05,2.539393e-05,2.539996e-05,2.546566e-05,2.549217e-05,2.552969e-05,2.557128e-05,2.558647e-05,2.563641e-05,2.563827e-05,2.567991e-05,2.569407e-05,2.571734e-05,2.573952e-05,2.574907e-05,2.577541e-05,2.579670e-05,2.580249e-05,2.581322e-05,2.582143e-05,2.582527e-05,2.583286e-05,2.583310e-05,2.583698e-05,2.583738e-05,2.583713e-05,2.583554e-05,2.583380e-05,2.582783e-05,2.582719e-05,2.581750e-05,2.581474e-05,2.580493e-05,2.579670e-05,2.578965e-05,2.577411e-05,2.577185e-05,2.575167e-05,2.574737e-05,2.572928e-05,2.571682e-05,2.570482e-05,2.568278e-05,2.567843e-05,2.565024e-05,2.564557e-05,2.562036e-05,2.560546e-05,2.558892e-05,2.556272e-05,2.555603e-05,2.552179e-05,2.551760e-05,2.548630e-05,2.547031e-05,2.544965e-05,2.542108e-05,2.541194e-05,2.537324e-05,2.537011e-05,2.533364e-05,2.531756e-05,2.529321e-05,2.526363e-05,2.525202e-05,2.521014e-05,2.520845e-05,2.516764e-05,2.515219e-05,2.512456e-05,2.509498e-05,2.508098e-05,2.503694e-05,2.497820e-05,2.491887e-05,2.485904e-05,2.479882e-05,2.473829e-05,2.467754e-05,2.461664e-05,2.455567e-05,2.449468e-05,2.443375e-05,2.437292e-05,2.431224e-05,2.425178e-05,2.419157e-05,2.413165e-05,2.407206e-05,2.401284e-05,2.395402e-05,2.389562e-05,2.383768e-05,2.378022e-05,2.372327e-05,2.366683e-05,2.361094e-05
0.000000e+00,7.640404e-09,1.742973e-08,5.986071e-08,1.370821e-07,2.014551e-07,4.724886e-07,4.875949e-07,9.957606e-07,1.190723e-06,1.816564e-06,2.477864e-06,2.984188e-06,4.317059e-06,4.442683e-06,6.125005e-06,6.557240e-06,7.992175e-06,9.110494e-06,1.002363e-05,1.193627e-05,1.220564e-05,1.452547e-05,1.500475e-05,1.696885e-05,1.828284e-05,1.951928e-05,2.173077e-05,2.215809e-05,2.486494e-05,2.530293e-05,2.761847e-05,2.895038e-05,3.039702e-05,3.262357e-05,3.317935e-05,3.594521e-05,3.627510e-05,3.867586e-05,3.986177e-05,4.135443e-05,4.334613e-05,4.396614e-05,4.649843e-05,4.669725e-05,4.894095e-05,4.989093e-05,5.128555e-05,5.290950e-05,5.352608e-05,5.565829e-05,5.574128e-05,5.767958e-05,5.837983e-05,5.958882e-05,6.082312e-05,6.138614e-05,6.307270e-05,6.465054e-05,6.513292e-05,6.612237e-05,6.701019e-05,6.749144e-05,6.871244e-05,6.876139e-05,6.993613e-05,7.024856e-05,7.101978e-05,7.162799e-05,7.201653e-05,7.286045e-05,7.293063e-05,7.376628e-05,7.395563e-05,7.452765e-05,7.492308e-05,7.521879e-05,7.577202e-05,7.584362e-05,7.640595e-05,7.651124e-05,7.690942e-05,7.714911e-05,7.735749e-05,7.769351e-05,7.775351e-05,7.810062e-05,7.815182e-05,7.840182e-05,7.853093e-05,7.865995e-05,7.883724e-05,7.887768e-05,7.905754e-05,7.907669e-05,7.920192e-05,7.925479e-05,7.931307e-05,7.937663e-05,7.939311e-05,7.944402e-05,7.944689e-05,7.946768e-05,7.946991e-05,7.946585e-05,7.944968e-05,7.944018e-05,7.939224e-05,7.938988e-05,7.932348e-05,7.929390e-05,7.923528e-05,7.916486e-05,7.912893e-05,7.900564e-05,7.886655e-05,7.881888e-05,7.871273e-05,7.860702e-05,7.854519e-05,7.837231e-05,7.836487e-05,7.817266e-05,7.811683e-05,7.796940e-05,7.784247e-05,7.775587e-05,7.755099e-05,7.753281e-05,7.730093e-05,7.724403e-05,7.706086e-05,7.692308e-05,7.681322e-05,7.658951e-05,7.655861e-05,7.629755e-05,7.624461e-05,7.603056e-05,7.588955e-05,7.575813e-05,7.552542e-05,7.548072e-05,7.519874e-05,7.515322e-05,7.491260e-05,7.477389e-05,7.462269e-05,7.438828e-05,7.432936e-05,7.403295e-05,7.399719e-05,7.373378e-05,7.360134e-05,7.343214e-05,7.320143e-05,7.312833e-05,7.282260e-05,7.279807e-05,7.251522e-05,7.239185e-05,7.220640e-05,7.198330e-05,7.189639e-05,7.158538e-05,7.157292e-05,7.127358e-05,7.116117e-05,7.096117e-05,7.074848e-05,7.064834e-05,7.033524e-05,6.992181e-05,6.950853e-05,6.909571e-05,6.868364e-05,6.827258e-05,6.786278e-05,6.745446e-05,6.704782e-05,6.664307e-05,6.624037e-05,6.583989e-05,6.544177e-05,6.504615e-05,6.465316e-05,6.426290e-05,6.387548e-05,6.349100e-05,6.310953e-05,6.273115e-05,6.235594e-05,6.198394e-05,6.161522e-05,6.124983e-05,6.088780e-05
0.000000e+00,3.826140e-09,8.762614e-09,3.027190e-08,6.943625e-08,1.019360e-07,2.366412e-07,2.440471e-07,4.882819e-07,5.803057e-07,8.751105e-07,1.193395e-06,1.445468e-06,2.147363e-06,2.216179e-06,3.173361e-06,3.428370e-06,4.295908e-06,4.991005e-06,5.569102e-06,6.806875e-06,6.983901e-06,8.533711e-06,8.859330e-06,1.021224e-05,1.113364e-05,1.201241e-05,1.361256e-05,1.392596e-05,1.594336e-05,1.627508e-05,1.805394e-05,1.909678e-05,2.024623e-05,2.205079e-05,2.250816e-05,2.482745e-05,2.510904e-05,2.719185e-05,2.824339e-05,2.958944e-05,3.142677e-05,3.200881e-05,3.443926e-05,3.463387e-05,3.687085e-05,3.784175e-05,3.929453e-05,4.103007e-05,4.170215e-05,4.408651e-05,4.418131e-05,4.644134e-05,4.728076e-05,4.876115e-05,5.031622e-05,5.104130e-05,5.327785e-05,5.546755e-05,5.615792e-05,5.760783e-05,5.895069e-05,5.969658e-05,6.165164e-05,6.173202e-05,6.371294e-05,6.425771e-05,6.563850e-05,6.676700e-05,6.750811e-05,6.917849e-05,6.932149e-05,7.107862e-05,7.149197e-05,7.277965e-05,7.370782e-05,7.442487e-05,7.582686e-05,7.601473e-05,7.754981e-05,7.785031e-05,7.903078e-05,7.977975e-05,8.045840e-05,8.161698e-05,8.183351e-05,8.315697e-05,8.336400e-05,8.442973e-05,8.502293e-05,8.565275e-05,8.659603e-05,8.682703e-05,8.795359e-05,8.808562e-05,8.903346e-05,8.949408e-05,9.006769e-05,9.082381e-05,9.105731e-05,9.200341e-05,9.207724e-05,9.290701e-05,9.325680e-05,9.376919e-05,9.436489e-05,9.459099e-05,9.537344e-05,9.540394e-05,9.611759e-05,9.637630e-05,9.682445e-05,9.728433e-05,9.749503e-05,9.813033e-05,9.873133e-05,9.891657e-05,9.929901e-05,9.964527e-05,9.983431e-05,1.003186e-04,1.003382e-04,1.008115e-04,1.009387e-04,1.012553e-04,1.015077e-04,1.016703e-04,1.020275e-04,1.020575e-04,1.024177e-04,1.025002e-04,1.027517e-04,1.029276e-04,1.030604e-04,1.033117e-04,1.033445e-04,1.036049e-04,1.036542e-04,1.038423e-04,1.039570e-04,1.040575e-04,1.042216e-04,1.042512e-04,1.044241e-04,1.044498e-04,1.045768e-04,1.046432e-04,1.047102e-04,1.048034e-04,1.048248e-04,1.049214e-04,1.049318e-04,1.050004e-04,1.050298e-04,1.050626e-04,1.050990e-04,1.051086e-04,1.051388e-04,1.051406e-04,1.051540e-04,1.051560e-04,1.051546e-04,1.051464e-04,1.051413e-04,1.051144e-04,1.051130e-04,1.050745e-04,1.050571e-04,1.050222e-04,1.049798e-04,1.049579e-04,1.048820e-04,1.047650e-04,1.046297e-04,1.044772e-04,1.043082e-04,1.041238e-04,1.039247e-04,1.037120e-04,1.034862e-04,1.032483e-04,1.029989e-04,1.027387e-04,1.024685e-04,1.021889e-04,1.019005e-04,1.016039e-04,1.012997e-04,1.009884e-04,1.006706e-04,1.003468e-04,1.000174e-04,9.968292e-05,9.934379e-05,9.900043e-05,9.865324e-05
0.000000e+00,2.447902e-09,5.548418e-09,1.872236e-08,4.189436e-08,6.056728e-08,1.341793e-07,1.380814e-07,2.604322e-07,3.039310e-07,4.364631e-07,5.714952e-07,6.748931e-07,9.559949e-07,9.833781e-07,1.365520e-06,1.467925e-06,1.817273e-06,2.096643e-06,2.327434e-06,2.813852e-06,2.882381e-06,3.469746e-06,3.590171e-06,4.079239e-06,4.401988e-06,4.702170e-06,5.230208e-06,5.330903e-06,5.958526e-06,6.058412e-06,6.578725e-06,6.872084e-06,7.185795e-06,7.658582e-06,7.774687e-06,8.341064e-06,8.407339e-06,8.881348e-06,9.110056e-06,9.392733e-06,9.760767e-06,9.873165e-06,1.032131e-05,1.035574e-05,1.073647e-05,1.089326e-05,1.111854e-05,1.137333e-05,1.146789e-05,1.178528e-05,1.179732e-05,1.207180e-05,1.216765e-05,1.232880e-05,1.248747e-05,1.255781e-05,1.276049e-05,1.293852e-05,1.299056e-05,1.309358e-05,1.318154e-05,1.322736e-05,1.333732e-05,1.334154e-05,1.343770e-05,1.346161e-05,1.351739e-05,1.355789e-05,1.358203e-05,1.362940e-05,1.363300e-05,1.367155e-05,1.367909e-05,1.369885e-05,1.370962e-05,1.371597e-05,1.372341e-05,1.372391e-05,1.372359e-05,1.372261e-05,1.371583e-05,1.370912e-05,1.370141e-05,1.368464e-05,1.368100e-05,1.365525e-05,1.365067e-05,1.362472e-05,1.360853e-05,1.358994e-05,1.355937e-05,1.355138e-05,1.350945e-05,1.350422e-05,1.346456e-05,1.344396e-05,1.341705e-05,1.337938e-05,1.336723e-05,1.331540e-05,1.331118e-05,1.326182e-05,1.323995e-05,1.320672e-05,1.316622e-05,1.315031e-05,1.309279e-05,1.309047e-05,1.303434e-05,1.301310e-05,1.297512e-05,1.293447e-05,1.291526e-05,1.285490e-05,1.279417e-05,1.277467e-05,1.273316e-05,1.269402e-05,1.267198e-05,1.261316e-05,1.261071e-05,1.254944e-05,1.253229e-05,1.248823e-05,1.245157e-05,1.242716e-05,1.237115e-05,1.236629e-05,1.230567e-05,1.229116e-05,1.224534e-05,1.221171e-05,1.218536e-05,1.213290e-05,1.212577e-05,1.206659e-05,1.205481e-05,1.200787e-05,1.197753e-05,1.194964e-05,1.190111e-05,1.189191e-05,1.183472e-05,1.182562e-05,1.177808e-05,1.175110e-05,1.172202e-05,1.167759e-05,1.166654e-05,1.161167e-05,1.160513e-05,1.155742e-05,1.153374e-05,1.150379e-05,1.146346e-05,1.145081e-05,1.139846e-05,1.139430e-05,1.134677e-05,1.132628e-05,1.129574e-05,1.125941e-05,1.124537e-05,1.119567e-05,1.119369e-05,1.114663e-05,1.112914e-05,1.109826e-05,1.106576e-05,1.105057e-05,1.100354e-05,1.094249e-05,1.088260e-05,1.082386e-05,1.076628e-05,1.070984e-05,1.065453e-05,1.060034e-05,1.054727e-05,1.049529e-05,1.044440e-05,1.039457e-05,1.034581e-05,1.029809e-05,1.025139e-05,1.020571e-05,1.016102e-05,1.011731e-05,1.007457e-05,1.003277e-05,9.991905e-06,9.951953e-06,9.912898e-06,9.874724e-06,9.837415e-06
0.000000e+00,2.586696e-08,5.881110e-08,2.003731e-07,4.547209e-07,6.642915e-07,1.528000e-06,1.575393e-06,3.138309e-06,3.727981e-06,5.624243e-06,7.694264e-06,9.360362e-06,1.416686e-05,1.465210e-05,2.161123e-05,2.351040e-05,2.999739e-05,3.512871e-05,3.929612e-05,4.780867e-05,4.897595e-05,5.864751e-05,6.055759e-05,6.807078e-05,7.282439e-05,7.710845e-05,8.434460e-05,8.568343e-05,9.375235e-05,9.499462e-05,1.012912e-04,1.047178e-04,1.082882e-04,1.134934e-04,1.147403e-04,1.206512e-04,1.213245e-04,1.260306e-04,1.282329e-04,1.308933e-04,1.342550e-04,1.352584e-04,1.391478e-04,1.394391e-04,1.425860e-04,1.438409e-04,1.455996e-04,1.475217e-04,1.482158e-04,1.504627e-04,1.505452e-04,1.523676e-04,1.529749e-04,1.539576e-04,1.548724e-04,1.552589e-04,1.562962e-04,1.570927e-04,1.573003e-04,1.576702e-04,1.579346e-04,1.580495e-04,1.582450e-04,1.582498e-04,1.582887e-04,1.582729e-04,1.581825e-04,1.580554e-04,1.579463e-04,1.576266e-04,1.575945e-04,1.571403e-04,1.570174e-04,1.565954e-04,1.562545e-04,1.559699e-04,1.553599e-04,1.552727e-04,1.545124e-04,1.543535e-04,1.536968e-04,1.532531e-04,1.528327e-04,1.520739e-04,1.519263e-04,1.509832e-04,1.508292e-04,1.500086e-04,1.495310e-04,1.490072e-04,1.481894e-04,1.479830e-04,1.469398e-04,1.468135e-04,1.458810e-04,1.454110e-04,1.448097e-04,1.439888e-04,1.437286e-04,1.426403e-04,1.425530e-04,1.415469e-04,1.411087e-04,1.404506e-04,1.396604e-04,1.393531e-04,1.382560e-04,1.382121e-04,1.371608e-04,1.367672e-04,1.360688e-04,1.353287e-04,1.349813e-04,1.338992e-04,1.328235e-04,1.324807e-04,1.317550e-04,1.310753e-04,1.306945e-04,1.296846e-04,1.296427e-04,1.286001e-04,1.283099e-04,1.275672e-04,1.269524e-04,1.265446e-04,1.256131e-04,1.255326e-04,1.245315e-04,1.242929e-04,1.235417e-04,1.229924e-04,1.225633e-04,1.217121e-04,1.215967e-04,1.206420e-04,1.204525e-04,1.196993e-04,1.192139e-04,1.187688e-04,1.179966e-04,1.178505e-04,1.169445e-04,1.168007e-04,1.160509e-04,1.156264e-04,1.151697e-04,1.144737e-04,1.143009e-04,1.134445e-04,1.133426e-04,1.126005e-04,1.122330e-04,1.117687e-04,1.111448e-04,1.109492e-04,1.101420e-04,1.100779e-04,1.093469e-04,1.090322e-04,1.085638e-04,1.080074e-04,1.077927e-04,1.070334e-04,1.070033e-04,1.062859e-04,1.060197e-04,1.055501e-04,1.050564e-04,1.048258e-04,1.041130e-04,1.031893e-04,1.022850e-04,1.013998e-04,1.005333e-04,9.968538e-05,9.885557e-05,9.804360e-05,9.724912e-05,9.647182e-05,9.571137e-05,9.496744e-05,9.423971e-05,9.352785e-05,9.283153e-05,9.215044e-05,9.148427e-05,9.083268e-05,9.019538e-05,8.957205e-05,8.896240e-05,8.836611e-05,8.778290e-05,8.721248e-05,8.665456e-05
0.000000e+00,6.393948e-10,1.461419e-09,5.018379e-09,1.141170e-08,1.664536e-08,3.773669e-08,3.887070e-08,7.501948e-08,8.810008e-08,1.285339e-07,1.704922e-07,2.030762e-07,2.935063e-07,3.024580e-07,4.301289e-07,4.652508e-07,5.881268e-07,6.898799e-07,7.763011e-07,9.654083e-07,9.928052e-07,1.235231e-06,1.286620e-06,1.501282e-06,1.648273e-06,1.788892e-06,2.045729e-06,2.096128e-06,2.421088e-06,2.474597e-06,2.761830e-06,2.930407e-06,3.116353e-06,3.408508e-06,3.482593e-06,3.858455e-06,3.904105e-06,4.241837e-06,4.412372e-06,4.630669e-06,4.928591e-06,5.022948e-06,5.416762e-06,5.448279e-06,5.810323e-06,5.967301e-06,6.201978e-06,6.481942e-06,6.590229e-06,6.973733e-06,6.988957e-06,7.351309e-06,7.485583e-06,7.721935e-06,7.969541e-06,8.084741e-06,8.439000e-06,8.784123e-06,8.892553e-06,9.119641e-06,9.329164e-06,9.445199e-06,9.748127e-06,9.760542e-06,1.006550e-05,1.014902e-05,1.035999e-05,1.053165e-05,1.064399e-05,1.089603e-05,1.091753e-05,1.118070e-05,1.124233e-05,1.143362e-05,1.157085e-05,1.167647e-05,1.188197e-05,1.190941e-05,1.213267e-05,1.217618e-05,1.234647e-05,1.245399e-05,1.255106e-05,1.271597e-05,1.274668e-05,1.293360e-05,1.296271e-05,1.311207e-05,1.319481e-05,1.328236e-05,1.341288e-05,1.344473e-05,1.359946e-05,1.361752e-05,1.374678e-05,1.380933e-05,1.388698e-05,1.398891e-05,1.402029e-05,1.414696e-05,1.415681e-05,1.426724e-05,1.431362e-05,1.438137e-05,1.445985e-05,1.448957e-05,1.459206e-05,1.459605e-05,1.468907e-05,1.472269e-05,1.478081e-05,1.484028e-05,1.486747e-05,1.494926e-05,1.502637e-05,1.505009e-05,1.509898e-05,1.514318e-05,1.516727e-05,1.522893e-05,1.523142e-05,1.529158e-05,1.530774e-05,1.534792e-05,1.537996e-05,1.540060e-05,1.544595e-05,1.544975e-05,1.549553e-05,1.550604e-05,1.553808e-05,1.556054e-05,1.557752e-05,1.560976e-05,1.561398e-05,1.564759e-05,1.565398e-05,1.567846e-05,1.569347e-05,1.570672e-05,1.572850e-05,1.573246e-05,1.575579e-05,1.575931e-05,1.577682e-05,1.578613e-05,1.579564e-05,1.580918e-05,1.581235e-05,1.582704e-05,1.582867e-05,1.583979e-05,1.584481e-05,1.585068e-05,1.585778e-05,1.585981e-05,1.586723e-05,1.586776e-05,1.587304e-05,1.587492e-05,1.587729e-05,1.587943e-05,1.588006e-05,1.588142e-05,1.588144e-05,1.588142e-05,1.588110e-05,1.588012e-05,1.587853e-05,1.587759e-05,1.587389e-05,1.586728e-05,1.585883e-05,1.584866e-05,1.583686e-05,1.582354e-05,1.580879e-05,1.579271e-05,1.577538e-05,1.575688e-05,1.573730e-05,1.571670e-05,1.569516e-05,1.567274e-05,1.564950e-05,1.562551e-05,1.560082e-05,1.557548e-05,1.554955e-05,1.552308e-05,1.549610e-05,1.546867e-05,1.544082e-05,1.541260e-05,1.538403e-05
0.000000e+00,1.297027e-08,2.967613e-08,1.022091e-07,2.333732e-07,3.414180e-07,7.823789e-07,8.063264e-07,1.581338e-06,1.866919e-06,2.764221e-06,3.713146e-06,4.457526e-06,6.526444e-06,6.729906e-06,9.577337e-06,1.034072e-05,1.294716e-05,1.504119e-05,1.678358e-05,2.050966e-05,2.104159e-05,2.568320e-05,2.665438e-05,3.067243e-05,3.339216e-05,3.597284e-05,4.063815e-05,4.154678e-05,4.735574e-05,4.830440e-05,5.336118e-05,5.630245e-05,5.952537e-05,6.454670e-05,6.581224e-05,7.218802e-05,7.295759e-05,7.862171e-05,8.146353e-05,8.508523e-05,9.000197e-05,9.155359e-05,9.800478e-05,9.851954e-05,1.044197e-04,1.069717e-04,1.107817e-04,1.153218e-04,1.170769e-04,1.232934e-04,1.235403e-04,1.294211e-04,1.316037e-04,1.354518e-04,1.394937e-04,1.413786e-04,1.471959e-04,1.528993e-04,1.546997e-04,1.584852e-04,1.619972e-04,1.639508e-04,1.690827e-04,1.692941e-04,1.745135e-04,1.759526e-04,1.796082e-04,1.826048e-04,1.845774e-04,1.890383e-04,1.894211e-04,1.941394e-04,1.952531e-04,1.987326e-04,2.012504e-04,2.032014e-04,2.070317e-04,2.075467e-04,2.117694e-04,2.125993e-04,2.158707e-04,2.179558e-04,2.198519e-04,2.231044e-04,2.237145e-04,2.274600e-04,2.280485e-04,2.310899e-04,2.327918e-04,2.346060e-04,2.373381e-04,2.380100e-04,2.413037e-04,2.416916e-04,2.444889e-04,2.458566e-04,2.475676e-04,2.498372e-04,2.505415e-04,2.534128e-04,2.536381e-04,2.561832e-04,2.572636e-04,2.588549e-04,2.607184e-04,2.614297e-04,2.639096e-04,2.640069e-04,2.662967e-04,2.671337e-04,2.685929e-04,2.701034e-04,2.708002e-04,2.729205e-04,2.749559e-04,2.755896e-04,2.769083e-04,2.781151e-04,2.787795e-04,2.805014e-04,2.805716e-04,2.822864e-04,2.827530e-04,2.839259e-04,2.848741e-04,2.854918e-04,2.868690e-04,2.869860e-04,2.884103e-04,2.887420e-04,2.897666e-04,2.904970e-04,2.910565e-04,2.921382e-04,2.922819e-04,2.934444e-04,2.936695e-04,2.945457e-04,2.950948e-04,2.955876e-04,2.964179e-04,2.965715e-04,2.974993e-04,2.976426e-04,2.983723e-04,2.987724e-04,2.991922e-04,2.998109e-04,2.999605e-04,3.006787e-04,3.007616e-04,3.013482e-04,3.016278e-04,3.019706e-04,3.024129e-04,3.025471e-04,3.030793e-04,3.031200e-04,3.035684e-04,3.037522e-04,3.040157e-04,3.043127e-04,3.044226e-04,3.047904e-04,3.048043e-04,3.051202e-04,3.052299e-04,3.054134e-04,3.055924e-04,3.056710e-04,3.058943e-04,3.061384e-04,3.063271e-04,3.064631e-04,3.065485e-04,3.065859e-04,3.065773e-04,3.065250e-04,3.064311e-04,3.062976e-04,3.061265e-04,3.059197e-04,3.056790e-04,3.054061e-04,3.051029e-04,3.047709e-04,3.044118e-04,3.040270e-04,3.036181e-04,3.031865e-04,3.027335e-04,3.022605e-04,3.017688e-04,3.012595e-04,3.007339e-04
0.000000e+00,4.846143e-10,1.105945e-09,3.785445e-09,8.582256e-09,1.249746e-08,2.821020e-08,2.905278e-08,5.582809e-08,6.548475e-08,9.525084e-08,1.260170e-07,1.498201e-07,2.153696e-07,2.218097e-07,3.125179e-07,3.370843e-07,4.218200e-07,4.907959e-07,5.487357e-07,6.741057e-07,6.921523e-07,8.510442e-07,8.845928e-07,1.024419e-06,1.119953e-06,1.211228e-06,1.377687e-06,1.410315e-06,1.620400e-06,1.654942e-06,1.840086e-06,1.948510e-06,2.067881e-06,2.254917e-06,2.302237e-06,2.541577e-06,2.570558e-06,2.784337e-06,2.891842e-06,3.028999e-06,3.215321e-06,3.274116e-06,3.518339e-06,3.537800e-06,3.760433e-06,3.856421e-06,3.999288e-06,4.168704e-06,4.233927e-06,4.463509e-06,4.472577e-06,4.687324e-06,4.766368e-06,4.904786e-06,5.048791e-06,5.115432e-06,5.318908e-06,5.514958e-06,5.576096e-06,5.703415e-06,5.819999e-06,5.884192e-06,6.050492e-06,6.057267e-06,6.222678e-06,6.267630e-06,6.380510e-06,6.471622e-06,6.530889e-06,6.662789e-06,6.673971e-06,6.809942e-06,6.841538e-06,6.939003e-06,7.008340e-06,7.061373e-06,7.163706e-06,7.177281e-06,7.286961e-06,7.308171e-06,7.390651e-06,7.442283e-06,7.488591e-06,7.566590e-06,7.581018e-06,7.668167e-06,7.681636e-06,7.750268e-06,7.787950e-06,7.827547e-06,7.886044e-06,7.900221e-06,7.968502e-06,7.976411e-06,8.032596e-06,8.059521e-06,8.092698e-06,8.135823e-06,8.148999e-06,8.201679e-06,8.205742e-06,8.250912e-06,8.269678e-06,8.296865e-06,8.328009e-06,8.339696e-06,8.379557e-06,8.381092e-06,8.416593e-06,8.429261e-06,8.450941e-06,8.472829e-06,8.482732e-06,8.512091e-06,8.539137e-06,8.547322e-06,8.563983e-06,8.578779e-06,8.586736e-06,8.606705e-06,8.607498e-06,8.626367e-06,8.631324e-06,8.643435e-06,8.652847e-06,8.658789e-06,8.671473e-06,8.672513e-06,8.684687e-06,8.687386e-06,8.695386e-06,8.700759e-06,8.704681e-06,8.711754e-06,8.712641e-06,8.719330e-06,8.720521e-06,8.724811e-06,8.727203e-06,8.729142e-06,8.731932e-06,8.732379e-06,8.734575e-06,8.734833e-06,8.735781e-06,8.736022e-06,8.736044e-06,8.735608e-06,8.735412e-06,8.733927e-06,8.733693e-06,8.731631e-06,8.730374e-06,8.728564e-06,8.725741e-06,8.724764e-06,8.720267e-06,8.719878e-06,8.715106e-06,8.712864e-06,8.709316e-06,8.704775e-06,8.702927e-06,8.695970e-06,8.695680e-06,8.688472e-06,8.685646e-06,8.680461e-06,8.674734e-06,8.671964e-06,8.663004e-06,8.650510e-06,8.637303e-06,8.623434e-06,8.608947e-06,8.593887e-06,8.578294e-06,8.562207e-06,8.545662e-06,8.528694e-06,8.511336e-06,8.493617e-06,8.475568e-06,8.457216e-06,8.438586e-06,8.419704e-06,8.400593e-06,8.381273e-06,8.361768e-06,8.342096e-06,8.322275e-06,8.302325e-06,8.282260e-06,8.262098e-06,8.241853e-06
0.000000e+00,6.300010e-09,1.437544e-08,4.920409e-08,1.116060e-07,1.626041e-07,3.679460e-07,3.789889e-07,7.315997e-07,8.595507e-07,1.256240e-06,1.669013e-06,1.989383e-06,2.870722e-06,2.956990e-06,4.163130e-06,4.487048e-06,5.597661e-06,6.496533e-06,7.249580e-06,8.876575e-06,9.110737e-06,1.117444e-05,1.161089e-05,1.343372e-05,1.468314e-05,1.588023e-05,1.807255e-05,1.850372e-05,2.129182e-05,2.175226e-05,2.423016e-05,2.568922e-05,2.730251e-05,2.984496e-05,3.049107e-05,3.377683e-05,3.417671e-05,3.713989e-05,3.863890e-05,4.055993e-05,4.318472e-05,4.401657e-05,4.748972e-05,4.776769e-05,5.095990e-05,5.234294e-05,5.440853e-05,5.686837e-05,5.781818e-05,6.117274e-05,6.130557e-05,6.445757e-05,6.562046e-05,6.765956e-05,6.978367e-05,7.076722e-05,7.377066e-05,7.666158e-05,7.756175e-05,7.943317e-05,8.114186e-05,8.208012e-05,8.450021e-05,8.459843e-05,8.698539e-05,8.762995e-05,8.923940e-05,9.052772e-05,9.135991e-05,9.319318e-05,9.334729e-05,9.520268e-05,9.562853e-05,9.692795e-05,9.783815e-05,9.852554e-05,9.982813e-05,9.999840e-05,1.013499e-04,1.016059e-04,1.025837e-04,1.031801e-04,1.037038e-04,1.045598e-04,1.047143e-04,1.056196e-04,1.057550e-04,1.064240e-04,1.067755e-04,1.071319e-04,1.076318e-04,1.077478e-04,1.082762e-04,1.083339e-04,1.087213e-04,1.088919e-04,1.090875e-04,1.093157e-04,1.093791e-04,1.096001e-04,1.096148e-04,1.097545e-04,1.097986e-04,1.098463e-04,1.098757e-04,1.098792e-04,1.098567e-04,1.098547e-04,1.097825e-04,1.097437e-04,1.096597e-04,1.095502e-04,1.094917e-04,1.092814e-04,1.090318e-04,1.089441e-04,1.087457e-04,1.085447e-04,1.084258e-04,1.080891e-04,1.080745e-04,1.076943e-04,1.075830e-04,1.072875e-04,1.070315e-04,1.068561e-04,1.064394e-04,1.064023e-04,1.059281e-04,1.058114e-04,1.054351e-04,1.051516e-04,1.049252e-04,1.044639e-04,1.044001e-04,1.038611e-04,1.037518e-04,1.033099e-04,1.030189e-04,1.027477e-04,1.022680e-04,1.021759e-04,1.015957e-04,1.015022e-04,1.010082e-04,1.007239e-04,1.004144e-04,9.993559e-05,9.981542e-05,9.921215e-05,9.913952e-05,9.860548e-05,9.833767e-05,9.799621e-05,9.753192e-05,9.738513e-05,9.677295e-05,9.672394e-05,9.616033e-05,9.591530e-05,9.554790e-05,9.510739e-05,9.493623e-05,9.432587e-05,9.430149e-05,9.371731e-05,9.349876e-05,9.311101e-05,9.270024e-05,9.250741e-05,9.190689e-05,9.111953e-05,9.033894e-05,8.956579e-05,8.880066e-05,8.804411e-05,8.729658e-05,8.655848e-05,8.583016e-05,8.511193e-05,8.440403e-05,8.370668e-05,8.302004e-05,8.234425e-05,8.167941e-05,8.102560e-05,8.038285e-05,7.975120e-05,7.913064e-05,7.852114e-05,7.792268e-05,7.733517e-05,7.675857e-05,7.619277e-05,7.563769e-05
0.000000e+00,5.209168e-09,1.187550e-08,4.056139e-08,9.179103e-08,1.335388e-07,3.007596e-07,3.097165e-07,5.940110e-07,6.964187e-07,1.011790e-06,1.337481e-06,1.589484e-06,2.285625e-06,2.354341e-06,3.332962e-06,3.602326e-06,4.548325e-06,5.338323e-06,6.015132e-06,7.514896e-06,7.734071e-06,9.687094e-06,1.010281e-05,1.183716e-05,1.301675e-05,1.413439e-05,1.613891e-05,1.652580e-05,1.896352e-05,1.935512e-05,2.140855e-05,2.257565e-05,2.383092e-05,2.573723e-05,2.620821e-05,2.852380e-05,2.879690e-05,3.076539e-05,3.172582e-05,3.292397e-05,3.450491e-05,3.499307e-05,3.696822e-05,3.712208e-05,3.884663e-05,3.957052e-05,4.062680e-05,4.184746e-05,4.230838e-05,4.389194e-05,4.395326e-05,4.537878e-05,4.589072e-05,4.677082e-05,4.766447e-05,4.807046e-05,4.928045e-05,5.040384e-05,5.074556e-05,5.144386e-05,5.206726e-05,5.240386e-05,5.325339e-05,5.328730e-05,5.409764e-05,5.431191e-05,5.483835e-05,5.525078e-05,5.551285e-05,5.607780e-05,5.612450e-05,5.667661e-05,5.680061e-05,5.717237e-05,5.742655e-05,5.761489e-05,5.796264e-05,5.800715e-05,5.835204e-05,5.841558e-05,5.865234e-05,5.879175e-05,5.891069e-05,5.909715e-05,5.912963e-05,5.931159e-05,5.933743e-05,5.945889e-05,5.951793e-05,5.957372e-05,5.964362e-05,5.965818e-05,5.971428e-05,5.971919e-05,5.974389e-05,5.974900e-05,5.974883e-05,5.973712e-05,5.973079e-05,5.969138e-05,5.968736e-05,5.963215e-05,5.960323e-05,5.955453e-05,5.948803e-05,5.945990e-05,5.934954e-05,5.934482e-05,5.922469e-05,5.917642e-05,5.908649e-05,5.898545e-05,5.893604e-05,5.877435e-05,5.860241e-05,5.854537e-05,5.842111e-05,5.830058e-05,5.823133e-05,5.804190e-05,5.803387e-05,5.782948e-05,5.777111e-05,5.761888e-05,5.748983e-05,5.740275e-05,5.719956e-05,5.718171e-05,5.695636e-05,5.690169e-05,5.672724e-05,5.659748e-05,5.649487e-05,5.628810e-05,5.625975e-05,5.602233e-05,5.597460e-05,5.578302e-05,5.565797e-05,5.554224e-05,5.533910e-05,5.530034e-05,5.505768e-05,5.501880e-05,5.481457e-05,5.469781e-05,5.457132e-05,5.437680e-05,5.432820e-05,5.408548e-05,5.405639e-05,5.384338e-05,5.373712e-05,5.360214e-05,5.341949e-05,5.336195e-05,5.312301e-05,5.310396e-05,5.288549e-05,5.279092e-05,5.264955e-05,5.248073e-05,5.241534e-05,5.218298e-05,5.217373e-05,5.195262e-05,5.187019e-05,5.172434e-05,5.157037e-05,5.149827e-05,5.127449e-05,5.098274e-05,5.069529e-05,5.041229e-05,5.013385e-05,4.986008e-05,4.959107e-05,4.932688e-05,4.906755e-05,4.881314e-05,4.856365e-05,4.831911e-05,4.807952e-05,4.784487e-05,4.761515e-05,4.739032e-05,4.717036e-05,4.695524e-05,4.674490e-05,4.653930e-05,4.633839e-05,4.614210e-05,4.595039e-05,4.576319e-05,4.558043e-05
0.000000e+00,9.209984e-10,2.098342e-09,7.155424e-09,1.615954e-08,2.347525e-08,5.260682e-08,5.416000e-08,1.031163e-07,1.206003e-07,1.739972e-07,2.285102e-07,2.703041e-07,3.842908e-07,3.954408e-07,5.526507e-07,5.954794e-07,7.447073e-07,8.681606e-07,9.732424e-07,1.204337e-06,1.237948e-06,1.536374e-06,1.599780e-06,1.864679e-06,2.045800e-06,2.218645e-06,2.532874e-06,2.594277e-06,2.987937e-06,3.052369e-06,3.396277e-06,3.596562e-06,3.816140e-06,4.158285e-06,4.244492e-06,4.678395e-06,4.730701e-06,5.115007e-06,5.307265e-06,5.551595e-06,5.881787e-06,5.985570e-06,6.414507e-06,6.448536e-06,6.836176e-06,7.002350e-06,7.248562e-06,7.538721e-06,7.649881e-06,8.038587e-06,8.053854e-06,8.413374e-06,8.544677e-06,8.773173e-06,9.008836e-06,9.117140e-06,9.444649e-06,9.755271e-06,9.851059e-06,1.004876e-05,1.022755e-05,1.032503e-05,1.057410e-05,1.058414e-05,1.082627e-05,1.089107e-05,1.105172e-05,1.117914e-05,1.126087e-05,1.143927e-05,1.145416e-05,1.163212e-05,1.167260e-05,1.179529e-05,1.188042e-05,1.194426e-05,1.206411e-05,1.207966e-05,1.220211e-05,1.222510e-05,1.231224e-05,1.236484e-05,1.241068e-05,1.248480e-05,1.249807e-05,1.257502e-05,1.258640e-05,1.264213e-05,1.267102e-05,1.269999e-05,1.274000e-05,1.274917e-05,1.279022e-05,1.279463e-05,1.282367e-05,1.283610e-05,1.285001e-05,1.286558e-05,1.286974e-05,1.288330e-05,1.288413e-05,1.289113e-05,1.289276e-05,1.289365e-05,1.289240e-05,1.289125e-05,1.288429e-05,1.288392e-05,1.287312e-05,1.286814e-05,1.285807e-05,1.284578e-05,1.283946e-05,1.281756e-05,1.279265e-05,1.278408e-05,1.276498e-05,1.274594e-05,1.273480e-05,1.270367e-05,1.270233e-05,1.266777e-05,1.265775e-05,1.263134e-05,1.260864e-05,1.259319e-05,1.255675e-05,1.255352e-05,1.251248e-05,1.250244e-05,1.247021e-05,1.244606e-05,1.242686e-05,1.238791e-05,1.238255e-05,1.233741e-05,1.232829e-05,1.229154e-05,1.226744e-05,1.224506e-05,1.220561e-05,1.219806e-05,1.215062e-05,1.214300e-05,1.210284e-05,1.207980e-05,1.205478e-05,1.201619e-05,1.200653e-05,1.195814e-05,1.195233e-05,1.190969e-05,1.188836e-05,1.186122e-05,1.182440e-05,1.181278e-05,1.176443e-05,1.176057e-05,1.171622e-05,1.169698e-05,1.166817e-05,1.163371e-05,1.162034e-05,1.157274e-05,1.157085e-05,1.152543e-05,1.150847e-05,1.147842e-05,1.144664e-05,1.143174e-05,1.138541e-05,1.132485e-05,1.126498e-05,1.120586e-05,1.114751e-05,1.108997e-05,1.103325e-05,1.097739e-05,1.092239e-05,1.086828e-05,1.081506e-05,1.076274e-05,1.071134e-05,1.066084e-05,1.061126e-05,1.056259e-05,1.051484e-05,1.046799e-05,1.042206e-05,1.037702e-05,1.033288e-05,1.028962e-05,1.024725e-05,1.020574e-05,1.016509e-05
0.000000e+00,3.221250e-09,7.372370e-09,2.541907e-08,5.813992e-08,8.516856e-08,1.960853e-07,2.021339e-07,3.990390e-07,4.720973e-07,7.032206e-07,9.503110e-07,1.146329e-06,1.703285e-06,1.759096e-06,2.558339e-06,2.777433e-06,3.534865e-06,4.148636e-06,4.659743e-06,5.747334e-06,5.901650e-06,7.235671e-06,7.511804e-06,8.643152e-06,9.399075e-06,1.010933e-05,1.137702e-05,1.162160e-05,1.316856e-05,1.341858e-05,1.473972e-05,1.549959e-05,1.632537e-05,1.759836e-05,1.791668e-05,1.950568e-05,1.969586e-05,2.108534e-05,2.177583e-05,2.264955e-05,2.382478e-05,2.419310e-05,2.571161e-05,2.583190e-05,2.720149e-05,2.778875e-05,2.865982e-05,2.968897e-05,3.008430e-05,3.147316e-05,3.152795e-05,3.282507e-05,3.330252e-05,3.413909e-05,3.501066e-05,3.541461e-05,3.665128e-05,3.784898e-05,3.822402e-05,3.900777e-05,3.972906e-05,4.012785e-05,4.116704e-05,4.120958e-05,4.225339e-05,4.253893e-05,4.325979e-05,4.384593e-05,4.422938e-05,4.508944e-05,4.516280e-05,4.606072e-05,4.627101e-05,4.692385e-05,4.739229e-05,4.775294e-05,4.845498e-05,4.854874e-05,4.931203e-05,4.946085e-05,5.004358e-05,5.041170e-05,5.074418e-05,5.130934e-05,5.141461e-05,5.205567e-05,5.215556e-05,5.266813e-05,5.295218e-05,5.325277e-05,5.370097e-05,5.381037e-05,5.434169e-05,5.440372e-05,5.484748e-05,5.506214e-05,5.532850e-05,5.567795e-05,5.578547e-05,5.621911e-05,5.625282e-05,5.663015e-05,5.678839e-05,5.701927e-05,5.728625e-05,5.738716e-05,5.773450e-05,5.774797e-05,5.806194e-05,5.817506e-05,5.837011e-05,5.856900e-05,5.865967e-05,5.893121e-05,5.918535e-05,5.926309e-05,5.942266e-05,5.956598e-05,5.964373e-05,5.984119e-05,5.984911e-05,6.003934e-05,6.008997e-05,6.021497e-05,6.031355e-05,6.037651e-05,6.051311e-05,6.052446e-05,6.065931e-05,6.068978e-05,6.078155e-05,6.084467e-05,6.089164e-05,6.097882e-05,6.099002e-05,6.107715e-05,6.109326e-05,6.115344e-05,6.118897e-05,6.121932e-05,6.126690e-05,6.127518e-05,6.132142e-05,6.132795e-05,6.135842e-05,6.137300e-05,6.138654e-05,6.140289e-05,6.140615e-05,6.141759e-05,6.141843e-05,6.142120e-05,6.142040e-05,6.141731e-05,6.140953e-05,6.140623e-05,6.138826e-05,6.138654e-05,6.136372e-05,6.135212e-05,6.133287e-05,6.130692e-05,6.129601e-05,6.125339e-05,6.125157e-05,6.120529e-05,6.118668e-05,6.115196e-05,6.111283e-05,6.109363e-05,6.103055e-05,6.094040e-05,6.084286e-05,6.073843e-05,6.062756e-05,6.051070e-05,6.038827e-05,6.026067e-05,6.012829e-05,5.999148e-05,5.985061e-05,5.970601e-05,5.955798e-05,5.940684e-05,5.925287e-05,5.909635e-05,5.893753e-05,5.877666e-05,5.861398e-05,5.844972e-05,5.828407e-05,5.811725e-05,5.794945e-05,5.778084e-05,5.761159e-05
0.000000e+00,1.512044e-09,3.449990e-09,1.180368e-08,2.674968e-08,3.894288e-08,8.783576e-08,9.045585e-08,1.736310e-07,2.035893e-07,2.958200e-07,3.910249e-07,4.646695e-07,6.681040e-07,6.881901e-07,9.744847e-07,1.053383e-06,1.330825e-06,1.562859e-06,1.761786e-06,2.202554e-06,2.266926e-06,2.839873e-06,2.961712e-06,3.470143e-06,3.816696e-06,4.146256e-06,4.741955e-06,4.857803e-06,5.596010e-06,5.716089e-06,6.353521e-06,6.722097e-06,7.124012e-06,7.745962e-06,7.901873e-06,8.682023e-06,8.775570e-06,9.459816e-06,9.800189e-06,1.023100e-05,1.081029e-05,1.099171e-05,1.173848e-05,1.179753e-05,1.246827e-05,1.275482e-05,1.317841e-05,1.367628e-05,1.386668e-05,1.453123e-05,1.455730e-05,1.517061e-05,1.539440e-05,1.578370e-05,1.618517e-05,1.636971e-05,1.692817e-05,1.745883e-05,1.762276e-05,1.796170e-05,1.826903e-05,1.843697e-05,1.886761e-05,1.888502e-05,1.930634e-05,1.941960e-05,1.970155e-05,1.992644e-05,2.007137e-05,2.038985e-05,2.041658e-05,2.073801e-05,2.081172e-05,2.103655e-05,2.119406e-05,2.131308e-05,2.153896e-05,2.156854e-05,2.180382e-05,2.184854e-05,2.201985e-05,2.212488e-05,2.221753e-05,2.237006e-05,2.239775e-05,2.256138e-05,2.258608e-05,2.270927e-05,2.277490e-05,2.284223e-05,2.293840e-05,2.296108e-05,2.306658e-05,2.307838e-05,2.315947e-05,2.319653e-05,2.324046e-05,2.329447e-05,2.331022e-05,2.336943e-05,2.337372e-05,2.341868e-05,2.343574e-05,2.345860e-05,2.348186e-05,2.348973e-05,2.351262e-05,2.351337e-05,2.352778e-05,2.353144e-05,2.353571e-05,2.353720e-05,2.353686e-05,2.353168e-05,2.352059e-05,2.351586e-05,2.350398e-05,2.349063e-05,2.348224e-05,2.345685e-05,2.345570e-05,2.342472e-05,2.341530e-05,2.338962e-05,2.336669e-05,2.335068e-05,2.331173e-05,2.330820e-05,2.326246e-05,2.325102e-05,2.321370e-05,2.318516e-05,2.316216e-05,2.311469e-05,2.310808e-05,2.305166e-05,2.304012e-05,2.299312e-05,2.296190e-05,2.293263e-05,2.288046e-05,2.287039e-05,2.280656e-05,2.279621e-05,2.274131e-05,2.270952e-05,2.267477e-05,2.262072e-05,2.260710e-05,2.253842e-05,2.253012e-05,2.246887e-05,2.243802e-05,2.239856e-05,2.234469e-05,2.232760e-05,2.225610e-05,2.225036e-05,2.218415e-05,2.215526e-05,2.211184e-05,2.205961e-05,2.203927e-05,2.196650e-05,2.196359e-05,2.189362e-05,2.186737e-05,2.182070e-05,2.177112e-05,2.174780e-05,2.167498e-05,2.157908e-05,2.148355e-05,2.138849e-05,2.129401e-05,2.120019e-05,2.110712e-05,2.101488e-05,2.092352e-05,2.083310e-05,2.074369e-05,2.065533e-05,2.056805e-05,2.048189e-05,2.039689e-05,2.031308e-05,2.023047e-05,2.014908e-05,2.006893e-05,1.999004e-05,1.991241e-05,1.983606e-05,1.976097e-05,1.968717e-05,1.961464e-05
0.000000e+00,6.050592e-09,1.373694e-08,4.652162e-08,1.044776e-07,1.513706e-07,3.374431e-07,3.473527e-07,6.599891e-07,7.719383e-07,1.115239e-06,1.468074e-06,1.740147e-06,2.487691e-06,2.561127e-06,3.597763e-06,3.879383e-06,4.851929e-06,5.641356e-06,6.299668e-06,7.698764e-06,7.896604e-06,9.593133e-06,9.940395e-06,1.134572e-05,1.226745e-05,1.311992e-05,1.460728e-05,1.488909e-05,1.663223e-05,1.690754e-05,1.833249e-05,1.912926e-05,1.997618e-05,2.124290e-05,2.155225e-05,2.305203e-05,2.322654e-05,2.446898e-05,2.506497e-05,2.579860e-05,2.674901e-05,2.703824e-05,2.818684e-05,2.827479e-05,2.924471e-05,2.964276e-05,3.021339e-05,3.085697e-05,3.109536e-05,3.189385e-05,3.192410e-05,3.261264e-05,3.285269e-05,3.325591e-05,3.365243e-05,3.382806e-05,3.433364e-05,3.477719e-05,3.490676e-05,3.516320e-05,3.538207e-05,3.549603e-05,3.576940e-05,3.577987e-05,3.601871e-05,3.607804e-05,3.621632e-05,3.631659e-05,3.637626e-05,3.649296e-05,3.650182e-05,3.659608e-05,3.661436e-05,3.666189e-05,3.668730e-05,3.670188e-05,3.671764e-05,3.671847e-05,3.671389e-05,3.671062e-05,3.669018e-05,3.667092e-05,3.664921e-05,3.660270e-05,3.659268e-05,3.652216e-05,3.650968e-05,3.643908e-05,3.639512e-05,3.634473e-05,3.626194e-05,3.624030e-05,3.612688e-05,3.611271e-05,3.600545e-05,3.594972e-05,3.587691e-05,3.577498e-05,3.574209e-05,3.560172e-05,3.559028e-05,3.545650e-05,3.539719e-05,3.530703e-05,3.519711e-05,3.515389e-05,3.499760e-05,3.499129e-05,3.483861e-05,3.478080e-05,3.467737e-05,3.456664e-05,3.451426e-05,3.434965e-05,3.418384e-05,3.413059e-05,3.401715e-05,3.391013e-05,3.384984e-05,3.368887e-05,3.368216e-05,3.351433e-05,3.346734e-05,3.334656e-05,3.324600e-05,3.317903e-05,3.302526e-05,3.301191e-05,3.284536e-05,3.280549e-05,3.267952e-05,3.258700e-05,3.251450e-05,3.237008e-05,3.235044e-05,3.218743e-05,3.215497e-05,3.202557e-05,3.194188e-05,3.186494e-05,3.173101e-05,3.170561e-05,3.154766e-05,3.152252e-05,3.139115e-05,3.131656e-05,3.123614e-05,3.111323e-05,3.108266e-05,3.093077e-05,3.091265e-05,3.078050e-05,3.071491e-05,3.063189e-05,3.052007e-05,3.048497e-05,3.033975e-05,3.032821e-05,3.019627e-05,3.013936e-05,3.005453e-05,2.995357e-05,2.991456e-05,2.977636e-05,2.977087e-05,2.963994e-05,2.959127e-05,2.950532e-05,2.941480e-05,2.937249e-05,2.924145e-05,2.907123e-05,2.890414e-05,2.874015e-05,2.857927e-05,2.842146e-05,2.826671e-05,2.811500e-05,2.796629e-05,2.782055e-05,2.767776e-05,2.753787e-05,2.740086e-05,2.726668e-05,2.713529e-05,2.700666e-05,2.688074e-05,2.675749e-05,2.663688e-05,2.651886e-05,2.640338e-05,2.629040e-05,2.617988e-05,2.607178e-05,2.596605e-05
0.000000e+00,2.099675e-08,4.776080e-08,1.623631e-07,3.658049e-07,5.308530e-07,1.187717e-06,1.222753e-06,2.329312e-06,2.725801e-06,3.941518e-06,5.190078e-06,6.151944e-06,8.790495e-06,9.049385e-06,1.269982e-05,1.369071e-05,1.711292e-05,1.989386e-05,2.221701e-05,2.717214e-05,2.787514e-05,3.393121e-05,3.517736e-05,4.024459e-05,4.359002e-05,4.670003e-05,5.216394e-05,5.320470e-05,5.968289e-05,6.071259e-05,6.607187e-05,6.909124e-05,7.231955e-05,7.718686e-05,7.838305e-05,8.422783e-05,8.491316e-05,8.982707e-05,9.220761e-05,9.516097e-05,9.902878e-05,1.002161e-04,1.049845e-04,1.053535e-04,1.094632e-04,1.111736e-04,1.136531e-04,1.164934e-04,1.175586e-04,1.211863e-04,1.213258e-04,1.245449e-04,1.256901e-04,1.276449e-04,1.296108e-04,1.304975e-04,1.331147e-04,1.355090e-04,1.362301e-04,1.376928e-04,1.389856e-04,1.396783e-04,1.414092e-04,1.414777e-04,1.431028e-04,1.435282e-04,1.445650e-04,1.453685e-04,1.458749e-04,1.469546e-04,1.470430e-04,1.480791e-04,1.483092e-04,1.489924e-04,1.494535e-04,1.497916e-04,1.504071e-04,1.504849e-04,1.510801e-04,1.511879e-04,1.515842e-04,1.518126e-04,1.520040e-04,1.522961e-04,1.523458e-04,1.526156e-04,1.526524e-04,1.528187e-04,1.528940e-04,1.529602e-04,1.530323e-04,1.530450e-04,1.530774e-04,1.530779e-04,1.530615e-04,1.530403e-04,1.530013e-04,1.529280e-04,1.529001e-04,1.527615e-04,1.527489e-04,1.525884e-04,1.525102e-04,1.523838e-04,1.522184e-04,1.521502e-04,1.518903e-04,1.518794e-04,1.516062e-04,1.514985e-04,1.513002e-04,1.510805e-04,1.509742e-04,1.506300e-04,1.502695e-04,1.501510e-04,1.498943e-04,1.496470e-04,1.495057e-04,1.491214e-04,1.491052e-04,1.486941e-04,1.485773e-04,1.482736e-04,1.480173e-04,1.478449e-04,1.474440e-04,1.474088e-04,1.469665e-04,1.468595e-04,1.465187e-04,1.462660e-04,1.460664e-04,1.456652e-04,1.456103e-04,1.451512e-04,1.450590e-04,1.446896e-04,1.444488e-04,1.442262e-04,1.438360e-04,1.437616e-04,1.432963e-04,1.432218e-04,1.428308e-04,1.426074e-04,1.423655e-04,1.419938e-04,1.419009e-04,1.414375e-04,1.413819e-04,1.409754e-04,1.407726e-04,1.405151e-04,1.401667e-04,1.400569e-04,1.396010e-04,1.395647e-04,1.391478e-04,1.389673e-04,1.386974e-04,1.383750e-04,1.382501e-04,1.378061e-04,1.377884e-04,1.373655e-04,1.372078e-04,1.369286e-04,1.366336e-04,1.364955e-04,1.360663e-04,1.355059e-04,1.349529e-04,1.344075e-04,1.338697e-04,1.333399e-04,1.328181e-04,1.323045e-04,1.317990e-04,1.313019e-04,1.308132e-04,1.303328e-04,1.298608e-04,1.293972e-04,1.289421e-04,1.284953e-04,1.280569e-04,1.276267e-04,1.272049e-04,1.267912e-04,1.263857e-04,1.259882e-04,1.255987e-04,1.252172e-04,1.248434e-04
0.000000e+00,4.531849e-09,1.032679e-08,3.524323e-08,7.971355e-08,1.159478e-07,2.611584e-07,2.689418e-07,5.163935e-07,6.057408e-07,8.816305e-07,1.167650e-06,1.389591e-06,2.004057e-06,2.064701e-06,2.923782e-06,3.157727e-06,3.966348e-06,4.623650e-06,5.173106e-06,6.348502e-06,6.515874e-06,7.967274e-06,8.268467e-06,9.503984e-06,1.033012e-05,1.110623e-05,1.248997e-05,1.275659e-05,1.443911e-05,1.471029e-05,1.613896e-05,1.695693e-05,1.784228e-05,1.919880e-05,1.953628e-05,2.120935e-05,2.140821e-05,2.285116e-05,2.356130e-05,2.445277e-05,2.563841e-05,2.600662e-05,2.750655e-05,2.762406e-05,2.894771e-05,2.950688e-05,3.032650e-05,3.127917e-05,3.164043e-05,3.288802e-05,3.293653e-05,3.406863e-05,3.447725e-05,3.518237e-05,3.590187e-05,3.622998e-05,3.721267e-05,3.813207e-05,3.841321e-05,3.899010e-05,3.950803e-05,3.978893e-05,4.050226e-05,4.053088e-05,4.121836e-05,4.140143e-05,4.185386e-05,4.221125e-05,4.243989e-05,4.293749e-05,4.297894e-05,4.347349e-05,4.358582e-05,4.392593e-05,4.416179e-05,4.433863e-05,4.467071e-05,4.471383e-05,4.505372e-05,4.511765e-05,4.536041e-05,4.550743e-05,4.563589e-05,4.584458e-05,4.588207e-05,4.610076e-05,4.613331e-05,4.629367e-05,4.637759e-05,4.646243e-05,4.658108e-05,4.660858e-05,4.673358e-05,4.674722e-05,4.683880e-05,4.687918e-05,4.692556e-05,4.697989e-05,4.699506e-05,4.704846e-05,4.705207e-05,4.708685e-05,4.709823e-05,4.711125e-05,4.712069e-05,4.712262e-05,4.712186e-05,4.712159e-05,4.710983e-05,4.710290e-05,4.708733e-05,4.706643e-05,4.705510e-05,4.701386e-05,4.696425e-05,4.694672e-05,4.690692e-05,4.686644e-05,4.684244e-05,4.677432e-05,4.677136e-05,4.669420e-05,4.667157e-05,4.661144e-05,4.655928e-05,4.652353e-05,4.643848e-05,4.643090e-05,4.633396e-05,4.631009e-05,4.623307e-05,4.617498e-05,4.612859e-05,4.603394e-05,4.602085e-05,4.591016e-05,4.588769e-05,4.579681e-05,4.573690e-05,4.568106e-05,4.558218e-05,4.556319e-05,4.544342e-05,4.542410e-05,4.532198e-05,4.526316e-05,4.519908e-05,4.509984e-05,4.507491e-05,4.494967e-05,4.493458e-05,4.482352e-05,4.476777e-05,4.469662e-05,4.459978e-05,4.456913e-05,4.444119e-05,4.443093e-05,4.431292e-05,4.426155e-05,4.418445e-05,4.409190e-05,4.405590e-05,4.392738e-05,4.392224e-05,4.379898e-05,4.375280e-05,4.367079e-05,4.358379e-05,4.354291e-05,4.341541e-05,4.324784e-05,4.308122e-05,4.291571e-05,4.275144e-05,4.258852e-05,4.242706e-05,4.226716e-05,4.210889e-05,4.195234e-05,4.179757e-05,4.164464e-05,4.149361e-05,4.134452e-05,4.119740e-05,4.105229e-05,4.090922e-05,4.076821e-05,4.062928e-05,4.049245e-05,4.035772e-05,4.022510e-05,4.009460e-05,3.996621e-05,3.983994e-05
0.000000e+00,4.201399e-09,9.491512e-09,3.184697e-08,7.103749e-08,1.026305e-07,2.279711e-07,2.346621e-07,4.472919e-07,5.242721e-07,7.633375e-07,1.013697e-06,1.209782e-06,1.760386e-06,1.815290e-06,2.601861e-06,2.818310e-06,3.570047e-06,4.180791e-06,4.687517e-06,5.748896e-06,5.896773e-06,7.137770e-06,7.385407e-06,8.364383e-06,8.986242e-06,9.547332e-06,1.049503e-05,1.067025e-05,1.172494e-05,1.188707e-05,1.270785e-05,1.315381e-05,1.361805e-05,1.429416e-05,1.445603e-05,1.522314e-05,1.531051e-05,1.592129e-05,1.620723e-05,1.655285e-05,1.698998e-05,1.712056e-05,1.762745e-05,1.766547e-05,1.807680e-05,1.824120e-05,1.847209e-05,1.872525e-05,1.881694e-05,1.911499e-05,1.912599e-05,1.936988e-05,1.945176e-05,1.958518e-05,1.971074e-05,1.976434e-05,1.991068e-05,2.002729e-05,2.005882e-05,2.011712e-05,2.016181e-05,2.018287e-05,2.022566e-05,2.022704e-05,2.025193e-05,2.025573e-05,2.025963e-05,2.025679e-05,2.025202e-05,2.023299e-05,2.023083e-05,2.019758e-05,2.018797e-05,2.015367e-05,2.012488e-05,2.010032e-05,2.004646e-05,2.003865e-05,1.996964e-05,1.995504e-05,1.989418e-05,1.985265e-05,1.981305e-05,1.974103e-05,1.972695e-05,1.963650e-05,1.962166e-05,1.954227e-05,1.949584e-05,1.944475e-05,1.936467e-05,1.934438e-05,1.924158e-05,1.922909e-05,1.913668e-05,1.908994e-05,1.903000e-05,1.894793e-05,1.892185e-05,1.881247e-05,1.880367e-05,1.870209e-05,1.865771e-05,1.859093e-05,1.851051e-05,1.847917e-05,1.836698e-05,1.836248e-05,1.825451e-05,1.821398e-05,1.814191e-05,1.806533e-05,1.802930e-05,1.791680e-05,1.780450e-05,1.776863e-05,1.769251e-05,1.762103e-05,1.758090e-05,1.747419e-05,1.746976e-05,1.735915e-05,1.732828e-05,1.724914e-05,1.718345e-05,1.713979e-05,1.703981e-05,1.703114e-05,1.692325e-05,1.689747e-05,1.681616e-05,1.675655e-05,1.670990e-05,1.661712e-05,1.660452e-05,1.650003e-05,1.647925e-05,1.639648e-05,1.634301e-05,1.629388e-05,1.620845e-05,1.619225e-05,1.609163e-05,1.607562e-05,1.599201e-05,1.594456e-05,1.589342e-05,1.581530e-05,1.579587e-05,1.569937e-05,1.568786e-05,1.560393e-05,1.556228e-05,1.550956e-05,1.543855e-05,1.541626e-05,1.532404e-05,1.531671e-05,1.523290e-05,1.519674e-05,1.514284e-05,1.507867e-05,1.505386e-05,1.496597e-05,1.496248e-05,1.487917e-05,1.484818e-05,1.479344e-05,1.473576e-05,1.470879e-05,1.462521e-05,1.451653e-05,1.440970e-05,1.430472e-05,1.420155e-05,1.410020e-05,1.400064e-05,1.390285e-05,1.380682e-05,1.371252e-05,1.361993e-05,1.352903e-05,1.343980e-05,1.335222e-05,1.326626e-05,1.318190e-05,1.309911e-05,1.301788e-05,1.293817e-05,1.285996e-05,1.278324e-05,1.270796e-05,1.263412e-05,1.256168e-05,1.249062e-05
0.000000e+00,3.230304e-09,7.315754e-09,2.463842e-08,5.501538e-08,7.942744e-08,1.751807e-07,1.802367e-07,3.378432e-07,3.934671e-07,5.617247e-07,7.314422e-07,8.603882e-07,1.207703e-06,1.241367e-06,1.710782e-06,1.837083e-06,2.272336e-06,2.627137e-06,2.925635e-06,3.571342e-06,3.664042e-06,4.473210e-06,4.641765e-06,5.332136e-06,5.790555e-06,6.217158e-06,6.964685e-06,7.106496e-06,7.982813e-06,8.120912e-06,8.833483e-06,9.230000e-06,9.649740e-06,1.027394e-05,1.042570e-05,1.115757e-05,1.124231e-05,1.184311e-05,1.212975e-05,1.248124e-05,1.293439e-05,1.307182e-05,1.361547e-05,1.365696e-05,1.411336e-05,1.430007e-05,1.456716e-05,1.486769e-05,1.497884e-05,1.535064e-05,1.536471e-05,1.568493e-05,1.579657e-05,1.598420e-05,1.616895e-05,1.625090e-05,1.648751e-05,1.669641e-05,1.675778e-05,1.687988e-05,1.698496e-05,1.704009e-05,1.717392e-05,1.717909e-05,1.729879e-05,1.732909e-05,1.740095e-05,1.745452e-05,1.748721e-05,1.755381e-05,1.755906e-05,1.761785e-05,1.763016e-05,1.766484e-05,1.768643e-05,1.770116e-05,1.772511e-05,1.772784e-05,1.774583e-05,1.774846e-05,1.775597e-05,1.775839e-05,1.775902e-05,1.775662e-05,1.775568e-05,1.774657e-05,1.774462e-05,1.773226e-05,1.772370e-05,1.771327e-05,1.769501e-05,1.769005e-05,1.766303e-05,1.765955e-05,1.763257e-05,1.761817e-05,1.759903e-05,1.757167e-05,1.756272e-05,1.752391e-05,1.752071e-05,1.748288e-05,1.746589e-05,1.743984e-05,1.740773e-05,1.739501e-05,1.734859e-05,1.734670e-05,1.730075e-05,1.728321e-05,1.725165e-05,1.721761e-05,1.720143e-05,1.715024e-05,1.709819e-05,1.708137e-05,1.704541e-05,1.701128e-05,1.699199e-05,1.694020e-05,1.693803e-05,1.688362e-05,1.686832e-05,1.682885e-05,1.679584e-05,1.677379e-05,1.672293e-05,1.671850e-05,1.666306e-05,1.664974e-05,1.660752e-05,1.657640e-05,1.655194e-05,1.650304e-05,1.649637e-05,1.644086e-05,1.642976e-05,1.638544e-05,1.635668e-05,1.633017e-05,1.628387e-05,1.627507e-05,1.622018e-05,1.621142e-05,1.616554e-05,1.613940e-05,1.611116e-05,1.606788e-05,1.605709e-05,1.600334e-05,1.599691e-05,1.594994e-05,1.592656e-05,1.589690e-05,1.585685e-05,1.584425e-05,1.579201e-05,1.578785e-05,1.574019e-05,1.571958e-05,1.568880e-05,1.565208e-05,1.563786e-05,1.558738e-05,1.558537e-05,1.553738e-05,1.551949e-05,1.548785e-05,1.545446e-05,1.543882e-05,1.539028e-05,1.532699e-05,1.526460e-05,1.520311e-05,1.514254e-05,1.508290e-05,1.502418e-05,1.496640e-05,1.490955e-05,1.485364e-05,1.479867e-05,1.474463e-05,1.469152e-05,1.463935e-05,1.458810e-05,1.453776e-05,1.448835e-05,1.443984e-05,1.439222e-05,1.434550e-05,1.429967e-05,1.425470e-05,1.421060e-05,1.416736e-05,1.412496e-05
0.000000e+00,1.465191e-09,3.314963e-09,1.116184e-08,2.499601e-08,3.620584e-08,8.109911e-08,8.351266e-08,1.609744e-07,1.893301e-07,2.781020e-07,3.715454e-07,4.444637e-07,6.444184e-07,6.638062e-07,9.285092e-07,9.971739e-07,1.223902e-06,1.397553e-06,1.536565e-06,1.818507e-06,1.857175e-06,2.179583e-06,2.243879e-06,2.499459e-06,2.663650e-06,2.813432e-06,3.070533e-06,3.118683e-06,3.412797e-06,3.458681e-06,3.693741e-06,3.823417e-06,3.959867e-06,4.161252e-06,4.209935e-06,4.443117e-06,4.469940e-06,4.658974e-06,4.748430e-06,4.857425e-06,4.996734e-06,5.038694e-06,5.203261e-06,5.215724e-06,5.351791e-06,5.406887e-06,5.485085e-06,5.572138e-06,5.604068e-06,5.709731e-06,5.713695e-06,5.803068e-06,5.833842e-06,5.885065e-06,5.934839e-06,5.956686e-06,6.018864e-06,6.072467e-06,6.087936e-06,6.118257e-06,6.143782e-06,6.156923e-06,6.187942e-06,6.189114e-06,6.215438e-06,6.221834e-06,6.236450e-06,6.246741e-06,6.252731e-06,6.264073e-06,6.264905e-06,6.273358e-06,6.274877e-06,6.278461e-06,6.279971e-06,6.280525e-06,6.280062e-06,6.279844e-06,6.276670e-06,6.275757e-06,6.271238e-06,6.267593e-06,6.263762e-06,6.256042e-06,6.254431e-06,6.243416e-06,6.241507e-06,6.230869e-06,6.224345e-06,6.216932e-06,6.204866e-06,6.201730e-06,6.185380e-06,6.183346e-06,6.167986e-06,6.160027e-06,6.149643e-06,6.135123e-06,6.130440e-06,6.110456e-06,6.108826e-06,6.089764e-06,6.081304e-06,6.068432e-06,6.052712e-06,6.046522e-06,6.024091e-06,6.023184e-06,6.001192e-06,5.992843e-06,5.977874e-06,5.961801e-06,5.954181e-06,5.930156e-06,5.905838e-06,5.898000e-06,5.881261e-06,5.865413e-06,5.856461e-06,5.832470e-06,5.831467e-06,5.806310e-06,5.799240e-06,5.781015e-06,5.765784e-06,5.755609e-06,5.732157e-06,5.730115e-06,5.704554e-06,5.698412e-06,5.678948e-06,5.664595e-06,5.653314e-06,5.630749e-06,5.627672e-06,5.602038e-06,5.596913e-06,5.576426e-06,5.563122e-06,5.550853e-06,5.529410e-06,5.525330e-06,5.499871e-06,5.495805e-06,5.474488e-06,5.462334e-06,5.449192e-06,5.429024e-06,5.423992e-06,5.398899e-06,5.395895e-06,5.373920e-06,5.362969e-06,5.349066e-06,5.330264e-06,5.324343e-06,5.299757e-06,5.297797e-06,5.275317e-06,5.265583e-06,5.251028e-06,5.233636e-06,5.226895e-06,5.202924e-06,5.201969e-06,5.179120e-06,5.170592e-06,5.155487e-06,5.139516e-06,5.132029e-06,5.108750e-06,5.078301e-06,5.048176e-06,5.018381e-06,4.988922e-06,4.959803e-06,4.931028e-06,4.902600e-06,4.874521e-06,4.846794e-06,4.819421e-06,4.792401e-06,4.765736e-06,4.739426e-06,4.713471e-06,4.687870e-06,4.662622e-06,4.637727e-06,4.613182e-06,4.588986e-06,4.565137e-06,4.541633e-06,4.518472e-06,4.495651e-06,4.473167e-06
0.000000e+00,6.524309e-09,1.491386e-08,5.125359e-08,1.167440e-07,1.705271e-07,3.888424e-07,4.006511e-07,7.807211e-07,9.199278e-07,1.355454e-06,1.814973e-06,2.176454e-06,3.196038e-06,3.297964e-06,4.761837e-06,5.165996e-06,6.577520e-06,7.739397e-06,8.719542e-06,1.084162e-05,1.114652e-05,1.381855e-05,1.437933e-05,1.670261e-05,1.827692e-05,1.977148e-05,2.247467e-05,2.300133e-05,2.636988e-05,2.692026e-05,2.985536e-05,3.156357e-05,3.343613e-05,3.635482e-05,3.709057e-05,4.079731e-05,4.124463e-05,4.453544e-05,4.618494e-05,4.828485e-05,5.113021e-05,5.202654e-05,5.574282e-05,5.603853e-05,5.941750e-05,6.087241e-05,6.303603e-05,6.559931e-05,6.658554e-05,7.005480e-05,7.019176e-05,7.343425e-05,7.462729e-05,7.671596e-05,7.888835e-05,7.989349e-05,8.296176e-05,8.591693e-05,8.683823e-05,8.875628e-05,9.051186e-05,9.147811e-05,9.397969e-05,9.408155e-05,9.656654e-05,9.724117e-05,9.893362e-05,1.002977e-04,1.011839e-04,1.031524e-04,1.033190e-04,1.053409e-04,1.058095e-04,1.072518e-04,1.082744e-04,1.090543e-04,1.105530e-04,1.107511e-04,1.123452e-04,1.126519e-04,1.138395e-04,1.145782e-04,1.152372e-04,1.163388e-04,1.165413e-04,1.177552e-04,1.179412e-04,1.188818e-04,1.193926e-04,1.199245e-04,1.207003e-04,1.208864e-04,1.217705e-04,1.218715e-04,1.225800e-04,1.229133e-04,1.233179e-04,1.238326e-04,1.239870e-04,1.245904e-04,1.246359e-04,1.251308e-04,1.253300e-04,1.256110e-04,1.259209e-04,1.260336e-04,1.264013e-04,1.264149e-04,1.267165e-04,1.268176e-04,1.269817e-04,1.271347e-04,1.271993e-04,1.273715e-04,1.275006e-04,1.275332e-04,1.275888e-04,1.276246e-04,1.276380e-04,1.276505e-04,1.276503e-04,1.276276e-04,1.276152e-04,1.275717e-04,1.275230e-04,1.274845e-04,1.273780e-04,1.273676e-04,1.272227e-04,1.271840e-04,1.270515e-04,1.269446e-04,1.268553e-04,1.266632e-04,1.266357e-04,1.263941e-04,1.263432e-04,1.261318e-04,1.259877e-04,1.258502e-04,1.255995e-04,1.255504e-04,1.252337e-04,1.251816e-04,1.249012e-04,1.247363e-04,1.245540e-04,1.242664e-04,1.241932e-04,1.238197e-04,1.237740e-04,1.234344e-04,1.232615e-04,1.230384e-04,1.227308e-04,1.226325e-04,1.222174e-04,1.221839e-04,1.217941e-04,1.216226e-04,1.213632e-04,1.210488e-04,1.209256e-04,1.204817e-04,1.204639e-04,1.200325e-04,1.198695e-04,1.195783e-04,1.192670e-04,1.191199e-04,1.186578e-04,1.180431e-04,1.174241e-04,1.168018e-04,1.161772e-04,1.155514e-04,1.149251e-04,1.142992e-04,1.136744e-04,1.130514e-04,1.124309e-04,1.118134e-04,1.111996e-04,1.105898e-04,1.099846e-04,1.093844e-04,1.087895e-04,1.082004e-04,1.076172e-04,1.070404e-04,1.064701e-04,1.059066e-04,1.053500e-04,1.048007e-04,1.042586e-04
0.000000e+00,2.406857e-09,5.500685e-09,1.889850e-08,4.304496e-08,6.288126e-08,1.434779e-07,1.478410e-07,2.884489e-07,3.400249e-07,5.015925e-07,6.723301e-07,8.068070e-07,1.186954e-06,1.225038e-06,1.774067e-06,1.926390e-06,2.460745e-06,2.902659e-06,3.276157e-06,4.084284e-06,4.200133e-06,5.210237e-06,5.420818e-06,6.287119e-06,6.868234e-06,7.415354e-06,8.393616e-06,8.582534e-06,9.778232e-06,9.971564e-06,1.099329e-05,1.158093e-05,1.221944e-05,1.320326e-05,1.344914e-05,1.467556e-05,1.482220e-05,1.589250e-05,1.642351e-05,1.709449e-05,1.799504e-05,1.827675e-05,1.943520e-05,1.952674e-05,2.056642e-05,2.101065e-05,2.166764e-05,2.244068e-05,2.273664e-05,2.377177e-05,2.381245e-05,2.477181e-05,2.512307e-05,2.573596e-05,2.637085e-05,2.666379e-05,2.755514e-05,2.841012e-05,2.867609e-05,2.922905e-05,2.973446e-05,3.001241e-05,3.073154e-05,3.076081e-05,3.147499e-05,3.166893e-05,3.215574e-05,3.254851e-05,3.280394e-05,3.337232e-05,3.342050e-05,3.400637e-05,3.414252e-05,3.456252e-05,3.486134e-05,3.508991e-05,3.553101e-05,3.558953e-05,3.606233e-05,3.615376e-05,3.650929e-05,3.673180e-05,3.693134e-05,3.726730e-05,3.732942e-05,3.770444e-05,3.776236e-05,3.805728e-05,3.821903e-05,3.838882e-05,3.863928e-05,3.869990e-05,3.899133e-05,3.902502e-05,3.926392e-05,3.937808e-05,3.951843e-05,3.970022e-05,3.975560e-05,3.997616e-05,3.999311e-05,4.018081e-05,4.025837e-05,4.037022e-05,4.049751e-05,4.054503e-05,4.070587e-05,4.071202e-05,4.085335e-05,4.090328e-05,4.098804e-05,4.107262e-05,4.111051e-05,4.122129e-05,4.132091e-05,4.135051e-05,4.140986e-05,4.146141e-05,4.148862e-05,4.155508e-05,4.155766e-05,4.161741e-05,4.163254e-05,4.166831e-05,4.169477e-05,4.171076e-05,4.174269e-05,4.174515e-05,4.177187e-05,4.177718e-05,4.179128e-05,4.179908e-05,4.180372e-05,4.180917e-05,4.180953e-05,4.180903e-05,4.180820e-05,4.180252e-05,4.179687e-05,4.179031e-05,4.177585e-05,4.177268e-05,4.174990e-05,4.174579e-05,4.172222e-05,4.170727e-05,4.168991e-05,4.166088e-05,4.165319e-05,4.161231e-05,4.160713e-05,4.156747e-05,4.154655e-05,4.151890e-05,4.147960e-05,4.146678e-05,4.141133e-05,4.140676e-05,4.135272e-05,4.132843e-05,4.129113e-05,4.124504e-05,4.122674e-05,4.115970e-05,4.115696e-05,4.109017e-05,4.106456e-05,4.101830e-05,4.096817e-05,4.094424e-05,4.086812e-05,4.076471e-05,4.065824e-05,4.054897e-05,4.043715e-05,4.032304e-05,4.020685e-05,4.008881e-05,3.996911e-05,3.984794e-05,3.972549e-05,3.960193e-05,3.947740e-05,3.935207e-05,3.922607e-05,3.909953e-05,3.897258e-05,3.884534e-05,3.871792e-05,3.859041e-05,3.846292e-05,3.833553e-05,3.820833e-05,3.808141e-05,3.795482e-05
0.000000e+00,1.947151e-09,4.439646e-09,1.516999e-08,3.434784e-08,4.998817e-08,1.127345e-07,1.160997e-07,2.231331e-07,2.617909e-07,3.811641e-07,5.049130e-07,6.009394e-07,8.669667e-07,8.932491e-07,1.266564e-06,1.368641e-06,1.723116e-06,2.013154e-06,2.256793e-06,2.780950e-06,2.855859e-06,3.507525e-06,3.643137e-06,4.200425e-06,4.573781e-06,4.924955e-06,5.551931e-06,5.672853e-06,6.436755e-06,6.560008e-06,7.209941e-06,7.582531e-06,7.986221e-06,8.605639e-06,8.759917e-06,9.525884e-06,9.617057e-06,1.027955e-05,1.060621e-05,1.101692e-05,1.156432e-05,1.173462e-05,1.242986e-05,1.248444e-05,1.310040e-05,1.336131e-05,1.374456e-05,1.419133e-05,1.436113e-05,1.494930e-05,1.497223e-05,1.550865e-05,1.570293e-05,1.603907e-05,1.638331e-05,1.654074e-05,1.701404e-05,1.745954e-05,1.759635e-05,1.787796e-05,1.813191e-05,1.827012e-05,1.862272e-05,1.863691e-05,1.897930e-05,1.907094e-05,1.929829e-05,1.947886e-05,1.959488e-05,1.984886e-05,1.987011e-05,2.012500e-05,2.018326e-05,2.036055e-05,2.048437e-05,2.057773e-05,2.075443e-05,2.077751e-05,2.096081e-05,2.099557e-05,2.112853e-05,2.120986e-05,2.128152e-05,2.139925e-05,2.142060e-05,2.154658e-05,2.156557e-05,2.166020e-05,2.171056e-05,2.176218e-05,2.183585e-05,2.185321e-05,2.193393e-05,2.194296e-05,2.200497e-05,2.203331e-05,2.206690e-05,2.210823e-05,2.212029e-05,2.216566e-05,2.216896e-05,2.220352e-05,2.221666e-05,2.223432e-05,2.225239e-05,2.225852e-05,2.227655e-05,2.227714e-05,2.228879e-05,2.229185e-05,2.229562e-05,2.229737e-05,2.229741e-05,2.229448e-05,2.228716e-05,2.228394e-05,2.227574e-05,2.226641e-05,2.226050e-05,2.224254e-05,2.224172e-05,2.221964e-05,2.221290e-05,2.219450e-05,2.217804e-05,2.216652e-05,2.213845e-05,2.213591e-05,2.210288e-05,2.209461e-05,2.206760e-05,2.204694e-05,2.203027e-05,2.199583e-05,2.199103e-05,2.195004e-05,2.194165e-05,2.190747e-05,2.188474e-05,2.186344e-05,2.182542e-05,2.181808e-05,2.177151e-05,2.176396e-05,2.172386e-05,2.170064e-05,2.167523e-05,2.163569e-05,2.162573e-05,2.157544e-05,2.156936e-05,2.152446e-05,2.150184e-05,2.147288e-05,2.143332e-05,2.142077e-05,2.136821e-05,2.136399e-05,2.131527e-05,2.129400e-05,2.126202e-05,2.122351e-05,2.120851e-05,2.115481e-05,2.115266e-05,2.110097e-05,2.108156e-05,2.104704e-05,2.101034e-05,2.099307e-05,2.093910e-05,2.086794e-05,2.079695e-05,2.072620e-05,2.065578e-05,2.058575e-05,2.051617e-05,2.044710e-05,2.037858e-05,2.031067e-05,2.024340e-05,2.017681e-05,2.011094e-05,2.004581e-05,1.998144e-05,1.991787e-05,1.985511e-05,1.979317e-05,1.973208e-05,1.967185e-05,1.961248e-05,1.955398e-05,1.949637e-05,1.943964e-05,1.938381e-05
0.000000e+00,3.423531e-09,7.828805e-09,2.698390e-08,6.184622e-08,9.081341e-08,2.114093e-07,2.180636e-07,4.383800e-07,5.215249e-07,7.863539e-07,1.066937e-06,1.284129e-06,1.867183e-06,1.922892e-06,2.678037e-06,2.874136e-06,3.528839e-06,4.041437e-06,4.460579e-06,5.338007e-06,5.461381e-06,6.520140e-06,6.737872e-06,7.625755e-06,8.215488e-06,8.767085e-06,9.745405e-06,9.933216e-06,1.111376e-05,1.130334e-05,1.229916e-05,1.286732e-05,1.348086e-05,1.441851e-05,1.465142e-05,1.580456e-05,1.594151e-05,1.693509e-05,1.742424e-05,1.803880e-05,1.885766e-05,1.911245e-05,2.015363e-05,2.023546e-05,2.116057e-05,2.155348e-05,2.213210e-05,2.280927e-05,2.306752e-05,2.396651e-05,2.400171e-05,2.482912e-05,2.513079e-05,2.565554e-05,2.619703e-05,2.644617e-05,2.720161e-05,2.792253e-05,2.814607e-05,2.860974e-05,2.903225e-05,2.926409e-05,2.986218e-05,2.988647e-05,3.047779e-05,3.063792e-05,3.103900e-05,3.136167e-05,3.157105e-05,3.203561e-05,3.207491e-05,3.255151e-05,3.266195e-05,3.300182e-05,3.324286e-05,3.342677e-05,3.378048e-05,3.382728e-05,3.420425e-05,3.427690e-05,3.455857e-05,3.473415e-05,3.489111e-05,3.515422e-05,3.520270e-05,3.549419e-05,3.553901e-05,3.576636e-05,3.589037e-05,3.601999e-05,3.621006e-05,3.625585e-05,3.647466e-05,3.649981e-05,3.667714e-05,3.676124e-05,3.686398e-05,3.699592e-05,3.703583e-05,3.719334e-05,3.720534e-05,3.733714e-05,3.739096e-05,3.746783e-05,3.755413e-05,3.758598e-05,3.769215e-05,3.769616e-05,3.778689e-05,3.781829e-05,3.787070e-05,3.792172e-05,3.794410e-05,3.800756e-05,3.806155e-05,3.807690e-05,3.810651e-05,3.813075e-05,3.814287e-05,3.817008e-05,3.817105e-05,3.819144e-05,3.819581e-05,3.820443e-05,3.820882e-05,3.821037e-05,3.820993e-05,3.820963e-05,3.820254e-05,3.819992e-05,3.818942e-05,3.817955e-05,3.817058e-05,3.814952e-05,3.814634e-05,3.811696e-05,3.811049e-05,3.808273e-05,3.806310e-05,3.804391e-05,3.800794e-05,3.800075e-05,3.795350e-05,3.794557e-05,3.790238e-05,3.787654e-05,3.784763e-05,3.780135e-05,3.778945e-05,3.772804e-05,3.772047e-05,3.766361e-05,3.763435e-05,3.759634e-05,3.754342e-05,3.752640e-05,3.745398e-05,3.744808e-05,3.737923e-05,3.734871e-05,3.730231e-05,3.724567e-05,3.722337e-05,3.714255e-05,3.713928e-05,3.706000e-05,3.702988e-05,3.697583e-05,3.691775e-05,3.689018e-05,3.680317e-05,3.668642e-05,3.656774e-05,3.644736e-05,3.632550e-05,3.620237e-05,3.607816e-05,3.595306e-05,3.582723e-05,3.570083e-05,3.557402e-05,3.544693e-05,3.531969e-05,3.519242e-05,3.506525e-05,3.493827e-05,3.481158e-05,3.468528e-05,3.455945e-05,3.443417e-05,3.430951e-05,3.418555e-05,3.406234e-05,3.393995e-05,3.381843e-05
0.000000e+00,1.033872e-08,2.348368e-08,7.962674e-08,1.790914e-07,2.597402e-07,5.810783e-07,5.982474e-07,1.142558e-06,1.338613e-06,1.942874e-06,2.567043e-06,3.048817e-06,4.363255e-06,4.491029e-06,6.257936e-06,6.725488e-06,8.303474e-06,9.551089e-06,1.057590e-05,1.272841e-05,1.303151e-05,1.563390e-05,1.616909e-05,1.835043e-05,1.979773e-05,2.114983e-05,2.354290e-05,2.400140e-05,2.687502e-05,2.733488e-05,2.974172e-05,3.110722e-05,3.257435e-05,3.479920e-05,3.534817e-05,3.804143e-05,3.835829e-05,4.063562e-05,4.174168e-05,4.311570e-05,4.491694e-05,4.547001e-05,4.769015e-05,4.786178e-05,4.977066e-05,5.056306e-05,5.170878e-05,5.301581e-05,5.350420e-05,5.515847e-05,5.522175e-05,5.667474e-05,5.718762e-05,5.805737e-05,5.892393e-05,5.931172e-05,6.044377e-05,6.146014e-05,6.176204e-05,6.236740e-05,6.289379e-05,6.317212e-05,6.385445e-05,6.388105e-05,6.450074e-05,6.465914e-05,6.503758e-05,6.532248e-05,6.549770e-05,6.585828e-05,6.588694e-05,6.621079e-05,6.627937e-05,6.647443e-05,6.659759e-05,6.668271e-05,6.682381e-05,6.684016e-05,6.695098e-05,6.696789e-05,6.701906e-05,6.703880e-05,6.704804e-05,6.704460e-05,6.704124e-05,6.700176e-05,6.699260e-05,6.693242e-05,6.688932e-05,6.683587e-05,6.674065e-05,6.671450e-05,6.657054e-05,6.655185e-05,6.640604e-05,6.632763e-05,6.622286e-05,6.607223e-05,6.602274e-05,6.580727e-05,6.578942e-05,6.557792e-05,6.548259e-05,6.533602e-05,6.515479e-05,6.508283e-05,6.481947e-05,6.480874e-05,6.454700e-05,6.444687e-05,6.426639e-05,6.407139e-05,6.397853e-05,6.368424e-05,6.338428e-05,6.328721e-05,6.307934e-05,6.288187e-05,6.277008e-05,6.246966e-05,6.245708e-05,6.214089e-05,6.205186e-05,6.182203e-05,6.162962e-05,6.150095e-05,6.120398e-05,6.117809e-05,6.085385e-05,6.077587e-05,6.052860e-05,6.034614e-05,6.020267e-05,5.991554e-05,5.987638e-05,5.955002e-05,5.948476e-05,5.922385e-05,5.905440e-05,5.889812e-05,5.862502e-05,5.857306e-05,5.824888e-05,5.819711e-05,5.792577e-05,5.777111e-05,5.760391e-05,5.734743e-05,5.728346e-05,5.696457e-05,5.692642e-05,5.664738e-05,5.650839e-05,5.633202e-05,5.609364e-05,5.601861e-05,5.570724e-05,5.568242e-05,5.539802e-05,5.527495e-05,5.509103e-05,5.487143e-05,5.478636e-05,5.448407e-05,5.447203e-05,5.418424e-05,5.407691e-05,5.388691e-05,5.368619e-05,5.359215e-05,5.330000e-05,5.291843e-05,5.254157e-05,5.216948e-05,5.180223e-05,5.143985e-05,5.108238e-05,5.072985e-05,5.038228e-05,5.003967e-05,4.970203e-05,4.936935e-05,4.904161e-05,4.871881e-05,4.840091e-05,4.808790e-05,4.777974e-05,4.747640e-05,4.717784e-05,4.688401e-05,4.659489e-05,4.631041e-05,4.603054e-05,4.575522e-05,4.548439e-05
0.000000e+00,1.508568e-09,3.444607e-09,1.180301e-08,2.678333e-08,3.901876e-08,8.815223e-08,9.078745e-08,1.745122e-07,2.046914e-07,2.976433e-07,3.936226e-07,4.678626e-07,6.727765e-07,6.929855e-07,9.802207e-07,1.059023e-06,1.334467e-06,1.562534e-06,1.756285e-06,2.180099e-06,2.241436e-06,2.782693e-06,2.896973e-06,3.372112e-06,3.695140e-06,4.002241e-06,4.558074e-06,4.666358e-06,5.358327e-06,5.471240e-06,6.072421e-06,6.421441e-06,6.803213e-06,7.396389e-06,7.545538e-06,8.294505e-06,8.384606e-06,9.045529e-06,9.375525e-06,9.794371e-06,1.035964e-05,1.053717e-05,1.127049e-05,1.132866e-05,1.199130e-05,1.227551e-05,1.269697e-05,1.319444e-05,1.338532e-05,1.405453e-05,1.408088e-05,1.470315e-05,1.493138e-05,1.533004e-05,1.574348e-05,1.593438e-05,1.651561e-05,1.707340e-05,1.724692e-05,1.760763e-05,1.793717e-05,1.811832e-05,1.858662e-05,1.860566e-05,1.906997e-05,1.919590e-05,1.951163e-05,1.976596e-05,1.993114e-05,2.029797e-05,2.032902e-05,2.070587e-05,2.079325e-05,2.106231e-05,2.125324e-05,2.139898e-05,2.167942e-05,2.171655e-05,2.201568e-05,2.207335e-05,2.229704e-05,2.243655e-05,2.256131e-05,2.277057e-05,2.280915e-05,2.304121e-05,2.307692e-05,2.325813e-05,2.335706e-05,2.346054e-05,2.361244e-05,2.364905e-05,2.382426e-05,2.384442e-05,2.398674e-05,2.405435e-05,2.413705e-05,2.424349e-05,2.427574e-05,2.440332e-05,2.441306e-05,2.452030e-05,2.456424e-05,2.462717e-05,2.469812e-05,2.472440e-05,2.481243e-05,2.481576e-05,2.489170e-05,2.491817e-05,2.496262e-05,2.500629e-05,2.502560e-05,2.508102e-05,2.512924e-05,2.514322e-05,2.517063e-05,2.519369e-05,2.520552e-05,2.523319e-05,2.523422e-05,2.525707e-05,2.526245e-05,2.527434e-05,2.528215e-05,2.528633e-05,2.529293e-05,2.529331e-05,2.529554e-05,2.529540e-05,2.529327e-05,2.529013e-05,2.528674e-05,2.527765e-05,2.527618e-05,2.526180e-05,2.525849e-05,2.524382e-05,2.523311e-05,2.522244e-05,2.520198e-05,2.519783e-05,2.517020e-05,2.516551e-05,2.513970e-05,2.512410e-05,2.510652e-05,2.507814e-05,2.507080e-05,2.503270e-05,2.502797e-05,2.499236e-05,2.497393e-05,2.494992e-05,2.491634e-05,2.490551e-05,2.485927e-05,2.485549e-05,2.481130e-05,2.479165e-05,2.476172e-05,2.472509e-05,2.471065e-05,2.465818e-05,2.465606e-05,2.460442e-05,2.458477e-05,2.454946e-05,2.451145e-05,2.449339e-05,2.443630e-05,2.435951e-05,2.428126e-05,2.420171e-05,2.412103e-05,2.403935e-05,2.395682e-05,2.387356e-05,2.378970e-05,2.370535e-05,2.362061e-05,2.353558e-05,2.345035e-05,2.336502e-05,2.327965e-05,2.319432e-05,2.310911e-05,2.302408e-05,2.293929e-05,2.285478e-05,2.277063e-05,2.268686e-05,2.260354e-05,2.252069e-05,2.243836e-05
0.000000e+00,1.144108e-09,2.612228e-09,8.949901e-09,2.030859e-08,2.958699e-08,6.686092e-08,6.886084e-08,1.324468e-07,1.553889e-07,2.261220e-07,2.992589e-07,3.558836e-07,5.122650e-07,5.276834e-07,7.463539e-07,8.061066e-07,1.013833e-06,1.184381e-06,1.328268e-06,1.640303e-06,1.685208e-06,2.079473e-06,2.162364e-06,2.506137e-06,2.739296e-06,2.960689e-06,3.360969e-06,3.438905e-06,3.936718e-06,4.017921e-06,4.450164e-06,4.701030e-06,4.975372e-06,5.401489e-06,5.508603e-06,6.046298e-06,6.110961e-06,6.585134e-06,6.821786e-06,7.122055e-06,7.527122e-06,7.654298e-06,8.179427e-06,8.221064e-06,8.695333e-06,8.898702e-06,9.200226e-06,9.556086e-06,9.692623e-06,1.017133e-05,1.019018e-05,1.063541e-05,1.079876e-05,1.108417e-05,1.138033e-05,1.151713e-05,1.193398e-05,1.233458e-05,1.245933e-05,1.271890e-05,1.295637e-05,1.308706e-05,1.342545e-05,1.343924e-05,1.377571e-05,1.386715e-05,1.409680e-05,1.428222e-05,1.440288e-05,1.467156e-05,1.469435e-05,1.497165e-05,1.503614e-05,1.523522e-05,1.537699e-05,1.548552e-05,1.569518e-05,1.572302e-05,1.594818e-05,1.599177e-05,1.616147e-05,1.626784e-05,1.636334e-05,1.652442e-05,1.655424e-05,1.673462e-05,1.676254e-05,1.690491e-05,1.698319e-05,1.706552e-05,1.718732e-05,1.721686e-05,1.735933e-05,1.737584e-05,1.749329e-05,1.754964e-05,1.761913e-05,1.770955e-05,1.773720e-05,1.784783e-05,1.785637e-05,1.795135e-05,1.799085e-05,1.804809e-05,1.811371e-05,1.813834e-05,1.822239e-05,1.822563e-05,1.830053e-05,1.832726e-05,1.837301e-05,1.841921e-05,1.844011e-05,1.850205e-05,1.855908e-05,1.857633e-05,1.861143e-05,1.864257e-05,1.865931e-05,1.870126e-05,1.870292e-05,1.874247e-05,1.875284e-05,1.877814e-05,1.879776e-05,1.881012e-05,1.883642e-05,1.883857e-05,1.886367e-05,1.886921e-05,1.888557e-05,1.889650e-05,1.890443e-05,1.891862e-05,1.892039e-05,1.893359e-05,1.893590e-05,1.894415e-05,1.894865e-05,1.895222e-05,1.895715e-05,1.895791e-05,1.896133e-05,1.896167e-05,1.896260e-05,1.896247e-05,1.896182e-05,1.895980e-05,1.895910e-05,1.895453e-05,1.895386e-05,1.894821e-05,1.894489e-05,1.894022e-05,1.893308e-05,1.893064e-05,1.891957e-05,1.891862e-05,1.890708e-05,1.890170e-05,1.889324e-05,1.888247e-05,1.887812e-05,1.886179e-05,1.886111e-05,1.884432e-05,1.883776e-05,1.882576e-05,1.881256e-05,1.880619e-05,1.878565e-05,1.875715e-05,1.872718e-05,1.869585e-05,1.866327e-05,1.862955e-05,1.859476e-05,1.855901e-05,1.852237e-05,1.848493e-05,1.844675e-05,1.840791e-05,1.836848e-05,1.832852e-05,1.828808e-05,1.824722e-05,1.820600e-05,1.816446e-05,1.812264e-05,1.808060e-05,1.803838e-05,1.799601e-05,1.795353e-05,1.791097e-05,1.786836e-05
0.000000e+00,1.752734e-09,4.006561e-09,1.376287e-08,3.131198e-08,4.568934e-08,1.037272e-07,1.068521e-07,2.066784e-07,2.428985e-07,3.551425e-07,4.719706e-07,5.628433e-07,8.149576e-07,8.398604e-07,1.192788e-06,1.288981e-06,1.622283e-06,1.894858e-06,2.124379e-06,2.621922e-06,2.693590e-06,3.324555e-06,3.457712e-06,4.012234e-06,4.390596e-06,4.751659e-06,5.409021e-06,5.537703e-06,6.364981e-06,6.500799e-06,7.227853e-06,7.652967e-06,8.120490e-06,8.852061e-06,9.036986e-06,9.971474e-06,1.008455e-05,1.091825e-05,1.133731e-05,1.187187e-05,1.259805e-05,1.282723e-05,1.377966e-05,1.385560e-05,1.472492e-05,1.510015e-05,1.565924e-05,1.632330e-05,1.657932e-05,1.748233e-05,1.751807e-05,1.836591e-05,1.867885e-05,1.922808e-05,1.980130e-05,2.006725e-05,2.088217e-05,2.167191e-05,2.191919e-05,2.243580e-05,2.291092e-05,2.317341e-05,2.385658e-05,2.388451e-05,2.456904e-05,2.475595e-05,2.522709e-05,2.560929e-05,2.585887e-05,2.641719e-05,2.646471e-05,2.704499e-05,2.718050e-05,2.760017e-05,2.790031e-05,2.813079e-05,2.857785e-05,2.863739e-05,2.912057e-05,2.921444e-05,2.958093e-05,2.981152e-05,3.001912e-05,3.037052e-05,3.043576e-05,3.083150e-05,3.089292e-05,3.120699e-05,3.138022e-05,3.156287e-05,3.183388e-05,3.189978e-05,3.221834e-05,3.225536e-05,3.251918e-05,3.264609e-05,3.280290e-05,3.300745e-05,3.307011e-05,3.332139e-05,3.334082e-05,3.355731e-05,3.364750e-05,3.377843e-05,3.392878e-05,3.398530e-05,3.417843e-05,3.418588e-05,3.435836e-05,3.441999e-05,3.452557e-05,3.463226e-05,3.468055e-05,3.482377e-05,3.495570e-05,3.499560e-05,3.507676e-05,3.514875e-05,3.518740e-05,3.528418e-05,3.528802e-05,3.537902e-05,3.540284e-05,3.546080e-05,3.550559e-05,3.553373e-05,3.559331e-05,3.559816e-05,3.565446e-05,3.566679e-05,3.570295e-05,3.572682e-05,3.574396e-05,3.577413e-05,3.577782e-05,3.580482e-05,3.580942e-05,3.582526e-05,3.583338e-05,3.583941e-05,3.584665e-05,3.584756e-05,3.584996e-05,3.584983e-05,3.584688e-05,3.584352e-05,3.583854e-05,3.582825e-05,3.582520e-05,3.580707e-05,3.580458e-05,3.578437e-05,3.577299e-05,3.575732e-05,3.573397e-05,3.572611e-05,3.569095e-05,3.568797e-05,3.565202e-05,3.563543e-05,3.560950e-05,3.557676e-05,3.556357e-05,3.551438e-05,3.551235e-05,3.546212e-05,3.544257e-05,3.540692e-05,3.536778e-05,3.534894e-05,3.528832e-05,3.520449e-05,3.511662e-05,3.502497e-05,3.492984e-05,3.483147e-05,3.473012e-05,3.462601e-05,3.451937e-05,3.441040e-05,3.429932e-05,3.418630e-05,3.407152e-05,3.395516e-05,3.383738e-05,3.371832e-05,3.359813e-05,3.347694e-05,3.335488e-05,3.323208e-05,3.310865e-05,3.298470e-05,3.286032e-05,3.273563e-05,3.261070e-05
0.000000e+00,2.230068e-09,5.082053e-09,1.734084e-08,3.919315e-08,5.696866e-08,1.279202e-07,1.317103e-07,2.515318e-07,2.944857e-07,4.261564e-07,5.612552e-07,6.652111e-07,9.497280e-07,9.775883e-07,1.369329e-06,1.475344e-06,1.840897e-06,2.138021e-06,2.386968e-06,2.922541e-06,2.999210e-06,3.668852e-06,3.808927e-06,4.387574e-06,4.778073e-06,5.147477e-06,5.812002e-06,5.940887e-06,6.760250e-06,6.893258e-06,7.598139e-06,8.004774e-06,8.447330e-06,9.130172e-06,9.300926e-06,1.015246e-05,1.025422e-05,1.099602e-05,1.136326e-05,1.182629e-05,1.244552e-05,1.263863e-05,1.342909e-05,1.349128e-05,1.419441e-05,1.449288e-05,1.493194e-05,1.544462e-05,1.563969e-05,1.631619e-05,1.634259e-05,1.696048e-05,1.718443e-05,1.757204e-05,1.796912e-05,1.815073e-05,1.869671e-05,1.921043e-05,1.936810e-05,1.969253e-05,1.998485e-05,2.014382e-05,2.054897e-05,2.056527e-05,2.095790e-05,2.106283e-05,2.132284e-05,2.152899e-05,2.166124e-05,2.195014e-05,2.197428e-05,2.226314e-05,2.232900e-05,2.252900e-05,2.266828e-05,2.277304e-05,2.297064e-05,2.299638e-05,2.320015e-05,2.323865e-05,2.338541e-05,2.347478e-05,2.355321e-05,2.368139e-05,2.370454e-05,2.384035e-05,2.386070e-05,2.396155e-05,2.401480e-05,2.406902e-05,2.414566e-05,2.416358e-05,2.424602e-05,2.425514e-05,2.431709e-05,2.434494e-05,2.437749e-05,2.441667e-05,2.442789e-05,2.446893e-05,2.447182e-05,2.450120e-05,2.451179e-05,2.452528e-05,2.453784e-05,2.454170e-05,2.455096e-05,2.455118e-05,2.455353e-05,2.455291e-05,2.454988e-05,2.454405e-05,2.454041e-05,2.452554e-05,2.450563e-05,2.449826e-05,2.448104e-05,2.446301e-05,2.445211e-05,2.442054e-05,2.441914e-05,2.438244e-05,2.437153e-05,2.434228e-05,2.431664e-05,2.429893e-05,2.425643e-05,2.425262e-05,2.420360e-05,2.419146e-05,2.415208e-05,2.412221e-05,2.409827e-05,2.404917e-05,2.404235e-05,2.398452e-05,2.397274e-05,2.392494e-05,2.389332e-05,2.386377e-05,2.381127e-05,2.380116e-05,2.373726e-05,2.372693e-05,2.367220e-05,2.364059e-05,2.360610e-05,2.355255e-05,2.353908e-05,2.347125e-05,2.346306e-05,2.340272e-05,2.337236e-05,2.333358e-05,2.328068e-05,2.326392e-05,2.319383e-05,2.318820e-05,2.312338e-05,2.309512e-05,2.305266e-05,2.300161e-05,2.298174e-05,2.291067e-05,2.290783e-05,2.283953e-05,2.281391e-05,2.276836e-05,2.271999e-05,2.269723e-05,2.262618e-05,2.253261e-05,2.243936e-05,2.234653e-05,2.225420e-05,2.216244e-05,2.207134e-05,2.198094e-05,2.189130e-05,2.180247e-05,2.171451e-05,2.162744e-05,2.154131e-05,2.145614e-05,2.137197e-05,2.128882e-05,2.120670e-05,2.112565e-05,2.104567e-05,2.096678e-05,2.088899e-05,2.081230e-05,2.073673e-05,2.066228e-05,2.058895e-05
0.000000e+00,2.129635e-09,4.869205e-09,1.672911e-08,3.804754e-08,5.549175e-08,1.256737e-07,1.294410e-07,2.491517e-07,2.922803e-07,4.249392e-07,5.615538e-07,6.669383e-07,9.565247e-07,9.849899e-07,1.388254e-06,1.498622e-06,1.884485e-06,2.205081e-06,2.478932e-06,3.084512e-06,3.172987e-06,3.962969e-06,4.131765e-06,4.839804e-06,5.325766e-06,5.790158e-06,6.634050e-06,6.798686e-06,7.850279e-06,8.021601e-06,8.931444e-06,9.457464e-06,1.003071e-05,1.091669e-05,1.113854e-05,1.224701e-05,1.237974e-05,1.334952e-05,1.383130e-05,1.444062e-05,1.525938e-05,1.551574e-05,1.657117e-05,1.665465e-05,1.760384e-05,1.800998e-05,1.861135e-05,1.932008e-05,1.959179e-05,2.054373e-05,2.058120e-05,2.146613e-05,2.179082e-05,2.235830e-05,2.294747e-05,2.321981e-05,2.405050e-05,2.485039e-05,2.509987e-05,2.561967e-05,2.609610e-05,2.635867e-05,2.704003e-05,2.706783e-05,2.774766e-05,2.793283e-05,2.839874e-05,2.877586e-05,2.902172e-05,2.957062e-05,2.961727e-05,3.018611e-05,3.031873e-05,3.072895e-05,3.102186e-05,3.124654e-05,3.168171e-05,3.173961e-05,3.220892e-05,3.230000e-05,3.265521e-05,3.287843e-05,3.307922e-05,3.341869e-05,3.348167e-05,3.386329e-05,3.392246e-05,3.422479e-05,3.439137e-05,3.456686e-05,3.482699e-05,3.489019e-05,3.519545e-05,3.523089e-05,3.548328e-05,3.560457e-05,3.575432e-05,3.594947e-05,3.600920e-05,3.624851e-05,3.626700e-05,3.647285e-05,3.655852e-05,3.668279e-05,3.682534e-05,3.687888e-05,3.706166e-05,3.706870e-05,3.723165e-05,3.728982e-05,3.738937e-05,3.748985e-05,3.753530e-05,3.766992e-05,3.779369e-05,3.783107e-05,3.790705e-05,3.797434e-05,3.801044e-05,3.810071e-05,3.810428e-05,3.818897e-05,3.821110e-05,3.826490e-05,3.830641e-05,3.833244e-05,3.838749e-05,3.839196e-05,3.844382e-05,3.845516e-05,3.848834e-05,3.851020e-05,3.852587e-05,3.855335e-05,3.855670e-05,3.858116e-05,3.858531e-05,3.859953e-05,3.860677e-05,3.861209e-05,3.861835e-05,3.861912e-05,3.862088e-05,3.862069e-05,3.861762e-05,3.861435e-05,3.860959e-05,3.859989e-05,3.859702e-05,3.858014e-05,3.857783e-05,3.855916e-05,3.854869e-05,3.853430e-05,3.851293e-05,3.850575e-05,3.847372e-05,3.847101e-05,3.843837e-05,3.842335e-05,3.839990e-05,3.837037e-05,3.835848e-05,3.831427e-05,3.831244e-05,3.826742e-05,3.824995e-05,3.821810e-05,3.818322e-05,3.816645e-05,3.811260e-05,3.803840e-05,3.796091e-05,3.788042e-05,3.779717e-05,3.771144e-05,3.762345e-05,3.753343e-05,3.744159e-05,3.734813e-05,3.725324e-05,3.715709e-05,3.705986e-05,3.696169e-05,3.686275e-05,3.676316e-05,3.666307e-05,3.656258e-05,3.646183e-05,3.636091e-05,3.625994e-05,3.615900e-05,3.605818e-05,3.595758e-05,3.585726e-05
0.000000e+00,4.503911e-09,1.028993e-08,3.530048e-08,8.018925e-08,1.168888e-07,2.644372e-07,2.723558e-07,5.240431e-07,6.147709e-07,8.940532e-07,1.181963e-06,1.404187e-06,2.014613e-06,2.074537e-06,2.919745e-06,3.149322e-06,3.943565e-06,4.591798e-06,5.136367e-06,6.310855e-06,6.479193e-06,7.950243e-06,8.257971e-06,9.528621e-06,1.038536e-05,1.119515e-05,1.265021e-05,1.293218e-05,1.472328e-05,1.501383e-05,1.655312e-05,1.744102e-05,1.840758e-05,1.990018e-05,2.027378e-05,2.214017e-05,2.236366e-05,2.399662e-05,2.480800e-05,2.583437e-05,2.721393e-05,2.764599e-05,2.942534e-05,2.956613e-05,3.116739e-05,3.185284e-05,3.286816e-05,3.406539e-05,3.452457e-05,3.613432e-05,3.619771e-05,3.769577e-05,3.824586e-05,3.920788e-05,4.020760e-05,4.067003e-05,4.208202e-05,4.344397e-05,4.386928e-05,4.475625e-05,4.557029e-05,4.601942e-05,4.718656e-05,4.723423e-05,4.840156e-05,4.872003e-05,4.952236e-05,5.017295e-05,5.059769e-05,5.154778e-05,5.162865e-05,5.261639e-05,5.284714e-05,5.356206e-05,5.407371e-05,5.446687e-05,5.523023e-05,5.533199e-05,5.615863e-05,5.631944e-05,5.694797e-05,5.734407e-05,5.770118e-05,5.830682e-05,5.841944e-05,5.910388e-05,5.921033e-05,5.975564e-05,6.005720e-05,6.037581e-05,6.084994e-05,6.096549e-05,6.152572e-05,6.159102e-05,6.205755e-05,6.228281e-05,6.256197e-05,6.292761e-05,6.303997e-05,6.349251e-05,6.352764e-05,6.392051e-05,6.408504e-05,6.432487e-05,6.460188e-05,6.470648e-05,6.506618e-05,6.508013e-05,6.540480e-05,6.552170e-05,6.572314e-05,6.592842e-05,6.602197e-05,6.630204e-05,6.656409e-05,6.664425e-05,6.680880e-05,6.695663e-05,6.703686e-05,6.724075e-05,6.724893e-05,6.744564e-05,6.749805e-05,6.762761e-05,6.772996e-05,6.779543e-05,6.793782e-05,6.794967e-05,6.809089e-05,6.812290e-05,6.821962e-05,6.828644e-05,6.833637e-05,6.842959e-05,6.844164e-05,6.853591e-05,6.855348e-05,6.861964e-05,6.865917e-05,6.869329e-05,6.874766e-05,6.875727e-05,6.881201e-05,6.881993e-05,6.885789e-05,6.887689e-05,6.889532e-05,6.891942e-05,6.892466e-05,6.894626e-05,6.894835e-05,6.896048e-05,6.896448e-05,6.896764e-05,6.896856e-05,6.896806e-05,6.896205e-05,6.896130e-05,6.894991e-05,6.894340e-05,6.893192e-05,6.891549e-05,6.890835e-05,6.887947e-05,6.887821e-05,6.884554e-05,6.883214e-05,6.880680e-05,6.877783e-05,6.876348e-05,6.871581e-05,6.864660e-05,6.857066e-05,6.848846e-05,6.840043e-05,6.830698e-05,6.820849e-05,6.810534e-05,6.799787e-05,6.788642e-05,6.777131e-05,6.765283e-05,6.753126e-05,6.740688e-05,6.727993e-05,6.715067e-05,6.701932e-05,6.688609e-05,6.675119e-05,6.661481e-05,6.647715e-05,6.633836e-05,6.619861e-05,6.605807e-05,6.591688e-05
0.000000e+00,2.436374e-09,5.565968e-09,1.908821e-08,4.333341e-08,6.313224e-08,1.425311e-07,1.467836e-07,2.815258e-07,3.299153e-07,4.783594e-07,6.307370e-07,7.480235e-07,1.069545e-06,1.101108e-06,1.547883e-06,1.670113e-06,2.097558e-06,2.452952e-06,2.756741e-06,3.429188e-06,3.527507e-06,4.406444e-06,4.594572e-06,5.385650e-06,5.931096e-06,6.454866e-06,7.414621e-06,7.603238e-06,8.820157e-06,9.020540e-06,1.009547e-05,1.072548e-05,1.141943e-05,1.250729e-05,1.278263e-05,1.417596e-05,1.434476e-05,1.559061e-05,1.621762e-05,1.701813e-05,1.810670e-05,1.845049e-05,1.988015e-05,1.999419e-05,2.130012e-05,2.186394e-05,2.270400e-05,2.370159e-05,2.408606e-05,2.544119e-05,2.549477e-05,2.676494e-05,2.723306e-05,2.805352e-05,2.890799e-05,2.930371e-05,3.051292e-05,3.167907e-05,3.204287e-05,3.280058e-05,3.349439e-05,3.387633e-05,3.486532e-05,3.490559e-05,3.588800e-05,3.615466e-05,3.682349e-05,3.736235e-05,3.771229e-05,3.848911e-05,3.855483e-05,3.935176e-05,3.953632e-05,4.010389e-05,4.050586e-05,4.081216e-05,4.139998e-05,4.147761e-05,4.210140e-05,4.222126e-05,4.268472e-05,4.297247e-05,4.322884e-05,4.365654e-05,4.373504e-05,4.420464e-05,4.427647e-05,4.463897e-05,4.483531e-05,4.503935e-05,4.533611e-05,4.540712e-05,4.574358e-05,4.578192e-05,4.605003e-05,4.617570e-05,4.632775e-05,4.652037e-05,4.657799e-05,4.680196e-05,4.681878e-05,4.700086e-05,4.707367e-05,4.717586e-05,4.728769e-05,4.732808e-05,4.745861e-05,4.746339e-05,4.756852e-05,4.760324e-05,4.765883e-05,4.770956e-05,4.773054e-05,4.778461e-05,4.782195e-05,4.783052e-05,4.784346e-05,4.784932e-05,4.785000e-05,4.784295e-05,4.784238e-05,4.782141e-05,4.781324e-05,4.778783e-05,4.776195e-05,4.774239e-05,4.769071e-05,4.768579e-05,4.761869e-05,4.760110e-05,4.754175e-05,4.749459e-05,4.745557e-05,4.737257e-05,4.736075e-05,4.725786e-05,4.723636e-05,4.714743e-05,4.708720e-05,4.702998e-05,4.692625e-05,4.690600e-05,4.677597e-05,4.675463e-05,4.664033e-05,4.657336e-05,4.649951e-05,4.638341e-05,4.635393e-05,4.620397e-05,4.618570e-05,4.605000e-05,4.598108e-05,4.589238e-05,4.577034e-05,4.573143e-05,4.556749e-05,4.555425e-05,4.540085e-05,4.533350e-05,4.523180e-05,4.510875e-05,4.506062e-05,4.488757e-05,4.488061e-05,4.471288e-05,4.464964e-05,4.453680e-05,4.441639e-05,4.435955e-05,4.418133e-05,4.394494e-05,4.370764e-05,4.346981e-05,4.323184e-05,4.299404e-05,4.275675e-05,4.252023e-05,4.228476e-05,4.205058e-05,4.181791e-05,4.158694e-05,4.135787e-05,4.113086e-05,4.090607e-05,4.068362e-05,4.046364e-05,4.024624e-05,4.003151e-05,3.981954e-05,3.961041e-05,3.940418e-05,3.920091e-05,3.900064e-05,3.880341e-05
0.000000e+00,2.036671e-09,4.649355e-09,1.592170e-08,3.610395e-08,5.257220e-08,1.185798e-07,1.221148e-07,2.341758e-07,2.744550e-07,3.981639e-07,5.253839e-07,6.234575e-07,8.928417e-07,9.193159e-07,1.294173e-06,1.396639e-06,1.753993e-06,2.049360e-06,2.300202e-06,2.849396e-06,2.928982e-06,3.632834e-06,3.781839e-06,4.402915e-06,4.826600e-06,5.230454e-06,5.963919e-06,6.107172e-06,7.025234e-06,7.175455e-06,7.977113e-06,8.443873e-06,8.955501e-06,9.752522e-06,9.953303e-06,1.096368e-05,1.108545e-05,1.198010e-05,1.242764e-05,1.299643e-05,1.376528e-05,1.400701e-05,1.500667e-05,1.508603e-05,1.599081e-05,1.637919e-05,1.695538e-05,1.763578e-05,1.789691e-05,1.881248e-05,1.884852e-05,1.969969e-05,2.001176e-05,2.055664e-05,2.112133e-05,2.138189e-05,2.217438e-05,2.293345e-05,2.316923e-05,2.365873e-05,2.410513e-05,2.435014e-05,2.498216e-05,2.500782e-05,2.563213e-05,2.580102e-05,2.622358e-05,2.656295e-05,2.678283e-05,2.726954e-05,2.731063e-05,2.780782e-05,2.792269e-05,2.827531e-05,2.852449e-05,2.871406e-05,2.907716e-05,2.912505e-05,2.950930e-05,2.958302e-05,2.986781e-05,3.004441e-05,3.020162e-05,3.046365e-05,3.051172e-05,3.079912e-05,3.084306e-05,3.106480e-05,3.118490e-05,3.130973e-05,3.149136e-05,3.153484e-05,3.174105e-05,3.176457e-05,3.192925e-05,3.200657e-05,3.210029e-05,3.221932e-05,3.225500e-05,3.239419e-05,3.240468e-05,3.251862e-05,3.256443e-05,3.262905e-05,3.270028e-05,3.272618e-05,3.281070e-05,3.281382e-05,3.288326e-05,3.290658e-05,3.294450e-05,3.297999e-05,3.299503e-05,3.303541e-05,3.306621e-05,3.307412e-05,3.308795e-05,3.309734e-05,3.310113e-05,3.310619e-05,3.310625e-05,3.310376e-05,3.310176e-05,3.309410e-05,3.308504e-05,3.307769e-05,3.305698e-05,3.305493e-05,3.302621e-05,3.301847e-05,3.299189e-05,3.297035e-05,3.295231e-05,3.291340e-05,3.290781e-05,3.285871e-05,3.284836e-05,3.280529e-05,3.277590e-05,3.274785e-05,3.269669e-05,3.268665e-05,3.262197e-05,3.261131e-05,3.255403e-05,3.252034e-05,3.248308e-05,3.242430e-05,3.240933e-05,3.233301e-05,3.232368e-05,3.225430e-05,3.221896e-05,3.217339e-05,3.211055e-05,3.209048e-05,3.200573e-05,3.199887e-05,3.191930e-05,3.188429e-05,3.183134e-05,3.176715e-05,3.174201e-05,3.165144e-05,3.164779e-05,3.155976e-05,3.152651e-05,3.146710e-05,3.140359e-05,3.137357e-05,3.127929e-05,3.115387e-05,3.102754e-05,3.090052e-05,3.077300e-05,3.064517e-05,3.051720e-05,3.038923e-05,3.026141e-05,3.013388e-05,3.000676e-05,2.988015e-05,2.975416e-05,2.962889e-05,2.950442e-05,2.938083e-05,2.925820e-05,2.913659e-05,2.901605e-05,2.889665e-05,2.877843e-05,2.866143e-05,2.854570e-05,2.843127e-05,2.831816e-05
0.000000e+00,6.447922e-09,1.472517e-08,5.052329e-08,1.149849e-07,1.679411e-07,3.834448e-07,3.951325e-07,7.732157e-07,9.126286e-07,1.351803e-06,1.819343e-06,2.189335e-06,3.237394e-06,3.342174e-06,4.838397e-06,5.247450e-06,6.660059e-06,7.804998e-06,8.759804e-06,1.079809e-05,1.108814e-05,1.360494e-05,1.412805e-05,1.627902e-05,1.772305e-05,1.908475e-05,2.152661e-05,2.199937e-05,2.500130e-05,2.548830e-05,2.806948e-05,2.955964e-05,3.118316e-05,3.369320e-05,3.432203e-05,3.746643e-05,3.784323e-05,4.059780e-05,4.196698e-05,4.369889e-05,4.602566e-05,4.675386e-05,4.974864e-05,4.998524e-05,5.267095e-05,5.381718e-05,5.551034e-05,5.749843e-05,5.825816e-05,6.090744e-05,6.101128e-05,6.345278e-05,6.434288e-05,6.589037e-05,6.748509e-05,6.821776e-05,7.043361e-05,7.253758e-05,7.318730e-05,7.453026e-05,7.574773e-05,7.641293e-05,7.811857e-05,7.818751e-05,7.985635e-05,8.030505e-05,8.142221e-05,8.231355e-05,8.288814e-05,8.415133e-05,8.425740e-05,8.553342e-05,8.582619e-05,8.671974e-05,8.734622e-05,8.781991e-05,8.871967e-05,8.883755e-05,8.977622e-05,8.995479e-05,9.063947e-05,9.105971e-05,9.143077e-05,9.204236e-05,9.215354e-05,9.281107e-05,9.291044e-05,9.340659e-05,9.367134e-05,9.394322e-05,9.433213e-05,9.442395e-05,9.485169e-05,9.489959e-05,9.522921e-05,9.538011e-05,9.555920e-05,9.577979e-05,9.584422e-05,9.608672e-05,9.610436e-05,9.628905e-05,9.635924e-05,9.645346e-05,9.654955e-05,9.658208e-05,9.667696e-05,9.668008e-05,9.674005e-05,9.675534e-05,9.677321e-05,9.677957e-05,9.677820e-05,9.675672e-05,9.671035e-05,9.669051e-05,9.664063e-05,9.658443e-05,9.654901e-05,9.644172e-05,9.643686e-05,9.630549e-05,9.626543e-05,9.615614e-05,9.605839e-05,9.598999e-05,9.582327e-05,9.580817e-05,9.561174e-05,9.556253e-05,9.540170e-05,9.527849e-05,9.517901e-05,9.497330e-05,9.494458e-05,9.469927e-05,9.464897e-05,9.444389e-05,9.430738e-05,9.417923e-05,9.395026e-05,9.390599e-05,9.362489e-05,9.357923e-05,9.333658e-05,9.319581e-05,9.304168e-05,9.280140e-05,9.274077e-05,9.243441e-05,9.239730e-05,9.212312e-05,9.198473e-05,9.180741e-05,9.156480e-05,9.148775e-05,9.116457e-05,9.113858e-05,9.083830e-05,9.070701e-05,9.050932e-05,9.027101e-05,9.017803e-05,8.984476e-05,8.983139e-05,8.950985e-05,8.938895e-05,8.917362e-05,8.894438e-05,8.883636e-05,8.849834e-05,8.805144e-05,8.760425e-05,8.715728e-05,8.671101e-05,8.626588e-05,8.582228e-05,8.538058e-05,8.494114e-05,8.450424e-05,8.407019e-05,8.363922e-05,8.321158e-05,8.278748e-05,8.236711e-05,8.195064e-05,8.153823e-05,8.113001e-05,8.072610e-05,8.032663e-05,7.993167e-05,7.954131e-05,7.915563e-05,7.877469e-05,7.839854e-05
0.000000e+00,5.171511e-09,1.177646e-08,4.014566e-08,9.075322e-08,1.320020e-07,2.976418e-07,3.065389e-07,5.905113e-07,6.935875e-07,1.013566e-06,1.347507e-06,1.607622e-06,2.328103e-06,2.398995e-06,3.394206e-06,3.661884e-06,4.576822e-06,5.311255e-06,5.920904e-06,7.218167e-06,7.402550e-06,9.002334e-06,9.334993e-06,1.070388e-05,1.162389e-05,1.249216e-05,1.405057e-05,1.435244e-05,1.626982e-05,1.658088e-05,1.822909e-05,1.917993e-05,2.021494e-05,2.181250e-05,2.221213e-05,2.420591e-05,2.444426e-05,2.618217e-05,2.704273e-05,2.812775e-05,2.957852e-05,3.003078e-05,3.188075e-05,3.202618e-05,3.366857e-05,3.436454e-05,3.538663e-05,3.657694e-05,3.702880e-05,3.859035e-05,3.865108e-05,4.006788e-05,4.057876e-05,4.145919e-05,4.235544e-05,4.276319e-05,4.397973e-05,4.510949e-05,4.545289e-05,4.615385e-05,4.677832e-05,4.711479e-05,4.796104e-05,4.799472e-05,4.879644e-05,4.900732e-05,4.952303e-05,4.992428e-05,5.017776e-05,5.071957e-05,5.076403e-05,5.128531e-05,5.140113e-05,5.174508e-05,5.197698e-05,5.214683e-05,5.245509e-05,5.249397e-05,5.278987e-05,5.284319e-05,5.303777e-05,5.314876e-05,5.324082e-05,5.337893e-05,5.340203e-05,5.352430e-05,5.354044e-05,5.361039e-05,5.363963e-05,5.366291e-05,5.368243e-05,5.368434e-05,5.367705e-05,5.367435e-05,5.364324e-05,5.362050e-05,5.358500e-05,5.352561e-05,5.350430e-05,5.340297e-05,5.339403e-05,5.328276e-05,5.322976e-05,5.314528e-05,5.303646e-05,5.299205e-05,5.282448e-05,5.281750e-05,5.264389e-05,5.257593e-05,5.245152e-05,5.231457e-05,5.224852e-05,5.203596e-05,5.181483e-05,5.174242e-05,5.158607e-05,5.143606e-05,5.135054e-05,5.111881e-05,5.110904e-05,5.086231e-05,5.079239e-05,5.061105e-05,5.045838e-05,5.035589e-05,5.011821e-05,5.009742e-05,4.983621e-05,4.977316e-05,4.957275e-05,4.942440e-05,4.930751e-05,4.907298e-05,4.904093e-05,4.877341e-05,4.871983e-05,4.850532e-05,4.836581e-05,4.823700e-05,4.801167e-05,4.796877e-05,4.770090e-05,4.765809e-05,4.743367e-05,4.730570e-05,4.716732e-05,4.695502e-05,4.690207e-05,4.663813e-05,4.660655e-05,4.637567e-05,4.626071e-05,4.611488e-05,4.591788e-05,4.585589e-05,4.559886e-05,4.557839e-05,4.534391e-05,4.524253e-05,4.509114e-05,4.491057e-05,4.484067e-05,4.459258e-05,4.458271e-05,4.434696e-05,4.425916e-05,4.410388e-05,4.394007e-05,4.386340e-05,4.362558e-05,4.331580e-05,4.301083e-05,4.271074e-05,4.241558e-05,4.212541e-05,4.184024e-05,4.156010e-05,4.128499e-05,4.101490e-05,4.074981e-05,4.048971e-05,4.023456e-05,3.998434e-05,3.973899e-05,3.949847e-05,3.926273e-05,3.903171e-05,3.880536e-05,3.858361e-05,3.836640e-05,3.815367e-05,3.794534e-05,3.774134e-05,3.754162e-05
0.000000e+00,3.401281e-09,7.766047e-09,2.660931e-08,6.038345e-08,8.797334e-08,1.988138e-07,2.047609e-07,3.938292e-07,4.620335e-07,6.722504e-07,8.894908e-07,1.057599e-06,1.521598e-06,1.567337e-06,2.216331e-06,2.393874e-06,3.012064e-06,3.520654e-06,3.950175e-06,4.881457e-06,5.015318e-06,6.187068e-06,6.432397e-06,7.445228e-06,8.127564e-06,8.771838e-06,9.927531e-06,1.015117e-05,1.156923e-05,1.179885e-05,1.301332e-05,1.371227e-05,1.447182e-05,1.564188e-05,1.593419e-05,1.739089e-05,1.756490e-05,1.883347e-05,1.946179e-05,2.025454e-05,2.131624e-05,2.164778e-05,2.300792e-05,2.311516e-05,2.433061e-05,2.484841e-05,2.561244e-05,2.650855e-05,2.685077e-05,2.804368e-05,2.809044e-05,2.918988e-05,2.959091e-05,3.028860e-05,3.100843e-05,3.133953e-05,3.234270e-05,3.329846e-05,3.359438e-05,3.420742e-05,3.476497e-05,3.507040e-05,3.585651e-05,3.588837e-05,3.666241e-05,3.687143e-05,3.739371e-05,3.781250e-05,3.808353e-05,3.868264e-05,3.873316e-05,3.934393e-05,3.948488e-05,3.991718e-05,4.022232e-05,4.045428e-05,4.089809e-05,4.095657e-05,4.142539e-05,4.151526e-05,4.186206e-05,4.207685e-05,4.226786e-05,4.258579e-05,4.264404e-05,4.299184e-05,4.304494e-05,4.331246e-05,4.345706e-05,4.360709e-05,4.382482e-05,4.387684e-05,4.412282e-05,4.415079e-05,4.434610e-05,4.443742e-05,4.454771e-05,4.468705e-05,4.472864e-05,4.488987e-05,4.490194e-05,4.503231e-05,4.508423e-05,4.515687e-05,4.523597e-05,4.526441e-05,4.535575e-05,4.535908e-05,4.543171e-05,4.545543e-05,4.549303e-05,4.552676e-05,4.554048e-05,4.557475e-05,4.559652e-05,4.560096e-05,4.560646e-05,4.560690e-05,4.560518e-05,4.559397e-05,4.559330e-05,4.557138e-05,4.556352e-05,4.553999e-05,4.551682e-05,4.549964e-05,4.545505e-05,4.545085e-05,4.539411e-05,4.537936e-05,4.532987e-05,4.529079e-05,4.525859e-05,4.519037e-05,4.518068e-05,4.509656e-05,4.507903e-05,4.500662e-05,4.495767e-05,4.491122e-05,4.482712e-05,4.481071e-05,4.470545e-05,4.468819e-05,4.459575e-05,4.454160e-05,4.448191e-05,4.438807e-05,4.436425e-05,4.424302e-05,4.422825e-05,4.411852e-05,4.406276e-05,4.399097e-05,4.389216e-05,4.386064e-05,4.372776e-05,4.371702e-05,4.359253e-05,4.353784e-05,4.345518e-05,4.335508e-05,4.331590e-05,4.317488e-05,4.316921e-05,4.303231e-05,4.298064e-05,4.288835e-05,4.278975e-05,4.274317e-05,4.259692e-05,4.240248e-05,4.220675e-05,4.201004e-05,4.181261e-05,4.161471e-05,4.141660e-05,4.121850e-05,4.102060e-05,4.082309e-05,4.062617e-05,4.042998e-05,4.023468e-05,4.004040e-05,3.984728e-05,3.965543e-05,3.946496e-05,3.927596e-05,3.908853e-05,3.890275e-05,3.871868e-05,3.853640e-05,3.835597e-05,3.817743e-05,3.800084e-05
0.000000e+00,5.556380e-09,1.266633e-08,4.325592e-08,9.787081e-08,1.423675e-07,3.205552e-07,3.300988e-07,6.330814e-07,7.422873e-07,1.078979e-06,1.427495e-06,1.697838e-06,2.448003e-06,2.522318e-06,3.584975e-06,3.878512e-06,4.910404e-06,5.770496e-06,6.504114e-06,8.114271e-06,8.347603e-06,1.040589e-05,1.083985e-05,1.263983e-05,1.385884e-05,1.501376e-05,1.709372e-05,1.749736e-05,2.006492e-05,2.048198e-05,2.269395e-05,2.397170e-05,2.536414e-05,2.751721e-05,2.805663e-05,3.075369e-05,3.107685e-05,3.343865e-05,3.461211e-05,3.609582e-05,3.808769e-05,3.871067e-05,4.126991e-05,4.147188e-05,4.376161e-05,4.473696e-05,4.617524e-05,4.785958e-05,4.850176e-05,5.073362e-05,5.082083e-05,5.286470e-05,5.360627e-05,5.489028e-05,5.620561e-05,5.680693e-05,5.861249e-05,6.030592e-05,6.082411e-05,6.188720e-05,6.284074e-05,6.335721e-05,6.466512e-05,6.471744e-05,6.596997e-05,6.630175e-05,6.711759e-05,6.775710e-05,6.816346e-05,6.903879e-05,6.911107e-05,6.996419e-05,7.015532e-05,7.072679e-05,7.111582e-05,7.140295e-05,7.192975e-05,7.199681e-05,7.251255e-05,7.260669e-05,7.295433e-05,7.315621e-05,7.332630e-05,7.358776e-05,7.363249e-05,7.387687e-05,7.391049e-05,7.406326e-05,7.413324e-05,7.419540e-05,7.426445e-05,7.427685e-05,7.431107e-05,7.431216e-05,7.430135e-05,7.428397e-05,7.425085e-05,7.418704e-05,7.416256e-05,7.403933e-05,7.402805e-05,7.388389e-05,7.381327e-05,7.369878e-05,7.354852e-05,7.348645e-05,7.324919e-05,7.323921e-05,7.298916e-05,7.289037e-05,7.270840e-05,7.250662e-05,7.240882e-05,7.209223e-05,7.176032e-05,7.165113e-05,7.141467e-05,7.118694e-05,7.105677e-05,7.070296e-05,7.068801e-05,7.030970e-05,7.020222e-05,6.992303e-05,6.968749e-05,6.952914e-05,6.916130e-05,6.912910e-05,6.872387e-05,6.862595e-05,6.831438e-05,6.808352e-05,6.790147e-05,6.753591e-05,6.748593e-05,6.706849e-05,6.698484e-05,6.664983e-05,6.643185e-05,6.623056e-05,6.587834e-05,6.581127e-05,6.539249e-05,6.532557e-05,6.497471e-05,6.477466e-05,6.455837e-05,6.422662e-05,6.414389e-05,6.373165e-05,6.368235e-05,6.332199e-05,6.314263e-05,6.291522e-05,6.260819e-05,6.251163e-05,6.211148e-05,6.207963e-05,6.171500e-05,6.155749e-05,6.132241e-05,6.104225e-05,6.093388e-05,6.054960e-05,6.053431e-05,6.016969e-05,6.003403e-05,5.979431e-05,5.954169e-05,5.942356e-05,5.905753e-05,5.858177e-05,5.811456e-05,5.765602e-05,5.720625e-05,5.676531e-05,5.633322e-05,5.591001e-05,5.549566e-05,5.509015e-05,5.469341e-05,5.430540e-05,5.392603e-05,5.355521e-05,5.319285e-05,5.283884e-05,5.249307e-05,5.215541e-05,5.182573e-05,5.150390e-05,5.118978e-05,5.088324e-05,5.058412e-05,5.029229e-05,5.000760e-05
0.000000e+00,6.094275e-09,1.391924e-08,4.774903e-08,1.085694e-07,1.584227e-07,3.601728e-07,3.710621e-07,7.204722e-07,8.479822e-07,1.245501e-06,1.662916e-06,1.990135e-06,2.910157e-06,3.002067e-06,4.326419e-06,4.694591e-06,5.992704e-06,7.076106e-06,7.999226e-06,1.001721e-05,1.030842e-05,1.286072e-05,1.339479e-05,1.559431e-05,1.706943e-05,1.845634e-05,2.092877e-05,2.140491e-05,2.440702e-05,2.489048e-05,2.743609e-05,2.889300e-05,3.047004e-05,3.288805e-05,3.349016e-05,3.648043e-05,3.683659e-05,3.942714e-05,4.070681e-05,4.231861e-05,4.447312e-05,4.514509e-05,4.789853e-05,4.811545e-05,5.057249e-05,5.161865e-05,5.316193e-05,5.497180e-05,5.566303e-05,5.807316e-05,5.816765e-05,6.039062e-05,6.120203e-05,6.261454e-05,6.407327e-05,6.474476e-05,6.678173e-05,6.872635e-05,6.932933e-05,7.057994e-05,7.171920e-05,7.234413e-05,7.395540e-05,7.402082e-05,7.561211e-05,7.604268e-05,7.712024e-05,7.798614e-05,7.854748e-05,7.979119e-05,7.989626e-05,8.116900e-05,8.146342e-05,8.236819e-05,8.300853e-05,8.349631e-05,8.443220e-05,8.455580e-05,8.554910e-05,8.574003e-05,8.647863e-05,8.693758e-05,8.734678e-05,8.803030e-05,8.815588e-05,8.890823e-05,8.902349e-05,8.960606e-05,8.992230e-05,9.025157e-05,9.073173e-05,9.084688e-05,9.139407e-05,9.145660e-05,9.189516e-05,9.210154e-05,9.235210e-05,9.267102e-05,9.276680e-05,9.314109e-05,9.316934e-05,9.347675e-05,9.360059e-05,9.377552e-05,9.396872e-05,9.403905e-05,9.426896e-05,9.427748e-05,9.446681e-05,9.453047e-05,9.463409e-05,9.473112e-05,9.477226e-05,9.488271e-05,9.496678e-05,9.498833e-05,9.502579e-05,9.505097e-05,9.506096e-05,9.507343e-05,9.507352e-05,9.506460e-05,9.505841e-05,9.503533e-05,9.500845e-05,9.498678e-05,9.492596e-05,9.491997e-05,9.483589e-05,9.481325e-05,9.473548e-05,9.467247e-05,9.461967e-05,9.450570e-05,9.448932e-05,9.434526e-05,9.431488e-05,9.418831e-05,9.410186e-05,9.401924e-05,9.386838e-05,9.383877e-05,9.364763e-05,9.361610e-05,9.344648e-05,9.334657e-05,9.323599e-05,9.306127e-05,9.301676e-05,9.278939e-05,9.276158e-05,9.255445e-05,9.244882e-05,9.231249e-05,9.212422e-05,9.206402e-05,9.180955e-05,9.178895e-05,9.154954e-05,9.144409e-05,9.128445e-05,9.109068e-05,9.101471e-05,9.074074e-05,9.072970e-05,9.046292e-05,9.036204e-05,9.018164e-05,8.998856e-05,8.989724e-05,8.961008e-05,8.922733e-05,8.884102e-05,8.845182e-05,8.806034e-05,8.766715e-05,8.727280e-05,8.687778e-05,8.648257e-05,8.608760e-05,8.569328e-05,8.529997e-05,8.490804e-05,8.451779e-05,8.412954e-05,8.374355e-05,8.336008e-05,8.297937e-05,8.260161e-05,8.222702e-05,8.185577e-05,8.148802e-05,8.112391e-05,8.076358e-05,8.040716e-05
0.000000e+00,5.607693e-08,1.279459e-07,4.393560e-07,1.005037e-06,1.475225e-06,3.439642e-06,3.548422e-06,7.176393e-06,8.560906e-06,1.304693e-05,1.796388e-05,2.190548e-05,3.304188e-05,3.414118e-05,4.939510e-05,5.341520e-05,6.684853e-05,7.729601e-05,8.575851e-05,1.032007e-04,1.056230e-04,1.261183e-04,1.302721e-04,1.470179e-04,1.579848e-04,1.681422e-04,1.859445e-04,1.893335e-04,2.104460e-04,2.138075e-04,2.313436e-04,2.412604e-04,2.518995e-04,2.680205e-04,2.719987e-04,2.915395e-04,2.938426e-04,3.104344e-04,3.185241e-04,3.286101e-04,3.419069e-04,3.460096e-04,3.625918e-04,3.638821e-04,3.783284e-04,3.843822e-04,3.932031e-04,4.033759e-04,4.072107e-04,4.203549e-04,4.208628e-04,4.326469e-04,4.368666e-04,4.441041e-04,4.514294e-04,4.547489e-04,4.646077e-04,4.737102e-04,4.764680e-04,4.820857e-04,4.870790e-04,4.897660e-04,4.965155e-04,4.967839e-04,5.031718e-04,5.048520e-04,5.089624e-04,5.121635e-04,5.141879e-04,5.185231e-04,5.188795e-04,5.230672e-04,5.240005e-04,5.267801e-04,5.286624e-04,5.300463e-04,5.325728e-04,5.328931e-04,5.353461e-04,5.357917e-04,5.374301e-04,5.383757e-04,5.391684e-04,5.403776e-04,5.405831e-04,5.416951e-04,5.418463e-04,5.425245e-04,5.428277e-04,5.430899e-04,5.433644e-04,5.434095e-04,5.434999e-04,5.434962e-04,5.433772e-04,5.432596e-04,5.430563e-04,5.426885e-04,5.425512e-04,5.418754e-04,5.418143e-04,5.410413e-04,5.406660e-04,5.400607e-04,5.392703e-04,5.389448e-04,5.377041e-04,5.376520e-04,5.363482e-04,5.358336e-04,5.348864e-04,5.338363e-04,5.333274e-04,5.316793e-04,5.299498e-04,5.293804e-04,5.281461e-04,5.269558e-04,5.262748e-04,5.244207e-04,5.243423e-04,5.223546e-04,5.217888e-04,5.203171e-04,5.190729e-04,5.182351e-04,5.162845e-04,5.161135e-04,5.139568e-04,5.134344e-04,5.117693e-04,5.105324e-04,5.095551e-04,5.075874e-04,5.073178e-04,5.050610e-04,5.046076e-04,5.027880e-04,5.016006e-04,5.005017e-04,4.985732e-04,4.982052e-04,4.959009e-04,4.955317e-04,4.935915e-04,4.924819e-04,4.912793e-04,4.894289e-04,4.889663e-04,4.866547e-04,4.863775e-04,4.843463e-04,4.833321e-04,4.820428e-04,4.802965e-04,4.797459e-04,4.774570e-04,4.772743e-04,4.751775e-04,4.742687e-04,4.729088e-04,4.712826e-04,4.706519e-04,4.684081e-04,4.683186e-04,4.661782e-04,4.653791e-04,4.639633e-04,4.624661e-04,4.617642e-04,4.595816e-04,4.567272e-04,4.539043e-04,4.511142e-04,4.483581e-04,4.456370e-04,4.429516e-04,4.403028e-04,4.376911e-04,4.351169e-04,4.325808e-04,4.300829e-04,4.276236e-04,4.252028e-04,4.228208e-04,4.204776e-04,4.181730e-04,4.159070e-04,4.136794e-04,4.114901e-04,4.093388e-04,4.072253e-04,4.051492e-04,4.031103e-04,4.011082e-04
0.000000e+00,7.225176e-09,1.641986e-08,5.575557e-08,1.256474e-07,1.824873e-07,4.103287e-07,4.225608e-07,8.132204e-07,9.552418e-07,1.397207e-06,1.860620e-06,2.223450e-06,3.238913e-06,3.339740e-06,4.771673e-06,5.161189e-06,6.500057e-06,7.576578e-06,8.467055e-06,1.034231e-05,1.060611e-05,1.286189e-05,1.332322e-05,1.519322e-05,1.642481e-05,1.756915e-05,1.958118e-05,1.996494e-05,2.235935e-05,2.274102e-05,2.473326e-05,2.586024e-05,2.706908e-05,2.889937e-05,2.935060e-05,3.156309e-05,3.182332e-05,3.369346e-05,3.460183e-05,3.573042e-05,3.721021e-05,3.766461e-05,3.948866e-05,3.962965e-05,4.119715e-05,4.184733e-05,4.278653e-05,4.385606e-05,4.425500e-05,4.560230e-05,4.565368e-05,4.682947e-05,4.724224e-05,4.793877e-05,4.862745e-05,4.893357e-05,4.981803e-05,5.059688e-05,5.082463e-05,5.127522e-05,5.165912e-05,5.185850e-05,5.233426e-05,5.235237e-05,5.276261e-05,5.286326e-05,5.309484e-05,5.325897e-05,5.335444e-05,5.353378e-05,5.354682e-05,5.367727e-05,5.369992e-05,5.375072e-05,5.376874e-05,5.377192e-05,5.375095e-05,5.374539e-05,5.367538e-05,5.365651e-05,5.356585e-05,5.349452e-05,5.342051e-05,5.327325e-05,5.324277e-05,5.303587e-05,5.300026e-05,5.280278e-05,5.268241e-05,5.254626e-05,5.232589e-05,5.226885e-05,5.197290e-05,5.193625e-05,5.166056e-05,5.151846e-05,5.133382e-05,5.107699e-05,5.099450e-05,5.064425e-05,5.061581e-05,5.028462e-05,5.013846e-05,4.991700e-05,4.964808e-05,4.954266e-05,4.916276e-05,4.914746e-05,4.877837e-05,4.863908e-05,4.839046e-05,4.812512e-05,4.799991e-05,4.760751e-05,4.721400e-05,4.708795e-05,4.682003e-05,4.656792e-05,4.642619e-05,4.604874e-05,4.603303e-05,4.564103e-05,4.553154e-05,4.525063e-05,4.501732e-05,4.486221e-05,4.450694e-05,4.447615e-05,4.409274e-05,4.400115e-05,4.371227e-05,4.350058e-05,4.333499e-05,4.300580e-05,4.296112e-05,4.259086e-05,4.251726e-05,4.222438e-05,4.203536e-05,4.186183e-05,4.156042e-05,4.150334e-05,4.114902e-05,4.109272e-05,4.079897e-05,4.063248e-05,4.045326e-05,4.017987e-05,4.011196e-05,3.977513e-05,3.973501e-05,3.944280e-05,3.929802e-05,3.911501e-05,3.886894e-05,3.879178e-05,3.847311e-05,3.844782e-05,3.815902e-05,3.803466e-05,3.784950e-05,3.762947e-05,3.754454e-05,3.724412e-05,3.723220e-05,3.694824e-05,3.684282e-05,3.665685e-05,3.646126e-05,3.636993e-05,3.608745e-05,3.572131e-05,3.536275e-05,3.501166e-05,3.466793e-05,3.433146e-05,3.400212e-05,3.367980e-05,3.336437e-05,3.305570e-05,3.275367e-05,3.245813e-05,3.216897e-05,3.188604e-05,3.160923e-05,3.133839e-05,3.107339e-05,3.081412e-05,3.056043e-05,3.031220e-05,3.006931e-05,2.983163e-05,2.959904e-05,2.937142e-05,2.914865e-05
0.000000e+00,6.996351e-09,1.598521e-08,5.486786e-08,1.247858e-07,1.820798e-07,4.136218e-07,4.261016e-07,8.254930e-07,9.707200e-07,1.421705e-06,1.892520e-06,2.259784e-06,3.284888e-06,3.386752e-06,4.845620e-06,5.248677e-06,6.663265e-06,7.837963e-06,8.835902e-06,1.101150e-05,1.132501e-05,1.407112e-05,1.464566e-05,1.701294e-05,1.860213e-05,2.009778e-05,2.276803e-05,2.328287e-05,2.653323e-05,2.705732e-05,2.981942e-05,3.140189e-05,3.311591e-05,3.574540e-05,3.640034e-05,3.965303e-05,4.004038e-05,4.285681e-05,4.424709e-05,4.599692e-05,4.833307e-05,4.906090e-05,5.203846e-05,5.227267e-05,5.492134e-05,5.604647e-05,5.770312e-05,5.964071e-05,6.037910e-05,6.294581e-05,6.304617e-05,6.540117e-05,6.625764e-05,6.774426e-05,6.927334e-05,6.997498e-05,7.209404e-05,7.410281e-05,7.472261e-05,7.600311e-05,7.716338e-05,7.779715e-05,7.942181e-05,7.948747e-05,8.107687e-05,8.150421e-05,8.256831e-05,8.341743e-05,8.396488e-05,8.516867e-05,8.526976e-05,8.648616e-05,8.676530e-05,8.761735e-05,8.821479e-05,8.866654e-05,8.952456e-05,8.963695e-05,9.053177e-05,9.070193e-05,9.135411e-05,9.175410e-05,9.210704e-05,9.268807e-05,9.279358e-05,9.341664e-05,9.351063e-05,9.397907e-05,9.422833e-05,9.448367e-05,9.484750e-05,9.493310e-05,9.533000e-05,9.537422e-05,9.567688e-05,9.581429e-05,9.597618e-05,9.617329e-05,9.623028e-05,9.644144e-05,9.645654e-05,9.661186e-05,9.666911e-05,9.674367e-05,9.681581e-05,9.683890e-05,9.689952e-05,9.690125e-05,9.692740e-05,9.692978e-05,9.692437e-05,9.690554e-05,9.689216e-05,9.683245e-05,9.674684e-05,9.671422e-05,9.663686e-05,9.655437e-05,9.650399e-05,9.635621e-05,9.634964e-05,9.617516e-05,9.612287e-05,9.598184e-05,9.585732e-05,9.577091e-05,9.556233e-05,9.554357e-05,9.530093e-05,9.524054e-05,9.504408e-05,9.489441e-05,9.477403e-05,9.452627e-05,9.449179e-05,9.419827e-05,9.413829e-05,9.389437e-05,9.373252e-05,9.358094e-05,9.331089e-05,9.325879e-05,9.292869e-05,9.287519e-05,9.259138e-05,9.242710e-05,9.224753e-05,9.196821e-05,9.189783e-05,9.154289e-05,9.149997e-05,9.118331e-05,9.102377e-05,9.081966e-05,9.054088e-05,9.045246e-05,9.008224e-05,9.005251e-05,8.970947e-05,8.955974e-05,8.933459e-05,8.906363e-05,8.895805e-05,8.858025e-05,8.856512e-05,8.820157e-05,8.806510e-05,8.782237e-05,8.756440e-05,8.744300e-05,8.706376e-05,8.656390e-05,8.606545e-05,8.556901e-05,8.507513e-05,8.458429e-05,8.409696e-05,8.361354e-05,8.313442e-05,8.265993e-05,8.219039e-05,8.172606e-05,8.126720e-05,8.081403e-05,8.036673e-05,7.992548e-05,7.949043e-05,7.906170e-05,7.863940e-05,7.822361e-05,7.781442e-05,7.741188e-05,7.701603e-05,7.662691e-05,7.624452e-05
0.000000e+00,5.412841e-08,1.237181e-07,4.249770e-07,9.672052e-07,1.411856e-06,3.211110e-06,3.308184e-06,6.419945e-06,7.553844e-06,1.108200e-05,1.477197e-05,1.764946e-05,2.563256e-05,2.641937e-05,3.750879e-05,4.051027e-05,5.085081e-05,5.925599e-05,6.631054e-05,8.156541e-05,8.376079e-05,1.030910e-04,1.071733e-04,1.241947e-04,1.358324e-04,1.469585e-04,1.672707e-04,1.712556e-04,1.969445e-04,2.011737e-04,2.238695e-04,2.371840e-04,2.518639e-04,2.749124e-04,2.807534e-04,3.103603e-04,3.139529e-04,3.405074e-04,3.538984e-04,3.710218e-04,3.943564e-04,4.017382e-04,4.325013e-04,4.349600e-04,4.631676e-04,4.753773e-04,4.936067e-04,5.153161e-04,5.237020e-04,5.533511e-04,5.545265e-04,5.824656e-04,5.928011e-04,6.109704e-04,6.299729e-04,6.388028e-04,6.659121e-04,6.922581e-04,7.005223e-04,7.178101e-04,7.337363e-04,7.425462e-04,7.655117e-04,7.664519e-04,7.895191e-04,7.958272e-04,8.117454e-04,8.246784e-04,8.331332e-04,8.520749e-04,8.536889e-04,8.734224e-04,8.780374e-04,8.923460e-04,9.025949e-04,9.104746e-04,9.257832e-04,9.278247e-04,9.444144e-04,9.476428e-04,9.602627e-04,9.682172e-04,9.753891e-04,9.875523e-04,9.898140e-04,1.003558e-03,1.005695e-03,1.016642e-03,1.022694e-03,1.029086e-03,1.038595e-03,1.040911e-03,1.052139e-03,1.053447e-03,1.062787e-03,1.067295e-03,1.072878e-03,1.080185e-03,1.082430e-03,1.091461e-03,1.092162e-03,1.099992e-03,1.103268e-03,1.108040e-03,1.113545e-03,1.115622e-03,1.122755e-03,1.123032e-03,1.129458e-03,1.131768e-03,1.135744e-03,1.139790e-03,1.141631e-03,1.147134e-03,1.152266e-03,1.153833e-03,1.157043e-03,1.159920e-03,1.161478e-03,1.165427e-03,1.165585e-03,1.169376e-03,1.170382e-03,1.172863e-03,1.174815e-03,1.176059e-03,1.178752e-03,1.178975e-03,1.181623e-03,1.182219e-03,1.184012e-03,1.185241e-03,1.186154e-03,1.187842e-03,1.188058e-03,1.189735e-03,1.190044e-03,1.191193e-03,1.191867e-03,1.192441e-03,1.193333e-03,1.193488e-03,1.194342e-03,1.194461e-03,1.195011e-03,1.195269e-03,1.195503e-03,1.195775e-03,1.195826e-03,1.195986e-03,1.195995e-03,1.195990e-03,1.195945e-03,1.195846e-03,1.195640e-03,1.195559e-03,1.195135e-03,1.195095e-03,1.194580e-03,1.194323e-03,1.193901e-03,1.193338e-03,1.193103e-03,1.192190e-03,1.192151e-03,1.191168e-03,1.190774e-03,1.190042e-03,1.189219e-03,1.188816e-03,1.187496e-03,1.185614e-03,1.183585e-03,1.181416e-03,1.179117e-03,1.176695e-03,1.174159e-03,1.171515e-03,1.168772e-03,1.165935e-03,1.163011e-03,1.160006e-03,1.156926e-03,1.153777e-03,1.150562e-03,1.147289e-03,1.143960e-03,1.140581e-03,1.137156e-03,1.133688e-03,1.130182e-03,1.126642e-03,1.123070e-03,1.119470e-03,1.115845e-03
0.000000e+00,2.503846e-09,5.712850e-09,1.954851e-08,4.432119e-08,6.455182e-08,1.458779e-07,1.502456e-07,2.893996e-07,3.397523e-07,4.954608e-07,6.570699e-07,7.824515e-07,1.128473e-06,1.162474e-06,1.639970e-06,1.768555e-06,2.208683e-06,2.562595e-06,2.856706e-06,3.483223e-06,3.572320e-06,4.345489e-06,4.506233e-06,5.167286e-06,5.611016e-06,6.029235e-06,6.778218e-06,6.923024e-06,7.840466e-06,7.988915e-06,8.773604e-06,9.224844e-06,9.714868e-06,1.046898e-05,1.065722e-05,1.159427e-05,1.170609e-05,1.252037e-05,1.292309e-05,1.343060e-05,1.410920e-05,1.432085e-05,1.518771e-05,1.525596e-05,1.602847e-05,1.635698e-05,1.684106e-05,1.740779e-05,1.762394e-05,1.837608e-05,1.840551e-05,1.909686e-05,1.934860e-05,1.978602e-05,2.023658e-05,2.044358e-05,2.106980e-05,2.166515e-05,2.184923e-05,2.223023e-05,2.257633e-05,2.276578e-05,2.325288e-05,2.327261e-05,2.375162e-05,2.388088e-05,2.420372e-05,2.446248e-05,2.462989e-05,2.499990e-05,2.503110e-05,2.540833e-05,2.549541e-05,2.576255e-05,2.595123e-05,2.609474e-05,2.636959e-05,2.640584e-05,2.669679e-05,2.675264e-05,2.696849e-05,2.710245e-05,2.722181e-05,2.742103e-05,2.745762e-05,2.767674e-05,2.771030e-05,2.787996e-05,2.797208e-05,2.806805e-05,2.820813e-05,2.824176e-05,2.840179e-05,2.842010e-05,2.854882e-05,2.860957e-05,2.868351e-05,2.877800e-05,2.880648e-05,2.891834e-05,2.892683e-05,2.901966e-05,2.905736e-05,2.911098e-05,2.917084e-05,2.919284e-05,2.926573e-05,2.926847e-05,2.933014e-05,2.935134e-05,2.938653e-05,2.942050e-05,2.943532e-05,2.947693e-05,2.951178e-05,2.952156e-05,2.954022e-05,2.955523e-05,2.956262e-05,2.957877e-05,2.957934e-05,2.959069e-05,2.959295e-05,2.959698e-05,2.959846e-05,2.959852e-05,2.959598e-05,2.959559e-05,2.958846e-05,2.958615e-05,2.957738e-05,2.956954e-05,2.956259e-05,2.954670e-05,2.954433e-05,2.952282e-05,2.951815e-05,2.949828e-05,2.948437e-05,2.947088e-05,2.944582e-05,2.944084e-05,2.940832e-05,2.940290e-05,2.937350e-05,2.935601e-05,2.933653e-05,2.930553e-05,2.929759e-05,2.925680e-05,2.925178e-05,2.921431e-05,2.919510e-05,2.917024e-05,2.913579e-05,2.912474e-05,2.907791e-05,2.907411e-05,2.902986e-05,2.901033e-05,2.898071e-05,2.894469e-05,2.893055e-05,2.887948e-05,2.887742e-05,2.882758e-05,2.880872e-05,2.877496e-05,2.873879e-05,2.872168e-05,2.866782e-05,2.859596e-05,2.852339e-05,2.845023e-05,2.837663e-05,2.830271e-05,2.822859e-05,2.815437e-05,2.808016e-05,2.800603e-05,2.793209e-05,2.785840e-05,2.778503e-05,2.771206e-05,2.763953e-05,2.756751e-05,2.749605e-05,2.742518e-05,2.735496e-05,2.728542e-05,2.721659e-05,2.714850e-05,2.708118e-05,2.701466e-05,2.694896e-05
0.000000e+00,6.154913e-08,1.403445e-07,4.794160e-07,1.084493e-06,1.576948e-06,3.542842e-06,3.647829e-06,6.963429e-06,8.149925e-06,1.177879e-05,1.548872e-05,1.833461e-05,2.609287e-05,2.685090e-05,3.750508e-05,4.039294e-05,5.038861e-05,5.856664e-05,6.545572e-05,8.036686e-05,8.250864e-05,1.012462e-04,1.051665e-04,1.213366e-04,1.322123e-04,1.424639e-04,1.608012e-04,1.643410e-04,1.867093e-04,1.903179e-04,2.093349e-04,2.202235e-04,2.320057e-04,2.500462e-04,2.545313e-04,2.767432e-04,2.793803e-04,2.984949e-04,3.078870e-04,3.196620e-04,3.352940e-04,3.401417e-04,3.598516e-04,3.613931e-04,3.787283e-04,3.860348e-04,3.967256e-04,4.091214e-04,4.138128e-04,4.299721e-04,4.305990e-04,4.451974e-04,4.504502e-04,4.594919e-04,4.686857e-04,4.728663e-04,4.853377e-04,4.969285e-04,5.004557e-04,5.076644e-04,5.140998e-04,5.175740e-04,5.263382e-04,5.266878e-04,5.350382e-04,5.372439e-04,5.426577e-04,5.468924e-04,5.495795e-04,5.553599e-04,5.558368e-04,5.614623e-04,5.627221e-04,5.664886e-04,5.690534e-04,5.709474e-04,5.744261e-04,5.748694e-04,5.782845e-04,5.789092e-04,5.812211e-04,5.825682e-04,5.837068e-04,5.854658e-04,5.857682e-04,5.874307e-04,5.876613e-04,5.887187e-04,5.892108e-04,5.896556e-04,5.901671e-04,5.902634e-04,5.905633e-04,5.905795e-04,5.905755e-04,5.904947e-04,5.903191e-04,5.899559e-04,5.898125e-04,5.890728e-04,5.890040e-04,5.881165e-04,5.876768e-04,5.869591e-04,5.860096e-04,5.856154e-04,5.840993e-04,5.840353e-04,5.824241e-04,5.817844e-04,5.806022e-04,5.792855e-04,5.786454e-04,5.765648e-04,5.743710e-04,5.736468e-04,5.720740e-04,5.705540e-04,5.696829e-04,5.673073e-04,5.672067e-04,5.646537e-04,5.639261e-04,5.620316e-04,5.604283e-04,5.593478e-04,5.568301e-04,5.566092e-04,5.538223e-04,5.531469e-04,5.509931e-04,5.493925e-04,5.481274e-04,5.455796e-04,5.452305e-04,5.423075e-04,5.417202e-04,5.393630e-04,5.378248e-04,5.364013e-04,5.339033e-04,5.334267e-04,5.304428e-04,5.299648e-04,5.274534e-04,5.260174e-04,5.244616e-04,5.220687e-04,5.214707e-04,5.184834e-04,5.181253e-04,5.155025e-04,5.141936e-04,5.125304e-04,5.102790e-04,5.095695e-04,5.066217e-04,5.063866e-04,5.036892e-04,5.025208e-04,5.007737e-04,4.986859e-04,4.978767e-04,4.950000e-04,4.948854e-04,4.921448e-04,4.911225e-04,4.893125e-04,4.874001e-04,4.865041e-04,4.837208e-04,4.800868e-04,4.764999e-04,4.729619e-04,4.694742e-04,4.660380e-04,4.626544e-04,4.593240e-04,4.560475e-04,4.528255e-04,4.496582e-04,4.465459e-04,4.434886e-04,4.404864e-04,4.375391e-04,4.346465e-04,4.318083e-04,4.290242e-04,4.262937e-04,4.236163e-04,4.209916e-04,4.184189e-04,4.158977e-04,4.134272e-04,4.110067e-04
0.000000e+00,3.848397e-09,8.682725e-09,2.908096e-08,6.486018e-08,9.377623e-08,2.094027e-07,2.156187e-07,4.153337e-07,4.885084e-07,7.171228e-07,9.553198e-07,1.138201e-06,1.623035e-06,1.668774e-06,2.275515e-06,2.428677e-06,2.926482e-06,3.302180e-06,3.600805e-06,4.203145e-06,4.285542e-06,4.971596e-06,5.108291e-06,5.651490e-06,6.000343e-06,6.318488e-06,6.864258e-06,6.966407e-06,7.589734e-06,7.686858e-06,8.183788e-06,8.457410e-06,8.744867e-06,9.168166e-06,9.270311e-06,9.758498e-06,9.814536e-06,1.020877e-05,1.039489e-05,1.062130e-05,1.091011e-05,1.099699e-05,1.133726e-05,1.136301e-05,1.164395e-05,1.175768e-05,1.191913e-05,1.209901e-05,1.216504e-05,1.238399e-05,1.239222e-05,1.257825e-05,1.264257e-05,1.275002e-05,1.285507e-05,1.290142e-05,1.303439e-05,1.315075e-05,1.318475e-05,1.325216e-05,1.330992e-05,1.334012e-05,1.341319e-05,1.341601e-05,1.348103e-05,1.349744e-05,1.353628e-05,1.356515e-05,1.358273e-05,1.361844e-05,1.362125e-05,1.365260e-05,1.365914e-05,1.367747e-05,1.368879e-05,1.369646e-05,1.370875e-05,1.371013e-05,1.371894e-05,1.372016e-05,1.372333e-05,1.372399e-05,1.372368e-05,1.372112e-05,1.372035e-05,1.371364e-05,1.371227e-05,1.370383e-05,1.369809e-05,1.369117e-05,1.367916e-05,1.367591e-05,1.365824e-05,1.365597e-05,1.363836e-05,1.362896e-05,1.361645e-05,1.359853e-05,1.359265e-05,1.356714e-05,1.356503e-05,1.354003e-05,1.352877e-05,1.351146e-05,1.349005e-05,1.348154e-05,1.345039e-05,1.344912e-05,1.341809e-05,1.340621e-05,1.338476e-05,1.336154e-05,1.335047e-05,1.331530e-05,1.327934e-05,1.326768e-05,1.324266e-05,1.321883e-05,1.320531e-05,1.316890e-05,1.316737e-05,1.312890e-05,1.311804e-05,1.308994e-05,1.306636e-05,1.305056e-05,1.301399e-05,1.301080e-05,1.297070e-05,1.296104e-05,1.293032e-05,1.290759e-05,1.288969e-05,1.285375e-05,1.284884e-05,1.280783e-05,1.279961e-05,1.276667e-05,1.274523e-05,1.272541e-05,1.269068e-05,1.268407e-05,1.264268e-05,1.263605e-05,1.260126e-05,1.258139e-05,1.255986e-05,1.252675e-05,1.251847e-05,1.247714e-05,1.247218e-05,1.243588e-05,1.241775e-05,1.239470e-05,1.236348e-05,1.235364e-05,1.231270e-05,1.230943e-05,1.227190e-05,1.225563e-05,1.223127e-05,1.220211e-05,1.219080e-05,1.215052e-05,1.214891e-05,1.211044e-05,1.209606e-05,1.207056e-05,1.204358e-05,1.203091e-05,1.199149e-05,1.193983e-05,1.188860e-05,1.183784e-05,1.178755e-05,1.173775e-05,1.168845e-05,1.163967e-05,1.159141e-05,1.154370e-05,1.149652e-05,1.144990e-05,1.140384e-05,1.135833e-05,1.131340e-05,1.126903e-05,1.122524e-05,1.118203e-05,1.113939e-05,1.109733e-05,1.105585e-05,1.101494e-05,1.097461e-05,1.093485e-05,1.089567e-05
0.000000e+00,2.315655e-09,5.282253e-09,1.808707e-08,4.111154e-08,6.002188e-08,1.370724e-07,1.412575e-07,2.770351e-07,3.272856e-07,4.861222e-07,6.558970e-07,7.905707e-07,1.172650e-06,1.210848e-06,1.755110e-06,1.903301e-06,2.412246e-06,2.821061e-06,3.159229e-06,3.872472e-06,3.973004e-06,4.835479e-06,5.012569e-06,5.733180e-06,6.210365e-06,6.655690e-06,7.443452e-06,7.594420e-06,8.541910e-06,8.693865e-06,9.491479e-06,9.946217e-06,1.043710e-05,1.118710e-05,1.137337e-05,1.229550e-05,1.240500e-05,1.319933e-05,1.359030e-05,1.408137e-05,1.473535e-05,1.493874e-05,1.576913e-05,1.583435e-05,1.657081e-05,1.688314e-05,1.734254e-05,1.787916e-05,1.808348e-05,1.879311e-05,1.882084e-05,1.947132e-05,1.970780e-05,2.011821e-05,2.054038e-05,2.073413e-05,2.131960e-05,2.187527e-05,2.204691e-05,2.240189e-05,2.272406e-05,2.290029e-05,2.335305e-05,2.337138e-05,2.381608e-05,2.393599e-05,2.423534e-05,2.447509e-05,2.463013e-05,2.497256e-05,2.500143e-05,2.535017e-05,2.543062e-05,2.567732e-05,2.585143e-05,2.598379e-05,2.623710e-05,2.627049e-05,2.653829e-05,2.658966e-05,2.678806e-05,2.691108e-05,2.702061e-05,2.720323e-05,2.723674e-05,2.743722e-05,2.746789e-05,2.762279e-05,2.770677e-05,2.779415e-05,2.792148e-05,2.795200e-05,2.809697e-05,2.811354e-05,2.822971e-05,2.828439e-05,2.835081e-05,2.843541e-05,2.846083e-05,2.856035e-05,2.856787e-05,2.864986e-05,2.868299e-05,2.872989e-05,2.878190e-05,2.880091e-05,2.886337e-05,2.886570e-05,2.891771e-05,2.893537e-05,2.896436e-05,2.899188e-05,2.900370e-05,2.903612e-05,2.906198e-05,2.906892e-05,2.908162e-05,2.909108e-05,2.909538e-05,2.910334e-05,2.910356e-05,2.910647e-05,2.910638e-05,2.910439e-05,2.910087e-05,2.909760e-05,2.908741e-05,2.908635e-05,2.907089e-05,2.906658e-05,2.905145e-05,2.903891e-05,2.902826e-05,2.900492e-05,2.900154e-05,2.897147e-05,2.896508e-05,2.893827e-05,2.891982e-05,2.890211e-05,2.886958e-05,2.886317e-05,2.882161e-05,2.881473e-05,2.877760e-05,2.875564e-05,2.873128e-05,2.869267e-05,2.868281e-05,2.863231e-05,2.862612e-05,2.857992e-05,2.855631e-05,2.852577e-05,2.848351e-05,2.846997e-05,2.841264e-05,2.840799e-05,2.835388e-05,2.833000e-05,2.829379e-05,2.824977e-05,2.823248e-05,2.817004e-05,2.816752e-05,2.810654e-05,2.808345e-05,2.804209e-05,2.799775e-05,2.797676e-05,2.791062e-05,2.782220e-05,2.773266e-05,2.764215e-05,2.755080e-05,2.745874e-05,2.736610e-05,2.727297e-05,2.717949e-05,2.708572e-05,2.699178e-05,2.689775e-05,2.680370e-05,2.670971e-05,2.661585e-05,2.652219e-05,2.642878e-05,2.633568e-05,2.624295e-05,2.615062e-05,2.605876e-05,2.596738e-05,2.587655e-05,2.578628e-05,2.569662e-05
0.000000e+00,1.503093e-09,3.429312e-09,1.172899e-08,2.656414e-08,3.865350e-08,8.701208e-08,8.959833e-08,1.714357e-07,2.007914e-07,2.907894e-07,3.831256e-07,4.541827e-07,6.489302e-07,6.680430e-07,9.383893e-07,1.012248e-06,1.269926e-06,1.483160e-06,1.664473e-06,2.061972e-06,2.119603e-06,2.628945e-06,2.736594e-06,3.184150e-06,3.488151e-06,3.776769e-06,4.297816e-06,4.399090e-06,5.044220e-06,5.149133e-06,5.705923e-06,6.027727e-06,6.378466e-06,6.920725e-06,7.056542e-06,7.735243e-06,7.816511e-06,8.410074e-06,8.704710e-06,9.076974e-06,9.576279e-06,9.732339e-06,1.037303e-05,1.042357e-05,1.099639e-05,1.124037e-05,1.160021e-05,1.202184e-05,1.218271e-05,1.274253e-05,1.276444e-05,1.327869e-05,1.346577e-05,1.379050e-05,1.412444e-05,1.427762e-05,1.473991e-05,1.517747e-05,1.531230e-05,1.559057e-05,1.584231e-05,1.597964e-05,1.633104e-05,1.634522e-05,1.668793e-05,1.677989e-05,1.700849e-05,1.719049e-05,1.730763e-05,1.756462e-05,1.758616e-05,1.784489e-05,1.790412e-05,1.808463e-05,1.821090e-05,1.830621e-05,1.848683e-05,1.851045e-05,1.869817e-05,1.873380e-05,1.887014e-05,1.895360e-05,1.902715e-05,1.914801e-05,1.916993e-05,1.929923e-05,1.931871e-05,1.941574e-05,1.946732e-05,1.952013e-05,1.959535e-05,1.961305e-05,1.969513e-05,1.970428e-05,1.976695e-05,1.979546e-05,1.982910e-05,1.987018e-05,1.988210e-05,1.992648e-05,1.992967e-05,1.996273e-05,1.997506e-05,1.999132e-05,2.000742e-05,2.001271e-05,2.002731e-05,2.002776e-05,2.003553e-05,2.003700e-05,2.003775e-05,2.003602e-05,2.003434e-05,2.002565e-05,2.001201e-05,2.000665e-05,1.999372e-05,1.997972e-05,1.997109e-05,1.994553e-05,1.994439e-05,1.991389e-05,1.990470e-05,1.987984e-05,1.985781e-05,1.984249e-05,1.980539e-05,1.980205e-05,1.975875e-05,1.974795e-05,1.971278e-05,1.968594e-05,1.966433e-05,1.961980e-05,1.961360e-05,1.956075e-05,1.954994e-05,1.950594e-05,1.947671e-05,1.944932e-05,1.940048e-05,1.939105e-05,1.933127e-05,1.932157e-05,1.927009e-05,1.924027e-05,1.920765e-05,1.915686e-05,1.914405e-05,1.907942e-05,1.907160e-05,1.901385e-05,1.898472e-05,1.894744e-05,1.889646e-05,1.888028e-05,1.881246e-05,1.880701e-05,1.874407e-05,1.871657e-05,1.867518e-05,1.862530e-05,1.860586e-05,1.853618e-05,1.853338e-05,1.846621e-05,1.844096e-05,1.839600e-05,1.834816e-05,1.832563e-05,1.825513e-05,1.816197e-05,1.806881e-05,1.797573e-05,1.788283e-05,1.779020e-05,1.769791e-05,1.760603e-05,1.751463e-05,1.742377e-05,1.733351e-05,1.724389e-05,1.715496e-05,1.706675e-05,1.697931e-05,1.689267e-05,1.680685e-05,1.672189e-05,1.663781e-05,1.655463e-05,1.647236e-05,1.639102e-05,1.631064e-05,1.623120e-05,1.615274e-05
0.000000e+00,2.589746e-09,5.902496e-09,2.014195e-08,4.551191e-08,6.613092e-08,1.482408e-07,1.526178e-07,2.904958e-07,3.396866e-07,4.897205e-07,6.425523e-07,7.594758e-07,1.077198e-06,1.108182e-06,1.543164e-06,1.661050e-06,2.069728e-06,2.405444e-06,2.689595e-06,3.309786e-06,3.399496e-06,4.191303e-06,4.358539e-06,5.053880e-06,5.526389e-06,5.975199e-06,6.785930e-06,6.943570e-06,7.948053e-06,8.111431e-06,8.978474e-06,9.479485e-06,1.002537e-05,1.086882e-05,1.107996e-05,1.213416e-05,1.226028e-05,1.318062e-05,1.363689e-05,1.421277e-05,1.498406e-05,1.522485e-05,1.621188e-05,1.628963e-05,1.716974e-05,1.754393e-05,1.809505e-05,1.873961e-05,1.898517e-05,1.983816e-05,1.987149e-05,2.065268e-05,2.093632e-05,2.142791e-05,2.193243e-05,2.216350e-05,2.285951e-05,2.351635e-05,2.371837e-05,2.413470e-05,2.451065e-05,2.471546e-05,2.523862e-05,2.525971e-05,2.576867e-05,2.590503e-05,2.624365e-05,2.651291e-05,2.668605e-05,2.706550e-05,2.709728e-05,2.747879e-05,2.756609e-05,2.783203e-05,2.801804e-05,2.815844e-05,2.842461e-05,2.845943e-05,2.873637e-05,2.878900e-05,2.899060e-05,2.911425e-05,2.922340e-05,2.940331e-05,2.943602e-05,2.962964e-05,2.965894e-05,2.980541e-05,2.988375e-05,2.996439e-05,3.008020e-05,3.010763e-05,3.023610e-05,3.025057e-05,3.035073e-05,3.039700e-05,3.045239e-05,3.052149e-05,3.054192e-05,3.062010e-05,3.062588e-05,3.068767e-05,3.071189e-05,3.074533e-05,3.078108e-05,3.079374e-05,3.083353e-05,3.083495e-05,3.086526e-05,3.087482e-05,3.088949e-05,3.090196e-05,3.090675e-05,3.091751e-05,3.092223e-05,3.092253e-05,3.092133e-05,3.091801e-05,3.091524e-05,3.090483e-05,3.090431e-05,3.088891e-05,3.088384e-05,3.086937e-05,3.085579e-05,3.084600e-05,3.082138e-05,3.081910e-05,3.078895e-05,3.078125e-05,3.075579e-05,3.073601e-05,3.071989e-05,3.068619e-05,3.068146e-05,3.064071e-05,3.063230e-05,3.059786e-05,3.057480e-05,3.055308e-05,3.051410e-05,3.050655e-05,3.045844e-05,3.045060e-05,3.040890e-05,3.038466e-05,3.035808e-05,3.031659e-05,3.030611e-05,3.025313e-05,3.024671e-05,3.019924e-05,3.017528e-05,3.014457e-05,3.010255e-05,3.008921e-05,3.003326e-05,3.002876e-05,2.997682e-05,2.995412e-05,2.991996e-05,2.987882e-05,2.986278e-05,2.980534e-05,2.980304e-05,2.974771e-05,2.972693e-05,2.968996e-05,2.965065e-05,2.963215e-05,2.957434e-05,2.949810e-05,2.942206e-05,2.934631e-05,2.927095e-05,2.919605e-05,2.912170e-05,2.904797e-05,2.897490e-05,2.890256e-05,2.883099e-05,2.876024e-05,2.869034e-05,2.862133e-05,2.855325e-05,2.848610e-05,2.841992e-05,2.835472e-05,2.829053e-05,2.822735e-05,2.816519e-05,2.810406e-05,2.804397e-05,2.798492e-05,2.792691e-05
0.000000e+00,1.585353e-07,3.617790e-07,1.242421e-06,2.841632e-06,4.170692e-06,9.727095e-06,1.003505e-05,2.031085e-05,2.422134e-05,3.673208e-05,4.998981e-05,6.021514e-05,8.746907e-05,9.005954e-05,1.249959e-04,1.340247e-04,1.640788e-04,1.875416e-04,2.067005e-04,2.467793e-04,2.524150e-04,3.008235e-04,3.107932e-04,3.515211e-04,3.786473e-04,4.040796e-04,4.493376e-04,4.580484e-04,5.129663e-04,5.218105e-04,5.683751e-04,5.950145e-04,6.238316e-04,6.679512e-04,6.789210e-04,7.332654e-04,7.397203e-04,7.865304e-04,8.095491e-04,8.384279e-04,8.768048e-04,8.887160e-04,9.372006e-04,9.409967e-04,9.837330e-04,1.001774e-03,1.028204e-03,1.058905e-03,1.070541e-03,1.110702e-03,1.112263e-03,1.148673e-03,1.161807e-03,1.184462e-03,1.207564e-03,1.218094e-03,1.249613e-03,1.279071e-03,1.288072e-03,1.306530e-03,1.323087e-03,1.332060e-03,1.354821e-03,1.355733e-03,1.377627e-03,1.383449e-03,1.397820e-03,1.409152e-03,1.416390e-03,1.432108e-03,1.433415e-03,1.448972e-03,1.452496e-03,1.463138e-03,1.470490e-03,1.475985e-03,1.486256e-03,1.487585e-03,1.498007e-03,1.499955e-03,1.507316e-03,1.511739e-03,1.515577e-03,1.521751e-03,1.522851e-03,1.529194e-03,1.530126e-03,1.534663e-03,1.536993e-03,1.539310e-03,1.542471e-03,1.543186e-03,1.546338e-03,1.546670e-03,1.548811e-03,1.549696e-03,1.550649e-03,1.551645e-03,1.551891e-03,1.552576e-03,1.552608e-03,1.552741e-03,1.552669e-03,1.552419e-03,1.551906e-03,1.551645e-03,1.550448e-03,1.550391e-03,1.548857e-03,1.548193e-03,1.546900e-03,1.545374e-03,1.544603e-03,1.541991e-03,1.539085e-03,1.538098e-03,1.535910e-03,1.533744e-03,1.532483e-03,1.528977e-03,1.528827e-03,1.524957e-03,1.523838e-03,1.520892e-03,1.518367e-03,1.516649e-03,1.512599e-03,1.512241e-03,1.507684e-03,1.506569e-03,1.502991e-03,1.500308e-03,1.498175e-03,1.493844e-03,1.493247e-03,1.488220e-03,1.487204e-03,1.483104e-03,1.480411e-03,1.477908e-03,1.473489e-03,1.472643e-03,1.467316e-03,1.466459e-03,1.461936e-03,1.459338e-03,1.456512e-03,1.452145e-03,1.451049e-03,1.445556e-03,1.444895e-03,1.440038e-03,1.437604e-03,1.434502e-03,1.430285e-03,1.428952e-03,1.423395e-03,1.422950e-03,1.417835e-03,1.415611e-03,1.412276e-03,1.408278e-03,1.406724e-03,1.401182e-03,1.400960e-03,1.395653e-03,1.393667e-03,1.390142e-03,1.386406e-03,1.384652e-03,1.379184e-03,1.372008e-03,1.364884e-03,1.357816e-03,1.350810e-03,1.343870e-03,1.336999e-03,1.330202e-03,1.323481e-03,1.316838e-03,1.310277e-03,1.303799e-03,1.297406e-03,1.291099e-03,1.284880e-03,1.278749e-03,1.272708e-03,1.266756e-03,1.260896e-03,1.255125e-03,1.249446e-03,1.243857e-03,1.238359e-03,1.232952e-03,1.227635e-03
0.000000e+00,8.825971e-09,2.012410e-08,6.888334e-08,1.566704e-07,2.289313e-07,5.250470e-07,5.412085e-07,1.069452e-06,1.266604e-06,1.893561e-06,2.565845e-06,3.097148e-06,4.577278e-06,4.722412e-06,6.732366e-06,7.262851e-06,9.043523e-06,1.043927e-05,1.157755e-05,1.394546e-05,1.427654e-05,1.709793e-05,1.767379e-05,2.000752e-05,2.154535e-05,2.297546e-05,2.549344e-05,2.597424e-05,2.897823e-05,2.945774e-05,3.196371e-05,3.338379e-05,3.490926e-05,3.722397e-05,3.779571e-05,4.060682e-05,4.093842e-05,4.332904e-05,4.449580e-05,4.595165e-05,4.787305e-05,4.846640e-05,5.086744e-05,5.105448e-05,5.315108e-05,5.403120e-05,5.531548e-05,5.679975e-05,5.736027e-05,5.928639e-05,5.936099e-05,6.109577e-05,6.171907e-05,6.279114e-05,6.388056e-05,6.437585e-05,6.585369e-05,6.722872e-05,6.764772e-05,6.850525e-05,6.927256e-05,6.968766e-05,7.073832e-05,7.078036e-05,7.178776e-05,7.205514e-05,7.271419e-05,7.323294e-05,7.356388e-05,7.428134e-05,7.434093e-05,7.504932e-05,7.520955e-05,7.569287e-05,7.602631e-05,7.627525e-05,7.673991e-05,7.679995e-05,7.727031e-05,7.735815e-05,7.768952e-05,7.788831e-05,7.806061e-05,7.833724e-05,7.838644e-05,7.866974e-05,7.871130e-05,7.891309e-05,7.901643e-05,7.911893e-05,7.925815e-05,7.928957e-05,7.942720e-05,7.944159e-05,7.953387e-05,7.957151e-05,7.961155e-05,7.965233e-05,7.966207e-05,7.968717e-05,7.968813e-05,7.968848e-05,7.968270e-05,7.966757e-05,7.963957e-05,7.962588e-05,7.956480e-05,7.956197e-05,7.948561e-05,7.945291e-05,7.938955e-05,7.931519e-05,7.927777e-05,7.915136e-05,7.901134e-05,7.896381e-05,7.885867e-05,7.875475e-05,7.869427e-05,7.852621e-05,7.851900e-05,7.833366e-05,7.828006e-05,7.813901e-05,7.801805e-05,7.793577e-05,7.774179e-05,7.772462e-05,7.750620e-05,7.745276e-05,7.728109e-05,7.715233e-05,7.704987e-05,7.684177e-05,7.681307e-05,7.657119e-05,7.652224e-05,7.632470e-05,7.619485e-05,7.607404e-05,7.586057e-05,7.581963e-05,7.556187e-05,7.552034e-05,7.530112e-05,7.517500e-05,7.503773e-05,7.482534e-05,7.477203e-05,7.450433e-05,7.447208e-05,7.423492e-05,7.411590e-05,7.396406e-05,7.375741e-05,7.369203e-05,7.341905e-05,7.339717e-05,7.314535e-05,7.303572e-05,7.287114e-05,7.267352e-05,7.259664e-05,7.232201e-05,7.231102e-05,7.204744e-05,7.194864e-05,7.177309e-05,7.158674e-05,7.149912e-05,7.122566e-05,7.086573e-05,7.050723e-05,7.015042e-05,6.979555e-05,6.944283e-05,6.909246e-05,6.874463e-05,6.839951e-05,6.805723e-05,6.771794e-05,6.738175e-05,6.704878e-05,6.671913e-05,6.639287e-05,6.607008e-05,6.575084e-05,6.543519e-05,6.512320e-05,6.481489e-05,6.451031e-05,6.420948e-05,6.391243e-05,6.361918e-05,6.332974e-05
0.000000e+00,5.813984e-09,1.331465e-08,4.598638e-08,1.054244e-07,1.546928e-07,3.583174e-07,3.694839e-07,7.359654e-07,8.731279e-07,1.309100e-06,1.774347e-06,2.139518e-06,3.146432e-06,3.244640e-06,4.605781e-06,4.967355e-06,6.194981e-06,7.175870e-06,7.989620e-06,9.724833e-06,9.972132e-06,1.212684e-05,1.257707e-05,1.443790e-05,1.569591e-05,1.688849e-05,1.904176e-05,1.946073e-05,2.213602e-05,2.257237e-05,2.489556e-05,2.624460e-05,2.772084e-05,3.001644e-05,3.059412e-05,3.349879e-05,3.384872e-05,3.641960e-05,3.770629e-05,3.934285e-05,4.155863e-05,4.225640e-05,4.514965e-05,4.537995e-05,4.801346e-05,4.914897e-05,5.084012e-05,5.284863e-05,5.362317e-05,5.635737e-05,5.646566e-05,5.903834e-05,5.998974e-05,6.166248e-05,6.341303e-05,6.422708e-05,6.672999e-05,6.916964e-05,6.993678e-05,7.154491e-05,7.303094e-05,7.385506e-05,7.601114e-05,7.609966e-05,7.827858e-05,7.887691e-05,8.039191e-05,8.162854e-05,8.243994e-05,8.426683e-05,8.442311e-05,8.634201e-05,8.679306e-05,8.819733e-05,8.920882e-05,8.998985e-05,9.151602e-05,9.172045e-05,9.339006e-05,9.371676e-05,9.499968e-05,9.581331e-05,9.655033e-05,9.780809e-05,9.804309e-05,9.947905e-05,9.970361e-05,1.008593e-04,1.015025e-04,1.021851e-04,1.032073e-04,1.034575e-04,1.046777e-04,1.048207e-04,1.058469e-04,1.063455e-04,1.069662e-04,1.077843e-04,1.080369e-04,1.090600e-04,1.091398e-04,1.100368e-04,1.104147e-04,1.109683e-04,1.116118e-04,1.118559e-04,1.127006e-04,1.127335e-04,1.135034e-04,1.137825e-04,1.142657e-04,1.147614e-04,1.149884e-04,1.156726e-04,1.163195e-04,1.165187e-04,1.169300e-04,1.173021e-04,1.175052e-04,1.180252e-04,1.180462e-04,1.185539e-04,1.186902e-04,1.190293e-04,1.192995e-04,1.194735e-04,1.198553e-04,1.198873e-04,1.202717e-04,1.203596e-04,1.206275e-04,1.208147e-04,1.209558e-04,1.212225e-04,1.212574e-04,1.215330e-04,1.215851e-04,1.217837e-04,1.219044e-04,1.220101e-04,1.221822e-04,1.222132e-04,1.223936e-04,1.224204e-04,1.225522e-04,1.226208e-04,1.226897e-04,1.227850e-04,1.228068e-04,1.229043e-04,1.229147e-04,1.229828e-04,1.230115e-04,1.230430e-04,1.230769e-04,1.230856e-04,1.231112e-04,1.231126e-04,1.231205e-04,1.231198e-04,1.231140e-04,1.231000e-04,1.230924e-04,1.230563e-04,1.230545e-04,1.230061e-04,1.229848e-04,1.229425e-04,1.228919e-04,1.228660e-04,1.227771e-04,1.226417e-04,1.224866e-04,1.223130e-04,1.221220e-04,1.219145e-04,1.216916e-04,1.214540e-04,1.212028e-04,1.209388e-04,1.206628e-04,1.203755e-04,1.200778e-04,1.197704e-04,1.194539e-04,1.191291e-04,1.187966e-04,1.184569e-04,1.181107e-04,1.177585e-04,1.174009e-04,1.170384e-04,1.166714e-04,1.163004e-04,1.159260e-04
0.000000e+00,2.771790e-09,6.339485e-09,2.182259e-08,4.982546e-08,7.290951e-08,1.673542e-07,1.724952e-07,3.395709e-07,4.014778e-07,5.971120e-07,8.056009e-07,9.700380e-07,1.429531e-06,1.474833e-06,2.109509e-06,2.279723e-06,2.860778e-06,3.327469e-06,3.715777e-06,4.546456e-06,4.665105e-06,5.701503e-06,5.918648e-06,6.818345e-06,7.428639e-06,8.008771e-06,9.060156e-06,9.265320e-06,1.057987e-05,1.079500e-05,1.194374e-05,1.261327e-05,1.334790e-05,1.449407e-05,1.478318e-05,1.624054e-05,1.641649e-05,1.771123e-05,1.836040e-05,1.918697e-05,2.030717e-05,2.066010e-05,2.212365e-05,2.224013e-05,2.357140e-05,2.414483e-05,2.499790e-05,2.600916e-05,2.639845e-05,2.776907e-05,2.782322e-05,2.910647e-05,2.957928e-05,3.040800e-05,3.127145e-05,3.167155e-05,3.289555e-05,3.407886e-05,3.444879e-05,3.522073e-05,3.592959e-05,3.632076e-05,3.733731e-05,3.737882e-05,3.839503e-05,3.867210e-05,3.936970e-05,3.993476e-05,4.030332e-05,4.112654e-05,4.119652e-05,4.205003e-05,4.224906e-05,4.286467e-05,4.330421e-05,4.364132e-05,4.429410e-05,4.438093e-05,4.508448e-05,4.522095e-05,4.575297e-05,4.608706e-05,4.638742e-05,4.689480e-05,4.698886e-05,4.755833e-05,4.764654e-05,4.809685e-05,4.834465e-05,4.860545e-05,4.899147e-05,4.908514e-05,4.953690e-05,4.958928e-05,4.996172e-05,5.014035e-05,5.036055e-05,5.064686e-05,5.073433e-05,5.108398e-05,5.111094e-05,5.141040e-05,5.153466e-05,5.171445e-05,5.192000e-05,5.199699e-05,5.225884e-05,5.226890e-05,5.250081e-05,5.258320e-05,5.272367e-05,5.286469e-05,5.292818e-05,5.311507e-05,5.328506e-05,5.333600e-05,5.343883e-05,5.352904e-05,5.357705e-05,5.369570e-05,5.370035e-05,5.380938e-05,5.383743e-05,5.390472e-05,5.395560e-05,5.398696e-05,5.405154e-05,5.405666e-05,5.411437e-05,5.412650e-05,5.416061e-05,5.418168e-05,5.419588e-05,5.421824e-05,5.422067e-05,5.423546e-05,5.423726e-05,5.424069e-05,5.423979e-05,5.423681e-05,5.422681e-05,5.422424e-05,5.420337e-05,5.419929e-05,5.417461e-05,5.415811e-05,5.413832e-05,5.410413e-05,5.409488e-05,5.404463e-05,5.403816e-05,5.398791e-05,5.396099e-05,5.392504e-05,5.387334e-05,5.385633e-05,5.378208e-05,5.377591e-05,5.370258e-05,5.366937e-05,5.361811e-05,5.355436e-05,5.352893e-05,5.343529e-05,5.343146e-05,5.333745e-05,5.330124e-05,5.323564e-05,5.316425e-05,5.313008e-05,5.302100e-05,5.287196e-05,5.271760e-05,5.255836e-05,5.239464e-05,5.222683e-05,5.205531e-05,5.188041e-05,5.170248e-05,5.152183e-05,5.133874e-05,5.115350e-05,5.096637e-05,5.077759e-05,5.058741e-05,5.039604e-05,5.020369e-05,5.001056e-05,4.981683e-05,4.962267e-05,4.942825e-05,4.923372e-05,4.903923e-05,4.884491e-05,4.865088e-05
0.000000e+00,1.501608e-09,3.437506e-09,1.185743e-08,2.713060e-08,3.975060e-08,9.156580e-08,9.439262e-08,1.864886e-07,2.206939e-07,3.289968e-07,4.448307e-07,5.366390e-07,7.963096e-07,8.221969e-07,1.189969e-06,1.289933e-06,1.633727e-06,1.911306e-06,2.142418e-06,2.635505e-06,2.705690e-06,3.315321e-06,3.442207e-06,3.964668e-06,4.316085e-06,4.647952e-06,5.244209e-06,5.359813e-06,6.095116e-06,6.214607e-06,6.848912e-06,7.215903e-06,7.616468e-06,8.237415e-06,8.393329e-06,9.175375e-06,9.269387e-06,9.958862e-06,1.030318e-05,1.074045e-05,1.133135e-05,1.151719e-05,1.228655e-05,1.234771e-05,1.304636e-05,1.334720e-05,1.379481e-05,1.432581e-05,1.453040e-05,1.525188e-05,1.528043e-05,1.595827e-05,1.620873e-05,1.664880e-05,1.710899e-05,1.732287e-05,1.798004e-05,1.862001e-05,1.882113e-05,1.924257e-05,1.963183e-05,1.984764e-05,2.041201e-05,2.043517e-05,2.100522e-05,2.116171e-05,2.155788e-05,2.188118e-05,2.209329e-05,2.257078e-05,2.261162e-05,2.311310e-05,2.323097e-05,2.359794e-05,2.386227e-05,2.406639e-05,2.446530e-05,2.451874e-05,2.495526e-05,2.504069e-05,2.537624e-05,2.558912e-05,2.578200e-05,2.611128e-05,2.617283e-05,2.654905e-05,2.660791e-05,2.691098e-05,2.707972e-05,2.725894e-05,2.752746e-05,2.759325e-05,2.791422e-05,2.795186e-05,2.822219e-05,2.835366e-05,2.851747e-05,2.873359e-05,2.880037e-05,2.907121e-05,2.909237e-05,2.933031e-05,2.943073e-05,2.957797e-05,2.974937e-05,2.981449e-05,3.004018e-05,3.004898e-05,3.025533e-05,3.033026e-05,3.046024e-05,3.059387e-05,3.065519e-05,3.084046e-05,3.101634e-05,3.107068e-05,3.118309e-05,3.128515e-05,3.134099e-05,3.148448e-05,3.149030e-05,3.163126e-05,3.166928e-05,3.176415e-05,3.184011e-05,3.188920e-05,3.199753e-05,3.200666e-05,3.211675e-05,3.214211e-05,3.221972e-05,3.227435e-05,3.231579e-05,3.239479e-05,3.240518e-05,3.248810e-05,3.250393e-05,3.256477e-05,3.260223e-05,3.263539e-05,3.269018e-05,3.270016e-05,3.275928e-05,3.276823e-05,3.281294e-05,3.283681e-05,3.286132e-05,3.289635e-05,3.290461e-05,3.294298e-05,3.294726e-05,3.297660e-05,3.298994e-05,3.300565e-05,3.302476e-05,3.303028e-05,3.305065e-05,3.305210e-05,3.306692e-05,3.307232e-05,3.307924e-05,3.308575e-05,3.308775e-05,3.309260e-05,3.309272e-05,3.309393e-05,3.309356e-05,3.309186e-05,3.308858e-05,3.308653e-05,3.307806e-05,3.306230e-05,3.304157e-05,3.301612e-05,3.298622e-05,3.295210e-05,3.291401e-05,3.287216e-05,3.282678e-05,3.277806e-05,3.272621e-05,3.267142e-05,3.261388e-05,3.255375e-05,3.249121e-05,3.242641e-05,3.235952e-05,3.229067e-05,3.222002e-05,3.214769e-05,3.207382e-05,3.199853e-05,3.192194e-05,3.184416e-05,3.176530e-05
0.000000e+00,7.003439e-09,1.581760e-08,5.301768e-08,1.180516e-07,1.703165e-07,3.763411e-07,3.872827e-07,7.323492e-07,8.561315e-07,1.237262e-06,1.631864e-06,1.938190e-06,2.787598e-06,2.871511e-06,4.059387e-06,4.381778e-06,5.487591e-06,6.371973e-06,7.098046e-06,8.603326e-06,8.811961e-06,1.055934e-05,1.090811e-05,1.229058e-05,1.317339e-05,1.397401e-05,1.533649e-05,1.558992e-05,1.712573e-05,1.736343e-05,1.857309e-05,1.923465e-05,1.992629e-05,2.093846e-05,2.118154e-05,2.233661e-05,2.246844e-05,2.339070e-05,2.382259e-05,2.434431e-05,2.500290e-05,2.519921e-05,2.595822e-05,2.601490e-05,2.662506e-05,2.686698e-05,2.720426e-05,2.756988e-05,2.770095e-05,2.812063e-05,2.813589e-05,2.846899e-05,2.857806e-05,2.875183e-05,2.890968e-05,2.897490e-05,2.914377e-05,2.926380e-05,2.929273e-05,2.934006e-05,2.936811e-05,2.937731e-05,2.938046e-05,2.937996e-05,2.935206e-05,2.933929e-05,2.929732e-05,2.925301e-05,2.921911e-05,2.912905e-05,2.912047e-05,2.900414e-05,2.897387e-05,2.887256e-05,2.879305e-05,2.872792e-05,2.859138e-05,2.857216e-05,2.840701e-05,2.837299e-05,2.823399e-05,2.814136e-05,2.805444e-05,2.789946e-05,2.786956e-05,2.768040e-05,2.764980e-05,2.748787e-05,2.739450e-05,2.729279e-05,2.713536e-05,2.709586e-05,2.689771e-05,2.687388e-05,2.669889e-05,2.661131e-05,2.649986e-05,2.634874e-05,2.630106e-05,2.610285e-05,2.608703e-05,2.590554e-05,2.582694e-05,2.570942e-05,2.556908e-05,2.551472e-05,2.532166e-05,2.531397e-05,2.513041e-05,2.506204e-05,2.494114e-05,2.481363e-05,2.475398e-05,2.456904e-05,2.438643e-05,2.432850e-05,2.420623e-05,2.409219e-05,2.402850e-05,2.386027e-05,2.385331e-05,2.368069e-05,2.363283e-05,2.351069e-05,2.340996e-05,2.334334e-05,2.319172e-05,2.317865e-05,2.301663e-05,2.297815e-05,2.285731e-05,2.276926e-05,2.270067e-05,2.256505e-05,2.254672e-05,2.239544e-05,2.236551e-05,2.224684e-05,2.217061e-05,2.210089e-05,2.198033e-05,2.195757e-05,2.181688e-05,2.179461e-05,2.167878e-05,2.161340e-05,2.154325e-05,2.143665e-05,2.141026e-05,2.127979e-05,2.126430e-05,2.115181e-05,2.109628e-05,2.102629e-05,2.093251e-05,2.090319e-05,2.078248e-05,2.077293e-05,2.066413e-05,2.061745e-05,2.054811e-05,2.046600e-05,2.043438e-05,2.032290e-05,2.031849e-05,2.021365e-05,2.017485e-05,2.010658e-05,2.003500e-05,2.000166e-05,1.989885e-05,1.976632e-05,1.963733e-05,1.951180e-05,1.938963e-05,1.927077e-05,1.915511e-05,1.904259e-05,1.893313e-05,1.882664e-05,1.872305e-05,1.862230e-05,1.852429e-05,1.842897e-05,1.833626e-05,1.824609e-05,1.815839e-05,1.807310e-05,1.799015e-05,1.790947e-05,1.783101e-05,1.775471e-05,1.768050e-05,1.760833e-05,1.753814e-05
0.000000e+00,1.139899e-07,2.562316e-07,8.514044e-07,1.884408e-06,2.712484e-06,5.983520e-06,6.157945e-06,1.170758e-05,1.371972e-05,1.994753e-05,2.634518e-05,3.119342e-05,4.381213e-05,4.498858e-05,6.046731e-05,6.435474e-05,7.699181e-05,8.656358e-05,9.420919e-05,1.097629e-04,1.119061e-04,1.299125e-04,1.335362e-04,1.480605e-04,1.574953e-04,1.661742e-04,1.812303e-04,1.840719e-04,2.015746e-04,2.043269e-04,2.185145e-04,2.264012e-04,2.347431e-04,2.471297e-04,2.501366e-04,2.645990e-04,2.662684e-04,2.780631e-04,2.836600e-04,2.904895e-04,2.992300e-04,3.018641e-04,3.121947e-04,3.129767e-04,3.215076e-04,3.249565e-04,3.298432e-04,3.352680e-04,3.372525e-04,3.437937e-04,3.440381e-04,3.495288e-04,3.514084e-04,3.545217e-04,3.575255e-04,3.588361e-04,3.625335e-04,3.656728e-04,3.665687e-04,3.683093e-04,3.697564e-04,3.704939e-04,3.722097e-04,3.722737e-04,3.736913e-04,3.740286e-04,3.747851e-04,3.753006e-04,3.755898e-04,3.761013e-04,3.761362e-04,3.764519e-04,3.764961e-04,3.765613e-04,3.765407e-04,3.764861e-04,3.762827e-04,3.762457e-04,3.758570e-04,3.757628e-04,3.753351e-04,3.750157e-04,3.746936e-04,3.740711e-04,3.739444e-04,3.730981e-04,3.729544e-04,3.721644e-04,3.716876e-04,3.711516e-04,3.702897e-04,3.700675e-04,3.689189e-04,3.687770e-04,3.677121e-04,3.671641e-04,3.664527e-04,3.654635e-04,3.651458e-04,3.637962e-04,3.636866e-04,3.624082e-04,3.618430e-04,3.609855e-04,3.599418e-04,3.595319e-04,3.580506e-04,3.579908e-04,3.565447e-04,3.559971e-04,3.550171e-04,3.539672e-04,3.534702e-04,3.519067e-04,3.503286e-04,3.498209e-04,3.487381e-04,3.477146e-04,3.471372e-04,3.455921e-04,3.455276e-04,3.439110e-04,3.434573e-04,3.422890e-04,3.413138e-04,3.406630e-04,3.391649e-04,3.390345e-04,3.374046e-04,3.370134e-04,3.357746e-04,3.348622e-04,3.341456e-04,3.327137e-04,3.325186e-04,3.308945e-04,3.305701e-04,3.292743e-04,3.284336e-04,3.276588e-04,3.263059e-04,3.260487e-04,3.244448e-04,3.241888e-04,3.228478e-04,3.220839e-04,3.212583e-04,3.199925e-04,3.196768e-04,3.181040e-04,3.179158e-04,3.165402e-04,3.158551e-04,3.149860e-04,3.138114e-04,3.134417e-04,3.119078e-04,3.117856e-04,3.103847e-04,3.097785e-04,3.088726e-04,3.077910e-04,3.073719e-04,3.058828e-04,3.058235e-04,3.044057e-04,3.038768e-04,3.029406e-04,3.019514e-04,3.014879e-04,3.000476e-04,2.981660e-04,2.963067e-04,2.944702e-04,2.926566e-04,2.908661e-04,2.890988e-04,2.873550e-04,2.856346e-04,2.839376e-04,2.822642e-04,2.806142e-04,2.789877e-04,2.773846e-04,2.758047e-04,2.742480e-04,2.727144e-04,2.712037e-04,2.697157e-04,2.682503e-04,2.668073e-04,2.653865e-04,2.639878e-04,2.626108e-04,2.612554e-04
0.000000e+00,1.305882e-08,2.976174e-08,1.019838e-07,2.329607e-07,3.417957e-07,7.972545e-07,8.225270e-07,1.669006e-06,1.993941e-06,3.054591e-06,4.233429e-06,5.193902e-06,8.002826e-06,8.288593e-06,1.241052e-05,1.353992e-05,1.740281e-05,2.046028e-05,2.294351e-05,2.801659e-05,2.871244e-05,3.448219e-05,3.562293e-05,4.011564e-05,4.296390e-05,4.553546e-05,4.989105e-05,5.069883e-05,5.558234e-05,5.633680e-05,6.017378e-05,6.227222e-05,6.446803e-05,6.768922e-05,6.846493e-05,7.216802e-05,7.259292e-05,7.558368e-05,7.699771e-05,7.872075e-05,8.092517e-05,8.158999e-05,8.420344e-05,8.440185e-05,8.657406e-05,8.745734e-05,8.871539e-05,9.012290e-05,9.064120e-05,9.236523e-05,9.243018e-05,9.390101e-05,9.441036e-05,9.526170e-05,9.609344e-05,9.645996e-05,9.750788e-05,9.841694e-05,9.868030e-05,9.919796e-05,9.963534e-05,9.986110e-05,1.003957e-04,1.004159e-04,1.008712e-04,1.009820e-04,1.012352e-04,1.014131e-04,1.015158e-04,1.017062e-04,1.017198e-04,1.018541e-04,1.018766e-04,1.019245e-04,1.019382e-04,1.019368e-04,1.019036e-04,1.018961e-04,1.018072e-04,1.017840e-04,1.016746e-04,1.015896e-04,1.015022e-04,1.013295e-04,1.012939e-04,1.010530e-04,1.010117e-04,1.007828e-04,1.006436e-04,1.004862e-04,1.002316e-04,1.001658e-04,9.982410e-05,9.978178e-05,9.946342e-05,9.929923e-05,9.908580e-05,9.878868e-05,9.869318e-05,9.828731e-05,9.825432e-05,9.786982e-05,9.769990e-05,9.744219e-05,9.712879e-05,9.700579e-05,9.656188e-05,9.654398e-05,9.611160e-05,9.594815e-05,9.565602e-05,9.534369e-05,9.519611e-05,9.473274e-05,9.426675e-05,9.411720e-05,9.379888e-05,9.349877e-05,9.332981e-05,9.287896e-05,9.286017e-05,9.239054e-05,9.225911e-05,9.192144e-05,9.164043e-05,9.145334e-05,9.102395e-05,9.098668e-05,9.052186e-05,9.041062e-05,9.005924e-05,8.980126e-05,8.959915e-05,8.919660e-05,8.914188e-05,8.868772e-05,8.859728e-05,8.823689e-05,8.800386e-05,8.778963e-05,8.741683e-05,8.734613e-05,8.690657e-05,8.683662e-05,8.647111e-05,8.626359e-05,8.603990e-05,8.569806e-05,8.561305e-05,8.519068e-05,8.514030e-05,8.477289e-05,8.459053e-05,8.435976e-05,8.404895e-05,8.395138e-05,8.354779e-05,8.351571e-05,8.314906e-05,8.299093e-05,8.275522e-05,8.247472e-05,8.236632e-05,8.198238e-05,8.196713e-05,8.160343e-05,8.146822e-05,8.122946e-05,8.097803e-05,8.086051e-05,8.049655e-05,8.002379e-05,7.955973e-05,7.910434e-05,7.865757e-05,7.821936e-05,7.778966e-05,7.736839e-05,7.695547e-05,7.655082e-05,7.615435e-05,7.576596e-05,7.538556e-05,7.501303e-05,7.464828e-05,7.429118e-05,7.394164e-05,7.359953e-05,7.326475e-05,7.293716e-05,7.261667e-05,7.230315e-05,7.199647e-05,7.169653e-05,7.140321e-05
0.000000e+00,4.402762e-09,1.004221e-08,3.435544e-08,7.793707e-08,1.135952e-07,2.576466e-07,2.654162e-07,5.147393e-07,6.057899e-07,8.900137e-07,1.189046e-06,1.423744e-06,2.083298e-06,2.149035e-06,3.088903e-06,3.346882e-06,4.241993e-06,4.971099e-06,5.580165e-06,6.878565e-06,7.062764e-06,8.651283e-06,8.978826e-06,1.031455e-05,1.120063e-05,1.202799e-05,1.349134e-05,1.377162e-05,1.552845e-05,1.580975e-05,1.728360e-05,1.812155e-05,1.902388e-05,2.039749e-05,2.073760e-05,2.241455e-05,2.261289e-05,2.404602e-05,2.474753e-05,2.562473e-05,2.678562e-05,2.714483e-05,2.860181e-05,2.871554e-05,2.999238e-05,3.052949e-05,3.131435e-05,3.222298e-05,3.256652e-05,3.374854e-05,3.379436e-05,3.486075e-05,3.524422e-05,3.590408e-05,3.657490e-05,3.687993e-05,3.779009e-05,3.863661e-05,3.889442e-05,3.942176e-05,3.989314e-05,4.014793e-05,4.079190e-05,4.081763e-05,4.143341e-05,4.159652e-05,4.199783e-05,4.231288e-05,4.251342e-05,4.294681e-05,4.298271e-05,4.340813e-05,4.350398e-05,4.379209e-05,4.398985e-05,4.413688e-05,4.440967e-05,4.444474e-05,4.471781e-05,4.476843e-05,4.495814e-05,4.507083e-05,4.516770e-05,4.532132e-05,4.534835e-05,4.550189e-05,4.552406e-05,4.563002e-05,4.568297e-05,4.573434e-05,4.580170e-05,4.581640e-05,4.587763e-05,4.588364e-05,4.591942e-05,4.593198e-05,4.594306e-05,4.594966e-05,4.594980e-05,4.594079e-05,4.593942e-05,4.591713e-05,4.590380e-05,4.587986e-05,4.584515e-05,4.582996e-05,4.576836e-05,4.576567e-05,4.569593e-05,4.566736e-05,4.561348e-05,4.555210e-05,4.552180e-05,4.542160e-05,4.531359e-05,4.527748e-05,4.519840e-05,4.512119e-05,4.507663e-05,4.495409e-05,4.494887e-05,4.481565e-05,4.477744e-05,4.467747e-05,4.459238e-05,4.453481e-05,4.439998e-05,4.438810e-05,4.423778e-05,4.420120e-05,4.408422e-05,4.399696e-05,4.392780e-05,4.378806e-05,4.376886e-05,4.360773e-05,4.357526e-05,4.344470e-05,4.335927e-05,4.328005e-05,4.314070e-05,4.311406e-05,4.294696e-05,4.292014e-05,4.277900e-05,4.269813e-05,4.261037e-05,4.247514e-05,4.244129e-05,4.227195e-05,4.225161e-05,4.210250e-05,4.202796e-05,4.193313e-05,4.180455e-05,4.176398e-05,4.159518e-05,4.158170e-05,4.142688e-05,4.135972e-05,4.125918e-05,4.113888e-05,4.109221e-05,4.092606e-05,4.091943e-05,4.076083e-05,4.070159e-05,4.059661e-05,4.048556e-05,4.043348e-05,4.027151e-05,4.005961e-05,3.984999e-05,3.964278e-05,3.943810e-05,3.923602e-05,3.903665e-05,3.884004e-05,3.864627e-05,3.845538e-05,3.826741e-05,3.808240e-05,3.790037e-05,3.772134e-05,3.754533e-05,3.737234e-05,3.720237e-05,3.703543e-05,3.687149e-05,3.671056e-05,3.655261e-05,3.639763e-05,3.624560e-05,3.609648e-05,3.595026e-05
0.000000e+00,1.690365e-09,3.863273e-09,1.326714e-08,3.018253e-08,4.404424e-08,1.000472e-07,1.030647e-07,1.995878e-07,2.346684e-07,3.435863e-07,4.573232e-07,5.461163e-07,7.945861e-07,8.193453e-07,1.175876e-06,1.275148e-06,1.626856e-06,1.923368e-06,2.178746e-06,2.746939e-06,2.830093e-06,3.571083e-06,3.728760e-06,4.386741e-06,4.835061e-06,5.261165e-06,6.030618e-06,6.180130e-06,7.131796e-06,7.286423e-06,8.106449e-06,8.580020e-06,9.095992e-06,9.893676e-06,1.009352e-05,1.109302e-05,1.121284e-05,1.208921e-05,1.252525e-05,1.307740e-05,1.382055e-05,1.405351e-05,1.501398e-05,1.509004e-05,1.595574e-05,1.632662e-05,1.687623e-05,1.752462e-05,1.777336e-05,1.864542e-05,1.867976e-05,1.949113e-05,1.978895e-05,2.030955e-05,2.085013e-05,2.110001e-05,2.186214e-05,2.259581e-05,2.282457e-05,2.330106e-05,2.373761e-05,2.397813e-05,2.460192e-05,2.462737e-05,2.524925e-05,2.541855e-05,2.584435e-05,2.618882e-05,2.641331e-05,2.691424e-05,2.695680e-05,2.747558e-05,2.759649e-05,2.797039e-05,2.823732e-05,2.844204e-05,2.883854e-05,2.889130e-05,2.931895e-05,2.940196e-05,2.972578e-05,2.992935e-05,3.011255e-05,3.042249e-05,3.048002e-05,3.082894e-05,3.088310e-05,3.116004e-05,3.131284e-05,3.147402e-05,3.171333e-05,3.177156e-05,3.205332e-05,3.208610e-05,3.231996e-05,3.243265e-05,3.257210e-05,3.275439e-05,3.281033e-05,3.303525e-05,3.305269e-05,3.324741e-05,3.332882e-05,3.344735e-05,3.358403e-05,3.363558e-05,3.381262e-05,3.381947e-05,3.397893e-05,3.403626e-05,3.413497e-05,3.423545e-05,3.428120e-05,3.441803e-05,3.454588e-05,3.458496e-05,3.466513e-05,3.473711e-05,3.477615e-05,3.487533e-05,3.487931e-05,3.497496e-05,3.500044e-05,3.506342e-05,3.511317e-05,3.514501e-05,3.521426e-05,3.522003e-05,3.528878e-05,3.530437e-05,3.535153e-05,3.538415e-05,3.540855e-05,3.545420e-05,3.546010e-05,3.550643e-05,3.551508e-05,3.554776e-05,3.556735e-05,3.558432e-05,3.561151e-05,3.561634e-05,3.564401e-05,3.564805e-05,3.566753e-05,3.567741e-05,3.568710e-05,3.570003e-05,3.570290e-05,3.571509e-05,3.571632e-05,3.572385e-05,3.572666e-05,3.572934e-05,3.573141e-05,3.573170e-05,3.573109e-05,3.573092e-05,3.572765e-05,3.572551e-05,3.572151e-05,3.571550e-05,3.571280e-05,3.570165e-05,3.570115e-05,3.568817e-05,3.568277e-05,3.567247e-05,3.566059e-05,3.565467e-05,3.563487e-05,3.560584e-05,3.557372e-05,3.553871e-05,3.550101e-05,3.546080e-05,3.541826e-05,3.537355e-05,3.532684e-05,3.527827e-05,3.522797e-05,3.517608e-05,3.512273e-05,3.506804e-05,3.501211e-05,3.495505e-05,3.489697e-05,3.483795e-05,3.477808e-05,3.471746e-05,3.465616e-05,3.459426e-05,3.453183e-05,3.446893e-05,3.440563e-05
0.000000e+00,1.601945e-09,3.656094e-09,1.251640e-08,2.838248e-08,4.133548e-08,9.333593e-08,9.612489e-08,1.847624e-07,2.167307e-07,3.152674e-07,4.171390e-07,4.960279e-07,7.142165e-07,7.357727e-07,1.043027e-06,1.127645e-06,1.424697e-06,1.672280e-06,1.883767e-06,2.349604e-06,2.417321e-06,3.016824e-06,3.143643e-06,3.670787e-06,4.028475e-06,4.367616e-06,4.978528e-06,5.097054e-06,5.850417e-06,5.972668e-06,6.620332e-06,6.993866e-06,7.400416e-06,8.027999e-06,8.185038e-06,8.969185e-06,9.063034e-06,9.748395e-06,1.008865e-05,1.051872e-05,1.109609e-05,1.127672e-05,1.201945e-05,1.207814e-05,1.274444e-05,1.302900e-05,1.344967e-05,1.394428e-05,1.413354e-05,1.479485e-05,1.482082e-05,1.543276e-05,1.565656e-05,1.604670e-05,1.645036e-05,1.663643e-05,1.720189e-05,1.774324e-05,1.791142e-05,1.826078e-05,1.857970e-05,1.875494e-05,1.920783e-05,1.922625e-05,1.967533e-05,1.979719e-05,2.010286e-05,2.034933e-05,2.050955e-05,2.086593e-05,2.089613e-05,2.126337e-05,2.134871e-05,2.161201e-05,2.179941e-05,2.194282e-05,2.221978e-05,2.225655e-05,2.255393e-05,2.261150e-05,2.283567e-05,2.297624e-05,2.310249e-05,2.331557e-05,2.335505e-05,2.359402e-05,2.363103e-05,2.382000e-05,2.392405e-05,2.403361e-05,2.419597e-05,2.423542e-05,2.442596e-05,2.444810e-05,2.460578e-05,2.468163e-05,2.477537e-05,2.489772e-05,2.493522e-05,2.508578e-05,2.509744e-05,2.522748e-05,2.528178e-05,2.536075e-05,2.545169e-05,2.548596e-05,2.560350e-05,2.560805e-05,2.571373e-05,2.575169e-05,2.581699e-05,2.588338e-05,2.591359e-05,2.600385e-05,2.608805e-05,2.611377e-05,2.616649e-05,2.621378e-05,2.623941e-05,2.630446e-05,2.630707e-05,2.636972e-05,2.638639e-05,2.642757e-05,2.646007e-05,2.648085e-05,2.652600e-05,2.652976e-05,2.657449e-05,2.658463e-05,2.661525e-05,2.663639e-05,2.665219e-05,2.668169e-05,2.668550e-05,2.671533e-05,2.672089e-05,2.674183e-05,2.675435e-05,2.676516e-05,2.678241e-05,2.678546e-05,2.680285e-05,2.680538e-05,2.681747e-05,2.682354e-05,2.682944e-05,2.683718e-05,2.683887e-05,2.684587e-05,2.684656e-05,2.685055e-05,2.685191e-05,2.685302e-05,2.685346e-05,2.685336e-05,2.685167e-05,2.685145e-05,2.684803e-05,2.684606e-05,2.684254e-05,2.683748e-05,2.683528e-05,2.682631e-05,2.682591e-05,2.681572e-05,2.681152e-05,2.680357e-05,2.679445e-05,2.678993e-05,2.677488e-05,2.675293e-05,2.672876e-05,2.670248e-05,2.667422e-05,2.664410e-05,2.661222e-05,2.657870e-05,2.654362e-05,2.650709e-05,2.646919e-05,2.643001e-05,2.638963e-05,2.634812e-05,2.630555e-05,2.626201e-05,2.621754e-05,2.617222e-05,2.612610e-05,2.607924e-05,2.603170e-05,2.598352e-05,2.593475e-05,2.588545e-05,2.583565e-05
0.000000e+00,4.269068e-09,9.794443e-09,3.404621e-08,7.885118e-08,1.166111e-07,2.780440e-07,2.871281e-07,5.966705e-07,7.174660e-07,1.114901e-06,1.554690e-06,1.906226e-06,2.884145e-06,2.979462e-06,4.290067e-06,4.634273e-06,5.790224e-06,6.700778e-06,7.448392e-06,9.022484e-06,9.244866e-06,1.116543e-05,1.156334e-05,1.319775e-05,1.429471e-05,1.532972e-05,1.718855e-05,1.754898e-05,1.984294e-05,2.021606e-05,2.219897e-05,2.334827e-05,2.460473e-05,2.655720e-05,2.704844e-05,2.951911e-05,2.981691e-05,3.200667e-05,3.310418e-05,3.450207e-05,3.639881e-05,3.699722e-05,3.948506e-05,3.968358e-05,4.195946e-05,4.294424e-05,4.441514e-05,4.616911e-05,4.684764e-05,4.925316e-05,4.934878e-05,5.162854e-05,5.247577e-05,5.397113e-05,5.554423e-05,5.627875e-05,5.854962e-05,6.078229e-05,6.148848e-05,6.297560e-05,6.435823e-05,6.512863e-05,6.715701e-05,6.724070e-05,6.931127e-05,6.988354e-05,7.133999e-05,7.253702e-05,7.332661e-05,7.511701e-05,7.527101e-05,7.717316e-05,7.762339e-05,7.903311e-05,8.005630e-05,8.085100e-05,8.241609e-05,8.262701e-05,8.436139e-05,8.470329e-05,8.605443e-05,8.691859e-05,8.770648e-05,8.906280e-05,8.931791e-05,9.088912e-05,9.113681e-05,9.242055e-05,9.314164e-05,9.391266e-05,9.507836e-05,9.536593e-05,9.678086e-05,9.694810e-05,9.815797e-05,9.875205e-05,9.949778e-05,1.004914e-04,1.008009e-04,1.020677e-04,1.021675e-04,1.032990e-04,1.037816e-04,1.044952e-04,1.053350e-04,1.056568e-04,1.067846e-04,1.068290e-04,1.078791e-04,1.082650e-04,1.089408e-04,1.096444e-04,1.099703e-04,1.109683e-04,1.119353e-04,1.122383e-04,1.128719e-04,1.134556e-04,1.137787e-04,1.146217e-04,1.146562e-04,1.155051e-04,1.157377e-04,1.163259e-04,1.168051e-04,1.171191e-04,1.178251e-04,1.178854e-04,1.186253e-04,1.187990e-04,1.193394e-04,1.197281e-04,1.200281e-04,1.206137e-04,1.206921e-04,1.213319e-04,1.214570e-04,1.219481e-04,1.222593e-04,1.225410e-04,1.230216e-04,1.231114e-04,1.236596e-04,1.237453e-04,1.241862e-04,1.244314e-04,1.246916e-04,1.250811e-04,1.251765e-04,1.256412e-04,1.256956e-04,1.260862e-04,1.262759e-04,1.265120e-04,1.268231e-04,1.269191e-04,1.273079e-04,1.273383e-04,1.276789e-04,1.278224e-04,1.280325e-04,1.282766e-04,1.283691e-04,1.286892e-04,1.287017e-04,1.289932e-04,1.290987e-04,1.292814e-04,1.294687e-04,1.295544e-04,1.298124e-04,1.301309e-04,1.304249e-04,1.306954e-04,1.309431e-04,1.311689e-04,1.313736e-04,1.315579e-04,1.317225e-04,1.318683e-04,1.319960e-04,1.321061e-04,1.321994e-04,1.322766e-04,1.323382e-04,1.323850e-04,1.324174e-04,1.324361e-04,1.324416e-04,1.324345e-04,1.324154e-04,1.323846e-04,1.323428e-04,1.322905e-04,1.322280e-04
0.000000e+00,2.098873e-09,4.774407e-09,1.623415e-08,3.659173e-08,5.312102e-08,1.190233e-07,1.225437e-07,2.339881e-07,2.740386e-07,3.972167e-07,5.242957e-07,6.225862e-07,8.939972e-07,9.207733e-07,1.301308e-06,1.405613e-06,1.769324e-06,2.068807e-06,2.321506e-06,2.867006e-06,2.945003e-06,3.621516e-06,3.761536e-06,4.332887e-06,4.711428e-06,5.064031e-06,5.684802e-06,5.803209e-06,6.541305e-06,6.658794e-06,7.271056e-06,7.616591e-06,7.986536e-06,8.545326e-06,8.682851e-06,9.355974e-06,9.435028e-06,1.000265e-05,1.027814e-05,1.062035e-05,1.106924e-05,1.120720e-05,1.176191e-05,1.180488e-05,1.228378e-05,1.248326e-05,1.277256e-05,1.310406e-05,1.322840e-05,1.365182e-05,1.366810e-05,1.404361e-05,1.417710e-05,1.440477e-05,1.463346e-05,1.473647e-05,1.504000e-05,1.531673e-05,1.539985e-05,1.556806e-05,1.571625e-05,1.579543e-05,1.599246e-05,1.600023e-05,1.618388e-05,1.623170e-05,1.634772e-05,1.643707e-05,1.649307e-05,1.661153e-05,1.662117e-05,1.673322e-05,1.675785e-05,1.683035e-05,1.687863e-05,1.691363e-05,1.697626e-05,1.698407e-05,1.704261e-05,1.705297e-05,1.709014e-05,1.711078e-05,1.712749e-05,1.715155e-05,1.715542e-05,1.717468e-05,1.717700e-05,1.718591e-05,1.718865e-05,1.718977e-05,1.718792e-05,1.718681e-05,1.717760e-05,1.717609e-05,1.716262e-05,1.715432e-05,1.714234e-05,1.712366e-05,1.711721e-05,1.708761e-05,1.708507e-05,1.705394e-05,1.703940e-05,1.701652e-05,1.698744e-05,1.697568e-05,1.693173e-05,1.692991e-05,1.688494e-05,1.686744e-05,1.683556e-05,1.680062e-05,1.678383e-05,1.672998e-05,1.667421e-05,1.665599e-05,1.661671e-05,1.657908e-05,1.655766e-05,1.649966e-05,1.649722e-05,1.643554e-05,1.641807e-05,1.637278e-05,1.633464e-05,1.630905e-05,1.624967e-05,1.624448e-05,1.617918e-05,1.616341e-05,1.611326e-05,1.607612e-05,1.604682e-05,1.598800e-05,1.597995e-05,1.591273e-05,1.589925e-05,1.584524e-05,1.581006e-05,1.577755e-05,1.572059e-05,1.570974e-05,1.564185e-05,1.563099e-05,1.557396e-05,1.554138e-05,1.550611e-05,1.545190e-05,1.543836e-05,1.537074e-05,1.536264e-05,1.530331e-05,1.527371e-05,1.523610e-05,1.518520e-05,1.516916e-05,1.510250e-05,1.509718e-05,1.503617e-05,1.500973e-05,1.497019e-05,1.492292e-05,1.490459e-05,1.483940e-05,1.483680e-05,1.477463e-05,1.475142e-05,1.471030e-05,1.466683e-05,1.464644e-05,1.458306e-05,1.450017e-05,1.441817e-05,1.433710e-05,1.425698e-05,1.417784e-05,1.409968e-05,1.402253e-05,1.394639e-05,1.387128e-05,1.379721e-05,1.372418e-05,1.365220e-05,1.358127e-05,1.351138e-05,1.344255e-05,1.337476e-05,1.330802e-05,1.324233e-05,1.317766e-05,1.311403e-05,1.305143e-05,1.298984e-05,1.292927e-05,1.286969e-05
0.000000e+00,2.549634e-09,5.814503e-09,1.988395e-08,4.508542e-08,6.569105e-08,1.488302e-07,1.533104e-07,2.968937e-07,3.492484e-07,5.123774e-07,6.833196e-07,8.167467e-07,1.186546e-06,1.222912e-06,1.732871e-06,1.869960e-06,2.339049e-06,2.716807e-06,3.031581e-06,3.705793e-06,3.802150e-06,4.644092e-06,4.820522e-06,5.551521e-06,6.047349e-06,6.518639e-06,7.372686e-06,7.539332e-06,8.607012e-06,8.781736e-06,9.714613e-06,1.025826e-05,1.085467e-05,1.178489e-05,1.201945e-05,1.320113e-05,1.334370e-05,1.439195e-05,1.491686e-05,1.558439e-05,1.648730e-05,1.677128e-05,1.794594e-05,1.803919e-05,1.910224e-05,1.955838e-05,2.023471e-05,2.103260e-05,2.133853e-05,2.240957e-05,2.245168e-05,2.344438e-05,2.380747e-05,2.444014e-05,2.509382e-05,2.539467e-05,2.630637e-05,2.717413e-05,2.744242e-05,2.799733e-05,2.850068e-05,2.877576e-05,2.948106e-05,2.950956e-05,3.019918e-05,3.038445e-05,3.084534e-05,3.121254e-05,3.144895e-05,3.196763e-05,3.201111e-05,3.253304e-05,3.265247e-05,3.301609e-05,3.327013e-05,3.346166e-05,3.382392e-05,3.387121e-05,3.424625e-05,3.431724e-05,3.458827e-05,3.475357e-05,3.489877e-05,3.513633e-05,3.517925e-05,3.543117e-05,3.546892e-05,3.565595e-05,3.575462e-05,3.585500e-05,3.599662e-05,3.602966e-05,3.618126e-05,3.619796e-05,3.631105e-05,3.636156e-05,3.642025e-05,3.649018e-05,3.651001e-05,3.658146e-05,3.658641e-05,3.663566e-05,3.665274e-05,3.667362e-05,3.669145e-05,3.669632e-05,3.670468e-05,3.670473e-05,3.669958e-05,3.669461e-05,3.668185e-05,3.666298e-05,3.665228e-05,3.661163e-05,3.656060e-05,3.654219e-05,3.649988e-05,3.645622e-05,3.643010e-05,3.635516e-05,3.635187e-05,3.626577e-05,3.624032e-05,3.617233e-05,3.611296e-05,3.607207e-05,3.597423e-05,3.596548e-05,3.585302e-05,3.582520e-05,3.573511e-05,3.566686e-05,3.561218e-05,3.550014e-05,3.548459e-05,3.535274e-05,3.532588e-05,3.521694e-05,3.514489e-05,3.507754e-05,3.495789e-05,3.493484e-05,3.478913e-05,3.476556e-05,3.464069e-05,3.456854e-05,3.448977e-05,3.436741e-05,3.433661e-05,3.418144e-05,3.416270e-05,3.402449e-05,3.395491e-05,3.386595e-05,3.374451e-05,3.370601e-05,3.354486e-05,3.353192e-05,3.338266e-05,3.331753e-05,3.321958e-05,3.310170e-05,3.305577e-05,3.289136e-05,3.288477e-05,3.272649e-05,3.266705e-05,3.256129e-05,3.244882e-05,3.239587e-05,3.223034e-05,3.201185e-05,3.179356e-05,3.157569e-05,3.135842e-05,3.114191e-05,3.092632e-05,3.071180e-05,3.049847e-05,3.028644e-05,3.007583e-05,2.986673e-05,2.965923e-05,2.945341e-05,2.924933e-05,2.904707e-05,2.884666e-05,2.864817e-05,2.845164e-05,2.825711e-05,2.806460e-05,2.787416e-05,2.768579e-05,2.749952e-05,2.731537e-05
0.000000e+00,3.463385e-07,7.889625e-07,2.692012e-06,6.092207e-06,8.867729e-06,2.004409e-05,2.064567e-05,3.990429e-05,4.691931e-05,6.876367e-05,9.164718e-05,1.095136e-04,1.590749e-04,1.639506e-04,2.322262e-04,2.505129e-04,3.127188e-04,3.623109e-04,4.032531e-04,4.897385e-04,5.019642e-04,6.073868e-04,6.291664e-04,7.182966e-04,7.777660e-04,8.335785e-04,9.330076e-04,9.521582e-04,1.072982e-03,1.092453e-03,1.195022e-03,1.253741e-03,1.317290e-03,1.414642e-03,1.438857e-03,1.558869e-03,1.573129e-03,1.676566e-03,1.727445e-03,1.791285e-03,1.876129e-03,1.902462e-03,2.009642e-03,2.018032e-03,2.112470e-03,2.152320e-03,2.210681e-03,2.278431e-03,2.304096e-03,2.392607e-03,2.396045e-03,2.476174e-03,2.505048e-03,2.554807e-03,2.605489e-03,2.628567e-03,2.697552e-03,2.761882e-03,2.781506e-03,2.821695e-03,2.857682e-03,2.877158e-03,2.926467e-03,2.928440e-03,2.975724e-03,2.988272e-03,3.019194e-03,3.043524e-03,3.059037e-03,3.092647e-03,3.095436e-03,3.128571e-03,3.136057e-03,3.158619e-03,3.174161e-03,3.185752e-03,3.207350e-03,3.210136e-03,3.231930e-03,3.235992e-03,3.251288e-03,3.260440e-03,3.268355e-03,3.281023e-03,3.283270e-03,3.296166e-03,3.298051e-03,3.307168e-03,3.311811e-03,3.316394e-03,3.322573e-03,3.323957e-03,3.329964e-03,3.330585e-03,3.334513e-03,3.336079e-03,3.337702e-03,3.339269e-03,3.339617e-03,3.340344e-03,3.340354e-03,3.339962e-03,3.339516e-03,3.338546e-03,3.336926e-03,3.336166e-03,3.332889e-03,3.332740e-03,3.328775e-03,3.327102e-03,3.323885e-03,3.320145e-03,3.318274e-03,3.311993e-03,3.305090e-03,3.302758e-03,3.297613e-03,3.292546e-03,3.289604e-03,3.281453e-03,3.281104e-03,3.272151e-03,3.269568e-03,3.262781e-03,3.256973e-03,3.253027e-03,3.243743e-03,3.242922e-03,3.232495e-03,3.229948e-03,3.221775e-03,3.215653e-03,3.210787e-03,3.200917e-03,3.199557e-03,3.188108e-03,3.185794e-03,3.176461e-03,3.170334e-03,3.164638e-03,3.154584e-03,3.152657e-03,3.140538e-03,3.138587e-03,3.128296e-03,3.122381e-03,3.115948e-03,3.106004e-03,3.103509e-03,3.090994e-03,3.089487e-03,3.078414e-03,3.072863e-03,3.065784e-03,3.056158e-03,3.053114e-03,3.040416e-03,3.039399e-03,3.027699e-03,3.022609e-03,3.014973e-03,3.005811e-03,3.002248e-03,2.989532e-03,2.989023e-03,2.976832e-03,2.972265e-03,2.964156e-03,2.955553e-03,2.951511e-03,2.938903e-03,2.922328e-03,2.905840e-03,2.889453e-03,2.873175e-03,2.857017e-03,2.840986e-03,2.825092e-03,2.809340e-03,2.793737e-03,2.778289e-03,2.762999e-03,2.747874e-03,2.732916e-03,2.718129e-03,2.703515e-03,2.689077e-03,2.674818e-03,2.660738e-03,2.646838e-03,2.633121e-03,2.619587e-03,2.606235e-03,2.593067e-03,2.580082e-03
0.000000e+00,3.790270e-09,8.645531e-09,2.957873e-08,6.709807e-08,9.778892e-08,2.216759e-07,2.283527e-07,4.422694e-07,5.202067e-07,7.627298e-07,1.016310e-06,1.213857e-06,1.759716e-06,1.813259e-06,2.560958e-06,2.760812e-06,3.440469e-06,3.982841e-06,4.431344e-06,5.381529e-06,5.516174e-06,6.680589e-06,6.921875e-06,7.911681e-06,8.574055e-06,9.196972e-06,1.030940e-05,1.052402e-05,1.188042e-05,1.209935e-05,1.325402e-05,1.391603e-05,1.463323e-05,1.573332e-05,1.600720e-05,1.736613e-05,1.752777e-05,1.870133e-05,1.927933e-05,2.000533e-05,2.097163e-05,2.127190e-05,2.249601e-05,2.259197e-05,2.367372e-05,2.413113e-05,2.480213e-05,2.558291e-05,2.587925e-05,2.690388e-05,2.694376e-05,2.787547e-05,2.821226e-05,2.879408e-05,2.938871e-05,2.966021e-05,3.047473e-05,3.123882e-05,3.147291e-05,3.195389e-05,3.238653e-05,3.262150e-05,3.321934e-05,3.324336e-05,3.382122e-05,3.397539e-05,3.435692e-05,3.465887e-05,3.485230e-05,3.527401e-05,3.530919e-05,3.572941e-05,3.582501e-05,3.611476e-05,3.631597e-05,3.646698e-05,3.675088e-05,3.678777e-05,3.707877e-05,3.713354e-05,3.734158e-05,3.746761e-05,3.757772e-05,3.775655e-05,3.778867e-05,3.797583e-05,3.800366e-05,3.814054e-05,3.821201e-05,3.828409e-05,3.838452e-05,3.840771e-05,3.851256e-05,3.852393e-05,3.859976e-05,3.863281e-05,3.867036e-05,3.871354e-05,3.872537e-05,3.876575e-05,3.876838e-05,3.879241e-05,3.879942e-05,3.880620e-05,3.880862e-05,3.880793e-05,3.879840e-05,3.879779e-05,3.877831e-05,3.876864e-05,3.874838e-05,3.872274e-05,3.870926e-05,3.866157e-05,3.860590e-05,3.858649e-05,3.854280e-05,3.849877e-05,3.847281e-05,3.839959e-05,3.839642e-05,3.831410e-05,3.829004e-05,3.822629e-05,3.817115e-05,3.813342e-05,3.804385e-05,3.803588e-05,3.793405e-05,3.790901e-05,3.782828e-05,3.776745e-05,3.771890e-05,3.761991e-05,3.760623e-05,3.749056e-05,3.746709e-05,3.737217e-05,3.730963e-05,3.725133e-05,3.714811e-05,3.712829e-05,3.700327e-05,3.698310e-05,3.687650e-05,3.681509e-05,3.674819e-05,3.664455e-05,3.661852e-05,3.648769e-05,3.647192e-05,3.635587e-05,3.629759e-05,3.622321e-05,3.612192e-05,3.608987e-05,3.595599e-05,3.594526e-05,3.582171e-05,3.576791e-05,3.568715e-05,3.559016e-05,3.555243e-05,3.541766e-05,3.541227e-05,3.528294e-05,3.523447e-05,3.514836e-05,3.505699e-05,3.501403e-05,3.488002e-05,3.470375e-05,3.452835e-05,3.435397e-05,3.418073e-05,3.400878e-05,3.383822e-05,3.366915e-05,3.350167e-05,3.333585e-05,3.317177e-05,3.300950e-05,3.284908e-05,3.269057e-05,3.253402e-05,3.237946e-05,3.222691e-05,3.207642e-05,3.192800e-05,3.178166e-05,3.163743e-05,3.149531e-05,3.135530e-05,3.121741e-05,3.108165e-05
0.000000e+00,3.285977e-08,7.433400e-08,2.497137e-07,5.561439e-07,8.016596e-07,1.759832e-06,1.810240e-06,3.373670e-06,3.922138e-06,5.571971e-06,7.223443e-06,8.470535e-06,1.180061e-05,1.212133e-05,1.656015e-05,1.774461e-05,2.179735e-05,2.506944e-05,2.780148e-05,3.365086e-05,3.448437e-05,4.170582e-05,4.320031e-05,4.930143e-05,5.334572e-05,5.711305e-05,6.374110e-05,6.500406e-05,7.286114e-05,7.410865e-05,8.059101e-05,8.423301e-05,8.811671e-05,9.394744e-05,9.537514e-05,1.023154e-04,1.031248e-04,1.088978e-04,1.116728e-04,1.150932e-04,1.195305e-04,1.208820e-04,1.262535e-04,1.266651e-04,1.312045e-04,1.330678e-04,1.357386e-04,1.387500e-04,1.398649e-04,1.435969e-04,1.437382e-04,1.469514e-04,1.480703e-04,1.499478e-04,1.517916e-04,1.526072e-04,1.549513e-04,1.570024e-04,1.576004e-04,1.587824e-04,1.597894e-04,1.603130e-04,1.615669e-04,1.616149e-04,1.627076e-04,1.629787e-04,1.636099e-04,1.640671e-04,1.643390e-04,1.648707e-04,1.649111e-04,1.653410e-04,1.654245e-04,1.656424e-04,1.657598e-04,1.658280e-04,1.659044e-04,1.659090e-04,1.658960e-04,1.658829e-04,1.657984e-04,1.657170e-04,1.656247e-04,1.654259e-04,1.653829e-04,1.650799e-04,1.650262e-04,1.647221e-04,1.645326e-04,1.643152e-04,1.639578e-04,1.638643e-04,1.633741e-04,1.633128e-04,1.628488e-04,1.626075e-04,1.622922e-04,1.618504e-04,1.617078e-04,1.610988e-04,1.610491e-04,1.604679e-04,1.602100e-04,1.598178e-04,1.593391e-04,1.591508e-04,1.584690e-04,1.584414e-04,1.577743e-04,1.575215e-04,1.570686e-04,1.565833e-04,1.563535e-04,1.556304e-04,1.549007e-04,1.546660e-04,1.541656e-04,1.536928e-04,1.534263e-04,1.527135e-04,1.526837e-04,1.519389e-04,1.517300e-04,1.511927e-04,1.507446e-04,1.504459e-04,1.497589e-04,1.496992e-04,1.489534e-04,1.487746e-04,1.482090e-04,1.477930e-04,1.474666e-04,1.468154e-04,1.467267e-04,1.459899e-04,1.458429e-04,1.452565e-04,1.448766e-04,1.445269e-04,1.439174e-04,1.438016e-04,1.430809e-04,1.429660e-04,1.423650e-04,1.420232e-04,1.416543e-04,1.410896e-04,1.409489e-04,1.402493e-04,1.401657e-04,1.395554e-04,1.392520e-04,1.388676e-04,1.383490e-04,1.381860e-04,1.375108e-04,1.374571e-04,1.368421e-04,1.365765e-04,1.361800e-04,1.357075e-04,1.355247e-04,1.348762e-04,1.348504e-04,1.342346e-04,1.340053e-04,1.336000e-04,1.331724e-04,1.329724e-04,1.323519e-04,1.315438e-04,1.307482e-04,1.299651e-04,1.291946e-04,1.284366e-04,1.276912e-04,1.269583e-04,1.262379e-04,1.255298e-04,1.248341e-04,1.241507e-04,1.234793e-04,1.228200e-04,1.221726e-04,1.215371e-04,1.209131e-04,1.203008e-04,1.196998e-04,1.191100e-04,1.185314e-04,1.179637e-04,1.174068e-04,1.168605e-04,1.163247e-04
0.000000e+00,3.423753e-09,7.812051e-09,2.674718e-08,6.072340e-08,8.854270e-08,2.010231e-07,2.070924e-07,4.018778e-07,4.729955e-07,6.948363e-07,9.278743e-07,1.110468e-06,1.622036e-06,1.672897e-06,2.397830e-06,2.596184e-06,3.283022e-06,3.841630e-06,4.308225e-06,5.304273e-06,5.445830e-06,6.670219e-06,6.923594e-06,7.960515e-06,8.651789e-06,9.299826e-06,1.045224e-05,1.067389e-05,1.207012e-05,1.229480e-05,1.347712e-05,1.415320e-05,1.488444e-05,1.600413e-05,1.628261e-05,1.766310e-05,1.782721e-05,1.901843e-05,1.960510e-05,2.034214e-05,2.132363e-05,2.162880e-05,2.287398e-05,2.297169e-05,2.407421e-05,2.454110e-05,2.522686e-05,2.602625e-05,2.633009e-05,2.738274e-05,2.742378e-05,2.838423e-05,2.873221e-05,2.933449e-05,2.995157e-05,3.023387e-05,3.108307e-05,3.188304e-05,3.212882e-05,3.263496e-05,3.309160e-05,3.334020e-05,3.397466e-05,3.400021e-05,3.461657e-05,3.478154e-05,3.519088e-05,3.551597e-05,3.572480e-05,3.618176e-05,3.621999e-05,3.667810e-05,3.678271e-05,3.710079e-05,3.732262e-05,3.748967e-05,3.780519e-05,3.784635e-05,3.817235e-05,3.823400e-05,3.846919e-05,3.861250e-05,3.873832e-05,3.894400e-05,3.898114e-05,3.919903e-05,3.923167e-05,3.939328e-05,3.947849e-05,3.956515e-05,3.968734e-05,3.971584e-05,3.984650e-05,3.986089e-05,3.995826e-05,4.000171e-05,4.005215e-05,4.011219e-05,4.012919e-05,4.019035e-05,4.019459e-05,4.023655e-05,4.025104e-05,4.026866e-05,4.028353e-05,4.028752e-05,4.029393e-05,4.029394e-05,4.028864e-05,4.028402e-05,4.027239e-05,4.025542e-05,4.024585e-05,4.020968e-05,4.016450e-05,4.014823e-05,4.011090e-05,4.007244e-05,4.004945e-05,3.998355e-05,3.998067e-05,3.990507e-05,3.988275e-05,3.982313e-05,3.977112e-05,3.973531e-05,3.964969e-05,3.964203e-05,3.954371e-05,3.951941e-05,3.944074e-05,3.938117e-05,3.933347e-05,3.923580e-05,3.922226e-05,3.910744e-05,3.908407e-05,3.898932e-05,3.892668e-05,3.886818e-05,3.876431e-05,3.874432e-05,3.861799e-05,3.859757e-05,3.848945e-05,3.842703e-05,3.835892e-05,3.825322e-05,3.822663e-05,3.809278e-05,3.807663e-05,3.795758e-05,3.789772e-05,3.782122e-05,3.771690e-05,3.768386e-05,3.754567e-05,3.753458e-05,3.740680e-05,3.735110e-05,3.726741e-05,3.716680e-05,3.712763e-05,3.698759e-05,3.698198e-05,3.684741e-05,3.679693e-05,3.670720e-05,3.661190e-05,3.656707e-05,3.642713e-05,3.624284e-05,3.605922e-05,3.587646e-05,3.569473e-05,3.551417e-05,3.533493e-05,3.515712e-05,3.498087e-05,3.480626e-05,3.463340e-05,3.446237e-05,3.429323e-05,3.412605e-05,3.396089e-05,3.379779e-05,3.363680e-05,3.347795e-05,3.332128e-05,3.316681e-05,3.301456e-05,3.286454e-05,3.271677e-05,3.257126e-05,3.242801e-05
0.000000e+00,1.499521e-09,3.416295e-09,1.165560e-08,2.636017e-08,3.834365e-08,8.640195e-08,8.897965e-08,1.710238e-07,2.006916e-07,2.924391e-07,3.877584e-07,4.618509e-07,6.674895e-07,6.878208e-07,9.764260e-07,1.055188e-06,1.327870e-06,1.549934e-06,1.735770e-06,2.133750e-06,2.190458e-06,2.682488e-06,2.784648e-06,3.203899e-06,3.484405e-06,3.748067e-06,4.218529e-06,4.309239e-06,4.882188e-06,4.974622e-06,5.462023e-06,5.741427e-06,6.044137e-06,6.508555e-06,6.624209e-06,7.198251e-06,7.266555e-06,7.762653e-06,8.007100e-06,8.314231e-06,8.723144e-06,8.850235e-06,9.368379e-06,9.409001e-06,9.866833e-06,1.006037e-05,1.034418e-05,1.067421e-05,1.079940e-05,1.123184e-05,1.124865e-05,1.164116e-05,1.178283e-05,1.202729e-05,1.227671e-05,1.239042e-05,1.273092e-05,1.304930e-05,1.314662e-05,1.334622e-05,1.352532e-05,1.362242e-05,1.386883e-05,1.387871e-05,1.411595e-05,1.417909e-05,1.433503e-05,1.445813e-05,1.453684e-05,1.470803e-05,1.472229e-05,1.489226e-05,1.493084e-05,1.504762e-05,1.512855e-05,1.518921e-05,1.530307e-05,1.531785e-05,1.543433e-05,1.545623e-05,1.553939e-05,1.558974e-05,1.563374e-05,1.570523e-05,1.571807e-05,1.579302e-05,1.580418e-05,1.585919e-05,1.588801e-05,1.591717e-05,1.595801e-05,1.596748e-05,1.601065e-05,1.601537e-05,1.604714e-05,1.606121e-05,1.607742e-05,1.609653e-05,1.610190e-05,1.612098e-05,1.612228e-05,1.613503e-05,1.613931e-05,1.614439e-05,1.614842e-05,1.614940e-05,1.615036e-05,1.615032e-05,1.614755e-05,1.614567e-05,1.614125e-05,1.613509e-05,1.613170e-05,1.611914e-05,1.610379e-05,1.609832e-05,1.608585e-05,1.607310e-05,1.606551e-05,1.604391e-05,1.604297e-05,1.601837e-05,1.601114e-05,1.599190e-05,1.597516e-05,1.596368e-05,1.593630e-05,1.593386e-05,1.590257e-05,1.589486e-05,1.586993e-05,1.585111e-05,1.583606e-05,1.580531e-05,1.580106e-05,1.576503e-05,1.575770e-05,1.572806e-05,1.570850e-05,1.569025e-05,1.565789e-05,1.565167e-05,1.561240e-05,1.560606e-05,1.557252e-05,1.555318e-05,1.553210e-05,1.549940e-05,1.549118e-05,1.544985e-05,1.544486e-05,1.540814e-05,1.538968e-05,1.536611e-05,1.533399e-05,1.532382e-05,1.528131e-05,1.527790e-05,1.523861e-05,1.522150e-05,1.519578e-05,1.516488e-05,1.515285e-05,1.510985e-05,1.510813e-05,1.506682e-05,1.505132e-05,1.502378e-05,1.499454e-05,1.498078e-05,1.493782e-05,1.488125e-05,1.482487e-05,1.476873e-05,1.471288e-05,1.465736e-05,1.460220e-05,1.454743e-05,1.449310e-05,1.443922e-05,1.438582e-05,1.433293e-05,1.428056e-05,1.422874e-05,1.417747e-05,1.412677e-05,1.407666e-05,1.402715e-05,1.397824e-05,1.392995e-05,1.388228e-05,1.383523e-05,1.378882e-05,1.374304e-05,1.369789e-05
0.000000e+00,1.275528e-09,2.914270e-09,9.995987e-09,2.269422e-08,3.306299e-08,7.462931e-08,7.685467e-08,1.473130e-07,1.725890e-07,2.500313e-07,3.293676e-07,3.903213e-07,5.569001e-07,5.732106e-07,8.032527e-07,8.659039e-07,1.083967e-06,1.264001e-06,1.416965e-06,1.752694e-06,1.801482e-06,2.234926e-06,2.327191e-06,2.713871e-06,2.979691e-06,3.234649e-06,3.701677e-06,3.793492e-06,4.386508e-06,4.484294e-06,5.009649e-06,5.318228e-06,5.658714e-06,6.193737e-06,6.329394e-06,7.017338e-06,7.100845e-06,7.718226e-06,8.029626e-06,8.427846e-06,8.970506e-06,9.142162e-06,9.857371e-06,9.914518e-06,1.056994e-05,1.085351e-05,1.127667e-05,1.178025e-05,1.197464e-05,1.266132e-05,1.268852e-05,1.333447e-05,1.357312e-05,1.399219e-05,1.442980e-05,1.463288e-05,1.525523e-05,1.585820e-05,1.604691e-05,1.644096e-05,1.680305e-05,1.700294e-05,1.752250e-05,1.754373e-05,1.806308e-05,1.820464e-05,1.856091e-05,1.884929e-05,1.903726e-05,1.945665e-05,1.949227e-05,1.992616e-05,2.002719e-05,2.033926e-05,2.056164e-05,2.073192e-05,2.106090e-05,2.110457e-05,2.145768e-05,2.152599e-05,2.179172e-05,2.195807e-05,2.210723e-05,2.235832e-05,2.240473e-05,2.268477e-05,2.272799e-05,2.294791e-05,2.306837e-05,2.319469e-05,2.338073e-05,2.342569e-05,2.364145e-05,2.366634e-05,2.384252e-05,2.392647e-05,2.402944e-05,2.416237e-05,2.420275e-05,2.436297e-05,2.437524e-05,2.451061e-05,2.456626e-05,2.464618e-05,2.473658e-05,2.477016e-05,2.488303e-05,2.488732e-05,2.498525e-05,2.501953e-05,2.507728e-05,2.513425e-05,2.515954e-05,2.523248e-05,2.529649e-05,2.531516e-05,2.535198e-05,2.538320e-05,2.539933e-05,2.543747e-05,2.543891e-05,2.547108e-05,2.547881e-05,2.549619e-05,2.550801e-05,2.551458e-05,2.552583e-05,2.552656e-05,2.553246e-05,2.553300e-05,2.553256e-05,2.553020e-05,2.552716e-05,2.551809e-05,2.551655e-05,2.550097e-05,2.549728e-05,2.548070e-05,2.546839e-05,2.545598e-05,2.543195e-05,2.542705e-05,2.539414e-05,2.538852e-05,2.535747e-05,2.533859e-05,2.531725e-05,2.528265e-05,2.527368e-05,2.522696e-05,2.522115e-05,2.517727e-05,2.515452e-05,2.512480e-05,2.508316e-05,2.506971e-05,2.501217e-05,2.500747e-05,2.495234e-05,2.492780e-05,2.489037e-05,2.484451e-05,2.482641e-05,2.476058e-05,2.475791e-05,2.469303e-05,2.466831e-05,2.462388e-05,2.457600e-05,2.455325e-05,2.448125e-05,2.438433e-05,2.428546e-05,2.418488e-05,2.408280e-05,2.397942e-05,2.387494e-05,2.376952e-05,2.366333e-05,2.355652e-05,2.344925e-05,2.334165e-05,2.323385e-05,2.312595e-05,2.301808e-05,2.291034e-05,2.280282e-05,2.269560e-05,2.258879e-05,2.248244e-05,2.237663e-05,2.227142e-05,2.216689e-05,2.206307e-05,2.196002e-05
0.000000e+00,3.354561e-09,7.616353e-09,2.581900e-08,5.812386e-08,8.439168e-08,1.898062e-07,1.954732e-07,3.768964e-07,4.430292e-07,6.491000e-07,8.647985e-07,1.032645e-06,1.493009e-06,1.537759e-06,2.152577e-06,2.313471e-06,2.849518e-06,3.265339e-06,3.601615e-06,4.293008e-06,4.388804e-06,5.196500e-06,5.359459e-06,6.013292e-06,6.438379e-06,6.829580e-06,7.508723e-06,7.637002e-06,8.428286e-06,8.552965e-06,9.197247e-06,9.556887e-06,9.938816e-06,1.050966e-05,1.064905e-05,1.132508e-05,1.140381e-05,1.196503e-05,1.223490e-05,1.256792e-05,1.300114e-05,1.313348e-05,1.366210e-05,1.370281e-05,1.415463e-05,1.434180e-05,1.461228e-05,1.492101e-05,1.503652e-05,1.542898e-05,1.544404e-05,1.579142e-05,1.591489e-05,1.612562e-05,1.633765e-05,1.643336e-05,1.671640e-05,1.697644e-05,1.705505e-05,1.721508e-05,1.735730e-05,1.743386e-05,1.762656e-05,1.763424e-05,1.781757e-05,1.786602e-05,1.798510e-05,1.807853e-05,1.813801e-05,1.826670e-05,1.827737e-05,1.840420e-05,1.843287e-05,1.851941e-05,1.857917e-05,1.862385e-05,1.870748e-05,1.871831e-05,1.880351e-05,1.881950e-05,1.888012e-05,1.891677e-05,1.894875e-05,1.900064e-05,1.900995e-05,1.906426e-05,1.907234e-05,1.911215e-05,1.913298e-05,1.915406e-05,1.918355e-05,1.919039e-05,1.922153e-05,1.922494e-05,1.924783e-05,1.925795e-05,1.926960e-05,1.928330e-05,1.928714e-05,1.930074e-05,1.930167e-05,1.931065e-05,1.931363e-05,1.931710e-05,1.931974e-05,1.932033e-05,1.932053e-05,1.932048e-05,1.931790e-05,1.931630e-05,1.931263e-05,1.930761e-05,1.930487e-05,1.929479e-05,1.928253e-05,1.927817e-05,1.926823e-05,1.925807e-05,1.925202e-05,1.923477e-05,1.923402e-05,1.921435e-05,1.920856e-05,1.919311e-05,1.917966e-05,1.917040e-05,1.914830e-05,1.914633e-05,1.912097e-05,1.911470e-05,1.909441e-05,1.907904e-05,1.906673e-05,1.904152e-05,1.903802e-05,1.900833e-05,1.900228e-05,1.897773e-05,1.896149e-05,1.894630e-05,1.891929e-05,1.891408e-05,1.888114e-05,1.887581e-05,1.884753e-05,1.883118e-05,1.881331e-05,1.878551e-05,1.877851e-05,1.874319e-05,1.873892e-05,1.870739e-05,1.869149e-05,1.867115e-05,1.864333e-05,1.863451e-05,1.859750e-05,1.859453e-05,1.856018e-05,1.854516e-05,1.852255e-05,1.849530e-05,1.848467e-05,1.844656e-05,1.844503e-05,1.840825e-05,1.839441e-05,1.836976e-05,1.834350e-05,1.833113e-05,1.829237e-05,1.824106e-05,1.818963e-05,1.813813e-05,1.808660e-05,1.803508e-05,1.798361e-05,1.793224e-05,1.788098e-05,1.782988e-05,1.777897e-05,1.772827e-05,1.767780e-05,1.762760e-05,1.757768e-05,1.752806e-05,1.747877e-05,1.742982e-05,1.738123e-05,1.733301e-05,1.728518e-05,1.723774e-05,1.719072e-05,1.714412e-05,1.709795e-05
0.000000e+00,6.151942e-09,1.399792e-08,4.761981e-08,1.073713e-07,1.558937e-07,3.493380e-07,3.596694e-07,6.865865e-07,8.039961e-07,1.164828e-06,1.536640e-06,1.823874e-06,2.615012e-06,2.692865e-06,3.794077e-06,4.093911e-06,5.131625e-06,5.976997e-06,6.684628e-06,8.199074e-06,8.414596e-06,1.027950e-05,1.066529e-05,1.224212e-05,1.329079e-05,1.427143e-05,1.600835e-05,1.634129e-05,1.842899e-05,1.876330e-05,2.051433e-05,2.150904e-05,2.257911e-05,2.420512e-05,2.460704e-05,2.658376e-05,2.681691e-05,2.849682e-05,2.931565e-05,3.033582e-05,3.167866e-05,3.209232e-05,3.375980e-05,3.388920e-05,3.533358e-05,3.593612e-05,3.681062e-05,3.781328e-05,3.818939e-05,3.946963e-05,3.951880e-05,4.065218e-05,4.105430e-05,4.173884e-05,4.242429e-05,4.273220e-05,4.363546e-05,4.445216e-05,4.469582e-05,4.518605e-05,4.561418e-05,4.584127e-05,4.640019e-05,4.642205e-05,4.693261e-05,4.706356e-05,4.737720e-05,4.761403e-05,4.776001e-05,4.806113e-05,4.808511e-05,4.835644e-05,4.841398e-05,4.857777e-05,4.868122e-05,4.875271e-05,4.887105e-05,4.888474e-05,4.897712e-05,4.899111e-05,4.903294e-05,4.904850e-05,4.905513e-05,4.904978e-05,4.904642e-05,4.900939e-05,4.900100e-05,4.894645e-05,4.890771e-05,4.885986e-05,4.877497e-05,4.875171e-05,4.862396e-05,4.860741e-05,4.847845e-05,4.840924e-05,4.831687e-05,4.818429e-05,4.814079e-05,4.795169e-05,4.793604e-05,4.775092e-05,4.766763e-05,4.753974e-05,4.738191e-05,4.731932e-05,4.709075e-05,4.708145e-05,4.685501e-05,4.676857e-05,4.661303e-05,4.644535e-05,4.636566e-05,4.611369e-05,4.585784e-05,4.577526e-05,4.559879e-05,4.543160e-05,4.533714e-05,4.508404e-05,4.507346e-05,4.480827e-05,4.473382e-05,4.454205e-05,4.438201e-05,4.427523e-05,4.402958e-05,4.400822e-05,4.374137e-05,4.367739e-05,4.347502e-05,4.332620e-05,4.320948e-05,4.297670e-05,4.294503e-05,4.268191e-05,4.262947e-05,4.242037e-05,4.228505e-05,4.216059e-05,4.194388e-05,4.190277e-05,4.164708e-05,4.160638e-05,4.139367e-05,4.127288e-05,4.114267e-05,4.094368e-05,4.089420e-05,4.064837e-05,4.061905e-05,4.040528e-05,4.029920e-05,4.016500e-05,3.998431e-05,3.992760e-05,3.969316e-05,3.967453e-05,3.946171e-05,3.936998e-05,3.923331e-05,3.907077e-05,3.900799e-05,3.878577e-05,3.877695e-05,3.856669e-05,3.848859e-05,3.835076e-05,3.820573e-05,3.813799e-05,3.792837e-05,3.765653e-05,3.739020e-05,3.712935e-05,3.687395e-05,3.662397e-05,3.637935e-05,3.614005e-05,3.590600e-05,3.567713e-05,3.545338e-05,3.523467e-05,3.502093e-05,3.481207e-05,3.460801e-05,3.440867e-05,3.421397e-05,3.402380e-05,3.383810e-05,3.365676e-05,3.347971e-05,3.330685e-05,3.313810e-05,3.297336e-05,3.281256e-05
0.000000e+00,5.111344e-09,1.164289e-08,3.973964e-08,9.003132e-08,1.311809e-07,2.977845e-07,3.067923e-07,5.971525e-07,7.038039e-07,1.038593e-06,1.393361e-06,1.673205e-06,2.463823e-06,2.542831e-06,3.673001e-06,3.982692e-06,5.052392e-06,5.915902e-06,6.630593e-06,8.131524e-06,8.341853e-06,1.012856e-05,1.049098e-05,1.194830e-05,1.289732e-05,1.377118e-05,1.528890e-05,1.557566e-05,1.734554e-05,1.762463e-05,1.906818e-05,1.987526e-05,2.073363e-05,2.201950e-05,2.233408e-05,2.386363e-05,2.404220e-05,2.531806e-05,2.593345e-05,2.669461e-05,2.768777e-05,2.799183e-05,2.920938e-05,2.930335e-05,3.034786e-05,3.078139e-05,3.140861e-05,3.212531e-05,3.239360e-05,3.330523e-05,3.334020e-05,3.414620e-05,3.443222e-05,3.491950e-05,3.540829e-05,3.562826e-05,3.627563e-05,3.686479e-05,3.704155e-05,3.739892e-05,3.771333e-05,3.788115e-05,3.829806e-05,3.831449e-05,3.870189e-05,3.880252e-05,3.904619e-05,3.923322e-05,3.935011e-05,3.959630e-05,3.961626e-05,3.984708e-05,3.989749e-05,4.004492e-05,4.014212e-05,4.021197e-05,4.033516e-05,4.035031e-05,4.046194e-05,4.048122e-05,4.054870e-05,4.058458e-05,4.061235e-05,4.064916e-05,4.065453e-05,4.067678e-05,4.067859e-05,4.068057e-05,4.067622e-05,4.066724e-05,4.064513e-05,4.063809e-05,4.059432e-05,4.058814e-05,4.053704e-05,4.050784e-05,4.046732e-05,4.040662e-05,4.038614e-05,4.029443e-05,4.028666e-05,4.019304e-05,4.014996e-05,4.008280e-05,3.999836e-05,3.996445e-05,3.983871e-05,3.983354e-05,3.970624e-05,3.965702e-05,3.956765e-05,3.947022e-05,3.942354e-05,3.927442e-05,3.912082e-05,3.907080e-05,3.896320e-05,3.886041e-05,3.880199e-05,3.864425e-05,3.863762e-05,3.847046e-05,3.842320e-05,3.830087e-05,3.819808e-05,3.812917e-05,3.796962e-05,3.795569e-05,3.778070e-05,3.773851e-05,3.760448e-05,3.750534e-05,3.742726e-05,3.727069e-05,3.724930e-05,3.707079e-05,3.703505e-05,3.689195e-05,3.679888e-05,3.671295e-05,3.656260e-05,3.653397e-05,3.635516e-05,3.632658e-05,3.617668e-05,3.609116e-05,3.599866e-05,3.585666e-05,3.582122e-05,3.564449e-05,3.562334e-05,3.546857e-05,3.539145e-05,3.529356e-05,3.516121e-05,3.511954e-05,3.494661e-05,3.493282e-05,3.477483e-05,3.470646e-05,3.460429e-05,3.448229e-05,3.443503e-05,3.426712e-05,3.426043e-05,3.410061e-05,3.404102e-05,3.393555e-05,3.382416e-05,3.377199e-05,3.360995e-05,3.339846e-05,3.318976e-05,3.298391e-05,3.278096e-05,3.258095e-05,3.238391e-05,3.218987e-05,3.199883e-05,3.181082e-05,3.162584e-05,3.144388e-05,3.126495e-05,3.108903e-05,3.091612e-05,3.074619e-05,3.057924e-05,3.041523e-05,3.025415e-05,3.009597e-05,2.994066e-05,2.978818e-05,2.963852e-05,2.949164e-05,2.934750e-05
0.000000e+00,4.181194e-09,9.540143e-09,3.263575e-08,7.393311e-08,1.076000e-07,2.423839e-07,2.495973e-07,4.781180e-07,5.602151e-07,8.122996e-07,1.071493e-06,1.271261e-06,1.819328e-06,1.873096e-06,2.630873e-06,2.836474e-06,3.546958e-06,4.126157e-06,4.612651e-06,5.663324e-06,5.814214e-06,7.137670e-06,7.415820e-06,8.569852e-06,9.353298e-06,1.009793e-05,1.144611e-05,1.170889e-05,1.338934e-05,1.366375e-05,1.512559e-05,1.597475e-05,1.690381e-05,1.834740e-05,1.871033e-05,2.053191e-05,2.075091e-05,2.235604e-05,2.315642e-05,2.417107e-05,2.553788e-05,2.596645e-05,2.773278e-05,2.787257e-05,2.946184e-05,3.014142e-05,3.114665e-05,3.232901e-05,3.278140e-05,3.436137e-05,3.442337e-05,3.588288e-05,3.641577e-05,3.734321e-05,3.830027e-05,3.874043e-05,4.007337e-05,4.134151e-05,4.173361e-05,4.254484e-05,4.328117e-05,4.368385e-05,4.471757e-05,4.475939e-05,4.577262e-05,4.604534e-05,4.672495e-05,4.726778e-05,4.761799e-05,4.838875e-05,4.845352e-05,4.923339e-05,4.941250e-05,4.995957e-05,5.034351e-05,5.063404e-05,5.118642e-05,5.125884e-05,5.183599e-05,5.194588e-05,5.236752e-05,5.262655e-05,5.285543e-05,5.323300e-05,5.330168e-05,5.370819e-05,5.376967e-05,5.407686e-05,5.424091e-05,5.440950e-05,5.465087e-05,5.470789e-05,5.497374e-05,5.500354e-05,5.520872e-05,5.530274e-05,5.541441e-05,5.555211e-05,5.559237e-05,5.574406e-05,5.575511e-05,5.587092e-05,5.591501e-05,5.597429e-05,5.603492e-05,5.605550e-05,5.611578e-05,5.611778e-05,5.615634e-05,5.616633e-05,5.617831e-05,5.618320e-05,5.618280e-05,5.617084e-05,5.614342e-05,5.613154e-05,5.610151e-05,5.606749e-05,5.604599e-05,5.598070e-05,5.597774e-05,5.589757e-05,5.587309e-05,5.580627e-05,5.574645e-05,5.570457e-05,5.560244e-05,5.559319e-05,5.547280e-05,5.544264e-05,5.534404e-05,5.526850e-05,5.520750e-05,5.508139e-05,5.506378e-05,5.491341e-05,5.488259e-05,5.475692e-05,5.467329e-05,5.459479e-05,5.445459e-05,5.442750e-05,5.425547e-05,5.422754e-05,5.407914e-05,5.399309e-05,5.389890e-05,5.375215e-05,5.371513e-05,5.352817e-05,5.350554e-05,5.333837e-05,5.325404e-05,5.314604e-05,5.299836e-05,5.295148e-05,5.275498e-05,5.273918e-05,5.255680e-05,5.247712e-05,5.235719e-05,5.221273e-05,5.215640e-05,5.195464e-05,5.194655e-05,5.175213e-05,5.167907e-05,5.154906e-05,5.141075e-05,5.134562e-05,5.114198e-05,5.087317e-05,5.060465e-05,5.033675e-05,5.006977e-05,4.980398e-05,4.953962e-05,4.927692e-05,4.901608e-05,4.875730e-05,4.850073e-05,4.824653e-05,4.799484e-05,4.774577e-05,4.749944e-05,4.725595e-05,4.701536e-05,4.677777e-05,4.654323e-05,4.631180e-05,4.608353e-05,4.585844e-05,4.563658e-05,4.541796e-05,4.520261e-05
0.000000e+00,4.776219e-09,1.088851e-08,3.719277e-08,8.418071e-08,1.224832e-07,2.760053e-07,2.842329e-07,5.455966e-07,6.398393e-07,9.303240e-07,1.230594e-06,1.462990e-06,2.104086e-06,2.167211e-06,3.059911e-06,3.302766e-06,4.142171e-06,4.824621e-06,5.395023e-06,6.613932e-06,6.787268e-06,8.286912e-06,8.597218e-06,9.866437e-06,1.071160e-05,1.150292e-05,1.290717e-05,1.317675e-05,1.487062e-05,1.514244e-05,1.656901e-05,1.738170e-05,1.825802e-05,1.959418e-05,1.992539e-05,2.156049e-05,2.175409e-05,2.315435e-05,2.384063e-05,2.469961e-05,2.583789e-05,2.619048e-05,2.762256e-05,2.773448e-05,2.899275e-05,2.952303e-05,3.029911e-05,3.119956e-05,3.154062e-05,3.271707e-05,3.276277e-05,3.382889e-05,3.421351e-05,3.487710e-05,3.555424e-05,3.586309e-05,3.678859e-05,3.765557e-05,3.792098e-05,3.846615e-05,3.895637e-05,3.922259e-05,3.989996e-05,3.992717e-05,4.058223e-05,4.075710e-05,4.119011e-05,4.153315e-05,4.175310e-05,4.223333e-05,4.227344e-05,4.275331e-05,4.286269e-05,4.319482e-05,4.342608e-05,4.360003e-05,4.392812e-05,4.397088e-05,4.430925e-05,4.437319e-05,4.461694e-05,4.476538e-05,4.489565e-05,4.510857e-05,4.514702e-05,4.537259e-05,4.540639e-05,4.557384e-05,4.566223e-05,4.575219e-05,4.587926e-05,4.590895e-05,4.604539e-05,4.606045e-05,4.616270e-05,4.620855e-05,4.626202e-05,4.632613e-05,4.634442e-05,4.641091e-05,4.641557e-05,4.646245e-05,4.647909e-05,4.649995e-05,4.651875e-05,4.652428e-05,4.653623e-05,4.653646e-05,4.653659e-05,4.653402e-05,4.652607e-05,4.651305e-05,4.650536e-05,4.647511e-05,4.643593e-05,4.642160e-05,4.638840e-05,4.635386e-05,4.633307e-05,4.627309e-05,4.627045e-05,4.620104e-05,4.618045e-05,4.612528e-05,4.607697e-05,4.604363e-05,4.596364e-05,4.595648e-05,4.586423e-05,4.584137e-05,4.576724e-05,4.571099e-05,4.566586e-05,4.557328e-05,4.556042e-05,4.545123e-05,4.542896e-05,4.533857e-05,4.527871e-05,4.522273e-05,4.512315e-05,4.510396e-05,4.498252e-05,4.496285e-05,4.485862e-05,4.479835e-05,4.473250e-05,4.463013e-05,4.460435e-05,4.447438e-05,4.445867e-05,4.434276e-05,4.428438e-05,4.420968e-05,4.410765e-05,4.407529e-05,4.393975e-05,4.392886e-05,4.380321e-05,4.374834e-05,4.366580e-05,4.356641e-05,4.352766e-05,4.338890e-05,4.338334e-05,4.324965e-05,4.319942e-05,4.311001e-05,4.301488e-05,4.297008e-05,4.282996e-05,4.264487e-05,4.245980e-05,4.227494e-05,4.209044e-05,4.190646e-05,4.172315e-05,4.154063e-05,4.135902e-05,4.117843e-05,4.099896e-05,4.082070e-05,4.064373e-05,4.046814e-05,4.029398e-05,4.012132e-05,3.995022e-05,3.978073e-05,3.961289e-05,3.944674e-05,3.928233e-05,3.911968e-05,3.895882e-05,3.879977e-05,3.864256e-05
0.000000e+00,4.179309e-09,9.184505e-09,2.912591e-08,6.174103e-08,8.673993e-08,1.791383e-07,1.838450e-07,3.254480e-07,3.737448e-07,5.166388e-07,6.575640e-07,7.632320e-07,1.043561e-06,1.070425e-06,1.438301e-06,1.534692e-06,1.856134e-06,2.104350e-06,2.303118e-06,2.703131e-06,2.757464e-06,3.204044e-06,3.291644e-06,3.635118e-06,3.852026e-06,4.047622e-06,4.379011e-06,4.440541e-06,4.813385e-06,4.871142e-06,5.165598e-06,5.327122e-06,5.496450e-06,5.745206e-06,5.805131e-06,6.090915e-06,6.123642e-06,6.353285e-06,6.461243e-06,6.592029e-06,6.757743e-06,6.807282e-06,6.999521e-06,7.013927e-06,7.169485e-06,7.231446e-06,7.318160e-06,7.412702e-06,7.446764e-06,7.556642e-06,7.560667e-06,7.649205e-06,7.678568e-06,7.725904e-06,7.769738e-06,7.788186e-06,7.837451e-06,7.875032e-06,7.884798e-06,7.902185e-06,7.914632e-06,7.920073e-06,7.929519e-06,7.929762e-06,7.932219e-06,7.931733e-06,7.928320e-06,7.923259e-06,7.918848e-06,7.905811e-06,7.904498e-06,7.885893e-06,7.880856e-06,7.863578e-06,7.849645e-06,7.838041e-06,7.813248e-06,7.809715e-06,7.778978e-06,7.772571e-06,7.746157e-06,7.728360e-06,7.711531e-06,7.681235e-06,7.675351e-06,7.637842e-06,7.631730e-06,7.599203e-06,7.580307e-06,7.559608e-06,7.527345e-06,7.519207e-06,7.478136e-06,7.473168e-06,7.436515e-06,7.418055e-06,7.394452e-06,7.362248e-06,7.352043e-06,7.309374e-06,7.305952e-06,7.266519e-06,7.249341e-06,7.223548e-06,7.192571e-06,7.180522e-06,7.137496e-06,7.135776e-06,7.094521e-06,7.079071e-06,7.051641e-06,7.022557e-06,7.008896e-06,6.966323e-06,6.923956e-06,6.910446e-06,6.881823e-06,6.854994e-06,6.839952e-06,6.800026e-06,6.798368e-06,6.757092e-06,6.745593e-06,6.716144e-06,6.691739e-06,6.675541e-06,6.638504e-06,6.635299e-06,6.595432e-06,6.585921e-06,6.555953e-06,6.534019e-06,6.516874e-06,6.482821e-06,6.478203e-06,6.439949e-06,6.432349e-06,6.402121e-06,6.382620e-06,6.364723e-06,6.333647e-06,6.327763e-06,6.291244e-06,6.285442e-06,6.255170e-06,6.238013e-06,6.219544e-06,6.191368e-06,6.184369e-06,6.149646e-06,6.145510e-06,6.115376e-06,6.100441e-06,6.081561e-06,6.056164e-06,6.048199e-06,6.015291e-06,6.012678e-06,5.982835e-06,5.969980e-06,5.950831e-06,5.928067e-06,5.919277e-06,5.888170e-06,5.886936e-06,5.857509e-06,5.846580e-06,5.827291e-06,5.806994e-06,5.797513e-06,5.768172e-06,5.730106e-06,5.692787e-06,5.656208e-06,5.620358e-06,5.585230e-06,5.550812e-06,5.517095e-06,5.484069e-06,5.451722e-06,5.420045e-06,5.389026e-06,5.358655e-06,5.328920e-06,5.299810e-06,5.271314e-06,5.243421e-06,5.216121e-06,5.189401e-06,5.163251e-06,5.137659e-06,5.112616e-06,5.088110e-06,5.064131e-06,5.040667e-06
0.000000e+00,3.989044e-09,9.105871e-09,3.118506e-08,7.073841e-08,1.030385e-07,2.327560e-07,2.397148e-07,4.609320e-07,5.407365e-07,7.867401e-07,1.041000e-06,1.237736e-06,1.780149e-06,1.833530e-06,2.588004e-06,2.793216e-06,3.503254e-06,4.082515e-06,4.568934e-06,5.617850e-06,5.768227e-06,7.083488e-06,7.358985e-06,8.498257e-06,9.268133e-06,9.997173e-06,1.131051e-05,1.156551e-05,1.318891e-05,1.345281e-05,1.485330e-05,1.566275e-05,1.654507e-05,1.790946e-05,1.825125e-05,1.995968e-05,2.016430e-05,2.165924e-05,2.240162e-05,2.333995e-05,2.459925e-05,2.499306e-05,2.661106e-05,2.673878e-05,2.818766e-05,2.880552e-05,2.971775e-05,3.078831e-05,3.119729e-05,3.262324e-05,3.267913e-05,3.399342e-05,3.447273e-05,3.530640e-05,3.616616e-05,3.656145e-05,3.775835e-05,3.889737e-05,3.924973e-05,3.997917e-05,4.064192e-05,4.100470e-05,4.193737e-05,4.197515e-05,4.289191e-05,4.313919e-05,4.375651e-05,4.425091e-05,4.457058e-05,4.527634e-05,4.533581e-05,4.605393e-05,4.621947e-05,4.672672e-05,4.708433e-05,4.735593e-05,4.787498e-05,4.794331e-05,4.849060e-05,4.859539e-05,4.899948e-05,4.924948e-05,4.947162e-05,4.984102e-05,4.990864e-05,5.031211e-05,5.037365e-05,5.068355e-05,5.085089e-05,5.102443e-05,5.127609e-05,5.133617e-05,5.162015e-05,5.165243e-05,5.187769e-05,5.198295e-05,5.211004e-05,5.227054e-05,5.231844e-05,5.250404e-05,5.251794e-05,5.266798e-05,5.272772e-05,5.281132e-05,5.290235e-05,5.293509e-05,5.304028e-05,5.304411e-05,5.312783e-05,5.315521e-05,5.319865e-05,5.323769e-05,5.325359e-05,5.329348e-05,5.331911e-05,5.332442e-05,5.333122e-05,5.333222e-05,5.333055e-05,5.331850e-05,5.331776e-05,5.329352e-05,5.328477e-05,5.325846e-05,5.323247e-05,5.321316e-05,5.316293e-05,5.315819e-05,5.309411e-05,5.307743e-05,5.302142e-05,5.297714e-05,5.294062e-05,5.286318e-05,5.285218e-05,5.275654e-05,5.273659e-05,5.265414e-05,5.259836e-05,5.254539e-05,5.244940e-05,5.243066e-05,5.231033e-05,5.229058e-05,5.218475e-05,5.212271e-05,5.205426e-05,5.194655e-05,5.191918e-05,5.177981e-05,5.176281e-05,5.163643e-05,5.157215e-05,5.148934e-05,5.137522e-05,5.133878e-05,5.118502e-05,5.117259e-05,5.102828e-05,5.096480e-05,5.086880e-05,5.075239e-05,5.070678e-05,5.054244e-05,5.053582e-05,5.037598e-05,5.031556e-05,5.020756e-05,5.009202e-05,5.003738e-05,4.986560e-05,4.963667e-05,4.940557e-05,4.917264e-05,4.893816e-05,4.870243e-05,4.846571e-05,4.822824e-05,4.799025e-05,4.775196e-05,4.751357e-05,4.727527e-05,4.703722e-05,4.679958e-05,4.656252e-05,4.632616e-05,4.609063e-05,4.585606e-05,4.562255e-05,4.539021e-05,4.515913e-05,4.492940e-05,4.470110e-05,4.447429e-05,4.424906e-05
0.000000e+00,1.786241e-09,4.062461e-09,1.380218e-08,3.106567e-08,4.504661e-08,1.004729e-07,1.034197e-07,1.960100e-07,2.289686e-07,3.293684e-07,4.315491e-07,5.097102e-07,7.221906e-07,7.429215e-07,1.034079e-06,1.112976e-06,1.386095e-06,1.609583e-06,1.797829e-06,2.205101e-06,2.263577e-06,2.774996e-06,2.881992e-06,3.323508e-06,3.620793e-06,3.901396e-06,4.404518e-06,4.501846e-06,5.118697e-06,5.218528e-06,5.746235e-06,6.049661e-06,6.379093e-06,6.885816e-06,7.012238e-06,7.641005e-06,7.715956e-06,8.261137e-06,8.530264e-06,8.868836e-06,9.320317e-06,9.460792e-06,1.003420e-05,1.007920e-05,1.058677e-05,1.080154e-05,1.111668e-05,1.148343e-05,1.162261e-05,1.210362e-05,1.212233e-05,1.255919e-05,1.271692e-05,1.298912e-05,1.326687e-05,1.339351e-05,1.377269e-05,1.412720e-05,1.423554e-05,1.445774e-05,1.465708e-05,1.476513e-05,1.503930e-05,1.505029e-05,1.531419e-05,1.538442e-05,1.555786e-05,1.569478e-05,1.578234e-05,1.597280e-05,1.598866e-05,1.617787e-05,1.622084e-05,1.635097e-05,1.644125e-05,1.650896e-05,1.663625e-05,1.665279e-05,1.678337e-05,1.680797e-05,1.690157e-05,1.695843e-05,1.700823e-05,1.708948e-05,1.710413e-05,1.719001e-05,1.720287e-05,1.726656e-05,1.730019e-05,1.733445e-05,1.738294e-05,1.739429e-05,1.744665e-05,1.745245e-05,1.749207e-05,1.750999e-05,1.753106e-05,1.755667e-05,1.756408e-05,1.759157e-05,1.759354e-05,1.761393e-05,1.762153e-05,1.763155e-05,1.764150e-05,1.764477e-05,1.765393e-05,1.765422e-05,1.765933e-05,1.766040e-05,1.766124e-05,1.766069e-05,1.765994e-05,1.765566e-05,1.764864e-05,1.764585e-05,1.763909e-05,1.763173e-05,1.762720e-05,1.761375e-05,1.761315e-05,1.759713e-05,1.759230e-05,1.757927e-05,1.756775e-05,1.755975e-05,1.754042e-05,1.753868e-05,1.751620e-05,1.751061e-05,1.749242e-05,1.747859e-05,1.746747e-05,1.744462e-05,1.744144e-05,1.741443e-05,1.740892e-05,1.738653e-05,1.737170e-05,1.735782e-05,1.733314e-05,1.732839e-05,1.729830e-05,1.729343e-05,1.726763e-05,1.725271e-05,1.723643e-05,1.721114e-05,1.720477e-05,1.717271e-05,1.716884e-05,1.714030e-05,1.712593e-05,1.710757e-05,1.708253e-05,1.707459e-05,1.704140e-05,1.703873e-05,1.700803e-05,1.699463e-05,1.697451e-05,1.695032e-05,1.694090e-05,1.690721e-05,1.690586e-05,1.687348e-05,1.686133e-05,1.683973e-05,1.681679e-05,1.680600e-05,1.677231e-05,1.672794e-05,1.668371e-05,1.663969e-05,1.659591e-05,1.655241e-05,1.650922e-05,1.646637e-05,1.642388e-05,1.638179e-05,1.634012e-05,1.629888e-05,1.625810e-05,1.621779e-05,1.617795e-05,1.613862e-05,1.609979e-05,1.606148e-05,1.602369e-05,1.598644e-05,1.594971e-05,1.591354e-05,1.587790e-05,1.584281e-05,1.580828e-05
0.000000e+00,3.077228e-09,7.017846e-09,2.397726e-08,5.423380e-08,7.884506e-08,1.769402e-07,1.821715e-07,3.469831e-07,4.057744e-07,5.849942e-07,7.673451e-07,9.066753e-07,1.284408e-06,1.321172e-06,1.835983e-06,1.975100e-06,2.456261e-06,2.850491e-06,3.183682e-06,3.910126e-06,4.015168e-06,4.942301e-06,5.138134e-06,5.952286e-06,6.505252e-06,7.030074e-06,7.976624e-06,8.160401e-06,9.328941e-06,9.518567e-06,1.052271e-05,1.110122e-05,1.173008e-05,1.269876e-05,1.294069e-05,1.414540e-05,1.428918e-05,1.533624e-05,1.585400e-05,1.650632e-05,1.737808e-05,1.764983e-05,1.876196e-05,1.884945e-05,1.983884e-05,2.025902e-05,2.087744e-05,2.160024e-05,2.187551e-05,2.283146e-05,2.286880e-05,2.374431e-05,2.406227e-05,2.461356e-05,2.517971e-05,2.543916e-05,2.622138e-05,2.696080e-05,2.718850e-05,2.765823e-05,2.808299e-05,2.831464e-05,2.890727e-05,2.893118e-05,2.950907e-05,2.966414e-05,3.004963e-05,3.035660e-05,3.055420e-05,3.098783e-05,3.102419e-05,3.146097e-05,3.156102e-05,3.186596e-05,3.207939e-05,3.224055e-05,3.254612e-05,3.258609e-05,3.290395e-05,3.296431e-05,3.319541e-05,3.333696e-05,3.346175e-05,3.366698e-05,3.370421e-05,3.392398e-05,3.395712e-05,3.412222e-05,3.421005e-05,3.430003e-05,3.442829e-05,3.445848e-05,3.459861e-05,3.461424e-05,3.472139e-05,3.477016e-05,3.482777e-05,3.489821e-05,3.491865e-05,3.499491e-05,3.500040e-05,3.505736e-05,3.507866e-05,3.510680e-05,3.513476e-05,3.514398e-05,3.516962e-05,3.517042e-05,3.518441e-05,3.518720e-05,3.518900e-05,3.518661e-05,3.518401e-05,3.517004e-05,3.514765e-05,3.513879e-05,3.511738e-05,3.509411e-05,3.507974e-05,3.503712e-05,3.503521e-05,3.498426e-05,3.496891e-05,3.492733e-05,3.489047e-05,3.486482e-05,3.480274e-05,3.479714e-05,3.472466e-05,3.470660e-05,3.464774e-05,3.460285e-05,3.456671e-05,3.449226e-05,3.448189e-05,3.439358e-05,3.437553e-05,3.430208e-05,3.425332e-05,3.420764e-05,3.412624e-05,3.411054e-05,3.401100e-05,3.399486e-05,3.390926e-05,3.385971e-05,3.380555e-05,3.372128e-05,3.370005e-05,3.359297e-05,3.358003e-05,3.348449e-05,3.343636e-05,3.337478e-05,3.329068e-05,3.326401e-05,3.315232e-05,3.314335e-05,3.303986e-05,3.299470e-05,3.292678e-05,3.284503e-05,3.281318e-05,3.269920e-05,3.269464e-05,3.258496e-05,3.254378e-05,3.247054e-05,3.239270e-05,3.235607e-05,3.224162e-05,3.209073e-05,3.194024e-05,3.179031e-05,3.164109e-05,3.149274e-05,3.134537e-05,3.119910e-05,3.105405e-05,3.091031e-05,3.076796e-05,3.062708e-05,3.048775e-05,3.035002e-05,3.021394e-05,3.007957e-05,2.994695e-05,2.981611e-05,2.968709e-05,2.955990e-05,2.943457e-05,2.931112e-05,2.918955e-05,2.906989e-05,2.895212e-05
0.000000e+00,4.318888e-08,9.854617e-08,3.373275e-07,7.653632e-07,1.115422e-06,2.527394e-06,2.603443e-06,5.037997e-06,5.924335e-06,8.681453e-06,1.156383e-05,1.380946e-05,2.001986e-05,2.062992e-05,2.918512e-05,3.148747e-05,3.938241e-05,4.576362e-05,5.109870e-05,6.258209e-05,6.422951e-05,7.868841e-05,8.173251e-05,9.439511e-05,1.030283e-04,1.112660e-04,1.262699e-04,1.292087e-04,1.481203e-04,1.512286e-04,1.678870e-04,1.776428e-04,1.883854e-04,2.052230e-04,2.094845e-04,2.310489e-04,2.336613e-04,2.529404e-04,2.626408e-04,2.750217e-04,2.918479e-04,2.971591e-04,3.192245e-04,3.209829e-04,3.410972e-04,3.497670e-04,3.626657e-04,3.779494e-04,3.838287e-04,4.044958e-04,4.053110e-04,4.245880e-04,4.316670e-04,4.440374e-04,4.568667e-04,4.627877e-04,4.807929e-04,4.980175e-04,5.033599e-04,5.144350e-04,5.245101e-04,5.300277e-04,5.442115e-04,5.447857e-04,5.587058e-04,5.624536e-04,5.717910e-04,5.792446e-04,5.840495e-04,5.946078e-04,5.954938e-04,6.061402e-04,6.085788e-04,6.160084e-04,6.212026e-04,6.251200e-04,6.325316e-04,6.334992e-04,6.411712e-04,6.426231e-04,6.481626e-04,6.515381e-04,6.545004e-04,6.593394e-04,6.602124e-04,6.653261e-04,6.660907e-04,6.698693e-04,6.718555e-04,6.738694e-04,6.766965e-04,6.773532e-04,6.803473e-04,6.806749e-04,6.828774e-04,6.838502e-04,6.849686e-04,6.862794e-04,6.866453e-04,6.879308e-04,6.880174e-04,6.888478e-04,6.891164e-04,6.894181e-04,6.896259e-04,6.896627e-04,6.896014e-04,6.895929e-04,6.892536e-04,6.890618e-04,6.886375e-04,6.880743e-04,6.877707e-04,6.866697e-04,6.853505e-04,6.848847e-04,6.838281e-04,6.827538e-04,6.821170e-04,6.803093e-04,6.802306e-04,6.781821e-04,6.775811e-04,6.759836e-04,6.745973e-04,6.736467e-04,6.713840e-04,6.711825e-04,6.686013e-04,6.679655e-04,6.659131e-04,6.643644e-04,6.631270e-04,6.606014e-04,6.602520e-04,6.572963e-04,6.566962e-04,6.542678e-04,6.526666e-04,6.511737e-04,6.485293e-04,6.480212e-04,6.448167e-04,6.442996e-04,6.415664e-04,6.399917e-04,6.382762e-04,6.356188e-04,6.349514e-04,6.315972e-04,6.311929e-04,6.282184e-04,6.267251e-04,6.248195e-04,6.222256e-04,6.214049e-04,6.179783e-04,6.177038e-04,6.145436e-04,6.131682e-04,6.111042e-04,6.086267e-04,6.076633e-04,6.042240e-04,6.040865e-04,6.007892e-04,5.995542e-04,5.973613e-04,5.950356e-04,5.939429e-04,5.905363e-04,5.860611e-04,5.816144e-04,5.772003e-04,5.728224e-04,5.684839e-04,5.641876e-04,5.599362e-04,5.557318e-04,5.515765e-04,5.474720e-04,5.434197e-04,5.394210e-04,5.354770e-04,5.315885e-04,5.277562e-04,5.239808e-04,5.202627e-04,5.166021e-04,5.129993e-04,5.094543e-04,5.059671e-04,5.025376e-04,4.991655e-04,4.958507e-04
0.000000e+00,3.526703e-09,8.064283e-09,2.773299e-08,6.320985e-08,9.236376e-08,2.108250e-07,2.172372e-07,4.238235e-07,4.995822e-07,7.369133e-07,9.878602e-07,1.185716e-06,1.746498e-06,1.802822e-06,2.618189e-06,2.845586e-06,3.647463e-06,4.315453e-06,4.883334e-06,6.121960e-06,6.300595e-06,7.868976e-06,8.198313e-06,9.561401e-06,1.048298e-05,1.135581e-05,1.292865e-05,1.323416e-05,1.518100e-05,1.549791e-05,1.718245e-05,1.815873e-05,1.922560e-05,2.088194e-05,2.129826e-05,2.338885e-05,2.364040e-05,2.548646e-05,2.640897e-05,2.758088e-05,2.916472e-05,2.966275e-05,3.172356e-05,3.188728e-05,3.375572e-05,3.455904e-05,3.575257e-05,3.716519e-05,3.770838e-05,3.961831e-05,3.969370e-05,4.147835e-05,4.213510e-05,4.328526e-05,4.448230e-05,4.503653e-05,4.673028e-05,4.836521e-05,4.887581e-05,4.994048e-05,5.091716e-05,5.145573e-05,5.285387e-05,5.291093e-05,5.430638e-05,5.468647e-05,5.564265e-05,5.641633e-05,5.692053e-05,5.804542e-05,5.814097e-05,5.930507e-05,5.957621e-05,6.041406e-05,6.101151e-05,6.146925e-05,6.235441e-05,6.247202e-05,6.342378e-05,6.360814e-05,6.432601e-05,6.477609e-05,6.518020e-05,6.586168e-05,6.598784e-05,6.675043e-05,6.686836e-05,6.746944e-05,6.779953e-05,6.814637e-05,6.865859e-05,6.878267e-05,6.937978e-05,6.944886e-05,6.993910e-05,7.017359e-05,7.046202e-05,7.083593e-05,7.094990e-05,7.140405e-05,7.143896e-05,7.182577e-05,7.198565e-05,7.221631e-05,7.247888e-05,7.257689e-05,7.290871e-05,7.292140e-05,7.321292e-05,7.331589e-05,7.349063e-05,7.366490e-05,7.374294e-05,7.397090e-05,7.417553e-05,7.423624e-05,7.435781e-05,7.446319e-05,7.451870e-05,7.465390e-05,7.465914e-05,7.478000e-05,7.481045e-05,7.488215e-05,7.493481e-05,7.496643e-05,7.502887e-05,7.503363e-05,7.508455e-05,7.509443e-05,7.511992e-05,7.513321e-05,7.514047e-05,7.514685e-05,7.514690e-05,7.513987e-05,7.513691e-05,7.512004e-05,7.510487e-05,7.508802e-05,7.505215e-05,7.504442e-05,7.498982e-05,7.498010e-05,7.492477e-05,7.488999e-05,7.484980e-05,7.478304e-05,7.476544e-05,7.467217e-05,7.466041e-05,7.457048e-05,7.452318e-05,7.446081e-05,7.437241e-05,7.434362e-05,7.421932e-05,7.420908e-05,7.408832e-05,7.403413e-05,7.395100e-05,7.384844e-05,7.380775e-05,7.365892e-05,7.365285e-05,7.350485e-05,7.344817e-05,7.334588e-05,7.323515e-05,7.318233e-05,7.301450e-05,7.278689e-05,7.255297e-05,7.231333e-05,7.206856e-05,7.181918e-05,7.156570e-05,7.130860e-05,7.104834e-05,7.078534e-05,7.051999e-05,7.025268e-05,6.998377e-05,6.971357e-05,6.944242e-05,6.917059e-05,6.889837e-05,6.862602e-05,6.835377e-05,6.808185e-05,6.781048e-05,6.753984e-05,6.727013e-05,6.700151e-05,6.673415e-05
0.000000e+00,2.408261e-09,5.487516e-09,1.872623e-08,4.235240e-08,6.160225e-08,1.387504e-07,1.428860e-07,2.743999e-07,3.219061e-07,4.686790e-07,6.209766e-07,7.392445e-07,1.066999e-06,1.099364e-06,1.557985e-06,1.682885e-06,2.114554e-06,2.465429e-06,2.758778e-06,3.386633e-06,3.476088e-06,4.252481e-06,4.413761e-06,5.075981e-06,5.519362e-06,5.936329e-06,6.680775e-06,6.824365e-06,7.731596e-06,7.877993e-06,8.650004e-06,9.092564e-06,9.571998e-06,1.030737e-05,1.049046e-05,1.139882e-05,1.150686e-05,1.229116e-05,1.267733e-05,1.316222e-05,1.380722e-05,1.400753e-05,1.482331e-05,1.488720e-05,1.560654e-05,1.591017e-05,1.635488e-05,1.687113e-05,1.706667e-05,1.774083e-05,1.776701e-05,1.837683e-05,1.859641e-05,1.897451e-05,1.935914e-05,1.953410e-05,2.005617e-05,2.054156e-05,2.068931e-05,2.099132e-05,2.126101e-05,2.140664e-05,2.177417e-05,2.178884e-05,2.213932e-05,2.223196e-05,2.245951e-05,2.263770e-05,2.275089e-05,2.299479e-05,2.301494e-05,2.325312e-05,2.330659e-05,2.346687e-05,2.357642e-05,2.365759e-05,2.380747e-05,2.382666e-05,2.397538e-05,2.400280e-05,2.410503e-05,2.416531e-05,2.421681e-05,2.429774e-05,2.431187e-05,2.439132e-05,2.440266e-05,2.445621e-05,2.448247e-05,2.450751e-05,2.453941e-05,2.454617e-05,2.457308e-05,2.457555e-05,2.458906e-05,2.459284e-05,2.459491e-05,2.459303e-05,2.459136e-05,2.457911e-05,2.457778e-05,2.455882e-05,2.454859e-05,2.453110e-05,2.450687e-05,2.449653e-05,2.445564e-05,2.445388e-05,2.440896e-05,2.439082e-05,2.435694e-05,2.431876e-05,2.430005e-05,2.423869e-05,2.417325e-05,2.415151e-05,2.410411e-05,2.405807e-05,2.403160e-05,2.395912e-05,2.395604e-05,2.387774e-05,2.385536e-05,2.379696e-05,2.374742e-05,2.371398e-05,2.363589e-05,2.362903e-05,2.354234e-05,2.352130e-05,2.345412e-05,2.340413e-05,2.336458e-05,2.328482e-05,2.327389e-05,2.318222e-05,2.316378e-05,2.308974e-05,2.304138e-05,2.299659e-05,2.291793e-05,2.290291e-05,2.280884e-05,2.279376e-05,2.271448e-05,2.266913e-05,2.261996e-05,2.254428e-05,2.252536e-05,2.243080e-05,2.241946e-05,2.233635e-05,2.229485e-05,2.224210e-05,2.217065e-05,2.214812e-05,2.205448e-05,2.204701e-05,2.196125e-05,2.192409e-05,2.186849e-05,2.180202e-05,2.177624e-05,2.168457e-05,2.168091e-05,2.159351e-05,2.156089e-05,2.150311e-05,2.144203e-05,2.141340e-05,2.132442e-05,2.120814e-05,2.109325e-05,2.097981e-05,2.086787e-05,2.075746e-05,2.064862e-05,2.054139e-05,2.043578e-05,2.033181e-05,2.022951e-05,2.012888e-05,2.002993e-05,1.993266e-05,1.983707e-05,1.974317e-05,1.965094e-05,1.956038e-05,1.947148e-05,1.938423e-05,1.929863e-05,1.921464e-05,1.913227e-05,1.905149e-05,1.897229e-05
0.000000e+00,2.292466e-09,5.236574e-09,1.796791e-08,4.086231e-08,5.963121e-08,1.355999e-07,1.397007e-07,2.713032e-07,3.193355e-07,4.690741e-07,6.261991e-07,7.491657e-07,1.092732e-06,1.126795e-06,1.610055e-06,1.741551e-06,2.194960e-06,2.562382e-06,2.869077e-06,3.525228e-06,3.618779e-06,4.432484e-06,4.602034e-06,5.300569e-06,5.770614e-06,6.214523e-06,7.011823e-06,7.166335e-06,8.148225e-06,8.307607e-06,9.152581e-06,9.640475e-06,1.017203e-05,1.099371e-05,1.119954e-05,1.222855e-05,1.235185e-05,1.325308e-05,1.370103e-05,1.426771e-05,1.502928e-05,1.526772e-05,1.624907e-05,1.632667e-05,1.720834e-05,1.758522e-05,1.814273e-05,1.879882e-05,1.905002e-05,1.992849e-05,1.996301e-05,2.077689e-05,2.107477e-05,2.159435e-05,2.213229e-05,2.238037e-05,2.313471e-05,2.385738e-05,2.408198e-05,2.454861e-05,2.497467e-05,2.520878e-05,2.581380e-05,2.583841e-05,2.643810e-05,2.660075e-05,2.700858e-05,2.733715e-05,2.755060e-05,2.802481e-05,2.806496e-05,2.855251e-05,2.866562e-05,2.901409e-05,2.926157e-05,2.945059e-05,2.981464e-05,2.986286e-05,3.025177e-05,3.032683e-05,3.061819e-05,3.080011e-05,3.096295e-05,3.123642e-05,3.128688e-05,3.159080e-05,3.163763e-05,3.187551e-05,3.200557e-05,3.214178e-05,3.234202e-05,3.239035e-05,3.262197e-05,3.264866e-05,3.283734e-05,3.292714e-05,3.303715e-05,3.317901e-05,3.322206e-05,3.339271e-05,3.340577e-05,3.354973e-05,3.360885e-05,3.369370e-05,3.378962e-05,3.382522e-05,3.394482e-05,3.394937e-05,3.405306e-05,3.408934e-05,3.415043e-05,3.421070e-05,3.423745e-05,3.431458e-05,3.438229e-05,3.440203e-05,3.444100e-05,3.447406e-05,3.449116e-05,3.453163e-05,3.453316e-05,3.456739e-05,3.457563e-05,3.459423e-05,3.460693e-05,3.461404e-05,3.462634e-05,3.462716e-05,3.463392e-05,3.463463e-05,3.463464e-05,3.463252e-05,3.462963e-05,3.462070e-05,3.461917e-05,3.460355e-05,3.459982e-05,3.458303e-05,3.457051e-05,3.455787e-05,3.453333e-05,3.452831e-05,3.449460e-05,3.448883e-05,3.445695e-05,3.443754e-05,3.441558e-05,3.437995e-05,3.437070e-05,3.432251e-05,3.431652e-05,3.427120e-05,3.424767e-05,3.421694e-05,3.417384e-05,3.415991e-05,3.410027e-05,3.409539e-05,3.403819e-05,3.401271e-05,3.397382e-05,3.392613e-05,3.390729e-05,3.383875e-05,3.383597e-05,3.376834e-05,3.374256e-05,3.369617e-05,3.364616e-05,3.362238e-05,3.354707e-05,3.344552e-05,3.334177e-05,3.323603e-05,3.312853e-05,3.301946e-05,3.290901e-05,3.279737e-05,3.268468e-05,3.257111e-05,3.245682e-05,3.234192e-05,3.222656e-05,3.211085e-05,3.199492e-05,3.187885e-05,3.176275e-05,3.164672e-05,3.153084e-05,3.141519e-05,3.129985e-05,3.118488e-05,3.107036e-05,3.095633e-05,3.084286e-05
0.000000e+00,1.396436e-08,3.181542e-08,1.084862e-07,2.449714e-07,3.558368e-07,7.970681e-07,8.205820e-07,1.561172e-06,1.825395e-06,2.631460e-06,3.452965e-06,4.081791e-06,5.792057e-06,5.958952e-06,8.303508e-06,8.939205e-06,1.114276e-05,1.295146e-05,1.448054e-05,1.781079e-05,1.829167e-05,2.252803e-05,2.342124e-05,2.713119e-05,2.964997e-05,3.204169e-05,3.636227e-05,3.720258e-05,4.255973e-05,4.343160e-05,4.806140e-05,5.073887e-05,5.365794e-05,5.817150e-05,5.930188e-05,6.494826e-05,6.562396e-05,7.055511e-05,7.299955e-05,7.608395e-05,8.021223e-05,8.150014e-05,8.677323e-05,8.718808e-05,9.187705e-05,9.386614e-05,9.678975e-05,1.001985e-04,1.014937e-04,1.059753e-04,1.061498e-04,1.102246e-04,1.116961e-04,1.142352e-04,1.168241e-04,1.180035e-04,1.215287e-04,1.248123e-04,1.258125e-04,1.278576e-04,1.296839e-04,1.306698e-04,1.331558e-04,1.332549e-04,1.356203e-04,1.362443e-04,1.377741e-04,1.389684e-04,1.397250e-04,1.413483e-04,1.414819e-04,1.430543e-04,1.434052e-04,1.444514e-04,1.451608e-04,1.456828e-04,1.466367e-04,1.467577e-04,1.476855e-04,1.478542e-04,1.484750e-04,1.488338e-04,1.491349e-04,1.495951e-04,1.496734e-04,1.500987e-04,1.501567e-04,1.504184e-04,1.505365e-04,1.506399e-04,1.507510e-04,1.507701e-04,1.508157e-04,1.508158e-04,1.507829e-04,1.507453e-04,1.506778e-04,1.505530e-04,1.505059e-04,1.502726e-04,1.502514e-04,1.499828e-04,1.498521e-04,1.496413e-04,1.493658e-04,1.492524e-04,1.488204e-04,1.488022e-04,1.483490e-04,1.481704e-04,1.478420e-04,1.474787e-04,1.473028e-04,1.467346e-04,1.461402e-04,1.459450e-04,1.455226e-04,1.451164e-04,1.448843e-04,1.442544e-04,1.442278e-04,1.435552e-04,1.433643e-04,1.428688e-04,1.424510e-04,1.421703e-04,1.415188e-04,1.414618e-04,1.407447e-04,1.405715e-04,1.400208e-04,1.396129e-04,1.392914e-04,1.386461e-04,1.385579e-04,1.378215e-04,1.376740e-04,1.370834e-04,1.366992e-04,1.363446e-04,1.357242e-04,1.356061e-04,1.348687e-04,1.347509e-04,1.341334e-04,1.337814e-04,1.334009e-04,1.328173e-04,1.326718e-04,1.319468e-04,1.318601e-04,1.312264e-04,1.309111e-04,1.305113e-04,1.299715e-04,1.298018e-04,1.290984e-04,1.290424e-04,1.284014e-04,1.281245e-04,1.277113e-04,1.272188e-04,1.270283e-04,1.263528e-04,1.263259e-04,1.256849e-04,1.254463e-04,1.250249e-04,1.245806e-04,1.243729e-04,1.237292e-04,1.228923e-04,1.220703e-04,1.212634e-04,1.204717e-04,1.196953e-04,1.189342e-04,1.181886e-04,1.174583e-04,1.167434e-04,1.160437e-04,1.153592e-04,1.146897e-04,1.140351e-04,1.133951e-04,1.127697e-04,1.121587e-04,1.115618e-04,1.109789e-04,1.104096e-04,1.098538e-04,1.093113e-04,1.087818e-04,1.082651e-04,1.077609e-04
0.000000e+00,3.188378e-09,7.283721e-09,2.501179e-08,5.698136e-08,8.328185e-08,1.906015e-07,1.964340e-07,3.856604e-07,4.556508e-07,6.764642e-07,9.111143e-07,1.095577e-06,1.607503e-06,1.657673e-06,2.355178e-06,2.540686e-06,3.169787e-06,3.671004e-06,4.085632e-06,4.966106e-06,5.091195e-06,6.177238e-06,6.403345e-06,7.335119e-06,7.962683e-06,8.555972e-06,9.623334e-06,9.830458e-06,1.114882e-05,1.136316e-05,1.250108e-05,1.315929e-05,1.387732e-05,1.498909e-05,1.526791e-05,1.666375e-05,1.683119e-05,1.805640e-05,1.866616e-05,1.943825e-05,2.047707e-05,2.080258e-05,2.214355e-05,2.224966e-05,2.345620e-05,2.397240e-05,2.473647e-05,2.563632e-05,2.598104e-05,2.718734e-05,2.723476e-05,2.835342e-05,2.876308e-05,2.947791e-05,3.021835e-05,3.055995e-05,3.159907e-05,3.259518e-05,3.290488e-05,3.354848e-05,3.413633e-05,3.445942e-05,3.529466e-05,3.532864e-05,3.615694e-05,3.638166e-05,3.694526e-05,3.739948e-05,3.769461e-05,3.835055e-05,3.840610e-05,3.908088e-05,3.923749e-05,3.972012e-05,4.006302e-05,4.032502e-05,4.082989e-05,4.089679e-05,4.143664e-05,4.154088e-05,4.194576e-05,4.219875e-05,4.242534e-05,4.280620e-05,4.287653e-05,4.330049e-05,4.336587e-05,4.369831e-05,4.388031e-05,4.407110e-05,4.435201e-05,4.441990e-05,4.474573e-05,4.478334e-05,4.504960e-05,4.517660e-05,4.533247e-05,4.553396e-05,4.559525e-05,4.583886e-05,4.585754e-05,4.606415e-05,4.614933e-05,4.627196e-05,4.641122e-05,4.646310e-05,4.663834e-05,4.664503e-05,4.679842e-05,4.685248e-05,4.694407e-05,4.703521e-05,4.707596e-05,4.719476e-05,4.730111e-05,4.733261e-05,4.739561e-05,4.745014e-05,4.747885e-05,4.754868e-05,4.755138e-05,4.761376e-05,4.762947e-05,4.766648e-05,4.769369e-05,4.771005e-05,4.774245e-05,4.774493e-05,4.777159e-05,4.777681e-05,4.779044e-05,4.779775e-05,4.780192e-05,4.780622e-05,4.780640e-05,4.780429e-05,4.780310e-05,4.779593e-05,4.778923e-05,4.778167e-05,4.776538e-05,4.776185e-05,4.773679e-05,4.773231e-05,4.770678e-05,4.769070e-05,4.767211e-05,4.764122e-05,4.763308e-05,4.758993e-05,4.758448e-05,4.754292e-05,4.752107e-05,4.749229e-05,4.745153e-05,4.743827e-05,4.738109e-05,4.737638e-05,4.732094e-05,4.729610e-05,4.725804e-05,4.721114e-05,4.719256e-05,4.712470e-05,4.712193e-05,4.705462e-05,4.702888e-05,4.698249e-05,4.693235e-05,4.690847e-05,4.683270e-05,4.673026e-05,4.662534e-05,4.651823e-05,4.640920e-05,4.629851e-05,4.618639e-05,4.607306e-05,4.595874e-05,4.584361e-05,4.572786e-05,4.561166e-05,4.549515e-05,4.537849e-05,4.526182e-05,4.514525e-05,4.502891e-05,4.491291e-05,4.479734e-05,4.468230e-05,4.456787e-05,4.445414e-05,4.434117e-05,4.422903e-05,4.411779e-05
0.000000e+00,4.067211e-09,9.276582e-09,3.172424e-08,7.190565e-08,1.047254e-07,2.368006e-07,2.439017e-07,4.706579e-07,5.529703e-07,8.084435e-07,1.075148e-06,1.283199e-06,1.862855e-06,1.920270e-06,2.735439e-06,2.957697e-06,3.726157e-06,4.351303e-06,4.874639e-06,5.998137e-06,6.158686e-06,7.558276e-06,7.850532e-06,9.056578e-06,9.869783e-06,1.063892e-05,1.202309e-05,1.229173e-05,1.400186e-05,1.427993e-05,1.575629e-05,1.661035e-05,1.754210e-05,1.898482e-05,1.934662e-05,2.115753e-05,2.137471e-05,2.296313e-05,2.375306e-05,2.475248e-05,2.609531e-05,2.651556e-05,2.824340e-05,2.837986e-05,2.992813e-05,3.058840e-05,3.156299e-05,3.270600e-05,3.314234e-05,3.466164e-05,3.472111e-05,3.611736e-05,3.662532e-05,3.750690e-05,3.841308e-05,3.882854e-05,4.008128e-05,4.126481e-05,4.162894e-05,4.237937e-05,4.305683e-05,4.342572e-05,4.436710e-05,4.440500e-05,4.531869e-05,4.556300e-05,4.616854e-05,4.664861e-05,4.695650e-05,4.762859e-05,4.768470e-05,4.835536e-05,4.850801e-05,4.897078e-05,4.929217e-05,4.953333e-05,4.998651e-05,5.004537e-05,5.050926e-05,5.059647e-05,5.092735e-05,5.112742e-05,5.130193e-05,5.158462e-05,5.163528e-05,5.192957e-05,5.197318e-05,5.218695e-05,5.229799e-05,5.240948e-05,5.256375e-05,5.259915e-05,5.275788e-05,5.277493e-05,5.288750e-05,5.293576e-05,5.298977e-05,5.305025e-05,5.306638e-05,5.311894e-05,5.312215e-05,5.314898e-05,5.315502e-05,5.315796e-05,5.315217e-05,5.314728e-05,5.311825e-05,5.311673e-05,5.307213e-05,5.305158e-05,5.301012e-05,5.295945e-05,5.293334e-05,5.284286e-05,5.273970e-05,5.270416e-05,5.262481e-05,5.254555e-05,5.249910e-05,5.236904e-05,5.236343e-05,5.221861e-05,5.217652e-05,5.206540e-05,5.196975e-05,5.190452e-05,5.175033e-05,5.173665e-05,5.156244e-05,5.151975e-05,5.138248e-05,5.127941e-05,5.119735e-05,5.103057e-05,5.100757e-05,5.081366e-05,5.077442e-05,5.061607e-05,5.051203e-05,5.041527e-05,5.024440e-05,5.021165e-05,5.000562e-05,4.997245e-05,4.979753e-05,4.969703e-05,4.958774e-05,4.941889e-05,4.937656e-05,4.916429e-05,4.913875e-05,4.895121e-05,4.885726e-05,4.873758e-05,4.857501e-05,4.852365e-05,4.830965e-05,4.829253e-05,4.809578e-05,4.801032e-05,4.788225e-05,4.772882e-05,4.766924e-05,4.745691e-05,4.744844e-05,4.724543e-05,4.716954e-05,4.703494e-05,4.689245e-05,4.682558e-05,4.661747e-05,4.634487e-05,4.607488e-05,4.580773e-05,4.554358e-05,4.528262e-05,4.502498e-05,4.477079e-05,4.452017e-05,4.427320e-05,4.402997e-05,4.379053e-05,4.355495e-05,4.332326e-05,4.309549e-05,4.287168e-05,4.265182e-05,4.243592e-05,4.222398e-05,4.201600e-05,4.181196e-05,4.161184e-05,4.141561e-05,4.122324e-05,4.103471e-05
0.000000e+00,4.413968e-09,1.010162e-08,3.488968e-08,8.017983e-08,1.179606e-07,2.765541e-07,2.853624e-07,5.798042e-07,6.919794e-07,1.050508e-06,1.429216e-06,1.720702e-06,2.499396e-06,2.573783e-06,3.587481e-06,3.853141e-06,4.749629e-06,5.462990e-06,6.054394e-06,7.317368e-06,7.497749e-06,9.075110e-06,9.406155e-06,1.078034e-05,1.171501e-05,1.260542e-05,1.422390e-05,1.454044e-05,1.657388e-05,1.690753e-05,1.869297e-05,1.973658e-05,2.088407e-05,2.267935e-05,2.313311e-05,2.542595e-05,2.570337e-05,2.774875e-05,2.877684e-05,3.008829e-05,3.186984e-05,3.243212e-05,3.476879e-05,3.495509e-05,3.708794e-05,3.800859e-05,3.938036e-05,4.100977e-05,4.163797e-05,4.385385e-05,4.394153e-05,4.602214e-05,4.679011e-05,4.813799e-05,4.954479e-05,5.019750e-05,5.219760e-05,5.413596e-05,5.474291e-05,5.601093e-05,5.717714e-05,5.782145e-05,5.949837e-05,5.956694e-05,6.124726e-05,6.170610e-05,6.286264e-05,6.380090e-05,6.441360e-05,6.578425e-05,6.590091e-05,6.732558e-05,6.765830e-05,6.868875e-05,6.942575e-05,6.999172e-05,7.108964e-05,7.123588e-05,7.242269e-05,7.265331e-05,7.355370e-05,7.412028e-05,7.463046e-05,7.549420e-05,7.565459e-05,7.662769e-05,7.677876e-05,7.755137e-05,7.797765e-05,7.842723e-05,7.909457e-05,7.925688e-05,8.004188e-05,8.013315e-05,8.078378e-05,8.109696e-05,8.148411e-05,8.198947e-05,8.214436e-05,8.276598e-05,8.281408e-05,8.335041e-05,8.357407e-05,8.389902e-05,8.427262e-05,8.441319e-05,8.489422e-05,8.491279e-05,8.534339e-05,8.549753e-05,8.576194e-05,8.602969e-05,8.615109e-05,8.651199e-05,8.684578e-05,8.694704e-05,8.715355e-05,8.733736e-05,8.743636e-05,8.768534e-05,8.769525e-05,8.793119e-05,8.799328e-05,8.814515e-05,8.826336e-05,8.833805e-05,8.849769e-05,8.851079e-05,8.866422e-05,8.869826e-05,8.879917e-05,8.886698e-05,8.891646e-05,8.900566e-05,8.901684e-05,8.910108e-05,8.911605e-05,8.916988e-05,8.919978e-05,8.922394e-05,8.925844e-05,8.926392e-05,8.929047e-05,8.929351e-05,8.930421e-05,8.930643e-05,8.930573e-05,8.929853e-05,8.929560e-05,8.927438e-05,8.927112e-05,8.924260e-05,8.922540e-05,8.920077e-05,8.916256e-05,8.914938e-05,8.908889e-05,8.908368e-05,8.901978e-05,8.898981e-05,8.894247e-05,8.888196e-05,8.885738e-05,8.876491e-05,8.876106e-05,8.866546e-05,8.862802e-05,8.855939e-05,8.848367e-05,8.844707e-05,8.832883e-05,8.816426e-05,8.799069e-05,8.780879e-05,8.761922e-05,8.742260e-05,8.721950e-05,8.701048e-05,8.679606e-05,8.657673e-05,8.635296e-05,8.612519e-05,8.589384e-05,8.565930e-05,8.542193e-05,8.518210e-05,8.494013e-05,8.469633e-05,8.445100e-05,8.420442e-05,8.395684e-05,8.370851e-05,8.345966e-05,8.321051e-05,8.296126e-05
0.000000e+00,6.281628e-09,1.432549e-08,4.910811e-08,1.120351e-07,1.641220e-07,3.800591e-07,3.919510e-07,7.858452e-07,9.351687e-07,1.417227e-06,1.945224e-06,2.370065e-06,3.585365e-06,3.706744e-06,5.416451e-06,5.873915e-06,7.417629e-06,8.629775e-06,9.616457e-06,1.165843e-05,1.194258e-05,1.434990e-05,1.483821e-05,1.680761e-05,1.809780e-05,1.929300e-05,2.138831e-05,2.178729e-05,2.427355e-05,2.466953e-05,2.673593e-05,2.790495e-05,2.915945e-05,3.106088e-05,3.153017e-05,3.383542e-05,3.410710e-05,3.606397e-05,3.701771e-05,3.820629e-05,3.977195e-05,4.025462e-05,4.220286e-05,4.235425e-05,4.404662e-05,4.475420e-05,4.578314e-05,4.696623e-05,4.741109e-05,4.893040e-05,4.898893e-05,5.034213e-05,5.082436e-05,5.164826e-05,5.247756e-05,5.285167e-05,5.395561e-05,5.496371e-05,5.526674e-05,5.588014e-05,5.642050e-05,5.670916e-05,5.742695e-05,5.745525e-05,5.812289e-05,5.829637e-05,5.871652e-05,5.903902e-05,5.924058e-05,5.966497e-05,5.969937e-05,6.009705e-05,6.018386e-05,6.043765e-05,6.060488e-05,6.072498e-05,6.093671e-05,6.096274e-05,6.115440e-05,6.118750e-05,6.130328e-05,6.136483e-05,6.141249e-05,6.147572e-05,6.148497e-05,6.152348e-05,6.152666e-05,6.153062e-05,6.152362e-05,6.150883e-05,6.147210e-05,6.146038e-05,6.138741e-05,6.137710e-05,6.129192e-05,6.124324e-05,6.117575e-05,6.107472e-05,6.104066e-05,6.088825e-05,6.087536e-05,6.072005e-05,6.064866e-05,6.053745e-05,6.039780e-05,6.034176e-05,6.013421e-05,6.012567e-05,5.991592e-05,5.983491e-05,5.968795e-05,5.952791e-05,5.945128e-05,5.920683e-05,5.895543e-05,5.887365e-05,5.869788e-05,5.853016e-05,5.843490e-05,5.817796e-05,5.816717e-05,5.789532e-05,5.781854e-05,5.761993e-05,5.745322e-05,5.734154e-05,5.708320e-05,5.706065e-05,5.677773e-05,5.670957e-05,5.649319e-05,5.633330e-05,5.620745e-05,5.595528e-05,5.592086e-05,5.563376e-05,5.557631e-05,5.534648e-05,5.519711e-05,5.505929e-05,5.481832e-05,5.477246e-05,5.448625e-05,5.444053e-05,5.420087e-05,5.406424e-05,5.391653e-05,5.368994e-05,5.363343e-05,5.335173e-05,5.331803e-05,5.307160e-05,5.294888e-05,5.279319e-05,5.258282e-05,5.251662e-05,5.224202e-05,5.222014e-05,5.196950e-05,5.186110e-05,5.169916e-05,5.150591e-05,5.143109e-05,5.116537e-05,5.115479e-05,5.090207e-05,5.080789e-05,5.064127e-05,5.046537e-05,5.038301e-05,5.012735e-05,4.979394e-05,4.946523e-05,4.914128e-05,4.882216e-05,4.850791e-05,4.819857e-05,4.789415e-05,4.759467e-05,4.730013e-05,4.701053e-05,4.672585e-05,4.644607e-05,4.617118e-05,4.590113e-05,4.563589e-05,4.537543e-05,4.511970e-05,4.486866e-05,4.462225e-05,4.438043e-05,4.414314e-05,4.391032e-05,4.368191e-05,4.345786e-05
0.000000e+00,1.514880e-07,3.456344e-07,1.182749e-06,2.681957e-06,3.906693e-06,8.834199e-06,9.099030e-06,1.754812e-05,2.061121e-05,3.010449e-05,3.999383e-05,4.769409e-05,6.908726e-05,7.120173e-05,1.011516e-04,1.092999e-04,1.374468e-04,1.603466e-04,1.795396e-04,2.208649e-04,2.267870e-04,2.786198e-04,2.894926e-04,3.345484e-04,3.651004e-04,3.941242e-04,4.466646e-04,4.569070e-04,5.224476e-04,5.331592e-04,5.902817e-04,6.235169e-04,6.599319e-04,7.166343e-04,7.309140e-04,8.027457e-04,8.114000e-04,8.749557e-04,9.067307e-04,9.470925e-04,1.001605e-03,1.018732e-03,1.089484e-03,1.095095e-03,1.158995e-03,1.186381e-03,1.226954e-03,1.274770e-03,1.293091e-03,1.357177e-03,1.359695e-03,1.419025e-03,1.440713e-03,1.478486e-03,1.517497e-03,1.535448e-03,1.589828e-03,1.641577e-03,1.657575e-03,1.690668e-03,1.720690e-03,1.737100e-03,1.779189e-03,1.780890e-03,1.822072e-03,1.833142e-03,1.860693e-03,1.882660e-03,1.896811e-03,1.927888e-03,1.930495e-03,1.961818e-03,1.968994e-03,1.990862e-03,2.006161e-03,2.017708e-03,2.039585e-03,2.042444e-03,2.065157e-03,2.069465e-03,2.085935e-03,2.096003e-03,2.104864e-03,2.119400e-03,2.122032e-03,2.137523e-03,2.139851e-03,2.151420e-03,2.157549e-03,2.163805e-03,2.172677e-03,2.174756e-03,2.184348e-03,2.185412e-03,2.192656e-03,2.195923e-03,2.199749e-03,2.204370e-03,2.205696e-03,2.210562e-03,2.210906e-03,2.214409e-03,2.215675e-03,2.217296e-03,2.218812e-03,2.219280e-03,2.220416e-03,2.220445e-03,2.220756e-03,2.220693e-03,2.220348e-03,2.219668e-03,2.219240e-03,2.217476e-03,2.215098e-03,2.214215e-03,2.212148e-03,2.209976e-03,2.208662e-03,2.204846e-03,2.204677e-03,2.200228e-03,2.198904e-03,2.195347e-03,2.192224e-03,2.190065e-03,2.184877e-03,2.184412e-03,2.178414e-03,2.176926e-03,2.172098e-03,2.168432e-03,2.165489e-03,2.159450e-03,2.158611e-03,2.151485e-03,2.150032e-03,2.144133e-03,2.140227e-03,2.136574e-03,2.130078e-03,2.128826e-03,2.120909e-03,2.119627e-03,2.112837e-03,2.108913e-03,2.104628e-03,2.097971e-03,2.096295e-03,2.087853e-03,2.086833e-03,2.079314e-03,2.075530e-03,2.070692e-03,2.064091e-03,2.061998e-03,2.053243e-03,2.052540e-03,2.044437e-03,2.040902e-03,2.035589e-03,2.029199e-03,2.026710e-03,2.017807e-03,2.017450e-03,2.008889e-03,2.005676e-03,1.999962e-03,1.993892e-03,1.991035e-03,1.982114e-03,1.970356e-03,1.958633e-03,1.946955e-03,1.935334e-03,1.923780e-03,1.912301e-03,1.900906e-03,1.889602e-03,1.878397e-03,1.867295e-03,1.856302e-03,1.845424e-03,1.834663e-03,1.824025e-03,1.813511e-03,1.803126e-03,1.792870e-03,1.782748e-03,1.772759e-03,1.762905e-03,1.753189e-03,1.743609e-03,1.734168e-03,1.724864e-03
0.000000e+00,3.912508e-09,8.957562e-09,3.093505e-08,7.096308e-08,1.041944e-07,2.419938e-07,2.495695e-07,4.991303e-07,5.929888e-07,8.933013e-07,1.218164e-06,1.477135e-06,2.210758e-06,2.283731e-06,3.313492e-06,3.590981e-06,4.538226e-06,5.296404e-06,5.924156e-06,7.255566e-06,7.444378e-06,9.079104e-06,9.418372e-06,1.081273e-05,1.174871e-05,1.263153e-05,1.421562e-05,1.452249e-05,1.647276e-05,1.678945e-05,1.846960e-05,1.944096e-05,2.050057e-05,2.214184e-05,2.255368e-05,2.461762e-05,2.486552e-05,2.668198e-05,2.758797e-05,2.873733e-05,3.028814e-05,3.077523e-05,3.278835e-05,3.294813e-05,3.477039e-05,3.555328e-05,3.671604e-05,3.809189e-05,3.862094e-05,4.048153e-05,4.055499e-05,4.229501e-05,4.293590e-05,4.405925e-05,4.522998e-05,4.577268e-05,4.743421e-05,4.904321e-05,4.954693e-05,5.059936e-05,5.156755e-05,5.210265e-05,5.349629e-05,5.355331e-05,5.495175e-05,5.533404e-05,5.629858e-05,5.708220e-05,5.759451e-05,5.874254e-05,5.884039e-05,6.003711e-05,6.031712e-05,6.118566e-05,6.180819e-05,6.228708e-05,6.321818e-05,6.334243e-05,6.435280e-05,6.454958e-05,6.531932e-05,6.580495e-05,6.624311e-05,6.698689e-05,6.712530e-05,6.796702e-05,6.809801e-05,6.876940e-05,6.914090e-05,6.953357e-05,7.011813e-05,7.026062e-05,7.095166e-05,7.103222e-05,7.160778e-05,7.188568e-05,7.223003e-05,7.268093e-05,7.281946e-05,7.337711e-05,7.342037e-05,7.390397e-05,7.410632e-05,7.440105e-05,7.474104e-05,7.486930e-05,7.530968e-05,7.532673e-05,7.572311e-05,7.586552e-05,7.611049e-05,7.635948e-05,7.647271e-05,7.681061e-05,7.712505e-05,7.722085e-05,7.741684e-05,7.759206e-05,7.768676e-05,7.792604e-05,7.793560e-05,7.816411e-05,7.822455e-05,7.837302e-05,7.848925e-05,7.856303e-05,7.872175e-05,7.873484e-05,7.888913e-05,7.892362e-05,7.902653e-05,7.909634e-05,7.914769e-05,7.924136e-05,7.925322e-05,7.934372e-05,7.936006e-05,7.941975e-05,7.945376e-05,7.948189e-05,7.952374e-05,7.953066e-05,7.956661e-05,7.957121e-05,7.959024e-05,7.959735e-05,7.960204e-05,7.960329e-05,7.960250e-05,7.959206e-05,7.959010e-05,7.957119e-05,7.955882e-05,7.954032e-05,7.951043e-05,7.949987e-05,7.945023e-05,7.944588e-05,7.939181e-05,7.936607e-05,7.932499e-05,7.927189e-05,7.925014e-05,7.916760e-05,7.916414e-05,7.907772e-05,7.904364e-05,7.898084e-05,7.891113e-05,7.887728e-05,7.876734e-05,7.861297e-05,7.844867e-05,7.827509e-05,7.809282e-05,7.790243e-05,7.770449e-05,7.749951e-05,7.728799e-05,7.707041e-05,7.684723e-05,7.661888e-05,7.638577e-05,7.614830e-05,7.590684e-05,7.566174e-05,7.541334e-05,7.516197e-05,7.490793e-05,7.465152e-05,7.439300e-05,7.413264e-05,7.387070e-05,7.360741e-05,7.334298e-05
0.000000e+00,5.542299e-07,1.259908e-06,4.284856e-06,9.685062e-06,1.410098e-05,3.201090e-05,3.298143e-05,6.440474e-05,7.600982e-05,1.125938e-04,1.514451e-04,1.819786e-04,2.665657e-04,2.748261e-04,3.884138e-04,4.180886e-04,5.166066e-04,5.926092e-04,6.538042e-04,7.789287e-04,7.961980e-04,9.412347e-04,9.703847e-04,1.087011e-03,1.162575e-03,1.231950e-03,1.352037e-03,1.374671e-03,1.513962e-03,1.535858e-03,1.648774e-03,1.711630e-03,1.778235e-03,1.877483e-03,1.901658e-03,2.018534e-03,2.032101e-03,2.128523e-03,2.174683e-03,2.231437e-03,2.304882e-03,2.327220e-03,2.415927e-03,2.422721e-03,2.497699e-03,2.528512e-03,2.572749e-03,2.622768e-03,2.641339e-03,2.703767e-03,2.706140e-03,2.760355e-03,2.779360e-03,2.811435e-03,2.843195e-03,2.857344e-03,2.898415e-03,2.934970e-03,2.945766e-03,2.967328e-03,2.985976e-03,2.995794e-03,3.019730e-03,3.020659e-03,3.042193e-03,3.047662e-03,3.060655e-03,3.070358e-03,3.076285e-03,3.088358e-03,3.089308e-03,3.099933e-03,3.102148e-03,3.108354e-03,3.112175e-03,3.114752e-03,3.118841e-03,3.119293e-03,3.122132e-03,3.122509e-03,3.123413e-03,3.123507e-03,3.123267e-03,3.122131e-03,3.121816e-03,3.119173e-03,3.118647e-03,3.115443e-03,3.113294e-03,3.110721e-03,3.106289e-03,3.105095e-03,3.098649e-03,3.097824e-03,3.091456e-03,3.088073e-03,3.083587e-03,3.077195e-03,3.075107e-03,3.066074e-03,3.065329e-03,3.056543e-03,3.052603e-03,3.046565e-03,3.039130e-03,3.036187e-03,3.025451e-03,3.025014e-03,3.014397e-03,3.010348e-03,3.003063e-03,2.995213e-03,2.991483e-03,2.979687e-03,2.967705e-03,2.963835e-03,2.955563e-03,2.947720e-03,2.943287e-03,2.931396e-03,2.930899e-03,2.918420e-03,2.914912e-03,2.905870e-03,2.898314e-03,2.893267e-03,2.881640e-03,2.880628e-03,2.867967e-03,2.864927e-03,2.855299e-03,2.848207e-03,2.842638e-03,2.831510e-03,2.829994e-03,2.817380e-03,2.814862e-03,2.804806e-03,2.798286e-03,2.792280e-03,2.781802e-03,2.779812e-03,2.767409e-03,2.765431e-03,2.755078e-03,2.749188e-03,2.742828e-03,2.733088e-03,2.730662e-03,2.718587e-03,2.717145e-03,2.706609e-03,2.701370e-03,2.694731e-03,2.685773e-03,2.682957e-03,2.671293e-03,2.670364e-03,2.659740e-03,2.655150e-03,2.648301e-03,2.640139e-03,2.636981e-03,2.625780e-03,2.625335e-03,2.614702e-03,2.610744e-03,2.603747e-03,2.596370e-03,2.592918e-03,2.582216e-03,2.568286e-03,2.554581e-03,2.541102e-03,2.527852e-03,2.514829e-03,2.502036e-03,2.489471e-03,2.477134e-03,2.465024e-03,2.453140e-03,2.441481e-03,2.430044e-03,2.418828e-03,2.407832e-03,2.397052e-03,2.386487e-03,2.376134e-03,2.365990e-03,2.356053e-03,2.346321e-03,2.336789e-03,2.327456e-03,2.318318e-03,2.309372e-03
0.000000e+00,2.496972e-09,5.688084e-09,1.940751e-08,4.391759e-08,6.392295e-08,1.444755e-07,1.488115e-07,2.876423e-07,3.382081e-07,4.954207e-07,6.590480e-07,7.854817e-07,1.128602e-06,1.161780e-06,1.619016e-06,1.740040e-06,2.150770e-06,2.479384e-06,2.752598e-06,3.337531e-06,3.421181e-06,4.153254e-06,4.306964e-06,4.944990e-06,5.378767e-06,5.791755e-06,6.541566e-06,6.688053e-06,7.627635e-06,7.781532e-06,8.603603e-06,9.082854e-06,9.608635e-06,1.042849e-05,1.063514e-05,1.167548e-05,1.180089e-05,1.272210e-05,1.318272e-05,1.376776e-05,1.455763e-05,1.480568e-05,1.582962e-05,1.591076e-05,1.683396e-05,1.722908e-05,1.781377e-05,1.850165e-05,1.876484e-05,1.968365e-05,1.971969e-05,2.056737e-05,2.087648e-05,2.141383e-05,2.196731e-05,2.222145e-05,2.298921e-05,2.371657e-05,2.394077e-05,2.440343e-05,2.482187e-05,2.505005e-05,2.563347e-05,2.565699e-05,2.622510e-05,2.637734e-05,2.675539e-05,2.705592e-05,2.724908e-05,2.767207e-05,2.770748e-05,2.813199e-05,2.822900e-05,2.852409e-05,2.873007e-05,2.888527e-05,2.917873e-05,2.921704e-05,2.952089e-05,2.957844e-05,2.979830e-05,2.993259e-05,3.005073e-05,3.024448e-05,3.027957e-05,3.048619e-05,3.051727e-05,3.067189e-05,3.075396e-05,3.083792e-05,3.095738e-05,3.098547e-05,3.111568e-05,3.113019e-05,3.122963e-05,3.127488e-05,3.132833e-05,3.139374e-05,3.141275e-05,3.148380e-05,3.148893e-05,3.154233e-05,3.156242e-05,3.158915e-05,3.161604e-05,3.162502e-05,3.165065e-05,3.165148e-05,3.166672e-05,3.167028e-05,3.167384e-05,3.167388e-05,3.167261e-05,3.166358e-05,3.164727e-05,3.164060e-05,3.162417e-05,3.160603e-05,3.159473e-05,3.156089e-05,3.155937e-05,3.151850e-05,3.150612e-05,3.147250e-05,3.144258e-05,3.142171e-05,3.137104e-05,3.136647e-05,3.130708e-05,3.129224e-05,3.124384e-05,3.120685e-05,3.117703e-05,3.111547e-05,3.110688e-05,3.103366e-05,3.101867e-05,3.095758e-05,3.091696e-05,3.087886e-05,3.081084e-05,3.079769e-05,3.071427e-05,3.070072e-05,3.062877e-05,3.058704e-05,3.054135e-05,3.047014e-05,3.045218e-05,3.036139e-05,3.035040e-05,3.026914e-05,3.022811e-05,3.017554e-05,3.010359e-05,3.008073e-05,2.998481e-05,2.997710e-05,2.988791e-05,2.984889e-05,2.979011e-05,2.971920e-05,2.969152e-05,2.959222e-05,2.958824e-05,2.949231e-05,2.945621e-05,2.939187e-05,2.932330e-05,2.929097e-05,2.918968e-05,2.905550e-05,2.892092e-05,2.878607e-05,2.865107e-05,2.851604e-05,2.838110e-05,2.824633e-05,2.811183e-05,2.797769e-05,2.784399e-05,2.771079e-05,2.757817e-05,2.744619e-05,2.731490e-05,2.718436e-05,2.705461e-05,2.692571e-05,2.679769e-05,2.667059e-05,2.654443e-05,2.641927e-05,2.629511e-05,2.617199e-05,2.604993e-05
0.000000e+00,7.778570e-09,1.777770e-08,6.108676e-08,1.391796e-07,2.033730e-07,4.645864e-07,4.787450e-07,9.358093e-07,1.103696e-06,1.628958e-06,2.179556e-06,2.607134e-06,3.775353e-06,3.888847e-06,5.460263e-06,5.877992e-06,7.299300e-06,8.439038e-06,9.387514e-06,1.141866e-05,1.170905e-05,1.424775e-05,1.478000e-05,1.698551e-05,1.848109e-05,1.990178e-05,2.247277e-05,2.297375e-05,2.617698e-05,2.669998e-05,2.948608e-05,3.110456e-05,3.287558e-05,3.562826e-05,3.632053e-05,3.979721e-05,4.021547e-05,4.328351e-05,4.481527e-05,4.675932e-05,4.938277e-05,5.020665e-05,5.360978e-05,5.387970e-05,5.695519e-05,5.827457e-05,6.023148e-05,6.254226e-05,6.342925e-05,6.654092e-05,6.666350e-05,6.956055e-05,7.062418e-05,7.248365e-05,7.441452e-05,7.530699e-05,7.802843e-05,8.064677e-05,8.146277e-05,8.316157e-05,8.471679e-05,8.557307e-05,8.779163e-05,8.788203e-05,9.008966e-05,9.068985e-05,9.219754e-05,9.341513e-05,9.420750e-05,9.597197e-05,9.612163e-05,9.794218e-05,9.836545e-05,9.967153e-05,1.006010e-04,1.013122e-04,1.026845e-04,1.028666e-04,1.043374e-04,1.046218e-04,1.057273e-04,1.064188e-04,1.070387e-04,1.080817e-04,1.082744e-04,1.094368e-04,1.096161e-04,1.105285e-04,1.110282e-04,1.115521e-04,1.123234e-04,1.125099e-04,1.134044e-04,1.135076e-04,1.142379e-04,1.145860e-04,1.150129e-04,1.155640e-04,1.157314e-04,1.163957e-04,1.164466e-04,1.170080e-04,1.172388e-04,1.175703e-04,1.179453e-04,1.180846e-04,1.185529e-04,1.185707e-04,1.189771e-04,1.191194e-04,1.193590e-04,1.195955e-04,1.197004e-04,1.200031e-04,1.202686e-04,1.203460e-04,1.204987e-04,1.206280e-04,1.206948e-04,1.208526e-04,1.208585e-04,1.209913e-04,1.210231e-04,1.210944e-04,1.211427e-04,1.211694e-04,1.212145e-04,1.212174e-04,1.212398e-04,1.212415e-04,1.212377e-04,1.212263e-04,1.212124e-04,1.211718e-04,1.211649e-04,1.210964e-04,1.210802e-04,1.210078e-04,1.209542e-04,1.209002e-04,1.207959e-04,1.207746e-04,1.206318e-04,1.206074e-04,1.204728e-04,1.203910e-04,1.202984e-04,1.201484e-04,1.201095e-04,1.199068e-04,1.198816e-04,1.196911e-04,1.195923e-04,1.194631e-04,1.192821e-04,1.192236e-04,1.189732e-04,1.189527e-04,1.187125e-04,1.186055e-04,1.184422e-04,1.182419e-04,1.181628e-04,1.178750e-04,1.178633e-04,1.175793e-04,1.174710e-04,1.172761e-04,1.170660e-04,1.169661e-04,1.166497e-04,1.162229e-04,1.157868e-04,1.153422e-04,1.148902e-04,1.144314e-04,1.139668e-04,1.134970e-04,1.130228e-04,1.125448e-04,1.120637e-04,1.115800e-04,1.110943e-04,1.106071e-04,1.101189e-04,1.096302e-04,1.091414e-04,1.086528e-04,1.081649e-04,1.076779e-04,1.071923e-04,1.067083e-04,1.062262e-04,1.057463e-04,1.052688e-04
0.000000e+00,5.667128e-08,1.295369e-07,4.448587e-07,1.011646e-06,1.475616e-06,3.345117e-06,3.445619e-06,6.648315e-06,7.806728e-06,1.138585e-05,1.509749e-05,1.797860e-05,2.597382e-05,2.676563e-05,3.808237e-05,4.120749e-05,5.219984e-05,6.138190e-05,6.923813e-05,8.659213e-05,8.912190e-05,1.116277e-04,1.164188e-04,1.364742e-04,1.502267e-04,1.633849e-04,1.874000e-04,1.921078e-04,2.224137e-04,2.273951e-04,2.540888e-04,2.697188e-04,2.869283e-04,3.139040e-04,3.207326e-04,3.553064e-04,3.594978e-04,3.904585e-04,4.060606e-04,4.260036e-04,4.531710e-04,4.617640e-04,4.975710e-04,5.004328e-04,5.332672e-04,5.474817e-04,5.687073e-04,5.939908e-04,6.037590e-04,6.383038e-04,6.396735e-04,6.722372e-04,6.842854e-04,7.054668e-04,7.276202e-04,7.379138e-04,7.695128e-04,8.002094e-04,8.098342e-04,8.299597e-04,8.484874e-04,8.587302e-04,8.854050e-04,8.864961e-04,9.132407e-04,9.205446e-04,9.389539e-04,9.538848e-04,9.636317e-04,9.854220e-04,9.872756e-04,1.009892e-03,1.015168e-03,1.031490e-03,1.043146e-03,1.052085e-03,1.069389e-03,1.071691e-03,1.090327e-03,1.093939e-03,1.108013e-03,1.116842e-03,1.124772e-03,1.138149e-03,1.140626e-03,1.155599e-03,1.157914e-03,1.169715e-03,1.176193e-03,1.182999e-03,1.193045e-03,1.195477e-03,1.207174e-03,1.208526e-03,1.218115e-03,1.222696e-03,1.228325e-03,1.235611e-03,1.237830e-03,1.246653e-03,1.247330e-03,1.254820e-03,1.257908e-03,1.262353e-03,1.267399e-03,1.269278e-03,1.275616e-03,1.275858e-03,1.281391e-03,1.283336e-03,1.286624e-03,1.289884e-03,1.291337e-03,1.295550e-03,1.299285e-03,1.300383e-03,1.302561e-03,1.304426e-03,1.305398e-03,1.307724e-03,1.307813e-03,1.309826e-03,1.310319e-03,1.311453e-03,1.312252e-03,1.312713e-03,1.313561e-03,1.313621e-03,1.314194e-03,1.314283e-03,1.314447e-03,1.314455e-03,1.314395e-03,1.314109e-03,1.314053e-03,1.313435e-03,1.313279e-03,1.312554e-03,1.311996e-03,1.311423e-03,1.310290e-03,1.310056e-03,1.308463e-03,1.308188e-03,1.306657e-03,1.305718e-03,1.304650e-03,1.302906e-03,1.302451e-03,1.300073e-03,1.299776e-03,1.297524e-03,1.296351e-03,1.294814e-03,1.292653e-03,1.291953e-03,1.288950e-03,1.288704e-03,1.285813e-03,1.284523e-03,1.282552e-03,1.280130e-03,1.279173e-03,1.275684e-03,1.275542e-03,1.272093e-03,1.270777e-03,1.268408e-03,1.265850e-03,1.264633e-03,1.260777e-03,1.255573e-03,1.250250e-03,1.244822e-03,1.239301e-03,1.233699e-03,1.228025e-03,1.222292e-03,1.216507e-03,1.210680e-03,1.204820e-03,1.198934e-03,1.193030e-03,1.187115e-03,1.181196e-03,1.175277e-03,1.169367e-03,1.163468e-03,1.157587e-03,1.151728e-03,1.145896e-03,1.140093e-03,1.134325e-03,1.128594e-03,1.122903e-03
0.000000e+00,3.391733e-09,7.739593e-09,2.647675e-08,5.996236e-08,8.723744e-08,1.961864e-07,2.020054e-07,3.857111e-07,4.513999e-07,6.520828e-07,8.568533e-07,1.013633e-06,1.439524e-06,1.481005e-06,2.061084e-06,2.217301e-06,2.754590e-06,3.190605e-06,3.555944e-06,4.343038e-06,4.455894e-06,5.443861e-06,5.651050e-06,6.508788e-06,7.089189e-06,7.639262e-06,8.630957e-06,8.823578e-06,1.004991e-05,1.024924e-05,1.130657e-05,1.191720e-05,1.258226e-05,1.360934e-05,1.386634e-05,1.514901e-05,1.530241e-05,1.642148e-05,1.697610e-05,1.767602e-05,1.861335e-05,1.890599e-05,2.010584e-05,2.020038e-05,2.127103e-05,2.172658e-05,2.239800e-05,2.318418e-05,2.348401e-05,2.452709e-05,2.456790e-05,2.552596e-05,2.587456e-05,2.647986e-05,2.710269e-05,2.738856e-05,2.825220e-05,2.907126e-05,2.932406e-05,2.984648e-05,3.032004e-05,3.057881e-05,3.124254e-05,3.126937e-05,3.191941e-05,3.209433e-05,3.253023e-05,3.287849e-05,3.310325e-05,3.359826e-05,3.363989e-05,3.414159e-05,3.425697e-05,3.460982e-05,3.485795e-05,3.504602e-05,3.540453e-05,3.545163e-05,3.582805e-05,3.589995e-05,3.617666e-05,3.634739e-05,3.649880e-05,3.674990e-05,3.679578e-05,3.706885e-05,3.711040e-05,3.731923e-05,3.743171e-05,3.754811e-05,3.771648e-05,3.775660e-05,3.794579e-05,3.796725e-05,3.811674e-05,3.818644e-05,3.827044e-05,3.837631e-05,3.840785e-05,3.852988e-05,3.853901e-05,3.863742e-05,3.867656e-05,3.873130e-05,3.879088e-05,3.881231e-05,3.888123e-05,3.888374e-05,3.893877e-05,3.895683e-05,3.898563e-05,3.901173e-05,3.902247e-05,3.904992e-05,3.906856e-05,3.907277e-05,3.907898e-05,3.908158e-05,3.908171e-05,3.907756e-05,3.907725e-05,3.906610e-05,3.906184e-05,3.904871e-05,3.903547e-05,3.902553e-05,3.899944e-05,3.899697e-05,3.896342e-05,3.895467e-05,3.892525e-05,3.890199e-05,3.888282e-05,3.884221e-05,3.883645e-05,3.878647e-05,3.877607e-05,3.873317e-05,3.870424e-05,3.867684e-05,3.862737e-05,3.861773e-05,3.855611e-05,3.854603e-05,3.849221e-05,3.846079e-05,3.842625e-05,3.837214e-05,3.835844e-05,3.828898e-05,3.828054e-05,3.821806e-05,3.818644e-05,3.814586e-05,3.809023e-05,3.807254e-05,3.799825e-05,3.799227e-05,3.792314e-05,3.789290e-05,3.784736e-05,3.779244e-05,3.777102e-05,3.769425e-05,3.769117e-05,3.761716e-05,3.758934e-05,3.753985e-05,3.748721e-05,3.746243e-05,3.738499e-05,3.728287e-05,3.718105e-05,3.707968e-05,3.697892e-05,3.687890e-05,3.677974e-05,3.668155e-05,3.658443e-05,3.648848e-05,3.639375e-05,3.630033e-05,3.620827e-05,3.611763e-05,3.602844e-05,3.594076e-05,3.585460e-05,3.577000e-05,3.568698e-05,3.560555e-05,3.552573e-05,3.544752e-05,3.537092e-05,3.529594e-05,3.522258e-05
0.000000e+00,7.037074e-08,1.603830e-07,5.476654e-07,1.239790e-06,1.804544e-06,4.074735e-06,4.196721e-06,8.089671e-06,9.501882e-06,1.388188e-05,1.844879e-05,2.200673e-05,3.189399e-05,3.287097e-05,4.668432e-05,5.042852e-05,6.328506e-05,7.363078e-05,8.220841e-05,1.003628e-04,1.029283e-04,1.249978e-04,1.295409e-04,1.480589e-04,1.603421e-04,1.718141e-04,1.921131e-04,1.960022e-04,2.203860e-04,2.242908e-04,2.447480e-04,2.563750e-04,2.688900e-04,2.879255e-04,2.926349e-04,3.158280e-04,3.185676e-04,3.383376e-04,3.479966e-04,3.600555e-04,3.759779e-04,3.808957e-04,4.007932e-04,4.023428e-04,4.197025e-04,4.269826e-04,4.375948e-04,4.498387e-04,4.544554e-04,4.702826e-04,4.708943e-04,4.850849e-04,4.901658e-04,4.988790e-04,5.076951e-04,5.116888e-04,5.235429e-04,5.344740e-04,5.377827e-04,5.445175e-04,5.504968e-04,5.537108e-04,5.617722e-04,5.620923e-04,5.697010e-04,5.716983e-04,5.765760e-04,5.803648e-04,5.827557e-04,5.878596e-04,5.882780e-04,5.931798e-04,5.942679e-04,5.974969e-04,5.996720e-04,6.012638e-04,6.041501e-04,6.045138e-04,6.072789e-04,6.077764e-04,6.095895e-04,6.106211e-04,6.114748e-04,6.127501e-04,6.129625e-04,6.140792e-04,6.142251e-04,6.148498e-04,6.151038e-04,6.152982e-04,6.154401e-04,6.154470e-04,6.153174e-04,6.152841e-04,6.149297e-04,6.146823e-04,6.143030e-04,6.136779e-04,6.134552e-04,6.124033e-04,6.123108e-04,6.111634e-04,6.106182e-04,6.097505e-04,6.086341e-04,6.081788e-04,6.064617e-04,6.063902e-04,6.046118e-04,6.039156e-04,6.026409e-04,6.012372e-04,6.005600e-04,5.983795e-04,5.961093e-04,5.953654e-04,5.937584e-04,5.922155e-04,5.913355e-04,5.889492e-04,5.888486e-04,5.863051e-04,5.855838e-04,5.837122e-04,5.821354e-04,5.810764e-04,5.786188e-04,5.784037e-04,5.757000e-04,5.750471e-04,5.729706e-04,5.714328e-04,5.702205e-04,5.677869e-04,5.674542e-04,5.646761e-04,5.641194e-04,5.618902e-04,5.604397e-04,5.591002e-04,5.567559e-04,5.563095e-04,5.535213e-04,5.530756e-04,5.507386e-04,5.494057e-04,5.479641e-04,5.457521e-04,5.452003e-04,5.424495e-04,5.421204e-04,5.397139e-04,5.385155e-04,5.369954e-04,5.349418e-04,5.342957e-04,5.316166e-04,5.314032e-04,5.289595e-04,5.279031e-04,5.263257e-04,5.244445e-04,5.237165e-04,5.211330e-04,5.210302e-04,5.185762e-04,5.176624e-04,5.160469e-04,5.143432e-04,5.135461e-04,5.110742e-04,5.078570e-04,5.046926e-04,5.015821e-04,4.985262e-04,4.955256e-04,4.925807e-04,4.896918e-04,4.868589e-04,4.840822e-04,4.813615e-04,4.786966e-04,4.760872e-04,4.735329e-04,4.710334e-04,4.685880e-04,4.661963e-04,4.638576e-04,4.615713e-04,4.593366e-04,4.571528e-04,4.550192e-04,4.529348e-04,4.508991e-04,4.489110e-04
0.000000e+00,6.400703e-09,1.458505e-08,4.980598e-08,1.128390e-07,1.643783e-07,3.726178e-07,3.838563e-07,7.450788e-07,8.772895e-07,1.290861e-06,1.726779e-06,2.068804e-06,3.024388e-06,3.118887e-06,4.449297e-06,4.807274e-06,6.026991e-06,6.998978e-06,7.799611e-06,9.482147e-06,9.718854e-06,1.174679e-05,1.216269e-05,1.385350e-05,1.497162e-05,1.601377e-05,1.785325e-05,1.820508e-05,2.040664e-05,2.075853e-05,2.259918e-05,2.364312e-05,2.476497e-05,2.646756e-05,2.688807e-05,2.895447e-05,2.919805e-05,3.095229e-05,3.180700e-05,3.287172e-05,3.427326e-05,3.470507e-05,3.644663e-05,3.658186e-05,3.809247e-05,3.872342e-05,3.964023e-05,4.069336e-05,4.108906e-05,4.243925e-05,4.249122e-05,4.369201e-05,4.411953e-05,4.484941e-05,4.558333e-05,4.591415e-05,4.688940e-05,4.777868e-05,4.804571e-05,4.858577e-05,4.906098e-05,4.931459e-05,4.994434e-05,4.996915e-05,5.055346e-05,5.070503e-05,5.107153e-05,5.135219e-05,5.152724e-05,5.189471e-05,5.192442e-05,5.226676e-05,5.234115e-05,5.255779e-05,5.269964e-05,5.280094e-05,5.297787e-05,5.299943e-05,5.315638e-05,5.318304e-05,5.327471e-05,5.332192e-05,5.335722e-05,5.340077e-05,5.340653e-05,5.342513e-05,5.342541e-05,5.341536e-05,5.340124e-05,5.337942e-05,5.333322e-05,5.331938e-05,5.323720e-05,5.322593e-05,5.313468e-05,5.308358e-05,5.301356e-05,5.291004e-05,5.287542e-05,5.272177e-05,5.270886e-05,5.255402e-05,5.248326e-05,5.237347e-05,5.223623e-05,5.218134e-05,5.197878e-05,5.197048e-05,5.176686e-05,5.168847e-05,5.154657e-05,5.139247e-05,5.131884e-05,5.108452e-05,5.084442e-05,5.076650e-05,5.059929e-05,5.044009e-05,5.034982e-05,5.010683e-05,5.009664e-05,4.984037e-05,4.976813e-05,4.958154e-05,4.942523e-05,4.932067e-05,4.907929e-05,4.905824e-05,4.879469e-05,4.873131e-05,4.853041e-05,4.838224e-05,4.826578e-05,4.803289e-05,4.800115e-05,4.773683e-05,4.768403e-05,4.747311e-05,4.733630e-05,4.721026e-05,4.699032e-05,4.694852e-05,4.668813e-05,4.664660e-05,4.642928e-05,4.630563e-05,4.617215e-05,4.596781e-05,4.591693e-05,4.566375e-05,4.563351e-05,4.541276e-05,4.530306e-05,4.516409e-05,4.497672e-05,4.491785e-05,4.467413e-05,4.465475e-05,4.443303e-05,4.433734e-05,4.419462e-05,4.402467e-05,4.395898e-05,4.372616e-05,4.371690e-05,4.349621e-05,4.341415e-05,4.326919e-05,4.311651e-05,4.304513e-05,4.282406e-05,4.253686e-05,4.225495e-05,4.197837e-05,4.170712e-05,4.144120e-05,4.118060e-05,4.092531e-05,4.067529e-05,4.043050e-05,4.019090e-05,3.995644e-05,3.972706e-05,3.950271e-05,3.928331e-05,3.906880e-05,3.885911e-05,3.865415e-05,3.845387e-05,3.825816e-05,3.806697e-05,3.788020e-05,3.769778e-05,3.751961e-05,3.734563e-05
0.000000e+00,5.825176e-09,1.329875e-08,4.555887e-08,1.033883e-07,1.506460e-07,3.407224e-07,3.509322e-07,6.761771e-07,7.938252e-07,1.157428e-06,1.534385e-06,1.826452e-06,2.630286e-06,2.709098e-06,3.813915e-06,4.111323e-06,5.131678e-06,5.956847e-06,6.646867e-06,8.131773e-06,8.344702e-06,1.021152e-05,1.060396e-05,1.223351e-05,1.334137e-05,1.439576e-05,1.630859e-05,1.668201e-05,1.907469e-05,1.946617e-05,2.155529e-05,2.277163e-05,2.410479e-05,2.618119e-05,2.670415e-05,2.933475e-05,2.965167e-05,3.197882e-05,3.314214e-05,3.461969e-05,3.661515e-05,3.724208e-05,3.983226e-05,4.003771e-05,4.237810e-05,4.338162e-05,4.486912e-05,4.662365e-05,4.729643e-05,4.965268e-05,4.974536e-05,5.193195e-05,5.273272e-05,5.412963e-05,5.557566e-05,5.624230e-05,5.826758e-05,6.020402e-05,6.080479e-05,6.205097e-05,6.318604e-05,6.380845e-05,6.541203e-05,6.547708e-05,6.705794e-05,6.748505e-05,6.855252e-05,6.940859e-05,6.996262e-05,7.118707e-05,7.129030e-05,7.253782e-05,7.282556e-05,7.370757e-05,7.432959e-05,7.480205e-05,7.570500e-05,7.582386e-05,7.677561e-05,7.695779e-05,7.765994e-05,7.809402e-05,7.847949e-05,7.911976e-05,7.923687e-05,7.993468e-05,8.004097e-05,8.057546e-05,8.086351e-05,8.116170e-05,8.159306e-05,8.169584e-05,8.218025e-05,8.223515e-05,8.261725e-05,8.279508e-05,8.300906e-05,8.327796e-05,8.335786e-05,8.366575e-05,8.368867e-05,8.393474e-05,8.403189e-05,8.416680e-05,8.431207e-05,8.436380e-05,8.452756e-05,8.453344e-05,8.465981e-05,8.470003e-05,8.476222e-05,8.481565e-05,8.483641e-05,8.488392e-05,8.490622e-05,8.490827e-05,8.490473e-05,8.489192e-05,8.488080e-05,8.483793e-05,8.483574e-05,8.477078e-05,8.474919e-05,8.468711e-05,8.462840e-05,8.458587e-05,8.447813e-05,8.446813e-05,8.433495e-05,8.430079e-05,8.418729e-05,8.409864e-05,8.402612e-05,8.387381e-05,8.385232e-05,8.366675e-05,8.362830e-05,8.347023e-05,8.336398e-05,8.326354e-05,8.308261e-05,8.304742e-05,8.282258e-05,8.278584e-05,8.258968e-05,8.247521e-05,8.234936e-05,8.215217e-05,8.210223e-05,8.184887e-05,8.181807e-05,8.158982e-05,8.147417e-05,8.132560e-05,8.112164e-05,8.105671e-05,8.078361e-05,8.076159e-05,8.050675e-05,8.039504e-05,8.022654e-05,8.002295e-05,7.994339e-05,7.965768e-05,7.964620e-05,7.936975e-05,7.926562e-05,7.907995e-05,7.888197e-05,7.878859e-05,7.849598e-05,7.810829e-05,7.771952e-05,7.733024e-05,7.694097e-05,7.655218e-05,7.616432e-05,7.577780e-05,7.539300e-05,7.501025e-05,7.462988e-05,7.425216e-05,7.387736e-05,7.350572e-05,7.313744e-05,7.277273e-05,7.241175e-05,7.205467e-05,7.170161e-05,7.135270e-05,7.100805e-05,7.066775e-05,7.033188e-05,7.000051e-05,6.967370e-05
0.000000e+00,3.856924e-09,8.791451e-09,3.001465e-08,6.788277e-08,9.871407e-08,2.219949e-07,2.285896e-07,4.375270e-07,5.126353e-07,7.435395e-07,9.815049e-07,1.165358e-06,1.672097e-06,1.722016e-06,2.430049e-06,2.623674e-06,3.297566e-06,3.851523e-06,4.318976e-06,5.331332e-06,5.476730e-06,6.748555e-06,7.014680e-06,8.113038e-06,8.852828e-06,9.551321e-06,1.080432e-05,1.104681e-05,1.258449e-05,1.283349e-05,1.415041e-05,1.490821e-05,1.573147e-05,1.699892e-05,1.731536e-05,1.889062e-05,1.907856e-05,2.044673e-05,2.112286e-05,2.197419e-05,2.311072e-05,2.346465e-05,2.491091e-05,2.502451e-05,2.630690e-05,2.685009e-05,2.764774e-05,2.857679e-05,2.892957e-05,3.014959e-05,3.019707e-05,3.130588e-05,3.170632e-05,3.239738e-05,3.310236e-05,3.342368e-05,3.438500e-05,3.528209e-05,3.555577e-05,3.611614e-05,3.661753e-05,3.688867e-05,3.757409e-05,3.760148e-05,3.825661e-05,3.843000e-05,3.885623e-05,3.919031e-05,3.940264e-05,3.986035e-05,3.989817e-05,4.034524e-05,4.044560e-05,4.074625e-05,4.095159e-05,4.110360e-05,4.138381e-05,4.141962e-05,4.169663e-05,4.174754e-05,4.193683e-05,4.204792e-05,4.214242e-05,4.228988e-05,4.231546e-05,4.245798e-05,4.247808e-05,4.257189e-05,4.261696e-05,4.265904e-05,4.271067e-05,4.272118e-05,4.275998e-05,4.276315e-05,4.277704e-05,4.277804e-05,4.277385e-05,4.275878e-05,4.275187e-05,4.271243e-05,4.270856e-05,4.265683e-05,4.263033e-05,4.258627e-05,4.252685e-05,4.250190e-05,4.240480e-05,4.240066e-05,4.229598e-05,4.225413e-05,4.217641e-05,4.208942e-05,4.204698e-05,4.190855e-05,4.176190e-05,4.171336e-05,4.160779e-05,4.150557e-05,4.144692e-05,4.128674e-05,4.127995e-05,4.110750e-05,4.105831e-05,4.093014e-05,4.082161e-05,4.074843e-05,4.057784e-05,4.056286e-05,4.037391e-05,4.032811e-05,4.018203e-05,4.007345e-05,3.998762e-05,3.981477e-05,3.979108e-05,3.959277e-05,3.955292e-05,3.939302e-05,3.928868e-05,3.919214e-05,3.902275e-05,3.899043e-05,3.878815e-05,3.875575e-05,3.858556e-05,3.848828e-05,3.838290e-05,3.822085e-05,3.818036e-05,3.797817e-05,3.795393e-05,3.777649e-05,3.768796e-05,3.757550e-05,3.742331e-05,3.737536e-05,3.717621e-05,3.716032e-05,3.697819e-05,3.689932e-05,3.678141e-05,3.664056e-05,3.658598e-05,3.639202e-05,3.638429e-05,3.619961e-05,3.613074e-05,3.600883e-05,3.588008e-05,3.581977e-05,3.563248e-05,3.538810e-05,3.514704e-05,3.490943e-05,3.467534e-05,3.444485e-05,3.421802e-05,3.399491e-05,3.377554e-05,3.355994e-05,3.334812e-05,3.314011e-05,3.293588e-05,3.273545e-05,3.253879e-05,3.234589e-05,3.215671e-05,3.197124e-05,3.178944e-05,3.161128e-05,3.143670e-05,3.126568e-05,3.109817e-05,3.093411e-05,3.077347e-05
0.000000e+00,3.021078e-09,6.889390e-09,2.353655e-08,5.323681e-08,7.739825e-08,1.737337e-07,1.788728e-07,3.408696e-07,3.986994e-07,5.751239e-07,7.548337e-07,8.922774e-07,1.265431e-06,1.301790e-06,1.811627e-06,1.949626e-06,2.427679e-06,2.820313e-06,3.152893e-06,3.880646e-06,3.986198e-06,4.921473e-06,5.119836e-06,5.947120e-06,6.510894e-06,7.046829e-06,8.013954e-06,8.201619e-06,9.392323e-06,9.584966e-06,1.060146e-05,1.118392e-05,1.181413e-05,1.277850e-05,1.301808e-05,1.420345e-05,1.434405e-05,1.536238e-05,1.586228e-05,1.648869e-05,1.731991e-05,1.757763e-05,1.862563e-05,1.870762e-05,1.963012e-05,2.001932e-05,2.058939e-05,2.125149e-05,2.150246e-05,2.236894e-05,2.240264e-05,2.318897e-05,2.347290e-05,2.396306e-05,2.446362e-05,2.469206e-05,2.537708e-05,2.601940e-05,2.621616e-05,2.662048e-05,2.698422e-05,2.718184e-05,2.768487e-05,2.770508e-05,2.819185e-05,2.832184e-05,2.864379e-05,2.889892e-05,2.906254e-05,2.941987e-05,2.944972e-05,2.980690e-05,2.988833e-05,3.013563e-05,3.030786e-05,3.043742e-05,3.068186e-05,3.071372e-05,3.096592e-05,3.101359e-05,3.119537e-05,3.130612e-05,3.140335e-05,3.156236e-05,3.159108e-05,3.175975e-05,3.178504e-05,3.191047e-05,3.197675e-05,3.204430e-05,3.213988e-05,3.216224e-05,3.226528e-05,3.227668e-05,3.235430e-05,3.238926e-05,3.243019e-05,3.247958e-05,3.249375e-05,3.254577e-05,3.254946e-05,3.258698e-05,3.260060e-05,3.261808e-05,3.263458e-05,3.263972e-05,3.265252e-05,3.265285e-05,3.265707e-05,3.265679e-05,3.265392e-05,3.264766e-05,3.264361e-05,3.262661e-05,3.260341e-05,3.259475e-05,3.257444e-05,3.255307e-05,3.254012e-05,3.250250e-05,3.250084e-05,3.245698e-05,3.244392e-05,3.240887e-05,3.237811e-05,3.235685e-05,3.230581e-05,3.230124e-05,3.224232e-05,3.222771e-05,3.218036e-05,3.214444e-05,3.211564e-05,3.205658e-05,3.204838e-05,3.197883e-05,3.196466e-05,3.190720e-05,3.186919e-05,3.183368e-05,3.177062e-05,3.175848e-05,3.168177e-05,3.166937e-05,3.160373e-05,3.156584e-05,3.152450e-05,3.146037e-05,3.144424e-05,3.136309e-05,3.135329e-05,3.128117e-05,3.124492e-05,3.119862e-05,3.113552e-05,3.111554e-05,3.103205e-05,3.102536e-05,3.094825e-05,3.091466e-05,3.086422e-05,3.080364e-05,3.078007e-05,3.069586e-05,3.069249e-05,3.061168e-05,3.058140e-05,3.052761e-05,3.047052e-05,3.044369e-05,3.036001e-05,3.025000e-05,3.014061e-05,3.003196e-05,2.992413e-05,2.981724e-05,2.971134e-05,2.960653e-05,2.950286e-05,2.940039e-05,2.929917e-05,2.919925e-05,2.910067e-05,2.900346e-05,2.890764e-05,2.881326e-05,2.872031e-05,2.862883e-05,2.853882e-05,2.845030e-05,2.836326e-05,2.827772e-05,2.819368e-05,2.811113e-05,2.803008e-05
0.000000e+00,6.599815e-09,1.504271e-08,5.136237e-08,1.162174e-07,1.690755e-07,3.809430e-07,3.922993e-07,7.532556e-07,8.835352e-07,1.285645e-06,1.702336e-06,2.025671e-06,2.922003e-06,3.010638e-06,4.272219e-06,4.618210e-06,5.823797e-06,6.815161e-06,7.651312e-06,9.459956e-06,9.719453e-06,1.198672e-05,1.246063e-05,1.441527e-05,1.573101e-05,1.697306e-05,1.920131e-05,1.963265e-05,2.236956e-05,2.281311e-05,2.516116e-05,2.651425e-05,2.798612e-05,3.025647e-05,3.082421e-05,3.365642e-05,3.399503e-05,3.646508e-05,3.768922e-05,3.923409e-05,4.130307e-05,4.194902e-05,4.459730e-05,4.480595e-05,4.716819e-05,4.817284e-05,4.965284e-05,5.138434e-05,5.204416e-05,5.433677e-05,5.442636e-05,5.652685e-05,5.728967e-05,5.861198e-05,5.996929e-05,6.059101e-05,6.246386e-05,6.423130e-05,6.477486e-05,6.589490e-05,6.690610e-05,6.745685e-05,6.886322e-05,6.891988e-05,7.028708e-05,7.065317e-05,7.156181e-05,7.228376e-05,7.274767e-05,7.376337e-05,7.384839e-05,7.486774e-05,7.510070e-05,7.580954e-05,7.630449e-05,7.667758e-05,7.738341e-05,7.747559e-05,7.820724e-05,7.834592e-05,7.887609e-05,7.920024e-05,7.948562e-05,7.995421e-05,8.003915e-05,8.053984e-05,8.061525e-05,8.099074e-05,8.119035e-05,8.139476e-05,8.168608e-05,8.175467e-05,8.207310e-05,8.210864e-05,8.235257e-05,8.246380e-05,8.259543e-05,8.275692e-05,8.280395e-05,8.298021e-05,8.299298e-05,8.312623e-05,8.317659e-05,8.324389e-05,8.331205e-05,8.333498e-05,8.340119e-05,8.340334e-05,8.344412e-05,8.345416e-05,8.346526e-05,8.346792e-05,8.346603e-05,8.344776e-05,8.341170e-05,8.339660e-05,8.335903e-05,8.331712e-05,8.329086e-05,8.321182e-05,8.320825e-05,8.311218e-05,8.308299e-05,8.300357e-05,8.293276e-05,8.288331e-05,8.276308e-05,8.275222e-05,8.261106e-05,8.257577e-05,8.246057e-05,8.237248e-05,8.230145e-05,8.215478e-05,8.213432e-05,8.195981e-05,8.192407e-05,8.177849e-05,8.168169e-05,8.159090e-05,8.142884e-05,8.139754e-05,8.119890e-05,8.116666e-05,8.099543e-05,8.089617e-05,8.078755e-05,8.061834e-05,8.057566e-05,8.036014e-05,8.033405e-05,8.014135e-05,8.004413e-05,7.991961e-05,7.974932e-05,7.969525e-05,7.946855e-05,7.945032e-05,7.923980e-05,7.914778e-05,7.900926e-05,7.884230e-05,7.877717e-05,7.854378e-05,7.853442e-05,7.830929e-05,7.822465e-05,7.807392e-05,7.791346e-05,7.783785e-05,7.760128e-05,7.728851e-05,7.697551e-05,7.666263e-05,7.635017e-05,7.603843e-05,7.572765e-05,7.541809e-05,7.510997e-05,7.480349e-05,7.449883e-05,7.419618e-05,7.389567e-05,7.359745e-05,7.330166e-05,7.300840e-05,7.271778e-05,7.242990e-05,7.214485e-05,7.186269e-05,7.158349e-05,7.130732e-05,7.103423e-05,7.076426e-05,7.049745e-05
0.000000e+00,1.066954e-07,2.437839e-07,8.361666e-07,1.897974e-06,2.764515e-06,6.233334e-06,6.418810e-06,1.227812e-05,1.437372e-05,2.077295e-05,2.729490e-05,3.228245e-05,4.581180e-05,4.712880e-05,6.556829e-05,7.055004e-05,8.777868e-05,1.018989e-04,1.138426e-04,1.399440e-04,1.437277e-04,1.772671e-04,1.843888e-04,2.141519e-04,2.345142e-04,2.539497e-04,2.892604e-04,2.961527e-04,3.402351e-04,3.474286e-04,3.856961e-04,4.078714e-04,4.320803e-04,4.695786e-04,4.789828e-04,5.260474e-04,5.316909e-04,5.729636e-04,5.934891e-04,6.194631e-04,6.543822e-04,6.653175e-04,7.103347e-04,7.138950e-04,7.543562e-04,7.716563e-04,7.972539e-04,8.273868e-04,8.389270e-04,8.792986e-04,8.808855e-04,9.183125e-04,9.320174e-04,9.559308e-04,9.807018e-04,9.921306e-04,1.026902e-03,1.060245e-03,1.070615e-03,1.092170e-03,1.111865e-03,1.122693e-03,1.150696e-03,1.151836e-03,1.179626e-03,1.187169e-03,1.206093e-03,1.221353e-03,1.231271e-03,1.253326e-03,1.255195e-03,1.277901e-03,1.283173e-03,1.299425e-03,1.310978e-03,1.319808e-03,1.336829e-03,1.339085e-03,1.357296e-03,1.360813e-03,1.374478e-03,1.383019e-03,1.390669e-03,1.403531e-03,1.405906e-03,1.420225e-03,1.422433e-03,1.433662e-03,1.439808e-03,1.446251e-03,1.455736e-03,1.458028e-03,1.469024e-03,1.470293e-03,1.479272e-03,1.483553e-03,1.488804e-03,1.495587e-03,1.497649e-03,1.505838e-03,1.506466e-03,1.513399e-03,1.516254e-03,1.520359e-03,1.525014e-03,1.526746e-03,1.532584e-03,1.532807e-03,1.537900e-03,1.539690e-03,1.542716e-03,1.545718e-03,1.547057e-03,1.550944e-03,1.554400e-03,1.555418e-03,1.557444e-03,1.559186e-03,1.560097e-03,1.562293e-03,1.562378e-03,1.564305e-03,1.564784e-03,1.565897e-03,1.566697e-03,1.567169e-03,1.568073e-03,1.568140e-03,1.568823e-03,1.568947e-03,1.569236e-03,1.569353e-03,1.569391e-03,1.569326e-03,1.569303e-03,1.568986e-03,1.568896e-03,1.568451e-03,1.568092e-03,1.567712e-03,1.566942e-03,1.566780e-03,1.565666e-03,1.565472e-03,1.564382e-03,1.563708e-03,1.562937e-03,1.561672e-03,1.561341e-03,1.559604e-03,1.559386e-03,1.557735e-03,1.556873e-03,1.555742e-03,1.554150e-03,1.553634e-03,1.551418e-03,1.551237e-03,1.549103e-03,1.548151e-03,1.546695e-03,1.544908e-03,1.544201e-03,1.541628e-03,1.541524e-03,1.538982e-03,1.538013e-03,1.536269e-03,1.534388e-03,1.533494e-03,1.530663e-03,1.526850e-03,1.522959e-03,1.519001e-03,1.514986e-03,1.510923e-03,1.506820e-03,1.502686e-03,1.498528e-03,1.494353e-03,1.490167e-03,1.485977e-03,1.481788e-03,1.477604e-03,1.473432e-03,1.469275e-03,1.465137e-03,1.461022e-03,1.456934e-03,1.452875e-03,1.448849e-03,1.444859e-03,1.440906e-03,1.436993e-03,1.433122e-03
0.000000e+00,3.208773e-09,7.306040e-09,2.489102e-08,5.620375e-08,8.167052e-08,1.834299e-07,1.888729e-07,3.614189e-07,4.235079e-07,6.146227e-07,8.119384e-07,9.646085e-07,1.386289e-06,1.427896e-06,2.019417e-06,2.181674e-06,2.748242e-06,3.216077e-06,3.612044e-06,4.471300e-06,4.594692e-06,5.670591e-06,5.894510e-06,6.812355e-06,7.423934e-06,7.995951e-06,9.008218e-06,9.202027e-06,1.041526e-05,1.060918e-05,1.162334e-05,1.219836e-05,1.281620e-05,1.375385e-05,1.398546e-05,1.512416e-05,1.525847e-05,1.622660e-05,1.669896e-05,1.728818e-05,1.806544e-05,1.830536e-05,1.927553e-05,1.935105e-05,2.019694e-05,2.055162e-05,2.106863e-05,2.166524e-05,2.189026e-05,2.266207e-05,2.269192e-05,2.338478e-05,2.363313e-05,2.405947e-05,2.449151e-05,2.468750e-05,2.527050e-05,2.581022e-05,2.597409e-05,2.630853e-05,2.660662e-05,2.676738e-05,2.717258e-05,2.718874e-05,2.757457e-05,2.767650e-05,2.792682e-05,2.812284e-05,2.824738e-05,2.851591e-05,2.853812e-05,2.880080e-05,2.885986e-05,2.903713e-05,2.915858e-05,2.924875e-05,2.941576e-05,2.943721e-05,2.960398e-05,2.963486e-05,2.975046e-05,2.981906e-05,2.987798e-05,2.997134e-05,2.998777e-05,3.008101e-05,3.009446e-05,3.015880e-05,3.019096e-05,3.022218e-05,3.026316e-05,3.027212e-05,3.030954e-05,3.031323e-05,3.033530e-05,3.034315e-05,3.035020e-05,3.035472e-05,3.035499e-05,3.035038e-05,3.034962e-05,3.033703e-05,3.032938e-05,3.031556e-05,3.029540e-05,3.028655e-05,3.025055e-05,3.024897e-05,3.020806e-05,3.019126e-05,3.015956e-05,3.012337e-05,3.010549e-05,3.004629e-05,2.998232e-05,2.996091e-05,2.991398e-05,2.986809e-05,2.984158e-05,2.976858e-05,2.976547e-05,2.968593e-05,2.966309e-05,2.960326e-05,2.955226e-05,2.951771e-05,2.943668e-05,2.942954e-05,2.933897e-05,2.931690e-05,2.924622e-05,2.919341e-05,2.915150e-05,2.906667e-05,2.905500e-05,2.895690e-05,2.893710e-05,2.885736e-05,2.880508e-05,2.875654e-05,2.867097e-05,2.865459e-05,2.855165e-05,2.853509e-05,2.844784e-05,2.839774e-05,2.834329e-05,2.825920e-05,2.823812e-05,2.813242e-05,2.811970e-05,2.802630e-05,2.797949e-05,2.791984e-05,2.783877e-05,2.781315e-05,2.770630e-05,2.769774e-05,2.759936e-05,2.755658e-05,2.749241e-05,2.741544e-05,2.738551e-05,2.727874e-05,2.727447e-05,2.717214e-05,2.713382e-05,2.706577e-05,2.699360e-05,2.695969e-05,2.685393e-05,2.671491e-05,2.657664e-05,2.643921e-05,2.630268e-05,2.616714e-05,2.603264e-05,2.589925e-05,2.576702e-05,2.563598e-05,2.550620e-05,2.537769e-05,2.525051e-05,2.512466e-05,2.500019e-05,2.487711e-05,2.475545e-05,2.463521e-05,2.451641e-05,2.439907e-05,2.428319e-05,2.416878e-05,2.405584e-05,2.394438e-05,2.383439e-05
0.000000e+00,9.611419e-09,2.191629e-08,7.487979e-08,1.694605e-07,2.465061e-07,5.547295e-07,5.712202e-07,1.093624e-06,1.281333e-06,1.857932e-06,2.451237e-06,2.908879e-06,4.166469e-06,4.290036e-06,6.036032e-06,6.511262e-06,8.157563e-06,9.502275e-06,1.063161e-05,1.306376e-05,1.341185e-05,1.644749e-05,1.708112e-05,1.969269e-05,2.144945e-05,2.310705e-05,2.607870e-05,2.665356e-05,3.029716e-05,3.088687e-05,3.400409e-05,3.579633e-05,3.774193e-05,4.073372e-05,4.147993e-05,4.518950e-05,4.563147e-05,4.884457e-05,5.042946e-05,5.242198e-05,5.507638e-05,5.590162e-05,5.926655e-05,5.953036e-05,6.250291e-05,6.375891e-05,6.559977e-05,6.773847e-05,6.854900e-05,7.134493e-05,7.145352e-05,7.398414e-05,7.489554e-05,7.646513e-05,7.806186e-05,7.878808e-05,8.095457e-05,8.296731e-05,8.357949e-05,8.482995e-05,8.594528e-05,8.654690e-05,8.806266e-05,8.812307e-05,8.956384e-05,8.994376e-05,9.087484e-05,9.160157e-05,9.206189e-05,9.304956e-05,9.313088e-05,9.408773e-05,9.430134e-05,9.493832e-05,9.537039e-05,9.568843e-05,9.626990e-05,9.634372e-05,9.690970e-05,9.701265e-05,9.739172e-05,9.761091e-05,9.779493e-05,9.807634e-05,9.812427e-05,9.838448e-05,9.842001e-05,9.858012e-05,9.865237e-05,9.871551e-05,9.878322e-05,9.879477e-05,9.882183e-05,9.882175e-05,9.880042e-05,9.877655e-05,9.873405e-05,9.865562e-05,9.862608e-05,9.847967e-05,9.846638e-05,9.829780e-05,9.821576e-05,9.808329e-05,9.791014e-05,9.783881e-05,9.756686e-05,9.755544e-05,9.726978e-05,9.715711e-05,9.694980e-05,9.672019e-05,9.660899e-05,9.624932e-05,9.587263e-05,9.574878e-05,9.548064e-05,9.522248e-05,9.507496e-05,9.467403e-05,9.465710e-05,9.422849e-05,9.410673e-05,9.379043e-05,9.352359e-05,9.334418e-05,9.292737e-05,9.289088e-05,9.243160e-05,9.232060e-05,9.196736e-05,9.170557e-05,9.149909e-05,9.108436e-05,9.102765e-05,9.055385e-05,9.045888e-05,9.007845e-05,8.983084e-05,8.960213e-05,8.920180e-05,8.912555e-05,8.864929e-05,8.857316e-05,8.817391e-05,8.794619e-05,8.769991e-05,8.732201e-05,8.722775e-05,8.675787e-05,8.670166e-05,8.629066e-05,8.608603e-05,8.582648e-05,8.547593e-05,8.536566e-05,8.490849e-05,8.487208e-05,8.445525e-05,8.427511e-05,8.400619e-05,8.368558e-05,8.356153e-05,8.312146e-05,8.310396e-05,8.268617e-05,8.253067e-05,8.225582e-05,8.196607e-05,8.183054e-05,8.141046e-05,8.086409e-05,8.032718e-05,7.979989e-05,7.928235e-05,7.877466e-05,7.827687e-05,7.778903e-05,7.731115e-05,7.684322e-05,7.638521e-05,7.593706e-05,7.549871e-05,7.507009e-05,7.465109e-05,7.424162e-05,7.384156e-05,7.345079e-05,7.306918e-05,7.269659e-05,7.233288e-05,7.197791e-05,7.163151e-05,7.129354e-05,7.096384e-05
0.000000e+00,7.347150e-09,1.665207e-08,5.622150e-08,1.260187e-07,1.824758e-07,4.070395e-07,4.190349e-07,7.998327e-07,9.373683e-07,1.363023e-06,1.806191e-06,2.151313e-06,3.110260e-06,3.204999e-06,4.542970e-06,4.904686e-06,6.140575e-06,7.124924e-06,7.931817e-06,9.606004e-06,9.838561e-06,1.179500e-05,1.218778e-05,1.375351e-05,1.476133e-05,1.568097e-05,1.725870e-05,1.755395e-05,1.935521e-05,1.963584e-05,2.107175e-05,2.186261e-05,2.269375e-05,2.391837e-05,2.421403e-05,2.562774e-05,2.579007e-05,2.693216e-05,2.747122e-05,2.812648e-05,2.896099e-05,2.921153e-05,3.018960e-05,3.026332e-05,3.106419e-05,3.138602e-05,3.183975e-05,3.233977e-05,3.252152e-05,3.311488e-05,3.313686e-05,3.362572e-05,3.379056e-05,3.405997e-05,3.431457e-05,3.442362e-05,3.472254e-05,3.496239e-05,3.502755e-05,3.514857e-05,3.524194e-05,3.528620e-05,3.537710e-05,3.538007e-05,3.543465e-05,3.544346e-05,3.545407e-05,3.545043e-05,3.544212e-05,3.540644e-05,3.540231e-05,3.533780e-05,3.531898e-05,3.525151e-05,3.519467e-05,3.514607e-05,3.503934e-05,3.502386e-05,3.488702e-05,3.485807e-05,3.473750e-05,3.465533e-05,3.457706e-05,3.443499e-05,3.440725e-05,3.422949e-05,3.420040e-05,3.404506e-05,3.395449e-05,3.385508e-05,3.369978e-05,3.366056e-05,3.346241e-05,3.343843e-05,3.326144e-05,3.317231e-05,3.305838e-05,3.290305e-05,3.285386e-05,3.264846e-05,3.263201e-05,3.244270e-05,3.236039e-05,3.223701e-05,3.208919e-05,3.203181e-05,3.182744e-05,3.181929e-05,3.162422e-05,3.155140e-05,3.142243e-05,3.128616e-05,3.122231e-05,3.102407e-05,3.082790e-05,3.076558e-05,3.063395e-05,3.051106e-05,3.044237e-05,3.026079e-05,3.025327e-05,3.006676e-05,3.001502e-05,2.988293e-05,2.977394e-05,2.970184e-05,2.953771e-05,2.952356e-05,2.934812e-05,2.930645e-05,2.917558e-05,2.908023e-05,2.900596e-05,2.885912e-05,2.883927e-05,2.867553e-05,2.864314e-05,2.851475e-05,2.843231e-05,2.835693e-05,2.822663e-05,2.820205e-05,2.805011e-05,2.802607e-05,2.790109e-05,2.783059e-05,2.775498e-05,2.764016e-05,2.761175e-05,2.747137e-05,2.745472e-05,2.733383e-05,2.727420e-05,2.719908e-05,2.709853e-05,2.706711e-05,2.693786e-05,2.692764e-05,2.681132e-05,2.676145e-05,2.668744e-05,2.659987e-05,2.656618e-05,2.644751e-05,2.644281e-05,2.633138e-05,2.629019e-05,2.621776e-05,2.614191e-05,2.610661e-05,2.599788e-05,2.585800e-05,2.572218e-05,2.559032e-05,2.546233e-05,2.533811e-05,2.521756e-05,2.510060e-05,2.498713e-05,2.487705e-05,2.477028e-05,2.466673e-05,2.456631e-05,2.446894e-05,2.437452e-05,2.428298e-05,2.419423e-05,2.410820e-05,2.402480e-05,2.394396e-05,2.386561e-05,2.378967e-05,2.371608e-05,2.364475e-05,2.357563e-05
0.000000e+00,4.176713e-08,9.532978e-08,3.263701e-07,7.400362e-07,1.077673e-06,2.432304e-06,2.504918e-06,4.810431e-06,5.640782e-06,8.195581e-06,1.082763e-05,1.285734e-05,1.841510e-05,1.895861e-05,2.656661e-05,2.861206e-05,3.561822e-05,4.126442e-05,4.596722e-05,5.601691e-05,5.744929e-05,6.990686e-05,7.250209e-05,8.318901e-05,9.037235e-05,9.714756e-05,1.092882e-04,1.116360e-04,1.265108e-04,1.289173e-04,1.416344e-04,1.489438e-04,1.568778e-04,1.690793e-04,1.721233e-04,1.872658e-04,1.890715e-04,2.022140e-04,2.087092e-04,2.168905e-04,2.278229e-04,2.312311e-04,2.451842e-04,2.462825e-04,2.587098e-04,2.639933e-04,2.717777e-04,2.808908e-04,2.843665e-04,2.964624e-04,2.969359e-04,3.080580e-04,3.121093e-04,3.191507e-04,3.264074e-04,3.297425e-04,3.398386e-04,3.494470e-04,3.524203e-04,3.585777e-04,3.641759e-04,3.672422e-04,3.751335e-04,3.754534e-04,3.832247e-04,3.853238e-04,3.905703e-04,3.947794e-04,3.975047e-04,4.035337e-04,4.040425e-04,4.101982e-04,4.116203e-04,4.159864e-04,4.190727e-04,4.214215e-04,4.259235e-04,4.265176e-04,4.312884e-04,4.322047e-04,4.357475e-04,4.379474e-04,4.399081e-04,4.431815e-04,4.437827e-04,4.473839e-04,4.479356e-04,4.507236e-04,4.522372e-04,4.538134e-04,4.561127e-04,4.566643e-04,4.592872e-04,4.595871e-04,4.616925e-04,4.626844e-04,4.638900e-04,4.654272e-04,4.658895e-04,4.677000e-04,4.678370e-04,4.693306e-04,4.699343e-04,4.707897e-04,4.717386e-04,4.720854e-04,4.732256e-04,4.732681e-04,4.742178e-04,4.745401e-04,4.750691e-04,4.755712e-04,4.757866e-04,4.763768e-04,4.768459e-04,4.769715e-04,4.772001e-04,4.773692e-04,4.774452e-04,4.775830e-04,4.775867e-04,4.776300e-04,4.776251e-04,4.775800e-04,4.775073e-04,4.774416e-04,4.772403e-04,4.772196e-04,4.769183e-04,4.768347e-04,4.765420e-04,4.763000e-04,4.760947e-04,4.756455e-04,4.755803e-04,4.750026e-04,4.748797e-04,4.743649e-04,4.740109e-04,4.736709e-04,4.730466e-04,4.729235e-04,4.721261e-04,4.719940e-04,4.712814e-04,4.708600e-04,4.703923e-04,4.696509e-04,4.694615e-04,4.684915e-04,4.683726e-04,4.674849e-04,4.670309e-04,4.664439e-04,4.656311e-04,4.653707e-04,4.642675e-04,4.641780e-04,4.631364e-04,4.626765e-04,4.619791e-04,4.611309e-04,4.607977e-04,4.595939e-04,4.595453e-04,4.583692e-04,4.579236e-04,4.571255e-04,4.562695e-04,4.558640e-04,4.545864e-04,4.528775e-04,4.511459e-04,4.493943e-04,4.476254e-04,4.458417e-04,4.440455e-04,4.422390e-04,4.404243e-04,4.386032e-04,4.367776e-04,4.349491e-04,4.331193e-04,4.312896e-04,4.294615e-04,4.276361e-04,4.258147e-04,4.239983e-04,4.221881e-04,4.203849e-04,4.185896e-04,4.168030e-04,4.150260e-04,4.132591e-04,4.115032e-04
0.000000e+00,3.877120e-09,8.860013e-09,3.050249e-08,6.987040e-08,1.025954e-07,2.392315e-07,2.467952e-07,4.991910e-07,5.956489e-07,9.086436e-07,1.251564e-06,1.525461e-06,2.292264e-06,2.367467e-06,3.408235e-06,3.683135e-06,4.609107e-06,5.340395e-06,5.941564e-06,7.208859e-06,7.388052e-06,8.937424e-06,9.258892e-06,1.058141e-05,1.147120e-05,1.231256e-05,1.382850e-05,1.412321e-05,1.600503e-05,1.631212e-05,1.794881e-05,1.890094e-05,1.994461e-05,2.157162e-05,2.198187e-05,2.404962e-05,2.429927e-05,2.613675e-05,2.705838e-05,2.823225e-05,2.982383e-05,3.032542e-05,3.240605e-05,3.257167e-05,3.446461e-05,3.527986e-05,3.649233e-05,3.792874e-05,3.848133e-05,4.042462e-05,4.050132e-05,4.231617e-05,4.298344e-05,4.415084e-05,4.536375e-05,4.592443e-05,4.763356e-05,4.927566e-05,4.978665e-05,5.084889e-05,5.181905e-05,5.235207e-05,5.372867e-05,5.378462e-05,5.514644e-05,5.551513e-05,5.643794e-05,5.717938e-05,5.765986e-05,5.872353e-05,5.881332e-05,5.989968e-05,6.015059e-05,6.092052e-05,6.146422e-05,6.187761e-05,6.266863e-05,6.277286e-05,6.360828e-05,6.376837e-05,6.438595e-05,6.476822e-05,6.510799e-05,6.567309e-05,6.577656e-05,6.639382e-05,6.648796e-05,6.696191e-05,6.721776e-05,6.748298e-05,6.786737e-05,6.795910e-05,6.839233e-05,6.844154e-05,6.878468e-05,6.894487e-05,6.913809e-05,6.938181e-05,6.945445e-05,6.973559e-05,6.975661e-05,6.998328e-05,7.007337e-05,7.019922e-05,7.033597e-05,7.038507e-05,7.054239e-05,7.054811e-05,7.067270e-05,7.071328e-05,7.077745e-05,7.083479e-05,7.085803e-05,7.091578e-05,7.095197e-05,7.095919e-05,7.096781e-05,7.096781e-05,7.096447e-05,7.094425e-05,7.094306e-05,7.090463e-05,7.089095e-05,7.085019e-05,7.081024e-05,7.078070e-05,7.070427e-05,7.069708e-05,7.060021e-05,7.057508e-05,7.049090e-05,7.042455e-05,7.036995e-05,7.025449e-05,7.023812e-05,7.009610e-05,7.006654e-05,6.994459e-05,6.986227e-05,6.978423e-05,6.964314e-05,6.961564e-05,6.943938e-05,6.941051e-05,6.925602e-05,6.916564e-05,6.906609e-05,6.890974e-05,6.887007e-05,6.866845e-05,6.864389e-05,6.846166e-05,6.836915e-05,6.825014e-05,6.808647e-05,6.803429e-05,6.781450e-05,6.779675e-05,6.759111e-05,6.750083e-05,6.736448e-05,6.719948e-05,6.713493e-05,6.690277e-05,6.689343e-05,6.666829e-05,6.658336e-05,6.643176e-05,6.626989e-05,6.619345e-05,6.595359e-05,6.563502e-05,6.531468e-05,6.499302e-05,6.467047e-05,6.434745e-05,6.402430e-05,6.370138e-05,6.337900e-05,6.305744e-05,6.273698e-05,6.241786e-05,6.210030e-05,6.178452e-05,6.147069e-05,6.115900e-05,6.084959e-05,6.054262e-05,6.023821e-05,5.993648e-05,5.963753e-05,5.934146e-05,5.904835e-05,5.875828e-05,5.847132e-05
0.000000e+00,4.907274e-09,1.119267e-08,3.831717e-08,8.708540e-08,1.271424e-07,2.904217e-07,2.992937e-07,5.871746e-07,6.936160e-07,1.028505e-06,1.381236e-06,1.655257e-06,2.399685e-06,2.471499e-06,3.454366e-06,3.711917e-06,4.576707e-06,5.257931e-06,5.817075e-06,6.992598e-06,7.158364e-06,8.585091e-06,8.879343e-06,1.008190e-05,1.088273e-05,1.163307e-05,1.296640e-05,1.322266e-05,1.483482e-05,1.509383e-05,1.645431e-05,1.723004e-05,1.806689e-05,1.934324e-05,1.965963e-05,2.122117e-05,2.140598e-05,2.274181e-05,2.339583e-05,2.421358e-05,2.529546e-05,2.563011e-05,2.698655e-05,2.709235e-05,2.827942e-05,2.877823e-05,2.950650e-05,3.034858e-05,3.066664e-05,3.175957e-05,3.180189e-05,3.278570e-05,3.313894e-05,3.374609e-05,3.436236e-05,3.464226e-05,3.547607e-05,3.624953e-05,3.648465e-05,3.696484e-05,3.739321e-05,3.762435e-05,3.820724e-05,3.823050e-05,3.878575e-05,3.893247e-05,3.929282e-05,3.957507e-05,3.975440e-05,4.014092e-05,4.017287e-05,4.055061e-05,4.063547e-05,4.088993e-05,4.106398e-05,4.119300e-05,4.143143e-05,4.146198e-05,4.169890e-05,4.174261e-05,4.190572e-05,4.200198e-05,4.208427e-05,4.221370e-05,4.223631e-05,4.236353e-05,4.238169e-05,4.246752e-05,4.250964e-05,4.254981e-05,4.260096e-05,4.261181e-05,4.265489e-05,4.265885e-05,4.268034e-05,4.268626e-05,4.268936e-05,4.268595e-05,4.268311e-05,4.266268e-05,4.266046e-05,4.262907e-05,4.261216e-05,4.258326e-05,4.254322e-05,4.252614e-05,4.245858e-05,4.245567e-05,4.238137e-05,4.235136e-05,4.229528e-05,4.223203e-05,4.220102e-05,4.209926e-05,4.199063e-05,4.195451e-05,4.187572e-05,4.179914e-05,4.175509e-05,4.163438e-05,4.162925e-05,4.149871e-05,4.146137e-05,4.136391e-05,4.128118e-05,4.122530e-05,4.109475e-05,4.108327e-05,4.093821e-05,4.090298e-05,4.079046e-05,4.070668e-05,4.064037e-05,4.050659e-05,4.048823e-05,4.033435e-05,4.030339e-05,4.017899e-05,4.009771e-05,4.002241e-05,3.989011e-05,3.986484e-05,3.970651e-05,3.968112e-05,3.954761e-05,3.947120e-05,3.938835e-05,3.926079e-05,3.922889e-05,3.906941e-05,3.905028e-05,3.891006e-05,3.884003e-05,3.875098e-05,3.863035e-05,3.859231e-05,3.843416e-05,3.842154e-05,3.827666e-05,3.821386e-05,3.811990e-05,3.800755e-05,3.796398e-05,3.780900e-05,3.780282e-05,3.765503e-05,3.759986e-05,3.750215e-05,3.739885e-05,3.735043e-05,3.719992e-05,3.700323e-05,3.680888e-05,3.661697e-05,3.642761e-05,3.624086e-05,3.605679e-05,3.587546e-05,3.569690e-05,3.552117e-05,3.534829e-05,3.517828e-05,3.501116e-05,3.484694e-05,3.468561e-05,3.452719e-05,3.437166e-05,3.421901e-05,3.406923e-05,3.392231e-05,3.377822e-05,3.363694e-05,3.349844e-05,3.336270e-05,3.322969e-05
0.000000e+00,3.198992e-09,7.299517e-09,2.498711e-08,5.669037e-08,8.261326e-08,1.871160e-07,1.927415e-07,3.726554e-07,4.380664e-07,6.412382e-07,8.532077e-07,1.018111e-06,1.473434e-06,1.518116e-06,2.143848e-06,2.311903e-06,2.886734e-06,3.349448e-06,3.734843e-06,4.559520e-06,4.677265e-06,5.704416e-06,5.919216e-06,6.807246e-06,7.407607e-06,7.976623e-06,9.003399e-06,9.203062e-06,1.047671e-05,1.068420e-05,1.178747e-05,1.242685e-05,1.312524e-05,1.420823e-05,1.448011e-05,1.584258e-05,1.600616e-05,1.720375e-05,1.780013e-05,1.855547e-05,1.957192e-05,1.989041e-05,2.120215e-05,2.130591e-05,2.248514e-05,2.298923e-05,2.373476e-05,2.461165e-05,2.494720e-05,2.611946e-05,2.616548e-05,2.724924e-05,2.764522e-05,2.833489e-05,2.904737e-05,2.937536e-05,3.037005e-05,3.131880e-05,3.161272e-05,3.222182e-05,3.277596e-05,3.307958e-05,3.386106e-05,3.389274e-05,3.466224e-05,3.487003e-05,3.538917e-05,3.580537e-05,3.607469e-05,3.666990e-05,3.672008e-05,3.732668e-05,3.746664e-05,3.789585e-05,3.819875e-05,3.842898e-05,3.886945e-05,3.892749e-05,3.939275e-05,3.948193e-05,3.982615e-05,4.003939e-05,4.022907e-05,4.054492e-05,4.060282e-05,4.094871e-05,4.100155e-05,4.126801e-05,4.141218e-05,4.156194e-05,4.177962e-05,4.183169e-05,4.207842e-05,4.210654e-05,4.230324e-05,4.239549e-05,4.250720e-05,4.264890e-05,4.269133e-05,4.285663e-05,4.286907e-05,4.300404e-05,4.305820e-05,4.313447e-05,4.321835e-05,4.324879e-05,4.334782e-05,4.335148e-05,4.343238e-05,4.345942e-05,4.350322e-05,4.354392e-05,4.356107e-05,4.360662e-05,4.364055e-05,4.364906e-05,4.366349e-05,4.367269e-05,4.367605e-05,4.367888e-05,4.367881e-05,4.367231e-05,4.366890e-05,4.365708e-05,4.364397e-05,4.363363e-05,4.360521e-05,4.360244e-05,4.356396e-05,4.355369e-05,4.351862e-05,4.349040e-05,4.346685e-05,4.341627e-05,4.340903e-05,4.334554e-05,4.333219e-05,4.327673e-05,4.323897e-05,4.320295e-05,4.313737e-05,4.312453e-05,4.304176e-05,4.302813e-05,4.295494e-05,4.291191e-05,4.286435e-05,4.278934e-05,4.277025e-05,4.267290e-05,4.266101e-05,4.257254e-05,4.252748e-05,4.246939e-05,4.238926e-05,4.236367e-05,4.225558e-05,4.224683e-05,4.214532e-05,4.210065e-05,4.203307e-05,4.195112e-05,4.191901e-05,4.180331e-05,4.179865e-05,4.168613e-05,4.164361e-05,4.156761e-05,4.148632e-05,4.144789e-05,4.132712e-05,4.116629e-05,4.100412e-05,4.084086e-05,4.067675e-05,4.051202e-05,4.034686e-05,4.018148e-05,4.001605e-05,3.985073e-05,3.968568e-05,3.952104e-05,3.935694e-05,3.919351e-05,3.903084e-05,3.886905e-05,3.870822e-05,3.854846e-05,3.838982e-05,3.823239e-05,3.807623e-05,3.792141e-05,3.776797e-05,3.761596e-05,3.746544e-05
0.000000e+00,4.902576e-09,1.118492e-08,3.827693e-08,8.683110e-08,1.265351e-07,2.866494e-07,2.952715e-07,5.711775e-07,6.715699e-07,9.837778e-07,1.310488e-06,1.565770e-06,2.278538e-06,2.349244e-06,3.354746e-06,3.629269e-06,4.578518e-06,5.349569e-06,5.993331e-06,7.367726e-06,7.563134e-06,9.254761e-06,9.605206e-06,1.104088e-05,1.199934e-05,1.289881e-05,1.450052e-05,1.480889e-05,1.675334e-05,1.706654e-05,1.871581e-05,1.965970e-05,2.068117e-05,2.224620e-05,2.263559e-05,2.456662e-05,2.479623e-05,2.646328e-05,2.728443e-05,2.831613e-05,2.969005e-05,3.011722e-05,3.186006e-05,3.199681e-05,3.353959e-05,3.419279e-05,3.515203e-05,3.626992e-05,3.669473e-05,3.816604e-05,3.822340e-05,3.956520e-05,4.005121e-05,4.089216e-05,4.175352e-05,4.214748e-05,4.333223e-05,4.444786e-05,4.479054e-05,4.549613e-05,4.613260e-05,4.647905e-05,4.736319e-05,4.739880e-05,4.825766e-05,4.848754e-05,4.905799e-05,4.951109e-05,4.980220e-05,5.043939e-05,5.049271e-05,5.113191e-05,5.127794e-05,5.172217e-05,5.203221e-05,5.226582e-05,5.270748e-05,5.276513e-05,5.322230e-05,5.330886e-05,5.363946e-05,5.384126e-05,5.401868e-05,5.430936e-05,5.436194e-05,5.467115e-05,5.471759e-05,5.494815e-05,5.507018e-05,5.519468e-05,5.537110e-05,5.541242e-05,5.560298e-05,5.562410e-05,5.576790e-05,5.583271e-05,5.590863e-05,5.600026e-05,5.602656e-05,5.612302e-05,5.612985e-05,5.619928e-05,5.622440e-05,5.625654e-05,5.628664e-05,5.629593e-05,5.631855e-05,5.631912e-05,5.632542e-05,5.632423e-05,5.631753e-05,5.630421e-05,5.629580e-05,5.626112e-05,5.621433e-05,5.619693e-05,5.615622e-05,5.611343e-05,5.608754e-05,5.601233e-05,5.600900e-05,5.592129e-05,5.589517e-05,5.582504e-05,5.576344e-05,5.572086e-05,5.561850e-05,5.560932e-05,5.549097e-05,5.546161e-05,5.536632e-05,5.529394e-05,5.523585e-05,5.511660e-05,5.510004e-05,5.495931e-05,5.493061e-05,5.481407e-05,5.473690e-05,5.466472e-05,5.453635e-05,5.451161e-05,5.435510e-05,5.432977e-05,5.419552e-05,5.411792e-05,5.403317e-05,5.390149e-05,5.386834e-05,5.370131e-05,5.368114e-05,5.353235e-05,5.345745e-05,5.336168e-05,5.323098e-05,5.318955e-05,5.301617e-05,5.300225e-05,5.284174e-05,5.277172e-05,5.266646e-05,5.253983e-05,5.249051e-05,5.231405e-05,5.230698e-05,5.213725e-05,5.207355e-05,5.196026e-05,5.183986e-05,5.178321e-05,5.160624e-05,5.137297e-05,5.114031e-05,5.090851e-05,5.067778e-05,5.044833e-05,5.022034e-05,4.999398e-05,4.976939e-05,4.954672e-05,4.932609e-05,4.910761e-05,4.889137e-05,4.867747e-05,4.846598e-05,4.825698e-05,4.805053e-05,4.784668e-05,4.764546e-05,4.744694e-05,4.725112e-05,4.705805e-05,4.686773e-05,4.668020e-05,4.649545e-05
0.000000e+00,5.534537e-09,1.259504e-08,4.291679e-08,9.712438e-08,1.414699e-07,3.212540e-07,3.309906e-07,6.458843e-07,7.620147e-07,1.127492e-06,1.514363e-06,1.817319e-06,2.652128e-06,2.733426e-06,3.852370e-06,4.146019e-06,5.128106e-06,5.894756e-06,6.518262e-06,7.810812e-06,7.991063e-06,9.522359e-06,9.833832e-06,1.109217e-05,1.191772e-05,1.268271e-05,1.402281e-05,1.427766e-05,1.586196e-05,1.611353e-05,1.742201e-05,1.815862e-05,1.894580e-05,2.013183e-05,2.042315e-05,2.184573e-05,2.201243e-05,2.320705e-05,2.378534e-05,2.450236e-05,2.544068e-05,2.572854e-05,2.688387e-05,2.697321e-05,2.796783e-05,2.838151e-05,2.898092e-05,2.966716e-05,2.992442e-05,3.080022e-05,3.083388e-05,3.161070e-05,3.188700e-05,3.235857e-05,3.283284e-05,3.304675e-05,3.367828e-05,3.425629e-05,3.443046e-05,3.478387e-05,3.509646e-05,3.526406e-05,3.568323e-05,3.569984e-05,3.609408e-05,3.619740e-05,3.644952e-05,3.664526e-05,3.676878e-05,3.703266e-05,3.705432e-05,3.730848e-05,3.736506e-05,3.753346e-05,3.764747e-05,3.773130e-05,3.788451e-05,3.790395e-05,3.805321e-05,3.808041e-05,3.818077e-05,3.823905e-05,3.828819e-05,3.836394e-05,3.837695e-05,3.844839e-05,3.845831e-05,3.850381e-05,3.852506e-05,3.854437e-05,3.856687e-05,3.857118e-05,3.858527e-05,3.858615e-05,3.858758e-05,3.858510e-05,3.857900e-05,3.856571e-05,3.856036e-05,3.853241e-05,3.852980e-05,3.849589e-05,3.847902e-05,3.845144e-05,3.841488e-05,3.839969e-05,3.834121e-05,3.833874e-05,3.827654e-05,3.825184e-05,3.820617e-05,3.815531e-05,3.813058e-05,3.805019e-05,3.796542e-05,3.793742e-05,3.787662e-05,3.781785e-05,3.778416e-05,3.769226e-05,3.768837e-05,3.758954e-05,3.756137e-05,3.748797e-05,3.742581e-05,3.738391e-05,3.728620e-05,3.727762e-05,3.716933e-05,3.714307e-05,3.705925e-05,3.699691e-05,3.694759e-05,3.684817e-05,3.683454e-05,3.672027e-05,3.669728e-05,3.660494e-05,3.654461e-05,3.648871e-05,3.639049e-05,3.637173e-05,3.625413e-05,3.623526e-05,3.613602e-05,3.607919e-05,3.601754e-05,3.592255e-05,3.589878e-05,3.577986e-05,3.576558e-05,3.566086e-05,3.560850e-05,3.554187e-05,3.545151e-05,3.542299e-05,3.530427e-05,3.529479e-05,3.518581e-05,3.513851e-05,3.506766e-05,3.498282e-05,3.494988e-05,3.483255e-05,3.482786e-05,3.471570e-05,3.467376e-05,3.459939e-05,3.452063e-05,3.448366e-05,3.436857e-05,3.421767e-05,3.406803e-05,3.391972e-05,3.377280e-05,3.362734e-05,3.348339e-05,3.334100e-05,3.320021e-05,3.306107e-05,3.292360e-05,3.278783e-05,3.265379e-05,3.252149e-05,3.239096e-05,3.226220e-05,3.213524e-05,3.201007e-05,3.188670e-05,3.176513e-05,3.164537e-05,3.152741e-05,3.141126e-05,3.129689e-05,3.118432e-05
0.000000e+00,2.061935e-08,4.726511e-08,1.643220e-07,3.818419e-07,5.666312e-07,1.370374e-06,1.416153e-06,2.991756e-06,3.605791e-06,5.575526e-06,7.635727e-06,9.200267e-06,1.329889e-05,1.368504e-05,1.886994e-05,2.020736e-05,2.466371e-05,2.815278e-05,3.101058e-05,3.701732e-05,3.786518e-05,4.518097e-05,4.669500e-05,5.290608e-05,5.706601e-05,6.098309e-05,6.799505e-05,6.935083e-05,7.794625e-05,7.933845e-05,8.670677e-05,9.095261e-05,9.557205e-05,1.027016e-04,1.044856e-04,1.133955e-04,1.144621e-04,1.222550e-04,1.261267e-04,1.310241e-04,1.376070e-04,1.396687e-04,1.481596e-04,1.488315e-04,1.564733e-04,1.597448e-04,1.645908e-04,1.703054e-04,1.724971e-04,1.801810e-04,1.804836e-04,1.876343e-04,1.902598e-04,1.948513e-04,1.996222e-04,2.018288e-04,2.085653e-04,2.150608e-04,2.170886e-04,2.213166e-04,2.251956e-04,2.273351e-04,2.328925e-04,2.331194e-04,2.386733e-04,2.401877e-04,2.440012e-04,2.470915e-04,2.491079e-04,2.536149e-04,2.539983e-04,2.586777e-04,2.597700e-04,2.631517e-04,2.655694e-04,2.674257e-04,2.710260e-04,2.715055e-04,2.753966e-04,2.761527e-04,2.791048e-04,2.809626e-04,2.826357e-04,2.854687e-04,2.859948e-04,2.891878e-04,2.896837e-04,2.922201e-04,2.936202e-04,2.950971e-04,2.972905e-04,2.978241e-04,3.004063e-04,3.007067e-04,3.028488e-04,3.038804e-04,3.051564e-04,3.068232e-04,3.073342e-04,3.093869e-04,3.095459e-04,3.113191e-04,3.120592e-04,3.131352e-04,3.143735e-04,3.148398e-04,3.164370e-04,3.164987e-04,3.179311e-04,3.184444e-04,3.193260e-04,3.202199e-04,3.206256e-04,3.218339e-04,3.229545e-04,3.232951e-04,3.239908e-04,3.246116e-04,3.249465e-04,3.257912e-04,3.258249e-04,3.266292e-04,3.268416e-04,3.273626e-04,3.277698e-04,3.280280e-04,3.285828e-04,3.286285e-04,3.291669e-04,3.292871e-04,3.296459e-04,3.298892e-04,3.300682e-04,3.303949e-04,3.304363e-04,3.307528e-04,3.308101e-04,3.310199e-04,3.311401e-04,3.312401e-04,3.313904e-04,3.314155e-04,3.315483e-04,3.315657e-04,3.316405e-04,3.316709e-04,3.316941e-04,3.317105e-04,3.317111e-04,3.316932e-04,3.316888e-04,3.316423e-04,3.316099e-04,3.315601e-04,3.314777e-04,3.314482e-04,3.313081e-04,3.312958e-04,3.311415e-04,3.310677e-04,3.309498e-04,3.307969e-04,3.307343e-04,3.304965e-04,3.304865e-04,3.302376e-04,3.301394e-04,3.299588e-04,3.297586e-04,3.296615e-04,3.293466e-04,3.289061e-04,3.284395e-04,3.279490e-04,3.274368e-04,3.269050e-04,3.263555e-04,3.257901e-04,3.252105e-04,3.246183e-04,3.240151e-04,3.234023e-04,3.227812e-04,3.221531e-04,3.215193e-04,3.208807e-04,3.202386e-04,3.195937e-04,3.189472e-04,3.182998e-04,3.176523e-04,3.170055e-04,3.163601e-04,3.157167e-04,3.150759e-04
0.000000e+00,4.017353e-09,9.177181e-09,3.150431e-08,7.172342e-08,1.047652e-07,2.391617e-07,2.464462e-07,4.817627e-07,5.683426e-07,8.402087e-07,1.127717e-06,1.353418e-06,1.982076e-06,2.044019e-06,2.912741e-06,3.146050e-06,3.943089e-06,4.583327e-06,5.115680e-06,6.252481e-06,6.414572e-06,7.826896e-06,8.121955e-06,9.341187e-06,1.016519e-05,1.094619e-05,1.235604e-05,1.263033e-05,1.438156e-05,1.466716e-05,1.618747e-05,1.707005e-05,1.803552e-05,1.953596e-05,1.991331e-05,2.180881e-05,2.203692e-05,2.371068e-05,2.454678e-05,2.560841e-05,2.704200e-05,2.749245e-05,2.935430e-05,2.950206e-05,3.118655e-05,3.190970e-05,3.298284e-05,3.425086e-05,3.473783e-05,3.644717e-05,3.651455e-05,3.810739e-05,3.869250e-05,3.971581e-05,4.077892e-05,4.127047e-05,4.277005e-05,4.421375e-05,4.466387e-05,4.560126e-05,4.645979e-05,4.693265e-05,4.815833e-05,4.820830e-05,4.942888e-05,4.976089e-05,5.059529e-05,5.126955e-05,5.170857e-05,5.268689e-05,5.276992e-05,5.378065e-05,5.401584e-05,5.474213e-05,5.525959e-05,5.565581e-05,5.642147e-05,5.652315e-05,5.734566e-05,5.750491e-05,5.812482e-05,5.851335e-05,5.886214e-05,5.945024e-05,5.955910e-05,6.021719e-05,6.031897e-05,6.083783e-05,6.112286e-05,6.142246e-05,6.186516e-05,6.197245e-05,6.248916e-05,6.254900e-05,6.297391e-05,6.317740e-05,6.342797e-05,6.375331e-05,6.385260e-05,6.424898e-05,6.427951e-05,6.461830e-05,6.475870e-05,6.496168e-05,6.519346e-05,6.528021e-05,6.557493e-05,6.558624e-05,6.584688e-05,6.593939e-05,6.609702e-05,6.625515e-05,6.632631e-05,6.653565e-05,6.672591e-05,6.678291e-05,6.689795e-05,6.699886e-05,6.705257e-05,6.718534e-05,6.719055e-05,6.731264e-05,6.734408e-05,6.741957e-05,6.747673e-05,6.751202e-05,6.758487e-05,6.759067e-05,6.765615e-05,6.766998e-05,6.770908e-05,6.773346e-05,6.775005e-05,6.777665e-05,6.777962e-05,6.779833e-05,6.780082e-05,6.780671e-05,6.780716e-05,6.780526e-05,6.779680e-05,6.779446e-05,6.777477e-05,6.777083e-05,6.774663e-05,6.773025e-05,6.771046e-05,6.767602e-05,6.766668e-05,6.761566e-05,6.760907e-05,6.755778e-05,6.753024e-05,6.749341e-05,6.744035e-05,6.742287e-05,6.734651e-05,6.734016e-05,6.726464e-05,6.723041e-05,6.717755e-05,6.711178e-05,6.708554e-05,6.698888e-05,6.698492e-05,6.688784e-05,6.685045e-05,6.678268e-05,6.670893e-05,6.667363e-05,6.656092e-05,6.640694e-05,6.624747e-05,6.608298e-05,6.591389e-05,6.574061e-05,6.556354e-05,6.538304e-05,6.519944e-05,6.501308e-05,6.482426e-05,6.463327e-05,6.444038e-05,6.424584e-05,6.404989e-05,6.385277e-05,6.365468e-05,6.345581e-05,6.325638e-05,6.305653e-05,6.285645e-05,6.265629e-05,6.245619e-05,6.225630e-05,6.205673e-05
0.000000e+00,8.990156e-08,2.039500e-07,6.901243e-07,1.550772e-06,2.249188e-06,5.043849e-06,5.193816e-06,9.987177e-06,1.173295e-05,1.717957e-05,2.291189e-05,2.741204e-05,4.003095e-05,4.128372e-05,5.901291e-05,6.380506e-05,8.014410e-05,9.311848e-05,1.037368e-04,1.257630e-04,1.288256e-04,1.546646e-04,1.598733e-04,1.807319e-04,1.942510e-04,2.066608e-04,2.281338e-04,2.321800e-04,2.570757e-04,2.609890e-04,2.811731e-04,2.924128e-04,3.043277e-04,3.220923e-04,3.264214e-04,3.473616e-04,3.497935e-04,3.670807e-04,3.753582e-04,3.855349e-04,3.987001e-04,4.027027e-04,4.185825e-04,4.197977e-04,4.331901e-04,4.386831e-04,4.465553e-04,4.554329e-04,4.587215e-04,4.697410e-04,4.701588e-04,4.796726e-04,4.829936e-04,4.885788e-04,4.940828e-04,4.965252e-04,5.035780e-04,5.098039e-04,5.116320e-04,5.152660e-04,5.183885e-04,5.200241e-04,5.239845e-04,5.241373e-04,5.276610e-04,5.285491e-04,5.306467e-04,5.322004e-04,5.331431e-04,5.350461e-04,5.351949e-04,5.368431e-04,5.371829e-04,5.381256e-04,5.386972e-04,5.390774e-04,5.396669e-04,5.397305e-04,5.401137e-04,5.401604e-04,5.402536e-04,5.402381e-04,5.401739e-04,5.399533e-04,5.398965e-04,5.394411e-04,5.393530e-04,5.388257e-04,5.384784e-04,5.380667e-04,5.373660e-04,5.371787e-04,5.361753e-04,5.360477e-04,5.350685e-04,5.345516e-04,5.338692e-04,5.329022e-04,5.325876e-04,5.312326e-04,5.311213e-04,5.298126e-04,5.292280e-04,5.283350e-04,5.272393e-04,5.268066e-04,5.252337e-04,5.251699e-04,5.236219e-04,5.230332e-04,5.219764e-04,5.208407e-04,5.203019e-04,5.186027e-04,5.168828e-04,5.163286e-04,5.151456e-04,5.140264e-04,5.133946e-04,5.117033e-04,5.116327e-04,5.098626e-04,5.093659e-04,5.080870e-04,5.070199e-04,5.063080e-04,5.046703e-04,5.045279e-04,5.027485e-04,5.023218e-04,5.009717e-04,4.999785e-04,4.991991e-04,4.976439e-04,4.974322e-04,4.956723e-04,4.953213e-04,4.939207e-04,4.930136e-04,4.921786e-04,4.907233e-04,4.904470e-04,4.887268e-04,4.884527e-04,4.870189e-04,4.862038e-04,4.853242e-04,4.839784e-04,4.836433e-04,4.819769e-04,4.817780e-04,4.803257e-04,4.796040e-04,4.786900e-04,4.774577e-04,4.770705e-04,4.754675e-04,4.753400e-04,4.738814e-04,4.732518e-04,4.723127e-04,4.711940e-04,4.707615e-04,4.692281e-04,4.691672e-04,4.677129e-04,4.671719e-04,4.662159e-04,4.652085e-04,4.647374e-04,4.632774e-04,4.613789e-04,4.595132e-04,4.576803e-04,4.558804e-04,4.541135e-04,4.523795e-04,4.506783e-04,4.490098e-04,4.473738e-04,4.457702e-04,4.441986e-04,4.426588e-04,4.411505e-04,4.396734e-04,4.382272e-04,4.368114e-04,4.354258e-04,4.340699e-04,4.327434e-04,4.314458e-04,4.301767e-04,4.289357e-04,4.277223e-04,4.265361e-04
0.000000e+00,8.006602e-09,1.826643e-08,6.253498e-08,1.420025e-07,2.071193e-07,4.709538e-07,4.852163e-07,9.443332e-07,1.112552e-06,1.638506e-06,2.190975e-06,2.621892e-06,3.809223e-06,3.925232e-06,5.536497e-06,5.964920e-06,7.417667e-06,8.574377e-06,9.530267e-06,1.155566e-05,1.184281e-05,1.432849e-05,1.484417e-05,1.696209e-05,1.838166e-05,1.971834e-05,2.210947e-05,2.257137e-05,2.549487e-05,2.596742e-05,2.846269e-05,2.989549e-05,3.144946e-05,3.383631e-05,3.443115e-05,3.738566e-05,3.773740e-05,4.029315e-05,4.155300e-05,4.313631e-05,4.524494e-05,4.590042e-05,4.857334e-05,4.878293e-05,5.114538e-05,5.214420e-05,5.360905e-05,5.531276e-05,5.595908e-05,5.819210e-05,5.827896e-05,6.030630e-05,6.103820e-05,6.230122e-05,6.358994e-05,6.417754e-05,6.593689e-05,6.758164e-05,6.808422e-05,6.911475e-05,7.003897e-05,7.053974e-05,7.180941e-05,7.186027e-05,7.308002e-05,7.340400e-05,7.420284e-05,7.483169e-05,7.523282e-05,7.610224e-05,7.617443e-05,7.703230e-05,7.722618e-05,7.781046e-05,7.821292e-05,7.851297e-05,7.907179e-05,7.914384e-05,7.970684e-05,7.981161e-05,8.020562e-05,8.044082e-05,8.064380e-05,8.096753e-05,8.102478e-05,8.135183e-05,8.139936e-05,8.162807e-05,8.174351e-05,8.185651e-05,8.200681e-05,8.204006e-05,8.218147e-05,8.219574e-05,8.228335e-05,8.231629e-05,8.234815e-05,8.237407e-05,8.237824e-05,8.237586e-05,8.237433e-05,8.234312e-05,8.232198e-05,8.228205e-05,8.222160e-05,8.219455e-05,8.208242e-05,8.207744e-05,8.194737e-05,8.189346e-05,8.179103e-05,8.167333e-05,8.161491e-05,8.142048e-05,8.120911e-05,8.113810e-05,8.098208e-05,8.082913e-05,8.074061e-05,8.049630e-05,8.048587e-05,8.021893e-05,8.014214e-05,7.994082e-05,7.976900e-05,7.965251e-05,7.937903e-05,7.935490e-05,7.904886e-05,7.897424e-05,7.873519e-05,7.855649e-05,7.841465e-05,7.812747e-05,7.808796e-05,7.775579e-05,7.768876e-05,7.741878e-05,7.724181e-05,7.707751e-05,7.678796e-05,7.673254e-05,7.638441e-05,7.632844e-05,7.603358e-05,7.586437e-05,7.568054e-05,7.539680e-05,7.532571e-05,7.496950e-05,7.492668e-05,7.461227e-05,7.445487e-05,7.425440e-05,7.398218e-05,7.389620e-05,7.353799e-05,7.350934e-05,7.318005e-05,7.303701e-05,7.282265e-05,7.256580e-05,7.246605e-05,7.211046e-05,7.209627e-05,7.175612e-05,7.162890e-05,7.140322e-05,7.116416e-05,7.105194e-05,7.070246e-05,7.024417e-05,6.978963e-05,6.933912e-05,6.889292e-05,6.845127e-05,6.801437e-05,6.758241e-05,6.715555e-05,6.673394e-05,6.631769e-05,6.590691e-05,6.550168e-05,6.510207e-05,6.470814e-05,6.431993e-05,6.393747e-05,6.356079e-05,6.318989e-05,6.282478e-05,6.246544e-05,6.211187e-05,6.176404e-05,6.142193e-05,6.108550e-05
0.000000e+00,4.325975e-09,9.880510e-09,3.389292e-08,7.705583e-08,1.124299e-07,2.555633e-07,2.632888e-07,5.112646e-07,6.018104e-07,8.842044e-07,1.180481e-06,1.411998e-06,2.055164e-06,2.118551e-06,3.010418e-06,3.251143e-06,4.077872e-06,4.746819e-06,5.306205e-06,6.509724e-06,6.682273e-06,8.195013e-06,8.513064e-06,9.834242e-06,1.073322e-05,1.158961e-05,1.314578e-05,1.345002e-05,1.540346e-05,1.572379e-05,1.743702e-05,1.843761e-05,1.953711e-05,2.125566e-05,2.168970e-05,2.388068e-05,2.414551e-05,2.609608e-05,2.707510e-05,2.832245e-05,3.001397e-05,3.054707e-05,3.275809e-05,3.293405e-05,3.494469e-05,3.581029e-05,3.709721e-05,3.862108e-05,3.920711e-05,4.126706e-05,4.134832e-05,4.327083e-05,4.397742e-05,4.521332e-05,4.649709e-05,4.709047e-05,4.889920e-05,5.063706e-05,5.117793e-05,5.230248e-05,5.332992e-05,5.389461e-05,5.535379e-05,5.541312e-05,5.685823e-05,5.724978e-05,5.823057e-05,5.901944e-05,5.953112e-05,6.066533e-05,6.076117e-05,6.192226e-05,6.219084e-05,6.301607e-05,6.359992e-05,6.404449e-05,6.489697e-05,6.500948e-05,6.591311e-05,6.608666e-05,6.675749e-05,6.717385e-05,6.754474e-05,6.816348e-05,6.827704e-05,6.895654e-05,6.906050e-05,6.958535e-05,6.986980e-05,7.016560e-05,7.059622e-05,7.069934e-05,7.118862e-05,7.124444e-05,7.163540e-05,7.181903e-05,7.204163e-05,7.232438e-05,7.240916e-05,7.273981e-05,7.276473e-05,7.303536e-05,7.314412e-05,7.329748e-05,7.346643e-05,7.352782e-05,7.372796e-05,7.373536e-05,7.389942e-05,7.395441e-05,7.404366e-05,7.412692e-05,7.416210e-05,7.425607e-05,7.432687e-05,7.434484e-05,7.437575e-05,7.439608e-05,7.440390e-05,7.441248e-05,7.441246e-05,7.440251e-05,7.439655e-05,7.437511e-05,7.435070e-05,7.433125e-05,7.427718e-05,7.427189e-05,7.419793e-05,7.417811e-05,7.411027e-05,7.405549e-05,7.400972e-05,7.391121e-05,7.389708e-05,7.377311e-05,7.374702e-05,7.363853e-05,7.356459e-05,7.349404e-05,7.336548e-05,7.334029e-05,7.317790e-05,7.315116e-05,7.300749e-05,7.292300e-05,7.282960e-05,7.268229e-05,7.264480e-05,7.245358e-05,7.243023e-05,7.225645e-05,7.216796e-05,7.205387e-05,7.189653e-05,7.184627e-05,7.163409e-05,7.161693e-05,7.141772e-05,7.133009e-05,7.119755e-05,7.103686e-05,7.097392e-05,7.074720e-05,7.073807e-05,7.051769e-05,7.043445e-05,7.028572e-05,7.012672e-05,7.005157e-05,6.981552e-05,6.950146e-05,6.918511e-05,6.886700e-05,6.854762e-05,6.822741e-05,6.790680e-05,6.758617e-05,6.726589e-05,6.694629e-05,6.662767e-05,6.631032e-05,6.599449e-05,6.568043e-05,6.536834e-05,6.505844e-05,6.475090e-05,6.444589e-05,6.414356e-05,6.384403e-05,6.354745e-05,6.325391e-05,6.296351e-05,6.267634e-05,6.239248e-05
0.000000e+00,3.877867e-09,8.835726e-09,3.020556e-08,6.864118e-08,1.002676e-07,2.298708e-07,2.369451e-07,4.680156e-07,5.540201e-07,8.252826e-07,1.109863e-06,1.328795e-06,1.911615e-06,1.966945e-06,2.711227e-06,2.902860e-06,3.538185e-06,4.031138e-06,4.431503e-06,5.262194e-06,5.378223e-06,6.366446e-06,6.568047e-06,7.384576e-06,7.922048e-06,8.421299e-06,9.298621e-06,9.465857e-06,1.050835e-05,1.067436e-05,1.154000e-05,1.202908e-05,1.255327e-05,1.334642e-05,1.354193e-05,1.450102e-05,1.461393e-05,1.542677e-05,1.582281e-05,1.631648e-05,1.696741e-05,1.716833e-05,1.798131e-05,1.804465e-05,1.875501e-05,1.905350e-05,1.948953e-05,1.999440e-05,2.018539e-05,2.084338e-05,2.086893e-05,2.146453e-05,2.167935e-05,2.205003e-05,2.242845e-05,2.260115e-05,2.311927e-05,2.360576e-05,2.375498e-05,2.406202e-05,2.433881e-05,2.448945e-05,2.487392e-05,2.488941e-05,2.526325e-05,2.536342e-05,2.561226e-05,2.581027e-05,2.593770e-05,2.621732e-05,2.624076e-05,2.652262e-05,2.658723e-05,2.678437e-05,2.692256e-05,2.702707e-05,2.722569e-05,2.725173e-05,2.745931e-05,2.749885e-05,2.765072e-05,2.774415e-05,2.782683e-05,2.796354e-05,2.798847e-05,2.813641e-05,2.815886e-05,2.827140e-05,2.833180e-05,2.839414e-05,2.848396e-05,2.850529e-05,2.860550e-05,2.861681e-05,2.869534e-05,2.873175e-05,2.877541e-05,2.883004e-05,2.884621e-05,2.890828e-05,2.891288e-05,2.896208e-05,2.898139e-05,2.900807e-05,2.903659e-05,2.904668e-05,2.907832e-05,2.907945e-05,2.910338e-05,2.911086e-05,2.912222e-05,2.913166e-05,2.913519e-05,2.914261e-05,2.914481e-05,2.914445e-05,2.914206e-05,2.913784e-05,2.913465e-05,2.912340e-05,2.912284e-05,2.910689e-05,2.910172e-05,2.908703e-05,2.907334e-05,2.906349e-05,2.903876e-05,2.903648e-05,2.900620e-05,2.899847e-05,2.897285e-05,2.895289e-05,2.893660e-05,2.890244e-05,2.889763e-05,2.885610e-05,2.884750e-05,2.881217e-05,2.878843e-05,2.876599e-05,2.872556e-05,2.871769e-05,2.866742e-05,2.865920e-05,2.861528e-05,2.858964e-05,2.856142e-05,2.851716e-05,2.850593e-05,2.844894e-05,2.844200e-05,2.839053e-05,2.836441e-05,2.833082e-05,2.828461e-05,2.826988e-05,2.820782e-05,2.820281e-05,2.814472e-05,2.811920e-05,2.808065e-05,2.803396e-05,2.801569e-05,2.794991e-05,2.794727e-05,2.788339e-05,2.785927e-05,2.781619e-05,2.777013e-05,2.774836e-05,2.767998e-05,2.758895e-05,2.749717e-05,2.740474e-05,2.731178e-05,2.721839e-05,2.712466e-05,2.703067e-05,2.693652e-05,2.684228e-05,2.674801e-05,2.665380e-05,2.655969e-05,2.646575e-05,2.637204e-05,2.627860e-05,2.618548e-05,2.609273e-05,2.600039e-05,2.590850e-05,2.581709e-05,2.572619e-05,2.563585e-05,2.554608e-05,2.545691e-05
0.000000e+00,2.337939e-09,5.340241e-09,1.831419e-08,4.159984e-08,6.064378e-08,1.373047e-07,1.414241e-07,2.726642e-07,3.201314e-07,4.668092e-07,6.189372e-07,7.370036e-07,1.064153e-06,1.096483e-06,1.556158e-06,1.682090e-06,2.120776e-06,2.481886e-06,2.787161e-06,3.451076e-06,3.546832e-06,4.389847e-06,4.567605e-06,5.306758e-06,5.809853e-06,6.288893e-06,7.158299e-06,7.328071e-06,8.416299e-06,8.594436e-06,9.545614e-06,1.009994e-05,1.070805e-05,1.165652e-05,1.189569e-05,1.310078e-05,1.324620e-05,1.431583e-05,1.485177e-05,1.553375e-05,1.645721e-05,1.674794e-05,1.795236e-05,1.804813e-05,1.914159e-05,1.961194e-05,2.031087e-05,2.113802e-05,2.145601e-05,2.257350e-05,2.261758e-05,2.366045e-05,2.404380e-05,2.471449e-05,2.541149e-05,2.573380e-05,2.671704e-05,2.766324e-05,2.795810e-05,2.857184e-05,2.913348e-05,2.944259e-05,3.024291e-05,3.027550e-05,3.107082e-05,3.128683e-05,3.182899e-05,3.226629e-05,3.255059e-05,3.318279e-05,3.323635e-05,3.388711e-05,3.403818e-05,3.450375e-05,3.483454e-05,3.508726e-05,3.557413e-05,3.563863e-05,3.615891e-05,3.625933e-05,3.664915e-05,3.689255e-05,3.711040e-05,3.747623e-05,3.754373e-05,3.795019e-05,3.801280e-05,3.833083e-05,3.850466e-05,3.868666e-05,3.895413e-05,3.901868e-05,3.932788e-05,3.936350e-05,3.961521e-05,3.973495e-05,3.988160e-05,4.007061e-05,4.012795e-05,4.035513e-05,4.037250e-05,4.056399e-05,4.064258e-05,4.075534e-05,4.088271e-05,4.092996e-05,4.108863e-05,4.109465e-05,4.123206e-05,4.128011e-05,4.136097e-05,4.144068e-05,4.147604e-05,4.157790e-05,4.166719e-05,4.169321e-05,4.174451e-05,4.178799e-05,4.181044e-05,4.186353e-05,4.186553e-05,4.191032e-05,4.192108e-05,4.194530e-05,4.196179e-05,4.197097e-05,4.198677e-05,4.198780e-05,4.199624e-05,4.199707e-05,4.199672e-05,4.199366e-05,4.198964e-05,4.197748e-05,4.197540e-05,4.195439e-05,4.194940e-05,4.192695e-05,4.191026e-05,4.189344e-05,4.186083e-05,4.185418e-05,4.180949e-05,4.180186e-05,4.175968e-05,4.173404e-05,4.170503e-05,4.165802e-05,4.164583e-05,4.158232e-05,4.157442e-05,4.151477e-05,4.148383e-05,4.144342e-05,4.138679e-05,4.136849e-05,4.129021e-05,4.128381e-05,4.120879e-05,4.117539e-05,4.112443e-05,4.106197e-05,4.103731e-05,4.094764e-05,4.094400e-05,4.085556e-05,4.082187e-05,4.076127e-05,4.069596e-05,4.066491e-05,4.056663e-05,4.043422e-05,4.029904e-05,4.016139e-05,4.002154e-05,3.987976e-05,3.973629e-05,3.959137e-05,3.944520e-05,3.929798e-05,3.914992e-05,3.900117e-05,3.885192e-05,3.870230e-05,3.855248e-05,3.840257e-05,3.825272e-05,3.810303e-05,3.795362e-05,3.780458e-05,3.765601e-05,3.750800e-05,3.736064e-05,3.721399e-05,3.706812e-05
0.000000e+00,4.042469e-09,9.204545e-09,3.135581e-08,7.077457e-08,1.028065e-07,2.305299e-07,2.373492e-07,4.528558e-07,5.300857e-07,7.667616e-07,1.009500e-06,1.196226e-06,1.707320e-06,1.757399e-06,2.463249e-06,2.655045e-06,3.319583e-06,3.863190e-06,4.320375e-06,5.305345e-06,5.446132e-06,6.668264e-06,6.921551e-06,7.956531e-06,8.643501e-06,9.284225e-06,1.041392e-05,1.062961e-05,1.197540e-05,1.218980e-05,1.330779e-05,1.393923e-05,1.461569e-05,1.563833e-05,1.589020e-05,1.712427e-05,1.726937e-05,1.831247e-05,1.881966e-05,1.945077e-05,2.028077e-05,2.053641e-05,2.156768e-05,2.164781e-05,2.254381e-05,2.291880e-05,2.346477e-05,2.409402e-05,2.433117e-05,2.514407e-05,2.517549e-05,2.590494e-05,2.616645e-05,2.661552e-05,2.707097e-05,2.727775e-05,2.789369e-05,2.846549e-05,2.863949e-05,2.899531e-05,2.931337e-05,2.948533e-05,2.992028e-05,2.993768e-05,3.035445e-05,3.046504e-05,3.073765e-05,3.095228e-05,3.108925e-05,3.138640e-05,3.141109e-05,3.170497e-05,3.177153e-05,3.197258e-05,3.211156e-05,3.221552e-05,3.241012e-05,3.243532e-05,3.263343e-05,3.267056e-05,3.281118e-05,3.289601e-05,3.296988e-05,3.308935e-05,3.311073e-05,3.323486e-05,3.325324e-05,3.334333e-05,3.339014e-05,3.343716e-05,3.350232e-05,3.351729e-05,3.358460e-05,3.359186e-05,3.363993e-05,3.366068e-05,3.368405e-05,3.371055e-05,3.371771e-05,3.374159e-05,3.374309e-05,3.375633e-05,3.375980e-05,3.376254e-05,3.376206e-05,3.376080e-05,3.375164e-05,3.375112e-05,3.373555e-05,3.372816e-05,3.371302e-05,3.369424e-05,3.368448e-05,3.365035e-05,3.361102e-05,3.359740e-05,3.356686e-05,3.353622e-05,3.351821e-05,3.346758e-05,3.346539e-05,3.340871e-05,3.339219e-05,3.334845e-05,3.331069e-05,3.328489e-05,3.322370e-05,3.321827e-05,3.314883e-05,3.313177e-05,3.307679e-05,3.303540e-05,3.300237e-05,3.293507e-05,3.292576e-05,3.284715e-05,3.283121e-05,3.276671e-05,3.272421e-05,3.268461e-05,3.261446e-05,3.260099e-05,3.251601e-05,3.250229e-05,3.242979e-05,3.238801e-05,3.234248e-05,3.227192e-05,3.225419e-05,3.216504e-05,3.215428e-05,3.207512e-05,3.203534e-05,3.198455e-05,3.191533e-05,3.189341e-05,3.180180e-05,3.179445e-05,3.170980e-05,3.167290e-05,3.161748e-05,3.155087e-05,3.152493e-05,3.143221e-05,3.142850e-05,3.133939e-05,3.130596e-05,3.124653e-05,3.118339e-05,3.115369e-05,3.106091e-05,3.093865e-05,3.081671e-05,3.069519e-05,3.057418e-05,3.045377e-05,3.033404e-05,3.021505e-05,3.009688e-05,2.997957e-05,2.986319e-05,2.974778e-05,2.963338e-05,2.952004e-05,2.940780e-05,2.929668e-05,2.918671e-05,2.907792e-05,2.897033e-05,2.886397e-05,2.875884e-05,2.865496e-05,2.855235e-05,2.845102e-05,2.835097e-05
0.000000e+00,4.957218e-09,1.123651e-08,3.791714e-08,8.484029e-08,1.226448e-07,2.715999e-07,2.794925e-07,5.267978e-07,6.146476e-07,8.820828e-07,1.154183e-06,1.362210e-06,1.925550e-06,1.980199e-06,2.737377e-06,2.938470e-06,3.619396e-06,4.159622e-06,4.604143e-06,5.538947e-06,5.670628e-06,6.801092e-06,7.033465e-06,7.979918e-06,8.607149e-06,9.192496e-06,1.022679e-05,1.042469e-05,1.166280e-05,1.186057e-05,1.289375e-05,1.347843e-05,1.410533e-05,1.505322e-05,1.528656e-05,1.642783e-05,1.656170e-05,1.752110e-05,1.798521e-05,1.855993e-05,1.931000e-05,1.953949e-05,2.045645e-05,2.052704e-05,2.130889e-05,2.163160e-05,2.209609e-05,2.262265e-05,2.281842e-05,2.347710e-05,2.350215e-05,2.407407e-05,2.427433e-05,2.461179e-05,2.494506e-05,2.509314e-05,2.552124e-05,2.589938e-05,2.601038e-05,2.623091e-05,2.642018e-05,2.651919e-05,2.675830e-05,2.676750e-05,2.697903e-05,2.703208e-05,2.715682e-05,2.724850e-05,2.730376e-05,2.741403e-05,2.742256e-05,2.751577e-05,2.753459e-05,2.758574e-05,2.761560e-05,2.763466e-05,2.766191e-05,2.766455e-05,2.767725e-05,2.767788e-05,2.767446e-05,2.766741e-05,2.765773e-05,2.763393e-05,2.762846e-05,2.758795e-05,2.758051e-05,2.753737e-05,2.750983e-05,2.747778e-05,2.742427e-05,2.741015e-05,2.733534e-05,2.732592e-05,2.725416e-05,2.721660e-05,2.716732e-05,2.709794e-05,2.707548e-05,2.697923e-05,2.697136e-05,2.687911e-05,2.683809e-05,2.677561e-05,2.669924e-05,2.666917e-05,2.656019e-05,2.655578e-05,2.644904e-05,2.640856e-05,2.633605e-05,2.625832e-05,2.622152e-05,2.610572e-05,2.598892e-05,2.595136e-05,2.587132e-05,2.579575e-05,2.575315e-05,2.563933e-05,2.563458e-05,2.551579e-05,2.548251e-05,2.539693e-05,2.532564e-05,2.527815e-05,2.516904e-05,2.515957e-05,2.504131e-05,2.501299e-05,2.492348e-05,2.485771e-05,2.480617e-05,2.470344e-05,2.468947e-05,2.457346e-05,2.455035e-05,2.445822e-05,2.439861e-05,2.434380e-05,2.424837e-05,2.423027e-05,2.411768e-05,2.409976e-05,2.400608e-05,2.395287e-05,2.389550e-05,2.380781e-05,2.378599e-05,2.367759e-05,2.366465e-05,2.357031e-05,2.352347e-05,2.346419e-05,2.338433e-05,2.335925e-05,2.325552e-05,2.324727e-05,2.315300e-05,2.311234e-05,2.305171e-05,2.297956e-05,2.295167e-05,2.285289e-05,2.284896e-05,2.275537e-05,2.272057e-05,2.265911e-05,2.259439e-05,2.256413e-05,2.247043e-05,2.234870e-05,2.222919e-05,2.211190e-05,2.199683e-05,2.188396e-05,2.177327e-05,2.166476e-05,2.155840e-05,2.145418e-05,2.135206e-05,2.125204e-05,2.115408e-05,2.105815e-05,2.096424e-05,2.087231e-05,2.078233e-05,2.069428e-05,2.060812e-05,2.052383e-05,2.044137e-05,2.036071e-05,2.028183e-05,2.020469e-05,2.012925e-05
0.000000e+00,3.865149e-09,8.726864e-09,2.920937e-08,6.487091e-08,9.339300e-08,2.046318e-07,2.104869e-07,3.925376e-07,4.566704e-07,6.506048e-07,8.463648e-07,9.952788e-07,1.397039e-06,1.436000e-06,1.977909e-06,2.122767e-06,2.616107e-06,3.009279e-06,3.332622e-06,4.007787e-06,4.102078e-06,4.900488e-06,5.061905e-06,5.709173e-06,6.129015e-06,6.514321e-06,7.180197e-06,7.305482e-06,8.074413e-06,8.194914e-06,8.814440e-06,9.157759e-06,9.520174e-06,1.005719e-05,1.018739e-05,1.081297e-05,1.088513e-05,1.139483e-05,1.163669e-05,1.193190e-05,1.230994e-05,1.242395e-05,1.287153e-05,1.290545e-05,1.327582e-05,1.342578e-05,1.363851e-05,1.387503e-05,1.396165e-05,1.424756e-05,1.425826e-05,1.449874e-05,1.458116e-05,1.471775e-05,1.484959e-05,1.490711e-05,1.506933e-05,1.520682e-05,1.524598e-05,1.532188e-05,1.538474e-05,1.541664e-05,1.549038e-05,1.549311e-05,1.555313e-05,1.556723e-05,1.559840e-05,1.561913e-05,1.563046e-05,1.564950e-05,1.565071e-05,1.566042e-05,1.566132e-05,1.566075e-05,1.565722e-05,1.565272e-05,1.563946e-05,1.563724e-05,1.561515e-05,1.561000e-05,1.558716e-05,1.557051e-05,1.555396e-05,1.552247e-05,1.551613e-05,1.547419e-05,1.546713e-05,1.542862e-05,1.540558e-05,1.537983e-05,1.533874e-05,1.532821e-05,1.527409e-05,1.526745e-05,1.521779e-05,1.519239e-05,1.515957e-05,1.511421e-05,1.509970e-05,1.503838e-05,1.503342e-05,1.497584e-05,1.495051e-05,1.491223e-05,1.486588e-05,1.484774e-05,1.478252e-05,1.477990e-05,1.471670e-05,1.469288e-05,1.465040e-05,1.460511e-05,1.458375e-05,1.451683e-05,1.444976e-05,1.442827e-05,1.438260e-05,1.433961e-05,1.431544e-05,1.425104e-05,1.424836e-05,1.418141e-05,1.416270e-05,1.411466e-05,1.407472e-05,1.404815e-05,1.398723e-05,1.398195e-05,1.391609e-05,1.390034e-05,1.385062e-05,1.381414e-05,1.378557e-05,1.372870e-05,1.372098e-05,1.365687e-05,1.364411e-05,1.359328e-05,1.356043e-05,1.353023e-05,1.347771e-05,1.346775e-05,1.340584e-05,1.339600e-05,1.334455e-05,1.331534e-05,1.328386e-05,1.323577e-05,1.322382e-05,1.316441e-05,1.315733e-05,1.310567e-05,1.308003e-05,1.304759e-05,1.300390e-05,1.299019e-05,1.293347e-05,1.292896e-05,1.287744e-05,1.285522e-05,1.282210e-05,1.278269e-05,1.276746e-05,1.271352e-05,1.271138e-05,1.266028e-05,1.264129e-05,1.260775e-05,1.257242e-05,1.255591e-05,1.250479e-05,1.243837e-05,1.237318e-05,1.230920e-05,1.224644e-05,1.218487e-05,1.212449e-05,1.206530e-05,1.200728e-05,1.195041e-05,1.189469e-05,1.184010e-05,1.178662e-05,1.173425e-05,1.168297e-05,1.163276e-05,1.158360e-05,1.153549e-05,1.148840e-05,1.144231e-05,1.139722e-05,1.135310e-05,1.130993e-05,1.126771e-05,1.122641e-05
0.000000e+00,5.453256e-09,1.248444e-08,4.304631e-08,9.836623e-08,1.439512e-07,3.299342e-07,3.400282e-07,6.662254e-07,7.862051e-07,1.162753e-06,1.561283e-06,1.875204e-06,2.760253e-06,2.848587e-06,4.112387e-06,4.459601e-06,5.667252e-06,6.657070e-06,7.490377e-06,9.292915e-06,9.551959e-06,1.182501e-05,1.230294e-05,1.428686e-05,1.563501e-05,1.691774e-05,1.924479e-05,1.969919e-05,2.261317e-05,2.309050e-05,2.564168e-05,2.713076e-05,2.876674e-05,3.132433e-05,3.197056e-05,3.523583e-05,3.563099e-05,3.854593e-05,4.001251e-05,4.188523e-05,4.443364e-05,4.523920e-05,4.859459e-05,4.886272e-05,5.193945e-05,5.327202e-05,5.526315e-05,5.763784e-05,5.855638e-05,6.181103e-05,6.194031e-05,6.502017e-05,6.616316e-05,6.817794e-05,7.029334e-05,7.127943e-05,7.432059e-05,7.729814e-05,7.823708e-05,8.020948e-05,8.203704e-05,8.305260e-05,8.571640e-05,8.582598e-05,8.852856e-05,8.927250e-05,9.115965e-05,9.270382e-05,9.371888e-05,9.600983e-05,9.620616e-05,9.862164e-05,9.919070e-05,1.009656e-04,1.022473e-04,1.032387e-04,1.051808e-04,1.054414e-04,1.075746e-04,1.079930e-04,1.096392e-04,1.106859e-04,1.116360e-04,1.132618e-04,1.135662e-04,1.154307e-04,1.157230e-04,1.172308e-04,1.180723e-04,1.189676e-04,1.203122e-04,1.206422e-04,1.222560e-04,1.224456e-04,1.238101e-04,1.244753e-04,1.253058e-04,1.264042e-04,1.267443e-04,1.281269e-04,1.282352e-04,1.294550e-04,1.299711e-04,1.307296e-04,1.316150e-04,1.319521e-04,1.331237e-04,1.331696e-04,1.342457e-04,1.346378e-04,1.353194e-04,1.360224e-04,1.363458e-04,1.373262e-04,1.382619e-04,1.385520e-04,1.391539e-04,1.397025e-04,1.400035e-04,1.407802e-04,1.408118e-04,1.415798e-04,1.417879e-04,1.423089e-04,1.427280e-04,1.429999e-04,1.436030e-04,1.436540e-04,1.442722e-04,1.444154e-04,1.448556e-04,1.451675e-04,1.454052e-04,1.458617e-04,1.459220e-04,1.464069e-04,1.465002e-04,1.468610e-04,1.470852e-04,1.472850e-04,1.476188e-04,1.476801e-04,1.480469e-04,1.481031e-04,1.483865e-04,1.485401e-04,1.486998e-04,1.489319e-04,1.489874e-04,1.492503e-04,1.492802e-04,1.494892e-04,1.495869e-04,1.497049e-04,1.498539e-04,1.498983e-04,1.500700e-04,1.500828e-04,1.502207e-04,1.502753e-04,1.503513e-04,1.504331e-04,1.504623e-04,1.505544e-04,1.505577e-04,1.506284e-04,1.506507e-04,1.506848e-04,1.507134e-04,1.507243e-04,1.507474e-04,1.507540e-04,1.507345e-04,1.506902e-04,1.506224e-04,1.505321e-04,1.504207e-04,1.502891e-04,1.501384e-04,1.499697e-04,1.497840e-04,1.495821e-04,1.493651e-04,1.491338e-04,1.488890e-04,1.486316e-04,1.483623e-04,1.480819e-04,1.477911e-04,1.474906e-04,1.471810e-04,1.468631e-04,1.465374e-04,1.462045e-04,1.458649e-04
0.000000e+00,5.571504e-09,1.271109e-08,4.352699e-08,9.890296e-08,1.443421e-07,3.290936e-07,3.391117e-07,6.633478e-07,7.830057e-07,1.160107e-06,1.560921e-06,1.876594e-06,2.756767e-06,2.843335e-06,4.049728e-06,4.370745e-06,5.457090e-06,6.318533e-06,7.027759e-06,8.522796e-06,8.733963e-06,1.055472e-05,1.093100e-05,1.247198e-05,1.350137e-05,1.446851e-05,1.619422e-05,1.652703e-05,1.863005e-05,1.896950e-05,2.076014e-05,2.178718e-05,2.290028e-05,2.460871e-05,2.503428e-05,2.714714e-05,2.739861e-05,2.922535e-05,3.012566e-05,3.125702e-05,3.276364e-05,3.323198e-05,3.514183e-05,3.529159e-05,3.697981e-05,3.769367e-05,3.874076e-05,3.995880e-05,4.042095e-05,4.201792e-05,4.208005e-05,4.353036e-05,4.405405e-05,4.495791e-05,4.588035e-05,4.630101e-05,4.756079e-05,4.873889e-05,4.909897e-05,4.983743e-05,5.049984e-05,5.085881e-05,5.176923e-05,5.180571e-05,5.268096e-05,5.291359e-05,5.348752e-05,5.393973e-05,5.422840e-05,5.485462e-05,5.490664e-05,5.552528e-05,5.566522e-05,5.608731e-05,5.637841e-05,5.659566e-05,5.700089e-05,5.705320e-05,5.746272e-05,5.753910e-05,5.782690e-05,5.799922e-05,5.814834e-05,5.838714e-05,5.842953e-05,5.867285e-05,5.870843e-05,5.888060e-05,5.896833e-05,5.905496e-05,5.917180e-05,5.919800e-05,5.931170e-05,5.932347e-05,5.939796e-05,5.942768e-05,5.945856e-05,5.948849e-05,5.949519e-05,5.950947e-05,5.950969e-05,5.950291e-05,5.949479e-05,5.947697e-05,5.944706e-05,5.943301e-05,5.937233e-05,5.936957e-05,5.929613e-05,5.926512e-05,5.920557e-05,5.913635e-05,5.910174e-05,5.898567e-05,5.885832e-05,5.881534e-05,5.872060e-05,5.862742e-05,5.857338e-05,5.842385e-05,5.841746e-05,5.825360e-05,5.820640e-05,5.808252e-05,5.797669e-05,5.790489e-05,5.773624e-05,5.772135e-05,5.753248e-05,5.748643e-05,5.733886e-05,5.722854e-05,5.714099e-05,5.696375e-05,5.693938e-05,5.673448e-05,5.669314e-05,5.652673e-05,5.641770e-05,5.631652e-05,5.613833e-05,5.610424e-05,5.589025e-05,5.585587e-05,5.567486e-05,5.557107e-05,5.545840e-05,5.528464e-05,5.524114e-05,5.502336e-05,5.499720e-05,5.480530e-05,5.470934e-05,5.458721e-05,5.442157e-05,5.436929e-05,5.415176e-05,5.413437e-05,5.393478e-05,5.384819e-05,5.371854e-05,5.356340e-05,5.350320e-05,5.328891e-05,5.328036e-05,5.307580e-05,5.299939e-05,5.286399e-05,5.272077e-05,5.265361e-05,5.244476e-05,5.217158e-05,5.190144e-05,5.163451e-05,5.137095e-05,5.111090e-05,5.085447e-05,5.060177e-05,5.035288e-05,5.010787e-05,4.986681e-05,4.962973e-05,4.939667e-05,4.916766e-05,4.894271e-05,4.872183e-05,4.850503e-05,4.829230e-05,4.808362e-05,4.787897e-05,4.767834e-05,4.748169e-05,4.728899e-05,4.710021e-05,4.691531e-05
0.000000e+00,3.516674e-09,8.039457e-09,2.762433e-08,6.287678e-08,9.177972e-08,2.086409e-07,2.149410e-07,4.166007e-07,4.899441e-07,7.177370e-07,9.555143e-07,1.140845e-06,1.656181e-06,1.707143e-06,2.429462e-06,2.626131e-06,3.305840e-06,3.858950e-06,4.322357e-06,5.318833e-06,5.461430e-06,6.706641e-06,6.967115e-06,8.043467e-06,8.770386e-06,9.458638e-06,1.069870e-05,1.093955e-05,1.247401e-05,1.272369e-05,1.405018e-05,1.481820e-05,1.565672e-05,1.695660e-05,1.728293e-05,1.891888e-05,1.911541e-05,2.055552e-05,2.127375e-05,2.218478e-05,2.341367e-05,2.379954e-05,2.539369e-05,2.552016e-05,2.696200e-05,2.758110e-05,2.850017e-05,2.958696e-05,3.000464e-05,3.147258e-05,3.153051e-05,3.290181e-05,3.340652e-05,3.429067e-05,3.521142e-05,3.563799e-05,3.694302e-05,3.820533e-05,3.860022e-05,3.942479e-05,4.018280e-05,4.060152e-05,4.169127e-05,4.173584e-05,4.282823e-05,4.312667e-05,4.387931e-05,4.449042e-05,4.488979e-05,4.578427e-05,4.586048e-05,4.679224e-05,4.701017e-05,4.768599e-05,4.817025e-05,4.854269e-05,4.926672e-05,4.936332e-05,5.014888e-05,5.030187e-05,5.090037e-05,5.127802e-05,5.161881e-05,5.219750e-05,5.230521e-05,5.296057e-05,5.306261e-05,5.358589e-05,5.387566e-05,5.418214e-05,5.463888e-05,5.475031e-05,5.529135e-05,5.535449e-05,5.580618e-05,5.602465e-05,5.629573e-05,5.665143e-05,5.676090e-05,5.720255e-05,5.723689e-05,5.762155e-05,5.778300e-05,5.801873e-05,5.829165e-05,5.839491e-05,5.875087e-05,5.876470e-05,5.908738e-05,5.920391e-05,5.940520e-05,5.961100e-05,5.970504e-05,5.998762e-05,6.025361e-05,6.033534e-05,6.050369e-05,6.065568e-05,6.073849e-05,6.095010e-05,6.095863e-05,6.116472e-05,6.121999e-05,6.135734e-05,6.146669e-05,6.153706e-05,6.169147e-05,6.170442e-05,6.185995e-05,6.189557e-05,6.200415e-05,6.208014e-05,6.213752e-05,6.224630e-05,6.226053e-05,6.237365e-05,6.239512e-05,6.247731e-05,6.252761e-05,6.257194e-05,6.264475e-05,6.265795e-05,6.273573e-05,6.274744e-05,6.280568e-05,6.283658e-05,6.286816e-05,6.291300e-05,6.292352e-05,6.297210e-05,6.297749e-05,6.301423e-05,6.303080e-05,6.305023e-05,6.307367e-05,6.308040e-05,6.310503e-05,6.310677e-05,6.312441e-05,6.313075e-05,6.313881e-05,6.314623e-05,6.314848e-05,6.315367e-05,6.315379e-05,6.315462e-05,6.315398e-05,6.315157e-05,6.314732e-05,6.314474e-05,6.313432e-05,6.311545e-05,6.309114e-05,6.306183e-05,6.302790e-05,6.298974e-05,6.294769e-05,6.290210e-05,6.285327e-05,6.280152e-05,6.274710e-05,6.269030e-05,6.263136e-05,6.257050e-05,6.250796e-05,6.244394e-05,6.237862e-05,6.231220e-05,6.224483e-05,6.217669e-05,6.210791e-05,6.203863e-05,6.196899e-05,6.189910e-05,6.182907e-05
0.000000e+00,3.650054e-09,8.346784e-09,2.872285e-08,6.556322e-08,9.592742e-08,2.201466e-07,2.269083e-07,4.466733e-07,5.281111e-07,7.854963e-07,1.059918e-06,1.276563e-06,1.883650e-06,1.943662e-06,2.787038e-06,3.013810e-06,3.788509e-06,4.410382e-06,4.926995e-06,6.028480e-06,6.185336e-06,7.549908e-06,7.834511e-06,9.008819e-06,9.800943e-06,1.055064e-05,1.190137e-05,1.216378e-05,1.383634e-05,1.410865e-05,1.555618e-05,1.639493e-05,1.731119e-05,1.873253e-05,1.908949e-05,2.087965e-05,2.109475e-05,2.267106e-05,2.345711e-05,2.445393e-05,2.579778e-05,2.621951e-05,2.796004e-05,2.809799e-05,2.966881e-05,3.034213e-05,3.134018e-05,3.251775e-05,3.296948e-05,3.455292e-05,3.461526e-05,3.608755e-05,3.662761e-05,3.757112e-05,3.854995e-05,3.900204e-05,4.037926e-05,4.170222e-05,4.211408e-05,4.297076e-05,4.375414e-05,4.418506e-05,4.530017e-05,4.534557e-05,4.645298e-05,4.675365e-05,4.750816e-05,4.811663e-05,4.851216e-05,4.939159e-05,4.946610e-05,5.037122e-05,5.058132e-05,5.122882e-05,5.168882e-05,5.204025e-05,5.271723e-05,5.280691e-05,5.353018e-05,5.366975e-05,5.421148e-05,5.454964e-05,5.485222e-05,5.536013e-05,5.545381e-05,5.601764e-05,5.610444e-05,5.654508e-05,5.678572e-05,5.703747e-05,5.740706e-05,5.749616e-05,5.792243e-05,5.797147e-05,5.831756e-05,5.848187e-05,5.868278e-05,5.894109e-05,5.901930e-05,5.932830e-05,5.935187e-05,5.961092e-05,5.971683e-05,5.986826e-05,6.003850e-05,6.010141e-05,6.031140e-05,6.031933e-05,6.049925e-05,6.056164e-05,6.066593e-05,6.076767e-05,6.081239e-05,6.093955e-05,6.104829e-05,6.107933e-05,6.113946e-05,6.118897e-05,6.121388e-05,6.127031e-05,6.127235e-05,6.131564e-05,6.132514e-05,6.134448e-05,6.135515e-05,6.135958e-05,6.136194e-05,6.136164e-05,6.135130e-05,6.134705e-05,6.132921e-05,6.131193e-05,6.129596e-05,6.125796e-05,6.125216e-05,6.119837e-05,6.118646e-05,6.113512e-05,6.109867e-05,6.106294e-05,6.099577e-05,6.098232e-05,6.089375e-05,6.087888e-05,6.079770e-05,6.074906e-05,6.069459e-05,6.060731e-05,6.058485e-05,6.046890e-05,6.045458e-05,6.034711e-05,6.029178e-05,6.021987e-05,6.011974e-05,6.008753e-05,5.995043e-05,5.993927e-05,5.980890e-05,5.975112e-05,5.966326e-05,5.955602e-05,5.951380e-05,5.936081e-05,5.935462e-05,5.920457e-05,5.914757e-05,5.904533e-05,5.893546e-05,5.888335e-05,5.871886e-05,5.849829e-05,5.827425e-05,5.804721e-05,5.781760e-05,5.758584e-05,5.735231e-05,5.711737e-05,5.688136e-05,5.664460e-05,5.640737e-05,5.616997e-05,5.593263e-05,5.569560e-05,5.545911e-05,5.522335e-05,5.498852e-05,5.475479e-05,5.452234e-05,5.429131e-05,5.406183e-05,5.383404e-05,5.360806e-05,5.338398e-05,5.316192e-05
0.000000e+00,3.623657e-09,8.261009e-09,2.823060e-08,6.396911e-08,9.316912e-08,2.108221e-07,2.171549e-07,4.197213e-07,4.934016e-07,7.224997e-07,9.622818e-07,1.149793e-06,1.675138e-06,1.727475e-06,2.478549e-06,2.686263e-06,3.414431e-06,4.016890e-06,4.526402e-06,5.628753e-06,5.786630e-06,7.159353e-06,7.444366e-06,8.611368e-06,9.388608e-06,1.011590e-05,1.140491e-05,1.165211e-05,1.320336e-05,1.345201e-05,1.475587e-05,1.549798e-05,1.629779e-05,1.751666e-05,1.781870e-05,1.930948e-05,1.948596e-05,2.076214e-05,2.138743e-05,2.216985e-05,2.320609e-05,2.352690e-05,2.482869e-05,2.493033e-05,2.607169e-05,2.655182e-05,2.725332e-05,2.806510e-05,2.837187e-05,2.942649e-05,2.946734e-05,3.041699e-05,3.075794e-05,3.134381e-05,3.193814e-05,3.220790e-05,3.301060e-05,3.375362e-05,3.397909e-05,3.443890e-05,3.484816e-05,3.506858e-05,3.562288e-05,3.564494e-05,3.617035e-05,3.630866e-05,3.664722e-05,3.691105e-05,3.707798e-05,3.743563e-05,3.746504e-05,3.781078e-05,3.788786e-05,3.811750e-05,3.827307e-05,3.838747e-05,3.859638e-05,3.862287e-05,3.882579e-05,3.886265e-05,3.899824e-05,3.907651e-05,3.914214e-05,3.924229e-05,3.925932e-05,3.935153e-05,3.936408e-05,3.942042e-05,3.944567e-05,3.946756e-05,3.949062e-05,3.949444e-05,3.950246e-05,3.950222e-05,3.949295e-05,3.948354e-05,3.946716e-05,3.943740e-05,3.942627e-05,3.937138e-05,3.936642e-05,3.930355e-05,3.927302e-05,3.922377e-05,3.915944e-05,3.913294e-05,3.903196e-05,3.902772e-05,3.892162e-05,3.887976e-05,3.880271e-05,3.871731e-05,3.867593e-05,3.854196e-05,3.840144e-05,3.835519e-05,3.825496e-05,3.815835e-05,3.810308e-05,3.795267e-05,3.794631e-05,3.778515e-05,3.773930e-05,3.762004e-05,3.751927e-05,3.745142e-05,3.729354e-05,3.727969e-05,3.710522e-05,3.706298e-05,3.692835e-05,3.682838e-05,3.674942e-05,3.659049e-05,3.656872e-05,3.638655e-05,3.634996e-05,3.620315e-05,3.610739e-05,3.601879e-05,3.586335e-05,3.583369e-05,3.564807e-05,3.561833e-05,3.546211e-05,3.537279e-05,3.527601e-05,3.512715e-05,3.508994e-05,3.490406e-05,3.488177e-05,3.471851e-05,3.463701e-05,3.453343e-05,3.439317e-05,3.434895e-05,3.416519e-05,3.415052e-05,3.398225e-05,3.390932e-05,3.380022e-05,3.366979e-05,3.361921e-05,3.343930e-05,3.343213e-05,3.326056e-05,3.319652e-05,3.308307e-05,3.296311e-05,3.290688e-05,3.273206e-05,3.250348e-05,3.227748e-05,3.205416e-05,3.183361e-05,3.161588e-05,3.140104e-05,3.118915e-05,3.098024e-05,3.077434e-05,3.057148e-05,3.037168e-05,3.017494e-05,2.998128e-05,2.979070e-05,2.960319e-05,2.941875e-05,2.923736e-05,2.905901e-05,2.888367e-05,2.871134e-05,2.854198e-05,2.837556e-05,2.821207e-05,2.805146e-05
0.000000e+00,2.759333e-09,6.259907e-09,2.116526e-08,4.745792e-08,6.869698e-08,1.527761e-07,1.572471e-07,2.980679e-07,3.484105e-07,5.026076e-07,6.608322e-07,7.826145e-07,1.115366e-06,1.147839e-06,1.600252e-06,1.720974e-06,2.130716e-06,2.456344e-06,2.724403e-06,3.288062e-06,3.367441e-06,4.048677e-06,4.188674e-06,4.758889e-06,5.136899e-06,5.489854e-06,6.114218e-06,6.233814e-06,6.983310e-06,7.103261e-06,7.731207e-06,8.087641e-06,8.470799e-06,9.052336e-06,9.195933e-06,9.901138e-06,9.984192e-06,1.058171e-05,1.087231e-05,1.123372e-05,1.170824e-05,1.185412e-05,1.244062e-05,1.248603e-05,1.299174e-05,1.320207e-05,1.350662e-05,1.385475e-05,1.398504e-05,1.442728e-05,1.444423e-05,1.483403e-05,1.497196e-05,1.520633e-05,1.544046e-05,1.554547e-05,1.585295e-05,1.613041e-05,1.621315e-05,1.637958e-05,1.652496e-05,1.660211e-05,1.679230e-05,1.679975e-05,1.697418e-05,1.701909e-05,1.712707e-05,1.720913e-05,1.726002e-05,1.736605e-05,1.737457e-05,1.747214e-05,1.749318e-05,1.755410e-05,1.759365e-05,1.762171e-05,1.767029e-05,1.767617e-05,1.771856e-05,1.772569e-05,1.774992e-05,1.776219e-05,1.777119e-05,1.778189e-05,1.778324e-05,1.778686e-05,1.778671e-05,1.778280e-05,1.777832e-05,1.777173e-05,1.775825e-05,1.775428e-05,1.773101e-05,1.772785e-05,1.770246e-05,1.768834e-05,1.766909e-05,1.764079e-05,1.763136e-05,1.758967e-05,1.758617e-05,1.754438e-05,1.752534e-05,1.749585e-05,1.745907e-05,1.744438e-05,1.739026e-05,1.738804e-05,1.733375e-05,1.731287e-05,1.727510e-05,1.723410e-05,1.721453e-05,1.715224e-05,1.708843e-05,1.706772e-05,1.702327e-05,1.698094e-05,1.695692e-05,1.689224e-05,1.688953e-05,1.682124e-05,1.680197e-05,1.675216e-05,1.671039e-05,1.668243e-05,1.661778e-05,1.661214e-05,1.654139e-05,1.652435e-05,1.647028e-05,1.643034e-05,1.639890e-05,1.633591e-05,1.632731e-05,1.625560e-05,1.624125e-05,1.618383e-05,1.614651e-05,1.611206e-05,1.605182e-05,1.604035e-05,1.596876e-05,1.595732e-05,1.589733e-05,1.586311e-05,1.582610e-05,1.576930e-05,1.575512e-05,1.568444e-05,1.567597e-05,1.561407e-05,1.558322e-05,1.554406e-05,1.549111e-05,1.547444e-05,1.540523e-05,1.539971e-05,1.533646e-05,1.530908e-05,1.526815e-05,1.521927e-05,1.520033e-05,1.513301e-05,1.513033e-05,1.506622e-05,1.504230e-05,1.499996e-05,1.495522e-05,1.493425e-05,1.486911e-05,1.478401e-05,1.469994e-05,1.461692e-05,1.453497e-05,1.445411e-05,1.437434e-05,1.429567e-05,1.421812e-05,1.414169e-05,1.406638e-05,1.399219e-05,1.391913e-05,1.384718e-05,1.377636e-05,1.370666e-05,1.363806e-05,1.357058e-05,1.350419e-05,1.343889e-05,1.337468e-05,1.331153e-05,1.324946e-05,1.318844e-05,1.312846e-05
0.000000e+00,1.715868e-09,3.920799e-09,1.345255e-08,3.055375e-08,4.452565e-08,1.005987e-07,1.036033e-07,1.988613e-07,2.330890e-07,3.381095e-07,4.458732e-07,5.287231e-07,7.548970e-07,7.769915e-07,1.086762e-06,1.170388e-06,1.458654e-06,1.693457e-06,1.890934e-06,2.319047e-06,2.380754e-06,2.924658e-06,3.039586e-06,3.518632e-06,3.845784e-06,4.158084e-06,4.726632e-06,4.837888e-06,5.552495e-06,5.669675e-06,6.296080e-06,6.661554e-06,7.062716e-06,7.688667e-06,7.846526e-06,8.641832e-06,8.737782e-06,9.443268e-06,9.796549e-06,1.024588e-05,1.085385e-05,1.104515e-05,1.183710e-05,1.190003e-05,1.261822e-05,1.292694e-05,1.338550e-05,1.392794e-05,1.413643e-05,1.486892e-05,1.489781e-05,1.558129e-05,1.583255e-05,1.627222e-05,1.672928e-05,1.694071e-05,1.758607e-05,1.820784e-05,1.840178e-05,1.880577e-05,1.917589e-05,1.937978e-05,1.990839e-05,1.992995e-05,2.045647e-05,2.059971e-05,2.095966e-05,2.125053e-05,2.143990e-05,2.186182e-05,2.189763e-05,2.233335e-05,2.243471e-05,2.274761e-05,2.297043e-05,2.314097e-05,2.347032e-05,2.351403e-05,2.386740e-05,2.393577e-05,2.420169e-05,2.436819e-05,2.451752e-05,2.476901e-05,2.481551e-05,2.509628e-05,2.513965e-05,2.536044e-05,2.548151e-05,2.560859e-05,2.579598e-05,2.584132e-05,2.605921e-05,2.608439e-05,2.626284e-05,2.634806e-05,2.645276e-05,2.658827e-05,2.662952e-05,2.679364e-05,2.680624e-05,2.694564e-05,2.700315e-05,2.708601e-05,2.718016e-05,2.721526e-05,2.733384e-05,2.733836e-05,2.744221e-05,2.747881e-05,2.754081e-05,2.760250e-05,2.763008e-05,2.771042e-05,2.778224e-05,2.780348e-05,2.784592e-05,2.788257e-05,2.790183e-05,2.794853e-05,2.795033e-05,2.799178e-05,2.800216e-05,2.802650e-05,2.804423e-05,2.805481e-05,2.807547e-05,2.807703e-05,2.809345e-05,2.809656e-05,2.810437e-05,2.810818e-05,2.811005e-05,2.811094e-05,2.811077e-05,2.810678e-05,2.810543e-05,2.809832e-05,2.809223e-05,2.808563e-05,2.807187e-05,2.806894e-05,2.804847e-05,2.804485e-05,2.802442e-05,2.801166e-05,2.799699e-05,2.797275e-05,2.796638e-05,2.793277e-05,2.792854e-05,2.789634e-05,2.787946e-05,2.785725e-05,2.782587e-05,2.781568e-05,2.777177e-05,2.776816e-05,2.772567e-05,2.770665e-05,2.767753e-05,2.764168e-05,2.762748e-05,2.757566e-05,2.757355e-05,2.752218e-05,2.750255e-05,2.746717e-05,2.742894e-05,2.741074e-05,2.735300e-05,2.727495e-05,2.719503e-05,2.711345e-05,2.703040e-05,2.694608e-05,2.686067e-05,2.677433e-05,2.668721e-05,2.659946e-05,2.651122e-05,2.642261e-05,2.633375e-05,2.624475e-05,2.615572e-05,2.606676e-05,2.597794e-05,2.588936e-05,2.580110e-05,2.571321e-05,2.562578e-05,2.553886e-05,2.545250e-05,2.536676e-05,2.528169e-05
0.000000e+00,1.682542e-09,3.835350e-09,1.311237e-08,2.975811e-08,4.340647e-08,9.886622e-08,1.018725e-07,1.990054e-07,2.346684e-07,3.455571e-07,4.596731e-07,5.464334e-07,7.761798e-07,7.980401e-07,1.095035e-06,1.172610e-06,1.433485e-06,1.639886e-06,1.810054e-06,2.170111e-06,2.221128e-06,2.662490e-06,2.753981e-06,3.129306e-06,3.380362e-06,3.616275e-06,4.036845e-06,4.117846e-06,4.628451e-06,4.710623e-06,5.142720e-06,5.389386e-06,5.655659e-06,6.062017e-06,6.162779e-06,6.660179e-06,6.719051e-06,7.144575e-06,7.352882e-06,7.613307e-06,7.957773e-06,8.064305e-06,8.496043e-06,8.529716e-06,8.907478e-06,9.066215e-06,9.297987e-06,9.566032e-06,9.667299e-06,1.001543e-05,1.002892e-05,1.034265e-05,1.045540e-05,1.064937e-05,1.084654e-05,1.093620e-05,1.120379e-05,1.145290e-05,1.152885e-05,1.168433e-05,1.182355e-05,1.189890e-05,1.208979e-05,1.209744e-05,1.228076e-05,1.232947e-05,1.244968e-05,1.254445e-05,1.260500e-05,1.273653e-05,1.274747e-05,1.287784e-05,1.290740e-05,1.299681e-05,1.305870e-05,1.310505e-05,1.319194e-05,1.320320e-05,1.329188e-05,1.330853e-05,1.337165e-05,1.340980e-05,1.344307e-05,1.349697e-05,1.350664e-05,1.356285e-05,1.357119e-05,1.361216e-05,1.363350e-05,1.365500e-05,1.368488e-05,1.369177e-05,1.372285e-05,1.372622e-05,1.374861e-05,1.375834e-05,1.376937e-05,1.378201e-05,1.378547e-05,1.379718e-05,1.379794e-05,1.380480e-05,1.380676e-05,1.380859e-05,1.380908e-05,1.380878e-05,1.380563e-05,1.380544e-05,1.379934e-05,1.379635e-05,1.379012e-05,1.378227e-05,1.377816e-05,1.376364e-05,1.374674e-05,1.374086e-05,1.372762e-05,1.371428e-05,1.370642e-05,1.368425e-05,1.368329e-05,1.365836e-05,1.365107e-05,1.363176e-05,1.361504e-05,1.360360e-05,1.357642e-05,1.357400e-05,1.354306e-05,1.353545e-05,1.351089e-05,1.349236e-05,1.347757e-05,1.344736e-05,1.344318e-05,1.340783e-05,1.340065e-05,1.337157e-05,1.335239e-05,1.333449e-05,1.330276e-05,1.329666e-05,1.325813e-05,1.325191e-05,1.321898e-05,1.319998e-05,1.317926e-05,1.314710e-05,1.313902e-05,1.309831e-05,1.309340e-05,1.305719e-05,1.303898e-05,1.301570e-05,1.298395e-05,1.297388e-05,1.293178e-05,1.292840e-05,1.288942e-05,1.287242e-05,1.284686e-05,1.281610e-05,1.280412e-05,1.276123e-05,1.275952e-05,1.271823e-05,1.270273e-05,1.267515e-05,1.264582e-05,1.263200e-05,1.258883e-05,1.253182e-05,1.247485e-05,1.241796e-05,1.236120e-05,1.230461e-05,1.224823e-05,1.219208e-05,1.213620e-05,1.208063e-05,1.202538e-05,1.197048e-05,1.191596e-05,1.186183e-05,1.180812e-05,1.175484e-05,1.170200e-05,1.164962e-05,1.159772e-05,1.154631e-05,1.149538e-05,1.144496e-05,1.139506e-05,1.134567e-05,1.129680e-05
0.000000e+00,3.227386e-09,7.384772e-09,2.541049e-08,5.786471e-08,8.444713e-08,1.914985e-07,1.972474e-07,3.799533e-07,4.457723e-07,6.481595e-07,8.564613e-07,1.017063e-06,1.458063e-06,1.501389e-06,2.114771e-06,2.282492e-06,2.868170e-06,3.353732e-06,3.767598e-06,4.679825e-06,4.812802e-06,5.998346e-06,6.251594e-06,7.315945e-06,8.050176e-06,8.756169e-06,1.005348e-05,1.030910e-05,1.196443e-05,1.223808e-05,1.371145e-05,1.457933e-05,1.553905e-05,1.705154e-05,1.743590e-05,1.939050e-05,1.962839e-05,2.139147e-05,2.228370e-05,2.342767e-05,2.499215e-05,2.548841e-05,2.756357e-05,2.772992e-05,2.964370e-05,3.047516e-05,3.172010e-05,3.320837e-05,3.378493e-05,3.583113e-05,3.591250e-05,3.785250e-05,3.857304e-05,3.984360e-05,4.117786e-05,4.179978e-05,4.371710e-05,4.559225e-05,4.618294e-05,4.742254e-05,4.856937e-05,4.920582e-05,5.087197e-05,5.094040e-05,5.262504e-05,5.308767e-05,5.425887e-05,5.521454e-05,5.584134e-05,5.725162e-05,5.737219e-05,5.885139e-05,5.919873e-05,6.027914e-05,6.105634e-05,6.165581e-05,6.282544e-05,6.298192e-05,6.425812e-05,6.450744e-05,6.548515e-05,6.610405e-05,6.666384e-05,6.761723e-05,6.779508e-05,6.887985e-05,6.904917e-05,6.991914e-05,7.040214e-05,7.091398e-05,7.167857e-05,7.186544e-05,7.277459e-05,7.288090e-05,7.364253e-05,7.401165e-05,7.447035e-05,7.507334e-05,7.525915e-05,7.601003e-05,7.606849e-05,7.672406e-05,7.699961e-05,7.740234e-05,7.786916e-05,7.804593e-05,7.865590e-05,7.867961e-05,7.923327e-05,7.943335e-05,7.977908e-05,8.013272e-05,8.029434e-05,8.078004e-05,8.123714e-05,8.137753e-05,8.166661e-05,8.192740e-05,8.206937e-05,8.243174e-05,8.244634e-05,8.279841e-05,8.289264e-05,8.312644e-05,8.331208e-05,8.343130e-05,8.369201e-05,8.371381e-05,8.397477e-05,8.403429e-05,8.421499e-05,8.434073e-05,8.443522e-05,8.461308e-05,8.463621e-05,8.481870e-05,8.485304e-05,8.498339e-05,8.506222e-05,8.513096e-05,8.524219e-05,8.526210e-05,8.537744e-05,8.539447e-05,8.547762e-05,8.552050e-05,8.556325e-05,8.562169e-05,8.563494e-05,8.569324e-05,8.569937e-05,8.573873e-05,8.575483e-05,8.577195e-05,8.578931e-05,8.579342e-05,8.580365e-05,8.580400e-05,8.580314e-05,8.580004e-05,8.579237e-05,8.577852e-05,8.577180e-05,8.574187e-05,8.574048e-05,8.570302e-05,8.568694e-05,8.565568e-05,8.561884e-05,8.560024e-05,8.553710e-05,8.544260e-05,8.533618e-05,8.521863e-05,8.509073e-05,8.495320e-05,8.480674e-05,8.465201e-05,8.448964e-05,8.432024e-05,8.414438e-05,8.396260e-05,8.377542e-05,8.358334e-05,8.338682e-05,8.318631e-05,8.298224e-05,8.277499e-05,8.256496e-05,8.235250e-05,8.213794e-05,8.192162e-05,8.170384e-05,8.148488e-05,8.126502e-05
0.000000e+00,4.824139e-09,1.101602e-08,3.777526e-08,8.586867e-08,1.252863e-07,2.848398e-07,2.934544e-07,5.700838e-07,6.711370e-07,9.864434e-07,1.317597e-06,1.576770e-06,2.299265e-06,2.370663e-06,3.376787e-06,3.648165e-06,4.576496e-06,5.321596e-06,5.939653e-06,7.252938e-06,7.439371e-06,9.054424e-06,9.389671e-06,1.076698e-05,1.169056e-05,1.256061e-05,1.411824e-05,1.441937e-05,1.632749e-05,1.663633e-05,1.826956e-05,1.920943e-05,2.023076e-05,2.180410e-05,2.219716e-05,2.415594e-05,2.438992e-05,2.609560e-05,2.694033e-05,2.800603e-05,2.943301e-05,2.987854e-05,3.170586e-05,3.184991e-05,3.348202e-05,3.417706e-05,3.520228e-05,3.640418e-05,3.686301e-05,3.846154e-05,3.852416e-05,3.999608e-05,4.053262e-05,4.146554e-05,4.242735e-05,4.286947e-05,4.420795e-05,4.548145e-05,4.587538e-05,4.669083e-05,4.743168e-05,4.783720e-05,4.887968e-05,4.892191e-05,4.994647e-05,5.022279e-05,5.091253e-05,5.146481e-05,5.182184e-05,5.260982e-05,5.267619e-05,5.347744e-05,5.366205e-05,5.422747e-05,5.462580e-05,5.492814e-05,5.550540e-05,5.558134e-05,5.618893e-05,5.630514e-05,5.675274e-05,5.702922e-05,5.727458e-05,5.768179e-05,5.775622e-05,5.819939e-05,5.826684e-05,5.860577e-05,5.878825e-05,5.897700e-05,5.924976e-05,5.931469e-05,5.962037e-05,5.965498e-05,5.989555e-05,6.000734e-05,6.014168e-05,6.031017e-05,6.036015e-05,6.055233e-05,6.056661e-05,6.071951e-05,6.077967e-05,6.086295e-05,6.095222e-05,6.098387e-05,6.108343e-05,6.108699e-05,6.116276e-05,6.118657e-05,6.122292e-05,6.125342e-05,6.126496e-05,6.128987e-05,6.129860e-05,6.129812e-05,6.129206e-05,6.128027e-05,6.127113e-05,6.123829e-05,6.123666e-05,6.118943e-05,6.117403e-05,6.113023e-05,6.108927e-05,6.105979e-05,6.098565e-05,6.097880e-05,6.088795e-05,6.086475e-05,6.078788e-05,6.072803e-05,6.067919e-05,6.057688e-05,6.056247e-05,6.043829e-05,6.041260e-05,6.030717e-05,6.023642e-05,6.016962e-05,6.004947e-05,6.002613e-05,5.987715e-05,5.985284e-05,5.972313e-05,5.964753e-05,5.956448e-05,5.943449e-05,5.940160e-05,5.923486e-05,5.921461e-05,5.906463e-05,5.898871e-05,5.889124e-05,5.875756e-05,5.871502e-05,5.853628e-05,5.852188e-05,5.835530e-05,5.828234e-05,5.817236e-05,5.803958e-05,5.798772e-05,5.780164e-05,5.779417e-05,5.761433e-05,5.754665e-05,5.742603e-05,5.729753e-05,5.723694e-05,5.704726e-05,5.679630e-05,5.654502e-05,5.629381e-05,5.604301e-05,5.579292e-05,5.554383e-05,5.529602e-05,5.504971e-05,5.480514e-05,5.456250e-05,5.432198e-05,5.408374e-05,5.384794e-05,5.361470e-05,5.338415e-05,5.315639e-05,5.293153e-05,5.270963e-05,5.249079e-05,5.227505e-05,5.206248e-05,5.185312e-05,5.164700e-05,5.144416e-05
0.000000e+00,2.181062e-09,4.965454e-09,1.691700e-08,3.821513e-08,5.555691e-08,1.250499e-07,1.287763e-07,2.473958e-07,2.903111e-07,4.231537e-07,5.614424e-07,6.691936e-07,9.699613e-07,9.998731e-07,1.429184e-06,1.548151e-06,1.967002e-06,2.316282e-06,2.613862e-06,3.264308e-06,3.358130e-06,4.179230e-06,4.350635e-06,5.054367e-06,5.523958e-06,5.963450e-06,6.741548e-06,6.890554e-06,7.823472e-06,7.972615e-06,8.752744e-06,9.195231e-06,9.670836e-06,1.039307e-05,1.057157e-05,1.144980e-05,1.155346e-05,1.230122e-05,1.266640e-05,1.312226e-05,1.372413e-05,1.391003e-05,1.466228e-05,1.472087e-05,1.537736e-05,1.565272e-05,1.605417e-05,1.651743e-05,1.669212e-05,1.729108e-05,1.731423e-05,1.785130e-05,1.804360e-05,1.837336e-05,1.870702e-05,1.885816e-05,1.930678e-05,1.972050e-05,1.984575e-05,2.010073e-05,2.032719e-05,2.044897e-05,2.075462e-05,2.076677e-05,2.105572e-05,2.113167e-05,2.131741e-05,2.146199e-05,2.155341e-05,2.174918e-05,2.176527e-05,2.195449e-05,2.199670e-05,2.212252e-05,2.220788e-05,2.227075e-05,2.238587e-05,2.240051e-05,2.251306e-05,2.253361e-05,2.260960e-05,2.265386e-05,2.269127e-05,2.274915e-05,2.275911e-05,2.281415e-05,2.282183e-05,2.285731e-05,2.287407e-05,2.288948e-05,2.290785e-05,2.291147e-05,2.292407e-05,2.292498e-05,2.292797e-05,2.292711e-05,2.292386e-05,2.291576e-05,2.291236e-05,2.289404e-05,2.289229e-05,2.286945e-05,2.285797e-05,2.283908e-05,2.281391e-05,2.280342e-05,2.276288e-05,2.276116e-05,2.271788e-05,2.270066e-05,2.266879e-05,2.263326e-05,2.261597e-05,2.255973e-05,2.250037e-05,2.248077e-05,2.243819e-05,2.239703e-05,2.237344e-05,2.230908e-05,2.230636e-05,2.223718e-05,2.221746e-05,2.216610e-05,2.212263e-05,2.209334e-05,2.202505e-05,2.201905e-05,2.194342e-05,2.192509e-05,2.186660e-05,2.182312e-05,2.178874e-05,2.171946e-05,2.170997e-05,2.163041e-05,2.161442e-05,2.155019e-05,2.150826e-05,2.146942e-05,2.140122e-05,2.138819e-05,2.130661e-05,2.129352e-05,2.122475e-05,2.118538e-05,2.114270e-05,2.107697e-05,2.106053e-05,2.097832e-05,2.096845e-05,2.089613e-05,2.085998e-05,2.081402e-05,2.075170e-05,2.073204e-05,2.065026e-05,2.064372e-05,2.056871e-05,2.053617e-05,2.048744e-05,2.042913e-05,2.040650e-05,2.032592e-05,2.032271e-05,2.024574e-05,2.021698e-05,2.016598e-05,2.011201e-05,2.008669e-05,2.000788e-05,1.990465e-05,1.980236e-05,1.970107e-05,1.960081e-05,1.950162e-05,1.940354e-05,1.930660e-05,1.921081e-05,1.911621e-05,1.902281e-05,1.893061e-05,1.883965e-05,1.874991e-05,1.866143e-05,1.857419e-05,1.848820e-05,1.840347e-05,1.831999e-05,1.823777e-05,1.815680e-05,1.807708e-05,1.799860e-05,1.792136e-05,1.784535e-05
0.000000e+00,2.336998e-09,5.286355e-09,1.775651e-08,3.954144e-08,5.699375e-08,1.250921e-07,1.286742e-07,2.397465e-07,2.786982e-07,3.958142e-07,5.129487e-07,6.013238e-07,8.369210e-07,8.595785e-07,1.172554e-06,1.255884e-06,1.540525e-06,1.769988e-06,1.961525e-06,2.372127e-06,2.430741e-06,2.940055e-06,3.045782e-06,3.478138e-06,3.764861e-06,4.031469e-06,4.497856e-06,4.586159e-06,5.129824e-06,5.215094e-06,5.652705e-06,5.894177e-06,6.147897e-06,6.521065e-06,6.610966e-06,7.039419e-06,7.088445e-06,7.432204e-06,7.593697e-06,7.789311e-06,8.037283e-06,8.111477e-06,8.399969e-06,8.421640e-06,8.656421e-06,8.750445e-06,8.882709e-06,9.028090e-06,9.080854e-06,9.252942e-06,9.259313e-06,9.401070e-06,9.448928e-06,9.527292e-06,9.601623e-06,9.633586e-06,9.721838e-06,9.793825e-06,9.813699e-06,9.851199e-06,9.880960e-06,9.895487e-06,9.926996e-06,9.928093e-06,9.950297e-06,9.954811e-06,9.963262e-06,9.967048e-06,9.968040e-06,9.966023e-06,9.965581e-06,9.956738e-06,9.953753e-06,9.942279e-06,9.931986e-06,9.922887e-06,9.902230e-06,9.899175e-06,9.871687e-06,9.865780e-06,9.840909e-06,9.823751e-06,9.807276e-06,9.777102e-06,9.771174e-06,9.732948e-06,9.726656e-06,9.692904e-06,9.673118e-06,9.651314e-06,9.617094e-06,9.608422e-06,9.564444e-06,9.559103e-06,9.519573e-06,9.499592e-06,9.473982e-06,9.438945e-06,9.427823e-06,9.381233e-06,9.377491e-06,9.334335e-06,9.315514e-06,9.287238e-06,9.253259e-06,9.240037e-06,9.192821e-06,9.190933e-06,9.145667e-06,9.128720e-06,9.098642e-06,9.066772e-06,9.051810e-06,9.005224e-06,8.958933e-06,8.944189e-06,8.912981e-06,8.883767e-06,8.867406e-06,8.824040e-06,8.822241e-06,8.777518e-06,8.765078e-06,8.733262e-06,8.706943e-06,8.689496e-06,8.649682e-06,8.646241e-06,8.603514e-06,8.593340e-06,8.561330e-06,8.537949e-06,8.519702e-06,8.483538e-06,8.478641e-06,8.438157e-06,8.430130e-06,8.398256e-06,8.377740e-06,8.358945e-06,8.326382e-06,8.320228e-06,8.282109e-06,8.276065e-06,8.244590e-06,8.226794e-06,8.207671e-06,8.178570e-06,8.171355e-06,8.135639e-06,8.131394e-06,8.100523e-06,8.085262e-06,8.066005e-06,8.040170e-06,8.032082e-06,7.998751e-06,7.996110e-06,7.966008e-06,7.953074e-06,7.933849e-06,7.911053e-06,7.902269e-06,7.871263e-06,7.870035e-06,7.840827e-06,7.830008e-06,7.810953e-06,7.790958e-06,7.781637e-06,7.752872e-06,7.715736e-06,7.679532e-06,7.644247e-06,7.609864e-06,7.576367e-06,7.543739e-06,7.511962e-06,7.481021e-06,7.450897e-06,7.421575e-06,7.393036e-06,7.365264e-06,7.338242e-06,7.311953e-06,7.286379e-06,7.261505e-06,7.237314e-06,7.213790e-06,7.190916e-06,7.168677e-06,7.147058e-06,7.126042e-06,7.105615e-06,7.085761e-06
0.000000e+00,2.662304e-09,6.098887e-09,2.107424e-08,4.831992e-08,7.089836e-08,1.641532e-07,1.692650e-07,3.370626e-07,3.999442e-07,6.005145e-07,8.162941e-07,9.872022e-07,1.465558e-06,1.512724e-06,2.173980e-06,2.351660e-06,2.960079e-06,3.451304e-06,3.861957e-06,4.746639e-06,4.873704e-06,5.991152e-06,6.226999e-06,7.210549e-06,7.883585e-06,8.527769e-06,9.706269e-06,9.937907e-06,1.143514e-05,1.168234e-05,1.301274e-05,1.379635e-05,1.466319e-05,1.603053e-05,1.637833e-05,1.814960e-05,1.836550e-05,1.996817e-05,2.078105e-05,2.182521e-05,2.325691e-05,2.371200e-05,2.562013e-05,2.577345e-05,2.754158e-05,2.831219e-05,2.946884e-05,3.085616e-05,3.139498e-05,3.331365e-05,3.339016e-05,3.521913e-05,3.590088e-05,3.710633e-05,3.837687e-05,3.897076e-05,4.080850e-05,4.261618e-05,4.318781e-05,4.439095e-05,4.550839e-05,4.613038e-05,4.776515e-05,4.783250e-05,4.949570e-05,4.995424e-05,5.111872e-05,5.207283e-05,5.270059e-05,5.411895e-05,5.424060e-05,5.573827e-05,5.609138e-05,5.719334e-05,5.798953e-05,5.860571e-05,5.981330e-05,5.997542e-05,6.130266e-05,6.156303e-05,6.258770e-05,6.323938e-05,6.383095e-05,6.484331e-05,6.503286e-05,6.619396e-05,6.637599e-05,6.731483e-05,6.783875e-05,6.839611e-05,6.923307e-05,6.943846e-05,7.044258e-05,7.056053e-05,7.140918e-05,7.182279e-05,7.233901e-05,7.302156e-05,7.323283e-05,7.409141e-05,7.415859e-05,7.491551e-05,7.523567e-05,7.570591e-05,7.625458e-05,7.646340e-05,7.718876e-05,7.721711e-05,7.788275e-05,7.812507e-05,7.854617e-05,7.898021e-05,7.917976e-05,7.978430e-05,8.036053e-05,8.053907e-05,8.090921e-05,8.124624e-05,8.143106e-05,8.190748e-05,8.192682e-05,8.239719e-05,8.252445e-05,8.284289e-05,8.309876e-05,8.326461e-05,8.363199e-05,8.366302e-05,8.403879e-05,8.412569e-05,8.439259e-05,8.458136e-05,8.472506e-05,8.500049e-05,8.503683e-05,8.532851e-05,8.538449e-05,8.560072e-05,8.573477e-05,8.585405e-05,8.605269e-05,8.608909e-05,8.630639e-05,8.633955e-05,8.650653e-05,8.659665e-05,8.669003e-05,8.682522e-05,8.685744e-05,8.700928e-05,8.702647e-05,8.714604e-05,8.720157e-05,8.726823e-05,8.735165e-05,8.737634e-05,8.747082e-05,8.747781e-05,8.755215e-05,8.758110e-05,8.762077e-05,8.766255e-05,8.767712e-05,8.772163e-05,8.772317e-05,8.775470e-05,8.776389e-05,8.777676e-05,8.778566e-05,8.778818e-05,8.778936e-05,8.777587e-05,8.774600e-05,8.770058e-05,8.764037e-05,8.756612e-05,8.747855e-05,8.737835e-05,8.726620e-05,8.714274e-05,8.700858e-05,8.686432e-05,8.671053e-05,8.654777e-05,8.637656e-05,8.619741e-05,8.601081e-05,8.581722e-05,8.561711e-05,8.541089e-05,8.519899e-05,8.498179e-05,8.475969e-05,8.453304e-05,8.430220e-05
0.000000e+00,3.033299e-09,6.923812e-09,2.373956e-08,5.402159e-08,7.891687e-08,1.804670e-07,1.859862e-07,3.651541e-07,4.315085e-07,6.414398e-07,8.663097e-07,1.045219e-06,1.556615e-06,1.608120e-06,2.350656e-06,2.555668e-06,3.268116e-06,3.848344e-06,4.332525e-06,5.363105e-06,5.509178e-06,6.768461e-06,7.028160e-06,8.088092e-06,8.792439e-06,9.451346e-06,1.062044e-05,1.084498e-05,1.225783e-05,1.248499e-05,1.368001e-05,1.436331e-05,1.510258e-05,1.623540e-05,1.651737e-05,1.791698e-05,1.808358e-05,1.929473e-05,1.989250e-05,2.064483e-05,2.164927e-05,2.196221e-05,2.324262e-05,2.334334e-05,2.448258e-05,2.496661e-05,2.567937e-05,2.651314e-05,2.683092e-05,2.793579e-05,2.797900e-05,2.899309e-05,2.936199e-05,3.000242e-05,3.066134e-05,3.096377e-05,3.187746e-05,3.274409e-05,3.301160e-05,3.356449e-05,3.406575e-05,3.433969e-05,3.504243e-05,3.507084e-05,3.575921e-05,3.594447e-05,3.640615e-05,3.677501e-05,3.701305e-05,3.753728e-05,3.758136e-05,3.811251e-05,3.823462e-05,3.860797e-05,3.887037e-05,3.906917e-05,3.944783e-05,3.949755e-05,3.989451e-05,3.997025e-05,4.026142e-05,4.044079e-05,4.059963e-05,4.086250e-05,4.091044e-05,4.119510e-05,4.123831e-05,4.145486e-05,4.157104e-05,4.169088e-05,4.186338e-05,4.190432e-05,4.209626e-05,4.211790e-05,4.226777e-05,4.233703e-05,4.241987e-05,4.252309e-05,4.255353e-05,4.266969e-05,4.267826e-05,4.276925e-05,4.280462e-05,4.285307e-05,4.290414e-05,4.292197e-05,4.297675e-05,4.297866e-05,4.301816e-05,4.302993e-05,4.304691e-05,4.305960e-05,4.306371e-05,4.306921e-05,4.306404e-05,4.306023e-05,4.304881e-05,4.303404e-05,4.302408e-05,4.299191e-05,4.299040e-05,4.294831e-05,4.293508e-05,4.289829e-05,4.286467e-05,4.284082e-05,4.278176e-05,4.277635e-05,4.270533e-05,4.268735e-05,4.262814e-05,4.258238e-05,4.254520e-05,4.246775e-05,4.245687e-05,4.236351e-05,4.234426e-05,4.226545e-05,4.221271e-05,4.216302e-05,4.207382e-05,4.205652e-05,4.194625e-05,4.192827e-05,4.183247e-05,4.177669e-05,4.171546e-05,4.161969e-05,4.159546e-05,4.147271e-05,4.145781e-05,4.134744e-05,4.129158e-05,4.121986e-05,4.112148e-05,4.109018e-05,4.095858e-05,4.094798e-05,4.082525e-05,4.077148e-05,4.069037e-05,4.059239e-05,4.055410e-05,4.041660e-05,4.041107e-05,4.027801e-05,4.022788e-05,4.013847e-05,4.004312e-05,3.999813e-05,3.985709e-05,3.967008e-05,3.948234e-05,3.929411e-05,3.910560e-05,3.891704e-05,3.872859e-05,3.854046e-05,3.835278e-05,3.816572e-05,3.797942e-05,3.779400e-05,3.760958e-05,3.742627e-05,3.724417e-05,3.706336e-05,3.688393e-05,3.670596e-05,3.652951e-05,3.635465e-05,3.618142e-05,3.600989e-05,3.584010e-05,3.567207e-05,3.550586e-05
0.000000e+00,9.674217e-09,2.211143e-08,7.606540e-08,1.737811e-07,2.545375e-07,5.870941e-07,6.052944e-07,1.201727e-06,1.424865e-06,2.135876e-06,2.900807e-06,3.507587e-06,5.211558e-06,5.379863e-06,7.735494e-06,8.365136e-06,1.050306e-05,1.220497e-05,1.360974e-05,1.657996e-05,1.700038e-05,2.063395e-05,2.138678e-05,2.447668e-05,2.654719e-05,2.849743e-05,3.198993e-05,3.266542e-05,3.694943e-05,3.764352e-05,4.131780e-05,4.343530e-05,4.573898e-05,4.929320e-05,5.018216e-05,5.461787e-05,5.514833e-05,5.901866e-05,6.093738e-05,6.335944e-05,6.660443e-05,6.761785e-05,7.177438e-05,7.210198e-05,7.581243e-05,7.739130e-05,7.971823e-05,8.244219e-05,8.348070e-05,8.709124e-05,8.723240e-05,9.054354e-05,9.174674e-05,9.383329e-05,9.597612e-05,9.695797e-05,9.991658e-05,1.027094e-04,1.035683e-04,1.053379e-04,1.069350e-04,1.078044e-04,1.100226e-04,1.101119e-04,1.122640e-04,1.128394e-04,1.142650e-04,1.153948e-04,1.161192e-04,1.176995e-04,1.178314e-04,1.194065e-04,1.197647e-04,1.208495e-04,1.216018e-04,1.221656e-04,1.232228e-04,1.233598e-04,1.244373e-04,1.246393e-04,1.254032e-04,1.258630e-04,1.262624e-04,1.269053e-04,1.270199e-04,1.276804e-04,1.277774e-04,1.282486e-04,1.284899e-04,1.287292e-04,1.290534e-04,1.291264e-04,1.294447e-04,1.294778e-04,1.296881e-04,1.297726e-04,1.298607e-04,1.299470e-04,1.299664e-04,1.300089e-04,1.300097e-04,1.299918e-04,1.299691e-04,1.299186e-04,1.298329e-04,1.297925e-04,1.296167e-04,1.296087e-04,1.293944e-04,1.293036e-04,1.291284e-04,1.289241e-04,1.288216e-04,1.284766e-04,1.280960e-04,1.279671e-04,1.276823e-04,1.274012e-04,1.272377e-04,1.267840e-04,1.267646e-04,1.262650e-04,1.261207e-04,1.257410e-04,1.254157e-04,1.251945e-04,1.246735e-04,1.246274e-04,1.240414e-04,1.238981e-04,1.234382e-04,1.230934e-04,1.228193e-04,1.222629e-04,1.221863e-04,1.215405e-04,1.214099e-04,1.208833e-04,1.205376e-04,1.202161e-04,1.196487e-04,1.195400e-04,1.188561e-04,1.187460e-04,1.181655e-04,1.178320e-04,1.174693e-04,1.169089e-04,1.167684e-04,1.160637e-04,1.159790e-04,1.153561e-04,1.150441e-04,1.146464e-04,1.141061e-04,1.139353e-04,1.132236e-04,1.131667e-04,1.125119e-04,1.122274e-04,1.118008e-04,1.112896e-04,1.110910e-04,1.103829e-04,1.103547e-04,1.096772e-04,1.094237e-04,1.089741e-04,1.084979e-04,1.082743e-04,1.075781e-04,1.066653e-04,1.057603e-04,1.048638e-04,1.039764e-04,1.030988e-04,1.022314e-04,1.013747e-04,1.005291e-04,9.969498e-05,9.887257e-05,9.806214e-05,9.726392e-05,9.647808e-05,9.570474e-05,9.494403e-05,9.419600e-05,9.346070e-05,9.273816e-05,9.202836e-05,9.133129e-05,9.064689e-05,8.997511e-05,8.931587e-05,8.866906e-05
0.000000e+00,3.828063e-09,8.668539e-09,2.922641e-08,6.547398e-08,9.481433e-08,2.118830e-07,2.181557e-07,4.183961e-07,4.912466e-07,7.183220e-07,9.568142e-07,1.143448e-06,1.662134e-06,1.713152e-06,2.424506e-06,2.613437e-06,3.248578e-06,3.745095e-06,4.147799e-06,4.976521e-06,5.091293e-06,6.057612e-06,6.252236e-06,7.032017e-06,7.538191e-06,8.003612e-06,8.811064e-06,8.963541e-06,9.904123e-06,1.005235e-05,1.081848e-05,1.124621e-05,1.170045e-05,1.237907e-05,1.254467e-05,1.334663e-05,1.343985e-05,1.410276e-05,1.442023e-05,1.481046e-05,1.531488e-05,1.546809e-05,1.607494e-05,1.612129e-05,1.663106e-05,1.683947e-05,1.713726e-05,1.747154e-05,1.759488e-05,1.800578e-05,1.802128e-05,1.837214e-05,1.849360e-05,1.869641e-05,1.889419e-05,1.898118e-05,1.922921e-05,1.944317e-05,1.950484e-05,1.962560e-05,1.972703e-05,1.977913e-05,1.990160e-05,1.990621e-05,2.000917e-05,2.003399e-05,2.009024e-05,2.012923e-05,2.015146e-05,2.019188e-05,2.019472e-05,2.022173e-05,2.022598e-05,2.023412e-05,2.023522e-05,2.023335e-05,2.022285e-05,2.022076e-05,2.019755e-05,2.019173e-05,2.016482e-05,2.014437e-05,2.012356e-05,2.008297e-05,2.007467e-05,2.001897e-05,2.000947e-05,1.995718e-05,1.992556e-05,1.988997e-05,1.983271e-05,1.981794e-05,1.974163e-05,1.973221e-05,1.966153e-05,1.962519e-05,1.957807e-05,1.951265e-05,1.949166e-05,1.940265e-05,1.939543e-05,1.931138e-05,1.927430e-05,1.921814e-05,1.914994e-05,1.912319e-05,1.902679e-05,1.902291e-05,1.892916e-05,1.889374e-05,1.883049e-05,1.876290e-05,1.873097e-05,1.863077e-05,1.853003e-05,1.849771e-05,1.842891e-05,1.836405e-05,1.832753e-05,1.823006e-05,1.822600e-05,1.812443e-05,1.809599e-05,1.802291e-05,1.796207e-05,1.792155e-05,1.782848e-05,1.782040e-05,1.771956e-05,1.769541e-05,1.761909e-05,1.756301e-05,1.751905e-05,1.743141e-05,1.741949e-05,1.732047e-05,1.730074e-05,1.722204e-05,1.717110e-05,1.712423e-05,1.704259e-05,1.702710e-05,1.693066e-05,1.691530e-05,1.683496e-05,1.678930e-05,1.674003e-05,1.666465e-05,1.664588e-05,1.655255e-05,1.654140e-05,1.646005e-05,1.641962e-05,1.636840e-05,1.629933e-05,1.627763e-05,1.618774e-05,1.618058e-05,1.609874e-05,1.606340e-05,1.601066e-05,1.594780e-05,1.592349e-05,1.583725e-05,1.583382e-05,1.575194e-05,1.572146e-05,1.566757e-05,1.561073e-05,1.558414e-05,1.550166e-05,1.539423e-05,1.528846e-05,1.518434e-05,1.508188e-05,1.498106e-05,1.488189e-05,1.478434e-05,1.468842e-05,1.459411e-05,1.450140e-05,1.441027e-05,1.432071e-05,1.423271e-05,1.414625e-05,1.406130e-05,1.397786e-05,1.389590e-05,1.381540e-05,1.373635e-05,1.365873e-05,1.358251e-05,1.350768e-05,1.343421e-05,1.336208e-05
0.000000e+00,1.971845e-08,4.513640e-08,1.559034e-07,3.580397e-07,5.263328e-07,1.229226e-06,1.268105e-06,2.562032e-06,3.054958e-06,4.653560e-06,6.418036e-06,7.850341e-06,1.203020e-05,1.245554e-05,1.861599e-05,2.031763e-05,2.621020e-05,3.097861e-05,3.493632e-05,4.330287e-05,4.448315e-05,5.461073e-05,5.669003e-05,6.514949e-05,7.075030e-05,7.597730e-05,8.522677e-05,8.700020e-05,9.814050e-05,9.992921e-05,1.093305e-04,1.147013e-04,1.205095e-04,1.294079e-04,1.316229e-04,1.426215e-04,1.439315e-04,1.534618e-04,1.581714e-04,1.641057e-04,1.720433e-04,1.745204e-04,1.846786e-04,1.854795e-04,1.945580e-04,1.984276e-04,2.041409e-04,2.108491e-04,2.134136e-04,2.223663e-04,2.227177e-04,2.309926e-04,2.340173e-04,2.392886e-04,2.447404e-04,2.472529e-04,2.548860e-04,2.621903e-04,2.644587e-04,2.691692e-04,2.734671e-04,2.758274e-04,2.819227e-04,2.821705e-04,2.882047e-04,2.898398e-04,2.939368e-04,2.972340e-04,2.993740e-04,3.041222e-04,3.045238e-04,3.093940e-04,3.105221e-04,3.139923e-04,3.164517e-04,3.183269e-04,3.219294e-04,3.224056e-04,3.262366e-04,3.269737e-04,3.298276e-04,3.316027e-04,3.331866e-04,3.358345e-04,3.363214e-04,3.392396e-04,3.396870e-04,3.419489e-04,3.431773e-04,3.444567e-04,3.463227e-04,3.467702e-04,3.488965e-04,3.491394e-04,3.508427e-04,3.516438e-04,3.526156e-04,3.538512e-04,3.542218e-04,3.556678e-04,3.557767e-04,3.569599e-04,3.574350e-04,3.581042e-04,3.588400e-04,3.591068e-04,3.599734e-04,3.600053e-04,3.607097e-04,3.609439e-04,3.613212e-04,3.616684e-04,3.618131e-04,3.621908e-04,3.624590e-04,3.625226e-04,3.626228e-04,3.626749e-04,3.626867e-04,3.626583e-04,3.626553e-04,3.625330e-04,3.624831e-04,3.623241e-04,3.621589e-04,3.620326e-04,3.616950e-04,3.616626e-04,3.612178e-04,3.611003e-04,3.607019e-04,3.603834e-04,3.601186e-04,3.595522e-04,3.594712e-04,3.587632e-04,3.586146e-04,3.579976e-04,3.575778e-04,3.571776e-04,3.564490e-04,3.563062e-04,3.553862e-04,3.552347e-04,3.544204e-04,3.539414e-04,3.534115e-04,3.525750e-04,3.523620e-04,3.512743e-04,3.511413e-04,3.501509e-04,3.496458e-04,3.489940e-04,3.480937e-04,3.478058e-04,3.465884e-04,3.464898e-04,3.453438e-04,3.448388e-04,3.440739e-04,3.431451e-04,3.427807e-04,3.414659e-04,3.414129e-04,3.401312e-04,3.396461e-04,3.387782e-04,3.378486e-04,3.374086e-04,3.360238e-04,3.341750e-04,3.323055e-04,3.304181e-04,3.285158e-04,3.266011e-04,3.246765e-04,3.227444e-04,3.208069e-04,3.188662e-04,3.169241e-04,3.149824e-04,3.130429e-04,3.111072e-04,3.091766e-04,3.072527e-04,3.053366e-04,3.034296e-04,3.015327e-04,2.996471e-04,2.977736e-04,2.959131e-04,2.940664e-04,2.922344e-04,2.904175e-04
0.000000e+00,8.006361e-09,1.818861e-08,6.166133e-08,1.385481e-07,2.007434e-07,4.471541e-07,4.602563e-07,8.724127e-07,1.019421e-06,1.468323e-06,1.926621e-06,2.277737e-06,3.230737e-06,3.323340e-06,4.610252e-06,4.953676e-06,6.123749e-06,7.061330e-06,7.839639e-06,9.497452e-06,9.733310e-06,1.178190e-05,1.220828e-05,1.396346e-05,1.514311e-05,1.625592e-05,1.825079e-05,1.863669e-05,2.108256e-05,2.147837e-05,2.357006e-05,2.477200e-05,2.607594e-05,2.807867e-05,2.857763e-05,3.105380e-05,3.134826e-05,3.348472e-05,3.453535e-05,3.585269e-05,3.760062e-05,3.814220e-05,4.034010e-05,4.051164e-05,4.243567e-05,4.324330e-05,4.442057e-05,4.577766e-05,4.628870e-05,4.803603e-05,4.810338e-05,4.966043e-05,5.021498e-05,5.116142e-05,5.211203e-05,5.253995e-05,5.379828e-05,5.493964e-05,5.528075e-05,5.596771e-05,5.656829e-05,5.688704e-05,5.767198e-05,5.770268e-05,5.841983e-05,5.860373e-05,5.904399e-05,5.937615e-05,5.958070e-05,6.000200e-05,6.003550e-05,6.041382e-05,6.049382e-05,6.072093e-05,6.086373e-05,6.096197e-05,6.112338e-05,6.114190e-05,6.126543e-05,6.128377e-05,6.133704e-05,6.135518e-05,6.136097e-05,6.134714e-05,6.134120e-05,6.128149e-05,6.126847e-05,6.118534e-05,6.112721e-05,6.105601e-05,6.093073e-05,6.089657e-05,6.070983e-05,6.068572e-05,6.049843e-05,6.039824e-05,6.026481e-05,6.007378e-05,6.001121e-05,5.973972e-05,5.971729e-05,5.945226e-05,5.933321e-05,5.915061e-05,5.892555e-05,5.883640e-05,5.851112e-05,5.849790e-05,5.817617e-05,5.805346e-05,5.783281e-05,5.759512e-05,5.748220e-05,5.712543e-05,5.676347e-05,5.664670e-05,5.639723e-05,5.616097e-05,5.602752e-05,5.567005e-05,5.565511e-05,5.528068e-05,5.517556e-05,5.490486e-05,5.467895e-05,5.452823e-05,5.418147e-05,5.415132e-05,5.377460e-05,5.368427e-05,5.339851e-05,5.318832e-05,5.302344e-05,5.269451e-05,5.264975e-05,5.227778e-05,5.220361e-05,5.190780e-05,5.171629e-05,5.154009e-05,5.123315e-05,5.117490e-05,5.081242e-05,5.075469e-05,5.045286e-05,5.028136e-05,5.009639e-05,4.981355e-05,4.974317e-05,4.939331e-05,4.935156e-05,4.904696e-05,4.889570e-05,4.870420e-05,4.844618e-05,4.836514e-05,4.802985e-05,4.800319e-05,4.769840e-05,4.756691e-05,4.737084e-05,4.713744e-05,4.704723e-05,4.672759e-05,4.671489e-05,4.641197e-05,4.629933e-05,4.610038e-05,4.589081e-05,4.579283e-05,4.548934e-05,4.509495e-05,4.470763e-05,4.432735e-05,4.395409e-05,4.358780e-05,4.322841e-05,4.287588e-05,4.253014e-05,4.219109e-05,4.185867e-05,4.153278e-05,4.121333e-05,4.090023e-05,4.059338e-05,4.029267e-05,3.999801e-05,3.970929e-05,3.942641e-05,3.914926e-05,3.887773e-05,3.861172e-05,3.835112e-05,3.809582e-05,3.784572e-05
0.000000e+00,2.814673e-09,6.417335e-09,2.194504e-08,4.979745e-08,7.261661e-08,1.651234e-07,1.701276e-07,3.314564e-07,3.907029e-07,5.766118e-07,7.735214e-07,9.288186e-07,1.367746e-06,1.411641e-06,2.040730e-06,2.213630e-06,2.813236e-06,3.300632e-06,3.706768e-06,4.569014e-06,4.690935e-06,5.738324e-06,5.953425e-06,6.827813e-06,7.405560e-06,7.943529e-06,8.891840e-06,9.073046e-06,1.020606e-05,1.038706e-05,1.133368e-05,1.187067e-05,1.244802e-05,1.332521e-05,1.354211e-05,1.460983e-05,1.473593e-05,1.564596e-05,1.609068e-05,1.664610e-05,1.737994e-05,1.760674e-05,1.852517e-05,1.859676e-05,1.939944e-05,1.973648e-05,2.022828e-05,2.079653e-05,2.101104e-05,2.174762e-05,2.177613e-05,2.243832e-05,2.267585e-05,2.308381e-05,2.349742e-05,2.368509e-05,2.424340e-05,2.476014e-05,2.491696e-05,2.523684e-05,2.552168e-05,2.567515e-05,2.606137e-05,2.607675e-05,2.644336e-05,2.653998e-05,2.677672e-05,2.696149e-05,2.707854e-05,2.732982e-05,2.735052e-05,2.759428e-05,2.764877e-05,2.781144e-05,2.792200e-05,2.800352e-05,2.815299e-05,2.817201e-05,2.831834e-05,2.834506e-05,2.844386e-05,2.850134e-05,2.854987e-05,2.862475e-05,2.863761e-05,2.870826e-05,2.871805e-05,2.876292e-05,2.878379e-05,2.880265e-05,2.882436e-05,2.882845e-05,2.884128e-05,2.884199e-05,2.884202e-05,2.883873e-05,2.883151e-05,2.881650e-05,2.881056e-05,2.877992e-05,2.877707e-05,2.874029e-05,2.872207e-05,2.869234e-05,2.865302e-05,2.863670e-05,2.857396e-05,2.857131e-05,2.850468e-05,2.847824e-05,2.842937e-05,2.837498e-05,2.834854e-05,2.826264e-05,2.817210e-05,2.814222e-05,2.807733e-05,2.801464e-05,2.797873e-05,2.788078e-05,2.787663e-05,2.777138e-05,2.774139e-05,2.766330e-05,2.759721e-05,2.755268e-05,2.744890e-05,2.743979e-05,2.732490e-05,2.729706e-05,2.720825e-05,2.714224e-05,2.709006e-05,2.698496e-05,2.697055e-05,2.684992e-05,2.682567e-05,2.672834e-05,2.666481e-05,2.660600e-05,2.650276e-05,2.648306e-05,2.635966e-05,2.633988e-05,2.623594e-05,2.617648e-05,2.611204e-05,2.601287e-05,2.598807e-05,2.586416e-05,2.584930e-05,2.574040e-05,2.568602e-05,2.561689e-05,2.552325e-05,2.549373e-05,2.537098e-05,2.536119e-05,2.524875e-05,2.520001e-05,2.512708e-05,2.503988e-05,2.500606e-05,2.488574e-05,2.488094e-05,2.476617e-05,2.472332e-05,2.464741e-05,2.456714e-05,2.452951e-05,2.441251e-05,2.425950e-05,2.410821e-05,2.395869e-05,2.381103e-05,2.366526e-05,2.352143e-05,2.337959e-05,2.323976e-05,2.310196e-05,2.296623e-05,2.283257e-05,2.270100e-05,2.257153e-05,2.244415e-05,2.231887e-05,2.219568e-05,2.207457e-05,2.195555e-05,2.183859e-05,2.172369e-05,2.161083e-05,2.149999e-05,2.139116e-05,2.128430e-05
0.000000e+00,1.126184e-07,2.573074e-07,8.835290e-07,2.011550e-06,2.938006e-06,6.702588e-06,6.906441e-06,1.348107e-05,1.589546e-05,2.346763e-05,3.147824e-05,3.778623e-05,5.554450e-05,5.731321e-05,8.249266e-05,8.935981e-05,1.130470e-04,1.322281e-04,1.482181e-04,1.823469e-04,1.872031e-04,2.293407e-04,2.380982e-04,2.741009e-04,2.982608e-04,3.210318e-04,3.618278e-04,3.697194e-04,4.197678e-04,4.278759e-04,4.707914e-04,4.955190e-04,5.224169e-04,5.639098e-04,5.742869e-04,6.260656e-04,6.322579e-04,6.774438e-04,6.998503e-04,7.281429e-04,7.660674e-04,7.779168e-04,8.265525e-04,8.303886e-04,8.738714e-04,8.923962e-04,9.197258e-04,9.517664e-04,9.639970e-04,1.006594e-03,1.008262e-03,1.047451e-03,1.061724e-03,1.086522e-03,1.112056e-03,1.123781e-03,1.159218e-03,1.192836e-03,1.203212e-03,1.224651e-03,1.244075e-03,1.254684e-03,1.281872e-03,1.282970e-03,1.309545e-03,1.316685e-03,1.334452e-03,1.348614e-03,1.357737e-03,1.377769e-03,1.379449e-03,1.399640e-03,1.404265e-03,1.418360e-03,1.428222e-03,1.435664e-03,1.449762e-03,1.451604e-03,1.466233e-03,1.469006e-03,1.479604e-03,1.486076e-03,1.491768e-03,1.501091e-03,1.502776e-03,1.512680e-03,1.514165e-03,1.521526e-03,1.525412e-03,1.529364e-03,1.534940e-03,1.536240e-03,1.542199e-03,1.542855e-03,1.547285e-03,1.549258e-03,1.551541e-03,1.554245e-03,1.555007e-03,1.557723e-03,1.557909e-03,1.559728e-03,1.560339e-03,1.561059e-03,1.561620e-03,1.561751e-03,1.561840e-03,1.561831e-03,1.561357e-03,1.561049e-03,1.560335e-03,1.559347e-03,1.558804e-03,1.556794e-03,1.554333e-03,1.553454e-03,1.551448e-03,1.549390e-03,1.548164e-03,1.544661e-03,1.544507e-03,1.540501e-03,1.539320e-03,1.536168e-03,1.533420e-03,1.531530e-03,1.527011e-03,1.526607e-03,1.521421e-03,1.520139e-03,1.515989e-03,1.512846e-03,1.510329e-03,1.505175e-03,1.504460e-03,1.498397e-03,1.497162e-03,1.492156e-03,1.488846e-03,1.485753e-03,1.480258e-03,1.479201e-03,1.472514e-03,1.471432e-03,1.465705e-03,1.462396e-03,1.458786e-03,1.453179e-03,1.451768e-03,1.444664e-03,1.443806e-03,1.437483e-03,1.434302e-03,1.430235e-03,1.424688e-03,1.422930e-03,1.415577e-03,1.414987e-03,1.408183e-03,1.405217e-03,1.400758e-03,1.395396e-03,1.393308e-03,1.385841e-03,1.385542e-03,1.378364e-03,1.375670e-03,1.370882e-03,1.365795e-03,1.363402e-03,1.355929e-03,1.346085e-03,1.336275e-03,1.326508e-03,1.316794e-03,1.307141e-03,1.297559e-03,1.288053e-03,1.278631e-03,1.269298e-03,1.260060e-03,1.250921e-03,1.241886e-03,1.232957e-03,1.224140e-03,1.215436e-03,1.206848e-03,1.198378e-03,1.190028e-03,1.181799e-03,1.173693e-03,1.165710e-03,1.157851e-03,1.150117e-03,1.142507e-03
0.000000e+00,2.022051e-09,4.613260e-09,1.579761e-08,3.589349e-08,5.237835e-08,1.193222e-07,1.229474e-07,2.398945e-07,2.828227e-07,4.170133e-07,5.573525e-07,6.659569e-07,9.600788e-07,9.884085e-07,1.375672e-06,1.477043e-06,1.817177e-06,2.084875e-06,2.304444e-06,2.765539e-06,2.830498e-06,3.388872e-06,3.503863e-06,3.973178e-06,4.285153e-06,4.577066e-06,5.094933e-06,5.194354e-06,5.819202e-06,5.919515e-06,6.446271e-06,6.746639e-06,7.070832e-06,7.565922e-06,7.688823e-06,8.296857e-06,8.369016e-06,8.892200e-06,9.149560e-06,9.472715e-06,9.902985e-06,1.003680e-05,1.058330e-05,1.062624e-05,1.111148e-05,1.131752e-05,1.162090e-05,1.197596e-05,1.211139e-05,1.258298e-05,1.260145e-05,1.303587e-05,1.319440e-05,1.347040e-05,1.375558e-05,1.388696e-05,1.428605e-05,1.466818e-05,1.478698e-05,1.503393e-05,1.525967e-05,1.538386e-05,1.570546e-05,1.571856e-05,1.603862e-05,1.612568e-05,1.634460e-05,1.652167e-05,1.663708e-05,1.689471e-05,1.691661e-05,1.718374e-05,1.724607e-05,1.743899e-05,1.757693e-05,1.768286e-05,1.788844e-05,1.791584e-05,1.813840e-05,1.818171e-05,1.835100e-05,1.845775e-05,1.855405e-05,1.871756e-05,1.874799e-05,1.893320e-05,1.896204e-05,1.911005e-05,1.919209e-05,1.927893e-05,1.940851e-05,1.944016e-05,1.959409e-05,1.961208e-05,1.974102e-05,1.980353e-05,1.988125e-05,1.998353e-05,2.001508e-05,2.014278e-05,2.015274e-05,2.026460e-05,2.031175e-05,2.038081e-05,2.046113e-05,2.049163e-05,2.059729e-05,2.060141e-05,2.069800e-05,2.073309e-05,2.079398e-05,2.085664e-05,2.088542e-05,2.097251e-05,2.105542e-05,2.108110e-05,2.113433e-05,2.118281e-05,2.120940e-05,2.127800e-05,2.128078e-05,2.134863e-05,2.136701e-05,2.141308e-05,2.145018e-05,2.147427e-05,2.152780e-05,2.153233e-05,2.158739e-05,2.160017e-05,2.163955e-05,2.166755e-05,2.168894e-05,2.173020e-05,2.173567e-05,2.177982e-05,2.178835e-05,2.182151e-05,2.184225e-05,2.186083e-05,2.189210e-05,2.189787e-05,2.193272e-05,2.193810e-05,2.196546e-05,2.198044e-05,2.199616e-05,2.201931e-05,2.202491e-05,2.205178e-05,2.205488e-05,2.207684e-05,2.208731e-05,2.210015e-05,2.211674e-05,2.212179e-05,2.214181e-05,2.214334e-05,2.216027e-05,2.216723e-05,2.217723e-05,2.218855e-05,2.219275e-05,2.220688e-05,2.220741e-05,2.221966e-05,2.222395e-05,2.223115e-05,2.223826e-05,2.224140e-05,2.225045e-05,2.226063e-05,2.226890e-05,2.227534e-05,2.228004e-05,2.228308e-05,2.228454e-05,2.228451e-05,2.228304e-05,2.228022e-05,2.227609e-05,2.227074e-05,2.226421e-05,2.225656e-05,2.224786e-05,2.223814e-05,2.222747e-05,2.221588e-05,2.220343e-05,2.219016e-05,2.217611e-05,2.216132e-05,2.214583e-05,2.212968e-05,2.211290e-05
0.000000e+00,3.651602e-09,8.328741e-09,2.849163e-08,6.462785e-08,9.418882e-08,2.135612e-07,2.199975e-07,4.263950e-07,5.016791e-07,7.361134e-07,9.810795e-07,1.171374e-06,1.692712e-06,1.743448e-06,2.445623e-06,2.631824e-06,3.262784e-06,3.765405e-06,4.181283e-06,5.064652e-06,5.190161e-06,6.279574e-06,6.506258e-06,7.439637e-06,8.067367e-06,8.659969e-06,9.723665e-06,9.929677e-06,1.123757e-05,1.144962e-05,1.257244e-05,1.321956e-05,1.392343e-05,1.500886e-05,1.528021e-05,1.663331e-05,1.679501e-05,1.797416e-05,1.855829e-05,1.929527e-05,2.028211e-05,2.059020e-05,2.185358e-05,2.195315e-05,2.308104e-05,2.356116e-05,2.426913e-05,2.509869e-05,2.541525e-05,2.651757e-05,2.656073e-05,2.757487e-05,2.794434e-05,2.858651e-05,2.924824e-05,2.955231e-05,3.047247e-05,3.134750e-05,3.161810e-05,3.217819e-05,3.268699e-05,3.296549e-05,3.368153e-05,3.371054e-05,3.441455e-05,3.460450e-05,3.507886e-05,3.545894e-05,3.570481e-05,3.624802e-05,3.629381e-05,3.684727e-05,3.697497e-05,3.736660e-05,3.764304e-05,3.785321e-05,3.825544e-05,3.830846e-05,3.873373e-05,3.881530e-05,3.913031e-05,3.932564e-05,3.949951e-05,3.978939e-05,3.984257e-05,4.016070e-05,4.020936e-05,4.045505e-05,4.058823e-05,4.072676e-05,4.092854e-05,4.097690e-05,4.120650e-05,4.123272e-05,4.141657e-05,4.150306e-05,4.160806e-05,4.174173e-05,4.178188e-05,4.193892e-05,4.195078e-05,4.208001e-05,4.213216e-05,4.220596e-05,4.228769e-05,4.231753e-05,4.241545e-05,4.241910e-05,4.250043e-05,4.252799e-05,4.257314e-05,4.261590e-05,4.263421e-05,4.268425e-05,4.272385e-05,4.273441e-05,4.275356e-05,4.276762e-05,4.277390e-05,4.278509e-05,4.278539e-05,4.278850e-05,4.278793e-05,4.278368e-05,4.277718e-05,4.277139e-05,4.275383e-05,4.275203e-05,4.272600e-05,4.271880e-05,4.269367e-05,4.267296e-05,4.265541e-05,4.261711e-05,4.261156e-05,4.256245e-05,4.255202e-05,4.250838e-05,4.247841e-05,4.244966e-05,4.239693e-05,4.238656e-05,4.231935e-05,4.230823e-05,4.224828e-05,4.221287e-05,4.217361e-05,4.211143e-05,4.209556e-05,4.201435e-05,4.200440e-05,4.193019e-05,4.189228e-05,4.184328e-05,4.177551e-05,4.175381e-05,4.166197e-05,4.165452e-05,4.156791e-05,4.152971e-05,4.147181e-05,4.140144e-05,4.137383e-05,4.127410e-05,4.127008e-05,4.117277e-05,4.113593e-05,4.106998e-05,4.099930e-05,4.096584e-05,4.086049e-05,4.071976e-05,4.057735e-05,4.043350e-05,4.028842e-05,4.014233e-05,3.999541e-05,3.984784e-05,3.969979e-05,3.955140e-05,3.940282e-05,3.925419e-05,3.910563e-05,3.895726e-05,3.880918e-05,3.866150e-05,3.851431e-05,3.836770e-05,3.822174e-05,3.807651e-05,3.793208e-05,3.778852e-05,3.764587e-05,3.750420e-05,3.736356e-05
0.000000e+00,1.029911e-08,2.342802e-08,7.971384e-08,1.799855e-07,2.616978e-07,5.902991e-07,6.079811e-07,1.174458e-06,1.381125e-06,2.026012e-06,2.703488e-06,3.233330e-06,4.703893e-06,4.848457e-06,6.868096e-06,7.407314e-06,9.236038e-06,1.068816e-05,1.188344e-05,1.439884e-05,1.475346e-05,1.780281e-05,1.843104e-05,2.099659e-05,2.270408e-05,2.430386e-05,2.714817e-05,2.769525e-05,3.114188e-05,3.169656e-05,3.461524e-05,3.628373e-05,3.808747e-05,4.084649e-05,4.153194e-05,4.492370e-05,4.532607e-05,4.824008e-05,4.967012e-05,5.146096e-05,5.383426e-05,5.456912e-05,5.755026e-05,5.778290e-05,6.039305e-05,6.148944e-05,6.308902e-05,6.493583e-05,6.563233e-05,6.801960e-05,6.811182e-05,7.024958e-05,7.101394e-05,7.232291e-05,7.364435e-05,7.424176e-05,7.600957e-05,7.763081e-05,7.811950e-05,7.911081e-05,7.998658e-05,8.045545e-05,8.162482e-05,8.167104e-05,8.276412e-05,8.304914e-05,8.374139e-05,8.427494e-05,8.460953e-05,8.531755e-05,8.537519e-05,8.604484e-05,8.619198e-05,8.662480e-05,8.691268e-05,8.712115e-05,8.749340e-05,8.753971e-05,8.788606e-05,8.794713e-05,8.816545e-05,8.828593e-05,8.838284e-05,8.852098e-05,8.854293e-05,8.865010e-05,8.866261e-05,8.870848e-05,8.872032e-05,8.872194e-05,8.870280e-05,8.869409e-05,8.862829e-05,8.861799e-05,8.852766e-05,8.847311e-05,8.839512e-05,8.827472e-05,8.823338e-05,8.804496e-05,8.802880e-05,8.783218e-05,8.774075e-05,8.759723e-05,8.741546e-05,8.734210e-05,8.706866e-05,8.705737e-05,8.677864e-05,8.667049e-05,8.647365e-05,8.625845e-05,8.615515e-05,8.582453e-05,8.548305e-05,8.537168e-05,8.513190e-05,8.490259e-05,8.477216e-05,8.441967e-05,8.440485e-05,8.403088e-05,8.392510e-05,8.365114e-05,8.342086e-05,8.326642e-05,8.290871e-05,8.287746e-05,8.248494e-05,8.239027e-05,8.208949e-05,8.186698e-05,8.169170e-05,8.134015e-05,8.129212e-05,8.089123e-05,8.081094e-05,8.048950e-05,8.028041e-05,8.008735e-05,7.974952e-05,7.968518e-05,7.928335e-05,7.921911e-05,7.888219e-05,7.868996e-05,7.848201e-05,7.816276e-05,7.808309e-05,7.768569e-05,7.763811e-05,7.729004e-05,7.711657e-05,7.689638e-05,7.659864e-05,7.650489e-05,7.611576e-05,7.608474e-05,7.572916e-05,7.557526e-05,7.534524e-05,7.507056e-05,7.496414e-05,7.458599e-05,7.457093e-05,7.421090e-05,7.407663e-05,7.383897e-05,7.358791e-05,7.347030e-05,7.310497e-05,7.262797e-05,7.215708e-05,7.169240e-05,7.123406e-05,7.078212e-05,7.033667e-05,6.989775e-05,6.946540e-05,6.903964e-05,6.862049e-05,6.820796e-05,6.780202e-05,6.740267e-05,6.700988e-05,6.662362e-05,6.624384e-05,6.587052e-05,6.550358e-05,6.514299e-05,6.478868e-05,6.444059e-05,6.409866e-05,6.376280e-05,6.343297e-05
0.000000e+00,1.082631e-08,2.464480e-08,8.401449e-08,1.901524e-07,2.769317e-07,6.279591e-07,6.469273e-07,1.257872e-06,1.482036e-06,2.184693e-06,2.927075e-06,3.510489e-06,5.144060e-06,5.305866e-06,7.587366e-06,8.201745e-06,1.029266e-05,1.195254e-05,1.331328e-05,1.614883e-05,1.654488e-05,1.990726e-05,2.058995e-05,2.334148e-05,2.514032e-05,2.680244e-05,2.970325e-05,3.025339e-05,3.366307e-05,3.420293e-05,3.700444e-05,3.857705e-05,4.025421e-05,4.277478e-05,4.339278e-05,4.640416e-05,4.675635e-05,4.927591e-05,5.049280e-05,5.199897e-05,5.396529e-05,5.456741e-05,5.697809e-05,5.716409e-05,5.923025e-05,6.008695e-05,6.132514e-05,6.273770e-05,6.326576e-05,6.505645e-05,6.512502e-05,6.670211e-05,6.726018e-05,6.820869e-05,6.915693e-05,6.958252e-05,7.083033e-05,7.195895e-05,7.229605e-05,7.297522e-05,7.356980e-05,7.388590e-05,7.466694e-05,7.469758e-05,7.541666e-05,7.560226e-05,7.604929e-05,7.638981e-05,7.660132e-05,7.704281e-05,7.707834e-05,7.748564e-05,7.757357e-05,7.782820e-05,7.799353e-05,7.811074e-05,7.831324e-05,7.833768e-05,7.851315e-05,7.854241e-05,7.864103e-05,7.868993e-05,7.872495e-05,7.876396e-05,7.876830e-05,7.877425e-05,7.877193e-05,7.874575e-05,7.872065e-05,7.868555e-05,7.861629e-05,7.859621e-05,7.848011e-05,7.846449e-05,7.833948e-05,7.827037e-05,7.817639e-05,7.803860e-05,7.799275e-05,7.779036e-05,7.777341e-05,7.757088e-05,7.747865e-05,7.733584e-05,7.715780e-05,7.708670e-05,7.682477e-05,7.681405e-05,7.655131e-05,7.645027e-05,7.626747e-05,7.606907e-05,7.597430e-05,7.567282e-05,7.536394e-05,7.526367e-05,7.504851e-05,7.484357e-05,7.472733e-05,7.441428e-05,7.440115e-05,7.407063e-05,7.397740e-05,7.373643e-05,7.353438e-05,7.339913e-05,7.308654e-05,7.305926e-05,7.271735e-05,7.263504e-05,7.237386e-05,7.218097e-05,7.202922e-05,7.172530e-05,7.168382e-05,7.133806e-05,7.126889e-05,7.099225e-05,7.081253e-05,7.064673e-05,7.035693e-05,7.030179e-05,6.995769e-05,6.990273e-05,6.961468e-05,6.945050e-05,6.927300e-05,6.900075e-05,6.893285e-05,6.859443e-05,6.855395e-05,6.825791e-05,6.811049e-05,6.792346e-05,6.767075e-05,6.759123e-05,6.726134e-05,6.723506e-05,6.693393e-05,6.680369e-05,6.660911e-05,6.637690e-05,6.628698e-05,6.596763e-05,6.595491e-05,6.565114e-05,6.553792e-05,6.533759e-05,6.512609e-05,6.502704e-05,6.471956e-05,6.431847e-05,6.392290e-05,6.353295e-05,6.314868e-05,6.277015e-05,6.239740e-05,6.203045e-05,6.166933e-05,6.131403e-05,6.096456e-05,6.062091e-05,6.028305e-05,5.995096e-05,5.962461e-05,5.930396e-05,5.898898e-05,5.867960e-05,5.837579e-05,5.807748e-05,5.778463e-05,5.749717e-05,5.721503e-05,5.693816e-05,5.666648e-05
0.000000e+00,3.338226e-09,7.624790e-09,2.615114e-08,5.942179e-08,8.665381e-08,1.964902e-07,2.024020e-07,3.912376e-07,4.597399e-07,6.718164e-07,8.917014e-07,1.061629e-06,1.525568e-06,1.570725e-06,2.198627e-06,2.366419e-06,2.939935e-06,3.402484e-06,3.789005e-06,4.620985e-06,4.740356e-06,5.787910e-06,6.008356e-06,6.924491e-06,7.547951e-06,8.141685e-06,9.219476e-06,9.429954e-06,1.077889e-05,1.099962e-05,1.217755e-05,1.286328e-05,1.361476e-05,1.478486e-05,1.507949e-05,1.656109e-05,1.673953e-05,1.804954e-05,1.870422e-05,1.953561e-05,2.065827e-05,2.101097e-05,2.246825e-05,2.258385e-05,2.390106e-05,2.446609e-05,2.530399e-05,2.629302e-05,2.667250e-05,2.800295e-05,2.805533e-05,2.929244e-05,2.974619e-05,3.053878e-05,3.136080e-05,3.174037e-05,3.289616e-05,3.400555e-05,3.435072e-05,3.506834e-05,3.572411e-05,3.608464e-05,3.701690e-05,3.705483e-05,3.797951e-05,3.823038e-05,3.885949e-05,3.936639e-05,3.969567e-05,4.042717e-05,4.048910e-05,4.124090e-05,4.141527e-05,4.195225e-05,4.233340e-05,4.262439e-05,4.318442e-05,4.325856e-05,4.385604e-05,4.397124e-05,4.441810e-05,4.469680e-05,4.494602e-05,4.536400e-05,4.544104e-05,4.590442e-05,4.597571e-05,4.633738e-05,4.653474e-05,4.674111e-05,4.704385e-05,4.711680e-05,4.746557e-05,4.750567e-05,4.778856e-05,4.792278e-05,4.808684e-05,4.829765e-05,4.836145e-05,4.861343e-05,4.863264e-05,4.884376e-05,4.893004e-05,4.905338e-05,4.919202e-05,4.924323e-05,4.941420e-05,4.942065e-05,4.956713e-05,4.961794e-05,4.970287e-05,4.978576e-05,4.982222e-05,4.992593e-05,5.001475e-05,5.004014e-05,5.008939e-05,5.013004e-05,5.015055e-05,5.019717e-05,5.019887e-05,5.023499e-05,5.024300e-05,5.025951e-05,5.026891e-05,5.027303e-05,5.027623e-05,5.027610e-05,5.026926e-05,5.026621e-05,5.025303e-05,5.024002e-05,5.022790e-05,5.019880e-05,5.019434e-05,5.015281e-05,5.014359e-05,5.010375e-05,5.007540e-05,5.004757e-05,4.999518e-05,4.998468e-05,4.991545e-05,4.990381e-05,4.984025e-05,4.980214e-05,4.975943e-05,4.969096e-05,4.967334e-05,4.958228e-05,4.957104e-05,4.948657e-05,4.944306e-05,4.938650e-05,4.930770e-05,4.928235e-05,4.917438e-05,4.916559e-05,4.906287e-05,4.901732e-05,4.894804e-05,4.886344e-05,4.883013e-05,4.870937e-05,4.870448e-05,4.858597e-05,4.854094e-05,4.846013e-05,4.837327e-05,4.833205e-05,4.820191e-05,4.802727e-05,4.784973e-05,4.766965e-05,4.748738e-05,4.730321e-05,4.711746e-05,4.693040e-05,4.674229e-05,4.655337e-05,4.636387e-05,4.617400e-05,4.598395e-05,4.579392e-05,4.560406e-05,4.541455e-05,4.522553e-05,4.503713e-05,4.484948e-05,4.466271e-05,4.447692e-05,4.429221e-05,4.410867e-05,4.392639e-05,4.374545e-05
0.000000e+00,1.853169e-08,4.251579e-08,1.495785e-07,3.566855e-07,5.404363e-07,1.405935e-06,1.457897e-06,3.368786e-06,4.164028e-06,6.849780e-06,9.803806e-06,1.209116e-05,1.804822e-05,1.859913e-05,2.573530e-05,2.749181e-05,3.309824e-05,3.723986e-05,4.048479e-05,4.692112e-05,4.779150e-05,5.495834e-05,5.637107e-05,6.194350e-05,6.549267e-05,6.871352e-05,7.421275e-05,7.523945e-05,8.149700e-05,8.247189e-05,8.746610e-05,9.022410e-05,9.313126e-05,9.743708e-05,9.848162e-05,1.035113e-04,1.040932e-04,1.082186e-04,1.101880e-04,1.126053e-04,1.157278e-04,1.166765e-04,1.204396e-04,1.207276e-04,1.239042e-04,1.252088e-04,1.270810e-04,1.291969e-04,1.299821e-04,1.326200e-04,1.327202e-04,1.350076e-04,1.358084e-04,1.371580e-04,1.384913e-04,1.390840e-04,1.407984e-04,1.423137e-04,1.427586e-04,1.436419e-04,1.443991e-04,1.447946e-04,1.457463e-04,1.457828e-04,1.466171e-04,1.468245e-04,1.473077e-04,1.476571e-04,1.478642e-04,1.482654e-04,1.482955e-04,1.486105e-04,1.486697e-04,1.488172e-04,1.488885e-04,1.489232e-04,1.489390e-04,1.489359e-04,1.488620e-04,1.488374e-04,1.487080e-04,1.485982e-04,1.484799e-04,1.482352e-04,1.481834e-04,1.478239e-04,1.477609e-04,1.474063e-04,1.471866e-04,1.469354e-04,1.465232e-04,1.464155e-04,1.458508e-04,1.457802e-04,1.452452e-04,1.449666e-04,1.446022e-04,1.440907e-04,1.439253e-04,1.432176e-04,1.431598e-04,1.424822e-04,1.421809e-04,1.417217e-04,1.411601e-04,1.409388e-04,1.401359e-04,1.401034e-04,1.393152e-04,1.390158e-04,1.384789e-04,1.379022e-04,1.376289e-04,1.367670e-04,1.358949e-04,1.356140e-04,1.350143e-04,1.344468e-04,1.341265e-04,1.332689e-04,1.332330e-04,1.323351e-04,1.320830e-04,1.314339e-04,1.308920e-04,1.305304e-04,1.296982e-04,1.296258e-04,1.287210e-04,1.285039e-04,1.278168e-04,1.273110e-04,1.269140e-04,1.261214e-04,1.260134e-04,1.251157e-04,1.249365e-04,1.242214e-04,1.237580e-04,1.233312e-04,1.225870e-04,1.224456e-04,1.215651e-04,1.214247e-04,1.206901e-04,1.202721e-04,1.198210e-04,1.191302e-04,1.189582e-04,1.181020e-04,1.179997e-04,1.172528e-04,1.168814e-04,1.164108e-04,1.157758e-04,1.155762e-04,1.147493e-04,1.146835e-04,1.139302e-04,1.136049e-04,1.131192e-04,1.125404e-04,1.123164e-04,1.115219e-04,1.114903e-04,1.107359e-04,1.104550e-04,1.099583e-04,1.094345e-04,1.091894e-04,1.084292e-04,1.074391e-04,1.064643e-04,1.055049e-04,1.045609e-04,1.036323e-04,1.027190e-04,1.018210e-04,1.009383e-04,1.000707e-04,9.921810e-05,9.838043e-05,9.755752e-05,9.674923e-05,9.595540e-05,9.517586e-05,9.441043e-05,9.365893e-05,9.292117e-05,9.219696e-05,9.148609e-05,9.078838e-05,9.010361e-05,8.943158e-05,8.877207e-05
0.000000e+00,4.430372e-09,1.011968e-08,3.472898e-08,7.902759e-08,1.153926e-07,2.630583e-07,2.710510e-07,5.286700e-07,6.231884e-07,9.191287e-07,1.230828e-06,1.474728e-06,2.151191e-06,2.217661e-06,3.147602e-06,3.396837e-06,4.247338e-06,4.929835e-06,5.497023e-06,6.707484e-06,6.880000e-06,8.382248e-06,8.695862e-06,9.990749e-06,1.086483e-05,1.169241e-05,1.318385e-05,1.347361e-05,1.532022e-05,1.562078e-05,1.721776e-05,1.814241e-05,1.915175e-05,2.071567e-05,2.110806e-05,2.307321e-05,2.330901e-05,2.503459e-05,2.589339e-05,2.698069e-05,2.844314e-05,2.890124e-05,3.078725e-05,3.093640e-05,3.263099e-05,3.335516e-05,3.442600e-05,3.568523e-05,3.616701e-05,3.784982e-05,3.791587e-05,3.947124e-05,4.003945e-05,4.102895e-05,4.205100e-05,4.252142e-05,4.394778e-05,4.530772e-05,4.572889e-05,4.660144e-05,4.739491e-05,4.782951e-05,4.894755e-05,4.899286e-05,5.009267e-05,5.038942e-05,5.113035e-05,5.172378e-05,5.210747e-05,5.295438e-05,5.302571e-05,5.388687e-05,5.408526e-05,5.469280e-05,5.512070e-05,5.544539e-05,5.606506e-05,5.614655e-05,5.679820e-05,5.692276e-05,5.740227e-05,5.769820e-05,5.796063e-05,5.839571e-05,5.847517e-05,5.894771e-05,5.901954e-05,5.938007e-05,5.957384e-05,5.977399e-05,6.006261e-05,6.013119e-05,6.045335e-05,6.048973e-05,6.074207e-05,6.085892e-05,6.099893e-05,6.117377e-05,6.122544e-05,6.142308e-05,6.143768e-05,6.159325e-05,6.165394e-05,6.173733e-05,6.182566e-05,6.185664e-05,6.195244e-05,6.195580e-05,6.202596e-05,6.204720e-05,6.207837e-05,6.210253e-05,6.211080e-05,6.212434e-05,6.212002e-05,6.211503e-05,6.209885e-05,6.207690e-05,6.206178e-05,6.201209e-05,6.200973e-05,6.194358e-05,6.192265e-05,6.186417e-05,6.181049e-05,6.177230e-05,6.167745e-05,6.166875e-05,6.155426e-05,6.152523e-05,6.142951e-05,6.135543e-05,6.129520e-05,6.116959e-05,6.115195e-05,6.100039e-05,6.096913e-05,6.084109e-05,6.075538e-05,6.067461e-05,6.052961e-05,6.050149e-05,6.032223e-05,6.029301e-05,6.013731e-05,6.004667e-05,5.994719e-05,5.979164e-05,5.975230e-05,5.955307e-05,5.952889e-05,5.934989e-05,5.925933e-05,5.914313e-05,5.898381e-05,5.893314e-05,5.872027e-05,5.870313e-05,5.850484e-05,5.841802e-05,5.828715e-05,5.812918e-05,5.806749e-05,5.784613e-05,5.783725e-05,5.762334e-05,5.754282e-05,5.739934e-05,5.724647e-05,5.717439e-05,5.694870e-05,5.664998e-05,5.635078e-05,5.605149e-05,5.575251e-05,5.545416e-05,5.515679e-05,5.486069e-05,5.456612e-05,5.427335e-05,5.398259e-05,5.369405e-05,5.340793e-05,5.312439e-05,5.284359e-05,5.256567e-05,5.229076e-05,5.201895e-05,5.175036e-05,5.148506e-05,5.122314e-05,5.096466e-05,5.070968e-05,5.045823e-05,5.021037e-05
0.000000e+00,4.271254e-09,9.746087e-09,3.339348e-08,7.594638e-08,1.109095e-07,2.533534e-07,2.610864e-07,5.115264e-07,6.039451e-07,8.949981e-07,1.204382e-06,1.448765e-06,2.139198e-06,2.208116e-06,3.190596e-06,3.458484e-06,4.379170e-06,5.117966e-06,5.727434e-06,7.005168e-06,7.184265e-06,8.709366e-06,9.019896e-06,1.027410e-05,1.109630e-05,1.185764e-05,1.319038e-05,1.344376e-05,1.501912e-05,1.526940e-05,1.657244e-05,1.730734e-05,1.809417e-05,1.928338e-05,1.957631e-05,2.101237e-05,2.118134e-05,2.239722e-05,2.298929e-05,2.372700e-05,2.469909e-05,2.499899e-05,2.621147e-05,2.630587e-05,2.736355e-05,2.780741e-05,2.845504e-05,2.920361e-05,2.948635e-05,3.045832e-05,3.049598e-05,3.137218e-05,3.168722e-05,3.222941e-05,3.278085e-05,3.303172e-05,3.378093e-05,3.447898e-05,3.469188e-05,3.512786e-05,3.551827e-05,3.572959e-05,3.626477e-05,3.628619e-05,3.679968e-05,3.693600e-05,3.727202e-05,3.753649e-05,3.770517e-05,3.807067e-05,3.810101e-05,3.846138e-05,3.854279e-05,3.878807e-05,3.895694e-05,3.908279e-05,3.931702e-05,3.934721e-05,3.958292e-05,3.962676e-05,3.979147e-05,3.988967e-05,3.997432e-05,4.010908e-05,4.013287e-05,4.026847e-05,4.028813e-05,4.038242e-05,4.042978e-05,4.047593e-05,4.053683e-05,4.055019e-05,4.060633e-05,4.061190e-05,4.064540e-05,4.065745e-05,4.066843e-05,4.067580e-05,4.067639e-05,4.067020e-05,4.066912e-05,4.065074e-05,4.063943e-05,4.061885e-05,4.058864e-05,4.057532e-05,4.052091e-05,4.051852e-05,4.045634e-05,4.043074e-05,4.038228e-05,4.032684e-05,4.029939e-05,4.020827e-05,4.010950e-05,4.007638e-05,4.000365e-05,3.993242e-05,3.989123e-05,3.977758e-05,3.977273e-05,3.964863e-05,3.961293e-05,3.951936e-05,3.943950e-05,3.938536e-05,3.925823e-05,3.924701e-05,3.910469e-05,3.906998e-05,3.895876e-05,3.887559e-05,3.880955e-05,3.867579e-05,3.865738e-05,3.850255e-05,3.847129e-05,3.834534e-05,3.826274e-05,3.818602e-05,3.805074e-05,3.802484e-05,3.786203e-05,3.783584e-05,3.769782e-05,3.761856e-05,3.753242e-05,3.739937e-05,3.736602e-05,3.719882e-05,3.717871e-05,3.703098e-05,3.695698e-05,3.686268e-05,3.673455e-05,3.669406e-05,3.652528e-05,3.651177e-05,3.635646e-05,3.628895e-05,3.618773e-05,3.606637e-05,3.601921e-05,3.585102e-05,3.584430e-05,3.568326e-05,3.562298e-05,3.551602e-05,3.540264e-05,3.534939e-05,3.518346e-05,3.496564e-05,3.474934e-05,3.453471e-05,3.432189e-05,3.411099e-05,3.390213e-05,3.369541e-05,3.349090e-05,3.328869e-05,3.308885e-05,3.289143e-05,3.269648e-05,3.250405e-05,3.231417e-05,3.212688e-05,3.194219e-05,3.176013e-05,3.158071e-05,3.140394e-05,3.122982e-05,3.105836e-05,3.088955e-05,3.072339e-05,3.055987e-05
0.000000e+00,3.680922e-09,8.390715e-09,2.866534e-08,6.492925e-08,9.454333e-08,2.137655e-07,2.201792e-07,4.251936e-07,4.997063e-07,7.311791e-07,9.729421e-07,1.161429e-06,1.684961e-06,1.736628e-06,2.465255e-06,2.662152e-06,3.336794e-06,3.878723e-06,4.327840e-06,5.278831e-06,5.413330e-06,6.571872e-06,6.810745e-06,7.785857e-06,8.433973e-06,9.040236e-06,1.011526e-05,1.032156e-05,1.161750e-05,1.182544e-05,1.291671e-05,1.353841e-05,1.420884e-05,1.523117e-05,1.548461e-05,1.673591e-05,1.688408e-05,1.795584e-05,1.848116e-05,1.913869e-05,2.001002e-05,2.027991e-05,2.137603e-05,2.146169e-05,2.242456e-05,2.283024e-05,2.342384e-05,2.411232e-05,2.437301e-05,2.527186e-05,2.530677e-05,2.612073e-05,2.641421e-05,2.692029e-05,2.743631e-05,2.767153e-05,2.837579e-05,2.903457e-05,2.923603e-05,2.964948e-05,3.002081e-05,3.022228e-05,3.073419e-05,3.075474e-05,3.124867e-05,3.138030e-05,3.170585e-05,3.196327e-05,3.212808e-05,3.248716e-05,3.251710e-05,3.287463e-05,3.295593e-05,3.320231e-05,3.337338e-05,3.350175e-05,3.374311e-05,3.377447e-05,3.402196e-05,3.406856e-05,3.424563e-05,3.435297e-05,3.444682e-05,3.459940e-05,3.462682e-05,3.478685e-05,3.481068e-05,3.492808e-05,3.498951e-05,3.505160e-05,3.513838e-05,3.515847e-05,3.524968e-05,3.525962e-05,3.532617e-05,3.535539e-05,3.538883e-05,3.542773e-05,3.543852e-05,3.547601e-05,3.547851e-05,3.550208e-05,3.550948e-05,3.551744e-05,3.552225e-05,3.552276e-05,3.551869e-05,3.551834e-05,3.550582e-05,3.549914e-05,3.548472e-05,3.546595e-05,3.545594e-05,3.541998e-05,3.537732e-05,3.536233e-05,3.532842e-05,3.529404e-05,3.527370e-05,3.521607e-05,3.521357e-05,3.514841e-05,3.512931e-05,3.507858e-05,3.503458e-05,3.500442e-05,3.493264e-05,3.492625e-05,3.484437e-05,3.482420e-05,3.475907e-05,3.470991e-05,3.467062e-05,3.459037e-05,3.457926e-05,3.448525e-05,3.446615e-05,3.438880e-05,3.433776e-05,3.429013e-05,3.420568e-05,3.418944e-05,3.408692e-05,3.407036e-05,3.398274e-05,3.393220e-05,3.387708e-05,3.379159e-05,3.377010e-05,3.366193e-05,3.364888e-05,3.355273e-05,3.350439e-05,3.344263e-05,3.335842e-05,3.333174e-05,3.322019e-05,3.321124e-05,3.310809e-05,3.306312e-05,3.299554e-05,3.291428e-05,3.288264e-05,3.276948e-05,3.276495e-05,3.265615e-05,3.261533e-05,3.254273e-05,3.246559e-05,3.242929e-05,3.231591e-05,3.216645e-05,3.201734e-05,3.186872e-05,3.172071e-05,3.157342e-05,3.142695e-05,3.128139e-05,3.113683e-05,3.099335e-05,3.085100e-05,3.070986e-05,3.056998e-05,3.043141e-05,3.029420e-05,3.015839e-05,3.002402e-05,2.989111e-05,2.975969e-05,2.962979e-05,2.950144e-05,2.937464e-05,2.924941e-05,2.912576e-05,2.900371e-05
0.000000e+00,1.799197e-09,4.083475e-09,1.381498e-08,3.097794e-08,4.482949e-08,9.949780e-08,1.023965e-07,1.932205e-07,2.254629e-07,3.234972e-07,4.230632e-07,4.991137e-07,7.053900e-07,7.254748e-07,1.006539e-06,1.082306e-06,1.343014e-06,1.554409e-06,1.731139e-06,2.109760e-06,2.163749e-06,2.632633e-06,2.730068e-06,3.130065e-06,3.397696e-06,3.649163e-06,4.097414e-06,4.183749e-06,4.728135e-06,4.815786e-06,5.277001e-06,5.540572e-06,5.825367e-06,6.260579e-06,6.368609e-06,6.902512e-06,6.965769e-06,7.423318e-06,7.647468e-06,7.927777e-06,8.298535e-06,8.413161e-06,8.877287e-06,8.913446e-06,9.318488e-06,9.488268e-06,9.735579e-06,1.002054e-05,1.012785e-05,1.049500e-05,1.050916e-05,1.083704e-05,1.095409e-05,1.115431e-05,1.135619e-05,1.144738e-05,1.171702e-05,1.196415e-05,1.203864e-05,1.218979e-05,1.232343e-05,1.239504e-05,1.257397e-05,1.258105e-05,1.274896e-05,1.279290e-05,1.289994e-05,1.298288e-05,1.303512e-05,1.314648e-05,1.315560e-05,1.326244e-05,1.328616e-05,1.335664e-05,1.340423e-05,1.343916e-05,1.350283e-05,1.351090e-05,1.357270e-05,1.358394e-05,1.362535e-05,1.364935e-05,1.366957e-05,1.370070e-05,1.370604e-05,1.373539e-05,1.373947e-05,1.375820e-05,1.376699e-05,1.377501e-05,1.378445e-05,1.378629e-05,1.379250e-05,1.379293e-05,1.379407e-05,1.379338e-05,1.379136e-05,1.378666e-05,1.378473e-05,1.377451e-05,1.377354e-05,1.376098e-05,1.375471e-05,1.374442e-05,1.373076e-05,1.372508e-05,1.370319e-05,1.370227e-05,1.367896e-05,1.366971e-05,1.365259e-05,1.363352e-05,1.362425e-05,1.359411e-05,1.356233e-05,1.355183e-05,1.352904e-05,1.350700e-05,1.349437e-05,1.345992e-05,1.345846e-05,1.342140e-05,1.341083e-05,1.338330e-05,1.335999e-05,1.334427e-05,1.330760e-05,1.330438e-05,1.326372e-05,1.325386e-05,1.322237e-05,1.319894e-05,1.318040e-05,1.314301e-05,1.313789e-05,1.309488e-05,1.308622e-05,1.305144e-05,1.302870e-05,1.300762e-05,1.297056e-05,1.296348e-05,1.291906e-05,1.291193e-05,1.287440e-05,1.285290e-05,1.282956e-05,1.279357e-05,1.278456e-05,1.273944e-05,1.273402e-05,1.269424e-05,1.267433e-05,1.264899e-05,1.261458e-05,1.260372e-05,1.255845e-05,1.255483e-05,1.251322e-05,1.249514e-05,1.246804e-05,1.243557e-05,1.242295e-05,1.237796e-05,1.237616e-05,1.233308e-05,1.231696e-05,1.228835e-05,1.225802e-05,1.224378e-05,1.219938e-05,1.214106e-05,1.208311e-05,1.202555e-05,1.196841e-05,1.191171e-05,1.185548e-05,1.179974e-05,1.174450e-05,1.168978e-05,1.163559e-05,1.158196e-05,1.152888e-05,1.147637e-05,1.142445e-05,1.137311e-05,1.132236e-05,1.127221e-05,1.122267e-05,1.117373e-05,1.112541e-05,1.107769e-05,1.103060e-05,1.098411e-05,1.093824e-05
0.000000e+00,4.317644e-09,9.864858e-09,3.392660e-08,7.755067e-08,1.136672e-07,2.630386e-07,2.712418e-07,5.414012e-07,6.430171e-07,9.681214e-07,1.319271e-06,1.598322e-06,2.382033e-06,2.459331e-06,3.536291e-06,3.822107e-06,4.784538e-06,5.541065e-06,6.158846e-06,7.445253e-06,7.625197e-06,9.159033e-06,9.472165e-06,1.074140e-05,1.157806e-05,1.235642e-05,1.372799e-05,1.399010e-05,1.562987e-05,1.589203e-05,1.726448e-05,1.804431e-05,1.888403e-05,2.016305e-05,2.047999e-05,2.204516e-05,2.223061e-05,2.357365e-05,2.423333e-05,2.506080e-05,2.616113e-05,2.650300e-05,2.789761e-05,2.800706e-05,2.924280e-05,2.976676e-05,3.053744e-05,3.143794e-05,3.178096e-05,3.297327e-05,3.301990e-05,3.411465e-05,3.451319e-05,3.520569e-05,3.591926e-05,3.624721e-05,3.724020e-05,3.818579e-05,3.847857e-05,3.908522e-05,3.963723e-05,3.993979e-05,4.071923e-05,4.075086e-05,4.151980e-05,4.172774e-05,4.224801e-05,4.266597e-05,4.293689e-05,4.353712e-05,4.358783e-05,4.420221e-05,4.434437e-05,4.478139e-05,4.509085e-05,4.532670e-05,4.577960e-05,4.583946e-05,4.632093e-05,4.641358e-05,4.677236e-05,4.699564e-05,4.719498e-05,4.752856e-05,4.758994e-05,4.795841e-05,4.801498e-05,4.830148e-05,4.845745e-05,4.862023e-05,4.885843e-05,4.891571e-05,4.918890e-05,4.922023e-05,4.944079e-05,4.954511e-05,4.967230e-05,4.983519e-05,4.988435e-05,5.007780e-05,5.009249e-05,5.025348e-05,5.031896e-05,5.041221e-05,5.051644e-05,5.055476e-05,5.068189e-05,5.068666e-05,5.079430e-05,5.083130e-05,5.089269e-05,5.095193e-05,5.097773e-05,5.105005e-05,5.111027e-05,5.112708e-05,5.115898e-05,5.118437e-05,5.119673e-05,5.122318e-05,5.122408e-05,5.124154e-05,5.124472e-05,5.124961e-05,5.125015e-05,5.124878e-05,5.124053e-05,5.123949e-05,5.122219e-05,5.121690e-05,5.119731e-05,5.118021e-05,5.116524e-05,5.113138e-05,5.112637e-05,5.108108e-05,5.107128e-05,5.102971e-05,5.100072e-05,5.097261e-05,5.092046e-05,5.091011e-05,5.084250e-05,5.083124e-05,5.077010e-05,5.073373e-05,5.069319e-05,5.062859e-05,5.061203e-05,5.052689e-05,5.051642e-05,5.043803e-05,5.039780e-05,5.034566e-05,5.027327e-05,5.025004e-05,5.015136e-05,5.014334e-05,5.004984e-05,5.000849e-05,4.994569e-05,4.986916e-05,4.983908e-05,4.973019e-05,4.972579e-05,4.961921e-05,4.957878e-05,4.950630e-05,4.942849e-05,4.939161e-05,4.927529e-05,4.911951e-05,4.896145e-05,4.880141e-05,4.863967e-05,4.847647e-05,4.831207e-05,4.814669e-05,4.798054e-05,4.781382e-05,4.764671e-05,4.747939e-05,4.731202e-05,4.714475e-05,4.697772e-05,4.681106e-05,4.664489e-05,4.647933e-05,4.631449e-05,4.615044e-05,4.598730e-05,4.582514e-05,4.566404e-05,4.550407e-05,4.534530e-05
0.000000e+00,7.664759e-09,1.753453e-08,6.052987e-08,1.390881e-07,2.046455e-07,4.801121e-07,4.954249e-07,1.008797e-06,1.205809e-06,1.846343e-06,2.548097e-06,3.107151e-06,4.660306e-06,4.811553e-06,6.885788e-06,7.428339e-06,9.242297e-06,1.066204e-05,1.182175e-05,1.424647e-05,1.458723e-05,1.751241e-05,1.811459e-05,2.057458e-05,2.221371e-05,2.375158e-05,2.649246e-05,2.702078e-05,3.035906e-05,3.089805e-05,3.374330e-05,3.537740e-05,3.715095e-05,3.987947e-05,4.056057e-05,4.395234e-05,4.435727e-05,4.730832e-05,4.876946e-05,5.061271e-05,5.308109e-05,5.385190e-05,5.701441e-05,5.726381e-05,6.009088e-05,6.129564e-05,6.307381e-05,6.516028e-05,6.595740e-05,6.873740e-05,6.884640e-05,7.141093e-05,7.234696e-05,7.397621e-05,7.565834e-05,7.643247e-05,7.877973e-05,8.101872e-05,8.171252e-05,8.315068e-05,8.445973e-05,8.517731e-05,8.702569e-05,8.710067e-05,8.892308e-05,8.941560e-05,9.064708e-05,9.163535e-05,9.227536e-05,9.369126e-05,9.381074e-05,9.525610e-05,9.558991e-05,9.661434e-05,9.733800e-05,9.788841e-05,9.894228e-05,9.908122e-05,1.001957e-04,1.004095e-04,1.012347e-04,1.017462e-04,1.022012e-04,1.029589e-04,1.030978e-04,1.039274e-04,1.040541e-04,1.046926e-04,1.050377e-04,1.053959e-04,1.059159e-04,1.060401e-04,1.066275e-04,1.066943e-04,1.071606e-04,1.073785e-04,1.076417e-04,1.079739e-04,1.080730e-04,1.084568e-04,1.084855e-04,1.087951e-04,1.089182e-04,1.090901e-04,1.092768e-04,1.093438e-04,1.095579e-04,1.095657e-04,1.097345e-04,1.097892e-04,1.098752e-04,1.099513e-04,1.099818e-04,1.100560e-04,1.100993e-04,1.101069e-04,1.101133e-04,1.101076e-04,1.100995e-04,1.100613e-04,1.100592e-04,1.099940e-04,1.099714e-04,1.099050e-04,1.098407e-04,1.097935e-04,1.096722e-04,1.096608e-04,1.095080e-04,1.094684e-04,1.093362e-04,1.092321e-04,1.091465e-04,1.089656e-04,1.089400e-04,1.087176e-04,1.086713e-04,1.084802e-04,1.083512e-04,1.082288e-04,1.080074e-04,1.079642e-04,1.076873e-04,1.076419e-04,1.073989e-04,1.072566e-04,1.070997e-04,1.068530e-04,1.067904e-04,1.064718e-04,1.064329e-04,1.061444e-04,1.059978e-04,1.058090e-04,1.055491e-04,1.054662e-04,1.051165e-04,1.050882e-04,1.047604e-04,1.046164e-04,1.043986e-04,1.041348e-04,1.040315e-04,1.036596e-04,1.036446e-04,1.032833e-04,1.031469e-04,1.029031e-04,1.026426e-04,1.025195e-04,1.021327e-04,1.016180e-04,1.010994e-04,1.005777e-04,1.000535e-04,9.952756e-05,9.900045e-05,9.847278e-05,9.794507e-05,9.741785e-05,9.689157e-05,9.636668e-05,9.584358e-05,9.532264e-05,9.480420e-05,9.428859e-05,9.377611e-05,9.326701e-05,9.276156e-05,9.225997e-05,9.176245e-05,9.126919e-05,9.078037e-05,9.029614e-05,8.981663e-05
0.000000e+00,4.988876e-09,1.140570e-08,3.926427e-08,8.978695e-08,1.316006e-07,3.043210e-07,3.137971e-07,6.254691e-07,7.425015e-07,1.115792e-06,1.515601e-06,1.829669e-06,2.692706e-06,2.776487e-06,3.928714e-06,4.231959e-06,5.253270e-06,6.060923e-06,6.725901e-06,8.130328e-06,8.329110e-06,1.004816e-05,1.040461e-05,1.186871e-05,1.285062e-05,1.377594e-05,1.543366e-05,1.575433e-05,1.778795e-05,1.811739e-05,1.986088e-05,2.086527e-05,2.195762e-05,2.364228e-05,2.406352e-05,2.616503e-05,2.641632e-05,2.824995e-05,2.915924e-05,3.030753e-05,3.184727e-05,3.232853e-05,3.430516e-05,3.446117e-05,3.623099e-05,3.698592e-05,3.810093e-05,3.941040e-05,3.991100e-05,4.165825e-05,4.172681e-05,4.334066e-05,4.393018e-05,4.495693e-05,4.601787e-05,4.650644e-05,4.798910e-05,4.940529e-05,4.984453e-05,5.075572e-05,5.158596e-05,5.204144e-05,5.321602e-05,5.326371e-05,5.442397e-05,5.473795e-05,5.552382e-05,5.615542e-05,5.656494e-05,5.747242e-05,5.754910e-05,5.847812e-05,5.869308e-05,5.935384e-05,5.982165e-05,6.017811e-05,6.086241e-05,6.095281e-05,6.167978e-05,6.181960e-05,6.236083e-05,6.269743e-05,6.299777e-05,6.350000e-05,6.359236e-05,6.414634e-05,6.423132e-05,6.466140e-05,6.489528e-05,6.513917e-05,6.549562e-05,6.558126e-05,6.598923e-05,6.603596e-05,6.636459e-05,6.651979e-05,6.670879e-05,6.695043e-05,6.702327e-05,6.730938e-05,6.733109e-05,6.756846e-05,6.766480e-05,6.780177e-05,6.795449e-05,6.801055e-05,6.819598e-05,6.820293e-05,6.835922e-05,6.841276e-05,6.850136e-05,6.858650e-05,6.862346e-05,6.872654e-05,6.881158e-05,6.883514e-05,6.887953e-05,6.891446e-05,6.893128e-05,6.896653e-05,6.896770e-05,6.898964e-05,6.899329e-05,6.899787e-05,6.899656e-05,6.899318e-05,6.897807e-05,6.897629e-05,6.894790e-05,6.893945e-05,6.890870e-05,6.888225e-05,6.885931e-05,6.880792e-05,6.880036e-05,6.873244e-05,6.871783e-05,6.865612e-05,6.861328e-05,6.857191e-05,6.849548e-05,6.848036e-05,6.838193e-05,6.836558e-05,6.827711e-05,6.822466e-05,6.816634e-05,6.807372e-05,6.805004e-05,6.792863e-05,6.791374e-05,6.780249e-05,6.774559e-05,6.767199e-05,6.757011e-05,6.753748e-05,6.739930e-05,6.738810e-05,6.725777e-05,6.720029e-05,6.711319e-05,6.700736e-05,6.696584e-05,6.681601e-05,6.680997e-05,6.666395e-05,6.660871e-05,6.650991e-05,6.640416e-05,6.635413e-05,6.619682e-05,6.598720e-05,6.577574e-05,6.556288e-05,6.534900e-05,6.513447e-05,6.491964e-05,6.470480e-05,6.449026e-05,6.427628e-05,6.406311e-05,6.385098e-05,6.364009e-05,6.343064e-05,6.322280e-05,6.301672e-05,6.281256e-05,6.261044e-05,6.241048e-05,6.221280e-05,6.201748e-05,6.182461e-05,6.163426e-05,6.144651e-05,6.126140e-05
0.000000e+00,1.335409e-09,3.046231e-09,1.041855e-08,2.360899e-08,3.437417e-08,7.760110e-08,7.992065e-08,1.537326e-07,1.804038e-07,2.627895e-07,3.482350e-07,4.145756e-07,5.986596e-07,6.168805e-07,8.767234e-07,9.481863e-07,1.197980e-06,1.404254e-06,1.578705e-06,1.956770e-06,2.011025e-06,2.484286e-06,2.582923e-06,2.988266e-06,3.259577e-06,3.514438e-06,3.968457e-06,4.055861e-06,4.606760e-06,4.695443e-06,5.162171e-06,5.429070e-06,5.717731e-06,6.159678e-06,6.269582e-06,6.814330e-06,6.879077e-06,7.349027e-06,7.580447e-06,7.871164e-06,8.258290e-06,8.378657e-06,8.869825e-06,8.908372e-06,9.343364e-06,9.527617e-06,9.798311e-06,1.011398e-05,1.023401e-05,1.065007e-05,1.066630e-05,1.104634e-05,1.118415e-05,1.142284e-05,1.166766e-05,1.177977e-05,1.211746e-05,1.243632e-05,1.253447e-05,1.273688e-05,1.291988e-05,1.301969e-05,1.327505e-05,1.328535e-05,1.353452e-05,1.360142e-05,1.376784e-05,1.390050e-05,1.398598e-05,1.417382e-05,1.418959e-05,1.437935e-05,1.442289e-05,1.455588e-05,1.464920e-05,1.471983e-05,1.485418e-05,1.487180e-05,1.501240e-05,1.503921e-05,1.514221e-05,1.520562e-05,1.526177e-05,1.535467e-05,1.537161e-05,1.547226e-05,1.548755e-05,1.556420e-05,1.560538e-05,1.564790e-05,1.570923e-05,1.572381e-05,1.579235e-05,1.580010e-05,1.585393e-05,1.587893e-05,1.590895e-05,1.594659e-05,1.595775e-05,1.600071e-05,1.600391e-05,1.603815e-05,1.605165e-05,1.607039e-05,1.609055e-05,1.609773e-05,1.612046e-05,1.612127e-05,1.613884e-05,1.614444e-05,1.615314e-05,1.616065e-05,1.616359e-05,1.617044e-05,1.617390e-05,1.617433e-05,1.617418e-05,1.617278e-05,1.617147e-05,1.616624e-05,1.616597e-05,1.615785e-05,1.615512e-05,1.614727e-05,1.613982e-05,1.613440e-05,1.612067e-05,1.611939e-05,1.610238e-05,1.609802e-05,1.608351e-05,1.607218e-05,1.606290e-05,1.604343e-05,1.604068e-05,1.601695e-05,1.601204e-05,1.599184e-05,1.597826e-05,1.596543e-05,1.594232e-05,1.593783e-05,1.590913e-05,1.590444e-05,1.587942e-05,1.586482e-05,1.584877e-05,1.582364e-05,1.581727e-05,1.578499e-05,1.578107e-05,1.575200e-05,1.573728e-05,1.571836e-05,1.569240e-05,1.568414e-05,1.564939e-05,1.564659e-05,1.561418e-05,1.559997e-05,1.557854e-05,1.555265e-05,1.554254e-05,1.550621e-05,1.550475e-05,1.546961e-05,1.545637e-05,1.543276e-05,1.540760e-05,1.539572e-05,1.535852e-05,1.530923e-05,1.525979e-05,1.521027e-05,1.516074e-05,1.511125e-05,1.506185e-05,1.501261e-05,1.496355e-05,1.491473e-05,1.486618e-05,1.481794e-05,1.477004e-05,1.472250e-05,1.467536e-05,1.462863e-05,1.458235e-05,1.453652e-05,1.449117e-05,1.444631e-05,1.440196e-05,1.435812e-05,1.431482e-05,1.427205e-05,1.422983e-05
0.000000e+00,1.539809e-08,3.537097e-08,1.239102e-07,2.913771e-07,4.362258e-07,1.087794e-06,1.125791e-06,2.478311e-06,3.025517e-06,4.839367e-06,6.800823e-06,8.312102e-06,1.228725e-05,1.266073e-05,1.763577e-05,1.890590e-05,2.310014e-05,2.634714e-05,2.898586e-05,3.448154e-05,3.525255e-05,4.186709e-05,4.322882e-05,4.879568e-05,5.251041e-05,5.600100e-05,6.223749e-05,6.344214e-05,7.107534e-05,7.231143e-05,7.885499e-05,8.262795e-05,8.673605e-05,9.308469e-05,9.467513e-05,1.026312e-04,1.035853e-04,1.105667e-04,1.140429e-04,1.184477e-04,1.243822e-04,1.262442e-04,1.339302e-04,1.345396e-04,1.414835e-04,1.444635e-04,1.488858e-04,1.541131e-04,1.561216e-04,1.631788e-04,1.634572e-04,1.700478e-04,1.724730e-04,1.767212e-04,1.811446e-04,1.831937e-04,1.894618e-04,1.955232e-04,1.974190e-04,2.013770e-04,2.050146e-04,2.070234e-04,2.122495e-04,2.124631e-04,2.176979e-04,2.191272e-04,2.227300e-04,2.256530e-04,2.275620e-04,2.318335e-04,2.321971e-04,2.366386e-04,2.376762e-04,2.408903e-04,2.431896e-04,2.449558e-04,2.483827e-04,2.488393e-04,2.525448e-04,2.532649e-04,2.560765e-04,2.578457e-04,2.594387e-04,2.621352e-04,2.626358e-04,2.656719e-04,2.661431e-04,2.685515e-04,2.698794e-04,2.712789e-04,2.733540e-04,2.738582e-04,2.762939e-04,2.765767e-04,2.785901e-04,2.795573e-04,2.807509e-04,2.823052e-04,2.827806e-04,2.846831e-04,2.848299e-04,2.864625e-04,2.871406e-04,2.881226e-04,2.892463e-04,2.896674e-04,2.911007e-04,2.911557e-04,2.924261e-04,2.928775e-04,2.936473e-04,2.944200e-04,2.947679e-04,2.957913e-04,2.967210e-04,2.969992e-04,2.975603e-04,2.980515e-04,2.983124e-04,2.989554e-04,2.989805e-04,2.995678e-04,2.997182e-04,3.000772e-04,3.003468e-04,3.005117e-04,3.008478e-04,3.008742e-04,3.011674e-04,3.012278e-04,3.013940e-04,3.014929e-04,3.015568e-04,3.016492e-04,3.016582e-04,3.017007e-04,3.017024e-04,3.016869e-04,3.016582e-04,3.016190e-04,3.015218e-04,3.014993e-04,3.013300e-04,3.012985e-04,3.011133e-04,3.009931e-04,3.008514e-04,3.006105e-04,3.005461e-04,3.001995e-04,3.001552e-04,2.998135e-04,2.996316e-04,2.993899e-04,2.990439e-04,2.989304e-04,2.984370e-04,2.983961e-04,2.979111e-04,2.976920e-04,2.973544e-04,2.969354e-04,2.967685e-04,2.961549e-04,2.961298e-04,2.955150e-04,2.952785e-04,2.948503e-04,2.943848e-04,2.941622e-04,2.934518e-04,2.924825e-04,2.914795e-04,2.904457e-04,2.893836e-04,2.882955e-04,2.871839e-04,2.860509e-04,2.848987e-04,2.837291e-04,2.825442e-04,2.813458e-04,2.801355e-04,2.789150e-04,2.776857e-04,2.764493e-04,2.752070e-04,2.739602e-04,2.727100e-04,2.714578e-04,2.702045e-04,2.689512e-04,2.676989e-04,2.664486e-04,2.652010e-04
0.000000e+00,2.486985e-07,5.675318e-07,1.942638e-06,4.405583e-06,6.417333e-06,1.450578e-05,1.494019e-05,2.878119e-05,3.378989e-05,4.928359e-05,6.538453e-05,7.790475e-05,1.127110e-04,1.161596e-04,1.653543e-04,1.788779e-04,2.260956e-04,2.650286e-04,2.979369e-04,3.693283e-04,3.795934e-04,4.694933e-04,4.883290e-04,5.661595e-04,6.186676e-04,6.683119e-04,7.575437e-04,7.748404e-04,8.847528e-04,9.025910e-04,9.971367e-04,1.051706e-03,1.111139e-03,1.202966e-03,1.225959e-03,1.340851e-03,1.354610e-03,1.455126e-03,1.505047e-03,1.568156e-03,1.652880e-03,1.679383e-03,1.788316e-03,1.796919e-03,1.894535e-03,1.936181e-03,1.997687e-03,2.069894e-03,2.097485e-03,2.193703e-03,2.197475e-03,2.286171e-03,2.318516e-03,2.374768e-03,2.432762e-03,2.459418e-03,2.540085e-03,2.616763e-03,2.640461e-03,2.689475e-03,2.733948e-03,2.758264e-03,2.820670e-03,2.823194e-03,2.884349e-03,2.900808e-03,2.941823e-03,2.974583e-03,2.995719e-03,3.042238e-03,3.046148e-03,3.093228e-03,3.104043e-03,3.137080e-03,3.160272e-03,3.177824e-03,3.211207e-03,3.215585e-03,3.250484e-03,3.257131e-03,3.282645e-03,3.298329e-03,3.312194e-03,3.335084e-03,3.339250e-03,3.363928e-03,3.367663e-03,3.386333e-03,3.396312e-03,3.406574e-03,3.421278e-03,3.424754e-03,3.440974e-03,3.442794e-03,3.455331e-03,3.461082e-03,3.467917e-03,3.476353e-03,3.478822e-03,3.488132e-03,3.488810e-03,3.495931e-03,3.498646e-03,3.502299e-03,3.506041e-03,3.507312e-03,3.511044e-03,3.511167e-03,3.513563e-03,3.514186e-03,3.514937e-03,3.515250e-03,3.515230e-03,3.514504e-03,3.512817e-03,3.512084e-03,3.510226e-03,3.508118e-03,3.506784e-03,3.502727e-03,3.502543e-03,3.497550e-03,3.496024e-03,3.491853e-03,3.488116e-03,3.485497e-03,3.479102e-03,3.478522e-03,3.470971e-03,3.469077e-03,3.462881e-03,3.458128e-03,3.454288e-03,3.446339e-03,3.445228e-03,3.435734e-03,3.433786e-03,3.425837e-03,3.420542e-03,3.415568e-03,3.406674e-03,3.404954e-03,3.394023e-03,3.392246e-03,3.382800e-03,3.377317e-03,3.371311e-03,3.361943e-03,3.359577e-03,3.347622e-03,3.346174e-03,3.335466e-03,3.330059e-03,3.323129e-03,3.313643e-03,3.310629e-03,3.297984e-03,3.296967e-03,3.285212e-03,3.280071e-03,3.272328e-03,3.262991e-03,3.259347e-03,3.246284e-03,3.245760e-03,3.233152e-03,3.228410e-03,3.219963e-03,3.210969e-03,3.206730e-03,3.193464e-03,3.175921e-03,3.158362e-03,3.140808e-03,3.123280e-03,3.105794e-03,3.088368e-03,3.071017e-03,3.053755e-03,3.036595e-03,3.019548e-03,3.002625e-03,2.985835e-03,2.969189e-03,2.952692e-03,2.936353e-03,2.920178e-03,2.904172e-03,2.888341e-03,2.872689e-03,2.857220e-03,2.841937e-03,2.826844e-03,2.811941e-03,2.797233e-03
0.000000e+00,5.452921e-09,1.243079e-08,4.247774e-08,9.625616e-08,1.402077e-07,3.174781e-07,3.270296e-07,6.331680e-07,7.448131e-07,1.092709e-06,1.457111e-06,1.741166e-06,2.524665e-06,2.601300e-06,3.666320e-06,3.949466e-06,4.908745e-06,5.671355e-06,6.300725e-06,7.631900e-06,7.820385e-06,9.449706e-06,9.787254e-06,1.117196e-05,1.209871e-05,1.297038e-05,1.452734e-05,1.482776e-05,1.672660e-05,1.703309e-05,1.864946e-05,1.957598e-05,2.057946e-05,2.211787e-05,2.250068e-05,2.439852e-05,2.462405e-05,2.625994e-05,2.706446e-05,2.807367e-05,2.941431e-05,2.983022e-05,3.152189e-05,3.165423e-05,3.314268e-05,3.377009e-05,3.468811e-05,3.575240e-05,3.615514e-05,3.754196e-05,3.759575e-05,3.884786e-05,3.929818e-05,4.007299e-05,4.086040e-05,4.121829e-05,4.228528e-05,4.327597e-05,4.357726e-05,4.419273e-05,4.474188e-05,4.503821e-05,4.578544e-05,4.581524e-05,4.652679e-05,4.671470e-05,4.717588e-05,4.753662e-05,4.776555e-05,4.825820e-05,4.829886e-05,4.877879e-05,4.888636e-05,4.920829e-05,4.942785e-05,4.959021e-05,4.988913e-05,4.992730e-05,5.022221e-05,5.027636e-05,5.047751e-05,5.059542e-05,5.069562e-05,5.085182e-05,5.087889e-05,5.102953e-05,5.105074e-05,5.114964e-05,5.119705e-05,5.124125e-05,5.129528e-05,5.130623e-05,5.134640e-05,5.134963e-05,5.136345e-05,5.136405e-05,5.135900e-05,5.134216e-05,5.133455e-05,5.129155e-05,5.128735e-05,5.123134e-05,5.120272e-05,5.115519e-05,5.109118e-05,5.106431e-05,5.095982e-05,5.095538e-05,5.084279e-05,5.079778e-05,5.071420e-05,5.062065e-05,5.057501e-05,5.042608e-05,5.026826e-05,5.021600e-05,5.010231e-05,4.999217e-05,4.992896e-05,4.975623e-05,4.974891e-05,4.956278e-05,4.950966e-05,4.937119e-05,4.925384e-05,4.917469e-05,4.899004e-05,4.897382e-05,4.876906e-05,4.871939e-05,4.856087e-05,4.844296e-05,4.834970e-05,4.816172e-05,4.813594e-05,4.791997e-05,4.787654e-05,4.770215e-05,4.758825e-05,4.748279e-05,4.729758e-05,4.726221e-05,4.704070e-05,4.700519e-05,4.681852e-05,4.671171e-05,4.659591e-05,4.641768e-05,4.637312e-05,4.615034e-05,4.612362e-05,4.592779e-05,4.582999e-05,4.570564e-05,4.553719e-05,4.548407e-05,4.526323e-05,4.524560e-05,4.504328e-05,4.495557e-05,4.482433e-05,4.466739e-05,4.460653e-05,4.438998e-05,4.438135e-05,4.417479e-05,4.409767e-05,4.396106e-05,4.381659e-05,4.374887e-05,4.353830e-05,4.326296e-05,4.299073e-05,4.272175e-05,4.245611e-05,4.219394e-05,4.193530e-05,4.168027e-05,4.142891e-05,4.118127e-05,4.093738e-05,4.069728e-05,4.046097e-05,4.022849e-05,3.999982e-05,3.977497e-05,3.955394e-05,3.933670e-05,3.912324e-05,3.891355e-05,3.870759e-05,3.850533e-05,3.830675e-05,3.811181e-05,3.792047e-05
0.000000e+00,6.401436e-09,1.462463e-08,5.024278e-08,1.145704e-07,1.675825e-07,3.846634e-07,3.964925e-07,7.816010e-07,9.245352e-07,1.376351e-06,1.856837e-06,2.234252e-06,3.279127e-06,3.381313e-06,4.797708e-06,5.172932e-06,6.439984e-06,7.442871e-06,8.267747e-06,1.000454e-05,1.024963e-05,1.236014e-05,1.279565e-05,1.457648e-05,1.576355e-05,1.687689e-05,1.885872e-05,1.924022e-05,2.164601e-05,2.203356e-05,2.407484e-05,2.524353e-05,2.650876e-05,2.844854e-05,2.893147e-05,3.132870e-05,3.161405e-05,3.368821e-05,3.471172e-05,3.599973e-05,3.771919e-05,3.825492e-05,4.044718e-05,4.061969e-05,4.257148e-05,4.340130e-05,4.462413e-05,4.605623e-05,4.660263e-05,4.850547e-05,4.858000e-05,5.033194e-05,5.097075e-05,5.208201e-05,5.322867e-05,5.375620e-05,5.535544e-05,5.688101e-05,5.735387e-05,5.833443e-05,5.922756e-05,5.971745e-05,6.098064e-05,6.103193e-05,6.227984e-05,6.261760e-05,6.346321e-05,6.414312e-05,6.458413e-05,6.556201e-05,6.564468e-05,6.664697e-05,6.687908e-05,6.759307e-05,6.809910e-05,6.848503e-05,6.922678e-05,6.932487e-05,7.011459e-05,7.026669e-05,7.085612e-05,7.122330e-05,7.155135e-05,7.210092e-05,7.220213e-05,7.281025e-05,7.290370e-05,7.337744e-05,7.363565e-05,7.390539e-05,7.430059e-05,7.439573e-05,7.485003e-05,7.490220e-05,7.526983e-05,7.544398e-05,7.565658e-05,7.592930e-05,7.601172e-05,7.633660e-05,7.636133e-05,7.663256e-05,7.674313e-05,7.690085e-05,7.707758e-05,7.714271e-05,7.735930e-05,7.736745e-05,7.755176e-05,7.761535e-05,7.772118e-05,7.782376e-05,7.786861e-05,7.799504e-05,7.810145e-05,7.813143e-05,7.818876e-05,7.823503e-05,7.825787e-05,7.830788e-05,7.830962e-05,7.834484e-05,7.835185e-05,7.836432e-05,7.836876e-05,7.836881e-05,7.836032e-05,7.835903e-05,7.833568e-05,7.832813e-05,7.829943e-05,7.827373e-05,7.825091e-05,7.819855e-05,7.819073e-05,7.811949e-05,7.810397e-05,7.803775e-05,7.799127e-05,7.794604e-05,7.786168e-05,7.784488e-05,7.773476e-05,7.771634e-05,7.761616e-05,7.755636e-05,7.748954e-05,7.738276e-05,7.735533e-05,7.721394e-05,7.719651e-05,7.706577e-05,7.699853e-05,7.691121e-05,7.678969e-05,7.675062e-05,7.658434e-05,7.657081e-05,7.641273e-05,7.634266e-05,7.623609e-05,7.610597e-05,7.605473e-05,7.586895e-05,7.586143e-05,7.567903e-05,7.560969e-05,7.548523e-05,7.535137e-05,7.528782e-05,7.508703e-05,7.481723e-05,7.454248e-05,7.426327e-05,7.398004e-05,7.369324e-05,7.340327e-05,7.311050e-05,7.281531e-05,7.251802e-05,7.221896e-05,7.191842e-05,7.161669e-05,7.131403e-05,7.101069e-05,7.070690e-05,7.040289e-05,7.009886e-05,6.979499e-05,6.949148e-05,6.918850e-05,6.888619e-05,6.858471e-05,6.828420e-05,6.798479e-05
0.000000e+00,6.672540e-09,1.502177e-08,5.000867e-08,1.106364e-07,1.590332e-07,3.478995e-07,3.578616e-07,6.694137e-07,7.801444e-07,1.118419e-06,1.464990e-06,1.731633e-06,2.459403e-06,2.530306e-06,3.513933e-06,3.774743e-06,4.653605e-06,5.344560e-06,5.908291e-06,7.079438e-06,7.242922e-06,8.633317e-06,8.916584e-06,1.006354e-05,1.081915e-05,1.152230e-05,1.276293e-05,1.300037e-05,1.448910e-05,1.472771e-05,1.597978e-05,1.669336e-05,1.746338e-05,1.863892e-05,1.893060e-05,2.037207e-05,2.054288e-05,2.177862e-05,2.238417e-05,2.314151e-05,2.414310e-05,2.445266e-05,2.570486e-05,2.580230e-05,2.689204e-05,2.734756e-05,2.800926e-05,2.876816e-05,2.905273e-05,3.001982e-05,3.005689e-05,3.090907e-05,3.121003e-05,3.172006e-05,3.222708e-05,3.245334e-05,3.311028e-05,3.369300e-05,3.386423e-05,3.420430e-05,3.449555e-05,3.464743e-05,3.501177e-05,3.502570e-05,3.534283e-05,3.542122e-05,3.560286e-05,3.573312e-05,3.580974e-05,3.595657e-05,3.596747e-05,3.608002e-05,3.610074e-05,3.615122e-05,3.617441e-05,3.618474e-05,3.618582e-05,3.618404e-05,3.615242e-05,3.614266e-05,3.609298e-05,3.605205e-05,3.600863e-05,3.592046e-05,3.590201e-05,3.577560e-05,3.575369e-05,3.563164e-05,3.555693e-05,3.547222e-05,3.533480e-05,3.529919e-05,3.511428e-05,3.509136e-05,3.491901e-05,3.483017e-05,3.471478e-05,3.455434e-05,3.450284e-05,3.428432e-05,3.426658e-05,3.406023e-05,3.396924e-05,3.383148e-05,3.366435e-05,3.359888e-05,3.336315e-05,3.335367e-05,3.312495e-05,3.303871e-05,3.288485e-05,3.272077e-05,3.264337e-05,3.240097e-05,3.215807e-05,3.208029e-05,3.191502e-05,3.175955e-05,3.167216e-05,3.143945e-05,3.142977e-05,3.118811e-05,3.112061e-05,3.094743e-05,3.080356e-05,3.070791e-05,3.048874e-05,3.046974e-05,3.023309e-05,3.017653e-05,2.999809e-05,2.986727e-05,2.976488e-05,2.956122e-05,2.953357e-05,2.930424e-05,2.925862e-05,2.907700e-05,2.895968e-05,2.885191e-05,2.866455e-05,2.862905e-05,2.840846e-05,2.837338e-05,2.819021e-05,2.808628e-05,2.797432e-05,2.780334e-05,2.776084e-05,2.754980e-05,2.752464e-05,2.734121e-05,2.725022e-05,2.713510e-05,2.698012e-05,2.693148e-05,2.673036e-05,2.671438e-05,2.653175e-05,2.645301e-05,2.633566e-05,2.619602e-05,2.614207e-05,2.595099e-05,2.594339e-05,2.576241e-05,2.569513e-05,2.557632e-05,2.545120e-05,2.539272e-05,2.521159e-05,2.497626e-05,2.474517e-05,2.451829e-05,2.429557e-05,2.407697e-05,2.386242e-05,2.365189e-05,2.344531e-05,2.324262e-05,2.304378e-05,2.284872e-05,2.265737e-05,2.246969e-05,2.228559e-05,2.210503e-05,2.192795e-05,2.175426e-05,2.158393e-05,2.141687e-05,2.125304e-05,2.109236e-05,2.093478e-05,2.078023e-05,2.062866e-05
0.000000e+00,1.396467e-09,3.186559e-09,1.090065e-08,2.468570e-08,3.591328e-08,8.075637e-08,8.315132e-08,1.587560e-07,1.857914e-07,2.684031e-07,3.527513e-07,4.173949e-07,5.934873e-07,6.106912e-07,8.527840e-07,9.185754e-07,1.147272e-06,1.335889e-06,1.496100e-06,1.847737e-06,1.898838e-06,2.352679e-06,2.449209e-06,2.853213e-06,3.130253e-06,3.395316e-06,3.878933e-06,3.973693e-06,4.583073e-06,4.683101e-06,5.218240e-06,5.530765e-06,5.874044e-06,6.410134e-06,6.545414e-06,7.227396e-06,7.309718e-06,7.915207e-06,8.218506e-06,8.604288e-06,9.126198e-06,9.290366e-06,9.969496e-06,1.002342e-05,1.063809e-05,1.090186e-05,1.129297e-05,1.175439e-05,1.193132e-05,1.255077e-05,1.257512e-05,1.314930e-05,1.335933e-05,1.372531e-05,1.410345e-05,1.427750e-05,1.480494e-05,1.530697e-05,1.546218e-05,1.578320e-05,1.607436e-05,1.623347e-05,1.664136e-05,1.665784e-05,1.705651e-05,1.716358e-05,1.742987e-05,1.764193e-05,1.777841e-05,1.807765e-05,1.810271e-05,1.840347e-05,1.847223e-05,1.868141e-05,1.882739e-05,1.893733e-05,1.914497e-05,1.917204e-05,1.938640e-05,1.942691e-05,1.958127e-05,1.967518e-05,1.975749e-05,1.989175e-05,1.991595e-05,2.005748e-05,2.007862e-05,2.018294e-05,2.023769e-05,2.029314e-05,2.037086e-05,2.038889e-05,2.047098e-05,2.047994e-05,2.054015e-05,2.056669e-05,2.059715e-05,2.063276e-05,2.064268e-05,2.067742e-05,2.067976e-05,2.070203e-05,2.070918e-05,2.071714e-05,2.072247e-05,2.072334e-05,2.072121e-05,2.072096e-05,2.071130e-05,2.070592e-05,2.069412e-05,2.067855e-05,2.067019e-05,2.063997e-05,2.060392e-05,2.059122e-05,2.056246e-05,2.053328e-05,2.051600e-05,2.046705e-05,2.046493e-05,2.040961e-05,2.039341e-05,2.035039e-05,2.031312e-05,2.028759e-05,2.022693e-05,2.022154e-05,2.015251e-05,2.013553e-05,2.008079e-05,2.003955e-05,2.000663e-05,1.993956e-05,1.993029e-05,1.985200e-05,1.983613e-05,1.977197e-05,1.972974e-05,1.969041e-05,1.962086e-05,1.960751e-05,1.952346e-05,1.950991e-05,1.943842e-05,1.939730e-05,1.935255e-05,1.928337e-05,1.926601e-05,1.917894e-05,1.916846e-05,1.909146e-05,1.905287e-05,1.900370e-05,1.893688e-05,1.891577e-05,1.882778e-05,1.882074e-05,1.873983e-05,1.870468e-05,1.865201e-05,1.858891e-05,1.856440e-05,1.847710e-05,1.847361e-05,1.839016e-05,1.835897e-05,1.830367e-05,1.824513e-05,1.821767e-05,1.813223e-05,1.802040e-05,1.790975e-05,1.780038e-05,1.769237e-05,1.758579e-05,1.748073e-05,1.737722e-05,1.727533e-05,1.717510e-05,1.707655e-05,1.697972e-05,1.688463e-05,1.679129e-05,1.669972e-05,1.660992e-05,1.652190e-05,1.643566e-05,1.635119e-05,1.626849e-05,1.618754e-05,1.610834e-05,1.603086e-05,1.595510e-05,1.588103e-05
0.000000e+00,1.846992e-09,4.214559e-09,1.441804e-08,3.265668e-08,4.751703e-08,1.069200e-07,1.100949e-07,2.104374e-07,2.463729e-07,3.563491e-07,4.688841e-07,5.552860e-07,7.912500e-07,8.143446e-07,1.139906e-06,1.228513e-06,1.536657e-06,1.790660e-06,2.006089e-06,2.477292e-06,2.545547e-06,3.148996e-06,3.276705e-06,3.808839e-06,4.171645e-06,4.517279e-06,5.144427e-06,5.266815e-06,6.050275e-06,6.178311e-06,6.860735e-06,7.257365e-06,7.691475e-06,8.366290e-06,8.535992e-06,9.388048e-06,9.490517e-06,1.024175e-05,1.061646e-05,1.109159e-05,1.173180e-05,1.193257e-05,1.276017e-05,1.282568e-05,1.357042e-05,1.388888e-05,1.435990e-05,1.491383e-05,1.512573e-05,1.586556e-05,1.589458e-05,1.657750e-05,1.682668e-05,1.726014e-05,1.770706e-05,1.791246e-05,1.853382e-05,1.912389e-05,1.930609e-05,1.968263e-05,2.002385e-05,2.021020e-05,2.068772e-05,2.070700e-05,2.117357e-05,2.129888e-05,2.161058e-05,2.185892e-05,2.201882e-05,2.236975e-05,2.239917e-05,2.275254e-05,2.283345e-05,2.307993e-05,2.325228e-05,2.338231e-05,2.362855e-05,2.366073e-05,2.391620e-05,2.396464e-05,2.414975e-05,2.426287e-05,2.436239e-05,2.452557e-05,2.455511e-05,2.472889e-05,2.475500e-05,2.488469e-05,2.495336e-05,2.502344e-05,2.512276e-05,2.514603e-05,2.525333e-05,2.526522e-05,2.534617e-05,2.538264e-05,2.542535e-05,2.547686e-05,2.549164e-05,2.554579e-05,2.554962e-05,2.558850e-05,2.560254e-05,2.562046e-05,2.563717e-05,2.564231e-05,2.565466e-05,2.565497e-05,2.565812e-05,2.565729e-05,2.565324e-05,2.564543e-05,2.564056e-05,2.562058e-05,2.559380e-05,2.558387e-05,2.556067e-05,2.553635e-05,2.552164e-05,2.547899e-05,2.547711e-05,2.542749e-05,2.541273e-05,2.537314e-05,2.533841e-05,2.531442e-05,2.525682e-05,2.525166e-05,2.518519e-05,2.516872e-05,2.511531e-05,2.507479e-05,2.504229e-05,2.497566e-05,2.496642e-05,2.488793e-05,2.487195e-05,2.480708e-05,2.476418e-05,2.472410e-05,2.465289e-05,2.463918e-05,2.455254e-05,2.453853e-05,2.446437e-05,2.442156e-05,2.437485e-05,2.430237e-05,2.428414e-05,2.419240e-05,2.418133e-05,2.409979e-05,2.405879e-05,2.400644e-05,2.393508e-05,2.391248e-05,2.381804e-05,2.381047e-05,2.372324e-05,2.368524e-05,2.362818e-05,2.355964e-05,2.353297e-05,2.343770e-05,2.343389e-05,2.334246e-05,2.330820e-05,2.324733e-05,2.318275e-05,2.315239e-05,2.305772e-05,2.293326e-05,2.280952e-05,2.268663e-05,2.256469e-05,2.244383e-05,2.232412e-05,2.220565e-05,2.208851e-05,2.197275e-05,2.185843e-05,2.174561e-05,2.163433e-05,2.152462e-05,2.141652e-05,2.131006e-05,2.120526e-05,2.110213e-05,2.100069e-05,2.090094e-05,2.080291e-05,2.070657e-05,2.061195e-05,2.051903e-05,2.042781e-05
0.000000e+00,5.617718e-09,1.280049e-08,4.367670e-08,9.875746e-08,1.436149e-07,3.232177e-07,3.328381e-07,6.384283e-07,7.486685e-07,1.088849e-06,1.441255e-06,1.714544e-06,2.470148e-06,2.544615e-06,3.596902e-06,3.882626e-06,4.868289e-06,5.668645e-06,6.338191e-06,7.775204e-06,7.980565e-06,9.771254e-06,1.014529e-05,1.168921e-05,1.273050e-05,1.371548e-05,1.548810e-05,1.583211e-05,1.802147e-05,1.837735e-05,2.026606e-05,2.135798e-05,2.254851e-05,2.439026e-05,2.485177e-05,2.715939e-05,2.743584e-05,2.945579e-05,3.045889e-05,3.172652e-05,3.342691e-05,3.395835e-05,3.613951e-05,3.631149e-05,3.825970e-05,3.908871e-05,4.031026e-05,4.173952e-05,4.228411e-05,4.417555e-05,4.424943e-05,4.598032e-05,4.660821e-05,4.769541e-05,4.880944e-05,4.931893e-05,5.085004e-05,5.228875e-05,5.272974e-05,5.363586e-05,5.445057e-05,5.489279e-05,5.601640e-05,5.606148e-05,5.714432e-05,5.743249e-05,5.814400e-05,5.870512e-05,5.906349e-05,5.984130e-05,5.990594e-05,6.067461e-05,6.084848e-05,6.137285e-05,6.173437e-05,6.200405e-05,6.250671e-05,6.257156e-05,6.307872e-05,6.317321e-05,6.352883e-05,6.374140e-05,6.392507e-05,6.421858e-05,6.427057e-05,6.456834e-05,6.461175e-05,6.482128e-05,6.492760e-05,6.503219e-05,6.517245e-05,6.520374e-05,6.533848e-05,6.535229e-05,6.543884e-05,6.547272e-05,6.550716e-05,6.553901e-05,6.554563e-05,6.555634e-05,6.555606e-05,6.554127e-05,6.552845e-05,6.550229e-05,6.546043e-05,6.544118e-05,6.535961e-05,6.535594e-05,6.525915e-05,6.521865e-05,6.514129e-05,6.505193e-05,6.500743e-05,6.485889e-05,6.469690e-05,6.464241e-05,6.452263e-05,6.440515e-05,6.433717e-05,6.414955e-05,6.414154e-05,6.393671e-05,6.387784e-05,6.372359e-05,6.359208e-05,6.350300e-05,6.329416e-05,6.327576e-05,6.304258e-05,6.298582e-05,6.280418e-05,6.266863e-05,6.256118e-05,6.234403e-05,6.231421e-05,6.206381e-05,6.201336e-05,6.181051e-05,6.167782e-05,6.155482e-05,6.133850e-05,6.129717e-05,6.103799e-05,6.099641e-05,6.077769e-05,6.065245e-05,6.051662e-05,6.030745e-05,6.025513e-05,5.999353e-05,5.996214e-05,5.973211e-05,5.961722e-05,5.947115e-05,5.927327e-05,5.921088e-05,5.895155e-05,5.893085e-05,5.869336e-05,5.859045e-05,5.843651e-05,5.825251e-05,5.818118e-05,5.792753e-05,5.791742e-05,5.767571e-05,5.758553e-05,5.742586e-05,5.725715e-05,5.717810e-05,5.693255e-05,5.661196e-05,5.629561e-05,5.598367e-05,5.567629e-05,5.537360e-05,5.507572e-05,5.478273e-05,5.449471e-05,5.421171e-05,5.393377e-05,5.366092e-05,5.339318e-05,5.313055e-05,5.287303e-05,5.262060e-05,5.237324e-05,5.213091e-05,5.189360e-05,5.166124e-05,5.143380e-05,5.121122e-05,5.099344e-05,5.078041e-05,5.057207e-05
0.000000e+00,2.225048e-09,5.080127e-09,1.741365e-08,3.956580e-08,5.771061e-08,1.310696e-07,1.350268e-07,2.619262e-07,3.082054e-07,4.523553e-07,6.033336e-07,7.211815e-07,1.048297e-06,1.080527e-06,1.533809e-06,1.656038e-06,2.075090e-06,2.413089e-06,2.694855e-06,3.298136e-06,3.384291e-06,4.135942e-06,4.293142e-06,4.943095e-06,5.382574e-06,5.799181e-06,6.551183e-06,6.697457e-06,7.630930e-06,7.783073e-06,8.592402e-06,9.061717e-06,9.574604e-06,1.037046e-05,1.057036e-05,1.157275e-05,1.169316e-05,1.257525e-05,1.301480e-05,1.357179e-05,1.432179e-05,1.455690e-05,1.552577e-05,1.560245e-05,1.647424e-05,1.684711e-05,1.739880e-05,1.804802e-05,1.829654e-05,1.916517e-05,1.919928e-05,2.000292e-05,2.029670e-05,2.080853e-05,2.133752e-05,2.158112e-05,2.232022e-05,2.302568e-05,2.324434e-05,2.369761e-05,2.411020e-05,2.433635e-05,2.491879e-05,2.494241e-05,2.551648e-05,2.567159e-05,2.605934e-05,2.637043e-05,2.657186e-05,2.701740e-05,2.705499e-05,2.750972e-05,2.761475e-05,2.793708e-05,2.816482e-05,2.833809e-05,2.867002e-05,2.871380e-05,2.906526e-05,2.913273e-05,2.939348e-05,2.955530e-05,2.969947e-05,2.994006e-05,2.998424e-05,3.024873e-05,3.028923e-05,3.049389e-05,3.060497e-05,3.072063e-05,3.088935e-05,3.092983e-05,3.112233e-05,3.114434e-05,3.129894e-05,3.137182e-05,3.146046e-05,3.157358e-05,3.160763e-05,3.174118e-05,3.175130e-05,3.186180e-05,3.190657e-05,3.197015e-05,3.204092e-05,3.206686e-05,3.215255e-05,3.215576e-05,3.222779e-05,3.225242e-05,3.229313e-05,3.233218e-05,3.234910e-05,3.239621e-05,3.243493e-05,3.244563e-05,3.246573e-05,3.248148e-05,3.248904e-05,3.250475e-05,3.250527e-05,3.251483e-05,3.251636e-05,3.251808e-05,3.251716e-05,3.251540e-05,3.250798e-05,3.250712e-05,3.249357e-05,3.248957e-05,3.247505e-05,3.246263e-05,3.245187e-05,3.242784e-05,3.242431e-05,3.239262e-05,3.238581e-05,3.235707e-05,3.233714e-05,3.231790e-05,3.228236e-05,3.227533e-05,3.222959e-05,3.222199e-05,3.218088e-05,3.215651e-05,3.212941e-05,3.208635e-05,3.207534e-05,3.201888e-05,3.201195e-05,3.196018e-05,3.193368e-05,3.189940e-05,3.185192e-05,3.183671e-05,3.177224e-05,3.176700e-05,3.170612e-05,3.167925e-05,3.163850e-05,3.158896e-05,3.156950e-05,3.149923e-05,3.149640e-05,3.142781e-05,3.140184e-05,3.135534e-05,3.130551e-05,3.128192e-05,3.120765e-05,3.110846e-05,3.100813e-05,3.090686e-05,3.080481e-05,3.070213e-05,3.059898e-05,3.049548e-05,3.039177e-05,3.028797e-05,3.018418e-05,3.008050e-05,2.997703e-05,2.987386e-05,2.977106e-05,2.966870e-05,2.956687e-05,2.946561e-05,2.936499e-05,2.926505e-05,2.916586e-05,2.906745e-05,2.896985e-05,2.887312e-05,2.877728e-05
0.000000e+00,4.724801e-09,1.078232e-08,3.696921e-08,8.419257e-08,1.230926e-07,2.824947e-07,2.911895e-07,5.748802e-07,6.804886e-07,1.015416e-06,1.373262e-06,1.655301e-06,2.438113e-06,2.514670e-06,3.572372e-06,3.851045e-06,4.786397e-06,5.520507e-06,6.120386e-06,7.372828e-06,7.548490e-06,9.051276e-06,9.359312e-06,1.061219e-05,1.144170e-05,1.221582e-05,1.358501e-05,1.384733e-05,1.549246e-05,1.575603e-05,1.713775e-05,1.792385e-05,1.877080e-05,2.006095e-05,2.038056e-05,2.195738e-05,2.214399e-05,2.349318e-05,2.415419e-05,2.498135e-05,2.607723e-05,2.641665e-05,2.779518e-05,2.790292e-05,2.911417e-05,2.962469e-05,3.037190e-05,3.123901e-05,3.156748e-05,3.270077e-05,3.274481e-05,3.377219e-05,3.414292e-05,3.478266e-05,3.543561e-05,3.573346e-05,3.662619e-05,3.746261e-05,3.771869e-05,3.824468e-05,3.871763e-05,3.897446e-05,3.962779e-05,3.965404e-05,4.028558e-05,4.045409e-05,4.087120e-05,4.120143e-05,4.141304e-05,4.187467e-05,4.191319e-05,4.237369e-05,4.247853e-05,4.279654e-05,4.301760e-05,4.318365e-05,4.349625e-05,4.353691e-05,4.385811e-05,4.391865e-05,4.414897e-05,4.428879e-05,4.441116e-05,4.461041e-05,4.464627e-05,4.485582e-05,4.488707e-05,4.504126e-05,4.512212e-05,4.520398e-05,4.531868e-05,4.534530e-05,4.546648e-05,4.547972e-05,4.556872e-05,4.560800e-05,4.565316e-05,4.570610e-05,4.572088e-05,4.577292e-05,4.577644e-05,4.581026e-05,4.582129e-05,4.583382e-05,4.584275e-05,4.584448e-05,4.584309e-05,4.584279e-05,4.583042e-05,4.582325e-05,4.580724e-05,4.578584e-05,4.577426e-05,4.573214e-05,4.568152e-05,4.566363e-05,4.562301e-05,4.558169e-05,4.555718e-05,4.548760e-05,4.548457e-05,4.540568e-05,4.538254e-05,4.532100e-05,4.526761e-05,4.523099e-05,4.514383e-05,4.513607e-05,4.503664e-05,4.501216e-05,4.493310e-05,4.487346e-05,4.482581e-05,4.472855e-05,4.471509e-05,4.460128e-05,4.457818e-05,4.448468e-05,4.442304e-05,4.436557e-05,4.426378e-05,4.424422e-05,4.412089e-05,4.410098e-05,4.399580e-05,4.393521e-05,4.386919e-05,4.376694e-05,4.374126e-05,4.361222e-05,4.359667e-05,4.348224e-05,4.342480e-05,4.335150e-05,4.325173e-05,4.322017e-05,4.308839e-05,4.307783e-05,4.295631e-05,4.290342e-05,4.282406e-05,4.272881e-05,4.269178e-05,4.255957e-05,4.255428e-05,4.242754e-05,4.238008e-05,4.229580e-05,4.220643e-05,4.216445e-05,4.203356e-05,4.186166e-05,4.169088e-05,4.152141e-05,4.135337e-05,4.118689e-05,4.102209e-05,4.085907e-05,4.069793e-05,4.053874e-05,4.038158e-05,4.022650e-05,4.007356e-05,3.992281e-05,3.977428e-05,3.962801e-05,3.948402e-05,3.934234e-05,3.920298e-05,3.906595e-05,3.893126e-05,3.879891e-05,3.866891e-05,3.854124e-05,3.841589e-05
0.000000e+00,1.153569e-07,2.621719e-07,8.895798e-07,2.000526e-06,2.899986e-06,6.467989e-06,6.657856e-06,1.263554e-05,1.476945e-05,2.129056e-05,2.795876e-05,3.307974e-05,4.707986e-05,4.845127e-05,6.779115e-05,7.305143e-05,9.129466e-05,1.062306e-04,1.187929e-04,1.458360e-04,1.496978e-04,1.831813e-04,1.901133e-04,2.184248e-04,2.372137e-04,2.547433e-04,2.856787e-04,2.915906e-04,3.285251e-04,3.344174e-04,3.651791e-04,3.825796e-04,4.012389e-04,4.294766e-04,4.364352e-04,4.705387e-04,4.745482e-04,5.033586e-04,5.173519e-04,5.347416e-04,5.575575e-04,5.645692e-04,5.927556e-04,5.949378e-04,6.192465e-04,6.293613e-04,6.440148e-04,6.607785e-04,6.670570e-04,6.883905e-04,6.892088e-04,7.080495e-04,7.147256e-04,7.260816e-04,7.374436e-04,7.425452e-04,7.575064e-04,7.710369e-04,7.750767e-04,7.832117e-04,7.903275e-04,7.941075e-04,8.034360e-04,8.038016e-04,8.123704e-04,8.145783e-04,8.198889e-04,8.239261e-04,8.264297e-04,8.316438e-04,8.320626e-04,8.368544e-04,8.378863e-04,8.408682e-04,8.427986e-04,8.441640e-04,8.465151e-04,8.467981e-04,8.488233e-04,8.491598e-04,8.502893e-04,8.508460e-04,8.512421e-04,8.516775e-04,8.517248e-04,8.517773e-04,8.517483e-04,8.514369e-04,8.511441e-04,8.507379e-04,8.499422e-04,8.497124e-04,8.483899e-04,8.482126e-04,8.467977e-04,8.460183e-04,8.449611e-04,8.434162e-04,8.429033e-04,8.406460e-04,8.404574e-04,8.382089e-04,8.371879e-04,8.356105e-04,8.336492e-04,8.328676e-04,8.299958e-04,8.298785e-04,8.270096e-04,8.259091e-04,8.239221e-04,8.217710e-04,8.207455e-04,8.174912e-04,8.141694e-04,8.130937e-04,8.107896e-04,8.086003e-04,8.073608e-04,8.040303e-04,8.038908e-04,8.003872e-04,7.994011e-04,7.968568e-04,7.947283e-04,7.933059e-04,7.900258e-04,7.897402e-04,7.861650e-04,7.853061e-04,7.825852e-04,7.805802e-04,7.790053e-04,7.758582e-04,7.754294e-04,7.718612e-04,7.711488e-04,7.683041e-04,7.664599e-04,7.647613e-04,7.617985e-04,7.612357e-04,7.577298e-04,7.571708e-04,7.542459e-04,7.525822e-04,7.507864e-04,7.480375e-04,7.473531e-04,7.439477e-04,7.435410e-04,7.405720e-04,7.390964e-04,7.372273e-04,7.347069e-04,7.339149e-04,7.306360e-04,7.303752e-04,7.273917e-04,7.261038e-04,7.241827e-04,7.218947e-04,7.210100e-04,7.178742e-04,7.177495e-04,7.147759e-04,7.136698e-04,7.117157e-04,7.096567e-04,7.086939e-04,7.057110e-04,7.018335e-04,6.980247e-04,6.942849e-04,6.906143e-04,6.870129e-04,6.834806e-04,6.800172e-04,6.766224e-04,6.732957e-04,6.700367e-04,6.668447e-04,6.637192e-04,6.606594e-04,6.576646e-04,6.547340e-04,6.518668e-04,6.490620e-04,6.463189e-04,6.436364e-04,6.410136e-04,6.384496e-04,6.359434e-04,6.334940e-04,6.311003e-04
0.000000e+00,2.301835e-07,5.251152e-07,1.797799e-06,4.083709e-06,5.958351e-06,1.356911e-05,1.398122e-05,2.727704e-05,3.215756e-05,4.739989e-05,6.328576e-05,7.552244e-05,1.084257e-04,1.115813e-04,1.546151e-04,1.658699e-04,2.036687e-04,2.334830e-04,2.579901e-04,3.096199e-04,3.169113e-04,3.797600e-04,3.927396e-04,4.458321e-04,4.812221e-04,5.143994e-04,5.733894e-04,5.847316e-04,6.561216e-04,6.675972e-04,7.279076e-04,7.623266e-04,7.994896e-04,8.562515e-04,8.703405e-04,9.400104e-04,9.482729e-04,1.008126e-03,1.037525e-03,1.074389e-03,1.123363e-03,1.138565e-03,1.200484e-03,1.205336e-03,1.260023e-03,1.283155e-03,1.317108e-03,1.356666e-03,1.371699e-03,1.423785e-03,1.425817e-03,1.473382e-03,1.490633e-03,1.520522e-03,1.551199e-03,1.565255e-03,1.607638e-03,1.647739e-03,1.660102e-03,1.685632e-03,1.708759e-03,1.721393e-03,1.753790e-03,1.755100e-03,1.786834e-03,1.795377e-03,1.816676e-03,1.833705e-03,1.844703e-03,1.868954e-03,1.870996e-03,1.895629e-03,1.901303e-03,1.918679e-03,1.930922e-03,1.940217e-03,1.957977e-03,1.960315e-03,1.979039e-03,1.982625e-03,1.996456e-03,2.005017e-03,2.012628e-03,2.025295e-03,2.027616e-03,2.041477e-03,2.043595e-03,2.054269e-03,2.060045e-03,2.066044e-03,2.074766e-03,2.076853e-03,2.086744e-03,2.087872e-03,2.095766e-03,2.099471e-03,2.103961e-03,2.109664e-03,2.111373e-03,2.118043e-03,2.118545e-03,2.124008e-03,2.126205e-03,2.129306e-03,2.132728e-03,2.133973e-03,2.138041e-03,2.138192e-03,2.141543e-03,2.142671e-03,2.144509e-03,2.146235e-03,2.146968e-03,2.148948e-03,2.150475e-03,2.150873e-03,2.151575e-03,2.152065e-03,2.152271e-03,2.152580e-03,2.152585e-03,2.152540e-03,2.152466e-03,2.152156e-03,2.151771e-03,2.151453e-03,2.150539e-03,2.150448e-03,2.149161e-03,2.148812e-03,2.147607e-03,2.146627e-03,2.145804e-03,2.144022e-03,2.143765e-03,2.141506e-03,2.141029e-03,2.139040e-03,2.137681e-03,2.136381e-03,2.134007e-03,2.133541e-03,2.130532e-03,2.130035e-03,2.127364e-03,2.125791e-03,2.124050e-03,2.121299e-03,2.120598e-03,2.117020e-03,2.116582e-03,2.113323e-03,2.111661e-03,2.109517e-03,2.106556e-03,2.105609e-03,2.101609e-03,2.101285e-03,2.097523e-03,2.095866e-03,2.093358e-03,2.090315e-03,2.089122e-03,2.084820e-03,2.084647e-03,2.080459e-03,2.078876e-03,2.076045e-03,2.073015e-03,2.071583e-03,2.067077e-03,2.061073e-03,2.055014e-03,2.048909e-03,2.042769e-03,2.036601e-03,2.030413e-03,2.024214e-03,2.018009e-03,2.011807e-03,2.005611e-03,1.999429e-03,1.993265e-03,1.987124e-03,1.981009e-03,1.974927e-03,1.968879e-03,1.962870e-03,1.956902e-03,1.950979e-03,1.945103e-03,1.939277e-03,1.933502e-03,1.927781e-03,1.922116e-03
0.000000e+00,3.404355e-09,7.765140e-09,2.655332e-08,6.016100e-08,8.758404e-08,1.976572e-07,2.035617e-07,3.913229e-07,4.590911e-07,6.680512e-07,8.839314e-07,1.050707e-06,1.507905e-06,1.552608e-06,2.176961e-06,2.344147e-06,2.913825e-06,3.369164e-06,3.745703e-06,4.541995e-06,4.654575e-06,5.624409e-06,5.824414e-06,6.640961e-06,7.183663e-06,7.691187e-06,8.590506e-06,8.762965e-06,9.845074e-06,1.001847e-05,1.092730e-05,1.144409e-05,1.200055e-05,1.284736e-05,1.305695e-05,1.408987e-05,1.421198e-05,1.509389e-05,1.552535e-05,1.606469e-05,1.677824e-05,1.699901e-05,1.789452e-05,1.796443e-05,1.874964e-05,1.908016e-05,1.956349e-05,2.012369e-05,2.033572e-05,2.106645e-05,2.109482e-05,2.175616e-05,2.199454e-05,2.240559e-05,2.282469e-05,2.301572e-05,2.358769e-05,2.412275e-05,2.428638e-05,2.462221e-05,2.492382e-05,2.508746e-05,2.550323e-05,2.551992e-05,2.592101e-05,2.602788e-05,2.629213e-05,2.650101e-05,2.663469e-05,2.692580e-05,2.695006e-05,2.723958e-05,2.730536e-05,2.750455e-05,2.764268e-05,2.774622e-05,2.794060e-05,2.796582e-05,2.816453e-05,2.820186e-05,2.834347e-05,2.842907e-05,2.850373e-05,2.862467e-05,2.864634e-05,2.877231e-05,2.879099e-05,2.888259e-05,2.893023e-05,2.897810e-05,2.904444e-05,2.905969e-05,2.912819e-05,2.913557e-05,2.918441e-05,2.920545e-05,2.922909e-05,2.925577e-05,2.926295e-05,2.928666e-05,2.928814e-05,2.930088e-05,2.930405e-05,2.930623e-05,2.930491e-05,2.930328e-05,2.929259e-05,2.929201e-05,2.927468e-05,2.926657e-05,2.925006e-05,2.922973e-05,2.921920e-05,2.918254e-05,2.914051e-05,2.912600e-05,2.909351e-05,2.906100e-05,2.904192e-05,2.898841e-05,2.898610e-05,2.892638e-05,2.890900e-05,2.886309e-05,2.882352e-05,2.879652e-05,2.873264e-05,2.872698e-05,2.865471e-05,2.863699e-05,2.857998e-05,2.853715e-05,2.850303e-05,2.843365e-05,2.842408e-05,2.834334e-05,2.832700e-05,2.826102e-05,2.821765e-05,2.817730e-05,2.810602e-05,2.809236e-05,2.800636e-05,2.799251e-05,2.791946e-05,2.787747e-05,2.783181e-05,2.776123e-05,2.774353e-05,2.765477e-05,2.764409e-05,2.756564e-05,2.752634e-05,2.747626e-05,2.740822e-05,2.738672e-05,2.729713e-05,2.728996e-05,2.720757e-05,2.717178e-05,2.711814e-05,2.705387e-05,2.702891e-05,2.693996e-05,2.693641e-05,2.685135e-05,2.681955e-05,2.676315e-05,2.670344e-05,2.667542e-05,2.658821e-05,2.647398e-05,2.636085e-05,2.624891e-05,2.613825e-05,2.602895e-05,2.592106e-05,2.581465e-05,2.570977e-05,2.560645e-05,2.550473e-05,2.540465e-05,2.530623e-05,2.520949e-05,2.511444e-05,2.502109e-05,2.492946e-05,2.483955e-05,2.475135e-05,2.466487e-05,2.458010e-05,2.449703e-05,2.441566e-05,2.433596e-05,2.425793e-05
0.000000e+00,1.554988e-08,3.482316e-08,1.170847e-07,2.700776e-07,4.034422e-07,1.024517e-06,1.061619e-06,2.395920e-06,2.922781e-06,4.536495e-06,6.041105e-06,7.057437e-06,9.296935e-06,9.481920e-06,1.164737e-05,1.212827e-05,1.356454e-05,1.454965e-05,1.528692e-05,1.667983e-05,1.686230e-05,1.832181e-05,1.860144e-05,1.968160e-05,2.035153e-05,2.094762e-05,2.193895e-05,2.212022e-05,2.319756e-05,2.336096e-05,2.417791e-05,2.461385e-05,2.506090e-05,2.569812e-05,2.584800e-05,2.654252e-05,2.661986e-05,2.714938e-05,2.739016e-05,2.767464e-05,2.802340e-05,2.812504e-05,2.850764e-05,2.853554e-05,2.882953e-05,2.894282e-05,2.909748e-05,2.926061e-05,2.931788e-05,2.949653e-05,2.950288e-05,2.963868e-05,2.968183e-05,2.974897e-05,2.980787e-05,2.983147e-05,2.988972e-05,2.992678e-05,2.993460e-05,2.994527e-05,2.994841e-05,2.994745e-05,2.993602e-05,2.993528e-05,2.991041e-05,2.990136e-05,2.987426e-05,2.984767e-05,2.982806e-05,2.977761e-05,2.977289e-05,2.970967e-05,2.969339e-05,2.963922e-05,2.959688e-05,2.956225e-05,2.948963e-05,2.947940e-05,2.939124e-05,2.937301e-05,2.929827e-05,2.924818e-05,2.920095e-05,2.911615e-05,2.909970e-05,2.899488e-05,2.897781e-05,2.888685e-05,2.883395e-05,2.877592e-05,2.868528e-05,2.866238e-05,2.854649e-05,2.853243e-05,2.842849e-05,2.837597e-05,2.830863e-05,2.821640e-05,2.818710e-05,2.806410e-05,2.805420e-05,2.793982e-05,2.788978e-05,2.781442e-05,2.772352e-05,2.768806e-05,2.756088e-05,2.755578e-05,2.743303e-05,2.738686e-05,2.730463e-05,2.721707e-05,2.717580e-05,2.704665e-05,2.691729e-05,2.687586e-05,2.678781e-05,2.670492e-05,2.665829e-05,2.653402e-05,2.652884e-05,2.639952e-05,2.636334e-05,2.627041e-05,2.619307e-05,2.614157e-05,2.602334e-05,2.601308e-05,2.588499e-05,2.585431e-05,2.575735e-05,2.568610e-05,2.563023e-05,2.551881e-05,2.550366e-05,2.537769e-05,2.535257e-05,2.525237e-05,2.518746e-05,2.512772e-05,2.502358e-05,2.500380e-05,2.488063e-05,2.486099e-05,2.475824e-05,2.469978e-05,2.463666e-05,2.454000e-05,2.451591e-05,2.439603e-05,2.438171e-05,2.427703e-05,2.422496e-05,2.415894e-05,2.406980e-05,2.404176e-05,2.392553e-05,2.391627e-05,2.381025e-05,2.376440e-05,2.369593e-05,2.361423e-05,2.358260e-05,2.347025e-05,2.346578e-05,2.335891e-05,2.331907e-05,2.324857e-05,2.317413e-05,2.313926e-05,2.303096e-05,2.288959e-05,2.275002e-05,2.261226e-05,2.247631e-05,2.234218e-05,2.220987e-05,2.207938e-05,2.195070e-05,2.182382e-05,2.169876e-05,2.157548e-05,2.145400e-05,2.133428e-05,2.121634e-05,2.110015e-05,2.098570e-05,2.087297e-05,2.076196e-05,2.065264e-05,2.054500e-05,2.043903e-05,2.033471e-05,2.023202e-05,2.013093e-05
0.000000e+00,2.324244e-07,5.312630e-07,1.828286e-06,4.180431e-06,6.127665e-06,1.417914e-05,1.462126e-05,2.917662e-05,3.464266e-05,5.202353e-05,7.045518e-05,8.475828e-05,1.233346e-04,1.270343e-04,1.774226e-04,1.905810e-04,2.347332e-04,2.695404e-04,2.981573e-04,3.585141e-04,3.670494e-04,4.407840e-04,4.560546e-04,5.186995e-04,5.606352e-04,6.000909e-04,6.706095e-04,6.842246e-04,7.703630e-04,7.842827e-04,8.577879e-04,9.000080e-04,9.458221e-04,1.016269e-03,1.033845e-03,1.121302e-03,1.131735e-03,1.207712e-03,1.245292e-03,1.292665e-03,1.356043e-03,1.375821e-03,1.456906e-03,1.463296e-03,1.535704e-03,1.566545e-03,1.612053e-03,1.665441e-03,1.685835e-03,1.756970e-03,1.759760e-03,1.825412e-03,1.849387e-03,1.891140e-03,1.934286e-03,1.954157e-03,2.014483e-03,2.072151e-03,2.090051e-03,2.127208e-03,2.161099e-03,2.179708e-03,2.227757e-03,2.229710e-03,2.277281e-03,2.290175e-03,2.322490e-03,2.348511e-03,2.365408e-03,2.402932e-03,2.406108e-03,2.444663e-03,2.453605e-03,2.481146e-03,2.500699e-03,2.515631e-03,2.544381e-03,2.548189e-03,2.578892e-03,2.584817e-03,2.607811e-03,2.622165e-03,2.635012e-03,2.656584e-03,2.660564e-03,2.684531e-03,2.688224e-03,2.706978e-03,2.717230e-03,2.727965e-03,2.743745e-03,2.747553e-03,2.765800e-03,2.767902e-03,2.782762e-03,2.789832e-03,2.798493e-03,2.809658e-03,2.813046e-03,2.826472e-03,2.827499e-03,2.838819e-03,2.843467e-03,2.850136e-03,2.857671e-03,2.860467e-03,2.869857e-03,2.870213e-03,2.878347e-03,2.881192e-03,2.885979e-03,2.890699e-03,2.892793e-03,2.898824e-03,2.904111e-03,2.905651e-03,2.908687e-03,2.911259e-03,2.912587e-03,2.915724e-03,2.915843e-03,2.918484e-03,2.919118e-03,2.920543e-03,2.921509e-03,2.922046e-03,2.922962e-03,2.923021e-03,2.923495e-03,2.923537e-03,2.923492e-03,2.923292e-03,2.923038e-03,2.922283e-03,2.922155e-03,2.920865e-03,2.920560e-03,2.919190e-03,2.918173e-03,2.917150e-03,2.915169e-03,2.914765e-03,2.912054e-03,2.911591e-03,2.909035e-03,2.907481e-03,2.905724e-03,2.902877e-03,2.902139e-03,2.898295e-03,2.897817e-03,2.894207e-03,2.892336e-03,2.889891e-03,2.886466e-03,2.885359e-03,2.880625e-03,2.880238e-03,2.875703e-03,2.873683e-03,2.870602e-03,2.866827e-03,2.865337e-03,2.859917e-03,2.859697e-03,2.854354e-03,2.852317e-03,2.848656e-03,2.844711e-03,2.842835e-03,2.836900e-03,2.828904e-03,2.820744e-03,2.812436e-03,2.803999e-03,2.795449e-03,2.786799e-03,2.778066e-03,2.769261e-03,2.760398e-03,2.751487e-03,2.742541e-03,2.733569e-03,2.724581e-03,2.715586e-03,2.706591e-03,2.697606e-03,2.688638e-03,2.679692e-03,2.670776e-03,2.661895e-03,2.653055e-03,2.644261e-03,2.635517e-03,2.626829e-03
0.000000e+00,9.904510e-08,2.221860e-07,7.380091e-07,1.643499e-06,2.381808e-06,5.418940e-06,5.586322e-06,1.116866e-05,1.329555e-05,2.008348e-05,2.716600e-05,3.248962e-05,4.590414e-05,4.711702e-05,6.246815e-05,6.615368e-05,7.770657e-05,8.606079e-05,9.251542e-05,1.051210e-04,1.068081e-04,1.205669e-04,1.232535e-04,1.337755e-04,1.404160e-04,1.463998e-04,1.565155e-04,1.583886e-04,1.696828e-04,1.714214e-04,1.802234e-04,1.850000e-04,1.899601e-04,1.971455e-04,1.988563e-04,2.068924e-04,2.077987e-04,2.140662e-04,2.169523e-04,2.203904e-04,2.246445e-04,2.258917e-04,2.306113e-04,2.309566e-04,2.345990e-04,2.360012e-04,2.379088e-04,2.399042e-04,2.405980e-04,2.427252e-04,2.427994e-04,2.443473e-04,2.448182e-04,2.455190e-04,2.460851e-04,2.462921e-04,2.467147e-04,2.468317e-04,2.468105e-04,2.466797e-04,2.464580e-04,2.462945e-04,2.457340e-04,2.457070e-04,2.449453e-04,2.447042e-04,2.440338e-04,2.434240e-04,2.429938e-04,2.419395e-04,2.418439e-04,2.406002e-04,2.402893e-04,2.392767e-04,2.385053e-04,2.378856e-04,2.366140e-04,2.364375e-04,2.349416e-04,2.346374e-04,2.334059e-04,2.325939e-04,2.318374e-04,2.304990e-04,2.302422e-04,2.286257e-04,2.283654e-04,2.269926e-04,2.262040e-04,2.253470e-04,2.240239e-04,2.236925e-04,2.220324e-04,2.218330e-04,2.203696e-04,2.196378e-04,2.187066e-04,2.174440e-04,2.170457e-04,2.153888e-04,2.152565e-04,2.137378e-04,2.130794e-04,2.120943e-04,2.109164e-04,2.104596e-04,2.088351e-04,2.087704e-04,2.072220e-04,2.066442e-04,2.056212e-04,2.045402e-04,2.040336e-04,2.024601e-04,2.009014e-04,2.004058e-04,1.993581e-04,1.983787e-04,1.978307e-04,1.963800e-04,1.963198e-04,1.948259e-04,1.944106e-04,1.933491e-04,1.924715e-04,1.918900e-04,1.905634e-04,1.904487e-04,1.890255e-04,1.886867e-04,1.876206e-04,1.868419e-04,1.862341e-04,1.850294e-04,1.848662e-04,1.835169e-04,1.832492e-04,1.821862e-04,1.815016e-04,1.808742e-04,1.797867e-04,1.795810e-04,1.783065e-04,1.781043e-04,1.770506e-04,1.764544e-04,1.758133e-04,1.748368e-04,1.745945e-04,1.733942e-04,1.732514e-04,1.722122e-04,1.716978e-04,1.710483e-04,1.701759e-04,1.699026e-04,1.687748e-04,1.686853e-04,1.676648e-04,1.672257e-04,1.665724e-04,1.657966e-04,1.654974e-04,1.644397e-04,1.643978e-04,1.633991e-04,1.630286e-04,1.623754e-04,1.616888e-04,1.613684e-04,1.603779e-04,1.590954e-04,1.578408e-04,1.566136e-04,1.554134e-04,1.542397e-04,1.530919e-04,1.519695e-04,1.508721e-04,1.497992e-04,1.487501e-04,1.477246e-04,1.467219e-04,1.457417e-04,1.447835e-04,1.438467e-04,1.429309e-04,1.420357e-04,1.411605e-04,1.403048e-04,1.394684e-04,1.386506e-04,1.378510e-04,1.370693e-04,1.363049e-04
0.000000e+00,1.578992e-09,3.594146e-09,1.223646e-08,2.760926e-08,4.010105e-08,8.994663e-08,9.261035e-08,1.769625e-07,2.072840e-07,3.005498e-07,3.967633e-07,4.711506e-07,6.761523e-07,6.963231e-07,9.811957e-07,1.058544e-06,1.325324e-06,1.541634e-06,1.722125e-06,2.107301e-06,2.162048e-06,2.635764e-06,2.733834e-06,3.135259e-06,3.402876e-06,3.653687e-06,4.099354e-06,4.184995e-06,4.723645e-06,4.810162e-06,5.264493e-06,5.523465e-06,5.802767e-06,6.228576e-06,6.334089e-06,6.854521e-06,6.916072e-06,7.360606e-06,7.577959e-06,7.849393e-06,8.207787e-06,8.318450e-06,8.765849e-06,8.800659e-06,9.190150e-06,9.353165e-06,9.590355e-06,9.863237e-06,9.965875e-06,1.031647e-05,1.032998e-05,1.064222e-05,1.075346e-05,1.094344e-05,1.113453e-05,1.122067e-05,1.147459e-05,1.170604e-05,1.177550e-05,1.191593e-05,1.203940e-05,1.210525e-05,1.226859e-05,1.227502e-05,1.242629e-05,1.246548e-05,1.256013e-05,1.263248e-05,1.267755e-05,1.277198e-05,1.277960e-05,1.286727e-05,1.288628e-05,1.294152e-05,1.297760e-05,1.300329e-05,1.304803e-05,1.305346e-05,1.309287e-05,1.309953e-05,1.312231e-05,1.313393e-05,1.314254e-05,1.315294e-05,1.315427e-05,1.315817e-05,1.315812e-05,1.315488e-05,1.315092e-05,1.314497e-05,1.313266e-05,1.312900e-05,1.310749e-05,1.310456e-05,1.308091e-05,1.306773e-05,1.304971e-05,1.302318e-05,1.301432e-05,1.297513e-05,1.297184e-05,1.293249e-05,1.291454e-05,1.288674e-05,1.285206e-05,1.283820e-05,1.278716e-05,1.278507e-05,1.273389e-05,1.271422e-05,1.267864e-05,1.264006e-05,1.262164e-05,1.256311e-05,1.250324e-05,1.248383e-05,1.244222e-05,1.240264e-05,1.238022e-05,1.231992e-05,1.231740e-05,1.225389e-05,1.223601e-05,1.218985e-05,1.215121e-05,1.212538e-05,1.206579e-05,1.206060e-05,1.199562e-05,1.198001e-05,1.193054e-05,1.189408e-05,1.186543e-05,1.180819e-05,1.180039e-05,1.173548e-05,1.172252e-05,1.167077e-05,1.163723e-05,1.160633e-05,1.155245e-05,1.154221e-05,1.147847e-05,1.146831e-05,1.141514e-05,1.138490e-05,1.135227e-05,1.130234e-05,1.128991e-05,1.122807e-05,1.122069e-05,1.116681e-05,1.114003e-05,1.110613e-05,1.106043e-05,1.104607e-05,1.098665e-05,1.098192e-05,1.092789e-05,1.090457e-05,1.086980e-05,1.082840e-05,1.081240e-05,1.075571e-05,1.075345e-05,1.069972e-05,1.067974e-05,1.064446e-05,1.060730e-05,1.058993e-05,1.053613e-05,1.046625e-05,1.039767e-05,1.033038e-05,1.026440e-05,1.019971e-05,1.013631e-05,1.007420e-05,1.001337e-05,9.953800e-06,9.895487e-06,9.838414e-06,9.782567e-06,9.727931e-06,9.674488e-06,9.622222e-06,9.571115e-06,9.521148e-06,9.472303e-06,9.424561e-06,9.377902e-06,9.332306e-06,9.287753e-06,9.244225e-06,9.201701e-06
0.000000e+00,8.196635e-09,1.873248e-08,6.440375e-08,1.469710e-07,2.150698e-07,4.943190e-07,5.095517e-07,1.006341e-06,1.191196e-06,1.777705e-06,2.406373e-06,2.904891e-06,4.311049e-06,4.450672e-06,6.419096e-06,6.948963e-06,8.754857e-06,1.019572e-05,1.138473e-05,1.389228e-05,1.424618e-05,1.729112e-05,1.791864e-05,2.048128e-05,2.218655e-05,2.378390e-05,2.662318e-05,2.716922e-05,3.060947e-05,3.116325e-05,3.407866e-05,3.574698e-05,3.755265e-05,4.032046e-05,4.100947e-05,4.442948e-05,4.483656e-05,4.779548e-05,4.925554e-05,5.109279e-05,5.354517e-05,5.430915e-05,5.743459e-05,5.768045e-05,6.046129e-05,6.164292e-05,6.338326e-05,6.541976e-05,6.619621e-05,6.889727e-05,6.900296e-05,7.148481e-05,7.238839e-05,7.395822e-05,7.557504e-05,7.631774e-05,7.856433e-05,8.069949e-05,8.135952e-05,8.272520e-05,8.396526e-05,8.464376e-05,8.638720e-05,8.645779e-05,8.817007e-05,8.863168e-05,8.978357e-05,9.070552e-05,9.130134e-05,9.261582e-05,9.272650e-05,9.406220e-05,9.436982e-05,9.531164e-05,9.597481e-05,9.647795e-05,9.743804e-05,9.756429e-05,9.857374e-05,9.876667e-05,9.950936e-05,9.996771e-05,1.003741e-04,1.010480e-04,1.011710e-04,1.019029e-04,1.020141e-04,1.025724e-04,1.028725e-04,1.031825e-04,1.036294e-04,1.037356e-04,1.042345e-04,1.042908e-04,1.046814e-04,1.048623e-04,1.050790e-04,1.053495e-04,1.054294e-04,1.057350e-04,1.057575e-04,1.059979e-04,1.060915e-04,1.062202e-04,1.063562e-04,1.064039e-04,1.065511e-04,1.065562e-04,1.066635e-04,1.066958e-04,1.067430e-04,1.067792e-04,1.067913e-04,1.068102e-04,1.068011e-04,1.067926e-04,1.067658e-04,1.067300e-04,1.067055e-04,1.066257e-04,1.066219e-04,1.065162e-04,1.064828e-04,1.063897e-04,1.063044e-04,1.062437e-04,1.060932e-04,1.060795e-04,1.058980e-04,1.058521e-04,1.057006e-04,1.055834e-04,1.054882e-04,1.052896e-04,1.052618e-04,1.050223e-04,1.049730e-04,1.047708e-04,1.046356e-04,1.045081e-04,1.042794e-04,1.042350e-04,1.039523e-04,1.039062e-04,1.036608e-04,1.035180e-04,1.033612e-04,1.031162e-04,1.030543e-04,1.027405e-04,1.027025e-04,1.024207e-04,1.022782e-04,1.020954e-04,1.018448e-04,1.017652e-04,1.014305e-04,1.014036e-04,1.010920e-04,1.009556e-04,1.007500e-04,1.005020e-04,1.004051e-04,1.000577e-04,1.000438e-04,9.970825e-05,9.958200e-05,9.935708e-05,9.911750e-05,9.900458e-05,9.865112e-05,9.818362e-05,9.771571e-05,9.724807e-05,9.678129e-05,9.631595e-05,9.585256e-05,9.539160e-05,9.493351e-05,9.447869e-05,9.402750e-05,9.358027e-05,9.313731e-05,9.269890e-05,9.226528e-05,9.183666e-05,9.141325e-05,9.099523e-05,9.058275e-05,9.017593e-05,8.977491e-05,8.937978e-05,8.899061e-05,8.860749e-05,8.823047e-05
0.000000e+00,9.689268e-09,2.210561e-08,7.566321e-08,1.717192e-07,2.503405e-07,5.681030e-07,5.852468e-07,1.135570e-06,1.336624e-06,1.964543e-06,2.625822e-06,3.145475e-06,4.610354e-06,4.756825e-06,6.863224e-06,7.445873e-06,9.483297e-06,1.115996e-05,1.257076e-05,1.560248e-05,1.603469e-05,1.977729e-05,2.055161e-05,2.371554e-05,2.581852e-05,2.778433e-05,3.126525e-05,3.193248e-05,3.611821e-05,3.678898e-05,4.030610e-05,4.230786e-05,4.446535e-05,4.775387e-05,4.856895e-05,5.259326e-05,5.306985e-05,5.651789e-05,5.820860e-05,6.032562e-05,6.313247e-05,6.400226e-05,6.753658e-05,6.781290e-05,7.091998e-05,7.222964e-05,7.414638e-05,7.636996e-05,7.721198e-05,8.011490e-05,8.022762e-05,8.285493e-05,8.380167e-05,8.543329e-05,8.709539e-05,8.785235e-05,9.011542e-05,9.222657e-05,9.287080e-05,9.419044e-05,9.537233e-05,9.601207e-05,9.763200e-05,9.769683e-05,9.925027e-05,9.966247e-05,1.006780e-04,1.014767e-04,1.019858e-04,1.030879e-04,1.031793e-04,1.042640e-04,1.045087e-04,1.052454e-04,1.057520e-04,1.061290e-04,1.068297e-04,1.069199e-04,1.076231e-04,1.077537e-04,1.082436e-04,1.085350e-04,1.087859e-04,1.091843e-04,1.092546e-04,1.096539e-04,1.097117e-04,1.099880e-04,1.101264e-04,1.102609e-04,1.104375e-04,1.104762e-04,1.106375e-04,1.106534e-04,1.107483e-04,1.107818e-04,1.108117e-04,1.108301e-04,1.108308e-04,1.108086e-04,1.108051e-04,1.107478e-04,1.107133e-04,1.106511e-04,1.105605e-04,1.105208e-04,1.103595e-04,1.103524e-04,1.101692e-04,1.100941e-04,1.099522e-04,1.097903e-04,1.097104e-04,1.094456e-04,1.091598e-04,1.090641e-04,1.088545e-04,1.086496e-04,1.085313e-04,1.082057e-04,1.081919e-04,1.078374e-04,1.077357e-04,1.074694e-04,1.072425e-04,1.070889e-04,1.067291e-04,1.066974e-04,1.062957e-04,1.061979e-04,1.058851e-04,1.056515e-04,1.054664e-04,1.050920e-04,1.050406e-04,1.046085e-04,1.045214e-04,1.041710e-04,1.039417e-04,1.037289e-04,1.033545e-04,1.032829e-04,1.028335e-04,1.027614e-04,1.023816e-04,1.021639e-04,1.019275e-04,1.015632e-04,1.014720e-04,1.010155e-04,1.009607e-04,1.005586e-04,1.003574e-04,1.001015e-04,9.975439e-05,9.964485e-05,9.918894e-05,9.915251e-05,9.873414e-05,9.855262e-05,9.828081e-05,9.795549e-05,9.782924e-05,9.737973e-05,9.736180e-05,9.693255e-05,9.677219e-05,9.648795e-05,9.618720e-05,9.604614e-05,9.560735e-05,9.503308e-05,9.446479e-05,9.390285e-05,9.334756e-05,9.279920e-05,9.225801e-05,9.172421e-05,9.119796e-05,9.067942e-05,9.016871e-05,8.966593e-05,8.917117e-05,8.868448e-05,8.820591e-05,8.773547e-05,8.727319e-05,8.681905e-05,8.637304e-05,8.593513e-05,8.550530e-05,8.508348e-05,8.466962e-05,8.426367e-05,8.386555e-05
0.000000e+00,3.297200e-09,7.540729e-09,2.594428e-08,5.916736e-08,8.649086e-08,1.976670e-07,2.036906e-07,3.979711e-07,4.692895e-07,6.928084e-07,9.291052e-07,1.115232e-06,1.641183e-06,1.693842e-06,2.452097e-06,2.662147e-06,3.398097e-06,4.006131e-06,4.520058e-06,5.633653e-06,5.793585e-06,7.192399e-06,7.485117e-06,8.693769e-06,9.508708e-06,1.027912e-05,1.166433e-05,1.193297e-05,1.364183e-05,1.391953e-05,1.539349e-05,1.624615e-05,1.717666e-05,1.861879e-05,1.898082e-05,2.079622e-05,2.101438e-05,2.261389e-05,2.341226e-05,2.442571e-05,2.579429e-05,2.622442e-05,2.800363e-05,2.814496e-05,2.975781e-05,3.045139e-05,3.148225e-05,3.270321e-05,3.317304e-05,3.482687e-05,3.489222e-05,3.644112e-05,3.701215e-05,3.801377e-05,3.905862e-05,3.954330e-05,4.102860e-05,4.246897e-05,4.292033e-05,4.386402e-05,4.473300e-05,4.521362e-05,4.646658e-05,4.651789e-05,4.777710e-05,4.812167e-05,4.899173e-05,4.969934e-05,5.016235e-05,5.120106e-05,5.128966e-05,5.237443e-05,5.262854e-05,5.341750e-05,5.398373e-05,5.441976e-05,5.526872e-05,5.538213e-05,5.630558e-05,5.648569e-05,5.719109e-05,5.763688e-05,5.803963e-05,5.872458e-05,5.885222e-05,5.962984e-05,5.975108e-05,6.037350e-05,6.071868e-05,6.108417e-05,6.162963e-05,6.176285e-05,6.241050e-05,6.248617e-05,6.302807e-05,6.329051e-05,6.361650e-05,6.404479e-05,6.417671e-05,6.470962e-05,6.475110e-05,6.521611e-05,6.541150e-05,6.569705e-05,6.602798e-05,6.615328e-05,6.658564e-05,6.660245e-05,6.699494e-05,6.713680e-05,6.738198e-05,6.763283e-05,6.774751e-05,6.809229e-05,6.841706e-05,6.851687e-05,6.872252e-05,6.890820e-05,6.900936e-05,6.926785e-05,6.927827e-05,6.952988e-05,6.959732e-05,6.976484e-05,6.989809e-05,6.998377e-05,7.017154e-05,7.018726e-05,7.037589e-05,7.041901e-05,7.055023e-05,7.064182e-05,7.071082e-05,7.084118e-05,7.085819e-05,7.099285e-05,7.101831e-05,7.111531e-05,7.117432e-05,7.122604e-05,7.131033e-05,7.132551e-05,7.141416e-05,7.142737e-05,7.149245e-05,7.152646e-05,7.156078e-05,7.160856e-05,7.161957e-05,7.166922e-05,7.167458e-05,7.171010e-05,7.172541e-05,7.174259e-05,7.176189e-05,7.176704e-05,7.178380e-05,7.178482e-05,7.179321e-05,7.179498e-05,7.179558e-05,7.179310e-05,7.179122e-05,7.178045e-05,7.177989e-05,7.176354e-05,7.175600e-05,7.174078e-05,7.172210e-05,7.171244e-05,7.167877e-05,7.162662e-05,7.156620e-05,7.149802e-05,7.142261e-05,7.134045e-05,7.125198e-05,7.115765e-05,7.105787e-05,7.095305e-05,7.084355e-05,7.072973e-05,7.061194e-05,7.049049e-05,7.036571e-05,7.023786e-05,7.010725e-05,6.997412e-05,6.983873e-05,6.970131e-05,6.956209e-05,6.942128e-05,6.927909e-05,6.913569e-05,6.899128e-05
0.000000e+00,1.429509e-09,3.260412e-09,1.114250e-08,2.521177e-08,3.666188e-08,8.234778e-08,8.478627e-08,1.617181e-07,1.892118e-07,2.731907e-07,3.588978e-07,4.245627e-07,6.033369e-07,6.207925e-07,8.660934e-07,9.326075e-07,1.163094e-06,1.352166e-06,1.511962e-06,1.860183e-06,1.910526e-06,2.355323e-06,2.449490e-06,2.842459e-06,3.111172e-06,3.367913e-06,3.835874e-06,3.927533e-06,4.516995e-06,4.613779e-06,5.131793e-06,5.434535e-06,5.767279e-06,6.287389e-06,6.418729e-06,7.081432e-06,7.161492e-06,7.750777e-06,8.046244e-06,8.422337e-06,8.931625e-06,9.091939e-06,9.755730e-06,9.808475e-06,1.041021e-05,1.066869e-05,1.105227e-05,1.150533e-05,1.167920e-05,1.228869e-05,1.231268e-05,1.287881e-05,1.308620e-05,1.344800e-05,1.382248e-05,1.399508e-05,1.451914e-05,1.501959e-05,1.517469e-05,1.549610e-05,1.578843e-05,1.594853e-05,1.636028e-05,1.637696e-05,1.678163e-05,1.689073e-05,1.716292e-05,1.738068e-05,1.752133e-05,1.783135e-05,1.785743e-05,1.817189e-05,1.824422e-05,1.846542e-05,1.862094e-05,1.873878e-05,1.896327e-05,1.899275e-05,1.922812e-05,1.927303e-05,1.944571e-05,1.955209e-05,1.964632e-05,1.980230e-05,1.983075e-05,1.999980e-05,2.002547e-05,2.015424e-05,2.022340e-05,2.029481e-05,2.039778e-05,2.042226e-05,2.053728e-05,2.055028e-05,2.064056e-05,2.068246e-05,2.073276e-05,2.079581e-05,2.081451e-05,2.088641e-05,2.089175e-05,2.094904e-05,2.097162e-05,2.100294e-05,2.103665e-05,2.104866e-05,2.108667e-05,2.108804e-05,2.111747e-05,2.112688e-05,2.114150e-05,2.115420e-05,2.115920e-05,2.117097e-05,2.117720e-05,2.117808e-05,2.117825e-05,2.117637e-05,2.117448e-05,2.116662e-05,2.116620e-05,2.115374e-05,2.114954e-05,2.113738e-05,2.112581e-05,2.111740e-05,2.109605e-05,2.109407e-05,2.106762e-05,2.106084e-05,2.103831e-05,2.102072e-05,2.100633e-05,2.097617e-05,2.097191e-05,2.093524e-05,2.092765e-05,2.089650e-05,2.087560e-05,2.085587e-05,2.082040e-05,2.081351e-05,2.076958e-05,2.076242e-05,2.072422e-05,2.070198e-05,2.067757e-05,2.063940e-05,2.062975e-05,2.058089e-05,2.057496e-05,2.053110e-05,2.050893e-05,2.048049e-05,2.044154e-05,2.042916e-05,2.037720e-05,2.037301e-05,2.032470e-05,2.030356e-05,2.027174e-05,2.023337e-05,2.021840e-05,2.016476e-05,2.016261e-05,2.011088e-05,2.009144e-05,2.005683e-05,2.002000e-05,2.000266e-05,1.994843e-05,1.987684e-05,1.980535e-05,1.973406e-05,1.966305e-05,1.959242e-05,1.952224e-05,1.945257e-05,1.938347e-05,1.931501e-05,1.924723e-05,1.918017e-05,1.911387e-05,1.904838e-05,1.898371e-05,1.891990e-05,1.885697e-05,1.879494e-05,1.873383e-05,1.867364e-05,1.861440e-05,1.855610e-05,1.849876e-05,1.844239e-05,1.838698e-05
0.000000e+00,6.983486e-09,1.592507e-08,5.443342e-08,1.232991e-07,1.794966e-07,4.052537e-07,4.173753e-07,8.036759e-07,9.435686e-07,1.376797e-06,1.827792e-06,2.178903e-06,3.155056e-06,3.251640e-06,4.622436e-06,4.996268e-06,6.289799e-06,7.343539e-06,8.226743e-06,1.012605e-05,1.039781e-05,1.277027e-05,1.326641e-05,1.531623e-05,1.670046e-05,1.801113e-05,2.037318e-05,2.083209e-05,2.375681e-05,2.423291e-05,2.676309e-05,2.822857e-05,2.982878e-05,3.230936e-05,3.293196e-05,3.605121e-05,3.642561e-05,3.916602e-05,4.053010e-05,4.225706e-05,4.457932e-05,4.530650e-05,4.829821e-05,4.853461e-05,5.121789e-05,5.236275e-05,5.405316e-05,5.603636e-05,5.679360e-05,5.943064e-05,5.953387e-05,6.195752e-05,6.283920e-05,6.436912e-05,6.594126e-05,6.666182e-05,6.883343e-05,7.088296e-05,7.151301e-05,7.281049e-05,7.398050e-05,7.461700e-05,7.623902e-05,7.630425e-05,7.787465e-05,7.829381e-05,7.933112e-05,8.015169e-05,8.067699e-05,8.182065e-05,8.191592e-05,8.305179e-05,8.330951e-05,8.408866e-05,8.462763e-05,8.503073e-05,8.578467e-05,8.588220e-05,8.664728e-05,8.679030e-05,8.733017e-05,8.765417e-05,8.793501e-05,8.838573e-05,8.846586e-05,8.892668e-05,8.899417e-05,8.932133e-05,8.948835e-05,8.965354e-05,8.987677e-05,8.992691e-05,9.014492e-05,9.016752e-05,9.031090e-05,9.036829e-05,9.042807e-05,9.048635e-05,9.049947e-05,9.052803e-05,9.052855e-05,9.051654e-05,9.050133e-05,9.046765e-05,9.041073e-05,9.038391e-05,9.026770e-05,9.026241e-05,9.012132e-05,9.006166e-05,8.994693e-05,8.981340e-05,8.974659e-05,8.952222e-05,8.927569e-05,8.919240e-05,8.900872e-05,8.882791e-05,8.872297e-05,8.843242e-05,8.841998e-05,8.810123e-05,8.800934e-05,8.776809e-05,8.756185e-05,8.742187e-05,8.709286e-05,8.706380e-05,8.669504e-05,8.660507e-05,8.631667e-05,8.610097e-05,8.592972e-05,8.558286e-05,8.553514e-05,8.513385e-05,8.505286e-05,8.472669e-05,8.451292e-05,8.431446e-05,8.396481e-05,8.389789e-05,8.347770e-05,8.341017e-05,8.305453e-05,8.285053e-05,8.262899e-05,8.228723e-05,8.220165e-05,8.177305e-05,8.172156e-05,8.134368e-05,8.115464e-05,8.091401e-05,8.058752e-05,8.048447e-05,8.005545e-05,8.002116e-05,7.962734e-05,7.945642e-05,7.920046e-05,7.889407e-05,7.877516e-05,7.835171e-05,7.833481e-05,7.793039e-05,7.777929e-05,7.751146e-05,7.722807e-05,7.709514e-05,7.668166e-05,7.614052e-05,7.560504e-05,7.507560e-05,7.455250e-05,7.403601e-05,7.352638e-05,7.302379e-05,7.252843e-05,7.204045e-05,7.155994e-05,7.108702e-05,7.062176e-05,7.016419e-05,6.971437e-05,6.927230e-05,6.883798e-05,6.841142e-05,6.799257e-05,6.758141e-05,6.717790e-05,6.678197e-05,6.639357e-05,6.601262e-05,6.563905e-05
0.000000e+00,5.256831e-09,1.201126e-08,4.121342e-08,9.363662e-08,1.365036e-07,3.089128e-07,3.181689e-07,6.125681e-07,7.188008e-07,1.046196e-06,1.384237e-06,1.645361e-06,2.361898e-06,2.432066e-06,3.415971e-06,3.681153e-06,4.592591e-06,5.331666e-06,5.951030e-06,7.287626e-06,7.479666e-06,9.166785e-06,9.522140e-06,1.099977e-05,1.200598e-05,1.296459e-05,1.470561e-05,1.504573e-05,1.722648e-05,1.758348e-05,1.948934e-05,2.059946e-05,2.181655e-05,2.371284e-05,2.419057e-05,2.659448e-05,2.688419e-05,2.901235e-05,3.007680e-05,3.142949e-05,3.325779e-05,3.383261e-05,3.620992e-05,3.639867e-05,3.855115e-05,3.947553e-05,4.084753e-05,4.246897e-05,4.309170e-05,4.527763e-05,4.536378e-05,4.740050e-05,4.814854e-05,4.945656e-05,5.081508e-05,5.144306e-05,5.335805e-05,5.520034e-05,5.577441e-05,5.696934e-05,5.806299e-05,5.866499e-05,6.022416e-05,6.028767e-05,6.183816e-05,6.225950e-05,6.331751e-05,6.417151e-05,6.472703e-05,6.596339e-05,6.606821e-05,6.734268e-05,6.763882e-05,6.855222e-05,6.920187e-05,6.969865e-05,7.065683e-05,7.078389e-05,7.180987e-05,7.200813e-05,7.277855e-05,7.326028e-05,7.369191e-05,7.441780e-05,7.455190e-05,7.536046e-05,7.548519e-05,7.611953e-05,7.646686e-05,7.683099e-05,7.736714e-05,7.749671e-05,7.811850e-05,7.819025e-05,7.869815e-05,7.894029e-05,7.923738e-05,7.962122e-05,7.973790e-05,8.020135e-05,8.023687e-05,8.062931e-05,8.079092e-05,8.102335e-05,8.128689e-05,8.138495e-05,8.171557e-05,8.172817e-05,8.201662e-05,8.211802e-05,8.228945e-05,8.245952e-05,8.253537e-05,8.275564e-05,8.295150e-05,8.300920e-05,8.312410e-05,8.322289e-05,8.327459e-05,8.339927e-05,8.340406e-05,8.351355e-05,8.354077e-05,8.360408e-05,8.364971e-05,8.367662e-05,8.372827e-05,8.373210e-05,8.377142e-05,8.377854e-05,8.379543e-05,8.380251e-05,8.380497e-05,8.380202e-05,8.380083e-05,8.378377e-05,8.377887e-05,8.375451e-05,8.373472e-05,8.371377e-05,8.367115e-05,8.366220e-05,8.360045e-05,8.358966e-05,8.352913e-05,8.349168e-05,8.344884e-05,8.337852e-05,8.336013e-05,8.326354e-05,8.325145e-05,8.315959e-05,8.311165e-05,8.304877e-05,8.296024e-05,8.293154e-05,8.280837e-05,8.279827e-05,8.267966e-05,8.262673e-05,8.254585e-05,8.244655e-05,8.240730e-05,8.226440e-05,8.225860e-05,8.211750e-05,8.206370e-05,8.196693e-05,8.186262e-05,8.181303e-05,8.165608e-05,8.144477e-05,8.122930e-05,8.101027e-05,8.078823e-05,8.056371e-05,8.033718e-05,8.010908e-05,7.987984e-05,7.964985e-05,7.941946e-05,7.918901e-05,7.895881e-05,7.872914e-05,7.850027e-05,7.827245e-05,7.804589e-05,7.782080e-05,7.759737e-05,7.737578e-05,7.715618e-05,7.693871e-05,7.672350e-05,7.651067e-05,7.630033e-05
0.000000e+00,6.401126e-09,1.459999e-08,4.995219e-08,1.133536e-07,1.652660e-07,3.753820e-07,3.867343e-07,7.521280e-07,8.860991e-07,1.305986e-06,1.749938e-06,2.099278e-06,3.079985e-06,3.177341e-06,4.555418e-06,4.928733e-06,6.209552e-06,7.240724e-06,8.097519e-06,9.920799e-06,1.017984e-05,1.242531e-05,1.289172e-05,1.480905e-05,1.609601e-05,1.730952e-05,1.948546e-05,1.990669e-05,2.258091e-05,2.301463e-05,2.531262e-05,2.663852e-05,2.808229e-05,3.031245e-05,3.087073e-05,3.365926e-05,3.399303e-05,3.643012e-05,3.763939e-05,3.916677e-05,4.121438e-05,4.185409e-05,4.447856e-05,4.468543e-05,4.702828e-05,4.802493e-05,4.949321e-05,5.121070e-05,5.186500e-05,5.413699e-05,5.422572e-05,5.630411e-05,5.705785e-05,5.836269e-05,5.969926e-05,6.031036e-05,6.214594e-05,6.386928e-05,6.439714e-05,6.548108e-05,6.645475e-05,6.698281e-05,6.832285e-05,6.837655e-05,6.966490e-05,7.000716e-05,7.085086e-05,7.151466e-05,7.193776e-05,7.285326e-05,7.292914e-05,7.382875e-05,7.403142e-05,7.464042e-05,7.505800e-05,7.536806e-05,7.594199e-05,7.601560e-05,7.658695e-05,7.669242e-05,7.708599e-05,7.731818e-05,7.751653e-05,7.782797e-05,7.788229e-05,7.818690e-05,7.823020e-05,7.843388e-05,7.853297e-05,7.862665e-05,7.874403e-05,7.876848e-05,7.886254e-05,7.887076e-05,7.891186e-05,7.892015e-05,7.891935e-05,7.889878e-05,7.888779e-05,7.881983e-05,7.881289e-05,7.871800e-05,7.866832e-05,7.858471e-05,7.847055e-05,7.842225e-05,7.823281e-05,7.822470e-05,7.801844e-05,7.793554e-05,7.778110e-05,7.760754e-05,7.752265e-05,7.724484e-05,7.694933e-05,7.685128e-05,7.663769e-05,7.643046e-05,7.631139e-05,7.598566e-05,7.597184e-05,7.562033e-05,7.551994e-05,7.525813e-05,7.503615e-05,7.488637e-05,7.453687e-05,7.450617e-05,7.411854e-05,7.402451e-05,7.372445e-05,7.350128e-05,7.332480e-05,7.296919e-05,7.292045e-05,7.251217e-05,7.243011e-05,7.210072e-05,7.188574e-05,7.168678e-05,7.133762e-05,7.127099e-05,7.085397e-05,7.078717e-05,7.043627e-05,7.023568e-05,7.001840e-05,6.968432e-05,6.960086e-05,6.918408e-05,6.913414e-05,6.876849e-05,6.858611e-05,6.835447e-05,6.804107e-05,6.794236e-05,6.753250e-05,6.749982e-05,6.712519e-05,6.696304e-05,6.672069e-05,6.643134e-05,6.631926e-05,6.592113e-05,6.590528e-05,6.552651e-05,6.538534e-05,6.513558e-05,6.487194e-05,6.474851e-05,6.436546e-05,6.386622e-05,6.337449e-05,6.289050e-05,6.241445e-05,6.194650e-05,6.148677e-05,6.103536e-05,6.059235e-05,6.015777e-05,5.973165e-05,5.931400e-05,5.890479e-05,5.850401e-05,5.811159e-05,5.772750e-05,5.735165e-05,5.698397e-05,5.662436e-05,5.627274e-05,5.592898e-05,5.559299e-05,5.526464e-05,5.494381e-05,5.463038e-05
0.000000e+00,8.343014e-09,1.897500e-08,6.452892e-08,1.455927e-07,2.115749e-07,4.762445e-07,4.904561e-07,9.441659e-07,1.108962e-06,1.621105e-06,2.156885e-06,2.575575e-06,3.745002e-06,3.861034e-06,5.510652e-06,5.960465e-06,7.510902e-06,8.761146e-06,9.796094e-06,1.197152e-05,1.227660e-05,1.487018e-05,1.539656e-05,1.751351e-05,1.889176e-05,2.016014e-05,2.236024e-05,2.277540e-05,2.533250e-05,2.573475e-05,2.781010e-05,2.896596e-05,3.019113e-05,3.201722e-05,3.246206e-05,3.461257e-05,3.486216e-05,3.663527e-05,3.748345e-05,3.852540e-05,3.987171e-05,4.028061e-05,4.190061e-05,4.202441e-05,4.338688e-05,4.394455e-05,4.474231e-05,4.563943e-05,4.597094e-05,4.707773e-05,4.711955e-05,4.806837e-05,4.839773e-05,4.894893e-05,4.948806e-05,4.972574e-05,5.040525e-05,5.099391e-05,5.116414e-05,5.149808e-05,5.177927e-05,5.192394e-05,5.226465e-05,5.227747e-05,5.256438e-05,5.263352e-05,5.279009e-05,5.289830e-05,5.295975e-05,5.307050e-05,5.307820e-05,5.314998e-05,5.316074e-05,5.317932e-05,5.317870e-05,5.317018e-05,5.313322e-05,5.312623e-05,5.305088e-05,5.303232e-05,5.294729e-05,5.288324e-05,5.281838e-05,5.269250e-05,5.266684e-05,5.249514e-05,5.246595e-05,5.230558e-05,5.220886e-05,5.210024e-05,5.192592e-05,5.188106e-05,5.164981e-05,5.162132e-05,5.140809e-05,5.129881e-05,5.115740e-05,5.096171e-05,5.089909e-05,5.063439e-05,5.061297e-05,5.036443e-05,5.025520e-05,5.009023e-05,4.989072e-05,4.981274e-05,4.953281e-05,4.952157e-05,4.925119e-05,4.914954e-05,4.896860e-05,4.877620e-05,4.868566e-05,4.840294e-05,4.812096e-05,4.803096e-05,4.784018e-05,4.766130e-05,4.756101e-05,4.729487e-05,4.728383e-05,4.700896e-05,4.693245e-05,4.673670e-05,4.657471e-05,4.646731e-05,4.622220e-05,4.620102e-05,4.593803e-05,4.587542e-05,4.567851e-05,4.553476e-05,4.542262e-05,4.520054e-05,4.517048e-05,4.492222e-05,4.487304e-05,4.467791e-05,4.455246e-05,4.443764e-05,4.423897e-05,4.420146e-05,4.396942e-05,4.393268e-05,4.374156e-05,4.363368e-05,4.351791e-05,4.334202e-05,4.329847e-05,4.308324e-05,4.305770e-05,4.287224e-05,4.278073e-05,4.266544e-05,4.251108e-05,4.246283e-05,4.226438e-05,4.224869e-05,4.207007e-05,4.199350e-05,4.187986e-05,4.174542e-05,4.169371e-05,4.151157e-05,4.150437e-05,4.133341e-05,4.127024e-05,4.115918e-05,4.104291e-05,4.098881e-05,4.082227e-05,4.060818e-05,4.040052e-05,4.019914e-05,4.000392e-05,3.981471e-05,3.963136e-05,3.945373e-05,3.928169e-05,3.911508e-05,3.895376e-05,3.879760e-05,3.864644e-05,3.850016e-05,3.835861e-05,3.822165e-05,3.808916e-05,3.796101e-05,3.783706e-05,3.771719e-05,3.760127e-05,3.748920e-05,3.738084e-05,3.727608e-05,3.717481e-05
0.000000e+00,6.870415e-09,1.573860e-08,5.440148e-08,1.248480e-07,1.833347e-07,4.258715e-07,4.392080e-07,8.788552e-07,1.044318e-06,1.573210e-06,2.141975e-06,2.591046e-06,3.838767e-06,3.961078e-06,5.664954e-06,6.119918e-06,7.670808e-06,8.916302e-06,9.953600e-06,1.217751e-05,1.249579e-05,1.528334e-05,1.586912e-05,1.830270e-05,1.995955e-05,2.153913e-05,2.441347e-05,2.497614e-05,2.859536e-05,2.919004e-05,3.237702e-05,3.424378e-05,3.630016e-05,3.952615e-05,4.034337e-05,4.448521e-05,4.498786e-05,4.870475e-05,5.058075e-05,5.298191e-05,5.625939e-05,5.729777e-05,6.163482e-05,6.198221e-05,6.597703e-05,6.771205e-05,7.030990e-05,7.341652e-05,7.462060e-05,7.889781e-05,7.906805e-05,8.313161e-05,8.464347e-05,8.731348e-05,9.012373e-05,9.143614e-05,9.549342e-05,9.948016e-05,1.007403e-04,1.033921e-04,1.058548e-04,1.072257e-04,1.108297e-04,1.109783e-04,1.146475e-04,1.156598e-04,1.182319e-04,1.203412e-04,1.217301e-04,1.248717e-04,1.251413e-04,1.284652e-04,1.292499e-04,1.317014e-04,1.334754e-04,1.348501e-04,1.375487e-04,1.379115e-04,1.408861e-04,1.414706e-04,1.437745e-04,1.452426e-04,1.465774e-04,1.488665e-04,1.492958e-04,1.519307e-04,1.523445e-04,1.544829e-04,1.556790e-04,1.569538e-04,1.588726e-04,1.593444e-04,1.616560e-04,1.619281e-04,1.638898e-04,1.648484e-04,1.660473e-04,1.676366e-04,1.681296e-04,1.701382e-04,1.702958e-04,1.720745e-04,1.728291e-04,1.739399e-04,1.752398e-04,1.757357e-04,1.774634e-04,1.775311e-04,1.791243e-04,1.797062e-04,1.807199e-04,1.817684e-04,1.822516e-04,1.837209e-04,1.851290e-04,1.855669e-04,1.864774e-04,1.873096e-04,1.877674e-04,1.889523e-04,1.890005e-04,1.901780e-04,1.904979e-04,1.913012e-04,1.919497e-04,1.923715e-04,1.933105e-04,1.933902e-04,1.943585e-04,1.945835e-04,1.952777e-04,1.957715e-04,1.961492e-04,1.968775e-04,1.969740e-04,1.977536e-04,1.979042e-04,1.984890e-04,1.988544e-04,1.991815e-04,1.997308e-04,1.998322e-04,2.004423e-04,2.005362e-04,2.010128e-04,2.012730e-04,2.015449e-04,2.019437e-04,2.020398e-04,2.024983e-04,2.025510e-04,2.029217e-04,2.030971e-04,2.033108e-04,2.035844e-04,2.036668e-04,2.039906e-04,2.040151e-04,2.042831e-04,2.043916e-04,2.045454e-04,2.047160e-04,2.047783e-04,2.049827e-04,2.049903e-04,2.051595e-04,2.052166e-04,2.053096e-04,2.053969e-04,2.054339e-04,2.055331e-04,2.056271e-04,2.056807e-04,2.056956e-04,2.056737e-04,2.056164e-04,2.055254e-04,2.054023e-04,2.052485e-04,2.050655e-04,2.048548e-04,2.046176e-04,2.043553e-04,2.040691e-04,2.037603e-04,2.034300e-04,2.030795e-04,2.027097e-04,2.023217e-04,2.019167e-04,2.014955e-04,2.010591e-04,2.006084e-04,2.001443e-04,1.996677e-04
0.000000e+00,5.682927e-08,1.293792e-07,4.421875e-07,1.007120e-06,1.474884e-06,3.421072e-06,3.528619e-06,7.102056e-06,8.453243e-06,1.272917e-05,1.716409e-05,2.051661e-05,2.922476e-05,3.003907e-05,4.086808e-05,4.363053e-05,5.274891e-05,5.979979e-05,6.551987e-05,7.738708e-05,7.904555e-05,9.318840e-05,9.607831e-05,1.078015e-04,1.155350e-04,1.227304e-04,1.354000e-04,1.378184e-04,1.529122e-04,1.553179e-04,1.678676e-04,1.749580e-04,1.825538e-04,1.940317e-04,1.968568e-04,2.106813e-04,2.123042e-04,2.239508e-04,2.295980e-04,2.366073e-04,2.457906e-04,2.486100e-04,2.599333e-04,2.608093e-04,2.705646e-04,2.746228e-04,2.805028e-04,2.872331e-04,2.897556e-04,2.983381e-04,2.986678e-04,3.062709e-04,3.089722e-04,3.135784e-04,3.182042e-04,3.202880e-04,3.264288e-04,3.320308e-04,3.337147e-04,3.371244e-04,3.401314e-04,3.417396e-04,3.457475e-04,3.459059e-04,3.496516e-04,3.506288e-04,3.530043e-04,3.548382e-04,3.559901e-04,3.584344e-04,3.586338e-04,3.609591e-04,3.614722e-04,3.629879e-04,3.640024e-04,3.647412e-04,3.660718e-04,3.662385e-04,3.674981e-04,3.677230e-04,3.685370e-04,3.689954e-04,3.693713e-04,3.699248e-04,3.700157e-04,3.704843e-04,3.705438e-04,3.707898e-04,3.708821e-04,3.709443e-04,3.709668e-04,3.709590e-04,3.708445e-04,3.708225e-04,3.706102e-04,3.704716e-04,3.702654e-04,3.699346e-04,3.698184e-04,3.692770e-04,3.692298e-04,3.686485e-04,3.683743e-04,3.679397e-04,3.673832e-04,3.671570e-04,3.663061e-04,3.662707e-04,3.653926e-04,3.650495e-04,3.644217e-04,3.637310e-04,3.633980e-04,3.623260e-04,3.612099e-04,3.608441e-04,3.600535e-04,3.592940e-04,3.588605e-04,3.576838e-04,3.576341e-04,3.563776e-04,3.560208e-04,3.550939e-04,3.543117e-04,3.537857e-04,3.525627e-04,3.524555e-04,3.511058e-04,3.507792e-04,3.497388e-04,3.489666e-04,3.483567e-04,3.471293e-04,3.469612e-04,3.455543e-04,3.452717e-04,3.441377e-04,3.433977e-04,3.427129e-04,3.415109e-04,3.412815e-04,3.398449e-04,3.396146e-04,3.384042e-04,3.377117e-04,3.369609e-04,3.358050e-04,3.355159e-04,3.340704e-04,3.338969e-04,3.326253e-04,3.319899e-04,3.311816e-04,3.300859e-04,3.297402e-04,3.283017e-04,3.281868e-04,3.268671e-04,3.262944e-04,3.254369e-04,3.244103e-04,3.240118e-04,3.225925e-04,3.225359e-04,3.211795e-04,3.206725e-04,3.197733e-04,3.188212e-04,3.183744e-04,3.169832e-04,3.151594e-04,3.133507e-04,3.115579e-04,3.097816e-04,3.080226e-04,3.062812e-04,3.045581e-04,3.028537e-04,3.011683e-04,2.995023e-04,2.978559e-04,2.962294e-04,2.946230e-04,2.930367e-04,2.914708e-04,2.899254e-04,2.884004e-04,2.868960e-04,2.854120e-04,2.839486e-04,2.825056e-04,2.810831e-04,2.796809e-04,2.782990e-04
0.000000e+00,3.794361e-08,8.450756e-08,2.750032e-07,5.952988e-07,8.449863e-07,1.783690e-06,1.831892e-06,3.286424e-06,3.781774e-06,5.236920e-06,6.651105e-06,7.696092e-06,1.040786e-05,1.066374e-05,1.412395e-05,1.502385e-05,1.803623e-05,2.039902e-05,2.232905e-05,2.634790e-05,2.690955e-05,3.168340e-05,3.265375e-05,3.656639e-05,3.912401e-05,4.148533e-05,4.559742e-05,4.637543e-05,5.117840e-05,5.193521e-05,5.584196e-05,5.801722e-05,6.032027e-05,6.374333e-05,6.457470e-05,6.857438e-05,6.903605e-05,7.229649e-05,7.384218e-05,7.572617e-05,7.813235e-05,7.885604e-05,8.168541e-05,8.189889e-05,8.421935e-05,8.515226e-05,8.646763e-05,8.791694e-05,8.844368e-05,9.016353e-05,9.022725e-05,9.164496e-05,9.212350e-05,9.290664e-05,9.364872e-05,9.396749e-05,9.484618e-05,9.556070e-05,9.575749e-05,9.612812e-05,9.642147e-05,9.656435e-05,9.687337e-05,9.688409e-05,9.710076e-05,9.714464e-05,9.722650e-05,9.726289e-05,9.727223e-05,9.725203e-05,9.724769e-05,9.716157e-05,9.713261e-05,9.702153e-05,9.692212e-05,9.683436e-05,9.663542e-05,9.660603e-05,9.634179e-05,9.628505e-05,9.604625e-05,9.588157e-05,9.572347e-05,9.543390e-05,9.537701e-05,9.501000e-05,9.494956e-05,9.462519e-05,9.443488e-05,9.422501e-05,9.389526e-05,9.381162e-05,9.338691e-05,9.333526e-05,9.295255e-05,9.275878e-05,9.251006e-05,9.216915e-05,9.206077e-05,9.160586e-05,9.156926e-05,9.114641e-05,9.096157e-05,9.068337e-05,9.034825e-05,9.021761e-05,8.974990e-05,8.973116e-05,8.928095e-05,8.911195e-05,8.881139e-05,8.849203e-05,8.834179e-05,8.787268e-05,8.740453e-05,8.725499e-05,8.693776e-05,8.663994e-05,8.647277e-05,8.602839e-05,8.600992e-05,8.554951e-05,8.542108e-05,8.509185e-05,8.481869e-05,8.463720e-05,8.422179e-05,8.418580e-05,8.373786e-05,8.363089e-05,8.329358e-05,8.304645e-05,8.285315e-05,8.246886e-05,8.241670e-05,8.198440e-05,8.189845e-05,8.155636e-05,8.133550e-05,8.113270e-05,8.078027e-05,8.071351e-05,8.029889e-05,8.023298e-05,7.988890e-05,7.969378e-05,7.948362e-05,7.916283e-05,7.908311e-05,7.868740e-05,7.864024e-05,7.829654e-05,7.812611e-05,7.791056e-05,7.762049e-05,7.752948e-05,7.715332e-05,7.712344e-05,7.678209e-05,7.663498e-05,7.641580e-05,7.615512e-05,7.605444e-05,7.569802e-05,7.568386e-05,7.534651e-05,7.522117e-05,7.499992e-05,7.476703e-05,7.465822e-05,7.432139e-05,7.388419e-05,7.345537e-05,7.303486e-05,7.262259e-05,7.221846e-05,7.182239e-05,7.143427e-05,7.105402e-05,7.068152e-05,7.031667e-05,6.995935e-05,6.960946e-05,6.926689e-05,6.893150e-05,6.860319e-05,6.828184e-05,6.796733e-05,6.765954e-05,6.735835e-05,6.706364e-05,6.677529e-05,6.649318e-05,6.621720e-05,6.594723e-05
0.000000e+00,3.339092e-09,7.499472e-09,2.483176e-08,5.461877e-08,7.822386e-08,1.691505e-07,1.738989e-07,3.202613e-07,3.713570e-07,5.248137e-07,6.784923e-07,7.947910e-07,1.106912e-06,1.137104e-06,1.557150e-06,1.669792e-06,2.056003e-06,2.367563e-06,2.626567e-06,3.174548e-06,3.251678e-06,3.907419e-06,4.040065e-06,4.569825e-06,4.910340e-06,5.219858e-06,5.746698e-06,5.844578e-06,6.436086e-06,6.527313e-06,6.989960e-06,7.241743e-06,7.503991e-06,7.885945e-06,7.977360e-06,8.410167e-06,8.459407e-06,8.803145e-06,8.963736e-06,9.157505e-06,9.401952e-06,9.474828e-06,9.756980e-06,9.778094e-06,1.000604e-05,1.009690e-05,1.022425e-05,1.036354e-05,1.041390e-05,1.057732e-05,1.058335e-05,1.071683e-05,1.076163e-05,1.083465e-05,1.090348e-05,1.093293e-05,1.101367e-05,1.107875e-05,1.109655e-05,1.112989e-05,1.115604e-05,1.116867e-05,1.119561e-05,1.119653e-05,1.121473e-05,1.121826e-05,1.122445e-05,1.122663e-05,1.122669e-05,1.122295e-05,1.122238e-05,1.121232e-05,1.120913e-05,1.119722e-05,1.118679e-05,1.117770e-05,1.115731e-05,1.115432e-05,1.112756e-05,1.112184e-05,1.109785e-05,1.108136e-05,1.106557e-05,1.103670e-05,1.103104e-05,1.099456e-05,1.098856e-05,1.095639e-05,1.093754e-05,1.091676e-05,1.088413e-05,1.087586e-05,1.083388e-05,1.082878e-05,1.079098e-05,1.077185e-05,1.074730e-05,1.071367e-05,1.070298e-05,1.065811e-05,1.065450e-05,1.061282e-05,1.059460e-05,1.056719e-05,1.053417e-05,1.052130e-05,1.047524e-05,1.047339e-05,1.042906e-05,1.041242e-05,1.038284e-05,1.035141e-05,1.033663e-05,1.029048e-05,1.024444e-05,1.022973e-05,1.019855e-05,1.016927e-05,1.015284e-05,1.010918e-05,1.010736e-05,1.006214e-05,1.004953e-05,1.001721e-05,9.990393e-06,9.972582e-06,9.931824e-06,9.928293e-06,9.884362e-06,9.873874e-06,9.840807e-06,9.816588e-06,9.797647e-06,9.760005e-06,9.754898e-06,9.712573e-06,9.704160e-06,9.670685e-06,9.649079e-06,9.629245e-06,9.594790e-06,9.588264e-06,9.547751e-06,9.541312e-06,9.507712e-06,9.488664e-06,9.468155e-06,9.436859e-06,9.429085e-06,9.390506e-06,9.385910e-06,9.352424e-06,9.335825e-06,9.314840e-06,9.286611e-06,9.277757e-06,9.241177e-06,9.238273e-06,9.205101e-06,9.190812e-06,9.169530e-06,9.144231e-06,9.134463e-06,9.099900e-06,9.098528e-06,9.065840e-06,9.053702e-06,9.032282e-06,9.009749e-06,8.999224e-06,8.966664e-06,8.924442e-06,8.883077e-06,8.842561e-06,8.802886e-06,8.764043e-06,8.726023e-06,8.688817e-06,8.652413e-06,8.616801e-06,8.581970e-06,8.547909e-06,8.514606e-06,8.482049e-06,8.450226e-06,8.419126e-06,8.388735e-06,8.359042e-06,8.330035e-06,8.301700e-06,8.274025e-06,8.246999e-06,8.220608e-06,8.194841e-06,8.169684e-06
0.000000e+00,3.438906e-09,7.828488e-09,2.668783e-08,6.040243e-08,8.796859e-08,1.995217e-07,2.055530e-07,4.001064e-07,4.716673e-07,6.967598e-07,9.360855e-07,1.125413e-06,1.662199e-06,1.715938e-06,2.484889e-06,2.695391e-06,3.421203e-06,4.005921e-06,4.489538e-06,5.506074e-06,5.648762e-06,6.864815e-06,7.112518e-06,8.112838e-06,8.768278e-06,9.374850e-06,1.043569e-05,1.063721e-05,1.188893e-05,1.208757e-05,1.312070e-05,1.370248e-05,1.432453e-05,1.526277e-05,1.549346e-05,1.662161e-05,1.675400e-05,1.770408e-05,1.816486e-05,1.873700e-05,1.948706e-05,1.971747e-05,2.064351e-05,2.071520e-05,2.151397e-05,2.184648e-05,2.232846e-05,2.288041e-05,2.308732e-05,2.379141e-05,2.381845e-05,2.444204e-05,2.466350e-05,2.504090e-05,2.541953e-05,2.558993e-05,2.609134e-05,2.654744e-05,2.668418e-05,2.696048e-05,2.720336e-05,2.733289e-05,2.765437e-05,2.766703e-05,2.796526e-05,2.804264e-05,2.822987e-05,2.837343e-05,2.846309e-05,2.865175e-05,2.866704e-05,2.884375e-05,2.888232e-05,2.899515e-05,2.906956e-05,2.912307e-05,2.921759e-05,2.922923e-05,2.931526e-05,2.933018e-05,2.938267e-05,2.941085e-05,2.943289e-05,2.946277e-05,2.946726e-05,2.948700e-05,2.948888e-05,2.949329e-05,2.949185e-05,2.948721e-05,2.947411e-05,2.946975e-05,2.944186e-05,2.943785e-05,2.940439e-05,2.938509e-05,2.935817e-05,2.931765e-05,2.930394e-05,2.924239e-05,2.923717e-05,2.917417e-05,2.914515e-05,2.909988e-05,2.904294e-05,2.902007e-05,2.893527e-05,2.893178e-05,2.884594e-05,2.881276e-05,2.875253e-05,2.868689e-05,2.865545e-05,2.855509e-05,2.845179e-05,2.841817e-05,2.834588e-05,2.827687e-05,2.823767e-05,2.813187e-05,2.812743e-05,2.801543e-05,2.798378e-05,2.790190e-05,2.783315e-05,2.778708e-05,2.768047e-05,2.767116e-05,2.755433e-05,2.752618e-05,2.743679e-05,2.737070e-05,2.731867e-05,2.721439e-05,2.720015e-05,2.708136e-05,2.705758e-05,2.696242e-05,2.690056e-05,2.684346e-05,2.674360e-05,2.672459e-05,2.660591e-05,2.658694e-05,2.648750e-05,2.643080e-05,2.636947e-05,2.627536e-05,2.625189e-05,2.613482e-05,2.612081e-05,2.601834e-05,2.596730e-05,2.590252e-05,2.581496e-05,2.578740e-05,2.567303e-05,2.566392e-05,2.555947e-05,2.551428e-05,2.544676e-05,2.536615e-05,2.533493e-05,2.522403e-05,2.521961e-05,2.511408e-05,2.507473e-05,2.500511e-05,2.493158e-05,2.489714e-05,2.479021e-05,2.465067e-05,2.451301e-05,2.437725e-05,2.424342e-05,2.411156e-05,2.398167e-05,2.385377e-05,2.372787e-05,2.360397e-05,2.348208e-05,2.336220e-05,2.324432e-05,2.312844e-05,2.301454e-05,2.290262e-05,2.279267e-05,2.268466e-05,2.257859e-05,2.247444e-05,2.237219e-05,2.227182e-05,2.217331e-05,2.207663e-05,2.198178e-05
0.000000e+00,2.197429e-09,4.958723e-09,1.658495e-08,3.683267e-08,5.304489e-08,1.164991e-07,1.198502e-07,2.246664e-07,2.618893e-07,3.754285e-07,4.915470e-07,5.808986e-07,8.263719e-07,8.505202e-07,1.192822e-06,1.286384e-06,1.611631e-06,1.877964e-06,2.101362e-06,2.578437e-06,2.645995e-06,3.224201e-06,3.342039e-06,3.816044e-06,4.123961e-06,4.406393e-06,4.893510e-06,4.984988e-06,5.545203e-06,5.632824e-06,6.082791e-06,6.331939e-06,6.594967e-06,6.985129e-06,7.079855e-06,7.536174e-06,7.588969e-06,7.963087e-06,8.141482e-06,8.360131e-06,8.641818e-06,8.727179e-06,9.064416e-06,9.090120e-06,9.372325e-06,9.487436e-06,9.651653e-06,9.835614e-06,9.903379e-06,1.012868e-05,1.013716e-05,1.032887e-05,1.039507e-05,1.050539e-05,1.061268e-05,1.065976e-05,1.079350e-05,1.090817e-05,1.094108e-05,1.100528e-05,1.105891e-05,1.108632e-05,1.115029e-05,1.115268e-05,1.120571e-05,1.121835e-05,1.124668e-05,1.126596e-05,1.127675e-05,1.129574e-05,1.129702e-05,1.130848e-05,1.131003e-05,1.131206e-05,1.131092e-05,1.130857e-05,1.130027e-05,1.129879e-05,1.128339e-05,1.127969e-05,1.126299e-05,1.125059e-05,1.123814e-05,1.121421e-05,1.120935e-05,1.117707e-05,1.117161e-05,1.114170e-05,1.112373e-05,1.110359e-05,1.107136e-05,1.106307e-05,1.102042e-05,1.101517e-05,1.097589e-05,1.095576e-05,1.092971e-05,1.089364e-05,1.088209e-05,1.083322e-05,1.082926e-05,1.078326e-05,1.076300e-05,1.073236e-05,1.069521e-05,1.068066e-05,1.062828e-05,1.062617e-05,1.057532e-05,1.055614e-05,1.052190e-05,1.048536e-05,1.046810e-05,1.041401e-05,1.035969e-05,1.034228e-05,1.030523e-05,1.027031e-05,1.025067e-05,1.019826e-05,1.019607e-05,1.014150e-05,1.012623e-05,1.008699e-05,1.005434e-05,1.003259e-05,9.982677e-06,9.978344e-06,9.924278e-06,9.911334e-06,9.870431e-06,9.840383e-06,9.816832e-06,9.769891e-06,9.763508e-06,9.710485e-06,9.699919e-06,9.657787e-06,9.630519e-06,9.605434e-06,9.561738e-06,9.553445e-06,9.501838e-06,9.493617e-06,9.450628e-06,9.426193e-06,9.399830e-06,9.359497e-06,9.349457e-06,9.299521e-06,9.293558e-06,9.250031e-06,9.228399e-06,9.200997e-06,9.164042e-06,9.152428e-06,9.104330e-06,9.100503e-06,9.056711e-06,9.037798e-06,9.009575e-06,8.975940e-06,8.962928e-06,8.916773e-06,8.914938e-06,8.871115e-06,8.854800e-06,8.825956e-06,8.795533e-06,8.781297e-06,8.737141e-06,8.679627e-06,8.622992e-06,8.567236e-06,8.512357e-06,8.458355e-06,8.405224e-06,8.352962e-06,8.301563e-06,8.251021e-06,8.201330e-06,8.152483e-06,8.104472e-06,8.057289e-06,8.010927e-06,7.965374e-06,7.920624e-06,7.876665e-06,7.833489e-06,7.791086e-06,7.749444e-06,7.708554e-06,7.668406e-06,7.628988e-06,7.590291e-06
0.000000e+00,2.144024e-09,4.887910e-09,1.670124e-08,3.782856e-08,5.507581e-08,1.244361e-07,1.281637e-07,2.471063e-07,2.902381e-07,4.239377e-07,5.632376e-07,6.717285e-07,9.735326e-07,1.003415e-06,1.428199e-06,1.544269e-06,1.946330e-06,2.273716e-06,2.547443e-06,3.132245e-06,3.215373e-06,3.934109e-06,4.082727e-06,4.690287e-06,5.094629e-06,5.473103e-06,6.144630e-06,6.273555e-06,7.083836e-06,7.213919e-06,7.897005e-06,8.286500e-06,8.706842e-06,9.348570e-06,9.507813e-06,1.029508e-05,1.038842e-05,1.106450e-05,1.139647e-05,1.181262e-05,1.236520e-05,1.253664e-05,1.323442e-05,1.328906e-05,1.390437e-05,1.416430e-05,1.454543e-05,1.498873e-05,1.515697e-05,1.573878e-05,1.576144e-05,1.629094e-05,1.648252e-05,1.681379e-05,1.715288e-05,1.730791e-05,1.777400e-05,1.821291e-05,1.834777e-05,1.862558e-05,1.887636e-05,1.901298e-05,1.936209e-05,1.937616e-05,1.971615e-05,1.980734e-05,2.003401e-05,2.021454e-05,2.033078e-05,2.058605e-05,2.060747e-05,2.086509e-05,2.092419e-05,2.110460e-05,2.123116e-05,2.132693e-05,2.150908e-05,2.153297e-05,2.172359e-05,2.175994e-05,2.189961e-05,2.198563e-05,2.206181e-05,2.218792e-05,2.221093e-05,2.234769e-05,2.236847e-05,2.247276e-05,2.252883e-05,2.258678e-05,2.267045e-05,2.269036e-05,2.278406e-05,2.279467e-05,2.286844e-05,2.290275e-05,2.294401e-05,2.299586e-05,2.301126e-05,2.307065e-05,2.307508e-05,2.312262e-05,2.314143e-05,2.316758e-05,2.319583e-05,2.320592e-05,2.323801e-05,2.323917e-05,2.326421e-05,2.327226e-05,2.328483e-05,2.329583e-05,2.330020e-05,2.331061e-05,2.331634e-05,2.331722e-05,2.331765e-05,2.331629e-05,2.331480e-05,2.330836e-05,2.330802e-05,2.329753e-05,2.329396e-05,2.328356e-05,2.327358e-05,2.326629e-05,2.324766e-05,2.324592e-05,2.322264e-05,2.321663e-05,2.319660e-05,2.318088e-05,2.316798e-05,2.314078e-05,2.313693e-05,2.310358e-05,2.309665e-05,2.306809e-05,2.304882e-05,2.303057e-05,2.299759e-05,2.299116e-05,2.294996e-05,2.294322e-05,2.290710e-05,2.288597e-05,2.286268e-05,2.282609e-05,2.281680e-05,2.276954e-05,2.276379e-05,2.272102e-05,2.269928e-05,2.267130e-05,2.263276e-05,2.262047e-05,2.256861e-05,2.256442e-05,2.251579e-05,2.249441e-05,2.246208e-05,2.242290e-05,2.240755e-05,2.235227e-05,2.235004e-05,2.229628e-05,2.227597e-05,2.223965e-05,2.220081e-05,2.218244e-05,2.212468e-05,2.204771e-05,2.197000e-05,2.189164e-05,2.181273e-05,2.173336e-05,2.165361e-05,2.157355e-05,2.149326e-05,2.141280e-05,2.133224e-05,2.125164e-05,2.117104e-05,2.109050e-05,2.101008e-05,2.092981e-05,2.084973e-05,2.076989e-05,2.069031e-05,2.061105e-05,2.053212e-05,2.045356e-05,2.037539e-05,2.029764e-05,2.022033e-05
0.000000e+00,2.172709e-09,4.949431e-09,1.687930e-08,3.814783e-08,5.545971e-08,1.247004e-07,1.284058e-07,2.459080e-07,2.881934e-07,4.183112e-07,5.525313e-07,6.562612e-07,9.419895e-07,9.701053e-07,1.367822e-06,1.476152e-06,1.851412e-06,2.157654e-06,2.414453e-06,2.965601e-06,3.044215e-06,3.726410e-06,3.867974e-06,4.448196e-06,4.835504e-06,5.198736e-06,5.844600e-06,5.968767e-06,6.750098e-06,6.875655e-06,7.535312e-06,7.911584e-06,8.317644e-06,8.937292e-06,9.090961e-06,9.849786e-06,9.939637e-06,1.058934e-05,1.090756e-05,1.130554e-05,1.183216e-05,1.199506e-05,1.265523e-05,1.270671e-05,1.328407e-05,1.352650e-05,1.388017e-05,1.428860e-05,1.444268e-05,1.497123e-05,1.499166e-05,1.546585e-05,1.563567e-05,1.592691e-05,1.622159e-05,1.635507e-05,1.675120e-05,1.711634e-05,1.722683e-05,1.745166e-05,1.765119e-05,1.775841e-05,1.802725e-05,1.803792e-05,1.829153e-05,1.835808e-05,1.852058e-05,1.864680e-05,1.872644e-05,1.889648e-05,1.891042e-05,1.907383e-05,1.911012e-05,1.921791e-05,1.929060e-05,1.934387e-05,1.944066e-05,1.945288e-05,1.954605e-05,1.956287e-05,1.962442e-05,1.965967e-05,1.968902e-05,1.973332e-05,1.974078e-05,1.978061e-05,1.978594e-05,1.980936e-05,1.981947e-05,1.982784e-05,1.983572e-05,1.983678e-05,1.983691e-05,1.983637e-05,1.982890e-05,1.982295e-05,1.981335e-05,1.979687e-05,1.979088e-05,1.976201e-05,1.975944e-05,1.972728e-05,1.971185e-05,1.968715e-05,1.965518e-05,1.964209e-05,1.959251e-05,1.959044e-05,1.953881e-05,1.951854e-05,1.948136e-05,1.944033e-05,1.942050e-05,1.935655e-05,1.928982e-05,1.926792e-05,1.922058e-05,1.917507e-05,1.914910e-05,1.907858e-05,1.907561e-05,1.900034e-05,1.897898e-05,1.892351e-05,1.887674e-05,1.884531e-05,1.877232e-05,1.876593e-05,1.868552e-05,1.866609e-05,1.860426e-05,1.855844e-05,1.852229e-05,1.844968e-05,1.843975e-05,1.835675e-05,1.834011e-05,1.827342e-05,1.823000e-05,1.818988e-05,1.811960e-05,1.810620e-05,1.802250e-05,1.800912e-05,1.793886e-05,1.789876e-05,1.785536e-05,1.778870e-05,1.777206e-05,1.768904e-05,1.767910e-05,1.760637e-05,1.757011e-05,1.752409e-05,1.746185e-05,1.744225e-05,1.736092e-05,1.735444e-05,1.728013e-05,1.724797e-05,1.719992e-05,1.714255e-05,1.712032e-05,1.704138e-05,1.703824e-05,1.696312e-05,1.693512e-05,1.688557e-05,1.683325e-05,1.680874e-05,1.673268e-05,1.663346e-05,1.653562e-05,1.643921e-05,1.634425e-05,1.625075e-05,1.615874e-05,1.606823e-05,1.597923e-05,1.589174e-05,1.580578e-05,1.572133e-05,1.563840e-05,1.555698e-05,1.547707e-05,1.539865e-05,1.532172e-05,1.524626e-05,1.517226e-05,1.509971e-05,1.502859e-05,1.495888e-05,1.489057e-05,1.482364e-05,1.475807e-05
0.000000e+00,1.202749e-09,2.740624e-09,9.347439e-09,2.111065e-08,3.066595e-08,6.868573e-08,7.071124e-08,1.344636e-07,1.571862e-07,2.264246e-07,2.968568e-07,3.506775e-07,4.966636e-07,5.108802e-07,7.101258e-07,7.640222e-07,9.505801e-07,1.103552e-06,1.232872e-06,1.514764e-06,1.555506e-06,1.914828e-06,1.990660e-06,2.305735e-06,2.519622e-06,2.722600e-06,3.088769e-06,3.159888e-06,3.612395e-06,3.685879e-06,4.075280e-06,4.299821e-06,4.544061e-06,4.920543e-06,5.014607e-06,5.483141e-06,5.539065e-06,5.946264e-06,6.147534e-06,6.400967e-06,6.739292e-06,6.844645e-06,7.275096e-06,7.308904e-06,7.690516e-06,7.852143e-06,8.089478e-06,8.365925e-06,8.470910e-06,8.834052e-06,8.848190e-06,9.178431e-06,9.297765e-06,9.503825e-06,9.714237e-06,9.810226e-06,1.009781e-05,1.036689e-05,1.044915e-05,1.061790e-05,1.076932e-05,1.085140e-05,1.105962e-05,1.106797e-05,1.126827e-05,1.132153e-05,1.145300e-05,1.155665e-05,1.162286e-05,1.176663e-05,1.177859e-05,1.192089e-05,1.195313e-05,1.205049e-05,1.211777e-05,1.216808e-05,1.226217e-05,1.227434e-05,1.236994e-05,1.238784e-05,1.245551e-05,1.249624e-05,1.253165e-05,1.258876e-05,1.259896e-05,1.265799e-05,1.266670e-05,1.270926e-05,1.273126e-05,1.275328e-05,1.278359e-05,1.279052e-05,1.282143e-05,1.282474e-05,1.284645e-05,1.285569e-05,1.286596e-05,1.287734e-05,1.288034e-05,1.288996e-05,1.289053e-05,1.289514e-05,1.289604e-05,1.289620e-05,1.289457e-05,1.289343e-05,1.288711e-05,1.288679e-05,1.287751e-05,1.287330e-05,1.286486e-05,1.285464e-05,1.284941e-05,1.283135e-05,1.281089e-05,1.280387e-05,1.278823e-05,1.277265e-05,1.276354e-05,1.273807e-05,1.273698e-05,1.270871e-05,1.270051e-05,1.267888e-05,1.266029e-05,1.264762e-05,1.261772e-05,1.261507e-05,1.258134e-05,1.257308e-05,1.254653e-05,1.252662e-05,1.251077e-05,1.247858e-05,1.247414e-05,1.243674e-05,1.242918e-05,1.239865e-05,1.237860e-05,1.235996e-05,1.232704e-05,1.232073e-05,1.228104e-05,1.227466e-05,1.224096e-05,1.222160e-05,1.220054e-05,1.216800e-05,1.215984e-05,1.211892e-05,1.211400e-05,1.207782e-05,1.205970e-05,1.203660e-05,1.200520e-05,1.199528e-05,1.195393e-05,1.195062e-05,1.191256e-05,1.189602e-05,1.187122e-05,1.184149e-05,1.182994e-05,1.178875e-05,1.178710e-05,1.174767e-05,1.173292e-05,1.170674e-05,1.167900e-05,1.166598e-05,1.162540e-05,1.157217e-05,1.151934e-05,1.146697e-05,1.141507e-05,1.136369e-05,1.131284e-05,1.126256e-05,1.121287e-05,1.116378e-05,1.111531e-05,1.106748e-05,1.102030e-05,1.097377e-05,1.092791e-05,1.088272e-05,1.083821e-05,1.079438e-05,1.075123e-05,1.070877e-05,1.066700e-05,1.062591e-05,1.058550e-05,1.054578e-05,1.050674e-05
0.000000e+00,1.142587e-08,2.609565e-08,8.947557e-08,2.032107e-07,2.962219e-07,6.706281e-07,6.907463e-07,1.331636e-06,1.563369e-06,2.279045e-06,3.020447e-06,3.595118e-06,5.183995e-06,5.340754e-06,7.565610e-06,8.174070e-06,1.029050e-05,1.202806e-05,1.349228e-05,1.665558e-05,1.710892e-05,2.106253e-05,2.188699e-05,2.527898e-05,2.755384e-05,2.969456e-05,3.351780e-05,3.425526e-05,3.891438e-05,3.966615e-05,4.363070e-05,4.590393e-05,4.836758e-05,5.214992e-05,5.309252e-05,5.777698e-05,5.833518e-05,6.239624e-05,6.440252e-05,6.692932e-05,7.030594e-05,7.135872e-05,7.567021e-05,7.600968e-05,7.985249e-05,8.148719e-05,8.389687e-05,8.671977e-05,8.779697e-05,9.154839e-05,9.169531e-05,9.514839e-05,9.640704e-05,9.859567e-05,1.008525e-04,1.018901e-04,1.050325e-04,1.080244e-04,1.089504e-04,1.108681e-04,1.126115e-04,1.135663e-04,1.160225e-04,1.161220e-04,1.185388e-04,1.191911e-04,1.208202e-04,1.221257e-04,1.229701e-04,1.248352e-04,1.249923e-04,1.268909e-04,1.273287e-04,1.286700e-04,1.296156e-04,1.303336e-04,1.317052e-04,1.318857e-04,1.333303e-04,1.336067e-04,1.346715e-04,1.353293e-04,1.359130e-04,1.368818e-04,1.370588e-04,1.381126e-04,1.382729e-04,1.390781e-04,1.395112e-04,1.399588e-04,1.406048e-04,1.407584e-04,1.414803e-04,1.415618e-04,1.421277e-04,1.423898e-04,1.427039e-04,1.430962e-04,1.432121e-04,1.436554e-04,1.436881e-04,1.440366e-04,1.441724e-04,1.443587e-04,1.445555e-04,1.446244e-04,1.448364e-04,1.448438e-04,1.449974e-04,1.450433e-04,1.451097e-04,1.451596e-04,1.451759e-04,1.451983e-04,1.451791e-04,1.451645e-04,1.451204e-04,1.450632e-04,1.450244e-04,1.448991e-04,1.448932e-04,1.447285e-04,1.446766e-04,1.445323e-04,1.444002e-04,1.443063e-04,1.440736e-04,1.440523e-04,1.437720e-04,1.437009e-04,1.434668e-04,1.432856e-04,1.431383e-04,1.428312e-04,1.427881e-04,1.424173e-04,1.423409e-04,1.420275e-04,1.418177e-04,1.416199e-04,1.412646e-04,1.411957e-04,1.407561e-04,1.406844e-04,1.403021e-04,1.400795e-04,1.398350e-04,1.394524e-04,1.393556e-04,1.388650e-04,1.388054e-04,1.383641e-04,1.381407e-04,1.378539e-04,1.374603e-04,1.373351e-04,1.368085e-04,1.367661e-04,1.362750e-04,1.360598e-04,1.357353e-04,1.353432e-04,1.351900e-04,1.346399e-04,1.346178e-04,1.340856e-04,1.338851e-04,1.335277e-04,1.331465e-04,1.329667e-04,1.324032e-04,1.316564e-04,1.309073e-04,1.301568e-04,1.294060e-04,1.286558e-04,1.279069e-04,1.271602e-04,1.264164e-04,1.256760e-04,1.249398e-04,1.242083e-04,1.234819e-04,1.227612e-04,1.220466e-04,1.213384e-04,1.206371e-04,1.199428e-04,1.192560e-04,1.185768e-04,1.179055e-04,1.172423e-04,1.165874e-04,1.159409e-04,1.153029e-04
0.000000e+00,7.753050e-09,1.758483e-08,5.944328e-08,1.333213e-07,1.930621e-07,4.302452e-07,4.428907e-07,8.429780e-07,9.868580e-07,1.430288e-06,1.889399e-06,2.245427e-06,3.229039e-06,3.325824e-06,4.686929e-06,5.053568e-06,6.305352e-06,7.304964e-06,8.128785e-06,9.858323e-06,1.010126e-05,1.217676e-05,1.260097e-05,1.432000e-05,1.545176e-05,1.650301e-05,1.835016e-05,1.870224e-05,2.089677e-05,2.124616e-05,2.306748e-05,2.409574e-05,2.519682e-05,2.685976e-05,2.726889e-05,2.926964e-05,2.950435e-05,3.118701e-05,3.200159e-05,3.301103e-05,3.433001e-05,3.473395e-05,3.635016e-05,3.647472e-05,3.785605e-05,3.842708e-05,3.924992e-05,4.018406e-05,4.053172e-05,4.170283e-05,4.174740e-05,4.276583e-05,4.312271e-05,4.372428e-05,4.431845e-05,4.458242e-05,4.534508e-05,4.601747e-05,4.621446e-05,4.660507e-05,4.693921e-05,4.711344e-05,4.753213e-05,4.754818e-05,4.791475e-05,4.800588e-05,4.821827e-05,4.837220e-05,4.846374e-05,4.864251e-05,4.865604e-05,4.879971e-05,4.882743e-05,4.889899e-05,4.893669e-05,4.895787e-05,4.897923e-05,4.898008e-05,4.896906e-05,4.896315e-05,4.892796e-05,4.889567e-05,4.885969e-05,4.878330e-05,4.876691e-05,4.865209e-05,4.863182e-05,4.851748e-05,4.844644e-05,4.836513e-05,4.823174e-05,4.819691e-05,4.801454e-05,4.799178e-05,4.781957e-05,4.773016e-05,4.761342e-05,4.745008e-05,4.739739e-05,4.717266e-05,4.715433e-05,4.694028e-05,4.684542e-05,4.670125e-05,4.652553e-05,4.645645e-05,4.620668e-05,4.619660e-05,4.595269e-05,4.586034e-05,4.569513e-05,4.551827e-05,4.543462e-05,4.517172e-05,4.490692e-05,4.482186e-05,4.464069e-05,4.446975e-05,4.437345e-05,4.411629e-05,4.410557e-05,4.383740e-05,4.376231e-05,4.356926e-05,4.340851e-05,4.330143e-05,4.305553e-05,4.303418e-05,4.276773e-05,4.270393e-05,4.250231e-05,4.235419e-05,4.223810e-05,4.200675e-05,4.197529e-05,4.171404e-05,4.166198e-05,4.145448e-05,4.132022e-05,4.119674e-05,4.098175e-05,4.094096e-05,4.068722e-05,4.064682e-05,4.043563e-05,4.031566e-05,4.018627e-05,3.998844e-05,3.993922e-05,3.969453e-05,3.966533e-05,3.945227e-05,3.934646e-05,3.921250e-05,3.903195e-05,3.897525e-05,3.874056e-05,3.872189e-05,3.850846e-05,3.841636e-05,3.827899e-05,3.811541e-05,3.805217e-05,3.782801e-05,3.781910e-05,3.760653e-05,3.752745e-05,3.738773e-05,3.724049e-05,3.717163e-05,3.695823e-05,3.668068e-05,3.640782e-05,3.613964e-05,3.587613e-05,3.561725e-05,3.536298e-05,3.511328e-05,3.486810e-05,3.462742e-05,3.439117e-05,3.415930e-05,3.393177e-05,3.370852e-05,3.348950e-05,3.327463e-05,3.306387e-05,3.285716e-05,3.265442e-05,3.245560e-05,3.226064e-05,3.206946e-05,3.188202e-05,3.169823e-05,3.151805e-05
0.000000e+00,7.592564e-09,1.693440e-08,5.526829e-08,1.199447e-07,1.704834e-07,3.610609e-07,3.708652e-07,6.672712e-07,7.684009e-07,1.065854e-06,1.355332e-06,1.569438e-06,2.125852e-06,2.178425e-06,2.891334e-06,3.077582e-06,3.705026e-06,4.202968e-06,4.614588e-06,5.488726e-06,5.612917e-06,6.690400e-06,6.914386e-06,7.835262e-06,8.452956e-06,9.034631e-06,1.007477e-05,1.027560e-05,1.154578e-05,1.175092e-05,1.283340e-05,1.345434e-05,1.412726e-05,1.515967e-05,1.541672e-05,1.669171e-05,1.684328e-05,1.794285e-05,1.848356e-05,1.916158e-05,2.006137e-05,2.034021e-05,2.147211e-05,2.156047e-05,2.255172e-05,2.296789e-05,2.357458e-05,2.427399e-05,2.453737e-05,2.543780e-05,2.547250e-05,2.627463e-05,2.656023e-05,2.704753e-05,2.753679e-05,2.775696e-05,2.840413e-05,2.899081e-05,2.916613e-05,2.951925e-05,2.982809e-05,2.999208e-05,3.039636e-05,3.041219e-05,3.078265e-05,3.087792e-05,3.110663e-05,3.128004e-05,3.138733e-05,3.161007e-05,3.162792e-05,3.183150e-05,3.187519e-05,3.200108e-05,3.208226e-05,3.213951e-05,3.223773e-05,3.224952e-05,3.233365e-05,3.234759e-05,3.239429e-05,3.241728e-05,3.243365e-05,3.245176e-05,3.245377e-05,3.245653e-05,3.245548e-05,3.244365e-05,3.243238e-05,3.241670e-05,3.238597e-05,3.237711e-05,3.232617e-05,3.231935e-05,3.226507e-05,3.223524e-05,3.219487e-05,3.213602e-05,3.211652e-05,3.203091e-05,3.202377e-05,3.193880e-05,3.190030e-05,3.184091e-05,3.176721e-05,3.173788e-05,3.163028e-05,3.162588e-05,3.151862e-05,3.147753e-05,3.140339e-05,3.132320e-05,3.128499e-05,3.116382e-05,3.104023e-05,3.100021e-05,3.091451e-05,3.083308e-05,3.078698e-05,3.066306e-05,3.065787e-05,3.052743e-05,3.049070e-05,3.039587e-05,3.031649e-05,3.026340e-05,3.014086e-05,3.013018e-05,2.999639e-05,2.996421e-05,2.986217e-05,2.978687e-05,2.972766e-05,2.960915e-05,2.959299e-05,2.945827e-05,2.943133e-05,2.932361e-05,2.925365e-05,2.918912e-05,2.907633e-05,2.905487e-05,2.892095e-05,2.889956e-05,2.878745e-05,2.872353e-05,2.865442e-05,2.854839e-05,2.852195e-05,2.839007e-05,2.837429e-05,2.825886e-05,2.820135e-05,2.812836e-05,2.802968e-05,2.799861e-05,2.786967e-05,2.785939e-05,2.774157e-05,2.769058e-05,2.761435e-05,2.752331e-05,2.748804e-05,2.736266e-05,2.735767e-05,2.723826e-05,2.719371e-05,2.711485e-05,2.703151e-05,2.699245e-05,2.687109e-05,2.671251e-05,2.655581e-05,2.640102e-05,2.624816e-05,2.609725e-05,2.594833e-05,2.580139e-05,2.565645e-05,2.551352e-05,2.537261e-05,2.523371e-05,2.509682e-05,2.496195e-05,2.482909e-05,2.469822e-05,2.456935e-05,2.444246e-05,2.431753e-05,2.419457e-05,2.407355e-05,2.395445e-05,2.383726e-05,2.372197e-05,2.360855e-05
0.000000e+00,3.847722e-09,8.800437e-09,3.026242e-08,6.890407e-08,1.005752e-07,2.284229e-07,2.353042e-07,4.549257e-07,5.344950e-07,7.806607e-07,1.036260e-06,1.234705e-06,1.784114e-06,1.838322e-06,2.606168e-06,2.815441e-06,3.540954e-06,4.134998e-06,4.635864e-06,5.723987e-06,5.881010e-06,7.266678e-06,7.559852e-06,8.783515e-06,9.620955e-06,1.042195e-05,1.188476e-05,1.217177e-05,1.402198e-05,1.432656e-05,1.596088e-05,1.691947e-05,1.797625e-05,1.963524e-05,2.005564e-05,2.218665e-05,2.244526e-05,2.435713e-05,2.532163e-05,2.655546e-05,2.823804e-05,2.877068e-05,3.099266e-05,3.117043e-05,3.321214e-05,3.409733e-05,3.542079e-05,3.700013e-05,3.761123e-05,3.977699e-05,3.986303e-05,4.191247e-05,4.267289e-05,4.401288e-05,4.541905e-05,4.607420e-05,4.809310e-05,5.006687e-05,5.068858e-05,5.199335e-05,5.320070e-05,5.387089e-05,5.562612e-05,5.569824e-05,5.747454e-05,5.796267e-05,5.919925e-05,6.020920e-05,6.087212e-05,6.236533e-05,6.249311e-05,6.406240e-05,6.443138e-05,6.558036e-05,6.640816e-05,6.704746e-05,6.829691e-05,6.846430e-05,6.983160e-05,7.009918e-05,7.115014e-05,7.181679e-05,7.242077e-05,7.345174e-05,7.364440e-05,7.482197e-05,7.500617e-05,7.595447e-05,7.648235e-05,7.704289e-05,7.788258e-05,7.808827e-05,7.909162e-05,7.920925e-05,8.005401e-05,8.046474e-05,8.097646e-05,8.165146e-05,8.186003e-05,8.270574e-05,8.277179e-05,8.351464e-05,8.382812e-05,8.428775e-05,8.482279e-05,8.502607e-05,8.573061e-05,8.575810e-05,8.640236e-05,8.663634e-05,8.704228e-05,8.745974e-05,8.765133e-05,8.823045e-05,8.878057e-05,8.895062e-05,8.930258e-05,8.962232e-05,8.979737e-05,9.024756e-05,9.026581e-05,9.070874e-05,9.082831e-05,9.112701e-05,9.136646e-05,9.152141e-05,9.186387e-05,9.189275e-05,9.224179e-05,9.232233e-05,9.256929e-05,9.274356e-05,9.287599e-05,9.312925e-05,9.316260e-05,9.342983e-05,9.348101e-05,9.367835e-05,9.380041e-05,9.390883e-05,9.408897e-05,9.412192e-05,9.431824e-05,9.434813e-05,9.449840e-05,9.457931e-05,9.466300e-05,9.478386e-05,9.481261e-05,9.494780e-05,9.496308e-05,9.506912e-05,9.511823e-05,9.517708e-05,9.525052e-05,9.527221e-05,9.535501e-05,9.536111e-05,9.542595e-05,9.545112e-05,9.548552e-05,9.552161e-05,9.553416e-05,9.557231e-05,9.557363e-05,9.560042e-05,9.560815e-05,9.561888e-05,9.562613e-05,9.562811e-05,9.562849e-05,9.561608e-05,9.558975e-05,9.555031e-05,9.549851e-05,9.543511e-05,9.536078e-05,9.527623e-05,9.518208e-05,9.507895e-05,9.496743e-05,9.484808e-05,9.472145e-05,9.458803e-05,9.444833e-05,9.430280e-05,9.415190e-05,9.399604e-05,9.383563e-05,9.367105e-05,9.350268e-05,9.333086e-05,9.315591e-05,9.297816e-05,9.279791e-05
0.000000e+00,5.049211e-09,1.154445e-08,3.966826e-08,9.025158e-08,1.316751e-07,2.986559e-07,3.076343e-07,5.937739e-07,6.972626e-07,1.016895e-06,1.348024e-06,1.604669e-06,2.313875e-06,2.383789e-06,3.374279e-06,3.644524e-06,4.583049e-06,5.353500e-06,6.004374e-06,7.421603e-06,7.626413e-06,9.436119e-06,9.819438e-06,1.142051e-05,1.251707e-05,1.356638e-05,1.548352e-05,1.585977e-05,1.828575e-05,1.868515e-05,2.082837e-05,2.208538e-05,2.347094e-05,2.564538e-05,2.619622e-05,2.898689e-05,2.932534e-05,3.182579e-05,3.308588e-05,3.469632e-05,3.688934e-05,3.758270e-05,4.047017e-05,4.070079e-05,4.334513e-05,4.448883e-05,4.619532e-05,4.822593e-05,4.900980e-05,5.177897e-05,5.188868e-05,5.449453e-05,5.545760e-05,5.714938e-05,5.891696e-05,5.973765e-05,6.225452e-05,6.469617e-05,6.546111e-05,6.705966e-05,6.853024e-05,6.934282e-05,7.145773e-05,7.154420e-05,7.366293e-05,7.424131e-05,7.569867e-05,7.688031e-05,7.765153e-05,7.937538e-05,7.952200e-05,8.131089e-05,8.172820e-05,8.301930e-05,8.394132e-05,8.464851e-05,8.601788e-05,8.620001e-05,8.767540e-05,8.796150e-05,8.907643e-05,8.977618e-05,9.040491e-05,9.146616e-05,9.166274e-05,9.285185e-05,9.303587e-05,9.397421e-05,9.448981e-05,9.503180e-05,9.583257e-05,9.602661e-05,9.696063e-05,9.706872e-05,9.783585e-05,9.820282e-05,9.865422e-05,9.923936e-05,9.941768e-05,1.001282e-04,1.001828e-04,1.007875e-04,1.010374e-04,1.013976e-04,1.018074e-04,1.019603e-04,1.024772e-04,1.024970e-04,1.029502e-04,1.031101e-04,1.033810e-04,1.036506e-04,1.037712e-04,1.041223e-04,1.044360e-04,1.045288e-04,1.047138e-04,1.048735e-04,1.049572e-04,1.051598e-04,1.051676e-04,1.053464e-04,1.053910e-04,1.054950e-04,1.055702e-04,1.056146e-04,1.057002e-04,1.057066e-04,1.057721e-04,1.057841e-04,1.058125e-04,1.058245e-04,1.058287e-04,1.058240e-04,1.058220e-04,1.057934e-04,1.057851e-04,1.057439e-04,1.057103e-04,1.056747e-04,1.056019e-04,1.055865e-04,1.054805e-04,1.054619e-04,1.053574e-04,1.052926e-04,1.052182e-04,1.050958e-04,1.050637e-04,1.048947e-04,1.048735e-04,1.047121e-04,1.046275e-04,1.045164e-04,1.043595e-04,1.043086e-04,1.040892e-04,1.040712e-04,1.038589e-04,1.037640e-04,1.036185e-04,1.034394e-04,1.033685e-04,1.031094e-04,1.030989e-04,1.028420e-04,1.027438e-04,1.025667e-04,1.023753e-04,1.022841e-04,1.019946e-04,1.016029e-04,1.012012e-04,1.007905e-04,1.003718e-04,9.994606e-05,9.951401e-05,9.907651e-05,9.863431e-05,9.818812e-05,9.773863e-05,9.728645e-05,9.683219e-05,9.637640e-05,9.591961e-05,9.546230e-05,9.500493e-05,9.454794e-05,9.409172e-05,9.363665e-05,9.318307e-05,9.273132e-05,9.228168e-05,9.183445e-05,9.138988e-05
0.000000e+00,3.207438e-09,7.289339e-09,2.474572e-08,5.572411e-08,8.087577e-08,1.812903e-07,1.866625e-07,3.572432e-07,4.187951e-07,6.089105e-07,8.062506e-07,9.596571e-07,1.386389e-06,1.428719e-06,2.034428e-06,2.201761e-06,2.789623e-06,3.278786e-06,3.695055e-06,4.603612e-06,4.734487e-06,5.876807e-06,6.114345e-06,7.084950e-06,7.727626e-06,8.324877e-06,9.371118e-06,9.569745e-06,1.080001e-05,1.099450e-05,1.200185e-05,1.256568e-05,1.316558e-05,1.406443e-05,1.428431e-05,1.535319e-05,1.547793e-05,1.636885e-05,1.679829e-05,1.732913e-05,1.802114e-05,1.823283e-05,1.907957e-05,1.914486e-05,1.986967e-05,2.017003e-05,2.060401e-05,2.109898e-05,2.128398e-05,2.191135e-05,2.193538e-05,2.248817e-05,2.268389e-05,2.301673e-05,2.334982e-05,2.349946e-05,2.393886e-05,2.433748e-05,2.445684e-05,2.469785e-05,2.490957e-05,2.502247e-05,2.530272e-05,2.531376e-05,2.557405e-05,2.564168e-05,2.580556e-05,2.593153e-05,2.601040e-05,2.617702e-05,2.619057e-05,2.634794e-05,2.638252e-05,2.648427e-05,2.655202e-05,2.660117e-05,2.668919e-05,2.670017e-05,2.678268e-05,2.679732e-05,2.685001e-05,2.687942e-05,2.690335e-05,2.693818e-05,2.694383e-05,2.697248e-05,2.697603e-05,2.699023e-05,2.699515e-05,2.699797e-05,2.699750e-05,2.699651e-05,2.698657e-05,2.698484e-05,2.696885e-05,2.695875e-05,2.694397e-05,2.692064e-05,2.691252e-05,2.687503e-05,2.687178e-05,2.683199e-05,2.681332e-05,2.678385e-05,2.674628e-05,2.673104e-05,2.667395e-05,2.667158e-05,2.661292e-05,2.659005e-05,2.654830e-05,2.650246e-05,2.648038e-05,2.640946e-05,2.633578e-05,2.631167e-05,2.625961e-05,2.620964e-05,2.618115e-05,2.610388e-05,2.610062e-05,2.601822e-05,2.599484e-05,2.593413e-05,2.588293e-05,2.584851e-05,2.576853e-05,2.576152e-05,2.567330e-05,2.565197e-05,2.558400e-05,2.553356e-05,2.549373e-05,2.541359e-05,2.540261e-05,2.531076e-05,2.529231e-05,2.521827e-05,2.516996e-05,2.512525e-05,2.504675e-05,2.503177e-05,2.493793e-05,2.492289e-05,2.484380e-05,2.479854e-05,2.474945e-05,2.467387e-05,2.465496e-05,2.456038e-05,2.454903e-05,2.446577e-05,2.442416e-05,2.437120e-05,2.429938e-05,2.427671e-05,2.418235e-05,2.417481e-05,2.408817e-05,2.405055e-05,2.399420e-05,2.392671e-05,2.390050e-05,2.380709e-05,2.380336e-05,2.371401e-05,2.368059e-05,2.362129e-05,2.355847e-05,2.352897e-05,2.343707e-05,2.331645e-05,2.319666e-05,2.307776e-05,2.295979e-05,2.284280e-05,2.272681e-05,2.261187e-05,2.249800e-05,2.238523e-05,2.227359e-05,2.216310e-05,2.205377e-05,2.194562e-05,2.183867e-05,2.173293e-05,2.162840e-05,2.152510e-05,2.142304e-05,2.132221e-05,2.122262e-05,2.112428e-05,2.102718e-05,2.093132e-05,2.083671e-05
0.000000e+00,1.231918e-08,2.735221e-08,8.845504e-08,1.904517e-07,2.695829e-07,5.654212e-07,5.805650e-07,1.036453e-06,1.191451e-06,1.646741e-06,2.089761e-06,2.417754e-06,3.272092e-06,3.352953e-06,4.450002e-06,4.736093e-06,5.693960e-06,6.443058e-06,7.051622e-06,8.303882e-06,8.476931e-06,9.925203e-06,1.021440e-05,1.136228e-05,1.209703e-05,1.276473e-05,1.390403e-05,1.411634e-05,1.540510e-05,1.560480e-05,1.662148e-05,1.717730e-05,1.775777e-05,1.860503e-05,1.880795e-05,1.976772e-05,1.987669e-05,2.063463e-05,2.098641e-05,2.140799e-05,2.193375e-05,2.208882e-05,2.267963e-05,2.272311e-05,2.318421e-05,2.336293e-05,2.360731e-05,2.386455e-05,2.395442e-05,2.423145e-05,2.424116e-05,2.444456e-05,2.450682e-05,2.459990e-05,2.467563e-05,2.470352e-05,2.476118e-05,2.477834e-05,2.477611e-05,2.476003e-05,2.473186e-05,2.471090e-05,2.463861e-05,2.463512e-05,2.453647e-05,2.450522e-05,2.441831e-05,2.433929e-05,2.428360e-05,2.414730e-05,2.413495e-05,2.397469e-05,2.393473e-05,2.380482e-05,2.370616e-05,2.362709e-05,2.346538e-05,2.344299e-05,2.325386e-05,2.321553e-05,2.306081e-05,2.295921e-05,2.286483e-05,2.269857e-05,2.266677e-05,2.246735e-05,2.243536e-05,2.226720e-05,2.217103e-05,2.206686e-05,2.190676e-05,2.186679e-05,2.166738e-05,2.164352e-05,2.146897e-05,2.138206e-05,2.127183e-05,2.112303e-05,2.107623e-05,2.088239e-05,2.086696e-05,2.069048e-05,2.061429e-05,2.050067e-05,2.036537e-05,2.031308e-05,2.012783e-05,2.012047e-05,1.994501e-05,1.987980e-05,1.976470e-05,1.964355e-05,1.958696e-05,1.941185e-05,1.923941e-05,1.918479e-05,1.906966e-05,1.896245e-05,1.890263e-05,1.874486e-05,1.873834e-05,1.857679e-05,1.853205e-05,1.841799e-05,1.832402e-05,1.826192e-05,1.812076e-05,1.810859e-05,1.795798e-05,1.792224e-05,1.781008e-05,1.772843e-05,1.766486e-05,1.753927e-05,1.752230e-05,1.738238e-05,1.735471e-05,1.724507e-05,1.717469e-05,1.711034e-05,1.699914e-05,1.697816e-05,1.684850e-05,1.682798e-05,1.672132e-05,1.666114e-05,1.659659e-05,1.649854e-05,1.647427e-05,1.635433e-05,1.634009e-05,1.623672e-05,1.618571e-05,1.612142e-05,1.603531e-05,1.600838e-05,1.589757e-05,1.588880e-05,1.578894e-05,1.574609e-05,1.568245e-05,1.560709e-05,1.557808e-05,1.547577e-05,1.547172e-05,1.537550e-05,1.533989e-05,1.527721e-05,1.521150e-05,1.518088e-05,1.508647e-05,1.496472e-05,1.484615e-05,1.473069e-05,1.461824e-05,1.450874e-05,1.440209e-05,1.429823e-05,1.419706e-05,1.409853e-05,1.400254e-05,1.390904e-05,1.381795e-05,1.372921e-05,1.364274e-05,1.355847e-05,1.347636e-05,1.339633e-05,1.331833e-05,1.324229e-05,1.316816e-05,1.309588e-05,1.302540e-05,1.295667e-05,1.288964e-05
0.000000e+00,5.072444e-09,1.158527e-08,3.972734e-08,9.024524e-08,1.315762e-07,2.981376e-07,3.070968e-07,5.930458e-07,6.967099e-07,1.017779e-06,1.351731e-06,1.611327e-06,2.330454e-06,2.401366e-06,3.402736e-06,3.674211e-06,4.608917e-06,5.365944e-06,5.998112e-06,7.352226e-06,7.545498e-06,9.228748e-06,9.579928e-06,1.102806e-05,1.200341e-05,1.292496e-05,1.458071e-05,1.490160e-05,1.694044e-05,1.727128e-05,1.902442e-05,2.003592e-05,2.113716e-05,2.283772e-05,2.326333e-05,2.538878e-05,2.564317e-05,2.750081e-05,2.842292e-05,2.958824e-05,3.115225e-05,3.164144e-05,3.365228e-05,3.381110e-05,3.561408e-05,3.638383e-05,3.752150e-05,3.885880e-05,3.937039e-05,4.115765e-05,4.122783e-05,4.288113e-05,4.348567e-05,4.453943e-05,4.562948e-05,4.613187e-05,4.765831e-05,4.911905e-05,4.957272e-05,5.051480e-05,5.137442e-05,5.184655e-05,5.306599e-05,5.311557e-05,5.432326e-05,5.465064e-05,5.547120e-05,5.613198e-05,5.656106e-05,5.751393e-05,5.759458e-05,5.857354e-05,5.880057e-05,5.949976e-05,5.999608e-05,6.037505e-05,6.110463e-05,6.120124e-05,6.198013e-05,6.213039e-05,6.271350e-05,6.307744e-05,6.340310e-05,6.394979e-05,6.405064e-05,6.465780e-05,6.475131e-05,6.522621e-05,6.548576e-05,6.575747e-05,6.615677e-05,6.625313e-05,6.671467e-05,6.676784e-05,6.714356e-05,6.732229e-05,6.754120e-05,6.782335e-05,6.790895e-05,6.824813e-05,6.827407e-05,6.856000e-05,6.867737e-05,6.884577e-05,6.903605e-05,6.910665e-05,6.934375e-05,6.935275e-05,6.955816e-05,6.963001e-05,6.975095e-05,6.987022e-05,6.992313e-05,7.007566e-05,7.020948e-05,7.024850e-05,7.032549e-05,7.039078e-05,7.042455e-05,7.050447e-05,7.050748e-05,7.057510e-05,7.059138e-05,7.062814e-05,7.065329e-05,7.066736e-05,7.069182e-05,7.069344e-05,7.070707e-05,7.070856e-05,7.070888e-05,7.070496e-05,7.069949e-05,7.068244e-05,7.067950e-05,7.064947e-05,7.064231e-05,7.060994e-05,7.058581e-05,7.056144e-05,7.051412e-05,7.050446e-05,7.043947e-05,7.042836e-05,7.036694e-05,7.032957e-05,7.028729e-05,7.021874e-05,7.020095e-05,7.010831e-05,7.009679e-05,7.000976e-05,6.996462e-05,6.990565e-05,6.982303e-05,6.979634e-05,6.968216e-05,6.967282e-05,6.956342e-05,6.951472e-05,6.944044e-05,6.934942e-05,6.931349e-05,6.918286e-05,6.917756e-05,6.904881e-05,6.899977e-05,6.891160e-05,6.881660e-05,6.877145e-05,6.862861e-05,6.843629e-05,6.824014e-05,6.804058e-05,6.783804e-05,6.763292e-05,6.742558e-05,6.721637e-05,6.700561e-05,6.679360e-05,6.658063e-05,6.636696e-05,6.615284e-05,6.593849e-05,6.572414e-05,6.550998e-05,6.529620e-05,6.508297e-05,6.487045e-05,6.465880e-05,6.444814e-05,6.423861e-05,6.403033e-05,6.382340e-05,6.361793e-05
0.000000e+00,1.693778e-09,3.845638e-09,1.303584e-08,2.934156e-08,4.259486e-08,9.572470e-08,9.857806e-08,1.897168e-07,2.228007e-07,3.250931e-07,4.302854e-07,5.104964e-07,7.234353e-07,7.436805e-07,1.017227e-06,1.088058e-06,1.324012e-06,1.508179e-06,1.658370e-06,1.971494e-06,2.015372e-06,2.390239e-06,2.466932e-06,2.778140e-06,2.983384e-06,3.174215e-06,3.509753e-06,3.573713e-06,3.972150e-06,4.035522e-06,4.365452e-06,4.551349e-06,4.750068e-06,5.049491e-06,5.123029e-06,5.481965e-06,5.524004e-06,5.825097e-06,5.970732e-06,6.151190e-06,6.387147e-06,6.459493e-06,6.749672e-06,6.772101e-06,7.021736e-06,7.125545e-06,7.275971e-06,7.448253e-06,7.512875e-06,7.733100e-06,7.741572e-06,7.937407e-06,8.007220e-06,8.126626e-06,8.247115e-06,8.301618e-06,8.463258e-06,8.612411e-06,8.657641e-06,8.749919e-06,8.832187e-06,8.876590e-06,8.988712e-06,8.993192e-06,9.100451e-06,9.128903e-06,9.199046e-06,9.254310e-06,9.289611e-06,9.366344e-06,9.372733e-06,9.448957e-06,9.466281e-06,9.518787e-06,9.555273e-06,9.582686e-06,9.634350e-06,9.641081e-06,9.694365e-06,9.704440e-06,9.742899e-06,9.766371e-06,9.787016e-06,9.820884e-06,9.827020e-06,9.863194e-06,9.868644e-06,9.895796e-06,9.910246e-06,9.925063e-06,9.946224e-06,9.951216e-06,9.974456e-06,9.977059e-06,9.994972e-06,1.000318e-05,1.001294e-05,1.002498e-05,1.002851e-05,1.004184e-05,1.004281e-05,1.005306e-05,1.005699e-05,1.006231e-05,1.006781e-05,1.006970e-05,1.007534e-05,1.007553e-05,1.007933e-05,1.008038e-05,1.008178e-05,1.008260e-05,1.008277e-05,1.008238e-05,1.008070e-05,1.007990e-05,1.007780e-05,1.007533e-05,1.007375e-05,1.006884e-05,1.006861e-05,1.006245e-05,1.006055e-05,1.005532e-05,1.005060e-05,1.004728e-05,1.003913e-05,1.003839e-05,1.002868e-05,1.002623e-05,1.001821e-05,1.001203e-05,1.000701e-05,9.996603e-06,9.995144e-06,9.982633e-06,9.980057e-06,9.969520e-06,9.962474e-06,9.955839e-06,9.943934e-06,9.941625e-06,9.926909e-06,9.924510e-06,9.911722e-06,9.904273e-06,9.896092e-06,9.883288e-06,9.880047e-06,9.863613e-06,9.861616e-06,9.846815e-06,9.839314e-06,9.829676e-06,9.816437e-06,9.812220e-06,9.794467e-06,9.793035e-06,9.776439e-06,9.769155e-06,9.758155e-06,9.744843e-06,9.739634e-06,9.720894e-06,9.720140e-06,9.701952e-06,9.695087e-06,9.682824e-06,9.669719e-06,9.663526e-06,9.644072e-06,9.618180e-06,9.592073e-06,9.565781e-06,9.539330e-06,9.512748e-06,9.486059e-06,9.459286e-06,9.432449e-06,9.405571e-06,9.378670e-06,9.351764e-06,9.324871e-06,9.298006e-06,9.271184e-06,9.244420e-06,9.217727e-06,9.191118e-06,9.164604e-06,9.138196e-06,9.111905e-06,9.085740e-06,9.059710e-06,9.033824e-06,9.008090e-06
0.000000e+00,1.286316e-09,2.928167e-09,9.979233e-09,2.256819e-08,3.284355e-08,7.424124e-08,7.647059e-08,1.478708e-07,1.738804e-07,2.548263e-07,3.395461e-07,4.057034e-07,5.901324e-07,6.084077e-07,8.682007e-07,9.391556e-07,1.184615e-06,1.383744e-06,1.549330e-06,1.898769e-06,1.947838e-06,2.364419e-06,2.448698e-06,2.786162e-06,3.004356e-06,3.203982e-06,3.547469e-06,3.611889e-06,4.005989e-06,4.067581e-06,4.383757e-06,4.558785e-06,4.743588e-06,5.017887e-06,5.084539e-06,5.406162e-06,5.443451e-06,5.708390e-06,5.835277e-06,5.991456e-06,6.194044e-06,6.255815e-06,6.502092e-06,6.521034e-06,6.731028e-06,6.817929e-06,6.943443e-06,7.086636e-06,7.140201e-06,7.322185e-06,7.329170e-06,7.490278e-06,7.547559e-06,7.645346e-06,7.743783e-06,7.788230e-06,7.919736e-06,8.040634e-06,8.077201e-06,8.151650e-06,8.217833e-06,8.253471e-06,8.343164e-06,8.346739e-06,8.432055e-06,8.454597e-06,8.509983e-06,8.553412e-06,8.581045e-06,8.640778e-06,8.645729e-06,8.704487e-06,8.717755e-06,8.757741e-06,8.785305e-06,8.805880e-06,8.844300e-06,8.849267e-06,8.888237e-06,8.895528e-06,8.923101e-06,8.939705e-06,8.954150e-06,8.977477e-06,8.981649e-06,9.005848e-06,9.009429e-06,9.026976e-06,9.036091e-06,9.045249e-06,9.057944e-06,9.060864e-06,9.074005e-06,9.075424e-06,9.084843e-06,9.088924e-06,9.093538e-06,9.098802e-06,9.100235e-06,9.105072e-06,9.105383e-06,9.108178e-06,9.108962e-06,9.109669e-06,9.109807e-06,9.109658e-06,9.108248e-06,9.108164e-06,9.105534e-06,9.104255e-06,9.101605e-06,9.098284e-06,9.096547e-06,9.090436e-06,9.083345e-06,9.080881e-06,9.075343e-06,9.069774e-06,9.066494e-06,9.057257e-06,9.056858e-06,9.046489e-06,9.043462e-06,9.035442e-06,9.028508e-06,9.023764e-06,9.012504e-06,9.011502e-06,8.998700e-06,8.995552e-06,8.985397e-06,8.977744e-06,8.971633e-06,8.959165e-06,8.957441e-06,8.942857e-06,8.939896e-06,8.927911e-06,8.920007e-06,8.912634e-06,8.899566e-06,8.897054e-06,8.881196e-06,8.878635e-06,8.865087e-06,8.857271e-06,8.848748e-06,8.835528e-06,8.832203e-06,8.815472e-06,8.813453e-06,8.798575e-06,8.791092e-06,8.781530e-06,8.768487e-06,8.764354e-06,8.747065e-06,8.745677e-06,8.729677e-06,8.722698e-06,8.712206e-06,8.699583e-06,8.694665e-06,8.677068e-06,8.676363e-06,8.659426e-06,8.653066e-06,8.641751e-06,8.629720e-06,8.624055e-06,8.606348e-06,8.582974e-06,8.559619e-06,8.536302e-06,8.513041e-06,8.489853e-06,8.466754e-06,8.443759e-06,8.420879e-06,8.398129e-06,8.375518e-06,8.353058e-06,8.330757e-06,8.308626e-06,8.286671e-06,8.264901e-06,8.243321e-06,8.221938e-06,8.200758e-06,8.179785e-06,8.159024e-06,8.138480e-06,8.118155e-06,8.098053e-06,8.078177e-06
0.000000e+00,2.438239e-09,5.544009e-09,1.885519e-08,4.258600e-08,6.195152e-08,1.401038e-07,1.443215e-07,2.800239e-07,3.297701e-07,4.855450e-07,6.496143e-07,7.778714e-07,1.131967e-06,1.166571e-06,1.645818e-06,1.772548e-06,2.199238e-06,2.535277e-06,2.810427e-06,3.386087e-06,3.466933e-06,4.159495e-06,4.301652e-06,4.880558e-06,5.264494e-06,5.623290e-06,6.259113e-06,6.381110e-06,7.147536e-06,7.270537e-06,7.916238e-06,8.284226e-06,8.681138e-06,9.286475e-06,9.436539e-06,1.017727e-05,1.026494e-05,1.089876e-05,1.120910e-05,1.159714e-05,1.211047e-05,1.226923e-05,1.291257e-05,1.296274e-05,1.352533e-05,1.376157e-05,1.410629e-05,1.450452e-05,1.465483e-05,1.517083e-05,1.519079e-05,1.565456e-05,1.582091e-05,1.610663e-05,1.639638e-05,1.652790e-05,1.691947e-05,1.728262e-05,1.739303e-05,1.761862e-05,1.782003e-05,1.792883e-05,1.820369e-05,1.821468e-05,1.847759e-05,1.854729e-05,1.871896e-05,1.885401e-05,1.894016e-05,1.912699e-05,1.914252e-05,1.932729e-05,1.936915e-05,1.949566e-05,1.958322e-05,1.964877e-05,1.977174e-05,1.978769e-05,1.991342e-05,1.993707e-05,2.002689e-05,2.008135e-05,2.012898e-05,2.020653e-05,2.022050e-05,2.030219e-05,2.031440e-05,2.037477e-05,2.040656e-05,2.043887e-05,2.048447e-05,2.049511e-05,2.054404e-05,2.054944e-05,2.058616e-05,2.060267e-05,2.062196e-05,2.064521e-05,2.065188e-05,2.067632e-05,2.067805e-05,2.069565e-05,2.070204e-05,2.071024e-05,2.071799e-05,2.072041e-05,2.072644e-05,2.072660e-05,2.072863e-05,2.072853e-05,2.072723e-05,2.072435e-05,2.072248e-05,2.071460e-05,2.070381e-05,2.069977e-05,2.069029e-05,2.068030e-05,2.067424e-05,2.065658e-05,2.065580e-05,2.063515e-05,2.062900e-05,2.061244e-05,2.059787e-05,2.058779e-05,2.056352e-05,2.056134e-05,2.053321e-05,2.052622e-05,2.050351e-05,2.048623e-05,2.047235e-05,2.044380e-05,2.043983e-05,2.040604e-05,2.039914e-05,2.037107e-05,2.035246e-05,2.033502e-05,2.030394e-05,2.029794e-05,2.025992e-05,2.025376e-05,2.022103e-05,2.020208e-05,2.018134e-05,2.014905e-05,2.014090e-05,2.009978e-05,2.009480e-05,2.005803e-05,2.003947e-05,2.001570e-05,1.998318e-05,1.997285e-05,1.992951e-05,1.992603e-05,1.988575e-05,1.986813e-05,1.984159e-05,1.980958e-05,1.979708e-05,1.975226e-05,1.975046e-05,1.970716e-05,1.969086e-05,1.966182e-05,1.963086e-05,1.961627e-05,1.957053e-05,1.950994e-05,1.944915e-05,1.938822e-05,1.932721e-05,1.926616e-05,1.920513e-05,1.914416e-05,1.908329e-05,1.902256e-05,1.896201e-05,1.890167e-05,1.884157e-05,1.878174e-05,1.872222e-05,1.866301e-05,1.860416e-05,1.854568e-05,1.848758e-05,1.842990e-05,1.837264e-05,1.831582e-05,1.825946e-05,1.820356e-05,1.814815e-05
0.000000e+00,3.689128e-09,8.428821e-09,2.891190e-08,6.564364e-08,9.564052e-08,2.159254e-07,2.223667e-07,4.263911e-07,4.996215e-07,7.241150e-07,9.542861e-07,1.131242e-06,1.615251e-06,1.662668e-06,2.331612e-06,2.513791e-06,3.147545e-06,3.670151e-06,4.113621e-06,5.084987e-06,5.225916e-06,6.475426e-06,6.740812e-06,7.850779e-06,8.611680e-06,9.339840e-06,1.066945e-05,1.093019e-05,1.260920e-05,1.288521e-05,1.436400e-05,1.522941e-05,1.618159e-05,1.767211e-05,1.804894e-05,1.995325e-05,2.018365e-05,2.188206e-05,2.273543e-05,2.382356e-05,2.530070e-05,2.576661e-05,2.770099e-05,2.785508e-05,2.961741e-05,3.037706e-05,3.150760e-05,3.284817e-05,3.336429e-05,3.518124e-05,3.525301e-05,3.695313e-05,3.757911e-05,3.867559e-05,3.981678e-05,4.034506e-05,4.195877e-05,4.351464e-05,4.400004e-05,4.501119e-05,4.593740e-05,4.644750e-05,4.776925e-05,4.782311e-05,4.913798e-05,4.949530e-05,5.039242e-05,5.111630e-05,5.158701e-05,5.263390e-05,5.272259e-05,5.380023e-05,5.405037e-05,5.482111e-05,5.536851e-05,5.578658e-05,5.659150e-05,5.669808e-05,5.755713e-05,5.772278e-05,5.836531e-05,5.876599e-05,5.912422e-05,5.972485e-05,5.983552e-05,6.050086e-05,6.060316e-05,6.112189e-05,6.140473e-05,6.170026e-05,6.213334e-05,6.223760e-05,6.273553e-05,6.279271e-05,6.319562e-05,6.338648e-05,6.361944e-05,6.391821e-05,6.400850e-05,6.436429e-05,6.439136e-05,6.468825e-05,6.480925e-05,6.498181e-05,6.517511e-05,6.524633e-05,6.548314e-05,6.549205e-05,6.569352e-05,6.576304e-05,6.587874e-05,6.599093e-05,6.603999e-05,6.617845e-05,6.629523e-05,6.632820e-05,6.639143e-05,6.644269e-05,6.646811e-05,6.652427e-05,6.652625e-05,6.656685e-05,6.657520e-05,6.659084e-05,6.659763e-05,6.659911e-05,6.659359e-05,6.659254e-05,6.657196e-05,6.656502e-05,6.653816e-05,6.651374e-05,6.649191e-05,6.644150e-05,6.643395e-05,6.636499e-05,6.634993e-05,6.628569e-05,6.624059e-05,6.619671e-05,6.611494e-05,6.609867e-05,6.599216e-05,6.597437e-05,6.587774e-05,6.582018e-05,6.575597e-05,6.565360e-05,6.562736e-05,6.549240e-05,6.547580e-05,6.535157e-05,6.528786e-05,6.520532e-05,6.509082e-05,6.505409e-05,6.489827e-05,6.488562e-05,6.473827e-05,6.467318e-05,6.457445e-05,6.445434e-05,6.440717e-05,6.423678e-05,6.422990e-05,6.406358e-05,6.400060e-05,6.388788e-05,6.376714e-05,6.370999e-05,6.353016e-05,6.329027e-05,6.304804e-05,6.280398e-05,6.255860e-05,6.231234e-05,6.206563e-05,6.181885e-05,6.157237e-05,6.132651e-05,6.108159e-05,6.083789e-05,6.059566e-05,6.035515e-05,6.011657e-05,5.988011e-05,5.964597e-05,5.941429e-05,5.918522e-05,5.895890e-05,5.873544e-05,5.851495e-05,5.829751e-05,5.808321e-05,5.787212e-05
0.000000e+00,4.062552e-09,9.271193e-09,3.175051e-08,7.208013e-08,1.050844e-07,2.382943e-07,2.454699e-07,4.750184e-07,5.584587e-07,8.174813e-07,1.087672e-06,1.298196e-06,1.884049e-06,1.942081e-06,2.768151e-06,2.994408e-06,3.780438e-06,4.423021e-06,4.961679e-06,6.114894e-06,6.278933e-06,7.696601e-06,7.989407e-06,9.184511e-06,9.977887e-06,1.071891e-05,1.202975e-05,1.228082e-05,1.385439e-05,1.410631e-05,1.542600e-05,1.617612e-05,1.698374e-05,1.821296e-05,1.851728e-05,2.001780e-05,2.019528e-05,2.147791e-05,2.210597e-05,2.289163e-05,2.393209e-05,2.425426e-05,2.556232e-05,2.566452e-05,2.681336e-05,2.729744e-05,2.800587e-05,2.882780e-05,2.913912e-05,3.021306e-05,3.025479e-05,3.122815e-05,3.157934e-05,3.218531e-05,3.280371e-05,3.308578e-05,3.393106e-05,3.472287e-05,3.496525e-05,3.546304e-05,3.591053e-05,3.615349e-05,3.677140e-05,3.679621e-05,3.739321e-05,3.755245e-05,3.794649e-05,3.825829e-05,3.845803e-05,3.889347e-05,3.892979e-05,3.936368e-05,3.946238e-05,3.976155e-05,3.996930e-05,4.012522e-05,4.041833e-05,4.045642e-05,4.075683e-05,4.081336e-05,4.102808e-05,4.115812e-05,4.127171e-05,4.145610e-05,4.148921e-05,4.168200e-05,4.171064e-05,4.185144e-05,4.192487e-05,4.199884e-05,4.210172e-05,4.212543e-05,4.223240e-05,4.224398e-05,4.232088e-05,4.235423e-05,4.239193e-05,4.243491e-05,4.244658e-05,4.248580e-05,4.248830e-05,4.251052e-05,4.251655e-05,4.252161e-05,4.252163e-05,4.251991e-05,4.250621e-05,4.250542e-05,4.248126e-05,4.246966e-05,4.244577e-05,4.241597e-05,4.240043e-05,4.234587e-05,4.228271e-05,4.226077e-05,4.221152e-05,4.216199e-05,4.213284e-05,4.205076e-05,4.204720e-05,4.195509e-05,4.192821e-05,4.185698e-05,4.179541e-05,4.175329e-05,4.165334e-05,4.164446e-05,4.153087e-05,4.150294e-05,4.141289e-05,4.134505e-05,4.129089e-05,4.118046e-05,4.116519e-05,4.103610e-05,4.100991e-05,4.090394e-05,4.083409e-05,4.076897e-05,4.065363e-05,4.063146e-05,4.049167e-05,4.046911e-05,4.034984e-05,4.028109e-05,4.020617e-05,4.009007e-05,4.006089e-05,3.991420e-05,3.989651e-05,3.976628e-05,3.970085e-05,3.961731e-05,3.950349e-05,3.946746e-05,3.931688e-05,3.930480e-05,3.916571e-05,3.910512e-05,3.901411e-05,3.890475e-05,3.886219e-05,3.871009e-05,3.870400e-05,3.855791e-05,3.850313e-05,3.840577e-05,3.830238e-05,3.825376e-05,3.810198e-05,3.790213e-05,3.770303e-05,3.750485e-05,3.730774e-05,3.711186e-05,3.691732e-05,3.672425e-05,3.653277e-05,3.634295e-05,3.615490e-05,3.596870e-05,3.578440e-05,3.560208e-05,3.542178e-05,3.524356e-05,3.506746e-05,3.489352e-05,3.472177e-05,3.455223e-05,3.438492e-05,3.421986e-05,3.405708e-05,3.389656e-05,3.373833e-05
0.000000e+00,2.010569e-08,4.585264e-08,1.568231e-07,3.556785e-07,5.183539e-07,1.175487e-06,1.210932e-06,2.348606e-06,2.764177e-06,4.061161e-06,5.423195e-06,6.488052e-06,9.445127e-06,9.736212e-06,1.381722e-05,1.491250e-05,1.864831e-05,2.163920e-05,2.411737e-05,2.937866e-05,3.012524e-05,3.659073e-05,3.793245e-05,4.344364e-05,4.713844e-05,5.061848e-05,5.684732e-05,5.805127e-05,6.567844e-05,6.691260e-05,7.343700e-05,7.718966e-05,8.126555e-05,8.753922e-05,8.910538e-05,9.690133e-05,9.783144e-05,1.046029e-04,1.079499e-04,1.121651e-04,1.177948e-04,1.195486e-04,1.267198e-04,1.272835e-04,1.336509e-04,1.363510e-04,1.403197e-04,1.449489e-04,1.467089e-04,1.528061e-04,1.530438e-04,1.586029e-04,1.606152e-04,1.640947e-04,1.676540e-04,1.692800e-04,1.741600e-04,1.787381e-04,1.801401e-04,1.830196e-04,1.856073e-04,1.870114e-04,1.905782e-04,1.907213e-04,1.941583e-04,1.950730e-04,1.973318e-04,1.991136e-04,2.002518e-04,2.027232e-04,2.029287e-04,2.053727e-04,2.059258e-04,2.075945e-04,2.087454e-04,2.096044e-04,2.112060e-04,2.114127e-04,2.130296e-04,2.133309e-04,2.144650e-04,2.151429e-04,2.157286e-04,2.166639e-04,2.168295e-04,2.177770e-04,2.179150e-04,2.185797e-04,2.189161e-04,2.192460e-04,2.196863e-04,2.197840e-04,2.202014e-04,2.202437e-04,2.205056e-04,2.206054e-04,2.207036e-04,2.207873e-04,2.208023e-04,2.208080e-04,2.208046e-04,2.207269e-04,2.206715e-04,2.205649e-04,2.204012e-04,2.203275e-04,2.200199e-04,2.200062e-04,2.196472e-04,2.194981e-04,2.192142e-04,2.188876e-04,2.187254e-04,2.181849e-04,2.175969e-04,2.173994e-04,2.169653e-04,2.165398e-04,2.162935e-04,2.156141e-04,2.155851e-04,2.148433e-04,2.146300e-04,2.140711e-04,2.135944e-04,2.132713e-04,2.125136e-04,2.124468e-04,2.116001e-04,2.113938e-04,2.107335e-04,2.102404e-04,2.098493e-04,2.090584e-04,2.089497e-04,2.080366e-04,2.078526e-04,2.071120e-04,2.066272e-04,2.061776e-04,2.053862e-04,2.052349e-04,2.042857e-04,2.041333e-04,2.033313e-04,2.028717e-04,2.023730e-04,2.016045e-04,2.014122e-04,2.004500e-04,2.003345e-04,1.994875e-04,1.990642e-04,1.985257e-04,1.977958e-04,1.975656e-04,1.966081e-04,1.965316e-04,1.956539e-04,1.952733e-04,1.947039e-04,1.940228e-04,1.937586e-04,1.928189e-04,1.927814e-04,1.918852e-04,1.915507e-04,1.909582e-04,1.903318e-04,1.900383e-04,1.891259e-04,1.879339e-04,1.867567e-04,1.855950e-04,1.844495e-04,1.833208e-04,1.822093e-04,1.811155e-04,1.800397e-04,1.789821e-04,1.779430e-04,1.769225e-04,1.759208e-04,1.749379e-04,1.739739e-04,1.730286e-04,1.721022e-04,1.711944e-04,1.703053e-04,1.694346e-04,1.685822e-04,1.677479e-04,1.669316e-04,1.661331e-04,1.653520e-04
0.000000e+00,5.577100e-09,1.274512e-08,4.385323e-08,1.002907e-07,1.470419e-07,3.405938e-07,3.512320e-07,7.020591e-07,8.342359e-07,1.257632e-06,1.715016e-06,2.077815e-06,3.090920e-06,3.190365e-06,4.570302e-06,4.935797e-06,6.168643e-06,7.142871e-06,7.943297e-06,9.627063e-06,9.864594e-06,1.191075e-05,1.233334e-05,1.406360e-05,1.521959e-05,1.630615e-05,1.824691e-05,1.862158e-05,2.099295e-05,2.137644e-05,2.340347e-05,2.456958e-05,2.583671e-05,2.778907e-05,2.827696e-05,3.070954e-05,3.100029e-05,3.312108e-05,3.417236e-05,3.549964e-05,3.727881e-05,3.783479e-05,4.011765e-05,4.029779e-05,4.234072e-05,4.321179e-05,4.449789e-05,4.600759e-05,4.658452e-05,4.859716e-05,4.867609e-05,5.053333e-05,5.121130e-05,5.239142e-05,5.360990e-05,5.417066e-05,5.587088e-05,5.749248e-05,5.799491e-05,5.903627e-05,5.998401e-05,6.050345e-05,6.184126e-05,6.189552e-05,6.321420e-05,6.357052e-05,6.446123e-05,6.517575e-05,6.563833e-05,6.666151e-05,6.674784e-05,6.779213e-05,6.803328e-05,6.877328e-05,6.929600e-05,6.969358e-05,7.045487e-05,7.055524e-05,7.136036e-05,7.151480e-05,7.211116e-05,7.248082e-05,7.280976e-05,7.335775e-05,7.345821e-05,7.405856e-05,7.415028e-05,7.461279e-05,7.486302e-05,7.512288e-05,7.550043e-05,7.559071e-05,7.601811e-05,7.606677e-05,7.640686e-05,7.656611e-05,7.675867e-05,7.700236e-05,7.707519e-05,7.735802e-05,7.737924e-05,7.760873e-05,7.770035e-05,7.782881e-05,7.796912e-05,7.801971e-05,7.818281e-05,7.818878e-05,7.831946e-05,7.836243e-05,7.843094e-05,7.849299e-05,7.851847e-05,7.858325e-05,7.862642e-05,7.863585e-05,7.864908e-05,7.865331e-05,7.865228e-05,7.863798e-05,7.863703e-05,7.860430e-05,7.859213e-05,7.855501e-05,7.851786e-05,7.849006e-05,7.841720e-05,7.841029e-05,7.831654e-05,7.829204e-05,7.820957e-05,7.814417e-05,7.809013e-05,7.797530e-05,7.795896e-05,7.781673e-05,7.778701e-05,7.766410e-05,7.758083e-05,7.750170e-05,7.735817e-05,7.733012e-05,7.714996e-05,7.712037e-05,7.696174e-05,7.686869e-05,7.676600e-05,7.660433e-05,7.656324e-05,7.635393e-05,7.632840e-05,7.613854e-05,7.604195e-05,7.591749e-05,7.574597e-05,7.569120e-05,7.546008e-05,7.544139e-05,7.522449e-05,7.512909e-05,7.498480e-05,7.480988e-05,7.474135e-05,7.449448e-05,7.448453e-05,7.424448e-05,7.415377e-05,7.399166e-05,7.381827e-05,7.373630e-05,7.347866e-05,7.313555e-05,7.278947e-05,7.244095e-05,7.209049e-05,7.173852e-05,7.138547e-05,7.103174e-05,7.067770e-05,7.032368e-05,6.997001e-05,6.961698e-05,6.926486e-05,6.891390e-05,6.856435e-05,6.821642e-05,6.787031e-05,6.752621e-05,6.718428e-05,6.684469e-05,6.650757e-05,6.617305e-05,6.584126e-05,6.551230e-05,6.518627e-05
0.000000e+00,4.902001e-08,1.104315e-07,3.678024e-07,8.127616e-07,1.166551e-06,2.532706e-06,2.604084e-06,4.800522e-06,5.564576e-06,7.847630e-06,1.011451e-05,1.181653e-05,1.632887e-05,1.676132e-05,2.271459e-05,2.429388e-05,2.966955e-05,3.397859e-05,3.755587e-05,4.515969e-05,4.623810e-05,5.554816e-05,5.747070e-05,6.532117e-05,7.053658e-05,7.541024e-05,8.403422e-05,8.568594e-05,9.603158e-05,9.768608e-05,1.063397e-04,1.112446e-04,1.165103e-04,1.244857e-04,1.264514e-04,1.360792e-04,1.372099e-04,1.453199e-04,1.492464e-04,1.541101e-04,1.604570e-04,1.623979e-04,1.701434e-04,1.707387e-04,1.773181e-04,1.800238e-04,1.839046e-04,1.882785e-04,1.898962e-04,1.952951e-04,1.954988e-04,2.001118e-04,2.017064e-04,2.043635e-04,2.069433e-04,2.080729e-04,2.112669e-04,2.139755e-04,2.147450e-04,2.162309e-04,2.174516e-04,2.180660e-04,2.194633e-04,2.195143e-04,2.206089e-04,2.208565e-04,2.213822e-04,2.217049e-04,2.218652e-04,2.220785e-04,2.220873e-04,2.220765e-04,2.220421e-04,2.218586e-04,2.216551e-04,2.214576e-04,2.209711e-04,2.208958e-04,2.201933e-04,2.200376e-04,2.193686e-04,2.188970e-04,2.184382e-04,2.175861e-04,2.174172e-04,2.163191e-04,2.161371e-04,2.151560e-04,2.145777e-04,2.139385e-04,2.129319e-04,2.126763e-04,2.113780e-04,2.112201e-04,2.100511e-04,2.094599e-04,2.087022e-04,2.076659e-04,2.073371e-04,2.059610e-04,2.058506e-04,2.045784e-04,2.040244e-04,2.031932e-04,2.021962e-04,2.018089e-04,2.004284e-04,2.003733e-04,1.990544e-04,1.985618e-04,1.976891e-04,1.967667e-04,1.963345e-04,1.949921e-04,1.936636e-04,1.932416e-04,1.923500e-04,1.915177e-04,1.910525e-04,1.898229e-04,1.897720e-04,1.885091e-04,1.881587e-04,1.872645e-04,1.865267e-04,1.860386e-04,1.849278e-04,1.848320e-04,1.836448e-04,1.833628e-04,1.824774e-04,1.818323e-04,1.813299e-04,1.803366e-04,1.802024e-04,1.790949e-04,1.788758e-04,1.780076e-04,1.774501e-04,1.769403e-04,1.760592e-04,1.758930e-04,1.748656e-04,1.747031e-04,1.738580e-04,1.733813e-04,1.728700e-04,1.720937e-04,1.719015e-04,1.709522e-04,1.708396e-04,1.700221e-04,1.696188e-04,1.691107e-04,1.684306e-04,1.682180e-04,1.673437e-04,1.672745e-04,1.664875e-04,1.661500e-04,1.656491e-04,1.650565e-04,1.648284e-04,1.640250e-04,1.639932e-04,1.632387e-04,1.629597e-04,1.624692e-04,1.619553e-04,1.617161e-04,1.609793e-04,1.600311e-04,1.591100e-04,1.582154e-04,1.573467e-04,1.565031e-04,1.556840e-04,1.548889e-04,1.541171e-04,1.533679e-04,1.526409e-04,1.519352e-04,1.512505e-04,1.505861e-04,1.499414e-04,1.493159e-04,1.487090e-04,1.481202e-04,1.475491e-04,1.469950e-04,1.464575e-04,1.459361e-04,1.454303e-04,1.449397e-04,1.444638e-04
0.000000e+00,5.347463e-09,1.225995e-08,4.277477e-08,1.002200e-07,1.497514e-07,3.715598e-07,3.844506e-07,8.388626e-07,1.019537e-06,1.603657e-06,2.214338e-06,2.675039e-06,3.864944e-06,3.975734e-06,5.442462e-06,5.814905e-06,7.040421e-06,7.984943e-06,8.749863e-06,1.033504e-05,1.055654e-05,1.244728e-05,1.283432e-05,1.440832e-05,1.545101e-05,1.642499e-05,1.815076e-05,1.848193e-05,2.056367e-05,2.089803e-05,2.265507e-05,2.365814e-05,2.474186e-05,2.639914e-05,2.681097e-05,2.885077e-05,2.909308e-05,3.085121e-05,3.171670e-05,3.280384e-05,3.425152e-05,3.470170e-05,3.653930e-05,3.668357e-05,3.831254e-05,3.900313e-05,4.001849e-05,4.120398e-05,4.165520e-05,4.322158e-05,4.328276e-05,4.471729e-05,4.523847e-05,4.614255e-05,4.707184e-05,4.749808e-05,4.878498e-05,5.000469e-05,5.038107e-05,5.115887e-05,5.186393e-05,5.224921e-05,5.323765e-05,5.327762e-05,5.424611e-05,5.450683e-05,5.515672e-05,5.567617e-05,5.601154e-05,5.675048e-05,5.681264e-05,5.756208e-05,5.773449e-05,5.826193e-05,5.863293e-05,5.891420e-05,5.945042e-05,5.952088e-05,6.008391e-05,6.019144e-05,6.060516e-05,6.086032e-05,6.108648e-05,6.146122e-05,6.152963e-05,6.193634e-05,6.199814e-05,6.230827e-05,6.247492e-05,6.264703e-05,6.289520e-05,6.295417e-05,6.323118e-05,6.326247e-05,6.347951e-05,6.358005e-05,6.370054e-05,6.385108e-05,6.389560e-05,6.406596e-05,6.407856e-05,6.421286e-05,6.426532e-05,6.433748e-05,6.441405e-05,6.444095e-05,6.452435e-05,6.452728e-05,6.458872e-05,6.460743e-05,6.463506e-05,6.465676e-05,6.466432e-05,6.467741e-05,6.467521e-05,6.467142e-05,6.465856e-05,6.464068e-05,6.462824e-05,6.458700e-05,6.458503e-05,6.452966e-05,6.451207e-05,6.446283e-05,6.441750e-05,6.438519e-05,6.430477e-05,6.429739e-05,6.420004e-05,6.417531e-05,6.409371e-05,6.403045e-05,6.397896e-05,6.387143e-05,6.385631e-05,6.372628e-05,6.369943e-05,6.358934e-05,6.351555e-05,6.344595e-05,6.332083e-05,6.329654e-05,6.314153e-05,6.311624e-05,6.298132e-05,6.290268e-05,6.281628e-05,6.268102e-05,6.264678e-05,6.247316e-05,6.245206e-05,6.229573e-05,6.221654e-05,6.211482e-05,6.197518e-05,6.193072e-05,6.174370e-05,6.172862e-05,6.155403e-05,6.147748e-05,6.136197e-05,6.122234e-05,6.116775e-05,6.097162e-05,6.096373e-05,6.077377e-05,6.070217e-05,6.057442e-05,6.043810e-05,6.037376e-05,6.017198e-05,5.990421e-05,5.963517e-05,5.936522e-05,5.909467e-05,5.882385e-05,5.855302e-05,5.828247e-05,5.801242e-05,5.774311e-05,5.747474e-05,5.720751e-05,5.694160e-05,5.667716e-05,5.641436e-05,5.615332e-05,5.589418e-05,5.563704e-05,5.538203e-05,5.512922e-05,5.487872e-05,5.463059e-05,5.438491e-05,5.414173e-05,5.390113e-05
0.000000e+00,9.774343e-10,2.233281e-09,7.664474e-09,1.742407e-08,2.541484e-08,5.765208e-08,5.938734e-08,1.148248e-07,1.349462e-07,1.973454e-07,2.623830e-07,3.130431e-07,4.539323e-07,4.678754e-07,6.659694e-07,7.201172e-07,9.082546e-07,1.062730e-06,1.193253e-06,1.477662e-06,1.518800e-06,1.882913e-06,1.960210e-06,2.283883e-06,2.506421e-06,2.720103e-06,3.112549e-06,3.189900e-06,3.691425e-06,3.774477e-06,4.222597e-06,4.487417e-06,4.781089e-06,5.245836e-06,5.364336e-06,5.969571e-06,6.043539e-06,6.593866e-06,6.873811e-06,7.234173e-06,7.729609e-06,7.887393e-06,8.550421e-06,8.603795e-06,9.220196e-06,9.489326e-06,9.893747e-06,1.037944e-05,1.056823e-05,1.124098e-05,1.126782e-05,1.190949e-05,1.214867e-05,1.257148e-05,1.301684e-05,1.322488e-05,1.386785e-05,1.449876e-05,1.469787e-05,1.511621e-05,1.550376e-05,1.571902e-05,1.628302e-05,1.630619e-05,1.687692e-05,1.703368e-05,1.743054e-05,1.775430e-05,1.796658e-05,1.844393e-05,1.848471e-05,1.898474e-05,1.910204e-05,1.946656e-05,1.972844e-05,1.993020e-05,2.032325e-05,2.037577e-05,2.080344e-05,2.088685e-05,2.121346e-05,2.141980e-05,2.160615e-05,2.192285e-05,2.198183e-05,2.234090e-05,2.239683e-05,2.268376e-05,2.284271e-05,2.301088e-05,2.326155e-05,2.332272e-05,2.361977e-05,2.365445e-05,2.390249e-05,2.402247e-05,2.417134e-05,2.436665e-05,2.442675e-05,2.466921e-05,2.468806e-05,2.489916e-05,2.498775e-05,2.511707e-05,2.526674e-05,2.532336e-05,2.551846e-05,2.552603e-05,2.570279e-05,2.576659e-05,2.587677e-05,2.598936e-05,2.604079e-05,2.619524e-05,2.634049e-05,2.638509e-05,2.647691e-05,2.655975e-05,2.660485e-05,2.672000e-05,2.672464e-05,2.683661e-05,2.686660e-05,2.694106e-05,2.700026e-05,2.703831e-05,2.712167e-05,2.712865e-05,2.721235e-05,2.723148e-05,2.728969e-05,2.733032e-05,2.736093e-05,2.741877e-05,2.742631e-05,2.748608e-05,2.749738e-05,2.754047e-05,2.756670e-05,2.758969e-05,2.762721e-05,2.763397e-05,2.767350e-05,2.767939e-05,2.770848e-05,2.772371e-05,2.773910e-05,2.776057e-05,2.776554e-05,2.778797e-05,2.779040e-05,2.780656e-05,2.781357e-05,2.782148e-05,2.783044e-05,2.783286e-05,2.784087e-05,2.784137e-05,2.784564e-05,2.784668e-05,2.784731e-05,2.784667e-05,2.784601e-05,2.784186e-05,2.784164e-05,2.783499e-05,2.783187e-05,2.782551e-05,2.781763e-05,2.781353e-05,2.779916e-05,2.777669e-05,2.775047e-05,2.772068e-05,2.768755e-05,2.765126e-05,2.761199e-05,2.756992e-05,2.752521e-05,2.747801e-05,2.742848e-05,2.737675e-05,2.732296e-05,2.726723e-05,2.720969e-05,2.715044e-05,2.708960e-05,2.702728e-05,2.696356e-05,2.689855e-05,2.683233e-05,2.676499e-05,2.669660e-05,2.662725e-05,2.655701e-05
0.000000e+00,1.159740e-05,2.598811e-05,8.562382e-05,1.873973e-04,2.675821e-04,5.734685e-04,5.893273e-04,1.073250e-03,1.240112e-03,1.735397e-03,2.223288e-03,2.587582e-03,3.546732e-03,3.638215e-03,4.891061e-03,5.221527e-03,6.340844e-03,7.231861e-03,7.967141e-03,9.515323e-03,9.733138e-03,1.159367e-02,1.197322e-02,1.350578e-02,1.450837e-02,1.543397e-02,1.704529e-02,1.735006e-02,1.923144e-02,1.952793e-02,2.105930e-02,2.191291e-02,2.281776e-02,2.416540e-02,2.449331e-02,2.607483e-02,2.625785e-02,2.755351e-02,2.816980e-02,2.892292e-02,2.988798e-02,3.017896e-02,3.131976e-02,3.140604e-02,3.234550e-02,3.272397e-02,3.325816e-02,3.384717e-02,3.406124e-02,3.475948e-02,3.478530e-02,3.535854e-02,3.555113e-02,3.586475e-02,3.615936e-02,3.628484e-02,3.662574e-02,3.689441e-02,3.696624e-02,3.709764e-02,3.719640e-02,3.724198e-02,3.733092e-02,3.733365e-02,3.737846e-02,3.738336e-02,3.738184e-02,3.736605e-02,3.734873e-02,3.728995e-02,3.728367e-02,3.719075e-02,3.716472e-02,3.707366e-02,3.699878e-02,3.693570e-02,3.679938e-02,3.677982e-02,3.660862e-02,3.657275e-02,3.642442e-02,3.632419e-02,3.622926e-02,3.605817e-02,3.602493e-02,3.581302e-02,3.577850e-02,3.559489e-02,3.548835e-02,3.537178e-02,3.519041e-02,3.514474e-02,3.491470e-02,3.488693e-02,3.468246e-02,3.457978e-02,3.444876e-02,3.427053e-02,3.421419e-02,3.397931e-02,3.396052e-02,3.374459e-02,3.365084e-02,3.351044e-02,3.334241e-02,3.327722e-02,3.304525e-02,3.303600e-02,3.281480e-02,3.273226e-02,3.258612e-02,3.243173e-02,3.235940e-02,3.213484e-02,3.191258e-02,3.184197e-02,3.169276e-02,3.155341e-02,3.147550e-02,3.126943e-02,3.126090e-02,3.104904e-02,3.099022e-02,3.083999e-02,3.071594e-02,3.063381e-02,3.044670e-02,3.043055e-02,3.023025e-02,3.018262e-02,3.003293e-02,2.992375e-02,2.983863e-02,2.967014e-02,2.964735e-02,2.945910e-02,2.942181e-02,2.927389e-02,2.917878e-02,2.909172e-02,2.894104e-02,2.891258e-02,2.873646e-02,2.870856e-02,2.856335e-02,2.848132e-02,2.839323e-02,2.825927e-02,2.822608e-02,2.806187e-02,2.804237e-02,2.790060e-02,2.783055e-02,2.774221e-02,2.762376e-02,2.758670e-02,2.743402e-02,2.742193e-02,2.728415e-02,2.722498e-02,2.713705e-02,2.703283e-02,2.699269e-02,2.685103e-02,2.684542e-02,2.671203e-02,2.666264e-02,2.657567e-02,2.648443e-02,2.644190e-02,2.631069e-02,2.614133e-02,2.597627e-02,2.581541e-02,2.565867e-02,2.550596e-02,2.535718e-02,2.521226e-02,2.507109e-02,2.493360e-02,2.479969e-02,2.466928e-02,2.454228e-02,2.441861e-02,2.429819e-02,2.418094e-02,2.406677e-02,2.395561e-02,2.384738e-02,2.374200e-02,2.363941e-02,2.353952e-02,2.344226e-02,2.334758e-02,2.325539e-02
0.000000e+00,3.425241e-09,7.819188e-09,2.677819e-08,6.073140e-08,8.844576e-08,1.996208e-07,2.055790e-07,3.946784e-07,4.627532e-07,6.721611e-07,8.880007e-07,1.054698e-06,1.513724e-06,1.558912e-06,2.199678e-06,2.375002e-06,2.986326e-06,3.490784e-06,3.918125e-06,4.848991e-06,4.983263e-06,6.163145e-06,6.411117e-06,7.437821e-06,8.131906e-06,8.788843e-06,9.970652e-06,1.019981e-05,1.165603e-05,1.189231e-05,1.314406e-05,1.386595e-05,1.465154e-05,1.586384e-05,1.616707e-05,1.768022e-05,1.786118e-05,1.918157e-05,1.983624e-05,2.066278e-05,2.177052e-05,2.211658e-05,2.353677e-05,2.364877e-05,2.491820e-05,2.545895e-05,2.625670e-05,2.719198e-05,2.754902e-05,2.879271e-05,2.884143e-05,2.998609e-05,3.040317e-05,3.112809e-05,3.187502e-05,3.221819e-05,3.325638e-05,3.424299e-05,3.454791e-05,3.517870e-05,3.575126e-05,3.606444e-05,3.686882e-05,3.690137e-05,3.769078e-05,3.790349e-05,3.843409e-05,3.885858e-05,3.913282e-05,3.973762e-05,3.978853e-05,4.040282e-05,4.054426e-05,4.097730e-05,4.128224e-05,4.151361e-05,4.195526e-05,4.201336e-05,4.247812e-05,4.256702e-05,4.290948e-05,4.312109e-05,4.330894e-05,4.362094e-05,4.367801e-05,4.401811e-05,4.406993e-05,4.433065e-05,4.447128e-05,4.461699e-05,4.482806e-05,4.487841e-05,4.511619e-05,4.514319e-05,4.533152e-05,4.541945e-05,4.552556e-05,4.565949e-05,4.569944e-05,4.585420e-05,4.586579e-05,4.599089e-05,4.604072e-05,4.611046e-05,4.618649e-05,4.621386e-05,4.630198e-05,4.630520e-05,4.637566e-05,4.639882e-05,4.643573e-05,4.646920e-05,4.648297e-05,4.651810e-05,4.654184e-05,4.654715e-05,4.655487e-05,4.655788e-05,4.655782e-05,4.655174e-05,4.655131e-05,4.653591e-05,4.653008e-05,4.651218e-05,4.649416e-05,4.648065e-05,4.644518e-05,4.644181e-05,4.639615e-05,4.638423e-05,4.634412e-05,4.631236e-05,4.628614e-05,4.623053e-05,4.622263e-05,4.615397e-05,4.613965e-05,4.608053e-05,4.604057e-05,4.600266e-05,4.593408e-05,4.592070e-05,4.583495e-05,4.582090e-05,4.574572e-05,4.570173e-05,4.565329e-05,4.557721e-05,4.555792e-05,4.545987e-05,4.544794e-05,4.535938e-05,4.531446e-05,4.525669e-05,4.517729e-05,4.515199e-05,4.504550e-05,4.503691e-05,4.493741e-05,4.489377e-05,4.482790e-05,4.474828e-05,4.471715e-05,4.460531e-05,4.460081e-05,4.449254e-05,4.445174e-05,4.437898e-05,4.430138e-05,4.426477e-05,4.415004e-05,4.399800e-05,4.384552e-05,4.369284e-05,4.354018e-05,4.338774e-05,4.323571e-05,4.308426e-05,4.293354e-05,4.278370e-05,4.263488e-05,4.248718e-05,4.234073e-05,4.219560e-05,4.205190e-05,4.190970e-05,4.176907e-05,4.163008e-05,4.149278e-05,4.135723e-05,4.122345e-05,4.109150e-05,4.096141e-05,4.083319e-05,4.070688e-05
0.000000e+00,2.434520e-08,5.542938e-08,1.887394e-07,4.256231e-07,6.177804e-07,1.381020e-06,1.421640e-06,2.698885e-06,3.153727e-06,4.539047e-06,5.947735e-06,7.023952e-06,9.941190e-06,1.022500e-05,1.419106e-05,1.525854e-05,1.892811e-05,2.190276e-05,2.439203e-05,2.974251e-05,3.050816e-05,3.719399e-05,3.859231e-05,4.436792e-05,4.826451e-05,5.194936e-05,5.857363e-05,5.985756e-05,6.801154e-05,6.933359e-05,7.633092e-05,8.035988e-05,8.473749e-05,9.147530e-05,9.315677e-05,1.015196e-04,1.025163e-04,1.097632e-04,1.133381e-04,1.178323e-04,1.238185e-04,1.256793e-04,1.332645e-04,1.338590e-04,1.405560e-04,1.433846e-04,1.475291e-04,1.523424e-04,1.541661e-04,1.604550e-04,1.606992e-04,1.663895e-04,1.684387e-04,1.719677e-04,1.755582e-04,1.771916e-04,1.820664e-04,1.866001e-04,1.879803e-04,1.908023e-04,1.933231e-04,1.946847e-04,1.981223e-04,1.982596e-04,2.015404e-04,2.024082e-04,2.045408e-04,2.062123e-04,2.072749e-04,2.095669e-04,2.097565e-04,2.119996e-04,2.125039e-04,2.140176e-04,2.150544e-04,2.158240e-04,2.172486e-04,2.174314e-04,2.188521e-04,2.191149e-04,2.200979e-04,2.206804e-04,2.211802e-04,2.219707e-04,2.221096e-04,2.228963e-04,2.230095e-04,2.235499e-04,2.238190e-04,2.240795e-04,2.244197e-04,2.244938e-04,2.248007e-04,2.248307e-04,2.250079e-04,2.250694e-04,2.251226e-04,2.251520e-04,2.251515e-04,2.251008e-04,2.250935e-04,2.249766e-04,2.249075e-04,2.247843e-04,2.246066e-04,2.245291e-04,2.242160e-04,2.242023e-04,2.238494e-04,2.237052e-04,2.234337e-04,2.231249e-04,2.229728e-04,2.224704e-04,2.219301e-04,2.217498e-04,2.213552e-04,2.209704e-04,2.207486e-04,2.201391e-04,2.201132e-04,2.194517e-04,2.192622e-04,2.187666e-04,2.183452e-04,2.180602e-04,2.173934e-04,2.173347e-04,2.165921e-04,2.164116e-04,2.158343e-04,2.154040e-04,2.150631e-04,2.143746e-04,2.142800e-04,2.134867e-04,2.133270e-04,2.126846e-04,2.122645e-04,2.118750e-04,2.111901e-04,2.110592e-04,2.102383e-04,2.101066e-04,2.094134e-04,2.090163e-04,2.085855e-04,2.079216e-04,2.077555e-04,2.069243e-04,2.068246e-04,2.060928e-04,2.057270e-04,2.052616e-04,2.046306e-04,2.044315e-04,2.036030e-04,2.035368e-04,2.027769e-04,2.024472e-04,2.019536e-04,2.013629e-04,2.011337e-04,2.003176e-04,2.002850e-04,1.995058e-04,1.992147e-04,1.986986e-04,1.981526e-04,1.978965e-04,1.970998e-04,1.960569e-04,1.950245e-04,1.940032e-04,1.929936e-04,1.919960e-04,1.910109e-04,1.900385e-04,1.890792e-04,1.881332e-04,1.872007e-04,1.862818e-04,1.853768e-04,1.844856e-04,1.836083e-04,1.827450e-04,1.818958e-04,1.810605e-04,1.802392e-04,1.794318e-04,1.786384e-04,1.778587e-04,1.770927e-04,1.763403e-04,1.756015e-04
0.000000e+00,2.332243e-09,5.324129e-09,1.825866e-08,4.155557e-08,6.070834e-08,1.388034e-07,1.430457e-07,2.806110e-07,3.314771e-07,4.921216e-07,6.637759e-07,8.001146e-07,1.189391e-06,1.228607e-06,1.795474e-06,1.952680e-06,2.501762e-06,2.951916e-06,3.329229e-06,4.135936e-06,4.250560e-06,5.240322e-06,5.444654e-06,6.278826e-06,6.833104e-06,7.351450e-06,8.270521e-06,8.446938e-06,9.556063e-06,9.734240e-06,1.067081e-05,1.120573e-05,1.178394e-05,1.266884e-05,1.288887e-05,1.397955e-05,1.410921e-05,1.505054e-05,1.551428e-05,1.609704e-05,1.687343e-05,1.711490e-05,1.810058e-05,1.817796e-05,1.905121e-05,1.942112e-05,1.996454e-05,2.059809e-05,2.083891e-05,2.167320e-05,2.170573e-05,2.246676e-05,2.274242e-05,2.321936e-05,2.370778e-05,2.393112e-05,2.460255e-05,2.523436e-05,2.542832e-05,2.582748e-05,2.618727e-05,2.638300e-05,2.688207e-05,2.690215e-05,2.738625e-05,2.751570e-05,2.783667e-05,2.809134e-05,2.825482e-05,2.861225e-05,2.864213e-05,2.900004e-05,2.908172e-05,2.932996e-05,2.950301e-05,2.963328e-05,2.987930e-05,2.991139e-05,3.016560e-05,3.021369e-05,3.039720e-05,3.050912e-05,3.060744e-05,3.076841e-05,3.079752e-05,3.096857e-05,3.099424e-05,3.112169e-05,3.118914e-05,3.125794e-05,3.135547e-05,3.137832e-05,3.148377e-05,3.149547e-05,3.157520e-05,3.161122e-05,3.165348e-05,3.170467e-05,3.171941e-05,3.177377e-05,3.177764e-05,3.181729e-05,3.183182e-05,3.185067e-05,3.186880e-05,3.187457e-05,3.188959e-05,3.189002e-05,3.189634e-05,3.189685e-05,3.189536e-05,3.189056e-05,3.188719e-05,3.187230e-05,3.185118e-05,3.184317e-05,3.182425e-05,3.180417e-05,3.179194e-05,3.175622e-05,3.175464e-05,3.171271e-05,3.170019e-05,3.166651e-05,3.163687e-05,3.161636e-05,3.156700e-05,3.156256e-05,3.150543e-05,3.149125e-05,3.144521e-05,3.141025e-05,3.138218e-05,3.132458e-05,3.131658e-05,3.124863e-05,3.123478e-05,3.117855e-05,3.114133e-05,3.110654e-05,3.104470e-05,3.103279e-05,3.095749e-05,3.094530e-05,3.088078e-05,3.084352e-05,3.080285e-05,3.073971e-05,3.072382e-05,3.064385e-05,3.063419e-05,3.056305e-05,3.052727e-05,3.048156e-05,3.041923e-05,3.039949e-05,3.031694e-05,3.031032e-05,3.023402e-05,3.020076e-05,3.015081e-05,3.009078e-05,3.006742e-05,2.998391e-05,2.998057e-05,2.990037e-05,2.987030e-05,2.981686e-05,2.976014e-05,2.973346e-05,2.965023e-05,2.954072e-05,2.943172e-05,2.932335e-05,2.921571e-05,2.910888e-05,2.900296e-05,2.889802e-05,2.879412e-05,2.869133e-05,2.858969e-05,2.848925e-05,2.839005e-05,2.829214e-05,2.819553e-05,2.810027e-05,2.800636e-05,2.791383e-05,2.782270e-05,2.773297e-05,2.764467e-05,2.755778e-05,2.747232e-05,2.738829e-05,2.730569e-05
0.000000e+00,3.794048e-09,8.623473e-09,2.926798e-08,6.584314e-08,9.547262e-08,2.131455e-07,2.194133e-07,4.170302e-07,4.877045e-07,7.040722e-07,9.258911e-07,1.096604e-06,1.564755e-06,1.610719e-06,2.260690e-06,2.438013e-06,3.054623e-06,3.561227e-06,3.988456e-06,4.911151e-06,5.043186e-06,6.189782e-06,6.427395e-06,7.397860e-06,8.041437e-06,8.641203e-06,9.697436e-06,9.898910e-06,1.115448e-05,1.135424e-05,1.239458e-05,1.298105e-05,1.360825e-05,1.455394e-05,1.478632e-05,1.592116e-05,1.605413e-05,1.700655e-05,1.746716e-05,1.803761e-05,1.878256e-05,1.901064e-05,1.992312e-05,1.999345e-05,2.077357e-05,2.109624e-05,2.156147e-05,2.209015e-05,2.228709e-05,2.295141e-05,2.297673e-05,2.355600e-05,2.375940e-05,2.410287e-05,2.444296e-05,2.459437e-05,2.503314e-05,2.542197e-05,2.553631e-05,2.576374e-05,2.595913e-05,2.606139e-05,2.630834e-05,2.631785e-05,2.653599e-05,2.659058e-05,2.671861e-05,2.681227e-05,2.686843e-05,2.697952e-05,2.698804e-05,2.707989e-05,2.709806e-05,2.714630e-05,2.717321e-05,2.718947e-05,2.720987e-05,2.721145e-05,2.721415e-05,2.721254e-05,2.719936e-05,2.718531e-05,2.716873e-05,2.713188e-05,2.712379e-05,2.706596e-05,2.705560e-05,2.699656e-05,2.695949e-05,2.691678e-05,2.684624e-05,2.682774e-05,2.673046e-05,2.671828e-05,2.662588e-05,2.657778e-05,2.651485e-05,2.642665e-05,2.639817e-05,2.627655e-05,2.626662e-05,2.615065e-05,2.609923e-05,2.602107e-05,2.592582e-05,2.588838e-05,2.575306e-05,2.574759e-05,2.561557e-05,2.556563e-05,2.547634e-05,2.538086e-05,2.533574e-05,2.519411e-05,2.505178e-05,2.500613e-05,2.490903e-05,2.481756e-05,2.476610e-05,2.462896e-05,2.462325e-05,2.448067e-05,2.444083e-05,2.433856e-05,2.425359e-05,2.419709e-05,2.406764e-05,2.405642e-05,2.391668e-05,2.388330e-05,2.377800e-05,2.370084e-05,2.364049e-05,2.352052e-05,2.350424e-05,2.336935e-05,2.334254e-05,2.323589e-05,2.316709e-05,2.310394e-05,2.299430e-05,2.297354e-05,2.284475e-05,2.282430e-05,2.271762e-05,2.265720e-05,2.259218e-05,2.249307e-05,2.246847e-05,2.234651e-05,2.233199e-05,2.222632e-05,2.217400e-05,2.210792e-05,2.201914e-05,2.199132e-05,2.187653e-05,2.186743e-05,2.176356e-05,2.171888e-05,2.165241e-05,2.157350e-05,2.154307e-05,2.143555e-05,2.143129e-05,2.132984e-05,2.129222e-05,2.122593e-05,2.115629e-05,2.112381e-05,2.102347e-05,2.089372e-05,2.076702e-05,2.064333e-05,2.052261e-05,2.040482e-05,2.028990e-05,2.017782e-05,2.006852e-05,1.996196e-05,1.985808e-05,1.975683e-05,1.965817e-05,1.956203e-05,1.946837e-05,1.937713e-05,1.928826e-05,1.920170e-05,1.911741e-05,1.903534e-05,1.895542e-05,1.887762e-05,1.880188e-05,1.872814e-05,1.865637e-05
0.000000e+00,3.278823e-09,7.478392e-09,2.556559e-08,5.789229e-08,8.424419e-08,1.897912e-07,1.954430e-07,3.746943e-07,4.391875e-07,6.375170e-07,8.418549e-07,9.995870e-07,1.433198e-06,1.475796e-06,2.077128e-06,2.240543e-06,2.805646e-06,3.266073e-06,3.651983e-06,4.480760e-06,4.599112e-06,5.628435e-06,5.842632e-06,6.723006e-06,7.312976e-06,7.868001e-06,8.859098e-06,9.050259e-06,1.025784e-05,1.045266e-05,1.147982e-05,1.206852e-05,1.270622e-05,1.368445e-05,1.392805e-05,1.513735e-05,1.528128e-05,1.632720e-05,1.684302e-05,1.749174e-05,1.835685e-05,1.862613e-05,1.972649e-05,1.981295e-05,2.078983e-05,2.120428e-05,2.181394e-05,2.252612e-05,2.279728e-05,2.373892e-05,2.377571e-05,2.463843e-05,2.495192e-05,2.549579e-05,2.605488e-05,2.631134e-05,2.708568e-05,2.781964e-05,2.804614e-05,2.851421e-05,2.893857e-05,2.917051e-05,2.976568e-05,2.978975e-05,3.037321e-05,3.053035e-05,3.092220e-05,3.123561e-05,3.143806e-05,3.188453e-05,3.192212e-05,3.237571e-05,3.248018e-05,3.280014e-05,3.302557e-05,3.319670e-05,3.352362e-05,3.356665e-05,3.391121e-05,3.397718e-05,3.423157e-05,3.438897e-05,3.452887e-05,3.476159e-05,3.480422e-05,3.505868e-05,3.509753e-05,3.529329e-05,3.539914e-05,3.550903e-05,3.566867e-05,3.570684e-05,3.588763e-05,3.590823e-05,3.605227e-05,3.611981e-05,3.620158e-05,3.630530e-05,3.633636e-05,3.645737e-05,3.646648e-05,3.656533e-05,3.660502e-05,3.666093e-05,3.672248e-05,3.674483e-05,3.681766e-05,3.682035e-05,3.688002e-05,3.690001e-05,3.693247e-05,3.696277e-05,3.697557e-05,3.700983e-05,3.703575e-05,3.704236e-05,3.705380e-05,3.706142e-05,3.706441e-05,3.706801e-05,3.706803e-05,3.706505e-05,3.706309e-05,3.705586e-05,3.704752e-05,3.704083e-05,3.702214e-05,3.702030e-05,3.699461e-05,3.698771e-05,3.696407e-05,3.694496e-05,3.692898e-05,3.689457e-05,3.688963e-05,3.684629e-05,3.683716e-05,3.679921e-05,3.677333e-05,3.674864e-05,3.670364e-05,3.669481e-05,3.663795e-05,3.662858e-05,3.657826e-05,3.654866e-05,3.651593e-05,3.646431e-05,3.645117e-05,3.638415e-05,3.637596e-05,3.631504e-05,3.628401e-05,3.624399e-05,3.618881e-05,3.617118e-05,3.609673e-05,3.609071e-05,3.602079e-05,3.599002e-05,3.594348e-05,3.588705e-05,3.586494e-05,3.578528e-05,3.578208e-05,3.570462e-05,3.567535e-05,3.562305e-05,3.556711e-05,3.554067e-05,3.545759e-05,3.534700e-05,3.523552e-05,3.512333e-05,3.501061e-05,3.489752e-05,3.478418e-05,3.467075e-05,3.455734e-05,3.444406e-05,3.433103e-05,3.421835e-05,3.410609e-05,3.399435e-05,3.388321e-05,3.377273e-05,3.366298e-05,3.355402e-05,3.344590e-05,3.333867e-05,3.323238e-05,3.312707e-05,3.302278e-05,3.291953e-05,3.281737e-05
0.000000e+00,8.523770e-06,1.905836e-05,6.251153e-05,1.362731e-04,1.941699e-04,4.139273e-04,4.252842e-04,7.706145e-04,8.892454e-04,1.240364e-03,1.585072e-03,1.841870e-03,2.516324e-03,2.580569e-03,3.460175e-03,3.692451e-03,4.481824e-03,5.114940e-03,5.641925e-03,6.768395e-03,6.928899e-03,8.320473e-03,8.608626e-03,9.784311e-03,1.056167e-02,1.128307e-02,1.254280e-02,1.278114e-02,1.424922e-02,1.447977e-02,1.566561e-02,1.632249e-02,1.701525e-02,1.804000e-02,1.828807e-02,1.947757e-02,1.961451e-02,2.057978e-02,2.103648e-02,2.159253e-02,2.230191e-02,2.251512e-02,2.334806e-02,2.341086e-02,2.409290e-02,2.436670e-02,2.475213e-02,2.517555e-02,2.532897e-02,2.582731e-02,2.584568e-02,2.625155e-02,2.638704e-02,2.660645e-02,2.681072e-02,2.689701e-02,2.712832e-02,2.730549e-02,2.735158e-02,2.743353e-02,2.749193e-02,2.751727e-02,2.756026e-02,2.756132e-02,2.757001e-02,2.756667e-02,2.754741e-02,2.752039e-02,2.749724e-02,2.742969e-02,2.742293e-02,2.732759e-02,2.730190e-02,2.721403e-02,2.714343e-02,2.708478e-02,2.695985e-02,2.694208e-02,2.678796e-02,2.675592e-02,2.662418e-02,2.653573e-02,2.645233e-02,2.630275e-02,2.627378e-02,2.608977e-02,2.605989e-02,2.590135e-02,2.580963e-02,2.570948e-02,2.555403e-02,2.551495e-02,2.531849e-02,2.529482e-02,2.512073e-02,2.503344e-02,2.492220e-02,2.477110e-02,2.472338e-02,2.452468e-02,2.450880e-02,2.432646e-02,2.424738e-02,2.412903e-02,2.398752e-02,2.393265e-02,2.373757e-02,2.372980e-02,2.354398e-02,2.347469e-02,2.335207e-02,2.322260e-02,2.316197e-02,2.297383e-02,2.278774e-02,2.272864e-02,2.260381e-02,2.248727e-02,2.242212e-02,2.224986e-02,2.224273e-02,2.206570e-02,2.201656e-02,2.189108e-02,2.178748e-02,2.171890e-02,2.156268e-02,2.154919e-02,2.138198e-02,2.134222e-02,2.121727e-02,2.112613e-02,2.105508e-02,2.091444e-02,2.089542e-02,2.073828e-02,2.070715e-02,2.058366e-02,2.050425e-02,2.043155e-02,2.030572e-02,2.028195e-02,2.013484e-02,2.011153e-02,1.999020e-02,1.992164e-02,1.984801e-02,1.973602e-02,1.970826e-02,1.957093e-02,1.955461e-02,1.943598e-02,1.937736e-02,1.930340e-02,1.920420e-02,1.917316e-02,1.904522e-02,1.903509e-02,1.891957e-02,1.886994e-02,1.879617e-02,1.870871e-02,1.867500e-02,1.855602e-02,1.855130e-02,1.843920e-02,1.839767e-02,1.832451e-02,1.824772e-02,1.821192e-02,1.810140e-02,1.795861e-02,1.781930e-02,1.768339e-02,1.755079e-02,1.742145e-02,1.729527e-02,1.717220e-02,1.705216e-02,1.693507e-02,1.682087e-02,1.670948e-02,1.660085e-02,1.649489e-02,1.639154e-02,1.629074e-02,1.619242e-02,1.609652e-02,1.600298e-02,1.591173e-02,1.582272e-02,1.573589e-02,1.565119e-02,1.556854e-02,1.548792e-02
0.000000e+00,1.360562e-09,3.101225e-09,1.058756e-08,2.394462e-08,3.481896e-08,7.829423e-08,8.061954e-08,1.542767e-07,1.807474e-07,2.621005e-07,3.458920e-07,4.105804e-07,5.884850e-07,6.059660e-07,8.526323e-07,9.196028e-07,1.150984e-06,1.339459e-06,1.497624e-06,1.838749e-06,1.887690e-06,2.316493e-06,2.406525e-06,2.779815e-06,3.033063e-06,3.273683e-06,3.709251e-06,3.794147e-06,4.337156e-06,4.425852e-06,4.898536e-06,5.173273e-06,5.474022e-06,5.941687e-06,6.059330e-06,6.650240e-06,6.721330e-06,7.242676e-06,7.502829e-06,7.832786e-06,8.277507e-06,8.417003e-06,8.992096e-06,9.037621e-06,9.555195e-06,9.776507e-06,1.010382e-05,1.048866e-05,1.063585e-05,1.114959e-05,1.116973e-05,1.164364e-05,1.181648e-05,1.211699e-05,1.242666e-05,1.256890e-05,1.299892e-05,1.340683e-05,1.353269e-05,1.379264e-05,1.402802e-05,1.415650e-05,1.448547e-05,1.449875e-05,1.481983e-05,1.490602e-05,1.512029e-05,1.529093e-05,1.540075e-05,1.564169e-05,1.566189e-05,1.590443e-05,1.595995e-05,1.612912e-05,1.624743e-05,1.633672e-05,1.650589e-05,1.652801e-05,1.670375e-05,1.673711e-05,1.686472e-05,1.694283e-05,1.701165e-05,1.712476e-05,1.714527e-05,1.726630e-05,1.728454e-05,1.737541e-05,1.742375e-05,1.747327e-05,1.754388e-05,1.756051e-05,1.763774e-05,1.764636e-05,1.770553e-05,1.773252e-05,1.776444e-05,1.780361e-05,1.781501e-05,1.785771e-05,1.786081e-05,1.789305e-05,1.790522e-05,1.792145e-05,1.793786e-05,1.794336e-05,1.795918e-05,1.795969e-05,1.796929e-05,1.797160e-05,1.797405e-05,1.797441e-05,1.797380e-05,1.796888e-05,1.795958e-05,1.795572e-05,1.794619e-05,1.793560e-05,1.792898e-05,1.790911e-05,1.790822e-05,1.788414e-05,1.787684e-05,1.785697e-05,1.783928e-05,1.782694e-05,1.779694e-05,1.779423e-05,1.775904e-05,1.775025e-05,1.772156e-05,1.769963e-05,1.768195e-05,1.764546e-05,1.764038e-05,1.759698e-05,1.758810e-05,1.755192e-05,1.752787e-05,1.750532e-05,1.746507e-05,1.745730e-05,1.740799e-05,1.739999e-05,1.735750e-05,1.733288e-05,1.730594e-05,1.726398e-05,1.725340e-05,1.719997e-05,1.719351e-05,1.714575e-05,1.712167e-05,1.709082e-05,1.704865e-05,1.703526e-05,1.697914e-05,1.697463e-05,1.692252e-05,1.689976e-05,1.686549e-05,1.682419e-05,1.680808e-05,1.675038e-05,1.674806e-05,1.669241e-05,1.667150e-05,1.663425e-05,1.659461e-05,1.657593e-05,1.651751e-05,1.644029e-05,1.636305e-05,1.628587e-05,1.620881e-05,1.613197e-05,1.605539e-05,1.597913e-05,1.590326e-05,1.582781e-05,1.575284e-05,1.567839e-05,1.560448e-05,1.553116e-05,1.545846e-05,1.538639e-05,1.531500e-05,1.524429e-05,1.517430e-05,1.510503e-05,1.503650e-05,1.496872e-05,1.490172e-05,1.483549e-05,1.477004e-05
0.000000e+00,4.672590e-09,1.066705e-08,3.657533e-08,8.320301e-08,1.215025e-07,2.774136e-07,2.858733e-07,5.597509e-07,6.607786e-07,9.783879e-07,1.313486e-06,1.574809e-06,2.290726e-06,2.360282e-06,3.320818e-06,3.575098e-06,4.436466e-06,5.123021e-06,5.691731e-06,6.902462e-06,7.074833e-06,8.575161e-06,8.888342e-06,1.018172e-05,1.105516e-05,1.188246e-05,1.337428e-05,1.366424e-05,1.551297e-05,1.581401e-05,1.741406e-05,1.834084e-05,1.935277e-05,2.092110e-05,2.131465e-05,2.328591e-05,2.352247e-05,2.525366e-05,2.611528e-05,2.720615e-05,2.867335e-05,2.913291e-05,3.102483e-05,3.117444e-05,3.287411e-05,3.360039e-05,3.467426e-05,3.593695e-05,3.642003e-05,3.810736e-05,3.817359e-05,3.973324e-05,4.030308e-05,4.129555e-05,4.232091e-05,4.279298e-05,4.422491e-05,4.559132e-05,4.601479e-05,4.689266e-05,4.769177e-05,4.812984e-05,4.925831e-05,4.930409e-05,5.041670e-05,5.071740e-05,5.146931e-05,5.207283e-05,5.246373e-05,5.332879e-05,5.340181e-05,5.428552e-05,5.448974e-05,5.511686e-05,5.556030e-05,5.589787e-05,5.654512e-05,5.663056e-05,5.731690e-05,5.744878e-05,5.795886e-05,5.827579e-05,5.855838e-05,5.903056e-05,5.911735e-05,5.963761e-05,5.971738e-05,6.012094e-05,6.034033e-05,6.056907e-05,6.090335e-05,6.098366e-05,6.136631e-05,6.141015e-05,6.171855e-05,6.186430e-05,6.204189e-05,6.226917e-05,6.233774e-05,6.260747e-05,6.262796e-05,6.285240e-05,6.294370e-05,6.307377e-05,6.321924e-05,6.327278e-05,6.345059e-05,6.345727e-05,6.360828e-05,6.366033e-05,6.374691e-05,6.383081e-05,6.386748e-05,6.397094e-05,6.405820e-05,6.408285e-05,6.413014e-05,6.416851e-05,6.418757e-05,6.422979e-05,6.423129e-05,6.426205e-05,6.426844e-05,6.428058e-05,6.428610e-05,6.428755e-05,6.428431e-05,6.428361e-05,6.426939e-05,6.426451e-05,6.424547e-05,6.422806e-05,6.421242e-05,6.417621e-05,6.417078e-05,6.412105e-05,6.411018e-05,6.406372e-05,6.403106e-05,6.399925e-05,6.393990e-05,6.392808e-05,6.385062e-05,6.383767e-05,6.376728e-05,6.372530e-05,6.367844e-05,6.360364e-05,6.358444e-05,6.348565e-05,6.347348e-05,6.338237e-05,6.333559e-05,6.327492e-05,6.319065e-05,6.316359e-05,6.304867e-05,6.303933e-05,6.293041e-05,6.288224e-05,6.280908e-05,6.271995e-05,6.268490e-05,6.255811e-05,6.255299e-05,6.242893e-05,6.238188e-05,6.229755e-05,6.220707e-05,6.216418e-05,6.202900e-05,6.184809e-05,6.166470e-05,6.147921e-05,6.129193e-05,6.110318e-05,6.091324e-05,6.072238e-05,6.053086e-05,6.033889e-05,6.014670e-05,5.995449e-05,5.976244e-05,5.957073e-05,5.937951e-05,5.918894e-05,5.899914e-05,5.881025e-05,5.862238e-05,5.843564e-05,5.825013e-05,5.806593e-05,5.788314e-05,5.770182e-05,5.752205e-05
0.000000e+00,2.086151e-08,4.758295e-08,1.626729e-07,3.683605e-07,5.360172e-07,1.207396e-06,1.243342e-06,2.383182e-06,2.793223e-06,4.054070e-06,5.352875e-06,6.355052e-06,9.105583e-06,9.375246e-06,1.316628e-05,1.419099e-05,1.771796e-05,2.057794e-05,2.297067e-05,2.811223e-05,2.884796e-05,3.527467e-05,3.661962e-05,4.217944e-05,4.593564e-05,4.949235e-05,5.589920e-05,5.714310e-05,6.506044e-05,6.634717e-05,7.317287e-05,7.711533e-05,8.140979e-05,8.804297e-05,8.970293e-05,9.798772e-05,9.897844e-05,1.062044e-04,1.097840e-04,1.142990e-04,1.203397e-04,1.222238e-04,1.299376e-04,1.305445e-04,1.374058e-04,1.403178e-04,1.446003e-04,1.495980e-04,1.514986e-04,1.580841e-04,1.583409e-04,1.643451e-04,1.665180e-04,1.702741e-04,1.741144e-04,1.758678e-04,1.811257e-04,1.860507e-04,1.875570e-04,1.906474e-04,1.934200e-04,1.949226e-04,1.987319e-04,1.988845e-04,2.025426e-04,2.035137e-04,2.059070e-04,2.077892e-04,2.089887e-04,2.115838e-04,2.117989e-04,2.143493e-04,2.149240e-04,2.166515e-04,2.178367e-04,2.187173e-04,2.203487e-04,2.205581e-04,2.221853e-04,2.224862e-04,2.236103e-04,2.242749e-04,2.248438e-04,2.257397e-04,2.258964e-04,2.267784e-04,2.269044e-04,2.274998e-04,2.277917e-04,2.280699e-04,2.284234e-04,2.284981e-04,2.287930e-04,2.288198e-04,2.289631e-04,2.290005e-04,2.290164e-04,2.289836e-04,2.289607e-04,2.288032e-04,2.287864e-04,2.285509e-04,2.284249e-04,2.282104e-04,2.279142e-04,2.277881e-04,2.272900e-04,2.272685e-04,2.267217e-04,2.265009e-04,2.260886e-04,2.256237e-04,2.253958e-04,2.246483e-04,2.238505e-04,2.235853e-04,2.230067e-04,2.224445e-04,2.221211e-04,2.212352e-04,2.211975e-04,2.202396e-04,2.199657e-04,2.192507e-04,2.186439e-04,2.182341e-04,2.172769e-04,2.171928e-04,2.161297e-04,2.158716e-04,2.150474e-04,2.144339e-04,2.139485e-04,2.129697e-04,2.128354e-04,2.117102e-04,2.114839e-04,2.105750e-04,2.099814e-04,2.094318e-04,2.084666e-04,2.082824e-04,2.071284e-04,2.069435e-04,2.059715e-04,2.054156e-04,2.048131e-04,2.038862e-04,2.036546e-04,2.024972e-04,2.023585e-04,2.013422e-04,2.008350e-04,2.001906e-04,1.993184e-04,1.990435e-04,1.979018e-04,1.978107e-04,1.967663e-04,1.963140e-04,1.956378e-04,1.948301e-04,1.945171e-04,1.934048e-04,1.933605e-04,1.923016e-04,1.919068e-04,1.912080e-04,1.904701e-04,1.901245e-04,1.890515e-04,1.876520e-04,1.862725e-04,1.849137e-04,1.835761e-04,1.822603e-04,1.809667e-04,1.796956e-04,1.784473e-04,1.772220e-04,1.760197e-04,1.748406e-04,1.736846e-04,1.725518e-04,1.714420e-04,1.703551e-04,1.692909e-04,1.682494e-04,1.672302e-04,1.662332e-04,1.652580e-04,1.643044e-04,1.633721e-04,1.624608e-04,1.615702e-04
0.000000e+00,1.653981e-08,3.793741e-08,1.319732e-07,3.065231e-07,4.545320e-07,1.096008e-06,1.132480e-06,2.391939e-06,2.888921e-06,4.525953e-06,6.317832e-06,7.727647e-06,1.155897e-05,1.192698e-05,1.692843e-05,1.822932e-05,2.257550e-05,2.598196e-05,2.877105e-05,3.462651e-05,3.545223e-05,4.257065e-05,4.404288e-05,5.008178e-05,5.412783e-05,5.794038e-05,6.477565e-05,6.609923e-05,7.450921e-05,7.587478e-05,8.312047e-05,8.731085e-05,9.188373e-05,9.897174e-05,1.007514e-04,1.096788e-04,1.107520e-04,1.186244e-04,1.225565e-04,1.275511e-04,1.343019e-04,1.364254e-04,1.452185e-04,1.459177e-04,1.539055e-04,1.573456e-04,1.624649e-04,1.685387e-04,1.708791e-04,1.791337e-04,1.794603e-04,1.872169e-04,1.900831e-04,1.951197e-04,2.003867e-04,2.028348e-04,2.103571e-04,2.176830e-04,2.199853e-04,2.248100e-04,2.292664e-04,2.317370e-04,2.381985e-04,2.384637e-04,2.449906e-04,2.467825e-04,2.513189e-04,2.550211e-04,2.574502e-04,2.629188e-04,2.633866e-04,2.691308e-04,2.704811e-04,2.746856e-04,2.777146e-04,2.800538e-04,2.846263e-04,2.852389e-04,2.902442e-04,2.912240e-04,2.950732e-04,2.975158e-04,2.997295e-04,3.035101e-04,3.042169e-04,3.085391e-04,3.092155e-04,3.126997e-04,3.146406e-04,3.167027e-04,3.197940e-04,3.205517e-04,3.242506e-04,3.246845e-04,3.278031e-04,3.293207e-04,3.312129e-04,3.337113e-04,3.344838e-04,3.376194e-04,3.378645e-04,3.406234e-04,3.417889e-04,3.434992e-04,3.454925e-04,3.462505e-04,3.488808e-04,3.489835e-04,3.513934e-04,3.522698e-04,3.537917e-04,3.553590e-04,3.560790e-04,3.582586e-04,3.603337e-04,3.609761e-04,3.623073e-04,3.635186e-04,3.641825e-04,3.658930e-04,3.659624e-04,3.676498e-04,3.681061e-04,3.692476e-04,3.701645e-04,3.707587e-04,3.720746e-04,3.721857e-04,3.735314e-04,3.738425e-04,3.747983e-04,3.754743e-04,3.759890e-04,3.769758e-04,3.771060e-04,3.781518e-04,3.783526e-04,3.791286e-04,3.796101e-04,3.800389e-04,3.807536e-04,3.808847e-04,3.816685e-04,3.817883e-04,3.823922e-04,3.827189e-04,3.830580e-04,3.835502e-04,3.836678e-04,3.842237e-04,3.842869e-04,3.847276e-04,3.849333e-04,3.851813e-04,3.854937e-04,3.855867e-04,3.859455e-04,3.859722e-04,3.862594e-04,3.863728e-04,3.865301e-04,3.866992e-04,3.867592e-04,3.869483e-04,3.869551e-04,3.870989e-04,3.871440e-04,3.872125e-04,3.872693e-04,3.872905e-04,3.873344e-04,3.873423e-04,3.872960e-04,3.871984e-04,3.870524e-04,3.868606e-04,3.866255e-04,3.863496e-04,3.860353e-04,3.856848e-04,3.853003e-04,3.848840e-04,3.844376e-04,3.839633e-04,3.834628e-04,3.829378e-04,3.823901e-04,3.818212e-04,3.812326e-04,3.806259e-04,3.800024e-04,3.793635e-04,3.787104e-04,3.780444e-04,3.773665e-04
0.000000e+00,3.770781e-09,8.597691e-09,2.937346e-08,6.648166e-08,9.672097e-08,2.178143e-07,2.242988e-07,4.300267e-07,5.040912e-07,7.320471e-07,9.672511e-07,1.149071e-06,1.650201e-06,1.699543e-06,2.398293e-06,2.588899e-06,3.250118e-06,3.790723e-06,4.244612e-06,5.220006e-06,5.359236e-06,6.568098e-06,6.819060e-06,7.847897e-06,8.534818e-06,9.179125e-06,1.032499e-05,1.054531e-05,1.193214e-05,1.215508e-05,1.332686e-05,1.399573e-05,1.471806e-05,1.582165e-05,1.609562e-05,1.745063e-05,1.761133e-05,1.877542e-05,1.934706e-05,2.006358e-05,2.101481e-05,2.130986e-05,2.251010e-05,2.260403e-05,2.366120e-05,2.410734e-05,2.476091e-05,2.552006e-05,2.580782e-05,2.680121e-05,2.683982e-05,2.774095e-05,2.806619e-05,2.862745e-05,2.920021e-05,2.946142e-05,3.024385e-05,3.097609e-05,3.120005e-05,3.165964e-05,3.207231e-05,3.229613e-05,3.286450e-05,3.288730e-05,3.343497e-05,3.358076e-05,3.394095e-05,3.422531e-05,3.440710e-05,3.480235e-05,3.483525e-05,3.522721e-05,3.531610e-05,3.558478e-05,3.577065e-05,3.590970e-05,3.616997e-05,3.620366e-05,3.646831e-05,3.651787e-05,3.670524e-05,3.681800e-05,3.691598e-05,3.707384e-05,3.710200e-05,3.726471e-05,3.728867e-05,3.740547e-05,3.746562e-05,3.752557e-05,3.760762e-05,3.762626e-05,3.770870e-05,3.771742e-05,3.777403e-05,3.779763e-05,3.782332e-05,3.785068e-05,3.785759e-05,3.787780e-05,3.787884e-05,3.788489e-05,3.788425e-05,3.787973e-05,3.786889e-05,3.786314e-05,3.783592e-05,3.783462e-05,3.779881e-05,3.778317e-05,3.775253e-05,3.771615e-05,3.769773e-05,3.763506e-05,3.756512e-05,3.754129e-05,3.748846e-05,3.743613e-05,3.740564e-05,3.732078e-05,3.731714e-05,3.722346e-05,3.719636e-05,3.712504e-05,3.706389e-05,3.702230e-05,3.692432e-05,3.691565e-05,3.680546e-05,3.677853e-05,3.669210e-05,3.662735e-05,3.657588e-05,3.647151e-05,3.645713e-05,3.633615e-05,3.631171e-05,3.621320e-05,3.614858e-05,3.608855e-05,3.598271e-05,3.596245e-05,3.583512e-05,3.581464e-05,3.570677e-05,3.564486e-05,3.557761e-05,3.547383e-05,3.544783e-05,3.531760e-05,3.530195e-05,3.518709e-05,3.512961e-05,3.505644e-05,3.495714e-05,3.492580e-05,3.479530e-05,3.478487e-05,3.466507e-05,3.461308e-05,3.453522e-05,3.444202e-05,3.440585e-05,3.427707e-05,3.427193e-05,3.414897e-05,3.410303e-05,3.402162e-05,3.393550e-05,3.389511e-05,3.376950e-05,3.360521e-05,3.344274e-05,3.328223e-05,3.312377e-05,3.296745e-05,3.281337e-05,3.266159e-05,3.251216e-05,3.236513e-05,3.222056e-05,3.207846e-05,3.193887e-05,3.180180e-05,3.166726e-05,3.153527e-05,3.140582e-05,3.127892e-05,3.115455e-05,3.103270e-05,3.091336e-05,3.079652e-05,3.068214e-05,3.057021e-05,3.046071e-05
0.000000e+00,4.083398e-09,9.192569e-09,3.057870e-08,6.751886e-08,9.688514e-08,2.103763e-07,2.163124e-07,3.994161e-07,4.633336e-07,6.550832e-07,8.466322e-07,9.911950e-07,1.377172e-06,1.414335e-06,1.927608e-06,2.063945e-06,2.526948e-06,2.895791e-06,3.199943e-06,3.839855e-06,3.929906e-06,4.700826e-06,4.858702e-06,5.499344e-06,5.921766e-06,6.314488e-06,7.005164e-06,7.136878e-06,7.958129e-06,8.088901e-06,8.770549e-06,9.155271e-06,9.567056e-06,1.018845e-05,1.034121e-05,1.108731e-05,1.117472e-05,1.180049e-05,1.210279e-05,1.247674e-05,1.296407e-05,1.311300e-05,1.370710e-05,1.375276e-05,1.425776e-05,1.446572e-05,1.476448e-05,1.510222e-05,1.522749e-05,1.564761e-05,1.566354e-05,1.602617e-05,1.615260e-05,1.636491e-05,1.657352e-05,1.666583e-05,1.693119e-05,1.716332e-05,1.723098e-05,1.736462e-05,1.747837e-05,1.753747e-05,1.767884e-05,1.768424e-05,1.780721e-05,1.783767e-05,1.790853e-05,1.795980e-05,1.799026e-05,1.804979e-05,1.805431e-05,1.810244e-05,1.811181e-05,1.813630e-05,1.814958e-05,1.815736e-05,1.816640e-05,1.816700e-05,1.816644e-05,1.816520e-05,1.815680e-05,1.814854e-05,1.813910e-05,1.811865e-05,1.811423e-05,1.808301e-05,1.807747e-05,1.804616e-05,1.802666e-05,1.800432e-05,1.796766e-05,1.795809e-05,1.790797e-05,1.790172e-05,1.785443e-05,1.782991e-05,1.779790e-05,1.775315e-05,1.773873e-05,1.767727e-05,1.767226e-05,1.761381e-05,1.758792e-05,1.754861e-05,1.750073e-05,1.748192e-05,1.741395e-05,1.741121e-05,1.734491e-05,1.731982e-05,1.727495e-05,1.722695e-05,1.720425e-05,1.713295e-05,1.706117e-05,1.703812e-05,1.698903e-05,1.694273e-05,1.691665e-05,1.684702e-05,1.684411e-05,1.677152e-05,1.675119e-05,1.669894e-05,1.665543e-05,1.662645e-05,1.655990e-05,1.655413e-05,1.648202e-05,1.646475e-05,1.641019e-05,1.637010e-05,1.633868e-05,1.627607e-05,1.626755e-05,1.619684e-05,1.618275e-05,1.612658e-05,1.609023e-05,1.605681e-05,1.599860e-05,1.598756e-05,1.591886e-05,1.590792e-05,1.585074e-05,1.581825e-05,1.578322e-05,1.572964e-05,1.571631e-05,1.565005e-05,1.564215e-05,1.558445e-05,1.555580e-05,1.551952e-05,1.547063e-05,1.545528e-05,1.539173e-05,1.538668e-05,1.532890e-05,1.530396e-05,1.526678e-05,1.522250e-05,1.520538e-05,1.514472e-05,1.514231e-05,1.508480e-05,1.506341e-05,1.502561e-05,1.498580e-05,1.496718e-05,1.490949e-05,1.483448e-05,1.476078e-05,1.468839e-05,1.461730e-05,1.454750e-05,1.447901e-05,1.441179e-05,1.434586e-05,1.428119e-05,1.421777e-05,1.415560e-05,1.409466e-05,1.403494e-05,1.397642e-05,1.391909e-05,1.386294e-05,1.380794e-05,1.375408e-05,1.370135e-05,1.364972e-05,1.359919e-05,1.354973e-05,1.350132e-05,1.345396e-05
0.000000e+00,1.798706e-09,4.094767e-09,1.396111e-08,3.160449e-08,4.603457e-08,1.044575e-07,1.076172e-07,2.095575e-07,2.470431e-07,3.647512e-07,4.891475e-07,5.865887e-07,8.558928e-07,8.822057e-07,1.246290e-06,1.342486e-06,1.666397e-06,1.921779e-06,2.131234e-06,2.570780e-06,2.632672e-06,3.164643e-06,3.274238e-06,3.721959e-06,4.020136e-06,4.299670e-06,4.797068e-06,4.892796e-06,5.496296e-06,5.593480e-06,6.105134e-06,6.397825e-06,6.714410e-06,7.199017e-06,7.319484e-06,7.916088e-06,7.986925e-06,8.500415e-06,8.752763e-06,9.069178e-06,9.489319e-06,9.619632e-06,1.014958e-05,1.019104e-05,1.065735e-05,1.085396e-05,1.114175e-05,1.147562e-05,1.160204e-05,1.203787e-05,1.205480e-05,1.244921e-05,1.259133e-05,1.283629e-05,1.308589e-05,1.319960e-05,1.353977e-05,1.385760e-05,1.395473e-05,1.415396e-05,1.433280e-05,1.442979e-05,1.467621e-05,1.468610e-05,1.492386e-05,1.498725e-05,1.514410e-05,1.526824e-05,1.534779e-05,1.552141e-05,1.553591e-05,1.570940e-05,1.574896e-05,1.586915e-05,1.595293e-05,1.601602e-05,1.613525e-05,1.615082e-05,1.627432e-05,1.629773e-05,1.638726e-05,1.644204e-05,1.649031e-05,1.656970e-05,1.658411e-05,1.666926e-05,1.668212e-05,1.674633e-05,1.678061e-05,1.681584e-05,1.686633e-05,1.687828e-05,1.693410e-05,1.694037e-05,1.698373e-05,1.700371e-05,1.702757e-05,1.705724e-05,1.706598e-05,1.709932e-05,1.710177e-05,1.712789e-05,1.713806e-05,1.715201e-05,1.716677e-05,1.717194e-05,1.718796e-05,1.718852e-05,1.720030e-05,1.720389e-05,1.720919e-05,1.721338e-05,1.721484e-05,1.721746e-05,1.721722e-05,1.721657e-05,1.721430e-05,1.721110e-05,1.720886e-05,1.720141e-05,1.720106e-05,1.719103e-05,1.718785e-05,1.717892e-05,1.717071e-05,1.716485e-05,1.715027e-05,1.714893e-05,1.713128e-05,1.712680e-05,1.711201e-05,1.710054e-05,1.709120e-05,1.707171e-05,1.706897e-05,1.704538e-05,1.704051e-05,1.702053e-05,1.700713e-05,1.699449e-05,1.697175e-05,1.696734e-05,1.693914e-05,1.693454e-05,1.690997e-05,1.689564e-05,1.687989e-05,1.685520e-05,1.684895e-05,1.681720e-05,1.681334e-05,1.678472e-05,1.677020e-05,1.675154e-05,1.672588e-05,1.671771e-05,1.668327e-05,1.668050e-05,1.664828e-05,1.663414e-05,1.661277e-05,1.658691e-05,1.657678e-05,1.654035e-05,1.653889e-05,1.650351e-05,1.649016e-05,1.646630e-05,1.644080e-05,1.642875e-05,1.639088e-05,1.634047e-05,1.628962e-05,1.623841e-05,1.618688e-05,1.613508e-05,1.608307e-05,1.603089e-05,1.597858e-05,1.592618e-05,1.587373e-05,1.582127e-05,1.576883e-05,1.571643e-05,1.566412e-05,1.561191e-05,1.555984e-05,1.550792e-05,1.545618e-05,1.540464e-05,1.535332e-05,1.530224e-05,1.525141e-05,1.520085e-05,1.515058e-05
0.000000e+00,1.124797e-09,2.551189e-09,8.631160e-09,1.939890e-08,2.814330e-08,6.319072e-08,6.507380e-08,1.253585e-07,1.473501e-07,2.160356e-07,2.884049e-07,3.452686e-07,5.050835e-07,5.209908e-07,7.472573e-07,8.088224e-07,1.019959e-06,1.188680e-06,1.327194e-06,1.614917e-06,1.654908e-06,1.991543e-06,2.059178e-06,2.329057e-06,2.503064e-06,2.662119e-06,2.935771e-06,2.987112e-06,3.301459e-06,3.350630e-06,3.603226e-06,3.743156e-06,3.890931e-06,4.110202e-06,4.163446e-06,4.419958e-06,4.449636e-06,4.659957e-06,4.760251e-06,4.883190e-06,5.041616e-06,5.089642e-06,5.279518e-06,5.294003e-06,5.453207e-06,5.518266e-06,5.611246e-06,5.715709e-06,5.754292e-06,5.883089e-06,5.887955e-06,5.998437e-06,6.036831e-06,6.101172e-06,6.164258e-06,6.192137e-06,6.272169e-06,6.342092e-06,6.362465e-06,6.402712e-06,6.436983e-06,6.454796e-06,6.497434e-06,6.499063e-06,6.536191e-06,6.545395e-06,6.566813e-06,6.582310e-06,6.591517e-06,6.609484e-06,6.610844e-06,6.625293e-06,6.628086e-06,6.635320e-06,6.639161e-06,6.641344e-06,6.643638e-06,6.643747e-06,6.642877e-06,6.642339e-06,6.639052e-06,6.635991e-06,6.632559e-06,6.625235e-06,6.623659e-06,6.612591e-06,6.610634e-06,6.599572e-06,6.592688e-06,6.584797e-06,6.571834e-06,6.568445e-06,6.550679e-06,6.548459e-06,6.531645e-06,6.522904e-06,6.511478e-06,6.495468e-06,6.490299e-06,6.468221e-06,6.466418e-06,6.445343e-06,6.435989e-06,6.421758e-06,6.404387e-06,6.397551e-06,6.372798e-06,6.371798e-06,6.347570e-06,6.338384e-06,6.321930e-06,6.304291e-06,6.295938e-06,6.269647e-06,6.243107e-06,6.234568e-06,6.216361e-06,6.199157e-06,6.189453e-06,6.163503e-06,6.162420e-06,6.135297e-06,6.127690e-06,6.108115e-06,6.091791e-06,6.080905e-06,6.055869e-06,6.053693e-06,6.026503e-06,6.019984e-06,5.999359e-06,5.984187e-06,5.972282e-06,5.948524e-06,5.945290e-06,5.918401e-06,5.913038e-06,5.891632e-06,5.877764e-06,5.864997e-06,5.842737e-06,5.838509e-06,5.812181e-06,5.807984e-06,5.786025e-06,5.773534e-06,5.760050e-06,5.739407e-06,5.734266e-06,5.708682e-06,5.705626e-06,5.683305e-06,5.672207e-06,5.658143e-06,5.639167e-06,5.633201e-06,5.608486e-06,5.606519e-06,5.584003e-06,5.574275e-06,5.559755e-06,5.542446e-06,5.535748e-06,5.511985e-06,5.511040e-06,5.488469e-06,5.480065e-06,5.465203e-06,5.449526e-06,5.442189e-06,5.419429e-06,5.389777e-06,5.360574e-06,5.331821e-06,5.303520e-06,5.275671e-06,5.248275e-06,5.221329e-06,5.194834e-06,5.168788e-06,5.143187e-06,5.118030e-06,5.093314e-06,5.069034e-06,5.045189e-06,5.021772e-06,4.998781e-06,4.976211e-06,4.954058e-06,4.932316e-06,4.910981e-06,4.890047e-06,4.869510e-06,4.849365e-06,4.829605e-06
0.000000e+00,1.539740e-09,3.515885e-09,1.204448e-08,2.731222e-08,3.976354e-08,8.958373e-08,9.224753e-08,1.764468e-07,2.065946e-07,2.988048e-07,3.930511e-07,4.653260e-07,6.623276e-07,6.815806e-07,9.525785e-07,1.026245e-06,1.282400e-06,1.493804e-06,1.673509e-06,2.068479e-06,2.125944e-06,2.636981e-06,2.745814e-06,3.201687e-06,3.514536e-06,3.813953e-06,4.360309e-06,4.467354e-06,5.155552e-06,5.268480e-06,5.872426e-06,6.224974e-06,6.612092e-06,7.216433e-06,7.368905e-06,8.137481e-06,8.230256e-06,8.912730e-06,9.254716e-06,9.689898e-06,1.027912e-05,1.046461e-05,1.123288e-05,1.129395e-05,1.199117e-05,1.229097e-05,1.273634e-05,1.326322e-05,1.346571e-05,1.417699e-05,1.420504e-05,1.486829e-05,1.511195e-05,1.553806e-05,1.598059e-05,1.618512e-05,1.680857e-05,1.740777e-05,1.759433e-05,1.798235e-05,1.833706e-05,1.853211e-05,1.903653e-05,1.905705e-05,1.955731e-05,1.969299e-05,2.003314e-05,2.030708e-05,2.048494e-05,2.087975e-05,2.091315e-05,2.131832e-05,2.141219e-05,2.170102e-05,2.190575e-05,2.206188e-05,2.236190e-05,2.240157e-05,2.272076e-05,2.278220e-05,2.302016e-05,2.316826e-05,2.330047e-05,2.352169e-05,2.356239e-05,2.380664e-05,2.384413e-05,2.403391e-05,2.413717e-05,2.424490e-05,2.440242e-05,2.444028e-05,2.462073e-05,2.464141e-05,2.478689e-05,2.485564e-05,2.493940e-05,2.504655e-05,2.507887e-05,2.520590e-05,2.521554e-05,2.532107e-05,2.536394e-05,2.542494e-05,2.549304e-05,2.551806e-05,2.560095e-05,2.560406e-05,2.567412e-05,2.569817e-05,2.573805e-05,2.577650e-05,2.579323e-05,2.584008e-05,2.587907e-05,2.588995e-05,2.591059e-05,2.592704e-05,2.593506e-05,2.595226e-05,2.595285e-05,2.596434e-05,2.596648e-05,2.596988e-05,2.597049e-05,2.596982e-05,2.596508e-05,2.596446e-05,2.595414e-05,2.595095e-05,2.593914e-05,2.592880e-05,2.591975e-05,2.589926e-05,2.589623e-05,2.586886e-05,2.586295e-05,2.583788e-05,2.582043e-05,2.580353e-05,2.577223e-05,2.576603e-05,2.572560e-05,2.571887e-05,2.568244e-05,2.566082e-05,2.563676e-05,2.559851e-05,2.558873e-05,2.553853e-05,2.553237e-05,2.548634e-05,2.546279e-05,2.543232e-05,2.539013e-05,2.537662e-05,2.531938e-05,2.531474e-05,2.526075e-05,2.523693e-05,2.520085e-05,2.515701e-05,2.513981e-05,2.507775e-05,2.507525e-05,2.501478e-05,2.499191e-05,2.495101e-05,2.490724e-05,2.488653e-05,2.482145e-05,2.473477e-05,2.464738e-05,2.455946e-05,2.447119e-05,2.438272e-05,2.429418e-05,2.420572e-05,2.411745e-05,2.402948e-05,2.394193e-05,2.385488e-05,2.376841e-05,2.368262e-05,2.359756e-05,2.351331e-05,2.342991e-05,2.334743e-05,2.326592e-05,2.318540e-05,2.310593e-05,2.302753e-05,2.295023e-05,2.287406e-05,2.279903e-05
0.000000e+00,8.814745e-09,2.004526e-08,6.816649e-08,1.538591e-07,2.236853e-07,5.045660e-07,5.196853e-07,1.004349e-06,1.181288e-06,1.733720e-06,2.314448e-06,2.768841e-06,4.030500e-06,4.154507e-06,5.883605e-06,6.343449e-06,7.894201e-06,9.114030e-06,1.010952e-05,1.217777e-05,1.246639e-05,1.491784e-05,1.541615e-05,1.742749e-05,1.874522e-05,1.996483e-05,2.209774e-05,2.250282e-05,2.501691e-05,2.541543e-05,2.748493e-05,2.864735e-05,2.988727e-05,3.175047e-05,3.220713e-05,3.443063e-05,3.469042e-05,3.654681e-05,3.744176e-05,3.854763e-05,3.998768e-05,4.042768e-05,4.218397e-05,4.231909e-05,4.381564e-05,4.443355e-05,4.532354e-05,4.633386e-05,4.671001e-05,4.797854e-05,4.802689e-05,4.913346e-05,4.952237e-05,5.017976e-05,5.083194e-05,5.112284e-05,5.196836e-05,5.272209e-05,5.294484e-05,5.338980e-05,5.377462e-05,5.397718e-05,5.447066e-05,5.448980e-05,5.493302e-05,5.504539e-05,5.531198e-05,5.551053e-05,5.563153e-05,5.587702e-05,5.589628e-05,5.611058e-05,5.615496e-05,5.627849e-05,5.635369e-05,5.640381e-05,5.648168e-05,5.649009e-05,5.654061e-05,5.654670e-05,5.655846e-05,5.655577e-05,5.654647e-05,5.651527e-05,5.650727e-05,5.644331e-05,5.643094e-05,5.635685e-05,5.630797e-05,5.624995e-05,5.615103e-05,5.612456e-05,5.598244e-05,5.596434e-05,5.582522e-05,5.575166e-05,5.565443e-05,5.551641e-05,5.547145e-05,5.527757e-05,5.526162e-05,5.507396e-05,5.499004e-05,5.486172e-05,5.470412e-05,5.464184e-05,5.441526e-05,5.440607e-05,5.418281e-05,5.409785e-05,5.394528e-05,5.378123e-05,5.370339e-05,5.345779e-05,5.320910e-05,5.312896e-05,5.295787e-05,5.279598e-05,5.270461e-05,5.246000e-05,5.244979e-05,5.219384e-05,5.212203e-05,5.193716e-05,5.178295e-05,5.168011e-05,5.144359e-05,5.142303e-05,5.116620e-05,5.110463e-05,5.090992e-05,5.076673e-05,5.065443e-05,5.043044e-05,5.039997e-05,5.014674e-05,5.009625e-05,4.989493e-05,4.976461e-05,4.964472e-05,4.943590e-05,4.939627e-05,4.914972e-05,4.911045e-05,4.890519e-05,4.878857e-05,4.866280e-05,4.847050e-05,4.842266e-05,4.818485e-05,4.815647e-05,4.794946e-05,4.784668e-05,4.771657e-05,4.754127e-05,4.748623e-05,4.725850e-05,4.724039e-05,4.703343e-05,4.694416e-05,4.681106e-05,4.665265e-05,4.659143e-05,4.637457e-05,4.636596e-05,4.616050e-05,4.608412e-05,4.594924e-05,4.580720e-05,4.574081e-05,4.553521e-05,4.526817e-05,4.500609e-05,4.474897e-05,4.449678e-05,4.424951e-05,4.400714e-05,4.376961e-05,4.353691e-05,4.330897e-05,4.308575e-05,4.286720e-05,4.265326e-05,4.244387e-05,4.223897e-05,4.203850e-05,4.184239e-05,4.165056e-05,4.146297e-05,4.127952e-05,4.110017e-05,4.092482e-05,4.075341e-05,4.058588e-05,4.042214e-05
0.000000e+00,3.455299e-09,7.856630e-09,2.669754e-08,6.016543e-08,8.735352e-08,1.959565e-07,2.017682e-07,3.863312e-07,4.529328e-07,6.586302e-07,8.720690e-07,1.037874e-06,1.497893e-06,1.543372e-06,2.188894e-06,2.364935e-06,2.973029e-06,3.465467e-06,3.874777e-06,4.740604e-06,4.862663e-06,5.907184e-06,6.120762e-06,6.985534e-06,7.553827e-06,8.080701e-06,9.003873e-06,9.179439e-06,1.027083e-05,1.044412e-05,1.134550e-05,1.185298e-05,1.239533e-05,1.321259e-05,1.341335e-05,1.439366e-05,1.450852e-05,1.533152e-05,1.572974e-05,1.622326e-05,1.686850e-05,1.706627e-05,1.785889e-05,1.792010e-05,1.860034e-05,1.888256e-05,1.929057e-05,1.975615e-05,1.993019e-05,2.052033e-05,2.054292e-05,2.106250e-05,2.124629e-05,2.155856e-05,2.187058e-05,2.201057e-05,2.242075e-05,2.279141e-05,2.290205e-05,2.312487e-05,2.331985e-05,2.342348e-05,2.367948e-05,2.368952e-05,2.392521e-05,2.398606e-05,2.413270e-05,2.424450e-05,2.431402e-05,2.445939e-05,2.447111e-05,2.460582e-05,2.463501e-05,2.471987e-05,2.477532e-05,2.481487e-05,2.488392e-05,2.489234e-05,2.495370e-05,2.496415e-05,2.500025e-05,2.501901e-05,2.503320e-05,2.505121e-05,2.505370e-05,2.506277e-05,2.506323e-05,2.506139e-05,2.505727e-05,2.505043e-05,2.503531e-05,2.503069e-05,2.500293e-05,2.499909e-05,2.496789e-05,2.495034e-05,2.492625e-05,2.489055e-05,2.487859e-05,2.482546e-05,2.482099e-05,2.476738e-05,2.474286e-05,2.470481e-05,2.465723e-05,2.463819e-05,2.456792e-05,2.456504e-05,2.449436e-05,2.446714e-05,2.441785e-05,2.436430e-05,2.433871e-05,2.425722e-05,2.417365e-05,2.414651e-05,2.408825e-05,2.403274e-05,2.400124e-05,2.391641e-05,2.391285e-05,2.382326e-05,2.379798e-05,2.373265e-05,2.367786e-05,2.364118e-05,2.355641e-05,2.354902e-05,2.345629e-05,2.343397e-05,2.336314e-05,2.331083e-05,2.326968e-05,2.318726e-05,2.317602e-05,2.308226e-05,2.306351e-05,2.298851e-05,2.293979e-05,2.289484e-05,2.281629e-05,2.280134e-05,2.270808e-05,2.269318e-05,2.261513e-05,2.257064e-05,2.252254e-05,2.244878e-05,2.243039e-05,2.233872e-05,2.232775e-05,2.224757e-05,2.220765e-05,2.215700e-05,2.208857e-05,2.206704e-05,2.197773e-05,2.197062e-05,2.188911e-05,2.185386e-05,2.180120e-05,2.173836e-05,2.171403e-05,2.162763e-05,2.162419e-05,2.154202e-05,2.151139e-05,2.145721e-05,2.140002e-05,2.137324e-05,2.129011e-05,2.118169e-05,2.107479e-05,2.096945e-05,2.086566e-05,2.076346e-05,2.066284e-05,2.056383e-05,2.046642e-05,2.037061e-05,2.027641e-05,2.018382e-05,2.009282e-05,2.000342e-05,1.991559e-05,1.982935e-05,1.974466e-05,1.966153e-05,1.957994e-05,1.949986e-05,1.942130e-05,1.934422e-05,1.926862e-05,1.919448e-05,1.912178e-05
0.000000e+00,3.441207e-09,7.854415e-09,2.693116e-08,6.130262e-08,8.958074e-08,2.051349e-07,2.114243e-07,4.160161e-07,4.919272e-07,7.320130e-07,9.876879e-07,1.188773e-06,1.746202e-06,1.800747e-06,2.556969e-06,2.757344e-06,3.434208e-06,3.970397e-06,4.411842e-06,5.342979e-06,5.474586e-06,6.610407e-06,6.845386e-06,7.808544e-06,8.452709e-06,9.058458e-06,1.014058e-05,1.034945e-05,1.167067e-05,1.188415e-05,1.301127e-05,1.365853e-05,1.436069e-05,1.543982e-05,1.570891e-05,1.704666e-05,1.720608e-05,1.836559e-05,1.893803e-05,1.965838e-05,2.061953e-05,2.091878e-05,2.214161e-05,2.223769e-05,2.332272e-05,2.378274e-05,2.445891e-05,2.524781e-05,2.554785e-05,2.658798e-05,2.662856e-05,2.757841e-05,2.792273e-05,2.851884e-05,2.912983e-05,2.940942e-05,3.025070e-05,3.104358e-05,3.128725e-05,3.178916e-05,3.224211e-05,3.248877e-05,3.311849e-05,3.314385e-05,3.375598e-05,3.391990e-05,3.432677e-05,3.465009e-05,3.485788e-05,3.531290e-05,3.535099e-05,3.580777e-05,3.591218e-05,3.622989e-05,3.645173e-05,3.661896e-05,3.693527e-05,3.697657e-05,3.730428e-05,3.736637e-05,3.760359e-05,3.774848e-05,3.787593e-05,3.808488e-05,3.812271e-05,3.834525e-05,3.837869e-05,3.854484e-05,3.863286e-05,3.872271e-05,3.885016e-05,3.888004e-05,3.901794e-05,3.903323e-05,3.913748e-05,3.918453e-05,3.923969e-05,3.930638e-05,3.932554e-05,3.939596e-05,3.940095e-05,3.945182e-05,3.947027e-05,3.949396e-05,3.951625e-05,3.952317e-05,3.954023e-05,3.954067e-05,3.954583e-05,3.954518e-05,3.954068e-05,3.953135e-05,3.952540e-05,3.950062e-05,3.946693e-05,3.945435e-05,3.942487e-05,3.939380e-05,3.937496e-05,3.932014e-05,3.931772e-05,3.925360e-05,3.923448e-05,3.918306e-05,3.913783e-05,3.910652e-05,3.903114e-05,3.902437e-05,3.893701e-05,3.891531e-05,3.884479e-05,3.879116e-05,3.874806e-05,3.865945e-05,3.864713e-05,3.854231e-05,3.852091e-05,3.843390e-05,3.837619e-05,3.832216e-05,3.822592e-05,3.820736e-05,3.808974e-05,3.807067e-05,3.796953e-05,3.791098e-05,3.784696e-05,3.774735e-05,3.772224e-05,3.759555e-05,3.758023e-05,3.746709e-05,3.741005e-05,3.733703e-05,3.723722e-05,3.720554e-05,3.707278e-05,3.706211e-05,3.693889e-05,3.688505e-05,3.680401e-05,3.670637e-05,3.666829e-05,3.653183e-05,3.652636e-05,3.639477e-05,3.634529e-05,3.625720e-05,3.616343e-05,3.611925e-05,3.598100e-05,3.579823e-05,3.561530e-05,3.543242e-05,3.524974e-05,3.506743e-05,3.488563e-05,3.470448e-05,3.452410e-05,3.434460e-05,3.416609e-05,3.398867e-05,3.381241e-05,3.363740e-05,3.346370e-05,3.329140e-05,3.312054e-05,3.295118e-05,3.278336e-05,3.261713e-05,3.245253e-05,3.228959e-05,3.212835e-05,3.196882e-05,3.181103e-05
0.000000e+00,1.668400e-09,3.805301e-09,1.300787e-08,2.945055e-08,4.284914e-08,9.646709e-08,9.933613e-08,1.902266e-07,2.228843e-07,3.231999e-07,4.264362e-07,5.060992e-07,7.253622e-07,7.469498e-07,1.053402e-06,1.137417e-06,1.431131e-06,1.674534e-06,1.881520e-06,2.334974e-06,2.400675e-06,2.981167e-06,3.103889e-06,3.614706e-06,3.962532e-06,4.293637e-06,4.894048e-06,5.011196e-06,5.761292e-06,5.883943e-06,6.538240e-06,6.919107e-06,7.336593e-06,7.987131e-06,8.151067e-06,8.976538e-06,9.076097e-06,9.808073e-06,1.017465e-05,1.064098e-05,1.127220e-05,1.147087e-05,1.229370e-05,1.235910e-05,1.310579e-05,1.342689e-05,1.390391e-05,1.446829e-05,1.468521e-05,1.544728e-05,1.547733e-05,1.618811e-05,1.644928e-05,1.690608e-05,1.738058e-05,1.759992e-05,1.826873e-05,1.891187e-05,1.911219e-05,1.952898e-05,1.991021e-05,2.011994e-05,2.066273e-05,2.068483e-05,2.122389e-05,2.137025e-05,2.173752e-05,2.203369e-05,2.222622e-05,2.265432e-05,2.269059e-05,2.313132e-05,2.323366e-05,2.354914e-05,2.377340e-05,2.394482e-05,2.427534e-05,2.431916e-05,2.467298e-05,2.474135e-05,2.500710e-05,2.517333e-05,2.532234e-05,2.557315e-05,2.561952e-05,2.589944e-05,2.594267e-05,2.616287e-05,2.628369e-05,2.641059e-05,2.659794e-05,2.664333e-05,2.686182e-05,2.688711e-05,2.706673e-05,2.715277e-05,2.725875e-05,2.739645e-05,2.743850e-05,2.760660e-05,2.761956e-05,2.776362e-05,2.782346e-05,2.791014e-05,2.800942e-05,2.804667e-05,2.817373e-05,2.817863e-05,2.829181e-05,2.833220e-05,2.840135e-05,2.847120e-05,2.850281e-05,2.859659e-05,2.868309e-05,2.870930e-05,2.876269e-05,2.881017e-05,2.883574e-05,2.890001e-05,2.890257e-05,2.896352e-05,2.897957e-05,2.901888e-05,2.904954e-05,2.906895e-05,2.911058e-05,2.911400e-05,2.915429e-05,2.916328e-05,2.919007e-05,2.920822e-05,2.922156e-05,2.924592e-05,2.924901e-05,2.927261e-05,2.927689e-05,2.929257e-05,2.930157e-05,2.930907e-05,2.932040e-05,2.932231e-05,2.933244e-05,2.933379e-05,2.933964e-05,2.934210e-05,2.934406e-05,2.934570e-05,2.934585e-05,2.934514e-05,2.934490e-05,2.934208e-05,2.934001e-05,2.933678e-05,2.933133e-05,2.932937e-05,2.931996e-05,2.931912e-05,2.930866e-05,2.930363e-05,2.929557e-05,2.928510e-05,2.928080e-05,2.926443e-05,2.926375e-05,2.924657e-05,2.923978e-05,2.922728e-05,2.921339e-05,2.920665e-05,2.918476e-05,2.915407e-05,2.912146e-05,2.908709e-05,2.905111e-05,2.901363e-05,2.897480e-05,2.893471e-05,2.889349e-05,2.885124e-05,2.880804e-05,2.876400e-05,2.871920e-05,2.867372e-05,2.862762e-05,2.858100e-05,2.853390e-05,2.848640e-05,2.843855e-05,2.839041e-05,2.834202e-05,2.829345e-05,2.824473e-05,2.819591e-05,2.814703e-05
0.000000e+00,2.556360e-09,5.836897e-09,1.999366e-08,4.533609e-08,6.600463e-08,1.487206e-07,1.531442e-07,2.930160e-07,3.431204e-07,4.964391e-07,6.532429e-07,7.735530e-07,1.101729e-06,1.133820e-06,1.585879e-06,1.708895e-06,2.137216e-06,2.491570e-06,2.793592e-06,3.460720e-06,3.558217e-06,4.430717e-06,4.617817e-06,5.406175e-06,5.951029e-06,6.474786e-06,7.434305e-06,7.622627e-06,8.833441e-06,9.031898e-06,1.009068e-05,1.070606e-05,1.137894e-05,1.242269e-05,1.268463e-05,1.399603e-05,1.415329e-05,1.530315e-05,1.587469e-05,1.659749e-05,1.756817e-05,1.787185e-05,1.912014e-05,1.921872e-05,2.033728e-05,2.081445e-05,2.151909e-05,2.234620e-05,2.266221e-05,2.376400e-05,2.380718e-05,2.482247e-05,2.519263e-05,2.583622e-05,2.649955e-05,2.680436e-05,2.772642e-05,2.860232e-05,2.887289e-05,2.943231e-05,2.993964e-05,3.021690e-05,3.092806e-05,3.095681e-05,3.165296e-05,3.184018e-05,3.230640e-05,3.267843e-05,3.291828e-05,3.344559e-05,3.348986e-05,3.402245e-05,3.414462e-05,3.451740e-05,3.477864e-05,3.497608e-05,3.535083e-05,3.539989e-05,3.579020e-05,3.586437e-05,3.614840e-05,3.632243e-05,3.647586e-05,3.672815e-05,3.677391e-05,3.704388e-05,3.708455e-05,3.728704e-05,3.739461e-05,3.750466e-05,3.766117e-05,3.769794e-05,3.786808e-05,3.788699e-05,3.801620e-05,3.807470e-05,3.814343e-05,3.822681e-05,3.825083e-05,3.833943e-05,3.834573e-05,3.841021e-05,3.843375e-05,3.846414e-05,3.849304e-05,3.850213e-05,3.852506e-05,3.852567e-05,3.853378e-05,3.853359e-05,3.852909e-05,3.851865e-05,3.851178e-05,3.848260e-05,3.844224e-05,3.842708e-05,3.839140e-05,3.835366e-05,3.833072e-05,3.826380e-05,3.826083e-05,3.818233e-05,3.815888e-05,3.809577e-05,3.804020e-05,3.800170e-05,3.790898e-05,3.790065e-05,3.779309e-05,3.776636e-05,3.767951e-05,3.761343e-05,3.756034e-05,3.745119e-05,3.743601e-05,3.730692e-05,3.728057e-05,3.717347e-05,3.710247e-05,3.703601e-05,3.691771e-05,3.689490e-05,3.675045e-05,3.672706e-05,3.660300e-05,3.653123e-05,3.645282e-05,3.633091e-05,3.630021e-05,3.614542e-05,3.612671e-05,3.598872e-05,3.591922e-05,3.583033e-05,3.570898e-05,3.567050e-05,3.550942e-05,3.549648e-05,3.534730e-05,3.528221e-05,3.518433e-05,3.506658e-05,3.502070e-05,3.485656e-05,3.484999e-05,3.469209e-05,3.463282e-05,3.452742e-05,3.441541e-05,3.436271e-05,3.419807e-05,3.398110e-05,3.376475e-05,3.354927e-05,3.333488e-05,3.312179e-05,3.291017e-05,3.270021e-05,3.249205e-05,3.228582e-05,3.208166e-05,3.187968e-05,3.167996e-05,3.148260e-05,3.128769e-05,3.109527e-05,3.090542e-05,3.071819e-05,3.053360e-05,3.035171e-05,3.017253e-05,2.999609e-05,2.982240e-05,2.965147e-05,2.948332e-05
0.000000e+00,5.530360e-09,1.259288e-08,4.299727e-08,9.762054e-08,1.425442e-07,3.266683e-07,3.367247e-07,6.657818e-07,7.885462e-07,1.176343e-06,1.583171e-06,1.895736e-06,2.726994e-06,2.805962e-06,3.871868e-06,4.147839e-06,5.068637e-06,5.790127e-06,6.381093e-06,7.622626e-06,7.797766e-06,9.307454e-06,9.619496e-06,1.089786e-05,1.175228e-05,1.255530e-05,1.398849e-05,1.426488e-05,1.601094e-05,1.629263e-05,1.777753e-05,1.862816e-05,1.954901e-05,2.095968e-05,2.131051e-05,2.304833e-05,2.325468e-05,2.475023e-05,2.548488e-05,2.640557e-05,2.762697e-05,2.800547e-05,2.954275e-05,2.966285e-05,3.101187e-05,3.157949e-05,3.240884e-05,3.336849e-05,3.373109e-05,3.497723e-05,3.502549e-05,3.614698e-05,3.654948e-05,3.724092e-05,3.794214e-05,3.826037e-05,3.920721e-05,4.008381e-05,4.034991e-05,4.089282e-05,4.137647e-05,4.163717e-05,4.229375e-05,4.231991e-05,4.294418e-05,4.310892e-05,4.351313e-05,4.382925e-05,4.402989e-05,4.446187e-05,4.449755e-05,4.491908e-05,4.501371e-05,4.529739e-05,4.549139e-05,4.563522e-05,4.590114e-05,4.593522e-05,4.619991e-05,4.624882e-05,4.643165e-05,4.653988e-05,4.663269e-05,4.677937e-05,4.680513e-05,4.695096e-05,4.697195e-05,4.707203e-05,4.712188e-05,4.717010e-05,4.723309e-05,4.724679e-05,4.730362e-05,4.730918e-05,4.734202e-05,4.735342e-05,4.736331e-05,4.736882e-05,4.736874e-05,4.735946e-05,4.735811e-05,4.733655e-05,4.732379e-05,4.730101e-05,4.726813e-05,4.725378e-05,4.719574e-05,4.719321e-05,4.712771e-05,4.710092e-05,4.705044e-05,4.699298e-05,4.696463e-05,4.687096e-05,4.677005e-05,4.673632e-05,4.666245e-05,4.659034e-05,4.654872e-05,4.643423e-05,4.642936e-05,4.630482e-05,4.626909e-05,4.617556e-05,4.609591e-05,4.604198e-05,4.591560e-05,4.590446e-05,4.576335e-05,4.572899e-05,4.561900e-05,4.553686e-05,4.547171e-05,4.533990e-05,4.532178e-05,4.516947e-05,4.513875e-05,4.501505e-05,4.493400e-05,4.485875e-05,4.472617e-05,4.470080e-05,4.454140e-05,4.451578e-05,4.438075e-05,4.430326e-05,4.421904e-05,4.408902e-05,4.405644e-05,4.389310e-05,4.387345e-05,4.372917e-05,4.365689e-05,4.356480e-05,4.343967e-05,4.340012e-05,4.323525e-05,4.322206e-05,4.307031e-05,4.300434e-05,4.290540e-05,4.278675e-05,4.274063e-05,4.257609e-05,4.256951e-05,4.241186e-05,4.235283e-05,4.224803e-05,4.213690e-05,4.208468e-05,4.192188e-05,4.170793e-05,4.149519e-05,4.128380e-05,4.107386e-05,4.086548e-05,4.065877e-05,4.045380e-05,4.025066e-05,4.004941e-05,3.985012e-05,3.965284e-05,3.945762e-05,3.926451e-05,3.907355e-05,3.888476e-05,3.869817e-05,3.851382e-05,3.833172e-05,3.815188e-05,3.797432e-05,3.779905e-05,3.762607e-05,3.745539e-05,3.728701e-05
0.000000e+00,6.558113e-09,1.498080e-08,5.147293e-08,1.174499e-07,1.718916e-07,3.953843e-07,4.075846e-07,8.057298e-07,9.539398e-07,1.424339e-06,1.929382e-06,2.331312e-06,3.478360e-06,3.593675e-06,5.251889e-06,5.708448e-06,7.291178e-06,8.575449e-06,9.643421e-06,1.190362e-05,1.222242e-05,1.495370e-05,1.551305e-05,1.778181e-05,1.927686e-05,2.066637e-05,2.311036e-05,2.357666e-05,2.648795e-05,2.695241e-05,2.937944e-05,3.075498e-05,3.223328e-05,3.447886e-05,3.503413e-05,3.776894e-05,3.809215e-05,4.042688e-05,4.156968e-05,4.299916e-05,4.489254e-05,4.547896e-05,4.786117e-05,4.804741e-05,5.014226e-05,5.102588e-05,5.232016e-05,5.382380e-05,5.439395e-05,5.636380e-05,5.644044e-05,5.823062e-05,5.887769e-05,5.999576e-05,6.113903e-05,6.166132e-05,6.322975e-05,6.470379e-05,6.515602e-05,6.608641e-05,6.692476e-05,6.738075e-05,6.854324e-05,6.859001e-05,6.971743e-05,7.001888e-05,7.076625e-05,7.135916e-05,7.173972e-05,7.257153e-05,7.264106e-05,7.347340e-05,7.366324e-05,7.423983e-05,7.464136e-05,7.494334e-05,7.551269e-05,7.558684e-05,7.617315e-05,7.628379e-05,7.670501e-05,7.696094e-05,7.718506e-05,7.755013e-05,7.761584e-05,7.799980e-05,7.805704e-05,7.833927e-05,7.848709e-05,7.863653e-05,7.884539e-05,7.889373e-05,7.911296e-05,7.913681e-05,7.929620e-05,7.936592e-05,7.944537e-05,7.953707e-05,7.956228e-05,7.964868e-05,7.965432e-05,7.970624e-05,7.972154e-05,7.973655e-05,7.974236e-05,7.974113e-05,7.972144e-05,7.972017e-05,7.967887e-05,7.965820e-05,7.961474e-05,7.955946e-05,7.953030e-05,7.942677e-05,7.930530e-05,7.926281e-05,7.916697e-05,7.907007e-05,7.901282e-05,7.885089e-05,7.884385e-05,7.866101e-05,7.860745e-05,7.846519e-05,7.834182e-05,7.825724e-05,7.805593e-05,7.803799e-05,7.780820e-05,7.775157e-05,7.756861e-05,7.743042e-05,7.731992e-05,7.709407e-05,7.706279e-05,7.679786e-05,7.674399e-05,7.652573e-05,7.638156e-05,7.624696e-05,7.600806e-05,7.596209e-05,7.567165e-05,7.562469e-05,7.537611e-05,7.523257e-05,7.507593e-05,7.483276e-05,7.477157e-05,7.446342e-05,7.442621e-05,7.415189e-05,7.401384e-05,7.383735e-05,7.359649e-05,7.352014e-05,7.320061e-05,7.317496e-05,7.287907e-05,7.274996e-05,7.255582e-05,7.232217e-05,7.223114e-05,7.190530e-05,7.189224e-05,7.157855e-05,7.146074e-05,7.125113e-05,7.102822e-05,7.092327e-05,7.059517e-05,7.016207e-05,6.972934e-05,6.929738e-05,6.886655e-05,6.843720e-05,6.800964e-05,6.758414e-05,6.716098e-05,6.674038e-05,6.632258e-05,6.590776e-05,6.549612e-05,6.508781e-05,6.468298e-05,6.428177e-05,6.388430e-05,6.349067e-05,6.310098e-05,6.271532e-05,6.233376e-05,6.195635e-05,6.158317e-05,6.121425e-05,6.084962e-05
0.000000e+00,8.397080e-09,1.889302e-08,6.279652e-08,1.386361e-07,1.989786e-07,4.328757e-07,4.451444e-07,8.254733e-07,9.591209e-07,1.362688e-06,1.769172e-06,2.077403e-06,2.900563e-06,2.979467e-06,4.055086e-06,4.335516e-06,5.271121e-06,6.000403e-06,6.593420e-06,7.823591e-06,7.995294e-06,9.456014e-06,9.753624e-06,1.095774e-05,1.174925e-05,1.248367e-05,1.377209e-05,1.401733e-05,1.554266e-05,1.578490e-05,1.704428e-05,1.775241e-05,1.850798e-05,1.964309e-05,1.992113e-05,2.127297e-05,2.143064e-05,2.255487e-05,2.309499e-05,2.376031e-05,2.462254e-05,2.488491e-05,2.592626e-05,2.600594e-05,2.688370e-05,2.724333e-05,2.775810e-05,2.833740e-05,2.855158e-05,2.926724e-05,2.929430e-05,2.990894e-05,3.012267e-05,3.048101e-05,3.083262e-05,3.098812e-05,3.143506e-05,3.182665e-05,3.194104e-05,3.216759e-05,3.236130e-05,3.246239e-05,3.270599e-05,3.271536e-05,3.293051e-05,3.298449e-05,3.311155e-05,3.320525e-05,3.326192e-05,3.337586e-05,3.338474e-05,3.348283e-05,3.350298e-05,3.355877e-05,3.359248e-05,3.361485e-05,3.364943e-05,3.365315e-05,3.367550e-05,3.367821e-05,3.368357e-05,3.368261e-05,3.367881e-05,3.366588e-05,3.366256e-05,3.363597e-05,3.363083e-05,3.360010e-05,3.357986e-05,3.355587e-05,3.351504e-05,3.350412e-05,3.344559e-05,3.343814e-05,3.338094e-05,3.335072e-05,3.331079e-05,3.325412e-05,3.323566e-05,3.315605e-05,3.314950e-05,3.307241e-05,3.303791e-05,3.298513e-05,3.292024e-05,3.289457e-05,3.280108e-05,3.279728e-05,3.270495e-05,3.266975e-05,3.260646e-05,3.253827e-05,3.250587e-05,3.240342e-05,3.229932e-05,3.226569e-05,3.219377e-05,3.212555e-05,3.208696e-05,3.198339e-05,3.197906e-05,3.187023e-05,3.183961e-05,3.176061e-05,3.169452e-05,3.165034e-05,3.154844e-05,3.153956e-05,3.142837e-05,3.140164e-05,3.131690e-05,3.125438e-05,3.120523e-05,3.110689e-05,3.109348e-05,3.098171e-05,3.095937e-05,3.087003e-05,3.081202e-05,3.075851e-05,3.066501e-05,3.064722e-05,3.053622e-05,3.051850e-05,3.042559e-05,3.037262e-05,3.031537e-05,3.022753e-05,3.020562e-05,3.009639e-05,3.008332e-05,2.998773e-05,2.994011e-05,2.987968e-05,2.979800e-05,2.977228e-05,2.966557e-05,2.965707e-05,2.955959e-05,2.951740e-05,2.945435e-05,2.937907e-05,2.934990e-05,2.924626e-05,2.924214e-05,2.914346e-05,2.910666e-05,2.904151e-05,2.897268e-05,2.894044e-05,2.884026e-05,2.870943e-05,2.858022e-05,2.845266e-05,2.832679e-05,2.820261e-05,2.808015e-05,2.795943e-05,2.784045e-05,2.772321e-05,2.760774e-05,2.749403e-05,2.738207e-05,2.727188e-05,2.716344e-05,2.705675e-05,2.695180e-05,2.684859e-05,2.674710e-05,2.664733e-05,2.654926e-05,2.645288e-05,2.635817e-05,2.626513e-05,2.617372e-05
0.000000e+00,1.392752e-08,3.176813e-08,1.086759e-07,2.464624e-07,3.591093e-07,8.131863e-07,8.376283e-07,1.619068e-06,1.903013e-06,2.784528e-06,3.704562e-06,4.421985e-06,6.421576e-06,6.619904e-06,9.447539e-06,1.022323e-05,1.292049e-05,1.512683e-05,1.697627e-05,2.093348e-05,2.149602e-05,2.635336e-05,2.735564e-05,3.144318e-05,3.415398e-05,3.668410e-05,4.115581e-05,4.201177e-05,4.737284e-05,4.823055e-05,5.272131e-05,5.527208e-05,5.801690e-05,6.219145e-05,6.322437e-05,6.831334e-05,6.891478e-05,7.325804e-05,7.538238e-05,7.803728e-05,8.154832e-05,8.263420e-05,8.703590e-05,8.737930e-05,9.123315e-05,9.285336e-05,9.521992e-05,9.795816e-05,9.899298e-05,1.025515e-04,1.026893e-04,1.058965e-04,1.070489e-04,1.090307e-04,1.110437e-04,1.119583e-04,1.146841e-04,1.172140e-04,1.179833e-04,1.195546e-04,1.209563e-04,1.217126e-04,1.236192e-04,1.236953e-04,1.255098e-04,1.259887e-04,1.271635e-04,1.280816e-04,1.286638e-04,1.299147e-04,1.300178e-04,1.312327e-04,1.315044e-04,1.323155e-04,1.328666e-04,1.332728e-04,1.340168e-04,1.341114e-04,1.348375e-04,1.349698e-04,1.354573e-04,1.357396e-04,1.359768e-04,1.363398e-04,1.364016e-04,1.367372e-04,1.367830e-04,1.369889e-04,1.370813e-04,1.371616e-04,1.372461e-04,1.372601e-04,1.372890e-04,1.372880e-04,1.372527e-04,1.372172e-04,1.371554e-04,1.370430e-04,1.370010e-04,1.367932e-04,1.367744e-04,1.365358e-04,1.364197e-04,1.362320e-04,1.359865e-04,1.358852e-04,1.354984e-04,1.354822e-04,1.350746e-04,1.349135e-04,1.346165e-04,1.342867e-04,1.341267e-04,1.336077e-04,1.330620e-04,1.328820e-04,1.324916e-04,1.321147e-04,1.318988e-04,1.313104e-04,1.312855e-04,1.306535e-04,1.304735e-04,1.300048e-04,1.296081e-04,1.293408e-04,1.287180e-04,1.286634e-04,1.279738e-04,1.278066e-04,1.272735e-04,1.268772e-04,1.265638e-04,1.259326e-04,1.258461e-04,1.251213e-04,1.249757e-04,1.243907e-04,1.240088e-04,1.236553e-04,1.230345e-04,1.229160e-04,1.221737e-04,1.220547e-04,1.214293e-04,1.210714e-04,1.206835e-04,1.200865e-04,1.199372e-04,1.191910e-04,1.191014e-04,1.184454e-04,1.181178e-04,1.177013e-04,1.171370e-04,1.169590e-04,1.162192e-04,1.161601e-04,1.154822e-04,1.151883e-04,1.147486e-04,1.142227e-04,1.140188e-04,1.132931e-04,1.132641e-04,1.125718e-04,1.123134e-04,1.118554e-04,1.113712e-04,1.111442e-04,1.104383e-04,1.095151e-04,1.086023e-04,1.077003e-04,1.068094e-04,1.059301e-04,1.050625e-04,1.042070e-04,1.033638e-04,1.025329e-04,1.017146e-04,1.009089e-04,1.001159e-04,9.933570e-05,9.856823e-05,9.781351e-05,9.707153e-05,9.634222e-05,9.562554e-05,9.492140e-05,9.422972e-05,9.355038e-05,9.288328e-05,9.222829e-05,9.158528e-05
0.000000e+00,3.870754e-09,8.831121e-09,3.020890e-08,6.844590e-08,9.963275e-08,2.246390e-07,2.313361e-07,4.438653e-07,5.203851e-07,7.558701e-07,9.987811e-07,1.186523e-06,1.703949e-06,1.754905e-06,2.477127e-06,2.674464e-06,3.360910e-06,3.925124e-06,4.401526e-06,5.435326e-06,5.584121e-06,6.890007e-06,7.164349e-06,8.300993e-06,9.070696e-06,9.800563e-06,1.111756e-05,1.137359e-05,1.300579e-05,1.327150e-05,1.468342e-05,1.550090e-05,1.639317e-05,1.777544e-05,1.812218e-05,1.985821e-05,2.006645e-05,2.158975e-05,2.234743e-05,2.330619e-05,2.459463e-05,2.499792e-05,2.665639e-05,2.678740e-05,2.827420e-05,2.890850e-05,2.984507e-05,3.094407e-05,3.136379e-05,3.282621e-05,3.288348e-05,3.422912e-05,3.471912e-05,3.557019e-05,3.644598e-05,3.684788e-05,3.806134e-05,3.921031e-05,3.956439e-05,4.029505e-05,4.095586e-05,4.131623e-05,4.223773e-05,4.227489e-05,4.317236e-05,4.341290e-05,4.401021e-05,4.448501e-05,4.479016e-05,4.545821e-05,4.551411e-05,4.618401e-05,4.633698e-05,4.680191e-05,4.712598e-05,4.736985e-05,4.782998e-05,4.788993e-05,4.836421e-05,4.845376e-05,4.879477e-05,4.900205e-05,4.918362e-05,4.947948e-05,4.953276e-05,4.984412e-05,4.989056e-05,5.011959e-05,5.023961e-05,5.036100e-05,5.053081e-05,5.057014e-05,5.074869e-05,5.076814e-05,5.089832e-05,5.095540e-05,5.102060e-05,5.109619e-05,5.111706e-05,5.118916e-05,5.119391e-05,5.123829e-05,5.125181e-05,5.126580e-05,5.127293e-05,5.127296e-05,5.126099e-05,5.126013e-05,5.123107e-05,5.121611e-05,5.118430e-05,5.114341e-05,5.112174e-05,5.104441e-05,5.095327e-05,5.092134e-05,5.084923e-05,5.077628e-05,5.073317e-05,5.061120e-05,5.060590e-05,5.046822e-05,5.042791e-05,5.032088e-05,5.022813e-05,5.016458e-05,5.001345e-05,4.999999e-05,4.982776e-05,4.978535e-05,4.964848e-05,4.954522e-05,4.946273e-05,4.929435e-05,4.927105e-05,4.907396e-05,4.903393e-05,4.887194e-05,4.876509e-05,4.866544e-05,4.848885e-05,4.845492e-05,4.824076e-05,4.820619e-05,4.802337e-05,4.791798e-05,4.780311e-05,4.762506e-05,4.758032e-05,4.735532e-05,4.732819e-05,4.712843e-05,4.702808e-05,4.689994e-05,4.672538e-05,4.667011e-05,4.643920e-05,4.642069e-05,4.620746e-05,4.611458e-05,4.597510e-05,4.580754e-05,4.574234e-05,4.550938e-05,4.550006e-05,4.527641e-05,4.519257e-05,4.504360e-05,4.488546e-05,4.481111e-05,4.457909e-05,4.427381e-05,4.396990e-05,4.366765e-05,4.336731e-05,4.306910e-05,4.277323e-05,4.247988e-05,4.218923e-05,4.190141e-05,4.161656e-05,4.133480e-05,4.105623e-05,4.078094e-05,4.050901e-05,4.024051e-05,3.997548e-05,3.971399e-05,3.945606e-05,3.920172e-05,3.895101e-05,3.870393e-05,3.846049e-05,3.822070e-05,3.798456e-05
0.000000e+00,4.484364e-09,1.024174e-08,3.511039e-08,7.970920e-08,1.161540e-07,2.626175e-07,2.704771e-07,5.203649e-07,6.105110e-07,8.883562e-07,1.175508e-06,1.397765e-06,2.011705e-06,2.072282e-06,2.933546e-06,3.169870e-06,3.995816e-06,4.679446e-06,5.259963e-06,6.528941e-06,6.712499e-06,8.331310e-06,8.672896e-06,1.009240e-05,1.105686e-05,1.197335e-05,1.363114e-05,1.395396e-05,1.601582e-05,1.635210e-05,1.814182e-05,1.918030e-05,2.031579e-05,2.207920e-05,2.252245e-05,2.474740e-05,2.501498e-05,2.697723e-05,2.795667e-05,2.919957e-05,3.087663e-05,3.140325e-05,3.357826e-05,3.375075e-05,3.571582e-05,3.655863e-05,3.780839e-05,3.928355e-05,3.984958e-05,4.183405e-05,4.191219e-05,4.375754e-05,4.443439e-05,4.561668e-05,4.684282e-05,4.740894e-05,4.913252e-05,5.078627e-05,5.130062e-05,5.236961e-05,5.334593e-05,5.388242e-05,5.526865e-05,5.532501e-05,5.669800e-05,5.707008e-05,5.800231e-05,5.875239e-05,5.923908e-05,6.031840e-05,6.040964e-05,6.151548e-05,6.177143e-05,6.255819e-05,6.311515e-05,6.353944e-05,6.435350e-05,6.446099e-05,6.532463e-05,6.549057e-05,6.613218e-05,6.653055e-05,6.688547e-05,6.747766e-05,6.758636e-05,6.823666e-05,6.833614e-05,6.883820e-05,6.911015e-05,6.939278e-05,6.980382e-05,6.990217e-05,7.036812e-05,7.042119e-05,7.079233e-05,7.096619e-05,7.117648e-05,7.144265e-05,7.152220e-05,7.183110e-05,7.185427e-05,7.210472e-05,7.220463e-05,7.234458e-05,7.249721e-05,7.255216e-05,7.272887e-05,7.273532e-05,7.287611e-05,7.292217e-05,7.299523e-05,7.306082e-05,7.308751e-05,7.315422e-05,7.319658e-05,7.320519e-05,7.321577e-05,7.321641e-05,7.321292e-05,7.319047e-05,7.318913e-05,7.314546e-05,7.312981e-05,7.308294e-05,7.303678e-05,7.300253e-05,7.291359e-05,7.290521e-05,7.279186e-05,7.276238e-05,7.266339e-05,7.258515e-05,7.252062e-05,7.238381e-05,7.236438e-05,7.219544e-05,7.216019e-05,7.201455e-05,7.191601e-05,7.182244e-05,7.165289e-05,7.161979e-05,7.140727e-05,7.137239e-05,7.118551e-05,7.107597e-05,7.095513e-05,7.076500e-05,7.071670e-05,7.047080e-05,7.044081e-05,7.021794e-05,7.010462e-05,6.995866e-05,6.975760e-05,6.969343e-05,6.942273e-05,6.940085e-05,6.914700e-05,6.903540e-05,6.886667e-05,6.866222e-05,6.858216e-05,6.829385e-05,6.828224e-05,6.800211e-05,6.789631e-05,6.770730e-05,6.750525e-05,6.740976e-05,6.710981e-05,6.671070e-05,6.630859e-05,6.590411e-05,6.549784e-05,6.509033e-05,6.468207e-05,6.427355e-05,6.386521e-05,6.345745e-05,6.305065e-05,6.264518e-05,6.224135e-05,6.183946e-05,6.143980e-05,6.104261e-05,6.064813e-05,6.025658e-05,5.986816e-05,5.948303e-05,5.910137e-05,5.872331e-05,5.834900e-05,5.797854e-05,5.761205e-05
0.000000e+00,2.149872e-09,4.865259e-09,1.639665e-08,3.676768e-08,5.330612e-08,1.197484e-07,1.233279e-07,2.384721e-07,2.807207e-07,4.133091e-07,5.536234e-07,6.639359e-07,9.718325e-07,1.002174e-06,1.425043e-06,1.537037e-06,1.911493e-06,2.201368e-06,2.434313e-06,2.907155e-06,2.971935e-06,3.510615e-06,3.617681e-06,4.042029e-06,4.313648e-06,4.560838e-06,4.984074e-06,5.063220e-06,5.546154e-06,5.621446e-06,6.007138e-06,6.219993e-06,6.444116e-06,6.775321e-06,6.855485e-06,7.240118e-06,7.284442e-06,7.597366e-06,7.745817e-06,7.927048e-06,8.159304e-06,8.229405e-06,8.505053e-06,8.525977e-06,8.754913e-06,8.847890e-06,8.980146e-06,9.127806e-06,9.182082e-06,9.362166e-06,9.368936e-06,9.521901e-06,9.574716e-06,9.662803e-06,9.748625e-06,9.786369e-06,9.894049e-06,9.987224e-06,1.001419e-05,1.006719e-05,1.011201e-05,1.013518e-05,1.019020e-05,1.019229e-05,1.023956e-05,1.025116e-05,1.027793e-05,1.029704e-05,1.030826e-05,1.032972e-05,1.033131e-05,1.034779e-05,1.035084e-05,1.035832e-05,1.036183e-05,1.036347e-05,1.036395e-05,1.036374e-05,1.035960e-05,1.035828e-05,1.035145e-05,1.034575e-05,1.033966e-05,1.032719e-05,1.032457e-05,1.030647e-05,1.030331e-05,1.028563e-05,1.027473e-05,1.026230e-05,1.024199e-05,1.023669e-05,1.020902e-05,1.020557e-05,1.017945e-05,1.016589e-05,1.014817e-05,1.012333e-05,1.011530e-05,1.008101e-05,1.007821e-05,1.004540e-05,1.003082e-05,1.000860e-05,9.981432e-06,9.970722e-06,9.931853e-06,9.930279e-06,9.892088e-06,9.877569e-06,9.851511e-06,9.823495e-06,9.810200e-06,9.768228e-06,9.725661e-06,9.711924e-06,9.682561e-06,9.654725e-06,9.638987e-06,9.596760e-06,9.594993e-06,9.550629e-06,9.538147e-06,9.505942e-06,9.478994e-06,9.460977e-06,9.419399e-06,9.415776e-06,9.370375e-06,9.359454e-06,9.324813e-06,9.299239e-06,9.279121e-06,9.238832e-06,9.233333e-06,9.187477e-06,9.178300e-06,9.141582e-06,9.117710e-06,9.095674e-06,9.057118e-06,9.049777e-06,9.003914e-06,8.996580e-06,8.958106e-06,8.936144e-06,8.912375e-06,8.875857e-06,8.866738e-06,8.821214e-06,8.815760e-06,8.775820e-06,8.755891e-06,8.730570e-06,8.696286e-06,8.685479e-06,8.640562e-06,8.636976e-06,8.595830e-06,8.577992e-06,8.551296e-06,8.519360e-06,8.506970e-06,8.462864e-06,8.461105e-06,8.418987e-06,8.403249e-06,8.375347e-06,8.345813e-06,8.331954e-06,8.288815e-06,8.232272e-06,8.176199e-06,8.120611e-06,8.065518e-06,8.010932e-06,7.956862e-06,7.903317e-06,7.850304e-06,7.797830e-06,7.745900e-06,7.694518e-06,7.643689e-06,7.593415e-06,7.543699e-06,7.494543e-06,7.445946e-06,7.397911e-06,7.350436e-06,7.303522e-06,7.257167e-06,7.211370e-06,7.166129e-06,7.121442e-06,7.077306e-06
0.000000e+00,4.764337e-09,1.083542e-08,3.680479e-08,8.279458e-08,1.199988e-07,2.671136e-07,2.749179e-07,5.192308e-07,6.057713e-07,8.680152e-07,1.132791e-06,1.333904e-06,1.874629e-06,1.926935e-06,2.653835e-06,2.848546e-06,3.516390e-06,4.056985e-06,4.509120e-06,5.479581e-06,5.618185e-06,6.823650e-06,7.074378e-06,8.103604e-06,8.791570e-06,9.437027e-06,1.058431e-05,1.080471e-05,1.218926e-05,1.241128e-05,1.357500e-05,1.423641e-05,1.494793e-05,1.602870e-05,1.629571e-05,1.760775e-05,1.776236e-05,1.887522e-05,1.941688e-05,2.009096e-05,2.097688e-05,2.124946e-05,2.234672e-05,2.243176e-05,2.338006e-05,2.377514e-05,2.434802e-05,2.500417e-05,2.525013e-05,2.608679e-05,2.611891e-05,2.685909e-05,2.712166e-05,2.756866e-05,2.801637e-05,2.821756e-05,2.880816e-05,2.934307e-05,2.950291e-05,2.982500e-05,3.010693e-05,3.025677e-05,3.062671e-05,3.064122e-05,3.098116e-05,3.106874e-05,3.127936e-05,3.143937e-05,3.153852e-05,3.174470e-05,3.176123e-05,3.195000e-05,3.199053e-05,3.210723e-05,3.218235e-05,3.223518e-05,3.232527e-05,3.233601e-05,3.241177e-05,3.242408e-05,3.246437e-05,3.248318e-05,3.249563e-05,3.250665e-05,3.250726e-05,3.250085e-05,3.249825e-05,3.247789e-05,3.246141e-05,3.243978e-05,3.239926e-05,3.238781e-05,3.232320e-05,3.231465e-05,3.224708e-05,3.221021e-05,3.216049e-05,3.208830e-05,3.206443e-05,3.195981e-05,3.195110e-05,3.184747e-05,3.180055e-05,3.172819e-05,3.163843e-05,3.160272e-05,3.147171e-05,3.146637e-05,3.133582e-05,3.128581e-05,3.119560e-05,3.109807e-05,3.105162e-05,3.090435e-05,3.075426e-05,3.070571e-05,3.060179e-05,3.050313e-05,3.044731e-05,3.029747e-05,3.029120e-05,3.013378e-05,3.008951e-05,2.997537e-05,2.987996e-05,2.981625e-05,2.966945e-05,2.965667e-05,2.949688e-05,2.945853e-05,2.933710e-05,2.924771e-05,2.917753e-05,2.903743e-05,2.901835e-05,2.885973e-05,2.882808e-05,2.870182e-05,2.862003e-05,2.854476e-05,2.841358e-05,2.838868e-05,2.823369e-05,2.820900e-05,2.807990e-05,2.800653e-05,2.792739e-05,2.780638e-05,2.777627e-05,2.762659e-05,2.760873e-05,2.747843e-05,2.741373e-05,2.733184e-05,2.722152e-05,2.718689e-05,2.704360e-05,2.703221e-05,2.690204e-05,2.684590e-05,2.676222e-05,2.666266e-05,2.662419e-05,2.648796e-05,2.648254e-05,2.635355e-05,2.630561e-05,2.622099e-05,2.613190e-05,2.609028e-05,2.596144e-05,2.579423e-05,2.563029e-05,2.546962e-05,2.531220e-05,2.515803e-05,2.500708e-05,2.485933e-05,2.471475e-05,2.457330e-05,2.443496e-05,2.429968e-05,2.416742e-05,2.403814e-05,2.391179e-05,2.378833e-05,2.366770e-05,2.354986e-05,2.343476e-05,2.332235e-05,2.321258e-05,2.310539e-05,2.300074e-05,2.289856e-05,2.279882e-05
0.000000e+00,8.817659e-09,2.018661e-08,6.965987e-08,1.595280e-07,2.339186e-07,5.406764e-07,5.574734e-07,1.108088e-06,1.314190e-06,1.971944e-06,2.683116e-06,3.251505e-06,4.875783e-06,5.038712e-06,7.363821e-06,7.997576e-06,1.017724e-05,1.193408e-05,1.339332e-05,1.649400e-05,1.693386e-05,2.073907e-05,2.152767e-05,2.476306e-05,2.692920e-05,2.896787e-05,3.261484e-05,3.331968e-05,3.778690e-05,3.851035e-05,4.233956e-05,4.454677e-05,4.694923e-05,5.066006e-05,5.158929e-05,5.623521e-05,5.679204e-05,6.086477e-05,6.289142e-05,6.545822e-05,6.891438e-05,6.999830e-05,7.447021e-05,7.482463e-05,7.886149e-05,8.059302e-05,8.316171e-05,8.619669e-05,8.736247e-05,9.145713e-05,9.161864e-05,9.544046e-05,9.684641e-05,9.930853e-05,1.018716e-04,1.030586e-04,1.066889e-04,1.101985e-04,1.112960e-04,1.135870e-04,1.156922e-04,1.168546e-04,1.198787e-04,1.200023e-04,1.230312e-04,1.238581e-04,1.259426e-04,1.276338e-04,1.287383e-04,1.312099e-04,1.314203e-04,1.339906e-04,1.345911e-04,1.364514e-04,1.377826e-04,1.388052e-04,1.407898e-04,1.410542e-04,1.432009e-04,1.436182e-04,1.452479e-04,1.462738e-04,1.471977e-04,1.487622e-04,1.490528e-04,1.508157e-04,1.510894e-04,1.524891e-04,1.532612e-04,1.540754e-04,1.552835e-04,1.555772e-04,1.569970e-04,1.571619e-04,1.583372e-04,1.589023e-04,1.596002e-04,1.605100e-04,1.607886e-04,1.619045e-04,1.619908e-04,1.629505e-04,1.633498e-04,1.639287e-04,1.645924e-04,1.648415e-04,1.656909e-04,1.657236e-04,1.664792e-04,1.667485e-04,1.672085e-04,1.676718e-04,1.678809e-04,1.684983e-04,1.690627e-04,1.692325e-04,1.695761e-04,1.698788e-04,1.700404e-04,1.704416e-04,1.704574e-04,1.708288e-04,1.709249e-04,1.711564e-04,1.713327e-04,1.714420e-04,1.716689e-04,1.716871e-04,1.718934e-04,1.719373e-04,1.720624e-04,1.721413e-04,1.721956e-04,1.722845e-04,1.722946e-04,1.723607e-04,1.723701e-04,1.723954e-04,1.724014e-04,1.724000e-04,1.723815e-04,1.723757e-04,1.723240e-04,1.723132e-04,1.722459e-04,1.721995e-04,1.721428e-04,1.720429e-04,1.720157e-04,1.718657e-04,1.718463e-04,1.716941e-04,1.716119e-04,1.715017e-04,1.713423e-04,1.712897e-04,1.710590e-04,1.710398e-04,1.708106e-04,1.707064e-04,1.705453e-04,1.703444e-04,1.702641e-04,1.699678e-04,1.699557e-04,1.696573e-04,1.695422e-04,1.693334e-04,1.691058e-04,1.689967e-04,1.686481e-04,1.681710e-04,1.676759e-04,1.671643e-04,1.666378e-04,1.660976e-04,1.655450e-04,1.649814e-04,1.644078e-04,1.638254e-04,1.632353e-04,1.626384e-04,1.620357e-04,1.614281e-04,1.608164e-04,1.602014e-04,1.595840e-04,1.589647e-04,1.583444e-04,1.577236e-04,1.571028e-04,1.564828e-04,1.558640e-04,1.552468e-04,1.546319e-04
0.000000e+00,2.451519e-09,5.605401e-09,1.926485e-08,4.384672e-08,6.399081e-08,1.453181e-07,1.496967e-07,2.895447e-07,3.402652e-07,4.973578e-07,6.606945e-07,7.875834e-07,1.138563e-06,1.173129e-06,1.660804e-06,1.793066e-06,2.249782e-06,2.622207e-06,2.935560e-06,3.615332e-06,3.713384e-06,4.578872e-06,4.762104e-06,5.527560e-06,6.052136e-06,6.554479e-06,7.473411e-06,7.653944e-06,8.819527e-06,9.011691e-06,1.004414e-05,1.065071e-05,1.132019e-05,1.237275e-05,1.263976e-05,1.399480e-05,1.415941e-05,1.537732e-05,1.599231e-05,1.677952e-05,1.785376e-05,1.819396e-05,1.961366e-05,1.972727e-05,2.103217e-05,2.159789e-05,2.244359e-05,2.345245e-05,2.384266e-05,2.522472e-05,2.527959e-05,2.658570e-05,2.706980e-05,2.792209e-05,2.881527e-05,2.923095e-05,3.050981e-05,3.175666e-05,3.214862e-05,3.296990e-05,3.372816e-05,3.414831e-05,3.524597e-05,3.529099e-05,3.639730e-05,3.670049e-05,3.746687e-05,3.809091e-05,3.849955e-05,3.941705e-05,3.949536e-05,4.045448e-05,4.067924e-05,4.137722e-05,4.187821e-05,4.226400e-05,4.301502e-05,4.311533e-05,4.393181e-05,4.409097e-05,4.471407e-05,4.510757e-05,4.546284e-05,4.606644e-05,4.617883e-05,4.686282e-05,4.696934e-05,4.751559e-05,4.781807e-05,4.813796e-05,4.861451e-05,4.873073e-05,4.929474e-05,4.936052e-05,4.983079e-05,5.005801e-05,5.033972e-05,5.070886e-05,5.082233e-05,5.127944e-05,5.131493e-05,5.171185e-05,5.187807e-05,5.212034e-05,5.240008e-05,5.250569e-05,5.286866e-05,5.288273e-05,5.321001e-05,5.332774e-05,5.353047e-05,5.373682e-05,5.383076e-05,5.411158e-05,5.437361e-05,5.445361e-05,5.461755e-05,5.476446e-05,5.484402e-05,5.504561e-05,5.505368e-05,5.524715e-05,5.529850e-05,5.542503e-05,5.552452e-05,5.558791e-05,5.572501e-05,5.573637e-05,5.587096e-05,5.590126e-05,5.599222e-05,5.605450e-05,5.610068e-05,5.618594e-05,5.619684e-05,5.628121e-05,5.629671e-05,5.635426e-05,5.638793e-05,5.641646e-05,5.646065e-05,5.646825e-05,5.651008e-05,5.651588e-05,5.654237e-05,5.655460e-05,5.656553e-05,5.657774e-05,5.657995e-05,5.658601e-05,5.658620e-05,5.658410e-05,5.658082e-05,5.657456e-05,5.656242e-05,5.655774e-05,5.653398e-05,5.653179e-05,5.650360e-05,5.648967e-05,5.646692e-05,5.643678e-05,5.642424e-05,5.637584e-05,5.637379e-05,5.632202e-05,5.630136e-05,5.626303e-05,5.622011e-05,5.619915e-05,5.613062e-05,5.603347e-05,5.592918e-05,5.581828e-05,5.570124e-05,5.557853e-05,5.545059e-05,5.531784e-05,5.518068e-05,5.503948e-05,5.489461e-05,5.474640e-05,5.459518e-05,5.444125e-05,5.428490e-05,5.412641e-05,5.396604e-05,5.380403e-05,5.364062e-05,5.347602e-05,5.331044e-05,5.314408e-05,5.297712e-05,5.280974e-05,5.264210e-05
0.000000e+00,5.560286e-09,1.270919e-08,4.363823e-08,9.919755e-08,1.446429e-07,3.274334e-07,3.372453e-07,6.491573e-07,7.616190e-07,1.107934e-06,1.465267e-06,1.741381e-06,2.501589e-06,2.576368e-06,3.634155e-06,3.922488e-06,4.923737e-06,5.745943e-06,6.440867e-06,7.955244e-06,8.174240e-06,1.011093e-05,1.052152e-05,1.223789e-05,1.341468e-05,1.454168e-05,1.660299e-05,1.700786e-05,1.962076e-05,2.005134e-05,2.236356e-05,2.372103e-05,2.521843e-05,2.757065e-05,2.816695e-05,3.119048e-05,3.155746e-05,3.427050e-05,3.563895e-05,3.738905e-05,3.977431e-05,4.052895e-05,4.367413e-05,4.392552e-05,4.680972e-05,4.805820e-05,4.992223e-05,5.214211e-05,5.299958e-05,5.603113e-05,5.615131e-05,5.900764e-05,6.006416e-05,6.192123e-05,6.386310e-05,6.476527e-05,6.753433e-05,7.022405e-05,7.106742e-05,7.283102e-05,7.445487e-05,7.535274e-05,7.769173e-05,7.778743e-05,8.013402e-05,8.077519e-05,8.239199e-05,8.370421e-05,8.456134e-05,8.647923e-05,8.664249e-05,8.863622e-05,8.910183e-05,9.054362e-05,9.157454e-05,9.236602e-05,9.390063e-05,9.410495e-05,9.576211e-05,9.608389e-05,9.733934e-05,9.812855e-05,9.883858e-05,1.000391e-04,1.002618e-04,1.016112e-04,1.018204e-04,1.028888e-04,1.034771e-04,1.040967e-04,1.050143e-04,1.052371e-04,1.063121e-04,1.064368e-04,1.073239e-04,1.077496e-04,1.082746e-04,1.089574e-04,1.091662e-04,1.100008e-04,1.100651e-04,1.107804e-04,1.110773e-04,1.115071e-04,1.119986e-04,1.121827e-04,1.128092e-04,1.128333e-04,1.133885e-04,1.135858e-04,1.139222e-04,1.142601e-04,1.144123e-04,1.148604e-04,1.152683e-04,1.153905e-04,1.156374e-04,1.158542e-04,1.159695e-04,1.162549e-04,1.162661e-04,1.165286e-04,1.165962e-04,1.167585e-04,1.168813e-04,1.169572e-04,1.171135e-04,1.171260e-04,1.172663e-04,1.172958e-04,1.173793e-04,1.174311e-04,1.174663e-04,1.175222e-04,1.175284e-04,1.175668e-04,1.175717e-04,1.175826e-04,1.175822e-04,1.175769e-04,1.175562e-04,1.175506e-04,1.175049e-04,1.174958e-04,1.174406e-04,1.174035e-04,1.173587e-04,1.172811e-04,1.172601e-04,1.171456e-04,1.171308e-04,1.170161e-04,1.169545e-04,1.168723e-04,1.167540e-04,1.167151e-04,1.165451e-04,1.165309e-04,1.163631e-04,1.162870e-04,1.161697e-04,1.160238e-04,1.159657e-04,1.157516e-04,1.157428e-04,1.155280e-04,1.154454e-04,1.152956e-04,1.151328e-04,1.150549e-04,1.148065e-04,1.144675e-04,1.141169e-04,1.137560e-04,1.133856e-04,1.130068e-04,1.126203e-04,1.122272e-04,1.118281e-04,1.114239e-04,1.110153e-04,1.106028e-04,1.101872e-04,1.097691e-04,1.093490e-04,1.089275e-04,1.085049e-04,1.080819e-04,1.076588e-04,1.072360e-04,1.068139e-04,1.063928e-04,1.059731e-04,1.055551e-04,1.051391e-04
0.000000e+00,5.428860e-09,1.236923e-08,4.227869e-08,9.604389e-08,1.402494e-07,3.210337e-07,3.308848e-07,6.520404e-07,7.715431e-07,1.150914e-06,1.558310e-06,1.882353e-06,2.803664e-06,2.895817e-06,4.205903e-06,4.560728e-06,5.768858e-06,6.724642e-06,7.504038e-06,9.113178e-06,9.336209e-06,1.121256e-05,1.158988e-05,1.309879e-05,1.407557e-05,1.497175e-05,1.652228e-05,1.681452e-05,1.861389e-05,1.889702e-05,2.035927e-05,2.117531e-05,2.204217e-05,2.333904e-05,2.365603e-05,2.519601e-05,2.537567e-05,2.665890e-05,2.727765e-05,2.804295e-05,2.904172e-05,2.934762e-05,3.057345e-05,3.066814e-05,3.172183e-05,3.215993e-05,3.279482e-05,3.352211e-05,3.379498e-05,3.472526e-05,3.476106e-05,3.558882e-05,3.588400e-05,3.638897e-05,3.689857e-05,3.712908e-05,3.781252e-05,3.844261e-05,3.863349e-05,3.902256e-05,3.936886e-05,3.955549e-05,4.002563e-05,4.004438e-05,4.049206e-05,4.061040e-05,4.090125e-05,4.112934e-05,4.127447e-05,4.158815e-05,4.161414e-05,4.192251e-05,4.199209e-05,4.220168e-05,4.234602e-05,4.245366e-05,4.265436e-05,4.268028e-05,4.288328e-05,4.292119e-05,4.306427e-05,4.315020e-05,4.322477e-05,4.334479e-05,4.336619e-05,4.348983e-05,4.350805e-05,4.359693e-05,4.364279e-05,4.368862e-05,4.375159e-05,4.376596e-05,4.382994e-05,4.383676e-05,4.388148e-05,4.390044e-05,4.392144e-05,4.394457e-05,4.395063e-05,4.396979e-05,4.397091e-05,4.397962e-05,4.398109e-05,4.398077e-05,4.397657e-05,4.397385e-05,4.395942e-05,4.395869e-05,4.393801e-05,4.392870e-05,4.391013e-05,4.388770e-05,4.387622e-05,4.383672e-05,4.379204e-05,4.377671e-05,4.374256e-05,4.370853e-05,4.368862e-05,4.363296e-05,4.363056e-05,4.356869e-05,4.355073e-05,4.350330e-05,4.346249e-05,4.343466e-05,4.336886e-05,4.336303e-05,4.328863e-05,4.327039e-05,4.321171e-05,4.316760e-05,4.313246e-05,4.306095e-05,4.305108e-05,4.296777e-05,4.295089e-05,4.288269e-05,4.283780e-05,4.279600e-05,4.272206e-05,4.270786e-05,4.261842e-05,4.260399e-05,4.252780e-05,4.248393e-05,4.243614e-05,4.236214e-05,4.234355e-05,4.225015e-05,4.223889e-05,4.215604e-05,4.211443e-05,4.206132e-05,4.198899e-05,4.196609e-05,4.187043e-05,4.186276e-05,4.177442e-05,4.173594e-05,4.167815e-05,4.160871e-05,4.158168e-05,4.148509e-05,4.148122e-05,4.138843e-05,4.135363e-05,4.129177e-05,4.122608e-05,4.119517e-05,4.109868e-05,4.097157e-05,4.084484e-05,4.071860e-05,4.059293e-05,4.046793e-05,4.034366e-05,4.022019e-05,4.009760e-05,3.997594e-05,3.985526e-05,3.973562e-05,3.961705e-05,3.949959e-05,3.938329e-05,3.926818e-05,3.915427e-05,3.904161e-05,3.893021e-05,3.882009e-05,3.871128e-05,3.860378e-05,3.849761e-05,3.839277e-05,3.828929e-05
0.000000e+00,2.460845e-08,5.581678e-08,1.886154e-07,4.225900e-07,6.113499e-07,1.356446e-06,1.395969e-06,2.635443e-06,3.075948e-06,4.416537e-06,5.779166e-06,6.820159e-06,9.642506e-06,9.917176e-06,1.376012e-05,1.479681e-05,1.837273e-05,2.128826e-05,2.374024e-05,2.904223e-05,2.980353e-05,3.645916e-05,3.784947e-05,4.356567e-05,4.738416e-05,5.095519e-05,5.724982e-05,5.844831e-05,6.586970e-05,6.703962e-05,7.306234e-05,7.639461e-05,7.989794e-05,8.504494e-05,8.628240e-05,9.215589e-05,9.282468e-05,9.748871e-05,9.966168e-05,1.022751e-04,1.055537e-04,1.065263e-04,1.102652e-04,1.105430e-04,1.135215e-04,1.146962e-04,1.163285e-04,1.180909e-04,1.187211e-04,1.207341e-04,1.208072e-04,1.224015e-04,1.229233e-04,1.237554e-04,1.245127e-04,1.248264e-04,1.256429e-04,1.262312e-04,1.263752e-04,1.266153e-04,1.267644e-04,1.268176e-04,1.268593e-04,1.268580e-04,1.267552e-04,1.267030e-04,1.265256e-04,1.263333e-04,1.261843e-04,1.257835e-04,1.257451e-04,1.252201e-04,1.250826e-04,1.246204e-04,1.242558e-04,1.239560e-04,1.233250e-04,1.232359e-04,1.224679e-04,1.223092e-04,1.216593e-04,1.212250e-04,1.208166e-04,1.200866e-04,1.199455e-04,1.190512e-04,1.189063e-04,1.181382e-04,1.176946e-04,1.172107e-04,1.164607e-04,1.162723e-04,1.153262e-04,1.152123e-04,1.143755e-04,1.139563e-04,1.134225e-04,1.126982e-04,1.124697e-04,1.115189e-04,1.114430e-04,1.105721e-04,1.101948e-04,1.096307e-04,1.089570e-04,1.086961e-04,1.077695e-04,1.077327e-04,1.068520e-04,1.065241e-04,1.059445e-04,1.053335e-04,1.050478e-04,1.041625e-04,1.032892e-04,1.030123e-04,1.024283e-04,1.018842e-04,1.015804e-04,1.007788e-04,1.007457e-04,9.992451e-05,9.969702e-05,9.911702e-05,9.863917e-05,9.832339e-05,9.760560e-05,9.754374e-05,9.677814e-05,9.659650e-05,9.602664e-05,9.561194e-05,9.528921e-05,9.465192e-05,9.456585e-05,9.385650e-05,9.371631e-05,9.316109e-05,9.280495e-05,9.247951e-05,9.191760e-05,9.181166e-05,9.115742e-05,9.105400e-05,9.051664e-05,9.021380e-05,8.988916e-05,8.939666e-05,8.927483e-05,8.867348e-05,8.860218e-05,8.808491e-05,8.782995e-05,8.750896e-05,8.707954e-05,8.694542e-05,8.639410e-05,8.635051e-05,8.585480e-05,8.564240e-05,8.532733e-05,8.495475e-05,8.481147e-05,8.430702e-05,8.428708e-05,8.381378e-05,8.363892e-05,8.333154e-05,8.300979e-05,8.286009e-05,8.239922e-05,8.180674e-05,8.123188e-05,8.067417e-05,8.013315e-05,7.960837e-05,7.909938e-05,7.860574e-05,7.812702e-05,7.766280e-05,7.721265e-05,7.677618e-05,7.635298e-05,7.594266e-05,7.554485e-05,7.515918e-05,7.478527e-05,7.442278e-05,7.407137e-05,7.373070e-05,7.340044e-05,7.308028e-05,7.276991e-05,7.246903e-05,7.217734e-05
0.000000e+00,5.727543e-09,1.309639e-08,4.526290e-08,1.044876e-07,1.543967e-07,3.685956e-07,3.806950e-07,7.955690e-07,9.586229e-07,1.498860e-06,2.103077e-06,2.590675e-06,3.962818e-06,4.097249e-06,5.942160e-06,6.422907e-06,8.017537e-06,9.248467e-06,1.024135e-05,1.227945e-05,1.256180e-05,1.494591e-05,1.542822e-05,1.737038e-05,1.864075e-05,1.981656e-05,2.187622e-05,2.226824e-05,2.471058e-05,2.509955e-05,2.712990e-05,2.827930e-05,2.951377e-05,3.138783e-05,3.185108e-05,3.413221e-05,3.440176e-05,3.634885e-05,3.730195e-05,3.849432e-05,4.007418e-05,4.056367e-05,4.255323e-05,4.270887e-05,4.446049e-05,4.520000e-05,4.628405e-05,4.754489e-05,4.802344e-05,4.967890e-05,4.974338e-05,5.125133e-05,5.179733e-05,5.274209e-05,5.370993e-05,5.415277e-05,5.548567e-05,5.674306e-05,5.712989e-05,5.792744e-05,5.864829e-05,5.904134e-05,6.004678e-05,6.008735e-05,6.106811e-05,6.133140e-05,6.198627e-05,6.250819e-05,6.284441e-05,6.358310e-05,6.364511e-05,6.439086e-05,6.456194e-05,6.508412e-05,6.545030e-05,6.572726e-05,6.625359e-05,6.632258e-05,6.687230e-05,6.697697e-05,6.737858e-05,6.762535e-05,6.784346e-05,6.820342e-05,6.826893e-05,6.865690e-05,6.871562e-05,6.900920e-05,6.916614e-05,6.932757e-05,6.955897e-05,6.961369e-05,6.986917e-05,6.989784e-05,7.009554e-05,7.018630e-05,7.029427e-05,7.042768e-05,7.046676e-05,7.061435e-05,7.062512e-05,7.073831e-05,7.078156e-05,7.083987e-05,7.089978e-05,7.092019e-05,7.098038e-05,7.098239e-05,7.102150e-05,7.103183e-05,7.104456e-05,7.105042e-05,7.105052e-05,7.104030e-05,7.101477e-05,7.100350e-05,7.097477e-05,7.094194e-05,7.092108e-05,7.085738e-05,7.085448e-05,7.077567e-05,7.075151e-05,7.068534e-05,7.062588e-05,7.058414e-05,7.048199e-05,7.047271e-05,7.035162e-05,7.032119e-05,7.022145e-05,7.014479e-05,7.008273e-05,6.995399e-05,6.993597e-05,6.978166e-05,6.974994e-05,6.962027e-05,6.953369e-05,6.945223e-05,6.930624e-05,6.927796e-05,6.909787e-05,6.906854e-05,6.891233e-05,6.882144e-05,6.872170e-05,6.856578e-05,6.852634e-05,6.832657e-05,6.830231e-05,6.812269e-05,6.803177e-05,6.791502e-05,6.775481e-05,6.770382e-05,6.748937e-05,6.747208e-05,6.727193e-05,6.718417e-05,6.705173e-05,6.689162e-05,6.682902e-05,6.660400e-05,6.659495e-05,6.637689e-05,6.629466e-05,6.614789e-05,6.599118e-05,6.591718e-05,6.568495e-05,6.537636e-05,6.506579e-05,6.475358e-05,6.444005e-05,6.412551e-05,6.381024e-05,6.349450e-05,6.317854e-05,6.286260e-05,6.254688e-05,6.223158e-05,6.191690e-05,6.160300e-05,6.129005e-05,6.097819e-05,6.066757e-05,6.035831e-05,6.005053e-05,5.974435e-05,5.943987e-05,5.913717e-05,5.883636e-05,5.853750e-05,5.824067e-05
0.000000e+00,4.839823e-09,1.104128e-08,3.788842e-08,8.656738e-08,1.269583e-07,2.952592e-07,3.045643e-07,6.145197e-07,7.327464e-07,1.116221e-06,1.538116e-06,1.878167e-06,2.850492e-06,2.947456e-06,4.309064e-06,4.671974e-06,5.892121e-06,6.845302e-06,7.617949e-06,9.207474e-06,9.427627e-06,1.128219e-05,1.165603e-05,1.315549e-05,1.413056e-05,1.502866e-05,1.659114e-05,1.688694e-05,1.871812e-05,1.900788e-05,2.051191e-05,2.135704e-05,2.225960e-05,2.361964e-05,2.395394e-05,2.558913e-05,2.578116e-05,2.716074e-05,2.783124e-05,2.866557e-05,2.976325e-05,3.010152e-05,3.146744e-05,3.157367e-05,3.276308e-05,3.326173e-05,3.398888e-05,3.482875e-05,3.514583e-05,3.623537e-05,3.627757e-05,3.725927e-05,3.761220e-05,3.821958e-05,3.883738e-05,3.911850e-05,3.995836e-05,4.074156e-05,4.098062e-05,4.147054e-05,4.190974e-05,4.214771e-05,4.275130e-05,4.277549e-05,4.335622e-05,4.351071e-05,4.389221e-05,4.419326e-05,4.438570e-05,4.480401e-05,4.483883e-05,4.525368e-05,4.534778e-05,4.563227e-05,4.582915e-05,4.597650e-05,4.625246e-05,4.628820e-05,4.656914e-05,4.662179e-05,4.682099e-05,4.694098e-05,4.704533e-05,4.721365e-05,4.724370e-05,4.741754e-05,4.744317e-05,4.756821e-05,4.763270e-05,4.769704e-05,4.778520e-05,4.780525e-05,4.789404e-05,4.790344e-05,4.796452e-05,4.799000e-05,4.801775e-05,4.804729e-05,4.805474e-05,4.807644e-05,4.807754e-05,4.808376e-05,4.808285e-05,4.807756e-05,4.806518e-05,4.805864e-05,4.802779e-05,4.802632e-05,4.798574e-05,4.796798e-05,4.793316e-05,4.789173e-05,4.787072e-05,4.779904e-05,4.771870e-05,4.769126e-05,4.763026e-05,4.756966e-05,4.753425e-05,4.743542e-05,4.743117e-05,4.732148e-05,4.728964e-05,4.720563e-05,4.713334e-05,4.708404e-05,4.696747e-05,4.695713e-05,4.682525e-05,4.679290e-05,4.668877e-05,4.661047e-05,4.654804e-05,4.642092e-05,4.640336e-05,4.625505e-05,4.622497e-05,4.610338e-05,4.602329e-05,4.594864e-05,4.581647e-05,4.579108e-05,4.563093e-05,4.560508e-05,4.546844e-05,4.538967e-05,4.530381e-05,4.517071e-05,4.513725e-05,4.496896e-05,4.494866e-05,4.479912e-05,4.472395e-05,4.462790e-05,4.449696e-05,4.445547e-05,4.428198e-05,4.426806e-05,4.410758e-05,4.403760e-05,4.393241e-05,4.380588e-05,4.375659e-05,4.358025e-05,4.357319e-05,4.340351e-05,4.333980e-05,4.322647e-05,4.310598e-05,4.304925e-05,4.287194e-05,4.263789e-05,4.240404e-05,4.217057e-05,4.193764e-05,4.170540e-05,4.147402e-05,4.124361e-05,4.101430e-05,4.078620e-05,4.055942e-05,4.033405e-05,4.011017e-05,3.988786e-05,3.966719e-05,3.944824e-05,3.923105e-05,3.901568e-05,3.880218e-05,3.859059e-05,3.838094e-05,3.817327e-05,3.796761e-05,3.776399e-05,3.756243e-05
0.000000e+00,7.523102e-09,1.713429e-08,5.854716e-08,1.330793e-07,1.944935e-07,4.471760e-07,4.610178e-07,9.161528e-07,1.087211e-06,1.634441e-06,2.225059e-06,2.693405e-06,3.999471e-06,4.127345e-06,5.888592e-06,6.349551e-06,7.882546e-06,9.067900e-06,1.002385e-05,1.198211e-05,1.225273e-05,1.452847e-05,1.498649e-05,1.682129e-05,1.801229e-05,1.910751e-05,2.100815e-05,2.136718e-05,2.358325e-05,2.393277e-05,2.574128e-05,2.675291e-05,2.782931e-05,2.944288e-05,2.983785e-05,3.175971e-05,3.198425e-05,3.358989e-05,3.436526e-05,3.532530e-05,3.657992e-05,3.696453e-05,3.850740e-05,3.862669e-05,3.995496e-05,4.050775e-05,4.130933e-05,4.222826e-05,4.257321e-05,4.374987e-05,4.379517e-05,4.484289e-05,4.521662e-05,4.585604e-05,4.650135e-05,4.679323e-05,4.765839e-05,4.845542e-05,4.869670e-05,4.918813e-05,4.962503e-05,4.986023e-05,5.045175e-05,5.047530e-05,5.103676e-05,5.118481e-05,5.154787e-05,5.183167e-05,5.201174e-05,5.239931e-05,5.243131e-05,5.280936e-05,5.289421e-05,5.314851e-05,5.332238e-05,5.345125e-05,5.368938e-05,5.371989e-05,5.395662e-05,5.400032e-05,5.416350e-05,5.425993e-05,5.434246e-05,5.447253e-05,5.449530e-05,5.462373e-05,5.464212e-05,5.472933e-05,5.477235e-05,5.481359e-05,5.486659e-05,5.487792e-05,5.492363e-05,5.492792e-05,5.495193e-05,5.495918e-05,5.496400e-05,5.496296e-05,5.496089e-05,5.494363e-05,5.494167e-05,5.491316e-05,5.489748e-05,5.487038e-05,5.483241e-05,5.481611e-05,5.475113e-05,5.474832e-05,5.467619e-05,5.464690e-05,5.459196e-05,5.452972e-05,5.449910e-05,5.439820e-05,5.428985e-05,5.425369e-05,5.417456e-05,5.409738e-05,5.405285e-05,5.393040e-05,5.392519e-05,5.379201e-05,5.375379e-05,5.365373e-05,5.356848e-05,5.351075e-05,5.337536e-05,5.336343e-05,5.321211e-05,5.317524e-05,5.305713e-05,5.296885e-05,5.289879e-05,5.275689e-05,5.273737e-05,5.257315e-05,5.253999e-05,5.240638e-05,5.231874e-05,5.223731e-05,5.209366e-05,5.206615e-05,5.189312e-05,5.186528e-05,5.171843e-05,5.163403e-05,5.154225e-05,5.140036e-05,5.136477e-05,5.118616e-05,5.116466e-05,5.100657e-05,5.092728e-05,5.082615e-05,5.068856e-05,5.064504e-05,5.046338e-05,5.044882e-05,5.028128e-05,5.020835e-05,5.009887e-05,4.996740e-05,4.991625e-05,4.973353e-05,4.972622e-05,4.955081e-05,4.948505e-05,4.936818e-05,4.924408e-05,4.918572e-05,4.900351e-05,4.876352e-05,4.852428e-05,4.828593e-05,4.804861e-05,4.781246e-05,4.757758e-05,4.734409e-05,4.711209e-05,4.688166e-05,4.665289e-05,4.642585e-05,4.620062e-05,4.597725e-05,4.575580e-05,4.553632e-05,4.531886e-05,4.510345e-05,4.489014e-05,4.467895e-05,4.446992e-05,4.426306e-05,4.405840e-05,4.385595e-05,4.365573e-05
0.000000e+00,3.429979e-09,7.842451e-09,2.695544e-08,6.136922e-08,8.958984e-08,2.037167e-07,2.098701e-07,4.068752e-07,4.785447e-07,7.011982e-07,9.336565e-07,1.114802e-06,1.617794e-06,1.667454e-06,2.369824e-06,2.560746e-06,3.220880e-06,3.759699e-06,4.213117e-06,5.196236e-06,5.337946e-06,6.587357e-06,6.851512e-06,7.953629e-06,8.707636e-06,9.428740e-06,1.074559e-05,1.100398e-05,1.266979e-05,1.294404e-05,1.441583e-05,1.527921e-05,1.623110e-05,1.772549e-05,1.810417e-05,2.002341e-05,2.025627e-05,2.197727e-05,2.284502e-05,2.395448e-05,2.546612e-05,2.594426e-05,2.793649e-05,2.809569e-05,2.992182e-05,3.071208e-05,3.189173e-05,3.329621e-05,3.383861e-05,3.575573e-05,3.583171e-05,3.763727e-05,3.830494e-05,3.947829e-05,4.070488e-05,4.127463e-05,4.302288e-05,4.472034e-05,4.525244e-05,4.636491e-05,4.738895e-05,4.795506e-05,4.942942e-05,4.948973e-05,5.096830e-05,5.137220e-05,5.239050e-05,5.321678e-05,5.375640e-05,5.496357e-05,5.506632e-05,5.632081e-05,5.661372e-05,5.752063e-05,5.816897e-05,5.866666e-05,5.963149e-05,5.975994e-05,6.080158e-05,6.100382e-05,6.179280e-05,6.228872e-05,6.273485e-05,6.348914e-05,6.362905e-05,6.447674e-05,6.460815e-05,6.527929e-05,6.564888e-05,6.603806e-05,6.661448e-05,6.675443e-05,6.742977e-05,6.750812e-05,6.806544e-05,6.833291e-05,6.866278e-05,6.909194e-05,6.922311e-05,6.974775e-05,6.978822e-05,7.023798e-05,7.042471e-05,7.069504e-05,7.100428e-05,7.112016e-05,7.151455e-05,7.152970e-05,7.187937e-05,7.200369e-05,7.221576e-05,7.242883e-05,7.252483e-05,7.280766e-05,7.306529e-05,7.314257e-05,7.329873e-05,7.343591e-05,7.350899e-05,7.368990e-05,7.369701e-05,7.386371e-05,7.390669e-05,7.401000e-05,7.408834e-05,7.413675e-05,7.423681e-05,7.424479e-05,7.433493e-05,7.435399e-05,7.440797e-05,7.444168e-05,7.446466e-05,7.450160e-05,7.450573e-05,7.453189e-05,7.453539e-05,7.454383e-05,7.454463e-05,7.454219e-05,7.453081e-05,7.452763e-05,7.450075e-05,7.449535e-05,7.446215e-05,7.443962e-05,7.441238e-05,7.436491e-05,7.435201e-05,7.428156e-05,7.427245e-05,7.420153e-05,7.416342e-05,7.411243e-05,7.403893e-05,7.401472e-05,7.390885e-05,7.390004e-05,7.379526e-05,7.374776e-05,7.367437e-05,7.358304e-05,7.354659e-05,7.341230e-05,7.340679e-05,7.327187e-05,7.321988e-05,7.312567e-05,7.302313e-05,7.297403e-05,7.281729e-05,7.260312e-05,7.238131e-05,7.215251e-05,7.191736e-05,7.167643e-05,7.143029e-05,7.117946e-05,7.092445e-05,7.066572e-05,7.040372e-05,7.013886e-05,6.987155e-05,6.960215e-05,6.933101e-05,6.905846e-05,6.878482e-05,6.851037e-05,6.823538e-05,6.796012e-05,6.768481e-05,6.740970e-05,6.713498e-05,6.686086e-05,6.658752e-05
0.000000e+00,1.181541e-08,2.702718e-08,9.302488e-08,2.122272e-07,3.103046e-07,7.097262e-07,7.313832e-07,1.430675e-06,1.687623e-06,2.492116e-06,3.336803e-06,3.993898e-06,5.794249e-06,5.969551e-06,8.404511e-06,9.054404e-06,1.127448e-05,1.306494e-05,1.456194e-05,1.778912e-05,1.825285e-05,2.233166e-05,2.319232e-05,2.677863e-05,2.922850e-05,3.156890e-05,3.583633e-05,3.667263e-05,4.205572e-05,4.294048e-05,4.768085e-05,5.045538e-05,5.350869e-05,5.828990e-05,5.949905e-05,6.561199e-05,6.635192e-05,7.180876e-05,7.455234e-05,7.805258e-05,8.280819e-05,8.430922e-05,9.054739e-05,9.104478e-05,9.673899e-05,9.919692e-05,1.028592e-04,1.072093e-04,1.088864e-04,1.148022e-04,1.150363e-04,1.205910e-04,1.226414e-04,1.262402e-04,1.299965e-04,1.317394e-04,1.370805e-04,1.422573e-04,1.438785e-04,1.472656e-04,1.503811e-04,1.521025e-04,1.565832e-04,1.567664e-04,1.612569e-04,1.624832e-04,1.655744e-04,1.680824e-04,1.697203e-04,1.733844e-04,1.736963e-04,1.775049e-04,1.783944e-04,1.811491e-04,1.831191e-04,1.846318e-04,1.875660e-04,1.879568e-04,1.911275e-04,1.917435e-04,1.941480e-04,1.956605e-04,1.970221e-04,1.993261e-04,1.997538e-04,2.023474e-04,2.027498e-04,2.048067e-04,2.059408e-04,2.071361e-04,2.089087e-04,2.093395e-04,2.114211e-04,2.116629e-04,2.133847e-04,2.142124e-04,2.152345e-04,2.165665e-04,2.169742e-04,2.186077e-04,2.187339e-04,2.201387e-04,2.207233e-04,2.215710e-04,2.225430e-04,2.229080e-04,2.241533e-04,2.242012e-04,2.253103e-04,2.257058e-04,2.263823e-04,2.270644e-04,2.273726e-04,2.282843e-04,2.291205e-04,2.293726e-04,2.298841e-04,2.303361e-04,2.305781e-04,2.311814e-04,2.312052e-04,2.317682e-04,2.319147e-04,2.322697e-04,2.325421e-04,2.327122e-04,2.330694e-04,2.330983e-04,2.334303e-04,2.335022e-04,2.337106e-04,2.338457e-04,2.339413e-04,2.341051e-04,2.341247e-04,2.342628e-04,2.342852e-04,2.343577e-04,2.343907e-04,2.344114e-04,2.344259e-04,2.344256e-04,2.344023e-04,2.343952e-04,2.343432e-04,2.343026e-04,2.342500e-04,2.341520e-04,2.341243e-04,2.339677e-04,2.339469e-04,2.337818e-04,2.336911e-04,2.335680e-04,2.333877e-04,2.333277e-04,2.330622e-04,2.330399e-04,2.327730e-04,2.326509e-04,2.324612e-04,2.322234e-04,2.321280e-04,2.317747e-04,2.317602e-04,2.314024e-04,2.312639e-04,2.310121e-04,2.307370e-04,2.306049e-04,2.301817e-04,2.296004e-04,2.289952e-04,2.283680e-04,2.277208e-04,2.270552e-04,2.263732e-04,2.256761e-04,2.249657e-04,2.242433e-04,2.235102e-04,2.227678e-04,2.220173e-04,2.212598e-04,2.204964e-04,2.197281e-04,2.189559e-04,2.181807e-04,2.174033e-04,2.166245e-04,2.158451e-04,2.150657e-04,2.142870e-04,2.135097e-04,2.127343e-04
0.000000e+00,1.785414e-09,4.077849e-09,1.397803e-08,3.171919e-08,4.620127e-08,1.042477e-07,1.073555e-07,2.057786e-07,2.411029e-07,3.493937e-07,4.604326e-07,5.458111e-07,7.794437e-07,8.023447e-07,1.125901e-06,1.214238e-06,1.522680e-06,1.778777e-06,1.997625e-06,2.482565e-06,2.553584e-06,3.190330e-06,3.327090e-06,3.903850e-06,4.302794e-06,4.686466e-06,5.389802e-06,5.527929e-06,6.416989e-06,6.562910e-06,7.342650e-06,7.796966e-06,8.294833e-06,9.069612e-06,9.264570e-06,1.024395e-05,1.036178e-05,1.122598e-05,1.165730e-05,1.220450e-05,1.294246e-05,1.317407e-05,1.412993e-05,1.420568e-05,1.506794e-05,1.543733e-05,1.598455e-05,1.662957e-05,1.687678e-05,1.774215e-05,1.777618e-05,1.857868e-05,1.887246e-05,1.938483e-05,1.991506e-05,2.015946e-05,2.090177e-05,2.161130e-05,2.183139e-05,2.228786e-05,2.270356e-05,2.293148e-05,2.351859e-05,2.354240e-05,2.412104e-05,2.427734e-05,2.466794e-05,2.498113e-05,2.518378e-05,2.563155e-05,2.566930e-05,2.612533e-05,2.623048e-05,2.655275e-05,2.677994e-05,2.695247e-05,2.728207e-05,2.732545e-05,2.767264e-05,2.773907e-05,2.799501e-05,2.815315e-05,2.829352e-05,2.852654e-05,2.856914e-05,2.882282e-05,2.886144e-05,2.905550e-05,2.915999e-05,2.926808e-05,2.942428e-05,2.946146e-05,2.963652e-05,2.965633e-05,2.979410e-05,2.985811e-05,2.993503e-05,3.003149e-05,3.006010e-05,3.017009e-05,3.017826e-05,3.026574e-05,3.030015e-05,3.034778e-05,3.039880e-05,3.041688e-05,3.047373e-05,3.047575e-05,3.051895e-05,3.053251e-05,3.055317e-05,3.057046e-05,3.057698e-05,3.059095e-05,3.059562e-05,3.059524e-05,3.059152e-05,3.058452e-05,3.057914e-05,3.055992e-05,3.055897e-05,3.053145e-05,3.052249e-05,3.049704e-05,3.047325e-05,3.045615e-05,3.041315e-05,3.040917e-05,3.035650e-05,3.034306e-05,3.029850e-05,3.026382e-05,3.023552e-05,3.017624e-05,3.016788e-05,3.009592e-05,3.008103e-05,3.001992e-05,2.997891e-05,2.994018e-05,2.987051e-05,2.985698e-05,2.977056e-05,2.975646e-05,2.968119e-05,2.963732e-05,2.958910e-05,2.951362e-05,2.949452e-05,2.939765e-05,2.938588e-05,2.929870e-05,2.925456e-05,2.919787e-05,2.912009e-05,2.909534e-05,2.899128e-05,2.898289e-05,2.888585e-05,2.884333e-05,2.877922e-05,2.870178e-05,2.867152e-05,2.856291e-05,2.855855e-05,2.845352e-05,2.841397e-05,2.834346e-05,2.826830e-05,2.823286e-05,2.812183e-05,2.797479e-05,2.782741e-05,2.767991e-05,2.753248e-05,2.738529e-05,2.723851e-05,2.709230e-05,2.694679e-05,2.680212e-05,2.665839e-05,2.651572e-05,2.637420e-05,2.623392e-05,2.609496e-05,2.595739e-05,2.582128e-05,2.568668e-05,2.555364e-05,2.542221e-05,2.529244e-05,2.516434e-05,2.503796e-05,2.491331e-05,2.479042e-05
0.000000e+00,5.912468e-09,1.345472e-08,4.581247e-08,1.034873e-07,1.504903e-07,3.393783e-07,3.495333e-07,6.742434e-07,7.923929e-07,1.160147e-06,1.545642e-06,1.847288e-06,2.690366e-06,2.773971e-06,3.958837e-06,4.280256e-06,5.381952e-06,6.264434e-06,6.992431e-06,8.520867e-06,8.735466e-06,1.056743e-05,1.094151e-05,1.245615e-05,1.345232e-05,1.437693e-05,1.600019e-05,1.630942e-05,1.823596e-05,1.854257e-05,2.014078e-05,2.104320e-05,2.200987e-05,2.347110e-05,2.383094e-05,2.559351e-05,2.580066e-05,2.728894e-05,2.801185e-05,2.891044e-05,3.009016e-05,3.045295e-05,3.191309e-05,3.202628e-05,3.328892e-05,3.381547e-05,3.457982e-05,3.545690e-05,3.578624e-05,3.690949e-05,3.695271e-05,3.795162e-05,3.830743e-05,3.891527e-05,3.952725e-05,3.980346e-05,4.061953e-05,4.136698e-05,4.159226e-05,4.204944e-05,4.245379e-05,4.267055e-05,4.321247e-05,4.323395e-05,4.374318e-05,4.387653e-05,4.420170e-05,4.445387e-05,4.461285e-05,4.495203e-05,4.497984e-05,4.530571e-05,4.537812e-05,4.559334e-05,4.573873e-05,4.584545e-05,4.603996e-05,4.606459e-05,4.625317e-05,4.628742e-05,4.641344e-05,4.648631e-05,4.654752e-05,4.664135e-05,4.665738e-05,4.674484e-05,4.675687e-05,4.681163e-05,4.683681e-05,4.685933e-05,4.688476e-05,4.688945e-05,4.690334e-05,4.690398e-05,4.690231e-05,4.689744e-05,4.688754e-05,4.686781e-05,4.686014e-05,4.682114e-05,4.681755e-05,4.677151e-05,4.674887e-05,4.671212e-05,4.666378e-05,4.664380e-05,4.656732e-05,4.656410e-05,4.648339e-05,4.645149e-05,4.639268e-05,4.632743e-05,4.629579e-05,4.619329e-05,4.608572e-05,4.605031e-05,4.597357e-05,4.589960e-05,4.585729e-05,4.574217e-05,4.573730e-05,4.561401e-05,4.557894e-05,4.548777e-05,4.541076e-05,4.535893e-05,4.523836e-05,4.522779e-05,4.509466e-05,4.506244e-05,4.495981e-05,4.488363e-05,4.482348e-05,4.470248e-05,4.468591e-05,4.454733e-05,4.451951e-05,4.440792e-05,4.433517e-05,4.426789e-05,4.414989e-05,4.412739e-05,4.398660e-05,4.396406e-05,4.384566e-05,4.377800e-05,4.370472e-05,4.359204e-05,4.356389e-05,4.342330e-05,4.340645e-05,4.328306e-05,4.322149e-05,4.314327e-05,4.303739e-05,4.300402e-05,4.286540e-05,4.285434e-05,4.272749e-05,4.267254e-05,4.259036e-05,4.249215e-05,4.245408e-05,4.231871e-05,4.231331e-05,4.218430e-05,4.213616e-05,4.205092e-05,4.196082e-05,4.191860e-05,4.178739e-05,4.161596e-05,4.144661e-05,4.127941e-05,4.111443e-05,4.095171e-05,4.079130e-05,4.063324e-05,4.047756e-05,4.032428e-05,4.017342e-05,4.002499e-05,3.987901e-05,3.973548e-05,3.959439e-05,3.945576e-05,3.931957e-05,3.918582e-05,3.905449e-05,3.892557e-05,3.879904e-05,3.867489e-05,3.855310e-05,3.843365e-05,3.831651e-05
0.000000e+00,5.161008e-09,1.177067e-08,4.028093e-08,9.147111e-08,1.334409e-07,3.037313e-07,3.129474e-07,6.101230e-07,7.192541e-07,1.061593e-06,1.424048e-06,1.709920e-06,2.519235e-06,2.600368e-06,3.769640e-06,4.093515e-06,5.225535e-06,6.154673e-06,6.933595e-06,8.596215e-06,8.831911e-06,1.085905e-05,1.127551e-05,1.296775e-05,1.408493e-05,1.512434e-05,1.695460e-05,1.730406e-05,1.948741e-05,1.983596e-05,2.165797e-05,2.269101e-05,2.380136e-05,2.548789e-05,2.590483e-05,2.795717e-05,2.819954e-05,2.994867e-05,3.080349e-05,3.187116e-05,3.328197e-05,3.371802e-05,3.548412e-05,3.562180e-05,3.716572e-05,3.781412e-05,3.876039e-05,3.985396e-05,4.026684e-05,4.168482e-05,4.173970e-05,4.301492e-05,4.347248e-05,4.425847e-05,4.505559e-05,4.541737e-05,4.649400e-05,4.749110e-05,4.779385e-05,4.841165e-05,4.896209e-05,4.925883e-05,5.000615e-05,5.003593e-05,5.074630e-05,5.093370e-05,5.139328e-05,5.175242e-05,5.198019e-05,5.246992e-05,5.251031e-05,5.298682e-05,5.309355e-05,5.341281e-05,5.363042e-05,5.379127e-05,5.408728e-05,5.412507e-05,5.441696e-05,5.447054e-05,5.466956e-05,5.478623e-05,5.488538e-05,5.503998e-05,5.506679e-05,5.521604e-05,5.523708e-05,5.533528e-05,5.538245e-05,5.542653e-05,5.548066e-05,5.549170e-05,5.553259e-05,5.553595e-05,5.555092e-05,5.555225e-05,5.554828e-05,5.553318e-05,5.552618e-05,5.548603e-05,5.548208e-05,5.542918e-05,5.540205e-05,5.535688e-05,5.529592e-05,5.527031e-05,5.517057e-05,5.516632e-05,5.505871e-05,5.501566e-05,5.493570e-05,5.484616e-05,5.480246e-05,5.465986e-05,5.450868e-05,5.445863e-05,5.434970e-05,5.424418e-05,5.418361e-05,5.401811e-05,5.401109e-05,5.383274e-05,5.378184e-05,5.364916e-05,5.353672e-05,5.346088e-05,5.328396e-05,5.326842e-05,5.307225e-05,5.302466e-05,5.287281e-05,5.275986e-05,5.267052e-05,5.249046e-05,5.246578e-05,5.225893e-05,5.221734e-05,5.205032e-05,5.194125e-05,5.184026e-05,5.166291e-05,5.162905e-05,5.141696e-05,5.138296e-05,5.120424e-05,5.110199e-05,5.099114e-05,5.082052e-05,5.077787e-05,5.056463e-05,5.053906e-05,5.035163e-05,5.025802e-05,5.013903e-05,4.997782e-05,4.992699e-05,4.971567e-05,4.969880e-05,4.950521e-05,4.942130e-05,4.929574e-05,4.914560e-05,4.908738e-05,4.888023e-05,4.887197e-05,4.867440e-05,4.860064e-05,4.846998e-05,4.833182e-05,4.826705e-05,4.806569e-05,4.780243e-05,4.754217e-05,4.728505e-05,4.703117e-05,4.678064e-05,4.653353e-05,4.628991e-05,4.604985e-05,4.581338e-05,4.558056e-05,4.535140e-05,4.512592e-05,4.490415e-05,4.468609e-05,4.447174e-05,4.426109e-05,4.405414e-05,4.385086e-05,4.365125e-05,4.345527e-05,4.326291e-05,4.307413e-05,4.288890e-05,4.270719e-05
0.000000e+00,3.291409e-09,7.499867e-09,2.559665e-08,5.790951e-08,8.425382e-08,1.899807e-07,1.956546e-07,3.763805e-07,4.417902e-07,6.442452e-07,8.548692e-07,1.018828e-06,1.475481e-06,1.520799e-06,2.168867e-06,2.347581e-06,2.973379e-06,3.490984e-06,3.928927e-06,4.877156e-06,5.013009e-06,6.193898e-06,6.438867e-06,7.440442e-06,8.105808e-06,8.726913e-06,9.823664e-06,1.003335e-05,1.134428e-05,1.155358e-05,1.264734e-05,1.326698e-05,1.393242e-05,1.494185e-05,1.519113e-05,1.641646e-05,1.656097e-05,1.760267e-05,1.811099e-05,1.874517e-05,1.958200e-05,1.984038e-05,2.088575e-05,2.096716e-05,2.187956e-05,2.226240e-05,2.282085e-05,2.346589e-05,2.370937e-05,2.454544e-05,2.457780e-05,2.532980e-05,2.559972e-05,2.606357e-05,2.653437e-05,2.674820e-05,2.738534e-05,2.797681e-05,2.815675e-05,2.852455e-05,2.885309e-05,2.903058e-05,2.947900e-05,2.949692e-05,2.992561e-05,3.003917e-05,3.031869e-05,3.053827e-05,3.067815e-05,3.098081e-05,3.100591e-05,3.130385e-05,3.137111e-05,3.157375e-05,3.171330e-05,3.181735e-05,3.201125e-05,3.203627e-05,3.223210e-05,3.226862e-05,3.240630e-05,3.248881e-05,3.256028e-05,3.267497e-05,3.269537e-05,3.281281e-05,3.283004e-05,3.291379e-05,3.295674e-05,3.299942e-05,3.305757e-05,3.307074e-05,3.312873e-05,3.313484e-05,3.317432e-05,3.319067e-05,3.320837e-05,3.322703e-05,3.323170e-05,3.324506e-05,3.324572e-05,3.324918e-05,3.324839e-05,3.324472e-05,3.323655e-05,3.323231e-05,3.321254e-05,3.321160e-05,3.318596e-05,3.317482e-05,3.315309e-05,3.312738e-05,3.311440e-05,3.307036e-05,3.302139e-05,3.300474e-05,3.296788e-05,3.293142e-05,3.291020e-05,3.285124e-05,3.284871e-05,3.278372e-05,3.276494e-05,3.271555e-05,3.267323e-05,3.264447e-05,3.257675e-05,3.257076e-05,3.249466e-05,3.247606e-05,3.241640e-05,3.237172e-05,3.233621e-05,3.226421e-05,3.225429e-05,3.217083e-05,3.215397e-05,3.208600e-05,3.204141e-05,3.199998e-05,3.192691e-05,3.191291e-05,3.182495e-05,3.181081e-05,3.173624e-05,3.169342e-05,3.164689e-05,3.157503e-05,3.155702e-05,3.146675e-05,3.145590e-05,3.137618e-05,3.133626e-05,3.128541e-05,3.121634e-05,3.119452e-05,3.110360e-05,3.109633e-05,3.101273e-05,3.097641e-05,3.092197e-05,3.085674e-05,3.083140e-05,3.074108e-05,3.073747e-05,3.065106e-05,3.061874e-05,3.056140e-05,3.050067e-05,3.047215e-05,3.038336e-05,3.026692e-05,3.015144e-05,3.003699e-05,2.992365e-05,2.981148e-05,2.970054e-05,2.959088e-05,2.948254e-05,2.937557e-05,2.926999e-05,2.916584e-05,2.906313e-05,2.896190e-05,2.886215e-05,2.876391e-05,2.866717e-05,2.857195e-05,2.847826e-05,2.838609e-05,2.829545e-05,2.820633e-05,2.811873e-05,2.803265e-05,2.794808e-05
0.000000e+00,4.251134e-09,9.701122e-09,3.330130e-08,7.608215e-08,1.115589e-07,2.592123e-07,2.673702e-07,5.390883e-07,6.428298e-07,9.802563e-07,1.353801e-06,1.657008e-06,2.535279e-06,2.623772e-06,3.882092e-06,4.221890e-06,5.375551e-06,6.287079e-06,7.031600e-06,8.577116e-06,8.792531e-06,1.061942e-05,1.099028e-05,1.248640e-05,1.346678e-05,1.437507e-05,1.596770e-05,1.627102e-05,1.816189e-05,1.846321e-05,2.003652e-05,2.092749e-05,2.188451e-05,2.333725e-05,2.369627e-05,2.546303e-05,2.567163e-05,2.717688e-05,2.791241e-05,2.883099e-05,3.004460e-05,3.041964e-05,3.193821e-05,3.205656e-05,3.338317e-05,3.393996e-05,3.475203e-05,3.568960e-05,3.604327e-05,3.725631e-05,3.730321e-05,3.839137e-05,3.878101e-05,3.944911e-05,4.012489e-05,4.043091e-05,4.133860e-05,4.217431e-05,4.242694e-05,4.294052e-05,4.339563e-05,4.363987e-05,4.425096e-05,4.427517e-05,4.484935e-05,4.499957e-05,4.536535e-05,4.564826e-05,4.582613e-05,4.620377e-05,4.623459e-05,4.659364e-05,4.667277e-05,4.690609e-05,4.706174e-05,4.717469e-05,4.737688e-05,4.740207e-05,4.759080e-05,4.762412e-05,4.774332e-05,4.780909e-05,4.786196e-05,4.793708e-05,4.794897e-05,4.800646e-05,4.801305e-05,4.803645e-05,4.804165e-05,4.804087e-05,4.802721e-05,4.802152e-05,4.798012e-05,4.797375e-05,4.791829e-05,4.788502e-05,4.783757e-05,4.776447e-05,4.773939e-05,4.762512e-05,4.761532e-05,4.749603e-05,4.744052e-05,4.735333e-05,4.724279e-05,4.719815e-05,4.703155e-05,4.702466e-05,4.685453e-05,4.678843e-05,4.666803e-05,4.653624e-05,4.647292e-05,4.627003e-05,4.606013e-05,4.599160e-05,4.584394e-05,4.570259e-05,4.562213e-05,4.540450e-05,4.539534e-05,4.516416e-05,4.509872e-05,4.492914e-05,4.478650e-05,4.469079e-05,4.446898e-05,4.444960e-05,4.420600e-05,4.414723e-05,4.396042e-05,4.382218e-05,4.371325e-05,4.349470e-05,4.346484e-05,4.321554e-05,4.316559e-05,4.296564e-05,4.283556e-05,4.271545e-05,4.250526e-05,4.246523e-05,4.221523e-05,4.217527e-05,4.196568e-05,4.184611e-05,4.171678e-05,4.151828e-05,4.146875e-05,4.122175e-05,4.119219e-05,4.097595e-05,4.086822e-05,4.073151e-05,4.054673e-05,4.048857e-05,4.024725e-05,4.022801e-05,4.000766e-05,3.991234e-05,3.976993e-05,3.959995e-05,3.953413e-05,3.930036e-05,3.929106e-05,3.906870e-05,3.898584e-05,3.883922e-05,3.868445e-05,3.861198e-05,3.838704e-05,3.809372e-05,3.780460e-05,3.751974e-05,3.723922e-05,3.696309e-05,3.669139e-05,3.642415e-05,3.616138e-05,3.590310e-05,3.564930e-05,3.539998e-05,3.515511e-05,3.491468e-05,3.467867e-05,3.444703e-05,3.421973e-05,3.399673e-05,3.377799e-05,3.356346e-05,3.335309e-05,3.314682e-05,3.294460e-05,3.274638e-05,3.255209e-05
0.000000e+00,4.530574e-09,1.032892e-08,3.544946e-08,8.118966e-08,1.193505e-07,2.801507e-07,2.891135e-07,5.907722e-07,7.070426e-07,1.087210e-06,1.509570e-06,1.852735e-06,2.847174e-06,2.947370e-06,4.368680e-06,4.750162e-06,6.031602e-06,7.024689e-06,7.821036e-06,9.429109e-06,9.648372e-06,1.146091e-05,1.181882e-05,1.322973e-05,1.412656e-05,1.493861e-05,1.632047e-05,1.657776e-05,1.814083e-05,1.838356e-05,1.962365e-05,2.030608e-05,2.102362e-05,2.208307e-05,2.233949e-05,2.357117e-05,2.371334e-05,2.471954e-05,2.519886e-05,2.578636e-05,2.654407e-05,2.677405e-05,2.768556e-05,2.775529e-05,2.852423e-05,2.884010e-05,2.929364e-05,2.980682e-05,2.999752e-05,3.063965e-05,3.066410e-05,3.122378e-05,3.142059e-05,3.175361e-05,3.208471e-05,3.223271e-05,3.266450e-05,3.305224e-05,3.316752e-05,3.339903e-05,3.360084e-05,3.370778e-05,3.397094e-05,3.398124e-05,3.422195e-05,3.428381e-05,3.443231e-05,3.454489e-05,3.461455e-05,3.475916e-05,3.477075e-05,3.490283e-05,3.493115e-05,3.501259e-05,3.506494e-05,3.510170e-05,3.516424e-05,3.517168e-05,3.522398e-05,3.523243e-05,3.525991e-05,3.527254e-05,3.528071e-05,3.528732e-05,3.528751e-05,3.528137e-05,3.527926e-05,3.526327e-05,3.525060e-05,3.523412e-05,3.520340e-05,3.519474e-05,3.514593e-05,3.513948e-05,3.508841e-05,3.506051e-05,3.502284e-05,3.496802e-05,3.494986e-05,3.487003e-05,3.486336e-05,3.478389e-05,3.474779e-05,3.469195e-05,3.462242e-05,3.459467e-05,3.449247e-05,3.448828e-05,3.438576e-05,3.434631e-05,3.427490e-05,3.419734e-05,3.416026e-05,3.404215e-05,3.392086e-05,3.388143e-05,3.379669e-05,3.371583e-05,3.366989e-05,3.354592e-05,3.354071e-05,3.340937e-05,3.337224e-05,3.327609e-05,3.319527e-05,3.314106e-05,3.301546e-05,3.300447e-05,3.286650e-05,3.283320e-05,3.272730e-05,3.264887e-05,3.258702e-05,3.246280e-05,3.244581e-05,3.230379e-05,3.227531e-05,3.216110e-05,3.208667e-05,3.201785e-05,3.189716e-05,3.187414e-05,3.173007e-05,3.170700e-05,3.158575e-05,3.151641e-05,3.144126e-05,3.132560e-05,3.129668e-05,3.115209e-05,3.113475e-05,3.100757e-05,3.094402e-05,3.086318e-05,3.075356e-05,3.071898e-05,3.057503e-05,3.056353e-05,3.043140e-05,3.037405e-05,3.028813e-05,3.018523e-05,3.014527e-05,3.000287e-05,2.999719e-05,2.986097e-05,2.981002e-05,2.971962e-05,2.962382e-05,2.957883e-05,2.943867e-05,2.925463e-05,2.907180e-05,2.889021e-05,2.870994e-05,2.853103e-05,2.835353e-05,2.817748e-05,2.800292e-05,2.782988e-05,2.765840e-05,2.748849e-05,2.732019e-05,2.715351e-05,2.698848e-05,2.682510e-05,2.666338e-05,2.650335e-05,2.634501e-05,2.618836e-05,2.603341e-05,2.588016e-05,2.572862e-05,2.557878e-05,2.543064e-05
0.000000e+00,4.676975e-09,1.068578e-08,3.669236e-08,8.353536e-08,1.220008e-07,2.781790e-07,2.866290e-07,5.586769e-07,6.583317e-07,9.700330e-07,1.298667e-06,1.557017e-06,2.285666e-06,2.358577e-06,3.409766e-06,3.701823e-06,4.729345e-06,5.583279e-06,6.307929e-06,7.883200e-06,8.109644e-06,1.008757e-05,1.050031e-05,1.219799e-05,1.333568e-05,1.440547e-05,1.631414e-05,1.668205e-05,1.900507e-05,1.937973e-05,2.135526e-05,2.248796e-05,2.371568e-05,2.560112e-05,2.607114e-05,2.840791e-05,2.868647e-05,3.071372e-05,3.171561e-05,3.297769e-05,3.466446e-05,3.519037e-05,3.734373e-05,3.751322e-05,3.943105e-05,4.024624e-05,4.144695e-05,4.285177e-05,4.338723e-05,4.524881e-05,4.532160e-05,4.702953e-05,4.765052e-05,4.872813e-05,4.983600e-05,5.034411e-05,5.187752e-05,5.332895e-05,5.377626e-05,5.469949e-05,5.553483e-05,5.599056e-05,5.715680e-05,5.720386e-05,5.834133e-05,5.864652e-05,5.940510e-05,6.000892e-05,6.039743e-05,6.124932e-05,6.132069e-05,6.217728e-05,6.237322e-05,6.296965e-05,6.338623e-05,6.370023e-05,6.429399e-05,6.437149e-05,6.498586e-05,6.510211e-05,6.554572e-05,6.581610e-05,6.605346e-05,6.644135e-05,6.651136e-05,6.692168e-05,6.698307e-05,6.728663e-05,6.744632e-05,6.760834e-05,6.783596e-05,6.788887e-05,6.813025e-05,6.815668e-05,6.833442e-05,6.841294e-05,6.850324e-05,6.860904e-05,6.863855e-05,6.874207e-05,6.874903e-05,6.881551e-05,6.883683e-05,6.886048e-05,6.887610e-05,6.887853e-05,6.887118e-05,6.887038e-05,6.883985e-05,6.882297e-05,6.878592e-05,6.873702e-05,6.871073e-05,6.861553e-05,6.850154e-05,6.846129e-05,6.836994e-05,6.827698e-05,6.822182e-05,6.806509e-05,6.805827e-05,6.788028e-05,6.782799e-05,6.768884e-05,6.756790e-05,6.748487e-05,6.728692e-05,6.726926e-05,6.704286e-05,6.698701e-05,6.680647e-05,6.667001e-05,6.656085e-05,6.633766e-05,6.630674e-05,6.604484e-05,6.599158e-05,6.577580e-05,6.563329e-05,6.550025e-05,6.526421e-05,6.521880e-05,6.493201e-05,6.488567e-05,6.464043e-05,6.449891e-05,6.434455e-05,6.410509e-05,6.404488e-05,6.374186e-05,6.370530e-05,6.343594e-05,6.330052e-05,6.312753e-05,6.289171e-05,6.281701e-05,6.250476e-05,6.247972e-05,6.219113e-05,6.206536e-05,6.187644e-05,6.164938e-05,6.156100e-05,6.124511e-05,6.123247e-05,6.092904e-05,6.081526e-05,6.061305e-05,6.039834e-05,6.029738e-05,5.998226e-05,5.956751e-05,5.915456e-05,5.874381e-05,5.833565e-05,5.793043e-05,5.752847e-05,5.713004e-05,5.673542e-05,5.634484e-05,5.595849e-05,5.557657e-05,5.519925e-05,5.482666e-05,5.445894e-05,5.409619e-05,5.373850e-05,5.338596e-05,5.303863e-05,5.269655e-05,5.235978e-05,5.202833e-05,5.170223e-05,5.138149e-05,5.106611e-05
0.000000e+00,4.161611e-09,9.517211e-09,3.272358e-08,7.451775e-08,1.087907e-07,2.473383e-07,2.548048e-07,4.935978e-07,5.803357e-07,8.493030e-07,1.129269e-06,1.346815e-06,1.948001e-06,2.007131e-06,2.839584e-06,3.064775e-06,3.840640e-06,4.471429e-06,5.000919e-06,6.145744e-06,6.310448e-06,7.759587e-06,8.065306e-06,9.338388e-06,1.020706e-05,1.103602e-05,1.254517e-05,1.284056e-05,1.473902e-05,1.505058e-05,1.671767e-05,1.769173e-05,1.876229e-05,2.043589e-05,2.085861e-05,2.299262e-05,2.325059e-05,2.515086e-05,2.610488e-05,2.732071e-05,2.897034e-05,2.949051e-05,3.164969e-05,3.182168e-05,3.378887e-05,3.463706e-05,3.589981e-05,3.739818e-05,3.797542e-05,4.000968e-05,4.009012e-05,4.199761e-05,4.270111e-05,4.393512e-05,4.522215e-05,4.581898e-05,4.764665e-05,4.941628e-05,4.997008e-05,5.112657e-05,5.218963e-05,5.277672e-05,5.430392e-05,5.436634e-05,5.589538e-05,5.631269e-05,5.736411e-05,5.821660e-05,5.877304e-05,6.001704e-05,6.012288e-05,6.141451e-05,6.171595e-05,6.264895e-05,6.331567e-05,6.382733e-05,6.481891e-05,6.495088e-05,6.602088e-05,6.622857e-05,6.703866e-05,6.754772e-05,6.800558e-05,6.877951e-05,6.892304e-05,6.979244e-05,6.992718e-05,7.061520e-05,7.099398e-05,7.139274e-05,7.198316e-05,7.212646e-05,7.281776e-05,7.289794e-05,7.346803e-05,7.374150e-05,7.407863e-05,7.451698e-05,7.465090e-05,7.518617e-05,7.522743e-05,7.568574e-05,7.587585e-05,7.615087e-05,7.646515e-05,7.658282e-05,7.698280e-05,7.699815e-05,7.735200e-05,7.747760e-05,7.769158e-05,7.790616e-05,7.800268e-05,7.828639e-05,7.854379e-05,7.862077e-05,7.877592e-05,7.891169e-05,7.898380e-05,7.916146e-05,7.916841e-05,7.933071e-05,7.937229e-05,7.947164e-05,7.954630e-05,7.959208e-05,7.968555e-05,7.969292e-05,7.977499e-05,7.979199e-05,7.983913e-05,7.986750e-05,7.988611e-05,7.991389e-05,7.991673e-05,7.993170e-05,7.993288e-05,7.993176e-05,7.992613e-05,7.991760e-05,7.989520e-05,7.988988e-05,7.984927e-05,7.984161e-05,7.979638e-05,7.976680e-05,7.973181e-05,7.967215e-05,7.965616e-05,7.956998e-05,7.955896e-05,7.947382e-05,7.942848e-05,7.936820e-05,7.928191e-05,7.925362e-05,7.913057e-05,7.912037e-05,7.899951e-05,7.894495e-05,7.886091e-05,7.875668e-05,7.871519e-05,7.856276e-05,7.855653e-05,7.840403e-05,7.834542e-05,7.823939e-05,7.812425e-05,7.806921e-05,7.789383e-05,7.765498e-05,7.740843e-05,7.715490e-05,7.689506e-05,7.662956e-05,7.635900e-05,7.608394e-05,7.580493e-05,7.552248e-05,7.523706e-05,7.494913e-05,7.465911e-05,7.436741e-05,7.407440e-05,7.378044e-05,7.348586e-05,7.319098e-05,7.289608e-05,7.260144e-05,7.230731e-05,7.201394e-05,7.172156e-05,7.143035e-05,7.114053e-05
0.000000e+00,7.149196e-10,1.619891e-09,5.463091e-09,1.222140e-08,1.766845e-08,3.916330e-08,4.030394e-08,7.614071e-08,8.891652e-08,1.279462e-07,1.678288e-07,1.983919e-07,2.811819e-07,2.892015e-07,3.999610e-07,4.292818e-07,5.284536e-07,6.071918e-07,6.721335e-07,8.094097e-07,8.288401e-07,9.967535e-07,1.031533e-06,1.174196e-06,1.269678e-06,1.359495e-06,1.519961e-06,1.550931e-06,1.746727e-06,1.778339e-06,1.945078e-06,2.040666e-06,2.144191e-06,2.302859e-06,2.342328e-06,2.537854e-06,2.561068e-06,2.729271e-06,2.811844e-06,2.915251e-06,3.052250e-06,3.094652e-06,3.266530e-06,3.279932e-06,3.430142e-06,3.493142e-06,3.584936e-06,3.690715e-06,3.730545e-06,3.866767e-06,3.872019e-06,3.993545e-06,4.036884e-06,4.110953e-06,4.185524e-06,4.219167e-06,4.318453e-06,4.409141e-06,4.436407e-06,4.491614e-06,4.540276e-06,4.566288e-06,4.631044e-06,4.633601e-06,4.694004e-06,4.709740e-06,4.747947e-06,4.777398e-06,4.795876e-06,4.835030e-06,4.838223e-06,4.875406e-06,4.883606e-06,4.907824e-06,4.924037e-06,4.935853e-06,4.957171e-06,4.959849e-06,4.980142e-06,4.983784e-06,4.997043e-06,5.004586e-06,5.010836e-06,5.020215e-06,5.021786e-06,5.030137e-06,5.031248e-06,5.036113e-06,5.038198e-06,5.039917e-06,5.041525e-06,5.041739e-06,5.041750e-06,5.041637e-06,5.040107e-06,5.038898e-06,5.036954e-06,5.033628e-06,5.032421e-06,5.026628e-06,5.026113e-06,5.019684e-06,5.016607e-06,5.011690e-06,5.005335e-06,5.002736e-06,4.992905e-06,4.992495e-06,4.982275e-06,4.978266e-06,4.970914e-06,4.962805e-06,4.958888e-06,4.946255e-06,4.933070e-06,4.928742e-06,4.919381e-06,4.910378e-06,4.905236e-06,4.891265e-06,4.890675e-06,4.875740e-06,4.871496e-06,4.860465e-06,4.851151e-06,4.844884e-06,4.830307e-06,4.829029e-06,4.812928e-06,4.809030e-06,4.796607e-06,4.787381e-06,4.780093e-06,4.765417e-06,4.763407e-06,4.746571e-06,4.743188e-06,4.729606e-06,4.720739e-06,4.712530e-06,4.698113e-06,4.695361e-06,4.678114e-06,4.675349e-06,4.660806e-06,4.652480e-06,4.643450e-06,4.629540e-06,4.626060e-06,4.608648e-06,4.606557e-06,4.591226e-06,4.583559e-06,4.573804e-06,4.560571e-06,4.556394e-06,4.539004e-06,4.537614e-06,4.521643e-06,4.514709e-06,4.504320e-06,4.491875e-06,4.487043e-06,4.469819e-06,4.469131e-06,4.452654e-06,4.446491e-06,4.435555e-06,4.423969e-06,4.418529e-06,4.401581e-06,4.379336e-06,4.357247e-06,4.335323e-06,4.313574e-06,4.292008e-06,4.270631e-06,4.249451e-06,4.228474e-06,4.207705e-06,4.187148e-06,4.166809e-06,4.146690e-06,4.126796e-06,4.107128e-06,4.087689e-06,4.068481e-06,4.049506e-06,4.030764e-06,4.012257e-06,3.993986e-06,3.975951e-06,3.958151e-06,3.940588e-06,3.923260e-06
0.000000e+00,1.266979e-09,2.896560e-09,9.956608e-09,2.268151e-08,3.313160e-08,7.554441e-08,7.783822e-08,1.516480e-07,1.786729e-07,2.631782e-07,3.522115e-07,4.220942e-07,6.179641e-07,6.374157e-07,9.136741e-07,9.889209e-07,1.248708e-06,1.459754e-06,1.636382e-06,2.015924e-06,2.070234e-06,2.544767e-06,2.644134e-06,3.055298e-06,3.333566e-06,3.597525e-06,4.074416e-06,4.167245e-06,4.760217e-06,4.856963e-06,5.372143e-06,5.671334e-06,5.998716e-06,6.507660e-06,6.635686e-06,7.278948e-06,7.356375e-06,7.924616e-06,8.208532e-06,8.569084e-06,9.056043e-06,9.209068e-06,9.841639e-06,9.891845e-06,1.046423e-05,1.070997e-05,1.107464e-05,1.150553e-05,1.167100e-05,1.225180e-05,1.227469e-05,1.281580e-05,1.301454e-05,1.336206e-05,1.372302e-05,1.388988e-05,1.439876e-05,1.488841e-05,1.504100e-05,1.535867e-05,1.564947e-05,1.580956e-05,1.622428e-05,1.624117e-05,1.665372e-05,1.676585e-05,1.704748e-05,1.727486e-05,1.742280e-05,1.775214e-05,1.778007e-05,1.811973e-05,1.819868e-05,1.844224e-05,1.861553e-05,1.874808e-05,1.900383e-05,1.903775e-05,1.931177e-05,1.936474e-05,1.957064e-05,1.969944e-05,1.981488e-05,2.000911e-05,2.004501e-05,2.026152e-05,2.029494e-05,2.046494e-05,2.055807e-05,2.065574e-05,2.079963e-05,2.083442e-05,2.100145e-05,2.102073e-05,2.115729e-05,2.122243e-05,2.130240e-05,2.140577e-05,2.143721e-05,2.156215e-05,2.157173e-05,2.167764e-05,2.172128e-05,2.178408e-05,2.185533e-05,2.188185e-05,2.197134e-05,2.197475e-05,2.205290e-05,2.208040e-05,2.212690e-05,2.217306e-05,2.219366e-05,2.225352e-05,2.230679e-05,2.232250e-05,2.235378e-05,2.238070e-05,2.239479e-05,2.242878e-05,2.243008e-05,2.245995e-05,2.246737e-05,2.248464e-05,2.249708e-05,2.250442e-05,2.251848e-05,2.251952e-05,2.253018e-05,2.253210e-05,2.253662e-05,2.253847e-05,2.253906e-05,2.253806e-05,2.253770e-05,2.253274e-05,2.253134e-05,2.252438e-05,2.251874e-05,2.251279e-05,2.250069e-05,2.249816e-05,2.248064e-05,2.247758e-05,2.246040e-05,2.244977e-05,2.243760e-05,2.241761e-05,2.241238e-05,2.238489e-05,2.238145e-05,2.235526e-05,2.234158e-05,2.232362e-05,2.229831e-05,2.229010e-05,2.225481e-05,2.225191e-05,2.221787e-05,2.220266e-05,2.217939e-05,2.215079e-05,2.213947e-05,2.209821e-05,2.209654e-05,2.205572e-05,2.204013e-05,2.201207e-05,2.198177e-05,2.196735e-05,2.192166e-05,2.185997e-05,2.179688e-05,2.173255e-05,2.166714e-05,2.160079e-05,2.153363e-05,2.146578e-05,2.139737e-05,2.132850e-05,2.125928e-05,2.118980e-05,2.112016e-05,2.105043e-05,2.098070e-05,2.091103e-05,2.084150e-05,2.077217e-05,2.070309e-05,2.063433e-05,2.056592e-05,2.049791e-05,2.043036e-05,2.036329e-05,2.029674e-05
0.000000e+00,6.688842e-09,1.530534e-08,5.277529e-08,1.208322e-07,1.771981e-07,4.100867e-07,4.228619e-07,8.429337e-07,1.000774e-06,1.506405e-06,2.055888e-06,2.496814e-06,3.763910e-06,3.891507e-06,5.719747e-06,6.219866e-06,7.942994e-06,9.333217e-06,1.048763e-05,1.293698e-05,1.328391e-05,1.627856e-05,1.689763e-05,1.943197e-05,2.112391e-05,2.271293e-05,2.554803e-05,2.609493e-05,2.955402e-05,3.011312e-05,3.306794e-05,3.476791e-05,3.661582e-05,3.946542e-05,4.017815e-05,4.373694e-05,4.416296e-05,4.727588e-05,4.882291e-05,5.078043e-05,5.341300e-05,5.423787e-05,5.763727e-05,5.790642e-05,6.096949e-05,6.228182e-05,6.422692e-05,6.652238e-05,6.740328e-05,7.049373e-05,7.061551e-05,7.349462e-05,7.455248e-05,7.640331e-05,7.832760e-05,7.921801e-05,8.193772e-05,8.456204e-05,8.538169e-05,8.709112e-05,8.865999e-05,8.952551e-05,9.177431e-05,9.186615e-05,9.411425e-05,9.472733e-05,9.627126e-05,9.752242e-05,9.833882e-05,1.001635e-04,1.003187e-04,1.022128e-04,1.026549e-04,1.040232e-04,1.050012e-04,1.057518e-04,1.072071e-04,1.074008e-04,1.089723e-04,1.092774e-04,1.104683e-04,1.112172e-04,1.118912e-04,1.130313e-04,1.132429e-04,1.145256e-04,1.147246e-04,1.157415e-04,1.163020e-04,1.168925e-04,1.177681e-04,1.179808e-04,1.190084e-04,1.191277e-04,1.199772e-04,1.203853e-04,1.208891e-04,1.215454e-04,1.217462e-04,1.225502e-04,1.226123e-04,1.233031e-04,1.235903e-04,1.240065e-04,1.244833e-04,1.246622e-04,1.252720e-04,1.252954e-04,1.258374e-04,1.260305e-04,1.263602e-04,1.266921e-04,1.268418e-04,1.272838e-04,1.276878e-04,1.278092e-04,1.280550e-04,1.282715e-04,1.283870e-04,1.286739e-04,1.286852e-04,1.289507e-04,1.290194e-04,1.291850e-04,1.293111e-04,1.293893e-04,1.295517e-04,1.295648e-04,1.297126e-04,1.297441e-04,1.298339e-04,1.298907e-04,1.299298e-04,1.299941e-04,1.300014e-04,1.300497e-04,1.300566e-04,1.300757e-04,1.300807e-04,1.300803e-04,1.300684e-04,1.300645e-04,1.300293e-04,1.300219e-04,1.299754e-04,1.299432e-04,1.299038e-04,1.298342e-04,1.298152e-04,1.297104e-04,1.296967e-04,1.295902e-04,1.295326e-04,1.294553e-04,1.293435e-04,1.293065e-04,1.291444e-04,1.291309e-04,1.289697e-04,1.288964e-04,1.287830e-04,1.286415e-04,1.285849e-04,1.283761e-04,1.283675e-04,1.281571e-04,1.280758e-04,1.279284e-04,1.277677e-04,1.276906e-04,1.274442e-04,1.271067e-04,1.267561e-04,1.263934e-04,1.260198e-04,1.256360e-04,1.252430e-04,1.248417e-04,1.244327e-04,1.240170e-04,1.235951e-04,1.231678e-04,1.227357e-04,1.222995e-04,1.218597e-04,1.214168e-04,1.209714e-04,1.205239e-04,1.200748e-04,1.196246e-04,1.191737e-04,1.187224e-04,1.182710e-04,1.178201e-04,1.173698e-04
0.000000e+00,3.168590e-09,7.209571e-09,2.452328e-08,5.527891e-08,8.024097e-08,1.796345e-07,1.849375e-07,3.524759e-07,4.125309e-07,5.967717e-07,7.861949e-07,9.323021e-07,1.334062e-06,1.373564e-06,1.932189e-06,2.084365e-06,2.611911e-06,3.043292e-06,3.405976e-06,4.188475e-06,4.300633e-06,5.280648e-06,5.485642e-06,6.332180e-06,6.903178e-06,7.443166e-06,8.414409e-06,8.602797e-06,9.800962e-06,9.995588e-06,1.102789e-05,1.162422e-05,1.227402e-05,1.327843e-05,1.352996e-05,1.478657e-05,1.493699e-05,1.603513e-05,1.657980e-05,1.726740e-05,1.818834e-05,1.847580e-05,1.965346e-05,1.974616e-05,2.079437e-05,2.123926e-05,2.189337e-05,2.265626e-05,2.294617e-05,2.394935e-05,2.398841e-05,2.490032e-05,2.522952e-05,2.579729e-05,2.637581e-05,2.663918e-05,2.742558e-05,2.815663e-05,2.837897e-05,2.883299e-05,2.923763e-05,2.945571e-05,3.000439e-05,3.002623e-05,3.054622e-05,3.068302e-05,3.101760e-05,3.127795e-05,3.144243e-05,3.179404e-05,3.182290e-05,3.216125e-05,3.223644e-05,3.245977e-05,3.261040e-05,3.272075e-05,3.292117e-05,3.294646e-05,3.313911e-05,3.317387e-05,3.330085e-05,3.337343e-05,3.343375e-05,3.352457e-05,3.353981e-05,3.362095e-05,3.363175e-05,3.367899e-05,3.369916e-05,3.371566e-05,3.373070e-05,3.373257e-05,3.373128e-05,3.372998e-05,3.371323e-05,3.370033e-05,3.367978e-05,3.364484e-05,3.363220e-05,3.357167e-05,3.356630e-05,3.349931e-05,3.346729e-05,3.341615e-05,3.335014e-05,3.332316e-05,3.322122e-05,3.321697e-05,3.311118e-05,3.306973e-05,3.299380e-05,3.291016e-05,3.286980e-05,3.273984e-05,3.260455e-05,3.256023e-05,3.246449e-05,3.237260e-05,3.232019e-05,3.217813e-05,3.217215e-05,3.202080e-05,3.197789e-05,3.186657e-05,3.177281e-05,3.170984e-05,3.156375e-05,3.155097e-05,3.139030e-05,3.135150e-05,3.122812e-05,3.113674e-05,3.106471e-05,3.092010e-05,3.090033e-05,3.073523e-05,3.070214e-05,3.056961e-05,3.048335e-05,3.040368e-05,3.026420e-05,3.023763e-05,3.007162e-05,3.004508e-05,2.990582e-05,2.982635e-05,2.974037e-05,2.960834e-05,2.957539e-05,2.941102e-05,2.939134e-05,2.924735e-05,2.917559e-05,2.908449e-05,2.896132e-05,2.892254e-05,2.876158e-05,2.874874e-05,2.860167e-05,2.853803e-05,2.844291e-05,2.832933e-05,2.828533e-05,2.812901e-05,2.812278e-05,2.797399e-05,2.791851e-05,2.782032e-05,2.771662e-05,2.766804e-05,2.751719e-05,2.732030e-05,2.712601e-05,2.693438e-05,2.674545e-05,2.655925e-05,2.637582e-05,2.619517e-05,2.601732e-05,2.584227e-05,2.567002e-05,2.550058e-05,2.533393e-05,2.517007e-05,2.500898e-05,2.485064e-05,2.469504e-05,2.454215e-05,2.439194e-05,2.424440e-05,2.409949e-05,2.395719e-05,2.381745e-05,2.368026e-05,2.354558e-05
0.000000e+00,9.180399e-09,2.097082e-08,7.200698e-08,1.640514e-07,2.397890e-07,5.489805e-07,5.657899e-07,1.111420e-06,1.313383e-06,1.951557e-06,2.633114e-06,3.173247e-06,4.702898e-06,4.855600e-06,7.027893e-06,7.618656e-06,9.647893e-06,1.128070e-05,1.263478e-05,1.550447e-05,1.591066e-05,1.941449e-05,2.013829e-05,2.309930e-05,2.507401e-05,2.692687e-05,3.022796e-05,3.086400e-05,3.488057e-05,3.552871e-05,3.894880e-05,4.091228e-05,4.304301e-05,4.632120e-05,4.713969e-05,5.121763e-05,5.170480e-05,5.525803e-05,5.701960e-05,5.924450e-05,6.222944e-05,6.316303e-05,6.700186e-05,6.730523e-05,7.075136e-05,7.222435e-05,7.440377e-05,7.696995e-05,7.795307e-05,8.139471e-05,8.153009e-05,8.472547e-05,8.589696e-05,8.794321e-05,9.006609e-05,9.104675e-05,9.403569e-05,9.691029e-05,9.780613e-05,9.967136e-05,1.013794e-04,1.023201e-04,1.047588e-04,1.048583e-04,1.072876e-04,1.079486e-04,1.096103e-04,1.109537e-04,1.118287e-04,1.137796e-04,1.139452e-04,1.159623e-04,1.164319e-04,1.178827e-04,1.189169e-04,1.197091e-04,1.212406e-04,1.214441e-04,1.230905e-04,1.234093e-04,1.246509e-04,1.254292e-04,1.261280e-04,1.273064e-04,1.275246e-04,1.288432e-04,1.290471e-04,1.300864e-04,1.306572e-04,1.312569e-04,1.321425e-04,1.323570e-04,1.333894e-04,1.335089e-04,1.343564e-04,1.347618e-04,1.352604e-04,1.359067e-04,1.361037e-04,1.368886e-04,1.369489e-04,1.376172e-04,1.378934e-04,1.382917e-04,1.387450e-04,1.389142e-04,1.394867e-04,1.395086e-04,1.400113e-04,1.401887e-04,1.404897e-04,1.407897e-04,1.409239e-04,1.413157e-04,1.416669e-04,1.417709e-04,1.419791e-04,1.421592e-04,1.422539e-04,1.424841e-04,1.424930e-04,1.426979e-04,1.427494e-04,1.428702e-04,1.429584e-04,1.430111e-04,1.431144e-04,1.431222e-04,1.432048e-04,1.432205e-04,1.432602e-04,1.432797e-04,1.432896e-04,1.432949e-04,1.432942e-04,1.432753e-04,1.432688e-04,1.432339e-04,1.432039e-04,1.431712e-04,1.431028e-04,1.430882e-04,1.429858e-04,1.429677e-04,1.428652e-04,1.428010e-04,1.427271e-04,1.426048e-04,1.425726e-04,1.424025e-04,1.423811e-04,1.422176e-04,1.421318e-04,1.420187e-04,1.418588e-04,1.418067e-04,1.415822e-04,1.415637e-04,1.413460e-04,1.412484e-04,1.410988e-04,1.409143e-04,1.408412e-04,1.405738e-04,1.405630e-04,1.402974e-04,1.401957e-04,1.400124e-04,1.398140e-04,1.397194e-04,1.394190e-04,1.390120e-04,1.385941e-04,1.381663e-04,1.377297e-04,1.372852e-04,1.368338e-04,1.363762e-04,1.359134e-04,1.354460e-04,1.349749e-04,1.345005e-04,1.340237e-04,1.335449e-04,1.330648e-04,1.325838e-04,1.321024e-04,1.316212e-04,1.311406e-04,1.306608e-04,1.301824e-04,1.297057e-04,1.292310e-04,1.287585e-04,1.282887e-04
0.000000e+00,1.681555e-09,3.830269e-09,1.305799e-08,2.949314e-08,4.285570e-08,9.616577e-08,9.901266e-08,1.889765e-07,2.212065e-07,3.199201e-07,4.210572e-07,4.987825e-07,7.112541e-07,7.320576e-07,1.025271e-06,1.105026e-06,1.382123e-06,1.610191e-06,1.803358e-06,2.224769e-06,2.285647e-06,2.821107e-06,2.933603e-06,3.398123e-06,3.710177e-06,4.003388e-06,4.524242e-06,4.624124e-06,5.249460e-06,5.349335e-06,5.870781e-06,6.165588e-06,6.481500e-06,6.959068e-06,7.076664e-06,7.652581e-06,7.720261e-06,8.206550e-06,8.442824e-06,8.736651e-06,9.122757e-06,9.241603e-06,9.720646e-06,9.757838e-06,1.017345e-05,1.034721e-05,1.060002e-05,1.089108e-05,1.100067e-05,1.137591e-05,1.139040e-05,1.172643e-05,1.184672e-05,1.205304e-05,1.226194e-05,1.235665e-05,1.263822e-05,1.289876e-05,1.297786e-05,1.313929e-05,1.328318e-05,1.336080e-05,1.355651e-05,1.356432e-05,1.375082e-05,1.380012e-05,1.392125e-05,1.401618e-05,1.407653e-05,1.420678e-05,1.421756e-05,1.434516e-05,1.437388e-05,1.446015e-05,1.451933e-05,1.456330e-05,1.464486e-05,1.465534e-05,1.473696e-05,1.475209e-05,1.480881e-05,1.484251e-05,1.487150e-05,1.491753e-05,1.492563e-05,1.497175e-05,1.497842e-05,1.501036e-05,1.502638e-05,1.504196e-05,1.506250e-05,1.506701e-05,1.508593e-05,1.508781e-05,1.509914e-05,1.510324e-05,1.510701e-05,1.510965e-05,1.510991e-05,1.510817e-05,1.510784e-05,1.510210e-05,1.509853e-05,1.509201e-05,1.508241e-05,1.507817e-05,1.506085e-05,1.506008e-05,1.504028e-05,1.503214e-05,1.501672e-05,1.499909e-05,1.499036e-05,1.496142e-05,1.493009e-05,1.491959e-05,1.489654e-05,1.487399e-05,1.486096e-05,1.482502e-05,1.482348e-05,1.478427e-05,1.477300e-05,1.474347e-05,1.471828e-05,1.470120e-05,1.466113e-05,1.465759e-05,1.461276e-05,1.460183e-05,1.456681e-05,1.454063e-05,1.451985e-05,1.447776e-05,1.447197e-05,1.442327e-05,1.441344e-05,1.437382e-05,1.434784e-05,1.432371e-05,1.428116e-05,1.427302e-05,1.422180e-05,1.421356e-05,1.417013e-05,1.414519e-05,1.411808e-05,1.407619e-05,1.406569e-05,1.401302e-05,1.400668e-05,1.396013e-05,1.393679e-05,1.390705e-05,1.386662e-05,1.385384e-05,1.380054e-05,1.379627e-05,1.374718e-05,1.372583e-05,1.369381e-05,1.365539e-05,1.364046e-05,1.358715e-05,1.358502e-05,1.353393e-05,1.351479e-05,1.348081e-05,1.344477e-05,1.342783e-05,1.337501e-05,1.330557e-05,1.323649e-05,1.316783e-05,1.309961e-05,1.303189e-05,1.296468e-05,1.289803e-05,1.283195e-05,1.276648e-05,1.270163e-05,1.263743e-05,1.257388e-05,1.251101e-05,1.244883e-05,1.238735e-05,1.232659e-05,1.226654e-05,1.220721e-05,1.214862e-05,1.209077e-05,1.203365e-05,1.197728e-05,1.192165e-05,1.186677e-05
0.000000e+00,1.577020e-09,3.595047e-09,1.227627e-08,2.776825e-08,4.038145e-08,9.080216e-08,9.349840e-08,1.788604e-07,2.095132e-07,3.036324e-07,4.004494e-07,4.751364e-07,6.806121e-07,7.008346e-07,9.877185e-07,1.066294e-06,1.340656e-06,1.567544e-06,1.760082e-06,2.180400e-06,2.241118e-06,2.775470e-06,2.887939e-06,3.354174e-06,3.669879e-06,3.969081e-06,4.508351e-06,4.613077e-06,5.279843e-06,5.388246e-06,5.963575e-06,6.296179e-06,6.658815e-06,7.219800e-06,7.360379e-06,8.063349e-06,8.147577e-06,8.763106e-06,9.068866e-06,9.455374e-06,9.974078e-06,1.013626e-05,1.080229e-05,1.085484e-05,1.145044e-05,1.170409e-05,1.207812e-05,1.251616e-05,1.268320e-05,1.326399e-05,1.328670e-05,1.381918e-05,1.401260e-05,1.434786e-05,1.469191e-05,1.484944e-05,1.532364e-05,1.577045e-05,1.590767e-05,1.619007e-05,1.644454e-05,1.658291e-05,1.693536e-05,1.694953e-05,1.729062e-05,1.738165e-05,1.760696e-05,1.778525e-05,1.789942e-05,1.814819e-05,1.816893e-05,1.841644e-05,1.847268e-05,1.864294e-05,1.876097e-05,1.884942e-05,1.901535e-05,1.903687e-05,1.920628e-05,1.923808e-05,1.935860e-05,1.943138e-05,1.949480e-05,1.959740e-05,1.961577e-05,1.972241e-05,1.973820e-05,1.981557e-05,1.985574e-05,1.989607e-05,1.995189e-05,1.996470e-05,2.002221e-05,2.002840e-05,2.006931e-05,2.008692e-05,2.010669e-05,2.012900e-05,2.013499e-05,2.015483e-05,2.015607e-05,2.016678e-05,2.016947e-05,2.017139e-05,2.017046e-05,2.016919e-05,2.016066e-05,2.016019e-05,2.014626e-05,2.013973e-05,2.012644e-05,2.011007e-05,2.010160e-05,2.007212e-05,2.003838e-05,2.002674e-05,2.000071e-05,1.997469e-05,1.995943e-05,1.991669e-05,1.991485e-05,1.986724e-05,1.985341e-05,1.981688e-05,1.978544e-05,1.976401e-05,1.971336e-05,1.970887e-05,1.965167e-05,1.963766e-05,1.959262e-05,1.955881e-05,1.953191e-05,1.947726e-05,1.946972e-05,1.940623e-05,1.939338e-05,1.934157e-05,1.930755e-05,1.927591e-05,1.922008e-05,1.920939e-05,1.914211e-05,1.913129e-05,1.907422e-05,1.904144e-05,1.900582e-05,1.895079e-05,1.893700e-05,1.886788e-05,1.885957e-05,1.879853e-05,1.876797e-05,1.872905e-05,1.867620e-05,1.865951e-05,1.858997e-05,1.858442e-05,1.852052e-05,1.849278e-05,1.845121e-05,1.840143e-05,1.838210e-05,1.831324e-05,1.831050e-05,1.824469e-05,1.822009e-05,1.817648e-05,1.813031e-05,1.810865e-05,1.804125e-05,1.795300e-05,1.786563e-05,1.777919e-05,1.769375e-05,1.760936e-05,1.752607e-05,1.744390e-05,1.736289e-05,1.728308e-05,1.720447e-05,1.712710e-05,1.705098e-05,1.697612e-05,1.690252e-05,1.683020e-05,1.675916e-05,1.668939e-05,1.662090e-05,1.655368e-05,1.648773e-05,1.642304e-05,1.635961e-05,1.629742e-05,1.623646e-05
0.000000e+00,2.939441e-09,6.682540e-09,2.271587e-08,5.127023e-08,7.454931e-08,1.683421e-07,1.733984e-07,3.359130e-07,3.954542e-07,5.820776e-07,7.794678e-07,9.348198e-07,1.370682e-06,1.413898e-06,2.023398e-06,2.187499e-06,2.745934e-06,3.189475e-06,3.553473e-06,4.313824e-06,4.420272e-06,5.326979e-06,5.511799e-06,6.259466e-06,6.750846e-06,7.206837e-06,8.007457e-06,8.160016e-06,9.111008e-06,9.262470e-06,1.005256e-05,1.049918e-05,1.097806e-05,1.170290e-05,1.188158e-05,1.275795e-05,1.286107e-05,1.360278e-05,1.396357e-05,1.441252e-05,1.500274e-05,1.518443e-05,1.591662e-05,1.597344e-05,1.660795e-05,1.687291e-05,1.725793e-05,1.770034e-05,1.786665e-05,1.843471e-05,1.845660e-05,1.896312e-05,1.914391e-05,1.945323e-05,1.976533e-05,1.990646e-05,2.032454e-05,2.070925e-05,2.082561e-05,2.106247e-05,2.127288e-05,2.138609e-05,2.167065e-05,2.168198e-05,2.195196e-05,2.202315e-05,2.219779e-05,2.233441e-05,2.242117e-05,2.260823e-05,2.262370e-05,2.280690e-05,2.284815e-05,2.297220e-05,2.305745e-05,2.312093e-05,2.323910e-05,2.325433e-05,2.337357e-05,2.339582e-05,2.347972e-05,2.353008e-05,2.357377e-05,2.364409e-05,2.365663e-05,2.372916e-05,2.373986e-05,2.379213e-05,2.381918e-05,2.384627e-05,2.388366e-05,2.389223e-05,2.393063e-05,2.393476e-05,2.396203e-05,2.397376e-05,2.398695e-05,2.400184e-05,2.400586e-05,2.401920e-05,2.402004e-05,2.402739e-05,2.402930e-05,2.403079e-05,2.403047e-05,2.402975e-05,2.402459e-05,2.402430e-05,2.401560e-05,2.401149e-05,2.400307e-05,2.399265e-05,2.398723e-05,2.396834e-05,2.394660e-05,2.393907e-05,2.392221e-05,2.390531e-05,2.389538e-05,2.386747e-05,2.386626e-05,2.383504e-05,2.382593e-05,2.380185e-05,2.378105e-05,2.376684e-05,2.373314e-05,2.373015e-05,2.369190e-05,2.368250e-05,2.365220e-05,2.362938e-05,2.361117e-05,2.357403e-05,2.356890e-05,2.352550e-05,2.351669e-05,2.348105e-05,2.345755e-05,2.343564e-05,2.339682e-05,2.338935e-05,2.334226e-05,2.333465e-05,2.329443e-05,2.327122e-05,2.324592e-05,2.320668e-05,2.319682e-05,2.314716e-05,2.314117e-05,2.309701e-05,2.307480e-05,2.304642e-05,2.300772e-05,2.299545e-05,2.294413e-05,2.294001e-05,2.289251e-05,2.287179e-05,2.284064e-05,2.280315e-05,2.278855e-05,2.273628e-05,2.273419e-05,2.268387e-05,2.266497e-05,2.263134e-05,2.259558e-05,2.257874e-05,2.252609e-05,2.245657e-05,2.238707e-05,2.231765e-05,2.224837e-05,2.217927e-05,2.211040e-05,2.204181e-05,2.197352e-05,2.190558e-05,2.183802e-05,2.177087e-05,2.170416e-05,2.163792e-05,2.157216e-05,2.150692e-05,2.144221e-05,2.137805e-05,2.131446e-05,2.125145e-05,2.118904e-05,2.112724e-05,2.106606e-05,2.100551e-05,2.094560e-05
0.000000e+00,7.131483e-07,1.601761e-06,5.304955e-06,1.167431e-05,1.672660e-05,3.622912e-05,3.724941e-05,6.878618e-05,7.983491e-05,1.131273e-04,1.465988e-04,1.719774e-04,2.399783e-04,2.465259e-04,3.364466e-04,3.600810e-04,4.392985e-04,5.011915e-04,5.514458e-04,6.550880e-04,6.694657e-04,7.907143e-04,8.151696e-04,9.132278e-04,9.769155e-04,1.035477e-03,1.137025e-03,1.156189e-03,1.274259e-03,1.292838e-03,1.388717e-03,1.442124e-03,1.498730e-03,1.583069e-03,1.603604e-03,1.702800e-03,1.714302e-03,1.795933e-03,1.834926e-03,1.882771e-03,1.944495e-03,1.963219e-03,2.037301e-03,2.042956e-03,2.105149e-03,2.130589e-03,2.166980e-03,2.207928e-03,2.223075e-03,2.273758e-03,2.275678e-03,2.319385e-03,2.334644e-03,2.360325e-03,2.385675e-03,2.396947e-03,2.429618e-03,2.458687e-03,2.467283e-03,2.484486e-03,2.499426e-03,2.507326e-03,2.526734e-03,2.527493e-03,2.545250e-03,2.549824e-03,2.560837e-03,2.569238e-03,2.574470e-03,2.585456e-03,2.586346e-03,2.596638e-03,2.598890e-03,2.605501e-03,2.609891e-03,2.613072e-03,2.618763e-03,2.619473e-03,2.624816e-03,2.625766e-03,2.629197e-03,2.631124e-03,2.632703e-03,2.635028e-03,2.635410e-03,2.637388e-03,2.637641e-03,2.638698e-03,2.639106e-03,2.639396e-03,2.639547e-03,2.639532e-03,2.639150e-03,2.639071e-03,2.638291e-03,2.637771e-03,2.636992e-03,2.635731e-03,2.635286e-03,2.633205e-03,2.633023e-03,2.630777e-03,2.629714e-03,2.628027e-03,2.625861e-03,2.624979e-03,2.621656e-03,2.621518e-03,2.618078e-03,2.616731e-03,2.614263e-03,2.611544e-03,2.610230e-03,2.605996e-03,2.601575e-03,2.600123e-03,2.596981e-03,2.593958e-03,2.592230e-03,2.587531e-03,2.587332e-03,2.582301e-03,2.580869e-03,2.577147e-03,2.574000e-03,2.571880e-03,2.566945e-03,2.566512e-03,2.561051e-03,2.559728e-03,2.555506e-03,2.552368e-03,2.549886e-03,2.544884e-03,2.544198e-03,2.538450e-03,2.537293e-03,2.532648e-03,2.529613e-03,2.526800e-03,2.521857e-03,2.520912e-03,2.514989e-03,2.514039e-03,2.509038e-03,2.506172e-03,2.503063e-03,2.498269e-03,2.497069e-03,2.491062e-03,2.490340e-03,2.485045e-03,2.482396e-03,2.479023e-03,2.474445e-03,2.473000e-03,2.466979e-03,2.466498e-03,2.460965e-03,2.458561e-03,2.454959e-03,2.450643e-03,2.448966e-03,2.442989e-03,2.442750e-03,2.437030e-03,2.434889e-03,2.431091e-03,2.427066e-03,2.425176e-03,2.419286e-03,2.411554e-03,2.403875e-03,2.396252e-03,2.388691e-03,2.381194e-03,2.373764e-03,2.366404e-03,2.359118e-03,2.351907e-03,2.344773e-03,2.337718e-03,2.330745e-03,2.323854e-03,2.317047e-03,2.310324e-03,2.303687e-03,2.297137e-03,2.290675e-03,2.284300e-03,2.278013e-03,2.271814e-03,2.265704e-03,2.259683e-03,2.253751e-03
0.000000e+00,1.616195e-07,3.641470e-07,1.214982e-06,2.695893e-06,3.883323e-06,8.557659e-06,8.805896e-06,1.664534e-05,1.946416e-05,2.816696e-05,3.720968e-05,4.424559e-05,6.378010e-05,6.570884e-05,9.290706e-05,1.002395e-04,1.251778e-04,1.448643e-04,1.608507e-04,1.935024e-04,1.979777e-04,2.350079e-04,2.423065e-04,2.709518e-04,2.890158e-04,3.052511e-04,3.325710e-04,3.376109e-04,3.678815e-04,3.725253e-04,3.959904e-04,4.087053e-04,4.219092e-04,4.410678e-04,4.456397e-04,4.672060e-04,4.696504e-04,4.866534e-04,4.945553e-04,5.040475e-04,5.159439e-04,5.194707e-04,5.330211e-04,5.340275e-04,5.448085e-04,5.490561e-04,5.549508e-04,5.613030e-04,5.635699e-04,5.707899e-04,5.710514e-04,5.767355e-04,5.785875e-04,5.815284e-04,5.841883e-04,5.852840e-04,5.881111e-04,5.901119e-04,5.905934e-04,5.913814e-04,5.918498e-04,5.920045e-04,5.920629e-04,5.920548e-04,5.915991e-04,5.913895e-04,5.906996e-04,5.899702e-04,5.894117e-04,5.879264e-04,5.877849e-04,5.858635e-04,5.853632e-04,5.836909e-04,5.823820e-04,5.813133e-04,5.790788e-04,5.787646e-04,5.760657e-04,5.755100e-04,5.732404e-04,5.717278e-04,5.703078e-04,5.677733e-04,5.672841e-04,5.641850e-04,5.636831e-04,5.610237e-04,5.594876e-04,5.578116e-04,5.552124e-04,5.545591e-04,5.512756e-04,5.508800e-04,5.479696e-04,5.465097e-04,5.446482e-04,5.421177e-04,5.413180e-04,5.379844e-04,5.377177e-04,5.346527e-04,5.333215e-04,5.313273e-04,5.289393e-04,5.280124e-04,5.247117e-04,5.245800e-04,5.214284e-04,5.202512e-04,5.181654e-04,5.159594e-04,5.149251e-04,5.117100e-04,5.085218e-04,5.075077e-04,5.053626e-04,5.033565e-04,5.022338e-04,4.992600e-04,4.991368e-04,4.960729e-04,4.952211e-04,4.930432e-04,4.912421e-04,4.900485e-04,4.873251e-04,4.870897e-04,4.841676e-04,4.834718e-04,4.812826e-04,4.796834e-04,4.784352e-04,4.759610e-04,4.756259e-04,4.728551e-04,4.723055e-04,4.701228e-04,4.687174e-04,4.674294e-04,4.651971e-04,4.647750e-04,4.621595e-04,4.617447e-04,4.595831e-04,4.583603e-04,4.570457e-04,4.550438e-04,4.545472e-04,4.520874e-04,4.517949e-04,4.496663e-04,4.486132e-04,4.472837e-04,4.454985e-04,4.449393e-04,4.426329e-04,4.424500e-04,4.403642e-04,4.394672e-04,4.381329e-04,4.365494e-04,4.359387e-04,4.337813e-04,4.336958e-04,4.316604e-04,4.309057e-04,4.295755e-04,4.281782e-04,4.275263e-04,4.255124e-04,4.229074e-04,4.203623e-04,4.178760e-04,4.154477e-04,4.130762e-04,4.107606e-04,4.084999e-04,4.062930e-04,4.041389e-04,4.020365e-04,3.999849e-04,3.979829e-04,3.960295e-04,3.941238e-04,3.922647e-04,3.904512e-04,3.886823e-04,3.869571e-04,3.852744e-04,3.836335e-04,3.820333e-04,3.804728e-04,3.789513e-04,3.774677e-04
0.000000e+00,5.188476e-09,1.177727e-08,3.988372e-08,8.962643e-08,1.299436e-07,2.906057e-07,2.991931e-07,5.717016e-07,6.699985e-07,9.735971e-07,1.288715e-06,1.533599e-06,2.213647e-06,2.280952e-06,3.238729e-06,3.501022e-06,4.411883e-06,5.155320e-06,5.776803e-06,7.098321e-06,7.284981e-06,8.880316e-06,9.205346e-06,1.051417e-05,1.136647e-05,1.215020e-05,1.350711e-05,1.376271e-05,1.533359e-05,1.558013e-05,1.684977e-05,1.755520e-05,1.830169e-05,1.941215e-05,1.968231e-05,2.098658e-05,2.113778e-05,2.221114e-05,2.272417e-05,2.335411e-05,2.416778e-05,2.441487e-05,2.539386e-05,2.546868e-05,2.629248e-05,2.662990e-05,2.711292e-05,2.765674e-05,2.785790e-05,2.853060e-05,2.855606e-05,2.913459e-05,2.933592e-05,2.967361e-05,3.000499e-05,3.015151e-05,3.057223e-05,3.093963e-05,3.104657e-05,3.125754e-05,3.143673e-05,3.152962e-05,3.175099e-05,3.175941e-05,3.195025e-05,3.199715e-05,3.210532e-05,3.218244e-05,3.222760e-05,3.231352e-05,3.231986e-05,3.238471e-05,3.239647e-05,3.242456e-05,3.243679e-05,3.244164e-05,3.243948e-05,3.243802e-05,3.241560e-05,3.240902e-05,3.237616e-05,3.234945e-05,3.232129e-05,3.226438e-05,3.225250e-05,3.217113e-05,3.215704e-05,3.207846e-05,3.203030e-05,3.197561e-05,3.188673e-05,3.186366e-05,3.174355e-05,3.172864e-05,3.161618e-05,3.155805e-05,3.148235e-05,3.137678e-05,3.134281e-05,3.119823e-05,3.118646e-05,3.104923e-05,3.098852e-05,3.089638e-05,3.078423e-05,3.074020e-05,3.058116e-05,3.057475e-05,3.041970e-05,3.036107e-05,3.025623e-05,3.014409e-05,3.009109e-05,2.992462e-05,2.975713e-05,2.970337e-05,2.958890e-05,2.948096e-05,2.942017e-05,2.925795e-05,2.925118e-05,2.908215e-05,2.903483e-05,2.891325e-05,2.881205e-05,2.874467e-05,2.858999e-05,2.857657e-05,2.840908e-05,2.836900e-05,2.824236e-05,2.814937e-05,2.807651e-05,2.793136e-05,2.791164e-05,2.774785e-05,2.771523e-05,2.758523e-05,2.750115e-05,2.742386e-05,2.728932e-05,2.726381e-05,2.710514e-05,2.707989e-05,2.694792e-05,2.687298e-05,2.679219e-05,2.666871e-05,2.663800e-05,2.648539e-05,2.646718e-05,2.633439e-05,2.626847e-05,2.618503e-05,2.607264e-05,2.603735e-05,2.589136e-05,2.587975e-05,2.574708e-05,2.568985e-05,2.560453e-05,2.550296e-05,2.546371e-05,2.532465e-05,2.531912e-05,2.518734e-05,2.513834e-05,2.505179e-05,2.496062e-05,2.491800e-05,2.478598e-05,2.461440e-05,2.444589e-05,2.428043e-05,2.411800e-05,2.395858e-05,2.380215e-05,2.364868e-05,2.349814e-05,2.335050e-05,2.320574e-05,2.306380e-05,2.292466e-05,2.278828e-05,2.265462e-05,2.252364e-05,2.239530e-05,2.226956e-05,2.214637e-05,2.202570e-05,2.190750e-05,2.179173e-05,2.167835e-05,2.156731e-05,2.145857e-05
0.000000e+00,1.087917e-09,2.483238e-09,8.499807e-09,1.925796e-08,2.802311e-08,6.303733e-08,6.490725e-08,1.239145e-07,1.449996e-07,2.093648e-07,2.749705e-07,3.251669e-07,4.615229e-07,4.748146e-07,6.612988e-07,7.118058e-07,8.868507e-07,1.030675e-06,1.152517e-06,1.419178e-06,1.457868e-06,1.801190e-06,1.874201e-06,2.179998e-06,2.390057e-06,2.591413e-06,2.959923e-06,3.032313e-06,3.499370e-06,3.576294e-06,3.989068e-06,4.231094e-06,4.497744e-06,4.915831e-06,5.021648e-06,5.557010e-06,5.621846e-06,6.100114e-06,6.340601e-06,6.647368e-06,7.063953e-06,7.195366e-06,7.740936e-06,7.784388e-06,8.281178e-06,8.495190e-06,8.813490e-06,9.190544e-06,9.335578e-06,9.845465e-06,9.865582e-06,1.034148e-05,1.051637e-05,1.082224e-05,1.113987e-05,1.128664e-05,1.173385e-05,1.216324e-05,1.229681e-05,1.257442e-05,1.282789e-05,1.296715e-05,1.332675e-05,1.334137e-05,1.369716e-05,1.379350e-05,1.403470e-05,1.422859e-05,1.435429e-05,1.463277e-05,1.465629e-05,1.494113e-05,1.500699e-05,1.520928e-05,1.535236e-05,1.546128e-05,1.567010e-05,1.569766e-05,1.591900e-05,1.596151e-05,1.612586e-05,1.622791e-05,1.631884e-05,1.647064e-05,1.649852e-05,1.666548e-05,1.669105e-05,1.682028e-05,1.689044e-05,1.696350e-05,1.707010e-05,1.709568e-05,1.721735e-05,1.723126e-05,1.732902e-05,1.737513e-05,1.743121e-05,1.750283e-05,1.752440e-05,1.760904e-05,1.761546e-05,1.768560e-05,1.771405e-05,1.775449e-05,1.779957e-05,1.781612e-05,1.787090e-05,1.787296e-05,1.791921e-05,1.793508e-05,1.796139e-05,1.798675e-05,1.799779e-05,1.802874e-05,1.805456e-05,1.806179e-05,1.807554e-05,1.808655e-05,1.809196e-05,1.810369e-05,1.810409e-05,1.811220e-05,1.811377e-05,1.811651e-05,1.811738e-05,1.811727e-05,1.811502e-05,1.811469e-05,1.810899e-05,1.810717e-05,1.810035e-05,1.809431e-05,1.808897e-05,1.807684e-05,1.807503e-05,1.805870e-05,1.805516e-05,1.804013e-05,1.802964e-05,1.801948e-05,1.800063e-05,1.799690e-05,1.797251e-05,1.796845e-05,1.794645e-05,1.793338e-05,1.791884e-05,1.789572e-05,1.788980e-05,1.785944e-05,1.785571e-05,1.782786e-05,1.781360e-05,1.779516e-05,1.776961e-05,1.776143e-05,1.772676e-05,1.772395e-05,1.769123e-05,1.767680e-05,1.765493e-05,1.762836e-05,1.761793e-05,1.758029e-05,1.757878e-05,1.754209e-05,1.752821e-05,1.750339e-05,1.747681e-05,1.746424e-05,1.742470e-05,1.737201e-05,1.731884e-05,1.726531e-05,1.721150e-05,1.715751e-05,1.710343e-05,1.704932e-05,1.699525e-05,1.694130e-05,1.688751e-05,1.683395e-05,1.678066e-05,1.672769e-05,1.667508e-05,1.662286e-05,1.657108e-05,1.651975e-05,1.646892e-05,1.641859e-05,1.636881e-05,1.631958e-05,1.627092e-05,1.622286e-05,1.617540e-05
0.000000e+00,1.573902e-09,3.587597e-09,1.224821e-08,2.769880e-08,4.027520e-08,9.052751e-08,9.321387e-08,1.782176e-07,2.087191e-07,3.022857e-07,3.983677e-07,4.723441e-07,6.750013e-07,6.948628e-07,9.745198e-07,1.050326e-06,1.311989e-06,1.524744e-06,1.702838e-06,2.084813e-06,2.139320e-06,2.613100e-06,2.711649e-06,3.116600e-06,3.387910e-06,3.643114e-06,4.098726e-06,4.186586e-06,4.741430e-06,4.830909e-06,5.302463e-06,5.572537e-06,5.864907e-06,6.312949e-06,6.424427e-06,6.977167e-06,7.042876e-06,7.519776e-06,7.754565e-06,8.049414e-06,8.441807e-06,8.563743e-06,9.060898e-06,9.099883e-06,9.539456e-06,9.725428e-06,9.998383e-06,1.031626e-05,1.043699e-05,1.085490e-05,1.087118e-05,1.125197e-05,1.138982e-05,1.162826e-05,1.187240e-05,1.198404e-05,1.231966e-05,1.263561e-05,1.273266e-05,1.293247e-05,1.311271e-05,1.321083e-05,1.346128e-05,1.347137e-05,1.371477e-05,1.377994e-05,1.394172e-05,1.407029e-05,1.415294e-05,1.433396e-05,1.434911e-05,1.453094e-05,1.457252e-05,1.469909e-05,1.478753e-05,1.485423e-05,1.498050e-05,1.499700e-05,1.512801e-05,1.515286e-05,1.524787e-05,1.530598e-05,1.535714e-05,1.544116e-05,1.545639e-05,1.554613e-05,1.555964e-05,1.562688e-05,1.566258e-05,1.569911e-05,1.575107e-05,1.576329e-05,1.581985e-05,1.582615e-05,1.586922e-05,1.588877e-05,1.591179e-05,1.593984e-05,1.594795e-05,1.597805e-05,1.598021e-05,1.600244e-05,1.601066e-05,1.602144e-05,1.603195e-05,1.603536e-05,1.604450e-05,1.604477e-05,1.604913e-05,1.604975e-05,1.604953e-05,1.604750e-05,1.604594e-05,1.603860e-05,1.602773e-05,1.602355e-05,1.601356e-05,1.600285e-05,1.599628e-05,1.597695e-05,1.597609e-05,1.595318e-05,1.594629e-05,1.592770e-05,1.591126e-05,1.589984e-05,1.587223e-05,1.586974e-05,1.583755e-05,1.582953e-05,1.580342e-05,1.578350e-05,1.576747e-05,1.573443e-05,1.572983e-05,1.569062e-05,1.568260e-05,1.564995e-05,1.562826e-05,1.560793e-05,1.557166e-05,1.556466e-05,1.552024e-05,1.551303e-05,1.547475e-05,1.545256e-05,1.542828e-05,1.539046e-05,1.538092e-05,1.533273e-05,1.532690e-05,1.528380e-05,1.526206e-05,1.523419e-05,1.519608e-05,1.518397e-05,1.513320e-05,1.512912e-05,1.508193e-05,1.506130e-05,1.503023e-05,1.499276e-05,1.497814e-05,1.492571e-05,1.492361e-05,1.487300e-05,1.485396e-05,1.482004e-05,1.478390e-05,1.476687e-05,1.471354e-05,1.464296e-05,1.457224e-05,1.450145e-05,1.443065e-05,1.435993e-05,1.428932e-05,1.421889e-05,1.414868e-05,1.407875e-05,1.400914e-05,1.393987e-05,1.387100e-05,1.380255e-05,1.373456e-05,1.366704e-05,1.360003e-05,1.353355e-05,1.346762e-05,1.340226e-05,1.333748e-05,1.327330e-05,1.320973e-05,1.314679e-05,1.308448e-05
0.000000e+00,2.444871e-09,5.577912e-09,1.908639e-08,4.328041e-08,6.304689e-08,1.425831e-07,1.468578e-07,2.831949e-07,3.325862e-07,4.854742e-07,6.443835e-07,7.678627e-07,1.110062e-06,1.143845e-06,1.622320e-06,1.752562e-06,2.202439e-06,2.567658e-06,2.872512e-06,3.522898e-06,3.615288e-06,4.413826e-06,4.578918e-06,5.253820e-06,5.703002e-06,6.123468e-06,6.869545e-06,7.012787e-06,7.913095e-06,8.057639e-06,8.816738e-06,9.249660e-06,9.716982e-06,1.043077e-05,1.060798e-05,1.148476e-05,1.158881e-05,1.234319e-05,1.271419e-05,1.317990e-05,1.379965e-05,1.399229e-05,1.477841e-05,1.484012e-05,1.553689e-05,1.583234e-05,1.626686e-05,1.677452e-05,1.696787e-05,1.763982e-05,1.766609e-05,1.828288e-05,1.850739e-05,1.889746e-05,1.929938e-05,1.948412e-05,2.004357e-05,2.057663e-05,2.074177e-05,2.108415e-05,2.139598e-05,2.156704e-05,2.200833e-05,2.202626e-05,2.246272e-05,2.258099e-05,2.287739e-05,2.311610e-05,2.327117e-05,2.361579e-05,2.364499e-05,2.399972e-05,2.408211e-05,2.433624e-05,2.451704e-05,2.465536e-05,2.492245e-05,2.495790e-05,2.524462e-05,2.530013e-05,2.551627e-05,2.565180e-05,2.577354e-05,2.597904e-05,2.601712e-05,2.624765e-05,2.628336e-05,2.646575e-05,2.656619e-05,2.667201e-05,2.682886e-05,2.686698e-05,2.705121e-05,2.707262e-05,2.722520e-05,2.729864e-05,2.738944e-05,2.750802e-05,2.754438e-05,2.769046e-05,2.770178e-05,2.782811e-05,2.788090e-05,2.795772e-05,2.804626e-05,2.807966e-05,2.819429e-05,2.819873e-05,2.830196e-05,2.833908e-05,2.840299e-05,2.846805e-05,2.849768e-05,2.858634e-05,2.866923e-05,2.869459e-05,2.874664e-05,2.879341e-05,2.881880e-05,2.888337e-05,2.888596e-05,2.894836e-05,2.896500e-05,2.900619e-05,2.903880e-05,2.905969e-05,2.910523e-05,2.910903e-05,2.915442e-05,2.916474e-05,2.919602e-05,2.921773e-05,2.923402e-05,2.926460e-05,2.926856e-05,2.929982e-05,2.930569e-05,2.932794e-05,2.934136e-05,2.935305e-05,2.937193e-05,2.937530e-05,2.939481e-05,2.939768e-05,2.941170e-05,2.941892e-05,2.942610e-05,2.943589e-05,2.943811e-05,2.944784e-05,2.944886e-05,2.945540e-05,2.945806e-05,2.946087e-05,2.946370e-05,2.946436e-05,2.946596e-05,2.946601e-05,2.946574e-05,2.946517e-05,2.946380e-05,2.946137e-05,2.946020e-05,2.945503e-05,2.945479e-05,2.944836e-05,2.944560e-05,2.944025e-05,2.943395e-05,2.943077e-05,2.941999e-05,2.940385e-05,2.938568e-05,2.936559e-05,2.934371e-05,2.932015e-05,2.929501e-05,2.926840e-05,2.924040e-05,2.921112e-05,2.918063e-05,2.914902e-05,2.911637e-05,2.908274e-05,2.904822e-05,2.901285e-05,2.897672e-05,2.893987e-05,2.890236e-05,2.886425e-05,2.882559e-05,2.878643e-05,2.874681e-05,2.870677e-05,2.866637e-05
0.000000e+00,2.206062e-09,5.038994e-09,1.727719e-08,3.922230e-08,5.714939e-08,1.291261e-07,1.329853e-07,2.555068e-07,2.996237e-07,4.353390e-07,5.752067e-07,6.831990e-07,9.802753e-07,1.009484e-06,1.422580e-06,1.535181e-06,1.926235e-06,2.247333e-06,2.518602e-06,3.108942e-06,3.194187e-06,3.946302e-06,4.105312e-06,4.768183e-06,5.220907e-06,5.653121e-06,6.440233e-06,6.594320e-06,7.584781e-06,7.747347e-06,8.617287e-06,9.125662e-06,9.684465e-06,1.055819e-05,1.077890e-05,1.189326e-05,1.202799e-05,1.302045e-05,1.351871e-05,1.415369e-05,1.501509e-05,1.528666e-05,1.641355e-05,1.650328e-05,1.752913e-05,1.797112e-05,1.862873e-05,1.940825e-05,1.970830e-05,2.076439e-05,2.080610e-05,2.179408e-05,2.215784e-05,2.279500e-05,2.345820e-05,2.376524e-05,2.470334e-05,2.560826e-05,2.589070e-05,2.647929e-05,2.701877e-05,2.731603e-05,2.808692e-05,2.811835e-05,2.888634e-05,2.909526e-05,2.962029e-05,3.004449e-05,3.032063e-05,3.093575e-05,3.098794e-05,3.162289e-05,3.177055e-05,3.222626e-05,3.255066e-05,3.279887e-05,3.327803e-05,3.334161e-05,3.385538e-05,3.395474e-05,3.434112e-05,3.458295e-05,3.479980e-05,3.516487e-05,3.523237e-05,3.563979e-05,3.570270e-05,3.602301e-05,3.619864e-05,3.638297e-05,3.665482e-05,3.672061e-05,3.703682e-05,3.707337e-05,3.733251e-05,3.745633e-05,3.760853e-05,3.780567e-05,3.786573e-05,3.810493e-05,3.812331e-05,3.832693e-05,3.841108e-05,3.853249e-05,3.867074e-05,3.872237e-05,3.889727e-05,3.890396e-05,3.905789e-05,3.911235e-05,3.920491e-05,3.929744e-05,3.933897e-05,3.946068e-05,3.957064e-05,3.960344e-05,3.966943e-05,3.972705e-05,3.975760e-05,3.983274e-05,3.983567e-05,3.990416e-05,3.992169e-05,3.996355e-05,3.999501e-05,4.001431e-05,4.005377e-05,4.005689e-05,4.009171e-05,4.009895e-05,4.011918e-05,4.013151e-05,4.013971e-05,4.015232e-05,4.015366e-05,4.016140e-05,4.016224e-05,4.016328e-05,4.016204e-05,4.015961e-05,4.015248e-05,4.015072e-05,4.013691e-05,4.013426e-05,4.011847e-05,4.010805e-05,4.009567e-05,4.007447e-05,4.006877e-05,4.003803e-05,4.003410e-05,4.000369e-05,3.998749e-05,3.996596e-05,3.993517e-05,3.992508e-05,3.988125e-05,3.987763e-05,3.983467e-05,3.981531e-05,3.978553e-05,3.974866e-05,3.973400e-05,3.968026e-05,3.967807e-05,3.962448e-05,3.960392e-05,3.956680e-05,3.952657e-05,3.950738e-05,3.944636e-05,3.936358e-05,3.927853e-05,3.919149e-05,3.910270e-05,3.901241e-05,3.892085e-05,3.882820e-05,3.873468e-05,3.864045e-05,3.854568e-05,3.845054e-05,3.835516e-05,3.825968e-05,3.816422e-05,3.806890e-05,3.797382e-05,3.787909e-05,3.778478e-05,3.769099e-05,3.759780e-05,3.750526e-05,3.741345e-05,3.732242e-05,3.723222e-05
0.000000e+00,5.609664e-09,1.282996e-08,4.410419e-08,1.003421e-07,1.463630e-07,3.314524e-07,3.413835e-07,6.566890e-07,7.701531e-07,1.118726e-06,1.477040e-06,1.752994e-06,2.509038e-06,2.583147e-06,3.627808e-06,3.911696e-06,4.896122e-06,5.704034e-06,6.387195e-06,7.878273e-06,8.094228e-06,1.000799e-05,1.041463e-05,1.211772e-05,1.328818e-05,1.441102e-05,1.646889e-05,1.687365e-05,1.948966e-05,1.992131e-05,2.224160e-05,2.360542e-05,2.511101e-05,2.747832e-05,2.807884e-05,3.112593e-05,3.149601e-05,3.423344e-05,3.561517e-05,3.738320e-05,3.979468e-05,4.055805e-05,4.374203e-05,4.399669e-05,4.692052e-05,4.818738e-05,5.008035e-05,5.233724e-05,5.320981e-05,5.629863e-05,5.642120e-05,5.933793e-05,6.041848e-05,6.232020e-05,6.431231e-05,6.523916e-05,6.808965e-05,7.086747e-05,7.174046e-05,7.356932e-05,7.525745e-05,7.619271e-05,7.863570e-05,7.873587e-05,8.119758e-05,8.187216e-05,8.357718e-05,8.496543e-05,8.587448e-05,8.791548e-05,8.808968e-05,9.022332e-05,9.072335e-05,9.227623e-05,9.339098e-05,9.424950e-05,9.592121e-05,9.614453e-05,9.796286e-05,9.831745e-05,9.970599e-05,1.005832e-04,1.013755e-04,1.027223e-04,1.029731e-04,1.045006e-04,1.047387e-04,1.059599e-04,1.066366e-04,1.073526e-04,1.084203e-04,1.086808e-04,1.099462e-04,1.100939e-04,1.111508e-04,1.116620e-04,1.122963e-04,1.131286e-04,1.133847e-04,1.144177e-04,1.144980e-04,1.153971e-04,1.157743e-04,1.163248e-04,1.169616e-04,1.172024e-04,1.180317e-04,1.180639e-04,1.188144e-04,1.190850e-04,1.195520e-04,1.200287e-04,1.202463e-04,1.208987e-04,1.215108e-04,1.216985e-04,1.220842e-04,1.224315e-04,1.226202e-04,1.231010e-04,1.231204e-04,1.235860e-04,1.237103e-04,1.240184e-04,1.242625e-04,1.244190e-04,1.247605e-04,1.247890e-04,1.251296e-04,1.252072e-04,1.254421e-04,1.256053e-04,1.257276e-04,1.259574e-04,1.259873e-04,1.262221e-04,1.262662e-04,1.264333e-04,1.265340e-04,1.266217e-04,1.267633e-04,1.267885e-04,1.269346e-04,1.269561e-04,1.270608e-04,1.271147e-04,1.271682e-04,1.272410e-04,1.272575e-04,1.273296e-04,1.273372e-04,1.273854e-04,1.274049e-04,1.274255e-04,1.274461e-04,1.274508e-04,1.274620e-04,1.274623e-04,1.274598e-04,1.274553e-04,1.274449e-04,1.274266e-04,1.274178e-04,1.273794e-04,1.273776e-04,1.273300e-04,1.273098e-04,1.272705e-04,1.272244e-04,1.272012e-04,1.271228e-04,1.270062e-04,1.268757e-04,1.267323e-04,1.265772e-04,1.264113e-04,1.262356e-04,1.260509e-04,1.258580e-04,1.256577e-04,1.254508e-04,1.252380e-04,1.250199e-04,1.247972e-04,1.245704e-04,1.243402e-04,1.241069e-04,1.238712e-04,1.236335e-04,1.233941e-04,1.231536e-04,1.229122e-04,1.226705e-04,1.224285e-04,1.221868e-04
0.000000e+00,3.079341e-09,7.026578e-09,2.403873e-08,5.445276e-08,7.923878e-08,1.783740e-07,1.836750e-07,3.513572e-07,4.114770e-07,5.956906e-07,7.845301e-07,9.297353e-07,1.327106e-06,1.366050e-06,1.915544e-06,2.065143e-06,2.584948e-06,3.012470e-06,3.374201e-06,4.162619e-06,4.276537e-06,5.281357e-06,5.493594e-06,6.377016e-06,6.978835e-06,7.552042e-06,8.592256e-06,8.795315e-06,1.009593e-05,1.030862e-05,1.144308e-05,1.210310e-05,1.282609e-05,1.395123e-05,1.423444e-05,1.565794e-05,1.582931e-05,1.708687e-05,1.771495e-05,1.851210e-05,1.958759e-05,1.992521e-05,2.131857e-05,2.142898e-05,2.268542e-05,2.322339e-05,2.401987e-05,2.495776e-05,2.531690e-05,2.657235e-05,2.662165e-05,2.778286e-05,2.820712e-05,2.894580e-05,2.970840e-05,3.005921e-05,3.112178e-05,3.213275e-05,3.244529e-05,3.309177e-05,3.367830e-05,3.399892e-05,3.482141e-05,3.485466e-05,3.565973e-05,3.587619e-05,3.641509e-05,3.684494e-05,3.712193e-05,3.773052e-05,3.778159e-05,3.839552e-05,3.853623e-05,3.896529e-05,3.926568e-05,3.949254e-05,3.992266e-05,3.997892e-05,4.042611e-05,4.051099e-05,4.083578e-05,4.103454e-05,4.120962e-05,4.149717e-05,4.154928e-05,4.185641e-05,4.190263e-05,4.213258e-05,4.225462e-05,4.237937e-05,4.255667e-05,4.259830e-05,4.279082e-05,4.281222e-05,4.295837e-05,4.302454e-05,4.310233e-05,4.319677e-05,4.322401e-05,4.332468e-05,4.333186e-05,4.340557e-05,4.343265e-05,4.346785e-05,4.350180e-05,4.351264e-05,4.354100e-05,4.354181e-05,4.355397e-05,4.355506e-05,4.355253e-05,4.354379e-05,4.353759e-05,4.351007e-05,4.347078e-05,4.345586e-05,4.342056e-05,4.338302e-05,4.336015e-05,4.329325e-05,4.329028e-05,4.321166e-05,4.318816e-05,4.312492e-05,4.306925e-05,4.303070e-05,4.293791e-05,4.292957e-05,4.282211e-05,4.279544e-05,4.270883e-05,4.264305e-05,4.259024e-05,4.248187e-05,4.246681e-05,4.233899e-05,4.231293e-05,4.220719e-05,4.213722e-05,4.207182e-05,4.195562e-05,4.193325e-05,4.179183e-05,4.176896e-05,4.164790e-05,4.157801e-05,4.150177e-05,4.138349e-05,4.135374e-05,4.120409e-05,4.118603e-05,4.105307e-05,4.098625e-05,4.090093e-05,4.078470e-05,4.074790e-05,4.059420e-05,4.058188e-05,4.044002e-05,4.037826e-05,4.028556e-05,4.017428e-05,4.013100e-05,3.997648e-05,3.997030e-05,3.982218e-05,3.976671e-05,3.966823e-05,3.956381e-05,3.951476e-05,3.936190e-05,3.916125e-05,3.896210e-05,3.876467e-05,3.856914e-05,3.837570e-05,3.818450e-05,3.799568e-05,3.780935e-05,3.762563e-05,3.744460e-05,3.726634e-05,3.709092e-05,3.691840e-05,3.674882e-05,3.658221e-05,3.641861e-05,3.625803e-05,3.610049e-05,3.594600e-05,3.579454e-05,3.564613e-05,3.550074e-05,3.535836e-05,3.521898e-05
0.000000e+00,1.753608e-09,4.002393e-09,1.370077e-08,3.105754e-08,4.521672e-08,1.019582e-07,1.049969e-07,2.013368e-07,2.359756e-07,3.424067e-07,4.519383e-07,5.364349e-07,7.688055e-07,7.916655e-07,1.115848e-06,1.204637e-06,1.514918e-06,1.772068e-06,1.990839e-06,2.470327e-06,2.539792e-06,3.152654e-06,3.281876e-06,3.817736e-06,4.180330e-06,4.523479e-06,5.140208e-06,5.259668e-06,6.017556e-06,6.140314e-06,6.789608e-06,7.163254e-06,7.569222e-06,8.194413e-06,8.350562e-06,9.128459e-06,9.221353e-06,9.898362e-06,1.023355e-05,1.065631e-05,1.122225e-05,1.139892e-05,1.212334e-05,1.218043e-05,1.282724e-05,1.310262e-05,1.350876e-05,1.398479e-05,1.416649e-05,1.479936e-05,1.482415e-05,1.540669e-05,1.561899e-05,1.598807e-05,1.636848e-05,1.654332e-05,1.707251e-05,1.757586e-05,1.773153e-05,1.805374e-05,1.834643e-05,1.850663e-05,1.891842e-05,1.893510e-05,1.933980e-05,1.944895e-05,1.972142e-05,1.993961e-05,2.008069e-05,2.039213e-05,2.041837e-05,2.073523e-05,2.080827e-05,2.103206e-05,2.118981e-05,2.130961e-05,2.153854e-05,2.156868e-05,2.181002e-05,2.185623e-05,2.203438e-05,2.214458e-05,2.224249e-05,2.240527e-05,2.243507e-05,2.261281e-05,2.263992e-05,2.277640e-05,2.285008e-05,2.292648e-05,2.303724e-05,2.306369e-05,2.318864e-05,2.320284e-05,2.330192e-05,2.334822e-05,2.340411e-05,2.347468e-05,2.349574e-05,2.357734e-05,2.358345e-05,2.364943e-05,2.367570e-05,2.371248e-05,2.375254e-05,2.376695e-05,2.381331e-05,2.381500e-05,2.385197e-05,2.386408e-05,2.388334e-05,2.390071e-05,2.390781e-05,2.392577e-05,2.393757e-05,2.394010e-05,2.394355e-05,2.394447e-05,2.394404e-05,2.393963e-05,2.393935e-05,2.392979e-05,2.392628e-05,2.391563e-05,2.390505e-05,2.389716e-05,2.387658e-05,2.387463e-05,2.384829e-05,2.384143e-05,2.381838e-05,2.380015e-05,2.378512e-05,2.375326e-05,2.374873e-05,2.370941e-05,2.370122e-05,2.366737e-05,2.364448e-05,2.362277e-05,2.358348e-05,2.357581e-05,2.352665e-05,2.351859e-05,2.347545e-05,2.345019e-05,2.342236e-05,2.337862e-05,2.336753e-05,2.331109e-05,2.330421e-05,2.325318e-05,2.322726e-05,2.319392e-05,2.314805e-05,2.313342e-05,2.307181e-05,2.306684e-05,2.300919e-05,2.298387e-05,2.294565e-05,2.289939e-05,2.288129e-05,2.281621e-05,2.281359e-05,2.275049e-05,2.272669e-05,2.268421e-05,2.263886e-05,2.261744e-05,2.255027e-05,2.246109e-05,2.237147e-05,2.228154e-05,2.219143e-05,2.210126e-05,2.201114e-05,2.192117e-05,2.183144e-05,2.174204e-05,2.165304e-05,2.156453e-05,2.147656e-05,2.138920e-05,2.130250e-05,2.121651e-05,2.113128e-05,2.104686e-05,2.096327e-05,2.088055e-05,2.079873e-05,2.071785e-05,2.063791e-05,2.055895e-05,2.048098e-05
0.000000e+00,1.688515e-06,3.802393e-06,1.266118e-05,2.799956e-05,4.022607e-05,8.776108e-05,9.026009e-05,1.679868e-04,1.954169e-04,2.786249e-04,3.630548e-04,4.275435e-04,6.020891e-04,6.190143e-04,8.531926e-04,9.152250e-04,1.124483e-03,1.289416e-03,1.424301e-03,1.705402e-03,1.744725e-03,2.079756e-03,2.148105e-03,2.424963e-03,2.607307e-03,2.776841e-03,3.075326e-03,3.132326e-03,3.488532e-03,3.545403e-03,3.842646e-03,4.011061e-03,4.191897e-03,4.465987e-03,4.533598e-03,4.865196e-03,4.904195e-03,5.184344e-03,5.320277e-03,5.488953e-03,5.709608e-03,5.777215e-03,6.047664e-03,6.068495e-03,6.299202e-03,6.394342e-03,6.531074e-03,6.685591e-03,6.742851e-03,6.934423e-03,6.941667e-03,7.105963e-03,7.162886e-03,7.257884e-03,7.350294e-03,7.390807e-03,7.505521e-03,7.602943e-03,7.630628e-03,7.684081e-03,7.727958e-03,7.750009e-03,7.800014e-03,7.801830e-03,7.840656e-03,7.849350e-03,7.867590e-03,7.878490e-03,7.883704e-03,7.889862e-03,7.890031e-03,7.887554e-03,7.885753e-03,7.877198e-03,7.868283e-03,7.859830e-03,7.839385e-03,7.836253e-03,7.807209e-03,7.800805e-03,7.773375e-03,7.754097e-03,7.735371e-03,7.700637e-03,7.693758e-03,7.649042e-03,7.641631e-03,7.601681e-03,7.578130e-03,7.552084e-03,7.511043e-03,7.500616e-03,7.447604e-03,7.441153e-03,7.393339e-03,7.369132e-03,7.338077e-03,7.295553e-03,7.282047e-03,7.225450e-03,7.220903e-03,7.168463e-03,7.145595e-03,7.111243e-03,7.069979e-03,7.053928e-03,6.996638e-03,6.994348e-03,6.939478e-03,6.918950e-03,6.882541e-03,6.843993e-03,6.825908e-03,6.769649e-03,6.713824e-03,6.696060e-03,6.658486e-03,6.623346e-03,6.603680e-03,6.551605e-03,6.549447e-03,6.495818e-03,6.480915e-03,6.442824e-03,6.411341e-03,6.390486e-03,6.342934e-03,6.338826e-03,6.287861e-03,6.275734e-03,6.237603e-03,6.209772e-03,6.188063e-03,6.145069e-03,6.139250e-03,6.091170e-03,6.081643e-03,6.043827e-03,6.019501e-03,5.997224e-03,5.958649e-03,5.951361e-03,5.906238e-03,5.899087e-03,5.861854e-03,5.840812e-03,5.818206e-03,5.783815e-03,5.775291e-03,5.733103e-03,5.728089e-03,5.691638e-03,5.673620e-03,5.650889e-03,5.620396e-03,5.610851e-03,5.571517e-03,5.568400e-03,5.532878e-03,5.517615e-03,5.494927e-03,5.468024e-03,5.457656e-03,5.421057e-03,5.419607e-03,5.385120e-03,5.372343e-03,5.349837e-03,5.326213e-03,5.315198e-03,5.281194e-03,5.237266e-03,5.194407e-03,5.152593e-03,5.111803e-03,5.072015e-03,5.033206e-03,4.995354e-03,4.958436e-03,4.922430e-03,4.887316e-03,4.853070e-03,4.819673e-03,4.787102e-03,4.755337e-03,4.724357e-03,4.694144e-03,4.664676e-03,4.635934e-03,4.607901e-03,4.580556e-03,4.553882e-03,4.527861e-03,4.502476e-03,4.477710e-03
0.000000e+00,4.583329e-07,1.030081e-06,3.416474e-06,7.530031e-06,1.079929e-05,2.346185e-05,2.412598e-05,4.472775e-05,5.197691e-05,7.391300e-05,9.610927e-05,1.130432e-04,1.589757e-04,1.634501e-04,2.260773e-04,2.429453e-04,3.007934e-04,3.472976e-04,3.857450e-04,4.662899e-04,4.775363e-04,5.723298e-04,5.913479e-04,6.669046e-04,7.152189e-04,7.590275e-04,8.334827e-04,8.473118e-04,9.309518e-04,9.438696e-04,1.009498e-03,1.045315e-03,1.082713e-03,1.137373e-03,1.150492e-03,1.212825e-03,1.219941e-03,1.269771e-03,1.293149e-03,1.321450e-03,1.357308e-03,1.368035e-03,1.409744e-03,1.412877e-03,1.446828e-03,1.460430e-03,1.479569e-03,1.500619e-03,1.508263e-03,1.533218e-03,1.534142e-03,1.554740e-03,1.561706e-03,1.573132e-03,1.584001e-03,1.588687e-03,1.601682e-03,1.612377e-03,1.615355e-03,1.621015e-03,1.625567e-03,1.627817e-03,1.632807e-03,1.632985e-03,1.636701e-03,1.637504e-03,1.639129e-03,1.640029e-03,1.640416e-03,1.640705e-03,1.640693e-03,1.640075e-03,1.639805e-03,1.638666e-03,1.637565e-03,1.636556e-03,1.634183e-03,1.633825e-03,1.630544e-03,1.629828e-03,1.626776e-03,1.624643e-03,1.622577e-03,1.618751e-03,1.617994e-03,1.613072e-03,1.612256e-03,1.607849e-03,1.605245e-03,1.602359e-03,1.597796e-03,1.596634e-03,1.590699e-03,1.589974e-03,1.584581e-03,1.581836e-03,1.578300e-03,1.573431e-03,1.571878e-03,1.565332e-03,1.564803e-03,1.558678e-03,1.555989e-03,1.551931e-03,1.547023e-03,1.545105e-03,1.538212e-03,1.537935e-03,1.531263e-03,1.528750e-03,1.524270e-03,1.519493e-03,1.517240e-03,1.510184e-03,1.503110e-03,1.500843e-03,1.496023e-03,1.491485e-03,1.488932e-03,1.482127e-03,1.481843e-03,1.474762e-03,1.472781e-03,1.467693e-03,1.463461e-03,1.460643e-03,1.454176e-03,1.453615e-03,1.446614e-03,1.444938e-03,1.439643e-03,1.435754e-03,1.432707e-03,1.426634e-03,1.425808e-03,1.418950e-03,1.417584e-03,1.412136e-03,1.408610e-03,1.405367e-03,1.399719e-03,1.398647e-03,1.391977e-03,1.390915e-03,1.385360e-03,1.382203e-03,1.378798e-03,1.373588e-03,1.372291e-03,1.365842e-03,1.365072e-03,1.359451e-03,1.356658e-03,1.353121e-03,1.348351e-03,1.346851e-03,1.340644e-03,1.340150e-03,1.334500e-03,1.332060e-03,1.328419e-03,1.324081e-03,1.322402e-03,1.316451e-03,1.316214e-03,1.310564e-03,1.308461e-03,1.304743e-03,1.300823e-03,1.298989e-03,1.293300e-03,1.285893e-03,1.278601e-03,1.271426e-03,1.264366e-03,1.257422e-03,1.250593e-03,1.243878e-03,1.237278e-03,1.230791e-03,1.224416e-03,1.218153e-03,1.212000e-03,1.205957e-03,1.200023e-03,1.194196e-03,1.188475e-03,1.182859e-03,1.177346e-03,1.171936e-03,1.166626e-03,1.161417e-03,1.156305e-03,1.151290e-03,1.146371e-03
0.000000e+00,8.939902e-09,2.043497e-08,7.028054e-08,1.604113e-07,2.347430e-07,5.393728e-07,5.559796e-07,1.096900e-06,1.297803e-06,1.933572e-06,2.611374e-06,3.145383e-06,4.632673e-06,4.778872e-06,6.819181e-06,7.363947e-06,9.216236e-06,1.069593e-05,1.192181e-05,1.452867e-05,1.489933e-05,1.812000e-05,1.879103e-05,2.155808e-05,2.342336e-05,2.518806e-05,2.836628e-05,2.898356e-05,3.291711e-05,3.355742e-05,3.696062e-05,3.893226e-05,4.108587e-05,4.442629e-05,4.526519e-05,4.947210e-05,4.997758e-05,5.368178e-05,5.552898e-05,5.787149e-05,6.102961e-05,6.202073e-05,6.611134e-05,6.643556e-05,7.012766e-05,7.171038e-05,7.405659e-05,7.682511e-05,7.788724e-05,8.161075e-05,8.175736e-05,8.522022e-05,8.649067e-05,8.871046e-05,9.101376e-05,9.207774e-05,9.531966e-05,9.843491e-05,9.940495e-05,1.014231e-04,1.032691e-04,1.042848e-04,1.069142e-04,1.070213e-04,1.096340e-04,1.103436e-04,1.121248e-04,1.135619e-04,1.144964e-04,1.165751e-04,1.167513e-04,1.188925e-04,1.193898e-04,1.209231e-04,1.220131e-04,1.228462e-04,1.244524e-04,1.246653e-04,1.263835e-04,1.267153e-04,1.280040e-04,1.288093e-04,1.295303e-04,1.307420e-04,1.309657e-04,1.323134e-04,1.325211e-04,1.335766e-04,1.341539e-04,1.347586e-04,1.356477e-04,1.358623e-04,1.368908e-04,1.370094e-04,1.378472e-04,1.382458e-04,1.387341e-04,1.393636e-04,1.395546e-04,1.403112e-04,1.403691e-04,1.410067e-04,1.412684e-04,1.416437e-04,1.420674e-04,1.422245e-04,1.427517e-04,1.427717e-04,1.432276e-04,1.433868e-04,1.436544e-04,1.439178e-04,1.440344e-04,1.443695e-04,1.446620e-04,1.447469e-04,1.449136e-04,1.450542e-04,1.451265e-04,1.452959e-04,1.453022e-04,1.454427e-04,1.454759e-04,1.455496e-04,1.455983e-04,1.456245e-04,1.456666e-04,1.456690e-04,1.456847e-04,1.456843e-04,1.456729e-04,1.456549e-04,1.456352e-04,1.455814e-04,1.455727e-04,1.454868e-04,1.454669e-04,1.453788e-04,1.453143e-04,1.452498e-04,1.451261e-04,1.451010e-04,1.449334e-04,1.449050e-04,1.447482e-04,1.446533e-04,1.445463e-04,1.443734e-04,1.443287e-04,1.440963e-04,1.440675e-04,1.438501e-04,1.437375e-04,1.435907e-04,1.433855e-04,1.433192e-04,1.430362e-04,1.430131e-04,1.427426e-04,1.426223e-04,1.424389e-04,1.422145e-04,1.421260e-04,1.418044e-04,1.417914e-04,1.414748e-04,1.413543e-04,1.411378e-04,1.409046e-04,1.407939e-04,1.404437e-04,1.399727e-04,1.394928e-04,1.390050e-04,1.385103e-04,1.380097e-04,1.375041e-04,1.369943e-04,1.364810e-04,1.359651e-04,1.354471e-04,1.349277e-04,1.344076e-04,1.338872e-04,1.333672e-04,1.328479e-04,1.323298e-04,1.318133e-04,1.312989e-04,1.307869e-04,1.302776e-04,1.297713e-04,1.292684e-04,1.287690e-04,1.282734e-04
0.000000e+00,1.323385e-08,3.021616e-08,1.037033e-07,2.363598e-07,3.457133e-07,7.943726e-07,8.188704e-07,1.619729e-06,1.918717e-06,2.870628e-06,3.895271e-06,4.709636e-06,7.006945e-06,7.234650e-06,1.043009e-05,1.128502e-05,1.418261e-05,1.647836e-05,1.836349e-05,2.231564e-05,2.287115e-05,2.763086e-05,2.860773e-05,3.258431e-05,3.522000e-05,3.768192e-05,4.204236e-05,4.287875e-05,4.813279e-05,4.897607e-05,5.340458e-05,5.593046e-05,5.865745e-05,6.282353e-05,6.385796e-05,6.897636e-05,6.958378e-05,7.398670e-05,7.615119e-05,7.886693e-05,8.247758e-05,8.359889e-05,8.816804e-05,8.852618e-05,9.256321e-05,9.427066e-05,9.677630e-05,9.969394e-05,1.008021e-04,1.046374e-04,1.047868e-04,1.082809e-04,1.095457e-04,1.117332e-04,1.139724e-04,1.149961e-04,1.180727e-04,1.209670e-04,1.218554e-04,1.236835e-04,1.253311e-04,1.262274e-04,1.285122e-04,1.286042e-04,1.308197e-04,1.314119e-04,1.328799e-04,1.340440e-04,1.347909e-04,1.364224e-04,1.365587e-04,1.381896e-04,1.385612e-04,1.396894e-04,1.404744e-04,1.410643e-04,1.421754e-04,1.423199e-04,1.434621e-04,1.436774e-04,1.444963e-04,1.449933e-04,1.454280e-04,1.461352e-04,1.462624e-04,1.470045e-04,1.471150e-04,1.476592e-04,1.479438e-04,1.482313e-04,1.486324e-04,1.487251e-04,1.491452e-04,1.491908e-04,1.494956e-04,1.496288e-04,1.497804e-04,1.499553e-04,1.500034e-04,1.501682e-04,1.501790e-04,1.502784e-04,1.503080e-04,1.503374e-04,1.503500e-04,1.503483e-04,1.503143e-04,1.503120e-04,1.502382e-04,1.502010e-04,1.501228e-04,1.500232e-04,1.499707e-04,1.497846e-04,1.495668e-04,1.494908e-04,1.493195e-04,1.491469e-04,1.490451e-04,1.487579e-04,1.487454e-04,1.484225e-04,1.483282e-04,1.480783e-04,1.478623e-04,1.477145e-04,1.473639e-04,1.473327e-04,1.469346e-04,1.468368e-04,1.465217e-04,1.462845e-04,1.460953e-04,1.457100e-04,1.456568e-04,1.452075e-04,1.451165e-04,1.447486e-04,1.445065e-04,1.442812e-04,1.438827e-04,1.438063e-04,1.433250e-04,1.432474e-04,1.428382e-04,1.426028e-04,1.423467e-04,1.419508e-04,1.418515e-04,1.413533e-04,1.412933e-04,1.408528e-04,1.406321e-04,1.403507e-04,1.399685e-04,1.398478e-04,1.393444e-04,1.393042e-04,1.388413e-04,1.386403e-04,1.383390e-04,1.379781e-04,1.378379e-04,1.373386e-04,1.373186e-04,1.368413e-04,1.366629e-04,1.363466e-04,1.360118e-04,1.358548e-04,1.353662e-04,1.347266e-04,1.340939e-04,1.334686e-04,1.328512e-04,1.322422e-04,1.316419e-04,1.310507e-04,1.304690e-04,1.298969e-04,1.293347e-04,1.287826e-04,1.282407e-04,1.277091e-04,1.271879e-04,1.266772e-04,1.261770e-04,1.256873e-04,1.252081e-04,1.247393e-04,1.242810e-04,1.238330e-04,1.233953e-04,1.229678e-04,1.225504e-04
0.000000e+00,5.491143e-07,1.233850e-06,4.089525e-06,9.004218e-06,1.290355e-05,2.795416e-05,2.874134e-05,5.305889e-05,6.157183e-05,8.720770e-05,1.129739e-04,1.325223e-04,1.850778e-04,1.901593e-04,2.604966e-04,2.791749e-04,3.423701e-04,3.923092e-04,4.331513e-04,5.179872e-04,5.298042e-04,6.297612e-04,6.499712e-04,7.311158e-04,7.838912e-04,8.324607e-04,9.167731e-04,9.326968e-04,1.030903e-03,1.046373e-03,1.126272e-03,1.170827e-03,1.218086e-03,1.288551e-03,1.305715e-03,1.388629e-03,1.398240e-03,1.466401e-03,1.498908e-03,1.538719e-03,1.589905e-03,1.605382e-03,1.666296e-03,1.670920e-03,1.721469e-03,1.741949e-03,1.770996e-03,1.803253e-03,1.815048e-03,1.853852e-03,1.855298e-03,1.887681e-03,1.898701e-03,1.916845e-03,1.934177e-03,1.941670e-03,1.962491e-03,1.979644e-03,1.984412e-03,1.993458e-03,2.000694e-03,2.004251e-03,2.012049e-03,2.012323e-03,2.017956e-03,2.019132e-03,2.021411e-03,2.022539e-03,2.022928e-03,2.022803e-03,2.022728e-03,2.021010e-03,2.020392e-03,2.017953e-03,2.015717e-03,2.013719e-03,2.009134e-03,2.008452e-03,2.002281e-03,2.000949e-03,1.995321e-03,1.991424e-03,1.987673e-03,1.980784e-03,1.979427e-03,1.970664e-03,1.969219e-03,1.961454e-03,1.956893e-03,1.951860e-03,1.943945e-03,1.941936e-03,1.931733e-03,1.930492e-03,1.921293e-03,1.916634e-03,1.910655e-03,1.902459e-03,1.899853e-03,1.888919e-03,1.888039e-03,1.877878e-03,1.873437e-03,1.866755e-03,1.858709e-03,1.855573e-03,1.844350e-03,1.843900e-03,1.833104e-03,1.829052e-03,1.821849e-03,1.814200e-03,1.810602e-03,1.799373e-03,1.788174e-03,1.784599e-03,1.777016e-03,1.769901e-03,1.765908e-03,1.755299e-03,1.754858e-03,1.743873e-03,1.740810e-03,1.732960e-03,1.726450e-03,1.722126e-03,1.712232e-03,1.711375e-03,1.700713e-03,1.698168e-03,1.690144e-03,1.684267e-03,1.679672e-03,1.670539e-03,1.669300e-03,1.659031e-03,1.656990e-03,1.648869e-03,1.643627e-03,1.638815e-03,1.630455e-03,1.628872e-03,1.619041e-03,1.617479e-03,1.609324e-03,1.604701e-03,1.599723e-03,1.592126e-03,1.590238e-03,1.580870e-03,1.579754e-03,1.571620e-03,1.567588e-03,1.562489e-03,1.555629e-03,1.553477e-03,1.544584e-03,1.543877e-03,1.535809e-03,1.532333e-03,1.527154e-03,1.520996e-03,1.518618e-03,1.510200e-03,1.509866e-03,1.501901e-03,1.498942e-03,1.493719e-03,1.488223e-03,1.485655e-03,1.477707e-03,1.467393e-03,1.457279e-03,1.447363e-03,1.437643e-03,1.428116e-03,1.418780e-03,1.409633e-03,1.400673e-03,1.391895e-03,1.383298e-03,1.374879e-03,1.366634e-03,1.358562e-03,1.350659e-03,1.342922e-03,1.335348e-03,1.327934e-03,1.320677e-03,1.313575e-03,1.306624e-03,1.299822e-03,1.293165e-03,1.286650e-03,1.280276e-03
0.000000e+00,1.150847e-07,2.573374e-07,8.450780e-07,1.847571e-06,2.639306e-06,5.688044e-06,5.847580e-06,1.079725e-05,1.254285e-05,1.784694e-05,2.325049e-05,2.739535e-05,3.869552e-05,3.979754e-05,5.513432e-05,5.921293e-05,7.293664e-05,8.362440e-05,9.221609e-05,1.095324e-04,1.118822e-04,1.311109e-04,1.348566e-04,1.494193e-04,1.584915e-04,1.665736e-04,1.800230e-04,1.824837e-04,1.971307e-04,1.993576e-04,2.105278e-04,2.165224e-04,2.227032e-04,2.315884e-04,2.336937e-04,2.435428e-04,2.446503e-04,2.523011e-04,2.558236e-04,2.600256e-04,2.652434e-04,2.667794e-04,2.726300e-04,2.730611e-04,2.776477e-04,2.794377e-04,2.819041e-04,2.845372e-04,2.854701e-04,2.884147e-04,2.885205e-04,2.908037e-04,2.915397e-04,2.926987e-04,2.937345e-04,2.941568e-04,2.952299e-04,2.959653e-04,2.961363e-04,2.964050e-04,2.965487e-04,2.965866e-04,2.965488e-04,2.965432e-04,2.963040e-04,2.962055e-04,2.958945e-04,2.955765e-04,2.953371e-04,2.947103e-04,2.946511e-04,2.938535e-04,2.936472e-04,2.929591e-04,2.924207e-04,2.919806e-04,2.910589e-04,2.909292e-04,2.898147e-04,2.895850e-04,2.886456e-04,2.880186e-04,2.874294e-04,2.863762e-04,2.861727e-04,2.848812e-04,2.846717e-04,2.835602e-04,2.829169e-04,2.822141e-04,2.811220e-04,2.808470e-04,2.794626e-04,2.792955e-04,2.780641e-04,2.774451e-04,2.766545e-04,2.755773e-04,2.752363e-04,2.738119e-04,2.736978e-04,2.723835e-04,2.718115e-04,2.709531e-04,2.699230e-04,2.695224e-04,2.680931e-04,2.680359e-04,2.666665e-04,2.661539e-04,2.652441e-04,2.642799e-04,2.638271e-04,2.624165e-04,2.610134e-04,2.605662e-04,2.596188e-04,2.587310e-04,2.582334e-04,2.569129e-04,2.568581e-04,2.554934e-04,2.551133e-04,2.541401e-04,2.533338e-04,2.527988e-04,2.515757e-04,2.514698e-04,2.501538e-04,2.498399e-04,2.488511e-04,2.481275e-04,2.475621e-04,2.464393e-04,2.462871e-04,2.450264e-04,2.447760e-04,2.437802e-04,2.431381e-04,2.425489e-04,2.415261e-04,2.413325e-04,2.401313e-04,2.399406e-04,2.389454e-04,2.383816e-04,2.377749e-04,2.368496e-04,2.366198e-04,2.354804e-04,2.353447e-04,2.343565e-04,2.338669e-04,2.332482e-04,2.324164e-04,2.321555e-04,2.310785e-04,2.309930e-04,2.300171e-04,2.295969e-04,2.289713e-04,2.282279e-04,2.279410e-04,2.269261e-04,2.268858e-04,2.259266e-04,2.255706e-04,2.249424e-04,2.242819e-04,2.239735e-04,2.230196e-04,2.217835e-04,2.205732e-04,2.193886e-04,2.182292e-04,2.170947e-04,2.159848e-04,2.148992e-04,2.138375e-04,2.127994e-04,2.117844e-04,2.107921e-04,2.098223e-04,2.088745e-04,2.079482e-04,2.070432e-04,2.061590e-04,2.052953e-04,2.044515e-04,2.036274e-04,2.028226e-04,2.020366e-04,2.012690e-04,2.005196e-04,1.997879e-04
0.000000e+00,3.457847e-09,7.872363e-09,2.680823e-08,6.048288e-08,8.782936e-08,1.967317e-07,2.025402e-07,3.858179e-07,4.513679e-07,6.518441e-07,8.568529e-07,1.014170e-06,1.443284e-06,1.485230e-06,2.075232e-06,2.235340e-06,2.790470e-06,3.246137e-06,3.631278e-06,4.469243e-06,4.590062e-06,5.650316e-06,5.872509e-06,6.787759e-06,7.400335e-06,7.973997e-06,8.987740e-06,9.181287e-06,1.038610e-05,1.057736e-05,1.157039e-05,1.212759e-05,1.272119e-05,1.361158e-05,1.382953e-05,1.488943e-05,1.501316e-05,1.589705e-05,1.632324e-05,1.685021e-05,1.753753e-05,1.774790e-05,1.859004e-05,1.865502e-05,1.937726e-05,1.967702e-05,2.011073e-05,2.060640e-05,2.079200e-05,2.142293e-05,2.144715e-05,2.200556e-05,2.220390e-05,2.254208e-05,2.288171e-05,2.303473e-05,2.348580e-05,2.389757e-05,2.402139e-05,2.427224e-05,2.449357e-05,2.461199e-05,2.490726e-05,2.491893e-05,2.519509e-05,2.526716e-05,2.544240e-05,2.557771e-05,2.566271e-05,2.584308e-05,2.585779e-05,2.602932e-05,2.606716e-05,2.617889e-05,2.625361e-05,2.630798e-05,2.640576e-05,2.641800e-05,2.651028e-05,2.652672e-05,2.658608e-05,2.661937e-05,2.664656e-05,2.668633e-05,2.669282e-05,2.672592e-05,2.673006e-05,2.674681e-05,2.675277e-05,2.675640e-05,2.675652e-05,2.675555e-05,2.674506e-05,2.674319e-05,2.672568e-05,2.671452e-05,2.669811e-05,2.667208e-05,2.666299e-05,2.662096e-05,2.661731e-05,2.657256e-05,2.655155e-05,2.651836e-05,2.647601e-05,2.645883e-05,2.639445e-05,2.639178e-05,2.632567e-05,2.629990e-05,2.625287e-05,2.620128e-05,2.617645e-05,2.609676e-05,2.601413e-05,2.598711e-05,2.592886e-05,2.587305e-05,2.584125e-05,2.575519e-05,2.575157e-05,2.566006e-05,2.563414e-05,2.556695e-05,2.551041e-05,2.547246e-05,2.538449e-05,2.537680e-05,2.528014e-05,2.525681e-05,2.518267e-05,2.512778e-05,2.508454e-05,2.499776e-05,2.498590e-05,2.488689e-05,2.486706e-05,2.478765e-05,2.473599e-05,2.468829e-05,2.460481e-05,2.458892e-05,2.448964e-05,2.447377e-05,2.439054e-05,2.434307e-05,2.429172e-05,2.421292e-05,2.419326e-05,2.409523e-05,2.408349e-05,2.399769e-05,2.395494e-05,2.390071e-05,2.382741e-05,2.380434e-05,2.370865e-05,2.370102e-05,2.361367e-05,2.357589e-05,2.351945e-05,2.345211e-05,2.342603e-05,2.333345e-05,2.332976e-05,2.324173e-05,2.320893e-05,2.315091e-05,2.308968e-05,2.306101e-05,2.297206e-05,2.285612e-05,2.274191e-05,2.262946e-05,2.251880e-05,2.240994e-05,2.230292e-05,2.219773e-05,2.209439e-05,2.199290e-05,2.189326e-05,2.179548e-05,2.169954e-05,2.160544e-05,2.151316e-05,2.142270e-05,2.133404e-05,2.124717e-05,2.116207e-05,2.107872e-05,2.099709e-05,2.091718e-05,2.083895e-05,2.076239e-05,2.068747e-05
0.000000e+00,1.663071e-07,3.673815e-07,1.177327e-06,2.519271e-06,3.557667e-06,7.448279e-06,7.648318e-06,1.373382e-05,1.583541e-05,2.211600e-05,2.838428e-05,3.312023e-05,4.576806e-05,4.698285e-05,6.357777e-05,6.789830e-05,8.217448e-05,9.303849e-05,1.016309e-04,1.186304e-04,1.209093e-04,1.393668e-04,1.429295e-04,1.567101e-04,1.652530e-04,1.728457e-04,1.854587e-04,1.877645e-04,2.014812e-04,2.035655e-04,2.140143e-04,2.196151e-04,2.253822e-04,2.336521e-04,2.356069e-04,2.447183e-04,2.457386e-04,2.527565e-04,2.559661e-04,2.597725e-04,2.644582e-04,2.658271e-04,2.709885e-04,2.713650e-04,2.753296e-04,2.768531e-04,2.789253e-04,2.810950e-04,2.818508e-04,2.841774e-04,2.842590e-04,2.859733e-04,2.865024e-04,2.873020e-04,2.879683e-04,2.882211e-04,2.887824e-04,2.890328e-04,2.890541e-04,2.890136e-04,2.888768e-04,2.887610e-04,2.883284e-04,2.883067e-04,2.876783e-04,2.874744e-04,2.868998e-04,2.863696e-04,2.859924e-04,2.850592e-04,2.849740e-04,2.838597e-04,2.835795e-04,2.826627e-04,2.819606e-04,2.813946e-04,2.802280e-04,2.800656e-04,2.786843e-04,2.784025e-04,2.772584e-04,2.765015e-04,2.757944e-04,2.745395e-04,2.742981e-04,2.727747e-04,2.725288e-04,2.712290e-04,2.704803e-04,2.696650e-04,2.684031e-04,2.680864e-04,2.664964e-04,2.663050e-04,2.648981e-04,2.641928e-04,2.632939e-04,2.620724e-04,2.616864e-04,2.600776e-04,2.599489e-04,2.584696e-04,2.578270e-04,2.568641e-04,2.557105e-04,2.552626e-04,2.536667e-04,2.536030e-04,2.520776e-04,2.515075e-04,2.504966e-04,2.494267e-04,2.489248e-04,2.473630e-04,2.458122e-04,2.453185e-04,2.442733e-04,2.432949e-04,2.427469e-04,2.412939e-04,2.412336e-04,2.397341e-04,2.393168e-04,2.382489e-04,2.373649e-04,2.367785e-04,2.354390e-04,2.353232e-04,2.338834e-04,2.335403e-04,2.324595e-04,2.316692e-04,2.310518e-04,2.298265e-04,2.296604e-04,2.282856e-04,2.280126e-04,2.269275e-04,2.262280e-04,2.255863e-04,2.244729e-04,2.242622e-04,2.229551e-04,2.227475e-04,2.216652e-04,2.210521e-04,2.203924e-04,2.193866e-04,2.191369e-04,2.178986e-04,2.177512e-04,2.166775e-04,2.161456e-04,2.154735e-04,2.145700e-04,2.142867e-04,2.131169e-04,2.130240e-04,2.119641e-04,2.115077e-04,2.108281e-04,2.100206e-04,2.097089e-04,2.086065e-04,2.085627e-04,2.075205e-04,2.071336e-04,2.064510e-04,2.057331e-04,2.053978e-04,2.043607e-04,2.030163e-04,2.016994e-04,2.004096e-04,1.991466e-04,1.979100e-04,1.966994e-04,1.955143e-04,1.943544e-04,1.932193e-04,1.921084e-04,1.910214e-04,1.899578e-04,1.889172e-04,1.878993e-04,1.869034e-04,1.859293e-04,1.849765e-04,1.840446e-04,1.831331e-04,1.822417e-04,1.813698e-04,1.805172e-04,1.796834e-04,1.788680e-04
0.000000e+00,9.311316e-10,2.121751e-09,7.237053e-09,1.634573e-08,2.374571e-08,5.319849e-08,5.476801e-08,1.041924e-07,1.218203e-07,1.755788e-07,2.303386e-07,2.722379e-07,3.861458e-07,3.972594e-07,5.534086e-07,5.957688e-07,7.427482e-07,8.636099e-07,9.659722e-07,1.189558e-06,1.221920e-06,1.507882e-06,1.568379e-06,1.820438e-06,1.992312e-06,2.156091e-06,2.453419e-06,2.511470e-06,2.883335e-06,2.944151e-06,3.268522e-06,3.457230e-06,3.663924e-06,3.985550e-06,4.066494e-06,4.473271e-06,4.522231e-06,4.881421e-06,5.060746e-06,5.288272e-06,5.595082e-06,5.691355e-06,6.088426e-06,6.119871e-06,6.477494e-06,6.630484e-06,6.856827e-06,7.123083e-06,7.224954e-06,7.580665e-06,7.594621e-06,7.922995e-06,8.042810e-06,8.251210e-06,8.466060e-06,8.564789e-06,8.863403e-06,9.146892e-06,9.234408e-06,9.415243e-06,9.579092e-06,9.668572e-06,9.897840e-06,9.907100e-06,1.013114e-05,1.019132e-05,1.034106e-05,1.046042e-05,1.053731e-05,1.070619e-05,1.072036e-05,1.089072e-05,1.092978e-05,1.104893e-05,1.113241e-05,1.119551e-05,1.131533e-05,1.133102e-05,1.145601e-05,1.147979e-05,1.157100e-05,1.162702e-05,1.167653e-05,1.175824e-05,1.177312e-05,1.186125e-05,1.187460e-05,1.194142e-05,1.197721e-05,1.201409e-05,1.206712e-05,1.207970e-05,1.213868e-05,1.214533e-05,1.219142e-05,1.221276e-05,1.223832e-05,1.227029e-05,1.227975e-05,1.231604e-05,1.231873e-05,1.234752e-05,1.235884e-05,1.237452e-05,1.239133e-05,1.239730e-05,1.241616e-05,1.241684e-05,1.243136e-05,1.243598e-05,1.244313e-05,1.244930e-05,1.245171e-05,1.245731e-05,1.246014e-05,1.246050e-05,1.246040e-05,1.245929e-05,1.245825e-05,1.245409e-05,1.245388e-05,1.244743e-05,1.244527e-05,1.243906e-05,1.243317e-05,1.242891e-05,1.241811e-05,1.241710e-05,1.240377e-05,1.240036e-05,1.238903e-05,1.238020e-05,1.237299e-05,1.235787e-05,1.235574e-05,1.233740e-05,1.233360e-05,1.231803e-05,1.230759e-05,1.229774e-05,1.228003e-05,1.227659e-05,1.225466e-05,1.225109e-05,1.223203e-05,1.222093e-05,1.220875e-05,1.218971e-05,1.218490e-05,1.216051e-05,1.215756e-05,1.213566e-05,1.212459e-05,1.211039e-05,1.209093e-05,1.208474e-05,1.205877e-05,1.205668e-05,1.203251e-05,1.202193e-05,1.200600e-05,1.198678e-05,1.197928e-05,1.195238e-05,1.195130e-05,1.192534e-05,1.191558e-05,1.189818e-05,1.187966e-05,1.187094e-05,1.184363e-05,1.180754e-05,1.177143e-05,1.173536e-05,1.169937e-05,1.166351e-05,1.162779e-05,1.159227e-05,1.155697e-05,1.152191e-05,1.148713e-05,1.145264e-05,1.141846e-05,1.138462e-05,1.135113e-05,1.131799e-05,1.128524e-05,1.125287e-05,1.122089e-05,1.118933e-05,1.115817e-05,1.112744e-05,1.109713e-05,1.106725e-05,1.103780e-05
0.000000e+00,4.918713e-09,1.120122e-08,3.818823e-08,8.633726e-08,1.255871e-07,2.832264e-07,2.916945e-07,5.619865e-07,6.601007e-07,9.647542e-07,1.283129e-06,1.531796e-06,2.226593e-06,2.295606e-06,3.279810e-06,3.549510e-06,4.485020e-06,5.247239e-06,5.884240e-06,7.242864e-06,7.435654e-06,9.098316e-06,9.441112e-06,1.083875e-05,1.176556e-05,1.263069e-05,1.416016e-05,1.445301e-05,1.628790e-05,1.658159e-05,1.811984e-05,1.899401e-05,1.993502e-05,2.136679e-05,2.172115e-05,2.346746e-05,2.367388e-05,2.516459e-05,2.589367e-05,2.680467e-05,2.800899e-05,2.838130e-05,2.988949e-05,3.000707e-05,3.132556e-05,3.187921e-05,3.268706e-05,3.362035e-05,3.397261e-05,3.518178e-05,3.522856e-05,3.631495e-05,3.670446e-05,3.737313e-05,3.805066e-05,3.835793e-05,3.927140e-05,4.011592e-05,4.037202e-05,4.089411e-05,4.135863e-05,4.160877e-05,4.223776e-05,4.226279e-05,4.285912e-05,4.301615e-05,4.340070e-05,4.370059e-05,4.389046e-05,4.429774e-05,4.433127e-05,4.472593e-05,4.481409e-05,4.507716e-05,4.525585e-05,4.538755e-05,4.562891e-05,4.565962e-05,4.589574e-05,4.593886e-05,4.609822e-05,4.619093e-05,4.626920e-05,4.639000e-05,4.641075e-05,4.652480e-05,4.654063e-05,4.661321e-05,4.664704e-05,4.667769e-05,4.671315e-05,4.671988e-05,4.674134e-05,4.674259e-05,4.674351e-05,4.673870e-05,4.672775e-05,4.670457e-05,4.669534e-05,4.664749e-05,4.664303e-05,4.658533e-05,4.655670e-05,4.650993e-05,4.644799e-05,4.642227e-05,4.632330e-05,4.631911e-05,4.621388e-05,4.617210e-05,4.609485e-05,4.600881e-05,4.596697e-05,4.583096e-05,4.568749e-05,4.564012e-05,4.553722e-05,4.543773e-05,4.538071e-05,4.522513e-05,4.521854e-05,4.505122e-05,4.500351e-05,4.487923e-05,4.477400e-05,4.470304e-05,4.453760e-05,4.452307e-05,4.433971e-05,4.429525e-05,4.415335e-05,4.404780e-05,4.396433e-05,4.379605e-05,4.377297e-05,4.357959e-05,4.354069e-05,4.338446e-05,4.328239e-05,4.318785e-05,4.302174e-05,4.299001e-05,4.279118e-05,4.275929e-05,4.259156e-05,4.249553e-05,4.239136e-05,4.223092e-05,4.219078e-05,4.198997e-05,4.196587e-05,4.178911e-05,4.170076e-05,4.158836e-05,4.143593e-05,4.138784e-05,4.118769e-05,4.117170e-05,4.098804e-05,4.090835e-05,4.078900e-05,4.064613e-05,4.059067e-05,4.039315e-05,4.038527e-05,4.019654e-05,4.012599e-05,4.000090e-05,3.986847e-05,3.980633e-05,3.961289e-05,3.935940e-05,3.910812e-05,3.885919e-05,3.861272e-05,3.836879e-05,3.812749e-05,3.788890e-05,3.765307e-05,3.742007e-05,3.718994e-05,3.696272e-05,3.673843e-05,3.651711e-05,3.629878e-05,3.608344e-05,3.587112e-05,3.566180e-05,3.545550e-05,3.525221e-05,3.505192e-05,3.485462e-05,3.466030e-05,3.446895e-05,3.428054e-05
0.000000e+00,4.118033e-07,9.286935e-07,3.102767e-06,6.886590e-06,9.916468e-06,2.179000e-05,2.241793e-05,4.210988e-05,4.912736e-05,7.060143e-05,9.263601e-05,1.096012e-04,1.559320e-04,1.604469e-04,2.230685e-04,2.396566e-04,2.954286e-04,3.390678e-04,3.744859e-04,4.473991e-04,4.574961e-04,5.424527e-04,5.595462e-04,6.279504e-04,6.722687e-04,7.129506e-04,7.833528e-04,7.966199e-04,8.782449e-04,8.910722e-04,9.571993e-04,9.939854e-04,1.032938e-03,1.090902e-03,1.105002e-03,1.173025e-03,1.180902e-03,1.236735e-03,1.263353e-03,1.295957e-03,1.337911e-03,1.350609e-03,1.400690e-03,1.404501e-03,1.446275e-03,1.463278e-03,1.487497e-03,1.514575e-03,1.524537e-03,1.557612e-03,1.558856e-03,1.586957e-03,1.596657e-03,1.612827e-03,1.628569e-03,1.635487e-03,1.655197e-03,1.672212e-03,1.677127e-03,1.686774e-03,1.694914e-03,1.699115e-03,1.709070e-03,1.709448e-03,1.717971e-03,1.720059e-03,1.724868e-03,1.728295e-03,1.730304e-03,1.734145e-03,1.734431e-03,1.737383e-03,1.737930e-03,1.739282e-03,1.739928e-03,1.740240e-03,1.740380e-03,1.740352e-03,1.739707e-03,1.739494e-03,1.738383e-03,1.737449e-03,1.736449e-03,1.734399e-03,1.733968e-03,1.730995e-03,1.730477e-03,1.727579e-03,1.725796e-03,1.723766e-03,1.720456e-03,1.719595e-03,1.715102e-03,1.714542e-03,1.710318e-03,1.708129e-03,1.705274e-03,1.701281e-03,1.699994e-03,1.694504e-03,1.694056e-03,1.688824e-03,1.686504e-03,1.682974e-03,1.678668e-03,1.676973e-03,1.670836e-03,1.670588e-03,1.664579e-03,1.662300e-03,1.658216e-03,1.653834e-03,1.651759e-03,1.645219e-03,1.638608e-03,1.636480e-03,1.631936e-03,1.627638e-03,1.625212e-03,1.618716e-03,1.618445e-03,1.611642e-03,1.609731e-03,1.604810e-03,1.600701e-03,1.597958e-03,1.591640e-03,1.591091e-03,1.584214e-03,1.582563e-03,1.577335e-03,1.573482e-03,1.570457e-03,1.564409e-03,1.563585e-03,1.556724e-03,1.555354e-03,1.549879e-03,1.546326e-03,1.543052e-03,1.537335e-03,1.536248e-03,1.529470e-03,1.528388e-03,1.522721e-03,1.519492e-03,1.516003e-03,1.510654e-03,1.509320e-03,1.502674e-03,1.501879e-03,1.496067e-03,1.493173e-03,1.489502e-03,1.484541e-03,1.482979e-03,1.476502e-03,1.475986e-03,1.470072e-03,1.467513e-03,1.463690e-03,1.459126e-03,1.457358e-03,1.451077e-03,1.450826e-03,1.444847e-03,1.442618e-03,1.438671e-03,1.434502e-03,1.432549e-03,1.426482e-03,1.418560e-03,1.410735e-03,1.403011e-03,1.395388e-03,1.387867e-03,1.380449e-03,1.373133e-03,1.365921e-03,1.358813e-03,1.351809e-03,1.344909e-03,1.338112e-03,1.331418e-03,1.324827e-03,1.318339e-03,1.311952e-03,1.305667e-03,1.299483e-03,1.293398e-03,1.287412e-03,1.281525e-03,1.275735e-03,1.270041e-03,1.264442e-03
0.000000e+00,1.774820e-07,3.996804e-07,1.330437e-06,2.939511e-06,4.219473e-06,9.170342e-06,9.429435e-06,1.742578e-05,2.021856e-05,2.859904e-05,3.697216e-05,4.329172e-05,6.017081e-05,6.179713e-05,8.431156e-05,9.031657e-05,1.108206e-04,1.272877e-04,1.409460e-04,1.698144e-04,1.738798e-04,2.085318e-04,2.155692e-04,2.438044e-04,2.620801e-04,2.787891e-04,3.074585e-04,3.128175e-04,3.454247e-04,3.504873e-04,3.762976e-04,3.904373e-04,4.052320e-04,4.268977e-04,4.321031e-04,4.568475e-04,4.596728e-04,4.794507e-04,4.887231e-04,4.999383e-04,5.141288e-04,5.183686e-04,5.348258e-04,5.360601e-04,5.494137e-04,5.547512e-04,5.622489e-04,5.704750e-04,5.734565e-04,5.831662e-04,5.835253e-04,5.915079e-04,5.942005e-04,5.986083e-04,6.027901e-04,6.045896e-04,6.095674e-04,6.136495e-04,6.147831e-04,6.169354e-04,6.186631e-04,6.195164e-04,6.214078e-04,6.214752e-04,6.228864e-04,6.231927e-04,6.238168e-04,6.241692e-04,6.243258e-04,6.244674e-04,6.244662e-04,6.242850e-04,6.241983e-04,6.238231e-04,6.234557e-04,6.231171e-04,6.223192e-04,6.221987e-04,6.210960e-04,6.208556e-04,6.198337e-04,6.191215e-04,6.184333e-04,6.171642e-04,6.169138e-04,6.152919e-04,6.150239e-04,6.135822e-04,6.127342e-04,6.117977e-04,6.103238e-04,6.099496e-04,6.080481e-04,6.078168e-04,6.061021e-04,6.052337e-04,6.041193e-04,6.025922e-04,6.021068e-04,6.000708e-04,5.999070e-04,5.980167e-04,5.971912e-04,5.959496e-04,5.944558e-04,5.938739e-04,5.917934e-04,5.917102e-04,5.897118e-04,5.889628e-04,5.876322e-04,5.862207e-04,5.855574e-04,5.834901e-04,5.814325e-04,5.807764e-04,5.793866e-04,5.780843e-04,5.773544e-04,5.754179e-04,5.753375e-04,5.733374e-04,5.727806e-04,5.713554e-04,5.701755e-04,5.693928e-04,5.676052e-04,5.674506e-04,5.655298e-04,5.650721e-04,5.636312e-04,5.625780e-04,5.617556e-04,5.601246e-04,5.599036e-04,5.580759e-04,5.577133e-04,5.562728e-04,5.553451e-04,5.544949e-04,5.530211e-04,5.527424e-04,5.510158e-04,5.507420e-04,5.493152e-04,5.485083e-04,5.476409e-04,5.463205e-04,5.459930e-04,5.443716e-04,5.441788e-04,5.427768e-04,5.420835e-04,5.412085e-04,5.400345e-04,5.396669e-04,5.381518e-04,5.380318e-04,5.366633e-04,5.360752e-04,5.352011e-04,5.341646e-04,5.337652e-04,5.323554e-04,5.322995e-04,5.309716e-04,5.304797e-04,5.296135e-04,5.287047e-04,5.282811e-04,5.269741e-04,5.252872e-04,5.236436e-04,5.220426e-04,5.204837e-04,5.189661e-04,5.174891e-04,5.160521e-04,5.146544e-04,5.132951e-04,5.119736e-04,5.106892e-04,5.094410e-04,5.082282e-04,5.070502e-04,5.059062e-04,5.047953e-04,5.037169e-04,5.026701e-04,5.016543e-04,5.006686e-04,4.997123e-04,4.987848e-04,4.978852e-04,4.970129e-04
0.000000e+00,3.613984e-09,8.242841e-09,2.818272e-08,6.384077e-08,9.292922e-08,2.096340e-07,2.158924e-07,4.148510e-07,4.866540e-07,7.081412e-07,9.372770e-07,1.114654e-06,1.603342e-06,1.651359e-06,2.327310e-06,2.510122e-06,3.139054e-06,3.648417e-06,4.074023e-06,4.986877e-06,5.117319e-06,6.255037e-06,6.492781e-06,7.474492e-06,8.136886e-06,8.763584e-06,9.891477e-06,1.011034e-05,1.150272e-05,1.172894e-05,1.292871e-05,1.362162e-05,1.437643e-05,1.554254e-05,1.583443e-05,1.729185e-05,1.746621e-05,1.873864e-05,1.936948e-05,2.016570e-05,2.123209e-05,2.156500e-05,2.292956e-05,2.303704e-05,2.425354e-05,2.477066e-05,2.553214e-05,2.642245e-05,2.676155e-05,2.793889e-05,2.798487e-05,2.906215e-05,2.945301e-05,3.013004e-05,3.082423e-05,3.114193e-05,3.209772e-05,3.299780e-05,3.327418e-05,3.384295e-05,3.435551e-05,3.463425e-05,3.534446e-05,3.537303e-05,3.606080e-05,3.624446e-05,3.669924e-05,3.705937e-05,3.729014e-05,3.779334e-05,3.783532e-05,3.833668e-05,3.845070e-05,3.879613e-05,3.903583e-05,3.921557e-05,3.955308e-05,3.959688e-05,3.994193e-05,4.000675e-05,4.025253e-05,4.040102e-05,4.053046e-05,4.073993e-05,4.077744e-05,4.099512e-05,4.102734e-05,4.118513e-05,4.126696e-05,4.134900e-05,4.146228e-05,4.148822e-05,4.160421e-05,4.161664e-05,4.169834e-05,4.173317e-05,4.177192e-05,4.181485e-05,4.182618e-05,4.186231e-05,4.186445e-05,4.188145e-05,4.188459e-05,4.188467e-05,4.187770e-05,4.187299e-05,4.184739e-05,4.184609e-05,4.180879e-05,4.179189e-05,4.175808e-05,4.171709e-05,4.169607e-05,4.162357e-05,4.154133e-05,4.151306e-05,4.145004e-05,4.138718e-05,4.135038e-05,4.124742e-05,4.124298e-05,4.112846e-05,4.109519e-05,4.100736e-05,4.093177e-05,4.088023e-05,4.075839e-05,4.074758e-05,4.060989e-05,4.057614e-05,4.046759e-05,4.038606e-05,4.032113e-05,4.018911e-05,4.017090e-05,4.001728e-05,3.998618e-05,3.986062e-05,3.977808e-05,3.970127e-05,3.956556e-05,3.953953e-05,3.937570e-05,3.934932e-05,3.921007e-05,3.913000e-05,3.904288e-05,3.890819e-05,3.887440e-05,3.870484e-05,3.868443e-05,3.853443e-05,3.845923e-05,3.836336e-05,3.823303e-05,3.819183e-05,3.802001e-05,3.800626e-05,3.784807e-05,3.777930e-05,3.767617e-05,3.755250e-05,3.750444e-05,3.733303e-05,3.732618e-05,3.716205e-05,3.710063e-05,3.699163e-05,3.687611e-05,3.682187e-05,3.665287e-05,3.643112e-05,3.621105e-05,3.599284e-05,3.577665e-05,3.556262e-05,3.535087e-05,3.514152e-05,3.493465e-05,3.473037e-05,3.452874e-05,3.432982e-05,3.413366e-05,3.394032e-05,3.374983e-05,3.356222e-05,3.337750e-05,3.319570e-05,3.301683e-05,3.284089e-05,3.266787e-05,3.249778e-05,3.233061e-05,3.216635e-05,3.200497e-05
0.000000e+00,3.193330e-09,7.300920e-09,2.514449e-08,5.754684e-08,8.439680e-08,1.954885e-07,2.015883e-07,4.022700e-07,4.776562e-07,7.187480e-07,9.797266e-07,1.188212e-06,1.782139e-06,1.841493e-06,2.682384e-06,2.909316e-06,3.681730e-06,4.295330e-06,4.799254e-06,5.854352e-06,6.002441e-06,7.268879e-06,7.528278e-06,8.582587e-06,9.280110e-06,9.930887e-06,1.108210e-05,1.130275e-05,1.268813e-05,1.291041e-05,1.407770e-05,1.474365e-05,1.546294e-05,1.656282e-05,1.683616e-05,1.819060e-05,1.835158e-05,1.952042e-05,2.009644e-05,2.082072e-05,2.178671e-05,2.208750e-05,2.331760e-05,2.341434e-05,2.450858e-05,2.497361e-05,2.565870e-05,2.646080e-05,2.676677e-05,2.783208e-05,2.787380e-05,2.885433e-05,2.921180e-05,2.983356e-05,3.047501e-05,3.077008e-05,3.166442e-05,3.251728e-05,3.278158e-05,3.332952e-05,3.382846e-05,3.410207e-05,3.480733e-05,3.483596e-05,3.553226e-05,3.572064e-05,3.619209e-05,3.657095e-05,3.681658e-05,3.736090e-05,3.740690e-05,3.796421e-05,3.809318e-05,3.848966e-05,3.877043e-05,3.898440e-05,3.939525e-05,3.944954e-05,3.988620e-05,3.997020e-05,4.029544e-05,4.049777e-05,4.067834e-05,4.098038e-05,4.103594e-05,4.136924e-05,4.142038e-05,4.167922e-05,4.182001e-05,4.196684e-05,4.218145e-05,4.223301e-05,4.247865e-05,4.250679e-05,4.270462e-05,4.279804e-05,4.291176e-05,4.305710e-05,4.310089e-05,4.327278e-05,4.328581e-05,4.342821e-05,4.348593e-05,4.356789e-05,4.365912e-05,4.369255e-05,4.380286e-05,4.380698e-05,4.389947e-05,4.393102e-05,4.398303e-05,4.403270e-05,4.405413e-05,4.411337e-05,4.416131e-05,4.417436e-05,4.419850e-05,4.421689e-05,4.422544e-05,4.424215e-05,4.424266e-05,4.425062e-05,4.425125e-05,4.424979e-05,4.424526e-05,4.424062e-05,4.422518e-05,4.422353e-05,4.419893e-05,4.419195e-05,4.416722e-05,4.414649e-05,4.412876e-05,4.408964e-05,4.408394e-05,4.403308e-05,4.402221e-05,4.397652e-05,4.394497e-05,4.391459e-05,4.385863e-05,4.384759e-05,4.377580e-05,4.376389e-05,4.369951e-05,4.366138e-05,4.361900e-05,4.355171e-05,4.353450e-05,4.344628e-05,4.343545e-05,4.335456e-05,4.331316e-05,4.325958e-05,4.318534e-05,4.316154e-05,4.306066e-05,4.305247e-05,4.295712e-05,4.291501e-05,4.285113e-05,4.277339e-05,4.274285e-05,4.263246e-05,4.262800e-05,4.252012e-05,4.247923e-05,4.240599e-05,4.232744e-05,4.229023e-05,4.217296e-05,4.201611e-05,4.185719e-05,4.169646e-05,4.153421e-05,4.137066e-05,4.120605e-05,4.104060e-05,4.087450e-05,4.070795e-05,4.054112e-05,4.037418e-05,4.020728e-05,4.004057e-05,3.987417e-05,3.970822e-05,3.954282e-05,3.937809e-05,3.921413e-05,3.905103e-05,3.888887e-05,3.872773e-05,3.856769e-05,3.840881e-05,3.825116e-05
0.000000e+00,7.434854e-08,1.687550e-07,5.713438e-07,1.283320e-06,1.859928e-06,4.154344e-06,4.276856e-06,8.160037e-06,9.559226e-06,1.387791e-05,1.835662e-05,2.183286e-05,3.144104e-05,3.238627e-05,4.566184e-05,4.922982e-05,6.137691e-05,7.103338e-05,7.896034e-05,9.550659e-05,9.782015e-05,1.174781e-04,1.214718e-04,1.375699e-04,1.480917e-04,1.578087e-04,1.747476e-04,1.779563e-04,1.978066e-04,2.009426e-04,2.171787e-04,2.262605e-04,2.359157e-04,2.503575e-04,2.538842e-04,2.709754e-04,2.729632e-04,2.871053e-04,2.938815e-04,3.022137e-04,3.129891e-04,3.162632e-04,3.292367e-04,3.302280e-04,3.411354e-04,3.455971e-04,3.519754e-04,3.591405e-04,3.617856e-04,3.706044e-04,3.709372e-04,3.784777e-04,3.810903e-04,3.854564e-04,3.897185e-04,3.915947e-04,3.969484e-04,4.015736e-04,4.029090e-04,4.055259e-04,4.077272e-04,4.088591e-04,4.115248e-04,4.116252e-04,4.138736e-04,4.144167e-04,4.156507e-04,4.165092e-04,4.170005e-04,4.178998e-04,4.179635e-04,4.185776e-04,4.186770e-04,4.188777e-04,4.189206e-04,4.188958e-04,4.187019e-04,4.186613e-04,4.182012e-04,4.180843e-04,4.175400e-04,4.171241e-04,4.167000e-04,4.158712e-04,4.157016e-04,4.145633e-04,4.143693e-04,4.133018e-04,4.126571e-04,4.119324e-04,4.107684e-04,4.104687e-04,4.089232e-04,4.087328e-04,4.073071e-04,4.065763e-04,4.056306e-04,4.043217e-04,4.039027e-04,4.021319e-04,4.019886e-04,4.003254e-04,3.995943e-04,3.984900e-04,3.971541e-04,3.966318e-04,3.947562e-04,3.946809e-04,3.928681e-04,3.921862e-04,3.909720e-04,3.896801e-04,3.890718e-04,3.871710e-04,3.852729e-04,3.846665e-04,3.833803e-04,3.821731e-04,3.814958e-04,3.796964e-04,3.796217e-04,3.777600e-04,3.772412e-04,3.759126e-04,3.748117e-04,3.740811e-04,3.724115e-04,3.722670e-04,3.704715e-04,3.700435e-04,3.686958e-04,3.677104e-04,3.669408e-04,3.654143e-04,3.652074e-04,3.634964e-04,3.631570e-04,3.618085e-04,3.609400e-04,3.601441e-04,3.587646e-04,3.585038e-04,3.568879e-04,3.566316e-04,3.552968e-04,3.545419e-04,3.537307e-04,3.524960e-04,3.521898e-04,3.506743e-04,3.504942e-04,3.491843e-04,3.485367e-04,3.477198e-04,3.466238e-04,3.462808e-04,3.448673e-04,3.447553e-04,3.434792e-04,3.429311e-04,3.421165e-04,3.411510e-04,3.407790e-04,3.394666e-04,3.394146e-04,3.381791e-04,3.377216e-04,3.369162e-04,3.360715e-04,3.356779e-04,3.344639e-04,3.328982e-04,3.313737e-04,3.298899e-04,3.284462e-04,3.270417e-04,3.256759e-04,3.243480e-04,3.230572e-04,3.218029e-04,3.205842e-04,3.194004e-04,3.182507e-04,3.171344e-04,3.160507e-04,3.149988e-04,3.139780e-04,3.129875e-04,3.120266e-04,3.110945e-04,3.101904e-04,3.093137e-04,3.084636e-04,3.076394e-04,3.068405e-04
0.000000e+00,7.251137e-09,1.647406e-08,5.589125e-08,1.257965e-07,1.825328e-07,4.089950e-07,4.211110e-07,8.059677e-07,9.449359e-07,1.374583e-06,1.821262e-06,2.168968e-06,3.137742e-06,3.233910e-06,4.608897e-06,4.987731e-06,6.311622e-06,7.402164e-06,8.320889e-06,1.029594e-05,1.057725e-05,1.300477e-05,1.350439e-05,1.553329e-05,1.686910e-05,1.810761e-05,2.027515e-05,2.068680e-05,2.324046e-05,2.364505e-05,2.574526e-05,2.692460e-05,2.818260e-05,3.007359e-05,3.053727e-05,3.279675e-05,3.306098e-05,3.495081e-05,3.586305e-05,3.699138e-05,3.846254e-05,3.891245e-05,4.070993e-05,4.084831e-05,4.238150e-05,4.301469e-05,4.392659e-05,4.496120e-05,4.534610e-05,4.664210e-05,4.669142e-05,4.781781e-05,4.821239e-05,4.887736e-05,4.953393e-05,4.982554e-05,5.066768e-05,5.140947e-05,5.162660e-05,5.205681e-05,5.242432e-05,5.261573e-05,5.307469e-05,5.309224e-05,5.349227e-05,5.359136e-05,5.382159e-05,5.398756e-05,5.408576e-05,5.427585e-05,5.429012e-05,5.443971e-05,5.446801e-05,5.453934e-05,5.457499e-05,5.459348e-05,5.460684e-05,5.460634e-05,5.458183e-05,5.457277e-05,5.452359e-05,5.448110e-05,5.443498e-05,5.433936e-05,5.431910e-05,5.417882e-05,5.415429e-05,5.401676e-05,5.393196e-05,5.383534e-05,5.367774e-05,5.363675e-05,5.342302e-05,5.339645e-05,5.319600e-05,5.309234e-05,5.295736e-05,5.276918e-05,5.270864e-05,5.245124e-05,5.243031e-05,5.218642e-05,5.207868e-05,5.191534e-05,5.171688e-05,5.163905e-05,5.135849e-05,5.134719e-05,5.107452e-05,5.097161e-05,5.078792e-05,5.059190e-05,5.049941e-05,5.020961e-05,4.991910e-05,4.982608e-05,4.962841e-05,4.944248e-05,4.933799e-05,4.905984e-05,4.904827e-05,4.875963e-05,4.867905e-05,4.847241e-05,4.830088e-05,4.818690e-05,4.792599e-05,4.790339e-05,4.762210e-05,4.755495e-05,4.734327e-05,4.718826e-05,4.706706e-05,4.682632e-05,4.679367e-05,4.652322e-05,4.646950e-05,4.625586e-05,4.611808e-05,4.599169e-05,4.577232e-05,4.573081e-05,4.547330e-05,4.543242e-05,4.521924e-05,4.509853e-05,4.496868e-05,4.477079e-05,4.472167e-05,4.447825e-05,4.444928e-05,4.423844e-05,4.413407e-05,4.400227e-05,4.382522e-05,4.376975e-05,4.354089e-05,4.352274e-05,4.331570e-05,4.322664e-05,4.309416e-05,4.293691e-05,4.287627e-05,4.266202e-05,4.265353e-05,4.245139e-05,4.237644e-05,4.224436e-05,4.210562e-05,4.204090e-05,4.184099e-05,4.158249e-05,4.133006e-05,4.108360e-05,4.084304e-05,4.060828e-05,4.037923e-05,4.015581e-05,3.993790e-05,3.972540e-05,3.951823e-05,3.931627e-05,3.911941e-05,3.892757e-05,3.874062e-05,3.855848e-05,3.838103e-05,3.820817e-05,3.803980e-05,3.787581e-05,3.771612e-05,3.756061e-05,3.740919e-05,3.726176e-05,3.711823e-05
0.000000e+00,1.753946e-09,3.997740e-09,1.364450e-08,3.084012e-08,4.482355e-08,1.005820e-07,1.035576e-07,1.974693e-07,2.310588e-07,3.337859e-07,4.388557e-07,5.195204e-07,7.398261e-07,7.613863e-07,1.065062e-06,1.147565e-06,1.433669e-06,1.668365e-06,1.866572e-06,2.297719e-06,2.359947e-06,2.908487e-06,3.024322e-06,3.506604e-06,3.835390e-06,4.148804e-06,4.718345e-06,4.829654e-06,5.543677e-06,5.660628e-06,6.285299e-06,6.649420e-06,7.048856e-06,7.671662e-06,7.828645e-06,8.619004e-06,8.714293e-06,9.414413e-06,9.764619e-06,1.020958e-05,1.081066e-05,1.099951e-05,1.177961e-05,1.184146e-05,1.254570e-05,1.284737e-05,1.329409e-05,1.382015e-05,1.402157e-05,1.472542e-05,1.475305e-05,1.540339e-05,1.564078e-05,1.605372e-05,1.647945e-05,1.667506e-05,1.726645e-05,1.782731e-05,1.800028e-05,1.835735e-05,1.868041e-05,1.885660e-05,1.930715e-05,1.932531e-05,1.976394e-05,1.988145e-05,2.017311e-05,2.040479e-05,2.055359e-05,2.087904e-05,2.090625e-05,2.123206e-05,2.130637e-05,2.153204e-05,2.168914e-05,2.180725e-05,2.202981e-05,2.205878e-05,2.228774e-05,2.233092e-05,2.249523e-05,2.259501e-05,2.268235e-05,2.282457e-05,2.285017e-05,2.299974e-05,2.302205e-05,2.313210e-05,2.318981e-05,2.324824e-05,2.333011e-05,2.334911e-05,2.343564e-05,2.344510e-05,2.350871e-05,2.353681e-05,2.356916e-05,2.360717e-05,2.361781e-05,2.365541e-05,2.365796e-05,2.368270e-05,2.369088e-05,2.370037e-05,2.370750e-05,2.370907e-05,2.370943e-05,2.370927e-05,2.370202e-05,2.369757e-05,2.368741e-05,2.367363e-05,2.366612e-05,2.363864e-05,2.360544e-05,2.359368e-05,2.356694e-05,2.353972e-05,2.352357e-05,2.347771e-05,2.347571e-05,2.342372e-05,2.340847e-05,2.336794e-05,2.333279e-05,2.330870e-05,2.325139e-05,2.324629e-05,2.318100e-05,2.316493e-05,2.311309e-05,2.307401e-05,2.304281e-05,2.297919e-05,2.297040e-05,2.289606e-05,2.288098e-05,2.282001e-05,2.277985e-05,2.274243e-05,2.267622e-05,2.266351e-05,2.258340e-05,2.257048e-05,2.250227e-05,2.246301e-05,2.242026e-05,2.235412e-05,2.233751e-05,2.225415e-05,2.224411e-05,2.217028e-05,2.213326e-05,2.208603e-05,2.202181e-05,2.200150e-05,2.191678e-05,2.191000e-05,2.183196e-05,2.179802e-05,2.174712e-05,2.168607e-05,2.166235e-05,2.157770e-05,2.157432e-05,2.149326e-05,2.146292e-05,2.140908e-05,2.135201e-05,2.132521e-05,2.124171e-05,2.113214e-05,2.102340e-05,2.091558e-05,2.080876e-05,2.070301e-05,2.059840e-05,2.049499e-05,2.039282e-05,2.029193e-05,2.019237e-05,2.009416e-05,1.999733e-05,1.990191e-05,1.980791e-05,1.971535e-05,1.962424e-05,1.953458e-05,1.944639e-05,1.935966e-05,1.927439e-05,1.919058e-05,1.910823e-05,1.902734e-05,1.894788e-05
0.000000e+00,6.657251e-09,1.525549e-08,5.300105e-08,1.230661e-07,1.825263e-07,4.406673e-07,4.553559e-07,9.617889e-07,1.160512e-06,1.807028e-06,2.498388e-06,3.031399e-06,4.445274e-06,4.579152e-06,6.378505e-06,6.842159e-06,8.383323e-06,9.585294e-06,1.056667e-05,1.262085e-05,1.290994e-05,1.539677e-05,1.590990e-05,1.801034e-05,1.941357e-05,2.073267e-05,2.308947e-05,2.354458e-05,2.642614e-05,2.689231e-05,2.935730e-05,3.077608e-05,3.231844e-05,3.469641e-05,3.529098e-05,3.825753e-05,3.861235e-05,4.120233e-05,4.248755e-05,4.411171e-05,4.629187e-05,4.697394e-05,4.977894e-05,5.000061e-05,5.251847e-05,5.359441e-05,5.518586e-05,5.705871e-05,5.777586e-05,6.028447e-05,6.038308e-05,6.270885e-05,6.356062e-05,6.504713e-05,6.658736e-05,6.729809e-05,6.946085e-05,7.153587e-05,7.218148e-05,7.352392e-05,7.475102e-05,7.542591e-05,7.717213e-05,7.724321e-05,7.897723e-05,7.944807e-05,8.062970e-05,8.158281e-05,8.220247e-05,8.358068e-05,8.369746e-05,8.511672e-05,8.544631e-05,8.646238e-05,8.718460e-05,8.773659e-05,8.880051e-05,8.894151e-05,9.007930e-05,9.029899e-05,9.115211e-05,9.168501e-05,9.216210e-05,9.296349e-05,9.311138e-05,9.400209e-05,9.413931e-05,9.483630e-05,9.521725e-05,9.561605e-05,9.620197e-05,9.634332e-05,9.702008e-05,9.709798e-05,9.764822e-05,9.790968e-05,9.822962e-05,9.864134e-05,9.876609e-05,9.925941e-05,9.929707e-05,9.971131e-05,9.988085e-05,1.001235e-04,1.003965e-04,1.004975e-04,1.008350e-04,1.008477e-04,1.011374e-04,1.012380e-04,1.014064e-04,1.015709e-04,1.016433e-04,1.018495e-04,1.020264e-04,1.020770e-04,1.021752e-04,1.022564e-04,1.022974e-04,1.023905e-04,1.023939e-04,1.024662e-04,1.024822e-04,1.025152e-04,1.025339e-04,1.025421e-04,1.025482e-04,1.025479e-04,1.025337e-04,1.025275e-04,1.025005e-04,1.024739e-04,1.024492e-04,1.023898e-04,1.023807e-04,1.022959e-04,1.022771e-04,1.021957e-04,1.021378e-04,1.020809e-04,1.019737e-04,1.019523e-04,1.018105e-04,1.017867e-04,1.016564e-04,1.015783e-04,1.014907e-04,1.013502e-04,1.013140e-04,1.011269e-04,1.011038e-04,1.009302e-04,1.008407e-04,1.007243e-04,1.005621e-04,1.005099e-04,1.002875e-04,1.002694e-04,1.000576e-04,9.996370e-05,9.982079e-05,9.964622e-05,9.957747e-05,9.932812e-05,9.931803e-05,9.907321e-05,9.898015e-05,9.881314e-05,9.863355e-05,9.854832e-05,9.827915e-05,9.791780e-05,9.755032e-05,9.717748e-05,9.679999e-05,9.641853e-05,9.603374e-05,9.564622e-05,9.525653e-05,9.486519e-05,9.447270e-05,9.407951e-05,9.368607e-05,9.329276e-05,9.289999e-05,9.250807e-05,9.211736e-05,9.172815e-05,9.134072e-05,9.095533e-05,9.057223e-05,9.019164e-05,8.981377e-05,8.943880e-05,8.906691e-05
0.000000e+00,3.948607e-09,9.032010e-09,3.121978e-08,7.201225e-08,1.063204e-07,2.529602e-07,2.612182e-07,5.427787e-07,6.523902e-07,1.009168e-06,1.393632e-06,1.692479e-06,2.492281e-06,2.568344e-06,3.592606e-06,3.856673e-06,4.733611e-06,5.416186e-06,5.972417e-06,7.133368e-06,7.296389e-06,8.695086e-06,8.982903e-06,1.015833e-05,1.094123e-05,1.167552e-05,1.298349e-05,1.323549e-05,1.482679e-05,1.508353e-05,1.643793e-05,1.721502e-05,1.805774e-05,1.935272e-05,1.967568e-05,2.128204e-05,2.147361e-05,2.286814e-05,2.355761e-05,2.442639e-05,2.558799e-05,2.595030e-05,2.743451e-05,2.755140e-05,2.887469e-05,2.943765e-05,3.026747e-05,3.123949e-05,3.161035e-05,3.290162e-05,3.295218e-05,3.414027e-05,3.457318e-05,3.532573e-05,3.610139e-05,3.645791e-05,3.753712e-05,3.856398e-05,3.888165e-05,3.953936e-05,4.013709e-05,4.046436e-05,4.130614e-05,4.134025e-05,4.216838e-05,4.239190e-05,4.295023e-05,4.339776e-05,4.368733e-05,4.432736e-05,4.438134e-05,4.503401e-05,4.518467e-05,4.564689e-05,4.597330e-05,4.622153e-05,4.669680e-05,4.675946e-05,4.726219e-05,4.735864e-05,4.773118e-05,4.796221e-05,4.816788e-05,4.851079e-05,4.857370e-05,4.894999e-05,4.900755e-05,4.929807e-05,4.945549e-05,4.961919e-05,4.985750e-05,4.991458e-05,5.018543e-05,5.021634e-05,5.043290e-05,5.053465e-05,5.065807e-05,5.081494e-05,5.086201e-05,5.104573e-05,5.105959e-05,5.121022e-05,5.127084e-05,5.135641e-05,5.145085e-05,5.148521e-05,5.159748e-05,5.160164e-05,5.169405e-05,5.172513e-05,5.177572e-05,5.182312e-05,5.184324e-05,5.189734e-05,5.193871e-05,5.194938e-05,5.196804e-05,5.198077e-05,5.198594e-05,5.199296e-05,5.199304e-05,5.198992e-05,5.198729e-05,5.197713e-05,5.196503e-05,5.195520e-05,5.192740e-05,5.192465e-05,5.188597e-05,5.187552e-05,5.183960e-05,5.181046e-05,5.178601e-05,5.173320e-05,5.172561e-05,5.165880e-05,5.164471e-05,5.158598e-05,5.154585e-05,5.150750e-05,5.143747e-05,5.142372e-05,5.133498e-05,5.132034e-05,5.124158e-05,5.119519e-05,5.114384e-05,5.106272e-05,5.104205e-05,5.093648e-05,5.092357e-05,5.082739e-05,5.077834e-05,5.071503e-05,5.062760e-05,5.059965e-05,5.048146e-05,5.047189e-05,5.036069e-05,5.031171e-05,5.023754e-05,5.014751e-05,5.011221e-05,4.998488e-05,4.997975e-05,4.985573e-05,4.980882e-05,4.972493e-05,4.963513e-05,4.959264e-05,4.945901e-05,4.928081e-05,4.910084e-05,4.891940e-05,4.873675e-05,4.855315e-05,4.836885e-05,4.818406e-05,4.799898e-05,4.781382e-05,4.762874e-05,4.744391e-05,4.725950e-05,4.707563e-05,4.689245e-05,4.671007e-05,4.652860e-05,4.634816e-05,4.616884e-05,4.599071e-05,4.581388e-05,4.563840e-05,4.546436e-05,4.529180e-05,4.512078e-05
0.000000e+00,5.823683e-09,1.327877e-08,4.537036e-08,1.027029e-07,1.494325e-07,3.366117e-07,3.466363e-07,6.646551e-07,7.791074e-07,1.131123e-06,1.493824e-06,1.773804e-06,2.543862e-06,2.619586e-06,3.691896e-06,3.984931e-06,5.006312e-06,5.849592e-06,6.564786e-06,8.125338e-06,8.350613e-06,1.032809e-05,1.074245e-05,1.244918e-05,1.359212e-05,1.466384e-05,1.656378e-05,1.692774e-05,1.920522e-05,1.956893e-05,2.146874e-05,2.254389e-05,2.369728e-05,2.544397e-05,2.587475e-05,2.798887e-05,2.823784e-05,3.003035e-05,3.090375e-05,3.199234e-05,3.342723e-05,3.386998e-05,3.566012e-05,3.579949e-05,3.736100e-05,3.801620e-05,3.897203e-05,4.007650e-05,4.049355e-05,4.192668e-05,4.198219e-05,4.327311e-05,4.373701e-05,4.453502e-05,4.534610e-05,4.571490e-05,4.681550e-05,4.783975e-05,4.815188e-05,4.879067e-05,4.936218e-05,4.967131e-05,5.045349e-05,5.048477e-05,5.123411e-05,5.143285e-05,5.192234e-05,5.230717e-05,5.255240e-05,5.308316e-05,5.312717e-05,5.364945e-05,5.376728e-05,5.412192e-05,5.436572e-05,5.454718e-05,5.488435e-05,5.492773e-05,5.526599e-05,5.532877e-05,5.556424e-05,5.570426e-05,5.582470e-05,5.601582e-05,5.604946e-05,5.624055e-05,5.626812e-05,5.639987e-05,5.646560e-05,5.652925e-05,5.661239e-05,5.663045e-05,5.670511e-05,5.671236e-05,5.675482e-05,5.676917e-05,5.678107e-05,5.678621e-05,5.678528e-05,5.676882e-05,5.676665e-05,5.673298e-05,5.671348e-05,5.667896e-05,5.662946e-05,5.660792e-05,5.652098e-05,5.651718e-05,5.641916e-05,5.637905e-05,5.630345e-05,5.621731e-05,5.617479e-05,5.603406e-05,5.588211e-05,5.583124e-05,5.571972e-05,5.561067e-05,5.554766e-05,5.537404e-05,5.536663e-05,5.517731e-05,5.512290e-05,5.498033e-05,5.485872e-05,5.477629e-05,5.458284e-05,5.456578e-05,5.434931e-05,5.429653e-05,5.412741e-05,5.400095e-05,5.390055e-05,5.369718e-05,5.366919e-05,5.343375e-05,5.338621e-05,5.319464e-05,5.306898e-05,5.295224e-05,5.274634e-05,5.270690e-05,5.245898e-05,5.241909e-05,5.220878e-05,5.208796e-05,5.195660e-05,5.175364e-05,5.170274e-05,5.144746e-05,5.141674e-05,5.119100e-05,5.107785e-05,5.093361e-05,5.073751e-05,5.067551e-05,5.041690e-05,5.039619e-05,5.015798e-05,5.005436e-05,4.989893e-05,4.971243e-05,4.963993e-05,4.938114e-05,4.937079e-05,4.912271e-05,4.902979e-05,4.886478e-05,4.868974e-05,4.860748e-05,4.835094e-05,4.801367e-05,4.767816e-05,4.734463e-05,4.701330e-05,4.668435e-05,4.635793e-05,4.603421e-05,4.571331e-05,4.539536e-05,4.508046e-05,4.476871e-05,4.446019e-05,4.415497e-05,4.385313e-05,4.355471e-05,4.325976e-05,4.296832e-05,4.268042e-05,4.239609e-05,4.211534e-05,4.183818e-05,4.156463e-05,4.129470e-05,4.102837e-05
0.000000e+00,3.166998e-07,7.257222e-07,2.526984e-06,5.901327e-06,8.796296e-06,2.165285e-05,2.239676e-05,4.870343e-05,5.933896e-05,9.501632e-05,1.346650e-04,1.659244e-04,2.498145e-04,2.577501e-04,3.631805e-04,3.898779e-04,4.770781e-04,5.434649e-04,5.966681e-04,7.053511e-04,7.203749e-04,8.471083e-04,8.727359e-04,9.759471e-04,1.043485e-03,1.106020e-03,1.215611e-03,1.236475e-03,1.366489e-03,1.387197e-03,1.495283e-03,1.556458e-03,1.622143e-03,1.721809e-03,1.746434e-03,1.867607e-03,1.881915e-03,1.985204e-03,2.035715e-03,2.098855e-03,2.182412e-03,2.208274e-03,2.313248e-03,2.321449e-03,2.413630e-03,2.452476e-03,2.509334e-03,2.575319e-03,2.600319e-03,2.686590e-03,2.689944e-03,2.768184e-03,2.796424e-03,2.845164e-03,2.894919e-03,2.917618e-03,2.985648e-03,3.049372e-03,3.068874e-03,3.108915e-03,3.144890e-03,3.164411e-03,3.214007e-03,3.215998e-03,3.263818e-03,3.276551e-03,3.308013e-03,3.332849e-03,3.348725e-03,3.383226e-03,3.386096e-03,3.420266e-03,3.428005e-03,3.451372e-03,3.467505e-03,3.479551e-03,3.502032e-03,3.504934e-03,3.527651e-03,3.531886e-03,3.547828e-03,3.557356e-03,3.565585e-03,3.578720e-03,3.581043e-03,3.594316e-03,3.596244e-03,3.605514e-03,3.610184e-03,3.614745e-03,3.620784e-03,3.622113e-03,3.627717e-03,3.628276e-03,3.631654e-03,3.632882e-03,3.634015e-03,3.634811e-03,3.634891e-03,3.634365e-03,3.634265e-03,3.632521e-03,3.631431e-03,3.629436e-03,3.626490e-03,3.625188e-03,3.619847e-03,3.619611e-03,3.613483e-03,3.610954e-03,3.606162e-03,3.600670e-03,3.597948e-03,3.588901e-03,3.579080e-03,3.575782e-03,3.568539e-03,3.561439e-03,3.557331e-03,3.545990e-03,3.545506e-03,3.533113e-03,3.529547e-03,3.520197e-03,3.512215e-03,3.506802e-03,3.494090e-03,3.492968e-03,3.478736e-03,3.475265e-03,3.464142e-03,3.455825e-03,3.449222e-03,3.435850e-03,3.434010e-03,3.418538e-03,3.415415e-03,3.402835e-03,3.394589e-03,3.386932e-03,3.373437e-03,3.370854e-03,3.354628e-03,3.352019e-03,3.338277e-03,3.330391e-03,3.321825e-03,3.308605e-03,3.305294e-03,3.288703e-03,3.286709e-03,3.272072e-03,3.264747e-03,3.255419e-03,3.242759e-03,3.238762e-03,3.222115e-03,3.220784e-03,3.205494e-03,3.198856e-03,3.188913e-03,3.177007e-03,3.172385e-03,3.155922e-03,3.155265e-03,3.139536e-03,3.133658e-03,3.123238e-03,3.112209e-03,3.107036e-03,3.090941e-03,3.069874e-03,3.049024e-03,3.028409e-03,3.008043e-03,2.987938e-03,2.968105e-03,2.948556e-03,2.929298e-03,2.910338e-03,2.891683e-03,2.873338e-03,2.855308e-03,2.837596e-03,2.820204e-03,2.803134e-03,2.786387e-03,2.769964e-03,2.753864e-03,2.738088e-03,2.722633e-03,2.707498e-03,2.692681e-03,2.678179e-03,2.663991e-03
0.000000e+00,2.222186e-07,5.091473e-07,1.771219e-06,4.128979e-06,6.145964e-06,1.505872e-05,1.557283e-05,3.370321e-05,4.102513e-05,6.565042e-05,9.323561e-05,1.151822e-04,1.748713e-04,1.805684e-04,2.568753e-04,2.763470e-04,3.402659e-04,3.892069e-04,4.285801e-04,5.093949e-04,5.206054e-04,6.155450e-04,6.348250e-04,7.127574e-04,7.640078e-04,8.116468e-04,8.955795e-04,9.116250e-04,1.012108e-03,1.028193e-03,1.112523e-03,1.160537e-03,1.212327e-03,1.291388e-03,1.311013e-03,1.408123e-03,1.419650e-03,1.503255e-03,1.544396e-03,1.596065e-03,1.664866e-03,1.686262e-03,1.773612e-03,1.780472e-03,1.857934e-03,1.890783e-03,1.939092e-03,1.995511e-03,2.016991e-03,2.091573e-03,2.094487e-03,2.162811e-03,2.187637e-03,2.230702e-03,2.274963e-03,2.295261e-03,2.356521e-03,2.414536e-03,2.432426e-03,2.469371e-03,2.502829e-03,2.521098e-03,2.567908e-03,2.569799e-03,2.615561e-03,2.627860e-03,2.658476e-03,2.682898e-03,2.698639e-03,2.733239e-03,2.736144e-03,2.771089e-03,2.779106e-03,2.803571e-03,2.820722e-03,2.833689e-03,2.858321e-03,2.861548e-03,2.887241e-03,2.892127e-03,2.910854e-03,2.922340e-03,2.932476e-03,2.949161e-03,2.952191e-03,2.970082e-03,2.972781e-03,2.986231e-03,2.993386e-03,3.000715e-03,3.011156e-03,3.013612e-03,3.024994e-03,3.026262e-03,3.034933e-03,3.038867e-03,3.043498e-03,3.049130e-03,3.050756e-03,3.056771e-03,3.057200e-03,3.061606e-03,3.063223e-03,3.065321e-03,3.067335e-03,3.067975e-03,3.069622e-03,3.069667e-03,3.070316e-03,3.070343e-03,3.070109e-03,3.069478e-03,3.069050e-03,3.067187e-03,3.064565e-03,3.063574e-03,3.061230e-03,3.058740e-03,3.057222e-03,3.052781e-03,3.052583e-03,3.047352e-03,3.045786e-03,3.041564e-03,3.037840e-03,3.035257e-03,3.029023e-03,3.028463e-03,3.021216e-03,3.019412e-03,3.013546e-03,3.009078e-03,3.005485e-03,2.998088e-03,2.997059e-03,2.988296e-03,2.986505e-03,2.979223e-03,2.974390e-03,2.969863e-03,2.961797e-03,2.960241e-03,2.950379e-03,2.948780e-03,2.940298e-03,2.935388e-03,2.930020e-03,2.921667e-03,2.919562e-03,2.908945e-03,2.907661e-03,2.898184e-03,2.893409e-03,2.887298e-03,2.878950e-03,2.876302e-03,2.865210e-03,2.864319e-03,2.854038e-03,2.849550e-03,2.842799e-03,2.834672e-03,2.831505e-03,2.820169e-03,2.819715e-03,2.808802e-03,2.804704e-03,2.797415e-03,2.789666e-03,2.786018e-03,2.774622e-03,2.759593e-03,2.744600e-03,2.729660e-03,2.714790e-03,2.700005e-03,2.685320e-03,2.670746e-03,2.656295e-03,2.641979e-03,2.627806e-03,2.613785e-03,2.599925e-03,2.586231e-03,2.572711e-03,2.559370e-03,2.546212e-03,2.533241e-03,2.520462e-03,2.507877e-03,2.495488e-03,2.483299e-03,2.471309e-03,2.459522e-03,2.447936e-03
0.000000e+00,1.127712e-08,2.493523e-08,8.004424e-08,1.714852e-07,2.422882e-07,5.076211e-07,5.212614e-07,9.360344e-07,1.079202e-06,1.506995e-06,1.934093e-06,2.257006e-06,3.120427e-06,3.203424e-06,4.338142e-06,4.633977e-06,5.614431e-06,6.366098e-06,6.966103e-06,8.173891e-06,8.338388e-06,9.698812e-06,9.967899e-06,1.103169e-05,1.171135e-05,1.232982e-05,1.339023e-05,1.358889e-05,1.480484e-05,1.499509e-05,1.597295e-05,1.651510e-05,1.708791e-05,1.793797e-05,1.814431e-05,1.913710e-05,1.925174e-05,2.006188e-05,2.044634e-05,2.091534e-05,2.151496e-05,2.169542e-05,2.240130e-05,2.245457e-05,2.303336e-05,2.326583e-05,2.359311e-05,2.395269e-05,2.408298e-05,2.450614e-05,2.452173e-05,2.486634e-05,2.498137e-05,2.516764e-05,2.534111e-05,2.541444e-05,2.561132e-05,2.576274e-05,2.580231e-05,2.587306e-05,2.592402e-05,2.594644e-05,2.598582e-05,2.598685e-05,2.599796e-05,2.599630e-05,2.598317e-05,2.596316e-05,2.594557e-05,2.589324e-05,2.588795e-05,2.581288e-05,2.579252e-05,2.572262e-05,2.566621e-05,2.561921e-05,2.551877e-05,2.550446e-05,2.537996e-05,2.535401e-05,2.524713e-05,2.517519e-05,2.510723e-05,2.498505e-05,2.496135e-05,2.481046e-05,2.478591e-05,2.465541e-05,2.457973e-05,2.449695e-05,2.436817e-05,2.433573e-05,2.417234e-05,2.415261e-05,2.400727e-05,2.393422e-05,2.384097e-05,2.371401e-05,2.367384e-05,2.350622e-05,2.349280e-05,2.333841e-05,2.327129e-05,2.317068e-05,2.305010e-05,2.300327e-05,2.283639e-05,2.282973e-05,2.267022e-05,2.261061e-05,2.250493e-05,2.239311e-05,2.234066e-05,2.217754e-05,2.201567e-05,2.196416e-05,2.185517e-05,2.175320e-05,2.169611e-05,2.154485e-05,2.153857e-05,2.138263e-05,2.133926e-05,2.122833e-05,2.113657e-05,2.107573e-05,2.093688e-05,2.092488e-05,2.077581e-05,2.074030e-05,2.062854e-05,2.054688e-05,2.048312e-05,2.035668e-05,2.033955e-05,2.019786e-05,2.016975e-05,2.005806e-05,1.998611e-05,1.992016e-05,1.980580e-05,1.978417e-05,1.965008e-05,1.962880e-05,1.951791e-05,1.945514e-05,1.938764e-05,1.928480e-05,1.925928e-05,1.913282e-05,1.911777e-05,1.900825e-05,1.895403e-05,1.888556e-05,1.879357e-05,1.876474e-05,1.864578e-05,1.863634e-05,1.852866e-05,1.848233e-05,1.841337e-05,1.833149e-05,1.829990e-05,1.818822e-05,1.818379e-05,1.807832e-05,1.803919e-05,1.797019e-05,1.789765e-05,1.786379e-05,1.775912e-05,1.762355e-05,1.749090e-05,1.736112e-05,1.723416e-05,1.710997e-05,1.698850e-05,1.686970e-05,1.675352e-05,1.663991e-05,1.652881e-05,1.642018e-05,1.631396e-05,1.621010e-05,1.610856e-05,1.600928e-05,1.591222e-05,1.581732e-05,1.572455e-05,1.563384e-05,1.554516e-05,1.545846e-05,1.537369e-05,1.529081e-05,1.520978e-05
0.000000e+00,5.456672e-08,1.243402e-07,4.245323e-07,9.613575e-07,1.399874e-06,3.167863e-06,3.263115e-06,6.316485e-06,7.430295e-06,1.090108e-05,1.453289e-05,1.735760e-05,2.510391e-05,2.585777e-05,3.627681e-05,3.903329e-05,4.834926e-05,5.574255e-05,6.184189e-05,7.474728e-05,7.657569e-05,9.239662e-05,9.567804e-05,1.091533e-04,1.181842e-04,1.266870e-04,1.418936e-04,1.448303e-04,1.634093e-04,1.664106e-04,1.822481e-04,1.913322e-04,2.011745e-04,2.162679e-04,2.200243e-04,2.386455e-04,2.408580e-04,2.569017e-04,2.647874e-04,2.746738e-04,2.877940e-04,2.918608e-04,3.083806e-04,3.096714e-04,3.241687e-04,3.302677e-04,3.391771e-04,3.494815e-04,3.533733e-04,3.667381e-04,3.672552e-04,3.792639e-04,3.835681e-04,3.909533e-04,3.984295e-04,4.018169e-04,4.118717e-04,4.211403e-04,4.239445e-04,4.296492e-04,4.347095e-04,4.374276e-04,4.442367e-04,4.445068e-04,4.509196e-04,4.526002e-04,4.566989e-04,4.598764e-04,4.618782e-04,4.661415e-04,4.664904e-04,4.705678e-04,4.714704e-04,4.741421e-04,4.759353e-04,4.772437e-04,4.796055e-04,4.799021e-04,4.821453e-04,4.825465e-04,4.840004e-04,4.848202e-04,4.854929e-04,4.864842e-04,4.866471e-04,4.874862e-04,4.875927e-04,4.880318e-04,4.881956e-04,4.883046e-04,4.883395e-04,4.883240e-04,4.881081e-04,4.880672e-04,4.876742e-04,4.874184e-04,4.870384e-04,4.864296e-04,4.862160e-04,4.852212e-04,4.851345e-04,4.840672e-04,4.835639e-04,4.827667e-04,4.817462e-04,4.813314e-04,4.797723e-04,4.797075e-04,4.780997e-04,4.774716e-04,4.763232e-04,4.750605e-04,4.744519e-04,4.724942e-04,4.704580e-04,4.697911e-04,4.683507e-04,4.669680e-04,4.661792e-04,4.640402e-04,4.639500e-04,4.616689e-04,4.610217e-04,4.593418e-04,4.579256e-04,4.569738e-04,4.547633e-04,4.545698e-04,4.521344e-04,4.515457e-04,4.496718e-04,4.482825e-04,4.471861e-04,4.449825e-04,4.446810e-04,4.421598e-04,4.416539e-04,4.396258e-04,4.383040e-04,4.370820e-04,4.349396e-04,4.345311e-04,4.319758e-04,4.315667e-04,4.294184e-04,4.281908e-04,4.268611e-04,4.248169e-04,4.243061e-04,4.217552e-04,4.214495e-04,4.192103e-04,4.180928e-04,4.166728e-04,4.147503e-04,4.141444e-04,4.116265e-04,4.114255e-04,4.091203e-04,4.081213e-04,4.066270e-04,4.048404e-04,4.041477e-04,4.016834e-04,4.015852e-04,3.992351e-04,3.983577e-04,3.968035e-04,3.951600e-04,3.943894e-04,3.919936e-04,3.888600e-04,3.857605e-04,3.826963e-04,3.796682e-04,3.766771e-04,3.737236e-04,3.708085e-04,3.679321e-04,3.650947e-04,3.622967e-04,3.595382e-04,3.568194e-04,3.541403e-04,3.515009e-04,3.489011e-04,3.463407e-04,3.438197e-04,3.413377e-04,3.388946e-04,3.364900e-04,3.341237e-04,3.317952e-04,3.295043e-04,3.272505e-04
0.000000e+00,1.329396e-09,3.039869e-09,1.045297e-08,2.381744e-08,3.479278e-08,7.931867e-08,8.172556e-08,1.590932e-07,1.873807e-07,2.757138e-07,3.686624e-07,4.416295e-07,6.469744e-07,6.674819e-07,9.620996e-07,1.043557e-06,1.328695e-06,1.564162e-06,1.763244e-06,2.195171e-06,2.257291e-06,2.801797e-06,2.916038e-06,3.388928e-06,3.708878e-06,4.012171e-06,4.559494e-06,4.665936e-06,5.345186e-06,5.455914e-06,6.045223e-06,6.387304e-06,6.761579e-06,7.343549e-06,7.490002e-06,8.226465e-06,8.315199e-06,8.967202e-06,9.293574e-06,9.708740e-06,1.027089e-05,1.044792e-05,1.118192e-05,1.124033e-05,1.190824e-05,1.219612e-05,1.262472e-05,1.313345e-05,1.332951e-05,1.402105e-05,1.404842e-05,1.469806e-05,1.493801e-05,1.535947e-05,1.579990e-05,1.600447e-05,1.663241e-05,1.724283e-05,1.743441e-05,1.783540e-05,1.820519e-05,1.840993e-05,1.894442e-05,1.896633e-05,1.950460e-05,1.965208e-05,2.002482e-05,2.032834e-05,2.052712e-05,2.097359e-05,2.101171e-05,2.147882e-05,2.158835e-05,2.192873e-05,2.217328e-05,2.236174e-05,2.272908e-05,2.277819e-05,2.317842e-05,2.325655e-05,2.356277e-05,2.375648e-05,2.393162e-05,2.422974e-05,2.428533e-05,2.462429e-05,2.467718e-05,2.494887e-05,2.509968e-05,2.525946e-05,2.549811e-05,2.555643e-05,2.584016e-05,2.587334e-05,2.611103e-05,2.622624e-05,2.636941e-05,2.655766e-05,2.661567e-05,2.685016e-05,2.686843e-05,2.707325e-05,2.715937e-05,2.728528e-05,2.743129e-05,2.748660e-05,2.767755e-05,2.768497e-05,2.785844e-05,2.792117e-05,2.802962e-05,2.814063e-05,2.819140e-05,2.834407e-05,2.848796e-05,2.853219e-05,2.862334e-05,2.870566e-05,2.875052e-05,2.886514e-05,2.886976e-05,2.898135e-05,2.901126e-05,2.908555e-05,2.914463e-05,2.918262e-05,2.926584e-05,2.927281e-05,2.935636e-05,2.937546e-05,2.943352e-05,2.947403e-05,2.950452e-05,2.956208e-05,2.956958e-05,2.962892e-05,2.964013e-05,2.968276e-05,2.970865e-05,2.973130e-05,2.976812e-05,2.977474e-05,2.981328e-05,2.981900e-05,2.984710e-05,2.986171e-05,2.987638e-05,2.989667e-05,2.990132e-05,2.992207e-05,2.992428e-05,2.993880e-05,2.994493e-05,2.995168e-05,2.995898e-05,2.996086e-05,2.996649e-05,2.996679e-05,2.996872e-05,2.996869e-05,2.996769e-05,2.996501e-05,2.996354e-05,2.995640e-05,2.995606e-05,2.994640e-05,2.994213e-05,2.993367e-05,2.992351e-05,2.991832e-05,2.990048e-05,2.987328e-05,2.984218e-05,2.980741e-05,2.976919e-05,2.972775e-05,2.968328e-05,2.963600e-05,2.958608e-05,2.953371e-05,2.947906e-05,2.942229e-05,2.936356e-05,2.930302e-05,2.924082e-05,2.917708e-05,2.911193e-05,2.904550e-05,2.897790e-05,2.890925e-05,2.883965e-05,2.876920e-05,2.869799e-05,2.862612e-05,2.855367e-05
0.000000e+00,4.239290e-09,9.613158e-09,3.245558e-08,7.260800e-08,1.049157e-07,2.317173e-07,2.384117e-07,4.468260e-07,5.202207e-07,7.416186e-07,9.639526e-07,1.132214e-06,1.582754e-06,1.626229e-06,2.229400e-06,2.390831e-06,2.944962e-06,3.394777e-06,3.772416e-06,4.588984e-06,4.706389e-06,5.736874e-06,5.953446e-06,6.850994e-06,7.458798e-06,8.034913e-06,9.073286e-06,9.274898e-06,1.055766e-05,1.076601e-05,1.187040e-05,1.250752e-05,1.320079e-05,1.426986e-05,1.453703e-05,1.586796e-05,1.602681e-05,1.718317e-05,1.775441e-05,1.847318e-05,1.943145e-05,1.972947e-05,2.094468e-05,2.103992e-05,2.211254e-05,2.256525e-05,2.322798e-05,2.399639e-05,2.428707e-05,2.528694e-05,2.532567e-05,2.622576e-05,2.654858e-05,2.710260e-05,2.766337e-05,2.791737e-05,2.867066e-05,2.936369e-05,2.957299e-05,2.999811e-05,3.037433e-05,3.057599e-05,3.107972e-05,3.109966e-05,3.157172e-05,3.169501e-05,3.199486e-05,3.222642e-05,3.237187e-05,3.268039e-05,3.270555e-05,3.299870e-05,3.306333e-05,3.325406e-05,3.338154e-05,3.347427e-05,3.364102e-05,3.366190e-05,3.381938e-05,3.384747e-05,3.394904e-05,3.400619e-05,3.405305e-05,3.412211e-05,3.413347e-05,3.419222e-05,3.419974e-05,3.423110e-05,3.424318e-05,3.425174e-05,3.425616e-05,3.425569e-05,3.424436e-05,3.424204e-05,3.421907e-05,3.420383e-05,3.418102e-05,3.414425e-05,3.413132e-05,3.407099e-05,3.406573e-05,3.400097e-05,3.397044e-05,3.392211e-05,3.386030e-05,3.383520e-05,3.374098e-05,3.373707e-05,3.364010e-05,3.360228e-05,3.353318e-05,3.345732e-05,3.342078e-05,3.330342e-05,3.318156e-05,3.314168e-05,3.305564e-05,3.297311e-05,3.292607e-05,3.279858e-05,3.279321e-05,3.265740e-05,3.261889e-05,3.251896e-05,3.243476e-05,3.237818e-05,3.224682e-05,3.223532e-05,3.209063e-05,3.205566e-05,3.194434e-05,3.186180e-05,3.179667e-05,3.166572e-05,3.164780e-05,3.149791e-05,3.146783e-05,3.134718e-05,3.126852e-05,3.119577e-05,3.106815e-05,3.104381e-05,3.089144e-05,3.086703e-05,3.073878e-05,3.066544e-05,3.058596e-05,3.046365e-05,3.043308e-05,3.028023e-05,3.026190e-05,3.012752e-05,3.006039e-05,2.997502e-05,2.985932e-05,2.982283e-05,2.967101e-05,2.965888e-05,2.951963e-05,2.945922e-05,2.936876e-05,2.926048e-05,2.921845e-05,2.906877e-05,2.906280e-05,2.891976e-05,2.886629e-05,2.877148e-05,2.867108e-05,2.862396e-05,2.847724e-05,2.828488e-05,2.809407e-05,2.790487e-05,2.771736e-05,2.753160e-05,2.734762e-05,2.716548e-05,2.698521e-05,2.680684e-05,2.663042e-05,2.645595e-05,2.628346e-05,2.611297e-05,2.594450e-05,2.577805e-05,2.561362e-05,2.545123e-05,2.529088e-05,2.513256e-05,2.497628e-05,2.482203e-05,2.466980e-05,2.451959e-05,2.437139e-05
0.000000e+00,1.110580e-08,2.536873e-08,8.709984e-08,1.983890e-07,2.899109e-07,6.629882e-07,6.832440e-07,1.339222e-06,1.581315e-06,2.344147e-06,3.156291e-06,3.799139e-06,5.623788e-06,5.806721e-06,8.433750e-06,9.156978e-06,1.166805e-05,1.371288e-05,1.541992e-05,1.905574e-05,1.957130e-05,2.401671e-05,2.493345e-05,2.867376e-05,3.115736e-05,3.347869e-05,3.759108e-05,3.837983e-05,4.333298e-05,4.412764e-05,4.829895e-05,5.067665e-05,5.324238e-05,5.715937e-05,5.813141e-05,6.293763e-05,6.350759e-05,6.763617e-05,6.966380e-05,7.220574e-05,7.558130e-05,7.662857e-05,8.089026e-05,8.122388e-05,8.497963e-05,8.656522e-05,8.888854e-05,9.158808e-05,9.261159e-05,9.614555e-05,9.628295e-05,9.948893e-05,1.006459e-04,1.026422e-04,1.046789e-04,1.056074e-04,1.083873e-04,1.109861e-04,1.117802e-04,1.134083e-04,1.148684e-04,1.156593e-04,1.176644e-04,1.177447e-04,1.196704e-04,1.201819e-04,1.214426e-04,1.224348e-04,1.230675e-04,1.244378e-04,1.245515e-04,1.259007e-04,1.262051e-04,1.271214e-04,1.277511e-04,1.282196e-04,1.290896e-04,1.292015e-04,1.300728e-04,1.302343e-04,1.308392e-04,1.311981e-04,1.315062e-04,1.319936e-04,1.320792e-04,1.325632e-04,1.326328e-04,1.329633e-04,1.331269e-04,1.332842e-04,1.334870e-04,1.335305e-04,1.337066e-04,1.337232e-04,1.338167e-04,1.338453e-04,1.338648e-04,1.338623e-04,1.338548e-04,1.337904e-04,1.337830e-04,1.336751e-04,1.336155e-04,1.335123e-04,1.333674e-04,1.333051e-04,1.330567e-04,1.330459e-04,1.327698e-04,1.326577e-04,1.324473e-04,1.322090e-04,1.320918e-04,1.317058e-04,1.312917e-04,1.311536e-04,1.308516e-04,1.305574e-04,1.303878e-04,1.299220e-04,1.299022e-04,1.293968e-04,1.292520e-04,1.288734e-04,1.285514e-04,1.283336e-04,1.278240e-04,1.277792e-04,1.272116e-04,1.270735e-04,1.266322e-04,1.263032e-04,1.260425e-04,1.255160e-04,1.254437e-04,1.248370e-04,1.247149e-04,1.242236e-04,1.239023e-04,1.236045e-04,1.230809e-04,1.229808e-04,1.223533e-04,1.222526e-04,1.217230e-04,1.214197e-04,1.210907e-04,1.205839e-04,1.204572e-04,1.198231e-04,1.197470e-04,1.191893e-04,1.189106e-04,1.185562e-04,1.180760e-04,1.179245e-04,1.172948e-04,1.172445e-04,1.166675e-04,1.164174e-04,1.160432e-04,1.155958e-04,1.154222e-04,1.148051e-04,1.147805e-04,1.141920e-04,1.139724e-04,1.135835e-04,1.131724e-04,1.129797e-04,1.123811e-04,1.115991e-04,1.108271e-04,1.100654e-04,1.093145e-04,1.085747e-04,1.078464e-04,1.071299e-04,1.064253e-04,1.057327e-04,1.050525e-04,1.043846e-04,1.037291e-04,1.030861e-04,1.024555e-04,1.018375e-04,1.012318e-04,1.006386e-04,1.000577e-04,9.948897e-05,9.893240e-05,9.838785e-05,9.785519e-05,9.733427e-05,9.682496e-05
0.000000e+00,1.237718e-09,2.823436e-09,9.652506e-09,2.184778e-08,3.177630e-08,7.141271e-08,7.352911e-08,1.403330e-07,1.642216e-07,2.372307e-07,3.118063e-07,3.689877e-07,5.248879e-07,5.401299e-07,7.547970e-07,8.131852e-07,1.016253e-06,1.183794e-06,1.326113e-06,1.638485e-06,1.683886e-06,2.087360e-06,2.173273e-06,2.533427e-06,2.781090e-06,3.018686e-06,3.454045e-06,3.539654e-06,4.092785e-06,4.184028e-06,4.674431e-06,4.962650e-06,5.280831e-06,5.781173e-06,5.908111e-06,6.552325e-06,6.630580e-06,7.209500e-06,7.501747e-06,7.875699e-06,8.385674e-06,8.547075e-06,9.219930e-06,9.273716e-06,9.890766e-06,1.015780e-05,1.055633e-05,1.103057e-05,1.121362e-05,1.185997e-05,1.188556e-05,1.249298e-05,1.271719e-05,1.311059e-05,1.352085e-05,1.371103e-05,1.429282e-05,1.485478e-05,1.503026e-05,1.539597e-05,1.573112e-05,1.591573e-05,1.639410e-05,1.641359e-05,1.688929e-05,1.701850e-05,1.734275e-05,1.760416e-05,1.777402e-05,1.815137e-05,1.818332e-05,1.857094e-05,1.866079e-05,1.893731e-05,1.913337e-05,1.928291e-05,1.957027e-05,1.960827e-05,1.991399e-05,1.997284e-05,2.020072e-05,2.034252e-05,2.046909e-05,2.068085e-05,2.071980e-05,2.095352e-05,2.098939e-05,2.117095e-05,2.126973e-05,2.137277e-05,2.152344e-05,2.155966e-05,2.173229e-05,2.175208e-05,2.189133e-05,2.195716e-05,2.203740e-05,2.214014e-05,2.217114e-05,2.229315e-05,2.230242e-05,2.240401e-05,2.244535e-05,2.250427e-05,2.257020e-05,2.259448e-05,2.267516e-05,2.267819e-05,2.274680e-05,2.277047e-05,2.280989e-05,2.284813e-05,2.286487e-05,2.291219e-05,2.295226e-05,2.296362e-05,2.298547e-05,2.300331e-05,2.301221e-05,2.303213e-05,2.303284e-05,2.304769e-05,2.305086e-05,2.305710e-05,2.306026e-05,2.306137e-05,2.306102e-05,2.306081e-05,2.305568e-05,2.305380e-05,2.304626e-05,2.303920e-05,2.303280e-05,2.301780e-05,2.301554e-05,2.299471e-05,2.299013e-05,2.297052e-05,2.295669e-05,2.294319e-05,2.291794e-05,2.291291e-05,2.287985e-05,2.287432e-05,2.284421e-05,2.282623e-05,2.280614e-05,2.277404e-05,2.276580e-05,2.272335e-05,2.271812e-05,2.267893e-05,2.265879e-05,2.263266e-05,2.259635e-05,2.258469e-05,2.253512e-05,2.253109e-05,2.248408e-05,2.246328e-05,2.243168e-05,2.239317e-05,2.237802e-05,2.232319e-05,2.232098e-05,2.226730e-05,2.224693e-05,2.221042e-05,2.217123e-05,2.215265e-05,2.209405e-05,2.201558e-05,2.193598e-05,2.185540e-05,2.177397e-05,2.169184e-05,2.160912e-05,2.152592e-05,2.144235e-05,2.135852e-05,2.127450e-05,2.119039e-05,2.110626e-05,2.102219e-05,2.093825e-05,2.085448e-05,2.077097e-05,2.068775e-05,2.060488e-05,2.052240e-05,2.044035e-05,2.035878e-05,2.027772e-05,2.019720e-05,2.011726e-05
0.000000e+00,6.415106e-08,1.460959e-07,4.982935e-07,1.127639e-06,1.641668e-06,3.715774e-06,3.827633e-06,7.421641e-06,8.737219e-06,1.285614e-05,1.720689e-05,2.062902e-05,3.023479e-05,3.118834e-05,4.467631e-05,4.832334e-05,6.079327e-05,7.076802e-05,7.900290e-05,9.634949e-05,9.879360e-05,1.197651e-04,1.240728e-04,1.416096e-04,1.532286e-04,1.640748e-04,1.832621e-04,1.869384e-04,2.099940e-04,2.136875e-04,2.330455e-04,2.440537e-04,2.559066e-04,2.739406e-04,2.784027e-04,3.003731e-04,3.029673e-04,3.216742e-04,3.308017e-04,3.421808e-04,3.571690e-04,3.617878e-04,3.804104e-04,3.818556e-04,3.979838e-04,4.047085e-04,4.144620e-04,4.256317e-04,4.298168e-04,4.440355e-04,4.445805e-04,4.571194e-04,4.615541e-04,4.690818e-04,4.765871e-04,4.799459e-04,4.897428e-04,4.985104e-04,5.011054e-04,5.062911e-04,5.107740e-04,5.131311e-04,5.188573e-04,5.190787e-04,5.241839e-04,5.254692e-04,5.284970e-04,5.307255e-04,5.320681e-04,5.347407e-04,5.349467e-04,5.371811e-04,5.376268e-04,5.388183e-04,5.394911e-04,5.399033e-04,5.404357e-04,5.404794e-04,5.405876e-04,5.405566e-04,5.402672e-04,5.399436e-04,5.395551e-04,5.386798e-04,5.384862e-04,5.370932e-04,5.368423e-04,5.354069e-04,5.345017e-04,5.334559e-04,5.317227e-04,5.312671e-04,5.288655e-04,5.285642e-04,5.262744e-04,5.250799e-04,5.235154e-04,5.213186e-04,5.206084e-04,5.175721e-04,5.173241e-04,5.144234e-04,5.131361e-04,5.111783e-04,5.087903e-04,5.078512e-04,5.044557e-04,5.043186e-04,5.010039e-04,4.997498e-04,4.975073e-04,4.951093e-04,4.939762e-04,4.904199e-04,4.868473e-04,4.857019e-04,4.832662e-04,4.809731e-04,4.796837e-04,4.762493e-04,4.761064e-04,4.725401e-04,4.715443e-04,4.689903e-04,4.668703e-04,4.654617e-04,4.622378e-04,4.619586e-04,4.584849e-04,4.576560e-04,4.550441e-04,4.531328e-04,4.516393e-04,4.486749e-04,4.482731e-04,4.449479e-04,4.442880e-04,4.416660e-04,4.399770e-04,4.384290e-04,4.357458e-04,4.352385e-04,4.320959e-04,4.315976e-04,4.290023e-04,4.275351e-04,4.259586e-04,4.235601e-04,4.229656e-04,4.200237e-04,4.196741e-04,4.171335e-04,4.158783e-04,4.142952e-04,4.121730e-04,4.115091e-04,4.087751e-04,4.085586e-04,4.060932e-04,4.050350e-04,4.034632e-04,4.016017e-04,4.008851e-04,3.983583e-04,3.982583e-04,3.958826e-04,3.950038e-04,3.934576e-04,3.918373e-04,3.910828e-04,3.887575e-04,3.857633e-04,3.828531e-04,3.800255e-04,3.772788e-04,3.746115e-04,3.720218e-04,3.695081e-04,3.670684e-04,3.647011e-04,3.624043e-04,3.601763e-04,3.580152e-04,3.559193e-04,3.538868e-04,3.519159e-04,3.500049e-04,3.481521e-04,3.463558e-04,3.446143e-04,3.429260e-04,3.412894e-04,3.397028e-04,3.381648e-04,3.366738e-04
0.000000e+00,1.411439e-07,3.225078e-07,1.107039e-06,2.517474e-06,3.672856e-06,8.338258e-06,8.589548e-06,1.662328e-05,1.954089e-05,2.859040e-05,3.802132e-05,4.536573e-05,6.579419e-05,6.781715e-05,9.660455e-05,1.044879e-04,1.318912e-04,1.543477e-04,1.732430e-04,2.140209e-04,2.198652e-04,2.709077e-04,2.815776e-04,3.256073e-04,3.552719e-04,3.832974e-04,4.336306e-04,4.433819e-04,5.053101e-04,5.153548e-04,5.685653e-04,5.992552e-04,6.326612e-04,6.842373e-04,6.971443e-04,7.615977e-04,7.693117e-04,8.256431e-04,8.536058e-04,8.889451e-04,9.363763e-04,9.512119e-04,1.012194e-03,1.017011e-03,1.071684e-03,1.095023e-03,1.129512e-03,1.170043e-03,1.185545e-03,1.239680e-03,1.241805e-03,1.291844e-03,1.310130e-03,1.341986e-03,1.374913e-03,1.390078e-03,1.436109e-03,1.480083e-03,1.493722e-03,1.522015e-03,1.547792e-03,1.561933e-03,1.598389e-03,1.599869e-03,1.635865e-03,1.645603e-03,1.669967e-03,1.689538e-03,1.702222e-03,1.730312e-03,1.732684e-03,1.761406e-03,1.768046e-03,1.788443e-03,1.802869e-03,1.813852e-03,1.834910e-03,1.837689e-03,1.860009e-03,1.864296e-03,1.880869e-03,1.891157e-03,1.900324e-03,1.915619e-03,1.918427e-03,1.935232e-03,1.937804e-03,1.950792e-03,1.957833e-03,1.965157e-03,1.975822e-03,1.978377e-03,1.990500e-03,1.991883e-03,2.001573e-03,2.006125e-03,2.011642e-03,2.018651e-03,2.020752e-03,2.028944e-03,2.029561e-03,2.036261e-03,2.038952e-03,2.042743e-03,2.046915e-03,2.048429e-03,2.053355e-03,2.053537e-03,2.057558e-03,2.058901e-03,2.061074e-03,2.063088e-03,2.063934e-03,2.066173e-03,2.067821e-03,2.068228e-03,2.068908e-03,2.069322e-03,2.069462e-03,2.069520e-03,2.069512e-03,2.069085e-03,2.068883e-03,2.068205e-03,2.067470e-03,2.066897e-03,2.065337e-03,2.065185e-03,2.063092e-03,2.062536e-03,2.060640e-03,2.059117e-03,2.057848e-03,2.055126e-03,2.054737e-03,2.051326e-03,2.050610e-03,2.047634e-03,2.045609e-03,2.043678e-03,2.040163e-03,2.039474e-03,2.035039e-03,2.034309e-03,2.030388e-03,2.028083e-03,2.025536e-03,2.021519e-03,2.020497e-03,2.015284e-03,2.014647e-03,2.009909e-03,2.007497e-03,2.004386e-03,2.000097e-03,1.998726e-03,1.992940e-03,1.992472e-03,1.987038e-03,1.984647e-03,1.981031e-03,1.976646e-03,1.974928e-03,1.968739e-03,1.968490e-03,1.962472e-03,1.960198e-03,1.956135e-03,1.951790e-03,1.949737e-03,1.943284e-03,1.934696e-03,1.926042e-03,1.917336e-03,1.908591e-03,1.899821e-03,1.891036e-03,1.882248e-03,1.873467e-03,1.864702e-03,1.855961e-03,1.847254e-03,1.838586e-03,1.829966e-03,1.821398e-03,1.812890e-03,1.804446e-03,1.796071e-03,1.787770e-03,1.779546e-03,1.771403e-03,1.763344e-03,1.755372e-03,1.747491e-03,1.739701e-03
0.000000e+00,1.655955e-08,3.769260e-08,1.284065e-07,2.902192e-07,4.221850e-07,9.533061e-07,9.818966e-07,1.898015e-06,2.232216e-06,3.274448e-06,4.367432e-06,5.220122e-06,7.574026e-06,7.804366e-06,1.100534e-05,1.185569e-05,1.473135e-05,1.700925e-05,1.888236e-05,2.282148e-05,2.337665e-05,2.814876e-05,2.913144e-05,3.314193e-05,3.580802e-05,3.830299e-05,4.273004e-05,4.358005e-05,4.892205e-05,4.977944e-05,5.427925e-05,5.684206e-05,5.960424e-05,6.381135e-05,6.485303e-05,6.998587e-05,7.059230e-05,7.496788e-05,7.710438e-05,7.976955e-05,8.328320e-05,8.436681e-05,8.874093e-05,8.908078e-05,9.287824e-05,9.446468e-05,9.676970e-05,9.941644e-05,1.004104e-04,1.037992e-04,1.039295e-04,1.069377e-04,1.080071e-04,1.098303e-04,1.116599e-04,1.124832e-04,1.149043e-04,1.171028e-04,1.177609e-04,1.190888e-04,1.202532e-04,1.208729e-04,1.224060e-04,1.224662e-04,1.238791e-04,1.242439e-04,1.251226e-04,1.257918e-04,1.262074e-04,1.270743e-04,1.271440e-04,1.279424e-04,1.281146e-04,1.286123e-04,1.289349e-04,1.291630e-04,1.295560e-04,1.296033e-04,1.299414e-04,1.299975e-04,1.301851e-04,1.302771e-04,1.303419e-04,1.304115e-04,1.304186e-04,1.304218e-04,1.304159e-04,1.303575e-04,1.303044e-04,1.302314e-04,1.300896e-04,1.300488e-04,1.298146e-04,1.297832e-04,1.295333e-04,1.293958e-04,1.292093e-04,1.289369e-04,1.288465e-04,1.284486e-04,1.284153e-04,1.280189e-04,1.278389e-04,1.275607e-04,1.272147e-04,1.270768e-04,1.265700e-04,1.265493e-04,1.260429e-04,1.258485e-04,1.254976e-04,1.251176e-04,1.249364e-04,1.243612e-04,1.237739e-04,1.235837e-04,1.231762e-04,1.227889e-04,1.225696e-04,1.219803e-04,1.219556e-04,1.213355e-04,1.211609e-04,1.207105e-04,1.203336e-04,1.200818e-04,1.195010e-04,1.194504e-04,1.188172e-04,1.186651e-04,1.181832e-04,1.178280e-04,1.175491e-04,1.169916e-04,1.169156e-04,1.162835e-04,1.161573e-04,1.156534e-04,1.153267e-04,1.150258e-04,1.145009e-04,1.144012e-04,1.137801e-04,1.136811e-04,1.131630e-04,1.128683e-04,1.125502e-04,1.120633e-04,1.119421e-04,1.113389e-04,1.112669e-04,1.107410e-04,1.104797e-04,1.101486e-04,1.097023e-04,1.095620e-04,1.089813e-04,1.089352e-04,1.084068e-04,1.081788e-04,1.078386e-04,1.074334e-04,1.072767e-04,1.067215e-04,1.066994e-04,1.061728e-04,1.059770e-04,1.056310e-04,1.052664e-04,1.050959e-04,1.045677e-04,1.038810e-04,1.032065e-04,1.025441e-04,1.018939e-04,1.012558e-04,1.006299e-04,1.000161e-04,9.941431e-05,9.882444e-05,9.824639e-05,9.768006e-05,9.712532e-05,9.658204e-05,9.605007e-05,9.552928e-05,9.501949e-05,9.452056e-05,9.403232e-05,9.355459e-05,9.308721e-05,9.263000e-05,9.218279e-05,9.174540e-05,9.131764e-05
0.000000e+00,3.498714e-09,7.978350e-09,2.726054e-08,6.168970e-08,8.972895e-08,2.018289e-07,2.078231e-07,3.975396e-07,4.656298e-07,6.745600e-07,8.892448e-07,1.054691e-06,1.509099e-06,1.553761e-06,2.186206e-06,2.359068e-06,2.961579e-06,3.458798e-06,3.880235e-06,4.799524e-06,4.932311e-06,6.101625e-06,6.347994e-06,7.370568e-06,8.064247e-06,8.722631e-06,9.911618e-06,1.014286e-05,1.161751e-05,1.185763e-05,1.313368e-05,1.387255e-05,1.467906e-05,1.592847e-05,1.624188e-05,1.781096e-05,1.799916e-05,1.937574e-05,2.006033e-05,2.092646e-05,2.209010e-05,2.245423e-05,2.395111e-05,2.406931e-05,2.541012e-05,2.598176e-05,2.682533e-05,2.781433e-05,2.819177e-05,2.950544e-05,2.955684e-05,3.076326e-05,3.120194e-05,3.196295e-05,3.274473e-05,3.310298e-05,3.418249e-05,3.520120e-05,3.551438e-05,3.615937e-05,3.674112e-05,3.705766e-05,3.786462e-05,3.789708e-05,3.867898e-05,3.888781e-05,3.940491e-05,3.981432e-05,4.007661e-05,4.064830e-05,4.069597e-05,4.126498e-05,4.139427e-05,4.178569e-05,4.205698e-05,4.226021e-05,4.264124e-05,4.269064e-05,4.307907e-05,4.315190e-05,4.342757e-05,4.359370e-05,4.373820e-05,4.397132e-05,4.401294e-05,4.425375e-05,4.428926e-05,4.446250e-05,4.455185e-05,4.464101e-05,4.476322e-05,4.479103e-05,4.491425e-05,4.492731e-05,4.501228e-05,4.504784e-05,4.508669e-05,4.512834e-05,4.513894e-05,4.517044e-05,4.517211e-05,4.518255e-05,4.518225e-05,4.517654e-05,4.516167e-05,4.515362e-05,4.511496e-05,4.511311e-05,4.506166e-05,4.503908e-05,4.499474e-05,4.494197e-05,4.491520e-05,4.482397e-05,4.472193e-05,4.468713e-05,4.460992e-05,4.453336e-05,4.448871e-05,4.436441e-05,4.435907e-05,4.422168e-05,4.418191e-05,4.407721e-05,4.398739e-05,4.392629e-05,4.378224e-05,4.376949e-05,4.360739e-05,4.356775e-05,4.344049e-05,4.334511e-05,4.326928e-05,4.311543e-05,4.309424e-05,4.291578e-05,4.287971e-05,4.273432e-05,4.263890e-05,4.255023e-05,4.239383e-05,4.236388e-05,4.217560e-05,4.214531e-05,4.198570e-05,4.189406e-05,4.179447e-05,4.164072e-05,4.160220e-05,4.140913e-05,4.138592e-05,4.121550e-05,4.113019e-05,4.102155e-05,4.087405e-05,4.082747e-05,4.063345e-05,4.061794e-05,4.043969e-05,4.036230e-05,4.024635e-05,4.010749e-05,4.005358e-05,3.986152e-05,3.985385e-05,3.967031e-05,3.960171e-05,3.948007e-05,3.935132e-05,3.929092e-05,3.910296e-05,3.885683e-05,3.861314e-05,3.837206e-05,3.813376e-05,3.789836e-05,3.766600e-05,3.743676e-05,3.721075e-05,3.698803e-05,3.676868e-05,3.655273e-05,3.634024e-05,3.613123e-05,3.592573e-05,3.572375e-05,3.552530e-05,3.533038e-05,3.513899e-05,3.495111e-05,3.476673e-05,3.458582e-05,3.440837e-05,3.423435e-05,3.406372e-05
0.000000e+00,2.628824e-09,6.007662e-09,2.064163e-08,4.703232e-08,6.873167e-08,1.570997e-07,1.618931e-07,3.168907e-07,3.739870e-07,5.535357e-07,7.439704e-07,8.939815e-07,1.314610e-06,1.356276e-06,1.943992e-06,2.102654e-06,2.646226e-06,3.083908e-06,3.448203e-06,4.226626e-06,4.337644e-06,5.305062e-06,5.507184e-06,6.342430e-06,6.906982e-06,7.442141e-06,8.408427e-06,8.596460e-06,9.797341e-06,9.993248e-06,1.103644e-05,1.164229e-05,1.230526e-05,1.333602e-05,1.359533e-05,1.489838e-05,1.505524e-05,1.620653e-05,1.678183e-05,1.751246e-05,1.849932e-05,1.880945e-05,2.009152e-05,2.019327e-05,2.135338e-05,2.185144e-05,2.259053e-05,2.346381e-05,2.379916e-05,2.497614e-05,2.502252e-05,2.611898e-05,2.652166e-05,2.722577e-05,2.795705e-05,2.829510e-05,2.932602e-05,3.031797e-05,3.062712e-05,3.127073e-05,3.185994e-05,3.218435e-05,3.302488e-05,3.305914e-05,3.389557e-05,3.412298e-05,3.469429e-05,3.515575e-05,3.545609e-05,3.612507e-05,3.618182e-05,3.687243e-05,3.703307e-05,3.752893e-05,3.788205e-05,3.815234e-05,3.867441e-05,3.874372e-05,3.930416e-05,3.941262e-05,3.983471e-05,4.009915e-05,4.033647e-05,4.073645e-05,4.081047e-05,4.125778e-05,4.132694e-05,4.167941e-05,4.187297e-05,4.207637e-05,4.237683e-05,4.244963e-05,4.280015e-05,4.284072e-05,4.312884e-05,4.326679e-05,4.343662e-05,4.365707e-05,4.372433e-05,4.399284e-05,4.401351e-05,4.424293e-05,4.433800e-05,4.447541e-05,4.463231e-05,4.469102e-05,4.489049e-05,4.489814e-05,4.507451e-05,4.513711e-05,4.524377e-05,4.535076e-05,4.539891e-05,4.554056e-05,4.566931e-05,4.570788e-05,4.578573e-05,4.585404e-05,4.589039e-05,4.598029e-05,4.598381e-05,4.606651e-05,4.608781e-05,4.613896e-05,4.617772e-05,4.620165e-05,4.625108e-05,4.625501e-05,4.629949e-05,4.630889e-05,4.633549e-05,4.635210e-05,4.636342e-05,4.638162e-05,4.638365e-05,4.639655e-05,4.639828e-05,4.640247e-05,4.640290e-05,4.640174e-05,4.639623e-05,4.639469e-05,4.638162e-05,4.637899e-05,4.636283e-05,4.635186e-05,4.633860e-05,4.631549e-05,4.630921e-05,4.627491e-05,4.627047e-05,4.623594e-05,4.621739e-05,4.619256e-05,4.615677e-05,4.614499e-05,4.609343e-05,4.608914e-05,4.603812e-05,4.601498e-05,4.597923e-05,4.593474e-05,4.591697e-05,4.585153e-05,4.584885e-05,4.578307e-05,4.575772e-05,4.571176e-05,4.566173e-05,4.563777e-05,4.556125e-05,4.545662e-05,4.534817e-05,4.523620e-05,4.512099e-05,4.500283e-05,4.488196e-05,4.475863e-05,4.463306e-05,4.450548e-05,4.437608e-05,4.424506e-05,4.411260e-05,4.397886e-05,4.384402e-05,4.370822e-05,4.357161e-05,4.343432e-05,4.329648e-05,4.315820e-05,4.301960e-05,4.288079e-05,4.274186e-05,4.260291e-05,4.246402e-05
0.000000e+00,2.158803e-09,4.942268e-09,1.704507e-08,3.897684e-08,5.707677e-08,1.312097e-07,1.352468e-07,2.664241e-07,3.149701e-07,4.678030e-07,6.290346e-07,7.546345e-07,1.098782e-06,1.132291e-06,1.598107e-06,1.722623e-06,2.148812e-06,2.493565e-06,2.782570e-06,3.407986e-06,3.498126e-06,4.293923e-06,4.462522e-06,5.167614e-06,5.651650e-06,6.115863e-06,6.966865e-06,7.134333e-06,8.217773e-06,8.396758e-06,9.360142e-06,9.927480e-06,1.055480e-05,1.154346e-05,1.179471e-05,1.307257e-05,1.322811e-05,1.438108e-05,1.496469e-05,1.571312e-05,1.673698e-05,1.706184e-05,1.842076e-05,1.852973e-05,1.978384e-05,2.032899e-05,2.114558e-05,2.212239e-05,2.250100e-05,2.384565e-05,2.389915e-05,2.517562e-05,2.565015e-05,2.648752e-05,2.736779e-05,2.777844e-05,2.904591e-05,3.028788e-05,3.067963e-05,3.150264e-05,3.226519e-05,3.268887e-05,3.379979e-05,3.384547e-05,3.497167e-05,3.528147e-05,3.606687e-05,3.670895e-05,3.713069e-05,3.808151e-05,3.816292e-05,3.916350e-05,3.939893e-05,4.013246e-05,4.066133e-05,4.106998e-05,4.186917e-05,4.197629e-05,4.285173e-05,4.302314e-05,4.369667e-05,4.412412e-05,4.451154e-05,4.517315e-05,4.529683e-05,4.605304e-05,4.617137e-05,4.678071e-05,4.712002e-05,4.748040e-05,4.802039e-05,4.815269e-05,4.879817e-05,4.887385e-05,4.941743e-05,4.968176e-05,5.001108e-05,5.044551e-05,5.057974e-05,5.112400e-05,5.116650e-05,5.164447e-05,5.184614e-05,5.214177e-05,5.248581e-05,5.261649e-05,5.306923e-05,5.308689e-05,5.350059e-05,5.365075e-05,5.391114e-05,5.417873e-05,5.430147e-05,5.467214e-05,5.502371e-05,5.513227e-05,5.535673e-05,5.556038e-05,5.567175e-05,5.595772e-05,5.596929e-05,5.624989e-05,5.632548e-05,5.651404e-05,5.666485e-05,5.676225e-05,5.697695e-05,5.699501e-05,5.721280e-05,5.726290e-05,5.741610e-05,5.752378e-05,5.760535e-05,5.776063e-05,5.778101e-05,5.794352e-05,5.797448e-05,5.809330e-05,5.816630e-05,5.823078e-05,5.833704e-05,5.835635e-05,5.847043e-05,5.848764e-05,5.857338e-05,5.861897e-05,5.866560e-05,5.873190e-05,5.874745e-05,5.881929e-05,5.882726e-05,5.888147e-05,5.890586e-05,5.893433e-05,5.896847e-05,5.897819e-05,5.901339e-05,5.901584e-05,5.904022e-05,5.904869e-05,5.905901e-05,5.906771e-05,5.907003e-05,5.907359e-05,5.907358e-05,5.906996e-05,5.906695e-05,5.905941e-05,5.904842e-05,5.904221e-05,5.901861e-05,5.897809e-05,5.892740e-05,5.886708e-05,5.879765e-05,5.871959e-05,5.863337e-05,5.853945e-05,5.843826e-05,5.833022e-05,5.821574e-05,5.809518e-05,5.796893e-05,5.783734e-05,5.770074e-05,5.755946e-05,5.741381e-05,5.726409e-05,5.711057e-05,5.695354e-05,5.679326e-05,5.662996e-05,5.646389e-05,5.629528e-05,5.612433e-05
0.000000e+00,3.680831e-08,8.371418e-08,2.844725e-07,6.405953e-07,9.293021e-07,2.076700e-06,2.137834e-06,4.065561e-06,4.754958e-06,6.865074e-06,9.027160e-06,1.068978e-05,1.523841e-05,1.568376e-05,2.194386e-05,2.363674e-05,2.946461e-05,3.418529e-05,3.812543e-05,4.654590e-05,4.774452e-05,5.813735e-05,6.029389e-05,6.913913e-05,7.505167e-05,8.060384e-05,9.049404e-05,9.239800e-05,1.043961e-04,1.063266e-04,1.164784e-04,1.222743e-04,1.285316e-04,1.380813e-04,1.404492e-04,1.521335e-04,1.535156e-04,1.634967e-04,1.683746e-04,1.744621e-04,1.824895e-04,1.849649e-04,1.949523e-04,1.957277e-04,2.043831e-04,2.079926e-04,2.132277e-04,2.192214e-04,2.214665e-04,2.290896e-04,2.293816e-04,2.360955e-04,2.384675e-04,2.424900e-04,2.464948e-04,2.482848e-04,2.534963e-04,2.581454e-04,2.595182e-04,2.622559e-04,2.646156e-04,2.658530e-04,2.688479e-04,2.689633e-04,2.716151e-04,2.722793e-04,2.738367e-04,2.749747e-04,2.756560e-04,2.769986e-04,2.771010e-04,2.781991e-04,2.784139e-04,2.789763e-04,2.792808e-04,2.794578e-04,2.796561e-04,2.796678e-04,2.796289e-04,2.795933e-04,2.793631e-04,2.791420e-04,2.788906e-04,2.783482e-04,2.782307e-04,2.774013e-04,2.772540e-04,2.764191e-04,2.758980e-04,2.752998e-04,2.743154e-04,2.740579e-04,2.727067e-04,2.725379e-04,2.712589e-04,2.705942e-04,2.697259e-04,2.685104e-04,2.681183e-04,2.664459e-04,2.663096e-04,2.647176e-04,2.640126e-04,2.629419e-04,2.616382e-04,2.611262e-04,2.592775e-04,2.592029e-04,2.574021e-04,2.567216e-04,2.555059e-04,2.542073e-04,2.535941e-04,2.516716e-04,2.497427e-04,2.491248e-04,2.478114e-04,2.465758e-04,2.458813e-04,2.440325e-04,2.439556e-04,2.420373e-04,2.415019e-04,2.401290e-04,2.389898e-04,2.382331e-04,2.365015e-04,2.363516e-04,2.344865e-04,2.340415e-04,2.326394e-04,2.316135e-04,2.308118e-04,2.292207e-04,2.290050e-04,2.272202e-04,2.268659e-04,2.254583e-04,2.245514e-04,2.237201e-04,2.222789e-04,2.220064e-04,2.203178e-04,2.200500e-04,2.186549e-04,2.178658e-04,2.170179e-04,2.157272e-04,2.154072e-04,2.138231e-04,2.136348e-04,2.122658e-04,2.115890e-04,2.107352e-04,2.095900e-04,2.092316e-04,2.077548e-04,2.076378e-04,2.063048e-04,2.057323e-04,2.048815e-04,2.038732e-04,2.034847e-04,2.021144e-04,2.020601e-04,2.007702e-04,2.002927e-04,1.994520e-04,1.985702e-04,1.981594e-04,1.968922e-04,1.952579e-04,1.936666e-04,1.921175e-04,1.906098e-04,1.891426e-04,1.877151e-04,1.863264e-04,1.849756e-04,1.836618e-04,1.823842e-04,1.811418e-04,1.799337e-04,1.787590e-04,1.776168e-04,1.765064e-04,1.754267e-04,1.743771e-04,1.733565e-04,1.723643e-04,1.713995e-04,1.704615e-04,1.695495e-04,1.686626e-04,1.678001e-04
0.000000e+00,3.456172e-09,7.815493e-09,2.623902e-08,5.842172e-08,8.421294e-08,1.849907e-07,1.902991e-07,3.553344e-07,4.134217e-07,5.887811e-07,7.652613e-07,8.991350e-07,1.258871e-06,1.293664e-06,1.776740e-06,1.905827e-06,2.346493e-06,2.699824e-06,2.992447e-06,3.610827e-06,3.698062e-06,4.446042e-06,4.599353e-06,5.221400e-06,5.631210e-06,6.011755e-06,6.679567e-06,6.806672e-06,7.597067e-06,7.722559e-06,8.374887e-06,8.741646e-06,9.133006e-06,9.721122e-06,9.865230e-06,1.056634e-05,1.064817e-05,1.123210e-05,1.151298e-05,1.185931e-05,1.230879e-05,1.244572e-05,1.298999e-05,1.303170e-05,1.349162e-05,1.368035e-05,1.395079e-05,1.425554e-05,1.436832e-05,1.474549e-05,1.475976e-05,1.508398e-05,1.519674e-05,1.538574e-05,1.557104e-05,1.565291e-05,1.588771e-05,1.609245e-05,1.615199e-05,1.626941e-05,1.636912e-05,1.642082e-05,1.654414e-05,1.654884e-05,1.665552e-05,1.668183e-05,1.674279e-05,1.678660e-05,1.681248e-05,1.686250e-05,1.686625e-05,1.690567e-05,1.691316e-05,1.693217e-05,1.694185e-05,1.694704e-05,1.695145e-05,1.695147e-05,1.694655e-05,1.694453e-05,1.693325e-05,1.692332e-05,1.691246e-05,1.688979e-05,1.688498e-05,1.685152e-05,1.684566e-05,1.681274e-05,1.679241e-05,1.676923e-05,1.673137e-05,1.672151e-05,1.667006e-05,1.666365e-05,1.661531e-05,1.659027e-05,1.655764e-05,1.651208e-05,1.649740e-05,1.643491e-05,1.642983e-05,1.637046e-05,1.634418e-05,1.630429e-05,1.625572e-05,1.623664e-05,1.616773e-05,1.616495e-05,1.609774e-05,1.607231e-05,1.602685e-05,1.597820e-05,1.595520e-05,1.588296e-05,1.581024e-05,1.578689e-05,1.573716e-05,1.569026e-05,1.566384e-05,1.559331e-05,1.559037e-05,1.551684e-05,1.549625e-05,1.544332e-05,1.539926e-05,1.536991e-05,1.530251e-05,1.529666e-05,1.522363e-05,1.520615e-05,1.515089e-05,1.511030e-05,1.507848e-05,1.501508e-05,1.500646e-05,1.493485e-05,1.492059e-05,1.486371e-05,1.482691e-05,1.479307e-05,1.473414e-05,1.472296e-05,1.465340e-05,1.464233e-05,1.458444e-05,1.455155e-05,1.451608e-05,1.446184e-05,1.444835e-05,1.438127e-05,1.437326e-05,1.431485e-05,1.428584e-05,1.424912e-05,1.419962e-05,1.418408e-05,1.411974e-05,1.411463e-05,1.405613e-05,1.403088e-05,1.399323e-05,1.394840e-05,1.393107e-05,1.386965e-05,1.386721e-05,1.380897e-05,1.378731e-05,1.374903e-05,1.370871e-05,1.368985e-05,1.363142e-05,1.355544e-05,1.348078e-05,1.340743e-05,1.333538e-05,1.326464e-05,1.319520e-05,1.312705e-05,1.306017e-05,1.299456e-05,1.293021e-05,1.286711e-05,1.280523e-05,1.274458e-05,1.268512e-05,1.262685e-05,1.256975e-05,1.251381e-05,1.245901e-05,1.240533e-05,1.235275e-05,1.230127e-05,1.225085e-05,1.220148e-05,1.215315e-05
0.000000e+00,5.240411e-09,1.198768e-08,4.134100e-08,9.477912e-08,1.391831e-07,3.240774e-07,3.342824e-07,6.722584e-07,7.996720e-07,1.203333e-06,1.625777e-06,1.949432e-06,2.812015e-06,2.894403e-06,4.018558e-06,4.313718e-06,5.311458e-06,6.107010e-06,6.767389e-06,8.179315e-06,8.381084e-06,1.014576e-05,1.051606e-05,1.205234e-05,1.309613e-05,1.408937e-05,1.589142e-05,1.624330e-05,1.849888e-05,1.886812e-05,2.083977e-05,2.198873e-05,2.324903e-05,2.521424e-05,2.570968e-05,2.820515e-05,2.850619e-05,3.071964e-05,3.182820e-05,3.323842e-05,3.514722e-05,3.574802e-05,3.823639e-05,3.843421e-05,4.069289e-05,4.166445e-05,4.310832e-05,4.481758e-05,4.547489e-05,4.778609e-05,4.787731e-05,5.003663e-05,5.083114e-05,5.222230e-05,5.366982e-05,5.433988e-05,5.638698e-05,5.836200e-05,5.897860e-05,6.026393e-05,6.144260e-05,6.209236e-05,6.377852e-05,6.384732e-05,6.552920e-05,6.598713e-05,6.713877e-05,6.807019e-05,6.867700e-05,7.003021e-05,7.014511e-05,7.154448e-05,7.187026e-05,7.287661e-05,7.359384e-05,7.414313e-05,7.520472e-05,7.534571e-05,7.648611e-05,7.670689e-05,7.756611e-05,7.810443e-05,7.858751e-05,7.940152e-05,7.955212e-05,8.046175e-05,8.060231e-05,8.131821e-05,8.171094e-05,8.212327e-05,8.273151e-05,8.287871e-05,8.358626e-05,8.366802e-05,8.424762e-05,8.452442e-05,8.486447e-05,8.530451e-05,8.543844e-05,8.597115e-05,8.601203e-05,8.646414e-05,8.665056e-05,8.691894e-05,8.722359e-05,8.733704e-05,8.771988e-05,8.773448e-05,8.806885e-05,8.818645e-05,8.838532e-05,8.858263e-05,8.867061e-05,8.892601e-05,8.915274e-05,8.921944e-05,8.935202e-05,8.946569e-05,8.952501e-05,8.966739e-05,8.967283e-05,8.979658e-05,8.982705e-05,8.989730e-05,8.994710e-05,8.997601e-05,9.002984e-05,9.003370e-05,9.007131e-05,9.007746e-05,9.008976e-05,9.009206e-05,9.008994e-05,9.007565e-05,9.007269e-05,9.003883e-05,9.003013e-05,8.998915e-05,8.995733e-05,8.992443e-05,8.985897e-05,8.984539e-05,8.975274e-05,8.973670e-05,8.964717e-05,8.959209e-05,8.952932e-05,8.942663e-05,8.939983e-05,8.925930e-05,8.924173e-05,8.910833e-05,8.903873e-05,8.894746e-05,8.881892e-05,8.877725e-05,8.859820e-05,8.858351e-05,8.841082e-05,8.833364e-05,8.821559e-05,8.807041e-05,8.801296e-05,8.780337e-05,8.779485e-05,8.758726e-05,8.750793e-05,8.736502e-05,8.721059e-05,8.713704e-05,8.690371e-05,8.658810e-05,8.626456e-05,8.593384e-05,8.559663e-05,8.525360e-05,8.490537e-05,8.455253e-05,8.419565e-05,8.383524e-05,8.347181e-05,8.310581e-05,8.273769e-05,8.236786e-05,8.199671e-05,8.162460e-05,8.125188e-05,8.087886e-05,8.050584e-05,8.013312e-05,7.976094e-05,7.938956e-05,7.901921e-05,7.865010e-05,7.828243e-05
0.000000e+00,1.288367e-09,2.937559e-09,1.003434e-08,2.270165e-08,3.301533e-08,7.423259e-08,7.643592e-08,1.461396e-07,1.711411e-07,2.478003e-07,3.264719e-07,3.870244e-07,5.529790e-07,5.692620e-07,7.993856e-07,8.621656e-07,1.080779e-06,1.261119e-06,1.414007e-06,1.747560e-06,1.795719e-06,2.218875e-06,2.307694e-06,2.674408e-06,2.921003e-06,3.153152e-06,3.567241e-06,3.646968e-06,4.149042e-06,4.229750e-06,4.653760e-06,4.895572e-06,5.156492e-06,5.554648e-06,5.653404e-06,6.141332e-06,6.199150e-06,6.617683e-06,6.823057e-06,7.080375e-06,7.421865e-06,7.527774e-06,7.958649e-06,7.992377e-06,8.372123e-06,8.532504e-06,8.767628e-06,9.041084e-06,9.144858e-06,9.503733e-06,9.517707e-06,9.844357e-06,9.962559e-06,1.016699e-05,1.037628e-05,1.047200e-05,1.075986e-05,1.103111e-05,1.111449e-05,1.128634e-05,1.144157e-05,1.152618e-05,1.174256e-05,1.175129e-05,1.196230e-05,1.201896e-05,1.215990e-05,1.227229e-05,1.234473e-05,1.250405e-05,1.251743e-05,1.267865e-05,1.271569e-05,1.282897e-05,1.290862e-05,1.296901e-05,1.308417e-05,1.309932e-05,1.322044e-05,1.324361e-05,1.333291e-05,1.338814e-05,1.343722e-05,1.351889e-05,1.353385e-05,1.362325e-05,1.363691e-05,1.370584e-05,1.374318e-05,1.378203e-05,1.383864e-05,1.385222e-05,1.391675e-05,1.392413e-05,1.397599e-05,1.400046e-05,1.403025e-05,1.406836e-05,1.407985e-05,1.412507e-05,1.412851e-05,1.416619e-05,1.418155e-05,1.420347e-05,1.422807e-05,1.423716e-05,1.426747e-05,1.426862e-05,1.429464e-05,1.430368e-05,1.431886e-05,1.433374e-05,1.434032e-05,1.435921e-05,1.437570e-05,1.438050e-05,1.438995e-05,1.439797e-05,1.440211e-05,1.441195e-05,1.441233e-05,1.442072e-05,1.442277e-05,1.442743e-05,1.443070e-05,1.443257e-05,1.443601e-05,1.443625e-05,1.443858e-05,1.443894e-05,1.443964e-05,1.443973e-05,1.443955e-05,1.443857e-05,1.443837e-05,1.443620e-05,1.443566e-05,1.443311e-05,1.443116e-05,1.442917e-05,1.442526e-05,1.442445e-05,1.441901e-05,1.441808e-05,1.441292e-05,1.440977e-05,1.440622e-05,1.440046e-05,1.439897e-05,1.439122e-05,1.439025e-05,1.438301e-05,1.437926e-05,1.437439e-05,1.436758e-05,1.436539e-05,1.435606e-05,1.435530e-05,1.434643e-05,1.434250e-05,1.433653e-05,1.432926e-05,1.432640e-05,1.431606e-05,1.431564e-05,1.430554e-05,1.430171e-05,1.429486e-05,1.428752e-05,1.428405e-05,1.427312e-05,1.425857e-05,1.424391e-05,1.422917e-05,1.421439e-05,1.419960e-05,1.418483e-05,1.417012e-05,1.415547e-05,1.414092e-05,1.412649e-05,1.411218e-05,1.409801e-05,1.408401e-05,1.407018e-05,1.405653e-05,1.404307e-05,1.402981e-05,1.401675e-05,1.400391e-05,1.399128e-05,1.397887e-05,1.396668e-05,1.395472e-05,1.394299e-05
0.000000e+00,4.773817e-09,1.088192e-08,3.716175e-08,8.409165e-08,1.223384e-07,2.756016e-07,2.838148e-07,5.447724e-07,6.389192e-07,9.293964e-07,1.230258e-06,1.463607e-06,2.109712e-06,2.173513e-06,3.078707e-06,3.325768e-06,4.181959e-06,4.880791e-06,5.467167e-06,6.729087e-06,6.909681e-06,8.485962e-06,8.815468e-06,1.017620e-05,1.109444e-05,1.196336e-05,1.352800e-05,1.383179e-05,1.576633e-05,1.608099e-05,1.775198e-05,1.871884e-05,1.977376e-05,2.140731e-05,2.181697e-05,2.386733e-05,2.411320e-05,2.591129e-05,2.680532e-05,2.793624e-05,2.945540e-05,2.993072e-05,3.188452e-05,3.203879e-05,3.378878e-05,3.453489e-05,3.563602e-05,3.692722e-05,3.742009e-05,3.913616e-05,3.920333e-05,4.078058e-05,4.135451e-05,4.235081e-05,4.337538e-05,4.384533e-05,4.526345e-05,4.660523e-05,4.701858e-05,4.787137e-05,4.864254e-05,4.906307e-05,5.013862e-05,5.018200e-05,5.123015e-05,5.151125e-05,5.220976e-05,5.276564e-05,5.312327e-05,5.390754e-05,5.397327e-05,5.476241e-05,5.494305e-05,5.549339e-05,5.587835e-05,5.616893e-05,5.671968e-05,5.679172e-05,5.736441e-05,5.747316e-05,5.788958e-05,5.814474e-05,5.836978e-05,5.874017e-05,5.880743e-05,5.920488e-05,5.926489e-05,5.956437e-05,5.972408e-05,5.988805e-05,6.012260e-05,6.017799e-05,6.043613e-05,6.046506e-05,6.066434e-05,6.075573e-05,6.086439e-05,6.099863e-05,6.103796e-05,6.118663e-05,6.119749e-05,6.131190e-05,6.135578e-05,6.141520e-05,6.147673e-05,6.149787e-05,6.156117e-05,6.156331e-05,6.160630e-05,6.161832e-05,6.163439e-05,6.164430e-05,6.164651e-05,6.164365e-05,6.162677e-05,6.161856e-05,6.159677e-05,6.157106e-05,6.155447e-05,6.150304e-05,6.150068e-05,6.143614e-05,6.141624e-05,6.136155e-05,6.131226e-05,6.127760e-05,6.119261e-05,6.118489e-05,6.108402e-05,6.105866e-05,6.097554e-05,6.091167e-05,6.085999e-05,6.075284e-05,6.073786e-05,6.060960e-05,6.058326e-05,6.047567e-05,6.040393e-05,6.033648e-05,6.021578e-05,6.019242e-05,6.004386e-05,6.001969e-05,5.989114e-05,5.981646e-05,5.973460e-05,5.960683e-05,5.957455e-05,5.941127e-05,5.939148e-05,5.924505e-05,5.917104e-05,5.907614e-05,5.894612e-05,5.890479e-05,5.873123e-05,5.871726e-05,5.855568e-05,5.848495e-05,5.837835e-05,5.824968e-05,5.819943e-05,5.801910e-05,5.801186e-05,5.783755e-05,5.777192e-05,5.765492e-05,5.753021e-05,5.747138e-05,5.728708e-05,5.704285e-05,5.679782e-05,5.655226e-05,5.630642e-05,5.606054e-05,5.581484e-05,5.556951e-05,5.532475e-05,5.508071e-05,5.483756e-05,5.459545e-05,5.435450e-05,5.411484e-05,5.387659e-05,5.363984e-05,5.340469e-05,5.317122e-05,5.293953e-05,5.270967e-05,5.248171e-05,5.225572e-05,5.203174e-05,5.180983e-05,5.159003e-05
0.000000e+00,3.810992e-09,8.686526e-09,2.964628e-08,6.699501e-08,9.735229e-08,2.182528e-07,2.246979e-07,4.277190e-07,5.001483e-07,7.210452e-07,9.460370e-07,1.118152e-06,1.585827e-06,1.631436e-06,2.271857e-06,2.445487e-06,3.047784e-06,3.543132e-06,3.962938e-06,4.881490e-06,5.014669e-06,6.194432e-06,6.444724e-06,7.490240e-06,8.205572e-06,8.888970e-06,1.013380e-05,1.037745e-05,1.194263e-05,1.219931e-05,1.357154e-05,1.437225e-05,1.525122e-05,1.662282e-05,1.696874e-05,1.871132e-05,1.892152e-05,2.046648e-05,2.123963e-05,2.222224e-05,2.355001e-05,2.396725e-05,2.569101e-05,2.582769e-05,2.738391e-05,2.805048e-05,2.903739e-05,3.019925e-05,3.064397e-05,3.219723e-05,3.225817e-05,3.369186e-05,3.421471e-05,3.512356e-05,3.605946e-05,3.648905e-05,3.778594e-05,3.901269e-05,3.939029e-05,4.016850e-05,4.087090e-05,4.125323e-05,4.222812e-05,4.226733e-05,4.321173e-05,4.346384e-05,4.408776e-05,4.458125e-05,4.489711e-05,4.558448e-05,4.564172e-05,4.632376e-05,4.647840e-05,4.694557e-05,4.726838e-05,4.750959e-05,4.796013e-05,4.801835e-05,4.847440e-05,4.855951e-05,4.888032e-05,4.907244e-05,4.923868e-05,4.950480e-05,4.955201e-05,4.982279e-05,4.986233e-05,5.005345e-05,5.015061e-05,5.024635e-05,5.037501e-05,5.040376e-05,5.052788e-05,5.054064e-05,5.062082e-05,5.065236e-05,5.068461e-05,5.071478e-05,5.072117e-05,5.073233e-05,5.073218e-05,5.071985e-05,5.070861e-05,5.068538e-05,5.064783e-05,5.063049e-05,5.055668e-05,5.055336e-05,5.046536e-05,5.042845e-05,5.035786e-05,5.027616e-05,5.023544e-05,5.009928e-05,4.995051e-05,4.990041e-05,4.979017e-05,4.968194e-05,4.961925e-05,4.944609e-05,4.943869e-05,4.924936e-05,4.919489e-05,4.905208e-05,4.893022e-05,4.884762e-05,4.865379e-05,4.863669e-05,4.841999e-05,4.836719e-05,4.819813e-05,4.807186e-05,4.797171e-05,4.776913e-05,4.774129e-05,4.750738e-05,4.746022e-05,4.727046e-05,4.714623e-05,4.703099e-05,4.682817e-05,4.678939e-05,4.654604e-05,4.650697e-05,4.630132e-05,4.618346e-05,4.605556e-05,4.585842e-05,4.580908e-05,4.556217e-05,4.553253e-05,4.531511e-05,4.520642e-05,4.506814e-05,4.488066e-05,4.482151e-05,4.457542e-05,4.455576e-05,4.433008e-05,4.423219e-05,4.408566e-05,4.391036e-05,4.384235e-05,4.360030e-05,4.359064e-05,4.335964e-05,4.327337e-05,4.312052e-05,4.295885e-05,4.288304e-05,4.264733e-05,4.233905e-05,4.203421e-05,4.173300e-05,4.143557e-05,4.114205e-05,4.085256e-05,4.056720e-05,4.028603e-05,4.000914e-05,3.973657e-05,3.946835e-05,3.920452e-05,3.894509e-05,3.869008e-05,3.843947e-05,3.819326e-05,3.795144e-05,3.771399e-05,3.748087e-05,3.725206e-05,3.702753e-05,3.680722e-05,3.659110e-05,3.637912e-05
0.000000e+00,8.289795e-09,1.881558e-08,6.370081e-08,1.430835e-07,2.073799e-07,4.632955e-07,4.769634e-07,9.102594e-07,1.066357e-06,1.547423e-06,2.043443e-06,2.424745e-06,3.453139e-06,3.552007e-06,4.899643e-06,5.250857e-06,6.423374e-06,7.339240e-06,8.085726e-06,9.639610e-06,9.857046e-06,1.171135e-05,1.208997e-05,1.362376e-05,1.463302e-05,1.556975e-05,1.721273e-05,1.752530e-05,1.946755e-05,1.977563e-05,2.137539e-05,2.227332e-05,2.323006e-05,2.466469e-05,2.501559e-05,2.671890e-05,2.691727e-05,2.832993e-05,2.900758e-05,2.984144e-05,3.092069e-05,3.124881e-05,3.254975e-05,3.264921e-05,3.374397e-05,3.419202e-05,3.483280e-05,3.555296e-05,3.581891e-05,3.670599e-05,3.673947e-05,3.749845e-05,3.776152e-05,3.820124e-05,3.863060e-05,3.881963e-05,3.935902e-05,3.982488e-05,3.995930e-05,4.022256e-05,4.044373e-05,4.055731e-05,4.082415e-05,4.083417e-05,4.105793e-05,4.111170e-05,4.123314e-05,4.131674e-05,4.136405e-05,4.144881e-05,4.145466e-05,4.150869e-05,4.151660e-05,4.152957e-05,4.152799e-05,4.152050e-05,4.149007e-05,4.148441e-05,4.142400e-05,4.140922e-05,4.134176e-05,4.129114e-05,4.123998e-05,4.114090e-05,4.112073e-05,4.098593e-05,4.096303e-05,4.083732e-05,4.076156e-05,4.067650e-05,4.054003e-05,4.050492e-05,4.032391e-05,4.030161e-05,4.013468e-05,4.004909e-05,3.993832e-05,3.978494e-05,3.973584e-05,3.952815e-05,3.951133e-05,3.931607e-05,3.923019e-05,3.910037e-05,3.894321e-05,3.888173e-05,3.866076e-05,3.865188e-05,3.843803e-05,3.835751e-05,3.821404e-05,3.806126e-05,3.798927e-05,3.776413e-05,3.753899e-05,3.746700e-05,3.731420e-05,3.717065e-05,3.709006e-05,3.687575e-05,3.686685e-05,3.664482e-05,3.658289e-05,3.642418e-05,3.629256e-05,3.620515e-05,3.600521e-05,3.598790e-05,3.577258e-05,3.572121e-05,3.555935e-05,3.544088e-05,3.534831e-05,3.516450e-05,3.513958e-05,3.493325e-05,3.489228e-05,3.472941e-05,3.462442e-05,3.452813e-05,3.436108e-05,3.432947e-05,3.413348e-05,3.410237e-05,3.394020e-05,3.384840e-05,3.374968e-05,3.359925e-05,3.356192e-05,3.337697e-05,3.335496e-05,3.319482e-05,3.311557e-05,3.301550e-05,3.288111e-05,3.283901e-05,3.266534e-05,3.265156e-05,3.249449e-05,3.242694e-05,3.232645e-05,3.220721e-05,3.216122e-05,3.199878e-05,3.199234e-05,3.183911e-05,3.178231e-05,3.168219e-05,3.157705e-05,3.152801e-05,3.137653e-05,3.118068e-05,3.098944e-05,3.080274e-05,3.062052e-05,3.044269e-05,3.026919e-05,3.009994e-05,2.993486e-05,2.977387e-05,2.961688e-05,2.946382e-05,2.931461e-05,2.916916e-05,2.902739e-05,2.888922e-05,2.875456e-05,2.862335e-05,2.849550e-05,2.837092e-05,2.824955e-05,2.813130e-05,2.801611e-05,2.790389e-05,2.779457e-05
0.000000e+00,7.343664e-09,1.662519e-08,5.599038e-08,1.251781e-07,1.809700e-07,4.016755e-07,4.134157e-07,7.838288e-07,9.166072e-07,1.324556e-06,1.745100e-06,2.070121e-06,2.964580e-06,3.052412e-06,4.286231e-06,4.618275e-06,5.749900e-06,6.649137e-06,7.385570e-06,8.913633e-06,9.126068e-06,1.091713e-05,1.127783e-05,1.272085e-05,1.365474e-05,1.451093e-05,1.598973e-05,1.626796e-05,1.797660e-05,1.824462e-05,1.962428e-05,2.039040e-05,2.120067e-05,2.240484e-05,2.269752e-05,2.410865e-05,2.427200e-05,2.542982e-05,2.598198e-05,2.665872e-05,2.753052e-05,2.779470e-05,2.883864e-05,2.891823e-05,2.979264e-05,3.014973e-05,3.065983e-05,3.123260e-05,3.144408e-05,3.214980e-05,3.217647e-05,3.278177e-05,3.299216e-05,3.334490e-05,3.369105e-05,3.384417e-05,3.428448e-05,3.467059e-05,3.478344e-05,3.500702e-05,3.519826e-05,3.529807e-05,3.553853e-05,3.554777e-05,3.575983e-05,3.581294e-05,3.593770e-05,3.602934e-05,3.608453e-05,3.619470e-05,3.620322e-05,3.629639e-05,3.631523e-05,3.636645e-05,3.639640e-05,3.641556e-05,3.644302e-05,3.644569e-05,3.645863e-05,3.645929e-05,3.645590e-05,3.644875e-05,3.643890e-05,3.641464e-05,3.640905e-05,3.636767e-05,3.636005e-05,3.631576e-05,3.628739e-05,3.625429e-05,3.619884e-05,3.618416e-05,3.610618e-05,3.609633e-05,3.602106e-05,3.598152e-05,3.592946e-05,3.585587e-05,3.583196e-05,3.572913e-05,3.572069e-05,3.562147e-05,3.557716e-05,3.550944e-05,3.542630e-05,3.539345e-05,3.527391e-05,3.526905e-05,3.515116e-05,3.510625e-05,3.502553e-05,3.493862e-05,3.489733e-05,3.476684e-05,3.463431e-05,3.459151e-05,3.449998e-05,3.441317e-05,3.436408e-05,3.423232e-05,3.422681e-05,3.408836e-05,3.404940e-05,3.394890e-05,3.386482e-05,3.380861e-05,3.367894e-05,3.366764e-05,3.352612e-05,3.349209e-05,3.338420e-05,3.330458e-05,3.324198e-05,3.311669e-05,3.309960e-05,3.295714e-05,3.292865e-05,3.281472e-05,3.274071e-05,3.267243e-05,3.255307e-05,3.253035e-05,3.238856e-05,3.236591e-05,3.224715e-05,3.217942e-05,3.210617e-05,3.199375e-05,3.196570e-05,3.182579e-05,3.180905e-05,3.168651e-05,3.162543e-05,3.154790e-05,3.144303e-05,3.141000e-05,3.127288e-05,3.126194e-05,3.113656e-05,3.108226e-05,3.100108e-05,3.090408e-05,3.086649e-05,3.073281e-05,3.072748e-05,3.060007e-05,3.055252e-05,3.046830e-05,3.037927e-05,3.033753e-05,3.020779e-05,3.003812e-05,2.987031e-05,2.970439e-05,2.954041e-05,2.937838e-05,2.921833e-05,2.906029e-05,2.890426e-05,2.875027e-05,2.859831e-05,2.844841e-05,2.830055e-05,2.815476e-05,2.801101e-05,2.786931e-05,2.772966e-05,2.759205e-05,2.745647e-05,2.732291e-05,2.719136e-05,2.706181e-05,2.693424e-05,2.680864e-05,2.668500e-05
0.000000e+00,5.013390e-09,1.131704e-08,3.786725e-08,8.409237e-08,1.210728e-07,2.654337e-07,2.730390e-07,5.098713e-07,5.934706e-07,8.467555e-07,1.103004e-06,1.298134e-06,1.823865e-06,1.874680e-06,2.575296e-06,2.760121e-06,3.380886e-06,3.866715e-06,4.261430e-06,5.075590e-06,5.188511e-06,6.140110e-06,6.331834e-06,7.099527e-06,7.596984e-06,8.053401e-06,8.842113e-06,8.990511e-06,9.901267e-06,1.004398e-05,1.077758e-05,1.118398e-05,1.161285e-05,1.224809e-05,1.240205e-05,1.314161e-05,1.322691e-05,1.382941e-05,1.411538e-05,1.446459e-05,1.491225e-05,1.504740e-05,1.557901e-05,1.561938e-05,1.606128e-05,1.624090e-05,1.649662e-05,1.678253e-05,1.688777e-05,1.723770e-05,1.725089e-05,1.754949e-05,1.765299e-05,1.782620e-05,1.799584e-05,1.807081e-05,1.828619e-05,1.847506e-05,1.853031e-05,1.863994e-05,1.873395e-05,1.878315e-05,1.890223e-05,1.890683e-05,1.901292e-05,1.903972e-05,1.910319e-05,1.915042e-05,1.917922e-05,1.923781e-05,1.924243e-05,1.929410e-05,1.930492e-05,1.933539e-05,1.935436e-05,1.936732e-05,1.938840e-05,1.939080e-05,1.940666e-05,1.940898e-05,1.941561e-05,1.941776e-05,1.941832e-05,1.941620e-05,1.941537e-05,1.940728e-05,1.940554e-05,1.939452e-05,1.938687e-05,1.937753e-05,1.936114e-05,1.935668e-05,1.933233e-05,1.932919e-05,1.930478e-05,1.929173e-05,1.927433e-05,1.924940e-05,1.924123e-05,1.920573e-05,1.920279e-05,1.916804e-05,1.915239e-05,1.912835e-05,1.909865e-05,1.908687e-05,1.904374e-05,1.904198e-05,1.899913e-05,1.898274e-05,1.895319e-05,1.892125e-05,1.890604e-05,1.885780e-05,1.880860e-05,1.879267e-05,1.875854e-05,1.872609e-05,1.870772e-05,1.865829e-05,1.865622e-05,1.860414e-05,1.858946e-05,1.855155e-05,1.851978e-05,1.849853e-05,1.844943e-05,1.844514e-05,1.839146e-05,1.837854e-05,1.833754e-05,1.830726e-05,1.828344e-05,1.823572e-05,1.822920e-05,1.817489e-05,1.816402e-05,1.812055e-05,1.809229e-05,1.806621e-05,1.802060e-05,1.801192e-05,1.795772e-05,1.794905e-05,1.790363e-05,1.787773e-05,1.784970e-05,1.780669e-05,1.779596e-05,1.774242e-05,1.773602e-05,1.768913e-05,1.766576e-05,1.763609e-05,1.759598e-05,1.758335e-05,1.753090e-05,1.752672e-05,1.747879e-05,1.745804e-05,1.742702e-05,1.738996e-05,1.737561e-05,1.732457e-05,1.732254e-05,1.727393e-05,1.725579e-05,1.722369e-05,1.718976e-05,1.717386e-05,1.712447e-05,1.705993e-05,1.699618e-05,1.693322e-05,1.687109e-05,1.680978e-05,1.674931e-05,1.668969e-05,1.663093e-05,1.657304e-05,1.651601e-05,1.645986e-05,1.640458e-05,1.635017e-05,1.629664e-05,1.624399e-05,1.619221e-05,1.614129e-05,1.609124e-05,1.604205e-05,1.599371e-05,1.594623e-05,1.589958e-05,1.585377e-05,1.580879e-05
0.000000e+00,6.398886e-09,1.460551e-08,5.021529e-08,1.150894e-07,1.691923e-07,3.969147e-07,4.095998e-07,8.364268e-07,1.000882e-06,1.537264e-06,2.127218e-06,2.598793e-06,3.915062e-06,4.043538e-06,5.803274e-06,6.261309e-06,7.780359e-06,8.953101e-06,9.899240e-06,1.184177e-05,1.211088e-05,1.438269e-05,1.484205e-05,1.669052e-05,1.789810e-05,1.901443e-05,2.096601e-05,2.133681e-05,2.364169e-05,2.400786e-05,2.591465e-05,2.699053e-05,2.814294e-05,2.988594e-05,3.031553e-05,3.242324e-05,3.267144e-05,3.445866e-05,3.532979e-05,3.641603e-05,3.784890e-05,3.829131e-05,4.008180e-05,4.022132e-05,4.178606e-05,4.244350e-05,4.340367e-05,4.451490e-05,4.493506e-05,4.638147e-05,4.643758e-05,4.774460e-05,4.821535e-05,4.902662e-05,4.985332e-05,5.023001e-05,5.135746e-05,5.241181e-05,5.273425e-05,5.339601e-05,5.399046e-05,5.431304e-05,5.513296e-05,5.516588e-05,5.595748e-05,5.616854e-05,5.669073e-05,5.710387e-05,5.736849e-05,5.794537e-05,5.799350e-05,5.856843e-05,5.869925e-05,5.909585e-05,5.937138e-05,5.957824e-05,5.996739e-05,6.001798e-05,6.041733e-05,6.049255e-05,6.077849e-05,6.095188e-05,6.110352e-05,6.135008e-05,6.139440e-05,6.165304e-05,6.169155e-05,6.188123e-05,6.198045e-05,6.208067e-05,6.222064e-05,6.225301e-05,6.239979e-05,6.241575e-05,6.252247e-05,6.256918e-05,6.262246e-05,6.268409e-05,6.270108e-05,6.275959e-05,6.276344e-05,6.279918e-05,6.280997e-05,6.282098e-05,6.282626e-05,6.282606e-05,6.281545e-05,6.281471e-05,6.279010e-05,6.277754e-05,6.275092e-05,6.271683e-05,6.269879e-05,6.263452e-05,6.255888e-05,6.253240e-05,6.247262e-05,6.241215e-05,6.237641e-05,6.227533e-05,6.227094e-05,6.215681e-05,6.212338e-05,6.203461e-05,6.195766e-05,6.190491e-05,6.177942e-05,6.176824e-05,6.162508e-05,6.158981e-05,6.147592e-05,6.138993e-05,6.132120e-05,6.118079e-05,6.116135e-05,6.099676e-05,6.096330e-05,6.082781e-05,6.073836e-05,6.065486e-05,6.050675e-05,6.047826e-05,6.029831e-05,6.026923e-05,6.011532e-05,6.002649e-05,5.992958e-05,5.977919e-05,5.974136e-05,5.955090e-05,5.952791e-05,5.935846e-05,5.927322e-05,5.916426e-05,5.901562e-05,5.896851e-05,5.877142e-05,5.875560e-05,5.857318e-05,5.849360e-05,5.837396e-05,5.823003e-05,5.817395e-05,5.797330e-05,5.796526e-05,5.777216e-05,5.769965e-05,5.757067e-05,5.743353e-05,5.736897e-05,5.716719e-05,5.690091e-05,5.663494e-05,5.636953e-05,5.610488e-05,5.584121e-05,5.557869e-05,5.531749e-05,5.505777e-05,5.479966e-05,5.454331e-05,5.428882e-05,5.403630e-05,5.378586e-05,5.353757e-05,5.329153e-05,5.304780e-05,5.280644e-05,5.256752e-05,5.233108e-05,5.209716e-05,5.186582e-05,5.163708e-05,5.141097e-05,5.118752e-05
0.000000e+00,2.438544e-09,5.559951e-09,1.906619e-08,4.357220e-08,6.393771e-08,1.491536e-07,1.538814e-07,3.121869e-07,3.729105e-07,5.706498e-07,7.886896e-07,9.641255e-07,1.461192e-06,1.510288e-06,2.190360e-06,2.368930e-06,2.962637e-06,3.420616e-06,3.788872e-06,4.539702e-06,4.643072e-06,5.508736e-06,5.682210e-06,6.374822e-06,6.822583e-06,7.233203e-06,7.943479e-06,8.077349e-06,8.901766e-06,9.031520e-06,9.701795e-06,1.007597e-05,1.047352e-05,1.106838e-05,1.121378e-05,1.192012e-05,1.200252e-05,1.259085e-05,1.287440e-05,1.322492e-05,1.368197e-05,1.382184e-05,1.438163e-05,1.442482e-05,1.490472e-05,1.510385e-05,1.539190e-05,1.572100e-05,1.584420e-05,1.626286e-05,1.627893e-05,1.664928e-05,1.678079e-05,1.700497e-05,1.723007e-05,1.733146e-05,1.763025e-05,1.790289e-05,1.798486e-05,1.815090e-05,1.829739e-05,1.837576e-05,1.857117e-05,1.857889e-05,1.876168e-05,1.880939e-05,1.892542e-05,1.901504e-05,1.907136e-05,1.919091e-05,1.920066e-05,1.931445e-05,1.933957e-05,1.941378e-05,1.946345e-05,1.949962e-05,1.956475e-05,1.957291e-05,1.963451e-05,1.964551e-05,1.968526e-05,1.970760e-05,1.972589e-05,1.975275e-05,1.975715e-05,1.977968e-05,1.978252e-05,1.979413e-05,1.979836e-05,1.980106e-05,1.980158e-05,1.980104e-05,1.979457e-05,1.979338e-05,1.978213e-05,1.977488e-05,1.976416e-05,1.974707e-05,1.974108e-05,1.971329e-05,1.971087e-05,1.968113e-05,1.966713e-05,1.964496e-05,1.961660e-05,1.960508e-05,1.956180e-05,1.956000e-05,1.951539e-05,1.949796e-05,1.946610e-05,1.943107e-05,1.941418e-05,1.935985e-05,1.930333e-05,1.928481e-05,1.924480e-05,1.920638e-05,1.918446e-05,1.912498e-05,1.912247e-05,1.905899e-05,1.904097e-05,1.899417e-05,1.895469e-05,1.892815e-05,1.886647e-05,1.886107e-05,1.879303e-05,1.877658e-05,1.872416e-05,1.868527e-05,1.865457e-05,1.859280e-05,1.858434e-05,1.851358e-05,1.849937e-05,1.844237e-05,1.840519e-05,1.837079e-05,1.831043e-05,1.829892e-05,1.822682e-05,1.821527e-05,1.815456e-05,1.811984e-05,1.808220e-05,1.802429e-05,1.800981e-05,1.793742e-05,1.792874e-05,1.786510e-05,1.783331e-05,1.779289e-05,1.773811e-05,1.772083e-05,1.764896e-05,1.764322e-05,1.757731e-05,1.754873e-05,1.750593e-05,1.745472e-05,1.743485e-05,1.736408e-05,1.736126e-05,1.729367e-05,1.726842e-05,1.722364e-05,1.717624e-05,1.715401e-05,1.708480e-05,1.699412e-05,1.690426e-05,1.681524e-05,1.672711e-05,1.663990e-05,1.655362e-05,1.646831e-05,1.638398e-05,1.630065e-05,1.621833e-05,1.613705e-05,1.605680e-05,1.597759e-05,1.589944e-05,1.582235e-05,1.574631e-05,1.567134e-05,1.559743e-05,1.552459e-05,1.545280e-05,1.538208e-05,1.531240e-05,1.524378e-05,1.517620e-05
0.000000e+00,3.503848e-09,7.980520e-09,2.720546e-08,6.145578e-08,8.931637e-08,2.006150e-07,2.065658e-07,3.950214e-07,4.627333e-07,6.707846e-07,8.849943e-07,1.050343e-06,1.505556e-06,1.550378e-06,2.186842e-06,2.361475e-06,2.973187e-06,3.482397e-06,3.917680e-06,4.879747e-06,5.020110e-06,6.268903e-06,6.534342e-06,7.640502e-06,8.391681e-06,9.102429e-06,1.037422e-05,1.061917e-05,1.215781e-05,1.240412e-05,1.369117e-05,1.441896e-05,1.519840e-05,1.637490e-05,1.666416e-05,1.807744e-05,1.824311e-05,1.943045e-05,2.000524e-05,2.071785e-05,2.165017e-05,2.193612e-05,2.308323e-05,2.317189e-05,2.415827e-05,2.456809e-05,2.516128e-05,2.583926e-05,2.609304e-05,2.695494e-05,2.698799e-05,2.774885e-05,2.801842e-05,2.847698e-05,2.893580e-05,2.914184e-05,2.974613e-05,3.029269e-05,3.045586e-05,3.078440e-05,3.107167e-05,3.122420e-05,3.160028e-05,3.161501e-05,3.195968e-05,3.204831e-05,3.226105e-05,3.242222e-05,3.252183e-05,3.272817e-05,3.274466e-05,3.293208e-05,3.297206e-05,3.308650e-05,3.315942e-05,3.321023e-05,3.329547e-05,3.330546e-05,3.337429e-05,3.338506e-05,3.341867e-05,3.343271e-05,3.344047e-05,3.344260e-05,3.344142e-05,3.342320e-05,3.341861e-05,3.338734e-05,3.336429e-05,3.333529e-05,3.328293e-05,3.326843e-05,3.318803e-05,3.317753e-05,3.309528e-05,3.305085e-05,3.299131e-05,3.290542e-05,3.287715e-05,3.275378e-05,3.274355e-05,3.262212e-05,3.256732e-05,3.248301e-05,3.237867e-05,3.233723e-05,3.218553e-05,3.217934e-05,3.202858e-05,3.197092e-05,3.186703e-05,3.175484e-05,3.170146e-05,3.153242e-05,3.136041e-05,3.130483e-05,3.118592e-05,3.107314e-05,3.100937e-05,3.083832e-05,3.083116e-05,3.065167e-05,3.060123e-05,3.047124e-05,3.036267e-05,3.029019e-05,3.012332e-05,3.010881e-05,2.992736e-05,2.988383e-05,2.974610e-05,2.964475e-05,2.956524e-05,2.940659e-05,2.938500e-05,2.920556e-05,2.916978e-05,2.902709e-05,2.893473e-05,2.884975e-05,2.870177e-05,2.867369e-05,2.849903e-05,2.847123e-05,2.832589e-05,2.824336e-05,2.815438e-05,2.801840e-05,2.798458e-05,2.781658e-05,2.779654e-05,2.765046e-05,2.757797e-05,2.748627e-05,2.736283e-05,2.732409e-05,2.716396e-05,2.715124e-05,2.700592e-05,2.694330e-05,2.685001e-05,2.673909e-05,2.669626e-05,2.654470e-05,2.653868e-05,2.639535e-05,2.634212e-05,2.624822e-05,2.614945e-05,2.610332e-05,2.596067e-05,2.577581e-05,2.559486e-05,2.541782e-05,2.524467e-05,2.507539e-05,2.490994e-05,2.474829e-05,2.459039e-05,2.443621e-05,2.428570e-05,2.413879e-05,2.399545e-05,2.385560e-05,2.371919e-05,2.358616e-05,2.345645e-05,2.333000e-05,2.320673e-05,2.308659e-05,2.296951e-05,2.285543e-05,2.274429e-05,2.263601e-05,2.253053e-05
0.000000e+00,2.186786e-08,4.982174e-08,1.699461e-07,3.841251e-07,5.584573e-07,1.255645e-06,1.292953e-06,2.476029e-06,2.901854e-06,4.212713e-06,5.566094e-06,6.613019e-06,9.501185e-06,9.785676e-06,1.381263e-05,1.490953e-05,1.870567e-05,2.179761e-05,2.438591e-05,2.992990e-05,3.071978e-05,3.756983e-05,3.899096e-05,4.481718e-05,4.870892e-05,5.236144e-05,5.886366e-05,6.011492e-05,6.799818e-05,6.926655e-05,7.593774e-05,7.974854e-05,8.386557e-05,9.015733e-05,9.171938e-05,9.944312e-05,1.003588e-04,1.069876e-04,1.102392e-04,1.143106e-04,1.197062e-04,1.213772e-04,1.281597e-04,1.286893e-04,1.346368e-04,1.371385e-04,1.407933e-04,1.450221e-04,1.466199e-04,1.521117e-04,1.523244e-04,1.572681e-04,1.590427e-04,1.620920e-04,1.651851e-04,1.665890e-04,1.707673e-04,1.746364e-04,1.758110e-04,1.782074e-04,1.803420e-04,1.814924e-04,1.843885e-04,1.845039e-04,1.872549e-04,1.879802e-04,1.897583e-04,1.911471e-04,1.920274e-04,1.939190e-04,1.940750e-04,1.959136e-04,1.963252e-04,1.975555e-04,1.983935e-04,1.990125e-04,2.001507e-04,2.002960e-04,2.014167e-04,2.016223e-04,2.023852e-04,2.028318e-04,2.032111e-04,2.038018e-04,2.039041e-04,2.044728e-04,2.045528e-04,2.049257e-04,2.051043e-04,2.052707e-04,2.054741e-04,2.055153e-04,2.056666e-04,2.056788e-04,2.057312e-04,2.057338e-04,2.057153e-04,2.056531e-04,2.056249e-04,2.054653e-04,2.054497e-04,2.052418e-04,2.051356e-04,2.049593e-04,2.047218e-04,2.046222e-04,2.042349e-04,2.042184e-04,2.038014e-04,2.036347e-04,2.033254e-04,2.029792e-04,2.028104e-04,2.022597e-04,2.016764e-04,2.014833e-04,2.010633e-04,2.006567e-04,2.004233e-04,1.997857e-04,1.997587e-04,1.990720e-04,1.988760e-04,1.983653e-04,1.979325e-04,1.976407e-04,1.969599e-04,1.969001e-04,1.961454e-04,1.959624e-04,1.953782e-04,1.949437e-04,1.946001e-04,1.939075e-04,1.938126e-04,1.930169e-04,1.928569e-04,1.922144e-04,1.917948e-04,1.914063e-04,1.907240e-04,1.905937e-04,1.897776e-04,1.896467e-04,1.889589e-04,1.885653e-04,1.881386e-04,1.874818e-04,1.873175e-04,1.864964e-04,1.863979e-04,1.856759e-04,1.853153e-04,1.848567e-04,1.842355e-04,1.840395e-04,1.832249e-04,1.831598e-04,1.824132e-04,1.820895e-04,1.816051e-04,1.810257e-04,1.808010e-04,1.800013e-04,1.799694e-04,1.792064e-04,1.789214e-04,1.784166e-04,1.778826e-04,1.776322e-04,1.768536e-04,1.758351e-04,1.748276e-04,1.738316e-04,1.728476e-04,1.718758e-04,1.709167e-04,1.699705e-04,1.690375e-04,1.681177e-04,1.672114e-04,1.663187e-04,1.654397e-04,1.645745e-04,1.637230e-04,1.628853e-04,1.620613e-04,1.612511e-04,1.604547e-04,1.596718e-04,1.589026e-04,1.581468e-04,1.574044e-04,1.566753e-04,1.559593e-04
0.000000e+00,1.588970e-09,3.620548e-09,1.234777e-08,2.788556e-08,4.050697e-08,9.073131e-08,9.340734e-08,1.776591e-07,2.077019e-07,2.993013e-07,3.925808e-07,4.639387e-07,6.578856e-07,6.768058e-07,9.426383e-07,1.014767e-06,1.265175e-06,1.471362e-06,1.646285e-06,2.029637e-06,2.085293e-06,2.579213e-06,2.684219e-06,3.123730e-06,3.425292e-06,3.714062e-06,4.241805e-06,4.345368e-06,5.012824e-06,5.122649e-06,5.711592e-06,6.056690e-06,6.436784e-06,7.032642e-06,7.183456e-06,7.946642e-06,8.039098e-06,8.721396e-06,9.064698e-06,9.502866e-06,1.009838e-05,1.028635e-05,1.106738e-05,1.112963e-05,1.184175e-05,1.214876e-05,1.260561e-05,1.314709e-05,1.335544e-05,1.408814e-05,1.411705e-05,1.480097e-05,1.505227e-05,1.549163e-05,1.594761e-05,1.615819e-05,1.679913e-05,1.741325e-05,1.760396e-05,1.799971e-05,1.836027e-05,1.855797e-05,1.906711e-05,1.908776e-05,1.958904e-05,1.972431e-05,2.006200e-05,2.033234e-05,2.050702e-05,2.089218e-05,2.092460e-05,2.131539e-05,2.140528e-05,2.168016e-05,2.187336e-05,2.201972e-05,2.229840e-05,2.233498e-05,2.262687e-05,2.268253e-05,2.289637e-05,2.302799e-05,2.314447e-05,2.333705e-05,2.337215e-05,2.358042e-05,2.361201e-05,2.377026e-05,2.385511e-05,2.394261e-05,2.406854e-05,2.409842e-05,2.423860e-05,2.425441e-05,2.436403e-05,2.441476e-05,2.447555e-05,2.455152e-05,2.457400e-05,2.466014e-05,2.466652e-05,2.473471e-05,2.476147e-05,2.479845e-05,2.483800e-05,2.485201e-05,2.489605e-05,2.489762e-05,2.493116e-05,2.494174e-05,2.495794e-05,2.497167e-05,2.497692e-05,2.498863e-05,2.499354e-05,2.499375e-05,2.499212e-05,2.498808e-05,2.498479e-05,2.497259e-05,2.497197e-05,2.495405e-05,2.494816e-05,2.493137e-05,2.491563e-05,2.490429e-05,2.487575e-05,2.487311e-05,2.483815e-05,2.482923e-05,2.479968e-05,2.477670e-05,2.475796e-05,2.471877e-05,2.471326e-05,2.466579e-05,2.465598e-05,2.461578e-05,2.458883e-05,2.456343e-05,2.451779e-05,2.450894e-05,2.445249e-05,2.444329e-05,2.439425e-05,2.436571e-05,2.433438e-05,2.428541e-05,2.427303e-05,2.421033e-05,2.420272e-05,2.414643e-05,2.411796e-05,2.408144e-05,2.403139e-05,2.401548e-05,2.394866e-05,2.394328e-05,2.388109e-05,2.385387e-05,2.381285e-05,2.376336e-05,2.374403e-05,2.367473e-05,2.367195e-05,2.360502e-05,2.357984e-05,2.353497e-05,2.348718e-05,2.346465e-05,2.339413e-05,2.330084e-05,2.320742e-05,2.311401e-05,2.302070e-05,2.292760e-05,2.283479e-05,2.274237e-05,2.265040e-05,2.255895e-05,2.246809e-05,2.237787e-05,2.228834e-05,2.219955e-05,2.211155e-05,2.202436e-05,2.193802e-05,2.185256e-05,2.176802e-05,2.168440e-05,2.160174e-05,2.152005e-05,2.143935e-05,2.135964e-05,2.128095e-05
0.000000e+00,3.847831e-09,8.761226e-09,2.985489e-08,6.744557e-08,9.804913e-08,2.206186e-07,2.271874e-07,4.360623e-07,5.115093e-07,7.445708e-07,9.862841e-07,1.173862e-06,1.693007e-06,1.744216e-06,2.468709e-06,2.665582e-06,3.343861e-06,3.891770e-06,4.346722e-06,5.308811e-06,5.444468e-06,6.606010e-06,6.843673e-06,7.806417e-06,8.439368e-06,9.026262e-06,1.005447e-05,1.024997e-05,1.146458e-05,1.165732e-05,1.265915e-05,1.322263e-05,1.382439e-05,1.473024e-05,1.495260e-05,1.603754e-05,1.616458e-05,1.707438e-05,1.751441e-05,1.805960e-05,1.877235e-05,1.899084e-05,1.986677e-05,1.993444e-05,2.068696e-05,2.099948e-05,2.145171e-05,2.196849e-05,2.216192e-05,2.281895e-05,2.284415e-05,2.342454e-05,2.363032e-05,2.398064e-05,2.433163e-05,2.448944e-05,2.495323e-05,2.537436e-05,2.550049e-05,2.575516e-05,2.597880e-05,2.609799e-05,2.639349e-05,2.640512e-05,2.667877e-05,2.674969e-05,2.692109e-05,2.705230e-05,2.713413e-05,2.730595e-05,2.731984e-05,2.748010e-05,2.751497e-05,2.761666e-05,2.768341e-05,2.773119e-05,2.781500e-05,2.782526e-05,2.790036e-05,2.791322e-05,2.795786e-05,2.798125e-05,2.799909e-05,2.802204e-05,2.802526e-05,2.803752e-05,2.803826e-05,2.803694e-05,2.803239e-05,2.802452e-05,2.800670e-05,2.800121e-05,2.796787e-05,2.796324e-05,2.792533e-05,2.790390e-05,2.787435e-05,2.783040e-05,2.781564e-05,2.774987e-05,2.774432e-05,2.767765e-05,2.764709e-05,2.759957e-05,2.754001e-05,2.751615e-05,2.742790e-05,2.742428e-05,2.733529e-05,2.730096e-05,2.723875e-05,2.717106e-05,2.713867e-05,2.703545e-05,2.692943e-05,2.689496e-05,2.682093e-05,2.675032e-05,2.671025e-05,2.660221e-05,2.659767e-05,2.648346e-05,2.645122e-05,2.636786e-05,2.629792e-05,2.625108e-05,2.614279e-05,2.613334e-05,2.601483e-05,2.598630e-05,2.589573e-05,2.582884e-05,2.577621e-05,2.567079e-05,2.565640e-05,2.553647e-05,2.551248e-05,2.541653e-05,2.535420e-05,2.529671e-05,2.519623e-05,2.517711e-05,2.505785e-05,2.503881e-05,2.493901e-05,2.488215e-05,2.482069e-05,2.472645e-05,2.470295e-05,2.458588e-05,2.457188e-05,2.446954e-05,2.441860e-05,2.435399e-05,2.426673e-05,2.423928e-05,2.412547e-05,2.411641e-05,2.401261e-05,2.396773e-05,2.390072e-05,2.382080e-05,2.378986e-05,2.368005e-05,2.367568e-05,2.357132e-05,2.353245e-05,2.346371e-05,2.339118e-05,2.335723e-05,2.325190e-05,2.311467e-05,2.297952e-05,2.284647e-05,2.271555e-05,2.258677e-05,2.246015e-05,2.233569e-05,2.221340e-05,2.209327e-05,2.197530e-05,2.185947e-05,2.174579e-05,2.163423e-05,2.152478e-05,2.141742e-05,2.131213e-05,2.120890e-05,2.110769e-05,2.100849e-05,2.091127e-05,2.081601e-05,2.072268e-05,2.063124e-05,2.054168e-05
0.000000e+00,2.241209e-08,5.121062e-08,1.761444e-07,4.026695e-07,5.902143e-07,1.365932e-06,1.408540e-06,2.812764e-06,3.341639e-06,5.037134e-06,6.874926e-06,8.340134e-06,1.247548e-05,1.288487e-05,1.861578e-05,2.014529e-05,2.532314e-05,2.942389e-05,3.279313e-05,3.986966e-05,4.086618e-05,4.942801e-05,5.119093e-05,5.838963e-05,6.318175e-05,6.767365e-05,7.566796e-05,7.720712e-05,8.691872e-05,8.848439e-05,9.673836e-05,1.014701e-04,1.065980e-04,1.144706e-04,1.164325e-04,1.261810e-04,1.273423e-04,1.357883e-04,1.399579e-04,1.452054e-04,1.522088e-04,1.543899e-04,1.633061e-04,1.640068e-04,1.719246e-04,1.752833e-04,1.802224e-04,1.859881e-04,1.881819e-04,1.957911e-04,1.960880e-04,2.030419e-04,2.055637e-04,2.099307e-04,2.144078e-04,2.164568e-04,2.226227e-04,2.284329e-04,2.302180e-04,2.338938e-04,2.372092e-04,2.390136e-04,2.436160e-04,2.438013e-04,2.482669e-04,2.494609e-04,2.524210e-04,2.547686e-04,2.562747e-04,2.595646e-04,2.598394e-04,2.631264e-04,2.638752e-04,2.661472e-04,2.677269e-04,2.689132e-04,2.711455e-04,2.714357e-04,2.737256e-04,2.741566e-04,2.757938e-04,2.767851e-04,2.776507e-04,2.790548e-04,2.793066e-04,2.807714e-04,2.809887e-04,2.820547e-04,2.826089e-04,2.831656e-04,2.839364e-04,2.841133e-04,2.849061e-04,2.849912e-04,2.855524e-04,2.857923e-04,2.860600e-04,2.863578e-04,2.864366e-04,2.866895e-04,2.867046e-04,2.868255e-04,2.868488e-04,2.868515e-04,2.868056e-04,2.867737e-04,2.865983e-04,2.865894e-04,2.863311e-04,2.862135e-04,2.859776e-04,2.856907e-04,2.855432e-04,2.850329e-04,2.844516e-04,2.842513e-04,2.838037e-04,2.833563e-04,2.830938e-04,2.823578e-04,2.823260e-04,2.815042e-04,2.812649e-04,2.806322e-04,2.800864e-04,2.797136e-04,2.788302e-04,2.787518e-04,2.777500e-04,2.775040e-04,2.767114e-04,2.761148e-04,2.756388e-04,2.746690e-04,2.745350e-04,2.734027e-04,2.731730e-04,2.722442e-04,2.716323e-04,2.710621e-04,2.700524e-04,2.698585e-04,2.686355e-04,2.684382e-04,2.673952e-04,2.667942e-04,2.661394e-04,2.651248e-04,2.648699e-04,2.635885e-04,2.634340e-04,2.622967e-04,2.617254e-04,2.609960e-04,2.600025e-04,2.596880e-04,2.583738e-04,2.582685e-04,2.570548e-04,2.565262e-04,2.557323e-04,2.547784e-04,2.544072e-04,2.530807e-04,2.530276e-04,2.517537e-04,2.512761e-04,2.504273e-04,2.495260e-04,2.491022e-04,2.477793e-04,2.460378e-04,2.443031e-04,2.425767e-04,2.408600e-04,2.391542e-04,2.374605e-04,2.357799e-04,2.341134e-04,2.324617e-04,2.308256e-04,2.292059e-04,2.276030e-04,2.260176e-04,2.244501e-04,2.229008e-04,2.213702e-04,2.198585e-04,2.183660e-04,2.168929e-04,2.154394e-04,2.140055e-04,2.125914e-04,2.111972e-04,2.098227e-04
0.000000e+00,5.709266e-09,1.302086e-08,4.451444e-08,1.008330e-07,1.467774e-07,3.311169e-07,3.410018e-07,6.551448e-07,7.684382e-07,1.117543e-06,1.478116e-06,1.756949e-06,2.525576e-06,2.601273e-06,3.674880e-06,3.968754e-06,4.994571e-06,5.843395e-06,6.564810e-06,8.144644e-06,8.373417e-06,1.038985e-05,1.081424e-05,1.256827e-05,1.374740e-05,1.485538e-05,1.682256e-05,1.719954e-05,1.955711e-05,1.993317e-05,2.189435e-05,2.300144e-05,2.418650e-05,2.597570e-05,2.641590e-05,2.857011e-05,2.882312e-05,3.064057e-05,3.152349e-05,3.262157e-05,3.406506e-05,3.450958e-05,3.630272e-05,3.644205e-05,3.800045e-05,3.865291e-05,3.960325e-05,4.069918e-05,4.111240e-05,4.252980e-05,4.258462e-05,4.385781e-05,4.431452e-05,4.509914e-05,4.589524e-05,4.625675e-05,4.733375e-05,4.833337e-05,4.863744e-05,4.925888e-05,4.981382e-05,5.011354e-05,5.087039e-05,5.090062e-05,5.162332e-05,5.181457e-05,5.228478e-05,5.265354e-05,5.288807e-05,5.339427e-05,5.343615e-05,5.393191e-05,5.404342e-05,5.437813e-05,5.460737e-05,5.477747e-05,5.509217e-05,5.513252e-05,5.544575e-05,5.550358e-05,5.571951e-05,5.584703e-05,5.595608e-05,5.612763e-05,5.615761e-05,5.632618e-05,5.635022e-05,5.646376e-05,5.651934e-05,5.657222e-05,5.663924e-05,5.665337e-05,5.670891e-05,5.671393e-05,5.674046e-05,5.674714e-05,5.674956e-05,5.674238e-05,5.673769e-05,5.670624e-05,5.670291e-05,5.665652e-05,5.663181e-05,5.658980e-05,5.653191e-05,5.650727e-05,5.641005e-05,5.640587e-05,5.629922e-05,5.625618e-05,5.617578e-05,5.608513e-05,5.604069e-05,5.589487e-05,5.573917e-05,5.568739e-05,5.557439e-05,5.546453e-05,5.540132e-05,5.522802e-05,5.522066e-05,5.503310e-05,5.497943e-05,5.483928e-05,5.472024e-05,5.463982e-05,5.445182e-05,5.443528e-05,5.422621e-05,5.417541e-05,5.401310e-05,5.389218e-05,5.379644e-05,5.360320e-05,5.357668e-05,5.335424e-05,5.330946e-05,5.312951e-05,5.301187e-05,5.290287e-05,5.271126e-05,5.267466e-05,5.244521e-05,5.240841e-05,5.221483e-05,5.210400e-05,5.198380e-05,5.179869e-05,5.175240e-05,5.152086e-05,5.149308e-05,5.128942e-05,5.118768e-05,5.105831e-05,5.088300e-05,5.082772e-05,5.059784e-05,5.057948e-05,5.036885e-05,5.027753e-05,5.014090e-05,4.997751e-05,4.991415e-05,4.968874e-05,4.967975e-05,4.946479e-05,4.938455e-05,4.924242e-05,4.909217e-05,4.902174e-05,4.880285e-05,4.851681e-05,4.823422e-05,4.795526e-05,4.768008e-05,4.740878e-05,4.714149e-05,4.687829e-05,4.661927e-05,4.636448e-05,4.611398e-05,4.586779e-05,4.562595e-05,4.538848e-05,4.515538e-05,4.492664e-05,4.470228e-05,4.448227e-05,4.426659e-05,4.405522e-05,4.384813e-05,4.364529e-05,4.344665e-05,4.325218e-05,4.306182e-05
0.000000e+00,9.419564e-09,2.150039e-08,7.360231e-08,1.668257e-07,2.428448e-07,5.471534e-07,5.634341e-07,1.078713e-06,1.263549e-06,1.830030e-06,2.410748e-06,2.857183e-06,4.078086e-06,4.197662e-06,5.883281e-06,6.341668e-06,7.932558e-06,9.238429e-06,1.034096e-05,1.273395e-05,1.307836e-05,1.609896e-05,1.673273e-05,1.935410e-05,2.112429e-05,2.279860e-05,2.580826e-05,2.639152e-05,3.009529e-05,3.069582e-05,3.387500e-05,3.570658e-05,3.769809e-05,4.076747e-05,4.153444e-05,4.535663e-05,4.581315e-05,4.914008e-05,5.078686e-05,5.286322e-05,5.564096e-05,5.650752e-05,6.005745e-05,6.033697e-05,6.350029e-05,6.484511e-05,6.682600e-05,6.914359e-05,7.002692e-05,7.309753e-05,7.321759e-05,7.603421e-05,7.705820e-05,7.883495e-05,8.066142e-05,8.149910e-05,8.402718e-05,8.642065e-05,8.715847e-05,8.868173e-05,9.006065e-05,9.081329e-05,9.274080e-05,9.281863e-05,9.470145e-05,9.520722e-05,9.646572e-05,9.746908e-05,9.811556e-05,9.953601e-05,9.965523e-05,1.010891e-04,1.014179e-04,1.024214e-04,1.031248e-04,1.036566e-04,1.046667e-04,1.047990e-04,1.058527e-04,1.060531e-04,1.068219e-04,1.072938e-04,1.077106e-04,1.083978e-04,1.085228e-04,1.092622e-04,1.093740e-04,1.099326e-04,1.102310e-04,1.105376e-04,1.109767e-04,1.110804e-04,1.115646e-04,1.116188e-04,1.119931e-04,1.121648e-04,1.123691e-04,1.126215e-04,1.126955e-04,1.129751e-04,1.129955e-04,1.132105e-04,1.132929e-04,1.134044e-04,1.135196e-04,1.135592e-04,1.136772e-04,1.136812e-04,1.137606e-04,1.137826e-04,1.138117e-04,1.138289e-04,1.138324e-04,1.138246e-04,1.137903e-04,1.137739e-04,1.137311e-04,1.136809e-04,1.136487e-04,1.135493e-04,1.135447e-04,1.134207e-04,1.133826e-04,1.132780e-04,1.131840e-04,1.131181e-04,1.129568e-04,1.129421e-04,1.127514e-04,1.127035e-04,1.125471e-04,1.124271e-04,1.123302e-04,1.121298e-04,1.121019e-04,1.118631e-04,1.118141e-04,1.116147e-04,1.114821e-04,1.113577e-04,1.111357e-04,1.110928e-04,1.108209e-04,1.107768e-04,1.105426e-04,1.104070e-04,1.102588e-04,1.100281e-04,1.099700e-04,1.096768e-04,1.096414e-04,1.093800e-04,1.092483e-04,1.090799e-04,1.088501e-04,1.087772e-04,1.084723e-04,1.084478e-04,1.081656e-04,1.080426e-04,1.078577e-04,1.076354e-04,1.075489e-04,1.072395e-04,1.072272e-04,1.069300e-04,1.068186e-04,1.066207e-04,1.064106e-04,1.063118e-04,1.060037e-04,1.055986e-04,1.051958e-04,1.047959e-04,1.043994e-04,1.040065e-04,1.036178e-04,1.032336e-04,1.028540e-04,1.024795e-04,1.021103e-04,1.017464e-04,1.013882e-04,1.010358e-04,1.006893e-04,1.003487e-04,1.000143e-04,9.968597e-05,9.936388e-05,9.904803e-05,9.873844e-05,9.843513e-05,9.813808e-05,9.784728e-05,9.756271e-05
0.000000e+00,2.426016e-09,5.523103e-09,1.882387e-08,4.256259e-08,6.192766e-08,1.398410e-07,1.440323e-07,2.780666e-07,3.268161e-07,4.783803e-07,6.369196e-07,7.607628e-07,1.106670e-06,1.141021e-06,1.631238e-06,1.765800e-06,2.233694e-06,2.616069e-06,2.935978e-06,3.616991e-06,3.713271e-06,4.537201e-06,4.705325e-06,5.383357e-06,5.825871e-06,6.233540e-06,6.941247e-06,7.074845e-06,7.898078e-06,8.027645e-06,8.696562e-06,9.069546e-06,9.465382e-06,1.005663e-05,1.020095e-05,1.090076e-05,1.098225e-05,1.156320e-05,1.184259e-05,1.218742e-05,1.263614e-05,1.277324e-05,1.332098e-05,1.336318e-05,1.383144e-05,1.402542e-05,1.430571e-05,1.462553e-05,1.474514e-05,1.515125e-05,1.516683e-05,1.552570e-05,1.565307e-05,1.587018e-05,1.608819e-05,1.618642e-05,1.647616e-05,1.674106e-05,1.682086e-05,1.698278e-05,1.712604e-05,1.720288e-05,1.739523e-05,1.740286e-05,1.758413e-05,1.763172e-05,1.774803e-05,1.783855e-05,1.789581e-05,1.801853e-05,1.802863e-05,1.814760e-05,1.817421e-05,1.825373e-05,1.830792e-05,1.834797e-05,1.842176e-05,1.843120e-05,1.850422e-05,1.851767e-05,1.856780e-05,1.859737e-05,1.862264e-05,1.866242e-05,1.866938e-05,1.870863e-05,1.871425e-05,1.874093e-05,1.875413e-05,1.876681e-05,1.878321e-05,1.878674e-05,1.880117e-05,1.880255e-05,1.881049e-05,1.881307e-05,1.881509e-05,1.881565e-05,1.881532e-05,1.881151e-05,1.881104e-05,1.880395e-05,1.879994e-05,1.879293e-05,1.878300e-05,1.877870e-05,1.876152e-05,1.876077e-05,1.874159e-05,1.873379e-05,1.871914e-05,1.870252e-05,1.869434e-05,1.866740e-05,1.863846e-05,1.862881e-05,1.860770e-05,1.858711e-05,1.857525e-05,1.854263e-05,1.854124e-05,1.850582e-05,1.849566e-05,1.846909e-05,1.844647e-05,1.843117e-05,1.839531e-05,1.839215e-05,1.835215e-05,1.834241e-05,1.831123e-05,1.828796e-05,1.826950e-05,1.823217e-05,1.822703e-05,1.818389e-05,1.817519e-05,1.814016e-05,1.811720e-05,1.809589e-05,1.805834e-05,1.805115e-05,1.800600e-05,1.799874e-05,1.796048e-05,1.793852e-05,1.791465e-05,1.787779e-05,1.786855e-05,1.782224e-05,1.781667e-05,1.777575e-05,1.775524e-05,1.772911e-05,1.769360e-05,1.768237e-05,1.763556e-05,1.763182e-05,1.758872e-05,1.756997e-05,1.754186e-05,1.750813e-05,1.749502e-05,1.744824e-05,1.744637e-05,1.740152e-05,1.738472e-05,1.735490e-05,1.732326e-05,1.730839e-05,1.726202e-05,1.720106e-05,1.714041e-05,1.708011e-05,1.702019e-05,1.696069e-05,1.690164e-05,1.684305e-05,1.678496e-05,1.672739e-05,1.667035e-05,1.661386e-05,1.655794e-05,1.650261e-05,1.644787e-05,1.639374e-05,1.634022e-05,1.628733e-05,1.623507e-05,1.618344e-05,1.613247e-05,1.608214e-05,1.603246e-05,1.598343e-05,1.593506e-05
0.000000e+00,1.252989e-08,2.865399e-08,9.857098e-08,2.247715e-07,3.285595e-07,7.509521e-07,7.738441e-07,1.512664e-06,1.784114e-06,2.635516e-06,3.535957e-06,4.244656e-06,6.237994e-06,6.436415e-06,9.260825e-06,1.003151e-05,1.269312e-05,1.485311e-05,1.665731e-05,2.051863e-05,2.106916e-05,2.585612e-05,2.685307e-05,3.095807e-05,3.371803e-05,3.632280e-05,4.099721e-05,4.190252e-05,4.765202e-05,4.858478e-05,5.352805e-05,5.638132e-05,5.948948e-05,6.429406e-05,6.549768e-05,7.151701e-05,7.223851e-05,7.751520e-05,8.014016e-05,8.346345e-05,8.793514e-05,8.933666e-05,9.511339e-05,9.557079e-05,1.007754e-04,1.030047e-04,1.063078e-04,1.102039e-04,1.116984e-04,1.169379e-04,1.171442e-04,1.220189e-04,1.238082e-04,1.269363e-04,1.301849e-04,1.316866e-04,1.362678e-04,1.406790e-04,1.420547e-04,1.449204e-04,1.475462e-04,1.489930e-04,1.527456e-04,1.528986e-04,1.566395e-04,1.576578e-04,1.602184e-04,1.622894e-04,1.636385e-04,1.666476e-04,1.669032e-04,1.700158e-04,1.707407e-04,1.729803e-04,1.745772e-04,1.758005e-04,1.781660e-04,1.784803e-04,1.810237e-04,1.815164e-04,1.834347e-04,1.846374e-04,1.857173e-04,1.875383e-04,1.878754e-04,1.899132e-04,1.902283e-04,1.918344e-04,1.927164e-04,1.936430e-04,1.950113e-04,1.953428e-04,1.969375e-04,1.971219e-04,1.984308e-04,1.990566e-04,1.998263e-04,2.008236e-04,2.011275e-04,2.023379e-04,2.024310e-04,2.034610e-04,2.038864e-04,2.044998e-04,2.051975e-04,2.054578e-04,2.063379e-04,2.063715e-04,2.071432e-04,2.074154e-04,2.078767e-04,2.083359e-04,2.085413e-04,2.091396e-04,2.096746e-04,2.098328e-04,2.101487e-04,2.104214e-04,2.105645e-04,2.109111e-04,2.109245e-04,2.112311e-04,2.113077e-04,2.114865e-04,2.116162e-04,2.116931e-04,2.118419e-04,2.118530e-04,2.119683e-04,2.119896e-04,2.120410e-04,2.120639e-04,2.120731e-04,2.120693e-04,2.120665e-04,2.120230e-04,2.120100e-04,2.119444e-04,2.118902e-04,2.118323e-04,2.117135e-04,2.116884e-04,2.115144e-04,2.114838e-04,2.113117e-04,2.112046e-04,2.110818e-04,2.108792e-04,2.108261e-04,2.105460e-04,2.105108e-04,2.102428e-04,2.101024e-04,2.099177e-04,2.096569e-04,2.095721e-04,2.092070e-04,2.091770e-04,2.088237e-04,2.086655e-04,2.084231e-04,2.081246e-04,2.080064e-04,2.075744e-04,2.075568e-04,2.071283e-04,2.069644e-04,2.066689e-04,2.063494e-04,2.061971e-04,2.057137e-04,2.050594e-04,2.043883e-04,2.037019e-04,2.030019e-04,2.022899e-04,2.015672e-04,2.008352e-04,2.000952e-04,1.993484e-04,1.985959e-04,1.978388e-04,1.970781e-04,1.963147e-04,1.955495e-04,1.947833e-04,1.940169e-04,1.932511e-04,1.924865e-04,1.917237e-04,1.909634e-04,1.902060e-04,1.894522e-04,1.887023e-04,1.879569e-04
0.000000e+00,2.309966e-09,5.265862e-09,1.798544e-08,4.070536e-08,5.922592e-08,1.334749e-07,1.374551e-07,2.639686e-07,3.096253e-07,4.504631e-07,5.961145e-07,7.087557e-07,1.018039e-06,1.048316e-06,1.471929e-06,1.585664e-06,1.974583e-06,2.287329e-06,2.547437e-06,3.102414e-06,3.181443e-06,3.868313e-06,4.011341e-06,4.600258e-06,4.996150e-06,5.369651e-06,6.039312e-06,6.168880e-06,6.990361e-06,7.123363e-06,7.826660e-06,8.231239e-06,8.670651e-06,9.346870e-06,9.515647e-06,1.035554e-05,1.045571e-05,1.118488e-05,1.154521e-05,1.199897e-05,1.260499e-05,1.279381e-05,1.356616e-05,1.362689e-05,1.431343e-05,1.460487e-05,1.503369e-05,1.553475e-05,1.572555e-05,1.638814e-05,1.641403e-05,1.702099e-05,1.724151e-05,1.762401e-05,1.801711e-05,1.819739e-05,1.874157e-05,1.925719e-05,1.941627e-05,1.974500e-05,2.004302e-05,2.020590e-05,2.062392e-05,2.064083e-05,2.105080e-05,2.116126e-05,2.143684e-05,2.165741e-05,2.180000e-05,2.211478e-05,2.214130e-05,2.246179e-05,2.253572e-05,2.276246e-05,2.292255e-05,2.304431e-05,2.327750e-05,2.330826e-05,2.355525e-05,2.360268e-05,2.378614e-05,2.390012e-05,2.400177e-05,2.417170e-05,2.420295e-05,2.439043e-05,2.441921e-05,2.456496e-05,2.464433e-05,2.472721e-05,2.484861e-05,2.487784e-05,2.501748e-05,2.503352e-05,2.514671e-05,2.520042e-05,2.526609e-05,2.535056e-05,2.537615e-05,2.547739e-05,2.548513e-05,2.557029e-05,2.560521e-05,2.565528e-05,2.571182e-05,2.573280e-05,2.580324e-05,2.580591e-05,2.586698e-05,2.588835e-05,2.592438e-05,2.595996e-05,2.597577e-05,2.602149e-05,2.606182e-05,2.607364e-05,2.609706e-05,2.611706e-05,2.612747e-05,2.615237e-05,2.615332e-05,2.617485e-05,2.618014e-05,2.619228e-05,2.620087e-05,2.620584e-05,2.621507e-05,2.621573e-05,2.622215e-05,2.622319e-05,2.622527e-05,2.622565e-05,2.622529e-05,2.622286e-05,2.622235e-05,2.621663e-05,2.621517e-05,2.620827e-05,2.620293e-05,2.619742e-05,2.618647e-05,2.618420e-05,2.616876e-05,2.616609e-05,2.615120e-05,2.614205e-05,2.613164e-05,2.611464e-05,2.611021e-05,2.608699e-05,2.608409e-05,2.606209e-05,2.605062e-05,2.603560e-05,2.601447e-05,2.600762e-05,2.597823e-05,2.597582e-05,2.594751e-05,2.593487e-05,2.591554e-05,2.589179e-05,2.588239e-05,2.584814e-05,2.584675e-05,2.581285e-05,2.579990e-05,2.577658e-05,2.575139e-05,2.573940e-05,2.570136e-05,2.564993e-05,2.559723e-05,2.554337e-05,2.548846e-05,2.543259e-05,2.537587e-05,2.531837e-05,2.526019e-05,2.520140e-05,2.514208e-05,2.508230e-05,2.502212e-05,2.496160e-05,2.490080e-05,2.483979e-05,2.477860e-05,2.471728e-05,2.465589e-05,2.459447e-05,2.453304e-05,2.447167e-05,2.441037e-05,2.434919e-05,2.428815e-05
0.000000e+00,2.001479e-09,4.467354e-09,1.460814e-08,3.178353e-08,4.525894e-08,9.650857e-08,9.916419e-08,1.803796e-07,2.085163e-07,2.925956e-07,3.763683e-07,4.395803e-07,6.086912e-07,6.250116e-07,8.511678e-07,9.114411e-07,1.116412e-06,1.279530e-06,1.413525e-06,1.692698e-06,1.731602e-06,2.060015e-06,2.126184e-06,2.390801e-06,2.561936e-06,2.718765e-06,2.989639e-06,3.040627e-06,3.354185e-06,3.403466e-06,3.657755e-06,3.799491e-06,3.949891e-06,4.174481e-06,4.229280e-06,4.494725e-06,4.525590e-06,4.745178e-06,4.850399e-06,4.979782e-06,5.147084e-06,5.197906e-06,5.399166e-06,5.414532e-06,5.583424e-06,5.652383e-06,5.750786e-06,5.860996e-06,5.901571e-06,6.036285e-06,6.041349e-06,6.155594e-06,6.194923e-06,6.260289e-06,6.323583e-06,6.351257e-06,6.429446e-06,6.495790e-06,6.514670e-06,6.551223e-06,6.581413e-06,6.596689e-06,6.631778e-06,6.633069e-06,6.661221e-06,6.667745e-06,6.681974e-06,6.691188e-06,6.696076e-06,6.703774e-06,6.704222e-06,6.707055e-06,6.707009e-06,6.705152e-06,6.702216e-06,6.699038e-06,6.690552e-06,6.689187e-06,6.676023e-06,6.673027e-06,6.659926e-06,6.650511e-06,6.641235e-06,6.623750e-06,6.620250e-06,6.597240e-06,6.593387e-06,6.572446e-06,6.559974e-06,6.546079e-06,6.523982e-06,6.518329e-06,6.489364e-06,6.485814e-06,6.459333e-06,6.445818e-06,6.428372e-06,6.404292e-06,6.396599e-06,6.364121e-06,6.361496e-06,6.331035e-06,6.317650e-06,6.297428e-06,6.272950e-06,6.263375e-06,6.228948e-06,6.227564e-06,6.194210e-06,6.181640e-06,6.159219e-06,6.135306e-06,6.124026e-06,6.088678e-06,6.053220e-06,6.041857e-06,6.017690e-06,5.994930e-06,5.982125e-06,5.947979e-06,5.946557e-06,5.911016e-06,5.901073e-06,5.875530e-06,5.854275e-06,5.840124e-06,5.807641e-06,5.804821e-06,5.769643e-06,5.761221e-06,5.734609e-06,5.715060e-06,5.699737e-06,5.669196e-06,5.665042e-06,5.630541e-06,5.623665e-06,5.596246e-06,5.578499e-06,5.562171e-06,5.533725e-06,5.528326e-06,5.494722e-06,5.489369e-06,5.461369e-06,5.445451e-06,5.428274e-06,5.401990e-06,5.395447e-06,5.362892e-06,5.359005e-06,5.330618e-06,5.316508e-06,5.298629e-06,5.274512e-06,5.266931e-06,5.235527e-06,5.233028e-06,5.204422e-06,5.192065e-06,5.173619e-06,5.151630e-06,5.143121e-06,5.112930e-06,5.111729e-06,5.083049e-06,5.072368e-06,5.053479e-06,5.033549e-06,5.024220e-06,4.995275e-06,4.957549e-06,4.920370e-06,4.883738e-06,4.847652e-06,4.812112e-06,4.777115e-06,4.742658e-06,4.708738e-06,4.675352e-06,4.642495e-06,4.610163e-06,4.578352e-06,4.547056e-06,4.516270e-06,4.485989e-06,4.456206e-06,4.426917e-06,4.398114e-06,4.369792e-06,4.341944e-06,4.314565e-06,4.287647e-06,4.261184e-06,4.235169e-06
0.000000e+00,3.812169e-09,8.688210e-09,2.966239e-08,6.711883e-08,9.765308e-08,2.201043e-07,2.266703e-07,4.354600e-07,5.108397e-07,7.434574e-07,9.842797e-07,1.170879e-06,1.686480e-06,1.737316e-06,2.457796e-06,2.654395e-06,3.336193e-06,3.893039e-06,4.359862e-06,5.359651e-06,5.501874e-06,6.730097e-06,6.983401e-06,8.015051e-06,8.697427e-06,9.332605e-06,1.045036e-05,1.066353e-05,1.199228e-05,1.220379e-05,1.330608e-05,1.392819e-05,1.459428e-05,1.560045e-05,1.584809e-05,1.706035e-05,1.720274e-05,1.822538e-05,1.872188e-05,1.933889e-05,2.014877e-05,2.039781e-05,2.140015e-05,2.147785e-05,2.234486e-05,2.270653e-05,2.323169e-05,2.383456e-05,2.406103e-05,2.483382e-05,2.486358e-05,2.555140e-05,2.579653e-05,2.621544e-05,2.663736e-05,2.682782e-05,2.739061e-05,2.790596e-05,2.806122e-05,2.837610e-05,2.865429e-05,2.880326e-05,2.917498e-05,2.918968e-05,2.953756e-05,2.962835e-05,2.984904e-05,3.001932e-05,3.012621e-05,3.035263e-05,3.037108e-05,3.058560e-05,3.063278e-05,3.077163e-05,3.086403e-05,3.093094e-05,3.105039e-05,3.106524e-05,3.117614e-05,3.119565e-05,3.126517e-05,3.130331e-05,3.133378e-05,3.137665e-05,3.138336e-05,3.141520e-05,3.141873e-05,3.143054e-05,3.143239e-05,3.143054e-05,3.142024e-05,3.141631e-05,3.138887e-05,3.138473e-05,3.134920e-05,3.132811e-05,3.129822e-05,3.125244e-05,3.123679e-05,3.116573e-05,3.115965e-05,3.108581e-05,3.105151e-05,3.099773e-05,3.092965e-05,3.090218e-05,3.079978e-05,3.079556e-05,3.069114e-05,3.065061e-05,3.057682e-05,3.049609e-05,3.045732e-05,3.033315e-05,3.020476e-05,3.016285e-05,3.007258e-05,2.998618e-05,2.993701e-05,2.980403e-05,2.979844e-05,2.965720e-05,2.961723e-05,2.951364e-05,2.942651e-05,2.936805e-05,2.923257e-05,2.922073e-05,2.907194e-05,2.903604e-05,2.892192e-05,2.883747e-05,2.877092e-05,2.863739e-05,2.861915e-05,2.846680e-05,2.843628e-05,2.831407e-05,2.823456e-05,2.816113e-05,2.803261e-05,2.800814e-05,2.785524e-05,2.783080e-05,2.770259e-05,2.762944e-05,2.755030e-05,2.742881e-05,2.739850e-05,2.724729e-05,2.722918e-05,2.709677e-05,2.703078e-05,2.694703e-05,2.683381e-05,2.679817e-05,2.665026e-05,2.663847e-05,2.650336e-05,2.644491e-05,2.635755e-05,2.625328e-05,2.621289e-05,2.606942e-05,2.606371e-05,2.592720e-05,2.587631e-05,2.578627e-05,2.569119e-05,2.564667e-05,2.550843e-05,2.532810e-05,2.515027e-05,2.497498e-05,2.480229e-05,2.463222e-05,2.446480e-05,2.430006e-05,2.413800e-05,2.397863e-05,2.382196e-05,2.366798e-05,2.351670e-05,2.336808e-05,2.322213e-05,2.307883e-05,2.293815e-05,2.280007e-05,2.266458e-05,2.253163e-05,2.240121e-05,2.227329e-05,2.214782e-05,2.202479e-05,2.190415e-05
0.000000e+00,2.568807e-09,5.836113e-09,1.979292e-08,4.450854e-08,6.453176e-08,1.441318e-07,1.483764e-07,2.825179e-07,3.306511e-07,4.785586e-07,6.310176e-07,7.488431e-07,1.073290e-06,1.105180e-06,1.554360e-06,1.675802e-06,2.092505e-06,2.427776e-06,2.705792e-06,3.294348e-06,3.377533e-06,4.093205e-06,4.240549e-06,4.841219e-06,5.239747e-06,5.612039e-06,6.271035e-06,6.397335e-06,7.189479e-06,7.316376e-06,7.981356e-06,8.359398e-06,8.766343e-06,9.385268e-06,9.538364e-06,1.029198e-05,1.038094e-05,1.102246e-05,1.133548e-05,1.172582e-05,1.224024e-05,1.239887e-05,1.303916e-05,1.308891e-05,1.364497e-05,1.387738e-05,1.421525e-05,1.460358e-05,1.474955e-05,1.524791e-05,1.526711e-05,1.571080e-05,1.586891e-05,1.613904e-05,1.641101e-05,1.653374e-05,1.689622e-05,1.722794e-05,1.732785e-05,1.753047e-05,1.770952e-05,1.780544e-05,1.804501e-05,1.805449e-05,1.827927e-05,1.833808e-05,1.848139e-05,1.859243e-05,1.866240e-05,1.881159e-05,1.882382e-05,1.896707e-05,1.899890e-05,1.909351e-05,1.915746e-05,1.920444e-05,1.929018e-05,1.930105e-05,1.938448e-05,1.939968e-05,1.945577e-05,1.948837e-05,1.951590e-05,1.955844e-05,1.956576e-05,1.960620e-05,1.961185e-05,1.963799e-05,1.965038e-05,1.966183e-05,1.967563e-05,1.967839e-05,1.968827e-05,1.968903e-05,1.969202e-05,1.969187e-05,1.969017e-05,1.968530e-05,1.968318e-05,1.967148e-05,1.967035e-05,1.965547e-05,1.964795e-05,1.963553e-05,1.961892e-05,1.961199e-05,1.958516e-05,1.958402e-05,1.955533e-05,1.954390e-05,1.952276e-05,1.949917e-05,1.948769e-05,1.945036e-05,1.941097e-05,1.939796e-05,1.936971e-05,1.934240e-05,1.932675e-05,1.928408e-05,1.928227e-05,1.923641e-05,1.922334e-05,1.918932e-05,1.916052e-05,1.914111e-05,1.909589e-05,1.909193e-05,1.904186e-05,1.902973e-05,1.899103e-05,1.896226e-05,1.893952e-05,1.889370e-05,1.888742e-05,1.883482e-05,1.882424e-05,1.878179e-05,1.875407e-05,1.872841e-05,1.868334e-05,1.867473e-05,1.862083e-05,1.861219e-05,1.856676e-05,1.854076e-05,1.851257e-05,1.846916e-05,1.845831e-05,1.840403e-05,1.839752e-05,1.834977e-05,1.832592e-05,1.829557e-05,1.825445e-05,1.824148e-05,1.818751e-05,1.818320e-05,1.813371e-05,1.811224e-05,1.808010e-05,1.804164e-05,1.802672e-05,1.797358e-05,1.797146e-05,1.792071e-05,1.790175e-05,1.786814e-05,1.783256e-05,1.781588e-05,1.776395e-05,1.769594e-05,1.762857e-05,1.756188e-05,1.749590e-05,1.743064e-05,1.736614e-05,1.730242e-05,1.723948e-05,1.717735e-05,1.711604e-05,1.705556e-05,1.699592e-05,1.693712e-05,1.687918e-05,1.682209e-05,1.676586e-05,1.671050e-05,1.665599e-05,1.660235e-05,1.654957e-05,1.649764e-05,1.644657e-05,1.639635e-05,1.634698e-05
0.000000e+00,2.817660e-08,6.434350e-08,2.206954e-07,5.019396e-07,7.326849e-07,1.668785e-06,1.719416e-06,3.349202e-06,3.945829e-06,5.806644e-06,7.749296e-06,9.253505e-06,1.334898e-05,1.374595e-05,1.922791e-05,2.068087e-05,2.561119e-05,2.954997e-05,3.281776e-05,3.978531e-05,4.077806e-05,4.942190e-05,5.122613e-05,5.867334e-05,6.369700e-05,6.844963e-05,7.700274e-05,7.866234e-05,8.921986e-05,9.093490e-05,1.000303e-04,1.052828e-04,1.110045e-04,1.198449e-04,1.220581e-04,1.331130e-04,1.344363e-04,1.440991e-04,1.488949e-04,1.549545e-04,1.630843e-04,1.656262e-04,1.760694e-04,1.768938e-04,1.862473e-04,1.902374e-04,1.961306e-04,2.030505e-04,2.056954e-04,2.149241e-04,2.152861e-04,2.238057e-04,2.269167e-04,2.323332e-04,2.379278e-04,2.405032e-04,2.483156e-04,2.557726e-04,2.580844e-04,2.628785e-04,2.672447e-04,2.696393e-04,2.758118e-04,2.760623e-04,2.821558e-04,2.838041e-04,2.879287e-04,2.912424e-04,2.933904e-04,2.981489e-04,2.985509e-04,3.034201e-04,3.045465e-04,3.080083e-04,3.104587e-04,3.123256e-04,3.159088e-04,3.163821e-04,3.201879e-04,3.209198e-04,3.237527e-04,3.255145e-04,3.270864e-04,3.297149e-04,3.301983e-04,3.330977e-04,3.335424e-04,3.357935e-04,3.370177e-04,3.382945e-04,3.401606e-04,3.406090e-04,3.427454e-04,3.429902e-04,3.447115e-04,3.455246e-04,3.465149e-04,3.477812e-04,3.481630e-04,3.496629e-04,3.497767e-04,3.510215e-04,3.515269e-04,3.522454e-04,3.530467e-04,3.533408e-04,3.543139e-04,3.543504e-04,3.551706e-04,3.554516e-04,3.559165e-04,3.563631e-04,3.565569e-04,3.570972e-04,3.575421e-04,3.576652e-04,3.578966e-04,3.580781e-04,3.581652e-04,3.583463e-04,3.583523e-04,3.584621e-04,3.584795e-04,3.584986e-04,3.584869e-04,3.584656e-04,3.583772e-04,3.583669e-04,3.582061e-04,3.581586e-04,3.579863e-04,3.578388e-04,3.577110e-04,3.574252e-04,3.573832e-04,3.570059e-04,3.569247e-04,3.565818e-04,3.563437e-04,3.561137e-04,3.556885e-04,3.556043e-04,3.550558e-04,3.549646e-04,3.544708e-04,3.541776e-04,3.538514e-04,3.533326e-04,3.531998e-04,3.525181e-04,3.524343e-04,3.518082e-04,3.514874e-04,3.510720e-04,3.504960e-04,3.503112e-04,3.495277e-04,3.494641e-04,3.487230e-04,3.483955e-04,3.478986e-04,3.472937e-04,3.470561e-04,3.461968e-04,3.461621e-04,3.453220e-04,3.450036e-04,3.444332e-04,3.438213e-04,3.435314e-04,3.426179e-04,3.413958e-04,3.401577e-04,3.389055e-04,3.376416e-04,3.363678e-04,3.350859e-04,3.337978e-04,3.325049e-04,3.312088e-04,3.299109e-04,3.286125e-04,3.273148e-04,3.260189e-04,3.247259e-04,3.234367e-04,3.221523e-04,3.208734e-04,3.196008e-04,3.183353e-04,3.170775e-04,3.158280e-04,3.145873e-04,3.133560e-04,3.121346e-04
0.000000e+00,2.789730e-09,6.365099e-09,2.177019e-08,4.929810e-08,7.172132e-08,1.613174e-07,1.661044e-07,3.173300e-07,3.714572e-07,5.370120e-07,7.062781e-07,8.361462e-07,1.190471e-06,1.225127e-06,1.713466e-06,1.846375e-06,2.309003e-06,2.691269e-06,3.016447e-06,3.731441e-06,3.835449e-06,4.759296e-06,4.955625e-06,5.775499e-06,6.335225e-06,6.868241e-06,7.833224e-06,8.021056e-06,9.218461e-06,9.413231e-06,1.044653e-05,1.104322e-05,1.169291e-05,1.269577e-05,1.294661e-05,1.419790e-05,1.434747e-05,1.543815e-05,1.597838e-05,1.665980e-05,1.757177e-05,1.785633e-05,1.902218e-05,1.911398e-05,2.015274e-05,2.059421e-05,2.124427e-05,2.200436e-05,2.229389e-05,2.329941e-05,2.333869e-05,2.425936e-05,2.459359e-05,2.517283e-05,2.576722e-05,2.603943e-05,2.685922e-05,2.763261e-05,2.787041e-05,2.836033e-05,2.880253e-05,2.904333e-05,2.965802e-05,2.968277e-05,3.027998e-05,3.043981e-05,3.083635e-05,3.115120e-05,3.135340e-05,3.179568e-05,3.183267e-05,3.227573e-05,3.237686e-05,3.268418e-05,3.289839e-05,3.305960e-05,3.336388e-05,3.340354e-05,3.371754e-05,3.377688e-05,3.400310e-05,3.414084e-05,3.426168e-05,3.445907e-05,3.449469e-05,3.470350e-05,3.473475e-05,3.488941e-05,3.497089e-05,3.505370e-05,3.517037e-05,3.519757e-05,3.532218e-05,3.533590e-05,3.542865e-05,3.547003e-05,3.551804e-05,3.557518e-05,3.559136e-05,3.564957e-05,3.565360e-05,3.569358e-05,3.570741e-05,3.572428e-05,3.573861e-05,3.574249e-05,3.574900e-05,3.574903e-05,3.574456e-05,3.574042e-05,3.572988e-05,3.571439e-05,3.570563e-05,3.567245e-05,3.563095e-05,3.561601e-05,3.558170e-05,3.554636e-05,3.552524e-05,3.546474e-05,3.546209e-05,3.539274e-05,3.537227e-05,3.531763e-05,3.526999e-05,3.523722e-05,3.515890e-05,3.515190e-05,3.506207e-05,3.503988e-05,3.496810e-05,3.491379e-05,3.487032e-05,3.478140e-05,3.476907e-05,3.466466e-05,3.464342e-05,3.455737e-05,3.450054e-05,3.444749e-05,3.435336e-05,3.433526e-05,3.422093e-05,3.420246e-05,3.410473e-05,3.404836e-05,3.398688e-05,3.389155e-05,3.386758e-05,3.374702e-05,3.373248e-05,3.362538e-05,3.357156e-05,3.350283e-05,3.340918e-05,3.337953e-05,3.325561e-05,3.324568e-05,3.313124e-05,3.308139e-05,3.300653e-05,3.291660e-05,3.288160e-05,3.275658e-05,3.275158e-05,3.263157e-05,3.258658e-05,3.250666e-05,3.242184e-05,3.238196e-05,3.225755e-05,3.209390e-05,3.193108e-05,3.176922e-05,3.160849e-05,3.144899e-05,3.129086e-05,3.113419e-05,3.097908e-05,3.082560e-05,3.067384e-05,3.052386e-05,3.037571e-05,3.022945e-05,3.008512e-05,2.994275e-05,2.980238e-05,2.966403e-05,2.952772e-05,2.939347e-05,2.926129e-05,2.913119e-05,2.900316e-05,2.887723e-05,2.875337e-05
0.000000e+00,2.268656e-09,5.181245e-09,1.777527e-08,4.043267e-08,5.902151e-08,1.344099e-07,1.384863e-07,2.696695e-07,3.177205e-07,4.680923e-07,6.268445e-07,7.518359e-07,1.105295e-06,1.140734e-06,1.652686e-06,1.795155e-06,2.296683e-06,2.713546e-06,3.067280e-06,3.836534e-06,3.947196e-06,4.915454e-06,5.117987e-06,5.953261e-06,6.515258e-06,7.045517e-06,7.996227e-06,8.180197e-06,9.347326e-06,9.536482e-06,1.053818e-05,1.111587e-05,1.174483e-05,1.271654e-05,1.295989e-05,1.417642e-05,1.432219e-05,1.538795e-05,1.591789e-05,1.658852e-05,1.749023e-05,1.777266e-05,1.893551e-05,1.902749e-05,2.007280e-05,2.051972e-05,2.118087e-05,2.195883e-05,2.225664e-05,2.329762e-05,2.333851e-05,2.430187e-05,2.465411e-05,2.526791e-05,2.590248e-05,2.619476e-05,2.708179e-05,2.792876e-05,2.819133e-05,2.873571e-05,2.923130e-05,2.950296e-05,3.020264e-05,3.023102e-05,3.092060e-05,3.110690e-05,3.157254e-05,3.194602e-05,3.218778e-05,3.272231e-05,3.276739e-05,3.331246e-05,3.343826e-05,3.382414e-05,3.409654e-05,3.430362e-05,3.469987e-05,3.475209e-05,3.517075e-05,3.525101e-05,3.556078e-05,3.575268e-05,3.592337e-05,3.620758e-05,3.625967e-05,3.657082e-05,3.661834e-05,3.685793e-05,3.698752e-05,3.712209e-05,3.731759e-05,3.736433e-05,3.758568e-05,3.761089e-05,3.778712e-05,3.786968e-05,3.796958e-05,3.809612e-05,3.813397e-05,3.828119e-05,3.829225e-05,3.841206e-05,3.846001e-05,3.852739e-05,3.860124e-05,3.862795e-05,3.871450e-05,3.871768e-05,3.878774e-05,3.881098e-05,3.884835e-05,3.888269e-05,3.889698e-05,3.893426e-05,3.896079e-05,3.896709e-05,3.897712e-05,3.898248e-05,3.898380e-05,3.898163e-05,3.898136e-05,3.897029e-05,3.896571e-05,3.895106e-05,3.893580e-05,3.892412e-05,3.889291e-05,3.888991e-05,3.884884e-05,3.883800e-05,3.880129e-05,3.877198e-05,3.874764e-05,3.869567e-05,3.868826e-05,3.862346e-05,3.860989e-05,3.855360e-05,3.851536e-05,3.847896e-05,3.841279e-05,3.839984e-05,3.831653e-05,3.830283e-05,3.822929e-05,3.818609e-05,3.813837e-05,3.806315e-05,3.804402e-05,3.794646e-05,3.793455e-05,3.784592e-05,3.780079e-05,3.774261e-05,3.766236e-05,3.763672e-05,3.752844e-05,3.751968e-05,3.741795e-05,3.737318e-05,3.730543e-05,3.722324e-05,3.719103e-05,3.707491e-05,3.707023e-05,3.695722e-05,3.691449e-05,3.683810e-05,3.675634e-05,3.671767e-05,3.659607e-05,3.643397e-05,3.627028e-05,3.610526e-05,3.593913e-05,3.577211e-05,3.560438e-05,3.543614e-05,3.526756e-05,3.509879e-05,3.492998e-05,3.476128e-05,3.459280e-05,3.442468e-05,3.425701e-05,3.408991e-05,3.392346e-05,3.375776e-05,3.359288e-05,3.342890e-05,3.326590e-05,3.310392e-05,3.294304e-05,3.278330e-05,3.262475e-05
0.000000e+00,2.602828e-09,5.941034e-09,2.035549e-08,4.624070e-08,6.744720e-08,1.532690e-07,1.579032e-07,3.068189e-07,3.612896e-07,5.316037e-07,7.112517e-07,8.525972e-07,1.251562e-06,1.291474e-06,1.865140e-06,2.023607e-06,2.576858e-06,3.031477e-06,3.414031e-06,4.238192e-06,4.356080e-06,5.382918e-06,5.596946e-06,6.478075e-06,7.070093e-06,7.628406e-06,8.629268e-06,8.822958e-06,1.005203e-05,1.025128e-05,1.130662e-05,1.191535e-05,1.257813e-05,1.360196e-05,1.385830e-05,1.513921e-05,1.529261e-05,1.641340e-05,1.697010e-05,1.767391e-05,1.861882e-05,1.891440e-05,2.012922e-05,2.022515e-05,2.131341e-05,2.177754e-05,2.246275e-05,2.326671e-05,2.357376e-05,2.464364e-05,2.468555e-05,2.567024e-05,2.602891e-05,2.665202e-05,2.729350e-05,2.758798e-05,2.847763e-05,2.932086e-05,2.958094e-05,3.011798e-05,3.060418e-05,3.086955e-05,3.154900e-05,3.157643e-05,3.223966e-05,3.241770e-05,3.286045e-05,3.321310e-05,3.344013e-05,3.393835e-05,3.398012e-05,3.448193e-05,3.459686e-05,3.494710e-05,3.519216e-05,3.537718e-05,3.572786e-05,3.577373e-05,3.613828e-05,3.620749e-05,3.647236e-05,3.663453e-05,3.677745e-05,3.701239e-05,3.705501e-05,3.730644e-05,3.734434e-05,3.753312e-05,3.763352e-05,3.773636e-05,3.788293e-05,3.791742e-05,3.807753e-05,3.809539e-05,3.821783e-05,3.827359e-05,3.833946e-05,3.842007e-05,3.844348e-05,3.853089e-05,3.853719e-05,3.860267e-05,3.862721e-05,3.865973e-05,3.869219e-05,3.870295e-05,3.873317e-05,3.873412e-05,3.875117e-05,3.875480e-05,3.875770e-05,3.875596e-05,3.875348e-05,3.873918e-05,3.871544e-05,3.870595e-05,3.868287e-05,3.865765e-05,3.864204e-05,3.859558e-05,3.859349e-05,3.853775e-05,3.852091e-05,3.847529e-05,3.843478e-05,3.840658e-05,3.833821e-05,3.833205e-05,3.825212e-05,3.823217e-05,3.816717e-05,3.811755e-05,3.807758e-05,3.799518e-05,3.798369e-05,3.788584e-05,3.786582e-05,3.778433e-05,3.773019e-05,3.767945e-05,3.758896e-05,3.757149e-05,3.746071e-05,3.744274e-05,3.734735e-05,3.729209e-05,3.723165e-05,3.713755e-05,3.711383e-05,3.699409e-05,3.697960e-05,3.687263e-05,3.681869e-05,3.674964e-05,3.665525e-05,3.662529e-05,3.649975e-05,3.648966e-05,3.637316e-05,3.632227e-05,3.624568e-05,3.615342e-05,3.611745e-05,3.598858e-05,3.598341e-05,3.585921e-05,3.581253e-05,3.572944e-05,3.564103e-05,3.559939e-05,3.546915e-05,3.529711e-05,3.512512e-05,3.495336e-05,3.478201e-05,3.461121e-05,3.444111e-05,3.427185e-05,3.410355e-05,3.393631e-05,3.377023e-05,3.360540e-05,3.344191e-05,3.327983e-05,3.311922e-05,3.296015e-05,3.280267e-05,3.264682e-05,3.249266e-05,3.234021e-05,3.218951e-05,3.204058e-05,3.189346e-05,3.174815e-05,3.160468e-05
0.000000e+00,5.042762e-09,1.151891e-08,3.951427e-08,8.980748e-08,1.309872e-07,2.972020e-07,3.061536e-07,5.923873e-07,6.963887e-07,1.019236e-06,1.356240e-06,1.619169e-06,2.353383e-06,2.426362e-06,3.471381e-06,3.759860e-06,4.770499e-06,5.606857e-06,6.315004e-06,7.851594e-06,8.072297e-06,9.999463e-06,1.040159e-05,1.205586e-05,1.316479e-05,1.420776e-05,1.606899e-05,1.642780e-05,1.869332e-05,1.905869e-05,2.098495e-05,2.208915e-05,2.328575e-05,2.512291e-05,2.558081e-05,2.785699e-05,2.812831e-05,3.010289e-05,3.107890e-05,3.230869e-05,3.395316e-05,3.446616e-05,3.656849e-05,3.673412e-05,3.861022e-05,3.940895e-05,4.058709e-05,4.196846e-05,4.249593e-05,4.433451e-05,4.440657e-05,4.610142e-05,4.671980e-05,4.779594e-05,4.890677e-05,4.941793e-05,5.096774e-05,5.244614e-05,5.290431e-05,5.385419e-05,5.471903e-05,5.519322e-05,5.641518e-05,5.646477e-05,5.767051e-05,5.799657e-05,5.881225e-05,5.946737e-05,5.989190e-05,6.083200e-05,6.091139e-05,6.187271e-05,6.209499e-05,6.277786e-05,6.326096e-05,6.362885e-05,6.433451e-05,6.442768e-05,6.517634e-05,6.532022e-05,6.587677e-05,6.622257e-05,6.653089e-05,6.704595e-05,6.714059e-05,6.770767e-05,6.779457e-05,6.823393e-05,6.847255e-05,6.872112e-05,6.908387e-05,6.917092e-05,6.958499e-05,6.963235e-05,6.996492e-05,7.012167e-05,7.031224e-05,7.055533e-05,7.062847e-05,7.091503e-05,7.093672e-05,7.117334e-05,7.126905e-05,7.140473e-05,7.155540e-05,7.161051e-05,7.179193e-05,7.179869e-05,7.195019e-05,7.200173e-05,7.208647e-05,7.216716e-05,7.220188e-05,7.229750e-05,7.237436e-05,7.239515e-05,7.243345e-05,7.246239e-05,7.247573e-05,7.250136e-05,7.250212e-05,7.251350e-05,7.251411e-05,7.251070e-05,7.250256e-05,7.249455e-05,7.246855e-05,7.246580e-05,7.242521e-05,7.241378e-05,7.237348e-05,7.233990e-05,7.231130e-05,7.224845e-05,7.223931e-05,7.215814e-05,7.214086e-05,7.206838e-05,7.201850e-05,7.197060e-05,7.188267e-05,7.186535e-05,7.175313e-05,7.173457e-05,7.163446e-05,7.157533e-05,7.150979e-05,7.140604e-05,7.137957e-05,7.124425e-05,7.122769e-05,7.110422e-05,7.104122e-05,7.095988e-05,7.084752e-05,7.081159e-05,7.065971e-05,7.064741e-05,7.050457e-05,7.044167e-05,7.034649e-05,7.023102e-05,7.018578e-05,7.002272e-05,7.001615e-05,6.985758e-05,6.979767e-05,6.969063e-05,6.957619e-05,6.952210e-05,6.935224e-05,6.912634e-05,6.889897e-05,6.867057e-05,6.844154e-05,6.821226e-05,6.798309e-05,6.775434e-05,6.752632e-05,6.729930e-05,6.707353e-05,6.684924e-05,6.662664e-05,6.640593e-05,6.618727e-05,6.597084e-05,6.575677e-05,6.554518e-05,6.533620e-05,6.512993e-05,6.492645e-05,6.472586e-05,6.452820e-05,6.433356e-05,6.414197e-05
0.000000e+00,3.802095e-09,8.677274e-09,2.970918e-08,6.739410e-08,9.818618e-08,2.220637e-07,2.287199e-07,4.409116e-07,5.177449e-07,7.555298e-07,1.002768e-06,1.195100e-06,1.730210e-06,1.783276e-06,2.541753e-06,2.750894e-06,3.483799e-06,4.091322e-06,4.606796e-06,5.728968e-06,5.890524e-06,7.304094e-06,7.599494e-06,8.815193e-06,9.629851e-06,1.039533e-05,1.175856e-05,1.202085e-05,1.367222e-05,1.393771e-05,1.533304e-05,1.612939e-05,1.698925e-05,1.830267e-05,1.862869e-05,2.024086e-05,2.043204e-05,2.181677e-05,2.249669e-05,2.334887e-05,2.448009e-05,2.483094e-05,2.625802e-05,2.636968e-05,2.762630e-05,2.815650e-05,2.893305e-05,2.983475e-05,3.017644e-05,3.135547e-05,3.140129e-05,3.246985e-05,3.285524e-05,3.351987e-05,3.419749e-05,3.450629e-05,3.543029e-05,3.629337e-05,3.655696e-05,3.709724e-05,3.758152e-05,3.784382e-05,3.850853e-05,3.853515e-05,3.917337e-05,3.934285e-05,3.976065e-05,4.008949e-05,4.029921e-05,4.075355e-05,4.079125e-05,4.123897e-05,4.134006e-05,4.164451e-05,4.185398e-05,4.200999e-05,4.230011e-05,4.233747e-05,4.262894e-05,4.268309e-05,4.288634e-05,4.300735e-05,4.311154e-05,4.327713e-05,4.330632e-05,4.347242e-05,4.349645e-05,4.361150e-05,4.366912e-05,4.372514e-05,4.379875e-05,4.381485e-05,4.388210e-05,4.388873e-05,4.392826e-05,4.394223e-05,4.395465e-05,4.396227e-05,4.396253e-05,4.395310e-05,4.395163e-05,4.392749e-05,4.391297e-05,4.388679e-05,4.384872e-05,4.383202e-05,4.376416e-05,4.376119e-05,4.368414e-05,4.365252e-05,4.359283e-05,4.352472e-05,4.349106e-05,4.337963e-05,4.325927e-05,4.321899e-05,4.313069e-05,4.304440e-05,4.299457e-05,4.285737e-05,4.285153e-05,4.270216e-05,4.265928e-05,4.254703e-05,4.245142e-05,4.238668e-05,4.223496e-05,4.222159e-05,4.205225e-05,4.201103e-05,4.187910e-05,4.178063e-05,4.170255e-05,4.154470e-05,4.152301e-05,4.134084e-05,4.130412e-05,4.115638e-05,4.105968e-05,4.096998e-05,4.081211e-05,4.078193e-05,4.059252e-05,4.056211e-05,4.040202e-05,4.031028e-05,4.021069e-05,4.005719e-05,4.001877e-05,3.982646e-05,3.980337e-05,3.963399e-05,3.954930e-05,3.944154e-05,3.929540e-05,3.924929e-05,3.905741e-05,3.904208e-05,3.886606e-05,3.878970e-05,3.867538e-05,3.853858e-05,3.848550e-05,3.829656e-05,3.828902e-05,3.810865e-05,3.804129e-05,3.792190e-05,3.779562e-05,3.773640e-05,3.755223e-05,3.731132e-05,3.707305e-05,3.683758e-05,3.660504e-05,3.637555e-05,3.614921e-05,3.592610e-05,3.570630e-05,3.548987e-05,3.527686e-05,3.506731e-05,3.486125e-05,3.465871e-05,3.445969e-05,3.426421e-05,3.407226e-05,3.388385e-05,3.369895e-05,3.351756e-05,3.333966e-05,3.316521e-05,3.299419e-05,3.282658e-05,3.266233e-05
0.000000e+00,7.250037e-09,1.645134e-08,5.564117e-08,1.247647e-07,1.805743e-07,4.010997e-07,4.128044e-07,7.800870e-07,9.106796e-07,1.308171e-06,1.712147e-06,2.020648e-06,2.856174e-06,2.937401e-06,4.071811e-06,4.377093e-06,5.427285e-06,6.279872e-06,6.994022e-06,8.528004e-06,8.746999e-06,1.064622e-05,1.103920e-05,1.264003e-05,1.369530e-05,1.467160e-05,1.636753e-05,1.668691e-05,1.864133e-05,1.894606e-05,2.050266e-05,2.135666e-05,2.225052e-05,2.355951e-05,2.387397e-05,2.536881e-05,2.553953e-05,2.673539e-05,2.729684e-05,2.797703e-05,2.884022e-05,2.909885e-05,3.010714e-05,3.018310e-05,3.100877e-05,3.134116e-05,3.181090e-05,3.233087e-05,3.252073e-05,3.314532e-05,3.316863e-05,3.369147e-05,3.387015e-05,3.416568e-05,3.445018e-05,3.457405e-05,3.492232e-05,3.521580e-05,3.529896e-05,3.545942e-05,3.559128e-05,3.565772e-05,3.580932e-05,3.581486e-05,3.593468e-05,3.596202e-05,3.602066e-05,3.605734e-05,3.607599e-05,3.610233e-05,3.610358e-05,3.610607e-05,3.610321e-05,3.608589e-05,3.606551e-05,3.604523e-05,3.599411e-05,3.598610e-05,3.591033e-05,3.589332e-05,3.581957e-05,3.576695e-05,3.571532e-05,3.561836e-05,3.559898e-05,3.547179e-05,3.545051e-05,3.533489e-05,3.526604e-05,3.518932e-05,3.506726e-05,3.503603e-05,3.487588e-05,3.485623e-05,3.470965e-05,3.463478e-05,3.453807e-05,3.440449e-05,3.436179e-05,3.418141e-05,3.416682e-05,3.399747e-05,3.392301e-05,3.381047e-05,3.367420e-05,3.362087e-05,3.342908e-05,3.342137e-05,3.323548e-05,3.316541e-05,3.304041e-05,3.290709e-05,3.284419e-05,3.264711e-05,3.244943e-05,3.238609e-05,3.225139e-05,3.212456e-05,3.205322e-05,3.186303e-05,3.185511e-05,3.165726e-05,3.160193e-05,3.145982e-05,3.134163e-05,3.126296e-05,3.108248e-05,3.106681e-05,3.087150e-05,3.082477e-05,3.067715e-05,3.056877e-05,3.048386e-05,3.031471e-05,3.029172e-05,3.010083e-05,3.006281e-05,2.991127e-05,2.981324e-05,2.972310e-05,2.956617e-05,2.953640e-05,2.935121e-05,2.932173e-05,2.916760e-05,2.908003e-05,2.898560e-05,2.884120e-05,2.880526e-05,2.862662e-05,2.860530e-05,2.844971e-05,2.837243e-05,2.827456e-05,2.814263e-05,2.810118e-05,2.792961e-05,2.791596e-05,2.775985e-05,2.769246e-05,2.759193e-05,2.747218e-05,2.742586e-05,2.726165e-05,2.725512e-05,2.709930e-05,2.704131e-05,2.693881e-05,2.683075e-05,2.678020e-05,2.662346e-05,2.641944e-05,2.621867e-05,2.602115e-05,2.582686e-05,2.563578e-05,2.544790e-05,2.526319e-05,2.508163e-05,2.490319e-05,2.472783e-05,2.455552e-05,2.438623e-05,2.421993e-05,2.405658e-05,2.389614e-05,2.373857e-05,2.358384e-05,2.343190e-05,2.328271e-05,2.313623e-05,2.299243e-05,2.285126e-05,2.271268e-05,2.257664e-05
0.000000e+00,2.691879e-09,6.147295e-09,2.110153e-08,4.808286e-08,7.030118e-08,1.611638e-07,1.661101e-07,3.269070e-07,3.864985e-07,5.747989e-07,7.754871e-07,9.338993e-07,1.377688e-06,1.421521e-06,2.035138e-06,2.198977e-06,2.753557e-06,3.192320e-06,3.552282e-06,4.306216e-06,4.412122e-06,5.318947e-06,5.504930e-06,6.261519e-06,6.762497e-06,7.230047e-06,8.057080e-06,8.215549e-06,9.209669e-06,9.369004e-06,1.020471e-05,1.068059e-05,1.119374e-05,1.197649e-05,1.217064e-05,1.313017e-05,1.324393e-05,1.406798e-05,1.447280e-05,1.498056e-05,1.565552e-05,1.586515e-05,1.671973e-05,1.678675e-05,1.754286e-05,1.786309e-05,1.833364e-05,1.888268e-05,1.909159e-05,1.981660e-05,1.984492e-05,2.050885e-05,2.075012e-05,2.116876e-05,2.159930e-05,2.179689e-05,2.239398e-05,2.296086e-05,2.313602e-05,2.349840e-05,2.382748e-05,2.400757e-05,2.447057e-05,2.448933e-05,2.494466e-05,2.506756e-05,2.537457e-05,2.562072e-05,2.578004e-05,2.613231e-05,2.616203e-05,2.652152e-05,2.660455e-05,2.685943e-05,2.703958e-05,2.717668e-05,2.743948e-05,2.747416e-05,2.775272e-05,2.780624e-05,2.801320e-05,2.814176e-05,2.825639e-05,2.844788e-05,2.848307e-05,2.869399e-05,2.872632e-05,2.888986e-05,2.897874e-05,2.907138e-05,2.920669e-05,2.923919e-05,2.939394e-05,2.941166e-05,2.953623e-05,2.959504e-05,2.966665e-05,2.975817e-05,2.978576e-05,2.989408e-05,2.990230e-05,2.999214e-05,3.002860e-05,3.008042e-05,3.013819e-05,3.015939e-05,3.022950e-05,3.023213e-05,3.029118e-05,3.031140e-05,3.034483e-05,3.037694e-05,3.039086e-05,3.042963e-05,3.046150e-05,3.047029e-05,3.048681e-05,3.049972e-05,3.050589e-05,3.051864e-05,3.051905e-05,3.052659e-05,3.052774e-05,3.052880e-05,3.052767e-05,3.052594e-05,3.051905e-05,3.051827e-05,3.050604e-05,3.050246e-05,3.048950e-05,3.047843e-05,3.046885e-05,3.044747e-05,3.044433e-05,3.041613e-05,3.041007e-05,3.038446e-05,3.036667e-05,3.034949e-05,3.031770e-05,3.031141e-05,3.027039e-05,3.026356e-05,3.022659e-05,3.020463e-05,3.018017e-05,3.014125e-05,3.013128e-05,3.008006e-05,3.007376e-05,3.002664e-05,3.000247e-05,2.997115e-05,2.992767e-05,2.991372e-05,2.985447e-05,2.984965e-05,2.979350e-05,2.976866e-05,2.973093e-05,2.968495e-05,2.966686e-05,2.960138e-05,2.959874e-05,2.953460e-05,2.951025e-05,2.946659e-05,2.941969e-05,2.939744e-05,2.932725e-05,2.923310e-05,2.913742e-05,2.904037e-05,2.894209e-05,2.884273e-05,2.874241e-05,2.864127e-05,2.853942e-05,2.843696e-05,2.833401e-05,2.823065e-05,2.812699e-05,2.802309e-05,2.791906e-05,2.781495e-05,2.771084e-05,2.760680e-05,2.750289e-05,2.739916e-05,2.729567e-05,2.719248e-05,2.708962e-05,2.698714e-05,2.688509e-05
0.000000e+00,1.505123e-09,3.412139e-09,1.151938e-08,2.579160e-08,3.730170e-08,8.273885e-08,8.514988e-08,1.608462e-07,1.877961e-07,2.699823e-07,3.537449e-07,4.178157e-07,5.911180e-07,6.078980e-07,8.395638e-07,9.008204e-07,1.107461e-06,1.270630e-06,1.404438e-06,1.684608e-06,1.723947e-06,2.060434e-06,2.129331e-06,2.409001e-06,2.593514e-06,2.765116e-06,3.066963e-06,3.124522e-06,3.483244e-06,3.540329e-06,3.837666e-06,4.005306e-06,4.184597e-06,4.454916e-06,4.521336e-06,4.845691e-06,4.883697e-06,5.155987e-06,5.287741e-06,5.451035e-06,5.664601e-06,5.730092e-06,5.992802e-06,6.013110e-06,6.239142e-06,6.333141e-06,6.469353e-06,6.625365e-06,6.683886e-06,6.883344e-06,6.891019e-06,7.068442e-06,7.131711e-06,7.239961e-06,7.349253e-06,7.398717e-06,7.545540e-06,7.681246e-06,7.722455e-06,7.806631e-06,7.881813e-06,7.922454e-06,8.025316e-06,8.029434e-06,8.128244e-06,8.154533e-06,8.219510e-06,8.270891e-06,8.303811e-06,8.375675e-06,8.381680e-06,8.453608e-06,8.470038e-06,8.520044e-06,8.555002e-06,8.581395e-06,8.631475e-06,8.638035e-06,8.690304e-06,8.700261e-06,8.738512e-06,8.762070e-06,8.782941e-06,8.817530e-06,8.823849e-06,8.861470e-06,8.867199e-06,8.896019e-06,8.911570e-06,8.927693e-06,8.951084e-06,8.956672e-06,8.983118e-06,8.986128e-06,9.007182e-06,9.017052e-06,9.029003e-06,9.044166e-06,9.048709e-06,9.066419e-06,9.067752e-06,9.082241e-06,9.088065e-06,9.096279e-06,9.105334e-06,9.108626e-06,9.119369e-06,9.119767e-06,9.128591e-06,9.131554e-06,9.136369e-06,9.140869e-06,9.142774e-06,9.147873e-06,9.151730e-06,9.152712e-06,9.154404e-06,9.155521e-06,9.155952e-06,9.156426e-06,9.156425e-06,9.155874e-06,9.155543e-06,9.154347e-06,9.152980e-06,9.151888e-06,9.148839e-06,9.148539e-06,9.144342e-06,9.143213e-06,9.139334e-06,9.136190e-06,9.133553e-06,9.127853e-06,9.127032e-06,9.119806e-06,9.118279e-06,9.111905e-06,9.107540e-06,9.103360e-06,9.095706e-06,9.094200e-06,9.084453e-06,9.082841e-06,9.074144e-06,9.069005e-06,9.063300e-06,9.054255e-06,9.051945e-06,9.040101e-06,9.038648e-06,9.027791e-06,9.022233e-06,9.015037e-06,9.005059e-06,9.001859e-06,8.988276e-06,8.987173e-06,8.974309e-06,8.968618e-06,8.959974e-06,8.949436e-06,8.945290e-06,8.930274e-06,8.929666e-06,8.914941e-06,8.909346e-06,8.899307e-06,8.888512e-06,8.883387e-06,8.867196e-06,8.845432e-06,8.823249e-06,8.800678e-06,8.777746e-06,8.754479e-06,8.730903e-06,8.707041e-06,8.682917e-06,8.658552e-06,8.633968e-06,8.609183e-06,8.584217e-06,8.559088e-06,8.533813e-06,8.508409e-06,8.482890e-06,8.457273e-06,8.431571e-06,8.405797e-06,8.379966e-06,8.354088e-06,8.328176e-06,8.302241e-06,8.276293e-06
0.000000e+00,5.465222e-09,1.243735e-08,4.233135e-08,9.551175e-08,1.387421e-07,3.114278e-07,3.206645e-07,6.135678e-07,7.190300e-07,1.043914e-06,1.379782e-06,1.639971e-06,2.359981e-06,2.431124e-06,3.443976e-06,3.722110e-06,4.693257e-06,5.493982e-06,6.170072e-06,7.630342e-06,7.839211e-06,9.652030e-06,1.002761e-05,1.156217e-05,1.258114e-05,1.353230e-05,1.521230e-05,1.553362e-05,1.754331e-05,1.786433e-05,1.954246e-05,2.049346e-05,2.151481e-05,2.306374e-05,2.344608e-05,2.532377e-05,2.554496e-05,2.713707e-05,2.791210e-05,2.887684e-05,3.014527e-05,3.053567e-05,3.210775e-05,3.222963e-05,3.358889e-05,3.415523e-05,3.497638e-05,3.591655e-05,3.626883e-05,3.746606e-05,3.751198e-05,3.856893e-05,3.894317e-05,3.957915e-05,4.021441e-05,4.049918e-05,4.133202e-05,4.208112e-05,4.230376e-05,4.275026e-05,4.313838e-05,4.334343e-05,4.384521e-05,4.386473e-05,4.431835e-05,4.443380e-05,4.470845e-05,4.491373e-05,4.503914e-05,4.529437e-05,4.531445e-05,4.553827e-05,4.558475e-05,4.571436e-05,4.579346e-05,4.584630e-05,4.592861e-05,4.593752e-05,4.599126e-05,4.599779e-05,4.601060e-05,4.600802e-05,4.599842e-05,4.596582e-05,4.595743e-05,4.589018e-05,4.587714e-05,4.579904e-05,4.574747e-05,4.568624e-05,4.558180e-05,4.555385e-05,4.540378e-05,4.538467e-05,4.523782e-05,4.516020e-05,4.505764e-05,4.491213e-05,4.486476e-05,4.466060e-05,4.464382e-05,4.444648e-05,4.435832e-05,4.422362e-05,4.405837e-05,4.399312e-05,4.375602e-05,4.374641e-05,4.351327e-05,4.342467e-05,4.326575e-05,4.309511e-05,4.301424e-05,4.275950e-05,4.250219e-05,4.241941e-05,4.224293e-05,4.207625e-05,4.198229e-05,4.173126e-05,4.172079e-05,4.145889e-05,4.138554e-05,4.119702e-05,4.104008e-05,4.093557e-05,4.069573e-05,4.067491e-05,4.041535e-05,4.035325e-05,4.015718e-05,4.001331e-05,3.990066e-05,3.967648e-05,3.964603e-05,3.939350e-05,3.934327e-05,3.914327e-05,3.901411e-05,3.889549e-05,3.868937e-05,3.865032e-05,3.840789e-05,3.836937e-05,3.816833e-05,3.805438e-05,3.793172e-05,3.774462e-05,3.769815e-05,3.746771e-05,3.744027e-05,3.724046e-05,3.714149e-05,3.701644e-05,3.684838e-05,3.679571e-05,3.657829e-05,3.656104e-05,3.636422e-05,3.627953e-05,3.615351e-05,3.600388e-05,3.594617e-05,3.574221e-05,3.573413e-05,3.554164e-05,3.547026e-05,3.534444e-05,3.521226e-05,3.515060e-05,3.496012e-05,3.471378e-05,3.447321e-05,3.423833e-05,3.400909e-05,3.378541e-05,3.356721e-05,3.335440e-05,3.314691e-05,3.294463e-05,3.274747e-05,3.255534e-05,3.236813e-05,3.218574e-05,3.200808e-05,3.183503e-05,3.166651e-05,3.150241e-05,3.134262e-05,3.118705e-05,3.103559e-05,3.088816e-05,3.074464e-05,3.060494e-05,3.046897e-05
0.000000e+00,7.445969e-09,1.692561e-08,5.750739e-08,1.296908e-07,1.884561e-07,4.245108e-07,4.372050e-07,8.436330e-07,9.918038e-07,1.453732e-06,1.937980e-06,2.315647e-06,3.357523e-06,3.459408e-06,4.873763e-06,5.248979e-06,6.516260e-06,7.518484e-06,8.341703e-06,1.007099e-05,1.031456e-05,1.240776e-05,1.283882e-05,1.459882e-05,1.576996e-05,1.686707e-05,1.881722e-05,1.919223e-05,2.155397e-05,2.193387e-05,2.393185e-05,2.507303e-05,2.630573e-05,2.818881e-05,2.865611e-05,3.096465e-05,3.123805e-05,3.321460e-05,3.418212e-05,3.539113e-05,3.698829e-05,3.748153e-05,3.947528e-05,3.963034e-05,4.136413e-05,4.208886e-05,4.314199e-05,4.435097e-05,4.480481e-05,4.635041e-05,4.640978e-05,4.777827e-05,4.826361e-05,4.908929e-05,4.991509e-05,5.028561e-05,5.137033e-05,5.234736e-05,5.263798e-05,5.322120e-05,5.372857e-05,5.399679e-05,5.465377e-05,5.467936e-05,5.527429e-05,5.542591e-05,5.578704e-05,5.605749e-05,5.622302e-05,5.656092e-05,5.658757e-05,5.688588e-05,5.694817e-05,5.712293e-05,5.723071e-05,5.730350e-05,5.741931e-05,5.743215e-05,5.751316e-05,5.752401e-05,5.755060e-05,5.755411e-05,5.754824e-05,5.751811e-05,5.750964e-05,5.743808e-05,5.742379e-05,5.733665e-05,5.727820e-05,5.720819e-05,5.708772e-05,5.705531e-05,5.688045e-05,5.685809e-05,5.668584e-05,5.659449e-05,5.647354e-05,5.630154e-05,5.624545e-05,5.600332e-05,5.598339e-05,5.574874e-05,5.564375e-05,5.548317e-05,5.528591e-05,5.520796e-05,5.492433e-05,5.491283e-05,5.463343e-05,5.452712e-05,5.433626e-05,5.413110e-05,5.403379e-05,5.372685e-05,5.341626e-05,5.331621e-05,5.310271e-05,5.290080e-05,5.278687e-05,5.248205e-05,5.246933e-05,5.215063e-05,5.206125e-05,5.183127e-05,5.163953e-05,5.151170e-05,5.121786e-05,5.119233e-05,5.087352e-05,5.079713e-05,5.055563e-05,5.037812e-05,5.023894e-05,4.996148e-05,4.992374e-05,4.961028e-05,4.954782e-05,4.929878e-05,4.913764e-05,4.898944e-05,4.873140e-05,4.868245e-05,4.837796e-05,4.832949e-05,4.807613e-05,4.793223e-05,4.777708e-05,4.753992e-05,4.748093e-05,4.718777e-05,4.715280e-05,4.689771e-05,4.677108e-05,4.661080e-05,4.639492e-05,4.632713e-05,4.604675e-05,4.602446e-05,4.576970e-05,4.565982e-05,4.549602e-05,4.530109e-05,4.522576e-05,4.495892e-05,4.494832e-05,4.469554e-05,4.460158e-05,4.443563e-05,4.426088e-05,4.417920e-05,4.392625e-05,4.359767e-05,4.327515e-05,4.295866e-05,4.264816e-05,4.234362e-05,4.204498e-05,4.175220e-05,4.146520e-05,4.118393e-05,4.090831e-05,4.063828e-05,4.037375e-05,4.011464e-05,3.986088e-05,3.961237e-05,3.936903e-05,3.913078e-05,3.889753e-05,3.866919e-05,3.844567e-05,3.822689e-05,3.801274e-05,3.780315e-05,3.759803e-05
0.000000e+00,1.994241e-09,4.547651e-09,1.553913e-08,3.516676e-08,5.115314e-08,1.150787e-07,1.184975e-07,2.267285e-07,2.655846e-07,3.848347e-07,5.073550e-07,6.016993e-07,8.598783e-07,8.851364e-07,1.239417e-06,1.334994e-06,1.663846e-06,1.930857e-06,2.154814e-06,2.638650e-06,2.708226e-06,3.320136e-06,3.449187e-06,3.986508e-06,4.353102e-06,4.702937e-06,5.339843e-06,5.464510e-06,6.265806e-06,6.397314e-06,7.100970e-06,7.512077e-06,7.963840e-06,8.669838e-06,8.848095e-06,9.747402e-06,9.856034e-06,1.065557e-05,1.105642e-05,1.156665e-05,1.225758e-05,1.247508e-05,1.337574e-05,1.344731e-05,1.426400e-05,1.461490e-05,1.513578e-05,1.575125e-05,1.598755e-05,1.681631e-05,1.684895e-05,1.761961e-05,1.790217e-05,1.839547e-05,1.890661e-05,1.914240e-05,1.985930e-05,2.054545e-05,2.075846e-05,2.120048e-05,2.160330e-05,2.182428e-05,2.239387e-05,2.241699e-05,2.297896e-05,2.313087e-05,2.351071e-05,2.381552e-05,2.401290e-05,2.444945e-05,2.448628e-05,2.493171e-05,2.503455e-05,2.535009e-05,2.557293e-05,2.574239e-05,2.606681e-05,2.610958e-05,2.645265e-05,2.651846e-05,2.677262e-05,2.693020e-05,2.707047e-05,2.730430e-05,2.734720e-05,2.760376e-05,2.764300e-05,2.784110e-05,2.794846e-05,2.806013e-05,2.822278e-05,2.826175e-05,2.844681e-05,2.846795e-05,2.861615e-05,2.868588e-05,2.877054e-05,2.887837e-05,2.891077e-05,2.903755e-05,2.904714e-05,2.915159e-05,2.919379e-05,2.925355e-05,2.931984e-05,2.934407e-05,2.942376e-05,2.942673e-05,2.949319e-05,2.951578e-05,2.955291e-05,2.958825e-05,2.960346e-05,2.964532e-05,2.967897e-05,2.968807e-05,2.970486e-05,2.971755e-05,2.972342e-05,2.973471e-05,2.973505e-05,2.974015e-05,2.974045e-05,2.973907e-05,2.973561e-05,2.973217e-05,2.972096e-05,2.971977e-05,2.970220e-05,2.969724e-05,2.967974e-05,2.966513e-05,2.965268e-05,2.962528e-05,2.962129e-05,2.958582e-05,2.957826e-05,2.954652e-05,2.952464e-05,2.950361e-05,2.946494e-05,2.945731e-05,2.940784e-05,2.939964e-05,2.935537e-05,2.932918e-05,2.930011e-05,2.925400e-05,2.924223e-05,2.918189e-05,2.917449e-05,2.911925e-05,2.909101e-05,2.905448e-05,2.900391e-05,2.898770e-05,2.891907e-05,2.891350e-05,2.884870e-05,2.882009e-05,2.877672e-05,2.872396e-05,2.870324e-05,2.862839e-05,2.862537e-05,2.855225e-05,2.852455e-05,2.847494e-05,2.842175e-05,2.839655e-05,2.831717e-05,2.821101e-05,2.810346e-05,2.799469e-05,2.788487e-05,2.777414e-05,2.766264e-05,2.755051e-05,2.743788e-05,2.732485e-05,2.721153e-05,2.709803e-05,2.698443e-05,2.687083e-05,2.675731e-05,2.664393e-05,2.653078e-05,2.641792e-05,2.630540e-05,2.619329e-05,2.608164e-05,2.597049e-05,2.585989e-05,2.574989e-05,2.564051e-05
0.000000e+00,1.806675e-09,4.119914e-09,1.407721e-08,3.185632e-08,4.633515e-08,1.042118e-07,1.073060e-07,2.052050e-07,2.403228e-07,3.480043e-07,4.585061e-07,5.435348e-07,7.762631e-07,7.990569e-07,1.119829e-06,1.206771e-06,1.507207e-06,1.752301e-06,1.958361e-06,2.404018e-06,2.468085e-06,3.030564e-06,3.148882e-06,3.640042e-06,3.973657e-06,4.290829e-06,4.865210e-06,4.977173e-06,5.693191e-06,5.810108e-06,6.432884e-06,6.794573e-06,7.190216e-06,7.804766e-06,7.959220e-06,8.734120e-06,8.827240e-06,9.509439e-06,9.849383e-06,1.028008e-05,1.085978e-05,1.104143e-05,1.178937e-05,1.184852e-05,1.252034e-05,1.280728e-05,1.323131e-05,1.372940e-05,1.391978e-05,1.458378e-05,1.460981e-05,1.522178e-05,1.544488e-05,1.583270e-05,1.623227e-05,1.641582e-05,1.697077e-05,1.749746e-05,1.766006e-05,1.799607e-05,1.830060e-05,1.846695e-05,1.889341e-05,1.891064e-05,1.932780e-05,1.943996e-05,1.971921e-05,1.994203e-05,2.008569e-05,2.040163e-05,2.042817e-05,2.074757e-05,2.082090e-05,2.104486e-05,2.120204e-05,2.132100e-05,2.154728e-05,2.157697e-05,2.181370e-05,2.185883e-05,2.203216e-05,2.213883e-05,2.223324e-05,2.238938e-05,2.241785e-05,2.258683e-05,2.261248e-05,2.274103e-05,2.281003e-05,2.288124e-05,2.298385e-05,2.300823e-05,2.312271e-05,2.313565e-05,2.322541e-05,2.326703e-05,2.331697e-05,2.337950e-05,2.339803e-05,2.346920e-05,2.347449e-05,2.353105e-05,2.355331e-05,2.358412e-05,2.361719e-05,2.362893e-05,2.366597e-05,2.366729e-05,2.369569e-05,2.370468e-05,2.371854e-05,2.373036e-05,2.373493e-05,2.374525e-05,2.374988e-05,2.375022e-05,2.374916e-05,2.374606e-05,2.374344e-05,2.373352e-05,2.373302e-05,2.371820e-05,2.371330e-05,2.369926e-05,2.368603e-05,2.367646e-05,2.365231e-05,2.365007e-05,2.362030e-05,2.361268e-05,2.358740e-05,2.356768e-05,2.355156e-05,2.351776e-05,2.351299e-05,2.347189e-05,2.346337e-05,2.342841e-05,2.340493e-05,2.338275e-05,2.334281e-05,2.333505e-05,2.328546e-05,2.327736e-05,2.323413e-05,2.320891e-05,2.318119e-05,2.313777e-05,2.312678e-05,2.307100e-05,2.306422e-05,2.301397e-05,2.298851e-05,2.295580e-05,2.291089e-05,2.289659e-05,2.283644e-05,2.283159e-05,2.277543e-05,2.275081e-05,2.271366e-05,2.266875e-05,2.265119e-05,2.258811e-05,2.258558e-05,2.252450e-05,2.250147e-05,2.246040e-05,2.241658e-05,2.239590e-05,2.233105e-05,2.224500e-05,2.215857e-05,2.207186e-05,2.198499e-05,2.189803e-05,2.181110e-05,2.172426e-05,2.163759e-05,2.155117e-05,2.146506e-05,2.137932e-05,2.129400e-05,2.120915e-05,2.112482e-05,2.104106e-05,2.095789e-05,2.087536e-05,2.079350e-05,2.071233e-05,2.063189e-05,2.055219e-05,2.047326e-05,2.039512e-05,2.031778e-05
0.000000e+00,1.812150e-09,4.125686e-09,1.405707e-08,3.175887e-08,4.617617e-08,1.039868e-07,1.070884e-07,2.058998e-07,2.416788e-07,3.524590e-07,4.676448e-07,5.571077e-07,8.040443e-07,8.282885e-07,1.167771e-06,1.258763e-06,1.568403e-06,1.815057e-06,2.018297e-06,2.445744e-06,2.505917e-06,3.021748e-06,3.127588e-06,3.557955e-06,3.842557e-06,4.107765e-06,4.575649e-06,4.665091e-06,5.224375e-06,5.313698e-06,5.780579e-06,6.045123e-06,6.329213e-06,6.760025e-06,6.866373e-06,7.388773e-06,7.450336e-06,7.893742e-06,8.109850e-06,8.379200e-06,8.734140e-06,8.843619e-06,9.285965e-06,9.320379e-06,9.705641e-06,9.867101e-06,1.010242e-05,1.037395e-05,1.047637e-05,1.082783e-05,1.084142e-05,1.115731e-05,1.127067e-05,1.146548e-05,1.166325e-05,1.175310e-05,1.202102e-05,1.227013e-05,1.234603e-05,1.250135e-05,1.264036e-05,1.271558e-05,1.290613e-05,1.291376e-05,1.309677e-05,1.314542e-05,1.326549e-05,1.336021e-05,1.342075e-05,1.355241e-05,1.356337e-05,1.369412e-05,1.372382e-05,1.381373e-05,1.387611e-05,1.392290e-05,1.401086e-05,1.402229e-05,1.411250e-05,1.412950e-05,1.419414e-05,1.423338e-05,1.426774e-05,1.432373e-05,1.433382e-05,1.439287e-05,1.440169e-05,1.444534e-05,1.446832e-05,1.449166e-05,1.452456e-05,1.453223e-05,1.456743e-05,1.457131e-05,1.459759e-05,1.460936e-05,1.462306e-05,1.463947e-05,1.464415e-05,1.466113e-05,1.466232e-05,1.467428e-05,1.467852e-05,1.468385e-05,1.468866e-05,1.469008e-05,1.469320e-05,1.469326e-05,1.469341e-05,1.469281e-05,1.469090e-05,1.468773e-05,1.468586e-05,1.467846e-05,1.466886e-05,1.466535e-05,1.465721e-05,1.464875e-05,1.464366e-05,1.462898e-05,1.462833e-05,1.461136e-05,1.460632e-05,1.459285e-05,1.458106e-05,1.457292e-05,1.455342e-05,1.455168e-05,1.452921e-05,1.452365e-05,1.450562e-05,1.449194e-05,1.448098e-05,1.445850e-05,1.445538e-05,1.442889e-05,1.442350e-05,1.440159e-05,1.438709e-05,1.437354e-05,1.434945e-05,1.434481e-05,1.431545e-05,1.431070e-05,1.428552e-05,1.427097e-05,1.425507e-05,1.423038e-05,1.422416e-05,1.419283e-05,1.418905e-05,1.416113e-05,1.414707e-05,1.412909e-05,1.410454e-05,1.409676e-05,1.406417e-05,1.406155e-05,1.403135e-05,1.401817e-05,1.399835e-05,1.397449e-05,1.396519e-05,1.393189e-05,1.393056e-05,1.389850e-05,1.388646e-05,1.386503e-05,1.384223e-05,1.383150e-05,1.379794e-05,1.375364e-05,1.370937e-05,1.366517e-05,1.362108e-05,1.357714e-05,1.353339e-05,1.348985e-05,1.344655e-05,1.340351e-05,1.336077e-05,1.331834e-05,1.327624e-05,1.323449e-05,1.319310e-05,1.315210e-05,1.311149e-05,1.307129e-05,1.303150e-05,1.299215e-05,1.295322e-05,1.291474e-05,1.287671e-05,1.283914e-05,1.280202e-05
0.000000e+00,8.217032e-07,1.874288e-06,6.407308e-06,1.450458e-05,2.109986e-05,4.746115e-05,4.887021e-05,9.342500e-05,1.093936e-04,1.583105e-04,2.084429e-04,2.469873e-04,3.524857e-04,3.628290e-04,5.089476e-04,5.488095e-04,6.876986e-04,8.024351e-04,8.998752e-04,1.113222e-03,1.144136e-03,1.417354e-03,1.475132e-03,1.715629e-03,1.879336e-03,2.035081e-03,2.317154e-03,2.372124e-03,2.723453e-03,2.780782e-03,3.085968e-03,3.263074e-03,3.456708e-03,3.757311e-03,3.832835e-03,4.211637e-03,4.257149e-03,4.590552e-03,4.756690e-03,4.967197e-03,5.250576e-03,5.339386e-03,5.705159e-03,5.734090e-03,6.062788e-03,6.203217e-03,6.410784e-03,6.654665e-03,6.747897e-03,7.073105e-03,7.085853e-03,7.385602e-03,7.494868e-03,7.684785e-03,7.880401e-03,7.970230e-03,8.241677e-03,8.499009e-03,8.578372e-03,8.742232e-03,8.890538e-03,8.971457e-03,9.178530e-03,9.186885e-03,9.388788e-03,9.442940e-03,9.577495e-03,9.684542e-03,9.753386e-03,9.904237e-03,9.916870e-03,1.006839e-02,1.010302e-02,1.020839e-02,1.028194e-02,1.033735e-02,1.044206e-02,1.045573e-02,1.056400e-02,1.058449e-02,1.066264e-02,1.071028e-02,1.075210e-02,1.082049e-02,1.083284e-02,1.090530e-02,1.091615e-02,1.096990e-02,1.099824e-02,1.102706e-02,1.106771e-02,1.107719e-02,1.112067e-02,1.112546e-02,1.115787e-02,1.117234e-02,1.118915e-02,1.120916e-02,1.121484e-02,1.123528e-02,1.123669e-02,1.125077e-02,1.125565e-02,1.126162e-02,1.126671e-02,1.126810e-02,1.127048e-02,1.127050e-02,1.126903e-02,1.126761e-02,1.126398e-02,1.125861e-02,1.125557e-02,1.124401e-02,1.122952e-02,1.122429e-02,1.121229e-02,1.119991e-02,1.119251e-02,1.117128e-02,1.117035e-02,1.114599e-02,1.113880e-02,1.111958e-02,1.110282e-02,1.109128e-02,1.106369e-02,1.106123e-02,1.102956e-02,1.102173e-02,1.099639e-02,1.097722e-02,1.096186e-02,1.093043e-02,1.092607e-02,1.088913e-02,1.088161e-02,1.085114e-02,1.083101e-02,1.081221e-02,1.077883e-02,1.077241e-02,1.073183e-02,1.072527e-02,1.069055e-02,1.067052e-02,1.064866e-02,1.061474e-02,1.060621e-02,1.056329e-02,1.055810e-02,1.051994e-02,1.050075e-02,1.047623e-02,1.044280e-02,1.043221e-02,1.038795e-02,1.038440e-02,1.034348e-02,1.032565e-02,1.029885e-02,1.026665e-02,1.025411e-02,1.020930e-02,1.020750e-02,1.016445e-02,1.014830e-02,1.011960e-02,1.008912e-02,1.007478e-02,1.003003e-02,9.971109e-03,9.912409e-03,9.853991e-03,9.795904e-03,9.738195e-03,9.680907e-03,9.624077e-03,9.567738e-03,9.511922e-03,9.456656e-03,9.401965e-03,9.347869e-03,9.294388e-03,9.241538e-03,9.189333e-03,9.137787e-03,9.086908e-03,9.036707e-03,8.987189e-03,8.938361e-03,8.890227e-03,8.842789e-03,8.796050e-03,8.750009e-03
0.000000e+00,2.552470e-09,5.827891e-09,1.996956e-08,4.532507e-08,6.604720e-08,1.493917e-07,1.538681e-07,2.964317e-07,3.479847e-07,5.073093e-07,6.726449e-07,8.010604e-07,1.157496e-06,1.192777e-06,1.695657e-06,1.833840e-06,2.316486e-06,2.715008e-06,3.052505e-06,3.787409e-06,3.893433e-06,4.826297e-06,5.022778e-06,5.838586e-06,6.392595e-06,6.919087e-06,7.871976e-06,8.057651e-06,9.244763e-06,9.438591e-06,1.047126e-05,1.107134e-05,1.172820e-05,1.274979e-05,1.300685e-05,1.429871e-05,1.445423e-05,1.559568e-05,1.616598e-05,1.689011e-05,1.786779e-05,1.817491e-05,1.944362e-05,1.954424e-05,2.069044e-05,2.118189e-05,2.191033e-05,2.276951e-05,2.309894e-05,2.425258e-05,2.429795e-05,2.536824e-05,2.576011e-05,2.644356e-05,2.715078e-05,2.747672e-05,2.846646e-05,2.941194e-05,2.970507e-05,3.031275e-05,3.086580e-05,3.116886e-05,3.194889e-05,3.198051e-05,3.274821e-05,3.295538e-05,3.347266e-05,3.388695e-05,3.415477e-05,3.474579e-05,3.479555e-05,3.539615e-05,3.553445e-05,3.595778e-05,3.625575e-05,3.648172e-05,3.691266e-05,3.696929e-05,3.742183e-05,3.750826e-05,3.784071e-05,3.804567e-05,3.822727e-05,3.852800e-05,3.858287e-05,3.890884e-05,3.895834e-05,3.920649e-05,3.933968e-05,3.947710e-05,3.967496e-05,3.972192e-05,3.994217e-05,3.996700e-05,4.013903e-05,4.021854e-05,4.031365e-05,4.043217e-05,4.046714e-05,4.060056e-05,4.061040e-05,4.071494e-05,4.075559e-05,4.081128e-05,4.087001e-05,4.089053e-05,4.095360e-05,4.095580e-05,4.100137e-05,4.101499e-05,4.103469e-05,4.104950e-05,4.105436e-05,4.106115e-05,4.105580e-05,4.105164e-05,4.103902e-05,4.102260e-05,4.101149e-05,4.097554e-05,4.097384e-05,4.092670e-05,4.091188e-05,4.087066e-05,4.083299e-05,4.080626e-05,4.074010e-05,4.073405e-05,4.065454e-05,4.063442e-05,4.056820e-05,4.051705e-05,4.047551e-05,4.038904e-05,4.037691e-05,4.027280e-05,4.025135e-05,4.016359e-05,4.010491e-05,4.004965e-05,3.995056e-05,3.993135e-05,3.980903e-05,3.978911e-05,3.968301e-05,3.962129e-05,3.955359e-05,3.944782e-05,3.942108e-05,3.928575e-05,3.926933e-05,3.914785e-05,3.908643e-05,3.900765e-05,3.889969e-05,3.886537e-05,3.872124e-05,3.870963e-05,3.857547e-05,3.851674e-05,3.842826e-05,3.832148e-05,3.827979e-05,3.813026e-05,3.812426e-05,3.797982e-05,3.792547e-05,3.782864e-05,3.772549e-05,3.767686e-05,3.752464e-05,3.732323e-05,3.712156e-05,3.691988e-05,3.671844e-05,3.651746e-05,3.631716e-05,3.611772e-05,3.591931e-05,3.572209e-05,3.552621e-05,3.533180e-05,3.513897e-05,3.494784e-05,3.475850e-05,3.457105e-05,3.438554e-05,3.420207e-05,3.402068e-05,3.384144e-05,3.366439e-05,3.348957e-05,3.331701e-05,3.314675e-05,3.297881e-05
0.000000e+00,1.141582e-07,2.609493e-07,8.966266e-07,2.041468e-06,2.980883e-06,6.786749e-06,6.992267e-06,1.358763e-05,1.599375e-05,2.348780e-05,3.133832e-05,3.747317e-05,5.458867e-05,5.628502e-05,8.038282e-05,8.695646e-05,1.096852e-04,1.281590e-04,1.435989e-04,1.766235e-04,1.813261e-04,2.221131e-04,2.305795e-04,2.653212e-04,2.885640e-04,3.104107e-04,3.493936e-04,3.569104e-04,4.043990e-04,4.120629e-04,4.524954e-04,4.756955e-04,5.008565e-04,5.395290e-04,5.491762e-04,5.971860e-04,6.029150e-04,6.446543e-04,6.653171e-04,6.913852e-04,7.263064e-04,7.372161e-04,7.820139e-04,7.855498e-04,8.256738e-04,8.428001e-04,8.681140e-04,8.978805e-04,9.092731e-04,9.491076e-04,9.506730e-04,9.875889e-04,1.001107e-03,1.024700e-03,1.049150e-03,1.060436e-03,1.094798e-03,1.127797e-03,1.138070e-03,1.159446e-03,1.179002e-03,1.189765e-03,1.217641e-03,1.218777e-03,1.246506e-03,1.254044e-03,1.272980e-03,1.288275e-03,1.298229e-03,1.320401e-03,1.322282e-03,1.345170e-03,1.350493e-03,1.366925e-03,1.378624e-03,1.387578e-03,1.404868e-03,1.407163e-03,1.425711e-03,1.429299e-03,1.443255e-03,1.451991e-03,1.459825e-03,1.473016e-03,1.475454e-03,1.490173e-03,1.492446e-03,1.504012e-03,1.510351e-03,1.517001e-03,1.526801e-03,1.529171e-03,1.540550e-03,1.541863e-03,1.551166e-03,1.555602e-03,1.561047e-03,1.568082e-03,1.570221e-03,1.578714e-03,1.579364e-03,1.586551e-03,1.589509e-03,1.593759e-03,1.598572e-03,1.600361e-03,1.606382e-03,1.606611e-03,1.611845e-03,1.613679e-03,1.616771e-03,1.619827e-03,1.621184e-03,1.625105e-03,1.628553e-03,1.629560e-03,1.631550e-03,1.633239e-03,1.634114e-03,1.636186e-03,1.636264e-03,1.638019e-03,1.638442e-03,1.639396e-03,1.640047e-03,1.640411e-03,1.641041e-03,1.641083e-03,1.641426e-03,1.641461e-03,1.641455e-03,1.641341e-03,1.641186e-03,1.640715e-03,1.640634e-03,1.639811e-03,1.639615e-03,1.638731e-03,1.638073e-03,1.637408e-03,1.636117e-03,1.635853e-03,1.634078e-03,1.633775e-03,1.632096e-03,1.631074e-03,1.629917e-03,1.628039e-03,1.627551e-03,1.625010e-03,1.624694e-03,1.622303e-03,1.621062e-03,1.619440e-03,1.617165e-03,1.616429e-03,1.613280e-03,1.613023e-03,1.610001e-03,1.608655e-03,1.606601e-03,1.604081e-03,1.603086e-03,1.599466e-03,1.599319e-03,1.595746e-03,1.594384e-03,1.591933e-03,1.589292e-03,1.588036e-03,1.584059e-03,1.578698e-03,1.573223e-03,1.567647e-03,1.561981e-03,1.556237e-03,1.550426e-03,1.544556e-03,1.538639e-03,1.532681e-03,1.526693e-03,1.520682e-03,1.514654e-03,1.508617e-03,1.502578e-03,1.496542e-03,1.490514e-03,1.484501e-03,1.478507e-03,1.472537e-03,1.466594e-03,1.460684e-03,1.454808e-03,1.448971e-03,1.443177e-03
0.000000e+00,8.298523e-09,1.900709e-08,6.588460e-08,1.523667e-07,2.252763e-07,5.379342e-07,5.555803e-07,1.160086e-06,1.397549e-06,2.184426e-06,3.064792e-06,3.775485e-06,5.779472e-06,5.976413e-06,8.698551e-06,9.415257e-06,1.181908e-05,1.370501e-05,1.524673e-05,1.847131e-05,1.892454e-05,2.281648e-05,2.361819e-05,2.689676e-05,2.908566e-05,3.114361e-05,3.482431e-05,3.553598e-05,4.005208e-05,4.078462e-05,4.466898e-05,4.691391e-05,4.936276e-05,5.315661e-05,5.410882e-05,5.888249e-05,5.945603e-05,6.365955e-05,6.575649e-05,6.841673e-05,7.200539e-05,7.313218e-05,7.778577e-05,7.815483e-05,8.235934e-05,8.416269e-05,8.683683e-05,8.999324e-05,9.120433e-05,9.545009e-05,9.561724e-05,9.956438e-05,1.010118e-04,1.035395e-04,1.061599e-04,1.073693e-04,1.110496e-04,1.145775e-04,1.156740e-04,1.179514e-04,1.200296e-04,1.211707e-04,1.241164e-04,1.242361e-04,1.271486e-04,1.279371e-04,1.299105e-04,1.314963e-04,1.325242e-04,1.348004e-04,1.349926e-04,1.373193e-04,1.378570e-04,1.395078e-04,1.406745e-04,1.415621e-04,1.432620e-04,1.434861e-04,1.452840e-04,1.456288e-04,1.469601e-04,1.477848e-04,1.485185e-04,1.497397e-04,1.499634e-04,1.512992e-04,1.515031e-04,1.525299e-04,1.530846e-04,1.536597e-04,1.544936e-04,1.546927e-04,1.556326e-04,1.557393e-04,1.564835e-04,1.568306e-04,1.572490e-04,1.577760e-04,1.579329e-04,1.585387e-04,1.585839e-04,1.590699e-04,1.592622e-04,1.595297e-04,1.598185e-04,1.599215e-04,1.602484e-04,1.602601e-04,1.605133e-04,1.605942e-04,1.607194e-04,1.608272e-04,1.608692e-04,1.609656e-04,1.610113e-04,1.610155e-04,1.610086e-04,1.609827e-04,1.609601e-04,1.608725e-04,1.608680e-04,1.607347e-04,1.606903e-04,1.605623e-04,1.604410e-04,1.603529e-04,1.601292e-04,1.601084e-04,1.598307e-04,1.597594e-04,1.595218e-04,1.593358e-04,1.591833e-04,1.588624e-04,1.588170e-04,1.584245e-04,1.583430e-04,1.580073e-04,1.577811e-04,1.575669e-04,1.571801e-04,1.571047e-04,1.566221e-04,1.565431e-04,1.561205e-04,1.558733e-04,1.556009e-04,1.551733e-04,1.550648e-04,1.545131e-04,1.544459e-04,1.539469e-04,1.536935e-04,1.533674e-04,1.529187e-04,1.527755e-04,1.521722e-04,1.521235e-04,1.515583e-04,1.513100e-04,1.509348e-04,1.504803e-04,1.503024e-04,1.496620e-04,1.496362e-04,1.490142e-04,1.487794e-04,1.483599e-04,1.479116e-04,1.476997e-04,1.470342e-04,1.461488e-04,1.452566e-04,1.443590e-04,1.434570e-04,1.425518e-04,1.416445e-04,1.407359e-04,1.398270e-04,1.389185e-04,1.380113e-04,1.371061e-04,1.362035e-04,1.353042e-04,1.344087e-04,1.335175e-04,1.326312e-04,1.317501e-04,1.308747e-04,1.300053e-04,1.291424e-04,1.282862e-04,1.274370e-04,1.265950e-04,1.257605e-04
0.000000e+00,6.899830e-09,1.573128e-08,5.381223e-08,1.222179e-07,1.783720e-07,4.071280e-07,4.195546e-07,8.228516e-07,9.720974e-07,1.442767e-06,1.941426e-06,2.331493e-06,3.402908e-06,3.507028e-06,4.940067e-06,5.317032e-06,6.583781e-06,7.580992e-06,8.398319e-06,1.011220e-05,1.035338e-05,1.242408e-05,1.285008e-05,1.458769e-05,1.574212e-05,1.682204e-05,1.873744e-05,1.910511e-05,2.141522e-05,2.178593e-05,2.373146e-05,2.483962e-05,2.603424e-05,2.785470e-05,2.830569e-05,3.053000e-05,3.079308e-05,3.269359e-05,3.362334e-05,3.478518e-05,3.632101e-05,3.679577e-05,3.871849e-05,3.886835e-05,4.054842e-05,4.125366e-05,4.228241e-05,4.347049e-05,4.391879e-05,4.545719e-05,4.551669e-05,4.689830e-05,4.739356e-05,4.824367e-05,4.910497e-05,4.949556e-05,5.065673e-05,5.173033e-05,5.205595e-05,5.271981e-05,5.331060e-05,5.362879e-05,5.442912e-05,5.446098e-05,5.522017e-05,5.542018e-05,5.591012e-05,5.629240e-05,5.653454e-05,5.705426e-05,5.709707e-05,5.760123e-05,5.771393e-05,5.805046e-05,5.827926e-05,5.844803e-05,5.875768e-05,5.879711e-05,5.910071e-05,5.915622e-05,5.936170e-05,5.948149e-05,5.958281e-05,5.973965e-05,5.976666e-05,5.991570e-05,5.993647e-05,6.003226e-05,6.007733e-05,6.011855e-05,6.016719e-05,6.017665e-05,6.020854e-05,6.021069e-05,6.021605e-05,6.021209e-05,6.020094e-05,6.017535e-05,6.016486e-05,6.010936e-05,6.010412e-05,6.003588e-05,6.000177e-05,5.994581e-05,5.987141e-05,5.984043e-05,5.972095e-05,5.971589e-05,5.958850e-05,5.953785e-05,5.944415e-05,5.933971e-05,5.928891e-05,5.912370e-05,5.894941e-05,5.889186e-05,5.876687e-05,5.864607e-05,5.857684e-05,5.838804e-05,5.838005e-05,5.817718e-05,5.811937e-05,5.796885e-05,5.784149e-05,5.775567e-05,5.755573e-05,5.753818e-05,5.731691e-05,5.726330e-05,5.709234e-05,5.696531e-05,5.686492e-05,5.666277e-05,5.663507e-05,5.640319e-05,5.635660e-05,5.616964e-05,5.604765e-05,5.593476e-05,5.573667e-05,5.569888e-05,5.546228e-05,5.542438e-05,5.522524e-05,5.511139e-05,5.498803e-05,5.479829e-05,5.475087e-05,5.451399e-05,5.448559e-05,5.427759e-05,5.417377e-05,5.404186e-05,5.386325e-05,5.380697e-05,5.357308e-05,5.355442e-05,5.334036e-05,5.324762e-05,5.310892e-05,5.294315e-05,5.287889e-05,5.265040e-05,5.264130e-05,5.242355e-05,5.234231e-05,5.219843e-05,5.204639e-05,5.197514e-05,5.175375e-05,5.146455e-05,5.117894e-05,5.089706e-05,5.061900e-05,5.034487e-05,5.007475e-05,4.980870e-05,4.954677e-05,4.928900e-05,4.903544e-05,4.878609e-05,4.854098e-05,4.830010e-05,4.806346e-05,4.783104e-05,4.760283e-05,4.737882e-05,4.715898e-05,4.694327e-05,4.673166e-05,4.652413e-05,4.632062e-05,4.612110e-05,4.592552e-05
0.000000e+00,4.748314e-09,1.086086e-08,3.751148e-08,8.635415e-08,1.272723e-07,3.006956e-07,3.104014e-07,6.392215e-07,7.670149e-07,1.188306e-06,1.660723e-06,2.046139e-06,3.161261e-06,3.273147e-06,4.852645e-06,5.276106e-06,6.708401e-06,7.837826e-06,8.761009e-06,1.068415e-05,1.095322e-05,1.324789e-05,1.371681e-05,1.562035e-05,1.687861e-05,1.805249e-05,2.013063e-05,2.052937e-05,2.303736e-05,2.344064e-05,2.556333e-05,2.677839e-05,2.809440e-05,3.011443e-05,3.061794e-05,3.312167e-05,3.342023e-05,3.559409e-05,3.666928e-05,3.802464e-05,3.983791e-05,4.040372e-05,4.272288e-05,4.290560e-05,4.497490e-05,4.585551e-05,4.715373e-05,4.867441e-05,4.925454e-05,5.127374e-05,5.135277e-05,5.320852e-05,5.388398e-05,5.505705e-05,5.626433e-05,5.681848e-05,5.849259e-05,6.007987e-05,6.056961e-05,6.158132e-05,6.249785e-05,6.299836e-05,6.428092e-05,6.433274e-05,6.558652e-05,6.592344e-05,6.676200e-05,6.743072e-05,6.786163e-05,6.880850e-05,6.888797e-05,6.984368e-05,7.006284e-05,7.073143e-05,7.119990e-05,7.155394e-05,7.222591e-05,7.231388e-05,7.301393e-05,7.314698e-05,7.365670e-05,7.396916e-05,7.424476e-05,7.469830e-05,7.478063e-05,7.526673e-05,7.534004e-05,7.570542e-05,7.589983e-05,7.609900e-05,7.638287e-05,7.644968e-05,7.675956e-05,7.679411e-05,7.703071e-05,7.713825e-05,7.726509e-05,7.741978e-05,7.746458e-05,7.763099e-05,7.764292e-05,7.776605e-05,7.781168e-05,7.787143e-05,7.792982e-05,7.794872e-05,7.799942e-05,7.800091e-05,7.802499e-05,7.802831e-05,7.802681e-05,7.801516e-05,7.800621e-05,7.796445e-05,7.790272e-05,7.787894e-05,7.782218e-05,7.776127e-05,7.772393e-05,7.761390e-05,7.760899e-05,7.747837e-05,7.743912e-05,7.733302e-05,7.723911e-05,7.717382e-05,7.701588e-05,7.700165e-05,7.681731e-05,7.677135e-05,7.662159e-05,7.650728e-05,7.641521e-05,7.622535e-05,7.619889e-05,7.597329e-05,7.592711e-05,7.573905e-05,7.561403e-05,7.549676e-05,7.528746e-05,7.524702e-05,7.499035e-05,7.494867e-05,7.472728e-05,7.459888e-05,7.445830e-05,7.423917e-05,7.418387e-05,7.390445e-05,7.387060e-05,7.362045e-05,7.349414e-05,7.333227e-05,7.311069e-05,7.304029e-05,7.274487e-05,7.272110e-05,7.244635e-05,7.232615e-05,7.214506e-05,7.192658e-05,7.184129e-05,7.153535e-05,7.152307e-05,7.122750e-05,7.111626e-05,7.091801e-05,7.070675e-05,7.060712e-05,7.029507e-05,6.988176e-05,6.946728e-05,6.905207e-05,6.863655e-05,6.822109e-05,6.780606e-05,6.739176e-05,6.697852e-05,6.656659e-05,6.615625e-05,6.574772e-05,6.534123e-05,6.493697e-05,6.453513e-05,6.413588e-05,6.373936e-05,6.334573e-05,6.295510e-05,6.256759e-05,6.218331e-05,6.180234e-05,6.142478e-05,6.105069e-05,6.068014e-05
0.000000e+00,4.096670e-09,9.343612e-09,3.194948e-08,7.239657e-08,1.054151e-07,2.381063e-07,2.452316e-07,4.722218e-07,5.543353e-07,8.080600e-07,1.070784e-06,1.273910e-06,1.829862e-06,1.884071e-06,2.637391e-06,2.837949e-06,3.518581e-06,4.060598e-06,4.508169e-06,5.454394e-06,5.588239e-06,6.742871e-06,6.981430e-06,7.957268e-06,8.607646e-06,9.217248e-06,1.030086e-05,1.050916e-05,1.182007e-05,1.203077e-05,1.313798e-05,1.376982e-05,1.445203e-05,1.549405e-05,1.575270e-05,1.703180e-05,1.718351e-05,1.828255e-05,1.882242e-05,1.949942e-05,2.039888e-05,2.067809e-05,2.181533e-05,2.190444e-05,2.290880e-05,2.333358e-05,2.395700e-05,2.468316e-05,2.495906e-05,2.591466e-05,2.595192e-05,2.682396e-05,2.714005e-05,2.768743e-05,2.824880e-05,2.850585e-05,2.928019e-05,3.001160e-05,3.023679e-05,3.070134e-05,3.112153e-05,3.135075e-05,3.193753e-05,3.196122e-05,3.253418e-05,3.268807e-05,3.307105e-05,3.337645e-05,3.357327e-05,3.400594e-05,3.404227e-05,3.447945e-05,3.457979e-05,3.488619e-05,3.510116e-05,3.526382e-05,3.557310e-05,3.561366e-05,3.593698e-05,3.599857e-05,3.623502e-05,3.638040e-05,3.650896e-05,3.672129e-05,3.675996e-05,3.698912e-05,3.702383e-05,3.719751e-05,3.729046e-05,3.738615e-05,3.752351e-05,3.755603e-05,3.770809e-05,3.772519e-05,3.784325e-05,3.789759e-05,3.796237e-05,3.804268e-05,3.806628e-05,3.815578e-05,3.816234e-05,3.823163e-05,3.825832e-05,3.829457e-05,3.833228e-05,3.834529e-05,3.838445e-05,3.838578e-05,3.841269e-05,3.842030e-05,3.843062e-05,3.843722e-05,3.843881e-05,3.843783e-05,3.842820e-05,3.842337e-05,3.841041e-05,3.839497e-05,3.838495e-05,3.835372e-05,3.835228e-05,3.831283e-05,3.830063e-05,3.826701e-05,3.823663e-05,3.821523e-05,3.816263e-05,3.815785e-05,3.809522e-05,3.807945e-05,3.802771e-05,3.798788e-05,3.795561e-05,3.788863e-05,3.787925e-05,3.779892e-05,3.778240e-05,3.771488e-05,3.766981e-05,3.762742e-05,3.755148e-05,3.753677e-05,3.744318e-05,3.742795e-05,3.734687e-05,3.729974e-05,3.724806e-05,3.716735e-05,3.714696e-05,3.704374e-05,3.703123e-05,3.693861e-05,3.689179e-05,3.683173e-05,3.674944e-05,3.672328e-05,3.661339e-05,3.660455e-05,3.650224e-05,3.645745e-05,3.638994e-05,3.630847e-05,3.627665e-05,3.616248e-05,3.615790e-05,3.604756e-05,3.600602e-05,3.593199e-05,3.585310e-05,3.581589e-05,3.569935e-05,3.554502e-05,3.539030e-05,3.523538e-05,3.508045e-05,3.492566e-05,3.477116e-05,3.461709e-05,3.446359e-05,3.431076e-05,3.415872e-05,3.400757e-05,3.385740e-05,3.370829e-05,3.356031e-05,3.341355e-05,3.326805e-05,3.312388e-05,3.298109e-05,3.283972e-05,3.269981e-05,3.256141e-05,3.242454e-05,3.228923e-05,3.215551e-05
0.000000e+00,4.720336e-06,1.076169e-05,3.675942e-05,8.318459e-05,1.210110e-04,2.724675e-04,2.805776e-04,5.379127e-04,6.305847e-04,9.159602e-04,1.210692e-03,1.438721e-03,2.067697e-03,2.129627e-03,3.005293e-03,3.243483e-03,4.067217e-03,4.738577e-03,5.301906e-03,6.515930e-03,6.689960e-03,8.212901e-03,8.532220e-03,9.854554e-03,1.075020e-02,1.160016e-02,1.313632e-02,1.343539e-02,1.534579e-02,1.565745e-02,1.731658e-02,1.827960e-02,1.933272e-02,2.096813e-02,2.137912e-02,2.344091e-02,2.368867e-02,2.550371e-02,2.640812e-02,2.755391e-02,2.909581e-02,2.957885e-02,3.156706e-02,3.172421e-02,3.350827e-02,3.426956e-02,3.539358e-02,3.671210e-02,3.721545e-02,3.896769e-02,3.903626e-02,4.064538e-02,4.123034e-02,4.224477e-02,4.328625e-02,4.376323e-02,4.519912e-02,4.655167e-02,4.696688e-02,4.782098e-02,4.858994e-02,4.900769e-02,5.007023e-02,5.011289e-02,5.113831e-02,5.141140e-02,5.208597e-02,5.261820e-02,5.295821e-02,5.369631e-02,5.375765e-02,5.448704e-02,5.465198e-02,5.514923e-02,5.549181e-02,5.574718e-02,5.622260e-02,5.628386e-02,5.676224e-02,5.685119e-02,5.718530e-02,5.738439e-02,5.755593e-02,5.782884e-02,5.787700e-02,5.815128e-02,5.819101e-02,5.838148e-02,5.847709e-02,5.857021e-02,5.869302e-02,5.871997e-02,5.883319e-02,5.884443e-02,5.891218e-02,5.893666e-02,5.895915e-02,5.897473e-02,5.897621e-02,5.896538e-02,5.896336e-02,5.892856e-02,5.890697e-02,5.886759e-02,5.880970e-02,5.878417e-02,5.867997e-02,5.867539e-02,5.855651e-02,5.850764e-02,5.841527e-02,5.830977e-02,5.825763e-02,5.808489e-02,5.789830e-02,5.783585e-02,5.769901e-02,5.756530e-02,5.748811e-02,5.727570e-02,5.726665e-02,5.703559e-02,5.696930e-02,5.679584e-02,5.664818e-02,5.654826e-02,5.631427e-02,5.629366e-02,5.603279e-02,5.596933e-02,5.576635e-02,5.561497e-02,5.549503e-02,5.525270e-02,5.521942e-02,5.494012e-02,5.488387e-02,5.465768e-02,5.450973e-02,5.437259e-02,5.413142e-02,5.408534e-02,5.379636e-02,5.374999e-02,5.350608e-02,5.336639e-02,5.321487e-02,5.298148e-02,5.292309e-02,5.263108e-02,5.259604e-02,5.233914e-02,5.221079e-02,5.204756e-02,5.182637e-02,5.175661e-02,5.146653e-02,5.144337e-02,5.117755e-02,5.106231e-02,5.088988e-02,5.068367e-02,5.060370e-02,5.031921e-02,5.030787e-02,5.003656e-02,4.993528e-02,4.975589e-02,4.956624e-02,4.947735e-02,4.920106e-02,4.883998e-02,4.848325e-02,4.813105e-02,4.778357e-02,4.744096e-02,4.710333e-02,4.677079e-02,4.644342e-02,4.612130e-02,4.580448e-02,4.549298e-02,4.518684e-02,4.488607e-02,4.459066e-02,4.430061e-02,4.401590e-02,4.373650e-02,4.346238e-02,4.319350e-02,4.292981e-02,4.267127e-02,4.241781e-02,4.216939e-02,4.192593e-02
0.000000e+00,2.831035e-09,6.438113e-09,2.188956e-08,4.937853e-08,7.174964e-08,1.614764e-07,1.662946e-07,3.201733e-07,3.761080e-07,5.501526e-07,7.326643e-07,8.756523e-07,1.276917e-06,1.316890e-06,1.888352e-06,2.045194e-06,2.589018e-06,3.031048e-06,3.399230e-06,4.179622e-06,4.289756e-06,5.232835e-06,5.425731e-06,6.206676e-06,6.719686e-06,7.195111e-06,8.027679e-06,8.185957e-06,9.169628e-06,9.325806e-06,1.013827e-05,1.059590e-05,1.108528e-05,1.182353e-05,1.200508e-05,1.289303e-05,1.299726e-05,1.374534e-05,1.410827e-05,1.455905e-05,1.515030e-05,1.533201e-05,1.606278e-05,1.611939e-05,1.675061e-05,1.701367e-05,1.739533e-05,1.783300e-05,1.799726e-05,1.855714e-05,1.857867e-05,1.907606e-05,1.925309e-05,1.955537e-05,1.985946e-05,1.999662e-05,2.040150e-05,2.077181e-05,2.088331e-05,2.110938e-05,2.130910e-05,2.141606e-05,2.168311e-05,2.169368e-05,2.194404e-05,2.200950e-05,2.216890e-05,2.229227e-05,2.236993e-05,2.253523e-05,2.254875e-05,2.270690e-05,2.274194e-05,2.284583e-05,2.291576e-05,2.296693e-05,2.305975e-05,2.307146e-05,2.316063e-05,2.317672e-05,2.323556e-05,2.326925e-05,2.329731e-05,2.333972e-05,2.334686e-05,2.338512e-05,2.339026e-05,2.341295e-05,2.342282e-05,2.343112e-05,2.343920e-05,2.344037e-05,2.344139e-05,2.344099e-05,2.343481e-05,2.342966e-05,2.342121e-05,2.340653e-05,2.340115e-05,2.337513e-05,2.337280e-05,2.334361e-05,2.332956e-05,2.330704e-05,2.327780e-05,2.326581e-05,2.322032e-05,2.321841e-05,2.317090e-05,2.315221e-05,2.311787e-05,2.307992e-05,2.306155e-05,2.300221e-05,2.294011e-05,2.291970e-05,2.287550e-05,2.283293e-05,2.280859e-05,2.274241e-05,2.273961e-05,2.266874e-05,2.264858e-05,2.259617e-05,2.255188e-05,2.252206e-05,2.245266e-05,2.244658e-05,2.236986e-05,2.235129e-05,2.229206e-05,2.224806e-05,2.221329e-05,2.214327e-05,2.213367e-05,2.205332e-05,2.203717e-05,2.197234e-05,2.193001e-05,2.189083e-05,2.182200e-05,2.180886e-05,2.172654e-05,2.171334e-05,2.164394e-05,2.160421e-05,2.156113e-05,2.149477e-05,2.147818e-05,2.139515e-05,2.138518e-05,2.131210e-05,2.127557e-05,2.122910e-05,2.116607e-05,2.114618e-05,2.106340e-05,2.105678e-05,2.098080e-05,2.094782e-05,2.089843e-05,2.083928e-05,2.081632e-05,2.073451e-05,2.073124e-05,2.065303e-05,2.062379e-05,2.057192e-05,2.051698e-05,2.049120e-05,2.041090e-05,2.030559e-05,2.020111e-05,2.009751e-05,1.999483e-05,1.989310e-05,1.979236e-05,1.969264e-05,1.959398e-05,1.949638e-05,1.939988e-05,1.930448e-05,1.921021e-05,1.911708e-05,1.902510e-05,1.893428e-05,1.884462e-05,1.875613e-05,1.866882e-05,1.858268e-05,1.849771e-05,1.841393e-05,1.833132e-05,1.824988e-05,1.816961e-05
0.000000e+00,4.793168e-09,1.083785e-08,3.653136e-08,8.218131e-08,1.195367e-07,2.722736e-07,2.806166e-07,5.542379e-07,6.567615e-07,9.834453e-07,1.333386e-06,1.608602e-06,2.363644e-06,2.436486e-06,3.417965e-06,3.667849e-06,4.477613e-06,5.081722e-06,5.555483e-06,6.490757e-06,6.616472e-06,7.642191e-06,7.842151e-06,8.622826e-06,9.112901e-06,9.552503e-06,1.029110e-05,1.042723e-05,1.124411e-05,1.136930e-05,1.200117e-05,1.234295e-05,1.269733e-05,1.321031e-05,1.333249e-05,1.390739e-05,1.397240e-05,1.442367e-05,1.463287e-05,1.488375e-05,1.519764e-05,1.529060e-05,1.564755e-05,1.567406e-05,1.595823e-05,1.607037e-05,1.622633e-05,1.639509e-05,1.645557e-05,1.664958e-05,1.665666e-05,1.681184e-05,1.686308e-05,1.694545e-05,1.702152e-05,1.705348e-05,1.713863e-05,1.720344e-05,1.722026e-05,1.725016e-05,1.727151e-05,1.728081e-05,1.729680e-05,1.729721e-05,1.730097e-05,1.729996e-05,1.729353e-05,1.728423e-05,1.727617e-05,1.725239e-05,1.725000e-05,1.721602e-05,1.720680e-05,1.717511e-05,1.714946e-05,1.712804e-05,1.708208e-05,1.707551e-05,1.701813e-05,1.700613e-05,1.695645e-05,1.692284e-05,1.689095e-05,1.683330e-05,1.682207e-05,1.675019e-05,1.673844e-05,1.667566e-05,1.663904e-05,1.659880e-05,1.653582e-05,1.651988e-05,1.643916e-05,1.642937e-05,1.635688e-05,1.632023e-05,1.627322e-05,1.620886e-05,1.618840e-05,1.610257e-05,1.609567e-05,1.601590e-05,1.598103e-05,1.592853e-05,1.586527e-05,1.584059e-05,1.575220e-05,1.574866e-05,1.566348e-05,1.563147e-05,1.557451e-05,1.551392e-05,1.548539e-05,1.539622e-05,1.530706e-05,1.527854e-05,1.521799e-05,1.516106e-05,1.512907e-05,1.504392e-05,1.504037e-05,1.495195e-05,1.492724e-05,1.486384e-05,1.481116e-05,1.477611e-05,1.469576e-05,1.468879e-05,1.460192e-05,1.458115e-05,1.451555e-05,1.446741e-05,1.442970e-05,1.435461e-05,1.434440e-05,1.425969e-05,1.424282e-05,1.417559e-05,1.413211e-05,1.409212e-05,1.402251e-05,1.400930e-05,1.392716e-05,1.391408e-05,1.384570e-05,1.380686e-05,1.376496e-05,1.370087e-05,1.368493e-05,1.360563e-05,1.359616e-05,1.352708e-05,1.349275e-05,1.344927e-05,1.339065e-05,1.337224e-05,1.329596e-05,1.328990e-05,1.322047e-05,1.319049e-05,1.314575e-05,1.309244e-05,1.307182e-05,1.299868e-05,1.299577e-05,1.292632e-05,1.290047e-05,1.285476e-05,1.280655e-05,1.278399e-05,1.271402e-05,1.262287e-05,1.253309e-05,1.244470e-05,1.235767e-05,1.227201e-05,1.218771e-05,1.210475e-05,1.202313e-05,1.194284e-05,1.186386e-05,1.178618e-05,1.170979e-05,1.163468e-05,1.156083e-05,1.148823e-05,1.141686e-05,1.134670e-05,1.127775e-05,1.120998e-05,1.114338e-05,1.107793e-05,1.101362e-05,1.095043e-05,1.088834e-05
0.000000e+00,3.139844e-09,7.177801e-09,2.471458e-08,5.655992e-08,8.296112e-08,1.924504e-07,1.984771e-07,3.977964e-07,4.732141e-07,7.162870e-07,9.820705e-07,1.195757e-06,1.807226e-06,1.868381e-06,2.733514e-06,2.966610e-06,3.759835e-06,4.390789e-06,4.910062e-06,6.001476e-06,6.155161e-06,7.474814e-06,7.746323e-06,8.854182e-06,9.591001e-06,1.028125e-05,1.150902e-05,1.174535e-05,1.323636e-05,1.347677e-05,1.474455e-05,1.547181e-05,1.626051e-05,1.747284e-05,1.777529e-05,1.928049e-05,1.946010e-05,2.076845e-05,2.141589e-05,2.223230e-05,2.332498e-05,2.366605e-05,2.506457e-05,2.517480e-05,2.642363e-05,2.695542e-05,2.773981e-05,2.865940e-05,2.901047e-05,3.023369e-05,3.028161e-05,3.140809e-05,3.181876e-05,3.253293e-05,3.326934e-05,3.360789e-05,3.463304e-05,3.560876e-05,3.591066e-05,3.653575e-05,3.710385e-05,3.741489e-05,3.821484e-05,3.824725e-05,3.903404e-05,3.924635e-05,3.977657e-05,4.020142e-05,4.047622e-05,4.108324e-05,4.113441e-05,4.175258e-05,4.189515e-05,4.233221e-05,4.264051e-05,4.287475e-05,4.332267e-05,4.338167e-05,4.385440e-05,4.394496e-05,4.429434e-05,4.451061e-05,4.470288e-05,4.502277e-05,4.508137e-05,4.543111e-05,4.548449e-05,4.575339e-05,4.589869e-05,4.604943e-05,4.626818e-05,4.632043e-05,4.656754e-05,4.659564e-05,4.679187e-05,4.688364e-05,4.699450e-05,4.713462e-05,4.717646e-05,4.733874e-05,4.735090e-05,4.748229e-05,4.753467e-05,4.760803e-05,4.768803e-05,4.771684e-05,4.780957e-05,4.781295e-05,4.788702e-05,4.791131e-05,4.794997e-05,4.798487e-05,4.799916e-05,4.803532e-05,4.805911e-05,4.806422e-05,4.807119e-05,4.807307e-05,4.807219e-05,4.806328e-05,4.806270e-05,4.804330e-05,4.803616e-05,4.801452e-05,4.799298e-05,4.797690e-05,4.793491e-05,4.793093e-05,4.787709e-05,4.786305e-05,4.781583e-05,4.777845e-05,4.774759e-05,4.768209e-05,4.767277e-05,4.759179e-05,4.757489e-05,4.750501e-05,4.745772e-05,4.741280e-05,4.733139e-05,4.731549e-05,4.721342e-05,4.719667e-05,4.710691e-05,4.705428e-05,4.699623e-05,4.690490e-05,4.688169e-05,4.676356e-05,4.674915e-05,4.664208e-05,4.658763e-05,4.651750e-05,4.642090e-05,4.639006e-05,4.625999e-05,4.624948e-05,4.612749e-05,4.607385e-05,4.599276e-05,4.589448e-05,4.585600e-05,4.571738e-05,4.571180e-05,4.557709e-05,4.552621e-05,4.543528e-05,4.533807e-05,4.529212e-05,4.514775e-05,4.495558e-05,4.476185e-05,4.456685e-05,4.437086e-05,4.417411e-05,4.397685e-05,4.377928e-05,4.358160e-05,4.338402e-05,4.318668e-05,4.298977e-05,4.279342e-05,4.259778e-05,4.240297e-05,4.220910e-05,4.201630e-05,4.182465e-05,4.163426e-05,4.144520e-05,4.125755e-05,4.107138e-05,4.088675e-05,4.070374e-05,4.052237e-05
0.000000e+00,6.693106e-09,1.529894e-08,5.262840e-08,1.201916e-07,1.759724e-07,4.050483e-07,4.175545e-07,8.256444e-07,9.775232e-07,1.459415e-06,1.976495e-06,2.387730e-06,3.559591e-06,3.677234e-06,5.365280e-06,5.828924e-06,7.433489e-06,8.733823e-06,9.815173e-06,1.210703e-05,1.243089e-05,1.521355e-05,1.578543e-05,1.811286e-05,1.965375e-05,2.109122e-05,2.363238e-05,2.411912e-05,2.717209e-05,2.766145e-05,3.022919e-05,3.169261e-05,3.327217e-05,3.568566e-05,3.628518e-05,3.925454e-05,3.960736e-05,4.216869e-05,4.343087e-05,4.501799e-05,4.713523e-05,4.779464e-05,5.049247e-05,5.070474e-05,5.310671e-05,5.412818e-05,5.563387e-05,5.739813e-05,5.807156e-05,6.041826e-05,6.051022e-05,6.267326e-05,6.346258e-05,6.483648e-05,6.625526e-05,6.690837e-05,6.888981e-05,7.078202e-05,7.136892e-05,7.258649e-05,7.369612e-05,7.430499e-05,7.587559e-05,7.593938e-05,7.749164e-05,7.791185e-05,7.896388e-05,7.980970e-05,8.035824e-05,8.157416e-05,8.167692e-05,8.292216e-05,8.321034e-05,8.409618e-05,8.472335e-05,8.520120e-05,8.611830e-05,8.623943e-05,8.721309e-05,8.740027e-05,8.812436e-05,8.857428e-05,8.897539e-05,8.964525e-05,8.976829e-05,9.050515e-05,9.061799e-05,9.118801e-05,9.149718e-05,9.181885e-05,9.228740e-05,9.239964e-05,9.293229e-05,9.299306e-05,9.341865e-05,9.361845e-05,9.386053e-05,9.416770e-05,9.425970e-05,9.461789e-05,9.464482e-05,9.493675e-05,9.505365e-05,9.521792e-05,9.539790e-05,9.546297e-05,9.567342e-05,9.568114e-05,9.585076e-05,9.590677e-05,9.599642e-05,9.607809e-05,9.611180e-05,9.619824e-05,9.625704e-05,9.627023e-05,9.628947e-05,9.629694e-05,9.629673e-05,9.628113e-05,9.628002e-05,9.624046e-05,9.622544e-05,9.617915e-05,9.613237e-05,9.609715e-05,9.600432e-05,9.599549e-05,9.587515e-05,9.584359e-05,9.573707e-05,9.565235e-05,9.558218e-05,9.543267e-05,9.541136e-05,9.522545e-05,9.518653e-05,9.502528e-05,9.491581e-05,9.481162e-05,9.462229e-05,9.458525e-05,9.434688e-05,9.430768e-05,9.409723e-05,9.397358e-05,9.383695e-05,9.362152e-05,9.356670e-05,9.328710e-05,9.325294e-05,9.299874e-05,9.286924e-05,9.270220e-05,9.247170e-05,9.239803e-05,9.208676e-05,9.206156e-05,9.176888e-05,9.163999e-05,9.144489e-05,9.120809e-05,9.111525e-05,9.078040e-05,9.076691e-05,9.044078e-05,9.031742e-05,9.009678e-05,8.986056e-05,8.974880e-05,8.939722e-05,8.892820e-05,8.845430e-05,8.797625e-05,8.749473e-05,8.701040e-05,8.652387e-05,8.603570e-05,8.554644e-05,8.505659e-05,8.456662e-05,8.407696e-05,8.358803e-05,8.310021e-05,8.261386e-05,8.212932e-05,8.164687e-05,8.116683e-05,8.068944e-05,8.021496e-05,7.974362e-05,7.927561e-05,7.881113e-05,7.835036e-05,7.789345e-05
0.000000e+00,1.517121e-08,3.375628e-08,1.099199e-07,2.391814e-07,3.413319e-07,7.385241e-07,7.595289e-07,1.422997e-06,1.661625e-06,2.391738e-06,3.123009e-06,3.662198e-06,5.008757e-06,5.130645e-06,6.689114e-06,7.069341e-06,8.280809e-06,9.176958e-06,9.881250e-06,1.128574e-05,1.147648e-05,1.305349e-05,1.336545e-05,1.459766e-05,1.538242e-05,1.609320e-05,1.730038e-05,1.752446e-05,1.887739e-05,1.908578e-05,2.014052e-05,2.071238e-05,2.130560e-05,2.216366e-05,2.236772e-05,2.332519e-05,2.343308e-05,2.417914e-05,2.452289e-05,2.493300e-05,2.544214e-05,2.559196e-05,2.616242e-05,2.620444e-05,2.665148e-05,2.682597e-05,2.706656e-05,2.732378e-05,2.741508e-05,2.770419e-05,2.771462e-05,2.794064e-05,2.801408e-05,2.813064e-05,2.823622e-05,2.827985e-05,2.839334e-05,2.847560e-05,2.849598e-05,2.853058e-05,2.855308e-05,2.856176e-05,2.857209e-05,2.857214e-05,2.856434e-05,2.855921e-05,2.854061e-05,2.851955e-05,2.850292e-05,2.845737e-05,2.845296e-05,2.839220e-05,2.837616e-05,2.832193e-05,2.827884e-05,2.824325e-05,2.816784e-05,2.815714e-05,2.806446e-05,2.804520e-05,2.796596e-05,2.791267e-05,2.786232e-05,2.777171e-05,2.775412e-05,2.764190e-05,2.762360e-05,2.752613e-05,2.746944e-05,2.740726e-05,2.731017e-05,2.728565e-05,2.716168e-05,2.714665e-05,2.703564e-05,2.697962e-05,2.690785e-05,2.680972e-05,2.677857e-05,2.664804e-05,2.663755e-05,2.651648e-05,2.646361e-05,2.638410e-05,2.628839e-05,2.625109e-05,2.611762e-05,2.611227e-05,2.598385e-05,2.593565e-05,2.584993e-05,2.575885e-05,2.571600e-05,2.558218e-05,2.544858e-05,2.540590e-05,2.531532e-05,2.523025e-05,2.518248e-05,2.505545e-05,2.505016e-05,2.491845e-05,2.488169e-05,2.478741e-05,2.470914e-05,2.465712e-05,2.453797e-05,2.452765e-05,2.439904e-05,2.436831e-05,2.427136e-05,2.420028e-05,2.414465e-05,2.403398e-05,2.401895e-05,2.389432e-05,2.386952e-05,2.377077e-05,2.370697e-05,2.364836e-05,2.354642e-05,2.352710e-05,2.340702e-05,2.338792e-05,2.328814e-05,2.323152e-05,2.317050e-05,2.307728e-05,2.305410e-05,2.293896e-05,2.292522e-05,2.282509e-05,2.277539e-05,2.271251e-05,2.262781e-05,2.260122e-05,2.249124e-05,2.248249e-05,2.238256e-05,2.233946e-05,2.227520e-05,2.219872e-05,2.216916e-05,2.206443e-05,2.206027e-05,2.196103e-05,2.192413e-05,2.185894e-05,2.179027e-05,2.175817e-05,2.165871e-05,2.152943e-05,2.140243e-05,2.127768e-05,2.115517e-05,2.103488e-05,2.091680e-05,2.080090e-05,2.068717e-05,2.057557e-05,2.046608e-05,2.035868e-05,2.025334e-05,2.015004e-05,2.004874e-05,1.994941e-05,1.985203e-05,1.975657e-05,1.966300e-05,1.957128e-05,1.948139e-05,1.939331e-05,1.930698e-05,1.922240e-05,1.913952e-05
0.000000e+00,2.338058e-09,5.338214e-09,1.829426e-08,4.154124e-08,6.055847e-08,1.372144e-07,1.413389e-07,2.730596e-07,3.208481e-07,4.689729e-07,6.232407e-07,7.433460e-07,1.077473e-06,1.110576e-06,1.582132e-06,1.711424e-06,2.161074e-06,2.529236e-06,2.838288e-06,3.501504e-06,3.596040e-06,4.415419e-06,4.585223e-06,5.280457e-06,5.743997e-06,6.178441e-06,6.950570e-06,7.098997e-06,8.033297e-06,8.183530e-06,8.973611e-06,9.425060e-06,9.913108e-06,1.066006e-05,1.084578e-05,1.176643e-05,1.187588e-05,1.267060e-05,1.306224e-05,1.355461e-05,1.421110e-05,1.441545e-05,1.525077e-05,1.531643e-05,1.605876e-05,1.637400e-05,1.683814e-05,1.738106e-05,1.758802e-05,1.830791e-05,1.833608e-05,1.899761e-05,1.923851e-05,1.965715e-05,2.008854e-05,2.028679e-05,2.088694e-05,2.145814e-05,2.163490e-05,2.200100e-05,2.233390e-05,2.251625e-05,2.298561e-05,2.300464e-05,2.346698e-05,2.359187e-05,2.390407e-05,2.415456e-05,2.431677e-05,2.467562e-05,2.470591e-05,2.507233e-05,2.515698e-05,2.541687e-05,2.560057e-05,2.574036e-05,2.600827e-05,2.604362e-05,2.632744e-05,2.638194e-05,2.659260e-05,2.672337e-05,2.683987e-05,2.703428e-05,2.706998e-05,2.728365e-05,2.731636e-05,2.748159e-05,2.757121e-05,2.766447e-05,2.780037e-05,2.783294e-05,2.798765e-05,2.800532e-05,2.812919e-05,2.818746e-05,2.825817e-05,2.834814e-05,2.837515e-05,2.848069e-05,2.848865e-05,2.857530e-05,2.861021e-05,2.865951e-05,2.871396e-05,2.873379e-05,2.879862e-05,2.880103e-05,2.885446e-05,2.887244e-05,2.890173e-05,2.892919e-05,2.894085e-05,2.897223e-05,2.899626e-05,2.900245e-05,2.901329e-05,2.902068e-05,2.902368e-05,2.902773e-05,2.902778e-05,2.902591e-05,2.902436e-05,2.901838e-05,2.901127e-05,2.900548e-05,2.898914e-05,2.898752e-05,2.896476e-05,2.895861e-05,2.893745e-05,2.892028e-05,2.890587e-05,2.887472e-05,2.887024e-05,2.883079e-05,2.882246e-05,2.878775e-05,2.876402e-05,2.874133e-05,2.869986e-05,2.869172e-05,2.863912e-05,2.863044e-05,2.858372e-05,2.855618e-05,2.852569e-05,2.847748e-05,2.846519e-05,2.840239e-05,2.839471e-05,2.833744e-05,2.830822e-05,2.827049e-05,2.821835e-05,2.820168e-05,2.813113e-05,2.812542e-05,2.805898e-05,2.802970e-05,2.798535e-05,2.793149e-05,2.791036e-05,2.783410e-05,2.783103e-05,2.775670e-05,2.772857e-05,2.767824e-05,2.762434e-05,2.759883e-05,2.751855e-05,2.741141e-05,2.730310e-05,2.719379e-05,2.708366e-05,2.697286e-05,2.686152e-05,2.674979e-05,2.663779e-05,2.652563e-05,2.641344e-05,2.630130e-05,2.618932e-05,2.607758e-05,2.596616e-05,2.585514e-05,2.574460e-05,2.563459e-05,2.552518e-05,2.541641e-05,2.530835e-05,2.520104e-05,2.509452e-05,2.498884e-05,2.488402e-05
0.000000e+00,3.761472e-09,8.592554e-09,2.946490e-08,6.689117e-08,9.745961e-08,2.201187e-07,2.266916e-07,4.351496e-07,5.101025e-07,7.403185e-07,9.770437e-07,1.159499e-06,1.660480e-06,1.709703e-06,2.406572e-06,2.597070e-06,3.261710e-06,3.811589e-06,4.279079e-06,5.304449e-06,5.453257e-06,6.771599e-06,7.051188e-06,8.218225e-06,9.015740e-06,9.776850e-06,1.116118e-05,1.143182e-05,1.316821e-05,1.345263e-05,1.497168e-05,1.585709e-05,1.682837e-05,1.834302e-05,1.872488e-05,2.064837e-05,2.088042e-05,2.258667e-05,2.344124e-05,2.452837e-05,2.599983e-05,2.646296e-05,2.838089e-05,2.853334e-05,3.027362e-05,3.102194e-05,3.213364e-05,3.344893e-05,3.395447e-05,3.573061e-05,3.580066e-05,3.745748e-05,3.806636e-05,3.913139e-05,4.023787e-05,4.074941e-05,4.230934e-05,4.380964e-05,4.427696e-05,4.524930e-05,4.613860e-05,4.662780e-05,4.789356e-05,4.794507e-05,4.920138e-05,4.954229e-05,5.039729e-05,5.108618e-05,5.153364e-05,5.252737e-05,5.261147e-05,5.363198e-05,5.386852e-05,5.459652e-05,5.511275e-05,5.550654e-05,5.626347e-05,5.636357e-05,5.716921e-05,5.732431e-05,5.792509e-05,5.829903e-05,5.863287e-05,5.919146e-05,5.929423e-05,5.991085e-05,6.000546e-05,6.048439e-05,6.074487e-05,6.101651e-05,6.141348e-05,6.150884e-05,6.196299e-05,6.201500e-05,6.238055e-05,6.255308e-05,6.276305e-05,6.303123e-05,6.311200e-05,6.342889e-05,6.345289e-05,6.371513e-05,6.382136e-05,6.397213e-05,6.413982e-05,6.420123e-05,6.440375e-05,6.441132e-05,6.458096e-05,6.463880e-05,6.473409e-05,6.482506e-05,6.486431e-05,6.497279e-05,6.506062e-05,6.508454e-05,6.512888e-05,6.516277e-05,6.517859e-05,6.520977e-05,6.521074e-05,6.522628e-05,6.522778e-05,6.522613e-05,6.521888e-05,6.521118e-05,6.518507e-05,6.518227e-05,6.514020e-05,6.512824e-05,6.508577e-05,6.505016e-05,6.501972e-05,6.495254e-05,6.494276e-05,6.485558e-05,6.483698e-05,6.475884e-05,6.470497e-05,6.465318e-05,6.455796e-05,6.453919e-05,6.441744e-05,6.439728e-05,6.428850e-05,6.422420e-05,6.415288e-05,6.403991e-05,6.401108e-05,6.386360e-05,6.384554e-05,6.371087e-05,6.364213e-05,6.355335e-05,6.343068e-05,6.339144e-05,6.322554e-05,6.321211e-05,6.305603e-05,6.298729e-05,6.288326e-05,6.275704e-05,6.270757e-05,6.252929e-05,6.252211e-05,6.234873e-05,6.228323e-05,6.216618e-05,6.204104e-05,6.198190e-05,6.179617e-05,6.154920e-05,6.130065e-05,6.105103e-05,6.080080e-05,6.055038e-05,6.030016e-05,6.005052e-05,5.980178e-05,5.955425e-05,5.930821e-05,5.906393e-05,5.882164e-05,5.858155e-05,5.834385e-05,5.810873e-05,5.787635e-05,5.764683e-05,5.742032e-05,5.719691e-05,5.697672e-05,5.675982e-05,5.654628e-05,5.633618e-05,5.612956e-05
0.000000e+00,6.753321e-09,1.543962e-08,5.303648e-08,1.206015e-07,1.758784e-07,3.982301e-07,4.101648e-07,7.894480e-07,9.261344e-07,1.346803e-06,1.780512e-06,2.115496e-06,3.038150e-06,3.129021e-06,4.419649e-06,4.773826e-06,6.014339e-06,7.046465e-06,7.928116e-06,9.874714e-06,1.015859e-05,1.268673e-05,1.322562e-05,1.548356e-05,1.703346e-05,1.851706e-05,2.122511e-05,2.175588e-05,2.517053e-05,2.573132e-05,2.873321e-05,3.048806e-05,3.241748e-05,3.543544e-05,3.619810e-05,4.005098e-05,4.051708e-05,4.395321e-05,4.568022e-05,4.788326e-05,5.087631e-05,5.182109e-05,5.574830e-05,5.606151e-05,5.964823e-05,6.119715e-05,6.350594e-05,6.624992e-05,6.730832e-05,7.104394e-05,7.119183e-05,7.470304e-05,7.599996e-05,7.827742e-05,8.065610e-05,8.176032e-05,8.514629e-05,8.843110e-05,8.946032e-05,9.161154e-05,9.359118e-05,9.468538e-05,9.753465e-05,9.765120e-05,1.005083e-04,1.012888e-04,1.032566e-04,1.048535e-04,1.058965e-04,1.082303e-04,1.084290e-04,1.108553e-04,1.114220e-04,1.131769e-04,1.144321e-04,1.153959e-04,1.172651e-04,1.175140e-04,1.195337e-04,1.199261e-04,1.214573e-04,1.224203e-04,1.232871e-04,1.247537e-04,1.250258e-04,1.266760e-04,1.269319e-04,1.282401e-04,1.289611e-04,1.297209e-04,1.308473e-04,1.311210e-04,1.324430e-04,1.325965e-04,1.336895e-04,1.342147e-04,1.348631e-04,1.357079e-04,1.359664e-04,1.370018e-04,1.370817e-04,1.379718e-04,1.383420e-04,1.388788e-04,1.394942e-04,1.397252e-04,1.405133e-04,1.405436e-04,1.412453e-04,1.414956e-04,1.419235e-04,1.423550e-04,1.425500e-04,1.431269e-04,1.436563e-04,1.438159e-04,1.441400e-04,1.444266e-04,1.445801e-04,1.449632e-04,1.449784e-04,1.453366e-04,1.454300e-04,1.456566e-04,1.458310e-04,1.459401e-04,1.461701e-04,1.461887e-04,1.464039e-04,1.464508e-04,1.465874e-04,1.466769e-04,1.467406e-04,1.468515e-04,1.468650e-04,1.469618e-04,1.469780e-04,1.470326e-04,1.470595e-04,1.470786e-04,1.470989e-04,1.471009e-04,1.471009e-04,1.470989e-04,1.470797e-04,1.470623e-04,1.470384e-04,1.469916e-04,1.469781e-04,1.468998e-04,1.468892e-04,1.468045e-04,1.467574e-04,1.466932e-04,1.465984e-04,1.465668e-04,1.464261e-04,1.464143e-04,1.462722e-04,1.462070e-04,1.461056e-04,1.459784e-04,1.459274e-04,1.457381e-04,1.457303e-04,1.455386e-04,1.454644e-04,1.453295e-04,1.451821e-04,1.451114e-04,1.448851e-04,1.445748e-04,1.442524e-04,1.439192e-04,1.435765e-04,1.432254e-04,1.428668e-04,1.425018e-04,1.421314e-04,1.417563e-04,1.413775e-04,1.409957e-04,1.406115e-04,1.402258e-04,1.398390e-04,1.394518e-04,1.390648e-04,1.386784e-04,1.382931e-04,1.379094e-04,1.375276e-04,1.371481e-04,1.367713e-04,1.363975e-04,1.360270e-04
0.000000e+00,7.541421e-10,1.720102e-09,5.879521e-09,1.330785e-08,1.935706e-08,4.352655e-08,4.481808e-08,8.563967e-08,1.002629e-07,1.450366e-07,1.908889e-07,2.261179e-07,3.224076e-07,3.318353e-07,4.646838e-07,5.007945e-07,6.260760e-07,7.288939e-07,8.157361e-07,1.004549e-06,1.031780e-06,1.271452e-06,1.321960e-06,1.531789e-06,1.674369e-06,1.809907e-06,2.055232e-06,2.103028e-06,2.408452e-06,2.458284e-06,2.723538e-06,2.877451e-06,3.045707e-06,3.306862e-06,3.372465e-06,3.701439e-06,3.740957e-06,4.030408e-06,4.174620e-06,4.357333e-06,4.603293e-06,4.680381e-06,4.997934e-06,5.023058e-06,5.308600e-06,5.430668e-06,5.611206e-06,5.823545e-06,5.904792e-06,6.188597e-06,6.199737e-06,6.462044e-06,6.557865e-06,6.724720e-06,6.897047e-06,6.976360e-06,7.216824e-06,7.446082e-06,7.517086e-06,7.664197e-06,7.798003e-06,7.871307e-06,8.059963e-06,8.067611e-06,8.253360e-06,8.303517e-06,8.428842e-06,8.529333e-06,8.594372e-06,8.738160e-06,8.750288e-06,8.896939e-06,8.930797e-06,9.034686e-06,9.108070e-06,9.163892e-06,9.270818e-06,9.284922e-06,9.398134e-06,9.419870e-06,9.503883e-06,9.556038e-06,9.602515e-06,9.680112e-06,9.694366e-06,9.779767e-06,9.792854e-06,9.859033e-06,9.894992e-06,9.932470e-06,9.987220e-06,1.000037e-05,1.006302e-05,1.007019e-05,1.012067e-05,1.014453e-05,1.017360e-05,1.021081e-05,1.022204e-05,1.026624e-05,1.026959e-05,1.030640e-05,1.032139e-05,1.034276e-05,1.036669e-05,1.037551e-05,1.040484e-05,1.040594e-05,1.043093e-05,1.043957e-05,1.045397e-05,1.046798e-05,1.047412e-05,1.049153e-05,1.050636e-05,1.051059e-05,1.051875e-05,1.052546e-05,1.052883e-05,1.053646e-05,1.053673e-05,1.054258e-05,1.054387e-05,1.054649e-05,1.054794e-05,1.054856e-05,1.054894e-05,1.054891e-05,1.054763e-05,1.054709e-05,1.054481e-05,1.054260e-05,1.054055e-05,1.053568e-05,1.053493e-05,1.052803e-05,1.052651e-05,1.051993e-05,1.051526e-05,1.051069e-05,1.050211e-05,1.050040e-05,1.048910e-05,1.048720e-05,1.047687e-05,1.047068e-05,1.046376e-05,1.045267e-05,1.044982e-05,1.043512e-05,1.043331e-05,1.041970e-05,1.041270e-05,1.040361e-05,1.039096e-05,1.038689e-05,1.036959e-05,1.036819e-05,1.035175e-05,1.034447e-05,1.033341e-05,1.031991e-05,1.031459e-05,1.029535e-05,1.029457e-05,1.027571e-05,1.026854e-05,1.025570e-05,1.024190e-05,1.023535e-05,1.021469e-05,1.018700e-05,1.015887e-05,1.013036e-05,1.010152e-05,1.007240e-05,1.004305e-05,1.001350e-05,9.983789e-06,9.953959e-06,9.924040e-06,9.894065e-06,9.864063e-06,9.834059e-06,9.804079e-06,9.774148e-06,9.744285e-06,9.714512e-06,9.684847e-06,9.655308e-06,9.625910e-06,9.596669e-06,9.567598e-06,9.538710e-06,9.510016e-06
0.000000e+00,3.952078e-09,9.004849e-09,3.071950e-08,6.943242e-08,1.009357e-07,2.268439e-07,2.335778e-07,4.469215e-07,5.236155e-07,7.593288e-07,1.001821e-06,1.188474e-06,1.696857e-06,1.746301e-06,2.433174e-06,2.616414e-06,3.241267e-06,3.743338e-06,4.161527e-06,5.057528e-06,5.185634e-06,6.305288e-06,6.539906e-06,7.511448e-06,8.169530e-06,8.794020e-06,9.922341e-06,1.014191e-05,1.154324e-05,1.177160e-05,1.298568e-05,1.368900e-05,1.445678e-05,1.564606e-05,1.594430e-05,1.743655e-05,1.761541e-05,1.892261e-05,1.957191e-05,2.039251e-05,2.149335e-05,2.183741e-05,2.324961e-05,2.336097e-05,2.462257e-05,2.515952e-05,2.595092e-05,2.687727e-05,2.723039e-05,2.845771e-05,2.850568e-05,2.963053e-05,3.003909e-05,3.074733e-05,3.147432e-05,3.180730e-05,3.281022e-05,3.375642e-05,3.404734e-05,3.464665e-05,3.518750e-05,3.548198e-05,3.623353e-05,3.626380e-05,3.699367e-05,3.718896e-05,3.767333e-05,3.805780e-05,3.830465e-05,3.884440e-05,3.888953e-05,3.942994e-05,3.955324e-05,3.992787e-05,4.018889e-05,4.038530e-05,4.075587e-05,4.080416e-05,4.118639e-05,4.125861e-05,4.153385e-05,4.170139e-05,4.184835e-05,4.208834e-05,4.213164e-05,4.238543e-05,4.242341e-05,4.261133e-05,4.271032e-05,4.281090e-05,4.295260e-05,4.298563e-05,4.313695e-05,4.315359e-05,4.326620e-05,4.331642e-05,4.337469e-05,4.344400e-05,4.346363e-05,4.353421e-05,4.353909e-05,4.358752e-05,4.360425e-05,4.362462e-05,4.364185e-05,4.364650e-05,4.365412e-05,4.365414e-05,4.364836e-05,4.364317e-05,4.363007e-05,4.361089e-05,4.360005e-05,4.355907e-05,4.350784e-05,4.348940e-05,4.344704e-05,4.340341e-05,4.337732e-05,4.330254e-05,4.329926e-05,4.321346e-05,4.318812e-05,4.312045e-05,4.306139e-05,4.302074e-05,4.292350e-05,4.291481e-05,4.280312e-05,4.277551e-05,4.268611e-05,4.261840e-05,4.256417e-05,4.245310e-05,4.243769e-05,4.230703e-05,4.228043e-05,4.217254e-05,4.210120e-05,4.203453e-05,4.191611e-05,4.189331e-05,4.174917e-05,4.172585e-05,4.160237e-05,4.153104e-05,4.145317e-05,4.133225e-05,4.130181e-05,4.114852e-05,4.113000e-05,4.099350e-05,4.092481e-05,4.083697e-05,4.071711e-05,4.067911e-05,4.052009e-05,4.050732e-05,4.036009e-05,4.029584e-05,4.019926e-05,4.008303e-05,4.003775e-05,3.987569e-05,3.986920e-05,3.971324e-05,3.965467e-05,3.955049e-05,3.943972e-05,3.938758e-05,3.922460e-05,3.900955e-05,3.879479e-05,3.858051e-05,3.836691e-05,3.815415e-05,3.794239e-05,3.773176e-05,3.752239e-05,3.731440e-05,3.710789e-05,3.690297e-05,3.669972e-05,3.649821e-05,3.629851e-05,3.610070e-05,3.590482e-05,3.571092e-05,3.551905e-05,3.532925e-05,3.514155e-05,3.495597e-05,3.477254e-05,3.459129e-05,3.441222e-05
0.000000e+00,5.430290e-09,1.234216e-08,4.191680e-08,9.447323e-08,1.372201e-07,3.086280e-07,3.178335e-07,6.120378e-07,7.190875e-07,1.052385e-06,1.401578e-06,1.674171e-06,2.429148e-06,2.503265e-06,3.536901e-06,3.812210e-06,4.743271e-06,5.479201e-06,6.082428e-06,7.343739e-06,7.520637e-06,9.032002e-06,9.341172e-06,1.059584e-05,1.142378e-05,1.219432e-05,1.355186e-05,1.381114e-05,1.543103e-05,1.568952e-05,1.703960e-05,1.780374e-05,1.862354e-05,1.986480e-05,2.017079e-05,2.167071e-05,2.184707e-05,2.311423e-05,2.372956e-05,2.449401e-05,2.549644e-05,2.580433e-05,2.704106e-05,2.713673e-05,2.820152e-05,2.864401e-05,2.928438e-05,3.001583e-05,3.028943e-05,3.121743e-05,3.125297e-05,3.206997e-05,3.235882e-05,3.284925e-05,3.333868e-05,3.355798e-05,3.419921e-05,3.477625e-05,3.494791e-05,3.529255e-05,3.559274e-05,3.575164e-05,3.614182e-05,3.615705e-05,3.651224e-05,3.660317e-05,3.682063e-05,3.698456e-05,3.708549e-05,3.729342e-05,3.730996e-05,3.749704e-05,3.753669e-05,3.764957e-05,3.772089e-05,3.777021e-05,3.785201e-05,3.786149e-05,3.792577e-05,3.793558e-05,3.796523e-05,3.797663e-05,3.798193e-05,3.797976e-05,3.797777e-05,3.795452e-05,3.794914e-05,3.791383e-05,3.788855e-05,3.785722e-05,3.780141e-05,3.778609e-05,3.770174e-05,3.769079e-05,3.760539e-05,3.755948e-05,3.749814e-05,3.740997e-05,3.738101e-05,3.725496e-05,3.724452e-05,3.712087e-05,3.706516e-05,3.697953e-05,3.687371e-05,3.683170e-05,3.667806e-05,3.667180e-05,3.651925e-05,3.646092e-05,3.635584e-05,3.624238e-05,3.618839e-05,3.601738e-05,3.584328e-05,3.578698e-05,3.566650e-05,3.555214e-05,3.548744e-05,3.531373e-05,3.530645e-05,3.512388e-05,3.507251e-05,3.494001e-05,3.482918e-05,3.475513e-05,3.458437e-05,3.456950e-05,3.438335e-05,3.433863e-05,3.419691e-05,3.409246e-05,3.401038e-05,3.384630e-05,3.382394e-05,3.363776e-05,3.360057e-05,3.345199e-05,3.335561e-05,3.326679e-05,3.311174e-05,3.308227e-05,3.289856e-05,3.286925e-05,3.271578e-05,3.262840e-05,3.253401e-05,3.238939e-05,3.235335e-05,3.217389e-05,3.215243e-05,3.199569e-05,3.191770e-05,3.181883e-05,3.168535e-05,3.164337e-05,3.146936e-05,3.145550e-05,3.129685e-05,3.122828e-05,3.112590e-05,3.100379e-05,3.095653e-05,3.078879e-05,3.078212e-05,3.062271e-05,3.056333e-05,3.045830e-05,3.034748e-05,3.029561e-05,3.013464e-05,2.992483e-05,2.971810e-05,2.951446e-05,2.931394e-05,2.911653e-05,2.892226e-05,2.873112e-05,2.854309e-05,2.835818e-05,2.817636e-05,2.799763e-05,2.782196e-05,2.764932e-05,2.747970e-05,2.731306e-05,2.714937e-05,2.698861e-05,2.683073e-05,2.667571e-05,2.652350e-05,2.637408e-05,2.622740e-05,2.608343e-05,2.594212e-05
0.000000e+00,1.997738e-08,4.587810e-08,1.607094e-07,3.780183e-07,5.659866e-07,1.409951e-06,1.459069e-06,3.205565e-06,3.916095e-06,6.327768e-06,9.087645e-06,1.134010e-05,1.772073e-05,1.834635e-05,2.690080e-05,2.911646e-05,3.641936e-05,4.200803e-05,4.648651e-05,5.560374e-05,5.685929e-05,6.739484e-05,6.951272e-05,7.799940e-05,8.351700e-05,8.860213e-05,9.746327e-05,9.914353e-05,1.095707e-04,1.112252e-04,1.198365e-04,1.246943e-04,1.298994e-04,1.377795e-04,1.397238e-04,1.492798e-04,1.504073e-04,1.585434e-04,1.625217e-04,1.674957e-04,1.740828e-04,1.761231e-04,1.844162e-04,1.850650e-04,1.923693e-04,1.954547e-04,1.999801e-04,2.052481e-04,2.072490e-04,2.141784e-04,2.144486e-04,2.207728e-04,2.230657e-04,2.270376e-04,2.311129e-04,2.329797e-04,2.386067e-04,2.439268e-04,2.455658e-04,2.489486e-04,2.520101e-04,2.536810e-04,2.579604e-04,2.581332e-04,2.623143e-04,2.634377e-04,2.662336e-04,2.684634e-04,2.699003e-04,2.730583e-04,2.733234e-04,2.765119e-04,2.772432e-04,2.794747e-04,2.810386e-04,2.822205e-04,2.844640e-04,2.847577e-04,2.870947e-04,2.875388e-04,2.892396e-04,2.902816e-04,2.912001e-04,2.927102e-04,2.929841e-04,2.945990e-04,2.948421e-04,2.960519e-04,2.966939e-04,2.973500e-04,2.982815e-04,2.985000e-04,2.995085e-04,2.996203e-04,3.003819e-04,3.007249e-04,3.011263e-04,3.016095e-04,3.017477e-04,3.022519e-04,3.022873e-04,3.026444e-04,3.027713e-04,3.029305e-04,3.030736e-04,3.031155e-04,3.032043e-04,3.032059e-04,3.032017e-04,3.031792e-04,3.031123e-04,3.030042e-04,3.029406e-04,3.026908e-04,3.023672e-04,3.022486e-04,3.019736e-04,3.016867e-04,3.015138e-04,3.010136e-04,3.009915e-04,3.004103e-04,3.002374e-04,2.997734e-04,2.993659e-04,2.990842e-04,2.984065e-04,2.983457e-04,2.975609e-04,2.973660e-04,2.967327e-04,2.962510e-04,2.958638e-04,2.950676e-04,2.949569e-04,2.940144e-04,2.938218e-04,2.930388e-04,2.925191e-04,2.920323e-04,2.911647e-04,2.909972e-04,2.899357e-04,2.897635e-04,2.888496e-04,2.883201e-04,2.877409e-04,2.868390e-04,2.866115e-04,2.854632e-04,2.853242e-04,2.842975e-04,2.837796e-04,2.831162e-04,2.822088e-04,2.819207e-04,2.807125e-04,2.806154e-04,2.794931e-04,2.790024e-04,2.782636e-04,2.773729e-04,2.770254e-04,2.757798e-04,2.757298e-04,2.745277e-04,2.740756e-04,2.732704e-04,2.724129e-04,2.720088e-04,2.707439e-04,2.690709e-04,2.673958e-04,2.657205e-04,2.640467e-04,2.623762e-04,2.607104e-04,2.590506e-04,2.573983e-04,2.557546e-04,2.541206e-04,2.524973e-04,2.508857e-04,2.492866e-04,2.477009e-04,2.461291e-04,2.445720e-04,2.430302e-04,2.415041e-04,2.399943e-04,2.385012e-04,2.370252e-04,2.355666e-04,2.341256e-04,2.327026e-04
0.000000e+00,9.377639e-09,2.142746e-08,7.366255e-08,1.681766e-07,2.462379e-07,5.675445e-07,5.851291e-07,1.161783e-06,1.377763e-06,2.066486e-06,2.806861e-06,3.392396e-06,5.023518e-06,5.183523e-06,7.406593e-06,7.996971e-06,9.995220e-06,1.158251e-05,1.289225e-05,1.566373e-05,1.605644e-05,1.945634e-05,2.016216e-05,2.306438e-05,2.501389e-05,2.685359e-05,3.015615e-05,3.079606e-05,3.486261e-05,3.552276e-05,3.902308e-05,4.104449e-05,4.324693e-05,4.665130e-05,4.750393e-05,5.176480e-05,5.227504e-05,5.600198e-05,5.785219e-05,6.019003e-05,6.332588e-05,6.430601e-05,6.832973e-05,6.864710e-05,7.224380e-05,7.377536e-05,7.603363e-05,7.867860e-05,7.968734e-05,8.319559e-05,8.333279e-05,8.655133e-05,8.772106e-05,8.974963e-05,9.183290e-05,9.278742e-05,9.566336e-05,9.837746e-05,9.921195e-05,1.009309e-04,1.024817e-04,1.033258e-04,1.054782e-04,1.055649e-04,1.076515e-04,1.082090e-04,1.095897e-04,1.106831e-04,1.113837e-04,1.129111e-04,1.130385e-04,1.145590e-04,1.149044e-04,1.159502e-04,1.166747e-04,1.172173e-04,1.182341e-04,1.183658e-04,1.194008e-04,1.195947e-04,1.203283e-04,1.207700e-04,1.211539e-04,1.217722e-04,1.218825e-04,1.225188e-04,1.226124e-04,1.230676e-04,1.233013e-04,1.235334e-04,1.238492e-04,1.239206e-04,1.242334e-04,1.242661e-04,1.244759e-04,1.245613e-04,1.246520e-04,1.247439e-04,1.247656e-04,1.248203e-04,1.248222e-04,1.248196e-04,1.248046e-04,1.247668e-04,1.246984e-04,1.246652e-04,1.245178e-04,1.245109e-04,1.243275e-04,1.242490e-04,1.240971e-04,1.239189e-04,1.238293e-04,1.235267e-04,1.231916e-04,1.230780e-04,1.228265e-04,1.225780e-04,1.224334e-04,1.220318e-04,1.220145e-04,1.215718e-04,1.214438e-04,1.211071e-04,1.208185e-04,1.206223e-04,1.201599e-04,1.201190e-04,1.195988e-04,1.194717e-04,1.190634e-04,1.187574e-04,1.185140e-04,1.180202e-04,1.179522e-04,1.173791e-04,1.172632e-04,1.167960e-04,1.164893e-04,1.162041e-04,1.157009e-04,1.156044e-04,1.149981e-04,1.149005e-04,1.143859e-04,1.140903e-04,1.137690e-04,1.132725e-04,1.131480e-04,1.125239e-04,1.124488e-04,1.118973e-04,1.116211e-04,1.112691e-04,1.107909e-04,1.106398e-04,1.100102e-04,1.099598e-04,1.093807e-04,1.091290e-04,1.087519e-04,1.082999e-04,1.081243e-04,1.074985e-04,1.074735e-04,1.068748e-04,1.066509e-04,1.062537e-04,1.058330e-04,1.056356e-04,1.050207e-04,1.042148e-04,1.034158e-04,1.026245e-04,1.018414e-04,1.010670e-04,1.003017e-04,9.954597e-05,9.880005e-05,9.806425e-05,9.733884e-05,9.662401e-05,9.591994e-05,9.522678e-05,9.454462e-05,9.387354e-05,9.321362e-05,9.256487e-05,9.192730e-05,9.130092e-05,9.068568e-05,9.008154e-05,8.948845e-05,8.890634e-05,8.833512e-05
0.000000e+00,1.155691e-09,2.628427e-09,8.930727e-09,2.010415e-08,2.915569e-08,6.506419e-08,6.697441e-08,1.270513e-07,1.484624e-07,2.137662e-07,2.803443e-07,3.313426e-07,4.702321e-07,4.837988e-07,6.745100e-07,7.262165e-07,9.051808e-07,1.051498e-06,1.174598e-06,1.440316e-06,1.478386e-06,1.810295e-06,1.879472e-06,2.163833e-06,2.354238e-06,2.533122e-06,2.851737e-06,2.913049e-06,3.299145e-06,3.361222e-06,3.687445e-06,3.873556e-06,4.074405e-06,4.380871e-06,4.456864e-06,4.832036e-06,4.876449e-06,5.197515e-06,5.354718e-06,5.551270e-06,5.811254e-06,5.891650e-06,6.217362e-06,6.242755e-06,6.527456e-06,6.646967e-06,6.821291e-06,7.022574e-06,7.098509e-06,7.358994e-06,7.369066e-06,7.602835e-06,7.686588e-06,7.830288e-06,7.975796e-06,8.041755e-06,8.237738e-06,8.418822e-06,8.473727e-06,8.585654e-06,8.685260e-06,8.738915e-06,8.873935e-06,8.879313e-06,9.007558e-06,9.041386e-06,9.124363e-06,9.189245e-06,9.230425e-06,9.319102e-06,9.326427e-06,9.413030e-06,9.432486e-06,9.490862e-06,9.530842e-06,9.560525e-06,9.615523e-06,9.622587e-06,9.677588e-06,9.687787e-06,9.726036e-06,9.748799e-06,9.768407e-06,9.799629e-06,9.805146e-06,9.836669e-06,9.841255e-06,9.863365e-06,9.874573e-06,9.885597e-06,9.900397e-06,9.903703e-06,9.917996e-06,9.919469e-06,9.928768e-06,9.932462e-06,9.936289e-06,9.939987e-06,9.940812e-06,9.942570e-06,9.942597e-06,9.941778e-06,9.940794e-06,9.938639e-06,9.935030e-06,9.933338e-06,9.926049e-06,9.925718e-06,9.916931e-06,9.913230e-06,9.906134e-06,9.897903e-06,9.893795e-06,9.880042e-06,9.864996e-06,9.859926e-06,9.848765e-06,9.837804e-06,9.831453e-06,9.813904e-06,9.813155e-06,9.793959e-06,9.788435e-06,9.773948e-06,9.761582e-06,9.753199e-06,9.733518e-06,9.731782e-06,9.709763e-06,9.704396e-06,9.687205e-06,9.674358e-06,9.664165e-06,9.643532e-06,9.640695e-06,9.616845e-06,9.612034e-06,9.592663e-06,9.579970e-06,9.568190e-06,9.547437e-06,9.543466e-06,9.518530e-06,9.514523e-06,9.493416e-06,9.481307e-06,9.468155e-06,9.447862e-06,9.442779e-06,9.417316e-06,9.414255e-06,9.391791e-06,9.380546e-06,9.366228e-06,9.346790e-06,9.340651e-06,9.315081e-06,9.313036e-06,9.289537e-06,9.279331e-06,9.264038e-06,9.245715e-06,9.238600e-06,9.213239e-06,9.212226e-06,9.187970e-06,9.178899e-06,9.162807e-06,9.145763e-06,9.137762e-06,9.112847e-06,9.080175e-06,9.047771e-06,9.015654e-06,8.983844e-06,8.952355e-06,8.921204e-06,8.890402e-06,8.859962e-06,8.829893e-06,8.800204e-06,8.770903e-06,8.741997e-06,8.713489e-06,8.685386e-06,8.657691e-06,8.630407e-06,8.603536e-06,8.577079e-06,8.551037e-06,8.525411e-06,8.500201e-06,8.475405e-06,8.451023e-06,8.427053e-06
0.000000e+00,5.335593e-09,1.202985e-08,4.014977e-08,8.894597e-08,1.278846e-07,2.793154e-07,2.872725e-07,5.342688e-07,6.211438e-07,8.835588e-07,1.148035e-06,1.348880e-06,1.888329e-06,1.940383e-06,2.657794e-06,2.847219e-06,3.484875e-06,3.985856e-06,4.394201e-06,5.239890e-06,5.357507e-06,6.351214e-06,6.551888e-06,7.356640e-06,7.878959e-06,8.358635e-06,9.188273e-06,9.344444e-06,1.030311e-05,1.045333e-05,1.122526e-05,1.165257e-05,1.210310e-05,1.276925e-05,1.293044e-05,1.370271e-05,1.379152e-05,1.441689e-05,1.471228e-05,1.507145e-05,1.552885e-05,1.566615e-05,1.620187e-05,1.624223e-05,1.668043e-05,1.685639e-05,1.710434e-05,1.737741e-05,1.747664e-05,1.780072e-05,1.781273e-05,1.808014e-05,1.817050e-05,1.831851e-05,1.845897e-05,1.851939e-05,1.868629e-05,1.882252e-05,1.886015e-05,1.893120e-05,1.898764e-05,1.901521e-05,1.907515e-05,1.907724e-05,1.911971e-05,1.912840e-05,1.914482e-05,1.915239e-05,1.915456e-05,1.915149e-05,1.915072e-05,1.913491e-05,1.912949e-05,1.910855e-05,1.908966e-05,1.907291e-05,1.903475e-05,1.902909e-05,1.897810e-05,1.896712e-05,1.892081e-05,1.888880e-05,1.885801e-05,1.880150e-05,1.879038e-05,1.871855e-05,1.870670e-05,1.864304e-05,1.860564e-05,1.856435e-05,1.849939e-05,1.848290e-05,1.839907e-05,1.838887e-05,1.831321e-05,1.827487e-05,1.822563e-05,1.815810e-05,1.813661e-05,1.804639e-05,1.803913e-05,1.795519e-05,1.791848e-05,1.786321e-05,1.779661e-05,1.777064e-05,1.767763e-05,1.767390e-05,1.758433e-05,1.755070e-05,1.749089e-05,1.742732e-05,1.739741e-05,1.730401e-05,1.721078e-05,1.718100e-05,1.711782e-05,1.705851e-05,1.702521e-05,1.693670e-05,1.693302e-05,1.684132e-05,1.681574e-05,1.675017e-05,1.669577e-05,1.665963e-05,1.657691e-05,1.656974e-05,1.648055e-05,1.645926e-05,1.639211e-05,1.634291e-05,1.630444e-05,1.622795e-05,1.621757e-05,1.613155e-05,1.611445e-05,1.604639e-05,1.600246e-05,1.596213e-05,1.589204e-05,1.587876e-05,1.579633e-05,1.578322e-05,1.571483e-05,1.567605e-05,1.563429e-05,1.557056e-05,1.555472e-05,1.547612e-05,1.546675e-05,1.539850e-05,1.536466e-05,1.532187e-05,1.526430e-05,1.524624e-05,1.517160e-05,1.516567e-05,1.509796e-05,1.506878e-05,1.502532e-05,1.497364e-05,1.495368e-05,1.488304e-05,1.488023e-05,1.481339e-05,1.478856e-05,1.474473e-05,1.469861e-05,1.467707e-05,1.461038e-05,1.452386e-05,1.443903e-05,1.435588e-05,1.427439e-05,1.419455e-05,1.411632e-05,1.403970e-05,1.396467e-05,1.389119e-05,1.381926e-05,1.374884e-05,1.367991e-05,1.361246e-05,1.354644e-05,1.348185e-05,1.341866e-05,1.335684e-05,1.329637e-05,1.323722e-05,1.317937e-05,1.312279e-05,1.306747e-05,1.301337e-05,1.296047e-05
0.000000e+00,2.866280e-08,6.565273e-08,2.276747e-07,5.270471e-07,7.798783e-07,1.867390e-06,1.928875e-06,4.035513e-06,4.860691e-06,7.571489e-06,1.054561e-05,1.289666e-05,1.931596e-05,1.993297e-05,2.828373e-05,3.043948e-05,3.757774e-05,4.309828e-05,4.756808e-05,5.680563e-05,5.809255e-05,6.903085e-05,7.125905e-05,8.028157e-05,8.622453e-05,9.175245e-05,1.014950e-04,1.033575e-04,1.150168e-04,1.168824e-04,1.266580e-04,1.322199e-04,1.382162e-04,1.473651e-04,1.496355e-04,1.608681e-04,1.622015e-04,1.718744e-04,1.766368e-04,1.826220e-04,1.906015e-04,1.930857e-04,2.032459e-04,2.040452e-04,2.130882e-04,2.169338e-04,2.226026e-04,2.292462e-04,2.317826e-04,2.406246e-04,2.409713e-04,2.491277e-04,2.521059e-04,2.572927e-04,2.626532e-04,2.651224e-04,2.726206e-04,2.797921e-04,2.820189e-04,2.866426e-04,2.908613e-04,2.931783e-04,2.991626e-04,2.994059e-04,3.053326e-04,3.069391e-04,3.109657e-04,3.142078e-04,3.163128e-04,3.209862e-04,3.213817e-04,3.261801e-04,3.272923e-04,3.307158e-04,3.331441e-04,3.349968e-04,3.385596e-04,3.390309e-04,3.428257e-04,3.435566e-04,3.463891e-04,3.481531e-04,3.497286e-04,3.523662e-04,3.528517e-04,3.557659e-04,3.562133e-04,3.584784e-04,3.597109e-04,3.609964e-04,3.628754e-04,3.633268e-04,3.654766e-04,3.657227e-04,3.674524e-04,3.682683e-04,3.692608e-04,3.705272e-04,3.709082e-04,3.724008e-04,3.725137e-04,3.737448e-04,3.742421e-04,3.749460e-04,3.757258e-04,3.760103e-04,3.769432e-04,3.769778e-04,3.777502e-04,3.780109e-04,3.784366e-04,3.788371e-04,3.790075e-04,3.794680e-04,3.798228e-04,3.799149e-04,3.800768e-04,3.801884e-04,3.802343e-04,3.802990e-04,3.802999e-04,3.802778e-04,3.802565e-04,3.801721e-04,3.800702e-04,3.799868e-04,3.797494e-04,3.797258e-04,3.793928e-04,3.793026e-04,3.789914e-04,3.787380e-04,3.785251e-04,3.780637e-04,3.779972e-04,3.774110e-04,3.772870e-04,3.767696e-04,3.764152e-04,3.760760e-04,3.754551e-04,3.753331e-04,3.745437e-04,3.744132e-04,3.737105e-04,3.732958e-04,3.728361e-04,3.721087e-04,3.719231e-04,3.709737e-04,3.708574e-04,3.699903e-04,3.695474e-04,3.689752e-04,3.681837e-04,3.679304e-04,3.668580e-04,3.667711e-04,3.657600e-04,3.653141e-04,3.646383e-04,3.638170e-04,3.634946e-04,3.623308e-04,3.622839e-04,3.611485e-04,3.607186e-04,3.599492e-04,3.591248e-04,3.587346e-04,3.575060e-04,3.558653e-04,3.542059e-04,3.525306e-04,3.508422e-04,3.491432e-04,3.474360e-04,3.457229e-04,3.440060e-04,3.422873e-04,3.405686e-04,3.388518e-04,3.371383e-04,3.354298e-04,3.337276e-04,3.320331e-04,3.303474e-04,3.286718e-04,3.270072e-04,3.253546e-04,3.237149e-04,3.220890e-04,3.204775e-04,3.188811e-04,3.173006e-04
0.000000e+00,3.353299e-07,7.580906e-07,2.544255e-06,5.664684e-06,8.166574e-06,1.795763e-05,1.847413e-05,3.457423e-05,4.026154e-05,5.749782e-05,7.494341e-05,8.823836e-05,1.241686e-04,1.276552e-04,1.761354e-04,1.890851e-04,2.331853e-04,2.684034e-04,2.974858e-04,3.587904e-04,3.674311e-04,4.415556e-04,4.567705e-04,5.186372e-04,5.595408e-04,5.976460e-04,6.648379e-04,6.776768e-04,7.579080e-04,7.707123e-04,8.375849e-04,8.754280e-04,9.160187e-04,9.774541e-04,9.925933e-04,1.066773e-03,1.075492e-03,1.138111e-03,1.168503e-03,1.206248e-03,1.255724e-03,1.270918e-03,1.331939e-03,1.336659e-03,1.389209e-03,1.411057e-03,1.442696e-03,1.478879e-03,1.492430e-03,1.538490e-03,1.540257e-03,1.580994e-03,1.595453e-03,1.620092e-03,1.644819e-03,1.655954e-03,1.688765e-03,1.718717e-03,1.727729e-03,1.746003e-03,1.762157e-03,1.770817e-03,1.792485e-03,1.793344e-03,1.813764e-03,1.819128e-03,1.832246e-03,1.842472e-03,1.848950e-03,1.862873e-03,1.864022e-03,1.877601e-03,1.880652e-03,1.889812e-03,1.896097e-03,1.900772e-03,1.909465e-03,1.910585e-03,1.919348e-03,1.920983e-03,1.927148e-03,1.930850e-03,1.934064e-03,1.939243e-03,1.940168e-03,1.945525e-03,1.946316e-03,1.950193e-03,1.952205e-03,1.954226e-03,1.957028e-03,1.957673e-03,1.960575e-03,1.960889e-03,1.962973e-03,1.963878e-03,1.964903e-03,1.966077e-03,1.966397e-03,1.967486e-03,1.967557e-03,1.968197e-03,1.968381e-03,1.968555e-03,1.968607e-03,1.968582e-03,1.968301e-03,1.968284e-03,1.967731e-03,1.967459e-03,1.966890e-03,1.966172e-03,1.965795e-03,1.964461e-03,1.962904e-03,1.962360e-03,1.961136e-03,1.959900e-03,1.959170e-03,1.957108e-03,1.957019e-03,1.954693e-03,1.954012e-03,1.952203e-03,1.950635e-03,1.949559e-03,1.946999e-03,1.946770e-03,1.943845e-03,1.943124e-03,1.940792e-03,1.939030e-03,1.937620e-03,1.934734e-03,1.934334e-03,1.930943e-03,1.930253e-03,1.927453e-03,1.925601e-03,1.923870e-03,1.920794e-03,1.920201e-03,1.916451e-03,1.915844e-03,1.912625e-03,1.910764e-03,1.908729e-03,1.905565e-03,1.904768e-03,1.900746e-03,1.900260e-03,1.896668e-03,1.894857e-03,1.892537e-03,1.889366e-03,1.888359e-03,1.884136e-03,1.883797e-03,1.879874e-03,1.878158e-03,1.875574e-03,1.872457e-03,1.871240e-03,1.866876e-03,1.866701e-03,1.862485e-03,1.860898e-03,1.858069e-03,1.855054e-03,1.853631e-03,1.849175e-03,1.843267e-03,1.837336e-03,1.831387e-03,1.825425e-03,1.819454e-03,1.813479e-03,1.807504e-03,1.801532e-03,1.795567e-03,1.789612e-03,1.783671e-03,1.777747e-03,1.771842e-03,1.765958e-03,1.760099e-03,1.754266e-03,1.748462e-03,1.742689e-03,1.736948e-03,1.731241e-03,1.725570e-03,1.719936e-03,1.714341e-03,1.708785e-03
0.000000e+00,1.191969e-06,2.719592e-06,9.303546e-06,2.107963e-05,3.068366e-05,6.916946e-05,7.123080e-05,1.366174e-04,1.601454e-04,2.325051e-04,3.070785e-04,3.646750e-04,5.233133e-04,5.389342e-04,7.605562e-04,8.212408e-04,1.033020e-03,1.208007e-03,1.356400e-03,1.680034e-03,1.726748e-03,2.137336e-03,2.223618e-03,2.580662e-03,2.821771e-03,3.049727e-03,3.459123e-03,3.538400e-03,4.041333e-03,4.122801e-03,4.553784e-03,4.801876e-03,5.071497e-03,5.486856e-03,5.590622e-03,6.107696e-03,6.169456e-03,6.619625e-03,6.842531e-03,7.123694e-03,7.500073e-03,7.617558e-03,8.099239e-03,8.137196e-03,8.567096e-03,8.750063e-03,9.019813e-03,9.335814e-03,9.456376e-03,9.876042e-03,9.892469e-03,1.027830e-02,1.041879e-02,1.066286e-02,1.091418e-02,1.102960e-02,1.137855e-02,1.170988e-02,1.181222e-02,1.202384e-02,1.221582e-02,1.232078e-02,1.259022e-02,1.260112e-02,1.286531e-02,1.293646e-02,1.311386e-02,1.325570e-02,1.334730e-02,1.354917e-02,1.356616e-02,1.377099e-02,1.381813e-02,1.396237e-02,1.406387e-02,1.414084e-02,1.428765e-02,1.430695e-02,1.446125e-02,1.449074e-02,1.460426e-02,1.467435e-02,1.473651e-02,1.483965e-02,1.485850e-02,1.497072e-02,1.498780e-02,1.507364e-02,1.511987e-02,1.516772e-02,1.523691e-02,1.525340e-02,1.533110e-02,1.533990e-02,1.540123e-02,1.542979e-02,1.546418e-02,1.550745e-02,1.552032e-02,1.557003e-02,1.557373e-02,1.561363e-02,1.562943e-02,1.565146e-02,1.567529e-02,1.568383e-02,1.571104e-02,1.571202e-02,1.573338e-02,1.574029e-02,1.575113e-02,1.576070e-02,1.576454e-02,1.577387e-02,1.577934e-02,1.578032e-02,1.578120e-02,1.578058e-02,1.577964e-02,1.577514e-02,1.577489e-02,1.576713e-02,1.576444e-02,1.575655e-02,1.574892e-02,1.574333e-02,1.572897e-02,1.572763e-02,1.570962e-02,1.570497e-02,1.568944e-02,1.567725e-02,1.566725e-02,1.564616e-02,1.564317e-02,1.561735e-02,1.561199e-02,1.558990e-02,1.557502e-02,1.556094e-02,1.553553e-02,1.553059e-02,1.549894e-02,1.549376e-02,1.546610e-02,1.544995e-02,1.543217e-02,1.540430e-02,1.539723e-02,1.536138e-02,1.535702e-02,1.532468e-02,1.530829e-02,1.528723e-02,1.525829e-02,1.524908e-02,1.521032e-02,1.520719e-02,1.517100e-02,1.515513e-02,1.513118e-02,1.510224e-02,1.509093e-02,1.505031e-02,1.504867e-02,1.500935e-02,1.499454e-02,1.496812e-02,1.493994e-02,1.492665e-02,1.488499e-02,1.482979e-02,1.477441e-02,1.471895e-02,1.466348e-02,1.460806e-02,1.455277e-02,1.449766e-02,1.444278e-02,1.438819e-02,1.433392e-02,1.428003e-02,1.422654e-02,1.417350e-02,1.412093e-02,1.406887e-02,1.401733e-02,1.396634e-02,1.391592e-02,1.386608e-02,1.381686e-02,1.376824e-02,1.372026e-02,1.367292e-02,1.362623e-02
0.000000e+00,4.241275e-09,9.709585e-09,3.347779e-08,7.650135e-08,1.119554e-07,2.566225e-07,2.644749e-07,5.182910e-07,6.116833e-07,9.049955e-07,1.216004e-06,1.461660e-06,2.159562e-06,2.229786e-06,3.249435e-06,3.534994e-06,4.546890e-06,5.395992e-06,6.122131e-06,7.717987e-06,7.949331e-06,9.990728e-06,1.042139e-05,1.220971e-05,1.342341e-05,1.457586e-05,1.665906e-05,1.706463e-05,1.965560e-05,2.007843e-05,2.233096e-05,2.364029e-05,2.507446e-05,2.730810e-05,2.787093e-05,3.070602e-05,3.104818e-05,3.356618e-05,3.482928e-05,3.643869e-05,3.862277e-05,3.931176e-05,4.217456e-05,4.240284e-05,4.501731e-05,4.614681e-05,4.783127e-05,4.983513e-05,5.060873e-05,5.334300e-05,5.345138e-05,5.602830e-05,5.698207e-05,5.865981e-05,6.041644e-05,6.123353e-05,6.374623e-05,6.619535e-05,6.696529e-05,6.857886e-05,7.006915e-05,7.089524e-05,7.305479e-05,7.314340e-05,7.532264e-05,7.592043e-05,7.743263e-05,7.866537e-05,7.947336e-05,8.128988e-05,8.144508e-05,8.334825e-05,8.379488e-05,8.518350e-05,8.618188e-05,8.695166e-05,8.845289e-05,8.865367e-05,9.029075e-05,9.061049e-05,9.186427e-05,9.265780e-05,9.337546e-05,9.459754e-05,9.482549e-05,9.621567e-05,9.643263e-05,9.754730e-05,9.816607e-05,9.882170e-05,9.980092e-05,1.000402e-04,1.012042e-04,1.013403e-04,1.023151e-04,1.027874e-04,1.033742e-04,1.041452e-04,1.043828e-04,1.053423e-04,1.054170e-04,1.062541e-04,1.066057e-04,1.071194e-04,1.077145e-04,1.079397e-04,1.087161e-04,1.087463e-04,1.094501e-04,1.097041e-04,1.101427e-04,1.105908e-04,1.107954e-04,1.114093e-04,1.119855e-04,1.121622e-04,1.125254e-04,1.128523e-04,1.130300e-04,1.134823e-04,1.135004e-04,1.139379e-04,1.140546e-04,1.143434e-04,1.145719e-04,1.147181e-04,1.150365e-04,1.150630e-04,1.153791e-04,1.154508e-04,1.156674e-04,1.158170e-04,1.159288e-04,1.161375e-04,1.161644e-04,1.163751e-04,1.164143e-04,1.165616e-04,1.166495e-04,1.167251e-04,1.168451e-04,1.168662e-04,1.169858e-04,1.170030e-04,1.170848e-04,1.171252e-04,1.171639e-04,1.172134e-04,1.172239e-04,1.172656e-04,1.172694e-04,1.172896e-04,1.172948e-04,1.172968e-04,1.172913e-04,1.172877e-04,1.172631e-04,1.172605e-04,1.172236e-04,1.172038e-04,1.171698e-04,1.171226e-04,1.171024e-04,1.170219e-04,1.170184e-04,1.169290e-04,1.168926e-04,1.168241e-04,1.167463e-04,1.167079e-04,1.165808e-04,1.163973e-04,1.161969e-04,1.159808e-04,1.157499e-04,1.155052e-04,1.152478e-04,1.149785e-04,1.146981e-04,1.144076e-04,1.141078e-04,1.137993e-04,1.134829e-04,1.131593e-04,1.128293e-04,1.124933e-04,1.121520e-04,1.118060e-04,1.114558e-04,1.111020e-04,1.107450e-04,1.103853e-04,1.100234e-04,1.096596e-04,1.092944e-04
0.000000e+00,1.073676e-08,2.442697e-08,8.328727e-08,1.889681e-07,2.759043e-07,6.327036e-07,6.522145e-07,1.292065e-06,1.531733e-06,2.295321e-06,3.113297e-06,3.756607e-06,5.523549e-06,5.694488e-06,8.019232e-06,8.620522e-06,1.060691e-05,1.213390e-05,1.336237e-05,1.587564e-05,1.622289e-05,1.914468e-05,1.973325e-05,2.209315e-05,2.362676e-05,2.503812e-05,2.748905e-05,2.795215e-05,3.081027e-05,3.126085e-05,3.359024e-05,3.489112e-05,3.627290e-05,3.833819e-05,3.884239e-05,4.128631e-05,4.157068e-05,4.359560e-05,4.456740e-05,4.576433e-05,4.731655e-05,4.778938e-05,4.967007e-05,4.981431e-05,5.140771e-05,5.206334e-05,5.300530e-05,5.407119e-05,5.446709e-05,5.579826e-05,5.584887e-05,5.700460e-05,5.740952e-05,5.809239e-05,5.876774e-05,5.906825e-05,5.993892e-05,6.071099e-05,6.093830e-05,6.139096e-05,6.178073e-05,6.198513e-05,6.248044e-05,6.249956e-05,6.294001e-05,6.305082e-05,6.331192e-05,6.350434e-05,6.362047e-05,6.385253e-05,6.387049e-05,6.406654e-05,6.410603e-05,6.421285e-05,6.427454e-05,6.431338e-05,6.436690e-05,6.437181e-05,6.439157e-05,6.439117e-05,6.437585e-05,6.435465e-05,6.432761e-05,6.426396e-05,6.424958e-05,6.414430e-05,6.412508e-05,6.401413e-05,6.394345e-05,6.386124e-05,6.372394e-05,6.368766e-05,6.349524e-05,6.347097e-05,6.328572e-05,6.318853e-05,6.306069e-05,6.288021e-05,6.282164e-05,6.256991e-05,6.254927e-05,6.230679e-05,6.219862e-05,6.203344e-05,6.183090e-05,6.175094e-05,6.146028e-05,6.144850e-05,6.116239e-05,6.105355e-05,6.085813e-05,6.064799e-05,6.054827e-05,6.023356e-05,5.991466e-05,5.981183e-05,5.959220e-05,5.938422e-05,5.926675e-05,5.895199e-05,5.893884e-05,5.860896e-05,5.851630e-05,5.827756e-05,5.807817e-05,5.794506e-05,5.763852e-05,5.761185e-05,5.727827e-05,5.719819e-05,5.694466e-05,5.675793e-05,5.661131e-05,5.631840e-05,5.627851e-05,5.594650e-05,5.588021e-05,5.561552e-05,5.544389e-05,5.528578e-05,5.500991e-05,5.495749e-05,5.463082e-05,5.457872e-05,5.430594e-05,5.415067e-05,5.398299e-05,5.372612e-05,5.366211e-05,5.334344e-05,5.330535e-05,5.302707e-05,5.288863e-05,5.271312e-05,5.247620e-05,5.240168e-05,5.209283e-05,5.206824e-05,5.178665e-05,5.166494e-05,5.148320e-05,5.126644e-05,5.118254e-05,5.088472e-05,5.087287e-05,5.058980e-05,5.048434e-05,5.029781e-05,5.010095e-05,5.000879e-05,4.972276e-05,4.934983e-05,4.898221e-05,4.861993e-05,4.826301e-05,4.791146e-05,4.756529e-05,4.722449e-05,4.688905e-05,4.655895e-05,4.623415e-05,4.591463e-05,4.560036e-05,4.529128e-05,4.498736e-05,4.468855e-05,4.439479e-05,4.410603e-05,4.382221e-05,4.354328e-05,4.326918e-05,4.299983e-05,4.273519e-05,4.247517e-05,4.221972e-05
0.000000e+00,2.259793e-09,5.163877e-09,1.774998e-08,4.049517e-08,5.924418e-08,1.359927e-07,1.401721e-07,2.760453e-07,3.263964e-07,4.855508e-07,6.555275e-07,7.902477e-07,1.172307e-06,1.210523e-06,1.756399e-06,1.905630e-06,2.420650e-06,2.837440e-06,3.184432e-06,3.923197e-06,4.028100e-06,4.936101e-06,5.124341e-06,5.896744e-06,6.413930e-06,6.900705e-06,7.771537e-06,7.939846e-06,9.006552e-06,9.179287e-06,1.009344e-05,1.062019e-05,1.119329e-05,1.207779e-05,1.229910e-05,1.340417e-05,1.353643e-05,1.450223e-05,1.498165e-05,1.558752e-05,1.640059e-05,1.665486e-05,1.769969e-05,1.778218e-05,1.871811e-05,1.911733e-05,1.970686e-05,2.039887e-05,2.066327e-05,2.158523e-05,2.162137e-05,2.247119e-05,2.278110e-05,2.332006e-05,2.387574e-05,2.413116e-05,2.490419e-05,2.563916e-05,2.586635e-05,2.633633e-05,2.676291e-05,2.699621e-05,2.759523e-05,2.761947e-05,2.820692e-05,2.836511e-05,2.875950e-05,2.907474e-05,2.927824e-05,2.972653e-05,2.976423e-05,3.021859e-05,3.032306e-05,3.064247e-05,3.086696e-05,3.103704e-05,3.136094e-05,3.140347e-05,3.174293e-05,3.180768e-05,3.205657e-05,3.220983e-05,3.234552e-05,3.256997e-05,3.261089e-05,3.285377e-05,3.289061e-05,3.307521e-05,3.317418e-05,3.327623e-05,3.342301e-05,3.345782e-05,3.362094e-05,3.363931e-05,3.376651e-05,3.382523e-05,3.389541e-05,3.398277e-05,3.400851e-05,3.410663e-05,3.411385e-05,3.419054e-05,3.422030e-05,3.426101e-05,3.430384e-05,3.431877e-05,3.436450e-05,3.436609e-05,3.439887e-05,3.440859e-05,3.442252e-05,3.443279e-05,3.443605e-05,3.444004e-05,3.443505e-05,3.443164e-05,3.442160e-05,3.440879e-05,3.440020e-05,3.437262e-05,3.437133e-05,3.433544e-05,3.432420e-05,3.429298e-05,3.426453e-05,3.424437e-05,3.419454e-05,3.418999e-05,3.413022e-05,3.411511e-05,3.406543e-05,3.402707e-05,3.399595e-05,3.393119e-05,3.392211e-05,3.384422e-05,3.382819e-05,3.376258e-05,3.371873e-05,3.367746e-05,3.360346e-05,3.358912e-05,3.349782e-05,3.348295e-05,3.340380e-05,3.335777e-05,3.330728e-05,3.322842e-05,3.320849e-05,3.310761e-05,3.309538e-05,3.300485e-05,3.295909e-05,3.290039e-05,3.281997e-05,3.279440e-05,3.268705e-05,3.267841e-05,3.257849e-05,3.253476e-05,3.246887e-05,3.238936e-05,3.235833e-05,3.224699e-05,3.224252e-05,3.213499e-05,3.209453e-05,3.202244e-05,3.194565e-05,3.190945e-05,3.179613e-05,3.164619e-05,3.149606e-05,3.134592e-05,3.119595e-05,3.104632e-05,3.089718e-05,3.074867e-05,3.060092e-05,3.045405e-05,3.030816e-05,3.016336e-05,3.001972e-05,2.987733e-05,2.973626e-05,2.959659e-05,2.945836e-05,2.932163e-05,2.918645e-05,2.905285e-05,2.892088e-05,2.879056e-05,2.866192e-05,2.853499e-05,2.840978e-05
0.000000e+00,1.132633e-09,2.588503e-09,8.890162e-09,2.023178e-08,2.953260e-08,6.716801e-08,6.919842e-08,1.342665e-07,1.579667e-07,2.316913e-07,3.088456e-07,3.691455e-07,5.377924e-07,5.545622e-07,7.943570e-07,8.603470e-07,1.090545e-06,1.279924e-06,1.439690e-06,1.785718e-06,1.835454e-06,2.271544e-06,2.363123e-06,2.742732e-06,3.000151e-06,3.244659e-06,3.687170e-06,3.773419e-06,4.325268e-06,4.415457e-06,4.896479e-06,5.176438e-06,5.483306e-06,5.961493e-06,6.082003e-06,6.688878e-06,6.762081e-06,7.300351e-06,7.569972e-06,7.913019e-06,8.377481e-06,8.523703e-06,9.129489e-06,9.177660e-06,9.727754e-06,9.964425e-06,1.031618e-05,1.073262e-05,1.089276e-05,1.145578e-05,1.147800e-05,1.200383e-05,1.219723e-05,1.253574e-05,1.288776e-05,1.305063e-05,1.354781e-05,1.402679e-05,1.417618e-05,1.448729e-05,1.477223e-05,1.492915e-05,1.533577e-05,1.535234e-05,1.575696e-05,1.586695e-05,1.614320e-05,1.636623e-05,1.651132e-05,1.683426e-05,1.686164e-05,1.719453e-05,1.727188e-05,1.751042e-05,1.768006e-05,1.780975e-05,1.805984e-05,1.809300e-05,1.836063e-05,1.841233e-05,1.861315e-05,1.873866e-05,1.885106e-05,1.903998e-05,1.907486e-05,1.928505e-05,1.931746e-05,1.948213e-05,1.957222e-05,1.966659e-05,1.980539e-05,1.983890e-05,1.999954e-05,2.001806e-05,2.014898e-05,2.021130e-05,2.028766e-05,2.038613e-05,2.041602e-05,2.053450e-05,2.054356e-05,2.064349e-05,2.068453e-05,2.074342e-05,2.080996e-05,2.083466e-05,2.091759e-05,2.092073e-05,2.099257e-05,2.101769e-05,2.105996e-05,2.110162e-05,2.112010e-05,2.117330e-05,2.121990e-05,2.123346e-05,2.126018e-05,2.128279e-05,2.129445e-05,2.132195e-05,2.132299e-05,2.134606e-05,2.135157e-05,2.136392e-05,2.137225e-05,2.137683e-05,2.138454e-05,2.138503e-05,2.138874e-05,2.138899e-05,2.138820e-05,2.138611e-05,2.138361e-05,2.137638e-05,2.137517e-05,2.136309e-05,2.136025e-05,2.134755e-05,2.133816e-05,2.132873e-05,2.131052e-05,2.130681e-05,2.128196e-05,2.127772e-05,2.125432e-05,2.124011e-05,2.122406e-05,2.119806e-05,2.119132e-05,2.115624e-05,2.115187e-05,2.111895e-05,2.110188e-05,2.107959e-05,2.104836e-05,2.103827e-05,2.099511e-05,2.099159e-05,2.095024e-05,2.093183e-05,2.090375e-05,2.086933e-05,2.085574e-05,2.080632e-05,2.080432e-05,2.075558e-05,2.073701e-05,2.070362e-05,2.066762e-05,2.065051e-05,2.059633e-05,2.052334e-05,2.044880e-05,2.037288e-05,2.029574e-05,2.021752e-05,2.013835e-05,2.005835e-05,1.997765e-05,1.989635e-05,1.981457e-05,1.973239e-05,1.964992e-05,1.956723e-05,1.948441e-05,1.940152e-05,1.931865e-05,1.923586e-05,1.915320e-05,1.907074e-05,1.898852e-05,1.890660e-05,1.882502e-05,1.874383e-05,1.866306e-05
0.000000e+00,6.135406e-09,1.401274e-08,4.802292e-08,1.089269e-07,1.586009e-07,3.573214e-07,3.679437e-07,7.034802e-07,8.235036e-07,1.190190e-06,1.564307e-06,1.850752e-06,2.629609e-06,2.705585e-06,3.772647e-06,4.062046e-06,5.066708e-06,5.894550e-06,6.597873e-06,8.144447e-06,8.369715e-06,1.037840e-05,1.080775e-05,1.261380e-05,1.386119e-05,1.506168e-05,1.727003e-05,1.770548e-05,2.052717e-05,2.099389e-05,2.350769e-05,2.498893e-05,2.662710e-05,2.920884e-05,2.986487e-05,3.320012e-05,3.360591e-05,3.661197e-05,3.813214e-05,4.007987e-05,4.274068e-05,4.358390e-05,4.710508e-05,4.738697e-05,5.062556e-05,5.202982e-05,5.412887e-05,5.663214e-05,5.760000e-05,6.102549e-05,6.116138e-05,6.439344e-05,6.558978e-05,6.769352e-05,6.989427e-05,7.091694e-05,7.405633e-05,7.710569e-05,7.806166e-05,8.006027e-05,8.189975e-05,8.291646e-05,8.556345e-05,8.567170e-05,8.832432e-05,8.904853e-05,9.087348e-05,9.235323e-05,9.331905e-05,9.547788e-05,9.566150e-05,9.790184e-05,9.842447e-05,1.000415e-04,1.011964e-04,1.020822e-04,1.037980e-04,1.040262e-04,1.058757e-04,1.062345e-04,1.076333e-04,1.085119e-04,1.093017e-04,1.106362e-04,1.108836e-04,1.123819e-04,1.126141e-04,1.137995e-04,1.144521e-04,1.151392e-04,1.161570e-04,1.164041e-04,1.175969e-04,1.177354e-04,1.187206e-04,1.191939e-04,1.197780e-04,1.205389e-04,1.207717e-04,1.217046e-04,1.217767e-04,1.225792e-04,1.229133e-04,1.233980e-04,1.239545e-04,1.241637e-04,1.248784e-04,1.249060e-04,1.255447e-04,1.257731e-04,1.261647e-04,1.265609e-04,1.267405e-04,1.272743e-04,1.277681e-04,1.279180e-04,1.282237e-04,1.284962e-04,1.286431e-04,1.290133e-04,1.290281e-04,1.293802e-04,1.294731e-04,1.297012e-04,1.298795e-04,1.299926e-04,1.302358e-04,1.302559e-04,1.304925e-04,1.305455e-04,1.307039e-04,1.308118e-04,1.308914e-04,1.310375e-04,1.310561e-04,1.311993e-04,1.312255e-04,1.313222e-04,1.313784e-04,1.314258e-04,1.314988e-04,1.315112e-04,1.315794e-04,1.315888e-04,1.316314e-04,1.316508e-04,1.316680e-04,1.316868e-04,1.316901e-04,1.316986e-04,1.316988e-04,1.316943e-04,1.316885e-04,1.316778e-04,1.316576e-04,1.316500e-04,1.316114e-04,1.316079e-04,1.315629e-04,1.315408e-04,1.315049e-04,1.314576e-04,1.314381e-04,1.313630e-04,1.313598e-04,1.312802e-04,1.312486e-04,1.311902e-04,1.311251e-04,1.310935e-04,1.309905e-04,1.308457e-04,1.306918e-04,1.305296e-04,1.303599e-04,1.301835e-04,1.300012e-04,1.298137e-04,1.296215e-04,1.294253e-04,1.292256e-04,1.290230e-04,1.288179e-04,1.286108e-04,1.284021e-04,1.281922e-04,1.279813e-04,1.277700e-04,1.275584e-04,1.273469e-04,1.271357e-04,1.269251e-04,1.267152e-04,1.265063e-04,1.262987e-04
0.000000e+00,1.267475e-09,2.864126e-09,9.599204e-09,2.133015e-08,3.070575e-08,6.715094e-08,6.906280e-08,1.281323e-07,1.487587e-07,2.105338e-07,2.719900e-07,3.181614e-07,4.405228e-07,4.522398e-07,6.133055e-07,6.559669e-07,8.010893e-07,9.174806e-07,1.014275e-06,1.220798e-06,1.250181e-06,1.504583e-06,1.557217e-06,1.772036e-06,1.914316e-06,2.046682e-06,2.278935e-06,2.323075e-06,2.596626e-06,2.639873e-06,2.863663e-06,2.988658e-06,3.121321e-06,3.319208e-06,3.367418e-06,3.600344e-06,3.627352e-06,3.818977e-06,3.910454e-06,4.022618e-06,4.167141e-06,4.210933e-06,4.383895e-06,4.397074e-06,4.541735e-06,4.600728e-06,4.684888e-06,4.779192e-06,4.813947e-06,4.929620e-06,4.933979e-06,5.032691e-06,5.066871e-06,5.123991e-06,5.179783e-06,5.204367e-06,5.274661e-06,5.335698e-06,5.353405e-06,5.388268e-06,5.417818e-06,5.433122e-06,5.469576e-06,5.470964e-06,5.502448e-06,5.510208e-06,5.528180e-06,5.541091e-06,5.548715e-06,5.563452e-06,5.564558e-06,5.576172e-06,5.578377e-06,5.583973e-06,5.586818e-06,5.588337e-06,5.589605e-06,5.589604e-06,5.588084e-06,5.587471e-06,5.584055e-06,5.581053e-06,5.577768e-06,5.570906e-06,5.569447e-06,5.559292e-06,5.557510e-06,5.547488e-06,5.541285e-06,5.534199e-06,5.522599e-06,5.519573e-06,5.503746e-06,5.501772e-06,5.486837e-06,5.479084e-06,5.468958e-06,5.454782e-06,5.450207e-06,5.430676e-06,5.429083e-06,5.410448e-06,5.402178e-06,5.389597e-06,5.374237e-06,5.368192e-06,5.346296e-06,5.345410e-06,5.323966e-06,5.315831e-06,5.301254e-06,5.285617e-06,5.278209e-06,5.254874e-06,5.231291e-06,5.223698e-06,5.207497e-06,5.192174e-06,5.183526e-06,5.160378e-06,5.159411e-06,5.135182e-06,5.128380e-06,5.110865e-06,5.096243e-06,5.086485e-06,5.064022e-06,5.062067e-06,5.037632e-06,5.031767e-06,5.013200e-06,4.999526e-06,4.988789e-06,4.967338e-06,4.964416e-06,4.940099e-06,4.935243e-06,4.915850e-06,4.903273e-06,4.891685e-06,4.871459e-06,4.867615e-06,4.843652e-06,4.839828e-06,4.819807e-06,4.808406e-06,4.796090e-06,4.777214e-06,4.772509e-06,4.749074e-06,4.746272e-06,4.725791e-06,4.715597e-06,4.702669e-06,4.685207e-06,4.679713e-06,4.656930e-06,4.655115e-06,4.634324e-06,4.625333e-06,4.611901e-06,4.595873e-06,4.589666e-06,4.567621e-06,4.566744e-06,4.545772e-06,4.537954e-06,4.524120e-06,4.509512e-06,4.502670e-06,4.481423e-06,4.453692e-06,4.426324e-06,4.399323e-06,4.372691e-06,4.346429e-06,4.320541e-06,4.295026e-06,4.269885e-06,4.245118e-06,4.220723e-06,4.196700e-06,4.173049e-06,4.149765e-06,4.126849e-06,4.104297e-06,4.082107e-06,4.060275e-06,4.038800e-06,4.017676e-06,3.996902e-06,3.976474e-06,3.956387e-06,3.936638e-06,3.917224e-06
0.000000e+00,2.852471e-09,6.493936e-09,2.210652e-08,4.983543e-08,7.231764e-08,1.615268e-07,1.662707e-07,3.152517e-07,3.682215e-07,5.292975e-07,6.927301e-07,8.173806e-07,1.154668e-06,1.187460e-06,1.646281e-06,1.770200e-06,2.198737e-06,2.549866e-06,2.846661e-06,3.493776e-06,3.587336e-06,4.412739e-06,4.586951e-06,5.310493e-06,5.801117e-06,6.266070e-06,7.102716e-06,7.264846e-06,8.293196e-06,8.459636e-06,9.338825e-06,9.843593e-06,1.039075e-05,1.123023e-05,1.143921e-05,1.247555e-05,1.259872e-05,1.349220e-05,1.393158e-05,1.448265e-05,1.521444e-05,1.544138e-05,1.636388e-05,1.643600e-05,1.724656e-05,1.758784e-05,1.808669e-05,1.866414e-05,1.888236e-05,1.963237e-05,1.966141e-05,2.033615e-05,2.057817e-05,2.099367e-05,2.141457e-05,2.160537e-05,2.217207e-05,2.269489e-05,2.285314e-05,2.317520e-05,2.346101e-05,2.361456e-05,2.399939e-05,2.401466e-05,2.437728e-05,2.447234e-05,2.470424e-05,2.488408e-05,2.499741e-05,2.523888e-05,2.525865e-05,2.548977e-05,2.554096e-05,2.569259e-05,2.579446e-05,2.586885e-05,2.600333e-05,2.602023e-05,2.614837e-05,2.617135e-05,2.625482e-05,2.630210e-05,2.634106e-05,2.639893e-05,2.640851e-05,2.645851e-05,2.646498e-05,2.649232e-05,2.650316e-05,2.651115e-05,2.651617e-05,2.651611e-05,2.650827e-05,2.650652e-05,2.648864e-05,2.647650e-05,2.645814e-05,2.642824e-05,2.641766e-05,2.636801e-05,2.636367e-05,2.630998e-05,2.628458e-05,2.624428e-05,2.619260e-05,2.617158e-05,2.609252e-05,2.608923e-05,2.600767e-05,2.597582e-05,2.591760e-05,2.585363e-05,2.582281e-05,2.572377e-05,2.562093e-05,2.558729e-05,2.551470e-05,2.544512e-05,2.540547e-05,2.529811e-05,2.529359e-05,2.517939e-05,2.514705e-05,2.506319e-05,2.499262e-05,2.494526e-05,2.483547e-05,2.482587e-05,2.470527e-05,2.467618e-05,2.458369e-05,2.451525e-05,2.446133e-05,2.435317e-05,2.433840e-05,2.421506e-05,2.419036e-05,2.409149e-05,2.402720e-05,2.396785e-05,2.386403e-05,2.384426e-05,2.372087e-05,2.370115e-05,2.359779e-05,2.353886e-05,2.347513e-05,2.337738e-05,2.335300e-05,2.323148e-05,2.321694e-05,2.311066e-05,2.305774e-05,2.299062e-05,2.289995e-05,2.287142e-05,2.275314e-05,2.274371e-05,2.263582e-05,2.258917e-05,2.251952e-05,2.243644e-05,2.240429e-05,2.229016e-05,2.228562e-05,2.217718e-05,2.213680e-05,2.206539e-05,2.199005e-05,2.195480e-05,2.184544e-05,2.170302e-05,2.156283e-05,2.142491e-05,2.128929e-05,2.115598e-05,2.102500e-05,2.089636e-05,2.077006e-05,2.064609e-05,2.052445e-05,2.040514e-05,2.028813e-05,2.017342e-05,2.006098e-05,1.995079e-05,1.984282e-05,1.973706e-05,1.963348e-05,1.953205e-05,1.943273e-05,1.933550e-05,1.924033e-05,1.914718e-05,1.905603e-05
0.000000e+00,1.602827e-08,3.654784e-08,1.248425e-07,2.823788e-07,4.105675e-07,9.221029e-07,9.494133e-07,1.811627e-06,2.120086e-06,3.063432e-06,4.028028e-06,4.768262e-06,6.788046e-06,6.985541e-06,9.763523e-06,1.051694e-05,1.312479e-05,1.525788e-05,1.705464e-05,2.094721e-05,2.150718e-05,2.642274e-05,2.745600e-05,3.174006e-05,3.464404e-05,3.739975e-05,4.237624e-05,4.334412e-05,4.951641e-05,5.052138e-05,5.586066e-05,5.895083e-05,6.232209e-05,6.753996e-05,6.884779e-05,7.538760e-05,7.617107e-05,8.189485e-05,8.473660e-05,8.832701e-05,9.314169e-05,9.464612e-05,1.008191e-04,1.013057e-04,1.068176e-04,1.091628e-04,1.126185e-04,1.166619e-04,1.182028e-04,1.235562e-04,1.237653e-04,1.286678e-04,1.304474e-04,1.335307e-04,1.366932e-04,1.381407e-04,1.424965e-04,1.465990e-04,1.478588e-04,1.504511e-04,1.527869e-04,1.540570e-04,1.572924e-04,1.574225e-04,1.605542e-04,1.613902e-04,1.634597e-04,1.650977e-04,1.661469e-04,1.684336e-04,1.686243e-04,1.709006e-04,1.714179e-04,1.729846e-04,1.740709e-04,1.748852e-04,1.764130e-04,1.766112e-04,1.781713e-04,1.784642e-04,1.795741e-04,1.802441e-04,1.808278e-04,1.817717e-04,1.819406e-04,1.829203e-04,1.830653e-04,1.837746e-04,1.841422e-04,1.845106e-04,1.850190e-04,1.851354e-04,1.856557e-04,1.857114e-04,1.860778e-04,1.862341e-04,1.864081e-04,1.866011e-04,1.866522e-04,1.868157e-04,1.868255e-04,1.869040e-04,1.869194e-04,1.869221e-04,1.868943e-04,1.868747e-04,1.867665e-04,1.867609e-04,1.866016e-04,1.865292e-04,1.863842e-04,1.862083e-04,1.861181e-04,1.858069e-04,1.854542e-04,1.853331e-04,1.850632e-04,1.847942e-04,1.846369e-04,1.841971e-04,1.841782e-04,1.836899e-04,1.835482e-04,1.831746e-04,1.828534e-04,1.826347e-04,1.821182e-04,1.820724e-04,1.814900e-04,1.813474e-04,1.808894e-04,1.805459e-04,1.802726e-04,1.797179e-04,1.796414e-04,1.789974e-04,1.788672e-04,1.783422e-04,1.779975e-04,1.776772e-04,1.771122e-04,1.770040e-04,1.763237e-04,1.762143e-04,1.756375e-04,1.753065e-04,1.749467e-04,1.743914e-04,1.742522e-04,1.735551e-04,1.734713e-04,1.728562e-04,1.725484e-04,1.721565e-04,1.716246e-04,1.714567e-04,1.707575e-04,1.707017e-04,1.700597e-04,1.697812e-04,1.693640e-04,1.688646e-04,1.686707e-04,1.679807e-04,1.679531e-04,1.672942e-04,1.670481e-04,1.666119e-04,1.661505e-04,1.659341e-04,1.652612e-04,1.643812e-04,1.635111e-04,1.626516e-04,1.618033e-04,1.609666e-04,1.601421e-04,1.593301e-04,1.585309e-04,1.577448e-04,1.569720e-04,1.562127e-04,1.554669e-04,1.547348e-04,1.540165e-04,1.533120e-04,1.526212e-04,1.519442e-04,1.512809e-04,1.506312e-04,1.499951e-04,1.493724e-04,1.487631e-04,1.481669e-04,1.475838e-04
0.000000e+00,5.941146e-08,1.352510e-07,4.604709e-07,1.038516e-06,1.507677e-06,3.374117e-06,3.473593e-06,6.609526e-06,7.730088e-06,1.115540e-05,1.465722e-05,1.734479e-05,2.467945e-05,2.539666e-05,3.547962e-05,3.821086e-05,4.764392e-05,5.532569e-05,6.176474e-05,7.559218e-05,7.756596e-05,9.470959e-05,9.826999e-05,1.128682e-04,1.226136e-04,1.317505e-04,1.479832e-04,1.511011e-04,1.706930e-04,1.738362e-04,1.903230e-04,1.997048e-04,2.098093e-04,2.251855e-04,2.289902e-04,2.477252e-04,2.499375e-04,2.658942e-04,2.736829e-04,2.833979e-04,2.962064e-04,3.001572e-04,3.161118e-04,3.173520e-04,3.312187e-04,3.370173e-04,3.454498e-04,3.551457e-04,3.587912e-04,3.712406e-04,3.717201e-04,3.828051e-04,3.867545e-04,3.935004e-04,4.002876e-04,4.033483e-04,4.123759e-04,4.206139e-04,4.230887e-04,4.280958e-04,4.325037e-04,4.348569e-04,4.407033e-04,4.409336e-04,4.463627e-04,4.477718e-04,4.511809e-04,4.537936e-04,4.554243e-04,4.588512e-04,4.591286e-04,4.623279e-04,4.630244e-04,4.650557e-04,4.663892e-04,4.673437e-04,4.690178e-04,4.692226e-04,4.707215e-04,4.709782e-04,4.718680e-04,4.723337e-04,4.726884e-04,4.731436e-04,4.732074e-04,4.734484e-04,4.734627e-04,4.734335e-04,4.733416e-04,4.731834e-04,4.728271e-04,4.727176e-04,4.720543e-04,4.719622e-04,4.712106e-04,4.707864e-04,4.702025e-04,4.693357e-04,4.690451e-04,4.677522e-04,4.676433e-04,4.663370e-04,4.657394e-04,4.648116e-04,4.636514e-04,4.631873e-04,4.614747e-04,4.614045e-04,4.596836e-04,4.590214e-04,4.578232e-04,4.565228e-04,4.559018e-04,4.539275e-04,4.519074e-04,4.512524e-04,4.498483e-04,4.485130e-04,4.477565e-04,4.457229e-04,4.456377e-04,4.434974e-04,4.428949e-04,4.413403e-04,4.400400e-04,4.391711e-04,4.371683e-04,4.369939e-04,4.348126e-04,4.342889e-04,4.326308e-04,4.314099e-04,4.304515e-04,4.285383e-04,4.282779e-04,4.261126e-04,4.256807e-04,4.239581e-04,4.228427e-04,4.218166e-04,4.200293e-04,4.196902e-04,4.175807e-04,4.172449e-04,4.154899e-04,4.144933e-04,4.134191e-04,4.117779e-04,4.113698e-04,4.093432e-04,4.091016e-04,4.073403e-04,4.064668e-04,4.053622e-04,4.038758e-04,4.034095e-04,4.014831e-04,4.013301e-04,3.995835e-04,3.988314e-04,3.977114e-04,3.963807e-04,3.958672e-04,3.940511e-04,3.939791e-04,3.922637e-04,3.916272e-04,3.905050e-04,3.893256e-04,3.887753e-04,3.870747e-04,3.848744e-04,3.827250e-04,3.806263e-04,3.785780e-04,3.765799e-04,3.746315e-04,3.727324e-04,3.708819e-04,3.690795e-04,3.673244e-04,3.656160e-04,3.639535e-04,3.623361e-04,3.607630e-04,3.592333e-04,3.577461e-04,3.563007e-04,3.548960e-04,3.535313e-04,3.522056e-04,3.509180e-04,3.496676e-04,3.484535e-04,3.472748e-04
0.000000e+00,1.224207e-09,2.781476e-09,9.432723e-09,2.120297e-08,3.072869e-08,6.849512e-08,7.050412e-08,1.337296e-07,1.562906e-07,2.252150e-07,2.956742e-07,3.497798e-07,4.977276e-07,5.122258e-07,7.169127e-07,7.726935e-07,9.667060e-07,1.126407e-06,1.261487e-06,1.555066e-06,1.597325e-06,1.967364e-06,2.044784e-06,2.363780e-06,2.577876e-06,2.779275e-06,3.138443e-06,3.207614e-06,3.643563e-06,3.713715e-06,4.082670e-06,4.293405e-06,4.521052e-06,4.868907e-06,4.955264e-06,5.382234e-06,5.432851e-06,5.799234e-06,5.978928e-06,6.203875e-06,6.501865e-06,6.594111e-06,6.968242e-06,6.997434e-06,7.324912e-06,7.462451e-06,7.663097e-06,7.894735e-06,7.982089e-06,8.281473e-06,8.293038e-06,8.561097e-06,8.656933e-06,8.821043e-06,8.986700e-06,9.061587e-06,9.283162e-06,9.486343e-06,9.547586e-06,9.671815e-06,9.781571e-06,9.840336e-06,9.986921e-06,9.992717e-06,1.012981e-05,1.016557e-05,1.025248e-05,1.031953e-05,1.036161e-05,1.045078e-05,1.045805e-05,1.054264e-05,1.056127e-05,1.061620e-05,1.065287e-05,1.067953e-05,1.072739e-05,1.073337e-05,1.077846e-05,1.078648e-05,1.081544e-05,1.083169e-05,1.084496e-05,1.086441e-05,1.086759e-05,1.088390e-05,1.088596e-05,1.089439e-05,1.089751e-05,1.089955e-05,1.090013e-05,1.089981e-05,1.089559e-05,1.089480e-05,1.088725e-05,1.088237e-05,1.087515e-05,1.086365e-05,1.085962e-05,1.084095e-05,1.083933e-05,1.081942e-05,1.081006e-05,1.079528e-05,1.077641e-05,1.076876e-05,1.074008e-05,1.073889e-05,1.070945e-05,1.069797e-05,1.067703e-05,1.065406e-05,1.064300e-05,1.060752e-05,1.057073e-05,1.055870e-05,1.053276e-05,1.050789e-05,1.049373e-05,1.045537e-05,1.045375e-05,1.041293e-05,1.040136e-05,1.037137e-05,1.034611e-05,1.032915e-05,1.028979e-05,1.028635e-05,1.024305e-05,1.023259e-05,1.019932e-05,1.017467e-05,1.015523e-05,1.011617e-05,1.011083e-05,1.006617e-05,1.005722e-05,1.002132e-05,9.997936e-06,9.976318e-06,9.938430e-06,9.931206e-06,9.886026e-06,9.878794e-06,9.840816e-06,9.819115e-06,9.795611e-06,9.759471e-06,9.750442e-06,9.705340e-06,9.699934e-06,9.660333e-06,9.640566e-06,9.615445e-06,9.581425e-06,9.570701e-06,9.526122e-06,9.522564e-06,9.481729e-06,9.464028e-06,9.437540e-06,9.405861e-06,9.393573e-06,9.349843e-06,9.348099e-06,9.306365e-06,9.290777e-06,9.263153e-06,9.233926e-06,9.220218e-06,9.177572e-06,9.121740e-06,9.066452e-06,9.011726e-06,8.957579e-06,8.904025e-06,8.851078e-06,8.798748e-06,8.747044e-06,8.695974e-06,8.645545e-06,8.595761e-06,8.546628e-06,8.498147e-06,8.450321e-06,8.403150e-06,8.356636e-06,8.310776e-06,8.265571e-06,8.221019e-06,8.177116e-06,8.133860e-06,8.091247e-06,8.049274e-06,8.007937e-06
0.000000e+00,3.850795e-09,8.811732e-09,3.033895e-08,6.918347e-08,1.010879e-07,2.303938e-07,2.373751e-07,4.612053e-07,5.427483e-07,7.963585e-07,1.061614e-06,1.268773e-06,1.847251e-06,1.904690e-06,2.724254e-06,2.949237e-06,3.732596e-06,4.375942e-06,4.918360e-06,6.093274e-06,6.262225e-06,7.744865e-06,8.056513e-06,9.349308e-06,1.022670e-05,1.106046e-05,1.256994e-05,1.286419e-05,1.474680e-05,1.505444e-05,1.669487e-05,1.764932e-05,1.869525e-05,2.032466e-05,2.073524e-05,2.280278e-05,2.305220e-05,2.488663e-05,2.580598e-05,2.697644e-05,2.856290e-05,2.906288e-05,3.113768e-05,3.130293e-05,3.319356e-05,3.400918e-05,3.522426e-05,3.666775e-05,3.722445e-05,3.918965e-05,3.926748e-05,4.111616e-05,4.179963e-05,4.300097e-05,4.425758e-05,4.484168e-05,4.663644e-05,4.838383e-05,4.893282e-05,5.008286e-05,5.114452e-05,5.173284e-05,5.327033e-05,5.333340e-05,5.488439e-05,5.530979e-05,5.638587e-05,5.726309e-05,5.783808e-05,5.913091e-05,5.924139e-05,6.059629e-05,6.091432e-05,6.190337e-05,6.261469e-05,6.316329e-05,6.423360e-05,6.437680e-05,6.554468e-05,6.577285e-05,6.666776e-05,6.723435e-05,6.774693e-05,6.862014e-05,6.878307e-05,6.977710e-05,6.993230e-05,7.072995e-05,7.117297e-05,7.164257e-05,7.234433e-05,7.251590e-05,7.335089e-05,7.344856e-05,7.414851e-05,7.448786e-05,7.490969e-05,7.546441e-05,7.563539e-05,7.632654e-05,7.638037e-05,7.698408e-05,7.723789e-05,7.760892e-05,7.803908e-05,7.820199e-05,7.876417e-05,7.878603e-05,7.929636e-05,7.948078e-05,7.979943e-05,8.012533e-05,8.027425e-05,8.072165e-05,8.114247e-05,8.127166e-05,8.153753e-05,8.177722e-05,8.190763e-05,8.224016e-05,8.225354e-05,8.257605e-05,8.266226e-05,8.287590e-05,8.304525e-05,8.315384e-05,8.339079e-05,8.341057e-05,8.364681e-05,8.370053e-05,8.386324e-05,8.397605e-05,8.406054e-05,8.421886e-05,8.423937e-05,8.440035e-05,8.443047e-05,8.454413e-05,8.461229e-05,8.467130e-05,8.476573e-05,8.478246e-05,8.487820e-05,8.489212e-05,8.495906e-05,8.499276e-05,8.502561e-05,8.506890e-05,8.507837e-05,8.511787e-05,8.512174e-05,8.514461e-05,8.515246e-05,8.515909e-05,8.516218e-05,8.516177e-05,8.515313e-05,8.515197e-05,8.513362e-05,8.512288e-05,8.510368e-05,8.507590e-05,8.506373e-05,8.501419e-05,8.501201e-05,8.495546e-05,8.493214e-05,8.488792e-05,8.483716e-05,8.481196e-05,8.472795e-05,8.460531e-05,8.447005e-05,8.432291e-05,8.416463e-05,8.399591e-05,8.381740e-05,8.362975e-05,8.343358e-05,8.322946e-05,8.301797e-05,8.279964e-05,8.257498e-05,8.234448e-05,8.210861e-05,8.186782e-05,8.162254e-05,8.137317e-05,8.112011e-05,8.086372e-05,8.060435e-05,8.034235e-05,8.007803e-05,7.981170e-05,7.954365e-05
0.000000e+00,5.136561e-09,1.171962e-08,4.011425e-08,9.101512e-08,1.326424e-07,3.004743e-07,3.095082e-07,5.982223e-07,7.030546e-07,1.028169e-06,1.366880e-06,1.630562e-06,2.363795e-06,2.436419e-06,3.471506e-06,3.755780e-06,4.747490e-06,5.563810e-06,6.252043e-06,7.735347e-06,7.947147e-06,9.781372e-06,1.016045e-05,1.170584e-05,1.272894e-05,1.368179e-05,1.535994e-05,1.568023e-05,1.767925e-05,1.799796e-05,1.966173e-05,2.060329e-05,2.161388e-05,2.314617e-05,2.352451e-05,2.538456e-05,2.560401e-05,2.718685e-05,2.796007e-05,2.892582e-05,3.020251e-05,3.059736e-05,3.219861e-05,3.232362e-05,3.372778e-05,3.431904e-05,3.518398e-05,3.618715e-05,3.656706e-05,3.787749e-05,3.792841e-05,3.911620e-05,3.954483e-05,4.028452e-05,4.103959e-05,4.138407e-05,4.241668e-05,4.338435e-05,4.368063e-05,4.428920e-05,4.483632e-05,4.513337e-05,4.588874e-05,4.591907e-05,4.664853e-05,4.684301e-05,4.732398e-05,4.770424e-05,4.794762e-05,4.847747e-05,4.852161e-05,4.904810e-05,4.916762e-05,4.952918e-05,4.977951e-05,4.996689e-05,5.031777e-05,5.036321e-05,5.072007e-05,5.078687e-05,5.103935e-05,5.119113e-05,5.132287e-05,5.153468e-05,5.157239e-05,5.178958e-05,5.182144e-05,5.197606e-05,5.205512e-05,5.213338e-05,5.223926e-05,5.226305e-05,5.236649e-05,5.237721e-05,5.244511e-05,5.247218e-05,5.250023e-05,5.252719e-05,5.253313e-05,5.254501e-05,5.254509e-05,5.253705e-05,5.252856e-05,5.251037e-05,5.248018e-05,5.246605e-05,5.240510e-05,5.240233e-05,5.232850e-05,5.229728e-05,5.223720e-05,5.216717e-05,5.213208e-05,5.201400e-05,5.188377e-05,5.183966e-05,5.174217e-05,5.164592e-05,5.158994e-05,5.143445e-05,5.142778e-05,5.125637e-05,5.120680e-05,5.107634e-05,5.096445e-05,5.088831e-05,5.070876e-05,5.069286e-05,5.049054e-05,5.044102e-05,5.028187e-05,5.016243e-05,5.006735e-05,4.987412e-05,4.984747e-05,4.962266e-05,4.957714e-05,4.939335e-05,4.927247e-05,4.915996e-05,4.896103e-05,4.892286e-05,4.868243e-05,4.864367e-05,4.843900e-05,4.832119e-05,4.819291e-05,4.799433e-05,4.794447e-05,4.769397e-05,4.766378e-05,4.744169e-05,4.733019e-05,4.718789e-05,4.699414e-05,4.693282e-05,4.667672e-05,4.665619e-05,4.641980e-05,4.631686e-05,4.616229e-05,4.597662e-05,4.590437e-05,4.564623e-05,4.563590e-05,4.538805e-05,4.529512e-05,4.512999e-05,4.495465e-05,4.487220e-05,4.461484e-05,4.427599e-05,4.393841e-05,4.360236e-05,4.326808e-05,4.293581e-05,4.260573e-05,4.227805e-05,4.195293e-05,4.163051e-05,4.131094e-05,4.099434e-05,4.068082e-05,4.037047e-05,4.006338e-05,3.975964e-05,3.945929e-05,3.916240e-05,3.886902e-05,3.857919e-05,3.829293e-05,3.801028e-05,3.773125e-05,3.745585e-05,3.718410e-05
0.000000e+00,3.130680e-08,7.153595e-08,2.459052e-07,5.612290e-07,8.214256e-07,1.889542e-06,1.947851e-06,3.851339e-06,4.560347e-06,6.812614e-06,9.234107e-06,1.116338e-05,1.667622e-05,1.723078e-05,2.520570e-05,2.740075e-05,3.500637e-05,4.117449e-05,4.630309e-05,5.716040e-05,5.869261e-05,7.183089e-05,7.452449e-05,8.546190e-05,9.268056e-05,9.939832e-05,1.112356e-04,1.134974e-04,1.276450e-04,1.299065e-04,1.417457e-04,1.484733e-04,1.557189e-04,1.667592e-04,1.694960e-04,1.830192e-04,1.846226e-04,1.962406e-04,2.019521e-04,2.091213e-04,2.186639e-04,2.216311e-04,2.337463e-04,2.346979e-04,2.454502e-04,2.500139e-04,2.567315e-04,2.645885e-04,2.675836e-04,2.780040e-04,2.784118e-04,2.879934e-04,2.914847e-04,2.975554e-04,3.038162e-04,3.066955e-04,3.154211e-04,3.237406e-04,3.263186e-04,3.316637e-04,3.365312e-04,3.392007e-04,3.460830e-04,3.463624e-04,3.531600e-04,3.549996e-04,3.596049e-04,3.633074e-04,3.657087e-04,3.710328e-04,3.714829e-04,3.769388e-04,3.782022e-04,3.820880e-04,3.848417e-04,3.869416e-04,3.909770e-04,3.915106e-04,3.958059e-04,3.966330e-04,3.998379e-04,4.018339e-04,4.036169e-04,4.066032e-04,4.071531e-04,4.104561e-04,4.109636e-04,4.135355e-04,4.149369e-04,4.164005e-04,4.185440e-04,4.190599e-04,4.215225e-04,4.218051e-04,4.237965e-04,4.247395e-04,4.258901e-04,4.273655e-04,4.278112e-04,4.295672e-04,4.297008e-04,4.311654e-04,4.317622e-04,4.326130e-04,4.335657e-04,4.339166e-04,4.350828e-04,4.351267e-04,4.361180e-04,4.364597e-04,4.370281e-04,4.375785e-04,4.378190e-04,4.384964e-04,4.390657e-04,4.392259e-04,4.395320e-04,4.397787e-04,4.399004e-04,4.401664e-04,4.401757e-04,4.403625e-04,4.403995e-04,4.404652e-04,4.404883e-04,4.404882e-04,4.404423e-04,4.404354e-04,4.403109e-04,4.402708e-04,4.401185e-04,4.399824e-04,4.398616e-04,4.395852e-04,4.395439e-04,4.391687e-04,4.390870e-04,4.387390e-04,4.384952e-04,4.382581e-04,4.378166e-04,4.377288e-04,4.371540e-04,4.370579e-04,4.365363e-04,4.362253e-04,4.358783e-04,4.353246e-04,4.351825e-04,4.344513e-04,4.343612e-04,4.336869e-04,4.333406e-04,4.328914e-04,4.322674e-04,4.320671e-04,4.312157e-04,4.311465e-04,4.303394e-04,4.299822e-04,4.294397e-04,4.287786e-04,4.285186e-04,4.275775e-04,4.275395e-04,4.266182e-04,4.262686e-04,4.256421e-04,4.249695e-04,4.246506e-04,4.236452e-04,4.222988e-04,4.209332e-04,4.195511e-04,4.181550e-04,4.167472e-04,4.153299e-04,4.139053e-04,4.124751e-04,4.110413e-04,4.096056e-04,4.081694e-04,4.067344e-04,4.053017e-04,4.038728e-04,4.024488e-04,4.010308e-04,3.996198e-04,3.982168e-04,3.968226e-04,3.954380e-04,3.940638e-04,3.927006e-04,3.913491e-04,3.900098e-04
0.000000e+00,3.169420e-07,7.245536e-07,2.489476e-06,5.665508e-06,8.268568e-06,1.878324e-05,1.934959e-05,3.744855e-05,4.401657e-05,6.436753e-05,8.554090e-05,1.020056e-04,1.477024e-04,1.522205e-04,2.163998e-04,2.339420e-04,2.948288e-04,3.446355e-04,3.864971e-04,4.767533e-04,4.896839e-04,6.026298e-04,6.262498e-04,7.237853e-04,7.895742e-04,8.517919e-04,9.637034e-04,9.854107e-04,1.123476e-03,1.145904e-03,1.264879e-03,1.333628e-03,1.408571e-03,1.524511e-03,1.553571e-03,1.698979e-03,1.716415e-03,1.843979e-03,1.907462e-03,1.987853e-03,2.096053e-03,2.129972e-03,2.269801e-03,2.280875e-03,2.406891e-03,2.460875e-03,2.540872e-03,2.635246e-03,2.671449e-03,2.798387e-03,2.803387e-03,2.921508e-03,2.964870e-03,3.040681e-03,3.119419e-03,3.155820e-03,3.266871e-03,3.373810e-03,3.407162e-03,3.476638e-03,3.540300e-03,3.575377e-03,3.666354e-03,3.670065e-03,3.760752e-03,3.785436e-03,3.847502e-03,3.897692e-03,3.930387e-03,4.003295e-03,4.009485e-03,4.084880e-03,4.102433e-03,4.156658e-03,4.195308e-03,4.224911e-03,4.282130e-03,4.289730e-03,4.351211e-03,4.363115e-03,4.409449e-03,4.438481e-03,4.464537e-03,4.508446e-03,4.516570e-03,4.565644e-03,4.573228e-03,4.611852e-03,4.633041e-03,4.655286e-03,4.688099e-03,4.696039e-03,4.734200e-03,4.738610e-03,4.769860e-03,4.784779e-03,4.803103e-03,4.826805e-03,4.834017e-03,4.862684e-03,4.864883e-03,4.889188e-03,4.899201e-03,4.913607e-03,4.929942e-03,4.936020e-03,4.956504e-03,4.957284e-03,4.975132e-03,4.981398e-03,4.991977e-03,5.002449e-03,5.007109e-03,5.020598e-03,5.032509e-03,5.035998e-03,5.042907e-03,5.048797e-03,5.051856e-03,5.059139e-03,5.059415e-03,5.065645e-03,5.067159e-03,5.070602e-03,5.072989e-03,5.074343e-03,5.076756e-03,5.076920e-03,5.078387e-03,5.078580e-03,5.078793e-03,5.078576e-03,5.078188e-03,5.076856e-03,5.076618e-03,5.074129e-03,5.073525e-03,5.070766e-03,5.068685e-03,5.066570e-03,5.062432e-03,5.061583e-03,5.055845e-03,5.054859e-03,5.049393e-03,5.046054e-03,5.042265e-03,5.036100e-03,5.034497e-03,5.026123e-03,5.025079e-03,5.017175e-03,5.013065e-03,5.007686e-03,5.000132e-03,4.997687e-03,4.987206e-03,4.986348e-03,4.976273e-03,4.971779e-03,4.964915e-03,4.956488e-03,4.953158e-03,4.941027e-03,4.940534e-03,4.928547e-03,4.923973e-03,4.915741e-03,4.906858e-03,4.902632e-03,4.889240e-03,4.871167e-03,4.852684e-03,4.833834e-03,4.814657e-03,4.795192e-03,4.775476e-03,4.755542e-03,4.735422e-03,4.715147e-03,4.694746e-03,4.674246e-03,4.653671e-03,4.633045e-03,4.612392e-03,4.591731e-03,4.571082e-03,4.550464e-03,4.529894e-03,4.509387e-03,4.488958e-03,4.468622e-03,4.448391e-03,4.428278e-03,4.408292e-03
0.000000e+00,1.504489e-06,3.350864e-06,1.091122e-05,2.365856e-05,3.363307e-05,7.147848e-05,7.343791e-05,1.333914e-04,1.541966e-04,2.165336e-04,2.789167e-04,3.261596e-04,4.530283e-04,4.652880e-04,6.347264e-04,6.795789e-04,8.304949e-04,9.484631e-04,1.043842e-03,1.238217e-03,1.264860e-03,1.485817e-03,1.529533e-03,1.701898e-03,1.811390e-03,1.910434e-03,2.078689e-03,2.109969e-03,2.299630e-03,2.329016e-03,2.478791e-03,2.560906e-03,2.646943e-03,2.773255e-03,2.803669e-03,2.948653e-03,2.965251e-03,3.081703e-03,3.136449e-03,3.202781e-03,3.286861e-03,3.312006e-03,3.409644e-03,3.416966e-03,3.496101e-03,3.527667e-03,3.571897e-03,3.620206e-03,3.637638e-03,3.693993e-03,3.696062e-03,3.741664e-03,3.756837e-03,3.781366e-03,3.804178e-03,3.813816e-03,3.839718e-03,3.859747e-03,3.865020e-03,3.874531e-03,3.881501e-03,3.884632e-03,3.890406e-03,3.890570e-03,3.892824e-03,3.892854e-03,3.891819e-03,3.889811e-03,3.887937e-03,3.882128e-03,3.881531e-03,3.872917e-03,3.870553e-03,3.862372e-03,3.855717e-03,3.850143e-03,3.838165e-03,3.836452e-03,3.821505e-03,3.818385e-03,3.805534e-03,3.796891e-03,3.788721e-03,3.774006e-03,3.771146e-03,3.752905e-03,3.749932e-03,3.734098e-03,3.724891e-03,3.714796e-03,3.699047e-03,3.695072e-03,3.674994e-03,3.672564e-03,3.654620e-03,3.645575e-03,3.634000e-03,3.618194e-03,3.613182e-03,3.592210e-03,3.590527e-03,3.571125e-03,3.562667e-03,3.549960e-03,3.534691e-03,3.528748e-03,3.507515e-03,3.506666e-03,3.486288e-03,3.478652e-03,3.465089e-03,3.450700e-03,3.443939e-03,3.422859e-03,3.401865e-03,3.395167e-03,3.380973e-03,3.367662e-03,3.360197e-03,3.340373e-03,3.339550e-03,3.319043e-03,3.313327e-03,3.298686e-03,3.286549e-03,3.278490e-03,3.260059e-03,3.258463e-03,3.238612e-03,3.233875e-03,3.218944e-03,3.208012e-03,3.199465e-03,3.182485e-03,3.180181e-03,3.161097e-03,3.157304e-03,3.142216e-03,3.132480e-03,3.123542e-03,3.108019e-03,3.105079e-03,3.086830e-03,3.083930e-03,3.068796e-03,3.060217e-03,3.050979e-03,3.036884e-03,3.033382e-03,3.016005e-03,3.013935e-03,2.998850e-03,2.991371e-03,2.981916e-03,2.969195e-03,2.965204e-03,2.948715e-03,2.947405e-03,2.932448e-03,2.926003e-03,2.916402e-03,2.904986e-03,2.900578e-03,2.884974e-03,2.884355e-03,2.869590e-03,2.864105e-03,2.854425e-03,2.844236e-03,2.839476e-03,2.824744e-03,2.805626e-03,2.786878e-03,2.768497e-03,2.750478e-03,2.732816e-03,2.715508e-03,2.698548e-03,2.681932e-03,2.665654e-03,2.649710e-03,2.634093e-03,2.618800e-03,2.603823e-03,2.589159e-03,2.574802e-03,2.560745e-03,2.546984e-03,2.533513e-03,2.520327e-03,2.507421e-03,2.494788e-03,2.482424e-03,2.470323e-03,2.458481e-03
0.000000e+00,3.158776e-09,7.191819e-09,2.451435e-08,5.543844e-08,8.067451e-08,1.823457e-07,1.878228e-07,3.635109e-07,4.276852e-07,6.280405e-07,8.383331e-07,1.002341e-06,1.454084e-06,1.498199e-06,2.110472e-06,2.273193e-06,2.825134e-06,3.265190e-06,3.629516e-06,4.404265e-06,4.514471e-06,5.473003e-06,5.672986e-06,6.498839e-06,7.056764e-06,7.585570e-06,8.540414e-06,8.726240e-06,9.913214e-06,1.010688e-05,1.113822e-05,1.173717e-05,1.239250e-05,1.341089e-05,1.366696e-05,1.495245e-05,1.510702e-05,1.623992e-05,1.680477e-05,1.752065e-05,1.848441e-05,1.878642e-05,2.002965e-05,2.012792e-05,2.124352e-05,2.171947e-05,2.242202e-05,2.324573e-05,2.356002e-05,2.465326e-05,2.469600e-05,2.569832e-05,2.606222e-05,2.669262e-05,2.733879e-05,2.763434e-05,2.852237e-05,2.935621e-05,2.961159e-05,3.013592e-05,3.060678e-05,3.086207e-05,3.150964e-05,3.153559e-05,3.215777e-05,3.232298e-05,3.273016e-05,3.305043e-05,3.325454e-05,3.369622e-05,3.373283e-05,3.416707e-05,3.426496e-05,3.455935e-05,3.476151e-05,3.491184e-05,3.519080e-05,3.522667e-05,3.550598e-05,3.555777e-05,3.575188e-05,3.586722e-05,3.596640e-05,3.612381e-05,3.615154e-05,3.630919e-05,3.633199e-05,3.644119e-05,3.649596e-05,3.654929e-05,3.661967e-05,3.663514e-05,3.670033e-05,3.670683e-05,3.674634e-05,3.676088e-05,3.677458e-05,3.678497e-05,3.678636e-05,3.678293e-05,3.678204e-05,3.676546e-05,3.675478e-05,3.673502e-05,3.670565e-05,3.669263e-05,3.663926e-05,3.663690e-05,3.657577e-05,3.655061e-05,3.650301e-05,3.644863e-05,3.642175e-05,3.633269e-05,3.623651e-05,3.620433e-05,3.613383e-05,3.606497e-05,3.602523e-05,3.591590e-05,3.591124e-05,3.579237e-05,3.575828e-05,3.566908e-05,3.559316e-05,3.554180e-05,3.542152e-05,3.541093e-05,3.527684e-05,3.524422e-05,3.513989e-05,3.506206e-05,3.500039e-05,3.487575e-05,3.485863e-05,3.471491e-05,3.468595e-05,3.456947e-05,3.449324e-05,3.442255e-05,3.429816e-05,3.427438e-05,3.412516e-05,3.410120e-05,3.397509e-05,3.390280e-05,3.382433e-05,3.370335e-05,3.367307e-05,3.352143e-05,3.350322e-05,3.336958e-05,3.330273e-05,3.321764e-05,3.310218e-05,3.306573e-05,3.291397e-05,3.290184e-05,3.276246e-05,3.270194e-05,3.261129e-05,3.250271e-05,3.246056e-05,3.231034e-05,3.230434e-05,3.216072e-05,3.210702e-05,3.201176e-05,3.191089e-05,3.186354e-05,3.171610e-05,3.152279e-05,3.133106e-05,3.114102e-05,3.095275e-05,3.076634e-05,3.058186e-05,3.039937e-05,3.021893e-05,3.004057e-05,2.986435e-05,2.969029e-05,2.951843e-05,2.934878e-05,2.918137e-05,2.901620e-05,2.885329e-05,2.869265e-05,2.853428e-05,2.837818e-05,2.822434e-05,2.807276e-05,2.792343e-05,2.777635e-05,2.763150e-05
0.000000e+00,1.954417e-09,4.465001e-09,1.532201e-08,3.483735e-08,5.082418e-08,1.154066e-07,1.188869e-07,2.302704e-07,2.707855e-07,3.966991e-07,5.283720e-07,6.312815e-07,9.195928e-07,9.483349e-07,1.361921e-06,1.476838e-06,1.882379e-06,2.221718e-06,2.511763e-06,3.149411e-06,3.241872e-06,4.057422e-06,4.229268e-06,4.941372e-06,5.422844e-06,5.878326e-06,6.696858e-06,6.855433e-06,7.862052e-06,8.025229e-06,8.889153e-06,9.387086e-06,9.928849e-06,1.076492e-05,1.097410e-05,1.201857e-05,1.214358e-05,1.305654e-05,1.350984e-05,1.408287e-05,1.485231e-05,1.509306e-05,1.608314e-05,1.616137e-05,1.704974e-05,1.742916e-05,1.799004e-05,1.864945e-05,1.890173e-05,1.978299e-05,1.981758e-05,2.063242e-05,2.093022e-05,2.144903e-05,2.198525e-05,2.223219e-05,2.298157e-05,2.369708e-05,2.391892e-05,2.437890e-05,2.479773e-05,2.502736e-05,2.561896e-05,2.564296e-05,2.622632e-05,2.638398e-05,2.677816e-05,2.709447e-05,2.729929e-05,2.775234e-05,2.779057e-05,2.825291e-05,2.835967e-05,2.868726e-05,2.891862e-05,2.909456e-05,2.943137e-05,2.947577e-05,2.983184e-05,2.990013e-05,3.016375e-05,3.032711e-05,3.047244e-05,3.071447e-05,3.075883e-05,3.102385e-05,3.106433e-05,3.126839e-05,3.137876e-05,3.149333e-05,3.165974e-05,3.169952e-05,3.188779e-05,3.190921e-05,3.205893e-05,3.212902e-05,3.221374e-05,3.232093e-05,3.235296e-05,3.247731e-05,3.248664e-05,3.258751e-05,3.262778e-05,3.268423e-05,3.274589e-05,3.276812e-05,3.283982e-05,3.284244e-05,3.289992e-05,3.291883e-05,3.294900e-05,3.297638e-05,3.298764e-05,3.301636e-05,3.303568e-05,3.303996e-05,3.304610e-05,3.304831e-05,3.304808e-05,3.304248e-05,3.304210e-05,3.302857e-05,3.302349e-05,3.300793e-05,3.299229e-05,3.298057e-05,3.294979e-05,3.294687e-05,3.290720e-05,3.289683e-05,3.286192e-05,3.283423e-05,3.281136e-05,3.276275e-05,3.275583e-05,3.269565e-05,3.268309e-05,3.263112e-05,3.259593e-05,3.256250e-05,3.250190e-05,3.249007e-05,3.241409e-05,3.240161e-05,3.233479e-05,3.229562e-05,3.225241e-05,3.218444e-05,3.216717e-05,3.207928e-05,3.206857e-05,3.198895e-05,3.194848e-05,3.189637e-05,3.182461e-05,3.180171e-05,3.170516e-05,3.169736e-05,3.160688e-05,3.156711e-05,3.150702e-05,3.143423e-05,3.140574e-05,3.130317e-05,3.129905e-05,3.119947e-05,3.116187e-05,3.109474e-05,3.102301e-05,3.098912e-05,3.088272e-05,3.074127e-05,3.059889e-05,3.045580e-05,3.031221e-05,3.016832e-05,3.002429e-05,2.988030e-05,2.973650e-05,2.959303e-05,2.945003e-05,2.930760e-05,2.916587e-05,2.902494e-05,2.888489e-05,2.874583e-05,2.860782e-05,2.847095e-05,2.833527e-05,2.820084e-05,2.806772e-05,2.793596e-05,2.780559e-05,2.767667e-05,2.754922e-05
0.000000e+00,6.412235e-08,1.460726e-07,4.980074e-07,1.124591e-06,1.633738e-06,3.662124e-06,3.770316e-06,7.182899e-06,8.402661e-06,1.213040e-05,1.593861e-05,1.885890e-05,2.681964e-05,2.759765e-05,3.854287e-05,4.151438e-05,5.182214e-05,6.028591e-05,6.743797e-05,8.297862e-05,8.521601e-05,1.048135e-04,1.089140e-04,1.258029e-04,1.371264e-04,1.477655e-04,1.666991e-04,1.703387e-04,1.932194e-04,1.968913e-04,2.161539e-04,2.271172e-04,2.389271e-04,2.569051e-04,2.613553e-04,2.832821e-04,2.858731e-04,3.045764e-04,3.137169e-04,3.251306e-04,3.402037e-04,3.448596e-04,3.636982e-04,3.651653e-04,3.816003e-04,3.884917e-04,3.985360e-04,4.101223e-04,4.144901e-04,4.294597e-04,4.300381e-04,4.434522e-04,4.482531e-04,4.564834e-04,4.648070e-04,4.685761e-04,4.797582e-04,4.900615e-04,4.931786e-04,4.995208e-04,5.051487e-04,5.081727e-04,5.157540e-04,5.160550e-04,5.232059e-04,5.250822e-04,5.296635e-04,5.332210e-04,5.354655e-04,5.402562e-04,5.406490e-04,5.452499e-04,5.462714e-04,5.493032e-04,5.513464e-04,5.528424e-04,5.555574e-04,5.558999e-04,5.585066e-04,5.589764e-04,5.606920e-04,5.616713e-04,5.624844e-04,5.637058e-04,5.639104e-04,5.649953e-04,5.651389e-04,5.657629e-04,5.660253e-04,5.662356e-04,5.664158e-04,5.664347e-04,5.663804e-04,5.663577e-04,5.660914e-04,5.658946e-04,5.655858e-04,5.650669e-04,5.648802e-04,5.639903e-04,5.639116e-04,5.629310e-04,5.624630e-04,5.617161e-04,5.607523e-04,5.603586e-04,5.588708e-04,5.588087e-04,5.572641e-04,5.566587e-04,5.555494e-04,5.543267e-04,5.537365e-04,5.518349e-04,5.498534e-04,5.492039e-04,5.478003e-04,5.464522e-04,5.456832e-04,5.435972e-04,5.435093e-04,5.412852e-04,5.406544e-04,5.390174e-04,5.376381e-04,5.367115e-04,5.345612e-04,5.343731e-04,5.320071e-04,5.314357e-04,5.296183e-04,5.282723e-04,5.272111e-04,5.250807e-04,5.247895e-04,5.223573e-04,5.218699e-04,5.199180e-04,5.186479e-04,5.174749e-04,5.154219e-04,5.150309e-04,5.125889e-04,5.121985e-04,5.101514e-04,5.089837e-04,5.077207e-04,5.057826e-04,5.052991e-04,5.028886e-04,5.026002e-04,5.004910e-04,4.994406e-04,4.981081e-04,4.963077e-04,4.957412e-04,4.933920e-04,4.932049e-04,4.910616e-04,4.901350e-04,4.887513e-04,4.871008e-04,4.864620e-04,4.841948e-04,4.841046e-04,4.819505e-04,4.811483e-04,4.797299e-04,4.782337e-04,4.775336e-04,4.753623e-04,4.725354e-04,4.697539e-04,4.670188e-04,4.643307e-04,4.616901e-04,4.590975e-04,4.565531e-04,4.540571e-04,4.516094e-04,4.492101e-04,4.468589e-04,4.445556e-04,4.423000e-04,4.400917e-04,4.379302e-04,4.358152e-04,4.337460e-04,4.317221e-04,4.297430e-04,4.278081e-04,4.259167e-04,4.240681e-04,4.222617e-04,4.204968e-04
0.000000e+00,3.038651e-06,6.695481e-06,2.134728e-05,4.547342e-05,6.405950e-05,1.332706e-04,1.368147e-04,2.441327e-04,2.810085e-04,3.907772e-04,4.997956e-04,5.818579e-04,7.997712e-04,8.206028e-04,1.103358e-03,1.176437e-03,1.416663e-03,1.598688e-03,1.742589e-03,2.028335e-03,2.066837e-03,2.381327e-03,2.442686e-03,2.682453e-03,2.833241e-03,2.968779e-03,3.197344e-03,3.239613e-03,3.494394e-03,3.533630e-03,3.732543e-03,3.840785e-03,3.953523e-03,4.117667e-03,4.156931e-03,4.342599e-03,4.363689e-03,4.510616e-03,4.579034e-03,4.661343e-03,4.764717e-03,4.795418e-03,4.913665e-03,4.922468e-03,5.017049e-03,5.054482e-03,5.106658e-03,5.163285e-03,5.183629e-03,5.249105e-03,5.251501e-03,5.304213e-03,5.321722e-03,5.350027e-03,5.376390e-03,5.387556e-03,5.417732e-03,5.441405e-03,5.447734e-03,5.459340e-03,5.468127e-03,5.472223e-03,5.480402e-03,5.480661e-03,5.485192e-03,5.485826e-03,5.486291e-03,5.485479e-03,5.484377e-03,5.480267e-03,5.479811e-03,5.472905e-03,5.470931e-03,5.463931e-03,5.458094e-03,5.453131e-03,5.442284e-03,5.440716e-03,5.426870e-03,5.423944e-03,5.411755e-03,5.403441e-03,5.395513e-03,5.381092e-03,5.378271e-03,5.360144e-03,5.357168e-03,5.341229e-03,5.331898e-03,5.321618e-03,5.305481e-03,5.301390e-03,5.280618e-03,5.278092e-03,5.259367e-03,5.249881e-03,5.237699e-03,5.220984e-03,5.215666e-03,5.193319e-03,5.191519e-03,5.170702e-03,5.161589e-03,5.147856e-03,5.131288e-03,5.124821e-03,5.101630e-03,5.100700e-03,5.078316e-03,5.069899e-03,5.054909e-03,5.038953e-03,5.031436e-03,5.007922e-03,4.984391e-03,4.976861e-03,4.960864e-03,4.945818e-03,4.937361e-03,4.914839e-03,4.913901e-03,4.890501e-03,4.883961e-03,4.867176e-03,4.853223e-03,4.843940e-03,4.822655e-03,4.820808e-03,4.797792e-03,4.792286e-03,4.774902e-03,4.762144e-03,4.752151e-03,4.732251e-03,4.729546e-03,4.707097e-03,4.702627e-03,4.684813e-03,4.673292e-03,4.662700e-03,4.644263e-03,4.640766e-03,4.619015e-03,4.615553e-03,4.597455e-03,4.587176e-03,4.576091e-03,4.559142e-03,4.554925e-03,4.533964e-03,4.531462e-03,4.513210e-03,4.504144e-03,4.492666e-03,4.477196e-03,4.472336e-03,4.452222e-03,4.450622e-03,4.432326e-03,4.424429e-03,4.412650e-03,4.398620e-03,4.393195e-03,4.373964e-03,4.373199e-03,4.354956e-03,4.348168e-03,4.336172e-03,4.323528e-03,4.317613e-03,4.299280e-03,4.275425e-03,4.251962e-03,4.228891e-03,4.206210e-03,4.183918e-03,4.162013e-03,4.140491e-03,4.119351e-03,4.098589e-03,4.078202e-03,4.058186e-03,4.038538e-03,4.019253e-03,4.000328e-03,3.981758e-03,3.963539e-03,3.945666e-03,3.928134e-03,3.910939e-03,3.894076e-03,3.877540e-03,3.861327e-03,3.845431e-03,3.829847e-03
0.000000e+00,3.060635e-09,6.992394e-09,2.398244e-08,5.445003e-08,7.933328e-08,1.791404e-07,1.844865e-07,3.538915e-07,4.147277e-07,6.013130e-07,7.927178e-07,9.399068e-07,1.342436e-06,1.381850e-06,1.937041e-06,2.087854e-06,2.610703e-06,3.039413e-06,3.401301e-06,4.187698e-06,4.301083e-06,5.298865e-06,5.509113e-06,6.382486e-06,6.975870e-06,7.539863e-06,8.560432e-06,8.759217e-06,1.002906e-05,1.023617e-05,1.133825e-05,1.197747e-05,1.267606e-05,1.376007e-05,1.403234e-05,1.539764e-05,1.556167e-05,1.676333e-05,1.736233e-05,1.812166e-05,1.914485e-05,1.946583e-05,2.078994e-05,2.089485e-05,2.208904e-05,2.260072e-05,2.335898e-05,2.425337e-05,2.459642e-05,2.579871e-05,2.584604e-05,2.696388e-05,2.737395e-05,2.809045e-05,2.883397e-05,2.917747e-05,3.022438e-05,3.123098e-05,3.154458e-05,3.219733e-05,3.279482e-05,3.312376e-05,3.397605e-05,3.401079e-05,3.485908e-05,3.508976e-05,3.566943e-05,3.613779e-05,3.644273e-05,3.712226e-05,3.717994e-05,3.788208e-05,3.804549e-05,3.855020e-05,3.890989e-05,3.918539e-05,3.971796e-05,3.978872e-05,4.036129e-05,4.047221e-05,4.090420e-05,4.117515e-05,4.141853e-05,4.182925e-05,4.190533e-05,4.236567e-05,4.243694e-05,4.280057e-05,4.300058e-05,4.321103e-05,4.352247e-05,4.359804e-05,4.396256e-05,4.400483e-05,4.430551e-05,4.444980e-05,4.462779e-05,4.485943e-05,4.493027e-05,4.521381e-05,4.523570e-05,4.547922e-05,4.558048e-05,4.572729e-05,4.589559e-05,4.595878e-05,4.617444e-05,4.618275e-05,4.637497e-05,4.644359e-05,4.656106e-05,4.667968e-05,4.673336e-05,4.689251e-05,4.703913e-05,4.708350e-05,4.717380e-05,4.725397e-05,4.729708e-05,4.740522e-05,4.740952e-05,4.751164e-05,4.753845e-05,4.760394e-05,4.765481e-05,4.768690e-05,4.775538e-05,4.776099e-05,4.782664e-05,4.784119e-05,4.788428e-05,4.791322e-05,4.793432e-05,4.797238e-05,4.797715e-05,4.801314e-05,4.801955e-05,4.804266e-05,4.805556e-05,4.806603e-05,4.808117e-05,4.808360e-05,4.809568e-05,4.809712e-05,4.810256e-05,4.810411e-05,4.810454e-05,4.810278e-05,4.810190e-05,4.809489e-05,4.809377e-05,4.808377e-05,4.807763e-05,4.806877e-05,4.805493e-05,4.805014e-05,4.802809e-05,4.802618e-05,4.800283e-05,4.799187e-05,4.797455e-05,4.795244e-05,4.794346e-05,4.790974e-05,4.790833e-05,4.787355e-05,4.785995e-05,4.783507e-05,4.780767e-05,4.779445e-05,4.775185e-05,4.769282e-05,4.763090e-05,4.756638e-05,4.749954e-05,4.743063e-05,4.735989e-05,4.728756e-05,4.721385e-05,4.713894e-05,4.706303e-05,4.698629e-05,4.690888e-05,4.683094e-05,4.675262e-05,4.667404e-05,4.659532e-05,4.651658e-05,4.643792e-05,4.635943e-05,4.628121e-05,4.620333e-05,4.612586e-05,4.604888e-05,4.597245e-05
0.000000e+00,7.520660e-09,1.705636e-08,5.763473e-08,1.291703e-07,1.869347e-07,4.154932e-07,4.276427e-07,8.100711e-07,9.466606e-07,1.364573e-06,1.792804e-06,2.122264e-06,3.025025e-06,3.113575e-06,4.363178e-06,4.703009e-06,5.879804e-06,6.839697e-06,7.643349e-06,9.357739e-06,9.600464e-06,1.167854e-05,1.210228e-05,1.380763e-05,1.491606e-05,1.593296e-05,1.768662e-05,1.801580e-05,2.002962e-05,2.034412e-05,2.195620e-05,2.284613e-05,2.378303e-05,2.516690e-05,2.550169e-05,2.710692e-05,2.729177e-05,2.859602e-05,2.921421e-05,2.996841e-05,3.093408e-05,3.122532e-05,3.236940e-05,3.245616e-05,3.340445e-05,3.378897e-05,3.433516e-05,3.494362e-05,3.516683e-05,3.590520e-05,3.593287e-05,3.655619e-05,3.677032e-05,3.712584e-05,3.746978e-05,3.762010e-05,3.804480e-05,3.840554e-05,3.850835e-05,3.870767e-05,3.887262e-05,3.895624e-05,3.914887e-05,3.915598e-05,3.931129e-05,3.934737e-05,3.942625e-05,3.947744e-05,3.950464e-05,3.954747e-05,3.954996e-05,3.956541e-05,3.956501e-05,3.955392e-05,3.953673e-05,3.951817e-05,3.946858e-05,3.946059e-05,3.938343e-05,3.936583e-05,3.928872e-05,3.923315e-05,3.917830e-05,3.907464e-05,3.905385e-05,3.891691e-05,3.889393e-05,3.876886e-05,3.869422e-05,3.861096e-05,3.847834e-05,3.844437e-05,3.827013e-05,3.824875e-05,3.808918e-05,3.800766e-05,3.790238e-05,3.775698e-05,3.771051e-05,3.751427e-05,3.749841e-05,3.731432e-05,3.723343e-05,3.711123e-05,3.696337e-05,3.690554e-05,3.669774e-05,3.668939e-05,3.648826e-05,3.641251e-05,3.627750e-05,3.613365e-05,3.606583e-05,3.585358e-05,3.564105e-05,3.557302e-05,3.542851e-05,3.529259e-05,3.521620e-05,3.501282e-05,3.500436e-05,3.479319e-05,3.473421e-05,3.458287e-05,3.445716e-05,3.437357e-05,3.418205e-05,3.416544e-05,3.395862e-05,3.390919e-05,3.375323e-05,3.363888e-05,3.354938e-05,3.337135e-05,3.334717e-05,3.314669e-05,3.310681e-05,3.294802e-05,3.284544e-05,3.275122e-05,3.258741e-05,3.255637e-05,3.236351e-05,3.233284e-05,3.217269e-05,3.208184e-05,3.198396e-05,3.183450e-05,3.179736e-05,3.161290e-05,3.159091e-05,3.143063e-05,3.135112e-05,3.125056e-05,3.111518e-05,3.107270e-05,3.089708e-05,3.088313e-05,3.072370e-05,3.065498e-05,3.055257e-05,3.043075e-05,3.038369e-05,3.021707e-05,3.021045e-05,3.005270e-05,2.999408e-05,2.989058e-05,2.978162e-05,2.973071e-05,2.957307e-05,2.936839e-05,2.916757e-05,2.897058e-05,2.877737e-05,2.858792e-05,2.840218e-05,2.822011e-05,2.804167e-05,2.786680e-05,2.769547e-05,2.752761e-05,2.736317e-05,2.720212e-05,2.704438e-05,2.688990e-05,2.673864e-05,2.659054e-05,2.644553e-05,2.630358e-05,2.616461e-05,2.602858e-05,2.589543e-05,2.576510e-05,2.563755e-05
0.000000e+00,7.099375e-09,1.582024e-08,5.174115e-08,1.132556e-07,1.623049e-07,3.562166e-07,3.666000e-07,7.005267e-07,8.234752e-07,1.211111e-06,1.622152e-06,1.943384e-06,2.816051e-06,2.899486e-06,4.007229e-06,4.283677e-06,5.161899e-06,5.798911e-06,6.287686e-06,7.226416e-06,7.350135e-06,8.340682e-06,8.530292e-06,9.261682e-06,9.714788e-06,1.011815e-05,1.079096e-05,1.091446e-05,1.165351e-05,1.176656e-05,1.233690e-05,1.264545e-05,1.296558e-05,1.342959e-05,1.354025e-05,1.406197e-05,1.412108e-05,1.453225e-05,1.472337e-05,1.495309e-05,1.524139e-05,1.532700e-05,1.565690e-05,1.568148e-05,1.594595e-05,1.605088e-05,1.619750e-05,1.635729e-05,1.641493e-05,1.660169e-05,1.660857e-05,1.676065e-05,1.681165e-05,1.689482e-05,1.697330e-05,1.700692e-05,1.709946e-05,1.717469e-05,1.719544e-05,1.723460e-05,1.726570e-05,1.728091e-05,1.731404e-05,1.731520e-05,1.733882e-05,1.734368e-05,1.735295e-05,1.735731e-05,1.735863e-05,1.735716e-05,1.735675e-05,1.734811e-05,1.734511e-05,1.733341e-05,1.732275e-05,1.731323e-05,1.729137e-05,1.728812e-05,1.725852e-05,1.725211e-05,1.722487e-05,1.720589e-05,1.718753e-05,1.715355e-05,1.714682e-05,1.710305e-05,1.709578e-05,1.705647e-05,1.703319e-05,1.700734e-05,1.696634e-05,1.695587e-05,1.690226e-05,1.689569e-05,1.684669e-05,1.682167e-05,1.678934e-05,1.674466e-05,1.673037e-05,1.666991e-05,1.666501e-05,1.660810e-05,1.658303e-05,1.654507e-05,1.649900e-05,1.648094e-05,1.641580e-05,1.641317e-05,1.634976e-05,1.632578e-05,1.628292e-05,1.623705e-05,1.621536e-05,1.614716e-05,1.607841e-05,1.605630e-05,1.600917e-05,1.596464e-05,1.593952e-05,1.587232e-05,1.586951e-05,1.579921e-05,1.577949e-05,1.572868e-05,1.568626e-05,1.565796e-05,1.559278e-05,1.558710e-05,1.551616e-05,1.549913e-05,1.544517e-05,1.540542e-05,1.537418e-05,1.531174e-05,1.530323e-05,1.523234e-05,1.521818e-05,1.516156e-05,1.512481e-05,1.509092e-05,1.503171e-05,1.502045e-05,1.495017e-05,1.493895e-05,1.488011e-05,1.484657e-05,1.481030e-05,1.475465e-05,1.474076e-05,1.467151e-05,1.466322e-05,1.460257e-05,1.457234e-05,1.453396e-05,1.448205e-05,1.446570e-05,1.439780e-05,1.439239e-05,1.433028e-05,1.430338e-05,1.426316e-05,1.421508e-05,1.419644e-05,1.413014e-05,1.412750e-05,1.406427e-05,1.404066e-05,1.399884e-05,1.395461e-05,1.393386e-05,1.386935e-05,1.378490e-05,1.370128e-05,1.361851e-05,1.353660e-05,1.345556e-05,1.337540e-05,1.329613e-05,1.321775e-05,1.314028e-05,1.306371e-05,1.298805e-05,1.291330e-05,1.283946e-05,1.276654e-05,1.269453e-05,1.262342e-05,1.255323e-05,1.248394e-05,1.241555e-05,1.234807e-05,1.228147e-05,1.221577e-05,1.215095e-05,1.208701e-05
0.000000e+00,3.163543e-09,7.225006e-09,2.477448e-08,5.628337e-08,8.207010e-08,1.860723e-07,1.916704e-07,3.705539e-07,4.355033e-07,6.369927e-07,8.470931e-07,1.010798e-06,1.466260e-06,1.511346e-06,2.151750e-06,2.326584e-06,2.932202e-06,3.426185e-06,3.840513e-06,4.731846e-06,4.859373e-06,5.972032e-06,6.204493e-06,7.163797e-06,7.810404e-06,8.421630e-06,9.520430e-06,9.733476e-06,1.108785e-05,1.130775e-05,1.247368e-05,1.314692e-05,1.388036e-05,1.501392e-05,1.529781e-05,1.671663e-05,1.688656e-05,1.812823e-05,1.874503e-05,1.952490e-05,2.057218e-05,2.089986e-05,2.224729e-05,2.235374e-05,2.356227e-05,2.407825e-05,2.484078e-05,2.573689e-05,2.607961e-05,2.727631e-05,2.732327e-05,2.842909e-05,2.883311e-05,2.953680e-05,3.026392e-05,3.059873e-05,3.161456e-05,3.258439e-05,3.288508e-05,3.350859e-05,3.407639e-05,3.438775e-05,3.519011e-05,3.522266e-05,3.601431e-05,3.622836e-05,3.676377e-05,3.719368e-05,3.747222e-05,3.808886e-05,3.814093e-05,3.877125e-05,3.891698e-05,3.936463e-05,3.968130e-05,3.992243e-05,4.038491e-05,4.044597e-05,4.093657e-05,4.103085e-05,4.139556e-05,4.162218e-05,4.182425e-05,4.216184e-05,4.222389e-05,4.259571e-05,4.265270e-05,4.294094e-05,4.309755e-05,4.326075e-05,4.349906e-05,4.355628e-05,4.382862e-05,4.385980e-05,4.407885e-05,4.418221e-05,4.430799e-05,4.446865e-05,4.451704e-05,4.470694e-05,4.472133e-05,4.487862e-05,4.494240e-05,4.503297e-05,4.513385e-05,4.517084e-05,4.529305e-05,4.529762e-05,4.540038e-05,4.543552e-05,4.549358e-05,4.554926e-05,4.557338e-05,4.564047e-05,4.569551e-05,4.571069e-05,4.573915e-05,4.576137e-05,4.577198e-05,4.579387e-05,4.579459e-05,4.580754e-05,4.580951e-05,4.581136e-05,4.580948e-05,4.580656e-05,4.579495e-05,4.579362e-05,4.577302e-05,4.576699e-05,4.574520e-05,4.572662e-05,4.571057e-05,4.567480e-05,4.566956e-05,4.562253e-05,4.561244e-05,4.556987e-05,4.554038e-05,4.551192e-05,4.545941e-05,4.544903e-05,4.538150e-05,4.537029e-05,4.530966e-05,4.527372e-05,4.523377e-05,4.517035e-05,4.515414e-05,4.507101e-05,4.506081e-05,4.498463e-05,4.494567e-05,4.489526e-05,4.482547e-05,4.480312e-05,4.470842e-05,4.470074e-05,4.461137e-05,4.457193e-05,4.451216e-05,4.443950e-05,4.441098e-05,4.430802e-05,4.430387e-05,4.420343e-05,4.416541e-05,4.409738e-05,4.402450e-05,4.399001e-05,4.388148e-05,4.373666e-05,4.359034e-05,4.344279e-05,4.329427e-05,4.314502e-05,4.299525e-05,4.284518e-05,4.269500e-05,4.254487e-05,4.239497e-05,4.224545e-05,4.209645e-05,4.194809e-05,4.180049e-05,4.165377e-05,4.150802e-05,4.136334e-05,4.121980e-05,4.107749e-05,4.093648e-05,4.079682e-05,4.065857e-05,4.052179e-05,4.038652e-05
0.000000e+00,1.374754e-09,3.144698e-09,1.081600e-08,2.462877e-08,3.594846e-08,8.161568e-08,8.407217e-08,1.623769e-07,1.906986e-07,2.781562e-07,3.687348e-07,4.389399e-07,6.331860e-07,6.523728e-07,9.255224e-07,1.000589e-06,1.263389e-06,1.481524e-06,1.667283e-06,2.075333e-06,2.134608e-06,2.660378e-06,2.772044e-06,3.238901e-06,3.558725e-06,3.864623e-06,4.422851e-06,4.532286e-06,5.236836e-06,5.352655e-06,5.973323e-06,6.336744e-06,6.736860e-06,7.363920e-06,7.522622e-06,8.325886e-06,8.423235e-06,9.142091e-06,9.504192e-06,9.966891e-06,1.059697e-05,1.079621e-05,1.162627e-05,1.169261e-05,1.245366e-05,1.278316e-05,1.327528e-05,1.386172e-05,1.408838e-05,1.489059e-05,1.492242e-05,1.567983e-05,1.596043e-05,1.645435e-05,1.697187e-05,1.721270e-05,1.795368e-05,1.867633e-05,1.890357e-05,1.937989e-05,1.981988e-05,2.006380e-05,2.070151e-05,2.072767e-05,2.137124e-05,2.154779e-05,2.199438e-05,2.235844e-05,2.259705e-05,2.313349e-05,2.317932e-05,2.374132e-05,2.387320e-05,2.428325e-05,2.457806e-05,2.480537e-05,2.524869e-05,2.530798e-05,2.579140e-05,2.588581e-05,2.625598e-05,2.649024e-05,2.670210e-05,2.706288e-05,2.713018e-05,2.754060e-05,2.760466e-05,2.793381e-05,2.811655e-05,2.831022e-05,2.859954e-05,2.867026e-05,2.901438e-05,2.905462e-05,2.934299e-05,2.948279e-05,2.965655e-05,2.988504e-05,2.995547e-05,3.024019e-05,3.026236e-05,3.051112e-05,3.061572e-05,3.076868e-05,3.094607e-05,3.101328e-05,3.124532e-05,3.125435e-05,3.146521e-05,3.154147e-05,3.167332e-05,3.180831e-05,3.187005e-05,3.205576e-05,3.223081e-05,3.228464e-05,3.239558e-05,3.249578e-05,3.255040e-05,3.268998e-05,3.269561e-05,3.283156e-05,3.286800e-05,3.295855e-05,3.303059e-05,3.307692e-05,3.317846e-05,3.318696e-05,3.328898e-05,3.331230e-05,3.338327e-05,3.343280e-05,3.347011e-05,3.354058e-05,3.354977e-05,3.362254e-05,3.363628e-05,3.368866e-05,3.372050e-05,3.374839e-05,3.379380e-05,3.380197e-05,3.384965e-05,3.385675e-05,3.389165e-05,3.390987e-05,3.392821e-05,3.395367e-05,3.395953e-05,3.398583e-05,3.398866e-05,3.400732e-05,3.401530e-05,3.402418e-05,3.403403e-05,3.403663e-05,3.404483e-05,3.404531e-05,3.404897e-05,3.404953e-05,3.404923e-05,3.404711e-05,3.404578e-05,3.403877e-05,3.403842e-05,3.402836e-05,3.402382e-05,3.401472e-05,3.400367e-05,3.399798e-05,3.397829e-05,3.394802e-05,3.391315e-05,3.387398e-05,3.383078e-05,3.378382e-05,3.373335e-05,3.367962e-05,3.362286e-05,3.356329e-05,3.350111e-05,3.343653e-05,3.336974e-05,3.330091e-05,3.323023e-05,3.315785e-05,3.308393e-05,3.300861e-05,3.293205e-05,3.285436e-05,3.277568e-05,3.269613e-05,3.261582e-05,3.253486e-05,3.245335e-05
0.000000e+00,3.753766e-09,8.551036e-09,2.915026e-08,6.581434e-08,9.559693e-08,2.141666e-07,2.204876e-07,4.197095e-07,4.908533e-07,7.081126e-07,9.298711e-07,1.099845e-06,1.563153e-06,1.608449e-06,2.246610e-06,2.420328e-06,3.025422e-06,3.526208e-06,3.953041e-06,4.895159e-06,5.032690e-06,6.260380e-06,6.522716e-06,7.623328e-06,8.378765e-06,9.100399e-06,1.040991e-05,1.066495e-05,1.228886e-05,1.255239e-05,1.394583e-05,1.474608e-05,1.561310e-05,1.694152e-05,1.727179e-05,1.890657e-05,1.910052e-05,2.050506e-05,2.119426e-05,2.205732e-05,2.320120e-05,2.355546e-05,2.499327e-05,2.510554e-05,2.636602e-05,2.689608e-05,2.767023e-05,2.856547e-05,2.890356e-05,3.006463e-05,3.010956e-05,3.115288e-05,3.152684e-05,3.216851e-05,3.281803e-05,3.311230e-05,3.398557e-05,3.479002e-05,3.503324e-05,3.552773e-05,3.596588e-05,3.620098e-05,3.678901e-05,3.681231e-05,3.736433e-05,3.750864e-05,3.785979e-05,3.813106e-05,3.830144e-05,3.866265e-05,3.869209e-05,3.903449e-05,3.910979e-05,3.933136e-05,3.947873e-05,3.958539e-05,3.977556e-05,3.979917e-05,3.997521e-05,4.000610e-05,4.011593e-05,4.017593e-05,4.022367e-05,4.029032e-05,4.030066e-05,4.034902e-05,4.035424e-05,4.037079e-05,4.037236e-05,4.036789e-05,4.034904e-05,4.034215e-05,4.029530e-05,4.028834e-05,4.022898e-05,4.019404e-05,4.014475e-05,4.006964e-05,4.004404e-05,3.992825e-05,3.991838e-05,3.979867e-05,3.974325e-05,3.965650e-05,3.954700e-05,3.950290e-05,3.933893e-05,3.933217e-05,3.916559e-05,3.910108e-05,3.898382e-05,3.885586e-05,3.879452e-05,3.859849e-05,3.839650e-05,3.833073e-05,3.818928e-05,3.805422e-05,3.797749e-05,3.777045e-05,3.776175e-05,3.754265e-05,3.748078e-05,3.732073e-05,3.718642e-05,3.709647e-05,3.688851e-05,3.687036e-05,3.664282e-05,3.658804e-05,3.641424e-05,3.628593e-05,3.618501e-05,3.598301e-05,3.595546e-05,3.572590e-05,3.568002e-05,3.549663e-05,3.537761e-05,3.526791e-05,3.507639e-05,3.503999e-05,3.481309e-05,3.477689e-05,3.458742e-05,3.447959e-05,3.436316e-05,3.418489e-05,3.414049e-05,3.391956e-05,3.389317e-05,3.370051e-05,3.360476e-05,3.348347e-05,3.331993e-05,3.326855e-05,3.305586e-05,3.303894e-05,3.284548e-05,3.276199e-05,3.263750e-05,3.248927e-05,3.243198e-05,3.222899e-05,3.222093e-05,3.202859e-05,3.195709e-05,3.183082e-05,3.169785e-05,3.163571e-05,3.144330e-05,3.119350e-05,3.094850e-05,3.070831e-05,3.047297e-05,3.024246e-05,3.001678e-05,2.979592e-05,2.957984e-05,2.936851e-05,2.916188e-05,2.895990e-05,2.876253e-05,2.856969e-05,2.838133e-05,2.819738e-05,2.801776e-05,2.784241e-05,2.767125e-05,2.750420e-05,2.734119e-05,2.718213e-05,2.702696e-05,2.687557e-05,2.672790e-05
0.000000e+00,1.878993e-08,4.295094e-08,1.474998e-07,3.353603e-07,4.890643e-07,1.107576e-06,1.140787e-06,2.196856e-06,2.577702e-06,3.750352e-06,4.959641e-06,5.893356e-06,8.460534e-06,8.712808e-06,1.227874e-05,1.325038e-05,1.662393e-05,1.939154e-05,2.172566e-05,2.678221e-05,2.750890e-05,3.387161e-05,3.520439e-05,4.070966e-05,4.442129e-05,4.792795e-05,5.422309e-05,5.544201e-05,6.317641e-05,6.442974e-05,7.106334e-05,7.488507e-05,7.904177e-05,8.545355e-05,8.705719e-05,9.506139e-05,9.601909e-05,1.030124e-04,1.064845e-04,1.108742e-04,1.167706e-04,1.186164e-04,1.262138e-04,1.268147e-04,1.336459e-04,1.365686e-04,1.408963e-04,1.459968e-04,1.479523e-04,1.548043e-04,1.550741e-04,1.614455e-04,1.637837e-04,1.678711e-04,1.721160e-04,1.740785e-04,1.800664e-04,1.858349e-04,1.876347e-04,1.913854e-04,1.948241e-04,1.967197e-04,2.016400e-04,2.018408e-04,2.067518e-04,2.080898e-04,2.114567e-04,2.141823e-04,2.159595e-04,2.199273e-04,2.202646e-04,2.243766e-04,2.253354e-04,2.283005e-04,2.304174e-04,2.320409e-04,2.351847e-04,2.356029e-04,2.389915e-04,2.396489e-04,2.422118e-04,2.438214e-04,2.452687e-04,2.477139e-04,2.481672e-04,2.509124e-04,2.513377e-04,2.535091e-04,2.547042e-04,2.559622e-04,2.578246e-04,2.582765e-04,2.604568e-04,2.607096e-04,2.625075e-04,2.633700e-04,2.644334e-04,2.658162e-04,2.662387e-04,2.679280e-04,2.680583e-04,2.695055e-04,2.701061e-04,2.709752e-04,2.719691e-04,2.723414e-04,2.736080e-04,2.736566e-04,2.747788e-04,2.751775e-04,2.758575e-04,2.765404e-04,2.768480e-04,2.777537e-04,2.785780e-04,2.788252e-04,2.793244e-04,2.797627e-04,2.799961e-04,2.805737e-04,2.805963e-04,2.811281e-04,2.812651e-04,2.815944e-04,2.818439e-04,2.819981e-04,2.823166e-04,2.823420e-04,2.826288e-04,2.826895e-04,2.828612e-04,2.829685e-04,2.830416e-04,2.831594e-04,2.831726e-04,2.832564e-04,2.832677e-04,2.832954e-04,2.832986e-04,2.832917e-04,2.832572e-04,2.832475e-04,2.831649e-04,2.831482e-04,2.830458e-04,2.829762e-04,2.828921e-04,2.827455e-04,2.827057e-04,2.824883e-04,2.824603e-04,2.822417e-04,2.821244e-04,2.819675e-04,2.817417e-04,2.816673e-04,2.813426e-04,2.813156e-04,2.809949e-04,2.808497e-04,2.806256e-04,2.803470e-04,2.802359e-04,2.798273e-04,2.798106e-04,2.794010e-04,2.792435e-04,2.789582e-04,2.786482e-04,2.785000e-04,2.780275e-04,2.773838e-04,2.767193e-04,2.760364e-04,2.753369e-04,2.746230e-04,2.738964e-04,2.731588e-04,2.724119e-04,2.716572e-04,2.708961e-04,2.701301e-04,2.693603e-04,2.685880e-04,2.678142e-04,2.670400e-04,2.662663e-04,2.654941e-04,2.647242e-04,2.639573e-04,2.631943e-04,2.624357e-04,2.616822e-04,2.609343e-04,2.601926e-04
0.000000e+00,4.424165e-09,1.009752e-08,3.456873e-08,7.838429e-08,1.141492e-07,2.576710e-07,2.653658e-07,5.097728e-07,5.978496e-07,8.690768e-07,1.149047e-06,1.365515e-06,1.962375e-06,2.021174e-06,2.855177e-06,3.083324e-06,3.878109e-06,4.532729e-06,5.086211e-06,6.288157e-06,6.461107e-06,7.976341e-06,8.293784e-06,9.604558e-06,1.048754e-05,1.132101e-05,1.281511e-05,1.310406e-05,1.493465e-05,1.523079e-05,1.679570e-05,1.769522e-05,1.867174e-05,2.017392e-05,2.054879e-05,2.241429e-05,2.263683e-05,2.425713e-05,2.505825e-05,2.606763e-05,2.741687e-05,2.783757e-05,2.956007e-05,2.969565e-05,3.122960e-05,3.188156e-05,3.284179e-05,3.396517e-05,3.439334e-05,3.588193e-05,3.594014e-05,3.730608e-05,3.780283e-05,3.866502e-05,3.955174e-05,3.995859e-05,4.118714e-05,4.235146e-05,4.271064e-05,4.345263e-05,4.412488e-05,4.449205e-05,4.543324e-05,4.547128e-05,4.639208e-05,4.663968e-05,4.725629e-05,4.774846e-05,4.806584e-05,4.876404e-05,4.882269e-05,4.952884e-05,4.969100e-05,5.018630e-05,5.053394e-05,5.079703e-05,5.129740e-05,5.136302e-05,5.188618e-05,5.198584e-05,5.236840e-05,5.260360e-05,5.281154e-05,5.315487e-05,5.321737e-05,5.358766e-05,5.364372e-05,5.392407e-05,5.407400e-05,5.422824e-05,5.444943e-05,5.450175e-05,5.474610e-05,5.477353e-05,5.496275e-05,5.504967e-05,5.515312e-05,5.528105e-05,5.531855e-05,5.546032e-05,5.547068e-05,5.557969e-05,5.562143e-05,5.567784e-05,5.573601e-05,5.575591e-05,5.581499e-05,5.581697e-05,5.585613e-05,5.586674e-05,5.588032e-05,5.588758e-05,5.588852e-05,5.588164e-05,5.586054e-05,5.585093e-05,5.582608e-05,5.579736e-05,5.577902e-05,5.572272e-05,5.572014e-05,5.565016e-05,5.562866e-05,5.556975e-05,5.551678e-05,5.547958e-05,5.538855e-05,5.538028e-05,5.527243e-05,5.524534e-05,5.515661e-05,5.508847e-05,5.503335e-05,5.491914e-05,5.490317e-05,5.476655e-05,5.473850e-05,5.462396e-05,5.454760e-05,5.447584e-05,5.434746e-05,5.432261e-05,5.416467e-05,5.413899e-05,5.400239e-05,5.392307e-05,5.383614e-05,5.370050e-05,5.366625e-05,5.349305e-05,5.347206e-05,5.331685e-05,5.323844e-05,5.313793e-05,5.300031e-05,5.295657e-05,5.277304e-05,5.275827e-05,5.258757e-05,5.251290e-05,5.240041e-05,5.226473e-05,5.221178e-05,5.202188e-05,5.201426e-05,5.183091e-05,5.176194e-05,5.163906e-05,5.150819e-05,5.144651e-05,5.125342e-05,5.099799e-05,5.074224e-05,5.048647e-05,5.023098e-05,4.997603e-05,4.972188e-05,4.946873e-05,4.921681e-05,4.896630e-05,4.871737e-05,4.847018e-05,4.822488e-05,4.798159e-05,4.774045e-05,4.750154e-05,4.726497e-05,4.703083e-05,4.679919e-05,4.657012e-05,4.634368e-05,4.611992e-05,4.589889e-05,4.568062e-05,4.546515e-05
0.000000e+00,5.216967e-09,1.181235e-08,3.985859e-08,8.951366e-08,1.299186e-07,2.930467e-07,3.018713e-07,5.876531e-07,6.933945e-07,1.027856e-06,1.384997e-06,1.666966e-06,2.452597e-06,2.529575e-06,3.589759e-06,3.866600e-06,4.782730e-06,5.484772e-06,6.046287e-06,7.183034e-06,7.338709e-06,8.634963e-06,8.893195e-06,9.919414e-06,1.057889e-05,1.118101e-05,1.221649e-05,1.241077e-05,1.360078e-05,1.378701e-05,1.474388e-05,1.527401e-05,1.583373e-05,1.666359e-05,1.686490e-05,1.783305e-05,1.794483e-05,1.873501e-05,1.911035e-05,1.956880e-05,2.015635e-05,2.033361e-05,2.102969e-05,2.108243e-05,2.165810e-05,2.189093e-05,2.222079e-05,2.258675e-05,2.272049e-05,2.316039e-05,2.317679e-05,2.354394e-05,2.366892e-05,2.387481e-05,2.407167e-05,2.415684e-05,2.439380e-05,2.458941e-05,2.464387e-05,2.474728e-05,2.483010e-05,2.487085e-05,2.496022e-05,2.496336e-05,2.502770e-05,2.504106e-05,2.506679e-05,2.507924e-05,2.508329e-05,2.508057e-05,2.507958e-05,2.505786e-05,2.505019e-05,2.502010e-05,2.499260e-05,2.496806e-05,2.491174e-05,2.490336e-05,2.482748e-05,2.481108e-05,2.474173e-05,2.469364e-05,2.464730e-05,2.456205e-05,2.454526e-05,2.443655e-05,2.441859e-05,2.432203e-05,2.426523e-05,2.420249e-05,2.410369e-05,2.407860e-05,2.395099e-05,2.393545e-05,2.382022e-05,2.376181e-05,2.368678e-05,2.358386e-05,2.355112e-05,2.341365e-05,2.340258e-05,2.327472e-05,2.321881e-05,2.313466e-05,2.303329e-05,2.299377e-05,2.285231e-05,2.284664e-05,2.271050e-05,2.265941e-05,2.256858e-05,2.247209e-05,2.242671e-05,2.228509e-05,2.214385e-05,2.209876e-05,2.200315e-05,2.191343e-05,2.186310e-05,2.172937e-05,2.172382e-05,2.158541e-05,2.154682e-05,2.144796e-05,2.136598e-05,2.131155e-05,2.118703e-05,2.117625e-05,2.104213e-05,2.101012e-05,2.090923e-05,2.083537e-05,2.077763e-05,2.066291e-05,2.064735e-05,2.051844e-05,2.049282e-05,2.039093e-05,2.032519e-05,2.026485e-05,2.016007e-05,2.014023e-05,2.001708e-05,1.999752e-05,1.989544e-05,1.983758e-05,1.977530e-05,1.968029e-05,1.965669e-05,1.953960e-05,1.952566e-05,1.942406e-05,1.937371e-05,1.931006e-05,1.922445e-05,1.919760e-05,1.908669e-05,1.907788e-05,1.897732e-05,1.893400e-05,1.886949e-05,1.879280e-05,1.876320e-05,1.865844e-05,1.865428e-05,1.855520e-05,1.851840e-05,1.845348e-05,1.838516e-05,1.835326e-05,1.825454e-05,1.812650e-05,1.800102e-05,1.787807e-05,1.775762e-05,1.763964e-05,1.752409e-05,1.741094e-05,1.730015e-05,1.719168e-05,1.708551e-05,1.698158e-05,1.687986e-05,1.678032e-05,1.668291e-05,1.658760e-05,1.649434e-05,1.640310e-05,1.631384e-05,1.622652e-05,1.614110e-05,1.605754e-05,1.597581e-05,1.589587e-05,1.581768e-05
0.000000e+00,2.582611e-09,5.849606e-09,1.971974e-08,4.412686e-08,6.382686e-08,1.418888e-07,1.460468e-07,2.775396e-07,3.248235e-07,4.706185e-07,6.217551e-07,7.391441e-07,1.064686e-06,1.096838e-06,1.551643e-06,1.674969e-06,2.097897e-06,2.436546e-06,2.715308e-06,3.296857e-06,3.377960e-06,4.063253e-06,4.201468e-06,4.754571e-06,5.112422e-06,5.440264e-06,6.005723e-06,6.111981e-06,6.763447e-06,6.865459e-06,7.389759e-06,7.680278e-06,7.987026e-06,8.441850e-06,8.552197e-06,9.082993e-06,9.144297e-06,9.577856e-06,9.783962e-06,1.003591e-05,1.035922e-05,1.045689e-05,1.084110e-05,1.087026e-05,1.118931e-05,1.131876e-05,1.150268e-05,1.170755e-05,1.178269e-05,1.203103e-05,1.204033e-05,1.224956e-05,1.232131e-05,1.244023e-05,1.255497e-05,1.260501e-05,1.274588e-05,1.286479e-05,1.289851e-05,1.296359e-05,1.301710e-05,1.304407e-05,1.310564e-05,1.310789e-05,1.315665e-05,1.316780e-05,1.319179e-05,1.320690e-05,1.321466e-05,1.322594e-05,1.322651e-05,1.322847e-05,1.322758e-05,1.322156e-05,1.321418e-05,1.320673e-05,1.318781e-05,1.318484e-05,1.315665e-05,1.315032e-05,1.312287e-05,1.310330e-05,1.308412e-05,1.304815e-05,1.304098e-05,1.299395e-05,1.298609e-05,1.294350e-05,1.291819e-05,1.289004e-05,1.284536e-05,1.283395e-05,1.277557e-05,1.276842e-05,1.271519e-05,1.268807e-05,1.265310e-05,1.260492e-05,1.258954e-05,1.252473e-05,1.251950e-05,1.245887e-05,1.243228e-05,1.239215e-05,1.234367e-05,1.232473e-05,1.225675e-05,1.225402e-05,1.218836e-05,1.216365e-05,1.211966e-05,1.207283e-05,1.205077e-05,1.198179e-05,1.191280e-05,1.189074e-05,1.184389e-05,1.179987e-05,1.177514e-05,1.170933e-05,1.170660e-05,1.163833e-05,1.161927e-05,1.157040e-05,1.152981e-05,1.150284e-05,1.144106e-05,1.143571e-05,1.136904e-05,1.135311e-05,1.130286e-05,1.126603e-05,1.123722e-05,1.117991e-05,1.117213e-05,1.110763e-05,1.109480e-05,1.104373e-05,1.101075e-05,1.098046e-05,1.092781e-05,1.091784e-05,1.085587e-05,1.084602e-05,1.079458e-05,1.076540e-05,1.073397e-05,1.068598e-05,1.067406e-05,1.061485e-05,1.060779e-05,1.055635e-05,1.053084e-05,1.049857e-05,1.045514e-05,1.044151e-05,1.038517e-05,1.038070e-05,1.032956e-05,1.030752e-05,1.027468e-05,1.023562e-05,1.022053e-05,1.016711e-05,1.016498e-05,1.011441e-05,1.009562e-05,1.006244e-05,1.002752e-05,1.001120e-05,9.960675e-06,9.895083e-06,9.830734e-06,9.767616e-06,9.705720e-06,9.645031e-06,9.585538e-06,9.527226e-06,9.470080e-06,9.414086e-06,9.359226e-06,9.305485e-06,9.252847e-06,9.201293e-06,9.150808e-06,9.101374e-06,9.052973e-06,9.005588e-06,8.959200e-06,8.913793e-06,8.869349e-06,8.825850e-06,8.783278e-06,8.741615e-06,8.700845e-06
0.000000e+00,1.872126e-09,4.240304e-09,1.428303e-08,3.189373e-08,4.604393e-08,1.015142e-07,1.044416e-07,1.956110e-07,2.277496e-07,3.248546e-07,4.226495e-07,4.968613e-07,6.964271e-07,7.157476e-07,9.847737e-07,1.057031e-06,1.305541e-06,1.507424e-06,1.676689e-06,2.040811e-06,2.092857e-06,2.545124e-06,2.638985e-06,3.022957e-06,3.278119e-06,3.516225e-06,3.936065e-06,4.016197e-06,4.515678e-06,4.595141e-06,5.008799e-06,5.241794e-06,5.490764e-06,5.865652e-06,5.957666e-06,6.406360e-06,6.458856e-06,6.834390e-06,7.015686e-06,7.239930e-06,7.532308e-06,7.621726e-06,7.979044e-06,8.006561e-06,8.311607e-06,8.437716e-06,8.619535e-06,8.826229e-06,8.903276e-06,9.163544e-06,9.173479e-06,9.401263e-06,9.481524e-06,9.617503e-06,9.752876e-06,9.813442e-06,9.990315e-06,1.014938e-05,1.019673e-05,1.029191e-05,1.037502e-05,1.041913e-05,1.052796e-05,1.053223e-05,1.063236e-05,1.065822e-05,1.072060e-05,1.076825e-05,1.079794e-05,1.086030e-05,1.086534e-05,1.092367e-05,1.093641e-05,1.097373e-05,1.099843e-05,1.101627e-05,1.104801e-05,1.105195e-05,1.108141e-05,1.108660e-05,1.110519e-05,1.111549e-05,1.112382e-05,1.113583e-05,1.113777e-05,1.114744e-05,1.114862e-05,1.115324e-05,1.115475e-05,1.115551e-05,1.115498e-05,1.115455e-05,1.115065e-05,1.115000e-05,1.114407e-05,1.114038e-05,1.113504e-05,1.112668e-05,1.112378e-05,1.111049e-05,1.110934e-05,1.109533e-05,1.108879e-05,1.107848e-05,1.106538e-05,1.106008e-05,1.104026e-05,1.103944e-05,1.101915e-05,1.101126e-05,1.099686e-05,1.098109e-05,1.097350e-05,1.094917e-05,1.092395e-05,1.091570e-05,1.089792e-05,1.088088e-05,1.087116e-05,1.084486e-05,1.084375e-05,1.081574e-05,1.080780e-05,1.078720e-05,1.076984e-05,1.075818e-05,1.073111e-05,1.072874e-05,1.069892e-05,1.069171e-05,1.066877e-05,1.065175e-05,1.063833e-05,1.061133e-05,1.060764e-05,1.057673e-05,1.057053e-05,1.054565e-05,1.052943e-05,1.051443e-05,1.048810e-05,1.048308e-05,1.045165e-05,1.044661e-05,1.042015e-05,1.040502e-05,1.038862e-05,1.036338e-05,1.035707e-05,1.032553e-05,1.032175e-05,1.029402e-05,1.028016e-05,1.026255e-05,1.023867e-05,1.023114e-05,1.019981e-05,1.019731e-05,1.016858e-05,1.015612e-05,1.013746e-05,1.011513e-05,1.010646e-05,1.007560e-05,1.007437e-05,1.004488e-05,1.003386e-05,1.001432e-05,9.993638e-06,9.983932e-06,9.953719e-06,9.914125e-06,9.874874e-06,9.835983e-06,9.797467e-06,9.759341e-06,9.721615e-06,9.684302e-06,9.647410e-06,9.610948e-06,9.574923e-06,9.539343e-06,9.504212e-06,9.469534e-06,9.435315e-06,9.401556e-06,9.368260e-06,9.335430e-06,9.303065e-06,9.271167e-06,9.239736e-06,9.208772e-06,9.178272e-06,9.148237e-06,9.118665e-06
0.000000e+00,6.817760e-09,1.526599e-08,5.026834e-08,1.101428e-07,1.575094e-07,3.401724e-07,3.497357e-07,6.463484e-07,7.508345e-07,1.067565e-06,1.388334e-06,1.632351e-06,2.283938e-06,2.346187e-06,3.186798e-06,3.402924e-06,4.113492e-06,4.655900e-06,5.089709e-06,5.970073e-06,6.090973e-06,7.101559e-06,7.303750e-06,8.110067e-06,8.630438e-06,9.106862e-06,9.928578e-06,1.008302e-05,1.103017e-05,1.117849e-05,1.194062e-05,1.236261e-05,1.280773e-05,1.346651e-05,1.362606e-05,1.439159e-05,1.447977e-05,1.510174e-05,1.539630e-05,1.575529e-05,1.621412e-05,1.635229e-05,1.689384e-05,1.693483e-05,1.738195e-05,1.756281e-05,1.781926e-05,1.810438e-05,1.820884e-05,1.855404e-05,1.856697e-05,1.885836e-05,1.895860e-05,1.912534e-05,1.928729e-05,1.935838e-05,1.956076e-05,1.973557e-05,1.978616e-05,1.988567e-05,1.996997e-05,2.001365e-05,2.011793e-05,2.012191e-05,2.021257e-05,2.023507e-05,2.028755e-05,2.032572e-05,2.034854e-05,2.039362e-05,2.039707e-05,2.043446e-05,2.044191e-05,2.046189e-05,2.047329e-05,2.048040e-05,2.049003e-05,2.049089e-05,2.049419e-05,2.049405e-05,2.049099e-05,2.048698e-05,2.048194e-05,2.047021e-05,2.046758e-05,2.044842e-05,2.044494e-05,2.042490e-05,2.041217e-05,2.039741e-05,2.037281e-05,2.036631e-05,2.033193e-05,2.032760e-05,2.029455e-05,2.027722e-05,2.025444e-05,2.022227e-05,2.021183e-05,2.016695e-05,2.016326e-05,2.011999e-05,2.010067e-05,2.007115e-05,2.003491e-05,2.002059e-05,1.996846e-05,1.996635e-05,1.991493e-05,1.989533e-05,1.986011e-05,1.982216e-05,1.980413e-05,1.974712e-05,1.968918e-05,1.967045e-05,1.963040e-05,1.959240e-05,1.957090e-05,1.951317e-05,1.951075e-05,1.945004e-05,1.943295e-05,1.938884e-05,1.935192e-05,1.932723e-05,1.927024e-05,1.926527e-05,1.920304e-05,1.918806e-05,1.914058e-05,1.910553e-05,1.907796e-05,1.902275e-05,1.901522e-05,1.895242e-05,1.893986e-05,1.888960e-05,1.885695e-05,1.882681e-05,1.877412e-05,1.876409e-05,1.870146e-05,1.869146e-05,1.863898e-05,1.860905e-05,1.857667e-05,1.852697e-05,1.851457e-05,1.845269e-05,1.844528e-05,1.839108e-05,1.836406e-05,1.832975e-05,1.828335e-05,1.826873e-05,1.820804e-05,1.820320e-05,1.814770e-05,1.812367e-05,1.808773e-05,1.804480e-05,1.802815e-05,1.796898e-05,1.796662e-05,1.791022e-05,1.788917e-05,1.785190e-05,1.781249e-05,1.779402e-05,1.773660e-05,1.766152e-05,1.758729e-05,1.751391e-05,1.744141e-05,1.736980e-05,1.729910e-05,1.722932e-05,1.716046e-05,1.709253e-05,1.702554e-05,1.695950e-05,1.689440e-05,1.683025e-05,1.676706e-05,1.670481e-05,1.664351e-05,1.658316e-05,1.652375e-05,1.646529e-05,1.640775e-05,1.635115e-05,1.629547e-05,1.624071e-05,1.618686e-05
0.000000e+00,3.785007e-09,8.634764e-09,2.952841e-08,6.687195e-08,9.730505e-08,2.190727e-07,2.255867e-07,4.318078e-07,5.058238e-07,7.328372e-07,9.657902e-07,1.144968e-06,1.634665e-06,1.682548e-06,2.354307e-06,2.535598e-06,3.159071e-06,3.664029e-06,4.085921e-06,4.990055e-06,5.119103e-06,6.242245e-06,6.476282e-06,7.439770e-06,8.086951e-06,8.696909e-06,9.788595e-06,9.999496e-06,1.133395e-05,1.154954e-05,1.268738e-05,1.334020e-05,1.404777e-05,1.513370e-05,1.540417e-05,1.674683e-05,1.690662e-05,1.806728e-05,1.863934e-05,1.935834e-05,2.031622e-05,2.061412e-05,2.182989e-05,2.192531e-05,2.300201e-05,2.345800e-05,2.412781e-05,2.490866e-05,2.520548e-05,2.623392e-05,2.627402e-05,2.721267e-05,2.755284e-05,2.814175e-05,2.874537e-05,2.902161e-05,2.985303e-05,3.063704e-05,3.087811e-05,3.137487e-05,3.182349e-05,3.206792e-05,3.269249e-05,3.271766e-05,3.332567e-05,3.348865e-05,3.389354e-05,3.421566e-05,3.442289e-05,3.487727e-05,3.491534e-05,3.537251e-05,3.547716e-05,3.579598e-05,3.601898e-05,3.618729e-05,3.650626e-05,3.654797e-05,3.687949e-05,3.694242e-05,3.718327e-05,3.733073e-05,3.746069e-05,3.767432e-05,3.771308e-05,3.794171e-05,3.797617e-05,3.814782e-05,3.823910e-05,3.833258e-05,3.846578e-05,3.849713e-05,3.864254e-05,3.865875e-05,3.876984e-05,3.882038e-05,3.888004e-05,3.895293e-05,3.897407e-05,3.905283e-05,3.905850e-05,3.911719e-05,3.913909e-05,3.916796e-05,3.919655e-05,3.920593e-05,3.923184e-05,3.923263e-05,3.924639e-05,3.924898e-05,3.925027e-05,3.924714e-05,3.924411e-05,3.922853e-05,3.920411e-05,3.919451e-05,3.917139e-05,3.914634e-05,3.913090e-05,3.908519e-05,3.908314e-05,3.902859e-05,3.901216e-05,3.896768e-05,3.892827e-05,3.890086e-05,3.883449e-05,3.882851e-05,3.875103e-05,3.873171e-05,3.866878e-05,3.862077e-05,3.858211e-05,3.850243e-05,3.849133e-05,3.839677e-05,3.837743e-05,3.829871e-05,3.824643e-05,3.819743e-05,3.811007e-05,3.809321e-05,3.798627e-05,3.796893e-05,3.787687e-05,3.782355e-05,3.776523e-05,3.767444e-05,3.765155e-05,3.753604e-05,3.752206e-05,3.741888e-05,3.736686e-05,3.730026e-05,3.720923e-05,3.718034e-05,3.705928e-05,3.704956e-05,3.693724e-05,3.688818e-05,3.681435e-05,3.672542e-05,3.669074e-05,3.656655e-05,3.656158e-05,3.644190e-05,3.639693e-05,3.631689e-05,3.623173e-05,3.619162e-05,3.606621e-05,3.590059e-05,3.573508e-05,3.556984e-05,3.540506e-05,3.524089e-05,3.507746e-05,3.491492e-05,3.475338e-05,3.459294e-05,3.443371e-05,3.427577e-05,3.411922e-05,3.396411e-05,3.381052e-05,3.365850e-05,3.350811e-05,3.335939e-05,3.321238e-05,3.306713e-05,3.292366e-05,3.278200e-05,3.264216e-05,3.250418e-05,3.236806e-05
0.000000e+00,1.645861e-09,3.727782e-09,1.255453e-08,2.802348e-08,4.044357e-08,8.905022e-08,9.161174e-08,1.712023e-07,1.991738e-07,2.834187e-07,3.678580e-07,4.316705e-07,6.021928e-07,6.186222e-07,8.461000e-07,9.068323e-07,1.114797e-06,1.282996e-06,1.423737e-06,1.726340e-06,1.769625e-06,2.146538e-06,2.224962e-06,2.546455e-06,2.760565e-06,2.960547e-06,3.313189e-06,3.380452e-06,3.798977e-06,3.865403e-06,4.210253e-06,4.403681e-06,4.609616e-06,4.918045e-06,4.993414e-06,5.358855e-06,5.401369e-06,5.703874e-06,5.848824e-06,6.027042e-06,6.257475e-06,6.327478e-06,6.604778e-06,6.625960e-06,6.858948e-06,6.954207e-06,7.090332e-06,7.243161e-06,7.299554e-06,7.487457e-06,7.494543e-06,7.655048e-06,7.710621e-06,7.803445e-06,7.893995e-06,7.933834e-06,8.047445e-06,8.145518e-06,8.173820e-06,8.229275e-06,8.275917e-06,8.299905e-06,8.356421e-06,8.358550e-06,8.406301e-06,8.417860e-06,8.444180e-06,8.462572e-06,8.473148e-06,8.492694e-06,8.494094e-06,8.507844e-06,8.510159e-06,8.515156e-06,8.516701e-06,8.516727e-06,8.513865e-06,8.513191e-06,8.505125e-06,8.503015e-06,8.493052e-06,8.485349e-06,8.477445e-06,8.461918e-06,8.458732e-06,8.437301e-06,8.433644e-06,8.413500e-06,8.401327e-06,8.387643e-06,8.365667e-06,8.360011e-06,8.330856e-06,8.327266e-06,8.300405e-06,8.286649e-06,8.268861e-06,8.244269e-06,8.236405e-06,8.203201e-06,8.200517e-06,8.169394e-06,8.155732e-06,8.135115e-06,8.110207e-06,8.100479e-06,8.065591e-06,8.064191e-06,8.030543e-06,8.017902e-06,7.995417e-06,7.971526e-06,7.960289e-06,7.925223e-06,7.890277e-06,7.879128e-06,7.855503e-06,7.833359e-06,7.820947e-06,7.788016e-06,7.786649e-06,7.752646e-06,7.743182e-06,7.718969e-06,7.698931e-06,7.685645e-06,7.655321e-06,7.652699e-06,7.620152e-06,7.612402e-06,7.588022e-06,7.570217e-06,7.556324e-06,7.528799e-06,7.525072e-06,7.494277e-06,7.488174e-06,7.463949e-06,7.448365e-06,7.434094e-06,7.409387e-06,7.404720e-06,7.375830e-06,7.371253e-06,7.347429e-06,7.333971e-06,7.319519e-06,7.297545e-06,7.292100e-06,7.265174e-06,7.261976e-06,7.238740e-06,7.227265e-06,7.212797e-06,7.193407e-06,7.187342e-06,7.162374e-06,7.160398e-06,7.137889e-06,7.128230e-06,7.113884e-06,7.096896e-06,7.090355e-06,7.067298e-06,7.066385e-06,7.044707e-06,7.036688e-06,7.022579e-06,7.007793e-06,7.000907e-06,6.979686e-06,6.952356e-06,6.925788e-06,6.899969e-06,6.874883e-06,6.850516e-06,6.826853e-06,6.803878e-06,6.781578e-06,6.759935e-06,6.738936e-06,6.718564e-06,6.698805e-06,6.679643e-06,6.661063e-06,6.643050e-06,6.625591e-06,6.608670e-06,6.592272e-06,6.576385e-06,6.560993e-06,6.546084e-06,6.531644e-06,6.517660e-06,6.504119e-06
0.000000e+00,3.580046e-09,8.144980e-09,2.771192e-08,6.252847e-08,9.085106e-08,2.042442e-07,2.103223e-07,4.037969e-07,4.738091e-07,6.906061e-07,9.163542e-07,1.092194e-06,1.581722e-06,1.630225e-06,2.319891e-06,2.508225e-06,3.159054e-06,3.686074e-06,4.123952e-06,5.049377e-06,5.179727e-06,6.293876e-06,6.521374e-06,7.441298e-06,8.044728e-06,8.603365e-06,9.580273e-06,9.765784e-06,1.091705e-05,1.109955e-05,1.204757e-05,1.258044e-05,1.314930e-05,1.400541e-05,1.421554e-05,1.524084e-05,1.536091e-05,1.622095e-05,1.663704e-05,1.715275e-05,1.782729e-05,1.803415e-05,1.886400e-05,1.892815e-05,1.964195e-05,1.993865e-05,2.036833e-05,2.085988e-05,2.104404e-05,2.167043e-05,2.169449e-05,2.224918e-05,2.244624e-05,2.278224e-05,2.311968e-05,2.327170e-05,2.371979e-05,2.412878e-05,2.425178e-05,2.450097e-05,2.472090e-05,2.483862e-05,2.513232e-05,2.514394e-05,2.541906e-05,2.549096e-05,2.566602e-05,2.580151e-05,2.588679e-05,2.606835e-05,2.608321e-05,2.625703e-05,2.629557e-05,2.640990e-05,2.648694e-05,2.654336e-05,2.664590e-05,2.665885e-05,2.675773e-05,2.677562e-05,2.684125e-05,2.687900e-05,2.691058e-05,2.695865e-05,2.696681e-05,2.701096e-05,2.701697e-05,2.704398e-05,2.705612e-05,2.706672e-05,2.707807e-05,2.708001e-05,2.708459e-05,2.708459e-05,2.708117e-05,2.707730e-05,2.707039e-05,2.705764e-05,2.705285e-05,2.702910e-05,2.702695e-05,2.699967e-05,2.698641e-05,2.696503e-05,2.693711e-05,2.692562e-05,2.688185e-05,2.688002e-05,2.683411e-05,2.681602e-05,2.678275e-05,2.674593e-05,2.672810e-05,2.667045e-05,2.661010e-05,2.659026e-05,2.654731e-05,2.650595e-05,2.648231e-05,2.641806e-05,2.641534e-05,2.634661e-05,2.632707e-05,2.627630e-05,2.623344e-05,2.620460e-05,2.613756e-05,2.613168e-05,2.605770e-05,2.603980e-05,2.598279e-05,2.594048e-05,2.590709e-05,2.583992e-05,2.583073e-05,2.575382e-05,2.573838e-05,2.567647e-05,2.563611e-05,2.559878e-05,2.553333e-05,2.552084e-05,2.544274e-05,2.543024e-05,2.536456e-05,2.532703e-05,2.528637e-05,2.522386e-05,2.520825e-05,2.513024e-05,2.512089e-05,2.505242e-05,2.501825e-05,2.497483e-05,2.491606e-05,2.489753e-05,2.482057e-05,2.481443e-05,2.474398e-05,2.471346e-05,2.466781e-05,2.461324e-05,2.459208e-05,2.451685e-05,2.451385e-05,2.444213e-05,2.441536e-05,2.436796e-05,2.431784e-05,2.429435e-05,2.422135e-05,2.412592e-05,2.403162e-05,2.393846e-05,2.384650e-05,2.375576e-05,2.366626e-05,2.357803e-05,2.349108e-05,2.340543e-05,2.332109e-05,2.323807e-05,2.315636e-05,2.307599e-05,2.299695e-05,2.291924e-05,2.284285e-05,2.276779e-05,2.269405e-05,2.262162e-05,2.255050e-05,2.248068e-05,2.241214e-05,2.234488e-05,2.227889e-05
0.000000e+00,1.962866e-09,4.460055e-09,1.512704e-08,3.400571e-08,4.928520e-08,1.098656e-07,1.130882e-07,2.144917e-07,2.506649e-07,3.611143e-07,4.738921e-07,5.603785e-07,7.962415e-07,8.193010e-07,1.143793e-06,1.231891e-06,1.537357e-06,1.787882e-06,1.999268e-06,2.457174e-06,2.522896e-06,3.095537e-06,3.214516e-06,3.700619e-06,4.022402e-06,4.321257e-06,4.843902e-06,4.942942e-06,5.554512e-06,5.650848e-06,6.147905e-06,6.424551e-06,6.717502e-06,7.153448e-06,7.259507e-06,7.771467e-06,7.830805e-06,8.251944e-06,8.453190e-06,8.700290e-06,9.019501e-06,9.116466e-06,9.500920e-06,9.530328e-06,9.854472e-06,9.987479e-06,1.017822e-05,1.039360e-05,1.047349e-05,1.074170e-05,1.075189e-05,1.098441e-05,1.106585e-05,1.120319e-05,1.133910e-05,1.139962e-05,1.157525e-05,1.173161e-05,1.177781e-05,1.187015e-05,1.195011e-05,1.199227e-05,1.209526e-05,1.209927e-05,1.219239e-05,1.221614e-05,1.227279e-05,1.231538e-05,1.234155e-05,1.239538e-05,1.239966e-05,1.244804e-05,1.245830e-05,1.248755e-05,1.250609e-05,1.251897e-05,1.254050e-05,1.254303e-05,1.256038e-05,1.256310e-05,1.257164e-05,1.257527e-05,1.257736e-05,1.257826e-05,1.257805e-05,1.257419e-05,1.257318e-05,1.256620e-05,1.256101e-05,1.255446e-05,1.254263e-05,1.253935e-05,1.252119e-05,1.251882e-05,1.250028e-05,1.249028e-05,1.247689e-05,1.245762e-05,1.245128e-05,1.242367e-05,1.242138e-05,1.239428e-05,1.238207e-05,1.236330e-05,1.234011e-05,1.233091e-05,1.229726e-05,1.229589e-05,1.226252e-05,1.224976e-05,1.222680e-05,1.220203e-05,1.219024e-05,1.215296e-05,1.211505e-05,1.210280e-05,1.207661e-05,1.205178e-05,1.203774e-05,1.200008e-05,1.199851e-05,1.195899e-05,1.194789e-05,1.191926e-05,1.189534e-05,1.187938e-05,1.184259e-05,1.183939e-05,1.179937e-05,1.178976e-05,1.175935e-05,1.173695e-05,1.171937e-05,1.168427e-05,1.167949e-05,1.163973e-05,1.163179e-05,1.160012e-05,1.157960e-05,1.156071e-05,1.152777e-05,1.152151e-05,1.148256e-05,1.147635e-05,1.144387e-05,1.142540e-05,1.140547e-05,1.137496e-05,1.136737e-05,1.132959e-05,1.132508e-05,1.129216e-05,1.127580e-05,1.125508e-05,1.122714e-05,1.121836e-05,1.118202e-05,1.117913e-05,1.114607e-05,1.113179e-05,1.111051e-05,1.108515e-05,1.107535e-05,1.104061e-05,1.103922e-05,1.100628e-05,1.099402e-05,1.097237e-05,1.094955e-05,1.093888e-05,1.090583e-05,1.086286e-05,1.082065e-05,1.077919e-05,1.073850e-05,1.069857e-05,1.065940e-05,1.062099e-05,1.058333e-05,1.054643e-05,1.051027e-05,1.047485e-05,1.044017e-05,1.040621e-05,1.037297e-05,1.034044e-05,1.030861e-05,1.027747e-05,1.024702e-05,1.021724e-05,1.018813e-05,1.015967e-05,1.013186e-05,1.010467e-05,1.007812e-05
0.000000e+00,1.203404e-09,2.743538e-09,9.372539e-09,2.121838e-08,3.087903e-08,6.964629e-08,7.172618e-08,1.379333e-07,1.618744e-07,2.358966e-07,3.127265e-07,3.723297e-07,5.366557e-07,5.527813e-07,7.787933e-07,8.395531e-07,1.047517e-06,1.215036e-06,1.354635e-06,1.653594e-06,1.696309e-06,2.069305e-06,2.147398e-06,2.470612e-06,2.689468e-06,2.897161e-06,3.272594e-06,3.345697e-06,3.812761e-06,3.888971e-06,4.294738e-06,4.530298e-06,4.787930e-06,5.188081e-06,5.288654e-06,5.793323e-06,5.853985e-06,6.298531e-06,6.520168e-06,6.801112e-06,7.179538e-06,7.298194e-06,7.787222e-06,7.825928e-06,8.265985e-06,8.454184e-06,8.732607e-06,9.060179e-06,9.185547e-06,9.623578e-06,9.640775e-06,1.004577e-05,1.019374e-05,1.045144e-05,1.071763e-05,1.084016e-05,1.121169e-05,1.156600e-05,1.167574e-05,1.190316e-05,1.211005e-05,1.222341e-05,1.251522e-05,1.252705e-05,1.281451e-05,1.289215e-05,1.308623e-05,1.324192e-05,1.334273e-05,1.356573e-05,1.358455e-05,1.381226e-05,1.386487e-05,1.402643e-05,1.414067e-05,1.422764e-05,1.439445e-05,1.441648e-05,1.459351e-05,1.462755e-05,1.475929e-05,1.484124e-05,1.491437e-05,1.503676e-05,1.505929e-05,1.519454e-05,1.521532e-05,1.532063e-05,1.537803e-05,1.543802e-05,1.552598e-05,1.554718e-05,1.564852e-05,1.566018e-05,1.574247e-05,1.578156e-05,1.582941e-05,1.589103e-05,1.590972e-05,1.598376e-05,1.598942e-05,1.605186e-05,1.607750e-05,1.611433e-05,1.615600e-05,1.617149e-05,1.622362e-05,1.622560e-05,1.627098e-05,1.628692e-05,1.631385e-05,1.634055e-05,1.635245e-05,1.638703e-05,1.641779e-05,1.642687e-05,1.644495e-05,1.646054e-05,1.646871e-05,1.648847e-05,1.648923e-05,1.650671e-05,1.651108e-05,1.652130e-05,1.652874e-05,1.653317e-05,1.654181e-05,1.654246e-05,1.654931e-05,1.655061e-05,1.655386e-05,1.655544e-05,1.655622e-05,1.655660e-05,1.655653e-05,1.655489e-05,1.655434e-05,1.655141e-05,1.654891e-05,1.654620e-05,1.654054e-05,1.653934e-05,1.653094e-05,1.652945e-05,1.652107e-05,1.651584e-05,1.650982e-05,1.649988e-05,1.649727e-05,1.648350e-05,1.648177e-05,1.646856e-05,1.646164e-05,1.645254e-05,1.643967e-05,1.643549e-05,1.641748e-05,1.641599e-05,1.639855e-05,1.639074e-05,1.637877e-05,1.636404e-05,1.635820e-05,1.633686e-05,1.633600e-05,1.631483e-05,1.630673e-05,1.629213e-05,1.627634e-05,1.626881e-05,1.624492e-05,1.621256e-05,1.617935e-05,1.614536e-05,1.611067e-05,1.607534e-05,1.603944e-05,1.600304e-05,1.596619e-05,1.592894e-05,1.589134e-05,1.585344e-05,1.581529e-05,1.577692e-05,1.573838e-05,1.569970e-05,1.566092e-05,1.562207e-05,1.558318e-05,1.554428e-05,1.550539e-05,1.546654e-05,1.542776e-05,1.538906e-05,1.535047e-05
0.000000e+00,4.197467e-09,9.443280e-09,3.137365e-08,6.920414e-08,9.925351e-08,2.152730e-07,2.213379e-07,4.082746e-07,4.734650e-07,6.687774e-07,8.633818e-07,1.009811e-06,1.398269e-06,1.435440e-06,1.943556e-06,2.076647e-06,2.521821e-06,2.868350e-06,3.148427e-06,3.720721e-06,3.799420e-06,4.455005e-06,4.585323e-06,5.100785e-06,5.429198e-06,5.726548e-06,6.231308e-06,6.324986e-06,6.890924e-06,6.978205e-06,7.420895e-06,7.661866e-06,7.912891e-06,8.278597e-06,8.366150e-06,8.780953e-06,8.828191e-06,9.158412e-06,9.313093e-06,9.500263e-06,9.737577e-06,9.808672e-06,1.008606e-05,1.010699e-05,1.033498e-05,1.042715e-05,1.055798e-05,1.070388e-05,1.075754e-05,1.093600e-05,1.094273e-05,1.109555e-05,1.114875e-05,1.123819e-05,1.132644e-05,1.136571e-05,1.147973e-05,1.158169e-05,1.161198e-05,1.167285e-05,1.172605e-05,1.175433e-05,1.182435e-05,1.182711e-05,1.189204e-05,1.190891e-05,1.194987e-05,1.198144e-05,1.200126e-05,1.204336e-05,1.204680e-05,1.208700e-05,1.209591e-05,1.212231e-05,1.214009e-05,1.215312e-05,1.217681e-05,1.217980e-05,1.220266e-05,1.220680e-05,1.222199e-05,1.223073e-05,1.223803e-05,1.224915e-05,1.225104e-05,1.226121e-05,1.226258e-05,1.226873e-05,1.227146e-05,1.227379e-05,1.227617e-05,1.227654e-05,1.227713e-05,1.227706e-05,1.227570e-05,1.227447e-05,1.227238e-05,1.226866e-05,1.226728e-05,1.226052e-05,1.225991e-05,1.225219e-05,1.224844e-05,1.224239e-05,1.223448e-05,1.223122e-05,1.221876e-05,1.221823e-05,1.220508e-05,1.219988e-05,1.219027e-05,1.217958e-05,1.217439e-05,1.215751e-05,1.213969e-05,1.213380e-05,1.212100e-05,1.210860e-05,1.210148e-05,1.208203e-05,1.208120e-05,1.206020e-05,1.205420e-05,1.203854e-05,1.202523e-05,1.201625e-05,1.199523e-05,1.199338e-05,1.196997e-05,1.196427e-05,1.194606e-05,1.193247e-05,1.192169e-05,1.189989e-05,1.189689e-05,1.187170e-05,1.186662e-05,1.184615e-05,1.183272e-05,1.182026e-05,1.179828e-05,1.179407e-05,1.176760e-05,1.176334e-05,1.174088e-05,1.172798e-05,1.171394e-05,1.169224e-05,1.168680e-05,1.165947e-05,1.165618e-05,1.163199e-05,1.161986e-05,1.160437e-05,1.158330e-05,1.157663e-05,1.154880e-05,1.154657e-05,1.152087e-05,1.150969e-05,1.149289e-05,1.147270e-05,1.146485e-05,1.143678e-05,1.143565e-05,1.140868e-05,1.139856e-05,1.138058e-05,1.136147e-05,1.135248e-05,1.132440e-05,1.128738e-05,1.125044e-05,1.121360e-05,1.117688e-05,1.114030e-05,1.110389e-05,1.106765e-05,1.103161e-05,1.099577e-05,1.096017e-05,1.092480e-05,1.088968e-05,1.085482e-05,1.082024e-05,1.078593e-05,1.075192e-05,1.071820e-05,1.068479e-05,1.065168e-05,1.061890e-05,1.058644e-05,1.055431e-05,1.052251e-05,1.049104e-05
0.000000e+00,1.509162e-09,3.427039e-09,1.160492e-08,2.603622e-08,3.768304e-08,8.360572e-08,8.603795e-08,1.620771e-07,1.889859e-07,2.705212e-07,3.529073e-07,4.155692e-07,5.845714e-07,6.009673e-07,8.298485e-07,8.915046e-07,1.104176e-06,1.277746e-06,1.423947e-06,1.741171e-06,1.786883e-06,2.189081e-06,2.273835e-06,2.625995e-06,2.865381e-06,3.093034e-06,3.505361e-06,3.585738e-06,4.099747e-06,4.183678e-06,4.630749e-06,4.890403e-06,5.174445e-06,5.615669e-06,5.726563e-06,6.282888e-06,6.349733e-06,6.839317e-06,7.083159e-06,7.391922e-06,7.807058e-06,7.937004e-06,8.471155e-06,8.513320e-06,8.991300e-06,9.194815e-06,9.494722e-06,9.845501e-06,9.979081e-06,1.044244e-05,1.046051e-05,1.088323e-05,1.103616e-05,1.130030e-05,1.156992e-05,1.169282e-05,1.206030e-05,1.240255e-05,1.250674e-05,1.271964e-05,1.290952e-05,1.301190e-05,1.326955e-05,1.327981e-05,1.352406e-05,1.358831e-05,1.374544e-05,1.386766e-05,1.394485e-05,1.410977e-05,1.412330e-05,1.428180e-05,1.431699e-05,1.442143e-05,1.449178e-05,1.454327e-05,1.463663e-05,1.464840e-05,1.473791e-05,1.475402e-05,1.481282e-05,1.484636e-05,1.487418e-05,1.491596e-05,1.492295e-05,1.496008e-05,1.496501e-05,1.498647e-05,1.499556e-05,1.500294e-05,1.500953e-05,1.501031e-05,1.500933e-05,1.500869e-05,1.500070e-05,1.499465e-05,1.498508e-05,1.496892e-05,1.496309e-05,1.493529e-05,1.493283e-05,1.490221e-05,1.488762e-05,1.486435e-05,1.483438e-05,1.482216e-05,1.477605e-05,1.477413e-05,1.472642e-05,1.470776e-05,1.467362e-05,1.463607e-05,1.461797e-05,1.455979e-05,1.449934e-05,1.447957e-05,1.443689e-05,1.439598e-05,1.437267e-05,1.430954e-05,1.430688e-05,1.423974e-05,1.422072e-05,1.417141e-05,1.412992e-05,1.410208e-05,1.403752e-05,1.403188e-05,1.396096e-05,1.394385e-05,1.388945e-05,1.384918e-05,1.381746e-05,1.375380e-05,1.374510e-05,1.367247e-05,1.365792e-05,1.359967e-05,1.356177e-05,1.352676e-05,1.346551e-05,1.345384e-05,1.338096e-05,1.336931e-05,1.330820e-05,1.327332e-05,1.323560e-05,1.317768e-05,1.316322e-05,1.309112e-05,1.308249e-05,1.301933e-05,1.298785e-05,1.294789e-05,1.289386e-05,1.287684e-05,1.280622e-05,1.280059e-05,1.273606e-05,1.270812e-05,1.266637e-05,1.261651e-05,1.259719e-05,1.252854e-05,1.252581e-05,1.246044e-05,1.243606e-05,1.239291e-05,1.234732e-05,1.232596e-05,1.225961e-05,1.217296e-05,1.208740e-05,1.200295e-05,1.191963e-05,1.183746e-05,1.175644e-05,1.167657e-05,1.159788e-05,1.152036e-05,1.144401e-05,1.136883e-05,1.129483e-05,1.122199e-05,1.115031e-05,1.107979e-05,1.101042e-05,1.094218e-05,1.087508e-05,1.080910e-05,1.074423e-05,1.068046e-05,1.061778e-05,1.055617e-05,1.049562e-05
0.000000e+00,1.299025e-08,2.938774e-08,9.885145e-08,2.208569e-07,3.192616e-07,7.093146e-07,7.301087e-07,1.389098e-06,1.626783e-06,2.361871e-06,3.126337e-06,3.720448e-06,5.358216e-06,5.518482e-06,7.741887e-06,8.329592e-06,1.029983e-05,1.183695e-05,1.308354e-05,1.565341e-05,1.601012e-05,1.902438e-05,1.963419e-05,2.208785e-05,2.369003e-05,2.517009e-05,2.775386e-05,2.824408e-05,3.128426e-05,3.176590e-05,3.426616e-05,3.566991e-05,3.716663e-05,3.941400e-05,3.996440e-05,4.264062e-05,4.295280e-05,4.517933e-05,4.624939e-05,4.756776e-05,4.927651e-05,4.979643e-05,5.185909e-05,5.201681e-05,5.375256e-05,5.446241e-05,5.547647e-05,5.661375e-05,5.703286e-05,5.842586e-05,5.847826e-05,5.966126e-05,6.006876e-05,6.074616e-05,6.140201e-05,6.168862e-05,6.249732e-05,6.318131e-05,6.337536e-05,6.374980e-05,6.405723e-05,6.421191e-05,6.456375e-05,6.457658e-05,6.485243e-05,6.491488e-05,6.504768e-05,6.512939e-05,6.517009e-05,6.522462e-05,6.522692e-05,6.522493e-05,6.521640e-05,6.517035e-05,6.511899e-05,6.506895e-05,6.494515e-05,6.492596e-05,6.474619e-05,6.470621e-05,6.453397e-05,6.441213e-05,6.429326e-05,6.407165e-05,6.402761e-05,6.374024e-05,6.369244e-05,6.343403e-05,6.328114e-05,6.311159e-05,6.284352e-05,6.277524e-05,6.242706e-05,6.238457e-05,6.206891e-05,6.190861e-05,6.170247e-05,6.141935e-05,6.132922e-05,6.095050e-05,6.092000e-05,6.056751e-05,6.041335e-05,6.018130e-05,5.990178e-05,5.979283e-05,5.940294e-05,5.938733e-05,5.901240e-05,5.887177e-05,5.862186e-05,5.835661e-05,5.823193e-05,5.784315e-05,5.745599e-05,5.733251e-05,5.707087e-05,5.682565e-05,5.668818e-05,5.632337e-05,5.630822e-05,5.593132e-05,5.582636e-05,5.555771e-05,5.533522e-05,5.518763e-05,5.485044e-05,5.482128e-05,5.445882e-05,5.437243e-05,5.410043e-05,5.390154e-05,5.374621e-05,5.343805e-05,5.339629e-05,5.305076e-05,5.298219e-05,5.270970e-05,5.253414e-05,5.237318e-05,5.209404e-05,5.204124e-05,5.171394e-05,5.166200e-05,5.139130e-05,5.123810e-05,5.107335e-05,5.082236e-05,5.076009e-05,5.045153e-05,5.041482e-05,5.014768e-05,5.001547e-05,4.984852e-05,4.962430e-05,4.955405e-05,4.926424e-05,4.924125e-05,4.897906e-05,4.886629e-05,4.869850e-05,4.849934e-05,4.842253e-05,4.815110e-05,4.814033e-05,4.788418e-05,4.778918e-05,4.762172e-05,4.744579e-05,4.736370e-05,4.711005e-05,4.678187e-05,4.646113e-05,4.614770e-05,4.584148e-05,4.554234e-05,4.525015e-05,4.496479e-05,4.468612e-05,4.441401e-05,4.414834e-05,4.388897e-05,4.363578e-05,4.338863e-05,4.314739e-05,4.291195e-05,4.268216e-05,4.245790e-05,4.223905e-05,4.202548e-05,4.181708e-05,4.161372e-05,4.141528e-05,4.122165e-05,4.103272e-05
0.000000e+00,7.932768e-10,1.807292e-09,6.165674e-09,1.394202e-08,2.027739e-08,4.566784e-08,4.702898e-08,9.031557e-08,1.059505e-07,1.542293e-07,2.042221e-07,2.429050e-07,3.489986e-07,3.593622e-07,5.037210e-07,5.422607e-07,6.734072e-07,7.782706e-07,8.651751e-07,1.049924e-06,1.076175e-06,1.303926e-06,1.351279e-06,1.546075e-06,1.676899e-06,1.800254e-06,2.021287e-06,2.064037e-06,2.334966e-06,2.378814e-06,2.610604e-06,2.743886e-06,2.888595e-06,3.111189e-06,3.166726e-06,3.442975e-06,3.475910e-06,3.715539e-06,3.833890e-06,3.982861e-06,4.181704e-06,4.243630e-06,4.496779e-06,4.516675e-06,4.741472e-06,4.836836e-06,4.977088e-06,5.140859e-06,5.203191e-06,5.419516e-06,5.427963e-06,5.625936e-06,5.697819e-06,5.822448e-06,5.950458e-06,6.009141e-06,6.186186e-06,6.353815e-06,6.405511e-06,6.512303e-06,6.609081e-06,6.661961e-06,6.797635e-06,6.803123e-06,6.936135e-06,6.971966e-06,7.061353e-06,7.132890e-06,7.179132e-06,7.281221e-06,7.289824e-06,7.393776e-06,7.417760e-06,7.491326e-06,7.543280e-06,7.582801e-06,7.658524e-06,7.668516e-06,7.748773e-06,7.764195e-06,7.823861e-06,7.860956e-06,7.894055e-06,7.949429e-06,7.959618e-06,8.020799e-06,8.030197e-06,8.077832e-06,8.103801e-06,8.130942e-06,8.170747e-06,8.180339e-06,8.226222e-06,8.231501e-06,8.268779e-06,8.286497e-06,8.308189e-06,8.336139e-06,8.344620e-06,8.378229e-06,8.380800e-06,8.409166e-06,8.420825e-06,8.437573e-06,8.456534e-06,8.463582e-06,8.487319e-06,8.488223e-06,8.508902e-06,8.516167e-06,8.528444e-06,8.540620e-06,8.546050e-06,8.561819e-06,8.575847e-06,8.579983e-06,8.588222e-06,8.595314e-06,8.599028e-06,8.608001e-06,8.608346e-06,8.616249e-06,8.618219e-06,8.622811e-06,8.626132e-06,8.628098e-06,8.631891e-06,8.632174e-06,8.635099e-06,8.635637e-06,8.636933e-06,8.637502e-06,8.637727e-06,8.637609e-06,8.637536e-06,8.636407e-06,8.636073e-06,8.634387e-06,8.632999e-06,8.631520e-06,8.628489e-06,8.627849e-06,8.623414e-06,8.622636e-06,8.618251e-06,8.615526e-06,8.612399e-06,8.607243e-06,8.605890e-06,8.598759e-06,8.597863e-06,8.591036e-06,8.587458e-06,8.582751e-06,8.576095e-06,8.573932e-06,8.564607e-06,8.563839e-06,8.554801e-06,8.550749e-06,8.544539e-06,8.536882e-06,8.533845e-06,8.522741e-06,8.522289e-06,8.511249e-06,8.507021e-06,8.499390e-06,8.491125e-06,8.487182e-06,8.474645e-06,8.457623e-06,8.440098e-06,8.422107e-06,8.403686e-06,8.384867e-06,8.365683e-06,8.346162e-06,8.326334e-06,8.306223e-06,8.285856e-06,8.265256e-06,8.244446e-06,8.223447e-06,8.202279e-06,8.180962e-06,8.159514e-06,8.137951e-06,8.116291e-06,8.094548e-06,8.072738e-06,8.050874e-06,8.028969e-06,8.007036e-06,7.985087e-06
0.000000e+00,5.689299e-07,1.298145e-06,4.445268e-06,1.009601e-05,1.472697e-05,3.349512e-05,3.450993e-05,6.719620e-05,7.918597e-05,1.167622e-04,1.564785e-04,1.877255e-04,2.755181e-04,2.842450e-04,4.080590e-04,4.416726e-04,5.570409e-04,6.497595e-04,7.265467e-04,8.888551e-04,9.117737e-04,1.108800e-03,1.149339e-03,1.314550e-03,1.424135e-03,1.526503e-03,1.707734e-03,1.742476e-03,1.960498e-03,1.995450e-03,2.178767e-03,2.283134e-03,2.395636e-03,2.567123e-03,2.609625e-03,2.819424e-03,2.844263e-03,3.023906e-03,3.111943e-03,3.222125e-03,3.368102e-03,3.413310e-03,3.596859e-03,3.611199e-03,3.772325e-03,3.840173e-03,3.939395e-03,4.054378e-03,4.097882e-03,4.247703e-03,4.253515e-03,4.388861e-03,4.437571e-03,4.521437e-03,4.606755e-03,4.645569e-03,4.761445e-03,4.869289e-03,4.902144e-03,4.969356e-03,5.029443e-03,5.061919e-03,5.143990e-03,5.147269e-03,5.225703e-03,5.246467e-03,5.297525e-03,5.337570e-03,5.363038e-03,5.417998e-03,5.422545e-03,5.476346e-03,5.488442e-03,5.524733e-03,5.549573e-03,5.567994e-03,5.602043e-03,5.606405e-03,5.640238e-03,5.646478e-03,5.669752e-03,5.683476e-03,5.695198e-03,5.713607e-03,5.716819e-03,5.734845e-03,5.737410e-03,5.749498e-03,5.755396e-03,5.760990e-03,5.768045e-03,5.769525e-03,5.775294e-03,5.775810e-03,5.778483e-03,5.779114e-03,5.779266e-03,5.778355e-03,5.777811e-03,5.774275e-03,5.773906e-03,5.768808e-03,5.766114e-03,5.761555e-03,5.755302e-03,5.752649e-03,5.742220e-03,5.741772e-03,5.730387e-03,5.725806e-03,5.717266e-03,5.707663e-03,5.702965e-03,5.687586e-03,5.671227e-03,5.665799e-03,5.653977e-03,5.642510e-03,5.635924e-03,5.617911e-03,5.617147e-03,5.597724e-03,5.592179e-03,5.577724e-03,5.565477e-03,5.557217e-03,5.537956e-03,5.536265e-03,5.514927e-03,5.509755e-03,5.493259e-03,5.481000e-03,5.471313e-03,5.451809e-03,5.449137e-03,5.426777e-03,5.422287e-03,5.404276e-03,5.392533e-03,5.381673e-03,5.362635e-03,5.359005e-03,5.336306e-03,5.332674e-03,5.313609e-03,5.302723e-03,5.290942e-03,5.272850e-03,5.268335e-03,5.245811e-03,5.243115e-03,5.223394e-03,5.213570e-03,5.201106e-03,5.184266e-03,5.178967e-03,5.156996e-03,5.155246e-03,5.135208e-03,5.126547e-03,5.113619e-03,5.098206e-03,5.092242e-03,5.071092e-03,5.070251e-03,5.050178e-03,5.042709e-03,5.029511e-03,5.015604e-03,5.009101e-03,4.988954e-03,4.962778e-03,4.937089e-03,4.911900e-03,4.887218e-03,4.863053e-03,4.839409e-03,4.816290e-03,4.793699e-03,4.771635e-03,4.750100e-03,4.729090e-03,4.708603e-03,4.688636e-03,4.669184e-03,4.650242e-03,4.631803e-03,4.613861e-03,4.596410e-03,4.579441e-03,4.562947e-03,4.546919e-03,4.531348e-03,4.516227e-03,4.501546e-03
0.000000e+00,1.409108e-08,3.224228e-08,1.113843e-07,2.562170e-07,3.772487e-07,8.867507e-07,9.150994e-07,1.866072e-06,2.231262e-06,3.421471e-06,4.737099e-06,5.799677e-06,8.836801e-06,9.139145e-06,1.337391e-05,1.450090e-05,1.829634e-05,2.127828e-05,2.371262e-05,2.878353e-05,2.949346e-05,3.555628e-05,3.679728e-05,4.184247e-05,4.518341e-05,4.830398e-05,5.383496e-05,5.489691e-05,6.157915e-05,6.265384e-05,6.830973e-05,7.154602e-05,7.504953e-05,8.042300e-05,8.176148e-05,8.841133e-05,8.920362e-05,9.496806e-05,9.781642e-05,1.014046e-04,1.062013e-04,1.076973e-04,1.138266e-04,1.143094e-04,1.197764e-04,1.221030e-04,1.255335e-04,1.295537e-04,1.310882e-04,1.364332e-04,1.366426e-04,1.415638e-04,1.433578e-04,1.464772e-04,1.496935e-04,1.511722e-04,1.556492e-04,1.599099e-04,1.612280e-04,1.639567e-04,1.664360e-04,1.677931e-04,1.712818e-04,1.714231e-04,1.748513e-04,1.757756e-04,1.780825e-04,1.799288e-04,1.811220e-04,1.837537e-04,1.839752e-04,1.866478e-04,1.872629e-04,1.891454e-04,1.904698e-04,1.914738e-04,1.933874e-04,1.936387e-04,1.956459e-04,1.960290e-04,1.975011e-04,1.984076e-04,1.992099e-04,2.005362e-04,2.007779e-04,2.022105e-04,2.024275e-04,2.035131e-04,2.040937e-04,2.046909e-04,2.055468e-04,2.057491e-04,2.066926e-04,2.067984e-04,2.075264e-04,2.078598e-04,2.082553e-04,2.087418e-04,2.088837e-04,2.094162e-04,2.094548e-04,2.098572e-04,2.100089e-04,2.102109e-04,2.104138e-04,2.104813e-04,2.106725e-04,2.106785e-04,2.107882e-04,2.108121e-04,2.108322e-04,2.108229e-04,2.108080e-04,2.107190e-04,2.105687e-04,2.105082e-04,2.103602e-04,2.101977e-04,2.100967e-04,2.097946e-04,2.097810e-04,2.094161e-04,2.093055e-04,2.090048e-04,2.087368e-04,2.085497e-04,2.080944e-04,2.080533e-04,2.075181e-04,2.073842e-04,2.069465e-04,2.066113e-04,2.063408e-04,2.057812e-04,2.057030e-04,2.050354e-04,2.048984e-04,2.043398e-04,2.039678e-04,2.036183e-04,2.029935e-04,2.028726e-04,2.021045e-04,2.019797e-04,2.013158e-04,2.009303e-04,2.005079e-04,1.998489e-04,1.996824e-04,1.988409e-04,1.987389e-04,1.979847e-04,1.976036e-04,1.971151e-04,1.964461e-04,1.962335e-04,1.953410e-04,1.952691e-04,1.944388e-04,1.940755e-04,1.935281e-04,1.928676e-04,1.926098e-04,1.916850e-04,1.916479e-04,1.907547e-04,1.904186e-04,1.898197e-04,1.891817e-04,1.888809e-04,1.879391e-04,1.866928e-04,1.854443e-04,1.841952e-04,1.829470e-04,1.817010e-04,1.804585e-04,1.792206e-04,1.779885e-04,1.767630e-04,1.755451e-04,1.743356e-04,1.731354e-04,1.719450e-04,1.707651e-04,1.695963e-04,1.684392e-04,1.672941e-04,1.661615e-04,1.650417e-04,1.639352e-04,1.628421e-04,1.617628e-04,1.606974e-04,1.596462e-04
0.000000e+00,1.716725e-08,3.925965e-08,1.354251e-07,3.109833e-07,4.574214e-07,1.072684e-06,1.106894e-06,2.255272e-06,2.697033e-06,4.140177e-06,5.739999e-06,7.034130e-06,1.073706e-05,1.110588e-05,1.627521e-05,1.765187e-05,2.228837e-05,2.592792e-05,2.889440e-05,3.505309e-05,3.591259e-05,4.322076e-05,4.470908e-05,5.073122e-05,5.469307e-05,5.837441e-05,6.485306e-05,6.609014e-05,7.382371e-05,7.505931e-05,8.152466e-05,8.519576e-05,8.914667e-05,9.515916e-05,9.664789e-05,1.039914e-04,1.048605e-04,1.111455e-04,1.142262e-04,1.180835e-04,1.231985e-04,1.247840e-04,1.312303e-04,1.317347e-04,1.374102e-04,1.398056e-04,1.433154e-04,1.473941e-04,1.489408e-04,1.542847e-04,1.544925e-04,1.593473e-04,1.611015e-04,1.641314e-04,1.672276e-04,1.686412e-04,1.728822e-04,1.768611e-04,1.780801e-04,1.805851e-04,1.828385e-04,1.840623e-04,1.871761e-04,1.873011e-04,1.903101e-04,1.911126e-04,1.930980e-04,1.946684e-04,1.956738e-04,1.978636e-04,1.980461e-04,2.002238e-04,2.007184e-04,2.022154e-04,2.032525e-04,2.040293e-04,2.054852e-04,2.056739e-04,2.071571e-04,2.074350e-04,2.084867e-04,2.091199e-04,2.096702e-04,2.105570e-04,2.107151e-04,2.116284e-04,2.117627e-04,2.124168e-04,2.127529e-04,2.130870e-04,2.135422e-04,2.136452e-04,2.140976e-04,2.141451e-04,2.144499e-04,2.145747e-04,2.147078e-04,2.148440e-04,2.148767e-04,2.149615e-04,2.149648e-04,2.149674e-04,2.149486e-04,2.148989e-04,2.148061e-04,2.147606e-04,2.145568e-04,2.145473e-04,2.142916e-04,2.141818e-04,2.139688e-04,2.137184e-04,2.135923e-04,2.131656e-04,2.126922e-04,2.125313e-04,2.121751e-04,2.118228e-04,2.116176e-04,2.110470e-04,2.110225e-04,2.103927e-04,2.102105e-04,2.097308e-04,2.093193e-04,2.090393e-04,2.083790e-04,2.083206e-04,2.075770e-04,2.073951e-04,2.068106e-04,2.063723e-04,2.060235e-04,2.053153e-04,2.052177e-04,2.043949e-04,2.042285e-04,2.035569e-04,2.031157e-04,2.027053e-04,2.019807e-04,2.018418e-04,2.009677e-04,2.008270e-04,2.000845e-04,1.996577e-04,1.991935e-04,1.984759e-04,1.982959e-04,1.973929e-04,1.972842e-04,1.964855e-04,1.960852e-04,1.955749e-04,1.948813e-04,1.946620e-04,1.937477e-04,1.936745e-04,1.928328e-04,1.924669e-04,1.919183e-04,1.912604e-04,1.910048e-04,1.900930e-04,1.900566e-04,1.891836e-04,1.888570e-04,1.882773e-04,1.876630e-04,1.873746e-04,1.864760e-04,1.852970e-04,1.841272e-04,1.829675e-04,1.818188e-04,1.806819e-04,1.795574e-04,1.784459e-04,1.773481e-04,1.762644e-04,1.751951e-04,1.741408e-04,1.731017e-04,1.720780e-04,1.710701e-04,1.700779e-04,1.691018e-04,1.681418e-04,1.671979e-04,1.662703e-04,1.653589e-04,1.644637e-04,1.635846e-04,1.627217e-04,1.618748e-04
0.000000e+00,4.890409e-09,1.095785e-08,3.615644e-08,7.946036e-08,1.138915e-07,2.481041e-07,2.551936e-07,4.781379e-07,5.580519e-07,8.044235e-07,1.059716e-06,1.257295e-06,1.795402e-06,1.847362e-06,2.551801e-06,2.732545e-06,3.321764e-06,3.764464e-06,4.113392e-06,4.806930e-06,4.900666e-06,5.670702e-06,5.822013e-06,6.417038e-06,6.794384e-06,7.135622e-06,7.715313e-06,7.823081e-06,8.476198e-06,8.577302e-06,9.091932e-06,9.373408e-06,9.667636e-06,1.009798e-05,1.020127e-05,1.069154e-05,1.074743e-05,1.113799e-05,1.132059e-05,1.154093e-05,1.181870e-05,1.190143e-05,1.222113e-05,1.224501e-05,1.250218e-05,1.260432e-05,1.274705e-05,1.290244e-05,1.295840e-05,1.313903e-05,1.314565e-05,1.329169e-05,1.334033e-05,1.341911e-05,1.349266e-05,1.352387e-05,1.360838e-05,1.367490e-05,1.369272e-05,1.372546e-05,1.375030e-05,1.376191e-05,1.378517e-05,1.378591e-05,1.379895e-05,1.380081e-05,1.380231e-05,1.380018e-05,1.379718e-05,1.378582e-05,1.378455e-05,1.376534e-05,1.375983e-05,1.374031e-05,1.372402e-05,1.371016e-05,1.367988e-05,1.367550e-05,1.363686e-05,1.362870e-05,1.359471e-05,1.357154e-05,1.354945e-05,1.350929e-05,1.350144e-05,1.345101e-05,1.344273e-05,1.339843e-05,1.337251e-05,1.334397e-05,1.329920e-05,1.328786e-05,1.323028e-05,1.322329e-05,1.317144e-05,1.314519e-05,1.311149e-05,1.306529e-05,1.305059e-05,1.298887e-05,1.298390e-05,1.292646e-05,1.290132e-05,1.286346e-05,1.281781e-05,1.279999e-05,1.273614e-05,1.273358e-05,1.267199e-05,1.264884e-05,1.260763e-05,1.256378e-05,1.254313e-05,1.247855e-05,1.241396e-05,1.239330e-05,1.234942e-05,1.230816e-05,1.228497e-05,1.222325e-05,1.222068e-05,1.215657e-05,1.213866e-05,1.209270e-05,1.205450e-05,1.202910e-05,1.197085e-05,1.196580e-05,1.190284e-05,1.188779e-05,1.184025e-05,1.180537e-05,1.177806e-05,1.172367e-05,1.171628e-05,1.165494e-05,1.164273e-05,1.159407e-05,1.156260e-05,1.153367e-05,1.148333e-05,1.147378e-05,1.141439e-05,1.140494e-05,1.135554e-05,1.132748e-05,1.129722e-05,1.125097e-05,1.123946e-05,1.118225e-05,1.117543e-05,1.112562e-05,1.110088e-05,1.106956e-05,1.102735e-05,1.101409e-05,1.095920e-05,1.095484e-05,1.090491e-05,1.088337e-05,1.085122e-05,1.081294e-05,1.079814e-05,1.074565e-05,1.074357e-05,1.069378e-05,1.067525e-05,1.064251e-05,1.060800e-05,1.059185e-05,1.054180e-05,1.047667e-05,1.041259e-05,1.034958e-05,1.028761e-05,1.022669e-05,1.016680e-05,1.010795e-05,1.005012e-05,9.993310e-06,9.937502e-06,9.882688e-06,9.828860e-06,9.776004e-06,9.724110e-06,9.673166e-06,9.623160e-06,9.574079e-06,9.525911e-06,9.478643e-06,9.432262e-06,9.386755e-06,9.342108e-06,9.298309e-06,9.255344e-06
0.000000e+00,4.676909e-09,1.066616e-08,3.653848e-08,8.320707e-08,1.216964e-07,2.799939e-07,2.886559e-07,5.726002e-07,6.787993e-07,1.016146e-06,1.375334e-06,1.656139e-06,2.422163e-06,2.496085e-06,3.504136e-06,3.766650e-06,4.641922e-06,5.324433e-06,5.880099e-06,7.035690e-06,7.197343e-06,8.576479e-06,8.858359e-06,1.000206e-05,1.075681e-05,1.145937e-05,1.269766e-05,1.293425e-05,1.441325e-05,1.464942e-05,1.588389e-05,1.658349e-05,1.733498e-05,1.847516e-05,1.875675e-05,2.014101e-05,2.030427e-05,2.148110e-05,2.205534e-05,2.277178e-05,2.371725e-05,2.400922e-05,2.519081e-05,2.528286e-05,2.631494e-05,2.674833e-05,2.738095e-05,2.811249e-05,2.838888e-05,2.933938e-05,2.937622e-05,3.023357e-05,3.054196e-05,3.107291e-05,3.161321e-05,3.185914e-05,3.259419e-05,3.328011e-05,3.348957e-05,3.391902e-05,3.430425e-05,3.451309e-05,3.504320e-05,3.506447e-05,3.557530e-05,3.571135e-05,3.604768e-05,3.631349e-05,3.648363e-05,3.685424e-05,3.688514e-05,3.725410e-05,3.733801e-05,3.759234e-05,3.776898e-05,3.790159e-05,3.815108e-05,3.818352e-05,3.843972e-05,3.848801e-05,3.867170e-05,3.878324e-05,3.888089e-05,3.903999e-05,3.906864e-05,3.923625e-05,3.926127e-05,3.938492e-05,3.944990e-05,3.951582e-05,3.960847e-05,3.963003e-05,3.972858e-05,3.973940e-05,3.981244e-05,3.984493e-05,3.988254e-05,3.992714e-05,3.993973e-05,3.998484e-05,3.998795e-05,4.001864e-05,4.002916e-05,4.004185e-05,4.005240e-05,4.005517e-05,4.005923e-05,4.005921e-05,4.005465e-05,4.005099e-05,4.004200e-05,4.002907e-05,4.002182e-05,3.999463e-05,3.996091e-05,3.994881e-05,3.992110e-05,3.989263e-05,3.987564e-05,3.982706e-05,3.982493e-05,3.976935e-05,3.975296e-05,3.970925e-05,3.967117e-05,3.964498e-05,3.958243e-05,3.957684e-05,3.950515e-05,3.948744e-05,3.943017e-05,3.938685e-05,3.935218e-05,3.928124e-05,3.927142e-05,3.918812e-05,3.917118e-05,3.910252e-05,3.905716e-05,3.901482e-05,3.893966e-05,3.892521e-05,3.883387e-05,3.881911e-05,3.874100e-05,3.869591e-05,3.864673e-05,3.857043e-05,3.855124e-05,3.845466e-05,3.844300e-05,3.835713e-05,3.831395e-05,3.825878e-05,3.818355e-05,3.815972e-05,3.806008e-05,3.805209e-05,3.795996e-05,3.791980e-05,3.785946e-05,3.778691e-05,3.775866e-05,3.765767e-05,3.765363e-05,3.755656e-05,3.752015e-05,3.745541e-05,3.738665e-05,3.735430e-05,3.725328e-05,3.712020e-05,3.698755e-05,3.685544e-05,3.672399e-05,3.659331e-05,3.646349e-05,3.633461e-05,3.620676e-05,3.608000e-05,3.595440e-05,3.583002e-05,3.570691e-05,3.558511e-05,3.546467e-05,3.534562e-05,3.522799e-05,3.511182e-05,3.499712e-05,3.488392e-05,3.477224e-05,3.466209e-05,3.455347e-05,3.444641e-05,3.434091e-05
0.000000e+00,5.692232e-09,1.299737e-08,4.454945e-08,1.011747e-07,1.475045e-07,3.343009e-07,3.443534e-07,6.654447e-07,7.819473e-07,1.142952e-06,1.518428e-06,1.810051e-06,2.615500e-06,2.694675e-06,3.806950e-06,4.106560e-06,5.131891e-06,5.955469e-06,6.638727e-06,8.089181e-06,8.294795e-06,1.007127e-05,1.043875e-05,1.194309e-05,1.294656e-05,1.388771e-05,1.556220e-05,1.588434e-05,1.791368e-05,1.824020e-05,1.995799e-05,2.093980e-05,2.200124e-05,2.362549e-05,2.402926e-05,2.602980e-05,2.626751e-05,2.799253e-05,2.884190e-05,2.990896e-05,3.133024e-05,3.177228e-05,3.357721e-05,3.371895e-05,3.531982e-05,3.599878e-05,3.699742e-05,3.816401e-05,3.860824e-05,4.015139e-05,4.021170e-05,4.162664e-05,4.214115e-05,4.303432e-05,4.395332e-05,4.437520e-05,4.565041e-05,4.686135e-05,4.723553e-05,4.800961e-05,4.871241e-05,4.909695e-05,5.008520e-05,5.012522e-05,5.109638e-05,5.135833e-05,5.201238e-05,5.253633e-05,5.287522e-05,5.362382e-05,5.368692e-05,5.444946e-05,5.462537e-05,5.516481e-05,5.554551e-05,5.583490e-05,5.638865e-05,5.646163e-05,5.704686e-05,5.715909e-05,5.759240e-05,5.786097e-05,5.809999e-05,5.849831e-05,5.857136e-05,5.900814e-05,5.907493e-05,5.941195e-05,5.959451e-05,5.978431e-05,6.006057e-05,6.012673e-05,6.044064e-05,6.047646e-05,6.072743e-05,6.084537e-05,6.098842e-05,6.117032e-05,6.122491e-05,6.143811e-05,6.145420e-05,6.162922e-05,6.169973e-05,6.179936e-05,6.190950e-05,6.194963e-05,6.208107e-05,6.208595e-05,6.219468e-05,6.223140e-05,6.229142e-05,6.234804e-05,6.237221e-05,6.243792e-05,6.248940e-05,6.250299e-05,6.252744e-05,6.254509e-05,6.255281e-05,6.256594e-05,6.256626e-05,6.256847e-05,6.256716e-05,6.256011e-05,6.255030e-05,6.254184e-05,6.251678e-05,6.251424e-05,6.247791e-05,6.246795e-05,6.243340e-05,6.240510e-05,6.238123e-05,6.232939e-05,6.232191e-05,6.225592e-05,6.224196e-05,6.218371e-05,6.214385e-05,6.210572e-05,6.203604e-05,6.202236e-05,6.193402e-05,6.191945e-05,6.184107e-05,6.179493e-05,6.174388e-05,6.166329e-05,6.164277e-05,6.153806e-05,6.152527e-05,6.143007e-05,6.138159e-05,6.131908e-05,6.123289e-05,6.120536e-05,6.108917e-05,6.107978e-05,6.097076e-05,6.092283e-05,6.085036e-05,6.076257e-05,6.072820e-05,6.060447e-05,6.059949e-05,6.047937e-05,6.043404e-05,6.035310e-05,6.026666e-05,6.022584e-05,6.009773e-05,5.992762e-05,5.975667e-05,5.958519e-05,5.941347e-05,5.924177e-05,5.907034e-05,5.889941e-05,5.872917e-05,5.855982e-05,5.839154e-05,5.822448e-05,5.805879e-05,5.789458e-05,5.773200e-05,5.757113e-05,5.741207e-05,5.725492e-05,5.709974e-05,5.694661e-05,5.679557e-05,5.664670e-05,5.650001e-05,5.635557e-05,5.621339e-05
0.000000e+00,3.605385e-09,8.238709e-09,2.829390e-08,6.440826e-08,9.405104e-08,2.142960e-07,2.207975e-07,4.299488e-07,5.065123e-07,7.459392e-07,9.984491e-07,1.197112e-06,1.758638e-06,1.814949e-06,2.629933e-06,2.857524e-06,3.662706e-06,4.337289e-06,4.913471e-06,6.176294e-06,6.358810e-06,7.960607e-06,8.296143e-06,9.678831e-06,1.060659e-05,1.147901e-05,1.303423e-05,1.333369e-05,1.522127e-05,1.552512e-05,1.712437e-05,1.803906e-05,1.902862e-05,2.054462e-05,2.092186e-05,2.279363e-05,2.301636e-05,2.463498e-05,2.543352e-05,2.643827e-05,2.777936e-05,2.819713e-05,2.990630e-05,3.004075e-05,3.156160e-05,3.220788e-05,3.315981e-05,3.427383e-05,3.469860e-05,3.617639e-05,3.623422e-05,3.759230e-05,3.808680e-05,3.894600e-05,3.983107e-05,4.023769e-05,4.146794e-05,4.263768e-05,4.299940e-05,4.374808e-05,4.442824e-05,4.480056e-05,4.575788e-05,4.579666e-05,4.673807e-05,4.699210e-05,4.762654e-05,4.813498e-05,4.846391e-05,4.919074e-05,4.925202e-05,4.999274e-05,5.016367e-05,5.068793e-05,5.105803e-05,5.133942e-05,5.187804e-05,5.194904e-05,5.251857e-05,5.262782e-05,5.304975e-05,5.331137e-05,5.354427e-05,5.393254e-05,5.400378e-05,5.442988e-05,5.449506e-05,5.482411e-05,5.500247e-05,5.518797e-05,5.545816e-05,5.552290e-05,5.583027e-05,5.586537e-05,5.611142e-05,5.622716e-05,5.636764e-05,5.654645e-05,5.660015e-05,5.681014e-05,5.682600e-05,5.699873e-05,5.706842e-05,5.716702e-05,5.727620e-05,5.731604e-05,5.744679e-05,5.745165e-05,5.756022e-05,5.759700e-05,5.765725e-05,5.771431e-05,5.773875e-05,5.780555e-05,5.785844e-05,5.787256e-05,5.789820e-05,5.791708e-05,5.792554e-05,5.794075e-05,5.794116e-05,5.794572e-05,5.794510e-05,5.793986e-05,5.793159e-05,5.792418e-05,5.790157e-05,5.789925e-05,5.786562e-05,5.785632e-05,5.782382e-05,5.779703e-05,5.777435e-05,5.772484e-05,5.771768e-05,5.765426e-05,5.764080e-05,5.758452e-05,5.754590e-05,5.750888e-05,5.744106e-05,5.742772e-05,5.734142e-05,5.732716e-05,5.725034e-05,5.720501e-05,5.715480e-05,5.707538e-05,5.705513e-05,5.695163e-05,5.693897e-05,5.684460e-05,5.679646e-05,5.673431e-05,5.664847e-05,5.662102e-05,5.650498e-05,5.649558e-05,5.638642e-05,5.633834e-05,5.626557e-05,5.617726e-05,5.614264e-05,5.601783e-05,5.601281e-05,5.589134e-05,5.584543e-05,5.576335e-05,5.567555e-05,5.563403e-05,5.550353e-05,5.532976e-05,5.515454e-05,5.497821e-05,5.480103e-05,5.462329e-05,5.444522e-05,5.426707e-05,5.408903e-05,5.391131e-05,5.373409e-05,5.355753e-05,5.338179e-05,5.320701e-05,5.303333e-05,5.286085e-05,5.268970e-05,5.251996e-05,5.235172e-05,5.218508e-05,5.202010e-05,5.185686e-05,5.169540e-05,5.153579e-05,5.137807e-05
0.000000e+00,3.038131e-09,6.894240e-09,2.331236e-08,5.223642e-08,7.555322e-08,1.673628e-07,1.722215e-07,3.240074e-07,3.776857e-07,5.402662e-07,7.044692e-07,8.293200e-07,1.165885e-06,1.198524e-06,1.653944e-06,1.776566e-06,2.199414e-06,2.544410e-06,2.834882e-06,3.464064e-06,3.554511e-06,4.345983e-06,4.511441e-06,5.192181e-06,5.647610e-06,6.074440e-06,6.830559e-06,6.975296e-06,7.879758e-06,8.023946e-06,8.775466e-06,9.199264e-06,9.652353e-06,1.033477e-05,1.050226e-05,1.131866e-05,1.141412e-05,1.209639e-05,1.242529e-05,1.283153e-05,1.335998e-05,1.352127e-05,1.416377e-05,1.421310e-05,1.475810e-05,1.498228e-05,1.530408e-05,1.566749e-05,1.580218e-05,1.625343e-05,1.627053e-05,1.665930e-05,1.679464e-05,1.702158e-05,1.724407e-05,1.734232e-05,1.762378e-05,1.786828e-05,1.793911e-05,1.807823e-05,1.819558e-05,1.825603e-05,1.839867e-05,1.840405e-05,1.852458e-05,1.855372e-05,1.861987e-05,1.866581e-05,1.869202e-05,1.873971e-05,1.874306e-05,1.877488e-05,1.877986e-05,1.878927e-05,1.879033e-05,1.878787e-05,1.877481e-05,1.877223e-05,1.874377e-05,1.873665e-05,1.870379e-05,1.867886e-05,1.865351e-05,1.860413e-05,1.859404e-05,1.852638e-05,1.851486e-05,1.845148e-05,1.841320e-05,1.837016e-05,1.830102e-05,1.828322e-05,1.819134e-05,1.818002e-05,1.809518e-05,1.805166e-05,1.799530e-05,1.791725e-05,1.789226e-05,1.778651e-05,1.777795e-05,1.767850e-05,1.763475e-05,1.756862e-05,1.748856e-05,1.745723e-05,1.734466e-05,1.734013e-05,1.723118e-05,1.719016e-05,1.711708e-05,1.703924e-05,1.700257e-05,1.688789e-05,1.677321e-05,1.673655e-05,1.665872e-05,1.658562e-05,1.654457e-05,1.643544e-05,1.643090e-05,1.631784e-05,1.628630e-05,1.620549e-05,1.613846e-05,1.609395e-05,1.599213e-05,1.598332e-05,1.587367e-05,1.584750e-05,1.576507e-05,1.570473e-05,1.565758e-05,1.556395e-05,1.555125e-05,1.544614e-05,1.542526e-05,1.534227e-05,1.528877e-05,1.523970e-05,1.515454e-05,1.513843e-05,1.503850e-05,1.502264e-05,1.493993e-05,1.489311e-05,1.484274e-05,1.476598e-05,1.474693e-05,1.465252e-05,1.464128e-05,1.455950e-05,1.451902e-05,1.446790e-05,1.439922e-05,1.437770e-05,1.428890e-05,1.428186e-05,1.420151e-05,1.416695e-05,1.411552e-05,1.405446e-05,1.403092e-05,1.394770e-05,1.394440e-05,1.386586e-05,1.383673e-05,1.378538e-05,1.373143e-05,1.370625e-05,1.362847e-05,1.352783e-05,1.342947e-05,1.333336e-05,1.323946e-05,1.314774e-05,1.305816e-05,1.297068e-05,1.288527e-05,1.280187e-05,1.272046e-05,1.264099e-05,1.256341e-05,1.248771e-05,1.241382e-05,1.234171e-05,1.227134e-05,1.220268e-05,1.213568e-05,1.207030e-05,1.200651e-05,1.194427e-05,1.188355e-05,1.182430e-05,1.176648e-05
0.000000e+00,3.835591e-09,8.779426e-09,3.033058e-08,6.970220e-08,1.025293e-07,2.401006e-07,2.477312e-07,5.027937e-07,6.004369e-07,9.181641e-07,1.269080e-06,1.552590e-06,2.364982e-06,2.446119e-06,3.590035e-06,3.897149e-06,4.940348e-06,5.769495e-06,6.452345e-06,7.890994e-06,8.094075e-06,9.844264e-06,1.020591e-05,1.168768e-05,1.267889e-05,1.361181e-05,1.528204e-05,1.560515e-05,1.765623e-05,1.798898e-05,1.975332e-05,2.077275e-05,2.188444e-05,2.360572e-05,2.403751e-05,2.620067e-05,2.646037e-05,2.836243e-05,2.931034e-05,3.051194e-05,3.213117e-05,3.263916e-05,3.473498e-05,3.490104e-05,3.679129e-05,3.760114e-05,3.880105e-05,4.021584e-05,4.075825e-05,4.265791e-05,4.273264e-05,4.449600e-05,4.514200e-05,4.626936e-05,4.743705e-05,4.797566e-05,4.961328e-05,5.118124e-05,5.166819e-05,5.267911e-05,5.360096e-05,5.410692e-05,5.541213e-05,5.546514e-05,5.675454e-05,5.710338e-05,5.797620e-05,5.867721e-05,5.913141e-05,6.013679e-05,6.022165e-05,6.124855e-05,6.148577e-05,6.221383e-05,6.272815e-05,6.311931e-05,6.386815e-05,6.396686e-05,6.475838e-05,6.491013e-05,6.549580e-05,6.585852e-05,6.618106e-05,6.671777e-05,6.681607e-05,6.740275e-05,6.749226e-05,6.794297e-05,6.818632e-05,6.843859e-05,6.880420e-05,6.889143e-05,6.930326e-05,6.935001e-05,6.967583e-05,6.982776e-05,7.001082e-05,7.024130e-05,7.030989e-05,7.057462e-05,7.059436e-05,7.080657e-05,7.089052e-05,7.100725e-05,7.113320e-05,7.117811e-05,7.132056e-05,7.132569e-05,7.143595e-05,7.147112e-05,7.152560e-05,7.157251e-05,7.159078e-05,7.163270e-05,7.165254e-05,7.165441e-05,7.165144e-05,7.164025e-05,7.163048e-05,7.159266e-05,7.159072e-05,7.153317e-05,7.151400e-05,7.145878e-05,7.140647e-05,7.136850e-05,7.127218e-05,7.126322e-05,7.114380e-05,7.111312e-05,7.101105e-05,7.093119e-05,7.086577e-05,7.072816e-05,7.070872e-05,7.054062e-05,7.050573e-05,7.036216e-05,7.026549e-05,7.017401e-05,7.000894e-05,6.997681e-05,6.977116e-05,6.973751e-05,6.955765e-05,6.945254e-05,6.933684e-05,6.915528e-05,6.910925e-05,6.887539e-05,6.884693e-05,6.863575e-05,6.852860e-05,6.839080e-05,6.820135e-05,6.814096e-05,6.788668e-05,6.786615e-05,6.762834e-05,6.752395e-05,6.736633e-05,6.717561e-05,6.710101e-05,6.683274e-05,6.682195e-05,6.656183e-05,6.646372e-05,6.628861e-05,6.610166e-05,6.601338e-05,6.573641e-05,6.536862e-05,6.499886e-05,6.462767e-05,6.425557e-05,6.388303e-05,6.351048e-05,6.313833e-05,6.276696e-05,6.239672e-05,6.202792e-05,6.166087e-05,6.129585e-05,6.093309e-05,6.057285e-05,6.021531e-05,5.986069e-05,5.950915e-05,5.916086e-05,5.881596e-05,5.847457e-05,5.813682e-05,5.780281e-05,5.747262e-05,5.714635e-05
0.000000e+00,3.972124e-09,9.066079e-09,3.104292e-08,7.041414e-08,1.025734e-07,2.318365e-07,2.387766e-07,4.597474e-07,5.396341e-07,7.864752e-07,1.042509e-06,1.241209e-06,1.791175e-06,1.845426e-06,2.613068e-06,2.821811e-06,3.542688e-06,4.128691e-06,4.619245e-06,5.672926e-06,5.823593e-06,7.138250e-06,7.413050e-06,8.547994e-06,9.313984e-06,1.003888e-05,1.134404e-05,1.159740e-05,1.321018e-05,1.347236e-05,1.486388e-05,1.566834e-05,1.654542e-05,1.790219e-05,1.824217e-05,1.994219e-05,2.014588e-05,2.163447e-05,2.237400e-05,2.330902e-05,2.456436e-05,2.495704e-05,2.657090e-05,2.669833e-05,2.814415e-05,2.876087e-05,2.967152e-05,3.074040e-05,3.114877e-05,3.257268e-05,3.262849e-05,3.394088e-05,3.441947e-05,3.525181e-05,3.611004e-05,3.650456e-05,3.769881e-05,3.883472e-05,3.918597e-05,3.991286e-05,4.057295e-05,4.093412e-05,4.186209e-05,4.189965e-05,4.281083e-05,4.305642e-05,4.366916e-05,4.415947e-05,4.447629e-05,4.517509e-05,4.523392e-05,4.594383e-05,4.610730e-05,4.660780e-05,4.696024e-05,4.722765e-05,4.773805e-05,4.780518e-05,4.834217e-05,4.844486e-05,4.884038e-05,4.908470e-05,4.930153e-05,4.966148e-05,4.972729e-05,5.011930e-05,5.017899e-05,5.047913e-05,5.064088e-05,5.080833e-05,5.105063e-05,5.110837e-05,5.138067e-05,5.141155e-05,5.162662e-05,5.172682e-05,5.184752e-05,5.199943e-05,5.204464e-05,5.221921e-05,5.223224e-05,5.237238e-05,5.242791e-05,5.250528e-05,5.258901e-05,5.261896e-05,5.271446e-05,5.271791e-05,5.279274e-05,5.281689e-05,5.285474e-05,5.288806e-05,5.290135e-05,5.293343e-05,5.295179e-05,5.295489e-05,5.295719e-05,5.295420e-05,5.295039e-05,5.293302e-05,5.293208e-05,5.290293e-05,5.289292e-05,5.286360e-05,5.283536e-05,5.281467e-05,5.276170e-05,5.275675e-05,5.269038e-05,5.267325e-05,5.261608e-05,5.257120e-05,5.253436e-05,5.245669e-05,5.244569e-05,5.235054e-05,5.233076e-05,5.224931e-05,5.219442e-05,5.214244e-05,5.204859e-05,5.203031e-05,5.191328e-05,5.189412e-05,5.179171e-05,5.173185e-05,5.166594e-05,5.156251e-05,5.153628e-05,5.140303e-05,5.138681e-05,5.126648e-05,5.120543e-05,5.112691e-05,5.101896e-05,5.098456e-05,5.083969e-05,5.082800e-05,5.069252e-05,5.063306e-05,5.054328e-05,5.043466e-05,5.039217e-05,5.023939e-05,5.023325e-05,5.008513e-05,5.002927e-05,4.992957e-05,4.982313e-05,4.977287e-05,4.961519e-05,4.940582e-05,4.919532e-05,4.898400e-05,4.877214e-05,4.856000e-05,4.834782e-05,4.813582e-05,4.792420e-05,4.771315e-05,4.750285e-05,4.729346e-05,4.708512e-05,4.687798e-05,4.667215e-05,4.646775e-05,4.626487e-05,4.606363e-05,4.586410e-05,4.566635e-05,4.547047e-05,4.527650e-05,4.508452e-05,4.489456e-05,4.470668e-05
0.000000e+00,3.191559e-09,7.269316e-09,2.483287e-08,5.639775e-08,8.235748e-08,1.886886e-07,1.944921e-07,3.842295e-07,4.550440e-07,6.799346e-07,9.199004e-07,1.108202e-06,1.625527e-06,1.675710e-06,2.363352e-06,2.543170e-06,3.144010e-06,3.613417e-06,3.995952e-06,4.792308e-06,4.903793e-06,5.855876e-06,6.050709e-06,6.842227e-06,7.365556e-06,7.853490e-06,8.715528e-06,8.880548e-06,9.914482e-06,1.007997e-05,1.094670e-05,1.143915e-05,1.196912e-05,1.277503e-05,1.297439e-05,1.395599e-05,1.407191e-05,1.490831e-05,1.531683e-05,1.582675e-05,1.649987e-05,1.670774e-05,1.754860e-05,1.761408e-05,1.834751e-05,1.865507e-05,1.910342e-05,1.962079e-05,1.981590e-05,2.048512e-05,2.051100e-05,2.111168e-05,2.132699e-05,2.169660e-05,2.207115e-05,2.224105e-05,2.274644e-05,2.321440e-05,2.335651e-05,2.364660e-05,2.390524e-05,2.404478e-05,2.439667e-05,2.441071e-05,2.474614e-05,2.483482e-05,2.505276e-05,2.522361e-05,2.533225e-05,2.556681e-05,2.558623e-05,2.581624e-05,2.586805e-05,2.602377e-05,2.613069e-05,2.621022e-05,2.635791e-05,2.637692e-05,2.652513e-05,2.655266e-05,2.665606e-05,2.671768e-05,2.677081e-05,2.685547e-05,2.687044e-05,2.695594e-05,2.696837e-05,2.702823e-05,2.705850e-05,2.708819e-05,2.712782e-05,2.713662e-05,2.717430e-05,2.717813e-05,2.720193e-05,2.721108e-05,2.722018e-05,2.722816e-05,2.722967e-05,2.723100e-05,2.723077e-05,2.722470e-05,2.722016e-05,2.721129e-05,2.719750e-05,2.719125e-05,2.716502e-05,2.716385e-05,2.713303e-05,2.712018e-05,2.709567e-05,2.706738e-05,2.705330e-05,2.700628e-05,2.695493e-05,2.693763e-05,2.689954e-05,2.686211e-05,2.684040e-05,2.678036e-05,2.677779e-05,2.671194e-05,2.669296e-05,2.664310e-05,2.660045e-05,2.657149e-05,2.650333e-05,2.649730e-05,2.642075e-05,2.640204e-05,2.634200e-05,2.629701e-05,2.626123e-05,2.618862e-05,2.617861e-05,2.609428e-05,2.607723e-05,2.600840e-05,2.596316e-05,2.592108e-05,2.584672e-05,2.583246e-05,2.574267e-05,2.572820e-05,2.565180e-05,2.560783e-05,2.555997e-05,2.548588e-05,2.546728e-05,2.537382e-05,2.536255e-05,2.527967e-05,2.523806e-05,2.518493e-05,2.511258e-05,2.508968e-05,2.499397e-05,2.498630e-05,2.489790e-05,2.485938e-05,2.480151e-05,2.473196e-05,2.470488e-05,2.460807e-05,2.460419e-05,2.451112e-05,2.447619e-05,2.441409e-05,2.434809e-05,2.431703e-05,2.421998e-05,2.409198e-05,2.396418e-05,2.383666e-05,2.370950e-05,2.358278e-05,2.345657e-05,2.333092e-05,2.320590e-05,2.308157e-05,2.295796e-05,2.283512e-05,2.271310e-05,2.259194e-05,2.247166e-05,2.235230e-05,2.223388e-05,2.211644e-05,2.200000e-05,2.188457e-05,2.177018e-05,2.165683e-05,2.154456e-05,2.143336e-05,2.132326e-05
0.000000e+00,7.828441e-09,1.792066e-08,6.198982e-08,1.428676e-07,2.106663e-07,4.980391e-07,5.141156e-07,1.057766e-06,1.268289e-06,1.957564e-06,2.718778e-06,3.328850e-06,5.039316e-06,5.207014e-06,7.522371e-06,8.131574e-06,1.017424e-05,1.177609e-05,1.308485e-05,1.581889e-05,1.620269e-05,1.949199e-05,2.016786e-05,2.292441e-05,2.475737e-05,2.647460e-05,2.952987e-05,3.011811e-05,3.383087e-05,3.442975e-05,3.758922e-05,3.940263e-05,4.137017e-05,4.439657e-05,4.515201e-05,4.891466e-05,4.936401e-05,5.263992e-05,5.426297e-05,5.631172e-05,5.905791e-05,5.991619e-05,6.344169e-05,6.372001e-05,6.687847e-05,6.822652e-05,7.021870e-05,7.256042e-05,7.345632e-05,7.658677e-05,7.670970e-05,7.960681e-05,8.066659e-05,8.251447e-05,8.442695e-05,8.530877e-05,8.798951e-05,9.055721e-05,9.135515e-05,9.301291e-05,9.452649e-05,9.535816e-05,9.750743e-05,9.759484e-05,9.972511e-05,1.003028e-04,1.017514e-04,1.029183e-04,1.036762e-04,1.053597e-04,1.055022e-04,1.072322e-04,1.076335e-04,1.088691e-04,1.097461e-04,1.104156e-04,1.117041e-04,1.118747e-04,1.132491e-04,1.135141e-04,1.145417e-04,1.151825e-04,1.157554e-04,1.167159e-04,1.168928e-04,1.179568e-04,1.181204e-04,1.189499e-04,1.194022e-04,1.198748e-04,1.205674e-04,1.207341e-04,1.215302e-04,1.216216e-04,1.222655e-04,1.225705e-04,1.229425e-04,1.234194e-04,1.235634e-04,1.241305e-04,1.241736e-04,1.246459e-04,1.248381e-04,1.251117e-04,1.254176e-04,1.255300e-04,1.259028e-04,1.259168e-04,1.262320e-04,1.263401e-04,1.265193e-04,1.266918e-04,1.267667e-04,1.269758e-04,1.271484e-04,1.271962e-04,1.272860e-04,1.273564e-04,1.273902e-04,1.274602e-04,1.274625e-04,1.275044e-04,1.275109e-04,1.275172e-04,1.275116e-04,1.275024e-04,1.274654e-04,1.274612e-04,1.273948e-04,1.273753e-04,1.273046e-04,1.272440e-04,1.271916e-04,1.270742e-04,1.270569e-04,1.269018e-04,1.268683e-04,1.267271e-04,1.266288e-04,1.265339e-04,1.263580e-04,1.263231e-04,1.260957e-04,1.260578e-04,1.258526e-04,1.257306e-04,1.255946e-04,1.253780e-04,1.253225e-04,1.250371e-04,1.250020e-04,1.247393e-04,1.246044e-04,1.244296e-04,1.241868e-04,1.241088e-04,1.237776e-04,1.237507e-04,1.234366e-04,1.232976e-04,1.230864e-04,1.228290e-04,1.227277e-04,1.223609e-04,1.223461e-04,1.219867e-04,1.218502e-04,1.216055e-04,1.213425e-04,1.212178e-04,1.208241e-04,1.202962e-04,1.197595e-04,1.192152e-04,1.186641e-04,1.181071e-04,1.175449e-04,1.169782e-04,1.164079e-04,1.158345e-04,1.152586e-04,1.146809e-04,1.141019e-04,1.135220e-04,1.129419e-04,1.123619e-04,1.117824e-04,1.112039e-04,1.106267e-04,1.100512e-04,1.094777e-04,1.089064e-04,1.083377e-04,1.077718e-04,1.072090e-04
0.000000e+00,1.641889e-09,3.747837e-09,1.284137e-08,2.916759e-08,4.253731e-08,9.657640e-08,9.949090e-08,1.929326e-07,2.270029e-07,3.331440e-07,4.444925e-07,5.317084e-07,7.765324e-07,8.009521e-07,1.151775e-06,1.248885e-06,1.589471e-06,1.871357e-06,2.109795e-06,2.625809e-06,2.699734e-06,3.342863e-06,3.476493e-06,4.024085e-06,4.389216e-06,4.731212e-06,5.338143e-06,5.454654e-06,6.186670e-06,6.304140e-06,6.920762e-06,7.272191e-06,7.651329e-06,8.229932e-06,8.373473e-06,9.082923e-06,9.167024e-06,9.775998e-06,1.007494e-05,1.044959e-05,1.094688e-05,1.110113e-05,1.172858e-05,1.177769e-05,1.233040e-05,1.256369e-05,1.290547e-05,1.330255e-05,1.345308e-05,1.397286e-05,1.399307e-05,1.446474e-05,1.463502e-05,1.492893e-05,1.522894e-05,1.536580e-05,1.577588e-05,1.615984e-05,1.627732e-05,1.651845e-05,1.673503e-05,1.685253e-05,1.715098e-05,1.716295e-05,1.745064e-05,1.752725e-05,1.771654e-05,1.786600e-05,1.796158e-05,1.816941e-05,1.818671e-05,1.839288e-05,1.843966e-05,1.858109e-05,1.867897e-05,1.875223e-05,1.888939e-05,1.890716e-05,1.904670e-05,1.907284e-05,1.917168e-05,1.923117e-05,1.928288e-05,1.936617e-05,1.938103e-05,1.946685e-05,1.947948e-05,1.954102e-05,1.957269e-05,1.960422e-05,1.964728e-05,1.965705e-05,1.970012e-05,1.970466e-05,1.973400e-05,1.974613e-05,1.975921e-05,1.977291e-05,1.977629e-05,1.978572e-05,1.978616e-05,1.978796e-05,1.978694e-05,1.978346e-05,1.977628e-05,1.977263e-05,1.975589e-05,1.975510e-05,1.973360e-05,1.972428e-05,1.970612e-05,1.968464e-05,1.967379e-05,1.963695e-05,1.959588e-05,1.958190e-05,1.955090e-05,1.952017e-05,1.950225e-05,1.945236e-05,1.945022e-05,1.939504e-05,1.937906e-05,1.933694e-05,1.930078e-05,1.927615e-05,1.921803e-05,1.921288e-05,1.914731e-05,1.913125e-05,1.907964e-05,1.904089e-05,1.901004e-05,1.894733e-05,1.893868e-05,1.886572e-05,1.885094e-05,1.879129e-05,1.875207e-05,1.871556e-05,1.865101e-05,1.863863e-05,1.856064e-05,1.854808e-05,1.848171e-05,1.844353e-05,1.840195e-05,1.833761e-05,1.832146e-05,1.824033e-05,1.823056e-05,1.815867e-05,1.812259e-05,1.807656e-05,1.801390e-05,1.799407e-05,1.791130e-05,1.790466e-05,1.782830e-05,1.779505e-05,1.774515e-05,1.768522e-05,1.766191e-05,1.757864e-05,1.757531e-05,1.749539e-05,1.746544e-05,1.741223e-05,1.735575e-05,1.732920e-05,1.724634e-05,1.713730e-05,1.702874e-05,1.692073e-05,1.681336e-05,1.670668e-05,1.660076e-05,1.649567e-05,1.639144e-05,1.628813e-05,1.618578e-05,1.608443e-05,1.598410e-05,1.588483e-05,1.578664e-05,1.568956e-05,1.559360e-05,1.549878e-05,1.540511e-05,1.531261e-05,1.522128e-05,1.513113e-05,1.504216e-05,1.495439e-05,1.486780e-05
0.000000e+00,3.484225e-06,7.823011e-06,2.589003e-05,5.693107e-05,8.153062e-05,1.763384e-04,1.812925e-04,3.341937e-04,3.876734e-04,5.486351e-04,7.103288e-04,8.329569e-04,1.162347e-03,1.194164e-03,1.633790e-03,1.750305e-03,2.144177e-03,2.455677e-03,2.711116e-03,3.245235e-03,3.320127e-03,3.959757e-03,4.090569e-03,4.621499e-03,4.972093e-03,5.298705e-03,5.875296e-03,5.985634e-03,6.676894e-03,6.787544e-03,7.367208e-03,7.696692e-03,8.051376e-03,8.590873e-03,8.724332e-03,9.381270e-03,9.458811e-03,1.001776e-02,1.029031e-02,1.062987e-02,1.107669e-02,1.121425e-02,1.176818e-02,1.181111e-02,1.228962e-02,1.248876e-02,1.277714e-02,1.310669e-02,1.322995e-02,1.364779e-02,1.366378e-02,1.403096e-02,1.416054e-02,1.438016e-02,1.459874e-02,1.469645e-02,1.498116e-02,1.523586e-02,1.531130e-02,1.546225e-02,1.559311e-02,1.566212e-02,1.583076e-02,1.583731e-02,1.598966e-02,1.602846e-02,1.612096e-02,1.619037e-02,1.623296e-02,1.632039e-02,1.632733e-02,1.640566e-02,1.642223e-02,1.646941e-02,1.649926e-02,1.651997e-02,1.655456e-02,1.655860e-02,1.658648e-02,1.659086e-02,1.660467e-02,1.661063e-02,1.661415e-02,1.661603e-02,1.661581e-02,1.661045e-02,1.660899e-02,1.659878e-02,1.659113e-02,1.658145e-02,1.656389e-02,1.655903e-02,1.653204e-02,1.652852e-02,1.650097e-02,1.648611e-02,1.646622e-02,1.643760e-02,1.642818e-02,1.638719e-02,1.638379e-02,1.634355e-02,1.632541e-02,1.629753e-02,1.626306e-02,1.624938e-02,1.619933e-02,1.619729e-02,1.614758e-02,1.612857e-02,1.609432e-02,1.605732e-02,1.603970e-02,1.598389e-02,1.592701e-02,1.590861e-02,1.586920e-02,1.583176e-02,1.581056e-02,1.575360e-02,1.575122e-02,1.569125e-02,1.567436e-02,1.563076e-02,1.559424e-02,1.556982e-02,1.551342e-02,1.550851e-02,1.544689e-02,1.543207e-02,1.538504e-02,1.535033e-02,1.532302e-02,1.526833e-02,1.526087e-02,1.519865e-02,1.518620e-02,1.513641e-02,1.510405e-02,1.507420e-02,1.502198e-02,1.501204e-02,1.494999e-02,1.494007e-02,1.488808e-02,1.485842e-02,1.482633e-02,1.477708e-02,1.476479e-02,1.470348e-02,1.469614e-02,1.464243e-02,1.461565e-02,1.458165e-02,1.453566e-02,1.452118e-02,1.446104e-02,1.445624e-02,1.440124e-02,1.437742e-02,1.434180e-02,1.429924e-02,1.428274e-02,1.422408e-02,1.422174e-02,1.416583e-02,1.414496e-02,1.410800e-02,1.406892e-02,1.405060e-02,1.399365e-02,1.391918e-02,1.384552e-02,1.377270e-02,1.370072e-02,1.362961e-02,1.355937e-02,1.349002e-02,1.342156e-02,1.335400e-02,1.328734e-02,1.322159e-02,1.315675e-02,1.309282e-02,1.302980e-02,1.296769e-02,1.290650e-02,1.284620e-02,1.278681e-02,1.272832e-02,1.267073e-02,1.261402e-02,1.255819e-02,1.250324e-02,1.244916e-02
0.000000e+00,3.518682e-09,8.022911e-09,2.741208e-08,6.205465e-08,9.029557e-08,2.034836e-07,2.095491e-07,4.022080e-07,4.716711e-07,6.857863e-07,9.071600e-07,1.078533e-06,1.551375e-06,1.597930e-06,2.255922e-06,2.434793e-06,3.052925e-06,3.556041e-06,3.977584e-06,4.883594e-06,5.013153e-06,6.143048e-06,6.379017e-06,7.352505e-06,8.008414e-06,8.628233e-06,9.741919e-06,9.957758e-06,1.132901e-05,1.155149e-05,1.273020e-05,1.341001e-05,1.414983e-05,1.529138e-05,1.557687e-05,1.700093e-05,1.717116e-05,1.841241e-05,1.902720e-05,1.980261e-05,2.084015e-05,2.116383e-05,2.248948e-05,2.259382e-05,2.377397e-05,2.427520e-05,2.501279e-05,2.587444e-05,2.620240e-05,2.734013e-05,2.738454e-05,2.842418e-05,2.880106e-05,2.945343e-05,3.012175e-05,3.042740e-05,3.134617e-05,3.221024e-05,3.247532e-05,3.302049e-05,3.351136e-05,3.377813e-05,3.445726e-05,3.448456e-05,3.514139e-05,3.531665e-05,3.575036e-05,3.609353e-05,3.631330e-05,3.679219e-05,3.683211e-05,3.730871e-05,3.741702e-05,3.774502e-05,3.797247e-05,3.814295e-05,3.846290e-05,3.850441e-05,3.883122e-05,3.889259e-05,3.912521e-05,3.926569e-05,3.938811e-05,3.958616e-05,3.962161e-05,3.982735e-05,3.985780e-05,4.000688e-05,4.008419e-05,4.016170e-05,4.026873e-05,4.029325e-05,4.040289e-05,4.041463e-05,4.049193e-05,4.052490e-05,4.056161e-05,4.060236e-05,4.061313e-05,4.064759e-05,4.064965e-05,4.066608e-05,4.066923e-05,4.066960e-05,4.066341e-05,4.065911e-05,4.063554e-05,4.063433e-05,4.059973e-05,4.058400e-05,4.055251e-05,4.051427e-05,4.049464e-05,4.042687e-05,4.034988e-05,4.032341e-05,4.026433e-05,4.020537e-05,4.017083e-05,4.007414e-05,4.006997e-05,3.996230e-05,3.993100e-05,3.984833e-05,3.977714e-05,3.972856e-05,3.961365e-05,3.960346e-05,3.947345e-05,3.944157e-05,3.933895e-05,3.926182e-05,3.920035e-05,3.907529e-05,3.905802e-05,3.891229e-05,3.888277e-05,3.876350e-05,3.868502e-05,3.861194e-05,3.848271e-05,3.845791e-05,3.830168e-05,3.827649e-05,3.814349e-05,3.806694e-05,3.798360e-05,3.785460e-05,3.782221e-05,3.765956e-05,3.763996e-05,3.749582e-05,3.742349e-05,3.733120e-05,3.720559e-05,3.716586e-05,3.699996e-05,3.698667e-05,3.683367e-05,3.676707e-05,3.666711e-05,3.654712e-05,3.650044e-05,3.633377e-05,3.632711e-05,3.616723e-05,3.610732e-05,3.600091e-05,3.588800e-05,3.583493e-05,3.566938e-05,3.545166e-05,3.523504e-05,3.501967e-05,3.480573e-05,3.459334e-05,3.438264e-05,3.417374e-05,3.396675e-05,3.376174e-05,3.355881e-05,3.335803e-05,3.315945e-05,3.296314e-05,3.276913e-05,3.257748e-05,3.238822e-05,3.220137e-05,3.201695e-05,3.183500e-05,3.165551e-05,3.147850e-05,3.130398e-05,3.113194e-05,3.096239e-05
0.000000e+00,1.961232e-09,4.478778e-09,1.534918e-08,3.482991e-08,5.073669e-08,1.145598e-07,1.179803e-07,2.265120e-07,2.655650e-07,3.856178e-07,5.091947e-07,6.044817e-07,8.658253e-07,8.914455e-07,1.251999e-06,1.349665e-06,1.686852e-06,1.961642e-06,2.192563e-06,2.692003e-06,2.763827e-06,3.394927e-06,3.527819e-06,4.080057e-06,4.455704e-06,4.813243e-06,5.461711e-06,5.588261e-06,6.398649e-06,6.531152e-06,7.237790e-06,7.648838e-06,8.099044e-06,8.799579e-06,8.975890e-06,9.862063e-06,9.968746e-06,1.075167e-05,1.114276e-05,1.163926e-05,1.230946e-05,1.251996e-05,1.338942e-05,1.345838e-05,1.424386e-05,1.458069e-05,1.508004e-05,1.566926e-05,1.589528e-05,1.668737e-05,1.671855e-05,1.745458e-05,1.772443e-05,1.819560e-05,1.868404e-05,1.890948e-05,1.959559e-05,2.025359e-05,2.045819e-05,2.088337e-05,2.127167e-05,2.148504e-05,2.203645e-05,2.205887e-05,2.260527e-05,2.275342e-05,2.312477e-05,2.342381e-05,2.361798e-05,2.404910e-05,2.408559e-05,2.452833e-05,2.463097e-05,2.494697e-05,2.517119e-05,2.534233e-05,2.567164e-05,2.571523e-05,2.606648e-05,2.613420e-05,2.639692e-05,2.656080e-05,2.670737e-05,2.695331e-05,2.699866e-05,2.727158e-05,2.731359e-05,2.752692e-05,2.764346e-05,2.776545e-05,2.794468e-05,2.798793e-05,2.819507e-05,2.821894e-05,2.838760e-05,2.846786e-05,2.856620e-05,2.869302e-05,2.873152e-05,2.888422e-05,2.889590e-05,2.902489e-05,2.907793e-05,2.915415e-05,2.924047e-05,2.927256e-05,2.938067e-05,2.938479e-05,2.947901e-05,2.951212e-05,2.956809e-05,2.962361e-05,2.964838e-05,2.972037e-05,2.978448e-05,2.980341e-05,2.984116e-05,2.987371e-05,2.989080e-05,2.993220e-05,2.993380e-05,2.997054e-05,2.997975e-05,3.000136e-05,3.001716e-05,3.002661e-05,3.004520e-05,3.004662e-05,3.006169e-05,3.006461e-05,3.007212e-05,3.007605e-05,3.007820e-05,3.008016e-05,3.008019e-05,3.007835e-05,3.007754e-05,3.007292e-05,3.006876e-05,3.006414e-05,3.005433e-05,3.005222e-05,3.003739e-05,3.003475e-05,3.001982e-05,3.001048e-05,2.999973e-05,2.998196e-05,2.997729e-05,2.995266e-05,2.994957e-05,2.992602e-05,2.991370e-05,2.989752e-05,2.987470e-05,2.986730e-05,2.983550e-05,2.983289e-05,2.980226e-05,2.978859e-05,2.976770e-05,2.974207e-05,2.973194e-05,2.969509e-05,2.969360e-05,2.965726e-05,2.964342e-05,2.961855e-05,2.959177e-05,2.957905e-05,2.953885e-05,2.948485e-05,2.942997e-05,2.937437e-05,2.931821e-05,2.926162e-05,2.920474e-05,2.914770e-05,2.909059e-05,2.903354e-05,2.897662e-05,2.891993e-05,2.886353e-05,2.880752e-05,2.875194e-05,2.869686e-05,2.864234e-05,2.858841e-05,2.853511e-05,2.848250e-05,2.843059e-05,2.837943e-05,2.832903e-05,2.827942e-05,2.823061e-05
0.000000e+00,1.025163e-09,2.335210e-09,7.973424e-09,1.808044e-08,2.636624e-08,6.007303e-08,6.190287e-08,1.212557e-07,1.431974e-07,2.121941e-07,2.847152e-07,3.409034e-07,4.929964e-07,5.076415e-07,7.080103e-07,7.605614e-07,9.373720e-07,1.077160e-06,1.192299e-06,1.435695e-06,1.470174e-06,1.768653e-06,1.830614e-06,2.085344e-06,2.256373e-06,2.417667e-06,2.706865e-06,2.762834e-06,3.117877e-06,3.175396e-06,3.479721e-06,3.654909e-06,3.845266e-06,4.138327e-06,4.211483e-06,4.575489e-06,4.618892e-06,4.934609e-06,5.090441e-06,5.286429e-06,5.547615e-06,5.628831e-06,5.960008e-06,5.985971e-06,6.278472e-06,6.402024e-06,6.583044e-06,6.793224e-06,6.872836e-06,7.147234e-06,7.157883e-06,7.405863e-06,7.495073e-06,7.648565e-06,7.804511e-06,7.875365e-06,8.086444e-06,8.282109e-06,8.341531e-06,8.462771e-06,8.570745e-06,8.628920e-06,8.775280e-06,8.781107e-06,8.919922e-06,8.956479e-06,9.045987e-06,9.115769e-06,9.159936e-06,9.254619e-06,9.262410e-06,9.354044e-06,9.374493e-06,9.435466e-06,9.476830e-06,9.507287e-06,9.563020e-06,9.570101e-06,9.624478e-06,9.634390e-06,9.670967e-06,9.692197e-06,9.710089e-06,9.737623e-06,9.742342e-06,9.768198e-06,9.771771e-06,9.788102e-06,9.795667e-06,9.802477e-06,9.810261e-06,9.811717e-06,9.816197e-06,9.816431e-06,9.816266e-06,9.814985e-06,9.812254e-06,9.806665e-06,9.804469e-06,9.793198e-06,9.792154e-06,9.778713e-06,9.772077e-06,9.761266e-06,9.747003e-06,9.741093e-06,9.718414e-06,9.717457e-06,9.693434e-06,9.683916e-06,9.666348e-06,9.646817e-06,9.637333e-06,9.606556e-06,9.574176e-06,9.563499e-06,9.540335e-06,9.517975e-06,9.505172e-06,9.470287e-06,9.468811e-06,9.431371e-06,9.420710e-06,9.392962e-06,9.369495e-06,9.353687e-06,9.316869e-06,9.313639e-06,9.272909e-06,9.263042e-06,9.231580e-06,9.208202e-06,9.189727e-06,9.152521e-06,9.147423e-06,9.104734e-06,9.096156e-06,9.061723e-06,9.039249e-06,9.018447e-06,8.981930e-06,8.974960e-06,8.931312e-06,8.924317e-06,8.887549e-06,8.866514e-06,8.843714e-06,8.808620e-06,8.799846e-06,8.755984e-06,8.750722e-06,8.712160e-06,8.692898e-06,8.668408e-06,8.635221e-06,8.624756e-06,8.581231e-06,8.577755e-06,8.537859e-06,8.520559e-06,8.494664e-06,8.463684e-06,8.451666e-06,8.408884e-06,8.407178e-06,8.366339e-06,8.351083e-06,8.324045e-06,8.295437e-06,8.282019e-06,8.240274e-06,8.185622e-06,8.131510e-06,8.077960e-06,8.024993e-06,7.972625e-06,7.920874e-06,7.869751e-06,7.819269e-06,7.769435e-06,7.720259e-06,7.671745e-06,7.623899e-06,7.576723e-06,7.530221e-06,7.484392e-06,7.439237e-06,7.394755e-06,7.350944e-06,7.307802e-06,7.265326e-06,7.223512e-06,7.182356e-06,7.141853e-06,7.101997e-06
0.000000e+00,1.130861e-09,2.556503e-09,8.579261e-09,1.909909e-08,2.753199e-08,6.052043e-08,6.226007e-08,1.164622e-07,1.355986e-07,1.935719e-07,2.522364e-07,2.969565e-07,4.180346e-07,4.298116e-07,5.943943e-07,6.386716e-07,7.905976e-07,9.131742e-07,1.015156e-06,1.232009e-06,1.262747e-06,1.527834e-06,1.582516e-06,1.805653e-06,1.953826e-06,2.092299e-06,2.337497e-06,2.384500e-06,2.679384e-06,2.726637e-06,2.974340e-06,3.115229e-06,3.266955e-06,3.497854e-06,3.554996e-06,3.836433e-06,3.869673e-06,4.109456e-06,4.226509e-06,4.372503e-06,4.564939e-06,4.624277e-06,4.863754e-06,4.882356e-06,5.090179e-06,5.176975e-06,5.303056e-06,5.447786e-06,5.502128e-06,5.687355e-06,5.694477e-06,5.858880e-06,5.917328e-06,6.017005e-06,6.117091e-06,6.162161e-06,6.294877e-06,6.415755e-06,6.452040e-06,6.525442e-06,6.590080e-06,6.624614e-06,6.710569e-06,6.713963e-06,6.794180e-06,6.815096e-06,6.865940e-06,6.905211e-06,6.929898e-06,6.982386e-06,6.986679e-06,7.036876e-06,7.048007e-06,7.081048e-06,7.103348e-06,7.119715e-06,7.149572e-06,7.153359e-06,7.182427e-06,7.187728e-06,7.207328e-06,7.218756e-06,7.228440e-06,7.243498e-06,7.246107e-06,7.260642e-06,7.262697e-06,7.272328e-06,7.277001e-06,7.281419e-06,7.286982e-06,7.288149e-06,7.292728e-06,7.293142e-06,7.295348e-06,7.295925e-06,7.296182e-06,7.295718e-06,7.295386e-06,7.293102e-06,7.292859e-06,7.289458e-06,7.287645e-06,7.284569e-06,7.280337e-06,7.278539e-06,7.271467e-06,7.271164e-06,7.263439e-06,7.260331e-06,7.254537e-06,7.248022e-06,7.244834e-06,7.234397e-06,7.223287e-06,7.219599e-06,7.211560e-06,7.203756e-06,7.199269e-06,7.186983e-06,7.186461e-06,7.173181e-06,7.169384e-06,7.159471e-06,7.151053e-06,7.145367e-06,7.132075e-06,7.130906e-06,7.116119e-06,7.112526e-06,7.101039e-06,7.092475e-06,7.085692e-06,7.071987e-06,7.070105e-06,7.054304e-06,7.051120e-06,7.038311e-06,7.029927e-06,7.022149e-06,7.008456e-06,7.005837e-06,6.989395e-06,6.986753e-06,6.972840e-06,6.964859e-06,6.956189e-06,6.942811e-06,6.939459e-06,6.922664e-06,6.920644e-06,6.905817e-06,6.898392e-06,6.888932e-06,6.876082e-06,6.872022e-06,6.855098e-06,6.853744e-06,6.838170e-06,6.831401e-06,6.821250e-06,6.809077e-06,6.804346e-06,6.787468e-06,6.786793e-06,6.770624e-06,6.764570e-06,6.753822e-06,6.742425e-06,6.737070e-06,6.720375e-06,6.698436e-06,6.676622e-06,6.654945e-06,6.633418e-06,6.612051e-06,6.590855e-06,6.569839e-06,6.549010e-06,6.528377e-06,6.507945e-06,6.487723e-06,6.467713e-06,6.447923e-06,6.428356e-06,6.409015e-06,6.389905e-06,6.371028e-06,6.352386e-06,6.333983e-06,6.315819e-06,6.297895e-06,6.280214e-06,6.262775e-06,6.245580e-06
0.000000e+00,8.474500e-09,1.928103e-08,6.560045e-08,1.480027e-07,2.150161e-07,4.831437e-07,4.975090e-07,9.545013e-07,1.119779e-06,1.631422e-06,2.164040e-06,2.578735e-06,3.731013e-06,3.844896e-06,5.456447e-06,5.893996e-06,7.400515e-06,8.619048e-06,9.634584e-06,1.180209e-05,1.211054e-05,1.478755e-05,1.534409e-05,1.763304e-05,1.917015e-05,2.061993e-05,2.322035e-05,2.372388e-05,2.692162e-05,2.744041e-05,3.018998e-05,3.177704e-05,3.350566e-05,3.617654e-05,3.684526e-05,4.018553e-05,4.058532e-05,4.350378e-05,4.495118e-05,4.677826e-05,4.922499e-05,4.998859e-05,5.311600e-05,5.336209e-05,5.614365e-05,5.732340e-05,5.905684e-05,6.107644e-05,6.184321e-05,6.449265e-05,6.459566e-05,6.699726e-05,6.786229e-05,6.935127e-05,7.086400e-05,7.155097e-05,7.359449e-05,7.548161e-05,7.605265e-05,7.721376e-05,7.824217e-05,7.879353e-05,8.016983e-05,8.022425e-05,8.151042e-05,8.184536e-05,8.265737e-05,8.328107e-05,8.367081e-05,8.449057e-05,8.455693e-05,8.532223e-05,8.548867e-05,8.597340e-05,8.629070e-05,8.651713e-05,8.691203e-05,8.696009e-05,8.730885e-05,8.736787e-05,8.756990e-05,8.767308e-05,8.774954e-05,8.784200e-05,8.785388e-05,8.788874e-05,8.788824e-05,8.785969e-05,8.782462e-05,8.777205e-05,8.766315e-05,8.763086e-05,8.744086e-05,8.741499e-05,8.720652e-05,8.709045e-05,8.693204e-05,8.669901e-05,8.662133e-05,8.627807e-05,8.624931e-05,8.590566e-05,8.574926e-05,8.550728e-05,8.520602e-05,8.508587e-05,8.464416e-05,8.462611e-05,8.418468e-05,8.401537e-05,8.370976e-05,8.337909e-05,8.322153e-05,8.272198e-05,8.221291e-05,8.204827e-05,8.169599e-05,8.136176e-05,8.117276e-05,8.066580e-05,8.064460e-05,8.011279e-05,7.996339e-05,7.957850e-05,7.925718e-05,7.904279e-05,7.854950e-05,7.850661e-05,7.797085e-05,7.784242e-05,7.743630e-05,7.713775e-05,7.690367e-05,7.643707e-05,7.637362e-05,7.584672e-05,7.574176e-05,7.532349e-05,7.505303e-05,7.480441e-05,7.437190e-05,7.428990e-05,7.378031e-05,7.369925e-05,7.327598e-05,7.303585e-05,7.277719e-05,7.238233e-05,7.228421e-05,7.179725e-05,7.173923e-05,7.131650e-05,7.110698e-05,7.084212e-05,7.048594e-05,7.037425e-05,6.991300e-05,6.987639e-05,6.945847e-05,6.927855e-05,6.901072e-05,6.869257e-05,6.856981e-05,6.813578e-05,6.811856e-05,6.770865e-05,6.755657e-05,6.728843e-05,6.700663e-05,6.687513e-05,6.646872e-05,6.594280e-05,6.542878e-05,6.492657e-05,6.443605e-05,6.395710e-05,6.348955e-05,6.303324e-05,6.258799e-05,6.215363e-05,6.172997e-05,6.131680e-05,6.091392e-05,6.052114e-05,6.013823e-05,5.976499e-05,5.940121e-05,5.904668e-05,5.870119e-05,5.836453e-05,5.803648e-05,5.771685e-05,5.740543e-05,5.710201e-05,5.680641e-05
0.000000e+00,3.277985e-09,7.478660e-09,2.570345e-08,5.895040e-08,8.674159e-08,2.044224e-07,2.110109e-07,4.345689e-07,5.215960e-07,8.083971e-07,1.128121e-06,1.385993e-06,2.110671e-06,2.181495e-06,3.148197e-06,3.398299e-06,4.222533e-06,4.853564e-06,5.359605e-06,6.391139e-06,6.533349e-06,7.728213e-06,7.968733e-06,8.933506e-06,9.561467e-06,1.014057e-05,1.115016e-05,1.134161e-05,1.252929e-05,1.271761e-05,1.369671e-05,1.424800e-05,1.483757e-05,1.572732e-05,1.594624e-05,1.701790e-05,1.714382e-05,1.804863e-05,1.848837e-05,1.903537e-05,1.975447e-05,1.997590e-05,2.086882e-05,2.093818e-05,2.171343e-05,2.203771e-05,2.250965e-05,2.305318e-05,2.325790e-05,2.395906e-05,2.398615e-05,2.461434e-05,2.483927e-05,2.522518e-05,2.561602e-05,2.579325e-05,2.632034e-05,2.680831e-05,2.695650e-05,2.725906e-05,2.752890e-05,2.767452e-05,2.804191e-05,2.805658e-05,2.840710e-05,2.849984e-05,2.872789e-05,2.890682e-05,2.902069e-05,2.926679e-05,2.928718e-05,2.952896e-05,2.958348e-05,2.974756e-05,2.986039e-05,2.994442e-05,3.010076e-05,3.012091e-05,3.027832e-05,3.030762e-05,3.041788e-05,3.048377e-05,3.054073e-05,3.063180e-05,3.064795e-05,3.074057e-05,3.075409e-05,3.081952e-05,3.085284e-05,3.088572e-05,3.093005e-05,3.093999e-05,3.098312e-05,3.098759e-05,3.101586e-05,3.102715e-05,3.103889e-05,3.105030e-05,3.105286e-05,3.105838e-05,3.105847e-05,3.105601e-05,3.105298e-05,3.104630e-05,3.103503e-05,3.102973e-05,3.100677e-05,3.100573e-05,3.097787e-05,3.096610e-05,3.094344e-05,3.091707e-05,3.090386e-05,3.085949e-05,3.081068e-05,3.079417e-05,3.075773e-05,3.072182e-05,3.070095e-05,3.064310e-05,3.064062e-05,3.057700e-05,3.055863e-05,3.051034e-05,3.046898e-05,3.044087e-05,3.037466e-05,3.036880e-05,3.029435e-05,3.027614e-05,3.021769e-05,3.017387e-05,3.013902e-05,3.006826e-05,3.005850e-05,2.997630e-05,2.995966e-05,2.989255e-05,2.984844e-05,2.980740e-05,2.973490e-05,2.972100e-05,2.963344e-05,2.961934e-05,2.954487e-05,2.950202e-05,2.945538e-05,2.938320e-05,2.936508e-05,2.927407e-05,2.926311e-05,2.918244e-05,2.914195e-05,2.909027e-05,2.901992e-05,2.899765e-05,2.890466e-05,2.889721e-05,2.881136e-05,2.877397e-05,2.871782e-05,2.865037e-05,2.862411e-05,2.853029e-05,2.852654e-05,2.843641e-05,2.840261e-05,2.834253e-05,2.827871e-05,2.824869e-05,2.815495e-05,2.803143e-05,2.790824e-05,2.778548e-05,2.766321e-05,2.754152e-05,2.742047e-05,2.730013e-05,2.718055e-05,2.706178e-05,2.694387e-05,2.682686e-05,2.671080e-05,2.659571e-05,2.648164e-05,2.636860e-05,2.625664e-05,2.614576e-05,2.603599e-05,2.592736e-05,2.581986e-05,2.571353e-05,2.560837e-05,2.550439e-05,2.540160e-05
0.000000e+00,1.727164e-09,3.923492e-09,1.330079e-08,2.988956e-08,4.331304e-08,9.653643e-08,9.936822e-08,1.885340e-07,2.203766e-07,3.177443e-07,4.174112e-07,4.940236e-07,7.037501e-07,7.243127e-07,1.014528e-06,1.093516e-06,1.367539e-06,1.591936e-06,1.780690e-06,2.187022e-06,2.245037e-06,2.747697e-06,2.851634e-06,3.275402e-06,3.555807e-06,3.816687e-06,4.275090e-06,4.362381e-06,4.905281e-06,4.991487e-06,5.439679e-06,5.691793e-06,5.961006e-06,6.366164e-06,6.465593e-06,6.950533e-06,7.007293e-06,7.413592e-06,7.609966e-06,7.853141e-06,8.170787e-06,8.268093e-06,8.657846e-06,8.687930e-06,9.022221e-06,9.160895e-06,9.361398e-06,9.590262e-06,9.675856e-06,9.966306e-06,9.977437e-06,1.023365e-05,1.032443e-05,1.047891e-05,1.063364e-05,1.070321e-05,1.090772e-05,1.109364e-05,1.114940e-05,1.126217e-05,1.136144e-05,1.141448e-05,1.154649e-05,1.155171e-05,1.167496e-05,1.170711e-05,1.178528e-05,1.184568e-05,1.188365e-05,1.196441e-05,1.197101e-05,1.204822e-05,1.206533e-05,1.211609e-05,1.215030e-05,1.217537e-05,1.222099e-05,1.222676e-05,1.227090e-05,1.227891e-05,1.230839e-05,1.232543e-05,1.233976e-05,1.236176e-05,1.236553e-05,1.238615e-05,1.238900e-05,1.240205e-05,1.240812e-05,1.241361e-05,1.241998e-05,1.242120e-05,1.242513e-05,1.242537e-05,1.242572e-05,1.242498e-05,1.242323e-05,1.241944e-05,1.241792e-05,1.241002e-05,1.240929e-05,1.239975e-05,1.239503e-05,1.238731e-05,1.237711e-05,1.237287e-05,1.235660e-05,1.235592e-05,1.233866e-05,1.233182e-05,1.231919e-05,1.230515e-05,1.229832e-05,1.227617e-05,1.225286e-05,1.224517e-05,1.222848e-05,1.221236e-05,1.220313e-05,1.217797e-05,1.217690e-05,1.214988e-05,1.214218e-05,1.212214e-05,1.210518e-05,1.209375e-05,1.206711e-05,1.206478e-05,1.203528e-05,1.202813e-05,1.200533e-05,1.198837e-05,1.197496e-05,1.194794e-05,1.194424e-05,1.191320e-05,1.190695e-05,1.188188e-05,1.186551e-05,1.185034e-05,1.182369e-05,1.181860e-05,1.178671e-05,1.178159e-05,1.175469e-05,1.173928e-05,1.172257e-05,1.169682e-05,1.169038e-05,1.165815e-05,1.165428e-05,1.162591e-05,1.161172e-05,1.159367e-05,1.156919e-05,1.156147e-05,1.152931e-05,1.152674e-05,1.149722e-05,1.148440e-05,1.146521e-05,1.144223e-05,1.143331e-05,1.140152e-05,1.140025e-05,1.136986e-05,1.135850e-05,1.133835e-05,1.131701e-05,1.130700e-05,1.127581e-05,1.123492e-05,1.119437e-05,1.115417e-05,1.111435e-05,1.107491e-05,1.103588e-05,1.099727e-05,1.095909e-05,1.092135e-05,1.088406e-05,1.084723e-05,1.081086e-05,1.077497e-05,1.073955e-05,1.070461e-05,1.067015e-05,1.063618e-05,1.060270e-05,1.056970e-05,1.053720e-05,1.050518e-05,1.047365e-05,1.044262e-05,1.041206e-05
0.000000e+00,3.877992e-09,8.850003e-09,3.031355e-08,6.885469e-08,1.004347e-07,2.283184e-07,2.352277e-07,4.574464e-07,5.388038e-07,7.932918e-07,1.061604e-06,1.272346e-06,1.863673e-06,1.922444e-06,2.757545e-06,2.984930e-06,3.768397e-06,4.401880e-06,4.929252e-06,6.052266e-06,6.211744e-06,7.591837e-06,7.877799e-06,9.050181e-06,9.833985e-06,1.057058e-05,1.188513e-05,1.213867e-05,1.374113e-05,1.399986e-05,1.536543e-05,1.614935e-05,1.699974e-05,1.830697e-05,1.863305e-05,2.025524e-05,2.044871e-05,2.185719e-05,2.255354e-05,2.343091e-05,2.460377e-05,2.496950e-05,2.646718e-05,2.658508e-05,2.791925e-05,2.848645e-05,2.932200e-05,3.029985e-05,3.067264e-05,3.196919e-05,3.201991e-05,3.321040e-05,3.364354e-05,3.439562e-05,3.516951e-05,3.552474e-05,3.659809e-05,3.761636e-05,3.793072e-05,3.858052e-05,3.916975e-05,3.949179e-05,4.031813e-05,4.035155e-05,4.116131e-05,4.137931e-05,4.192270e-05,4.235701e-05,4.263739e-05,4.325513e-05,4.330710e-05,4.393355e-05,4.407766e-05,4.451850e-05,4.482857e-05,4.506365e-05,4.551181e-05,4.557070e-05,4.604132e-05,4.613122e-05,4.647715e-05,4.669056e-05,4.687977e-05,4.719343e-05,4.725072e-05,4.759148e-05,4.764330e-05,4.790350e-05,4.804348e-05,4.818818e-05,4.839712e-05,4.844683e-05,4.868076e-05,4.870723e-05,4.889120e-05,4.897666e-05,4.907933e-05,4.920810e-05,4.924630e-05,4.939318e-05,4.940410e-05,4.952103e-05,4.956706e-05,4.963084e-05,4.969926e-05,4.972356e-05,4.980010e-05,4.980284e-05,4.986134e-05,4.987981e-05,4.990811e-05,4.993206e-05,4.994120e-05,4.996137e-05,4.996934e-05,4.996942e-05,4.996579e-05,4.995779e-05,4.995140e-05,4.992794e-05,4.992677e-05,4.989251e-05,4.988127e-05,4.984919e-05,4.981907e-05,4.979734e-05,4.974256e-05,4.973748e-05,4.967011e-05,4.965287e-05,4.959568e-05,4.955109e-05,4.951465e-05,4.943821e-05,4.942743e-05,4.933443e-05,4.931517e-05,4.923603e-05,4.918285e-05,4.913259e-05,4.904206e-05,4.902446e-05,4.891197e-05,4.889358e-05,4.879542e-05,4.873813e-05,4.867512e-05,4.857637e-05,4.855135e-05,4.842437e-05,4.840893e-05,4.829444e-05,4.823640e-05,4.816180e-05,4.805932e-05,4.802668e-05,4.788929e-05,4.787821e-05,4.774984e-05,4.769353e-05,4.760853e-05,4.750574e-05,4.746555e-05,4.732106e-05,4.731525e-05,4.717524e-05,4.712245e-05,4.702824e-05,4.692768e-05,4.688021e-05,4.673130e-05,4.653360e-05,4.633488e-05,4.613541e-05,4.593544e-05,4.573519e-05,4.553488e-05,4.533472e-05,4.513488e-05,4.493554e-05,4.473685e-05,4.453896e-05,4.434200e-05,4.414609e-05,4.395135e-05,4.375789e-05,4.356579e-05,4.337514e-05,4.318602e-05,4.299851e-05,4.281267e-05,4.262855e-05,4.244622e-05,4.226570e-05,4.208706e-05
0.000000e+00,5.665786e-09,1.295733e-08,4.455614e-08,1.014829e-07,1.481839e-07,3.371590e-07,3.473521e-07,6.738589e-07,7.927183e-07,1.162281e-06,1.548804e-06,1.850717e-06,2.693943e-06,2.777669e-06,3.971893e-06,4.299585e-06,5.440404e-06,6.377663e-06,7.168516e-06,8.884424e-06,9.131535e-06,1.130425e-05,1.176191e-05,1.366386e-05,1.495772e-05,1.618944e-05,1.842457e-05,1.886101e-05,2.165879e-05,2.211682e-05,2.456289e-05,2.598876e-05,2.755337e-05,2.999463e-05,3.061044e-05,3.371471e-05,3.408950e-05,3.684757e-05,3.823051e-05,3.999142e-05,4.237798e-05,4.312991e-05,4.624811e-05,4.649628e-05,4.933263e-05,5.055430e-05,5.237163e-05,5.452569e-05,5.535483e-05,5.827344e-05,5.838873e-05,6.112012e-05,6.212612e-05,6.388886e-05,6.572459e-05,6.657486e-05,6.917440e-05,7.168477e-05,7.246892e-05,7.410407e-05,7.560409e-05,7.643119e-05,7.857804e-05,7.866564e-05,8.080750e-05,8.139069e-05,8.285731e-05,8.404339e-05,8.481600e-05,8.653861e-05,8.668484e-05,8.846535e-05,8.887972e-05,9.015928e-05,9.107077e-05,9.176855e-05,9.311631e-05,9.329521e-05,9.474144e-05,9.502123e-05,9.610946e-05,9.679069e-05,9.740157e-05,9.842998e-05,9.862010e-05,9.976738e-05,9.994449e-05,1.008458e-04,1.013396e-04,1.018576e-04,1.026207e-04,1.028052e-04,1.036909e-04,1.037931e-04,1.045169e-04,1.048620e-04,1.052854e-04,1.058324e-04,1.059987e-04,1.066589e-04,1.067094e-04,1.072680e-04,1.074979e-04,1.078282e-04,1.082023e-04,1.083414e-04,1.088096e-04,1.088274e-04,1.092346e-04,1.093774e-04,1.096184e-04,1.098566e-04,1.099626e-04,1.102690e-04,1.105394e-04,1.106185e-04,1.107752e-04,1.109088e-04,1.109782e-04,1.111435e-04,1.111498e-04,1.112915e-04,1.113260e-04,1.114047e-04,1.114595e-04,1.114908e-04,1.115472e-04,1.115512e-04,1.115870e-04,1.115921e-04,1.115996e-04,1.115970e-04,1.115902e-04,1.115646e-04,1.115599e-04,1.115098e-04,1.114975e-04,1.114409e-04,1.113980e-04,1.113543e-04,1.112687e-04,1.112511e-04,1.111320e-04,1.111116e-04,1.109981e-04,1.109289e-04,1.108503e-04,1.107225e-04,1.106893e-04,1.105160e-04,1.104944e-04,1.103311e-04,1.102463e-04,1.101354e-04,1.099799e-04,1.099297e-04,1.097145e-04,1.096969e-04,1.094906e-04,1.093987e-04,1.092586e-04,1.090868e-04,1.090190e-04,1.087725e-04,1.087625e-04,1.085196e-04,1.084271e-04,1.082608e-04,1.080818e-04,1.079967e-04,1.077277e-04,1.073659e-04,1.069973e-04,1.066230e-04,1.062438e-04,1.058605e-04,1.054739e-04,1.050847e-04,1.046936e-04,1.043012e-04,1.039082e-04,1.035150e-04,1.031222e-04,1.027302e-04,1.023395e-04,1.019505e-04,1.015635e-04,1.011790e-04,1.007971e-04,1.004183e-04,1.000428e-04,9.967078e-05,9.930253e-05,9.893823e-05,9.857806e-05
0.000000e+00,7.160525e-09,1.633894e-08,5.594664e-08,1.270289e-07,1.852427e-07,4.207491e-07,4.334628e-07,8.416248e-07,9.905403e-07,1.453070e-06,1.932419e-06,2.301065e-06,3.296040e-06,3.391996e-06,4.713007e-06,5.062544e-06,6.248856e-06,7.197763e-06,7.986180e-06,9.671163e-06,9.911686e-06,1.201039e-05,1.244942e-05,1.426485e-05,1.549221e-05,1.665518e-05,1.875211e-05,1.915952e-05,2.175470e-05,2.217678e-05,2.441701e-05,2.571183e-05,2.712292e-05,2.930378e-05,2.984978e-05,3.257633e-05,3.290255e-05,3.528310e-05,3.646326e-05,3.795274e-05,3.994749e-05,4.057020e-05,4.312264e-05,4.332369e-05,4.559945e-05,4.656703e-05,4.799215e-05,4.965903e-05,5.029414e-05,5.250059e-05,5.258681e-05,5.460821e-05,5.534234e-05,5.661501e-05,5.792159e-05,5.852018e-05,6.032382e-05,6.202686e-05,6.255082e-05,6.363085e-05,6.460635e-05,6.513784e-05,6.649559e-05,6.655031e-05,6.787101e-05,6.822477e-05,6.910293e-05,6.980077e-05,7.024921e-05,7.123093e-05,7.131308e-05,7.229783e-05,7.252277e-05,7.320677e-05,7.368388e-05,7.404317e-05,7.472179e-05,7.481029e-05,7.551133e-05,7.564388e-05,7.614940e-05,7.645733e-05,7.672755e-05,7.716904e-05,7.724872e-05,7.771577e-05,7.778567e-05,7.813147e-05,7.831355e-05,7.849847e-05,7.875873e-05,7.881933e-05,7.909651e-05,7.912694e-05,7.933235e-05,7.942362e-05,7.952913e-05,7.965389e-05,7.968901e-05,7.981404e-05,7.982260e-05,7.990621e-05,7.993430e-05,7.996740e-05,7.999329e-05,7.999942e-05,8.000397e-05,8.000360e-05,7.998270e-05,7.996902e-05,7.993716e-05,7.989310e-05,7.986885e-05,7.977916e-05,7.966945e-05,7.963032e-05,7.954099e-05,7.944950e-05,7.939500e-05,7.923942e-05,7.923263e-05,7.905497e-05,7.900264e-05,7.886308e-05,7.874152e-05,7.865793e-05,7.845830e-05,7.844047e-05,7.821159e-05,7.815505e-05,7.797212e-05,7.783369e-05,7.772287e-05,7.749604e-05,7.746459e-05,7.719801e-05,7.714376e-05,7.692380e-05,7.677841e-05,7.664261e-05,7.640146e-05,7.635504e-05,7.606168e-05,7.601424e-05,7.576307e-05,7.561802e-05,7.545972e-05,7.521396e-05,7.515212e-05,7.484073e-05,7.480313e-05,7.452599e-05,7.438655e-05,7.420830e-05,7.396513e-05,7.388806e-05,7.356563e-05,7.353975e-05,7.324135e-05,7.311119e-05,7.291554e-05,7.268020e-05,7.258852e-05,7.226058e-05,7.224744e-05,7.193197e-05,7.181356e-05,7.160296e-05,7.137912e-05,7.127378e-05,7.094466e-05,7.051068e-05,7.007761e-05,6.964587e-05,6.921585e-05,6.878789e-05,6.836229e-05,6.793936e-05,6.751935e-05,6.710249e-05,6.668901e-05,6.627910e-05,6.587292e-05,6.547064e-05,6.507240e-05,6.467830e-05,6.428847e-05,6.390300e-05,6.352197e-05,6.314544e-05,6.277348e-05,6.240614e-05,6.204345e-05,6.168545e-05,6.133216e-05
0.000000e+00,2.743648e-09,6.217475e-09,2.104829e-08,4.752775e-08,6.927598e-08,1.587894e-07,1.637045e-07,3.261873e-07,3.875684e-07,5.836439e-07,7.920195e-07,9.532584e-07,1.382727e-06,1.423363e-06,1.965417e-06,2.103405e-06,2.556158e-06,2.902908e-06,3.182086e-06,3.756106e-06,3.835867e-06,4.512995e-06,4.650903e-06,5.209875e-06,5.578872e-06,5.922888e-06,6.531357e-06,6.648011e-06,7.380752e-06,7.498374e-06,8.116201e-06,8.468668e-06,8.849199e-06,9.430312e-06,9.574509e-06,1.028699e-05,1.037139e-05,1.098180e-05,1.128077e-05,1.165455e-05,1.214871e-05,1.230141e-05,1.291909e-05,1.296717e-05,1.350501e-05,1.373002e-05,1.405720e-05,1.443311e-05,1.457432e-05,1.505563e-05,1.507413e-05,1.550093e-05,1.565246e-05,1.591048e-05,1.616888e-05,1.628496e-05,1.662544e-05,1.693310e-05,1.702485e-05,1.720937e-05,1.737046e-05,1.745588e-05,1.766610e-05,1.767432e-05,1.786644e-05,1.791576e-05,1.803401e-05,1.812350e-05,1.817877e-05,1.829326e-05,1.830242e-05,1.840659e-05,1.842888e-05,1.849287e-05,1.853392e-05,1.856272e-05,1.861170e-05,1.861752e-05,1.865858e-05,1.866525e-05,1.868711e-05,1.869736e-05,1.870422e-05,1.871052e-05,1.871093e-05,1.870820e-05,1.870694e-05,1.869689e-05,1.868864e-05,1.867778e-05,1.865737e-05,1.865160e-05,1.861901e-05,1.861469e-05,1.858060e-05,1.856199e-05,1.853691e-05,1.850049e-05,1.848844e-05,1.843564e-05,1.843124e-05,1.837892e-05,1.835521e-05,1.831864e-05,1.827323e-05,1.825514e-05,1.818874e-05,1.818603e-05,1.811971e-05,1.809427e-05,1.804831e-05,1.799853e-05,1.797478e-05,1.789931e-05,1.782212e-05,1.779709e-05,1.774339e-05,1.769226e-05,1.766327e-05,1.758519e-05,1.758192e-05,1.749947e-05,1.747621e-05,1.741607e-05,1.736562e-05,1.733182e-05,1.725367e-05,1.724684e-05,1.716123e-05,1.714060e-05,1.707508e-05,1.702664e-05,1.698849e-05,1.691197e-05,1.690152e-05,1.681426e-05,1.679678e-05,1.672678e-05,1.668122e-05,1.663914e-05,1.656545e-05,1.655141e-05,1.646363e-05,1.644959e-05,1.637587e-05,1.633376e-05,1.628817e-05,1.621808e-05,1.620057e-05,1.611313e-05,1.610265e-05,1.602587e-05,1.598755e-05,1.593884e-05,1.587287e-05,1.585208e-05,1.576560e-05,1.575870e-05,1.567945e-05,1.564508e-05,1.559365e-05,1.553210e-05,1.550822e-05,1.542320e-05,1.541980e-05,1.533859e-05,1.530825e-05,1.525444e-05,1.519747e-05,1.517074e-05,1.508753e-05,1.497845e-05,1.487027e-05,1.476302e-05,1.465673e-05,1.455142e-05,1.444712e-05,1.434384e-05,1.424160e-05,1.414042e-05,1.404030e-05,1.394126e-05,1.384331e-05,1.374645e-05,1.365068e-05,1.355602e-05,1.346246e-05,1.337001e-05,1.327866e-05,1.318842e-05,1.309927e-05,1.301123e-05,1.292428e-05,1.283843e-05,1.275366e-05
0.000000e+00,1.883598e-09,4.296853e-09,1.468950e-08,3.324601e-08,4.835049e-08,1.086211e-07,1.118379e-07,2.133009e-07,2.495469e-07,3.602018e-07,4.730404e-07,5.594317e-07,7.944441e-07,8.173834e-07,1.139948e-06,1.227579e-06,1.532385e-06,1.784327e-06,1.998993e-06,2.473190e-06,2.542513e-06,3.163332e-06,3.296596e-06,3.858799e-06,4.248135e-06,4.623140e-06,5.312476e-06,5.448180e-06,6.324501e-06,6.468824e-06,7.242481e-06,7.695180e-06,8.192908e-06,8.970830e-06,9.167213e-06,1.015751e-05,1.027707e-05,1.115658e-05,1.159721e-05,1.215777e-05,1.291636e-05,1.315504e-05,1.414288e-05,1.422135e-05,1.511633e-05,1.550068e-05,1.607099e-05,1.674451e-05,1.700299e-05,1.790899e-05,1.794465e-05,1.878619e-05,1.909446e-05,1.963225e-05,2.018883e-05,2.044534e-05,2.122402e-05,2.196730e-05,2.219755e-05,2.267451e-05,2.310802e-05,2.334531e-05,2.395500e-05,2.397967e-05,2.457779e-05,2.473882e-05,2.514009e-05,2.546051e-05,2.566715e-05,2.612156e-05,2.615972e-05,2.661867e-05,2.672393e-05,2.704498e-05,2.726983e-05,2.743967e-05,2.776172e-05,2.780385e-05,2.813865e-05,2.820219e-05,2.844524e-05,2.859391e-05,2.872479e-05,2.893958e-05,2.897849e-05,2.920750e-05,2.924192e-05,2.941298e-05,2.950359e-05,2.959607e-05,2.972718e-05,2.975789e-05,2.989953e-05,2.991522e-05,3.002204e-05,3.007015e-05,3.012645e-05,3.019430e-05,3.021374e-05,3.028488e-05,3.028990e-05,3.034077e-05,3.035906e-05,3.038231e-05,3.040380e-05,3.041033e-05,3.042564e-05,3.042600e-05,3.042903e-05,3.042747e-05,3.042123e-05,3.040989e-05,3.040294e-05,3.037485e-05,3.033759e-05,3.032383e-05,3.029177e-05,3.025822e-05,3.023797e-05,3.017934e-05,3.017675e-05,3.010864e-05,3.008840e-05,3.003412e-05,2.998653e-05,2.995367e-05,2.987480e-05,2.986773e-05,2.977674e-05,2.975420e-05,2.968109e-05,2.962564e-05,2.958117e-05,2.948998e-05,2.947733e-05,2.936991e-05,2.934802e-05,2.925923e-05,2.920050e-05,2.914560e-05,2.904809e-05,2.902931e-05,2.891062e-05,2.889143e-05,2.878980e-05,2.873111e-05,2.866707e-05,2.856767e-05,2.854267e-05,2.841680e-05,2.840161e-05,2.828968e-05,2.823340e-05,2.816149e-05,2.806345e-05,2.803240e-05,2.790259e-05,2.789217e-05,2.777220e-05,2.771992e-05,2.764139e-05,2.754702e-05,2.751029e-05,2.737903e-05,2.737378e-05,2.724773e-05,2.720048e-05,2.711651e-05,2.702737e-05,2.698547e-05,2.685470e-05,2.668266e-05,2.651145e-05,2.634125e-05,2.617222e-05,2.600450e-05,2.583821e-05,2.567348e-05,2.551040e-05,2.534907e-05,2.518957e-05,2.503197e-05,2.487633e-05,2.472271e-05,2.457116e-05,2.442170e-05,2.427438e-05,2.412923e-05,2.398625e-05,2.384548e-05,2.370691e-05,2.357056e-05,2.343643e-05,2.330452e-05,2.317483e-05
0.000000e+00,2.178394e-09,4.974277e-09,1.705098e-08,3.872465e-08,5.645647e-08,1.279343e-07,1.317803e-07,2.546135e-07,2.991871e-07,4.374147e-07,5.815403e-07,6.939089e-07,1.007472e-06,1.038626e-06,1.484525e-06,1.607547e-06,2.038364e-06,2.394873e-06,2.696945e-06,3.354061e-06,3.448712e-06,4.279077e-06,4.453339e-06,5.174312e-06,5.661500e-06,6.122678e-06,6.952970e-06,7.114116e-06,8.139700e-06,8.306405e-06,9.191210e-06,9.702857e-06,1.026091e-05,1.112483e-05,1.134148e-05,1.242598e-05,1.255607e-05,1.350795e-05,1.398166e-05,1.458144e-05,1.538826e-05,1.564103e-05,1.668195e-05,1.676428e-05,1.770001e-05,1.810002e-05,1.869167e-05,1.938763e-05,1.965397e-05,2.058454e-05,2.062107e-05,2.148151e-05,2.179592e-05,2.234353e-05,2.290924e-05,2.316965e-05,2.395934e-05,2.471237e-05,2.494560e-05,2.542881e-05,2.586827e-05,2.610899e-05,2.672829e-05,2.675339e-05,2.736270e-05,2.752713e-05,2.793772e-05,2.826665e-05,2.847935e-05,2.894901e-05,2.898858e-05,2.946644e-05,2.957658e-05,2.991401e-05,3.015183e-05,3.033239e-05,3.067730e-05,3.072269e-05,3.108603e-05,3.115556e-05,3.142352e-05,3.158916e-05,3.173626e-05,3.198061e-05,3.202531e-05,3.229173e-05,3.233233e-05,3.253656e-05,3.264670e-05,3.276078e-05,3.292599e-05,3.296538e-05,3.315128e-05,3.317238e-05,3.331940e-05,3.338796e-05,3.347060e-05,3.357472e-05,3.360573e-05,3.372561e-05,3.373456e-05,3.383099e-05,3.386926e-05,3.392264e-05,3.398053e-05,3.400127e-05,3.406756e-05,3.406996e-05,3.412217e-05,3.413909e-05,3.416573e-05,3.418935e-05,3.419884e-05,3.422207e-05,3.423597e-05,3.423854e-05,3.424108e-05,3.423995e-05,3.423787e-05,3.422743e-05,3.422685e-05,3.420845e-05,3.420204e-05,3.418312e-05,3.416476e-05,3.415127e-05,3.411654e-05,3.411329e-05,3.406956e-05,3.405825e-05,3.402044e-05,3.399070e-05,3.396626e-05,3.391467e-05,3.390737e-05,3.384405e-05,3.383089e-05,3.377661e-05,3.374001e-05,3.370533e-05,3.364268e-05,3.363048e-05,3.355230e-05,3.353950e-05,3.347103e-05,3.343100e-05,3.338691e-05,3.331771e-05,3.330016e-05,3.321097e-05,3.320011e-05,3.311954e-05,3.307866e-05,3.302607e-05,3.295377e-05,3.293072e-05,3.283367e-05,3.282583e-05,3.273506e-05,3.269522e-05,3.263506e-05,3.256228e-05,3.253381e-05,3.243144e-05,3.242732e-05,3.232807e-05,3.229064e-05,3.222384e-05,3.215252e-05,3.211885e-05,3.201321e-05,3.187295e-05,3.173196e-05,3.159045e-05,3.144861e-05,3.130661e-05,3.116462e-05,3.102279e-05,3.088125e-05,3.074014e-05,3.059958e-05,3.045966e-05,3.032050e-05,3.018219e-05,3.004480e-05,2.990842e-05,2.977311e-05,2.963894e-05,2.950596e-05,2.937424e-05,2.924380e-05,2.911470e-05,2.898697e-05,2.886065e-05,2.873576e-05
0.000000e+00,4.216460e-09,9.395948e-09,3.064411e-08,6.659600e-08,9.483153e-08,2.027622e-07,2.083840e-07,3.819313e-07,4.428231e-07,6.271647e-07,8.142319e-07,9.574245e-07,1.347416e-06,1.385465e-06,1.916357e-06,2.058134e-06,2.537445e-06,2.913166e-06,3.216651e-06,3.831787e-06,3.915585e-06,4.604146e-06,4.738873e-06,5.264797e-06,5.594409e-06,5.889584e-06,6.384716e-06,6.475925e-06,7.023636e-06,7.107721e-06,7.533334e-06,7.764716e-06,8.005795e-06,8.357453e-06,8.441762e-06,8.841984e-06,8.887648e-06,9.207313e-06,9.357263e-06,9.538786e-06,9.768834e-06,9.837671e-06,1.010547e-05,1.012560e-05,1.034390e-05,1.043147e-05,1.055485e-05,1.069083e-05,1.074030e-05,1.090227e-05,1.090829e-05,1.104277e-05,1.108849e-05,1.116380e-05,1.123592e-05,1.126721e-05,1.135478e-05,1.142818e-05,1.144892e-05,1.148890e-05,1.152176e-05,1.153833e-05,1.157632e-05,1.157772e-05,1.160816e-05,1.161523e-05,1.163067e-05,1.164074e-05,1.164613e-05,1.165480e-05,1.165532e-05,1.165890e-05,1.165899e-05,1.165748e-05,1.165469e-05,1.165158e-05,1.164306e-05,1.164167e-05,1.162816e-05,1.162506e-05,1.161140e-05,1.160152e-05,1.159172e-05,1.157313e-05,1.156939e-05,1.154466e-05,1.154050e-05,1.151777e-05,1.150415e-05,1.148891e-05,1.146452e-05,1.145826e-05,1.142599e-05,1.142202e-05,1.139225e-05,1.137697e-05,1.135717e-05,1.132969e-05,1.132088e-05,1.128348e-05,1.128045e-05,1.124509e-05,1.122948e-05,1.120580e-05,1.117700e-05,1.116569e-05,1.112485e-05,1.112320e-05,1.108335e-05,1.106826e-05,1.104127e-05,1.101235e-05,1.099866e-05,1.095559e-05,1.091212e-05,1.089813e-05,1.086830e-05,1.084009e-05,1.082418e-05,1.078158e-05,1.077980e-05,1.073521e-05,1.072269e-05,1.069044e-05,1.066352e-05,1.064555e-05,1.060415e-05,1.060055e-05,1.055549e-05,1.054467e-05,1.051039e-05,1.048514e-05,1.046529e-05,1.042562e-05,1.042022e-05,1.037519e-05,1.036619e-05,1.033023e-05,1.030688e-05,1.028536e-05,1.024776e-05,1.024061e-05,1.019600e-05,1.018887e-05,1.015154e-05,1.013025e-05,1.010724e-05,1.007194e-05,1.006314e-05,1.001923e-05,1.001398e-05,9.975541e-06,9.956389e-06,9.932079e-06,9.899207e-06,9.888856e-06,9.845885e-06,9.842458e-06,9.803174e-06,9.786166e-06,9.760736e-06,9.730353e-06,9.718577e-06,9.676706e-06,9.675038e-06,9.635132e-06,9.620239e-06,9.593860e-06,9.565972e-06,9.552898e-06,9.512251e-06,9.459088e-06,9.406494e-06,9.354480e-06,9.303053e-06,9.252220e-06,9.201988e-06,9.152361e-06,9.103344e-06,9.054940e-06,9.007151e-06,8.959978e-06,8.913423e-06,8.867485e-06,8.822165e-06,8.777460e-06,8.733371e-06,8.689894e-06,8.647027e-06,8.604768e-06,8.563112e-06,8.522057e-06,8.481599e-06,8.441733e-06,8.402455e-06
0.000000e+00,3.739519e-07,8.423962e-07,2.806592e-06,6.207945e-06,8.918137e-06,1.943652e-05,1.998850e-05,3.709766e-05,4.310587e-05,6.122538e-05,7.942891e-05,9.319520e-05,1.298260e-04,1.333316e-04,1.812146e-04,1.937693e-04,2.360241e-04,2.694408e-04,2.969645e-04,3.551284e-04,3.633645e-04,4.346224e-04,4.494050e-04,5.101435e-04,5.508942e-04,5.893052e-04,6.581310e-04,6.714451e-04,7.558639e-04,7.695343e-04,8.418374e-04,8.834414e-04,9.286320e-04,9.981714e-04,1.015523e-03,1.101814e-03,1.112097e-03,1.186850e-03,1.223712e-03,1.270034e-03,1.331684e-03,1.350833e-03,1.428793e-03,1.434896e-03,1.503537e-03,1.532464e-03,1.574765e-03,1.623746e-03,1.642257e-03,1.705866e-03,1.708328e-03,1.765511e-03,1.786007e-03,1.821172e-03,1.856761e-03,1.872882e-03,1.920717e-03,1.964793e-03,1.978125e-03,2.005249e-03,2.029315e-03,2.042249e-03,2.074687e-03,2.075975e-03,2.106614e-03,2.114665e-03,2.134352e-03,2.149681e-03,2.159379e-03,2.180176e-03,2.181889e-03,2.202066e-03,2.206581e-03,2.220086e-03,2.229297e-03,2.236115e-03,2.248700e-03,2.250312e-03,2.262829e-03,2.265144e-03,2.273808e-03,2.278951e-03,2.283375e-03,2.290409e-03,2.291652e-03,2.298748e-03,2.299781e-03,2.304766e-03,2.307299e-03,2.309800e-03,2.313181e-03,2.313942e-03,2.317272e-03,2.317621e-03,2.319859e-03,2.320777e-03,2.321760e-03,2.322780e-03,2.323029e-03,2.323719e-03,2.323751e-03,2.323878e-03,2.323802e-03,2.323546e-03,2.323025e-03,2.322762e-03,2.321559e-03,2.321502e-03,2.319970e-03,2.319309e-03,2.318025e-03,2.316513e-03,2.315750e-03,2.313171e-03,2.310308e-03,2.309336e-03,2.307184e-03,2.305055e-03,2.303815e-03,2.300369e-03,2.300221e-03,2.296417e-03,2.295316e-03,2.292417e-03,2.289930e-03,2.288238e-03,2.284244e-03,2.283891e-03,2.279388e-03,2.278286e-03,2.274742e-03,2.272081e-03,2.269962e-03,2.265654e-03,2.265059e-03,2.260042e-03,2.259026e-03,2.254920e-03,2.252217e-03,2.249701e-03,2.245247e-03,2.244392e-03,2.239002e-03,2.238133e-03,2.233537e-03,2.230889e-03,2.228004e-03,2.223532e-03,2.222408e-03,2.216757e-03,2.216075e-03,2.211054e-03,2.208530e-03,2.205306e-03,2.200910e-03,2.199517e-03,2.193692e-03,2.193225e-03,2.187836e-03,2.185486e-03,2.181953e-03,2.177702e-03,2.176046e-03,2.170120e-03,2.169883e-03,2.164179e-03,2.162036e-03,2.158225e-03,2.154170e-03,2.152261e-03,2.146292e-03,2.138409e-03,2.130526e-03,2.122650e-03,2.114786e-03,2.106940e-03,2.099116e-03,2.091319e-03,2.083553e-03,2.075821e-03,2.068127e-03,2.060475e-03,2.052867e-03,2.045307e-03,2.037797e-03,2.030340e-03,2.022937e-03,2.015590e-03,2.008303e-03,2.001075e-03,1.993910e-03,1.986808e-03,1.979771e-03,1.972799e-03,1.965894e-03
0.000000e+00,1.489261e-09,3.398015e-09,1.163027e-08,2.638258e-08,3.844235e-08,8.703127e-08,8.964556e-08,1.731803e-07,2.035184e-07,2.976936e-07,3.960251e-07,4.727696e-07,6.871678e-07,7.084821e-07,1.013611e-06,1.097783e-06,1.392333e-06,1.635649e-06,1.841349e-06,2.286763e-06,2.350641e-06,2.907440e-06,3.023405e-06,3.499671e-06,3.818204e-06,4.117244e-06,4.649553e-06,4.751970e-06,5.397104e-06,5.500897e-06,6.046935e-06,6.359049e-06,6.696534e-06,7.213140e-06,7.341606e-06,7.978419e-06,8.054125e-06,8.603770e-06,8.874578e-06,9.214952e-06,9.668589e-06,9.809741e-06,1.038636e-05,1.043166e-05,1.094344e-05,1.116057e-05,1.148000e-05,1.185323e-05,1.199536e-05,1.248916e-05,1.250846e-05,1.296124e-05,1.312589e-05,1.341170e-05,1.370576e-05,1.384075e-05,1.424880e-05,1.463631e-05,1.475606e-05,1.500385e-05,1.522889e-05,1.535206e-05,1.566876e-05,1.568159e-05,1.599316e-05,1.607728e-05,1.628749e-05,1.645610e-05,1.656527e-05,1.680684e-05,1.682723e-05,1.707406e-05,1.713112e-05,1.730646e-05,1.743054e-05,1.752509e-05,1.770662e-05,1.773061e-05,1.792365e-05,1.796081e-05,1.810480e-05,1.819450e-05,1.827465e-05,1.840901e-05,1.843377e-05,1.858267e-05,1.860559e-05,1.872189e-05,1.878541e-05,1.885189e-05,1.894957e-05,1.897315e-05,1.908611e-05,1.909913e-05,1.919119e-05,1.923503e-05,1.928880e-05,1.935821e-05,1.937930e-05,1.946308e-05,1.946950e-05,1.954047e-05,1.956971e-05,1.961180e-05,1.965958e-05,1.967738e-05,1.973750e-05,1.973980e-05,1.979246e-05,1.981102e-05,1.984250e-05,1.987386e-05,1.988789e-05,1.992887e-05,1.996566e-05,1.997659e-05,1.999848e-05,2.001750e-05,2.002754e-05,2.005207e-05,2.005303e-05,2.007513e-05,2.008074e-05,2.009403e-05,2.010389e-05,2.010988e-05,2.012192e-05,2.012285e-05,2.013309e-05,2.013516e-05,2.014074e-05,2.014395e-05,2.014594e-05,2.014859e-05,2.014882e-05,2.014949e-05,2.014937e-05,2.014808e-05,2.014656e-05,2.014470e-05,2.014041e-05,2.013945e-05,2.013243e-05,2.013115e-05,2.012374e-05,2.011900e-05,2.011347e-05,2.010418e-05,2.010171e-05,2.008853e-05,2.008686e-05,2.007402e-05,2.006723e-05,2.005825e-05,2.004546e-05,2.004129e-05,2.002321e-05,2.002172e-05,2.000407e-05,1.999613e-05,1.998394e-05,1.996886e-05,1.996287e-05,1.994092e-05,1.994002e-05,1.991814e-05,1.990974e-05,1.989458e-05,1.987814e-05,1.987029e-05,1.984531e-05,1.981137e-05,1.977641e-05,1.974052e-05,1.970378e-05,1.966627e-05,1.962806e-05,1.958923e-05,1.954984e-05,1.950995e-05,1.946962e-05,1.942890e-05,1.938785e-05,1.934652e-05,1.930494e-05,1.926316e-05,1.922122e-05,1.917916e-05,1.913702e-05,1.909482e-05,1.905260e-05,1.901039e-05,1.896821e-05,1.892609e-05,1.888406e-05
0.000000e+00,2.523533e-09,5.749671e-09,1.960918e-08,4.429419e-08,6.435805e-08,1.443221e-07,1.485886e-07,2.832260e-07,3.313826e-07,4.786784e-07,6.293672e-07,7.450773e-07,1.061179e-06,1.092120e-06,1.528011e-06,1.646451e-06,2.057095e-06,2.393586e-06,2.677220e-06,3.291330e-06,3.379547e-06,4.151458e-06,4.313016e-06,4.979749e-06,5.428620e-06,5.852149e-06,6.610898e-06,6.757552e-06,7.685825e-06,7.835836e-06,8.627601e-06,9.081876e-06,9.574202e-06,1.032956e-05,1.051763e-05,1.145062e-05,1.156156e-05,1.236668e-05,1.276289e-05,1.326015e-05,1.392108e-05,1.412621e-05,1.496091e-05,1.502623e-05,1.576106e-05,1.607089e-05,1.652430e-05,1.704999e-05,1.724892e-05,1.793387e-05,1.796043e-05,1.857863e-05,1.880089e-05,1.918318e-05,1.957148e-05,1.974788e-05,2.027342e-05,2.076074e-05,2.090881e-05,2.121103e-05,2.148038e-05,2.162560e-05,2.199131e-05,2.200589e-05,2.235341e-05,2.244506e-05,2.266973e-05,2.284520e-05,2.295643e-05,2.319541e-05,2.321511e-05,2.344732e-05,2.349928e-05,2.365459e-05,2.376034e-05,2.383843e-05,2.398197e-05,2.400028e-05,2.414153e-05,2.416743e-05,2.426352e-05,2.431976e-05,2.436751e-05,2.444184e-05,2.445472e-05,2.452631e-05,2.453638e-05,2.458336e-05,2.460589e-05,2.462691e-05,2.465270e-05,2.465794e-05,2.467737e-05,2.467896e-05,2.468606e-05,2.468669e-05,2.468483e-05,2.467773e-05,2.467444e-05,2.465561e-05,2.465376e-05,2.462902e-05,2.461635e-05,2.459529e-05,2.456693e-05,2.455502e-05,2.450877e-05,2.450680e-05,2.445705e-05,2.443718e-05,2.440034e-05,2.435917e-05,2.433910e-05,2.427375e-05,2.420469e-05,2.418187e-05,2.413228e-05,2.408434e-05,2.405687e-05,2.398194e-05,2.397877e-05,2.389829e-05,2.387536e-05,2.381570e-05,2.376524e-05,2.373126e-05,2.365215e-05,2.364521e-05,2.355777e-05,2.353660e-05,2.346916e-05,2.341909e-05,2.337956e-05,2.330004e-05,2.328915e-05,2.319810e-05,2.317983e-05,2.310656e-05,2.305882e-05,2.301468e-05,2.293732e-05,2.292258e-05,2.283039e-05,2.281564e-05,2.273821e-05,2.269401e-05,2.264616e-05,2.257267e-05,2.255433e-05,2.246280e-05,2.245184e-05,2.237166e-05,2.233170e-05,2.228097e-05,2.221240e-05,2.219082e-05,2.210125e-05,2.209411e-05,2.201233e-05,2.197695e-05,2.192410e-05,2.186104e-05,2.183662e-05,2.174993e-05,2.174648e-05,2.166405e-05,2.163335e-05,2.157904e-05,2.152173e-05,2.149491e-05,2.141170e-05,2.130330e-05,2.119659e-05,2.109160e-05,2.098837e-05,2.088693e-05,2.078728e-05,2.068946e-05,2.059347e-05,2.049930e-05,2.040698e-05,2.031649e-05,2.022782e-05,2.014097e-05,2.005594e-05,1.997269e-05,1.989123e-05,1.981152e-05,1.973356e-05,1.965733e-05,1.958279e-05,1.950993e-05,1.943873e-05,1.936916e-05,1.930119e-05
0.000000e+00,2.472486e-09,5.604653e-09,1.893225e-08,4.246847e-08,6.153017e-08,1.375495e-07,1.416189e-07,2.712414e-07,3.182585e-07,4.643814e-07,6.173460e-07,7.368824e-07,1.069443e-06,1.102233e-06,1.561470e-06,1.684062e-06,2.097683e-06,2.422253e-06,2.686083e-06,3.230324e-06,3.305821e-06,3.942567e-06,4.071043e-06,4.586534e-06,4.921763e-06,5.230406e-06,5.766739e-06,5.868137e-06,6.494392e-06,6.593201e-06,7.104373e-06,7.390104e-06,7.693799e-06,8.148034e-06,8.258972e-06,8.796828e-06,8.859415e-06,9.304977e-06,9.518685e-06,9.781704e-06,1.012233e-05,1.022595e-05,1.063725e-05,1.066873e-05,1.101569e-05,1.115797e-05,1.136180e-05,1.159147e-05,1.167647e-05,1.196092e-05,1.197169e-05,1.221657e-05,1.230185e-05,1.244498e-05,1.258558e-05,1.264781e-05,1.282676e-05,1.298355e-05,1.302932e-05,1.311986e-05,1.319710e-05,1.323731e-05,1.333378e-05,1.333747e-05,1.342182e-05,1.344279e-05,1.349175e-05,1.352733e-05,1.354855e-05,1.359027e-05,1.359345e-05,1.362755e-05,1.363424e-05,1.365187e-05,1.366159e-05,1.366738e-05,1.367440e-05,1.367491e-05,1.367526e-05,1.367453e-05,1.366914e-05,1.366362e-05,1.365720e-05,1.364310e-05,1.364002e-05,1.361814e-05,1.361424e-05,1.359205e-05,1.357816e-05,1.356219e-05,1.353584e-05,1.352894e-05,1.349268e-05,1.348814e-05,1.345373e-05,1.343582e-05,1.341239e-05,1.337953e-05,1.336892e-05,1.332357e-05,1.331986e-05,1.327656e-05,1.325733e-05,1.322809e-05,1.319240e-05,1.317835e-05,1.312750e-05,1.312545e-05,1.307570e-05,1.305684e-05,1.302308e-05,1.298689e-05,1.296976e-05,1.291588e-05,1.286152e-05,1.284404e-05,1.280678e-05,1.277160e-05,1.275176e-05,1.269875e-05,1.269653e-05,1.264117e-05,1.262566e-05,1.258574e-05,1.255248e-05,1.253031e-05,1.247936e-05,1.247493e-05,1.241965e-05,1.240640e-05,1.236452e-05,1.233373e-05,1.230958e-05,1.226142e-05,1.225487e-05,1.220043e-05,1.218958e-05,1.214629e-05,1.211827e-05,1.209248e-05,1.204756e-05,1.203903e-05,1.198596e-05,1.197750e-05,1.193329e-05,1.190816e-05,1.188105e-05,1.183957e-05,1.182925e-05,1.177791e-05,1.177178e-05,1.172704e-05,1.170481e-05,1.167666e-05,1.163871e-05,1.162678e-05,1.157741e-05,1.157348e-05,1.152856e-05,1.150917e-05,1.148024e-05,1.144578e-05,1.143245e-05,1.138520e-05,1.138333e-05,1.133850e-05,1.132183e-05,1.129235e-05,1.126129e-05,1.124676e-05,1.120172e-05,1.114312e-05,1.108551e-05,1.102887e-05,1.097321e-05,1.091852e-05,1.086481e-05,1.081207e-05,1.076029e-05,1.070947e-05,1.065960e-05,1.061068e-05,1.056269e-05,1.051562e-05,1.046947e-05,1.042422e-05,1.037987e-05,1.033640e-05,1.029380e-05,1.025207e-05,1.021118e-05,1.017112e-05,1.013189e-05,1.009347e-05,1.005584e-05
0.000000e+00,3.934007e-09,8.980984e-09,3.075528e-08,6.973124e-08,1.015240e-07,2.288543e-07,2.356690e-07,4.514802e-07,5.289572e-07,7.666413e-07,1.010708e-06,1.198647e-06,1.714074e-06,1.764671e-06,2.480015e-06,2.675189e-06,3.354611e-06,3.914803e-06,4.389778e-06,5.428398e-06,5.578877e-06,6.911073e-06,7.193633e-06,8.374382e-06,9.183118e-06,9.956755e-06,1.136912e-05,1.164610e-05,1.343004e-05,1.372339e-05,1.529576e-05,1.621649e-05,1.723004e-05,1.881769e-05,1.921928e-05,2.124976e-05,2.149554e-05,2.330784e-05,2.421868e-05,2.538017e-05,2.695678e-05,2.745396e-05,2.951713e-05,2.968138e-05,3.155849e-05,3.236659e-05,3.356780e-05,3.498950e-05,3.553595e-05,3.745489e-05,3.753053e-05,3.931775e-05,3.997349e-05,4.111870e-05,4.230554e-05,4.285302e-05,4.451694e-05,4.610766e-05,4.660088e-05,4.762317e-05,4.855304e-05,4.906226e-05,5.037136e-05,5.042437e-05,5.170954e-05,5.205566e-05,5.291831e-05,5.360730e-05,5.405168e-05,5.502892e-05,5.511098e-05,5.609786e-05,5.632415e-05,5.701423e-05,5.749737e-05,5.786218e-05,5.855354e-05,5.864394e-05,5.936187e-05,5.949801e-05,6.001841e-05,6.033637e-05,6.061605e-05,6.107438e-05,6.115729e-05,6.164465e-05,6.171779e-05,6.208061e-05,6.227233e-05,6.246761e-05,6.274359e-05,6.280808e-05,6.310438e-05,6.313707e-05,6.335882e-05,6.345809e-05,6.357364e-05,6.371174e-05,6.375101e-05,6.389303e-05,6.390292e-05,6.400172e-05,6.403631e-05,6.407905e-05,6.411635e-05,6.412687e-05,6.414699e-05,6.414725e-05,6.414114e-05,6.413299e-05,6.411096e-05,6.407735e-05,6.405803e-05,6.398384e-05,6.388985e-05,6.385581e-05,6.377741e-05,6.369637e-05,6.364783e-05,6.350845e-05,6.350234e-05,6.334213e-05,6.329478e-05,6.316831e-05,6.305793e-05,6.298194e-05,6.280027e-05,6.278403e-05,6.257554e-05,6.252403e-05,6.235736e-05,6.223127e-05,6.213036e-05,6.192393e-05,6.189533e-05,6.165305e-05,6.160379e-05,6.140424e-05,6.127250e-05,6.114958e-05,6.093161e-05,6.088970e-05,6.062523e-05,6.058252e-05,6.035672e-05,6.022656e-05,6.008472e-05,5.986494e-05,5.980972e-05,5.953221e-05,5.949876e-05,5.925263e-05,5.912907e-05,5.897140e-05,5.875680e-05,5.868891e-05,5.840552e-05,5.838282e-05,5.812158e-05,5.800793e-05,5.783742e-05,5.763284e-05,5.755332e-05,5.726957e-05,5.725824e-05,5.698644e-05,5.688470e-05,5.670415e-05,5.651280e-05,5.642294e-05,5.614301e-05,5.577580e-05,5.541157e-05,5.505068e-05,5.469345e-05,5.434018e-05,5.399111e-05,5.364649e-05,5.330650e-05,5.297133e-05,5.264110e-05,5.231596e-05,5.199600e-05,5.168132e-05,5.137198e-05,5.106803e-05,5.076952e-05,5.047646e-05,5.018888e-05,4.990677e-05,4.963012e-05,4.935892e-05,4.909315e-05,4.883276e-05,4.857772e-05
0.000000e+00,1.753072e-09,3.992200e-09,1.360299e-08,3.070960e-08,4.461237e-08,1.000598e-07,1.030208e-07,1.966383e-07,2.302144e-07,3.332269e-07,4.390849e-07,5.206563e-07,7.443382e-07,7.662663e-07,1.074735e-06,1.158192e-06,1.445643e-06,1.678843e-06,1.873930e-06,2.292877e-06,2.352786e-06,2.875629e-06,2.984941e-06,3.436481e-06,3.741278e-06,4.029739e-06,4.549109e-06,4.649922e-06,5.291550e-06,5.395833e-06,5.949128e-06,6.268826e-06,6.617204e-06,7.155648e-06,7.290467e-06,7.963843e-06,8.044426e-06,8.632593e-06,8.924246e-06,9.292394e-06,9.785470e-06,9.939397e-06,1.057026e-05,1.061994e-05,1.118216e-05,1.142108e-05,1.177279e-05,1.218385e-05,1.234035e-05,1.288348e-05,1.290468e-05,1.340126e-05,1.358133e-05,1.389313e-05,1.421269e-05,1.435889e-05,1.479858e-05,1.521252e-05,1.533962e-05,1.560119e-05,1.583698e-05,1.596525e-05,1.629231e-05,1.630547e-05,1.662271e-05,1.670755e-05,1.691790e-05,1.708483e-05,1.719201e-05,1.742642e-05,1.744603e-05,1.768096e-05,1.773461e-05,1.789780e-05,1.801169e-05,1.809752e-05,1.825988e-05,1.828109e-05,1.844943e-05,1.848134e-05,1.860342e-05,1.867812e-05,1.874394e-05,1.885217e-05,1.887181e-05,1.898779e-05,1.900530e-05,1.909265e-05,1.913923e-05,1.918707e-05,1.925555e-05,1.927173e-05,1.934724e-05,1.935572e-05,1.941421e-05,1.944111e-05,1.947318e-05,1.951296e-05,1.952467e-05,1.956917e-05,1.957244e-05,1.960715e-05,1.962061e-05,1.963903e-05,1.965844e-05,1.966522e-05,1.968609e-05,1.968682e-05,1.970200e-05,1.970657e-05,1.971328e-05,1.971846e-05,1.972023e-05,1.972316e-05,1.972233e-05,1.972131e-05,1.971800e-05,1.971349e-05,1.971040e-05,1.970024e-05,1.969976e-05,1.968628e-05,1.968203e-05,1.967018e-05,1.965932e-05,1.965162e-05,1.963252e-05,1.963078e-05,1.960782e-05,1.960201e-05,1.958290e-05,1.956813e-05,1.955615e-05,1.953121e-05,1.952771e-05,1.949771e-05,1.949153e-05,1.946626e-05,1.944938e-05,1.943348e-05,1.940498e-05,1.939946e-05,1.936431e-05,1.935859e-05,1.932812e-05,1.931040e-05,1.929096e-05,1.926061e-05,1.925294e-05,1.921411e-05,1.920940e-05,1.917455e-05,1.915694e-05,1.913434e-05,1.910337e-05,1.909353e-05,1.905218e-05,1.904885e-05,1.901035e-05,1.899350e-05,1.896810e-05,1.893744e-05,1.892547e-05,1.888250e-05,1.888078e-05,1.883926e-05,1.882363e-05,1.879576e-05,1.876607e-05,1.875207e-05,1.870820e-05,1.865010e-05,1.859185e-05,1.853350e-05,1.847513e-05,1.841680e-05,1.835856e-05,1.830045e-05,1.824253e-05,1.818484e-05,1.812742e-05,1.807030e-05,1.801351e-05,1.795710e-05,1.790107e-05,1.784547e-05,1.779031e-05,1.773562e-05,1.768141e-05,1.762771e-05,1.757452e-05,1.752186e-05,1.746974e-05,1.741818e-05,1.736719e-05
0.000000e+00,9.486970e-09,2.162462e-08,7.384087e-08,1.670726e-07,2.430421e-07,5.473593e-07,5.636619e-07,1.081338e-06,1.267940e-06,1.843060e-06,2.437637e-06,2.897923e-06,4.167985e-06,4.293037e-06,6.060652e-06,6.541245e-06,8.202616e-06,9.555887e-06,1.069077e-05,1.313402e-05,1.348392e-05,1.654168e-05,1.718177e-05,1.982827e-05,2.161691e-05,2.331135e-05,2.636651e-05,2.696023e-05,3.074465e-05,3.136072e-05,3.463440e-05,3.653002e-05,3.859929e-05,4.180530e-05,4.260959e-05,4.663649e-05,4.711951e-05,5.065255e-05,5.240952e-05,5.463222e-05,5.761800e-05,5.855220e-05,6.239171e-05,6.269483e-05,6.613265e-05,6.759789e-05,6.975966e-05,7.229334e-05,7.326006e-05,7.662379e-05,7.675538e-05,7.984319e-05,8.096571e-05,8.291276e-05,8.491265e-05,8.582906e-05,8.859049e-05,9.119695e-05,9.199846e-05,9.364966e-05,9.513971e-05,9.595088e-05,9.802052e-05,9.810384e-05,1.001124e-04,1.006496e-04,1.019812e-04,1.030373e-04,1.037149e-04,1.051952e-04,1.053189e-04,1.067983e-04,1.071355e-04,1.081589e-04,1.088709e-04,1.094059e-04,1.104139e-04,1.105451e-04,1.115817e-04,1.117772e-04,1.125211e-04,1.129729e-04,1.133685e-04,1.140128e-04,1.141288e-04,1.148071e-04,1.149083e-04,1.154078e-04,1.156700e-04,1.159356e-04,1.163081e-04,1.163946e-04,1.167890e-04,1.168322e-04,1.171227e-04,1.172512e-04,1.173993e-04,1.175735e-04,1.176224e-04,1.177953e-04,1.178071e-04,1.179212e-04,1.179591e-04,1.180031e-04,1.180364e-04,1.180438e-04,1.180459e-04,1.180453e-04,1.180121e-04,1.179916e-04,1.179447e-04,1.178808e-04,1.178459e-04,1.177179e-04,1.175627e-04,1.175076e-04,1.173821e-04,1.172541e-04,1.171780e-04,1.169615e-04,1.169521e-04,1.167058e-04,1.166334e-04,1.164408e-04,1.162733e-04,1.161583e-04,1.158842e-04,1.158598e-04,1.155465e-04,1.154692e-04,1.152195e-04,1.150308e-04,1.148799e-04,1.145715e-04,1.145288e-04,1.141672e-04,1.140937e-04,1.137960e-04,1.135994e-04,1.134160e-04,1.130906e-04,1.130281e-04,1.126329e-04,1.125691e-04,1.122314e-04,1.120365e-04,1.118240e-04,1.114944e-04,1.114115e-04,1.109944e-04,1.109441e-04,1.105733e-04,1.103869e-04,1.101488e-04,1.098242e-04,1.097213e-04,1.092913e-04,1.092568e-04,1.088592e-04,1.086859e-04,1.084255e-04,1.081124e-04,1.079905e-04,1.075546e-04,1.075371e-04,1.071180e-04,1.069608e-04,1.066813e-04,1.063843e-04,1.062445e-04,1.058081e-04,1.052329e-04,1.046593e-04,1.040877e-04,1.035187e-04,1.029525e-04,1.023897e-04,1.018306e-04,1.012754e-04,1.007245e-04,1.001781e-04,9.963643e-05,9.909975e-05,9.856821e-05,9.804198e-05,9.752121e-05,9.700603e-05,9.649655e-05,9.599286e-05,9.549505e-05,9.500320e-05,9.451736e-05,9.403757e-05,9.356388e-05,9.309631e-05
0.000000e+00,8.577193e-10,1.949832e-09,6.618198e-09,1.488290e-08,2.157028e-08,4.804928e-08,4.945593e-08,9.361034e-08,1.093098e-07,1.570823e-07,2.056224e-07,2.426949e-07,3.431953e-07,3.529767e-07,4.898398e-07,5.267501e-07,6.538975e-07,7.571892e-07,8.436510e-07,1.028941e-06,1.055339e-06,1.283879e-06,1.331146e-06,1.524109e-06,1.652104e-06,1.771465e-06,1.981918e-06,2.022100e-06,2.272790e-06,2.312717e-06,2.520812e-06,2.638226e-06,2.763870e-06,2.953442e-06,3.000048e-06,3.227781e-06,3.254479e-06,3.445834e-06,3.538462e-06,3.653279e-06,3.803431e-06,3.849463e-06,4.033984e-06,4.048235e-06,4.206656e-06,4.272401e-06,4.367477e-06,4.476008e-06,4.516595e-06,4.654281e-06,4.659556e-06,4.780901e-06,4.823857e-06,4.896890e-06,4.969936e-06,5.002733e-06,5.098950e-06,5.186075e-06,5.212124e-06,5.264652e-06,5.310704e-06,5.335220e-06,5.395921e-06,5.398307e-06,5.454427e-06,5.468961e-06,5.504076e-06,5.530955e-06,5.547723e-06,5.582966e-06,5.585819e-06,5.618787e-06,5.625981e-06,5.647024e-06,5.660910e-06,5.670904e-06,5.688593e-06,5.690778e-06,5.706973e-06,5.709797e-06,5.719793e-06,5.725221e-06,5.729522e-06,5.735498e-06,5.736422e-06,5.740735e-06,5.741200e-06,5.742687e-06,5.742848e-06,5.742487e-06,5.740908e-06,5.740328e-06,5.736387e-06,5.735803e-06,5.730829e-06,5.727911e-06,5.723806e-06,5.717574e-06,5.715457e-06,5.705911e-06,5.705100e-06,5.695289e-06,5.690763e-06,5.683698e-06,5.674811e-06,5.671241e-06,5.658009e-06,5.657465e-06,5.644090e-06,5.638926e-06,5.629561e-06,5.619371e-06,5.614496e-06,5.598961e-06,5.583018e-06,5.577840e-06,5.566724e-06,5.556135e-06,5.550129e-06,5.533961e-06,5.533283e-06,5.516229e-06,5.511422e-06,5.499007e-06,5.488609e-06,5.481655e-06,5.465605e-06,5.464206e-06,5.446691e-06,5.442481e-06,5.429140e-06,5.419305e-06,5.411578e-06,5.396133e-06,5.394029e-06,5.376514e-06,5.373018e-06,5.359055e-06,5.350004e-06,5.341669e-06,5.327133e-06,5.324372e-06,5.307180e-06,5.304440e-06,5.290106e-06,5.281956e-06,5.273163e-06,5.259709e-06,5.256361e-06,5.239711e-06,5.237723e-06,5.223221e-06,5.216019e-06,5.206900e-06,5.194614e-06,5.190756e-06,5.174793e-06,5.173524e-06,5.159019e-06,5.152763e-06,5.143437e-06,5.132341e-06,5.128053e-06,5.112870e-06,5.112267e-06,5.097892e-06,5.092550e-06,5.083120e-06,5.073194e-06,5.068557e-06,5.054205e-06,5.035586e-06,5.017338e-06,4.999465e-06,4.981964e-06,4.964837e-06,4.948082e-06,4.931697e-06,4.915680e-06,4.900027e-06,4.884736e-06,4.869802e-06,4.855222e-06,4.840991e-06,4.827105e-06,4.813558e-06,4.800346e-06,4.787462e-06,4.774902e-06,4.762660e-06,4.750731e-06,4.739108e-06,4.727786e-06,4.716759e-06,4.706021e-06
0.000000e+00,4.451861e-09,1.011353e-08,3.430021e-08,7.715362e-08,1.118966e-07,2.502573e-07,2.576462e-07,4.917026e-07,5.759288e-07,8.354272e-07,1.103758e-06,1.311516e-06,1.883986e-06,1.940211e-06,2.729746e-06,2.942289e-06,3.668727e-06,4.250639e-06,4.732015e-06,5.749219e-06,5.892890e-06,7.128961e-06,7.383553e-06,8.422197e-06,9.112143e-06,9.757364e-06,1.090126e-05,1.112076e-05,1.249956e-05,1.272077e-05,1.388156e-05,1.454264e-05,1.525523e-05,1.634095e-05,1.660987e-05,1.793572e-05,1.809247e-05,1.922423e-05,1.977740e-05,2.046804e-05,2.137968e-05,2.166111e-05,2.279873e-05,2.288723e-05,2.387740e-05,2.429182e-05,2.489484e-05,2.558874e-05,2.584979e-05,2.674195e-05,2.677633e-05,2.757179e-05,2.785548e-05,2.834045e-05,2.882904e-05,2.904962e-05,2.970138e-05,3.029812e-05,3.047789e-05,3.084247e-05,3.116461e-05,3.133715e-05,3.176793e-05,3.178498e-05,3.218877e-05,3.229433e-05,3.255133e-05,3.275020e-05,3.287536e-05,3.314172e-05,3.316351e-05,3.341832e-05,3.347478e-05,3.364218e-05,3.375488e-05,3.383738e-05,3.398715e-05,3.400606e-05,3.415022e-05,3.417628e-05,3.427176e-05,3.432660e-05,3.437242e-05,3.444202e-05,3.445381e-05,3.451747e-05,3.452610e-05,3.456477e-05,3.458205e-05,3.459701e-05,3.461277e-05,3.461539e-05,3.462101e-05,3.462087e-05,3.461488e-05,3.460871e-05,3.459795e-05,3.457839e-05,3.457108e-05,3.453508e-05,3.453183e-05,3.449068e-05,3.447072e-05,3.443855e-05,3.439660e-05,3.437934e-05,3.431362e-05,3.431086e-05,3.424193e-05,3.421475e-05,3.416475e-05,3.410938e-05,3.408256e-05,3.399578e-05,3.390479e-05,3.387485e-05,3.380997e-05,3.374742e-05,3.371164e-05,3.361425e-05,3.361013e-05,3.350573e-05,3.347601e-05,3.339870e-05,3.333332e-05,3.328929e-05,3.318674e-05,3.317774e-05,3.306427e-05,3.303677e-05,3.294908e-05,3.288389e-05,3.283235e-05,3.272850e-05,3.271426e-05,3.259498e-05,3.257100e-05,3.247466e-05,3.241173e-05,3.235345e-05,3.225102e-05,3.223146e-05,3.210884e-05,3.208916e-05,3.198569e-05,3.192642e-05,3.186212e-05,3.176303e-05,3.173824e-05,3.161413e-05,3.159923e-05,3.148990e-05,3.143521e-05,3.136561e-05,3.127117e-05,3.124135e-05,3.111719e-05,3.110727e-05,3.099320e-05,3.094367e-05,3.086945e-05,3.078052e-05,3.074598e-05,3.062285e-05,3.061794e-05,3.050012e-05,3.045605e-05,3.037784e-05,3.029497e-05,3.025605e-05,3.013479e-05,2.997560e-05,2.981748e-05,2.966052e-05,2.950478e-05,2.935031e-05,2.919718e-05,2.904543e-05,2.889511e-05,2.874626e-05,2.859892e-05,2.845311e-05,2.830886e-05,2.816619e-05,2.802514e-05,2.788571e-05,2.774792e-05,2.761178e-05,2.747730e-05,2.734449e-05,2.721335e-05,2.708389e-05,2.695611e-05,2.683001e-05,2.670558e-05
0.000000e+00,2.068292e-07,4.657346e-07,1.550133e-06,3.424718e-06,4.915921e-06,1.068485e-05,1.098681e-05,2.030976e-05,2.356771e-05,3.335017e-05,4.313227e-05,5.051841e-05,7.023128e-05,7.212710e-05,9.822499e-05,1.051218e-04,1.284112e-04,1.468213e-04,1.619184e-04,1.934861e-04,1.979113e-04,2.356682e-04,2.433771e-04,2.745936e-04,2.951246e-04,3.141763e-04,3.475961e-04,3.539562e-04,3.935085e-04,3.997891e-04,4.324417e-04,4.508039e-04,4.704009e-04,4.998563e-04,5.070750e-04,5.422014e-04,5.463020e-04,5.755698e-04,5.896526e-04,6.070230e-04,6.295796e-04,6.364552e-04,6.638087e-04,6.659065e-04,6.890687e-04,6.985903e-04,7.122569e-04,7.276979e-04,7.334256e-04,7.526507e-04,7.533805e-04,7.700261e-04,7.758485e-04,7.856577e-04,7.953489e-04,7.996591e-04,8.121471e-04,8.232386e-04,8.265118e-04,8.330484e-04,8.387051e-04,8.416866e-04,8.489741e-04,8.492578e-04,8.558600e-04,8.575475e-04,8.615841e-04,8.646323e-04,8.665140e-04,8.704139e-04,8.707261e-04,8.742900e-04,8.750561e-04,8.772688e-04,8.787026e-04,8.797190e-04,8.814788e-04,8.816919e-04,8.832331e-04,8.834932e-04,8.843836e-04,8.848398e-04,8.851802e-04,8.855999e-04,8.856556e-04,8.858394e-04,8.858435e-04,8.857577e-04,8.856313e-04,8.854342e-04,8.850158e-04,8.848903e-04,8.841448e-04,8.840427e-04,8.832151e-04,8.827518e-04,8.821168e-04,8.811780e-04,8.808639e-04,8.794694e-04,8.793520e-04,8.779447e-04,8.773009e-04,8.763007e-04,8.750487e-04,8.745471e-04,8.726929e-04,8.726167e-04,8.707462e-04,8.700243e-04,8.687148e-04,8.672886e-04,8.666056e-04,8.644251e-04,8.621796e-04,8.614481e-04,8.598744e-04,8.583703e-04,8.575150e-04,8.552034e-04,8.551061e-04,8.526524e-04,8.519579e-04,8.501581e-04,8.486438e-04,8.476273e-04,8.452699e-04,8.450637e-04,8.424707e-04,8.418444e-04,8.398518e-04,8.383750e-04,8.372099e-04,8.348685e-04,8.345481e-04,8.318691e-04,8.313314e-04,8.291754e-04,8.277697e-04,8.264695e-04,8.241888e-04,8.237537e-04,8.210301e-04,8.205937e-04,8.183007e-04,8.169891e-04,8.155675e-04,8.133794e-04,8.128322e-04,8.100966e-04,8.097684e-04,8.073622e-04,8.061598e-04,8.046304e-04,8.025570e-04,8.019029e-04,7.991807e-04,7.989632e-04,7.964653e-04,7.953812e-04,7.937577e-04,7.918137e-04,7.910590e-04,7.883703e-04,7.882630e-04,7.856926e-04,7.847314e-04,7.830267e-04,7.812211e-04,7.803735e-04,7.777337e-04,7.742711e-04,7.708349e-04,7.674264e-04,7.640469e-04,7.606977e-04,7.573798e-04,7.540942e-04,7.508416e-04,7.476230e-04,7.444388e-04,7.412898e-04,7.381765e-04,7.350993e-04,7.320586e-04,7.290547e-04,7.260879e-04,7.231584e-04,7.202663e-04,7.174118e-04,7.145950e-04,7.118159e-04,7.090744e-04,7.063705e-04,7.037042e-04
0.000000e+00,2.870158e-07,6.493714e-07,2.182642e-06,4.865263e-06,7.017884e-06,1.544685e-05,1.589153e-05,2.974612e-05,3.463551e-05,4.943464e-05,6.438412e-05,7.575931e-05,1.064534e-04,1.094302e-04,1.508475e-04,1.619283e-04,1.997441e-04,2.300347e-04,2.551040e-04,3.080900e-04,3.155718e-04,3.798728e-04,3.930957e-04,4.469384e-04,4.826002e-04,5.158644e-04,5.746122e-04,5.858502e-04,6.561614e-04,6.673952e-04,7.261166e-04,7.593820e-04,7.950877e-04,8.491727e-04,8.625077e-04,9.278786e-04,9.355646e-04,9.907787e-04,1.017581e-03,1.050866e-03,1.094488e-03,1.107880e-03,1.161635e-03,1.165791e-03,1.212021e-03,1.231220e-03,1.258993e-03,1.290700e-03,1.302557e-03,1.342771e-03,1.344311e-03,1.379727e-03,1.392257e-03,1.413550e-03,1.434834e-03,1.444386e-03,1.472396e-03,1.497749e-03,1.505330e-03,1.520620e-03,1.534036e-03,1.541184e-03,1.558911e-03,1.559610e-03,1.576064e-03,1.580340e-03,1.590705e-03,1.598681e-03,1.603681e-03,1.614271e-03,1.615135e-03,1.625195e-03,1.627416e-03,1.633984e-03,1.638393e-03,1.641614e-03,1.647451e-03,1.648187e-03,1.653799e-03,1.654813e-03,1.658534e-03,1.660675e-03,1.662469e-03,1.665209e-03,1.665676e-03,1.668218e-03,1.668567e-03,1.670153e-03,1.670882e-03,1.671534e-03,1.672273e-03,1.672410e-03,1.672822e-03,1.672842e-03,1.672810e-03,1.672680e-03,1.672411e-03,1.671868e-03,1.671656e-03,1.670575e-03,1.670475e-03,1.669194e-03,1.668564e-03,1.667539e-03,1.666190e-03,1.665631e-03,1.663492e-03,1.663402e-03,1.661140e-03,1.660244e-03,1.658592e-03,1.656756e-03,1.655864e-03,1.652972e-03,1.649927e-03,1.648923e-03,1.646744e-03,1.644639e-03,1.643433e-03,1.640145e-03,1.640006e-03,1.636472e-03,1.635465e-03,1.632841e-03,1.630619e-03,1.629121e-03,1.625627e-03,1.625320e-03,1.621447e-03,1.620507e-03,1.617508e-03,1.615276e-03,1.613509e-03,1.609947e-03,1.609458e-03,1.605359e-03,1.604534e-03,1.601218e-03,1.599050e-03,1.597041e-03,1.593507e-03,1.592832e-03,1.588595e-03,1.587915e-03,1.584335e-03,1.582283e-03,1.580056e-03,1.576622e-03,1.575762e-03,1.571455e-03,1.570938e-03,1.567140e-03,1.565240e-03,1.562820e-03,1.559535e-03,1.558497e-03,1.554174e-03,1.553829e-03,1.549855e-03,1.548128e-03,1.545540e-03,1.542438e-03,1.541233e-03,1.536936e-03,1.536764e-03,1.532651e-03,1.531111e-03,1.528379e-03,1.525483e-03,1.524122e-03,1.519883e-03,1.514316e-03,1.508785e-03,1.503293e-03,1.497843e-03,1.492437e-03,1.487077e-03,1.481766e-03,1.476506e-03,1.471298e-03,1.466144e-03,1.461045e-03,1.456003e-03,1.451018e-03,1.446092e-03,1.441225e-03,1.436419e-03,1.431672e-03,1.426987e-03,1.422364e-03,1.417802e-03,1.413303e-03,1.408866e-03,1.404491e-03,1.400178e-03
0.000000e+00,2.233468e-09,5.106786e-09,1.755533e-08,3.998159e-08,5.838422e-08,1.329203e-07,1.369442e-07,2.660490e-07,3.131483e-07,4.599275e-07,6.139620e-07,7.346244e-07,1.073050e-06,1.106755e-06,1.589042e-06,1.721769e-06,2.184600e-06,2.565304e-06,2.886615e-06,3.583516e-06,3.683828e-06,4.565181e-06,4.750684e-06,5.521142e-06,6.044938e-06,6.543405e-06,7.447727e-06,7.624303e-06,8.756383e-06,8.941769e-06,9.932210e-06,1.050995e-05,1.114431e-05,1.213510e-05,1.238523e-05,1.364761e-05,1.380019e-05,1.492431e-05,1.548883e-05,1.620853e-05,1.718563e-05,1.749389e-05,1.877453e-05,1.887661e-05,2.004511e-05,2.054945e-05,2.130090e-05,2.219353e-05,2.253771e-05,2.375195e-05,2.380000e-05,2.494057e-05,2.536170e-05,2.610104e-05,2.687301e-05,2.723130e-05,2.832974e-05,2.939511e-05,2.972889e-05,3.042654e-05,3.106856e-05,3.142344e-05,3.234768e-05,3.238549e-05,3.331261e-05,3.356596e-05,3.420490e-05,3.472366e-05,3.506262e-05,3.582153e-05,3.588617e-05,3.667606e-05,3.686069e-05,3.743289e-05,3.784253e-05,3.815735e-05,3.876868e-05,3.885017e-05,3.951213e-05,3.964090e-05,4.014406e-05,4.046105e-05,4.074676e-05,4.123107e-05,4.132109e-05,4.186790e-05,4.195290e-05,4.238805e-05,4.262851e-05,4.288240e-05,4.325986e-05,4.335178e-05,4.379705e-05,4.384890e-05,4.421902e-05,4.439751e-05,4.461850e-05,4.490757e-05,4.499631e-05,4.535321e-05,4.538088e-05,4.568996e-05,4.581919e-05,4.600732e-05,4.622421e-05,4.630600e-05,4.658672e-05,4.659759e-05,4.685016e-05,4.694089e-05,4.709698e-05,4.725565e-05,4.732783e-05,4.754334e-05,4.774412e-05,4.780535e-05,4.793075e-05,4.804303e-05,4.810381e-05,4.825768e-05,4.826384e-05,4.841138e-05,4.845053e-05,4.854695e-05,4.862276e-05,4.867105e-05,4.877549e-05,4.878415e-05,4.888671e-05,4.890981e-05,4.897920e-05,4.902675e-05,4.906204e-05,4.912729e-05,4.913565e-05,4.920043e-05,4.921236e-05,4.925677e-05,4.928285e-05,4.930504e-05,4.933962e-05,4.934561e-05,4.937882e-05,4.938347e-05,4.940501e-05,4.941518e-05,4.942450e-05,4.943548e-05,4.943760e-05,4.944461e-05,4.944506e-05,4.944582e-05,4.944458e-05,4.944150e-05,4.943469e-05,4.943192e-05,4.941734e-05,4.941597e-05,4.939801e-05,4.938900e-05,4.937416e-05,4.935431e-05,4.934601e-05,4.931379e-05,4.931242e-05,4.927771e-05,4.926382e-05,4.923798e-05,4.920896e-05,4.919477e-05,4.914830e-05,4.908223e-05,4.901115e-05,4.893545e-05,4.885547e-05,4.877154e-05,4.868399e-05,4.859311e-05,4.849919e-05,4.840250e-05,4.830329e-05,4.820179e-05,4.809825e-05,4.799287e-05,4.788585e-05,4.777739e-05,4.766766e-05,4.755684e-05,4.744508e-05,4.733254e-05,4.721936e-05,4.710567e-05,4.699160e-05,4.687726e-05,4.676277e-05
0.000000e+00,2.106692e-09,4.801769e-09,1.639754e-08,3.711459e-08,5.401099e-08,1.218495e-07,1.254910e-07,2.415218e-07,2.835341e-07,4.136146e-07,5.489542e-07,6.542279e-07,9.461871e-07,9.749975e-07,1.381887e-06,1.492121e-06,1.870986e-06,2.176765e-06,2.431225e-06,2.973351e-06,3.050398e-06,3.718027e-06,3.856575e-06,4.425357e-06,4.806270e-06,5.164665e-06,5.805111e-06,5.928739e-06,6.710634e-06,6.836938e-06,7.503618e-06,7.886278e-06,8.301227e-06,8.938530e-06,9.097360e-06,9.886379e-06,9.980335e-06,1.066319e-05,1.099995e-05,1.142332e-05,1.198746e-05,1.216291e-05,1.287878e-05,1.293494e-05,1.356834e-05,1.383633e-05,1.422961e-05,1.468738e-05,1.486115e-05,1.546201e-05,1.548540e-05,1.603165e-05,1.622903e-05,1.656991e-05,1.691806e-05,1.707694e-05,1.755314e-05,1.799914e-05,1.813561e-05,1.841571e-05,1.866728e-05,1.880376e-05,1.915037e-05,1.916428e-05,1.949835e-05,1.958729e-05,1.980706e-05,1.998060e-05,2.009157e-05,2.033290e-05,2.035299e-05,2.059247e-05,2.064680e-05,2.081112e-05,2.092488e-05,2.101004e-05,2.116962e-05,2.119030e-05,2.135292e-05,2.138341e-05,2.149889e-05,2.156854e-05,2.162919e-05,2.172718e-05,2.174471e-05,2.184634e-05,2.186136e-05,2.193491e-05,2.197302e-05,2.201122e-05,2.206395e-05,2.207603e-05,2.213004e-05,2.213583e-05,2.217396e-05,2.219025e-05,2.220841e-05,2.222864e-05,2.223401e-05,2.225134e-05,2.225239e-05,2.226094e-05,2.226274e-05,2.226334e-05,2.226087e-05,2.225900e-05,2.224841e-05,2.224786e-05,2.223198e-05,2.222472e-05,2.221013e-05,2.219237e-05,2.218324e-05,2.215168e-05,2.211579e-05,2.210344e-05,2.207588e-05,2.204838e-05,2.203227e-05,2.198718e-05,2.198524e-05,2.193505e-05,2.192047e-05,2.188197e-05,2.184882e-05,2.182622e-05,2.177277e-05,2.176803e-05,2.170761e-05,2.169280e-05,2.164516e-05,2.160938e-05,2.158087e-05,2.152290e-05,2.151490e-05,2.144743e-05,2.143377e-05,2.137860e-05,2.134233e-05,2.130857e-05,2.124890e-05,2.123746e-05,2.116540e-05,2.115379e-05,2.109252e-05,2.105727e-05,2.101892e-05,2.095960e-05,2.094471e-05,2.086999e-05,2.086099e-05,2.079485e-05,2.076167e-05,2.071937e-05,2.066184e-05,2.064364e-05,2.056774e-05,2.056166e-05,2.049172e-05,2.046130e-05,2.041567e-05,2.036091e-05,2.033963e-05,2.026367e-05,2.026063e-05,2.018784e-05,2.016059e-05,2.011219e-05,2.006088e-05,2.003677e-05,1.996162e-05,1.986290e-05,1.976480e-05,1.966740e-05,1.957078e-05,1.947498e-05,1.938007e-05,1.928610e-05,1.919310e-05,1.910113e-05,1.901021e-05,1.892038e-05,1.883165e-05,1.874406e-05,1.865763e-05,1.857236e-05,1.848827e-05,1.840538e-05,1.832369e-05,1.824321e-05,1.816394e-05,1.808588e-05,1.800904e-05,1.793341e-05,1.785898e-05
0.000000e+00,3.370376e-09,7.695687e-09,2.637812e-08,5.991198e-08,8.735500e-08,1.980726e-07,2.040345e-07,3.946977e-07,4.639988e-07,6.791881e-07,9.036821e-07,1.078415e-06,1.561657e-06,1.609147e-06,2.275131e-06,2.454201e-06,3.067037e-06,3.560589e-06,3.971812e-06,4.852252e-06,4.978019e-06,6.075850e-06,6.305591e-06,7.255959e-06,7.898956e-06,8.508712e-06,9.609716e-06,9.823907e-06,1.119082e-05,1.141358e-05,1.259839e-05,1.328520e-05,1.403552e-05,1.519919e-05,1.549135e-05,1.695551e-05,1.713130e-05,1.841834e-05,1.905926e-05,1.987103e-05,2.096342e-05,2.130573e-05,2.271557e-05,2.282710e-05,2.409470e-05,2.463664e-05,2.543826e-05,2.638133e-05,2.674227e-05,2.800363e-05,2.805316e-05,2.921998e-05,2.964651e-05,3.038965e-05,3.115778e-05,3.151154e-05,3.258508e-05,3.361013e-05,3.392793e-05,3.458690e-05,3.518691e-05,3.551589e-05,3.636347e-05,3.639785e-05,3.723374e-05,3.745967e-05,3.802464e-05,3.847808e-05,3.877176e-05,3.942156e-05,3.947640e-05,4.013992e-05,4.029319e-05,4.076370e-05,4.109618e-05,4.134916e-05,4.183380e-05,4.189773e-05,4.241083e-05,4.250931e-05,4.288986e-05,4.312595e-05,4.333621e-05,4.368689e-05,4.375125e-05,4.413630e-05,4.419521e-05,4.449267e-05,4.465391e-05,4.482162e-05,4.506586e-05,4.512438e-05,4.540213e-05,4.543383e-05,4.565602e-05,4.576046e-05,4.588717e-05,4.604829e-05,4.609664e-05,4.628546e-05,4.629971e-05,4.645463e-05,4.651701e-05,4.660510e-05,4.670238e-05,4.673779e-05,4.685358e-05,4.685787e-05,4.695331e-05,4.698544e-05,4.703780e-05,4.708694e-05,4.710781e-05,4.716411e-05,4.720740e-05,4.721861e-05,4.723836e-05,4.725201e-05,4.725765e-05,4.726576e-05,4.726589e-05,4.726368e-05,4.726127e-05,4.725160e-05,4.723984e-05,4.723019e-05,4.720271e-05,4.719998e-05,4.716145e-05,4.715103e-05,4.711510e-05,4.708590e-05,4.706138e-05,4.700835e-05,4.700072e-05,4.693353e-05,4.691934e-05,4.686021e-05,4.681979e-05,4.678115e-05,4.671055e-05,4.669669e-05,4.660719e-05,4.659243e-05,4.651297e-05,4.646616e-05,4.641435e-05,4.633247e-05,4.631161e-05,4.620505e-05,4.619202e-05,4.609493e-05,4.604542e-05,4.598151e-05,4.589326e-05,4.586504e-05,4.574575e-05,4.573610e-05,4.562386e-05,4.557443e-05,4.549958e-05,4.540874e-05,4.537312e-05,4.524465e-05,4.523948e-05,4.511438e-05,4.506706e-05,4.498245e-05,4.489189e-05,4.484905e-05,4.471432e-05,4.453470e-05,4.435335e-05,4.417057e-05,4.398663e-05,4.380179e-05,4.361630e-05,4.343038e-05,4.324424e-05,4.305807e-05,4.287205e-05,4.268635e-05,4.250112e-05,4.231651e-05,4.213265e-05,4.194966e-05,4.176766e-05,4.158673e-05,4.140699e-05,4.122852e-05,4.105140e-05,4.087570e-05,4.070149e-05,4.052882e-05,4.035776e-05
0.000000e+00,5.858272e-09,1.338574e-08,4.595853e-08,1.045817e-07,1.526726e-07,3.475310e-07,3.580573e-07,6.962253e-07,8.198025e-07,1.205494e-06,1.610833e-06,1.928414e-06,2.816801e-06,2.904926e-06,4.154757e-06,4.494467e-06,5.663855e-06,6.609019e-06,7.396301e-06,9.075985e-06,9.314992e-06,1.138945e-05,1.182077e-05,1.359468e-05,1.478567e-05,1.590855e-05,1.792093e-05,1.831027e-05,2.077965e-05,2.117972e-05,2.329711e-05,2.451701e-05,2.584384e-05,2.789033e-05,2.840210e-05,3.095553e-05,3.126089e-05,3.348932e-05,3.459453e-05,3.599039e-05,3.786230e-05,3.844743e-05,4.085078e-05,4.104048e-05,4.319252e-05,4.411048e-05,4.546623e-05,4.705830e-05,4.766686e-05,4.979060e-05,4.987391e-05,5.183475e-05,5.255079e-05,5.379753e-05,5.508522e-05,5.567798e-05,5.747582e-05,5.919133e-05,5.972301e-05,6.082525e-05,6.182866e-05,6.237872e-05,6.379569e-05,6.385317e-05,6.525027e-05,6.562785e-05,6.657190e-05,6.732948e-05,6.782007e-05,6.890532e-05,6.899689e-05,7.010456e-05,7.036035e-05,7.114528e-05,7.169969e-05,7.212132e-05,7.292854e-05,7.303495e-05,7.388843e-05,7.405210e-05,7.468398e-05,7.507552e-05,7.542384e-05,7.600386e-05,7.611017e-05,7.674512e-05,7.684208e-05,7.733078e-05,7.759500e-05,7.786921e-05,7.826729e-05,7.836240e-05,7.881230e-05,7.886347e-05,7.922079e-05,7.938789e-05,7.958973e-05,7.984476e-05,7.992089e-05,8.021599e-05,8.023809e-05,8.047671e-05,8.057174e-05,8.070467e-05,8.084939e-05,8.090143e-05,8.106849e-05,8.107458e-05,8.120732e-05,8.125065e-05,8.131931e-05,8.138083e-05,8.140582e-05,8.146816e-05,8.150757e-05,8.151554e-05,8.152527e-05,8.152573e-05,8.152241e-05,8.150136e-05,8.150011e-05,8.145944e-05,8.144491e-05,8.140144e-05,8.135872e-05,8.132708e-05,8.124504e-05,8.123732e-05,8.113306e-05,8.110598e-05,8.101517e-05,8.094352e-05,8.088450e-05,8.075956e-05,8.074183e-05,8.058793e-05,8.055587e-05,8.042353e-05,8.033413e-05,8.024934e-05,8.009593e-05,8.006602e-05,7.987421e-05,7.984277e-05,7.967452e-05,7.957604e-05,7.946753e-05,7.929707e-05,7.925381e-05,7.903388e-05,7.900710e-05,7.880825e-05,7.870729e-05,7.857740e-05,7.839875e-05,7.834179e-05,7.810187e-05,7.808250e-05,7.785803e-05,7.775950e-05,7.761070e-05,7.743065e-05,7.736023e-05,7.710699e-05,7.709680e-05,7.685131e-05,7.675874e-05,7.659354e-05,7.641720e-05,7.633395e-05,7.607286e-05,7.572638e-05,7.537833e-05,7.502928e-05,7.467974e-05,7.433019e-05,7.398107e-05,7.363278e-05,7.328571e-05,7.294019e-05,7.259656e-05,7.225510e-05,7.191608e-05,7.157974e-05,7.124632e-05,7.091601e-05,7.058900e-05,7.026545e-05,6.994552e-05,6.962933e-05,6.931701e-05,6.900865e-05,6.870435e-05,6.840419e-05,6.810824e-05
0.000000e+00,1.552165e-09,3.544602e-09,1.216534e-08,2.770919e-08,4.049956e-08,9.273393e-08,9.557472e-08,1.878492e-07,2.220384e-07,3.302352e-07,4.462063e-07,5.385932e-07,8.039697e-07,8.308566e-07,1.223400e-06,1.333696e-06,1.724148e-06,2.049998e-06,2.326553e-06,2.925666e-06,3.011425e-06,3.755467e-06,3.909489e-06,4.538214e-06,4.955191e-06,5.344111e-06,6.030575e-06,6.161832e-06,6.982992e-06,7.114245e-06,7.801131e-06,8.191201e-06,8.611050e-06,9.250142e-06,9.408432e-06,1.018965e-05,1.028215e-05,1.095163e-05,1.128013e-05,1.169183e-05,1.223854e-05,1.240820e-05,1.309908e-05,1.315321e-05,1.376324e-05,1.402121e-05,1.439980e-05,1.484073e-05,1.500824e-05,1.558829e-05,1.561090e-05,1.613996e-05,1.633165e-05,1.666347e-05,1.700356e-05,1.715921e-05,1.762771e-05,1.806964e-05,1.820556e-05,1.848572e-05,1.873883e-05,1.887679e-05,1.922946e-05,1.924368e-05,1.958729e-05,1.967946e-05,1.990853e-05,2.009091e-05,2.020830e-05,2.046591e-05,2.048752e-05,2.074708e-05,2.080654e-05,2.098787e-05,2.111484e-05,2.121076e-05,2.139276e-05,2.141659e-05,2.160618e-05,2.164222e-05,2.178033e-05,2.186504e-05,2.193980e-05,2.206295e-05,2.208533e-05,2.221762e-05,2.223761e-05,2.233737e-05,2.239058e-05,2.244522e-05,2.252336e-05,2.254180e-05,2.262771e-05,2.263733e-05,2.270351e-05,2.273381e-05,2.276977e-05,2.281406e-05,2.282699e-05,2.287568e-05,2.287922e-05,2.291632e-05,2.293041e-05,2.294934e-05,2.296865e-05,2.297519e-05,2.299428e-05,2.299491e-05,2.300699e-05,2.301008e-05,2.301370e-05,2.301502e-05,2.301476e-05,2.301051e-05,2.300127e-05,2.299731e-05,2.298734e-05,2.297609e-05,2.296901e-05,2.294752e-05,2.294655e-05,2.292023e-05,2.291220e-05,2.289029e-05,2.287069e-05,2.285697e-05,2.282352e-05,2.282049e-05,2.278107e-05,2.277119e-05,2.273890e-05,2.271415e-05,2.269417e-05,2.265284e-05,2.264707e-05,2.259777e-05,2.258765e-05,2.254642e-05,2.251897e-05,2.249319e-05,2.244712e-05,2.243822e-05,2.238164e-05,2.237245e-05,2.232360e-05,2.229525e-05,2.226421e-05,2.221580e-05,2.220359e-05,2.214185e-05,2.213437e-05,2.207910e-05,2.205119e-05,2.201543e-05,2.196650e-05,2.195095e-05,2.188574e-05,2.188049e-05,2.181988e-05,2.179338e-05,2.175346e-05,2.170533e-05,2.168655e-05,2.161922e-05,2.161652e-05,2.155153e-05,2.152710e-05,2.148356e-05,2.143721e-05,2.141536e-05,2.134699e-05,2.125657e-05,2.116605e-05,2.107554e-05,2.098514e-05,2.089494e-05,2.080503e-05,2.071546e-05,2.062633e-05,2.053769e-05,2.044959e-05,2.036210e-05,2.027526e-05,2.018911e-05,2.010370e-05,2.001907e-05,1.993523e-05,1.985223e-05,1.977010e-05,1.968884e-05,1.960850e-05,1.952907e-05,1.945059e-05,1.937305e-05,1.929649e-05
0.000000e+00,4.182079e-09,9.576049e-09,3.308176e-08,7.592625e-08,1.115339e-07,2.596375e-07,2.678021e-07,5.379199e-07,6.398827e-07,9.653841e-07,1.312105e-06,1.582097e-06,2.314861e-06,2.385530e-06,3.355620e-06,3.611354e-06,4.476850e-06,5.167181e-06,5.740004e-06,6.963632e-06,7.138356e-06,8.665082e-06,8.985147e-06,1.031208e-05,1.121287e-05,1.206957e-05,1.362303e-05,1.392625e-05,1.586952e-05,1.618759e-05,1.788595e-05,1.887576e-05,1.996168e-05,2.165568e-05,2.208291e-05,2.423617e-05,2.449610e-05,2.640869e-05,2.736762e-05,2.858862e-05,3.024361e-05,3.076512e-05,3.292848e-05,3.310072e-05,3.507017e-05,3.591909e-05,3.718278e-05,3.868227e-05,3.925999e-05,4.129649e-05,4.137704e-05,4.328791e-05,4.399308e-05,4.523071e-05,4.652260e-05,4.712212e-05,4.895998e-05,5.074275e-05,5.130141e-05,5.246935e-05,5.354458e-05,5.413913e-05,5.568839e-05,5.575180e-05,5.730735e-05,5.773270e-05,5.880606e-05,5.967818e-05,6.024838e-05,6.152607e-05,6.163496e-05,6.296658e-05,6.327809e-05,6.424414e-05,6.493633e-05,6.546864e-05,6.650313e-05,6.664112e-05,6.776273e-05,6.798105e-05,6.883462e-05,6.937276e-05,6.985800e-05,7.068104e-05,7.083409e-05,7.176413e-05,7.190874e-05,7.264935e-05,7.305871e-05,7.349102e-05,7.413382e-05,7.429037e-05,7.504865e-05,7.513694e-05,7.576708e-05,7.607089e-05,7.644689e-05,7.693845e-05,7.708928e-05,7.769543e-05,7.774239e-05,7.826651e-05,7.848538e-05,7.880367e-05,7.917005e-05,7.930803e-05,7.978071e-05,7.979898e-05,8.022279e-05,8.037465e-05,8.063531e-05,8.089949e-05,8.101933e-05,8.137586e-05,8.170588e-05,8.180604e-05,8.201035e-05,8.219225e-05,8.229023e-05,8.253661e-05,8.254642e-05,8.277981e-05,8.284120e-05,8.299129e-05,8.310801e-05,8.318169e-05,8.333895e-05,8.335184e-05,8.350253e-05,8.353588e-05,8.363454e-05,8.370058e-05,8.374862e-05,8.383477e-05,8.384551e-05,8.392592e-05,8.394009e-05,8.399054e-05,8.401812e-05,8.404003e-05,8.407039e-05,8.407504e-05,8.409620e-05,8.409834e-05,8.410412e-05,8.410339e-05,8.409938e-05,8.408686e-05,8.408256e-05,8.405420e-05,8.405005e-05,8.401484e-05,8.399417e-05,8.396500e-05,8.392041e-05,8.390516e-05,8.383583e-05,8.382988e-05,8.375745e-05,8.372367e-05,8.367048e-05,8.360279e-05,8.357535e-05,8.347249e-05,8.346822e-05,8.336230e-05,8.332091e-05,8.324516e-05,8.316173e-05,8.312146e-05,8.299155e-05,8.281117e-05,8.262136e-05,8.242286e-05,8.221636e-05,8.200253e-05,8.178199e-05,8.155536e-05,8.132320e-05,8.108604e-05,8.084441e-05,8.059878e-05,8.034962e-05,8.009737e-05,7.984242e-05,7.958518e-05,7.932602e-05,7.906527e-05,7.880327e-05,7.854033e-05,7.827673e-05,7.801276e-05,7.774866e-05,7.748469e-05,7.722106e-05
0.000000e+00,3.058670e-08,6.946628e-08,2.354166e-07,5.289941e-07,7.666285e-07,1.709718e-06,1.759935e-06,3.342727e-06,3.908477e-06,5.638668e-06,7.407878e-06,8.764909e-06,1.245788e-05,1.281775e-05,1.784332e-05,1.919171e-05,2.379760e-05,2.748296e-05,3.052240e-05,3.688485e-05,3.777409e-05,4.529472e-05,4.681107e-05,5.286809e-05,5.677213e-05,6.033490e-05,6.644216e-05,6.758387e-05,7.453868e-05,7.562043e-05,8.114801e-05,8.418757e-05,8.737908e-05,9.207870e-05,9.321330e-05,9.864322e-05,9.926762e-05,1.036701e-04,1.057562e-04,1.083021e-04,1.115660e-04,1.125520e-04,1.164367e-04,1.167322e-04,1.199750e-04,1.212978e-04,1.231871e-04,1.253096e-04,1.260939e-04,1.287162e-04,1.288155e-04,1.310745e-04,1.318626e-04,1.331884e-04,1.344960e-04,1.350768e-04,1.367575e-04,1.382472e-04,1.386861e-04,1.395615e-04,1.403173e-04,1.407148e-04,1.416830e-04,1.417205e-04,1.425910e-04,1.428121e-04,1.433376e-04,1.437304e-04,1.439707e-04,1.444612e-04,1.444999e-04,1.449341e-04,1.450250e-04,1.452812e-04,1.454403e-04,1.455486e-04,1.457234e-04,1.457431e-04,1.458709e-04,1.458889e-04,1.459376e-04,1.459500e-04,1.459485e-04,1.459181e-04,1.459084e-04,1.458216e-04,1.458036e-04,1.456921e-04,1.456158e-04,1.455236e-04,1.453630e-04,1.453195e-04,1.450829e-04,1.450525e-04,1.448167e-04,1.446909e-04,1.445235e-04,1.442842e-04,1.442058e-04,1.438657e-04,1.438376e-04,1.435054e-04,1.433560e-04,1.431266e-04,1.428436e-04,1.427313e-04,1.423210e-04,1.423043e-04,1.418972e-04,1.417416e-04,1.414613e-04,1.411586e-04,1.410145e-04,1.405581e-04,1.400931e-04,1.399427e-04,1.396206e-04,1.393147e-04,1.391416e-04,1.386763e-04,1.386568e-04,1.381671e-04,1.380292e-04,1.376732e-04,1.373752e-04,1.371759e-04,1.367159e-04,1.366758e-04,1.361734e-04,1.360526e-04,1.356695e-04,1.353867e-04,1.351644e-04,1.347194e-04,1.346587e-04,1.341527e-04,1.340516e-04,1.336470e-04,1.333843e-04,1.331419e-04,1.327183e-04,1.326377e-04,1.321349e-04,1.320546e-04,1.316336e-04,1.313937e-04,1.311343e-04,1.307363e-04,1.306370e-04,1.301422e-04,1.300830e-04,1.296500e-04,1.294343e-04,1.291606e-04,1.287907e-04,1.286743e-04,1.281911e-04,1.281526e-04,1.277113e-04,1.275204e-04,1.272350e-04,1.268944e-04,1.267624e-04,1.262936e-04,1.262749e-04,1.258286e-04,1.256622e-04,1.253676e-04,1.250565e-04,1.249108e-04,1.244581e-04,1.238670e-04,1.232836e-04,1.227078e-04,1.221398e-04,1.215798e-04,1.210278e-04,1.204837e-04,1.199478e-04,1.194200e-04,1.189004e-04,1.183889e-04,1.178856e-04,1.173904e-04,1.169033e-04,1.164243e-04,1.159533e-04,1.154903e-04,1.150353e-04,1.145882e-04,1.141489e-04,1.137174e-04,1.132936e-04,1.128774e-04,1.124688e-04
0.000000e+00,3.153650e-09,7.065901e-09,2.327575e-08,5.094102e-08,7.274430e-08,1.560020e-07,1.603227e-07,2.924011e-07,3.380557e-07,4.739260e-07,6.082864e-07,7.089199e-07,9.748088e-07,1.000210e-06,1.347689e-06,1.438949e-06,1.745635e-06,1.986389e-06,2.182588e-06,2.588760e-06,2.645225e-06,3.121965e-06,3.218175e-06,3.603826e-06,3.854036e-06,4.083806e-06,4.481316e-06,4.556173e-06,5.016036e-06,5.088163e-06,5.459177e-06,5.664868e-06,5.882012e-06,6.203674e-06,6.281620e-06,6.655767e-06,6.698874e-06,7.002910e-06,7.146849e-06,7.322171e-06,7.545981e-06,7.613289e-06,7.876540e-06,7.896416e-06,8.112658e-06,8.199742e-06,8.322734e-06,8.458624e-06,8.508136e-06,8.670413e-06,8.676446e-06,8.811231e-06,8.857001e-06,8.932302e-06,9.004225e-06,9.035337e-06,9.122002e-06,9.193891e-06,9.214023e-06,9.252508e-06,9.283706e-06,9.299248e-06,9.334139e-06,9.335396e-06,9.362124e-06,9.368066e-06,9.380490e-06,9.387896e-06,9.391447e-06,9.395718e-06,9.395848e-06,9.394451e-06,9.393330e-06,9.387932e-06,9.382269e-06,9.376888e-06,9.363847e-06,9.361847e-06,9.343278e-06,9.339178e-06,9.321593e-06,9.309209e-06,9.297158e-06,9.274744e-06,9.270295e-06,9.241290e-06,9.236468e-06,9.210397e-06,9.194966e-06,9.177843e-06,9.150738e-06,9.143827e-06,9.108530e-06,9.104216e-06,9.072112e-06,9.055770e-06,9.034717e-06,9.005724e-06,8.996475e-06,8.957503e-06,8.954356e-06,8.917906e-06,8.901914e-06,8.877780e-06,8.848611e-06,8.837212e-06,8.796281e-06,8.794638e-06,8.755059e-06,8.740161e-06,8.713612e-06,8.685329e-06,8.671999e-06,8.630274e-06,8.588490e-06,8.575113e-06,8.546690e-06,8.519950e-06,8.504918e-06,8.464878e-06,8.463212e-06,8.421607e-06,8.409981e-06,8.380136e-06,8.355331e-06,8.338829e-06,8.300994e-06,8.297713e-06,8.256812e-06,8.247031e-06,8.216150e-06,8.193491e-06,8.175747e-06,8.140422e-06,8.135623e-06,8.095794e-06,8.087865e-06,8.056277e-06,8.035856e-06,8.017086e-06,7.984427e-06,7.978234e-06,7.939732e-06,7.933605e-06,7.901591e-06,7.883414e-06,7.863821e-06,7.833877e-06,7.826429e-06,7.789424e-06,7.785009e-06,7.752811e-06,7.736827e-06,7.716597e-06,7.689344e-06,7.680786e-06,7.645383e-06,7.642569e-06,7.610391e-06,7.596510e-06,7.575814e-06,7.551176e-06,7.541653e-06,7.507910e-06,7.506569e-06,7.474587e-06,7.462693e-06,7.441684e-06,7.419551e-06,7.409202e-06,7.377141e-06,7.335465e-06,7.294519e-06,7.254301e-06,7.214808e-06,7.176034e-06,7.137976e-06,7.100626e-06,7.063979e-06,7.028028e-06,6.992765e-06,6.958182e-06,6.924272e-06,6.891027e-06,6.858437e-06,6.826493e-06,6.795187e-06,6.764510e-06,6.734451e-06,6.705001e-06,6.676151e-06,6.647891e-06,6.620211e-06,6.593102e-06,6.566553e-06
0.000000e+00,8.327500e-09,1.896956e-08,6.470449e-08,1.463204e-07,2.128422e-07,4.797944e-07,4.941225e-07,9.507238e-07,1.116097e-06,1.628228e-06,2.160917e-06,2.574839e-06,3.718714e-06,3.831165e-06,5.409829e-06,5.834566e-06,7.286387e-06,8.450972e-06,9.416459e-06,1.146528e-05,1.175574e-05,1.426658e-05,1.478644e-05,1.691680e-05,1.834026e-05,1.967730e-05,2.206118e-05,2.252056e-05,2.542005e-05,2.588746e-05,2.835021e-05,2.976038e-05,3.128672e-05,3.362520e-05,3.420691e-05,3.709011e-05,3.743271e-05,3.991792e-05,4.114043e-05,4.267446e-05,4.471343e-05,4.534633e-05,4.792266e-05,4.812437e-05,5.039490e-05,5.135318e-05,5.275680e-05,5.438659e-05,5.500412e-05,5.713439e-05,5.721715e-05,5.914665e-05,5.984220e-05,6.104126e-05,6.226318e-05,6.281982e-05,6.448443e-05,6.603794e-05,6.651217e-05,6.748393e-05,6.835469e-05,6.882623e-05,7.002113e-05,7.006898e-05,7.121654e-05,7.152140e-05,7.227333e-05,7.286567e-05,7.324376e-05,7.406405e-05,7.413221e-05,7.494301e-05,7.512652e-05,7.568041e-05,7.606283e-05,7.634851e-05,7.688228e-05,7.695129e-05,7.749256e-05,7.759376e-05,7.797597e-05,7.820565e-05,7.840503e-05,7.872588e-05,7.878307e-05,7.911324e-05,7.916183e-05,7.939855e-05,7.952040e-05,7.964183e-05,7.980802e-05,7.984579e-05,8.001297e-05,8.003067e-05,8.014576e-05,8.019389e-05,8.024645e-05,8.030282e-05,8.031716e-05,8.035992e-05,8.036219e-05,8.037661e-05,8.037640e-05,8.036903e-05,8.034949e-05,8.033886e-05,8.028767e-05,8.028521e-05,8.021696e-05,8.018700e-05,8.012813e-05,8.005804e-05,8.002248e-05,7.990126e-05,7.976563e-05,7.971936e-05,7.961667e-05,7.951482e-05,7.945542e-05,7.928994e-05,7.928283e-05,7.909980e-05,7.904680e-05,7.890720e-05,7.878737e-05,7.870580e-05,7.851341e-05,7.849637e-05,7.827961e-05,7.822657e-05,7.805616e-05,7.792835e-05,7.782666e-05,7.762015e-05,7.759168e-05,7.735177e-05,7.730324e-05,7.710743e-05,7.697878e-05,7.685914e-05,7.664786e-05,7.660736e-05,7.635250e-05,7.631146e-05,7.609496e-05,7.597050e-05,7.583511e-05,7.562579e-05,7.557329e-05,7.530983e-05,7.527812e-05,7.504503e-05,7.492817e-05,7.477917e-05,7.457658e-05,7.451253e-05,7.424535e-05,7.422396e-05,7.397785e-05,7.387082e-05,7.371027e-05,7.351766e-05,7.344279e-05,7.317562e-05,7.316494e-05,7.290892e-05,7.281305e-05,7.264286e-05,7.246238e-05,7.237759e-05,7.211326e-05,7.176600e-05,7.142089e-05,7.107816e-05,7.073805e-05,7.040078e-05,7.006651e-05,6.973543e-05,6.940768e-05,6.908339e-05,6.876268e-05,6.844565e-05,6.813239e-05,6.782298e-05,6.751748e-05,6.721596e-05,6.691845e-05,6.662501e-05,6.633565e-05,6.605040e-05,6.576928e-05,6.549230e-05,6.521946e-05,6.495077e-05,6.468621e-05
0.000000e+00,7.909203e-09,1.806243e-08,6.207689e-08,1.418729e-07,2.079718e-07,4.818321e-07,4.968956e-07,9.942743e-07,1.181960e-06,1.784528e-06,2.439065e-06,2.962157e-06,4.445884e-06,4.593351e-06,6.664272e-06,7.217612e-06,9.086103e-06,1.055616e-05,1.175517e-05,1.424344e-05,1.459039e-05,1.753519e-05,1.813354e-05,2.054902e-05,2.213282e-05,2.360046e-05,2.617355e-05,2.666344e-05,2.971546e-05,3.020141e-05,3.273687e-05,3.417119e-05,3.571068e-05,3.804569e-05,3.862247e-05,4.146027e-05,4.179536e-05,4.421448e-05,4.539787e-05,4.687767e-05,4.883742e-05,4.944442e-05,5.191096e-05,5.210387e-05,5.427491e-05,5.519152e-05,5.653531e-05,5.809858e-05,5.869205e-05,6.074589e-05,6.082592e-05,6.269824e-05,6.337659e-05,6.455102e-05,6.575522e-05,6.630658e-05,6.796759e-05,6.953685e-05,7.002011e-05,7.101732e-05,7.191963e-05,7.241206e-05,7.367323e-05,7.372417e-05,7.495677e-05,7.528807e-05,7.611294e-05,7.677123e-05,7.719575e-05,7.812972e-05,7.820820e-05,7.915324e-05,7.937035e-05,8.003376e-05,8.049971e-05,8.085255e-05,8.152418e-05,8.161233e-05,8.231573e-05,8.244987e-05,8.296530e-05,8.328263e-05,8.356351e-05,8.402804e-05,8.411272e-05,8.461523e-05,8.469145e-05,8.507324e-05,8.527790e-05,8.548887e-05,8.579222e-05,8.586415e-05,8.620104e-05,8.623897e-05,8.650142e-05,8.662248e-05,8.676708e-05,8.694684e-05,8.699976e-05,8.720112e-05,8.721592e-05,8.737273e-05,8.743339e-05,8.751611e-05,8.760269e-05,8.763272e-05,8.772395e-05,8.772709e-05,8.779113e-05,8.780968e-05,8.783553e-05,8.785334e-05,8.785837e-05,8.786080e-05,8.784395e-05,8.783465e-05,8.780886e-05,8.777731e-05,8.775656e-05,8.769105e-05,8.768801e-05,8.760413e-05,8.757802e-05,8.750581e-05,8.744023e-05,8.739388e-05,8.727959e-05,8.726916e-05,8.713239e-05,8.709786e-05,8.698432e-05,8.689672e-05,8.682564e-05,8.667775e-05,8.665701e-05,8.647906e-05,8.644241e-05,8.629241e-05,8.619209e-05,8.609761e-05,8.592809e-05,8.589522e-05,8.568576e-05,8.565163e-05,8.546973e-05,8.536384e-05,8.524759e-05,8.506580e-05,8.501981e-05,8.478679e-05,8.475850e-05,8.454896e-05,8.444289e-05,8.430670e-05,8.411984e-05,8.406037e-05,8.381033e-05,8.379018e-05,8.355692e-05,8.345468e-05,8.330044e-05,8.311405e-05,8.304120e-05,8.277948e-05,8.276897e-05,8.251556e-05,8.242006e-05,8.224970e-05,8.206792e-05,8.198213e-05,8.171309e-05,8.135609e-05,8.099739e-05,8.063743e-05,8.027662e-05,7.991537e-05,7.955400e-05,7.919287e-05,7.883228e-05,7.847252e-05,7.811385e-05,7.775651e-05,7.740074e-05,7.704675e-05,7.669472e-05,7.634485e-05,7.599728e-05,7.565217e-05,7.530966e-05,7.496987e-05,7.463291e-05,7.429890e-05,7.396793e-05,7.364007e-05,7.331540e-05
0.000000e+00,1.091789e-08,2.480757e-08,8.415481e-08,1.892831e-07,2.744711e-07,6.132160e-07,6.312816e-07,1.202206e-06,1.407032e-06,2.036177e-06,2.684108e-06,3.184385e-06,4.559990e-06,4.695076e-06,6.597144e-06,7.111590e-06,8.878948e-06,1.030380e-05,1.148713e-05,1.399592e-05,1.435074e-05,1.740338e-05,1.803156e-05,2.059001e-05,2.228463e-05,2.386517e-05,2.665601e-05,2.718980e-05,3.052897e-05,3.106242e-05,3.385079e-05,3.543043e-05,3.712607e-05,3.969493e-05,4.032839e-05,4.343431e-05,4.379954e-05,4.642357e-05,4.769743e-05,4.927934e-05,5.135209e-05,5.198823e-05,5.454006e-05,5.473719e-05,5.692776e-05,5.783587e-05,5.914720e-05,6.064004e-05,6.119681e-05,6.307724e-05,6.314897e-05,6.479107e-05,6.536802e-05,6.634242e-05,6.730719e-05,6.773657e-05,6.897979e-05,7.007919e-05,7.040185e-05,7.104232e-05,7.159080e-05,7.187698e-05,7.256477e-05,7.259112e-05,7.319268e-05,7.334200e-05,7.368943e-05,7.394036e-05,7.408900e-05,7.437706e-05,7.439870e-05,7.462558e-05,7.466846e-05,7.477634e-05,7.482989e-05,7.485732e-05,7.487562e-05,7.487450e-05,7.483349e-05,7.481878e-05,7.473955e-05,7.467143e-05,7.459759e-05,7.444456e-05,7.441215e-05,7.418747e-05,7.414815e-05,7.392749e-05,7.379123e-05,7.363582e-05,7.338194e-05,7.331582e-05,7.297058e-05,7.292760e-05,7.260295e-05,7.243478e-05,7.221555e-05,7.190939e-05,7.181078e-05,7.139086e-05,7.135668e-05,7.095782e-05,7.078134e-05,7.051350e-05,7.018757e-05,7.005961e-05,6.959770e-05,6.957908e-05,6.912920e-05,6.895918e-05,6.865540e-05,6.833080e-05,6.817748e-05,6.769653e-05,6.721351e-05,6.705866e-05,6.672933e-05,6.641921e-05,6.624478e-05,6.577996e-05,6.576061e-05,6.527748e-05,6.514247e-05,6.479598e-05,6.450809e-05,6.431666e-05,6.387803e-05,6.384000e-05,6.336644e-05,6.325329e-05,6.289637e-05,6.263479e-05,6.243014e-05,6.202328e-05,6.196806e-05,6.151040e-05,6.141943e-05,6.105742e-05,6.082379e-05,6.060932e-05,6.023683e-05,6.016629e-05,5.972850e-05,5.965894e-05,5.929607e-05,5.909045e-05,5.886913e-05,5.853160e-05,5.844778e-05,5.803209e-05,5.798260e-05,5.762214e-05,5.744359e-05,5.721797e-05,5.691469e-05,5.681962e-05,5.642712e-05,5.639597e-05,5.604048e-05,5.588746e-05,5.565970e-05,5.538917e-05,5.528478e-05,5.491571e-05,5.490107e-05,5.455247e-05,5.442312e-05,5.419503e-05,5.395526e-05,5.384335e-05,5.349740e-05,5.304943e-05,5.261126e-05,5.218276e-05,5.176379e-05,5.135421e-05,5.095387e-05,5.056262e-05,5.018030e-05,4.980675e-05,4.944179e-05,4.908527e-05,4.873701e-05,4.839685e-05,4.806460e-05,4.774011e-05,4.742320e-05,4.711370e-05,4.681144e-05,4.651627e-05,4.622800e-05,4.594649e-05,4.567157e-05,4.540309e-05,4.514088e-05
0.000000e+00,5.085309e-09,1.163847e-08,4.022554e-08,9.258249e-08,1.363747e-07,3.211483e-07,3.314496e-07,6.781161e-07,8.116655e-07,1.247197e-06,1.726403e-06,2.109891e-06,3.185024e-06,3.290510e-06,4.749287e-06,5.133896e-06,6.425917e-06,7.441683e-06,8.273231e-06,1.001497e-05,1.025997e-05,1.236447e-05,1.279795e-05,1.456950e-05,1.575064e-05,1.685943e-05,1.883729e-05,1.921883e-05,2.163212e-05,2.202219e-05,2.408351e-05,2.526909e-05,2.655735e-05,2.854240e-05,2.903853e-05,3.151275e-05,3.180855e-05,3.396679e-05,3.503705e-05,3.638873e-05,3.820141e-05,3.876806e-05,4.109574e-05,4.127949e-05,4.336417e-05,4.425352e-05,4.556715e-05,4.710995e-05,4.769975e-05,4.975825e-05,4.983901e-05,5.173996e-05,5.243421e-05,5.364312e-05,5.489189e-05,5.546679e-05,5.721067e-05,5.887508e-05,5.939102e-05,6.046077e-05,6.143482e-05,6.196890e-05,6.334509e-05,6.340093e-05,6.475857e-05,6.512564e-05,6.604372e-05,6.678084e-05,6.725839e-05,6.831549e-05,6.840474e-05,6.948495e-05,6.973461e-05,7.050128e-05,7.104335e-05,7.145597e-05,7.224691e-05,7.235129e-05,7.318948e-05,7.335045e-05,7.397274e-05,7.435907e-05,7.470328e-05,7.527773e-05,7.538321e-05,7.601463e-05,7.611129e-05,7.659958e-05,7.686443e-05,7.714004e-05,7.754167e-05,7.763793e-05,7.809513e-05,7.814734e-05,7.851342e-05,7.868561e-05,7.889457e-05,7.916044e-05,7.924026e-05,7.955212e-05,7.957565e-05,7.983171e-05,7.993485e-05,8.008055e-05,8.024149e-05,8.030010e-05,8.049175e-05,8.049886e-05,8.065686e-05,8.071005e-05,8.079672e-05,8.087804e-05,8.091258e-05,8.100562e-05,8.107701e-05,8.109546e-05,8.112784e-05,8.115006e-05,8.115916e-05,8.117182e-05,8.117199e-05,8.116730e-05,8.116298e-05,8.114602e-05,8.112567e-05,8.110905e-05,8.106190e-05,8.105723e-05,8.099138e-05,8.097358e-05,8.091229e-05,8.086250e-05,8.082071e-05,8.073034e-05,8.071734e-05,8.060288e-05,8.057871e-05,8.047798e-05,8.040912e-05,8.034327e-05,8.022296e-05,8.019934e-05,8.004677e-05,8.002160e-05,7.988611e-05,7.980626e-05,7.971787e-05,7.957816e-05,7.954255e-05,7.936063e-05,7.933838e-05,7.917257e-05,7.908799e-05,7.897879e-05,7.882795e-05,7.877971e-05,7.857573e-05,7.855921e-05,7.836721e-05,7.828262e-05,7.815452e-05,7.799900e-05,7.793800e-05,7.771797e-05,7.770910e-05,7.749475e-05,7.741366e-05,7.726862e-05,7.711334e-05,7.703987e-05,7.680876e-05,7.650053e-05,7.618918e-05,7.587523e-05,7.555917e-05,7.524144e-05,7.492246e-05,7.460263e-05,7.428231e-05,7.396184e-05,7.364153e-05,7.332168e-05,7.300256e-05,7.268442e-05,7.236751e-05,7.205202e-05,7.173817e-05,7.142613e-05,7.111608e-05,7.080817e-05,7.050255e-05,7.019935e-05,6.989868e-05,6.960066e-05,6.930539e-05
0.000000e+00,5.760700e-09,1.314961e-08,4.504339e-08,1.022448e-07,1.490289e-07,3.376128e-07,3.477616e-07,6.720661e-07,7.898273e-07,1.155124e-06,1.535677e-06,1.831589e-06,2.649581e-06,2.729997e-06,3.859213e-06,4.163284e-06,5.204418e-06,6.042284e-06,6.739132e-06,8.225202e-06,8.436699e-06,1.027340e-05,1.065551e-05,1.222763e-05,1.328341e-05,1.427877e-05,1.606181e-05,1.640659e-05,1.859118e-05,1.894468e-05,2.081321e-05,2.188762e-05,2.305422e-05,2.484910e-05,2.529703e-05,2.752597e-05,2.779183e-05,2.972711e-05,3.068363e-05,3.188838e-05,3.349791e-05,3.399954e-05,3.605214e-05,3.621361e-05,3.803944e-05,3.881486e-05,3.995623e-05,4.129049e-05,4.179872e-05,4.356429e-05,4.363329e-05,4.525133e-05,4.583928e-05,4.685914e-05,4.790720e-05,4.838778e-05,4.983788e-05,5.121059e-05,5.163374e-05,5.250741e-05,5.329840e-05,5.373020e-05,5.483631e-05,5.488099e-05,5.596201e-05,5.625251e-05,5.697561e-05,5.755241e-05,5.792421e-05,5.874164e-05,5.881029e-05,5.963633e-05,5.982592e-05,6.040479e-05,6.081089e-05,6.111811e-05,6.170213e-05,6.177869e-05,6.238890e-05,6.250510e-05,6.295102e-05,6.322507e-05,6.346730e-05,6.386713e-05,6.393989e-05,6.437090e-05,6.443614e-05,6.476234e-05,6.493676e-05,6.511618e-05,6.537344e-05,6.543430e-05,6.571851e-05,6.575042e-05,6.597055e-05,6.607169e-05,6.619210e-05,6.634107e-05,6.638475e-05,6.655005e-05,6.656214e-05,6.668947e-05,6.673830e-05,6.680441e-05,6.687277e-05,6.689622e-05,6.696619e-05,6.696855e-05,6.701555e-05,6.702850e-05,6.704547e-05,6.705530e-05,6.705708e-05,6.705145e-05,6.702959e-05,6.701933e-05,6.699248e-05,6.696116e-05,6.694105e-05,6.687903e-05,6.687618e-05,6.679871e-05,6.677488e-05,6.670945e-05,6.665055e-05,6.660915e-05,6.650775e-05,6.649854e-05,6.637831e-05,6.634810e-05,6.624912e-05,6.617309e-05,6.611159e-05,6.598414e-05,6.596632e-05,6.581385e-05,6.578255e-05,6.565474e-05,6.556955e-05,6.548949e-05,6.534629e-05,6.531858e-05,6.514246e-05,6.511383e-05,6.496158e-05,6.487318e-05,6.477633e-05,6.462526e-05,6.458712e-05,6.439430e-05,6.437094e-05,6.419824e-05,6.411102e-05,6.399925e-05,6.384626e-05,6.379766e-05,6.359375e-05,6.357735e-05,6.338782e-05,6.330493e-05,6.318011e-05,6.302962e-05,6.297090e-05,6.276040e-05,6.275196e-05,6.254885e-05,6.247247e-05,6.233645e-05,6.219164e-05,6.212341e-05,6.190990e-05,6.162767e-05,6.134531e-05,6.106319e-05,6.078161e-05,6.050088e-05,6.022126e-05,5.994301e-05,5.966635e-05,5.939148e-05,5.911861e-05,5.884789e-05,5.857949e-05,5.831354e-05,5.805018e-05,5.778952e-05,5.753165e-05,5.727667e-05,5.702467e-05,5.677570e-05,5.652983e-05,5.628712e-05,5.604761e-05,5.581133e-05,5.557832e-05
0.000000e+00,1.754345e-09,3.991291e-09,1.357354e-08,3.059161e-08,4.440239e-08,9.939167e-08,1.023256e-07,1.950352e-07,2.282766e-07,3.302886e-07,4.352115e-07,5.161581e-07,7.387125e-07,7.605850e-07,1.069489e-06,1.153458e-06,1.443759e-06,1.680104e-06,1.878025e-06,2.302493e-06,2.363043e-06,2.888980e-06,2.998279e-06,3.447020e-06,3.747321e-06,4.029548e-06,4.532859e-06,4.629842e-06,5.241800e-06,5.340412e-06,5.859765e-06,6.156962e-06,6.478474e-06,6.970692e-06,7.093060e-06,7.699090e-06,7.771046e-06,8.292603e-06,8.548872e-06,8.870139e-06,9.296564e-06,9.428777e-06,9.966124e-06,1.000813e-05,1.048030e-05,1.067916e-05,1.096992e-05,1.130670e-05,1.143405e-05,1.187216e-05,1.188914e-05,1.228406e-05,1.242595e-05,1.266989e-05,1.291754e-05,1.303002e-05,1.336503e-05,1.367569e-05,1.377010e-05,1.396287e-05,1.413479e-05,1.422753e-05,1.446139e-05,1.447071e-05,1.469347e-05,1.475233e-05,1.489690e-05,1.501012e-05,1.508206e-05,1.523721e-05,1.525004e-05,1.540187e-05,1.543602e-05,1.553857e-05,1.560888e-05,1.566111e-05,1.575797e-05,1.577041e-05,1.586738e-05,1.588536e-05,1.595284e-05,1.599300e-05,1.602759e-05,1.608266e-05,1.609238e-05,1.614793e-05,1.615600e-05,1.619488e-05,1.621454e-05,1.623385e-05,1.625968e-05,1.626543e-05,1.629016e-05,1.629269e-05,1.630854e-05,1.631473e-05,1.632104e-05,1.632688e-05,1.632810e-05,1.633013e-05,1.633008e-05,1.632751e-05,1.632523e-05,1.632059e-05,1.631313e-05,1.630970e-05,1.629515e-05,1.629450e-05,1.627723e-05,1.627000e-05,1.625620e-05,1.624024e-05,1.623230e-05,1.620577e-05,1.617682e-05,1.616707e-05,1.614564e-05,1.612461e-05,1.611243e-05,1.607880e-05,1.607736e-05,1.604058e-05,1.603000e-05,1.600225e-05,1.597857e-05,1.596251e-05,1.592481e-05,1.592148e-05,1.587929e-05,1.586900e-05,1.583604e-05,1.581141e-05,1.579185e-05,1.575226e-05,1.574682e-05,1.570103e-05,1.569178e-05,1.565456e-05,1.563016e-05,1.560751e-05,1.556758e-05,1.555994e-05,1.551192e-05,1.550420e-05,1.546352e-05,1.544018e-05,1.541480e-05,1.537563e-05,1.536582e-05,1.531662e-05,1.531070e-05,1.526725e-05,1.524549e-05,1.521777e-05,1.518011e-05,1.516821e-05,1.511862e-05,1.511465e-05,1.506903e-05,1.504920e-05,1.501948e-05,1.498384e-05,1.496999e-05,1.492060e-05,1.491863e-05,1.487134e-05,1.485364e-05,1.482223e-05,1.478894e-05,1.477330e-05,1.472457e-05,1.466059e-05,1.459703e-05,1.453395e-05,1.447137e-05,1.440932e-05,1.434785e-05,1.428696e-05,1.422670e-05,1.416707e-05,1.410810e-05,1.404980e-05,1.399218e-05,1.393527e-05,1.387906e-05,1.382358e-05,1.376882e-05,1.371479e-05,1.366150e-05,1.360895e-05,1.355714e-05,1.350608e-05,1.345577e-05,1.340619e-05,1.335737e-05
0.000000e+00,4.638330e-09,1.059638e-08,3.634307e-08,8.252503e-08,1.202570e-07,2.717560e-07,2.798784e-07,5.376623e-07,6.304308e-07,9.155879e-07,1.209080e-06,1.435415e-06,2.057034e-06,2.118095e-06,2.981441e-06,3.216884e-06,4.035499e-06,4.708696e-06,5.277720e-06,6.514517e-06,6.692714e-06,8.257569e-06,8.586353e-06,9.947815e-06,1.086858e-05,1.174046e-05,1.331008e-05,1.361462e-05,1.555133e-05,1.586583e-05,1.753321e-05,1.849584e-05,1.954435e-05,2.116453e-05,2.157024e-05,2.359781e-05,2.384066e-05,2.561545e-05,2.649740e-05,2.761301e-05,2.911232e-05,2.958178e-05,3.151440e-05,3.166726e-05,3.340481e-05,3.414801e-05,3.524809e-05,3.654388e-05,3.704040e-05,3.877882e-05,3.884720e-05,4.046122e-05,4.105288e-05,4.208620e-05,4.315794e-05,4.365292e-05,4.516108e-05,4.661074e-05,4.706235e-05,4.800235e-05,4.886283e-05,4.933661e-05,5.056441e-05,5.061446e-05,5.183699e-05,5.216955e-05,5.300545e-05,5.368113e-05,5.412120e-05,5.510235e-05,5.518565e-05,5.620029e-05,5.643656e-05,5.716664e-05,5.768728e-05,5.808624e-05,5.885805e-05,5.896064e-05,5.979137e-05,5.995242e-05,6.057999e-05,6.097392e-05,6.132799e-05,6.192603e-05,6.203688e-05,6.270814e-05,6.281214e-05,6.334319e-05,6.363557e-05,6.394345e-05,6.439953e-05,6.451029e-05,6.504505e-05,6.510713e-05,6.554903e-05,6.576136e-05,6.602350e-05,6.636511e-05,6.646968e-05,6.688876e-05,6.692115e-05,6.728189e-05,6.743212e-05,6.765018e-05,6.790059e-05,6.799472e-05,6.831655e-05,6.832896e-05,6.861666e-05,6.871958e-05,6.889604e-05,6.907464e-05,6.915561e-05,6.939627e-05,6.961890e-05,6.968647e-05,6.982433e-05,6.994716e-05,7.001337e-05,7.018014e-05,7.018679e-05,7.034534e-05,7.038717e-05,7.048973e-05,7.056986e-05,7.062066e-05,7.072978e-05,7.073877e-05,7.084472e-05,7.086841e-05,7.093911e-05,7.098714e-05,7.102253e-05,7.108730e-05,7.109553e-05,7.115866e-05,7.117015e-05,7.121244e-05,7.123687e-05,7.125735e-05,7.128858e-05,7.129388e-05,7.132247e-05,7.132634e-05,7.134357e-05,7.135116e-05,7.135759e-05,7.136398e-05,7.136493e-05,7.136597e-05,7.136569e-05,7.136108e-05,7.135714e-05,7.135061e-05,7.133913e-05,7.133489e-05,7.131424e-05,7.131238e-05,7.128896e-05,7.127762e-05,7.125935e-05,7.123550e-05,7.122568e-05,7.118823e-05,7.118666e-05,7.114724e-05,7.113166e-05,7.110295e-05,7.107107e-05,7.105560e-05,7.100540e-05,7.093514e-05,7.086074e-05,7.078263e-05,7.070120e-05,7.061684e-05,7.052989e-05,7.044068e-05,7.034951e-05,7.025667e-05,7.016242e-05,7.006701e-05,6.997067e-05,6.987362e-05,6.977605e-05,6.967815e-05,6.958008e-05,6.948200e-05,6.938407e-05,6.928640e-05,6.918914e-05,6.909238e-05,6.899624e-05,6.890081e-05,6.880617e-05
0.000000e+00,7.842868e-09,1.787351e-08,6.106873e-08,1.384863e-07,2.018913e-07,4.589564e-07,4.728681e-07,9.218806e-07,1.087064e-06,1.606378e-06,2.157639e-06,2.592684e-06,3.817989e-06,3.939806e-06,5.662203e-06,6.126969e-06,7.710940e-06,8.971824e-06,1.000893e-05,1.218411e-05,1.248974e-05,1.510564e-05,1.564181e-05,1.782168e-05,1.926404e-05,2.060950e-05,2.298820e-05,2.344382e-05,2.630091e-05,2.675863e-05,2.915810e-05,3.052322e-05,3.199390e-05,3.423366e-05,3.478834e-05,3.752331e-05,3.784673e-05,4.018279e-05,4.132542e-05,4.275305e-05,4.463970e-05,4.522273e-05,4.758283e-05,4.776669e-05,4.982656e-05,5.069036e-05,5.194923e-05,5.340093e-05,5.394800e-05,5.582169e-05,5.589403e-05,5.757046e-05,5.816966e-05,5.919565e-05,6.023137e-05,6.069965e-05,6.208571e-05,6.335768e-05,6.374130e-05,6.451982e-05,6.520805e-05,6.557671e-05,6.649684e-05,6.653324e-05,6.739431e-05,6.761894e-05,6.816462e-05,6.858537e-05,6.884929e-05,6.940778e-05,6.945323e-05,6.998119e-05,7.009712e-05,7.043783e-05,7.066407e-05,7.082761e-05,7.111870e-05,7.115480e-05,7.142351e-05,7.147058e-05,7.163767e-05,7.172872e-05,7.180102e-05,7.190156e-05,7.191710e-05,7.198928e-05,7.199697e-05,7.202074e-05,7.202227e-05,7.201448e-05,7.198423e-05,7.197334e-05,7.189997e-05,7.188912e-05,7.179689e-05,7.174274e-05,7.166646e-05,7.155041e-05,7.151090e-05,7.133227e-05,7.131705e-05,7.113254e-05,7.104715e-05,7.091353e-05,7.074486e-05,7.067694e-05,7.042438e-05,7.041397e-05,7.015735e-05,7.005794e-05,6.987723e-05,6.967995e-05,6.958535e-05,6.928291e-05,6.897105e-05,6.886944e-05,6.865084e-05,6.844198e-05,6.832326e-05,6.800272e-05,6.798924e-05,6.764963e-05,6.755365e-05,6.730523e-05,6.709659e-05,6.695677e-05,6.663320e-05,6.660495e-05,6.625040e-05,6.616497e-05,6.589372e-05,6.569325e-05,6.553546e-05,6.521928e-05,6.517611e-05,6.481617e-05,6.474414e-05,6.445605e-05,6.426885e-05,6.409616e-05,6.379430e-05,6.373687e-05,6.337852e-05,6.332129e-05,6.302143e-05,6.285055e-05,6.266587e-05,6.238271e-05,6.231211e-05,6.196041e-05,6.191835e-05,6.161096e-05,6.145797e-05,6.126398e-05,6.100204e-05,6.091965e-05,6.057812e-05,6.055093e-05,6.023957e-05,6.010500e-05,5.990410e-05,5.966456e-05,5.957186e-05,5.924294e-05,5.922985e-05,5.891744e-05,5.880112e-05,5.859545e-05,5.837854e-05,5.827704e-05,5.796228e-05,5.755246e-05,5.714921e-05,5.675258e-05,5.636266e-05,5.597948e-05,5.560307e-05,5.523344e-05,5.487058e-05,5.451449e-05,5.416513e-05,5.382247e-05,5.348646e-05,5.315704e-05,5.283417e-05,5.251776e-05,5.220775e-05,5.190406e-05,5.160661e-05,5.131531e-05,5.103007e-05,5.075081e-05,5.047743e-05,5.020984e-05,4.994793e-05
0.000000e+00,6.458461e-09,1.466910e-08,4.982338e-08,1.125793e-07,1.639614e-07,3.733238e-07,3.847190e-07,7.565563e-07,8.952491e-07,1.336714e-06,1.811393e-06,2.187733e-06,3.241043e-06,3.344561e-06,4.775894e-06,5.151470e-06,6.399865e-06,7.362071e-06,8.134830e-06,9.706529e-06,9.922416e-06,1.172458e-05,1.208437e-05,1.351568e-05,1.443625e-05,1.527688e-05,1.672218e-05,1.699325e-05,1.865246e-05,1.891192e-05,2.024427e-05,2.098191e-05,2.176044e-05,2.291459e-05,2.319464e-05,2.454253e-05,2.469833e-05,2.580143e-05,2.632686e-05,2.697038e-05,2.779886e-05,2.804983e-05,2.904142e-05,2.911702e-05,2.994776e-05,3.028715e-05,3.077220e-05,3.131727e-05,3.151865e-05,3.219137e-05,3.221681e-05,3.279482e-05,3.299596e-05,3.333348e-05,3.366510e-05,3.381193e-05,3.423456e-05,3.460558e-05,3.471408e-05,3.492907e-05,3.511294e-05,3.520886e-05,3.543970e-05,3.544856e-05,3.565158e-05,3.570228e-05,3.582105e-05,3.590786e-05,3.595990e-05,3.606291e-05,3.607082e-05,3.615627e-05,3.617325e-05,3.621853e-05,3.624405e-05,3.625968e-05,3.627996e-05,3.628164e-05,3.628614e-05,3.628509e-05,3.627478e-05,3.626310e-05,3.624903e-05,3.621725e-05,3.621022e-05,3.615956e-05,3.615043e-05,3.609817e-05,3.606520e-05,3.602707e-05,3.596383e-05,3.594719e-05,3.585938e-05,3.584835e-05,3.576442e-05,3.572056e-05,3.566302e-05,3.558205e-05,3.555583e-05,3.544345e-05,3.543426e-05,3.532644e-05,3.527844e-05,3.520528e-05,3.511574e-05,3.508044e-05,3.495235e-05,3.494717e-05,3.482139e-05,3.477361e-05,3.468792e-05,3.459590e-05,3.455227e-05,3.441474e-05,3.427560e-05,3.423078e-05,3.413511e-05,3.404460e-05,3.399351e-05,3.385673e-05,3.385101e-05,3.370782e-05,3.366762e-05,3.356411e-05,3.347771e-05,3.342005e-05,3.328735e-05,3.327581e-05,3.313152e-05,3.309690e-05,3.298731e-05,3.290664e-05,3.284332e-05,3.271686e-05,3.269964e-05,3.255639e-05,3.252780e-05,3.241365e-05,3.233966e-05,3.227152e-05,3.215265e-05,3.213007e-05,3.198938e-05,3.196695e-05,3.184952e-05,3.178270e-05,3.171054e-05,3.160004e-05,3.157251e-05,3.143547e-05,3.141910e-05,3.129948e-05,3.123998e-05,3.116457e-05,3.106279e-05,3.103078e-05,3.089815e-05,3.088759e-05,3.076672e-05,3.071448e-05,3.063650e-05,3.054351e-05,3.050753e-05,3.037982e-05,3.037474e-05,3.025340e-05,3.020821e-05,3.012829e-05,3.004397e-05,3.000450e-05,2.988204e-05,2.972246e-05,2.956524e-05,2.941041e-05,2.925797e-05,2.910793e-05,2.896029e-05,2.881506e-05,2.867222e-05,2.853178e-05,2.839373e-05,2.825805e-05,2.812473e-05,2.799375e-05,2.786510e-05,2.773875e-05,2.761469e-05,2.749290e-05,2.737335e-05,2.725602e-05,2.714087e-05,2.702790e-05,2.691706e-05,2.680834e-05,2.670170e-05
0.000000e+00,5.055910e-09,1.152648e-08,3.941734e-08,8.947692e-08,1.305309e-07,2.974104e-07,3.064596e-07,5.993734e-07,7.074769e-07,1.048121e-06,1.410225e-06,1.695713e-06,2.495356e-06,2.574386e-06,3.682554e-06,3.978997e-06,4.983413e-06,5.778178e-06,6.429586e-06,7.790401e-06,7.981063e-06,9.607642e-06,9.939826e-06,1.128592e-05,1.217250e-05,1.299649e-05,1.444587e-05,1.472240e-05,1.644848e-05,1.672374e-05,1.816111e-05,1.897479e-05,1.984823e-05,2.117251e-05,2.149943e-05,2.310590e-05,2.329532e-05,2.466047e-05,2.532654e-05,2.615754e-05,2.725424e-05,2.759294e-05,2.896377e-05,2.907059e-05,3.026827e-05,3.077128e-05,3.150561e-05,3.235488e-05,3.267577e-05,3.377944e-05,3.382222e-05,3.481775e-05,3.517581e-05,3.579216e-05,3.641917e-05,3.670448e-05,3.755678e-05,3.835128e-05,3.859368e-05,3.909028e-05,3.953519e-05,3.977613e-05,4.038674e-05,4.041120e-05,4.099786e-05,4.115376e-05,4.153842e-05,4.184159e-05,4.203518e-05,4.245540e-05,4.249033e-05,4.290605e-05,4.300018e-05,4.328439e-05,4.348068e-05,4.362736e-05,4.390143e-05,4.393687e-05,4.421477e-05,4.426671e-05,4.446281e-05,4.458054e-05,4.468266e-05,4.484673e-05,4.487593e-05,4.504415e-05,4.506884e-05,4.518876e-05,4.525020e-05,4.531115e-05,4.539394e-05,4.541262e-05,4.549442e-05,4.550297e-05,4.555774e-05,4.558003e-05,4.560369e-05,4.562765e-05,4.563334e-05,4.564769e-05,4.564821e-05,4.564771e-05,4.564390e-05,4.563429e-05,4.561679e-05,4.560829e-05,4.557052e-05,4.556877e-05,4.552175e-05,4.550164e-05,4.546270e-05,4.541703e-05,4.539407e-05,4.531649e-05,4.523059e-05,4.520144e-05,4.513695e-05,4.507320e-05,4.503610e-05,4.493300e-05,4.492858e-05,4.481487e-05,4.478198e-05,4.469543e-05,4.462120e-05,4.457070e-05,4.445164e-05,4.444110e-05,4.430700e-05,4.427420e-05,4.416879e-05,4.408972e-05,4.402680e-05,4.389899e-05,4.388137e-05,4.373280e-05,4.370274e-05,4.358138e-05,4.350161e-05,4.342740e-05,4.329625e-05,4.327109e-05,4.311273e-05,4.308721e-05,4.295252e-05,4.287503e-05,4.279069e-05,4.266019e-05,4.262744e-05,4.246297e-05,4.244316e-05,4.229745e-05,4.222433e-05,4.213105e-05,4.200411e-05,4.196395e-05,4.179627e-05,4.178284e-05,4.162818e-05,4.156085e-05,4.145980e-05,4.133845e-05,4.129125e-05,4.112265e-05,4.111590e-05,4.095411e-05,4.089347e-05,4.078574e-05,4.067139e-05,4.061763e-05,4.044987e-05,4.022911e-05,4.000929e-05,3.979058e-05,3.957311e-05,3.935704e-05,3.914249e-05,3.892956e-05,3.871836e-05,3.850899e-05,3.830151e-05,3.809602e-05,3.789257e-05,3.769122e-05,3.749203e-05,3.729504e-05,3.710028e-05,3.690781e-05,3.671763e-05,3.652978e-05,3.634427e-05,3.616113e-05,3.598035e-05,3.580196e-05,3.562596e-05
0.000000e+00,3.378988e-09,7.728627e-09,2.661085e-08,6.078417e-08,8.897544e-08,2.044779e-07,2.107713e-07,4.154930e-07,4.913690e-07,7.307274e-07,9.843246e-07,1.182794e-06,1.729737e-06,1.783116e-06,2.523735e-06,2.720658e-06,3.389462e-06,3.923792e-06,4.366880e-06,5.310765e-06,5.445159e-06,6.614595e-06,6.858575e-06,7.865505e-06,8.544839e-06,9.187773e-06,1.034588e-05,1.057080e-05,1.200370e-05,1.223686e-05,1.347557e-05,1.419278e-05,1.497579e-05,1.618954e-05,1.649423e-05,1.802152e-05,1.820498e-05,1.954914e-05,2.021941e-05,2.106951e-05,2.221603e-05,2.257600e-05,2.406293e-05,2.418089e-05,2.552550e-05,2.610280e-05,2.695976e-05,2.797305e-05,2.836247e-05,2.973107e-05,2.978508e-05,3.106359e-05,3.153417e-05,3.235859e-05,3.321723e-05,3.361505e-05,3.483227e-05,3.600979e-05,3.637819e-05,3.714748e-05,3.785471e-05,3.824538e-05,3.926213e-05,3.930371e-05,4.032288e-05,4.060129e-05,4.130340e-05,4.187340e-05,4.224587e-05,4.307993e-05,4.315098e-05,4.401952e-05,4.422262e-05,4.485239e-05,4.530358e-05,4.565055e-05,4.632492e-05,4.641488e-05,4.714618e-05,4.728855e-05,4.784534e-05,4.819649e-05,4.851325e-05,4.905078e-05,4.915077e-05,4.975879e-05,4.985339e-05,5.033816e-05,5.060633e-05,5.088975e-05,5.131159e-05,5.141441e-05,5.191299e-05,5.197110e-05,5.238630e-05,5.258676e-05,5.283515e-05,5.316042e-05,5.326035e-05,5.366268e-05,5.369390e-05,5.404290e-05,5.418896e-05,5.440176e-05,5.464732e-05,5.473999e-05,5.505832e-05,5.507065e-05,5.535743e-05,5.546054e-05,5.563802e-05,5.581857e-05,5.590073e-05,5.614623e-05,5.637513e-05,5.644497e-05,5.658805e-05,5.671621e-05,5.678559e-05,5.696128e-05,5.696832e-05,5.713680e-05,5.718149e-05,5.729158e-05,5.737809e-05,5.743318e-05,5.755227e-05,5.756213e-05,5.767892e-05,5.770519e-05,5.778402e-05,5.783795e-05,5.787791e-05,5.795162e-05,5.796104e-05,5.803385e-05,5.804721e-05,5.809676e-05,5.812569e-05,5.815018e-05,5.818801e-05,5.819451e-05,5.823014e-05,5.823505e-05,5.825743e-05,5.826768e-05,5.827675e-05,5.828670e-05,5.828845e-05,5.829285e-05,5.829290e-05,5.829029e-05,5.828704e-05,5.828107e-05,5.826981e-05,5.826551e-05,5.824389e-05,5.824191e-05,5.821649e-05,5.820398e-05,5.818359e-05,5.815664e-05,5.814545e-05,5.810233e-05,5.810050e-05,5.805446e-05,5.803611e-05,5.800208e-05,5.796400e-05,5.794542e-05,5.788471e-05,5.779870e-05,5.770645e-05,5.760840e-05,5.750497e-05,5.739656e-05,5.728355e-05,5.716630e-05,5.704517e-05,5.692046e-05,5.679250e-05,5.666158e-05,5.652797e-05,5.639195e-05,5.625375e-05,5.611363e-05,5.597179e-05,5.582847e-05,5.568385e-05,5.553813e-05,5.539149e-05,5.524409e-05,5.509610e-05,5.494767e-05,5.479894e-05
0.000000e+00,1.312698e-08,2.988348e-08,1.018288e-07,2.301797e-07,3.348446e-07,7.557640e-07,7.784026e-07,1.502452e-06,1.765883e-06,2.585082e-06,3.441122e-06,4.107690e-06,5.947544e-06,6.127804e-06,8.639210e-06,9.308137e-06,1.157319e-05,1.336814e-05,1.484309e-05,1.793849e-05,1.837385e-05,2.210513e-05,2.287087e-05,2.598612e-05,2.804809e-05,2.997111e-05,3.336756e-05,3.401739e-05,3.808477e-05,3.873496e-05,4.213578e-05,4.406429e-05,4.613631e-05,4.928000e-05,5.005623e-05,5.386962e-05,5.431900e-05,5.755497e-05,5.913144e-05,6.109531e-05,6.368095e-05,6.447782e-05,6.769359e-05,6.794346e-05,7.073716e-05,7.190574e-05,7.360608e-05,7.556349e-05,7.630038e-05,7.882216e-05,7.891949e-05,8.117516e-05,8.198185e-05,8.336436e-05,8.476245e-05,8.539568e-05,8.727569e-05,8.901136e-05,8.953747e-05,9.060992e-05,9.156441e-05,9.207867e-05,9.337327e-05,9.342486e-05,9.465560e-05,9.498047e-05,9.577781e-05,9.640182e-05,9.679815e-05,9.765239e-05,9.772301e-05,9.855847e-05,9.874632e-05,9.931029e-05,9.969683e-05,9.998394e-05,1.005162e-04,1.005846e-04,1.011170e-04,1.012157e-04,1.015857e-04,1.018058e-04,1.019951e-04,1.022960e-04,1.023491e-04,1.026515e-04,1.026953e-04,1.029057e-04,1.030115e-04,1.031150e-04,1.032521e-04,1.032824e-04,1.034109e-04,1.034238e-04,1.035030e-04,1.035327e-04,1.035614e-04,1.035845e-04,1.035882e-04,1.035856e-04,1.035842e-04,1.035558e-04,1.035366e-04,1.035005e-04,1.034459e-04,1.034215e-04,1.033206e-04,1.033161e-04,1.031992e-04,1.031508e-04,1.030588e-04,1.029531e-04,1.029007e-04,1.027262e-04,1.025365e-04,1.024728e-04,1.023327e-04,1.021953e-04,1.021158e-04,1.018962e-04,1.018868e-04,1.016466e-04,1.015775e-04,1.013961e-04,1.012412e-04,1.011361e-04,1.008891e-04,1.008673e-04,1.005904e-04,1.005228e-04,1.003061e-04,1.001438e-04,1.000149e-04,9.975360e-05,9.971761e-05,9.941461e-05,9.935338e-05,9.910646e-05,9.894435e-05,9.879364e-05,9.852760e-05,9.847661e-05,9.815579e-05,9.810414e-05,9.783159e-05,9.767488e-05,9.750438e-05,9.724069e-05,9.717452e-05,9.684235e-05,9.680235e-05,9.650817e-05,9.636058e-05,9.617229e-05,9.591606e-05,9.583499e-05,9.549652e-05,9.546940e-05,9.515714e-05,9.502118e-05,9.481707e-05,9.457192e-05,9.447654e-05,9.413574e-05,9.412211e-05,9.379489e-05,9.367220e-05,9.345415e-05,9.322260e-05,9.311369e-05,9.277369e-05,9.232582e-05,9.187933e-05,9.143450e-05,9.099161e-05,9.055092e-05,9.011264e-05,8.967701e-05,8.924421e-05,8.881441e-05,8.838779e-05,8.796448e-05,8.754462e-05,8.712834e-05,8.671574e-05,8.630692e-05,8.590197e-05,8.550097e-05,8.510399e-05,8.471108e-05,8.432231e-05,8.393773e-05,8.355736e-05,8.318124e-05,8.280941e-05
0.000000e+00,9.173205e-09,2.076311e-08,6.991101e-08,1.563169e-07,2.260359e-07,5.022905e-07,5.170065e-07,9.823267e-07,1.149556e-06,1.664417e-06,2.196157e-06,2.607156e-06,3.733935e-06,3.843967e-06,5.371459e-06,5.775909e-06,7.132747e-06,8.189696e-06,9.043819e-06,1.079083e-05,1.103153e-05,1.304466e-05,1.344706e-05,1.504824e-05,1.607758e-05,1.701667e-05,1.862816e-05,1.892984e-05,2.077134e-05,2.105840e-05,2.252785e-05,2.333763e-05,2.418900e-05,2.544411e-05,2.574727e-05,2.719789e-05,2.736460e-05,2.853861e-05,2.909363e-05,2.976941e-05,3.063238e-05,3.089214e-05,3.191015e-05,3.198720e-05,3.282795e-05,3.316818e-05,3.365086e-05,3.418785e-05,3.438470e-05,3.503559e-05,3.505999e-05,3.560971e-05,3.579878e-05,3.611318e-05,3.641820e-05,3.655189e-05,3.693151e-05,3.725734e-05,3.735106e-05,3.753433e-05,3.768811e-05,3.776707e-05,3.795279e-05,3.795978e-05,3.811631e-05,3.815415e-05,3.824018e-05,3.830015e-05,3.833455e-05,3.839782e-05,3.840233e-05,3.844610e-05,3.845330e-05,3.846823e-05,3.847197e-05,3.847083e-05,3.845850e-05,3.845583e-05,3.842493e-05,3.841698e-05,3.837969e-05,3.835098e-05,3.832152e-05,3.826359e-05,3.825168e-05,3.817132e-05,3.815756e-05,3.808146e-05,3.803524e-05,3.798305e-05,3.789874e-05,3.787694e-05,3.776388e-05,3.774989e-05,3.764460e-05,3.759031e-05,3.751972e-05,3.742143e-05,3.738983e-05,3.725545e-05,3.724452e-05,3.711708e-05,3.706072e-05,3.697516e-05,3.687101e-05,3.683010e-05,3.668226e-05,3.667630e-05,3.653200e-05,3.647737e-05,3.637962e-05,3.627494e-05,3.622542e-05,3.606966e-05,3.591259e-05,3.586209e-05,3.575444e-05,3.565276e-05,3.559542e-05,3.544212e-05,3.543572e-05,3.527553e-05,3.523060e-05,3.511500e-05,3.501858e-05,3.495429e-05,3.480640e-05,3.479354e-05,3.463289e-05,3.459436e-05,3.447246e-05,3.438275e-05,3.431235e-05,3.417181e-05,3.415267e-05,3.399353e-05,3.396177e-05,3.383500e-05,3.375284e-05,3.367717e-05,3.354519e-05,3.352012e-05,3.336391e-05,3.333900e-05,3.320861e-05,3.313440e-05,3.305428e-05,3.293154e-05,3.290097e-05,3.274873e-05,3.273053e-05,3.259761e-05,3.253148e-05,3.244765e-05,3.233448e-05,3.229889e-05,3.215136e-05,3.213961e-05,3.200509e-05,3.194694e-05,3.186012e-05,3.175655e-05,3.171646e-05,3.157414e-05,3.156848e-05,3.143319e-05,3.138278e-05,3.129361e-05,3.119950e-05,3.115543e-05,3.101866e-05,3.084030e-05,3.066443e-05,3.049108e-05,3.032025e-05,3.015196e-05,2.998621e-05,2.982301e-05,2.966234e-05,2.950420e-05,2.934859e-05,2.919549e-05,2.904490e-05,2.889679e-05,2.875115e-05,2.860796e-05,2.846721e-05,2.832886e-05,2.819290e-05,2.805930e-05,2.792804e-05,2.779909e-05,2.767242e-05,2.754801e-05,2.742583e-05
0.000000e+00,1.041756e-08,2.383444e-08,8.246656e-08,1.905089e-07,2.815602e-07,6.717276e-07,6.937268e-07,1.445237e-06,1.739297e-06,2.710915e-06,3.798549e-06,4.681480e-06,7.206338e-06,7.457089e-06,1.094787e-05,1.186893e-05,1.494224e-05,1.732365e-05,1.924510e-05,2.318129e-05,2.372521e-05,2.830046e-05,2.922185e-05,3.291670e-05,3.531990e-05,3.753458e-05,4.139194e-05,4.212298e-05,4.665605e-05,4.737470e-05,5.111201e-05,5.321800e-05,5.547261e-05,5.888225e-05,5.972285e-05,6.385071e-05,6.433736e-05,6.784690e-05,6.956165e-05,7.170453e-05,7.454067e-05,7.541885e-05,7.898688e-05,7.926595e-05,8.240715e-05,8.373380e-05,8.567944e-05,8.794426e-05,8.880452e-05,9.178398e-05,9.190016e-05,9.462003e-05,9.560641e-05,9.731538e-05,9.906941e-05,9.987312e-05,1.022966e-04,1.045895e-04,1.052962e-04,1.067554e-04,1.080767e-04,1.087982e-04,1.106470e-04,1.107217e-04,1.125300e-04,1.130162e-04,1.142268e-04,1.151930e-04,1.158161e-04,1.171866e-04,1.173017e-04,1.186874e-04,1.190055e-04,1.199769e-04,1.206585e-04,1.211740e-04,1.221538e-04,1.222822e-04,1.233051e-04,1.234997e-04,1.242460e-04,1.247040e-04,1.251084e-04,1.257744e-04,1.258954e-04,1.266104e-04,1.267183e-04,1.272563e-04,1.275427e-04,1.278362e-04,1.282545e-04,1.283529e-04,1.288093e-04,1.288602e-04,1.292082e-04,1.293661e-04,1.295521e-04,1.297782e-04,1.298435e-04,1.300851e-04,1.301024e-04,1.302791e-04,1.303440e-04,1.304279e-04,1.305083e-04,1.305337e-04,1.305986e-04,1.306004e-04,1.306247e-04,1.306249e-04,1.306139e-04,1.305866e-04,1.305683e-04,1.304895e-04,1.303795e-04,1.303380e-04,1.302399e-04,1.301358e-04,1.300724e-04,1.298867e-04,1.298785e-04,1.296597e-04,1.295942e-04,1.294175e-04,1.292616e-04,1.291533e-04,1.288920e-04,1.288685e-04,1.285643e-04,1.284885e-04,1.282419e-04,1.280539e-04,1.279025e-04,1.275908e-04,1.275473e-04,1.271774e-04,1.271017e-04,1.267937e-04,1.265891e-04,1.263973e-04,1.260551e-04,1.259891e-04,1.255700e-04,1.255020e-04,1.251409e-04,1.249316e-04,1.247026e-04,1.243459e-04,1.242559e-04,1.238015e-04,1.237465e-04,1.233403e-04,1.231353e-04,1.228727e-04,1.225137e-04,1.223996e-04,1.219216e-04,1.218831e-04,1.214391e-04,1.212450e-04,1.209528e-04,1.206007e-04,1.204633e-04,1.199710e-04,1.199512e-04,1.194764e-04,1.192979e-04,1.189800e-04,1.186416e-04,1.184822e-04,1.179834e-04,1.173242e-04,1.166648e-04,1.160061e-04,1.153486e-04,1.146932e-04,1.140405e-04,1.133910e-04,1.127452e-04,1.121037e-04,1.114669e-04,1.108352e-04,1.102090e-04,1.095886e-04,1.089744e-04,1.083666e-04,1.077654e-04,1.071712e-04,1.065841e-04,1.060042e-04,1.054318e-04,1.048670e-04,1.043099e-04,1.037606e-04,1.032191e-04
0.000000e+00,4.302446e-09,9.743346e-09,3.282050e-08,7.333741e-08,1.059526e-07,2.344051e-07,2.412119e-07,4.546315e-07,5.305205e-07,7.617755e-07,9.973362e-07,1.177541e-06,1.665737e-06,1.713099e-06,2.368800e-06,2.542569e-06,3.128371e-06,3.588803e-06,3.963830e-06,4.738993e-06,4.846597e-06,5.753389e-06,5.935979e-06,6.666331e-06,7.138742e-06,7.571476e-06,8.317513e-06,8.457623e-06,9.315693e-06,9.449870e-06,1.013845e-05,1.051913e-05,1.092032e-05,1.151365e-05,1.165732e-05,1.234688e-05,1.242637e-05,1.298770e-05,1.325414e-05,1.357958e-05,1.399706e-05,1.412319e-05,1.461991e-05,1.465768e-05,1.507167e-05,1.524028e-05,1.548075e-05,1.575030e-05,1.584971e-05,1.618123e-05,1.619375e-05,1.647800e-05,1.657686e-05,1.674273e-05,1.690577e-05,1.697801e-05,1.718640e-05,1.737025e-05,1.742425e-05,1.753167e-05,1.762418e-05,1.767275e-05,1.779079e-05,1.779536e-05,1.790124e-05,1.792810e-05,1.799197e-05,1.803975e-05,1.806901e-05,1.812892e-05,1.813366e-05,1.818712e-05,1.819841e-05,1.823047e-05,1.825069e-05,1.826467e-05,1.828792e-05,1.829062e-05,1.830911e-05,1.831197e-05,1.832085e-05,1.832452e-05,1.832651e-05,1.832699e-05,1.832666e-05,1.832185e-05,1.832065e-05,1.831255e-05,1.830663e-05,1.829921e-05,1.828588e-05,1.828221e-05,1.826192e-05,1.825928e-05,1.823866e-05,1.822757e-05,1.821273e-05,1.819141e-05,1.818441e-05,1.815394e-05,1.815141e-05,1.812154e-05,1.810808e-05,1.808741e-05,1.806189e-05,1.805176e-05,1.801474e-05,1.801324e-05,1.797652e-05,1.796250e-05,1.793724e-05,1.791000e-05,1.789704e-05,1.785603e-05,1.781432e-05,1.780085e-05,1.777203e-05,1.774470e-05,1.772924e-05,1.768777e-05,1.768604e-05,1.764251e-05,1.763027e-05,1.759872e-05,1.757236e-05,1.755475e-05,1.751418e-05,1.751065e-05,1.746649e-05,1.745588e-05,1.742231e-05,1.739758e-05,1.737816e-05,1.733937e-05,1.733409e-05,1.729014e-05,1.728137e-05,1.724635e-05,1.722365e-05,1.720275e-05,1.716630e-05,1.715938e-05,1.711626e-05,1.710939e-05,1.707342e-05,1.705297e-05,1.703089e-05,1.699710e-05,1.698869e-05,1.694684e-05,1.694184e-05,1.690535e-05,1.688722e-05,1.686425e-05,1.683328e-05,1.682355e-05,1.678326e-05,1.678006e-05,1.674340e-05,1.672758e-05,1.670398e-05,1.667587e-05,1.666500e-05,1.662648e-05,1.662495e-05,1.658843e-05,1.657484e-05,1.655084e-05,1.652555e-05,1.651373e-05,1.647710e-05,1.642949e-05,1.638273e-05,1.633683e-05,1.629180e-05,1.624762e-05,1.620431e-05,1.616185e-05,1.612026e-05,1.607952e-05,1.603962e-05,1.600058e-05,1.596236e-05,1.592498e-05,1.588842e-05,1.585266e-05,1.581771e-05,1.578356e-05,1.575018e-05,1.571757e-05,1.568572e-05,1.565462e-05,1.562426e-05,1.559462e-05,1.556569e-05
0.000000e+00,1.329599e-08,3.026661e-08,1.031075e-07,2.329618e-07,3.387678e-07,7.635918e-07,7.864124e-07,1.515128e-06,1.779854e-06,2.602705e-06,3.463920e-06,4.137222e-06,6.017995e-06,6.204495e-06,8.849362e-06,9.567812e-06,1.203574e-05,1.402062e-05,1.566475e-05,1.913956e-05,1.963013e-05,2.384659e-05,2.471405e-05,2.824959e-05,3.059543e-05,3.278758e-05,3.667111e-05,3.741603e-05,4.209426e-05,4.284481e-05,4.678406e-05,4.902864e-05,5.144952e-05,5.514186e-05,5.605729e-05,6.057699e-05,6.111212e-05,6.498166e-05,6.687713e-05,6.924799e-05,7.238579e-05,7.335656e-05,7.729175e-05,7.759869e-05,8.104164e-05,8.248771e-05,8.459779e-05,8.703519e-05,8.795495e-05,9.111066e-05,9.123268e-05,9.406481e-05,9.507928e-05,9.681935e-05,9.858022e-05,9.937794e-05,1.017457e-04,1.039286e-04,1.045892e-04,1.059337e-04,1.071271e-04,1.077685e-04,1.093769e-04,1.094408e-04,1.109588e-04,1.113573e-04,1.123306e-04,1.130869e-04,1.135643e-04,1.145844e-04,1.146681e-04,1.156497e-04,1.158680e-04,1.165168e-04,1.169551e-04,1.172767e-04,1.178624e-04,1.179365e-04,1.185028e-04,1.186055e-04,1.189821e-04,1.191990e-04,1.193805e-04,1.196567e-04,1.197035e-04,1.199567e-04,1.199910e-04,1.201450e-04,1.202139e-04,1.202734e-04,1.203359e-04,1.203462e-04,1.203678e-04,1.203671e-04,1.203420e-04,1.203165e-04,1.202724e-04,1.201925e-04,1.201627e-04,1.200160e-04,1.200027e-04,1.198353e-04,1.197541e-04,1.196234e-04,1.194530e-04,1.193830e-04,1.191165e-04,1.191053e-04,1.188262e-04,1.187162e-04,1.185142e-04,1.182906e-04,1.181825e-04,1.178329e-04,1.174672e-04,1.173470e-04,1.170870e-04,1.168367e-04,1.166937e-04,1.163052e-04,1.162888e-04,1.158735e-04,1.157555e-04,1.154490e-04,1.151904e-04,1.150165e-04,1.146124e-04,1.145770e-04,1.141314e-04,1.140237e-04,1.136807e-04,1.134263e-04,1.132256e-04,1.128222e-04,1.127670e-04,1.123055e-04,1.122129e-04,1.118418e-04,1.116001e-04,1.113766e-04,1.109850e-04,1.109104e-04,1.104436e-04,1.103690e-04,1.099769e-04,1.097530e-04,1.095107e-04,1.091383e-04,1.090453e-04,1.085812e-04,1.085256e-04,1.081186e-04,1.079157e-04,1.076580e-04,1.073095e-04,1.071997e-04,1.067438e-04,1.067074e-04,1.062907e-04,1.061103e-04,1.058406e-04,1.055185e-04,1.053937e-04,1.049501e-04,1.049325e-04,1.045102e-04,1.043527e-04,1.040739e-04,1.037795e-04,1.036415e-04,1.032131e-04,1.026540e-04,1.021022e-04,1.015580e-04,1.010216e-04,1.004931e-04,9.997258e-05,9.946019e-05,9.895598e-05,9.846000e-05,9.797229e-05,9.749286e-05,9.702172e-05,9.655885e-05,9.610423e-05,9.565784e-05,9.521962e-05,9.478952e-05,9.436750e-05,9.395347e-05,9.354736e-05,9.314910e-05,9.275861e-05,9.237579e-05,9.200055e-05
0.000000e+00,1.876439e-09,4.279201e-09,1.461853e-08,3.305880e-08,4.805335e-08,1.077739e-07,1.109568e-07,2.111335e-07,2.468229e-07,3.554778e-07,4.658240e-07,5.500062e-07,7.777232e-07,7.998516e-07,1.109208e-06,1.192683e-06,1.481218e-06,1.717677e-06,1.917784e-06,2.355728e-06,2.419313e-06,2.984397e-06,3.104770e-06,3.609528e-06,3.956520e-06,4.289015e-06,4.896267e-06,5.015251e-06,5.779365e-06,5.904514e-06,6.572024e-06,6.959943e-06,7.384121e-06,8.042080e-06,8.207193e-06,9.033600e-06,9.132662e-06,9.856566e-06,1.021602e-05,1.067016e-05,1.127903e-05,1.146924e-05,1.224942e-05,1.231090e-05,1.300700e-05,1.330301e-05,1.373895e-05,1.424869e-05,1.444283e-05,1.511675e-05,1.514306e-05,1.575932e-05,1.598278e-05,1.636960e-05,1.676585e-05,1.694704e-05,1.749142e-05,1.800284e-05,1.815957e-05,1.848160e-05,1.877112e-05,1.892825e-05,1.932747e-05,1.934349e-05,1.972815e-05,1.983050e-05,2.008316e-05,2.028236e-05,2.040955e-05,2.068547e-05,2.070839e-05,2.098078e-05,2.104234e-05,2.122786e-05,2.135560e-05,2.145078e-05,2.162786e-05,2.165067e-05,2.182867e-05,2.186174e-05,2.198589e-05,2.205979e-05,2.212342e-05,2.222450e-05,2.224231e-05,2.234361e-05,2.235826e-05,2.242832e-05,2.246336e-05,2.249738e-05,2.254201e-05,2.255174e-05,2.259229e-05,2.259627e-05,2.261987e-05,2.262811e-05,2.263531e-05,2.263941e-05,2.263939e-05,2.263285e-05,2.263189e-05,2.261641e-05,2.260721e-05,2.259073e-05,2.256690e-05,2.255648e-05,2.251425e-05,2.251241e-05,2.246463e-05,2.244507e-05,2.240817e-05,2.236614e-05,2.234540e-05,2.227680e-05,2.220284e-05,2.217812e-05,2.212397e-05,2.207111e-05,2.204061e-05,2.195672e-05,2.195315e-05,2.186196e-05,2.183581e-05,2.176739e-05,2.170917e-05,2.166978e-05,2.157756e-05,2.156944e-05,2.146666e-05,2.144166e-05,2.136172e-05,2.130210e-05,2.125487e-05,2.115946e-05,2.114636e-05,2.103642e-05,2.101428e-05,2.092526e-05,2.086705e-05,2.081309e-05,2.071822e-05,2.070009e-05,2.058643e-05,2.056820e-05,2.047228e-05,2.041736e-05,2.035780e-05,2.026607e-05,2.024312e-05,2.012838e-05,2.011461e-05,2.001370e-05,1.996329e-05,1.989920e-05,1.981236e-05,1.978498e-05,1.967115e-05,1.966206e-05,1.955778e-05,1.951259e-05,1.944498e-05,1.936415e-05,1.933281e-05,1.922134e-05,1.921690e-05,1.911064e-05,1.907099e-05,1.900078e-05,1.892658e-05,1.889180e-05,1.878376e-05,1.864265e-05,1.850335e-05,1.836593e-05,1.823046e-05,1.809700e-05,1.796560e-05,1.783630e-05,1.770914e-05,1.758413e-05,1.746131e-05,1.734068e-05,1.722225e-05,1.710603e-05,1.699200e-05,1.688018e-05,1.677054e-05,1.666307e-05,1.655776e-05,1.645460e-05,1.635355e-05,1.625460e-05,1.615772e-05,1.606288e-05,1.597007e-05
0.000000e+00,2.482728e-09,5.682517e-09,1.959301e-08,4.480953e-08,6.563601e-08,1.511115e-07,1.557745e-07,3.077858e-07,3.643156e-07,5.436401e-07,7.360068e-07,8.888325e-07,1.322127e-06,1.365369e-06,1.979878e-06,2.146925e-06,2.721600e-06,3.186034e-06,3.573198e-06,4.401108e-06,4.519183e-06,5.547461e-06,5.762103e-06,6.648227e-06,7.246365e-06,7.812781e-06,8.834203e-06,9.032791e-06,1.030000e-05,1.050658e-05,1.160612e-05,1.224446e-05,1.294292e-05,1.402903e-05,1.430235e-05,1.567668e-05,1.584225e-05,1.705860e-05,1.766728e-05,1.844136e-05,1.948905e-05,1.981886e-05,2.118566e-05,2.129440e-05,2.253696e-05,2.307220e-05,2.386864e-05,2.481329e-05,2.517717e-05,2.645964e-05,2.651036e-05,2.771364e-05,2.815772e-05,2.893726e-05,2.975122e-05,3.012904e-05,3.128776e-05,3.241261e-05,3.276532e-05,3.350307e-05,3.418275e-05,3.455880e-05,3.553957e-05,3.557974e-05,3.656593e-05,3.683587e-05,3.751759e-05,3.807213e-05,3.843501e-05,3.924916e-05,3.931862e-05,4.016890e-05,4.036807e-05,4.098641e-05,4.143013e-05,4.177176e-05,4.243677e-05,4.252559e-05,4.324858e-05,4.338953e-05,4.394142e-05,4.429003e-05,4.460485e-05,4.513992e-05,4.523958e-05,4.584635e-05,4.594089e-05,4.642591e-05,4.669464e-05,4.697898e-05,4.740287e-05,4.750631e-05,4.800863e-05,4.806727e-05,4.848667e-05,4.868951e-05,4.894115e-05,4.927123e-05,4.937278e-05,4.978225e-05,4.981407e-05,5.017026e-05,5.031960e-05,5.053747e-05,5.078937e-05,5.088457e-05,5.121220e-05,5.122490e-05,5.152099e-05,5.162766e-05,5.181157e-05,5.199908e-05,5.208455e-05,5.234054e-05,5.258011e-05,5.265340e-05,5.280383e-05,5.293895e-05,5.301226e-05,5.319847e-05,5.320594e-05,5.338539e-05,5.343316e-05,5.355114e-05,5.364422e-05,5.370368e-05,5.383277e-05,5.384350e-05,5.397107e-05,5.399991e-05,5.408684e-05,5.414670e-05,5.419128e-05,5.427415e-05,5.428482e-05,5.436786e-05,5.438325e-05,5.444084e-05,5.447493e-05,5.450413e-05,5.455010e-05,5.455814e-05,5.460323e-05,5.460964e-05,5.463976e-05,5.465436e-05,5.466809e-05,5.468508e-05,5.468856e-05,5.470150e-05,5.470257e-05,5.470724e-05,5.470755e-05,5.470606e-05,5.470074e-05,5.469829e-05,5.468421e-05,5.468282e-05,5.466410e-05,5.465443e-05,5.463823e-05,5.461619e-05,5.460687e-05,5.457026e-05,5.456869e-05,5.452866e-05,5.451251e-05,5.448230e-05,5.444818e-05,5.443142e-05,5.437622e-05,5.429714e-05,5.421139e-05,5.411944e-05,5.402171e-05,5.391862e-05,5.381055e-05,5.369788e-05,5.358096e-05,5.346014e-05,5.333574e-05,5.320805e-05,5.307738e-05,5.294399e-05,5.280816e-05,5.267014e-05,5.253015e-05,5.238843e-05,5.224518e-05,5.210061e-05,5.195492e-05,5.180828e-05,5.166086e-05,5.151283e-05,5.136434e-05
0.000000e+00,3.330609e-09,7.564581e-09,2.565358e-08,5.774083e-08,8.380298e-08,1.880750e-07,1.936658e-07,3.719175e-07,4.365902e-07,6.374710e-07,8.475826e-07,1.011820e-06,1.471059e-06,1.516680e-06,2.166540e-06,2.344136e-06,2.957199e-06,3.452015e-06,3.861448e-06,4.720213e-06,4.840362e-06,5.858215e-06,6.063963e-06,6.888490e-06,7.422817e-06,7.912896e-06,8.759478e-06,8.918762e-06,9.896971e-06,1.005044e-05,1.084072e-05,1.127993e-05,1.174489e-05,1.243712e-05,1.260565e-05,1.342032e-05,1.351489e-05,1.418717e-05,1.450920e-05,1.490538e-05,1.541863e-05,1.557489e-05,1.619628e-05,1.624394e-05,1.677067e-05,1.698759e-05,1.729957e-05,1.765325e-05,1.778486e-05,1.822865e-05,1.824557e-05,1.863323e-05,1.876974e-05,1.900100e-05,1.923121e-05,1.933422e-05,1.963523e-05,1.990630e-05,1.998708e-05,2.014963e-05,2.029178e-05,2.036733e-05,2.055407e-05,2.056140e-05,2.073372e-05,2.077832e-05,2.088605e-05,2.096854e-05,2.102002e-05,2.112837e-05,2.113716e-05,2.123886e-05,2.126112e-05,2.132643e-05,2.136974e-05,2.140106e-05,2.145691e-05,2.146386e-05,2.151582e-05,2.152500e-05,2.155789e-05,2.157614e-05,2.159091e-05,2.161223e-05,2.161566e-05,2.163286e-05,2.163495e-05,2.164315e-05,2.164581e-05,2.164713e-05,2.164615e-05,2.164537e-05,2.163835e-05,2.163717e-05,2.162654e-05,2.161993e-05,2.161036e-05,2.159538e-05,2.159020e-05,2.156641e-05,2.156436e-05,2.153933e-05,2.152764e-05,2.150924e-05,2.148588e-05,2.147644e-05,2.144116e-05,2.143971e-05,2.140366e-05,2.138965e-05,2.136413e-05,2.133620e-05,2.132278e-05,2.127979e-05,2.123533e-05,2.122081e-05,2.118955e-05,2.115963e-05,2.114260e-05,2.109656e-05,2.109462e-05,2.104572e-05,2.103187e-05,2.099601e-05,2.096585e-05,2.094561e-05,2.089871e-05,2.089461e-05,2.084309e-05,2.083066e-05,2.079115e-05,2.076191e-05,2.073886e-05,2.069261e-05,2.068629e-05,2.063351e-05,2.062293e-05,2.058058e-05,2.055301e-05,2.052755e-05,2.048297e-05,2.047448e-05,2.042142e-05,2.041293e-05,2.036841e-05,2.034300e-05,2.031550e-05,2.027327e-05,2.026273e-05,2.021012e-05,2.020382e-05,2.015771e-05,2.013473e-05,2.010554e-05,2.006607e-05,2.005364e-05,2.000202e-05,1.999790e-05,1.995071e-05,1.993028e-05,1.989974e-05,1.986326e-05,1.984912e-05,1.979888e-05,1.979688e-05,1.974903e-05,1.973118e-05,1.969958e-05,1.966620e-05,1.965056e-05,1.960197e-05,1.953852e-05,1.947588e-05,1.941405e-05,1.935307e-05,1.929295e-05,1.923369e-05,1.917532e-05,1.911784e-05,1.906126e-05,1.900558e-05,1.895080e-05,1.889694e-05,1.884398e-05,1.879194e-05,1.874080e-05,1.869056e-05,1.864123e-05,1.859279e-05,1.854524e-05,1.849858e-05,1.845279e-05,1.840788e-05,1.836383e-05,1.832063e-05
0.000000e+00,8.430057e-09,1.926489e-08,6.611849e-08,1.502280e-07,2.189862e-07,4.952485e-07,5.100654e-07,9.804650e-07,1.149783e-06,1.670255e-06,2.205879e-06,2.618869e-06,3.752796e-06,3.864158e-06,5.438354e-06,5.867567e-06,7.359764e-06,8.587011e-06,9.624796e-06,1.188376e-05,1.220978e-05,1.508147e-05,1.568716e-05,1.820549e-05,1.991874e-05,2.154900e-05,2.450410e-05,2.508049e-05,2.876915e-05,2.937189e-05,3.258463e-05,3.445234e-05,3.649718e-05,3.967771e-05,4.047800e-05,4.449970e-05,4.498381e-05,4.853667e-05,5.031163e-05,5.256539e-05,5.560859e-05,5.656470e-05,6.051586e-05,6.082937e-05,6.440258e-05,6.593605e-05,6.821100e-05,7.089796e-05,7.192949e-05,7.554856e-05,7.569114e-05,7.906065e-05,8.029763e-05,8.245991e-05,8.470471e-05,8.574204e-05,8.890407e-05,9.194417e-05,9.289109e-05,9.486151e-05,9.666415e-05,9.765609e-05,1.002240e-04,1.003286e-04,1.028804e-04,1.035734e-04,1.053131e-04,1.067164e-04,1.076289e-04,1.096583e-04,1.098303e-04,1.119199e-04,1.124051e-04,1.139006e-04,1.149633e-04,1.157753e-04,1.173400e-04,1.175473e-04,1.192196e-04,1.195424e-04,1.207955e-04,1.215778e-04,1.222781e-04,1.234537e-04,1.236706e-04,1.249763e-04,1.251774e-04,1.261983e-04,1.267560e-04,1.273397e-04,1.281968e-04,1.284035e-04,1.293928e-04,1.295067e-04,1.303105e-04,1.306924e-04,1.311595e-04,1.317605e-04,1.319426e-04,1.326625e-04,1.327174e-04,1.333218e-04,1.335692e-04,1.339232e-04,1.343218e-04,1.344692e-04,1.349622e-04,1.349808e-04,1.354045e-04,1.355517e-04,1.357984e-04,1.360398e-04,1.361462e-04,1.364499e-04,1.367117e-04,1.367870e-04,1.369336e-04,1.370555e-04,1.371174e-04,1.372598e-04,1.372650e-04,1.373782e-04,1.374040e-04,1.374588e-04,1.374922e-04,1.375084e-04,1.375280e-04,1.375286e-04,1.375209e-04,1.375151e-04,1.374869e-04,1.374568e-04,1.374279e-04,1.373564e-04,1.373453e-04,1.372404e-04,1.372169e-04,1.371146e-04,1.370412e-04,1.369689e-04,1.368322e-04,1.368047e-04,1.366229e-04,1.365923e-04,1.364247e-04,1.363241e-04,1.362111e-04,1.360298e-04,1.359831e-04,1.357416e-04,1.357118e-04,1.354875e-04,1.353720e-04,1.352217e-04,1.350124e-04,1.349450e-04,1.346582e-04,1.346349e-04,1.343621e-04,1.342412e-04,1.340574e-04,1.338330e-04,1.337447e-04,1.334247e-04,1.334117e-04,1.330981e-04,1.329790e-04,1.327654e-04,1.325360e-04,1.324272e-04,1.320841e-04,1.316246e-04,1.311584e-04,1.306867e-04,1.302105e-04,1.297307e-04,1.292481e-04,1.287635e-04,1.282778e-04,1.277915e-04,1.273054e-04,1.268200e-04,1.263358e-04,1.258535e-04,1.253735e-04,1.248961e-04,1.244219e-04,1.239512e-04,1.234843e-04,1.230215e-04,1.225631e-04,1.221094e-04,1.216606e-04,1.212169e-04,1.207785e-04
0.000000e+00,4.412809e-09,1.004782e-08,3.423104e-08,7.728049e-08,1.122793e-07,2.520096e-07,2.594787e-07,4.960337e-07,5.810689e-07,8.426176e-07,1.112479e-06,1.321266e-06,1.898491e-06,1.955526e-06,2.769104e-06,2.993425e-06,3.781936e-06,4.440287e-06,5.003314e-06,6.244446e-06,6.424843e-06,8.019187e-06,8.355433e-06,9.747131e-06,1.068467e-05,1.156758e-05,1.314144e-05,1.344417e-05,1.534722e-05,1.565252e-05,1.725322e-05,1.816350e-05,1.914346e-05,2.063409e-05,2.100289e-05,2.281923e-05,2.303379e-05,2.458240e-05,2.533918e-05,2.628420e-05,2.753241e-05,2.791804e-05,2.947880e-05,2.960038e-05,3.096270e-05,3.153412e-05,3.236715e-05,3.332828e-05,3.369065e-05,3.493266e-05,3.498065e-05,3.609350e-05,3.649170e-05,3.717416e-05,3.786402e-05,3.817627e-05,3.910192e-05,3.995360e-05,4.021097e-05,4.073411e-05,4.119765e-05,4.144643e-05,4.206901e-05,4.209370e-05,4.267915e-05,4.283244e-05,4.320603e-05,4.349540e-05,4.367760e-05,4.406534e-05,4.409705e-05,4.446754e-05,4.454951e-05,4.479210e-05,4.495490e-05,4.507369e-05,4.528818e-05,4.531512e-05,4.551911e-05,4.555565e-05,4.568824e-05,4.576322e-05,4.582495e-05,4.591644e-05,4.593156e-05,4.601028e-05,4.602042e-05,4.606315e-05,4.607993e-05,4.609213e-05,4.609935e-05,4.609905e-05,4.608562e-05,4.608272e-05,4.605345e-05,4.603375e-05,4.600404e-05,4.595584e-05,4.593881e-05,4.585907e-05,4.585210e-05,4.576605e-05,4.572538e-05,4.566089e-05,4.557827e-05,4.554467e-05,4.541838e-05,4.541313e-05,4.528295e-05,4.523213e-05,4.513925e-05,4.503722e-05,4.498808e-05,4.483020e-05,4.466629e-05,4.461267e-05,4.449700e-05,4.438612e-05,4.432294e-05,4.415188e-05,4.414467e-05,4.396271e-05,4.391116e-05,4.377752e-05,4.366506e-05,4.358958e-05,4.341457e-05,4.339927e-05,4.320700e-05,4.316060e-05,4.301311e-05,4.290396e-05,4.281794e-05,4.264537e-05,4.262179e-05,4.242494e-05,4.238550e-05,4.222764e-05,4.212496e-05,4.203015e-05,4.186426e-05,4.183267e-05,4.163543e-05,4.160390e-05,4.143859e-05,4.134430e-05,4.124234e-05,4.108586e-05,4.104683e-05,4.085221e-05,4.082892e-05,4.065860e-05,4.057378e-05,4.046615e-05,4.032071e-05,4.027494e-05,4.008510e-05,4.006997e-05,3.989670e-05,3.982176e-05,3.970983e-05,3.957627e-05,3.952456e-05,3.934098e-05,3.933367e-05,3.915912e-05,3.909409e-05,3.897906e-05,3.885767e-05,3.880084e-05,3.862450e-05,3.839468e-05,3.816827e-05,3.794535e-05,3.772596e-05,3.751014e-05,3.729792e-05,3.708932e-05,3.688434e-05,3.668300e-05,3.648530e-05,3.629121e-05,3.610073e-05,3.591385e-05,3.573053e-05,3.555075e-05,3.537448e-05,3.520169e-05,3.503234e-05,3.486639e-05,3.470381e-05,3.454454e-05,3.438855e-05,3.423579e-05,3.408622e-05
0.000000e+00,2.481658e-08,5.636248e-08,1.909649e-07,4.288445e-07,6.211560e-07,1.382382e-06,1.422832e-06,2.694328e-06,3.147495e-06,4.530785e-06,5.943614e-06,7.027795e-06,9.987670e-06,1.027715e-05,1.434404e-05,1.544342e-05,1.922691e-05,2.228911e-05,2.484234e-05,3.028893e-05,3.106307e-05,3.776376e-05,3.915176e-05,4.483742e-05,4.863242e-05,5.219292e-05,5.852959e-05,5.974882e-05,6.742915e-05,6.866467e-05,7.516141e-05,7.887084e-05,8.287624e-05,8.899128e-05,9.050798e-05,9.799566e-05,9.888180e-05,1.052839e-04,1.084147e-04,1.123238e-04,1.174818e-04,1.190733e-04,1.254978e-04,1.259968e-04,1.315701e-04,1.338956e-04,1.372699e-04,1.411354e-04,1.425839e-04,1.475048e-04,1.476934e-04,1.520308e-04,1.535639e-04,1.561649e-04,1.587558e-04,1.599142e-04,1.632890e-04,1.663026e-04,1.671931e-04,1.689703e-04,1.705040e-04,1.713092e-04,1.732621e-04,1.733375e-04,1.750736e-04,1.755098e-04,1.765357e-04,1.772892e-04,1.777425e-04,1.786434e-04,1.787127e-04,1.794641e-04,1.796138e-04,1.800140e-04,1.802401e-04,1.803790e-04,1.805600e-04,1.805751e-04,1.806171e-04,1.806083e-04,1.805192e-04,1.804174e-04,1.802945e-04,1.800167e-04,1.799552e-04,1.795129e-04,1.794333e-04,1.789782e-04,1.786916e-04,1.783610e-04,1.778139e-04,1.776703e-04,1.769145e-04,1.768198e-04,1.761014e-04,1.757272e-04,1.752378e-04,1.745519e-04,1.743305e-04,1.733851e-04,1.733080e-04,1.724072e-04,1.720081e-04,1.714017e-04,1.706631e-04,1.703730e-04,1.693252e-04,1.692829e-04,1.682620e-04,1.678761e-04,1.671867e-04,1.664502e-04,1.661025e-04,1.650120e-04,1.639177e-04,1.635671e-04,1.628219e-04,1.621208e-04,1.617266e-04,1.606773e-04,1.606336e-04,1.595446e-04,1.592406e-04,1.584609e-04,1.578139e-04,1.573839e-04,1.564000e-04,1.563148e-04,1.552546e-04,1.550015e-04,1.542041e-04,1.536204e-04,1.531642e-04,1.522585e-04,1.521357e-04,1.511190e-04,1.509172e-04,1.501148e-04,1.495977e-04,1.491235e-04,1.483011e-04,1.481455e-04,1.471812e-04,1.470282e-04,1.462307e-04,1.457795e-04,1.452944e-04,1.445557e-04,1.443724e-04,1.434649e-04,1.433570e-04,1.425719e-04,1.421836e-04,1.416936e-04,1.410358e-04,1.408299e-04,1.399808e-04,1.399135e-04,1.391464e-04,1.388168e-04,1.383267e-04,1.377454e-04,1.375214e-04,1.367306e-04,1.366993e-04,1.359542e-04,1.356782e-04,1.351921e-04,1.346819e-04,1.344441e-04,1.337101e-04,1.327624e-04,1.318384e-04,1.309379e-04,1.300604e-04,1.292055e-04,1.283727e-04,1.275617e-04,1.267719e-04,1.260030e-04,1.252544e-04,1.245258e-04,1.238166e-04,1.231264e-04,1.224548e-04,1.218013e-04,1.211655e-04,1.205469e-04,1.199451e-04,1.193596e-04,1.187901e-04,1.182361e-04,1.176972e-04,1.171730e-04,1.166631e-04
0.000000e+00,9.130975e-09,2.088685e-08,7.192146e-08,1.642582e-07,2.403955e-07,5.519890e-07,5.689522e-07,1.120269e-06,1.324553e-06,1.970248e-06,2.659170e-06,3.203768e-06,4.735050e-06,4.886899e-06,7.030259e-06,7.609429e-06,9.596266e-06,1.119971e-05,1.253715e-05,1.540427e-05,1.581423e-05,1.939797e-05,2.014929e-05,2.326352e-05,2.537713e-05,2.738719e-05,3.103268e-05,3.174449e-05,3.630940e-05,3.705722e-05,4.105423e-05,4.338720e-05,4.595006e-05,4.995552e-05,5.096723e-05,5.607605e-05,5.669387e-05,6.124734e-05,6.353519e-05,6.645296e-05,7.041578e-05,7.166636e-05,7.686294e-05,7.727725e-05,8.202021e-05,8.406752e-05,8.711801e-05,9.074151e-05,9.213853e-05,9.706629e-05,9.726128e-05,1.018881e-04,1.035958e-04,1.065927e-04,1.097203e-04,1.111712e-04,1.156162e-04,1.199220e-04,1.212698e-04,1.240844e-04,1.266718e-04,1.281006e-04,1.318167e-04,1.319686e-04,1.356876e-04,1.367021e-04,1.392574e-04,1.413281e-04,1.426791e-04,1.456974e-04,1.459540e-04,1.490839e-04,1.498138e-04,1.520710e-04,1.536824e-04,1.549180e-04,1.573096e-04,1.576277e-04,1.602031e-04,1.607023e-04,1.626475e-04,1.638679e-04,1.649642e-04,1.668142e-04,1.671568e-04,1.692288e-04,1.695494e-04,1.711837e-04,1.720816e-04,1.730252e-04,1.744190e-04,1.747567e-04,1.763819e-04,1.765700e-04,1.779043e-04,1.785425e-04,1.793275e-04,1.803447e-04,1.806547e-04,1.818895e-04,1.819844e-04,1.830352e-04,1.834693e-04,1.840951e-04,1.848068e-04,1.850722e-04,1.859699e-04,1.860042e-04,1.867911e-04,1.870685e-04,1.875387e-04,1.880067e-04,1.882158e-04,1.888251e-04,1.893695e-04,1.895304e-04,1.898515e-04,1.901284e-04,1.902737e-04,1.906253e-04,1.906388e-04,1.909491e-04,1.910265e-04,1.912070e-04,1.913376e-04,1.914148e-04,1.915637e-04,1.915748e-04,1.916891e-04,1.917100e-04,1.917598e-04,1.917811e-04,1.917889e-04,1.917816e-04,1.917783e-04,1.917300e-04,1.917160e-04,1.916458e-04,1.915884e-04,1.915274e-04,1.914028e-04,1.913766e-04,1.911949e-04,1.911631e-04,1.909840e-04,1.908729e-04,1.907454e-04,1.905355e-04,1.904805e-04,1.901908e-04,1.901545e-04,1.898777e-04,1.897328e-04,1.895424e-04,1.892735e-04,1.891862e-04,1.888103e-04,1.887794e-04,1.884159e-04,1.882533e-04,1.880042e-04,1.876976e-04,1.875761e-04,1.871328e-04,1.871148e-04,1.866753e-04,1.865073e-04,1.862044e-04,1.858771e-04,1.857212e-04,1.852265e-04,1.845573e-04,1.838714e-04,1.831705e-04,1.824563e-04,1.817305e-04,1.809943e-04,1.802493e-04,1.794967e-04,1.787379e-04,1.779738e-04,1.772057e-04,1.764345e-04,1.756613e-04,1.748869e-04,1.741121e-04,1.733377e-04,1.725646e-04,1.717933e-04,1.710245e-04,1.702588e-04,1.694968e-04,1.687389e-04,1.679857e-04,1.672376e-04
0.000000e+00,3.225755e-09,7.379002e-09,2.542073e-08,5.812202e-08,8.514453e-08,1.962512e-07,2.023221e-07,4.006709e-07,4.746004e-07,7.093663e-07,9.609795e-07,1.160184e-06,1.719114e-06,1.774328e-06,2.547767e-06,2.754719e-06,3.458063e-06,4.018614e-06,4.481678e-06,5.461671e-06,5.600463e-06,6.800500e-06,7.049198e-06,8.069971e-06,8.753871e-06,9.397877e-06,1.055063e-05,1.077350e-05,1.218632e-05,1.241513e-05,1.362612e-05,1.432392e-05,1.508317e-05,1.625513e-05,1.654842e-05,1.801362e-05,1.818908e-05,1.947142e-05,2.010881e-05,2.091538e-05,2.200010e-05,2.233997e-05,2.374054e-05,2.385143e-05,2.511324e-05,2.565380e-05,2.645497e-05,2.740044e-05,2.776327e-05,2.903627e-05,2.908643e-05,3.027256e-05,3.070845e-05,3.147119e-05,3.226440e-05,3.263152e-05,3.375323e-05,3.483625e-05,3.517466e-05,3.588072e-05,3.652907e-05,3.688691e-05,3.781724e-05,3.785525e-05,3.878625e-05,3.904033e-05,3.968053e-05,4.019975e-05,4.053876e-05,4.129712e-05,4.136167e-05,4.215001e-05,4.233416e-05,4.290460e-05,4.331273e-05,4.362625e-05,4.423471e-05,4.431579e-05,4.497407e-05,4.510204e-05,4.560193e-05,4.591667e-05,4.620022e-05,4.668055e-05,4.676978e-05,4.731146e-05,4.739560e-05,4.782609e-05,4.806374e-05,4.831449e-05,4.868686e-05,4.877746e-05,4.921582e-05,4.926680e-05,4.963034e-05,4.980537e-05,5.002179e-05,5.030434e-05,5.039094e-05,5.073851e-05,5.076541e-05,5.106525e-05,5.119026e-05,5.137184e-05,5.158051e-05,5.165899e-05,5.192737e-05,5.193773e-05,5.217764e-05,5.226343e-05,5.241044e-05,5.255909e-05,5.262640e-05,5.282612e-05,5.301019e-05,5.306589e-05,5.317920e-05,5.327971e-05,5.333369e-05,5.346886e-05,5.347422e-05,5.360131e-05,5.363456e-05,5.371547e-05,5.377798e-05,5.381721e-05,5.390024e-05,5.390700e-05,5.398531e-05,5.400245e-05,5.405259e-05,5.408562e-05,5.410929e-05,5.415077e-05,5.415583e-05,5.419262e-05,5.419884e-05,5.422006e-05,5.423077e-05,5.423854e-05,5.424741e-05,5.424843e-05,5.425010e-05,5.424962e-05,5.424389e-05,5.423821e-05,5.423014e-05,5.421393e-05,5.420918e-05,5.418132e-05,5.417753e-05,5.414688e-05,5.412971e-05,5.410614e-05,5.407115e-05,5.405940e-05,5.400693e-05,5.400249e-05,5.394899e-05,5.392434e-05,5.388584e-05,5.383729e-05,5.381773e-05,5.374490e-05,5.374189e-05,5.366758e-05,5.363869e-05,5.358599e-05,5.352819e-05,5.350035e-05,5.341087e-05,5.328720e-05,5.315762e-05,5.302256e-05,5.288240e-05,5.273752e-05,5.258830e-05,5.243508e-05,5.227818e-05,5.211791e-05,5.195457e-05,5.178845e-05,5.161980e-05,5.144888e-05,5.127594e-05,5.110119e-05,5.092486e-05,5.074715e-05,5.056825e-05,5.038835e-05,5.020762e-05,5.002624e-05,4.984434e-05,4.966207e-05,4.947959e-05
0.000000e+00,2.819476e-09,6.457532e-09,2.229791e-08,5.107103e-08,7.487307e-08,1.728018e-07,1.781529e-07,3.528952e-07,4.179529e-07,6.240590e-07,8.436195e-07,1.016097e-06,1.493480e-06,1.540209e-06,2.191216e-06,2.365220e-06,2.959401e-06,3.437928e-06,3.837437e-06,4.696856e-06,4.820160e-06,5.903024e-06,6.131191e-06,7.081075e-06,7.729387e-06,8.348493e-06,9.477242e-06,9.698482e-06,1.112336e-05,1.135774e-05,1.261477e-05,1.335170e-05,1.416390e-05,1.543872e-05,1.576176e-05,1.739942e-05,1.759819e-05,1.906817e-05,1.981013e-05,2.075975e-05,2.205585e-05,2.246644e-05,2.418110e-05,2.431842e-05,2.589728e-05,2.658287e-05,2.760921e-05,2.883628e-05,2.931178e-05,3.100052e-05,3.106773e-05,3.267157e-05,3.326816e-05,3.432160e-05,3.543018e-05,3.594783e-05,3.754790e-05,3.911987e-05,3.961669e-05,4.066214e-05,4.163301e-05,4.217344e-05,4.359422e-05,4.365277e-05,4.509935e-05,4.549845e-05,4.651262e-05,4.734442e-05,4.789218e-05,4.913139e-05,4.923779e-05,5.054932e-05,5.085902e-05,5.182679e-05,5.252731e-05,5.307026e-05,5.413653e-05,5.427990e-05,5.545596e-05,5.568716e-05,5.659870e-05,5.717988e-05,5.770849e-05,5.861551e-05,5.878569e-05,5.983072e-05,5.999497e-05,6.084402e-05,6.131928e-05,6.182607e-05,6.258953e-05,6.277735e-05,6.369836e-05,6.380687e-05,6.458962e-05,6.497249e-05,6.545167e-05,6.608762e-05,6.628504e-05,6.709027e-05,6.715349e-05,6.786792e-05,6.817138e-05,6.861853e-05,6.914254e-05,6.934266e-05,7.004087e-05,7.006826e-05,7.071370e-05,7.094981e-05,7.136171e-05,7.178846e-05,7.198545e-05,7.258546e-05,7.316229e-05,7.334207e-05,7.371647e-05,7.405951e-05,7.424854e-05,7.473901e-05,7.475902e-05,7.524843e-05,7.538176e-05,7.571728e-05,7.598894e-05,7.616609e-05,7.656172e-05,7.659536e-05,7.700557e-05,7.710124e-05,7.739721e-05,7.760860e-05,7.777077e-05,7.808491e-05,7.812670e-05,7.846549e-05,7.853122e-05,7.878756e-05,7.894859e-05,7.909339e-05,7.933804e-05,7.938340e-05,7.965802e-05,7.970056e-05,7.991768e-05,8.003712e-05,8.016279e-05,8.034868e-05,8.039376e-05,8.061098e-05,8.063614e-05,8.081485e-05,8.090042e-05,8.100574e-05,8.114238e-05,8.118404e-05,8.135010e-05,8.136287e-05,8.150429e-05,8.156272e-05,8.164696e-05,8.174274e-05,8.177845e-05,8.189909e-05,8.190369e-05,8.200921e-05,8.204634e-05,8.210913e-05,8.217142e-05,8.219917e-05,8.227964e-05,8.237169e-05,8.244823e-05,8.250993e-05,8.255740e-05,8.259125e-05,8.261208e-05,8.262044e-05,8.261688e-05,8.260195e-05,8.257616e-05,8.254000e-05,8.249395e-05,8.243848e-05,8.237404e-05,8.230105e-05,8.221994e-05,8.213111e-05,8.203495e-05,8.193184e-05,8.182213e-05,8.170618e-05,8.158431e-05,8.145686e-05,8.132414e-05
0.000000e+00,4.798838e-09,1.097640e-08,3.780044e-08,8.637918e-08,1.264866e-07,2.910969e-07,3.000775e-07,5.924433e-07,7.006517e-07,1.039647e-06,1.392781e-06,1.664421e-06,2.396861e-06,2.467493e-06,3.441601e-06,3.700173e-06,4.581210e-06,5.290199e-06,5.882345e-06,7.157497e-06,7.340602e-06,8.949892e-06,9.289182e-06,1.070188e-05,1.166586e-05,1.258592e-05,1.426129e-05,1.458927e-05,1.669751e-05,1.704352e-05,1.889493e-05,1.997656e-05,2.116511e-05,2.302247e-05,2.349142e-05,2.585745e-05,2.614328e-05,2.824738e-05,2.930264e-05,3.064627e-05,3.246690e-05,3.304035e-05,3.541732e-05,3.560640e-05,3.776623e-05,3.869575e-05,4.007754e-05,4.171375e-05,4.234307e-05,4.455602e-05,4.464336e-05,4.671077e-05,4.747134e-05,4.880284e-05,5.018783e-05,5.082874e-05,5.278591e-05,5.467254e-05,5.526116e-05,5.648750e-05,5.761120e-05,5.823026e-05,5.983532e-05,5.990075e-05,6.149934e-05,6.193415e-05,6.302671e-05,6.390935e-05,6.448385e-05,6.576341e-05,6.587195e-05,6.719238e-05,6.749938e-05,6.844666e-05,6.912078e-05,6.963643e-05,7.063141e-05,7.076339e-05,7.182930e-05,7.203531e-05,7.283596e-05,7.333661e-05,7.378520e-05,7.453952e-05,7.467884e-05,7.551873e-05,7.564824e-05,7.630667e-05,7.666696e-05,7.704447e-05,7.759980e-05,7.773391e-05,7.837672e-05,7.845081e-05,7.897463e-05,7.922392e-05,7.952932e-05,7.992298e-05,8.004242e-05,8.051554e-05,8.055171e-05,8.095024e-05,8.111370e-05,8.134804e-05,8.161244e-05,8.171041e-05,8.203880e-05,8.205125e-05,8.233459e-05,8.243336e-05,8.259913e-05,8.276185e-05,8.283375e-05,8.303969e-05,8.321819e-05,8.326971e-05,8.337044e-05,8.345464e-05,8.349759e-05,8.359706e-05,8.360074e-05,8.368096e-05,8.369945e-05,8.373929e-05,8.376419e-05,8.377672e-05,8.379354e-05,8.379423e-05,8.379272e-05,8.378964e-05,8.377311e-05,8.375455e-05,8.373626e-05,8.369022e-05,8.368298e-05,8.361409e-05,8.359851e-05,8.353035e-05,8.348119e-05,8.343251e-05,8.333994e-05,8.332127e-05,8.319732e-05,8.317635e-05,8.306132e-05,8.299195e-05,8.291392e-05,8.278818e-05,8.275570e-05,8.258727e-05,8.256639e-05,8.240918e-05,8.232790e-05,8.222197e-05,8.207391e-05,8.202616e-05,8.182225e-05,8.180561e-05,8.161072e-05,8.152408e-05,8.139203e-05,8.123038e-05,8.116661e-05,8.093489e-05,8.092550e-05,8.069728e-05,8.061036e-05,8.045415e-05,8.028586e-05,8.020588e-05,7.995283e-05,7.961205e-05,7.926428e-05,7.891021e-05,7.855052e-05,7.818582e-05,7.781672e-05,7.744375e-05,7.706746e-05,7.668833e-05,7.630682e-05,7.592337e-05,7.553839e-05,7.515226e-05,7.476535e-05,7.437799e-05,7.399050e-05,7.360318e-05,7.321630e-05,7.283012e-05,7.244488e-05,7.206081e-05,7.167813e-05,7.129701e-05,7.091765e-05
0.000000e+00,1.914882e-08,4.372157e-08,1.497753e-07,3.397064e-07,4.946986e-07,1.115874e-06,1.149136e-06,2.203144e-06,2.581787e-06,3.743831e-06,4.936975e-06,5.854868e-06,8.362717e-06,8.607819e-06,1.204535e-05,1.297365e-05,1.617493e-05,1.878473e-05,2.098178e-05,2.575321e-05,2.644203e-05,3.252685e-05,3.381584e-05,3.920188e-05,4.289288e-05,4.642636e-05,5.288506e-05,5.415291e-05,6.232800e-05,6.367379e-05,7.089310e-05,7.512473e-05,7.978607e-05,8.709338e-05,8.894268e-05,9.829823e-05,9.943122e-05,1.077890e-04,1.119919e-04,1.173536e-04,1.246361e-04,1.269339e-04,1.364761e-04,1.372363e-04,1.459310e-04,1.496786e-04,1.552550e-04,1.618652e-04,1.644093e-04,1.733610e-04,1.737144e-04,1.820820e-04,1.851606e-04,1.905494e-04,1.961525e-04,1.987442e-04,2.066522e-04,2.142631e-04,2.166346e-04,2.215697e-04,2.260842e-04,2.285679e-04,2.349947e-04,2.352563e-04,2.416357e-04,2.433668e-04,2.477087e-04,2.512072e-04,2.534797e-04,2.585272e-04,2.589544e-04,2.641394e-04,2.653415e-04,2.690421e-04,2.716673e-04,2.736705e-04,2.775236e-04,2.780334e-04,2.821397e-04,2.829310e-04,2.859986e-04,2.879105e-04,2.896194e-04,2.924837e-04,2.930114e-04,2.961840e-04,2.966718e-04,2.991463e-04,3.004962e-04,3.019075e-04,3.039777e-04,3.044765e-04,3.068620e-04,3.071363e-04,3.090724e-04,3.099917e-04,3.111160e-04,3.125625e-04,3.130008e-04,3.147345e-04,3.148669e-04,3.163245e-04,3.169219e-04,3.177780e-04,3.187439e-04,3.191019e-04,3.203029e-04,3.203484e-04,3.213872e-04,3.217502e-04,3.223611e-04,3.229632e-04,3.232303e-04,3.240006e-04,3.246771e-04,3.248746e-04,3.252651e-04,3.255971e-04,3.257694e-04,3.261791e-04,3.261947e-04,3.265455e-04,3.266309e-04,3.268260e-04,3.269623e-04,3.270403e-04,3.271824e-04,3.271923e-04,3.272856e-04,3.272997e-04,3.273238e-04,3.273224e-04,3.273102e-04,3.272579e-04,3.272480e-04,3.271402e-04,3.271134e-04,3.269897e-04,3.268955e-04,3.267993e-04,3.266104e-04,3.265715e-04,3.263089e-04,3.262638e-04,3.260138e-04,3.258612e-04,3.256883e-04,3.254076e-04,3.253348e-04,3.249551e-04,3.249079e-04,3.245512e-04,3.243663e-04,3.241249e-04,3.237870e-04,3.236780e-04,3.232120e-04,3.231739e-04,3.227285e-04,3.225306e-04,3.222291e-04,3.218603e-04,3.217150e-04,3.211876e-04,3.211662e-04,3.206482e-04,3.204512e-04,3.200979e-04,3.197180e-04,3.195378e-04,3.189691e-04,3.182067e-04,3.174330e-04,3.166502e-04,3.158598e-04,3.150638e-04,3.142637e-04,3.134609e-04,3.126568e-04,3.118526e-04,3.110495e-04,3.102485e-04,3.094506e-04,3.086567e-04,3.078675e-04,3.070839e-04,3.063064e-04,3.055358e-04,3.047724e-04,3.040169e-04,3.032697e-04,3.025312e-04,3.018017e-04,3.010816e-04,3.003711e-04
0.000000e+00,5.943138e-09,1.352763e-08,4.626207e-08,1.055770e-07,1.548793e-07,3.614742e-07,3.729469e-07,7.568704e-07,9.036049e-07,1.376754e-06,1.886277e-06,2.284840e-06,3.358771e-06,3.460874e-06,4.820744e-06,5.164700e-06,6.281991e-06,7.123387e-06,7.790467e-06,9.130382e-06,9.313037e-06,1.082752e-05,1.112790e-05,1.231710e-05,1.307718e-05,1.376804e-05,1.494857e-05,1.516895e-05,1.651054e-05,1.671918e-05,1.778563e-05,1.837248e-05,1.898910e-05,1.989809e-05,2.011773e-05,2.116985e-05,2.129095e-05,2.214541e-05,2.255069e-05,2.304565e-05,2.368073e-05,2.387269e-05,2.462933e-05,2.468691e-05,2.531889e-05,2.557673e-05,2.594496e-05,2.635853e-05,2.651131e-05,2.702173e-05,2.704104e-05,2.748000e-05,2.763292e-05,2.788979e-05,2.814256e-05,2.825462e-05,2.857786e-05,2.886267e-05,2.894619e-05,2.911205e-05,2.925434e-05,2.932877e-05,2.950851e-05,2.951543e-05,2.967445e-05,2.971433e-05,2.980806e-05,2.987690e-05,2.991833e-05,3.000080e-05,3.000716e-05,3.007632e-05,3.009017e-05,3.012743e-05,3.014873e-05,3.016198e-05,3.017980e-05,3.018137e-05,3.018685e-05,3.018638e-05,3.017960e-05,3.017116e-05,3.016069e-05,3.013653e-05,3.013112e-05,3.009179e-05,3.008465e-05,3.004356e-05,3.001748e-05,2.998720e-05,2.993673e-05,2.992341e-05,2.985287e-05,2.984398e-05,2.977618e-05,2.974063e-05,2.969389e-05,2.962793e-05,2.960653e-05,2.951458e-05,2.950703e-05,2.941847e-05,2.937895e-05,2.931861e-05,2.924460e-05,2.921538e-05,2.910912e-05,2.910481e-05,2.900016e-05,2.896034e-05,2.888880e-05,2.881184e-05,2.877531e-05,2.865994e-05,2.854294e-05,2.850519e-05,2.842451e-05,2.834807e-05,2.830487e-05,2.818903e-05,2.818419e-05,2.806265e-05,2.802849e-05,2.794042e-05,2.786680e-05,2.781763e-05,2.770430e-05,2.769444e-05,2.757096e-05,2.754129e-05,2.744731e-05,2.737804e-05,2.732361e-05,2.721478e-05,2.719995e-05,2.707643e-05,2.705175e-05,2.695314e-05,2.688914e-05,2.683015e-05,2.672714e-05,2.670755e-05,2.658539e-05,2.656589e-05,2.646375e-05,2.640556e-05,2.634267e-05,2.624626e-05,2.622222e-05,2.610245e-05,2.608812e-05,2.598339e-05,2.593124e-05,2.586509e-05,2.577572e-05,2.574760e-05,2.563094e-05,2.562164e-05,2.551515e-05,2.546908e-05,2.540025e-05,2.531810e-05,2.528628e-05,2.517326e-05,2.516876e-05,2.506120e-05,2.502111e-05,2.495014e-05,2.487519e-05,2.484008e-05,2.473105e-05,2.458871e-05,2.444820e-05,2.430955e-05,2.417278e-05,2.403790e-05,2.390492e-05,2.377385e-05,2.364470e-05,2.351746e-05,2.339214e-05,2.326873e-05,2.314723e-05,2.302764e-05,2.290993e-05,2.279411e-05,2.268017e-05,2.256808e-05,2.245784e-05,2.234942e-05,2.224283e-05,2.213802e-05,2.203500e-05,2.193374e-05,2.183422e-05
0.000000e+00,4.314368e-09,9.770376e-09,3.293007e-08,7.368765e-08,1.065938e-07,2.370671e-07,2.440199e-07,4.639631e-07,5.430525e-07,7.867492e-07,1.038914e-06,1.234346e-06,1.774165e-06,1.827314e-06,2.576496e-06,2.778945e-06,3.471433e-06,4.023984e-06,4.477344e-06,5.417751e-06,5.548227e-06,6.642923e-06,6.861884e-06,7.731389e-06,8.287911e-06,8.793391e-06,9.655000e-06,9.815420e-06,1.078827e-05,1.093890e-05,1.170556e-05,1.212480e-05,1.256300e-05,1.320401e-05,1.335791e-05,1.408897e-05,1.417239e-05,1.475608e-05,1.502955e-05,1.536013e-05,1.577809e-05,1.590287e-05,1.638671e-05,1.642296e-05,1.681456e-05,1.697075e-05,1.718970e-05,1.742911e-05,1.751562e-05,1.779596e-05,1.780627e-05,1.803433e-05,1.811056e-05,1.823428e-05,1.835007e-05,1.839926e-05,1.853253e-05,1.863716e-05,1.866506e-05,1.871602e-05,1.875420e-05,1.877176e-05,1.880579e-05,1.880682e-05,1.882344e-05,1.882507e-05,1.882364e-05,1.881664e-05,1.880925e-05,1.878457e-05,1.878194e-05,1.874321e-05,1.873237e-05,1.869440e-05,1.866312e-05,1.863673e-05,1.857950e-05,1.857127e-05,1.849900e-05,1.848380e-05,1.842079e-05,1.837804e-05,1.833742e-05,1.826391e-05,1.824959e-05,1.815791e-05,1.814293e-05,1.806296e-05,1.801636e-05,1.796522e-05,1.788533e-05,1.786514e-05,1.776313e-05,1.775078e-05,1.765954e-05,1.761354e-05,1.755469e-05,1.747434e-05,1.744887e-05,1.734233e-05,1.733378e-05,1.723531e-05,1.719241e-05,1.712800e-05,1.705068e-05,1.702061e-05,1.691328e-05,1.690899e-05,1.680617e-05,1.676769e-05,1.669941e-05,1.662707e-05,1.659312e-05,1.648740e-05,1.638235e-05,1.634889e-05,1.627806e-05,1.621174e-05,1.617459e-05,1.607610e-05,1.607201e-05,1.597038e-05,1.594211e-05,1.586976e-05,1.580989e-05,1.577019e-05,1.567953e-05,1.567170e-05,1.557433e-05,1.555113e-05,1.547812e-05,1.542475e-05,1.538308e-05,1.530044e-05,1.528924e-05,1.519662e-05,1.517824e-05,1.510523e-05,1.505819e-05,1.501508e-05,1.494032e-05,1.492618e-05,1.483855e-05,1.482465e-05,1.475218e-05,1.471117e-05,1.466708e-05,1.459991e-05,1.458324e-05,1.450067e-05,1.449085e-05,1.441937e-05,1.438399e-05,1.433932e-05,1.427933e-05,1.426053e-05,1.418299e-05,1.417684e-05,1.410669e-05,1.407652e-05,1.403162e-05,1.397833e-05,1.395778e-05,1.388515e-05,1.388227e-05,1.381373e-05,1.378831e-05,1.374350e-05,1.369641e-05,1.367444e-05,1.360656e-05,1.351872e-05,1.343287e-05,1.334897e-05,1.326699e-05,1.318690e-05,1.310866e-05,1.303224e-05,1.295762e-05,1.288474e-05,1.281359e-05,1.274412e-05,1.267631e-05,1.261011e-05,1.254550e-05,1.248243e-05,1.242089e-05,1.236083e-05,1.230222e-05,1.224503e-05,1.218922e-05,1.213478e-05,1.208165e-05,1.202983e-05,1.197927e-05
0.000000e+00,1.478892e-08,3.383212e-08,1.164580e-07,2.656658e-07,3.883848e-07,8.876216e-07,9.146646e-07,1.786474e-06,2.106232e-06,3.106562e-06,4.158617e-06,4.980888e-06,7.260062e-06,7.484129e-06,1.062752e-05,1.147379e-05,1.437709e-05,1.672540e-05,1.868976e-05,2.292009e-05,2.352711e-05,2.885414e-05,2.997525e-05,3.463577e-05,3.780956e-05,4.083455e-05,4.633430e-05,4.740990e-05,5.431840e-05,5.545166e-05,6.151458e-05,6.505730e-05,6.895201e-05,7.504456e-05,7.658446e-05,8.436692e-05,8.530883e-05,9.225647e-05,9.575133e-05,1.002129e-04,1.062817e-04,1.081993e-04,1.161822e-04,1.168198e-04,1.241318e-04,1.272963e-04,1.320218e-04,1.376527e-04,1.398293e-04,1.475348e-04,1.478406e-04,1.551217e-04,1.578212e-04,1.625761e-04,1.675636e-04,1.698867e-04,1.770441e-04,1.840410e-04,1.862452e-04,1.908718e-04,1.951544e-04,1.975323e-04,2.037633e-04,2.040194e-04,2.103313e-04,2.120671e-04,2.164669e-04,2.200636e-04,2.224261e-04,2.277531e-04,2.282093e-04,2.338174e-04,2.351374e-04,2.392519e-04,2.422200e-04,2.445145e-04,2.490053e-04,2.496076e-04,2.545334e-04,2.554987e-04,2.592945e-04,2.617062e-04,2.638939e-04,2.676345e-04,2.683344e-04,2.726191e-04,2.732905e-04,2.767512e-04,2.786814e-04,2.807339e-04,2.838146e-04,2.845704e-04,2.882641e-04,2.886979e-04,2.918182e-04,2.933387e-04,2.952362e-04,2.977448e-04,2.985212e-04,3.016767e-04,3.019237e-04,3.047060e-04,3.058831e-04,3.076123e-04,3.096305e-04,3.103988e-04,3.130689e-04,3.131733e-04,3.156256e-04,3.165188e-04,3.180720e-04,3.196742e-04,3.204113e-04,3.226466e-04,3.247807e-04,3.254427e-04,3.268166e-04,3.280694e-04,3.287573e-04,3.305333e-04,3.306055e-04,3.323640e-04,3.328407e-04,3.340356e-04,3.349979e-04,3.356228e-04,3.370109e-04,3.371284e-04,3.385548e-04,3.388857e-04,3.399046e-04,3.406279e-04,3.411802e-04,3.422432e-04,3.423840e-04,3.435182e-04,3.437370e-04,3.445853e-04,3.451143e-04,3.455873e-04,3.463804e-04,3.465265e-04,3.474050e-04,3.475400e-04,3.482247e-04,3.485980e-04,3.489878e-04,3.495588e-04,3.496962e-04,3.503517e-04,3.504269e-04,3.509563e-04,3.512066e-04,3.515117e-04,3.519020e-04,3.520196e-04,3.524819e-04,3.525169e-04,3.529001e-04,3.530553e-04,3.532758e-04,3.535209e-04,3.536106e-04,3.539061e-04,3.539171e-04,3.541636e-04,3.542474e-04,3.543848e-04,3.545150e-04,3.545709e-04,3.547232e-04,3.548750e-04,3.549733e-04,3.550209e-04,3.550205e-04,3.549746e-04,3.548859e-04,3.547566e-04,3.545891e-04,3.543856e-04,3.541481e-04,3.538787e-04,3.535793e-04,3.532518e-04,3.528979e-04,3.525193e-04,3.521178e-04,3.516947e-04,3.512516e-04,3.507900e-04,3.503111e-04,3.498163e-04,3.493068e-04,3.487838e-04,3.482484e-04
0.000000e+00,9.923667e-10,2.256242e-09,7.659085e-09,1.721989e-08,2.494998e-08,5.549267e-08,5.711209e-08,1.077780e-07,1.257139e-07,1.800416e-07,2.348721e-07,2.765148e-07,3.885169e-07,3.993578e-07,5.502684e-07,5.908054e-07,7.304063e-07,8.442556e-07,9.402260e-07,1.149040e-06,1.179213e-06,1.445621e-06,1.501946e-06,1.736410e-06,1.895938e-06,2.047532e-06,2.321268e-06,2.374445e-06,2.712583e-06,2.767433e-06,3.057630e-06,3.224532e-06,3.405637e-06,3.683762e-06,3.753034e-06,4.096625e-06,4.137462e-06,4.433582e-06,4.579092e-06,4.761434e-06,5.003201e-06,5.078070e-06,5.381727e-06,5.405414e-06,5.670983e-06,5.782398e-06,5.944742e-06,6.131798e-06,6.202213e-06,6.442886e-06,6.452159e-06,6.666501e-06,6.742814e-06,6.873023e-06,7.003767e-06,7.062608e-06,7.235571e-06,7.392363e-06,7.439209e-06,7.533537e-06,7.615984e-06,7.659730e-06,7.767424e-06,7.771635e-06,7.869988e-06,7.895202e-06,7.955548e-06,8.001063e-06,8.029084e-06,8.086777e-06,8.091363e-06,8.143141e-06,8.154088e-06,8.185159e-06,8.204693e-06,8.218131e-06,8.240210e-06,8.242744e-06,8.259657e-06,8.262170e-06,8.269492e-06,8.272006e-06,8.272840e-06,8.271047e-06,8.270258e-06,8.262267e-06,8.260520e-06,8.249358e-06,8.241549e-06,8.231985e-06,8.215159e-06,8.210573e-06,8.185517e-06,8.182284e-06,8.157184e-06,8.143768e-06,8.125913e-06,8.100374e-06,8.092016e-06,8.055782e-06,8.052791e-06,8.017480e-06,8.001635e-06,7.977353e-06,7.947460e-06,7.935628e-06,7.892512e-06,7.890761e-06,7.848196e-06,7.831982e-06,7.802853e-06,7.771516e-06,7.756645e-06,7.709716e-06,7.662201e-06,7.646893e-06,7.614223e-06,7.583325e-06,7.565892e-06,7.519257e-06,7.517310e-06,7.468569e-06,7.454905e-06,7.419754e-06,7.390462e-06,7.370941e-06,7.326095e-06,7.322199e-06,7.273591e-06,7.261951e-06,7.225173e-06,7.198161e-06,7.176996e-06,7.134837e-06,7.129107e-06,7.081547e-06,7.072078e-06,7.034352e-06,7.009967e-06,6.987556e-06,6.948578e-06,6.941189e-06,6.895275e-06,6.887973e-06,6.849839e-06,6.828205e-06,6.804899e-06,6.769318e-06,6.760475e-06,6.716581e-06,6.711350e-06,6.673230e-06,6.654330e-06,6.630433e-06,6.598284e-06,6.588200e-06,6.546538e-06,6.543230e-06,6.505453e-06,6.489182e-06,6.464951e-06,6.436151e-06,6.425034e-06,6.385704e-06,6.384143e-06,6.346964e-06,6.333161e-06,6.308812e-06,6.283206e-06,6.271250e-06,6.234275e-06,6.186363e-06,6.139465e-06,6.093571e-06,6.048673e-06,6.004759e-06,5.961817e-06,5.919834e-06,5.878796e-06,5.838689e-06,5.799497e-06,5.761205e-06,5.723797e-06,5.687256e-06,5.651567e-06,5.616711e-06,5.582673e-06,5.549436e-06,5.516983e-06,5.485297e-06,5.454361e-06,5.424160e-06,5.394676e-06,5.365893e-06,5.337796e-06
0.000000e+00,2.317976e-08,5.285768e-08,1.806088e-07,4.087559e-07,5.946084e-07,1.338133e-06,1.377914e-06,2.638235e-06,3.091167e-06,4.482890e-06,5.915869e-06,7.022078e-06,1.006774e-05,1.036759e-05,1.462067e-05,1.578471e-05,1.984375e-05,2.319269e-05,2.602890e-05,3.220471e-05,3.309538e-05,4.092258e-05,4.256810e-05,4.938488e-05,5.399765e-05,5.836756e-05,6.624017e-05,6.776853e-05,7.749527e-05,7.907597e-05,8.746204e-05,9.230749e-05,9.758816e-05,1.057524e-04,1.077974e-04,1.180182e-04,1.192423e-04,1.281840e-04,1.326237e-04,1.382341e-04,1.457607e-04,1.481135e-04,1.577741e-04,1.585362e-04,1.671743e-04,1.708533e-04,1.762788e-04,1.826345e-04,1.850588e-04,1.934916e-04,1.938214e-04,2.015599e-04,2.043728e-04,2.092516e-04,2.142628e-04,2.165591e-04,2.234789e-04,2.300106e-04,2.320193e-04,2.361573e-04,2.398914e-04,2.419242e-04,2.471098e-04,2.473185e-04,2.523494e-04,2.536942e-04,2.570270e-04,2.596688e-04,2.613629e-04,2.650603e-04,2.653689e-04,2.690577e-04,2.698972e-04,2.724420e-04,2.742090e-04,2.755348e-04,2.780257e-04,2.783491e-04,2.808980e-04,2.813770e-04,2.831941e-04,2.842924e-04,2.852500e-04,2.868003e-04,2.870779e-04,2.886898e-04,2.889284e-04,2.900971e-04,2.907033e-04,2.913111e-04,2.921503e-04,2.923424e-04,2.932015e-04,2.932935e-04,2.938983e-04,2.941559e-04,2.944422e-04,2.947589e-04,2.948424e-04,2.951076e-04,2.951232e-04,2.952461e-04,2.952678e-04,2.952658e-04,2.952108e-04,2.951744e-04,2.949790e-04,2.949691e-04,2.946864e-04,2.945585e-04,2.943031e-04,2.939938e-04,2.938353e-04,2.932889e-04,2.926695e-04,2.924567e-04,2.919822e-04,2.915091e-04,2.912322e-04,2.904575e-04,2.904241e-04,2.895624e-04,2.893121e-04,2.886513e-04,2.880827e-04,2.876949e-04,2.867782e-04,2.866969e-04,2.856610e-04,2.854071e-04,2.845904e-04,2.839770e-04,2.834885e-04,2.824952e-04,2.823581e-04,2.812022e-04,2.809681e-04,2.800233e-04,2.794021e-04,2.788241e-04,2.778027e-04,2.776069e-04,2.763738e-04,2.761752e-04,2.751271e-04,2.745244e-04,2.738687e-04,2.728548e-04,2.726004e-04,2.713240e-04,2.711704e-04,2.700411e-04,2.694750e-04,2.687532e-04,2.677720e-04,2.674618e-04,2.661682e-04,2.660646e-04,2.648736e-04,2.643558e-04,2.635792e-04,2.626480e-04,2.622862e-04,2.609954e-04,2.609439e-04,2.597079e-04,2.592454e-04,2.584246e-04,2.575548e-04,2.571463e-04,2.558736e-04,2.542037e-04,2.525465e-04,2.509033e-04,2.492753e-04,2.476636e-04,2.460691e-04,2.444926e-04,2.429349e-04,2.413967e-04,2.398785e-04,2.383808e-04,2.369039e-04,2.354483e-04,2.340141e-04,2.326017e-04,2.312112e-04,2.298427e-04,2.284962e-04,2.271719e-04,2.258696e-04,2.245894e-04,2.233313e-04,2.220950e-04,2.208805e-04
0.000000e+00,4.536311e-09,1.035863e-08,3.551457e-08,8.069522e-08,1.176936e-07,2.671573e-07,2.752137e-07,5.332206e-07,6.271470e-07,9.191762e-07,1.224290e-06,1.462019e-06,2.120298e-06,2.185034e-06,3.092742e-06,3.336494e-06,4.168442e-06,4.835094e-06,5.387841e-06,6.562385e-06,6.729152e-06,8.174147e-06,8.474132e-06,9.706464e-06,1.053255e-05,1.131038e-05,1.270164e-05,1.297037e-05,1.467112e-05,1.494602e-05,1.639780e-05,1.723166e-05,1.813639e-05,1.952711e-05,1.987397e-05,2.159890e-05,2.180455e-05,2.330099e-05,2.404036e-05,2.497148e-05,2.621539e-05,2.660309e-05,2.818988e-05,2.831474e-05,2.972718e-05,3.032741e-05,3.121144e-05,3.224579e-05,3.264009e-05,3.401145e-05,3.406509e-05,3.532451e-05,3.578286e-05,3.657891e-05,3.739844e-05,3.777477e-05,3.891262e-05,3.999329e-05,4.032721e-05,4.101789e-05,4.164479e-05,4.198770e-05,4.286852e-05,4.290417e-05,4.376885e-05,4.400190e-05,4.458336e-05,4.504868e-05,4.534937e-05,4.601273e-05,4.606859e-05,4.674272e-05,4.689800e-05,4.737349e-05,4.770841e-05,4.796258e-05,4.844783e-05,4.851166e-05,4.902238e-05,4.912006e-05,4.949633e-05,4.972879e-05,4.993510e-05,5.027758e-05,5.034019e-05,5.071310e-05,5.076988e-05,5.105527e-05,5.120900e-05,5.136808e-05,5.159810e-05,5.165288e-05,5.191098e-05,5.194021e-05,5.214362e-05,5.223823e-05,5.235202e-05,5.249491e-05,5.253734e-05,5.270071e-05,5.271286e-05,5.284320e-05,5.289458e-05,5.296585e-05,5.304243e-05,5.306965e-05,5.315557e-05,5.315865e-05,5.322451e-05,5.324535e-05,5.327737e-05,5.330455e-05,5.331497e-05,5.333813e-05,5.334763e-05,5.334791e-05,5.334420e-05,5.333556e-05,5.332856e-05,5.330268e-05,5.330138e-05,5.326331e-05,5.325079e-05,5.321498e-05,5.318130e-05,5.315697e-05,5.309555e-05,5.308986e-05,5.301418e-05,5.299480e-05,5.293045e-05,5.288024e-05,5.283918e-05,5.275298e-05,5.274082e-05,5.263583e-05,5.261407e-05,5.252463e-05,5.246450e-05,5.240765e-05,5.230519e-05,5.228526e-05,5.215784e-05,5.213701e-05,5.202574e-05,5.196077e-05,5.188931e-05,5.177725e-05,5.174886e-05,5.160469e-05,5.158716e-05,5.145711e-05,5.139117e-05,5.130639e-05,5.118990e-05,5.115279e-05,5.099656e-05,5.098396e-05,5.083794e-05,5.077388e-05,5.067716e-05,5.056018e-05,5.051444e-05,5.034997e-05,5.034335e-05,5.018395e-05,5.012384e-05,5.001657e-05,4.990206e-05,4.984800e-05,4.967840e-05,4.945324e-05,4.922690e-05,4.899970e-05,4.877195e-05,4.854390e-05,4.831582e-05,4.808794e-05,4.786048e-05,4.763363e-05,4.740758e-05,4.718251e-05,4.695857e-05,4.673591e-05,4.651466e-05,4.629494e-05,4.607686e-05,4.586053e-05,4.564603e-05,4.543346e-05,4.522288e-05,4.501437e-05,4.480799e-05,4.460378e-05,4.440181e-05
0.000000e+00,1.814378e-09,4.144089e-09,1.420327e-08,3.221727e-08,4.690911e-08,1.056728e-07,1.088133e-07,2.079775e-07,2.434294e-07,3.516684e-07,4.619821e-07,5.463585e-07,7.753807e-07,7.976890e-07,1.110376e-06,1.194977e-06,1.488015e-06,1.728733e-06,1.932742e-06,2.379807e-06,2.444751e-06,3.021873e-06,3.144750e-06,3.659603e-06,4.013155e-06,4.351723e-06,4.969956e-06,5.091140e-06,5.870531e-06,5.998458e-06,6.682669e-06,7.082061e-06,7.520554e-06,8.204885e-06,8.377485e-06,9.247117e-06,9.352040e-06,1.012351e-05,1.050984e-05,1.100120e-05,1.166601e-05,1.187519e-05,1.274104e-05,1.280984e-05,1.359483e-05,1.393220e-05,1.443318e-05,1.502560e-05,1.525321e-05,1.605253e-05,1.608405e-05,1.682921e-05,1.710296e-05,1.758170e-05,1.807898e-05,1.830885e-05,1.900982e-05,1.968406e-05,1.989411e-05,2.033126e-05,2.073123e-05,2.095133e-05,2.152115e-05,2.154435e-05,2.211057e-05,2.226435e-05,2.265033e-05,2.296167e-05,2.316410e-05,2.361427e-05,2.365241e-05,2.411587e-05,2.422348e-05,2.455514e-05,2.479082e-05,2.497090e-05,2.531789e-05,2.536387e-05,2.573478e-05,2.580638e-05,2.608438e-05,2.625800e-05,2.641341e-05,2.667446e-05,2.672263e-05,2.701277e-05,2.705747e-05,2.728456e-05,2.740871e-05,2.753873e-05,2.772985e-05,2.777598e-05,2.799701e-05,2.802248e-05,2.820249e-05,2.828815e-05,2.839309e-05,2.852839e-05,2.856945e-05,2.873217e-05,2.874462e-05,2.888188e-05,2.893825e-05,2.901916e-05,2.911061e-05,2.914456e-05,2.925864e-05,2.926298e-05,2.936192e-05,2.939656e-05,2.945492e-05,2.951253e-05,2.953812e-05,2.961200e-05,2.967700e-05,2.969600e-05,2.973358e-05,2.976556e-05,2.978215e-05,2.982162e-05,2.982311e-05,2.985686e-05,2.986507e-05,2.988377e-05,2.989678e-05,2.990419e-05,2.991755e-05,2.991848e-05,2.992696e-05,2.992816e-05,2.992994e-05,2.992933e-05,2.992774e-05,2.992174e-05,2.992064e-05,2.990892e-05,2.990604e-05,2.989284e-05,2.988285e-05,2.987267e-05,2.985274e-05,2.984864e-05,2.982099e-05,2.981625e-05,2.978995e-05,2.977390e-05,2.975572e-05,2.972618e-05,2.971851e-05,2.967851e-05,2.967354e-05,2.963592e-05,2.961640e-05,2.959090e-05,2.955517e-05,2.954363e-05,2.949426e-05,2.949023e-05,2.944296e-05,2.942193e-05,2.938987e-05,2.935061e-05,2.933512e-05,2.927886e-05,2.927658e-05,2.922120e-05,2.920013e-05,2.916228e-05,2.912154e-05,2.910220e-05,2.904107e-05,2.895895e-05,2.887542e-05,2.879068e-05,2.870492e-05,2.861834e-05,2.853110e-05,2.844336e-05,2.835526e-05,2.826696e-05,2.817856e-05,2.809020e-05,2.800197e-05,2.791398e-05,2.782633e-05,2.773909e-05,2.765236e-05,2.756619e-05,2.748066e-05,2.739582e-05,2.731174e-05,2.722845e-05,2.714602e-05,2.706447e-05,2.698385e-05
0.000000e+00,5.751004e-09,1.299744e-08,4.360024e-08,9.705918e-08,1.399361e-07,3.079559e-07,3.168306e-07,5.941073e-07,6.923575e-07,9.911122e-07,1.295054e-06,1.527796e-06,2.162268e-06,2.224315e-06,3.097650e-06,3.334609e-06,4.153972e-06,4.821398e-06,5.380001e-06,6.573178e-06,6.742484e-06,8.198878e-06,8.497794e-06,9.709465e-06,1.050562e-05,1.124286e-05,1.253134e-05,1.277581e-05,1.429107e-05,1.453094e-05,1.577541e-05,1.647373e-05,1.721825e-05,1.833670e-05,1.861083e-05,1.994586e-05,2.010190e-05,2.121737e-05,2.175544e-05,2.242060e-05,2.328717e-05,2.355202e-05,2.460930e-05,2.469063e-05,2.559125e-05,2.596287e-05,2.649774e-05,2.710412e-05,2.732960e-05,2.808849e-05,2.811736e-05,2.877675e-05,2.900777e-05,2.939726e-05,2.978217e-05,2.995332e-05,3.044855e-05,3.088681e-05,3.101567e-05,3.127205e-05,3.149254e-05,3.160806e-05,3.188775e-05,3.189854e-05,3.214728e-05,3.220993e-05,3.235782e-05,3.246720e-05,3.253349e-05,3.266705e-05,3.267747e-05,3.279272e-05,3.281641e-05,3.288196e-05,3.292152e-05,3.294770e-05,3.298796e-05,3.299226e-05,3.301773e-05,3.302071e-05,3.302606e-05,3.302420e-05,3.301899e-05,3.300230e-05,3.299809e-05,3.296480e-05,3.295841e-05,3.292040e-05,3.289549e-05,3.286606e-05,3.281612e-05,3.280281e-05,3.273161e-05,3.272257e-05,3.265330e-05,3.261679e-05,3.256865e-05,3.250050e-05,3.247834e-05,3.238300e-05,3.237517e-05,3.228319e-05,3.224212e-05,3.217940e-05,3.210247e-05,3.207210e-05,3.196170e-05,3.195723e-05,3.184858e-05,3.180726e-05,3.173308e-05,3.165334e-05,3.161550e-05,3.149614e-05,3.137523e-05,3.133626e-05,3.125302e-05,3.117423e-05,3.112973e-05,3.101052e-05,3.100554e-05,3.088064e-05,3.084556e-05,3.075519e-05,3.067972e-05,3.062934e-05,3.051333e-05,3.050323e-05,3.037699e-05,3.034668e-05,3.025073e-05,3.018006e-05,3.012456e-05,3.001369e-05,2.999859e-05,2.987290e-05,2.984780e-05,2.974757e-05,2.968257e-05,2.962268e-05,2.951818e-05,2.949831e-05,2.937453e-05,2.935478e-05,2.925138e-05,2.919251e-05,2.912893e-05,2.903150e-05,2.900723e-05,2.888632e-05,2.887186e-05,2.876625e-05,2.871369e-05,2.864706e-05,2.855708e-05,2.852878e-05,2.841144e-05,2.840210e-05,2.829508e-05,2.824882e-05,2.817972e-05,2.809730e-05,2.806539e-05,2.795211e-05,2.794760e-05,2.783990e-05,2.779977e-05,2.772878e-05,2.765384e-05,2.761875e-05,2.750984e-05,2.736782e-05,2.722778e-05,2.708975e-05,2.695374e-05,2.681976e-05,2.668783e-05,2.655795e-05,2.643011e-05,2.630431e-05,2.618056e-05,2.605885e-05,2.593916e-05,2.582149e-05,2.570583e-05,2.559216e-05,2.548047e-05,2.537074e-05,2.526295e-05,2.515709e-05,2.505314e-05,2.495107e-05,2.485087e-05,2.475252e-05,2.465598e-05
0.000000e+00,1.173109e-09,2.673962e-09,9.127248e-09,2.063199e-08,2.998864e-08,6.730386e-08,6.929544e-08,1.321537e-07,1.546358e-07,2.233786e-07,2.936426e-07,3.475317e-07,4.943032e-07,5.086241e-07,7.092115e-07,7.632924e-07,9.493349e-07,1.100252e-06,1.226618e-06,1.498526e-06,1.537473e-06,1.878037e-06,1.949374e-06,2.244439e-06,2.443890e-06,2.632786e-06,2.973059e-06,3.039115e-06,3.459415e-06,3.527691e-06,3.889672e-06,4.098572e-06,4.325955e-06,4.676780e-06,4.764495e-06,5.201770e-06,5.254001e-06,5.634557e-06,5.822808e-06,6.059983e-06,6.376834e-06,6.475552e-06,6.879144e-06,6.910859e-06,7.269020e-06,7.420809e-06,7.643797e-06,7.903687e-06,8.002427e-06,8.344162e-06,8.357473e-06,8.668525e-06,8.780989e-06,8.975269e-06,9.173763e-06,9.264352e-06,9.535896e-06,9.790164e-06,9.867939e-06,1.002753e-05,1.017078e-05,1.024845e-05,1.044556e-05,1.045346e-05,1.064314e-05,1.069359e-05,1.081810e-05,1.091627e-05,1.097897e-05,1.111509e-05,1.112641e-05,1.126105e-05,1.129153e-05,1.138355e-05,1.144708e-05,1.149454e-05,1.158319e-05,1.159465e-05,1.168448e-05,1.170126e-05,1.176461e-05,1.180265e-05,1.183563e-05,1.188862e-05,1.189806e-05,1.195243e-05,1.196042e-05,1.199925e-05,1.201917e-05,1.203897e-05,1.206596e-05,1.207207e-05,1.209896e-05,1.210179e-05,1.212005e-05,1.212760e-05,1.213574e-05,1.214427e-05,1.214638e-05,1.215233e-05,1.215261e-05,1.215391e-05,1.215338e-05,1.215142e-05,1.214729e-05,1.214517e-05,1.213543e-05,1.213497e-05,1.212245e-05,1.211704e-05,1.210649e-05,1.209404e-05,1.208776e-05,1.206649e-05,1.204289e-05,1.203487e-05,1.201713e-05,1.199961e-05,1.198941e-05,1.196110e-05,1.195989e-05,1.192873e-05,1.191973e-05,1.189608e-05,1.187583e-05,1.186208e-05,1.182972e-05,1.182686e-05,1.179054e-05,1.178168e-05,1.175324e-05,1.173197e-05,1.171507e-05,1.168084e-05,1.167613e-05,1.163650e-05,1.162850e-05,1.159629e-05,1.157517e-05,1.155557e-05,1.152102e-05,1.151441e-05,1.147290e-05,1.146623e-05,1.143110e-05,1.141095e-05,1.138906e-05,1.135531e-05,1.134686e-05,1.130454e-05,1.129946e-05,1.126216e-05,1.124350e-05,1.121975e-05,1.118754e-05,1.117737e-05,1.113505e-05,1.113167e-05,1.109284e-05,1.107599e-05,1.105076e-05,1.102057e-05,1.100885e-05,1.096714e-05,1.096548e-05,1.092565e-05,1.091078e-05,1.088442e-05,1.085654e-05,1.084346e-05,1.080279e-05,1.074960e-05,1.069699e-05,1.064500e-05,1.059366e-05,1.054301e-05,1.049305e-05,1.044382e-05,1.039533e-05,1.034760e-05,1.030063e-05,1.025443e-05,1.020901e-05,1.016438e-05,1.012054e-05,1.007750e-05,1.003524e-05,9.993772e-06,9.953092e-06,9.913197e-06,9.874081e-06,9.835739e-06,9.798166e-06,9.761353e-06,9.725294e-06
0.000000e+00,2.489480e-09,5.670209e-09,1.933985e-08,4.374708e-08,6.365774e-08,1.437407e-07,1.480476e-07,2.857507e-07,3.358324e-07,4.915332e-07,6.542259e-07,7.809421e-07,1.131064e-06,1.165407e-06,1.644889e-06,1.772970e-06,2.207993e-06,2.554271e-06,2.839873e-06,3.442374e-06,3.527453e-06,4.260016e-06,4.411097e-06,5.028321e-06,5.439121e-06,5.823850e-06,6.507160e-06,6.638448e-06,7.464226e-06,7.596877e-06,8.293632e-06,8.690933e-06,9.119578e-06,9.773461e-06,9.935577e-06,1.073586e-05,1.083059e-05,1.151542e-05,1.185076e-05,1.227008e-05,1.282486e-05,1.299646e-05,1.369196e-05,1.374621e-05,1.435470e-05,1.461032e-05,1.498343e-05,1.541467e-05,1.557750e-05,1.613671e-05,1.615835e-05,1.666128e-05,1.684175e-05,1.715177e-05,1.746624e-05,1.760898e-05,1.803394e-05,1.842781e-05,1.854748e-05,1.879185e-05,1.900981e-05,1.912742e-05,1.942405e-05,1.943589e-05,1.971865e-05,1.979340e-05,1.997709e-05,2.012105e-05,2.021258e-05,2.041011e-05,2.042645e-05,2.061999e-05,2.066355e-05,2.079443e-05,2.088423e-05,2.095097e-05,2.107482e-05,2.109074e-05,2.121482e-05,2.123784e-05,2.132423e-05,2.137564e-05,2.141993e-05,2.149040e-05,2.150284e-05,2.157382e-05,2.158412e-05,2.163367e-05,2.165867e-05,2.168316e-05,2.171578e-05,2.172301e-05,2.175388e-05,2.175701e-05,2.177640e-05,2.178382e-05,2.179116e-05,2.179754e-05,2.179872e-05,2.179960e-05,2.179939e-05,2.179427e-05,2.179051e-05,2.178320e-05,2.177191e-05,2.176680e-05,2.174548e-05,2.174453e-05,2.171961e-05,2.170925e-05,2.168953e-05,2.166684e-05,2.165558e-05,2.161805e-05,2.157723e-05,2.156351e-05,2.153338e-05,2.150386e-05,2.148677e-05,2.143963e-05,2.143761e-05,2.138614e-05,2.137134e-05,2.133254e-05,2.129945e-05,2.127702e-05,2.122439e-05,2.121975e-05,2.116090e-05,2.114656e-05,2.110063e-05,2.106630e-05,2.103907e-05,2.098395e-05,2.097637e-05,2.091266e-05,2.089980e-05,2.084805e-05,2.081413e-05,2.078265e-05,2.072719e-05,2.071658e-05,2.064992e-05,2.063921e-05,2.058278e-05,2.055039e-05,2.051522e-05,2.046094e-05,2.044734e-05,2.037920e-05,2.037101e-05,2.031088e-05,2.028078e-05,2.024244e-05,2.019039e-05,2.017394e-05,2.010544e-05,2.009996e-05,2.003699e-05,2.000963e-05,1.996864e-05,1.991951e-05,1.990042e-05,1.983240e-05,1.982968e-05,1.976460e-05,1.974025e-05,1.969706e-05,1.965129e-05,1.962981e-05,1.956289e-05,1.947511e-05,1.938800e-05,1.930163e-05,1.921604e-05,1.913128e-05,1.904739e-05,1.896439e-05,1.888234e-05,1.880124e-05,1.872112e-05,1.864201e-05,1.856393e-05,1.848688e-05,1.841088e-05,1.833594e-05,1.826206e-05,1.818926e-05,1.811754e-05,1.804690e-05,1.797734e-05,1.790886e-05,1.784146e-05,1.777514e-05,1.770989e-05
0.000000e+00,1.152567e-09,2.630463e-09,9.024254e-09,2.057754e-08,3.011900e-08,6.946391e-08,7.162169e-08,1.426789e-07,1.694412e-07,2.552719e-07,3.482067e-07,4.220179e-07,6.279738e-07,6.481512e-07,9.271968e-07,1.000832e-06,1.248579e-06,1.443873e-06,1.604144e-06,1.941097e-06,1.988635e-06,2.398427e-06,2.483157e-06,2.830565e-06,3.063175e-06,3.282232e-06,3.674600e-06,3.750518e-06,4.232346e-06,4.310481e-06,4.724498e-06,4.963430e-06,5.223675e-06,5.625856e-06,5.726580e-06,6.230001e-06,6.290300e-06,6.730892e-06,6.949746e-06,7.226431e-06,7.597883e-06,7.714072e-06,8.191574e-06,8.229276e-06,8.657010e-06,8.839433e-06,9.108765e-06,9.424819e-06,9.545544e-06,9.966345e-06,9.982833e-06,1.037043e-05,1.051171e-05,1.075732e-05,1.101042e-05,1.112672e-05,1.147857e-05,1.181292e-05,1.191625e-05,1.213000e-05,1.232399e-05,1.243010e-05,1.270260e-05,1.271363e-05,1.298106e-05,1.305313e-05,1.323292e-05,1.337678e-05,1.346974e-05,1.367485e-05,1.369213e-05,1.390066e-05,1.394871e-05,1.409594e-05,1.419973e-05,1.427857e-05,1.442929e-05,1.444914e-05,1.460822e-05,1.463871e-05,1.475639e-05,1.482931e-05,1.489419e-05,1.500231e-05,1.502214e-05,1.514075e-05,1.515890e-05,1.525052e-05,1.530020e-05,1.535190e-05,1.542726e-05,1.544534e-05,1.553126e-05,1.554108e-05,1.561007e-05,1.564259e-05,1.568214e-05,1.573264e-05,1.574785e-05,1.580753e-05,1.581206e-05,1.586152e-05,1.588159e-05,1.591012e-05,1.594195e-05,1.595363e-05,1.599232e-05,1.599378e-05,1.602646e-05,1.603769e-05,1.605630e-05,1.607425e-05,1.608206e-05,1.610398e-05,1.612225e-05,1.612737e-05,1.613709e-05,1.614487e-05,1.614868e-05,1.615691e-05,1.615720e-05,1.616281e-05,1.616388e-05,1.616568e-05,1.616614e-05,1.616595e-05,1.616403e-05,1.616377e-05,1.615928e-05,1.615787e-05,1.615259e-05,1.614794e-05,1.614384e-05,1.613452e-05,1.613314e-05,1.612059e-05,1.611787e-05,1.610631e-05,1.609822e-05,1.609038e-05,1.607579e-05,1.607290e-05,1.605396e-05,1.605079e-05,1.603363e-05,1.602341e-05,1.601201e-05,1.599383e-05,1.598917e-05,1.596517e-05,1.596221e-05,1.594008e-05,1.592872e-05,1.591398e-05,1.589349e-05,1.588691e-05,1.585895e-05,1.585667e-05,1.583013e-05,1.581838e-05,1.580052e-05,1.577874e-05,1.577017e-05,1.573912e-05,1.573787e-05,1.570742e-05,1.569586e-05,1.567511e-05,1.565281e-05,1.564223e-05,1.560883e-05,1.556399e-05,1.551837e-05,1.547205e-05,1.542510e-05,1.537759e-05,1.532959e-05,1.528114e-05,1.523230e-05,1.518313e-05,1.513368e-05,1.508399e-05,1.503410e-05,1.498405e-05,1.493389e-05,1.488365e-05,1.483335e-05,1.478304e-05,1.473275e-05,1.468249e-05,1.463230e-05,1.458220e-05,1.453222e-05,1.448237e-05,1.443267e-05
0.000000e+00,1.454331e-08,3.322482e-08,1.139910e-07,2.590588e-07,3.777881e-07,8.564176e-07,8.821652e-07,1.703830e-06,2.001590e-06,2.923226e-06,3.880769e-06,4.624328e-06,6.680974e-06,6.883571e-06,9.742228e-06,1.051689e-05,1.318476e-05,1.534750e-05,1.715560e-05,2.103629e-05,2.159110e-05,2.643344e-05,2.744607e-05,3.163038e-05,3.445640e-05,3.713225e-05,4.195364e-05,4.289007e-05,4.885508e-05,4.982547e-05,5.497912e-05,5.796135e-05,6.121546e-05,6.625541e-05,6.751963e-05,7.385023e-05,7.460984e-05,8.016947e-05,8.293750e-05,8.644362e-05,9.116341e-05,9.264300e-05,9.874195e-05,9.922486e-05,1.047189e-04,1.070713e-04,1.105558e-04,1.146634e-04,1.162382e-04,1.217546e-04,1.219717e-04,1.270962e-04,1.289751e-04,1.322566e-04,1.356598e-04,1.372313e-04,1.420177e-04,1.466145e-04,1.480455e-04,1.510219e-04,1.537436e-04,1.552408e-04,1.591153e-04,1.592731e-04,1.631213e-04,1.641662e-04,1.667885e-04,1.689035e-04,1.702784e-04,1.733357e-04,1.735947e-04,1.767415e-04,1.774721e-04,1.797233e-04,1.813226e-04,1.825444e-04,1.848977e-04,1.852094e-04,1.877229e-04,1.882078e-04,1.900895e-04,1.912637e-04,1.923140e-04,1.940760e-04,1.944009e-04,1.963548e-04,1.966554e-04,1.981803e-04,1.990122e-04,1.998818e-04,2.011568e-04,2.014638e-04,2.029307e-04,2.030991e-04,2.042866e-04,2.048491e-04,2.055357e-04,2.064161e-04,2.066821e-04,2.077297e-04,2.078094e-04,2.086825e-04,2.090380e-04,2.095443e-04,2.101104e-04,2.103186e-04,2.110090e-04,2.110349e-04,2.116191e-04,2.118197e-04,2.121522e-04,2.124724e-04,2.126116e-04,2.130004e-04,2.133217e-04,2.134107e-04,2.135785e-04,2.137103e-04,2.137736e-04,2.139056e-04,2.139100e-04,2.139901e-04,2.140029e-04,2.140167e-04,2.140081e-04,2.139923e-04,2.139269e-04,2.139193e-04,2.138001e-04,2.137648e-04,2.136368e-04,2.135270e-04,2.134317e-04,2.132183e-04,2.131869e-04,2.129044e-04,2.128436e-04,2.125862e-04,2.124073e-04,2.122342e-04,2.119136e-04,2.118501e-04,2.114356e-04,2.113666e-04,2.109926e-04,2.107703e-04,2.105226e-04,2.101281e-04,2.100271e-04,2.095076e-04,2.094437e-04,2.089656e-04,2.087203e-04,2.084024e-04,2.079610e-04,2.078193e-04,2.072177e-04,2.071688e-04,2.065987e-04,2.063465e-04,2.059635e-04,2.054967e-04,2.053132e-04,2.046488e-04,2.046220e-04,2.039715e-04,2.037247e-04,2.032822e-04,2.028071e-04,2.025818e-04,2.018713e-04,2.009192e-04,1.999529e-04,1.989739e-04,1.979841e-04,1.969850e-04,1.959780e-04,1.949646e-04,1.939460e-04,1.929235e-04,1.918983e-04,1.908713e-04,1.898437e-04,1.888163e-04,1.877901e-04,1.867658e-04,1.857442e-04,1.847260e-04,1.837119e-04,1.827025e-04,1.816983e-04,1.807000e-04,1.797078e-04,1.787225e-04,1.777442e-04
0.000000e+00,1.814674e-09,4.140583e-09,1.417286e-08,3.215413e-08,4.685663e-08,1.061218e-07,1.093119e-07,2.113185e-07,2.484014e-07,3.636309e-07,4.840995e-07,5.781792e-07,8.407678e-07,8.668170e-07,1.237501e-06,1.338840e-06,1.690004e-06,1.976402e-06,2.216518e-06,2.732716e-06,2.806535e-06,3.450374e-06,3.584863e-06,4.139935e-06,4.514242e-06,4.868276e-06,5.505408e-06,5.629062e-06,6.416212e-06,6.544202e-06,7.223739e-06,7.616843e-06,8.045705e-06,8.709747e-06,8.876274e-06,9.709789e-06,9.809750e-06,1.054087e-05,1.090446e-05,1.136447e-05,1.198256e-05,1.217600e-05,1.297135e-05,1.303417e-05,1.374693e-05,1.405092e-05,1.449968e-05,1.502607e-05,1.522705e-05,1.592700e-05,1.595440e-05,1.659797e-05,1.683219e-05,1.723882e-05,1.765700e-05,1.784880e-05,1.842753e-05,1.897489e-05,1.914344e-05,1.949106e-05,1.980520e-05,1.997641e-05,2.041387e-05,2.043150e-05,2.085703e-05,2.097100e-05,2.125384e-05,2.147850e-05,2.162282e-05,2.193854e-05,2.196495e-05,2.228126e-05,2.235345e-05,2.257280e-05,2.272563e-05,2.284062e-05,2.305754e-05,2.308581e-05,2.330941e-05,2.335164e-05,2.351249e-05,2.361032e-05,2.369607e-05,2.383594e-05,2.386115e-05,2.400870e-05,2.403075e-05,2.413968e-05,2.419692e-05,2.425498e-05,2.433653e-05,2.435549e-05,2.444205e-05,2.445153e-05,2.451545e-05,2.454379e-05,2.457648e-05,2.461504e-05,2.462587e-05,2.466431e-05,2.466694e-05,2.469249e-05,2.470102e-05,2.471103e-05,2.471875e-05,2.472053e-05,2.472158e-05,2.472146e-05,2.471472e-05,2.471042e-05,2.470047e-05,2.468680e-05,2.467931e-05,2.465171e-05,2.461811e-05,2.460616e-05,2.457893e-05,2.455111e-05,2.453456e-05,2.448743e-05,2.448538e-05,2.443173e-05,2.441596e-05,2.437395e-05,2.433743e-05,2.431236e-05,2.425257e-05,2.424724e-05,2.417889e-05,2.416203e-05,2.410756e-05,2.406641e-05,2.403351e-05,2.396628e-05,2.395697e-05,2.387816e-05,2.386214e-05,2.379729e-05,2.375449e-05,2.371456e-05,2.364377e-05,2.363016e-05,2.354425e-05,2.353038e-05,2.345701e-05,2.341471e-05,2.336859e-05,2.329710e-05,2.327913e-05,2.318876e-05,2.317787e-05,2.309763e-05,2.305732e-05,2.300585e-05,2.293572e-05,2.291352e-05,2.282077e-05,2.281333e-05,2.272768e-05,2.269037e-05,2.263435e-05,2.256705e-05,2.254086e-05,2.244731e-05,2.244357e-05,2.235376e-05,2.232010e-05,2.226029e-05,2.219681e-05,2.216696e-05,2.207384e-05,2.195133e-05,2.182940e-05,2.170816e-05,2.158771e-05,2.146815e-05,2.134956e-05,2.123200e-05,2.111555e-05,2.100027e-05,2.088621e-05,2.077341e-05,2.066192e-05,2.055177e-05,2.044300e-05,2.033562e-05,2.022967e-05,2.012516e-05,2.002211e-05,1.992052e-05,1.982041e-05,1.972179e-05,1.962465e-05,1.952901e-05,1.943485e-05
0.000000e+00,8.581122e-10,1.954533e-09,6.662326e-09,1.504428e-08,2.185664e-08,4.901390e-08,5.046330e-08,9.622567e-08,1.126037e-07,1.627227e-07,2.140205e-07,2.534200e-07,3.610826e-07,3.716245e-07,5.203164e-07,5.608181e-07,7.018323e-07,8.183357e-07,9.173907e-07,1.134909e-06,1.166508e-06,1.446503e-06,1.505808e-06,1.752456e-06,1.919685e-06,2.077872e-06,2.361177e-06,2.415816e-06,2.759924e-06,2.815182e-06,3.104888e-06,3.269506e-06,3.446518e-06,3.715216e-06,3.781572e-06,4.107567e-06,4.145982e-06,4.422605e-06,4.557368e-06,4.725258e-06,4.946335e-06,5.014479e-06,5.289544e-06,5.310923e-06,5.549997e-06,5.650029e-06,5.795610e-06,5.963237e-06,6.026350e-06,6.242339e-06,6.250675e-06,6.443833e-06,6.512889e-06,6.631189e-06,6.750736e-06,6.804844e-06,6.965294e-06,7.113077e-06,7.157784e-06,7.248758e-06,7.329511e-06,7.372919e-06,7.481818e-06,7.486144e-06,7.589016e-06,7.616043e-06,7.682108e-06,7.733503e-06,7.765981e-06,7.835466e-06,7.841175e-06,7.908214e-06,7.923146e-06,7.967599e-06,7.997690e-06,8.019807e-06,8.060177e-06,8.065295e-06,8.104495e-06,8.111617e-06,8.137816e-06,8.152949e-06,8.165646e-06,8.185046e-06,8.188348e-06,8.206269e-06,8.208715e-06,8.219733e-06,8.224702e-06,8.229044e-06,8.233696e-06,8.234489e-06,8.236339e-06,8.236331e-06,8.234845e-06,8.233190e-06,8.230245e-06,8.224809e-06,8.222762e-06,8.212604e-06,8.211682e-06,8.199967e-06,8.194260e-06,8.185035e-06,8.172959e-06,8.167978e-06,8.148959e-06,8.148160e-06,8.128128e-06,8.120212e-06,8.105625e-06,8.089437e-06,8.081585e-06,8.056129e-06,8.029374e-06,8.020556e-06,8.001429e-06,7.982967e-06,7.972395e-06,7.943586e-06,7.942367e-06,7.911435e-06,7.902623e-06,7.879681e-06,7.860267e-06,7.847184e-06,7.816693e-06,7.814016e-06,7.780247e-06,7.772060e-06,7.745939e-06,7.726514e-06,7.711152e-06,7.680189e-06,7.675943e-06,7.640364e-06,7.633208e-06,7.604463e-06,7.585682e-06,7.568286e-06,7.537715e-06,7.531876e-06,7.495272e-06,7.489401e-06,7.458513e-06,7.440824e-06,7.421633e-06,7.392063e-06,7.384664e-06,7.347636e-06,7.343190e-06,7.310579e-06,7.294271e-06,7.273517e-06,7.245364e-06,7.236477e-06,7.199481e-06,7.196524e-06,7.162550e-06,7.147801e-06,7.125705e-06,7.099239e-06,7.088962e-06,7.052341e-06,7.050879e-06,7.015857e-06,7.002759e-06,6.979524e-06,6.954911e-06,6.943357e-06,6.907367e-06,6.860153e-06,6.813295e-06,6.766814e-06,6.720730e-06,6.675060e-06,6.629821e-06,6.585027e-06,6.540689e-06,6.496819e-06,6.453425e-06,6.410516e-06,6.368098e-06,6.326177e-06,6.284757e-06,6.243843e-06,6.203437e-06,6.163541e-06,6.124156e-06,6.085283e-06,6.046922e-06,6.009072e-06,5.971733e-06,5.934902e-06,5.898577e-06
0.000000e+00,7.925410e-09,1.806525e-08,6.168629e-08,1.395703e-07,2.030346e-07,4.572889e-07,4.709116e-07,9.036210e-07,1.059669e-06,1.540891e-06,2.038863e-06,2.424717e-06,3.491099e-06,3.596230e-06,5.084301e-06,5.489293e-06,6.888892e-06,8.026649e-06,8.977989e-06,1.101450e-05,1.130469e-05,1.382385e-05,1.434728e-05,1.649702e-05,1.793685e-05,1.929128e-05,2.171040e-05,2.217714e-05,2.512716e-05,2.560336e-05,2.811546e-05,2.955622e-05,3.111766e-05,3.351412e-05,3.411108e-05,3.707497e-05,3.742774e-05,3.999077e-05,4.125422e-05,4.284226e-05,4.495780e-05,4.561564e-05,4.829947e-05,4.851002e-05,5.088461e-05,5.188940e-05,5.336409e-05,5.508099e-05,5.573286e-05,5.798756e-05,5.807535e-05,6.012646e-05,6.086799e-05,6.214907e-05,6.345827e-05,6.405596e-05,6.584862e-05,6.752931e-05,6.804393e-05,6.910086e-05,7.005087e-05,7.056653e-05,7.187732e-05,7.192994e-05,7.319494e-05,7.353205e-05,7.436556e-05,7.502433e-05,7.544590e-05,7.636364e-05,7.644010e-05,7.735228e-05,7.755944e-05,7.818648e-05,7.862108e-05,7.894673e-05,7.955765e-05,7.963689e-05,8.026077e-05,8.037791e-05,8.082199e-05,8.109024e-05,8.132408e-05,8.170262e-05,8.177042e-05,8.216426e-05,8.222261e-05,8.250868e-05,8.265733e-05,8.280666e-05,8.301350e-05,8.306101e-05,8.327442e-05,8.329740e-05,8.344944e-05,8.351491e-05,8.358849e-05,8.367153e-05,8.369388e-05,8.376779e-05,8.377240e-05,8.381228e-05,8.382228e-05,8.382932e-05,8.382563e-05,8.382075e-05,8.378833e-05,8.378657e-05,8.373372e-05,8.370893e-05,8.365847e-05,8.359628e-05,8.356407e-05,8.345191e-05,8.332331e-05,8.327889e-05,8.317951e-05,8.308004e-05,8.302167e-05,8.285797e-05,8.285091e-05,8.266825e-05,8.261512e-05,8.247469e-05,8.235371e-05,8.227115e-05,8.207581e-05,8.205848e-05,8.183751e-05,8.178332e-05,8.160900e-05,8.147802e-05,8.137368e-05,8.116150e-05,8.113222e-05,8.088527e-05,8.083527e-05,8.063342e-05,8.050071e-05,8.037723e-05,8.015906e-05,8.011723e-05,7.985391e-05,7.981150e-05,7.958774e-05,7.945909e-05,7.931914e-05,7.910280e-05,7.904854e-05,7.877630e-05,7.874354e-05,7.850278e-05,7.838212e-05,7.822832e-05,7.801930e-05,7.795323e-05,7.767780e-05,7.765576e-05,7.740229e-05,7.729212e-05,7.712696e-05,7.692897e-05,7.685205e-05,7.657776e-05,7.656681e-05,7.630431e-05,7.620611e-05,7.603189e-05,7.584731e-05,7.576066e-05,7.549079e-05,7.513689e-05,7.478593e-05,7.443819e-05,7.409392e-05,7.375335e-05,7.341668e-05,7.308407e-05,7.275569e-05,7.243166e-05,7.211210e-05,7.179711e-05,7.148678e-05,7.118117e-05,7.088034e-05,7.058432e-05,7.029316e-05,7.000688e-05,6.972549e-05,6.944899e-05,6.917738e-05,6.891065e-05,6.864878e-05,6.839176e-05,6.813955e-05
0.000000e+00,1.786491e-09,4.071366e-09,1.389300e-08,3.140019e-08,4.563939e-08,1.024514e-07,1.054850e-07,2.013163e-07,2.356352e-07,3.407257e-07,4.484063e-07,5.311978e-07,7.577995e-07,7.800113e-07,1.093438e-06,1.178745e-06,1.474864e-06,1.717827e-06,1.922813e-06,2.367296e-06,2.431237e-06,2.992062e-06,3.109800e-06,3.597299e-06,3.927139e-06,4.239695e-06,4.803152e-06,4.912607e-06,5.609753e-06,5.723137e-06,6.325064e-06,6.673128e-06,7.052644e-06,7.639705e-06,7.786796e-06,8.522097e-06,8.610166e-06,9.253472e-06,9.572816e-06,9.976265e-06,1.051726e-05,1.068630e-05,1.137991e-05,1.143460e-05,1.205397e-05,1.231752e-05,1.270586e-05,1.316031e-05,1.333350e-05,1.393527e-05,1.395878e-05,1.450999e-05,1.471011e-05,1.505690e-05,1.541268e-05,1.557558e-05,1.606592e-05,1.652807e-05,1.667006e-05,1.696241e-05,1.722604e-05,1.736949e-05,1.773529e-05,1.775001e-05,1.810477e-05,1.819960e-05,1.843466e-05,1.862106e-05,1.874065e-05,1.900190e-05,1.902373e-05,1.928491e-05,1.934445e-05,1.952522e-05,1.965106e-05,1.974568e-05,1.992407e-05,1.994730e-05,2.013108e-05,2.016577e-05,2.029797e-05,2.037840e-05,2.044892e-05,2.056406e-05,2.058483e-05,2.070656e-05,2.072478e-05,2.081496e-05,2.086249e-05,2.091081e-05,2.097897e-05,2.099488e-05,2.106789e-05,2.107594e-05,2.113052e-05,2.115495e-05,2.118342e-05,2.121750e-05,2.122721e-05,2.126247e-05,2.126493e-05,2.128974e-05,2.129854e-05,2.130956e-05,2.131949e-05,2.132241e-05,2.132875e-05,2.132888e-05,2.132902e-05,2.132771e-05,2.132364e-05,2.131694e-05,2.131298e-05,2.129741e-05,2.127729e-05,2.126994e-05,2.125292e-05,2.123524e-05,2.122462e-05,2.119401e-05,2.119267e-05,2.115734e-05,2.114688e-05,2.111888e-05,2.109441e-05,2.107754e-05,2.103714e-05,2.103353e-05,2.098706e-05,2.097557e-05,2.093834e-05,2.091015e-05,2.088755e-05,2.084128e-05,2.083487e-05,2.078045e-05,2.076937e-05,2.072445e-05,2.069476e-05,2.066702e-05,2.061778e-05,2.060830e-05,2.054840e-05,2.053872e-05,2.048746e-05,2.045787e-05,2.042558e-05,2.037547e-05,2.036287e-05,2.029943e-05,2.029177e-05,2.023534e-05,2.020697e-05,2.017071e-05,2.012127e-05,2.010561e-05,2.004012e-05,2.003486e-05,1.997430e-05,1.994790e-05,1.990823e-05,1.986054e-05,1.984197e-05,1.977558e-05,1.977293e-05,1.970912e-05,1.968518e-05,1.964263e-05,1.959743e-05,1.957616e-05,1.950977e-05,1.942230e-05,1.933512e-05,1.924831e-05,1.916193e-05,1.907607e-05,1.899077e-05,1.890610e-05,1.882210e-05,1.873883e-05,1.865632e-05,1.857461e-05,1.849373e-05,1.841371e-05,1.833457e-05,1.825635e-05,1.817905e-05,1.810271e-05,1.802732e-05,1.795290e-05,1.787947e-05,1.780702e-05,1.773558e-05,1.766513e-05,1.759570e-05
0.000000e+00,4.762065e-08,1.087643e-07,3.729662e-07,8.471942e-07,1.235104e-06,2.797115e-06,2.881061e-06,5.555040e-06,6.521459e-06,9.503042e-06,1.258495e-05,1.496784e-05,2.152605e-05,2.217067e-05,3.127894e-05,3.375899e-05,4.236357e-05,4.941572e-05,5.535757e-05,6.819893e-05,7.003924e-05,8.606495e-05,8.939698e-05,1.030456e-04,1.121312e-04,1.206222e-04,1.356317e-04,1.385032e-04,1.564666e-04,1.593367e-04,1.743465e-04,1.828613e-04,1.920182e-04,2.059416e-04,2.093876e-04,2.263833e-04,2.283949e-04,2.429519e-04,2.500963e-04,2.590543e-04,2.709628e-04,2.746626e-04,2.897581e-04,2.909432e-04,3.043295e-04,3.100099e-04,3.183715e-04,3.281533e-04,3.318833e-04,3.448679e-04,3.453764e-04,3.573312e-04,3.616919e-04,3.692813e-04,3.771190e-04,3.807277e-04,3.916817e-04,4.021549e-04,4.054069e-04,4.121602e-04,4.183239e-04,4.217104e-04,4.304629e-04,4.308189e-04,4.394992e-04,4.418547e-04,4.477647e-04,4.525306e-04,4.556290e-04,4.625213e-04,4.631055e-04,4.702074e-04,4.718575e-04,4.769477e-04,4.805691e-04,4.833393e-04,4.886854e-04,4.893947e-04,4.951262e-04,4.962348e-04,5.005460e-04,5.032449e-04,5.056656e-04,5.097424e-04,5.104964e-04,5.150498e-04,5.157533e-04,5.193363e-04,5.213022e-04,5.233666e-04,5.264131e-04,5.271507e-04,5.306986e-04,5.311090e-04,5.340199e-04,5.354118e-04,5.371237e-04,5.393427e-04,5.400191e-04,5.427147e-04,5.429220e-04,5.452189e-04,5.461688e-04,5.475398e-04,5.491017e-04,5.496852e-04,5.516626e-04,5.517383e-04,5.534794e-04,5.540955e-04,5.551425e-04,5.561892e-04,5.566588e-04,5.580347e-04,5.592766e-04,5.596466e-04,5.603904e-04,5.610389e-04,5.613822e-04,5.622245e-04,5.622574e-04,5.630214e-04,5.632161e-04,5.636795e-04,5.640257e-04,5.642368e-04,5.646644e-04,5.646979e-04,5.650675e-04,5.651431e-04,5.653502e-04,5.654720e-04,5.655501e-04,5.656608e-04,5.656713e-04,5.657179e-04,5.657186e-04,5.656936e-04,5.656541e-04,5.656020e-04,5.654757e-04,5.654467e-04,5.652310e-04,5.651911e-04,5.649582e-04,5.648078e-04,5.646312e-04,5.643327e-04,5.642532e-04,5.638268e-04,5.637726e-04,5.633550e-04,5.631336e-04,5.628402e-04,5.624217e-04,5.622849e-04,5.616917e-04,5.616426e-04,5.610627e-04,5.608016e-04,5.604002e-04,5.599036e-04,5.597062e-04,5.589829e-04,5.589534e-04,5.582322e-04,5.579555e-04,5.574558e-04,5.569141e-04,5.566555e-04,5.558331e-04,5.547164e-04,5.535674e-04,5.523896e-04,5.511859e-04,5.499594e-04,5.487128e-04,5.474488e-04,5.461697e-04,5.448780e-04,5.435757e-04,5.422649e-04,5.409474e-04,5.396250e-04,5.382995e-04,5.369723e-04,5.356449e-04,5.343186e-04,5.329948e-04,5.316745e-04,5.303588e-04,5.290489e-04,5.277455e-04,5.264496e-04,5.251620e-04
0.000000e+00,2.603974e-09,5.901918e-09,1.991643e-08,4.458058e-08,6.447161e-08,1.430400e-07,1.472121e-07,2.784064e-07,3.252274e-07,4.684474e-07,6.152106e-07,7.281294e-07,1.037214e-06,1.067470e-06,1.491873e-06,1.606161e-06,1.997187e-06,2.310590e-06,2.569593e-06,3.114841e-06,3.191532e-06,3.847054e-06,3.981011e-06,4.523364e-06,4.879808e-06,5.210300e-06,5.789360e-06,5.899468e-06,6.583652e-06,6.692223e-06,7.256499e-06,7.573764e-06,7.912402e-06,8.421623e-06,8.546485e-06,9.154622e-06,9.225687e-06,9.733449e-06,9.978152e-06,1.028038e-05,1.067356e-05,1.079358e-05,1.127192e-05,1.130866e-05,1.171489e-05,1.188217e-05,1.212254e-05,1.239447e-05,1.249541e-05,1.283442e-05,1.284729e-05,1.314080e-05,1.324339e-05,1.341602e-05,1.358620e-05,1.366171e-05,1.387959e-05,1.407145e-05,1.412765e-05,1.423909e-05,1.433449e-05,1.438428e-05,1.450414e-05,1.450874e-05,1.461414e-05,1.464046e-05,1.470207e-05,1.474706e-05,1.477401e-05,1.482730e-05,1.483139e-05,1.487549e-05,1.488424e-05,1.490753e-05,1.492062e-05,1.492862e-05,1.493894e-05,1.493979e-05,1.494199e-05,1.494143e-05,1.493607e-05,1.493005e-05,1.492282e-05,1.490656e-05,1.490296e-05,1.487715e-05,1.487251e-05,1.484598e-05,1.482928e-05,1.481000e-05,1.477807e-05,1.476968e-05,1.472549e-05,1.471995e-05,1.467783e-05,1.465585e-05,1.462707e-05,1.458662e-05,1.457354e-05,1.451755e-05,1.451297e-05,1.445938e-05,1.443556e-05,1.439929e-05,1.435496e-05,1.433750e-05,1.427422e-05,1.427166e-05,1.420965e-05,1.418613e-05,1.414397e-05,1.409874e-05,1.407732e-05,1.400986e-05,1.394172e-05,1.391979e-05,1.387303e-05,1.382882e-05,1.380388e-05,1.373718e-05,1.373440e-05,1.366466e-05,1.364511e-05,1.359477e-05,1.355278e-05,1.352478e-05,1.346038e-05,1.345478e-05,1.338484e-05,1.336806e-05,1.331500e-05,1.327596e-05,1.324534e-05,1.318421e-05,1.317589e-05,1.310670e-05,1.309290e-05,1.303783e-05,1.300215e-05,1.296930e-05,1.291202e-05,1.290115e-05,1.283341e-05,1.282261e-05,1.276612e-05,1.273398e-05,1.269929e-05,1.264619e-05,1.263296e-05,1.256714e-05,1.255928e-05,1.250186e-05,1.247331e-05,1.243713e-05,1.238832e-05,1.237298e-05,1.230940e-05,1.230434e-05,1.224642e-05,1.222140e-05,1.218405e-05,1.213953e-05,1.212230e-05,1.206118e-05,1.205875e-05,1.200069e-05,1.197907e-05,1.194084e-05,1.190051e-05,1.188163e-05,1.182308e-05,1.174680e-05,1.167166e-05,1.159767e-05,1.152484e-05,1.145316e-05,1.138263e-05,1.131325e-05,1.124501e-05,1.117792e-05,1.111195e-05,1.104711e-05,1.098339e-05,1.092077e-05,1.085925e-05,1.079882e-05,1.073945e-05,1.068115e-05,1.062390e-05,1.056768e-05,1.051249e-05,1.045831e-05,1.040512e-05,1.035291e-05,1.030167e-05
0.000000e+00,2.322467e-09,5.290385e-09,1.803706e-08,4.074144e-08,5.920309e-08,1.328868e-07,1.368236e-07,2.613723e-07,3.060752e-07,4.433265e-07,5.845362e-07,6.934839e-07,9.930543e-07,1.022502e-06,1.438725e-06,1.552024e-06,1.944494e-06,2.265075e-06,2.534371e-06,3.114698e-06,3.197802e-06,3.923116e-06,4.074635e-06,4.699547e-06,5.120274e-06,5.517514e-06,6.230300e-06,6.368286e-06,7.243678e-06,7.385499e-06,8.135881e-06,8.567901e-06,9.037420e-06,9.760590e-06,9.941199e-06,1.084058e-05,1.094792e-05,1.172946e-05,1.211580e-05,1.260234e-05,1.325203e-05,1.345439e-05,1.428146e-05,1.434644e-05,1.508012e-05,1.539098e-05,1.584758e-05,1.637962e-05,1.658173e-05,1.728103e-05,1.730826e-05,1.794448e-05,1.817444e-05,1.857158e-05,1.897716e-05,1.916221e-05,1.971662e-05,2.023535e-05,2.039394e-05,2.071921e-05,2.101102e-05,2.116918e-05,2.157033e-05,2.158641e-05,2.197211e-05,2.207462e-05,2.232755e-05,2.252685e-05,2.265407e-05,2.293011e-05,2.295305e-05,2.322587e-05,2.328760e-05,2.347390e-05,2.360249e-05,2.369852e-05,2.387788e-05,2.390107e-05,2.408285e-05,2.411682e-05,2.424511e-05,2.432218e-05,2.438908e-05,2.449673e-05,2.451592e-05,2.462676e-05,2.464309e-05,2.472275e-05,2.476388e-05,2.480499e-05,2.486150e-05,2.487439e-05,2.493181e-05,2.493794e-05,2.497809e-05,2.499513e-05,2.501401e-05,2.503482e-05,2.504029e-05,2.505762e-05,2.505864e-05,2.506666e-05,2.506809e-05,2.506802e-05,2.506455e-05,2.506225e-05,2.504990e-05,2.504928e-05,2.503148e-05,2.502345e-05,2.500744e-05,2.498812e-05,2.497824e-05,2.494428e-05,2.490595e-05,2.489282e-05,2.486361e-05,2.483457e-05,2.481760e-05,2.477028e-05,2.476824e-05,2.471582e-05,2.470063e-05,2.466061e-05,2.462626e-05,2.460288e-05,2.454774e-05,2.454286e-05,2.448078e-05,2.446559e-05,2.441685e-05,2.438031e-05,2.435126e-05,2.429233e-05,2.428421e-05,2.421585e-05,2.420204e-05,2.414635e-05,2.410981e-05,2.407586e-05,2.401599e-05,2.400452e-05,2.393245e-05,2.392086e-05,2.385977e-05,2.382470e-05,2.378660e-05,2.372778e-05,2.371304e-05,2.363918e-05,2.363031e-05,2.356513e-05,2.353250e-05,2.349095e-05,2.343454e-05,2.341673e-05,2.334254e-05,2.333661e-05,2.326845e-05,2.323886e-05,2.319452e-05,2.314142e-05,2.312080e-05,2.304736e-05,2.304442e-05,2.297423e-05,2.294798e-05,2.290146e-05,2.285220e-05,2.282909e-05,2.275717e-05,2.266297e-05,2.256967e-05,2.247735e-05,2.238605e-05,2.229583e-05,2.220673e-05,2.211879e-05,2.203204e-05,2.194652e-05,2.186225e-05,2.177924e-05,2.169752e-05,2.161709e-05,2.153797e-05,2.146017e-05,2.138368e-05,2.130851e-05,2.123467e-05,2.116214e-05,2.109093e-05,2.102102e-05,2.095242e-05,2.088511e-05,2.081909e-05
0.000000e+00,3.191979e-09,7.303833e-09,2.513900e-08,5.728593e-08,8.365372e-08,1.901896e-07,1.959266e-07,3.790893e-07,4.454612e-07,6.507874e-07,8.639752e-07,1.029551e-06,1.489048e-06,1.534536e-06,2.183837e-06,2.362787e-06,2.990748e-06,3.513456e-06,3.959433e-06,4.941128e-06,5.083909e-06,6.351612e-06,6.621052e-06,7.747903e-06,8.520032e-06,9.258560e-06,1.060617e-05,1.087033e-05,1.257076e-05,1.285024e-05,1.434785e-05,1.522466e-05,1.618996e-05,1.770277e-05,1.808566e-05,2.002388e-05,2.025881e-05,2.199394e-05,2.286820e-05,2.398565e-05,2.550794e-05,2.598948e-05,2.799659e-05,2.815706e-05,2.999893e-05,3.079688e-05,3.198923e-05,3.341113e-05,3.396103e-05,3.590867e-05,3.598600e-05,3.782722e-05,3.850995e-05,3.971250e-05,4.097364e-05,4.156095e-05,4.336963e-05,4.513616e-05,4.569222e-05,4.685861e-05,4.793714e-05,4.853550e-05,5.010143e-05,5.016573e-05,5.174853e-05,5.218313e-05,5.328338e-05,5.418118e-05,5.477005e-05,5.609519e-05,5.620849e-05,5.759884e-05,5.792540e-05,5.894138e-05,5.967248e-05,6.023654e-05,6.133748e-05,6.148482e-05,6.268685e-05,6.292177e-05,6.384331e-05,6.442691e-05,6.495495e-05,6.585467e-05,6.602257e-05,6.704699e-05,6.720695e-05,6.802910e-05,6.848573e-05,6.896977e-05,6.969310e-05,6.986993e-05,7.073051e-05,7.083116e-05,7.155242e-05,7.190206e-05,7.233662e-05,7.290796e-05,7.308404e-05,7.379563e-05,7.385104e-05,7.447233e-05,7.473344e-05,7.511506e-05,7.555731e-05,7.572474e-05,7.630231e-05,7.632476e-05,7.684865e-05,7.703787e-05,7.736467e-05,7.769870e-05,7.785125e-05,7.830926e-05,7.873955e-05,7.887153e-05,7.914297e-05,7.938743e-05,7.952033e-05,7.985885e-05,7.987246e-05,8.020015e-05,8.028764e-05,8.050419e-05,8.067557e-05,8.078532e-05,8.102439e-05,8.104432e-05,8.128189e-05,8.133581e-05,8.149878e-05,8.161145e-05,8.169566e-05,8.185293e-05,8.187324e-05,8.203218e-05,8.206178e-05,8.217312e-05,8.223951e-05,8.229671e-05,8.238757e-05,8.240357e-05,8.249430e-05,8.250736e-05,8.256950e-05,8.260024e-05,8.262973e-05,8.266752e-05,8.267556e-05,8.270753e-05,8.271047e-05,8.272618e-05,8.273030e-05,8.273202e-05,8.272820e-05,8.272556e-05,8.270727e-05,8.270531e-05,8.267764e-05,8.266271e-05,8.263712e-05,8.260146e-05,8.258617e-05,8.252522e-05,8.252258e-05,8.245470e-05,8.242704e-05,8.237500e-05,8.231578e-05,8.228654e-05,8.218970e-05,8.204966e-05,8.189650e-05,8.173102e-05,8.155399e-05,8.136612e-05,8.116814e-05,8.096072e-05,8.074449e-05,8.052009e-05,8.028810e-05,8.004908e-05,7.980358e-05,7.955212e-05,7.929519e-05,7.903326e-05,7.876678e-05,7.849618e-05,7.822187e-05,7.794424e-05,7.766365e-05,7.738048e-05,7.709504e-05,7.680766e-05,7.651864e-05
0.000000e+00,6.241882e-09,1.423182e-08,4.861106e-08,1.099611e-07,1.598969e-07,3.593160e-07,3.699698e-07,7.066700e-07,8.272830e-07,1.196615e-06,1.574920e-06,1.865631e-06,2.660456e-06,2.738297e-06,3.835726e-06,4.134243e-06,5.170763e-06,6.022304e-06,6.741823e-06,8.305044e-06,8.530147e-06,1.050426e-05,1.091820e-05,1.262808e-05,1.377994e-05,1.486679e-05,1.681303e-05,1.718901e-05,1.956688e-05,1.995081e-05,2.197554e-05,2.313600e-05,2.439273e-05,2.631921e-05,2.679860e-05,2.917555e-05,2.945809e-05,3.150828e-05,3.251722e-05,3.378369e-05,3.546789e-05,3.599089e-05,3.812106e-05,3.828792e-05,4.016731e-05,4.096111e-05,4.212453e-05,4.347657e-05,4.398921e-05,4.575927e-05,4.582809e-05,4.743380e-05,4.801324e-05,4.901294e-05,5.003275e-05,5.049769e-05,5.188972e-05,5.319128e-05,5.358910e-05,5.440503e-05,5.513711e-05,5.553395e-05,5.654091e-05,5.658128e-05,5.755039e-05,5.780819e-05,5.844472e-05,5.894689e-05,5.926779e-05,5.996507e-05,6.002308e-05,6.071406e-05,6.087070e-05,6.134410e-05,6.167155e-05,6.191653e-05,6.237515e-05,6.243454e-05,6.290124e-05,6.298869e-05,6.331962e-05,6.351904e-05,6.369254e-05,6.397267e-05,6.402274e-05,6.431283e-05,6.435569e-05,6.456531e-05,6.467385e-05,6.478256e-05,6.493251e-05,6.496682e-05,6.512024e-05,6.513668e-05,6.524484e-05,6.529103e-05,6.534254e-05,6.539992e-05,6.541515e-05,6.546440e-05,6.546738e-05,6.549189e-05,6.549715e-05,6.549917e-05,6.549270e-05,6.548767e-05,6.545875e-05,6.545725e-05,6.541370e-05,6.539377e-05,6.535373e-05,6.530500e-05,6.527996e-05,6.519348e-05,6.509529e-05,6.506156e-05,6.498634e-05,6.491137e-05,6.486751e-05,6.474492e-05,6.473964e-05,6.460352e-05,6.456403e-05,6.445989e-05,6.437039e-05,6.430943e-05,6.416555e-05,6.415280e-05,6.399061e-05,6.395092e-05,6.382342e-05,6.372781e-05,6.365176e-05,6.349742e-05,6.347615e-05,6.329705e-05,6.326085e-05,6.311489e-05,6.301910e-05,6.293009e-05,6.277309e-05,6.274303e-05,6.255406e-05,6.252367e-05,6.236353e-05,6.227160e-05,6.217173e-05,6.201759e-05,6.197897e-05,6.178552e-05,6.176227e-05,6.159161e-05,6.150621e-05,6.139750e-05,6.124996e-05,6.120339e-05,6.100948e-05,6.099398e-05,6.081597e-05,6.073872e-05,6.062303e-05,6.048455e-05,6.043081e-05,6.023947e-05,6.023184e-05,6.004914e-05,5.998089e-05,5.985995e-05,5.973200e-05,5.967200e-05,5.948542e-05,5.924138e-05,5.900007e-05,5.876168e-05,5.852635e-05,5.829423e-05,5.806544e-05,5.784007e-05,5.761821e-05,5.739994e-05,5.718530e-05,5.697436e-05,5.676714e-05,5.656367e-05,5.636398e-05,5.616807e-05,5.597595e-05,5.578760e-05,5.560303e-05,5.542220e-05,5.524511e-05,5.507172e-05,5.490201e-05,5.473594e-05,5.457347e-05
0.000000e+00,2.367132e-09,5.412046e-09,1.859134e-08,4.227105e-08,6.163759e-08,1.394666e-07,1.436405e-07,2.760806e-07,3.237082e-07,4.699390e-07,6.201458e-07,7.357752e-07,1.052585e-06,1.083660e-06,1.522896e-06,1.642829e-06,2.061434e-06,2.408634e-06,2.704949e-06,3.359911e-06,3.455614e-06,4.310940e-06,4.493980e-06,5.263313e-06,5.793058e-06,6.300780e-06,7.227456e-06,7.408875e-06,8.572637e-06,8.763043e-06,9.777975e-06,1.036755e-05,1.101230e-05,1.201320e-05,1.226463e-05,1.352546e-05,1.367693e-05,1.478662e-05,1.533977e-05,1.604105e-05,1.698620e-05,1.728275e-05,1.850661e-05,1.860361e-05,1.970833e-05,2.018201e-05,2.088437e-05,2.171357e-05,2.203184e-05,2.314845e-05,2.319244e-05,2.423242e-05,2.461439e-05,2.528245e-05,2.597660e-05,2.629762e-05,2.727736e-05,2.822139e-05,2.851592e-05,2.912967e-05,2.969229e-05,3.000239e-05,3.080705e-05,3.083988e-05,3.164263e-05,3.186125e-05,3.241122e-05,3.285627e-05,3.314636e-05,3.379378e-05,3.384878e-05,3.451931e-05,3.467559e-05,3.515880e-05,3.550368e-05,3.576812e-05,3.628008e-05,3.634817e-05,3.689987e-05,3.700688e-05,3.742412e-05,3.768619e-05,3.792185e-05,3.832010e-05,3.839395e-05,3.884134e-05,3.891068e-05,3.926489e-05,3.945998e-05,3.966547e-05,3.996998e-05,4.004394e-05,4.040114e-05,4.044262e-05,4.073789e-05,4.087979e-05,4.105499e-05,4.128331e-05,4.135320e-05,4.163330e-05,4.165494e-05,4.189600e-05,4.199638e-05,4.214204e-05,4.230925e-05,4.237210e-05,4.258684e-05,4.259513e-05,4.278694e-05,4.285550e-05,4.297300e-05,4.309182e-05,4.314564e-05,4.330546e-05,4.345301e-05,4.349773e-05,4.358885e-05,4.366988e-05,4.371350e-05,4.382313e-05,4.382749e-05,4.393130e-05,4.395861e-05,4.402540e-05,4.407740e-05,4.411027e-05,4.418055e-05,4.418632e-05,4.425401e-05,4.426905e-05,4.431372e-05,4.434382e-05,4.436585e-05,4.440576e-05,4.441079e-05,4.444889e-05,4.445572e-05,4.448051e-05,4.449450e-05,4.450598e-05,4.452286e-05,4.452563e-05,4.453975e-05,4.454152e-05,4.454866e-05,4.455117e-05,4.455264e-05,4.455245e-05,4.455195e-05,4.454687e-05,4.454598e-05,4.453764e-05,4.453233e-05,4.452451e-05,4.451206e-05,4.450770e-05,4.448744e-05,4.448567e-05,4.446393e-05,4.445367e-05,4.443739e-05,4.441651e-05,4.440800e-05,4.437595e-05,4.437462e-05,4.434142e-05,4.432842e-05,4.430458e-05,4.427829e-05,4.426558e-05,4.422459e-05,4.416767e-05,4.410784e-05,4.404541e-05,4.398067e-05,4.391387e-05,4.384527e-05,4.377510e-05,4.370358e-05,4.363091e-05,4.355729e-05,4.348288e-05,4.340786e-05,4.333239e-05,4.325659e-05,4.318062e-05,4.310458e-05,4.302860e-05,4.295278e-05,4.287722e-05,4.280201e-05,4.272722e-05,4.265295e-05,4.257925e-05,4.250620e-05
0.000000e+00,1.404983e-08,3.203757e-08,1.094939e-07,2.479811e-07,3.609685e-07,8.146510e-07,8.390008e-07,1.614393e-06,1.894865e-06,2.762106e-06,3.662244e-06,4.360630e-06,6.287521e-06,6.476778e-06,9.131784e-06,9.845700e-06,1.228579e-05,1.424413e-05,1.586925e-05,1.932489e-05,1.981569e-05,2.406903e-05,2.495211e-05,2.857983e-05,3.101164e-05,3.330137e-05,3.739680e-05,3.818785e-05,4.319406e-05,4.400319e-05,4.827588e-05,5.072951e-05,5.339108e-05,5.748059e-05,5.850011e-05,6.356683e-05,6.417042e-05,6.855895e-05,7.072444e-05,7.344831e-05,7.708062e-05,7.821098e-05,8.282712e-05,8.318958e-05,8.728084e-05,8.901398e-05,9.155986e-05,9.452740e-05,9.565515e-05,9.956046e-05,9.971266e-05,1.032721e-04,1.045605e-04,1.067885e-04,1.090682e-04,1.101100e-04,1.132381e-04,1.161760e-04,1.170766e-04,1.189275e-04,1.205928e-04,1.214973e-04,1.237983e-04,1.238907e-04,1.261134e-04,1.267060e-04,1.281715e-04,1.293298e-04,1.300711e-04,1.316842e-04,1.318186e-04,1.334204e-04,1.337839e-04,1.348829e-04,1.356434e-04,1.362125e-04,1.372774e-04,1.374153e-04,1.384974e-04,1.386999e-04,1.394650e-04,1.399247e-04,1.403236e-04,1.409649e-04,1.410791e-04,1.417368e-04,1.418333e-04,1.423020e-04,1.425419e-04,1.427798e-04,1.431024e-04,1.431750e-04,1.434925e-04,1.435256e-04,1.437366e-04,1.438219e-04,1.439117e-04,1.440012e-04,1.440220e-04,1.440714e-04,1.440728e-04,1.440636e-04,1.440454e-04,1.440024e-04,1.439271e-04,1.438911e-04,1.437330e-04,1.437258e-04,1.435313e-04,1.434486e-04,1.432889e-04,1.431024e-04,1.430088e-04,1.426934e-04,1.423455e-04,1.422277e-04,1.419675e-04,1.417108e-04,1.415616e-04,1.411479e-04,1.411301e-04,1.406751e-04,1.405437e-04,1.401984e-04,1.399028e-04,1.397020e-04,1.392294e-04,1.391876e-04,1.386570e-04,1.385273e-04,1.381115e-04,1.378002e-04,1.375528e-04,1.370513e-04,1.369823e-04,1.364012e-04,1.362839e-04,1.358109e-04,1.355006e-04,1.352124e-04,1.347043e-04,1.346070e-04,1.339955e-04,1.338972e-04,1.333791e-04,1.330817e-04,1.327586e-04,1.322599e-04,1.321349e-04,1.315088e-04,1.314336e-04,1.308811e-04,1.306045e-04,1.302524e-04,1.297744e-04,1.296234e-04,1.289948e-04,1.289446e-04,1.283671e-04,1.281164e-04,1.277408e-04,1.272911e-04,1.271165e-04,1.264946e-04,1.264698e-04,1.258756e-04,1.256535e-04,1.252598e-04,1.248430e-04,1.246476e-04,1.240393e-04,1.232430e-04,1.224547e-04,1.216752e-04,1.209047e-04,1.201440e-04,1.193932e-04,1.186528e-04,1.179231e-04,1.172043e-04,1.164966e-04,1.158003e-04,1.151153e-04,1.144419e-04,1.137802e-04,1.131301e-04,1.124916e-04,1.118649e-04,1.112499e-04,1.106464e-04,1.100546e-04,1.094743e-04,1.089054e-04,1.083478e-04,1.078015e-04
0.000000e+00,4.454878e-09,1.014375e-08,3.456625e-08,7.808437e-08,1.135095e-07,2.553804e-07,2.629843e-07,5.049070e-07,5.923890e-07,8.630964e-07,1.144712e-06,1.363860e-06,1.972504e-06,2.032654e-06,2.884173e-06,3.115544e-06,3.912865e-06,4.558477e-06,5.096904e-06,6.246740e-06,6.410398e-06,7.830493e-06,8.125584e-06,9.338287e-06,1.015155e-05,1.091759e-05,1.228867e-05,1.255368e-05,1.423252e-05,1.450418e-05,1.594043e-05,1.676661e-05,1.766403e-05,1.904542e-05,1.939028e-05,2.110674e-05,2.131149e-05,2.280171e-05,2.353786e-05,2.446438e-05,2.570040e-05,2.608506e-05,2.765525e-05,2.777845e-05,2.916766e-05,2.975506e-05,3.061630e-05,3.161710e-05,3.199638e-05,3.330434e-05,3.335511e-05,3.453765e-05,3.496306e-05,3.569485e-05,3.643792e-05,3.677533e-05,3.777926e-05,3.870748e-05,3.898874e-05,3.956142e-05,4.006982e-05,4.034297e-05,4.102728e-05,4.105442e-05,4.169831e-05,4.186685e-05,4.227735e-05,4.259484e-05,4.279442e-05,4.321792e-05,4.325246e-05,4.365444e-05,4.374290e-05,4.400335e-05,4.417667e-05,4.430219e-05,4.452615e-05,4.455397e-05,4.476161e-05,4.479809e-05,4.492792e-05,4.499899e-05,4.505565e-05,4.513507e-05,4.514745e-05,4.520588e-05,4.521230e-05,4.523341e-05,4.523640e-05,4.523262e-05,4.521327e-05,4.520597e-05,4.515537e-05,4.514778e-05,4.508271e-05,4.504422e-05,4.498981e-05,4.490668e-05,4.487831e-05,4.474979e-05,4.473882e-05,4.460574e-05,4.454408e-05,4.444754e-05,4.432559e-05,4.427646e-05,4.409372e-05,4.408618e-05,4.390046e-05,4.382851e-05,4.369773e-05,4.355498e-05,4.348653e-05,4.326778e-05,4.304231e-05,4.296888e-05,4.281094e-05,4.266011e-05,4.257440e-05,4.234309e-05,4.233337e-05,4.208849e-05,4.201932e-05,4.184036e-05,4.169015e-05,4.158953e-05,4.135681e-05,4.133649e-05,4.108173e-05,4.102038e-05,4.082567e-05,4.068186e-05,4.056872e-05,4.034214e-05,4.031123e-05,4.005355e-05,4.000202e-05,3.979600e-05,3.966222e-05,3.953886e-05,3.932337e-05,3.928239e-05,3.902683e-05,3.898604e-05,3.877240e-05,3.865074e-05,3.851931e-05,3.831793e-05,3.826774e-05,3.801785e-05,3.798799e-05,3.776980e-05,3.766127e-05,3.752372e-05,3.733809e-05,3.727973e-05,3.703794e-05,3.701870e-05,3.679846e-05,3.670333e-05,3.656137e-05,3.639219e-05,3.632675e-05,3.609467e-05,3.608544e-05,3.586518e-05,3.578322e-05,3.563835e-05,3.548564e-05,3.541421e-05,3.519279e-05,3.490476e-05,3.462160e-05,3.434334e-05,3.407002e-05,3.380164e-05,3.353821e-05,3.327972e-05,3.302614e-05,3.277745e-05,3.253362e-05,3.229460e-05,3.206035e-05,3.183081e-05,3.160593e-05,3.138566e-05,3.116991e-05,3.095864e-05,3.075176e-05,3.054922e-05,3.035093e-05,3.015683e-05,2.996683e-05,2.978088e-05,2.959888e-05
0.000000e+00,6.935830e-09,1.584298e-08,5.434354e-08,1.234923e-07,1.800946e-07,4.084202e-07,4.207109e-07,8.134543e-07,9.560514e-07,1.398472e-06,1.860067e-06,2.220145e-06,3.225788e-06,3.325774e-06,4.758289e-06,5.154026e-06,6.541713e-06,7.692206e-06,8.668458e-06,1.079596e-05,1.110276e-05,1.379708e-05,1.436300e-05,1.670537e-05,1.828874e-05,1.978770e-05,2.248622e-05,2.300989e-05,2.634191e-05,2.688338e-05,2.975652e-05,3.141739e-05,3.322848e-05,3.603145e-05,3.673422e-05,4.025173e-05,4.067364e-05,4.376068e-05,4.529705e-05,4.724249e-05,4.986018e-05,5.068047e-05,5.405984e-05,5.432727e-05,5.736783e-05,5.866853e-05,6.059349e-05,6.285982e-05,6.372774e-05,6.676327e-05,6.688255e-05,6.969430e-05,7.072301e-05,7.251647e-05,7.437176e-05,7.522674e-05,7.782321e-05,8.030496e-05,8.107486e-05,8.267190e-05,8.412677e-05,8.492469e-05,8.698114e-05,8.706459e-05,8.909336e-05,8.964179e-05,9.101319e-05,9.211380e-05,9.282653e-05,9.440309e-05,9.453610e-05,9.614483e-05,9.651625e-05,9.765576e-05,9.846034e-05,9.907206e-05,1.002427e-04,1.003969e-04,1.016336e-04,1.018707e-04,1.027854e-04,1.033519e-04,1.038556e-04,1.046937e-04,1.048472e-04,1.057636e-04,1.059034e-04,1.066078e-04,1.069883e-04,1.073829e-04,1.079552e-04,1.080919e-04,1.087376e-04,1.088110e-04,1.093230e-04,1.095621e-04,1.098507e-04,1.102148e-04,1.103234e-04,1.107437e-04,1.107751e-04,1.111141e-04,1.112489e-04,1.114370e-04,1.116415e-04,1.117148e-04,1.119497e-04,1.119582e-04,1.121438e-04,1.122041e-04,1.122992e-04,1.123838e-04,1.124180e-04,1.125020e-04,1.125532e-04,1.125629e-04,1.125733e-04,1.125706e-04,1.125640e-04,1.125289e-04,1.125269e-04,1.124637e-04,1.124415e-04,1.123758e-04,1.123119e-04,1.122647e-04,1.121432e-04,1.121318e-04,1.119784e-04,1.119386e-04,1.118057e-04,1.117010e-04,1.116150e-04,1.114332e-04,1.114074e-04,1.111841e-04,1.111376e-04,1.109460e-04,1.108168e-04,1.106943e-04,1.104729e-04,1.104298e-04,1.101535e-04,1.101083e-04,1.098663e-04,1.097248e-04,1.095690e-04,1.093244e-04,1.092624e-04,1.089472e-04,1.089089e-04,1.086243e-04,1.084799e-04,1.082942e-04,1.080389e-04,1.079576e-04,1.076151e-04,1.075875e-04,1.072674e-04,1.071270e-04,1.069150e-04,1.066587e-04,1.065584e-04,1.061982e-04,1.061837e-04,1.058347e-04,1.057032e-04,1.054686e-04,1.052182e-04,1.051001e-04,1.047297e-04,1.042386e-04,1.037457e-04,1.032517e-04,1.027574e-04,1.022635e-04,1.017705e-04,1.012790e-04,1.007896e-04,1.003026e-04,9.981863e-05,9.933798e-05,9.886104e-05,9.838814e-05,9.791958e-05,9.745564e-05,9.699656e-05,9.654256e-05,9.609384e-05,9.565057e-05,9.521291e-05,9.478100e-05,9.435495e-05,9.393486e-05,9.352082e-05
0.000000e+00,4.990303e-09,1.137440e-08,3.884533e-08,8.793942e-08,1.279935e-07,2.889262e-07,2.975699e-07,5.732051e-07,6.731016e-07,9.827008e-07,1.305354e-06,1.556843e-06,2.258180e-06,2.327810e-06,3.322618e-06,3.596312e-06,4.551189e-06,5.336356e-06,5.997582e-06,7.422039e-06,7.625587e-06,9.393400e-06,9.760333e-06,1.126372e-05,1.226646e-05,1.320615e-05,1.487528e-05,1.519594e-05,1.721234e-05,1.753619e-05,1.923724e-05,2.020741e-05,2.125451e-05,2.285306e-05,2.324968e-05,2.520977e-05,2.544206e-05,2.712335e-05,2.794799e-05,2.898054e-05,3.034910e-05,3.077300e-05,3.249390e-05,3.262831e-05,3.413789e-05,3.477302e-05,3.570099e-05,3.677475e-05,3.718046e-05,3.857471e-05,3.862870e-05,3.988318e-05,4.033327e-05,4.110620e-05,4.188955e-05,4.224479e-05,4.330041e-05,4.427516e-05,4.457039e-05,4.517151e-05,4.570528e-05,4.599219e-05,4.671160e-05,4.674017e-05,4.741854e-05,4.759645e-05,4.803052e-05,4.836716e-05,4.857930e-05,4.903113e-05,4.906811e-05,4.950014e-05,4.959572e-05,4.987853e-05,5.006815e-05,5.020636e-05,5.045540e-05,5.048661e-05,5.072216e-05,5.076415e-05,5.091578e-05,5.100078e-05,5.107014e-05,5.117133e-05,5.118779e-05,5.127117e-05,5.128149e-05,5.132261e-05,5.133660e-05,5.134429e-05,5.134164e-05,5.133834e-05,5.130672e-05,5.130129e-05,5.125133e-05,5.121989e-05,5.117395e-05,5.110146e-05,5.107625e-05,5.095983e-05,5.094976e-05,5.082619e-05,5.076823e-05,5.067673e-05,5.056007e-05,5.051278e-05,5.033560e-05,5.032825e-05,5.014636e-05,5.007549e-05,4.994615e-05,4.980428e-05,4.973602e-05,4.951694e-05,4.928982e-05,4.921558e-05,4.905550e-05,4.890214e-05,4.881480e-05,4.857840e-05,4.856845e-05,4.831715e-05,4.824599e-05,4.806155e-05,4.790639e-05,4.780227e-05,4.756096e-05,4.753986e-05,4.727486e-05,4.721093e-05,4.700776e-05,4.685744e-05,4.673902e-05,4.650150e-05,4.646906e-05,4.619827e-05,4.614405e-05,4.592702e-05,4.578591e-05,4.565566e-05,4.542785e-05,4.538448e-05,4.511379e-05,4.507054e-05,4.484385e-05,4.471461e-05,4.457490e-05,4.436061e-05,4.430717e-05,4.404087e-05,4.400902e-05,4.377619e-05,4.366029e-05,4.351330e-05,4.331480e-05,4.325236e-05,4.299351e-05,4.297290e-05,4.273689e-05,4.263489e-05,4.248261e-05,4.230105e-05,4.223079e-05,4.198150e-05,4.197159e-05,4.173485e-05,4.164671e-05,4.149090e-05,4.132660e-05,4.124973e-05,4.101138e-05,4.070119e-05,4.039611e-05,4.009622e-05,3.980158e-05,3.951224e-05,3.922821e-05,3.894952e-05,3.867617e-05,3.840815e-05,3.814543e-05,3.788799e-05,3.763580e-05,3.738880e-05,3.714696e-05,3.691021e-05,3.667850e-05,3.645177e-05,3.622994e-05,3.601294e-05,3.580071e-05,3.559316e-05,3.539023e-05,3.519182e-05,3.499787e-05
0.000000e+00,3.709624e-09,8.478204e-09,2.911445e-08,6.622995e-08,9.664154e-08,2.194816e-07,2.260994e-07,4.377187e-07,5.145889e-07,7.530068e-07,1.001281e-06,1.194294e-06,1.728157e-06,1.780698e-06,2.520382e-06,2.720267e-06,3.407131e-06,3.962631e-06,4.426413e-06,5.420489e-06,5.562494e-06,6.800901e-06,7.059671e-06,8.128234e-06,8.849294e-06,9.531576e-06,1.075980e-05,1.099818e-05,1.251547e-05,1.276211e-05,1.407116e-05,1.482804e-05,1.565347e-05,1.693106e-05,1.725139e-05,1.885475e-05,1.904708e-05,2.045444e-05,2.115502e-05,2.204239e-05,2.323702e-05,2.361158e-05,2.515602e-05,2.527835e-05,2.667072e-05,2.726732e-05,2.815156e-05,2.919493e-05,2.959526e-05,3.099921e-05,3.105451e-05,3.236145e-05,3.284135e-05,3.368056e-05,3.455243e-05,3.495561e-05,3.618605e-05,3.737165e-05,3.774157e-05,3.851246e-05,3.921918e-05,3.960874e-05,4.061971e-05,4.066096e-05,4.166973e-05,4.194449e-05,4.263577e-05,4.319522e-05,4.355990e-05,4.437386e-05,4.444302e-05,4.528609e-05,4.548258e-05,4.609011e-05,4.652368e-05,4.685610e-05,4.749957e-05,4.758514e-05,4.827827e-05,4.841269e-05,4.893658e-05,4.926550e-05,4.956115e-05,5.006048e-05,5.015303e-05,5.071331e-05,5.080009e-05,5.124302e-05,5.148674e-05,5.174322e-05,5.212282e-05,5.221493e-05,5.265916e-05,5.271067e-05,5.307690e-05,5.325256e-05,5.346911e-05,5.375070e-05,5.383674e-05,5.418073e-05,5.420725e-05,5.450198e-05,5.462431e-05,5.480136e-05,5.500387e-05,5.507976e-05,5.533799e-05,5.534791e-05,5.557687e-05,5.565829e-05,5.579720e-05,5.593682e-05,5.599975e-05,5.618526e-05,5.635445e-05,5.640526e-05,5.650803e-05,5.659845e-05,5.664669e-05,5.676635e-05,5.677106e-05,5.688181e-05,5.691046e-05,5.697953e-05,5.703217e-05,5.706484e-05,5.713284e-05,5.713829e-05,5.720046e-05,5.721376e-05,5.725188e-05,5.727617e-05,5.729306e-05,5.732123e-05,5.732451e-05,5.734671e-05,5.735008e-05,5.736013e-05,5.736378e-05,5.736521e-05,5.736335e-05,5.736239e-05,5.735208e-05,5.734976e-05,5.733468e-05,5.732393e-05,5.731059e-05,5.728673e-05,5.728016e-05,5.724375e-05,5.723900e-05,5.720172e-05,5.718152e-05,5.715438e-05,5.711505e-05,5.710205e-05,5.704504e-05,5.704028e-05,5.698363e-05,5.695790e-05,5.691811e-05,5.686854e-05,5.684874e-05,5.677578e-05,5.677279e-05,5.669948e-05,5.667124e-05,5.662007e-05,5.656441e-05,5.653778e-05,5.645282e-05,5.633694e-05,5.621722e-05,5.609408e-05,5.596794e-05,5.583915e-05,5.570809e-05,5.557507e-05,5.544041e-05,5.530440e-05,5.516731e-05,5.502940e-05,5.489091e-05,5.475206e-05,5.461306e-05,5.447409e-05,5.433534e-05,5.419698e-05,5.405916e-05,5.392201e-05,5.378568e-05,5.365029e-05,5.351593e-05,5.338273e-05,5.325076e-05
0.000000e+00,1.362057e-08,3.110735e-08,1.067472e-07,2.429843e-07,3.549309e-07,8.106810e-07,8.354044e-07,1.635046e-06,1.929515e-06,2.852968e-06,3.823326e-06,4.577673e-06,6.638722e-06,6.838821e-06,9.604500e-06,1.033790e-05,1.282693e-05,1.481569e-05,1.646596e-05,1.998631e-05,2.048815e-05,2.486149e-05,2.577536e-05,2.955200e-05,3.210416e-05,3.452238e-05,3.888420e-05,3.973208e-05,4.513808e-05,4.601830e-05,5.069601e-05,5.340471e-05,5.636143e-05,6.094195e-05,6.209097e-05,6.784341e-05,6.853338e-05,7.358043e-05,7.609074e-05,7.926727e-05,8.353653e-05,8.487300e-05,9.037072e-05,9.080516e-05,9.573755e-05,9.784323e-05,1.009544e-04,1.046089e-04,1.060059e-04,1.108799e-04,1.110710e-04,1.155673e-04,1.172077e-04,1.200617e-04,1.230055e-04,1.243591e-04,1.284576e-04,1.323565e-04,1.335621e-04,1.360567e-04,1.383215e-04,1.395603e-04,1.427416e-04,1.428703e-04,1.459903e-04,1.468305e-04,1.489248e-04,1.505985e-04,1.516787e-04,1.540572e-04,1.542572e-04,1.566659e-04,1.572194e-04,1.589107e-04,1.600986e-04,1.609980e-04,1.627096e-04,1.629342e-04,1.647249e-04,1.650661e-04,1.663760e-04,1.671814e-04,1.678934e-04,1.690687e-04,1.692826e-04,1.705493e-04,1.707409e-04,1.716988e-04,1.722105e-04,1.727365e-04,1.734897e-04,1.736677e-04,1.744971e-04,1.745901e-04,1.752298e-04,1.755227e-04,1.758704e-04,1.762984e-04,1.764234e-04,1.768933e-04,1.769275e-04,1.772844e-04,1.774196e-04,1.776006e-04,1.777842e-04,1.778460e-04,1.780242e-04,1.780300e-04,1.781390e-04,1.781654e-04,1.781938e-04,1.781985e-04,1.781919e-04,1.781366e-04,1.780310e-04,1.779871e-04,1.778781e-04,1.777566e-04,1.776805e-04,1.774515e-04,1.774411e-04,1.771624e-04,1.770777e-04,1.768470e-04,1.766410e-04,1.764971e-04,1.761467e-04,1.761150e-04,1.757029e-04,1.755998e-04,1.752628e-04,1.750049e-04,1.747968e-04,1.743666e-04,1.743066e-04,1.737940e-04,1.736890e-04,1.732608e-04,1.729759e-04,1.727085e-04,1.722310e-04,1.721387e-04,1.715529e-04,1.714578e-04,1.709524e-04,1.706594e-04,1.703386e-04,1.698388e-04,1.697127e-04,1.690758e-04,1.689987e-04,1.684292e-04,1.681419e-04,1.677739e-04,1.672707e-04,1.671109e-04,1.664412e-04,1.663873e-04,1.657656e-04,1.654939e-04,1.650851e-04,1.645925e-04,1.644004e-04,1.637123e-04,1.636847e-04,1.630216e-04,1.627724e-04,1.623289e-04,1.618570e-04,1.616348e-04,1.609400e-04,1.600228e-04,1.591065e-04,1.581922e-04,1.572811e-04,1.563740e-04,1.554719e-04,1.545754e-04,1.536854e-04,1.528026e-04,1.519274e-04,1.510604e-04,1.502022e-04,1.493531e-04,1.485136e-04,1.476840e-04,1.468645e-04,1.460555e-04,1.452572e-04,1.444697e-04,1.436933e-04,1.429281e-04,1.421741e-04,1.414315e-04,1.407004e-04
0.000000e+00,3.951188e-09,9.011858e-09,3.084750e-08,7.008733e-08,1.022963e-07,2.333678e-07,2.404799e-07,4.708517e-07,5.559457e-07,8.243951e-07,1.110459e-06,1.336651e-06,1.973679e-06,2.036912e-06,2.928011e-06,3.167645e-06,3.983207e-06,4.632622e-06,5.167811e-06,6.295252e-06,6.454309e-06,7.823189e-06,8.105500e-06,9.259664e-06,1.002910e-05,1.075108e-05,1.203760e-05,1.228552e-05,1.385124e-05,1.410388e-05,1.543657e-05,1.620109e-05,1.702997e-05,1.830300e-05,1.862030e-05,2.019699e-05,2.038481e-05,2.175028e-05,2.242400e-05,2.327133e-05,2.440096e-05,2.475239e-05,2.618679e-05,2.629935e-05,2.756900e-05,2.810623e-05,2.889455e-05,2.981192e-05,3.016004e-05,3.136298e-05,3.140977e-05,3.250177e-05,3.289585e-05,3.357555e-05,3.426847e-05,3.458414e-05,3.552791e-05,3.640771e-05,3.667593e-05,3.722478e-05,3.771549e-05,3.798067e-05,3.865044e-05,3.867718e-05,3.931629e-05,3.948524e-05,3.990013e-05,4.022483e-05,4.043093e-05,4.087436e-05,4.091095e-05,4.134250e-05,4.143912e-05,4.172790e-05,4.192442e-05,4.206943e-05,4.233549e-05,4.236936e-05,4.262989e-05,4.267746e-05,4.285318e-05,4.295527e-05,4.304131e-05,4.317363e-05,4.319627e-05,4.332003e-05,4.333706e-05,4.341448e-05,4.344995e-05,4.348147e-05,4.351646e-05,4.352274e-05,4.353992e-05,4.354043e-05,4.353456e-05,4.352545e-05,4.350818e-05,4.347495e-05,4.346220e-05,4.339799e-05,4.339211e-05,4.331684e-05,4.327991e-05,4.321996e-05,4.314112e-05,4.310851e-05,4.298359e-05,4.297833e-05,4.284625e-05,4.279395e-05,4.269746e-05,4.259023e-05,4.253817e-05,4.236924e-05,4.219151e-05,4.213290e-05,4.200575e-05,4.188299e-05,4.181269e-05,4.162115e-05,4.161304e-05,4.140745e-05,4.134890e-05,4.119652e-05,4.106765e-05,4.098084e-05,4.077869e-05,4.076095e-05,4.053736e-05,4.048320e-05,4.031055e-05,4.018229e-05,4.008096e-05,3.987696e-05,3.984901e-05,3.961510e-05,3.956811e-05,3.937958e-05,3.925660e-05,3.914282e-05,3.894320e-05,3.890511e-05,3.866677e-05,3.862860e-05,3.842807e-05,3.831344e-05,3.818927e-05,3.799832e-05,3.795061e-05,3.771231e-05,3.768375e-05,3.747458e-05,3.737021e-05,3.723761e-05,3.705814e-05,3.700158e-05,3.676665e-05,3.674791e-05,3.653297e-05,3.643988e-05,3.630068e-05,3.613437e-05,3.606991e-05,3.584077e-05,3.583164e-05,3.561337e-05,3.553195e-05,3.538781e-05,3.523552e-05,3.516417e-05,3.494253e-05,3.465316e-05,3.436754e-05,3.408582e-05,3.380808e-05,3.353442e-05,3.326491e-05,3.299961e-05,3.273856e-05,3.248180e-05,3.222935e-05,3.198122e-05,3.173742e-05,3.149793e-05,3.126274e-05,3.103184e-05,3.080519e-05,3.058278e-05,3.036455e-05,3.015048e-05,2.994052e-05,2.973462e-05,2.953273e-05,2.933480e-05,2.914077e-05
0.000000e+00,7.813216e-09,1.780203e-08,6.072474e-08,1.372296e-07,1.994706e-07,4.480879e-07,4.613785e-07,8.821504e-07,1.033288e-06,1.497601e-06,1.975597e-06,2.344488e-06,3.358693e-06,3.458348e-06,4.865193e-06,5.247453e-06,6.568834e-06,7.644873e-06,8.546531e-06,1.048310e-05,1.075974e-05,1.316752e-05,1.366906e-05,1.573251e-05,1.711722e-05,1.842134e-05,2.075329e-05,2.120351e-05,2.405045e-05,2.451014e-05,2.693504e-05,2.832544e-05,2.983167e-05,3.214147e-05,3.271637e-05,3.556712e-05,3.590597e-05,3.836415e-05,3.957324e-05,4.109004e-05,4.310488e-05,4.372991e-05,4.627145e-05,4.647021e-05,4.870479e-05,4.964605e-05,5.102234e-05,5.261616e-05,5.321869e-05,5.529039e-05,5.537063e-05,5.723566e-05,5.790491e-05,5.905422e-05,6.021892e-05,6.074705e-05,6.231616e-05,6.376442e-05,6.420289e-05,6.509534e-05,6.588741e-05,6.631298e-05,6.737942e-05,6.742174e-05,6.842631e-05,6.868958e-05,6.933154e-05,6.982904e-05,7.014235e-05,7.080917e-05,7.086370e-05,7.150053e-05,7.164133e-05,7.205768e-05,7.233665e-05,7.253988e-05,7.290583e-05,7.295168e-05,7.329750e-05,7.335913e-05,7.358160e-05,7.370631e-05,7.380806e-05,7.395659e-05,7.398077e-05,7.410343e-05,7.411865e-05,7.417956e-05,7.420057e-05,7.421252e-05,7.420993e-05,7.420546e-05,7.416138e-05,7.415374e-05,7.408310e-05,7.403851e-05,7.397329e-05,7.387029e-05,7.383445e-05,7.366895e-05,7.365462e-05,7.347900e-05,7.339665e-05,7.326669e-05,7.310109e-05,7.303398e-05,7.278269e-05,7.277227e-05,7.251454e-05,7.241419e-05,7.223114e-05,7.203049e-05,7.193400e-05,7.162451e-05,7.130400e-05,7.119931e-05,7.097369e-05,7.075768e-05,7.063472e-05,7.030216e-05,7.028816e-05,6.993500e-05,6.983506e-05,6.957617e-05,6.935850e-05,6.921252e-05,6.887440e-05,6.884485e-05,6.847391e-05,6.838448e-05,6.810039e-05,6.789032e-05,6.772491e-05,6.739334e-05,6.734807e-05,6.697042e-05,6.689484e-05,6.659246e-05,6.639595e-05,6.621465e-05,6.589773e-05,6.583743e-05,6.546120e-05,6.540111e-05,6.508630e-05,6.490692e-05,6.471307e-05,6.441591e-05,6.434183e-05,6.397284e-05,6.392872e-05,6.360636e-05,6.344596e-05,6.324262e-05,6.296814e-05,6.288183e-05,6.252418e-05,6.249571e-05,6.216984e-05,6.202906e-05,6.181896e-05,6.156855e-05,6.147168e-05,6.112812e-05,6.111446e-05,6.078839e-05,6.066704e-05,6.045258e-05,6.022652e-05,6.012078e-05,5.979306e-05,5.936681e-05,5.894788e-05,5.853635e-05,5.813230e-05,5.773576e-05,5.734674e-05,5.696526e-05,5.659130e-05,5.622483e-05,5.586581e-05,5.551419e-05,5.516992e-05,5.483291e-05,5.450309e-05,5.418037e-05,5.386467e-05,5.355589e-05,5.325391e-05,5.295865e-05,5.266999e-05,5.238782e-05,5.211203e-05,5.184250e-05,5.157912e-05
0.000000e+00,9.723922e-10,2.201666e-09,7.409740e-09,1.652932e-08,2.384693e-08,5.245766e-08,5.396440e-08,1.007374e-07,1.171561e-07,1.665476e-07,2.159640e-07,2.532489e-07,3.526241e-07,3.621786e-07,4.941132e-07,5.292294e-07,6.491698e-07,7.458838e-07,8.266643e-07,1.000138e-06,1.024950e-06,1.241283e-06,1.286394e-06,1.471812e-06,1.595747e-06,1.711794e-06,1.916904e-06,1.956063e-06,2.199634e-06,2.238239e-06,2.438183e-06,2.549863e-06,2.668291e-06,2.844588e-06,2.887451e-06,3.093951e-06,3.117824e-06,3.286724e-06,3.367037e-06,3.465211e-06,3.591191e-06,3.629243e-06,3.778948e-06,3.790315e-06,3.914686e-06,3.965183e-06,4.036982e-06,4.117072e-06,4.146485e-06,4.243923e-06,4.247581e-06,4.330076e-06,4.358483e-06,4.405745e-06,4.451621e-06,4.471733e-06,4.528828e-06,4.577793e-06,4.591865e-06,4.619355e-06,4.642388e-06,4.654200e-06,4.681928e-06,4.682969e-06,4.706257e-06,4.711872e-06,4.724613e-06,4.733469e-06,4.738539e-06,4.747833e-06,4.748493e-06,4.754895e-06,4.755945e-06,4.758121e-06,4.758670e-06,4.758515e-06,4.756764e-06,4.756384e-06,4.752007e-06,4.750884e-06,4.745633e-06,4.741604e-06,4.737486e-06,4.729422e-06,4.727770e-06,4.716663e-06,4.714769e-06,4.704330e-06,4.698018e-06,4.690916e-06,4.679494e-06,4.676551e-06,4.661353e-06,4.659478e-06,4.645428e-06,4.638215e-06,4.628870e-06,4.615916e-06,4.611765e-06,4.594190e-06,4.592766e-06,4.576214e-06,4.568925e-06,4.557899e-06,4.544534e-06,4.539301e-06,4.520472e-06,4.519715e-06,4.501457e-06,4.494574e-06,4.482297e-06,4.469206e-06,4.463031e-06,4.443691e-06,4.424309e-06,4.418103e-06,4.404913e-06,4.392503e-06,4.385527e-06,4.366947e-06,4.366174e-06,4.346876e-06,4.341484e-06,4.327650e-06,4.316156e-06,4.308513e-06,4.291000e-06,4.289482e-06,4.270568e-06,4.266048e-06,4.251786e-06,4.241330e-06,4.233147e-06,4.216869e-06,4.214659e-06,4.196333e-06,4.192688e-06,4.178177e-06,4.168806e-06,4.160198e-06,4.145237e-06,4.142403e-06,4.124796e-06,4.121997e-06,4.107384e-06,4.099096e-06,4.090170e-06,4.076544e-06,4.073158e-06,4.056353e-06,4.054350e-06,4.039755e-06,4.032520e-06,4.023369e-06,4.011058e-06,4.007196e-06,3.991238e-06,3.989970e-06,3.975495e-06,3.969259e-06,3.959969e-06,3.948925e-06,3.944661e-06,3.929571e-06,3.928971e-06,3.914698e-06,3.909397e-06,3.900043e-06,3.890202e-06,3.885605e-06,3.871385e-06,3.852944e-06,3.834878e-06,3.817183e-06,3.799857e-06,3.782897e-06,3.766298e-06,3.750057e-06,3.734169e-06,3.718630e-06,3.703435e-06,3.688579e-06,3.674058e-06,3.659866e-06,3.645998e-06,3.632449e-06,3.619213e-06,3.606286e-06,3.593661e-06,3.581333e-06,3.569296e-06,3.557546e-06,3.546077e-06,3.534883e-06,3.523958e-06
0.000000e+00,2.913890e-09,6.642849e-09,2.268695e-08,5.132997e-08,7.466178e-08,1.680310e-07,1.730283e-07,3.314574e-07,3.884404e-07,5.636535e-07,7.441777e-07,8.835544e-07,1.266981e-06,1.304681e-06,1.837774e-06,1.982984e-06,2.486278e-06,2.897395e-06,3.242357e-06,3.982934e-06,4.088547e-06,5.004229e-06,5.193995e-06,5.970609e-06,6.487847e-06,6.972023e-06,7.830702e-06,7.995455e-06,9.029811e-06,9.195660e-06,1.006544e-05,1.056048e-05,1.109392e-05,1.190657e-05,1.210789e-05,1.310109e-05,1.321862e-05,1.406827e-05,1.448444e-05,1.500512e-05,1.569476e-05,1.590829e-05,1.677523e-05,1.684296e-05,1.760414e-05,1.792477e-05,1.839386e-05,1.893785e-05,1.914380e-05,1.985381e-05,1.988138e-05,2.052413e-05,2.075583e-05,2.115533e-05,2.156258e-05,2.174818e-05,2.230367e-05,2.282293e-05,2.298164e-05,2.330720e-05,2.359935e-05,2.375776e-05,2.415985e-05,2.417598e-05,2.456322e-05,2.466629e-05,2.492088e-05,2.512185e-05,2.525033e-05,2.552967e-05,2.555292e-05,2.582995e-05,2.589279e-05,2.608273e-05,2.621416e-05,2.631250e-05,2.649663e-05,2.652047e-05,2.670780e-05,2.674289e-05,2.687561e-05,2.695552e-05,2.702498e-05,2.713694e-05,2.715692e-05,2.727244e-05,2.728946e-05,2.737247e-05,2.741525e-05,2.745792e-05,2.751636e-05,2.752964e-05,2.758846e-05,2.759469e-05,2.763515e-05,2.765204e-05,2.767045e-05,2.769009e-05,2.769507e-05,2.770967e-05,2.771043e-05,2.771491e-05,2.771451e-05,2.771137e-05,2.770371e-05,2.769963e-05,2.768023e-05,2.767931e-05,2.765370e-05,2.764249e-05,2.762051e-05,2.759438e-05,2.758113e-05,2.753600e-05,2.748553e-05,2.746832e-05,2.743011e-05,2.739222e-05,2.737011e-05,2.730853e-05,2.730588e-05,2.723776e-05,2.721803e-05,2.716605e-05,2.712143e-05,2.709105e-05,2.701939e-05,2.701304e-05,2.693228e-05,2.691251e-05,2.684902e-05,2.680138e-05,2.676349e-05,2.668652e-05,2.667591e-05,2.658649e-05,2.656840e-05,2.649542e-05,2.644748e-05,2.640290e-05,2.632417e-05,2.630908e-05,2.621414e-05,2.619885e-05,2.611822e-05,2.607188e-05,2.602148e-05,2.594357e-05,2.592404e-05,2.582603e-05,2.581423e-05,2.572757e-05,2.568413e-05,2.562877e-05,2.555352e-05,2.552973e-05,2.543056e-05,2.542263e-05,2.533135e-05,2.529167e-05,2.523217e-05,2.516083e-05,2.513311e-05,2.503425e-05,2.503030e-05,2.493564e-05,2.490022e-05,2.483737e-05,2.477075e-05,2.473947e-05,2.464203e-05,2.451415e-05,2.438725e-05,2.426142e-05,2.413673e-05,2.401328e-05,2.389114e-05,2.377035e-05,2.365099e-05,2.353310e-05,2.341671e-05,2.330188e-05,2.318862e-05,2.307696e-05,2.296694e-05,2.285855e-05,2.275182e-05,2.264676e-05,2.254337e-05,2.244166e-05,2.234163e-05,2.224328e-05,2.214661e-05,2.205160e-05,2.195825e-05
0.000000e+00,4.016128e-09,9.137382e-09,3.108791e-08,7.013542e-08,1.018877e-07,2.288914e-07,2.356936e-07,4.519190e-07,5.300190e-07,7.712961e-07,1.021332e-06,1.214872e-06,1.745275e-06,1.797007e-06,2.514989e-06,2.705676e-06,3.350990e-06,3.862905e-06,4.284438e-06,5.172727e-06,5.298114e-06,6.377738e-06,6.600429e-06,7.510396e-06,8.116188e-06,8.683607e-06,9.691407e-06,9.885025e-06,1.110251e-05,1.129800e-05,1.232436e-05,1.290914e-05,1.353961e-05,1.450030e-05,1.473826e-05,1.591151e-05,1.605022e-05,1.705181e-05,1.754146e-05,1.815297e-05,1.896062e-05,1.921010e-05,2.021954e-05,2.029816e-05,2.117880e-05,2.154808e-05,2.208636e-05,2.270741e-05,2.294159e-05,2.374455e-05,2.377559e-05,2.449593e-05,2.475402e-05,2.519690e-05,2.564554e-05,2.584899e-05,2.645400e-05,2.701392e-05,2.718391e-05,2.753086e-05,2.784016e-05,2.800702e-05,2.842779e-05,2.844458e-05,2.884576e-05,2.895186e-05,2.921269e-05,2.941729e-05,2.954747e-05,2.982881e-05,2.985212e-05,3.012854e-05,3.019089e-05,3.037859e-05,3.050775e-05,3.060400e-05,3.078328e-05,3.080640e-05,3.098736e-05,3.102110e-05,3.114830e-05,3.122454e-05,3.129060e-05,3.139666e-05,3.141553e-05,3.152428e-05,3.154026e-05,3.161797e-05,3.165790e-05,3.169764e-05,3.175192e-05,3.176424e-05,3.181870e-05,3.182446e-05,3.186185e-05,3.187745e-05,3.189447e-05,3.191268e-05,3.191730e-05,3.193103e-05,3.193175e-05,3.193628e-05,3.193614e-05,3.193364e-05,3.192718e-05,3.192368e-05,3.190691e-05,3.190611e-05,3.188381e-05,3.187403e-05,3.185482e-05,3.183197e-05,3.182037e-05,3.178085e-05,3.173662e-05,3.172153e-05,3.168803e-05,3.165479e-05,3.163539e-05,3.158133e-05,3.157900e-05,3.151915e-05,3.150181e-05,3.145610e-05,3.141683e-05,3.139008e-05,3.132693e-05,3.132133e-05,3.125007e-05,3.123262e-05,3.117650e-05,3.113436e-05,3.110080e-05,3.103257e-05,3.102316e-05,3.094373e-05,3.092765e-05,3.086268e-05,3.081995e-05,3.078016e-05,3.070980e-05,3.069630e-05,3.061122e-05,3.059751e-05,3.052507e-05,3.048336e-05,3.043794e-05,3.036760e-05,3.034994e-05,3.026118e-05,3.025049e-05,3.017176e-05,3.013222e-05,3.008175e-05,3.001302e-05,2.999126e-05,2.990035e-05,2.989306e-05,2.980910e-05,2.977252e-05,2.971758e-05,2.965156e-05,2.962586e-05,2.953400e-05,2.953032e-05,2.944205e-05,2.940894e-05,2.935008e-05,2.928756e-05,2.925814e-05,2.916627e-05,2.904519e-05,2.892442e-05,2.880405e-05,2.868415e-05,2.856482e-05,2.844611e-05,2.832809e-05,2.821083e-05,2.809437e-05,2.797877e-05,2.786406e-05,2.775030e-05,2.763752e-05,2.752575e-05,2.741503e-05,2.730537e-05,2.719681e-05,2.708937e-05,2.698306e-05,2.687791e-05,2.677393e-05,2.667113e-05,2.656952e-05,2.646911e-05
0.000000e+00,7.290487e-09,1.665397e-08,5.716155e-08,1.300871e-07,1.899565e-07,4.330955e-07,4.462573e-07,8.706251e-07,1.026425e-06,1.514933e-06,2.031414e-06,2.437729e-06,3.578568e-06,3.691893e-06,5.298690e-06,5.734925e-06,7.234455e-06,8.444223e-06,9.450554e-06,1.159387e-05,1.189846e-05,1.453829e-05,1.508632e-05,1.733737e-05,1.884627e-05,2.026722e-05,2.281005e-05,2.330151e-05,2.641509e-05,2.691899e-05,2.958378e-05,3.111750e-05,3.278449e-05,3.535345e-05,3.599548e-05,3.919668e-05,3.957929e-05,4.236996e-05,4.375313e-05,4.549922e-05,4.783932e-05,4.857045e-05,5.157184e-05,5.180862e-05,5.449360e-05,5.563819e-05,5.732788e-05,5.931085e-05,6.006849e-05,6.271086e-05,6.281446e-05,6.525176e-05,6.614122e-05,6.768914e-05,6.928687e-05,7.002200e-05,7.225029e-05,7.437439e-05,7.503223e-05,7.639531e-05,7.763530e-05,7.831469e-05,8.006354e-05,8.013444e-05,8.185682e-05,8.232198e-05,8.348434e-05,8.441641e-05,8.501963e-05,8.635298e-05,8.646542e-05,8.782454e-05,8.813816e-05,8.909991e-05,8.977861e-05,9.029442e-05,9.128103e-05,9.141100e-05,9.245254e-05,9.265210e-05,9.342192e-05,9.389842e-05,9.432197e-05,9.502646e-05,9.515546e-05,9.592512e-05,9.604252e-05,9.663360e-05,9.695271e-05,9.728349e-05,9.776292e-05,9.787732e-05,9.841753e-05,9.847886e-05,9.890650e-05,9.910601e-05,9.934654e-05,9.964962e-05,9.973988e-05,1.000887e-04,1.001147e-04,1.003950e-04,1.005061e-04,1.006609e-04,1.008284e-04,1.008883e-04,1.010790e-04,1.010859e-04,1.012349e-04,1.012829e-04,1.013577e-04,1.014232e-04,1.014491e-04,1.015107e-04,1.015440e-04,1.015489e-04,1.015505e-04,1.015413e-04,1.015317e-04,1.014910e-04,1.014888e-04,1.014233e-04,1.014011e-04,1.013363e-04,1.012744e-04,1.012292e-04,1.011137e-04,1.011030e-04,1.009588e-04,1.009216e-04,1.007977e-04,1.007005e-04,1.006208e-04,1.004527e-04,1.004289e-04,1.002231e-04,1.001804e-04,1.000042e-04,9.988553e-05,9.977313e-05,9.957013e-05,9.953059e-05,9.927742e-05,9.923598e-05,9.901435e-05,9.888477e-05,9.874209e-05,9.851812e-05,9.846131e-05,9.817267e-05,9.813753e-05,9.787677e-05,9.774442e-05,9.757419e-05,9.734012e-05,9.726551e-05,9.695124e-05,9.692588e-05,9.663191e-05,9.650286e-05,9.630797e-05,9.607216e-05,9.597991e-05,9.564814e-05,9.563480e-05,9.531310e-05,9.519175e-05,9.497516e-05,9.474390e-05,9.463470e-05,9.429208e-05,9.383709e-05,9.337963e-05,9.292040e-05,9.246003e-05,9.199910e-05,9.153815e-05,9.107770e-05,9.061820e-05,9.016009e-05,8.970378e-05,8.924962e-05,8.879796e-05,8.834911e-05,8.790336e-05,8.746096e-05,8.702215e-05,8.658715e-05,8.615616e-05,8.572936e-05,8.530690e-05,8.488892e-05,8.447557e-05,8.406693e-05,8.366313e-05
0.000000e+00,2.058835e-09,4.696462e-09,1.605993e-08,3.637690e-08,5.294333e-08,1.193246e-07,1.228802e-07,2.357004e-07,2.763167e-07,4.013141e-07,5.302827e-07,6.300030e-07,9.052217e-07,9.323700e-07,1.318586e-06,1.424713e-06,1.796501e-06,2.105475e-06,2.368783e-06,2.946911e-06,3.030756e-06,3.771151e-06,3.927375e-06,4.575401e-06,5.013938e-06,5.428886e-06,6.174259e-06,6.318555e-06,7.233223e-06,7.381231e-06,8.163326e-06,8.612785e-06,9.100586e-06,9.850645e-06,1.003775e-05,1.096845e-05,1.107942e-05,1.188706e-05,1.228613e-05,1.278870e-05,1.345999e-05,1.366917e-05,1.452495e-05,1.459225e-05,1.535313e-05,1.567613e-05,1.615139e-05,1.670661e-05,1.691797e-05,1.765160e-05,1.768025e-05,1.835145e-05,1.859503e-05,1.901707e-05,1.945008e-05,1.964836e-05,2.024549e-05,2.080890e-05,2.098216e-05,2.133918e-05,2.166154e-05,2.183713e-05,2.228556e-05,2.230362e-05,2.273967e-05,2.285644e-05,2.314632e-05,2.337666e-05,2.352469e-05,2.384879e-05,2.387592e-05,2.420117e-05,2.427549e-05,2.450158e-05,2.465940e-05,2.477832e-05,2.500317e-05,2.503252e-05,2.526528e-05,2.530936e-05,2.547770e-05,2.558046e-05,2.567082e-05,2.581888e-05,2.584567e-05,2.600323e-05,2.602690e-05,2.614445e-05,2.620671e-05,2.627025e-05,2.636037e-05,2.638149e-05,2.647902e-05,2.648984e-05,2.656363e-05,2.659696e-05,2.663609e-05,2.668347e-05,2.669712e-05,2.674742e-05,2.675100e-05,2.678765e-05,2.680106e-05,2.681843e-05,2.683509e-05,2.684037e-05,2.685403e-05,2.685441e-05,2.685995e-05,2.686028e-05,2.685863e-05,2.685386e-05,2.685057e-05,2.683622e-05,2.681601e-05,2.680837e-05,2.679035e-05,2.677126e-05,2.675964e-05,2.672574e-05,2.672424e-05,2.668450e-05,2.667264e-05,2.664075e-05,2.661270e-05,2.659330e-05,2.654662e-05,2.654243e-05,2.648844e-05,2.647504e-05,2.643157e-05,2.639857e-05,2.637208e-05,2.631775e-05,2.631020e-05,2.624615e-05,2.623310e-05,2.618013e-05,2.614509e-05,2.611234e-05,2.605416e-05,2.604296e-05,2.597216e-05,2.596071e-05,2.590010e-05,2.586511e-05,2.582694e-05,2.576772e-05,2.575282e-05,2.567788e-05,2.566884e-05,2.560223e-05,2.556876e-05,2.552600e-05,2.546775e-05,2.544930e-05,2.537223e-05,2.536605e-05,2.529489e-05,2.526390e-05,2.521737e-05,2.516148e-05,2.513975e-05,2.506211e-05,2.505901e-05,2.498453e-05,2.495663e-05,2.490708e-05,2.485451e-05,2.482981e-05,2.475280e-05,2.465161e-05,2.455107e-05,2.445129e-05,2.435235e-05,2.425434e-05,2.415734e-05,2.406143e-05,2.396665e-05,2.387306e-05,2.378071e-05,2.368964e-05,2.359988e-05,2.351147e-05,2.342443e-05,2.333878e-05,2.325453e-05,2.317171e-05,2.309031e-05,2.301036e-05,2.293184e-05,2.285477e-05,2.277914e-05,2.270495e-05,2.263219e-05
0.000000e+00,1.438292e-09,3.283440e-09,1.124370e-08,2.549170e-08,3.711305e-08,8.364923e-08,8.613949e-08,1.649792e-07,1.932713e-07,2.800225e-07,3.690323e-07,4.375240e-07,6.251828e-07,6.435936e-07,9.038392e-07,9.748701e-07,1.222410e-06,1.426937e-06,1.600671e-06,1.981384e-06,2.036608e-06,2.525730e-06,2.629457e-06,3.062537e-06,3.358660e-06,3.641447e-06,4.156329e-06,4.257083e-06,4.904242e-06,5.010372e-06,5.577829e-06,5.909060e-06,6.272817e-06,6.840883e-06,6.984251e-06,7.707295e-06,7.794617e-06,8.437283e-06,8.759525e-06,9.169779e-06,9.725590e-06,9.900636e-06,1.062604e-05,1.068373e-05,1.134253e-05,1.162593e-05,1.204704e-05,1.254535e-05,1.273689e-05,1.340980e-05,1.343633e-05,1.406382e-05,1.429434e-05,1.469741e-05,1.511592e-05,1.530931e-05,1.589858e-05,1.646456e-05,1.664067e-05,1.700680e-05,1.734126e-05,1.752508e-05,1.800006e-05,1.801937e-05,1.848978e-05,1.861725e-05,1.893656e-05,1.919343e-05,1.936007e-05,1.972952e-05,1.976075e-05,2.013913e-05,2.022668e-05,2.049578e-05,2.068625e-05,2.083133e-05,2.110968e-05,2.114643e-05,2.144177e-05,2.149852e-05,2.171803e-05,2.185438e-05,2.197592e-05,2.217888e-05,2.221616e-05,2.243943e-05,2.247362e-05,2.264643e-05,2.274022e-05,2.283785e-05,2.298023e-05,2.301437e-05,2.317664e-05,2.319518e-05,2.332529e-05,2.338656e-05,2.346097e-05,2.355577e-05,2.358427e-05,2.369577e-05,2.370420e-05,2.379605e-05,2.383314e-05,2.388564e-05,2.394384e-05,2.396509e-05,2.403489e-05,2.403748e-05,2.409553e-05,2.411521e-05,2.414749e-05,2.417809e-05,2.419121e-05,2.422713e-05,2.425567e-05,2.426331e-05,2.427722e-05,2.428753e-05,2.429217e-05,2.430064e-05,2.430088e-05,2.430369e-05,2.430347e-05,2.430095e-05,2.429677e-05,2.429297e-05,2.428127e-05,2.428007e-05,2.426252e-05,2.425765e-05,2.424061e-05,2.422653e-05,2.421461e-05,2.418854e-05,2.418476e-05,2.415132e-05,2.414422e-05,2.411450e-05,2.409410e-05,2.407454e-05,2.403869e-05,2.403164e-05,2.398600e-05,2.397846e-05,2.393781e-05,2.391383e-05,2.388725e-05,2.384522e-05,2.383450e-05,2.377971e-05,2.377301e-05,2.372305e-05,2.369756e-05,2.366465e-05,2.361921e-05,2.360467e-05,2.354324e-05,2.353826e-05,2.348048e-05,2.345503e-05,2.341651e-05,2.336976e-05,2.335144e-05,2.328540e-05,2.328273e-05,2.321847e-05,2.319418e-05,2.315076e-05,2.310431e-05,2.308235e-05,2.301334e-05,2.292147e-05,2.282886e-05,2.273569e-05,2.264211e-05,2.254826e-05,2.245427e-05,2.236027e-05,2.226637e-05,2.217267e-05,2.207927e-05,2.198626e-05,2.189371e-05,2.180171e-05,2.171032e-05,2.161960e-05,2.152961e-05,2.144040e-05,2.135202e-05,2.126451e-05,2.117790e-05,2.109224e-05,2.100754e-05,2.092384e-05,2.084116e-05
0.000000e+00,9.689701e-09,2.217433e-08,7.644799e-08,1.748778e-07,2.562226e-07,5.904656e-07,6.087136e-07,1.203919e-06,1.425288e-06,2.126936e-06,2.877816e-06,3.472497e-06,5.147492e-06,5.313694e-06,7.657692e-06,8.289717e-06,1.045095e-05,1.218616e-05,1.362701e-05,1.669586e-05,1.713249e-05,2.092701e-05,2.171759e-05,2.497700e-05,2.717355e-05,2.925117e-05,3.299194e-05,3.371836e-05,3.834679e-05,3.910015e-05,4.310426e-05,4.542424e-05,4.795870e-05,5.189101e-05,5.287883e-05,5.783487e-05,5.843067e-05,6.279901e-05,6.497916e-05,6.774585e-05,7.147976e-05,7.265261e-05,7.749924e-05,7.788383e-05,8.226842e-05,8.415104e-05,8.694546e-05,9.024891e-05,9.151812e-05,9.597640e-05,9.615223e-05,1.003124e-04,1.018421e-04,1.045199e-04,1.073052e-04,1.085943e-04,1.125326e-04,1.163326e-04,1.175193e-04,1.199934e-04,1.222632e-04,1.235148e-04,1.267646e-04,1.268973e-04,1.301419e-04,1.310259e-04,1.332503e-04,1.350507e-04,1.362244e-04,1.388440e-04,1.390665e-04,1.417792e-04,1.424113e-04,1.443651e-04,1.457589e-04,1.468272e-04,1.488938e-04,1.491684e-04,1.513919e-04,1.518227e-04,1.535007e-04,1.545531e-04,1.554981e-04,1.570922e-04,1.573873e-04,1.591714e-04,1.594473e-04,1.608536e-04,1.616257e-04,1.624370e-04,1.636348e-04,1.639249e-04,1.653202e-04,1.654816e-04,1.666261e-04,1.671732e-04,1.678456e-04,1.687164e-04,1.689816e-04,1.700369e-04,1.701180e-04,1.710145e-04,1.713844e-04,1.719172e-04,1.725221e-04,1.727475e-04,1.735083e-04,1.735373e-04,1.742020e-04,1.744358e-04,1.748312e-04,1.752235e-04,1.753984e-04,1.759060e-04,1.763563e-04,1.764887e-04,1.767516e-04,1.769768e-04,1.770941e-04,1.773752e-04,1.773859e-04,1.776292e-04,1.776889e-04,1.778259e-04,1.779224e-04,1.779780e-04,1.780802e-04,1.780874e-04,1.781560e-04,1.781666e-04,1.781855e-04,1.781857e-04,1.781777e-04,1.781413e-04,1.781343e-04,1.780568e-04,1.780374e-04,1.779469e-04,1.778775e-04,1.778061e-04,1.776650e-04,1.776358e-04,1.774375e-04,1.774032e-04,1.772124e-04,1.770953e-04,1.769620e-04,1.767443e-04,1.766876e-04,1.763903e-04,1.763531e-04,1.760713e-04,1.759244e-04,1.757319e-04,1.754609e-04,1.753730e-04,1.749958e-04,1.749649e-04,1.746013e-04,1.744389e-04,1.741905e-04,1.738852e-04,1.737644e-04,1.733238e-04,1.733059e-04,1.728696e-04,1.727029e-04,1.724027e-04,1.720784e-04,1.719240e-04,1.714341e-04,1.707717e-04,1.700930e-04,1.693995e-04,1.686927e-04,1.679740e-04,1.672447e-04,1.665061e-04,1.657595e-04,1.650058e-04,1.642463e-04,1.634819e-04,1.627136e-04,1.619422e-04,1.611686e-04,1.603935e-04,1.596178e-04,1.588422e-04,1.580672e-04,1.572935e-04,1.565216e-04,1.557522e-04,1.549857e-04,1.542225e-04,1.534631e-04
0.000000e+00,9.148564e-09,2.068985e-08,6.951549e-08,1.550371e-07,2.238068e-07,4.946469e-07,5.090101e-07,9.605042e-07,1.121710e-06,1.615495e-06,2.122746e-06,2.513845e-06,3.586786e-06,3.691902e-06,5.164529e-06,5.559786e-06,6.905037e-06,7.973658e-06,8.849598e-06,1.067140e-05,1.092521e-05,1.307058e-05,1.350377e-05,1.524020e-05,1.636653e-05,1.740063e-05,1.918942e-05,1.952629e-05,2.159651e-05,2.192141e-05,2.359408e-05,2.452275e-05,2.550451e-05,2.696200e-05,2.731585e-05,2.901861e-05,2.921529e-05,3.060576e-05,3.126621e-05,3.207267e-05,3.310559e-05,3.341701e-05,3.463851e-05,3.473096e-05,3.573879e-05,3.614562e-05,3.672101e-05,3.735756e-05,3.758961e-05,3.834999e-05,3.837824e-05,3.900827e-05,3.922153e-05,3.957112e-05,3.990286e-05,4.004543e-05,4.043818e-05,4.075626e-05,4.084338e-05,4.100638e-05,4.113378e-05,4.119499e-05,4.132385e-05,4.132819e-05,4.141173e-05,4.142696e-05,4.145094e-05,4.145526e-05,4.145076e-05,4.141970e-05,4.141571e-05,4.134994e-05,4.133000e-05,4.125719e-05,4.119475e-05,4.114087e-05,4.102146e-05,4.100405e-05,4.084948e-05,4.081665e-05,4.067962e-05,4.058600e-05,4.049669e-05,4.033438e-05,4.030266e-05,4.009927e-05,4.006597e-05,3.988810e-05,3.978438e-05,3.967051e-05,3.949266e-05,3.944774e-05,3.922088e-05,3.919343e-05,3.899088e-05,3.888891e-05,3.875860e-05,3.858100e-05,3.852478e-05,3.829009e-05,3.827129e-05,3.805510e-05,3.796114e-05,3.782034e-05,3.765170e-05,3.758624e-05,3.735321e-05,3.734392e-05,3.712159e-05,3.703862e-05,3.689169e-05,3.673647e-05,3.666377e-05,3.643805e-05,3.621474e-05,3.614381e-05,3.599400e-05,3.585415e-05,3.577599e-05,3.556938e-05,3.556083e-05,3.534863e-05,3.528975e-05,3.513947e-05,3.501547e-05,3.493343e-05,3.474668e-05,3.473057e-05,3.453094e-05,3.448352e-05,3.433458e-05,3.422605e-05,3.414151e-05,3.397434e-05,3.395174e-05,3.376530e-05,3.372841e-05,3.358218e-05,3.348827e-05,3.340238e-05,3.325391e-05,3.322589e-05,3.305271e-05,3.302530e-05,3.288280e-05,3.280241e-05,3.271616e-05,3.258517e-05,3.255275e-05,3.239255e-05,3.237354e-05,3.223552e-05,3.216743e-05,3.208164e-05,3.196677e-05,3.193086e-05,3.178316e-05,3.177147e-05,3.163849e-05,3.158146e-05,3.149680e-05,3.139662e-05,3.135807e-05,3.122225e-05,3.121687e-05,3.108929e-05,3.104211e-05,3.095915e-05,3.087224e-05,3.083178e-05,3.070715e-05,3.054674e-05,3.039090e-05,3.023953e-05,3.009253e-05,2.994979e-05,2.981120e-05,2.967667e-05,2.954609e-05,2.941935e-05,2.929637e-05,2.917703e-05,2.906125e-05,2.894893e-05,2.883997e-05,2.873429e-05,2.863178e-05,2.853237e-05,2.843596e-05,2.834247e-05,2.825183e-05,2.816393e-05,2.807872e-05,2.799610e-05,2.791601e-05
0.000000e+00,8.699791e-09,1.982644e-08,6.771442e-08,1.534025e-07,2.234400e-07,5.061314e-07,5.213746e-07,1.010600e-06,1.189333e-06,1.747353e-06,2.333708e-06,2.792278e-06,4.064704e-06,4.189737e-06,5.934411e-06,6.399367e-06,7.973192e-06,9.219644e-06,1.024361e-05,1.239281e-05,1.269520e-05,1.528896e-05,1.582182e-05,1.799206e-05,1.943084e-05,2.077442e-05,2.315178e-05,2.360727e-05,2.646290e-05,2.692013e-05,2.931492e-05,3.067533e-05,3.213883e-05,3.436273e-05,3.491246e-05,3.761630e-05,3.793525e-05,4.023377e-05,4.135447e-05,4.275122e-05,4.459086e-05,4.515788e-05,4.744568e-05,4.762339e-05,4.960904e-05,5.043871e-05,5.164454e-05,5.303002e-05,5.355067e-05,5.532751e-05,5.539591e-05,5.697649e-05,5.753927e-05,5.850009e-05,5.946619e-05,5.990164e-05,6.118511e-05,6.235498e-05,6.270611e-05,6.341601e-05,6.404024e-05,6.437318e-05,6.519910e-05,6.523161e-05,6.599642e-05,6.619449e-05,6.667273e-05,6.703814e-05,6.726558e-05,6.774150e-05,6.777987e-05,6.822039e-05,6.831566e-05,6.859177e-05,6.877120e-05,6.889845e-05,6.911820e-05,6.914469e-05,6.933457e-05,6.936612e-05,6.947194e-05,6.952386e-05,6.956050e-05,6.959973e-05,6.960374e-05,6.960497e-05,6.960148e-05,6.956732e-05,6.953632e-05,6.949377e-05,6.941094e-05,6.938708e-05,6.924991e-05,6.923152e-05,6.908472e-05,6.900376e-05,6.889384e-05,6.873294e-05,6.867946e-05,6.844365e-05,6.842391e-05,6.818831e-05,6.808113e-05,6.791528e-05,6.770868e-05,6.762622e-05,6.732274e-05,6.731032e-05,6.700631e-05,6.688950e-05,6.667832e-05,6.644935e-05,6.634006e-05,6.599274e-05,6.563748e-05,6.552229e-05,6.527533e-05,6.504039e-05,6.490727e-05,6.454920e-05,6.453420e-05,6.415696e-05,6.405070e-05,6.377635e-05,6.354666e-05,6.339308e-05,6.303871e-05,6.300783e-05,6.262123e-05,6.252830e-05,6.223383e-05,6.201675e-05,6.184619e-05,6.150524e-05,6.145877e-05,6.107205e-05,6.099483e-05,6.068643e-05,6.048647e-05,6.030229e-05,5.998101e-05,5.991998e-05,5.953981e-05,5.947920e-05,5.916209e-05,5.898172e-05,5.878706e-05,5.848916e-05,5.841499e-05,5.804607e-05,5.800202e-05,5.768050e-05,5.752076e-05,5.731847e-05,5.704578e-05,5.696012e-05,5.660561e-05,5.657742e-05,5.625504e-05,5.611595e-05,5.590854e-05,5.566163e-05,5.556620e-05,5.522809e-05,5.521466e-05,5.489430e-05,5.477520e-05,5.456487e-05,5.434339e-05,5.423987e-05,5.391932e-05,5.350307e-05,5.309469e-05,5.269420e-05,5.230160e-05,5.191689e-05,5.154004e-05,5.117099e-05,5.080971e-05,5.045611e-05,5.011013e-05,4.977168e-05,4.944065e-05,4.911697e-05,4.880050e-05,4.849116e-05,4.818882e-05,4.789336e-05,4.760466e-05,4.732260e-05,4.704706e-05,4.677790e-05,4.651501e-05,4.625825e-05,4.600749e-05
0.000000e+00,4.970850e-09,1.126724e-08,3.803454e-08,8.518555e-08,1.232501e-07,2.739020e-07,2.819138e-07,5.343470e-07,6.246248e-07,9.011897e-07,1.185025e-06,1.403598e-06,2.002726e-06,2.061465e-06,2.888269e-06,3.112082e-06,3.881990e-06,4.502918e-06,5.017413e-06,6.099056e-06,6.250587e-06,7.534472e-06,7.793767e-06,8.830875e-06,9.500581e-06,1.011271e-05,1.116449e-05,1.136150e-05,1.256443e-05,1.275200e-05,1.371247e-05,1.424209e-05,1.479928e-05,1.562169e-05,1.582056e-05,1.677375e-05,1.688349e-05,1.765774e-05,1.802477e-05,1.847266e-05,1.904649e-05,1.921968e-05,1.990078e-05,1.995250e-05,2.051861e-05,2.074870e-05,2.107625e-05,2.144238e-05,2.157711e-05,2.202476e-05,2.204161e-05,2.242286e-05,2.255474e-05,2.277503e-05,2.299009e-05,2.308482e-05,2.335564e-05,2.359072e-05,2.365890e-05,2.379312e-05,2.390684e-05,2.396570e-05,2.410578e-05,2.411111e-05,2.423178e-05,2.426144e-05,2.432996e-05,2.437894e-05,2.440772e-05,2.446284e-05,2.446694e-05,2.450934e-05,2.451719e-05,2.453650e-05,2.454558e-05,2.454983e-05,2.455116e-05,2.455064e-05,2.454010e-05,2.453672e-05,2.451928e-05,2.450472e-05,2.448915e-05,2.445731e-05,2.445061e-05,2.440444e-05,2.439640e-05,2.435138e-05,2.432367e-05,2.429210e-05,2.424060e-05,2.422720e-05,2.415722e-05,2.414851e-05,2.408268e-05,2.404855e-05,2.400403e-05,2.394176e-05,2.392168e-05,2.383603e-05,2.382904e-05,2.374741e-05,2.371121e-05,2.365616e-05,2.358899e-05,2.356256e-05,2.346688e-05,2.346301e-05,2.336936e-05,2.333386e-05,2.327025e-05,2.320204e-05,2.316974e-05,2.306803e-05,2.296530e-05,2.293223e-05,2.286170e-05,2.279502e-05,2.275740e-05,2.265672e-05,2.265252e-05,2.254720e-05,2.251764e-05,2.244155e-05,2.237805e-05,2.233568e-05,2.223818e-05,2.222970e-05,2.212370e-05,2.209827e-05,2.201776e-05,2.195850e-05,2.191197e-05,2.181905e-05,2.180640e-05,2.170110e-05,2.168009e-05,2.159616e-05,2.154175e-05,2.149162e-05,2.140416e-05,2.138754e-05,2.128397e-05,2.126745e-05,2.118095e-05,2.113171e-05,2.107853e-05,2.099704e-05,2.097673e-05,2.087561e-05,2.086352e-05,2.077518e-05,2.073122e-05,2.067548e-05,2.060022e-05,2.057654e-05,2.047838e-05,2.047056e-05,2.038102e-05,2.034231e-05,2.028448e-05,2.021550e-05,2.018879e-05,2.009395e-05,2.009017e-05,1.999998e-05,1.996637e-05,1.990690e-05,1.984411e-05,1.981471e-05,1.972342e-05,1.960433e-05,1.948685e-05,1.937099e-05,1.925676e-05,1.914418e-05,1.903324e-05,1.892394e-05,1.881629e-05,1.871029e-05,1.860593e-05,1.850321e-05,1.840211e-05,1.830263e-05,1.820476e-05,1.810849e-05,1.801381e-05,1.792069e-05,1.782914e-05,1.773913e-05,1.765065e-05,1.756368e-05,1.747820e-05,1.739420e-05,1.731167e-05
0.000000e+00,1.710187e-09,3.893758e-09,1.326013e-08,2.991325e-08,4.343238e-08,9.722976e-08,1.000975e-07,1.905260e-07,2.228510e-07,3.217123e-07,4.228806e-07,5.006053e-07,7.131101e-07,7.339189e-07,1.026935e-06,1.106438e-06,1.381450e-06,1.606060e-06,1.795011e-06,2.203843e-06,2.262627e-06,2.778806e-06,2.887407e-06,3.338368e-06,3.644861e-06,3.936437e-06,4.465073e-06,4.568227e-06,5.228881e-06,5.336932e-06,5.913396e-06,6.248933e-06,6.616630e-06,7.189178e-06,7.333347e-06,8.058305e-06,8.145607e-06,8.786343e-06,9.106362e-06,9.512477e-06,1.006015e-05,1.023199e-05,1.094049e-05,1.099658e-05,1.163401e-05,1.190641e-05,1.230899e-05,1.278176e-05,1.296236e-05,1.359151e-05,1.361614e-05,1.419431e-05,1.440453e-05,1.476907e-05,1.514324e-05,1.531454e-05,1.582988e-05,1.631461e-05,1.646322e-05,1.676855e-05,1.704297e-05,1.719184e-05,1.756971e-05,1.758485e-05,1.794816e-05,1.804466e-05,1.828253e-05,1.846962e-05,1.858884e-05,1.884673e-05,1.886810e-05,1.912140e-05,1.917845e-05,1.934988e-05,1.946743e-05,1.955473e-05,1.971639e-05,1.973714e-05,1.989833e-05,1.992813e-05,2.003949e-05,2.010538e-05,2.016182e-05,2.025085e-05,2.026645e-05,2.035453e-05,2.036715e-05,2.042712e-05,2.045677e-05,2.048527e-05,2.052207e-05,2.052998e-05,2.056222e-05,2.056529e-05,2.058287e-05,2.058852e-05,2.059281e-05,2.059370e-05,2.059285e-05,2.058374e-05,2.058264e-05,2.056623e-05,2.055702e-05,2.054098e-05,2.051837e-05,2.050864e-05,2.046979e-05,2.046811e-05,2.042501e-05,2.040754e-05,2.037482e-05,2.033784e-05,2.031969e-05,2.026010e-05,2.019646e-05,2.017530e-05,2.012916e-05,2.008434e-05,2.005857e-05,1.998804e-05,1.998505e-05,1.990889e-05,1.988714e-05,1.983041e-05,1.978231e-05,1.974987e-05,1.967417e-05,1.966752e-05,1.958361e-05,1.956326e-05,1.949834e-05,1.945008e-05,1.941193e-05,1.933508e-05,1.932455e-05,1.923639e-05,1.921867e-05,1.914759e-05,1.910121e-05,1.905831e-05,1.898304e-05,1.896868e-05,1.887883e-05,1.886444e-05,1.878887e-05,1.874568e-05,1.869891e-05,1.862700e-05,1.860904e-05,1.851936e-05,1.850862e-05,1.842995e-05,1.839071e-05,1.834087e-05,1.827345e-05,1.825221e-05,1.816402e-05,1.815699e-05,1.807637e-05,1.804146e-05,1.798929e-05,1.792698e-05,1.790285e-05,1.781707e-05,1.781366e-05,1.773201e-05,1.770157e-05,1.764770e-05,1.759080e-05,1.756416e-05,1.748143e-05,1.737350e-05,1.726706e-05,1.716217e-05,1.705885e-05,1.695713e-05,1.685704e-05,1.675859e-05,1.666179e-05,1.656666e-05,1.647319e-05,1.638140e-05,1.629127e-05,1.620280e-05,1.611599e-05,1.603082e-05,1.594729e-05,1.586537e-05,1.578507e-05,1.570635e-05,1.562920e-05,1.555361e-05,1.547955e-05,1.540700e-05,1.533595e-05
0.000000e+00,5.407380e-09,1.232281e-08,4.205809e-08,9.512007e-08,1.383420e-07,3.114271e-07,3.206989e-07,6.151753e-07,7.213739e-07,1.048928e-06,1.388004e-06,1.650817e-06,2.377294e-06,2.448908e-06,3.461811e-06,3.737131e-06,4.687167e-06,5.457844e-06,6.101238e-06,7.475918e-06,7.671550e-06,9.367490e-06,9.719387e-06,1.116299e-05,1.212841e-05,1.303551e-05,1.465301e-05,1.496469e-05,1.693145e-05,1.724840e-05,1.891778e-05,1.987314e-05,2.090668e-05,2.248898e-05,2.288233e-05,2.483032e-05,2.506159e-05,2.673779e-05,2.756130e-05,2.859358e-05,2.996356e-05,3.038828e-05,3.211416e-05,3.224907e-05,3.376519e-05,3.440358e-05,3.533686e-05,3.641758e-05,3.682614e-05,3.823121e-05,3.828564e-05,3.955134e-05,4.000581e-05,4.078675e-05,4.157895e-05,4.193851e-05,4.300826e-05,4.399800e-05,4.429823e-05,4.491031e-05,4.545484e-05,4.574801e-05,4.648480e-05,4.651411e-05,4.721182e-05,4.739536e-05,4.784437e-05,4.819399e-05,4.841505e-05,4.888825e-05,4.892714e-05,4.938386e-05,4.948560e-05,4.978840e-05,4.999329e-05,5.014381e-05,5.041830e-05,5.045308e-05,5.071908e-05,5.076733e-05,5.094457e-05,5.104669e-05,5.113219e-05,5.126236e-05,5.128445e-05,5.140375e-05,5.141993e-05,5.149235e-05,5.152462e-05,5.155243e-05,5.158132e-05,5.158601e-05,5.159502e-05,5.159453e-05,5.158128e-05,5.156848e-05,5.154652e-05,5.150703e-05,5.149234e-05,5.142028e-05,5.141378e-05,5.133175e-05,5.129204e-05,5.122811e-05,5.114484e-05,5.111062e-05,5.098045e-05,5.097500e-05,5.083873e-05,5.078508e-05,5.068649e-05,5.057746e-05,5.052471e-05,5.035429e-05,5.017609e-05,5.011756e-05,4.999092e-05,4.986909e-05,4.979951e-05,4.961053e-05,4.960255e-05,4.940070e-05,4.934339e-05,4.919457e-05,4.906907e-05,4.898471e-05,4.878880e-05,4.877165e-05,4.855589e-05,4.850375e-05,4.833786e-05,4.821494e-05,4.811801e-05,4.792333e-05,4.789671e-05,4.767433e-05,4.762976e-05,4.745121e-05,4.733500e-05,4.722767e-05,4.703977e-05,4.700398e-05,4.678042e-05,4.674467e-05,4.655722e-05,4.645029e-05,4.633463e-05,4.615713e-05,4.611284e-05,4.589205e-05,4.586563e-05,4.567243e-05,4.557622e-05,4.545415e-05,4.528924e-05,4.523735e-05,4.502216e-05,4.500502e-05,4.480871e-05,4.472384e-05,4.459710e-05,4.444594e-05,4.438744e-05,4.417982e-05,4.417156e-05,4.397431e-05,4.390086e-05,4.377099e-05,4.363402e-05,4.356993e-05,4.337117e-05,4.311243e-05,4.285790e-05,4.260765e-05,4.236175e-05,4.212024e-05,4.188316e-05,4.165053e-05,4.142236e-05,4.119865e-05,4.097940e-05,4.076459e-05,4.055419e-05,4.034818e-05,4.014652e-05,3.994917e-05,3.975609e-05,3.956722e-05,3.938252e-05,3.920193e-05,3.902540e-05,3.885285e-05,3.868424e-05,3.851949e-05,3.835854e-05
0.000000e+00,1.241878e-08,2.839290e-08,9.766435e-08,2.228480e-07,3.259912e-07,7.477599e-07,7.707119e-07,1.516538e-06,1.792945e-06,2.667581e-06,3.604272e-06,4.349176e-06,6.476231e-06,6.690277e-06,9.773633e-06,1.062458e-05,1.358338e-05,1.599734e-05,1.801610e-05,2.232934e-05,2.294263e-05,2.825048e-05,2.934972e-05,3.385209e-05,3.685771e-05,3.967887e-05,4.470570e-05,4.567416e-05,5.178849e-05,5.277478e-05,5.797700e-05,6.096159e-05,6.419839e-05,6.917348e-05,7.041459e-05,7.659082e-05,7.732776e-05,8.269580e-05,8.535217e-05,8.870193e-05,9.318563e-05,9.458528e-05,1.003254e-04,1.007779e-04,1.059056e-04,1.080898e-04,1.113123e-04,1.150917e-04,1.165349e-04,1.215655e-04,1.217626e-04,1.263986e-04,1.280894e-04,1.310308e-04,1.340652e-04,1.354607e-04,1.396881e-04,1.437144e-04,1.449607e-04,1.475418e-04,1.498885e-04,1.511737e-04,1.544798e-04,1.546138e-04,1.578667e-04,1.587446e-04,1.609373e-04,1.626944e-04,1.638310e-04,1.663415e-04,1.665531e-04,1.691092e-04,1.696986e-04,1.715050e-04,1.727787e-04,1.737461e-04,1.755950e-04,1.758384e-04,1.777875e-04,1.781607e-04,1.795990e-04,1.804885e-04,1.812785e-04,1.825912e-04,1.828314e-04,1.842630e-04,1.844811e-04,1.855785e-04,1.861703e-04,1.867831e-04,1.876702e-04,1.878816e-04,1.888789e-04,1.889920e-04,1.897797e-04,1.901465e-04,1.905883e-04,1.911440e-04,1.913093e-04,1.919467e-04,1.919943e-04,1.925048e-04,1.927067e-04,1.929875e-04,1.932904e-04,1.933984e-04,1.937414e-04,1.937538e-04,1.940199e-04,1.941051e-04,1.942374e-04,1.943520e-04,1.943970e-04,1.945019e-04,1.945552e-04,1.945618e-04,1.945597e-04,1.945382e-04,1.945182e-04,1.944375e-04,1.944333e-04,1.943077e-04,1.942656e-04,1.941438e-04,1.940280e-04,1.939439e-04,1.937301e-04,1.937102e-04,1.934449e-04,1.933768e-04,1.931501e-04,1.929729e-04,1.928278e-04,1.925228e-04,1.924797e-04,1.921077e-04,1.920306e-04,1.917136e-04,1.915004e-04,1.912988e-04,1.909357e-04,1.908651e-04,1.904139e-04,1.903401e-04,1.899465e-04,1.897169e-04,1.894644e-04,1.890690e-04,1.889689e-04,1.884610e-04,1.883993e-04,1.879421e-04,1.877106e-04,1.874133e-04,1.870053e-04,1.868754e-04,1.863297e-04,1.862857e-04,1.857769e-04,1.855541e-04,1.852181e-04,1.848124e-04,1.846540e-04,1.840854e-04,1.840626e-04,1.835132e-04,1.833064e-04,1.829380e-04,1.825455e-04,1.823605e-04,1.817813e-04,1.810154e-04,1.802489e-04,1.794831e-04,1.787192e-04,1.779580e-04,1.772006e-04,1.764478e-04,1.757004e-04,1.749591e-04,1.742246e-04,1.734975e-04,1.727782e-04,1.720673e-04,1.713652e-04,1.706723e-04,1.699889e-04,1.693154e-04,1.686519e-04,1.679987e-04,1.673560e-04,1.667240e-04,1.661027e-04,1.654924e-04,1.648930e-04
0.000000e+00,5.574111e-09,1.275014e-08,4.394015e-08,1.005766e-07,1.474864e-07,3.413816e-07,3.520217e-07,7.020889e-07,8.337215e-07,1.255739e-06,1.714974e-06,2.083972e-06,3.146861e-06,3.254098e-06,4.794463e-06,5.217044e-06,6.676909e-06,7.859157e-06,8.843962e-06,1.094322e-05,1.124168e-05,1.383019e-05,1.436816e-05,1.658124e-05,1.806876e-05,1.947346e-05,2.199887e-05,2.248894e-05,2.561110e-05,2.611945e-05,2.882360e-05,3.039286e-05,3.210996e-05,3.478095e-05,3.545339e-05,3.883702e-05,3.924496e-05,4.224410e-05,4.374641e-05,4.565828e-05,4.824812e-05,4.906387e-05,5.244609e-05,5.271524e-05,5.579127e-05,5.711613e-05,5.908694e-05,6.142286e-05,6.232197e-05,6.548656e-05,6.561156e-05,6.857229e-05,6.966244e-05,7.157203e-05,7.355969e-05,7.447991e-05,7.729124e-05,8.000240e-05,8.084836e-05,8.261076e-05,8.422532e-05,8.511457e-05,8.741897e-05,8.751288e-05,8.980538e-05,9.042835e-05,9.199240e-05,9.325431e-05,9.407476e-05,9.589916e-05,9.605370e-05,9.793085e-05,9.836642e-05,9.970809e-05,1.006605e-04,1.013876e-04,1.027865e-04,1.029717e-04,1.044629e-04,1.047502e-04,1.058638e-04,1.065574e-04,1.071771e-04,1.082145e-04,1.084055e-04,1.095519e-04,1.097278e-04,1.106189e-04,1.111038e-04,1.116095e-04,1.123488e-04,1.125264e-04,1.133723e-04,1.134692e-04,1.141500e-04,1.144712e-04,1.148620e-04,1.153609e-04,1.155111e-04,1.160997e-04,1.161442e-04,1.166303e-04,1.168269e-04,1.171055e-04,1.174145e-04,1.175274e-04,1.178985e-04,1.179123e-04,1.182209e-04,1.183255e-04,1.184969e-04,1.186591e-04,1.187285e-04,1.189178e-04,1.190667e-04,1.191061e-04,1.191771e-04,1.192284e-04,1.192508e-04,1.192887e-04,1.192897e-04,1.192953e-04,1.192912e-04,1.192695e-04,1.192395e-04,1.192137e-04,1.191373e-04,1.191295e-04,1.190184e-04,1.189879e-04,1.188817e-04,1.187945e-04,1.187209e-04,1.185604e-04,1.185372e-04,1.183319e-04,1.182884e-04,1.181062e-04,1.179812e-04,1.178613e-04,1.176416e-04,1.175983e-04,1.173183e-04,1.172720e-04,1.170222e-04,1.168747e-04,1.167111e-04,1.164521e-04,1.163860e-04,1.160476e-04,1.160062e-04,1.156969e-04,1.155390e-04,1.153348e-04,1.150523e-04,1.149619e-04,1.145792e-04,1.145481e-04,1.141872e-04,1.140280e-04,1.137867e-04,1.134934e-04,1.133784e-04,1.129628e-04,1.129461e-04,1.125407e-04,1.123872e-04,1.121125e-04,1.118182e-04,1.116789e-04,1.112403e-04,1.106547e-04,1.100624e-04,1.094646e-04,1.088620e-04,1.082558e-04,1.076466e-04,1.070353e-04,1.064227e-04,1.058093e-04,1.051960e-04,1.045831e-04,1.039714e-04,1.033613e-04,1.027533e-04,1.021479e-04,1.015454e-04,1.009462e-04,1.003507e-04,9.975926e-05,9.917209e-05,9.858948e-05,9.801169e-05,9.743894e-05,9.687143e-05
0.000000e+00,1.523340e-09,3.484431e-09,1.199327e-08,2.736589e-08,4.001903e-08,9.159468e-08,9.439325e-08,1.848861e-07,2.182155e-07,3.230305e-07,4.343381e-07,5.222683e-07,7.710661e-07,7.959472e-07,1.152239e-06,1.250119e-06,1.590220e-06,1.868497e-06,2.102450e-06,2.607678e-06,2.680208e-06,3.316059e-06,3.449655e-06,4.004023e-06,4.380649e-06,4.739008e-06,5.389282e-06,5.516301e-06,6.331243e-06,6.464811e-06,7.179077e-06,7.596286e-06,8.054901e-06,8.772343e-06,8.953697e-06,9.870404e-06,9.981373e-06,1.080000e-05,1.121184e-05,1.173760e-05,1.245263e-05,1.267851e-05,1.361834e-05,1.369336e-05,1.455301e-05,1.492459e-05,1.547882e-05,1.613805e-05,1.639248e-05,1.729111e-05,1.732670e-05,1.817222e-05,1.848469e-05,1.903362e-05,1.960721e-05,1.987355e-05,2.069057e-05,2.148355e-05,2.173208e-05,2.225165e-05,2.272988e-05,2.299425e-05,2.368278e-05,2.371095e-05,2.440154e-05,2.459022e-05,2.506600e-05,2.545216e-05,2.570442e-05,2.626895e-05,2.631701e-05,2.690411e-05,2.704126e-05,2.746610e-05,2.777002e-05,2.800346e-05,2.845637e-05,2.851671e-05,2.900641e-05,2.910157e-05,2.947315e-05,2.970698e-05,2.991755e-05,3.027404e-05,3.034024e-05,3.074188e-05,3.080423e-05,3.112311e-05,3.129904e-05,3.148457e-05,3.175996e-05,3.182693e-05,3.215083e-05,3.218849e-05,3.245689e-05,3.258608e-05,3.274575e-05,3.295416e-05,3.301803e-05,3.327431e-05,3.329414e-05,3.351520e-05,3.360737e-05,3.374126e-05,3.389517e-05,3.395307e-05,3.415115e-05,3.415880e-05,3.433605e-05,3.439949e-05,3.450828e-05,3.461841e-05,3.466833e-05,3.481670e-05,3.495385e-05,3.499544e-05,3.508024e-05,3.515568e-05,3.519630e-05,3.529839e-05,3.530246e-05,3.539913e-05,3.542455e-05,3.548670e-05,3.553505e-05,3.556557e-05,3.563076e-05,3.563610e-05,3.569865e-05,3.571251e-05,3.575356e-05,3.578110e-05,3.580116e-05,3.583726e-05,3.584178e-05,3.587572e-05,3.588173e-05,3.590328e-05,3.591519e-05,3.592475e-05,3.593827e-05,3.594040e-05,3.595050e-05,3.595161e-05,3.595530e-05,3.595580e-05,3.595505e-05,3.595138e-05,3.594999e-05,3.594035e-05,3.593889e-05,3.592634e-05,3.591885e-05,3.590818e-05,3.589172e-05,3.588606e-05,3.586019e-05,3.585796e-05,3.583075e-05,3.581802e-05,3.579792e-05,3.577228e-05,3.576188e-05,3.572279e-05,3.572116e-05,3.568080e-05,3.566501e-05,3.563609e-05,3.560419e-05,3.558878e-05,3.553903e-05,3.546985e-05,3.539694e-05,3.532058e-05,3.524105e-05,3.515860e-05,3.507346e-05,3.498587e-05,3.489604e-05,3.480418e-05,3.471046e-05,3.461509e-05,3.451823e-05,3.442003e-05,3.432066e-05,3.422026e-05,3.411896e-05,3.401690e-05,3.391419e-05,3.381095e-05,3.370728e-05,3.360329e-05,3.349908e-05,3.339472e-05,3.329032e-05
0.000000e+00,1.001906e-09,2.269423e-09,7.644221e-09,1.706526e-08,2.463015e-08,5.423635e-08,5.579649e-08,1.042625e-07,1.212896e-07,1.725493e-07,2.238894e-07,2.626617e-07,3.661597e-07,3.761232e-07,5.139427e-07,5.507012e-07,6.764876e-07,7.781634e-07,8.632332e-07,1.046241e-06,1.072440e-06,1.300971e-06,1.348632e-06,1.544527e-06,1.675517e-06,1.798297e-06,2.015934e-06,2.057622e-06,2.318389e-06,2.360005e-06,2.577124e-06,2.699729e-06,2.830950e-06,3.028882e-06,3.077518e-06,3.314937e-06,3.342738e-06,3.541724e-06,3.637844e-06,3.756767e-06,3.911855e-06,3.959287e-06,4.148802e-06,4.163393e-06,4.325093e-06,4.391901e-06,4.488167e-06,4.597500e-06,4.638221e-06,4.775602e-06,4.780840e-06,4.900778e-06,4.942958e-06,5.014304e-06,5.085162e-06,5.116799e-06,5.208918e-06,5.291336e-06,5.315772e-06,5.364730e-06,5.407275e-06,5.429767e-06,5.484941e-06,5.487094e-06,5.537333e-06,5.550211e-06,5.581073e-06,5.604429e-06,5.618868e-06,5.648836e-06,5.651238e-06,5.678663e-06,5.684560e-06,5.701589e-06,5.712616e-06,5.720425e-06,5.733918e-06,5.735548e-06,5.747299e-06,5.749273e-06,5.755991e-06,5.759398e-06,5.761910e-06,5.764929e-06,5.765315e-06,5.766445e-06,5.766430e-06,5.765516e-06,5.764396e-06,5.762721e-06,5.759261e-06,5.758236e-06,5.752223e-06,5.751405e-06,5.744826e-06,5.741167e-06,5.736178e-06,5.728844e-06,5.726400e-06,5.715601e-06,5.714696e-06,5.703880e-06,5.698954e-06,5.691328e-06,5.681822e-06,5.678026e-06,5.664051e-06,5.663479e-06,5.649472e-06,5.644088e-06,5.634351e-06,5.623789e-06,5.618746e-06,5.602709e-06,5.586289e-06,5.580961e-06,5.569530e-06,5.558646e-06,5.552474e-06,5.535855e-06,5.535158e-06,5.517616e-06,5.512668e-06,5.499880e-06,5.489158e-06,5.481981e-06,5.465392e-06,5.463944e-06,5.445796e-06,5.441427e-06,5.427560e-06,5.417317e-06,5.409257e-06,5.393111e-06,5.390907e-06,5.372529e-06,5.368852e-06,5.354140e-06,5.344578e-06,5.335755e-06,5.320326e-06,5.317390e-06,5.299057e-06,5.296128e-06,5.280770e-06,5.272012e-06,5.262541e-06,5.248005e-06,5.244379e-06,5.226295e-06,5.224131e-06,5.208299e-06,5.200410e-06,5.190398e-06,5.176863e-06,5.172602e-06,5.154916e-06,5.153506e-06,5.137348e-06,5.130355e-06,5.119903e-06,5.107423e-06,5.102588e-06,5.085408e-06,5.084723e-06,5.068367e-06,5.062267e-06,5.051469e-06,5.040063e-06,5.034719e-06,5.018120e-06,4.996447e-06,4.975048e-06,4.953931e-06,4.933100e-06,4.912559e-06,4.892312e-06,4.872360e-06,4.852707e-06,4.833353e-06,4.814301e-06,4.795550e-06,4.777100e-06,4.758952e-06,4.741105e-06,4.723558e-06,4.706310e-06,4.689359e-06,4.672703e-06,4.656341e-06,4.640270e-06,4.624489e-06,4.608994e-06,4.593782e-06,4.578852e-06
0.000000e+00,1.006705e-08,2.251979e-08,7.417647e-08,1.631990e-07,2.343813e-07,5.159110e-07,5.309660e-07,1.013147e-06,1.189685e-06,1.743541e-06,2.328529e-06,2.786029e-06,4.039992e-06,4.161116e-06,5.792761e-06,6.206416e-06,7.534017e-06,8.506134e-06,9.254754e-06,1.069281e-05,1.088190e-05,1.238712e-05,1.267285e-05,1.376517e-05,1.443261e-05,1.501983e-05,1.598286e-05,1.615722e-05,1.718336e-05,1.733758e-05,1.810366e-05,1.850930e-05,1.892318e-05,1.950959e-05,1.964693e-05,2.028024e-05,2.035043e-05,2.082883e-05,2.104493e-05,2.129880e-05,2.160730e-05,2.169651e-05,2.202845e-05,2.205236e-05,2.230106e-05,2.239488e-05,2.252052e-05,2.264901e-05,2.269284e-05,2.282357e-05,2.282801e-05,2.291784e-05,2.294376e-05,2.298029e-05,2.300671e-05,2.301506e-05,2.302583e-05,2.301582e-05,2.300871e-05,2.298787e-05,2.296172e-05,2.294444e-05,2.289016e-05,2.288766e-05,2.281937e-05,2.279841e-05,2.274118e-05,2.269008e-05,2.265444e-05,2.256813e-05,2.256035e-05,2.245995e-05,2.243501e-05,2.235410e-05,2.229275e-05,2.224360e-05,2.214303e-05,2.212910e-05,2.201121e-05,2.198727e-05,2.189043e-05,2.182664e-05,2.176723e-05,2.166216e-05,2.164200e-05,2.151511e-05,2.149467e-05,2.138687e-05,2.132492e-05,2.125756e-05,2.115352e-05,2.112744e-05,2.099675e-05,2.098104e-05,2.086568e-05,2.080794e-05,2.073442e-05,2.063464e-05,2.060314e-05,2.047199e-05,2.046151e-05,2.034111e-05,2.028886e-05,2.021062e-05,2.011698e-05,2.008064e-05,1.995127e-05,1.994611e-05,1.982260e-05,1.977647e-05,1.969471e-05,1.960824e-05,1.956769e-05,1.944159e-05,1.931648e-05,1.927667e-05,1.919242e-05,1.911360e-05,1.906946e-05,1.895249e-05,1.894764e-05,1.882699e-05,1.879343e-05,1.870757e-05,1.863651e-05,1.858939e-05,1.848178e-05,1.847248e-05,1.835687e-05,1.832932e-05,1.824258e-05,1.817916e-05,1.812963e-05,1.803135e-05,1.801803e-05,1.790779e-05,1.788591e-05,1.779893e-05,1.774286e-05,1.769144e-05,1.760223e-05,1.758535e-05,1.748064e-05,1.746402e-05,1.737733e-05,1.732824e-05,1.727541e-05,1.719488e-05,1.717489e-05,1.707575e-05,1.706395e-05,1.697800e-05,1.693543e-05,1.688164e-05,1.680932e-05,1.678665e-05,1.669303e-05,1.668560e-05,1.660077e-05,1.656424e-05,1.650986e-05,1.644524e-05,1.642030e-05,1.633207e-05,1.632857e-05,1.624516e-05,1.621420e-05,1.615957e-05,1.610211e-05,1.607528e-05,1.599228e-05,1.588467e-05,1.577925e-05,1.567599e-05,1.557487e-05,1.547585e-05,1.537889e-05,1.528397e-05,1.519104e-05,1.510009e-05,1.501106e-05,1.492393e-05,1.483866e-05,1.475523e-05,1.467359e-05,1.459371e-05,1.451555e-05,1.443910e-05,1.436430e-05,1.429113e-05,1.421955e-05,1.414953e-05,1.408105e-05,1.401406e-05,1.394854e-05
0.000000e+00,3.940700e-09,8.976661e-09,3.060006e-08,6.908533e-08,1.003457e-07,2.247813e-07,2.314141e-07,4.404123e-07,5.150206e-07,7.427636e-07,9.750619e-07,1.152995e-06,1.637410e-06,1.684718e-06,2.350081e-06,2.530777e-06,3.158382e-06,3.675277e-06,4.113676e-06,5.073060e-06,5.212075e-06,6.440666e-06,6.700331e-06,7.779503e-06,8.511668e-06,9.205665e-06,1.045464e-05,1.069669e-05,1.223227e-05,1.248088e-05,1.379458e-05,1.454933e-05,1.536805e-05,1.662567e-05,1.693909e-05,1.849582e-05,1.868116e-05,2.002793e-05,2.069192e-05,2.152655e-05,2.263847e-05,2.298424e-05,2.439486e-05,2.450552e-05,2.575354e-05,2.628160e-05,2.705657e-05,2.795876e-05,2.830128e-05,2.948597e-05,2.953209e-05,3.060973e-05,3.099933e-05,3.167242e-05,3.236034e-05,3.267443e-05,3.361671e-05,3.450057e-05,3.477133e-05,3.532764e-05,3.582802e-05,3.609979e-05,3.679127e-05,3.681905e-05,3.748757e-05,3.766597e-05,3.810759e-05,3.845726e-05,3.868137e-05,3.917035e-05,3.921117e-05,3.969922e-05,3.981039e-05,4.014772e-05,4.038240e-05,4.055880e-05,4.089124e-05,4.093453e-05,4.127689e-05,4.134153e-05,4.158779e-05,4.173764e-05,4.186907e-05,4.208372e-05,4.212245e-05,4.234960e-05,4.238361e-05,4.255207e-05,4.264092e-05,4.273133e-05,4.285897e-05,4.288878e-05,4.302574e-05,4.304086e-05,4.314347e-05,4.318948e-05,4.324313e-05,4.330748e-05,4.332584e-05,4.339264e-05,4.339733e-05,4.344452e-05,4.346130e-05,4.348240e-05,4.350149e-05,4.350715e-05,4.351959e-05,4.351984e-05,4.352049e-05,4.351813e-05,4.351058e-05,4.349802e-05,4.349055e-05,4.346103e-05,4.342264e-05,4.340857e-05,4.337593e-05,4.334193e-05,4.332146e-05,4.326231e-05,4.325971e-05,4.319117e-05,4.317082e-05,4.311628e-05,4.306848e-05,4.303547e-05,4.295623e-05,4.294913e-05,4.285764e-05,4.283495e-05,4.276134e-05,4.270544e-05,4.266057e-05,4.256845e-05,4.255565e-05,4.244686e-05,4.242466e-05,4.233449e-05,4.227473e-05,4.221879e-05,4.211923e-05,4.210003e-05,4.197842e-05,4.195872e-05,4.185420e-05,4.179370e-05,4.172756e-05,4.162464e-05,4.159870e-05,4.146782e-05,4.145199e-05,4.133508e-05,4.127613e-05,4.120066e-05,4.109746e-05,4.106470e-05,4.092735e-05,4.091631e-05,4.078876e-05,4.073301e-05,4.064906e-05,4.054785e-05,4.050836e-05,4.036680e-05,4.036112e-05,4.022447e-05,4.017307e-05,4.008149e-05,3.998394e-05,3.993796e-05,3.979396e-05,3.960332e-05,3.941223e-05,3.922085e-05,3.902936e-05,3.883790e-05,3.864662e-05,3.845565e-05,3.826511e-05,3.807511e-05,3.788576e-05,3.769716e-05,3.750938e-05,3.732252e-05,3.713666e-05,3.695185e-05,3.676817e-05,3.658567e-05,3.640441e-05,3.622444e-05,3.604580e-05,3.586853e-05,3.569268e-05,3.551827e-05,3.534534e-05
0.000000e+00,6.625859e-09,1.488712e-08,4.935633e-08,1.087797e-07,1.560350e-07,3.394335e-07,3.490711e-07,6.490649e-07,7.551131e-07,1.077537e-06,1.405877e-06,1.657482e-06,2.342057e-06,2.408714e-06,3.335058e-06,3.581285e-06,4.411474e-06,5.062229e-06,5.589943e-06,6.671604e-06,6.820663e-06,8.065723e-06,8.314070e-06,9.300114e-06,9.932199e-06,1.050774e-05,1.149333e-05,1.167761e-05,1.280146e-05,1.297654e-05,1.387256e-05,1.436625e-05,1.488523e-05,1.565008e-05,1.583474e-05,1.671741e-05,1.681870e-05,1.753059e-05,1.786595e-05,1.827279e-05,1.878916e-05,1.894370e-05,1.954404e-05,1.958906e-05,2.007553e-05,2.026940e-05,2.054073e-05,2.083638e-05,2.094281e-05,2.128548e-05,2.129801e-05,2.157275e-05,2.166340e-05,2.180880e-05,2.194225e-05,2.199793e-05,2.214443e-05,2.225251e-05,2.227964e-05,2.232617e-05,2.235695e-05,2.236906e-05,2.238441e-05,2.238455e-05,2.237591e-05,2.236958e-05,2.234609e-05,2.231911e-05,2.229769e-05,2.223884e-05,2.223313e-05,2.215457e-05,2.213385e-05,2.206391e-05,2.200849e-05,2.196283e-05,2.186647e-05,2.185285e-05,2.173529e-05,2.171097e-05,2.161133e-05,2.154469e-05,2.148200e-05,2.136988e-05,2.134821e-05,2.121073e-05,2.118844e-05,2.107027e-05,2.100198e-05,2.092744e-05,2.081183e-05,2.078277e-05,2.063673e-05,2.061913e-05,2.048973e-05,2.042484e-05,2.034213e-05,2.022975e-05,2.019425e-05,2.004637e-05,2.003454e-05,1.989872e-05,1.983977e-05,1.975152e-05,1.964593e-05,1.960497e-05,1.945922e-05,1.945341e-05,1.931443e-05,1.926256e-05,1.917072e-05,1.907367e-05,1.902820e-05,1.888697e-05,1.874712e-05,1.870267e-05,1.860872e-05,1.852094e-05,1.847184e-05,1.834191e-05,1.833653e-05,1.820284e-05,1.816570e-05,1.807081e-05,1.799240e-05,1.794047e-05,1.782209e-05,1.781186e-05,1.768499e-05,1.765481e-05,1.755989e-05,1.749061e-05,1.743656e-05,1.732952e-05,1.731503e-05,1.719529e-05,1.717155e-05,1.707734e-05,1.701673e-05,1.696120e-05,1.686503e-05,1.684686e-05,1.673431e-05,1.671647e-05,1.662355e-05,1.657101e-05,1.651456e-05,1.642865e-05,1.640735e-05,1.630189e-05,1.628935e-05,1.619818e-05,1.615310e-05,1.609620e-05,1.601984e-05,1.599593e-05,1.589736e-05,1.588955e-05,1.580047e-05,1.576218e-05,1.570525e-05,1.563770e-05,1.561167e-05,1.551971e-05,1.551607e-05,1.542936e-05,1.539722e-05,1.534059e-05,1.528113e-05,1.525339e-05,1.516773e-05,1.505698e-05,1.494883e-05,1.484324e-05,1.474014e-05,1.463949e-05,1.454124e-05,1.444533e-05,1.435172e-05,1.426036e-05,1.417119e-05,1.408417e-05,1.399925e-05,1.391637e-05,1.383550e-05,1.375658e-05,1.367956e-05,1.360441e-05,1.353108e-05,1.345951e-05,1.338968e-05,1.332154e-05,1.325503e-05,1.319014e-05,1.312680e-05
0.000000e+00,1.673459e-08,3.795611e-08,1.287687e-07,2.914559e-07,4.254481e-07,9.791560e-07,1.009631e-06,2.019178e-06,2.401285e-06,3.624496e-06,4.929800e-06,5.943335e-06,8.646929e-06,8.902281e-06,1.228514e-05,1.313715e-05,1.590037e-05,1.798007e-05,1.963001e-05,2.295099e-05,2.340466e-05,2.717785e-05,2.792896e-05,3.091236e-05,3.282776e-05,3.457455e-05,3.757193e-05,3.813312e-05,4.155916e-05,4.209327e-05,4.482711e-05,4.633306e-05,4.791535e-05,5.024486e-05,5.080674e-05,5.348947e-05,5.379700e-05,5.595669e-05,5.697320e-05,5.820590e-05,5.977034e-05,6.023869e-05,6.205998e-05,6.219675e-05,6.367734e-05,6.426928e-05,6.510038e-05,6.601082e-05,6.634016e-05,6.740860e-05,6.744795e-05,6.831811e-05,6.860904e-05,6.908119e-05,6.952273e-05,6.971014e-05,7.021689e-05,7.061282e-05,7.071787e-05,7.090863e-05,7.105007e-05,7.111436e-05,7.123571e-05,7.123926e-05,7.129190e-05,7.129477e-05,7.128009e-05,7.124506e-05,7.121096e-05,7.110231e-05,7.109098e-05,7.092600e-05,7.088031e-05,7.072132e-05,7.059115e-05,7.048170e-05,7.024533e-05,7.021141e-05,6.991431e-05,6.985199e-05,6.959386e-05,6.941903e-05,6.925314e-05,6.895331e-05,6.889492e-05,6.852171e-05,6.846075e-05,6.813571e-05,6.794648e-05,6.773892e-05,6.741493e-05,6.733313e-05,6.691993e-05,6.686991e-05,6.650075e-05,6.631475e-05,6.607687e-05,6.575229e-05,6.564944e-05,6.521948e-05,6.518501e-05,6.478791e-05,6.461502e-05,6.435556e-05,6.404418e-05,6.392314e-05,6.349133e-05,6.347408e-05,6.306070e-05,6.290607e-05,6.263179e-05,6.234135e-05,6.220505e-05,6.178091e-05,6.135972e-05,6.122562e-05,6.094183e-05,6.067624e-05,6.052752e-05,6.013338e-05,6.011704e-05,5.971063e-05,5.959759e-05,5.930848e-05,5.906932e-05,5.891078e-05,5.854893e-05,5.851765e-05,5.812924e-05,5.803674e-05,5.774566e-05,5.753299e-05,5.736699e-05,5.703789e-05,5.699331e-05,5.662470e-05,5.655159e-05,5.626119e-05,5.607420e-05,5.590284e-05,5.560582e-05,5.554966e-05,5.520167e-05,5.514648e-05,5.485890e-05,5.469621e-05,5.452133e-05,5.425502e-05,5.418896e-05,5.386178e-05,5.382287e-05,5.353978e-05,5.339973e-05,5.322293e-05,5.298555e-05,5.291120e-05,5.260456e-05,5.258025e-05,5.230297e-05,5.218374e-05,5.200640e-05,5.179595e-05,5.171480e-05,5.142812e-05,5.141676e-05,5.114632e-05,5.104606e-05,5.086935e-05,5.068374e-05,5.059715e-05,5.032966e-05,4.998372e-05,4.964576e-05,4.931565e-05,4.899327e-05,4.867845e-05,4.837108e-05,4.807099e-05,4.777804e-05,4.749210e-05,4.721301e-05,4.694064e-05,4.667484e-05,4.641546e-05,4.616237e-05,4.591543e-05,4.567450e-05,4.543944e-05,4.521011e-05,4.498639e-05,4.476814e-05,4.455524e-05,4.434755e-05,4.414495e-05,4.394732e-05
0.000000e+00,3.815976e-09,8.685613e-09,2.956928e-08,6.671913e-08,9.691000e-08,2.174060e-07,2.238462e-07,4.278127e-07,5.011319e-07,7.265865e-07,9.589263e-07,1.138266e-06,1.630314e-06,1.678506e-06,2.353989e-06,2.535720e-06,3.157806e-06,3.658119e-06,4.073831e-06,4.958660e-06,5.084370e-06,6.173585e-06,6.399616e-06,7.327510e-06,7.948826e-06,8.533273e-06,9.577139e-06,9.778538e-06,1.105131e-05,1.125673e-05,1.233998e-05,1.296091e-05,1.363348e-05,1.466479e-05,1.492148e-05,1.619458e-05,1.634595e-05,1.744445e-05,1.798514e-05,1.866391e-05,1.956665e-05,1.984699e-05,2.098889e-05,2.107834e-05,2.208587e-05,2.251145e-05,2.313524e-05,2.386030e-05,2.413527e-05,2.508499e-05,2.512192e-05,2.598414e-05,2.629550e-05,2.683305e-05,2.738200e-05,2.763251e-05,2.838371e-05,2.908809e-05,2.930387e-05,2.974734e-05,3.014641e-05,3.036328e-05,3.091562e-05,3.093783e-05,3.147298e-05,3.161603e-05,3.197071e-05,3.225222e-05,3.243301e-05,3.282870e-05,3.286181e-05,3.325902e-05,3.334986e-05,3.362648e-05,3.381991e-05,3.396592e-05,3.424280e-05,3.427904e-05,3.456742e-05,3.462226e-05,3.483257e-05,3.496176e-05,3.507594e-05,3.526451e-05,3.529886e-05,3.550260e-05,3.553350e-05,3.568836e-05,3.577147e-05,3.585725e-05,3.598094e-05,3.601034e-05,3.614859e-05,3.616423e-05,3.627294e-05,3.632348e-05,3.638425e-05,3.646062e-05,3.648333e-05,3.657092e-05,3.657746e-05,3.664775e-05,3.667561e-05,3.671447e-05,3.675660e-05,3.677170e-05,3.682003e-05,3.682178e-05,3.685999e-05,3.687243e-05,3.689210e-05,3.690970e-05,3.691684e-05,3.693465e-05,3.694595e-05,3.694826e-05,3.695114e-05,3.695142e-05,3.695058e-05,3.694497e-05,3.694463e-05,3.693361e-05,3.692966e-05,3.691782e-05,3.690619e-05,3.689756e-05,3.687520e-05,3.687310e-05,3.684469e-05,3.683731e-05,3.681257e-05,3.679305e-05,3.677697e-05,3.674293e-05,3.673810e-05,3.669617e-05,3.668744e-05,3.665137e-05,3.662700e-05,3.660387e-05,3.656202e-05,3.655385e-05,3.650147e-05,3.649287e-05,3.644687e-05,3.641992e-05,3.639021e-05,3.634348e-05,3.633161e-05,3.627122e-05,3.626385e-05,3.620914e-05,3.618132e-05,3.614550e-05,3.609615e-05,3.608040e-05,3.601395e-05,3.600858e-05,3.594625e-05,3.591884e-05,3.587739e-05,3.582714e-05,3.580746e-05,3.573654e-05,3.573368e-05,3.566471e-05,3.563865e-05,3.559206e-05,3.554222e-05,3.551865e-05,3.544455e-05,3.534579e-05,3.524608e-05,3.514557e-05,3.504436e-05,3.494258e-05,3.484034e-05,3.473773e-05,3.463486e-05,3.453181e-05,3.442866e-05,3.432550e-05,3.422239e-05,3.411941e-05,3.401662e-05,3.391408e-05,3.381185e-05,3.370997e-05,3.360849e-05,3.350747e-05,3.340694e-05,3.330695e-05,3.320752e-05,3.310870e-05,3.301051e-05
0.000000e+00,1.732369e-09,3.942841e-09,1.341918e-08,3.026215e-08,4.393570e-08,9.837193e-08,1.012750e-07,1.928678e-07,2.256242e-07,3.258003e-07,4.282322e-07,5.068263e-07,7.211468e-07,7.420907e-07,1.036500e-06,1.116318e-06,1.392703e-06,1.618999e-06,1.809734e-06,2.222500e-06,2.281718e-06,2.797687e-06,2.904931e-06,3.343438e-06,3.634165e-06,3.904629e-06,4.378985e-06,4.469107e-06,5.027578e-06,5.115891e-06,5.573227e-06,5.829078e-06,6.101120e-06,6.508221e-06,6.607698e-06,7.090442e-06,7.146682e-06,7.547649e-06,7.740439e-06,7.978272e-06,8.287441e-06,8.381811e-06,8.758208e-06,8.787154e-06,9.107762e-06,9.240190e-06,9.431056e-06,9.648010e-06,9.728891e-06,1.000223e-05,1.001267e-05,1.025214e-05,1.033660e-05,1.047978e-05,1.062246e-05,1.068634e-05,1.087301e-05,1.104099e-05,1.109099e-05,1.119146e-05,1.127910e-05,1.132555e-05,1.143991e-05,1.144438e-05,1.154899e-05,1.157588e-05,1.164040e-05,1.168929e-05,1.171953e-05,1.178227e-05,1.178729e-05,1.184453e-05,1.185678e-05,1.189203e-05,1.191466e-05,1.193054e-05,1.195756e-05,1.196077e-05,1.198335e-05,1.198701e-05,1.199890e-05,1.200440e-05,1.200799e-05,1.201101e-05,1.201114e-05,1.200884e-05,1.200800e-05,1.200156e-05,1.199642e-05,1.198972e-05,1.197724e-05,1.197372e-05,1.195393e-05,1.195132e-05,1.193070e-05,1.191946e-05,1.190433e-05,1.188237e-05,1.187511e-05,1.184333e-05,1.184068e-05,1.180921e-05,1.179497e-05,1.177301e-05,1.174578e-05,1.173494e-05,1.169519e-05,1.169357e-05,1.165396e-05,1.163878e-05,1.161140e-05,1.158180e-05,1.156769e-05,1.152296e-05,1.147736e-05,1.146260e-05,1.143100e-05,1.140100e-05,1.138401e-05,1.133840e-05,1.133649e-05,1.128854e-05,1.127504e-05,1.124024e-05,1.121114e-05,1.119169e-05,1.114686e-05,1.114296e-05,1.109412e-05,1.108239e-05,1.104524e-05,1.101787e-05,1.099637e-05,1.095343e-05,1.094758e-05,1.089891e-05,1.088919e-05,1.085040e-05,1.082526e-05,1.080211e-05,1.076173e-05,1.075406e-05,1.070630e-05,1.069869e-05,1.065885e-05,1.063620e-05,1.061176e-05,1.057434e-05,1.056503e-05,1.051870e-05,1.051317e-05,1.047279e-05,1.045272e-05,1.042731e-05,1.039305e-05,1.038229e-05,1.033774e-05,1.033419e-05,1.029367e-05,1.027618e-05,1.025009e-05,1.021903e-05,1.020703e-05,1.016448e-05,1.016278e-05,1.012245e-05,1.010745e-05,1.008095e-05,1.005304e-05,1.003999e-05,9.999565e-06,9.947041e-06,9.895471e-06,9.844859e-06,9.795205e-06,9.746510e-06,9.698771e-06,9.651985e-06,9.606147e-06,9.561250e-06,9.517286e-06,9.474248e-06,9.432126e-06,9.390909e-06,9.350587e-06,9.311149e-06,9.272582e-06,9.234874e-06,9.198013e-06,9.161985e-06,9.126777e-06,9.092375e-06,9.058766e-06,9.025936e-06,8.993872e-06
0.000000e+00,4.410579e-09,1.008241e-08,3.466194e-08,7.901518e-08,1.154958e-07,2.640740e-07,2.721322e-07,5.325250e-07,6.283463e-07,9.293903e-07,1.248647e-06,1.500649e-06,2.213776e-06,2.285161e-06,3.309588e-06,3.591630e-06,4.571862e-06,5.371920e-06,6.041578e-06,7.474782e-06,7.678878e-06,9.448958e-06,9.816416e-06,1.132484e-05,1.233488e-05,1.328520e-05,1.498394e-05,1.531202e-05,1.738915e-05,1.772515e-05,1.950165e-05,2.052407e-05,2.163554e-05,2.334928e-05,2.377782e-05,2.591656e-05,2.617244e-05,2.804097e-05,2.896867e-05,3.014151e-05,3.171678e-05,3.220984e-05,3.423887e-05,3.439931e-05,3.622264e-05,3.700236e-05,3.815632e-05,3.951533e-05,4.003602e-05,4.185879e-05,4.193048e-05,4.362241e-05,4.424253e-05,4.532537e-05,4.644822e-05,4.696671e-05,4.854598e-05,5.006314e-05,5.053556e-05,5.151851e-05,5.241777e-05,5.291266e-05,5.419422e-05,5.424643e-05,5.552081e-05,5.586715e-05,5.673695e-05,5.743921e-05,5.789613e-05,5.891342e-05,5.899969e-05,6.004905e-05,6.029299e-05,6.104564e-05,6.158123e-05,6.199094e-05,6.278160e-05,6.288649e-05,6.373388e-05,6.389772e-05,6.453466e-05,6.493313e-05,6.529030e-05,6.589126e-05,6.600231e-05,6.667218e-05,6.677554e-05,6.730138e-05,6.758937e-05,6.789135e-05,6.833602e-05,6.844349e-05,6.895919e-05,6.901869e-05,6.943981e-05,6.964051e-05,6.988666e-05,7.020448e-05,7.030104e-05,7.068420e-05,7.071354e-05,7.103736e-05,7.117050e-05,7.136172e-05,7.157807e-05,7.165843e-05,7.192861e-05,7.193888e-05,7.217335e-05,7.225544e-05,7.239372e-05,7.253016e-05,7.259073e-05,7.276538e-05,7.291863e-05,7.296330e-05,7.305141e-05,7.312606e-05,7.316462e-05,7.325569e-05,7.325912e-05,7.333577e-05,7.335414e-05,7.339537e-05,7.342327e-05,7.343870e-05,7.346486e-05,7.346653e-05,7.347958e-05,7.348059e-05,7.347856e-05,7.347210e-05,7.346415e-05,7.344091e-05,7.343700e-05,7.339775e-05,7.338850e-05,7.334700e-05,7.331626e-05,7.328534e-05,7.322552e-05,7.321332e-05,7.313151e-05,7.311754e-05,7.304041e-05,7.299353e-05,7.294053e-05,7.285463e-05,7.283235e-05,7.271634e-05,7.270191e-05,7.259294e-05,7.253641e-05,7.246258e-05,7.235910e-05,7.232567e-05,7.218262e-05,7.217092e-05,7.203379e-05,7.197272e-05,7.187955e-05,7.176536e-05,7.172026e-05,7.155625e-05,7.154960e-05,7.138783e-05,7.132619e-05,7.121533e-05,7.109584e-05,7.103902e-05,7.085920e-05,7.061692e-05,7.036957e-05,7.011772e-05,6.986190e-05,6.960260e-05,6.934030e-05,6.907542e-05,6.880839e-05,6.853959e-05,6.826939e-05,6.799814e-05,6.772615e-05,6.745373e-05,6.718116e-05,6.690870e-05,6.663661e-05,6.636510e-05,6.609439e-05,6.582469e-05,6.555618e-05,6.528904e-05,6.502341e-05,6.475945e-05,6.449730e-05
0.000000e+00,4.899727e-09,1.125386e-08,3.974090e-08,9.526263e-08,1.448506e-07,3.803004e-07,3.944541e-07,9.036075e-07,1.104561e-06,1.728447e-06,2.339938e-06,2.780464e-06,3.863856e-06,3.961772e-06,5.225258e-06,5.538172e-06,6.550290e-06,7.314592e-06,7.924809e-06,9.167036e-06,9.338370e-06,1.078001e-05,1.107069e-05,1.223800e-05,1.299858e-05,1.370020e-05,1.492299e-05,1.515472e-05,1.659043e-05,1.681772e-05,1.799738e-05,1.865993e-05,1.936704e-05,2.043120e-05,2.069247e-05,2.196823e-05,2.211778e-05,2.319036e-05,2.371037e-05,2.435618e-05,2.520357e-05,2.546417e-05,2.651373e-05,2.659517e-05,2.750505e-05,2.788543e-05,2.843892e-05,2.907644e-05,2.931662e-05,3.013976e-05,3.017158e-05,3.091022e-05,3.117507e-05,3.163002e-05,3.209165e-05,3.230132e-05,3.292629e-05,3.350715e-05,3.368407e-05,3.404608e-05,3.436997e-05,3.454521e-05,3.498889e-05,3.500664e-05,3.543239e-05,3.554547e-05,3.582439e-05,3.604418e-05,3.618452e-05,3.648920e-05,3.651454e-05,3.681616e-05,3.688450e-05,3.709098e-05,3.723376e-05,3.734056e-05,3.754045e-05,3.756633e-05,3.776968e-05,3.780778e-05,3.795191e-05,3.803874e-05,3.811427e-05,3.823613e-05,3.825790e-05,3.838392e-05,3.840252e-05,3.849337e-05,3.854031e-05,3.858723e-05,3.865172e-05,3.866643e-05,3.873185e-05,3.873881e-05,3.878430e-05,3.880348e-05,3.882458e-05,3.884749e-05,3.885341e-05,3.887149e-05,3.887249e-05,3.887947e-05,3.887998e-05,3.887797e-05,3.887135e-05,3.886758e-05,3.884883e-05,3.884792e-05,3.882226e-05,3.881087e-05,3.878834e-05,3.876132e-05,3.874754e-05,3.870029e-05,3.864701e-05,3.862875e-05,3.858807e-05,3.854756e-05,3.852386e-05,3.845755e-05,3.845470e-05,3.838093e-05,3.835949e-05,3.830285e-05,3.825406e-05,3.822076e-05,3.814192e-05,3.813492e-05,3.804561e-05,3.802368e-05,3.795305e-05,3.789989e-05,3.785749e-05,3.777108e-05,3.775914e-05,3.765821e-05,3.763773e-05,3.755489e-05,3.750029e-05,3.744938e-05,3.735917e-05,3.734183e-05,3.723242e-05,3.721475e-05,3.712131e-05,3.706741e-05,3.700863e-05,3.691746e-05,3.689454e-05,3.677916e-05,3.676523e-05,3.666261e-05,3.661099e-05,3.654502e-05,3.645502e-05,3.642650e-05,3.630715e-05,3.629757e-05,3.618707e-05,3.613885e-05,3.606636e-05,3.597910e-05,3.594510e-05,3.582339e-05,3.581851e-05,3.570129e-05,3.565726e-05,3.557889e-05,3.549553e-05,3.545626e-05,3.533347e-05,3.517124e-05,3.500897e-05,3.484678e-05,3.468481e-05,3.452316e-05,3.436193e-05,3.420121e-05,3.404110e-05,3.388167e-05,3.372300e-05,3.356516e-05,3.340821e-05,3.325221e-05,3.309722e-05,3.294327e-05,3.279043e-05,3.263872e-05,3.248820e-05,3.233889e-05,3.219082e-05,3.204402e-05,3.189852e-05,3.175434e-05,3.161150e-05
0.000000e+00,9.773021e-09,2.231053e-08,7.650690e-08,1.740924e-07,2.542923e-07,5.810987e-07,5.988428e-07,1.173608e-06,1.385671e-06,2.052061e-06,2.754319e-06,3.301278e-06,4.796290e-06,4.941240e-06,6.936481e-06,7.462470e-06,9.236814e-06,1.064260e-05,1.180133e-05,1.425079e-05,1.459760e-05,1.759641e-05,1.821792e-05,2.076851e-05,2.247648e-05,2.408359e-05,2.695585e-05,2.751033e-05,3.101713e-05,3.158357e-05,3.457302e-05,3.628853e-05,3.814845e-05,4.100438e-05,4.171605e-05,4.525112e-05,4.567208e-05,4.873197e-05,5.024146e-05,5.214002e-05,5.467183e-05,5.545980e-05,5.867873e-05,5.893157e-05,6.178695e-05,6.299754e-05,6.477719e-05,6.685417e-05,6.764434e-05,7.038512e-05,7.049209e-05,7.299787e-05,7.390701e-05,7.548229e-05,7.709884e-05,7.783931e-05,8.007039e-05,8.217778e-05,8.282649e-05,8.416443e-05,8.537400e-05,8.603358e-05,8.772077e-05,8.778884e-05,8.943405e-05,8.987552e-05,9.097316e-05,9.184736e-05,9.241017e-05,9.364550e-05,9.374910e-05,9.499400e-05,9.527923e-05,9.614889e-05,9.675778e-05,9.721770e-05,9.809014e-05,9.820432e-05,9.911250e-05,9.928504e-05,9.994590e-05,1.003509e-04,1.007081e-04,1.012958e-04,1.014025e-04,1.020324e-04,1.021274e-04,1.026011e-04,1.028532e-04,1.031116e-04,1.034801e-04,1.035669e-04,1.039699e-04,1.040149e-04,1.043232e-04,1.044637e-04,1.046296e-04,1.048325e-04,1.048914e-04,1.051112e-04,1.051270e-04,1.052912e-04,1.053525e-04,1.054336e-04,1.055140e-04,1.055404e-04,1.056138e-04,1.056161e-04,1.056556e-04,1.056633e-04,1.056677e-04,1.056598e-04,1.056517e-04,1.056094e-04,1.055423e-04,1.055158e-04,1.054519e-04,1.053825e-04,1.053397e-04,1.052127e-04,1.052070e-04,1.050551e-04,1.050093e-04,1.048853e-04,1.047753e-04,1.046987e-04,1.045132e-04,1.044965e-04,1.042797e-04,1.042256e-04,1.040493e-04,1.039147e-04,1.038063e-04,1.035827e-04,1.035516e-04,1.032860e-04,1.032317e-04,1.030104e-04,1.028634e-04,1.027256e-04,1.024797e-04,1.024322e-04,1.021311e-04,1.020822e-04,1.018228e-04,1.016725e-04,1.015080e-04,1.012519e-04,1.011873e-04,1.008612e-04,1.008218e-04,1.005303e-04,1.003833e-04,1.001951e-04,9.993777e-05,9.985607e-05,9.951364e-05,9.948611e-05,9.916826e-05,9.902937e-05,9.882032e-05,9.856844e-05,9.847022e-05,9.811830e-05,9.810419e-05,9.776492e-05,9.763740e-05,9.741039e-05,9.716880e-05,9.705501e-05,9.669907e-05,9.622883e-05,9.575865e-05,9.528906e-05,9.482056e-05,9.435359e-05,9.388857e-05,9.342587e-05,9.296584e-05,9.250880e-05,9.205503e-05,9.160480e-05,9.115834e-05,9.071587e-05,9.027759e-05,8.984366e-05,8.941425e-05,8.898948e-05,8.856949e-05,8.815439e-05,8.774426e-05,8.733918e-05,8.693923e-05,8.654446e-05,8.615492e-05
0.000000e+00,7.487216e-09,1.707696e-08,5.838753e-08,1.322653e-07,1.925351e-07,4.343667e-07,4.473360e-07,8.596657e-07,1.008466e-06,1.467270e-06,1.941147e-06,2.306937e-06,3.306600e-06,3.404019e-06,4.758727e-06,5.120143e-06,6.351039e-06,7.337441e-06,8.156837e-06,9.905028e-06,1.015412e-05,1.232193e-05,1.277407e-05,1.463862e-05,1.589455e-05,1.708117e-05,1.921240e-05,1.962525e-05,2.224577e-05,2.267046e-05,2.491761e-05,2.621110e-05,2.761633e-05,2.977908e-05,3.031883e-05,3.300384e-05,3.332394e-05,3.565233e-05,3.680171e-05,3.824764e-05,4.017571e-05,4.077562e-05,4.322458e-05,4.341679e-05,4.558515e-05,4.650295e-05,4.785014e-05,4.941875e-05,5.001432e-05,5.207419e-05,5.215438e-05,5.402774e-05,5.470482e-05,5.587427e-05,5.706891e-05,5.761412e-05,5.924853e-05,6.077944e-05,6.124787e-05,6.220935e-05,6.307284e-05,6.354122e-05,6.473061e-05,6.477832e-05,6.592418e-05,6.622917e-05,6.698248e-05,6.757698e-05,6.795696e-05,6.878272e-05,6.885142e-05,6.966966e-05,6.985512e-05,7.041544e-05,7.080281e-05,7.109246e-05,7.163422e-05,7.170432e-05,7.225453e-05,7.235747e-05,7.274649e-05,7.298039e-05,7.318350e-05,7.351044e-05,7.356872e-05,7.390518e-05,7.395468e-05,7.419579e-05,7.431983e-05,7.444335e-05,7.461219e-05,7.465051e-05,7.481981e-05,7.483769e-05,7.495365e-05,7.500191e-05,7.505435e-05,7.511006e-05,7.512409e-05,7.516493e-05,7.516701e-05,7.517885e-05,7.517730e-05,7.516772e-05,7.514518e-05,7.513329e-05,7.507724e-05,7.507457e-05,7.500116e-05,7.496915e-05,7.490653e-05,7.483232e-05,7.479478e-05,7.466724e-05,7.452516e-05,7.447682e-05,7.436974e-05,7.426379e-05,7.420209e-05,7.403063e-05,7.402327e-05,7.383428e-05,7.377966e-05,7.363604e-05,7.351303e-05,7.342944e-05,7.323269e-05,7.321530e-05,7.299441e-05,7.294047e-05,7.276748e-05,7.263803e-05,7.253521e-05,7.232690e-05,7.229823e-05,7.205716e-05,7.200850e-05,7.181254e-05,7.168411e-05,7.156491e-05,7.135493e-05,7.131475e-05,7.106254e-05,7.102203e-05,7.080870e-05,7.068640e-05,7.055363e-05,7.034894e-05,7.029770e-05,7.004127e-05,7.001048e-05,6.978465e-05,6.967176e-05,6.952815e-05,6.933345e-05,6.927204e-05,6.901658e-05,6.899618e-05,6.876202e-05,6.866049e-05,6.850857e-05,6.832689e-05,6.825643e-05,6.800580e-05,6.799581e-05,6.775685e-05,6.766767e-05,6.750973e-05,6.734282e-05,6.726460e-05,6.702157e-05,6.670421e-05,6.639099e-05,6.608213e-05,6.577780e-05,6.547818e-05,6.518340e-05,6.489357e-05,6.460878e-05,6.432912e-05,6.405465e-05,6.378539e-05,6.352139e-05,6.326267e-05,6.300922e-05,6.276104e-05,6.251811e-05,6.228041e-05,6.204792e-05,6.182058e-05,6.159835e-05,6.138119e-05,6.116904e-05,6.096183e-05,6.075951e-05
0.000000e+00,3.134585e-09,7.151972e-09,2.447777e-08,5.552488e-08,8.090571e-08,1.831780e-07,1.886815e-07,3.645785e-07,4.284789e-07,6.268463e-07,8.338032e-07,9.949918e-07,1.441856e-06,1.485879e-06,2.105009e-06,2.271793e-06,2.842070e-06,3.299533e-06,3.678762e-06,4.483548e-06,4.597657e-06,5.584425e-06,5.788826e-06,6.626861e-06,7.187200e-06,7.713805e-06,8.653424e-06,8.834596e-06,9.978938e-06,1.016355e-05,1.113698e-05,1.169496e-05,1.229946e-05,1.322692e-05,1.345791e-05,1.460471e-05,1.474122e-05,1.573325e-05,1.622252e-05,1.683787e-05,1.765848e-05,1.791391e-05,1.895763e-05,1.903964e-05,1.996614e-05,2.035918e-05,2.093730e-05,2.161258e-05,2.186967e-05,2.276237e-05,2.279725e-05,2.361500e-05,2.391213e-05,2.442756e-05,2.495738e-05,2.520039e-05,2.593408e-05,2.662944e-05,2.684402e-05,2.728744e-05,2.768945e-05,2.790916e-05,2.847297e-05,2.849578e-05,2.904851e-05,2.919738e-05,2.956863e-05,2.986557e-05,3.005741e-05,3.048051e-05,3.051613e-05,3.094607e-05,3.104512e-05,3.134850e-05,3.156229e-05,3.172463e-05,3.203483e-05,3.207566e-05,3.240277e-05,3.246541e-05,3.270706e-05,3.285665e-05,3.298965e-05,3.321101e-05,3.325157e-05,3.349384e-05,3.353085e-05,3.371744e-05,3.381841e-05,3.392329e-05,3.407579e-05,3.411229e-05,3.428529e-05,3.430501e-05,3.444311e-05,3.450795e-05,3.458654e-05,3.468638e-05,3.471632e-05,3.483317e-05,3.484198e-05,3.493776e-05,3.497632e-05,3.503076e-05,3.509088e-05,3.511277e-05,3.518439e-05,3.518704e-05,3.524618e-05,3.526612e-05,3.529867e-05,3.532932e-05,3.534238e-05,3.537780e-05,3.540538e-05,3.541263e-05,3.542557e-05,3.543480e-05,3.543878e-05,3.544527e-05,3.544542e-05,3.544586e-05,3.544492e-05,3.544046e-05,3.543456e-05,3.542957e-05,3.541498e-05,3.541351e-05,3.539259e-05,3.538688e-05,3.536711e-05,3.535095e-05,3.533734e-05,3.530781e-05,3.530355e-05,3.526600e-05,3.525806e-05,3.522493e-05,3.520225e-05,3.518055e-05,3.514089e-05,3.513310e-05,3.508277e-05,3.507446e-05,3.502976e-05,3.500342e-05,3.497426e-05,3.492818e-05,3.491644e-05,3.485646e-05,3.484913e-05,3.479450e-05,3.476664e-05,3.473069e-05,3.468105e-05,3.466519e-05,3.459812e-05,3.459269e-05,3.452962e-05,3.450184e-05,3.445980e-05,3.440879e-05,3.438879e-05,3.431670e-05,3.431379e-05,3.424362e-05,3.421709e-05,3.416966e-05,3.411891e-05,3.409491e-05,3.401945e-05,3.391892e-05,3.381749e-05,3.371534e-05,3.361261e-05,3.350946e-05,3.340602e-05,3.330242e-05,3.319877e-05,3.309518e-05,3.299175e-05,3.288858e-05,3.278574e-05,3.268332e-05,3.258139e-05,3.248002e-05,3.237927e-05,3.227919e-05,3.217984e-05,3.208127e-05,3.198351e-05,3.188661e-05,3.179061e-05,3.169553e-05,3.160140e-05
0.000000e+00,1.056882e-08,2.413192e-08,8.270822e-08,1.878106e-07,2.737795e-07,6.201458e-07,6.387734e-07,1.233072e-06,1.448373e-06,2.114525e-06,2.806167e-06,3.342952e-06,4.827213e-06,4.973466e-06,7.039791e-06,7.600735e-06,9.534558e-06,1.110167e-05,1.240899e-05,1.519915e-05,1.559584e-05,1.903034e-05,1.974190e-05,2.265674e-05,2.460216e-05,2.642714e-05,2.967442e-05,3.029915e-05,3.423442e-05,3.486756e-05,3.819811e-05,4.010141e-05,4.215878e-05,4.530627e-05,4.608853e-05,4.996304e-05,5.042325e-05,5.376162e-05,5.540439e-05,5.746705e-05,6.021220e-05,6.106541e-05,6.454577e-05,6.481883e-05,6.789981e-05,6.920466e-05,7.112162e-05,7.335720e-05,7.420731e-05,7.715455e-05,7.726954e-05,7.996246e-05,8.093923e-05,8.263136e-05,8.436740e-05,8.516246e-05,8.755773e-05,8.981975e-05,9.051593e-05,9.195153e-05,9.324908e-05,9.395647e-05,9.576526e-05,9.583821e-05,9.760059e-05,9.807320e-05,9.924755e-05,1.001820e-04,1.007831e-04,1.021009e-04,1.022113e-04,1.035363e-04,1.038393e-04,1.047619e-04,1.054064e-04,1.058923e-04,1.068114e-04,1.069314e-04,1.078830e-04,1.080631e-04,1.087508e-04,1.091702e-04,1.095386e-04,1.101412e-04,1.102500e-04,1.108885e-04,1.109841e-04,1.114574e-04,1.117068e-04,1.119601e-04,1.123166e-04,1.123996e-04,1.127792e-04,1.128209e-04,1.131017e-04,1.132264e-04,1.133701e-04,1.135396e-04,1.135872e-04,1.137555e-04,1.137669e-04,1.138776e-04,1.139141e-04,1.139561e-04,1.139869e-04,1.139933e-04,1.139915e-04,1.139906e-04,1.139528e-04,1.139303e-04,1.138794e-04,1.138108e-04,1.137734e-04,1.136365e-04,1.134708e-04,1.134119e-04,1.132779e-04,1.131410e-04,1.130595e-04,1.128275e-04,1.128173e-04,1.125529e-04,1.124750e-04,1.122676e-04,1.120871e-04,1.119630e-04,1.116668e-04,1.116403e-04,1.113009e-04,1.112171e-04,1.109460e-04,1.107409e-04,1.105768e-04,1.102408e-04,1.101943e-04,1.097997e-04,1.097194e-04,1.093939e-04,1.091788e-04,1.089779e-04,1.086213e-04,1.085526e-04,1.081190e-04,1.080489e-04,1.076777e-04,1.074635e-04,1.072297e-04,1.068669e-04,1.067756e-04,1.063162e-04,1.062607e-04,1.058520e-04,1.056465e-04,1.053839e-04,1.050257e-04,1.049122e-04,1.044377e-04,1.043997e-04,1.039609e-04,1.037696e-04,1.034822e-04,1.031366e-04,1.030021e-04,1.025211e-04,1.025018e-04,1.020396e-04,1.018662e-04,1.015580e-04,1.012307e-04,1.010767e-04,1.005960e-04,9.996304e-05,9.933245e-05,9.870489e-05,9.808095e-05,9.746118e-05,9.684606e-05,9.623605e-05,9.563155e-05,9.503292e-05,9.444050e-05,9.385458e-05,9.327542e-05,9.270325e-05,9.213826e-05,9.158065e-05,9.103056e-05,9.048812e-05,8.995343e-05,8.942660e-05,8.890767e-05,8.839672e-05,8.789378e-05,8.739886e-05,8.691199e-05
0.000000e+00,1.629430e-09,3.721798e-09,1.277953e-08,2.912444e-08,4.258501e-08,9.765763e-08,1.006575e-07,1.983573e-07,2.346725e-07,3.498612e-07,4.733367e-07,5.712439e-07,8.471080e-07,8.744642e-07,1.259593e-06,1.363200e-06,1.716760e-06,1.999886e-06,2.234533e-06,2.733128e-06,2.803951e-06,3.418419e-06,3.546243e-06,4.072675e-06,4.427036e-06,4.761991e-06,5.364720e-06,5.481729e-06,6.227149e-06,6.348476e-06,6.993372e-06,7.367085e-06,7.775406e-06,8.409042e-06,8.568232e-06,9.366906e-06,9.462911e-06,1.016666e-05,1.051771e-05,1.096296e-05,1.156324e-05,1.175161e-05,1.252882e-05,1.259040e-05,1.329123e-05,1.359138e-05,1.403590e-05,1.455966e-05,1.476033e-05,1.546243e-05,1.549002e-05,1.614053e-05,1.637851e-05,1.679332e-05,1.722226e-05,1.741984e-05,1.801941e-05,1.859165e-05,1.876897e-05,1.913641e-05,1.947065e-05,1.965374e-05,2.012478e-05,2.014386e-05,2.060710e-05,2.073205e-05,2.104393e-05,2.129359e-05,2.145494e-05,2.181081e-05,2.184077e-05,2.220213e-05,2.228529e-05,2.253977e-05,2.271879e-05,2.285449e-05,2.311311e-05,2.314708e-05,2.341838e-05,2.347015e-05,2.366919e-05,2.379179e-05,2.390034e-05,2.407991e-05,2.411265e-05,2.430692e-05,2.433638e-05,2.448394e-05,2.456302e-05,2.464449e-05,2.476158e-05,2.478932e-05,2.491916e-05,2.493377e-05,2.503474e-05,2.508124e-05,2.513672e-05,2.520556e-05,2.522580e-05,2.530261e-05,2.530824e-05,2.536777e-05,2.539071e-05,2.542189e-05,2.545434e-05,2.546553e-05,2.549927e-05,2.550042e-05,2.552362e-05,2.553019e-05,2.553910e-05,2.554481e-05,2.554620e-05,2.554539e-05,2.553712e-05,2.553297e-05,2.552182e-05,2.550853e-05,2.549990e-05,2.547300e-05,2.547176e-05,2.543777e-05,2.542726e-05,2.539829e-05,2.537212e-05,2.535367e-05,2.530836e-05,2.530423e-05,2.525029e-05,2.523671e-05,2.519214e-05,2.515785e-05,2.513007e-05,2.507241e-05,2.506434e-05,2.499522e-05,2.498101e-05,2.492295e-05,2.488421e-05,2.484777e-05,2.478252e-05,2.476989e-05,2.468953e-05,2.467646e-05,2.460689e-05,2.456646e-05,2.452215e-05,2.445298e-05,2.443551e-05,2.434712e-05,2.433641e-05,2.425716e-05,2.421712e-05,2.416578e-05,2.409548e-05,2.407313e-05,2.397934e-05,2.397179e-05,2.388455e-05,2.384638e-05,2.378887e-05,2.371951e-05,2.369244e-05,2.359536e-05,2.359146e-05,2.349773e-05,2.346247e-05,2.339966e-05,2.333276e-05,2.330123e-05,2.320255e-05,2.307202e-05,2.294136e-05,2.281073e-05,2.268029e-05,2.255018e-05,2.242053e-05,2.229144e-05,2.216305e-05,2.203543e-05,2.190869e-05,2.178291e-05,2.165816e-05,2.153451e-05,2.141202e-05,2.129074e-05,2.117073e-05,2.105203e-05,2.093467e-05,2.081870e-05,2.070413e-05,2.059100e-05,2.047933e-05,2.036914e-05,2.026043e-05
0.000000e+00,1.529620e-08,3.392236e-08,1.097424e-07,2.374644e-07,3.378868e-07,7.257825e-07,7.462124e-07,1.389587e-06,1.621190e-06,2.339114e-06,3.087701e-06,3.668338e-06,5.241818e-06,5.392364e-06,7.391407e-06,7.888920e-06,9.459248e-06,1.058459e-05,1.143839e-05,1.305190e-05,1.326184e-05,1.491904e-05,1.523135e-05,1.642072e-05,1.714497e-05,1.778122e-05,1.882374e-05,1.901244e-05,2.012309e-05,2.029006e-05,2.111973e-05,2.155928e-05,2.200799e-05,2.264433e-05,2.279350e-05,2.348234e-05,2.355881e-05,2.408117e-05,2.431796e-05,2.459713e-05,2.493842e-05,2.503767e-05,2.541028e-05,2.543737e-05,2.572225e-05,2.583164e-05,2.598055e-05,2.613693e-05,2.619162e-05,2.636136e-05,2.636737e-05,2.649508e-05,2.653532e-05,2.659746e-05,2.665130e-05,2.667262e-05,2.672416e-05,2.675518e-05,2.676122e-05,2.676835e-05,2.676848e-05,2.676595e-05,2.675082e-05,2.674994e-05,2.672203e-05,2.671228e-05,2.668366e-05,2.665614e-05,2.663608e-05,2.658510e-05,2.658037e-05,2.651749e-05,2.650142e-05,2.644826e-05,2.640700e-05,2.637341e-05,2.630337e-05,2.629354e-05,2.620920e-05,2.619184e-05,2.612088e-05,2.607354e-05,2.602904e-05,2.594946e-05,2.593407e-05,2.583634e-05,2.582047e-05,2.573616e-05,2.568730e-05,2.563383e-05,2.555060e-05,2.552962e-05,2.542378e-05,2.541098e-05,2.531653e-05,2.526895e-05,2.520809e-05,2.512499e-05,2.509863e-05,2.498835e-05,2.497950e-05,2.487739e-05,2.483286e-05,2.476592e-05,2.468542e-05,2.465406e-05,2.454196e-05,2.453747e-05,2.442971e-05,2.438929e-05,2.431744e-05,2.424113e-05,2.420524e-05,2.409321e-05,2.398144e-05,2.394574e-05,2.387000e-05,2.379888e-05,2.375896e-05,2.365282e-05,2.364840e-05,2.353838e-05,2.350768e-05,2.342896e-05,2.336361e-05,2.332018e-05,2.322072e-05,2.321210e-05,2.310476e-05,2.307912e-05,2.299821e-05,2.293889e-05,2.289247e-05,2.280014e-05,2.278760e-05,2.268360e-05,2.266291e-05,2.258052e-05,2.252729e-05,2.247839e-05,2.239333e-05,2.237721e-05,2.227702e-05,2.226108e-05,2.217783e-05,2.213058e-05,2.207966e-05,2.200186e-05,2.198252e-05,2.188643e-05,2.187497e-05,2.179139e-05,2.174991e-05,2.169742e-05,2.162672e-05,2.160453e-05,2.151271e-05,2.150542e-05,2.142199e-05,2.138600e-05,2.133235e-05,2.126849e-05,2.124381e-05,2.115636e-05,2.115288e-05,2.107000e-05,2.103918e-05,2.098474e-05,2.092739e-05,2.090058e-05,2.081750e-05,2.070952e-05,2.060342e-05,2.049920e-05,2.039686e-05,2.029637e-05,2.019772e-05,2.010090e-05,2.000588e-05,1.991266e-05,1.982121e-05,1.973151e-05,1.964354e-05,1.955727e-05,1.947270e-05,1.938979e-05,1.930852e-05,1.922888e-05,1.915082e-05,1.907434e-05,1.899941e-05,1.892600e-05,1.885408e-05,1.878365e-05,1.871466e-05
0.000000e+00,2.347556e-09,5.335217e-09,1.809941e-08,4.068346e-08,5.895046e-08,1.312485e-07,1.350883e-07,2.556009e-07,2.984472e-07,4.288406e-07,5.613802e-07,6.626641e-07,9.376239e-07,9.644247e-07,1.340506e-06,1.442360e-06,1.795069e-06,2.084082e-06,2.327925e-06,2.856588e-06,2.932563e-06,3.596487e-06,3.735038e-06,4.304294e-06,4.684661e-06,5.041051e-06,5.672851e-06,5.793937e-06,6.552408e-06,6.673680e-06,7.307799e-06,7.667132e-06,8.052911e-06,8.637514e-06,8.781716e-06,9.489194e-06,9.572454e-06,1.017123e-05,1.046239e-05,1.082455e-05,1.130030e-05,1.144665e-05,1.203576e-05,1.208142e-05,1.259074e-05,1.280303e-05,1.311104e-05,1.346413e-05,1.359660e-05,1.404780e-05,1.406514e-05,1.446535e-05,1.460761e-05,1.485022e-05,1.509389e-05,1.520363e-05,1.552693e-05,1.582157e-05,1.591005e-05,1.608907e-05,1.624675e-05,1.633099e-05,1.654060e-05,1.654888e-05,1.674426e-05,1.679513e-05,1.691862e-05,1.701375e-05,1.707340e-05,1.719970e-05,1.720999e-05,1.732969e-05,1.735604e-05,1.743374e-05,1.748562e-05,1.752333e-05,1.759107e-05,1.759954e-05,1.766341e-05,1.767479e-05,1.771590e-05,1.773899e-05,1.775790e-05,1.778568e-05,1.779024e-05,1.781370e-05,1.781668e-05,1.782900e-05,1.783364e-05,1.783680e-05,1.783805e-05,1.783771e-05,1.783230e-05,1.783126e-05,1.782110e-05,1.781447e-05,1.780460e-05,1.778878e-05,1.778323e-05,1.775742e-05,1.775518e-05,1.772755e-05,1.771455e-05,1.769398e-05,1.766770e-05,1.765703e-05,1.761700e-05,1.761534e-05,1.757417e-05,1.755812e-05,1.752881e-05,1.749663e-05,1.748114e-05,1.743140e-05,1.737978e-05,1.736290e-05,1.732648e-05,1.729156e-05,1.727167e-05,1.721778e-05,1.721551e-05,1.715815e-05,1.714189e-05,1.709973e-05,1.706422e-05,1.704038e-05,1.698506e-05,1.698022e-05,1.691937e-05,1.690467e-05,1.685791e-05,1.682327e-05,1.679595e-05,1.674108e-05,1.673357e-05,1.667087e-05,1.665829e-05,1.660790e-05,1.657508e-05,1.654475e-05,1.649160e-05,1.648147e-05,1.641813e-05,1.640799e-05,1.635478e-05,1.632439e-05,1.629148e-05,1.624090e-05,1.622827e-05,1.616520e-05,1.615764e-05,1.610231e-05,1.607470e-05,1.603963e-05,1.599216e-05,1.597720e-05,1.591505e-05,1.591010e-05,1.585322e-05,1.582858e-05,1.579173e-05,1.574768e-05,1.573060e-05,1.566986e-05,1.566744e-05,1.560954e-05,1.558792e-05,1.554964e-05,1.550916e-05,1.549018e-05,1.543120e-05,1.535407e-05,1.527780e-05,1.520243e-05,1.512797e-05,1.505445e-05,1.498188e-05,1.491027e-05,1.483965e-05,1.477001e-05,1.470137e-05,1.463373e-05,1.456710e-05,1.450147e-05,1.443685e-05,1.437325e-05,1.431065e-05,1.424905e-05,1.418846e-05,1.412886e-05,1.407025e-05,1.401263e-05,1.395599e-05,1.390031e-05,1.384560e-05
0.000000e+00,4.064921e-09,9.284183e-09,3.187179e-08,7.260648e-08,1.061286e-07,2.430578e-07,2.505063e-07,4.925112e-07,5.821604e-07,8.651928e-07,1.165773e-06,1.401636e-06,2.054224e-06,2.118085e-06,3.006391e-06,3.243168e-06,4.048878e-06,4.694312e-06,5.230785e-06,6.377897e-06,6.541751e-06,7.973763e-06,8.274037e-06,9.519348e-06,1.036532e-05,1.117052e-05,1.263255e-05,1.291828e-05,1.475254e-05,1.505331e-05,1.666209e-05,1.760192e-05,1.863492e-05,2.025027e-05,2.065839e-05,2.271954e-05,2.296879e-05,2.480540e-05,2.572772e-05,2.690329e-05,2.849825e-05,2.900108e-05,3.108733e-05,3.125341e-05,3.315149e-05,3.396879e-05,3.518399e-05,3.662297e-05,3.717633e-05,3.912110e-05,3.919780e-05,4.101195e-05,4.167841e-05,4.284361e-05,4.405309e-05,4.461178e-05,4.631312e-05,4.794514e-05,4.845245e-05,4.950612e-05,5.046736e-05,5.099503e-05,5.235618e-05,5.241145e-05,5.375548e-05,5.411891e-05,5.502770e-05,5.575694e-05,5.622905e-05,5.727277e-05,5.736078e-05,5.842442e-05,5.866975e-05,5.942169e-05,5.995188e-05,6.035450e-05,6.112365e-05,6.122486e-05,6.203488e-05,6.218983e-05,6.278673e-05,6.315543e-05,6.348260e-05,6.402551e-05,6.412473e-05,6.471531e-05,6.480517e-05,6.525655e-05,6.549946e-05,6.575062e-05,6.611334e-05,6.619965e-05,6.660570e-05,6.665164e-05,6.697082e-05,6.711902e-05,6.729698e-05,6.751997e-05,6.758608e-05,6.783997e-05,6.785881e-05,6.806044e-05,6.813966e-05,6.824921e-05,6.836642e-05,6.840793e-05,6.853819e-05,6.854283e-05,6.864153e-05,6.867243e-05,6.871941e-05,6.875854e-05,6.877323e-05,6.880433e-05,6.881401e-05,6.881278e-05,6.880349e-05,6.878670e-05,6.877394e-05,6.872872e-05,6.872649e-05,6.866220e-05,6.864133e-05,6.858210e-05,6.852686e-05,6.848716e-05,6.838751e-05,6.837831e-05,6.825643e-05,6.822533e-05,6.812235e-05,6.804225e-05,6.797689e-05,6.784007e-05,6.782080e-05,6.765481e-05,6.762048e-05,6.747960e-05,6.738507e-05,6.729584e-05,6.713532e-05,6.710414e-05,6.690509e-05,6.687259e-05,6.669925e-05,6.659820e-05,6.648716e-05,6.631333e-05,6.626933e-05,6.604622e-05,6.601912e-05,6.581830e-05,6.571660e-05,6.558600e-05,6.540677e-05,6.534972e-05,6.510986e-05,6.509053e-05,6.486677e-05,6.476871e-05,6.462081e-05,6.444213e-05,6.437230e-05,6.412156e-05,6.411149e-05,6.386887e-05,6.377748e-05,6.361452e-05,6.344074e-05,6.335876e-05,6.310185e-05,6.276134e-05,6.241972e-05,6.207745e-05,6.173497e-05,6.139266e-05,6.105090e-05,6.071000e-05,6.037029e-05,6.003205e-05,5.969553e-05,5.936098e-05,5.902860e-05,5.869860e-05,5.837115e-05,5.804642e-05,5.772456e-05,5.740568e-05,5.708992e-05,5.677737e-05,5.646814e-05,5.616230e-05,5.585993e-05,5.556108e-05,5.526582e-05
0.000000e+00,3.359850e-09,7.694577e-09,2.657467e-08,6.091470e-08,8.937270e-08,2.069285e-07,2.133712e-07,4.241245e-07,5.023548e-07,7.469055e-07,9.999877e-07,1.193612e-06,1.713407e-06,1.763467e-06,2.454432e-06,2.638217e-06,3.266029e-06,3.773121e-06,4.197907e-06,5.116333e-06,5.248602e-06,6.414941e-06,6.661675e-06,7.691875e-06,8.397382e-06,9.072562e-06,1.030642e-05,1.054861e-05,1.211041e-05,1.236757e-05,1.374751e-05,1.455685e-05,1.544895e-05,1.684898e-05,1.720366e-05,1.900075e-05,1.921875e-05,2.082975e-05,2.164205e-05,2.268079e-05,2.409667e-05,2.454475e-05,2.641333e-05,2.656279e-05,2.827913e-05,2.902317e-05,3.013557e-05,3.146317e-05,3.197693e-05,3.379829e-05,3.387066e-05,3.559544e-05,3.623579e-05,3.736487e-05,3.855073e-05,3.910365e-05,4.080939e-05,4.248018e-05,4.300719e-05,4.411450e-05,4.514079e-05,4.571121e-05,4.720787e-05,4.726945e-05,4.878865e-05,4.920697e-05,5.026843e-05,5.113731e-05,5.170864e-05,5.299865e-05,5.310925e-05,5.447039e-05,5.479121e-05,5.579230e-05,5.651555e-05,5.707531e-05,5.817249e-05,5.831982e-05,5.952631e-05,5.976309e-05,6.069532e-05,6.128857e-05,6.182741e-05,6.275028e-05,6.292319e-05,6.398330e-05,6.414966e-05,6.500842e-05,6.548823e-05,6.599920e-05,6.676758e-05,6.695635e-05,6.788058e-05,6.798931e-05,6.877259e-05,6.915505e-05,6.963309e-05,7.026645e-05,7.046281e-05,7.126245e-05,7.132515e-05,7.203274e-05,7.233280e-05,7.277438e-05,7.329102e-05,7.348808e-05,7.417452e-05,7.420143e-05,7.483442e-05,7.506561e-05,7.546844e-05,7.588515e-05,7.607727e-05,7.666157e-05,7.722200e-05,7.739640e-05,7.775919e-05,7.809110e-05,7.827379e-05,7.874713e-05,7.876642e-05,7.923770e-05,7.936591e-05,7.968821e-05,7.994881e-05,8.011856e-05,8.049717e-05,8.052933e-05,8.092107e-05,8.101231e-05,8.129434e-05,8.149551e-05,8.164969e-05,8.194799e-05,8.198765e-05,8.230873e-05,8.237097e-05,8.261346e-05,8.276561e-05,8.290231e-05,8.313304e-05,8.317578e-05,8.343434e-05,8.347436e-05,8.367845e-05,8.379063e-05,8.390857e-05,8.408288e-05,8.412513e-05,8.432857e-05,8.435212e-05,8.451930e-05,8.459930e-05,8.469773e-05,8.482536e-05,8.486426e-05,8.501928e-05,8.503120e-05,8.516317e-05,8.521768e-05,8.529628e-05,8.538566e-05,8.541899e-05,8.553164e-05,8.553594e-05,8.563457e-05,8.566931e-05,8.572811e-05,8.578652e-05,8.581258e-05,8.588830e-05,8.597536e-05,8.604837e-05,8.610799e-05,8.615484e-05,8.618953e-05,8.621265e-05,8.622475e-05,8.622639e-05,8.621806e-05,8.620029e-05,8.617354e-05,8.613829e-05,8.609497e-05,8.604401e-05,8.598582e-05,8.592080e-05,8.584933e-05,8.577176e-05,8.568845e-05,8.559974e-05,8.550593e-05,8.540735e-05,8.530428e-05,8.519701e-05
0.000000e+00,7.726407e-09,1.767401e-08,6.079610e-08,1.384779e-07,2.021775e-07,4.595303e-07,4.733904e-07,9.160926e-07,1.076624e-06,1.573634e-06,2.090227e-06,2.491708e-06,3.605806e-06,3.715996e-06,5.283672e-06,5.713347e-06,7.210496e-06,8.443344e-06,9.486028e-06,1.175585e-05,1.208353e-05,1.497235e-05,1.558247e-05,1.812340e-05,1.985650e-05,2.150946e-05,2.451604e-05,2.510411e-05,2.888096e-05,2.950039e-05,3.281332e-05,3.474819e-05,3.687432e-05,4.019779e-05,4.103727e-05,4.527611e-05,4.578866e-05,4.956578e-05,5.146319e-05,5.388267e-05,5.716818e-05,5.820490e-05,6.251252e-05,6.285595e-05,6.678763e-05,6.848496e-05,7.101442e-05,7.401998e-05,7.517912e-05,7.926992e-05,7.943187e-05,8.327683e-05,8.469714e-05,8.719159e-05,8.979753e-05,9.100752e-05,9.471941e-05,9.832325e-05,9.945312e-05,1.018158e-04,1.039917e-04,1.051950e-04,1.083313e-04,1.084596e-04,1.116090e-04,1.124702e-04,1.146431e-04,1.164085e-04,1.175625e-04,1.201478e-04,1.203681e-04,1.230610e-04,1.236907e-04,1.256429e-04,1.270408e-04,1.281154e-04,1.302022e-04,1.304804e-04,1.327401e-04,1.331796e-04,1.348968e-04,1.359782e-04,1.369526e-04,1.386033e-04,1.389099e-04,1.407713e-04,1.410603e-04,1.425390e-04,1.433551e-04,1.442157e-04,1.454932e-04,1.458038e-04,1.473058e-04,1.474803e-04,1.487241e-04,1.493223e-04,1.500613e-04,1.510247e-04,1.513197e-04,1.525018e-04,1.525931e-04,1.536100e-04,1.540331e-04,1.546466e-04,1.553499e-04,1.556139e-04,1.565142e-04,1.565488e-04,1.573497e-04,1.576350e-04,1.581226e-04,1.586135e-04,1.588351e-04,1.594892e-04,1.600870e-04,1.602668e-04,1.606305e-04,1.609508e-04,1.611217e-04,1.615458e-04,1.615625e-04,1.619547e-04,1.620560e-04,1.623001e-04,1.624857e-04,1.626006e-04,1.628387e-04,1.628578e-04,1.630734e-04,1.631191e-04,1.632490e-04,1.633305e-04,1.633863e-04,1.634766e-04,1.634868e-04,1.635519e-04,1.635609e-04,1.635832e-04,1.635866e-04,1.635820e-04,1.635569e-04,1.635497e-04,1.634877e-04,1.634751e-04,1.633971e-04,1.633439e-04,1.632794e-04,1.631664e-04,1.631356e-04,1.629670e-04,1.629452e-04,1.627747e-04,1.626828e-04,1.625597e-04,1.623819e-04,1.623232e-04,1.620662e-04,1.620448e-04,1.617897e-04,1.616739e-04,1.614946e-04,1.612712e-04,1.611819e-04,1.608525e-04,1.608389e-04,1.605071e-04,1.603791e-04,1.601468e-04,1.598936e-04,1.597722e-04,1.593843e-04,1.588528e-04,1.583010e-04,1.577303e-04,1.571422e-04,1.565383e-04,1.559198e-04,1.552882e-04,1.546445e-04,1.539901e-04,1.533259e-04,1.526531e-04,1.519728e-04,1.512857e-04,1.505929e-04,1.498952e-04,1.491934e-04,1.484883e-04,1.477806e-04,1.470709e-04,1.463600e-04,1.456484e-04,1.449367e-04,1.442255e-04,1.435152e-04
0.000000e+00,4.416268e-09,1.009233e-08,3.468013e-08,7.904817e-08,1.155575e-07,2.645019e-07,2.725929e-07,5.348010e-07,6.316344e-07,9.366827e-07,1.260406e-06,1.514881e-06,2.222608e-06,2.292144e-06,3.262642e-06,3.521917e-06,4.404557e-06,5.111278e-06,5.698120e-06,6.950632e-06,7.129256e-06,8.687012e-06,9.012860e-06,1.036113e-05,1.127409e-05,1.214075e-05,1.370844e-05,1.401390e-05,1.596746e-05,1.628656e-05,1.798739e-05,1.897625e-05,2.005906e-05,2.174370e-05,2.216767e-05,2.429857e-05,2.455510e-05,2.643767e-05,2.737802e-05,2.857171e-05,3.018261e-05,3.068844e-05,3.277684e-05,3.294239e-05,3.482715e-05,3.563466e-05,3.683089e-05,3.824068e-05,3.878090e-05,4.067127e-05,4.074557e-05,4.249724e-05,4.313809e-05,4.425513e-05,4.541020e-05,4.594225e-05,4.755674e-05,4.909753e-05,4.957494e-05,5.056420e-05,5.146400e-05,5.195686e-05,5.322476e-05,5.327613e-05,5.452300e-05,5.485932e-05,5.569878e-05,5.637077e-05,5.680504e-05,5.776292e-05,5.784355e-05,5.881624e-05,5.904012e-05,5.972516e-05,6.020709e-05,6.057244e-05,6.126878e-05,6.136025e-05,6.209080e-05,6.223023e-05,6.276629e-05,6.309652e-05,6.338893e-05,6.387270e-05,6.396090e-05,6.448436e-05,6.456376e-05,6.496142e-05,6.517454e-05,6.539415e-05,6.570977e-05,6.578456e-05,6.613462e-05,6.617400e-05,6.644622e-05,6.657162e-05,6.672122e-05,6.690684e-05,6.696139e-05,6.716847e-05,6.718366e-05,6.734411e-05,6.740592e-05,6.748991e-05,6.757729e-05,6.760742e-05,6.769812e-05,6.770121e-05,6.776344e-05,6.778100e-05,6.780473e-05,6.781977e-05,6.782332e-05,6.782046e-05,6.779736e-05,6.778588e-05,6.775517e-05,6.771866e-05,6.769499e-05,6.762129e-05,6.761789e-05,6.752487e-05,6.749611e-05,6.741691e-05,6.734534e-05,6.729492e-05,6.717106e-05,6.715978e-05,6.701234e-05,6.697522e-05,6.685340e-05,6.675966e-05,6.668373e-05,6.652611e-05,6.650404e-05,6.631505e-05,6.627620e-05,6.611741e-05,6.601144e-05,6.591176e-05,6.573325e-05,6.569869e-05,6.547877e-05,6.544299e-05,6.525255e-05,6.514188e-05,6.502055e-05,6.483112e-05,6.478326e-05,6.454114e-05,6.451178e-05,6.429463e-05,6.418489e-05,6.404416e-05,6.385140e-05,6.379013e-05,6.353291e-05,6.351220e-05,6.327286e-05,6.316812e-05,6.301032e-05,6.281993e-05,6.274561e-05,6.247905e-05,6.246835e-05,6.221091e-05,6.211404e-05,6.194146e-05,6.175763e-05,6.167097e-05,6.139968e-05,6.104073e-05,6.068128e-05,6.032177e-05,5.996264e-05,5.960425e-05,5.924699e-05,5.889116e-05,5.853708e-05,5.818501e-05,5.783521e-05,5.748792e-05,5.714333e-05,5.680163e-05,5.646301e-05,5.612761e-05,5.579557e-05,5.546701e-05,5.514205e-05,5.482078e-05,5.450328e-05,5.418963e-05,5.387989e-05,5.357412e-05,5.327235e-05
0.000000e+00,4.448498e-09,1.018122e-08,3.507610e-08,8.006556e-08,1.170778e-07,2.675969e-07,2.757454e-07,5.380811e-07,6.341349e-07,9.343389e-07,1.250441e-06,1.498634e-06,2.196963e-06,2.266684e-06,3.267920e-06,3.544678e-06,4.513649e-06,5.314525e-06,5.992464e-06,7.466734e-06,7.679196e-06,9.546601e-06,9.939582e-06,1.157068e-05,1.267822e-05,1.373098e-05,1.563762e-05,1.600940e-05,1.838908e-05,1.877814e-05,2.085379e-05,2.206240e-05,2.338771e-05,2.545428e-05,2.597539e-05,2.860197e-05,2.891909e-05,3.125325e-05,3.242418e-05,3.391595e-05,3.593968e-05,3.657784e-05,3.922779e-05,3.943896e-05,4.185580e-05,4.289885e-05,4.445309e-05,4.629979e-05,4.701203e-05,4.952609e-05,4.962564e-05,5.198978e-05,5.286348e-05,5.439855e-05,5.600322e-05,5.674870e-05,5.903732e-05,6.126216e-05,6.196036e-05,6.342157e-05,6.476871e-05,6.551441e-05,6.746028e-05,6.754000e-05,6.949805e-05,7.003419e-05,7.138854e-05,7.249052e-05,7.321177e-05,7.483016e-05,7.496823e-05,7.665863e-05,7.705458e-05,7.828380e-05,7.916578e-05,7.984475e-05,8.116609e-05,8.134253e-05,8.277834e-05,8.305817e-05,8.415339e-05,8.484484e-05,8.546898e-05,8.652910e-05,8.672644e-05,8.792713e-05,8.811406e-05,8.907241e-05,8.960288e-05,9.016369e-05,9.099876e-05,9.120236e-05,9.218981e-05,9.230493e-05,9.312746e-05,9.352460e-05,9.401668e-05,9.466095e-05,9.485886e-05,9.565535e-05,9.571714e-05,9.640752e-05,9.669627e-05,9.711669e-05,9.760141e-05,9.778418e-05,9.841127e-05,9.843554e-05,9.899925e-05,9.920159e-05,9.954936e-05,9.990243e-05,1.000628e-04,1.005408e-04,1.009846e-04,1.011196e-04,1.013952e-04,1.016412e-04,1.017739e-04,1.021083e-04,1.021217e-04,1.024396e-04,1.025234e-04,1.027288e-04,1.028890e-04,1.029903e-04,1.032072e-04,1.032250e-04,1.034340e-04,1.034804e-04,1.036182e-04,1.037108e-04,1.037785e-04,1.039005e-04,1.039158e-04,1.040310e-04,1.040515e-04,1.041249e-04,1.041657e-04,1.041985e-04,1.042451e-04,1.042524e-04,1.042875e-04,1.042914e-04,1.043046e-04,1.043065e-04,1.043043e-04,1.042920e-04,1.042874e-04,1.042546e-04,1.042496e-04,1.042065e-04,1.041807e-04,1.041439e-04,1.040869e-04,1.040673e-04,1.039774e-04,1.039697e-04,1.038748e-04,1.038303e-04,1.037600e-04,1.036702e-04,1.036337e-04,1.034962e-04,1.034905e-04,1.033483e-04,1.032926e-04,1.031904e-04,1.030775e-04,1.030229e-04,1.028464e-04,1.026003e-04,1.023403e-04,1.020674e-04,1.017824e-04,1.014862e-04,1.011798e-04,1.008638e-04,1.005392e-04,1.002065e-04,9.986661e-05,9.952007e-05,9.916755e-05,9.880964e-05,9.844694e-05,9.807997e-05,9.770926e-05,9.733530e-05,9.695855e-05,9.657947e-05,9.619847e-05,9.581594e-05,9.543227e-05,9.504780e-05,9.466287e-05
0.000000e+00,7.410586e-09,1.688649e-08,5.763953e-08,1.304308e-07,1.898027e-07,4.283563e-07,4.411722e-07,8.502204e-07,9.986836e-07,1.459608e-06,1.941082e-06,2.316776e-06,3.362299e-06,3.465627e-06,4.924292e-06,5.318699e-06,6.670479e-06,7.757327e-06,8.659393e-06,1.057601e-05,1.084798e-05,1.320205e-05,1.369022e-05,1.569393e-05,1.703597e-05,1.829908e-05,2.055782e-05,2.099410e-05,2.375587e-05,2.420241e-05,2.656139e-05,2.791692e-05,2.938806e-05,3.164992e-05,3.221406e-05,3.501884e-05,3.535307e-05,3.778344e-05,3.898268e-05,4.049086e-05,4.250103e-05,4.312624e-05,4.567697e-05,4.587705e-05,4.813271e-05,4.908651e-05,5.048529e-05,5.211171e-05,5.272851e-05,5.485810e-05,5.494088e-05,5.687150e-05,5.756762e-05,5.876758e-05,5.998993e-05,6.054650e-05,6.220951e-05,6.375872e-05,6.423088e-05,6.519697e-05,6.606075e-05,6.652763e-05,6.770740e-05,6.775454e-05,6.888178e-05,6.918014e-05,6.991369e-05,7.048892e-05,7.085471e-05,7.164401e-05,7.170931e-05,7.248198e-05,7.265573e-05,7.317716e-05,7.353423e-05,7.379919e-05,7.428945e-05,7.435232e-05,7.484066e-05,7.493091e-05,7.526815e-05,7.546766e-05,7.563856e-05,7.590823e-05,7.595549e-05,7.622239e-05,7.626067e-05,7.644255e-05,7.653254e-05,7.661907e-05,7.673084e-05,7.675489e-05,7.685279e-05,7.686212e-05,7.691540e-05,7.693242e-05,7.694521e-05,7.694736e-05,7.694454e-05,7.691560e-05,7.691213e-05,7.686045e-05,7.683149e-05,7.678103e-05,7.670986e-05,7.667918e-05,7.655660e-05,7.655129e-05,7.641491e-05,7.635952e-05,7.625561e-05,7.613796e-05,7.608012e-05,7.588977e-05,7.568579e-05,7.561783e-05,7.546935e-05,7.532480e-05,7.524154e-05,7.501310e-05,7.500339e-05,7.475583e-05,7.468496e-05,7.449977e-05,7.434241e-05,7.423605e-05,7.398732e-05,7.396544e-05,7.368867e-05,7.362140e-05,7.340642e-05,7.324621e-05,7.311933e-05,7.286316e-05,7.282800e-05,7.253298e-05,7.247358e-05,7.223478e-05,7.207863e-05,7.193390e-05,7.167941e-05,7.163077e-05,7.132583e-05,7.127690e-05,7.101946e-05,7.087200e-05,7.071202e-05,7.046553e-05,7.040385e-05,7.009527e-05,7.005823e-05,6.978657e-05,6.965078e-05,6.947803e-05,6.924379e-05,6.916989e-05,6.886239e-05,6.883782e-05,6.855574e-05,6.843337e-05,6.825015e-05,6.803089e-05,6.794580e-05,6.764286e-05,6.763078e-05,6.734149e-05,6.723341e-05,6.704183e-05,6.683911e-05,6.674402e-05,6.644818e-05,6.606088e-05,6.567743e-05,6.529805e-05,6.492292e-05,6.455219e-05,6.418600e-05,6.382448e-05,6.346772e-05,6.311580e-05,6.276881e-05,6.242679e-05,6.208979e-05,6.175785e-05,6.143099e-05,6.110921e-05,6.079254e-05,6.048096e-05,6.017447e-05,5.987306e-05,5.957669e-05,5.928535e-05,5.899900e-05,5.871762e-05,5.844115e-05
0.000000e+00,1.481667e-09,3.376192e-09,1.151723e-08,2.602274e-08,3.781673e-08,8.484805e-08,8.735840e-08,1.666177e-07,1.949819e-07,2.817718e-07,3.705879e-07,4.387872e-07,6.249685e-07,6.431738e-07,8.990016e-07,9.682408e-07,1.207123e-06,1.401391e-06,1.564130e-06,1.913746e-06,1.963711e-06,2.398927e-06,2.489669e-06,2.863352e-06,3.114451e-06,3.351183e-06,3.775107e-06,3.857045e-06,4.375874e-06,4.459766e-06,4.902876e-06,5.157408e-06,5.433557e-06,5.857956e-06,5.963778e-06,6.489806e-06,6.552487e-06,7.008356e-06,7.233406e-06,7.516608e-06,7.894528e-06,8.012209e-06,8.493258e-06,8.531066e-06,8.958275e-06,9.139536e-06,9.406167e-06,9.717610e-06,9.836180e-06,1.024786e-05,1.026394e-05,1.064101e-05,1.077800e-05,1.101564e-05,1.125989e-05,1.137193e-05,1.171020e-05,1.203090e-05,1.212989e-05,1.233452e-05,1.252014e-05,1.262164e-05,1.288233e-05,1.289288e-05,1.314887e-05,1.321790e-05,1.339026e-05,1.352835e-05,1.361770e-05,1.381519e-05,1.383185e-05,1.403334e-05,1.407988e-05,1.422280e-05,1.432386e-05,1.440082e-05,1.454850e-05,1.456800e-05,1.472490e-05,1.475509e-05,1.487205e-05,1.494489e-05,1.500998e-05,1.511905e-05,1.513916e-05,1.526006e-05,1.527866e-05,1.537312e-05,1.542474e-05,1.547878e-05,1.555822e-05,1.557741e-05,1.566940e-05,1.568001e-05,1.575510e-05,1.579091e-05,1.583486e-05,1.589170e-05,1.590899e-05,1.597779e-05,1.598307e-05,1.604155e-05,1.606570e-05,1.610053e-05,1.614019e-05,1.615499e-05,1.620518e-05,1.620710e-05,1.625131e-05,1.626696e-05,1.629360e-05,1.632027e-05,1.633226e-05,1.636747e-05,1.639942e-05,1.640899e-05,1.642828e-05,1.644521e-05,1.645421e-05,1.647649e-05,1.647737e-05,1.649789e-05,1.650319e-05,1.651592e-05,1.652560e-05,1.653159e-05,1.654402e-05,1.654502e-05,1.655632e-05,1.655873e-05,1.656561e-05,1.656997e-05,1.657299e-05,1.657799e-05,1.657857e-05,1.658243e-05,1.658300e-05,1.658466e-05,1.658521e-05,1.658535e-05,1.658480e-05,1.658459e-05,1.658244e-05,1.658197e-05,1.657898e-05,1.657687e-05,1.657427e-05,1.656966e-05,1.656839e-05,1.656140e-05,1.656049e-05,1.655336e-05,1.654950e-05,1.654431e-05,1.653681e-05,1.653433e-05,1.652345e-05,1.652254e-05,1.651173e-05,1.650681e-05,1.649921e-05,1.648972e-05,1.648593e-05,1.647195e-05,1.647138e-05,1.645730e-05,1.645186e-05,1.644201e-05,1.643127e-05,1.642613e-05,1.640969e-05,1.638718e-05,1.636383e-05,1.633971e-05,1.631487e-05,1.628937e-05,1.626329e-05,1.623666e-05,1.620953e-05,1.618197e-05,1.615401e-05,1.612569e-05,1.609705e-05,1.606814e-05,1.603898e-05,1.600961e-05,1.598007e-05,1.595037e-05,1.592056e-05,1.589065e-05,1.586067e-05,1.583065e-05,1.580060e-05,1.577055e-05,1.574052e-05
0.000000e+00,1.875987e-09,4.253207e-09,1.435683e-08,3.212533e-08,4.643516e-08,1.027372e-07,1.057162e-07,1.988150e-07,2.317661e-07,3.316866e-07,4.328016e-07,5.098180e-07,7.179680e-07,7.381912e-07,1.020890e-06,1.097131e-06,1.360200e-06,1.574772e-06,1.755190e-06,2.144571e-06,2.200335e-06,2.685412e-06,2.786089e-06,3.197379e-06,3.469816e-06,3.723124e-06,4.167068e-06,4.251359e-06,4.773206e-06,4.855636e-06,5.281976e-06,5.520028e-06,5.772705e-06,6.149822e-06,6.241762e-06,6.686558e-06,6.738212e-06,7.105336e-06,7.281061e-06,7.497035e-06,7.776297e-06,7.861168e-06,8.197739e-06,8.223484e-06,8.507153e-06,8.623469e-06,8.790141e-06,8.978070e-06,9.047680e-06,9.280929e-06,9.289772e-06,9.491183e-06,9.561509e-06,9.679820e-06,9.796467e-06,9.848254e-06,9.997908e-06,1.013018e-05,1.016906e-05,1.024644e-05,1.031304e-05,1.034799e-05,1.043278e-05,1.043606e-05,1.051182e-05,1.053098e-05,1.057637e-05,1.061014e-05,1.063072e-05,1.067251e-05,1.067580e-05,1.071248e-05,1.072012e-05,1.074154e-05,1.075476e-05,1.076372e-05,1.077805e-05,1.077966e-05,1.078997e-05,1.079140e-05,1.079519e-05,1.079606e-05,1.079583e-05,1.079314e-05,1.079232e-05,1.078508e-05,1.078360e-05,1.077448e-05,1.076830e-05,1.076086e-05,1.074799e-05,1.074451e-05,1.072572e-05,1.072331e-05,1.070473e-05,1.069485e-05,1.068177e-05,1.066312e-05,1.065704e-05,1.063074e-05,1.062857e-05,1.060303e-05,1.059159e-05,1.057407e-05,1.055253e-05,1.054401e-05,1.051295e-05,1.051169e-05,1.048104e-05,1.046936e-05,1.044837e-05,1.042577e-05,1.041504e-05,1.038114e-05,1.034675e-05,1.033565e-05,1.031195e-05,1.028949e-05,1.027680e-05,1.024280e-05,1.024138e-05,1.020573e-05,1.019571e-05,1.016990e-05,1.014835e-05,1.013396e-05,1.010082e-05,1.009794e-05,1.006188e-05,1.005323e-05,1.002583e-05,1.000565e-05,9.989810e-06,9.958168e-06,9.953858e-06,9.918003e-06,9.910846e-06,9.882272e-06,9.863750e-06,9.846690e-06,9.816931e-06,9.811278e-06,9.776058e-06,9.770442e-06,9.741049e-06,9.724324e-06,9.706267e-06,9.678618e-06,9.671730e-06,9.637451e-06,9.633356e-06,9.603444e-06,9.588571e-06,9.569721e-06,9.544287e-06,9.536292e-06,9.503167e-06,9.500530e-06,9.470355e-06,9.457320e-06,9.437864e-06,9.414673e-06,9.405701e-06,9.373872e-06,9.372606e-06,9.342384e-06,9.331132e-06,9.311240e-06,9.290261e-06,9.280445e-06,9.250003e-06,9.210366e-06,9.171355e-06,9.132975e-06,9.095228e-06,9.058117e-06,9.021643e-06,8.985806e-06,8.950604e-06,8.916035e-06,8.882098e-06,8.848789e-06,8.816103e-06,8.784037e-06,8.752585e-06,8.721743e-06,8.691504e-06,8.661861e-06,8.632810e-06,8.604342e-06,8.576451e-06,8.549129e-06,8.522369e-06,8.496163e-06,8.470504e-06
0.000000e+00,4.154059e-09,9.457346e-09,3.223506e-08,7.290055e-08,1.060896e-07,2.398148e-07,2.470184e-07,4.780365e-07,5.623938e-07,8.258177e-07,1.102981e-06,1.320241e-06,1.926872e-06,1.986857e-06,2.831900e-06,3.059586e-06,3.837013e-06,4.458903e-06,4.973082e-06,6.060165e-06,6.213873e-06,7.539288e-06,7.813097e-06,8.933690e-06,9.681589e-06,1.038382e-05,1.163602e-05,1.187743e-05,1.340261e-05,1.364879e-05,1.494759e-05,1.569278e-05,1.650072e-05,1.774144e-05,1.805064e-05,1.958652e-05,1.976940e-05,2.109827e-05,2.175339e-05,2.257669e-05,2.367294e-05,2.401363e-05,2.540207e-05,2.551087e-05,2.673619e-05,2.725355e-05,2.801132e-05,2.889084e-05,2.922389e-05,3.037143e-05,3.041596e-05,3.145241e-05,3.182512e-05,3.246616e-05,3.311711e-05,3.341275e-05,3.429292e-05,3.510793e-05,3.535524e-05,3.585946e-05,3.630805e-05,3.654953e-05,3.715630e-05,3.718043e-05,3.775466e-05,3.790563e-05,3.827480e-05,3.856204e-05,3.874355e-05,3.913173e-05,3.916361e-05,3.953768e-05,3.962092e-05,3.986844e-05,4.003572e-05,4.015849e-05,4.038206e-05,4.041035e-05,4.062648e-05,4.066563e-05,4.080922e-05,4.089179e-05,4.096079e-05,4.106560e-05,4.108334e-05,4.117889e-05,4.119181e-05,4.124936e-05,4.127480e-05,4.129653e-05,4.131863e-05,4.132210e-05,4.132766e-05,4.132705e-05,4.131470e-05,4.130350e-05,4.128464e-05,4.125115e-05,4.123877e-05,4.117832e-05,4.117289e-05,4.110445e-05,4.107139e-05,4.101822e-05,4.094905e-05,4.092064e-05,4.081262e-05,4.080810e-05,4.069505e-05,4.065054e-05,4.056873e-05,4.047822e-05,4.043442e-05,4.029282e-05,4.014459e-05,4.009586e-05,3.999035e-05,3.988873e-05,3.983065e-05,3.967270e-05,3.966602e-05,3.949697e-05,3.944890e-05,3.932395e-05,3.921840e-05,3.914738e-05,3.898215e-05,3.896766e-05,3.878517e-05,3.874100e-05,3.860025e-05,3.849575e-05,3.841321e-05,3.824711e-05,3.822436e-05,3.803396e-05,3.799572e-05,3.784229e-05,3.774219e-05,3.764957e-05,3.748705e-05,3.745603e-05,3.726188e-05,3.723077e-05,3.706730e-05,3.697381e-05,3.687248e-05,3.671655e-05,3.667757e-05,3.648274e-05,3.645937e-05,3.628812e-05,3.620259e-05,3.609384e-05,3.594650e-05,3.590003e-05,3.570680e-05,3.569137e-05,3.551424e-05,3.543744e-05,3.532247e-05,3.518492e-05,3.513156e-05,3.494160e-05,3.493402e-05,3.475265e-05,3.468490e-05,3.456480e-05,3.443772e-05,3.437811e-05,3.419262e-05,3.394972e-05,3.370914e-05,3.347096e-05,3.323527e-05,3.300215e-05,3.277166e-05,3.254386e-05,3.231878e-05,3.209647e-05,3.187697e-05,3.166029e-05,3.144646e-05,3.123549e-05,3.102739e-05,3.082216e-05,3.061980e-05,3.042032e-05,3.022370e-05,3.002994e-05,2.983902e-05,2.965093e-05,2.946564e-05,2.928315e-05,2.910344e-05
0.000000e+00,1.810818e-08,4.033286e-08,1.315058e-07,2.860787e-07,4.078838e-07,8.775911e-07,9.022480e-07,1.672762e-06,1.947024e-06,2.785377e-06,3.637627e-06,4.281154e-06,5.949839e-06,6.104642e-06,8.118275e-06,8.615544e-06,1.020456e-05,1.137929e-05,1.229997e-05,1.412680e-05,1.437388e-05,1.640804e-05,1.680875e-05,1.838707e-05,1.938928e-05,2.029561e-05,2.183319e-05,2.211850e-05,2.384184e-05,2.410753e-05,2.545412e-05,2.618598e-05,2.694697e-05,2.805185e-05,2.831548e-05,2.955813e-05,2.969883e-05,3.067646e-05,3.113012e-05,3.167458e-05,3.235641e-05,3.255853e-05,3.333576e-05,3.339357e-05,3.401453e-05,3.426041e-05,3.460350e-05,3.497681e-05,3.511131e-05,3.554639e-05,3.556239e-05,3.591666e-05,3.603553e-05,3.622949e-05,3.641287e-05,3.649161e-05,3.670906e-05,3.688722e-05,3.693672e-05,3.703084e-05,3.710659e-05,3.714412e-05,3.722771e-05,3.723071e-05,3.729379e-05,3.730763e-05,3.733613e-05,3.735260e-05,3.736015e-05,3.736786e-05,3.736793e-05,3.736129e-05,3.735773e-05,3.734181e-05,3.732582e-05,3.731088e-05,3.727517e-05,3.726973e-05,3.721942e-05,3.720834e-05,3.716088e-05,3.712747e-05,3.709495e-05,3.703440e-05,3.702237e-05,3.694381e-05,3.693073e-05,3.685987e-05,3.681783e-05,3.677109e-05,3.669690e-05,3.667795e-05,3.658090e-05,3.656901e-05,3.648035e-05,3.643509e-05,3.637666e-05,3.629597e-05,3.627018e-05,3.616122e-05,3.615240e-05,3.605006e-05,3.600505e-05,3.593698e-05,3.585451e-05,3.582221e-05,3.570599e-05,3.570132e-05,3.558853e-05,3.554597e-05,3.547001e-05,3.538891e-05,3.535062e-05,3.523053e-05,3.510990e-05,3.507121e-05,3.498887e-05,3.491126e-05,3.486757e-05,3.475099e-05,3.474613e-05,3.462467e-05,3.459068e-05,3.450330e-05,3.443056e-05,3.438211e-05,3.427086e-05,3.426120e-05,3.414065e-05,3.411178e-05,3.402055e-05,3.395351e-05,3.390097e-05,3.379622e-05,3.378197e-05,3.366363e-05,3.364005e-05,3.354600e-05,3.348514e-05,3.342914e-05,3.333160e-05,3.331309e-05,3.319791e-05,3.317956e-05,3.308362e-05,3.302910e-05,3.297028e-05,3.288031e-05,3.285792e-05,3.274657e-05,3.273328e-05,3.263626e-05,3.258806e-05,3.252701e-05,3.244471e-05,3.241886e-05,3.231181e-05,3.230330e-05,3.220590e-05,3.216386e-05,3.210114e-05,3.202643e-05,3.199754e-05,3.189511e-05,3.189104e-05,3.179388e-05,3.175772e-05,3.169384e-05,3.162650e-05,3.159501e-05,3.149738e-05,3.137039e-05,3.124552e-05,3.112279e-05,3.100220e-05,3.088373e-05,3.076740e-05,3.065319e-05,3.054109e-05,3.043109e-05,3.032317e-05,3.021733e-05,3.011355e-05,3.001180e-05,2.991206e-05,2.981433e-05,2.971856e-05,2.962475e-05,2.953286e-05,2.944287e-05,2.935476e-05,2.926850e-05,2.918406e-05,2.910142e-05,2.902055e-05
0.000000e+00,6.938093e-09,1.586606e-08,5.454213e-08,1.241571e-07,1.812065e-07,4.114921e-07,4.238877e-07,8.195948e-07,9.630157e-07,1.406979e-06,1.868539e-06,2.227505e-06,3.226039e-06,3.325074e-06,4.741977e-06,5.133417e-06,6.509328e-06,7.656379e-06,8.635540e-06,1.079008e-05,1.110318e-05,1.387802e-05,1.446641e-05,1.692113e-05,1.859714e-05,2.019552e-05,2.310025e-05,2.366784e-05,2.730775e-05,2.790379e-05,3.108703e-05,3.294266e-05,3.497885e-05,3.815604e-05,3.895752e-05,4.299846e-05,4.348643e-05,4.707826e-05,4.887996e-05,5.117491e-05,5.428696e-05,5.526792e-05,5.933856e-05,5.966272e-05,6.336988e-05,6.496797e-05,6.734682e-05,7.016905e-05,7.125617e-05,7.508654e-05,7.523797e-05,7.882828e-05,8.015202e-05,8.247337e-05,8.489343e-05,8.601527e-05,8.944882e-05,9.277009e-05,9.380868e-05,9.597620e-05,9.796678e-05,9.906528e-05,1.019197e-04,1.020362e-04,1.048888e-04,1.056663e-04,1.076231e-04,1.092072e-04,1.102400e-04,1.125449e-04,1.127407e-04,1.151269e-04,1.156827e-04,1.174003e-04,1.186250e-04,1.195632e-04,1.213769e-04,1.216178e-04,1.235667e-04,1.239440e-04,1.254125e-04,1.263324e-04,1.271578e-04,1.285482e-04,1.288054e-04,1.303581e-04,1.305980e-04,1.318188e-04,1.324881e-04,1.331903e-04,1.342252e-04,1.344755e-04,1.356770e-04,1.358157e-04,1.367979e-04,1.372661e-04,1.378407e-04,1.385827e-04,1.388082e-04,1.397032e-04,1.397717e-04,1.405282e-04,1.408392e-04,1.412858e-04,1.417910e-04,1.419786e-04,1.426091e-04,1.426330e-04,1.431796e-04,1.433707e-04,1.436925e-04,1.440096e-04,1.441502e-04,1.445548e-04,1.449085e-04,1.450114e-04,1.452136e-04,1.453842e-04,1.454720e-04,1.456780e-04,1.456857e-04,1.458567e-04,1.458972e-04,1.459869e-04,1.460461e-04,1.460780e-04,1.461290e-04,1.461320e-04,1.461505e-04,1.461498e-04,1.461351e-04,1.461123e-04,1.460875e-04,1.460201e-04,1.460092e-04,1.459017e-04,1.458768e-04,1.457665e-04,1.456857e-04,1.456050e-04,1.454500e-04,1.454186e-04,1.452085e-04,1.451728e-04,1.449760e-04,1.448568e-04,1.447223e-04,1.445049e-04,1.444487e-04,1.441561e-04,1.441198e-04,1.438458e-04,1.437039e-04,1.435188e-04,1.432597e-04,1.431761e-04,1.428185e-04,1.427893e-04,1.424472e-04,1.422950e-04,1.420630e-04,1.417788e-04,1.416667e-04,1.412592e-04,1.412426e-04,1.408412e-04,1.406883e-04,1.404136e-04,1.401176e-04,1.399770e-04,1.395322e-04,1.389336e-04,1.383232e-04,1.377026e-04,1.370730e-04,1.364356e-04,1.357916e-04,1.351421e-04,1.344881e-04,1.338307e-04,1.331707e-04,1.325089e-04,1.318463e-04,1.311834e-04,1.305211e-04,1.298600e-04,1.292006e-04,1.285437e-04,1.278896e-04,1.272388e-04,1.265919e-04,1.259493e-04,1.253113e-04,1.246783e-04,1.240506e-04
0.000000e+00,5.383435e-09,1.226316e-08,4.180402e-08,9.438527e-08,1.371010e-07,3.072014e-07,3.162716e-07,6.022626e-07,7.044524e-07,1.016724e-06,1.335780e-06,1.580542e-06,2.248552e-06,2.313919e-06,3.235609e-06,3.486647e-06,4.360823e-06,5.083199e-06,5.697363e-06,7.045149e-06,7.240770e-06,8.971399e-06,9.337285e-06,1.085671e-05,1.188542e-05,1.285810e-05,1.460116e-05,1.493771e-05,1.706207e-05,1.740416e-05,1.920298e-05,2.022945e-05,2.133699e-05,2.302595e-05,2.344451e-05,2.550921e-05,2.575342e-05,2.751744e-05,2.838020e-05,2.945798e-05,3.088184e-05,3.132173e-05,3.310159e-05,3.324018e-05,3.479222e-05,3.544261e-05,3.638993e-05,3.748142e-05,3.789246e-05,3.929881e-05,3.935307e-05,4.060911e-05,4.105747e-05,4.182437e-05,4.259736e-05,4.294640e-05,4.397764e-05,4.492100e-05,4.520484e-05,4.577977e-05,4.628662e-05,4.655751e-05,4.723139e-05,4.725797e-05,4.788501e-05,4.804796e-05,4.844254e-05,4.874531e-05,4.893444e-05,4.933236e-05,4.936459e-05,4.973676e-05,4.981786e-05,5.005463e-05,5.021025e-05,5.032176e-05,5.051759e-05,5.054158e-05,5.071737e-05,5.074753e-05,5.085228e-05,5.090727e-05,5.094928e-05,5.100355e-05,5.101121e-05,5.104075e-05,5.104264e-05,5.104043e-05,5.103038e-05,5.101264e-05,5.097215e-05,5.095964e-05,5.088353e-05,5.087294e-05,5.078630e-05,5.073731e-05,5.066981e-05,5.056948e-05,5.053581e-05,5.038592e-05,5.037328e-05,5.022165e-05,5.015225e-05,5.004445e-05,4.990959e-05,4.985562e-05,4.965640e-05,4.964823e-05,4.944794e-05,4.937085e-05,4.923132e-05,4.907985e-05,4.900751e-05,4.877745e-05,4.854199e-05,4.846563e-05,4.830192e-05,4.814619e-05,4.805797e-05,4.782076e-05,4.781082e-05,4.756110e-05,4.749080e-05,4.730939e-05,4.715763e-05,4.705621e-05,4.682242e-05,4.680207e-05,4.654740e-05,4.648625e-05,4.629263e-05,4.615006e-05,4.603814e-05,4.581469e-05,4.578426e-05,4.553133e-05,4.548088e-05,4.527963e-05,4.514931e-05,4.502941e-05,4.482056e-05,4.478093e-05,4.453440e-05,4.449514e-05,4.429000e-05,4.417351e-05,4.404793e-05,4.385604e-05,4.380833e-05,4.357134e-05,4.354309e-05,4.333710e-05,4.323493e-05,4.310571e-05,4.293182e-05,4.287727e-05,4.265186e-05,4.263396e-05,4.242955e-05,4.234152e-05,4.221042e-05,4.205463e-05,4.199450e-05,4.178184e-05,4.177341e-05,4.157249e-05,4.149793e-05,4.136645e-05,4.122826e-05,4.116376e-05,4.096443e-05,4.070646e-05,4.045435e-05,4.020809e-05,3.996766e-05,3.973300e-05,3.950408e-05,3.928083e-05,3.906319e-05,3.885109e-05,3.864445e-05,3.844318e-05,3.824720e-05,3.805641e-05,3.787072e-05,3.769002e-05,3.751423e-05,3.734324e-05,3.717695e-05,3.701525e-05,3.685805e-05,3.670523e-05,3.655670e-05,3.641236e-05,3.627209e-05
0.000000e+00,3.406246e-09,7.781698e-09,2.673572e-08,6.098125e-08,8.921821e-08,2.050057e-07,2.113229e-07,4.175102e-07,4.943458e-07,7.387634e-07,1.002244e-06,1.212624e-06,1.814397e-06,1.874852e-06,2.739100e-06,2.974880e-06,3.784994e-06,4.436075e-06,4.975166e-06,6.115146e-06,6.276267e-06,7.664430e-06,7.950935e-06,9.122685e-06,9.904194e-06,1.063778e-05,1.194590e-05,1.219815e-05,1.379293e-05,1.405058e-05,1.541151e-05,1.619383e-05,1.704352e-05,1.835199e-05,1.867886e-05,2.030791e-05,2.050254e-05,2.192167e-05,2.262472e-05,2.351189e-05,2.470015e-05,2.507120e-05,2.659315e-05,2.671312e-05,2.807223e-05,2.865080e-05,2.950386e-05,3.050315e-05,3.088436e-05,3.221087e-05,3.226278e-05,3.348132e-05,3.392467e-05,3.469430e-05,3.548588e-05,3.584902e-05,3.694521e-05,3.798305e-05,3.830292e-05,3.896309e-05,3.956038e-05,3.988622e-05,4.071991e-05,4.075355e-05,4.156642e-05,4.178447e-05,4.232633e-05,4.275752e-05,4.303489e-05,4.364287e-05,4.369380e-05,4.430483e-05,4.444456e-05,4.486978e-05,4.516671e-05,4.539047e-05,4.581351e-05,4.586872e-05,4.630633e-05,4.638914e-05,4.670511e-05,4.689771e-05,4.706682e-05,4.734325e-05,4.739316e-05,4.768584e-05,4.772966e-05,4.794649e-05,4.806068e-05,4.817668e-05,4.833996e-05,4.837797e-05,4.855185e-05,4.857094e-05,4.869973e-05,4.875692e-05,4.882301e-05,4.890107e-05,4.892302e-05,4.900104e-05,4.900637e-05,4.905829e-05,4.907564e-05,4.909595e-05,4.911157e-05,4.911515e-05,4.911697e-05,4.911669e-05,4.910244e-05,4.909340e-05,4.907255e-05,4.904393e-05,4.902824e-05,4.897043e-05,4.889996e-05,4.887487e-05,4.881766e-05,4.875915e-05,4.872432e-05,4.862501e-05,4.862067e-05,4.850744e-05,4.847410e-05,4.838529e-05,4.830799e-05,4.825486e-05,4.812810e-05,4.811679e-05,4.797163e-05,4.793580e-05,4.781995e-05,4.773236e-05,4.766227e-05,4.751895e-05,4.749909e-05,4.733089e-05,4.729668e-05,4.715810e-05,4.706658e-05,4.698116e-05,4.682961e-05,4.680046e-05,4.661640e-05,4.658666e-05,4.642932e-05,4.633855e-05,4.623957e-05,4.608606e-05,4.604746e-05,4.585332e-05,4.582990e-05,4.565741e-05,4.557073e-05,4.546002e-05,4.530917e-05,4.526140e-05,4.506179e-05,4.504578e-05,4.486141e-05,4.478109e-05,4.466047e-05,4.451557e-05,4.445919e-05,4.425774e-05,4.424969e-05,4.405631e-05,4.398383e-05,4.385505e-05,4.371838e-05,4.365413e-05,4.345369e-05,4.319006e-05,4.292779e-05,4.266714e-05,4.240835e-05,4.215162e-05,4.189717e-05,4.164515e-05,4.139574e-05,4.114907e-05,4.090527e-05,4.066444e-05,4.042669e-05,4.019210e-05,3.996074e-05,3.973268e-05,3.950796e-05,3.928662e-05,3.906871e-05,3.885425e-05,3.864325e-05,3.843573e-05,3.823169e-05,3.803115e-05,3.783408e-05
0.000000e+00,4.129271e-09,9.429288e-09,3.241357e-08,7.415416e-08,1.088185e-07,2.534133e-07,2.614126e-07,5.277039e-07,6.288497e-07,9.524198e-07,1.295980e-06,1.561676e-06,2.272908e-06,2.340721e-06,3.258208e-06,3.496092e-06,4.289760e-06,4.910997e-06,5.419137e-06,6.484072e-06,6.633994e-06,7.923033e-06,8.188738e-06,9.274727e-06,9.998369e-06,1.067696e-05,1.188470e-05,1.211715e-05,1.358259e-05,1.381856e-05,1.506080e-05,1.577138e-05,1.653997e-05,1.771663e-05,1.800920e-05,1.945871e-05,1.963091e-05,2.088004e-05,2.149460e-05,2.226601e-05,2.329205e-05,2.361076e-05,2.490968e-05,2.501150e-05,2.615923e-05,2.664464e-05,2.735693e-05,2.818622e-05,2.850116e-05,2.959106e-05,2.963353e-05,3.062642e-05,3.098585e-05,3.160754e-05,3.224407e-05,3.253513e-05,3.341026e-05,3.423423e-05,3.448734e-05,3.500855e-05,3.547882e-05,3.573487e-05,3.638860e-05,3.641494e-05,3.705054e-05,3.722079e-05,3.764352e-05,3.797961e-05,3.819571e-05,3.866927e-05,3.870894e-05,3.918499e-05,3.929391e-05,3.962564e-05,3.985758e-05,4.003260e-05,4.036417e-05,4.040753e-05,4.075203e-05,4.081742e-05,4.106767e-05,4.122089e-05,4.135593e-05,4.157796e-05,4.161825e-05,4.185599e-05,4.189184e-05,4.207047e-05,4.216554e-05,4.226295e-05,4.240190e-05,4.243463e-05,4.258664e-05,4.260361e-05,4.272008e-05,4.277317e-05,4.283598e-05,4.291295e-05,4.293534e-05,4.301909e-05,4.302514e-05,4.308812e-05,4.311181e-05,4.314330e-05,4.317489e-05,4.318541e-05,4.321524e-05,4.321619e-05,4.323351e-05,4.323740e-05,4.324092e-05,4.324008e-05,4.323810e-05,4.322570e-05,4.320431e-05,4.319565e-05,4.317447e-05,4.315119e-05,4.313672e-05,4.309352e-05,4.309157e-05,4.303950e-05,4.302374e-05,4.298095e-05,4.294290e-05,4.291636e-05,4.285195e-05,4.284613e-05,4.277065e-05,4.275179e-05,4.269028e-05,4.264326e-05,4.260536e-05,4.252714e-05,4.251623e-05,4.242319e-05,4.240414e-05,4.232654e-05,4.227495e-05,4.222656e-05,4.214018e-05,4.212350e-05,4.201761e-05,4.200043e-05,4.190914e-05,4.185622e-05,4.179830e-05,4.170807e-05,4.168530e-05,4.157035e-05,4.155643e-05,4.145362e-05,4.140175e-05,4.133531e-05,4.124442e-05,4.121556e-05,4.109456e-05,4.108483e-05,4.097243e-05,4.092330e-05,4.084933e-05,4.076018e-05,4.072540e-05,4.060074e-05,4.059574e-05,4.047549e-05,4.043028e-05,4.034976e-05,4.026404e-05,4.022365e-05,4.009726e-05,3.993016e-05,3.976295e-05,3.959579e-05,3.942888e-05,3.926236e-05,3.909639e-05,3.893109e-05,3.876658e-05,3.860299e-05,3.844042e-05,3.827895e-05,3.811868e-05,3.795968e-05,3.780202e-05,3.764577e-05,3.749098e-05,3.733771e-05,3.718601e-05,3.703591e-05,3.688746e-05,3.674068e-05,3.659560e-05,3.645225e-05,3.631065e-05
0.000000e+00,2.076993e-09,4.669774e-09,1.549172e-08,3.411632e-08,4.887893e-08,1.056598e-07,1.086193e-07,1.994668e-07,2.309930e-07,3.250434e-07,4.182711e-07,4.882029e-07,6.734711e-07,6.912230e-07,9.357082e-07,1.000634e-06,1.222026e-06,1.400064e-06,1.548325e-06,1.864841e-06,1.909868e-06,2.299612e-06,2.380253e-06,2.709750e-06,2.928631e-06,3.133020e-06,3.494121e-06,3.563184e-06,3.994997e-06,4.063932e-06,4.423986e-06,4.627740e-06,4.846271e-06,5.176968e-06,5.258445e-06,5.657529e-06,5.704414e-06,6.040964e-06,6.204150e-06,6.406609e-06,6.671533e-06,6.752753e-06,7.078117e-06,7.103220e-06,7.381836e-06,7.497146e-06,7.663443e-06,7.852435e-06,7.922830e-06,8.160209e-06,8.169253e-06,8.376067e-06,8.448639e-06,8.571115e-06,8.692310e-06,8.746243e-06,8.902472e-06,9.040918e-06,9.081654e-06,9.162747e-06,9.232545e-06,9.269145e-06,9.357862e-06,9.361288e-06,9.440335e-06,9.460275e-06,9.507406e-06,9.542348e-06,9.563570e-06,9.606472e-06,9.609831e-06,9.647126e-06,9.654842e-06,9.676330e-06,9.689452e-06,9.698247e-06,9.712092e-06,9.713613e-06,9.723100e-06,9.724346e-06,9.727316e-06,9.727611e-06,9.726814e-06,9.723112e-06,9.722092e-06,9.713601e-06,9.711921e-06,9.701748e-06,9.694971e-06,9.686892e-06,9.673060e-06,9.669352e-06,9.649417e-06,9.646877e-06,9.627347e-06,9.617019e-06,9.603372e-06,9.584008e-06,9.577703e-06,9.550525e-06,9.548291e-06,9.522007e-06,9.510258e-06,9.492297e-06,9.470244e-06,9.461530e-06,9.429827e-06,9.428541e-06,9.397300e-06,9.385408e-06,9.364048e-06,9.341070e-06,9.330163e-06,9.295728e-06,9.260817e-06,9.249557e-06,9.225499e-06,9.202711e-06,9.189836e-06,9.155327e-06,9.153884e-06,9.117697e-06,9.107529e-06,9.081322e-06,9.059426e-06,9.044804e-06,9.011116e-06,9.008184e-06,8.971497e-06,8.962687e-06,8.934780e-06,8.914217e-06,8.898063e-06,8.865777e-06,8.861377e-06,8.824747e-06,8.817430e-06,8.788199e-06,8.769234e-06,8.751756e-06,8.721240e-06,8.715439e-06,8.679268e-06,8.673496e-06,8.643262e-06,8.626042e-06,8.607436e-06,8.578915e-06,8.571806e-06,8.536386e-06,8.532151e-06,8.501191e-06,8.485779e-06,8.466231e-06,8.439825e-06,8.431517e-06,8.397061e-06,8.394315e-06,8.362870e-06,8.349270e-06,8.328954e-06,8.304709e-06,8.295321e-06,8.261976e-06,8.260648e-06,8.228927e-06,8.217103e-06,8.196179e-06,8.174085e-06,8.163738e-06,8.131607e-06,8.089678e-06,8.048305e-06,8.007496e-06,7.967255e-06,7.927588e-06,7.888496e-06,7.849984e-06,7.812051e-06,7.774698e-06,7.737926e-06,7.701732e-06,7.666117e-06,7.631077e-06,7.596610e-06,7.562712e-06,7.529381e-06,7.496612e-06,7.464400e-06,7.432742e-06,7.401631e-06,7.371064e-06,7.341033e-06,7.311534e-06,7.282561e-06
0.000000e+00,1.130997e-08,2.578686e-08,8.809718e-08,1.994009e-07,2.901143e-07,6.534979e-07,6.729624e-07,1.290777e-06,1.513327e-06,2.198698e-06,2.906501e-06,3.454114e-06,4.965823e-06,5.114888e-06,7.231488e-06,7.811065e-06,9.830839e-06,1.149390e-05,1.289854e-05,1.594046e-05,1.637694e-05,2.018463e-05,2.097828e-05,2.423924e-05,2.642079e-05,2.846863e-05,3.211177e-05,3.281221e-05,3.721874e-05,3.792658e-05,4.164390e-05,4.376301e-05,4.604886e-05,4.953515e-05,5.039941e-05,5.466569e-05,5.517072e-05,5.882196e-05,6.061014e-05,6.284653e-05,6.580606e-05,6.672165e-05,7.043330e-05,7.072283e-05,7.397092e-05,7.533548e-05,7.732711e-05,7.962856e-05,8.049730e-05,8.347934e-05,8.359471e-05,8.627320e-05,8.723321e-05,8.888060e-05,9.054871e-05,9.130474e-05,9.354999e-05,9.562161e-05,9.624881e-05,9.752555e-05,9.865905e-05,9.926829e-05,1.007960e-04,1.008566e-04,1.022975e-04,1.026755e-04,1.035981e-04,1.043141e-04,1.047655e-04,1.057279e-04,1.058067e-04,1.067287e-04,1.069330e-04,1.075382e-04,1.079448e-04,1.082418e-04,1.087784e-04,1.088458e-04,1.093564e-04,1.094478e-04,1.097794e-04,1.099666e-04,1.101204e-04,1.103475e-04,1.103849e-04,1.105779e-04,1.106025e-04,1.107043e-04,1.107427e-04,1.107687e-04,1.107786e-04,1.107756e-04,1.107290e-04,1.107200e-04,1.106329e-04,1.105759e-04,1.104910e-04,1.103548e-04,1.103069e-04,1.100839e-04,1.100644e-04,1.098250e-04,1.097120e-04,1.095332e-04,1.093043e-04,1.092113e-04,1.088619e-04,1.088474e-04,1.084874e-04,1.083470e-04,1.080902e-04,1.078082e-04,1.076724e-04,1.072360e-04,1.067829e-04,1.066347e-04,1.063150e-04,1.060084e-04,1.058338e-04,1.053608e-04,1.053409e-04,1.048378e-04,1.046953e-04,1.043259e-04,1.040150e-04,1.038063e-04,1.033227e-04,1.032804e-04,1.027491e-04,1.026210e-04,1.022136e-04,1.019122e-04,1.016748e-04,1.011985e-04,1.011335e-04,1.005906e-04,1.004819e-04,1.000468e-04,9.976397e-05,9.950292e-05,9.904641e-05,9.895953e-05,9.841725e-05,9.833063e-05,9.787664e-05,9.761790e-05,9.733822e-05,9.690936e-05,9.680244e-05,9.626975e-05,9.620605e-05,9.574053e-05,9.550887e-05,9.521516e-05,9.481864e-05,9.469395e-05,9.417722e-05,9.413608e-05,9.366522e-05,9.346180e-05,9.315820e-05,9.279636e-05,9.265639e-05,9.215999e-05,9.214024e-05,9.166915e-05,9.149385e-05,9.118405e-05,9.085752e-05,9.070481e-05,9.023156e-05,8.961621e-05,8.901166e-05,8.841807e-05,8.783555e-05,8.726418e-05,8.670401e-05,8.615506e-05,8.561733e-05,8.509079e-05,8.457540e-05,8.407107e-05,8.357773e-05,8.309529e-05,8.262363e-05,8.216262e-05,8.171215e-05,8.127205e-05,8.084220e-05,8.042243e-05,8.001258e-05,7.961249e-05,7.922198e-05,7.884089e-05,7.846903e-05
0.000000e+00,8.009237e-09,1.826265e-08,6.279869e-08,1.444709e-07,2.132035e-07,5.083261e-07,5.250126e-07,1.097421e-06,1.321872e-06,2.058599e-06,2.862892e-06,3.493740e-06,5.186990e-06,5.347281e-06,7.472997e-06,8.008743e-06,9.746527e-06,1.105435e-05,1.209163e-05,1.417826e-05,1.446317e-05,1.683130e-05,1.730243e-05,1.917314e-05,2.037396e-05,2.146924e-05,2.334995e-05,2.370237e-05,2.585731e-05,2.619396e-05,2.792125e-05,2.887648e-05,2.988385e-05,3.137568e-05,3.173738e-05,3.347666e-05,3.367754e-05,3.509885e-05,3.577526e-05,3.660320e-05,3.766825e-05,3.799071e-05,3.926383e-05,3.936084e-05,4.042613e-05,4.086098e-05,4.148200e-05,4.217911e-05,4.243643e-05,4.329475e-05,4.332716e-05,4.406249e-05,4.431778e-05,4.474524e-05,4.516380e-05,4.534855e-05,4.587780e-05,4.633821e-05,4.647183e-05,4.673478e-05,4.695728e-05,4.707224e-05,4.734476e-05,4.735508e-05,4.758750e-05,4.764408e-05,4.777344e-05,4.786425e-05,4.791660e-05,4.801347e-05,4.802040e-05,4.808804e-05,4.809923e-05,4.812249e-05,4.812831e-05,4.812648e-05,4.810685e-05,4.810259e-05,4.805316e-05,4.804040e-05,4.798037e-05,4.793397e-05,4.788626e-05,4.779209e-05,4.777268e-05,4.764136e-05,4.761882e-05,4.749390e-05,4.741783e-05,4.733178e-05,4.719243e-05,4.715634e-05,4.696885e-05,4.694560e-05,4.677047e-05,4.668001e-05,4.656227e-05,4.639808e-05,4.634524e-05,4.612029e-05,4.610197e-05,4.588827e-05,4.579365e-05,4.564995e-05,4.547487e-05,4.540606e-05,4.515726e-05,4.514721e-05,4.490416e-05,4.481210e-05,4.464733e-05,4.447082e-05,4.438729e-05,4.412452e-05,4.385947e-05,4.377424e-05,4.359255e-05,4.342091e-05,4.332413e-05,4.306536e-05,4.305456e-05,4.278417e-05,4.270836e-05,4.251326e-05,4.235057e-05,4.224209e-05,4.199260e-05,4.197091e-05,4.169997e-05,4.163500e-05,4.142946e-05,4.127825e-05,4.115959e-05,4.092278e-05,4.089054e-05,4.062247e-05,4.056899e-05,4.035554e-05,4.021722e-05,4.008987e-05,3.986778e-05,3.982560e-05,3.956284e-05,3.952095e-05,3.930171e-05,3.917697e-05,3.904229e-05,3.883604e-05,3.878467e-05,3.852893e-05,3.849837e-05,3.827514e-05,3.816411e-05,3.802337e-05,3.783341e-05,3.777368e-05,3.752611e-05,3.750640e-05,3.728071e-05,3.718317e-05,3.703753e-05,3.686383e-05,3.679660e-05,3.655794e-05,3.654845e-05,3.632160e-05,3.623709e-05,3.608759e-05,3.592980e-05,3.585593e-05,3.562663e-05,3.532760e-05,3.503275e-05,3.474207e-05,3.445559e-05,3.417329e-05,3.389518e-05,3.362124e-05,3.335145e-05,3.308580e-05,3.282426e-05,3.256680e-05,3.231339e-05,3.206399e-05,3.181858e-05,3.157710e-05,3.133952e-05,3.110579e-05,3.087588e-05,3.064972e-05,3.042729e-05,3.020852e-05,2.999337e-05,2.978179e-05,2.957373e-05
0.000000e+00,4.246425e-09,9.689359e-09,3.314893e-08,7.510063e-08,1.093020e-07,2.462168e-07,2.535434e-07,4.855724e-07,5.688839e-07,8.245111e-07,1.087037e-06,1.289177e-06,1.843279e-06,1.897640e-06,2.665293e-06,2.874390e-06,3.600749e-06,4.197344e-06,4.701049e-06,5.793675e-06,5.950816e-06,7.327221e-06,7.615551e-06,8.806144e-06,9.608216e-06,1.036534e-05,1.172254e-05,1.198499e-05,1.364731e-05,1.391614e-05,1.533613e-05,1.615179e-05,1.703669e-05,1.839652e-05,1.873556e-05,2.042070e-05,2.062148e-05,2.208145e-05,2.280203e-05,2.370859e-05,2.491788e-05,2.529431e-05,2.683219e-05,2.695299e-05,2.831708e-05,2.889529e-05,2.974506e-05,3.073632e-05,3.111326e-05,3.241977e-05,3.247073e-05,3.366351e-05,3.409580e-05,3.484411e-05,3.561096e-05,3.596181e-05,3.701731e-05,3.801170e-05,3.831722e-05,3.894639e-05,3.951402e-05,3.982305e-05,4.061178e-05,4.064354e-05,4.140985e-05,4.161498e-05,4.212403e-05,4.252841e-05,4.278823e-05,4.335700e-05,4.340461e-05,4.397532e-05,4.410573e-05,4.450251e-05,4.477952e-05,4.498830e-05,4.538320e-05,4.543476e-05,4.584393e-05,4.592146e-05,4.621777e-05,4.639883e-05,4.655817e-05,4.681960e-05,4.686695e-05,4.714587e-05,4.718784e-05,4.739661e-05,4.750744e-05,4.762080e-05,4.778207e-05,4.781998e-05,4.799563e-05,4.801519e-05,4.814916e-05,4.821005e-05,4.828192e-05,4.836971e-05,4.839518e-05,4.849017e-05,4.849702e-05,4.856805e-05,4.859465e-05,4.862991e-05,4.866512e-05,4.867679e-05,4.870970e-05,4.871074e-05,4.872957e-05,4.873370e-05,4.873729e-05,4.873603e-05,4.873370e-05,4.871960e-05,4.869575e-05,4.868617e-05,4.866285e-05,4.863737e-05,4.862160e-05,4.857471e-05,4.857261e-05,4.851650e-05,4.849959e-05,4.845383e-05,4.841330e-05,4.838513e-05,4.831705e-05,4.831092e-05,4.823167e-05,4.821195e-05,4.814783e-05,4.809902e-05,4.805981e-05,4.797922e-05,4.796802e-05,4.787283e-05,4.785341e-05,4.777459e-05,4.772241e-05,4.767363e-05,4.758695e-05,4.757026e-05,4.746477e-05,4.744771e-05,4.735743e-05,4.730533e-05,4.724850e-05,4.716038e-05,4.713822e-05,4.702681e-05,4.701338e-05,4.691448e-05,4.686482e-05,4.680143e-05,4.671513e-05,4.668783e-05,4.657386e-05,4.656473e-05,4.645968e-05,4.641397e-05,4.634542e-05,4.626320e-05,4.623124e-05,4.611726e-05,4.611270e-05,4.600359e-05,4.596277e-05,4.589034e-05,4.581363e-05,4.577762e-05,4.566552e-05,4.551864e-05,4.537316e-05,4.522926e-05,4.508706e-05,4.494669e-05,4.480827e-05,4.467188e-05,4.453762e-05,4.440556e-05,4.427575e-05,4.414824e-05,4.402308e-05,4.390030e-05,4.377992e-05,4.366197e-05,4.354645e-05,4.343337e-05,4.332272e-05,4.321452e-05,4.310874e-05,4.300537e-05,4.290439e-05,4.280580e-05,4.270956e-05
0.000000e+00,1.791648e-09,4.092740e-09,1.403322e-08,3.185126e-08,4.639791e-08,1.047065e-07,1.078283e-07,2.066863e-07,2.421623e-07,3.509049e-07,4.623920e-07,5.481096e-07,7.826670e-07,8.056593e-07,1.130516e-06,1.219205e-06,1.528796e-06,1.785632e-06,2.004841e-06,2.489211e-06,2.559948e-06,3.191491e-06,3.326475e-06,3.893293e-06,4.283299e-06,4.657123e-06,5.340255e-06,5.474214e-06,6.336123e-06,6.477654e-06,7.234987e-06,7.677408e-06,8.163514e-06,8.923109e-06,9.114904e-06,1.008279e-05,1.019976e-05,1.106123e-05,1.149365e-05,1.204469e-05,1.279233e-05,1.302808e-05,1.400677e-05,1.408473e-05,1.497658e-05,1.536118e-05,1.593382e-05,1.661342e-05,1.687527e-05,1.779815e-05,1.783464e-05,1.870011e-05,1.901932e-05,1.957923e-05,2.016317e-05,2.043394e-05,2.126302e-05,2.206554e-05,2.231662e-05,2.284085e-05,2.332259e-05,2.358856e-05,2.428020e-05,2.430846e-05,2.500051e-05,2.518930e-05,2.566482e-05,2.605019e-05,2.630165e-05,2.686357e-05,2.691136e-05,2.749439e-05,2.763041e-05,2.805126e-05,2.835189e-05,2.858253e-05,2.902938e-05,2.908884e-05,2.957082e-05,2.966436e-05,3.002917e-05,3.025839e-05,3.046456e-05,3.081308e-05,3.087772e-05,3.126935e-05,3.133007e-05,3.164018e-05,3.181099e-05,3.199090e-05,3.225748e-05,3.232223e-05,3.263487e-05,3.267117e-05,3.292950e-05,3.305361e-05,3.320680e-05,3.340635e-05,3.346741e-05,3.371199e-05,3.373088e-05,3.394115e-05,3.402864e-05,3.415552e-05,3.430104e-05,3.435569e-05,3.454223e-05,3.454941e-05,3.471571e-05,3.477507e-05,3.487666e-05,3.497923e-05,3.502563e-05,3.516311e-05,3.528960e-05,3.532784e-05,3.540559e-05,3.547451e-05,3.551152e-05,3.560417e-05,3.560784e-05,3.569499e-05,3.571781e-05,3.577338e-05,3.581637e-05,3.584341e-05,3.590078e-05,3.590546e-05,3.595990e-05,3.597187e-05,3.600710e-05,3.603049e-05,3.604739e-05,3.607740e-05,3.608111e-05,3.610857e-05,3.611334e-05,3.613009e-05,3.613903e-05,3.614595e-05,3.615512e-05,3.615645e-05,3.616184e-05,3.616225e-05,3.616240e-05,3.616103e-05,3.615838e-05,3.615202e-05,3.615001e-05,3.613752e-05,3.613576e-05,3.612115e-05,3.611276e-05,3.610109e-05,3.608352e-05,3.607757e-05,3.605076e-05,3.604848e-05,3.602086e-05,3.600808e-05,3.598806e-05,3.596273e-05,3.595252e-05,3.591440e-05,3.591283e-05,3.587387e-05,3.585872e-05,3.583108e-05,3.580076e-05,3.578617e-05,3.573928e-05,3.567458e-05,3.560696e-05,3.553668e-05,3.546400e-05,3.538917e-05,3.531241e-05,3.523394e-05,3.515395e-05,3.507265e-05,3.499021e-05,3.490679e-05,3.482254e-05,3.473763e-05,3.465218e-05,3.456632e-05,3.448017e-05,3.439385e-05,3.430745e-05,3.422108e-05,3.413482e-05,3.404877e-05,3.396299e-05,3.387757e-05,3.379256e-05
0.000000e+00,3.459865e-07,7.759901e-07,2.572938e-06,5.707101e-06,8.242660e-06,1.849843e-05,1.905631e-05,3.734144e-05,4.419443e-05,6.592861e-05,8.871822e-05,1.060695e-04,1.507714e-04,1.548771e-04,2.075549e-04,2.203629e-04,2.608030e-04,2.902584e-04,3.131052e-04,3.578821e-04,3.638867e-04,4.129159e-04,4.224973e-04,4.600294e-04,4.837104e-04,5.050391e-04,5.410594e-04,5.477227e-04,5.878460e-04,5.940131e-04,6.251923e-04,6.420792e-04,6.595887e-04,6.849035e-04,6.909217e-04,7.191406e-04,7.223177e-04,7.442608e-04,7.543497e-04,7.663579e-04,7.812045e-04,7.855558e-04,8.020170e-04,8.032212e-04,8.159308e-04,8.208287e-04,8.275022e-04,8.345019e-04,8.369428e-04,8.444634e-04,8.447272e-04,8.502678e-04,8.519749e-04,8.545493e-04,8.566830e-04,8.574873e-04,8.592462e-04,8.599751e-04,8.600131e-04,8.598074e-04,8.592848e-04,8.588613e-04,8.573175e-04,8.572409e-04,8.550374e-04,8.543271e-04,8.523308e-04,8.504944e-04,8.491902e-04,8.459695e-04,8.456759e-04,8.418401e-04,8.408769e-04,8.377282e-04,8.353198e-04,8.333795e-04,8.293841e-04,8.288283e-04,8.241042e-04,8.231410e-04,8.192332e-04,8.166499e-04,8.142381e-04,8.099609e-04,8.091388e-04,8.039527e-04,8.031160e-04,7.986955e-04,7.961509e-04,7.933808e-04,7.890960e-04,7.880209e-04,7.826266e-04,7.819774e-04,7.772076e-04,7.748177e-04,7.717726e-04,7.676362e-04,7.663295e-04,7.608854e-04,7.604500e-04,7.554465e-04,7.532737e-04,7.500186e-04,7.461203e-04,7.446069e-04,7.392161e-04,7.390009e-04,7.338503e-04,7.319256e-04,7.285135e-04,7.249028e-04,7.232091e-04,7.179401e-04,7.127095e-04,7.110443e-04,7.075198e-04,7.042209e-04,7.023733e-04,6.974751e-04,6.972720e-04,6.922177e-04,6.908112e-04,6.872121e-04,6.842328e-04,6.822567e-04,6.777431e-04,6.773527e-04,6.725012e-04,6.713448e-04,6.677032e-04,6.650401e-04,6.629596e-04,6.588308e-04,6.582711e-04,6.536383e-04,6.527184e-04,6.490616e-04,6.467041e-04,6.445415e-04,6.407886e-04,6.400784e-04,6.356723e-04,6.349726e-04,6.313234e-04,6.292563e-04,6.270319e-04,6.236399e-04,6.227977e-04,6.186207e-04,6.181233e-04,6.145009e-04,6.127062e-04,6.104380e-04,6.073882e-04,6.064319e-04,6.024823e-04,6.021688e-04,5.985888e-04,5.970471e-04,5.947512e-04,5.920225e-04,5.909691e-04,5.872419e-04,5.870940e-04,5.835694e-04,5.822606e-04,5.799510e-04,5.775212e-04,5.763863e-04,5.728747e-04,5.683199e-04,5.638554e-04,5.594801e-04,5.551925e-04,5.509913e-04,5.468750e-04,5.428422e-04,5.388915e-04,5.350215e-04,5.312306e-04,5.275175e-04,5.238805e-04,5.203184e-04,5.168295e-04,5.134125e-04,5.100658e-04,5.067882e-04,5.035781e-04,5.004341e-04,4.973548e-04,4.943390e-04,4.913851e-04,4.884919e-04,4.856580e-04
0.000000e+00,1.849934e-09,4.207050e-09,1.428989e-08,3.214993e-08,4.660326e-08,1.038078e-07,1.068450e-07,2.020557e-07,2.358454e-07,3.384509e-07,4.423801e-07,5.215504e-07,7.354280e-07,7.561973e-07,1.046370e-06,1.124600e-06,1.394626e-06,1.615200e-06,1.801079e-06,2.204245e-06,2.262270e-06,2.771017e-06,2.877654e-06,3.317811e-06,3.613867e-06,3.892746e-06,4.390739e-06,4.486708e-06,5.091696e-06,5.189039e-06,5.700740e-06,5.992701e-06,6.307741e-06,6.788261e-06,6.907363e-06,7.494973e-06,7.564485e-06,8.066613e-06,8.312200e-06,8.618976e-06,9.024213e-06,9.149390e-06,9.655783e-06,9.695207e-06,1.013664e-05,1.032159e-05,1.059096e-05,1.090131e-05,1.101818e-05,1.141816e-05,1.143359e-05,1.179106e-05,1.191875e-05,1.213733e-05,1.235792e-05,1.245765e-05,1.275288e-05,1.302398e-05,1.310581e-05,1.327202e-05,1.341918e-05,1.349812e-05,1.369563e-05,1.370346e-05,1.388919e-05,1.393785e-05,1.405650e-05,1.414853e-05,1.420654e-05,1.433028e-05,1.434042e-05,1.445923e-05,1.448562e-05,1.456400e-05,1.461692e-05,1.465574e-05,1.472643e-05,1.473538e-05,1.480382e-05,1.481623e-05,1.486190e-05,1.488827e-05,1.491040e-05,1.494429e-05,1.495007e-05,1.498159e-05,1.498592e-05,1.500561e-05,1.501466e-05,1.502274e-05,1.503185e-05,1.503352e-05,1.503849e-05,1.503872e-05,1.503812e-05,1.503638e-05,1.503286e-05,1.502585e-05,1.502312e-05,1.500929e-05,1.500802e-05,1.499174e-05,1.498374e-05,1.497078e-05,1.495376e-05,1.494673e-05,1.491987e-05,1.491874e-05,1.489047e-05,1.487931e-05,1.485876e-05,1.483600e-05,1.482498e-05,1.478933e-05,1.475200e-05,1.473973e-05,1.471318e-05,1.468762e-05,1.467302e-05,1.463336e-05,1.463169e-05,1.458931e-05,1.457728e-05,1.454603e-05,1.451967e-05,1.450195e-05,1.446081e-05,1.445720e-05,1.441188e-05,1.440093e-05,1.436608e-05,1.434025e-05,1.431988e-05,1.427897e-05,1.427338e-05,1.422664e-05,1.421727e-05,1.417973e-05,1.415529e-05,1.413272e-05,1.409319e-05,1.408566e-05,1.403861e-05,1.403109e-05,1.399163e-05,1.396910e-05,1.394474e-05,1.390734e-05,1.389800e-05,1.385145e-05,1.384587e-05,1.380511e-05,1.378480e-05,1.375903e-05,1.372419e-05,1.371322e-05,1.366773e-05,1.366410e-05,1.362257e-05,1.360460e-05,1.357776e-05,1.354573e-05,1.353333e-05,1.348929e-05,1.348754e-05,1.344566e-05,1.343006e-05,1.340246e-05,1.337333e-05,1.335969e-05,1.331738e-05,1.326223e-05,1.320791e-05,1.315442e-05,1.310180e-05,1.305004e-05,1.299915e-05,1.294916e-05,1.290004e-05,1.285182e-05,1.280450e-05,1.275806e-05,1.271251e-05,1.266785e-05,1.262407e-05,1.258116e-05,1.253912e-05,1.249795e-05,1.245763e-05,1.241815e-05,1.237951e-05,1.234170e-05,1.230470e-05,1.226851e-05,1.223311e-05
0.000000e+00,2.579243e-09,5.859154e-09,1.985404e-08,4.456426e-08,6.451061e-08,1.431422e-07,1.473052e-07,2.773213e-07,3.232581e-07,4.621681e-07,6.020484e-07,7.080888e-07,9.924803e-07,1.019944e-06,1.401037e-06,1.503004e-06,1.852753e-06,2.136268e-06,2.373971e-06,2.886751e-06,2.960315e-06,3.603512e-06,3.737970e-06,4.291540e-06,4.662292e-06,5.010023e-06,5.626389e-06,5.744394e-06,6.481648e-06,6.599127e-06,7.211060e-06,7.555825e-06,7.924150e-06,8.478409e-06,8.614363e-06,9.276725e-06,9.354150e-06,9.907570e-06,1.017446e-05,1.050433e-05,1.093402e-05,1.106535e-05,1.158977e-05,1.163013e-05,1.207738e-05,1.226217e-05,1.252849e-05,1.283111e-05,1.294387e-05,1.332460e-05,1.333913e-05,1.367202e-05,1.378923e-05,1.398766e-05,1.418498e-05,1.427316e-05,1.453022e-05,1.476058e-05,1.482894e-05,1.496598e-05,1.508511e-05,1.514810e-05,1.530259e-05,1.530862e-05,1.544910e-05,1.548506e-05,1.557107e-05,1.563597e-05,1.567597e-05,1.575856e-05,1.576514e-05,1.583987e-05,1.585578e-05,1.590133e-05,1.593037e-05,1.595063e-05,1.598479e-05,1.598882e-05,1.601684e-05,1.602130e-05,1.603558e-05,1.604194e-05,1.604586e-05,1.604852e-05,1.604845e-05,1.604403e-05,1.604271e-05,1.603325e-05,1.602599e-05,1.601670e-05,1.599969e-05,1.599494e-05,1.596846e-05,1.596499e-05,1.593773e-05,1.592297e-05,1.590317e-05,1.587459e-05,1.586518e-05,1.582410e-05,1.582069e-05,1.578028e-05,1.576205e-05,1.573401e-05,1.569934e-05,1.568558e-05,1.563523e-05,1.563318e-05,1.558321e-05,1.556412e-05,1.552973e-05,1.549263e-05,1.547499e-05,1.541916e-05,1.536242e-05,1.534410e-05,1.530492e-05,1.526778e-05,1.524679e-05,1.519052e-05,1.518817e-05,1.512917e-05,1.511260e-05,1.506990e-05,1.503425e-05,1.501046e-05,1.495570e-05,1.495094e-05,1.489142e-05,1.487714e-05,1.483197e-05,1.479874e-05,1.477267e-05,1.472065e-05,1.471357e-05,1.465474e-05,1.464301e-05,1.459622e-05,1.456594e-05,1.453807e-05,1.448953e-05,1.448032e-05,1.442300e-05,1.441388e-05,1.436617e-05,1.433907e-05,1.430984e-05,1.426517e-05,1.425405e-05,1.419882e-05,1.419223e-05,1.414418e-05,1.412032e-05,1.409013e-05,1.404947e-05,1.403671e-05,1.398392e-05,1.397972e-05,1.393178e-05,1.391110e-05,1.388030e-05,1.384364e-05,1.382948e-05,1.377935e-05,1.377736e-05,1.372990e-05,1.371227e-05,1.368114e-05,1.364838e-05,1.363308e-05,1.358571e-05,1.352425e-05,1.346402e-05,1.340500e-05,1.334720e-05,1.329061e-05,1.323523e-05,1.318104e-05,1.312803e-05,1.307621e-05,1.302554e-05,1.297602e-05,1.292764e-05,1.288038e-05,1.283422e-05,1.278914e-05,1.274514e-05,1.270219e-05,1.266027e-05,1.261937e-05,1.257947e-05,1.254055e-05,1.250260e-05,1.246558e-05,1.242949e-05
0.000000e+00,5.261392e-09,1.179494e-08,3.893351e-08,8.550179e-08,1.224314e-07,2.653875e-07,2.728925e-07,5.065476e-07,5.892495e-07,8.412688e-07,1.098925e-06,1.297046e-06,1.838445e-06,1.891288e-06,2.626289e-06,2.821508e-06,3.478092e-06,3.990471e-06,4.404331e-06,5.248165e-06,5.364014e-06,6.328213e-06,6.519906e-06,7.279527e-06,7.765616e-06,8.207964e-06,8.965617e-06,9.107379e-06,9.973356e-06,1.010855e-05,1.080214e-05,1.118572e-05,1.159026e-05,1.218927e-05,1.233446e-05,1.303186e-05,1.311228e-05,1.368008e-05,1.394927e-05,1.427745e-05,1.469668e-05,1.482279e-05,1.531585e-05,1.535304e-05,1.575706e-05,1.591927e-05,1.614759e-05,1.639834e-05,1.648917e-05,1.678401e-05,1.679486e-05,1.703467e-05,1.711464e-05,1.724401e-05,1.736428e-05,1.741502e-05,1.755079e-05,1.765439e-05,1.768125e-05,1.772883e-05,1.776250e-05,1.777699e-05,1.780108e-05,1.780164e-05,1.780535e-05,1.780297e-05,1.779051e-05,1.777363e-05,1.775933e-05,1.771793e-05,1.771380e-05,1.765575e-05,1.764014e-05,1.758681e-05,1.754400e-05,1.750845e-05,1.743274e-05,1.742197e-05,1.732855e-05,1.730912e-05,1.722921e-05,1.717552e-05,1.712486e-05,1.703393e-05,1.701631e-05,1.690426e-05,1.688605e-05,1.678933e-05,1.673331e-05,1.667207e-05,1.657692e-05,1.655297e-05,1.643243e-05,1.641789e-05,1.631083e-05,1.625708e-05,1.618850e-05,1.609521e-05,1.606572e-05,1.594273e-05,1.593289e-05,1.581976e-05,1.577062e-05,1.569700e-05,1.560884e-05,1.557462e-05,1.545276e-05,1.544790e-05,1.533157e-05,1.528812e-05,1.521115e-05,1.512976e-05,1.509160e-05,1.497302e-05,1.485547e-05,1.481809e-05,1.473903e-05,1.466512e-05,1.462376e-05,1.451424e-05,1.450970e-05,1.439691e-05,1.436556e-05,1.428541e-05,1.421915e-05,1.417524e-05,1.407509e-05,1.406643e-05,1.395900e-05,1.393343e-05,1.385297e-05,1.379421e-05,1.374836e-05,1.365747e-05,1.364516e-05,1.354340e-05,1.352323e-05,1.344308e-05,1.339149e-05,1.334420e-05,1.326226e-05,1.324677e-05,1.315077e-05,1.313555e-05,1.305622e-05,1.301134e-05,1.296309e-05,1.288962e-05,1.287140e-05,1.278112e-05,1.277038e-05,1.269225e-05,1.265360e-05,1.260479e-05,1.253925e-05,1.251872e-05,1.243402e-05,1.242730e-05,1.235069e-05,1.231774e-05,1.226871e-05,1.221052e-05,1.218807e-05,1.210875e-05,1.210561e-05,1.203075e-05,1.200298e-05,1.195403e-05,1.190260e-05,1.187859e-05,1.180442e-05,1.170841e-05,1.161453e-05,1.152274e-05,1.143300e-05,1.134528e-05,1.125952e-05,1.117570e-05,1.109378e-05,1.101370e-05,1.093544e-05,1.085895e-05,1.078420e-05,1.071114e-05,1.063975e-05,1.056997e-05,1.050178e-05,1.043514e-05,1.037000e-05,1.030635e-05,1.024413e-05,1.018333e-05,1.012389e-05,1.006580e-05,1.000902e-05
0.000000e+00,3.286409e-09,7.490089e-09,2.557012e-08,5.784703e-08,8.414844e-08,1.895447e-07,1.951932e-07,3.747010e-07,4.394779e-07,6.393638e-07,8.463958e-07,1.006953e-06,1.451530e-06,1.495449e-06,2.119699e-06,2.290622e-06,2.885216e-06,3.372831e-06,3.782933e-06,4.665256e-06,4.791223e-06,5.883968e-06,6.110464e-06,7.037126e-06,7.653881e-06,8.230809e-06,9.252915e-06,9.448863e-06,1.067791e-05,1.087480e-05,1.190660e-05,1.249331e-05,1.312514e-05,1.408695e-05,1.432509e-05,1.549924e-05,1.563810e-05,1.664152e-05,1.713270e-05,1.774694e-05,1.855996e-05,1.881157e-05,1.983238e-05,1.991208e-05,2.080723e-05,2.118395e-05,2.173470e-05,2.237271e-05,2.261406e-05,2.344512e-05,2.347736e-05,2.422815e-05,2.449840e-05,2.496383e-05,2.543752e-05,2.565312e-05,2.629723e-05,2.689755e-05,2.708065e-05,2.745561e-05,2.779132e-05,2.797301e-05,2.843301e-05,2.845142e-05,2.889254e-05,2.900961e-05,2.929808e-05,2.952503e-05,2.966974e-05,2.998316e-05,3.000917e-05,3.031801e-05,3.038776e-05,3.059787e-05,3.074250e-05,3.085027e-05,3.105086e-05,3.107671e-05,3.127863e-05,3.131619e-05,3.145740e-05,3.154165e-05,3.161434e-05,3.173023e-05,3.175072e-05,3.186774e-05,3.188475e-05,3.196656e-05,3.200785e-05,3.204827e-05,3.210201e-05,3.211390e-05,3.216446e-05,3.216956e-05,3.220088e-05,3.221266e-05,3.222406e-05,3.223334e-05,3.223484e-05,3.223403e-05,3.223349e-05,3.222239e-05,3.221486e-05,3.220064e-05,3.217910e-05,3.216946e-05,3.212949e-05,3.212772e-05,3.208136e-05,3.206214e-05,3.202563e-05,3.198367e-05,3.196284e-05,3.189352e-05,3.181815e-05,3.179283e-05,3.173720e-05,3.168265e-05,3.165108e-05,3.156394e-05,3.156022e-05,3.146499e-05,3.143759e-05,3.136576e-05,3.130445e-05,3.126288e-05,3.116527e-05,3.115666e-05,3.104741e-05,3.102077e-05,3.093542e-05,3.087161e-05,3.082095e-05,3.071837e-05,3.070426e-05,3.058559e-05,3.056163e-05,3.046515e-05,3.040190e-05,3.034317e-05,3.023965e-05,3.021983e-05,3.009533e-05,3.007531e-05,2.996983e-05,2.990929e-05,2.984350e-05,2.974195e-05,2.971650e-05,2.958897e-05,2.957364e-05,2.946104e-05,2.940465e-05,2.933283e-05,2.923529e-05,2.920447e-05,2.907607e-05,2.906580e-05,2.894772e-05,2.889642e-05,2.881953e-05,2.872737e-05,2.869158e-05,2.856395e-05,2.855885e-05,2.843673e-05,2.839104e-05,2.830998e-05,2.822410e-05,2.818378e-05,2.805818e-05,2.789341e-05,2.772991e-05,2.756779e-05,2.740715e-05,2.724808e-05,2.709065e-05,2.693493e-05,2.678099e-05,2.662887e-05,2.647862e-05,2.633028e-05,2.618388e-05,2.603945e-05,2.589702e-05,2.575660e-05,2.561821e-05,2.548185e-05,2.534754e-05,2.521527e-05,2.508504e-05,2.495687e-05,2.483072e-05,2.470661e-05,2.458452e-05
0.000000e+00,3.955251e-06,9.017051e-06,3.079131e-05,6.963587e-05,1.012467e-04,2.274541e-04,2.341958e-04,4.472532e-04,5.235820e-04,7.573771e-04,9.970034e-04,1.181276e-03,1.685718e-03,1.735169e-03,2.433045e-03,2.623033e-03,3.282828e-03,3.824733e-03,4.282448e-03,5.276762e-03,5.420003e-03,6.678272e-03,6.942801e-03,8.039112e-03,8.781545e-03,9.485391e-03,1.075465e-02,1.100124e-02,1.257177e-02,1.282717e-02,1.418284e-02,1.496658e-02,1.582099e-02,1.714241e-02,1.747347e-02,1.912834e-02,1.932655e-02,2.077464e-02,2.149370e-02,2.240246e-02,2.362182e-02,2.400305e-02,2.556887e-02,2.569243e-02,2.709356e-02,2.769073e-02,2.857197e-02,2.960541e-02,2.999997e-02,3.137448e-02,3.142831e-02,3.269334e-02,3.315422e-02,3.395520e-02,3.478034e-02,3.515941e-02,3.630594e-02,3.739527e-02,3.773190e-02,3.842828e-02,3.906042e-02,3.940622e-02,4.029460e-02,4.033056e-02,4.120303e-02,4.143827e-02,4.202546e-02,4.249570e-02,4.279979e-02,4.347143e-02,4.352804e-02,4.421224e-02,4.437012e-02,4.485442e-02,4.519644e-02,4.545660e-02,4.595500e-02,4.602075e-02,4.654882e-02,4.665027e-02,4.704267e-02,4.728655e-02,4.750411e-02,4.786795e-02,4.793488e-02,4.833665e-02,4.839835e-02,4.871101e-02,4.888142e-02,4.905949e-02,4.932060e-02,4.938351e-02,4.968446e-02,4.971909e-02,4.996364e-02,5.007990e-02,5.022227e-02,5.040582e-02,5.046153e-02,5.068252e-02,5.069944e-02,5.088627e-02,5.096317e-02,5.107378e-02,5.119925e-02,5.124597e-02,5.140372e-02,5.140974e-02,5.154785e-02,5.159655e-02,5.167914e-02,5.176147e-02,5.179834e-02,5.190613e-02,5.200316e-02,5.203205e-02,5.209007e-02,5.214063e-02,5.216741e-02,5.223318e-02,5.223575e-02,5.229560e-02,5.231091e-02,5.234746e-02,5.237492e-02,5.239177e-02,5.242626e-02,5.242898e-02,5.245950e-02,5.246587e-02,5.248371e-02,5.249465e-02,5.250198e-02,5.251341e-02,5.251465e-02,5.252206e-02,5.252294e-02,5.252451e-02,5.252392e-02,5.252229e-02,5.251701e-02,5.251567e-02,5.250493e-02,5.250284e-02,5.249030e-02,5.248197e-02,5.247202e-02,5.245492e-02,5.245032e-02,5.242539e-02,5.242219e-02,5.239744e-02,5.238423e-02,5.236665e-02,5.234147e-02,5.233321e-02,5.229728e-02,5.229431e-02,5.225902e-02,5.224310e-02,5.221859e-02,5.218821e-02,5.217612e-02,5.213175e-02,5.212994e-02,5.208561e-02,5.206859e-02,5.203783e-02,5.200445e-02,5.198851e-02,5.193778e-02,5.186881e-02,5.179777e-02,5.172488e-02,5.165033e-02,5.157430e-02,5.149698e-02,5.141851e-02,5.133906e-02,5.125875e-02,5.117772e-02,5.109610e-02,5.101399e-02,5.093151e-02,5.084875e-02,5.076581e-02,5.068277e-02,5.059972e-02,5.051672e-02,5.043386e-02,5.035118e-02,5.026877e-02,5.018666e-02,5.010492e-02,5.002360e-02
0.000000e+00,1.916413e-08,4.349115e-08,1.471459e-07,3.301132e-07,4.779590e-07,1.063165e-06,1.094270e-06,2.072593e-06,2.421517e-06,3.487036e-06,4.575321e-06,5.410035e-06,7.685894e-06,7.908261e-06,1.103134e-05,1.187637e-05,1.479184e-05,1.716133e-05,1.914222e-05,2.336850e-05,2.396757e-05,2.911031e-05,3.016259e-05,3.441157e-05,3.718560e-05,3.973899e-05,4.416038e-05,4.499277e-05,5.010051e-05,5.090047e-05,5.501001e-05,5.728470e-05,5.968380e-05,6.323507e-05,6.409549e-05,6.822752e-05,6.870401e-05,7.206958e-05,7.366695e-05,7.561745e-05,7.811742e-05,7.887194e-05,8.183801e-05,8.206307e-05,8.452392e-05,8.552219e-05,8.694047e-05,8.852062e-05,8.910027e-05,9.101721e-05,9.108904e-05,9.270592e-05,9.326087e-05,9.418136e-05,9.507046e-05,9.545845e-05,9.655192e-05,9.747600e-05,9.773816e-05,9.824423e-05,9.866009e-05,9.886950e-05,9.934661e-05,9.936402e-05,9.973919e-05,9.982432e-05,1.000056e-04,1.001174e-04,1.001732e-04,1.002480e-04,1.002511e-04,1.002479e-04,1.002360e-04,1.001714e-04,1.000991e-04,1.000286e-04,9.985333e-05,9.982608e-05,9.956981e-05,9.951259e-05,9.926527e-05,9.908952e-05,9.891749e-05,9.859530e-05,9.853105e-05,9.811014e-05,9.803985e-05,9.765855e-05,9.743192e-05,9.717976e-05,9.677929e-05,9.667694e-05,9.615301e-05,9.608885e-05,9.561060e-05,9.536672e-05,9.505212e-05,9.461827e-05,9.447975e-05,9.389549e-05,9.384829e-05,9.330116e-05,9.306099e-05,9.269843e-05,9.226011e-05,9.208879e-05,9.147363e-05,9.144893e-05,9.085420e-05,9.063038e-05,9.023163e-05,8.980703e-05,8.960697e-05,8.898113e-05,8.835500e-05,8.815469e-05,8.772932e-05,8.732946e-05,8.710482e-05,8.650698e-05,8.648212e-05,8.586180e-05,8.568860e-05,8.524437e-05,8.487551e-05,8.463033e-05,8.406874e-05,8.402007e-05,8.341399e-05,8.326919e-05,8.281242e-05,8.247763e-05,8.221568e-05,8.169475e-05,8.162403e-05,8.103771e-05,8.092111e-05,8.045695e-05,8.015721e-05,7.988193e-05,7.940347e-05,7.931281e-05,7.874975e-05,7.866023e-05,7.819286e-05,7.792778e-05,7.764225e-05,7.720636e-05,7.709802e-05,7.656024e-05,7.649614e-05,7.602897e-05,7.579729e-05,7.550427e-05,7.510990e-05,7.498615e-05,7.447467e-05,7.443403e-05,7.396982e-05,7.376974e-05,7.347161e-05,7.311702e-05,7.298005e-05,7.249513e-05,7.247587e-05,7.201682e-05,7.184624e-05,7.154510e-05,7.122809e-05,7.107996e-05,7.062135e-05,7.002593e-05,6.944172e-05,6.886863e-05,6.830653e-05,6.775529e-05,6.721477e-05,6.668483e-05,6.616531e-05,6.565608e-05,6.515696e-05,6.466780e-05,6.418843e-05,6.371869e-05,6.325841e-05,6.280742e-05,6.236555e-05,6.193263e-05,6.150850e-05,6.109298e-05,6.068592e-05,6.028713e-05,5.989646e-05,5.951375e-05,5.913882e-05
0.000000e+00,7.452854e-09,1.661080e-08,5.419506e-08,1.178265e-07,1.678307e-07,3.591910e-07,3.691671e-07,6.774561e-07,7.857289e-07,1.113600e-06,1.446114e-06,1.700274e-06,2.390037e-06,2.457113e-06,3.388819e-06,3.636340e-06,4.469040e-06,5.116718e-06,5.635739e-06,6.672498e-06,6.811796e-06,7.934248e-06,8.148663e-06,8.966844e-06,9.463072e-06,9.895792e-06,1.059548e-05,1.072067e-05,1.144732e-05,1.155500e-05,1.208384e-05,1.235986e-05,1.263870e-05,1.302924e-05,1.311998e-05,1.353520e-05,1.358092e-05,1.389132e-05,1.403096e-05,1.419477e-05,1.439383e-05,1.445149e-05,1.466695e-05,1.468256e-05,1.484615e-05,1.490871e-05,1.499363e-05,1.508247e-05,1.511345e-05,1.520924e-05,1.521262e-05,1.528420e-05,1.530664e-05,1.534114e-05,1.537083e-05,1.538251e-05,1.541041e-05,1.542666e-05,1.542967e-05,1.543284e-05,1.543213e-05,1.543028e-05,1.542067e-05,1.542013e-05,1.540337e-05,1.539761e-05,1.538085e-05,1.536487e-05,1.535329e-05,1.532402e-05,1.532132e-05,1.528547e-05,1.527635e-05,1.524623e-05,1.522292e-05,1.520398e-05,1.516462e-05,1.515911e-05,1.511191e-05,1.510222e-05,1.506268e-05,1.503636e-05,1.501166e-05,1.496758e-05,1.495906e-05,1.490511e-05,1.489636e-05,1.484996e-05,1.482311e-05,1.479378e-05,1.474820e-05,1.473673e-05,1.467893e-05,1.467195e-05,1.462051e-05,1.459464e-05,1.456158e-05,1.451652e-05,1.450224e-05,1.444259e-05,1.443780e-05,1.438270e-05,1.435870e-05,1.432267e-05,1.427939e-05,1.426255e-05,1.420243e-05,1.420002e-05,1.414235e-05,1.412075e-05,1.408238e-05,1.404169e-05,1.402257e-05,1.396297e-05,1.390361e-05,1.388468e-05,1.384454e-05,1.380691e-05,1.378580e-05,1.372975e-05,1.372742e-05,1.366943e-05,1.365327e-05,1.361186e-05,1.357753e-05,1.355474e-05,1.350259e-05,1.349808e-05,1.344191e-05,1.342851e-05,1.338626e-05,1.335532e-05,1.333113e-05,1.328306e-05,1.327654e-05,1.322251e-05,1.321177e-05,1.316905e-05,1.314148e-05,1.311617e-05,1.307221e-05,1.306389e-05,1.301220e-05,1.300398e-05,1.296112e-05,1.293681e-05,1.291065e-05,1.287072e-05,1.286080e-05,1.281157e-05,1.280571e-05,1.276298e-05,1.274179e-05,1.271501e-05,1.267897e-05,1.266767e-05,1.262097e-05,1.261726e-05,1.257490e-05,1.255665e-05,1.252946e-05,1.249714e-05,1.248466e-05,1.244049e-05,1.243874e-05,1.239695e-05,1.238144e-05,1.235405e-05,1.232523e-05,1.231176e-05,1.227011e-05,1.221607e-05,1.216310e-05,1.211120e-05,1.206035e-05,1.201054e-05,1.196177e-05,1.191402e-05,1.186727e-05,1.182152e-05,1.177675e-05,1.173295e-05,1.169010e-05,1.164819e-05,1.160720e-05,1.156713e-05,1.152795e-05,1.148965e-05,1.145221e-05,1.141563e-05,1.137988e-05,1.134495e-05,1.131082e-05,1.127749e-05,1.124493e-05
0.000000e+00,4.926502e-09,1.127834e-08,3.885743e-08,8.862128e-08,1.294669e-07,2.946216e-07,3.035186e-07,5.876326e-07,6.905938e-07,1.009060e-06,1.339551e-06,1.596048e-06,2.306518e-06,2.376706e-06,3.374414e-06,3.647731e-06,4.600183e-06,5.385034e-06,6.049460e-06,7.498522e-06,7.708060e-06,9.559539e-06,9.951571e-06,1.158803e-05,1.270771e-05,1.377820e-05,1.573158e-05,1.611457e-05,1.858120e-05,1.898686e-05,2.116163e-05,2.243574e-05,2.383910e-05,2.603967e-05,2.659684e-05,2.941841e-05,2.976053e-05,3.228803e-05,3.356200e-05,3.519078e-05,3.741050e-05,3.811287e-05,4.104169e-05,4.127594e-05,4.396589e-05,4.513196e-05,4.687534e-05,4.895600e-05,4.976119e-05,5.261578e-05,5.272921e-05,5.543250e-05,5.643615e-05,5.820579e-05,6.006441e-05,6.093099e-05,6.360426e-05,6.622246e-05,6.704824e-05,6.878312e-05,7.039082e-05,7.128429e-05,7.362808e-05,7.372451e-05,7.610274e-05,7.675743e-05,7.841828e-05,7.977734e-05,8.067074e-05,8.268718e-05,8.286000e-05,8.498615e-05,8.548707e-05,8.704949e-05,8.817767e-05,8.905044e-05,9.076010e-05,9.098955e-05,9.286750e-05,9.323581e-05,9.468504e-05,9.560658e-05,9.644303e-05,9.787438e-05,9.814238e-05,9.978402e-05,1.000414e-04,1.013690e-04,1.021099e-04,1.028983e-04,1.040824e-04,1.043730e-04,1.057942e-04,1.059612e-04,1.071630e-04,1.077489e-04,1.084805e-04,1.094482e-04,1.097478e-04,1.109661e-04,1.110615e-04,1.121365e-04,1.125915e-04,1.132601e-04,1.140408e-04,1.143381e-04,1.153715e-04,1.154119e-04,1.163614e-04,1.167074e-04,1.173090e-04,1.179298e-04,1.182154e-04,1.190816e-04,1.199087e-04,1.201652e-04,1.206977e-04,1.211832e-04,1.214497e-04,1.221378e-04,1.221657e-04,1.228467e-04,1.230313e-04,1.234938e-04,1.238661e-04,1.241078e-04,1.246443e-04,1.246897e-04,1.252405e-04,1.253682e-04,1.257611e-04,1.260398e-04,1.262525e-04,1.266613e-04,1.267154e-04,1.271507e-04,1.272346e-04,1.275594e-04,1.277616e-04,1.279422e-04,1.282444e-04,1.283000e-04,1.286335e-04,1.286847e-04,1.289436e-04,1.290843e-04,1.292309e-04,1.294450e-04,1.294964e-04,1.297406e-04,1.297685e-04,1.299642e-04,1.300564e-04,1.301681e-04,1.303102e-04,1.303529e-04,1.305191e-04,1.305317e-04,1.306676e-04,1.307221e-04,1.307988e-04,1.308830e-04,1.309135e-04,1.310121e-04,1.310158e-04,1.310954e-04,1.311217e-04,1.311638e-04,1.312021e-04,1.312179e-04,1.312583e-04,1.312914e-04,1.313027e-04,1.312932e-04,1.312640e-04,1.312162e-04,1.311508e-04,1.310687e-04,1.309709e-04,1.308582e-04,1.307316e-04,1.305918e-04,1.304397e-04,1.302760e-04,1.301014e-04,1.299167e-04,1.297225e-04,1.295195e-04,1.293082e-04,1.290893e-04,1.288634e-04,1.286310e-04,1.283925e-04,1.281486e-04,1.278997e-04
0.000000e+00,6.219592e-09,1.406893e-08,4.726294e-08,1.052814e-07,1.517901e-07,3.335236e-07,3.430946e-07,6.404793e-07,7.450562e-07,1.060444e-06,1.377400e-06,1.617601e-06,2.262744e-06,2.325172e-06,3.194760e-06,3.428616e-06,4.234864e-06,4.893014e-06,5.447725e-06,6.651998e-06,6.825494e-06,8.348786e-06,8.668553e-06,9.989949e-06,1.087991e-05,1.171893e-05,1.321861e-05,1.350782e-05,1.533257e-05,1.562646e-05,1.717287e-05,1.805654e-05,1.901136e-05,2.047065e-05,2.083295e-05,2.262426e-05,2.283661e-05,2.437339e-05,2.512688e-05,2.606978e-05,2.731801e-05,2.770416e-05,2.926865e-05,2.939058e-05,3.075670e-05,3.132932e-05,3.216316e-05,3.312309e-05,3.348421e-05,3.471738e-05,3.476486e-05,3.586140e-05,3.625135e-05,3.691611e-05,3.758271e-05,3.788239e-05,3.876197e-05,3.955733e-05,3.979454e-05,4.027152e-05,4.068763e-05,4.090809e-05,4.144977e-05,4.147092e-05,4.196415e-05,4.209036e-05,4.239204e-05,4.261921e-05,4.275892e-05,4.304628e-05,4.306910e-05,4.332684e-05,4.338135e-05,4.353623e-05,4.363387e-05,4.370126e-05,4.381280e-05,4.382571e-05,4.391316e-05,4.392651e-05,4.396698e-05,4.398273e-05,4.399032e-05,4.398854e-05,4.398613e-05,4.395711e-05,4.395034e-05,4.390579e-05,4.387391e-05,4.383445e-05,4.376441e-05,4.374523e-05,4.364005e-05,4.362644e-05,4.352067e-05,4.346406e-05,4.338870e-05,4.328088e-05,4.324559e-05,4.309267e-05,4.308005e-05,4.293114e-05,4.286435e-05,4.276206e-05,4.263621e-05,4.258643e-05,4.240512e-05,4.239776e-05,4.221894e-05,4.215086e-05,4.202859e-05,4.189712e-05,4.183474e-05,4.163797e-05,4.143879e-05,4.137463e-05,4.123770e-05,4.110819e-05,4.103511e-05,4.083958e-05,4.083141e-05,4.062696e-05,4.056962e-05,4.042205e-05,4.029902e-05,4.021699e-05,4.002841e-05,4.001202e-05,3.980737e-05,3.975833e-05,3.960325e-05,3.948925e-05,3.939985e-05,3.922158e-05,3.919733e-05,3.899585e-05,3.895569e-05,3.879555e-05,3.869189e-05,3.859654e-05,3.843045e-05,3.839894e-05,3.820284e-05,3.817161e-05,3.800834e-05,3.791556e-05,3.781551e-05,3.766249e-05,3.762442e-05,3.743514e-05,3.741255e-05,3.724772e-05,3.716586e-05,3.706221e-05,3.692253e-05,3.687866e-05,3.669709e-05,3.668265e-05,3.651755e-05,3.644631e-05,3.634007e-05,3.621356e-05,3.616466e-05,3.599134e-05,3.598445e-05,3.582013e-05,3.575901e-05,3.565105e-05,3.553728e-05,3.548409e-05,3.531928e-05,3.510500e-05,3.489447e-05,3.468766e-05,3.448458e-05,3.428521e-05,3.408952e-05,3.389750e-05,3.370912e-05,3.352435e-05,3.334314e-05,3.316548e-05,3.299131e-05,3.282060e-05,3.265330e-05,3.248938e-05,3.232877e-05,3.217145e-05,3.201735e-05,3.186644e-05,3.171865e-05,3.157395e-05,3.143228e-05,3.129359e-05,3.115783e-05
0.000000e+00,3.994564e-09,9.134714e-09,3.142493e-08,7.167095e-08,1.047826e-07,2.396608e-07,2.469760e-07,4.833397e-07,5.703060e-07,8.434777e-07,1.133053e-06,1.361486e-06,2.006852e-06,2.071347e-06,2.994645e-06,3.248193e-06,4.128122e-06,4.845822e-06,5.446839e-06,6.735355e-06,6.919157e-06,8.516858e-06,8.849347e-06,1.021703e-05,1.113522e-05,1.200074e-05,1.355149e-05,1.385148e-05,1.575415e-05,1.606245e-05,1.769468e-05,1.863565e-05,1.965981e-05,2.124130e-05,2.163720e-05,2.361548e-05,2.385244e-05,2.558438e-05,2.644532e-05,2.753474e-05,2.899968e-05,2.945861e-05,3.134915e-05,3.149878e-05,3.320067e-05,3.392926e-05,3.500846e-05,3.628086e-05,3.676879e-05,3.847877e-05,3.854608e-05,4.013624e-05,4.071978e-05,4.173972e-05,4.279873e-05,4.328824e-05,4.478133e-05,4.621890e-05,4.666724e-05,4.760121e-05,4.845710e-05,4.892875e-05,5.015235e-05,5.020226e-05,5.142263e-05,5.175496e-05,5.259092e-05,5.326735e-05,5.370825e-05,5.469225e-05,5.477586e-05,5.579504e-05,5.603258e-05,5.676711e-05,5.729139e-05,5.769342e-05,5.847182e-05,5.857536e-05,5.941428e-05,5.957703e-05,6.021158e-05,6.061017e-05,6.096860e-05,6.157436e-05,6.168670e-05,6.236721e-05,6.247269e-05,6.301143e-05,6.330815e-05,6.362066e-05,6.408370e-05,6.419615e-05,6.473914e-05,6.480217e-05,6.525081e-05,6.546633e-05,6.573234e-05,6.607885e-05,6.618487e-05,6.660951e-05,6.664231e-05,6.700734e-05,6.715920e-05,6.737940e-05,6.763190e-05,6.772671e-05,6.805025e-05,6.806271e-05,6.835098e-05,6.845383e-05,6.862981e-05,6.880738e-05,6.888766e-05,6.912537e-05,6.934379e-05,6.940974e-05,6.954373e-05,6.966235e-05,6.972596e-05,6.988496e-05,6.989125e-05,7.004032e-05,7.007925e-05,7.017388e-05,7.024686e-05,7.029261e-05,7.038930e-05,7.039715e-05,7.048815e-05,7.050805e-05,7.056622e-05,7.060450e-05,7.063193e-05,7.067999e-05,7.068586e-05,7.072855e-05,7.073578e-05,7.076052e-05,7.077308e-05,7.078229e-05,7.079304e-05,7.079433e-05,7.079712e-05,7.079674e-05,7.079110e-05,7.078522e-05,7.077672e-05,7.075947e-05,7.075438e-05,7.072449e-05,7.072042e-05,7.068744e-05,7.066896e-05,7.064359e-05,7.060594e-05,7.059330e-05,7.053691e-05,7.053215e-05,7.047475e-05,7.044835e-05,7.040714e-05,7.035526e-05,7.033438e-05,7.025676e-05,7.025356e-05,7.017457e-05,7.014390e-05,7.008805e-05,7.002690e-05,6.999749e-05,6.990311e-05,6.977311e-05,6.963740e-05,6.949647e-05,6.935079e-05,6.920080e-05,6.904690e-05,6.888949e-05,6.872894e-05,6.856560e-05,6.839979e-05,6.823181e-05,6.806197e-05,6.789054e-05,6.771777e-05,6.754390e-05,6.736917e-05,6.719378e-05,6.701794e-05,6.684183e-05,6.666563e-05,6.648951e-05,6.631361e-05,6.613809e-05,6.596308e-05
0.000000e+00,1.332119e-07,3.037232e-07,1.037369e-06,2.346520e-06,3.412104e-06,7.667832e-06,7.895210e-06,1.508252e-05,1.765781e-05,2.554593e-05,3.362902e-05,3.984259e-05,5.683761e-05,5.850234e-05,8.196886e-05,8.834829e-05,1.104695e-04,1.285920e-04,1.438582e-04,1.768583e-04,1.815911e-04,2.229055e-04,2.315289e-04,2.670286e-04,2.908502e-04,3.132718e-04,3.533147e-04,3.610370e-04,4.097977e-04,4.176595e-04,4.590819e-04,4.827978e-04,5.084649e-04,5.477852e-04,5.575662e-04,6.060495e-04,6.118117e-04,6.536232e-04,6.742021e-04,7.000398e-04,7.344151e-04,7.450946e-04,7.886237e-04,7.920361e-04,8.305006e-04,8.467669e-04,8.706325e-04,8.984109e-04,9.089570e-04,9.454366e-04,9.468571e-04,9.800557e-04,9.920635e-04,1.012818e-03,1.034045e-03,1.043743e-03,1.072858e-03,1.100205e-03,1.108589e-03,1.125830e-03,1.141350e-03,1.149786e-03,1.171266e-03,1.172130e-03,1.192921e-03,1.198473e-03,1.212221e-03,1.223111e-03,1.230093e-03,1.245326e-03,1.246598e-03,1.261798e-03,1.265259e-03,1.275754e-03,1.283048e-03,1.288526e-03,1.298831e-03,1.300171e-03,1.310746e-03,1.312738e-03,1.320306e-03,1.324894e-03,1.328904e-03,1.335419e-03,1.336589e-03,1.343411e-03,1.344426e-03,1.349417e-03,1.352024e-03,1.354652e-03,1.358314e-03,1.359159e-03,1.362978e-03,1.363392e-03,1.366150e-03,1.367350e-03,1.368712e-03,1.370272e-03,1.370699e-03,1.372146e-03,1.372239e-03,1.373085e-03,1.373325e-03,1.373547e-03,1.373601e-03,1.373562e-03,1.373157e-03,1.373133e-03,1.372360e-03,1.371981e-03,1.371195e-03,1.370205e-03,1.369686e-03,1.367857e-03,1.365728e-03,1.364987e-03,1.363321e-03,1.361643e-03,1.360654e-03,1.357868e-03,1.357747e-03,1.354617e-03,1.353702e-03,1.351279e-03,1.349184e-03,1.347751e-03,1.344349e-03,1.344046e-03,1.340179e-03,1.339228e-03,1.336163e-03,1.333854e-03,1.332010e-03,1.328253e-03,1.327733e-03,1.323343e-03,1.322452e-03,1.318849e-03,1.316476e-03,1.314263e-03,1.310346e-03,1.309594e-03,1.304850e-03,1.304084e-03,1.300039e-03,1.297709e-03,1.295171e-03,1.291239e-03,1.290252e-03,1.285289e-03,1.284691e-03,1.280289e-03,1.278079e-03,1.275258e-03,1.271417e-03,1.270202e-03,1.265126e-03,1.264719e-03,1.260036e-03,1.257997e-03,1.254936e-03,1.251261e-03,1.249831e-03,1.244726e-03,1.244522e-03,1.239623e-03,1.237788e-03,1.234528e-03,1.231069e-03,1.229443e-03,1.224371e-03,1.217703e-03,1.211070e-03,1.204478e-03,1.197933e-03,1.191440e-03,1.185002e-03,1.178624e-03,1.172309e-03,1.166060e-03,1.159880e-03,1.153772e-03,1.147738e-03,1.141778e-03,1.135897e-03,1.130093e-03,1.124369e-03,1.118726e-03,1.113164e-03,1.107684e-03,1.102287e-03,1.096972e-03,1.091740e-03,1.086590e-03,1.081524e-03
0.000000e+00,2.952617e-09,6.734675e-09,2.302741e-08,5.216119e-08,7.592328e-08,1.712075e-07,1.763146e-07,3.385265e-07,3.969973e-07,5.771458e-07,7.632638e-07,9.072727e-07,1.304619e-06,1.343766e-06,1.898303e-06,2.049562e-06,2.574079e-06,3.002700e-06,3.362547e-06,4.136544e-06,4.247172e-06,5.210122e-06,5.410683e-06,6.235685e-06,6.789212e-06,7.310494e-06,8.242766e-06,8.422804e-06,9.561909e-06,9.745977e-06,1.071785e-05,1.127593e-05,1.188136e-05,1.281184e-05,1.304388e-05,1.419767e-05,1.433520e-05,1.533586e-05,1.583015e-05,1.645247e-05,1.728351e-05,1.754244e-05,1.860161e-05,1.868491e-05,1.962667e-05,2.002655e-05,2.061508e-05,2.130299e-05,2.156501e-05,2.247524e-05,2.251081e-05,2.334511e-05,2.364832e-05,2.417438e-05,2.471517e-05,2.496323e-05,2.571212e-05,2.642176e-05,2.664071e-05,2.709309e-05,2.750311e-05,2.772716e-05,2.830190e-05,2.832514e-05,2.888831e-05,2.903993e-05,2.941797e-05,2.972024e-05,2.991547e-05,3.034592e-05,3.038215e-05,3.081937e-05,3.092007e-05,3.122845e-05,3.144574e-05,3.161070e-05,3.192590e-05,3.196739e-05,3.229976e-05,3.236342e-05,3.260900e-05,3.276105e-05,3.289627e-05,3.312141e-05,3.316268e-05,3.340929e-05,3.344698e-05,3.363713e-05,3.374011e-05,3.384717e-05,3.400302e-05,3.404035e-05,3.421757e-05,3.423780e-05,3.437967e-05,3.444641e-05,3.452746e-05,3.463068e-05,3.466171e-05,3.478316e-05,3.479235e-05,3.489251e-05,3.493301e-05,3.499042e-05,3.505418e-05,3.507751e-05,3.515440e-05,3.515727e-05,3.522165e-05,3.524360e-05,3.527979e-05,3.531440e-05,3.532935e-05,3.537081e-05,3.540462e-05,3.541390e-05,3.543123e-05,3.544468e-05,3.545106e-05,3.546408e-05,3.546450e-05,3.547192e-05,3.547297e-05,3.547368e-05,3.547215e-05,3.547011e-05,3.546239e-05,3.546153e-05,3.544825e-05,3.544439e-05,3.543055e-05,3.541881e-05,3.540871e-05,3.538626e-05,3.538298e-05,3.535360e-05,3.534731e-05,3.532082e-05,3.530250e-05,3.528484e-05,3.525231e-05,3.524588e-05,3.520414e-05,3.519721e-05,3.515980e-05,3.513764e-05,3.511303e-05,3.507400e-05,3.506402e-05,3.501291e-05,3.500665e-05,3.495987e-05,3.493595e-05,3.490502e-05,3.486222e-05,3.484851e-05,3.479047e-05,3.478576e-05,3.473102e-05,3.470687e-05,3.467027e-05,3.462579e-05,3.460834e-05,3.454532e-05,3.454278e-05,3.448132e-05,3.445806e-05,3.441643e-05,3.437184e-05,3.435073e-05,3.428432e-05,3.419569e-05,3.410612e-05,3.401576e-05,3.392476e-05,3.383326e-05,3.374139e-05,3.364927e-05,3.355700e-05,3.346470e-05,3.337244e-05,3.328032e-05,3.318843e-05,3.309683e-05,3.300559e-05,3.291478e-05,3.282446e-05,3.273469e-05,3.264550e-05,3.255695e-05,3.246908e-05,3.238193e-05,3.229553e-05,3.220992e-05,3.212511e-05
0.000000e+00,4.046926e-07,9.204879e-07,3.128307e-06,7.044375e-06,1.021830e-05,2.282204e-05,2.349305e-05,4.462048e-05,5.216026e-05,7.518251e-05,9.868383e-05,1.166984e-04,1.657766e-04,1.705698e-04,2.378905e-04,2.561148e-04,3.190609e-04,3.703321e-04,4.132966e-04,5.053548e-04,5.184550e-04,6.315590e-04,6.548639e-04,7.496288e-04,8.121351e-04,8.701646e-04,9.718756e-04,9.912102e-04,1.111246e-03,1.130275e-03,1.229077e-03,1.284565e-03,1.343753e-03,1.432712e-03,1.454524e-03,1.560813e-03,1.573245e-03,1.662191e-03,1.705160e-03,1.758359e-03,1.827845e-03,1.849134e-03,1.934429e-03,1.941015e-03,2.014240e-03,2.044642e-03,2.088631e-03,2.138897e-03,2.157713e-03,2.221643e-03,2.224096e-03,2.280607e-03,2.300657e-03,2.334809e-03,2.369056e-03,2.384465e-03,2.429805e-03,2.471058e-03,2.483432e-03,2.508451e-03,2.530462e-03,2.542211e-03,2.571407e-03,2.572559e-03,2.599708e-03,2.606765e-03,2.623864e-03,2.637003e-03,2.645224e-03,2.662565e-03,2.663973e-03,2.680289e-03,2.683861e-03,2.694339e-03,2.701277e-03,2.706282e-03,2.715168e-03,2.716267e-03,2.724435e-03,2.725862e-03,2.730917e-03,2.733662e-03,2.735835e-03,2.738844e-03,2.739307e-03,2.741441e-03,2.741665e-03,2.742337e-03,2.742356e-03,2.742092e-03,2.741133e-03,2.740792e-03,2.738523e-03,2.738189e-03,2.735359e-03,2.733703e-03,2.731375e-03,2.727839e-03,2.726637e-03,2.721208e-03,2.720746e-03,2.715147e-03,2.712558e-03,2.708509e-03,2.703400e-03,2.701344e-03,2.693700e-03,2.693385e-03,2.685622e-03,2.682615e-03,2.677150e-03,2.671184e-03,2.668324e-03,2.659178e-03,2.649747e-03,2.646674e-03,2.640061e-03,2.633742e-03,2.630149e-03,2.620446e-03,2.620039e-03,2.609754e-03,2.606846e-03,2.599319e-03,2.592995e-03,2.588755e-03,2.578939e-03,2.578082e-03,2.567318e-03,2.564723e-03,2.556482e-03,2.550387e-03,2.545588e-03,2.535967e-03,2.534653e-03,2.523689e-03,2.521494e-03,2.512710e-03,2.506999e-03,2.501727e-03,2.492507e-03,2.490752e-03,2.479795e-03,2.478044e-03,2.468864e-03,2.463629e-03,2.457969e-03,2.449284e-03,2.447117e-03,2.436316e-03,2.435024e-03,2.425573e-03,2.420866e-03,2.414894e-03,2.406824e-03,2.404284e-03,2.393749e-03,2.392910e-03,2.383293e-03,2.379134e-03,2.372921e-03,2.365507e-03,2.362637e-03,2.352443e-03,2.352038e-03,2.342345e-03,2.338733e-03,2.332343e-03,2.325599e-03,2.322441e-03,2.312642e-03,2.299866e-03,2.287276e-03,2.274875e-03,2.262666e-03,2.250650e-03,2.238830e-03,2.227207e-03,2.215782e-03,2.204554e-03,2.193525e-03,2.182693e-03,2.172058e-03,2.161619e-03,2.151376e-03,2.141326e-03,2.131468e-03,2.121802e-03,2.112324e-03,2.103033e-03,2.093927e-03,2.085003e-03,2.076260e-03,2.067694e-03,2.059304e-03
0.000000e+00,3.542947e-07,8.095008e-07,2.780088e-06,6.331649e-06,9.250398e-06,2.112600e-05,2.176973e-05,4.256393e-05,5.021522e-05,7.426298e-05,9.979579e-05,1.199815e-04,1.773023e-04,1.830584e-04,2.660579e-04,2.890349e-04,3.692528e-04,4.350582e-04,4.903026e-04,6.088651e-04,6.257746e-04,7.725921e-04,8.030989e-04,9.284059e-04,1.012374e-03,1.091424e-03,1.232846e-03,1.260177e-03,1.433366e-03,1.461406e-03,1.609779e-03,1.695261e-03,1.788258e-03,1.931781e-03,1.967693e-03,2.147027e-03,2.168493e-03,2.325273e-03,2.403119e-03,2.501520e-03,2.633623e-03,2.674948e-03,2.844829e-03,2.858247e-03,3.010531e-03,3.075519e-03,3.171522e-03,3.284267e-03,3.327361e-03,3.477691e-03,3.483585e-03,3.622237e-03,3.672818e-03,3.760801e-03,3.851535e-03,3.893246e-03,4.019495e-03,4.139522e-03,4.176618e-03,4.253343e-03,4.322955e-03,4.361011e-03,4.458661e-03,4.462609e-03,4.558247e-03,4.583975e-03,4.648055e-03,4.699201e-03,4.732179e-03,4.804687e-03,4.810775e-03,4.884010e-03,4.900808e-03,4.952057e-03,4.987964e-03,5.015096e-03,5.066569e-03,5.073305e-03,5.126868e-03,5.137039e-03,5.175966e-03,5.199792e-03,5.220779e-03,5.255242e-03,5.261486e-03,5.298263e-03,5.303794e-03,5.331282e-03,5.345846e-03,5.360713e-03,5.381784e-03,5.386719e-03,5.409461e-03,5.411978e-03,5.429096e-03,5.436789e-03,5.445774e-03,5.456562e-03,5.459642e-03,5.470843e-03,5.471628e-03,5.479514e-03,5.482303e-03,5.485786e-03,5.488890e-03,5.489789e-03,5.491644e-03,5.491675e-03,5.491471e-03,5.490934e-03,5.489383e-03,5.486926e-03,5.485490e-03,5.479898e-03,5.472707e-03,5.470084e-03,5.464014e-03,5.457706e-03,5.453913e-03,5.442974e-03,5.442492e-03,5.429837e-03,5.426084e-03,5.416029e-03,5.407224e-03,5.401147e-03,5.386569e-03,5.385264e-03,5.368452e-03,5.364286e-03,5.350779e-03,5.340531e-03,5.332310e-03,5.315449e-03,5.313107e-03,5.293230e-03,5.289178e-03,5.272733e-03,5.261848e-03,5.251671e-03,5.233579e-03,5.230095e-03,5.208053e-03,5.204486e-03,5.185590e-03,5.174673e-03,5.162752e-03,5.144239e-03,5.139580e-03,5.116112e-03,5.113278e-03,5.092386e-03,5.081874e-03,5.068438e-03,5.050109e-03,5.044301e-03,5.020006e-03,5.018057e-03,4.995584e-03,4.985786e-03,4.971064e-03,4.953362e-03,4.946471e-03,4.921830e-03,4.920844e-03,4.897167e-03,4.888287e-03,4.872502e-03,4.855740e-03,4.847858e-03,4.823253e-03,4.790866e-03,4.758620e-03,4.726552e-03,4.694693e-03,4.663074e-03,4.631724e-03,4.600665e-03,4.569921e-03,4.539512e-03,4.509456e-03,4.479768e-03,4.450464e-03,4.421555e-03,4.393052e-03,4.364964e-03,4.337300e-03,4.310066e-03,4.283268e-03,4.256908e-03,4.230992e-03,4.205521e-03,4.180497e-03,4.155919e-03,4.131789e-03
0.000000e+00,6.673959e-07,1.518511e-06,5.170604e-06,1.168831e-05,1.701004e-05,3.849826e-05,3.965826e-05,7.699909e-05,9.070003e-05,1.336893e-04,1.792199e-04,2.150990e-04,3.160118e-04,3.260380e-04,4.677209e-04,5.059062e-04,6.357053e-04,7.384464e-04,8.224311e-04,9.967481e-04,1.021025e-03,1.226524e-03,1.268128e-03,1.435457e-03,1.544582e-03,1.645253e-03,1.820636e-03,1.853859e-03,2.059555e-03,2.092095e-03,2.260871e-03,2.355573e-03,2.456559e-03,2.608352e-03,2.645581e-03,2.827103e-03,2.848350e-03,3.000490e-03,3.074080e-03,3.165288e-03,3.284607e-03,3.321210e-03,3.468114e-03,3.479476e-03,3.605979e-03,3.658610e-03,3.734893e-03,3.822262e-03,3.855027e-03,3.966607e-03,3.970896e-03,4.069914e-03,4.105140e-03,4.165266e-03,4.225735e-03,4.253004e-03,4.333482e-03,4.407066e-03,4.429217e-03,4.474121e-03,4.513778e-03,4.535010e-03,4.587991e-03,4.590087e-03,4.639696e-03,4.652652e-03,4.684170e-03,4.708524e-03,4.723829e-03,4.756324e-03,4.758977e-03,4.789903e-03,4.796728e-03,4.816883e-03,4.830366e-03,4.840178e-03,4.857825e-03,4.860034e-03,4.876684e-03,4.879649e-03,4.890346e-03,4.896339e-03,4.901227e-03,4.908360e-03,4.909521e-03,4.915408e-03,4.916139e-03,4.919061e-03,4.920068e-03,4.920639e-03,4.920510e-03,4.920293e-03,4.918164e-03,4.917795e-03,4.914383e-03,4.912229e-03,4.909075e-03,4.904090e-03,4.902354e-03,4.894329e-03,4.893634e-03,4.885103e-03,4.881097e-03,4.874768e-03,4.866692e-03,4.863416e-03,4.851128e-03,4.850618e-03,4.837983e-03,4.833055e-03,4.824053e-03,4.814167e-03,4.809406e-03,4.794107e-03,4.778213e-03,4.773011e-03,4.761782e-03,4.751009e-03,4.744866e-03,4.728214e-03,4.727512e-03,4.709766e-03,4.704733e-03,4.691672e-03,4.680664e-03,4.673268e-03,4.656095e-03,4.654592e-03,4.635678e-03,4.631107e-03,4.616560e-03,4.605775e-03,4.597266e-03,4.580165e-03,4.577826e-03,4.558265e-03,4.554341e-03,4.538609e-03,4.528358e-03,4.518880e-03,4.502268e-03,4.499100e-03,4.479289e-03,4.476117e-03,4.459464e-03,4.449949e-03,4.439644e-03,4.423801e-03,4.419844e-03,4.400079e-03,4.397710e-03,4.380364e-03,4.371708e-03,4.360710e-03,4.345822e-03,4.341131e-03,4.321636e-03,4.320081e-03,4.302237e-03,4.294506e-03,4.282942e-03,4.269120e-03,4.263761e-03,4.244701e-03,4.243941e-03,4.225770e-03,4.218987e-03,4.206974e-03,4.194274e-03,4.188320e-03,4.169814e-03,4.145619e-03,4.121702e-03,4.098070e-03,4.074731e-03,4.051694e-03,4.028964e-03,4.006545e-03,3.984442e-03,3.962659e-03,3.941197e-03,3.920060e-03,3.899247e-03,3.878760e-03,3.858600e-03,3.838765e-03,3.819256e-03,3.800070e-03,3.781208e-03,3.762666e-03,3.744443e-03,3.726536e-03,3.708943e-03,3.691662e-03,3.674688e-03
0.000000e+00,2.850349e-09,6.380444e-09,2.097622e-08,4.581643e-08,6.534537e-08,1.395891e-07,1.434286e-07,2.601807e-07,3.002638e-07,4.187376e-07,5.347315e-07,6.208978e-07,8.460714e-07,8.674296e-07,1.158214e-06,1.234492e-06,1.492196e-06,1.697316e-06,1.867119e-06,2.227870e-06,2.279087e-06,2.722289e-06,2.814044e-06,3.189307e-06,3.438870e-06,3.672018e-06,4.083862e-06,4.162580e-06,4.654008e-06,4.732304e-06,5.140328e-06,5.370435e-06,5.616501e-06,5.987275e-06,6.078309e-06,6.522244e-06,6.574174e-06,6.945454e-06,7.124502e-06,7.345698e-06,7.633485e-06,7.721321e-06,8.071218e-06,8.098077e-06,8.394798e-06,8.516820e-06,8.691938e-06,8.889650e-06,8.962918e-06,9.208368e-06,9.217667e-06,9.429199e-06,9.502884e-06,9.626542e-06,9.747973e-06,9.801688e-06,9.956033e-06,1.009103e-05,1.013039e-05,1.020816e-05,1.027442e-05,1.030888e-05,1.039144e-05,1.039460e-05,1.046669e-05,1.048461e-05,1.052644e-05,1.055686e-05,1.057504e-05,1.061086e-05,1.061360e-05,1.064316e-05,1.064902e-05,1.066465e-05,1.067348e-05,1.067893e-05,1.068615e-05,1.068677e-05,1.068887e-05,1.068866e-05,1.068586e-05,1.068245e-05,1.067828e-05,1.066877e-05,1.066665e-05,1.065142e-05,1.064867e-05,1.063297e-05,1.062309e-05,1.061168e-05,1.059280e-05,1.058784e-05,1.056176e-05,1.055849e-05,1.053367e-05,1.052074e-05,1.050382e-05,1.048007e-05,1.047239e-05,1.043957e-05,1.043689e-05,1.040552e-05,1.039159e-05,1.037038e-05,1.034448e-05,1.033428e-05,1.029734e-05,1.029584e-05,1.025966e-05,1.024594e-05,1.022135e-05,1.019498e-05,1.018249e-05,1.014316e-05,1.010343e-05,1.009064e-05,1.006337e-05,1.003759e-05,1.002304e-05,9.984119e-06,9.982494e-06,9.941786e-06,9.930365e-06,9.900961e-06,9.876429e-06,9.860064e-06,9.822408e-06,9.819133e-06,9.778206e-06,9.768388e-06,9.737316e-06,9.714445e-06,9.696494e-06,9.660650e-06,9.655769e-06,9.615168e-06,9.607065e-06,9.574715e-06,9.553746e-06,9.534433e-06,9.500743e-06,9.494343e-06,9.454463e-06,9.448103e-06,9.414811e-06,9.395864e-06,9.375404e-06,9.344065e-06,9.336257e-06,9.297383e-06,9.292737e-06,9.258794e-06,9.241909e-06,9.220503e-06,9.191607e-06,9.182520e-06,9.144854e-06,9.141855e-06,9.107514e-06,9.092671e-06,9.070507e-06,9.044073e-06,9.033842e-06,8.997523e-06,8.996078e-06,8.961557e-06,8.948697e-06,8.925949e-06,8.901942e-06,8.890703e-06,8.855823e-06,8.810348e-06,8.765522e-06,8.721351e-06,8.677839e-06,8.634987e-06,8.592799e-06,8.551273e-06,8.510410e-06,8.470208e-06,8.430666e-06,8.391781e-06,8.353549e-06,8.315967e-06,8.279031e-06,8.242735e-06,8.207075e-06,8.172045e-06,8.137638e-06,8.103849e-06,8.070671e-06,8.038097e-06,8.006120e-06,7.974733e-06,7.943928e-06
0.000000e+00,3.498796e-09,7.901936e-09,2.647236e-08,5.887358e-08,8.484877e-08,1.866670e-07,1.920489e-07,3.605161e-07,4.203807e-07,6.029853e-07,7.895355e-07,9.327389e-07,1.323023e-06,1.361062e-06,1.890461e-06,2.031505e-06,2.508807e-06,2.885625e-06,3.193484e-06,3.832287e-06,3.921224e-06,4.673385e-06,4.825457e-06,5.436068e-06,5.833204e-06,6.198651e-06,6.832793e-06,6.952507e-06,7.690265e-06,7.806370e-06,8.405492e-06,8.739118e-06,9.092573e-06,9.618732e-06,9.746730e-06,1.036406e-05,1.043551e-05,1.094158e-05,1.118250e-05,1.147719e-05,1.185547e-05,1.196971e-05,1.241871e-05,1.245276e-05,1.282454e-05,1.297498e-05,1.318815e-05,1.342461e-05,1.351100e-05,1.379495e-05,1.380553e-05,1.404212e-05,1.412255e-05,1.425487e-05,1.438110e-05,1.443561e-05,1.458689e-05,1.471119e-05,1.474564e-05,1.481080e-05,1.486267e-05,1.488805e-05,1.494321e-05,1.494513e-05,1.498409e-05,1.499201e-05,1.500683e-05,1.501343e-05,1.501511e-05,1.501135e-05,1.501054e-05,1.499459e-05,1.498922e-05,1.496858e-05,1.495008e-05,1.493373e-05,1.489660e-05,1.489111e-05,1.484168e-05,1.483106e-05,1.478633e-05,1.475546e-05,1.472582e-05,1.467152e-05,1.466085e-05,1.459203e-05,1.458070e-05,1.451991e-05,1.448426e-05,1.444497e-05,1.438330e-05,1.436766e-05,1.428836e-05,1.427873e-05,1.420742e-05,1.417136e-05,1.412513e-05,1.406186e-05,1.404177e-05,1.395759e-05,1.395082e-05,1.387278e-05,1.383874e-05,1.378756e-05,1.372603e-05,1.370208e-05,1.361651e-05,1.361308e-05,1.353096e-05,1.350020e-05,1.344558e-05,1.338766e-05,1.336045e-05,1.327568e-05,1.319136e-05,1.316448e-05,1.310755e-05,1.305422e-05,1.302433e-05,1.294504e-05,1.294175e-05,1.285987e-05,1.283708e-05,1.277874e-05,1.273043e-05,1.269839e-05,1.262519e-05,1.261886e-05,1.254019e-05,1.252143e-05,1.246239e-05,1.241922e-05,1.238550e-05,1.231860e-05,1.230954e-05,1.223451e-05,1.221962e-05,1.216044e-05,1.212231e-05,1.208734e-05,1.202670e-05,1.201522e-05,1.194408e-05,1.193279e-05,1.187394e-05,1.184062e-05,1.180479e-05,1.175018e-05,1.173663e-05,1.166947e-05,1.166148e-05,1.160331e-05,1.157452e-05,1.153815e-05,1.148929e-05,1.147398e-05,1.141079e-05,1.140578e-05,1.134859e-05,1.132399e-05,1.128737e-05,1.124389e-05,1.122712e-05,1.116783e-05,1.116548e-05,1.110950e-05,1.108874e-05,1.105212e-05,1.101364e-05,1.099568e-05,1.094017e-05,1.086831e-05,1.079803e-05,1.072931e-05,1.066212e-05,1.059644e-05,1.053225e-05,1.046951e-05,1.040821e-05,1.034831e-05,1.028979e-05,1.023262e-05,1.017677e-05,1.012222e-05,1.006895e-05,1.001691e-05,9.966100e-06,9.916478e-06,9.868023e-06,9.820709e-06,9.774510e-06,9.729402e-06,9.685359e-06,9.642359e-06,9.600376e-06
0.000000e+00,4.739017e-09,1.084132e-08,3.730202e-08,8.499480e-08,1.241250e-07,2.823967e-07,2.909285e-07,5.638398e-07,6.629865e-07,9.705542e-07,1.291225e-06,1.541177e-06,2.238709e-06,2.308057e-06,3.303229e-06,3.579107e-06,4.551790e-06,5.365796e-06,6.062447e-06,7.599216e-06,7.822816e-06,9.805423e-06,1.022579e-05,1.197839e-05,1.317360e-05,1.431218e-05,1.637801e-05,1.678118e-05,1.936302e-05,1.978521e-05,2.203752e-05,2.334866e-05,2.478596e-05,2.702602e-05,2.759063e-05,3.043473e-05,3.077791e-05,3.330241e-05,3.456780e-05,3.617883e-05,3.836229e-05,3.905030e-05,4.190432e-05,4.213155e-05,4.472969e-05,4.584955e-05,4.751648e-05,4.949419e-05,5.025605e-05,5.294099e-05,5.304715e-05,5.556502e-05,5.649374e-05,5.812299e-05,5.982250e-05,6.061071e-05,6.302487e-05,6.536299e-05,6.609481e-05,6.762323e-05,6.902833e-05,6.980437e-05,7.182319e-05,7.190571e-05,7.392702e-05,7.447866e-05,7.586847e-05,7.699518e-05,7.773051e-05,7.937411e-05,7.951390e-05,8.121961e-05,8.161755e-05,8.284881e-05,8.372823e-05,8.440282e-05,8.570928e-05,8.588307e-05,8.729110e-05,8.756418e-05,8.862853e-05,8.929666e-05,8.989706e-05,9.091064e-05,9.109841e-05,9.223435e-05,9.241014e-05,9.330664e-05,9.379925e-05,9.431705e-05,9.508202e-05,9.526736e-05,9.615935e-05,9.626255e-05,9.699477e-05,9.734489e-05,9.777539e-05,9.833308e-05,9.850294e-05,9.917914e-05,9.923107e-05,9.980566e-05,1.000427e-04,1.003842e-04,1.007719e-04,1.009163e-04,1.014037e-04,1.014222e-04,1.018478e-04,1.019974e-04,1.022503e-04,1.025010e-04,1.026126e-04,1.029363e-04,1.032227e-04,1.033067e-04,1.034732e-04,1.036154e-04,1.036893e-04,1.038656e-04,1.038723e-04,1.040234e-04,1.040602e-04,1.041439e-04,1.042021e-04,1.042351e-04,1.042942e-04,1.042982e-04,1.043343e-04,1.043391e-04,1.043446e-04,1.043394e-04,1.043301e-04,1.042978e-04,1.042920e-04,1.042312e-04,1.042164e-04,1.041488e-04,1.040977e-04,1.040458e-04,1.039439e-04,1.039230e-04,1.037815e-04,1.037571e-04,1.036220e-04,1.035394e-04,1.034455e-04,1.032926e-04,1.032528e-04,1.030447e-04,1.030187e-04,1.028219e-04,1.027194e-04,1.025853e-04,1.023966e-04,1.023355e-04,1.020732e-04,1.020517e-04,1.017991e-04,1.016864e-04,1.015140e-04,1.013021e-04,1.012183e-04,1.009127e-04,1.009003e-04,1.005979e-04,1.004824e-04,1.002743e-04,1.000495e-04,9.994248e-05,9.960303e-05,9.914407e-05,9.867374e-05,9.819311e-05,9.770317e-05,9.720490e-05,9.669918e-05,9.618688e-05,9.566881e-05,9.514574e-05,9.461840e-05,9.408748e-05,9.355363e-05,9.301747e-05,9.247956e-05,9.194047e-05,9.140070e-05,9.086073e-05,9.032102e-05,8.978199e-05,8.924406e-05,8.870758e-05,8.817291e-05,8.764037e-05,8.711027e-05
0.000000e+00,1.830581e-08,4.187680e-08,1.441841e-07,3.291340e-07,4.814573e-07,1.103025e-06,1.136779e-06,2.229287e-06,2.632070e-06,3.899625e-06,5.246535e-06,6.310788e-06,9.320882e-06,9.621647e-06,1.391760e-05,1.509302e-05,1.915720e-05,2.245837e-05,2.521722e-05,3.112755e-05,3.197108e-05,3.931846e-05,4.085200e-05,4.718089e-05,5.145044e-05,5.549143e-05,6.277298e-05,6.418781e-05,7.320898e-05,7.467844e-05,8.249415e-05,8.702706e-05,9.198299e-05,9.968100e-05,1.016165e-04,1.113381e-04,1.125080e-04,1.210943e-04,1.253852e-04,1.308359e-04,1.382020e-04,1.405181e-04,1.501007e-04,1.508619e-04,1.595486e-04,1.632831e-04,1.688315e-04,1.753985e-04,1.779238e-04,1.868042e-04,1.871548e-04,1.954553e-04,1.985108e-04,2.038634e-04,2.094368e-04,2.120183e-04,2.199122e-04,2.275393e-04,2.299230e-04,2.348965e-04,2.394628e-04,2.419824e-04,2.485296e-04,2.487970e-04,2.553418e-04,2.571263e-04,2.616191e-04,2.652585e-04,2.676323e-04,2.729346e-04,2.733854e-04,2.788828e-04,2.801647e-04,2.841297e-04,2.869605e-04,2.891314e-04,2.933347e-04,2.938937e-04,2.984224e-04,2.993006e-04,3.027235e-04,3.048722e-04,3.068032e-04,3.100636e-04,3.106677e-04,3.143233e-04,3.148892e-04,3.177762e-04,3.193633e-04,3.210325e-04,3.235002e-04,3.240985e-04,3.269803e-04,3.273140e-04,3.296839e-04,3.308186e-04,3.322152e-04,3.340275e-04,3.345802e-04,3.367845e-04,3.369541e-04,3.388339e-04,3.396115e-04,3.407338e-04,3.420122e-04,3.424896e-04,3.441067e-04,3.441686e-04,3.455902e-04,3.460925e-04,3.469451e-04,3.477955e-04,3.481764e-04,3.492889e-04,3.502871e-04,3.505832e-04,3.511758e-04,3.516890e-04,3.519592e-04,3.526163e-04,3.526417e-04,3.532274e-04,3.533747e-04,3.537205e-04,3.539734e-04,3.541247e-04,3.544214e-04,3.544439e-04,3.546819e-04,3.547273e-04,3.548422e-04,3.548993e-04,3.549282e-04,3.549452e-04,3.549434e-04,3.548909e-04,3.548726e-04,3.547740e-04,3.546887e-04,3.545956e-04,3.544004e-04,3.543586e-04,3.540661e-04,3.540143e-04,3.537206e-04,3.535368e-04,3.533248e-04,3.529738e-04,3.528814e-04,3.523927e-04,3.523311e-04,3.518612e-04,3.516143e-04,3.512891e-04,3.508285e-04,3.506786e-04,3.500320e-04,3.499788e-04,3.493512e-04,3.490698e-04,3.486383e-04,3.481061e-04,3.478951e-04,3.471235e-04,3.470921e-04,3.463253e-04,3.460317e-04,3.455021e-04,3.449289e-04,3.446556e-04,3.437874e-04,3.426106e-04,3.414019e-04,3.401645e-04,3.389012e-04,3.376149e-04,3.363083e-04,3.349840e-04,3.336442e-04,3.322912e-04,3.309272e-04,3.295542e-04,3.281740e-04,3.267883e-04,3.253990e-04,3.240075e-04,3.226153e-04,3.212237e-04,3.198341e-04,3.184477e-04,3.170656e-04,3.156888e-04,3.143183e-04,3.129550e-04,3.115998e-04
0.000000e+00,6.090178e-09,1.359685e-08,4.470321e-08,9.854513e-08,1.419423e-07,3.170433e-07,3.265623e-07,6.388650e-07,7.563452e-07,1.133195e-06,1.541206e-06,1.865032e-06,2.763357e-06,2.850462e-06,4.018504e-06,4.311071e-06,5.233258e-06,5.887967e-06,6.378100e-06,7.281442e-06,7.396287e-06,8.276621e-06,8.436870e-06,9.029319e-06,9.375779e-06,9.671033e-06,1.013640e-05,1.021820e-05,1.068498e-05,1.075302e-05,1.108305e-05,1.125260e-05,1.142205e-05,1.165619e-05,1.171004e-05,1.195378e-05,1.198035e-05,1.215928e-05,1.223894e-05,1.233172e-05,1.244351e-05,1.247568e-05,1.259515e-05,1.260375e-05,1.269359e-05,1.272777e-05,1.277400e-05,1.282219e-05,1.283895e-05,1.289064e-05,1.289246e-05,1.293093e-05,1.294295e-05,1.296139e-05,1.297717e-05,1.298334e-05,1.299790e-05,1.300601e-05,1.300737e-05,1.300845e-05,1.300735e-05,1.300590e-05,1.299928e-05,1.299892e-05,1.298800e-05,1.298429e-05,1.297355e-05,1.296334e-05,1.295594e-05,1.293721e-05,1.293548e-05,1.291244e-05,1.290655e-05,1.288707e-05,1.287193e-05,1.285959e-05,1.283381e-05,1.283018e-05,1.279904e-05,1.279261e-05,1.276630e-05,1.274870e-05,1.273212e-05,1.270238e-05,1.269662e-05,1.265994e-05,1.265396e-05,1.262217e-05,1.260369e-05,1.258342e-05,1.255178e-05,1.254379e-05,1.250335e-05,1.249845e-05,1.246220e-05,1.244389e-05,1.242041e-05,1.238826e-05,1.237805e-05,1.233518e-05,1.233173e-05,1.229186e-05,1.227442e-05,1.224815e-05,1.221648e-05,1.220411e-05,1.215979e-05,1.215801e-05,1.211522e-05,1.209912e-05,1.207045e-05,1.203992e-05,1.202553e-05,1.198049e-05,1.193537e-05,1.192092e-05,1.189020e-05,1.186128e-05,1.184501e-05,1.180164e-05,1.179983e-05,1.175469e-05,1.174207e-05,1.170962e-05,1.168262e-05,1.166463e-05,1.162334e-05,1.161976e-05,1.157501e-05,1.156430e-05,1.153042e-05,1.150552e-05,1.148600e-05,1.144706e-05,1.144176e-05,1.139772e-05,1.138894e-05,1.135391e-05,1.133121e-05,1.131032e-05,1.127390e-05,1.126698e-05,1.122390e-05,1.121703e-05,1.118108e-05,1.116063e-05,1.113855e-05,1.110472e-05,1.109629e-05,1.105434e-05,1.104933e-05,1.101269e-05,1.099447e-05,1.097136e-05,1.094015e-05,1.093034e-05,1.088965e-05,1.088641e-05,1.084929e-05,1.083324e-05,1.080927e-05,1.078066e-05,1.076958e-05,1.073025e-05,1.072868e-05,1.069126e-05,1.067732e-05,1.065263e-05,1.062657e-05,1.061436e-05,1.057644e-05,1.052695e-05,1.047809e-05,1.042987e-05,1.038229e-05,1.033535e-05,1.028906e-05,1.024341e-05,1.019841e-05,1.015405e-05,1.011034e-05,1.006726e-05,1.002483e-05,9.983029e-06,9.941861e-06,9.901323e-06,9.861410e-06,9.822117e-06,9.783441e-06,9.745377e-06,9.707919e-06,9.671063e-06,9.634802e-06,9.599132e-06,9.564046e-06
0.000000e+00,4.126501e-09,9.412974e-09,3.218626e-08,7.289334e-08,1.060755e-07,2.389336e-07,2.460452e-07,4.714163e-07,5.524097e-07,8.011117e-07,1.056628e-06,1.253217e-06,1.789672e-06,1.842001e-06,2.572725e-06,2.768803e-06,3.440120e-06,3.981491e-06,4.433041e-06,5.400676e-06,5.538930e-06,6.745124e-06,6.997272e-06,8.038715e-06,8.741495e-06,9.406309e-06,1.060215e-05,1.083406e-05,1.230789e-05,1.254704e-05,1.381384e-05,1.454413e-05,1.533844e-05,1.656300e-05,1.686902e-05,1.839393e-05,1.857603e-05,1.990278e-05,2.055921e-05,2.138653e-05,2.249260e-05,2.283747e-05,2.424926e-05,2.436035e-05,2.561679e-05,2.615050e-05,2.693615e-05,2.785460e-05,2.820444e-05,2.941969e-05,2.946718e-05,3.058073e-05,3.098532e-05,3.168707e-05,3.240816e-05,3.273879e-05,3.373640e-05,3.468079e-05,3.497195e-05,3.557315e-05,3.611759e-05,3.641487e-05,3.717671e-05,3.720750e-05,3.795271e-05,3.815312e-05,3.865227e-05,3.905082e-05,3.930794e-05,3.987397e-05,3.992155e-05,4.049490e-05,4.062671e-05,4.102977e-05,4.131316e-05,4.152794e-05,4.193731e-05,4.199110e-05,4.242093e-05,4.250304e-05,4.281904e-05,4.301405e-05,4.318701e-05,4.347390e-05,4.352632e-05,4.383843e-05,4.388594e-05,4.412473e-05,4.425337e-05,4.438653e-05,4.457920e-05,4.462512e-05,4.484170e-05,4.486626e-05,4.503743e-05,4.511724e-05,4.521342e-05,4.533462e-05,4.537072e-05,4.551034e-05,4.552077e-05,4.563322e-05,4.567789e-05,4.574027e-05,4.580804e-05,4.583237e-05,4.591033e-05,4.591317e-05,4.597493e-05,4.599506e-05,4.602692e-05,4.605543e-05,4.606700e-05,4.609584e-05,4.611407e-05,4.611777e-05,4.612231e-05,4.612260e-05,4.612113e-05,4.611163e-05,4.611106e-05,4.609263e-05,4.608604e-05,4.606634e-05,4.604697e-05,4.603263e-05,4.599547e-05,4.599197e-05,4.594477e-05,4.593251e-05,4.589142e-05,4.585901e-05,4.583231e-05,4.577581e-05,4.576780e-05,4.569822e-05,4.568372e-05,4.562390e-05,4.558348e-05,4.554515e-05,4.547578e-05,4.546225e-05,4.537549e-05,4.536127e-05,4.528513e-05,4.524054e-05,4.519141e-05,4.511417e-05,4.509457e-05,4.499483e-05,4.498268e-05,4.489242e-05,4.484656e-05,4.478752e-05,4.470626e-05,4.468034e-05,4.457104e-05,4.456221e-05,4.445982e-05,4.441482e-05,4.434681e-05,4.426444e-05,4.423220e-05,4.411611e-05,4.411143e-05,4.399869e-05,4.395611e-05,4.388006e-05,4.379878e-05,4.376037e-05,4.363972e-05,4.347919e-05,4.331743e-05,4.315467e-05,4.299113e-05,4.282699e-05,4.266244e-05,4.249765e-05,4.233277e-05,4.216796e-05,4.200335e-05,4.183906e-05,4.167522e-05,4.151193e-05,4.134929e-05,4.118739e-05,4.102632e-05,4.086616e-05,4.070698e-05,4.054884e-05,4.039182e-05,4.023596e-05,4.008132e-05,3.992794e-05,3.977587e-05
0.000000e+00,1.236871e-09,2.811845e-09,9.554244e-09,2.154210e-08,3.129482e-08,7.040046e-08,7.250016e-08,1.395608e-07,1.639386e-07,2.397782e-07,3.192081e-07,3.812730e-07,5.539430e-07,5.709807e-07,8.105745e-07,8.750263e-07,1.094832e-06,1.270373e-06,1.415308e-06,1.721096e-06,1.764262e-06,2.135745e-06,2.212325e-06,2.525172e-06,2.733482e-06,2.928730e-06,3.276108e-06,3.342966e-06,3.764582e-06,3.832510e-06,4.190360e-06,4.395287e-06,4.617165e-06,4.957321e-06,5.041988e-06,5.461998e-06,5.511950e-06,5.874602e-06,6.053194e-06,6.277486e-06,6.575935e-06,6.668651e-06,7.046425e-06,7.076026e-06,7.409469e-06,7.550326e-06,7.756771e-06,7.996673e-06,8.087624e-06,8.401597e-06,8.413802e-06,8.698497e-06,8.801200e-06,8.978345e-06,9.159002e-06,9.241351e-06,9.487871e-06,9.718377e-06,9.788847e-06,9.933433e-06,1.006325e-05,1.013367e-05,1.031259e-05,1.031977e-05,1.049243e-05,1.053847e-05,1.065238e-05,1.074254e-05,1.080032e-05,1.092643e-05,1.093696e-05,1.106300e-05,1.109174e-05,1.117909e-05,1.124000e-05,1.128588e-05,1.137264e-05,1.138398e-05,1.147395e-05,1.149102e-05,1.155636e-05,1.159639e-05,1.163170e-05,1.168989e-05,1.170047e-05,1.176309e-05,1.177257e-05,1.182000e-05,1.184540e-05,1.187157e-05,1.190923e-05,1.191817e-05,1.196013e-05,1.196487e-05,1.199776e-05,1.201302e-05,1.203135e-05,1.205433e-05,1.206116e-05,1.208744e-05,1.208940e-05,1.211043e-05,1.211874e-05,1.213032e-05,1.214285e-05,1.214733e-05,1.216163e-05,1.216214e-05,1.217339e-05,1.217703e-05,1.218276e-05,1.218785e-05,1.218991e-05,1.219495e-05,1.219802e-05,1.219861e-05,1.219924e-05,1.219910e-05,1.219872e-05,1.219667e-05,1.219656e-05,1.219285e-05,1.219155e-05,1.218769e-05,1.218393e-05,1.218117e-05,1.217402e-05,1.217335e-05,1.216432e-05,1.216198e-05,1.215414e-05,1.214797e-05,1.214289e-05,1.213214e-05,1.213062e-05,1.211739e-05,1.211463e-05,1.210325e-05,1.209556e-05,1.208827e-05,1.207506e-05,1.207248e-05,1.205594e-05,1.205322e-05,1.203868e-05,1.203016e-05,1.202075e-05,1.200595e-05,1.200219e-05,1.198304e-05,1.198071e-05,1.196333e-05,1.195449e-05,1.194310e-05,1.192739e-05,1.192237e-05,1.190118e-05,1.189946e-05,1.187956e-05,1.187079e-05,1.185753e-05,1.184143e-05,1.183512e-05,1.181236e-05,1.181144e-05,1.178927e-05,1.178088e-05,1.176587e-05,1.174979e-05,1.174219e-05,1.171824e-05,1.168625e-05,1.165388e-05,1.162117e-05,1.158816e-05,1.155487e-05,1.152135e-05,1.148762e-05,1.145373e-05,1.141969e-05,1.138553e-05,1.135128e-05,1.131696e-05,1.128260e-05,1.124821e-05,1.121382e-05,1.117945e-05,1.114510e-05,1.111081e-05,1.107658e-05,1.104243e-05,1.100838e-05,1.097444e-05,1.094061e-05,1.090692e-05
0.000000e+00,3.573950e-09,7.923450e-09,2.555070e-08,5.488495e-08,7.759934e-08,1.623417e-07,1.666748e-07,2.970255e-07,3.413270e-07,4.714890e-07,5.982600e-07,6.922323e-07,9.376837e-07,9.609800e-07,1.278654e-06,1.362131e-06,1.644272e-06,1.868413e-06,2.053120e-06,2.440779e-06,2.495098e-06,2.955040e-06,3.047665e-06,3.415882e-06,3.650774e-06,3.862767e-06,4.219637e-06,4.285322e-06,4.677660e-06,4.737423e-06,5.037210e-06,5.197945e-06,5.363456e-06,5.600859e-06,5.657005e-06,5.919054e-06,5.948453e-06,6.151106e-06,6.244132e-06,6.354832e-06,6.491813e-06,6.532013e-06,6.684502e-06,6.695691e-06,6.814194e-06,6.860117e-06,6.923003e-06,6.989481e-06,7.012825e-06,7.085512e-06,7.088089e-06,7.142844e-06,7.160052e-06,7.186507e-06,7.209202e-06,7.218082e-06,7.239026e-06,7.250675e-06,7.252640e-06,7.254235e-06,7.252773e-06,7.250789e-06,7.241789e-06,7.241304e-06,7.226637e-06,7.221706e-06,7.207538e-06,7.194232e-06,7.184671e-06,7.160801e-06,7.158611e-06,7.129861e-06,7.122611e-06,7.098858e-06,7.080656e-06,7.065981e-06,7.035759e-06,7.031557e-06,6.995870e-06,6.988603e-06,6.959165e-06,6.939749e-06,6.921656e-06,6.889662e-06,6.883526e-06,6.844935e-06,6.838727e-06,6.806021e-06,6.787264e-06,6.766904e-06,6.735535e-06,6.727689e-06,6.688464e-06,6.683761e-06,6.649311e-06,6.632123e-06,6.610296e-06,6.580774e-06,6.571480e-06,6.532914e-06,6.529841e-06,6.494645e-06,6.479429e-06,6.456712e-06,6.429627e-06,6.419148e-06,6.381984e-06,6.380506e-06,6.345246e-06,6.332129e-06,6.308956e-06,6.284544e-06,6.273132e-06,6.237791e-06,6.202947e-06,6.191904e-06,6.168612e-06,6.146908e-06,6.134794e-06,6.102823e-06,6.101502e-06,6.068741e-06,6.059664e-06,6.036516e-06,6.017440e-06,6.004831e-06,5.976159e-06,5.973687e-06,5.943086e-06,5.935823e-06,5.913028e-06,5.896433e-06,5.883512e-06,5.857985e-06,5.854536e-06,5.826099e-06,5.820475e-06,5.798196e-06,5.783897e-06,5.770825e-06,5.748242e-06,5.743982e-06,5.717662e-06,5.713499e-06,5.691860e-06,5.679658e-06,5.666572e-06,5.646706e-06,5.641791e-06,5.617511e-06,5.614631e-06,5.593727e-06,5.583418e-06,5.570433e-06,5.553052e-06,5.547621e-06,5.525285e-06,5.523519e-06,5.503419e-06,5.494802e-06,5.482015e-06,5.466886e-06,5.461066e-06,5.440565e-06,5.439755e-06,5.420506e-06,5.413391e-06,5.400880e-06,5.387778e-06,5.381680e-06,5.362900e-06,5.338740e-06,5.315281e-06,5.292506e-06,5.270399e-06,5.248944e-06,5.228124e-06,5.207923e-06,5.188324e-06,5.169314e-06,5.150875e-06,5.132992e-06,5.115651e-06,5.098837e-06,5.082536e-06,5.066732e-06,5.051413e-06,5.036565e-06,5.022174e-06,5.008228e-06,4.994713e-06,4.981617e-06,4.968928e-06,4.956634e-06,4.944724e-06
0.000000e+00,2.670247e-09,6.047608e-09,2.037805e-08,4.555772e-08,6.584344e-08,1.458706e-07,1.501170e-07,2.835425e-07,3.311196e-07,4.765509e-07,6.254591e-07,7.399834e-07,1.053610e-06,1.084348e-06,1.517056e-06,1.634231e-06,2.037645e-06,2.363696e-06,2.634662e-06,3.207971e-06,3.288784e-06,3.979622e-06,4.120618e-06,4.690096e-06,5.062840e-06,5.407184e-06,6.007390e-06,6.121059e-06,6.824090e-06,6.935142e-06,7.510133e-06,7.831882e-06,8.174144e-06,8.686677e-06,8.811979e-06,9.420307e-06,9.491193e-06,9.996561e-06,1.023945e-05,1.053891e-05,1.092768e-05,1.104619e-05,1.151790e-05,1.155410e-05,1.195408e-05,1.211870e-05,1.235524e-05,1.262291e-05,1.272233e-05,1.305654e-05,1.306925e-05,1.335932e-05,1.346093e-05,1.363229e-05,1.380176e-05,1.387719e-05,1.409582e-05,1.428999e-05,1.434725e-05,1.446148e-05,1.456013e-05,1.461201e-05,1.473834e-05,1.474324e-05,1.485674e-05,1.488554e-05,1.495398e-05,1.500511e-05,1.503636e-05,1.510011e-05,1.510514e-05,1.516152e-05,1.517332e-05,1.520658e-05,1.522724e-05,1.524132e-05,1.526409e-05,1.526666e-05,1.528343e-05,1.528583e-05,1.529239e-05,1.529420e-05,1.529424e-05,1.529075e-05,1.528960e-05,1.527904e-05,1.527684e-05,1.526310e-05,1.525367e-05,1.524223e-05,1.522229e-05,1.521688e-05,1.518744e-05,1.518365e-05,1.515426e-05,1.513857e-05,1.511768e-05,1.508778e-05,1.507798e-05,1.503544e-05,1.503193e-05,1.499032e-05,1.497160e-05,1.494284e-05,1.490730e-05,1.489320e-05,1.484161e-05,1.483951e-05,1.478824e-05,1.476862e-05,1.473325e-05,1.469501e-05,1.467679e-05,1.461901e-05,1.456003e-05,1.454093e-05,1.449998e-05,1.446103e-05,1.443895e-05,1.437955e-05,1.437706e-05,1.431440e-05,1.429673e-05,1.425106e-05,1.421277e-05,1.418712e-05,1.412784e-05,1.412266e-05,1.405775e-05,1.404211e-05,1.399245e-05,1.395574e-05,1.392684e-05,1.386887e-05,1.386095e-05,1.379487e-05,1.378163e-05,1.372862e-05,1.369412e-05,1.366226e-05,1.360646e-05,1.359583e-05,1.352938e-05,1.351875e-05,1.346294e-05,1.343107e-05,1.339656e-05,1.334351e-05,1.333025e-05,1.326407e-05,1.325613e-05,1.319802e-05,1.316902e-05,1.313215e-05,1.308222e-05,1.306648e-05,1.300103e-05,1.299581e-05,1.293583e-05,1.290982e-05,1.287089e-05,1.282431e-05,1.280624e-05,1.274190e-05,1.273933e-05,1.267787e-05,1.265490e-05,1.261418e-05,1.257107e-05,1.255084e-05,1.248787e-05,1.240533e-05,1.232348e-05,1.224233e-05,1.216191e-05,1.208224e-05,1.200334e-05,1.192522e-05,1.184790e-05,1.177137e-05,1.169567e-05,1.162079e-05,1.154673e-05,1.147352e-05,1.140114e-05,1.132961e-05,1.125892e-05,1.118909e-05,1.112009e-05,1.105195e-05,1.098465e-05,1.091819e-05,1.085258e-05,1.078781e-05,1.072386e-05
0.000000e+00,8.526849e-09,1.944459e-08,6.654922e-08,1.512406e-07,2.208162e-07,5.045369e-07,5.199577e-07,1.020577e-06,1.205862e-06,1.790369e-06,2.410528e-06,2.896663e-06,4.235929e-06,4.366229e-06,6.157038e-06,6.626499e-06,8.196996e-06,9.425066e-06,1.042614e-05,1.250992e-05,1.280154e-05,1.528975e-05,1.579832e-05,1.786145e-05,1.922253e-05,2.048908e-05,2.272023e-05,2.314634e-05,2.580849e-05,2.623334e-05,2.845285e-05,2.970979e-05,3.105923e-05,3.310521e-05,3.361025e-05,3.609145e-05,3.638392e-05,3.849124e-05,3.951898e-05,4.080075e-05,4.249156e-05,4.301355e-05,4.512537e-05,4.528987e-05,4.713379e-05,4.790797e-05,4.903795e-05,5.034455e-05,5.083822e-05,5.253599e-05,5.260179e-05,5.413342e-05,5.468445e-05,5.563326e-05,5.659902e-05,5.703869e-05,5.835318e-05,5.958039e-05,5.995528e-05,6.072409e-05,6.141398e-05,6.178807e-05,6.273803e-05,6.277614e-05,6.369203e-05,6.393605e-05,6.453940e-05,6.501642e-05,6.532181e-05,6.598721e-05,6.604269e-05,6.670537e-05,6.685611e-05,6.731303e-05,6.763043e-05,6.786871e-05,6.831704e-05,6.837533e-05,6.883566e-05,6.892241e-05,6.925235e-05,6.945261e-05,6.962790e-05,6.991333e-05,6.996471e-05,7.026504e-05,7.030985e-05,7.053104e-05,7.064713e-05,7.076474e-05,7.092975e-05,7.096808e-05,7.114287e-05,7.116201e-05,7.129085e-05,7.134789e-05,7.141365e-05,7.149108e-05,7.151280e-05,7.158978e-05,7.159502e-05,7.164595e-05,7.166289e-05,7.168262e-05,7.169765e-05,7.170103e-05,7.170233e-05,7.170204e-05,7.168762e-05,7.167861e-05,7.165795e-05,7.162972e-05,7.161428e-05,7.155754e-05,7.148861e-05,7.146411e-05,7.140830e-05,7.135130e-05,7.131740e-05,7.122085e-05,7.121664e-05,7.110671e-05,7.107438e-05,7.098826e-05,7.091337e-05,7.086192e-05,7.073921e-05,7.072826e-05,7.058783e-05,7.055318e-05,7.044115e-05,7.035646e-05,7.028871e-05,7.015016e-05,7.013096e-05,6.996836e-05,6.993529e-05,6.980129e-05,6.971278e-05,6.963015e-05,6.948352e-05,6.945531e-05,6.927711e-05,6.924831e-05,6.909587e-05,6.900789e-05,6.891190e-05,6.876295e-05,6.872548e-05,6.853690e-05,6.851413e-05,6.834639e-05,6.826202e-05,6.815421e-05,6.800717e-05,6.796058e-05,6.776572e-05,6.775008e-05,6.756982e-05,6.749122e-05,6.737308e-05,6.723101e-05,6.717568e-05,6.697777e-05,6.696985e-05,6.677952e-05,6.670810e-05,6.658109e-05,6.644611e-05,6.638259e-05,6.618418e-05,6.592260e-05,6.566163e-05,6.540151e-05,6.514246e-05,6.488469e-05,6.462838e-05,6.437369e-05,6.412079e-05,6.386982e-05,6.362090e-05,6.337415e-05,6.312968e-05,6.288757e-05,6.264791e-05,6.241078e-05,6.217625e-05,6.194437e-05,6.171519e-05,6.148876e-05,6.126513e-05,6.104432e-05,6.082636e-05,6.061127e-05,6.039908e-05
0.000000e+00,5.094987e-09,1.161569e-08,3.981597e-08,9.091609e-08,1.333120e-07,3.099915e-07,3.197598e-07,6.448636e-07,7.685827e-07,1.167820e-06,1.601733e-06,1.946226e-06,2.902620e-06,2.995754e-06,4.269271e-06,4.600113e-06,5.695024e-06,6.537438e-06,7.214958e-06,8.599352e-06,8.790393e-06,1.039529e-05,1.071803e-05,1.201038e-05,1.284895e-05,1.361998e-05,1.495791e-05,1.521064e-05,1.677064e-05,1.701670e-05,1.828990e-05,1.900215e-05,1.976003e-05,2.089618e-05,2.117429e-05,2.252754e-05,2.268565e-05,2.381619e-05,2.436209e-05,2.503796e-05,2.592107e-05,2.619177e-05,2.727754e-05,2.736148e-05,2.829598e-05,2.868479e-05,2.924844e-05,2.989438e-05,3.013676e-05,3.096315e-05,3.099496e-05,3.173005e-05,3.199207e-05,3.244007e-05,3.289176e-05,3.309590e-05,3.370026e-05,3.425587e-05,3.442380e-05,3.476539e-05,3.506849e-05,3.523141e-05,3.564021e-05,3.565646e-05,3.604293e-05,3.614455e-05,3.639314e-05,3.658678e-05,3.670929e-05,3.697187e-05,3.699347e-05,3.724767e-05,3.730442e-05,3.747375e-05,3.758875e-05,3.767350e-05,3.782883e-05,3.784859e-05,3.800059e-05,3.802835e-05,3.813099e-05,3.819073e-05,3.824118e-05,3.831909e-05,3.833248e-05,3.840612e-05,3.841635e-05,3.846327e-05,3.848516e-05,3.850501e-05,3.852800e-05,3.853237e-05,3.854630e-05,3.854711e-05,3.854771e-05,3.854459e-05,3.853745e-05,3.852233e-05,3.851631e-05,3.848503e-05,3.848211e-05,3.844432e-05,3.842554e-05,3.839483e-05,3.835411e-05,3.833718e-05,3.827195e-05,3.826919e-05,3.819968e-05,3.817204e-05,3.812088e-05,3.806381e-05,3.803603e-05,3.794557e-05,3.784994e-05,3.781830e-05,3.774952e-05,3.768291e-05,3.764468e-05,3.754021e-05,3.753578e-05,3.742314e-05,3.739097e-05,3.730707e-05,3.723590e-05,3.718786e-05,3.707565e-05,3.706578e-05,3.694109e-05,3.691080e-05,3.681402e-05,3.674191e-05,3.668481e-05,3.656949e-05,3.655365e-05,3.642076e-05,3.639399e-05,3.628631e-05,3.621585e-05,3.615049e-05,3.603545e-05,3.601345e-05,3.587536e-05,3.585317e-05,3.573635e-05,3.566934e-05,3.559656e-05,3.548426e-05,3.545613e-05,3.531517e-05,3.529822e-05,3.517379e-05,3.511148e-05,3.503210e-05,3.492428e-05,3.489021e-05,3.474820e-05,3.473683e-05,3.460616e-05,3.454935e-05,3.446417e-05,3.436202e-05,3.432232e-05,3.418067e-05,3.417501e-05,3.403929e-05,3.398847e-05,3.389824e-05,3.380255e-05,3.375759e-05,3.361739e-05,3.343310e-05,3.324979e-05,3.306757e-05,3.288652e-05,3.270673e-05,3.252828e-05,3.235124e-05,3.217566e-05,3.200160e-05,3.182912e-05,3.165825e-05,3.148904e-05,3.132153e-05,3.115574e-05,3.099171e-05,3.082945e-05,3.066899e-05,3.051034e-05,3.035353e-05,3.019855e-05,3.004542e-05,2.989415e-05,2.974474e-05,2.959719e-05
0.000000e+00,5.977606e-09,1.341347e-08,4.433787e-08,9.739354e-08,1.393987e-07,3.010834e-07,3.095251e-07,5.697660e-07,6.606522e-07,9.337370e-07,1.207355e-06,1.414447e-06,1.969885e-06,2.023554e-06,2.768164e-06,2.966955e-06,3.644567e-06,4.185803e-06,4.631542e-06,5.561247e-06,5.690645e-06,6.777005e-06,6.993945e-06,7.851941e-06,8.396965e-06,8.888431e-06,9.717107e-06,9.870034e-06,1.078764e-05,1.092816e-05,1.163666e-05,1.201923e-05,1.241528e-05,1.298737e-05,1.312339e-05,1.376207e-05,1.383413e-05,1.433333e-05,1.456400e-05,1.483990e-05,1.518364e-05,1.528508e-05,1.567261e-05,1.570124e-05,1.600653e-05,1.612602e-05,1.629102e-05,1.646764e-05,1.653033e-05,1.672865e-05,1.673578e-05,1.689000e-05,1.693979e-05,1.701823e-05,1.708835e-05,1.711693e-05,1.718941e-05,1.723868e-05,1.725001e-05,1.726750e-05,1.727635e-05,1.727831e-05,1.727379e-05,1.727332e-05,1.725445e-05,1.724692e-05,1.722343e-05,1.719962e-05,1.718177e-05,1.713518e-05,1.713079e-05,1.707165e-05,1.705636e-05,1.700538e-05,1.696550e-05,1.693288e-05,1.686456e-05,1.685494e-05,1.677224e-05,1.675518e-05,1.668539e-05,1.663877e-05,1.659493e-05,1.651650e-05,1.650133e-05,1.640501e-05,1.638937e-05,1.630635e-05,1.625826e-05,1.620568e-05,1.612389e-05,1.610329e-05,1.599946e-05,1.598691e-05,1.589442e-05,1.584788e-05,1.578840e-05,1.570728e-05,1.568158e-05,1.557415e-05,1.556553e-05,1.546625e-05,1.542300e-05,1.535803e-05,1.527999e-05,1.524963e-05,1.514115e-05,1.513681e-05,1.503271e-05,1.499371e-05,1.492442e-05,1.485090e-05,1.481635e-05,1.470860e-05,1.460123e-05,1.456697e-05,1.449432e-05,1.442617e-05,1.438793e-05,1.428634e-05,1.428212e-05,1.417693e-05,1.414759e-05,1.407242e-05,1.401005e-05,1.396862e-05,1.387380e-05,1.386558e-05,1.376334e-05,1.373892e-05,1.366192e-05,1.360549e-05,1.356135e-05,1.347358e-05,1.346166e-05,1.336287e-05,1.334322e-05,1.326500e-05,1.321447e-05,1.316806e-05,1.308737e-05,1.307208e-05,1.297706e-05,1.296195e-05,1.288302e-05,1.283824e-05,1.278997e-05,1.271625e-05,1.269792e-05,1.260687e-05,1.259601e-05,1.251682e-05,1.247752e-05,1.242779e-05,1.236080e-05,1.233977e-05,1.225277e-05,1.224585e-05,1.216678e-05,1.213267e-05,1.208181e-05,1.202126e-05,1.199785e-05,1.191491e-05,1.191161e-05,1.183297e-05,1.180372e-05,1.175204e-05,1.169758e-05,1.167211e-05,1.159318e-05,1.149050e-05,1.138953e-05,1.129026e-05,1.119266e-05,1.109673e-05,1.100244e-05,1.090977e-05,1.081871e-05,1.072923e-05,1.064130e-05,1.055491e-05,1.047004e-05,1.038666e-05,1.030475e-05,1.022429e-05,1.014525e-05,1.006761e-05,9.991341e-06,9.916428e-06,9.842845e-06,9.770568e-06,9.699574e-06,9.629840e-06,9.561343e-06
0.000000e+00,2.175114e-09,4.869795e-09,1.602253e-08,3.504767e-08,5.004680e-08,1.074301e-07,1.104138e-07,2.019379e-07,2.337233e-07,3.287811e-07,4.234581e-07,4.948038e-07,6.851176e-07,7.034416e-07,9.568940e-07,1.024403e-06,1.254452e-06,1.438481e-06,1.590452e-06,1.909086e-06,1.953631e-06,2.329493e-06,2.404926e-06,2.704302e-06,2.895204e-06,3.067744e-06,3.359397e-06,3.413313e-06,3.737469e-06,3.787219e-06,4.038595e-06,4.174794e-06,4.316246e-06,4.521615e-06,4.570668e-06,4.802528e-06,4.828878e-06,5.012772e-06,5.098719e-06,5.202535e-06,5.333832e-06,5.373083e-06,5.525771e-06,5.537256e-06,5.662001e-06,5.712198e-06,5.783166e-06,5.861840e-06,5.890624e-06,5.985696e-06,5.989259e-06,6.069633e-06,6.097351e-06,6.143594e-06,6.188738e-06,6.208648e-06,6.265771e-06,6.315840e-06,6.330502e-06,6.359638e-06,6.384705e-06,6.397865e-06,6.429895e-06,6.431138e-06,6.460003e-06,6.467362e-06,6.484936e-06,6.498182e-06,6.506350e-06,6.523256e-06,6.524608e-06,6.540028e-06,6.543338e-06,6.552889e-06,6.559065e-06,6.563434e-06,6.570969e-06,6.571878e-06,6.578407e-06,6.579499e-06,6.583190e-06,6.585036e-06,6.586372e-06,6.587906e-06,6.588087e-06,6.588451e-06,6.588391e-06,6.587570e-06,6.586733e-06,6.585540e-06,6.583146e-06,6.582446e-06,6.578369e-06,6.577817e-06,6.573379e-06,6.570912e-06,6.567544e-06,6.562580e-06,6.560923e-06,6.553572e-06,6.552955e-06,6.545545e-06,6.542155e-06,6.536888e-06,6.530291e-06,6.527648e-06,6.517865e-06,6.517463e-06,6.507579e-06,6.503760e-06,6.496827e-06,6.489266e-06,6.485642e-06,6.474058e-06,6.462104e-06,6.458205e-06,6.449809e-06,6.441773e-06,6.437199e-06,6.424822e-06,6.424301e-06,6.411137e-06,6.407407e-06,6.397731e-06,6.389580e-06,6.384104e-06,6.371388e-06,6.370275e-06,6.356263e-06,6.352875e-06,6.342087e-06,6.334083e-06,6.327764e-06,6.315049e-06,6.313308e-06,6.298737e-06,6.295810e-06,6.284063e-06,6.276397e-06,6.269301e-06,6.256842e-06,6.254464e-06,6.239563e-06,6.237173e-06,6.224609e-06,6.217417e-06,6.209615e-06,6.197597e-06,6.194590e-06,6.179544e-06,6.177737e-06,6.164486e-06,6.157859e-06,6.149424e-06,6.137981e-06,6.134368e-06,6.119325e-06,6.118122e-06,6.104301e-06,6.098299e-06,6.089305e-06,6.078528e-06,6.074342e-06,6.059419e-06,6.058823e-06,6.044542e-06,6.039199e-06,6.029716e-06,6.019666e-06,6.014946e-06,6.000238e-06,5.980925e-06,5.961735e-06,5.942680e-06,5.923766e-06,5.905002e-06,5.886395e-06,5.867951e-06,5.849675e-06,5.831573e-06,5.813650e-06,5.795910e-06,5.778358e-06,5.760995e-06,5.743826e-06,5.726853e-06,5.710079e-06,5.693505e-06,5.677134e-06,5.660966e-06,5.645003e-06,5.629246e-06,5.613695e-06,5.598351e-06,5.583215e-06
0.000000e+00,8.793671e-08,2.003192e-07,6.829999e-07,1.542738e-06,2.241774e-06,5.031153e-06,5.180153e-06,9.892364e-06,1.158279e-05,1.676986e-05,2.210138e-05,2.621086e-05,3.748937e-05,3.859614e-05,5.419712e-05,5.842980e-05,7.304978e-05,8.495397e-05,9.493762e-05,1.164356e-04,1.195148e-04,1.464231e-04,1.520549e-04,1.753323e-04,1.910536e-04,2.059365e-04,2.327393e-04,2.379426e-04,2.710619e-04,2.764451e-04,3.050076e-04,3.215117e-04,3.394963e-04,3.672920e-04,3.742513e-04,4.090070e-04,4.131657e-04,4.435136e-04,4.585576e-04,4.775411e-04,5.029532e-04,5.108823e-04,5.433549e-04,5.459103e-04,5.748026e-04,5.870648e-04,6.050956e-04,6.261319e-04,6.341292e-04,6.618222e-04,6.629011e-04,6.881159e-04,6.972313e-04,7.129726e-04,7.290434e-04,7.363722e-04,7.583104e-04,7.787965e-04,7.850485e-04,7.978514e-04,8.093091e-04,8.155053e-04,8.311701e-04,8.317961e-04,8.467675e-04,8.507296e-04,8.604680e-04,8.680995e-04,8.729489e-04,8.834005e-04,8.842641e-04,8.944685e-04,8.967585e-04,9.036177e-04,9.083010e-04,9.117670e-04,9.181546e-04,9.189710e-04,9.252836e-04,9.264438e-04,9.307572e-04,9.332889e-04,9.354427e-04,9.388051e-04,9.393888e-04,9.426423e-04,9.431017e-04,9.452482e-04,9.462816e-04,9.472493e-04,9.484423e-04,9.486865e-04,9.495988e-04,9.496747e-04,9.500227e-04,9.500636e-04,9.499933e-04,9.496880e-04,9.495433e-04,9.487040e-04,9.486210e-04,9.475047e-04,9.469304e-04,9.459730e-04,9.446790e-04,9.441348e-04,9.420147e-04,9.419244e-04,9.396357e-04,9.387200e-04,9.370192e-04,9.351147e-04,9.341855e-04,9.311535e-04,9.279412e-04,9.268778e-04,9.245650e-04,9.223255e-04,9.210406e-04,9.175312e-04,9.173825e-04,9.136044e-04,9.125268e-04,9.097190e-04,9.073412e-04,9.057382e-04,9.020011e-04,9.016731e-04,8.975340e-04,8.965307e-04,8.933306e-04,8.909521e-04,8.890720e-04,8.852853e-04,8.847664e-04,8.804217e-04,8.795487e-04,8.760452e-04,8.737590e-04,8.716435e-04,8.679313e-04,8.672230e-04,8.627894e-04,8.620792e-04,8.583481e-04,8.562151e-04,8.539042e-04,8.503503e-04,8.494623e-04,8.450265e-04,8.444949e-04,8.406010e-04,8.386579e-04,8.361893e-04,8.328477e-04,8.317947e-04,8.274204e-04,8.270715e-04,8.230693e-04,8.213359e-04,8.187438e-04,8.156467e-04,8.144464e-04,8.101793e-04,8.100093e-04,8.059444e-04,8.044281e-04,8.017435e-04,7.989072e-04,7.975783e-04,7.934502e-04,7.880603e-04,7.827400e-04,7.774917e-04,7.723173e-04,7.672186e-04,7.621967e-04,7.572529e-04,7.523879e-04,7.476024e-04,7.428967e-04,7.382712e-04,7.337260e-04,7.292608e-04,7.248757e-04,7.205701e-04,7.163438e-04,7.121961e-04,7.081265e-04,7.041342e-04,7.002186e-04,6.963787e-04,6.926138e-04,6.889229e-04,6.853050e-04
0.000000e+00,1.040910e-08,2.368359e-08,8.059667e-08,1.819126e-07,2.643740e-07,5.949037e-07,6.126384e-07,1.178098e-06,1.383169e-06,2.019659e-06,2.684630e-06,3.203923e-06,4.653582e-06,4.797368e-06,6.839599e-06,7.395566e-06,9.308581e-06,1.084880e-05,1.212402e-05,1.481267e-05,1.519123e-05,1.843186e-05,1.909538e-05,2.178752e-05,2.356274e-05,2.521358e-05,2.811900e-05,2.867352e-05,3.213565e-05,3.268786e-05,3.557164e-05,3.720404e-05,3.895599e-05,4.161097e-05,4.226604e-05,4.548203e-05,4.586080e-05,4.858726e-05,4.991486e-05,5.156812e-05,5.374374e-05,5.441397e-05,5.711705e-05,5.732696e-05,5.967224e-05,6.065220e-05,6.207672e-05,6.371414e-05,6.432976e-05,6.643234e-05,6.651334e-05,6.838689e-05,6.905495e-05,7.019699e-05,7.134762e-05,7.186715e-05,7.340253e-05,7.480880e-05,7.523251e-05,7.609193e-05,7.685135e-05,7.725808e-05,7.827331e-05,7.831348e-05,7.926434e-05,7.951268e-05,8.011677e-05,8.058348e-05,8.087676e-05,8.149926e-05,8.155006e-05,8.214227e-05,8.227293e-05,8.265870e-05,8.291670e-05,8.310443e-05,8.344202e-05,8.348428e-05,8.380283e-05,8.385957e-05,8.406440e-05,8.417927e-05,8.427308e-05,8.441029e-05,8.443268e-05,8.454683e-05,8.456110e-05,8.461889e-05,8.463947e-05,8.465203e-05,8.465253e-05,8.464923e-05,8.461326e-05,8.460684e-05,8.454671e-05,8.450837e-05,8.445201e-05,8.436261e-05,8.433142e-05,8.418706e-05,8.417454e-05,8.402090e-05,8.394875e-05,8.383478e-05,8.368938e-05,8.363041e-05,8.340939e-05,8.340023e-05,8.317322e-05,8.308475e-05,8.292327e-05,8.274611e-05,8.266085e-05,8.238715e-05,8.210329e-05,8.201049e-05,8.181032e-05,8.161849e-05,8.150921e-05,8.121332e-05,8.120086e-05,8.088610e-05,8.079693e-05,8.056572e-05,8.037110e-05,8.024045e-05,7.993746e-05,7.991096e-05,7.957787e-05,7.949746e-05,7.924176e-05,7.905243e-05,7.890318e-05,7.860359e-05,7.856263e-05,7.822057e-05,7.815202e-05,7.787743e-05,7.769871e-05,7.753362e-05,7.724456e-05,7.718949e-05,7.684540e-05,7.679037e-05,7.650166e-05,7.633687e-05,7.615856e-05,7.588472e-05,7.581637e-05,7.547535e-05,7.543451e-05,7.513571e-05,7.498677e-05,7.479768e-05,7.454196e-05,7.446144e-05,7.412717e-05,7.410052e-05,7.379504e-05,7.366282e-05,7.346520e-05,7.322920e-05,7.313777e-05,7.281290e-05,7.279995e-05,7.249067e-05,7.237535e-05,7.217121e-05,7.195561e-05,7.185461e-05,7.154093e-05,7.113151e-05,7.072747e-05,7.032896e-05,6.993607e-05,6.954890e-05,6.916752e-05,6.879198e-05,6.842233e-05,6.805860e-05,6.770080e-05,6.734894e-05,6.700301e-05,6.666301e-05,6.632893e-05,6.600072e-05,6.567835e-05,6.536180e-05,6.505101e-05,6.474594e-05,6.444654e-05,6.415274e-05,6.386450e-05,6.358173e-05,6.330439e-05
0.000000e+00,1.201539e-07,2.738923e-07,9.363589e-07,2.124751e-06,3.098781e-06,7.052358e-06,7.266466e-06,1.418101e-05,1.672543e-05,2.472228e-05,3.320473e-05,3.989669e-05,5.878072e-05,6.066465e-05,8.752064e-05,9.484665e-05,1.200474e-04,1.402957e-04,1.570120e-04,1.920633e-04,1.969741e-04,2.387329e-04,2.472178e-04,2.814058e-04,3.037365e-04,3.243494e-04,3.602694e-04,3.670734e-04,4.091860e-04,4.158449e-04,4.503645e-04,4.697180e-04,4.903416e-04,5.213096e-04,5.288983e-04,5.658607e-04,5.701824e-04,6.010958e-04,6.160267e-04,6.345100e-04,6.586485e-04,6.660425e-04,6.956617e-04,6.979483e-04,7.233624e-04,7.339083e-04,7.491601e-04,7.665742e-04,7.730881e-04,7.951931e-04,7.960401e-04,8.155313e-04,8.224330e-04,8.341684e-04,8.459064e-04,8.511761e-04,8.666291e-04,8.806040e-04,8.847765e-04,8.931783e-04,9.005267e-04,9.044295e-04,9.140564e-04,9.144335e-04,9.232646e-04,9.255370e-04,9.309947e-04,9.351333e-04,9.376933e-04,9.430026e-04,9.434273e-04,9.482605e-04,9.492933e-04,9.522540e-04,9.541453e-04,9.554658e-04,9.576894e-04,9.579510e-04,9.597619e-04,9.600475e-04,9.609479e-04,9.613333e-04,9.615557e-04,9.616517e-04,9.616293e-04,9.612103e-04,9.611002e-04,9.603378e-04,9.597688e-04,9.590485e-04,9.577402e-04,9.573769e-04,9.553554e-04,9.550908e-04,9.530145e-04,9.518907e-04,9.503826e-04,9.482043e-04,9.474865e-04,9.443510e-04,9.440906e-04,9.409997e-04,9.396036e-04,9.374542e-04,9.347928e-04,9.337350e-04,9.298612e-04,9.297033e-04,9.258504e-04,9.243762e-04,9.217191e-04,9.188490e-04,9.174828e-04,9.131558e-04,9.087514e-04,9.073277e-04,9.042820e-04,9.013927e-04,8.997589e-04,8.953763e-04,8.951930e-04,8.905940e-04,8.893015e-04,8.859709e-04,8.831891e-04,8.813323e-04,8.770578e-04,8.766860e-04,8.720389e-04,8.709243e-04,8.673979e-04,8.648037e-04,8.627688e-04,8.587095e-04,8.581573e-04,8.535684e-04,8.526537e-04,8.490068e-04,8.466470e-04,8.444767e-04,8.406987e-04,8.399820e-04,8.355262e-04,8.348171e-04,8.311125e-04,8.290097e-04,8.267436e-04,8.232826e-04,8.224222e-04,8.181506e-04,8.176414e-04,8.139307e-04,8.120908e-04,8.097644e-04,8.066348e-04,8.056532e-04,8.015986e-04,8.012767e-04,7.976017e-04,7.960194e-04,7.936636e-04,7.908650e-04,7.897850e-04,7.859667e-04,7.858152e-04,7.822092e-04,7.808715e-04,7.785130e-04,7.760346e-04,7.748783e-04,7.713053e-04,7.666837e-04,7.621698e-04,7.577633e-04,7.534636e-04,7.492701e-04,7.451819e-04,7.411977e-04,7.373165e-04,7.335368e-04,7.298573e-04,7.262763e-04,7.227923e-04,7.194035e-04,7.161083e-04,7.129047e-04,7.097911e-04,7.067655e-04,7.038260e-04,7.009708e-04,6.981980e-04,6.955056e-04,6.928917e-04,6.903545e-04,6.878920e-04
0.000000e+00,1.128508e-08,2.572666e-08,8.807333e-08,2.005050e-07,2.932529e-07,6.751614e-07,6.960844e-07,1.383620e-06,1.641690e-06,2.465428e-06,3.349838e-06,4.046301e-06,5.960660e-06,6.145912e-06,8.667951e-06,9.321761e-06,1.148901e-05,1.316465e-05,1.451970e-05,1.731295e-05,1.770116e-05,2.098982e-05,2.165708e-05,2.434853e-05,2.611129e-05,2.774303e-05,3.059841e-05,3.114106e-05,3.451264e-05,3.504778e-05,3.783062e-05,3.939709e-05,4.107123e-05,4.359443e-05,4.421444e-05,4.724402e-05,4.759930e-05,5.014745e-05,5.138254e-05,5.291565e-05,5.492526e-05,5.554265e-05,5.802512e-05,5.821743e-05,6.036202e-05,6.125614e-05,6.255414e-05,6.404406e-05,6.460377e-05,6.651434e-05,6.658793e-05,6.829013e-05,6.889735e-05,6.993606e-05,7.098384e-05,7.145748e-05,7.285998e-05,7.414930e-05,7.453893e-05,7.533122e-05,7.603391e-05,7.641144e-05,7.735800e-05,7.739559e-05,7.828914e-05,7.852382e-05,7.909738e-05,7.954351e-05,7.982541e-05,8.042855e-05,8.047811e-05,8.106013e-05,8.118980e-05,8.157593e-05,8.183743e-05,8.202971e-05,8.238093e-05,8.242549e-05,8.276704e-05,8.282916e-05,8.305795e-05,8.319034e-05,8.330160e-05,8.347208e-05,8.350118e-05,8.365970e-05,8.368144e-05,8.377998e-05,8.382493e-05,8.386470e-05,8.390856e-05,8.391636e-05,8.393733e-05,8.393789e-05,8.392981e-05,8.391802e-05,8.389589e-05,8.385366e-05,8.383752e-05,8.375655e-05,8.374914e-05,8.365468e-05,8.360845e-05,8.353355e-05,8.343525e-05,8.339466e-05,8.323943e-05,8.323290e-05,8.306921e-05,8.300449e-05,8.288523e-05,8.275286e-05,8.268866e-05,8.248061e-05,8.226210e-05,8.219012e-05,8.203408e-05,8.188358e-05,8.179747e-05,8.156300e-05,8.155309e-05,8.130174e-05,8.123021e-05,8.104415e-05,8.088690e-05,8.078102e-05,8.053459e-05,8.051298e-05,8.024063e-05,8.017469e-05,7.996454e-05,7.980849e-05,7.968523e-05,7.943716e-05,7.940319e-05,7.911887e-05,7.906178e-05,7.883271e-05,7.868331e-05,7.854509e-05,7.830265e-05,7.825640e-05,7.796696e-05,7.792060e-05,7.767711e-05,7.753791e-05,7.738713e-05,7.715525e-05,7.709731e-05,7.680790e-05,7.677321e-05,7.651913e-05,7.639234e-05,7.623124e-05,7.601314e-05,7.594441e-05,7.565885e-05,7.563607e-05,7.537472e-05,7.526151e-05,7.509219e-05,7.488984e-05,7.481140e-05,7.453249e-05,7.452137e-05,7.425558e-05,7.415641e-05,7.398079e-05,7.379519e-05,7.370822e-05,7.343797e-05,7.308493e-05,7.273625e-05,7.239209e-05,7.205258e-05,7.171783e-05,7.138795e-05,7.106301e-05,7.074309e-05,7.042822e-05,7.011846e-05,6.981383e-05,6.951435e-05,6.922004e-05,6.893088e-05,6.864688e-05,6.836801e-05,6.809427e-05,6.782562e-05,6.756203e-05,6.730346e-05,6.704988e-05,6.680124e-05,6.655749e-05,6.631858e-05
0.000000e+00,5.951403e-09,1.356881e-08,4.642078e-08,1.054636e-07,1.539601e-07,3.517482e-07,3.625019e-07,7.119845e-07,8.415840e-07,1.251778e-06,1.690272e-06,2.037338e-06,3.013526e-06,3.110221e-06,4.468094e-06,4.831725e-06,6.064457e-06,7.040513e-06,7.840954e-06,9.514690e-06,9.749395e-06,1.175416e-05,1.216418e-05,1.382807e-05,1.492625e-05,1.594864e-05,1.775141e-05,1.809602e-05,2.025195e-05,2.059655e-05,2.239959e-05,2.342292e-05,2.452349e-05,2.619613e-05,2.660977e-05,2.864628e-05,2.888681e-05,3.062269e-05,3.147103e-05,3.253054e-05,3.393047e-05,3.436313e-05,3.611538e-05,3.625198e-05,3.778384e-05,3.842724e-05,3.936637e-05,4.045201e-05,4.086203e-05,4.227093e-05,4.232549e-05,4.359395e-05,4.404951e-05,4.483271e-05,4.562800e-05,4.598933e-05,4.706634e-05,4.806659e-05,4.837095e-05,4.899312e-05,4.954890e-05,4.984914e-05,5.060759e-05,5.063789e-05,5.136264e-05,5.155454e-05,5.202663e-05,5.239720e-05,5.263307e-05,5.314284e-05,5.318507e-05,5.368567e-05,5.379849e-05,5.413779e-05,5.437086e-05,5.454425e-05,5.486630e-05,5.490773e-05,5.523082e-05,5.529081e-05,5.551597e-05,5.565003e-05,5.576551e-05,5.594922e-05,5.598165e-05,5.616650e-05,5.619331e-05,5.632205e-05,5.638687e-05,5.645019e-05,5.653415e-05,5.655268e-05,5.663120e-05,5.663909e-05,5.668736e-05,5.670536e-05,5.672263e-05,5.673634e-05,5.673843e-05,5.673609e-05,5.673516e-05,5.671686e-05,5.670470e-05,5.668191e-05,5.664764e-05,5.663236e-05,5.656925e-05,5.656645e-05,5.649355e-05,5.646340e-05,5.640620e-05,5.634059e-05,5.630807e-05,5.619996e-05,5.608265e-05,5.604328e-05,5.595685e-05,5.587220e-05,5.582325e-05,5.568824e-05,5.568248e-05,5.553514e-05,5.549278e-05,5.538179e-05,5.528711e-05,5.522295e-05,5.507241e-05,5.505913e-05,5.489079e-05,5.484977e-05,5.471837e-05,5.462018e-05,5.454226e-05,5.438455e-05,5.436286e-05,5.418053e-05,5.414374e-05,5.399560e-05,5.389852e-05,5.380839e-05,5.364959e-05,5.361920e-05,5.342830e-05,5.339762e-05,5.323596e-05,5.314319e-05,5.304241e-05,5.288686e-05,5.284789e-05,5.265261e-05,5.262913e-05,5.245676e-05,5.237046e-05,5.226054e-05,5.211126e-05,5.206411e-05,5.186765e-05,5.185193e-05,5.167129e-05,5.159282e-05,5.147519e-05,5.133423e-05,5.127948e-05,5.108427e-05,5.107647e-05,5.088968e-05,5.081980e-05,5.069582e-05,5.056446e-05,5.050279e-05,5.031067e-05,5.005862e-05,4.980850e-05,4.956046e-05,4.931465e-05,4.907120e-05,4.883022e-05,4.859181e-05,4.835607e-05,4.812307e-05,4.789289e-05,4.766557e-05,4.744118e-05,4.721976e-05,4.700134e-05,4.678595e-05,4.657362e-05,4.636436e-05,4.615819e-05,4.595511e-05,4.575513e-05,4.555824e-05,4.536443e-05,4.517371e-05,4.498606e-05
0.000000e+00,1.846426e-09,4.184193e-09,1.413445e-08,3.174220e-08,4.604477e-08,1.034922e-07,1.065858e-07,2.060422e-07,2.425147e-07,3.569041e-07,4.776754e-07,5.721876e-07,8.324349e-07,8.577406e-07,1.204340e-06,1.294600e-06,1.593900e-06,1.824729e-06,2.010700e-06,2.391621e-06,2.444288e-06,2.887775e-06,2.977192e-06,3.336039e-06,3.569566e-06,3.784738e-06,4.159071e-06,4.229904e-06,4.667829e-06,4.736992e-06,5.095098e-06,5.295493e-06,5.508672e-06,5.827918e-06,5.905968e-06,6.284907e-06,6.329066e-06,6.643931e-06,6.795306e-06,6.981998e-06,7.224547e-06,7.298540e-06,7.593413e-06,7.616072e-06,7.866837e-06,7.970306e-06,8.119323e-06,8.288558e-06,8.351615e-06,8.564625e-06,8.572759e-06,8.759383e-06,8.825238e-06,8.936987e-06,9.048534e-06,9.098565e-06,9.245249e-06,9.378147e-06,9.417938e-06,9.498327e-06,9.569039e-06,9.606805e-06,9.700823e-06,9.704538e-06,9.792419e-06,9.815375e-06,9.871275e-06,9.914577e-06,9.941869e-06,1.000012e-05,1.000490e-05,1.006100e-05,1.007350e-05,1.011076e-05,1.013606e-05,1.015471e-05,1.018895e-05,1.019332e-05,1.022703e-05,1.023322e-05,1.025623e-05,1.026976e-05,1.028129e-05,1.029936e-05,1.030252e-05,1.032022e-05,1.032274e-05,1.033465e-05,1.034049e-05,1.034607e-05,1.035318e-05,1.035469e-05,1.036071e-05,1.036126e-05,1.036432e-05,1.036518e-05,1.036568e-05,1.036531e-05,1.036495e-05,1.036228e-05,1.036199e-05,1.035779e-05,1.035552e-05,1.035161e-05,1.034617e-05,1.034384e-05,1.033459e-05,1.033419e-05,1.032395e-05,1.031980e-05,1.031202e-05,1.030321e-05,1.029888e-05,1.028460e-05,1.026925e-05,1.026413e-05,1.025291e-05,1.024196e-05,1.023564e-05,1.021823e-05,1.021749e-05,1.019852e-05,1.019307e-05,1.017879e-05,1.016661e-05,1.015834e-05,1.013894e-05,1.013723e-05,1.011548e-05,1.011018e-05,1.009316e-05,1.008041e-05,1.007028e-05,1.004973e-05,1.004690e-05,1.002305e-05,1.001823e-05,9.998760e-06,9.985966e-06,9.974062e-06,9.953023e-06,9.948987e-06,9.923562e-06,9.919464e-06,9.897816e-06,9.885351e-06,9.871774e-06,9.850743e-06,9.845460e-06,9.818897e-06,9.815694e-06,9.792109e-06,9.780255e-06,9.765114e-06,9.744474e-06,9.737935e-06,9.710589e-06,9.708395e-06,9.683096e-06,9.672061e-06,9.655471e-06,9.635510e-06,9.627732e-06,9.599895e-06,9.598780e-06,9.571974e-06,9.561905e-06,9.543984e-06,9.524917e-06,9.515937e-06,9.487848e-06,9.450725e-06,9.413576e-06,9.376424e-06,9.339295e-06,9.302209e-06,9.265189e-06,9.228252e-06,9.191416e-06,9.154700e-06,9.118119e-06,9.081687e-06,9.045419e-06,9.009327e-06,8.973424e-06,8.937720e-06,8.902225e-06,8.866951e-06,8.831904e-06,8.797095e-06,8.762529e-06,8.728215e-06,8.694159e-06,8.660367e-06,8.626844e-06
0.000000e+00,1.205999e-08,2.755732e-08,9.469670e-08,2.159447e-07,3.158372e-07,7.246176e-07,7.468820e-07,1.471438e-06,1.740326e-06,2.590633e-06,3.495865e-06,4.207747e-06,6.183123e-06,6.376730e-06,9.070260e-06,9.787348e-06,1.222115e-05,1.416171e-05,1.576750e-05,1.917748e-05,1.966185e-05,2.386548e-05,2.474016e-05,2.834267e-05,3.076707e-05,3.305756e-05,3.717452e-05,3.797285e-05,4.304987e-05,4.387456e-05,4.824914e-05,5.077663e-05,5.353132e-05,5.779096e-05,5.885811e-05,6.419309e-05,6.483221e-05,6.950249e-05,7.182250e-05,7.475563e-05,7.869350e-05,7.992527e-05,8.498773e-05,8.538747e-05,8.992291e-05,9.185750e-05,9.471413e-05,9.806694e-05,9.934785e-05,1.038135e-04,1.039886e-04,1.081035e-04,1.096037e-04,1.122123e-04,1.149010e-04,1.161366e-04,1.198749e-04,1.234272e-04,1.245248e-04,1.267947e-04,1.288539e-04,1.299796e-04,1.328679e-04,1.329847e-04,1.358136e-04,1.365746e-04,1.384704e-04,1.399837e-04,1.409596e-04,1.431060e-04,1.432863e-04,1.454555e-04,1.459534e-04,1.474733e-04,1.485394e-04,1.493458e-04,1.508779e-04,1.510786e-04,1.526771e-04,1.529811e-04,1.541468e-04,1.548618e-04,1.554929e-04,1.565322e-04,1.567209e-04,1.578359e-04,1.580041e-04,1.588429e-04,1.592893e-04,1.597468e-04,1.603990e-04,1.605525e-04,1.612645e-04,1.613439e-04,1.618874e-04,1.621344e-04,1.624256e-04,1.627805e-04,1.628832e-04,1.632643e-04,1.632916e-04,1.635729e-04,1.636768e-04,1.638127e-04,1.639448e-04,1.639873e-04,1.641003e-04,1.641036e-04,1.641550e-04,1.641610e-04,1.641546e-04,1.641245e-04,1.641023e-04,1.640010e-04,1.638535e-04,1.637970e-04,1.636627e-04,1.635190e-04,1.634310e-04,1.631726e-04,1.631611e-04,1.628553e-04,1.627635e-04,1.625158e-04,1.622970e-04,1.621450e-04,1.617778e-04,1.617448e-04,1.613173e-04,1.612108e-04,1.608643e-04,1.606002e-04,1.603877e-04,1.599501e-04,1.598892e-04,1.593705e-04,1.592644e-04,1.588330e-04,1.585467e-04,1.582784e-04,1.578003e-04,1.577080e-04,1.571232e-04,1.570284e-04,1.565253e-04,1.562339e-04,1.559154e-04,1.554197e-04,1.552948e-04,1.546645e-04,1.545882e-04,1.540256e-04,1.537420e-04,1.533790e-04,1.528831e-04,1.527258e-04,1.520668e-04,1.520138e-04,1.514028e-04,1.511359e-04,1.507346e-04,1.502513e-04,1.500630e-04,1.493886e-04,1.493616e-04,1.487123e-04,1.484684e-04,1.480345e-04,1.475731e-04,1.473559e-04,1.466770e-04,1.457814e-04,1.448873e-04,1.439959e-04,1.431080e-04,1.422246e-04,1.413464e-04,1.404741e-04,1.396086e-04,1.387502e-04,1.378996e-04,1.370573e-04,1.362237e-04,1.353992e-04,1.345842e-04,1.337789e-04,1.329836e-04,1.321986e-04,1.314241e-04,1.306603e-04,1.299072e-04,1.291650e-04,1.284339e-04,1.277138e-04,1.270048e-04
0.000000e+00,2.516493e-08,5.676081e-08,1.896450e-07,4.207176e-07,6.054962e-07,1.327130e-06,1.365180e-06,2.552659e-06,2.973238e-06,4.252620e-06,5.555045e-06,6.552044e-06,9.257472e-06,9.520251e-06,1.316276e-05,1.412965e-05,1.739752e-05,1.998012e-05,2.209678e-05,2.652087e-05,2.714109e-05,3.243773e-05,3.352082e-05,3.791585e-05,4.081662e-05,4.351741e-05,4.828013e-05,4.919062e-05,5.488649e-05,5.579673e-05,6.055747e-05,6.325713e-05,6.615759e-05,7.055717e-05,7.164310e-05,7.697338e-05,7.760080e-05,8.211190e-05,8.430378e-05,8.702709e-05,9.059697e-05,9.169280e-05,9.608859e-05,9.642811e-05,1.001998e-04,1.017624e-04,1.040172e-04,1.065815e-04,1.075369e-04,1.107594e-04,1.108822e-04,1.136891e-04,1.146735e-04,1.163339e-04,1.179749e-04,1.187044e-04,1.208134e-04,1.226754e-04,1.232215e-04,1.243055e-04,1.252341e-04,1.257189e-04,1.268865e-04,1.269314e-04,1.279583e-04,1.282146e-04,1.288145e-04,1.292524e-04,1.295145e-04,1.300323e-04,1.300719e-04,1.305000e-04,1.305848e-04,1.308107e-04,1.309378e-04,1.310156e-04,1.311166e-04,1.311250e-04,1.311490e-04,1.311444e-04,1.310975e-04,1.310439e-04,1.309793e-04,1.308332e-04,1.308009e-04,1.305685e-04,1.305267e-04,1.302880e-04,1.301378e-04,1.299645e-04,1.296778e-04,1.296025e-04,1.292063e-04,1.291567e-04,1.287797e-04,1.285832e-04,1.283260e-04,1.279650e-04,1.278483e-04,1.273492e-04,1.273085e-04,1.268313e-04,1.266194e-04,1.262967e-04,1.259027e-04,1.257476e-04,1.251856e-04,1.251629e-04,1.246126e-04,1.244038e-04,1.240299e-04,1.236288e-04,1.234389e-04,1.228408e-04,1.222367e-04,1.220423e-04,1.216277e-04,1.212358e-04,1.210147e-04,1.204232e-04,1.203985e-04,1.197799e-04,1.196063e-04,1.191596e-04,1.187869e-04,1.185383e-04,1.179663e-04,1.179165e-04,1.172949e-04,1.171458e-04,1.166738e-04,1.163265e-04,1.160539e-04,1.155095e-04,1.154354e-04,1.148188e-04,1.146957e-04,1.142044e-04,1.138859e-04,1.135926e-04,1.130809e-04,1.129837e-04,1.123779e-04,1.122813e-04,1.117755e-04,1.114877e-04,1.111768e-04,1.107006e-04,1.105819e-04,1.099911e-04,1.099205e-04,1.094045e-04,1.091477e-04,1.088222e-04,1.083828e-04,1.082445e-04,1.076715e-04,1.076259e-04,1.071033e-04,1.068774e-04,1.065400e-04,1.061375e-04,1.059817e-04,1.054284e-04,1.054064e-04,1.048803e-04,1.046843e-04,1.043375e-04,1.039714e-04,1.037999e-04,1.032677e-04,1.025735e-04,1.018887e-04,1.012135e-04,1.005478e-04,9.989181e-05,9.924540e-05,9.860863e-05,9.798148e-05,9.736392e-05,9.675592e-05,9.615744e-05,9.556843e-05,9.498882e-05,9.441856e-05,9.385755e-05,9.330573e-05,9.276302e-05,9.222931e-05,9.170451e-05,9.118854e-05,9.068128e-05,9.018264e-05,8.969250e-05,8.921077e-05
0.000000e+00,3.881447e-09,8.852253e-09,3.027912e-08,6.868341e-08,1.001075e-07,2.271128e-07,2.339665e-07,4.541178e-07,5.346075e-07,7.859144e-07,1.049534e-06,1.254963e-06,1.820065e-06,1.875203e-06,2.640087e-06,2.843327e-06,3.532824e-06,4.082724e-06,4.538062e-06,5.506172e-06,5.643823e-06,6.839789e-06,7.088922e-06,8.115826e-06,8.807498e-06,9.461272e-06,1.063678e-05,1.086475e-05,1.231430e-05,1.254968e-05,1.379762e-05,1.451800e-05,1.530245e-05,1.651374e-05,1.681683e-05,1.832945e-05,1.851035e-05,1.982988e-05,2.048375e-05,2.130872e-05,2.241308e-05,2.275772e-05,2.416979e-05,2.428098e-05,2.553907e-05,2.607369e-05,2.686080e-05,2.778092e-05,2.813133e-05,2.934796e-05,2.939548e-05,3.050889e-05,3.091297e-05,3.161307e-05,3.233127e-05,3.266011e-05,3.365019e-05,3.458395e-05,3.487101e-05,3.546239e-05,3.599616e-05,3.628683e-05,3.702891e-05,3.705880e-05,3.778004e-05,3.797314e-05,3.845237e-05,3.883310e-05,3.907772e-05,3.961325e-05,3.965806e-05,4.019539e-05,4.031816e-05,4.069168e-05,4.095242e-05,4.114892e-05,4.152051e-05,4.156902e-05,4.195388e-05,4.202678e-05,4.230531e-05,4.247543e-05,4.262507e-05,4.287046e-05,4.291488e-05,4.317637e-05,4.321568e-05,4.341109e-05,4.351470e-05,4.362056e-05,4.377090e-05,4.380619e-05,4.396935e-05,4.398748e-05,4.411133e-05,4.416741e-05,4.423337e-05,4.431350e-05,4.433664e-05,4.442224e-05,4.442836e-05,4.449124e-05,4.451442e-05,4.454464e-05,4.457395e-05,4.458337e-05,4.460833e-05,4.460906e-05,4.462038e-05,4.462172e-05,4.462032e-05,4.461375e-05,4.460890e-05,4.458685e-05,4.455485e-05,4.454261e-05,4.451353e-05,4.448248e-05,4.446350e-05,4.440782e-05,4.440534e-05,4.433960e-05,4.431990e-05,4.426678e-05,4.421989e-05,4.418736e-05,4.410887e-05,4.410181e-05,4.401056e-05,4.398785e-05,4.391401e-05,4.385777e-05,4.381255e-05,4.371949e-05,4.370654e-05,4.359633e-05,4.357382e-05,4.348225e-05,4.342149e-05,4.336459e-05,4.326320e-05,4.324364e-05,4.311969e-05,4.309960e-05,4.299298e-05,4.293126e-05,4.286377e-05,4.275875e-05,4.273227e-05,4.259872e-05,4.258256e-05,4.246330e-05,4.240317e-05,4.232621e-05,4.222102e-05,4.218764e-05,4.204775e-05,4.203651e-05,4.190671e-05,4.185001e-05,4.176467e-05,4.166186e-05,4.162177e-05,4.147815e-05,4.147239e-05,4.133393e-05,4.128189e-05,4.118924e-05,4.109064e-05,4.104419e-05,4.089887e-05,4.070684e-05,4.051474e-05,4.032278e-05,4.013114e-05,3.993998e-05,3.974946e-05,3.955973e-05,3.937090e-05,3.918309e-05,3.899643e-05,3.881100e-05,3.862689e-05,3.844419e-05,3.826296e-05,3.808329e-05,3.790522e-05,3.772881e-05,3.755411e-05,3.738117e-05,3.721002e-05,3.704070e-05,3.687323e-05,3.670764e-05,3.654395e-05
0.000000e+00,2.443635e-09,5.567744e-09,1.899739e-08,4.296007e-08,6.248111e-08,1.406888e-07,1.448799e-07,2.780646e-07,3.261238e-07,4.744104e-07,6.279618e-07,7.470060e-07,1.076428e-06,1.108955e-06,1.571014e-06,1.697468e-06,2.137275e-06,2.497882e-06,2.801081e-06,3.452775e-06,3.545706e-06,4.350143e-06,4.516420e-06,5.194752e-06,5.644347e-06,6.063474e-06,6.802523e-06,6.943693e-06,7.825408e-06,7.966058e-06,8.700518e-06,9.116222e-06,9.562363e-06,1.023857e-05,1.040546e-05,1.122532e-05,1.132197e-05,1.201840e-05,1.235812e-05,1.278193e-05,1.334119e-05,1.351390e-05,1.421297e-05,1.426744e-05,1.487833e-05,1.513495e-05,1.550967e-05,1.594323e-05,1.610712e-05,1.667103e-05,1.669290e-05,1.720209e-05,1.738539e-05,1.770118e-05,1.802282e-05,1.816933e-05,1.860768e-05,1.901744e-05,1.914274e-05,1.939988e-05,1.963089e-05,1.975627e-05,2.007506e-05,2.008786e-05,2.039594e-05,2.047815e-05,2.068173e-05,2.084300e-05,2.094643e-05,2.117234e-05,2.119122e-05,2.141720e-05,2.146876e-05,2.162546e-05,2.173472e-05,2.181701e-05,2.197255e-05,2.199285e-05,2.215389e-05,2.218440e-05,2.230102e-05,2.237232e-05,2.243509e-05,2.253818e-05,2.255687e-05,2.266713e-05,2.268375e-05,2.276657e-05,2.281065e-05,2.285585e-05,2.292040e-05,2.293562e-05,2.300646e-05,2.301439e-05,2.306894e-05,2.309392e-05,2.312359e-05,2.316019e-05,2.317090e-05,2.321134e-05,2.321429e-05,2.324535e-05,2.325725e-05,2.327336e-05,2.329002e-05,2.329574e-05,2.331288e-05,2.331346e-05,2.332511e-05,2.332837e-05,2.333276e-05,2.333550e-05,2.333614e-05,2.333553e-05,2.333121e-05,2.332909e-05,2.332344e-05,2.331676e-05,2.331245e-05,2.329908e-05,2.329847e-05,2.328171e-05,2.327655e-05,2.326237e-05,2.324961e-05,2.324065e-05,2.321870e-05,2.321671e-05,2.319072e-05,2.318420e-05,2.316284e-05,2.314646e-05,2.313322e-05,2.310583e-05,2.310200e-05,2.306930e-05,2.306259e-05,2.303525e-05,2.301705e-05,2.299996e-05,2.296944e-05,2.296354e-05,2.292610e-05,2.292002e-05,2.288773e-05,2.286900e-05,2.284851e-05,2.281659e-05,2.280854e-05,2.276789e-05,2.276297e-05,2.272664e-05,2.270832e-05,2.268486e-05,2.265279e-05,2.264261e-05,2.259996e-05,2.259653e-05,2.255696e-05,2.253968e-05,2.251368e-05,2.248236e-05,2.247015e-05,2.242644e-05,2.242468e-05,2.238257e-05,2.236676e-05,2.233861e-05,2.230867e-05,2.229458e-05,2.225052e-05,2.219238e-05,2.213433e-05,2.207644e-05,2.201876e-05,2.196136e-05,2.190429e-05,2.184759e-05,2.179131e-05,2.173548e-05,2.168014e-05,2.162532e-05,2.157106e-05,2.151737e-05,2.146428e-05,2.141181e-05,2.135998e-05,2.130880e-05,2.125829e-05,2.120846e-05,2.115931e-05,2.111086e-05,2.106312e-05,2.101609e-05,2.096977e-05
0.000000e+00,6.089662e-09,1.359422e-08,4.450007e-08,9.704377e-08,1.384635e-07,2.977007e-07,3.060284e-07,5.644300e-07,6.556093e-07,9.327754e-07,1.214812e-06,1.430270e-06,2.008597e-06,2.063985e-06,2.811049e-06,3.002142e-06,3.625045e-06,4.093723e-06,4.463848e-06,5.201883e-06,5.301896e-06,6.125981e-06,6.288432e-06,6.928869e-06,7.336275e-06,7.705482e-06,8.334276e-06,8.451378e-06,9.162302e-06,9.272535e-06,9.834323e-06,1.014206e-05,1.046410e-05,1.093575e-05,1.104907e-05,1.158756e-05,1.164902e-05,1.207901e-05,1.228040e-05,1.252376e-05,1.283122e-05,1.292296e-05,1.327850e-05,1.330513e-05,1.359274e-05,1.370747e-05,1.386840e-05,1.404464e-05,1.410843e-05,1.431585e-05,1.432351e-05,1.449367e-05,1.455100e-05,1.464480e-05,1.473374e-05,1.477200e-05,1.487785e-05,1.496470e-05,1.498883e-05,1.503470e-05,1.507157e-05,1.508979e-05,1.513026e-05,1.513170e-05,1.516196e-05,1.516853e-05,1.518191e-05,1.518944e-05,1.519276e-05,1.519560e-05,1.519555e-05,1.519119e-05,1.518917e-05,1.518049e-05,1.517199e-05,1.516415e-05,1.514561e-05,1.514280e-05,1.511697e-05,1.511131e-05,1.508714e-05,1.507020e-05,1.505375e-05,1.502321e-05,1.501715e-05,1.497770e-05,1.497114e-05,1.493567e-05,1.491467e-05,1.489135e-05,1.485440e-05,1.484498e-05,1.479675e-05,1.479085e-05,1.474689e-05,1.472447e-05,1.469555e-05,1.465566e-05,1.464291e-05,1.458911e-05,1.458476e-05,1.453429e-05,1.451211e-05,1.447857e-05,1.443797e-05,1.442207e-05,1.436490e-05,1.436260e-05,1.430714e-05,1.428622e-05,1.424889e-05,1.420904e-05,1.419023e-05,1.413125e-05,1.407201e-05,1.405301e-05,1.401257e-05,1.397446e-05,1.395301e-05,1.389576e-05,1.389337e-05,1.383372e-05,1.381702e-05,1.377409e-05,1.373834e-05,1.371453e-05,1.365985e-05,1.365510e-05,1.359582e-05,1.358162e-05,1.353673e-05,1.350374e-05,1.347787e-05,1.342628e-05,1.341927e-05,1.336095e-05,1.334932e-05,1.330295e-05,1.327292e-05,1.324528e-05,1.319712e-05,1.318797e-05,1.313105e-05,1.312198e-05,1.307453e-05,1.304754e-05,1.301842e-05,1.297385e-05,1.296275e-05,1.290753e-05,1.290094e-05,1.285278e-05,1.282883e-05,1.279849e-05,1.275756e-05,1.274470e-05,1.269140e-05,1.268716e-05,1.263860e-05,1.261763e-05,1.258632e-05,1.254900e-05,1.253456e-05,1.248332e-05,1.248129e-05,1.243262e-05,1.241450e-05,1.238246e-05,1.234865e-05,1.233283e-05,1.228375e-05,1.221980e-05,1.215681e-05,1.209478e-05,1.203371e-05,1.197360e-05,1.191446e-05,1.185628e-05,1.179905e-05,1.174277e-05,1.168744e-05,1.163306e-05,1.157961e-05,1.152708e-05,1.147548e-05,1.142479e-05,1.137500e-05,1.132611e-05,1.127810e-05,1.123096e-05,1.118469e-05,1.113927e-05,1.109469e-05,1.105095e-05,1.100802e-05
0.000000e+00,8.421508e-10,1.908545e-09,6.444622e-09,1.445397e-08,2.094091e-08,4.681607e-08,4.820133e-08,9.231884e-08,1.083113e-07,1.579443e-07,2.097390e-07,2.500681e-07,3.615138e-07,3.724431e-07,5.246095e-07,5.650013e-07,7.008066e-07,8.069827e-07,8.930800e-07,1.070112e-06,1.094606e-06,1.300499e-06,1.341882e-06,1.507330e-06,1.614383e-06,1.712550e-06,1.882198e-06,1.914135e-06,2.110418e-06,2.141236e-06,2.300020e-06,2.388319e-06,2.481828e-06,2.621080e-06,2.654988e-06,2.818893e-06,2.837920e-06,2.973175e-06,3.037963e-06,3.117676e-06,3.220962e-06,3.252418e-06,3.377583e-06,3.387191e-06,3.493467e-06,3.537306e-06,3.600455e-06,3.672230e-06,3.698998e-06,3.789585e-06,3.793050e-06,3.872724e-06,3.900931e-06,3.948933e-06,3.997055e-06,4.018718e-06,4.082573e-06,4.140968e-06,4.158574e-06,4.194346e-06,4.226071e-06,4.243128e-06,4.285992e-06,4.287698e-06,4.328410e-06,4.339163e-06,4.365588e-06,4.386324e-06,4.399531e-06,4.428132e-06,4.430507e-06,4.458764e-06,4.465166e-06,4.484523e-06,4.497933e-06,4.507986e-06,4.526878e-06,4.529333e-06,4.548732e-06,4.552392e-06,4.566333e-06,4.574820e-06,4.582271e-06,4.594465e-06,4.596671e-06,4.609643e-06,4.611594e-06,4.621291e-06,4.626439e-06,4.631707e-06,4.639211e-06,4.640977e-06,4.649177e-06,4.650092e-06,4.656379e-06,4.659248e-06,4.662647e-06,4.666824e-06,4.668043e-06,4.672620e-06,4.672953e-06,4.676431e-06,4.677751e-06,4.679521e-06,4.681325e-06,4.681936e-06,4.683715e-06,4.683773e-06,4.684896e-06,4.685181e-06,4.685514e-06,4.685629e-06,4.685602e-06,4.685191e-06,4.684309e-06,4.683932e-06,4.682984e-06,4.681914e-06,4.681240e-06,4.679194e-06,4.679101e-06,4.676590e-06,4.675823e-06,4.673728e-06,4.671850e-06,4.670534e-06,4.667320e-06,4.667029e-06,4.663228e-06,4.662274e-06,4.659150e-06,4.656750e-06,4.654809e-06,4.650785e-06,4.650222e-06,4.645403e-06,4.644413e-06,4.640365e-06,4.637663e-06,4.635121e-06,4.630567e-06,4.629684e-06,4.624066e-06,4.623151e-06,4.618277e-06,4.615440e-06,4.612328e-06,4.607460e-06,4.606229e-06,4.599991e-06,4.599233e-06,4.593621e-06,4.590780e-06,4.587130e-06,4.582120e-06,4.580525e-06,4.573815e-06,4.573274e-06,4.567006e-06,4.564257e-06,4.560107e-06,4.555088e-06,4.553125e-06,4.546065e-06,4.545781e-06,4.538935e-06,4.536352e-06,4.531740e-06,4.526814e-06,4.524487e-06,4.517180e-06,4.507463e-06,4.497674e-06,4.487824e-06,4.477923e-06,4.467982e-06,4.458009e-06,4.448013e-06,4.438001e-06,4.427983e-06,4.417964e-06,4.407951e-06,4.397951e-06,4.387970e-06,4.378014e-06,4.368086e-06,4.358194e-06,4.348341e-06,4.338531e-06,4.328768e-06,4.319057e-06,4.309401e-06,4.299803e-06,4.290266e-06,4.280794e-06
0.000000e+00,3.364977e-09,7.679389e-09,2.629086e-08,5.963611e-08,8.687984e-08,1.964510e-07,2.023366e-07,3.898259e-07,4.576338e-07,6.671430e-07,8.843435e-07,1.052807e-06,1.519051e-06,1.565089e-06,2.219405e-06,2.398702e-06,3.023845e-06,3.538950e-06,3.974264e-06,4.917413e-06,5.052733e-06,6.231962e-06,6.477291e-06,7.482749e-06,8.152642e-06,8.779189e-06,9.887989e-06,1.010030e-05,1.142955e-05,1.164208e-05,1.275393e-05,1.338477e-05,1.406305e-05,1.509370e-05,1.534858e-05,1.660390e-05,1.675224e-05,1.782376e-05,1.834820e-05,1.900415e-05,1.987298e-05,2.014209e-05,2.123547e-05,2.132097e-05,2.228297e-05,2.268895e-05,2.328388e-05,2.397556e-05,2.423801e-05,2.514561e-05,2.518095e-05,2.600725e-05,2.630634e-05,2.682377e-05,2.735376e-05,2.759622e-05,2.832580e-05,2.901382e-05,2.922543e-05,2.966166e-05,3.005585e-05,3.027075e-05,3.082038e-05,3.084256e-05,3.137854e-05,3.152239e-05,3.188016e-05,3.216524e-05,3.234887e-05,3.275223e-05,3.278608e-05,3.319319e-05,3.328657e-05,3.357155e-05,3.377138e-05,3.392249e-05,3.420964e-05,3.424728e-05,3.454715e-05,3.460424e-05,3.482331e-05,3.495792e-05,3.507690e-05,3.527328e-05,3.530902e-05,3.552076e-05,3.555281e-05,3.571312e-05,3.579886e-05,3.588709e-05,3.601366e-05,3.604362e-05,3.618360e-05,3.619932e-05,3.630789e-05,3.635783e-05,3.641734e-05,3.649107e-05,3.651272e-05,3.659480e-05,3.660081e-05,3.666429e-05,3.668872e-05,3.672188e-05,3.675636e-05,3.676825e-05,3.680400e-05,3.680522e-05,3.682975e-05,3.683668e-05,3.684607e-05,3.685205e-05,3.685349e-05,3.685255e-05,3.684374e-05,3.683933e-05,3.682752e-05,3.681347e-05,3.680435e-05,3.677597e-05,3.677466e-05,3.673885e-05,3.672778e-05,3.669732e-05,3.666980e-05,3.665042e-05,3.660284e-05,3.659851e-05,3.654192e-05,3.652768e-05,3.648097e-05,3.644505e-05,3.641597e-05,3.635563e-05,3.634719e-05,3.627491e-05,3.626005e-05,3.619938e-05,3.615891e-05,3.612086e-05,3.605275e-05,3.603957e-05,3.595573e-05,3.594209e-05,3.586956e-05,3.582742e-05,3.578124e-05,3.570918e-05,3.569098e-05,3.559894e-05,3.558779e-05,3.550530e-05,3.546363e-05,3.541022e-05,3.533708e-05,3.531384e-05,3.521631e-05,3.520847e-05,3.511777e-05,3.507810e-05,3.501835e-05,3.494628e-05,3.491815e-05,3.481731e-05,3.481327e-05,3.471593e-05,3.467932e-05,3.461411e-05,3.454466e-05,3.451194e-05,3.440952e-05,3.427408e-05,3.413853e-05,3.400305e-05,3.386778e-05,3.373287e-05,3.359846e-05,3.346467e-05,3.333160e-05,3.319937e-05,3.306805e-05,3.293775e-05,3.280853e-05,3.268047e-05,3.255363e-05,3.242807e-05,3.230383e-05,3.218097e-05,3.205952e-05,3.193953e-05,3.182101e-05,3.170401e-05,3.158854e-05,3.147462e-05,3.136227e-05
0.000000e+00,3.301114e-09,7.487607e-09,2.533752e-08,5.697421e-08,8.269120e-08,1.860076e-07,1.915701e-07,3.702566e-07,4.357259e-07,6.410748e-07,8.585754e-07,1.029990e-06,1.511952e-06,1.559809e-06,2.235377e-06,2.417219e-06,3.034568e-06,3.522209e-06,3.919968e-06,4.742428e-06,4.856592e-06,5.818827e-06,6.012707e-06,6.789286e-06,7.293026e-06,7.755900e-06,8.558264e-06,8.709699e-06,9.643501e-06,9.790636e-06,1.055125e-05,1.097616e-05,1.142775e-05,1.210345e-05,1.226858e-05,1.307008e-05,1.316347e-05,1.382942e-05,1.414958e-05,1.454443e-05,1.505735e-05,1.521379e-05,1.583691e-05,1.588476e-05,1.641386e-05,1.663184e-05,1.694529e-05,1.730034e-05,1.743231e-05,1.787644e-05,1.789334e-05,1.827948e-05,1.841491e-05,1.864347e-05,1.886978e-05,1.897058e-05,1.926306e-05,1.952318e-05,1.959995e-05,1.975321e-05,1.988566e-05,1.995536e-05,2.012519e-05,2.013178e-05,2.028449e-05,2.032327e-05,2.041544e-05,2.048432e-05,2.052644e-05,2.061240e-05,2.061919e-05,2.069528e-05,2.071123e-05,2.075617e-05,2.078414e-05,2.080321e-05,2.083414e-05,2.083764e-05,2.086061e-05,2.086392e-05,2.087315e-05,2.087587e-05,2.087622e-05,2.087213e-05,2.087070e-05,2.085737e-05,2.085456e-05,2.083697e-05,2.082486e-05,2.081015e-05,2.078448e-05,2.077751e-05,2.073961e-05,2.073473e-05,2.069695e-05,2.067678e-05,2.064997e-05,2.061165e-05,2.059910e-05,2.054472e-05,2.054023e-05,2.048717e-05,2.046334e-05,2.042678e-05,2.038169e-05,2.036382e-05,2.029856e-05,2.029591e-05,2.023126e-05,2.020657e-05,2.016213e-05,2.011418e-05,2.009137e-05,2.001917e-05,1.994572e-05,1.992197e-05,1.987115e-05,1.982292e-05,1.979563e-05,1.972235e-05,1.971929e-05,1.964224e-05,1.962056e-05,1.956461e-05,1.951779e-05,1.948650e-05,1.941430e-05,1.940801e-05,1.932922e-05,1.931028e-05,1.925023e-05,1.920593e-05,1.917111e-05,1.910143e-05,1.909193e-05,1.901275e-05,1.899692e-05,1.893364e-05,1.889255e-05,1.885465e-05,1.878844e-05,1.877584e-05,1.869725e-05,1.868470e-05,1.861893e-05,1.858144e-05,1.854092e-05,1.847876e-05,1.846326e-05,1.838598e-05,1.837673e-05,1.830911e-05,1.827543e-05,1.823269e-05,1.817493e-05,1.815674e-05,1.808129e-05,1.807528e-05,1.800636e-05,1.797654e-05,1.793198e-05,1.787876e-05,1.785815e-05,1.778491e-05,1.778199e-05,1.771226e-05,1.768625e-05,1.764022e-05,1.759159e-05,1.756880e-05,1.749802e-05,1.740559e-05,1.731430e-05,1.722418e-05,1.713524e-05,1.704749e-05,1.696096e-05,1.687563e-05,1.679153e-05,1.670865e-05,1.662700e-05,1.654657e-05,1.646737e-05,1.638940e-05,1.631264e-05,1.623711e-05,1.616278e-05,1.608965e-05,1.601773e-05,1.594699e-05,1.587742e-05,1.580903e-05,1.574180e-05,1.567571e-05,1.561076e-05
0.000000e+00,3.571392e-09,8.150164e-09,2.789588e-08,6.324478e-08,9.209710e-08,2.078786e-07,2.140863e-07,4.112549e-07,4.823035e-07,7.010552e-07,9.267735e-07,1.101227e-06,1.581987e-06,1.629336e-06,2.301060e-06,2.484957e-06,3.126522e-06,3.656263e-06,4.105073e-06,5.081667e-06,5.222297e-06,6.453681e-06,6.711261e-06,7.772397e-06,8.484557e-06,9.154606e-06,1.035025e-05,1.058066e-05,1.203437e-05,1.226858e-05,1.350202e-05,1.420791e-05,1.497177e-05,1.614208e-05,1.643327e-05,1.787751e-05,1.804928e-05,1.929677e-05,1.991161e-05,2.068452e-05,2.171480e-05,2.203540e-05,2.334511e-05,2.344800e-05,2.461034e-05,2.510341e-05,2.582868e-05,2.667588e-05,2.699846e-05,2.811872e-05,2.816250e-05,2.918905e-05,2.956215e-05,3.020952e-05,3.087518e-05,3.118059e-05,3.210301e-05,3.297783e-05,3.324790e-05,3.380623e-05,3.431267e-05,3.458958e-05,3.530055e-05,3.532932e-05,3.602697e-05,3.621499e-05,3.668411e-05,3.705959e-05,3.730230e-05,3.783800e-05,3.788313e-05,3.842818e-05,3.855384e-05,3.893899e-05,3.921065e-05,3.941708e-05,3.981192e-05,3.986394e-05,4.028100e-05,4.036096e-05,4.066967e-05,4.086100e-05,4.103129e-05,4.131510e-05,4.136716e-05,4.167855e-05,4.172618e-05,4.196664e-05,4.209700e-05,4.223261e-05,4.243019e-05,4.247755e-05,4.270254e-05,4.272824e-05,4.290858e-05,4.299349e-05,4.309666e-05,4.322815e-05,4.326769e-05,4.342256e-05,4.343428e-05,4.356213e-05,4.361385e-05,4.368718e-05,4.376867e-05,4.379850e-05,4.389681e-05,4.390048e-05,4.398281e-05,4.401089e-05,4.405718e-05,4.410143e-05,4.412054e-05,4.417350e-05,4.421663e-05,4.422845e-05,4.425048e-05,4.426752e-05,4.427557e-05,4.429188e-05,4.429240e-05,4.430144e-05,4.430263e-05,4.430313e-05,4.430080e-05,4.429791e-05,4.428734e-05,4.428617e-05,4.426831e-05,4.426316e-05,4.424470e-05,4.422909e-05,4.421567e-05,4.418592e-05,4.418157e-05,4.414271e-05,4.413439e-05,4.409938e-05,4.407518e-05,4.405187e-05,4.400893e-05,4.400046e-05,4.394539e-05,4.393626e-05,4.388691e-05,4.385770e-05,4.382526e-05,4.377381e-05,4.376066e-05,4.369330e-05,4.368505e-05,4.362340e-05,4.359189e-05,4.355114e-05,4.349475e-05,4.347670e-05,4.340024e-05,4.339404e-05,4.332194e-05,4.329013e-05,4.324193e-05,4.318336e-05,4.316038e-05,4.307740e-05,4.307406e-05,4.299315e-05,4.296252e-05,4.290773e-05,4.284904e-05,4.282126e-05,4.273386e-05,4.261724e-05,4.249941e-05,4.238057e-05,4.226092e-05,4.214065e-05,4.201992e-05,4.189889e-05,4.177771e-05,4.165652e-05,4.153544e-05,4.141459e-05,4.129407e-05,4.117398e-05,4.105443e-05,4.093548e-05,4.081722e-05,4.069972e-05,4.058305e-05,4.046727e-05,4.035242e-05,4.023857e-05,4.012575e-05,4.001402e-05,3.990339e-05
0.000000e+00,6.275537e-09,1.435070e-08,4.941893e-08,1.130122e-07,1.656223e-07,3.826865e-07,3.945844e-07,7.855381e-07,9.323393e-07,1.402106e-06,1.910898e-06,2.316934e-06,3.467635e-06,3.582043e-06,5.194710e-06,5.628815e-06,7.110306e-06,8.296632e-06,9.279820e-06,1.136917e-05,1.166599e-05,1.424212e-05,1.477825e-05,1.698740e-05,1.847567e-05,1.988351e-05,2.241980e-05,2.291267e-05,2.605673e-05,2.656919e-05,2.929690e-05,3.088064e-05,3.261381e-05,3.530941e-05,3.598785e-05,3.939956e-05,3.981059e-05,4.283002e-05,4.434067e-05,4.626116e-05,4.885883e-05,4.967606e-05,5.305917e-05,5.332802e-05,5.639645e-05,5.771568e-05,5.967544e-05,6.199407e-05,6.288529e-05,6.601674e-05,6.614025e-05,6.906202e-05,7.013596e-05,7.201478e-05,7.396720e-05,7.487000e-05,7.762383e-05,8.027348e-05,8.109904e-05,8.281710e-05,8.438888e-05,8.525369e-05,8.749180e-05,8.758291e-05,8.980508e-05,9.040820e-05,9.192101e-05,9.314007e-05,9.393194e-05,9.569065e-05,9.583949e-05,9.764554e-05,9.806413e-05,9.935225e-05,1.002655e-04,1.009619e-04,1.023001e-04,1.024770e-04,1.039002e-04,1.041740e-04,1.052340e-04,1.058932e-04,1.064812e-04,1.074639e-04,1.076446e-04,1.087268e-04,1.088926e-04,1.097307e-04,1.101855e-04,1.106589e-04,1.113489e-04,1.115143e-04,1.122994e-04,1.123890e-04,1.130169e-04,1.133119e-04,1.136694e-04,1.141234e-04,1.142595e-04,1.147896e-04,1.148294e-04,1.152621e-04,1.154355e-04,1.156794e-04,1.159470e-04,1.160439e-04,1.163577e-04,1.163693e-04,1.166231e-04,1.167072e-04,1.168422e-04,1.169657e-04,1.170169e-04,1.171494e-04,1.172415e-04,1.172628e-04,1.172952e-04,1.173101e-04,1.173121e-04,1.172955e-04,1.172942e-04,1.172429e-04,1.172229e-04,1.171601e-04,1.170959e-04,1.170473e-04,1.169182e-04,1.169059e-04,1.167374e-04,1.166932e-04,1.165434e-04,1.164240e-04,1.163250e-04,1.161138e-04,1.160837e-04,1.158207e-04,1.157655e-04,1.155371e-04,1.153820e-04,1.152343e-04,1.149657e-04,1.149132e-04,1.145750e-04,1.145193e-04,1.142207e-04,1.140452e-04,1.138512e-04,1.135455e-04,1.134677e-04,1.130709e-04,1.130224e-04,1.126617e-04,1.124780e-04,1.122411e-04,1.119142e-04,1.118097e-04,1.113684e-04,1.113327e-04,1.109179e-04,1.107353e-04,1.104589e-04,1.101236e-04,1.099922e-04,1.095182e-04,1.094991e-04,1.090377e-04,1.088633e-04,1.085513e-04,1.082174e-04,1.080595e-04,1.075628e-04,1.069007e-04,1.062321e-04,1.055582e-04,1.048800e-04,1.041982e-04,1.035139e-04,1.028279e-04,1.021408e-04,1.014534e-04,1.007664e-04,1.000804e-04,9.939592e-05,9.871352e-05,9.803369e-05,9.735689e-05,9.668354e-05,9.601403e-05,9.534871e-05,9.468792e-05,9.403196e-05,9.338110e-05,9.273560e-05,9.209567e-05,9.146153e-05
0.000000e+00,7.284986e-09,1.664671e-08,5.723331e-08,1.306676e-07,1.913007e-07,4.405462e-07,4.541685e-07,8.996804e-07,1.065979e-06,1.594990e-06,2.163557e-06,2.614936e-06,3.887581e-06,4.013781e-06,5.788596e-06,6.265070e-06,7.886331e-06,9.178417e-06,1.024464e-05,1.249569e-05,1.281382e-05,1.555701e-05,1.612388e-05,1.844504e-05,1.999549e-05,2.145233e-05,2.405298e-05,2.455479e-05,2.772898e-05,2.824197e-05,3.095195e-05,3.250975e-05,3.420152e-05,3.680613e-05,3.745663e-05,4.069767e-05,4.108479e-05,4.390692e-05,4.530476e-05,4.706853e-05,4.943092e-05,5.016869e-05,5.319573e-05,5.343443e-05,5.613994e-05,5.729262e-05,5.899351e-05,6.098849e-05,6.175038e-05,6.440603e-05,6.451010e-05,6.695731e-05,6.784981e-05,6.940226e-05,7.100359e-05,7.173997e-05,7.397045e-05,7.609440e-05,7.675175e-05,7.811307e-05,7.935054e-05,8.002815e-05,8.177102e-05,8.184164e-05,8.355578e-05,8.401827e-05,8.517308e-05,8.609812e-05,8.669631e-05,8.801710e-05,8.812839e-05,8.947228e-05,8.978203e-05,9.073101e-05,9.139984e-05,9.190765e-05,9.287766e-05,9.300531e-05,9.402714e-05,9.422271e-05,9.497663e-05,9.544293e-05,9.585715e-05,9.654546e-05,9.667139e-05,9.742217e-05,9.753659e-05,9.811222e-05,9.842263e-05,9.874413e-05,9.920953e-05,9.932048e-05,9.984374e-05,9.990308e-05,1.003163e-04,1.005088e-04,1.007406e-04,1.010320e-04,1.011187e-04,1.014528e-04,1.014777e-04,1.017450e-04,1.018506e-04,1.019974e-04,1.021555e-04,1.022118e-04,1.023902e-04,1.023966e-04,1.025343e-04,1.025781e-04,1.026458e-04,1.027039e-04,1.027264e-04,1.027777e-04,1.028013e-04,1.028032e-04,1.027985e-04,1.027835e-04,1.027707e-04,1.027219e-04,1.027194e-04,1.026458e-04,1.026214e-04,1.025512e-04,1.024848e-04,1.024367e-04,1.023148e-04,1.023035e-04,1.021526e-04,1.021139e-04,1.019852e-04,1.018845e-04,1.018021e-04,1.016288e-04,1.016043e-04,1.013928e-04,1.013489e-04,1.011684e-04,1.010469e-04,1.009319e-04,1.007246e-04,1.006842e-04,1.004259e-04,1.003837e-04,1.001579e-04,1.000259e-04,9.988068e-05,9.965282e-05,9.959505e-05,9.930158e-05,9.926587e-05,9.900088e-05,9.886643e-05,9.869352e-05,9.845579e-05,9.838002e-05,9.806092e-05,9.803516e-05,9.773669e-05,9.760568e-05,9.740782e-05,9.716839e-05,9.707473e-05,9.673785e-05,9.672431e-05,9.639759e-05,9.627435e-05,9.605433e-05,9.581938e-05,9.570843e-05,9.536023e-05,9.489764e-05,9.443232e-05,9.396493e-05,9.349609e-05,9.302636e-05,9.255628e-05,9.208635e-05,9.161702e-05,9.114871e-05,9.068182e-05,9.021671e-05,8.975371e-05,8.929314e-05,8.883528e-05,8.838038e-05,8.792869e-05,8.748043e-05,8.703579e-05,8.659496e-05,8.615809e-05,8.572535e-05,8.529685e-05,8.487272e-05,8.445307e-05
0.000000e+00,1.733730e-09,3.955643e-09,1.353312e-08,3.067010e-08,4.465320e-08,1.007516e-07,1.037592e-07,1.993099e-07,2.337602e-07,3.399242e-07,4.496532e-07,5.346078e-07,7.694530e-07,7.926421e-07,1.122789e-06,1.213550e-06,1.531439e-06,1.795367e-06,2.019998e-06,2.512077e-06,2.583308e-06,3.210933e-06,3.343077e-06,3.890371e-06,4.260129e-06,4.609671e-06,5.237042e-06,5.358447e-06,6.127893e-06,6.252404e-06,6.910474e-06,7.288820e-06,7.699629e-06,8.331777e-06,8.489575e-06,9.275189e-06,9.368951e-06,1.005196e-05,1.038990e-05,1.081595e-05,1.138594e-05,1.156379e-05,1.229263e-05,1.235005e-05,1.300015e-05,1.327675e-05,1.368447e-05,1.416201e-05,1.434418e-05,1.497825e-05,1.500307e-05,1.558599e-05,1.579824e-05,1.616701e-05,1.654677e-05,1.672118e-05,1.724861e-05,1.774955e-05,1.790432e-05,1.822443e-05,1.851491e-05,1.867378e-05,1.908172e-05,1.909823e-05,1.949847e-05,1.960630e-05,1.987526e-05,2.009039e-05,2.022936e-05,2.053581e-05,2.056160e-05,2.087279e-05,2.094444e-05,2.116376e-05,2.131817e-05,2.143532e-05,2.165888e-05,2.168828e-05,2.192344e-05,2.196841e-05,2.214158e-05,2.224854e-05,2.234346e-05,2.250101e-05,2.252981e-05,2.270135e-05,2.272746e-05,2.285876e-05,2.292950e-05,2.300273e-05,2.310864e-05,2.313387e-05,2.325282e-05,2.326631e-05,2.336017e-05,2.340387e-05,2.345648e-05,2.352263e-05,2.354229e-05,2.361814e-05,2.362380e-05,2.368453e-05,2.370854e-05,2.374192e-05,2.377794e-05,2.379079e-05,2.383157e-05,2.383304e-05,2.386467e-05,2.387479e-05,2.389050e-05,2.390411e-05,2.390945e-05,2.392186e-05,2.392811e-05,2.392886e-05,2.392851e-05,2.392584e-05,2.392338e-05,2.391354e-05,2.391303e-05,2.389774e-05,2.389261e-05,2.387779e-05,2.386370e-05,2.385345e-05,2.382738e-05,2.382495e-05,2.379255e-05,2.378422e-05,2.375646e-05,2.373472e-05,2.371690e-05,2.367939e-05,2.367409e-05,2.362820e-05,2.361868e-05,2.357944e-05,2.355301e-05,2.352798e-05,2.348279e-05,2.347398e-05,2.341762e-05,2.340839e-05,2.335903e-05,2.333017e-05,2.329838e-05,2.324846e-05,2.323579e-05,2.317141e-05,2.316357e-05,2.310535e-05,2.307578e-05,2.303773e-05,2.298538e-05,2.296868e-05,2.289829e-05,2.289261e-05,2.282667e-05,2.279771e-05,2.275393e-05,2.270090e-05,2.268014e-05,2.260541e-05,2.260240e-05,2.252980e-05,2.250239e-05,2.245342e-05,2.240107e-05,2.237632e-05,2.229859e-05,2.219512e-05,2.209081e-05,2.198580e-05,2.188021e-05,2.177417e-05,2.166779e-05,2.156118e-05,2.145443e-05,2.134763e-05,2.124087e-05,2.113423e-05,2.102779e-05,2.092160e-05,2.081573e-05,2.071025e-05,2.060520e-05,2.050064e-05,2.039661e-05,2.029316e-05,2.019032e-05,2.008813e-05,1.998663e-05,1.988584e-05,1.978580e-05
0.000000e+00,8.954269e-09,2.038465e-08,6.967177e-08,1.587141e-07,2.324717e-07,5.396486e-07,5.566398e-07,1.123360e-06,1.339666e-06,2.038780e-06,2.796530e-06,3.393360e-06,5.018985e-06,5.174830e-06,7.271975e-06,7.808922e-06,9.572172e-06,1.092004e-05,1.200143e-05,1.420931e-05,1.451412e-05,1.707872e-05,1.759557e-05,1.966971e-05,2.101973e-05,2.226401e-05,2.442985e-05,2.483990e-05,2.737689e-05,2.777791e-05,2.985616e-05,3.102071e-05,3.226099e-05,3.412157e-05,3.457710e-05,3.679288e-05,3.705158e-05,3.889942e-05,3.978997e-05,4.089041e-05,4.232380e-05,4.276195e-05,4.451229e-05,4.464707e-05,4.614150e-05,4.675959e-05,4.765121e-05,4.866576e-05,4.904425e-05,5.032442e-05,5.037334e-05,5.149622e-05,5.189249e-05,5.256464e-05,5.323481e-05,5.353498e-05,5.441269e-05,5.520327e-05,5.543875e-05,5.591218e-05,5.632549e-05,5.654475e-05,5.708497e-05,5.710612e-05,5.760125e-05,5.772866e-05,5.803484e-05,5.826733e-05,5.841136e-05,5.871100e-05,5.873504e-05,5.900983e-05,5.906892e-05,5.923944e-05,5.934958e-05,5.942733e-05,5.956074e-05,5.957674e-05,5.969069e-05,5.970947e-05,5.977197e-05,5.980219e-05,5.982318e-05,5.984472e-05,5.984672e-05,5.984485e-05,5.984233e-05,5.981963e-05,5.979980e-05,5.977298e-05,5.972144e-05,5.970669e-05,5.962238e-05,5.961113e-05,5.952160e-05,5.947241e-05,5.940576e-05,5.930845e-05,5.927615e-05,5.913400e-05,5.912212e-05,5.898041e-05,5.891601e-05,5.881644e-05,5.869248e-05,5.864303e-05,5.846108e-05,5.845363e-05,5.827141e-05,5.820139e-05,5.807478e-05,5.793747e-05,5.787191e-05,5.766344e-05,5.744999e-05,5.738072e-05,5.723211e-05,5.709059e-05,5.701034e-05,5.679421e-05,5.678514e-05,5.655698e-05,5.649261e-05,5.632626e-05,5.618676e-05,5.609337e-05,5.587750e-05,5.585866e-05,5.562247e-05,5.556560e-05,5.538511e-05,5.525178e-05,5.514686e-05,5.493666e-05,5.490797e-05,5.466870e-05,5.462082e-05,5.442927e-05,5.430477e-05,5.418989e-05,5.398899e-05,5.395075e-05,5.371203e-05,5.367389e-05,5.347390e-05,5.335985e-05,5.323651e-05,5.304722e-05,5.300000e-05,5.276449e-05,5.273631e-05,5.253012e-05,5.242738e-05,5.229698e-05,5.212070e-05,5.206519e-05,5.183483e-05,5.181647e-05,5.160600e-05,5.151491e-05,5.137876e-05,5.121618e-05,5.115320e-05,5.092937e-05,5.092045e-05,5.070734e-05,5.062785e-05,5.048715e-05,5.033851e-05,5.026886e-05,5.005252e-05,4.976998e-05,4.949097e-05,4.921556e-05,4.894381e-05,4.867575e-05,4.841143e-05,4.815089e-05,4.789414e-05,4.764119e-05,4.739206e-05,4.714676e-05,4.690527e-05,4.666759e-05,4.643372e-05,4.620363e-05,4.597731e-05,4.575473e-05,4.553588e-05,4.532072e-05,4.510923e-05,4.490136e-05,4.469710e-05,4.449639e-05,4.429921e-05
0.000000e+00,5.773763e-09,1.320805e-08,4.542901e-08,1.034289e-07,1.509399e-07,3.424138e-07,3.527042e-07,6.802562e-07,7.985099e-07,1.162995e-06,1.539452e-06,1.830537e-06,2.632746e-06,2.711726e-06,3.830791e-06,4.136538e-06,5.200890e-06,6.077711e-06,6.820310e-06,8.441271e-06,8.675807e-06,1.074899e-05,1.118803e-05,1.302026e-05,1.427308e-05,1.546995e-05,1.765110e-05,1.807827e-05,2.082522e-05,2.127625e-05,2.369058e-05,2.510208e-05,2.665415e-05,2.908232e-05,2.969601e-05,3.279690e-05,3.317209e-05,3.593849e-05,3.732923e-05,3.910366e-05,4.151517e-05,4.227660e-05,4.544306e-05,4.569570e-05,4.859031e-05,4.984127e-05,5.170715e-05,5.392696e-05,5.478391e-05,5.781230e-05,5.793233e-05,6.078537e-05,6.184100e-05,6.369738e-05,6.564024e-05,6.654365e-05,6.932049e-05,7.202506e-05,7.287490e-05,7.465526e-05,7.629886e-05,7.720964e-05,7.958968e-05,7.968731e-05,8.208784e-05,8.274616e-05,8.441124e-05,8.576838e-05,8.665783e-05,8.865739e-05,8.882824e-05,9.092330e-05,9.141502e-05,9.294405e-05,9.404365e-05,9.489168e-05,9.654617e-05,9.676752e-05,9.857301e-05,9.892579e-05,1.003096e-04,1.011860e-04,1.019790e-04,1.033304e-04,1.035827e-04,1.051223e-04,1.053628e-04,1.065996e-04,1.072871e-04,1.080163e-04,1.091070e-04,1.093739e-04,1.106743e-04,1.108265e-04,1.119190e-04,1.124494e-04,1.131097e-04,1.139795e-04,1.142480e-04,1.153357e-04,1.154205e-04,1.163742e-04,1.167762e-04,1.173651e-04,1.180500e-04,1.183100e-04,1.192104e-04,1.192455e-04,1.200677e-04,1.203661e-04,1.208835e-04,1.214151e-04,1.216590e-04,1.223958e-04,1.230951e-04,1.233112e-04,1.237583e-04,1.241644e-04,1.243867e-04,1.249583e-04,1.249815e-04,1.255439e-04,1.256958e-04,1.260751e-04,1.263794e-04,1.265763e-04,1.270119e-04,1.270486e-04,1.274931e-04,1.275957e-04,1.279108e-04,1.281334e-04,1.283028e-04,1.286272e-04,1.286700e-04,1.290135e-04,1.290794e-04,1.293341e-04,1.294922e-04,1.296329e-04,1.298675e-04,1.299106e-04,1.301681e-04,1.302075e-04,1.304062e-04,1.305139e-04,1.306258e-04,1.307887e-04,1.308276e-04,1.310124e-04,1.310335e-04,1.311809e-04,1.312500e-04,1.313338e-04,1.314400e-04,1.314717e-04,1.315954e-04,1.316047e-04,1.317055e-04,1.317458e-04,1.318025e-04,1.318646e-04,1.318871e-04,1.319598e-04,1.319625e-04,1.320213e-04,1.320407e-04,1.320719e-04,1.321004e-04,1.321123e-04,1.321429e-04,1.321691e-04,1.321802e-04,1.321771e-04,1.321608e-04,1.321322e-04,1.320922e-04,1.320415e-04,1.319810e-04,1.319114e-04,1.318333e-04,1.317476e-04,1.316547e-04,1.315552e-04,1.314498e-04,1.313390e-04,1.312233e-04,1.311031e-04,1.309789e-04,1.308511e-04,1.307202e-04,1.305864e-04,1.304502e-04,1.303119e-04,1.301718e-04
0.000000e+00,1.329567e-08,3.027840e-08,1.034201e-07,2.349163e-07,3.431287e-07,7.870071e-07,8.112614e-07,1.605760e-06,1.903165e-06,2.852628e-06,3.878966e-06,4.698152e-06,7.027242e-06,7.259494e-06,1.053479e-05,1.141267e-05,1.437602e-05,1.669859e-05,1.858278e-05,2.245539e-05,2.299088e-05,2.748859e-05,2.839187e-05,3.200143e-05,3.433600e-05,3.647661e-05,4.017684e-05,4.087370e-05,4.515992e-05,4.583354e-05,4.930809e-05,5.124344e-05,5.329583e-05,5.635831e-05,5.710520e-05,6.072250e-05,6.114317e-05,6.413809e-05,6.557539e-05,6.734602e-05,6.964344e-05,7.034367e-05,7.313127e-05,7.334526e-05,7.571147e-05,7.668646e-05,7.808890e-05,7.967850e-05,8.026971e-05,8.226121e-05,8.233705e-05,8.407155e-05,8.468058e-05,8.570941e-05,8.672922e-05,8.718379e-05,8.850382e-05,8.967858e-05,9.002529e-05,9.071701e-05,9.131411e-05,9.162785e-05,9.239001e-05,9.241949e-05,9.310003e-05,9.327173e-05,9.367716e-05,9.397688e-05,9.415823e-05,9.452195e-05,9.455019e-05,9.485960e-05,9.492226e-05,9.509263e-05,9.519194e-05,9.525509e-05,9.534400e-05,9.535242e-05,9.538972e-05,9.539041e-05,9.537177e-05,9.534210e-05,9.530303e-05,9.520909e-05,9.518765e-05,9.502953e-05,9.500051e-05,9.483227e-05,9.472469e-05,9.459926e-05,9.438923e-05,9.433363e-05,9.403831e-05,9.400100e-05,9.371600e-05,9.356629e-05,9.336923e-05,9.309078e-05,9.300036e-05,9.261155e-05,9.257965e-05,9.220485e-05,9.203758e-05,9.178212e-05,9.146882e-05,9.134511e-05,9.089543e-05,9.087721e-05,9.043459e-05,9.026622e-05,8.996397e-05,8.963902e-05,8.948485e-05,8.899843e-05,8.850580e-05,8.834702e-05,8.800799e-05,8.768711e-05,8.750594e-05,8.702078e-05,8.700051e-05,8.649250e-05,8.634991e-05,8.598267e-05,8.567617e-05,8.547168e-05,8.500110e-05,8.496018e-05,8.444873e-05,8.432605e-05,8.393787e-05,8.365223e-05,8.342809e-05,8.298073e-05,8.291984e-05,8.241352e-05,8.231252e-05,8.190951e-05,8.164845e-05,8.140815e-05,8.098928e-05,8.090975e-05,8.041461e-05,8.033570e-05,7.992297e-05,7.968830e-05,7.943507e-05,7.904759e-05,7.895113e-05,7.847133e-05,7.841404e-05,7.799584e-05,7.778804e-05,7.752482e-05,7.716992e-05,7.705841e-05,7.659672e-05,7.655999e-05,7.613986e-05,7.595850e-05,7.568793e-05,7.536563e-05,7.524100e-05,7.479914e-05,7.478157e-05,7.436241e-05,7.420646e-05,7.393086e-05,7.364039e-05,7.350453e-05,7.308345e-05,7.253569e-05,7.199715e-05,7.146784e-05,7.094775e-05,7.043686e-05,6.993514e-05,6.944253e-05,6.895899e-05,6.848444e-05,6.801880e-05,6.756198e-05,6.711390e-05,6.667445e-05,6.624352e-05,6.582101e-05,6.540680e-05,6.500078e-05,6.460281e-05,6.421279e-05,6.383058e-05,6.345606e-05,6.308910e-05,6.272957e-05,6.237734e-05
0.000000e+00,2.216020e-09,5.054702e-09,1.728088e-08,3.912693e-08,5.692766e-08,1.281448e-07,1.319547e-07,2.525926e-07,2.959106e-07,4.288720e-07,5.655410e-07,6.708848e-07,9.602853e-07,9.887346e-07,1.391780e-06,1.502025e-06,1.886721e-06,2.204819e-06,2.474928e-06,3.065589e-06,3.151050e-06,3.904623e-06,4.063542e-06,4.723227e-06,5.170547e-06,5.594776e-06,6.359731e-06,6.508296e-06,7.453915e-06,7.607582e-06,8.422639e-06,8.893371e-06,9.406162e-06,1.019844e-05,1.039678e-05,1.138736e-05,1.150591e-05,1.237138e-05,1.280073e-05,1.334295e-05,1.406978e-05,1.429685e-05,1.522855e-05,1.530200e-05,1.613419e-05,1.648842e-05,1.701060e-05,1.762208e-05,1.785526e-05,1.866622e-05,1.869793e-05,1.944209e-05,1.971262e-05,2.018196e-05,2.066425e-05,2.088536e-05,2.155218e-05,2.218263e-05,2.237676e-05,2.277718e-05,2.313916e-05,2.333651e-05,2.384113e-05,2.386149e-05,2.435309e-05,2.448490e-05,2.481241e-05,2.507299e-05,2.524062e-05,2.560813e-05,2.563892e-05,2.600856e-05,2.609315e-05,2.635079e-05,2.653093e-05,2.666685e-05,2.692433e-05,2.695799e-05,2.722542e-05,2.727617e-05,2.747034e-05,2.758918e-05,2.769389e-05,2.786598e-05,2.789719e-05,2.808134e-05,2.810909e-05,2.824735e-05,2.832090e-05,2.839624e-05,2.850366e-05,2.852896e-05,2.864641e-05,2.865952e-05,2.874947e-05,2.879047e-05,2.883897e-05,2.889840e-05,2.891569e-05,2.898040e-05,2.898507e-05,2.903379e-05,2.905214e-05,2.907656e-05,2.910113e-05,2.910934e-05,2.913274e-05,2.913349e-05,2.914735e-05,2.915055e-05,2.915369e-05,2.915356e-05,2.915231e-05,2.914368e-05,2.912827e-05,2.912198e-05,2.910652e-05,2.908946e-05,2.907884e-05,2.904706e-05,2.904563e-05,2.900726e-05,2.899564e-05,2.896408e-05,2.893600e-05,2.891642e-05,2.886888e-05,2.886459e-05,2.880889e-05,2.879498e-05,2.874961e-05,2.871494e-05,2.868700e-05,2.862935e-05,2.862131e-05,2.855278e-05,2.853875e-05,2.848163e-05,2.844367e-05,2.840808e-05,2.834458e-05,2.833232e-05,2.825453e-05,2.824190e-05,2.817489e-05,2.813606e-05,2.809357e-05,2.802742e-05,2.801073e-05,2.792652e-05,2.791633e-05,2.784106e-05,2.780311e-05,2.775451e-05,2.768806e-05,2.766697e-05,2.757856e-05,2.757146e-05,2.748940e-05,2.745355e-05,2.739959e-05,2.733458e-05,2.730923e-05,2.721840e-05,2.721476e-05,2.712720e-05,2.709429e-05,2.703571e-05,2.697336e-05,2.694399e-05,2.685213e-05,2.673077e-05,2.660941e-05,2.648818e-05,2.636722e-05,2.624663e-05,2.612652e-05,2.600697e-05,2.588808e-05,2.576992e-05,2.565256e-05,2.553607e-05,2.542050e-05,2.530592e-05,2.519236e-05,2.507987e-05,2.496849e-05,2.485826e-05,2.474920e-05,2.464134e-05,2.453470e-05,2.442931e-05,2.432519e-05,2.422234e-05,2.412078e-05
0.000000e+00,4.708886e-09,1.063275e-08,3.559705e-08,7.908081e-08,1.138727e-07,2.496563e-07,2.568070e-07,4.792978e-07,5.577464e-07,7.951764e-07,1.035127e-06,1.217816e-06,1.711121e-06,1.758973e-06,2.424406e-06,2.602206e-06,3.207828e-06,3.691327e-06,4.090207e-06,4.928934e-06,5.046852e-06,6.054686e-06,6.260662e-06,7.094834e-06,7.643335e-06,8.152145e-06,9.044336e-06,9.214101e-06,1.026997e-05,1.043770e-05,1.131034e-05,1.180176e-05,1.232699e-05,1.311843e-05,1.331282e-05,1.426188e-05,1.437306e-05,1.516939e-05,1.555457e-05,1.603178e-05,1.665545e-05,1.684657e-05,1.761235e-05,1.767148e-05,1.832867e-05,1.860140e-05,1.899587e-05,1.944639e-05,1.961497e-05,2.018756e-05,2.020953e-05,2.071563e-05,2.089527e-05,2.120144e-05,2.150892e-05,2.164749e-05,2.205636e-05,2.243053e-05,2.254335e-05,2.277255e-05,2.297576e-05,2.308497e-05,2.335921e-05,2.337012e-05,2.363027e-05,2.369892e-05,2.386752e-05,2.399971e-05,2.408384e-05,2.426589e-05,2.428100e-05,2.446067e-05,2.450136e-05,2.462435e-05,2.470954e-05,2.477342e-05,2.489349e-05,2.490911e-05,2.503255e-05,2.505586e-05,2.514475e-05,2.519896e-05,2.524662e-05,2.532483e-05,2.533900e-05,2.542262e-05,2.543524e-05,2.549816e-05,2.553173e-05,2.556622e-05,2.561565e-05,2.562735e-05,2.568204e-05,2.568819e-05,2.573075e-05,2.575039e-05,2.577389e-05,2.580317e-05,2.581182e-05,2.584490e-05,2.584734e-05,2.587343e-05,2.588363e-05,2.589769e-05,2.591267e-05,2.591796e-05,2.593447e-05,2.593506e-05,2.594745e-05,2.595130e-05,2.595711e-05,2.596189e-05,2.596365e-05,2.596723e-05,2.596804e-05,2.596773e-05,2.596622e-05,2.596375e-05,2.596193e-05,2.595562e-05,2.595531e-05,2.594648e-05,2.594363e-05,2.593556e-05,2.592806e-05,2.592268e-05,2.590919e-05,2.590795e-05,2.589146e-05,2.588725e-05,2.587331e-05,2.586246e-05,2.585360e-05,2.583503e-05,2.583241e-05,2.580983e-05,2.580516e-05,2.578594e-05,2.577303e-05,2.576081e-05,2.573880e-05,2.573452e-05,2.570713e-05,2.570265e-05,2.567871e-05,2.566472e-05,2.564932e-05,2.562515e-05,2.561902e-05,2.558786e-05,2.558406e-05,2.555590e-05,2.554160e-05,2.552319e-05,2.549787e-05,2.548979e-05,2.545573e-05,2.545298e-05,2.542106e-05,2.540703e-05,2.538583e-05,2.536013e-05,2.535007e-05,2.531383e-05,2.531237e-05,2.527713e-05,2.526382e-05,2.524003e-05,2.521458e-05,2.520255e-05,2.516472e-05,2.511431e-05,2.506341e-05,2.501211e-05,2.496045e-05,2.490848e-05,2.485628e-05,2.480388e-05,2.475134e-05,2.469869e-05,2.464599e-05,2.459327e-05,2.454057e-05,2.448792e-05,2.443536e-05,2.438291e-05,2.433062e-05,2.427850e-05,2.422658e-05,2.417489e-05,2.412344e-05,2.407227e-05,2.402138e-05,2.397080e-05,2.392054e-05
0.000000e+00,3.421960e-09,7.799127e-09,2.663027e-08,6.027100e-08,8.770539e-08,1.978190e-07,2.037276e-07,3.918208e-07,4.598243e-07,6.699861e-07,8.880458e-07,1.057361e-06,1.527070e-06,1.573553e-06,2.236719e-06,2.419387e-06,3.060116e-06,3.593070e-06,4.047261e-06,5.043095e-06,5.187208e-06,6.453447e-06,6.718691e-06,7.809177e-06,8.536705e-06,9.216311e-06,1.041402e-05,1.064234e-05,1.206256e-05,1.228798e-05,1.345919e-05,1.411734e-05,1.481964e-05,1.587586e-05,1.613499e-05,1.739894e-05,1.754693e-05,1.860710e-05,1.912023e-05,1.975658e-05,2.058983e-05,2.084564e-05,2.187352e-05,2.195310e-05,2.284021e-05,2.320989e-05,2.374636e-05,2.436192e-05,2.459309e-05,2.538192e-05,2.541230e-05,2.611467e-05,2.636511e-05,2.679335e-05,2.722509e-05,2.742016e-05,2.799735e-05,2.852726e-05,2.868722e-05,2.901219e-05,2.930002e-05,2.945448e-05,2.984105e-05,2.985638e-05,3.022013e-05,3.031543e-05,3.054787e-05,3.072809e-05,3.084167e-05,3.108373e-05,3.110355e-05,3.133540e-05,3.138678e-05,3.153906e-05,3.164145e-05,3.171627e-05,3.185165e-05,3.186868e-05,3.199787e-05,3.202106e-05,3.210534e-05,3.215311e-05,3.219250e-05,3.225100e-05,3.226068e-05,3.231116e-05,3.231767e-05,3.234513e-05,3.235590e-05,3.236371e-05,3.236821e-05,3.236797e-05,3.235892e-05,3.235698e-05,3.233749e-05,3.232438e-05,3.230459e-05,3.227243e-05,3.226105e-05,3.220766e-05,3.220299e-05,3.214516e-05,3.211777e-05,3.207426e-05,3.201837e-05,3.199560e-05,3.190981e-05,3.190624e-05,3.181745e-05,3.178270e-05,3.171908e-05,3.164901e-05,3.161520e-05,3.150630e-05,3.139282e-05,3.135561e-05,3.127519e-05,3.119790e-05,3.115379e-05,3.103406e-05,3.102901e-05,3.090118e-05,3.086489e-05,3.077063e-05,3.069113e-05,3.063767e-05,3.051346e-05,3.050258e-05,3.036563e-05,3.033251e-05,3.022706e-05,3.014885e-05,3.008712e-05,2.996299e-05,2.994601e-05,2.980394e-05,2.977543e-05,2.966110e-05,2.958658e-05,2.951767e-05,2.939685e-05,2.937381e-05,2.922967e-05,2.920659e-05,2.908540e-05,2.901614e-05,2.894113e-05,2.882580e-05,2.879699e-05,2.865308e-05,2.863584e-05,2.850952e-05,2.844649e-05,2.836641e-05,2.825799e-05,2.822383e-05,2.808186e-05,2.807054e-05,2.794060e-05,2.788431e-05,2.780010e-05,2.769946e-05,2.766045e-05,2.752168e-05,2.751615e-05,2.738387e-05,2.733450e-05,2.724706e-05,2.715463e-05,2.711130e-05,2.697664e-05,2.680062e-05,2.662664e-05,2.645479e-05,2.628511e-05,2.611766e-05,2.595248e-05,2.578961e-05,2.562908e-05,2.547091e-05,2.531511e-05,2.516170e-05,2.501069e-05,2.486209e-05,2.471588e-05,2.457207e-05,2.443065e-05,2.429161e-05,2.415495e-05,2.402063e-05,2.388866e-05,2.375900e-05,2.363164e-05,2.350656e-05,2.338374e-05
0.000000e+00,1.035901e-08,2.352397e-08,7.971878e-08,1.791953e-07,2.598001e-07,5.806020e-07,5.977280e-07,1.140009e-06,1.335056e-06,1.935662e-06,2.556301e-06,3.036781e-06,4.363219e-06,4.493896e-06,6.342444e-06,6.845207e-06,8.580178e-06,9.984284e-06,1.115041e-05,1.360928e-05,1.395450e-05,1.688682e-05,1.748057e-05,1.986032e-05,2.140105e-05,2.281194e-05,2.524183e-05,2.569775e-05,2.848713e-05,2.892294e-05,3.115853e-05,3.239426e-05,3.369687e-05,3.562481e-05,3.609206e-05,3.833802e-05,3.859734e-05,4.043200e-05,4.130508e-05,4.237388e-05,4.374923e-05,4.416581e-05,4.581171e-05,4.593723e-05,4.731685e-05,4.788086e-05,4.868745e-05,4.959485e-05,4.993044e-05,5.105311e-05,5.109562e-05,5.206295e-05,5.240030e-05,5.296741e-05,5.352602e-05,5.377387e-05,5.448950e-05,5.512115e-05,5.530662e-05,5.567535e-05,5.599225e-05,5.615825e-05,5.656011e-05,5.657562e-05,5.693285e-05,5.702278e-05,5.723494e-05,5.739167e-05,5.748653e-05,5.767709e-05,5.769191e-05,5.785504e-05,5.788832e-05,5.797957e-05,5.803370e-05,5.806884e-05,5.812069e-05,5.812594e-05,5.815370e-05,5.815596e-05,5.815472e-05,5.814548e-05,5.813138e-05,5.809456e-05,5.808587e-05,5.802020e-05,5.800795e-05,5.793621e-05,5.788989e-05,5.783559e-05,5.774416e-05,5.771988e-05,5.759052e-05,5.757415e-05,5.744881e-05,5.738285e-05,5.729594e-05,5.717298e-05,5.713302e-05,5.696106e-05,5.694694e-05,5.678099e-05,5.670689e-05,5.659367e-05,5.645475e-05,5.639987e-05,5.620033e-05,5.619224e-05,5.599571e-05,5.592093e-05,5.578662e-05,5.564218e-05,5.557363e-05,5.535725e-05,5.513797e-05,5.506726e-05,5.491622e-05,5.477320e-05,5.469241e-05,5.447597e-05,5.446692e-05,5.424009e-05,5.417638e-05,5.401224e-05,5.387516e-05,5.378366e-05,5.357295e-05,5.355461e-05,5.332536e-05,5.327033e-05,5.309613e-05,5.296784e-05,5.286712e-05,5.266594e-05,5.263853e-05,5.241055e-05,5.236504e-05,5.218333e-05,5.206553e-05,5.195703e-05,5.176775e-05,5.173179e-05,5.150772e-05,5.147199e-05,5.128496e-05,5.117852e-05,5.106360e-05,5.088758e-05,5.084374e-05,5.062547e-05,5.059939e-05,5.040887e-05,5.031412e-05,5.019402e-05,5.003194e-05,4.998098e-05,4.976982e-05,4.975301e-05,4.956058e-05,4.947743e-05,4.935331e-05,4.920533e-05,4.914807e-05,4.894488e-05,4.893680e-05,4.874379e-05,4.867191e-05,4.854482e-05,4.841075e-05,4.834800e-05,4.815335e-05,4.789977e-05,4.765005e-05,4.740420e-05,4.716226e-05,4.692422e-05,4.669011e-05,4.645991e-05,4.623363e-05,4.601124e-05,4.579273e-05,4.557810e-05,4.536730e-05,4.516031e-05,4.495711e-05,4.475767e-05,4.456194e-05,4.436989e-05,4.418148e-05,4.399667e-05,4.381542e-05,4.363768e-05,4.346341e-05,4.329256e-05,4.312509e-05
0.000000e+00,5.137640e-09,1.150056e-08,3.791635e-08,8.343575e-08,1.198036e-07,2.633558e-07,2.710216e-07,5.162745e-07,6.060492e-07,8.881219e-07,1.187181e-06,1.422031e-06,2.070171e-06,2.133120e-06,2.987557e-06,3.206327e-06,3.915666e-06,4.443196e-06,4.854892e-06,5.661049e-06,5.768701e-06,6.641162e-06,6.810150e-06,7.467341e-06,7.878454e-06,8.246823e-06,8.866107e-06,8.980441e-06,9.669003e-06,9.775026e-06,1.031296e-05,1.060629e-05,1.091255e-05,1.136039e-05,1.146795e-05,1.197960e-05,1.203809e-05,1.244824e-05,1.264111e-05,1.287506e-05,1.317242e-05,1.326163e-05,1.360991e-05,1.363618e-05,1.392212e-05,1.403745e-05,1.420071e-05,1.438189e-05,1.444820e-05,1.466717e-05,1.467537e-05,1.486015e-05,1.492374e-05,1.502959e-05,1.513253e-05,1.517778e-05,1.530687e-05,1.541886e-05,1.545138e-05,1.551553e-05,1.557012e-05,1.559851e-05,1.566665e-05,1.566926e-05,1.572908e-05,1.574403e-05,1.577911e-05,1.580486e-05,1.582037e-05,1.585136e-05,1.585376e-05,1.588005e-05,1.588539e-05,1.589996e-05,1.590855e-05,1.591409e-05,1.592217e-05,1.592298e-05,1.592712e-05,1.592741e-05,1.592692e-05,1.592523e-05,1.592276e-05,1.591646e-05,1.591498e-05,1.590388e-05,1.590182e-05,1.588973e-05,1.588193e-05,1.587277e-05,1.585733e-05,1.585323e-05,1.583130e-05,1.582851e-05,1.580716e-05,1.579589e-05,1.578099e-05,1.575984e-05,1.575294e-05,1.572315e-05,1.572069e-05,1.569175e-05,1.567877e-05,1.565886e-05,1.563433e-05,1.562461e-05,1.558908e-05,1.558763e-05,1.555239e-05,1.553891e-05,1.551461e-05,1.548836e-05,1.547585e-05,1.543618e-05,1.539567e-05,1.538254e-05,1.535439e-05,1.532761e-05,1.531243e-05,1.527154e-05,1.526982e-05,1.522664e-05,1.521446e-05,1.518295e-05,1.515650e-05,1.513878e-05,1.509779e-05,1.509420e-05,1.504926e-05,1.503842e-05,1.500398e-05,1.497850e-05,1.495842e-05,1.491813e-05,1.491262e-05,1.486661e-05,1.485739e-05,1.482043e-05,1.479636e-05,1.477411e-05,1.473512e-05,1.472769e-05,1.468119e-05,1.467374e-05,1.463464e-05,1.461228e-05,1.458806e-05,1.455080e-05,1.454149e-05,1.449494e-05,1.448936e-05,1.444845e-05,1.442801e-05,1.440202e-05,1.436679e-05,1.435568e-05,1.430945e-05,1.430576e-05,1.426334e-05,1.424494e-05,1.421738e-05,1.418439e-05,1.417158e-05,1.412595e-05,1.412413e-05,1.408050e-05,1.406419e-05,1.403526e-05,1.400461e-05,1.399023e-05,1.394542e-05,1.388663e-05,1.382827e-05,1.377037e-05,1.371294e-05,1.365600e-05,1.359957e-05,1.354365e-05,1.348827e-05,1.343344e-05,1.337916e-05,1.332544e-05,1.327230e-05,1.321974e-05,1.316777e-05,1.311639e-05,1.306561e-05,1.301543e-05,1.296585e-05,1.291688e-05,1.286851e-05,1.282076e-05,1.277362e-05,1.272708e-05,1.268116e-05
0.000000e+00,1.452996e-09,3.316217e-09,1.136776e-08,2.586530e-08,3.778510e-08,8.644134e-08,8.908771e-08,1.750675e-07,2.068954e-07,3.070366e-07,4.123417e-07,4.939947e-07,7.157772e-07,7.372201e-07,1.032690e-06,1.110898e-06,1.376371e-06,1.588842e-06,1.765553e-06,2.144104e-06,2.198269e-06,2.672660e-06,2.772360e-06,3.186607e-06,3.468662e-06,3.737549e-06,4.226710e-06,4.322432e-06,4.937731e-06,5.038743e-06,5.579514e-06,5.895742e-06,6.243545e-06,6.787809e-06,6.925385e-06,7.620504e-06,7.704596e-06,8.324395e-06,8.635749e-06,9.032670e-06,9.571308e-06,9.741146e-06,1.044591e-05,1.050203e-05,1.114339e-05,1.141961e-05,1.183036e-05,1.231687e-05,1.250399e-05,1.316183e-05,1.318778e-05,1.380182e-05,1.402751e-05,1.442227e-05,1.483232e-05,1.502184e-05,1.559952e-05,1.615460e-05,1.632736e-05,1.668660e-05,1.701486e-05,1.719530e-05,1.766168e-05,1.768064e-05,1.814276e-05,1.826802e-05,1.858193e-05,1.883459e-05,1.899857e-05,1.936239e-05,1.939316e-05,1.976629e-05,1.985271e-05,2.011859e-05,2.030703e-05,2.045075e-05,2.072696e-05,2.076348e-05,2.105753e-05,2.111416e-05,2.133364e-05,2.147037e-05,2.159255e-05,2.179732e-05,2.183505e-05,2.206190e-05,2.209679e-05,2.227383e-05,2.237046e-05,2.247154e-05,2.261990e-05,2.265567e-05,2.282690e-05,2.284661e-05,2.298585e-05,2.305206e-05,2.313314e-05,2.323763e-05,2.326933e-05,2.339499e-05,2.340461e-05,2.351066e-05,2.355424e-05,2.361683e-05,2.368768e-05,2.371400e-05,2.380265e-05,2.380602e-05,2.388319e-05,2.391029e-05,2.395607e-05,2.400144e-05,2.402167e-05,2.408037e-05,2.413254e-05,2.414790e-05,2.417851e-05,2.420483e-05,2.421861e-05,2.425188e-05,2.425316e-05,2.428244e-05,2.428973e-05,2.430674e-05,2.431903e-05,2.432632e-05,2.434037e-05,2.434142e-05,2.435230e-05,2.435430e-05,2.435917e-05,2.436134e-05,2.436225e-05,2.436198e-05,2.436174e-05,2.435784e-05,2.435666e-05,2.435072e-05,2.434581e-05,2.434057e-05,2.432982e-05,2.432755e-05,2.431182e-05,2.430906e-05,2.429352e-05,2.428387e-05,2.427280e-05,2.425458e-05,2.424980e-05,2.422463e-05,2.422147e-05,2.419742e-05,2.418484e-05,2.416830e-05,2.414494e-05,2.413736e-05,2.410471e-05,2.410203e-05,2.407045e-05,2.405632e-05,2.403469e-05,2.400804e-05,2.399749e-05,2.395896e-05,2.395739e-05,2.391917e-05,2.390456e-05,2.387821e-05,2.384971e-05,2.383613e-05,2.379303e-05,2.373465e-05,2.367474e-05,2.361342e-05,2.355083e-05,2.348708e-05,2.342228e-05,2.335655e-05,2.328998e-05,2.322267e-05,2.315470e-05,2.308615e-05,2.301711e-05,2.294765e-05,2.287783e-05,2.280771e-05,2.273737e-05,2.266685e-05,2.259622e-05,2.252551e-05,2.245477e-05,2.238406e-05,2.231340e-05,2.224285e-05,2.217243e-05
0.000000e+00,9.113318e-09,2.035342e-08,6.663381e-08,1.451285e-07,2.067777e-07,4.416066e-07,4.537880e-07,8.268216e-07,9.562460e-07,1.343418e-06,1.729601e-06,2.021142e-06,2.801134e-06,2.876388e-06,3.918527e-06,4.196027e-06,5.138726e-06,5.887187e-06,6.499978e-06,7.766481e-06,7.941466e-06,9.398152e-06,9.686440e-06,1.081845e-05,1.153098e-05,1.216928e-05,1.323676e-05,1.343257e-05,1.459994e-05,1.477756e-05,1.566842e-05,1.614610e-05,1.663804e-05,1.734365e-05,1.751048e-05,1.828850e-05,1.837568e-05,1.897566e-05,1.925030e-05,1.957620e-05,1.997763e-05,2.009494e-05,2.053715e-05,2.056939e-05,2.090846e-05,2.103842e-05,2.121466e-05,2.139810e-05,2.146161e-05,2.165510e-05,2.166181e-05,2.180072e-05,2.184246e-05,2.190379e-05,2.195212e-05,2.196927e-05,2.200178e-05,2.200551e-05,2.200126e-05,2.198426e-05,2.195914e-05,2.194144e-05,2.188285e-05,2.188007e-05,2.180283e-05,2.177869e-05,2.171208e-05,2.165200e-05,2.160986e-05,2.150726e-05,2.149799e-05,2.137801e-05,2.134816e-05,2.125128e-05,2.117781e-05,2.111898e-05,2.099875e-05,2.098211e-05,2.084156e-05,2.081308e-05,2.069809e-05,2.062255e-05,2.055235e-05,2.042859e-05,2.040490e-05,2.025626e-05,2.023239e-05,2.010683e-05,2.003494e-05,1.995700e-05,1.983706e-05,1.980708e-05,1.965737e-05,1.963943e-05,1.950810e-05,1.944262e-05,1.935949e-05,1.924710e-05,1.921172e-05,1.906496e-05,1.905327e-05,1.891936e-05,1.886147e-05,1.877503e-05,1.867197e-05,1.863209e-05,1.849062e-05,1.848500e-05,1.835072e-05,1.830075e-05,1.821244e-05,1.811938e-05,1.807586e-05,1.794101e-05,1.780796e-05,1.776576e-05,1.767672e-05,1.759370e-05,1.754733e-05,1.742489e-05,1.741982e-05,1.729420e-05,1.725937e-05,1.717049e-05,1.709719e-05,1.704870e-05,1.693834e-05,1.692883e-05,1.681088e-05,1.678286e-05,1.669485e-05,1.663072e-05,1.658075e-05,1.648192e-05,1.646856e-05,1.635827e-05,1.633644e-05,1.624988e-05,1.619426e-05,1.614337e-05,1.605535e-05,1.603873e-05,1.593594e-05,1.591967e-05,1.583499e-05,1.578718e-05,1.573585e-05,1.565783e-05,1.563851e-05,1.554294e-05,1.553160e-05,1.544914e-05,1.540841e-05,1.535706e-05,1.528823e-05,1.526670e-05,1.517803e-05,1.517101e-05,1.509102e-05,1.505668e-05,1.500566e-05,1.494520e-05,1.492191e-05,1.483976e-05,1.483650e-05,1.475917e-05,1.473054e-05,1.468013e-05,1.462725e-05,1.460261e-05,1.452659e-05,1.442848e-05,1.433288e-05,1.423972e-05,1.414896e-05,1.406053e-05,1.397439e-05,1.389046e-05,1.380872e-05,1.372908e-05,1.365152e-05,1.357597e-05,1.350238e-05,1.343071e-05,1.336089e-05,1.329290e-05,1.322667e-05,1.316217e-05,1.309935e-05,1.303815e-05,1.297855e-05,1.292050e-05,1.286395e-05,1.280887e-05,1.275521e-05
0.000000e+00,3.081570e-09,7.017923e-09,2.396518e-08,5.440169e-08,7.941938e-08,1.818267e-07,1.874149e-07,3.702397e-07,4.386154e-07,6.568071e-07,8.923566e-07,1.079862e-06,1.608766e-06,1.661109e-06,2.392448e-06,2.586863e-06,3.241177e-06,3.754296e-06,4.172106e-06,5.037963e-06,5.158607e-06,6.182220e-06,6.390161e-06,7.229588e-06,7.780023e-06,8.290118e-06,9.184432e-06,9.354686e-06,1.041504e-05,1.058378e-05,1.146359e-05,1.196064e-05,1.249342e-05,1.329965e-05,1.349838e-05,1.447310e-05,1.458782e-05,1.541314e-05,1.581482e-05,1.631492e-05,1.697297e-05,1.717572e-05,1.799371e-05,1.805726e-05,1.876776e-05,1.906495e-05,1.949740e-05,1.999528e-05,2.018275e-05,2.082441e-05,2.084918e-05,2.142336e-05,2.162878e-05,2.198091e-05,2.233717e-05,2.249859e-05,2.297808e-05,2.342120e-05,2.355562e-05,2.382980e-05,2.407407e-05,2.420578e-05,2.453780e-05,2.455104e-05,2.486745e-05,2.495112e-05,2.515681e-05,2.531817e-05,2.542086e-05,2.564287e-05,2.566127e-05,2.587961e-05,2.592890e-05,2.607740e-05,2.617971e-05,2.625605e-05,2.639849e-05,2.641690e-05,2.656120e-05,2.658818e-05,2.669013e-05,2.675146e-05,2.680478e-05,2.689081e-05,2.690619e-05,2.699530e-05,2.700848e-05,2.707301e-05,2.710650e-05,2.714014e-05,2.718674e-05,2.719746e-05,2.724568e-05,2.725089e-05,2.728548e-05,2.730048e-05,2.731747e-05,2.733690e-05,2.734221e-05,2.736025e-05,2.736142e-05,2.737209e-05,2.737518e-05,2.737817e-05,2.737922e-05,2.737892e-05,2.737475e-05,2.737449e-05,2.736602e-05,2.736183e-05,2.735308e-05,2.734203e-05,2.733624e-05,2.731580e-05,2.729204e-05,2.728378e-05,2.726522e-05,2.724655e-05,2.723557e-05,2.720465e-05,2.720332e-05,2.716867e-05,2.715857e-05,2.713182e-05,2.710874e-05,2.709296e-05,2.705557e-05,2.705225e-05,2.700984e-05,2.699943e-05,2.696589e-05,2.694066e-05,2.692054e-05,2.687956e-05,2.687390e-05,2.682611e-05,2.681642e-05,2.677727e-05,2.675149e-05,2.672749e-05,2.668502e-05,2.667686e-05,2.662549e-05,2.661720e-05,2.657345e-05,2.654826e-05,2.652082e-05,2.647835e-05,2.646769e-05,2.641412e-05,2.640766e-05,2.636017e-05,2.633633e-05,2.630592e-05,2.626451e-05,2.625141e-05,2.619670e-05,2.619232e-05,2.614184e-05,2.611987e-05,2.608689e-05,2.604728e-05,2.603188e-05,2.597685e-05,2.597465e-05,2.592185e-05,2.590207e-05,2.586691e-05,2.582961e-05,2.581207e-05,2.575735e-05,2.568537e-05,2.561373e-05,2.554248e-05,2.547168e-05,2.540138e-05,2.533162e-05,2.526243e-05,2.519386e-05,2.512594e-05,2.505869e-05,2.499215e-05,2.492633e-05,2.486126e-05,2.479696e-05,2.473344e-05,2.467071e-05,2.460879e-05,2.454769e-05,2.448742e-05,2.442798e-05,2.436938e-05,2.431163e-05,2.425472e-05,2.419867e-05
0.000000e+00,3.314024e-09,7.566333e-09,2.592428e-08,5.883798e-08,8.573734e-08,1.939336e-07,1.997450e-07,3.848222e-07,4.517346e-07,6.583860e-07,8.723896e-07,1.038068e-06,1.493817e-06,1.538501e-06,2.165001e-06,2.333594e-06,2.911161e-06,3.376665e-06,3.764463e-06,4.593661e-06,4.711924e-06,5.741576e-06,5.956367e-06,6.842071e-06,7.438602e-06,8.002188e-06,9.014527e-06,9.210670e-06,1.045630e-05,1.065831e-05,1.172810e-05,1.234475e-05,1.301556e-05,1.405019e-05,1.430888e-05,1.559910e-05,1.575333e-05,1.687825e-05,1.743573e-05,1.813936e-05,1.908206e-05,1.937651e-05,2.058476e-05,2.068005e-05,2.176012e-05,2.222033e-05,2.289945e-05,2.369609e-05,2.400037e-05,2.506115e-05,2.510273e-05,2.608068e-05,2.643747e-05,2.705829e-05,2.769901e-05,2.799378e-05,2.888725e-05,2.973909e-05,3.000299e-05,3.054993e-05,3.104771e-05,3.132056e-05,3.202341e-05,3.205192e-05,3.274506e-05,3.293244e-05,3.340109e-05,3.377739e-05,3.402120e-05,3.456100e-05,3.460659e-05,3.515849e-05,3.528611e-05,3.567816e-05,3.595555e-05,3.616683e-05,3.657219e-05,3.662572e-05,3.705606e-05,3.713880e-05,3.745903e-05,3.765814e-05,3.783579e-05,3.813287e-05,3.818750e-05,3.851526e-05,3.856555e-05,3.882013e-05,3.895865e-05,3.910317e-05,3.931457e-05,3.936539e-05,3.960776e-05,3.963556e-05,3.983122e-05,3.992379e-05,4.003669e-05,4.018134e-05,4.022503e-05,4.039708e-05,4.041017e-05,4.055366e-05,4.061214e-05,4.069555e-05,4.078902e-05,4.082348e-05,4.093818e-05,4.094251e-05,4.104034e-05,4.107417e-05,4.113060e-05,4.118552e-05,4.120961e-05,4.127796e-05,4.133624e-05,4.135286e-05,4.138500e-05,4.141145e-05,4.142476e-05,4.145494e-05,4.145604e-05,4.147931e-05,4.148445e-05,4.149503e-05,4.150103e-05,4.150366e-05,4.150568e-05,4.150560e-05,4.150126e-05,4.149932e-05,4.149102e-05,4.148284e-05,4.147525e-05,4.145707e-05,4.145429e-05,4.142848e-05,4.142276e-05,4.139813e-05,4.138065e-05,4.136354e-05,4.133142e-05,4.132500e-05,4.128278e-05,4.127571e-05,4.123715e-05,4.121410e-05,4.118834e-05,4.114716e-05,4.113659e-05,4.108212e-05,4.107542e-05,4.102515e-05,4.099934e-05,4.096588e-05,4.091941e-05,4.090449e-05,4.084117e-05,4.083602e-05,4.077608e-05,4.074959e-05,4.070940e-05,4.066049e-05,4.064128e-05,4.057185e-05,4.056905e-05,4.050126e-05,4.047559e-05,4.042965e-05,4.038042e-05,4.035713e-05,4.028381e-05,4.018602e-05,4.008728e-05,3.998782e-05,3.988784e-05,3.978752e-05,3.968704e-05,3.958657e-05,3.948625e-05,3.938621e-05,3.928657e-05,3.918747e-05,3.908898e-05,3.899122e-05,3.889427e-05,3.879820e-05,3.870310e-05,3.860901e-05,3.851600e-05,3.842413e-05,3.833342e-05,3.824394e-05,3.815570e-05,3.806874e-05,3.798309e-05
0.000000e+00,1.161093e-08,2.647442e-08,9.042446e-08,2.045033e-07,2.973114e-07,6.674895e-07,6.872451e-07,1.310501e-06,1.533256e-06,2.213763e-06,2.908470e-06,3.440869e-06,4.891118e-06,5.032799e-06,7.026151e-06,7.567668e-06,9.448848e-06,1.099830e-05,1.231231e-05,1.518671e-05,1.560306e-05,1.928151e-05,2.005890e-05,2.329125e-05,2.548698e-05,2.757146e-05,3.133341e-05,3.206432e-05,3.671701e-05,3.747299e-05,4.148128e-05,4.379457e-05,4.631266e-05,5.019829e-05,5.116996e-05,5.601513e-05,5.659405e-05,6.081338e-05,6.290155e-05,6.553339e-05,6.905106e-05,7.014741e-05,7.463140e-05,7.498386e-05,7.896504e-05,8.065254e-05,8.313165e-05,8.602062e-05,8.711800e-05,9.091410e-05,9.106187e-05,9.451292e-05,9.575928e-05,9.791009e-05,1.001039e-04,1.011036e-04,1.040934e-04,1.068812e-04,1.077311e-04,1.094703e-04,1.110249e-04,1.118649e-04,1.139858e-04,1.140705e-04,1.160930e-04,1.166274e-04,1.179392e-04,1.189651e-04,1.196160e-04,1.210154e-04,1.211308e-04,1.224912e-04,1.227955e-04,1.237046e-04,1.243227e-04,1.247786e-04,1.256144e-04,1.257207e-04,1.265382e-04,1.266874e-04,1.272383e-04,1.275583e-04,1.278280e-04,1.282429e-04,1.283140e-04,1.287028e-04,1.287564e-04,1.290007e-04,1.291132e-04,1.292138e-04,1.293269e-04,1.293476e-04,1.294078e-04,1.294103e-04,1.293995e-04,1.293754e-04,1.293277e-04,1.292336e-04,1.291971e-04,1.290122e-04,1.289952e-04,1.287773e-04,1.286702e-04,1.284962e-04,1.282675e-04,1.281729e-04,1.278108e-04,1.277956e-04,1.274134e-04,1.272623e-04,1.269838e-04,1.266748e-04,1.265249e-04,1.260397e-04,1.255306e-04,1.253631e-04,1.250003e-04,1.246507e-04,1.244509e-04,1.239077e-04,1.238847e-04,1.233037e-04,1.231386e-04,1.227098e-04,1.223480e-04,1.221048e-04,1.215397e-04,1.214902e-04,1.208678e-04,1.207174e-04,1.202388e-04,1.198842e-04,1.196047e-04,1.190433e-04,1.189666e-04,1.183258e-04,1.181974e-04,1.176832e-04,1.173487e-04,1.170399e-04,1.164997e-04,1.163969e-04,1.157548e-04,1.156522e-04,1.151146e-04,1.148081e-04,1.144769e-04,1.139690e-04,1.138424e-04,1.132116e-04,1.131362e-04,1.125852e-04,1.123111e-04,1.119636e-04,1.114948e-04,1.113474e-04,1.107368e-04,1.106882e-04,1.101323e-04,1.098922e-04,1.095342e-04,1.091077e-04,1.089428e-04,1.083583e-04,1.083351e-04,1.077811e-04,1.075751e-04,1.072113e-04,1.068282e-04,1.066492e-04,1.060947e-04,1.053750e-04,1.046693e-04,1.039777e-04,1.033005e-04,1.026377e-04,1.019894e-04,1.013556e-04,1.007362e-04,1.001312e-04,9.954054e-05,9.896403e-05,9.840159e-05,9.785304e-05,9.731821e-05,9.679692e-05,9.628897e-05,9.579415e-05,9.531223e-05,9.484299e-05,9.438619e-05,9.394159e-05,9.350895e-05,9.308802e-05,9.267853e-05
0.000000e+00,4.884719e-09,1.117450e-08,3.852416e-08,8.823154e-08,1.294454e-07,3.002030e-07,3.095915e-07,6.193342e-07,7.361038e-07,1.110475e-06,1.515526e-06,1.837322e-06,2.738802e-06,2.827557e-06,4.065160e-06,4.394979e-06,5.514094e-06,6.405684e-06,7.142931e-06,8.707300e-06,8.929428e-06,1.085721e-05,1.125848e-05,1.291239e-05,1.402701e-05,1.508161e-05,1.698182e-05,1.735109e-05,1.970627e-05,2.009005e-05,2.213200e-05,2.331685e-05,2.461268e-05,2.662619e-05,2.713257e-05,2.967638e-05,2.998253e-05,3.222939e-05,3.335204e-05,3.477783e-05,3.670374e-05,3.730902e-05,3.981152e-05,4.001017e-05,4.227520e-05,4.324779e-05,4.469126e-05,4.639709e-05,4.705222e-05,4.935183e-05,4.944246e-05,5.158500e-05,5.237187e-05,5.374770e-05,5.517649e-05,5.583688e-05,5.785032e-05,5.978655e-05,6.038969e-05,6.164476e-05,6.279292e-05,6.342468e-05,6.505995e-05,6.512653e-05,6.675090e-05,6.719196e-05,6.829873e-05,6.919118e-05,6.977122e-05,7.106059e-05,7.116979e-05,7.249604e-05,7.280376e-05,7.375169e-05,7.442469e-05,7.493857e-05,7.592766e-05,7.605860e-05,7.711374e-05,7.731716e-05,7.810599e-05,7.859778e-05,7.903737e-05,7.977415e-05,7.990989e-05,8.072557e-05,8.085093e-05,8.148641e-05,8.183271e-05,8.219438e-05,8.272402e-05,8.285145e-05,8.345952e-05,8.352929e-05,8.402048e-05,8.425285e-05,8.453616e-05,8.489891e-05,8.500837e-05,8.543886e-05,8.547155e-05,8.582934e-05,8.597470e-05,8.618146e-05,8.641216e-05,8.649686e-05,8.677709e-05,8.678759e-05,8.702368e-05,8.710450e-05,8.723810e-05,8.736627e-05,8.742179e-05,8.757613e-05,8.770246e-05,8.773718e-05,8.780207e-05,8.785238e-05,8.787622e-05,8.792456e-05,8.792610e-05,8.795289e-05,8.795641e-05,8.795771e-05,8.795051e-05,8.794165e-05,8.790932e-05,8.790574e-05,8.785100e-05,8.783517e-05,8.777840e-05,8.773029e-05,8.768887e-05,8.759679e-05,8.758330e-05,8.746257e-05,8.743667e-05,8.732749e-05,8.725185e-05,8.717888e-05,8.704414e-05,8.701749e-05,8.684407e-05,8.681526e-05,8.665932e-05,8.656682e-05,8.646392e-05,8.630038e-05,8.625853e-05,8.604376e-05,8.601738e-05,8.582021e-05,8.571923e-05,8.558847e-05,8.540721e-05,8.534909e-05,8.510258e-05,8.508256e-05,8.484945e-05,8.474646e-05,8.459020e-05,8.440000e-05,8.432527e-05,8.405512e-05,8.404421e-05,8.378016e-05,8.368008e-05,8.350080e-05,8.330852e-05,8.321743e-05,8.293041e-05,8.254655e-05,8.215772e-05,8.176464e-05,8.136798e-05,8.096837e-05,8.056641e-05,8.016266e-05,7.975764e-05,7.935183e-05,7.894568e-05,7.853963e-05,7.813406e-05,7.772935e-05,7.732582e-05,7.692381e-05,7.652360e-05,7.612547e-05,7.572966e-05,7.533641e-05,7.494593e-05,7.455841e-05,7.417403e-05,7.379295e-05,7.341533e-05
0.000000e+00,6.084362e-09,1.386876e-08,4.733587e-08,1.069766e-07,1.554559e-07,3.485471e-07,3.588412e-07,6.831312e-07,7.988307e-07,1.151696e-06,1.511069e-06,1.785934e-06,2.532407e-06,2.605161e-06,3.625599e-06,3.901787e-06,4.857742e-06,5.640915e-06,6.302031e-06,7.738629e-06,7.945671e-06,9.764735e-06,1.014708e-05,1.173040e-05,1.280090e-05,1.381401e-05,1.563577e-05,1.598883e-05,1.823019e-05,1.859342e-05,2.051507e-05,2.162090e-05,2.282198e-05,2.466990e-05,2.513096e-05,2.742372e-05,2.769696e-05,2.968379e-05,3.066404e-05,3.189663e-05,3.353903e-05,3.404974e-05,3.613262e-05,3.629595e-05,3.813675e-05,3.891480e-05,4.005547e-05,4.138121e-05,4.188382e-05,4.361841e-05,4.368581e-05,4.525722e-05,4.582355e-05,4.679943e-05,4.779302e-05,4.824524e-05,4.959570e-05,5.085257e-05,5.123536e-05,5.201816e-05,5.271749e-05,5.309523e-05,5.404883e-05,5.408689e-05,5.499648e-05,5.523693e-05,5.582750e-05,5.628990e-05,5.658357e-05,5.721609e-05,5.726833e-05,5.788545e-05,5.802390e-05,5.843857e-05,5.872168e-05,5.893123e-05,5.931754e-05,5.936693e-05,5.974905e-05,5.981933e-05,6.008085e-05,6.023456e-05,6.036549e-05,6.057034e-05,6.060598e-05,6.080522e-05,6.083346e-05,6.096598e-05,6.103025e-05,6.109089e-05,6.116669e-05,6.118245e-05,6.124303e-05,6.124832e-05,6.127488e-05,6.128034e-05,6.128012e-05,6.126757e-05,6.126078e-05,6.121875e-05,6.121447e-05,6.115582e-05,6.112518e-05,6.107368e-05,6.100353e-05,6.097390e-05,6.085799e-05,6.085304e-05,6.072734e-05,6.067696e-05,6.058328e-05,6.047828e-05,6.042703e-05,6.025975e-05,6.008254e-05,6.002389e-05,5.989639e-05,5.977301e-05,5.970226e-05,5.950920e-05,5.950103e-05,5.929353e-05,5.923441e-05,5.908054e-05,5.895040e-05,5.886276e-05,5.865877e-05,5.864088e-05,5.841552e-05,5.836098e-05,5.818725e-05,5.805835e-05,5.795662e-05,5.775210e-05,5.772412e-05,5.749022e-05,5.744331e-05,5.725535e-05,5.713296e-05,5.701990e-05,5.682194e-05,5.678424e-05,5.654871e-05,5.651106e-05,5.631363e-05,5.620103e-05,5.607927e-05,5.589248e-05,5.584590e-05,5.561376e-05,5.558600e-05,5.538308e-05,5.528209e-05,5.515405e-05,5.498121e-05,5.492686e-05,5.470167e-05,5.468375e-05,5.447864e-05,5.439006e-05,5.425789e-05,5.410044e-05,5.403956e-05,5.382374e-05,5.381516e-05,5.361054e-05,5.353445e-05,5.340004e-05,5.325849e-05,5.319232e-05,5.298744e-05,5.272145e-05,5.246061e-05,5.220502e-05,5.195473e-05,5.170979e-05,5.147022e-05,5.123604e-05,5.100725e-05,5.078383e-05,5.056575e-05,5.035299e-05,5.014548e-05,4.994319e-05,4.974605e-05,4.955401e-05,4.936697e-05,4.918488e-05,4.900765e-05,4.883521e-05,4.866745e-05,4.850431e-05,4.834568e-05,4.819149e-05,4.804163e-05
0.000000e+00,1.092603e-08,2.491377e-08,8.514629e-08,1.928515e-07,2.807421e-07,6.338411e-07,6.528018e-07,1.257150e-06,1.476051e-06,2.154131e-06,2.860391e-06,3.410643e-06,4.943741e-06,5.095788e-06,7.262791e-06,7.856811e-06,9.920960e-06,1.160950e-05,1.302706e-05,1.607462e-05,1.651005e-05,2.029911e-05,2.108817e-05,2.433420e-05,2.651277e-05,2.856530e-05,3.223895e-05,3.294891e-05,3.744526e-05,3.817261e-05,4.201683e-05,4.422730e-05,4.662772e-05,5.032166e-05,5.124367e-05,5.583229e-05,5.637963e-05,6.036348e-05,6.233183e-05,6.480980e-05,6.811704e-05,6.914673e-05,7.335293e-05,7.368321e-05,7.741024e-05,7.898802e-05,8.130372e-05,8.399883e-05,8.502154e-05,8.855476e-05,8.869216e-05,9.189715e-05,9.305288e-05,9.504488e-05,9.707324e-05,9.799632e-05,1.007517e-04,1.033128e-04,1.040919e-04,1.056830e-04,1.071015e-04,1.078663e-04,1.097915e-04,1.098682e-04,1.116943e-04,1.121750e-04,1.133512e-04,1.142670e-04,1.148457e-04,1.160834e-04,1.161850e-04,1.173761e-04,1.176407e-04,1.184265e-04,1.189559e-04,1.193434e-04,1.200456e-04,1.201340e-04,1.208055e-04,1.209262e-04,1.213648e-04,1.216136e-04,1.218187e-04,1.221232e-04,1.221736e-04,1.224360e-04,1.224698e-04,1.226118e-04,1.226672e-04,1.227070e-04,1.227288e-04,1.227270e-04,1.226772e-04,1.226668e-04,1.225626e-04,1.224929e-04,1.223880e-04,1.222181e-04,1.221580e-04,1.218770e-04,1.218524e-04,1.215489e-04,1.214054e-04,1.211778e-04,1.208859e-04,1.207671e-04,1.203205e-04,1.203019e-04,1.198411e-04,1.196611e-04,1.193320e-04,1.189703e-04,1.187961e-04,1.182360e-04,1.176544e-04,1.174641e-04,1.170536e-04,1.166600e-04,1.164358e-04,1.158287e-04,1.158031e-04,1.151575e-04,1.149746e-04,1.145007e-04,1.141021e-04,1.138346e-04,1.132148e-04,1.131606e-04,1.124803e-04,1.123162e-04,1.117950e-04,1.114095e-04,1.111060e-04,1.104975e-04,1.104144e-04,1.097214e-04,1.095828e-04,1.090280e-04,1.086676e-04,1.083352e-04,1.077542e-04,1.076437e-04,1.069544e-04,1.068444e-04,1.062680e-04,1.059398e-04,1.055852e-04,1.050420e-04,1.049066e-04,1.042328e-04,1.041523e-04,1.035642e-04,1.032718e-04,1.029013e-04,1.024017e-04,1.022446e-04,1.015945e-04,1.015427e-04,1.009512e-04,1.006958e-04,1.003150e-04,9.986158e-05,9.968631e-05,9.906528e-05,9.904060e-05,9.845214e-05,9.823337e-05,9.784706e-05,9.744030e-05,9.725021e-05,9.666170e-05,9.589785e-05,9.514894e-05,9.441512e-05,9.369646e-05,9.299304e-05,9.230483e-05,9.163182e-05,9.097393e-05,9.033108e-05,8.970314e-05,8.908996e-05,8.849139e-05,8.790722e-05,8.733727e-05,8.678133e-05,8.623916e-05,8.571053e-05,8.519521e-05,8.469295e-05,8.420348e-05,8.372656e-05,8.326191e-05,8.280929e-05,8.236842e-05
0.000000e+00,4.072395e-09,9.303359e-09,3.191473e-08,7.251133e-08,1.057211e-07,2.394588e-07,2.466471e-07,4.757586e-07,5.586652e-07,8.149731e-07,1.080966e-06,1.287489e-06,1.859964e-06,1.916544e-06,2.720721e-06,2.940834e-06,3.706387e-06,4.334630e-06,4.864024e-06,6.009072e-06,6.173459e-06,7.611925e-06,7.913198e-06,9.158273e-06,9.998668e-06,1.079363e-05,1.222354e-05,1.250086e-05,1.426395e-05,1.455021e-05,1.606780e-05,1.694389e-05,1.789810e-05,1.937235e-05,1.974146e-05,2.158552e-05,2.180631e-05,2.341907e-05,2.421987e-05,2.523210e-05,2.659086e-05,2.701588e-05,2.876296e-05,2.890095e-05,3.046710e-05,3.113556e-05,3.212322e-05,3.328359e-05,3.372730e-05,3.527628e-05,3.533706e-05,3.676797e-05,3.729064e-05,3.820088e-05,3.914125e-05,3.957419e-05,4.088763e-05,4.214134e-05,4.253000e-05,4.333588e-05,4.406970e-05,4.447208e-05,4.550896e-05,4.555104e-05,4.657404e-05,4.685064e-05,4.754252e-05,4.809808e-05,4.845803e-05,4.925493e-05,4.932221e-05,5.013673e-05,5.032501e-05,5.090329e-05,5.131226e-05,5.162363e-05,5.222066e-05,5.229947e-05,5.293253e-05,5.305415e-05,5.352450e-05,5.381664e-05,5.407706e-05,5.451195e-05,5.459184e-05,5.507045e-05,5.514377e-05,5.551444e-05,5.571571e-05,5.592534e-05,5.623123e-05,5.630462e-05,5.665371e-05,5.669364e-05,5.697399e-05,5.710613e-05,5.726679e-05,5.747175e-05,5.753342e-05,5.777511e-05,5.779340e-05,5.799306e-05,5.807386e-05,5.818844e-05,5.831576e-05,5.836236e-05,5.851588e-05,5.852161e-05,5.865003e-05,5.869377e-05,5.876579e-05,5.883450e-05,5.886413e-05,5.894594e-05,5.901211e-05,5.903011e-05,5.906345e-05,5.908891e-05,5.910079e-05,5.912416e-05,5.912487e-05,5.913645e-05,5.913754e-05,5.913621e-05,5.913068e-05,5.912484e-05,5.910510e-05,5.910298e-05,5.907123e-05,5.906221e-05,5.903020e-05,5.900337e-05,5.898043e-05,5.892985e-05,5.892247e-05,5.885684e-05,5.884283e-05,5.878400e-05,5.874345e-05,5.870445e-05,5.863275e-05,5.861861e-05,5.852691e-05,5.851172e-05,5.842976e-05,5.838130e-05,5.832754e-05,5.824236e-05,5.822062e-05,5.810934e-05,5.809572e-05,5.799405e-05,5.794213e-05,5.787505e-05,5.778233e-05,5.775266e-05,5.762714e-05,5.761697e-05,5.749878e-05,5.744670e-05,5.736784e-05,5.727209e-05,5.723455e-05,5.709916e-05,5.709370e-05,5.696188e-05,5.691204e-05,5.682293e-05,5.672758e-05,5.668250e-05,5.654078e-05,5.635203e-05,5.616174e-05,5.597026e-05,5.577792e-05,5.558503e-05,5.539188e-05,5.519873e-05,5.500583e-05,5.481340e-05,5.462165e-05,5.443077e-05,5.424095e-05,5.405233e-05,5.386507e-05,5.367931e-05,5.349516e-05,5.331273e-05,5.313213e-05,5.295345e-05,5.277677e-05,5.260216e-05,5.242968e-05,5.225940e-05,5.209137e-05
0.000000e+00,2.687422e-08,6.092808e-08,2.058205e-07,4.614952e-07,6.683091e-07,1.490498e-06,1.534388e-06,2.925892e-06,3.427552e-06,4.976975e-06,6.585183e-06,7.834183e-06,1.128930e-05,1.162944e-05,1.641072e-05,1.769667e-05,2.207353e-05,2.554668e-05,2.838979e-05,3.429126e-05,3.511224e-05,4.204108e-05,4.343803e-05,4.903101e-05,5.265371e-05,5.597642e-05,6.171690e-05,6.279702e-05,6.942911e-05,7.046915e-05,7.582096e-05,7.879106e-05,8.193066e-05,8.659282e-05,8.772522e-05,9.318008e-05,9.381096e-05,9.827857e-05,1.004063e-04,1.030113e-04,1.063615e-04,1.073754e-04,1.113738e-04,1.116781e-04,1.150144e-04,1.163729e-04,1.183087e-04,1.204742e-04,1.212712e-04,1.239187e-04,1.240183e-04,1.262698e-04,1.270471e-04,1.283428e-04,1.296034e-04,1.301569e-04,1.317310e-04,1.330839e-04,1.334731e-04,1.342337e-04,1.348710e-04,1.351976e-04,1.359631e-04,1.359918e-04,1.366317e-04,1.367851e-04,1.371314e-04,1.373695e-04,1.375042e-04,1.377455e-04,1.377622e-04,1.379167e-04,1.379395e-04,1.379780e-04,1.379751e-04,1.379554e-04,1.378731e-04,1.378577e-04,1.376925e-04,1.376521e-04,1.374671e-04,1.373282e-04,1.371879e-04,1.369161e-04,1.368608e-04,1.364911e-04,1.364283e-04,1.360836e-04,1.358760e-04,1.356429e-04,1.352689e-04,1.351727e-04,1.346768e-04,1.346158e-04,1.341585e-04,1.339240e-04,1.336205e-04,1.332003e-04,1.330657e-04,1.324965e-04,1.324504e-04,1.319151e-04,1.316795e-04,1.313234e-04,1.308920e-04,1.307233e-04,1.301164e-04,1.300920e-04,1.295041e-04,1.292827e-04,1.288880e-04,1.284673e-04,1.282690e-04,1.276485e-04,1.270272e-04,1.268285e-04,1.264063e-04,1.260094e-04,1.257864e-04,1.251930e-04,1.251683e-04,1.245528e-04,1.243809e-04,1.239403e-04,1.235745e-04,1.233314e-04,1.227748e-04,1.227266e-04,1.221264e-04,1.219831e-04,1.215312e-04,1.212001e-04,1.209412e-04,1.204267e-04,1.203569e-04,1.197784e-04,1.196635e-04,1.192061e-04,1.189110e-04,1.186402e-04,1.181699e-04,1.180808e-04,1.175282e-04,1.174404e-04,1.169824e-04,1.167229e-04,1.164436e-04,1.160176e-04,1.159119e-04,1.153873e-04,1.153249e-04,1.148701e-04,1.146448e-04,1.143601e-04,1.139775e-04,1.138575e-04,1.133623e-04,1.133230e-04,1.128745e-04,1.126815e-04,1.123941e-04,1.120529e-04,1.119212e-04,1.114556e-04,1.114371e-04,1.109975e-04,1.108343e-04,1.105467e-04,1.102443e-04,1.101032e-04,1.096670e-04,1.091024e-04,1.085503e-04,1.080106e-04,1.074831e-04,1.069678e-04,1.064645e-04,1.059729e-04,1.054929e-04,1.050244e-04,1.045671e-04,1.041209e-04,1.036856e-04,1.032610e-04,1.028468e-04,1.024429e-04,1.020492e-04,1.016653e-04,1.012911e-04,1.009264e-04,1.005710e-04,1.002247e-04,9.988726e-05,9.955856e-05,9.923838e-05
0.000000e+00,5.997080e-09,1.339673e-08,4.387221e-08,9.554925e-08,1.361072e-07,2.902403e-07,2.982177e-07,5.414955e-07,6.254078e-07,8.748061e-07,1.121085e-06,1.305381e-06,1.792029e-06,1.838531e-06,2.476201e-06,2.644521e-06,3.214398e-06,3.667248e-06,4.039945e-06,4.819419e-06,4.928257e-06,5.845006e-06,6.028440e-06,6.752945e-06,7.210668e-06,7.620359e-06,8.301778e-06,8.425965e-06,9.158922e-06,9.269166e-06,9.816119e-06,1.010503e-05,1.039919e-05,1.081506e-05,1.091235e-05,1.136097e-05,1.141074e-05,1.175084e-05,1.190527e-05,1.208774e-05,1.231179e-05,1.237723e-05,1.262455e-05,1.264266e-05,1.283456e-05,1.290913e-05,1.301172e-05,1.312120e-05,1.316005e-05,1.328315e-05,1.328760e-05,1.338423e-05,1.341578e-05,1.346612e-05,1.351213e-05,1.353131e-05,1.358196e-05,1.361995e-05,1.362971e-05,1.364692e-05,1.365904e-05,1.366425e-05,1.367296e-05,1.367317e-05,1.367471e-05,1.367394e-05,1.366976e-05,1.366402e-05,1.365912e-05,1.364487e-05,1.364345e-05,1.362331e-05,1.361787e-05,1.359920e-05,1.358414e-05,1.357157e-05,1.354464e-05,1.354079e-05,1.350720e-05,1.350018e-05,1.347111e-05,1.345144e-05,1.343277e-05,1.339901e-05,1.339243e-05,1.335029e-05,1.334339e-05,1.330655e-05,1.328504e-05,1.326139e-05,1.322434e-05,1.321496e-05,1.316741e-05,1.316163e-05,1.311886e-05,1.309721e-05,1.306944e-05,1.303136e-05,1.301926e-05,1.296842e-05,1.296432e-05,1.291701e-05,1.289631e-05,1.286513e-05,1.282752e-05,1.281284e-05,1.276023e-05,1.275812e-05,1.270737e-05,1.268829e-05,1.265431e-05,1.261815e-05,1.260112e-05,1.254785e-05,1.249455e-05,1.247749e-05,1.244126e-05,1.240719e-05,1.238804e-05,1.233704e-05,1.233492e-05,1.228194e-05,1.226713e-05,1.222913e-05,1.219754e-05,1.217653e-05,1.212834e-05,1.212416e-05,1.207205e-05,1.205959e-05,1.202023e-05,1.199134e-05,1.196872e-05,1.192366e-05,1.191754e-05,1.186671e-05,1.185659e-05,1.181625e-05,1.179017e-05,1.176618e-05,1.172443e-05,1.171651e-05,1.166725e-05,1.165941e-05,1.161843e-05,1.159514e-05,1.157004e-05,1.153165e-05,1.152209e-05,1.147461e-05,1.146895e-05,1.142760e-05,1.140706e-05,1.138106e-05,1.134601e-05,1.133499e-05,1.128942e-05,1.128580e-05,1.124434e-05,1.122644e-05,1.119975e-05,1.116796e-05,1.115566e-05,1.111208e-05,1.111034e-05,1.106900e-05,1.105361e-05,1.102642e-05,1.099776e-05,1.098435e-05,1.094280e-05,1.088872e-05,1.083553e-05,1.078323e-05,1.073181e-05,1.068127e-05,1.063161e-05,1.058282e-05,1.053490e-05,1.048783e-05,1.044162e-05,1.039625e-05,1.035172e-05,1.030801e-05,1.026513e-05,1.022305e-05,1.018178e-05,1.014129e-05,1.010159e-05,1.006266e-05,1.002449e-05,9.987064e-06,9.950379e-06,9.914423e-06,9.879183e-06
0.000000e+00,3.001323e-09,6.842440e-09,2.337183e-08,5.289079e-08,7.694459e-08,1.732756e-07,1.784347e-07,3.421544e-07,4.011138e-07,5.826051e-07,7.697914e-07,9.143006e-07,1.310612e-06,1.349405e-06,1.892751e-06,2.038857e-06,2.539090e-06,2.941810e-06,3.276882e-06,3.991730e-06,4.093486e-06,4.977134e-06,5.160935e-06,5.916851e-06,6.424130e-06,6.902014e-06,7.756985e-06,7.922121e-06,8.966815e-06,9.135569e-06,1.002602e-05,1.053675e-05,1.109014e-05,1.193896e-05,1.215026e-05,1.319833e-05,1.332294e-05,1.422722e-05,1.467226e-05,1.523086e-05,1.597358e-05,1.620418e-05,1.714313e-05,1.721667e-05,1.804457e-05,1.839408e-05,1.890614e-05,1.950088e-05,1.972628e-05,2.050412e-05,2.053435e-05,2.123934e-05,2.149359e-05,2.193206e-05,2.237910e-05,2.258282e-05,2.319242e-05,2.376194e-05,2.393591e-05,2.429259e-05,2.461245e-05,2.478576e-05,2.522528e-05,2.524290e-05,2.566551e-05,2.577786e-05,2.605513e-05,2.627372e-05,2.641332e-05,2.671641e-05,2.674161e-05,2.704151e-05,2.710943e-05,2.731450e-05,2.745615e-05,2.756200e-05,2.775984e-05,2.778542e-05,2.798609e-05,2.802361e-05,2.816529e-05,2.825040e-05,2.832425e-05,2.844300e-05,2.846415e-05,2.858610e-05,2.860402e-05,2.869119e-05,2.873594e-05,2.878042e-05,2.884103e-05,2.885475e-05,2.891511e-05,2.892146e-05,2.896236e-05,2.897921e-05,2.899732e-05,2.901615e-05,2.902077e-05,2.903345e-05,2.903402e-05,2.903605e-05,2.903441e-05,2.902923e-05,2.901884e-05,2.901361e-05,2.898979e-05,2.898867e-05,2.895831e-05,2.894520e-05,2.891970e-05,2.888962e-05,2.887445e-05,2.882304e-05,2.876589e-05,2.874646e-05,2.870343e-05,2.866085e-05,2.863605e-05,2.856707e-05,2.856411e-05,2.848797e-05,2.846594e-05,2.840794e-05,2.835820e-05,2.832435e-05,2.824454e-05,2.823747e-05,2.814759e-05,2.812560e-05,2.805496e-05,2.800197e-05,2.795982e-05,2.787421e-05,2.786240e-05,2.776292e-05,2.774280e-05,2.766158e-05,2.760821e-05,2.755857e-05,2.747088e-05,2.745407e-05,2.734824e-05,2.733119e-05,2.724124e-05,2.718951e-05,2.713323e-05,2.704618e-05,2.702434e-05,2.691470e-05,2.690150e-05,2.680443e-05,2.675575e-05,2.669366e-05,2.660920e-05,2.658249e-05,2.647101e-05,2.646208e-05,2.635933e-05,2.631462e-05,2.624753e-05,2.616701e-05,2.613570e-05,2.602392e-05,2.601945e-05,2.591225e-05,2.587209e-05,2.580077e-05,2.572510e-05,2.568954e-05,2.557862e-05,2.543277e-05,2.528767e-05,2.514342e-05,2.500014e-05,2.485789e-05,2.471676e-05,2.457683e-05,2.443816e-05,2.430079e-05,2.416479e-05,2.403020e-05,2.389706e-05,2.376541e-05,2.363526e-05,2.350666e-05,2.337962e-05,2.325416e-05,2.313030e-05,2.300804e-05,2.288741e-05,2.276839e-05,2.265101e-05,2.253526e-05,2.242113e-05
0.000000e+00,3.676437e-09,8.409132e-09,2.899188e-08,6.643495e-08,9.751463e-08,2.265356e-07,2.336380e-07,4.681953e-07,5.566851e-07,8.406290e-07,1.148823e-06,1.395013e-06,2.093401e-06,2.162867e-06,3.141000e-06,3.403518e-06,4.294979e-06,5.002635e-06,5.584353e-06,6.805387e-06,6.977158e-06,8.450389e-06,8.753090e-06,9.986642e-06,1.080554e-05,1.157151e-05,1.293095e-05,1.319216e-05,1.483674e-05,1.510134e-05,1.649424e-05,1.729141e-05,1.815450e-05,1.947847e-05,1.980831e-05,2.144748e-05,2.164284e-05,2.306485e-05,2.376798e-05,2.465433e-05,2.584052e-05,2.621084e-05,2.773024e-05,2.785008e-05,2.920923e-05,2.978892e-05,3.064529e-05,3.165159e-05,3.203653e-05,3.338168e-05,3.343451e-05,3.467989e-05,3.513567e-05,3.593077e-05,3.675428e-05,3.713423e-05,3.829047e-05,3.939991e-05,3.974514e-05,4.046314e-05,4.111970e-05,4.148091e-05,4.241599e-05,4.245407e-05,4.338355e-05,4.363612e-05,4.427037e-05,4.478242e-05,4.511558e-05,4.585736e-05,4.592027e-05,4.668555e-05,4.686348e-05,4.741255e-05,4.780337e-05,4.810241e-05,4.867965e-05,4.875625e-05,4.937522e-05,4.949493e-05,4.996043e-05,5.025177e-05,5.051300e-05,5.095272e-05,5.103401e-05,5.152454e-05,5.160027e-05,5.198566e-05,5.219685e-05,5.241839e-05,5.274482e-05,5.282375e-05,5.320274e-05,5.324649e-05,5.355632e-05,5.370410e-05,5.388544e-05,5.411978e-05,5.419103e-05,5.447396e-05,5.449565e-05,5.473513e-05,5.483370e-05,5.497538e-05,5.513587e-05,5.519553e-05,5.539639e-05,5.540403e-05,5.557872e-05,5.563997e-05,5.574329e-05,5.584542e-05,5.589082e-05,5.602201e-05,5.613757e-05,5.617135e-05,5.623814e-05,5.629494e-05,5.632437e-05,5.639423e-05,5.639687e-05,5.645626e-05,5.647062e-05,5.650311e-05,5.652543e-05,5.653797e-05,5.655993e-05,5.656139e-05,5.657390e-05,5.657533e-05,5.657598e-05,5.657279e-05,5.656814e-05,5.655340e-05,5.655084e-05,5.652453e-05,5.651823e-05,5.648965e-05,5.646827e-05,5.644662e-05,5.640447e-05,5.639584e-05,5.633771e-05,5.632775e-05,5.627259e-05,5.623896e-05,5.620085e-05,5.613893e-05,5.612284e-05,5.603890e-05,5.602844e-05,5.594934e-05,5.590823e-05,5.585447e-05,5.577901e-05,5.575459e-05,5.565000e-05,5.564144e-05,5.554096e-05,5.549616e-05,5.542773e-05,5.534377e-05,5.531058e-05,5.518975e-05,5.518484e-05,5.506546e-05,5.501992e-05,5.493796e-05,5.484952e-05,5.480744e-05,5.467412e-05,5.449419e-05,5.431015e-05,5.412242e-05,5.393139e-05,5.373743e-05,5.354088e-05,5.334206e-05,5.314129e-05,5.293887e-05,5.273505e-05,5.253010e-05,5.232427e-05,5.211777e-05,5.191083e-05,5.170365e-05,5.149641e-05,5.128929e-05,5.108245e-05,5.087605e-05,5.067024e-05,5.046515e-05,5.026090e-05,5.005762e-05,4.985541e-05
0.000000e+00,2.667638e-09,6.081732e-09,2.076543e-08,4.694398e-08,6.822922e-08,1.530316e-07,1.575532e-07,2.999920e-07,3.508035e-07,5.057196e-07,6.633883e-07,7.838947e-07,1.110749e-06,1.142573e-06,1.588390e-06,1.708917e-06,2.125927e-06,2.467735e-06,2.756693e-06,3.386815e-06,3.477929e-06,4.281857e-06,4.451550e-06,5.156258e-06,5.633938e-06,6.086387e-06,6.899698e-06,7.057158e-06,8.054600e-06,8.215818e-06,9.066378e-06,9.553930e-06,1.008182e-05,1.089060e-05,1.109175e-05,1.208835e-05,1.220672e-05,1.306503e-05,1.348701e-05,1.401630e-05,1.471949e-05,1.493771e-05,1.582573e-05,1.589525e-05,1.667773e-05,1.700799e-05,1.749179e-05,1.805371e-05,1.826668e-05,1.900175e-05,1.903032e-05,1.969681e-05,1.993727e-05,2.035210e-05,2.077524e-05,2.096816e-05,2.154583e-05,2.208613e-05,2.225132e-05,2.259023e-05,2.289445e-05,2.305942e-05,2.347829e-05,2.349509e-05,2.389863e-05,2.400606e-05,2.427149e-05,2.448108e-05,2.461511e-05,2.490665e-05,2.493092e-05,2.522033e-05,2.528602e-05,2.548472e-05,2.562234e-05,2.572542e-05,2.591866e-05,2.594371e-05,2.614085e-05,2.617784e-05,2.631802e-05,2.640265e-05,2.647638e-05,2.659567e-05,2.661702e-05,2.674098e-05,2.675933e-05,2.684926e-05,2.689594e-05,2.694279e-05,2.700762e-05,2.702249e-05,2.708920e-05,2.709637e-05,2.714373e-05,2.716407e-05,2.718685e-05,2.721244e-05,2.721928e-05,2.724172e-05,2.724310e-05,2.725480e-05,2.725755e-05,2.725914e-05,2.725718e-05,2.725532e-05,2.724390e-05,2.724329e-05,2.722538e-05,2.721708e-05,2.720027e-05,2.717965e-05,2.716900e-05,2.713203e-05,2.708977e-05,2.707519e-05,2.704259e-05,2.700999e-05,2.699087e-05,2.693725e-05,2.693494e-05,2.687513e-05,2.685774e-05,2.681176e-05,2.677213e-05,2.674509e-05,2.668109e-05,2.667541e-05,2.660297e-05,2.658520e-05,2.652800e-05,2.648500e-05,2.645074e-05,2.638102e-05,2.637139e-05,2.629016e-05,2.627371e-05,2.620724e-05,2.616350e-05,2.612279e-05,2.605080e-05,2.603698e-05,2.594998e-05,2.593596e-05,2.586192e-05,2.581932e-05,2.577295e-05,2.570119e-05,2.568318e-05,2.559275e-05,2.558186e-05,2.550177e-05,2.546159e-05,2.541034e-05,2.534061e-05,2.531856e-05,2.522653e-05,2.521915e-05,2.513432e-05,2.509741e-05,2.504203e-05,2.497558e-05,2.494974e-05,2.485750e-05,2.485381e-05,2.476539e-05,2.473227e-05,2.467346e-05,2.461109e-05,2.458179e-05,2.449041e-05,2.437034e-05,2.425099e-05,2.413245e-05,2.401480e-05,2.389814e-05,2.378252e-05,2.366801e-05,2.355466e-05,2.344253e-05,2.333166e-05,2.322209e-05,2.311386e-05,2.300698e-05,2.290149e-05,2.279741e-05,2.269476e-05,2.259355e-05,2.249379e-05,2.239549e-05,2.229866e-05,2.220330e-05,2.210941e-05,2.201700e-05,2.192605e-05
0.000000e+00,6.370744e-09,1.452734e-08,4.969533e-08,1.128095e-07,1.645452e-07,3.745283e-07,3.858995e-07,7.531713e-07,8.883744e-07,1.313606e-06,1.765106e-06,2.121408e-06,3.124985e-06,3.224802e-06,4.638794e-06,5.021548e-06,6.330723e-06,7.377913e-06,8.242142e-06,1.006118e-05,1.031730e-05,1.251278e-05,1.296327e-05,1.479549e-05,1.600792e-05,1.713866e-05,1.913663e-05,1.951912e-05,2.191591e-05,2.229960e-05,2.430970e-05,2.545238e-05,2.668274e-05,2.855537e-05,2.901895e-05,3.130410e-05,3.157428e-05,3.352585e-05,3.448061e-05,3.567390e-05,3.725192e-05,3.773990e-05,3.971739e-05,3.987161e-05,4.160167e-05,4.232853e-05,4.338963e-05,4.461629e-05,4.507951e-05,4.667067e-05,4.673227e-05,4.816367e-05,4.867738e-05,4.955993e-05,5.045515e-05,5.086150e-05,5.207101e-05,5.319147e-05,5.353174e-05,5.422620e-05,5.484505e-05,5.517871e-05,5.601916e-05,5.605265e-05,5.685175e-05,5.706259e-05,5.757971e-05,5.798389e-05,5.824024e-05,5.879149e-05,5.883696e-05,5.937344e-05,5.949361e-05,5.985310e-05,6.009815e-05,6.027929e-05,6.061265e-05,6.065520e-05,6.098391e-05,6.104425e-05,6.126835e-05,6.139970e-05,6.151133e-05,6.168534e-05,6.171551e-05,6.188343e-05,6.190710e-05,6.201750e-05,6.207050e-05,6.211999e-05,6.218071e-05,6.219307e-05,6.223877e-05,6.224251e-05,6.225902e-05,6.226034e-05,6.225565e-05,6.223833e-05,6.223035e-05,6.218476e-05,6.218028e-05,6.212038e-05,6.208970e-05,6.203867e-05,6.196986e-05,6.194096e-05,6.182852e-05,6.182373e-05,6.170254e-05,6.165410e-05,6.156415e-05,6.146349e-05,6.141439e-05,6.125425e-05,6.108466e-05,6.102853e-05,6.090647e-05,6.078831e-05,6.072052e-05,6.053539e-05,6.052755e-05,6.032828e-05,6.027145e-05,6.012338e-05,5.999801e-05,5.991348e-05,5.971645e-05,5.969916e-05,5.948096e-05,5.942807e-05,5.925939e-05,5.913402e-05,5.903493e-05,5.883537e-05,5.880803e-05,5.857909e-05,5.853309e-05,5.834851e-05,5.822808e-05,5.811664e-05,5.792112e-05,5.788382e-05,5.765035e-05,5.761296e-05,5.741653e-05,5.730425e-05,5.718263e-05,5.699561e-05,5.694889e-05,5.671554e-05,5.668757e-05,5.648279e-05,5.638063e-05,5.625085e-05,5.607522e-05,5.601989e-05,5.579008e-05,5.577175e-05,5.556157e-05,5.547057e-05,5.533451e-05,5.517200e-05,5.510903e-05,5.488523e-05,5.487632e-05,5.466324e-05,5.458378e-05,5.444315e-05,5.429462e-05,5.422504e-05,5.400901e-05,5.372713e-05,5.344914e-05,5.317515e-05,5.290528e-05,5.263961e-05,5.237822e-05,5.212117e-05,5.186850e-05,5.162026e-05,5.137646e-05,5.113713e-05,5.090225e-05,5.067184e-05,5.044588e-05,5.022434e-05,5.000722e-05,4.979447e-05,4.958607e-05,4.938198e-05,4.918215e-05,4.898655e-05,4.879511e-05,4.860779e-05,4.842454e-05
0.000000e+00,4.747689e-09,1.086225e-08,3.738578e-08,8.522563e-08,1.245066e-07,2.836468e-07,2.922368e-07,5.675535e-07,6.678000e-07,9.792193e-07,1.303789e-06,1.555853e-06,2.249585e-06,2.317514e-06,3.268014e-06,3.523564e-06,4.400679e-06,5.111407e-06,5.707179e-06,6.994488e-06,7.179691e-06,8.809948e-06,9.154110e-06,1.058830e-05,1.156786e-05,1.250335e-05,1.420811e-05,1.454202e-05,1.668985e-05,1.704262e-05,1.893148e-05,2.003614e-05,2.125109e-05,2.315228e-05,2.363286e-05,2.606141e-05,2.635528e-05,2.852211e-05,2.961144e-05,3.100130e-05,3.289013e-05,3.348651e-05,3.596649e-05,3.616435e-05,3.843129e-05,3.941098e-05,4.087223e-05,4.261068e-05,4.328182e-05,4.565372e-05,4.574773e-05,4.798262e-05,4.880963e-05,5.026415e-05,5.178670e-05,5.249478e-05,5.467171e-05,5.679279e-05,5.745947e-05,5.885642e-05,6.014646e-05,6.086149e-05,6.273058e-05,6.280727e-05,6.469341e-05,6.521082e-05,6.651982e-05,6.758707e-05,6.828669e-05,6.985992e-05,6.999437e-05,7.164343e-05,7.203055e-05,7.323454e-05,7.410055e-05,7.476851e-05,7.607184e-05,7.624623e-05,7.766867e-05,7.794662e-05,7.903688e-05,7.972727e-05,8.035193e-05,8.141632e-05,8.161495e-05,8.282708e-05,8.301637e-05,8.398949e-05,8.453013e-05,8.510336e-05,8.596032e-05,8.616990e-05,8.719029e-05,8.730970e-05,8.816573e-05,8.858100e-05,8.909742e-05,8.977696e-05,8.998653e-05,9.083424e-05,9.090030e-05,9.164171e-05,9.195369e-05,9.241010e-05,9.293977e-05,9.314053e-05,9.383413e-05,9.386112e-05,9.449199e-05,9.472029e-05,9.511521e-05,9.551975e-05,9.570484e-05,9.626192e-05,9.678748e-05,9.694917e-05,9.728253e-05,9.758379e-05,9.774803e-05,9.816802e-05,9.818496e-05,9.859426e-05,9.870403e-05,9.897683e-05,9.919393e-05,9.933359e-05,9.963975e-05,9.966540e-05,9.997311e-05,1.000435e-04,1.002576e-04,1.004070e-04,1.005196e-04,1.007322e-04,1.007599e-04,1.009794e-04,1.010209e-04,1.011787e-04,1.012747e-04,1.013587e-04,1.014953e-04,1.015199e-04,1.016632e-04,1.016844e-04,1.017891e-04,1.018435e-04,1.018983e-04,1.019741e-04,1.019915e-04,1.020693e-04,1.020776e-04,1.021322e-04,1.021554e-04,1.021809e-04,1.022088e-04,1.022159e-04,1.022378e-04,1.022390e-04,1.022472e-04,1.022475e-04,1.022444e-04,1.022352e-04,1.022300e-04,1.022046e-04,1.022033e-04,1.021685e-04,1.021530e-04,1.021223e-04,1.020853e-04,1.020663e-04,1.020010e-04,1.019013e-04,1.017871e-04,1.016591e-04,1.015183e-04,1.013655e-04,1.012014e-04,1.010267e-04,1.008422e-04,1.006486e-04,1.004464e-04,1.002363e-04,1.000189e-04,9.979477e-05,9.956439e-05,9.932830e-05,9.908697e-05,9.884087e-05,9.859043e-05,9.833609e-05,9.807823e-05,9.781723e-05,9.755346e-05,9.728725e-05,9.701893e-05
0.000000e+00,6.068727e-09,1.365867e-08,4.545318e-08,1.005559e-07,1.445673e-07,3.166118e-07,3.257002e-07,6.105548e-07,7.120485e-07,1.022667e-06,1.341396e-06,1.586678e-06,2.254800e-06,2.319681e-06,3.212372e-06,3.445967e-06,4.220372e-06,4.813592e-06,5.286655e-06,6.237337e-06,6.366601e-06,7.432351e-06,7.642199e-06,8.467215e-06,8.989430e-06,9.460452e-06,1.025694e-05,1.040440e-05,1.129321e-05,1.142999e-05,1.212247e-05,1.249840e-05,1.288906e-05,1.345596e-05,1.359118e-05,1.422830e-05,1.430041e-05,1.480109e-05,1.503314e-05,1.531124e-05,1.565862e-05,1.576132e-05,1.615452e-05,1.618363e-05,1.649453e-05,1.661652e-05,1.678531e-05,1.696647e-05,1.703093e-05,1.723548e-05,1.724286e-05,1.740293e-05,1.745487e-05,1.753708e-05,1.761111e-05,1.764149e-05,1.771948e-05,1.777409e-05,1.778708e-05,1.780806e-05,1.782013e-05,1.782388e-05,1.782405e-05,1.782376e-05,1.780968e-05,1.780349e-05,1.778341e-05,1.776244e-05,1.774649e-05,1.770430e-05,1.770029e-05,1.764603e-05,1.763192e-05,1.758476e-05,1.754775e-05,1.751743e-05,1.745383e-05,1.744487e-05,1.736780e-05,1.735190e-05,1.728685e-05,1.724342e-05,1.720259e-05,1.712962e-05,1.711551e-05,1.702605e-05,1.701154e-05,1.693458e-05,1.689008e-05,1.684148e-05,1.676601e-05,1.674703e-05,1.665151e-05,1.663998e-05,1.655516e-05,1.651256e-05,1.645820e-05,1.638422e-05,1.636082e-05,1.626320e-05,1.625539e-05,1.616550e-05,1.612642e-05,1.606785e-05,1.599764e-05,1.597037e-05,1.587319e-05,1.586931e-05,1.577641e-05,1.574168e-05,1.568010e-05,1.561494e-05,1.558437e-05,1.548927e-05,1.539487e-05,1.536483e-05,1.530124e-05,1.524175e-05,1.520843e-05,1.512014e-05,1.511648e-05,1.502543e-05,1.500011e-05,1.493533e-05,1.488173e-05,1.484620e-05,1.476508e-05,1.475807e-05,1.467096e-05,1.465021e-05,1.458491e-05,1.453718e-05,1.449992e-05,1.442602e-05,1.441601e-05,1.433320e-05,1.431676e-05,1.425148e-05,1.420943e-05,1.417089e-05,1.410405e-05,1.409141e-05,1.401305e-05,1.400062e-05,1.393582e-05,1.389915e-05,1.385972e-05,1.379965e-05,1.378474e-05,1.371089e-05,1.370211e-05,1.363816e-05,1.360652e-05,1.356655e-05,1.351287e-05,1.349605e-05,1.342666e-05,1.342116e-05,1.335837e-05,1.333136e-05,1.329117e-05,1.324346e-05,1.322506e-05,1.316002e-05,1.315744e-05,1.309605e-05,1.307328e-05,1.303313e-05,1.299095e-05,1.297126e-05,1.291043e-05,1.283170e-05,1.275472e-05,1.267947e-05,1.260593e-05,1.253406e-05,1.246384e-05,1.239523e-05,1.232821e-05,1.226275e-05,1.219881e-05,1.213637e-05,1.207539e-05,1.201586e-05,1.195773e-05,1.190097e-05,1.184557e-05,1.179149e-05,1.173869e-05,1.168716e-05,1.163687e-05,1.158778e-05,1.153987e-05,1.149311e-05,1.144748e-05
0.000000e+00,2.116205e-09,4.817834e-09,1.640720e-08,3.702216e-08,5.376817e-08,1.205018e-07,1.240632e-07,2.365464e-07,2.768286e-07,4.002032e-07,5.266536e-07,6.238912e-07,8.900466e-07,9.161358e-07,1.284385e-06,1.384698e-06,1.733509e-06,2.020644e-06,2.263614e-06,2.792078e-06,2.868179e-06,3.534339e-06,3.673548e-06,4.245833e-06,4.628299e-06,4.986550e-06,5.621113e-06,5.742624e-06,6.502839e-06,6.624234e-06,7.258264e-06,7.617012e-06,8.001756e-06,8.584056e-06,8.727567e-06,9.431076e-06,9.513815e-06,1.010862e-05,1.039776e-05,1.075739e-05,1.122990e-05,1.137531e-05,1.196097e-05,1.200640e-05,1.251356e-05,1.272524e-05,1.303274e-05,1.338592e-05,1.351864e-05,1.397168e-05,1.398913e-05,1.439262e-05,1.453648e-05,1.478241e-05,1.503023e-05,1.514215e-05,1.547310e-05,1.577657e-05,1.586810e-05,1.605391e-05,1.621834e-05,1.630651e-05,1.652700e-05,1.653574e-05,1.674295e-05,1.679720e-05,1.692947e-05,1.703198e-05,1.709657e-05,1.723422e-05,1.724549e-05,1.737741e-05,1.740666e-05,1.749344e-05,1.755187e-05,1.759465e-05,1.767225e-05,1.768204e-05,1.775657e-05,1.777001e-05,1.781913e-05,1.784721e-05,1.787055e-05,1.790573e-05,1.791164e-05,1.794313e-05,1.794732e-05,1.796571e-05,1.797357e-05,1.798003e-05,1.798595e-05,1.798669e-05,1.798628e-05,1.798578e-05,1.797931e-05,1.797429e-05,1.796628e-05,1.795261e-05,1.794765e-05,1.792386e-05,1.792175e-05,1.789530e-05,1.788263e-05,1.786236e-05,1.783613e-05,1.782538e-05,1.778470e-05,1.778300e-05,1.774060e-05,1.772395e-05,1.769339e-05,1.765964e-05,1.764333e-05,1.759066e-05,1.753561e-05,1.751753e-05,1.747840e-05,1.744075e-05,1.741924e-05,1.736077e-05,1.735830e-05,1.729577e-05,1.727799e-05,1.723180e-05,1.719279e-05,1.716655e-05,1.710550e-05,1.710015e-05,1.703275e-05,1.701644e-05,1.696447e-05,1.692588e-05,1.689541e-05,1.683409e-05,1.682569e-05,1.675541e-05,1.674129e-05,1.668465e-05,1.664770e-05,1.661351e-05,1.655352e-05,1.654207e-05,1.647040e-05,1.645891e-05,1.639856e-05,1.636405e-05,1.632663e-05,1.626907e-05,1.625467e-05,1.618273e-05,1.617410e-05,1.611087e-05,1.607928e-05,1.603913e-05,1.598471e-05,1.596755e-05,1.589618e-05,1.589048e-05,1.582507e-05,1.579670e-05,1.575423e-05,1.570342e-05,1.568371e-05,1.561354e-05,1.561074e-05,1.554375e-05,1.551872e-05,1.547436e-05,1.542741e-05,1.540539e-05,1.533687e-05,1.524714e-05,1.515828e-05,1.507030e-05,1.498326e-05,1.489717e-05,1.481206e-05,1.472795e-05,1.464487e-05,1.456283e-05,1.448184e-05,1.440191e-05,1.432305e-05,1.424527e-05,1.416857e-05,1.409296e-05,1.401844e-05,1.394500e-05,1.387265e-05,1.380138e-05,1.373119e-05,1.366207e-05,1.359403e-05,1.352705e-05,1.346112e-05
0.000000e+00,8.418261e-09,1.909752e-08,6.458770e-08,1.449332e-07,2.099414e-07,4.682530e-07,4.820321e-07,9.181867e-07,1.075092e-06,1.558694e-06,2.059334e-06,2.447477e-06,3.519252e-06,3.624650e-06,5.104912e-06,5.502838e-06,6.858450e-06,7.937943e-06,8.826104e-06,1.068859e-05,1.095016e-05,1.318675e-05,1.364458e-05,1.550354e-05,1.673127e-05,1.787481e-05,1.989224e-05,2.027803e-05,2.269223e-05,2.307817e-05,2.509732e-05,2.624285e-05,2.747411e-05,2.934299e-05,2.980455e-05,3.207210e-05,3.233925e-05,3.426200e-05,3.519762e-05,3.636158e-05,3.789033e-05,3.836037e-05,4.025016e-05,4.039644e-05,4.202497e-05,4.270176e-05,4.368093e-05,4.479849e-05,4.521613e-05,4.663038e-05,4.668445e-05,4.792501e-05,4.836226e-05,4.910258e-05,4.983825e-05,5.016665e-05,5.112160e-05,5.197246e-05,5.222362e-05,5.272463e-05,5.315686e-05,5.338382e-05,5.393455e-05,5.395583e-05,5.444652e-05,5.457013e-05,5.486167e-05,5.507686e-05,5.520693e-05,5.546753e-05,5.548775e-05,5.570934e-05,5.575426e-05,5.587666e-05,5.594841e-05,5.599439e-05,5.606048e-05,5.606694e-05,5.609842e-05,5.610013e-05,5.609267e-05,5.607615e-05,5.605323e-05,5.599647e-05,5.598337e-05,5.588611e-05,5.586819e-05,5.576420e-05,5.569770e-05,5.562021e-05,5.549070e-05,5.545647e-05,5.527512e-05,5.525227e-05,5.507810e-05,5.498691e-05,5.486720e-05,5.469862e-05,5.464403e-05,5.441008e-05,5.439094e-05,5.416669e-05,5.406697e-05,5.391510e-05,5.372950e-05,5.365641e-05,5.339165e-05,5.338095e-05,5.312173e-05,5.302346e-05,5.284749e-05,5.265894e-05,5.256970e-05,5.228904e-05,5.200614e-05,5.191524e-05,5.172158e-05,5.153882e-05,5.143586e-05,5.116092e-05,5.114945e-05,5.086279e-05,5.078253e-05,5.057625e-05,5.040453e-05,5.029018e-05,5.002769e-05,5.000491e-05,4.972070e-05,4.965268e-05,4.943782e-05,4.928008e-05,4.915651e-05,4.891040e-05,4.887696e-05,4.859936e-05,4.854409e-05,4.832389e-05,4.818153e-05,4.805068e-05,4.782305e-05,4.777989e-05,4.751162e-05,4.746894e-05,4.724598e-05,4.711943e-05,4.698306e-05,4.677474e-05,4.672295e-05,4.646572e-05,4.643504e-05,4.621142e-05,4.610048e-05,4.596012e-05,4.577115e-05,4.571185e-05,4.546666e-05,4.544717e-05,4.522457e-05,4.512861e-05,4.498561e-05,4.481551e-05,4.474980e-05,4.451715e-05,4.450791e-05,4.428767e-05,4.420584e-05,4.406137e-05,4.390930e-05,4.383824e-05,4.361829e-05,4.333280e-05,4.305281e-05,4.277828e-05,4.250917e-05,4.224544e-05,4.198704e-05,4.173391e-05,4.148600e-05,4.124323e-05,4.100554e-05,4.077286e-05,4.054513e-05,4.032225e-05,4.010416e-05,3.989078e-05,3.968203e-05,3.947783e-05,3.927810e-05,3.908276e-05,3.889173e-05,3.870493e-05,3.852228e-05,3.834369e-05,3.816910e-05
0.000000e+00,4.803107e-09,1.096036e-08,3.757422e-08,8.556009e-08,1.250873e-07,2.871021e-07,2.959421e-07,5.844355e-07,6.917671e-07,1.031033e-06,1.389978e-06,1.669377e-06,2.428790e-06,2.502002e-06,3.501958e-06,3.763218e-06,4.637788e-06,5.323736e-06,5.884804e-06,7.058823e-06,7.223795e-06,8.638088e-06,8.928586e-06,1.011189e-05,1.089664e-05,1.162974e-05,1.292776e-05,1.317661e-05,1.473811e-05,1.498840e-05,1.630089e-05,1.704789e-05,1.785290e-05,1.907961e-05,1.938359e-05,2.088396e-05,2.106160e-05,2.234657e-05,2.297658e-05,2.376553e-05,2.481196e-05,2.513639e-05,2.645588e-05,2.655914e-05,2.772182e-05,2.821290e-05,2.893296e-05,2.977073e-05,3.008878e-05,3.118938e-05,3.123226e-05,3.223536e-05,3.259873e-05,3.322777e-05,3.387262e-05,3.416782e-05,3.505693e-05,3.589677e-05,3.615539e-05,3.668906e-05,3.717200e-05,3.743561e-05,3.811098e-05,3.813827e-05,3.879887e-05,3.897655e-05,3.941922e-05,3.977287e-05,4.000114e-05,4.050407e-05,4.054638e-05,4.105666e-05,4.117411e-05,4.153364e-05,4.178681e-05,4.197893e-05,4.234581e-05,4.239409e-05,4.278059e-05,4.285458e-05,4.313988e-05,4.331642e-05,4.347333e-05,4.373442e-05,4.378225e-05,4.406788e-05,4.411150e-05,4.433144e-05,4.445044e-05,4.457406e-05,4.475381e-05,4.479683e-05,4.500079e-05,4.502405e-05,4.518694e-05,4.526344e-05,4.535621e-05,4.547412e-05,4.550950e-05,4.564766e-05,4.565809e-05,4.577151e-05,4.581722e-05,4.588182e-05,4.595327e-05,4.597932e-05,4.606470e-05,4.606787e-05,4.613863e-05,4.616257e-05,4.620175e-05,4.623879e-05,4.625464e-05,4.629787e-05,4.633199e-05,4.634107e-05,4.635751e-05,4.636955e-05,4.637491e-05,4.638440e-05,4.638465e-05,4.638718e-05,4.638665e-05,4.638291e-05,4.637725e-05,4.637224e-05,4.635708e-05,4.635553e-05,4.633316e-05,4.632699e-05,4.630546e-05,4.628774e-05,4.627275e-05,4.624006e-05,4.623533e-05,4.619349e-05,4.618462e-05,4.614752e-05,4.612206e-05,4.609766e-05,4.605297e-05,4.604417e-05,4.598729e-05,4.597789e-05,4.592724e-05,4.589735e-05,4.586422e-05,4.581181e-05,4.579845e-05,4.573011e-05,4.572174e-05,4.565938e-05,4.562755e-05,4.558644e-05,4.552963e-05,4.551145e-05,4.543457e-05,4.542834e-05,4.535594e-05,4.532403e-05,4.527570e-05,4.521701e-05,4.519399e-05,4.511093e-05,4.510758e-05,4.502665e-05,4.499602e-05,4.494124e-05,4.488259e-05,4.485483e-05,4.476752e-05,4.465104e-05,4.453336e-05,4.441468e-05,4.429518e-05,4.417503e-05,4.405438e-05,4.393339e-05,4.381218e-05,4.369090e-05,4.356965e-05,4.344855e-05,4.332769e-05,4.320717e-05,4.308709e-05,4.296752e-05,4.284853e-05,4.273020e-05,4.261259e-05,4.249575e-05,4.237975e-05,4.226463e-05,4.215044e-05,4.203722e-05,4.192500e-05
0.000000e+00,1.249235e-08,2.852062e-08,9.774914e-08,2.220558e-07,3.238489e-07,7.352116e-07,7.573944e-07,1.468495e-06,1.727739e-06,2.535170e-06,3.381243e-06,4.042376e-06,5.883320e-06,6.065267e-06,8.635373e-06,9.331552e-06,1.172525e-05,1.366059e-05,1.527507e-05,1.873048e-05,1.922352e-05,2.351796e-05,2.441427e-05,2.811267e-05,3.060647e-05,3.296530e-05,3.721054e-05,3.803445e-05,4.327867e-05,4.413122e-05,4.865643e-05,5.127305e-05,5.412652e-05,5.854207e-05,5.964885e-05,6.518512e-05,6.584868e-05,7.069957e-05,7.311046e-05,7.615947e-05,8.025432e-05,8.153548e-05,8.680185e-05,8.721774e-05,9.193659e-05,9.394941e-05,9.692139e-05,1.004091e-04,1.017413e-04,1.063846e-04,1.065665e-04,1.108426e-04,1.124009e-04,1.151093e-04,1.178992e-04,1.191806e-04,1.230544e-04,1.267308e-04,1.278657e-04,1.302109e-04,1.323362e-04,1.334972e-04,1.364729e-04,1.365931e-04,1.395029e-04,1.402849e-04,1.422312e-04,1.437834e-04,1.447835e-04,1.469809e-04,1.471653e-04,1.493825e-04,1.498908e-04,1.514411e-04,1.525270e-04,1.533473e-04,1.549034e-04,1.551070e-04,1.567265e-04,1.570341e-04,1.582118e-04,1.589331e-04,1.595688e-04,1.606138e-04,1.608034e-04,1.619211e-04,1.620895e-04,1.629277e-04,1.633729e-04,1.638284e-04,1.644763e-04,1.646285e-04,1.653330e-04,1.654113e-04,1.659467e-04,1.661892e-04,1.664744e-04,1.668207e-04,1.669206e-04,1.672895e-04,1.673158e-04,1.675854e-04,1.676842e-04,1.678123e-04,1.679350e-04,1.679739e-04,1.680740e-04,1.680768e-04,1.681161e-04,1.681177e-04,1.681035e-04,1.680653e-04,1.680394e-04,1.679269e-04,1.677689e-04,1.677092e-04,1.675683e-04,1.674187e-04,1.673276e-04,1.670613e-04,1.670495e-04,1.667363e-04,1.666427e-04,1.663904e-04,1.661681e-04,1.660140e-04,1.656425e-04,1.656091e-04,1.651778e-04,1.650706e-04,1.647219e-04,1.644566e-04,1.642433e-04,1.638046e-04,1.637435e-04,1.632244e-04,1.631184e-04,1.626874e-04,1.624016e-04,1.621340e-04,1.616574e-04,1.615655e-04,1.609833e-04,1.608890e-04,1.603887e-04,1.600992e-04,1.597828e-04,1.592907e-04,1.591667e-04,1.585415e-04,1.584659e-04,1.579082e-04,1.576273e-04,1.572678e-04,1.567769e-04,1.566211e-04,1.559690e-04,1.559167e-04,1.553124e-04,1.550486e-04,1.546518e-04,1.541743e-04,1.539882e-04,1.533220e-04,1.532953e-04,1.526541e-04,1.524133e-04,1.519849e-04,1.515294e-04,1.513150e-04,1.506450e-04,1.497611e-04,1.488790e-04,1.479994e-04,1.471234e-04,1.462517e-04,1.453851e-04,1.445242e-04,1.436697e-04,1.428221e-04,1.419820e-04,1.411497e-04,1.403258e-04,1.395104e-04,1.387041e-04,1.379070e-04,1.371194e-04,1.363416e-04,1.355737e-04,1.348159e-04,1.340683e-04,1.333310e-04,1.326041e-04,1.318877e-04,1.311819e-04
0.000000e+00,1.402223e-09,3.191736e-09,1.088142e-08,2.463775e-08,3.589440e-08,8.150813e-08,8.397632e-08,1.636443e-07,1.929568e-07,2.851471e-07,3.831670e-07,4.607793e-07,6.819885e-07,7.042906e-07,1.028537e-06,1.119368e-06,1.440653e-06,1.708835e-06,1.936554e-06,2.429725e-06,2.500235e-06,3.109989e-06,3.235619e-06,3.745699e-06,4.081255e-06,4.392094e-06,4.935482e-06,5.038603e-06,5.678044e-06,5.779342e-06,6.305413e-06,6.601150e-06,6.917047e-06,7.393104e-06,7.510117e-06,8.082351e-06,8.149527e-06,8.631898e-06,8.866114e-06,9.157263e-06,9.539636e-06,9.657276e-06,1.013108e-05,1.016783e-05,1.057811e-05,1.074935e-05,1.099808e-05,1.128370e-05,1.139100e-05,1.175708e-05,1.177117e-05,1.209676e-05,1.221270e-05,1.241067e-05,1.260980e-05,1.269958e-05,1.296439e-05,1.320609e-05,1.327871e-05,1.342571e-05,1.355519e-05,1.362436e-05,1.379637e-05,1.380316e-05,1.396324e-05,1.400486e-05,1.410572e-05,1.418323e-05,1.423171e-05,1.433398e-05,1.434229e-05,1.443848e-05,1.445954e-05,1.452130e-05,1.456219e-05,1.459169e-05,1.464408e-05,1.465057e-05,1.469880e-05,1.470724e-05,1.473719e-05,1.475352e-05,1.476651e-05,1.478465e-05,1.478747e-05,1.480075e-05,1.480220e-05,1.480695e-05,1.480759e-05,1.480666e-05,1.480213e-05,1.480043e-05,1.478876e-05,1.478701e-05,1.477211e-05,1.476332e-05,1.475092e-05,1.473202e-05,1.472559e-05,1.469648e-05,1.469400e-05,1.466395e-05,1.465005e-05,1.462830e-05,1.460086e-05,1.458981e-05,1.454876e-05,1.454707e-05,1.450541e-05,1.448929e-05,1.446001e-05,1.442808e-05,1.441277e-05,1.436388e-05,1.431353e-05,1.429714e-05,1.426189e-05,1.422823e-05,1.420910e-05,1.415749e-05,1.415533e-05,1.410068e-05,1.408524e-05,1.404529e-05,1.401174e-05,1.398926e-05,1.393725e-05,1.393271e-05,1.387572e-05,1.386199e-05,1.381839e-05,1.378616e-05,1.376079e-05,1.370995e-05,1.370301e-05,1.364510e-05,1.363351e-05,1.358714e-05,1.355699e-05,1.352918e-05,1.348053e-05,1.347127e-05,1.341347e-05,1.340423e-05,1.335582e-05,1.332821e-05,1.329836e-05,1.325255e-05,1.324112e-05,1.318416e-05,1.317734e-05,1.312749e-05,1.310266e-05,1.307115e-05,1.302857e-05,1.301517e-05,1.295956e-05,1.295513e-05,1.290435e-05,1.288239e-05,1.284957e-05,1.281040e-05,1.279523e-05,1.274134e-05,1.273919e-05,1.268792e-05,1.266881e-05,1.263499e-05,1.259927e-05,1.258255e-05,1.253062e-05,1.246286e-05,1.239603e-05,1.233013e-05,1.226518e-05,1.220119e-05,1.213817e-05,1.207612e-05,1.201504e-05,1.195495e-05,1.189584e-05,1.183771e-05,1.178055e-05,1.172437e-05,1.166916e-05,1.161491e-05,1.156162e-05,1.150928e-05,1.145789e-05,1.140743e-05,1.135790e-05,1.130928e-05,1.126157e-05,1.121476e-05,1.116884e-05
0.000000e+00,4.581483e-09,1.038997e-08,3.512706e-08,7.884466e-08,1.142575e-07,2.553753e-07,2.629208e-07,5.025820e-07,5.891280e-07,8.566046e-07,1.134076e-06,1.349151e-06,1.940595e-06,1.998464e-06,2.803973e-06,3.018079e-06,3.739666e-06,4.305799e-06,4.766051e-06,5.715087e-06,5.846622e-06,6.953724e-06,7.176448e-06,8.067104e-06,8.643264e-06,9.171263e-06,1.008243e-05,1.025371e-05,1.130409e-05,1.146858e-05,1.231384e-05,1.278201e-05,1.327608e-05,1.400811e-05,1.418559e-05,1.503872e-05,1.513720e-05,1.583330e-05,1.616408e-05,1.656841e-05,1.708744e-05,1.724431e-05,1.786218e-05,1.790915e-05,1.842390e-05,1.863340e-05,1.893193e-05,1.926604e-05,1.938909e-05,1.979843e-05,1.981385e-05,2.016313e-05,2.028411e-05,2.048637e-05,2.068410e-05,2.077129e-05,2.102097e-05,2.123831e-05,2.130149e-05,2.142607e-05,2.153191e-05,2.158683e-05,2.171797e-05,2.172298e-05,2.183672e-05,2.186483e-05,2.193008e-05,2.197710e-05,2.200492e-05,2.205887e-05,2.206293e-05,2.210566e-05,2.211380e-05,2.213451e-05,2.214509e-05,2.215076e-05,2.215556e-05,2.215557e-05,2.214998e-05,2.214770e-05,2.213495e-05,2.212370e-05,2.211136e-05,2.208548e-05,2.207997e-05,2.204151e-05,2.203474e-05,2.199663e-05,2.197298e-05,2.194591e-05,2.190150e-05,2.188990e-05,2.182908e-05,2.182148e-05,2.176390e-05,2.173395e-05,2.169478e-05,2.163984e-05,2.162208e-05,2.154615e-05,2.153994e-05,2.146730e-05,2.143501e-05,2.138582e-05,2.132567e-05,2.130197e-05,2.121600e-05,2.121252e-05,2.112813e-05,2.109608e-05,2.103857e-05,2.097680e-05,2.094751e-05,2.085513e-05,2.076157e-05,2.073142e-05,2.066701e-05,2.060602e-05,2.057157e-05,2.047925e-05,2.047539e-05,2.037858e-05,2.035138e-05,2.028126e-05,2.022267e-05,2.018353e-05,2.009333e-05,2.008548e-05,1.998720e-05,1.996359e-05,1.988878e-05,1.983363e-05,1.979029e-05,1.970362e-05,1.969180e-05,1.959338e-05,1.957371e-05,1.949509e-05,1.944405e-05,1.939698e-05,1.931475e-05,1.929911e-05,1.920153e-05,1.918595e-05,1.910429e-05,1.905774e-05,1.900742e-05,1.893022e-05,1.891097e-05,1.881496e-05,1.880347e-05,1.871944e-05,1.867758e-05,1.862444e-05,1.855260e-05,1.852999e-05,1.843610e-05,1.842862e-05,1.834281e-05,1.830567e-05,1.825014e-05,1.818381e-05,1.815811e-05,1.806674e-05,1.806310e-05,1.797604e-05,1.794355e-05,1.788603e-05,1.782523e-05,1.779673e-05,1.770815e-05,1.759234e-05,1.747782e-05,1.736462e-05,1.725276e-05,1.714225e-05,1.703309e-05,1.692530e-05,1.681890e-05,1.671387e-05,1.661023e-05,1.650797e-05,1.640710e-05,1.630762e-05,1.620951e-05,1.611279e-05,1.601743e-05,1.592344e-05,1.583081e-05,1.573953e-05,1.564959e-05,1.556097e-05,1.547368e-05,1.538769e-05,1.530300e-05
0.000000e+00,2.303697e-07,5.235980e-07,1.776899e-06,3.996637e-06,5.794240e-06,1.292897e-05,1.330883e-05,2.527882e-05,2.955706e-05,4.264582e-05,5.604192e-05,6.632390e-05,9.429019e-05,9.701099e-05,1.348569e-04,1.449638e-04,1.794147e-04,2.070363e-04,2.299768e-04,2.788778e-04,2.858394e-04,3.463554e-04,3.589623e-04,4.109032e-04,4.458537e-04,4.788547e-04,5.380895e-04,5.495598e-04,6.223458e-04,6.341388e-04,6.965250e-04,7.324236e-04,7.714099e-04,8.313723e-04,8.463268e-04,9.206321e-04,9.294787e-04,9.937256e-04,1.025360e-03,1.065061e-03,1.117802e-03,1.134157e-03,1.200597e-03,1.205787e-03,1.264038e-03,1.288510e-03,1.324203e-03,1.365375e-03,1.380885e-03,1.433942e-03,1.435988e-03,1.483289e-03,1.500138e-03,1.528892e-03,1.557769e-03,1.570764e-03,1.608956e-03,1.643552e-03,1.653881e-03,1.674665e-03,1.692809e-03,1.702425e-03,1.726050e-03,1.726972e-03,1.748465e-03,1.753958e-03,1.767069e-03,1.776914e-03,1.782951e-03,1.795304e-03,1.796281e-03,1.807228e-03,1.809519e-03,1.815957e-03,1.819937e-03,1.822630e-03,1.826922e-03,1.827399e-03,1.830413e-03,1.830818e-03,1.831816e-03,1.831953e-03,1.831741e-03,1.830630e-03,1.830316e-03,1.827660e-03,1.827128e-03,1.823885e-03,1.821706e-03,1.819096e-03,1.814601e-03,1.813391e-03,1.806861e-03,1.806026e-03,1.799590e-03,1.796177e-03,1.791657e-03,1.785230e-03,1.783134e-03,1.774088e-03,1.773344e-03,1.764580e-03,1.760660e-03,1.754667e-03,1.747309e-03,1.744402e-03,1.733831e-03,1.733403e-03,1.723000e-03,1.719045e-03,1.711949e-03,1.704326e-03,1.700713e-03,1.689328e-03,1.677824e-03,1.674122e-03,1.666229e-03,1.658772e-03,1.654569e-03,1.643335e-03,1.642866e-03,1.631143e-03,1.627860e-03,1.619418e-03,1.612390e-03,1.607709e-03,1.596964e-03,1.596032e-03,1.584400e-03,1.581617e-03,1.572827e-03,1.566376e-03,1.561324e-03,1.551268e-03,1.549902e-03,1.538569e-03,1.536314e-03,1.527335e-03,1.521534e-03,1.516206e-03,1.506943e-03,1.505188e-03,1.494289e-03,1.492556e-03,1.483511e-03,1.478383e-03,1.472861e-03,1.464435e-03,1.462342e-03,1.451956e-03,1.450719e-03,1.441707e-03,1.437241e-03,1.431597e-03,1.424007e-03,1.421627e-03,1.411800e-03,1.411020e-03,1.402116e-03,1.398282e-03,1.392576e-03,1.385796e-03,1.383180e-03,1.373929e-03,1.373562e-03,1.364823e-03,1.361580e-03,1.355861e-03,1.349850e-03,1.347044e-03,1.338370e-03,1.327139e-03,1.316154e-03,1.305413e-03,1.294914e-03,1.284652e-03,1.274626e-03,1.264830e-03,1.255261e-03,1.245916e-03,1.236791e-03,1.227880e-03,1.219181e-03,1.210688e-03,1.202398e-03,1.194307e-03,1.186409e-03,1.178700e-03,1.171178e-03,1.163836e-03,1.156671e-03,1.149678e-03,1.142855e-03,1.136195e-03,1.129696e-03
0.000000e+00,1.222196e-08,2.786045e-08,9.526194e-08,2.162478e-07,3.154898e-07,7.190790e-07,7.409705e-07,1.449619e-06,1.711007e-06,2.532712e-06,3.399617e-06,4.075362e-06,5.919947e-06,6.098239e-06,8.534811e-06,9.170776e-06,1.129499e-05,1.295517e-05,1.430908e-05,1.713059e-05,1.752585e-05,2.090245e-05,2.159340e-05,2.439874e-05,2.625104e-05,2.797544e-05,3.101395e-05,3.159426e-05,3.521871e-05,3.579685e-05,3.881509e-05,4.052239e-05,4.235328e-05,4.512432e-05,4.580728e-05,4.915538e-05,4.954916e-05,5.238020e-05,5.375649e-05,5.546841e-05,5.771807e-05,5.841043e-05,6.119991e-05,6.141636e-05,6.383337e-05,6.484274e-05,6.630966e-05,6.799567e-05,6.862960e-05,7.079552e-05,7.087900e-05,7.281097e-05,7.350054e-05,7.468042e-05,7.587084e-05,7.640899e-05,7.800225e-05,7.946607e-05,7.990815e-05,8.080650e-05,8.160243e-05,8.202962e-05,8.309907e-05,8.314148e-05,8.414806e-05,8.441183e-05,8.505518e-05,8.555409e-05,8.586853e-05,8.653869e-05,8.659357e-05,8.723557e-05,8.737786e-05,8.779958e-05,8.808316e-05,8.829042e-05,8.866548e-05,8.871267e-05,8.907068e-05,8.913495e-05,8.936861e-05,8.950111e-05,8.961041e-05,8.977291e-05,8.979985e-05,8.994047e-05,8.995867e-05,9.003563e-05,9.006608e-05,9.008847e-05,9.010230e-05,9.010200e-05,9.007903e-05,9.007395e-05,9.002224e-05,8.998719e-05,8.993413e-05,8.984768e-05,8.981707e-05,8.967326e-05,8.966066e-05,8.950482e-05,8.943099e-05,8.931371e-05,8.916311e-05,8.910177e-05,8.887071e-05,8.886110e-05,8.862216e-05,8.852869e-05,8.835763e-05,8.816936e-05,8.807856e-05,8.778631e-05,8.748213e-05,8.738246e-05,8.716718e-05,8.696046e-05,8.684255e-05,8.652275e-05,8.650926e-05,8.616828e-05,8.607156e-05,8.582052e-05,8.560895e-05,8.546680e-05,8.513679e-05,8.510791e-05,8.474458e-05,8.465679e-05,8.437748e-05,8.417051e-05,8.400727e-05,8.367936e-05,8.363452e-05,8.325979e-05,8.318465e-05,8.288359e-05,8.268755e-05,8.250640e-05,8.218913e-05,8.212867e-05,8.175081e-05,8.169036e-05,8.137319e-05,8.119213e-05,8.099618e-05,8.069523e-05,8.062010e-05,8.024526e-05,8.020037e-05,7.987192e-05,7.970820e-05,7.950035e-05,7.921929e-05,7.913078e-05,7.876344e-05,7.873416e-05,7.839852e-05,7.825327e-05,7.803620e-05,7.777704e-05,7.767666e-05,7.732003e-05,7.730583e-05,7.696647e-05,7.683996e-05,7.661609e-05,7.637971e-05,7.626901e-05,7.592533e-05,7.547704e-05,7.503500e-05,7.459938e-05,7.417031e-05,7.374789e-05,7.333220e-05,7.292331e-05,7.252127e-05,7.212610e-05,7.173783e-05,7.135646e-05,7.098198e-05,7.061436e-05,7.025359e-05,6.989962e-05,6.955241e-05,6.921191e-05,6.887804e-05,6.855076e-05,6.822999e-05,6.791566e-05,6.760768e-05,6.730598e-05,6.701046e-05
0.000000e+00,4.480165e-09,1.020903e-08,3.489906e-08,7.927648e-08,1.157603e-07,2.650309e-07,2.731710e-07,5.391526e-07,6.384828e-07,9.551576e-07,1.297041e-06,1.569648e-06,2.342952e-06,2.419910e-06,3.503630e-06,3.794192e-06,4.778439e-06,5.556027e-06,6.192239e-06,7.518008e-06,7.703431e-06,9.282737e-06,9.604822e-06,1.090911e-05,1.176783e-05,1.256602e-05,1.397103e-05,1.423931e-05,1.591606e-05,1.618384e-05,1.758417e-05,1.837843e-05,1.923228e-05,2.052926e-05,2.084987e-05,2.242744e-05,2.261366e-05,2.395665e-05,2.461230e-05,2.543036e-05,2.650964e-05,2.684275e-05,2.818925e-05,2.829401e-05,2.946651e-05,2.995750e-05,3.067233e-05,3.149558e-05,3.180552e-05,3.286581e-05,3.290671e-05,3.385369e-05,3.419180e-05,3.477029e-05,3.535371e-05,3.561730e-05,3.639680e-05,3.711119e-05,3.732647e-05,3.776312e-05,3.814887e-05,3.835540e-05,3.887055e-05,3.889092e-05,3.937261e-05,3.949824e-05,3.980341e-05,4.003869e-05,4.018624e-05,4.049853e-05,4.052395e-05,4.081929e-05,4.088417e-05,4.107495e-05,4.120174e-05,4.129348e-05,4.145705e-05,4.147736e-05,4.162891e-05,4.165554e-05,4.175037e-05,4.180234e-05,4.184383e-05,4.190217e-05,4.191129e-05,4.195463e-05,4.195944e-05,4.197560e-05,4.197822e-05,4.197588e-05,4.196225e-05,4.195702e-05,4.192049e-05,4.191498e-05,4.186766e-05,4.183958e-05,4.179981e-05,4.173895e-05,4.171815e-05,4.162381e-05,4.161574e-05,4.151783e-05,4.147240e-05,4.140119e-05,4.131114e-05,4.127482e-05,4.113957e-05,4.113399e-05,4.099624e-05,4.094280e-05,4.084556e-05,4.073927e-05,4.068825e-05,4.052494e-05,4.035624e-05,4.030121e-05,4.018271e-05,4.006936e-05,4.000488e-05,3.983055e-05,3.982322e-05,3.963820e-05,3.958584e-05,3.945023e-05,3.933620e-05,3.925971e-05,3.908248e-05,3.906700e-05,3.887243e-05,3.882550e-05,3.867634e-05,3.856596e-05,3.847900e-05,3.830452e-05,3.828068e-05,3.808165e-05,3.804177e-05,3.788212e-05,3.777825e-05,3.768232e-05,3.751442e-05,3.748245e-05,3.728268e-05,3.725074e-05,3.708320e-05,3.698759e-05,3.688415e-05,3.672532e-05,3.668568e-05,3.648794e-05,3.646426e-05,3.629103e-05,3.620468e-05,3.609507e-05,3.594684e-05,3.590017e-05,3.570642e-05,3.569097e-05,3.551391e-05,3.543727e-05,3.532271e-05,3.518591e-05,3.513291e-05,3.494456e-05,3.493706e-05,3.475773e-05,3.469085e-05,3.457247e-05,3.444741e-05,3.438883e-05,3.420684e-05,3.396924e-05,3.373467e-05,3.350321e-05,3.327491e-05,3.304982e-05,3.282797e-05,3.260939e-05,3.239410e-05,3.218211e-05,3.197342e-05,3.176805e-05,3.156599e-05,3.136722e-05,3.117173e-05,3.097951e-05,3.079054e-05,3.060480e-05,3.042225e-05,3.024287e-05,3.006664e-05,2.989351e-05,2.972346e-05,2.955644e-05,2.939242e-05
0.000000e+00,2.436787e-09,5.553157e-09,1.897116e-08,4.301150e-08,6.269297e-08,1.424304e-07,1.467434e-07,2.858789e-07,3.370504e-07,4.980045e-07,6.692283e-07,8.048523e-07,1.190906e-06,1.229720e-06,1.789452e-06,1.944267e-06,2.483824e-06,2.925144e-06,3.294653e-06,4.084430e-06,4.196692e-06,5.167326e-06,5.368083e-06,6.189390e-06,6.736866e-06,7.250266e-06,8.164251e-06,8.340265e-06,9.451384e-06,9.630640e-06,1.057651e-05,1.111958e-05,1.170898e-05,1.261593e-05,1.284239e-05,1.397056e-05,1.410530e-05,1.508752e-05,1.557396e-05,1.618761e-05,1.700916e-05,1.726558e-05,1.831655e-05,1.839933e-05,1.933618e-05,1.973439e-05,2.032068e-05,2.100595e-05,2.126685e-05,2.217207e-05,2.220739e-05,2.303429e-05,2.333387e-05,2.385203e-05,2.438216e-05,2.462429e-05,2.535058e-05,2.603087e-05,2.623890e-05,2.666550e-05,2.704798e-05,2.725510e-05,2.777958e-05,2.780056e-05,2.830299e-05,2.843612e-05,2.876363e-05,2.902053e-05,2.918387e-05,2.953611e-05,2.956522e-05,2.990935e-05,2.998659e-05,3.021799e-05,3.037597e-05,3.049288e-05,3.070825e-05,3.073577e-05,3.094842e-05,3.098748e-05,3.113259e-05,3.121768e-05,3.129001e-05,3.140301e-05,3.142266e-05,3.153253e-05,3.154808e-05,3.162102e-05,3.165634e-05,3.168959e-05,3.173100e-05,3.173958e-05,3.177227e-05,3.177509e-05,3.178889e-05,3.179140e-05,3.179057e-05,3.178256e-05,3.177844e-05,3.175353e-05,3.175102e-05,3.171682e-05,3.169904e-05,3.166923e-05,3.162871e-05,3.161162e-05,3.154481e-05,3.154195e-05,3.146956e-05,3.144054e-05,3.138659e-05,3.132610e-05,3.129657e-05,3.120012e-05,3.109784e-05,3.106397e-05,3.099027e-05,3.091888e-05,3.087792e-05,3.076600e-05,3.076126e-05,3.064075e-05,3.060637e-05,3.051680e-05,3.044093e-05,3.038979e-05,3.027055e-05,3.026008e-05,3.012801e-05,3.009600e-05,2.999390e-05,2.991800e-05,2.985801e-05,2.973720e-05,2.972064e-05,2.958202e-05,2.955417e-05,2.944239e-05,2.936946e-05,2.930196e-05,2.918353e-05,2.916093e-05,2.901949e-05,2.899683e-05,2.887780e-05,2.880975e-05,2.873602e-05,2.862263e-05,2.859430e-05,2.845277e-05,2.843580e-05,2.831155e-05,2.824955e-05,2.817077e-05,2.806412e-05,2.803051e-05,2.789089e-05,2.787975e-05,2.775199e-05,2.769665e-05,2.761388e-05,2.751498e-05,2.747665e-05,2.734036e-05,2.733493e-05,2.720507e-05,2.715662e-05,2.707084e-05,2.698019e-05,2.693771e-05,2.680574e-05,2.663338e-05,2.646318e-05,2.629521e-05,2.612955e-05,2.596623e-05,2.580530e-05,2.564680e-05,2.549075e-05,2.533717e-05,2.518608e-05,2.503748e-05,2.489138e-05,2.474778e-05,2.460667e-05,2.446805e-05,2.433190e-05,2.419820e-05,2.406695e-05,2.393813e-05,2.381170e-05,2.368766e-05,2.356596e-05,2.344659e-05,2.332952e-05
0.000000e+00,1.934801e-08,4.399047e-08,1.493904e-07,3.361965e-07,4.875308e-07,1.088236e-06,1.120213e-06,2.127218e-06,2.486780e-06,3.585713e-06,4.709462e-06,5.572252e-06,7.927443e-06,8.157660e-06,1.138798e-05,1.226011e-05,1.526107e-05,1.769422e-05,1.972975e-05,2.410373e-05,2.472966e-05,3.019918e-05,3.134450e-05,3.608320e-05,3.928960e-05,4.233039e-05,4.782171e-05,4.889018e-05,5.571101e-05,5.682305e-05,6.273987e-05,6.617172e-05,6.992254e-05,7.574267e-05,7.720436e-05,8.453129e-05,8.541104e-05,9.185094e-05,9.505637e-05,9.911367e-05,1.045667e-04,1.062733e-04,1.132881e-04,1.138419e-04,1.201208e-04,1.227955e-04,1.267394e-04,1.313571e-04,1.331172e-04,1.392325e-04,1.394714e-04,1.450685e-04,1.470987e-04,1.506132e-04,1.542131e-04,1.558589e-04,1.608017e-04,1.654409e-04,1.668617e-04,1.697792e-04,1.723999e-04,1.738214e-04,1.774299e-04,1.775745e-04,1.810475e-04,1.819711e-04,1.842504e-04,1.860470e-04,1.871942e-04,1.896836e-04,1.898905e-04,1.923512e-04,1.929080e-04,1.945884e-04,1.957482e-04,1.966144e-04,1.982321e-04,1.984411e-04,2.000804e-04,2.003868e-04,2.015439e-04,2.022391e-04,2.028427e-04,2.038144e-04,2.039877e-04,2.049891e-04,2.051366e-04,2.058567e-04,2.062284e-04,2.066000e-04,2.071111e-04,2.072278e-04,2.077493e-04,2.078051e-04,2.081728e-04,2.083299e-04,2.085052e-04,2.087011e-04,2.087533e-04,2.089232e-04,2.089336e-04,2.090210e-04,2.090412e-04,2.090523e-04,2.090364e-04,2.090220e-04,2.089348e-04,2.089302e-04,2.087950e-04,2.087325e-04,2.086065e-04,2.084526e-04,2.083733e-04,2.080990e-04,2.077866e-04,2.076792e-04,2.074394e-04,2.072002e-04,2.070601e-04,2.066681e-04,2.066512e-04,2.062153e-04,2.060887e-04,2.057546e-04,2.054672e-04,2.052712e-04,2.048081e-04,2.047671e-04,2.042440e-04,2.041159e-04,2.037038e-04,2.033944e-04,2.031480e-04,2.026471e-04,2.025780e-04,2.019952e-04,2.018772e-04,2.014009e-04,2.010877e-04,2.007962e-04,2.002810e-04,2.001822e-04,1.995600e-04,1.994598e-04,1.989306e-04,1.986261e-04,1.982948e-04,1.977821e-04,1.976534e-04,1.970073e-04,1.969295e-04,1.963572e-04,1.960700e-04,1.957037e-04,1.952052e-04,1.950475e-04,1.943891e-04,1.943364e-04,1.937292e-04,1.934649e-04,1.930682e-04,1.925919e-04,1.924066e-04,1.917450e-04,1.917185e-04,1.910836e-04,1.908457e-04,1.904229e-04,1.899743e-04,1.897633e-04,1.891051e-04,1.882390e-04,1.873766e-04,1.865185e-04,1.856653e-04,1.848175e-04,1.839755e-04,1.831398e-04,1.823108e-04,1.814888e-04,1.806742e-04,1.798671e-04,1.790680e-04,1.782769e-04,1.774940e-04,1.767197e-04,1.759539e-04,1.751970e-04,1.744488e-04,1.737096e-04,1.729795e-04,1.722585e-04,1.715466e-04,1.708439e-04,1.701505e-04
0.000000e+00,4.301374e-07,9.810585e-07,3.354711e-06,7.601972e-06,1.106943e-05,2.500727e-05,2.575589e-05,4.961942e-05,5.826176e-05,8.501905e-05,1.128561e-04,1.345152e-04,1.947009e-04,2.006559e-04,2.852322e-04,3.083181e-04,3.882177e-04,4.532323e-04,5.075986e-04,6.239149e-04,6.404784e-04,7.841207e-04,8.139330e-04,9.362521e-04,1.018074e-03,1.094973e-03,1.232170e-03,1.258620e-03,1.425676e-03,1.452625e-03,1.594727e-03,1.676189e-03,1.764457e-03,1.899910e-03,1.933651e-03,2.101209e-03,2.121158e-03,2.266148e-03,2.337668e-03,2.427617e-03,2.547561e-03,2.584890e-03,2.737369e-03,2.749345e-03,2.884576e-03,2.941897e-03,3.026142e-03,3.124423e-03,3.161800e-03,3.291371e-03,3.296425e-03,3.414752e-03,3.457646e-03,3.531911e-03,3.608033e-03,3.642867e-03,3.747684e-03,3.846466e-03,3.876822e-03,3.939345e-03,3.995762e-03,4.026479e-03,4.104884e-03,4.108041e-03,4.184218e-03,4.204609e-03,4.255205e-03,4.295390e-03,4.321204e-03,4.377693e-03,4.382419e-03,4.439054e-03,4.451988e-03,4.491313e-03,4.518742e-03,4.539398e-03,4.578416e-03,4.583506e-03,4.623830e-03,4.631458e-03,4.660559e-03,4.678298e-03,4.693874e-03,4.719350e-03,4.723952e-03,4.750960e-03,4.755008e-03,4.775063e-03,4.785648e-03,4.796419e-03,4.811626e-03,4.815177e-03,4.831483e-03,4.833281e-03,4.845474e-03,4.850932e-03,4.857284e-03,4.864878e-03,4.867038e-03,4.874857e-03,4.875402e-03,4.880856e-03,4.882771e-03,4.885145e-03,4.887234e-03,4.887829e-03,4.889007e-03,4.889025e-03,4.888774e-03,4.888362e-03,4.887220e-03,4.885453e-03,4.884431e-03,4.880487e-03,4.875467e-03,4.873646e-03,4.869444e-03,4.865095e-03,4.862487e-03,4.854991e-03,4.854662e-03,4.846033e-03,4.843480e-03,4.836657e-03,4.830698e-03,4.826593e-03,4.816770e-03,4.815892e-03,4.804605e-03,4.801815e-03,4.792781e-03,4.785941e-03,4.780464e-03,4.769250e-03,4.767696e-03,4.754518e-03,4.751837e-03,4.740969e-03,4.733789e-03,4.727084e-03,4.715186e-03,4.712897e-03,4.698440e-03,4.696104e-03,4.683744e-03,4.676613e-03,4.668836e-03,4.656776e-03,4.653744e-03,4.638494e-03,4.636654e-03,4.623107e-03,4.616300e-03,4.607608e-03,4.595766e-03,4.592017e-03,4.576354e-03,4.575098e-03,4.560636e-03,4.554339e-03,4.544883e-03,4.533527e-03,4.529110e-03,4.513331e-03,4.512700e-03,4.497562e-03,4.491891e-03,4.481816e-03,4.471129e-03,4.466106e-03,4.450442e-03,4.429855e-03,4.409392e-03,4.389073e-03,4.368917e-03,4.348941e-03,4.329159e-03,4.309587e-03,4.290235e-03,4.271115e-03,4.252236e-03,4.233607e-03,4.215235e-03,4.197126e-03,4.179285e-03,4.161718e-03,4.144428e-03,4.127417e-03,4.110688e-03,4.094243e-03,4.078082e-03,4.062207e-03,4.046618e-03,4.031313e-03,4.016293e-03
0.000000e+00,5.542516e-09,1.268699e-08,4.379863e-08,1.004516e-07,1.474927e-07,3.427796e-07,3.535291e-07,7.086165e-07,8.427062e-07,1.274094e-06,1.745575e-06,2.125796e-06,3.228462e-06,3.340380e-06,4.961829e-06,5.410744e-06,6.970966e-06,8.240369e-06,9.298388e-06,1.154681e-05,1.186515e-05,1.460701e-05,1.517202e-05,1.747710e-05,1.900844e-05,2.044097e-05,2.298329e-05,2.347175e-05,2.654701e-05,2.704183e-05,2.964710e-05,3.113872e-05,3.275437e-05,3.523451e-05,3.585276e-05,3.892787e-05,3.929469e-05,4.196686e-05,4.328963e-05,4.495852e-05,4.719455e-05,4.789322e-05,5.076285e-05,5.098940e-05,5.356075e-05,5.465859e-05,5.628157e-05,5.819047e-05,5.892119e-05,6.147654e-05,6.157697e-05,6.394551e-05,6.481292e-05,6.632677e-05,6.789555e-05,6.861965e-05,7.082408e-05,7.294047e-05,7.359924e-05,7.496960e-05,7.622295e-05,7.691257e-05,7.869804e-05,7.877076e-05,8.054574e-05,8.102805e-05,8.223923e-05,8.321698e-05,8.385309e-05,8.526919e-05,8.538927e-05,8.684979e-05,8.718928e-05,8.823670e-05,8.898200e-05,8.955209e-05,9.065215e-05,9.079807e-05,9.197674e-05,9.220458e-05,9.309019e-05,9.364411e-05,9.414053e-05,9.497553e-05,9.512979e-05,9.606003e-05,9.620352e-05,9.693324e-05,9.733271e-05,9.775140e-05,9.836758e-05,9.851643e-05,9.923023e-05,9.931254e-05,9.989466e-05,1.001718e-04,1.005115e-04,1.009496e-04,1.010826e-04,1.016096e-04,1.016499e-04,1.020942e-04,1.022765e-04,1.025380e-04,1.028333e-04,1.029427e-04,1.033098e-04,1.033237e-04,1.036408e-04,1.037514e-04,1.039371e-04,1.041195e-04,1.042002e-04,1.044314e-04,1.046321e-04,1.046901e-04,1.048036e-04,1.048986e-04,1.049471e-04,1.050597e-04,1.050638e-04,1.051550e-04,1.051761e-04,1.052217e-04,1.052505e-04,1.052651e-04,1.052853e-04,1.052862e-04,1.052860e-04,1.052829e-04,1.052655e-04,1.052456e-04,1.052258e-04,1.051755e-04,1.051676e-04,1.050920e-04,1.050748e-04,1.049997e-04,1.049455e-04,1.048917e-04,1.047893e-04,1.047686e-04,1.046314e-04,1.046081e-04,1.044806e-04,1.044037e-04,1.043171e-04,1.041776e-04,1.041416e-04,1.039546e-04,1.039314e-04,1.037569e-04,1.036666e-04,1.035490e-04,1.033846e-04,1.033316e-04,1.031052e-04,1.030867e-04,1.028704e-04,1.027743e-04,1.026277e-04,1.024484e-04,1.023776e-04,1.021206e-04,1.021102e-04,1.018572e-04,1.017608e-04,1.015877e-04,1.014013e-04,1.013127e-04,1.010326e-04,1.006556e-04,1.002713e-04,9.988031e-05,9.948355e-05,9.908172e-05,9.867551e-05,9.826557e-05,9.785252e-05,9.743693e-05,9.701936e-05,9.660032e-05,9.618028e-05,9.575969e-05,9.533899e-05,9.491856e-05,9.449878e-05,9.407999e-05,9.366252e-05,9.324667e-05,9.283272e-05,9.242093e-05,9.201155e-05,9.160480e-05,9.120089e-05
0.000000e+00,7.189535e-09,1.630810e-08,5.511479e-08,1.234985e-07,1.786746e-07,3.965426e-07,4.081030e-07,7.709536e-07,9.000956e-07,1.293948e-06,1.695892e-06,2.004277e-06,2.846939e-06,2.929486e-06,4.094165e-06,4.411190e-06,5.511555e-06,6.413527e-06,7.173022e-06,8.811420e-06,9.045838e-06,1.108407e-05,1.150745e-05,1.324209e-05,1.439845e-05,1.548121e-05,1.740171e-05,1.777019e-05,2.008353e-05,2.045444e-05,2.239962e-05,2.350669e-05,2.469957e-05,2.651652e-05,2.696653e-05,2.918540e-05,2.944778e-05,3.134276e-05,3.226944e-05,3.342692e-05,3.495576e-05,3.542796e-05,3.733776e-05,3.748641e-05,3.915003e-05,3.984654e-05,4.086019e-05,4.202661e-05,4.246537e-05,4.396418e-05,4.402191e-05,4.535661e-05,4.583205e-05,4.664386e-05,4.746019e-05,4.782811e-05,4.891238e-05,4.990033e-05,5.019680e-05,5.079614e-05,5.132319e-05,5.160435e-05,5.230220e-05,5.232968e-05,5.297703e-05,5.314497e-05,5.355127e-05,5.386274e-05,5.405725e-05,5.446656e-05,5.449973e-05,5.488330e-05,5.496709e-05,5.521238e-05,5.537442e-05,5.549115e-05,5.569802e-05,5.572359e-05,5.591345e-05,5.594662e-05,5.606422e-05,5.612828e-05,5.617919e-05,5.625031e-05,5.626137e-05,5.631360e-05,5.631935e-05,5.633847e-05,5.634140e-05,5.633838e-05,5.632185e-05,5.631556e-05,5.627205e-05,5.626552e-05,5.620970e-05,5.617674e-05,5.613022e-05,5.605932e-05,5.603517e-05,5.592599e-05,5.591668e-05,5.580398e-05,5.575186e-05,5.567036e-05,5.556758e-05,5.552622e-05,5.537259e-05,5.536626e-05,5.521038e-05,5.515005e-05,5.504044e-05,5.492086e-05,5.486354e-05,5.468041e-05,5.449169e-05,5.443022e-05,5.429798e-05,5.417166e-05,5.409985e-05,5.390594e-05,5.389779e-05,5.369228e-05,5.363418e-05,5.348374e-05,5.335733e-05,5.327258e-05,5.307629e-05,5.305914e-05,5.284379e-05,5.279185e-05,5.262681e-05,5.250471e-05,5.240851e-05,5.221551e-05,5.218914e-05,5.196896e-05,5.192484e-05,5.174818e-05,5.163321e-05,5.152702e-05,5.134109e-05,5.130567e-05,5.108431e-05,5.104890e-05,5.086311e-05,5.075703e-05,5.064221e-05,5.046582e-05,5.042177e-05,5.020192e-05,5.017558e-05,4.998277e-05,4.988659e-05,4.976443e-05,4.959911e-05,4.954702e-05,4.933063e-05,4.931336e-05,4.911533e-05,4.902954e-05,4.890123e-05,4.874785e-05,4.868839e-05,4.847687e-05,4.846844e-05,4.826675e-05,4.819146e-05,4.805809e-05,4.791705e-05,4.785093e-05,4.764532e-05,4.737638e-05,4.711031e-05,4.684721e-05,4.658713e-05,4.633014e-05,4.607629e-05,4.582563e-05,4.557819e-05,4.533401e-05,4.509310e-05,4.485548e-05,4.462117e-05,4.439017e-05,4.416250e-05,4.393814e-05,4.371709e-05,4.349935e-05,4.328491e-05,4.307374e-05,4.286584e-05,4.266118e-05,4.245975e-05,4.226151e-05,4.206645e-05
0.000000e+00,5.876033e-09,1.341690e-08,4.597872e-08,1.043733e-07,1.521073e-07,3.441731e-07,3.544920e-07,6.832717e-07,8.022104e-07,1.169779e-06,1.550753e-06,1.845854e-06,2.657917e-06,2.737552e-06,3.855036e-06,4.156350e-06,5.192067e-06,6.031942e-06,6.735788e-06,8.254887e-06,8.473190e-06,1.039187e-05,1.079624e-05,1.247899e-05,1.362624e-05,1.472046e-05,1.671112e-05,1.710055e-05,1.960194e-05,2.001219e-05,2.220599e-05,2.348667e-05,2.489313e-05,2.708927e-05,2.764342e-05,3.043698e-05,3.077418e-05,3.325443e-05,3.449688e-05,3.607732e-05,3.821572e-05,3.888844e-05,4.167203e-05,4.189309e-05,4.441394e-05,4.549619e-05,4.710173e-05,4.899735e-05,4.972469e-05,5.227378e-05,5.237409e-05,5.474155e-05,5.560886e-05,5.712208e-05,5.868864e-05,5.941082e-05,6.160442e-05,6.370070e-05,6.435073e-05,6.569845e-05,6.692511e-05,6.759734e-05,6.932764e-05,6.939777e-05,7.110069e-05,7.156021e-05,7.270747e-05,7.362613e-05,7.421993e-05,7.552995e-05,7.564024e-05,7.697075e-05,7.727699e-05,7.821403e-05,7.887318e-05,7.937282e-05,8.032495e-05,8.045000e-05,8.144849e-05,8.163901e-05,8.237126e-05,8.282217e-05,8.322130e-05,8.388132e-05,8.400161e-05,8.471535e-05,8.482359e-05,8.536575e-05,8.565629e-05,8.595565e-05,8.638581e-05,8.648773e-05,8.696473e-05,8.701840e-05,8.738928e-05,8.756011e-05,8.776387e-05,8.801665e-05,8.809095e-05,8.837290e-05,8.839357e-05,8.861201e-05,8.869616e-05,8.881049e-05,8.892940e-05,8.897042e-05,8.909383e-05,8.909803e-05,8.918266e-05,8.920654e-05,8.923880e-05,8.925921e-05,8.926403e-05,8.926007e-05,8.922858e-05,8.921295e-05,8.917113e-05,8.912144e-05,8.908923e-05,8.898892e-05,8.898430e-05,8.885772e-05,8.881858e-05,8.871080e-05,8.861342e-05,8.854480e-05,8.837626e-05,8.836092e-05,8.816029e-05,8.810977e-05,8.794400e-05,8.781643e-05,8.771310e-05,8.749859e-05,8.746856e-05,8.721132e-05,8.715843e-05,8.694228e-05,8.679801e-05,8.666230e-05,8.641925e-05,8.637218e-05,8.607269e-05,8.602395e-05,8.576456e-05,8.561380e-05,8.544849e-05,8.519037e-05,8.512515e-05,8.479515e-05,8.475513e-05,8.445910e-05,8.430946e-05,8.411756e-05,8.385464e-05,8.377106e-05,8.342011e-05,8.339185e-05,8.306519e-05,8.292222e-05,8.270676e-05,8.244676e-05,8.234525e-05,8.198107e-05,8.196645e-05,8.161460e-05,8.148218e-05,8.124621e-05,8.099478e-05,8.087624e-05,8.050503e-05,8.001362e-05,7.952123e-05,7.902847e-05,7.853589e-05,7.804403e-05,7.755335e-05,7.706431e-05,7.657731e-05,7.609271e-05,7.561086e-05,7.513207e-05,7.465662e-05,7.418477e-05,7.371675e-05,7.325278e-05,7.279303e-05,7.233769e-05,7.188690e-05,7.144080e-05,7.099951e-05,7.056312e-05,7.013174e-05,6.970543e-05,6.928426e-05
0.000000e+00,6.762050e-08,1.543747e-07,5.290413e-07,1.201706e-06,1.752492e-06,3.977998e-06,4.097997e-06,7.943843e-06,9.345275e-06,1.370573e-05,1.826203e-05,2.180752e-05,3.157870e-05,3.253505e-05,4.586358e-05,4.942184e-05,6.152663e-05,7.120148e-05,7.921684e-05,9.624852e-05,9.866764e-05,1.196444e-04,1.240031e-04,1.419227e-04,1.539471e-04,1.652770e-04,1.855584e-04,1.894779e-04,2.142952e-04,2.183079e-04,2.395027e-04,2.516768e-04,2.648841e-04,2.851783e-04,2.902378e-04,3.153808e-04,3.183758e-04,3.401508e-04,3.508946e-04,3.644078e-04,3.824266e-04,3.880337e-04,4.109320e-04,4.127300e-04,4.330259e-04,4.416245e-04,4.542569e-04,4.689846e-04,4.745827e-04,4.939750e-04,4.947310e-04,5.124177e-04,5.188232e-04,5.299050e-04,5.412517e-04,5.464395e-04,5.620309e-04,5.766944e-04,5.811939e-04,5.904498e-04,5.987872e-04,6.033202e-04,6.148673e-04,6.153316e-04,6.265115e-04,6.294968e-04,6.368891e-04,6.427430e-04,6.464944e-04,6.546751e-04,6.553576e-04,6.635094e-04,6.653634e-04,6.709803e-04,6.748779e-04,6.778005e-04,6.832876e-04,6.839997e-04,6.896069e-04,6.906599e-04,6.946508e-04,6.970602e-04,6.991590e-04,7.025516e-04,7.031584e-04,7.066751e-04,7.071947e-04,7.097344e-04,7.110476e-04,7.123607e-04,7.141658e-04,7.145774e-04,7.164071e-04,7.166017e-04,7.178716e-04,7.184056e-04,7.189915e-04,7.196246e-04,7.197870e-04,7.202772e-04,7.203038e-04,7.204805e-04,7.204855e-04,7.204145e-04,7.202096e-04,7.200958e-04,7.195407e-04,7.195138e-04,7.187643e-04,7.184335e-04,7.177813e-04,7.170020e-04,7.166056e-04,7.152505e-04,7.137286e-04,7.132084e-04,7.120520e-04,7.109031e-04,7.102321e-04,7.083603e-04,7.082798e-04,7.062053e-04,7.056039e-04,7.040185e-04,7.026564e-04,7.017287e-04,6.995388e-04,6.993448e-04,6.968750e-04,6.962704e-04,6.943274e-04,6.928695e-04,6.917093e-04,6.893528e-04,6.890279e-04,6.862900e-04,6.857361e-04,6.835017e-04,6.820339e-04,6.806692e-04,6.782597e-04,6.777980e-04,6.748934e-04,6.744259e-04,6.719605e-04,6.705441e-04,6.690040e-04,6.666248e-04,6.660283e-04,6.630376e-04,6.626779e-04,6.600358e-04,6.587125e-04,6.570266e-04,6.547367e-04,6.540133e-04,6.509993e-04,6.507582e-04,6.479875e-04,6.467840e-04,6.449807e-04,6.428205e-04,6.419816e-04,6.389927e-04,6.388733e-04,6.360160e-04,6.349479e-04,6.330539e-04,6.310489e-04,6.301082e-04,6.271808e-04,6.233474e-04,6.195521e-04,6.157983e-04,6.120885e-04,6.084254e-04,6.048110e-04,6.012473e-04,5.977360e-04,5.942784e-04,5.908757e-04,5.875290e-04,5.842390e-04,5.810063e-04,5.778316e-04,5.747149e-04,5.716567e-04,5.686569e-04,5.657156e-04,5.628325e-04,5.600074e-04,5.572402e-04,5.545303e-04,5.518773e-04,5.492807e-04
0.000000e+00,1.954051e-09,4.469847e-09,1.537578e-08,3.502233e-08,5.113212e-08,1.162043e-07,1.197080e-07,2.315611e-07,2.720894e-07,3.974559e-07,5.276062e-07,6.286840e-07,9.092615e-07,9.370523e-07,1.334454e-06,1.444332e-06,1.831755e-06,2.156998e-06,2.436789e-06,3.060347e-06,3.151880e-06,3.972371e-06,4.148257e-06,4.887646e-06,5.396566e-06,5.884112e-06,6.773787e-06,6.948008e-06,8.066846e-06,8.250207e-06,9.229690e-06,9.800626e-06,1.042694e-05,1.140373e-05,1.165003e-05,1.289116e-05,1.304097e-05,1.414319e-05,1.469581e-05,1.539953e-05,1.635351e-05,1.665417e-05,1.790164e-05,1.800097e-05,1.913701e-05,1.962677e-05,2.035591e-05,2.122116e-05,2.155452e-05,2.272954e-05,2.277601e-05,2.387817e-05,2.428475e-05,2.499807e-05,2.574222e-05,2.608736e-05,2.714454e-05,2.816845e-05,2.848894e-05,2.915828e-05,2.977361e-05,3.011346e-05,3.099757e-05,3.103371e-05,3.191891e-05,3.216049e-05,3.276915e-05,3.326261e-05,3.358467e-05,3.430458e-05,3.436582e-05,3.511308e-05,3.528744e-05,3.582700e-05,3.621247e-05,3.650821e-05,3.708116e-05,3.715739e-05,3.777527e-05,3.789516e-05,3.836262e-05,3.865623e-05,3.892021e-05,3.936619e-05,3.944886e-05,3.994939e-05,4.002692e-05,4.042261e-05,4.064031e-05,4.086936e-05,4.120825e-05,4.129046e-05,4.168673e-05,4.173265e-05,4.205898e-05,4.221537e-05,4.240801e-05,4.265824e-05,4.273462e-05,4.303957e-05,4.306306e-05,4.332364e-05,4.343159e-05,4.358757e-05,4.376554e-05,4.383209e-05,4.405793e-05,4.406658e-05,4.426576e-05,4.433631e-05,4.445629e-05,4.457630e-05,4.463016e-05,4.478804e-05,4.493055e-05,4.497300e-05,4.505830e-05,4.513258e-05,4.517188e-05,4.526813e-05,4.527188e-05,4.535885e-05,4.538094e-05,4.543333e-05,4.547226e-05,4.549587e-05,4.554328e-05,4.554696e-05,4.558710e-05,4.559516e-05,4.561678e-05,4.562900e-05,4.563645e-05,4.564585e-05,4.564657e-05,4.564757e-05,4.564671e-05,4.563987e-05,4.563256e-05,4.562388e-05,4.560432e-05,4.559999e-05,4.556857e-05,4.556287e-05,4.553001e-05,4.550906e-05,4.548464e-05,4.544367e-05,4.543281e-05,4.537485e-05,4.536750e-05,4.531107e-05,4.528125e-05,4.524179e-05,4.518563e-05,4.516729e-05,4.508787e-05,4.508131e-05,4.500379e-05,4.496891e-05,4.491532e-05,4.484904e-05,4.482270e-05,4.472620e-05,4.472226e-05,4.462603e-05,4.458912e-05,4.452243e-05,4.445013e-05,4.441561e-05,4.430579e-05,4.415655e-05,4.400286e-05,4.384513e-05,4.368376e-05,4.351912e-05,4.335157e-05,4.318144e-05,4.300904e-05,4.283468e-05,4.265864e-05,4.248118e-05,4.230255e-05,4.212299e-05,4.194272e-05,4.176195e-05,4.158087e-05,4.139967e-05,4.121852e-05,4.103758e-05,4.085700e-05,4.067693e-05,4.049748e-05,4.031880e-05,4.014098e-05
0.000000e+00,4.643269e-09,1.061876e-08,3.649910e-08,8.304282e-08,1.211409e-07,2.744899e-07,2.827240e-07,5.445012e-07,6.388726e-07,9.293619e-07,1.228862e-06,1.460122e-06,2.096209e-06,2.158741e-06,3.043029e-06,3.284085e-06,4.121651e-06,4.810295e-06,5.393082e-06,6.665715e-06,6.850059e-06,8.483638e-06,8.830722e-06,1.028432e-05,1.128332e-05,1.224176e-05,1.399876e-05,1.434443e-05,1.657944e-05,1.694839e-05,1.893262e-05,2.009969e-05,2.138878e-05,2.341719e-05,2.393204e-05,2.654618e-05,2.686387e-05,2.921503e-05,3.040257e-05,3.192278e-05,3.399733e-05,3.465427e-05,3.739522e-05,3.761450e-05,4.013240e-05,4.122347e-05,4.285374e-05,4.479717e-05,4.554841e-05,4.820682e-05,4.831228e-05,5.082063e-05,5.174926e-05,5.338265e-05,5.509213e-05,5.588685e-05,5.832823e-05,6.070274e-05,6.144792e-05,6.300720e-05,6.444416e-05,6.523921e-05,6.731218e-05,6.739705e-05,6.947961e-05,7.004914e-05,7.148628e-05,7.265378e-05,7.341692e-05,7.512616e-05,7.527178e-05,7.705142e-05,7.746743e-05,7.875670e-05,7.967957e-05,8.038869e-05,8.176521e-05,8.194865e-05,8.343800e-05,8.372753e-05,8.485827e-05,8.557005e-05,8.621110e-05,8.729662e-05,8.749821e-05,8.872134e-05,8.891123e-05,8.988230e-05,9.041802e-05,9.098292e-05,9.182120e-05,9.202503e-05,9.301046e-05,9.312499e-05,9.394104e-05,9.433360e-05,9.481860e-05,9.545118e-05,9.564492e-05,9.642178e-05,9.648184e-05,9.715091e-05,9.742958e-05,9.783403e-05,9.829833e-05,9.847281e-05,9.906891e-05,9.909189e-05,9.962392e-05,9.981397e-05,1.001394e-04,1.004682e-04,1.006169e-04,1.010579e-04,1.014638e-04,1.015866e-04,1.018361e-04,1.020574e-04,1.021762e-04,1.024734e-04,1.024852e-04,1.027646e-04,1.028377e-04,1.030156e-04,1.031531e-04,1.032394e-04,1.034222e-04,1.034371e-04,1.036100e-04,1.036479e-04,1.037591e-04,1.038325e-04,1.038854e-04,1.039786e-04,1.039900e-04,1.040739e-04,1.040883e-04,1.041381e-04,1.041639e-04,1.041834e-04,1.042076e-04,1.042108e-04,1.042211e-04,1.042212e-04,1.042152e-04,1.042068e-04,1.041938e-04,1.041662e-04,1.041578e-04,1.041079e-04,1.041010e-04,1.040448e-04,1.040130e-04,1.039691e-04,1.039037e-04,1.038816e-04,1.037829e-04,1.037746e-04,1.036737e-04,1.036271e-04,1.035544e-04,1.034626e-04,1.034257e-04,1.032881e-04,1.032824e-04,1.031422e-04,1.030877e-04,1.029884e-04,1.028796e-04,1.028273e-04,1.026593e-04,1.024277e-04,1.021858e-04,1.019347e-04,1.016751e-04,1.014078e-04,1.011338e-04,1.008536e-04,1.005681e-04,1.002778e-04,9.998337e-05,9.968542e-05,9.938449e-05,9.908108e-05,9.877568e-05,9.846875e-05,9.816070e-05,9.785195e-05,9.754286e-05,9.723379e-05,9.692505e-05,9.661695e-05,9.630978e-05,9.600379e-05,9.569923e-05
0.000000e+00,3.157033e-09,7.127185e-09,2.385187e-08,5.297569e-08,7.627783e-08,1.672596e-07,1.720535e-07,3.213810e-07,3.741193e-07,5.340378e-07,6.961396e-07,8.198962e-07,1.155555e-06,1.188230e-06,1.644617e-06,1.767142e-06,2.185899e-06,2.521260e-06,2.798205e-06,3.380101e-06,3.461775e-06,4.157564e-06,4.299171e-06,4.870255e-06,5.243541e-06,5.588169e-06,6.188549e-06,6.302216e-06,7.004986e-06,7.115949e-06,7.690182e-06,8.011204e-06,8.352352e-06,8.862323e-06,8.986791e-06,9.589534e-06,9.659574e-06,1.015738e-05,1.039551e-05,1.068787e-05,1.106500e-05,1.117933e-05,1.163082e-05,1.166520e-05,1.204208e-05,1.219538e-05,1.241346e-05,1.265664e-05,1.274585e-05,1.304056e-05,1.305159e-05,1.329926e-05,1.338394e-05,1.352388e-05,1.365821e-05,1.371651e-05,1.387935e-05,1.401466e-05,1.405251e-05,1.412470e-05,1.418290e-05,1.421170e-05,1.427554e-05,1.427781e-05,1.432506e-05,1.433517e-05,1.435535e-05,1.436610e-05,1.437040e-05,1.437218e-05,1.437182e-05,1.436112e-05,1.435690e-05,1.433967e-05,1.432346e-05,1.430878e-05,1.427468e-05,1.426958e-05,1.422311e-05,1.421304e-05,1.417034e-05,1.414068e-05,1.411210e-05,1.405954e-05,1.404919e-05,1.398235e-05,1.397135e-05,1.391238e-05,1.387786e-05,1.383983e-05,1.378017e-05,1.376506e-05,1.368849e-05,1.367920e-05,1.361047e-05,1.357575e-05,1.353127e-05,1.347047e-05,1.345118e-05,1.337044e-05,1.336396e-05,1.328926e-05,1.325670e-05,1.320782e-05,1.314912e-05,1.312629e-05,1.304482e-05,1.304156e-05,1.296355e-05,1.293436e-05,1.288259e-05,1.282777e-05,1.280204e-05,1.272200e-05,1.264254e-05,1.261724e-05,1.256373e-05,1.251366e-05,1.248564e-05,1.241139e-05,1.240831e-05,1.233180e-05,1.231053e-05,1.225615e-05,1.221119e-05,1.218140e-05,1.211343e-05,1.210756e-05,1.203467e-05,1.201732e-05,1.196276e-05,1.192291e-05,1.189182e-05,1.183023e-05,1.182190e-05,1.175298e-05,1.173932e-05,1.168509e-05,1.165020e-05,1.161823e-05,1.156287e-05,1.155241e-05,1.148762e-05,1.147735e-05,1.142387e-05,1.139363e-05,1.136115e-05,1.131173e-05,1.129947e-05,1.123883e-05,1.123162e-05,1.117921e-05,1.115330e-05,1.112061e-05,1.107675e-05,1.106302e-05,1.100645e-05,1.100196e-05,1.095087e-05,1.092891e-05,1.089628e-05,1.085758e-05,1.084267e-05,1.079003e-05,1.078795e-05,1.073836e-05,1.071999e-05,1.068763e-05,1.065367e-05,1.063784e-05,1.058897e-05,1.052586e-05,1.046432e-05,1.040431e-05,1.034581e-05,1.028879e-05,1.023321e-05,1.017905e-05,1.012628e-05,1.007486e-05,1.002477e-05,9.975982e-06,9.928460e-06,9.882178e-06,9.837106e-06,9.793216e-06,9.750480e-06,9.708870e-06,9.668359e-06,9.628920e-06,9.590526e-06,9.553151e-06,9.516769e-06,9.481356e-06,9.446887e-06
0.000000e+00,5.843880e-09,1.335872e-08,4.592294e-08,1.046747e-07,1.529880e-07,3.496444e-07,3.603042e-07,7.043603e-07,8.307445e-07,1.226907e-06,1.645453e-06,1.974686e-06,2.901718e-06,2.994215e-06,4.318589e-06,4.682819e-06,5.949257e-06,6.983701e-06,7.849440e-06,9.698314e-06,9.960856e-06,1.222644e-05,1.269383e-05,1.460056e-05,1.586618e-05,1.704865e-05,1.914245e-05,1.954393e-05,2.206482e-05,2.246929e-05,2.459332e-05,2.580514e-05,2.711420e-05,2.911667e-05,2.961455e-05,3.208352e-05,3.237725e-05,3.451213e-05,3.556598e-05,3.689304e-05,3.866700e-05,3.922042e-05,4.148973e-05,4.166866e-05,4.369754e-05,4.456286e-05,4.584136e-05,4.734432e-05,4.791951e-05,4.993096e-05,5.001003e-05,5.187523e-05,5.255870e-05,5.375226e-05,5.499038e-05,5.556237e-05,5.730615e-05,5.898444e-05,5.950781e-05,6.059822e-05,6.159772e-05,6.214866e-05,6.357863e-05,6.363699e-05,6.506456e-05,6.545357e-05,6.643276e-05,6.722579e-05,6.774305e-05,6.889863e-05,6.899690e-05,7.019580e-05,7.047553e-05,7.134128e-05,7.195997e-05,7.243483e-05,7.335541e-05,7.347798e-05,7.447221e-05,7.466532e-05,7.541902e-05,7.589311e-05,7.631988e-05,7.704216e-05,7.717625e-05,7.798956e-05,7.811579e-05,7.876121e-05,7.911721e-05,7.949257e-05,8.004955e-05,8.018499e-05,8.083978e-05,8.091589e-05,8.145825e-05,8.171920e-05,8.204166e-05,8.246235e-05,8.259123e-05,8.310817e-05,8.314815e-05,8.359366e-05,8.377930e-05,8.404882e-05,8.435839e-05,8.447477e-05,8.487260e-05,8.488794e-05,8.524335e-05,8.537039e-05,8.558805e-05,8.580806e-05,8.590768e-05,8.620321e-05,8.647558e-05,8.655799e-05,8.672569e-05,8.687448e-05,8.695442e-05,8.715468e-05,8.716262e-05,8.735112e-05,8.740048e-05,8.752072e-05,8.761373e-05,8.767219e-05,8.779617e-05,8.780628e-05,8.792372e-05,8.794950e-05,8.802521e-05,8.807533e-05,8.811142e-05,8.817518e-05,8.818302e-05,8.824064e-05,8.825054e-05,8.828489e-05,8.830281e-05,8.831636e-05,8.833334e-05,8.833563e-05,8.834325e-05,8.834342e-05,8.833974e-05,8.833426e-05,8.832564e-05,8.830705e-05,8.830142e-05,8.826758e-05,8.826289e-05,8.822457e-05,8.820285e-05,8.817283e-05,8.812795e-05,8.811281e-05,8.804491e-05,8.803915e-05,8.796954e-05,8.793738e-05,8.788707e-05,8.782350e-05,8.779787e-05,8.770231e-05,8.769836e-05,8.760073e-05,8.756275e-05,8.749346e-05,8.741742e-05,8.738081e-05,8.726309e-05,8.710045e-05,8.693013e-05,8.675276e-05,8.656891e-05,8.637915e-05,8.618399e-05,8.598394e-05,8.577946e-05,8.557100e-05,8.535899e-05,8.514383e-05,8.492588e-05,8.470552e-05,8.448307e-05,8.425886e-05,8.403318e-05,8.380633e-05,8.357856e-05,8.335013e-05,8.312127e-05,8.289222e-05,8.266316e-05,8.243432e-05,8.220585e-05
0.000000e+00,7.464141e-10,1.703148e-09,5.825346e-09,1.318913e-08,1.918435e-08,4.310747e-08,4.438415e-08,8.463367e-08,9.900126e-08,1.428212e-07,1.874331e-07,2.215350e-07,3.140470e-07,3.230555e-07,4.492746e-07,4.834029e-07,6.014899e-07,6.982903e-07,7.801451e-07,9.588758e-07,9.847680e-07,1.214200e-06,1.262931e-06,1.466879e-06,1.606863e-06,1.740983e-06,1.986310e-06,2.034484e-06,2.345166e-06,2.396313e-06,2.670654e-06,2.831417e-06,3.008450e-06,3.285826e-06,3.355989e-06,3.710690e-06,3.753613e-06,4.070008e-06,4.228934e-06,4.431490e-06,4.706228e-06,4.792812e-06,5.151816e-06,5.180376e-06,5.506537e-06,5.646825e-06,5.855217e-06,6.101652e-06,6.196315e-06,6.528507e-06,6.541594e-06,6.850686e-06,6.964038e-06,7.161943e-06,7.366989e-06,7.461567e-06,7.749017e-06,8.023917e-06,8.109191e-06,8.286029e-06,8.447013e-06,8.535242e-06,8.762349e-06,8.771555e-06,8.995059e-06,9.055365e-06,9.205921e-06,9.326467e-06,9.404378e-06,9.576246e-06,9.590714e-06,9.765261e-06,9.805437e-06,9.928379e-06,1.001488e-05,1.008046e-05,1.020547e-05,1.022189e-05,1.035311e-05,1.037816e-05,1.047452e-05,1.053392e-05,1.058655e-05,1.067372e-05,1.068963e-05,1.078416e-05,1.079852e-05,1.087056e-05,1.090926e-05,1.094923e-05,1.100686e-05,1.102056e-05,1.108492e-05,1.109220e-05,1.114269e-05,1.116611e-05,1.119422e-05,1.122941e-05,1.123984e-05,1.127989e-05,1.128287e-05,1.131468e-05,1.132719e-05,1.134451e-05,1.136308e-05,1.136967e-05,1.139042e-05,1.139116e-05,1.140704e-05,1.141206e-05,1.141977e-05,1.142633e-05,1.142885e-05,1.143450e-05,1.143695e-05,1.143708e-05,1.143638e-05,1.143454e-05,1.143301e-05,1.142729e-05,1.142700e-05,1.141855e-05,1.141576e-05,1.140780e-05,1.140032e-05,1.139492e-05,1.138131e-05,1.138006e-05,1.136335e-05,1.135908e-05,1.134493e-05,1.133392e-05,1.132493e-05,1.130611e-05,1.130346e-05,1.128064e-05,1.127592e-05,1.125657e-05,1.124360e-05,1.123136e-05,1.120936e-05,1.120509e-05,1.117787e-05,1.117343e-05,1.114976e-05,1.113598e-05,1.112086e-05,1.109721e-05,1.109123e-05,1.106096e-05,1.105728e-05,1.103010e-05,1.101635e-05,1.099871e-05,1.097455e-05,1.096687e-05,1.093462e-05,1.093202e-05,1.090202e-05,1.088889e-05,1.086911e-05,1.084525e-05,1.083594e-05,1.080256e-05,1.080122e-05,1.076901e-05,1.075689e-05,1.073532e-05,1.071235e-05,1.070153e-05,1.066768e-05,1.062294e-05,1.057822e-05,1.053357e-05,1.048904e-05,1.044470e-05,1.040058e-05,1.035672e-05,1.031318e-05,1.026997e-05,1.022714e-05,1.018471e-05,1.014271e-05,1.010116e-05,1.006008e-05,1.001948e-05,9.979391e-06,9.939818e-06,9.900773e-06,9.862269e-06,9.824311e-06,9.786909e-06,9.750067e-06,9.713791e-06,9.678083e-06
0.000000e+00,4.221839e-09,9.606056e-09,3.275273e-08,7.428866e-08,1.084373e-07,2.485068e-07,2.561663e-07,5.077093e-07,6.022076e-07,9.047076e-07,1.231568e-06,1.490900e-06,2.214168e-06,2.285004e-06,3.262834e-06,3.519881e-06,4.379896e-06,5.051474e-06,5.597911e-06,6.732254e-06,6.890698e-06,8.240669e-06,8.516339e-06,9.634891e-06,1.037374e-05,1.106255e-05,1.228025e-05,1.251358e-05,1.397809e-05,1.421300e-05,1.544617e-05,1.614922e-05,1.690794e-05,1.806626e-05,1.835367e-05,1.977407e-05,1.994239e-05,2.116046e-05,2.175763e-05,2.250494e-05,2.349439e-05,2.380054e-05,2.504144e-05,2.513820e-05,2.622290e-05,2.667799e-05,2.734126e-05,2.810588e-05,2.839387e-05,2.937912e-05,2.941711e-05,3.029624e-05,3.060972e-05,3.114533e-05,3.168423e-05,3.192718e-05,3.264305e-05,3.329466e-05,3.348997e-05,3.388426e-05,3.423018e-05,3.441429e-05,3.486958e-05,3.488745e-05,3.530658e-05,3.541465e-05,3.567461e-05,3.587212e-05,3.599448e-05,3.624875e-05,3.626912e-05,3.650144e-05,3.655121e-05,3.669425e-05,3.678600e-05,3.685030e-05,3.695931e-05,3.697222e-05,3.706253e-05,3.707701e-05,3.712361e-05,3.714458e-05,3.715773e-05,3.716713e-05,3.716703e-05,3.715352e-05,3.714936e-05,3.711907e-05,3.709562e-05,3.706545e-05,3.700987e-05,3.699431e-05,3.690718e-05,3.689571e-05,3.680547e-05,3.675645e-05,3.669053e-05,3.659507e-05,3.656357e-05,3.642574e-05,3.641427e-05,3.627808e-05,3.621649e-05,3.612158e-05,3.600394e-05,3.595714e-05,3.578559e-05,3.577859e-05,3.560770e-05,3.554225e-05,3.542419e-05,3.529652e-05,3.523570e-05,3.504285e-05,3.484619e-05,3.478254e-05,3.464623e-05,3.451675e-05,3.444346e-05,3.424654e-05,3.423830e-05,3.403115e-05,3.397285e-05,3.382239e-05,3.369650e-05,3.361236e-05,3.341827e-05,3.340136e-05,3.318969e-05,3.313882e-05,3.297760e-05,3.285875e-05,3.276535e-05,3.257860e-05,3.255314e-05,3.234119e-05,3.229885e-05,3.212968e-05,3.201993e-05,3.191878e-05,3.174221e-05,3.170865e-05,3.149942e-05,3.146604e-05,3.129123e-05,3.119170e-05,3.108419e-05,3.091946e-05,3.087841e-05,3.067399e-05,3.064955e-05,3.047101e-05,3.038218e-05,3.026956e-05,3.011752e-05,3.006970e-05,2.987150e-05,2.985572e-05,2.967502e-05,2.959692e-05,2.948031e-05,2.934123e-05,2.928740e-05,2.909635e-05,2.908875e-05,2.890719e-05,2.883955e-05,2.871994e-05,2.859372e-05,2.853463e-05,2.835129e-05,2.811231e-05,2.787683e-05,2.764485e-05,2.741640e-05,2.719148e-05,2.697010e-05,2.675225e-05,2.653792e-05,2.632710e-05,2.611976e-05,2.591589e-05,2.571545e-05,2.551842e-05,2.532476e-05,2.513444e-05,2.494742e-05,2.476367e-05,2.458314e-05,2.440578e-05,2.423157e-05,2.406045e-05,2.389238e-05,2.372731e-05,2.356520e-05
0.000000e+00,1.800993e-09,4.096530e-09,1.392594e-08,3.137744e-08,4.553839e-08,1.019254e-07,1.049344e-07,2.000419e-07,2.341567e-07,3.388928e-07,4.466869e-07,5.299046e-07,7.590747e-07,7.816374e-07,1.101432e-06,1.188808e-06,1.492595e-06,1.741826e-06,1.951664e-06,2.404076e-06,2.468778e-06,3.031221e-06,3.148042e-06,3.626752e-06,3.945967e-06,4.244944e-06,4.775376e-06,4.877160e-06,5.516130e-06,5.618560e-06,6.155569e-06,6.461015e-06,6.789938e-06,7.290463e-06,7.414326e-06,8.024398e-06,8.096460e-06,8.616393e-06,8.870299e-06,9.187117e-06,9.605012e-06,9.733956e-06,1.025484e-05,1.029534e-05,1.074823e-05,1.093764e-05,1.121310e-05,1.152980e-05,1.164886e-05,1.205531e-05,1.207096e-05,1.243259e-05,1.256136e-05,1.278116e-05,1.300213e-05,1.310170e-05,1.339507e-05,1.366229e-05,1.374247e-05,1.390450e-05,1.404694e-05,1.412289e-05,1.431130e-05,1.431871e-05,1.449322e-05,1.453844e-05,1.464768e-05,1.473126e-05,1.478334e-05,1.489259e-05,1.490141e-05,1.500307e-05,1.502515e-05,1.508945e-05,1.513155e-05,1.516163e-05,1.521422e-05,1.522064e-05,1.526746e-05,1.527544e-05,1.530300e-05,1.531731e-05,1.532812e-05,1.534177e-05,1.534364e-05,1.535032e-05,1.535062e-05,1.534887e-05,1.534547e-05,1.533994e-05,1.532783e-05,1.532415e-05,1.530209e-05,1.529904e-05,1.527427e-05,1.526034e-05,1.524120e-05,1.521283e-05,1.520333e-05,1.516109e-05,1.515754e-05,1.511488e-05,1.509537e-05,1.506506e-05,1.502715e-05,1.501197e-05,1.495593e-05,1.495363e-05,1.489723e-05,1.487549e-05,1.483613e-05,1.479334e-05,1.477288e-05,1.470772e-05,1.464086e-05,1.461914e-05,1.457250e-05,1.452805e-05,1.450282e-05,1.443484e-05,1.443198e-05,1.436015e-05,1.433988e-05,1.428747e-05,1.424350e-05,1.421406e-05,1.414601e-05,1.414007e-05,1.406559e-05,1.404765e-05,1.399073e-05,1.394868e-05,1.391559e-05,1.384931e-05,1.384027e-05,1.376483e-05,1.374974e-05,1.368936e-05,1.365013e-05,1.361394e-05,1.355065e-05,1.353861e-05,1.346344e-05,1.345144e-05,1.338849e-05,1.335261e-05,1.331381e-05,1.325429e-05,1.323944e-05,1.316543e-05,1.315657e-05,1.309180e-05,1.305954e-05,1.301861e-05,1.296329e-05,1.294588e-05,1.287363e-05,1.286787e-05,1.280190e-05,1.277336e-05,1.273072e-05,1.267981e-05,1.266009e-05,1.259005e-05,1.258726e-05,1.252060e-05,1.249575e-05,1.245177e-05,1.240533e-05,1.238357e-05,1.231601e-05,1.222784e-05,1.214082e-05,1.205498e-05,1.197034e-05,1.188689e-05,1.180466e-05,1.172365e-05,1.164385e-05,1.156528e-05,1.148793e-05,1.141180e-05,1.133688e-05,1.126318e-05,1.119067e-05,1.111937e-05,1.104924e-05,1.098030e-05,1.091252e-05,1.084589e-05,1.078041e-05,1.071605e-05,1.065282e-05,1.059068e-05,1.052964e-05
0.000000e+00,6.471852e-09,1.479053e-08,5.079386e-08,1.155804e-07,1.687027e-07,3.836635e-07,3.952624e-07,7.672134e-07,9.028468e-07,1.325447e-06,1.768963e-06,2.116565e-06,3.093551e-06,3.191103e-06,4.594520e-06,4.983634e-06,6.351052e-06,7.487227e-06,8.452769e-06,1.056168e-05,1.086639e-05,1.354959e-05,1.411495e-05,1.646213e-05,1.805550e-05,1.956913e-05,2.230713e-05,2.284045e-05,2.624926e-05,2.680575e-05,2.977078e-05,3.149425e-05,3.338164e-05,3.631955e-05,3.705942e-05,4.078270e-05,4.123157e-05,4.453107e-05,4.618331e-05,4.828532e-05,5.113140e-05,5.202754e-05,5.574132e-05,5.603674e-05,5.941181e-05,6.086488e-05,6.302581e-05,6.558633e-05,6.657172e-05,7.003957e-05,7.017653e-05,7.342092e-05,7.461564e-05,7.670878e-05,7.888820e-05,7.989751e-05,8.298271e-05,8.596106e-05,8.689116e-05,8.883024e-05,9.060852e-05,9.158880e-05,9.413230e-05,9.423605e-05,9.677194e-05,9.746209e-05,9.919699e-05,1.005992e-04,1.015122e-04,1.035463e-04,1.037189e-04,1.058189e-04,1.063072e-04,1.078141e-04,1.088864e-04,1.097067e-04,1.112892e-04,1.114991e-04,1.131938e-04,1.135212e-04,1.147934e-04,1.155884e-04,1.163005e-04,1.174970e-04,1.177178e-04,1.190482e-04,1.192532e-04,1.202944e-04,1.208635e-04,1.214591e-04,1.223340e-04,1.225450e-04,1.235549e-04,1.236711e-04,1.244914e-04,1.248810e-04,1.253572e-04,1.259696e-04,1.261549e-04,1.268870e-04,1.269428e-04,1.275560e-04,1.278064e-04,1.281643e-04,1.285660e-04,1.287143e-04,1.292083e-04,1.292269e-04,1.296486e-04,1.297944e-04,1.300374e-04,1.302734e-04,1.303768e-04,1.306688e-04,1.309156e-04,1.309853e-04,1.311190e-04,1.312273e-04,1.312809e-04,1.313991e-04,1.314032e-04,1.314877e-04,1.315048e-04,1.315360e-04,1.315483e-04,1.315498e-04,1.315335e-04,1.315308e-04,1.314804e-04,1.314638e-04,1.314002e-04,1.313428e-04,1.312917e-04,1.311738e-04,1.311561e-04,1.309950e-04,1.309598e-04,1.308095e-04,1.307038e-04,1.306009e-04,1.304087e-04,1.303704e-04,1.301193e-04,1.300772e-04,1.298485e-04,1.297119e-04,1.295592e-04,1.293152e-04,1.292525e-04,1.289292e-04,1.288894e-04,1.285905e-04,1.284367e-04,1.282371e-04,1.279593e-04,1.278700e-04,1.274900e-04,1.274591e-04,1.270980e-04,1.269380e-04,1.266947e-04,1.263978e-04,1.262809e-04,1.258573e-04,1.258402e-04,1.254246e-04,1.252668e-04,1.249835e-04,1.246790e-04,1.245346e-04,1.240784e-04,1.234663e-04,1.228439e-04,1.222125e-04,1.215731e-04,1.209269e-04,1.202749e-04,1.196180e-04,1.189571e-04,1.182930e-04,1.176265e-04,1.169584e-04,1.162893e-04,1.156199e-04,1.149508e-04,1.142826e-04,1.136157e-04,1.129507e-04,1.122880e-04,1.116281e-04,1.109713e-04,1.103181e-04,1.096686e-04,1.090233e-04,1.083825e-04
0.000000e+00,7.620225e-06,1.712784e-05,5.678588e-05,1.249860e-04,1.790160e-04,3.866922e-04,3.975122e-04,7.295144e-04,8.446740e-04,1.188070e-03,1.528194e-03,1.783093e-03,2.456931e-03,2.521349e-03,3.404644e-03,3.637684e-03,4.425935e-03,5.051379e-03,5.565713e-03,6.642703e-03,6.793553e-03,8.075260e-03,8.335227e-03,9.379682e-03,1.005829e-02,1.068140e-02,1.175805e-02,1.196050e-02,1.320146e-02,1.339562e-02,1.439219e-02,1.494308e-02,1.552343e-02,1.638094e-02,1.658838e-02,1.758244e-02,1.769682e-02,1.850299e-02,1.888446e-02,1.934915e-02,1.994283e-02,2.012157e-02,2.082212e-02,2.087514e-02,2.145368e-02,2.168778e-02,2.201985e-02,2.238929e-02,2.252473e-02,2.297274e-02,2.298954e-02,2.336839e-02,2.349887e-02,2.371615e-02,2.392751e-02,2.402040e-02,2.428533e-02,2.451488e-02,2.458147e-02,2.471270e-02,2.482422e-02,2.488215e-02,2.502099e-02,2.502631e-02,2.514793e-02,2.517830e-02,2.524952e-02,2.530179e-02,2.533329e-02,2.539636e-02,2.540126e-02,2.545520e-02,2.546624e-02,2.549666e-02,2.551494e-02,2.552701e-02,2.554549e-02,2.554746e-02,2.555909e-02,2.556044e-02,2.556286e-02,2.556199e-02,2.555960e-02,2.555198e-02,2.555006e-02,2.553489e-02,2.553198e-02,2.551466e-02,2.550331e-02,2.548990e-02,2.546715e-02,2.546108e-02,2.542862e-02,2.542449e-02,2.539288e-02,2.537621e-02,2.535421e-02,2.532305e-02,2.531291e-02,2.526925e-02,2.526566e-02,2.522348e-02,2.520463e-02,2.517583e-02,2.514048e-02,2.512651e-02,2.507570e-02,2.507364e-02,2.502358e-02,2.500453e-02,2.497031e-02,2.493350e-02,2.491603e-02,2.486087e-02,2.480496e-02,2.478694e-02,2.474842e-02,2.471195e-02,2.469135e-02,2.463615e-02,2.463384e-02,2.457600e-02,2.455975e-02,2.451789e-02,2.448293e-02,2.445960e-02,2.440587e-02,2.440120e-02,2.434276e-02,2.432873e-02,2.428433e-02,2.425164e-02,2.422598e-02,2.417473e-02,2.416775e-02,2.410970e-02,2.409812e-02,2.405187e-02,2.402190e-02,2.399431e-02,2.394618e-02,2.393704e-02,2.388011e-02,2.387104e-02,2.382355e-02,2.379654e-02,2.376739e-02,2.372277e-02,2.371165e-02,2.365637e-02,2.364977e-02,2.360156e-02,2.357760e-02,2.354725e-02,2.350632e-02,2.349345e-02,2.344019e-02,2.343595e-02,2.338748e-02,2.336655e-02,2.333532e-02,2.329813e-02,2.328375e-02,2.323276e-02,2.323073e-02,2.318237e-02,2.316437e-02,2.313258e-02,2.309907e-02,2.308341e-02,2.303485e-02,2.297172e-02,2.290969e-02,2.284877e-02,2.278897e-02,2.273028e-02,2.267270e-02,2.261625e-02,2.256091e-02,2.250668e-02,2.245356e-02,2.240153e-02,2.235060e-02,2.230075e-02,2.225197e-02,2.220425e-02,2.215758e-02,2.211195e-02,2.206734e-02,2.202375e-02,2.198115e-02,2.193954e-02,2.189889e-02,2.185920e-02,2.182045e-02
0.000000e+00,1.107719e-08,2.526447e-08,8.645111e-08,1.962670e-07,2.862695e-07,6.513431e-07,6.711019e-07,1.308700e-06,1.543133e-06,2.279204e-06,3.057584e-06,3.668324e-06,5.365085e-06,5.531757e-06,7.856769e-06,8.477040e-06,1.058319e-05,1.226167e-05,1.364912e-05,1.658975e-05,1.700677e-05,2.061893e-05,2.136900e-05,2.445309e-05,2.652417e-05,2.847783e-05,3.198245e-05,3.266107e-05,3.696973e-05,3.766850e-05,4.137002e-05,4.350475e-05,4.582810e-05,4.941387e-05,5.031085e-05,5.478663e-05,5.532182e-05,5.922592e-05,6.116063e-05,6.360189e-05,6.687050e-05,6.789070e-05,7.207162e-05,7.240088e-05,7.612713e-05,7.771091e-05,8.004294e-05,8.276936e-05,8.380774e-05,8.741303e-05,8.755383e-05,9.085283e-05,9.204988e-05,9.412346e-05,9.624990e-05,9.722318e-05,1.001520e-04,1.029112e-04,1.037587e-04,1.055035e-04,1.070765e-04,1.079323e-04,1.101142e-04,1.102020e-04,1.123175e-04,1.128829e-04,1.142840e-04,1.153948e-04,1.161072e-04,1.176630e-04,1.177930e-04,1.193471e-04,1.197012e-04,1.207757e-04,1.215231e-04,1.220847e-04,1.231422e-04,1.232798e-04,1.243669e-04,1.245718e-04,1.253514e-04,1.258247e-04,1.262389e-04,1.269133e-04,1.270347e-04,1.277436e-04,1.278493e-04,1.283707e-04,1.286440e-04,1.289205e-04,1.293078e-04,1.293976e-04,1.298061e-04,1.298507e-04,1.301501e-04,1.302821e-04,1.304336e-04,1.306107e-04,1.306601e-04,1.308331e-04,1.308448e-04,1.309561e-04,1.309919e-04,1.310320e-04,1.310593e-04,1.310640e-04,1.310548e-04,1.310536e-04,1.310071e-04,1.309810e-04,1.309234e-04,1.308472e-04,1.308062e-04,1.306576e-04,1.304799e-04,1.304173e-04,1.302751e-04,1.301307e-04,1.300451e-04,1.298022e-04,1.297916e-04,1.295165e-04,1.294357e-04,1.292212e-04,1.290350e-04,1.289074e-04,1.286035e-04,1.285764e-04,1.282296e-04,1.281442e-04,1.278683e-04,1.276601e-04,1.274937e-04,1.271540e-04,1.271070e-04,1.267091e-04,1.266283e-04,1.263011e-04,1.260853e-04,1.258840e-04,1.255271e-04,1.254586e-04,1.250257e-04,1.249558e-04,1.245863e-04,1.243732e-04,1.241409e-04,1.237809e-04,1.236904e-04,1.232353e-04,1.231804e-04,1.227763e-04,1.225733e-04,1.223140e-04,1.219607e-04,1.218489e-04,1.213815e-04,1.213440e-04,1.209123e-04,1.207242e-04,1.204418e-04,1.201024e-04,1.199703e-04,1.194983e-04,1.194794e-04,1.190262e-04,1.188562e-04,1.185542e-04,1.182335e-04,1.180828e-04,1.176121e-04,1.169926e-04,1.163756e-04,1.157616e-04,1.151512e-04,1.145448e-04,1.139428e-04,1.133456e-04,1.127536e-04,1.121669e-04,1.115859e-04,1.110108e-04,1.104419e-04,1.098793e-04,1.093231e-04,1.087736e-04,1.082309e-04,1.076950e-04,1.071661e-04,1.066442e-04,1.061293e-04,1.056216e-04,1.051210e-04,1.046276e-04,1.041414e-04
0.000000e+00,1.007479e-05,2.278650e-05,7.653649e-05,1.705033e-04,2.458665e-04,5.407981e-04,5.563531e-04,1.040920e-03,1.211915e-03,1.729424e-03,2.251849e-03,2.648785e-03,3.714533e-03,3.817308e-03,5.233423e-03,5.607755e-03,6.872586e-03,7.874706e-03,8.699124e-03,1.043330e-02,1.067766e-02,1.277626e-02,1.320777e-02,1.496551e-02,1.613039e-02,1.721733e-02,1.913720e-02,1.950440e-02,2.180024e-02,2.216668e-02,2.407962e-02,2.516090e-02,2.631907e-02,2.806761e-02,2.849748e-02,3.059643e-02,3.084220e-02,3.260052e-02,3.344900e-02,3.449753e-02,3.586195e-02,3.627838e-02,3.793697e-02,3.806425e-02,3.946994e-02,4.004768e-02,4.087640e-02,4.181129e-02,4.215750e-02,4.331616e-02,4.336002e-02,4.435666e-02,4.470332e-02,4.528436e-02,4.585382e-02,4.610529e-02,4.682607e-02,4.745354e-02,4.763573e-02,4.799444e-02,4.829830e-02,4.845554e-02,4.882938e-02,4.884358e-02,4.916491e-02,4.924376e-02,4.942557e-02,4.955525e-02,4.963128e-02,4.977656e-02,4.978734e-02,4.989865e-02,4.991921e-02,4.996972e-02,4.999352e-02,5.000472e-02,5.000868e-02,5.000741e-02,4.998124e-02,4.997283e-02,4.992932e-02,4.989309e-02,4.985446e-02,4.977572e-02,4.975920e-02,4.964583e-02,4.962616e-02,4.951642e-02,4.944915e-02,4.937281e-02,4.924882e-02,4.921667e-02,4.904949e-02,4.902875e-02,4.887263e-02,4.879205e-02,4.868728e-02,4.854142e-02,4.849454e-02,4.829538e-02,4.827920e-02,4.809068e-02,4.800743e-02,4.788124e-02,4.772790e-02,4.766776e-02,4.745089e-02,4.744215e-02,4.723121e-02,4.715154e-02,4.700924e-02,4.685724e-02,4.678546e-02,4.656030e-02,4.633414e-02,4.626162e-02,4.610734e-02,4.596199e-02,4.588021e-02,4.566212e-02,4.565304e-02,4.542610e-02,4.536263e-02,4.519962e-02,4.506404e-02,4.497381e-02,4.476684e-02,4.474888e-02,4.452500e-02,4.447144e-02,4.430232e-02,4.417821e-02,4.408100e-02,4.388747e-02,4.386117e-02,4.364294e-02,4.359949e-02,4.342642e-02,4.331454e-02,4.321171e-02,4.303281e-02,4.299889e-02,4.278805e-02,4.275450e-02,4.257924e-02,4.247976e-02,4.237254e-02,4.220873e-02,4.216800e-02,4.196566e-02,4.194153e-02,4.176557e-02,4.167825e-02,4.156776e-02,4.141897e-02,4.137226e-02,4.117911e-02,4.116376e-02,4.098832e-02,4.091266e-02,4.079990e-02,4.066573e-02,4.061389e-02,4.043028e-02,4.042298e-02,4.024908e-02,4.018444e-02,4.007030e-02,3.995012e-02,3.989394e-02,3.972001e-02,3.949410e-02,3.927240e-02,3.905488e-02,3.884151e-02,3.863226e-02,3.842711e-02,3.822601e-02,3.802893e-02,3.783582e-02,3.764664e-02,3.746134e-02,3.727986e-02,3.710216e-02,3.692819e-02,3.675788e-02,3.659118e-02,3.642803e-02,3.626839e-02,3.611218e-02,3.595936e-02,3.580985e-02,3.566361e-02,3.552058e-02,3.538069e-02
0.000000e+00,2.170287e-09,4.958298e-09,1.701326e-08,3.867019e-08,5.639849e-08,1.278902e-07,1.317370e-07,2.545403e-07,2.990626e-07,4.369510e-07,5.804103e-07,6.920423e-07,1.002739e-06,1.033562e-06,1.474585e-06,1.596415e-06,2.024510e-06,2.381066e-06,2.684989e-06,3.351272e-06,3.447717e-06,4.296861e-06,4.475446e-06,5.214192e-06,5.712464e-06,6.182892e-06,7.025848e-06,7.188778e-06,8.220089e-06,8.386775e-06,9.266915e-06,9.772353e-06,1.032072e-05,1.116374e-05,1.137403e-05,1.242029e-05,1.254509e-05,1.345376e-05,1.390312e-05,1.446945e-05,1.522686e-05,1.546313e-05,1.643126e-05,1.650752e-05,1.737096e-05,1.773834e-05,1.827992e-05,1.891435e-05,1.915642e-05,1.999918e-05,2.003217e-05,2.080737e-05,2.108975e-05,2.158052e-05,2.208615e-05,2.231847e-05,2.302133e-05,2.368941e-05,2.389593e-05,2.432321e-05,2.471114e-05,2.492337e-05,2.546856e-05,2.549063e-05,2.602584e-05,2.617008e-05,2.652990e-05,2.681778e-05,2.700376e-05,2.741387e-05,2.744839e-05,2.786480e-05,2.796065e-05,2.825399e-05,2.846043e-05,2.861698e-05,2.891553e-05,2.895477e-05,2.926835e-05,2.932825e-05,2.955871e-05,2.970084e-05,2.982681e-05,3.003549e-05,3.007358e-05,3.029994e-05,3.033432e-05,3.050679e-05,3.059941e-05,3.069500e-05,3.083271e-05,3.086541e-05,3.101883e-05,3.103614e-05,3.115606e-05,3.121151e-05,3.127786e-05,3.136056e-05,3.138497e-05,3.147810e-05,3.148497e-05,3.155794e-05,3.158630e-05,3.162514e-05,3.166607e-05,3.168035e-05,3.172418e-05,3.172570e-05,3.175721e-05,3.176657e-05,3.178001e-05,3.178995e-05,3.179312e-05,3.179707e-05,3.179236e-05,3.178909e-05,3.177945e-05,3.176711e-05,3.175883e-05,3.173216e-05,3.173091e-05,3.169614e-05,3.168522e-05,3.165490e-05,3.162722e-05,3.160759e-05,3.155901e-05,3.155457e-05,3.149621e-05,3.148144e-05,3.143283e-05,3.139527e-05,3.136476e-05,3.130123e-05,3.129231e-05,3.121578e-05,3.120000e-05,3.113543e-05,3.109224e-05,3.105155e-05,3.097855e-05,3.096439e-05,3.087419e-05,3.085949e-05,3.078118e-05,3.073561e-05,3.068559e-05,3.060739e-05,3.058762e-05,3.048748e-05,3.047533e-05,3.038536e-05,3.033984e-05,3.028143e-05,3.020135e-05,3.017588e-05,3.006886e-05,3.006024e-05,2.996053e-05,2.991686e-05,2.985104e-05,2.977157e-05,2.974053e-05,2.962913e-05,2.962466e-05,2.951697e-05,2.947643e-05,2.940417e-05,2.932716e-05,2.929084e-05,2.917709e-05,2.902647e-05,2.887550e-05,2.872440e-05,2.857335e-05,2.842252e-05,2.827207e-05,2.812216e-05,2.797292e-05,2.782447e-05,2.767693e-05,2.753040e-05,2.738498e-05,2.724077e-05,2.709782e-05,2.695623e-05,2.681605e-05,2.667734e-05,2.654015e-05,2.640454e-05,2.627053e-05,2.613817e-05,2.600749e-05,2.587851e-05,2.575126e-05
0.000000e+00,1.805364e-09,4.110219e-09,1.400578e-08,3.165168e-08,4.603166e-08,1.037668e-07,1.068677e-07,2.058177e-07,2.417207e-07,3.531181e-07,4.693103e-07,5.598157e-07,8.108849e-07,8.356374e-07,1.184079e-06,1.277997e-06,1.598826e-06,1.855350e-06,2.067097e-06,2.512951e-06,2.575738e-06,3.113928e-06,3.224326e-06,3.673076e-06,3.969714e-06,4.246072e-06,4.733552e-06,4.826741e-06,5.409563e-06,5.502675e-06,5.989577e-06,6.265668e-06,6.562366e-06,7.012781e-06,7.124069e-06,7.671404e-06,7.735984e-06,8.201661e-06,8.428989e-06,8.712685e-06,9.087177e-06,9.202843e-06,9.670976e-06,9.707451e-06,1.011635e-05,1.028803e-05,1.053858e-05,1.082822e-05,1.093761e-05,1.131361e-05,1.132818e-05,1.166697e-05,1.178874e-05,1.199824e-05,1.221120e-05,1.230806e-05,1.259719e-05,1.286644e-05,1.294854e-05,1.311666e-05,1.326720e-05,1.334869e-05,1.355516e-05,1.356343e-05,1.376172e-05,1.381441e-05,1.394442e-05,1.404690e-05,1.411235e-05,1.425450e-05,1.426632e-05,1.440710e-05,1.443901e-05,1.453543e-05,1.460212e-05,1.465202e-05,1.474544e-05,1.475754e-05,1.485265e-05,1.487048e-05,1.493796e-05,1.497864e-05,1.501404e-05,1.507123e-05,1.508145e-05,1.514071e-05,1.514947e-05,1.519231e-05,1.521449e-05,1.523671e-05,1.526735e-05,1.527436e-05,1.530568e-05,1.530903e-05,1.533104e-05,1.534041e-05,1.535083e-05,1.536235e-05,1.536538e-05,1.537503e-05,1.537560e-05,1.538009e-05,1.538090e-05,1.538085e-05,1.537889e-05,1.537758e-05,1.537054e-05,1.537018e-05,1.535998e-05,1.535535e-05,1.534612e-05,1.533492e-05,1.532918e-05,1.530936e-05,1.528686e-05,1.527913e-05,1.526186e-05,1.524463e-05,1.523453e-05,1.520625e-05,1.520503e-05,1.517350e-05,1.516433e-05,1.514010e-05,1.511922e-05,1.510496e-05,1.507119e-05,1.506820e-05,1.502994e-05,1.502055e-05,1.499030e-05,1.496753e-05,1.494938e-05,1.491239e-05,1.490728e-05,1.486410e-05,1.485534e-05,1.481993e-05,1.479659e-05,1.477484e-05,1.473632e-05,1.472893e-05,1.468225e-05,1.467472e-05,1.463489e-05,1.461194e-05,1.458691e-05,1.454812e-05,1.453838e-05,1.448934e-05,1.448342e-05,1.443986e-05,1.441797e-05,1.438999e-05,1.435186e-05,1.433979e-05,1.428928e-05,1.428523e-05,1.423853e-05,1.421817e-05,1.418757e-05,1.415077e-05,1.413644e-05,1.408518e-05,1.408313e-05,1.403382e-05,1.401531e-05,1.398239e-05,1.394740e-05,1.393093e-05,1.387947e-05,1.381157e-05,1.374377e-05,1.367612e-05,1.360867e-05,1.354147e-05,1.347455e-05,1.340796e-05,1.334174e-05,1.327591e-05,1.321050e-05,1.314555e-05,1.308108e-05,1.301711e-05,1.295365e-05,1.289074e-05,1.282838e-05,1.276659e-05,1.270538e-05,1.264477e-05,1.258477e-05,1.252538e-05,1.246662e-05,1.240849e-05,1.235099e-05
0.000000e+00,2.328765e-09,5.321644e-09,1.829418e-08,4.174802e-08,6.109500e-08,1.404633e-07,1.447942e-07,2.861336e-07,3.387782e-07,5.060846e-07,6.861248e-07,8.296620e-07,1.239739e-06,1.280944e-06,1.871642e-06,2.033533e-06,2.592425e-06,3.044114e-06,3.419269e-06,4.214198e-06,4.326590e-06,5.293763e-06,5.492947e-06,6.305339e-06,6.844860e-06,7.349424e-06,8.244403e-06,8.416267e-06,9.497426e-06,9.671224e-06,1.058534e-05,1.110789e-05,1.167315e-05,1.253915e-05,1.275468e-05,1.382444e-05,1.395178e-05,1.487760e-05,1.533465e-05,1.591005e-05,1.667872e-05,1.691835e-05,1.789971e-05,1.797699e-05,1.885191e-05,1.922424e-05,1.977329e-05,2.041693e-05,2.066268e-05,2.151932e-05,2.155289e-05,2.234281e-05,2.263112e-05,2.313306e-05,2.365152e-05,2.389023e-05,2.461470e-05,2.530700e-05,2.552184e-05,2.596778e-05,2.637450e-05,2.659783e-05,2.717454e-05,2.719798e-05,2.776914e-05,2.792400e-05,2.831223e-05,2.862499e-05,2.882818e-05,2.927971e-05,2.931795e-05,2.978251e-05,2.989036e-05,3.022280e-05,3.045912e-05,3.063977e-05,3.098814e-05,3.103434e-05,3.140741e-05,3.147952e-05,3.175986e-05,3.193527e-05,3.209255e-05,3.235735e-05,3.240631e-05,3.270195e-05,3.274762e-05,3.298025e-05,3.310789e-05,3.324195e-05,3.343985e-05,3.348778e-05,3.371845e-05,3.374514e-05,3.393462e-05,3.402531e-05,3.413694e-05,3.428182e-05,3.432603e-05,3.450250e-05,3.451608e-05,3.466690e-05,3.472941e-05,3.481980e-05,3.492307e-05,3.496173e-05,3.509318e-05,3.509823e-05,3.521464e-05,3.525601e-05,3.532658e-05,3.539749e-05,3.542945e-05,3.552366e-05,3.560963e-05,3.563546e-05,3.568775e-05,3.573380e-05,3.575839e-05,3.581950e-05,3.582191e-05,3.587866e-05,3.589338e-05,3.592895e-05,3.595617e-05,3.597312e-05,3.600858e-05,3.601144e-05,3.604422e-05,3.605129e-05,3.607172e-05,3.608492e-05,3.609422e-05,3.611006e-05,3.611195e-05,3.612516e-05,3.612728e-05,3.613408e-05,3.613709e-05,3.613892e-05,3.614000e-05,3.613990e-05,3.613722e-05,3.613647e-05,3.613107e-05,3.612694e-05,3.612163e-05,3.611183e-05,3.610907e-05,3.609357e-05,3.609152e-05,3.607528e-05,3.606639e-05,3.605436e-05,3.603678e-05,3.603094e-05,3.600518e-05,3.600302e-05,3.597719e-05,3.596541e-05,3.594712e-05,3.592424e-05,3.591508e-05,3.588119e-05,3.587979e-05,3.584555e-05,3.583232e-05,3.580828e-05,3.578205e-05,3.576947e-05,3.572922e-05,3.567405e-05,3.561674e-05,3.555746e-05,3.549641e-05,3.543374e-05,3.536962e-05,3.530419e-05,3.523760e-05,3.516997e-05,3.510142e-05,3.503207e-05,3.496204e-05,3.489141e-05,3.482029e-05,3.474876e-05,3.467691e-05,3.460482e-05,3.453256e-05,3.446021e-05,3.438781e-05,3.431545e-05,3.424316e-05,3.417101e-05,3.409905e-05
0.000000e+00,1.688681e-09,3.860996e-09,1.329630e-08,3.041920e-08,4.459548e-08,1.031266e-07,1.063349e-07,2.116160e-07,2.510527e-07,3.769218e-07,5.130410e-07,6.219544e-07,9.348512e-07,9.664319e-07,1.421752e-06,1.547265e-06,1.982091e-06,2.334411e-06,2.627143e-06,3.246777e-06,3.334271e-06,4.085836e-06,4.240323e-06,4.869504e-06,5.286663e-06,5.676398e-06,6.366992e-06,6.499528e-06,7.332908e-06,7.466832e-06,8.171127e-06,8.573711e-06,9.009197e-06,9.676445e-06,9.842525e-06,1.066693e-05,1.076508e-05,1.147870e-05,1.183101e-05,1.227457e-05,1.286710e-05,1.305181e-05,1.380811e-05,1.386765e-05,1.454165e-05,1.482836e-05,1.525102e-05,1.574620e-05,1.593518e-05,1.659342e-05,1.661921e-05,1.722534e-05,1.744635e-05,1.783078e-05,1.822736e-05,1.840978e-05,1.896256e-05,1.948951e-05,1.965274e-05,1.999108e-05,2.029903e-05,2.046785e-05,2.090281e-05,2.092046e-05,2.134960e-05,2.146565e-05,2.175600e-05,2.198923e-05,2.214039e-05,2.247523e-05,2.250351e-05,2.284613e-05,2.292539e-05,2.316900e-05,2.334146e-05,2.347286e-05,2.372513e-05,2.375846e-05,2.402652e-05,2.407809e-05,2.427774e-05,2.440195e-05,2.451281e-05,2.469828e-05,2.473241e-05,2.493717e-05,2.496860e-05,2.512774e-05,2.521435e-05,2.530473e-05,2.543693e-05,2.546871e-05,2.562027e-05,2.563764e-05,2.575994e-05,2.581777e-05,2.588826e-05,2.597850e-05,2.600573e-05,2.611284e-05,2.612098e-05,2.621007e-05,2.624629e-05,2.629786e-05,2.635547e-05,2.637664e-05,2.644684e-05,2.644947e-05,2.650885e-05,2.652924e-05,2.656305e-05,2.659564e-05,2.660982e-05,2.664950e-05,2.668243e-05,2.669160e-05,2.670894e-05,2.672268e-05,2.672934e-05,2.674344e-05,2.674392e-05,2.675297e-05,2.675455e-05,2.675675e-05,2.675661e-05,2.675554e-05,2.675023e-05,2.674958e-05,2.673911e-05,2.673595e-05,2.672436e-05,2.671431e-05,2.670554e-05,2.668579e-05,2.668288e-05,2.665656e-05,2.665087e-05,2.662677e-05,2.660998e-05,2.659372e-05,2.656354e-05,2.655756e-05,2.651846e-05,2.651194e-05,2.647659e-05,2.645555e-05,2.643210e-05,2.639472e-05,2.638514e-05,2.633584e-05,2.632978e-05,2.628435e-05,2.626103e-05,2.623078e-05,2.618876e-05,2.617526e-05,2.611792e-05,2.611325e-05,2.605885e-05,2.603477e-05,2.599817e-05,2.595354e-05,2.593598e-05,2.587238e-05,2.586981e-05,2.580746e-05,2.578378e-05,2.574131e-05,2.569566e-05,2.567401e-05,2.560565e-05,2.551392e-05,2.542063e-05,2.532596e-05,2.523005e-05,2.513305e-05,2.503507e-05,2.493626e-05,2.483672e-05,2.473657e-05,2.463591e-05,2.453484e-05,2.443344e-05,2.433181e-05,2.423003e-05,2.412816e-05,2.402628e-05,2.392447e-05,2.382277e-05,2.372124e-05,2.361995e-05,2.351894e-05,2.341825e-05,2.331794e-05,2.321804e-05
0.000000e+00,7.784823e-10,1.774811e-09,6.063973e-09,1.373223e-08,1.998929e-08,4.512494e-08,4.647456e-08,8.948167e-08,1.050529e-07,1.532615e-07,2.034384e-07,2.425210e-07,3.515342e-07,3.623693e-07,5.177433e-07,5.607491e-07,7.119463e-07,8.377424e-07,9.447129e-07,1.178056e-06,1.211688e-06,1.506300e-06,1.567950e-06,1.822075e-06,1.992824e-06,2.153685e-06,2.441377e-06,2.496930e-06,2.848409e-06,2.905211e-06,3.205222e-06,3.377618e-06,3.564780e-06,3.852804e-06,3.924712e-06,4.282822e-06,4.325574e-06,4.637082e-06,4.791255e-06,4.985646e-06,5.245719e-06,5.326858e-06,5.659265e-06,5.685439e-06,5.981624e-06,6.107515e-06,6.292900e-06,6.509684e-06,6.592266e-06,6.879088e-06,6.890293e-06,7.152919e-06,7.248257e-06,7.413470e-06,7.582981e-06,7.660599e-06,7.894297e-06,8.114663e-06,8.182393e-06,8.321886e-06,8.447733e-06,8.516235e-06,8.691005e-06,8.698041e-06,8.867683e-06,8.913060e-06,9.025579e-06,9.114861e-06,9.172170e-06,9.297446e-06,9.307917e-06,9.433292e-06,9.461892e-06,9.548769e-06,9.609289e-06,9.654821e-06,9.740724e-06,9.751918e-06,9.840523e-06,9.857265e-06,9.921086e-06,9.959945e-06,9.994040e-06,1.004975e-05,1.005980e-05,1.011878e-05,1.012761e-05,1.017135e-05,1.019442e-05,1.021789e-05,1.025101e-05,1.025875e-05,1.029426e-05,1.029818e-05,1.032476e-05,1.033666e-05,1.035053e-05,1.036714e-05,1.037188e-05,1.038906e-05,1.039026e-05,1.040235e-05,1.040662e-05,1.041197e-05,1.041677e-05,1.041818e-05,1.042117e-05,1.042123e-05,1.042117e-05,1.042047e-05,1.041835e-05,1.041493e-05,1.041292e-05,1.040503e-05,1.039485e-05,1.039114e-05,1.038255e-05,1.037362e-05,1.036825e-05,1.035278e-05,1.035210e-05,1.033423e-05,1.032894e-05,1.031476e-05,1.030235e-05,1.029380e-05,1.027329e-05,1.027146e-05,1.024784e-05,1.024199e-05,1.022304e-05,1.020867e-05,1.019714e-05,1.017352e-05,1.017024e-05,1.014241e-05,1.013674e-05,1.011373e-05,1.009850e-05,1.008426e-05,1.005895e-05,1.005408e-05,1.002324e-05,1.001825e-05,9.991815e-06,9.976534e-06,9.959848e-06,9.933922e-06,9.927394e-06,9.894504e-06,9.890531e-06,9.861224e-06,9.846469e-06,9.827598e-06,9.801835e-06,9.793666e-06,9.759467e-06,9.756720e-06,9.725038e-06,9.711209e-06,9.690412e-06,9.665379e-06,9.655623e-06,9.620701e-06,9.619301e-06,9.585673e-06,9.573042e-06,9.550566e-06,9.526662e-06,9.515406e-06,9.480216e-06,9.433757e-06,9.387332e-06,9.340984e-06,9.294753e-06,9.248677e-06,9.202787e-06,9.157117e-06,9.111692e-06,9.066540e-06,9.021683e-06,8.977144e-06,8.932940e-06,8.889091e-06,8.845611e-06,8.802515e-06,8.759817e-06,8.717526e-06,8.675654e-06,8.634210e-06,8.593201e-06,8.552635e-06,8.512518e-06,8.472854e-06,8.433648e-06
0.000000e+00,2.727382e-09,6.245198e-09,2.152332e-08,4.908987e-08,7.170778e-08,1.630466e-07,1.679613e-07,3.245811e-07,3.811837e-07,5.557594e-07,7.361882e-07,8.757632e-07,1.260754e-06,1.298692e-06,1.837278e-06,1.984879e-06,2.500805e-06,2.928819e-06,3.293782e-06,4.099190e-06,4.216772e-06,5.268138e-06,5.493591e-06,6.445166e-06,7.105760e-06,7.744385e-06,8.927068e-06,9.161536e-06,1.069149e-05,1.094636e-05,1.232821e-05,1.314975e-05,1.406477e-05,1.552076e-05,1.589348e-05,1.780599e-05,1.804070e-05,1.979343e-05,2.068929e-05,2.184664e-05,2.344533e-05,2.395629e-05,2.611302e-05,2.628732e-05,2.830766e-05,2.919413e-05,3.053132e-05,3.214552e-05,3.277547e-05,3.503206e-05,3.512247e-05,3.729355e-05,3.810754e-05,3.955300e-05,4.108498e-05,4.180403e-05,4.404085e-05,4.625829e-05,4.696300e-05,4.845172e-05,4.984101e-05,5.061707e-05,5.266609e-05,5.275079e-05,5.484980e-05,5.543093e-05,5.691147e-05,5.812962e-05,5.893359e-05,6.075741e-05,6.091431e-05,6.285211e-05,6.331066e-05,6.474580e-05,6.578663e-05,6.659443e-05,6.818339e-05,6.839730e-05,7.015393e-05,7.049968e-05,7.186403e-05,7.273485e-05,7.352747e-05,7.488870e-05,7.514426e-05,7.671454e-05,7.696148e-05,7.823856e-05,7.895376e-05,7.971667e-05,8.086637e-05,8.114928e-05,8.253690e-05,8.270042e-05,8.388008e-05,8.445715e-05,8.517942e-05,8.613800e-05,8.643557e-05,8.764922e-05,8.774450e-05,8.882107e-05,8.927828e-05,8.995187e-05,9.074105e-05,9.104237e-05,9.209334e-05,9.213457e-05,9.310556e-05,9.346063e-05,9.407983e-05,9.472105e-05,9.501693e-05,9.591768e-05,9.678286e-05,9.705235e-05,9.761330e-05,9.812690e-05,9.840977e-05,9.914317e-05,9.917307e-05,9.990400e-05,1.001030e-04,1.006033e-04,1.010081e-04,1.012719e-04,1.018603e-04,1.019103e-04,1.025195e-04,1.026615e-04,1.031002e-04,1.034131e-04,1.036530e-04,1.041171e-04,1.041788e-04,1.046782e-04,1.047750e-04,1.051520e-04,1.053885e-04,1.056009e-04,1.059591e-04,1.060255e-04,1.064265e-04,1.064885e-04,1.068046e-04,1.069781e-04,1.071604e-04,1.074294e-04,1.074946e-04,1.078078e-04,1.078440e-04,1.081006e-04,1.082231e-04,1.083736e-04,1.085682e-04,1.086274e-04,1.088626e-04,1.088806e-04,1.090797e-04,1.091616e-04,1.092794e-04,1.094126e-04,1.094620e-04,1.096283e-04,1.096346e-04,1.097786e-04,1.098290e-04,1.099136e-04,1.099968e-04,1.100336e-04,1.101392e-04,1.102574e-04,1.103522e-04,1.104249e-04,1.104763e-04,1.105075e-04,1.105193e-04,1.105127e-04,1.104885e-04,1.104476e-04,1.103908e-04,1.103189e-04,1.102326e-04,1.101326e-04,1.100198e-04,1.098947e-04,1.097579e-04,1.096103e-04,1.094522e-04,1.092845e-04,1.091075e-04,1.089218e-04,1.087281e-04,1.085267e-04,1.083181e-04
0.000000e+00,7.896577e-06,1.801486e-05,6.161913e-05,1.396183e-04,2.032501e-04,4.584762e-04,4.721582e-04,9.068195e-04,1.063543e-03,1.546585e-03,2.045995e-03,2.432752e-03,3.502185e-03,3.607790e-03,5.110716e-03,5.523493e-03,6.966772e-03,8.161181e-03,9.174395e-03,1.138217e-02,1.170040e-02,1.449026e-02,1.507460e-02,1.748438e-02,1.910368e-02,2.062837e-02,2.335095e-02,2.387578e-02,2.718724e-02,2.772069e-02,3.052884e-02,3.213465e-02,3.387089e-02,3.652717e-02,3.718723e-02,4.045479e-02,4.084263e-02,4.365343e-02,4.503446e-02,4.676590e-02,4.906471e-02,4.977768e-02,5.267693e-02,5.290371e-02,5.545428e-02,5.652944e-02,5.810271e-02,5.992689e-02,6.061726e-02,6.299488e-02,6.308711e-02,6.523410e-02,6.600630e-02,6.733489e-02,6.868491e-02,6.929842e-02,7.112680e-02,7.282296e-02,7.333838e-02,7.439048e-02,7.532802e-02,7.583339e-02,7.710546e-02,7.715612e-02,7.836334e-02,7.868132e-02,7.945989e-02,8.006677e-02,8.045073e-02,8.127322e-02,8.134084e-02,8.213518e-02,8.231212e-02,8.283867e-02,8.319474e-02,8.345614e-02,8.393211e-02,8.399231e-02,8.445178e-02,8.453487e-02,8.483901e-02,8.501325e-02,8.515829e-02,8.537701e-02,8.541377e-02,8.560943e-02,8.563544e-02,8.574908e-02,8.579731e-02,8.583639e-02,8.587090e-02,8.587484e-02,8.586776e-02,8.586401e-02,8.581833e-02,8.578394e-02,8.572956e-02,8.563755e-02,8.560431e-02,8.544531e-02,8.543121e-02,8.525515e-02,8.517091e-02,8.503626e-02,8.486218e-02,8.479097e-02,8.452145e-02,8.451019e-02,8.422978e-02,8.411974e-02,8.391791e-02,8.369525e-02,8.358769e-02,8.324085e-02,8.287901e-02,8.276032e-02,8.250374e-02,8.225718e-02,8.211646e-02,8.173465e-02,8.171854e-02,8.131126e-02,8.119570e-02,8.089580e-02,8.064308e-02,8.047330e-02,8.007928e-02,8.004480e-02,7.961128e-02,7.950659e-02,7.917366e-02,7.892712e-02,7.873280e-02,7.834278e-02,7.828948e-02,7.784447e-02,7.775532e-02,7.739844e-02,7.716631e-02,7.695203e-02,7.657720e-02,7.650585e-02,7.606044e-02,7.598929e-02,7.561632e-02,7.540373e-02,7.517395e-02,7.482161e-02,7.473376e-02,7.429616e-02,7.424384e-02,7.386152e-02,7.367129e-02,7.343015e-02,7.310470e-02,7.300238e-02,7.257847e-02,7.254474e-02,7.215869e-02,7.199198e-02,7.174326e-02,7.144695e-02,7.133238e-02,7.092624e-02,7.091009e-02,7.052500e-02,7.038178e-02,7.012881e-02,6.986235e-02,6.973779e-02,6.935206e-02,6.885115e-02,6.835980e-02,6.787815e-02,6.740631e-02,6.694434e-02,6.649230e-02,6.605021e-02,6.561804e-02,6.519577e-02,6.478336e-02,6.438073e-02,6.398780e-02,6.360447e-02,6.323064e-02,6.286617e-02,6.251094e-02,6.216482e-02,6.182764e-02,6.149927e-02,6.117954e-02,6.086829e-02,6.056536e-02,6.027058e-02,5.998378e-02
0.000000e+00,3.097819e-09,6.941103e-09,2.288184e-08,5.016834e-08,7.175333e-08,1.548858e-07,1.592319e-07,2.936490e-07,3.408201e-07,4.833050e-07,6.270953e-07,7.364324e-07,1.030157e-06,1.058454e-06,1.446028e-06,1.547306e-06,1.883976e-06,2.143471e-06,2.351652e-06,2.773655e-06,2.831421e-06,3.311264e-06,3.406510e-06,3.783469e-06,4.024203e-06,4.242824e-06,4.615910e-06,4.685480e-06,5.108394e-06,5.174057e-06,5.509129e-06,5.693033e-06,5.885817e-06,6.168967e-06,6.237168e-06,6.562468e-06,6.599741e-06,6.861558e-06,6.984924e-06,7.134774e-06,7.325571e-06,7.382880e-06,7.606977e-06,7.623907e-06,7.808414e-06,7.882979e-06,7.988705e-06,8.106320e-06,8.149455e-06,8.292293e-06,8.297657e-06,8.418829e-06,8.460691e-06,8.530608e-06,8.598938e-06,8.629092e-06,8.715637e-06,8.791482e-06,8.813678e-06,8.857748e-06,8.895605e-06,8.915450e-06,8.963631e-06,8.965497e-06,9.008691e-06,9.019656e-06,9.045743e-06,9.065291e-06,9.077283e-06,9.101910e-06,9.103866e-06,9.125980e-06,9.130671e-06,9.144053e-06,9.152554e-06,9.158468e-06,9.168396e-06,9.169562e-06,9.177632e-06,9.178907e-06,9.182939e-06,9.184684e-06,9.185714e-06,9.186238e-06,9.186162e-06,9.184471e-06,9.184013e-06,9.180810e-06,9.178399e-06,9.175333e-06,9.169737e-06,9.168178e-06,9.159469e-06,9.158325e-06,9.149321e-06,9.144428e-06,9.137840e-06,9.128284e-06,9.125125e-06,9.111264e-06,9.110108e-06,9.096342e-06,9.090094e-06,9.080436e-06,9.068414e-06,9.063616e-06,9.045952e-06,9.045228e-06,9.027504e-06,9.020683e-06,9.008332e-06,8.994910e-06,8.988491e-06,8.968033e-06,8.947005e-06,8.940163e-06,8.925452e-06,8.911404e-06,8.903419e-06,8.881852e-06,8.880945e-06,8.858068e-06,8.851595e-06,8.834824e-06,8.820715e-06,8.811246e-06,8.789288e-06,8.787367e-06,8.763217e-06,8.757384e-06,8.738824e-06,8.725068e-06,8.714215e-06,8.692400e-06,8.689414e-06,8.664447e-06,8.659436e-06,8.639336e-06,8.626228e-06,8.614102e-06,8.592825e-06,8.588765e-06,8.563345e-06,8.559271e-06,8.537860e-06,8.525608e-06,8.512326e-06,8.491875e-06,8.486760e-06,8.461176e-06,8.458106e-06,8.435591e-06,8.424336e-06,8.410016e-06,8.390595e-06,8.384466e-06,8.358951e-06,8.356912e-06,8.333484e-06,8.323313e-06,8.308075e-06,8.289823e-06,8.282735e-06,8.257472e-06,8.256464e-06,8.232297e-06,8.223257e-06,8.207218e-06,8.190222e-06,8.182242e-06,8.157377e-06,8.124737e-06,8.092318e-06,8.060134e-06,8.028197e-06,7.996519e-06,7.965111e-06,7.933982e-06,7.903140e-06,7.872595e-06,7.842352e-06,7.812418e-06,7.782800e-06,7.753501e-06,7.724526e-06,7.695879e-06,7.667564e-06,7.639583e-06,7.611938e-06,7.584632e-06,7.557665e-06,7.531039e-06,7.504755e-06,7.478812e-06,7.453212e-06
0.000000e+00,2.234795e-06,5.107469e-06,1.753611e-05,3.987471e-05,5.816300e-05,1.318903e-04,1.358557e-04,2.623355e-04,3.081355e-04,4.498005e-04,5.969188e-04,7.112247e-04,1.028651e-03,1.060088e-03,1.508899e-03,1.632556e-03,2.065973e-03,2.425737e-03,2.731642e-03,3.400602e-03,3.497321e-03,4.348862e-03,4.528114e-03,5.270992e-03,5.773688e-03,6.249754e-03,7.106763e-03,7.273026e-03,8.330227e-03,8.501885e-03,9.411934e-03,9.937320e-03,1.050961e-02,1.139399e-02,1.161547e-02,1.272242e-02,1.285502e-02,1.382409e-02,1.430565e-02,1.491476e-02,1.573323e-02,1.598946e-02,1.704387e-02,1.712723e-02,1.807434e-02,1.847913e-02,1.907786e-02,1.978230e-02,2.005197e-02,2.099477e-02,2.103181e-02,2.190481e-02,2.222420e-02,2.278106e-02,2.335726e-02,2.362285e-02,2.442982e-02,2.520188e-02,2.544158e-02,2.593915e-02,2.639288e-02,2.664194e-02,2.728461e-02,2.731071e-02,2.794605e-02,2.811804e-02,2.854863e-02,2.889478e-02,2.911923e-02,2.961662e-02,2.965865e-02,3.016776e-02,3.028554e-02,3.064746e-02,3.090358e-02,3.109866e-02,3.147288e-02,3.152229e-02,3.191929e-02,3.199558e-02,3.229060e-02,3.247383e-02,3.263714e-02,3.290977e-02,3.295984e-02,3.325960e-02,3.330550e-02,3.353733e-02,3.366307e-02,3.379390e-02,3.398450e-02,3.403017e-02,3.424698e-02,3.427173e-02,3.444515e-02,3.452665e-02,3.462548e-02,3.475108e-02,3.478874e-02,3.493570e-02,3.494678e-02,3.506708e-02,3.511543e-02,3.518359e-02,3.525867e-02,3.528593e-02,3.537475e-02,3.537803e-02,3.545071e-02,3.547502e-02,3.551442e-02,3.555105e-02,3.556648e-02,3.560748e-02,3.563798e-02,3.564561e-02,3.565851e-02,3.566666e-02,3.566960e-02,3.567182e-02,3.567174e-02,3.566542e-02,3.566220e-02,3.565110e-02,3.563886e-02,3.562923e-02,3.560281e-02,3.560024e-02,3.556453e-02,3.555501e-02,3.552251e-02,3.549635e-02,3.547454e-02,3.542771e-02,3.542100e-02,3.536224e-02,3.534989e-02,3.529858e-02,3.526365e-02,3.523035e-02,3.516973e-02,3.515786e-02,3.508139e-02,3.506881e-02,3.500124e-02,3.496153e-02,3.491766e-02,3.484850e-02,3.483091e-02,3.474125e-02,3.473031e-02,3.464890e-02,3.460747e-02,3.455409e-02,3.448051e-02,3.445702e-02,3.435792e-02,3.434990e-02,3.425695e-02,3.421609e-02,3.415433e-02,3.407950e-02,3.405020e-02,3.394476e-02,3.394052e-02,3.383815e-02,3.379951e-02,3.373052e-02,3.365683e-02,3.362202e-02,3.351278e-02,3.336769e-02,3.322181e-02,3.307542e-02,3.292875e-02,3.278203e-02,3.263546e-02,3.248925e-02,3.234356e-02,3.219855e-02,3.205439e-02,3.191121e-02,3.176913e-02,3.162827e-02,3.148874e-02,3.135063e-02,3.121403e-02,3.107901e-02,3.094565e-02,3.081401e-02,3.068414e-02,3.055609e-02,3.042990e-02,3.030561e-02,3.018326e-02
0.000000e+00,1.214171e-09,2.760847e-09,9.378617e-09,2.111594e-08,3.063179e-08,6.846531e-08,7.048194e-08,1.341239e-07,1.569101e-07,2.267502e-07,2.984785e-07,3.537708e-07,5.057858e-07,5.207386e-07,7.325783e-07,7.904620e-07,9.918871e-07,1.157506e-06,1.297333e-06,1.600442e-06,1.644010e-06,2.025521e-06,2.105448e-06,2.435723e-06,2.658580e-06,2.869336e-06,3.248357e-06,3.321864e-06,3.789334e-06,3.865269e-06,4.268086e-06,4.500866e-06,4.754636e-06,5.147229e-06,5.245624e-06,5.737798e-06,5.796789e-06,6.228040e-06,6.442368e-06,6.713399e-06,7.077303e-06,7.191122e-06,7.658710e-06,7.695610e-06,8.113939e-06,8.292126e-06,8.554868e-06,8.862548e-06,8.979854e-06,9.387569e-06,9.403503e-06,9.776979e-06,9.912533e-06,1.014733e-05,1.038803e-05,1.049814e-05,1.082915e-05,1.114034e-05,1.123576e-05,1.143186e-05,1.160824e-05,1.170401e-05,1.194748e-05,1.195725e-05,1.219213e-05,1.225468e-05,1.240926e-05,1.253132e-05,1.260937e-05,1.277905e-05,1.279317e-05,1.296142e-05,1.299957e-05,1.311493e-05,1.319476e-05,1.325452e-05,1.336646e-05,1.338096e-05,1.349502e-05,1.351641e-05,1.359745e-05,1.364636e-05,1.368897e-05,1.375793e-05,1.377028e-05,1.384203e-05,1.385267e-05,1.390486e-05,1.393203e-05,1.395937e-05,1.399737e-05,1.400613e-05,1.404565e-05,1.404993e-05,1.407845e-05,1.409087e-05,1.410498e-05,1.412123e-05,1.412569e-05,1.414099e-05,1.414199e-05,1.415124e-05,1.415402e-05,1.415682e-05,1.415813e-05,1.415805e-05,1.415524e-05,1.415504e-05,1.414867e-05,1.414544e-05,1.413861e-05,1.412991e-05,1.412531e-05,1.410901e-05,1.408990e-05,1.408323e-05,1.406820e-05,1.405303e-05,1.404409e-05,1.401883e-05,1.401774e-05,1.398931e-05,1.398100e-05,1.395895e-05,1.393987e-05,1.392681e-05,1.389576e-05,1.389300e-05,1.385766e-05,1.384896e-05,1.382089e-05,1.379972e-05,1.378281e-05,1.374829e-05,1.374351e-05,1.370308e-05,1.369487e-05,1.366162e-05,1.363967e-05,1.361919e-05,1.358287e-05,1.357589e-05,1.353177e-05,1.352464e-05,1.348691e-05,1.346513e-05,1.344137e-05,1.340449e-05,1.339521e-05,1.334848e-05,1.334283e-05,1.330123e-05,1.328029e-05,1.325352e-05,1.321698e-05,1.320539e-05,1.315689e-05,1.315300e-05,1.310805e-05,1.308844e-05,1.305892e-05,1.302339e-05,1.300953e-05,1.295992e-05,1.295793e-05,1.291012e-05,1.289214e-05,1.286015e-05,1.282610e-05,1.281005e-05,1.275985e-05,1.269346e-05,1.262700e-05,1.256050e-05,1.249401e-05,1.242759e-05,1.236127e-05,1.229509e-05,1.222909e-05,1.216330e-05,1.209774e-05,1.203245e-05,1.196746e-05,1.190278e-05,1.183844e-05,1.177447e-05,1.171087e-05,1.164767e-05,1.158488e-05,1.152252e-05,1.146060e-05,1.139913e-05,1.133812e-05,1.127760e-05,1.121755e-05
0.000000e+00,3.170233e-09,7.230160e-09,2.470829e-08,5.591489e-08,8.132386e-08,1.828317e-07,1.882557e-07,3.597088e-07,4.211400e-07,6.092895e-07,8.020660e-07,9.502282e-07,1.355161e-06,1.394784e-06,1.951934e-06,2.102848e-06,2.624291e-06,3.049881e-06,3.408027e-06,4.184225e-06,4.296031e-06,5.280450e-06,5.488207e-06,6.353338e-06,6.943498e-06,7.506495e-06,8.530843e-06,8.731237e-06,1.001830e-05,1.022937e-05,1.135789e-05,1.201658e-05,1.273984e-05,1.386892e-05,1.415376e-05,1.558934e-05,1.576258e-05,1.703645e-05,1.767432e-05,1.848543e-05,1.958229e-05,1.992720e-05,2.135340e-05,2.146659e-05,2.275649e-05,2.330973e-05,2.412979e-05,2.509683e-05,2.546751e-05,2.676475e-05,2.681574e-05,2.801748e-05,2.845692e-05,2.922246e-05,3.001330e-05,3.037725e-05,3.148004e-05,3.252970e-05,3.285426e-05,3.352562e-05,3.413473e-05,3.446768e-05,3.532164e-05,3.535616e-05,3.619171e-05,3.641630e-05,3.697526e-05,3.742090e-05,3.770798e-05,3.833836e-05,3.839124e-05,3.902655e-05,3.917207e-05,3.961554e-05,3.992578e-05,4.015992e-05,4.060348e-05,4.066146e-05,4.112195e-05,4.120928e-05,4.154319e-05,4.174733e-05,4.192699e-05,4.222176e-05,4.227514e-05,4.258939e-05,4.263664e-05,4.287146e-05,4.299592e-05,4.312303e-05,4.330341e-05,4.334572e-05,4.354111e-05,4.356279e-05,4.371072e-05,4.377756e-05,4.385601e-05,4.395103e-05,4.397839e-05,4.407920e-05,4.408638e-05,4.415974e-05,4.418656e-05,4.422124e-05,4.425438e-05,4.426486e-05,4.429174e-05,4.429248e-05,4.430294e-05,4.430333e-05,4.429947e-05,4.428923e-05,4.428230e-05,4.425235e-05,4.421048e-05,4.419470e-05,4.415752e-05,4.411817e-05,4.409425e-05,4.402450e-05,4.402141e-05,4.393970e-05,4.391533e-05,4.384979e-05,4.379217e-05,4.375230e-05,4.365642e-05,4.364782e-05,4.353691e-05,4.350939e-05,4.342010e-05,4.335230e-05,4.329789e-05,4.318625e-05,4.317075e-05,4.303912e-05,4.301230e-05,4.290343e-05,4.283139e-05,4.276405e-05,4.264441e-05,4.262138e-05,4.247574e-05,4.245219e-05,4.232748e-05,4.225547e-05,4.217689e-05,4.205495e-05,4.202428e-05,4.186991e-05,4.185128e-05,4.171404e-05,4.164504e-05,4.155690e-05,4.143677e-05,4.139872e-05,4.123972e-05,4.122697e-05,4.108008e-05,4.101609e-05,4.092000e-05,4.080456e-05,4.075964e-05,4.059917e-05,4.059275e-05,4.043874e-05,4.038102e-05,4.027848e-05,4.016967e-05,4.011853e-05,3.995900e-05,3.974928e-05,3.954073e-05,3.933359e-05,3.912803e-05,3.892423e-05,3.872236e-05,3.852254e-05,3.832491e-05,3.812958e-05,3.793663e-05,3.774615e-05,3.755823e-05,3.737292e-05,3.719027e-05,3.701033e-05,3.683314e-05,3.665872e-05,3.648710e-05,3.631829e-05,3.615230e-05,3.598915e-05,3.582882e-05,3.567132e-05,3.551663e-05
0.000000e+00,3.333755e-09,7.569542e-09,2.568102e-08,5.791730e-08,8.421875e-08,1.905318e-07,1.962798e-07,3.818980e-07,4.502825e-07,6.657001e-07,8.950154e-07,1.076375e-06,1.588545e-06,1.639546e-06,2.361101e-06,2.555582e-06,3.215650e-06,3.736311e-06,4.160373e-06,5.035559e-06,5.156898e-06,6.178801e-06,6.384616e-06,7.209112e-06,7.744258e-06,8.236377e-06,9.090601e-06,9.252018e-06,1.024892e-05,1.040625e-05,1.122080e-05,1.167674e-05,1.216202e-05,1.288954e-05,1.306759e-05,1.393317e-05,1.403418e-05,1.475524e-05,1.510244e-05,1.553107e-05,1.608855e-05,1.625873e-05,1.693713e-05,1.698925e-05,1.756589e-05,1.780355e-05,1.814533e-05,1.853246e-05,1.867632e-05,1.916016e-05,1.917856e-05,1.959857e-05,1.974566e-05,1.999356e-05,2.023847e-05,2.034733e-05,2.066222e-05,2.094064e-05,2.102243e-05,2.118501e-05,2.132465e-05,2.139774e-05,2.157436e-05,2.158116e-05,2.173755e-05,2.177679e-05,2.186905e-05,2.193687e-05,2.197773e-05,2.205921e-05,2.206551e-05,2.213420e-05,2.214803e-05,2.218549e-05,2.220719e-05,2.222093e-05,2.224015e-05,2.224196e-05,2.224990e-05,2.225002e-05,2.224596e-05,2.223960e-05,2.223128e-05,2.221140e-05,2.220688e-05,2.217369e-05,2.216762e-05,2.213256e-05,2.211023e-05,2.208428e-05,2.204098e-05,2.202956e-05,2.196905e-05,2.196143e-05,2.190335e-05,2.187294e-05,2.183299e-05,2.177672e-05,2.175848e-05,2.168025e-05,2.167385e-05,2.159873e-05,2.156528e-05,2.151428e-05,2.145185e-05,2.142724e-05,2.133794e-05,2.133432e-05,2.124665e-05,2.121335e-05,2.115363e-05,2.108952e-05,2.105913e-05,2.096336e-05,2.086652e-05,2.083534e-05,2.076880e-05,2.070586e-05,2.067035e-05,2.057531e-05,2.057134e-05,2.047190e-05,2.044399e-05,2.037216e-05,2.031222e-05,2.027224e-05,2.018025e-05,2.017225e-05,2.007228e-05,2.004830e-05,1.997243e-05,1.991660e-05,1.987278e-05,1.978531e-05,1.977340e-05,1.967437e-05,1.965461e-05,1.957575e-05,1.952465e-05,1.947759e-05,1.939554e-05,1.937995e-05,1.928288e-05,1.926741e-05,1.918643e-05,1.914036e-05,1.909062e-05,1.901447e-05,1.899551e-05,1.890111e-05,1.888984e-05,1.880747e-05,1.876652e-05,1.871461e-05,1.864457e-05,1.862255e-05,1.853132e-05,1.852406e-05,1.844094e-05,1.840503e-05,1.835142e-05,1.828750e-05,1.826277e-05,1.817502e-05,1.817153e-05,1.808818e-05,1.805713e-05,1.800224e-05,1.794434e-05,1.791723e-05,1.783316e-05,1.772361e-05,1.761570e-05,1.750945e-05,1.740485e-05,1.730190e-05,1.720062e-05,1.710098e-05,1.700299e-05,1.690665e-05,1.681193e-05,1.671884e-05,1.662736e-05,1.653748e-05,1.644918e-05,1.636245e-05,1.627727e-05,1.619363e-05,1.611151e-05,1.603089e-05,1.595175e-05,1.587408e-05,1.579785e-05,1.572305e-05,1.564966e-05
0.000000e+00,5.696246e-09,1.300379e-08,4.453091e-08,1.009687e-07,1.470108e-07,3.314672e-07,3.413419e-07,6.541905e-07,7.665622e-07,1.111457e-06,1.465799e-06,1.738716e-06,2.486950e-06,2.560344e-06,3.595619e-06,3.877058e-06,4.852446e-06,5.651397e-06,6.325277e-06,7.789213e-06,8.000378e-06,9.861759e-06,1.025497e-05,1.189338e-05,1.301177e-05,1.407913e-05,1.602211e-05,1.640235e-05,1.884558e-05,1.924642e-05,2.139055e-05,2.264277e-05,2.401844e-05,2.616763e-05,2.671017e-05,2.944681e-05,2.977734e-05,3.220992e-05,3.342951e-05,3.498192e-05,3.708439e-05,3.774631e-05,4.048796e-05,4.070589e-05,4.319318e-05,4.426230e-05,4.584984e-05,4.772659e-05,4.844740e-05,5.097686e-05,5.107651e-05,5.343071e-05,5.429438e-05,5.580288e-05,5.736680e-05,5.808857e-05,6.028420e-05,6.238723e-05,6.304037e-05,6.439610e-05,6.563198e-05,6.631004e-05,6.805809e-05,6.812903e-05,6.985364e-05,7.031976e-05,7.148496e-05,7.241960e-05,7.302452e-05,7.436147e-05,7.447418e-05,7.583611e-05,7.615017e-05,7.711268e-05,7.779121e-05,7.830644e-05,7.929057e-05,7.942007e-05,8.045634e-05,8.065456e-05,8.141806e-05,8.188965e-05,8.230810e-05,8.300241e-05,8.312929e-05,8.388449e-05,8.399939e-05,8.457651e-05,8.488705e-05,8.520811e-05,8.567173e-05,8.578203e-05,8.630091e-05,8.635960e-05,8.676736e-05,8.695664e-05,8.718389e-05,8.746858e-05,8.755296e-05,8.787693e-05,8.790097e-05,8.815811e-05,8.825909e-05,8.839869e-05,8.854799e-05,8.860083e-05,8.876657e-05,8.877247e-05,8.889790e-05,8.893712e-05,8.899671e-05,8.904626e-05,8.906483e-05,8.910401e-05,8.911593e-05,8.911425e-05,8.910220e-05,8.908066e-05,8.906434e-05,8.900669e-05,8.900385e-05,8.892212e-05,8.889561e-05,8.882049e-05,8.875050e-05,8.870025e-05,8.857425e-05,8.856262e-05,8.840878e-05,8.836957e-05,8.823983e-05,8.813902e-05,8.805684e-05,8.788499e-05,8.786081e-05,8.765271e-05,8.760972e-05,8.743345e-05,8.731532e-05,8.720390e-05,8.700373e-05,8.696489e-05,8.671720e-05,8.667681e-05,8.646158e-05,8.633627e-05,8.619873e-05,8.598370e-05,8.592932e-05,8.565400e-05,8.562059e-05,8.537336e-05,8.524835e-05,8.508798e-05,8.486824e-05,8.479838e-05,8.450509e-05,8.448148e-05,8.420858e-05,8.408918e-05,8.390932e-05,8.369238e-05,8.360772e-05,8.330420e-05,8.329203e-05,8.299914e-05,8.288901e-05,8.269290e-05,8.248416e-05,8.238582e-05,8.207821e-05,8.167186e-05,8.126577e-05,8.086050e-05,8.045661e-05,8.005458e-05,7.965487e-05,7.925788e-05,7.886398e-05,7.847352e-05,7.808679e-05,7.770407e-05,7.732560e-05,7.695161e-05,7.658228e-05,7.621778e-05,7.585827e-05,7.550387e-05,7.515470e-05,7.481084e-05,7.447238e-05,7.413937e-05,7.381187e-05,7.348991e-05,7.317353e-05
0.000000e+00,8.769503e-10,2.002862e-09,6.866465e-09,1.558989e-08,2.271951e-08,5.138234e-08,5.292096e-08,1.018699e-07,1.195434e-07,1.740709e-07,2.305101e-07,2.742458e-07,3.951804e-07,4.071136e-07,5.764900e-07,6.228133e-07,7.840425e-07,9.167580e-07,1.029082e-06,1.274174e-06,1.309643e-06,1.623519e-06,1.690105e-06,1.968620e-06,2.159750e-06,2.342949e-06,2.678493e-06,2.744479e-06,3.171069e-06,3.241498e-06,3.620414e-06,3.843462e-06,4.090039e-06,4.478579e-06,4.577316e-06,5.079505e-06,5.140636e-06,5.593795e-06,5.823189e-06,6.117363e-06,6.519759e-06,6.647417e-06,7.181246e-06,7.224037e-06,7.716251e-06,7.930029e-06,8.249992e-06,8.632233e-06,8.780221e-06,9.304887e-06,9.325732e-06,9.822148e-06,1.000623e-05,1.033038e-05,1.067009e-05,1.082818e-05,1.131434e-05,1.178788e-05,1.193661e-05,1.224799e-05,1.253511e-05,1.269403e-05,1.310856e-05,1.312554e-05,1.354219e-05,1.365616e-05,1.394378e-05,1.417747e-05,1.433023e-05,1.467240e-05,1.470155e-05,1.505784e-05,1.514113e-05,1.539927e-05,1.558407e-05,1.572608e-05,1.600179e-05,1.603854e-05,1.633698e-05,1.639501e-05,1.662174e-05,1.676454e-05,1.689321e-05,1.711126e-05,1.715178e-05,1.739785e-05,1.743609e-05,1.763185e-05,1.774000e-05,1.785419e-05,1.802395e-05,1.806529e-05,1.826557e-05,1.828889e-05,1.845544e-05,1.853578e-05,1.863530e-05,1.876554e-05,1.880555e-05,1.896658e-05,1.897908e-05,1.911877e-05,1.917725e-05,1.926248e-05,1.936090e-05,1.939807e-05,1.952588e-05,1.953083e-05,1.964624e-05,1.968780e-05,1.975947e-05,1.983255e-05,1.986588e-05,1.996576e-05,2.005940e-05,2.008809e-05,2.014707e-05,2.020017e-05,2.022904e-05,2.030258e-05,2.030554e-05,2.037683e-05,2.039589e-05,2.044314e-05,2.048062e-05,2.050468e-05,2.055727e-05,2.056166e-05,2.061429e-05,2.062630e-05,2.066277e-05,2.068816e-05,2.070727e-05,2.074328e-05,2.074797e-05,2.078504e-05,2.079203e-05,2.081865e-05,2.083481e-05,2.084894e-05,2.087194e-05,2.087608e-05,2.090019e-05,2.090377e-05,2.092141e-05,2.093061e-05,2.093988e-05,2.095275e-05,2.095571e-05,2.096903e-05,2.097047e-05,2.097995e-05,2.098402e-05,2.098857e-05,2.099366e-05,2.099501e-05,2.099935e-05,2.099961e-05,2.100170e-05,2.100210e-05,2.100214e-05,2.100133e-05,2.100076e-05,2.099765e-05,2.099749e-05,2.099288e-05,2.099078e-05,2.098654e-05,2.098136e-05,2.097868e-05,2.096940e-05,2.095505e-05,2.093846e-05,2.091977e-05,2.089911e-05,2.087660e-05,2.085236e-05,2.082650e-05,2.079913e-05,2.077034e-05,2.074023e-05,2.070888e-05,2.067639e-05,2.064283e-05,2.060827e-05,2.057279e-05,2.053645e-05,2.049932e-05,2.046146e-05,2.042293e-05,2.038378e-05,2.034407e-05,2.030384e-05,2.026313e-05,2.022201e-05
0.000000e+00,1.964077e-09,4.482077e-09,1.533628e-08,3.474481e-08,5.056328e-08,1.138299e-07,1.172125e-07,2.241670e-07,2.624861e-07,3.797794e-07,4.997991e-07,5.919200e-07,8.432623e-07,8.678378e-07,1.213725e-06,1.307681e-06,1.633858e-06,1.902143e-06,2.129338e-06,2.625228e-06,2.696929e-06,3.328993e-06,3.462243e-06,4.015001e-06,4.389268e-06,4.743628e-06,5.380786e-06,5.504227e-06,6.287380e-06,6.414214e-06,7.084883e-06,7.470650e-06,7.889604e-06,8.534380e-06,8.695339e-06,9.496710e-06,9.592354e-06,1.028910e-05,1.063387e-05,1.106859e-05,1.165036e-05,1.183193e-05,1.257649e-05,1.263517e-05,1.330016e-05,1.358341e-05,1.400135e-05,1.449163e-05,1.467892e-05,1.533206e-05,1.535767e-05,1.596031e-05,1.618034e-05,1.656346e-05,1.695928e-05,1.714154e-05,1.769474e-05,1.822340e-05,1.838746e-05,1.872799e-05,1.903853e-05,1.920904e-05,1.964927e-05,1.966716e-05,2.010301e-05,2.022115e-05,2.051728e-05,2.075577e-05,2.091067e-05,2.125478e-05,2.128392e-05,2.163774e-05,2.171984e-05,2.197284e-05,2.215260e-05,2.228996e-05,2.255468e-05,2.258977e-05,2.287296e-05,2.292767e-05,2.314022e-05,2.327310e-05,2.339218e-05,2.359246e-05,2.362947e-05,2.385272e-05,2.388718e-05,2.406251e-05,2.415859e-05,2.425941e-05,2.440802e-05,2.444397e-05,2.461672e-05,2.463668e-05,2.477818e-05,2.484577e-05,2.492883e-05,2.503638e-05,2.506914e-05,2.519957e-05,2.520959e-05,2.532056e-05,2.536640e-05,2.543252e-05,2.550776e-05,2.553584e-05,2.563093e-05,2.563456e-05,2.571813e-05,2.574767e-05,2.579781e-05,2.584787e-05,2.587030e-05,2.593593e-05,2.599501e-05,2.601258e-05,2.604783e-05,2.607848e-05,2.609467e-05,2.613428e-05,2.613582e-05,2.617152e-05,2.618058e-05,2.620203e-05,2.621795e-05,2.622759e-05,2.624693e-05,2.624843e-05,2.626475e-05,2.626802e-05,2.627678e-05,2.628172e-05,2.628472e-05,2.628846e-05,2.628875e-05,2.628905e-05,2.628868e-05,2.628581e-05,2.628278e-05,2.627919e-05,2.627113e-05,2.626935e-05,2.625645e-05,2.625411e-05,2.624063e-05,2.623204e-05,2.622203e-05,2.620524e-05,2.620079e-05,2.617704e-05,2.617402e-05,2.615090e-05,2.613867e-05,2.612249e-05,2.609944e-05,2.609192e-05,2.605930e-05,2.605660e-05,2.602474e-05,2.601039e-05,2.598833e-05,2.596102e-05,2.595017e-05,2.591035e-05,2.590872e-05,2.586896e-05,2.585369e-05,2.582608e-05,2.579612e-05,2.578180e-05,2.573618e-05,2.567405e-05,2.560989e-05,2.554385e-05,2.547607e-05,2.540670e-05,2.533585e-05,2.526365e-05,2.519023e-05,2.511567e-05,2.504009e-05,2.496359e-05,2.488625e-05,2.480816e-05,2.472940e-05,2.465006e-05,2.457020e-05,2.448990e-05,2.440921e-05,2.432821e-05,2.424695e-05,2.416548e-05,2.408386e-05,2.400213e-05,2.392035e-05
0.000000e+00,6.197916e-09,1.408771e-08,4.784585e-08,1.078168e-07,1.565691e-07,3.517999e-07,3.622728e-07,6.963597e-07,8.176391e-07,1.194420e-06,1.588127e-06,1.894985e-06,2.744214e-06,2.827616e-06,3.993001e-06,4.304326e-06,5.360512e-06,6.198990e-06,6.888584e-06,8.336835e-06,8.540607e-06,1.028776e-05,1.064649e-05,1.210672e-05,1.307413e-05,1.397715e-05,1.557435e-05,1.588030e-05,1.779827e-05,1.810537e-05,1.971394e-05,2.062784e-05,2.161106e-05,2.310521e-05,2.347453e-05,2.529065e-05,2.550481e-05,2.704737e-05,2.779879e-05,2.873441e-05,2.996469e-05,3.034332e-05,3.186754e-05,3.198567e-05,3.330237e-05,3.385053e-05,3.464474e-05,3.555307e-05,3.589309e-05,3.704720e-05,3.709142e-05,3.810800e-05,3.846739e-05,3.907743e-05,3.968581e-05,3.995816e-05,4.075326e-05,4.146646e-05,4.167802e-05,4.210173e-05,4.246934e-05,4.266329e-05,4.313706e-05,4.315547e-05,4.358261e-05,4.369114e-05,4.394901e-05,4.414146e-05,4.425889e-05,4.449757e-05,4.451633e-05,4.472527e-05,4.476861e-05,4.488945e-05,4.496318e-05,4.501244e-05,4.508928e-05,4.509761e-05,4.514813e-05,4.515434e-05,4.516696e-05,4.516516e-05,4.515688e-05,4.512798e-05,4.512048e-05,4.506016e-05,4.504844e-05,4.497815e-05,4.493169e-05,4.487650e-05,4.478234e-05,4.475714e-05,4.462181e-05,4.460458e-05,4.447216e-05,4.440216e-05,4.430968e-05,4.417846e-05,4.413575e-05,4.395163e-05,4.393650e-05,4.375850e-05,4.367896e-05,4.355742e-05,4.340828e-05,4.334937e-05,4.313527e-05,4.312659e-05,4.291592e-05,4.283582e-05,4.269209e-05,4.253768e-05,4.246447e-05,4.223370e-05,4.200036e-05,4.192523e-05,4.176497e-05,4.161348e-05,4.152802e-05,4.129950e-05,4.128996e-05,4.105118e-05,4.098424e-05,4.081205e-05,4.066854e-05,4.057290e-05,4.035314e-05,4.033405e-05,4.009577e-05,4.003869e-05,3.985830e-05,3.972576e-05,3.962188e-05,3.941485e-05,3.938670e-05,3.915297e-05,3.910640e-05,3.892083e-05,3.880080e-05,3.869045e-05,3.849838e-05,3.846195e-05,3.823547e-05,3.819942e-05,3.801110e-05,3.790418e-05,3.778894e-05,3.761286e-05,3.756907e-05,3.735158e-05,3.732564e-05,3.713651e-05,3.704267e-05,3.692394e-05,3.676408e-05,3.671390e-05,3.650645e-05,3.648996e-05,3.630160e-05,3.622040e-05,3.609939e-05,3.595545e-05,3.589985e-05,3.570299e-05,3.569517e-05,3.550882e-05,3.543958e-05,3.531735e-05,3.518869e-05,3.512858e-05,3.494252e-05,3.470106e-05,3.446428e-05,3.423217e-05,3.400470e-05,3.378184e-05,3.356353e-05,3.334973e-05,3.314040e-05,3.293547e-05,3.273489e-05,3.253859e-05,3.234652e-05,3.215860e-05,3.197478e-05,3.179497e-05,3.161912e-05,3.144716e-05,3.127900e-05,3.111459e-05,3.095385e-05,3.079671e-05,3.064310e-05,3.049294e-05,3.034618e-05
0.000000e+00,1.031617e-08,2.355572e-08,8.092175e-08,1.848525e-07,2.709053e-07,6.274217e-07,6.470399e-07,1.295886e-06,1.541356e-06,2.331443e-06,3.191106e-06,3.877066e-06,5.806879e-06,5.997089e-06,8.640794e-06,9.340502e-06,1.169275e-05,1.353953e-05,1.504741e-05,1.818955e-05,1.862950e-05,2.238579e-05,2.315419e-05,2.627493e-05,2.833778e-05,3.026111e-05,3.366006e-05,3.431100e-05,3.839286e-05,3.904687e-05,4.247631e-05,4.442844e-05,4.653269e-05,4.974045e-05,5.053555e-05,5.446109e-05,5.492593e-05,5.828845e-05,5.993668e-05,6.199978e-05,6.473355e-05,6.558027e-05,6.901842e-05,6.928705e-05,7.230566e-05,7.357685e-05,7.543587e-05,7.759019e-05,7.840528e-05,8.121216e-05,8.132105e-05,8.385642e-05,8.476877e-05,8.633942e-05,8.793700e-05,8.866368e-05,9.083264e-05,9.285048e-05,9.346506e-05,9.472207e-05,9.584545e-05,9.645242e-05,9.798557e-05,9.804680e-05,9.951086e-05,9.989820e-05,1.008502e-04,1.015963e-04,1.020705e-04,1.030930e-04,1.031775e-04,1.041766e-04,1.044010e-04,1.050734e-04,1.055329e-04,1.058732e-04,1.065008e-04,1.065811e-04,1.072021e-04,1.073163e-04,1.077410e-04,1.079904e-04,1.082026e-04,1.085338e-04,1.085912e-04,1.089112e-04,1.089563e-04,1.091666e-04,1.092674e-04,1.093613e-04,1.094759e-04,1.094991e-04,1.095836e-04,1.095903e-04,1.096180e-04,1.096182e-04,1.096057e-04,1.095670e-04,1.095498e-04,1.094530e-04,1.094436e-04,1.093183e-04,1.092543e-04,1.091482e-04,1.090052e-04,1.089452e-04,1.087117e-04,1.087017e-04,1.084499e-04,1.083491e-04,1.081619e-04,1.079521e-04,1.078498e-04,1.075153e-04,1.071605e-04,1.070428e-04,1.067868e-04,1.065385e-04,1.063959e-04,1.060059e-04,1.059893e-04,1.055685e-04,1.054483e-04,1.051347e-04,1.048688e-04,1.046893e-04,1.042703e-04,1.042334e-04,1.037682e-04,1.036552e-04,1.032946e-04,1.030262e-04,1.028137e-04,1.023853e-04,1.023265e-04,1.018337e-04,1.017346e-04,1.013363e-04,1.010760e-04,1.008349e-04,1.004112e-04,1.003303e-04,9.982319e-05,9.974186e-05,9.931418e-05,9.906936e-05,9.880388e-05,9.839506e-05,9.829281e-05,9.778151e-05,9.772016e-05,9.727045e-05,9.704578e-05,9.676008e-05,9.637291e-05,9.625080e-05,9.574302e-05,9.570247e-05,9.523709e-05,9.503530e-05,9.473333e-05,9.437215e-05,9.423206e-05,9.373357e-05,9.371369e-05,9.323811e-05,9.306053e-05,9.274593e-05,9.241323e-05,9.225724e-05,9.177226e-05,9.113806e-05,9.051103e-05,8.989149e-05,8.927974e-05,8.867604e-05,8.808061e-05,8.749364e-05,8.691529e-05,8.634568e-05,8.578492e-05,8.523309e-05,8.469024e-05,8.415642e-05,8.363165e-05,8.311593e-05,8.260924e-05,8.211157e-05,8.162288e-05,8.114311e-05,8.067222e-05,8.021012e-05,7.975676e-05,7.931203e-05,7.887586e-05
0.000000e+00,4.997424e-09,1.139374e-08,3.893156e-08,8.816823e-08,1.283470e-07,2.897865e-07,2.984566e-07,5.748613e-07,6.750020e-07,9.852747e-07,1.308578e-06,1.560606e-06,2.263937e-06,2.333818e-06,3.333378e-06,3.608724e-06,4.570219e-06,5.361620e-06,6.028672e-06,7.468296e-06,7.674403e-06,9.470270e-06,9.844568e-06,1.138479e-05,1.241867e-05,1.339277e-05,1.513637e-05,1.547337e-05,1.760832e-05,1.795381e-05,1.978073e-05,2.083210e-05,2.197469e-05,2.373514e-05,2.417501e-05,2.636734e-05,2.662923e-05,2.853830e-05,2.948355e-05,3.067564e-05,3.227074e-05,3.276840e-05,3.480695e-05,3.496744e-05,3.678315e-05,3.755460e-05,3.869019e-05,4.001735e-05,4.052267e-05,4.227652e-05,4.234500e-05,4.394882e-05,4.453050e-05,4.553771e-05,4.657002e-05,4.704230e-05,4.846257e-05,4.979915e-05,5.020938e-05,5.105331e-05,5.181350e-05,5.222679e-05,5.327938e-05,5.332170e-05,5.434049e-05,5.461246e-05,5.528579e-05,5.581887e-05,5.616043e-05,5.690518e-05,5.696731e-05,5.770940e-05,5.787820e-05,5.838971e-05,5.874481e-05,5.901122e-05,5.951186e-05,5.957689e-05,6.008959e-05,6.018602e-05,6.055210e-05,6.077366e-05,6.096711e-05,6.128093e-05,6.133724e-05,6.166501e-05,6.171369e-05,6.195283e-05,6.207747e-05,6.220299e-05,6.237748e-05,6.241769e-05,6.259902e-05,6.261863e-05,6.274898e-05,6.280551e-05,6.286945e-05,6.294240e-05,6.296223e-05,6.302902e-05,6.303329e-05,6.307144e-05,6.308192e-05,6.309100e-05,6.309174e-05,6.308915e-05,6.306725e-05,6.306597e-05,6.302659e-05,6.300759e-05,6.296838e-05,6.291938e-05,6.289379e-05,6.280388e-05,6.269969e-05,6.266350e-05,6.258219e-05,6.250042e-05,6.245227e-05,6.231668e-05,6.231081e-05,6.215862e-05,6.211418e-05,6.199645e-05,6.189466e-05,6.182503e-05,6.165974e-05,6.164504e-05,6.145712e-05,6.141091e-05,6.126188e-05,6.114956e-05,6.105988e-05,6.087696e-05,6.085166e-05,6.063773e-05,6.059430e-05,6.041856e-05,6.030267e-05,6.019460e-05,6.000308e-05,5.996627e-05,5.973398e-05,5.969647e-05,5.949810e-05,5.938370e-05,5.925898e-05,5.906557e-05,5.901695e-05,5.877233e-05,5.874282e-05,5.852542e-05,5.841612e-05,5.827649e-05,5.808611e-05,5.802580e-05,5.777360e-05,5.775337e-05,5.752012e-05,5.741842e-05,5.726558e-05,5.708177e-05,5.701019e-05,5.675413e-05,5.674387e-05,5.649758e-05,5.640514e-05,5.624073e-05,5.606597e-05,5.598372e-05,5.572671e-05,5.538768e-05,5.504920e-05,5.471154e-05,5.437494e-05,5.403965e-05,5.370587e-05,5.337381e-05,5.304363e-05,5.271550e-05,5.238957e-05,5.206597e-05,5.174482e-05,5.142624e-05,5.111031e-05,5.079714e-05,5.048679e-05,5.017934e-05,4.987485e-05,4.957337e-05,4.927496e-05,4.897966e-05,4.868749e-05,4.839849e-05,4.811269e-05
0.000000e+00,4.142118e-09,9.409999e-09,3.191569e-08,7.179515e-08,1.041304e-07,2.329152e-07,2.397928e-07,4.576093e-07,5.359595e-07,7.772273e-07,1.026594e-06,1.219752e-06,1.754092e-06,1.806865e-06,2.557459e-06,2.763278e-06,3.480727e-06,4.070708e-06,4.567582e-06,5.635748e-06,5.787855e-06,7.098904e-06,7.368183e-06,8.458663e-06,9.173331e-06,9.833149e-06,1.098058e-05,1.119735e-05,1.253329e-05,1.274348e-05,1.382785e-05,1.443158e-05,1.507130e-05,1.602429e-05,1.625634e-05,1.737759e-05,1.750765e-05,1.843121e-05,1.887272e-05,1.941479e-05,2.011468e-05,2.032711e-05,2.116796e-05,2.123216e-05,2.193814e-05,2.222673e-05,2.263912e-05,2.310214e-05,2.327300e-05,2.384237e-05,2.386385e-05,2.435019e-05,2.451854e-05,2.479965e-05,2.507366e-05,2.519411e-05,2.553702e-05,2.583182e-05,2.591655e-05,2.608191e-05,2.622006e-05,2.629064e-05,2.645510e-05,2.646123e-05,2.659675e-05,2.662881e-05,2.670013e-05,2.674788e-05,2.677412e-05,2.681848e-05,2.682133e-05,2.684418e-05,2.684630e-05,2.684494e-05,2.683650e-05,2.682570e-05,2.679378e-05,2.678841e-05,2.673487e-05,2.672236e-05,2.666673e-05,2.662604e-05,2.658551e-05,2.650822e-05,2.649263e-05,2.638935e-05,2.637195e-05,2.627687e-05,2.621993e-05,2.615626e-05,2.605459e-05,2.602851e-05,2.589451e-05,2.587805e-05,2.575510e-05,2.569223e-05,2.561101e-05,2.549881e-05,2.546294e-05,2.531151e-05,2.529927e-05,2.515728e-05,2.509493e-05,2.500078e-05,2.488694e-05,2.484246e-05,2.468275e-05,2.467634e-05,2.452204e-05,2.446401e-05,2.436068e-05,2.425074e-05,2.419897e-05,2.403722e-05,2.387566e-05,2.382405e-05,2.371454e-05,2.361175e-05,2.355407e-05,2.340079e-05,2.339442e-05,2.323577e-05,2.319155e-05,2.307827e-05,2.298438e-05,2.292205e-05,2.277956e-05,2.276723e-05,2.261391e-05,2.257735e-05,2.246219e-05,2.237796e-05,2.231215e-05,2.218156e-05,2.216386e-05,2.201737e-05,2.198830e-05,2.187275e-05,2.179830e-05,2.173004e-05,2.161167e-05,2.158928e-05,2.145049e-05,2.142846e-05,2.131370e-05,2.124876e-05,2.117893e-05,2.107258e-05,2.104620e-05,2.091551e-05,2.089997e-05,2.078688e-05,2.073093e-05,2.066030e-05,2.056548e-05,2.053578e-05,2.041330e-05,2.040359e-05,2.029287e-05,2.024527e-05,2.017448e-05,2.009049e-05,2.005811e-05,1.994375e-05,1.993921e-05,1.983138e-05,1.979141e-05,1.972099e-05,1.964705e-05,1.961256e-05,1.950607e-05,1.936845e-05,1.923411e-05,1.910303e-05,1.897513e-05,1.885036e-05,1.872867e-05,1.861000e-05,1.849428e-05,1.838146e-05,1.827148e-05,1.816428e-05,1.805979e-05,1.795796e-05,1.785873e-05,1.776203e-05,1.766782e-05,1.757602e-05,1.748659e-05,1.739946e-05,1.731458e-05,1.723189e-05,1.715135e-05,1.707289e-05,1.699647e-05
0.000000e+00,2.442332e-09,5.559271e-09,1.891954e-08,4.264563e-08,6.188426e-08,1.382613e-07,1.423249e-07,2.700620e-07,3.155368e-07,4.540108e-07,5.947965e-07,7.023613e-07,9.941867e-07,1.022617e-06,1.421423e-06,1.529454e-06,1.904107e-06,2.212353e-06,2.473841e-06,3.047162e-06,3.130427e-06,3.869053e-06,4.025831e-06,4.679756e-06,5.125210e-06,5.548358e-06,6.310875e-06,6.458651e-06,7.394694e-06,7.545870e-06,8.342278e-06,8.797610e-06,9.289398e-06,1.004004e-05,1.022615e-05,1.114447e-05,1.125311e-05,1.203780e-05,1.242155e-05,1.290087e-05,1.353396e-05,1.372951e-05,1.452051e-05,1.458209e-05,1.527153e-05,1.556036e-05,1.598097e-05,1.646547e-05,1.664789e-05,1.727193e-05,1.729600e-05,1.785322e-05,1.805210e-05,1.839228e-05,1.873517e-05,1.889001e-05,1.934757e-05,1.976631e-05,1.989236e-05,2.014777e-05,2.037310e-05,2.049360e-05,2.079367e-05,2.080551e-05,2.108527e-05,2.115809e-05,2.133465e-05,2.147043e-05,2.155541e-05,2.173474e-05,2.174930e-05,2.191801e-05,2.195493e-05,2.206318e-05,2.213478e-05,2.218639e-05,2.227787e-05,2.228917e-05,2.237297e-05,2.238757e-05,2.243915e-05,2.246704e-05,2.248902e-05,2.251922e-05,2.252382e-05,2.254471e-05,2.254684e-05,2.255278e-05,2.255241e-05,2.254906e-05,2.253825e-05,2.253452e-05,2.251005e-05,2.250648e-05,2.247649e-05,2.245906e-05,2.243464e-05,2.239774e-05,2.238523e-05,2.232895e-05,2.232417e-05,2.226643e-05,2.223981e-05,2.219827e-05,2.214601e-05,2.212501e-05,2.204718e-05,2.204398e-05,2.196525e-05,2.193483e-05,2.187966e-05,2.181957e-05,2.179082e-05,2.169911e-05,2.160488e-05,2.157425e-05,2.150847e-05,2.144576e-05,2.141017e-05,2.131429e-05,2.131026e-05,2.120900e-05,2.118044e-05,2.110663e-05,2.104477e-05,2.100337e-05,2.090775e-05,2.089941e-05,2.079495e-05,2.076982e-05,2.069016e-05,2.063139e-05,2.058519e-05,2.049279e-05,2.048019e-05,2.037530e-05,2.035434e-05,2.027062e-05,2.021632e-05,2.016629e-05,2.007898e-05,2.006239e-05,1.995902e-05,1.994253e-05,1.985626e-05,1.980718e-05,1.975419e-05,1.967308e-05,1.965289e-05,1.955240e-05,1.954040e-05,1.945280e-05,1.940926e-05,1.935412e-05,1.927978e-05,1.925643e-05,1.915974e-05,1.915206e-05,1.906412e-05,1.902616e-05,1.896957e-05,1.890218e-05,1.887613e-05,1.878384e-05,1.878017e-05,1.869269e-05,1.866017e-05,1.860272e-05,1.854222e-05,1.851394e-05,1.842636e-05,1.831261e-05,1.820099e-05,1.809150e-05,1.798415e-05,1.787894e-05,1.777587e-05,1.767492e-05,1.757608e-05,1.747934e-05,1.738468e-05,1.729208e-05,1.720152e-05,1.711297e-05,1.702640e-05,1.694180e-05,1.685912e-05,1.677834e-05,1.669943e-05,1.662236e-05,1.654709e-05,1.647359e-05,1.640184e-05,1.633179e-05,1.626342e-05
0.000000e+00,2.232010e-09,5.075343e-09,1.726929e-08,3.904476e-08,5.685096e-08,1.290341e-07,1.329437e-07,2.594305e-07,3.061125e-07,4.533245e-07,6.101627e-07,7.342284e-07,1.084645e-06,1.119551e-06,1.614154e-06,1.747799e-06,2.202617e-06,2.562536e-06,2.856171e-06,3.462547e-06,3.546571e-06,4.252714e-06,4.394475e-06,4.960234e-06,5.325286e-06,5.659252e-06,6.234561e-06,6.342601e-06,7.004788e-06,7.108470e-06,7.641475e-06,7.936994e-06,8.249248e-06,8.712859e-06,8.825481e-06,9.368287e-06,9.431113e-06,9.876461e-06,1.008891e-05,1.034942e-05,1.068527e-05,1.078711e-05,1.118999e-05,1.122073e-05,1.155885e-05,1.169710e-05,1.189479e-05,1.211702e-05,1.219915e-05,1.247348e-05,1.248385e-05,1.271941e-05,1.280133e-05,1.293866e-05,1.307338e-05,1.313294e-05,1.330396e-05,1.345338e-05,1.349690e-05,1.358282e-05,1.365589e-05,1.369382e-05,1.378440e-05,1.378785e-05,1.386629e-05,1.388564e-05,1.393044e-05,1.396259e-05,1.398152e-05,1.401794e-05,1.402066e-05,1.404890e-05,1.405416e-05,1.406721e-05,1.407347e-05,1.407650e-05,1.407787e-05,1.407759e-05,1.407125e-05,1.406915e-05,1.405817e-05,1.404893e-05,1.403901e-05,1.401865e-05,1.401436e-05,1.398475e-05,1.397959e-05,1.395069e-05,1.393290e-05,1.391264e-05,1.387960e-05,1.387101e-05,1.382619e-05,1.382062e-05,1.377854e-05,1.375675e-05,1.372836e-05,1.368873e-05,1.367597e-05,1.362162e-05,1.361719e-05,1.356556e-05,1.354272e-05,1.350803e-05,1.346581e-05,1.344922e-05,1.338934e-05,1.338692e-05,1.332854e-05,1.330646e-05,1.326698e-05,1.322477e-05,1.320482e-05,1.314219e-05,1.307919e-05,1.305898e-05,1.301595e-05,1.297540e-05,1.295257e-05,1.289167e-05,1.288913e-05,1.282573e-05,1.280799e-05,1.276242e-05,1.272452e-05,1.269929e-05,1.264142e-05,1.263640e-05,1.257380e-05,1.255883e-05,1.251155e-05,1.247685e-05,1.244968e-05,1.239560e-05,1.238825e-05,1.232729e-05,1.231516e-05,1.226684e-05,1.223562e-05,1.220692e-05,1.215703e-05,1.214757e-05,1.208881e-05,1.207946e-05,1.203065e-05,1.200296e-05,1.197312e-05,1.192756e-05,1.191624e-05,1.186002e-05,1.185332e-05,1.180447e-05,1.178024e-05,1.174960e-05,1.170836e-05,1.169543e-05,1.164195e-05,1.163770e-05,1.158918e-05,1.156828e-05,1.153713e-05,1.150009e-05,1.148579e-05,1.143516e-05,1.143315e-05,1.138526e-05,1.136747e-05,1.133607e-05,1.130303e-05,1.128760e-05,1.123986e-05,1.117793e-05,1.111724e-05,1.105779e-05,1.099956e-05,1.094255e-05,1.088674e-05,1.083213e-05,1.077869e-05,1.072642e-05,1.067529e-05,1.062530e-05,1.057642e-05,1.052863e-05,1.048193e-05,1.043629e-05,1.039170e-05,1.034813e-05,1.030558e-05,1.026401e-05,1.022342e-05,1.018378e-05,1.014507e-05,1.010729e-05,1.007040e-05
0.000000e+00,9.577154e-09,2.186217e-08,7.492088e-08,1.702240e-07,2.483054e-07,5.641583e-07,5.812021e-07,1.127862e-06,1.327190e-06,1.947691e-06,2.597124e-06,3.104180e-06,4.516904e-06,4.656791e-06,6.642026e-06,7.182906e-06,9.049597e-06,1.056086e-05,1.181811e-05,1.448474e-05,1.486168e-05,1.809968e-05,1.876467e-05,2.146785e-05,2.325379e-05,2.491651e-05,2.784652e-05,2.840623e-05,3.190457e-05,3.246322e-05,3.538431e-05,3.704111e-05,3.882257e-05,4.153039e-05,4.220029e-05,4.550191e-05,4.589237e-05,4.871504e-05,5.009823e-05,5.183015e-05,5.412768e-05,5.484023e-05,5.774042e-05,5.796759e-05,6.052772e-05,6.161065e-05,6.320062e-05,6.505411e-05,6.575889e-05,6.820327e-05,6.829870e-05,7.053529e-05,7.134771e-05,7.275711e-05,7.420631e-05,7.487134e-05,7.688091e-05,7.878897e-05,7.937864e-05,8.059882e-05,8.170718e-05,8.231391e-05,8.387447e-05,8.393772e-05,8.547370e-05,8.588851e-05,8.692533e-05,8.775725e-05,8.829604e-05,8.948854e-05,8.958922e-05,9.080817e-05,9.109004e-05,9.195611e-05,9.256909e-05,9.303612e-05,9.393273e-05,9.405121e-05,9.500428e-05,9.518770e-05,9.589816e-05,9.634050e-05,9.673557e-05,9.739727e-05,9.751912e-05,9.825132e-05,9.836387e-05,9.893459e-05,9.924585e-05,9.957123e-05,1.000485e-04,1.001635e-04,1.007135e-04,1.007767e-04,1.012233e-04,1.014353e-04,1.016948e-04,1.020287e-04,1.021299e-04,1.025305e-04,1.025611e-04,1.028982e-04,1.030365e-04,1.032347e-04,1.034585e-04,1.035415e-04,1.038202e-04,1.038308e-04,1.040722e-04,1.041566e-04,1.042988e-04,1.044391e-04,1.045014e-04,1.046813e-04,1.048395e-04,1.048857e-04,1.049772e-04,1.050552e-04,1.050956e-04,1.051920e-04,1.051957e-04,1.052784e-04,1.052986e-04,1.053447e-04,1.053770e-04,1.053956e-04,1.054294e-04,1.054317e-04,1.054541e-04,1.054575e-04,1.054634e-04,1.054632e-04,1.054604e-04,1.054481e-04,1.054458e-04,1.054202e-04,1.054139e-04,1.053844e-04,1.053619e-04,1.053389e-04,1.052937e-04,1.052843e-04,1.052212e-04,1.052104e-04,1.051501e-04,1.051133e-04,1.050715e-04,1.050035e-04,1.049859e-04,1.048937e-04,1.048822e-04,1.047953e-04,1.047502e-04,1.046913e-04,1.046086e-04,1.045819e-04,1.044675e-04,1.044582e-04,1.043486e-04,1.042998e-04,1.042254e-04,1.041342e-04,1.040983e-04,1.039675e-04,1.039622e-04,1.038334e-04,1.037843e-04,1.036962e-04,1.036013e-04,1.035562e-04,1.034136e-04,1.032219e-04,1.030267e-04,1.028284e-04,1.026275e-04,1.024244e-04,1.022195e-04,1.020132e-04,1.018057e-04,1.015974e-04,1.013886e-04,1.011796e-04,1.009706e-04,1.007618e-04,1.005535e-04,1.003459e-04,1.001390e-04,9.993323e-05,9.972857e-05,9.952522e-05,9.932330e-05,9.912294e-05,9.892426e-05,9.872733e-05,9.853227e-05
0.000000e+00,2.324289e-06,5.318598e-06,1.835130e-05,4.208017e-05,6.178998e-05,1.437335e-04,1.482504e-04,2.977935e-04,3.543938e-04,5.365426e-04,7.347177e-04,8.929507e-04,1.339485e-03,1.383655e-03,2.001422e-03,2.166245e-03,2.724649e-03,3.167773e-03,3.532637e-03,4.301623e-03,4.410215e-03,5.346344e-03,5.539792e-03,6.332131e-03,6.861695e-03,7.359579e-03,8.249192e-03,8.420985e-03,9.508761e-03,9.684750e-03,1.061542e-02,1.115119e-02,1.173372e-02,1.263209e-02,1.285676e-02,1.397812e-02,1.411229e-02,1.509200e-02,1.557836e-02,1.619317e-02,1.701876e-02,1.727711e-02,1.834000e-02,1.842402e-02,1.937866e-02,1.978674e-02,2.039050e-02,2.110125e-02,2.137348e-02,2.232607e-02,2.236353e-02,2.324716e-02,2.357090e-02,2.413606e-02,2.472188e-02,2.499231e-02,2.581571e-02,2.660635e-02,2.685246e-02,2.736446e-02,2.783276e-02,2.809044e-02,2.875766e-02,2.878484e-02,2.944825e-02,2.962854e-02,3.008136e-02,3.044699e-02,3.068492e-02,3.121477e-02,3.125972e-02,3.180656e-02,3.193373e-02,3.232628e-02,3.260579e-02,3.281972e-02,3.323288e-02,3.328773e-02,3.373115e-02,3.381695e-02,3.415081e-02,3.435993e-02,3.454757e-02,3.486372e-02,3.492221e-02,3.527557e-02,3.533018e-02,3.560841e-02,3.576111e-02,3.592150e-02,3.615827e-02,3.621561e-02,3.649146e-02,3.652337e-02,3.674977e-02,3.685805e-02,3.699123e-02,3.716388e-02,3.721651e-02,3.742627e-02,3.744240e-02,3.762114e-02,3.769505e-02,3.780173e-02,3.792325e-02,3.796864e-02,3.812244e-02,3.812833e-02,3.826369e-02,3.831157e-02,3.839292e-02,3.847421e-02,3.851066e-02,3.861741e-02,3.871364e-02,3.874229e-02,3.879983e-02,3.884993e-02,3.887643e-02,3.894133e-02,3.894386e-02,3.900255e-02,3.901747e-02,3.905290e-02,3.907926e-02,3.909529e-02,3.912759e-02,3.913011e-02,3.915770e-02,3.916329e-02,3.917842e-02,3.918715e-02,3.919260e-02,3.919992e-02,3.920056e-02,3.920260e-02,3.920233e-02,3.919903e-02,3.919504e-02,3.919012e-02,3.917871e-02,3.917615e-02,3.915738e-02,3.915395e-02,3.913407e-02,3.912133e-02,3.910645e-02,3.908141e-02,3.907476e-02,3.903922e-02,3.903471e-02,3.900005e-02,3.898172e-02,3.895745e-02,3.892290e-02,3.891162e-02,3.886274e-02,3.885870e-02,3.881100e-02,3.878954e-02,3.875657e-02,3.871581e-02,3.869962e-02,3.864031e-02,3.863789e-02,3.857878e-02,3.855612e-02,3.851520e-02,3.847085e-02,3.844968e-02,3.838238e-02,3.829102e-02,3.819703e-02,3.810070e-02,3.800226e-02,3.790195e-02,3.779999e-02,3.769659e-02,3.759195e-02,3.748624e-02,3.737964e-02,3.727231e-02,3.716440e-02,3.705605e-02,3.694741e-02,3.683858e-02,3.672969e-02,3.662085e-02,3.651216e-02,3.640371e-02,3.629559e-02,3.618788e-02,3.608066e-02,3.597400e-02,3.586796e-02
0.000000e+00,1.488997e-06,3.401917e-06,1.169621e-05,2.671951e-05,3.914453e-05,9.043864e-05,9.325230e-05,1.858166e-04,2.206078e-04,3.318840e-04,4.519568e-04,5.471824e-04,8.132514e-04,8.393851e-04,1.202288e-03,1.298463e-03,1.622924e-03,1.879289e-03,2.089843e-03,2.532419e-03,2.594808e-03,3.131698e-03,3.242446e-03,3.695378e-03,3.997489e-03,4.281073e-03,4.786629e-03,4.884079e-03,5.499691e-03,5.599047e-03,6.123258e-03,6.424058e-03,6.750250e-03,7.251406e-03,7.376363e-03,7.997633e-03,8.071686e-03,8.610484e-03,8.876642e-03,9.211764e-03,9.659323e-03,9.798778e-03,1.036928e-02,1.041414e-02,1.092144e-02,1.113684e-02,1.145385e-02,1.182435e-02,1.196546e-02,1.245554e-02,1.247469e-02,1.292365e-02,1.308675e-02,1.336960e-02,1.366018e-02,1.379339e-02,1.419521e-02,1.457537e-02,1.469252e-02,1.493431e-02,1.515313e-02,1.527254e-02,1.557831e-02,1.559066e-02,1.588929e-02,1.596950e-02,1.616910e-02,1.632824e-02,1.643079e-02,1.665614e-02,1.667506e-02,1.690262e-02,1.695482e-02,1.711417e-02,1.722591e-02,1.731042e-02,1.747100e-02,1.749205e-02,1.765974e-02,1.769166e-02,1.781413e-02,1.788938e-02,1.795587e-02,1.806561e-02,1.808558e-02,1.820385e-02,1.822175e-02,1.831126e-02,1.835912e-02,1.840836e-02,1.847898e-02,1.849569e-02,1.857375e-02,1.858252e-02,1.864304e-02,1.867087e-02,1.870403e-02,1.874511e-02,1.875716e-02,1.880288e-02,1.880623e-02,1.884158e-02,1.885519e-02,1.887367e-02,1.889288e-02,1.889951e-02,1.891946e-02,1.892014e-02,1.893388e-02,1.893777e-02,1.894307e-02,1.894650e-02,1.894736e-02,1.894703e-02,1.894238e-02,1.894001e-02,1.893365e-02,1.892606e-02,1.892112e-02,1.890573e-02,1.890502e-02,1.888558e-02,1.887957e-02,1.886303e-02,1.884808e-02,1.883756e-02,1.881173e-02,1.880938e-02,1.877868e-02,1.877095e-02,1.874562e-02,1.872615e-02,1.871039e-02,1.867771e-02,1.867314e-02,1.863402e-02,1.862599e-02,1.859319e-02,1.857132e-02,1.855076e-02,1.851400e-02,1.850688e-02,1.846167e-02,1.845432e-02,1.841525e-02,1.839256e-02,1.836771e-02,1.832896e-02,1.831918e-02,1.826974e-02,1.826375e-02,1.821948e-02,1.819714e-02,1.816851e-02,1.812934e-02,1.811690e-02,1.806473e-02,1.806053e-02,1.801207e-02,1.799089e-02,1.795899e-02,1.792056e-02,1.790557e-02,1.785186e-02,1.784971e-02,1.779792e-02,1.777845e-02,1.774380e-02,1.770694e-02,1.768957e-02,1.763526e-02,1.756354e-02,1.749187e-02,1.742035e-02,1.734905e-02,1.727805e-02,1.720742e-02,1.713723e-02,1.706753e-02,1.699838e-02,1.692982e-02,1.686190e-02,1.679465e-02,1.672812e-02,1.666232e-02,1.659730e-02,1.653307e-02,1.646965e-02,1.640707e-02,1.634534e-02,1.628448e-02,1.622449e-02,1.616539e-02,1.610718e-02,1.604987e-02
0.000000e+00,2.892592e-09,6.609842e-09,2.269197e-08,5.161128e-08,7.530731e-08,1.710599e-07,1.762209e-07,3.414467e-07,4.015699e-07,5.884498e-07,7.837091e-07,9.359280e-07,1.358430e-06,1.400104e-06,1.988345e-06,2.147852e-06,2.698299e-06,3.146694e-06,3.523651e-06,4.340548e-06,4.458298e-06,5.497040e-06,5.716852e-06,6.634994e-06,7.264246e-06,7.866990e-06,8.970297e-06,9.187192e-06,1.058894e-05,1.082030e-05,1.206473e-05,1.279701e-05,1.360630e-05,1.488098e-05,1.520479e-05,1.685088e-05,1.705116e-05,1.853505e-05,1.928567e-05,2.024771e-05,2.156256e-05,2.197941e-05,2.372104e-05,2.386053e-05,2.546389e-05,2.615953e-05,2.719984e-05,2.844120e-05,2.892137e-05,3.062165e-05,3.068913e-05,3.229461e-05,3.288913e-05,3.393488e-05,3.502920e-05,3.553782e-05,3.709950e-05,3.861664e-05,3.909227e-05,4.008659e-05,4.100162e-05,4.150729e-05,4.282337e-05,4.287718e-05,4.419519e-05,4.455483e-05,4.546065e-05,4.619458e-05,4.667329e-05,4.774229e-05,4.783314e-05,4.894051e-05,4.919853e-05,4.999596e-05,5.056460e-05,5.100023e-05,5.184240e-05,5.195426e-05,5.285909e-05,5.303425e-05,5.371589e-05,5.414286e-05,5.452592e-05,5.517116e-05,5.529050e-05,5.601099e-05,5.612227e-05,5.668880e-05,5.699941e-05,5.732536e-05,5.780585e-05,5.792207e-05,5.848038e-05,5.854487e-05,5.900170e-05,5.921973e-05,5.948744e-05,5.983365e-05,5.993897e-05,6.035767e-05,6.038978e-05,6.074485e-05,6.089120e-05,6.110183e-05,6.134086e-05,6.142986e-05,6.173019e-05,6.174164e-05,6.200401e-05,6.209632e-05,6.225247e-05,6.240753e-05,6.247672e-05,6.267783e-05,6.285685e-05,6.290965e-05,6.301481e-05,6.310530e-05,6.315268e-05,6.326700e-05,6.327140e-05,6.337188e-05,6.339687e-05,6.345500e-05,6.349690e-05,6.352161e-05,6.356899e-05,6.357250e-05,6.360847e-05,6.361496e-05,6.363025e-05,6.363652e-05,6.363857e-05,6.363530e-05,6.363411e-05,6.361754e-05,6.361283e-05,6.358949e-05,6.357057e-05,6.355057e-05,6.350990e-05,6.350136e-05,6.344242e-05,6.343212e-05,6.337429e-05,6.333847e-05,6.329748e-05,6.323011e-05,6.321248e-05,6.311976e-05,6.310814e-05,6.301977e-05,6.297359e-05,6.291295e-05,6.282744e-05,6.279970e-05,6.268042e-05,6.267062e-05,6.255548e-05,6.250400e-05,6.242525e-05,6.232840e-05,6.229007e-05,6.215026e-05,6.214458e-05,6.200615e-05,6.195327e-05,6.185803e-05,6.175517e-05,6.170619e-05,6.155091e-05,6.134109e-05,6.112629e-05,6.090704e-05,6.068384e-05,6.045716e-05,6.022744e-05,5.999511e-05,5.976053e-05,5.952409e-05,5.928611e-05,5.904692e-05,5.880682e-05,5.856607e-05,5.832495e-05,5.808369e-05,5.784251e-05,5.760163e-05,5.736124e-05,5.712153e-05,5.688265e-05,5.664477e-05,5.640803e-05,5.617257e-05,5.593850e-05
0.000000e+00,2.807606e-09,6.384970e-09,2.171019e-08,4.897621e-08,7.116551e-08,1.601409e-07,1.649172e-07,3.173600e-07,3.727197e-07,5.447886e-07,7.249373e-07,8.658824e-07,1.260643e-06,1.299915e-06,1.860609e-06,2.014348e-06,2.547507e-06,2.981569e-06,3.344034e-06,4.116298e-06,4.225808e-06,5.169726e-06,5.364264e-06,6.157399e-06,6.683483e-06,7.174778e-06,8.044166e-06,8.210779e-06,9.256128e-06,9.423692e-06,1.030263e-05,1.080313e-05,1.134277e-05,1.216561e-05,1.236960e-05,1.337666e-05,1.349589e-05,1.435807e-05,1.478039e-05,1.530858e-05,1.600742e-05,1.622356e-05,1.709921e-05,1.716746e-05,1.793239e-05,1.825320e-05,1.872068e-05,1.925948e-05,1.946240e-05,2.015654e-05,2.018331e-05,2.080268e-05,2.102356e-05,2.140097e-05,2.178076e-05,2.195200e-05,2.245678e-05,2.291665e-05,2.305457e-05,2.333320e-05,2.357788e-05,2.370823e-05,2.403100e-05,2.404368e-05,2.434157e-05,2.441853e-05,2.460399e-05,2.474528e-05,2.483302e-05,2.501605e-05,2.503076e-05,2.519925e-05,2.523556e-05,2.534048e-05,2.540839e-05,2.545638e-05,2.553888e-05,2.554879e-05,2.561948e-05,2.563115e-05,2.567010e-05,2.568903e-05,2.570225e-05,2.571606e-05,2.571740e-05,2.571695e-05,2.571552e-05,2.570220e-05,2.569040e-05,2.567437e-05,2.564345e-05,2.563459e-05,2.558392e-05,2.557715e-05,2.552332e-05,2.549376e-05,2.545372e-05,2.539531e-05,2.537594e-05,2.529077e-05,2.528366e-05,2.519892e-05,2.516046e-05,2.510106e-05,2.502722e-05,2.499779e-05,2.488968e-05,2.488527e-05,2.477725e-05,2.473582e-05,2.466098e-05,2.457995e-05,2.454131e-05,2.441865e-05,2.429337e-05,2.425278e-05,2.416581e-05,2.408312e-05,2.403629e-05,2.391038e-05,2.390510e-05,2.377252e-05,2.373517e-05,2.363878e-05,2.355807e-05,2.350411e-05,2.337958e-05,2.336872e-05,2.323281e-05,2.320013e-05,2.309654e-05,2.302013e-05,2.296008e-05,2.283995e-05,2.282357e-05,2.268715e-05,2.265989e-05,2.255095e-05,2.248024e-05,2.241507e-05,2.230126e-05,2.227962e-05,2.214469e-05,2.212316e-05,2.201038e-05,2.194615e-05,2.187676e-05,2.177040e-05,2.174390e-05,2.161186e-05,2.159607e-05,2.148071e-05,2.142330e-05,2.135050e-05,2.125219e-05,2.122127e-05,2.109307e-05,2.108286e-05,2.096595e-05,2.091540e-05,2.083992e-05,2.074989e-05,2.071503e-05,2.059131e-05,2.058638e-05,2.046877e-05,2.042495e-05,2.034744e-05,2.026563e-05,2.022733e-05,2.010847e-05,1.995349e-05,1.980073e-05,1.965021e-05,1.950193e-05,1.935590e-05,1.921213e-05,1.907063e-05,1.893138e-05,1.879438e-05,1.865962e-05,1.852709e-05,1.839678e-05,1.826866e-05,1.814272e-05,1.801894e-05,1.789730e-05,1.777777e-05,1.766033e-05,1.754496e-05,1.743163e-05,1.732031e-05,1.721098e-05,1.710361e-05,1.699817e-05
0.000000e+00,5.211274e-09,1.192047e-08,4.100828e-08,9.343391e-08,1.364516e-07,3.105236e-07,3.199113e-07,6.204350e-07,7.297260e-07,1.069111e-06,1.423415e-06,1.699806e-06,2.471322e-06,2.547985e-06,3.645377e-06,3.948251e-06,5.009664e-06,5.889281e-06,6.635727e-06,8.263577e-06,8.498532e-06,1.056501e-05,1.099987e-05,1.280323e-05,1.402558e-05,1.518534e-05,1.727972e-05,1.768713e-05,2.028695e-05,2.071067e-05,2.296490e-05,2.427257e-05,2.570244e-05,2.792369e-05,2.848225e-05,3.128825e-05,3.162602e-05,3.410570e-05,3.534550e-05,3.692121e-05,3.905231e-05,3.972285e-05,4.250012e-05,4.272097e-05,4.524392e-05,4.633029e-05,4.794650e-05,4.986311e-05,5.060131e-05,5.320292e-05,5.330582e-05,5.574697e-05,5.664804e-05,5.822996e-05,5.988210e-05,6.064918e-05,6.300262e-05,6.528890e-05,6.600617e-05,6.750711e-05,6.889081e-05,6.965678e-05,7.165590e-05,7.173782e-05,7.375045e-05,7.430179e-05,7.569516e-05,7.682965e-05,7.757261e-05,7.924117e-05,7.938363e-05,8.112922e-05,8.153854e-05,8.281045e-05,8.372428e-05,8.442853e-05,8.580118e-05,8.598470e-05,8.748026e-05,8.777222e-05,8.891657e-05,8.964048e-05,9.029499e-05,9.140916e-05,9.161694e-05,9.288382e-05,9.308150e-05,9.409706e-05,9.466078e-05,9.525808e-05,9.615024e-05,9.636829e-05,9.742910e-05,9.755315e-05,9.844192e-05,9.887271e-05,9.940811e-05,1.001121e-04,1.003291e-04,1.012061e-04,1.012744e-04,1.020406e-04,1.023627e-04,1.028337e-04,1.033800e-04,1.035869e-04,1.043014e-04,1.043292e-04,1.049784e-04,1.052131e-04,1.056190e-04,1.060345e-04,1.062246e-04,1.067962e-04,1.073349e-04,1.075006e-04,1.078420e-04,1.081503e-04,1.083184e-04,1.087479e-04,1.087652e-04,1.091834e-04,1.092955e-04,1.095741e-04,1.097957e-04,1.099382e-04,1.102504e-04,1.102766e-04,1.105903e-04,1.106620e-04,1.108802e-04,1.110324e-04,1.111471e-04,1.113637e-04,1.113920e-04,1.116155e-04,1.116577e-04,1.118186e-04,1.119163e-04,1.120020e-04,1.121413e-04,1.121664e-04,1.123126e-04,1.123344e-04,1.124414e-04,1.124972e-04,1.125533e-04,1.126312e-04,1.126491e-04,1.127295e-04,1.127381e-04,1.127950e-04,1.128192e-04,1.128462e-04,1.128760e-04,1.128838e-04,1.129083e-04,1.129098e-04,1.129203e-04,1.129218e-04,1.129204e-04,1.129133e-04,1.129089e-04,1.128866e-04,1.128854e-04,1.128537e-04,1.128394e-04,1.128109e-04,1.127762e-04,1.127585e-04,1.126970e-04,1.126026e-04,1.124941e-04,1.123722e-04,1.122380e-04,1.120922e-04,1.119356e-04,1.117689e-04,1.115929e-04,1.114083e-04,1.112156e-04,1.110155e-04,1.108086e-04,1.105955e-04,1.103767e-04,1.101527e-04,1.099239e-04,1.096909e-04,1.094541e-04,1.092138e-04,1.089706e-04,1.087247e-04,1.084765e-04,1.082263e-04,1.079745e-04
0.000000e+00,2.071844e-09,4.727667e-09,1.617248e-08,3.662428e-08,5.328167e-08,1.198085e-07,1.233613e-07,2.355024e-07,2.755938e-07,3.980637e-07,5.230423e-07,6.187755e-07,8.793359e-07,9.047757e-07,1.262517e-06,1.359683e-06,1.697441e-06,1.976211e-06,2.213309e-06,2.735170e-06,2.811202e-06,3.488645e-06,3.633203e-06,4.239606e-06,4.656382e-06,5.055546e-06,5.784141e-06,5.926876e-06,6.843975e-06,6.994336e-06,7.797653e-06,8.265851e-06,8.779261e-06,9.579178e-06,9.780672e-06,1.079426e-05,1.091636e-05,1.181289e-05,1.226095e-05,1.282994e-05,1.359808e-05,1.383934e-05,1.483561e-05,1.491459e-05,1.581384e-05,1.619911e-05,1.676977e-05,1.744215e-05,1.769973e-05,1.860063e-05,1.863602e-05,1.946997e-05,1.977481e-05,2.030577e-05,2.085418e-05,2.110655e-05,2.187126e-05,2.259926e-05,2.282441e-05,2.329026e-05,2.371307e-05,2.394426e-05,2.453754e-05,2.456153e-05,2.514253e-05,2.529880e-05,2.568794e-05,2.599843e-05,2.619857e-05,2.663843e-05,2.667535e-05,2.711930e-05,2.722109e-05,2.753152e-05,2.774893e-05,2.791316e-05,2.822463e-05,2.826539e-05,2.858940e-05,2.865093e-05,2.888641e-05,2.903058e-05,2.915761e-05,2.936633e-05,2.940418e-05,2.962731e-05,2.966091e-05,2.982813e-05,2.991694e-05,3.000778e-05,3.013699e-05,3.016735e-05,3.030789e-05,3.032352e-05,3.043041e-05,3.047887e-05,3.053590e-05,3.060526e-05,3.062530e-05,3.069953e-05,3.070483e-05,3.075944e-05,3.077960e-05,3.080590e-05,3.083145e-05,3.083968e-05,3.086156e-05,3.086219e-05,3.087226e-05,3.087351e-05,3.087248e-05,3.086698e-05,3.086288e-05,3.084410e-05,3.081674e-05,3.080626e-05,3.078136e-05,3.075477e-05,3.073852e-05,3.069085e-05,3.068873e-05,3.063247e-05,3.061563e-05,3.057022e-05,3.053018e-05,3.050242e-05,3.043549e-05,3.042948e-05,3.035180e-05,3.033249e-05,3.026975e-05,3.022203e-05,3.018369e-05,3.010491e-05,3.009396e-05,3.000087e-05,2.998188e-05,2.990473e-05,2.985362e-05,2.980581e-05,2.972077e-05,2.970438e-05,2.960070e-05,2.958392e-05,2.949501e-05,2.944363e-05,2.938753e-05,2.930039e-05,2.927846e-05,2.916802e-05,2.915469e-05,2.905639e-05,2.900694e-05,2.894374e-05,2.885754e-05,2.883024e-05,2.871604e-05,2.870688e-05,2.860129e-05,2.855527e-05,2.848614e-05,2.840304e-05,2.837070e-05,2.825509e-05,2.825047e-05,2.813944e-05,2.809781e-05,2.802384e-05,2.794531e-05,2.790839e-05,2.779318e-05,2.764163e-05,2.749083e-05,2.734095e-05,2.719214e-05,2.704452e-05,2.689822e-05,2.675336e-05,2.661001e-05,2.646828e-05,2.632824e-05,2.618995e-05,2.605347e-05,2.591886e-05,2.578615e-05,2.565538e-05,2.552659e-05,2.539980e-05,2.527502e-05,2.515228e-05,2.503158e-05,2.491293e-05,2.479633e-05,2.468178e-05,2.456928e-05
0.000000e+00,3.776595e-09,8.548788e-09,2.877548e-08,6.427276e-08,9.284901e-08,2.054946e-07,2.114698e-07,3.992016e-07,4.661533e-07,6.708502e-07,8.803728e-07,1.041258e-06,1.478714e-06,1.521206e-06,2.108769e-06,2.264074e-06,2.786503e-06,3.196713e-06,3.531293e-06,4.226333e-06,4.323338e-06,5.147513e-06,5.315104e-06,5.991721e-06,6.435105e-06,6.845477e-06,7.562983e-06,7.699203e-06,8.544027e-06,8.677822e-06,9.371874e-06,9.761062e-06,1.017556e-05,1.079693e-05,1.094892e-05,1.168694e-05,1.177293e-05,1.238574e-05,1.268005e-05,1.304259e-05,1.351263e-05,1.365575e-05,1.422450e-05,1.426808e-05,1.474894e-05,1.494647e-05,1.522987e-05,1.554991e-05,1.566860e-05,1.606689e-05,1.608201e-05,1.642680e-05,1.654740e-05,1.675058e-05,1.695131e-05,1.704058e-05,1.729921e-05,1.752891e-05,1.759670e-05,1.773201e-05,1.784900e-05,1.791062e-05,1.806108e-05,1.806693e-05,1.820291e-05,1.823759e-05,1.832041e-05,1.838277e-05,1.842118e-05,1.850047e-05,1.850680e-05,1.857873e-05,1.859410e-05,1.863826e-05,1.866664e-05,1.868661e-05,1.872078e-05,1.872488e-05,1.875405e-05,1.875888e-05,1.877505e-05,1.878300e-05,1.878865e-05,1.879491e-05,1.879561e-05,1.879656e-05,1.879620e-05,1.879211e-05,1.878821e-05,1.878278e-05,1.877214e-05,1.876907e-05,1.875142e-05,1.874905e-05,1.873021e-05,1.871985e-05,1.870581e-05,1.868533e-05,1.867854e-05,1.864868e-05,1.864619e-05,1.861652e-05,1.860306e-05,1.858228e-05,1.855647e-05,1.854619e-05,1.850845e-05,1.850691e-05,1.846925e-05,1.845480e-05,1.842873e-05,1.840052e-05,1.838707e-05,1.834440e-05,1.830084e-05,1.828674e-05,1.825652e-05,1.822780e-05,1.821154e-05,1.816783e-05,1.816600e-05,1.811999e-05,1.810703e-05,1.807359e-05,1.804560e-05,1.802689e-05,1.798371e-05,1.797995e-05,1.793284e-05,1.792151e-05,1.788561e-05,1.785914e-05,1.783833e-05,1.779672e-05,1.779105e-05,1.774381e-05,1.773437e-05,1.769665e-05,1.767218e-05,1.764962e-05,1.761024e-05,1.760275e-05,1.755609e-05,1.754864e-05,1.750965e-05,1.748745e-05,1.746346e-05,1.742672e-05,1.741757e-05,1.737198e-05,1.736653e-05,1.732672e-05,1.730692e-05,1.728182e-05,1.724794e-05,1.723728e-05,1.719314e-05,1.718962e-05,1.714939e-05,1.713201e-05,1.710606e-05,1.707514e-05,1.706317e-05,1.702071e-05,1.701902e-05,1.697871e-05,1.696370e-05,1.693717e-05,1.690918e-05,1.689609e-05,1.685549e-05,1.680264e-05,1.675065e-05,1.669951e-05,1.664925e-05,1.659986e-05,1.655135e-05,1.650372e-05,1.645697e-05,1.641110e-05,1.636611e-05,1.632200e-05,1.627876e-05,1.623639e-05,1.619488e-05,1.615422e-05,1.611440e-05,1.607543e-05,1.603728e-05,1.599995e-05,1.596343e-05,1.592771e-05,1.589278e-05,1.585862e-05,1.582524e-05
0.000000e+00,2.639744e-09,6.020386e-09,2.057681e-08,4.657998e-08,6.776586e-08,1.525320e-07,1.570674e-07,3.007471e-07,3.523753e-07,5.109707e-07,6.741520e-07,7.999832e-07,1.145250e-06,1.179109e-06,1.655608e-06,1.784611e-06,2.229423e-06,2.591060e-06,2.894278e-06,3.547890e-06,3.641647e-06,4.463078e-06,4.635538e-06,5.350509e-06,5.835416e-06,6.295969e-06,7.129044e-06,7.291306e-06,8.328110e-06,8.497273e-06,9.397762e-06,9.920308e-06,1.049157e-05,1.137823e-05,1.160094e-05,1.271757e-05,1.285167e-05,1.383358e-05,1.432253e-05,1.494168e-05,1.577444e-05,1.603524e-05,1.710838e-05,1.719319e-05,1.815600e-05,1.856690e-05,1.917377e-05,1.988604e-05,2.015810e-05,2.110612e-05,2.114326e-05,2.201562e-05,2.233328e-05,2.288500e-05,2.345269e-05,2.371319e-05,2.449960e-05,2.524405e-05,2.547344e-05,2.594673e-05,2.637473e-05,2.660810e-05,2.720481e-05,2.722888e-05,2.780996e-05,2.796570e-05,2.835243e-05,2.865986e-05,2.885746e-05,2.929013e-05,2.932634e-05,2.976040e-05,2.985955e-05,3.016103e-05,3.037131e-05,3.052964e-05,3.082864e-05,3.086762e-05,3.117641e-05,3.123478e-05,3.145738e-05,3.159296e-05,3.171192e-05,3.190628e-05,3.194135e-05,3.214698e-05,3.217775e-05,3.233005e-05,3.241028e-05,3.249180e-05,3.260663e-05,3.263339e-05,3.275596e-05,3.276944e-05,3.286060e-05,3.290123e-05,3.294834e-05,3.300434e-05,3.302018e-05,3.307707e-05,3.308100e-05,3.311992e-05,3.313333e-05,3.314960e-05,3.316328e-05,3.316693e-05,3.317270e-05,3.317270e-05,3.316766e-05,3.316333e-05,3.315250e-05,3.313677e-05,3.312792e-05,3.309454e-05,3.305298e-05,3.303804e-05,3.300380e-05,3.296859e-05,3.294756e-05,3.288740e-05,3.288477e-05,3.281592e-05,3.279562e-05,3.274147e-05,3.269429e-05,3.266185e-05,3.258440e-05,3.257748e-05,3.248876e-05,3.246685e-05,3.239603e-05,3.234250e-05,3.229967e-05,3.221211e-05,3.219998e-05,3.209729e-05,3.207642e-05,3.199188e-05,3.193609e-05,3.188403e-05,3.179174e-05,3.177399e-05,3.166202e-05,3.164393e-05,3.154833e-05,3.149321e-05,3.143314e-05,3.134005e-05,3.131665e-05,3.119906e-05,3.118489e-05,3.108055e-05,3.102815e-05,3.096127e-05,3.087021e-05,3.084139e-05,3.072105e-05,3.071141e-05,3.060039e-05,3.055207e-05,3.047954e-05,3.039247e-05,3.035862e-05,3.023773e-05,3.023290e-05,3.011699e-05,3.007358e-05,2.999650e-05,2.991474e-05,2.987633e-05,2.975658e-05,2.959928e-05,2.944301e-05,2.928790e-05,2.913411e-05,2.898174e-05,2.883091e-05,2.868171e-05,2.853423e-05,2.838854e-05,2.824470e-05,2.810277e-05,2.796281e-05,2.782484e-05,2.768892e-05,2.755506e-05,2.742329e-05,2.729362e-05,2.716608e-05,2.704066e-05,2.691738e-05,2.679623e-05,2.667721e-05,2.656032e-05,2.644555e-05
0.000000e+00,3.534797e-08,8.059900e-08,2.754646e-07,6.239961e-07,9.084956e-07,2.052271e-06,2.113725e-06,4.073973e-06,4.784459e-06,6.984375e-06,9.267815e-06,1.103486e-05,1.586652e-05,1.633696e-05,2.286809e-05,2.460811e-05,3.053293e-05,3.528437e-05,3.923649e-05,4.769026e-05,4.889762e-05,5.943914e-05,6.164603e-05,7.077915e-05,7.696190e-05,8.282731e-05,9.342266e-05,9.548441e-05,1.086441e-04,1.107889e-04,1.221956e-04,1.288066e-04,1.360269e-04,1.472191e-04,1.500276e-04,1.640922e-04,1.657795e-04,1.781219e-04,1.842604e-04,1.920266e-04,2.024606e-04,2.057258e-04,2.191497e-04,2.202099e-04,2.322390e-04,2.373697e-04,2.449446e-04,2.538329e-04,2.572276e-04,2.690580e-04,2.695214e-04,2.804141e-04,2.843833e-04,2.912819e-04,2.983887e-04,3.016534e-04,3.115266e-04,3.209038e-04,3.238007e-04,3.297914e-04,3.352268e-04,3.381989e-04,3.458295e-04,3.461383e-04,3.536234e-04,3.556398e-04,3.606695e-04,3.646933e-04,3.672931e-04,3.730282e-04,3.735111e-04,3.793409e-04,3.806842e-04,3.848000e-04,3.877017e-04,3.899058e-04,3.941204e-04,3.946756e-04,3.991261e-04,3.999794e-04,4.032739e-04,4.053164e-04,4.071348e-04,4.101674e-04,4.107241e-04,4.140566e-04,4.145669e-04,4.171464e-04,4.185474e-04,4.200071e-04,4.221394e-04,4.226516e-04,4.250921e-04,4.253718e-04,4.273402e-04,4.282714e-04,4.294071e-04,4.308633e-04,4.313033e-04,4.330387e-04,4.331709e-04,4.346227e-04,4.352159e-04,4.360642e-04,4.370186e-04,4.373717e-04,4.385531e-04,4.385978e-04,4.396158e-04,4.399708e-04,4.405671e-04,4.411537e-04,4.414136e-04,4.421616e-04,4.428171e-04,4.430082e-04,4.433857e-04,4.437064e-04,4.438727e-04,4.442681e-04,4.442831e-04,4.446216e-04,4.447042e-04,4.448928e-04,4.450249e-04,4.451007e-04,4.452397e-04,4.452495e-04,4.453427e-04,4.453572e-04,4.453840e-04,4.453857e-04,4.453766e-04,4.453324e-04,4.453238e-04,4.452284e-04,4.452045e-04,4.450933e-04,4.450083e-04,4.449211e-04,4.447497e-04,4.447144e-04,4.444753e-04,4.444343e-04,4.442063e-04,4.440671e-04,4.439093e-04,4.436530e-04,4.435864e-04,4.432394e-04,4.431962e-04,4.428701e-04,4.427010e-04,4.424801e-04,4.421709e-04,4.420711e-04,4.416444e-04,4.416096e-04,4.412016e-04,4.410202e-04,4.407439e-04,4.404058e-04,4.402725e-04,4.397887e-04,4.397691e-04,4.392936e-04,4.391128e-04,4.387882e-04,4.384391e-04,4.382735e-04,4.377505e-04,4.370487e-04,4.363359e-04,4.356137e-04,4.348837e-04,4.341475e-04,4.334065e-04,4.326619e-04,4.319149e-04,4.311667e-04,4.304182e-04,4.296703e-04,4.289240e-04,4.281801e-04,4.274391e-04,4.267019e-04,4.259689e-04,4.252409e-04,4.245182e-04,4.238014e-04,4.230909e-04,4.223870e-04,4.216900e-04,4.210004e-04,4.203184e-04
0.000000e+00,4.205851e-09,9.603551e-09,3.292837e-08,7.484818e-08,1.092090e-07,2.483580e-07,2.558747e-07,4.975266e-07,5.859511e-07,8.623946e-07,1.153558e-06,1.381932e-06,2.020345e-06,2.083562e-06,2.977277e-06,3.219440e-06,4.052183e-06,4.725839e-06,5.288314e-06,6.494482e-06,6.666900e-06,8.172652e-06,8.487898e-06,9.792606e-06,1.067610e-05,1.151470e-05,1.303135e-05,1.332684e-05,1.521650e-05,1.552517e-05,1.717060e-05,1.812750e-05,1.917563e-05,2.080711e-05,2.121788e-05,2.328370e-05,2.353254e-05,2.535978e-05,2.627322e-05,2.743344e-05,2.900046e-05,2.949280e-05,3.152696e-05,3.168830e-05,3.352615e-05,3.431406e-05,3.548175e-05,3.685859e-05,3.738635e-05,3.923368e-05,3.930630e-05,4.101858e-05,4.164507e-05,4.273707e-05,4.386611e-05,4.438608e-05,4.596346e-05,4.746786e-05,4.793373e-05,4.889863e-05,4.977563e-05,5.025571e-05,5.148960e-05,5.153956e-05,5.275108e-05,5.307751e-05,5.389153e-05,5.454232e-05,5.496247e-05,5.588787e-05,5.596568e-05,5.690313e-05,5.711856e-05,5.777692e-05,5.823926e-05,5.858926e-05,5.925507e-05,5.934240e-05,6.003865e-05,6.017128e-05,6.068033e-05,6.099319e-05,6.126972e-05,6.172610e-05,6.180913e-05,6.230081e-05,6.237519e-05,6.274695e-05,6.294556e-05,6.314971e-05,6.344209e-05,6.351118e-05,6.383341e-05,6.386953e-05,6.411834e-05,6.423240e-05,6.436790e-05,6.453502e-05,6.458389e-05,6.476810e-05,6.478151e-05,6.492220e-05,6.497578e-05,6.504783e-05,6.512153e-05,6.514654e-05,6.521982e-05,6.522225e-05,6.526911e-05,6.528124e-05,6.529576e-05,6.530162e-05,6.530107e-05,6.528630e-05,6.525263e-05,6.523805e-05,6.520119e-05,6.515944e-05,6.513306e-05,6.505291e-05,6.504927e-05,6.495080e-05,6.492073e-05,6.483858e-05,6.476502e-05,6.471350e-05,6.458779e-05,6.457640e-05,6.442808e-05,6.439090e-05,6.426930e-05,6.417610e-05,6.410080e-05,6.394502e-05,6.392325e-05,6.373732e-05,6.369918e-05,6.354362e-05,6.344002e-05,6.334273e-05,6.316885e-05,6.313523e-05,6.292163e-05,6.288692e-05,6.270244e-05,6.259538e-05,6.247814e-05,6.229531e-05,6.224917e-05,6.201596e-05,6.198771e-05,6.177891e-05,6.167350e-05,6.153842e-05,6.135355e-05,6.129483e-05,6.104849e-05,6.102867e-05,6.079972e-05,6.069961e-05,6.054884e-05,6.036705e-05,6.029612e-05,6.004184e-05,6.003164e-05,5.978626e-05,5.969398e-05,5.952962e-05,5.935461e-05,5.927214e-05,5.901404e-05,5.867275e-05,5.833117e-05,5.798970e-05,5.764871e-05,5.730854e-05,5.696949e-05,5.663186e-05,5.629591e-05,5.596187e-05,5.562997e-05,5.530040e-05,5.497334e-05,5.464895e-05,5.432739e-05,5.400878e-05,5.369324e-05,5.338088e-05,5.307180e-05,5.276607e-05,5.246376e-05,5.216495e-05,5.186967e-05,5.157799e-05,5.128994e-05
0.000000e+00,7.092421e-09,1.611086e-08,5.459811e-08,1.226022e-07,1.775499e-07,3.946874e-07,4.062078e-07,7.672969e-07,8.954876e-07,1.285112e-06,1.680487e-06,1.982223e-06,2.799709e-06,2.879261e-06,3.992830e-06,4.293438e-06,5.330587e-06,6.175563e-06,6.884913e-06,8.412344e-06,8.630816e-06,1.053178e-05,1.092709e-05,1.254863e-05,1.363099e-05,1.464516e-05,1.644444e-05,1.678957e-05,1.895410e-05,1.930061e-05,2.111423e-05,2.214305e-05,2.324824e-05,2.492366e-05,2.533694e-05,2.736360e-05,2.760193e-05,2.931398e-05,3.014487e-05,3.117632e-05,3.252700e-05,3.294130e-05,3.460196e-05,3.473015e-05,3.615356e-05,3.674298e-05,3.759336e-05,3.856019e-05,3.892042e-05,4.013535e-05,4.018164e-05,4.124009e-05,4.161137e-05,4.223763e-05,4.285665e-05,4.313180e-05,4.392707e-05,4.462840e-05,4.483384e-05,4.524104e-05,4.558907e-05,4.577039e-05,4.620529e-05,4.622193e-05,4.660109e-05,4.669501e-05,4.691320e-05,4.707044e-05,4.716344e-05,4.734328e-05,4.735676e-05,4.749793e-05,4.752455e-05,4.759141e-05,4.762453e-05,4.764145e-05,4.765271e-05,4.765202e-05,4.762682e-05,4.761780e-05,4.756931e-05,4.752770e-05,4.748267e-05,4.738956e-05,4.736987e-05,4.723365e-05,4.720985e-05,4.707651e-05,4.699434e-05,4.690077e-05,4.674821e-05,4.670855e-05,4.650179e-05,4.647609e-05,4.628227e-05,4.618206e-05,4.605162e-05,4.586979e-05,4.581131e-05,4.556271e-05,4.554250e-05,4.530704e-05,4.520305e-05,4.504542e-05,4.485395e-05,4.477887e-05,4.450832e-05,4.449743e-05,4.423461e-05,4.413544e-05,4.395848e-05,4.376970e-05,4.368064e-05,4.340170e-05,4.312223e-05,4.303277e-05,4.284273e-05,4.266404e-05,4.256365e-05,4.229652e-05,4.228542e-05,4.200838e-05,4.193108e-05,4.173288e-05,4.156844e-05,4.145921e-05,4.120927e-05,4.118763e-05,4.091837e-05,4.085412e-05,4.065164e-05,4.050344e-05,4.038762e-05,4.015765e-05,4.012647e-05,3.986832e-05,3.981707e-05,3.961331e-05,3.948198e-05,3.936154e-05,3.915261e-05,3.911309e-05,3.886803e-05,3.882914e-05,3.862644e-05,3.851172e-05,3.838835e-05,3.820044e-05,3.815382e-05,3.792287e-05,3.789540e-05,3.769552e-05,3.759663e-05,3.747179e-05,3.730418e-05,3.725168e-05,3.703521e-05,3.701804e-05,3.682235e-05,3.673821e-05,3.661310e-05,3.646466e-05,3.640744e-05,3.620536e-05,3.619735e-05,3.600684e-05,3.593623e-05,3.581184e-05,3.568124e-05,3.562033e-05,3.543230e-05,3.518933e-05,3.495226e-05,3.472098e-05,3.449541e-05,3.427545e-05,3.406099e-05,3.385194e-05,3.364817e-05,3.344960e-05,3.325610e-05,3.306757e-05,3.288390e-05,3.270498e-05,3.253071e-05,3.236098e-05,3.219567e-05,3.203468e-05,3.187791e-05,3.172526e-05,3.157662e-05,3.143190e-05,3.129098e-05,3.115378e-05,3.102021e-05
0.000000e+00,1.614779e-05,3.683193e-05,1.259761e-04,2.855915e-04,4.160026e-04,9.411149e-04,9.693605e-04,1.871838e-03,2.199643e-03,3.217451e-03,4.280110e-03,5.108679e-03,7.412390e-03,7.640030e-03,1.085848e-02,1.173140e-02,1.473526e-02,1.716465e-02,1.919025e-02,2.351865e-02,2.413526e-02,2.949347e-02,3.060879e-02,3.519949e-02,3.828447e-02,4.119471e-02,4.641348e-02,4.742354e-02,5.383166e-02,5.487002e-02,6.036562e-02,6.353119e-02,6.697311e-02,7.227815e-02,7.360383e-02,8.021027e-02,8.099929e-02,8.674854e-02,8.959338e-02,9.317893e-02,9.797218e-02,9.946647e-02,1.055811e-01,1.060620e-01,1.114975e-01,1.138039e-01,1.171953e-01,1.211533e-01,1.226586e-01,1.278753e-01,1.280788e-01,1.328375e-01,1.345606e-01,1.375404e-01,1.405894e-01,1.419824e-01,1.461635e-01,1.500862e-01,1.512876e-01,1.537550e-01,1.559722e-01,1.571752e-01,1.602312e-01,1.603538e-01,1.632984e-01,1.640821e-01,1.660171e-01,1.675435e-01,1.685185e-01,1.706354e-01,1.708114e-01,1.729049e-01,1.733787e-01,1.748080e-01,1.757940e-01,1.765299e-01,1.779023e-01,1.780794e-01,1.794653e-01,1.797235e-01,1.806961e-01,1.812776e-01,1.817801e-01,1.825833e-01,1.827255e-01,1.835400e-01,1.836587e-01,1.842310e-01,1.845210e-01,1.848058e-01,1.851866e-01,1.852712e-01,1.856338e-01,1.856707e-01,1.859000e-01,1.859881e-01,1.860756e-01,1.861522e-01,1.861665e-01,1.861782e-01,1.861758e-01,1.861157e-01,1.860711e-01,1.859840e-01,1.858490e-01,1.857878e-01,1.855316e-01,1.855202e-01,1.852195e-01,1.850943e-01,1.848556e-01,1.845804e-01,1.844435e-01,1.839869e-01,1.834892e-01,1.833218e-01,1.829535e-01,1.825922e-01,1.823829e-01,1.818050e-01,1.817803e-01,1.811482e-01,1.809663e-01,1.804893e-01,1.800821e-01,1.798060e-01,1.791577e-01,1.791005e-01,1.783749e-01,1.781980e-01,1.776313e-01,1.772076e-01,1.768714e-01,1.761908e-01,1.760972e-01,1.753102e-01,1.751514e-01,1.745121e-01,1.740931e-01,1.737042e-01,1.730192e-01,1.728881e-01,1.720649e-01,1.719326e-01,1.712359e-01,1.708362e-01,1.704022e-01,1.697326e-01,1.695648e-01,1.687249e-01,1.686240e-01,1.678833e-01,1.675126e-01,1.670408e-01,1.664005e-01,1.661983e-01,1.653565e-01,1.652893e-01,1.645162e-01,1.641806e-01,1.636780e-01,1.630761e-01,1.628424e-01,1.620101e-01,1.619769e-01,1.611816e-01,1.608843e-01,1.603573e-01,1.597995e-01,1.595377e-01,1.587233e-01,1.576566e-01,1.566003e-01,1.555551e-01,1.545214e-01,1.535000e-01,1.524913e-01,1.514956e-01,1.505134e-01,1.495449e-01,1.485904e-01,1.476501e-01,1.467242e-01,1.458128e-01,1.449159e-01,1.440337e-01,1.431662e-01,1.423133e-01,1.414751e-01,1.406516e-01,1.398425e-01,1.390480e-01,1.382679e-01,1.375020e-01,1.367503e-01
0.000000e+00,1.732705e-09,3.947123e-09,1.346070e-08,3.041960e-08,4.422219e-08,9.942196e-08,1.023760e-07,1.960680e-07,2.297983e-07,3.336564e-07,4.409117e-07,5.238952e-07,7.528790e-07,7.754393e-07,1.094901e-06,1.181962e-06,1.483369e-06,1.728882e-06,1.934307e-06,2.373639e-06,2.436130e-06,2.976718e-06,3.088540e-06,3.545723e-06,3.849973e-06,4.134706e-06,4.639692e-06,4.736601e-06,5.345273e-06,5.442917e-06,5.955271e-06,6.247090e-06,6.561726e-06,7.041424e-06,7.160328e-06,7.747333e-06,7.816838e-06,8.319562e-06,8.565967e-06,8.874396e-06,9.283136e-06,9.409753e-06,9.924055e-06,9.964253e-06,1.041618e-05,1.060665e-05,1.088541e-05,1.120887e-05,1.133138e-05,1.175403e-05,1.177046e-05,1.215353e-05,1.229176e-05,1.253027e-05,1.277371e-05,1.288477e-05,1.321770e-05,1.352980e-05,1.362540e-05,1.382187e-05,1.399868e-05,1.409477e-05,1.433951e-05,1.434936e-05,1.458650e-05,1.464990e-05,1.480708e-05,1.493184e-05,1.501195e-05,1.518727e-05,1.520194e-05,1.537787e-05,1.541809e-05,1.554052e-05,1.562608e-05,1.569063e-05,1.581294e-05,1.582893e-05,1.595611e-05,1.598027e-05,1.607282e-05,1.612957e-05,1.617967e-05,1.626225e-05,1.627726e-05,1.636614e-05,1.637959e-05,1.644683e-05,1.648280e-05,1.651982e-05,1.657300e-05,1.658560e-05,1.664458e-05,1.665123e-05,1.669720e-05,1.671844e-05,1.674384e-05,1.677552e-05,1.678487e-05,1.682064e-05,1.682329e-05,1.685147e-05,1.686249e-05,1.687768e-05,1.689384e-05,1.689954e-05,1.691734e-05,1.691797e-05,1.693133e-05,1.693548e-05,1.694174e-05,1.694691e-05,1.694882e-05,1.695276e-05,1.695378e-05,1.695351e-05,1.695205e-05,1.694959e-05,1.694777e-05,1.694140e-05,1.694108e-05,1.693217e-05,1.692929e-05,1.692116e-05,1.691361e-05,1.690821e-05,1.689468e-05,1.689344e-05,1.687697e-05,1.687278e-05,1.685893e-05,1.684819e-05,1.683943e-05,1.682114e-05,1.681857e-05,1.679644e-05,1.679187e-05,1.677314e-05,1.676059e-05,1.674875e-05,1.672749e-05,1.672336e-05,1.669705e-05,1.669276e-05,1.666988e-05,1.665656e-05,1.664193e-05,1.661905e-05,1.661326e-05,1.658394e-05,1.658038e-05,1.655401e-05,1.654067e-05,1.652354e-05,1.650004e-05,1.649257e-05,1.646116e-05,1.645863e-05,1.642934e-05,1.641652e-05,1.639717e-05,1.637381e-05,1.636468e-05,1.633192e-05,1.633060e-05,1.629891e-05,1.628698e-05,1.626570e-05,1.624301e-05,1.623231e-05,1.619877e-05,1.615433e-05,1.610975e-05,1.606508e-05,1.602039e-05,1.597570e-05,1.593108e-05,1.588656e-05,1.584219e-05,1.579798e-05,1.575399e-05,1.571023e-05,1.566674e-05,1.562355e-05,1.558066e-05,1.553811e-05,1.549591e-05,1.545408e-05,1.541264e-05,1.537160e-05,1.533098e-05,1.529078e-05,1.525101e-05,1.521169e-05,1.517283e-05
0.000000e+00,3.334870e-09,7.610217e-09,2.604689e-08,5.905417e-08,8.599947e-08,1.941906e-07,1.999947e-07,3.845688e-07,4.511950e-07,6.567415e-07,8.694621e-07,1.034245e-06,1.489303e-06,1.534137e-06,2.168427e-06,2.341064e-06,2.938340e-06,3.425180e-06,3.833458e-06,4.711670e-06,4.837297e-06,5.932883e-06,6.161626e-06,7.104839e-06,7.739808e-06,8.339368e-06,9.415413e-06,9.623768e-06,1.094609e-05,1.116042e-05,1.229502e-05,1.294879e-05,1.365988e-05,1.475655e-05,1.503075e-05,1.639855e-05,1.656209e-05,1.775514e-05,1.834660e-05,1.909334e-05,2.009425e-05,2.040699e-05,2.169093e-05,2.179223e-05,2.294093e-05,2.343064e-05,2.415359e-05,2.500210e-05,2.532631e-05,2.645719e-05,2.650154e-05,2.754495e-05,2.792582e-05,2.858881e-05,2.927339e-05,2.958847e-05,3.054399e-05,3.145573e-05,3.173834e-05,3.232431e-05,3.285792e-05,3.315054e-05,3.390480e-05,3.393541e-05,3.468000e-05,3.488143e-05,3.538548e-05,3.579051e-05,3.605310e-05,3.663494e-05,3.668411e-05,3.727981e-05,3.741767e-05,3.784151e-05,3.814170e-05,3.837051e-05,3.881000e-05,3.886809e-05,3.933552e-05,3.942550e-05,3.977405e-05,3.999106e-05,4.018488e-05,4.050945e-05,4.056921e-05,4.092819e-05,4.098335e-05,4.126292e-05,4.141530e-05,4.157449e-05,4.180777e-05,4.186393e-05,4.213226e-05,4.216309e-05,4.238044e-05,4.248350e-05,4.260940e-05,4.277111e-05,4.282003e-05,4.301321e-05,4.302793e-05,4.318974e-05,4.325587e-05,4.335043e-05,4.345674e-05,4.349603e-05,4.362728e-05,4.363224e-05,4.374486e-05,4.378398e-05,4.384946e-05,4.391350e-05,4.394171e-05,4.402222e-05,4.409158e-05,4.411151e-05,4.415034e-05,4.418264e-05,4.419905e-05,4.423683e-05,4.423822e-05,4.426834e-05,4.427521e-05,4.428987e-05,4.429885e-05,4.430326e-05,4.430876e-05,4.430894e-05,4.430732e-05,4.430589e-05,4.429879e-05,4.429114e-05,4.428372e-05,4.426533e-05,4.426247e-05,4.423536e-05,4.422927e-05,4.420274e-05,4.418370e-05,4.416491e-05,4.412931e-05,4.412215e-05,4.407477e-05,4.406677e-05,4.402301e-05,4.399669e-05,4.396715e-05,4.391966e-05,4.390742e-05,4.384405e-05,4.383622e-05,4.377728e-05,4.374687e-05,4.370731e-05,4.365211e-05,4.363434e-05,4.355857e-05,4.355239e-05,4.348018e-05,4.344813e-05,4.339935e-05,4.333973e-05,4.331624e-05,4.323101e-05,4.322756e-05,4.314382e-05,4.311198e-05,4.305481e-05,4.299331e-05,4.296412e-05,4.287187e-05,4.274794e-05,4.262180e-05,4.249370e-05,4.236388e-05,4.223257e-05,4.209996e-05,4.196627e-05,4.183167e-05,4.169634e-05,4.156044e-05,4.142411e-05,4.128750e-05,4.115074e-05,4.101394e-05,4.087724e-05,4.074072e-05,4.060450e-05,4.046865e-05,4.033328e-05,4.019845e-05,4.006424e-05,3.993072e-05,3.979796e-05,3.966601e-05
0.000000e+00,1.050177e-09,2.388757e-09,8.120251e-09,1.829427e-08,2.654784e-08,5.939271e-08,6.114450e-08,1.164697e-07,1.362940e-07,1.970931e-07,2.595750e-07,3.077517e-07,4.401611e-07,4.531755e-07,6.371289e-07,6.871982e-07,8.605099e-07,1.001759e-06,1.120059e-06,1.373537e-06,1.409653e-06,1.722788e-06,1.787728e-06,2.053872e-06,2.231572e-06,2.398306e-06,2.695073e-06,2.752180e-06,3.112017e-06,3.169927e-06,3.474626e-06,3.648787e-06,3.837053e-06,4.125026e-06,4.196576e-06,4.550726e-06,4.592756e-06,4.897310e-06,5.046910e-06,5.234429e-06,5.483319e-06,5.560491e-06,5.874208e-06,5.898740e-06,6.174583e-06,6.290828e-06,6.460897e-06,6.658065e-06,6.732682e-06,6.989691e-06,6.999662e-06,7.231871e-06,7.315443e-06,7.459335e-06,7.605726e-06,7.672330e-06,7.871211e-06,8.056420e-06,8.112880e-06,8.228461e-06,8.331909e-06,8.387884e-06,8.529597e-06,8.535269e-06,8.671210e-06,8.707305e-06,8.796309e-06,8.866413e-06,8.911163e-06,9.008285e-06,9.016359e-06,9.112469e-06,9.134246e-06,9.200047e-06,9.245562e-06,9.279623e-06,9.343434e-06,9.351704e-06,9.416773e-06,9.428986e-06,9.475286e-06,9.503265e-06,9.527674e-06,9.567244e-06,9.574343e-06,9.615677e-06,9.621819e-06,9.652033e-06,9.667815e-06,9.683747e-06,9.705989e-06,9.711134e-06,9.734490e-06,9.737035e-06,9.754088e-06,9.761587e-06,9.770185e-06,9.780226e-06,9.783022e-06,9.792822e-06,9.793481e-06,9.799792e-06,9.801833e-06,9.804129e-06,9.805724e-06,9.806014e-06,9.805617e-06,9.805556e-06,9.803094e-06,9.801695e-06,9.798595e-06,9.794477e-06,9.792256e-06,9.784207e-06,9.774567e-06,9.771164e-06,9.763448e-06,9.755606e-06,9.750957e-06,9.737763e-06,9.737189e-06,9.722238e-06,9.717852e-06,9.706190e-06,9.696067e-06,9.689123e-06,9.672589e-06,9.671115e-06,9.652236e-06,9.647583e-06,9.632552e-06,9.621200e-06,9.612124e-06,9.593580e-06,9.591012e-06,9.569270e-06,9.564850e-06,9.546948e-06,9.535128e-06,9.524096e-06,9.504523e-06,9.500758e-06,9.476977e-06,9.473134e-06,9.452793e-06,9.441053e-06,9.428244e-06,9.408365e-06,9.403365e-06,9.378189e-06,9.375149e-06,9.352747e-06,9.341476e-06,9.327069e-06,9.307413e-06,9.301183e-06,9.275115e-06,9.273023e-06,9.248889e-06,9.238360e-06,9.222529e-06,9.203480e-06,9.196057e-06,9.169493e-06,9.168429e-06,9.142856e-06,9.133253e-06,9.116166e-06,9.097994e-06,9.089438e-06,9.062690e-06,9.027375e-06,8.992084e-06,8.956846e-06,8.921689e-06,8.886639e-06,8.851720e-06,8.816954e-06,8.782360e-06,8.747958e-06,8.713764e-06,8.679795e-06,8.646064e-06,8.612584e-06,8.579368e-06,8.546427e-06,8.513770e-06,8.481407e-06,8.449345e-06,8.417591e-06,8.386153e-06,8.355036e-06,8.324246e-06,8.293787e-06,8.263662e-06
0.000000e+00,6.166950e-09,1.407550e-08,4.823077e-08,1.096133e-07,1.599554e-07,3.642288e-07,3.752840e-07,7.318341e-07,8.628484e-07,1.274316e-06,1.710967e-06,2.056161e-06,3.037113e-06,3.135727e-06,4.561443e-06,4.957677e-06,6.346904e-06,7.492543e-06,8.457165e-06,1.053009e-05,1.082552e-05,1.338204e-05,1.391058e-05,1.606891e-05,1.750248e-05,1.884197e-05,2.121300e-05,2.166742e-05,2.451834e-05,2.497530e-05,2.737238e-05,2.873772e-05,3.021044e-05,3.245814e-05,3.301591e-05,3.577440e-05,3.610165e-05,3.847351e-05,3.963955e-05,4.110279e-05,4.304894e-05,4.365357e-05,4.611894e-05,4.631231e-05,4.849355e-05,4.941706e-05,5.077349e-05,5.235493e-05,5.295617e-05,5.504009e-05,5.512138e-05,5.702474e-05,5.771496e-05,5.891045e-05,6.013670e-05,6.069821e-05,6.238957e-05,6.398652e-05,6.447799e-05,6.549143e-05,6.640746e-05,6.690691e-05,6.818426e-05,6.823579e-05,6.948104e-05,6.981514e-05,7.064572e-05,7.130714e-05,7.173293e-05,7.266743e-05,7.274579e-05,7.368742e-05,7.390315e-05,7.456088e-05,7.502138e-05,7.536922e-05,7.602905e-05,7.611541e-05,7.680235e-05,7.693288e-05,7.743286e-05,7.773933e-05,7.800966e-05,7.845458e-05,7.853537e-05,7.901253e-05,7.908454e-05,7.944361e-05,7.963485e-05,7.983096e-05,8.011089e-05,8.017686e-05,8.048347e-05,8.051772e-05,8.075289e-05,8.086017e-05,8.098711e-05,8.114277e-05,8.118806e-05,8.135756e-05,8.136982e-05,8.149737e-05,8.154536e-05,8.160916e-05,8.167320e-05,8.169453e-05,8.175502e-05,8.175694e-05,8.179206e-05,8.179993e-05,8.180706e-05,8.180534e-05,8.180133e-05,8.177615e-05,8.173270e-05,8.171513e-05,8.167213e-05,8.162489e-05,8.159554e-05,8.150790e-05,8.150396e-05,8.139836e-05,8.136642e-05,8.127970e-05,8.120260e-05,8.114886e-05,8.101845e-05,8.100668e-05,8.085397e-05,8.081583e-05,8.069149e-05,8.059650e-05,8.051996e-05,8.036208e-05,8.034007e-05,8.015248e-05,8.011409e-05,7.995780e-05,7.985396e-05,7.975661e-05,7.958299e-05,7.954947e-05,7.933691e-05,7.930243e-05,7.911942e-05,7.901342e-05,7.889748e-05,7.871701e-05,7.867152e-05,7.844198e-05,7.841421e-05,7.820924e-05,7.810592e-05,7.797369e-05,7.779300e-05,7.773567e-05,7.749553e-05,7.747624e-05,7.725359e-05,7.715637e-05,7.701013e-05,7.683406e-05,7.676544e-05,7.651979e-05,7.650995e-05,7.627343e-05,7.618461e-05,7.602659e-05,7.585858e-05,7.577949e-05,7.553234e-05,7.520635e-05,7.488102e-05,7.455674e-05,7.423386e-05,7.391269e-05,7.359352e-05,7.327663e-05,7.296225e-05,7.265060e-05,7.234188e-05,7.203626e-05,7.173392e-05,7.143498e-05,7.113958e-05,7.084782e-05,7.055982e-05,7.027563e-05,6.999536e-05,6.971906e-05,6.944677e-05,6.917854e-05,6.891442e-05,6.865441e-05,6.839855e-05
0.000000e+00,2.169769e-09,4.919391e-09,1.660943e-08,3.718521e-08,5.377351e-08,1.192045e-07,1.226742e-07,2.315053e-07,2.702140e-07,3.882014e-07,5.084953e-07,6.006650e-07,8.514632e-07,8.759076e-07,1.217129e-06,1.308575e-06,1.620605e-06,1.870402e-06,2.077148e-06,2.514735e-06,2.576639e-06,3.110413e-06,3.220629e-06,3.671273e-06,3.971502e-06,4.252884e-06,4.753129e-06,4.849316e-06,5.454844e-06,5.552199e-06,6.063906e-06,6.355932e-06,6.671164e-06,7.152289e-06,7.271604e-06,7.860631e-06,7.930348e-06,8.434160e-06,8.680675e-06,8.988675e-06,9.395575e-06,9.521264e-06,1.002963e-05,1.006919e-05,1.051206e-05,1.069749e-05,1.096740e-05,1.127810e-05,1.139502e-05,1.179472e-05,1.181013e-05,1.216669e-05,1.229389e-05,1.251142e-05,1.273067e-05,1.282969e-05,1.312243e-05,1.339077e-05,1.347168e-05,1.363592e-05,1.378121e-05,1.385912e-05,1.405398e-05,1.406170e-05,1.424495e-05,1.429297e-05,1.441015e-05,1.450113e-05,1.455856e-05,1.468128e-05,1.469136e-05,1.480971e-05,1.483609e-05,1.491470e-05,1.496803e-05,1.500734e-05,1.507941e-05,1.508859e-05,1.515933e-05,1.517229e-05,1.522039e-05,1.524857e-05,1.527253e-05,1.530995e-05,1.531645e-05,1.535280e-05,1.535796e-05,1.538218e-05,1.539397e-05,1.540513e-05,1.541920e-05,1.542216e-05,1.543372e-05,1.543476e-05,1.544024e-05,1.544161e-05,1.544210e-05,1.544063e-05,1.543967e-05,1.543326e-05,1.543259e-05,1.542319e-05,1.541820e-05,1.540972e-05,1.539807e-05,1.539312e-05,1.537360e-05,1.537277e-05,1.535140e-05,1.534279e-05,1.532671e-05,1.530860e-05,1.529972e-05,1.527059e-05,1.523948e-05,1.522913e-05,1.520654e-05,1.518456e-05,1.517191e-05,1.513719e-05,1.513571e-05,1.509806e-05,1.508728e-05,1.505908e-05,1.503509e-05,1.501885e-05,1.498084e-05,1.497749e-05,1.493507e-05,1.492475e-05,1.489169e-05,1.486701e-05,1.484742e-05,1.480779e-05,1.480234e-05,1.475651e-05,1.474726e-05,1.470999e-05,1.468556e-05,1.466286e-05,1.462284e-05,1.461517e-05,1.456697e-05,1.455922e-05,1.451832e-05,1.449481e-05,1.446925e-05,1.442973e-05,1.441982e-05,1.437007e-05,1.436408e-05,1.432004e-05,1.429795e-05,1.426977e-05,1.423143e-05,1.421929e-05,1.416864e-05,1.416459e-05,1.411785e-05,1.409751e-05,1.406696e-05,1.403026e-05,1.401597e-05,1.396494e-05,1.396290e-05,1.391388e-05,1.389549e-05,1.386281e-05,1.382809e-05,1.381176e-05,1.376075e-05,1.369352e-05,1.362643e-05,1.355954e-05,1.349287e-05,1.342647e-05,1.336036e-05,1.329458e-05,1.322915e-05,1.316410e-05,1.309946e-05,1.303523e-05,1.297145e-05,1.290814e-05,1.284530e-05,1.278295e-05,1.272112e-05,1.265980e-05,1.259902e-05,1.253878e-05,1.247909e-05,1.241995e-05,1.236139e-05,1.230340e-05,1.224598e-05
0.000000e+00,6.553639e-09,1.497273e-08,5.145788e-08,1.174495e-07,1.719378e-07,3.961123e-07,4.083769e-07,8.103258e-07,9.607266e-07,1.439572e-06,1.952596e-06,2.356806e-06,3.475878e-06,3.585177e-06,5.097702e-06,5.498012e-06,6.850477e-06,7.923061e-06,8.807395e-06,1.067732e-05,1.094217e-05,1.323387e-05,1.370935e-05,1.566337e-05,1.697481e-05,1.821142e-05,2.042876e-05,2.085797e-05,2.358217e-05,2.402382e-05,2.636266e-05,2.771102e-05,2.917812e-05,3.144168e-05,3.200778e-05,3.483192e-05,3.516956e-05,3.763229e-05,3.885259e-05,4.039234e-05,4.245393e-05,4.309744e-05,4.573510e-05,4.594287e-05,4.829487e-05,4.929499e-05,5.076822e-05,5.249171e-05,5.314848e-05,5.543066e-05,5.551986e-05,5.761129e-05,5.837101e-05,5.968821e-05,6.104073e-05,6.166043e-05,6.352804e-05,6.529182e-05,6.583449e-05,6.695311e-05,6.796346e-05,6.851393e-05,6.992005e-05,6.997671e-05,7.134426e-05,7.171051e-05,7.261961e-05,7.334190e-05,7.380599e-05,7.482173e-05,7.490671e-05,7.592519e-05,7.615777e-05,7.686486e-05,7.735792e-05,7.772913e-05,7.843004e-05,7.852142e-05,7.924507e-05,7.938185e-05,7.990334e-05,8.022087e-05,8.049944e-05,8.095440e-05,8.103649e-05,8.151748e-05,8.158943e-05,8.194534e-05,8.213266e-05,8.232287e-05,8.259048e-05,8.265277e-05,8.293764e-05,8.296892e-05,8.317998e-05,8.327375e-05,8.338217e-05,8.351039e-05,8.354650e-05,8.367515e-05,8.368397e-05,8.377022e-05,8.379930e-05,8.383371e-05,8.386092e-05,8.386750e-05,8.387342e-05,8.387310e-05,8.385319e-05,8.383983e-05,8.380847e-05,8.376486e-05,8.374081e-05,8.365170e-05,8.354257e-05,8.350363e-05,8.341474e-05,8.332373e-05,8.326952e-05,8.311485e-05,8.310809e-05,8.293163e-05,8.287967e-05,8.274121e-05,8.262070e-05,8.253788e-05,8.234025e-05,8.232261e-05,8.209633e-05,8.204049e-05,8.185993e-05,8.172343e-05,8.161424e-05,8.139096e-05,8.136004e-05,8.109808e-05,8.104482e-05,8.082907e-05,8.068662e-05,8.055367e-05,8.031786e-05,8.027251e-05,7.998619e-05,7.993993e-05,7.969526e-05,7.955414e-05,7.940026e-05,7.916166e-05,7.910169e-05,7.880000e-05,7.876361e-05,7.849566e-05,7.836101e-05,7.818906e-05,7.795479e-05,7.788061e-05,7.757067e-05,7.754582e-05,7.725959e-05,7.713491e-05,7.694770e-05,7.672280e-05,7.663529e-05,7.632265e-05,7.631014e-05,7.601006e-05,7.589758e-05,7.569775e-05,7.548567e-05,7.538597e-05,7.507494e-05,7.466586e-05,7.425887e-05,7.385435e-05,7.345266e-05,7.305414e-05,7.265906e-05,7.226770e-05,7.188029e-05,7.149703e-05,7.111812e-05,7.074371e-05,7.037396e-05,7.000899e-05,6.964891e-05,6.929381e-05,6.894376e-05,6.859884e-05,6.825909e-05,6.792456e-05,6.759527e-05,6.727124e-05,6.695248e-05,6.663900e-05,6.633079e-05
0.000000e+00,2.922229e-09,6.665297e-09,2.280077e-08,5.171276e-08,7.535693e-08,1.707707e-07,1.759123e-07,3.406636e-07,4.007084e-07,5.876404e-07,7.831835e-07,9.355124e-07,1.356110e-06,1.397338e-06,1.972941e-06,2.126874e-06,2.651079e-06,3.070427e-06,3.417969e-06,4.156600e-06,4.261520e-06,5.171360e-06,5.360435e-06,6.137923e-06,6.659835e-06,7.151810e-06,8.033106e-06,8.203530e-06,9.283514e-06,9.458297e-06,1.038228e-05,1.091364e-05,1.149062e-05,1.237833e-05,1.259985e-05,1.370191e-05,1.383332e-05,1.478959e-05,1.526196e-05,1.585658e-05,1.665030e-05,1.689748e-05,1.790784e-05,1.798723e-05,1.888409e-05,1.926440e-05,1.982348e-05,2.047586e-05,2.072400e-05,2.158434e-05,2.161791e-05,2.240379e-05,2.268873e-05,2.318213e-05,2.368800e-05,2.391954e-05,2.461656e-05,2.527399e-05,2.547616e-05,2.589284e-05,2.626921e-05,2.647430e-05,2.699851e-05,2.701965e-05,2.753026e-05,2.766720e-05,2.800756e-05,2.827855e-05,2.845299e-05,2.883589e-05,2.886800e-05,2.925404e-05,2.934254e-05,2.961253e-05,2.980177e-05,2.994486e-05,3.021673e-05,3.025237e-05,3.053637e-05,3.059046e-05,3.079812e-05,3.092584e-05,3.103883e-05,3.122561e-05,3.125965e-05,3.146169e-05,3.149234e-05,3.164600e-05,3.172847e-05,3.181359e-05,3.193626e-05,3.196541e-05,3.210237e-05,3.211785e-05,3.222533e-05,3.227521e-05,3.233511e-05,3.241020e-05,3.243247e-05,3.251816e-05,3.252453e-05,3.259286e-05,3.261981e-05,3.265723e-05,3.269753e-05,3.271189e-05,3.275743e-05,3.275907e-05,3.279440e-05,3.280571e-05,3.282332e-05,3.283865e-05,3.284470e-05,3.285899e-05,3.286663e-05,3.286775e-05,3.286806e-05,3.286589e-05,3.286365e-05,3.285428e-05,3.285379e-05,3.283882e-05,3.283376e-05,3.281907e-05,3.280506e-05,3.279487e-05,3.276891e-05,3.276649e-05,3.273424e-05,3.272595e-05,3.269836e-05,3.267678e-05,3.265911e-05,3.262196e-05,3.261672e-05,3.257141e-05,3.256202e-05,3.252340e-05,3.249743e-05,3.247288e-05,3.242865e-05,3.242004e-05,3.236506e-05,3.235608e-05,3.230810e-05,3.228010e-05,3.224932e-05,3.220109e-05,3.218887e-05,3.212689e-05,3.211935e-05,3.206351e-05,3.203521e-05,3.199885e-05,3.194894e-05,3.193305e-05,3.186619e-05,3.186080e-05,3.179840e-05,3.177104e-05,3.172977e-05,3.167989e-05,3.166039e-05,3.159036e-05,3.158755e-05,3.151975e-05,3.149421e-05,3.144865e-05,3.140005e-05,3.137712e-05,3.130525e-05,3.120995e-05,3.111429e-05,3.101840e-05,3.092241e-05,3.082642e-05,3.073055e-05,3.063487e-05,3.053949e-05,3.044448e-05,3.034992e-05,3.025586e-05,3.016239e-05,3.006954e-05,2.997737e-05,2.988594e-05,2.979528e-05,2.970543e-05,2.961643e-05,2.952831e-05,2.944109e-05,2.935482e-05,2.926949e-05,2.918514e-05,2.910179e-05
0.000000e+00,8.895536e-10,2.020202e-09,6.845171e-09,1.537708e-08,2.227988e-08,4.965079e-08,5.110734e-08,9.699252e-08,1.133905e-07,1.635731e-07,2.150074e-07,2.545926e-07,3.632027e-07,3.738737e-07,5.250327e-07,5.663901e-07,7.107944e-07,8.303082e-07,9.318206e-07,1.153435e-06,1.185401e-06,1.465099e-06,1.523419e-06,1.762196e-06,1.920627e-06,2.068012e-06,2.326378e-06,2.375438e-06,2.679254e-06,2.727267e-06,2.975801e-06,3.114783e-06,3.262539e-06,3.483663e-06,3.537706e-06,3.800084e-06,3.830668e-06,4.048871e-06,4.153896e-06,4.283582e-06,4.452406e-06,4.503999e-06,4.710120e-06,4.725996e-06,4.902124e-06,4.975042e-06,5.080337e-06,5.200357e-06,5.245204e-06,5.397254e-06,5.403078e-06,5.537085e-06,5.584554e-06,5.665333e-06,5.746262e-06,5.782659e-06,5.889732e-06,5.987217e-06,6.016494e-06,6.075763e-06,6.128033e-06,6.155999e-06,6.225767e-06,6.228527e-06,6.293917e-06,6.311021e-06,6.352708e-06,6.385027e-06,6.405405e-06,6.448909e-06,6.452479e-06,6.494367e-06,6.503694e-06,6.531475e-06,6.550308e-06,6.564177e-06,6.589586e-06,6.592819e-06,6.617719e-06,6.622277e-06,6.639170e-06,6.649051e-06,6.657440e-06,6.670510e-06,6.672776e-06,6.685406e-06,6.687189e-06,6.695537e-06,6.699569e-06,6.703361e-06,6.708077e-06,6.709053e-06,6.712774e-06,6.713095e-06,6.714672e-06,6.714965e-06,6.714884e-06,6.713994e-06,6.713534e-06,6.710738e-06,6.710456e-06,6.706603e-06,6.704596e-06,6.701226e-06,6.696636e-06,6.694697e-06,6.687102e-06,6.686777e-06,6.678516e-06,6.675197e-06,6.669012e-06,6.662059e-06,6.658656e-06,6.647510e-06,6.635630e-06,6.631683e-06,6.623071e-06,6.614699e-06,6.609881e-06,6.596670e-06,6.596108e-06,6.581795e-06,6.577696e-06,6.566981e-06,6.557869e-06,6.551705e-06,6.537273e-06,6.536002e-06,6.519905e-06,6.515987e-06,6.503445e-06,6.494080e-06,6.486652e-06,6.471619e-06,6.469551e-06,6.452170e-06,6.448662e-06,6.434532e-06,6.425266e-06,6.416660e-06,6.401482e-06,6.398575e-06,6.380297e-06,6.377356e-06,6.361846e-06,6.352933e-06,6.343240e-06,6.328253e-06,6.324494e-06,6.305626e-06,6.303354e-06,6.286650e-06,6.278270e-06,6.267580e-06,6.253032e-06,6.248430e-06,6.229213e-06,6.227673e-06,6.209940e-06,6.202218e-06,6.190623e-06,6.176694e-06,6.171273e-06,6.151900e-06,6.151125e-06,6.132514e-06,6.125534e-06,6.113123e-06,6.099940e-06,6.093737e-06,6.074363e-06,6.048821e-06,6.023331e-06,5.997908e-06,5.972566e-06,5.947319e-06,5.922179e-06,5.897158e-06,5.872265e-06,5.847512e-06,5.822906e-06,5.798457e-06,5.774172e-06,5.750058e-06,5.726121e-06,5.702368e-06,5.678805e-06,5.655435e-06,5.632265e-06,5.609297e-06,5.586536e-06,5.563984e-06,5.541646e-06,5.519523e-06,5.497618e-06
0.000000e+00,3.256719e-09,7.407202e-09,2.517354e-08,5.669434e-08,8.225169e-08,1.838472e-07,1.892611e-07,3.600168e-07,4.210984e-07,6.080986e-07,7.997505e-07,9.471405e-07,1.350227e-06,1.389664e-06,1.942975e-06,2.092160e-06,2.604028e-06,3.016783e-06,3.360219e-06,4.091880e-06,4.195855e-06,5.096550e-06,5.283373e-06,6.049853e-06,6.562614e-06,7.044567e-06,7.904389e-06,8.070127e-06,9.116310e-06,9.284946e-06,1.017320e-05,1.068150e-05,1.123129e-05,1.207260e-05,1.228164e-05,1.331602e-05,1.343871e-05,1.432706e-05,1.476284e-05,1.530835e-05,1.603087e-05,1.625448e-05,1.716102e-05,1.723172e-05,1.802455e-05,1.835732e-05,1.884255e-05,1.940235e-05,1.961335e-05,2.033605e-05,2.036395e-05,2.101038e-05,2.124134e-05,2.163665e-05,2.203544e-05,2.221563e-05,2.274847e-05,2.323661e-05,2.338365e-05,2.368174e-05,2.394490e-05,2.408570e-05,2.443656e-05,2.445042e-05,2.477793e-05,2.486324e-05,2.507026e-05,2.522962e-05,2.532946e-05,2.554038e-05,2.555753e-05,2.575644e-05,2.580006e-05,2.592810e-05,2.601302e-05,2.607435e-05,2.618343e-05,2.619694e-05,2.629755e-05,2.631518e-05,2.637778e-05,2.641194e-05,2.643911e-05,2.647709e-05,2.648299e-05,2.651075e-05,2.651378e-05,2.652364e-05,2.652489e-05,2.652284e-05,2.651308e-05,2.650945e-05,2.648449e-05,2.648076e-05,2.644893e-05,2.643016e-05,2.640366e-05,2.636328e-05,2.634951e-05,2.628727e-05,2.628196e-05,2.621765e-05,2.618789e-05,2.614133e-05,2.608257e-05,2.605892e-05,2.597100e-05,2.596738e-05,2.587813e-05,2.584357e-05,2.578078e-05,2.571228e-05,2.567944e-05,2.557451e-05,2.546641e-05,2.543121e-05,2.535551e-05,2.528321e-05,2.524213e-05,2.513126e-05,2.512660e-05,2.500922e-05,2.497605e-05,2.489024e-05,2.481820e-05,2.476993e-05,2.465825e-05,2.464850e-05,2.452619e-05,2.449672e-05,2.440317e-05,2.433405e-05,2.427964e-05,2.417064e-05,2.415576e-05,2.403169e-05,2.400687e-05,2.390757e-05,2.384305e-05,2.378352e-05,2.367948e-05,2.365968e-05,2.353615e-05,2.351642e-05,2.341303e-05,2.335411e-05,2.329042e-05,2.319275e-05,2.316839e-05,2.304704e-05,2.303252e-05,2.292642e-05,2.287360e-05,2.280660e-05,2.271612e-05,2.268765e-05,2.256961e-05,2.256021e-05,2.245253e-05,2.240598e-05,2.233646e-05,2.225354e-05,2.222144e-05,2.210749e-05,2.210296e-05,2.199466e-05,2.195431e-05,2.188296e-05,2.180767e-05,2.177242e-05,2.166307e-05,2.152057e-05,2.138020e-05,2.124198e-05,2.110595e-05,2.097210e-05,2.084047e-05,2.071104e-05,2.058382e-05,2.045882e-05,2.033602e-05,2.021541e-05,2.009698e-05,1.998072e-05,1.986660e-05,1.975462e-05,1.964475e-05,1.953696e-05,1.943124e-05,1.932755e-05,1.922588e-05,1.912619e-05,1.902846e-05,1.893266e-05,1.883876e-05
0.000000e+00,2.908682e-09,6.627936e-09,2.265817e-08,5.147894e-08,7.518281e-08,1.722564e-07,1.775536e-07,3.505567e-07,4.149022e-07,6.171966e-07,8.277474e-07,9.886285e-07,1.415249e-06,1.455801e-06,2.005265e-06,2.148326e-06,2.628315e-06,3.007236e-06,3.319369e-06,3.979897e-06,4.073564e-06,4.885521e-06,5.054304e-06,5.748897e-06,6.215771e-06,6.656346e-06,7.446699e-06,7.599692e-06,8.570202e-06,8.727406e-06,9.558904e-06,1.003732e-05,1.055689e-05,1.135620e-05,1.155561e-05,1.254709e-05,1.266523e-05,1.352410e-05,1.394774e-05,1.448031e-05,1.518974e-05,1.541029e-05,1.630959e-05,1.638010e-05,1.717468e-05,1.751051e-05,1.800289e-05,1.857529e-05,1.879235e-05,1.954192e-05,1.957106e-05,2.025104e-05,2.049641e-05,2.091971e-05,2.135150e-05,2.154835e-05,2.213772e-05,2.268888e-05,2.285738e-05,2.320308e-05,2.351342e-05,2.368174e-05,2.410922e-05,2.412637e-05,2.453856e-05,2.464838e-05,2.491992e-05,2.513461e-05,2.527206e-05,2.557160e-05,2.559658e-05,2.589505e-05,2.596297e-05,2.616897e-05,2.631220e-05,2.641982e-05,2.662259e-05,2.664899e-05,2.685782e-05,2.689726e-05,2.704758e-05,2.713912e-05,2.721946e-05,2.735086e-05,2.737461e-05,2.751408e-05,2.753501e-05,2.763888e-05,2.769385e-05,2.774996e-05,2.782954e-05,2.784820e-05,2.793443e-05,2.794400e-05,2.800942e-05,2.803905e-05,2.807390e-05,2.811630e-05,2.812856e-05,2.817402e-05,2.817728e-05,2.821089e-05,2.822335e-05,2.823971e-05,2.825578e-05,2.826101e-05,2.827527e-05,2.827570e-05,2.828295e-05,2.828419e-05,2.828447e-05,2.828219e-05,2.828023e-05,2.827061e-05,2.825595e-05,2.825025e-05,2.823658e-05,2.822185e-05,2.821280e-05,2.818610e-05,2.818491e-05,2.815317e-05,2.814363e-05,2.811783e-05,2.809501e-05,2.807914e-05,2.804077e-05,2.803732e-05,2.799257e-05,2.798141e-05,2.794509e-05,2.791738e-05,2.789507e-05,2.784908e-05,2.784268e-05,2.778808e-05,2.777691e-05,2.773144e-05,2.770122e-05,2.767289e-05,2.762233e-05,2.761257e-05,2.755061e-05,2.754056e-05,2.748714e-05,2.745617e-05,2.742227e-05,2.736943e-05,2.735610e-05,2.728874e-05,2.728058e-05,2.722029e-05,2.718985e-05,2.715084e-05,2.709744e-05,2.708047e-05,2.700927e-05,2.700354e-05,2.693731e-05,2.690833e-05,2.686467e-05,2.681198e-05,2.679141e-05,2.671760e-05,2.671464e-05,2.664331e-05,2.661646e-05,2.656859e-05,2.651757e-05,2.649350e-05,2.641809e-05,2.631814e-05,2.621783e-05,2.611726e-05,2.601651e-05,2.591569e-05,2.581486e-05,2.571411e-05,2.561349e-05,2.551309e-05,2.541296e-05,2.531315e-05,2.521371e-05,2.511471e-05,2.501617e-05,2.491814e-05,2.482067e-05,2.472378e-05,2.462750e-05,2.453188e-05,2.443693e-05,2.434269e-05,2.424917e-05,2.415640e-05,2.406440e-05
0.000000e+00,1.045315e-08,2.386885e-08,8.194098e-08,1.868389e-07,2.733692e-07,6.288584e-07,6.482878e-07,1.284234e-06,1.521913e-06,2.278678e-06,3.091644e-06,3.735203e-06,5.532975e-06,5.709645e-06,8.163961e-06,8.814263e-06,1.100567e-05,1.273311e-05,1.414849e-05,1.711227e-05,1.752877e-05,2.109882e-05,2.183203e-05,2.481902e-05,2.680080e-05,2.865326e-05,3.193683e-05,3.256697e-05,3.652676e-05,3.716244e-05,4.050067e-05,4.240430e-05,4.445881e-05,4.759546e-05,4.837378e-05,5.222117e-05,5.267728e-05,5.597982e-05,5.760079e-05,5.963185e-05,6.232700e-05,6.316268e-05,6.656080e-05,6.682664e-05,6.981756e-05,7.107923e-05,7.292683e-05,7.507193e-05,7.588475e-05,7.868935e-05,7.879833e-05,8.134029e-05,8.225717e-05,8.383856e-05,8.545121e-05,8.618625e-05,8.838623e-05,9.044211e-05,9.107023e-05,9.235810e-05,9.351304e-05,9.413881e-05,9.572548e-05,9.578905e-05,9.731380e-05,9.771893e-05,9.871816e-05,9.950512e-05,1.000073e-04,1.010958e-04,1.011862e-04,1.022601e-04,1.025027e-04,1.032338e-04,1.037371e-04,1.041122e-04,1.048101e-04,1.049000e-04,1.056020e-04,1.057324e-04,1.062224e-04,1.065142e-04,1.067656e-04,1.071653e-04,1.072358e-04,1.076369e-04,1.076949e-04,1.079727e-04,1.081118e-04,1.082470e-04,1.084244e-04,1.084632e-04,1.086247e-04,1.086406e-04,1.087348e-04,1.087678e-04,1.087966e-04,1.088130e-04,1.088129e-04,1.087866e-04,1.087827e-04,1.087203e-04,1.086832e-04,1.086166e-04,1.085202e-04,1.084780e-04,1.083067e-04,1.082992e-04,1.081049e-04,1.080252e-04,1.078747e-04,1.077030e-04,1.076182e-04,1.073371e-04,1.070332e-04,1.069315e-04,1.067084e-04,1.064901e-04,1.063640e-04,1.060166e-04,1.060018e-04,1.056231e-04,1.055143e-04,1.052293e-04,1.049863e-04,1.048216e-04,1.044354e-04,1.044014e-04,1.039697e-04,1.038645e-04,1.035276e-04,1.032760e-04,1.030763e-04,1.026721e-04,1.026165e-04,1.021494e-04,1.020551e-04,1.016756e-04,1.014269e-04,1.011961e-04,1.007894e-04,1.007116e-04,1.002228e-04,1.001443e-04,9.973045e-05,9.949303e-05,9.923513e-05,9.883714e-05,9.873744e-05,9.823796e-05,9.817793e-05,9.773722e-05,9.751662e-05,9.723570e-05,9.685431e-05,9.673387e-05,9.623216e-05,9.619204e-05,9.573098e-05,9.553074e-05,9.523070e-05,9.487126e-05,9.473168e-05,9.423425e-05,9.421439e-05,9.373870e-05,9.356082e-05,9.324533e-05,9.291121e-05,9.275439e-05,9.226613e-05,9.162612e-05,9.099164e-05,9.036312e-05,8.974094e-05,8.912543e-05,8.851689e-05,8.791558e-05,8.732173e-05,8.673555e-05,8.615718e-05,8.558679e-05,8.502449e-05,8.447036e-05,8.392450e-05,8.338695e-05,8.285775e-05,8.233693e-05,8.182450e-05,8.132044e-05,8.082475e-05,8.033739e-05,7.985832e-05,7.938750e-05,7.892488e-05
0.000000e+00,1.968019e-09,4.491360e-09,1.537250e-08,3.484546e-08,5.073220e-08,1.144169e-07,1.178285e-07,2.260509e-07,2.649883e-07,3.846741e-07,5.077845e-07,6.025555e-07,8.611621e-07,8.863836e-07,1.238843e-06,1.333652e-06,1.659757e-06,1.925028e-06,2.148196e-06,2.633025e-06,2.703076e-06,3.322952e-06,3.454557e-06,4.005747e-06,4.384756e-06,4.748621e-06,5.416424e-06,5.547934e-06,6.399278e-06,6.539990e-06,7.297567e-06,7.743779e-06,8.237148e-06,9.014468e-06,9.211940e-06,1.021557e-05,1.033764e-05,1.124154e-05,1.169836e-05,1.228333e-05,1.308174e-05,1.333457e-05,1.438910e-05,1.447343e-05,1.544112e-05,1.586000e-05,1.648523e-05,1.722930e-05,1.751650e-05,1.853048e-05,1.857063e-05,1.952328e-05,1.987482e-05,2.049148e-05,2.113432e-05,2.143221e-05,2.234309e-05,2.322219e-05,2.349654e-05,2.406803e-05,2.459140e-05,2.487953e-05,2.562558e-05,2.565596e-05,2.639690e-05,2.659799e-05,2.710225e-05,2.750841e-05,2.777212e-05,2.835734e-05,2.840683e-05,2.900691e-05,2.914584e-05,2.957301e-05,2.987547e-05,3.010590e-05,3.054808e-05,3.060648e-05,3.107568e-05,3.116584e-05,3.151452e-05,3.173106e-05,3.192405e-05,3.224619e-05,3.230534e-05,3.265949e-05,3.271371e-05,3.298760e-05,3.313616e-05,3.329075e-05,3.351603e-05,3.357003e-05,3.382649e-05,3.385579e-05,3.406120e-05,3.415783e-05,3.427515e-05,3.442449e-05,3.446934e-05,3.464474e-05,3.465799e-05,3.480227e-05,3.486049e-05,3.494283e-05,3.503402e-05,3.506729e-05,3.517647e-05,3.518053e-05,3.527116e-05,3.530186e-05,3.535215e-05,3.539976e-05,3.542016e-05,3.547588e-05,3.552000e-05,3.553177e-05,3.555315e-05,3.556889e-05,3.557593e-05,3.558861e-05,3.558895e-05,3.559274e-05,3.559222e-05,3.558783e-05,3.558093e-05,3.557475e-05,3.555589e-05,3.555395e-05,3.552591e-05,3.551814e-05,3.549104e-05,3.546870e-05,3.544978e-05,3.540848e-05,3.540251e-05,3.534960e-05,3.533837e-05,3.529140e-05,3.525917e-05,3.522827e-05,3.517165e-05,3.516051e-05,3.508843e-05,3.507651e-05,3.501231e-05,3.497443e-05,3.493244e-05,3.486602e-05,3.484908e-05,3.476246e-05,3.475186e-05,3.467283e-05,3.463250e-05,3.458041e-05,3.450843e-05,3.448540e-05,3.438801e-05,3.438012e-05,3.428843e-05,3.424802e-05,3.418683e-05,3.411253e-05,3.408340e-05,3.397827e-05,3.397404e-05,3.387163e-05,3.383289e-05,3.376359e-05,3.368941e-05,3.365431e-05,3.354392e-05,3.339669e-05,3.324800e-05,3.309809e-05,3.294719e-05,3.279551e-05,3.264325e-05,3.249060e-05,3.233772e-05,3.218477e-05,3.203190e-05,3.187924e-05,3.172691e-05,3.157504e-05,3.142372e-05,3.127306e-05,3.112314e-05,3.097405e-05,3.082586e-05,3.067864e-05,3.053246e-05,3.038736e-05,3.024342e-05,3.010066e-05,2.995915e-05
0.000000e+00,3.984835e-09,9.101561e-09,3.124053e-08,7.113544e-08,1.039335e-07,2.375906e-07,2.448469e-07,4.798829e-07,5.666327e-07,8.396876e-07,1.128887e-06,1.355691e-06,1.984085e-06,2.045671e-06,2.903341e-06,3.132015e-06,3.909255e-06,4.530138e-06,5.044614e-06,6.138971e-06,6.294602e-06,7.646911e-06,7.928638e-06,9.090040e-06,9.872511e-06,1.061234e-05,1.194338e-05,1.220165e-05,1.384535e-05,1.411253e-05,1.553052e-05,1.635036e-05,1.724433e-05,1.862758e-05,1.897427e-05,2.070849e-05,2.091635e-05,2.243599e-05,2.319136e-05,2.414683e-05,2.543045e-05,2.583219e-05,2.748447e-05,2.761502e-05,2.909721e-05,2.973001e-05,3.066510e-05,3.176380e-05,3.218391e-05,3.365035e-05,3.370788e-05,3.506203e-05,3.555649e-05,3.641730e-05,3.730614e-05,3.771518e-05,3.895530e-05,4.013776e-05,4.050404e-05,4.126305e-05,4.195361e-05,4.233200e-05,4.330614e-05,4.334564e-05,4.430515e-05,4.456429e-05,4.521189e-05,4.573123e-05,4.606737e-05,4.681052e-05,4.687320e-05,4.763107e-05,4.780601e-05,4.834267e-05,4.872160e-05,4.900973e-05,4.956130e-05,4.963401e-05,5.021725e-05,5.032913e-05,5.076125e-05,5.102928e-05,5.126797e-05,5.166604e-05,5.173909e-05,5.217613e-05,5.224299e-05,5.258063e-05,5.276368e-05,5.295409e-05,5.323144e-05,5.329790e-05,5.361346e-05,5.364949e-05,5.390210e-05,5.402090e-05,5.416510e-05,5.434860e-05,5.440370e-05,5.461907e-05,5.463533e-05,5.481235e-05,5.488372e-05,5.498462e-05,5.509625e-05,5.513695e-05,5.527033e-05,5.527528e-05,5.538572e-05,5.542304e-05,5.548405e-05,5.554162e-05,5.556620e-05,5.563300e-05,5.568525e-05,5.569903e-05,5.572374e-05,5.574149e-05,5.574920e-05,5.576202e-05,5.576232e-05,5.576379e-05,5.576220e-05,5.575424e-05,5.574347e-05,5.573428e-05,5.570723e-05,5.570450e-05,5.566546e-05,5.565477e-05,5.561769e-05,5.558731e-05,5.556169e-05,5.550599e-05,5.549795e-05,5.542693e-05,5.541190e-05,5.534908e-05,5.530603e-05,5.526480e-05,5.518934e-05,5.517450e-05,5.507856e-05,5.506271e-05,5.497734e-05,5.492699e-05,5.487119e-05,5.478294e-05,5.476044e-05,5.464539e-05,5.463131e-05,5.452635e-05,5.447279e-05,5.440361e-05,5.430800e-05,5.427742e-05,5.414804e-05,5.413756e-05,5.401573e-05,5.396203e-05,5.388071e-05,5.378194e-05,5.374321e-05,5.360342e-05,5.359779e-05,5.346156e-05,5.341002e-05,5.331782e-05,5.321909e-05,5.317237e-05,5.302538e-05,5.282928e-05,5.263113e-05,5.243127e-05,5.223001e-05,5.202762e-05,5.182438e-05,5.162053e-05,5.141630e-05,5.121192e-05,5.100757e-05,5.080344e-05,5.059971e-05,5.039652e-05,5.019405e-05,4.999240e-05,4.979172e-05,4.959212e-05,4.939370e-05,4.919657e-05,4.900080e-05,4.880650e-05,4.861372e-05,4.842255e-05,4.823303e-05
0.000000e+00,1.642142e-09,3.696196e-09,1.229629e-08,2.717153e-08,3.901999e-08,8.502856e-08,8.744499e-08,1.624851e-07,1.889111e-07,2.688998e-07,3.498483e-07,4.116102e-07,5.792229e-07,5.955636e-07,8.247530e-07,8.866903e-07,1.100040e-06,1.272817e-06,1.416637e-06,1.721078e-06,1.763942e-06,2.128887e-06,2.202917e-06,2.499843e-06,2.692166e-06,2.868300e-06,3.171688e-06,3.228628e-06,3.577230e-06,3.631750e-06,3.911770e-06,4.066872e-06,4.230675e-06,4.473803e-06,4.532863e-06,4.817597e-06,4.850567e-06,5.084425e-06,5.196097e-06,5.333152e-06,5.510096e-06,5.563820e-06,5.776688e-06,5.792961e-06,5.972211e-06,6.045697e-06,6.151007e-06,6.269800e-06,6.313827e-06,6.461524e-06,6.467130e-06,6.595014e-06,6.639776e-06,6.715253e-06,6.789942e-06,6.823211e-06,6.919844e-06,7.006083e-06,7.031631e-06,7.082818e-06,7.127332e-06,7.150891e-06,7.208821e-06,7.211087e-06,7.264131e-06,7.277794e-06,7.310691e-06,7.335770e-06,7.351375e-06,7.384089e-06,7.386734e-06,7.417266e-06,7.423927e-06,7.443420e-06,7.456304e-06,7.465596e-06,7.482108e-06,7.484154e-06,7.499416e-06,7.502098e-06,7.511666e-06,7.516934e-06,7.521165e-06,7.527186e-06,7.528142e-06,7.532808e-06,7.533352e-06,7.535346e-06,7.535858e-06,7.535923e-06,7.535073e-06,7.534688e-06,7.531776e-06,7.531321e-06,7.527313e-06,7.524886e-06,7.521409e-06,7.516021e-06,7.514166e-06,7.505676e-06,7.504946e-06,7.496025e-06,7.491858e-06,7.485292e-06,7.476935e-06,7.473550e-06,7.460864e-06,7.460338e-06,7.447297e-06,7.442208e-06,7.432906e-06,7.422678e-06,7.417745e-06,7.401865e-06,7.385312e-06,7.379880e-06,7.368130e-06,7.356823e-06,7.350362e-06,7.332787e-06,7.332044e-06,7.313216e-06,7.307857e-06,7.293910e-06,7.282111e-06,7.274160e-06,7.255624e-06,7.253996e-06,7.233448e-06,7.228463e-06,7.212544e-06,7.200691e-06,7.191308e-06,7.172367e-06,7.169767e-06,7.147944e-06,7.143547e-06,7.125861e-06,7.114282e-06,7.103539e-06,7.084618e-06,7.080998e-06,7.058258e-06,7.054602e-06,7.035337e-06,7.024275e-06,7.012252e-06,6.993677e-06,6.989019e-06,6.965655e-06,6.962843e-06,6.942174e-06,6.931809e-06,6.918590e-06,6.900605e-06,6.894916e-06,6.871167e-06,6.869264e-06,6.847352e-06,6.837811e-06,6.823486e-06,6.806275e-06,6.799577e-06,6.775638e-06,6.774680e-06,6.751677e-06,6.743048e-06,6.727705e-06,6.711403e-06,6.703731e-06,6.679763e-06,6.648148e-06,6.616577e-06,6.585064e-06,6.553627e-06,6.522280e-06,6.491036e-06,6.459909e-06,6.428909e-06,6.398048e-06,6.367336e-06,6.336783e-06,6.306398e-06,6.276189e-06,6.246164e-06,6.216329e-06,6.186692e-06,6.157258e-06,6.128033e-06,6.099022e-06,6.070229e-06,6.041659e-06,6.013317e-06,5.985204e-06,5.957324e-06
0.000000e+00,2.883972e-09,6.546781e-09,2.218136e-08,4.989614e-08,7.240446e-08,1.625207e-07,1.673567e-07,3.217964e-07,3.779361e-07,5.524283e-07,7.344072e-07,8.755189e-07,1.260088e-06,1.297278e-06,1.805563e-06,1.938006e-06,2.378674e-06,2.720626e-06,2.997627e-06,3.569143e-06,3.648576e-06,4.320912e-06,4.457135e-06,5.005630e-06,5.363852e-06,5.694600e-06,6.271130e-06,6.380344e-06,7.056095e-06,7.162877e-06,7.715897e-06,8.025425e-06,8.354728e-06,8.847943e-06,8.968545e-06,9.554284e-06,9.622575e-06,1.010981e-05,1.034430e-05,1.063382e-05,1.101062e-05,1.112575e-05,1.158563e-05,1.162105e-05,1.201400e-05,1.217671e-05,1.241176e-05,1.267985e-05,1.278009e-05,1.312039e-05,1.313344e-05,1.343414e-05,1.354089e-05,1.372290e-05,1.390580e-05,1.398826e-05,1.423177e-05,1.445496e-05,1.452232e-05,1.465926e-05,1.478076e-05,1.484608e-05,1.501017e-05,1.501670e-05,1.517235e-05,1.521340e-05,1.531416e-05,1.539304e-05,1.544318e-05,1.555142e-05,1.556038e-05,1.566666e-05,1.569064e-05,1.576285e-05,1.581259e-05,1.584970e-05,1.591896e-05,1.592792e-05,1.599813e-05,1.601126e-05,1.606093e-05,1.609084e-05,1.611686e-05,1.615889e-05,1.616640e-05,1.621003e-05,1.621649e-05,1.624815e-05,1.626461e-05,1.628116e-05,1.630411e-05,1.630939e-05,1.633319e-05,1.633576e-05,1.635285e-05,1.636026e-05,1.636864e-05,1.637823e-05,1.638084e-05,1.638967e-05,1.639024e-05,1.639535e-05,1.639679e-05,1.639810e-05,1.639836e-05,1.639809e-05,1.639551e-05,1.639536e-05,1.639053e-05,1.638817e-05,1.638328e-05,1.637715e-05,1.637393e-05,1.636260e-05,1.634942e-05,1.634483e-05,1.633450e-05,1.632409e-05,1.631795e-05,1.630063e-05,1.629988e-05,1.628039e-05,1.627469e-05,1.625956e-05,1.624646e-05,1.623748e-05,1.621614e-05,1.621424e-05,1.618990e-05,1.618390e-05,1.616454e-05,1.614991e-05,1.613822e-05,1.611433e-05,1.611102e-05,1.608299e-05,1.607729e-05,1.605419e-05,1.603892e-05,1.602467e-05,1.599935e-05,1.599448e-05,1.596368e-05,1.595870e-05,1.593230e-05,1.591705e-05,1.590040e-05,1.587453e-05,1.586801e-05,1.583518e-05,1.583121e-05,1.580193e-05,1.578719e-05,1.576832e-05,1.574253e-05,1.573436e-05,1.570009e-05,1.569733e-05,1.566554e-05,1.565165e-05,1.563074e-05,1.560555e-05,1.559573e-05,1.556051e-05,1.555910e-05,1.552513e-05,1.551236e-05,1.548960e-05,1.546537e-05,1.545394e-05,1.541819e-05,1.537086e-05,1.532344e-05,1.527595e-05,1.522845e-05,1.518096e-05,1.513352e-05,1.508617e-05,1.503892e-05,1.499181e-05,1.494487e-05,1.489811e-05,1.485157e-05,1.480526e-05,1.475919e-05,1.471340e-05,1.466789e-05,1.462269e-05,1.457780e-05,1.453323e-05,1.448901e-05,1.444514e-05,1.440163e-05,1.435850e-05,1.431574e-05
0.000000e+00,2.748161e-09,6.250408e-09,2.123591e-08,4.779179e-08,6.929108e-08,1.544491e-07,1.589731e-07,3.009262e-07,3.513627e-07,5.046938e-07,6.602600e-07,7.789302e-07,1.100179e-06,1.131424e-06,1.568808e-06,1.686991e-06,2.095785e-06,2.430735e-06,2.713757e-06,3.330136e-06,3.419136e-06,4.202386e-06,4.367162e-06,5.048963e-06,5.508604e-06,5.941946e-06,6.715729e-06,6.864746e-06,7.802640e-06,7.953242e-06,8.743191e-06,9.192499e-06,9.676092e-06,1.041115e-05,1.059287e-05,1.148658e-05,1.159199e-05,1.235162e-05,1.272198e-05,1.318357e-05,1.379159e-05,1.397902e-05,1.473553e-05,1.479431e-05,1.545146e-05,1.572625e-05,1.612591e-05,1.658564e-05,1.675859e-05,1.734974e-05,1.737253e-05,1.790004e-05,1.808833e-05,1.841049e-05,1.873550e-05,1.888240e-05,1.931726e-05,1.971669e-05,1.983731e-05,2.008243e-05,2.029964e-05,2.041625e-05,2.070836e-05,2.071995e-05,2.099531e-05,2.106758e-05,2.124409e-05,2.138131e-05,2.146799e-05,2.165341e-05,2.166865e-05,2.184764e-05,2.188755e-05,2.200647e-05,2.208714e-05,2.214656e-05,2.225540e-05,2.226925e-05,2.237580e-05,2.239528e-05,2.246740e-05,2.250950e-05,2.254517e-05,2.260056e-05,2.261014e-05,2.266328e-05,2.267075e-05,2.270550e-05,2.272213e-05,2.273763e-05,2.275661e-05,2.276047e-05,2.277474e-05,2.277591e-05,2.278112e-05,2.278159e-05,2.278023e-05,2.277505e-05,2.277265e-05,2.275894e-05,2.275759e-05,2.273959e-05,2.273037e-05,2.271506e-05,2.269444e-05,2.268579e-05,2.265217e-05,2.265074e-05,2.261459e-05,2.260016e-05,2.257338e-05,2.254345e-05,2.252887e-05,2.248134e-05,2.243108e-05,2.241446e-05,2.237834e-05,2.234340e-05,2.232336e-05,2.226868e-05,2.226636e-05,2.220754e-05,2.219077e-05,2.214709e-05,2.211012e-05,2.208519e-05,2.202710e-05,2.202200e-05,2.195767e-05,2.194208e-05,2.189235e-05,2.185538e-05,2.182616e-05,2.176730e-05,2.175923e-05,2.169166e-05,2.167808e-05,2.162357e-05,2.158799e-05,2.155505e-05,2.149723e-05,2.148619e-05,2.141708e-05,2.140600e-05,2.134779e-05,2.131448e-05,2.127839e-05,2.122284e-05,2.120895e-05,2.113954e-05,2.113122e-05,2.107021e-05,2.103974e-05,2.100101e-05,2.094854e-05,2.093200e-05,2.086322e-05,2.085772e-05,2.079470e-05,2.076738e-05,2.072650e-05,2.067761e-05,2.065864e-05,2.059117e-05,2.058848e-05,2.052410e-05,2.050006e-05,2.045747e-05,2.041243e-05,2.039131e-05,2.032563e-05,2.023972e-05,2.015473e-05,2.007072e-05,1.998771e-05,1.990574e-05,1.982484e-05,1.974501e-05,1.966629e-05,1.958869e-05,1.951222e-05,1.943690e-05,1.936273e-05,1.928971e-05,1.921786e-05,1.914716e-05,1.907764e-05,1.900927e-05,1.894206e-05,1.887601e-05,1.881111e-05,1.874736e-05,1.868474e-05,1.862325e-05,1.856288e-05
0.000000e+00,2.707379e-09,6.167976e-09,2.105304e-08,4.767009e-08,6.941449e-08,1.570909e-07,1.618143e-07,3.131726e-07,3.683572e-07,5.403652e-07,7.210165e-07,8.626897e-07,1.261373e-06,1.301234e-06,1.876412e-06,2.036632e-06,2.602888e-06,3.077185e-06,3.482440e-06,4.370630e-06,4.498886e-06,5.620722e-06,5.854447e-06,6.810796e-06,7.445146e-06,8.035462e-06,9.071529e-06,9.268525e-06,1.049097e-05,1.068461e-05,1.168927e-05,1.225293e-05,1.285376e-05,1.375619e-05,1.397737e-05,1.505491e-05,1.518093e-05,1.608260e-05,1.651828e-05,1.705780e-05,1.776274e-05,1.797877e-05,1.884460e-05,1.891148e-05,1.965508e-05,1.996384e-05,2.041058e-05,2.092098e-05,2.111198e-05,2.176059e-05,2.178546e-05,2.235804e-05,2.256095e-05,2.290620e-05,2.325185e-05,2.340715e-05,2.386310e-05,2.427633e-05,2.439991e-05,2.464914e-05,2.486761e-05,2.498386e-05,2.527148e-05,2.528278e-05,2.554811e-05,2.561669e-05,2.578204e-05,2.590818e-05,2.598663e-05,2.615067e-05,2.616389e-05,2.631572e-05,2.634858e-05,2.644391e-05,2.650602e-05,2.655018e-05,2.662683e-05,2.663612e-05,2.670325e-05,2.671454e-05,2.675298e-05,2.677241e-05,2.678664e-05,2.680341e-05,2.680548e-05,2.681064e-05,2.681027e-05,2.680322e-05,2.679548e-05,2.678422e-05,2.676132e-05,2.675458e-05,2.671518e-05,2.670984e-05,2.666683e-05,2.664292e-05,2.661029e-05,2.656227e-05,2.654626e-05,2.647540e-05,2.646945e-05,2.639831e-05,2.636585e-05,2.631555e-05,2.625276e-05,2.622766e-05,2.613511e-05,2.613132e-05,2.603836e-05,2.600259e-05,2.593783e-05,2.586751e-05,2.583391e-05,2.572695e-05,2.561729e-05,2.558168e-05,2.550524e-05,2.543241e-05,2.539109e-05,2.527977e-05,2.527509e-05,2.515751e-05,2.512434e-05,2.503857e-05,2.496664e-05,2.491848e-05,2.480715e-05,2.479743e-05,2.467561e-05,2.464628e-05,2.455319e-05,2.448443e-05,2.443032e-05,2.432193e-05,2.430714e-05,2.418378e-05,2.415910e-05,2.406038e-05,2.399623e-05,2.393704e-05,2.383355e-05,2.381386e-05,2.369095e-05,2.367131e-05,2.356838e-05,2.350970e-05,2.344625e-05,2.334891e-05,2.332463e-05,2.320358e-05,2.318910e-05,2.308317e-05,2.303041e-05,2.296346e-05,2.287297e-05,2.284449e-05,2.272633e-05,2.271691e-05,2.260900e-05,2.256232e-05,2.249256e-05,2.240928e-05,2.237703e-05,2.226245e-05,2.225789e-05,2.214885e-05,2.210820e-05,2.203626e-05,2.196029e-05,2.192470e-05,2.181419e-05,2.166995e-05,2.152762e-05,2.138722e-05,2.124877e-05,2.111230e-05,2.097782e-05,2.084535e-05,2.071488e-05,2.058642e-05,2.045998e-05,2.033555e-05,2.021313e-05,2.009270e-05,1.997426e-05,1.985780e-05,1.974330e-05,1.963075e-05,1.952014e-05,1.941144e-05,1.930463e-05,1.919970e-05,1.909663e-05,1.899539e-05,1.889596e-05
0.000000e+00,3.172087e-09,7.239033e-09,2.478508e-08,5.623593e-08,8.194874e-08,1.855442e-07,1.911178e-07,3.692038e-07,4.338792e-07,6.346141e-07,8.439996e-07,1.007046e-06,1.458914e-06,1.503432e-06,2.130617e-06,2.300253e-06,2.884056e-06,3.357727e-06,3.754626e-06,4.610854e-06,4.733860e-06,5.814825e-06,6.042680e-06,6.991363e-06,7.638897e-06,8.257287e-06,9.384852e-06,9.605885e-06,1.102969e-05,1.126393e-05,1.252042e-05,1.325712e-05,1.406908e-05,1.534328e-05,1.566607e-05,1.730142e-05,1.749976e-05,1.896496e-05,1.970323e-05,2.064655e-05,2.193050e-05,2.233625e-05,2.402454e-05,2.415927e-05,2.570245e-05,2.636882e-05,2.736167e-05,2.854045e-05,2.899462e-05,3.059459e-05,3.065782e-05,3.215566e-05,3.270712e-05,3.367274e-05,3.467704e-05,3.514160e-05,3.655879e-05,3.792161e-05,3.834588e-05,3.922804e-05,4.003390e-05,4.047670e-05,4.162032e-05,4.166679e-05,4.279800e-05,4.310419e-05,4.387045e-05,4.448592e-05,4.488467e-05,4.576701e-05,4.584147e-05,4.674195e-05,4.694983e-05,4.758745e-05,4.803746e-05,4.837945e-05,4.903345e-05,4.911959e-05,4.980960e-05,4.994174e-05,5.045129e-05,5.076649e-05,5.104653e-05,5.151200e-05,5.159718e-05,5.210515e-05,5.218259e-05,5.257232e-05,5.278262e-05,5.300055e-05,5.331633e-05,5.339167e-05,5.374748e-05,5.378789e-05,5.406971e-05,5.420129e-05,5.436005e-05,5.456038e-05,5.462013e-05,5.485152e-05,5.486884e-05,5.505574e-05,5.513016e-05,5.523426e-05,5.534766e-05,5.538846e-05,5.551968e-05,5.552447e-05,5.562919e-05,5.566354e-05,5.571822e-05,5.576766e-05,5.578793e-05,5.583942e-05,5.587375e-05,5.588127e-05,5.589192e-05,5.589551e-05,5.589488e-05,5.588426e-05,5.588354e-05,5.585876e-05,5.584952e-05,5.582135e-05,5.579318e-05,5.577210e-05,5.571695e-05,5.571173e-05,5.564094e-05,5.562247e-05,5.556039e-05,5.551125e-05,5.547070e-05,5.538470e-05,5.537248e-05,5.526628e-05,5.524413e-05,5.515263e-05,5.509076e-05,5.503204e-05,5.492573e-05,5.490498e-05,5.477191e-05,5.475009e-05,5.463326e-05,5.456484e-05,5.448943e-05,5.437089e-05,5.434080e-05,5.418773e-05,5.416908e-05,5.403057e-05,5.396021e-05,5.386965e-05,5.374502e-05,5.370526e-05,5.353771e-05,5.352418e-05,5.336726e-05,5.329833e-05,5.319418e-05,5.306807e-05,5.301871e-05,5.284108e-05,5.283393e-05,5.266151e-05,5.259643e-05,5.248021e-05,5.235604e-05,5.229738e-05,5.211319e-05,5.186830e-05,5.162174e-05,5.137385e-05,5.112497e-05,5.087539e-05,5.062539e-05,5.037523e-05,5.012513e-05,4.987533e-05,4.962602e-05,4.937739e-05,4.912961e-05,4.888284e-05,4.863723e-05,4.839290e-05,4.814998e-05,4.790859e-05,4.766882e-05,4.743077e-05,4.719452e-05,4.696015e-05,4.672773e-05,4.649733e-05,4.626899e-05
0.000000e+00,1.775836e-08,4.036317e-08,1.369518e-07,3.078526e-07,4.460691e-07,9.928666e-07,1.021895e-06,1.932233e-06,2.255540e-06,3.238270e-06,4.235230e-06,4.995603e-06,7.051590e-06,7.251198e-06,1.003173e-05,1.077695e-05,1.332712e-05,1.538084e-05,1.709031e-05,2.073831e-05,2.125757e-05,2.576500e-05,2.670195e-05,3.055226e-05,3.313286e-05,3.556112e-05,3.989774e-05,4.073409e-05,4.601416e-05,4.686515e-05,5.134546e-05,5.390682e-05,5.667436e-05,6.090181e-05,6.195057e-05,6.712819e-05,6.774089e-05,7.216654e-05,7.433008e-05,7.703068e-05,8.059285e-05,8.169161e-05,8.612627e-05,8.647071e-05,9.031733e-05,9.192270e-05,9.425283e-05,9.692392e-05,9.792555e-05,1.013325e-04,1.014632e-04,1.044743e-04,1.055411e-04,1.073547e-04,1.091672e-04,1.099799e-04,1.123582e-04,1.144991e-04,1.151359e-04,1.164136e-04,1.175253e-04,1.181131e-04,1.195536e-04,1.196097e-04,1.209155e-04,1.212486e-04,1.220426e-04,1.226381e-04,1.230031e-04,1.237496e-04,1.238086e-04,1.244705e-04,1.246092e-04,1.249997e-04,1.252418e-04,1.254063e-04,1.256707e-04,1.257004e-04,1.258911e-04,1.259177e-04,1.259872e-04,1.260025e-04,1.259969e-04,1.259437e-04,1.259276e-04,1.257867e-04,1.257579e-04,1.255806e-04,1.254603e-04,1.253155e-04,1.250648e-04,1.249971e-04,1.246308e-04,1.245838e-04,1.242212e-04,1.240285e-04,1.237730e-04,1.234091e-04,1.232903e-04,1.227769e-04,1.227346e-04,1.222363e-04,1.220132e-04,1.216718e-04,1.212521e-04,1.210862e-04,1.204825e-04,1.204580e-04,1.198629e-04,1.196365e-04,1.192300e-04,1.187930e-04,1.185857e-04,1.179319e-04,1.172705e-04,1.170576e-04,1.166031e-04,1.161735e-04,1.159311e-04,1.152829e-04,1.152559e-04,1.145787e-04,1.143888e-04,1.139006e-04,1.134937e-04,1.132226e-04,1.125997e-04,1.125456e-04,1.118706e-04,1.117090e-04,1.111982e-04,1.108231e-04,1.105292e-04,1.099436e-04,1.098640e-04,1.092034e-04,1.090719e-04,1.085479e-04,1.082091e-04,1.078977e-04,1.073561e-04,1.072535e-04,1.066154e-04,1.065139e-04,1.059839e-04,1.056832e-04,1.053592e-04,1.048645e-04,1.047416e-04,1.041312e-04,1.040584e-04,1.035283e-04,1.032654e-04,1.029330e-04,1.024857e-04,1.023454e-04,1.017658e-04,1.017197e-04,1.011940e-04,1.009676e-04,1.006303e-04,1.002295e-04,1.000747e-04,9.952721e-05,9.950548e-05,9.898785e-05,9.879568e-05,9.845665e-05,9.810009e-05,9.793360e-05,9.741869e-05,9.675144e-05,9.609827e-05,9.545908e-05,9.483375e-05,9.422214e-05,9.362411e-05,9.303947e-05,9.246806e-05,9.190967e-05,9.136412e-05,9.083120e-05,9.031069e-05,8.980238e-05,8.930604e-05,8.882146e-05,8.834840e-05,8.788664e-05,8.743595e-05,8.699610e-05,8.656687e-05,8.614802e-05,8.573933e-05,8.534058e-05,8.495155e-05
0.000000e+00,3.692057e-09,8.418100e-09,2.875976e-08,6.509399e-08,9.470429e-08,2.132949e-07,2.196461e-07,4.211856e-07,4.937609e-07,7.171888e-07,9.477819e-07,1.126040e-06,1.616945e-06,1.665214e-06,2.346321e-06,2.531093e-06,3.168088e-06,3.684537e-06,4.115709e-06,5.037496e-06,5.168766e-06,6.308003e-06,6.544694e-06,7.516860e-06,8.168078e-06,8.780725e-06,9.874972e-06,1.008608e-05,1.142009e-05,1.163536e-05,1.277049e-05,1.342108e-05,1.412573e-05,1.520615e-05,1.547506e-05,1.680876e-05,1.696733e-05,1.811821e-05,1.868473e-05,1.939598e-05,2.034200e-05,2.063581e-05,2.183265e-05,2.192641e-05,2.298249e-05,2.342857e-05,2.408237e-05,2.484216e-05,2.513023e-05,2.612478e-05,2.616345e-05,2.706546e-05,2.739090e-05,2.795225e-05,2.852470e-05,2.878562e-05,2.956643e-05,3.029587e-05,3.051866e-05,3.097534e-05,3.138471e-05,3.160645e-05,3.216842e-05,3.219092e-05,3.273059e-05,3.287392e-05,3.322732e-05,3.350554e-05,3.368302e-05,3.406767e-05,3.409960e-05,3.447895e-05,3.456466e-05,3.482293e-05,3.500079e-05,3.513337e-05,3.538022e-05,3.541205e-05,3.566069e-05,3.570696e-05,3.588095e-05,3.598482e-05,3.607445e-05,3.621744e-05,3.624273e-05,3.638726e-05,3.640827e-05,3.650945e-05,3.656058e-05,3.661067e-05,3.667741e-05,3.669220e-05,3.675527e-05,3.676165e-05,3.680104e-05,3.681599e-05,3.683064e-05,3.684296e-05,3.684511e-05,3.684546e-05,3.684491e-05,3.683265e-05,3.682404e-05,3.680756e-05,3.678239e-05,3.677107e-05,3.672396e-05,3.672187e-05,3.666702e-05,3.664425e-05,3.660095e-05,3.655117e-05,3.652645e-05,3.644415e-05,3.635468e-05,3.632462e-05,3.625859e-05,3.619388e-05,3.615644e-05,3.605314e-05,3.604874e-05,3.593596e-05,3.590353e-05,3.581856e-05,3.574608e-05,3.569697e-05,3.558174e-05,3.557158e-05,3.544279e-05,3.541141e-05,3.531093e-05,3.523588e-05,3.517635e-05,3.505592e-05,3.503936e-05,3.490026e-05,3.487221e-05,3.475931e-05,3.468538e-05,3.461679e-05,3.449602e-05,3.447292e-05,3.432794e-05,3.430466e-05,3.418206e-05,3.411178e-05,3.403548e-05,3.391784e-05,3.388838e-05,3.374094e-05,3.372323e-05,3.359332e-05,3.352835e-05,3.344567e-05,3.333351e-05,3.329812e-05,3.315081e-05,3.313904e-05,3.300386e-05,3.294521e-05,3.285739e-05,3.275228e-05,3.271149e-05,3.256626e-05,3.256046e-05,3.242179e-05,3.236999e-05,3.227817e-05,3.218102e-05,3.213546e-05,3.199374e-05,3.180830e-05,3.162481e-05,3.144341e-05,3.126419e-05,3.108724e-05,3.091265e-05,3.074048e-05,3.057078e-05,3.040360e-05,3.023899e-05,3.007698e-05,2.991759e-05,2.976083e-05,2.960673e-05,2.945529e-05,2.930650e-05,2.916037e-05,2.901690e-05,2.887606e-05,2.873785e-05,2.860224e-05,2.846923e-05,2.833878e-05,2.821088e-05
0.000000e+00,5.118617e-09,1.157101e-08,3.883060e-08,8.646122e-08,1.246651e-07,2.743459e-07,2.822502e-07,5.290967e-07,6.165086e-07,8.821135e-07,1.152020e-06,1.358483e-06,1.920416e-06,1.975304e-06,2.746919e-06,2.956043e-06,3.678664e-06,4.266735e-06,4.758323e-06,5.804796e-06,5.952706e-06,7.216152e-06,7.473089e-06,8.504445e-06,9.172265e-06,9.783017e-06,1.083157e-05,1.102769e-05,1.222233e-05,1.240805e-05,1.335624e-05,1.387678e-05,1.442239e-05,1.522343e-05,1.541628e-05,1.633532e-05,1.644051e-05,1.717845e-05,1.752539e-05,1.794586e-05,1.847920e-05,1.863882e-05,1.925949e-05,1.930610e-05,1.981076e-05,2.001258e-05,2.029605e-05,2.060675e-05,2.071920e-05,2.108432e-05,2.109777e-05,2.139562e-05,2.149534e-05,2.165738e-05,2.180923e-05,2.187380e-05,2.204895e-05,2.218675e-05,2.222356e-05,2.229088e-05,2.234146e-05,2.236479e-05,2.241031e-05,2.241171e-05,2.243457e-05,2.243704e-05,2.243610e-05,2.242780e-05,2.241874e-05,2.238803e-05,2.238475e-05,2.233613e-05,2.232249e-05,2.227471e-05,2.223533e-05,2.220210e-05,2.213012e-05,2.211977e-05,2.202901e-05,2.200996e-05,2.193100e-05,2.187751e-05,2.182676e-05,2.173507e-05,2.171722e-05,2.160319e-05,2.158458e-05,2.148540e-05,2.142772e-05,2.136450e-05,2.126593e-05,2.124106e-05,2.111559e-05,2.110042e-05,2.098854e-05,2.093225e-05,2.086031e-05,2.076229e-05,2.073126e-05,2.060170e-05,2.059132e-05,2.047191e-05,2.041999e-05,2.034214e-05,2.024883e-05,2.021260e-05,2.008349e-05,2.007834e-05,1.995498e-05,1.990889e-05,1.982722e-05,1.974085e-05,1.970035e-05,1.957448e-05,1.944972e-05,1.941004e-05,1.932615e-05,1.924773e-05,1.920385e-05,1.908771e-05,1.908290e-05,1.896336e-05,1.893014e-05,1.884527e-05,1.877513e-05,1.872868e-05,1.862277e-05,1.861362e-05,1.850014e-05,1.847314e-05,1.838825e-05,1.832630e-05,1.827797e-05,1.818228e-05,1.816933e-05,1.806233e-05,1.804113e-05,1.795698e-05,1.790286e-05,1.785329e-05,1.776748e-05,1.775127e-05,1.765090e-05,1.763499e-05,1.755219e-05,1.750540e-05,1.745513e-05,1.737868e-05,1.735973e-05,1.726596e-05,1.725481e-05,1.717381e-05,1.713378e-05,1.708329e-05,1.701556e-05,1.699437e-05,1.690704e-05,1.690012e-05,1.682128e-05,1.678742e-05,1.673709e-05,1.667742e-05,1.665443e-05,1.657330e-05,1.657009e-05,1.649368e-05,1.646539e-05,1.641555e-05,1.636326e-05,1.633889e-05,1.626368e-05,1.616659e-05,1.607194e-05,1.597969e-05,1.588980e-05,1.580221e-05,1.571687e-05,1.563375e-05,1.555278e-05,1.547393e-05,1.539714e-05,1.532237e-05,1.524957e-05,1.517869e-05,1.510970e-05,1.504254e-05,1.497717e-05,1.491355e-05,1.485162e-05,1.479136e-05,1.473272e-05,1.467566e-05,1.462013e-05,1.456610e-05,1.451353e-05
0.000000e+00,8.769276e-09,2.003398e-08,6.872351e-08,1.561123e-07,2.275667e-07,5.149838e-07,5.304168e-07,1.021476e-06,1.198782e-06,1.745700e-06,2.311486e-06,2.749673e-06,3.960400e-06,4.079823e-06,5.774983e-06,6.238770e-06,7.853433e-06,9.181939e-06,1.030464e-05,1.274431e-05,1.309587e-05,1.618608e-05,1.683638e-05,1.953473e-05,2.136553e-05,2.310407e-05,2.624690e-05,2.685868e-05,3.076459e-05,3.140136e-05,3.478884e-05,3.675307e-05,3.889941e-05,4.222927e-05,4.306550e-05,4.725785e-05,4.776138e-05,5.144911e-05,5.328637e-05,5.561421e-05,5.874819e-05,5.973055e-05,6.377818e-05,6.409849e-05,6.773979e-05,6.929698e-05,7.160071e-05,7.431130e-05,7.534876e-05,7.897411e-05,7.911645e-05,8.246905e-05,8.369415e-05,8.582785e-05,8.803195e-05,8.904648e-05,9.212240e-05,9.505439e-05,9.596219e-05,9.784234e-05,9.955137e-05,1.004871e-04,1.028927e-04,1.029901e-04,1.053538e-04,1.059910e-04,1.075807e-04,1.088526e-04,1.096742e-04,1.114852e-04,1.116376e-04,1.134747e-04,1.138972e-04,1.151894e-04,1.160976e-04,1.167857e-04,1.180957e-04,1.182677e-04,1.196395e-04,1.199010e-04,1.209054e-04,1.215231e-04,1.220694e-04,1.229714e-04,1.231356e-04,1.241081e-04,1.242553e-04,1.249909e-04,1.253839e-04,1.257878e-04,1.263660e-04,1.265026e-04,1.271391e-04,1.272104e-04,1.277009e-04,1.279254e-04,1.281915e-04,1.285189e-04,1.286143e-04,1.289726e-04,1.289986e-04,1.292696e-04,1.293719e-04,1.295083e-04,1.296458e-04,1.296918e-04,1.298230e-04,1.298272e-04,1.299045e-04,1.299222e-04,1.299391e-04,1.299372e-04,1.299294e-04,1.298778e-04,1.297866e-04,1.297495e-04,1.296582e-04,1.295575e-04,1.294948e-04,1.293069e-04,1.292984e-04,1.290711e-04,1.290022e-04,1.288148e-04,1.286479e-04,1.285314e-04,1.282481e-04,1.282225e-04,1.278899e-04,1.278067e-04,1.275352e-04,1.273276e-04,1.271600e-04,1.268140e-04,1.267657e-04,1.263538e-04,1.262694e-04,1.259255e-04,1.256968e-04,1.254822e-04,1.250990e-04,1.250250e-04,1.245552e-04,1.244789e-04,1.240738e-04,1.238390e-04,1.235820e-04,1.231816e-04,1.230806e-04,1.225707e-04,1.225089e-04,1.220531e-04,1.218232e-04,1.215287e-04,1.211262e-04,1.209984e-04,1.204628e-04,1.204198e-04,1.199228e-04,1.197057e-04,1.193790e-04,1.189855e-04,1.188320e-04,1.182826e-04,1.182606e-04,1.177312e-04,1.175323e-04,1.171784e-04,1.168021e-04,1.166248e-04,1.160709e-04,1.153399e-04,1.146100e-04,1.138822e-04,1.131574e-04,1.124362e-04,1.117194e-04,1.110076e-04,1.103014e-04,1.096014e-04,1.089080e-04,1.082217e-04,1.075428e-04,1.068716e-04,1.062086e-04,1.055539e-04,1.049079e-04,1.042707e-04,1.036424e-04,1.030233e-04,1.024134e-04,1.018129e-04,1.012219e-04,1.006404e-04,1.000684e-04
0.000000e+00,4.517194e-09,1.024753e-08,3.467464e-08,7.791594e-08,1.130064e-07,2.534269e-07,2.609627e-07,5.018757e-07,5.896415e-07,8.634993e-07,1.151589e-06,1.377407e-06,2.007104e-06,2.069234e-06,2.939769e-06,3.172433e-06,3.959518e-06,4.580374e-06,5.087639e-06,6.142216e-06,6.289411e-06,7.539823e-06,7.794076e-06,8.820929e-06,9.494524e-06,1.011884e-05,1.121343e-05,1.142179e-05,1.271914e-05,1.292553e-05,1.400099e-05,1.460803e-05,1.525809e-05,1.624023e-05,1.648196e-05,1.766500e-05,1.780390e-05,1.880065e-05,1.928388e-05,1.988348e-05,2.066844e-05,2.090923e-05,2.187479e-05,2.194937e-05,2.277820e-05,2.312192e-05,2.361851e-05,2.418441e-05,2.439569e-05,2.511050e-05,2.513782e-05,2.576440e-05,2.598526e-05,2.635936e-05,2.673147e-05,2.689777e-05,2.738235e-05,2.781600e-05,2.794451e-05,2.820177e-05,2.842496e-05,2.854275e-05,2.883080e-05,2.884201e-05,2.910259e-05,2.916902e-05,2.932742e-05,2.944634e-05,2.951933e-05,2.966912e-05,2.968100e-05,2.981498e-05,2.984328e-05,2.992364e-05,2.997426e-05,3.000921e-05,3.006706e-05,3.007376e-05,3.011922e-05,3.012618e-05,3.014735e-05,3.015567e-05,3.015977e-05,3.015917e-05,3.015799e-05,3.014337e-05,3.013992e-05,3.011718e-05,3.010083e-05,3.008055e-05,3.004444e-05,3.003453e-05,2.998007e-05,2.997301e-05,2.991803e-05,2.988854e-05,2.984920e-05,2.979279e-05,2.977430e-05,2.969397e-05,2.968733e-05,2.960882e-05,2.957353e-05,2.951939e-05,2.945262e-05,2.942616e-05,2.932959e-05,2.932566e-05,2.923008e-05,2.919361e-05,2.912800e-05,2.905731e-05,2.902371e-05,2.891750e-05,2.880965e-05,2.877484e-05,2.870043e-05,2.862992e-05,2.859007e-05,2.848325e-05,2.847878e-05,2.836677e-05,2.833530e-05,2.825420e-05,2.818647e-05,2.814125e-05,2.803712e-05,2.802806e-05,2.791478e-05,2.788759e-05,2.780151e-05,2.773814e-05,2.768839e-05,2.758904e-05,2.757552e-05,2.746298e-05,2.744052e-05,2.735087e-05,2.729278e-05,2.723928e-05,2.714598e-05,2.712826e-05,2.701789e-05,2.700029e-05,2.690823e-05,2.685586e-05,2.679933e-05,2.671279e-05,2.669124e-05,2.658401e-05,2.657120e-05,2.647767e-05,2.643118e-05,2.637228e-05,2.629282e-05,2.626785e-05,2.616442e-05,2.615619e-05,2.606201e-05,2.602134e-05,2.596065e-05,2.588834e-05,2.586037e-05,2.576117e-05,2.575722e-05,2.566307e-05,2.562803e-05,2.556609e-05,2.550079e-05,2.547024e-05,2.537554e-05,2.525228e-05,2.513104e-05,2.501182e-05,2.489464e-05,2.477949e-05,2.466637e-05,2.455529e-05,2.444622e-05,2.433917e-05,2.423412e-05,2.413106e-05,2.402998e-05,2.393085e-05,2.383366e-05,2.373839e-05,2.364502e-05,2.355353e-05,2.346389e-05,2.337608e-05,2.329007e-05,2.320585e-05,2.312339e-05,2.304265e-05,2.296362e-05
0.000000e+00,3.637645e-09,8.303937e-09,2.843529e-08,6.447581e-08,9.388218e-08,2.117416e-07,2.180535e-07,4.181591e-07,4.900979e-07,7.111009e-07,9.384793e-07,1.113833e-06,1.595678e-06,1.643037e-06,2.313227e-06,2.496182e-06,3.132879e-06,3.657164e-06,4.100880e-06,5.067598e-06,5.207190e-06,6.437094e-06,6.696520e-06,7.774923e-06,8.508204e-06,9.205575e-06,1.046850e-05,1.071464e-05,1.228821e-05,1.254506e-05,1.391270e-05,1.470662e-05,1.557480e-05,1.692287e-05,1.726160e-05,1.896072e-05,1.916488e-05,2.066047e-05,2.140572e-05,2.234997e-05,2.362101e-05,2.401932e-05,2.565970e-05,2.578944e-05,2.726337e-05,2.789303e-05,2.882369e-05,2.991713e-05,3.033513e-05,3.179318e-05,3.185034e-05,3.319432e-05,3.368426e-05,3.453589e-05,3.541317e-05,3.581605e-05,3.703367e-05,3.818822e-05,3.854435e-05,3.927972e-05,3.994538e-05,4.030862e-05,4.123826e-05,4.127578e-05,4.218233e-05,4.242549e-05,4.302969e-05,4.351036e-05,4.381946e-05,4.449669e-05,4.455340e-05,4.523335e-05,4.538872e-05,4.586126e-05,4.619091e-05,4.643913e-05,4.690786e-05,4.696897e-05,4.745281e-05,4.754424e-05,4.789267e-05,4.810469e-05,4.829055e-05,4.859376e-05,4.864841e-05,4.896818e-05,4.901593e-05,4.925173e-05,4.937551e-05,4.950090e-05,4.967667e-05,4.971746e-05,4.990313e-05,4.992341e-05,5.005955e-05,5.011953e-05,5.018833e-05,5.026867e-05,5.029101e-05,5.036906e-05,5.037428e-05,5.042390e-05,5.043964e-05,5.045689e-05,5.046784e-05,5.046932e-05,5.046244e-05,5.046178e-05,5.043745e-05,5.042423e-05,5.039547e-05,5.035778e-05,5.033759e-05,5.026484e-05,5.017821e-05,5.014771e-05,5.007863e-05,5.000853e-05,4.996701e-05,4.984929e-05,4.984417e-05,4.971094e-05,4.967188e-05,4.956808e-05,4.947805e-05,4.941632e-05,4.926943e-05,4.925635e-05,4.908882e-05,4.904756e-05,4.891435e-05,4.881384e-05,4.873354e-05,4.856962e-05,4.854694e-05,4.835508e-05,4.831612e-05,4.815846e-05,4.805449e-05,4.795755e-05,4.778580e-05,4.775280e-05,4.754462e-05,4.751102e-05,4.733342e-05,4.723108e-05,4.711957e-05,4.694682e-05,4.690343e-05,4.668532e-05,4.665903e-05,4.646556e-05,4.636842e-05,4.624445e-05,4.607567e-05,4.602226e-05,4.579925e-05,4.578138e-05,4.557567e-05,4.548613e-05,4.535174e-05,4.519043e-05,4.512769e-05,4.490371e-05,4.489476e-05,4.467999e-05,4.459955e-05,4.445670e-05,4.430520e-05,4.423401e-05,4.401208e-05,4.372051e-05,4.343080e-05,4.314322e-05,4.285800e-05,4.257538e-05,4.229555e-05,4.201868e-05,4.174494e-05,4.147445e-05,4.120735e-05,4.094374e-05,4.068370e-05,4.042732e-05,4.017467e-05,3.992579e-05,3.968073e-05,3.943952e-05,3.920219e-05,3.896875e-05,3.873922e-05,3.851359e-05,3.829185e-05,3.807401e-05,3.786004e-05
0.000000e+00,3.648894e-09,8.338303e-09,2.861035e-08,6.497279e-08,9.467017e-08,2.137340e-07,2.201083e-07,4.218859e-07,4.942424e-07,7.158051e-07,9.425500e-07,1.116569e-06,1.591181e-06,1.637570e-06,2.290024e-06,2.467089e-06,3.081110e-06,3.585333e-06,4.011855e-06,4.942363e-06,5.076989e-06,6.267196e-06,6.519291e-06,7.571464e-06,8.290909e-06,8.978141e-06,1.023009e-05,1.047518e-05,1.205016e-05,1.230854e-05,1.369042e-05,1.449719e-05,1.538324e-05,1.676687e-05,1.711605e-05,1.887670e-05,1.908930e-05,2.065368e-05,2.143794e-05,2.243628e-05,2.378875e-05,2.421470e-05,2.598017e-05,2.612060e-05,2.772493e-05,2.841550e-05,2.944227e-05,3.065853e-05,3.112647e-05,3.277274e-05,3.283775e-05,3.437717e-05,3.494389e-05,3.593662e-05,3.697008e-05,3.744866e-05,3.891149e-05,4.032384e-05,4.076499e-05,4.168493e-05,4.252892e-05,4.299435e-05,4.420275e-05,4.425207e-05,4.545830e-05,4.578688e-05,4.661353e-05,4.728245e-05,4.771842e-05,4.869116e-05,4.877379e-05,4.978060e-05,5.001512e-05,5.073990e-05,5.125678e-05,5.165283e-05,5.241879e-05,5.252057e-05,5.334437e-05,5.350397e-05,5.412548e-05,5.451522e-05,5.486520e-05,5.545551e-05,5.556481e-05,5.622560e-05,5.632781e-05,5.684887e-05,5.713508e-05,5.743589e-05,5.788026e-05,5.798793e-05,5.850622e-05,5.856621e-05,5.899201e-05,5.919576e-05,5.944647e-05,5.977165e-05,5.987080e-05,6.026614e-05,6.029655e-05,6.063361e-05,6.077304e-05,6.097430e-05,6.120362e-05,6.128929e-05,6.157959e-05,6.159071e-05,6.184623e-05,6.193661e-05,6.209017e-05,6.224358e-05,6.231237e-05,6.251374e-05,6.269518e-05,6.274917e-05,6.285754e-05,6.295183e-05,6.300166e-05,6.312360e-05,6.312834e-05,6.323838e-05,6.326630e-05,6.333251e-05,6.338166e-05,6.341146e-05,6.347131e-05,6.347595e-05,6.352664e-05,6.353683e-05,6.356420e-05,6.357972e-05,6.358924e-05,6.360141e-05,6.360238e-05,6.360421e-05,6.360326e-05,6.359528e-05,6.358656e-05,6.357614e-05,6.355255e-05,6.354731e-05,6.350929e-05,6.350239e-05,6.346258e-05,6.343720e-05,6.340762e-05,6.335803e-05,6.334488e-05,6.327477e-05,6.326588e-05,6.319771e-05,6.316171e-05,6.311410e-05,6.304641e-05,6.302432e-05,6.292872e-05,6.292084e-05,6.282767e-05,6.278580e-05,6.272150e-05,6.264207e-05,6.261053e-05,6.249507e-05,6.249036e-05,6.237541e-05,6.233136e-05,6.225184e-05,6.216572e-05,6.212463e-05,6.199404e-05,6.181691e-05,6.163486e-05,6.144841e-05,6.125805e-05,6.106422e-05,6.086736e-05,6.066787e-05,6.046613e-05,6.026249e-05,6.005728e-05,5.985082e-05,5.964341e-05,5.943531e-05,5.922679e-05,5.901808e-05,5.880940e-05,5.860097e-05,5.839299e-05,5.818562e-05,5.797904e-05,5.777341e-05,5.756887e-05,5.736555e-05,5.716357e-05
0.000000e+00,1.441439e-09,3.293001e-09,1.129980e-08,2.569206e-08,3.748298e-08,8.513007e-08,8.769854e-08,1.699479e-07,1.998846e-07,2.929265e-07,3.900400e-07,4.655924e-07,6.740800e-07,6.945239e-07,9.804757e-07,1.057180e-06,1.319365e-06,1.530325e-06,1.706041e-06,2.082191e-06,2.135918e-06,2.604849e-06,2.702962e-06,3.108726e-06,3.383139e-06,3.643265e-06,4.112685e-06,4.203964e-06,4.786156e-06,4.880986e-06,5.385128e-06,5.677224e-06,5.996234e-06,6.490853e-06,6.615019e-06,7.237308e-06,7.312033e-06,7.859287e-06,8.131963e-06,8.477537e-06,8.943054e-06,9.089062e-06,9.691285e-06,9.738993e-06,1.028204e-05,1.051472e-05,1.085954e-05,1.126632e-05,1.142236e-05,1.196938e-05,1.199092e-05,1.249977e-05,1.268652e-05,1.301293e-05,1.335184e-05,1.350848e-05,1.398622e-05,1.444608e-05,1.458947e-05,1.488814e-05,1.516179e-05,1.531256e-05,1.570363e-05,1.571958e-05,1.610952e-05,1.621569e-05,1.648274e-05,1.669881e-05,1.683964e-05,1.715394e-05,1.718064e-05,1.750621e-05,1.758210e-05,1.781680e-05,1.798436e-05,1.811288e-05,1.836182e-05,1.839494e-05,1.866344e-05,1.871556e-05,1.891886e-05,1.904667e-05,1.916167e-05,1.935623e-05,1.939234e-05,1.961130e-05,1.964528e-05,1.981901e-05,1.991484e-05,2.001589e-05,2.016589e-05,2.020238e-05,2.037887e-05,2.039940e-05,2.054577e-05,2.061627e-05,2.070347e-05,2.081739e-05,2.085233e-05,2.099272e-05,2.100360e-05,2.112499e-05,2.117570e-05,2.124948e-05,2.133447e-05,2.136651e-05,2.147639e-05,2.148065e-05,2.157945e-05,2.161493e-05,2.167595e-05,2.173798e-05,2.176619e-05,2.185045e-05,2.192897e-05,2.195293e-05,2.200201e-05,2.204599e-05,2.206982e-05,2.213020e-05,2.213262e-05,2.219064e-05,2.220606e-05,2.224409e-05,2.227406e-05,2.229319e-05,2.233467e-05,2.233812e-05,2.237908e-05,2.238834e-05,2.241626e-05,2.243549e-05,2.244982e-05,2.247650e-05,2.247994e-05,2.250678e-05,2.251176e-05,2.253049e-05,2.254163e-05,2.255122e-05,2.256643e-05,2.256911e-05,2.258431e-05,2.258650e-05,2.259694e-05,2.260213e-05,2.260713e-05,2.261360e-05,2.261500e-05,2.262066e-05,2.262120e-05,2.262423e-05,2.262516e-05,2.262581e-05,2.262574e-05,2.262550e-05,2.262341e-05,2.262317e-05,2.261962e-05,2.261765e-05,2.261422e-05,2.260939e-05,2.260731e-05,2.259895e-05,2.259859e-05,2.258924e-05,2.258542e-05,2.257824e-05,2.257007e-05,2.256603e-05,2.255268e-05,2.253341e-05,2.251241e-05,2.248981e-05,2.246574e-05,2.244032e-05,2.241367e-05,2.238589e-05,2.235709e-05,2.232735e-05,2.229678e-05,2.226544e-05,2.223344e-05,2.220082e-05,2.216768e-05,2.213407e-05,2.210006e-05,2.206570e-05,2.203105e-05,2.199616e-05,2.196108e-05,2.192585e-05,2.189052e-05,2.185512e-05,2.181969e-05
0.000000e+00,2.839923e-09,6.483051e-09,2.220072e-08,5.033925e-08,7.329680e-08,1.652886e-07,1.702141e-07,3.262905e-07,3.823623e-07,5.544824e-07,7.313495e-07,8.676088e-07,1.241578e-06,1.278314e-06,1.798478e-06,1.940753e-06,2.437710e-06,2.849757e-06,3.200797e-06,3.972854e-06,4.085081e-06,5.079907e-06,5.290770e-06,6.169134e-06,6.766880e-06,7.334857e-06,8.360650e-06,8.560017e-06,9.829349e-06,1.003562e-05,1.112941e-05,1.176080e-05,1.244829e-05,1.350979e-05,1.377539e-05,1.510124e-05,1.525985e-05,1.641740e-05,1.699150e-05,1.771644e-05,1.868823e-05,1.899188e-05,2.023818e-05,2.033648e-05,2.145073e-05,2.192542e-05,2.262572e-05,2.344676e-05,2.376018e-05,2.485182e-05,2.489457e-05,2.589900e-05,2.626489e-05,2.690067e-05,2.755549e-05,2.785624e-05,2.876557e-05,2.962885e-05,2.989546e-05,3.044660e-05,3.094640e-05,3.121956e-05,3.192032e-05,3.194866e-05,3.263499e-05,3.281967e-05,3.327978e-05,3.364725e-05,3.388432e-05,3.440611e-05,3.444996e-05,3.497811e-05,3.509944e-05,3.547018e-05,3.573051e-05,3.592760e-05,3.630260e-05,3.635180e-05,3.674418e-05,3.681897e-05,3.710615e-05,3.728280e-05,3.743904e-05,3.769719e-05,3.774421e-05,3.802294e-05,3.806516e-05,3.827648e-05,3.838959e-05,3.850606e-05,3.867325e-05,3.871284e-05,3.889797e-05,3.891879e-05,3.906255e-05,3.912872e-05,3.920761e-05,3.930544e-05,3.933418e-05,3.944322e-05,3.945121e-05,3.953567e-05,3.956820e-05,3.961242e-05,3.965844e-05,3.967432e-05,3.972220e-05,3.972383e-05,3.975683e-05,3.976620e-05,3.977897e-05,3.978725e-05,3.978933e-05,3.978859e-05,3.977741e-05,3.977173e-05,3.975641e-05,3.973808e-05,3.972617e-05,3.968899e-05,3.968728e-05,3.964026e-05,3.962571e-05,3.958563e-05,3.954940e-05,3.952388e-05,3.946118e-05,3.945547e-05,3.938086e-05,3.936207e-05,3.930045e-05,3.925304e-05,3.921465e-05,3.913499e-05,3.912384e-05,3.902838e-05,3.900877e-05,3.892863e-05,3.887516e-05,3.882490e-05,3.873491e-05,3.871750e-05,3.860673e-05,3.858871e-05,3.849287e-05,3.843719e-05,3.837618e-05,3.828096e-05,3.825691e-05,3.813531e-05,3.812057e-05,3.801160e-05,3.795655e-05,3.788599e-05,3.778938e-05,3.775868e-05,3.762986e-05,3.761950e-05,3.749972e-05,3.744734e-05,3.736843e-05,3.727328e-05,3.723615e-05,3.710302e-05,3.709768e-05,3.696921e-05,3.692089e-05,3.683483e-05,3.674320e-05,3.670002e-05,3.656490e-05,3.638626e-05,3.620752e-05,3.602890e-05,3.585061e-05,3.567285e-05,3.549579e-05,3.531958e-05,3.514438e-05,3.497032e-05,3.479751e-05,3.462608e-05,3.445612e-05,3.428772e-05,3.412096e-05,3.395592e-05,3.379267e-05,3.363125e-05,3.347173e-05,3.331414e-05,3.315852e-05,3.300492e-05,3.285335e-05,3.270384e-05,3.255642e-05
0.000000e+00,2.733466e-09,6.244595e-09,2.141815e-08,4.864055e-08,7.088798e-08,1.602698e-07,1.650643e-07,3.173596e-07,3.722256e-07,5.410687e-07,7.151533e-07,8.496243e-07,1.220065e-06,1.256554e-06,1.774891e-06,1.917173e-06,2.415725e-06,2.830844e-06,3.185692e-06,3.969704e-06,4.084047e-06,5.101206e-06,5.317507e-06,6.220471e-06,6.836268e-06,7.422009e-06,8.480643e-06,8.686438e-06,9.996556e-06,1.020940e-05,1.133764e-05,1.198861e-05,1.269716e-05,1.379074e-05,1.406431e-05,1.542978e-05,1.559313e-05,1.678546e-05,1.737701e-05,1.812434e-05,1.912692e-05,1.944041e-05,2.072861e-05,2.083032e-05,2.198470e-05,2.247735e-05,2.320525e-05,2.406051e-05,2.438757e-05,2.552957e-05,2.557439e-05,2.662975e-05,2.701538e-05,2.768713e-05,2.838138e-05,2.870112e-05,2.967153e-05,3.059845e-05,3.088594e-05,3.148226e-05,3.202553e-05,3.232353e-05,3.309182e-05,3.312301e-05,3.388157e-05,3.408677e-05,3.460020e-05,3.501266e-05,3.527998e-05,3.587204e-05,3.592204e-05,3.652754e-05,3.666755e-05,3.709769e-05,3.740198e-05,3.763369e-05,3.807810e-05,3.813677e-05,3.860814e-05,3.869871e-05,3.904900e-05,3.926659e-05,3.946056e-05,3.978446e-05,3.984396e-05,4.020037e-05,4.025496e-05,4.053089e-05,4.068068e-05,4.083664e-05,4.106411e-05,4.111867e-05,4.137801e-05,4.140766e-05,4.161568e-05,4.171364e-05,4.183264e-05,4.198427e-05,4.202984e-05,4.220819e-05,4.222167e-05,4.236857e-05,4.242789e-05,4.251184e-05,4.260485e-05,4.263880e-05,4.275025e-05,4.275440e-05,4.284696e-05,4.287831e-05,4.292965e-05,4.297824e-05,4.299904e-05,4.305579e-05,4.310057e-05,4.311247e-05,4.313399e-05,4.314970e-05,4.315666e-05,4.316884e-05,4.316915e-05,4.317202e-05,4.317118e-05,4.316581e-05,4.315792e-05,4.315101e-05,4.313023e-05,4.312811e-05,4.309759e-05,4.308918e-05,4.305989e-05,4.303580e-05,4.301544e-05,4.297106e-05,4.296464e-05,4.290790e-05,4.289587e-05,4.284557e-05,4.281108e-05,4.277803e-05,4.271752e-05,4.270562e-05,4.262865e-05,4.261593e-05,4.254744e-05,4.250705e-05,4.246230e-05,4.239154e-05,4.237350e-05,4.228131e-05,4.227003e-05,4.218600e-05,4.214313e-05,4.208780e-05,4.201139e-05,4.198696e-05,4.188369e-05,4.187533e-05,4.177821e-05,4.173545e-05,4.167072e-05,4.159220e-05,4.156142e-05,4.145048e-05,4.144601e-05,4.133808e-05,4.129729e-05,4.122438e-05,4.114641e-05,4.110955e-05,4.099372e-05,4.083955e-05,4.068420e-05,4.052796e-05,4.037108e-05,4.021382e-05,4.005641e-05,3.989904e-05,3.974193e-05,3.958523e-05,3.942914e-05,3.927378e-05,3.911932e-05,3.896586e-05,3.881354e-05,3.866246e-05,3.851272e-05,3.836441e-05,3.821760e-05,3.807238e-05,3.792880e-05,3.778692e-05,3.764680e-05,3.750849e-05,3.737201e-05
0.000000e+00,1.999549e-09,4.550261e-09,1.548788e-08,3.495465e-08,5.079015e-08,1.141626e-07,1.175579e-07,2.255476e-07,2.645805e-07,3.852509e-07,5.103981e-07,6.072866e-07,8.726559e-07,8.985238e-07,1.257705e-06,1.353300e-06,1.678131e-06,1.937740e-06,2.153052e-06,2.611859e-06,2.677209e-06,3.246223e-06,3.365039e-06,3.855865e-06,4.187462e-06,4.501650e-06,5.068466e-06,5.178674e-06,5.881613e-06,5.996114e-06,6.604809e-06,6.957420e-06,7.342397e-06,7.938848e-06,8.088455e-06,8.837158e-06,8.926911e-06,9.582909e-06,9.908739e-06,1.032047e-05,1.087256e-05,1.104504e-05,1.175235e-05,1.180807e-05,1.243867e-05,1.270661e-05,1.310088e-05,1.356128e-05,1.373641e-05,1.434326e-05,1.436692e-05,1.491996e-05,1.511999e-05,1.546553e-05,1.581843e-05,1.597940e-05,1.646142e-05,1.691174e-05,1.704922e-05,1.733082e-05,1.758294e-05,1.771933e-05,1.806435e-05,1.807815e-05,1.840827e-05,1.849571e-05,1.871081e-05,1.887960e-05,1.898699e-05,1.921884e-05,1.923803e-05,1.946522e-05,1.951634e-05,1.966983e-05,1.977503e-05,1.985314e-05,1.999782e-05,2.001640e-05,2.016081e-05,2.018754e-05,2.028757e-05,2.034689e-05,2.039781e-05,2.047843e-05,2.049260e-05,2.057299e-05,2.058458e-05,2.063996e-05,2.066761e-05,2.069443e-05,2.072961e-05,2.073729e-05,2.076936e-05,2.077252e-05,2.079142e-05,2.079814e-05,2.080420e-05,2.080812e-05,2.080837e-05,2.080458e-05,2.080395e-05,2.079343e-05,2.078703e-05,2.077546e-05,2.075860e-05,2.075121e-05,2.072115e-05,2.071983e-05,2.068574e-05,2.067176e-05,2.064540e-05,2.061535e-05,2.060052e-05,2.055147e-05,2.049859e-05,2.048091e-05,2.044219e-05,2.040439e-05,2.038258e-05,2.032257e-05,2.032002e-05,2.025477e-05,2.023605e-05,2.018707e-05,2.014537e-05,2.011715e-05,2.005103e-05,2.004520e-05,1.997143e-05,1.995347e-05,1.989601e-05,1.985311e-05,1.981910e-05,1.975033e-05,1.974088e-05,1.966147e-05,1.964546e-05,1.958102e-05,1.953882e-05,1.949965e-05,1.943068e-05,1.941748e-05,1.933463e-05,1.932131e-05,1.925118e-05,1.921094e-05,1.916724e-05,1.909979e-05,1.908289e-05,1.899823e-05,1.898805e-05,1.891332e-05,1.887590e-05,1.882824e-05,1.876351e-05,1.874306e-05,1.865783e-05,1.865101e-05,1.857262e-05,1.853855e-05,1.848748e-05,1.842625e-05,1.840246e-05,1.831760e-05,1.831421e-05,1.823296e-05,1.820255e-05,1.814857e-05,1.809135e-05,1.806447e-05,1.798070e-05,1.787066e-05,1.776132e-05,1.765273e-05,1.754495e-05,1.743803e-05,1.733201e-05,1.722693e-05,1.712283e-05,1.701975e-05,1.691770e-05,1.681671e-05,1.671682e-05,1.661802e-05,1.652035e-05,1.642380e-05,1.632841e-05,1.623416e-05,1.614108e-05,1.604916e-05,1.595841e-05,1.586884e-05,1.578043e-05,1.569320e-05,1.560714e-05
0.000000e+00,3.435804e-09,7.849865e-09,2.694416e-08,6.128771e-08,8.944176e-08,2.033510e-07,2.094970e-07,4.065735e-07,4.784249e-07,7.021959e-07,9.367761e-07,1.120345e-06,1.634353e-06,1.685481e-06,2.415893e-06,2.616493e-06,3.314212e-06,3.885474e-06,4.365326e-06,5.397829e-06,5.545459e-06,6.831511e-06,7.099667e-06,8.204165e-06,8.946750e-06,9.647380e-06,1.090397e-05,1.114721e-05,1.269099e-05,1.294127e-05,1.426689e-05,1.503145e-05,1.586383e-05,1.714958e-05,1.747150e-05,1.908039e-05,1.927312e-05,2.068191e-05,2.138224e-05,2.226843e-05,2.346002e-05,2.383329e-05,2.537083e-05,2.549250e-05,2.687628e-05,2.746858e-05,2.834578e-05,2.937980e-05,2.977625e-05,3.116534e-05,3.122002e-05,3.251129e-05,3.298502e-05,3.381288e-05,3.467224e-05,3.506939e-05,3.628048e-05,3.744613e-05,3.780958e-05,3.856662e-05,3.926025e-05,3.964243e-05,4.063380e-05,4.067423e-05,4.166283e-05,4.193202e-05,4.260914e-05,4.315705e-05,4.351417e-05,4.431126e-05,4.437899e-05,4.520473e-05,4.539722e-05,4.599252e-05,4.641753e-05,4.674351e-05,4.737485e-05,4.745885e-05,4.813970e-05,4.827184e-05,4.878723e-05,4.911115e-05,4.940256e-05,4.989537e-05,4.998681e-05,5.054108e-05,5.062705e-05,5.106644e-05,5.130866e-05,5.156395e-05,5.194258e-05,5.203461e-05,5.247944e-05,5.253114e-05,5.289941e-05,5.307657e-05,5.329547e-05,5.358104e-05,5.366852e-05,5.401945e-05,5.404660e-05,5.434913e-05,5.447524e-05,5.465839e-05,5.486887e-05,5.494803e-05,5.521884e-05,5.522929e-05,5.547156e-05,5.555825e-05,5.570691e-05,5.585740e-05,5.592561e-05,5.612833e-05,5.631572e-05,5.637255e-05,5.648841e-05,5.659150e-05,5.664701e-05,5.678655e-05,5.679210e-05,5.692425e-05,5.695901e-05,5.704400e-05,5.711011e-05,5.715186e-05,5.724104e-05,5.724836e-05,5.733396e-05,5.735293e-05,5.740913e-05,5.744685e-05,5.747434e-05,5.752380e-05,5.752999e-05,5.757652e-05,5.758477e-05,5.761432e-05,5.763065e-05,5.764377e-05,5.766234e-05,5.766525e-05,5.767912e-05,5.768065e-05,5.768570e-05,5.768637e-05,5.768533e-05,5.768025e-05,5.767834e-05,5.766501e-05,5.766300e-05,5.764564e-05,5.763528e-05,5.762052e-05,5.759775e-05,5.758991e-05,5.755408e-05,5.755099e-05,5.751326e-05,5.749560e-05,5.746771e-05,5.743210e-05,5.741764e-05,5.736329e-05,5.736103e-05,5.730486e-05,5.728287e-05,5.724256e-05,5.719808e-05,5.717658e-05,5.710711e-05,5.701038e-05,5.690828e-05,5.680119e-05,5.668947e-05,5.657344e-05,5.645345e-05,5.632977e-05,5.620271e-05,5.607254e-05,5.593952e-05,5.580388e-05,5.566586e-05,5.552569e-05,5.538356e-05,5.523968e-05,5.509422e-05,5.494738e-05,5.479931e-05,5.465016e-05,5.450010e-05,5.434926e-05,5.419777e-05,5.404576e-05,5.389334e-05
0.000000e+00,2.533483e-09,5.787751e-09,1.985474e-08,4.511015e-08,6.576899e-08,1.489456e-07,1.534153e-07,2.958141e-07,3.473102e-07,5.063940e-07,6.712896e-07,7.991655e-07,1.152789e-06,1.187661e-06,1.681508e-06,1.816082e-06,2.282404e-06,2.663711e-06,2.984654e-06,3.679673e-06,3.779691e-06,4.659119e-06,4.844446e-06,5.615245e-06,6.140284e-06,6.640664e-06,7.550071e-06,7.727853e-06,8.868980e-06,9.056024e-06,1.005588e-05,1.063939e-05,1.128015e-05,1.228077e-05,1.253330e-05,1.380696e-05,1.396079e-05,1.509299e-05,1.566075e-05,1.638366e-05,1.736324e-05,1.767180e-05,1.895082e-05,1.905257e-05,2.021482e-05,2.071503e-05,2.145861e-05,2.233905e-05,2.267766e-05,2.386816e-05,2.391514e-05,2.502693e-05,2.543581e-05,2.615140e-05,2.689538e-05,2.723953e-05,2.828981e-05,2.930116e-05,2.961644e-05,3.027285e-05,3.087375e-05,3.120454e-05,3.206123e-05,3.209613e-05,3.294779e-05,3.317914e-05,3.375988e-05,3.422836e-05,3.453294e-05,3.521026e-05,3.526764e-05,3.596476e-05,3.612658e-05,3.662518e-05,3.697932e-05,3.724982e-05,3.777070e-05,3.783968e-05,3.839577e-05,3.850303e-05,3.891915e-05,3.917873e-05,3.941088e-05,3.980025e-05,3.987202e-05,4.030363e-05,4.037002e-05,4.070679e-05,4.089050e-05,4.108252e-05,4.136406e-05,4.143186e-05,4.175582e-05,4.179304e-05,4.205539e-05,4.217972e-05,4.233153e-05,4.252631e-05,4.258519e-05,4.281729e-05,4.283495e-05,4.302871e-05,4.310769e-05,4.322034e-05,4.334652e-05,4.339300e-05,4.354752e-05,4.355333e-05,4.368467e-05,4.372995e-05,4.380523e-05,4.387811e-05,4.390994e-05,4.399949e-05,4.407459e-05,4.409567e-05,4.413588e-05,4.416817e-05,4.418402e-05,4.421843e-05,4.421962e-05,4.424327e-05,4.424783e-05,4.425554e-05,4.425767e-05,4.425698e-05,4.424920e-05,4.424812e-05,4.422948e-05,4.422360e-05,4.420152e-05,4.418198e-05,4.416474e-05,4.412542e-05,4.411958e-05,4.406646e-05,4.405492e-05,4.400582e-05,4.397144e-05,4.393804e-05,4.387588e-05,4.386352e-05,4.378261e-05,4.376910e-05,4.369568e-05,4.365191e-05,4.360305e-05,4.352508e-05,4.350507e-05,4.340203e-05,4.338934e-05,4.329423e-05,4.324537e-05,4.318196e-05,4.309382e-05,4.306550e-05,4.294510e-05,4.293530e-05,4.282101e-05,4.277040e-05,4.269348e-05,4.259965e-05,4.256273e-05,4.242899e-05,4.242358e-05,4.229246e-05,4.224267e-05,4.215335e-05,4.205737e-05,4.201184e-05,4.186812e-05,4.167532e-05,4.147936e-05,4.128059e-05,4.107936e-05,4.087598e-05,4.067074e-05,4.046394e-05,4.025583e-05,4.004666e-05,3.983665e-05,3.962604e-05,3.941502e-05,3.920377e-05,3.899248e-05,3.878132e-05,3.857042e-05,3.835995e-05,3.815003e-05,3.794079e-05,3.773235e-05,3.752480e-05,3.731826e-05,3.711281e-05,3.690853e-05
0.000000e+00,3.334315e-09,7.620230e-09,2.621359e-08,5.990878e-08,8.778644e-08,2.029589e-07,2.092808e-07,4.175544e-07,4.959913e-07,7.473550e-07,1.019009e-06,1.234291e-06,1.832846e-06,1.891344e-06,2.698955e-06,2.911862e-06,3.628312e-06,4.193541e-06,4.657811e-06,5.635006e-06,5.772968e-06,6.962842e-06,7.208919e-06,8.217682e-06,8.892677e-06,9.527833e-06,1.066387e-05,1.088339e-05,1.227422e-05,1.249934e-05,1.369015e-05,1.437578e-05,1.512126e-05,1.627068e-05,1.655806e-05,1.799176e-05,1.816320e-05,1.941436e-05,2.003494e-05,2.081879e-05,2.187020e-05,2.219892e-05,2.354954e-05,2.365618e-05,2.486638e-05,2.538285e-05,2.614598e-05,2.704272e-05,2.738569e-05,2.858350e-05,2.863052e-05,2.973803e-05,3.014289e-05,3.084842e-05,3.157804e-05,3.191425e-05,3.293546e-05,3.391233e-05,3.421563e-05,3.484536e-05,3.541982e-05,3.573527e-05,3.654984e-05,3.658295e-05,3.738940e-05,3.760796e-05,3.815571e-05,3.859673e-05,3.888307e-05,3.951888e-05,3.957268e-05,4.022581e-05,4.037727e-05,4.084370e-05,4.117481e-05,4.142765e-05,4.191444e-05,4.197890e-05,4.249873e-05,4.259903e-05,4.298836e-05,4.323143e-05,4.344900e-05,4.381440e-05,4.388184e-05,4.428804e-05,4.435064e-05,4.466873e-05,4.484272e-05,4.502500e-05,4.529315e-05,4.535791e-05,4.566849e-05,4.570431e-05,4.595774e-05,4.607849e-05,4.622661e-05,4.641789e-05,4.647603e-05,4.670689e-05,4.672458e-05,4.692005e-05,4.700055e-05,4.711635e-05,4.724768e-05,4.729657e-05,4.746148e-05,4.746777e-05,4.761182e-05,4.766251e-05,4.774829e-05,4.783351e-05,4.787157e-05,4.798230e-05,4.808113e-05,4.811033e-05,4.816863e-05,4.821896e-05,4.824539e-05,4.830947e-05,4.831195e-05,4.836883e-05,4.838310e-05,4.841655e-05,4.844099e-05,4.845559e-05,4.848422e-05,4.848640e-05,4.850942e-05,4.851383e-05,4.852508e-05,4.853079e-05,4.853378e-05,4.853599e-05,4.853591e-05,4.853183e-05,4.853030e-05,4.852190e-05,4.851454e-05,4.850645e-05,4.848945e-05,4.848581e-05,4.846028e-05,4.845576e-05,4.843015e-05,4.841414e-05,4.839570e-05,4.836522e-05,4.835721e-05,4.831491e-05,4.830960e-05,4.826907e-05,4.824783e-05,4.821990e-05,4.818045e-05,4.816763e-05,4.811248e-05,4.810795e-05,4.805463e-05,4.803078e-05,4.799428e-05,4.794938e-05,4.793161e-05,4.786680e-05,4.786417e-05,4.780001e-05,4.777551e-05,4.773139e-05,4.768377e-05,4.766111e-05,4.758928e-05,4.749236e-05,4.739329e-05,4.729236e-05,4.718981e-05,4.708588e-05,4.698080e-05,4.687478e-05,4.676800e-05,4.666065e-05,4.655289e-05,4.644489e-05,4.633678e-05,4.622870e-05,4.612077e-05,4.601310e-05,4.590581e-05,4.579900e-05,4.569274e-05,4.558713e-05,4.548224e-05,4.537814e-05,4.527489e-05,4.517256e-05,4.507120e-05
0.000000e+00,4.111197e-09,9.334438e-09,3.162364e-08,7.107250e-08,1.030374e-07,2.303021e-07,2.370992e-07,4.525655e-07,5.301980e-07,7.697691e-07,1.018159e-06,1.210958e-06,1.744329e-06,1.796869e-06,2.536921e-06,2.736634e-06,3.419526e-06,3.965806e-06,4.416523e-06,5.363924e-06,5.497104e-06,6.635795e-06,6.868698e-06,7.812993e-06,8.435071e-06,9.013115e-06,1.002924e-05,1.022297e-05,1.143081e-05,1.162315e-05,1.262594e-05,1.319217e-05,1.379858e-05,1.471459e-05,1.493999e-05,1.604247e-05,1.617182e-05,1.709949e-05,1.754878e-05,1.810579e-05,1.883409e-05,1.905728e-05,1.995111e-05,2.002006e-05,2.078550e-05,2.110241e-05,2.155969e-05,2.207988e-05,2.227382e-05,2.292873e-05,2.295371e-05,2.352588e-05,2.372707e-05,2.406721e-05,2.440462e-05,2.455508e-05,2.499213e-05,2.538116e-05,2.549598e-05,2.572509e-05,2.592288e-05,2.602681e-05,2.627936e-05,2.628913e-05,2.651493e-05,2.657199e-05,2.670696e-05,2.680705e-05,2.686781e-05,2.699043e-05,2.700001e-05,2.710591e-05,2.712766e-05,2.718773e-05,2.722381e-05,2.724754e-05,2.728349e-05,2.728725e-05,2.730867e-05,2.731091e-05,2.731346e-05,2.730989e-05,2.730314e-05,2.728384e-05,2.727913e-05,2.724270e-05,2.723581e-05,2.719506e-05,2.716853e-05,2.713729e-05,2.708446e-05,2.707039e-05,2.699527e-05,2.698575e-05,2.691278e-05,2.687434e-05,2.682367e-05,2.675195e-05,2.672864e-05,2.662834e-05,2.662011e-05,2.652335e-05,2.648017e-05,2.641421e-05,2.633333e-05,2.630140e-05,2.618537e-05,2.618067e-05,2.606653e-05,2.602313e-05,2.594525e-05,2.586157e-05,2.582188e-05,2.569673e-05,2.557008e-05,2.552928e-05,2.544220e-05,2.535982e-05,2.531332e-05,2.518886e-05,2.518366e-05,2.505343e-05,2.501688e-05,2.492280e-05,2.484430e-05,2.479194e-05,2.467149e-05,2.466102e-05,2.453015e-05,2.449877e-05,2.439948e-05,2.432644e-05,2.426912e-05,2.415474e-05,2.413918e-05,2.400975e-05,2.398393e-05,2.388092e-05,2.381419e-05,2.375277e-05,2.364571e-05,2.362538e-05,2.349881e-05,2.347864e-05,2.337312e-05,2.331312e-05,2.324837e-05,2.314928e-05,2.312460e-05,2.300187e-05,2.298721e-05,2.288020e-05,2.282702e-05,2.275964e-05,2.266877e-05,2.264021e-05,2.252195e-05,2.251254e-05,2.240488e-05,2.235839e-05,2.228902e-05,2.220636e-05,2.217439e-05,2.206101e-05,2.205650e-05,2.194888e-05,2.190883e-05,2.183803e-05,2.176338e-05,2.172846e-05,2.162018e-05,2.147923e-05,2.134055e-05,2.120414e-05,2.107000e-05,2.093812e-05,2.080851e-05,2.068115e-05,2.055603e-05,2.043313e-05,2.031244e-05,2.019394e-05,2.007762e-05,1.996343e-05,1.985138e-05,1.974142e-05,1.963354e-05,1.952770e-05,1.942389e-05,1.932207e-05,1.922222e-05,1.912431e-05,1.902830e-05,1.893417e-05,1.884189e-05
0.000000e+00,3.964231e-09,9.064042e-09,3.116560e-08,7.102054e-08,1.037654e-07,2.367693e-07,2.439666e-07,4.757056e-07,5.605957e-07,8.259739e-07,1.105052e-06,1.323379e-06,1.930237e-06,1.990040e-06,2.830808e-06,3.057440e-06,3.834473e-06,4.461536e-06,4.984626e-06,6.105814e-06,6.266065e-06,7.665457e-06,7.958388e-06,9.170340e-06,9.990462e-06,1.076831e-05,1.217326e-05,1.244667e-05,1.419241e-05,1.447711e-05,1.599242e-05,1.687187e-05,1.783371e-05,1.932802e-05,1.970375e-05,2.159069e-05,2.181772e-05,2.348353e-05,2.431564e-05,2.537230e-05,2.679953e-05,2.724810e-05,2.910313e-05,2.925042e-05,3.093067e-05,3.165269e-05,3.272506e-05,3.399381e-05,3.448158e-05,3.619641e-05,3.626409e-05,3.786650e-05,3.845630e-05,3.948950e-05,4.056535e-05,4.106369e-05,4.258786e-05,4.406125e-05,4.452194e-05,4.548348e-05,4.636681e-05,4.685448e-05,4.812265e-05,4.817448e-05,4.944388e-05,4.979033e-05,5.066332e-05,5.137131e-05,5.183354e-05,5.286744e-05,5.295543e-05,5.402994e-05,5.428088e-05,5.505809e-05,5.561402e-05,5.604098e-05,5.686938e-05,5.697974e-05,5.787553e-05,5.804963e-05,5.872952e-05,5.915747e-05,5.954290e-05,6.019562e-05,6.031686e-05,6.105259e-05,6.116683e-05,6.175127e-05,6.207382e-05,6.241408e-05,6.291928e-05,6.304218e-05,6.363671e-05,6.370585e-05,6.419879e-05,6.443611e-05,6.472953e-05,6.511260e-05,6.523002e-05,6.570131e-05,6.573778e-05,6.614444e-05,6.631404e-05,6.656043e-05,6.684370e-05,6.695028e-05,6.731493e-05,6.732900e-05,6.765534e-05,6.777212e-05,6.797241e-05,6.817515e-05,6.826705e-05,6.854011e-05,6.879245e-05,6.886895e-05,6.902486e-05,6.916353e-05,6.923816e-05,6.942565e-05,6.943310e-05,6.961044e-05,6.965703e-05,6.977089e-05,6.985935e-05,6.991516e-05,7.003417e-05,7.004392e-05,7.015783e-05,7.018303e-05,7.025753e-05,7.030738e-05,7.034363e-05,7.040862e-05,7.041672e-05,7.047738e-05,7.048807e-05,7.052616e-05,7.054701e-05,7.056360e-05,7.058666e-05,7.059021e-05,7.060650e-05,7.060818e-05,7.061295e-05,7.061269e-05,7.061002e-05,7.060122e-05,7.059816e-05,7.057780e-05,7.057481e-05,7.054936e-05,7.053439e-05,7.051324e-05,7.048090e-05,7.046984e-05,7.041951e-05,7.041519e-05,7.036262e-05,7.033811e-05,7.029952e-05,7.025043e-05,7.023054e-05,7.015600e-05,7.015291e-05,7.007621e-05,7.004626e-05,6.999146e-05,6.993115e-05,6.990204e-05,6.980823e-05,6.967810e-05,6.954135e-05,6.939851e-05,6.925012e-05,6.909666e-05,6.893860e-05,6.877638e-05,6.861041e-05,6.844109e-05,6.826879e-05,6.809387e-05,6.791665e-05,6.773745e-05,6.755656e-05,6.737426e-05,6.719080e-05,6.700645e-05,6.682142e-05,6.663593e-05,6.645019e-05,6.626439e-05,6.607871e-05,6.589331e-05,6.570835e-05
0.000000e+00,4.117595e-09,9.401433e-09,3.220395e-08,7.303107e-08,1.063377e-07,2.397272e-07,2.468653e-07,4.728183e-07,5.538771e-07,8.022983e-07,1.056922e-06,1.252614e-06,1.787322e-06,1.839639e-06,2.575502e-06,2.774972e-06,3.464810e-06,4.028379e-06,4.502733e-06,5.529893e-06,5.677653e-06,6.975286e-06,7.248240e-06,8.380895e-06,9.149604e-06,9.879779e-06,1.120015e-05,1.145721e-05,1.309841e-05,1.336594e-05,1.478871e-05,1.561325e-05,1.651374e-05,1.790949e-05,1.825973e-05,2.001373e-05,2.022417e-05,2.176385e-05,2.252986e-05,2.349937e-05,2.480274e-05,2.521085e-05,2.689014e-05,2.702288e-05,2.853038e-05,2.917424e-05,3.012591e-05,3.124443e-05,3.167221e-05,3.316578e-05,3.322439e-05,3.460405e-05,3.510793e-05,3.598526e-05,3.689133e-05,3.730835e-05,3.857284e-05,3.977877e-05,4.015236e-05,4.092659e-05,4.163105e-05,4.201708e-05,4.301101e-05,4.305132e-05,4.403057e-05,4.429510e-05,4.495628e-05,4.548666e-05,4.583003e-05,4.658940e-05,4.665346e-05,4.742830e-05,4.760723e-05,4.815631e-05,4.854420e-05,4.883926e-05,4.940439e-05,4.947893e-05,5.007708e-05,5.019188e-05,5.063546e-05,5.091066e-05,5.115577e-05,5.156466e-05,5.163971e-05,5.208891e-05,5.215767e-05,5.250495e-05,5.269333e-05,5.288938e-05,5.317516e-05,5.324367e-05,5.356929e-05,5.360650e-05,5.386760e-05,5.399056e-05,5.413996e-05,5.433040e-05,5.438766e-05,5.461194e-05,5.462890e-05,5.481397e-05,5.488882e-05,5.499492e-05,5.511276e-05,5.515587e-05,5.529787e-05,5.530317e-05,5.542194e-05,5.546240e-05,5.552902e-05,5.559262e-05,5.562005e-05,5.569590e-05,5.575742e-05,5.577421e-05,5.580541e-05,5.582938e-05,5.584063e-05,5.586312e-05,5.586383e-05,5.587569e-05,5.587707e-05,5.587689e-05,5.587276e-05,5.586806e-05,5.585161e-05,5.584981e-05,5.582272e-05,5.581497e-05,5.578734e-05,5.576410e-05,5.574419e-05,5.570019e-05,5.569377e-05,5.563656e-05,5.562434e-05,5.557300e-05,5.553759e-05,5.550353e-05,5.544091e-05,5.542857e-05,5.534848e-05,5.533522e-05,5.526366e-05,5.522136e-05,5.517444e-05,5.510012e-05,5.508116e-05,5.498413e-05,5.497225e-05,5.488367e-05,5.483845e-05,5.478004e-05,5.469934e-05,5.467353e-05,5.456439e-05,5.455555e-05,5.445285e-05,5.440762e-05,5.433916e-05,5.425609e-05,5.422353e-05,5.410616e-05,5.410143e-05,5.398726e-05,5.394411e-05,5.386700e-05,5.378453e-05,5.374556e-05,5.362310e-05,5.346017e-05,5.329608e-05,5.313113e-05,5.296562e-05,5.279981e-05,5.263395e-05,5.246827e-05,5.230296e-05,5.213823e-05,5.197424e-05,5.181116e-05,5.164913e-05,5.148829e-05,5.132876e-05,5.117065e-05,5.101406e-05,5.085908e-05,5.070579e-05,5.055427e-05,5.040458e-05,5.025677e-05,5.011089e-05,4.996700e-05,4.982512e-05
0.000000e+00,3.093350e-09,7.064868e-09,2.421982e-08,5.498521e-08,8.012527e-08,1.811457e-07,1.865659e-07,3.588326e-07,4.209382e-07,6.121812e-07,8.094736e-07,9.618661e-07,1.380965e-06,1.422139e-06,2.003184e-06,2.160992e-06,2.706293e-06,3.150123e-06,3.521869e-06,4.319846e-06,4.433793e-06,5.425226e-06,5.631690e-06,6.481048e-06,7.051017e-06,7.587849e-06,8.547998e-06,8.733418e-06,9.906421e-06,1.009593e-05,1.109632e-05,1.167060e-05,1.229343e-05,1.325038e-05,1.348897e-05,1.467519e-05,1.481658e-05,1.584533e-05,1.635359e-05,1.699367e-05,1.784889e-05,1.811548e-05,1.920693e-05,1.929284e-05,2.026500e-05,2.067835e-05,2.128742e-05,2.200055e-05,2.227256e-05,2.321934e-05,2.325640e-05,2.412712e-05,2.444432e-05,2.499565e-05,2.556385e-05,2.582498e-05,2.661542e-05,2.736749e-05,2.760016e-05,2.808187e-05,2.851966e-05,2.875936e-05,2.937589e-05,2.940087e-05,3.000737e-05,3.017106e-05,3.057989e-05,3.090752e-05,3.111948e-05,3.158776e-05,3.162723e-05,3.210426e-05,3.221429e-05,3.255164e-05,3.278964e-05,3.297048e-05,3.331629e-05,3.336184e-05,3.372680e-05,3.379672e-05,3.406640e-05,3.423332e-05,3.438168e-05,3.462844e-05,3.467363e-05,3.494323e-05,3.498436e-05,3.519144e-05,3.530326e-05,3.541919e-05,3.558727e-05,3.562738e-05,3.581688e-05,3.583840e-05,3.598854e-05,3.605862e-05,3.614317e-05,3.624979e-05,3.628157e-05,3.640450e-05,3.641368e-05,3.651270e-05,3.655201e-05,3.660688e-05,3.666640e-05,3.668773e-05,3.675591e-05,3.675838e-05,3.681205e-05,3.682944e-05,3.685677e-05,3.688096e-05,3.689066e-05,3.691427e-05,3.692816e-05,3.693064e-05,3.693285e-05,3.693125e-05,3.692883e-05,3.691722e-05,3.691658e-05,3.689657e-05,3.688964e-05,3.686924e-05,3.684951e-05,3.683501e-05,3.679778e-05,3.679429e-05,3.674746e-05,3.673535e-05,3.669489e-05,3.666308e-05,3.663694e-05,3.658176e-05,3.657395e-05,3.650624e-05,3.649216e-05,3.643412e-05,3.639498e-05,3.635790e-05,3.629089e-05,3.627784e-05,3.619422e-05,3.618053e-05,3.610731e-05,3.606449e-05,3.601733e-05,3.594331e-05,3.592454e-05,3.582915e-05,3.581753e-05,3.573137e-05,3.568764e-05,3.563140e-05,3.555409e-05,3.552945e-05,3.542568e-05,3.541731e-05,3.532029e-05,3.527771e-05,3.521342e-05,3.513566e-05,3.510525e-05,3.499591e-05,3.499152e-05,3.488556e-05,3.484561e-05,3.477432e-05,3.469823e-05,3.466232e-05,3.454969e-05,3.440023e-05,3.425012e-05,3.409957e-05,3.394881e-05,3.379802e-05,3.364740e-05,3.349711e-05,3.334731e-05,3.319815e-05,3.304975e-05,3.290224e-05,3.275573e-05,3.261032e-05,3.246610e-05,3.232317e-05,3.218159e-05,3.204144e-05,3.190277e-05,3.176565e-05,3.163012e-05,3.149623e-05,3.136402e-05,3.123351e-05,3.110475e-05
0.000000e+00,4.938403e-05,1.120011e-04,3.784835e-04,8.483525e-04,1.227856e-03,2.730367e-03,2.810282e-03,5.328483e-03,6.229285e-03,8.990155e-03,1.182595e-02,1.401090e-02,1.999566e-02,2.058118e-02,2.876981e-02,3.096383e-02,3.842632e-02,4.435880e-02,4.923276e-02,5.942614e-02,6.085403e-02,7.301697e-02,7.549507e-02,8.550946e-02,9.207744e-02,9.815894e-02,1.087963e-01,1.108164e-01,1.233486e-01,1.253339e-01,1.356355e-01,1.414143e-01,1.475707e-01,1.568035e-01,1.590624e-01,1.700342e-01,1.713128e-01,1.804257e-01,1.848021e-01,1.901925e-01,1.971788e-01,1.993051e-01,2.077481e-01,2.083944e-01,2.155177e-01,2.184382e-01,2.226207e-01,2.273305e-01,2.290727e-01,2.348961e-01,2.351164e-01,2.401187e-01,2.418575e-01,2.447713e-01,2.476266e-01,2.488875e-01,2.525022e-01,2.556505e-01,2.565652e-01,2.583672e-01,2.598952e-01,2.606864e-01,2.625691e-01,2.626407e-01,2.642613e-01,2.646593e-01,2.655777e-01,2.662331e-01,2.666175e-01,2.673519e-01,2.674064e-01,2.679682e-01,2.680718e-01,2.683251e-01,2.684429e-01,2.684971e-01,2.685104e-01,2.685029e-01,2.683594e-01,2.683142e-01,2.680822e-01,2.678898e-01,2.676852e-01,2.672687e-01,2.671814e-01,2.665824e-01,2.664785e-01,2.658988e-01,2.655434e-01,2.651401e-01,2.644849e-01,2.643150e-01,2.634314e-01,2.633218e-01,2.624965e-01,2.620705e-01,2.615166e-01,2.607455e-01,2.604977e-01,2.594450e-01,2.593594e-01,2.583632e-01,2.579234e-01,2.572568e-01,2.564471e-01,2.561296e-01,2.549853e-01,2.549392e-01,2.538269e-01,2.534071e-01,2.526575e-01,2.518574e-01,2.514797e-01,2.502959e-01,2.491081e-01,2.487276e-01,2.479185e-01,2.471569e-01,2.467287e-01,2.455878e-01,2.455403e-01,2.443549e-01,2.440237e-01,2.431737e-01,2.424674e-01,2.419978e-01,2.409217e-01,2.408284e-01,2.396665e-01,2.393888e-01,2.385128e-01,2.378706e-01,2.373681e-01,2.363689e-01,2.362332e-01,2.351087e-01,2.348851e-01,2.339951e-01,2.334205e-01,2.328929e-01,2.319761e-01,2.318025e-01,2.307244e-01,2.305530e-01,2.296588e-01,2.291519e-01,2.286061e-01,2.277733e-01,2.275665e-01,2.265402e-01,2.264180e-01,2.255274e-01,2.250862e-01,2.245283e-01,2.237782e-01,2.235430e-01,2.225716e-01,2.224945e-01,2.216141e-01,2.212350e-01,2.206706e-01,2.200000e-01,2.197412e-01,2.188258e-01,2.187894e-01,2.179244e-01,2.176033e-01,2.170370e-01,2.164416e-01,2.161636e-01,2.153042e-01,2.141909e-01,2.131016e-01,2.120361e-01,2.109942e-01,2.099756e-01,2.089800e-01,2.080071e-01,2.070567e-01,2.061284e-01,2.052219e-01,2.043369e-01,2.034729e-01,2.026297e-01,2.018069e-01,2.010040e-01,2.002209e-01,1.994570e-01,1.987119e-01,1.979855e-01,1.972771e-01,1.965866e-01,1.959134e-01,1.952573e-01,1.946179e-01
0.000000e+00,5.167237e-09,1.179229e-08,4.036503e-08,9.152732e-08,1.332994e-07,3.010714e-07,3.100740e-07,5.964815e-07,6.999279e-07,1.019288e-06,1.350146e-06,1.606655e-06,2.315428e-06,2.385243e-06,3.371107e-06,3.638581e-06,4.560783e-06,5.309404e-06,5.935870e-06,7.282127e-06,7.474782e-06,9.158216e-06,9.510715e-06,1.096903e-05,1.195559e-05,1.289094e-05,1.457925e-05,1.490760e-05,1.700232e-05,1.734359e-05,1.915810e-05,2.020955e-05,2.135790e-05,2.313818e-05,2.358500e-05,2.582332e-05,2.609194e-05,2.805777e-05,2.903607e-05,3.027446e-05,3.193952e-05,3.246089e-05,3.460606e-05,3.477560e-05,3.670049e-05,3.752221e-05,3.873619e-05,4.016181e-05,4.070663e-05,4.260663e-05,4.268111e-05,4.443225e-05,4.507069e-05,4.618066e-05,4.732449e-05,4.785001e-05,4.943931e-05,5.094831e-05,5.141428e-05,5.237740e-05,5.325046e-05,5.372744e-05,5.495034e-05,5.499976e-05,5.619599e-05,5.651756e-05,5.731806e-05,5.795659e-05,5.836811e-05,5.927250e-05,5.934842e-05,6.026137e-05,6.047074e-05,6.110946e-05,6.155698e-05,6.189517e-05,6.253701e-05,6.262103e-05,6.328958e-05,6.341663e-05,6.390329e-05,6.420156e-05,6.446462e-05,6.489744e-05,6.497600e-05,6.543977e-05,6.550971e-05,6.585824e-05,6.604367e-05,6.623362e-05,6.650436e-05,6.656808e-05,6.686368e-05,6.689664e-05,6.712244e-05,6.722512e-05,6.734628e-05,6.749420e-05,6.753707e-05,6.769660e-05,6.770806e-05,6.782657e-05,6.787066e-05,6.792863e-05,6.798572e-05,6.800436e-05,6.805524e-05,6.805678e-05,6.808274e-05,6.808717e-05,6.808821e-05,6.808003e-05,6.807298e-05,6.803829e-05,6.798535e-05,6.796474e-05,6.791529e-05,6.786197e-05,6.782919e-05,6.773242e-05,6.772810e-05,6.761300e-05,6.757838e-05,6.748481e-05,6.740200e-05,6.734445e-05,6.720528e-05,6.719274e-05,6.703051e-05,6.699009e-05,6.685851e-05,6.675819e-05,6.667746e-05,6.651121e-05,6.648807e-05,6.629097e-05,6.625068e-05,6.608680e-05,6.597803e-05,6.587614e-05,6.569458e-05,6.565955e-05,6.543756e-05,6.540157e-05,6.521066e-05,6.510015e-05,6.497933e-05,6.479138e-05,6.474402e-05,6.450515e-05,6.447626e-05,6.426312e-05,6.415572e-05,6.401830e-05,6.383060e-05,6.377106e-05,6.352173e-05,6.350171e-05,6.327063e-05,6.316976e-05,6.301806e-05,6.283545e-05,6.276429e-05,6.250960e-05,6.249940e-05,6.225424e-05,6.216218e-05,6.199843e-05,6.182434e-05,6.174240e-05,6.148635e-05,6.114868e-05,6.081173e-05,6.047589e-05,6.014151e-05,5.980889e-05,5.947834e-05,5.915010e-05,5.882443e-05,5.850154e-05,5.818162e-05,5.786484e-05,5.755136e-05,5.724132e-05,5.693484e-05,5.663203e-05,5.633298e-05,5.603779e-05,5.574650e-05,5.545919e-05,5.517591e-05,5.489669e-05,5.462156e-05,5.435054e-05,5.408366e-05
0.000000e+00,7.505386e-09,1.708398e-08,5.825121e-08,1.319511e-07,1.923306e-07,4.378238e-07,4.511473e-07,8.829031e-07,1.042110e-06,1.539547e-06,2.054490e-06,2.446911e-06,3.483542e-06,3.581728e-06,4.904719e-06,5.246700e-06,6.385915e-06,7.275995e-06,8.002880e-06,9.522024e-06,9.735343e-06,1.156266e-05,1.193762e-05,1.346325e-05,1.447319e-05,1.541503e-05,1.707806e-05,1.739613e-05,1.938575e-05,1.970357e-05,2.136478e-05,2.230591e-05,2.331634e-05,2.484801e-05,2.522599e-05,2.708189e-05,2.730052e-05,2.887471e-05,2.964169e-05,3.059747e-05,3.185684e-05,3.224529e-05,3.381513e-05,3.393729e-05,3.530548e-05,3.587928e-05,3.671613e-05,3.768286e-05,3.804787e-05,3.930229e-05,3.935089e-05,4.048158e-05,4.088823e-05,4.158836e-05,4.230103e-05,4.262555e-05,4.359624e-05,4.450364e-05,4.478117e-05,4.535097e-05,4.586322e-05,4.614144e-05,4.684969e-05,4.687817e-05,4.756422e-05,4.774764e-05,4.820253e-05,4.856376e-05,4.879589e-05,4.930439e-05,4.934698e-05,4.985836e-05,4.997545e-05,5.033242e-05,5.058244e-05,5.077143e-05,5.113048e-05,5.117754e-05,5.155276e-05,5.162427e-05,5.189898e-05,5.206815e-05,5.221798e-05,5.246613e-05,5.251143e-05,5.278088e-05,5.282187e-05,5.302781e-05,5.313874e-05,5.325359e-05,5.341984e-05,5.345950e-05,5.364674e-05,5.366801e-05,5.381646e-05,5.388586e-05,5.396971e-05,5.407577e-05,5.410747e-05,5.423069e-05,5.423994e-05,5.434022e-05,5.438039e-05,5.443690e-05,5.449898e-05,5.452149e-05,5.459470e-05,5.459741e-05,5.465723e-05,5.467724e-05,5.470969e-05,5.473993e-05,5.475269e-05,5.478680e-05,5.481253e-05,5.481908e-05,5.483038e-05,5.483790e-05,5.484083e-05,5.484430e-05,5.484432e-05,5.484125e-05,5.483927e-05,5.483202e-05,5.482367e-05,5.481699e-05,5.479835e-05,5.479652e-05,5.477094e-05,5.476407e-05,5.474055e-05,5.472154e-05,5.470565e-05,5.467142e-05,5.466651e-05,5.462339e-05,5.461432e-05,5.457655e-05,5.455080e-05,5.452622e-05,5.448140e-05,5.447261e-05,5.441595e-05,5.440661e-05,5.435642e-05,5.432688e-05,5.429421e-05,5.424264e-05,5.422951e-05,5.416247e-05,5.415428e-05,5.409328e-05,5.406218e-05,5.402206e-05,5.396668e-05,5.394897e-05,5.387415e-05,5.386809e-05,5.379772e-05,5.376673e-05,5.371981e-05,5.366287e-05,5.364054e-05,5.356001e-05,5.355677e-05,5.347834e-05,5.344868e-05,5.339562e-05,5.333882e-05,5.331195e-05,5.322742e-05,5.311466e-05,5.300074e-05,5.288583e-05,5.277009e-05,5.265369e-05,5.253675e-05,5.241941e-05,5.230181e-05,5.218405e-05,5.206624e-05,5.194848e-05,5.183088e-05,5.171351e-05,5.159647e-05,5.147982e-05,5.136365e-05,5.124801e-05,5.113296e-05,5.101857e-05,5.090489e-05,5.079197e-05,5.067985e-05,5.056857e-05,5.045818e-05
0.000000e+00,5.821859e-09,1.319810e-08,4.453548e-08,9.959774e-08,1.438986e-07,3.178370e-07,3.270246e-07,6.133832e-07,7.143909e-07,1.019636e-06,1.326987e-06,1.560080e-06,2.185723e-06,2.246165e-06,3.084208e-06,3.307881e-06,4.071383e-06,4.684426e-06,5.193385e-06,6.274328e-06,6.427503e-06,7.748461e-06,8.020917e-06,9.132183e-06,9.869171e-06,1.055678e-05,1.177048e-05,1.200244e-05,1.345111e-05,1.368207e-05,1.488648e-05,1.556638e-05,1.629396e-05,1.739125e-05,1.766083e-05,1.897631e-05,1.913028e-05,2.023163e-05,2.076309e-05,2.141999e-05,2.227527e-05,2.253648e-05,2.357794e-05,2.365796e-05,2.454277e-05,2.490716e-05,2.543074e-05,2.602296e-05,2.624276e-05,2.698069e-05,2.700870e-05,2.764713e-05,2.787013e-05,2.824520e-05,2.861465e-05,2.877848e-05,2.925076e-05,2.966589e-05,2.978730e-05,3.002783e-05,3.023339e-05,3.034055e-05,3.059800e-05,3.060787e-05,3.083350e-05,3.088969e-05,3.102098e-05,3.111656e-05,3.117366e-05,3.128609e-05,3.129468e-05,3.138696e-05,3.140515e-05,3.145325e-05,3.147996e-05,3.149606e-05,3.151618e-05,3.151774e-05,3.152040e-05,3.151882e-05,3.150600e-05,3.149238e-05,3.147635e-05,3.144084e-05,3.143306e-05,3.137763e-05,3.136772e-05,3.131140e-05,3.127614e-05,3.123561e-05,3.116884e-05,3.115137e-05,3.105968e-05,3.104823e-05,3.096148e-05,3.091642e-05,3.085758e-05,3.077527e-05,3.074873e-05,3.063563e-05,3.062641e-05,3.051887e-05,3.047127e-05,3.039902e-05,3.031109e-05,3.027658e-05,3.015200e-05,3.014698e-05,3.002569e-05,2.997987e-05,2.989803e-05,2.981062e-05,2.976935e-05,2.963994e-05,2.951009e-05,2.946849e-05,2.938004e-05,2.929681e-05,2.925001e-05,2.912539e-05,2.912020e-05,2.899079e-05,2.895464e-05,2.886193e-05,2.878495e-05,2.873378e-05,2.861661e-05,2.860646e-05,2.848009e-05,2.844991e-05,2.835477e-05,2.828508e-05,2.823059e-05,2.812233e-05,2.810764e-05,2.798598e-05,2.796182e-05,2.786569e-05,2.780370e-05,2.774681e-05,2.764809e-05,2.762940e-05,2.751350e-05,2.749510e-05,2.739914e-05,2.734480e-05,2.728635e-05,2.719727e-05,2.717516e-05,2.706559e-05,2.705255e-05,2.695766e-05,2.691069e-05,2.685137e-05,2.677171e-05,2.674675e-05,2.664380e-05,2.663563e-05,2.654251e-05,2.650247e-05,2.644290e-05,2.637221e-05,2.634495e-05,2.624868e-05,2.624486e-05,2.615406e-05,2.612041e-05,2.606110e-05,2.599883e-05,2.596979e-05,2.588010e-05,2.576421e-05,2.565111e-05,2.554078e-05,2.543318e-05,2.532826e-05,2.522600e-05,2.512635e-05,2.502926e-05,2.493469e-05,2.484260e-05,2.475293e-05,2.466565e-05,2.458070e-05,2.449803e-05,2.441760e-05,2.433936e-05,2.426326e-05,2.418926e-05,2.411731e-05,2.404735e-05,2.397935e-05,2.391325e-05,2.384901e-05,2.378659e-05
0.000000e+00,5.472470e-09,1.243836e-08,4.221055e-08,9.493023e-08,1.376116e-07,3.068843e-07,3.158902e-07,5.993410e-07,7.004916e-07,1.009498e-06,1.325292e-06,1.567626e-06,2.228523e-06,2.293069e-06,3.197260e-06,3.440753e-06,4.275689e-06,4.948481e-06,5.507904e-06,6.698114e-06,6.867037e-06,8.327611e-06,8.629892e-06,9.867410e-06,1.069280e-05,1.146673e-05,1.284285e-05,1.310743e-05,1.477242e-05,1.503998e-05,1.644559e-05,1.724714e-05,1.811187e-05,1.943061e-05,1.975746e-05,2.137002e-05,2.156078e-05,2.293883e-05,2.361285e-05,2.445485e-05,2.556713e-05,2.591073e-05,2.730082e-05,2.740905e-05,2.862096e-05,2.912879e-05,2.986847e-05,3.072084e-05,3.104190e-05,3.214090e-05,3.218332e-05,3.316604e-05,3.351724e-05,3.411863e-05,3.472592e-05,3.500060e-05,3.581434e-05,3.656258e-05,3.678866e-05,3.724829e-05,3.765576e-05,3.787458e-05,3.842289e-05,3.844465e-05,3.896172e-05,3.909743e-05,3.942896e-05,3.968669e-05,3.984949e-05,4.019772e-05,4.022633e-05,4.056239e-05,4.063728e-05,4.086044e-05,4.101174e-05,4.112313e-05,4.132703e-05,4.135296e-05,4.155228e-05,4.158868e-05,4.172332e-05,4.180177e-05,4.186814e-05,4.197097e-05,4.198870e-05,4.208682e-05,4.210055e-05,4.216418e-05,4.219440e-05,4.222236e-05,4.225609e-05,4.226283e-05,4.228696e-05,4.228882e-05,4.229601e-05,4.229552e-05,4.229116e-05,4.227885e-05,4.227350e-05,4.224406e-05,4.224122e-05,4.220376e-05,4.218480e-05,4.215349e-05,4.211157e-05,4.209405e-05,4.202620e-05,4.202332e-05,4.195064e-05,4.192168e-05,4.186801e-05,4.180810e-05,4.177892e-05,4.168393e-05,4.158355e-05,4.155037e-05,4.147826e-05,4.140851e-05,4.136852e-05,4.125937e-05,4.125475e-05,4.113732e-05,4.110383e-05,4.101660e-05,4.094273e-05,4.089293e-05,4.077680e-05,4.076661e-05,4.063793e-05,4.060673e-05,4.050717e-05,4.043313e-05,4.037458e-05,4.025656e-05,4.024038e-05,4.010480e-05,4.007754e-05,3.996804e-05,3.989653e-05,3.983029e-05,3.971394e-05,3.969172e-05,3.955250e-05,3.953017e-05,3.941277e-05,3.934556e-05,3.927268e-05,3.916044e-05,3.913236e-05,3.899194e-05,3.897509e-05,3.885152e-05,3.878977e-05,3.871122e-05,3.860472e-05,3.857113e-05,3.843134e-05,3.842017e-05,3.829194e-05,3.823630e-05,3.815300e-05,3.805330e-05,3.801461e-05,3.787683e-05,3.787133e-05,3.773971e-05,3.769053e-05,3.760333e-05,3.751103e-05,3.746773e-05,3.733296e-05,3.715641e-05,3.698150e-05,3.680829e-05,3.663687e-05,3.646731e-05,3.629966e-05,3.613397e-05,3.597030e-05,3.580868e-05,3.564915e-05,3.549172e-05,3.533644e-05,3.518331e-05,3.503235e-05,3.488358e-05,3.473699e-05,3.459260e-05,3.445040e-05,3.431040e-05,3.417259e-05,3.403696e-05,3.390351e-05,3.377223e-05,3.364310e-05
0.000000e+00,3.786856e-09,8.640703e-09,2.957474e-08,6.708352e-08,9.773975e-08,2.211894e-07,2.278287e-07,4.398222e-07,5.167453e-07,7.553042e-07,1.004004e-06,1.197774e-06,1.736859e-06,1.790214e-06,2.547342e-06,2.753643e-06,3.466091e-06,4.044145e-06,4.526614e-06,5.557061e-06,5.703674e-06,6.974699e-06,7.238487e-06,8.321096e-06,9.045671e-06,9.726998e-06,1.094343e-05,1.117807e-05,1.266089e-05,1.290022e-05,1.416267e-05,1.488669e-05,1.567136e-05,1.687572e-05,1.717574e-05,1.866559e-05,1.884295e-05,2.013179e-05,2.076733e-05,2.156639e-05,2.263137e-05,2.296267e-05,2.431509e-05,2.442125e-05,2.561924e-05,2.612660e-05,2.687175e-05,2.774019e-05,2.807020e-05,2.921301e-05,2.925755e-05,3.029932e-05,3.067649e-05,3.132885e-05,3.199661e-05,3.230185e-05,3.321901e-05,3.408133e-05,3.434590e-05,3.489011e-05,3.538030e-05,3.564682e-05,3.632582e-05,3.635312e-05,3.701076e-05,3.718643e-05,3.762157e-05,3.796636e-05,3.818742e-05,3.866991e-05,3.871019e-05,3.919178e-05,3.930144e-05,3.963407e-05,3.986527e-05,4.003889e-05,4.036557e-05,4.040804e-05,4.074328e-05,4.080641e-05,4.104631e-05,4.119171e-05,4.131878e-05,4.152521e-05,4.156228e-05,4.177835e-05,4.181047e-05,4.196845e-05,4.205089e-05,4.213399e-05,4.224966e-05,4.227633e-05,4.239677e-05,4.240981e-05,4.249654e-05,4.253420e-05,4.257683e-05,4.262552e-05,4.263877e-05,4.268344e-05,4.268630e-05,4.271187e-05,4.271891e-05,4.272503e-05,4.272558e-05,4.272386e-05,4.270924e-05,4.270839e-05,4.268202e-05,4.266929e-05,4.264299e-05,4.261010e-05,4.259293e-05,4.253254e-05,4.246252e-05,4.243819e-05,4.238352e-05,4.232854e-05,4.229616e-05,4.220496e-05,4.220102e-05,4.209865e-05,4.206877e-05,4.198959e-05,4.192115e-05,4.187433e-05,4.176322e-05,4.175334e-05,4.162708e-05,4.159604e-05,4.149596e-05,4.142056e-05,4.136038e-05,4.123768e-05,4.122072e-05,4.107734e-05,4.104824e-05,4.093057e-05,4.085302e-05,4.078074e-05,4.065274e-05,4.062815e-05,4.047308e-05,4.044805e-05,4.031579e-05,4.023958e-05,4.015655e-05,4.002790e-05,3.999559e-05,3.983313e-05,3.981354e-05,3.966939e-05,3.959698e-05,3.950456e-05,3.937868e-05,3.933884e-05,3.917239e-05,3.915905e-05,3.900540e-05,3.893848e-05,3.883800e-05,3.871731e-05,3.867035e-05,3.850259e-05,3.849588e-05,3.833484e-05,3.827447e-05,3.816722e-05,3.805337e-05,3.799985e-05,3.783283e-05,3.761306e-05,3.739429e-05,3.717671e-05,3.696048e-05,3.674576e-05,3.653271e-05,3.632143e-05,3.611206e-05,3.590469e-05,3.569942e-05,3.549633e-05,3.529550e-05,3.509698e-05,3.490083e-05,3.470711e-05,3.451584e-05,3.432708e-05,3.414084e-05,3.395715e-05,3.377602e-05,3.359748e-05,3.342152e-05,3.324816e-05,3.307740e-05
0.000000e+00,1.138326e-08,2.587465e-08,8.786887e-08,1.979290e-07,2.873180e-07,6.444333e-07,6.635495e-07,1.270896e-06,1.490035e-06,2.164976e-06,2.858153e-06,3.388191e-06,4.807689e-06,4.943738e-06,6.801079e-06,7.287624e-06,8.923985e-06,1.021688e-05,1.128082e-05,1.352510e-05,1.384231e-05,1.657846e-05,1.714388e-05,1.945732e-05,2.099951e-05,2.244492e-05,2.501281e-05,2.550608e-05,2.860551e-05,2.910266e-05,3.170896e-05,3.319051e-05,3.478431e-05,3.720462e-05,3.780236e-05,4.073751e-05,4.108309e-05,4.356810e-05,4.477574e-05,4.627648e-05,4.824459e-05,4.884902e-05,5.127583e-05,5.146346e-05,5.355043e-05,5.441679e-05,5.566940e-05,5.709814e-05,5.763191e-05,5.943933e-05,5.950844e-05,6.109479e-05,6.165440e-05,6.260283e-05,6.354692e-05,6.396906e-05,6.519983e-05,6.630204e-05,6.662876e-05,6.728287e-05,6.785028e-05,6.814965e-05,6.888125e-05,6.890970e-05,6.957023e-05,6.973830e-05,7.013826e-05,7.043751e-05,7.062057e-05,7.099415e-05,7.102362e-05,7.135358e-05,7.142255e-05,7.161626e-05,7.173603e-05,7.181715e-05,7.194690e-05,7.196137e-05,7.205374e-05,7.206639e-05,7.209872e-05,7.210478e-05,7.210048e-05,7.207138e-05,7.206287e-05,7.198947e-05,7.197464e-05,7.188361e-05,7.182216e-05,7.174832e-05,7.162082e-05,7.158645e-05,7.140059e-05,7.137680e-05,7.119315e-05,7.109562e-05,7.096634e-05,7.078227e-05,7.072220e-05,7.046259e-05,7.044120e-05,7.018923e-05,7.007640e-05,6.990371e-05,6.969143e-05,6.960749e-05,6.930189e-05,6.928949e-05,6.898815e-05,6.887343e-05,6.866739e-05,6.844579e-05,6.834064e-05,6.800884e-05,6.767287e-05,6.756461e-05,6.733352e-05,6.711489e-05,6.699151e-05,6.666130e-05,6.664751e-05,6.630212e-05,6.620525e-05,6.595592e-05,6.574801e-05,6.560939e-05,6.529070e-05,6.526300e-05,6.491718e-05,6.483432e-05,6.457232e-05,6.437974e-05,6.422875e-05,6.392773e-05,6.388679e-05,6.354674e-05,6.347898e-05,6.320885e-05,6.303409e-05,6.287336e-05,6.259356e-05,6.254049e-05,6.221040e-05,6.215786e-05,6.188329e-05,6.172738e-05,6.155930e-05,6.130245e-05,6.123857e-05,6.092121e-05,6.088336e-05,6.060733e-05,6.047035e-05,6.029703e-05,6.006364e-05,5.999038e-05,5.968745e-05,5.966338e-05,5.938831e-05,5.926972e-05,5.909300e-05,5.888277e-05,5.880156e-05,5.851402e-05,5.850260e-05,5.823041e-05,5.812928e-05,5.795075e-05,5.776284e-05,5.767505e-05,5.740331e-05,5.705070e-05,5.670498e-05,5.636614e-05,5.603415e-05,5.570895e-05,5.539050e-05,5.507872e-05,5.477356e-05,5.447494e-05,5.418277e-05,5.389697e-05,5.361745e-05,5.334412e-05,5.307689e-05,5.281565e-05,5.256030e-05,5.231075e-05,5.206689e-05,5.182862e-05,5.159583e-05,5.136842e-05,5.114628e-05,5.092932e-05,5.071742e-05
0.000000e+00,3.751826e-09,8.591180e-09,2.977888e-08,6.892810e-08,1.020129e-07,2.446967e-07,2.527824e-07,5.303647e-07,6.388886e-07,9.913029e-07,1.367956e-06,1.658641e-06,2.431869e-06,2.505255e-06,3.494071e-06,3.749520e-06,4.600111e-06,5.264799e-06,5.808173e-06,6.947108e-06,7.107539e-06,8.488813e-06,8.774067e-06,9.942453e-06,1.072359e-05,1.145827e-05,1.277169e-05,1.302542e-05,1.463261e-05,1.489272e-05,1.626845e-05,1.706054e-05,1.792178e-05,1.924984e-05,1.958193e-05,2.123900e-05,2.143721e-05,2.288401e-05,2.360190e-05,2.450898e-05,2.572626e-05,2.610699e-05,2.767216e-05,2.779580e-05,2.919961e-05,2.979911e-05,3.068539e-05,3.172758e-05,3.212640e-05,3.352029e-05,3.357503e-05,3.486536e-05,3.533741e-05,3.616051e-05,3.701234e-05,3.740509e-05,3.859888e-05,3.974200e-05,4.009715e-05,4.083485e-05,4.150819e-05,4.187808e-05,4.283364e-05,4.287249e-05,4.381904e-05,4.407563e-05,4.471879e-05,4.523666e-05,4.557291e-05,4.631944e-05,4.638261e-05,4.714916e-05,4.732686e-05,4.787386e-05,4.826190e-05,4.855802e-05,4.912760e-05,4.920297e-05,4.981002e-05,4.992700e-05,5.038049e-05,5.066311e-05,5.091568e-05,5.133891e-05,5.141687e-05,5.188532e-05,5.195731e-05,5.232227e-05,5.252117e-05,5.272893e-05,5.303325e-05,5.310649e-05,5.345611e-05,5.349624e-05,5.377890e-05,5.391272e-05,5.407597e-05,5.428520e-05,5.434838e-05,5.459716e-05,5.461607e-05,5.482332e-05,5.490766e-05,5.502782e-05,5.516218e-05,5.521161e-05,5.537560e-05,5.538176e-05,5.552066e-05,5.556842e-05,5.564766e-05,5.572412e-05,5.575741e-05,5.585071e-05,5.592831e-05,5.594996e-05,5.599097e-05,5.602356e-05,5.603940e-05,5.607312e-05,5.607427e-05,5.609625e-05,5.610018e-05,5.610598e-05,5.610619e-05,5.610407e-05,5.609254e-05,5.609111e-05,5.606766e-05,5.606053e-05,5.603428e-05,5.601143e-05,5.599148e-05,5.594642e-05,5.593976e-05,5.587962e-05,5.586663e-05,5.581152e-05,5.577311e-05,5.573590e-05,5.566688e-05,5.565319e-05,5.556380e-05,5.554890e-05,5.546812e-05,5.542007e-05,5.536653e-05,5.528124e-05,5.525939e-05,5.514705e-05,5.513323e-05,5.502984e-05,5.497681e-05,5.490808e-05,5.481268e-05,5.478207e-05,5.465210e-05,5.464154e-05,5.451845e-05,5.446402e-05,5.438139e-05,5.428074e-05,5.424117e-05,5.409804e-05,5.409226e-05,5.395223e-05,5.389912e-05,5.380395e-05,5.370183e-05,5.365343e-05,5.350087e-05,5.329667e-05,5.308967e-05,5.288026e-05,5.266881e-05,5.245566e-05,5.224114e-05,5.202556e-05,5.180921e-05,5.159233e-05,5.137520e-05,5.115803e-05,5.094105e-05,5.072445e-05,5.050843e-05,5.029315e-05,5.007878e-05,4.986546e-05,4.965334e-05,4.944254e-05,4.923318e-05,4.902537e-05,4.881919e-05,4.861476e-05,4.841214e-05
0.000000e+00,3.458803e-09,7.914047e-09,2.742079e-08,6.357196e-08,9.426194e-08,2.280109e-07,2.356509e-07,5.009107e-07,6.058329e-07,9.493675e-07,1.318764e-06,1.603918e-06,2.358109e-06,2.429223e-06,3.378345e-06,3.620764e-06,4.420106e-06,5.036837e-06,5.536254e-06,6.570411e-06,6.714803e-06,7.946089e-06,8.197868e-06,9.220930e-06,9.897956e-06,1.052994e-05,1.164882e-05,1.186342e-05,1.321152e-05,1.342792e-05,1.456451e-05,1.521291e-05,1.591303e-05,1.698276e-05,1.724839e-05,1.856270e-05,1.871866e-05,1.984903e-05,2.040458e-05,2.110142e-05,2.202748e-05,2.231497e-05,2.348581e-05,2.357754e-05,2.461095e-05,2.504769e-05,2.568821e-05,2.643339e-05,2.671620e-05,2.769417e-05,2.773224e-05,2.862189e-05,2.894358e-05,2.949950e-05,3.006795e-05,3.032761e-05,3.110710e-05,3.183908e-05,3.206350e-05,3.252489e-05,3.294023e-05,3.316596e-05,3.374072e-05,3.376382e-05,3.432008e-05,3.446859e-05,3.483636e-05,3.512764e-05,3.531434e-05,3.572166e-05,3.575566e-05,3.616197e-05,3.625446e-05,3.653489e-05,3.672974e-05,3.687601e-05,3.715112e-05,3.718687e-05,3.746898e-05,3.752208e-05,3.772379e-05,3.784597e-05,3.795271e-05,3.812599e-05,3.815710e-05,3.833825e-05,3.836517e-05,3.849744e-05,3.856640e-05,3.863585e-05,3.873241e-05,3.875465e-05,3.885494e-05,3.886578e-05,3.893777e-05,3.896895e-05,3.900415e-05,3.904420e-05,3.905505e-05,3.909138e-05,3.909369e-05,3.911402e-05,3.911944e-05,3.912381e-05,3.912335e-05,3.912154e-05,3.910796e-05,3.910719e-05,3.908379e-05,3.907264e-05,3.904973e-05,3.902124e-05,3.900641e-05,3.895446e-05,3.889446e-05,3.887366e-05,3.882697e-05,3.878009e-05,3.875252e-05,3.867496e-05,3.867161e-05,3.858470e-05,3.855936e-05,3.849226e-05,3.843432e-05,3.839471e-05,3.830079e-05,3.829245e-05,3.818586e-05,3.815967e-05,3.807531e-05,3.801179e-05,3.796113e-05,3.785791e-05,3.784365e-05,3.772318e-05,3.769875e-05,3.760000e-05,3.753497e-05,3.747439e-05,3.736718e-05,3.734659e-05,3.721687e-05,3.719595e-05,3.708543e-05,3.702180e-05,3.695251e-05,3.684523e-05,3.681830e-05,3.668299e-05,3.666669e-05,3.654677e-05,3.648658e-05,3.640979e-05,3.630529e-05,3.627223e-05,3.613423e-05,3.612317e-05,3.599592e-05,3.594055e-05,3.585745e-05,3.575772e-05,3.571893e-05,3.558049e-05,3.557495e-05,3.544221e-05,3.539250e-05,3.530422e-05,3.521059e-05,3.516660e-05,3.502944e-05,3.484923e-05,3.467014e-05,3.449232e-05,3.431592e-05,3.414106e-05,3.396786e-05,3.379642e-05,3.362684e-05,3.345920e-05,3.329357e-05,3.313001e-05,3.296858e-05,3.280933e-05,3.265229e-05,3.249751e-05,3.234501e-05,3.219481e-05,3.204693e-05,3.190138e-05,3.175818e-05,3.161733e-05,3.147882e-05,3.134266e-05,3.120883e-05
0.000000e+00,6.972416e-09,1.592442e-08,5.460742e-08,1.240574e-07,1.808879e-07,4.099964e-07,4.223233e-07,8.159080e-07,9.586573e-07,1.401014e-06,1.861654e-06,2.220333e-06,3.218860e-06,3.317868e-06,4.730601e-06,5.118909e-06,6.473848e-06,7.589822e-06,8.532260e-06,1.057494e-05,1.086853e-05,1.343991e-05,1.397888e-05,1.620761e-05,1.771315e-05,1.913830e-05,2.170452e-05,2.220267e-05,2.537388e-05,2.588948e-05,2.862657e-05,3.020966e-05,3.193653e-05,3.461013e-05,3.528060e-05,3.863693e-05,3.903952e-05,4.198511e-05,4.345084e-05,4.530645e-05,4.780229e-05,4.858413e-05,5.180328e-05,5.205788e-05,5.495103e-05,5.618764e-05,5.801649e-05,6.016754e-05,6.099065e-05,6.386626e-05,6.397915e-05,6.663770e-05,6.760908e-05,6.930084e-05,7.104842e-05,7.185285e-05,7.429200e-05,7.661756e-05,7.733774e-05,7.882963e-05,8.018617e-05,8.092906e-05,8.283984e-05,8.291726e-05,8.479612e-05,8.530291e-05,8.656794e-05,8.758074e-05,8.823534e-05,8.967955e-05,8.980115e-05,9.126840e-05,9.160622e-05,9.264025e-05,9.336802e-05,9.391994e-05,9.497248e-05,9.511080e-05,9.621616e-05,9.642726e-05,9.723933e-05,9.773998e-05,9.818358e-05,9.891814e-05,9.905216e-05,9.984829e-05,9.996915e-05,1.005751e-04,1.009002e-04,1.012356e-04,1.017184e-04,1.018329e-04,1.023698e-04,1.024303e-04,1.028491e-04,1.030425e-04,1.032737e-04,1.035613e-04,1.036460e-04,1.039688e-04,1.039925e-04,1.042444e-04,1.043419e-04,1.044752e-04,1.046150e-04,1.046636e-04,1.048118e-04,1.048169e-04,1.049218e-04,1.049525e-04,1.049958e-04,1.050265e-04,1.050357e-04,1.050434e-04,1.050206e-04,1.050072e-04,1.049693e-04,1.049221e-04,1.048909e-04,1.047917e-04,1.047871e-04,1.046594e-04,1.046196e-04,1.045093e-04,1.044091e-04,1.043382e-04,1.041634e-04,1.041475e-04,1.039383e-04,1.038855e-04,1.037119e-04,1.035780e-04,1.034695e-04,1.032438e-04,1.032121e-04,1.029409e-04,1.028851e-04,1.026569e-04,1.025044e-04,1.023609e-04,1.021038e-04,1.020540e-04,1.017370e-04,1.016854e-04,1.014107e-04,1.012510e-04,1.010759e-04,1.008025e-04,1.007334e-04,1.003839e-04,1.003415e-04,1.000280e-04,9.986956e-05,9.966640e-05,9.938815e-05,9.929972e-05,9.892852e-05,9.889864e-05,9.855335e-05,9.840228e-05,9.817473e-05,9.790026e-05,9.779315e-05,9.740908e-05,9.739367e-05,9.702296e-05,9.688353e-05,9.663520e-05,9.637078e-05,9.624619e-05,9.585630e-05,9.534090e-05,9.482533e-05,9.431027e-05,9.379637e-05,9.328421e-05,9.277433e-05,9.226723e-05,9.176335e-05,9.126310e-05,9.076687e-05,9.027499e-05,8.978776e-05,8.930547e-05,8.882836e-05,8.835666e-05,8.789056e-05,8.743024e-05,8.697584e-05,8.652750e-05,8.608534e-05,8.564944e-05,8.521990e-05,8.479677e-05,8.438011e-05
0.000000e+00,2.686185e-09,6.095846e-09,2.062083e-08,4.624549e-08,6.693771e-08,1.487270e-07,1.530695e-07,2.894353e-07,3.379842e-07,4.860263e-07,6.369919e-07,7.526736e-07,1.067758e-06,1.098519e-06,1.529769e-06,1.646086e-06,2.045557e-06,2.367785e-06,2.635522e-06,3.203115e-06,3.283344e-06,3.972633e-06,4.114212e-06,4.689723e-06,5.069855e-06,5.423590e-06,6.046244e-06,6.165046e-06,6.906114e-06,7.024165e-06,7.639722e-06,7.987334e-06,8.359606e-06,8.921935e-06,9.060306e-06,9.737195e-06,9.816634e-06,1.038650e-05,1.066267e-05,1.100529e-05,1.145383e-05,1.159144e-05,1.214360e-05,1.218628e-05,1.266107e-05,1.285831e-05,1.314375e-05,1.346994e-05,1.359204e-05,1.400671e-05,1.402261e-05,1.438888e-05,1.451876e-05,1.473989e-05,1.496153e-05,1.506124e-05,1.535454e-05,1.562147e-05,1.570160e-05,1.586372e-05,1.600656e-05,1.608293e-05,1.627324e-05,1.628076e-05,1.645876e-05,1.650525e-05,1.661843e-05,1.670602e-05,1.676118e-05,1.687873e-05,1.688836e-05,1.700121e-05,1.702629e-05,1.710089e-05,1.715136e-05,1.718847e-05,1.725632e-05,1.726494e-05,1.733123e-05,1.734334e-05,1.738817e-05,1.741434e-05,1.743654e-05,1.747107e-05,1.747705e-05,1.751036e-05,1.751506e-05,1.753705e-05,1.754768e-05,1.755768e-05,1.757016e-05,1.757275e-05,1.758271e-05,1.758358e-05,1.758799e-05,1.758892e-05,1.758896e-05,1.758704e-05,1.758598e-05,1.757938e-05,1.757870e-05,1.756945e-05,1.756460e-05,1.755646e-05,1.754535e-05,1.754066e-05,1.752229e-05,1.752150e-05,1.750155e-05,1.749355e-05,1.747865e-05,1.746193e-05,1.745376e-05,1.742704e-05,1.739867e-05,1.738926e-05,1.736876e-05,1.734889e-05,1.733747e-05,1.730623e-05,1.730491e-05,1.727119e-05,1.726156e-05,1.723642e-05,1.721510e-05,1.720070e-05,1.716708e-05,1.716412e-05,1.712677e-05,1.711770e-05,1.708872e-05,1.706714e-05,1.705005e-05,1.701556e-05,1.701082e-05,1.697111e-05,1.696312e-05,1.693097e-05,1.690995e-05,1.689046e-05,1.685617e-05,1.684962e-05,1.680852e-05,1.680192e-05,1.676719e-05,1.674729e-05,1.672568e-05,1.669237e-05,1.668403e-05,1.664227e-05,1.663726e-05,1.660045e-05,1.658204e-05,1.655859e-05,1.652678e-05,1.651673e-05,1.647489e-05,1.647155e-05,1.643311e-05,1.641641e-05,1.639140e-05,1.636143e-05,1.634979e-05,1.630830e-05,1.630664e-05,1.626696e-05,1.625211e-05,1.622577e-05,1.619787e-05,1.618477e-05,1.614397e-05,1.609044e-05,1.603731e-05,1.598462e-05,1.593239e-05,1.588064e-05,1.582940e-05,1.577870e-05,1.572854e-05,1.567894e-05,1.562992e-05,1.558149e-05,1.553366e-05,1.548644e-05,1.543984e-05,1.539387e-05,1.534852e-05,1.530381e-05,1.525974e-05,1.521631e-05,1.517353e-05,1.513139e-05,1.508990e-05,1.504905e-05,1.500884e-05
0.000000e+00,1.859343e-09,4.225652e-09,1.434280e-08,3.228299e-08,4.683397e-08,1.047819e-07,1.078754e-07,2.057246e-07,2.408495e-07,3.487104e-07,4.596468e-07,5.451540e-07,7.795778e-07,8.025519e-07,1.125599e-06,1.212931e-06,1.513060e-06,1.754983e-06,1.955548e-06,2.378250e-06,2.437640e-06,2.943263e-06,3.045996e-06,3.459355e-06,3.728570e-06,3.976359e-06,4.406245e-06,4.487379e-06,4.987327e-06,5.066021e-06,5.472378e-06,5.699039e-06,5.939668e-06,6.299290e-06,6.387115e-06,6.813304e-06,6.862973e-06,7.217386e-06,7.388069e-06,7.598993e-06,7.873984e-06,7.958148e-06,8.295192e-06,8.321216e-06,8.610708e-06,8.731053e-06,8.905461e-06,9.105321e-06,9.180339e-06,9.436311e-06,9.446171e-06,9.674391e-06,9.755918e-06,9.895608e-06,1.003693e-05,1.010098e-05,1.029152e-05,1.046818e-05,1.052193e-05,1.063188e-05,1.073025e-05,1.078349e-05,1.091842e-05,1.092383e-05,1.105369e-05,1.108827e-05,1.117377e-05,1.124142e-05,1.128477e-05,1.137940e-05,1.138731e-05,1.148196e-05,1.150357e-05,1.156929e-05,1.161518e-05,1.164979e-05,1.171536e-05,1.172394e-05,1.179216e-05,1.180512e-05,1.185484e-05,1.188538e-05,1.191237e-05,1.195694e-05,1.196506e-05,1.201326e-05,1.202057e-05,1.205723e-05,1.207693e-05,1.209727e-05,1.212662e-05,1.213361e-05,1.216649e-05,1.217021e-05,1.219613e-05,1.220819e-05,1.222272e-05,1.224101e-05,1.224646e-05,1.226752e-05,1.226909e-05,1.228605e-05,1.229280e-05,1.230222e-05,1.231248e-05,1.231617e-05,1.232801e-05,1.232844e-05,1.233789e-05,1.234098e-05,1.234590e-05,1.235035e-05,1.235217e-05,1.235678e-05,1.235984e-05,1.236051e-05,1.236144e-05,1.236173e-05,1.236166e-05,1.236063e-05,1.236057e-05,1.235825e-05,1.235739e-05,1.235477e-05,1.235215e-05,1.235019e-05,1.234507e-05,1.234458e-05,1.233800e-05,1.233628e-05,1.233050e-05,1.232592e-05,1.232213e-05,1.231409e-05,1.231294e-05,1.230298e-05,1.230090e-05,1.229230e-05,1.228647e-05,1.228092e-05,1.227087e-05,1.226891e-05,1.225628e-05,1.225421e-05,1.224308e-05,1.223655e-05,1.222934e-05,1.221799e-05,1.221510e-05,1.220038e-05,1.219859e-05,1.218522e-05,1.217841e-05,1.216964e-05,1.215753e-05,1.215367e-05,1.213733e-05,1.213601e-05,1.212065e-05,1.211388e-05,1.210365e-05,1.209122e-05,1.208635e-05,1.206878e-05,1.206807e-05,1.205095e-05,1.204447e-05,1.203288e-05,1.202047e-05,1.201459e-05,1.199610e-05,1.197141e-05,1.194644e-05,1.192121e-05,1.189576e-05,1.187012e-05,1.184432e-05,1.181838e-05,1.179233e-05,1.176619e-05,1.173999e-05,1.171374e-05,1.168747e-05,1.166120e-05,1.163493e-05,1.160870e-05,1.158250e-05,1.155637e-05,1.153031e-05,1.150433e-05,1.147845e-05,1.145268e-05,1.142702e-05,1.140150e-05,1.137611e-05
0.000000e+00,3.217012e-09,7.239629e-09,2.406938e-08,5.313644e-08,7.625231e-08,1.657166e-07,1.704026e-07,3.153131e-07,3.660723e-07,5.189032e-07,6.724121e-07,7.888271e-07,1.102136e-06,1.132506e-06,1.556156e-06,1.670138e-06,2.062265e-06,2.380231e-06,2.645791e-06,3.211729e-06,3.291865e-06,3.978449e-06,4.118559e-06,4.682637e-06,5.049276e-06,5.385518e-06,5.964865e-06,6.073529e-06,6.737563e-06,6.841150e-06,7.371640e-06,7.664142e-06,7.971815e-06,8.425753e-06,8.535470e-06,9.060923e-06,9.121357e-06,9.547212e-06,9.748663e-06,9.993996e-06,1.030724e-05,1.040148e-05,1.077034e-05,1.079821e-05,1.110164e-05,1.122396e-05,1.139685e-05,1.158801e-05,1.165770e-05,1.188614e-05,1.189463e-05,1.208427e-05,1.214860e-05,1.225428e-05,1.235496e-05,1.239838e-05,1.251876e-05,1.261756e-05,1.264495e-05,1.269681e-05,1.273817e-05,1.275844e-05,1.280273e-05,1.280428e-05,1.283600e-05,1.284256e-05,1.285513e-05,1.286116e-05,1.286309e-05,1.286164e-05,1.286115e-05,1.285046e-05,1.284670e-05,1.283204e-05,1.281870e-05,1.280683e-05,1.277967e-05,1.277563e-05,1.273920e-05,1.273134e-05,1.269817e-05,1.267522e-05,1.265313e-05,1.261257e-05,1.260458e-05,1.255298e-05,1.254447e-05,1.249873e-05,1.247186e-05,1.244219e-05,1.239552e-05,1.238367e-05,1.232345e-05,1.231613e-05,1.226179e-05,1.223426e-05,1.219890e-05,1.215041e-05,1.213498e-05,1.207021e-05,1.206500e-05,1.200475e-05,1.197840e-05,1.193874e-05,1.189094e-05,1.187230e-05,1.180556e-05,1.180288e-05,1.173860e-05,1.171447e-05,1.167154e-05,1.162591e-05,1.160444e-05,1.153739e-05,1.147045e-05,1.144907e-05,1.140369e-05,1.136108e-05,1.133716e-05,1.127356e-05,1.127092e-05,1.120500e-05,1.118661e-05,1.113945e-05,1.110032e-05,1.107432e-05,1.101478e-05,1.100962e-05,1.094540e-05,1.093006e-05,1.088168e-05,1.084622e-05,1.081848e-05,1.076332e-05,1.075584e-05,1.069376e-05,1.068141e-05,1.063226e-05,1.060053e-05,1.057137e-05,1.052070e-05,1.051110e-05,1.045146e-05,1.044197e-05,1.039245e-05,1.036436e-05,1.033410e-05,1.028788e-05,1.027640e-05,1.021936e-05,1.021256e-05,1.016299e-05,1.013841e-05,1.010730e-05,1.006543e-05,1.005229e-05,9.997952e-06,9.993635e-06,9.944299e-06,9.923029e-06,9.891329e-06,9.853614e-06,9.839043e-06,9.787439e-06,9.785389e-06,9.736517e-06,9.718351e-06,9.686275e-06,9.652498e-06,9.636711e-06,9.587823e-06,9.524319e-06,9.461979e-06,9.400793e-06,9.340752e-06,9.281843e-06,9.224055e-06,9.167375e-06,9.111790e-06,9.057286e-06,9.003848e-06,8.951463e-06,8.900115e-06,8.849789e-06,8.800469e-06,8.752140e-06,8.704785e-06,8.658389e-06,8.612936e-06,8.568409e-06,8.524792e-06,8.482070e-06,8.440226e-06,8.399244e-06,8.359109e-06
0.000000e+00,6.137467e-09,1.401241e-08,4.801274e-08,1.089888e-07,1.588399e-07,3.594955e-07,3.702786e-07,7.139175e-07,8.382397e-07,1.222415e-06,1.620695e-06,1.929560e-06,2.783884e-06,2.868182e-06,4.064342e-06,4.391268e-06,5.527104e-06,6.457337e-06,7.239014e-06,8.918713e-06,9.158274e-06,1.123360e-05,1.166310e-05,1.341784e-05,1.458360e-05,1.567257e-05,1.759843e-05,1.796717e-05,2.027677e-05,2.064626e-05,2.258069e-05,2.367936e-05,2.486159e-05,2.665987e-05,2.710492e-05,2.929866e-05,2.955809e-05,3.143307e-05,3.235137e-05,3.350050e-05,3.502333e-05,3.549517e-05,3.741289e-05,3.756290e-05,3.925093e-05,3.996345e-05,4.100769e-05,4.222183e-05,4.268252e-05,4.427566e-05,4.433769e-05,4.578793e-05,4.631279e-05,4.722064e-05,4.815033e-05,4.857555e-05,4.985470e-05,5.106035e-05,5.143102e-05,5.219489e-05,5.288486e-05,5.326088e-05,5.422214e-05,5.426091e-05,5.519763e-05,5.544892e-05,5.607364e-05,5.657118e-05,5.689152e-05,5.759480e-05,5.765379e-05,5.836297e-05,5.852555e-05,5.902150e-05,5.936903e-05,5.963173e-05,6.013061e-05,6.019596e-05,6.071639e-05,6.081541e-05,6.119517e-05,6.142837e-05,6.163439e-05,6.197420e-05,6.203602e-05,6.240199e-05,6.245736e-05,6.273414e-05,6.288208e-05,6.303423e-05,6.325237e-05,6.330397e-05,6.354496e-05,6.357203e-05,6.375878e-05,6.384464e-05,6.394691e-05,6.407358e-05,6.411076e-05,6.425170e-05,6.426203e-05,6.437103e-05,6.441298e-05,6.446997e-05,6.452926e-05,6.454972e-05,6.461141e-05,6.461351e-05,6.465610e-05,6.466822e-05,6.468482e-05,6.469572e-05,6.469854e-05,6.469820e-05,6.468468e-05,6.467770e-05,6.465881e-05,6.463615e-05,6.462140e-05,6.457534e-05,6.457321e-05,6.451496e-05,6.449694e-05,6.444734e-05,6.440253e-05,6.437099e-05,6.429358e-05,6.428653e-05,6.419457e-05,6.417144e-05,6.409564e-05,6.403739e-05,6.399027e-05,6.389263e-05,6.387898e-05,6.376223e-05,6.373826e-05,6.364047e-05,6.357532e-05,6.351413e-05,6.340476e-05,6.338361e-05,6.324929e-05,6.322747e-05,6.311153e-05,6.304428e-05,6.297067e-05,6.285597e-05,6.282704e-05,6.268093e-05,6.266325e-05,6.253264e-05,6.246677e-05,6.238244e-05,6.226716e-05,6.223057e-05,6.207728e-05,6.206497e-05,6.192280e-05,6.186073e-05,6.176734e-05,6.165492e-05,6.161110e-05,6.145427e-05,6.144799e-05,6.129703e-05,6.124035e-05,6.113953e-05,6.103238e-05,6.098195e-05,6.082442e-05,6.061679e-05,6.040978e-05,6.020366e-05,5.999867e-05,5.979503e-05,5.959295e-05,5.939261e-05,5.919416e-05,5.899776e-05,5.880354e-05,5.861162e-05,5.842209e-05,5.823506e-05,5.805061e-05,5.786879e-05,5.768969e-05,5.751334e-05,5.733979e-05,5.716907e-05,5.700122e-05,5.683626e-05,5.667419e-05,5.651503e-05,5.635879e-05
0.000000e+00,1.348596e-07,3.080091e-07,1.055860e-06,2.396632e-06,3.491828e-06,7.889088e-06,8.124875e-06,1.561245e-05,1.830955e-05,2.661058e-05,3.517258e-05,4.178861e-05,6.001360e-05,6.180746e-05,8.720723e-05,9.413749e-05,1.182100e-04,1.379654e-04,1.546382e-04,1.908539e-04,1.960754e-04,2.420605e-04,2.517645e-04,2.921583e-04,3.196969e-04,3.459549e-04,3.937006e-04,4.030373e-04,4.629818e-04,4.728094e-04,5.253503e-04,5.560167e-04,5.896940e-04,6.422867e-04,6.555600e-04,7.224998e-04,7.305839e-04,7.900779e-04,8.199067e-04,8.578797e-04,9.093188e-04,9.255172e-04,9.926329e-04,9.979697e-04,1.058905e-03,1.085112e-03,1.124047e-03,1.170108e-03,1.187810e-03,1.249981e-03,1.252432e-03,1.310382e-03,1.331664e-03,1.368867e-03,1.407482e-03,1.425320e-03,1.479653e-03,1.531801e-03,1.548019e-03,1.581722e-03,1.612491e-03,1.629393e-03,1.673034e-03,1.674807e-03,1.717972e-03,1.729657e-03,1.758906e-03,1.782408e-03,1.797640e-03,1.831363e-03,1.834210e-03,1.868660e-03,1.876619e-03,1.901042e-03,1.918291e-03,1.931407e-03,1.956507e-03,1.959814e-03,1.986323e-03,1.991402e-03,2.010993e-03,2.023116e-03,2.033888e-03,2.051794e-03,2.055071e-03,2.074603e-03,2.077580e-03,2.092549e-03,2.100617e-03,2.108969e-03,2.121049e-03,2.123927e-03,2.137481e-03,2.139016e-03,2.149691e-03,2.154652e-03,2.160615e-03,2.168092e-03,2.170310e-03,2.178831e-03,2.179464e-03,2.186232e-03,2.188890e-03,2.192564e-03,2.196491e-03,2.197880e-03,2.202227e-03,2.202381e-03,2.205653e-03,2.206670e-03,2.208205e-03,2.209463e-03,2.209926e-03,2.210859e-03,2.211047e-03,2.210956e-03,2.210528e-03,2.209844e-03,2.209342e-03,2.207609e-03,2.207525e-03,2.205112e-03,2.204334e-03,2.202138e-03,2.200098e-03,2.198636e-03,2.194974e-03,2.194637e-03,2.190171e-03,2.189033e-03,2.185267e-03,2.182341e-03,2.179954e-03,2.174961e-03,2.174258e-03,2.168204e-03,2.166953e-03,2.161817e-03,2.158372e-03,2.155121e-03,2.149272e-03,2.148136e-03,2.140886e-03,2.139702e-03,2.133389e-03,2.129710e-03,2.125667e-03,2.119338e-03,2.117736e-03,2.109616e-03,2.108630e-03,2.101322e-03,2.097622e-03,2.092872e-03,2.086353e-03,2.084279e-03,2.075559e-03,2.074856e-03,2.066726e-03,2.063164e-03,2.057792e-03,2.051305e-03,2.048771e-03,2.039674e-03,2.039308e-03,2.030512e-03,2.027200e-03,2.021296e-03,2.015003e-03,2.012036e-03,2.002742e-03,1.990436e-03,1.978105e-03,1.965768e-03,1.953441e-03,1.941140e-03,1.928878e-03,1.916669e-03,1.904524e-03,1.892456e-03,1.880473e-03,1.868585e-03,1.856801e-03,1.845127e-03,1.833571e-03,1.822140e-03,1.810837e-03,1.799668e-03,1.788638e-03,1.777750e-03,1.767008e-03,1.756414e-03,1.745971e-03,1.735680e-03,1.725543e-03
0.000000e+00,8.318076e-09,1.902045e-08,6.545576e-08,1.494342e-07,2.186604e-07,5.017615e-07,5.171614e-07,1.016765e-06,1.201415e-06,1.783680e-06,2.404114e-06,2.895764e-06,4.296893e-06,4.438063e-06,6.487380e-06,7.060322e-06,9.083641e-06,1.077060e-05,1.220395e-05,1.532096e-05,1.576891e-05,1.967869e-05,2.049379e-05,2.384353e-05,2.608598e-05,2.819312e-05,3.194989e-05,3.267375e-05,3.724295e-05,3.797980e-05,4.186525e-05,4.409356e-05,4.650961e-05,5.022219e-05,5.114820e-05,5.575577e-05,5.630549e-05,6.030952e-05,6.229077e-05,6.478906e-05,6.813276e-05,6.917647e-05,7.345630e-05,7.379363e-05,7.761553e-05,7.924300e-05,8.164350e-05,8.445751e-05,8.553171e-05,8.927375e-05,8.942032e-05,9.286496e-05,9.412023e-05,9.630224e-05,9.855081e-05,9.958402e-05,1.027099e-04,1.056806e-04,1.065986e-04,1.084974e-04,1.102204e-04,1.111625e-04,1.135810e-04,1.136788e-04,1.160496e-04,1.166878e-04,1.182783e-04,1.195489e-04,1.203688e-04,1.221737e-04,1.223254e-04,1.241521e-04,1.245717e-04,1.258534e-04,1.267529e-04,1.274336e-04,1.287276e-04,1.288972e-04,1.302486e-04,1.305057e-04,1.314919e-04,1.320972e-04,1.326316e-04,1.335118e-04,1.336717e-04,1.346164e-04,1.347590e-04,1.354698e-04,1.358481e-04,1.362357e-04,1.367881e-04,1.369180e-04,1.375204e-04,1.375875e-04,1.380464e-04,1.382546e-04,1.384997e-04,1.387975e-04,1.388835e-04,1.392011e-04,1.392237e-04,1.394557e-04,1.395406e-04,1.396504e-04,1.397551e-04,1.397880e-04,1.398716e-04,1.398738e-04,1.399037e-04,1.399031e-04,1.398870e-04,1.398491e-04,1.398241e-04,1.397173e-04,1.395692e-04,1.395134e-04,1.393818e-04,1.392423e-04,1.391574e-04,1.389091e-04,1.388981e-04,1.386058e-04,1.385183e-04,1.382825e-04,1.380744e-04,1.379300e-04,1.375814e-04,1.375500e-04,1.371443e-04,1.370433e-04,1.367145e-04,1.364638e-04,1.362621e-04,1.358464e-04,1.357885e-04,1.352953e-04,1.351944e-04,1.347837e-04,1.345108e-04,1.342550e-04,1.337987e-04,1.337106e-04,1.331515e-04,1.330607e-04,1.325788e-04,1.322995e-04,1.319938e-04,1.315175e-04,1.313973e-04,1.307904e-04,1.307169e-04,1.301740e-04,1.299000e-04,1.295489e-04,1.290686e-04,1.289161e-04,1.282763e-04,1.282248e-04,1.276303e-04,1.273703e-04,1.269788e-04,1.265067e-04,1.263225e-04,1.256621e-04,1.256356e-04,1.249981e-04,1.247584e-04,1.243313e-04,1.238764e-04,1.236621e-04,1.229910e-04,1.221033e-04,1.212143e-04,1.203251e-04,1.194367e-04,1.185498e-04,1.176653e-04,1.167839e-04,1.159064e-04,1.150332e-04,1.141652e-04,1.133026e-04,1.124461e-04,1.115961e-04,1.107530e-04,1.099171e-04,1.090888e-04,1.082684e-04,1.074562e-04,1.066523e-04,1.058570e-04,1.050705e-04,1.042930e-04,1.035245e-04,1.027652e-04
0.000000e+00,1.767663e-09,4.038882e-09,1.385886e-08,3.149071e-08,4.591157e-08,1.039371e-07,1.070533e-07,2.062151e-07,2.420175e-07,3.524307e-07,4.666114e-07,5.550218e-07,7.993880e-07,8.235141e-07,1.167028e-06,1.261507e-06,1.592781e-06,1.868459e-06,2.103682e-06,2.621124e-06,2.696281e-06,3.361218e-06,3.501820e-06,4.086247e-06,4.482932e-06,4.859245e-06,5.537807e-06,5.669580e-06,6.508225e-06,6.644503e-06,7.367427e-06,7.785120e-06,8.240390e-06,8.944581e-06,9.121064e-06,1.000404e-05,1.010991e-05,1.088448e-05,1.126996e-05,1.175814e-05,1.241526e-05,1.262128e-05,1.347073e-05,1.353801e-05,1.430379e-05,1.463191e-05,1.511824e-05,1.569211e-05,1.591230e-05,1.668457e-05,1.671500e-05,1.743400e-05,1.769804e-05,1.815980e-05,1.863960e-05,1.886149e-05,1.953880e-05,2.019163e-05,2.039537e-05,2.082004e-05,2.120950e-05,2.142425e-05,2.198178e-05,2.200453e-05,2.256130e-05,2.271304e-05,2.309499e-05,2.340435e-05,2.360613e-05,2.405692e-05,2.409525e-05,2.456294e-05,2.467206e-05,2.500978e-05,2.525114e-05,2.543640e-05,2.579557e-05,2.584340e-05,2.623140e-05,2.630677e-05,2.660102e-05,2.678616e-05,2.695287e-05,2.723514e-05,2.728756e-05,2.760568e-05,2.765508e-05,2.790781e-05,2.804732e-05,2.819453e-05,2.841318e-05,2.846639e-05,2.872394e-05,2.875391e-05,2.896771e-05,2.907074e-05,2.919822e-05,2.936484e-05,2.941597e-05,2.962144e-05,2.963736e-05,2.981511e-05,2.988937e-05,2.999743e-05,3.012193e-05,3.016885e-05,3.032980e-05,3.033603e-05,3.048069e-05,3.053263e-05,3.062192e-05,3.071264e-05,3.075388e-05,3.087695e-05,3.099147e-05,3.102637e-05,3.109781e-05,3.116172e-05,3.119629e-05,3.128375e-05,3.128725e-05,3.137099e-05,3.139318e-05,3.144781e-05,3.149071e-05,3.151801e-05,3.157699e-05,3.158187e-05,3.163964e-05,3.165264e-05,3.169160e-05,3.171825e-05,3.173800e-05,3.177441e-05,3.177906e-05,3.181503e-05,3.182163e-05,3.184613e-05,3.186044e-05,3.187256e-05,3.189132e-05,3.189454e-05,3.191227e-05,3.191472e-05,3.192593e-05,3.193110e-05,3.193571e-05,3.194086e-05,3.194179e-05,3.194433e-05,3.194441e-05,3.194350e-05,3.194211e-05,3.193945e-05,3.193432e-05,3.193234e-05,3.192231e-05,3.192138e-05,3.190950e-05,3.190362e-05,3.189404e-05,3.188134e-05,3.187606e-05,3.185568e-05,3.185482e-05,3.183303e-05,3.182434e-05,3.180822e-05,3.179016e-05,3.178135e-05,3.175253e-05,3.171169e-05,3.166784e-05,3.162121e-05,3.157199e-05,3.152037e-05,3.146652e-05,3.141063e-05,3.135285e-05,3.129333e-05,3.123221e-05,3.116964e-05,3.110574e-05,3.104063e-05,3.097442e-05,3.090723e-05,3.083917e-05,3.077032e-05,3.070078e-05,3.063064e-05,3.055998e-05,3.048887e-05,3.041740e-05,3.034563e-05,3.027362e-05
0.000000e+00,5.154522e-09,1.177277e-08,4.037620e-08,9.175323e-08,1.338192e-07,3.036482e-07,3.127972e-07,6.055612e-07,7.120590e-07,1.043130e-06,1.389453e-06,1.660053e-06,2.415986e-06,2.491026e-06,3.559755e-06,3.852223e-06,4.866932e-06,5.696355e-06,6.393410e-06,7.898208e-06,8.114179e-06,1.000681e-05,1.040426e-05,1.205253e-05,1.317127e-05,1.423479e-05,1.616185e-05,1.653780e-05,1.894571e-05,1.933963e-05,2.144225e-05,2.266716e-05,2.401068e-05,2.610577e-05,2.663401e-05,2.929524e-05,2.961634e-05,3.197768e-05,3.316050e-05,3.466524e-05,3.670180e-05,3.734269e-05,3.999594e-05,4.020676e-05,4.261210e-05,4.364555e-05,4.517966e-05,4.699249e-05,4.768853e-05,5.013002e-05,5.022617e-05,5.249684e-05,5.332943e-05,5.478302e-05,5.628910e-05,5.698383e-05,5.909571e-05,6.111608e-05,6.174297e-05,6.304329e-05,6.422741e-05,6.487653e-05,6.654795e-05,6.661572e-05,6.826136e-05,6.870551e-05,6.981448e-05,7.070254e-05,7.127655e-05,7.254281e-05,7.264940e-05,7.393515e-05,7.423103e-05,7.513615e-05,7.577263e-05,7.625493e-05,7.717356e-05,7.729416e-05,7.825659e-05,7.844011e-05,7.914505e-05,7.957877e-05,7.996241e-05,8.059613e-05,8.071152e-05,8.139524e-05,8.149875e-05,8.201638e-05,8.229311e-05,8.257772e-05,8.298557e-05,8.308199e-05,8.353188e-05,8.358233e-05,8.392997e-05,8.408938e-05,8.427881e-05,8.451250e-05,8.458085e-05,8.483846e-05,8.485722e-05,8.505394e-05,8.512884e-05,8.522951e-05,8.533242e-05,8.536732e-05,8.546941e-05,8.547278e-05,8.553778e-05,8.555451e-05,8.557432e-05,8.558193e-05,8.558087e-05,8.555916e-05,8.551088e-05,8.549008e-05,8.543763e-05,8.537835e-05,8.534094e-05,8.522743e-05,8.522228e-05,8.508307e-05,8.504058e-05,8.492462e-05,8.482086e-05,8.474823e-05,8.457114e-05,8.455510e-05,8.434641e-05,8.429413e-05,8.412325e-05,8.399236e-05,8.388668e-05,8.366820e-05,8.363770e-05,8.337727e-05,8.332389e-05,8.310628e-05,8.296149e-05,8.282561e-05,8.258296e-05,8.253607e-05,8.223843e-05,8.219011e-05,8.193344e-05,8.178463e-05,8.162178e-05,8.136811e-05,8.130413e-05,8.098111e-05,8.094201e-05,8.065330e-05,8.050770e-05,8.032129e-05,8.006646e-05,7.998558e-05,7.964669e-05,7.961946e-05,7.930509e-05,7.916779e-05,7.896122e-05,7.871247e-05,7.861551e-05,7.826835e-05,7.825444e-05,7.792013e-05,7.779457e-05,7.757118e-05,7.733365e-05,7.722184e-05,7.687242e-05,7.641155e-05,7.595167e-05,7.549336e-05,7.503712e-05,7.458344e-05,7.413275e-05,7.368545e-05,7.324189e-05,7.280239e-05,7.236724e-05,7.193670e-05,7.151101e-05,7.109036e-05,7.067495e-05,7.026492e-05,6.986042e-05,6.946157e-05,6.906846e-05,6.868118e-05,6.829979e-05,6.792434e-05,6.755489e-05,6.719145e-05,6.683403e-05
0.000000e+00,2.016114e-09,4.605802e-09,1.583264e-08,3.616425e-08,5.297747e-08,1.223663e-07,1.261714e-07,2.512926e-07,2.983137e-07,4.489800e-07,6.128654e-07,7.446323e-07,1.125952e-06,1.164652e-06,1.726794e-06,1.883072e-06,2.428265e-06,2.873247e-06,3.244168e-06,4.029517e-06,4.140180e-06,5.085635e-06,5.278535e-06,6.057967e-06,6.568826e-06,7.041630e-06,7.868676e-06,8.025837e-06,9.002802e-06,9.158031e-06,9.966650e-06,1.042326e-05,1.091282e-05,1.165459e-05,1.183772e-05,1.273857e-05,1.284495e-05,1.361323e-05,1.398937e-05,1.446015e-05,1.508458e-05,1.527825e-05,1.606690e-05,1.612871e-05,1.682580e-05,1.712102e-05,1.755496e-05,1.806167e-05,1.825462e-05,1.892521e-05,1.895144e-05,1.956731e-05,1.979162e-05,2.018160e-05,2.058382e-05,2.076884e-05,2.132986e-05,2.186552e-05,2.203172e-05,2.237670e-05,2.269141e-05,2.286428e-05,2.331099e-05,2.332916e-05,2.377220e-05,2.389247e-05,2.419429e-05,2.443783e-05,2.459626e-05,2.494902e-05,2.497894e-05,2.534314e-05,2.542788e-05,2.568962e-05,2.587619e-05,2.601914e-05,2.629566e-05,2.633242e-05,2.663016e-05,2.668790e-05,2.691303e-05,2.705446e-05,2.718167e-05,2.739679e-05,2.743671e-05,2.767873e-05,2.771629e-05,2.790831e-05,2.801425e-05,2.812599e-05,2.829192e-05,2.833229e-05,2.852772e-05,2.855046e-05,2.871274e-05,2.879097e-05,2.888782e-05,2.901450e-05,2.905339e-05,2.920988e-05,2.922202e-05,2.935768e-05,2.941445e-05,2.949717e-05,2.959266e-05,2.962872e-05,2.975268e-05,2.975748e-05,2.986938e-05,2.990967e-05,2.997914e-05,3.004996e-05,3.008226e-05,3.017904e-05,3.026975e-05,3.029753e-05,3.035465e-05,3.040607e-05,3.043401e-05,3.050520e-05,3.050806e-05,3.057704e-05,3.059547e-05,3.064116e-05,3.067739e-05,3.070064e-05,3.075144e-05,3.075568e-05,3.080647e-05,3.081805e-05,3.085320e-05,3.087766e-05,3.089604e-05,3.093066e-05,3.093516e-05,3.097073e-05,3.097743e-05,3.100289e-05,3.101832e-05,3.103180e-05,3.105367e-05,3.105759e-05,3.108040e-05,3.108379e-05,3.110037e-05,3.110897e-05,3.111760e-05,3.112950e-05,3.113223e-05,3.114436e-05,3.114565e-05,3.115410e-05,3.115766e-05,3.116156e-05,3.116576e-05,3.116684e-05,3.117002e-05,3.117019e-05,3.117121e-05,3.117114e-05,3.117049e-05,3.116883e-05,3.116794e-05,3.116364e-05,3.116343e-05,3.115767e-05,3.115513e-05,3.115011e-05,3.114409e-05,3.114102e-05,3.113047e-05,3.111443e-05,3.109610e-05,3.107562e-05,3.105312e-05,3.102872e-05,3.100253e-05,3.097466e-05,3.094522e-05,3.091431e-05,3.088201e-05,3.084842e-05,3.081361e-05,3.077767e-05,3.074068e-05,3.070270e-05,3.066381e-05,3.062406e-05,3.058352e-05,3.054225e-05,3.050030e-05,3.045773e-05,3.041459e-05,3.037092e-05,3.032677e-05
0.000000e+00,3.525462e-09,8.001357e-09,2.706187e-08,6.063832e-08,8.769609e-08,1.941114e-07,1.997368e-07,3.751107e-07,4.369536e-07,6.236682e-07,8.113140e-07,9.533533e-07,1.333513e-06,1.370169e-06,1.877827e-06,2.013331e-06,2.476933e-06,2.851202e-06,3.163760e-06,3.833675e-06,3.929266e-06,4.759535e-06,4.931913e-06,5.637925e-06,6.108068e-06,6.547587e-06,7.324489e-06,7.473040e-06,8.400698e-06,8.548522e-06,9.318888e-06,9.753286e-06,1.021771e-05,1.091723e-05,1.108892e-05,1.192581e-05,1.202367e-05,1.272313e-05,1.306036e-05,1.347697e-05,1.401913e-05,1.418466e-05,1.484461e-05,1.489532e-05,1.545619e-05,1.568729e-05,1.601957e-05,1.639581e-05,1.653559e-05,1.700559e-05,1.702346e-05,1.743134e-05,1.757417e-05,1.781488e-05,1.805271e-05,1.815844e-05,1.846439e-05,1.873512e-05,1.881471e-05,1.897304e-05,1.910919e-05,1.918052e-05,1.935319e-05,1.935985e-05,1.951323e-05,1.955181e-05,1.964275e-05,1.970984e-05,1.975039e-05,1.983169e-05,1.983801e-05,1.990733e-05,1.992143e-05,1.995997e-05,1.998273e-05,1.999742e-05,2.001891e-05,2.002106e-05,2.003216e-05,2.003298e-05,2.003189e-05,2.002762e-05,2.002133e-05,2.000522e-05,2.000145e-05,1.997316e-05,1.996792e-05,1.993730e-05,1.991761e-05,1.989461e-05,1.985600e-05,1.984578e-05,1.979145e-05,1.978459e-05,1.973220e-05,1.970471e-05,1.966855e-05,1.961754e-05,1.960099e-05,1.952996e-05,1.952414e-05,1.945585e-05,1.942543e-05,1.937904e-05,1.932226e-05,1.929987e-05,1.921863e-05,1.921535e-05,1.913562e-05,1.910535e-05,1.905108e-05,1.899285e-05,1.896526e-05,1.887836e-05,1.879058e-05,1.876234e-05,1.870210e-05,1.864519e-05,1.861309e-05,1.852727e-05,1.852369e-05,1.843403e-05,1.840890e-05,1.834425e-05,1.829037e-05,1.825446e-05,1.817192e-05,1.816475e-05,1.807523e-05,1.805379e-05,1.798598e-05,1.793615e-05,1.789708e-05,1.781919e-05,1.780860e-05,1.772060e-05,1.770307e-05,1.763315e-05,1.758791e-05,1.754629e-05,1.747383e-05,1.746008e-05,1.737455e-05,1.736093e-05,1.728975e-05,1.724932e-05,1.720571e-05,1.713905e-05,1.712246e-05,1.704004e-05,1.703020e-05,1.695845e-05,1.692283e-05,1.687773e-05,1.681698e-05,1.679790e-05,1.671897e-05,1.671270e-05,1.664096e-05,1.661002e-05,1.656388e-05,1.650896e-05,1.648773e-05,1.641254e-05,1.640955e-05,1.633829e-05,1.631180e-05,1.626501e-05,1.621573e-05,1.619269e-05,1.612134e-05,1.602864e-05,1.593762e-05,1.584829e-05,1.576064e-05,1.567465e-05,1.559033e-05,1.550765e-05,1.542661e-05,1.534719e-05,1.526937e-05,1.519313e-05,1.511846e-05,1.504534e-05,1.497374e-05,1.490365e-05,1.483504e-05,1.476789e-05,1.470217e-05,1.463787e-05,1.457497e-05,1.451342e-05,1.445322e-05,1.439435e-05,1.433676e-05
0.000000e+00,1.878255e-09,4.282994e-09,1.463052e-08,3.308971e-08,4.810586e-08,1.079797e-07,1.111739e-07,2.118838e-07,2.478464e-07,3.576044e-07,4.694858e-07,5.551149e-07,7.878987e-07,8.106060e-07,1.129542e-06,1.216046e-06,1.516320e-06,1.763651e-06,1.973646e-06,2.434643e-06,2.501664e-06,3.097104e-06,3.223733e-06,3.753070e-06,4.114945e-06,4.459876e-06,5.084890e-06,5.206595e-06,5.982455e-06,6.108623e-06,6.777615e-06,7.163553e-06,7.583391e-06,8.230531e-06,8.392209e-06,9.197484e-06,9.293599e-06,9.993501e-06,1.033952e-05,1.077534e-05,1.135744e-05,1.153880e-05,1.228038e-05,1.233867e-05,1.299718e-05,1.327644e-05,1.368693e-05,1.416578e-05,1.434785e-05,1.497870e-05,1.500329e-05,1.557862e-05,1.578692e-05,1.614716e-05,1.651576e-05,1.668419e-05,1.718985e-05,1.766451e-05,1.780995e-05,1.810876e-05,1.837743e-05,1.852329e-05,1.889407e-05,1.890895e-05,1.926668e-05,1.936197e-05,1.959746e-05,1.978342e-05,1.990233e-05,2.016086e-05,2.018238e-05,2.043867e-05,2.049677e-05,2.067230e-05,2.079363e-05,2.088434e-05,2.105392e-05,2.107586e-05,2.124789e-05,2.128005e-05,2.140146e-05,2.147434e-05,2.153754e-05,2.163904e-05,2.165709e-05,2.176104e-05,2.177628e-05,2.185026e-05,2.188811e-05,2.192561e-05,2.197645e-05,2.198790e-05,2.203792e-05,2.204313e-05,2.207641e-05,2.208987e-05,2.210407e-05,2.211827e-05,2.212159e-05,2.212961e-05,2.212986e-05,2.212874e-05,2.212604e-05,2.211957e-05,2.210814e-05,2.210265e-05,2.207851e-05,2.207740e-05,2.204764e-05,2.203498e-05,2.201052e-05,2.198194e-05,2.196759e-05,2.191929e-05,2.186599e-05,2.184795e-05,2.180810e-05,2.176880e-05,2.174596e-05,2.168262e-05,2.167991e-05,2.161028e-05,2.159018e-05,2.153735e-05,2.149214e-05,2.146143e-05,2.138916e-05,2.138278e-05,2.130164e-05,2.128182e-05,2.121826e-05,2.117067e-05,2.113286e-05,2.105621e-05,2.104566e-05,2.095684e-05,2.093890e-05,2.086661e-05,2.081918e-05,2.077512e-05,2.069744e-05,2.068256e-05,2.058907e-05,2.057403e-05,2.049479e-05,2.044930e-05,2.039986e-05,2.032354e-05,2.030442e-05,2.020857e-05,2.019705e-05,2.011244e-05,2.007007e-05,2.001612e-05,1.994285e-05,1.991971e-05,1.982330e-05,1.981559e-05,1.972698e-05,1.968849e-05,1.963082e-05,1.956173e-05,1.953490e-05,1.943929e-05,1.943547e-05,1.934405e-05,1.930986e-05,1.924923e-05,1.918503e-05,1.915490e-05,1.906110e-05,1.893817e-05,1.881634e-05,1.869571e-05,1.857633e-05,1.845829e-05,1.834165e-05,1.822644e-05,1.811273e-05,1.800054e-05,1.788991e-05,1.778087e-05,1.767345e-05,1.756765e-05,1.746349e-05,1.736099e-05,1.726015e-05,1.716097e-05,1.706345e-05,1.696759e-05,1.687340e-05,1.678085e-05,1.668994e-05,1.660067e-05,1.651301e-05
0.000000e+00,7.707133e-09,1.755750e-08,5.990769e-08,1.355587e-07,1.972908e-07,4.456505e-07,4.590080e-07,8.860399e-07,1.041315e-06,1.524087e-06,2.029239e-06,2.423947e-06,3.525764e-06,3.635022e-06,5.187082e-06,5.610037e-06,7.068672e-06,8.248002e-06,9.228217e-06,1.130607e-05,1.159978e-05,1.412430e-05,1.464325e-05,1.675497e-05,1.815230e-05,1.945480e-05,2.175361e-05,2.219323e-05,2.494394e-05,2.538360e-05,2.768360e-05,2.898851e-05,3.039142e-05,3.252233e-05,3.304904e-05,3.564053e-05,3.594640e-05,3.815239e-05,3.922945e-05,4.057358e-05,4.234763e-05,4.289543e-05,4.511133e-05,4.528388e-05,4.721670e-05,4.802722e-05,4.920876e-05,5.057211e-05,5.108623e-05,5.284918e-05,5.291733e-05,5.449877e-05,5.506523e-05,5.603696e-05,5.702064e-05,5.746645e-05,5.879063e-05,6.001323e-05,6.038365e-05,6.113825e-05,6.180899e-05,6.216990e-05,6.307644e-05,6.311248e-05,6.397032e-05,6.419592e-05,6.474773e-05,6.517733e-05,6.544894e-05,6.603035e-05,6.607813e-05,6.663932e-05,6.676433e-05,6.713642e-05,6.738821e-05,6.757319e-05,6.791050e-05,6.795322e-05,6.827998e-05,6.833923e-05,6.855674e-05,6.868194e-05,6.878663e-05,6.894571e-05,6.897264e-05,6.911759e-05,6.913715e-05,6.922414e-05,6.926240e-05,6.929484e-05,6.932720e-05,6.933208e-05,6.933813e-05,6.933686e-05,6.931511e-05,6.929630e-05,6.926506e-05,6.921010e-05,6.918986e-05,6.909131e-05,6.908247e-05,6.897110e-05,6.891732e-05,6.883083e-05,6.871824e-05,6.867198e-05,6.849596e-05,6.848858e-05,6.830410e-05,6.823140e-05,6.809764e-05,6.794952e-05,6.787776e-05,6.764555e-05,6.740205e-05,6.732190e-05,6.714822e-05,6.698077e-05,6.688498e-05,6.662420e-05,6.661317e-05,6.633361e-05,6.625404e-05,6.604704e-05,6.587203e-05,6.575416e-05,6.547972e-05,6.545565e-05,6.515211e-05,6.507858e-05,6.484413e-05,6.466992e-05,6.453225e-05,6.425497e-05,6.421697e-05,6.389879e-05,6.383484e-05,6.357813e-05,6.341054e-05,6.325541e-05,6.298302e-05,6.293103e-05,6.260534e-05,6.255313e-05,6.227868e-05,6.212163e-05,6.195137e-05,6.168925e-05,6.162370e-05,6.129595e-05,6.125663e-05,6.096837e-05,6.082435e-05,6.064120e-05,6.039297e-05,6.031467e-05,5.998896e-05,5.996295e-05,5.966428e-05,5.953474e-05,5.934081e-05,5.910874e-05,5.901869e-05,5.869810e-05,5.868530e-05,5.837915e-05,5.826476e-05,5.806199e-05,5.784740e-05,5.774674e-05,5.743349e-05,5.702325e-05,5.661689e-05,5.621459e-05,5.581653e-05,5.542282e-05,5.503361e-05,5.464900e-05,5.426907e-05,5.389391e-05,5.352357e-05,5.315810e-05,5.279755e-05,5.244195e-05,5.209131e-05,5.174565e-05,5.140497e-05,5.106927e-05,5.073854e-05,5.041276e-05,5.009191e-05,4.977598e-05,4.946492e-05,4.915870e-05,4.885729e-05
0.000000e+00,1.552104e-09,3.522022e-09,1.192106e-08,2.678033e-08,3.882340e-08,8.683536e-08,8.940309e-08,1.709961e-07,2.004896e-07,2.918300e-07,3.870718e-07,4.614107e-07,6.693033e-07,6.899853e-07,9.858239e-07,1.067175e-06,1.349990e-06,1.580657e-06,1.773214e-06,2.182272e-06,2.240083e-06,2.735892e-06,2.837495e-06,3.249685e-06,3.521361e-06,3.773927e-06,4.218442e-06,4.303311e-06,4.833761e-06,4.918497e-06,5.361842e-06,5.613558e-06,5.884446e-06,6.296625e-06,6.398664e-06,6.901760e-06,6.961262e-06,7.391193e-06,7.601611e-06,7.864655e-06,8.212546e-06,8.320118e-06,8.755868e-06,8.789833e-06,9.170523e-06,9.330233e-06,9.563041e-06,9.831537e-06,9.932715e-06,1.027916e-05,1.029253e-05,1.060227e-05,1.071291e-05,1.090222e-05,1.109315e-05,1.117940e-05,1.143438e-05,1.166791e-05,1.173824e-05,1.188083e-05,1.200672e-05,1.207409e-05,1.224206e-05,1.224869e-05,1.240568e-05,1.244662e-05,1.254609e-05,1.262283e-05,1.267099e-05,1.277309e-05,1.278141e-05,1.287835e-05,1.289972e-05,1.296279e-05,1.300496e-05,1.303565e-05,1.309089e-05,1.309781e-05,1.315011e-05,1.315945e-05,1.319332e-05,1.321244e-05,1.322817e-05,1.325148e-05,1.325534e-05,1.327546e-05,1.327807e-05,1.328912e-05,1.329353e-05,1.329684e-05,1.329909e-05,1.329914e-05,1.329647e-05,1.329583e-05,1.328924e-05,1.328472e-05,1.327785e-05,1.326662e-05,1.326264e-05,1.324394e-05,1.324230e-05,1.322204e-05,1.321244e-05,1.319721e-05,1.317766e-05,1.316969e-05,1.313973e-05,1.313848e-05,1.310751e-05,1.309540e-05,1.307325e-05,1.304887e-05,1.303712e-05,1.299930e-05,1.295994e-05,1.294705e-05,1.291920e-05,1.289245e-05,1.287720e-05,1.283580e-05,1.283405e-05,1.278987e-05,1.277733e-05,1.274475e-05,1.271727e-05,1.269879e-05,1.265582e-05,1.265206e-05,1.260464e-05,1.259317e-05,1.255661e-05,1.252946e-05,1.250801e-05,1.246483e-05,1.245891e-05,1.240937e-05,1.239941e-05,1.235944e-05,1.233335e-05,1.230919e-05,1.226677e-05,1.225867e-05,1.220791e-05,1.219977e-05,1.215696e-05,1.213244e-05,1.210584e-05,1.206486e-05,1.205460e-05,1.200327e-05,1.199711e-05,1.195190e-05,1.192928e-05,1.190051e-05,1.186146e-05,1.184913e-05,1.179779e-05,1.179369e-05,1.174652e-05,1.172603e-05,1.169533e-05,1.165854e-05,1.164425e-05,1.159329e-05,1.159126e-05,1.154248e-05,1.152423e-05,1.149185e-05,1.145752e-05,1.144139e-05,1.139114e-05,1.132513e-05,1.125953e-05,1.119436e-05,1.112964e-05,1.106541e-05,1.100167e-05,1.093845e-05,1.087578e-05,1.081365e-05,1.075210e-05,1.069112e-05,1.063074e-05,1.057095e-05,1.051177e-05,1.045321e-05,1.039528e-05,1.033796e-05,1.028128e-05,1.022524e-05,1.016984e-05,1.011507e-05,1.006095e-05,1.000746e-05,9.954622e-06
0.000000e+00,4.942762e-09,1.128023e-08,3.860959e-08,8.752384e-08,1.274352e-07,2.874660e-07,2.960402e-07,5.680749e-07,6.659645e-07,9.669397e-07,1.276899e-06,1.516087e-06,2.173810e-06,2.238488e-06,3.154630e-06,3.405091e-06,4.278392e-06,4.999624e-06,5.611338e-06,6.946171e-06,7.138911e-06,8.832862e-06,9.188616e-06,1.065891e-05,1.164943e-05,1.258367e-05,1.425516e-05,1.457781e-05,1.661631e-05,1.694511e-05,1.867777e-05,1.966990e-05,2.074369e-05,2.238872e-05,2.279793e-05,2.482648e-05,2.506759e-05,2.681727e-05,2.767855e-05,2.876006e-05,3.019919e-05,3.064635e-05,3.246926e-05,3.261218e-05,3.422340e-05,3.490486e-05,3.590475e-05,3.706863e-05,3.751049e-05,3.903884e-05,3.909835e-05,4.048893e-05,4.099177e-05,4.186066e-05,4.274893e-05,4.315457e-05,4.437170e-05,4.551352e-05,4.586328e-05,4.658183e-05,4.722792e-05,4.757869e-05,4.847052e-05,4.850633e-05,4.936713e-05,4.959651e-05,5.016355e-05,5.061155e-05,5.089811e-05,5.152145e-05,5.157334e-05,5.219180e-05,5.233206e-05,5.275599e-05,5.304916e-05,5.326840e-05,5.367842e-05,5.373147e-05,5.414757e-05,5.422535e-05,5.451902e-05,5.469527e-05,5.484807e-05,5.509330e-05,5.513690e-05,5.538761e-05,5.542432e-05,5.560224e-05,5.569301e-05,5.578273e-05,5.590381e-05,5.593096e-05,5.604875e-05,5.606092e-05,5.613782e-05,5.616834e-05,5.619982e-05,5.622983e-05,5.623636e-05,5.624894e-05,5.624895e-05,5.623901e-05,5.622905e-05,5.620797e-05,5.617329e-05,5.615714e-05,5.608778e-05,5.608464e-05,5.600109e-05,5.596586e-05,5.589822e-05,5.581958e-05,5.578026e-05,5.564825e-05,5.550317e-05,5.545414e-05,5.534597e-05,5.523941e-05,5.517753e-05,5.500605e-05,5.499871e-05,5.481030e-05,5.475594e-05,5.461308e-05,5.449081e-05,5.440775e-05,5.421228e-05,5.419501e-05,5.397550e-05,5.392188e-05,5.374984e-05,5.362100e-05,5.351861e-05,5.331095e-05,5.328235e-05,5.304160e-05,5.299295e-05,5.279682e-05,5.266811e-05,5.254850e-05,5.233748e-05,5.229706e-05,5.204292e-05,5.200203e-05,5.178646e-05,5.166264e-05,5.152805e-05,5.132014e-05,5.126803e-05,5.100672e-05,5.097529e-05,5.074443e-05,5.062879e-05,5.048144e-05,5.028127e-05,5.021803e-05,4.995443e-05,4.993334e-05,4.969088e-05,4.958552e-05,4.942760e-05,4.923833e-05,4.916480e-05,4.890267e-05,4.889220e-05,4.864138e-05,4.854756e-05,4.838111e-05,4.820478e-05,4.812200e-05,4.786419e-05,4.752611e-05,4.719082e-05,4.685857e-05,4.652958e-05,4.620404e-05,4.588215e-05,4.556405e-05,4.524989e-05,4.493977e-05,4.463381e-05,4.433210e-05,4.403470e-05,4.374168e-05,4.345309e-05,4.316896e-05,4.288932e-05,4.261418e-05,4.234357e-05,4.207747e-05,4.181589e-05,4.155881e-05,4.130621e-05,4.105807e-05,4.081436e-05
0.000000e+00,7.334722e-09,1.673566e-08,5.729233e-08,1.300329e-07,1.895652e-07,4.301033e-07,4.430775e-07,8.594102e-07,1.011447e-06,1.485953e-06,1.984675e-06,2.375272e-06,3.465304e-06,3.573122e-06,5.095301e-06,5.507013e-06,6.919764e-06,8.058591e-06,9.006335e-06,1.102827e-05,1.131610e-05,1.381670e-05,1.433724e-05,1.648068e-05,1.792219e-05,1.928310e-05,2.172654e-05,2.219995e-05,2.520746e-05,2.569549e-05,2.828198e-05,2.977470e-05,3.140024e-05,3.391114e-05,3.453966e-05,3.767880e-05,3.805452e-05,4.079778e-05,4.215899e-05,4.387843e-05,4.618406e-05,4.690458e-05,4.986218e-05,5.009545e-05,5.273927e-05,5.386528e-05,5.552599e-05,5.747197e-05,5.821445e-05,6.079860e-05,6.089973e-05,6.327404e-05,6.413798e-05,6.563785e-05,6.718067e-05,6.788856e-05,7.002576e-05,7.204967e-05,7.267360e-05,7.396163e-05,7.512737e-05,7.576351e-05,7.739200e-05,7.745774e-05,7.904718e-05,7.947388e-05,8.053501e-05,8.138033e-05,8.192460e-05,8.311931e-05,8.321950e-05,8.442334e-05,8.469913e-05,8.553983e-05,8.612828e-05,8.657266e-05,8.741528e-05,8.752552e-05,8.840204e-05,8.856851e-05,8.920581e-05,8.959617e-05,8.994030e-05,9.050622e-05,9.060891e-05,9.121492e-05,9.130629e-05,9.176152e-05,9.200369e-05,9.225177e-05,9.260540e-05,9.268864e-05,9.307496e-05,9.311805e-05,9.341344e-05,9.354789e-05,9.370669e-05,9.390086e-05,9.395722e-05,9.416740e-05,9.418254e-05,9.433951e-05,9.439818e-05,9.447572e-05,9.455274e-05,9.457811e-05,9.464865e-05,9.465084e-05,9.468923e-05,9.469685e-05,9.470162e-05,9.469483e-05,9.468754e-05,9.464861e-05,9.458635e-05,9.456175e-05,9.450225e-05,9.443759e-05,9.439767e-05,9.427926e-05,9.427396e-05,9.413235e-05,9.408966e-05,9.397404e-05,9.387151e-05,9.380015e-05,9.362734e-05,9.361176e-05,9.340987e-05,9.335952e-05,9.319546e-05,9.307025e-05,9.296942e-05,9.276159e-05,9.273263e-05,9.248590e-05,9.243543e-05,9.223001e-05,9.209356e-05,9.196568e-05,9.173764e-05,9.169361e-05,9.141446e-05,9.136918e-05,9.112885e-05,9.098964e-05,9.083737e-05,9.060032e-05,9.054056e-05,9.023896e-05,9.020247e-05,8.993306e-05,8.979723e-05,8.962333e-05,8.938565e-05,8.931021e-05,8.899412e-05,8.896871e-05,8.867544e-05,8.854734e-05,8.835456e-05,8.812236e-05,8.803182e-05,8.770755e-05,8.769455e-05,8.738206e-05,8.726464e-05,8.705564e-05,8.683328e-05,8.672857e-05,8.640110e-05,8.596865e-05,8.553646e-05,8.510500e-05,8.467471e-05,8.424600e-05,8.381923e-05,8.339475e-05,8.297285e-05,8.255382e-05,8.213792e-05,8.172537e-05,8.131639e-05,8.091117e-05,8.050987e-05,8.011264e-05,7.971962e-05,7.933093e-05,7.894668e-05,7.856695e-05,7.819183e-05,7.782138e-05,7.745566e-05,7.709472e-05,7.673859e-05
0.000000e+00,2.633076e-09,6.018546e-09,2.070222e-08,4.727203e-08,6.920246e-08,1.592250e-07,1.641385e-07,3.244725e-07,3.841703e-07,5.738095e-07,7.778522e-07,9.406488e-07,1.407506e-06,1.454629e-06,2.135844e-06,2.324531e-06,2.982236e-06,3.520027e-06,3.970145e-06,4.931905e-06,5.068604e-06,6.250728e-06,6.495311e-06,7.496335e-06,8.164008e-06,8.790409e-06,9.906160e-06,1.012110e-05,1.147836e-05,1.169737e-05,1.285314e-05,1.351678e-05,1.423706e-05,1.534547e-05,1.562225e-05,1.700141e-05,1.716618e-05,1.836780e-05,1.896336e-05,1.971531e-05,2.072345e-05,2.103855e-05,2.233280e-05,2.243496e-05,2.359406e-05,2.408857e-05,2.481904e-05,2.567703e-05,2.600506e-05,2.715008e-05,2.719501e-05,2.825260e-05,2.863889e-05,2.931159e-05,3.000653e-05,3.032647e-05,3.129701e-05,3.222331e-05,3.251043e-05,3.310572e-05,3.364769e-05,3.394483e-05,3.471033e-05,3.474138e-05,3.549628e-05,3.570033e-05,3.621054e-05,3.662003e-05,3.688523e-05,3.747201e-05,3.752153e-05,3.812062e-05,3.825900e-05,3.868374e-05,3.898384e-05,3.921213e-05,3.964936e-05,3.970702e-05,4.016967e-05,4.025844e-05,4.060130e-05,4.081390e-05,4.100313e-05,4.131849e-05,4.137633e-05,4.172209e-05,4.177494e-05,4.204153e-05,4.218584e-05,4.233577e-05,4.255374e-05,4.260588e-05,4.285292e-05,4.288106e-05,4.307789e-05,4.317014e-05,4.328177e-05,4.342320e-05,4.346551e-05,4.363004e-05,4.364240e-05,4.377622e-05,4.382975e-05,4.390492e-05,4.398722e-05,4.401695e-05,4.411311e-05,4.411664e-05,4.419415e-05,4.421976e-05,4.426080e-05,4.429826e-05,4.431377e-05,4.435373e-05,4.438132e-05,4.438765e-05,4.439718e-05,4.440145e-05,4.440190e-05,4.439647e-05,4.439604e-05,4.438017e-05,4.437400e-05,4.435479e-05,4.433523e-05,4.432043e-05,4.428129e-05,4.427756e-05,4.422665e-05,4.421328e-05,4.416813e-05,4.413220e-05,4.410244e-05,4.403901e-05,4.402997e-05,4.395113e-05,4.393462e-05,4.386627e-05,4.381988e-05,4.377575e-05,4.369560e-05,4.367992e-05,4.357910e-05,4.356252e-05,4.347360e-05,4.342138e-05,4.336371e-05,4.327283e-05,4.324972e-05,4.313191e-05,4.311752e-05,4.301052e-05,4.295604e-05,4.288580e-05,4.278894e-05,4.275800e-05,4.262733e-05,4.261676e-05,4.249402e-05,4.244000e-05,4.235826e-05,4.225910e-05,4.222025e-05,4.208017e-05,4.207453e-05,4.193821e-05,4.188667e-05,4.179453e-05,4.169592e-05,4.164929e-05,4.150264e-05,4.130717e-05,4.110982e-05,4.091089e-05,4.071065e-05,4.050937e-05,4.030728e-05,4.010463e-05,3.990160e-05,3.969841e-05,3.949524e-05,3.929225e-05,3.908960e-05,3.888746e-05,3.868594e-05,3.848518e-05,3.828529e-05,3.808639e-05,3.788857e-05,3.769193e-05,3.749655e-05,3.730251e-05,3.710989e-05,3.691874e-05,3.672913e-05
0.000000e+00,3.423085e-09,7.781017e-09,2.647069e-08,5.989656e-08,8.729911e-08,1.991514e-07,2.052466e-07,4.045093e-07,4.790233e-07,7.169976e-07,9.744575e-07,1.179936e-06,1.762282e-06,1.820117e-06,2.630621e-06,2.846460e-06,3.572357e-06,4.139924e-06,4.600393e-06,5.548887e-06,5.680387e-06,6.789461e-06,7.013328e-06,7.912325e-06,8.497897e-06,9.037951e-06,9.979157e-06,1.015757e-05,1.126366e-05,1.143892e-05,1.234951e-05,1.286173e-05,1.340908e-05,1.423417e-05,1.443699e-05,1.542859e-05,1.554495e-05,1.638004e-05,1.678512e-05,1.728823e-05,1.794809e-05,1.815089e-05,1.896664e-05,1.902984e-05,1.973477e-05,2.002866e-05,2.045524e-05,2.094472e-05,2.112854e-05,2.175567e-05,2.177981e-05,2.233796e-05,2.253691e-05,2.287704e-05,2.321989e-05,2.337479e-05,2.383327e-05,2.425450e-05,2.438175e-05,2.464052e-05,2.487010e-05,2.499349e-05,2.530317e-05,2.531548e-05,2.560850e-05,2.568563e-05,2.587453e-05,2.602197e-05,2.611542e-05,2.631635e-05,2.633293e-05,2.652872e-05,2.657265e-05,2.670435e-05,2.679445e-05,2.686129e-05,2.698503e-05,2.700091e-05,2.712447e-05,2.714736e-05,2.723315e-05,2.728415e-05,2.732805e-05,2.739786e-05,2.741018e-05,2.748048e-05,2.749068e-05,2.753980e-05,2.756461e-05,2.758894e-05,2.762143e-05,2.762865e-05,2.765960e-05,2.766275e-05,2.768242e-05,2.769003e-05,2.769769e-05,2.770458e-05,2.770595e-05,2.770770e-05,2.770757e-05,2.770339e-05,2.770007e-05,2.769345e-05,2.768304e-05,2.767828e-05,2.765824e-05,2.765734e-05,2.763366e-05,2.762376e-05,2.760487e-05,2.758303e-05,2.757215e-05,2.753577e-05,2.749600e-05,2.748260e-05,2.745307e-05,2.742403e-05,2.740719e-05,2.736057e-05,2.735857e-05,2.730741e-05,2.729266e-05,2.725389e-05,2.722071e-05,2.719817e-05,2.714510e-05,2.714040e-05,2.708075e-05,2.706617e-05,2.701935e-05,2.698424e-05,2.695632e-05,2.689961e-05,2.689179e-05,2.682587e-05,2.681253e-05,2.675868e-05,2.672327e-05,2.669032e-05,2.663205e-05,2.662087e-05,2.655044e-05,2.653909e-05,2.647911e-05,2.644457e-05,2.640695e-05,2.634868e-05,2.633405e-05,2.626047e-05,2.625160e-05,2.618629e-05,2.615348e-05,2.611157e-05,2.605446e-05,2.603637e-05,2.596075e-05,2.595469e-05,2.588476e-05,2.585428e-05,2.580846e-05,2.575335e-05,2.573189e-05,2.565510e-05,2.565202e-05,2.557813e-05,2.555038e-05,2.550102e-05,2.544853e-05,2.542382e-05,2.534656e-05,2.524455e-05,2.514257e-05,2.504070e-05,2.493901e-05,2.483755e-05,2.473638e-05,2.463555e-05,2.453513e-05,2.443514e-05,2.433564e-05,2.423666e-05,2.413824e-05,2.404041e-05,2.394322e-05,2.384667e-05,2.375081e-05,2.365566e-05,2.356123e-05,2.346755e-05,2.337465e-05,2.328252e-05,2.319120e-05,2.310070e-05,2.301102e-05
0.000000e+00,8.776504e-09,1.985406e-08,6.681794e-08,1.495168e-07,2.164439e-07,4.838626e-07,4.982167e-07,9.581926e-07,1.126438e-06,1.653967e-06,2.212742e-06,2.652951e-06,3.886556e-06,4.008506e-06,5.715509e-06,6.170190e-06,7.700323e-06,8.897076e-06,9.867649e-06,1.186461e-05,1.214117e-05,1.447073e-05,1.494038e-05,1.682491e-05,1.805164e-05,1.918286e-05,2.115492e-05,2.152892e-05,2.384956e-05,2.421764e-05,2.613196e-05,2.721022e-05,2.836352e-05,3.010380e-05,3.053181e-05,3.262478e-05,3.287034e-05,3.463121e-05,3.548396e-05,3.654095e-05,3.792224e-05,3.834524e-05,4.003684e-05,4.016713e-05,4.161041e-05,4.220595e-05,4.306251e-05,4.403180e-05,4.439146e-05,4.559709e-05,4.564277e-05,4.668081e-05,4.704159e-05,4.764532e-05,4.823500e-05,4.849443e-05,4.923281e-05,4.986584e-05,5.004711e-05,5.039940e-05,5.069154e-05,5.083971e-05,5.118061e-05,5.119316e-05,5.146633e-05,5.152930e-05,5.166554e-05,5.175208e-05,5.179684e-05,5.186280e-05,5.186621e-05,5.187947e-05,5.187492e-05,5.184207e-05,5.180088e-05,5.175904e-05,5.165203e-05,5.163516e-05,5.147486e-05,5.143879e-05,5.128219e-05,5.117047e-05,5.106089e-05,5.085538e-05,5.081438e-05,5.054575e-05,5.050091e-05,5.025785e-05,5.011357e-05,4.995322e-05,4.969904e-05,4.963418e-05,4.930279e-05,4.926228e-05,4.896092e-05,4.880762e-05,4.861025e-05,4.833879e-05,4.825228e-05,4.788837e-05,4.785904e-05,4.751971e-05,4.737117e-05,4.714739e-05,4.687758e-05,4.677235e-05,4.639545e-05,4.638034e-05,4.601745e-05,4.588124e-05,4.563904e-05,4.538179e-05,4.526082e-05,4.488331e-05,4.450699e-05,4.438689e-05,4.413229e-05,4.389350e-05,4.375957e-05,4.340394e-05,4.338918e-05,4.302138e-05,4.291890e-05,4.265645e-05,4.243896e-05,4.229460e-05,4.196459e-05,4.193603e-05,4.158092e-05,4.149622e-05,4.122940e-05,4.103418e-05,4.088162e-05,4.057874e-05,4.053767e-05,4.019766e-05,4.013013e-05,3.986166e-05,3.968854e-05,3.952973e-05,3.925410e-05,3.920193e-05,3.887831e-05,3.882692e-05,3.855888e-05,3.840706e-05,3.824369e-05,3.799458e-05,3.793273e-05,3.762603e-05,3.758951e-05,3.732357e-05,3.719184e-05,3.702536e-05,3.680156e-05,3.673139e-05,3.644164e-05,3.641865e-05,3.615610e-05,3.604305e-05,3.587473e-05,3.567472e-05,3.559752e-05,3.532443e-05,3.531359e-05,3.505543e-05,3.495959e-05,3.479049e-05,3.461263e-05,3.452957e-05,3.427262e-05,3.393948e-05,3.361310e-05,3.329338e-05,3.298022e-05,3.267350e-05,3.237311e-05,3.207895e-05,3.179089e-05,3.150883e-05,3.123265e-05,3.096223e-05,3.069745e-05,3.043821e-05,3.018439e-05,2.993587e-05,2.969254e-05,2.945428e-05,2.922100e-05,2.899258e-05,2.876891e-05,2.854988e-05,2.833539e-05,2.812534e-05,2.791962e-05
0.000000e+00,6.095008e-08,1.391755e-07,4.768108e-07,1.081403e-06,1.574636e-06,3.549722e-06,3.655398e-06,6.999386e-06,8.198455e-06,1.187154e-05,1.563432e-05,1.852565e-05,2.643128e-05,2.720579e-05,3.814183e-05,4.112538e-05,5.153392e-05,6.016179e-05,6.752084e-05,8.376671e-05,8.613764e-05,1.072889e-04,1.118064e-04,1.307649e-04,1.438013e-04,1.562917e-04,1.791063e-04,1.835787e-04,2.123438e-04,2.170654e-04,2.423207e-04,2.570657e-04,2.732580e-04,2.985384e-04,3.049168e-04,3.370699e-04,3.409511e-04,3.695014e-04,3.838065e-04,4.020078e-04,4.266457e-04,4.343997e-04,4.665028e-04,4.690537e-04,4.981590e-04,5.106642e-04,5.292273e-04,5.511626e-04,5.595845e-04,5.891243e-04,5.902875e-04,6.177574e-04,6.278289e-04,6.454109e-04,6.636257e-04,6.720270e-04,6.975613e-04,7.219818e-04,7.295575e-04,7.452681e-04,7.595710e-04,7.674100e-04,7.875878e-04,7.884057e-04,8.082609e-04,8.136175e-04,8.269880e-04,8.376900e-04,8.446047e-04,8.598503e-04,8.611331e-04,8.765990e-04,8.801558e-04,8.910310e-04,8.986728e-04,9.044601e-04,9.154741e-04,9.169191e-04,9.284421e-04,9.306374e-04,9.390637e-04,9.442423e-04,9.488189e-04,9.563695e-04,9.577430e-04,9.658711e-04,9.671000e-04,9.732380e-04,9.765139e-04,9.798782e-04,9.846897e-04,9.858252e-04,9.911122e-04,9.917038e-04,9.957711e-04,9.976302e-04,9.998334e-04,1.002540e-03,1.003329e-03,1.006288e-03,1.006503e-03,1.008739e-03,1.009583e-03,1.010708e-03,1.011843e-03,1.012223e-03,1.013309e-03,1.013344e-03,1.013990e-03,1.014141e-03,1.014290e-03,1.014288e-03,1.014231e-03,1.013836e-03,1.013124e-03,1.012832e-03,1.012115e-03,1.011323e-03,1.010829e-03,1.009350e-03,1.009284e-03,1.007496e-03,1.006954e-03,1.005482e-03,1.004172e-03,1.003258e-03,1.001040e-03,1.000839e-03,9.982396e-04,9.975902e-04,9.954724e-04,9.938545e-04,9.925507e-04,9.898616e-04,9.894868e-04,9.862924e-04,9.856388e-04,9.829784e-04,9.812115e-04,9.795555e-04,9.766032e-04,9.760334e-04,9.724218e-04,9.718362e-04,9.687295e-04,9.669310e-04,9.649649e-04,9.619066e-04,9.611361e-04,9.572506e-04,9.567809e-04,9.533156e-04,9.515703e-04,9.493378e-04,9.462900e-04,9.453236e-04,9.412791e-04,9.409544e-04,9.372097e-04,9.355763e-04,9.331210e-04,9.301678e-04,9.290178e-04,9.249049e-04,9.247402e-04,9.207867e-04,9.193036e-04,9.166673e-04,9.138674e-04,9.125506e-04,9.084403e-04,9.030301e-04,8.976441e-04,8.922888e-04,8.869702e-04,8.816938e-04,8.764643e-04,8.712862e-04,8.661634e-04,8.610995e-04,8.560975e-04,8.511603e-04,8.462903e-04,8.414896e-04,8.367600e-04,8.321030e-04,8.275199e-04,8.230118e-04,8.185795e-04,8.142237e-04,8.099448e-04,8.057430e-04,8.016186e-04,7.975716e-04,7.936018e-04
0.000000e+00,5.455101e-09,1.249186e-08,4.309854e-08,9.855917e-08,1.443097e-07,3.314023e-07,3.415760e-07,6.713895e-07,7.931690e-07,1.176628e-06,1.583569e-06,1.903918e-06,2.800212e-06,2.888854e-06,4.138658e-06,4.476495e-06,5.637708e-06,6.578292e-06,7.365502e-06,9.061298e-06,9.304660e-06,1.144063e-05,1.189024e-05,1.375978e-05,1.503350e-05,1.624805e-05,1.845787e-05,1.889033e-05,2.167041e-05,2.212688e-05,2.457119e-05,2.600127e-05,2.757504e-05,3.004041e-05,3.066423e-05,3.382135e-05,3.420396e-05,3.702965e-05,3.845340e-05,4.027331e-05,4.275310e-05,4.353770e-05,4.680944e-05,4.707112e-05,5.007650e-05,5.137958e-05,5.332822e-05,5.565464e-05,5.655521e-05,5.974934e-05,5.987632e-05,6.290363e-05,6.402826e-05,6.601218e-05,6.809730e-05,6.907002e-05,7.207306e-05,7.501795e-05,7.594758e-05,7.790202e-05,7.971490e-05,8.072315e-05,8.337073e-05,8.347974e-05,8.617062e-05,8.691217e-05,8.879498e-05,9.033747e-05,9.135236e-05,9.364578e-05,9.384252e-05,9.626547e-05,9.683700e-05,9.862142e-05,9.991161e-05,1.009107e-04,1.028706e-04,1.031339e-04,1.052915e-04,1.057153e-04,1.073844e-04,1.084474e-04,1.094133e-04,1.110687e-04,1.113790e-04,1.132826e-04,1.135815e-04,1.151250e-04,1.159879e-04,1.169072e-04,1.182903e-04,1.186302e-04,1.202953e-04,1.204912e-04,1.219033e-04,1.225931e-04,1.234555e-04,1.245985e-04,1.249530e-04,1.263969e-04,1.265102e-04,1.277884e-04,1.283305e-04,1.291285e-04,1.300623e-04,1.304185e-04,1.316594e-04,1.317080e-04,1.328524e-04,1.332704e-04,1.339986e-04,1.347519e-04,1.350992e-04,1.361551e-04,1.371676e-04,1.374825e-04,1.381376e-04,1.387367e-04,1.390663e-04,1.399199e-04,1.399547e-04,1.408039e-04,1.410347e-04,1.416148e-04,1.420834e-04,1.423885e-04,1.430683e-04,1.431260e-04,1.438282e-04,1.439916e-04,1.444961e-04,1.448555e-04,1.451307e-04,1.456623e-04,1.457329e-04,1.463035e-04,1.464139e-04,1.468435e-04,1.471125e-04,1.473538e-04,1.477601e-04,1.478352e-04,1.482885e-04,1.483585e-04,1.487146e-04,1.489097e-04,1.491143e-04,1.494156e-04,1.494884e-04,1.498376e-04,1.498779e-04,1.501627e-04,1.502983e-04,1.504645e-04,1.506786e-04,1.507436e-04,1.510007e-04,1.510204e-04,1.512367e-04,1.513253e-04,1.514520e-04,1.515947e-04,1.516475e-04,1.518237e-04,1.518303e-04,1.519812e-04,1.520335e-04,1.521207e-04,1.522056e-04,1.522428e-04,1.523481e-04,1.524622e-04,1.525492e-04,1.526103e-04,1.526467e-04,1.526596e-04,1.526501e-04,1.526192e-04,1.525680e-04,1.524975e-04,1.524086e-04,1.523023e-04,1.521794e-04,1.520408e-04,1.518874e-04,1.517199e-04,1.515392e-04,1.513458e-04,1.511407e-04,1.509244e-04,1.506976e-04,1.504609e-04,1.502150e-04,1.499605e-04,1.496978e-04
0.000000e+00,6.769704e-09,1.548583e-08,5.332123e-08,1.217525e-07,1.781489e-07,4.086362e-07,4.211688e-07,8.276669e-07,9.779347e-07,1.452182e-06,1.958428e-06,2.360282e-06,3.507719e-06,3.623395e-06,5.299566e-06,5.766246e-06,7.404673e-06,8.759274e-06,9.903525e-06,1.237909e-05,1.273418e-05,1.583580e-05,1.648411e-05,1.915932e-05,2.096226e-05,2.266659e-05,2.573190e-05,2.632664e-05,3.011262e-05,3.072840e-05,3.399995e-05,3.589499e-05,3.796533e-05,4.117881e-05,4.198645e-05,4.604190e-05,4.652989e-05,5.011143e-05,5.190153e-05,5.417593e-05,5.725060e-05,5.821766e-05,6.222071e-05,6.253884e-05,6.617066e-05,6.773290e-05,7.005492e-05,7.280471e-05,7.386255e-05,7.758424e-05,7.773121e-05,8.121226e-05,8.249417e-05,8.474030e-05,8.707966e-05,8.816336e-05,9.147760e-05,9.468026e-05,9.568122e-05,9.776949e-05,9.968656e-05,1.007443e-04,1.034920e-04,1.036042e-04,1.063495e-04,1.070978e-04,1.089810e-04,1.105057e-04,1.114998e-04,1.137188e-04,1.139074e-04,1.162056e-04,1.167411e-04,1.183963e-04,1.195771e-04,1.204820e-04,1.222322e-04,1.224648e-04,1.243472e-04,1.247119e-04,1.261319e-04,1.270221e-04,1.278214e-04,1.291689e-04,1.294183e-04,1.309255e-04,1.311585e-04,1.323455e-04,1.329969e-04,1.336810e-04,1.346904e-04,1.349347e-04,1.361093e-04,1.362450e-04,1.372073e-04,1.376669e-04,1.382315e-04,1.389619e-04,1.391842e-04,1.400680e-04,1.401358e-04,1.408853e-04,1.411942e-04,1.416386e-04,1.421426e-04,1.423302e-04,1.429624e-04,1.429865e-04,1.435374e-04,1.437309e-04,1.440575e-04,1.443809e-04,1.445248e-04,1.449413e-04,1.453090e-04,1.454168e-04,1.456300e-04,1.458118e-04,1.459062e-04,1.461308e-04,1.461394e-04,1.463314e-04,1.463780e-04,1.464839e-04,1.465572e-04,1.465987e-04,1.466724e-04,1.466774e-04,1.467217e-04,1.467273e-04,1.467330e-04,1.467255e-04,1.467128e-04,1.466702e-04,1.466627e-04,1.465839e-04,1.465648e-04,1.464779e-04,1.464124e-04,1.463459e-04,1.462160e-04,1.461893e-04,1.460093e-04,1.459783e-04,1.458069e-04,1.457022e-04,1.455835e-04,1.453902e-04,1.453400e-04,1.450775e-04,1.450448e-04,1.447971e-04,1.446683e-04,1.444997e-04,1.442630e-04,1.441864e-04,1.438579e-04,1.438310e-04,1.435152e-04,1.433744e-04,1.431592e-04,1.428950e-04,1.427906e-04,1.424102e-04,1.423948e-04,1.420189e-04,1.418754e-04,1.416173e-04,1.413386e-04,1.412060e-04,1.407859e-04,1.402188e-04,1.396387e-04,1.390469e-04,1.384447e-04,1.378334e-04,1.372140e-04,1.365876e-04,1.359552e-04,1.353178e-04,1.346763e-04,1.340315e-04,1.333842e-04,1.327351e-04,1.320851e-04,1.314346e-04,1.307844e-04,1.301350e-04,1.294870e-04,1.288408e-04,1.281970e-04,1.275559e-04,1.269181e-04,1.262837e-04,1.256533e-04
0.000000e+00,4.896429e-09,1.120813e-08,3.869377e-08,8.875370e-08,1.303384e-07,3.032366e-07,3.127674e-07,6.282047e-07,7.473996e-07,1.128915e-06,1.537969e-06,1.858858e-06,2.739060e-06,2.824507e-06,4.002737e-06,4.314220e-06,5.368643e-06,6.208700e-06,6.904568e-06,8.386649e-06,8.597769e-06,1.043720e-05,1.082166e-05,1.241159e-05,1.348757e-05,1.450861e-05,1.635494e-05,1.671463e-05,1.901498e-05,1.939077e-05,2.139421e-05,2.255962e-05,2.383652e-05,2.582526e-05,2.632626e-05,2.884824e-05,2.915235e-05,3.138809e-05,3.250782e-05,3.393251e-05,3.586183e-05,3.646939e-05,3.898792e-05,3.918832e-05,4.147861e-05,4.246521e-05,4.393326e-05,4.567433e-05,4.634490e-05,4.870773e-05,4.880116e-05,5.101705e-05,5.183456e-05,5.326910e-05,5.476627e-05,5.546096e-05,5.759041e-05,5.965582e-05,6.030303e-05,6.165607e-05,6.290173e-05,6.359054e-05,6.538562e-05,6.545909e-05,6.726191e-05,6.775497e-05,6.899943e-05,7.001089e-05,7.067237e-05,7.215520e-05,7.228163e-05,7.382830e-05,7.419033e-05,7.531379e-05,7.611955e-05,7.673969e-05,7.794620e-05,7.810728e-05,7.941789e-05,7.967331e-05,8.067301e-05,8.130419e-05,8.187401e-05,8.284211e-05,8.302237e-05,8.411955e-05,8.429045e-05,8.516702e-05,8.565257e-05,8.616623e-05,8.693180e-05,8.711860e-05,8.802558e-05,8.813143e-05,8.888857e-05,8.925471e-05,8.970896e-05,9.030481e-05,9.048812e-05,9.122740e-05,9.128486e-05,9.192811e-05,9.219788e-05,9.259153e-05,9.304681e-05,9.321892e-05,9.381151e-05,9.383451e-05,9.437051e-05,9.456375e-05,9.489708e-05,9.523722e-05,9.539238e-05,9.585751e-05,9.629355e-05,9.642711e-05,9.670156e-05,9.694845e-05,9.708256e-05,9.742384e-05,9.743756e-05,9.776750e-05,9.785553e-05,9.807334e-05,9.824566e-05,9.835599e-05,9.859630e-05,9.861633e-05,9.885521e-05,9.890944e-05,9.907347e-05,9.918699e-05,9.927192e-05,9.943078e-05,9.945133e-05,9.961245e-05,9.964255e-05,9.975603e-05,9.982399e-05,9.988277e-05,9.997672e-05,9.999335e-05,1.000884e-04,1.001023e-04,1.001687e-04,1.002021e-04,1.002347e-04,1.002777e-04,1.002871e-04,1.003264e-04,1.003303e-04,1.003533e-04,1.003613e-04,1.003682e-04,1.003718e-04,1.003716e-04,1.003642e-04,1.003631e-04,1.003463e-04,1.003363e-04,1.003185e-04,1.002925e-04,1.002811e-04,1.002347e-04,1.002327e-04,1.001797e-04,1.001578e-04,1.001164e-04,1.000688e-04,1.000452e-04,9.996664e-05,9.985210e-05,9.972599e-05,9.958911e-05,9.944216e-05,9.928587e-05,9.912088e-05,9.894783e-05,9.876732e-05,9.857992e-05,9.838618e-05,9.818661e-05,9.798169e-05,9.777190e-05,9.755768e-05,9.733944e-05,9.711758e-05,9.689249e-05,9.666450e-05,9.643398e-05,9.620122e-05,9.596655e-05,9.573023e-05,9.549255e-05,9.525377e-05
0.000000e+00,2.363628e-05,5.367450e-05,1.818008e-04,4.081204e-04,5.909975e-04,1.314165e-03,1.352562e-03,2.557854e-03,2.986619e-03,4.292465e-03,5.620735e-03,6.635310e-03,9.376797e-03,9.642250e-03,1.331356e-02,1.428755e-02,1.758782e-02,2.021268e-02,2.237901e-02,2.695716e-02,2.760462e-02,3.318902e-02,3.434253e-02,3.905933e-02,4.220078e-02,4.514291e-02,5.036481e-02,5.136718e-02,5.766078e-02,5.866957e-02,6.395543e-02,6.695836e-02,7.018766e-02,7.508997e-02,7.630050e-02,8.224446e-02,8.294434e-02,8.797810e-02,9.042543e-02,9.346822e-02,9.746204e-02,9.868959e-02,1.036244e-01,1.040065e-01,1.082617e-01,1.100320e-01,1.125964e-01,1.155297e-01,1.166282e-01,1.203610e-01,1.205042e-01,1.238020e-01,1.249712e-01,1.269612e-01,1.289544e-01,1.298503e-01,1.324823e-01,1.348712e-01,1.355866e-01,1.370311e-01,1.383000e-01,1.389766e-01,1.406560e-01,1.407222e-01,1.422811e-01,1.426859e-01,1.436665e-01,1.444200e-01,1.448914e-01,1.458869e-01,1.459678e-01,1.469070e-01,1.471133e-01,1.477199e-01,1.481236e-01,1.484164e-01,1.489404e-01,1.490058e-01,1.494968e-01,1.495839e-01,1.498972e-01,1.500721e-01,1.502145e-01,1.504219e-01,1.504556e-01,1.506267e-01,1.506480e-01,1.507337e-01,1.507638e-01,1.507818e-01,1.507814e-01,1.507761e-01,1.507211e-01,1.507114e-01,1.506209e-01,1.505635e-01,1.504794e-01,1.503464e-01,1.503001e-01,1.500862e-01,1.500677e-01,1.498408e-01,1.497345e-01,1.495667e-01,1.493529e-01,1.492663e-01,1.489420e-01,1.489286e-01,1.485960e-01,1.484665e-01,1.482303e-01,1.479713e-01,1.478467e-01,1.474470e-01,1.470326e-01,1.468971e-01,1.466051e-01,1.463252e-01,1.461658e-01,1.457341e-01,1.457159e-01,1.452567e-01,1.451266e-01,1.447891e-01,1.445050e-01,1.443143e-01,1.438717e-01,1.438330e-01,1.433461e-01,1.432286e-01,1.428545e-01,1.425775e-01,1.423589e-01,1.419200e-01,1.418600e-01,1.413583e-01,1.412577e-01,1.408546e-01,1.405920e-01,1.403493e-01,1.399240e-01,1.398429e-01,1.393359e-01,1.392548e-01,1.388288e-01,1.385855e-01,1.383220e-01,1.379170e-01,1.378158e-01,1.373106e-01,1.372501e-01,1.368068e-01,1.365856e-01,1.363045e-01,1.359241e-01,1.358042e-01,1.353060e-01,1.352663e-01,1.348103e-01,1.346127e-01,1.343171e-01,1.339638e-01,1.338268e-01,1.333396e-01,1.333202e-01,1.328555e-01,1.326821e-01,1.323748e-01,1.320499e-01,1.318976e-01,1.314240e-01,1.308047e-01,1.301923e-01,1.295868e-01,1.289886e-01,1.283979e-01,1.278147e-01,1.272392e-01,1.266715e-01,1.261117e-01,1.255599e-01,1.250161e-01,1.244804e-01,1.239528e-01,1.234333e-01,1.229219e-01,1.224186e-01,1.219234e-01,1.214363e-01,1.209572e-01,1.204861e-01,1.200230e-01,1.195677e-01,1.191204e-01,1.186808e-01
0.000000e+00,4.291775e-09,9.830668e-09,3.396159e-08,7.784938e-08,1.142047e-07,2.641944e-07,2.724074e-07,5.414238e-07,6.419487e-07,9.617306e-07,1.304938e-06,1.576726e-06,2.339204e-06,2.414551e-06,3.472463e-06,3.756747e-06,4.728280e-06,5.509260e-06,6.159193e-06,7.549188e-06,7.747642e-06,9.479848e-06,9.842452e-06,1.134354e-05,1.236059e-05,1.332653e-05,1.507519e-05,1.541615e-05,1.759911e-05,1.795613e-05,1.986164e-05,2.097182e-05,2.218981e-05,2.409033e-05,2.456984e-05,2.698843e-05,2.728065e-05,2.943302e-05,3.051383e-05,3.189193e-05,3.376370e-05,3.435453e-05,3.681128e-05,3.700730e-05,3.925371e-05,4.022499e-05,4.167446e-05,4.340039e-05,4.406720e-05,4.642659e-05,4.652020e-05,4.874811e-05,4.957382e-05,5.102793e-05,5.255280e-05,5.326298e-05,5.545080e-05,5.758948e-05,5.826324e-05,5.967758e-05,6.098691e-05,6.171402e-05,6.361973e-05,6.369808e-05,6.562930e-05,6.616055e-05,6.750750e-05,6.860896e-05,6.933267e-05,7.096515e-05,7.110500e-05,7.282480e-05,7.322978e-05,7.449252e-05,7.540389e-05,7.610870e-05,7.748882e-05,7.767398e-05,7.918907e-05,7.948613e-05,8.065471e-05,8.139756e-05,8.207171e-05,8.322501e-05,8.344091e-05,8.476320e-05,8.497047e-05,8.603947e-05,8.663600e-05,8.727064e-05,8.822373e-05,8.845764e-05,8.960143e-05,8.973582e-05,9.070294e-05,9.117445e-05,9.176313e-05,9.254182e-05,9.278295e-05,9.376335e-05,9.384011e-05,9.470528e-05,9.507150e-05,9.560969e-05,9.623815e-05,9.647751e-05,9.730966e-05,9.734222e-05,9.810707e-05,9.838581e-05,9.887064e-05,9.937099e-05,9.960126e-05,1.002998e-04,1.009672e-04,1.011743e-04,1.016043e-04,1.019965e-04,1.022118e-04,1.027681e-04,1.027907e-04,1.033418e-04,1.034912e-04,1.038659e-04,1.041676e-04,1.043637e-04,1.047991e-04,1.048360e-04,1.052836e-04,1.053874e-04,1.057072e-04,1.059342e-04,1.061075e-04,1.064412e-04,1.064853e-04,1.068413e-04,1.069099e-04,1.071761e-04,1.073420e-04,1.074904e-04,1.077390e-04,1.077848e-04,1.080601e-04,1.081024e-04,1.083167e-04,1.084335e-04,1.085553e-04,1.087337e-04,1.087766e-04,1.089810e-04,1.090044e-04,1.091692e-04,1.092470e-04,1.093416e-04,1.094625e-04,1.094989e-04,1.096416e-04,1.096524e-04,1.097701e-04,1.098176e-04,1.098849e-04,1.099594e-04,1.099866e-04,1.100756e-04,1.100789e-04,1.101524e-04,1.101771e-04,1.102173e-04,1.102550e-04,1.102709e-04,1.103136e-04,1.103539e-04,1.103768e-04,1.103831e-04,1.103737e-04,1.103495e-04,1.103111e-04,1.102594e-04,1.101951e-04,1.101189e-04,1.100314e-04,1.099334e-04,1.098253e-04,1.097079e-04,1.095817e-04,1.094472e-04,1.093049e-04,1.091555e-04,1.089992e-04,1.088367e-04,1.086684e-04,1.084946e-04,1.083158e-04,1.081323e-04,1.079446e-04
0.000000e+00,1.457834e-08,3.322531e-08,1.134355e-07,2.566853e-07,3.734772e-07,8.421181e-07,8.672639e-07,1.668069e-06,1.957861e-06,2.854699e-06,3.787125e-06,4.511835e-06,6.518012e-06,6.715641e-06,9.500871e-06,1.025415e-05,1.284312e-05,1.493660e-05,1.668388e-05,2.042768e-05,2.096241e-05,2.562665e-05,2.660174e-05,3.063153e-05,3.335473e-05,3.593512e-05,4.059059e-05,4.149584e-05,4.727118e-05,4.821224e-05,5.321739e-05,5.611918e-05,5.928986e-05,6.420862e-05,6.544380e-05,7.163511e-05,7.237854e-05,7.782126e-05,8.053108e-05,8.396209e-05,8.857579e-05,9.002039e-05,9.596243e-05,9.643186e-05,1.017585e-04,1.040301e-04,1.073828e-04,1.113135e-04,1.128135e-04,1.180328e-04,1.182370e-04,1.230268e-04,1.247674e-04,1.277851e-04,1.308822e-04,1.323004e-04,1.365686e-04,1.405880e-04,1.418217e-04,1.443592e-04,1.466437e-04,1.478848e-04,1.510422e-04,1.511689e-04,1.542171e-04,1.550291e-04,1.570357e-04,1.586199e-04,1.596324e-04,1.618320e-04,1.620149e-04,1.641920e-04,1.646848e-04,1.661723e-04,1.671986e-04,1.679648e-04,1.693941e-04,1.695786e-04,1.710225e-04,1.712917e-04,1.723055e-04,1.729120e-04,1.734362e-04,1.742746e-04,1.744231e-04,1.752745e-04,1.753987e-04,1.759982e-04,1.763025e-04,1.766020e-04,1.770036e-04,1.770931e-04,1.774787e-04,1.775182e-04,1.777655e-04,1.778620e-04,1.779598e-04,1.780494e-04,1.780678e-04,1.780952e-04,1.780941e-04,1.780476e-04,1.780088e-04,1.779302e-04,1.778052e-04,1.777479e-04,1.775053e-04,1.774944e-04,1.772069e-04,1.770866e-04,1.768567e-04,1.765911e-04,1.764589e-04,1.760169e-04,1.755343e-04,1.753719e-04,1.750144e-04,1.746635e-04,1.744603e-04,1.738988e-04,1.738748e-04,1.732607e-04,1.730839e-04,1.726205e-04,1.722248e-04,1.719566e-04,1.713268e-04,1.712713e-04,1.705667e-04,1.703949e-04,1.698447e-04,1.694336e-04,1.691073e-04,1.684470e-04,1.683562e-04,1.675930e-04,1.674390e-04,1.668192e-04,1.664131e-04,1.660362e-04,1.653724e-04,1.652454e-04,1.644480e-04,1.643199e-04,1.636452e-04,1.632583e-04,1.628381e-04,1.621899e-04,1.620276e-04,1.612148e-04,1.611171e-04,1.604004e-04,1.600419e-04,1.595854e-04,1.589660e-04,1.587705e-04,1.579563e-04,1.578912e-04,1.571435e-04,1.568190e-04,1.563328e-04,1.557507e-04,1.555247e-04,1.547197e-04,1.546876e-04,1.539184e-04,1.536308e-04,1.531210e-04,1.525813e-04,1.523281e-04,1.515400e-04,1.505078e-04,1.494852e-04,1.484730e-04,1.474716e-04,1.464817e-04,1.455036e-04,1.445377e-04,1.435844e-04,1.426438e-04,1.417162e-04,1.408018e-04,1.399007e-04,1.390131e-04,1.381391e-04,1.372786e-04,1.364317e-04,1.355984e-04,1.347788e-04,1.339727e-04,1.331801e-04,1.324010e-04,1.316352e-04,1.308826e-04,1.301433e-04
0.000000e+00,7.332305e-06,1.672751e-05,5.719841e-05,1.294993e-04,1.883848e-04,4.236514e-04,4.362213e-04,8.333557e-04,9.755234e-04,1.410429e-03,1.855087e-03,2.196101e-03,3.124350e-03,3.214858e-03,4.480933e-03,4.821744e-03,5.992778e-03,6.941829e-03,7.736458e-03,9.447901e-03,9.693336e-03,1.184363e-02,1.229510e-02,1.416659e-02,1.543547e-02,1.664006e-02,1.881689e-02,1.924048e-02,2.194323e-02,2.238349e-02,2.472322e-02,2.607771e-02,2.755555e-02,2.984287e-02,3.041614e-02,3.328232e-02,3.362563e-02,3.613319e-02,3.737781e-02,3.895000e-02,4.105780e-02,4.171631e-02,4.441796e-02,4.463093e-02,4.704309e-02,4.806946e-02,4.958194e-02,5.135216e-02,5.202694e-02,5.437238e-02,5.446407e-02,5.661422e-02,5.739538e-02,5.874989e-02,6.014079e-02,6.077809e-02,6.269858e-02,6.451200e-02,6.506990e-02,6.621979e-02,6.725824e-02,6.782394e-02,6.926874e-02,6.932695e-02,7.073167e-02,7.110780e-02,7.204123e-02,7.278268e-02,7.325899e-02,7.430121e-02,7.438840e-02,7.543303e-02,7.567152e-02,7.639647e-02,7.690188e-02,7.728232e-02,7.800052e-02,7.809415e-02,7.883547e-02,7.897558e-02,7.950974e-02,7.983499e-02,8.012033e-02,8.058641e-02,8.067051e-02,8.116346e-02,8.123722e-02,8.160224e-02,8.179449e-02,8.198982e-02,8.226493e-02,8.232904e-02,8.262263e-02,8.265492e-02,8.287323e-02,8.297052e-02,8.308334e-02,8.321743e-02,8.325537e-02,8.339161e-02,8.340103e-02,8.349426e-02,8.352638e-02,8.356540e-02,8.359824e-02,8.360703e-02,8.362104e-02,8.362105e-02,8.360924e-02,8.359900e-02,8.357334e-02,8.353600e-02,8.351498e-02,8.343569e-02,8.333696e-02,8.330148e-02,8.322017e-02,8.313656e-02,8.308664e-02,8.294387e-02,8.293762e-02,8.277431e-02,8.272618e-02,8.259782e-02,8.248605e-02,8.240921e-02,8.222586e-02,8.220949e-02,8.199960e-02,8.194782e-02,8.178045e-02,8.165399e-02,8.155286e-02,8.134626e-02,8.131765e-02,8.107557e-02,8.102639e-02,8.082731e-02,8.069601e-02,8.057356e-02,8.035662e-02,8.031494e-02,8.005204e-02,8.000961e-02,7.978541e-02,7.965626e-02,7.951558e-02,7.929775e-02,7.924304e-02,7.896826e-02,7.893515e-02,7.869165e-02,7.856947e-02,7.841363e-02,7.820162e-02,7.813457e-02,7.785483e-02,7.783243e-02,7.757474e-02,7.746267e-02,7.729460e-02,7.709304e-02,7.701471e-02,7.673533e-02,7.672417e-02,7.645671e-02,7.635664e-02,7.617909e-02,7.599098e-02,7.590267e-02,7.562765e-02,7.526710e-02,7.490970e-02,7.455581e-02,7.420572e-02,7.385972e-02,7.351805e-02,7.318092e-02,7.284853e-02,7.252102e-02,7.219855e-02,7.188122e-02,7.156915e-02,7.126240e-02,7.096104e-02,7.066512e-02,7.037468e-02,7.008973e-02,6.981029e-02,6.953636e-02,6.926792e-02,6.900495e-02,6.874744e-02,6.849534e-02,6.824862e-02
0.000000e+00,1.125216e-08,2.560157e-08,8.705254e-08,1.960672e-07,2.843977e-07,6.347115e-07,6.533376e-07,1.238371e-06,1.446455e-06,2.079542e-06,2.722375e-06,3.212945e-06,4.541164e-06,4.670335e-06,6.477643e-06,6.965627e-06,8.652257e-06,1.003296e-05,1.119910e-05,1.373910e-05,1.410607e-05,1.734024e-05,1.802191e-05,2.084757e-05,2.275653e-05,2.455824e-05,2.777681e-05,2.839643e-05,3.229022e-05,3.291410e-05,3.617786e-05,3.802666e-05,4.000953e-05,4.300831e-05,4.374665e-05,4.735996e-05,4.778414e-05,5.082778e-05,5.230333e-05,5.413454e-05,5.653327e-05,5.726962e-05,6.022645e-05,6.045518e-05,6.300181e-05,6.406095e-05,6.559521e-05,6.735068e-05,6.800838e-05,7.024481e-05,7.033066e-05,7.230941e-05,7.301171e-05,7.420811e-05,7.540786e-05,7.594762e-05,7.753518e-05,7.897834e-05,7.941091e-05,8.028482e-05,8.105282e-05,8.146237e-05,8.247865e-05,8.251866e-05,8.346120e-05,8.370573e-05,8.429728e-05,8.475077e-05,8.503394e-05,8.562964e-05,8.567790e-05,8.623560e-05,8.635730e-05,8.671315e-05,8.694774e-05,8.711633e-05,8.741393e-05,8.745058e-05,8.772104e-05,8.776791e-05,8.793254e-05,8.802074e-05,8.808962e-05,8.818260e-05,8.819650e-05,8.825716e-05,8.826283e-05,8.827530e-05,8.826993e-05,8.825438e-05,8.821170e-05,8.819763e-05,8.810805e-05,8.809523e-05,8.798845e-05,8.792699e-05,8.784143e-05,8.771285e-05,8.766941e-05,8.747466e-05,8.745816e-05,8.725926e-05,8.716776e-05,8.702516e-05,8.684606e-05,8.677418e-05,8.650798e-05,8.649704e-05,8.622814e-05,8.612433e-05,8.593608e-05,8.573120e-05,8.563316e-05,8.532061e-05,8.499958e-05,8.489524e-05,8.467115e-05,8.445752e-05,8.433629e-05,8.400963e-05,8.399592e-05,8.365089e-05,8.355356e-05,8.330198e-05,8.309106e-05,8.294990e-05,8.262376e-05,8.259532e-05,8.223886e-05,8.215309e-05,8.188108e-05,8.168034e-05,8.152250e-05,8.120668e-05,8.116361e-05,8.080484e-05,8.073314e-05,8.044661e-05,8.026067e-05,8.008929e-05,7.979008e-05,7.973321e-05,7.937869e-05,7.932213e-05,7.902601e-05,7.885746e-05,7.867544e-05,7.839666e-05,7.832722e-05,7.798155e-05,7.794026e-05,7.763865e-05,7.748869e-05,7.729867e-05,7.704235e-05,7.696179e-05,7.662814e-05,7.660160e-05,7.629786e-05,7.616672e-05,7.597107e-05,7.573798e-05,7.564785e-05,7.532831e-05,7.531560e-05,7.501252e-05,7.489976e-05,7.470055e-05,7.449062e-05,7.439246e-05,7.408830e-05,7.369290e-05,7.330450e-05,7.292315e-05,7.254888e-05,7.218173e-05,7.182168e-05,7.146874e-05,7.112287e-05,7.078405e-05,7.045222e-05,7.012735e-05,6.980937e-05,6.949820e-05,6.919379e-05,6.889605e-05,6.860489e-05,6.832023e-05,6.804198e-05,6.777004e-05,6.750431e-05,6.724470e-05,6.699111e-05,6.674343e-05,6.650157e-05
0.000000e+00,8.245082e-09,1.883200e-08,6.479359e-08,1.484197e-07,2.179734e-07,5.085145e-07,5.245929e-07,1.059628e-06,1.262908e-06,1.915573e-06,2.615241e-06,3.161226e-06,4.634713e-06,4.775559e-06,6.678194e-06,7.169693e-06,8.802538e-06,1.007314e-05,1.110782e-05,1.326414e-05,1.356650e-05,1.615534e-05,1.668672e-05,1.885146e-05,2.028805e-05,2.163129e-05,2.401332e-05,2.447061e-05,2.734524e-05,2.780688e-05,3.023180e-05,3.161507e-05,3.310835e-05,3.538892e-05,3.595497e-05,3.875403e-05,3.908597e-05,4.149041e-05,4.267123e-05,4.415152e-05,4.611726e-05,4.672717e-05,4.920945e-05,4.940381e-05,5.159250e-05,5.251696e-05,5.387223e-05,5.544821e-05,5.604615e-05,5.811305e-05,5.819350e-05,6.007285e-05,6.075229e-05,6.192634e-05,6.312675e-05,6.367506e-05,6.532110e-05,6.686699e-05,6.734099e-05,6.831560e-05,6.919309e-05,6.967004e-05,7.088473e-05,7.093356e-05,7.210955e-05,7.242361e-05,7.320143e-05,7.381762e-05,7.421265e-05,7.507469e-05,7.514665e-05,7.600681e-05,7.620263e-05,7.679646e-05,7.720910e-05,7.751888e-05,7.810152e-05,7.817724e-05,7.877462e-05,7.888704e-05,7.931400e-05,7.957253e-05,7.979829e-05,8.016457e-05,8.023029e-05,8.061269e-05,8.066945e-05,8.094810e-05,8.109315e-05,8.123901e-05,8.144131e-05,8.148781e-05,8.169679e-05,8.171930e-05,8.186816e-05,8.193219e-05,8.200402e-05,8.208477e-05,8.210639e-05,8.217722e-05,8.218157e-05,8.221833e-05,8.222685e-05,8.223149e-05,8.222458e-05,8.221834e-05,8.218049e-05,8.217848e-05,8.211945e-05,8.209208e-05,8.203668e-05,8.196869e-05,8.193356e-05,8.181141e-05,8.167149e-05,8.162315e-05,8.151497e-05,8.140661e-05,8.134298e-05,8.116432e-05,8.115660e-05,8.095684e-05,8.089864e-05,8.074467e-05,8.061178e-05,8.052099e-05,8.030579e-05,8.028667e-05,8.004255e-05,7.998259e-05,7.978940e-05,7.964397e-05,7.952796e-05,7.929159e-05,7.925893e-05,7.898297e-05,7.892700e-05,7.870071e-05,7.855165e-05,7.841276e-05,7.816687e-05,7.811966e-05,7.782194e-05,7.777392e-05,7.752012e-05,7.737393e-05,7.721467e-05,7.696799e-05,7.690603e-05,7.659462e-05,7.655708e-05,7.628084e-05,7.614213e-05,7.596508e-05,7.572398e-05,7.564767e-05,7.532896e-05,7.530342e-05,7.500926e-05,7.488117e-05,7.468886e-05,7.445789e-05,7.436804e-05,7.404705e-05,7.403422e-05,7.372616e-05,7.361070e-05,7.340557e-05,7.318786e-05,7.308551e-05,7.276618e-05,7.234610e-05,7.192800e-05,7.151227e-05,7.109922e-05,7.068916e-05,7.028236e-05,6.987906e-05,6.947949e-05,6.908385e-05,6.869232e-05,6.830504e-05,6.792216e-05,6.754381e-05,6.717008e-05,6.680108e-05,6.643688e-05,6.607754e-05,6.572312e-05,6.537366e-05,6.502920e-05,6.468976e-05,6.435535e-05,6.402599e-05,6.370167e-05
0.000000e+00,5.639403e-09,1.250415e-08,4.042865e-08,8.739621e-08,1.242565e-07,2.660497e-07,2.734926e-07,5.067728e-07,5.903247e-07,8.485924e-07,1.118067e-06,1.328404e-06,1.911365e-06,1.968515e-06,2.756670e-06,2.961825e-06,3.632342e-06,4.132318e-06,4.520991e-06,5.274185e-06,5.373801e-06,6.172302e-06,6.325233e-06,6.915471e-06,7.281740e-06,7.608559e-06,8.156293e-06,8.257310e-06,8.865925e-06,8.959760e-06,9.436770e-06,9.697679e-06,9.970807e-06,1.037165e-05,1.046818e-05,1.092876e-05,1.098155e-05,1.135246e-05,1.152726e-05,1.173953e-05,1.200959e-05,1.209063e-05,1.240682e-05,1.243065e-05,1.268960e-05,1.279375e-05,1.294076e-05,1.310314e-05,1.316231e-05,1.335643e-05,1.336365e-05,1.352533e-05,1.358039e-05,1.367124e-05,1.375843e-05,1.379632e-05,1.390262e-05,1.399206e-05,1.401742e-05,1.406643e-05,1.410686e-05,1.412733e-05,1.417448e-05,1.417623e-05,1.421445e-05,1.422341e-05,1.424318e-05,1.425630e-05,1.426346e-05,1.427544e-05,1.427620e-05,1.428222e-05,1.428275e-05,1.428225e-05,1.427989e-05,1.427692e-05,1.426822e-05,1.426677e-05,1.425230e-05,1.424892e-05,1.423394e-05,1.422299e-05,1.421208e-05,1.419126e-05,1.418706e-05,1.415918e-05,1.415447e-05,1.412870e-05,1.411321e-05,1.409584e-05,1.406800e-05,1.406084e-05,1.402387e-05,1.401931e-05,1.398512e-05,1.396755e-05,1.394476e-05,1.391308e-05,1.390291e-05,1.385972e-05,1.385621e-05,1.381531e-05,1.379723e-05,1.376978e-05,1.373638e-05,1.372325e-05,1.367581e-05,1.367389e-05,1.362755e-05,1.360999e-05,1.357855e-05,1.354485e-05,1.352889e-05,1.347864e-05,1.342786e-05,1.341151e-05,1.337663e-05,1.334362e-05,1.332499e-05,1.327509e-05,1.327301e-05,1.322073e-05,1.320605e-05,1.316821e-05,1.313659e-05,1.311548e-05,1.306683e-05,1.306259e-05,1.300959e-05,1.299685e-05,1.295650e-05,1.292674e-05,1.290336e-05,1.285658e-05,1.285021e-05,1.279707e-05,1.278645e-05,1.274398e-05,1.271640e-05,1.269096e-05,1.264650e-05,1.263803e-05,1.258523e-05,1.257680e-05,1.253258e-05,1.250736e-05,1.248008e-05,1.243822e-05,1.242777e-05,1.237567e-05,1.236943e-05,1.232378e-05,1.230102e-05,1.227213e-05,1.223304e-05,1.222073e-05,1.216959e-05,1.216552e-05,1.211874e-05,1.209848e-05,1.206817e-05,1.203195e-05,1.201791e-05,1.196795e-05,1.196596e-05,1.191832e-05,1.190054e-05,1.186902e-05,1.183569e-05,1.182006e-05,1.177145e-05,1.170782e-05,1.164483e-05,1.158248e-05,1.152079e-05,1.145976e-05,1.139941e-05,1.133975e-05,1.128077e-05,1.122248e-05,1.116490e-05,1.110802e-05,1.105184e-05,1.099637e-05,1.094161e-05,1.088755e-05,1.083420e-05,1.078156e-05,1.072962e-05,1.067839e-05,1.062785e-05,1.057801e-05,1.052886e-05,1.048040e-05,1.043263e-05
0.000000e+00,8.213993e-09,1.873790e-08,6.433375e-08,1.471987e-07,2.161381e-07,5.048562e-07,5.208743e-07,1.055838e-06,1.259604e-06,1.911881e-06,2.602320e-06,3.132886e-06,4.534375e-06,4.666576e-06,6.434215e-06,6.886965e-06,8.384237e-06,9.544150e-06,1.048626e-05,1.244406e-05,1.271805e-05,1.505912e-05,1.553860e-05,1.748823e-05,1.877881e-05,1.998313e-05,2.211286e-05,2.252081e-05,2.507843e-05,2.548802e-05,2.763401e-05,2.885390e-05,3.016716e-05,3.216514e-05,3.265956e-05,3.509528e-05,3.538309e-05,3.746088e-05,3.847663e-05,3.974546e-05,4.142224e-05,4.194052e-05,4.403977e-05,4.420343e-05,4.603890e-05,4.680989e-05,4.793534e-05,4.923650e-05,4.972796e-05,5.141689e-05,5.148230e-05,5.300325e-05,5.354957e-05,5.448894e-05,5.544299e-05,5.587652e-05,5.716896e-05,5.836962e-05,5.873503e-05,5.948207e-05,6.014945e-05,6.051001e-05,6.142085e-05,6.145723e-05,6.232756e-05,6.255798e-05,6.312475e-05,6.356953e-05,6.385255e-05,6.446396e-05,6.451459e-05,6.511441e-05,6.524949e-05,6.565542e-05,6.593393e-05,6.614091e-05,6.652474e-05,6.657405e-05,6.695787e-05,6.702897e-05,6.729526e-05,6.745328e-05,6.758898e-05,6.780390e-05,6.784168e-05,6.805584e-05,6.808669e-05,6.823385e-05,6.830712e-05,6.837796e-05,6.847029e-05,6.849032e-05,6.857294e-05,6.858095e-05,6.862775e-05,6.864353e-05,6.865657e-05,6.866214e-05,6.866111e-05,6.864299e-05,6.864061e-05,6.860375e-05,6.858247e-05,6.854483e-05,6.849100e-05,6.846761e-05,6.837336e-05,6.836926e-05,6.826331e-05,6.822005e-05,6.813861e-05,6.804600e-05,6.800034e-05,6.784951e-05,6.768708e-05,6.763281e-05,6.751397e-05,6.739795e-05,6.733101e-05,6.714685e-05,6.713900e-05,6.693871e-05,6.688124e-05,6.673084e-05,6.660275e-05,6.651605e-05,6.631287e-05,6.629497e-05,6.606819e-05,6.601298e-05,6.583627e-05,6.570434e-05,6.559972e-05,6.538812e-05,6.535904e-05,6.511467e-05,6.506540e-05,6.486707e-05,6.473716e-05,6.461662e-05,6.440432e-05,6.436370e-05,6.410869e-05,6.406771e-05,6.385190e-05,6.372810e-05,6.359365e-05,6.338620e-05,6.333423e-05,6.307392e-05,6.304264e-05,6.281298e-05,6.269802e-05,6.255164e-05,6.235289e-05,6.229012e-05,6.202865e-05,6.200774e-05,6.176740e-05,6.166301e-05,6.150657e-05,6.131913e-05,6.124633e-05,6.098683e-05,6.097646e-05,6.072821e-05,6.063536e-05,6.047063e-05,6.029612e-05,6.021419e-05,5.995903e-05,5.962435e-05,5.929229e-05,5.896308e-05,5.863689e-05,5.831389e-05,5.799422e-05,5.767802e-05,5.736540e-05,5.705646e-05,5.675129e-05,5.644996e-05,5.615253e-05,5.585906e-05,5.556959e-05,5.528415e-05,5.500278e-05,5.472549e-05,5.445229e-05,5.418319e-05,5.391820e-05,5.365729e-05,5.340048e-05,5.314773e-05,5.289904e-05
0.000000e+00,2.822171e-09,6.432879e-09,2.197092e-08,4.973958e-08,7.239346e-08,1.633888e-07,1.682748e-07,3.239961e-07,3.803883e-07,5.549898e-07,7.366448e-07,8.779757e-07,1.270523e-06,1.309338e-06,1.859771e-06,2.009666e-06,2.526993e-06,2.946165e-06,3.295460e-06,4.039288e-06,4.144852e-06,5.057021e-06,5.245651e-06,6.017382e-06,6.531762e-06,7.013933e-06,7.871296e-06,8.036178e-06,9.074513e-06,9.241533e-06,1.011998e-05,1.062187e-05,1.116426e-05,1.199364e-05,1.219967e-05,1.321933e-05,1.334033e-05,1.421715e-05,1.464790e-05,1.518794e-05,1.590496e-05,1.612736e-05,1.703196e-05,1.710274e-05,1.789905e-05,1.823494e-05,1.872673e-05,1.929749e-05,1.951369e-05,2.025924e-05,2.028820e-05,2.096321e-05,2.120649e-05,2.162579e-05,2.205296e-05,2.224751e-05,2.282921e-05,2.337194e-05,2.353757e-05,2.387689e-05,2.418084e-05,2.434539e-05,2.476219e-05,2.477887e-05,2.517880e-05,2.528497e-05,2.554669e-05,2.575267e-05,2.588404e-05,2.616874e-05,2.619237e-05,2.647315e-05,2.653660e-05,2.672784e-05,2.685959e-05,2.695784e-05,2.714091e-05,2.716453e-05,2.734922e-05,2.738363e-05,2.751318e-05,2.759066e-05,2.765764e-05,2.776475e-05,2.778374e-05,2.789261e-05,2.790850e-05,2.798530e-05,2.802434e-05,2.806282e-05,2.811455e-05,2.812612e-05,2.817611e-05,2.818125e-05,2.821365e-05,2.822644e-05,2.823956e-05,2.825195e-05,2.825461e-05,2.825953e-05,2.825951e-05,2.825501e-05,2.825071e-05,2.824171e-05,2.822703e-05,2.822023e-05,2.819116e-05,2.818985e-05,2.815506e-05,2.814044e-05,2.811243e-05,2.807996e-05,2.806376e-05,2.800952e-05,2.795014e-05,2.793012e-05,2.788602e-05,2.784268e-05,2.781755e-05,2.774806e-05,2.774509e-05,2.766898e-05,2.764706e-05,2.758954e-05,2.754040e-05,2.750707e-05,2.742876e-05,2.742184e-05,2.733414e-05,2.731275e-05,2.724420e-05,2.719294e-05,2.715225e-05,2.706986e-05,2.705853e-05,2.696322e-05,2.694399e-05,2.686653e-05,2.681577e-05,2.676864e-05,2.668560e-05,2.666971e-05,2.656991e-05,2.655387e-05,2.646937e-05,2.642090e-05,2.636825e-05,2.628701e-05,2.626666e-05,2.616473e-05,2.615248e-05,2.606258e-05,2.601759e-05,2.596030e-05,2.588255e-05,2.585800e-05,2.575576e-05,2.574759e-05,2.565368e-05,2.561290e-05,2.555182e-05,2.547867e-05,2.545027e-05,2.534909e-05,2.534505e-05,2.524835e-05,2.521220e-05,2.514809e-05,2.508023e-05,2.504839e-05,2.494928e-05,2.481944e-05,2.469082e-05,2.456350e-05,2.443755e-05,2.431304e-05,2.419003e-05,2.406858e-05,2.394872e-05,2.383049e-05,2.371393e-05,2.359907e-05,2.348592e-05,2.337450e-05,2.326483e-05,2.315691e-05,2.305076e-05,2.294637e-05,2.284375e-05,2.274289e-05,2.264379e-05,2.254645e-05,2.245084e-05,2.235697e-05,2.226482e-05
0.000000e+00,8.747333e-10,1.982290e-09,6.685453e-09,1.494925e-08,2.160123e-08,4.776451e-08,4.914880e-08,9.242471e-08,1.077524e-07,1.542793e-07,2.014477e-07,2.374393e-07,3.350245e-07,3.445315e-07,4.779610e-07,5.141283e-07,6.395914e-07,7.427725e-07,8.301832e-07,1.021064e-06,1.048662e-06,1.291537e-06,1.342561e-06,1.553002e-06,1.693960e-06,1.825936e-06,2.058873e-06,2.103281e-06,2.379055e-06,2.422709e-06,2.648699e-06,2.774957e-06,2.908978e-06,3.108964e-06,3.157709e-06,3.393485e-06,3.420863e-06,3.615463e-06,3.708641e-06,3.823219e-06,3.971521e-06,4.016636e-06,4.195836e-06,4.209566e-06,4.361122e-06,4.423436e-06,4.512938e-06,4.614209e-06,4.651832e-06,4.778428e-06,4.783245e-06,4.893402e-06,4.932083e-06,4.997460e-06,5.062350e-06,5.091319e-06,5.175693e-06,5.251284e-06,5.273729e-06,5.318769e-06,5.358007e-06,5.378797e-06,5.429979e-06,5.431983e-06,5.478903e-06,5.490992e-06,5.520097e-06,5.542274e-06,5.556065e-06,5.584937e-06,5.587269e-06,5.614133e-06,5.619979e-06,5.637048e-06,5.648289e-06,5.656369e-06,5.670658e-06,5.672421e-06,5.685499e-06,5.687782e-06,5.695871e-06,5.700277e-06,5.703781e-06,5.708685e-06,5.709450e-06,5.713078e-06,5.713482e-06,5.714847e-06,5.715085e-06,5.714922e-06,5.713864e-06,5.713453e-06,5.710574e-06,5.710140e-06,5.706409e-06,5.704198e-06,5.701070e-06,5.696291e-06,5.694660e-06,5.687270e-06,5.686640e-06,5.678987e-06,5.675441e-06,5.669886e-06,5.662868e-06,5.660040e-06,5.649512e-06,5.649078e-06,5.638363e-06,5.634208e-06,5.626647e-06,5.618381e-06,5.614414e-06,5.601710e-06,5.588578e-06,5.584292e-06,5.575058e-06,5.566219e-06,5.561187e-06,5.547570e-06,5.546997e-06,5.532520e-06,5.528419e-06,5.517786e-06,5.508833e-06,5.502820e-06,5.488870e-06,5.487650e-06,5.472297e-06,5.468587e-06,5.456783e-06,5.448033e-06,5.441129e-06,5.427253e-06,5.425354e-06,5.409475e-06,5.406289e-06,5.393510e-06,5.385178e-06,5.377472e-06,5.363957e-06,5.361378e-06,5.345240e-06,5.342655e-06,5.329072e-06,5.321303e-06,5.312884e-06,5.299928e-06,5.296688e-06,5.280495e-06,5.278553e-06,5.264314e-06,5.257201e-06,5.248155e-06,5.235893e-06,5.232026e-06,5.215934e-06,5.214649e-06,5.199889e-06,5.193485e-06,5.183896e-06,5.172417e-06,5.167962e-06,5.152093e-06,5.151460e-06,5.136295e-06,5.130626e-06,5.120574e-06,5.109929e-06,5.104934e-06,5.089380e-06,5.068987e-06,5.048761e-06,5.028710e-06,5.008841e-06,4.989162e-06,4.969678e-06,4.950396e-06,4.931319e-06,4.912452e-06,4.893800e-06,4.875365e-06,4.857150e-06,4.839158e-06,4.821391e-06,4.803851e-06,4.786539e-06,4.769456e-06,4.752603e-06,4.735981e-06,4.719590e-06,4.703430e-06,4.687500e-06,4.671801e-06,4.656331e-06
0.000000e+00,4.142264e-09,9.436650e-09,3.218196e-08,7.271688e-08,1.056941e-07,2.374426e-07,2.444871e-07,4.675994e-07,5.477815e-07,7.942399e-07,1.048139e-06,1.244181e-06,1.783423e-06,1.836416e-06,2.584304e-06,2.787353e-06,3.488328e-06,4.057856e-06,4.534087e-06,5.553787e-06,5.699111e-06,6.960566e-06,7.222602e-06,8.298258e-06,9.018049e-06,9.694536e-06,1.090101e-05,1.113349e-05,1.260039e-05,1.283676e-05,1.408145e-05,1.479357e-05,1.556380e-05,1.674262e-05,1.703561e-05,1.848623e-05,1.865842e-05,1.990626e-05,2.051925e-05,2.128764e-05,2.230747e-05,2.262368e-05,2.390900e-05,2.400950e-05,2.513947e-05,2.561560e-05,2.631213e-05,2.711951e-05,2.742502e-05,2.847713e-05,2.851795e-05,2.946820e-05,2.981010e-05,3.039862e-05,3.099713e-05,3.126935e-05,3.208174e-05,3.283751e-05,3.306772e-05,3.353862e-05,3.395962e-05,3.418720e-05,3.476253e-05,3.478552e-05,3.533592e-05,3.548177e-05,3.584076e-05,3.612277e-05,3.630240e-05,3.669097e-05,3.672318e-05,3.710539e-05,3.719163e-05,3.745125e-05,3.762987e-05,3.776292e-05,3.801055e-05,3.804246e-05,3.829186e-05,3.833829e-05,3.851302e-05,3.861745e-05,3.870772e-05,3.885210e-05,3.887770e-05,3.902457e-05,3.904602e-05,3.914986e-05,3.920276e-05,3.925502e-05,3.932559e-05,3.934143e-05,3.941037e-05,3.941753e-05,3.946306e-05,3.948139e-05,3.950064e-05,3.951976e-05,3.952419e-05,3.953470e-05,3.953501e-05,3.953313e-05,3.952932e-05,3.952035e-05,3.950468e-05,3.949720e-05,3.946446e-05,3.946296e-05,3.942286e-05,3.940585e-05,3.937309e-05,3.933490e-05,3.931578e-05,3.925154e-05,3.918093e-05,3.915707e-05,3.910447e-05,3.905270e-05,3.902266e-05,3.893952e-05,3.893597e-05,3.884482e-05,3.881855e-05,3.874961e-05,3.869070e-05,3.865073e-05,3.855682e-05,3.854853e-05,3.844334e-05,3.841769e-05,3.833547e-05,3.827400e-05,3.822520e-05,3.812640e-05,3.811281e-05,3.799854e-05,3.797549e-05,3.788264e-05,3.782180e-05,3.776533e-05,3.766583e-05,3.764680e-05,3.752725e-05,3.750804e-05,3.740685e-05,3.734882e-05,3.728579e-05,3.718855e-05,3.716420e-05,3.704223e-05,3.702757e-05,3.692002e-05,3.686620e-05,3.679769e-05,3.670471e-05,3.667536e-05,3.655314e-05,3.654337e-05,3.643112e-05,3.638239e-05,3.630940e-05,3.622200e-05,3.618807e-05,3.606720e-05,3.606237e-05,3.594687e-05,3.590369e-05,3.582714e-05,3.574611e-05,3.570809e-05,3.558977e-05,3.543478e-05,3.528126e-05,3.512932e-05,3.497903e-05,3.483048e-05,3.468374e-05,3.453886e-05,3.439589e-05,3.425488e-05,3.411587e-05,3.397888e-05,3.384395e-05,3.371110e-05,3.358033e-05,3.345166e-05,3.332511e-05,3.320067e-05,3.307834e-05,3.295812e-05,3.284001e-05,3.272400e-05,3.261007e-05,3.249822e-05,3.238843e-05
0.000000e+00,4.246127e-09,9.697717e-09,3.330730e-08,7.597917e-08,1.111935e-07,2.559123e-07,2.638213e-07,5.221760e-07,6.181991e-07,9.200007e-07,1.234893e-06,1.476570e-06,2.122279e-06,2.183972e-06,3.023386e-06,3.242650e-06,3.979097e-06,4.560454e-06,5.038821e-06,6.048407e-06,6.191199e-06,7.424340e-06,7.679545e-06,8.725393e-06,9.424285e-06,1.008076e-05,1.125104e-05,1.147649e-05,1.289883e-05,1.312798e-05,1.433465e-05,1.502503e-05,1.577183e-05,1.691521e-05,1.719951e-05,1.860820e-05,1.877557e-05,1.998984e-05,2.058743e-05,2.133781e-05,2.233647e-05,2.264686e-05,2.391292e-05,2.401226e-05,2.513301e-05,2.560768e-05,2.630506e-05,2.711845e-05,2.742779e-05,2.850058e-05,2.854245e-05,2.952333e-05,2.987932e-05,3.049638e-05,3.112999e-05,3.142040e-05,3.229634e-05,3.312534e-05,3.338092e-05,3.390870e-05,3.438674e-05,3.464781e-05,3.531710e-05,3.534415e-05,3.599924e-05,3.617548e-05,3.661461e-05,3.696541e-05,3.719181e-05,3.769044e-05,3.773237e-05,3.823783e-05,3.835408e-05,3.870966e-05,3.895976e-05,3.914934e-05,3.951079e-05,3.955829e-05,3.993789e-05,4.001041e-05,4.028949e-05,4.046168e-05,4.061438e-05,4.086756e-05,4.091381e-05,4.118901e-05,4.123087e-05,4.144113e-05,4.155428e-05,4.167129e-05,4.184033e-05,4.188057e-05,4.207000e-05,4.209145e-05,4.224059e-05,4.230992e-05,4.239327e-05,4.249789e-05,4.252895e-05,4.264852e-05,4.265741e-05,4.275280e-05,4.279042e-05,4.284260e-05,4.289871e-05,4.291867e-05,4.298175e-05,4.298402e-05,4.303254e-05,4.304794e-05,4.307169e-05,4.309200e-05,4.309985e-05,4.311762e-05,4.312558e-05,4.312615e-05,4.312429e-05,4.311885e-05,4.311426e-05,4.309689e-05,4.309601e-05,4.307000e-05,4.306140e-05,4.303671e-05,4.301341e-05,4.299655e-05,4.295390e-05,4.294994e-05,4.289728e-05,4.288379e-05,4.283895e-05,4.280394e-05,4.277530e-05,4.271515e-05,4.270666e-05,4.263337e-05,4.261818e-05,4.255574e-05,4.251374e-05,4.247404e-05,4.240249e-05,4.238857e-05,4.229959e-05,4.228504e-05,4.220734e-05,4.216198e-05,4.211208e-05,4.203384e-05,4.201402e-05,4.191338e-05,4.190114e-05,4.181037e-05,4.176434e-05,4.170518e-05,4.162389e-05,4.159800e-05,4.148900e-05,4.148020e-05,4.137834e-05,4.133366e-05,4.126620e-05,4.118462e-05,4.115271e-05,4.103802e-05,4.103341e-05,4.092227e-05,4.088036e-05,4.080558e-05,4.072575e-05,4.068807e-05,4.056986e-05,4.041293e-05,4.025520e-05,4.009688e-05,3.993819e-05,3.977930e-05,3.962039e-05,3.946163e-05,3.930315e-05,3.914511e-05,3.898762e-05,3.883081e-05,3.867478e-05,3.851963e-05,3.836545e-05,3.821234e-05,3.806035e-05,3.790957e-05,3.776006e-05,3.761187e-05,3.746506e-05,3.731967e-05,3.717575e-05,3.703334e-05,3.689246e-05
0.000000e+00,5.304287e-09,1.209833e-08,4.136923e-08,9.373105e-08,1.364624e-07,3.080493e-07,3.172571e-07,6.102992e-07,7.162023e-07,1.043370e-06,1.382736e-06,1.646259e-06,2.377882e-06,2.450355e-06,3.486254e-06,3.772325e-06,4.778545e-06,5.618948e-06,6.337630e-06,7.921311e-06,8.151396e-06,1.018304e-05,1.061095e-05,1.237910e-05,1.356699e-05,1.468284e-05,1.666430e-05,1.704423e-05,1.942341e-05,1.980358e-05,2.179002e-05,2.291458e-05,2.412118e-05,2.594880e-05,2.639957e-05,2.861199e-05,2.887254e-05,3.074840e-05,3.166235e-05,3.280136e-05,3.430242e-05,3.476550e-05,3.663722e-05,3.678290e-05,3.841447e-05,3.909869e-05,4.009642e-05,4.124853e-05,4.168334e-05,4.317637e-05,4.323417e-05,4.457736e-05,4.505963e-05,4.588870e-05,4.673067e-05,4.711328e-05,4.825423e-05,4.931491e-05,4.963793e-05,5.029879e-05,5.088982e-05,5.120946e-05,5.201819e-05,5.205055e-05,5.282562e-05,5.303130e-05,5.353822e-05,5.393722e-05,5.419178e-05,5.474382e-05,5.478968e-05,5.533515e-05,5.545862e-05,5.583134e-05,5.608881e-05,5.628126e-05,5.664121e-05,5.668779e-05,5.705363e-05,5.712214e-05,5.738135e-05,5.753751e-05,5.767338e-05,5.789281e-05,5.793205e-05,5.815955e-05,5.819320e-05,5.835797e-05,5.844345e-05,5.852924e-05,5.864797e-05,5.867522e-05,5.879763e-05,5.881082e-05,5.889811e-05,5.893577e-05,5.897819e-05,5.902631e-05,5.903933e-05,5.908289e-05,5.908565e-05,5.911013e-05,5.911674e-05,5.912227e-05,5.912228e-05,5.912042e-05,5.910564e-05,5.910479e-05,5.907892e-05,5.906656e-05,5.904120e-05,5.900971e-05,5.899334e-05,5.893617e-05,5.887044e-05,5.884772e-05,5.879688e-05,5.874599e-05,5.871615e-05,5.863249e-05,5.862888e-05,5.853567e-05,5.850858e-05,5.843706e-05,5.837552e-05,5.833357e-05,5.823446e-05,5.822568e-05,5.811383e-05,5.808644e-05,5.799845e-05,5.793244e-05,5.787993e-05,5.777332e-05,5.775863e-05,5.763490e-05,5.760990e-05,5.750906e-05,5.744289e-05,5.738140e-05,5.727297e-05,5.725220e-05,5.712172e-05,5.710074e-05,5.699019e-05,5.692676e-05,5.685785e-05,5.675152e-05,5.672489e-05,5.659151e-05,5.657548e-05,5.645788e-05,5.639905e-05,5.632418e-05,5.622261e-05,5.619056e-05,5.605715e-05,5.604649e-05,5.592410e-05,5.587100e-05,5.579151e-05,5.569641e-05,5.565951e-05,5.552820e-05,5.552296e-05,5.539766e-05,5.535087e-05,5.526799e-05,5.518035e-05,5.513926e-05,5.501156e-05,5.484466e-05,5.467978e-05,5.451705e-05,5.435656e-05,5.419841e-05,5.404268e-05,5.388944e-05,5.373872e-05,5.359060e-05,5.344508e-05,5.330222e-05,5.316202e-05,5.302451e-05,5.288968e-05,5.275754e-05,5.262809e-05,5.250132e-05,5.237721e-05,5.225576e-05,5.213694e-05,5.202074e-05,5.190712e-05,5.179606e-05,5.168754e-05
0.000000e+00,1.197294e-09,2.716788e-09,9.186744e-09,2.058950e-08,2.978699e-08,6.605422e-08,6.797597e-08,1.281416e-07,1.494806e-07,2.143129e-07,2.800976e-07,3.303159e-07,4.664580e-07,4.797120e-07,6.652304e-07,7.152682e-07,8.875641e-07,1.027410e-06,1.144409e-06,1.395289e-06,1.431085e-06,1.742183e-06,1.806878e-06,2.072662e-06,2.250676e-06,2.418085e-06,2.716883e-06,2.774493e-06,3.138233e-06,3.196880e-06,3.505866e-06,3.682749e-06,3.874132e-06,4.167130e-06,4.239960e-06,4.600505e-06,4.643290e-06,4.953183e-06,5.105268e-06,5.295707e-06,5.548012e-06,5.626111e-06,5.942768e-06,5.967465e-06,6.244383e-06,6.360591e-06,6.529992e-06,6.725339e-06,6.798937e-06,7.050841e-06,7.060561e-06,7.285580e-06,7.365896e-06,7.503249e-06,7.641649e-06,7.704127e-06,7.888649e-06,8.057370e-06,8.108127e-06,8.210938e-06,8.301598e-06,8.350070e-06,8.470762e-06,8.475528e-06,8.588101e-06,8.617421e-06,8.688588e-06,8.743411e-06,8.777785e-06,8.850547e-06,8.856474e-06,8.925414e-06,8.940591e-06,8.985337e-06,9.015218e-06,9.036943e-06,9.076004e-06,9.080895e-06,9.117817e-06,9.124411e-06,9.148298e-06,9.161784e-06,9.172883e-06,9.189353e-06,9.192083e-06,9.206372e-06,9.208232e-06,9.216188e-06,9.219431e-06,9.221937e-06,9.223860e-06,9.223993e-06,9.222697e-06,9.222332e-06,9.218364e-06,9.215571e-06,9.211284e-06,9.204228e-06,9.201719e-06,9.189914e-06,9.188879e-06,9.176088e-06,9.170039e-06,9.160446e-06,9.148162e-06,9.143170e-06,9.124432e-06,9.123654e-06,9.104384e-06,9.096874e-06,9.083169e-06,9.068142e-06,9.060915e-06,9.037741e-06,9.013753e-06,9.005921e-06,8.989050e-06,8.972906e-06,8.963720e-06,8.938892e-06,8.937847e-06,8.911505e-06,8.904055e-06,8.884763e-06,8.868552e-06,8.857683e-06,8.832522e-06,8.830324e-06,8.802738e-06,8.796090e-06,8.774974e-06,8.759364e-06,8.747075e-06,8.722445e-06,8.719082e-06,8.691032e-06,8.685418e-06,8.662959e-06,8.648363e-06,8.634894e-06,8.611347e-06,8.606866e-06,8.578901e-06,8.574435e-06,8.551023e-06,8.537679e-06,8.523254e-06,8.501130e-06,8.495613e-06,8.468119e-06,8.464830e-06,8.440788e-06,8.428819e-06,8.413637e-06,8.393129e-06,8.386677e-06,8.359923e-06,8.357792e-06,8.333386e-06,8.322834e-06,8.307075e-06,8.288278e-06,8.281001e-06,8.255172e-06,8.254144e-06,8.229596e-06,8.220451e-06,8.204278e-06,8.187213e-06,8.179226e-06,8.154444e-06,8.122153e-06,8.090352e-06,8.059047e-06,8.028244e-06,7.997948e-06,7.968163e-06,7.938891e-06,7.910134e-06,7.881891e-06,7.854164e-06,7.826949e-06,7.800247e-06,7.774054e-06,7.748367e-06,7.723184e-06,7.698499e-06,7.674308e-06,7.650608e-06,7.627392e-06,7.604656e-06,7.582393e-06,7.560598e-06,7.539265e-06,7.518388e-06
0.000000e+00,5.449891e-09,1.240119e-08,4.221406e-08,9.531628e-08,1.385586e-07,3.120254e-07,3.213374e-07,6.183364e-07,7.260450e-07,1.060144e-06,1.408712e-06,1.680572e-06,2.439000e-06,2.514299e-06,3.589781e-06,3.885507e-06,4.916096e-06,5.760923e-06,6.469172e-06,7.979162e-06,8.192706e-06,1.001858e-05,1.039055e-05,1.188770e-05,1.286188e-05,1.375711e-05,1.530591e-05,1.559752e-05,1.738902e-05,1.767014e-05,1.911779e-05,1.992233e-05,2.077406e-05,2.204222e-05,2.235102e-05,2.384419e-05,2.401759e-05,2.525093e-05,2.584219e-05,2.657018e-05,2.751441e-05,2.780219e-05,2.894826e-05,2.903629e-05,3.001051e-05,3.041255e-05,3.099174e-05,3.164987e-05,3.189520e-05,3.272450e-05,3.275618e-05,3.348341e-05,3.374014e-05,3.417585e-05,3.461073e-05,3.480572e-05,3.537693e-05,3.589325e-05,3.604749e-05,3.635837e-05,3.663081e-05,3.677581e-05,3.713481e-05,3.714892e-05,3.748089e-05,3.756689e-05,3.777474e-05,3.793392e-05,3.803327e-05,3.824223e-05,3.825916e-05,3.845489e-05,3.849763e-05,3.862276e-05,3.870542e-05,3.876496e-05,3.887046e-05,3.888349e-05,3.898024e-05,3.899713e-05,3.905694e-05,3.908944e-05,3.911521e-05,3.915101e-05,3.915655e-05,3.918235e-05,3.918512e-05,3.919390e-05,3.919474e-05,3.919240e-05,3.918254e-05,3.917895e-05,3.915457e-05,3.915096e-05,3.912022e-05,3.910218e-05,3.907678e-05,3.903818e-05,3.902505e-05,3.896579e-05,3.896075e-05,3.889970e-05,3.887149e-05,3.882741e-05,3.877187e-05,3.874953e-05,3.866659e-05,3.866318e-05,3.857912e-05,3.854662e-05,3.848759e-05,3.842325e-05,3.839242e-05,3.829403e-05,3.819279e-05,3.815985e-05,3.808904e-05,3.802147e-05,3.798310e-05,3.787961e-05,3.787526e-05,3.776580e-05,3.773490e-05,3.765498e-05,3.758792e-05,3.754301e-05,3.743918e-05,3.743012e-05,3.731650e-05,3.728915e-05,3.720234e-05,3.713824e-05,3.708781e-05,3.698684e-05,3.697306e-05,3.685824e-05,3.683528e-05,3.674347e-05,3.668386e-05,3.662888e-05,3.653285e-05,3.651458e-05,3.640068e-05,3.638249e-05,3.628725e-05,3.623301e-05,3.617440e-05,3.608459e-05,3.606220e-05,3.595072e-05,3.593739e-05,3.584003e-05,3.579159e-05,3.573018e-05,3.564730e-05,3.562124e-05,3.551325e-05,3.550465e-05,3.540625e-05,3.536374e-05,3.530028e-05,3.522465e-05,3.519539e-05,3.509160e-05,3.508747e-05,3.498894e-05,3.495227e-05,3.488744e-05,3.481909e-05,3.478712e-05,3.468800e-05,3.455902e-05,3.443219e-05,3.430753e-05,3.418507e-05,3.406481e-05,3.394678e-05,3.383096e-05,3.371736e-05,3.360598e-05,3.349681e-05,3.338984e-05,3.328505e-05,3.318244e-05,3.308197e-05,3.298364e-05,3.288742e-05,3.279329e-05,3.270121e-05,3.261118e-05,3.252316e-05,3.243712e-05,3.235303e-05,3.227087e-05,3.219061e-05
0.000000e+00,7.474401e-09,1.713678e-08,5.953258e-08,1.379730e-07,2.042440e-07,4.891705e-07,5.052687e-07,1.055764e-06,1.270589e-06,1.971314e-06,2.729842e-06,3.322709e-06,4.925118e-06,5.078692e-06,7.164907e-06,7.707837e-06,9.524068e-06,1.095060e-05,1.212067e-05,1.458295e-05,1.493077e-05,1.793454e-05,1.855685e-05,2.111262e-05,2.282739e-05,2.444463e-05,2.734672e-05,2.790900e-05,3.148331e-05,3.206389e-05,3.514486e-05,3.692677e-05,3.887122e-05,4.188451e-05,4.264093e-05,4.643385e-05,4.688967e-05,5.023155e-05,5.189970e-05,5.401743e-05,5.687770e-05,5.777683e-05,6.149702e-05,6.179260e-05,6.516709e-05,6.661898e-05,6.877786e-05,7.133654e-05,7.232168e-05,7.579239e-05,7.592962e-05,7.918509e-05,8.038658e-05,8.249583e-05,8.469870e-05,8.572152e-05,8.885989e-05,9.190938e-05,9.286627e-05,9.486899e-05,9.671574e-05,9.773826e-05,1.004077e-04,1.005171e-04,1.032060e-04,1.039427e-04,1.058053e-04,1.073222e-04,1.083159e-04,1.105484e-04,1.107391e-04,1.130763e-04,1.136246e-04,1.153291e-04,1.165542e-04,1.174987e-04,1.193404e-04,1.195867e-04,1.215947e-04,1.219868e-04,1.235242e-04,1.244970e-04,1.253769e-04,1.268750e-04,1.271545e-04,1.288587e-04,1.291247e-04,1.304913e-04,1.312500e-04,1.320539e-04,1.332548e-04,1.335483e-04,1.349762e-04,1.351431e-04,1.363393e-04,1.369190e-04,1.376393e-04,1.385862e-04,1.388780e-04,1.400570e-04,1.401488e-04,1.411779e-04,1.416105e-04,1.422425e-04,1.429750e-04,1.432523e-04,1.442090e-04,1.442462e-04,1.451140e-04,1.454275e-04,1.459690e-04,1.465226e-04,1.467755e-04,1.475349e-04,1.482488e-04,1.484678e-04,1.489185e-04,1.493246e-04,1.495455e-04,1.501084e-04,1.501311e-04,1.506767e-04,1.508225e-04,1.511836e-04,1.514697e-04,1.516531e-04,1.520531e-04,1.520865e-04,1.524850e-04,1.525755e-04,1.528497e-04,1.530397e-04,1.531819e-04,1.534482e-04,1.534827e-04,1.537532e-04,1.538038e-04,1.539945e-04,1.541088e-04,1.542077e-04,1.543658e-04,1.543938e-04,1.545537e-04,1.545769e-04,1.546885e-04,1.547446e-04,1.547991e-04,1.548709e-04,1.548865e-04,1.549515e-04,1.549579e-04,1.549950e-04,1.550076e-04,1.550179e-04,1.550220e-04,1.550210e-04,1.550050e-04,1.550030e-04,1.549708e-04,1.549522e-04,1.549192e-04,1.548716e-04,1.548508e-04,1.547663e-04,1.547626e-04,1.546666e-04,1.546270e-04,1.545521e-04,1.544662e-04,1.544236e-04,1.542817e-04,1.540750e-04,1.538473e-04,1.535999e-04,1.533342e-04,1.530513e-04,1.527523e-04,1.524383e-04,1.521104e-04,1.517696e-04,1.514168e-04,1.510530e-04,1.506789e-04,1.502955e-04,1.499035e-04,1.495037e-04,1.490969e-04,1.486836e-04,1.482645e-04,1.478404e-04,1.474117e-04,1.469790e-04,1.465429e-04,1.461039e-04,1.456625e-04
0.000000e+00,1.490752e-09,3.394485e-09,1.157519e-08,2.619318e-08,3.813436e-08,8.633548e-08,8.893574e-08,1.724823e-07,2.030413e-07,2.984368e-07,3.983032e-07,4.758463e-07,6.874713e-07,7.079825e-07,9.901956e-07,1.064521e-06,1.314868e-06,1.512717e-06,1.675433e-06,2.018307e-06,2.066736e-06,2.484330e-06,2.570628e-06,2.923943e-06,3.159809e-06,3.381240e-06,3.775792e-06,3.851785e-06,4.331102e-06,4.408311e-06,4.814794e-06,5.047276e-06,5.298657e-06,5.683236e-06,5.778789e-06,6.251675e-06,6.307784e-06,6.714245e-06,6.913821e-06,7.163901e-06,7.495680e-06,7.598521e-06,8.016443e-06,8.049116e-06,8.416436e-06,8.571213e-06,8.797660e-06,9.060228e-06,9.159618e-06,9.502111e-06,9.515405e-06,9.825184e-06,9.936779e-06,1.012908e-05,1.032499e-05,1.041422e-05,1.068113e-05,1.093043e-05,1.100660e-05,1.116283e-05,1.130304e-05,1.137906e-05,1.157215e-05,1.157989e-05,1.176609e-05,1.181570e-05,1.193842e-05,1.203548e-05,1.209764e-05,1.223319e-05,1.224450e-05,1.237971e-05,1.241051e-05,1.250396e-05,1.256900e-05,1.261790e-05,1.271015e-05,1.272217e-05,1.281735e-05,1.283535e-05,1.290401e-05,1.294588e-05,1.298268e-05,1.304295e-05,1.305385e-05,1.311801e-05,1.312765e-05,1.317558e-05,1.320101e-05,1.322700e-05,1.326395e-05,1.327263e-05,1.331286e-05,1.331734e-05,1.334802e-05,1.336197e-05,1.337843e-05,1.339856e-05,1.340440e-05,1.342619e-05,1.342777e-05,1.344409e-05,1.345021e-05,1.345832e-05,1.346644e-05,1.346913e-05,1.347673e-05,1.347697e-05,1.348132e-05,1.348227e-05,1.348309e-05,1.348278e-05,1.348223e-05,1.347889e-05,1.347323e-05,1.347095e-05,1.346540e-05,1.345932e-05,1.345554e-05,1.344429e-05,1.344378e-05,1.343025e-05,1.342615e-05,1.341504e-05,1.340516e-05,1.339828e-05,1.338157e-05,1.338006e-05,1.336048e-05,1.335559e-05,1.333963e-05,1.332743e-05,1.331760e-05,1.329728e-05,1.329445e-05,1.327028e-05,1.326532e-05,1.324514e-05,1.323171e-05,1.321911e-05,1.319660e-05,1.319225e-05,1.316462e-05,1.316013e-05,1.313627e-05,1.312243e-05,1.310726e-05,1.308361e-05,1.307764e-05,1.304746e-05,1.304380e-05,1.301675e-05,1.300309e-05,1.298557e-05,1.296158e-05,1.295396e-05,1.292194e-05,1.291936e-05,1.288956e-05,1.287652e-05,1.285685e-05,1.283312e-05,1.282385e-05,1.279058e-05,1.278925e-05,1.275708e-05,1.274496e-05,1.272336e-05,1.270033e-05,1.268947e-05,1.265541e-05,1.261025e-05,1.256491e-05,1.251943e-05,1.247385e-05,1.242822e-05,1.238258e-05,1.233695e-05,1.229138e-05,1.224589e-05,1.220051e-05,1.215528e-05,1.211020e-05,1.206531e-05,1.202063e-05,1.197617e-05,1.193196e-05,1.188801e-05,1.184434e-05,1.180096e-05,1.175789e-05,1.171513e-05,1.167271e-05,1.163062e-05,1.158888e-05
0.000000e+00,5.270071e-09,1.202485e-08,4.112977e-08,9.313307e-08,1.354845e-07,3.046111e-07,3.136426e-07,5.986885e-07,7.005826e-07,1.011795e-06,1.329275e-06,1.572362e-06,2.233315e-06,2.297779e-06,3.202437e-06,3.447401e-06,4.295557e-06,4.990817e-06,5.578165e-06,6.856716e-06,7.041313e-06,8.667769e-06,9.010796e-06,1.043602e-05,1.140406e-05,1.232355e-05,1.398515e-05,1.430839e-05,1.636945e-05,1.670494e-05,1.848663e-05,1.951716e-05,2.064083e-05,2.237872e-05,2.281408e-05,2.498977e-05,2.525028e-05,2.715273e-05,2.809685e-05,2.928942e-05,3.088836e-05,3.138797e-05,3.343820e-05,3.359987e-05,3.543163e-05,3.621148e-05,3.736128e-05,3.870800e-05,3.922166e-05,4.100863e-05,4.107854e-05,4.271922e-05,4.331593e-05,4.435151e-05,4.541619e-05,4.590448e-05,4.737791e-05,4.877219e-05,4.920178e-05,5.008826e-05,5.089012e-05,5.132750e-05,5.244648e-05,5.249162e-05,5.358263e-05,5.387530e-05,5.460272e-05,5.518170e-05,5.555424e-05,5.637118e-05,5.643964e-05,5.726146e-05,5.744951e-05,5.802223e-05,5.842256e-05,5.872453e-05,5.929620e-05,5.937090e-05,5.996386e-05,6.007626e-05,6.050588e-05,6.076842e-05,6.099940e-05,6.137819e-05,6.144676e-05,6.185027e-05,6.191091e-05,6.221214e-05,6.237168e-05,6.253453e-05,6.276540e-05,6.281950e-05,6.306906e-05,6.309671e-05,6.328511e-05,6.337004e-05,6.346952e-05,6.358958e-05,6.362403e-05,6.375035e-05,6.375929e-05,6.385010e-05,6.388290e-05,6.392482e-05,6.396396e-05,6.397600e-05,6.400505e-05,6.400577e-05,6.401332e-05,6.401146e-05,6.400209e-05,6.398395e-05,6.397260e-05,6.392601e-05,6.386343e-05,6.384020e-05,6.378592e-05,6.372894e-05,6.369448e-05,6.359449e-05,6.359007e-05,6.347361e-05,6.343895e-05,6.334594e-05,6.326430e-05,6.320789e-05,6.307238e-05,6.306023e-05,6.290371e-05,6.286490e-05,6.273901e-05,6.264346e-05,6.256681e-05,6.240956e-05,6.238772e-05,6.220234e-05,6.216456e-05,6.201123e-05,6.190976e-05,6.181492e-05,6.164636e-05,6.161391e-05,6.140867e-05,6.137547e-05,6.119965e-05,6.109810e-05,6.098728e-05,6.081523e-05,6.077194e-05,6.055403e-05,6.052772e-05,6.033388e-05,6.023639e-05,6.011183e-05,5.994200e-05,5.988820e-05,5.966328e-05,5.964524e-05,5.943735e-05,5.934675e-05,5.921067e-05,5.904712e-05,5.898347e-05,5.875599e-05,5.874689e-05,5.852845e-05,5.844656e-05,5.830104e-05,5.814657e-05,5.807395e-05,5.784736e-05,5.754929e-05,5.725272e-05,5.695795e-05,5.666529e-05,5.637497e-05,5.608724e-05,5.580231e-05,5.552036e-05,5.524156e-05,5.496606e-05,5.469398e-05,5.442545e-05,5.416057e-05,5.389941e-05,5.364206e-05,5.338856e-05,5.313898e-05,5.289335e-05,5.265171e-05,5.241406e-05,5.218044e-05,5.195083e-05,5.172525e-05,5.150369e-05
0.000000e+00,6.638495e-09,1.518359e-08,5.222812e-08,1.190063e-07,1.738218e-07,3.958806e-07,4.078683e-07,7.923126e-07,9.324521e-07,1.368683e-06,1.825551e-06,2.182709e-06,3.180775e-06,3.279872e-06,4.692067e-06,5.078945e-06,6.423160e-06,7.524387e-06,8.451556e-06,1.045780e-05,1.074621e-05,1.327752e-05,1.380985e-05,1.601957e-05,1.752086e-05,1.894884e-05,2.153761e-05,2.204279e-05,2.527897e-05,2.580846e-05,2.863484e-05,3.028152e-05,3.208778e-05,3.490500e-05,3.561546e-05,3.919616e-05,3.962842e-05,4.280919e-05,4.440410e-05,4.643511e-05,4.918840e-05,5.005609e-05,5.365594e-05,5.394257e-05,5.722024e-05,5.863312e-05,6.073639e-05,6.323204e-05,6.419352e-05,6.758235e-05,6.771636e-05,7.089515e-05,7.206790e-05,7.412565e-05,7.627276e-05,7.726881e-05,8.032074e-05,8.327857e-05,8.420485e-05,8.614030e-05,8.792077e-05,8.890469e-05,9.146637e-05,9.157115e-05,9.413964e-05,9.484132e-05,9.661061e-05,9.804671e-05,9.898488e-05,1.010848e-04,1.012636e-04,1.034483e-04,1.039588e-04,1.055405e-04,1.066724e-04,1.075421e-04,1.092301e-04,1.094551e-04,1.112814e-04,1.116365e-04,1.130234e-04,1.138966e-04,1.146831e-04,1.160154e-04,1.162629e-04,1.177649e-04,1.179982e-04,1.191915e-04,1.198502e-04,1.205450e-04,1.215766e-04,1.218276e-04,1.230416e-04,1.231827e-04,1.241892e-04,1.246737e-04,1.252726e-04,1.260544e-04,1.262940e-04,1.272556e-04,1.273300e-04,1.281594e-04,1.285052e-04,1.290075e-04,1.295847e-04,1.298018e-04,1.305445e-04,1.305731e-04,1.312373e-04,1.314749e-04,1.318822e-04,1.322942e-04,1.324809e-04,1.330353e-04,1.335472e-04,1.337022e-04,1.340180e-04,1.342987e-04,1.344497e-04,1.348285e-04,1.348436e-04,1.352013e-04,1.352952e-04,1.355245e-04,1.357023e-04,1.358144e-04,1.360530e-04,1.360725e-04,1.363003e-04,1.363506e-04,1.364989e-04,1.365979e-04,1.366697e-04,1.367981e-04,1.368140e-04,1.369329e-04,1.369537e-04,1.370276e-04,1.370676e-04,1.370991e-04,1.371422e-04,1.371487e-04,1.371773e-04,1.371800e-04,1.371860e-04,1.371833e-04,1.371757e-04,1.371544e-04,1.371473e-04,1.371018e-04,1.370953e-04,1.370401e-04,1.370080e-04,1.369629e-04,1.368945e-04,1.368712e-04,1.367656e-04,1.367566e-04,1.366470e-04,1.365961e-04,1.365161e-04,1.364146e-04,1.363735e-04,1.362200e-04,1.362136e-04,1.360561e-04,1.359947e-04,1.358826e-04,1.357593e-04,1.356999e-04,1.355087e-04,1.352443e-04,1.349671e-04,1.346785e-04,1.343793e-04,1.340708e-04,1.337537e-04,1.334292e-04,1.330979e-04,1.327608e-04,1.324186e-04,1.320720e-04,1.317218e-04,1.313685e-04,1.310127e-04,1.306551e-04,1.302961e-04,1.299362e-04,1.295760e-04,1.292158e-04,1.288561e-04,1.284972e-04,1.281394e-04,1.277832e-04,1.274288e-04
0.000000e+00,4.200852e-09,9.604494e-09,3.299544e-08,7.503691e-08,1.094361e-07,2.478308e-07,2.552600e-07,4.913903e-07,5.764988e-07,8.384523e-07,1.108532e-06,1.317110e-06,1.891257e-06,1.947758e-06,2.748676e-06,2.967785e-06,3.732128e-06,4.363958e-06,4.900646e-06,6.076830e-06,6.247500e-06,7.760854e-06,8.082337e-06,9.427394e-06,1.035009e-05,1.123375e-05,1.284937e-05,1.316656e-05,1.521231e-05,1.554919e-05,1.735713e-05,1.841769e-05,1.958686e-05,2.142214e-05,2.188715e-05,2.424370e-05,2.452959e-05,2.664244e-05,2.770773e-05,2.906981e-05,3.092581e-05,3.151294e-05,3.395980e-05,3.415537e-05,3.639930e-05,3.737077e-05,3.882143e-05,4.054953e-05,4.121722e-05,4.357877e-05,4.367242e-05,4.589925e-05,4.672341e-05,4.817281e-05,4.968948e-05,5.039453e-05,5.256038e-05,5.466712e-05,5.532836e-05,5.671222e-05,5.798783e-05,5.869377e-05,6.053502e-05,6.061043e-05,6.246134e-05,6.296775e-05,6.424609e-05,6.528514e-05,6.596461e-05,6.748736e-05,6.761715e-05,6.920422e-05,6.957545e-05,7.072656e-05,7.155114e-05,7.218510e-05,7.341668e-05,7.358091e-05,7.491517e-05,7.517475e-05,7.618919e-05,7.682833e-05,7.740434e-05,7.838062e-05,7.856206e-05,7.966382e-05,7.983500e-05,8.071112e-05,8.119494e-05,8.170551e-05,8.246395e-05,8.264851e-05,8.354167e-05,8.364557e-05,8.438653e-05,8.474335e-05,8.518461e-05,8.576080e-05,8.593742e-05,8.664648e-05,8.670135e-05,8.731324e-05,8.756842e-05,8.793915e-05,8.836532e-05,8.852565e-05,8.907412e-05,8.909529e-05,8.958594e-05,8.976148e-05,9.006243e-05,9.036694e-05,9.050491e-05,9.091464e-05,9.129287e-05,9.140745e-05,9.164081e-05,9.184814e-05,9.195963e-05,9.223937e-05,9.225048e-05,9.251446e-05,9.258371e-05,9.275267e-05,9.288366e-05,9.296615e-05,9.314158e-05,9.315591e-05,9.332295e-05,9.335977e-05,9.346823e-05,9.354042e-05,9.359266e-05,9.368563e-05,9.369715e-05,9.378256e-05,9.379743e-05,9.384975e-05,9.387775e-05,9.389951e-05,9.392843e-05,9.393265e-05,9.394992e-05,9.395125e-05,9.395205e-05,9.394790e-05,9.393975e-05,9.392000e-05,9.391372e-05,9.387462e-05,9.386908e-05,9.382307e-05,9.379662e-05,9.375971e-05,9.370402e-05,9.368512e-05,9.359988e-05,9.359262e-05,9.350454e-05,9.346370e-05,9.339963e-05,9.331846e-05,9.328567e-05,9.316315e-05,9.315807e-05,9.303254e-05,9.298363e-05,9.289431e-05,9.279618e-05,9.274889e-05,9.259670e-05,9.238616e-05,9.216543e-05,9.193538e-05,9.169680e-05,9.145046e-05,9.119709e-05,9.093736e-05,9.067193e-05,9.040141e-05,9.012638e-05,8.984738e-05,8.956494e-05,8.927953e-05,8.899162e-05,8.870164e-05,8.841000e-05,8.811708e-05,8.782324e-05,8.752881e-05,8.723412e-05,8.693945e-05,8.664510e-05,8.635131e-05,8.605833e-05
0.000000e+00,8.769872e-09,1.998513e-08,6.833919e-08,1.553378e-07,2.269512e-07,5.208070e-07,5.368707e-07,1.063804e-06,1.261509e-06,1.894476e-06,2.581058e-06,3.129816e-06,4.687086e-06,4.841878e-06,7.015118e-06,7.595676e-06,9.556492e-06,1.110043e-05,1.236097e-05,1.498158e-05,1.534753e-05,1.845974e-05,1.909350e-05,2.165705e-05,2.334250e-05,2.490762e-05,2.765926e-05,2.818422e-05,3.146208e-05,3.198509e-05,3.471809e-05,3.626682e-05,3.793067e-05,4.045601e-05,4.107989e-05,4.414787e-05,4.450980e-05,4.711901e-05,4.839214e-05,4.998008e-05,5.207417e-05,5.272032e-05,5.533142e-05,5.553453e-05,5.780737e-05,5.875898e-05,6.014433e-05,6.173973e-05,6.234038e-05,6.439531e-05,6.447458e-05,6.631039e-05,6.696608e-05,6.808828e-05,6.922044e-05,6.973211e-05,7.124608e-05,7.263499e-05,7.305387e-05,7.390404e-05,7.465586e-05,7.505873e-05,7.606488e-05,7.610471e-05,7.704772e-05,7.729409e-05,7.789347e-05,7.835659e-05,7.864761e-05,7.926525e-05,7.931565e-05,7.990294e-05,8.003245e-05,8.041464e-05,8.067004e-05,8.085571e-05,8.118920e-05,8.123089e-05,8.154468e-05,8.160046e-05,8.180136e-05,8.191362e-05,8.200498e-05,8.213780e-05,8.215934e-05,8.226806e-05,8.228145e-05,8.233452e-05,8.235236e-05,8.236191e-05,8.235769e-05,8.235320e-05,8.231121e-05,8.230405e-05,8.223853e-05,8.219748e-05,8.213764e-05,8.204350e-05,8.201081e-05,8.186019e-05,8.184718e-05,8.168778e-05,8.161314e-05,8.149544e-05,8.134560e-05,8.128492e-05,8.105783e-05,8.104842e-05,8.081569e-05,8.072511e-05,8.055990e-05,8.037885e-05,8.029179e-05,8.001257e-05,7.972337e-05,7.962890e-05,7.942526e-05,7.923025e-05,7.911922e-05,7.881881e-05,7.880616e-05,7.848694e-05,7.839657e-05,7.816235e-05,7.796532e-05,7.783311e-05,7.752670e-05,7.749992e-05,7.716339e-05,7.708220e-05,7.682413e-05,7.663315e-05,7.648267e-05,7.618076e-05,7.613951e-05,7.579512e-05,7.572614e-05,7.544994e-05,7.527027e-05,7.510436e-05,7.481404e-05,7.475876e-05,7.441347e-05,7.435827e-05,7.406880e-05,7.390367e-05,7.372505e-05,7.345090e-05,7.338249e-05,7.304136e-05,7.300053e-05,7.270188e-05,7.255309e-05,7.236426e-05,7.210903e-05,7.202869e-05,7.169535e-05,7.166878e-05,7.136439e-05,7.123270e-05,7.103595e-05,7.080111e-05,7.071017e-05,7.038716e-05,7.037430e-05,7.006704e-05,6.995252e-05,6.974989e-05,6.953597e-05,6.943580e-05,6.912486e-05,6.871934e-05,6.831954e-05,6.792558e-05,6.753756e-05,6.715554e-05,6.677959e-05,6.640975e-05,6.604604e-05,6.568849e-05,6.533709e-05,6.499185e-05,6.465275e-05,6.431976e-05,6.399285e-05,6.367199e-05,6.335713e-05,6.304823e-05,6.274523e-05,6.244806e-05,6.215668e-05,6.187101e-05,6.159098e-05,6.131653e-05,6.104758e-05
0.000000e+00,2.955778e-09,6.712896e-09,2.275250e-08,5.114593e-08,7.414933e-08,1.656557e-07,1.705387e-07,3.250614e-07,3.806077e-07,5.516165e-07,7.283780e-07,8.653228e-07,1.244065e-06,1.281437e-06,1.811110e-06,1.955450e-06,2.454375e-06,2.859333e-06,3.196863e-06,3.914112e-06,4.015592e-06,4.887575e-06,5.066624e-06,5.793972e-06,6.273911e-06,6.720172e-06,7.504988e-06,7.654650e-06,8.587893e-06,8.736537e-06,9.511735e-06,9.949703e-06,1.041902e-05,1.112866e-05,1.130345e-05,1.215956e-05,1.226017e-05,1.298273e-05,1.333348e-05,1.376916e-05,1.434042e-05,1.451588e-05,1.522074e-05,1.527527e-05,1.588232e-05,1.613466e-05,1.649992e-05,1.691728e-05,1.707343e-05,1.760328e-05,1.762358e-05,1.809036e-05,1.825546e-05,1.853589e-05,1.881587e-05,1.894137e-05,1.930855e-05,1.963928e-05,1.973774e-05,1.993554e-05,2.010798e-05,2.019934e-05,2.042393e-05,2.043271e-05,2.063766e-05,2.069022e-05,2.081614e-05,2.091133e-05,2.097007e-05,2.109156e-05,2.110126e-05,2.121146e-05,2.123497e-05,2.130234e-05,2.134537e-05,2.137544e-05,2.142623e-05,2.143223e-05,2.147405e-05,2.148074e-05,2.150218e-05,2.151180e-05,2.151780e-05,2.152205e-05,2.152200e-05,2.151578e-05,2.151389e-05,2.150009e-05,2.148945e-05,2.147578e-05,2.145065e-05,2.144364e-05,2.140439e-05,2.139923e-05,2.135871e-05,2.133674e-05,2.130723e-05,2.126457e-05,2.125050e-05,2.118906e-05,2.118395e-05,2.112337e-05,2.109601e-05,2.105389e-05,2.100173e-05,2.098101e-05,2.090510e-05,2.090201e-05,2.082651e-05,2.079762e-05,2.074555e-05,2.068929e-05,2.066250e-05,2.057764e-05,2.049119e-05,2.046323e-05,2.040339e-05,2.034658e-05,2.031444e-05,2.022814e-05,2.022452e-05,2.013381e-05,2.010829e-05,2.004247e-05,1.998742e-05,1.995064e-05,1.986583e-05,1.985845e-05,1.976602e-05,1.974382e-05,1.967347e-05,1.962163e-05,1.958091e-05,1.949951e-05,1.948841e-05,1.939608e-05,1.937764e-05,1.930399e-05,1.925622e-05,1.921221e-05,1.913540e-05,1.912080e-05,1.902984e-05,1.901533e-05,1.893936e-05,1.889613e-05,1.884943e-05,1.877791e-05,1.876009e-05,1.867138e-05,1.866078e-05,1.858334e-05,1.854482e-05,1.849600e-05,1.843011e-05,1.840939e-05,1.832355e-05,1.831671e-05,1.823848e-05,1.820468e-05,1.815423e-05,1.809408e-05,1.807080e-05,1.798822e-05,1.798493e-05,1.790650e-05,1.787729e-05,1.782565e-05,1.777117e-05,1.774568e-05,1.766661e-05,1.756362e-05,1.746223e-05,1.736243e-05,1.726424e-05,1.716767e-05,1.707271e-05,1.697936e-05,1.688763e-05,1.679750e-05,1.670896e-05,1.662202e-05,1.653665e-05,1.645285e-05,1.637060e-05,1.628988e-05,1.621069e-05,1.613300e-05,1.605679e-05,1.598206e-05,1.590877e-05,1.583692e-05,1.576647e-05,1.569742e-05,1.562974e-05
0.000000e+00,1.758818e-09,4.008331e-09,1.367639e-08,3.090114e-08,4.490156e-08,1.006764e-07,1.036507e-07,1.974113e-07,2.308952e-07,3.331286e-07,4.374232e-07,5.173049e-07,7.346388e-07,7.558435e-07,1.053341e-06,1.133805e-06,1.411725e-06,1.638473e-06,1.829129e-06,2.241206e-06,2.300381e-06,2.818694e-06,2.927379e-06,3.377001e-06,3.680841e-06,3.968452e-06,4.486063e-06,4.586466e-06,5.224684e-06,5.328261e-06,5.876973e-06,6.193332e-06,6.537457e-06,7.068009e-06,7.200597e-06,7.861259e-06,7.940145e-06,8.514784e-06,8.798988e-06,9.157034e-06,9.635372e-06,9.784416e-06,1.039389e-05,1.044180e-05,1.098297e-05,1.121243e-05,1.154967e-05,1.194297e-05,1.209247e-05,1.261032e-05,1.263050e-05,1.310251e-05,1.327335e-05,1.356870e-05,1.387082e-05,1.400882e-05,1.442303e-05,1.481169e-05,1.493074e-05,1.517533e-05,1.539523e-05,1.551461e-05,1.581810e-05,1.583029e-05,1.612318e-05,1.620122e-05,1.639417e-05,1.654662e-05,1.664416e-05,1.685640e-05,1.687408e-05,1.708487e-05,1.713272e-05,1.727746e-05,1.737770e-05,1.745277e-05,1.759346e-05,1.761170e-05,1.775513e-05,1.778203e-05,1.788391e-05,1.794536e-05,1.799887e-05,1.808533e-05,1.810079e-05,1.819043e-05,1.820369e-05,1.826853e-05,1.830213e-05,1.833578e-05,1.838221e-05,1.839284e-05,1.844035e-05,1.844543e-05,1.847889e-05,1.849316e-05,1.850905e-05,1.852669e-05,1.853136e-05,1.854633e-05,1.854722e-05,1.855445e-05,1.855589e-05,1.855619e-05,1.855373e-05,1.855197e-05,1.854221e-05,1.854171e-05,1.852730e-05,1.852074e-05,1.850760e-05,1.849165e-05,1.848346e-05,1.845521e-05,1.842315e-05,1.841214e-05,1.838758e-05,1.836309e-05,1.834876e-05,1.830869e-05,1.830696e-05,1.826242e-05,1.824949e-05,1.821537e-05,1.818602e-05,1.816602e-05,1.811876e-05,1.811457e-05,1.806121e-05,1.804814e-05,1.800613e-05,1.797459e-05,1.794949e-05,1.789847e-05,1.789144e-05,1.783214e-05,1.782014e-05,1.777172e-05,1.773991e-05,1.771032e-05,1.765807e-05,1.764805e-05,1.758503e-05,1.757489e-05,1.752137e-05,1.749062e-05,1.745717e-05,1.740548e-05,1.739252e-05,1.732750e-05,1.731968e-05,1.726221e-05,1.723341e-05,1.719671e-05,1.714684e-05,1.713108e-05,1.706539e-05,1.706013e-05,1.699969e-05,1.697343e-05,1.693405e-05,1.688685e-05,1.686852e-05,1.680314e-05,1.680053e-05,1.673797e-05,1.671457e-05,1.667305e-05,1.662906e-05,1.660842e-05,1.654411e-05,1.645977e-05,1.637613e-05,1.629325e-05,1.621119e-05,1.612999e-05,1.604971e-05,1.597038e-05,1.589203e-05,1.581470e-05,1.573842e-05,1.566320e-05,1.558906e-05,1.551602e-05,1.544409e-05,1.537329e-05,1.530360e-05,1.523506e-05,1.516764e-05,1.510136e-05,1.503622e-05,1.497221e-05,1.490932e-05,1.484756e-05,1.478691e-05
0.000000e+00,3.017607e-09,6.892441e-09,2.364297e-08,5.374550e-08,7.840723e-08,1.781021e-07,1.834785e-07,3.557862e-07,4.185667e-07,6.138504e-07,8.178031e-07,9.764478e-07,1.413743e-06,1.456584e-06,2.055469e-06,2.216123e-06,2.765711e-06,3.208646e-06,3.578167e-06,4.371099e-06,4.484574e-06,5.477289e-06,5.685516e-06,6.548587e-06,7.134011e-06,7.690237e-06,8.697119e-06,8.893369e-06,1.014856e-05,1.035357e-05,1.144603e-05,1.208094e-05,1.277590e-05,1.385654e-05,1.412838e-05,1.549403e-05,1.565837e-05,1.686397e-05,1.746595e-05,1.822998e-05,1.926091e-05,1.958463e-05,2.092133e-05,2.102731e-05,2.223436e-05,2.275182e-05,2.351882e-05,2.442360e-05,2.477059e-05,2.598632e-05,2.603416e-05,2.716339e-05,2.757728e-05,2.829985e-05,2.904868e-05,2.939424e-05,3.044564e-05,3.145354e-05,3.176684e-05,3.241776e-05,3.301200e-05,3.333845e-05,3.418171e-05,3.421599e-05,3.505100e-05,3.527728e-05,3.584424e-05,3.630050e-05,3.659661e-05,3.725355e-05,3.730911e-05,3.798283e-05,3.813888e-05,3.861892e-05,3.895913e-05,3.921855e-05,3.971705e-05,3.978296e-05,4.031335e-05,4.041545e-05,4.081096e-05,4.105718e-05,4.127703e-05,4.164503e-05,4.171276e-05,4.211936e-05,4.218179e-05,4.249800e-05,4.267016e-05,4.284985e-05,4.311279e-05,4.317603e-05,4.347765e-05,4.351224e-05,4.375577e-05,4.387097e-05,4.401144e-05,4.419136e-05,4.424567e-05,4.445944e-05,4.447568e-05,4.465368e-05,4.472612e-05,4.482933e-05,4.494476e-05,4.498724e-05,4.512829e-05,4.513359e-05,4.525328e-05,4.529450e-05,4.536300e-05,4.542929e-05,4.545822e-05,4.553967e-05,4.560804e-05,4.562727e-05,4.566401e-05,4.569363e-05,4.570824e-05,4.574021e-05,4.574133e-05,4.576388e-05,4.576839e-05,4.577647e-05,4.577947e-05,4.577965e-05,4.577470e-05,4.577393e-05,4.575983e-05,4.575525e-05,4.573781e-05,4.572220e-05,4.570835e-05,4.567661e-05,4.567188e-05,4.562882e-05,4.561946e-05,4.557958e-05,4.555166e-05,4.552454e-05,4.547409e-05,4.546406e-05,4.539850e-05,4.538756e-05,4.532820e-05,4.529286e-05,4.525346e-05,4.519069e-05,4.517460e-05,4.509191e-05,4.508174e-05,4.500566e-05,4.496666e-05,4.491612e-05,4.484603e-05,4.482354e-05,4.472816e-05,4.472042e-05,4.463021e-05,4.459035e-05,4.452989e-05,4.445633e-05,4.442743e-05,4.432302e-05,4.431880e-05,4.421683e-05,4.417821e-05,4.410906e-05,4.403495e-05,4.399987e-05,4.388941e-05,4.374192e-05,4.359283e-05,4.344244e-05,4.329102e-05,4.313885e-05,4.298617e-05,4.283320e-05,4.268017e-05,4.252725e-05,4.237464e-05,4.222250e-05,4.207099e-05,4.192024e-05,4.177038e-05,4.162153e-05,4.147381e-05,4.132731e-05,4.118212e-05,4.103833e-05,4.089599e-05,4.075520e-05,4.061599e-05,4.047843e-05,4.034257e-05
0.000000e+00,3.281920e-09,7.491774e-09,2.565839e-08,5.820801e-08,8.479481e-08,1.916322e-07,1.973667e-07,3.798485e-07,4.457692e-07,6.492757e-07,8.600531e-07,1.023398e-06,1.474390e-06,1.518790e-06,2.145730e-06,2.315930e-06,2.903576e-06,3.381794e-06,3.782843e-06,4.647153e-06,4.771088e-06,5.856275e-06,6.083955e-06,7.027278e-06,7.666574e-06,8.273449e-06,9.370579e-06,9.584199e-06,1.094884e-05,1.117146e-05,1.235657e-05,1.304443e-05,1.379666e-05,1.496493e-05,1.525857e-05,1.673219e-05,1.690935e-05,1.820802e-05,1.885579e-05,1.967726e-05,2.078454e-05,2.113194e-05,2.256499e-05,2.267851e-05,2.397025e-05,2.452336e-05,2.534246e-05,2.630749e-05,2.667724e-05,2.797101e-05,2.802187e-05,2.922097e-05,2.965981e-05,3.042500e-05,3.121672e-05,3.158159e-05,3.268973e-05,3.374889e-05,3.407745e-05,3.475897e-05,3.537976e-05,3.572020e-05,3.659749e-05,3.663308e-05,3.749837e-05,3.773224e-05,3.831700e-05,3.878622e-05,3.909004e-05,3.976201e-05,3.981870e-05,4.050428e-05,4.066255e-05,4.114812e-05,4.149097e-05,4.175164e-05,4.225052e-05,4.231627e-05,4.284345e-05,4.294452e-05,4.333462e-05,4.357629e-05,4.379124e-05,4.414914e-05,4.421473e-05,4.460649e-05,4.466632e-05,4.496790e-05,4.513100e-05,4.530031e-05,4.554624e-05,4.560503e-05,4.588334e-05,4.591503e-05,4.613649e-05,4.624021e-05,4.636568e-05,4.652455e-05,4.657206e-05,4.675678e-05,4.677065e-05,4.692090e-05,4.698103e-05,4.706549e-05,4.715806e-05,4.719155e-05,4.730004e-05,4.730402e-05,4.739189e-05,4.742106e-05,4.746801e-05,4.751123e-05,4.752926e-05,4.757644e-05,4.761036e-05,4.761854e-05,4.763177e-05,4.763924e-05,4.764139e-05,4.764017e-05,4.763991e-05,4.762800e-05,4.762288e-05,4.760629e-05,4.758881e-05,4.757538e-05,4.753932e-05,4.753586e-05,4.748826e-05,4.747570e-05,4.743312e-05,4.739914e-05,4.737094e-05,4.731078e-05,4.730220e-05,4.722734e-05,4.721167e-05,4.714681e-05,4.710283e-05,4.706101e-05,4.698516e-05,4.697034e-05,4.687518e-05,4.685956e-05,4.677587e-05,4.672683e-05,4.667275e-05,4.658773e-05,4.656615e-05,4.645636e-05,4.644299e-05,4.634368e-05,4.629325e-05,4.622838e-05,4.613915e-05,4.611071e-05,4.599093e-05,4.598127e-05,4.586927e-05,4.582013e-05,4.574594e-05,4.565623e-05,4.562116e-05,4.549512e-05,4.549005e-05,4.536800e-05,4.532201e-05,4.523999e-05,4.515252e-05,4.511125e-05,4.498193e-05,4.481060e-05,4.463883e-05,4.446692e-05,4.429514e-05,4.412373e-05,4.395292e-05,4.378291e-05,4.361389e-05,4.344605e-05,4.327952e-05,4.311446e-05,4.295100e-05,4.278925e-05,4.262931e-05,4.247127e-05,4.231523e-05,4.216124e-05,4.200938e-05,4.185971e-05,4.171226e-05,4.156708e-05,4.142420e-05,4.128365e-05,4.114546e-05
0.000000e+00,1.948104e-06,4.387246e-06,1.460453e-05,3.226412e-05,4.630628e-05,1.005628e-04,1.033994e-04,1.907981e-04,2.212545e-04,3.124377e-04,4.032424e-04,4.715937e-04,6.534665e-04,6.709413e-04,9.120560e-04,9.761233e-04,1.194190e-03,1.368731e-03,1.513347e-03,1.819844e-03,1.863227e-03,2.237203e-03,2.314358e-03,2.629426e-03,2.838909e-03,3.034903e-03,3.382508e-03,3.449223e-03,3.868325e-03,3.935566e-03,4.288378e-03,4.489269e-03,4.705760e-03,5.035460e-03,5.117089e-03,5.519273e-03,5.566787e-03,5.909565e-03,6.076903e-03,6.285602e-03,6.560642e-03,6.645436e-03,6.987543e-03,7.014110e-03,7.310818e-03,7.434683e-03,7.614550e-03,7.820929e-03,7.898393e-03,8.162320e-03,8.172466e-03,8.406579e-03,8.489784e-03,8.631648e-03,8.774068e-03,8.838195e-03,9.027057e-03,9.199165e-03,9.250850e-03,9.355434e-03,9.447585e-03,9.496851e-03,9.619615e-03,9.624467e-03,9.739284e-03,9.769271e-03,9.842273e-03,9.898787e-03,9.934387e-03,1.001030e-02,1.001653e-02,1.008954e-02,1.010579e-02,1.015420e-02,1.018703e-02,1.021123e-02,1.025566e-02,1.026132e-02,1.030508e-02,1.031312e-02,1.034306e-02,1.036071e-02,1.037580e-02,1.039957e-02,1.040374e-02,1.042732e-02,1.043072e-02,1.044692e-02,1.045502e-02,1.046288e-02,1.047324e-02,1.047552e-02,1.048511e-02,1.048607e-02,1.049192e-02,1.049409e-02,1.049617e-02,1.049782e-02,1.049807e-02,1.049782e-02,1.049771e-02,1.049557e-02,1.049415e-02,1.049149e-02,1.048750e-02,1.048572e-02,1.047839e-02,1.047806e-02,1.046961e-02,1.046612e-02,1.045950e-02,1.045191e-02,1.044814e-02,1.043565e-02,1.042209e-02,1.041754e-02,1.040755e-02,1.039776e-02,1.039210e-02,1.037647e-02,1.037580e-02,1.035872e-02,1.035380e-02,1.034091e-02,1.032991e-02,1.032244e-02,1.030489e-02,1.030334e-02,1.028368e-02,1.027888e-02,1.026348e-02,1.025196e-02,1.024280e-02,1.022423e-02,1.022167e-02,1.020013e-02,1.019577e-02,1.017821e-02,1.016668e-02,1.015595e-02,1.013701e-02,1.013338e-02,1.011052e-02,1.010684e-02,1.008741e-02,1.007624e-02,1.006407e-02,1.004525e-02,1.004053e-02,1.001680e-02,1.001394e-02,9.992909e-03,9.982352e-03,9.968881e-03,9.950539e-03,9.944733e-03,9.920485e-03,9.918541e-03,9.896153e-03,9.886401e-03,9.871755e-03,9.854156e-03,9.847306e-03,9.822821e-03,9.821841e-03,9.798314e-03,9.789489e-03,9.773799e-03,9.757131e-03,9.749289e-03,9.724795e-03,9.692507e-03,9.660293e-03,9.628174e-03,9.596172e-03,9.564307e-03,9.532597e-03,9.501058e-03,9.469706e-03,9.438555e-03,9.407619e-03,9.376910e-03,9.346438e-03,9.316215e-03,9.286249e-03,9.256548e-03,9.227122e-03,9.197976e-03,9.169118e-03,9.140552e-03,9.112283e-03,9.084318e-03,9.056658e-03,9.029308e-03,9.002271e-03
0.000000e+00,9.788239e-09,2.241674e-08,7.731632e-08,1.765982e-07,2.582746e-07,5.900623e-07,6.080018e-07,1.184118e-06,1.394353e-06,2.049027e-06,2.734702e-06,3.270670e-06,4.768964e-06,4.917861e-06,7.045438e-06,7.630720e-06,9.673873e-06,1.135867e-05,1.278415e-05,1.588708e-05,1.633491e-05,2.028128e-05,2.111433e-05,2.458219e-05,2.694636e-05,2.920053e-05,3.329964e-05,3.410135e-05,3.925060e-05,4.009527e-05,4.461459e-05,4.725580e-05,5.016007e-05,5.470520e-05,5.585446e-05,6.166642e-05,6.237032e-05,6.756620e-05,7.018270e-05,7.352606e-05,7.807994e-05,7.952048e-05,8.552636e-05,8.600669e-05,9.152306e-05,9.391500e-05,9.749232e-05,1.017641e-04,1.034181e-04,1.092866e-04,1.095200e-04,1.150859e-04,1.171548e-04,1.208062e-04,1.246464e-04,1.264389e-04,1.319770e-04,1.374150e-04,1.391332e-04,1.427481e-04,1.461046e-04,1.479728e-04,1.528837e-04,1.530860e-04,1.580858e-04,1.594652e-04,1.629706e-04,1.658459e-04,1.677394e-04,1.720238e-04,1.723917e-04,1.769272e-04,1.779984e-04,1.813462e-04,1.837701e-04,1.856491e-04,1.893401e-04,1.898365e-04,1.939093e-04,1.947102e-04,1.978685e-04,1.998829e-04,2.017154e-04,2.048610e-04,2.054513e-04,2.090776e-04,2.096477e-04,2.125957e-04,2.142465e-04,2.160074e-04,2.186611e-04,2.193142e-04,2.225178e-04,2.228954e-04,2.256201e-04,2.269534e-04,2.286227e-04,2.308392e-04,2.315276e-04,2.343364e-04,2.345570e-04,2.370512e-04,2.381111e-04,2.396736e-04,2.415057e-04,2.422057e-04,2.446493e-04,2.447452e-04,2.470062e-04,2.478339e-04,2.492784e-04,2.507759e-04,2.514676e-04,2.535757e-04,2.556047e-04,2.562375e-04,2.575562e-04,2.587654e-04,2.594321e-04,2.611635e-04,2.612342e-04,2.629643e-04,2.634361e-04,2.646242e-04,2.655871e-04,2.662155e-04,2.676204e-04,2.677399e-04,2.691993e-04,2.695400e-04,2.705952e-04,2.713498e-04,2.719293e-04,2.730534e-04,2.732031e-04,2.744184e-04,2.746546e-04,2.755766e-04,2.761569e-04,2.766793e-04,2.775639e-04,2.777281e-04,2.787243e-04,2.788790e-04,2.796696e-04,2.801056e-04,2.805652e-04,2.812469e-04,2.814126e-04,2.822133e-04,2.823062e-04,2.829684e-04,2.832867e-04,2.836795e-04,2.841912e-04,2.843478e-04,2.849745e-04,2.850229e-04,2.855609e-04,2.857845e-04,2.861083e-04,2.864789e-04,2.866178e-04,2.870906e-04,2.871088e-04,2.875279e-04,2.876768e-04,2.879307e-04,2.881855e-04,2.883002e-04,2.886375e-04,2.890350e-04,2.893805e-04,2.896762e-04,2.899244e-04,2.901271e-04,2.902865e-04,2.904045e-04,2.904831e-04,2.905241e-04,2.905293e-04,2.905006e-04,2.904395e-04,2.903477e-04,2.902268e-04,2.900783e-04,2.899036e-04,2.897043e-04,2.894815e-04,2.892367e-04,2.889711e-04,2.886860e-04,2.883824e-04,2.880616e-04,2.877246e-04
0.000000e+00,4.672292e-09,1.065373e-08,3.648191e-08,8.305237e-08,1.214560e-07,2.794790e-07,2.881329e-07,5.725863e-07,6.795395e-07,1.022722e-06,1.396781e-06,1.697803e-06,2.566879e-06,2.654683e-06,3.915749e-06,4.260778e-06,5.444799e-06,6.390604e-06,7.167158e-06,8.783585e-06,9.008882e-06,1.091476e-05,1.130010e-05,1.284734e-05,1.385401e-05,1.478101e-05,1.639245e-05,1.669725e-05,1.858180e-05,1.887959e-05,2.042312e-05,2.128872e-05,2.221165e-05,2.359912e-05,2.393952e-05,2.560037e-05,2.579492e-05,2.718929e-05,2.786466e-05,2.870274e-05,2.980105e-05,3.013845e-05,3.149527e-05,3.160040e-05,3.277305e-05,3.326215e-05,3.397246e-05,3.478826e-05,3.509489e-05,3.614228e-05,3.618265e-05,3.711701e-05,3.745065e-05,3.802179e-05,3.859857e-05,3.885954e-05,3.963333e-05,4.034630e-05,4.056213e-05,4.100163e-05,4.139224e-05,4.160245e-05,4.213083e-05,4.215185e-05,4.265284e-05,4.278484e-05,4.310832e-05,4.336092e-05,4.352107e-05,4.386537e-05,4.389377e-05,4.422896e-05,4.430409e-05,4.452904e-05,4.468261e-05,4.479630e-05,4.500606e-05,4.503290e-05,4.524087e-05,4.527920e-05,4.542214e-05,4.550644e-05,4.557849e-05,4.569181e-05,4.571162e-05,4.582312e-05,4.583906e-05,4.591448e-05,4.595159e-05,4.598710e-05,4.603257e-05,4.604227e-05,4.608124e-05,4.608488e-05,4.610513e-05,4.611115e-05,4.611503e-05,4.611382e-05,4.611194e-05,4.609680e-05,4.609509e-05,4.607049e-05,4.605702e-05,4.603382e-05,4.600145e-05,4.598758e-05,4.593247e-05,4.593009e-05,4.586917e-05,4.584450e-05,4.579831e-05,4.574611e-05,4.572048e-05,4.563623e-05,4.554607e-05,4.551605e-05,4.545048e-05,4.538667e-05,4.534992e-05,4.524909e-05,4.524481e-05,4.513553e-05,4.510424e-05,4.502247e-05,4.495295e-05,4.490595e-05,4.479599e-05,4.478632e-05,4.466386e-05,4.463408e-05,4.453886e-05,4.446785e-05,4.441158e-05,4.429789e-05,4.428228e-05,4.415117e-05,4.412476e-05,4.401849e-05,4.394894e-05,4.388443e-05,4.377089e-05,4.374917e-05,4.361291e-05,4.359102e-05,4.347579e-05,4.340972e-05,4.333798e-05,4.322733e-05,4.319962e-05,4.306085e-05,4.304418e-05,4.292179e-05,4.286054e-05,4.278256e-05,4.267670e-05,4.264327e-05,4.250402e-05,4.249288e-05,4.236491e-05,4.230932e-05,4.222603e-05,4.212622e-05,4.208745e-05,4.194927e-05,4.194375e-05,4.181154e-05,4.176209e-05,4.167435e-05,4.158139e-05,4.153774e-05,4.140178e-05,4.122340e-05,4.104636e-05,4.087075e-05,4.069667e-05,4.052421e-05,4.035344e-05,4.018441e-05,4.001721e-05,3.985187e-05,3.968844e-05,3.952696e-05,3.936747e-05,3.920999e-05,3.905456e-05,3.890118e-05,3.874989e-05,3.860068e-05,3.845358e-05,3.830859e-05,3.816570e-05,3.802494e-05,3.788628e-05,3.774974e-05,3.761530e-05
0.000000e+00,1.667826e-09,3.759510e-09,1.254636e-08,2.780872e-08,4.000541e-08,8.760126e-08,9.010953e-08,1.683231e-07,1.959912e-07,2.800450e-07,3.654834e-07,4.308752e-07,6.090788e-07,6.265070e-07,8.721118e-07,9.389295e-07,1.171052e-06,1.361819e-06,1.522908e-06,1.871541e-06,1.921473e-06,2.354306e-06,2.443573e-06,2.805121e-06,3.041205e-06,3.257849e-06,3.630173e-06,3.699749e-06,4.122299e-06,4.187743e-06,4.520594e-06,4.702399e-06,4.892280e-06,5.169937e-06,5.236616e-06,5.553811e-06,5.590083e-06,5.844630e-06,5.964504e-06,6.110152e-06,6.295804e-06,6.351641e-06,6.570467e-06,6.587036e-06,6.768057e-06,6.841473e-06,6.945867e-06,7.062459e-06,7.105350e-06,7.247942e-06,7.253314e-06,7.375035e-06,7.417255e-06,7.487972e-06,7.557338e-06,7.588028e-06,7.676386e-06,7.754144e-06,7.776958e-06,7.822328e-06,7.861382e-06,7.881883e-06,7.931730e-06,7.933662e-06,7.978437e-06,7.989816e-06,8.016906e-06,8.037226e-06,8.049699e-06,8.075340e-06,8.077378e-06,8.100442e-06,8.105341e-06,8.119337e-06,8.128249e-06,8.134463e-06,8.144937e-06,8.146173e-06,8.154787e-06,8.156164e-06,8.160588e-06,8.162578e-06,8.163826e-06,8.164723e-06,8.164716e-06,8.163455e-06,8.163066e-06,8.160220e-06,8.158013e-06,8.155170e-06,8.149919e-06,8.148447e-06,8.140179e-06,8.139089e-06,8.130483e-06,8.125793e-06,8.119466e-06,8.110270e-06,8.107225e-06,8.093847e-06,8.092730e-06,8.079414e-06,8.073363e-06,8.064001e-06,8.052335e-06,8.047676e-06,8.030504e-06,8.029800e-06,8.012544e-06,8.005896e-06,7.993850e-06,7.980746e-06,7.974474e-06,7.954464e-06,7.933865e-06,7.927155e-06,7.912718e-06,7.898915e-06,7.891063e-06,7.869830e-06,7.868937e-06,7.846374e-06,7.839983e-06,7.823409e-06,7.809449e-06,7.800071e-06,7.778296e-06,7.776389e-06,7.752392e-06,7.746589e-06,7.728106e-06,7.714388e-06,7.703554e-06,7.681748e-06,7.678761e-06,7.653748e-06,7.648721e-06,7.628537e-06,7.615355e-06,7.603147e-06,7.581696e-06,7.577598e-06,7.551907e-06,7.547784e-06,7.526091e-06,7.513660e-06,7.500166e-06,7.479359e-06,7.474149e-06,7.448052e-06,7.444916e-06,7.421890e-06,7.410362e-06,7.395677e-06,7.375727e-06,7.369424e-06,7.343143e-06,7.341040e-06,7.316847e-06,7.306326e-06,7.290544e-06,7.271609e-06,7.264246e-06,7.237963e-06,7.236912e-06,7.211703e-06,7.202256e-06,7.185474e-06,7.167661e-06,7.159286e-06,7.133146e-06,7.098727e-06,7.064422e-06,7.030243e-06,6.996207e-06,6.962325e-06,6.928610e-06,6.895073e-06,6.861724e-06,6.828573e-06,6.795629e-06,6.762900e-06,6.730393e-06,6.698116e-06,6.666076e-06,6.634277e-06,6.602725e-06,6.571426e-06,6.540383e-06,6.509601e-06,6.479083e-06,6.448832e-06,6.418852e-06,6.389145e-06,6.359713e-06
0.000000e+00,1.334926e-09,3.038976e-09,1.034855e-08,2.335178e-08,3.391704e-08,7.605362e-08,7.830418e-08,1.494981e-07,1.750520e-07,2.535167e-07,3.342241e-07,3.964346e-07,5.668578e-07,5.835361e-07,8.172734e-07,8.801952e-07,1.095913e-06,1.269927e-06,1.414953e-06,1.725124e-06,1.769363e-06,2.154521e-06,2.234866e-06,2.566192e-06,2.789382e-06,3.000294e-06,3.379294e-06,3.452752e-06,3.919442e-06,3.995157e-06,4.396224e-06,4.627457e-06,4.879001e-06,5.266868e-06,5.363808e-06,5.846895e-06,5.904581e-06,6.324797e-06,6.532615e-06,6.794396e-06,7.144035e-06,7.252949e-06,7.698117e-06,7.733091e-06,8.127964e-06,8.295255e-06,8.540949e-06,8.827184e-06,8.935897e-06,9.311981e-06,9.326623e-06,9.668676e-06,9.792285e-06,1.000573e-05,1.022369e-05,1.032313e-05,1.062104e-05,1.089981e-05,1.098505e-05,1.115991e-05,1.131684e-05,1.140191e-05,1.161780e-05,1.162645e-05,1.183424e-05,1.188952e-05,1.202603e-05,1.213373e-05,1.220256e-05,1.235216e-05,1.236461e-05,1.251295e-05,1.254660e-05,1.264834e-05,1.271878e-05,1.277151e-05,1.287038e-05,1.288319e-05,1.298407e-05,1.300301e-05,1.307481e-05,1.311820e-05,1.315604e-05,1.321738e-05,1.322838e-05,1.329239e-05,1.330189e-05,1.334862e-05,1.337299e-05,1.339757e-05,1.343183e-05,1.343975e-05,1.347559e-05,1.347948e-05,1.350552e-05,1.351693e-05,1.352995e-05,1.354507e-05,1.354926e-05,1.356379e-05,1.356476e-05,1.357388e-05,1.357675e-05,1.357984e-05,1.358173e-05,1.358196e-05,1.358050e-05,1.358037e-05,1.357572e-05,1.357324e-05,1.356787e-05,1.356088e-05,1.355716e-05,1.354379e-05,1.352797e-05,1.352242e-05,1.350988e-05,1.349719e-05,1.348968e-05,1.346846e-05,1.346754e-05,1.344360e-05,1.343659e-05,1.341800e-05,1.340190e-05,1.339088e-05,1.336468e-05,1.336235e-05,1.333253e-05,1.332519e-05,1.330152e-05,1.328368e-05,1.326944e-05,1.324038e-05,1.323636e-05,1.320238e-05,1.319548e-05,1.316757e-05,1.314918e-05,1.313203e-05,1.310165e-05,1.309581e-05,1.305900e-05,1.305305e-05,1.302164e-05,1.300353e-05,1.298380e-05,1.295322e-05,1.294553e-05,1.290690e-05,1.290224e-05,1.286794e-05,1.285070e-05,1.282870e-05,1.279872e-05,1.278923e-05,1.274956e-05,1.274638e-05,1.270973e-05,1.269377e-05,1.266979e-05,1.264097e-05,1.262975e-05,1.258966e-05,1.258806e-05,1.254954e-05,1.253510e-05,1.250942e-05,1.248216e-05,1.246933e-05,1.242928e-05,1.237653e-05,1.232395e-05,1.227159e-05,1.221948e-05,1.216766e-05,1.211617e-05,1.206502e-05,1.201426e-05,1.196390e-05,1.191398e-05,1.186450e-05,1.181548e-05,1.176695e-05,1.171892e-05,1.167140e-05,1.162440e-05,1.157793e-05,1.153200e-05,1.148661e-05,1.144179e-05,1.139752e-05,1.135381e-05,1.131068e-05,1.126811e-05
0.000000e+00,8.644395e-09,1.970245e-08,6.739206e-08,1.532032e-07,2.238243e-07,5.133143e-07,5.291230e-07,1.046613e-06,1.240211e-06,1.857772e-06,2.523300e-06,3.051603e-06,4.532973e-06,4.678907e-06,6.710663e-06,7.249992e-06,9.069170e-06,1.050449e-05,1.168123e-05,1.414785e-05,1.449484e-05,1.747426e-05,1.808759e-05,2.059259e-05,2.226127e-05,2.382667e-05,2.661657e-05,2.715438e-05,3.055330e-05,3.110221e-05,3.400049e-05,3.566542e-05,3.747252e-05,4.025219e-05,4.094584e-05,4.439733e-05,4.480897e-05,4.780478e-05,4.928470e-05,5.114741e-05,5.363261e-05,5.440608e-05,5.756372e-05,5.781151e-05,6.060574e-05,6.178740e-05,6.352007e-05,6.553372e-05,6.629690e-05,6.892872e-05,6.903090e-05,7.141027e-05,7.226616e-05,7.373830e-05,7.523286e-05,7.591135e-05,7.792958e-05,7.979454e-05,8.035937e-05,8.150895e-05,8.252884e-05,8.307654e-05,8.444759e-05,8.450194e-05,8.579015e-05,8.612697e-05,8.694651e-05,8.757952e-05,8.797700e-05,8.881909e-05,8.888768e-05,8.968471e-05,8.985978e-05,9.037433e-05,9.071590e-05,9.096270e-05,9.140153e-05,9.145588e-05,9.185977e-05,9.193035e-05,9.218014e-05,9.231557e-05,9.242254e-05,9.256981e-05,9.259230e-05,9.269452e-05,9.270493e-05,9.273404e-05,9.273210e-05,9.271546e-05,9.266170e-05,9.264314e-05,9.252122e-05,9.250344e-05,9.235358e-05,9.226628e-05,9.214388e-05,9.195853e-05,9.189560e-05,9.161194e-05,9.158782e-05,9.129595e-05,9.116115e-05,9.095046e-05,9.068494e-05,9.057812e-05,9.018142e-05,9.016507e-05,8.976265e-05,8.960692e-05,8.932400e-05,8.901538e-05,8.886746e-05,8.839491e-05,8.790810e-05,8.774957e-05,8.740864e-05,8.708306e-05,8.689806e-05,8.639872e-05,8.637773e-05,8.584898e-05,8.569958e-05,8.531300e-05,8.498841e-05,8.477091e-05,8.426768e-05,8.422374e-05,8.367246e-05,8.353964e-05,8.311795e-05,8.280632e-05,8.256103e-05,8.206955e-05,8.200246e-05,8.144293e-05,8.133096e-05,8.088309e-05,8.059205e-05,8.032353e-05,7.985411e-05,7.976479e-05,7.920739e-05,7.911836e-05,7.865177e-05,7.838583e-05,7.809835e-05,7.765747e-05,7.754753e-05,7.699965e-05,7.693411e-05,7.645503e-05,7.621650e-05,7.591396e-05,7.550529e-05,7.537671e-05,7.484351e-05,7.480104e-05,7.431459e-05,7.410426e-05,7.379013e-05,7.341538e-05,7.327031e-05,7.275528e-05,7.273478e-05,7.224518e-05,7.206278e-05,7.174014e-05,7.139965e-05,7.124025e-05,7.074562e-05,7.010087e-05,6.946556e-05,6.883980e-05,6.822368e-05,6.761726e-05,6.702058e-05,6.643365e-05,6.585647e-05,6.528902e-05,6.473125e-05,6.418312e-05,6.364456e-05,6.311549e-05,6.259584e-05,6.208550e-05,6.158437e-05,6.109235e-05,6.060933e-05,6.013517e-05,5.966976e-05,5.921297e-05,5.876468e-05,5.832474e-05,5.789303e-05
0.000000e+00,1.279331e-08,2.900202e-08,9.809689e-08,2.207444e-07,3.207064e-07,7.250260e-07,7.469195e-07,1.456606e-06,1.719474e-06,2.552314e-06,3.445853e-06,4.156659e-06,6.178093e-06,6.380238e-06,9.249641e-06,1.002461e-05,1.265251e-05,1.471614e-05,1.638621e-05,1.979048e-05,2.025715e-05,2.412823e-05,2.489431e-05,2.791492e-05,2.983312e-05,3.156722e-05,3.450902e-05,3.505519e-05,3.836023e-05,3.887119e-05,4.147042e-05,4.289180e-05,4.437836e-05,4.655624e-05,4.707996e-05,4.957413e-05,4.985954e-05,5.186242e-05,5.280496e-05,5.394872e-05,5.540283e-05,5.583901e-05,5.754097e-05,5.766925e-05,5.906351e-05,5.962447e-05,6.041653e-05,6.129176e-05,6.161078e-05,6.265737e-05,6.269632e-05,6.356736e-05,6.386362e-05,6.435164e-05,6.481861e-05,6.502089e-05,6.558525e-05,6.605404e-05,6.618533e-05,6.643628e-05,6.663953e-05,6.674059e-05,6.696642e-05,6.697452e-05,6.714519e-05,6.718254e-05,6.725906e-05,6.730258e-05,6.732198e-05,6.733944e-05,6.733926e-05,6.731574e-05,6.730452e-05,6.725580e-05,6.720779e-05,6.716334e-05,6.705790e-05,6.704190e-05,6.689465e-05,6.686235e-05,6.672443e-05,6.662771e-05,6.653383e-05,6.635967e-05,6.632515e-05,6.610047e-05,6.606316e-05,6.586164e-05,6.574248e-05,6.561034e-05,6.540135e-05,6.534809e-05,6.507624e-05,6.504303e-05,6.479601e-05,6.467035e-05,6.450852e-05,6.428578e-05,6.421476e-05,6.391563e-05,6.389149e-05,6.361195e-05,6.348937e-05,6.330446e-05,6.308108e-05,6.299383e-05,6.268066e-05,6.266809e-05,6.236552e-05,6.225168e-05,6.204889e-05,6.183298e-05,6.173124e-05,6.141298e-05,6.109449e-05,6.099258e-05,6.077610e-05,6.057254e-05,6.045814e-05,6.015355e-05,6.014088e-05,5.982459e-05,5.973623e-05,5.950950e-05,5.932111e-05,5.919583e-05,5.890867e-05,5.888376e-05,5.857349e-05,5.849931e-05,5.826516e-05,5.809340e-05,5.795893e-05,5.769128e-05,5.765492e-05,5.735326e-05,5.729322e-05,5.705405e-05,5.689947e-05,5.675740e-05,5.651025e-05,5.646339e-05,5.617209e-05,5.612574e-05,5.588358e-05,5.574611e-05,5.559792e-05,5.537149e-05,5.531517e-05,5.503537e-05,5.500199e-05,5.475856e-05,5.463773e-05,5.448479e-05,5.427877e-05,5.421407e-05,5.394645e-05,5.392517e-05,5.368193e-05,5.357700e-05,5.342054e-05,5.323428e-05,5.316229e-05,5.290718e-05,5.289705e-05,5.265523e-05,5.256531e-05,5.240644e-05,5.223907e-05,5.216081e-05,5.191832e-05,5.160307e-05,5.129328e-05,5.098893e-05,5.069000e-05,5.039644e-05,5.010821e-05,4.982528e-05,4.954759e-05,4.927509e-05,4.900772e-05,4.874543e-05,4.848816e-05,4.823584e-05,4.798842e-05,4.774582e-05,4.750798e-05,4.727483e-05,4.704630e-05,4.682233e-05,4.660284e-05,4.638777e-05,4.617704e-05,4.597058e-05,4.576832e-05
0.000000e+00,9.471358e-09,2.167726e-08,7.474132e-08,1.709478e-07,2.504148e-07,5.765270e-07,5.943117e-07,1.173234e-06,1.387895e-06,2.065213e-06,2.783233e-06,3.345665e-06,4.898131e-06,5.049802e-06,7.155287e-06,7.715094e-06,9.615080e-06,1.113103e-05,1.238648e-05,1.505550e-05,1.543491e-05,1.872964e-05,1.941549e-05,2.224042e-05,2.414114e-05,2.593619e-05,2.916027e-05,2.978505e-05,3.375497e-05,3.439927e-05,3.781460e-05,3.978627e-05,4.193416e-05,4.525429e-05,4.608600e-05,5.024512e-05,5.074363e-05,5.438940e-05,5.620313e-05,5.849964e-05,6.159050e-05,6.255949e-05,6.655532e-05,6.687186e-05,7.047590e-05,7.202098e-05,7.431224e-05,7.701817e-05,7.805722e-05,8.170539e-05,8.184924e-05,8.525269e-05,8.650444e-05,8.869623e-05,9.097757e-05,9.203412e-05,9.526532e-05,9.838948e-05,9.936662e-05,1.014068e-04,1.032821e-04,1.043179e-04,1.070135e-04,1.071237e-04,1.098256e-04,1.105637e-04,1.124251e-04,1.139364e-04,1.149239e-04,1.171355e-04,1.173239e-04,1.196270e-04,1.201655e-04,1.218353e-04,1.230313e-04,1.239509e-04,1.257377e-04,1.259760e-04,1.279129e-04,1.282898e-04,1.297637e-04,1.306928e-04,1.315306e-04,1.329518e-04,1.332161e-04,1.348221e-04,1.350719e-04,1.363511e-04,1.370583e-04,1.378052e-04,1.389159e-04,1.391865e-04,1.404972e-04,1.406498e-04,1.417394e-04,1.422649e-04,1.429153e-04,1.437658e-04,1.440268e-04,1.450761e-04,1.451574e-04,1.460649e-04,1.464440e-04,1.469954e-04,1.476303e-04,1.478694e-04,1.486887e-04,1.487204e-04,1.494552e-04,1.497186e-04,1.501707e-04,1.506289e-04,1.508367e-04,1.514552e-04,1.520276e-04,1.522013e-04,1.525557e-04,1.528710e-04,1.530409e-04,1.534677e-04,1.534847e-04,1.538888e-04,1.539949e-04,1.542544e-04,1.544559e-04,1.545830e-04,1.548538e-04,1.548760e-04,1.551347e-04,1.551918e-04,1.553603e-04,1.554727e-04,1.555541e-04,1.556994e-04,1.557174e-04,1.558512e-04,1.558746e-04,1.559568e-04,1.560009e-04,1.560352e-04,1.560809e-04,1.560876e-04,1.561148e-04,1.561169e-04,1.561181e-04,1.561114e-04,1.560982e-04,1.560664e-04,1.560562e-04,1.559931e-04,1.559841e-04,1.559095e-04,1.558666e-04,1.558066e-04,1.557158e-04,1.556849e-04,1.555455e-04,1.555336e-04,1.553890e-04,1.553218e-04,1.552162e-04,1.550820e-04,1.550277e-04,1.548245e-04,1.548160e-04,1.546070e-04,1.545253e-04,1.543760e-04,1.542115e-04,1.541320e-04,1.538758e-04,1.535198e-04,1.531447e-04,1.527517e-04,1.523422e-04,1.519171e-04,1.514776e-04,1.510247e-04,1.505595e-04,1.500828e-04,1.495956e-04,1.490986e-04,1.485928e-04,1.480789e-04,1.475576e-04,1.470297e-04,1.464958e-04,1.459565e-04,1.454124e-04,1.448642e-04,1.443123e-04,1.437573e-04,1.431996e-04,1.426398e-04,1.420782e-04
0.000000e+00,7.050792e-09,1.607594e-08,5.492274e-08,1.243206e-07,1.808874e-07,4.075558e-07,4.197006e-07,8.053836e-07,9.444081e-07,1.372808e-06,1.815388e-06,2.157584e-06,3.098185e-06,3.190402e-06,4.483868e-06,4.832096e-06,6.025192e-06,6.986590e-06,7.787188e-06,9.497896e-06,9.741757e-06,1.186380e-05,1.230626e-05,1.413020e-05,1.535826e-05,1.651830e-05,1.860167e-05,1.900528e-05,2.156806e-05,2.198360e-05,2.418364e-05,2.545125e-05,2.682958e-05,2.895380e-05,2.948453e-05,3.212865e-05,3.244434e-05,3.474395e-05,3.588138e-05,3.731455e-05,3.922981e-05,3.982677e-05,4.226915e-05,4.246123e-05,4.463239e-05,4.555383e-05,4.690920e-05,4.849187e-05,4.909416e-05,5.118349e-05,5.126504e-05,5.317490e-05,5.386759e-05,5.506732e-05,5.629758e-05,5.686075e-05,5.855609e-05,6.015491e-05,6.064650e-05,6.165939e-05,6.257394e-05,6.307213e-05,6.434476e-05,6.439605e-05,6.563433e-05,6.596615e-05,6.679029e-05,6.744577e-05,6.786735e-05,6.879154e-05,6.886897e-05,6.979862e-05,7.001141e-05,7.065973e-05,7.111326e-05,7.145565e-05,7.210475e-05,7.218967e-05,7.286499e-05,7.299329e-05,7.348471e-05,7.378598e-05,7.405179e-05,7.448956e-05,7.456910e-05,7.503938e-05,7.511044e-05,7.546524e-05,7.565462e-05,7.584919e-05,7.612778e-05,7.619361e-05,7.650076e-05,7.653522e-05,7.677281e-05,7.688192e-05,7.701179e-05,7.717250e-05,7.721965e-05,7.739824e-05,7.741131e-05,7.754929e-05,7.760238e-05,7.767447e-05,7.774946e-05,7.777534e-05,7.785338e-05,7.785604e-05,7.790999e-05,7.792538e-05,7.794650e-05,7.796048e-05,7.796416e-05,7.796416e-05,7.794763e-05,7.793902e-05,7.791562e-05,7.788747e-05,7.786913e-05,7.781176e-05,7.780911e-05,7.773646e-05,7.771397e-05,7.765202e-05,7.759603e-05,7.755658e-05,7.745973e-05,7.745091e-05,7.733571e-05,7.730673e-05,7.721167e-05,7.713857e-05,7.707940e-05,7.695668e-05,7.693951e-05,7.679258e-05,7.676239e-05,7.663912e-05,7.655692e-05,7.647966e-05,7.634141e-05,7.631466e-05,7.614458e-05,7.611692e-05,7.596983e-05,7.588442e-05,7.579083e-05,7.564482e-05,7.560795e-05,7.542154e-05,7.539895e-05,7.523194e-05,7.514759e-05,7.503947e-05,7.489146e-05,7.484443e-05,7.464710e-05,7.463123e-05,7.444775e-05,7.436750e-05,7.424663e-05,7.410086e-05,7.404397e-05,7.384000e-05,7.383182e-05,7.363493e-05,7.356087e-05,7.342896e-05,7.328847e-05,7.322226e-05,7.301502e-05,7.274092e-05,7.246651e-05,7.219212e-05,7.191804e-05,7.164456e-05,7.137193e-05,7.110038e-05,7.083013e-05,7.056136e-05,7.029427e-05,7.002900e-05,6.976573e-05,6.950457e-05,6.924565e-05,6.898908e-05,6.873497e-05,6.848339e-05,6.823444e-05,6.798819e-05,6.774469e-05,6.750400e-05,6.726618e-05,6.703126e-05,6.679927e-05
0.000000e+00,1.622213e-08,3.700528e-08,1.266152e-07,2.872101e-07,4.185552e-07,9.486035e-07,9.771665e-07,1.892365e-06,2.225903e-06,3.264127e-06,4.349333e-06,5.193306e-06,7.512198e-06,7.738434e-06,1.087906e-05,1.171458e-05,1.455315e-05,1.682185e-05,1.870378e-05,2.271507e-05,2.328650e-05,2.826211e-05,2.930093e-05,3.359080e-05,3.648712e-05,3.922953e-05,4.417153e-05,4.513151e-05,5.124686e-05,5.224167e-05,5.752386e-05,6.057892e-05,6.391043e-05,6.906418e-05,7.035549e-05,7.681033e-05,7.758338e-05,8.322957e-05,8.603197e-05,8.957198e-05,9.431812e-05,9.580094e-05,1.018847e-04,1.023643e-04,1.077966e-04,1.101081e-04,1.135145e-04,1.175013e-04,1.190209e-04,1.243027e-04,1.245091e-04,1.293502e-04,1.311087e-04,1.341574e-04,1.372872e-04,1.387209e-04,1.430401e-04,1.471163e-04,1.483698e-04,1.509526e-04,1.532839e-04,1.545535e-04,1.577942e-04,1.579247e-04,1.610726e-04,1.619150e-04,1.640045e-04,1.656631e-04,1.667280e-04,1.690564e-04,1.692510e-04,1.715818e-04,1.721134e-04,1.737284e-04,1.748532e-04,1.756993e-04,1.772946e-04,1.775024e-04,1.791459e-04,1.794561e-04,1.806376e-04,1.813558e-04,1.819851e-04,1.830111e-04,1.831960e-04,1.842773e-04,1.844388e-04,1.852361e-04,1.856547e-04,1.860789e-04,1.866740e-04,1.868122e-04,1.874422e-04,1.875111e-04,1.879747e-04,1.881796e-04,1.884153e-04,1.886920e-04,1.887694e-04,1.890421e-04,1.890605e-04,1.892382e-04,1.892963e-04,1.893624e-04,1.894099e-04,1.894192e-04,1.894127e-04,1.894112e-04,1.893469e-04,1.893094e-04,1.892255e-04,1.891131e-04,1.890523e-04,1.888305e-04,1.885634e-04,1.884689e-04,1.882541e-04,1.880354e-04,1.879055e-04,1.875364e-04,1.875204e-04,1.871012e-04,1.869781e-04,1.866506e-04,1.863661e-04,1.861708e-04,1.857056e-04,1.856641e-04,1.851325e-04,1.850014e-04,1.845780e-04,1.842582e-04,1.840024e-04,1.834800e-04,1.834076e-04,1.827952e-04,1.826707e-04,1.821667e-04,1.818341e-04,1.815237e-04,1.809733e-04,1.808675e-04,1.801994e-04,1.800915e-04,1.795208e-04,1.791916e-04,1.788327e-04,1.782762e-04,1.781363e-04,1.774326e-04,1.773477e-04,1.767226e-04,1.764084e-04,1.760072e-04,1.754604e-04,1.752872e-04,1.745636e-04,1.745056e-04,1.738370e-04,1.735457e-04,1.731082e-04,1.725824e-04,1.723778e-04,1.716464e-04,1.716172e-04,1.709148e-04,1.706514e-04,1.701833e-04,1.696863e-04,1.694526e-04,1.687231e-04,1.677627e-04,1.668063e-04,1.658546e-04,1.649084e-04,1.639684e-04,1.630354e-04,1.621099e-04,1.611925e-04,1.602836e-04,1.593836e-04,1.584929e-04,1.576120e-04,1.567410e-04,1.558802e-04,1.550299e-04,1.541902e-04,1.533614e-04,1.525435e-04,1.517366e-04,1.509410e-04,1.501565e-04,1.493833e-04,1.486214e-04,1.478708e-04
0.000000e+00,1.134508e-08,2.590966e-08,8.902073e-08,2.032824e-07,2.977640e-07,6.875538e-07,7.089156e-07,1.409534e-06,1.671393e-06,2.501320e-06,3.381129e-06,4.066100e-06,5.923072e-06,6.101450e-06,8.521457e-06,9.148178e-06,1.122847e-05,1.284120e-05,1.414833e-05,1.685012e-05,1.722629e-05,2.041782e-05,2.106625e-05,2.368384e-05,2.539977e-05,2.698912e-05,2.977270e-05,3.030211e-05,3.359523e-05,3.411866e-05,3.684502e-05,3.838372e-05,4.003219e-05,4.252640e-05,4.314138e-05,4.616073e-05,4.651657e-05,4.908159e-05,5.033393e-05,5.189790e-05,5.396588e-05,5.460573e-05,5.720297e-05,5.740594e-05,5.968890e-05,6.065216e-05,6.206391e-05,6.370592e-05,6.432927e-05,6.648685e-05,6.657094e-05,6.853904e-05,6.925254e-05,7.048855e-05,7.175707e-05,7.233834e-05,7.409158e-05,7.575154e-05,7.626356e-05,7.732152e-05,7.828063e-05,7.880485e-05,8.015040e-05,8.020484e-05,8.152478e-05,8.188045e-05,8.276787e-05,8.347817e-05,8.393729e-05,8.495074e-05,8.503612e-05,8.606736e-05,8.630513e-05,8.703394e-05,8.754803e-05,8.793867e-05,8.868586e-05,8.878431e-05,8.957349e-05,8.972478e-05,9.030877e-05,9.067064e-05,9.099262e-05,9.152904e-05,9.162741e-05,9.221542e-05,9.230530e-05,9.275884e-05,9.300447e-05,9.325979e-05,9.363133e-05,9.372029e-05,9.414228e-05,9.419042e-05,9.452763e-05,9.468604e-05,9.487812e-05,9.512224e-05,9.519547e-05,9.548132e-05,9.550287e-05,9.573723e-05,9.583156e-05,9.596472e-05,9.611171e-05,9.616521e-05,9.634009e-05,9.634657e-05,9.649066e-05,9.653917e-05,9.661819e-05,9.669237e-05,9.672388e-05,9.680888e-05,9.687427e-05,9.689123e-05,9.692112e-05,9.694183e-05,9.695042e-05,9.696292e-05,9.696312e-05,9.696014e-05,9.695662e-05,9.694235e-05,9.692491e-05,9.691058e-05,9.686968e-05,9.686561e-05,9.680822e-05,9.679267e-05,9.673910e-05,9.669554e-05,9.665897e-05,9.657985e-05,9.656846e-05,9.646820e-05,9.644704e-05,9.635880e-05,9.629848e-05,9.624081e-05,9.613546e-05,9.611478e-05,9.598122e-05,9.595919e-05,9.584063e-05,9.577079e-05,9.569347e-05,9.557131e-05,9.554019e-05,9.538121e-05,9.536177e-05,9.521693e-05,9.514308e-05,9.504775e-05,9.491611e-05,9.487402e-05,9.469610e-05,9.468169e-05,9.451431e-05,9.444058e-05,9.432897e-05,9.419350e-05,9.414038e-05,9.394883e-05,9.394111e-05,9.375459e-05,9.368405e-05,9.355791e-05,9.342290e-05,9.335903e-05,9.315820e-05,9.289048e-05,9.262021e-05,9.234783e-05,9.207377e-05,9.179841e-05,9.152212e-05,9.124522e-05,9.096805e-05,9.069088e-05,9.041398e-05,9.013762e-05,8.986203e-05,8.958741e-05,8.931398e-05,8.904191e-05,8.877138e-05,8.850254e-05,8.823555e-05,8.797052e-05,8.770760e-05,8.744688e-05,8.718847e-05,8.693246e-05,8.667893e-05
0.000000e+00,4.277957e-09,9.768965e-09,3.353019e-08,7.640024e-08,1.117090e-07,2.562623e-07,2.641412e-07,5.210248e-07,6.166469e-07,9.204567e-07,1.247093e-06,1.506962e-06,2.244125e-06,2.317637e-06,3.359049e-06,3.640730e-06,4.604012e-06,5.375511e-06,6.013756e-06,7.363932e-06,7.554916e-06,9.202479e-06,9.543002e-06,1.093727e-05,1.186847e-05,1.274333e-05,1.430492e-05,1.460623e-05,1.651219e-05,1.682024e-05,1.844783e-05,1.938363e-05,2.040011e-05,2.196546e-05,2.235648e-05,2.430504e-05,2.453781e-05,2.623478e-05,2.707528e-05,2.813568e-05,2.955557e-05,2.999886e-05,3.181659e-05,3.195984e-05,3.358232e-05,3.427282e-05,3.529071e-05,3.648284e-05,3.693754e-05,3.851957e-05,3.858147e-05,4.003451e-05,4.056317e-05,4.148091e-05,4.242490e-05,4.285802e-05,4.416572e-05,4.540442e-05,4.578636e-05,4.657496e-05,4.728889e-05,4.767856e-05,4.867641e-05,4.871670e-05,4.969111e-05,4.995278e-05,5.060369e-05,5.112240e-05,5.145647e-05,5.219002e-05,5.225155e-05,5.299111e-05,5.316059e-05,5.367735e-05,5.403917e-05,5.431246e-05,5.483083e-05,5.489866e-05,5.543811e-05,5.554057e-05,5.593293e-05,5.617330e-05,5.638522e-05,5.673376e-05,5.679700e-05,5.717026e-05,5.722653e-05,5.750690e-05,5.765603e-05,5.780878e-05,5.802645e-05,5.807768e-05,5.831531e-05,5.834180e-05,5.852332e-05,5.860588e-05,5.870331e-05,5.882229e-05,5.885679e-05,5.898521e-05,5.899444e-05,5.908997e-05,5.912555e-05,5.917240e-05,5.921864e-05,5.923377e-05,5.927530e-05,5.927657e-05,5.929815e-05,5.930202e-05,5.930343e-05,5.929751e-05,5.929218e-05,5.926542e-05,5.922410e-05,5.920795e-05,5.916913e-05,5.912719e-05,5.910138e-05,5.902509e-05,5.902168e-05,5.893080e-05,5.890346e-05,5.882950e-05,5.876401e-05,5.871847e-05,5.860833e-05,5.859840e-05,5.846992e-05,5.843790e-05,5.833364e-05,5.825413e-05,5.819013e-05,5.805829e-05,5.803993e-05,5.788358e-05,5.785161e-05,5.772154e-05,5.763519e-05,5.755429e-05,5.741010e-05,5.738227e-05,5.720590e-05,5.717730e-05,5.702557e-05,5.693771e-05,5.684164e-05,5.669216e-05,5.665448e-05,5.646443e-05,5.644144e-05,5.627178e-05,5.618627e-05,5.607685e-05,5.592734e-05,5.587990e-05,5.568122e-05,5.566526e-05,5.548105e-05,5.540061e-05,5.527962e-05,5.513394e-05,5.507715e-05,5.487387e-05,5.486572e-05,5.466996e-05,5.459643e-05,5.446560e-05,5.432648e-05,5.426098e-05,5.405626e-05,5.378613e-05,5.351643e-05,5.324744e-05,5.297945e-05,5.271271e-05,5.244746e-05,5.218390e-05,5.192223e-05,5.166262e-05,5.140523e-05,5.115020e-05,5.089765e-05,5.064772e-05,5.040048e-05,5.015605e-05,4.991449e-05,4.967588e-05,4.944027e-05,4.920773e-05,4.897829e-05,4.875199e-05,4.852886e-05,4.830892e-05,4.809220e-05
0.000000e+00,6.191118e-09,1.412149e-08,4.829366e-08,1.094463e-07,1.593740e-07,3.600609e-07,3.708394e-07,7.143293e-07,8.386575e-07,1.223133e-06,1.621834e-06,1.930558e-06,2.777862e-06,2.860679e-06,4.015800e-06,4.324799e-06,5.378587e-06,6.223765e-06,6.925844e-06,8.422824e-06,8.635979e-06,1.048930e-05,1.087547e-05,1.246667e-05,1.353749e-05,1.454864e-05,1.636371e-05,1.671522e-05,1.894617e-05,1.930775e-05,2.122142e-05,2.232354e-05,2.352156e-05,2.536729e-05,2.582835e-05,2.812508e-05,2.839928e-05,3.039678e-05,3.138497e-05,3.263043e-05,3.429569e-05,3.481498e-05,3.694135e-05,3.710871e-05,3.900225e-05,3.980698e-05,4.099211e-05,4.237850e-05,4.290689e-05,4.474387e-05,4.481571e-05,4.650150e-05,4.711468e-05,4.817918e-05,4.927443e-05,4.977714e-05,5.129628e-05,5.273800e-05,5.318329e-05,5.410414e-05,5.493977e-05,5.539682e-05,5.657090e-05,5.661843e-05,5.777150e-05,5.808243e-05,5.885866e-05,5.948044e-05,5.988260e-05,6.077112e-05,6.084603e-05,6.175163e-05,6.196066e-05,6.260205e-05,6.305515e-05,6.339989e-05,6.406050e-05,6.414767e-05,6.484786e-05,6.498239e-05,6.550281e-05,6.582626e-05,6.611479e-05,6.659727e-05,6.668601e-05,6.721853e-05,6.730028e-05,6.771438e-05,6.793992e-05,6.817545e-05,6.852050e-05,6.860357e-05,6.900047e-05,6.904608e-05,6.936781e-05,6.952047e-05,6.970714e-05,6.994723e-05,7.001997e-05,7.030771e-05,7.032968e-05,7.057169e-05,7.067093e-05,7.081321e-05,7.097386e-05,7.103346e-05,7.123360e-05,7.124120e-05,7.141470e-05,7.147545e-05,7.157782e-05,7.167896e-05,7.172392e-05,7.185393e-05,7.196872e-05,7.200238e-05,7.206915e-05,7.212624e-05,7.215598e-05,7.222726e-05,7.222998e-05,7.229185e-05,7.230709e-05,7.234227e-05,7.236729e-05,7.238187e-05,7.240927e-05,7.241126e-05,7.243101e-05,7.243438e-05,7.244167e-05,7.244386e-05,7.244375e-05,7.243888e-05,7.243775e-05,7.242412e-05,7.242052e-05,7.240331e-05,7.238979e-05,7.237574e-05,7.234764e-05,7.234179e-05,7.230186e-05,7.229494e-05,7.225629e-05,7.223251e-05,7.220542e-05,7.216114e-05,7.214958e-05,7.208908e-05,7.208152e-05,7.202419e-05,7.199432e-05,7.195520e-05,7.190019e-05,7.188237e-05,7.180595e-05,7.179969e-05,7.172617e-05,7.169337e-05,7.164325e-05,7.158174e-05,7.155742e-05,7.146887e-05,7.146527e-05,7.137779e-05,7.134442e-05,7.128437e-05,7.121960e-05,7.118879e-05,7.109119e-05,7.095957e-05,7.082506e-05,7.068800e-05,7.054867e-05,7.040735e-05,7.026431e-05,7.011979e-05,6.997401e-05,6.982718e-05,6.967951e-05,6.953117e-05,6.938235e-05,6.923320e-05,6.908387e-05,6.893450e-05,6.878523e-05,6.863618e-05,6.848746e-05,6.833917e-05,6.819142e-05,6.804430e-05,6.789788e-05,6.775225e-05,6.760749e-05
0.000000e+00,1.262787e-05,2.851326e-05,9.543894e-05,2.119334e-04,3.050676e-04,6.679065e-04,6.869863e-04,1.279270e-03,1.487480e-03,2.115740e-03,2.747903e-03,3.227452e-03,4.515258e-03,4.639650e-03,6.360183e-03,6.817077e-03,8.365277e-03,9.593599e-03,1.060294e-02,1.271707e-02,1.301367e-02,1.554500e-02,1.606180e-02,1.815366e-02,1.952838e-02,2.080301e-02,2.303609e-02,2.346061e-02,2.609695e-02,2.651496e-02,2.868515e-02,2.990317e-02,3.120102e-02,3.314735e-02,3.362346e-02,3.593469e-02,3.620386e-02,3.812054e-02,3.903973e-02,4.017038e-02,4.163275e-02,4.207703e-02,4.383671e-02,4.397109e-02,4.544841e-02,4.605188e-02,4.691349e-02,4.787948e-02,4.823549e-02,4.941963e-02,4.946421e-02,5.047232e-02,5.082051e-02,5.140094e-02,5.196555e-02,5.221339e-02,5.291782e-02,5.352250e-02,5.369630e-02,5.403576e-02,5.432000e-02,5.446564e-02,5.480699e-02,5.481980e-02,5.510551e-02,5.517418e-02,5.532956e-02,5.543705e-02,5.549827e-02,5.560958e-02,5.561742e-02,5.569234e-02,5.570428e-02,5.572787e-02,5.573222e-02,5.572841e-02,5.570311e-02,5.569794e-02,5.564002e-02,5.562543e-02,5.555788e-02,5.550656e-02,5.545439e-02,5.535286e-02,5.533214e-02,5.519342e-02,5.516984e-02,5.504031e-02,5.496224e-02,5.487462e-02,5.473414e-02,5.469801e-02,5.451194e-02,5.448904e-02,5.431771e-02,5.422997e-02,5.411649e-02,5.395953e-02,5.390932e-02,5.369713e-02,5.367996e-02,5.348074e-02,5.339319e-02,5.326091e-02,5.310088e-02,5.303830e-02,5.281351e-02,5.280448e-02,5.258706e-02,5.250523e-02,5.235944e-02,5.220422e-02,5.213109e-02,5.190239e-02,5.167369e-02,5.160055e-02,5.144529e-02,5.129942e-02,5.121750e-02,5.099961e-02,5.099055e-02,5.076468e-02,5.070166e-02,5.054010e-02,5.040604e-02,5.031698e-02,5.011315e-02,5.009549e-02,4.987579e-02,4.982334e-02,4.965801e-02,4.953693e-02,4.944225e-02,4.925416e-02,4.922864e-02,4.901727e-02,4.897527e-02,4.880822e-02,4.870045e-02,4.860155e-02,4.842986e-02,4.839735e-02,4.819567e-02,4.816363e-02,4.799654e-02,4.790189e-02,4.780002e-02,4.764471e-02,4.760615e-02,4.741494e-02,4.739217e-02,4.722642e-02,4.714433e-02,4.704062e-02,4.690123e-02,4.685754e-02,4.667720e-02,4.666289e-02,4.649960e-02,4.642933e-02,4.632475e-02,4.620055e-02,4.615264e-02,4.598326e-02,4.597654e-02,4.581662e-02,4.575730e-02,4.565270e-02,4.554279e-02,4.549150e-02,4.533298e-02,4.512785e-02,4.492734e-02,4.473141e-02,4.454001e-02,4.435308e-02,4.417056e-02,4.399240e-02,4.381852e-02,4.364887e-02,4.348336e-02,4.332194e-02,4.316453e-02,4.301106e-02,4.286145e-02,4.271564e-02,4.257354e-02,4.243509e-02,4.230021e-02,4.216882e-02,4.204086e-02,4.191624e-02,4.179490e-02,4.167676e-02,4.156175e-02
0.000000e+00,4.656741e-09,1.059406e-08,3.615564e-08,8.224739e-08,1.203755e-07,2.789109e-07,2.876733e-07,5.798775e-07,6.914772e-07,1.052920e-06,1.446545e-06,1.758186e-06,2.613529e-06,2.695928e-06,3.808507e-06,4.094000e-06,5.031800e-06,5.748267e-06,6.322555e-06,7.493342e-06,7.654792e-06,9.011677e-06,9.284850e-06,1.038045e-05,1.109321e-05,1.175007e-05,1.289364e-05,1.311022e-05,1.445118e-05,1.466333e-05,1.576387e-05,1.638148e-05,1.704012e-05,1.803005e-05,1.827280e-05,1.945598e-05,1.959440e-05,2.058498e-05,2.106366e-05,2.165639e-05,2.243072e-05,2.266796e-05,2.361853e-05,2.369193e-05,2.450787e-05,2.484657e-05,2.533656e-05,2.589633e-05,2.610583e-05,2.681741e-05,2.684471e-05,2.747343e-05,2.769645e-05,2.807631e-05,2.845728e-05,2.862873e-05,2.913346e-05,2.959320e-05,2.973125e-05,3.001063e-05,3.025686e-05,3.038850e-05,3.071645e-05,3.072941e-05,3.103587e-05,3.111584e-05,3.131029e-05,3.146052e-05,3.155494e-05,3.175557e-05,3.177196e-05,3.196334e-05,3.200567e-05,3.213098e-05,3.221515e-05,3.227664e-05,3.238794e-05,3.240195e-05,3.250843e-05,3.252760e-05,3.259749e-05,3.263736e-05,3.267044e-05,3.272015e-05,3.272848e-05,3.277275e-05,3.277862e-05,3.280426e-05,3.281515e-05,3.282399e-05,3.283189e-05,3.283283e-05,3.283159e-05,3.283080e-05,3.282103e-05,3.281361e-05,3.280186e-05,3.278193e-05,3.277473e-05,3.274025e-05,3.273719e-05,3.269897e-05,3.268067e-05,3.265141e-05,3.261356e-05,3.259806e-05,3.253936e-05,3.253691e-05,3.247573e-05,3.245169e-05,3.240755e-05,3.235877e-05,3.233518e-05,3.225895e-05,3.217918e-05,3.215296e-05,3.209616e-05,3.204144e-05,3.201014e-05,3.192499e-05,3.192139e-05,3.183015e-05,3.180418e-05,3.173661e-05,3.167949e-05,3.164100e-05,3.155137e-05,3.154351e-05,3.144431e-05,3.142026e-05,3.134356e-05,3.128653e-05,3.124144e-05,3.115053e-05,3.113807e-05,3.103360e-05,3.101259e-05,3.092816e-05,3.087299e-05,3.082187e-05,3.073201e-05,3.071484e-05,3.060717e-05,3.058989e-05,3.049897e-05,3.044687e-05,3.039033e-05,3.030315e-05,3.028133e-05,3.017206e-05,3.015893e-05,3.006260e-05,3.001439e-05,2.995301e-05,2.986968e-05,2.984336e-05,2.973373e-05,2.972496e-05,2.962416e-05,2.958036e-05,2.951471e-05,2.943602e-05,2.940544e-05,2.929640e-05,2.929204e-05,2.918763e-05,2.914854e-05,2.907917e-05,2.900562e-05,2.897107e-05,2.886336e-05,2.872185e-05,2.858116e-05,2.844136e-05,2.830252e-05,2.816469e-05,2.802792e-05,2.789227e-05,2.775778e-05,2.762448e-05,2.749242e-05,2.736161e-05,2.723210e-05,2.710390e-05,2.697704e-05,2.685154e-05,2.672741e-05,2.660466e-05,2.648332e-05,2.636339e-05,2.624488e-05,2.612779e-05,2.601213e-05,2.589790e-05,2.578511e-05
0.000000e+00,2.344011e-09,5.323130e-09,1.804922e-08,4.062519e-08,5.896711e-08,1.324156e-07,1.363569e-07,2.621843e-07,3.079062e-07,4.500364e-07,5.985390e-07,7.141395e-07,1.032611e-06,1.063732e-06,1.494979e-06,1.608987e-06,1.992077e-06,2.292397e-06,2.537083e-06,3.044802e-06,3.115615e-06,3.716930e-06,3.839156e-06,4.332565e-06,4.655933e-06,4.955329e-06,5.479254e-06,5.578814e-06,6.197226e-06,6.295346e-06,6.805383e-06,7.092301e-06,7.398761e-06,7.860235e-06,7.973546e-06,8.526653e-06,8.591450e-06,9.055724e-06,9.280446e-06,9.559085e-06,9.923779e-06,1.003569e-05,1.048504e-05,1.051980e-05,1.090710e-05,1.106836e-05,1.130224e-05,1.157042e-05,1.167110e-05,1.201459e-05,1.202781e-05,1.233375e-05,1.244291e-05,1.262974e-05,1.281840e-05,1.290379e-05,1.315717e-05,1.339114e-05,1.346212e-05,1.360694e-05,1.373606e-05,1.380576e-05,1.398173e-05,1.398876e-05,1.415705e-05,1.420167e-05,1.431164e-05,1.439824e-05,1.445353e-05,1.457362e-05,1.458361e-05,1.470274e-05,1.472979e-05,1.481171e-05,1.486856e-05,1.491123e-05,1.499155e-05,1.500200e-05,1.508462e-05,1.510021e-05,1.515967e-05,1.519588e-05,1.522767e-05,1.527972e-05,1.528913e-05,1.534449e-05,1.535281e-05,1.539416e-05,1.541609e-05,1.543852e-05,1.547043e-05,1.547793e-05,1.551273e-05,1.551661e-05,1.554320e-05,1.555531e-05,1.556963e-05,1.558717e-05,1.559228e-05,1.561138e-05,1.561276e-05,1.562717e-05,1.563260e-05,1.563984e-05,1.564714e-05,1.564959e-05,1.565660e-05,1.565682e-05,1.566103e-05,1.566203e-05,1.566305e-05,1.566311e-05,1.566279e-05,1.566039e-05,1.565598e-05,1.565416e-05,1.564967e-05,1.564470e-05,1.564159e-05,1.563225e-05,1.563183e-05,1.562050e-05,1.561705e-05,1.560767e-05,1.559930e-05,1.559345e-05,1.557921e-05,1.557792e-05,1.556115e-05,1.555695e-05,1.554321e-05,1.553268e-05,1.552418e-05,1.550657e-05,1.550411e-05,1.548308e-05,1.547876e-05,1.546114e-05,1.544938e-05,1.543834e-05,1.541857e-05,1.541474e-05,1.539039e-05,1.538643e-05,1.536533e-05,1.535307e-05,1.533962e-05,1.531860e-05,1.531328e-05,1.528638e-05,1.528311e-05,1.525893e-05,1.524669e-05,1.523098e-05,1.520943e-05,1.520257e-05,1.517373e-05,1.517140e-05,1.514448e-05,1.513268e-05,1.511487e-05,1.509333e-05,1.508491e-05,1.505464e-05,1.505342e-05,1.502408e-05,1.501301e-05,1.499326e-05,1.497216e-05,1.496220e-05,1.493092e-05,1.488935e-05,1.484748e-05,1.480536e-05,1.476304e-05,1.472056e-05,1.467795e-05,1.463524e-05,1.459248e-05,1.454968e-05,1.450689e-05,1.446412e-05,1.442140e-05,1.437876e-05,1.433622e-05,1.429380e-05,1.425152e-05,1.420940e-05,1.416746e-05,1.412571e-05,1.408416e-05,1.404284e-05,1.400176e-05,1.396092e-05,1.392034e-05
0.000000e+00,5.999406e-09,1.371173e-08,4.708558e-08,1.070962e-07,1.562508e-07,3.546270e-07,3.653060e-07,7.063459e-07,8.300137e-07,1.212872e-06,1.610486e-06,1.918902e-06,2.769162e-06,2.852641e-06,4.024638e-06,4.340422e-06,5.423080e-06,6.296275e-06,7.023906e-06,8.579842e-06,8.801735e-06,1.073318e-05,1.113596e-05,1.279635e-05,1.391419e-05,1.497001e-05,1.686596e-05,1.723324e-05,1.956561e-05,1.994388e-05,2.194743e-05,2.310278e-05,2.436018e-05,2.630113e-05,2.678680e-05,2.921192e-05,2.950217e-05,3.162197e-05,3.267452e-05,3.400520e-05,3.579232e-05,3.635164e-05,3.865300e-05,3.883495e-05,4.090253e-05,4.178657e-05,4.309481e-05,4.463537e-05,4.522560e-05,4.729172e-05,4.737298e-05,4.929089e-05,4.999388e-05,5.122156e-05,5.249480e-05,5.308282e-05,5.487429e-05,5.659603e-05,5.713232e-05,5.824845e-05,5.926993e-05,5.983224e-05,6.128900e-05,6.134836e-05,6.279792e-05,6.319204e-05,6.418220e-05,6.498201e-05,6.550259e-05,6.666220e-05,6.676058e-05,6.795771e-05,6.823615e-05,6.909559e-05,6.970752e-05,7.017584e-05,7.108011e-05,7.120013e-05,7.217012e-05,7.235774e-05,7.308747e-05,7.354425e-05,7.395387e-05,7.464346e-05,7.477095e-05,7.554036e-05,7.565915e-05,7.626373e-05,7.659506e-05,7.694264e-05,7.745483e-05,7.757868e-05,7.817338e-05,7.824204e-05,7.872826e-05,7.896018e-05,7.924481e-05,7.961264e-05,7.972447e-05,8.016866e-05,8.020271e-05,8.057877e-05,8.073358e-05,8.095615e-05,8.120832e-05,8.130210e-05,8.161791e-05,8.162993e-05,8.190482e-05,8.200126e-05,8.216404e-05,8.232509e-05,8.239674e-05,8.260406e-05,8.278712e-05,8.284074e-05,8.294697e-05,8.303757e-05,8.308465e-05,8.319691e-05,8.320118e-05,8.329751e-05,8.332100e-05,8.337460e-05,8.341200e-05,8.343335e-05,8.347196e-05,8.347464e-05,8.349932e-05,8.350286e-05,8.350820e-05,8.350657e-05,8.350208e-05,8.348489e-05,8.348172e-05,8.344785e-05,8.343952e-05,8.340119e-05,8.337210e-05,8.334241e-05,8.328416e-05,8.327218e-05,8.319112e-05,8.317718e-05,8.309984e-05,8.305257e-05,8.299894e-05,8.291166e-05,8.288896e-05,8.277047e-05,8.275570e-05,8.264396e-05,8.258590e-05,8.250995e-05,8.240338e-05,8.236892e-05,8.222132e-05,8.220924e-05,8.206759e-05,8.200448e-05,8.190816e-05,8.179007e-05,8.174343e-05,8.157380e-05,8.156692e-05,8.139963e-05,8.133589e-05,8.122128e-05,8.109779e-05,8.103910e-05,8.085340e-05,8.060342e-05,8.034855e-05,8.008943e-05,7.982664e-05,7.956077e-05,7.929234e-05,7.902185e-05,7.874976e-05,7.847652e-05,7.820252e-05,7.792816e-05,7.765378e-05,7.737972e-05,7.710628e-05,7.683375e-05,7.656239e-05,7.629246e-05,7.602417e-05,7.575773e-05,7.549333e-05,7.523116e-05,7.497137e-05,7.471411e-05,7.445951e-05
0.000000e+00,1.129599e-08,2.554878e-08,8.595986e-08,1.923414e-07,2.784612e-07,6.229007e-07,6.414041e-07,1.234782e-06,1.451746e-06,2.129071e-06,2.835546e-06,3.379375e-06,4.829731e-06,4.967317e-06,6.807553e-06,7.276994e-06,8.817928e-06,9.997007e-06,1.094440e-05,1.288322e-05,1.315134e-05,1.541094e-05,1.586694e-05,1.769793e-05,1.888983e-05,1.998778e-05,2.189594e-05,2.225658e-05,2.448164e-05,2.483218e-05,2.664231e-05,2.765118e-05,2.872065e-05,3.031402e-05,3.070190e-05,3.257470e-05,3.279173e-05,3.433107e-05,3.506566e-05,3.596626e-05,3.712670e-05,3.747838e-05,3.886801e-05,3.897395e-05,4.013774e-05,4.061295e-05,4.129176e-05,4.205399e-05,4.233545e-05,4.327496e-05,4.331047e-05,4.411696e-05,4.439753e-05,4.486833e-05,4.533103e-05,4.553599e-05,4.612671e-05,4.664699e-05,4.679963e-05,4.710303e-05,4.736387e-05,4.750061e-05,4.783226e-05,4.784509e-05,4.814143e-05,4.821641e-05,4.839417e-05,4.852663e-05,4.860744e-05,4.877201e-05,4.878498e-05,4.893019e-05,4.896057e-05,4.904611e-05,4.909927e-05,4.913550e-05,4.919421e-05,4.920086e-05,4.924439e-05,4.925066e-05,4.926812e-05,4.927324e-05,4.927385e-05,4.926593e-05,4.926319e-05,4.923761e-05,4.923222e-05,4.919842e-05,4.917514e-05,4.914683e-05,4.909736e-05,4.908392e-05,4.901066e-05,4.900121e-05,4.892794e-05,4.888876e-05,4.883658e-05,4.876182e-05,4.873732e-05,4.863083e-05,4.862201e-05,4.851773e-05,4.847077e-05,4.839859e-05,4.830937e-05,4.827395e-05,4.814427e-05,4.813898e-05,4.801000e-05,4.796062e-05,4.787156e-05,4.777523e-05,4.772933e-05,4.758365e-05,4.743487e-05,4.738665e-05,4.728328e-05,4.718492e-05,4.712916e-05,4.697909e-05,4.697279e-05,4.681441e-05,4.676974e-05,4.665425e-05,4.655739e-05,4.649253e-05,4.634253e-05,4.632944e-05,4.616518e-05,4.612560e-05,4.599992e-05,4.590700e-05,4.583383e-05,4.568710e-05,4.566706e-05,4.549976e-05,4.546624e-05,4.533206e-05,4.524474e-05,4.516409e-05,4.502287e-05,4.499597e-05,4.482781e-05,4.480091e-05,4.465972e-05,4.457909e-05,4.449179e-05,4.435763e-05,4.432412e-05,4.415679e-05,4.413674e-05,4.398989e-05,4.391661e-05,4.382349e-05,4.369740e-05,4.365765e-05,4.349246e-05,4.347927e-05,4.332796e-05,4.326237e-05,4.316422e-05,4.304683e-05,4.300129e-05,4.283923e-05,4.283276e-05,4.267807e-05,4.262028e-05,4.251786e-05,4.240948e-05,4.235865e-05,4.220046e-05,4.199329e-05,4.178805e-05,4.158480e-05,4.138360e-05,4.118450e-05,4.098755e-05,4.079280e-05,4.060027e-05,4.041000e-05,4.022201e-05,4.003633e-05,3.985297e-05,3.967194e-05,3.949327e-05,3.931695e-05,3.914300e-05,3.897141e-05,3.880219e-05,3.863532e-05,3.847082e-05,3.830867e-05,3.814886e-05,3.799138e-05,3.783622e-05
0.000000e+00,9.721244e-08,2.193340e-07,7.329687e-07,1.625200e-06,2.337421e-06,5.105887e-06,5.251241e-06,9.754692e-06,1.133432e-05,1.609155e-05,2.086699e-05,2.448427e-05,3.419463e-05,3.513371e-05,4.819110e-05,5.169061e-05,6.368866e-05,7.337635e-05,8.144506e-05,9.859907e-05,1.010260e-04,1.218322e-04,1.260857e-04,1.432557e-04,1.544647e-04,1.647836e-04,1.826574e-04,1.860234e-04,2.066840e-04,2.099207e-04,2.265497e-04,2.357540e-04,2.454598e-04,2.598187e-04,2.632952e-04,2.799705e-04,2.818906e-04,2.954293e-04,3.018370e-04,3.096408e-04,3.196017e-04,3.225970e-04,3.343099e-04,3.351940e-04,3.448086e-04,3.486774e-04,3.541365e-04,3.601576e-04,3.623475e-04,3.695032e-04,3.697684e-04,3.756711e-04,3.776633e-04,3.809220e-04,3.840054e-04,3.853276e-04,3.889591e-04,3.918862e-04,3.926851e-04,3.941757e-04,3.953357e-04,3.958909e-04,3.970523e-04,3.970912e-04,3.978318e-04,3.979639e-04,3.981639e-04,3.981865e-04,3.981338e-04,3.978228e-04,3.977840e-04,3.971526e-04,3.969631e-04,3.962743e-04,3.956862e-04,3.951799e-04,3.940603e-04,3.938972e-04,3.924510e-04,3.921440e-04,3.908630e-04,3.899879e-04,3.891531e-04,3.876352e-04,3.873385e-04,3.854346e-04,3.851226e-04,3.834552e-04,3.824818e-04,3.814123e-04,3.797395e-04,3.793166e-04,3.771777e-04,3.769185e-04,3.750039e-04,3.740384e-04,3.728027e-04,3.711156e-04,3.705808e-04,3.683438e-04,3.681644e-04,3.660971e-04,3.651968e-04,3.638453e-04,3.622231e-04,3.615924e-04,3.593420e-04,3.592521e-04,3.570973e-04,3.562912e-04,3.548613e-04,3.533471e-04,3.526364e-04,3.504250e-04,3.482289e-04,3.475296e-04,3.460499e-04,3.446651e-04,3.438896e-04,3.418346e-04,3.417494e-04,3.396304e-04,3.390410e-04,3.375337e-04,3.362868e-04,3.354603e-04,3.335739e-04,3.334109e-04,3.313862e-04,3.309040e-04,3.293868e-04,3.282784e-04,3.274132e-04,3.256981e-04,3.254658e-04,3.235450e-04,3.231641e-04,3.216510e-04,3.206769e-04,3.197841e-04,3.182370e-04,3.179444e-04,3.161321e-04,3.158447e-04,3.143471e-04,3.135001e-04,3.125896e-04,3.112033e-04,3.108595e-04,3.091567e-04,3.089542e-04,3.074812e-04,3.067526e-04,3.058329e-04,3.045983e-04,3.042116e-04,3.026172e-04,3.024908e-04,3.010494e-04,3.004298e-04,2.995082e-04,2.984148e-04,2.979932e-04,2.965043e-04,2.964453e-04,2.950411e-04,2.945207e-04,2.936035e-04,2.926404e-04,2.921912e-04,2.908038e-04,2.890102e-04,2.872589e-04,2.855493e-04,2.838806e-04,2.822520e-04,2.806629e-04,2.791124e-04,2.775999e-04,2.761245e-04,2.746854e-04,2.732821e-04,2.719136e-04,2.705792e-04,2.692782e-04,2.680098e-04,2.667734e-04,2.655681e-04,2.643932e-04,2.632481e-04,2.621320e-04,2.610442e-04,2.599842e-04,2.589511e-04,2.579444e-04
0.000000e+00,4.236997e-09,9.652055e-09,3.290360e-08,7.428172e-08,1.078849e-07,2.415736e-07,2.486963e-07,4.729443e-07,5.529099e-07,7.967254e-07,1.044989e-06,1.234868e-06,1.750626e-06,1.800908e-06,2.506695e-06,2.697979e-06,3.361478e-06,3.907374e-06,4.370379e-06,5.385031e-06,5.532321e-06,6.838014e-06,7.114949e-06,8.269291e-06,9.054992e-06,9.800928e-06,1.114427e-05,1.140450e-05,1.305233e-05,1.331839e-05,1.471983e-05,1.552100e-05,1.638630e-05,1.770718e-05,1.803472e-05,1.965121e-05,1.984249e-05,2.122458e-05,2.190083e-05,2.274588e-05,2.386284e-05,2.420806e-05,2.560578e-05,2.571469e-05,2.693516e-05,2.744715e-05,2.819359e-05,2.905486e-05,2.937960e-05,3.049267e-05,3.053568e-05,3.153309e-05,3.189003e-05,3.250183e-05,3.312037e-05,3.340038e-05,3.423071e-05,3.499507e-05,3.522614e-05,3.569600e-05,3.611255e-05,3.633620e-05,3.689626e-05,3.691847e-05,3.744569e-05,3.758384e-05,3.792074e-05,3.818193e-05,3.834649e-05,3.869706e-05,3.872576e-05,3.906128e-05,3.913559e-05,3.935572e-05,3.950363e-05,3.961167e-05,3.980704e-05,3.983161e-05,4.001792e-05,4.005135e-05,4.017287e-05,4.024176e-05,4.029859e-05,4.038312e-05,4.039714e-05,4.047046e-05,4.047997e-05,4.052037e-05,4.053653e-05,4.054861e-05,4.055668e-05,4.055679e-05,4.054645e-05,4.054404e-05,4.051904e-05,4.050192e-05,4.047590e-05,4.043339e-05,4.041832e-05,4.034748e-05,4.034128e-05,4.026451e-05,4.022815e-05,4.017043e-05,4.009637e-05,4.006622e-05,3.995279e-05,3.994808e-05,3.983099e-05,3.978525e-05,3.970162e-05,3.960970e-05,3.956541e-05,3.942307e-05,3.927523e-05,3.922686e-05,3.912251e-05,3.902245e-05,3.896545e-05,3.881108e-05,3.880458e-05,3.864039e-05,3.859388e-05,3.847333e-05,3.837188e-05,3.830381e-05,3.814602e-05,3.813223e-05,3.795895e-05,3.791714e-05,3.778429e-05,3.768601e-05,3.760859e-05,3.745332e-05,3.743211e-05,3.725513e-05,3.721970e-05,3.707789e-05,3.698570e-05,3.690062e-05,3.675184e-05,3.672352e-05,3.654679e-05,3.651856e-05,3.637061e-05,3.628628e-05,3.619513e-05,3.605536e-05,3.602051e-05,3.584688e-05,3.582611e-05,3.567436e-05,3.559884e-05,3.550307e-05,3.537378e-05,3.533312e-05,3.516459e-05,3.515117e-05,3.499757e-05,3.493120e-05,3.483213e-05,3.471404e-05,3.466835e-05,3.450629e-05,3.449984e-05,3.434600e-05,3.428873e-05,3.418752e-05,3.408082e-05,3.403090e-05,3.387618e-05,3.367491e-05,3.347706e-05,3.328268e-05,3.309180e-05,3.290445e-05,3.272065e-05,3.254040e-05,3.236371e-05,3.219056e-05,3.202094e-05,3.185484e-05,3.169222e-05,3.153306e-05,3.137733e-05,3.122499e-05,3.107600e-05,3.093032e-05,3.078791e-05,3.064872e-05,3.051270e-05,3.037980e-05,3.024998e-05,3.012317e-05,2.999933e-05
0.000000e+00,4.499010e-09,1.023988e-08,3.486789e-08,7.872847e-08,1.144271e-07,2.574221e-07,2.650885e-07,5.091245e-07,5.974202e-07,8.707187e-07,1.154955e-06,1.375913e-06,1.987367e-06,2.047551e-06,2.893494e-06,3.121283e-06,3.899808e-06,4.523773e-06,5.040526e-06,6.135382e-06,6.290414e-06,7.628999e-06,7.905839e-06,9.039499e-06,9.796418e-06,1.050710e-05,1.177380e-05,1.201787e-05,1.355830e-05,1.380663e-05,1.511525e-05,1.586471e-05,1.667607e-05,1.791948e-05,1.822885e-05,1.976258e-05,1.994487e-05,2.126743e-05,2.191815e-05,2.273480e-05,2.382038e-05,2.415738e-05,2.552928e-05,2.563669e-05,2.684584e-05,2.735616e-05,2.810362e-05,2.897146e-05,2.930027e-05,3.043447e-05,3.047853e-05,3.150572e-05,3.187598e-05,3.251426e-05,3.316467e-05,3.346095e-05,3.434713e-05,3.517450e-05,3.542717e-05,3.594510e-05,3.640950e-05,3.666113e-05,3.729939e-05,3.732497e-05,3.793906e-05,3.810243e-05,3.850588e-05,3.882432e-05,3.902793e-05,3.947079e-05,3.950767e-05,3.994751e-05,4.004739e-05,4.034976e-05,4.055944e-05,4.071666e-05,4.101198e-05,4.105034e-05,4.135286e-05,4.140979e-05,4.162615e-05,4.175733e-05,4.187206e-05,4.205873e-05,4.209231e-05,4.228855e-05,4.231783e-05,4.246232e-05,4.253818e-05,4.261507e-05,4.272305e-05,4.274815e-05,4.286285e-05,4.287543e-05,4.296034e-05,4.299809e-05,4.304177e-05,4.309354e-05,4.310816e-05,4.316051e-05,4.316412e-05,4.319973e-05,4.321193e-05,4.322667e-05,4.323893e-05,4.324215e-05,4.324691e-05,4.324689e-05,4.324166e-05,4.323745e-05,4.322706e-05,4.321210e-05,4.320372e-05,4.317222e-05,4.313310e-05,4.311906e-05,4.308688e-05,4.305378e-05,4.303401e-05,4.297743e-05,4.297496e-05,4.291013e-05,4.289100e-05,4.283993e-05,4.279538e-05,4.276471e-05,4.269139e-05,4.268483e-05,4.260061e-05,4.257979e-05,4.251236e-05,4.246128e-05,4.242035e-05,4.233651e-05,4.232487e-05,4.222617e-05,4.220606e-05,4.212448e-05,4.207050e-05,4.202004e-05,4.193032e-05,4.191304e-05,4.180370e-05,4.178600e-05,4.169221e-05,4.163797e-05,4.157873e-05,4.148663e-05,4.146344e-05,4.134649e-05,4.133235e-05,4.122804e-05,4.117548e-05,4.110822e-05,4.101633e-05,4.098717e-05,4.086502e-05,4.085520e-05,4.074187e-05,4.069236e-05,4.061785e-05,4.052807e-05,4.049306e-05,4.036760e-05,4.036257e-05,4.024156e-05,4.019606e-05,4.011504e-05,4.002877e-05,3.998811e-05,3.986086e-05,3.969253e-05,3.952392e-05,3.935520e-05,3.918650e-05,3.901796e-05,3.884969e-05,3.868180e-05,3.851440e-05,3.834759e-05,3.818145e-05,3.801606e-05,3.785151e-05,3.768785e-05,3.752517e-05,3.736351e-05,3.720293e-05,3.704348e-05,3.688521e-05,3.672816e-05,3.657237e-05,3.641787e-05,3.626469e-05,3.611287e-05,3.596243e-05
0.000000e+00,4.384663e-09,1.001108e-08,3.430537e-08,7.787948e-08,1.135088e-07,2.569937e-07,2.647088e-07,5.109035e-07,6.001578e-07,8.767056e-07,1.164638e-06,1.388734e-06,2.011107e-06,2.072623e-06,2.944419e-06,3.181806e-06,4.002470e-06,4.670636e-06,5.230744e-06,6.436248e-06,6.608890e-06,8.117976e-06,8.434004e-06,9.741278e-06,1.062540e-05,1.146342e-05,1.297553e-05,1.326955e-05,1.514498e-05,1.545049e-05,1.707500e-05,1.801653e-05,1.904510e-05,2.064048e-05,2.104109e-05,2.304938e-05,2.329059e-05,2.505719e-05,2.593739e-05,2.705272e-05,2.855451e-05,2.902531e-05,3.096549e-05,3.111905e-05,3.286505e-05,3.361189e-05,3.471698e-05,3.601756e-05,3.651546e-05,3.825578e-05,3.832413e-05,3.993427e-05,4.052282e-05,4.154812e-05,4.260761e-05,4.309541e-05,4.457494e-05,4.598619e-05,4.642335e-05,4.732917e-05,4.815305e-05,4.860434e-05,4.976541e-05,4.981246e-05,5.095459e-05,5.126274e-05,5.203205e-05,5.264810e-05,5.304634e-05,5.392514e-05,5.399914e-05,5.489229e-05,5.509798e-05,5.572772e-05,5.617108e-05,5.650741e-05,5.714904e-05,5.723339e-05,5.790774e-05,5.803660e-05,5.853257e-05,5.883865e-05,5.911016e-05,5.956057e-05,5.964287e-05,6.013265e-05,6.020715e-05,6.058138e-05,6.078277e-05,6.099101e-05,6.129178e-05,6.136335e-05,6.170016e-05,6.173828e-05,6.200320e-05,6.212627e-05,6.227415e-05,6.245959e-05,6.251461e-05,6.272614e-05,6.274186e-05,6.291025e-05,6.297654e-05,6.306838e-05,6.316694e-05,6.320194e-05,6.331226e-05,6.331620e-05,6.340062e-05,6.342730e-05,6.346827e-05,6.350304e-05,6.351638e-05,6.354608e-05,6.355847e-05,6.355894e-05,6.355456e-05,6.354398e-05,6.353537e-05,6.350343e-05,6.350183e-05,6.345485e-05,6.343940e-05,6.339529e-05,6.335387e-05,6.332399e-05,6.324868e-05,6.324171e-05,6.314923e-05,6.312559e-05,6.304724e-05,6.298622e-05,6.293642e-05,6.283212e-05,6.281743e-05,6.269088e-05,6.266471e-05,6.255734e-05,6.248534e-05,6.241739e-05,6.229525e-05,6.227154e-05,6.212030e-05,6.209563e-05,6.196414e-05,6.188756e-05,6.180351e-05,6.167207e-05,6.163883e-05,6.147052e-05,6.145009e-05,6.129895e-05,6.122252e-05,6.112449e-05,6.099017e-05,6.094748e-05,6.076824e-05,6.075381e-05,6.058708e-05,6.051414e-05,6.040428e-05,6.027181e-05,6.022012e-05,6.003486e-05,6.002743e-05,5.984873e-05,5.978156e-05,5.966197e-05,5.953472e-05,5.947478e-05,5.928737e-05,5.903997e-05,5.879290e-05,5.854654e-05,5.830122e-05,5.805725e-05,5.781491e-05,5.757446e-05,5.733613e-05,5.710011e-05,5.686661e-05,5.663579e-05,5.640779e-05,5.618276e-05,5.596080e-05,5.574201e-05,5.552650e-05,5.531432e-05,5.510555e-05,5.490024e-05,5.469843e-05,5.450016e-05,5.430545e-05,5.411432e-05,5.392678e-05
0.000000e+00,6.139235e-07,1.376325e-06,4.540115e-06,9.952602e-06,1.422774e-05,3.061965e-05,3.147302e-05,5.767382e-05,6.677790e-05,9.399627e-05,1.210681e-04,1.414283e-04,1.955009e-04,2.006854e-04,2.719237e-04,2.907349e-04,3.542618e-04,4.044063e-04,4.453509e-04,5.298477e-04,5.415184e-04,6.386824e-04,6.579117e-04,7.333809e-04,7.808166e-04,8.232318e-04,8.939138e-04,9.068352e-04,9.834925e-04,9.950918e-04,1.052953e-03,1.083737e-03,1.115242e-03,1.160041e-03,1.170561e-03,1.219226e-03,1.224637e-03,1.261630e-03,1.278416e-03,1.298214e-03,1.322415e-03,1.329449e-03,1.355813e-03,1.357726e-03,1.377782e-03,1.385442e-03,1.395815e-03,1.406608e-03,1.410349e-03,1.421791e-03,1.422190e-03,1.430515e-03,1.433056e-03,1.436859e-03,1.439970e-03,1.441128e-03,1.443591e-03,1.444489e-03,1.444481e-03,1.444032e-03,1.443113e-03,1.442402e-03,1.439882e-03,1.439759e-03,1.436241e-03,1.435116e-03,1.431969e-03,1.429087e-03,1.427045e-03,1.422018e-03,1.421561e-03,1.415593e-03,1.414097e-03,1.409210e-03,1.405476e-03,1.402470e-03,1.396284e-03,1.395424e-03,1.388118e-03,1.386628e-03,1.380589e-03,1.376599e-03,1.372874e-03,1.366270e-03,1.365002e-03,1.356999e-03,1.355709e-03,1.348891e-03,1.344968e-03,1.340698e-03,1.334096e-03,1.332440e-03,1.324132e-03,1.323133e-03,1.315791e-03,1.312114e-03,1.307430e-03,1.301070e-03,1.299061e-03,1.290696e-03,1.290028e-03,1.282345e-03,1.279010e-03,1.274016e-03,1.268038e-03,1.265718e-03,1.257458e-03,1.257128e-03,1.249243e-03,1.246297e-03,1.241078e-03,1.235558e-03,1.232970e-03,1.224923e-03,1.216942e-03,1.214403e-03,1.209031e-03,1.204005e-03,1.201192e-03,1.193739e-03,1.193430e-03,1.185746e-03,1.183610e-03,1.178145e-03,1.173624e-03,1.170627e-03,1.163787e-03,1.163195e-03,1.155851e-03,1.154101e-03,1.148595e-03,1.144571e-03,1.141430e-03,1.135200e-03,1.134356e-03,1.127373e-03,1.125988e-03,1.120484e-03,1.116938e-03,1.113688e-03,1.108051e-03,1.106985e-03,1.100377e-03,1.099328e-03,1.093862e-03,1.090768e-03,1.087441e-03,1.082372e-03,1.081115e-03,1.074882e-03,1.074140e-03,1.068742e-03,1.066070e-03,1.062696e-03,1.058163e-03,1.056742e-03,1.050881e-03,1.050416e-03,1.045111e-03,1.042828e-03,1.039432e-03,1.035399e-03,1.033843e-03,1.028344e-03,1.028125e-03,1.022933e-03,1.021007e-03,1.017610e-03,1.014041e-03,1.012375e-03,1.007225e-03,1.000559e-03,9.940382e-04,9.876618e-04,9.814271e-04,9.753319e-04,9.693737e-04,9.635501e-04,9.578587e-04,9.522969e-04,9.468623e-04,9.415524e-04,9.363647e-04,9.312968e-04,9.263461e-04,9.215103e-04,9.167869e-04,9.121734e-04,9.076676e-04,9.032670e-04,8.989692e-04,8.947721e-04,8.906733e-04,8.866705e-04,8.827615e-04
0.000000e+00,2.600913e-09,5.932839e-09,2.028521e-08,4.593680e-08,6.684421e-08,1.505410e-07,1.550207e-07,2.969790e-07,3.480015e-07,5.047490e-07,6.660291e-07,7.903957e-07,1.131790e-06,1.165293e-06,1.637629e-06,1.765831e-06,2.208977e-06,2.570307e-06,2.873760e-06,3.528626e-06,3.622590e-06,4.445522e-06,4.618165e-06,5.333172e-06,5.817362e-06,6.276641e-06,7.105930e-06,7.267236e-06,8.296308e-06,8.463953e-06,9.355236e-06,9.871622e-06,1.043552e-05,1.130956e-05,1.152890e-05,1.262751e-05,1.275934e-05,1.372402e-05,1.420406e-05,1.481170e-05,1.562871e-05,1.588454e-05,1.693724e-05,1.702045e-05,1.796528e-05,1.836872e-05,1.896486e-05,1.966515e-05,1.993286e-05,2.086685e-05,2.090347e-05,2.176498e-05,2.207925e-05,2.262592e-05,2.318966e-05,2.344881e-05,2.423321e-05,2.497903e-05,2.520957e-05,2.568647e-05,2.611929e-05,2.635597e-05,2.696360e-05,2.698818e-05,2.758391e-05,2.774430e-05,2.814410e-05,2.846357e-05,2.866976e-05,2.912385e-05,2.916202e-05,2.962203e-05,2.972776e-05,3.005097e-05,3.027806e-05,3.045005e-05,3.077751e-05,3.082049e-05,3.116349e-05,3.122890e-05,3.148024e-05,3.163496e-05,3.177191e-05,3.199837e-05,3.203965e-05,3.228458e-05,3.232172e-05,3.250779e-05,3.260752e-05,3.271033e-05,3.285818e-05,3.289323e-05,3.305748e-05,3.307598e-05,3.320402e-05,3.326312e-05,3.333376e-05,3.342168e-05,3.344759e-05,3.354635e-05,3.355362e-05,3.363084e-05,3.366082e-05,3.370185e-05,3.374504e-05,3.376011e-05,3.380632e-05,3.380793e-05,3.384117e-05,3.385106e-05,3.386531e-05,3.387592e-05,3.387935e-05,3.388387e-05,3.387945e-05,3.387623e-05,3.386661e-05,3.385422e-05,3.384588e-05,3.381898e-05,3.381772e-05,3.378261e-05,3.377159e-05,3.374098e-05,3.371305e-05,3.369325e-05,3.364431e-05,3.363983e-05,3.358109e-05,3.356624e-05,3.351738e-05,3.347967e-05,3.344906e-05,3.338538e-05,3.337645e-05,3.329984e-05,3.328407e-05,3.321955e-05,3.317643e-05,3.313583e-05,3.306307e-05,3.304897e-05,3.295920e-05,3.294458e-05,3.286677e-05,3.282152e-05,3.277189e-05,3.269437e-05,3.267478e-05,3.257564e-05,3.256362e-05,3.247467e-05,3.242970e-05,3.237203e-05,3.229303e-05,3.226791e-05,3.216247e-05,3.215398e-05,3.205584e-05,3.201290e-05,3.194819e-05,3.187012e-05,3.183965e-05,3.173034e-05,3.172595e-05,3.162038e-05,3.158066e-05,3.150990e-05,3.143452e-05,3.139899e-05,3.128777e-05,3.114062e-05,3.099329e-05,3.084596e-05,3.069880e-05,3.055199e-05,3.040565e-05,3.025994e-05,3.011496e-05,2.997085e-05,2.982769e-05,2.968558e-05,2.954461e-05,2.940485e-05,2.926638e-05,2.912926e-05,2.899354e-05,2.885926e-05,2.872649e-05,2.859525e-05,2.846559e-05,2.833752e-05,2.821107e-05,2.808628e-05,2.796314e-05
0.000000e+00,2.432666e-09,5.556425e-09,1.905048e-08,4.324759e-08,6.301513e-08,1.423911e-07,1.466474e-07,2.818028e-07,3.304797e-07,4.802593e-07,6.346885e-07,7.539863e-07,1.082619e-06,1.114980e-06,1.574038e-06,1.699696e-06,2.138015e-06,2.500002e-06,2.806986e-06,3.477426e-06,3.574394e-06,4.430200e-06,4.611027e-06,5.363782e-06,5.876612e-06,6.365071e-06,7.251549e-06,7.424614e-06,8.533336e-06,8.714701e-06,9.682376e-06,1.024567e-05,1.086303e-05,1.182459e-05,1.206679e-05,1.328543e-05,1.343229e-05,1.451112e-05,1.505074e-05,1.573652e-05,1.666346e-05,1.695489e-05,1.816014e-05,1.825582e-05,1.934684e-05,1.981526e-05,2.051030e-05,2.133130e-05,2.164647e-05,2.275202e-05,2.279556e-05,2.382420e-05,2.420159e-05,2.486087e-05,2.554466e-05,2.586038e-05,2.682160e-05,2.774376e-05,2.803053e-05,2.862648e-05,2.917068e-05,2.946969e-05,3.024217e-05,3.027357e-05,3.103852e-05,3.124581e-05,3.176514e-05,3.218301e-05,3.245415e-05,3.305556e-05,3.310641e-05,3.372286e-05,3.386560e-05,3.430452e-05,3.461545e-05,3.485245e-05,3.530760e-05,3.536776e-05,3.585157e-05,3.594465e-05,3.630502e-05,3.652919e-05,3.672925e-05,3.706385e-05,3.712540e-05,3.749457e-05,3.755121e-05,3.783789e-05,3.799382e-05,3.815644e-05,3.839415e-05,3.845127e-05,3.872343e-05,3.875461e-05,3.897391e-05,3.907751e-05,3.920369e-05,3.936506e-05,3.941371e-05,3.960490e-05,3.961941e-05,3.977813e-05,3.984258e-05,3.993426e-05,4.003654e-05,4.007410e-05,4.019847e-05,4.020313e-05,4.030811e-05,4.034412e-05,4.040376e-05,4.046117e-05,4.048613e-05,4.055588e-05,4.061369e-05,4.062976e-05,4.066015e-05,4.068422e-05,4.069588e-05,4.072062e-05,4.072145e-05,4.073740e-05,4.074022e-05,4.074427e-05,4.074423e-05,4.074255e-05,4.073379e-05,4.073272e-05,4.071525e-05,4.070997e-05,4.069057e-05,4.067377e-05,4.065912e-05,4.062614e-05,4.062128e-05,4.057744e-05,4.056799e-05,4.052797e-05,4.050014e-05,4.047323e-05,4.042340e-05,4.041353e-05,4.034921e-05,4.033851e-05,4.028056e-05,4.024616e-05,4.020789e-05,4.014702e-05,4.013145e-05,4.005152e-05,4.004170e-05,3.996834e-05,3.993078e-05,3.988217e-05,3.981480e-05,3.979321e-05,3.970170e-05,3.969427e-05,3.960782e-05,3.956966e-05,3.951180e-05,3.944142e-05,3.941379e-05,3.931400e-05,3.930997e-05,3.921257e-05,3.917569e-05,3.910968e-05,3.903895e-05,3.900547e-05,3.890009e-05,3.875943e-05,3.861725e-05,3.847384e-05,3.832945e-05,3.818433e-05,3.803868e-05,3.789272e-05,3.774664e-05,3.760061e-05,3.745480e-05,3.730936e-05,3.716443e-05,3.702014e-05,3.687660e-05,3.673392e-05,3.659221e-05,3.645155e-05,3.631203e-05,3.617373e-05,3.603670e-05,3.590101e-05,3.576673e-05,3.563389e-05,3.550255e-05
0.000000e+00,5.022299e-08,1.145522e-07,3.915302e-07,8.860653e-07,1.288659e-06,2.895981e-06,2.981813e-06,5.691520e-06,6.660647e-06,9.622659e-06,1.264768e-05,1.496618e-05,2.128000e-05,2.189655e-05,3.056210e-05,3.291272e-05,4.106454e-05,4.776112e-05,5.342693e-05,6.577823e-05,6.756239e-05,8.327079e-05,8.657770e-05,1.002773e-04,1.095356e-04,1.182879e-04,1.339905e-04,1.370274e-04,1.562529e-04,1.593595e-04,1.757534e-04,1.851566e-04,1.953458e-04,2.109782e-04,2.148710e-04,2.341917e-04,2.364906e-04,2.531903e-04,2.614217e-04,2.717684e-04,2.855558e-04,2.898445e-04,3.073538e-04,3.087284e-04,3.242458e-04,3.308211e-04,3.404836e-04,3.517549e-04,3.560415e-04,3.709041e-04,3.714840e-04,3.850643e-04,3.899898e-04,3.985221e-04,4.072750e-04,4.112835e-04,4.233590e-04,4.347630e-04,4.382731e-04,4.455126e-04,4.520578e-04,4.556272e-04,4.647591e-04,4.651276e-04,4.740358e-04,4.764270e-04,4.823743e-04,4.871134e-04,4.901660e-04,4.968711e-04,4.974338e-04,5.042005e-04,5.057525e-04,5.104886e-04,5.138091e-04,5.163200e-04,5.210909e-04,5.217162e-04,5.266980e-04,5.276464e-04,5.312857e-04,5.335220e-04,5.354986e-04,5.387617e-04,5.393557e-04,5.428750e-04,5.434079e-04,5.460738e-04,5.475003e-04,5.489688e-04,5.510768e-04,5.515759e-04,5.539104e-04,5.541729e-04,5.559868e-04,5.568223e-04,5.578191e-04,5.590565e-04,5.594205e-04,5.608038e-04,5.609054e-04,5.619809e-04,5.623967e-04,5.629635e-04,5.635566e-04,5.637624e-04,5.643882e-04,5.644098e-04,5.648508e-04,5.649792e-04,5.651596e-04,5.652864e-04,5.653237e-04,5.653515e-04,5.652512e-04,5.651934e-04,5.650306e-04,5.648297e-04,5.646970e-04,5.642769e-04,5.642574e-04,5.637183e-04,5.635504e-04,5.630862e-04,5.626647e-04,5.623669e-04,5.616331e-04,5.615662e-04,5.606894e-04,5.604682e-04,5.597416e-04,5.591817e-04,5.587278e-04,5.577846e-04,5.576524e-04,5.565199e-04,5.562869e-04,5.553344e-04,5.546983e-04,5.540998e-04,5.530275e-04,5.528198e-04,5.514979e-04,5.512828e-04,5.501376e-04,5.494719e-04,5.487419e-04,5.476019e-04,5.473138e-04,5.458562e-04,5.456794e-04,5.443718e-04,5.437108e-04,5.428630e-04,5.417016e-04,5.413324e-04,5.397822e-04,5.396574e-04,5.382145e-04,5.375830e-04,5.366313e-04,5.354830e-04,5.350347e-04,5.334263e-04,5.333618e-04,5.318080e-04,5.312233e-04,5.301813e-04,5.290712e-04,5.285478e-04,5.269089e-04,5.247395e-04,5.225661e-04,5.203912e-04,5.182174e-04,5.160470e-04,5.138821e-04,5.117246e-04,5.095764e-04,5.074390e-04,5.053140e-04,5.032028e-04,5.011066e-04,4.990265e-04,4.969636e-04,4.949189e-04,4.928932e-04,4.908872e-04,4.889017e-04,4.869372e-04,4.849943e-04,4.830735e-04,4.811752e-04,4.792998e-04,4.774475e-04
0.000000e+00,3.029860e-09,6.906358e-09,2.359313e-08,5.343971e-08,7.781413e-08,1.759544e-07,1.812346e-07,3.500540e-07,4.114271e-07,6.020861e-07,8.010637e-07,9.559028e-07,1.383566e-06,1.425539e-06,2.013202e-06,2.170947e-06,2.710073e-06,3.143482e-06,3.504075e-06,4.274611e-06,4.384523e-06,5.342524e-06,5.542722e-06,6.370106e-06,6.929360e-06,7.459452e-06,8.416326e-06,8.602471e-06,9.790665e-06,9.984379e-06,1.101515e-05,1.161311e-05,1.226678e-05,1.328143e-05,1.353634e-05,1.481474e-05,1.496832e-05,1.609320e-05,1.665359e-05,1.736344e-05,1.831859e-05,1.861781e-05,1.984939e-05,1.994675e-05,2.105206e-05,2.152381e-05,2.222052e-05,2.303810e-05,2.335032e-05,2.443784e-05,2.448042e-05,2.548022e-05,2.584400e-05,2.647534e-05,2.712426e-05,2.742175e-05,2.831857e-05,2.916547e-05,2.942594e-05,2.996256e-05,3.044679e-05,3.071036e-05,3.138264e-05,3.140970e-05,3.206167e-05,3.223591e-05,3.266759e-05,3.300964e-05,3.322893e-05,3.370738e-05,3.374731e-05,3.422442e-05,3.433298e-05,3.466201e-05,3.489047e-05,3.506187e-05,3.538396e-05,3.542580e-05,3.575557e-05,3.581759e-05,3.605298e-05,3.619541e-05,3.631973e-05,3.652137e-05,3.655754e-05,3.676803e-05,3.679928e-05,3.695279e-05,3.703279e-05,3.711335e-05,3.722535e-05,3.725117e-05,3.736764e-05,3.738025e-05,3.746412e-05,3.750056e-05,3.754186e-05,3.758917e-05,3.760209e-05,3.764595e-05,3.764878e-05,3.767453e-05,3.768192e-05,3.768887e-05,3.769092e-05,3.768994e-05,3.767867e-05,3.767797e-05,3.765593e-05,3.764509e-05,3.762254e-05,3.759415e-05,3.757927e-05,3.752687e-05,3.746601e-05,3.744486e-05,3.739735e-05,3.734960e-05,3.732150e-05,3.724244e-05,3.723902e-05,3.715045e-05,3.712463e-05,3.705631e-05,3.699734e-05,3.695706e-05,3.686163e-05,3.685316e-05,3.674502e-05,3.671848e-05,3.663303e-05,3.656878e-05,3.651757e-05,3.641336e-05,3.639898e-05,3.627757e-05,3.625298e-05,3.615366e-05,3.608833e-05,3.602753e-05,3.592006e-05,3.589944e-05,3.576965e-05,3.574874e-05,3.563838e-05,3.557491e-05,3.550585e-05,3.539906e-05,3.537227e-05,3.523782e-05,3.522164e-05,3.510268e-05,3.504305e-05,3.496703e-05,3.486367e-05,3.483100e-05,3.469475e-05,3.468384e-05,3.455840e-05,3.450387e-05,3.442209e-05,3.432403e-05,3.428593e-05,3.415002e-05,3.414459e-05,3.401446e-05,3.396577e-05,3.387935e-05,3.378778e-05,3.374478e-05,3.361081e-05,3.343504e-05,3.326061e-05,3.308766e-05,3.291632e-05,3.274670e-05,3.257888e-05,3.241296e-05,3.224901e-05,3.208710e-05,3.192729e-05,3.176961e-05,3.161412e-05,3.146084e-05,3.130982e-05,3.116106e-05,3.101458e-05,3.087040e-05,3.072853e-05,3.058896e-05,3.045171e-05,3.031676e-05,3.018412e-05,3.005376e-05,2.992568e-05
0.000000e+00,3.289558e-09,7.517614e-09,2.582163e-08,5.878912e-08,8.585335e-08,1.956726e-07,2.016119e-07,3.927536e-07,4.627562e-07,6.817082e-07,9.124849e-07,1.093704e-06,1.602223e-06,1.652786e-06,2.372272e-06,2.568649e-06,3.247422e-06,3.799077e-06,4.260453e-06,5.249666e-06,5.390895e-06,6.620821e-06,6.877382e-06,7.935213e-06,8.647677e-06,9.320957e-06,1.053124e-05,1.076594e-05,1.225854e-05,1.250102e-05,1.378750e-05,1.453110e-05,1.534192e-05,1.659677e-05,1.691138e-05,1.848608e-05,1.867496e-05,2.005698e-05,2.074483e-05,2.161589e-05,2.278813e-05,2.315553e-05,2.466955e-05,2.478940e-05,2.615255e-05,2.673601e-05,2.759998e-05,2.861799e-05,2.900814e-05,3.037411e-05,3.042783e-05,3.169562e-05,3.216015e-05,3.297104e-05,3.381141e-05,3.419925e-05,3.537958e-05,3.651177e-05,3.686390e-05,3.759588e-05,3.826461e-05,3.863223e-05,3.958272e-05,3.962139e-05,4.056409e-05,4.081984e-05,4.146123e-05,4.197804e-05,4.231379e-05,4.305973e-05,4.312288e-05,4.388965e-05,4.406751e-05,4.461532e-05,4.500420e-05,4.530112e-05,4.587265e-05,4.594831e-05,4.655818e-05,4.667578e-05,4.713199e-05,4.741654e-05,4.767101e-05,4.809782e-05,4.817649e-05,4.864969e-05,4.872249e-05,4.909182e-05,4.929336e-05,4.950408e-05,4.981317e-05,4.988764e-05,5.024365e-05,5.028457e-05,5.057322e-05,5.071014e-05,5.087745e-05,5.109237e-05,5.115740e-05,5.141408e-05,5.143364e-05,5.164851e-05,5.173626e-05,5.186164e-05,5.200244e-05,5.205442e-05,5.222774e-05,5.223428e-05,5.238250e-05,5.243383e-05,5.251953e-05,5.260301e-05,5.263966e-05,5.274367e-05,5.283232e-05,5.285757e-05,5.290636e-05,5.294640e-05,5.296648e-05,5.301175e-05,5.301338e-05,5.304770e-05,5.305515e-05,5.307009e-05,5.307804e-05,5.308114e-05,5.308180e-05,5.308144e-05,5.307156e-05,5.306774e-05,5.305204e-05,5.303709e-05,5.302339e-05,5.299102e-05,5.298611e-05,5.294068e-05,5.293065e-05,5.288756e-05,5.285704e-05,5.282719e-05,5.277118e-05,5.275999e-05,5.268636e-05,5.267401e-05,5.260670e-05,5.256643e-05,5.252137e-05,5.244927e-05,5.243074e-05,5.233513e-05,5.232334e-05,5.223488e-05,5.218938e-05,5.213030e-05,5.204811e-05,5.202169e-05,5.190933e-05,5.190019e-05,5.179349e-05,5.174624e-05,5.167444e-05,5.158687e-05,5.155242e-05,5.142767e-05,5.142263e-05,5.130042e-05,5.125404e-05,5.117088e-05,5.108159e-05,5.103926e-05,5.090575e-05,5.072695e-05,5.054560e-05,5.036208e-05,5.017675e-05,4.998993e-05,4.980195e-05,4.961309e-05,4.942363e-05,4.923382e-05,4.904389e-05,4.885407e-05,4.866455e-05,4.847554e-05,4.828719e-05,4.809969e-05,4.791317e-05,4.772777e-05,4.754363e-05,4.736085e-05,4.717954e-05,4.699982e-05,4.682175e-05,4.664542e-05,4.647090e-05
0.000000e+00,1.261355e-06,2.847983e-06,9.533874e-06,2.118147e-05,3.050444e-05,6.693241e-05,6.885291e-05,1.287253e-04,1.498904e-04,2.141152e-04,2.792530e-04,3.289749e-04,4.635757e-04,4.766440e-04,6.581242e-04,7.064402e-04,8.700758e-04,9.994434e-04,1.105216e-03,1.324681e-03,1.355213e-03,1.612940e-03,1.664907e-03,1.872940e-03,2.007619e-03,2.131054e-03,2.343984e-03,2.383987e-03,2.629030e-03,2.667347e-03,2.863915e-03,2.972488e-03,3.086771e-03,3.255372e-03,3.296095e-03,3.490753e-03,3.513086e-03,3.669971e-03,3.743814e-03,3.833320e-03,3.946768e-03,3.980681e-03,4.112214e-03,4.122063e-03,4.228309e-03,4.270551e-03,4.329556e-03,4.393669e-03,4.416692e-03,4.490559e-03,4.493250e-03,4.552067e-03,4.571366e-03,4.602164e-03,4.630200e-03,4.641807e-03,4.671941e-03,4.693493e-03,4.698725e-03,4.707350e-03,4.712548e-03,4.714305e-03,4.715208e-03,4.715132e-03,4.710549e-03,4.708386e-03,4.701205e-03,4.693564e-03,4.687698e-03,4.672066e-03,4.670575e-03,4.650322e-03,4.645044e-03,4.627372e-03,4.613490e-03,4.602116e-03,4.578260e-03,4.574902e-03,4.546042e-03,4.540097e-03,4.515812e-03,4.499633e-03,4.484456e-03,4.457404e-03,4.452187e-03,4.419195e-03,4.413860e-03,4.385645e-03,4.369386e-03,4.351683e-03,4.324304e-03,4.317438e-03,4.283023e-03,4.278887e-03,4.248537e-03,4.233363e-03,4.214065e-03,4.187923e-03,4.179683e-03,4.145454e-03,4.142724e-03,4.111436e-03,4.097900e-03,4.077679e-03,4.053559e-03,4.044224e-03,4.011108e-03,4.009791e-03,3.978362e-03,3.966670e-03,3.946013e-03,3.924254e-03,3.914084e-03,3.882592e-03,3.851555e-03,3.841721e-03,3.820985e-03,3.801670e-03,3.790893e-03,3.762461e-03,3.761286e-03,3.732172e-03,3.724108e-03,3.703554e-03,3.686623e-03,3.675436e-03,3.650010e-03,3.647820e-03,3.620705e-03,3.614272e-03,3.594092e-03,3.579408e-03,3.567980e-03,3.545412e-03,3.542364e-03,3.517243e-03,3.512278e-03,3.492613e-03,3.479998e-03,3.468470e-03,3.448561e-03,3.444808e-03,3.421622e-03,3.417956e-03,3.398907e-03,3.388170e-03,3.376657e-03,3.359188e-03,3.354866e-03,3.333527e-03,3.330997e-03,3.312634e-03,3.303581e-03,3.292180e-03,3.276924e-03,3.272157e-03,3.252560e-03,3.251010e-03,3.233379e-03,3.225823e-03,3.214610e-03,3.201346e-03,3.196244e-03,3.178273e-03,3.177562e-03,3.160691e-03,3.154455e-03,3.143491e-03,3.132008e-03,3.126664e-03,3.110205e-03,3.089027e-03,3.068460e-03,3.048486e-03,3.029091e-03,3.010257e-03,2.991970e-03,2.974213e-03,2.956973e-03,2.940233e-03,2.923981e-03,2.908201e-03,2.892879e-03,2.878003e-03,2.863559e-03,2.849534e-03,2.835915e-03,2.822691e-03,2.809850e-03,2.797379e-03,2.785268e-03,2.773505e-03,2.762080e-03,2.750983e-03,2.740203e-03
0.000000e+00,3.243259e-09,7.358450e-09,2.488524e-08,5.581153e-08,8.079797e-08,1.797105e-07,1.849692e-07,3.504796e-07,4.095743e-07,5.902893e-07,7.753041e-07,9.175235e-07,1.306579e-06,1.344681e-06,1.880826e-06,2.026038e-06,2.526575e-06,2.932191e-06,3.270222e-06,3.988601e-06,4.090224e-06,4.962561e-06,5.141378e-06,5.866182e-06,6.342721e-06,6.784369e-06,7.557231e-06,7.704013e-06,8.614560e-06,8.758799e-06,9.507279e-06,9.927254e-06,1.037485e-05,1.104665e-05,1.121116e-05,1.201124e-05,1.210462e-05,1.277120e-05,1.309210e-05,1.348818e-05,1.400314e-05,1.416028e-05,1.478651e-05,1.483462e-05,1.536664e-05,1.558587e-05,1.590113e-05,1.625823e-05,1.639096e-05,1.683760e-05,1.685459e-05,1.724280e-05,1.737892e-05,1.760860e-05,1.783595e-05,1.793718e-05,1.823080e-05,1.849176e-05,1.856874e-05,1.872234e-05,1.885499e-05,1.892476e-05,1.909459e-05,1.910117e-05,1.925363e-05,1.929230e-05,1.938408e-05,1.945254e-05,1.949433e-05,1.957939e-05,1.958608e-05,1.966092e-05,1.967653e-05,1.972030e-05,1.974732e-05,1.976558e-05,1.979475e-05,1.979800e-05,1.981869e-05,1.982152e-05,1.982870e-05,1.983001e-05,1.982899e-05,1.982236e-05,1.982042e-05,1.980380e-05,1.980044e-05,1.977985e-05,1.976595e-05,1.974924e-05,1.972036e-05,1.971257e-05,1.967040e-05,1.966499e-05,1.962323e-05,1.960102e-05,1.957154e-05,1.952948e-05,1.951573e-05,1.945621e-05,1.945130e-05,1.939331e-05,1.936729e-05,1.932737e-05,1.927817e-05,1.925868e-05,1.918751e-05,1.918461e-05,1.911411e-05,1.908718e-05,1.903871e-05,1.898641e-05,1.896153e-05,1.888276e-05,1.880257e-05,1.877665e-05,1.872114e-05,1.866845e-05,1.863862e-05,1.855850e-05,1.855514e-05,1.847084e-05,1.844711e-05,1.838584e-05,1.833455e-05,1.830025e-05,1.822107e-05,1.821417e-05,1.812770e-05,1.810690e-05,1.804093e-05,1.799224e-05,1.795394e-05,1.787727e-05,1.786681e-05,1.777960e-05,1.776215e-05,1.769238e-05,1.764704e-05,1.760522e-05,1.753208e-05,1.751816e-05,1.743126e-05,1.741738e-05,1.734458e-05,1.730306e-05,1.725815e-05,1.718921e-05,1.717201e-05,1.708621e-05,1.707594e-05,1.700078e-05,1.696331e-05,1.691575e-05,1.685141e-05,1.683115e-05,1.674702e-05,1.674031e-05,1.666337e-05,1.663005e-05,1.658023e-05,1.652070e-05,1.649763e-05,1.641558e-05,1.641231e-05,1.633410e-05,1.630492e-05,1.625322e-05,1.619856e-05,1.617293e-05,1.609327e-05,1.598907e-05,1.588601e-05,1.578409e-05,1.568335e-05,1.558378e-05,1.548542e-05,1.538826e-05,1.529232e-05,1.519761e-05,1.510413e-05,1.501189e-05,1.492088e-05,1.483111e-05,1.474258e-05,1.465528e-05,1.456920e-05,1.448436e-05,1.440073e-05,1.431831e-05,1.423710e-05,1.415709e-05,1.407826e-05,1.400061e-05,1.392413e-05
0.000000e+00,1.913948e-07,4.273321e-07,1.397649e-06,3.039140e-06,4.324428e-06,9.186267e-06,9.436944e-06,1.703804e-05,1.964082e-05,2.732228e-05,3.483341e-05,4.041035e-05,5.498180e-05,5.636390e-05,7.517461e-05,8.010393e-05,9.671826e-05,1.098704e-04,1.206861e-04,1.433742e-04,1.465584e-04,1.736831e-04,1.792000e-04,2.014133e-04,2.158849e-04,2.291986e-04,2.522591e-04,2.566033e-04,2.832871e-04,2.874708e-04,3.089814e-04,3.208986e-04,3.334724e-04,3.520846e-04,3.565922e-04,3.782144e-04,3.807039e-04,3.982523e-04,4.065529e-04,4.166559e-04,4.295391e-04,4.334100e-04,4.485296e-04,4.496696e-04,4.620562e-04,4.670342e-04,4.740524e-04,4.817860e-04,4.845974e-04,4.937818e-04,4.941222e-04,5.017036e-04,5.042660e-04,5.084647e-04,5.124516e-04,5.141675e-04,5.189113e-04,5.227911e-04,5.238650e-04,5.258970e-04,5.275181e-04,5.283138e-04,5.300576e-04,5.301190e-04,5.313832e-04,5.316491e-04,5.321703e-04,5.324379e-04,5.325382e-04,5.325506e-04,5.325382e-04,5.322160e-04,5.320954e-04,5.316123e-04,5.311647e-04,5.307627e-04,5.298369e-04,5.296989e-04,5.284487e-04,5.281785e-04,5.270368e-04,5.262459e-04,5.254845e-04,5.240859e-04,5.238106e-04,5.220313e-04,5.217378e-04,5.201611e-04,5.192349e-04,5.182128e-04,5.166056e-04,5.161977e-04,5.141259e-04,5.138739e-04,5.120061e-04,5.110602e-04,5.098461e-04,5.081819e-04,5.076528e-04,5.054323e-04,5.052537e-04,5.031902e-04,5.022885e-04,5.009315e-04,4.992973e-04,4.986604e-04,4.963811e-04,4.962899e-04,4.940972e-04,4.932744e-04,4.918117e-04,4.902582e-04,4.895277e-04,4.872477e-04,4.849742e-04,4.842484e-04,4.827094e-04,4.812653e-04,4.804550e-04,4.783025e-04,4.782131e-04,4.759850e-04,4.753639e-04,4.737724e-04,4.724527e-04,4.715764e-04,4.695718e-04,4.693983e-04,4.672391e-04,4.667238e-04,4.650998e-04,4.639108e-04,4.629813e-04,4.611347e-04,4.608842e-04,4.588094e-04,4.583971e-04,4.567574e-04,4.556995e-04,4.547287e-04,4.530429e-04,4.527238e-04,4.507431e-04,4.504284e-04,4.487870e-04,4.478568e-04,4.468557e-04,4.453287e-04,4.449495e-04,4.430687e-04,4.428447e-04,4.412133e-04,4.404050e-04,4.393835e-04,4.380100e-04,4.375793e-04,4.358010e-04,4.356598e-04,4.340483e-04,4.333545e-04,4.323214e-04,4.310940e-04,4.306203e-04,4.289448e-04,4.288783e-04,4.272948e-04,4.267071e-04,4.256704e-04,4.245803e-04,4.240713e-04,4.224974e-04,4.204583e-04,4.184625e-04,4.165095e-04,4.145989e-04,4.127302e-04,4.109029e-04,4.091164e-04,4.073701e-04,4.056635e-04,4.039959e-04,4.023667e-04,4.007753e-04,3.992210e-04,3.977033e-04,3.962214e-04,3.947747e-04,3.933625e-04,3.919842e-04,3.906391e-04,3.893265e-04,3.880459e-04,3.867965e-04,3.855777e-04,3.843889e-04
0.000000e+00,6.108895e-09,1.393021e-08,4.759423e-08,1.076964e-07,1.566382e-07,3.522482e-07,3.627049e-07,6.934669e-07,8.120732e-07,1.175585e-06,1.548342e-06,1.835011e-06,2.619470e-06,2.696335e-06,3.780417e-06,4.075377e-06,5.099493e-06,5.940476e-06,6.650525e-06,8.190211e-06,8.411481e-06,1.034573e-05,1.074970e-05,1.241181e-05,1.352524e-05,1.457109e-05,1.643240e-05,1.679028e-05,1.904121e-05,1.940264e-05,2.129981e-05,2.238047e-05,2.354536e-05,2.532029e-05,2.575996e-05,2.792832e-05,2.818478e-05,3.003756e-05,3.094410e-05,3.207710e-05,3.357526e-05,3.403849e-05,3.591525e-05,3.606158e-05,3.770268e-05,3.839190e-05,3.939767e-05,4.055977e-05,4.099844e-05,4.250441e-05,4.256268e-05,4.391596e-05,4.440121e-05,4.523427e-05,4.607837e-05,4.646116e-05,4.759895e-05,4.865035e-05,4.896904e-05,4.961838e-05,5.019562e-05,5.050621e-05,5.128619e-05,5.131719e-05,5.205472e-05,5.224854e-05,5.272224e-05,5.309056e-05,5.332315e-05,5.382008e-05,5.386085e-05,5.433864e-05,5.444476e-05,5.475979e-05,5.497206e-05,5.512744e-05,5.540914e-05,5.544464e-05,5.571435e-05,5.576285e-05,5.593941e-05,5.603970e-05,5.612254e-05,5.624588e-05,5.626635e-05,5.637335e-05,5.638721e-05,5.644591e-05,5.646919e-05,5.648632e-05,5.649696e-05,5.649675e-05,5.647926e-05,5.647538e-05,5.643582e-05,5.640897e-05,5.636830e-05,5.630196e-05,5.627846e-05,5.616796e-05,5.615827e-05,5.603837e-05,5.598153e-05,5.589119e-05,5.577513e-05,5.572783e-05,5.554964e-05,5.554222e-05,5.535785e-05,5.528572e-05,5.515368e-05,5.500833e-05,5.493823e-05,5.471255e-05,5.447764e-05,5.440068e-05,5.423444e-05,5.407484e-05,5.398381e-05,5.373698e-05,5.372658e-05,5.346352e-05,5.338892e-05,5.319537e-05,5.303231e-05,5.292279e-05,5.266865e-05,5.264642e-05,5.236686e-05,5.229935e-05,5.208465e-05,5.192566e-05,5.180033e-05,5.154875e-05,5.151437e-05,5.122721e-05,5.116968e-05,5.093929e-05,5.078939e-05,5.065098e-05,5.040877e-05,5.036265e-05,5.007464e-05,5.002860e-05,4.978724e-05,4.964960e-05,4.950076e-05,4.927241e-05,4.921545e-05,4.893156e-05,4.889760e-05,4.864932e-05,4.852570e-05,4.836891e-05,4.815716e-05,4.809055e-05,4.781439e-05,4.779240e-05,4.754059e-05,4.743176e-05,4.726930e-05,4.707559e-05,4.700064e-05,4.673472e-05,4.672415e-05,4.647166e-05,4.637768e-05,4.621155e-05,4.603639e-05,4.595446e-05,4.570046e-05,4.537004e-05,4.504525e-05,4.472619e-05,4.441293e-05,4.410553e-05,4.380403e-05,4.350845e-05,4.321880e-05,4.293508e-05,4.265727e-05,4.238534e-05,4.211925e-05,4.185896e-05,4.160441e-05,4.135554e-05,4.111229e-05,4.087459e-05,4.064235e-05,4.041549e-05,4.019394e-05,3.997761e-05,3.976640e-05,3.956022e-05,3.935899e-05
0.000000e+00,7.392563e-09,1.689492e-08,5.800427e-08,1.318822e-07,1.923558e-07,4.360625e-07,4.491664e-07,8.669091e-07,1.018079e-06,1.485347e-06,1.970140e-06,2.346545e-06,3.391163e-06,3.494611e-06,4.972934e-06,5.381155e-06,6.817364e-06,8.017730e-06,9.045247e-06,1.131476e-05,1.164531e-05,1.457749e-05,1.519887e-05,1.778466e-05,1.954106e-05,2.120710e-05,2.420868e-05,2.479096e-05,2.849047e-05,2.909047e-05,3.226709e-05,3.409741e-05,3.608792e-05,3.915715e-05,3.992448e-05,4.375188e-05,4.420948e-05,4.754827e-05,4.920385e-05,5.129460e-05,5.409813e-05,5.497444e-05,5.857380e-05,5.885791e-05,6.208100e-05,6.345586e-05,6.548649e-05,6.787114e-05,6.878270e-05,7.196383e-05,7.208861e-05,7.502566e-05,7.609814e-05,7.796538e-05,7.989377e-05,8.078138e-05,8.347309e-05,8.604084e-05,8.683650e-05,8.848569e-05,8.998663e-05,9.080929e-05,9.292789e-05,9.301381e-05,9.510182e-05,9.566596e-05,9.707617e-05,9.820752e-05,9.893999e-05,1.005599e-04,1.006966e-04,1.023493e-04,1.027309e-04,1.039017e-04,1.047286e-04,1.053574e-04,1.065611e-04,1.067198e-04,1.079925e-04,1.082366e-04,1.091792e-04,1.097633e-04,1.102832e-04,1.111492e-04,1.113079e-04,1.122568e-04,1.124019e-04,1.131332e-04,1.135290e-04,1.139402e-04,1.145379e-04,1.146809e-04,1.153585e-04,1.154357e-04,1.159758e-04,1.162290e-04,1.165356e-04,1.169244e-04,1.170408e-04,1.174940e-04,1.175281e-04,1.178978e-04,1.180461e-04,1.182547e-04,1.184839e-04,1.185670e-04,1.188371e-04,1.188470e-04,1.190671e-04,1.191405e-04,1.192592e-04,1.193693e-04,1.194155e-04,1.195379e-04,1.196283e-04,1.196508e-04,1.196885e-04,1.197120e-04,1.197202e-04,1.197254e-04,1.197251e-04,1.197049e-04,1.196949e-04,1.196609e-04,1.196238e-04,1.195947e-04,1.195154e-04,1.195077e-04,1.194012e-04,1.193729e-04,1.192765e-04,1.191992e-04,1.191348e-04,1.189969e-04,1.189772e-04,1.188049e-04,1.187688e-04,1.186189e-04,1.185172e-04,1.184203e-04,1.182443e-04,1.182099e-04,1.179887e-04,1.179524e-04,1.177576e-04,1.176434e-04,1.175174e-04,1.173192e-04,1.172689e-04,1.170128e-04,1.169816e-04,1.167498e-04,1.166321e-04,1.164806e-04,1.162723e-04,1.162059e-04,1.159263e-04,1.159037e-04,1.156422e-04,1.155275e-04,1.153544e-04,1.151450e-04,1.150632e-04,1.147692e-04,1.147574e-04,1.144728e-04,1.143656e-04,1.141745e-04,1.139708e-04,1.138747e-04,1.135737e-04,1.131753e-04,1.127763e-04,1.123774e-04,1.119794e-04,1.115827e-04,1.111881e-04,1.107959e-04,1.104066e-04,1.100207e-04,1.096385e-04,1.092604e-04,1.088866e-04,1.085176e-04,1.081534e-04,1.077944e-04,1.074407e-04,1.070925e-04,1.067499e-04,1.064131e-04,1.060821e-04,1.057571e-04,1.054381e-04,1.051251e-04,1.048183e-04
0.000000e+00,8.437307e-08,1.925117e-07,6.585429e-07,1.491755e-06,2.170893e-06,4.888350e-06,5.033709e-06,9.634021e-06,1.128428e-05,1.634268e-05,2.152942e-05,2.551746e-05,3.642418e-05,3.749221e-05,5.253631e-05,5.662174e-05,7.077302e-05,8.235148e-05,9.209956e-05,1.131793e-04,1.162057e-04,1.426888e-04,1.482350e-04,1.711497e-04,1.866082e-04,2.012226e-04,2.274829e-04,2.325712e-04,2.648798e-04,2.701181e-04,2.978493e-04,3.138256e-04,3.311968e-04,3.579691e-04,3.646587e-04,3.979931e-04,4.019741e-04,4.309826e-04,4.453385e-04,4.634361e-04,4.876400e-04,4.951890e-04,5.261036e-04,5.285370e-04,5.560670e-04,5.677654e-04,5.849903e-04,6.051322e-04,6.128057e-04,6.394648e-04,6.405066e-04,6.649357e-04,6.738106e-04,6.892010e-04,7.050097e-04,7.122555e-04,7.341040e-04,7.547599e-04,7.611211e-04,7.742433e-04,7.861088e-04,7.925794e-04,8.091302e-04,8.097979e-04,8.259315e-04,8.302591e-04,8.410150e-04,8.495762e-04,8.550849e-04,8.671663e-04,8.681788e-04,8.803345e-04,8.831165e-04,8.915902e-04,8.975144e-04,9.019838e-04,9.104468e-04,9.115528e-04,9.203341e-04,9.219991e-04,9.283640e-04,9.322542e-04,9.356775e-04,9.412925e-04,9.423091e-04,9.482917e-04,9.491909e-04,9.536576e-04,9.560233e-04,9.584377e-04,9.618602e-04,9.626620e-04,9.663592e-04,9.667687e-04,9.695570e-04,9.708127e-04,9.722820e-04,9.740526e-04,9.745598e-04,9.764148e-04,9.765456e-04,9.778703e-04,9.783458e-04,9.789489e-04,9.795041e-04,9.796720e-04,9.800600e-04,9.800689e-04,9.801327e-04,9.800853e-04,9.799087e-04,9.795960e-04,9.794058e-04,9.786411e-04,9.776309e-04,9.772583e-04,9.763905e-04,9.754828e-04,9.749348e-04,9.733478e-04,9.732778e-04,9.714328e-04,9.708843e-04,9.694126e-04,9.681215e-04,9.672293e-04,9.650864e-04,9.648943e-04,9.624186e-04,9.618047e-04,9.598126e-04,9.583000e-04,9.570860e-04,9.545945e-04,9.542484e-04,9.513085e-04,9.507090e-04,9.482747e-04,9.466627e-04,9.451551e-04,9.424738e-04,9.419571e-04,9.386881e-04,9.381589e-04,9.353547e-04,9.337337e-04,9.319633e-04,9.292126e-04,9.285201e-04,9.250308e-04,9.246092e-04,9.215008e-04,9.199360e-04,9.179352e-04,9.152046e-04,9.143389e-04,9.107165e-04,9.104257e-04,9.070722e-04,9.056093e-04,9.034101e-04,9.007646e-04,8.997341e-04,8.960477e-04,8.959001e-04,8.923544e-04,8.910237e-04,8.886572e-04,8.861425e-04,8.849593e-04,8.812633e-04,8.763922e-04,8.715347e-04,8.666961e-04,8.618810e-04,8.570937e-04,8.523381e-04,8.476178e-04,8.429359e-04,8.382955e-04,8.336991e-04,8.291490e-04,8.246474e-04,8.201960e-04,8.157966e-04,8.114506e-04,8.071591e-04,8.029233e-04,7.987442e-04,7.946224e-04,7.905585e-04,7.865532e-04,7.826067e-04,7.787193e-04,7.748912e-04
0.000000e+00,6.400045e-09,1.460249e-08,4.998620e-08,1.134421e-07,1.653694e-07,3.751094e-07,3.864188e-07,7.490941e-07,8.814241e-07,1.294144e-06,1.727867e-06,2.067994e-06,3.022862e-06,3.117973e-06,4.477149e-06,4.850144e-06,6.144921e-06,7.201166e-06,8.085284e-06,9.977263e-06,1.024659e-05,1.257990e-05,1.306350e-05,1.504484e-05,1.636748e-05,1.760850e-05,1.981773e-05,2.024295e-05,2.292333e-05,2.335491e-05,2.562688e-05,2.692656e-05,2.833249e-05,3.048528e-05,3.102063e-05,3.367346e-05,3.398865e-05,3.627498e-05,3.739970e-05,3.881115e-05,4.068746e-05,4.126995e-05,4.364140e-05,4.382708e-05,4.591745e-05,4.679972e-05,4.809196e-05,4.959219e-05,5.016051e-05,5.212032e-05,5.219643e-05,5.396994e-05,5.460870e-05,5.570891e-05,5.682851e-05,5.733791e-05,5.885851e-05,6.027287e-05,6.070348e-05,6.158379e-05,6.236993e-05,6.279442e-05,6.386551e-05,6.390825e-05,6.492899e-05,6.519864e-05,6.586052e-05,6.637826e-05,6.670679e-05,6.741349e-05,6.747179e-05,6.815950e-05,6.831349e-05,6.877385e-05,6.908729e-05,6.931871e-05,6.974370e-05,6.979785e-05,7.021493e-05,7.029122e-05,7.057352e-05,7.073801e-05,7.087703e-05,7.109182e-05,7.112875e-05,7.133184e-05,7.136002e-05,7.148933e-05,7.154958e-05,7.160410e-05,7.166703e-05,7.167893e-05,7.171642e-05,7.171853e-05,7.171909e-05,7.170984e-05,7.168929e-05,7.164633e-05,7.162929e-05,7.154122e-05,7.153302e-05,7.142710e-05,7.137459e-05,7.128884e-05,7.117538e-05,7.112827e-05,7.094709e-05,7.093944e-05,7.074693e-05,7.067051e-05,7.052930e-05,7.037207e-05,7.029564e-05,7.004733e-05,6.978563e-05,6.969926e-05,6.951175e-05,6.933061e-05,6.922683e-05,6.894390e-05,6.893193e-05,6.862805e-05,6.854149e-05,6.831614e-05,6.812550e-05,6.799708e-05,6.769794e-05,6.767169e-05,6.734076e-05,6.726060e-05,6.700502e-05,6.681516e-05,6.666515e-05,6.636314e-05,6.632178e-05,6.597551e-05,6.590595e-05,6.562690e-05,6.544487e-05,6.527646e-05,6.498105e-05,6.492469e-05,6.457204e-05,6.451556e-05,6.421892e-05,6.404937e-05,6.386573e-05,6.358336e-05,6.351282e-05,6.316054e-05,6.311833e-05,6.280920e-05,6.265498e-05,6.245909e-05,6.219399e-05,6.211047e-05,6.176358e-05,6.173591e-05,6.141867e-05,6.128130e-05,6.107592e-05,6.083060e-05,6.073554e-05,6.039770e-05,6.038424e-05,6.006255e-05,5.994259e-05,5.973025e-05,5.950597e-05,5.940092e-05,5.907468e-05,5.864897e-05,5.822904e-05,5.781509e-05,5.740728e-05,5.700572e-05,5.661054e-05,5.622182e-05,5.583962e-05,5.546399e-05,5.509497e-05,5.473256e-05,5.437677e-05,5.402760e-05,5.368501e-05,5.334898e-05,5.301948e-05,5.269644e-05,5.237981e-05,5.206955e-05,5.176556e-05,5.146780e-05,5.117616e-05,5.089059e-05,5.061099e-05
0.000000e+00,3.568857e-09,7.983255e-09,2.629250e-08,5.783804e-08,8.305840e-08,1.828212e-07,1.881576e-07,3.590973e-07,4.216043e-07,6.164393e-07,8.178464e-07,9.705145e-07,1.363417e-06,1.399493e-06,1.861860e-06,1.974063e-06,2.327555e-06,2.584140e-06,2.782533e-06,3.169371e-06,3.221011e-06,3.640145e-06,3.721467e-06,4.037906e-06,4.235701e-06,4.412541e-06,4.708306e-06,4.762624e-06,5.087214e-06,5.136752e-06,5.385977e-06,5.520269e-06,5.659195e-06,5.859930e-06,5.907715e-06,6.132825e-06,6.158339e-06,6.336130e-06,6.419133e-06,6.519417e-06,6.646472e-06,6.684546e-06,6.833358e-06,6.844611e-06,6.967609e-06,7.017604e-06,7.088933e-06,7.169119e-06,7.198811e-06,7.298567e-06,7.302364e-06,7.389368e-06,7.420064e-06,7.472229e-06,7.524494e-06,7.548031e-06,7.617531e-06,7.681380e-06,7.700712e-06,7.740137e-06,7.775293e-06,7.794280e-06,7.842299e-06,7.844220e-06,7.890315e-06,7.902576e-06,7.932874e-06,7.956825e-06,7.972165e-06,8.005631e-06,8.008425e-06,8.041863e-06,8.049490e-06,8.072667e-06,8.088828e-06,8.101001e-06,8.124012e-06,8.127016e-06,8.150849e-06,8.155365e-06,8.172624e-06,8.183171e-06,8.192454e-06,8.207685e-06,8.210444e-06,8.226691e-06,8.229135e-06,8.241285e-06,8.247728e-06,8.254310e-06,8.263653e-06,8.265844e-06,8.275960e-06,8.277081e-06,8.284726e-06,8.288173e-06,8.292208e-06,8.297073e-06,8.298466e-06,8.303559e-06,8.303918e-06,8.307540e-06,8.308832e-06,8.310460e-06,8.311934e-06,8.312369e-06,8.313312e-06,8.313331e-06,8.313334e-06,8.313125e-06,8.312477e-06,8.311412e-06,8.310780e-06,8.308281e-06,8.305017e-06,8.303816e-06,8.301022e-06,8.298096e-06,8.296328e-06,8.291195e-06,8.290968e-06,8.284972e-06,8.283183e-06,8.278368e-06,8.274125e-06,8.271183e-06,8.264084e-06,8.263445e-06,8.255179e-06,8.253119e-06,8.246408e-06,8.241284e-06,8.237156e-06,8.228634e-06,8.227445e-06,8.217296e-06,8.215216e-06,8.206731e-06,8.201078e-06,8.195768e-06,8.186266e-06,8.184427e-06,8.172725e-06,8.170821e-06,8.160681e-06,8.154782e-06,8.148310e-06,8.138190e-06,8.135630e-06,8.122655e-06,8.121079e-06,8.109400e-06,8.103483e-06,8.095880e-06,8.085436e-06,8.082109e-06,8.068100e-06,8.066969e-06,8.053865e-06,8.048110e-06,8.039417e-06,8.028889e-06,8.024767e-06,8.009928e-06,8.009331e-06,7.994910e-06,7.989462e-06,7.979724e-06,7.969306e-06,7.964379e-06,7.948886e-06,7.928224e-06,7.907341e-06,7.886257e-06,7.864990e-06,7.843558e-06,7.821979e-06,7.800269e-06,7.778444e-06,7.756517e-06,7.734504e-06,7.712417e-06,7.690270e-06,7.668074e-06,7.645841e-06,7.623582e-06,7.601308e-06,7.579028e-06,7.556753e-06,7.534490e-06,7.512249e-06,7.490037e-06,7.467863e-06,7.445734e-06,7.423656e-06
0.000000e+00,2.691313e-09,6.139253e-09,2.101916e-08,4.776034e-08,6.970865e-08,1.590149e-07,1.638608e-07,3.208785e-07,3.789237e-07,5.623259e-07,7.584685e-07,9.143006e-07,1.358288e-06,1.402856e-06,2.041673e-06,2.216784e-06,2.821475e-06,3.310301e-06,3.716339e-06,4.576733e-06,4.698380e-06,5.745200e-06,5.960790e-06,6.840135e-06,7.424178e-06,7.970438e-06,8.939538e-06,9.125660e-06,1.029665e-05,1.048490e-05,1.147503e-05,1.204096e-05,1.265299e-05,1.359016e-05,1.382328e-05,1.497917e-05,1.511662e-05,1.611463e-05,1.660635e-05,1.722428e-05,1.804746e-05,1.830347e-05,1.934837e-05,1.943039e-05,2.035589e-05,2.074788e-05,2.132368e-05,2.199494e-05,2.225006e-05,2.313382e-05,2.316828e-05,2.397440e-05,2.426639e-05,2.477166e-05,2.528919e-05,2.552590e-05,2.623774e-05,2.690805e-05,2.711396e-05,2.753794e-05,2.792043e-05,2.812867e-05,2.866019e-05,2.868160e-05,2.919820e-05,2.933655e-05,2.968000e-05,2.995301e-05,3.012852e-05,3.051311e-05,3.054533e-05,3.093195e-05,3.102042e-05,3.128991e-05,3.147840e-05,3.162068e-05,3.189041e-05,3.192570e-05,3.220636e-05,3.225968e-05,3.246399e-05,3.258929e-05,3.269988e-05,3.288213e-05,3.291526e-05,3.311129e-05,3.314094e-05,3.328909e-05,3.336828e-05,3.344973e-05,3.356655e-05,3.359419e-05,3.372345e-05,3.373798e-05,3.383839e-05,3.388465e-05,3.393987e-05,3.400849e-05,3.402870e-05,3.410564e-05,3.411130e-05,3.417141e-05,3.419474e-05,3.422669e-05,3.426035e-05,3.427211e-05,3.430829e-05,3.430955e-05,3.433579e-05,3.434367e-05,3.435514e-05,3.436392e-05,3.436687e-05,3.437144e-05,3.436930e-05,3.436726e-05,3.436087e-05,3.435237e-05,3.434657e-05,3.432765e-05,3.432676e-05,3.430180e-05,3.429393e-05,3.427202e-05,3.425197e-05,3.423774e-05,3.420249e-05,3.419927e-05,3.415687e-05,3.414614e-05,3.411081e-05,3.408352e-05,3.406135e-05,3.401519e-05,3.400872e-05,3.395313e-05,3.394168e-05,3.389481e-05,3.386347e-05,3.383395e-05,3.378100e-05,3.377073e-05,3.370533e-05,3.369468e-05,3.363792e-05,3.360490e-05,3.356866e-05,3.351201e-05,3.349768e-05,3.342514e-05,3.341633e-05,3.335116e-05,3.331818e-05,3.327586e-05,3.321784e-05,3.319938e-05,3.312180e-05,3.311555e-05,3.304325e-05,3.301158e-05,3.296382e-05,3.290614e-05,3.288360e-05,3.280269e-05,3.279944e-05,3.272115e-05,3.269167e-05,3.263908e-05,3.258301e-05,3.255655e-05,3.247363e-05,3.236368e-05,3.225330e-05,3.214263e-05,3.203178e-05,3.192088e-05,3.181002e-05,3.169930e-05,3.158881e-05,3.147864e-05,3.136885e-05,3.125953e-05,3.115073e-05,3.104252e-05,3.093494e-05,3.082806e-05,3.072191e-05,3.061654e-05,3.051199e-05,3.040829e-05,3.030548e-05,3.020359e-05,3.010263e-05,3.000264e-05,2.990363e-05
0.000000e+00,4.877416e-09,1.114426e-08,3.829157e-08,8.731270e-08,1.276963e-07,2.929135e-07,3.019098e-07,5.944690e-07,7.029022e-07,1.045053e-06,1.407621e-06,1.691301e-06,2.472166e-06,2.548286e-06,3.602779e-06,3.882684e-06,4.832125e-06,5.589624e-06,6.217270e-06,7.553359e-06,7.743533e-06,9.398157e-06,9.743380e-06,1.116846e-05,1.213028e-05,1.304092e-05,1.468212e-05,1.500099e-05,1.703321e-05,1.736399e-05,1.912156e-05,2.013917e-05,2.124993e-05,2.297079e-05,2.340251e-05,2.556419e-05,2.582353e-05,2.772091e-05,2.866494e-05,2.985985e-05,3.146647e-05,3.196960e-05,3.404021e-05,3.420391e-05,3.606322e-05,3.685747e-05,3.803159e-05,3.941178e-05,3.993970e-05,4.178317e-05,4.185551e-05,4.355871e-05,4.418081e-05,4.526405e-05,4.638289e-05,4.689788e-05,4.845948e-05,4.994866e-05,5.040999e-05,5.136597e-05,5.223571e-05,5.271226e-05,5.393903e-05,5.398877e-05,5.519701e-05,5.552332e-05,5.633872e-05,5.699258e-05,5.741575e-05,5.835120e-05,5.843008e-05,5.938378e-05,5.960387e-05,6.027894e-05,6.075547e-05,6.111772e-05,6.181089e-05,6.190224e-05,6.263463e-05,6.277504e-05,6.331700e-05,6.365275e-05,6.395140e-05,6.444872e-05,6.453987e-05,6.508437e-05,6.516753e-05,6.558682e-05,6.581361e-05,6.604909e-05,6.639119e-05,6.647298e-05,6.686025e-05,6.690434e-05,6.721257e-05,6.735695e-05,6.753158e-05,6.775272e-05,6.781885e-05,6.807587e-05,6.809517e-05,6.830411e-05,6.838766e-05,6.850495e-05,6.863335e-05,6.867974e-05,6.882975e-05,6.883525e-05,6.895622e-05,6.899622e-05,6.906034e-05,6.911894e-05,6.914322e-05,6.920596e-05,6.924960e-05,6.925969e-05,6.927511e-05,6.928238e-05,6.928346e-05,6.927618e-05,6.927556e-05,6.925226e-05,6.924310e-05,6.921441e-05,6.918504e-05,6.916279e-05,6.910380e-05,6.909817e-05,6.902127e-05,6.900106e-05,6.893277e-05,6.887840e-05,6.883335e-05,6.873731e-05,6.872362e-05,6.860420e-05,6.857920e-05,6.847566e-05,6.840539e-05,6.833854e-05,6.821712e-05,6.819337e-05,6.804065e-05,6.801554e-05,6.788085e-05,6.780176e-05,6.771442e-05,6.757681e-05,6.754181e-05,6.736341e-05,6.734164e-05,6.717963e-05,6.709716e-05,6.699084e-05,6.684422e-05,6.679739e-05,6.659962e-05,6.658363e-05,6.639786e-05,6.631611e-05,6.619242e-05,6.604238e-05,6.598358e-05,6.577163e-05,6.576309e-05,6.555684e-05,6.547886e-05,6.533944e-05,6.519026e-05,6.511970e-05,6.489782e-05,6.460206e-05,6.430344e-05,6.400241e-05,6.369937e-05,6.339472e-05,6.308880e-05,6.278196e-05,6.247450e-05,6.216672e-05,6.185889e-05,6.155126e-05,6.124407e-05,6.093752e-05,6.063183e-05,6.032719e-05,6.002376e-05,5.972170e-05,5.942117e-05,5.912230e-05,5.882522e-05,5.853004e-05,5.823686e-05,5.794579e-05,5.765692e-05
0.000000e+00,1.647381e-09,3.764109e-09,1.291516e-08,2.933970e-08,4.276621e-08,9.672267e-08,9.961720e-08,1.915524e-07,2.246638e-07,3.265079e-07,4.314080e-07,5.123499e-07,7.348676e-07,7.567459e-07,1.066686e-06,1.151469e-06,1.447480e-06,1.692639e-06,1.901241e-06,2.359056e-06,2.425487e-06,3.013093e-06,3.137358e-06,3.654026e-06,4.004824e-06,4.337627e-06,4.937587e-06,5.054052e-06,5.794718e-06,5.914965e-06,6.552221e-06,6.919882e-06,7.320128e-06,7.938141e-06,8.092816e-06,8.865358e-06,8.957844e-06,9.633463e-06,9.969049e-06,1.039342e-05,1.096359e-05,1.114209e-05,1.187680e-05,1.193491e-05,1.259539e-05,1.287791e-05,1.329611e-05,1.378879e-05,1.397760e-05,1.463881e-05,1.466482e-05,1.527900e-05,1.550422e-05,1.589768e-05,1.630594e-05,1.649457e-05,1.706955e-05,1.762267e-05,1.779508e-05,1.815409e-05,1.848292e-05,1.866405e-05,1.913375e-05,1.915290e-05,1.962102e-05,1.974844e-05,2.006887e-05,2.032803e-05,2.049690e-05,2.087364e-05,2.090564e-05,2.129560e-05,2.138646e-05,2.166732e-05,2.186771e-05,2.202133e-05,2.231865e-05,2.235819e-05,2.267843e-05,2.274054e-05,2.298261e-05,2.313461e-05,2.327126e-05,2.350211e-05,2.354490e-05,2.380407e-05,2.384422e-05,2.404926e-05,2.416214e-05,2.428098e-05,2.445699e-05,2.449972e-05,2.470596e-05,2.472989e-05,2.490016e-05,2.498191e-05,2.508277e-05,2.521407e-05,2.525423e-05,2.541497e-05,2.542738e-05,2.556541e-05,2.562279e-05,2.570595e-05,2.580123e-05,2.583698e-05,2.595887e-05,2.596356e-05,2.607199e-05,2.611063e-05,2.617669e-05,2.624326e-05,2.627333e-05,2.636222e-05,2.644369e-05,2.646824e-05,2.651804e-05,2.656203e-05,2.658558e-05,2.664427e-05,2.664659e-05,2.670134e-05,2.671559e-05,2.675012e-05,2.677662e-05,2.679317e-05,2.682794e-05,2.683075e-05,2.686309e-05,2.687010e-05,2.689042e-05,2.690363e-05,2.691298e-05,2.692904e-05,2.693097e-05,2.694459e-05,2.694681e-05,2.695406e-05,2.695740e-05,2.695955e-05,2.696124e-05,2.696126e-05,2.695937e-05,2.695874e-05,2.695403e-05,2.695030e-05,2.694542e-05,2.693629e-05,2.693370e-05,2.691901e-05,2.691706e-05,2.690151e-05,2.689295e-05,2.688133e-05,2.686428e-05,2.685860e-05,2.683347e-05,2.683135e-05,2.680604e-05,2.679446e-05,2.677645e-05,2.675386e-05,2.674480e-05,2.671121e-05,2.670983e-05,2.667578e-05,2.666260e-05,2.663862e-05,2.661240e-05,2.659981e-05,2.655947e-05,2.650400e-05,2.644620e-05,2.638624e-05,2.632432e-05,2.626058e-05,2.619520e-05,2.612833e-05,2.606009e-05,2.599064e-05,2.592009e-05,2.584856e-05,2.577617e-05,2.570302e-05,2.562921e-05,2.555485e-05,2.548001e-05,2.540478e-05,2.532924e-05,2.525346e-05,2.517753e-05,2.510149e-05,2.502541e-05,2.494935e-05,2.487337e-05
0.000000e+00,5.620223e-09,1.281345e-08,4.375961e-08,9.897288e-08,1.439071e-07,3.233035e-07,3.328853e-07,6.355575e-07,7.438972e-07,1.075296e-06,1.414091e-06,1.673920e-06,2.381738e-06,2.450848e-06,3.421300e-06,3.684115e-06,4.593542e-06,5.337887e-06,5.965499e-06,7.326177e-06,7.521826e-06,9.233500e-06,9.591158e-06,1.106170e-05,1.204450e-05,1.296477e-05,1.459311e-05,1.490455e-05,1.684947e-05,1.715940e-05,1.877481e-05,1.968626e-05,2.066159e-05,2.213345e-05,2.249542e-05,2.426548e-05,2.447320e-05,2.596383e-05,2.668686e-05,2.758483e-05,2.876271e-05,2.912476e-05,3.058146e-05,3.069437e-05,3.195405e-05,3.247955e-05,3.324271e-05,3.411909e-05,3.444841e-05,3.557280e-05,3.561611e-05,3.661801e-05,3.697537e-05,3.758654e-05,3.820274e-05,3.848116e-05,3.930480e-05,4.006053e-05,4.028852e-05,4.075143e-05,4.116104e-05,4.138064e-05,4.192950e-05,4.195123e-05,4.246626e-05,4.260092e-05,4.292871e-05,4.318214e-05,4.334145e-05,4.367970e-05,4.370731e-05,4.402897e-05,4.409988e-05,4.430905e-05,4.444866e-05,4.455004e-05,4.473169e-05,4.475435e-05,4.492426e-05,4.495430e-05,4.506195e-05,4.512152e-05,4.516951e-05,4.523803e-05,4.524892e-05,4.530207e-05,4.530825e-05,4.533074e-05,4.533631e-05,4.533664e-05,4.532604e-05,4.532137e-05,4.528645e-05,4.528101e-05,4.523335e-05,4.520457e-05,4.516341e-05,4.509979e-05,4.507793e-05,4.497813e-05,4.496956e-05,4.486516e-05,4.481653e-05,4.474010e-05,4.464316e-05,4.460399e-05,4.445777e-05,4.445173e-05,4.430236e-05,4.424432e-05,4.413860e-05,4.402289e-05,4.396730e-05,4.378920e-05,4.360502e-05,4.354490e-05,4.341541e-05,4.329150e-05,4.322100e-05,4.303038e-05,4.302236e-05,4.282006e-05,4.276282e-05,4.261458e-05,4.248997e-05,4.240641e-05,4.221290e-05,4.219599e-05,4.198374e-05,4.193257e-05,4.177004e-05,4.164987e-05,4.155526e-05,4.136561e-05,4.133972e-05,4.112373e-05,4.108051e-05,4.090760e-05,4.079524e-05,4.069158e-05,4.051040e-05,4.047592e-05,4.026086e-05,4.022652e-05,4.004659e-05,3.994409e-05,3.983333e-05,3.966355e-05,3.962123e-05,3.941048e-05,3.938529e-05,3.920121e-05,3.910965e-05,3.899358e-05,3.883694e-05,3.878769e-05,3.858367e-05,3.856743e-05,3.838161e-05,3.830137e-05,3.818162e-05,3.803895e-05,3.798377e-05,3.778814e-05,3.778037e-05,3.759480e-05,3.752577e-05,3.740380e-05,3.727528e-05,3.721519e-05,3.702902e-05,3.678708e-05,3.654953e-05,3.631641e-05,3.608779e-05,3.586367e-05,3.564408e-05,3.542902e-05,3.521849e-05,3.501247e-05,3.481094e-05,3.461387e-05,3.442121e-05,3.423294e-05,3.404900e-05,3.386934e-05,3.369391e-05,3.352264e-05,3.335548e-05,3.319235e-05,3.303320e-05,3.287795e-05,3.272654e-05,3.257890e-05,3.243494e-05
0.000000e+00,7.462478e-09,1.705235e-08,5.863723e-08,1.339326e-07,1.961655e-07,4.526654e-07,4.667170e-07,9.281648e-07,1.101315e-06,1.654901e-06,2.253353e-06,2.729858e-06,4.073940e-06,4.207037e-06,6.073349e-06,6.572867e-06,8.269826e-06,9.621138e-06,1.073665e-05,1.309558e-05,1.342952e-05,1.631674e-05,1.691524e-05,1.937330e-05,2.102219e-05,2.257688e-05,2.536552e-05,2.590562e-05,2.933724e-05,2.989433e-05,3.284884e-05,3.455598e-05,3.641712e-05,3.929690e-05,4.001880e-05,4.363110e-05,4.406425e-05,4.723233e-05,4.880806e-05,5.080212e-05,5.348253e-05,5.432174e-05,5.777447e-05,5.804734e-05,6.114561e-05,6.246832e-05,6.442255e-05,6.671763e-05,6.759477e-05,7.065374e-05,7.077364e-05,7.359277e-05,7.462045e-05,7.640687e-05,7.824725e-05,7.909255e-05,8.164778e-05,8.407173e-05,8.481967e-05,8.636461e-05,8.776373e-05,8.852749e-05,9.048313e-05,9.056208e-05,9.247061e-05,9.298276e-05,9.425572e-05,9.526879e-05,9.592045e-05,9.734861e-05,9.746822e-05,9.890276e-05,9.923064e-05,1.002280e-04,1.009238e-04,1.014478e-04,1.024372e-04,1.025662e-04,1.035874e-04,1.037804e-04,1.045156e-04,1.049628e-04,1.053550e-04,1.059949e-04,1.061103e-04,1.067858e-04,1.068867e-04,1.073849e-04,1.076465e-04,1.079115e-04,1.082829e-04,1.083690e-04,1.087609e-04,1.088037e-04,1.090906e-04,1.092168e-04,1.093613e-04,1.095294e-04,1.095760e-04,1.097377e-04,1.097485e-04,1.098494e-04,1.098807e-04,1.099138e-04,1.099324e-04,1.099336e-04,1.099112e-04,1.099095e-04,1.098492e-04,1.098176e-04,1.097499e-04,1.096621e-04,1.096154e-04,1.094480e-04,1.092497e-04,1.091800e-04,1.090224e-04,1.088626e-04,1.087680e-04,1.084999e-04,1.084883e-04,1.081849e-04,1.080960e-04,1.078595e-04,1.076543e-04,1.075136e-04,1.071786e-04,1.071487e-04,1.067661e-04,1.066719e-04,1.063673e-04,1.061373e-04,1.059533e-04,1.055776e-04,1.055256e-04,1.050850e-04,1.049955e-04,1.046329e-04,1.043935e-04,1.041701e-04,1.037739e-04,1.036977e-04,1.032165e-04,1.031388e-04,1.027275e-04,1.024902e-04,1.022314e-04,1.018300e-04,1.017291e-04,1.012212e-04,1.011599e-04,1.007086e-04,1.004816e-04,1.001917e-04,9.979657e-05,9.967140e-05,9.914809e-05,9.910612e-05,9.862240e-05,9.841157e-05,9.809484e-05,9.771411e-05,9.756590e-05,9.703604e-05,9.701484e-05,9.650571e-05,9.631475e-05,9.597531e-05,9.561479e-05,9.544522e-05,9.491582e-05,9.421860e-05,9.352387e-05,9.283229e-05,9.214445e-05,9.146091e-05,9.078216e-05,9.010865e-05,8.944080e-05,8.877896e-05,8.812348e-05,8.747463e-05,8.683269e-05,8.619788e-05,8.557041e-05,8.495045e-05,8.433815e-05,8.373364e-05,8.313703e-05,8.254841e-05,8.196783e-05,8.139537e-05,8.083106e-05,8.027492e-05,7.972696e-05
0.000000e+00,2.407289e-10,5.469915e-10,1.855300e-09,4.171029e-09,6.045456e-09,1.347837e-08,1.387380e-08,2.631873e-08,3.075906e-08,4.432057e-08,5.817526e-08,6.880652e-08,9.783769e-08,1.006795e-07,1.407525e-07,1.516624e-07,1.896069e-07,2.208754e-07,2.473730e-07,3.051623e-07,3.135031e-07,3.867089e-07,4.020452e-07,4.651897e-07,5.074439e-07,5.470340e-07,6.171280e-07,6.305404e-07,7.143472e-07,7.277108e-07,7.974176e-07,8.367942e-07,8.789772e-07,9.427455e-07,9.584512e-07,1.035415e-06,1.044466e-06,1.109561e-06,1.141235e-06,1.180677e-06,1.232612e-06,1.248627e-06,1.313341e-06,1.318378e-06,1.374803e-06,1.398483e-06,1.433042e-06,1.473012e-06,1.488120e-06,1.540131e-06,1.542149e-06,1.589188e-06,1.606149e-06,1.635417e-06,1.665309e-06,1.678958e-06,1.719954e-06,1.758548e-06,1.770415e-06,1.794886e-06,1.817024e-06,1.829108e-06,1.860097e-06,1.861351e-06,1.891743e-06,1.899939e-06,1.920410e-06,1.936830e-06,1.947466e-06,1.971030e-06,1.973022e-06,1.997179e-06,2.002779e-06,2.020030e-06,2.032291e-06,2.041665e-06,2.059762e-06,2.062165e-06,2.081603e-06,2.085370e-06,2.100051e-06,2.109273e-06,2.117570e-06,2.131613e-06,2.134222e-06,2.150058e-06,2.152519e-06,2.165129e-06,2.172105e-06,2.179481e-06,2.190473e-06,2.193156e-06,2.206192e-06,2.207716e-06,2.218627e-06,2.223916e-06,2.230492e-06,2.239147e-06,2.241818e-06,2.252634e-06,2.253478e-06,2.262965e-06,2.266968e-06,2.272836e-06,2.279671e-06,2.282270e-06,2.291287e-06,2.291639e-06,2.299906e-06,2.302915e-06,2.308146e-06,2.313541e-06,2.316024e-06,2.323555e-06,2.330755e-06,2.332992e-06,2.337638e-06,2.341882e-06,2.344215e-06,2.350255e-06,2.350501e-06,2.356505e-06,2.358138e-06,2.362240e-06,2.365556e-06,2.367716e-06,2.372532e-06,2.372941e-06,2.377926e-06,2.379088e-06,2.382680e-06,2.385243e-06,2.387209e-06,2.391017e-06,2.391524e-06,2.395630e-06,2.396427e-06,2.399536e-06,2.401489e-06,2.403247e-06,2.406220e-06,2.406771e-06,2.410114e-06,2.410633e-06,2.413282e-06,2.414742e-06,2.416280e-06,2.418560e-06,2.419114e-06,2.421789e-06,2.422099e-06,2.424310e-06,2.425372e-06,2.426682e-06,2.428388e-06,2.428910e-06,2.430998e-06,2.431159e-06,2.432950e-06,2.433694e-06,2.434771e-06,2.436003e-06,2.436465e-06,2.438035e-06,2.438096e-06,2.439486e-06,2.439979e-06,2.440820e-06,2.441662e-06,2.442041e-06,2.443153e-06,2.444459e-06,2.445587e-06,2.446544e-06,2.447336e-06,2.447971e-06,2.448454e-06,2.448791e-06,2.448987e-06,2.449048e-06,2.448979e-06,2.448786e-06,2.448472e-06,2.448042e-06,2.447502e-06,2.446855e-06,2.446105e-06,2.445256e-06,2.444313e-06,2.443278e-06,2.442156e-06,2.440950e-06,2.439662e-06,2.438298e-06,2.436859e-06
0.000000e+00,2.638482e-09,6.021695e-09,2.061458e-08,4.674692e-08,6.808301e-08,1.537591e-07,1.583553e-07,3.044854e-07,3.572149e-07,5.198078e-07,6.879389e-07,8.180828e-07,1.177005e-06,1.212325e-06,1.710972e-06,1.846308e-06,2.313198e-06,2.692398e-06,3.009704e-06,3.691058e-06,3.788473e-06,4.638418e-06,4.816071e-06,5.549757e-06,6.044882e-06,6.513381e-06,7.356695e-06,7.520356e-06,8.561739e-06,8.730955e-06,9.628604e-06,1.014716e-05,1.071218e-05,1.158537e-05,1.180401e-05,1.289614e-05,1.302687e-05,1.398127e-05,1.445477e-05,1.505279e-05,1.585446e-05,1.610492e-05,1.713270e-05,1.721374e-05,1.813196e-05,1.852290e-05,1.909931e-05,1.977453e-05,2.003209e-05,2.092828e-05,2.096335e-05,2.178646e-05,2.208592e-05,2.260573e-05,2.314035e-05,2.338561e-05,2.412603e-05,2.482721e-05,2.504338e-05,2.548965e-05,2.589359e-05,2.611404e-05,2.667847e-05,2.670125e-05,2.725229e-05,2.740025e-05,2.776825e-05,2.806147e-05,2.825029e-05,2.866487e-05,2.869965e-05,2.911755e-05,2.921331e-05,2.950526e-05,2.970967e-05,2.986405e-05,3.015685e-05,3.019516e-05,3.049985e-05,3.055772e-05,3.077931e-05,3.091506e-05,3.103475e-05,3.123159e-05,3.126731e-05,3.147813e-05,3.150992e-05,3.166830e-05,3.175255e-05,3.183885e-05,3.196186e-05,3.199081e-05,3.212516e-05,3.214014e-05,3.224282e-05,3.228955e-05,3.234471e-05,3.241212e-05,3.243168e-05,3.250456e-05,3.250981e-05,3.256414e-05,3.258442e-05,3.261118e-05,3.263769e-05,3.264641e-05,3.267050e-05,3.267124e-05,3.268413e-05,3.268659e-05,3.268791e-05,3.268517e-05,3.268246e-05,3.266833e-05,3.264608e-05,3.263732e-05,3.261621e-05,3.259333e-05,3.257923e-05,3.253746e-05,3.253560e-05,3.248576e-05,3.247075e-05,3.243013e-05,3.239415e-05,3.236913e-05,3.230858e-05,3.230313e-05,3.223248e-05,3.221488e-05,3.215754e-05,3.211382e-05,3.207864e-05,3.200616e-05,3.199607e-05,3.191013e-05,3.189256e-05,3.182110e-05,3.177367e-05,3.172924e-05,3.165007e-05,3.163480e-05,3.153801e-05,3.152232e-05,3.143910e-05,3.139093e-05,3.133828e-05,3.125637e-05,3.123574e-05,3.113167e-05,3.111908e-05,3.102625e-05,3.097948e-05,3.091964e-05,3.083793e-05,3.081201e-05,3.070350e-05,3.069479e-05,3.059426e-05,3.055038e-05,3.048440e-05,3.040500e-05,3.037407e-05,3.026336e-05,3.025893e-05,3.015240e-05,3.011242e-05,3.004129e-05,2.996570e-05,2.993012e-05,2.981899e-05,2.967248e-05,2.952637e-05,2.938080e-05,2.923594e-05,2.909192e-05,2.894886e-05,2.880689e-05,2.866609e-05,2.852658e-05,2.838842e-05,2.825170e-05,2.811648e-05,2.798283e-05,2.785078e-05,2.772039e-05,2.759171e-05,2.746475e-05,2.733956e-05,2.721615e-05,2.709455e-05,2.697477e-05,2.685683e-05,2.674072e-05,2.662647e-05
0.000000e+00,3.062867e-09,6.989705e-09,2.391542e-08,5.417026e-08,7.881779e-08,1.772956e-07,1.825563e-07,3.486773e-07,4.080985e-07,5.897111e-07,7.751802e-07,9.173331e-07,1.304532e-06,1.342354e-06,1.874289e-06,2.018720e-06,2.520149e-06,2.932779e-06,3.282484e-06,4.047249e-06,4.158062e-06,5.138774e-06,5.346618e-06,6.214011e-06,6.806742e-06,7.372479e-06,8.401662e-06,8.602904e-06,9.894124e-06,1.010562e-05,1.123504e-05,1.189308e-05,1.261462e-05,1.373881e-05,1.402200e-05,1.544660e-05,1.561823e-05,1.687831e-05,1.750804e-05,1.830760e-05,1.938678e-05,1.972565e-05,2.112448e-05,2.123534e-05,2.249700e-05,2.303723e-05,2.383703e-05,2.477871e-05,2.513926e-05,2.639928e-05,2.644875e-05,2.761354e-05,2.803892e-05,2.877926e-05,2.954315e-05,2.989439e-05,3.095749e-05,3.196774e-05,3.227979e-05,3.292479e-05,3.350942e-05,3.382874e-05,3.464699e-05,3.468004e-05,3.547945e-05,3.569412e-05,3.622800e-05,3.665321e-05,3.692690e-05,3.752722e-05,3.757753e-05,3.818141e-05,3.831956e-05,3.874014e-05,3.903392e-05,3.925538e-05,3.967417e-05,3.972883e-05,4.016224e-05,4.024427e-05,4.055734e-05,4.074823e-05,4.091586e-05,4.118998e-05,4.123949e-05,4.152991e-05,4.157340e-05,4.178876e-05,4.190227e-05,4.201764e-05,4.218022e-05,4.221812e-05,4.239169e-05,4.241078e-05,4.253981e-05,4.259729e-05,4.266389e-05,4.274295e-05,4.276528e-05,4.284528e-05,4.285080e-05,4.290514e-05,4.292371e-05,4.294606e-05,4.296443e-05,4.296917e-05,4.297558e-05,4.297550e-05,4.296633e-05,4.295936e-05,4.294241e-05,4.291826e-05,4.290479e-05,4.285436e-05,4.279199e-05,4.276965e-05,4.271851e-05,4.266600e-05,4.263468e-05,4.254517e-05,4.254126e-05,4.243895e-05,4.240880e-05,4.232841e-05,4.225840e-05,4.221028e-05,4.209542e-05,4.208517e-05,4.195363e-05,4.192117e-05,4.181622e-05,4.173689e-05,4.167344e-05,4.154373e-05,4.152576e-05,4.137366e-05,4.134275e-05,4.121756e-05,4.113494e-05,4.105786e-05,4.092122e-05,4.089495e-05,4.072920e-05,4.070243e-05,4.056093e-05,4.047937e-05,4.039048e-05,4.025275e-05,4.021814e-05,4.004420e-05,4.002324e-05,3.986893e-05,3.979146e-05,3.969258e-05,3.955797e-05,3.951538e-05,3.933755e-05,3.932330e-05,3.915930e-05,3.908793e-05,3.898083e-05,3.885229e-05,3.880230e-05,3.862391e-05,3.861678e-05,3.844579e-05,3.838176e-05,3.826810e-05,3.814758e-05,3.809097e-05,3.791453e-05,3.768289e-05,3.745290e-05,3.722480e-05,3.699877e-05,3.677501e-05,3.655366e-05,3.633489e-05,3.611880e-05,3.590551e-05,3.569511e-05,3.548770e-05,3.528333e-05,3.508208e-05,3.488398e-05,3.468907e-05,3.449740e-05,3.430897e-05,3.412380e-05,3.394191e-05,3.376329e-05,3.358794e-05,3.341585e-05,3.324701e-05,3.308139e-05
0.000000e+00,4.117401e-09,9.386078e-09,3.207565e-08,7.270058e-08,1.059170e-07,2.400143e-07,2.472448e-07,4.792343e-07,5.639541e-07,8.284646e-07,1.106900e-06,1.325593e-06,1.941397e-06,2.002904e-06,2.885816e-06,3.129447e-06,3.979176e-06,4.675808e-06,5.260147e-06,6.510457e-06,6.688137e-06,8.221217e-06,8.537251e-06,9.824840e-06,1.067756e-05,1.147257e-05,1.287575e-05,1.314409e-05,1.482310e-05,1.509150e-05,1.649606e-05,1.729346e-05,1.815137e-05,1.945618e-05,1.977908e-05,2.137064e-05,2.155884e-05,2.291884e-05,2.358475e-05,2.441780e-05,2.552115e-05,2.586283e-05,2.725039e-05,2.735883e-05,2.857799e-05,2.909185e-05,2.984403e-05,3.071701e-05,3.104776e-05,3.218914e-05,3.223350e-05,3.326872e-05,3.364244e-05,3.428759e-05,3.494642e-05,3.524707e-05,3.614875e-05,3.699458e-05,3.725378e-05,3.778658e-05,3.826620e-05,3.852691e-05,3.919106e-05,3.921777e-05,3.986142e-05,4.003349e-05,4.046008e-05,4.079858e-05,4.101592e-05,4.149132e-05,4.153109e-05,4.200770e-05,4.211657e-05,4.244776e-05,4.267897e-05,4.285325e-05,4.318295e-05,4.322601e-05,4.356787e-05,4.363268e-05,4.388052e-05,4.403211e-05,4.416562e-05,4.438494e-05,4.442471e-05,4.465927e-05,4.469462e-05,4.487071e-05,4.496439e-05,4.506036e-05,4.519724e-05,4.522948e-05,4.537927e-05,4.539600e-05,4.551085e-05,4.556325e-05,4.562528e-05,4.570142e-05,4.572359e-05,4.580673e-05,4.581275e-05,4.587560e-05,4.589934e-05,4.593104e-05,4.596310e-05,4.597387e-05,4.600484e-05,4.600584e-05,4.602467e-05,4.602922e-05,4.603404e-05,4.603477e-05,4.603359e-05,4.602393e-05,4.600561e-05,4.599801e-05,4.597919e-05,4.595826e-05,4.594516e-05,4.590579e-05,4.590402e-05,4.585620e-05,4.584168e-05,4.580215e-05,4.576689e-05,4.574226e-05,4.568234e-05,4.567692e-05,4.560648e-05,4.558886e-05,4.553129e-05,4.548723e-05,4.545168e-05,4.537819e-05,4.536793e-05,4.528035e-05,4.526240e-05,4.518920e-05,4.514048e-05,4.509474e-05,4.501301e-05,4.499721e-05,4.489684e-05,4.488053e-05,4.479384e-05,4.474354e-05,4.468843e-05,4.460249e-05,4.458080e-05,4.447112e-05,4.445783e-05,4.435958e-05,4.430995e-05,4.424633e-05,4.415921e-05,4.413153e-05,4.401533e-05,4.400597e-05,4.389786e-05,4.385055e-05,4.377925e-05,4.369323e-05,4.365964e-05,4.353913e-05,4.353430e-05,4.341784e-05,4.337401e-05,4.329587e-05,4.321259e-05,4.317332e-05,4.305028e-05,4.288728e-05,4.272377e-05,4.255993e-05,4.239593e-05,4.223192e-05,4.206803e-05,4.190441e-05,4.174116e-05,4.157841e-05,4.141625e-05,4.125478e-05,4.109408e-05,4.093425e-05,4.077535e-05,4.061745e-05,4.046062e-05,4.030491e-05,4.015039e-05,3.999708e-05,3.984505e-05,3.969433e-05,3.954495e-05,3.939695e-05,3.925036e-05
0.000000e+00,1.443465e-09,3.287969e-09,1.120969e-08,2.532118e-08,3.679741e-08,8.261637e-08,8.506501e-08,1.625573e-07,1.903790e-07,2.758144e-07,3.637293e-07,4.315754e-07,6.183656e-07,6.367613e-07,8.980754e-07,9.697996e-07,1.221019e-06,1.429948e-06,1.608237e-06,2.000643e-06,2.057654e-06,2.561663e-06,2.668021e-06,3.108449e-06,3.405258e-06,3.684737e-06,4.182539e-06,4.278197e-06,4.878555e-06,4.974682e-06,5.477680e-06,5.762902e-06,6.069231e-06,6.533664e-06,6.648274e-06,7.210954e-06,7.277226e-06,7.754275e-06,7.986589e-06,8.275939e-06,8.656853e-06,8.774244e-06,9.247993e-06,9.284806e-06,9.696434e-06,9.868630e-06,1.011920e-05,1.040764e-05,1.051623e-05,1.088774e-05,1.090208e-05,1.123419e-05,1.135289e-05,1.155620e-05,1.176159e-05,1.185453e-05,1.213005e-05,1.238371e-05,1.246043e-05,1.261651e-05,1.275503e-05,1.282948e-05,1.301623e-05,1.302365e-05,1.320005e-05,1.324640e-05,1.335970e-05,1.344787e-05,1.350361e-05,1.362292e-05,1.363272e-05,1.374798e-05,1.377368e-05,1.385026e-05,1.390220e-05,1.394043e-05,1.401039e-05,1.401928e-05,1.408758e-05,1.410004e-05,1.414606e-05,1.417282e-05,1.419540e-05,1.423025e-05,1.423624e-05,1.426918e-05,1.427376e-05,1.429480e-05,1.430465e-05,1.431363e-05,1.432413e-05,1.432616e-05,1.433287e-05,1.433330e-05,1.433419e-05,1.433317e-05,1.433053e-05,1.432466e-05,1.432228e-05,1.430979e-05,1.430862e-05,1.429339e-05,1.428581e-05,1.427341e-05,1.425696e-05,1.425012e-05,1.422381e-05,1.422269e-05,1.419472e-05,1.418361e-05,1.416308e-05,1.414024e-05,1.412914e-05,1.409307e-05,1.405509e-05,1.404255e-05,1.401536e-05,1.398909e-05,1.397405e-05,1.393306e-05,1.393133e-05,1.388732e-05,1.387479e-05,1.384218e-05,1.381459e-05,1.379601e-05,1.375274e-05,1.374895e-05,1.370109e-05,1.368950e-05,1.365254e-05,1.362509e-05,1.360340e-05,1.355973e-05,1.355375e-05,1.350367e-05,1.349361e-05,1.345324e-05,1.342690e-05,1.340252e-05,1.335975e-05,1.335159e-05,1.330051e-05,1.329232e-05,1.324932e-05,1.322473e-05,1.319809e-05,1.315710e-05,1.314686e-05,1.309568e-05,1.308954e-05,1.304458e-05,1.302214e-05,1.299361e-05,1.295498e-05,1.294280e-05,1.289219e-05,1.288815e-05,1.284180e-05,1.282172e-05,1.279167e-05,1.275574e-05,1.274181e-05,1.269226e-05,1.269028e-05,1.264303e-05,1.262539e-05,1.259414e-05,1.256111e-05,1.254562e-05,1.249748e-05,1.243453e-05,1.237230e-05,1.231081e-05,1.225010e-05,1.219017e-05,1.213104e-05,1.207274e-05,1.201527e-05,1.195864e-05,1.190286e-05,1.184793e-05,1.179387e-05,1.174067e-05,1.168833e-05,1.163686e-05,1.158625e-05,1.153650e-05,1.148761e-05,1.143957e-05,1.139238e-05,1.134604e-05,1.130052e-05,1.125584e-05,1.121198e-05
0.000000e+00,6.590095e-09,1.504059e-08,5.150386e-08,1.168716e-07,1.703167e-07,3.856580e-07,3.972441e-07,7.674580e-07,9.019240e-07,1.319417e-06,1.755426e-06,2.095625e-06,3.043497e-06,3.137357e-06,4.468257e-06,4.830318e-06,6.078693e-06,7.090239e-06,7.934518e-06,9.740570e-06,9.998050e-06,1.223754e-05,1.270417e-05,1.462667e-05,1.592030e-05,1.714195e-05,1.933583e-05,1.976092e-05,2.246134e-05,2.289949e-05,2.522104e-05,2.656030e-05,2.801811e-05,3.026836e-05,3.083130e-05,3.364043e-05,3.397634e-05,3.642672e-05,3.764100e-05,3.917314e-05,4.122437e-05,4.186456e-05,4.448787e-05,4.469444e-05,4.703202e-05,4.802542e-05,4.948794e-05,5.119743e-05,5.184839e-05,5.410787e-05,5.419609e-05,5.626250e-05,5.701197e-05,5.830975e-05,5.963985e-05,6.024835e-05,6.207805e-05,6.379951e-05,6.432773e-05,6.541414e-05,6.639234e-05,6.692393e-05,6.827701e-05,6.833138e-05,6.963935e-05,6.998818e-05,7.085100e-05,7.153315e-05,7.196969e-05,7.291983e-05,7.299896e-05,7.394240e-05,7.415646e-05,7.480368e-05,7.525148e-05,7.558648e-05,7.621334e-05,7.629446e-05,7.693121e-05,7.705032e-05,7.750023e-05,7.777050e-05,7.800496e-05,7.838171e-05,7.844876e-05,7.883487e-05,7.889151e-05,7.916645e-05,7.930712e-05,7.944650e-05,7.963542e-05,7.967796e-05,7.986361e-05,7.988294e-05,8.000616e-05,8.005589e-05,8.010817e-05,8.016010e-05,8.017210e-05,8.020032e-05,8.020111e-05,8.019507e-05,8.018408e-05,8.015849e-05,8.011390e-05,8.009262e-05,7.999941e-05,7.999514e-05,7.988071e-05,7.983208e-05,7.973827e-05,7.962871e-05,7.957377e-05,7.938879e-05,7.918484e-05,7.911581e-05,7.896335e-05,7.881301e-05,7.872566e-05,7.848343e-05,7.847306e-05,7.820676e-05,7.812990e-05,7.792790e-05,7.775502e-05,7.763758e-05,7.736124e-05,7.733682e-05,7.702658e-05,7.695082e-05,7.670778e-05,7.652584e-05,7.638129e-05,7.608824e-05,7.604790e-05,7.570840e-05,7.563982e-05,7.536349e-05,7.518223e-05,7.501386e-05,7.471699e-05,7.466015e-05,7.430295e-05,7.424552e-05,7.394284e-05,7.376910e-05,7.358033e-05,7.328893e-05,7.321592e-05,7.285008e-05,7.280610e-05,7.248324e-05,7.232162e-05,7.211580e-05,7.183639e-05,7.174816e-05,7.138065e-05,7.135127e-05,7.101362e-05,7.086700e-05,7.064736e-05,7.038430e-05,7.028217e-05,6.991831e-05,6.990378e-05,6.955602e-05,6.942603e-05,6.919554e-05,6.895155e-05,6.883707e-05,6.848082e-05,6.801425e-05,6.755222e-05,6.709505e-05,6.664305e-05,6.619648e-05,6.575557e-05,6.532051e-05,6.489147e-05,6.446860e-05,6.405203e-05,6.364185e-05,6.323814e-05,6.284097e-05,6.245039e-05,6.206642e-05,6.168908e-05,6.131838e-05,6.095431e-05,6.059685e-05,6.024597e-05,5.990165e-05,5.956383e-05,5.923246e-05,5.890749e-05
0.000000e+00,2.320392e-09,5.277000e-09,1.793085e-08,4.037943e-08,5.858167e-08,1.309574e-07,1.348153e-07,2.565534e-07,3.001317e-07,4.336574e-07,5.707016e-07,6.762580e-07,9.659111e-07,9.943459e-07,1.395618e-06,1.504635e-06,1.881376e-06,2.187807e-06,2.444116e-06,2.992586e-06,3.070676e-06,3.747395e-06,3.887686e-06,4.462525e-06,4.846257e-06,5.206256e-06,5.846842e-06,5.970079e-06,6.746278e-06,6.871132e-06,7.527679e-06,7.902610e-06,8.307570e-06,8.926199e-06,9.079733e-06,9.838511e-06,9.928420e-06,1.057889e-05,1.089768e-05,1.129652e-05,1.182445e-05,1.198777e-05,1.264972e-05,1.270134e-05,1.328013e-05,1.352310e-05,1.387744e-05,1.428643e-05,1.444066e-05,1.496934e-05,1.498976e-05,1.546347e-05,1.563296e-05,1.592345e-05,1.621707e-05,1.634998e-05,1.674402e-05,1.710673e-05,1.721639e-05,1.743941e-05,1.763721e-05,1.774346e-05,1.800977e-05,1.802035e-05,1.827155e-05,1.833750e-05,1.849859e-05,1.862383e-05,1.870294e-05,1.887215e-05,1.888605e-05,1.904931e-05,1.908568e-05,1.919406e-05,1.926752e-05,1.932159e-05,1.942055e-05,1.943313e-05,1.952982e-05,1.954747e-05,1.961275e-05,1.965078e-05,1.968294e-05,1.973276e-05,1.974135e-05,1.978886e-05,1.979551e-05,1.982632e-05,1.984095e-05,1.985449e-05,1.987083e-05,1.987410e-05,1.988582e-05,1.988672e-05,1.989026e-05,1.989006e-05,1.988801e-05,1.988216e-05,1.987960e-05,1.986553e-05,1.986417e-05,1.984625e-05,1.983718e-05,1.982220e-05,1.980214e-05,1.979376e-05,1.976130e-05,1.975992e-05,1.972515e-05,1.971130e-05,1.968564e-05,1.965700e-05,1.964306e-05,1.959766e-05,1.954970e-05,1.953386e-05,1.949942e-05,1.946612e-05,1.944702e-05,1.939492e-05,1.939271e-05,1.933667e-05,1.932070e-05,1.927907e-05,1.924383e-05,1.922008e-05,1.916469e-05,1.915983e-05,1.909846e-05,1.908358e-05,1.903611e-05,1.900081e-05,1.897289e-05,1.891663e-05,1.890891e-05,1.884428e-05,1.883128e-05,1.877909e-05,1.874499e-05,1.871342e-05,1.865796e-05,1.864737e-05,1.858100e-05,1.857036e-05,1.851439e-05,1.848235e-05,1.844760e-05,1.839409e-05,1.838070e-05,1.831375e-05,1.830571e-05,1.824679e-05,1.821734e-05,1.817987e-05,1.812908e-05,1.811305e-05,1.804636e-05,1.804103e-05,1.797985e-05,1.795330e-05,1.791354e-05,1.786596e-05,1.784749e-05,1.778170e-05,1.777908e-05,1.771623e-05,1.769274e-05,1.765108e-05,1.760699e-05,1.758630e-05,1.752190e-05,1.743750e-05,1.735385e-05,1.727099e-05,1.718895e-05,1.710776e-05,1.702746e-05,1.694806e-05,1.686958e-05,1.679206e-05,1.671550e-05,1.663991e-05,1.656531e-05,1.649171e-05,1.641911e-05,1.634752e-05,1.627694e-05,1.620739e-05,1.613885e-05,1.607133e-05,1.600482e-05,1.593933e-05,1.587485e-05,1.581138e-05,1.574891e-05
0.000000e+00,2.932634e-09,6.688320e-09,2.287836e-08,5.190074e-08,7.565134e-08,1.716563e-07,1.768373e-07,3.432471e-07,4.040933e-07,5.942860e-07,7.948037e-07,9.524832e-07,1.397054e-06,1.441484e-06,2.079066e-06,2.254817e-06,2.866869e-06,3.367687e-06,3.787388e-06,4.685569e-06,4.813337e-06,5.918458e-06,6.147034e-06,7.081670e-06,7.703941e-06,8.286676e-06,9.321573e-06,9.520435e-06,1.077195e-05,1.097317e-05,1.203152e-05,1.263638e-05,1.329041e-05,1.429168e-05,1.454069e-05,1.577525e-05,1.592203e-05,1.698775e-05,1.751281e-05,1.817267e-05,1.905186e-05,1.932535e-05,2.044192e-05,2.052959e-05,2.151933e-05,2.193878e-05,2.255525e-05,2.327448e-05,2.354804e-05,2.449664e-05,2.453366e-05,2.540055e-05,2.571498e-05,2.625969e-05,2.681848e-05,2.707439e-05,2.784528e-05,2.857325e-05,2.879731e-05,2.925939e-05,2.967714e-05,2.990494e-05,3.048775e-05,3.051126e-05,3.107980e-05,3.123243e-05,3.161206e-05,3.191463e-05,3.210956e-05,3.253786e-05,3.257381e-05,3.300634e-05,3.310559e-05,3.340863e-05,3.362126e-05,3.378216e-05,3.408820e-05,3.412834e-05,3.444856e-05,3.450960e-05,3.474414e-05,3.488853e-05,3.501636e-05,3.522789e-05,3.526647e-05,3.549562e-05,3.553042e-05,3.570496e-05,3.579872e-05,3.589556e-05,3.603523e-05,3.606844e-05,3.622457e-05,3.624223e-05,3.636490e-05,3.642186e-05,3.649029e-05,3.657612e-05,3.660159e-05,3.669959e-05,3.670688e-05,3.678506e-05,3.681589e-05,3.685869e-05,3.690477e-05,3.692118e-05,3.697316e-05,3.697503e-05,3.701525e-05,3.702809e-05,3.704802e-05,3.706526e-05,3.707202e-05,3.708777e-05,3.709575e-05,3.709674e-05,3.709644e-05,3.709325e-05,3.709026e-05,3.707827e-05,3.707764e-05,3.705898e-05,3.705272e-05,3.703463e-05,3.701745e-05,3.700496e-05,3.697325e-05,3.697030e-05,3.693097e-05,3.692087e-05,3.688726e-05,3.686098e-05,3.683946e-05,3.679422e-05,3.678783e-05,3.673264e-05,3.672119e-05,3.667411e-05,3.664244e-05,3.661248e-05,3.655847e-05,3.654796e-05,3.648076e-05,3.646977e-05,3.641107e-05,3.637678e-05,3.633906e-05,3.627991e-05,3.626492e-05,3.618881e-05,3.617955e-05,3.611088e-05,3.607605e-05,3.603127e-05,3.596974e-05,3.595013e-05,3.586759e-05,3.586093e-05,3.578377e-05,3.574991e-05,3.569878e-05,3.563694e-05,3.561275e-05,3.552578e-05,3.552228e-05,3.543796e-05,3.540616e-05,3.534939e-05,3.528878e-05,3.526016e-05,3.517035e-05,3.505105e-05,3.493106e-05,3.481054e-05,3.468962e-05,3.456846e-05,3.444717e-05,3.432588e-05,3.420470e-05,3.408372e-05,3.396305e-05,3.384276e-05,3.372294e-05,3.360367e-05,3.348500e-05,3.336702e-05,3.324976e-05,3.313329e-05,3.301765e-05,3.290289e-05,3.278905e-05,3.267617e-05,3.256428e-05,3.245341e-05,3.234359e-05
0.000000e+00,3.651195e-08,8.251310e-08,2.771420e-07,6.191360e-07,8.955369e-07,1.998110e-06,2.057228e-06,3.948182e-06,4.637736e-06,6.788427e-06,9.038751e-06,1.078427e-05,1.552198e-05,1.597782e-05,2.215623e-05,2.374942e-05,2.899917e-05,3.301944e-05,3.624314e-05,4.280739e-05,4.371104e-05,5.128330e-05,5.280208e-05,5.887037e-05,6.279618e-05,6.639701e-05,7.262290e-05,7.379539e-05,8.100321e-05,8.213491e-05,8.796390e-05,9.120232e-05,9.462763e-05,9.971648e-05,1.009527e-04,1.069062e-04,1.075944e-04,1.124643e-04,1.147806e-04,1.176124e-04,1.212464e-04,1.223439e-04,1.266593e-04,1.269868e-04,1.305666e-04,1.320180e-04,1.340788e-04,1.363722e-04,1.372127e-04,1.399883e-04,1.400921e-04,1.424273e-04,1.432274e-04,1.445530e-04,1.458319e-04,1.463893e-04,1.479583e-04,1.492827e-04,1.496583e-04,1.503839e-04,1.509810e-04,1.512823e-04,1.519721e-04,1.519974e-04,1.525469e-04,1.526733e-04,1.529471e-04,1.531219e-04,1.532132e-04,1.533512e-04,1.533587e-04,1.533961e-04,1.533903e-04,1.533367e-04,1.532649e-04,1.531906e-04,1.529975e-04,1.529668e-04,1.526738e-04,1.526075e-04,1.523188e-04,1.521119e-04,1.519085e-04,1.515254e-04,1.514487e-04,1.509450e-04,1.508607e-04,1.504021e-04,1.501288e-04,1.498243e-04,1.493395e-04,1.492155e-04,1.485792e-04,1.485011e-04,1.479186e-04,1.476210e-04,1.472366e-04,1.467055e-04,1.465357e-04,1.458184e-04,1.457603e-04,1.450866e-04,1.447903e-04,1.443425e-04,1.437999e-04,1.435876e-04,1.428237e-04,1.427930e-04,1.420522e-04,1.417729e-04,1.412744e-04,1.407426e-04,1.404916e-04,1.397049e-04,1.389153e-04,1.386622e-04,1.381238e-04,1.376166e-04,1.373312e-04,1.365700e-04,1.365383e-04,1.357458e-04,1.355241e-04,1.349545e-04,1.344805e-04,1.341649e-04,1.334405e-04,1.333776e-04,1.325931e-04,1.324053e-04,1.318119e-04,1.313761e-04,1.310345e-04,1.303537e-04,1.302612e-04,1.294923e-04,1.293392e-04,1.287284e-04,1.283331e-04,1.279695e-04,1.273363e-04,1.272161e-04,1.264684e-04,1.263493e-04,1.257266e-04,1.253727e-04,1.249909e-04,1.244069e-04,1.242615e-04,1.235386e-04,1.234523e-04,1.228224e-04,1.225094e-04,1.221129e-04,1.215783e-04,1.214103e-04,1.207147e-04,1.206594e-04,1.200262e-04,1.197528e-04,1.193449e-04,1.188589e-04,1.186709e-04,1.180041e-04,1.179776e-04,1.173447e-04,1.171091e-04,1.166927e-04,1.162535e-04,1.160481e-04,1.154109e-04,1.145813e-04,1.137647e-04,1.129611e-04,1.121704e-04,1.113927e-04,1.106279e-04,1.098758e-04,1.091365e-04,1.084098e-04,1.076957e-04,1.069939e-04,1.063044e-04,1.056271e-04,1.049618e-04,1.043084e-04,1.036668e-04,1.030367e-04,1.024181e-04,1.018107e-04,1.012145e-04,1.006292e-04,1.000547e-04,9.949080e-05,9.893740e-05
0.000000e+00,6.159112e-10,1.405907e-09,4.813354e-09,1.091080e-08,1.588325e-08,3.578876e-08,3.685370e-08,7.055657e-08,8.264479e-08,1.196881e-07,1.576574e-07,1.868459e-07,2.666940e-07,2.745186e-07,3.849995e-07,4.151318e-07,5.201832e-07,6.071479e-07,6.812181e-07,8.443169e-07,8.680646e-07,1.079175e-06,1.124067e-06,1.311587e-06,1.439604e-06,1.561475e-06,1.781943e-06,1.824824e-06,2.097892e-06,2.142259e-06,2.377389e-06,2.512982e-06,2.660479e-06,2.887891e-06,2.944729e-06,3.228045e-06,3.261892e-06,3.508629e-06,3.630815e-06,3.784944e-06,3.991281e-06,4.055691e-06,4.319791e-06,4.340605e-06,4.576364e-06,4.676724e-06,4.824712e-06,4.998124e-06,5.064302e-06,5.294747e-06,5.303770e-06,5.515788e-06,5.593030e-06,5.727280e-06,5.865609e-06,5.929169e-06,6.121482e-06,6.304314e-06,6.360841e-06,6.477812e-06,6.584039e-06,6.642166e-06,6.791553e-06,6.797602e-06,6.944369e-06,6.983947e-06,7.082738e-06,7.161845e-06,7.212991e-06,7.325907e-06,7.335420e-06,7.450322e-06,7.476812e-06,7.557995e-06,7.615244e-06,7.658735e-06,7.741885e-06,7.752837e-06,7.840589e-06,7.857403e-06,7.922276e-06,7.962448e-06,7.998174e-06,8.057651e-06,8.068551e-06,8.133667e-06,8.143615e-06,8.193776e-06,8.220920e-06,8.249119e-06,8.290121e-06,8.299932e-06,8.346440e-06,8.351743e-06,8.388861e-06,8.406285e-06,8.427401e-06,8.454221e-06,8.462262e-06,8.493634e-06,8.495999e-06,8.521700e-06,8.532041e-06,8.546636e-06,8.562746e-06,8.568609e-06,8.587780e-06,8.588490e-06,8.604300e-06,8.609627e-06,8.618317e-06,8.626490e-06,8.629970e-06,8.639391e-06,8.646708e-06,8.648625e-06,8.652041e-06,8.654466e-06,8.655505e-06,8.657175e-06,8.657210e-06,8.657261e-06,8.656992e-06,8.655757e-06,8.654147e-06,8.652792e-06,8.648852e-06,8.648457e-06,8.642837e-06,8.641307e-06,8.636014e-06,8.631697e-06,8.628066e-06,8.620198e-06,8.619065e-06,8.609082e-06,8.606974e-06,8.598184e-06,8.592176e-06,8.586433e-06,8.575947e-06,8.573890e-06,8.560611e-06,8.558422e-06,8.546651e-06,8.539723e-06,8.532060e-06,8.519967e-06,8.516888e-06,8.501181e-06,8.499262e-06,8.484982e-06,8.477709e-06,8.468332e-06,8.455402e-06,8.451272e-06,8.433838e-06,8.432428e-06,8.416065e-06,8.408869e-06,8.397988e-06,8.384801e-06,8.379636e-06,8.361042e-06,8.360293e-06,8.342231e-06,8.335412e-06,8.323232e-06,8.310218e-06,8.304069e-06,8.284767e-06,8.259112e-06,8.233300e-06,8.207378e-06,8.181386e-06,8.155362e-06,8.129342e-06,8.103358e-06,8.077440e-06,8.051615e-06,8.025910e-06,8.000346e-06,7.974946e-06,7.949728e-06,7.924710e-06,7.899908e-06,7.875337e-06,7.851010e-06,7.826938e-06,7.803131e-06,7.779600e-06,7.756353e-06,7.733396e-06,7.710736e-06,7.688380e-06
0.000000e+00,7.210827e-09,1.634758e-08,5.518991e-08,1.235623e-07,1.786960e-07,3.963058e-07,4.078519e-07,7.703928e-07,8.995148e-07,1.293607e-06,1.696036e-06,2.004624e-06,2.844017e-06,2.925729e-06,4.063011e-06,4.366650e-06,5.399520e-06,6.223695e-06,6.904653e-06,8.343952e-06,8.547435e-06,1.030139e-05,1.066348e-05,1.214382e-05,1.312995e-05,1.405409e-05,1.569671e-05,1.601249e-05,1.799975e-05,1.831912e-05,1.999705e-05,2.095395e-05,2.198623e-05,2.356019e-05,2.395019e-05,2.587317e-05,2.610049e-05,2.774115e-05,2.854242e-05,2.954196e-05,3.085938e-05,3.126553e-05,3.290382e-05,3.303101e-05,3.445086e-05,3.504316e-05,3.590259e-05,3.688746e-05,3.725671e-05,3.851250e-05,3.856069e-05,3.967060e-05,4.006391e-05,4.073278e-05,4.140164e-05,4.170177e-05,4.258099e-05,4.337443e-05,4.361092e-05,4.408646e-05,4.450156e-05,4.472168e-05,4.526361e-05,4.528481e-05,4.578059e-05,4.590799e-05,4.621374e-05,4.644548e-05,4.658884e-05,4.688645e-05,4.691029e-05,4.718233e-05,4.724072e-05,4.740896e-05,4.751745e-05,4.759395e-05,4.772510e-05,4.774082e-05,4.785288e-05,4.787138e-05,4.793317e-05,4.796331e-05,4.798451e-05,4.800719e-05,4.800953e-05,4.801061e-05,4.800871e-05,4.798996e-05,4.797293e-05,4.794960e-05,4.790436e-05,4.789137e-05,4.781695e-05,4.780700e-05,4.772787e-05,4.768441e-05,4.762555e-05,4.753973e-05,4.751127e-05,4.738620e-05,4.737576e-05,4.725142e-05,4.719500e-05,4.710789e-05,4.699963e-05,4.695650e-05,4.679808e-05,4.679161e-05,4.663336e-05,4.657266e-05,4.646303e-05,4.634432e-05,4.628771e-05,4.610797e-05,4.592434e-05,4.586483e-05,4.573728e-05,4.561597e-05,4.554724e-05,4.536237e-05,4.535462e-05,4.515980e-05,4.510490e-05,4.496311e-05,4.484434e-05,4.476487e-05,4.458137e-05,4.456537e-05,4.436486e-05,4.431662e-05,4.416360e-05,4.405064e-05,4.396180e-05,4.378395e-05,4.375968e-05,4.355743e-05,4.351698e-05,4.335523e-05,4.325015e-05,4.315323e-05,4.298381e-05,4.295158e-05,4.275043e-05,4.271830e-05,4.254989e-05,4.245389e-05,4.235010e-05,4.219086e-05,4.215115e-05,4.195314e-05,4.192944e-05,4.175616e-05,4.166985e-05,4.156031e-05,4.141226e-05,4.136565e-05,4.117226e-05,4.115684e-05,4.098019e-05,4.090375e-05,4.078952e-05,4.065312e-05,4.060029e-05,4.041255e-05,4.040507e-05,4.022634e-05,4.015969e-05,4.004171e-05,3.991709e-05,3.985870e-05,3.967733e-05,3.944048e-05,3.920661e-05,3.897576e-05,3.874798e-05,3.852329e-05,3.830173e-05,3.808331e-05,3.786805e-05,3.765596e-05,3.744704e-05,3.724130e-05,3.703872e-05,3.683930e-05,3.664304e-05,3.644991e-05,3.625990e-05,3.607299e-05,3.588915e-05,3.570837e-05,3.553062e-05,3.535586e-05,3.518408e-05,3.501524e-05,3.484930e-05
0.000000e+00,1.898012e-09,4.318678e-09,1.474637e-08,3.356652e-08,4.914636e-08,1.139828e-07,1.175677e-07,2.371191e-07,2.827642e-07,4.304905e-07,5.911265e-07,7.180860e-07,1.065560e-06,1.098971e-06,1.549695e-06,1.665369e-06,2.045924e-06,2.337615e-06,2.572215e-06,3.053111e-06,3.119731e-06,3.682845e-06,3.796943e-06,4.257172e-06,4.558924e-06,4.838714e-06,5.329883e-06,5.423503e-06,6.007560e-06,6.100678e-06,6.586974e-06,6.862344e-06,7.158033e-06,7.606561e-06,7.717329e-06,8.261854e-06,8.326079e-06,8.789064e-06,9.015002e-06,9.296900e-06,9.668917e-06,9.783797e-06,1.024866e-05,1.028487e-05,1.069082e-05,1.086125e-05,1.110999e-05,1.139757e-05,1.150622e-05,1.187982e-05,1.189430e-05,1.223134e-05,1.235261e-05,1.256148e-05,1.277418e-05,1.287107e-05,1.316103e-05,1.343235e-05,1.351539e-05,1.368601e-05,1.383955e-05,1.392303e-05,1.413583e-05,1.414440e-05,1.435109e-05,1.440647e-05,1.454405e-05,1.465360e-05,1.472416e-05,1.487925e-05,1.489228e-05,1.504920e-05,1.508528e-05,1.519568e-05,1.527341e-05,1.533243e-05,1.544523e-05,1.546009e-05,1.557928e-05,1.560216e-05,1.569057e-05,1.574550e-05,1.579448e-05,1.587642e-05,1.589150e-05,1.598207e-05,1.599600e-05,1.606662e-05,1.610517e-05,1.614552e-05,1.620481e-05,1.621913e-05,1.628777e-05,1.629569e-05,1.635175e-05,1.637850e-05,1.641136e-05,1.645388e-05,1.646684e-05,1.651844e-05,1.652240e-05,1.656638e-05,1.658458e-05,1.661087e-05,1.664087e-05,1.665210e-05,1.669024e-05,1.669171e-05,1.672548e-05,1.673748e-05,1.675795e-05,1.677853e-05,1.678781e-05,1.681518e-05,1.684021e-05,1.684774e-05,1.686299e-05,1.687645e-05,1.688366e-05,1.690159e-05,1.690230e-05,1.691902e-05,1.692337e-05,1.693391e-05,1.694200e-05,1.694706e-05,1.695769e-05,1.695855e-05,1.696845e-05,1.697060e-05,1.697684e-05,1.698091e-05,1.698380e-05,1.698878e-05,1.698938e-05,1.699364e-05,1.699434e-05,1.699665e-05,1.699774e-05,1.699847e-05,1.699911e-05,1.699914e-05,1.699872e-05,1.699855e-05,1.699725e-05,1.699619e-05,1.699479e-05,1.699213e-05,1.699137e-05,1.698704e-05,1.698646e-05,1.698184e-05,1.697929e-05,1.697581e-05,1.697069e-05,1.696898e-05,1.696138e-05,1.696074e-05,1.695306e-05,1.694954e-05,1.694405e-05,1.693715e-05,1.693437e-05,1.692406e-05,1.692363e-05,1.691314e-05,1.690906e-05,1.690164e-05,1.689350e-05,1.688959e-05,1.687701e-05,1.685964e-05,1.684145e-05,1.682249e-05,1.680280e-05,1.678244e-05,1.676144e-05,1.673985e-05,1.671771e-05,1.669505e-05,1.667191e-05,1.664833e-05,1.662433e-05,1.659995e-05,1.657523e-05,1.655017e-05,1.652483e-05,1.649921e-05,1.647334e-05,1.644725e-05,1.642097e-05,1.639450e-05,1.636787e-05,1.634110e-05,1.631422e-05
0.000000e+00,5.907834e-09,1.349419e-08,4.629783e-08,1.052915e-07,1.536653e-07,3.496161e-07,3.602017e-07,7.004289e-07,8.248584e-07,1.213556e-06,1.622390e-06,1.942645e-06,2.836084e-06,2.924415e-06,4.170616e-06,4.507476e-06,5.663229e-06,6.595204e-06,7.371320e-06,9.029343e-06,9.265651e-06,1.132187e-05,1.175065e-05,1.351887e-05,1.471039e-05,1.583696e-05,1.786360e-05,1.825682e-05,2.075913e-05,2.116586e-05,2.332466e-05,2.457300e-05,2.593455e-05,2.804218e-05,2.857067e-05,3.121595e-05,3.153324e-05,3.385468e-05,3.500994e-05,3.647270e-05,3.844077e-05,3.905748e-05,4.159825e-05,4.179932e-05,4.408586e-05,4.506429e-05,4.651280e-05,4.821919e-05,4.887304e-05,5.116190e-05,5.125192e-05,5.337594e-05,5.415418e-05,5.551276e-05,5.692090e-05,5.757087e-05,5.954957e-05,6.144882e-05,6.203986e-05,6.326912e-05,6.439312e-05,6.501144e-05,6.661192e-05,6.667710e-05,6.826768e-05,6.869983e-05,6.978502e-05,7.066109e-05,7.123111e-05,7.250038e-05,7.260805e-05,7.391803e-05,7.422271e-05,7.516329e-05,7.583322e-05,7.634612e-05,7.733715e-05,7.746877e-05,7.853352e-05,7.873972e-05,7.954259e-05,8.004603e-05,8.049817e-05,8.126109e-05,8.140240e-05,8.225738e-05,8.238974e-05,8.306513e-05,8.343667e-05,8.382765e-05,8.440639e-05,8.454686e-05,8.522460e-05,8.530323e-05,8.586267e-05,8.613130e-05,8.646279e-05,8.689454e-05,8.702664e-05,8.755581e-05,8.759669e-05,8.805184e-05,8.824131e-05,8.851622e-05,8.883178e-05,8.895037e-05,8.935566e-05,8.937129e-05,8.973340e-05,8.986288e-05,9.008484e-05,9.030943e-05,9.041121e-05,9.071364e-05,9.099325e-05,9.107808e-05,9.125111e-05,9.140518e-05,9.148822e-05,9.169724e-05,9.170556e-05,9.190407e-05,9.195640e-05,9.208464e-05,9.218472e-05,9.224812e-05,9.238413e-05,9.239533e-05,9.252704e-05,9.255644e-05,9.264402e-05,9.270336e-05,9.274697e-05,9.282652e-05,9.283659e-05,9.291351e-05,9.292743e-05,9.297838e-05,9.300755e-05,9.303179e-05,9.306821e-05,9.307430e-05,9.310648e-05,9.311071e-05,9.312884e-05,9.313623e-05,9.314188e-05,9.314593e-05,9.314609e-05,9.314191e-05,9.314086e-05,9.312979e-05,9.312204e-05,9.311014e-05,9.309042e-05,9.308336e-05,9.304984e-05,9.304687e-05,9.300993e-05,9.299226e-05,9.296400e-05,9.292737e-05,9.291236e-05,9.285534e-05,9.285296e-05,9.279325e-05,9.276971e-05,9.272637e-05,9.267831e-05,9.265499e-05,9.257936e-05,9.247346e-05,9.236117e-05,9.224300e-05,9.211944e-05,9.199096e-05,9.185798e-05,9.172093e-05,9.158017e-05,9.143608e-05,9.128899e-05,9.113923e-05,9.098709e-05,9.083286e-05,9.067680e-05,9.051916e-05,9.036018e-05,9.020007e-05,9.003904e-05,8.987729e-05,8.971500e-05,8.955233e-05,8.938945e-05,8.922651e-05,8.906364e-05
0.000000e+00,8.789930e-09,2.005431e-08,6.872048e-08,1.564078e-07,2.285933e-07,5.241491e-07,5.402641e-07,1.065984e-06,1.261713e-06,1.882585e-06,2.545971e-06,3.068725e-06,4.520239e-06,4.662371e-06,6.633002e-06,7.154923e-06,8.916356e-06,1.030949e-05,1.145484e-05,1.386593e-05,1.420622e-05,1.713842e-05,1.774411e-05,2.022403e-05,2.188056e-05,2.343710e-05,2.621557e-05,2.675163e-05,3.014131e-05,3.068886e-05,3.357965e-05,3.523965e-05,3.704057e-05,3.980862e-05,4.049893e-05,4.393109e-05,4.434013e-05,4.731524e-05,4.878399e-05,5.063204e-05,5.309729e-05,5.386462e-05,5.699871e-05,5.724482e-05,6.002262e-05,6.119916e-05,6.292702e-05,6.494019e-05,6.570493e-05,6.835143e-05,6.845451e-05,7.086345e-05,7.173454e-05,7.323954e-05,7.477754e-05,7.547961e-05,7.758478e-05,7.955708e-05,8.016060e-05,8.139935e-05,8.251173e-05,8.311504e-05,8.464663e-05,8.470805e-05,8.618264e-05,8.657492e-05,8.754333e-05,8.830699e-05,8.879476e-05,8.985365e-05,8.994167e-05,9.098885e-05,9.122586e-05,9.194102e-05,9.243449e-05,9.280287e-05,9.349023e-05,9.357898e-05,9.427384e-05,9.440345e-05,9.489178e-05,9.518412e-05,9.543701e-05,9.584178e-05,9.591358e-05,9.632536e-05,9.638549e-05,9.667611e-05,9.682383e-05,9.696937e-05,9.716491e-05,9.720858e-05,9.739699e-05,9.741634e-05,9.753770e-05,9.758527e-05,9.763367e-05,9.767841e-05,9.768770e-05,9.770245e-05,9.770202e-05,9.768047e-05,9.766194e-05,9.762416e-05,9.756363e-05,9.753578e-05,9.741750e-05,9.741217e-05,9.727135e-05,9.721230e-05,9.709928e-05,9.696839e-05,9.690310e-05,9.668455e-05,9.644526e-05,9.636456e-05,9.618677e-05,9.601194e-05,9.591054e-05,9.562995e-05,9.561795e-05,9.531028e-05,9.522161e-05,9.498878e-05,9.478971e-05,9.465458e-05,9.433685e-05,9.430879e-05,9.395242e-05,9.386542e-05,9.358644e-05,9.337763e-05,9.321176e-05,9.287553e-05,9.282924e-05,9.243968e-05,9.236099e-05,9.204383e-05,9.183575e-05,9.164242e-05,9.130142e-05,9.123610e-05,9.082552e-05,9.075947e-05,9.041124e-05,9.021125e-05,8.999384e-05,8.965803e-05,8.957384e-05,8.915173e-05,8.910095e-05,8.872795e-05,8.854108e-05,8.830295e-05,8.797937e-05,8.787711e-05,8.745082e-05,8.741670e-05,8.702441e-05,8.685389e-05,8.659822e-05,8.629166e-05,8.617254e-05,8.574767e-05,8.573069e-05,8.532387e-05,8.517161e-05,8.490138e-05,8.461496e-05,8.448044e-05,8.406125e-05,8.351095e-05,8.296448e-05,8.242219e-05,8.188443e-05,8.135151e-05,8.082368e-05,8.030119e-05,7.978425e-05,7.927305e-05,7.876775e-05,7.826848e-05,7.777537e-05,7.728852e-05,7.680802e-05,7.633393e-05,7.586630e-05,7.540519e-05,7.495061e-05,7.450259e-05,7.406113e-05,7.362623e-05,7.319789e-05,7.277609e-05,7.236079e-05
0.000000e+00,5.500371e-09,1.252916e-08,4.273081e-08,9.660475e-08,1.404925e-07,3.163950e-07,3.258260e-07,6.258400e-07,7.342601e-07,1.069345e-06,1.417112e-06,1.687090e-06,2.433769e-06,2.507304e-06,3.543454e-06,3.823502e-06,4.784528e-06,5.559238e-06,6.203867e-06,7.578714e-06,7.774385e-06,9.474069e-06,9.827869e-06,1.128480e-05,1.226481e-05,1.319022e-05,1.485225e-05,1.517434e-05,1.722093e-05,1.755308e-05,1.931344e-05,2.032924e-05,2.143515e-05,2.314241e-05,2.356952e-05,2.570046e-05,2.595521e-05,2.781276e-05,2.873259e-05,2.989233e-05,3.144302e-05,3.192643e-05,3.390382e-05,3.405926e-05,3.581487e-05,3.655886e-05,3.765155e-05,3.892424e-05,3.940743e-05,4.107757e-05,4.114254e-05,4.265846e-05,4.320526e-05,4.414785e-05,4.510777e-05,4.554465e-05,4.684875e-05,4.806091e-05,4.842962e-05,4.918263e-05,4.985399e-05,5.021596e-05,5.112717e-05,5.116346e-05,5.202804e-05,5.225569e-05,5.281290e-05,5.324697e-05,5.352145e-05,5.410895e-05,5.415722e-05,5.472379e-05,5.484988e-05,5.522480e-05,5.547807e-05,5.566384e-05,5.600177e-05,5.604448e-05,5.637018e-05,5.642903e-05,5.664433e-05,5.676760e-05,5.687019e-05,5.702490e-05,5.705091e-05,5.718949e-05,5.720795e-05,5.728882e-05,5.732336e-05,5.735164e-05,5.737736e-05,5.738055e-05,5.737805e-05,5.737576e-05,5.734648e-05,5.732396e-05,5.728805e-05,5.722696e-05,5.720483e-05,5.709878e-05,5.708936e-05,5.697173e-05,5.691543e-05,5.682543e-05,5.670908e-05,5.666149e-05,5.648144e-05,5.647392e-05,5.628671e-05,5.621327e-05,5.607863e-05,5.593015e-05,5.585845e-05,5.562733e-05,5.538637e-05,5.530735e-05,5.513658e-05,5.497253e-05,5.487892e-05,5.462497e-05,5.461426e-05,5.434342e-05,5.426659e-05,5.406719e-05,5.389915e-05,5.378626e-05,5.352423e-05,5.350130e-05,5.321294e-05,5.314328e-05,5.292173e-05,5.275761e-05,5.262820e-05,5.236838e-05,5.233286e-05,5.203616e-05,5.197669e-05,5.173851e-05,5.158349e-05,5.144031e-05,5.118966e-05,5.114192e-05,5.084366e-05,5.079597e-05,5.054585e-05,5.040314e-05,5.024877e-05,5.001180e-05,4.995267e-05,4.965779e-05,4.962250e-05,4.936435e-05,4.923574e-05,4.907255e-05,4.885199e-05,4.878256e-05,4.849457e-05,4.847162e-05,4.820870e-05,4.809498e-05,4.792511e-05,4.772240e-05,4.764391e-05,4.736522e-05,4.735412e-05,4.708913e-05,4.699039e-05,4.681573e-05,4.663140e-05,4.654510e-05,4.627732e-05,4.592830e-05,4.558446e-05,4.524589e-05,4.491268e-05,4.458488e-05,4.426253e-05,4.394567e-05,4.363432e-05,4.332846e-05,4.302810e-05,4.273323e-05,4.244380e-05,4.215980e-05,4.188118e-05,4.160790e-05,4.133990e-05,4.107713e-05,4.081952e-05,4.056703e-05,4.031956e-05,4.007707e-05,3.983946e-05,3.960668e-05,3.937864e-05
0.000000e+00,5.941993e-09,1.358813e-08,4.673415e-08,1.065196e-07,1.556442e-07,3.551782e-07,3.659751e-07,7.136201e-07,8.410054e-07,1.239670e-06,1.660336e-06,1.991067e-06,2.921038e-06,3.013640e-06,4.333287e-06,4.694032e-06,5.943182e-06,6.961932e-06,7.817269e-06,9.663995e-06,9.929269e-06,1.225870e-05,1.274920e-05,1.478930e-05,1.617988e-05,1.750654e-05,1.992258e-05,2.039580e-05,2.344156e-05,2.394231e-05,2.662709e-05,2.820058e-05,2.993449e-05,3.265552e-05,3.334492e-05,3.683896e-05,3.726293e-05,4.039703e-05,4.197784e-05,4.399972e-05,4.675597e-05,4.762816e-05,5.126434e-05,5.155506e-05,5.489141e-05,5.633615e-05,5.849381e-05,6.106426e-05,6.205739e-05,6.556947e-05,6.570872e-05,6.901887e-05,7.024340e-05,7.239589e-05,7.464663e-05,7.569223e-05,7.890097e-05,8.201641e-05,8.299287e-05,8.503402e-05,8.691230e-05,8.795031e-05,9.065225e-05,9.076273e-05,9.346958e-05,9.420843e-05,9.606987e-05,9.757873e-05,9.856326e-05,1.007630e-04,1.009500e-04,1.032307e-04,1.037624e-04,1.054065e-04,1.065797e-04,1.074789e-04,1.092184e-04,1.094496e-04,1.113204e-04,1.116828e-04,1.130936e-04,1.139778e-04,1.147714e-04,1.161088e-04,1.163563e-04,1.178506e-04,1.180815e-04,1.192571e-04,1.199017e-04,1.205782e-04,1.215753e-04,1.218165e-04,1.229748e-04,1.231085e-04,1.240556e-04,1.245073e-04,1.250616e-04,1.257776e-04,1.259952e-04,1.268592e-04,1.269253e-04,1.276559e-04,1.279563e-04,1.283879e-04,1.288762e-04,1.290575e-04,1.296673e-04,1.296905e-04,1.302194e-04,1.304045e-04,1.307162e-04,1.310236e-04,1.311599e-04,1.315526e-04,1.318965e-04,1.319966e-04,1.321936e-04,1.323601e-04,1.324458e-04,1.326476e-04,1.326552e-04,1.328235e-04,1.328635e-04,1.329526e-04,1.330120e-04,1.330443e-04,1.330970e-04,1.331002e-04,1.331220e-04,1.331224e-04,1.331113e-04,1.330918e-04,1.330697e-04,1.330087e-04,1.329986e-04,1.328995e-04,1.328765e-04,1.327738e-04,1.326983e-04,1.326227e-04,1.324773e-04,1.324477e-04,1.322499e-04,1.322163e-04,1.320306e-04,1.319180e-04,1.317909e-04,1.315852e-04,1.315320e-04,1.312548e-04,1.312204e-04,1.309605e-04,1.308259e-04,1.306501e-04,1.304039e-04,1.303244e-04,1.299845e-04,1.299567e-04,1.296312e-04,1.294863e-04,1.292654e-04,1.289947e-04,1.288878e-04,1.284993e-04,1.284836e-04,1.281006e-04,1.279548e-04,1.276925e-04,1.274099e-04,1.272756e-04,1.268506e-04,1.262783e-04,1.256943e-04,1.251001e-04,1.244968e-04,1.238856e-04,1.232676e-04,1.226438e-04,1.220153e-04,1.213829e-04,1.207475e-04,1.201099e-04,1.194708e-04,1.188311e-04,1.181912e-04,1.175519e-04,1.169137e-04,1.162772e-04,1.156429e-04,1.150111e-04,1.143825e-04,1.137572e-04,1.131359e-04,1.125186e-04,1.119059e-04
0.000000e+00,3.671516e-09,8.403341e-09,2.897267e-08,6.625062e-08,9.702586e-08,2.231693e-07,2.300424e-07,4.535712e-07,5.364401e-07,7.985479e-07,1.078892e-06,1.301494e-06,1.935133e-06,1.998714e-06,2.910629e-06,3.161030e-06,4.028351e-06,4.733574e-06,5.322897e-06,6.584275e-06,6.764129e-06,8.328624e-06,8.654692e-06,9.998760e-06,1.090413e-05,1.176015e-05,1.330074e-05,1.359984e-05,1.550537e-05,1.581554e-05,1.746448e-05,1.842033e-05,1.946509e-05,2.108753e-05,2.149543e-05,2.354423e-05,2.379082e-05,2.560091e-05,2.650580e-05,2.765572e-05,2.921064e-05,2.969980e-05,3.172531e-05,3.188633e-05,3.372534e-05,3.451687e-05,3.569399e-05,3.708913e-05,3.762623e-05,3.951790e-05,3.959267e-05,4.136559e-05,4.201946e-05,4.316661e-05,4.436354e-05,4.491885e-05,4.662075e-05,4.827121e-05,4.878836e-05,4.986952e-05,5.086490e-05,5.141533e-05,5.284982e-05,5.290854e-05,5.434932e-05,5.474339e-05,5.573803e-05,5.654647e-05,5.707518e-05,5.826038e-05,5.836142e-05,5.959753e-05,5.988682e-05,6.078435e-05,6.142778e-05,6.192281e-05,6.288544e-05,6.301390e-05,6.405865e-05,6.426213e-05,6.505810e-05,6.556028e-05,6.601335e-05,6.678240e-05,6.692549e-05,6.779562e-05,6.793102e-05,6.862487e-05,6.900871e-05,6.941433e-05,7.001800e-05,7.016512e-05,7.087834e-05,7.096145e-05,7.155508e-05,7.184157e-05,7.219642e-05,7.266081e-05,7.280342e-05,7.337713e-05,7.342162e-05,7.391858e-05,7.412636e-05,7.442879e-05,7.477736e-05,7.490876e-05,7.535945e-05,7.537689e-05,7.578184e-05,7.592715e-05,7.617686e-05,7.643030e-05,7.654542e-05,7.688843e-05,7.720675e-05,7.730354e-05,7.750125e-05,7.767761e-05,7.777275e-05,7.801252e-05,7.802208e-05,7.825003e-05,7.831013e-05,7.845736e-05,7.857218e-05,7.864484e-05,7.880041e-05,7.881319e-05,7.896313e-05,7.899646e-05,7.909535e-05,7.916191e-05,7.921053e-05,7.929830e-05,7.930931e-05,7.939234e-05,7.940711e-05,7.946023e-05,7.948975e-05,7.951358e-05,7.954759e-05,7.955298e-05,7.957899e-05,7.958195e-05,7.959216e-05,7.959408e-05,7.959302e-05,7.958519e-05,7.958208e-05,7.955984e-05,7.955644e-05,7.952679e-05,7.950895e-05,7.948340e-05,7.944378e-05,7.943011e-05,7.936737e-05,7.936196e-05,7.929560e-05,7.926446e-05,7.921522e-05,7.915223e-05,7.912662e-05,7.903018e-05,7.902617e-05,7.892629e-05,7.888713e-05,7.881529e-05,7.873593e-05,7.869754e-05,7.857336e-05,7.840018e-05,7.821709e-05,7.802479e-05,7.782393e-05,7.761512e-05,7.739897e-05,7.717604e-05,7.694688e-05,7.671199e-05,7.647187e-05,7.622698e-05,7.597777e-05,7.572465e-05,7.546803e-05,7.520829e-05,7.494579e-05,7.468088e-05,7.441387e-05,7.414508e-05,7.387480e-05,7.360330e-05,7.333085e-05,7.305770e-05,7.278407e-05
0.000000e+00,4.634740e-09,1.059123e-08,3.643009e-08,8.325848e-08,1.220058e-07,2.820928e-07,2.908795e-07,5.802740e-07,6.892486e-07,1.038964e-06,1.419396e-06,1.724304e-06,2.595025e-06,2.682102e-06,3.916203e-06,4.249633e-06,5.387214e-06,6.294762e-06,7.042974e-06,8.617988e-06,8.839931e-06,1.074619e-05,1.113836e-05,1.273795e-05,1.380099e-05,1.479608e-05,1.656395e-05,1.690390e-05,1.904608e-05,1.939105e-05,2.120823e-05,2.224912e-05,2.337674e-05,2.510758e-05,2.553894e-05,2.768316e-05,2.793875e-05,2.979891e-05,3.071839e-05,3.187693e-05,3.342602e-05,3.390922e-05,3.588903e-05,3.604498e-05,3.781086e-05,3.856235e-05,3.967035e-05,4.096868e-05,4.146418e-05,4.318994e-05,4.325753e-05,4.484607e-05,4.542505e-05,4.643171e-05,4.746953e-05,4.794660e-05,4.939099e-05,5.076555e-05,5.119081e-05,5.207129e-05,5.287145e-05,5.330952e-05,5.443611e-05,5.448175e-05,5.558966e-05,5.588860e-05,5.663506e-05,5.723308e-05,5.761985e-05,5.847401e-05,5.854599e-05,5.941548e-05,5.961595e-05,6.023034e-05,6.066355e-05,6.099259e-05,6.162144e-05,6.170423e-05,6.236725e-05,6.249419e-05,6.298360e-05,6.328630e-05,6.355521e-05,6.400215e-05,6.408394e-05,6.457163e-05,6.464597e-05,6.502006e-05,6.522187e-05,6.543096e-05,6.573379e-05,6.580601e-05,6.614683e-05,6.618550e-05,6.645500e-05,6.658065e-05,6.673204e-05,6.692268e-05,6.697942e-05,6.719854e-05,6.721490e-05,6.739079e-05,6.746046e-05,6.755746e-05,6.766235e-05,6.769983e-05,6.781911e-05,6.782342e-05,6.791647e-05,6.794637e-05,6.799303e-05,6.803376e-05,6.804987e-05,6.808802e-05,6.810849e-05,6.811145e-05,6.811221e-05,6.810623e-05,6.810010e-05,6.807440e-05,6.807304e-05,6.803187e-05,6.801792e-05,6.797738e-05,6.793861e-05,6.791034e-05,6.783822e-05,6.783149e-05,6.774153e-05,6.771836e-05,6.764113e-05,6.758058e-05,6.753093e-05,6.742633e-05,6.741154e-05,6.728356e-05,6.725698e-05,6.714753e-05,6.707380e-05,6.700400e-05,6.687800e-05,6.685347e-05,6.669642e-05,6.667072e-05,6.653333e-05,6.645303e-05,6.636463e-05,6.622592e-05,6.619075e-05,6.601208e-05,6.599034e-05,6.582901e-05,6.574716e-05,6.564190e-05,6.549721e-05,6.545109e-05,6.525693e-05,6.524126e-05,6.505971e-05,6.498003e-05,6.485973e-05,6.471421e-05,6.465729e-05,6.445265e-05,6.444442e-05,6.424606e-05,6.417125e-05,6.403776e-05,6.389526e-05,6.382799e-05,6.361696e-05,6.333683e-05,6.305531e-05,6.277283e-05,6.248975e-05,6.220645e-05,6.192325e-05,6.164047e-05,6.135838e-05,6.107725e-05,6.079733e-05,6.051883e-05,6.024196e-05,5.996691e-05,5.969386e-05,5.942295e-05,5.915433e-05,5.888813e-05,5.862448e-05,5.836346e-05,5.810520e-05,5.784975e-05,5.759721e-05,5.734765e-05,5.710111e-05
0.000000e+00,1.492360e-06,3.374104e-06,1.138516e-05,2.569462e-05,3.748800e-05,8.653054e-05,8.924654e-05,1.801093e-04,2.148307e-04,3.262220e-04,4.439315e-04,5.337120e-04,7.656487e-04,7.870458e-04,1.064289e-03,1.132659e-03,1.351554e-03,1.514121e-03,1.642117e-03,1.897854e-03,1.932640e-03,2.220976e-03,2.278216e-03,2.505257e-03,2.650858e-03,2.783602e-03,3.011432e-03,3.054109e-03,3.314947e-03,3.355670e-03,3.564464e-03,3.679792e-03,3.801274e-03,3.980851e-03,4.024319e-03,4.232888e-03,4.256923e-03,4.426613e-03,4.507125e-03,4.605439e-03,4.731508e-03,4.769584e-03,4.919485e-03,4.930878e-03,5.055742e-03,5.106584e-03,5.179085e-03,5.260355e-03,5.290335e-03,5.390345e-03,5.394124e-03,5.479979e-03,5.509871e-03,5.560087e-03,5.609542e-03,5.631496e-03,5.695000e-03,5.751306e-03,5.767911e-03,5.801062e-03,5.829749e-03,5.844871e-03,5.881840e-03,5.883279e-03,5.916775e-03,5.925337e-03,5.945820e-03,5.961306e-03,5.970882e-03,5.990769e-03,5.992362e-03,6.010561e-03,6.014474e-03,6.025775e-03,6.033091e-03,6.038270e-03,6.047200e-03,6.048276e-03,6.055988e-03,6.057272e-03,6.061588e-03,6.063723e-03,6.065246e-03,6.066930e-03,6.067115e-03,6.067328e-03,6.067217e-03,6.066009e-03,6.064865e-03,6.063269e-03,6.060123e-03,6.059211e-03,6.053928e-03,6.053216e-03,6.047508e-03,6.044345e-03,6.040032e-03,6.033687e-03,6.031570e-03,6.022190e-03,6.021401e-03,6.011953e-03,6.007631e-03,6.000917e-03,5.992507e-03,5.989136e-03,5.976661e-03,5.976148e-03,5.963537e-03,5.958663e-03,5.949810e-03,5.940152e-03,5.935520e-03,5.920705e-03,5.905401e-03,5.900407e-03,5.889644e-03,5.879335e-03,5.873464e-03,5.857563e-03,5.856893e-03,5.839959e-03,5.835156e-03,5.822690e-03,5.812178e-03,5.805111e-03,5.788685e-03,5.787246e-03,5.769119e-03,5.764732e-03,5.750752e-03,5.740368e-03,5.732164e-03,5.715639e-03,5.713375e-03,5.694404e-03,5.690589e-03,5.675269e-03,5.665259e-03,5.655986e-03,5.639685e-03,5.636571e-03,5.617039e-03,5.613904e-03,5.597404e-03,5.587947e-03,5.577681e-03,5.561847e-03,5.557881e-03,5.538018e-03,5.535630e-03,5.518102e-03,5.509325e-03,5.498144e-03,5.482955e-03,5.478156e-03,5.458146e-03,5.456545e-03,5.438125e-03,5.430116e-03,5.418101e-03,5.403687e-03,5.398083e-03,5.378079e-03,5.377279e-03,5.358095e-03,5.350908e-03,5.338141e-03,5.324591e-03,5.318221e-03,5.298343e-03,5.272178e-03,5.246109e-03,5.220149e-03,5.194309e-03,5.168599e-03,5.143029e-03,5.117607e-03,5.092343e-03,5.067244e-03,5.042316e-03,5.017566e-03,4.993000e-03,4.968623e-03,4.944440e-03,4.920456e-03,4.896674e-03,4.873098e-03,4.849731e-03,4.826577e-03,4.803637e-03,4.780913e-03,4.758409e-03,4.736124e-03,4.714062e-03
0.000000e+00,3.996169e-09,9.128257e-09,3.132443e-08,7.125919e-08,1.040209e-07,2.368745e-07,2.440579e-07,4.752517e-07,5.599271e-07,8.245305e-07,1.102129e-06,1.318280e-06,1.911963e-06,1.969855e-06,2.773923e-06,2.988210e-06,3.718246e-06,4.304359e-06,4.792464e-06,5.838701e-06,5.988385e-06,7.298276e-06,7.573210e-06,8.713730e-06,9.488359e-06,1.022518e-05,1.156113e-05,1.182185e-05,1.349192e-05,1.376512e-05,1.522288e-05,1.607159e-05,1.700184e-05,1.845092e-05,1.881594e-05,2.065264e-05,2.087399e-05,2.250001e-05,2.331334e-05,2.434695e-05,2.574406e-05,2.618333e-05,2.800011e-05,2.814436e-05,2.978935e-05,3.049577e-05,3.154423e-05,3.278322e-05,3.325903e-05,3.492902e-05,3.499483e-05,3.655043e-05,3.712166e-05,3.812034e-05,3.915736e-05,3.963663e-05,4.109781e-05,4.250300e-05,4.294077e-05,4.385184e-05,4.468553e-05,4.514437e-05,4.633261e-05,4.638101e-05,4.756247e-05,4.788351e-05,4.868969e-05,4.934047e-05,4.976383e-05,5.070626e-05,5.078618e-05,5.175814e-05,5.198408e-05,5.268123e-05,5.317739e-05,5.355700e-05,5.428980e-05,5.438705e-05,5.517299e-05,5.532503e-05,5.591646e-05,5.628681e-05,5.661907e-05,5.717886e-05,5.728243e-05,5.790811e-05,5.800483e-05,5.849768e-05,5.876830e-05,5.905265e-05,5.947271e-05,5.957450e-05,6.006467e-05,6.012143e-05,6.052455e-05,6.071765e-05,6.095550e-05,6.126447e-05,6.135882e-05,6.173577e-05,6.176483e-05,6.208758e-05,6.222153e-05,6.241541e-05,6.263724e-05,6.272039e-05,6.300361e-05,6.301451e-05,6.326611e-05,6.335573e-05,6.350889e-05,6.366320e-05,6.373290e-05,6.393907e-05,6.412829e-05,6.418539e-05,6.430138e-05,6.440408e-05,6.445917e-05,6.459697e-05,6.460243e-05,6.473190e-05,6.476578e-05,6.484829e-05,6.491212e-05,6.495227e-05,6.503754e-05,6.504450e-05,6.512559e-05,6.514347e-05,6.519614e-05,6.523126e-05,6.525671e-05,6.530219e-05,6.530784e-05,6.535005e-05,6.535747e-05,6.538383e-05,6.539822e-05,6.540964e-05,6.542551e-05,6.542795e-05,6.543916e-05,6.544033e-05,6.544370e-05,6.544362e-05,6.544195e-05,6.543627e-05,6.543428e-05,6.542104e-05,6.541909e-05,6.540257e-05,6.539287e-05,6.537920e-05,6.535834e-05,6.535122e-05,6.531893e-05,6.531617e-05,6.528261e-05,6.526701e-05,6.524251e-05,6.521145e-05,6.519890e-05,6.515200e-05,6.515006e-05,6.510205e-05,6.508337e-05,6.504927e-05,6.501186e-05,6.499385e-05,6.493599e-05,6.485621e-05,6.477290e-05,6.468645e-05,6.459721e-05,6.450551e-05,6.441164e-05,6.431590e-05,6.421856e-05,6.411985e-05,6.402002e-05,6.391927e-05,6.381781e-05,6.371581e-05,6.361346e-05,6.351091e-05,6.340831e-05,6.330578e-05,6.320347e-05,6.310147e-05,6.299991e-05,6.289887e-05,6.279845e-05,6.269873e-05,6.259978e-05
0.000000e+00,3.898494e-09,8.771730e-09,2.916921e-08,6.446975e-08,9.262373e-08,2.023612e-07,2.081449e-07,3.888390e-07,4.529822e-07,6.487165e-07,8.489929e-07,1.002999e-06,1.423627e-06,1.464658e-06,2.034825e-06,2.186098e-06,2.694584e-06,3.091483e-06,3.412489e-06,4.069249e-06,4.159727e-06,4.916376e-06,5.067633e-06,5.669822e-06,6.057479e-06,6.411732e-06,7.021469e-06,7.135931e-06,7.837309e-06,7.947105e-06,8.511395e-06,8.824090e-06,9.154269e-06,9.643837e-06,9.762603e-06,1.033375e-05,1.039969e-05,1.086581e-05,1.108721e-05,1.135765e-05,1.170427e-05,1.180887e-05,1.221977e-05,1.225092e-05,1.259124e-05,1.272908e-05,1.292467e-05,1.314217e-05,1.322184e-05,1.348480e-05,1.349464e-05,1.371580e-05,1.379158e-05,1.391717e-05,1.403839e-05,1.409129e-05,1.424048e-05,1.436701e-05,1.440307e-05,1.447303e-05,1.453106e-05,1.456056e-05,1.462892e-05,1.463146e-05,1.468748e-05,1.470071e-05,1.473017e-05,1.474999e-05,1.476097e-05,1.477991e-05,1.478116e-05,1.479190e-05,1.479319e-05,1.479423e-05,1.479220e-05,1.478906e-05,1.477895e-05,1.477720e-05,1.475940e-05,1.475519e-05,1.473630e-05,1.472239e-05,1.470848e-05,1.468184e-05,1.467645e-05,1.464066e-05,1.463461e-05,1.460152e-05,1.458166e-05,1.455940e-05,1.452376e-05,1.451461e-05,1.446744e-05,1.446163e-05,1.441816e-05,1.439587e-05,1.436699e-05,1.432698e-05,1.431416e-05,1.425984e-05,1.425543e-05,1.420421e-05,1.418162e-05,1.414742e-05,1.410590e-05,1.408963e-05,1.403095e-05,1.402859e-05,1.397152e-05,1.394995e-05,1.391142e-05,1.387024e-05,1.385078e-05,1.378967e-05,1.372819e-05,1.370845e-05,1.366641e-05,1.362674e-05,1.360440e-05,1.354472e-05,1.354223e-05,1.347996e-05,1.346251e-05,1.341764e-05,1.338026e-05,1.335534e-05,1.329807e-05,1.329309e-05,1.323095e-05,1.321605e-05,1.316895e-05,1.313431e-05,1.310713e-05,1.305291e-05,1.304553e-05,1.298418e-05,1.297195e-05,1.292312e-05,1.289148e-05,1.286236e-05,1.281158e-05,1.280194e-05,1.274188e-05,1.273230e-05,1.268220e-05,1.265369e-05,1.262292e-05,1.257580e-05,1.256406e-05,1.250564e-05,1.249866e-05,1.244767e-05,1.242231e-05,1.239016e-05,1.234678e-05,1.233314e-05,1.227661e-05,1.227211e-05,1.222057e-05,1.219830e-05,1.216505e-05,1.212540e-05,1.211005e-05,1.205558e-05,1.205341e-05,1.200164e-05,1.198235e-05,1.194823e-05,1.191223e-05,1.189538e-05,1.184307e-05,1.177487e-05,1.170763e-05,1.164137e-05,1.157609e-05,1.151179e-05,1.144847e-05,1.138612e-05,1.132476e-05,1.126436e-05,1.120494e-05,1.114647e-05,1.108897e-05,1.103242e-05,1.097682e-05,1.092215e-05,1.086841e-05,1.081559e-05,1.076368e-05,1.071268e-05,1.066256e-05,1.061333e-05,1.056497e-05,1.051746e-05,1.047081e-05
0.000000e+00,2.019522e-09,4.581182e-09,1.547823e-08,3.465002e-08,5.008577e-08,1.107181e-07,1.139208e-07,2.136818e-07,2.488315e-07,3.548965e-07,4.614392e-07,5.420758e-07,7.579514e-07,7.787764e-07,1.067493e-06,1.144679e-06,1.409239e-06,1.623431e-06,1.802764e-06,2.188648e-06,2.243891e-06,2.725849e-06,2.826439e-06,3.240599e-06,3.518533e-06,3.780081e-06,4.246840e-06,4.336777e-06,4.903798e-06,4.995051e-06,5.474843e-06,5.748666e-06,6.044164e-06,6.494872e-06,6.606570e-06,7.157457e-06,7.222594e-06,7.692838e-06,7.922608e-06,8.209364e-06,8.587622e-06,8.704323e-06,9.175625e-06,9.212259e-06,9.621768e-06,9.792947e-06,1.004179e-05,1.032773e-05,1.043520e-05,1.080193e-05,1.081605e-05,1.114227e-05,1.125843e-05,1.145679e-05,1.165632e-05,1.174630e-05,1.201177e-05,1.225432e-05,1.232728e-05,1.247511e-05,1.260559e-05,1.267541e-05,1.284957e-05,1.285646e-05,1.301952e-05,1.306212e-05,1.316582e-05,1.324606e-05,1.329657e-05,1.340409e-05,1.341289e-05,1.351590e-05,1.353876e-05,1.360662e-05,1.365242e-05,1.368603e-05,1.374727e-05,1.375503e-05,1.381447e-05,1.382529e-05,1.386515e-05,1.388828e-05,1.390779e-05,1.393788e-05,1.394305e-05,1.397157e-05,1.397554e-05,1.399390e-05,1.400258e-05,1.401058e-05,1.402017e-05,1.402208e-05,1.402885e-05,1.402936e-05,1.403129e-05,1.403109e-05,1.402977e-05,1.402618e-05,1.402464e-05,1.401619e-05,1.401539e-05,1.400473e-05,1.399936e-05,1.399051e-05,1.397870e-05,1.397377e-05,1.395474e-05,1.395393e-05,1.393360e-05,1.392552e-05,1.391056e-05,1.389389e-05,1.388579e-05,1.385943e-05,1.383163e-05,1.382246e-05,1.380254e-05,1.378329e-05,1.377227e-05,1.374220e-05,1.374093e-05,1.370863e-05,1.369943e-05,1.367548e-05,1.365521e-05,1.364155e-05,1.360973e-05,1.360693e-05,1.357171e-05,1.356317e-05,1.353594e-05,1.351570e-05,1.349970e-05,1.346747e-05,1.346305e-05,1.342605e-05,1.341861e-05,1.338875e-05,1.336925e-05,1.335120e-05,1.331950e-05,1.331345e-05,1.327553e-05,1.326945e-05,1.323750e-05,1.321921e-05,1.319938e-05,1.316884e-05,1.316121e-05,1.312302e-05,1.311844e-05,1.308485e-05,1.306807e-05,1.304672e-05,1.301778e-05,1.300866e-05,1.297068e-05,1.296765e-05,1.293283e-05,1.291772e-05,1.289510e-05,1.286803e-05,1.285753e-05,1.282013e-05,1.281864e-05,1.278293e-05,1.276958e-05,1.274592e-05,1.272088e-05,1.270914e-05,1.267258e-05,1.262471e-05,1.257729e-05,1.253034e-05,1.248389e-05,1.243795e-05,1.239255e-05,1.234769e-05,1.230338e-05,1.225964e-05,1.221648e-05,1.217391e-05,1.213193e-05,1.209054e-05,1.204976e-05,1.200958e-05,1.197001e-05,1.193105e-05,1.189269e-05,1.185495e-05,1.181781e-05,1.178129e-05,1.174536e-05,1.171004e-05,1.167532e-05
0.000000e+00,1.000276e-07,2.273219e-07,7.710063e-07,1.732291e-06,2.509179e-06,5.578316e-06,5.741070e-06,1.083614e-05,1.264159e-05,1.811650e-05,2.365031e-05,2.785646e-05,3.916090e-05,4.025267e-05,5.534664e-05,5.935536e-05,7.296291e-05,8.380916e-05,9.277083e-05,1.117196e-04,1.143990e-04,1.374863e-04,1.422481e-04,1.616855e-04,1.745962e-04,1.866595e-04,2.079980e-04,2.120830e-04,2.376476e-04,2.417317e-04,2.630689e-04,2.751441e-04,2.880921e-04,3.076747e-04,3.124968e-04,3.360985e-04,3.388694e-04,3.587492e-04,3.683838e-04,3.803355e-04,3.959783e-04,4.007763e-04,4.200193e-04,4.215060e-04,4.380369e-04,4.448988e-04,4.548227e-04,4.661511e-04,4.703873e-04,4.847553e-04,4.853056e-04,4.979619e-04,5.024400e-04,5.100500e-04,5.176557e-04,5.210683e-04,5.310692e-04,5.401071e-04,5.428049e-04,5.482373e-04,5.529897e-04,5.555149e-04,5.617497e-04,5.619942e-04,5.677279e-04,5.692068e-04,5.727671e-04,5.754775e-04,5.771604e-04,5.806718e-04,5.809543e-04,5.841929e-04,5.848922e-04,5.869178e-04,5.882340e-04,5.891681e-04,5.907851e-04,5.909806e-04,5.923897e-04,5.926259e-04,5.934275e-04,5.938305e-04,5.941241e-04,5.944660e-04,5.945074e-04,5.946036e-04,5.945939e-04,5.944368e-04,5.942700e-04,5.940296e-04,5.935448e-04,5.934029e-04,5.925761e-04,5.924643e-04,5.915672e-04,5.910700e-04,5.903930e-04,5.893995e-04,5.890688e-04,5.876090e-04,5.874868e-04,5.860270e-04,5.853627e-04,5.843349e-04,5.830548e-04,5.825441e-04,5.806652e-04,5.805883e-04,5.787078e-04,5.779858e-04,5.766811e-04,5.752675e-04,5.745932e-04,5.724518e-04,5.702641e-04,5.695553e-04,5.680366e-04,5.665928e-04,5.657752e-04,5.635777e-04,5.634857e-04,5.611730e-04,5.605220e-04,5.588420e-04,5.574365e-04,5.564970e-04,5.543307e-04,5.541421e-04,5.517808e-04,5.512135e-04,5.494166e-04,5.480925e-04,5.470526e-04,5.449746e-04,5.446916e-04,5.423362e-04,5.418660e-04,5.399889e-04,5.387722e-04,5.376518e-04,5.356980e-04,5.353269e-04,5.330161e-04,5.326477e-04,5.307209e-04,5.296252e-04,5.284429e-04,5.266338e-04,5.261834e-04,5.239437e-04,5.236763e-04,5.217248e-04,5.207554e-04,5.195278e-04,5.178733e-04,5.173536e-04,5.152028e-04,5.150318e-04,5.130763e-04,5.122326e-04,5.109746e-04,5.094770e-04,5.088983e-04,5.068478e-04,5.067663e-04,5.048235e-04,5.041013e-04,5.028258e-04,5.014827e-04,5.008550e-04,4.989112e-04,4.963872e-04,4.939109e-04,4.914825e-04,4.891021e-04,4.867696e-04,4.844849e-04,4.822477e-04,4.800579e-04,4.779149e-04,4.758184e-04,4.737680e-04,4.717632e-04,4.698033e-04,4.678878e-04,4.660161e-04,4.641875e-04,4.624015e-04,4.606573e-04,4.589542e-04,4.572915e-04,4.556686e-04,4.540847e-04,4.525390e-04,4.510309e-04
0.000000e+00,5.771999e-09,1.311841e-08,4.451621e-08,1.001233e-07,1.451553e-07,3.238904e-07,3.334063e-07,6.332603e-07,7.404197e-07,1.068171e-06,1.403367e-06,1.660348e-06,2.357066e-06,2.424615e-06,3.358896e-06,3.606656e-06,4.445929e-06,5.113499e-06,5.664732e-06,6.831098e-06,6.996247e-06,8.423056e-06,8.718356e-06,9.928120e-06,1.073596e-05,1.149417e-05,1.284396e-05,1.310367e-05,1.473916e-05,1.500210e-05,1.638365e-05,1.717145e-05,1.802113e-05,1.931617e-05,1.963696e-05,2.121813e-05,2.140499e-05,2.275349e-05,2.341209e-05,2.423380e-05,2.531745e-05,2.565175e-05,2.700180e-05,2.710674e-05,2.828011e-05,2.877079e-05,2.948436e-05,3.030492e-05,3.061348e-05,3.166756e-05,3.170817e-05,3.264755e-05,3.298253e-05,3.355518e-05,3.413216e-05,3.439270e-05,3.516281e-05,3.586851e-05,3.608125e-05,3.651299e-05,3.689484e-05,3.709954e-05,3.761122e-05,3.763149e-05,3.811216e-05,3.823800e-05,3.854480e-05,3.878265e-05,3.893257e-05,3.925231e-05,3.927851e-05,3.958553e-05,3.965373e-05,3.985638e-05,3.999325e-05,4.009369e-05,4.027673e-05,4.029991e-05,4.047735e-05,4.050958e-05,4.062819e-05,4.069678e-05,4.075443e-05,4.084285e-05,4.085796e-05,4.094055e-05,4.095193e-05,4.100381e-05,4.102777e-05,4.104928e-05,4.107378e-05,4.107834e-05,4.109232e-05,4.109304e-05,4.109242e-05,4.108835e-05,4.107975e-05,4.106224e-05,4.105537e-05,4.102022e-05,4.101697e-05,4.097521e-05,4.095463e-05,4.092115e-05,4.087706e-05,4.085882e-05,4.078891e-05,4.078597e-05,4.071209e-05,4.068286e-05,4.062897e-05,4.056913e-05,4.054010e-05,4.044602e-05,4.034720e-05,4.031465e-05,4.024409e-05,4.017605e-05,4.013711e-05,4.003114e-05,4.002666e-05,3.991308e-05,3.988076e-05,3.979670e-05,3.972567e-05,3.967785e-05,3.956656e-05,3.955680e-05,3.943383e-05,3.940406e-05,3.930918e-05,3.923872e-05,3.918307e-05,3.907107e-05,3.905573e-05,3.892735e-05,3.890156e-05,3.879811e-05,3.873063e-05,3.866820e-05,3.855865e-05,3.853775e-05,3.840694e-05,3.838598e-05,3.827588e-05,3.821292e-05,3.814471e-05,3.803977e-05,3.801354e-05,3.788249e-05,3.786677e-05,3.775165e-05,3.769417e-05,3.762112e-05,3.752218e-05,3.749099e-05,3.736134e-05,3.735099e-05,3.723224e-05,3.718077e-05,3.710377e-05,3.701168e-05,3.697597e-05,3.684892e-05,3.684386e-05,3.672267e-05,3.667742e-05,3.659726e-05,3.651250e-05,3.647275e-05,3.634917e-05,3.618754e-05,3.602768e-05,3.586967e-05,3.571356e-05,3.555940e-05,3.540725e-05,3.525714e-05,3.510911e-05,3.496318e-05,3.481938e-05,3.467772e-05,3.453822e-05,3.440089e-05,3.426573e-05,3.413275e-05,3.400194e-05,3.387331e-05,3.374685e-05,3.362254e-05,3.350039e-05,3.338037e-05,3.326247e-05,3.314669e-05,3.303299e-05
0.000000e+00,4.715960e-08,1.070723e-07,3.624291e-07,8.127868e-07,1.176076e-06,2.607385e-06,2.683148e-06,5.049644e-06,5.886082e-06,8.416695e-06,1.096630e-05,1.289886e-05,1.806945e-05,1.856695e-05,2.540978e-05,2.721592e-05,3.331239e-05,3.813489e-05,4.209591e-05,5.040406e-05,5.157170e-05,6.156164e-05,6.360646e-05,7.189870e-05,7.735856e-05,8.242570e-05,9.130787e-05,9.299650e-05,1.034786e-04,1.051395e-04,1.137556e-04,1.185861e-04,1.237291e-04,1.314350e-04,1.333191e-04,1.424639e-04,1.435291e-04,1.511190e-04,1.547641e-04,1.592551e-04,1.650813e-04,1.668564e-04,1.739182e-04,1.744599e-04,1.804448e-04,1.829080e-04,1.864478e-04,1.904553e-04,1.919444e-04,1.969554e-04,1.971461e-04,2.015043e-04,2.030336e-04,2.056163e-04,2.081762e-04,2.093174e-04,2.126338e-04,2.155914e-04,2.164661e-04,2.182152e-04,2.197306e-04,2.205296e-04,2.224819e-04,2.225578e-04,2.243217e-04,2.247711e-04,2.258420e-04,2.266454e-04,2.271381e-04,2.281483e-04,2.282284e-04,2.291296e-04,2.293195e-04,2.298576e-04,2.301951e-04,2.304269e-04,2.308074e-04,2.308511e-04,2.311426e-04,2.311861e-04,2.313131e-04,2.313575e-04,2.313732e-04,2.313456e-04,2.313327e-04,2.312008e-04,2.311718e-04,2.309857e-04,2.308553e-04,2.306953e-04,2.304134e-04,2.303365e-04,2.299159e-04,2.298616e-04,2.294396e-04,2.292138e-04,2.289131e-04,2.284825e-04,2.283415e-04,2.277294e-04,2.276788e-04,2.270812e-04,2.268127e-04,2.264009e-04,2.258932e-04,2.256920e-04,2.249581e-04,2.249283e-04,2.242022e-04,2.239252e-04,2.234270e-04,2.228904e-04,2.226354e-04,2.218296e-04,2.210118e-04,2.207479e-04,2.201842e-04,2.196502e-04,2.193485e-04,2.185403e-04,2.185065e-04,2.176598e-04,2.174221e-04,2.168098e-04,2.162988e-04,2.159579e-04,2.151734e-04,2.151052e-04,2.142529e-04,2.140485e-04,2.134020e-04,2.129265e-04,2.125535e-04,2.118094e-04,2.117081e-04,2.108667e-04,2.106990e-04,2.100300e-04,2.095969e-04,2.091986e-04,2.085047e-04,2.083731e-04,2.075540e-04,2.074236e-04,2.067419e-04,2.063546e-04,2.059371e-04,2.052988e-04,2.051401e-04,2.043511e-04,2.042570e-04,2.035706e-04,2.032299e-04,2.027987e-04,2.022181e-04,2.020358e-04,2.012821e-04,2.012222e-04,2.005376e-04,2.002425e-04,1.998027e-04,1.992795e-04,1.990774e-04,1.983618e-04,1.983334e-04,1.976561e-04,1.974044e-04,1.969603e-04,1.964928e-04,1.962745e-04,1.955987e-04,1.947221e-04,1.938630e-04,1.930215e-04,1.921974e-04,1.913909e-04,1.906016e-04,1.898296e-04,1.890746e-04,1.883366e-04,1.876153e-04,1.869105e-04,1.862220e-04,1.855497e-04,1.848932e-04,1.842523e-04,1.836269e-04,1.830166e-04,1.824211e-04,1.818403e-04,1.812739e-04,1.807215e-04,1.801830e-04,1.796580e-04,1.791463e-04
0.000000e+00,2.873945e-08,6.530281e-08,2.214320e-07,4.974488e-07,7.205254e-07,1.602042e-06,1.648801e-06,3.113496e-06,3.632945e-06,5.209592e-06,6.805335e-06,8.019454e-06,1.128582e-05,1.160143e-05,1.596717e-05,1.712799e-05,2.107763e-05,2.424112e-05,2.686843e-05,3.247122e-05,3.326911e-05,4.020613e-05,4.165110e-05,4.760126e-05,5.160028e-05,5.537115e-05,6.212372e-05,6.342858e-05,7.168477e-05,7.301831e-05,8.005202e-05,8.408288e-05,8.844631e-05,9.512852e-05,9.678960e-05,1.050117e-04,1.059872e-04,1.130512e-04,1.165170e-04,1.208562e-04,1.266049e-04,1.283845e-04,1.356033e-04,1.361666e-04,1.424882e-04,1.451448e-04,1.490232e-04,1.535062e-04,1.551989e-04,1.610121e-04,1.612371e-04,1.664641e-04,1.683394e-04,1.715607e-04,1.748280e-04,1.763112e-04,1.807275e-04,1.848230e-04,1.860682e-04,1.886124e-04,1.908842e-04,1.921113e-04,1.952115e-04,1.953354e-04,1.983006e-04,1.990866e-04,2.010224e-04,2.025451e-04,2.035162e-04,2.056216e-04,2.057965e-04,2.078774e-04,2.083487e-04,2.097723e-04,2.107570e-04,2.114938e-04,2.128748e-04,2.130538e-04,2.144635e-04,2.147283e-04,2.157332e-04,2.163414e-04,2.168726e-04,2.177358e-04,2.178910e-04,2.187966e-04,2.189316e-04,2.195974e-04,2.199466e-04,2.203005e-04,2.207972e-04,2.209127e-04,2.214403e-04,2.214982e-04,2.218890e-04,2.220629e-04,2.222643e-04,2.225034e-04,2.225710e-04,2.228139e-04,2.228307e-04,2.229972e-04,2.230548e-04,2.231249e-04,2.231845e-04,2.232007e-04,2.232280e-04,2.232281e-04,2.232101e-04,2.231931e-04,2.231498e-04,2.230861e-04,2.230500e-04,2.229133e-04,2.227421e-04,2.226804e-04,2.225386e-04,2.223924e-04,2.223049e-04,2.220540e-04,2.220431e-04,2.217548e-04,2.216696e-04,2.214420e-04,2.212431e-04,2.211061e-04,2.207781e-04,2.207488e-04,2.203714e-04,2.202780e-04,2.199753e-04,2.197458e-04,2.195618e-04,2.191843e-04,2.191319e-04,2.186870e-04,2.185963e-04,2.182279e-04,2.179840e-04,2.177558e-04,2.173497e-04,2.172715e-04,2.167759e-04,2.166956e-04,2.162699e-04,2.160235e-04,2.157542e-04,2.153353e-04,2.152297e-04,2.146970e-04,2.146325e-04,2.141567e-04,2.139168e-04,2.136096e-04,2.131895e-04,2.130562e-04,2.124970e-04,2.124521e-04,2.119327e-04,2.117057e-04,2.113638e-04,2.109515e-04,2.107906e-04,2.102138e-04,2.101906e-04,2.096336e-04,2.094241e-04,2.090506e-04,2.086527e-04,2.084651e-04,2.078776e-04,2.070994e-04,2.063189e-04,2.055368e-04,2.047538e-04,2.039706e-04,2.031877e-04,2.024056e-04,2.016249e-04,2.008460e-04,2.000694e-04,1.992955e-04,1.985246e-04,1.977571e-04,1.969934e-04,1.962337e-04,1.954783e-04,1.947276e-04,1.939816e-04,1.932407e-04,1.925051e-04,1.917749e-04,1.910503e-04,1.903315e-04,1.896187e-04
0.000000e+00,6.988633e-09,1.594984e-08,5.477031e-08,1.251945e-07,1.836393e-07,4.272035e-07,4.406711e-07,8.891884e-07,1.060019e-06,1.610997e-06,2.206988e-06,2.676499e-06,3.962376e-06,4.086526e-06,5.777565e-06,6.217259e-06,7.681674e-06,8.822528e-06,9.751190e-06,1.168361e-05,1.195418e-05,1.426658e-05,1.474031e-05,1.666735e-05,1.794396e-05,1.913627e-05,2.124805e-05,2.165313e-05,2.419779e-05,2.460619e-05,2.675053e-05,2.797312e-05,2.929247e-05,3.130640e-05,3.180607e-05,3.427551e-05,3.456819e-05,3.668687e-05,3.772636e-05,3.902835e-05,4.075507e-05,4.129022e-05,4.346478e-05,4.363479e-05,4.554623e-05,4.635175e-05,4.753043e-05,4.889738e-05,4.941489e-05,5.119847e-05,5.126771e-05,5.288116e-05,5.346238e-05,5.446387e-05,5.548389e-05,5.594839e-05,5.733701e-05,5.863233e-05,5.902764e-05,5.983751e-05,6.056304e-05,6.095586e-05,6.195105e-05,6.199090e-05,6.294626e-05,6.319998e-05,6.382560e-05,6.431822e-05,6.463255e-05,6.531411e-05,6.537071e-05,6.604363e-05,6.619580e-05,6.665473e-05,6.697120e-05,6.720736e-05,6.764786e-05,6.770473e-05,6.814995e-05,6.823300e-05,6.854599e-05,6.873344e-05,6.889569e-05,6.915562e-05,6.920176e-05,6.946680e-05,6.950557e-05,6.969327e-05,6.978896e-05,6.988350e-05,7.001110e-05,7.003972e-05,7.016405e-05,7.017692e-05,7.025847e-05,7.029103e-05,7.032487e-05,7.035771e-05,7.036506e-05,7.038072e-05,7.038096e-05,7.037345e-05,7.036447e-05,7.034477e-05,7.031167e-05,7.029611e-05,7.022882e-05,7.022576e-05,7.014417e-05,7.010968e-05,7.004337e-05,6.996618e-05,6.992755e-05,6.979778e-05,6.965507e-05,6.960683e-05,6.950038e-05,6.939550e-05,6.933460e-05,6.916580e-05,6.915857e-05,6.897310e-05,6.891957e-05,6.877893e-05,6.865854e-05,6.857677e-05,6.838429e-05,6.836728e-05,6.815110e-05,6.809829e-05,6.792881e-05,6.780187e-05,6.770097e-05,6.749630e-05,6.746810e-05,6.723069e-05,6.718271e-05,6.698921e-05,6.686217e-05,6.674408e-05,6.653566e-05,6.649572e-05,6.624451e-05,6.620408e-05,6.599081e-05,6.586825e-05,6.573495e-05,6.552893e-05,6.547726e-05,6.521804e-05,6.518684e-05,6.495756e-05,6.484261e-05,6.469608e-05,6.449684e-05,6.443385e-05,6.417111e-05,6.415007e-05,6.390806e-05,6.380280e-05,6.364491e-05,6.345549e-05,6.338185e-05,6.311906e-05,6.310855e-05,6.285669e-05,6.276237e-05,6.259491e-05,6.241730e-05,6.233385e-05,6.207365e-05,6.173173e-05,6.139178e-05,6.105405e-05,6.071875e-05,6.038609e-05,6.005624e-05,5.972936e-05,5.940558e-05,5.908505e-05,5.876786e-05,5.845412e-05,5.814391e-05,5.783731e-05,5.753439e-05,5.723520e-05,5.693979e-05,5.664819e-05,5.636044e-05,5.607656e-05,5.579657e-05,5.552048e-05,5.524830e-05,5.498002e-05,5.471565e-05
0.000000e+00,3.095465e-09,7.029350e-09,2.382161e-08,5.354792e-08,7.763401e-08,1.734763e-07,1.785918e-07,3.405240e-07,3.987515e-07,5.780458e-07,7.633786e-07,9.069346e-07,1.303600e-06,1.342698e-06,1.895635e-06,2.045884e-06,2.563861e-06,2.983067e-06,3.332029e-06,4.073670e-06,4.178725e-06,5.084040e-06,5.270670e-06,6.032072e-06,6.537682e-06,7.010321e-06,7.847787e-06,8.008435e-06,9.017302e-06,9.179151e-06,1.002854e-05,1.051244e-05,1.103428e-05,1.182994e-05,1.202715e-05,1.300033e-05,1.311549e-05,1.394768e-05,1.435491e-05,1.486378e-05,1.553625e-05,1.574403e-05,1.658468e-05,1.665013e-05,1.738284e-05,1.768972e-05,1.813644e-05,1.865068e-05,1.884418e-05,1.950547e-05,1.953096e-05,2.012035e-05,2.033044e-05,2.068937e-05,2.105062e-05,2.121356e-05,2.169429e-05,2.213321e-05,2.226512e-05,2.253214e-05,2.276740e-05,2.289310e-05,2.320583e-05,2.321817e-05,2.350946e-05,2.358526e-05,2.376910e-05,2.391056e-05,2.399918e-05,2.418649e-05,2.420172e-05,2.437871e-05,2.441759e-05,2.453200e-05,2.460817e-05,2.466339e-05,2.476223e-05,2.477455e-05,2.486707e-05,2.488347e-05,2.494242e-05,2.497529e-05,2.500199e-05,2.504077e-05,2.504706e-05,2.507880e-05,2.508272e-05,2.509832e-05,2.510364e-05,2.510662e-05,2.510580e-05,2.510462e-05,2.509319e-05,2.509123e-05,2.507312e-05,2.506173e-05,2.504512e-05,2.501896e-05,2.500987e-05,2.496798e-05,2.496435e-05,2.492000e-05,2.489922e-05,2.486646e-05,2.482473e-05,2.480782e-05,2.474454e-05,2.474191e-05,2.467700e-05,2.465172e-05,2.460558e-05,2.455498e-05,2.453062e-05,2.445244e-05,2.437132e-05,2.434479e-05,2.428754e-05,2.423263e-05,2.420134e-05,2.411652e-05,2.411294e-05,2.402257e-05,2.399693e-05,2.393041e-05,2.387434e-05,2.383665e-05,2.374912e-05,2.374146e-05,2.364499e-05,2.362167e-05,2.354740e-05,2.349230e-05,2.344881e-05,2.336132e-05,2.334934e-05,2.324913e-05,2.322901e-05,2.314828e-05,2.309561e-05,2.304688e-05,2.296135e-05,2.294503e-05,2.284283e-05,2.282645e-05,2.274034e-05,2.269108e-05,2.263766e-05,2.255542e-05,2.253485e-05,2.243198e-05,2.241963e-05,2.232911e-05,2.228386e-05,2.222629e-05,2.214823e-05,2.212360e-05,2.202106e-05,2.201287e-05,2.191874e-05,2.187788e-05,2.181667e-05,2.174336e-05,2.171490e-05,2.161347e-05,2.160942e-05,2.151240e-05,2.147612e-05,2.141175e-05,2.134355e-05,2.131153e-05,2.121177e-05,2.108086e-05,2.095085e-05,2.082182e-05,2.069380e-05,2.056683e-05,2.044096e-05,2.031622e-05,2.019263e-05,2.007023e-05,1.994904e-05,1.982908e-05,1.971037e-05,1.959292e-05,1.947675e-05,1.936187e-05,1.924828e-05,1.913600e-05,1.902503e-05,1.891538e-05,1.880704e-05,1.870002e-05,1.859431e-05,1.848993e-05,1.838685e-05
0.000000e+00,1.064182e-07,2.418714e-07,8.208017e-07,1.846105e-06,2.676386e-06,5.971458e-06,6.146873e-06,1.167372e-05,1.364880e-05,1.969157e-05,2.588092e-05,3.063956e-05,4.365264e-05,4.492596e-05,6.279394e-05,6.761189e-05,8.413545e-05,9.744073e-05,1.084908e-04,1.319494e-04,1.352728e-04,1.639435e-04,1.698631e-04,1.940496e-04,2.101400e-04,2.251983e-04,2.519067e-04,2.570321e-04,2.892154e-04,2.943756e-04,3.214303e-04,3.368164e-04,3.533788e-04,3.785601e-04,3.847859e-04,4.154041e-04,4.190147e-04,4.450172e-04,4.576800e-04,4.734417e-04,4.941564e-04,5.005286e-04,5.261628e-04,5.281480e-04,5.502603e-04,5.594557e-04,5.727660e-04,5.879678e-04,5.936519e-04,6.129133e-04,6.136501e-04,6.305648e-04,6.365308e-04,6.466377e-04,6.566879e-04,6.611767e-04,6.742370e-04,6.858814e-04,6.893196e-04,6.961785e-04,7.020948e-04,7.052004e-04,7.127307e-04,7.130214e-04,7.197161e-04,7.213989e-04,7.253588e-04,7.282699e-04,7.300225e-04,7.335095e-04,7.337782e-04,7.366946e-04,7.372770e-04,7.388374e-04,7.397229e-04,7.402691e-04,7.409877e-04,7.410487e-04,7.412319e-04,7.412016e-04,7.408711e-04,7.404850e-04,7.400155e-04,7.389481e-04,7.387110e-04,7.370004e-04,7.366917e-04,7.349233e-04,7.338070e-04,7.325166e-04,7.303771e-04,7.298146e-04,7.268489e-04,7.264767e-04,7.236486e-04,7.221732e-04,7.202407e-04,7.175271e-04,7.166499e-04,7.128993e-04,7.125929e-04,7.090096e-04,7.074192e-04,7.050002e-04,7.020492e-04,7.008887e-04,6.966913e-04,6.965218e-04,6.924228e-04,6.908714e-04,6.880968e-04,6.851285e-04,6.837255e-04,6.793204e-04,6.748915e-04,6.734709e-04,6.704484e-04,6.676012e-04,6.659993e-04,6.617299e-04,6.615521e-04,6.571137e-04,6.558734e-04,6.526903e-04,6.500459e-04,6.482876e-04,6.442599e-04,6.439108e-04,6.395643e-04,6.385262e-04,6.352523e-04,6.328541e-04,6.309785e-04,6.272516e-04,6.267460e-04,6.225578e-04,6.217257e-04,6.184163e-04,6.162820e-04,6.143239e-04,6.109254e-04,6.102823e-04,6.062933e-04,6.056600e-04,6.023583e-04,6.004891e-04,5.984786e-04,5.954152e-04,5.946550e-04,5.908884e-04,5.904403e-04,5.871795e-04,5.855660e-04,5.835288e-04,5.807933e-04,5.799365e-04,5.764029e-04,5.761228e-04,5.729281e-04,5.715547e-04,5.695122e-04,5.670890e-04,5.661549e-04,5.628562e-04,5.627255e-04,5.596158e-04,5.584634e-04,5.564333e-04,5.543021e-04,5.533083e-04,5.502405e-04,5.462775e-04,5.424118e-04,5.386421e-04,5.349669e-04,5.313845e-04,5.278934e-04,5.244918e-04,5.211780e-04,5.179502e-04,5.148067e-04,5.117456e-04,5.087650e-04,5.058632e-04,5.030384e-04,5.002885e-04,4.976120e-04,4.950069e-04,4.924715e-04,4.900040e-04,4.876027e-04,4.852659e-04,4.829918e-04,4.807789e-04,4.786255e-04
0.000000e+00,3.204903e-08,7.297656e-08,2.485461e-07,5.606420e-07,8.139010e-07,1.820521e-06,1.874122e-06,3.560998e-06,4.162385e-06,5.996279e-06,7.864829e-06,9.295227e-06,1.318811e-05,1.356830e-05,1.891846e-05,2.037279e-05,2.542985e-05,2.960197e-05,3.314554e-05,4.091584e-05,4.204356e-05,5.203235e-05,5.414926e-05,6.297352e-05,6.898827e-05,7.471347e-05,8.508302e-05,8.710324e-05,1.000053e-04,1.021085e-04,1.132930e-04,1.197734e-04,1.268490e-04,1.378125e-04,1.405628e-04,1.543304e-04,1.559815e-04,1.680544e-04,1.740555e-04,1.816440e-04,1.918306e-04,1.950158e-04,2.080949e-04,2.091265e-04,2.208146e-04,2.257886e-04,2.331174e-04,2.416897e-04,2.449548e-04,2.562875e-04,2.567298e-04,2.670844e-04,2.708355e-04,2.773230e-04,2.839583e-04,2.869880e-04,2.960708e-04,3.045694e-04,3.071659e-04,3.124869e-04,3.172524e-04,3.198307e-04,3.263517e-04,3.266123e-04,3.328462e-04,3.344959e-04,3.385499e-04,3.417254e-04,3.437423e-04,3.480858e-04,3.484444e-04,3.526778e-04,3.536265e-04,3.564650e-04,3.583995e-04,3.598289e-04,3.624572e-04,3.627925e-04,3.653785e-04,3.658524e-04,3.676093e-04,3.686362e-04,3.695067e-04,3.708583e-04,3.710917e-04,3.723850e-04,3.725662e-04,3.734062e-04,3.738052e-04,3.741740e-04,3.746179e-04,3.747063e-04,3.750204e-04,3.750441e-04,3.751322e-04,3.751213e-04,3.750572e-04,3.748841e-04,3.748098e-04,3.744037e-04,3.743647e-04,3.738516e-04,3.735927e-04,3.731657e-04,3.725952e-04,3.723571e-04,3.714365e-04,3.713975e-04,3.704139e-04,3.700225e-04,3.692983e-04,3.684912e-04,3.680986e-04,3.668227e-04,3.654782e-04,3.650346e-04,3.640720e-04,3.631428e-04,3.626108e-04,3.611618e-04,3.611005e-04,3.595468e-04,3.591047e-04,3.579550e-04,3.569836e-04,3.563298e-04,3.548091e-04,3.546759e-04,3.529973e-04,3.525912e-04,3.512980e-04,3.503387e-04,3.495815e-04,3.480595e-04,3.478512e-04,3.461102e-04,3.457609e-04,3.443612e-04,3.434494e-04,3.426068e-04,3.411308e-04,3.408496e-04,3.390916e-04,3.388104e-04,3.373350e-04,3.364928e-04,3.355816e-04,3.341823e-04,3.338331e-04,3.320911e-04,3.318826e-04,3.303571e-04,3.295970e-04,3.286323e-04,3.273285e-04,3.269180e-04,3.252153e-04,3.250796e-04,3.235252e-04,3.228528e-04,3.218485e-04,3.206501e-04,3.201861e-04,3.185386e-04,3.184731e-04,3.169069e-04,3.163234e-04,3.152914e-04,3.142024e-04,3.136926e-04,3.121111e-04,3.100506e-04,3.080215e-04,3.060247e-04,3.040606e-04,3.021295e-04,3.002319e-04,2.983679e-04,2.965376e-04,2.947411e-04,2.929783e-04,2.912491e-04,2.895535e-04,2.878911e-04,2.862619e-04,2.846654e-04,2.831013e-04,2.815694e-04,2.800693e-04,2.786005e-04,2.771626e-04,2.757553e-04,2.743780e-04,2.730303e-04,2.717118e-04
0.000000e+00,2.641441e-09,6.022507e-09,2.057041e-08,4.653230e-08,6.766577e-08,1.520853e-07,1.565965e-07,2.992400e-07,3.503747e-07,5.070823e-07,6.677818e-07,7.913668e-07,1.129273e-06,1.162334e-06,1.626672e-06,1.752179e-06,2.184622e-06,2.536048e-06,2.830705e-06,3.466083e-06,3.557260e-06,4.356578e-06,4.524514e-06,5.221175e-06,5.694067e-06,6.143499e-06,6.957133e-06,7.115704e-06,8.129602e-06,8.295134e-06,9.176752e-06,9.688686e-06,1.024861e-05,1.111821e-05,1.133673e-05,1.243295e-05,1.256466e-05,1.352952e-05,1.401026e-05,1.461931e-05,1.543901e-05,1.569585e-05,1.675342e-05,1.683705e-05,1.778706e-05,1.819286e-05,1.879259e-05,1.949721e-05,1.976658e-05,2.070630e-05,2.074314e-05,2.160966e-05,2.192567e-05,2.247519e-05,2.304162e-05,2.330192e-05,2.408934e-05,2.483734e-05,2.506840e-05,2.554614e-05,2.597942e-05,2.621624e-05,2.682379e-05,2.684836e-05,2.744340e-05,2.760350e-05,2.800240e-05,2.832097e-05,2.852651e-05,2.897892e-05,2.901695e-05,2.947499e-05,2.958025e-05,2.990195e-05,3.012796e-05,3.029914e-05,3.062509e-05,3.066788e-05,3.100947e-05,3.107465e-05,3.132520e-05,3.147958e-05,3.161633e-05,3.184275e-05,3.188407e-05,3.212961e-05,3.216691e-05,3.235410e-05,3.245470e-05,3.255864e-05,3.270861e-05,3.274428e-05,3.291204e-05,3.293102e-05,3.306290e-05,3.312416e-05,3.319777e-05,3.329013e-05,3.331754e-05,3.342306e-05,3.343091e-05,3.351513e-05,3.354836e-05,3.359451e-05,3.364421e-05,3.366192e-05,3.371807e-05,3.372009e-05,3.376360e-05,3.377751e-05,3.379913e-05,3.381789e-05,3.382526e-05,3.384254e-05,3.385151e-05,3.385270e-05,3.385266e-05,3.384952e-05,3.384648e-05,3.383406e-05,3.383341e-05,3.381389e-05,3.380732e-05,3.378831e-05,3.377022e-05,3.375706e-05,3.372362e-05,3.372051e-05,3.367899e-05,3.366833e-05,3.363284e-05,3.360508e-05,3.358235e-05,3.353458e-05,3.352783e-05,3.346954e-05,3.345746e-05,3.340776e-05,3.337433e-05,3.334272e-05,3.328574e-05,3.327465e-05,3.320379e-05,3.319221e-05,3.313033e-05,3.309421e-05,3.305449e-05,3.299221e-05,3.297643e-05,3.289635e-05,3.288661e-05,3.281440e-05,3.277780e-05,3.273075e-05,3.266613e-05,3.264555e-05,3.255893e-05,3.255194e-05,3.247103e-05,3.243554e-05,3.238198e-05,3.231721e-05,3.229189e-05,3.220088e-05,3.219722e-05,3.210906e-05,3.207582e-05,3.201652e-05,3.195324e-05,3.192336e-05,3.182968e-05,3.170534e-05,3.158041e-05,3.145505e-05,3.132943e-05,3.120368e-05,3.107794e-05,3.095233e-05,3.082696e-05,3.070195e-05,3.057738e-05,3.045335e-05,3.032994e-05,3.020722e-05,3.008525e-05,2.996412e-05,2.984386e-05,2.972453e-05,2.960619e-05,2.948887e-05,2.937261e-05,2.925745e-05,2.914342e-05,2.903055e-05,2.891886e-05
0.000000e+00,9.081665e-07,2.061769e-06,6.984896e-06,1.570368e-05,2.277513e-05,5.099325e-05,5.250311e-05,1.004537e-04,1.177321e-04,1.707163e-04,2.244948e-04,2.650601e-04,3.714600e-04,3.815121e-04,5.168698e-04,5.518552e-04,6.683939e-04,7.593921e-04,8.336242e-04,9.883687e-04,1.010042e-03,1.194970e-03,1.232732e-03,1.385616e-03,1.486082e-03,1.579188e-03,1.742088e-03,1.773012e-03,1.964641e-03,1.994949e-03,2.151929e-03,2.239744e-03,2.333082e-03,2.472615e-03,2.506672e-03,2.671627e-03,2.690803e-03,2.827207e-03,2.892569e-03,2.972968e-03,3.077049e-03,3.108712e-03,3.234450e-03,3.244081e-03,3.350355e-03,3.394027e-03,3.456725e-03,3.527621e-03,3.553946e-03,3.642467e-03,3.645834e-03,3.722774e-03,3.749771e-03,3.795372e-03,3.840595e-03,3.860769e-03,3.919467e-03,3.971955e-03,3.987516e-03,4.018698e-03,4.045806e-03,4.060142e-03,4.095329e-03,4.096703e-03,4.128773e-03,4.136998e-03,4.156716e-03,4.171642e-03,4.180870e-03,4.200015e-03,4.201548e-03,4.219038e-03,4.222791e-03,4.233606e-03,4.240579e-03,4.245496e-03,4.253923e-03,4.254933e-03,4.262124e-03,4.263309e-03,4.267256e-03,4.269170e-03,4.270504e-03,4.271894e-03,4.272028e-03,4.271973e-03,4.271827e-03,4.270473e-03,4.269277e-03,4.267652e-03,4.264520e-03,4.263622e-03,4.258488e-03,4.257803e-03,4.252346e-03,4.249346e-03,4.245282e-03,4.239348e-03,4.237379e-03,4.228710e-03,4.227985e-03,4.219344e-03,4.215417e-03,4.209345e-03,4.201786e-03,4.198771e-03,4.187676e-03,4.187222e-03,4.176110e-03,4.171840e-03,4.164119e-03,4.155744e-03,4.151746e-03,4.139030e-03,4.126007e-03,4.121781e-03,4.112713e-03,4.104076e-03,4.099177e-03,4.085984e-03,4.085430e-03,4.071498e-03,4.067568e-03,4.057407e-03,4.048885e-03,4.043179e-03,4.029988e-03,4.028837e-03,4.014400e-03,4.010924e-03,3.999888e-03,3.991734e-03,3.985317e-03,3.972459e-03,3.970704e-03,3.956063e-03,3.953133e-03,3.941409e-03,3.933788e-03,3.926755e-03,3.914454e-03,3.912113e-03,3.897493e-03,3.895157e-03,3.882907e-03,3.875920e-03,3.868364e-03,3.856766e-03,3.853872e-03,3.839441e-03,3.837714e-03,3.825078e-03,3.818781e-03,3.810789e-03,3.799984e-03,3.796582e-03,3.782463e-03,3.781337e-03,3.768437e-03,3.762853e-03,3.754508e-03,3.744544e-03,3.740683e-03,3.726965e-03,3.726419e-03,3.713359e-03,3.708488e-03,3.699867e-03,3.690760e-03,3.686494e-03,3.673241e-03,3.655939e-03,3.638857e-03,3.622002e-03,3.605377e-03,3.588986e-03,3.572831e-03,3.556915e-03,3.541240e-03,3.525806e-03,3.510616e-03,3.495668e-03,3.480965e-03,3.466504e-03,3.452286e-03,3.438311e-03,3.424576e-03,3.411081e-03,3.397824e-03,3.384804e-03,3.372019e-03,3.359466e-03,3.347144e-03,3.335050e-03,3.323182e-03
0.000000e+00,8.836183e-07,2.005657e-06,6.792796e-06,1.527020e-05,2.214710e-05,4.960859e-05,5.107897e-05,9.783106e-05,1.147023e-04,1.665006e-04,2.191304e-04,2.588350e-04,3.628958e-04,3.727179e-04,5.048112e-04,5.389043e-04,6.523443e-04,7.408046e-04,8.129006e-04,9.630304e-04,9.840422e-04,1.163187e-03,1.199740e-03,1.347644e-03,1.444763e-03,1.534718e-03,1.691989e-03,1.721829e-03,1.906609e-03,1.935815e-03,2.086987e-03,2.171482e-03,2.261229e-03,2.395269e-03,2.427961e-03,2.586153e-03,2.604525e-03,2.735102e-03,2.797595e-03,2.874393e-03,2.973680e-03,3.003852e-03,3.123510e-03,3.132664e-03,3.233555e-03,3.274946e-03,3.334293e-03,3.401281e-03,3.426120e-03,3.509488e-03,3.512654e-03,3.584885e-03,3.610173e-03,3.652815e-03,3.695002e-03,3.713785e-03,3.768294e-03,3.816824e-03,3.831166e-03,3.859835e-03,3.884669e-03,3.897764e-03,3.929776e-03,3.931021e-03,3.959989e-03,3.967381e-03,3.985024e-03,3.998294e-03,4.006454e-03,4.023247e-03,4.024583e-03,4.039690e-03,4.042895e-03,4.052033e-03,4.057826e-03,4.061846e-03,4.068562e-03,4.069347e-03,4.074732e-03,4.075571e-03,4.078182e-03,4.079268e-03,4.079864e-03,4.080022e-03,4.079930e-03,4.078518e-03,4.078164e-03,4.075757e-03,4.073986e-03,4.071762e-03,4.067750e-03,4.066641e-03,4.060492e-03,4.059690e-03,4.053406e-03,4.050013e-03,4.045465e-03,4.038906e-03,4.036746e-03,4.027319e-03,4.026536e-03,4.017248e-03,4.013053e-03,4.006593e-03,3.998591e-03,3.995409e-03,3.983746e-03,3.983270e-03,3.971651e-03,3.967200e-03,3.959168e-03,3.950478e-03,3.946337e-03,3.933193e-03,3.919772e-03,3.915424e-03,3.906106e-03,3.897244e-03,3.892223e-03,3.878717e-03,3.878151e-03,3.863915e-03,3.859903e-03,3.849539e-03,3.840855e-03,3.835045e-03,3.821623e-03,3.820452e-03,3.805780e-03,3.802249e-03,3.791046e-03,3.782773e-03,3.776266e-03,3.763233e-03,3.761455e-03,3.746628e-03,3.743662e-03,3.731797e-03,3.724088e-03,3.716975e-03,3.704539e-03,3.702172e-03,3.687400e-03,3.685040e-03,3.672668e-03,3.665614e-03,3.657985e-03,3.646279e-03,3.643359e-03,3.628798e-03,3.627056e-03,3.614309e-03,3.607959e-03,3.599899e-03,3.589004e-03,3.585574e-03,3.571339e-03,3.570205e-03,3.557200e-03,3.551573e-03,3.543162e-03,3.533119e-03,3.529228e-03,3.515404e-03,3.514853e-03,3.501691e-03,3.496783e-03,3.488095e-03,3.478917e-03,3.474618e-03,3.461262e-03,3.443823e-03,3.426606e-03,3.409615e-03,3.392853e-03,3.376323e-03,3.360029e-03,3.343972e-03,3.328153e-03,3.312575e-03,3.297237e-03,3.282139e-03,3.267283e-03,3.252667e-03,3.238291e-03,3.224154e-03,3.210255e-03,3.196593e-03,3.183166e-03,3.169972e-03,3.157010e-03,3.144277e-03,3.131771e-03,3.119491e-03,3.107434e-03
0.000000e+00,4.189998e-09,9.552694e-09,3.262974e-08,7.383639e-08,1.074073e-07,2.417890e-07,2.489832e-07,4.771675e-07,5.592994e-07,8.120664e-07,1.072837e-06,1.274335e-06,1.828454e-06,1.882847e-06,2.647992e-06,2.854810e-06,3.566228e-06,4.142562e-06,4.624469e-06,5.659811e-06,5.807996e-06,7.103554e-06,7.375034e-06,8.499022e-06,9.260212e-06,9.982510e-06,1.128775e-05,1.154181e-05,1.316424e-05,1.342881e-05,1.483670e-05,1.565335e-05,1.654593e-05,1.793095e-05,1.827879e-05,2.002255e-05,2.023195e-05,2.176514e-05,2.252859e-05,2.349537e-05,2.479580e-05,2.520311e-05,2.687938e-05,2.701188e-05,2.851641e-05,2.915872e-05,3.010763e-05,3.122187e-05,3.164764e-05,3.313219e-05,3.319037e-05,3.455802e-05,3.505647e-05,3.592283e-05,3.681526e-05,3.722514e-05,3.846423e-05,3.963997e-05,4.000289e-05,4.075279e-05,4.143235e-05,4.180354e-05,4.275499e-05,4.279344e-05,4.372400e-05,4.397415e-05,4.459694e-05,4.509384e-05,4.541418e-05,4.611856e-05,4.617772e-05,4.688966e-05,4.705308e-05,4.755214e-05,4.790233e-05,4.816733e-05,4.867128e-05,4.873737e-05,4.926441e-05,4.936484e-05,4.975054e-05,4.998783e-05,5.019779e-05,5.054489e-05,5.060815e-05,5.098356e-05,5.104050e-05,5.132585e-05,5.147892e-05,5.163682e-05,5.186419e-05,5.191816e-05,5.217153e-05,5.220013e-05,5.239847e-05,5.249034e-05,5.260049e-05,5.273822e-05,5.277899e-05,5.293534e-05,5.294693e-05,5.307082e-05,5.311944e-05,5.318664e-05,5.325852e-05,5.328397e-05,5.336390e-05,5.336675e-05,5.342747e-05,5.344655e-05,5.347568e-05,5.350015e-05,5.350944e-05,5.352966e-05,5.353716e-05,5.353700e-05,5.353274e-05,5.352399e-05,5.351714e-05,5.349230e-05,5.349107e-05,5.345521e-05,5.344350e-05,5.341018e-05,5.337902e-05,5.335659e-05,5.330021e-05,5.329500e-05,5.322595e-05,5.320832e-05,5.314993e-05,5.310451e-05,5.306744e-05,5.298984e-05,5.297892e-05,5.288479e-05,5.286533e-05,5.278546e-05,5.273188e-05,5.268131e-05,5.259037e-05,5.257270e-05,5.245997e-05,5.244158e-05,5.234345e-05,5.228625e-05,5.222342e-05,5.212508e-05,5.210019e-05,5.197401e-05,5.195868e-05,5.184515e-05,5.178766e-05,5.171384e-05,5.161256e-05,5.158032e-05,5.144480e-05,5.143387e-05,5.130747e-05,5.125208e-05,5.116854e-05,5.106761e-05,5.102818e-05,5.088656e-05,5.088087e-05,5.074384e-05,5.069222e-05,5.060018e-05,5.050202e-05,5.045571e-05,5.031057e-05,5.011818e-05,4.992512e-05,4.973164e-05,4.953796e-05,4.934431e-05,4.915089e-05,4.895787e-05,4.876542e-05,4.857370e-05,4.838284e-05,4.819298e-05,4.800424e-05,4.781672e-05,4.763053e-05,4.744575e-05,4.726246e-05,4.708075e-05,4.690068e-05,4.672230e-05,4.654568e-05,4.637087e-05,4.619790e-05,4.602681e-05,4.585765e-05
0.000000e+00,4.545654e-09,1.038048e-08,3.561836e-08,8.108606e-08,1.184613e-07,2.707485e-07,2.790152e-07,5.467042e-07,6.454858e-07,9.565907e-07,1.287116e-06,1.547757e-06,2.279496e-06,2.352035e-06,3.375294e-06,3.651249e-06,4.594067e-06,5.348981e-06,5.973687e-06,7.296099e-06,7.483252e-06,9.098497e-06,9.432447e-06,1.079981e-05,1.171276e-05,1.257006e-05,1.409872e-05,1.439339e-05,1.625470e-05,1.655505e-05,1.813950e-05,1.904850e-05,2.003410e-05,2.154823e-05,2.192575e-05,2.380282e-05,2.402659e-05,2.565496e-05,2.645962e-05,2.747313e-05,2.882748e-05,2.924970e-05,3.097836e-05,3.111442e-05,3.265403e-05,3.330855e-05,3.427280e-05,3.540142e-05,3.583177e-05,3.732896e-05,3.738754e-05,3.876318e-05,3.926398e-05,4.013396e-05,4.102977e-05,4.144118e-05,4.268532e-05,4.386723e-05,4.423247e-05,4.498802e-05,4.567388e-05,4.604908e-05,4.701292e-05,4.705194e-05,4.799828e-05,4.825337e-05,4.888987e-05,4.939930e-05,4.972853e-05,5.045496e-05,5.051614e-05,5.125456e-05,5.142468e-05,5.194569e-05,5.231276e-05,5.259138e-05,5.312347e-05,5.319349e-05,5.375381e-05,5.386101e-05,5.427412e-05,5.452944e-05,5.475614e-05,5.513267e-05,5.520155e-05,5.561198e-05,5.567451e-05,5.598901e-05,5.615857e-05,5.633416e-05,5.658833e-05,5.664892e-05,5.693470e-05,5.696712e-05,5.719288e-05,5.729807e-05,5.742477e-05,5.758421e-05,5.763164e-05,5.781472e-05,5.782838e-05,5.797518e-05,5.803328e-05,5.811413e-05,5.820147e-05,5.823266e-05,5.833181e-05,5.833539e-05,5.841256e-05,5.843732e-05,5.847587e-05,5.850942e-05,5.852265e-05,5.855376e-05,5.857004e-05,5.857224e-05,5.857228e-05,5.856671e-05,5.856126e-05,5.853886e-05,5.853769e-05,5.850227e-05,5.849032e-05,5.845568e-05,5.842262e-05,5.839853e-05,5.833717e-05,5.833145e-05,5.825501e-05,5.823534e-05,5.816977e-05,5.811838e-05,5.807624e-05,5.798749e-05,5.797494e-05,5.786635e-05,5.784380e-05,5.775092e-05,5.768834e-05,5.762909e-05,5.752211e-05,5.750128e-05,5.736788e-05,5.734604e-05,5.722927e-05,5.716100e-05,5.708582e-05,5.696780e-05,5.693786e-05,5.678572e-05,5.676720e-05,5.662972e-05,5.655992e-05,5.647014e-05,5.634665e-05,5.630727e-05,5.614138e-05,5.612799e-05,5.597273e-05,5.590455e-05,5.580155e-05,5.567687e-05,5.562808e-05,5.545253e-05,5.544546e-05,5.527511e-05,5.521082e-05,5.509602e-05,5.497339e-05,5.491546e-05,5.473359e-05,5.449180e-05,5.424841e-05,5.400375e-05,5.375813e-05,5.351185e-05,5.326520e-05,5.301842e-05,5.277175e-05,5.252541e-05,5.227961e-05,5.203453e-05,5.179035e-05,5.154723e-05,5.130532e-05,5.106476e-05,5.082568e-05,5.058818e-05,5.035238e-05,5.011838e-05,4.988626e-05,4.965610e-05,4.942797e-05,4.920196e-05,4.897810e-05
0.000000e+00,5.076533e-09,1.155267e-08,3.932093e-08,8.872936e-08,1.289067e-07,2.895546e-07,2.981556e-07,5.713949e-07,6.700294e-07,9.747660e-07,1.291198e-06,1.537232e-06,2.221278e-06,2.289050e-06,3.254830e-06,3.519744e-06,4.441406e-06,5.196496e-06,5.830763e-06,7.193373e-06,7.387773e-06,9.074273e-06,9.424078e-06,1.085711e-05,1.181312e-05,1.270942e-05,1.430289e-05,1.460925e-05,1.653792e-05,1.684805e-05,1.847889e-05,1.941047e-05,2.041716e-05,2.195652e-05,2.233894e-05,2.423164e-05,2.445625e-05,2.608387e-05,2.688337e-05,2.788550e-05,2.921549e-05,2.962782e-05,3.130337e-05,3.143433e-05,3.290602e-05,3.352560e-05,3.443116e-05,3.547926e-05,3.587530e-05,3.723620e-05,3.728889e-05,3.851268e-05,3.895146e-05,3.970447e-05,4.046678e-05,4.081216e-05,4.183703e-05,4.278095e-05,4.306627e-05,4.364621e-05,4.415994e-05,4.443552e-05,4.512454e-05,4.515183e-05,4.579832e-05,4.596727e-05,4.637828e-05,4.669571e-05,4.689506e-05,4.731761e-05,4.735205e-05,4.775261e-05,4.784072e-05,4.810007e-05,4.827265e-05,4.839765e-05,4.862076e-05,4.864850e-05,4.885564e-05,4.889209e-05,4.902200e-05,4.909332e-05,4.915036e-05,4.923075e-05,4.924336e-05,4.930354e-05,4.931028e-05,4.933327e-05,4.933740e-05,4.933482e-05,4.931719e-05,4.931030e-05,4.926174e-05,4.925439e-05,4.919101e-05,4.915333e-05,4.909989e-05,4.901802e-05,4.899003e-05,4.886299e-05,4.885213e-05,4.872022e-05,4.865902e-05,4.856310e-05,4.844179e-05,4.839288e-05,4.821075e-05,4.820324e-05,4.801783e-05,4.794594e-05,4.781515e-05,4.767224e-05,4.760366e-05,4.738427e-05,4.715781e-05,4.708398e-05,4.692505e-05,4.677312e-05,4.668673e-05,4.645332e-05,4.644350e-05,4.619600e-05,4.612602e-05,4.594480e-05,4.579254e-05,4.569044e-05,4.545407e-05,4.543342e-05,4.517420e-05,4.511171e-05,4.491321e-05,4.476642e-05,4.465083e-05,4.441910e-05,4.438745e-05,4.412340e-05,4.407053e-05,4.385898e-05,4.372144e-05,4.359450e-05,4.337247e-05,4.333021e-05,4.306636e-05,4.302420e-05,4.280317e-05,4.267714e-05,4.254085e-05,4.233176e-05,4.227960e-05,4.201958e-05,4.198847e-05,4.176095e-05,4.164764e-05,4.150387e-05,4.130959e-05,4.124845e-05,4.099483e-05,4.097462e-05,4.074311e-05,4.064298e-05,4.049339e-05,4.031488e-05,4.024576e-05,4.000030e-05,3.999052e-05,3.975708e-05,3.967008e-05,3.951616e-05,3.935368e-05,3.927761e-05,3.904146e-05,3.873352e-05,3.842994e-05,3.813079e-05,3.783612e-05,3.754598e-05,3.726039e-05,3.697938e-05,3.670294e-05,3.643109e-05,3.616380e-05,3.590108e-05,3.564288e-05,3.538919e-05,3.513998e-05,3.489520e-05,3.465482e-05,3.441879e-05,3.418706e-05,3.395959e-05,3.373631e-05,3.351718e-05,3.330213e-05,3.309112e-05,3.288407e-05
0.000000e+00,7.210128e-09,1.648656e-08,5.668387e-08,1.291255e-07,1.885895e-07,4.295442e-07,4.425552e-07,8.599238e-07,1.012075e-06,1.485480e-06,1.980563e-06,2.366814e-06,3.441156e-06,3.547351e-06,5.049629e-06,5.457322e-06,6.860413e-06,7.994615e-06,8.939458e-06,1.095494e-05,1.124162e-05,1.372794e-05,1.424435e-05,1.636581e-05,1.778780e-05,1.912661e-05,2.152138e-05,2.198403e-05,2.491346e-05,2.538729e-05,2.789194e-05,2.933275e-05,3.089832e-05,3.331059e-05,3.391348e-05,3.692041e-05,3.727996e-05,3.990434e-05,4.120664e-05,4.285260e-05,4.506284e-05,4.575461e-05,4.860159e-05,4.882675e-05,5.138643e-05,5.248166e-05,5.410352e-05,5.601538e-05,5.674850e-05,5.931805e-05,5.941922e-05,6.180980e-05,6.268746e-05,6.422216e-05,6.581670e-05,6.655416e-05,6.880538e-05,7.097583e-05,7.165338e-05,7.306591e-05,7.436169e-05,7.507631e-05,7.693217e-05,7.700793e-05,7.886188e-05,7.936724e-05,8.063943e-05,8.166986e-05,8.234196e-05,8.384331e-05,8.397097e-05,8.552802e-05,8.589119e-05,8.701475e-05,8.781722e-05,8.843282e-05,8.962528e-05,8.978394e-05,9.106983e-05,9.131934e-05,9.229224e-05,9.290338e-05,9.345291e-05,9.438144e-05,9.455359e-05,9.559601e-05,9.575751e-05,9.658191e-05,9.703557e-05,9.751300e-05,9.821955e-05,9.839098e-05,9.921752e-05,9.931333e-05,9.999428e-05,1.003207e-04,1.007229e-04,1.012454e-04,1.014049e-04,1.020420e-04,1.020911e-04,1.026356e-04,1.028613e-04,1.031874e-04,1.035595e-04,1.036986e-04,1.041709e-04,1.041890e-04,1.046056e-04,1.047531e-04,1.050041e-04,1.052551e-04,1.053677e-04,1.056978e-04,1.059957e-04,1.060845e-04,1.062626e-04,1.064177e-04,1.064997e-04,1.067005e-04,1.067083e-04,1.068894e-04,1.069353e-04,1.070442e-04,1.071248e-04,1.071737e-04,1.072715e-04,1.072791e-04,1.073613e-04,1.073777e-04,1.074214e-04,1.074458e-04,1.074604e-04,1.074778e-04,1.074791e-04,1.074784e-04,1.074760e-04,1.074593e-04,1.074424e-04,1.074226e-04,1.073788e-04,1.073691e-04,1.072996e-04,1.072871e-04,1.072150e-04,1.071691e-04,1.071158e-04,1.070266e-04,1.070029e-04,1.068770e-04,1.068611e-04,1.067387e-04,1.066741e-04,1.065887e-04,1.064672e-04,1.064276e-04,1.062560e-04,1.062418e-04,1.060744e-04,1.059992e-04,1.058836e-04,1.057407e-04,1.056839e-04,1.054760e-04,1.054675e-04,1.052603e-04,1.051808e-04,1.050373e-04,1.048817e-04,1.048074e-04,1.045712e-04,1.042504e-04,1.039202e-04,1.035815e-04,1.032351e-04,1.028819e-04,1.025227e-04,1.021581e-04,1.017888e-04,1.014155e-04,1.010389e-04,1.006594e-04,1.002777e-04,9.989417e-05,9.950940e-05,9.912382e-05,9.873785e-05,9.835189e-05,9.796632e-05,9.758149e-05,9.719773e-05,9.681534e-05,9.643462e-05,9.605583e-05,9.567921e-05
0.000000e+00,2.767368e-09,6.305893e-09,2.151047e-08,4.859588e-08,7.061220e-08,1.583544e-07,1.630354e-07,3.107238e-07,3.635320e-07,5.249981e-07,6.900803e-07,8.167506e-07,1.162159e-06,1.195902e-06,1.669540e-06,1.797632e-06,2.239914e-06,2.600879e-06,2.904843e-06,3.564768e-06,3.659987e-06,4.500393e-06,4.678254e-06,5.420867e-06,5.929327e-06,6.415839e-06,7.304731e-06,7.479193e-06,8.604182e-06,8.789416e-06,9.783433e-06,1.036644e-05,1.100902e-05,1.201727e-05,1.227262e-05,1.356560e-05,1.372232e-05,1.487927e-05,1.546161e-05,1.620500e-05,1.721544e-05,1.753439e-05,1.885941e-05,1.896499e-05,2.017253e-05,2.069288e-05,2.146683e-05,2.238352e-05,2.273605e-05,2.397465e-05,2.402349e-05,2.517771e-05,2.560131e-05,2.634116e-05,2.710791e-05,2.746160e-05,2.853637e-05,2.956344e-05,2.988179e-05,3.054139e-05,3.114107e-05,3.146933e-05,3.231272e-05,3.234685e-05,3.317403e-05,3.339666e-05,3.395126e-05,3.439392e-05,3.467929e-05,3.530649e-05,3.535913e-05,3.599201e-05,3.613706e-05,3.657933e-05,3.688890e-05,3.712264e-05,3.756566e-05,3.762360e-05,3.808392e-05,3.817127e-05,3.850538e-05,3.870978e-05,3.888977e-05,3.918533e-05,3.923889e-05,3.955451e-05,3.960202e-05,3.983841e-05,3.996391e-05,4.009229e-05,4.027492e-05,4.031784e-05,4.051668e-05,4.053882e-05,4.069038e-05,4.075923e-05,4.084044e-05,4.093957e-05,4.096831e-05,4.107537e-05,4.108308e-05,4.116294e-05,4.119279e-05,4.123227e-05,4.127156e-05,4.128454e-05,4.132089e-05,4.132203e-05,4.134238e-05,4.134667e-05,4.135001e-05,4.134778e-05,4.134475e-05,4.132749e-05,4.129908e-05,4.128776e-05,4.126030e-05,4.123040e-05,4.121192e-05,4.115709e-05,4.115463e-05,4.108910e-05,4.106937e-05,4.101596e-05,4.096866e-05,4.093577e-05,4.085626e-05,4.084910e-05,4.075646e-05,4.073339e-05,4.065832e-05,4.060114e-05,4.055515e-05,4.046053e-05,4.044736e-05,4.033536e-05,4.031248e-05,4.021951e-05,4.015786e-05,4.010016e-05,3.999745e-05,3.997765e-05,3.985227e-05,3.983196e-05,3.972431e-05,3.966206e-05,3.959405e-05,3.948834e-05,3.946172e-05,3.932758e-05,3.931137e-05,3.919183e-05,3.913164e-05,3.905468e-05,3.894964e-05,3.891633e-05,3.877696e-05,3.876577e-05,3.863673e-05,3.858043e-05,3.849580e-05,3.839398e-05,3.835431e-05,3.821241e-05,3.820673e-05,3.807023e-05,3.801900e-05,3.792788e-05,3.783104e-05,3.778547e-05,3.764311e-05,3.745543e-05,3.726821e-05,3.708163e-05,3.689587e-05,3.671108e-05,3.652739e-05,3.634494e-05,3.616384e-05,3.598420e-05,3.580609e-05,3.562961e-05,3.545484e-05,3.528183e-05,3.511065e-05,3.494134e-05,3.477395e-05,3.460852e-05,3.444508e-05,3.428367e-05,3.412430e-05,3.396699e-05,3.381176e-05,3.365863e-05,3.350759e-05
0.000000e+00,2.583072e-09,5.883404e-09,2.014130e-08,4.599050e-08,6.747771e-08,1.575283e-07,1.625306e-07,3.300968e-07,3.942101e-07,6.008482e-07,8.224826e-07,9.948996e-07,1.456312e-06,1.500065e-06,2.084076e-06,2.232676e-06,2.719355e-06,3.090615e-06,3.388222e-06,3.995373e-06,4.079146e-06,4.783467e-06,4.925273e-06,5.493762e-06,5.863197e-06,6.203223e-06,6.793890e-06,6.905535e-06,7.594960e-06,7.703722e-06,8.266432e-06,8.581075e-06,8.915681e-06,9.416748e-06,9.539279e-06,1.013463e-05,1.020408e-05,1.069992e-05,1.093882e-05,1.123406e-05,1.161886e-05,1.173658e-05,1.220753e-05,1.224386e-05,1.264740e-05,1.281482e-05,1.305699e-05,1.333371e-05,1.343732e-05,1.378961e-05,1.380314e-05,1.411517e-05,1.422610e-05,1.441540e-05,1.460580e-05,1.469171e-05,1.494553e-05,1.517825e-05,1.524849e-05,1.539122e-05,1.551776e-05,1.558574e-05,1.575627e-05,1.576305e-05,1.592431e-05,1.596674e-05,1.607064e-05,1.615170e-05,1.620306e-05,1.631345e-05,1.632256e-05,1.643004e-05,1.645414e-05,1.652634e-05,1.657569e-05,1.661226e-05,1.667987e-05,1.668854e-05,1.675585e-05,1.676829e-05,1.681482e-05,1.684239e-05,1.686605e-05,1.690350e-05,1.691008e-05,1.694743e-05,1.695281e-05,1.697855e-05,1.699141e-05,1.700389e-05,1.702027e-05,1.702385e-05,1.703881e-05,1.704029e-05,1.704912e-05,1.705227e-05,1.705511e-05,1.705696e-05,1.705708e-05,1.705530e-05,1.705501e-05,1.705005e-05,1.704703e-05,1.704156e-05,1.703358e-05,1.703007e-05,1.701579e-05,1.701516e-05,1.699890e-05,1.699222e-05,1.697960e-05,1.696519e-05,1.695807e-05,1.693445e-05,1.690890e-05,1.690034e-05,1.688157e-05,1.686319e-05,1.685257e-05,1.682329e-05,1.682204e-05,1.679010e-05,1.678091e-05,1.675684e-05,1.673629e-05,1.672237e-05,1.668967e-05,1.668678e-05,1.665017e-05,1.664124e-05,1.661261e-05,1.659120e-05,1.657420e-05,1.653973e-05,1.653499e-05,1.649506e-05,1.648699e-05,1.645447e-05,1.643313e-05,1.641329e-05,1.637828e-05,1.637158e-05,1.632938e-05,1.632259e-05,1.628675e-05,1.626615e-05,1.624374e-05,1.620908e-05,1.620039e-05,1.615675e-05,1.615149e-05,1.611285e-05,1.609346e-05,1.606874e-05,1.603509e-05,1.602444e-05,1.598001e-05,1.597645e-05,1.593545e-05,1.591761e-05,1.589082e-05,1.585864e-05,1.584612e-05,1.580140e-05,1.579961e-05,1.575667e-05,1.574057e-05,1.571197e-05,1.568159e-05,1.566730e-05,1.562270e-05,1.556395e-05,1.550539e-05,1.544706e-05,1.538899e-05,1.533122e-05,1.527377e-05,1.521668e-05,1.515997e-05,1.510366e-05,1.504778e-05,1.499234e-05,1.493737e-05,1.488289e-05,1.482890e-05,1.477541e-05,1.472246e-05,1.467003e-05,1.461815e-05,1.456681e-05,1.451604e-05,1.446583e-05,1.441620e-05,1.436714e-05,1.431866e-05
0.000000e+00,2.655686e-09,6.059853e-09,2.075199e-08,4.712831e-08,6.873752e-08,1.562181e-07,1.609431e-07,3.127880e-07,3.682996e-07,5.414978e-07,7.230257e-07,8.644968e-07,1.254341e-06,1.292437e-06,1.820956e-06,1.961098e-06,2.434341e-06,2.808579e-06,3.115959e-06,3.761418e-06,3.852282e-06,4.632163e-06,4.792477e-06,5.445633e-06,5.878773e-06,6.283286e-06,6.999019e-06,7.136141e-06,7.995736e-06,8.133365e-06,8.854274e-06,9.263913e-06,9.704774e-06,1.037527e-05,1.054116e-05,1.135830e-05,1.145486e-05,1.215200e-05,1.249292e-05,1.291895e-05,1.348237e-05,1.365663e-05,1.436326e-05,1.441841e-05,1.503765e-05,1.529821e-05,1.567913e-05,1.612048e-05,1.628748e-05,1.686281e-05,1.688514e-05,1.740552e-05,1.759302e-05,1.791623e-05,1.824561e-05,1.839570e-05,1.884485e-05,1.926467e-05,1.939299e-05,1.965621e-05,1.989245e-05,2.002055e-05,2.034577e-05,2.035882e-05,2.067211e-05,2.075551e-05,2.096154e-05,2.112421e-05,2.122821e-05,2.145436e-05,2.147319e-05,2.169752e-05,2.174841e-05,2.190224e-05,2.200868e-05,2.208832e-05,2.223743e-05,2.225673e-05,2.240839e-05,2.243679e-05,2.254419e-05,2.260882e-05,2.266498e-05,2.275545e-05,2.277159e-05,2.286479e-05,2.287851e-05,2.294534e-05,2.297972e-05,2.301396e-05,2.306073e-05,2.307133e-05,2.311812e-05,2.312305e-05,2.315495e-05,2.316815e-05,2.318241e-05,2.319736e-05,2.320107e-05,2.321148e-05,2.321197e-05,2.321414e-05,2.321315e-05,2.320956e-05,2.320203e-05,2.319819e-05,2.318048e-05,2.317964e-05,2.315684e-05,2.314696e-05,2.312768e-05,2.310490e-05,2.309338e-05,2.305429e-05,2.301076e-05,2.299594e-05,2.296310e-05,2.293057e-05,2.291162e-05,2.285888e-05,2.285662e-05,2.279836e-05,2.278150e-05,2.273710e-05,2.269902e-05,2.267310e-05,2.261199e-05,2.260658e-05,2.253775e-05,2.252092e-05,2.246684e-05,2.242628e-05,2.239403e-05,2.232853e-05,2.231950e-05,2.224343e-05,2.222805e-05,2.216599e-05,2.212523e-05,2.208733e-05,2.202042e-05,2.200760e-05,2.192692e-05,2.191394e-05,2.184544e-05,2.180607e-05,2.176327e-05,2.169711e-05,2.168052e-05,2.159730e-05,2.158729e-05,2.151372e-05,2.147686e-05,2.142987e-05,2.136601e-05,2.134583e-05,2.126169e-05,2.125496e-05,2.117753e-05,2.114387e-05,2.109341e-05,2.103292e-05,2.100942e-05,2.092560e-05,2.092225e-05,2.084201e-05,2.081199e-05,2.075873e-05,2.070228e-05,2.067578e-05,2.059323e-05,2.048493e-05,2.037748e-05,2.027097e-05,2.016547e-05,2.006104e-05,1.995775e-05,1.985565e-05,1.975478e-05,1.965519e-05,1.955692e-05,1.945999e-05,1.936443e-05,1.927026e-05,1.917750e-05,1.908616e-05,1.899626e-05,1.890780e-05,1.882079e-05,1.873523e-05,1.865112e-05,1.856846e-05,1.848725e-05,1.840748e-05,1.832914e-05
0.000000e+00,5.361801e-10,1.225618e-09,4.207850e-09,9.560632e-09,1.393397e-08,3.147332e-08,3.241240e-08,6.213258e-08,7.278504e-08,1.053795e-07,1.386913e-07,1.642234e-07,2.337108e-07,2.404917e-07,3.357205e-07,3.615362e-07,4.510878e-07,5.247872e-07,5.873369e-07,7.247057e-07,7.446979e-07,9.228248e-07,9.608687e-07,1.120760e-06,1.231020e-06,1.336945e-06,1.531120e-06,1.569280e-06,1.815253e-06,1.855692e-06,2.072112e-06,2.198447e-06,2.337059e-06,2.553040e-06,2.607426e-06,2.880798e-06,2.913701e-06,3.155074e-06,3.275574e-06,3.428482e-06,3.634777e-06,3.699552e-06,3.967088e-06,3.988307e-06,4.230123e-06,4.333900e-06,4.487892e-06,4.669882e-06,4.739795e-06,4.985377e-06,4.995063e-06,5.224298e-06,5.308630e-06,5.456321e-06,5.610074e-06,5.681291e-06,5.899123e-06,6.109788e-06,6.175689e-06,6.313305e-06,6.439828e-06,6.509727e-06,6.691699e-06,6.699142e-06,6.881658e-06,6.931543e-06,7.057403e-06,7.159658e-06,7.226519e-06,7.376382e-06,7.389158e-06,7.545481e-06,7.582077e-06,7.695654e-06,7.777127e-06,7.839844e-06,7.961919e-06,7.978224e-06,8.110962e-06,8.136848e-06,8.238230e-06,8.302304e-06,8.360197e-06,8.458674e-06,8.477029e-06,8.588891e-06,8.606338e-06,8.695943e-06,8.745666e-06,8.798344e-06,8.877020e-06,8.896248e-06,8.989806e-06,9.000748e-06,9.079165e-06,9.117190e-06,9.164468e-06,9.226670e-06,9.245853e-06,9.323456e-06,9.329505e-06,9.397408e-06,9.425995e-06,9.467836e-06,9.516432e-06,9.534864e-06,9.598611e-06,9.601094e-06,9.659193e-06,9.680250e-06,9.716722e-06,9.754153e-06,9.771306e-06,9.823051e-06,9.872057e-06,9.887177e-06,9.918423e-06,9.946755e-06,9.962243e-06,1.000200e-05,1.000361e-05,1.004261e-05,1.005312e-05,1.007933e-05,1.010030e-05,1.011385e-05,1.014374e-05,1.014626e-05,1.017662e-05,1.018361e-05,1.020501e-05,1.022008e-05,1.023152e-05,1.025332e-05,1.025619e-05,1.027910e-05,1.028348e-05,1.030032e-05,1.031071e-05,1.031991e-05,1.033514e-05,1.033792e-05,1.035441e-05,1.035692e-05,1.036945e-05,1.037617e-05,1.038308e-05,1.039301e-05,1.039536e-05,1.040633e-05,1.040756e-05,1.041604e-05,1.041993e-05,1.042455e-05,1.043023e-05,1.043189e-05,1.043811e-05,1.043856e-05,1.044326e-05,1.044502e-05,1.044736e-05,1.044969e-05,1.045046e-05,1.045260e-05,1.045267e-05,1.045382e-05,1.045403e-05,1.045414e-05,1.045387e-05,1.045361e-05,1.045225e-05,1.044924e-05,1.044493e-05,1.043936e-05,1.043261e-05,1.042474e-05,1.041581e-05,1.040586e-05,1.039495e-05,1.038313e-05,1.037046e-05,1.035696e-05,1.034270e-05,1.032771e-05,1.031202e-05,1.029569e-05,1.027873e-05,1.026120e-05,1.024312e-05,1.022452e-05,1.020544e-05,1.018590e-05,1.016593e-05,1.014556e-05,1.012481e-05
0.000000e+00,1.122758e-08,2.542080e-08,8.557575e-08,1.910396e-07,2.758040e-07,6.085493e-07,6.261344e-07,1.175238e-06,1.369500e-06,1.958683e-06,2.555340e-06,3.010176e-06,4.240969e-06,4.360639e-06,6.033583e-06,6.484301e-06,8.034988e-06,9.291380e-06,1.033944e-05,1.256853e-05,1.288369e-05,1.557989e-05,1.612941e-05,1.834031e-05,1.977666e-05,2.109369e-05,2.336251e-05,2.378797e-05,2.638658e-05,2.679166e-05,2.886411e-05,3.000492e-05,3.120303e-05,3.296640e-05,3.339173e-05,3.542330e-05,3.565634e-05,3.729464e-05,3.806720e-05,3.900587e-05,4.020088e-05,4.055965e-05,4.196078e-05,4.206646e-05,4.321569e-05,4.367838e-05,4.433197e-05,4.505453e-05,4.531800e-05,4.618265e-05,4.621484e-05,4.693496e-05,4.718003e-05,4.758392e-05,4.797067e-05,4.813830e-05,4.860653e-05,4.899663e-05,4.910621e-05,4.931616e-05,4.948689e-05,4.957213e-05,4.976407e-05,4.977101e-05,4.991874e-05,4.995169e-05,5.002077e-05,5.006212e-05,5.008203e-05,5.010623e-05,5.010699e-05,5.009969e-05,5.009354e-05,5.006376e-05,5.003238e-05,5.000249e-05,4.992994e-05,4.991880e-05,4.981534e-05,4.979248e-05,4.969446e-05,4.962543e-05,4.955828e-05,4.943345e-05,4.940869e-05,4.924739e-05,4.922060e-05,4.907589e-05,4.899036e-05,4.889556e-05,4.874576e-05,4.870761e-05,4.851313e-05,4.848940e-05,4.831310e-05,4.822356e-05,4.810840e-05,4.795018e-05,4.789981e-05,4.768803e-05,4.767097e-05,4.747371e-05,4.738740e-05,4.725741e-05,4.710074e-05,4.703965e-05,4.682088e-05,4.681211e-05,4.660151e-05,4.652247e-05,4.638193e-05,4.623266e-05,4.616246e-05,4.594341e-05,4.572504e-05,4.565535e-05,4.550760e-05,4.536903e-05,4.529131e-05,4.508493e-05,4.507636e-05,4.486294e-05,4.480347e-05,4.465118e-05,4.452500e-05,4.444125e-05,4.424982e-05,4.423326e-05,4.402732e-05,4.397821e-05,4.382353e-05,4.371038e-05,4.362198e-05,4.344652e-05,4.342274e-05,4.322588e-05,4.318680e-05,4.303146e-05,4.293134e-05,4.283953e-05,4.268026e-05,4.265013e-05,4.246329e-05,4.243364e-05,4.227905e-05,4.219154e-05,4.209743e-05,4.195403e-05,4.191844e-05,4.174211e-05,4.172113e-05,4.156843e-05,4.149286e-05,4.139743e-05,4.126924e-05,4.122908e-05,4.106341e-05,4.105027e-05,4.090039e-05,4.083593e-05,4.074003e-05,4.062621e-05,4.058231e-05,4.042723e-05,4.042108e-05,4.027475e-05,4.022050e-05,4.012488e-05,4.002444e-05,3.997759e-05,3.983286e-05,3.964569e-05,3.946290e-05,3.928443e-05,3.911020e-05,3.894017e-05,3.877427e-05,3.861243e-05,3.845458e-05,3.830066e-05,3.815059e-05,3.800431e-05,3.786174e-05,3.772280e-05,3.758744e-05,3.745557e-05,3.732713e-05,3.720203e-05,3.708022e-05,3.696161e-05,3.684615e-05,3.673375e-05,3.662435e-05,3.651788e-05,3.641427e-05
0.000000e+00,8.228318e-09,1.875250e-08,6.403790e-08,1.450072e-07,2.111206e-07,4.773437e-07,4.916708e-07,9.500513e-07,1.116834e-06,1.635054e-06,2.174760e-06,2.592661e-06,3.731655e-06,3.842106e-06,5.366578e-06,5.770149e-06,7.137744e-06,8.228431e-06,9.132306e-06,1.105745e-05,1.133159e-05,1.371783e-05,1.421587e-05,1.627192e-05,1.765940e-05,1.897255e-05,2.133718e-05,2.179620e-05,2.471765e-05,2.519241e-05,2.771064e-05,2.916491e-05,3.074871e-05,3.319417e-05,3.380595e-05,3.685764e-05,3.722237e-05,3.988090e-05,4.119669e-05,4.285500e-05,4.507112e-05,4.576170e-05,4.858539e-05,4.880729e-05,5.131306e-05,5.237483e-05,5.393429e-05,5.575106e-05,5.644104e-05,5.882753e-05,5.892043e-05,6.108997e-05,6.187364e-05,6.322633e-05,6.460671e-05,6.523608e-05,6.712000e-05,6.887992e-05,6.941732e-05,7.051852e-05,7.150509e-05,7.203918e-05,7.339166e-05,7.344579e-05,7.474262e-05,7.508667e-05,7.593421e-05,7.660059e-05,7.702525e-05,7.794432e-05,7.802053e-05,7.892485e-05,7.912889e-05,7.974298e-05,8.016523e-05,8.047958e-05,8.106399e-05,8.113924e-05,8.172636e-05,8.183546e-05,8.224524e-05,8.248946e-05,8.269998e-05,8.303528e-05,8.309451e-05,8.343259e-05,8.348169e-05,8.371780e-05,8.383691e-05,8.395351e-05,8.410863e-05,8.414297e-05,8.428920e-05,8.430399e-05,8.439510e-05,8.442962e-05,8.446338e-05,8.449170e-05,8.449661e-05,8.449721e-05,8.449591e-05,8.446745e-05,8.444753e-05,8.440947e-05,8.435140e-05,8.432530e-05,8.421683e-05,8.421201e-05,8.408584e-05,8.403350e-05,8.393400e-05,8.381965e-05,8.376288e-05,8.357396e-05,8.336863e-05,8.329967e-05,8.314817e-05,8.299971e-05,8.291382e-05,8.267682e-05,8.266671e-05,8.240791e-05,8.233349e-05,8.213843e-05,8.197202e-05,8.185922e-05,8.159450e-05,8.157115e-05,8.127505e-05,8.120288e-05,8.097170e-05,8.079893e-05,8.066182e-05,8.038427e-05,8.034609e-05,8.002515e-05,7.996039e-05,7.969960e-05,7.952867e-05,7.936999e-05,7.909036e-05,7.903684e-05,7.870064e-05,7.864659e-05,7.836184e-05,7.819843e-05,7.802089e-05,7.774683e-05,7.767816e-05,7.733404e-05,7.729267e-05,7.698887e-05,7.683675e-05,7.664298e-05,7.637980e-05,7.629666e-05,7.595021e-05,7.592250e-05,7.560389e-05,7.546545e-05,7.525793e-05,7.500920e-05,7.491257e-05,7.456802e-05,7.455425e-05,7.422447e-05,7.410108e-05,7.388211e-05,7.365007e-05,7.354111e-05,7.320163e-05,7.275607e-05,7.231372e-05,7.187483e-05,7.143967e-05,7.100845e-05,7.058136e-05,7.015858e-05,6.974027e-05,6.932655e-05,6.891755e-05,6.851337e-05,6.811409e-05,6.771979e-05,6.733052e-05,6.694635e-05,6.656731e-05,6.619342e-05,6.582471e-05,6.546120e-05,6.510288e-05,6.474975e-05,6.440181e-05,6.405904e-05,6.372142e-05
0.000000e+00,1.885773e-06,4.286707e-06,1.455097e-05,3.273167e-05,4.745310e-05,1.058475e-04,1.089545e-04,2.067369e-04,2.416176e-04,3.480339e-04,4.563118e-04,5.388302e-04,7.601891e-04,7.814859e-04,1.074277e-03,1.151654e-03,1.413996e-03,1.623508e-03,1.797333e-03,2.167945e-03,2.220741e-03,2.680155e-03,2.775957e-03,3.170892e-03,3.436732e-03,3.687709e-03,4.137862e-03,4.224952e-03,4.776743e-03,4.865984e-03,5.337178e-03,5.607561e-03,5.900517e-03,6.349627e-03,6.461348e-03,7.014719e-03,7.080408e-03,7.556234e-03,7.789746e-03,8.082104e-03,8.469339e-03,8.589177e-03,9.074927e-03,9.112805e-03,9.537435e-03,9.715606e-03,9.975334e-03,1.027488e-02,1.038776e-02,1.077430e-02,1.078923e-02,1.113492e-02,1.125844e-02,1.146988e-02,1.168326e-02,1.177972e-02,1.206519e-02,1.232716e-02,1.240618e-02,1.256660e-02,1.270852e-02,1.278460e-02,1.297475e-02,1.298228e-02,1.316079e-02,1.320749e-02,1.332127e-02,1.340937e-02,1.346484e-02,1.358295e-02,1.359262e-02,1.370567e-02,1.373073e-02,1.380502e-02,1.385504e-02,1.389165e-02,1.395808e-02,1.396647e-02,1.403036e-02,1.404190e-02,1.408414e-02,1.410837e-02,1.412859e-02,1.415924e-02,1.416442e-02,1.419230e-02,1.419607e-02,1.421286e-02,1.422030e-02,1.422668e-02,1.423326e-02,1.423431e-02,1.423624e-02,1.423611e-02,1.423294e-02,1.422995e-02,1.422485e-02,1.421573e-02,1.421235e-02,1.419582e-02,1.419434e-02,1.417560e-02,1.416656e-02,1.415202e-02,1.413311e-02,1.412535e-02,1.409587e-02,1.409464e-02,1.406384e-02,1.405172e-02,1.402947e-02,1.400489e-02,1.399300e-02,1.395461e-02,1.391449e-02,1.390132e-02,1.387282e-02,1.384540e-02,1.382974e-02,1.378720e-02,1.378540e-02,1.373994e-02,1.372703e-02,1.369348e-02,1.366518e-02,1.364615e-02,1.360191e-02,1.359804e-02,1.354925e-02,1.353746e-02,1.349989e-02,1.347202e-02,1.345003e-02,1.340580e-02,1.339975e-02,1.334913e-02,1.333897e-02,1.329823e-02,1.327168e-02,1.324713e-02,1.320408e-02,1.319587e-02,1.314451e-02,1.313628e-02,1.309310e-02,1.306842e-02,1.304169e-02,1.300058e-02,1.299031e-02,1.293902e-02,1.293288e-02,1.288785e-02,1.286538e-02,1.283683e-02,1.279818e-02,1.278599e-02,1.273537e-02,1.273133e-02,1.268498e-02,1.266490e-02,1.263486e-02,1.259894e-02,1.258502e-02,1.253549e-02,1.253352e-02,1.248629e-02,1.246866e-02,1.243743e-02,1.240441e-02,1.238893e-02,1.234081e-02,1.227788e-02,1.221566e-02,1.215417e-02,1.209343e-02,1.203345e-02,1.197426e-02,1.191586e-02,1.185828e-02,1.180150e-02,1.174556e-02,1.169044e-02,1.163615e-02,1.158270e-02,1.153008e-02,1.147830e-02,1.142736e-02,1.137724e-02,1.132796e-02,1.127950e-02,1.123186e-02,1.118504e-02,1.113902e-02,1.109381e-02,1.104939e-02
0.000000e+00,8.998398e-07,2.052230e-06,7.015521e-06,1.588890e-05,2.312574e-05,5.214830e-05,5.370417e-05,1.031471e-04,1.209836e-04,1.759938e-04,2.329241e-04,2.770453e-04,3.991114e-04,4.111630e-04,5.823266e-04,6.291453e-04,7.918539e-04,9.251536e-04,1.037254e-03,1.278839e-03,1.313414e-03,1.614788e-03,1.677646e-03,1.936518e-03,2.110482e-03,2.274519e-03,2.568400e-03,2.625232e-03,2.985429e-03,3.043736e-03,3.352089e-03,3.529541e-03,3.722371e-03,4.019409e-03,4.093613e-03,4.463358e-03,4.507519e-03,4.829373e-03,4.988715e-03,5.189664e-03,5.458583e-03,5.542501e-03,5.886408e-03,5.913496e-03,6.220162e-03,6.350594e-03,6.542785e-03,6.767747e-03,6.853519e-03,7.151811e-03,7.163478e-03,7.437291e-03,7.536881e-03,7.709742e-03,7.887521e-03,7.969084e-03,8.215356e-03,8.448702e-03,8.520677e-03,8.669346e-03,8.804024e-03,8.877577e-03,9.066103e-03,9.073722e-03,9.258133e-03,9.307717e-03,9.431190e-03,9.529737e-03,9.593287e-03,9.733091e-03,9.744836e-03,9.886266e-03,9.918751e-03,1.001801e-02,1.008771e-02,1.014049e-02,1.024094e-02,1.025413e-02,1.035935e-02,1.037943e-02,1.045660e-02,1.050417e-02,1.054633e-02,1.061621e-02,1.062897e-02,1.070488e-02,1.071642e-02,1.077440e-02,1.080561e-02,1.083789e-02,1.088454e-02,1.089565e-02,1.094802e-02,1.095395e-02,1.099527e-02,1.101452e-02,1.103770e-02,1.106690e-02,1.107559e-02,1.110918e-02,1.111169e-02,1.113872e-02,1.114946e-02,1.116445e-02,1.118074e-02,1.118659e-02,1.120536e-02,1.120604e-02,1.122095e-02,1.122582e-02,1.123355e-02,1.124052e-02,1.124336e-02,1.125054e-02,1.125525e-02,1.125626e-02,1.125765e-02,1.125804e-02,1.125789e-02,1.125621e-02,1.125610e-02,1.125242e-02,1.125107e-02,1.124698e-02,1.124292e-02,1.123989e-02,1.123201e-02,1.123127e-02,1.122122e-02,1.121861e-02,1.120984e-02,1.120292e-02,1.119723e-02,1.118519e-02,1.118348e-02,1.116867e-02,1.116559e-02,1.115288e-02,1.114432e-02,1.113620e-02,1.112154e-02,1.111869e-02,1.110042e-02,1.109743e-02,1.108145e-02,1.107212e-02,1.106185e-02,1.104576e-02,1.104168e-02,1.102098e-02,1.101846e-02,1.099981e-02,1.099035e-02,1.097821e-02,1.096155e-02,1.095624e-02,1.093393e-02,1.093213e-02,1.091133e-02,1.090221e-02,1.088847e-02,1.087187e-02,1.086539e-02,1.084212e-02,1.084119e-02,1.081870e-02,1.081023e-02,1.079515e-02,1.077908e-02,1.077150e-02,1.074778e-02,1.071640e-02,1.068499e-02,1.065360e-02,1.062228e-02,1.059105e-02,1.055997e-02,1.052906e-02,1.049835e-02,1.046788e-02,1.043767e-02,1.040773e-02,1.037810e-02,1.034879e-02,1.031981e-02,1.029119e-02,1.026292e-02,1.023504e-02,1.020753e-02,1.018042e-02,1.015372e-02,1.012741e-02,1.010152e-02,1.007605e-02,1.005100e-02
0.000000e+00,4.014754e-09,9.170224e-09,3.149745e-08,7.183759e-08,1.051104e-07,2.417025e-07,2.491622e-07,4.928217e-07,5.835156e-07,8.697952e-07,1.171012e-06,1.403807e-06,2.030229e-06,2.090295e-06,2.909520e-06,3.123931e-06,3.845038e-06,4.415315e-06,4.885294e-06,5.879588e-06,6.020506e-06,7.240737e-06,7.494052e-06,8.535196e-06,9.233807e-06,9.892222e-06,1.107153e-05,1.129958e-05,1.274489e-05,1.297884e-05,1.421602e-05,1.492793e-05,1.570148e-05,1.689301e-05,1.719068e-05,1.867409e-05,1.885130e-05,2.014337e-05,2.078349e-05,2.159138e-05,2.267393e-05,2.301215e-05,2.440080e-05,2.451038e-05,2.575347e-05,2.628377e-05,2.706718e-05,2.798768e-05,2.833975e-05,2.956966e-05,2.961796e-05,3.075598e-05,3.117228e-05,3.189823e-05,3.264974e-05,3.299635e-05,3.405059e-05,3.506144e-05,3.537586e-05,3.602962e-05,3.662725e-05,3.695599e-05,3.780689e-05,3.784154e-05,3.868734e-05,3.891719e-05,3.949453e-05,3.996080e-05,4.026429e-05,4.094046e-05,4.099784e-05,4.169638e-05,4.185896e-05,4.236115e-05,4.271912e-05,4.299335e-05,4.352371e-05,4.359420e-05,4.416487e-05,4.427549e-05,4.470653e-05,4.497711e-05,4.522031e-05,4.563116e-05,4.570732e-05,4.616864e-05,4.624014e-05,4.660531e-05,4.680645e-05,4.701834e-05,4.733241e-05,4.740872e-05,4.777740e-05,4.782023e-05,4.812529e-05,4.827201e-05,4.845329e-05,4.868978e-05,4.876224e-05,4.905296e-05,4.907546e-05,4.932626e-05,4.943087e-05,4.958289e-05,4.975775e-05,4.982358e-05,5.004905e-05,5.005776e-05,5.025996e-05,5.033246e-05,5.045698e-05,5.058333e-05,5.064072e-05,5.081180e-05,5.097077e-05,5.101918e-05,5.111820e-05,5.120675e-05,5.125462e-05,5.137570e-05,5.138054e-05,5.149644e-05,5.152716e-05,5.160280e-05,5.166221e-05,5.170005e-05,5.178186e-05,5.178864e-05,5.186897e-05,5.188706e-05,5.194144e-05,5.197872e-05,5.200642e-05,5.205770e-05,5.206428e-05,5.211536e-05,5.212479e-05,5.216000e-05,5.218077e-05,5.219851e-05,5.222635e-05,5.223120e-05,5.225835e-05,5.226220e-05,5.228026e-05,5.228898e-05,5.229717e-05,5.230728e-05,5.230935e-05,5.231705e-05,5.231768e-05,5.232049e-05,5.232071e-05,5.231990e-05,5.231689e-05,5.231549e-05,5.230747e-05,5.230668e-05,5.229603e-05,5.229054e-05,5.228136e-05,5.226890e-05,5.226364e-05,5.224303e-05,5.224215e-05,5.221971e-05,5.221068e-05,5.219382e-05,5.217483e-05,5.216553e-05,5.213495e-05,5.209135e-05,5.204433e-05,5.199416e-05,5.194112e-05,5.188544e-05,5.182736e-05,5.176711e-05,5.170488e-05,5.164087e-05,5.157527e-05,5.150824e-05,5.143995e-05,5.137054e-05,5.130016e-05,5.122895e-05,5.115702e-05,5.108449e-05,5.101148e-05,5.093808e-05,5.086439e-05,5.079051e-05,5.071651e-05,5.064247e-05,5.056847e-05
0.000000e+00,6.945115e-10,1.587835e-09,5.456184e-09,1.241709e-08,1.812136e-08,4.115378e-08,4.239396e-08,8.200568e-08,9.636966e-08,1.408219e-07,1.869261e-07,2.226141e-07,3.205456e-07,3.301235e-07,4.640993e-07,5.001167e-07,6.237136e-07,7.237942e-07,8.076069e-07,9.883688e-07,1.014332e-06,1.242348e-06,1.290359e-06,1.489944e-06,1.625804e-06,1.755205e-06,1.990141e-06,2.036027e-06,2.330172e-06,2.378318e-06,2.635331e-06,2.785039e-06,2.949194e-06,3.205036e-06,3.269512e-06,3.594151e-06,3.633302e-06,3.921127e-06,4.065265e-06,4.248638e-06,4.496909e-06,4.575078e-06,4.899042e-06,4.924814e-06,5.219319e-06,5.346163e-06,5.534888e-06,5.758701e-06,5.844902e-06,6.148670e-06,6.160683e-06,6.445645e-06,6.550808e-06,6.735403e-06,6.928151e-06,7.017628e-06,7.292096e-06,7.558662e-06,7.642281e-06,7.817249e-06,7.978544e-06,8.067833e-06,8.300884e-06,8.310435e-06,8.545116e-06,8.609419e-06,8.771968e-06,8.904366e-06,8.991102e-06,9.186004e-06,9.202653e-06,9.406766e-06,9.454664e-06,9.603602e-06,9.710713e-06,9.793327e-06,9.954542e-06,9.976116e-06,1.015215e-05,1.018656e-05,1.032160e-05,1.040717e-05,1.048465e-05,1.061680e-05,1.064149e-05,1.079229e-05,1.081587e-05,1.093723e-05,1.100477e-05,1.107649e-05,1.118393e-05,1.121025e-05,1.133867e-05,1.135373e-05,1.146193e-05,1.151457e-05,1.158018e-05,1.166681e-05,1.169360e-05,1.180232e-05,1.181082e-05,1.190652e-05,1.194697e-05,1.200634e-05,1.207558e-05,1.210192e-05,1.219341e-05,1.219698e-05,1.228094e-05,1.231151e-05,1.236464e-05,1.241945e-05,1.244466e-05,1.252111e-05,1.259411e-05,1.261676e-05,1.266378e-05,1.270669e-05,1.273025e-05,1.279114e-05,1.279361e-05,1.285399e-05,1.287037e-05,1.291147e-05,1.294462e-05,1.296617e-05,1.301411e-05,1.301818e-05,1.306759e-05,1.307908e-05,1.311450e-05,1.313971e-05,1.315900e-05,1.319623e-05,1.320117e-05,1.324109e-05,1.324882e-05,1.327885e-05,1.329766e-05,1.331452e-05,1.334293e-05,1.334818e-05,1.337990e-05,1.338479e-05,1.340974e-05,1.342342e-05,1.343778e-05,1.345896e-05,1.346409e-05,1.348871e-05,1.349156e-05,1.351173e-05,1.352136e-05,1.353319e-05,1.354849e-05,1.355315e-05,1.357166e-05,1.357309e-05,1.358879e-05,1.359526e-05,1.360458e-05,1.361514e-05,1.361908e-05,1.363233e-05,1.363284e-05,1.364439e-05,1.364845e-05,1.365530e-05,1.366208e-05,1.366510e-05,1.367383e-05,1.368380e-05,1.369206e-05,1.369871e-05,1.370383e-05,1.370748e-05,1.370976e-05,1.371072e-05,1.371044e-05,1.370898e-05,1.370639e-05,1.370275e-05,1.369811e-05,1.369251e-05,1.368601e-05,1.367866e-05,1.367051e-05,1.366160e-05,1.365197e-05,1.364167e-05,1.363073e-05,1.361919e-05,1.360708e-05,1.359445e-05,1.358132e-05
0.000000e+00,5.802841e-08,1.321119e-07,4.504471e-07,1.019551e-06,1.484832e-06,3.367179e-06,3.468926e-06,6.749777e-06,7.956034e-06,1.174899e-05,1.578026e-05,1.896857e-05,2.800526e-05,2.890973e-05,4.184677e-05,4.538675e-05,5.758832e-05,6.741449e-05,7.554035e-05,9.261911e-05,9.501639e-05,1.154480e-04,1.196099e-04,1.364174e-04,1.474295e-04,1.576194e-04,1.754359e-04,1.788196e-04,1.998269e-04,2.031589e-04,2.204782e-04,2.302220e-04,2.406317e-04,2.563123e-04,2.601636e-04,2.789681e-04,2.811714e-04,2.969569e-04,3.045947e-04,3.140594e-04,3.264314e-04,3.302227e-04,3.454099e-04,3.465819e-04,3.595992e-04,3.649935e-04,3.727837e-04,3.816570e-04,3.849687e-04,3.961695e-04,3.965974e-04,4.064098e-04,4.098670e-04,4.157204e-04,4.215389e-04,4.241376e-04,4.317022e-04,4.384551e-04,4.404518e-04,4.444403e-04,4.478883e-04,4.497020e-04,4.541142e-04,4.542850e-04,4.582334e-04,4.592311e-04,4.615902e-04,4.633378e-04,4.643972e-04,4.665283e-04,4.666942e-04,4.685196e-04,4.688916e-04,4.699097e-04,4.705109e-04,4.708989e-04,4.714635e-04,4.715195e-04,4.718022e-04,4.718207e-04,4.717753e-04,4.716479e-04,4.714656e-04,4.710053e-04,4.708981e-04,4.700960e-04,4.699473e-04,4.690808e-04,4.685238e-04,4.678726e-04,4.667796e-04,4.664900e-04,4.649503e-04,4.647557e-04,4.632694e-04,4.624889e-04,4.614620e-04,4.600123e-04,4.595418e-04,4.575215e-04,4.573559e-04,4.554125e-04,4.545465e-04,4.532257e-04,4.516085e-04,4.509708e-04,4.486570e-04,4.485634e-04,4.462927e-04,4.454307e-04,4.438856e-04,4.422279e-04,4.414427e-04,4.389704e-04,4.364749e-04,4.356723e-04,4.339615e-04,4.323459e-04,4.314353e-04,4.290022e-04,4.289007e-04,4.263621e-04,4.256511e-04,4.238232e-04,4.223012e-04,4.212876e-04,4.189604e-04,4.187583e-04,4.162384e-04,4.156353e-04,4.137304e-04,4.123320e-04,4.112367e-04,4.090557e-04,4.087594e-04,4.063005e-04,4.058111e-04,4.038618e-04,4.026022e-04,4.014449e-04,3.994325e-04,3.990511e-04,3.966816e-04,3.963048e-04,3.943377e-04,3.932220e-04,3.920203e-04,3.901860e-04,3.897302e-04,3.874683e-04,3.871988e-04,3.852352e-04,3.842619e-04,3.830314e-04,3.813764e-04,3.808574e-04,3.787136e-04,3.785434e-04,3.766003e-04,3.757636e-04,3.745178e-04,3.730376e-04,3.724663e-04,3.704458e-04,3.703656e-04,3.684565e-04,3.677480e-04,3.664985e-04,3.651848e-04,3.645716e-04,3.626758e-04,3.602210e-04,3.578200e-04,3.554724e-04,3.531778e-04,3.509357e-04,3.487453e-04,3.466062e-04,3.445176e-04,3.424787e-04,3.404889e-04,3.385473e-04,3.366530e-04,3.348053e-04,3.330033e-04,3.312461e-04,3.295329e-04,3.278627e-04,3.262347e-04,3.246481e-04,3.231018e-04,3.215950e-04,3.201269e-04,3.186966e-04,3.173032e-04
0.000000e+00,1.232157e-09,2.793521e-09,9.440424e-09,2.118684e-08,3.070519e-08,6.868545e-08,7.071884e-08,1.354557e-07,1.589087e-07,2.316618e-07,3.076107e-07,3.668721e-07,5.320950e-07,5.484718e-07,7.811783e-07,8.446268e-07,1.063355e-06,1.239655e-06,1.385385e-06,1.690446e-06,1.733042e-06,2.092790e-06,2.165233e-06,2.454481e-06,2.640966e-06,2.811320e-06,3.104047e-06,3.158907e-06,3.494370e-06,3.546781e-06,3.815798e-06,3.964708e-06,4.121927e-06,4.355266e-06,4.411960e-06,4.685466e-06,4.717168e-06,4.942319e-06,5.050083e-06,5.182646e-06,5.354442e-06,5.406783e-06,5.615235e-06,5.631252e-06,5.808635e-06,5.881941e-06,5.987708e-06,6.108207e-06,6.153236e-06,6.306028e-06,6.311887e-06,6.446917e-06,6.494883e-06,6.576727e-06,6.659076e-06,6.696254e-06,6.806267e-06,6.907492e-06,6.938140e-06,7.000610e-06,7.056247e-06,7.086257e-06,7.161997e-06,7.165022e-06,7.237448e-06,7.256661e-06,7.304034e-06,7.341373e-06,7.365235e-06,7.417145e-06,7.421470e-06,7.473117e-06,7.484869e-06,7.520523e-06,7.545337e-06,7.564004e-06,7.599248e-06,7.603846e-06,7.640311e-06,7.647219e-06,7.673635e-06,7.689795e-06,7.704036e-06,7.727459e-06,7.731712e-06,7.756842e-06,7.760638e-06,7.779592e-06,7.789711e-06,7.800112e-06,7.815017e-06,7.818542e-06,7.835009e-06,7.836859e-06,7.849629e-06,7.855505e-06,7.862511e-06,7.871200e-06,7.873754e-06,7.883451e-06,7.884162e-06,7.891686e-06,7.894589e-06,7.898540e-06,7.902661e-06,7.904086e-06,7.908392e-06,7.908540e-06,7.911524e-06,7.912375e-06,7.913540e-06,7.914302e-06,7.914497e-06,7.914448e-06,7.913442e-06,7.912926e-06,7.911526e-06,7.909843e-06,7.908745e-06,7.905298e-06,7.905138e-06,7.900746e-06,7.899380e-06,7.895605e-06,7.892176e-06,7.889751e-06,7.883763e-06,7.883216e-06,7.876033e-06,7.874216e-06,7.868231e-06,7.863602e-06,7.859839e-06,7.851987e-06,7.850884e-06,7.841392e-06,7.839431e-06,7.831387e-06,7.825991e-06,7.820894e-06,7.811719e-06,7.809935e-06,7.798531e-06,7.796667e-06,7.786703e-06,7.780881e-06,7.774471e-06,7.764407e-06,7.761853e-06,7.748868e-06,7.747286e-06,7.735533e-06,7.729559e-06,7.721865e-06,7.711264e-06,7.707879e-06,7.693592e-06,7.692436e-06,7.679017e-06,7.673110e-06,7.664169e-06,7.653317e-06,7.649062e-06,7.633708e-06,7.633089e-06,7.618121e-06,7.612454e-06,7.602311e-06,7.591440e-06,7.586292e-06,7.570074e-06,7.548380e-06,7.526383e-06,7.504104e-06,7.481566e-06,7.458788e-06,7.435791e-06,7.412593e-06,7.389212e-06,7.365665e-06,7.341968e-06,7.318136e-06,7.294184e-06,7.270126e-06,7.245976e-06,7.221745e-06,7.197447e-06,7.173093e-06,7.148693e-06,7.124259e-06,7.099800e-06,7.075326e-06,7.050845e-06,7.026368e-06,7.001902e-06
0.000000e+00,1.276731e-09,2.906731e-09,9.928065e-09,2.257056e-08,3.299796e-08,7.600135e-08,7.836146e-08,1.561806e-07,1.855243e-07,2.797042e-07,3.818284e-07,4.631092e-07,6.905879e-07,7.128826e-07,1.019382e-06,1.099294e-06,1.363906e-06,1.567318e-06,1.730680e-06,2.063716e-06,2.109592e-06,2.494245e-06,2.571447e-06,2.880126e-06,3.080054e-06,3.263639e-06,3.581685e-06,3.641690e-06,4.011565e-06,4.069823e-06,4.370908e-06,4.539055e-06,4.717739e-06,4.985115e-06,5.050470e-06,5.367899e-06,5.404919e-06,5.669195e-06,5.796515e-06,5.953863e-06,6.158960e-06,6.221708e-06,6.472782e-06,6.492150e-06,6.707349e-06,6.796644e-06,6.925830e-06,7.073472e-06,7.128760e-06,7.316766e-06,7.323986e-06,7.490538e-06,7.549749e-06,7.650795e-06,7.752424e-06,7.798271e-06,7.933703e-06,8.057817e-06,8.095259e-06,8.171318e-06,8.238703e-06,8.274885e-06,8.365567e-06,8.369168e-06,8.454781e-06,8.477280e-06,8.532311e-06,8.575181e-06,8.602314e-06,8.660519e-06,8.665313e-06,8.721794e-06,8.734430e-06,8.772207e-06,8.797947e-06,8.816975e-06,8.852015e-06,8.856492e-06,8.891129e-06,8.897502e-06,8.921229e-06,8.935195e-06,8.947110e-06,8.965807e-06,8.969068e-06,8.987378e-06,8.989987e-06,9.002299e-06,9.008327e-06,9.014068e-06,9.021364e-06,9.022908e-06,9.029025e-06,9.029585e-06,9.032611e-06,9.033433e-06,9.033844e-06,9.033311e-06,9.032892e-06,9.029908e-06,9.029586e-06,9.025038e-06,9.022592e-06,9.018416e-06,9.012634e-06,9.010167e-06,9.000408e-06,8.999988e-06,8.989248e-06,8.984907e-06,8.976788e-06,8.967622e-06,8.963124e-06,8.948345e-06,8.932532e-06,8.927267e-06,8.915765e-06,8.904566e-06,8.898114e-06,8.880402e-06,8.879649e-06,8.860432e-06,8.854924e-06,8.840523e-06,8.828268e-06,8.819977e-06,8.800558e-06,8.798848e-06,8.777183e-06,8.771909e-06,8.755029e-06,8.742425e-06,8.732428e-06,8.712203e-06,8.709422e-06,8.686048e-06,8.681332e-06,8.662342e-06,8.649895e-06,8.638338e-06,8.617966e-06,8.614066e-06,8.589557e-06,8.585616e-06,8.564839e-06,8.552907e-06,8.539937e-06,8.519899e-06,8.514876e-06,8.489679e-06,8.486647e-06,8.464368e-06,8.453200e-06,8.438964e-06,8.419606e-06,8.413485e-06,8.387950e-06,8.385906e-06,8.362377e-06,8.352140e-06,8.336780e-06,8.318345e-06,8.311175e-06,8.285577e-06,8.284554e-06,8.259999e-06,8.250798e-06,8.234453e-06,8.217106e-06,8.208951e-06,8.183504e-06,8.150017e-06,8.116667e-06,8.083474e-06,8.050457e-06,8.017634e-06,7.985020e-06,7.952631e-06,7.920479e-06,7.888576e-06,7.856934e-06,7.825564e-06,7.794472e-06,7.763669e-06,7.733162e-06,7.702957e-06,7.673060e-06,7.643476e-06,7.614210e-06,7.585267e-06,7.556649e-06,7.528359e-06,7.500401e-06,7.472775e-06,7.445484e-06
0.000000e+00,3.851550e-09,8.769720e-09,2.990042e-08,6.764599e-08,9.846837e-08,2.227850e-07,2.294870e-07,4.446475e-07,5.233087e-07,7.692087e-07,1.028359e-06,1.231867e-06,1.802550e-06,1.859219e-06,2.662437e-06,2.880226e-06,3.626382e-06,4.223988e-06,4.717136e-06,5.753338e-06,5.898929e-06,7.142789e-06,7.396979e-06,8.426772e-06,9.104477e-06,9.733741e-06,1.083892e-05,1.104951e-05,1.236177e-05,1.257065e-05,1.365956e-05,1.427445e-05,1.493313e-05,1.592877e-05,1.617393e-05,1.737459e-05,1.751567e-05,1.852896e-05,1.902091e-05,1.963212e-05,2.043393e-05,2.068033e-05,2.167093e-05,2.174764e-05,2.260229e-05,2.295805e-05,2.347365e-05,2.406385e-05,2.428501e-05,2.503702e-05,2.506588e-05,2.573084e-05,2.596667e-05,2.636807e-05,2.677003e-05,2.695062e-05,2.748061e-05,2.796034e-05,2.810363e-05,2.839223e-05,2.864470e-05,2.877879e-05,2.910956e-05,2.912251e-05,2.942586e-05,2.950389e-05,2.969125e-05,2.983326e-05,2.992106e-05,3.010302e-05,3.011757e-05,3.028297e-05,3.031827e-05,3.041936e-05,3.048383e-05,3.052875e-05,3.060419e-05,3.061304e-05,3.067403e-05,3.068358e-05,3.071342e-05,3.072590e-05,3.073281e-05,3.073476e-05,3.073373e-05,3.071759e-05,3.071351e-05,3.068572e-05,3.066521e-05,3.063938e-05,3.059269e-05,3.057975e-05,3.050792e-05,3.049853e-05,3.042492e-05,3.038511e-05,3.033171e-05,3.025460e-05,3.022919e-05,3.011820e-05,3.010898e-05,2.999952e-05,2.995006e-05,2.987387e-05,2.977948e-05,2.974195e-05,2.960437e-05,2.959876e-05,2.946174e-05,2.940926e-05,2.931459e-05,2.921222e-05,2.916345e-05,2.900877e-05,2.885101e-05,2.879994e-05,2.869057e-05,2.858665e-05,2.852783e-05,2.836976e-05,2.836314e-05,2.819683e-05,2.815001e-05,2.802920e-05,2.792811e-05,2.786053e-05,2.770466e-05,2.769108e-05,2.752109e-05,2.748024e-05,2.735078e-05,2.725534e-05,2.718035e-05,2.703042e-05,2.700998e-05,2.683986e-05,2.680588e-05,2.667014e-05,2.658209e-05,2.650096e-05,2.635937e-05,2.633246e-05,2.616476e-05,2.613801e-05,2.599797e-05,2.591827e-05,2.583220e-05,2.570038e-05,2.566754e-05,2.550406e-05,2.548453e-05,2.534185e-05,2.527090e-05,2.518098e-05,2.505965e-05,2.502151e-05,2.486349e-05,2.485091e-05,2.470697e-05,2.464480e-05,2.455200e-05,2.444141e-05,2.439862e-05,2.424686e-05,2.424082e-05,2.409675e-05,2.404312e-05,2.394831e-05,2.384835e-05,2.380158e-05,2.365656e-05,2.346778e-05,2.328205e-05,2.309938e-05,2.291978e-05,2.274325e-05,2.256980e-05,2.239941e-05,2.223207e-05,2.206777e-05,2.190649e-05,2.174819e-05,2.159285e-05,2.144045e-05,2.129095e-05,2.114431e-05,2.100050e-05,2.085948e-05,2.072120e-05,2.058564e-05,2.045275e-05,2.032249e-05,2.019480e-05,2.006966e-05,1.994702e-05
0.000000e+00,3.539242e-06,8.053704e-06,2.739708e-05,6.175125e-05,8.962344e-05,2.004910e-04,2.064008e-04,3.927999e-04,4.594570e-04,6.633021e-04,8.715013e-04,1.030757e-03,1.460430e-03,1.501931e-03,2.074286e-03,2.225888e-03,2.740218e-03,3.150957e-03,3.491547e-03,4.216899e-03,4.320127e-03,5.217248e-03,5.404067e-03,6.173288e-03,6.690249e-03,7.177718e-03,8.050653e-03,8.219338e-03,9.286622e-03,9.458998e-03,1.036809e-02,1.088895e-02,1.145265e-02,1.231554e-02,1.252995e-02,1.359054e-02,1.371628e-02,1.462611e-02,1.507195e-02,1.562953e-02,1.636697e-02,1.659492e-02,1.751757e-02,1.758942e-02,1.839394e-02,1.873094e-02,1.922153e-02,1.978627e-02,1.999877e-02,2.072491e-02,2.075289e-02,2.139992e-02,2.163049e-02,2.202431e-02,2.242050e-02,2.259912e-02,2.312577e-02,2.360593e-02,2.375008e-02,2.404154e-02,2.429789e-02,2.443465e-02,2.477409e-02,2.478745e-02,2.510219e-02,2.518379e-02,2.538101e-02,2.553197e-02,2.562609e-02,2.582366e-02,2.583963e-02,2.602371e-02,2.606373e-02,2.618035e-02,2.625682e-02,2.631152e-02,2.640736e-02,2.641908e-02,2.650480e-02,2.651947e-02,2.657036e-02,2.659700e-02,2.661732e-02,2.664349e-02,2.664718e-02,2.666133e-02,2.666223e-02,2.666110e-02,2.665624e-02,2.664771e-02,2.662829e-02,2.662229e-02,2.658594e-02,2.658089e-02,2.653963e-02,2.651635e-02,2.648431e-02,2.643676e-02,2.642082e-02,2.634998e-02,2.634402e-02,2.627253e-02,2.623985e-02,2.618915e-02,2.612580e-02,2.610048e-02,2.600711e-02,2.600329e-02,2.590960e-02,2.587358e-02,2.580844e-02,2.573781e-02,2.570410e-02,2.559702e-02,2.548758e-02,2.545212e-02,2.537615e-02,2.530395e-02,2.526307e-02,2.515325e-02,2.514866e-02,2.503318e-02,2.500069e-02,2.491691e-02,2.484686e-02,2.480008e-02,2.469229e-02,2.468291e-02,2.456561e-02,2.453746e-02,2.444835e-02,2.438277e-02,2.433130e-02,2.422860e-02,2.421462e-02,2.409844e-02,2.407528e-02,2.398289e-02,2.392309e-02,2.386808e-02,2.377230e-02,2.375412e-02,2.364110e-02,2.362311e-02,2.352910e-02,2.347572e-02,2.341819e-02,2.333030e-02,2.330845e-02,2.319993e-02,2.318699e-02,2.309269e-02,2.304591e-02,2.298676e-02,2.290716e-02,2.288219e-02,2.277902e-02,2.277083e-02,2.267728e-02,2.263698e-02,2.257698e-02,2.250568e-02,2.247816e-02,2.238082e-02,2.237696e-02,2.228498e-02,2.225085e-02,2.219066e-02,2.212738e-02,2.209785e-02,2.200657e-02,2.188841e-02,2.177290e-02,2.166004e-02,2.154982e-02,2.144220e-02,2.133718e-02,2.123473e-02,2.113480e-02,2.103738e-02,2.094243e-02,2.084990e-02,2.075977e-02,2.067198e-02,2.058650e-02,2.050328e-02,2.042228e-02,2.034346e-02,2.026676e-02,2.019216e-02,2.011959e-02,2.004902e-02,1.998040e-02,1.991368e-02,1.984882e-02
0.000000e+00,9.767844e-08,2.223596e-07,7.575025e-07,1.711341e-06,2.488332e-06,5.606051e-06,5.773436e-06,1.111331e-05,1.305060e-05,1.906242e-05,2.533479e-05,3.022034e-05,4.375423e-05,4.508582e-05,6.375853e-05,6.876846e-05,8.582689e-05,9.942902e-05,1.106502e-04,1.343034e-04,1.376400e-04,1.663257e-04,1.722313e-04,1.963206e-04,2.123210e-04,2.272835e-04,2.538074e-04,2.588966e-04,2.908568e-04,2.959832e-04,3.228755e-04,3.381848e-04,3.546813e-04,3.798043e-04,3.860250e-04,4.166829e-04,4.203063e-04,4.464606e-04,4.592405e-04,4.751938e-04,4.962493e-04,5.027491e-04,5.290226e-04,5.310667e-04,5.539385e-04,5.635127e-04,5.774465e-04,5.934841e-04,5.995188e-04,6.201475e-04,6.209427e-04,6.393411e-04,6.459034e-04,6.571220e-04,6.684229e-04,6.735239e-04,6.885891e-04,7.023664e-04,7.065118e-04,7.149095e-04,7.223156e-04,7.262754e-04,7.361336e-04,7.365228e-04,7.457114e-04,7.481025e-04,7.539007e-04,7.583592e-04,7.611496e-04,7.670376e-04,7.675158e-04,7.730549e-04,7.742673e-04,7.778211e-04,7.801719e-04,7.818662e-04,7.848688e-04,7.852397e-04,7.879889e-04,7.884678e-04,7.901584e-04,7.910716e-04,7.917906e-04,7.927758e-04,7.929256e-04,7.936009e-04,7.936688e-04,7.938522e-04,7.938321e-04,7.937127e-04,7.933408e-04,7.932136e-04,7.923843e-04,7.922640e-04,7.912522e-04,7.906649e-04,7.898430e-04,7.886013e-04,7.881804e-04,7.862869e-04,7.861261e-04,7.841832e-04,7.832873e-04,7.818888e-04,7.801290e-04,7.794218e-04,7.767990e-04,7.766911e-04,7.740362e-04,7.730101e-04,7.711479e-04,7.691192e-04,7.681478e-04,7.650483e-04,7.618613e-04,7.608248e-04,7.585977e-04,7.564734e-04,7.552674e-04,7.520164e-04,7.518799e-04,7.484439e-04,7.474742e-04,7.449674e-04,7.428651e-04,7.414578e-04,7.382056e-04,7.379219e-04,7.343663e-04,7.335106e-04,7.307966e-04,7.287936e-04,7.272184e-04,7.240665e-04,7.236367e-04,7.200559e-04,7.193403e-04,7.164805e-04,7.146247e-04,7.129142e-04,7.099282e-04,7.093607e-04,7.058231e-04,7.052588e-04,7.023045e-04,7.006232e-04,6.988077e-04,6.960275e-04,6.953350e-04,6.918887e-04,6.914771e-04,6.884710e-04,6.869767e-04,6.850836e-04,6.825305e-04,6.817282e-04,6.784063e-04,6.781421e-04,6.751194e-04,6.738146e-04,6.718684e-04,6.695507e-04,6.686546e-04,6.654788e-04,6.653526e-04,6.623419e-04,6.612223e-04,6.592446e-04,6.571613e-04,6.561874e-04,6.531709e-04,6.492521e-04,6.454056e-04,6.416320e-04,6.379315e-04,6.343043e-04,6.307504e-04,6.272696e-04,6.238616e-04,6.205260e-04,6.172621e-04,6.140695e-04,6.109474e-04,6.078950e-04,6.049115e-04,6.019959e-04,5.991474e-04,5.963648e-04,5.936473e-04,5.909937e-04,5.884030e-04,5.858740e-04,5.834056e-04,5.809968e-04,5.786462e-04
0.000000e+00,3.705633e-08,8.412480e-08,2.847862e-07,6.390828e-07,9.253427e-07,2.057709e-06,2.117861e-06,4.008174e-06,4.681775e-06,6.737813e-06,8.837517e-06,1.044838e-05,1.484131e-05,1.527034e-05,2.127921e-05,2.289646e-05,2.843683e-05,3.289426e-05,3.659563e-05,4.445710e-05,4.557158e-05,5.519802e-05,5.718865e-05,6.533475e-05,7.076650e-05,7.585961e-05,8.491803e-05,8.666020e-05,9.762955e-05,9.939338e-05,1.086648e-04,1.139562e-04,1.196680e-04,1.283853e-04,1.305470e-04,1.412179e-04,1.424807e-04,1.516056e-04,1.560694e-04,1.616455e-04,1.690095e-04,1.712835e-04,1.804766e-04,1.811917e-04,1.891922e-04,1.925394e-04,1.974078e-04,2.030055e-04,2.051098e-04,2.122930e-04,2.125696e-04,2.189590e-04,2.212334e-04,2.251151e-04,2.290163e-04,2.307739e-04,2.359514e-04,2.406668e-04,2.420815e-04,2.449411e-04,2.474555e-04,2.487968e-04,2.521260e-04,2.522572e-04,2.553460e-04,2.561475e-04,2.580870e-04,2.595743e-04,2.605033e-04,2.624588e-04,2.626173e-04,2.644508e-04,2.648514e-04,2.660244e-04,2.667995e-04,2.673578e-04,2.683472e-04,2.684695e-04,2.693769e-04,2.695353e-04,2.700962e-04,2.704010e-04,2.706426e-04,2.709785e-04,2.710304e-04,2.712725e-04,2.712986e-04,2.713812e-04,2.713893e-04,2.713676e-04,2.712757e-04,2.712421e-04,2.710144e-04,2.709806e-04,2.706932e-04,2.705243e-04,2.702866e-04,2.699252e-04,2.698022e-04,2.692469e-04,2.691996e-04,2.686269e-04,2.683622e-04,2.679482e-04,2.674262e-04,2.672161e-04,2.664357e-04,2.664035e-04,2.656114e-04,2.653047e-04,2.647475e-04,2.641394e-04,2.638478e-04,2.629160e-04,2.619553e-04,2.616423e-04,2.609688e-04,2.603252e-04,2.599593e-04,2.589709e-04,2.589293e-04,2.578814e-04,2.575850e-04,2.568177e-04,2.561727e-04,2.557402e-04,2.547384e-04,2.546509e-04,2.535515e-04,2.532863e-04,2.524436e-04,2.518200e-04,2.513287e-04,2.503430e-04,2.502083e-04,2.490836e-04,2.488583e-04,2.479559e-04,2.473686e-04,2.468261e-04,2.458763e-04,2.456954e-04,2.445647e-04,2.443838e-04,2.434348e-04,2.428930e-04,2.423066e-04,2.414058e-04,2.411809e-04,2.400583e-04,2.399238e-04,2.389394e-04,2.384485e-04,2.378249e-04,2.369812e-04,2.367154e-04,2.356112e-04,2.355232e-04,2.345130e-04,2.340754e-04,2.334210e-04,2.326390e-04,2.323358e-04,2.312577e-04,2.312147e-04,2.301869e-04,2.298033e-04,2.291239e-04,2.284055e-04,2.280688e-04,2.270220e-04,2.256532e-04,2.242997e-04,2.229618e-04,2.216399e-04,2.203342e-04,2.190452e-04,2.177729e-04,2.165175e-04,2.152793e-04,2.140582e-04,2.128544e-04,2.116679e-04,2.104987e-04,2.093469e-04,2.082123e-04,2.070951e-04,2.059950e-04,2.049120e-04,2.038461e-04,2.027970e-04,2.017648e-04,2.007492e-04,1.997502e-04,1.987675e-04
0.000000e+00,1.306993e-07,2.971388e-07,1.009290e-06,2.273373e-06,3.299581e-06,7.394314e-06,7.613278e-06,1.456163e-05,1.706738e-05,2.480431e-05,3.283190e-05,3.906796e-05,5.635911e-05,5.806675e-05,8.223753e-05,8.880388e-05,1.114087e-04,1.296558e-04,1.448114e-04,1.769248e-04,1.814638e-04,2.204830e-04,2.285058e-04,2.611622e-04,2.827793e-04,3.029349e-04,3.385190e-04,3.453251e-04,3.879134e-04,3.947201e-04,4.303201e-04,4.505076e-04,4.721979e-04,5.051066e-04,5.132319e-04,5.531417e-04,5.578433e-04,5.916827e-04,6.081529e-04,6.286500e-04,6.555893e-04,6.638778e-04,6.972373e-04,6.998224e-04,7.286371e-04,7.406344e-04,7.580199e-04,7.779105e-04,7.853589e-04,8.106544e-04,8.116240e-04,8.339298e-04,8.418220e-04,8.552273e-04,8.686085e-04,8.746043e-04,8.921316e-04,9.078893e-04,9.125720e-04,9.219642e-04,9.301309e-04,9.344471e-04,9.450179e-04,9.454295e-04,9.550021e-04,9.574419e-04,9.632537e-04,9.676070e-04,9.702718e-04,9.757133e-04,9.761428e-04,9.809512e-04,9.819562e-04,9.847776e-04,9.865200e-04,9.876982e-04,9.895771e-04,9.897860e-04,9.911103e-04,9.912895e-04,9.917369e-04,9.918085e-04,9.917310e-04,9.912866e-04,9.911597e-04,9.900771e-04,9.898594e-04,9.885279e-04,9.876322e-04,9.865580e-04,9.847063e-04,9.842075e-04,9.815138e-04,9.811692e-04,9.785121e-04,9.771022e-04,9.752347e-04,9.725777e-04,9.717111e-04,9.679683e-04,9.676602e-04,9.640316e-04,9.624078e-04,9.599240e-04,9.568728e-04,9.556669e-04,9.512799e-04,9.511020e-04,9.467809e-04,9.451371e-04,9.421863e-04,9.390152e-04,9.375113e-04,9.327696e-04,9.279738e-04,9.264296e-04,9.231356e-04,9.200218e-04,9.182655e-04,9.135693e-04,9.133733e-04,9.084678e-04,9.070930e-04,9.035570e-04,9.006111e-04,8.986483e-04,8.941398e-04,8.937483e-04,8.888631e-04,8.876935e-04,8.839983e-04,8.812847e-04,8.791587e-04,8.749244e-04,8.743490e-04,8.695732e-04,8.686224e-04,8.648349e-04,8.623870e-04,8.601376e-04,8.562256e-04,8.554841e-04,8.508770e-04,8.501444e-04,8.463188e-04,8.441488e-04,8.418114e-04,8.382434e-04,8.373568e-04,8.329565e-04,8.324321e-04,8.286118e-04,8.267181e-04,8.243241e-04,8.211041e-04,8.200942e-04,8.159232e-04,8.155921e-04,8.118116e-04,8.101838e-04,8.077601e-04,8.048804e-04,8.037691e-04,7.998388e-04,7.996829e-04,7.959696e-04,7.945916e-04,7.921615e-04,7.896069e-04,7.884146e-04,7.847287e-04,7.799567e-04,7.752905e-04,7.707292e-04,7.662722e-04,7.619184e-04,7.576666e-04,7.535158e-04,7.494644e-04,7.455112e-04,7.416545e-04,7.378930e-04,7.342250e-04,7.306488e-04,7.271627e-04,7.237652e-04,7.204544e-04,7.172285e-04,7.140860e-04,7.110249e-04,7.080435e-04,7.051402e-04,7.023130e-04,6.995604e-04,6.968806e-04
0.000000e+00,1.648638e-06,3.741357e-06,1.270249e-05,2.875920e-05,4.198330e-05,9.666077e-05,9.967321e-05,1.998253e-04,2.379721e-04,3.612381e-04,4.948964e-04,6.001395e-04,8.858019e-04,9.130664e-04,1.277184e-03,1.369520e-03,1.670138e-03,1.897342e-03,2.078104e-03,2.443319e-03,2.493363e-03,2.911181e-03,2.994731e-03,3.328034e-03,3.543378e-03,3.740813e-03,4.082218e-03,4.146539e-03,4.542315e-03,4.604529e-03,4.925395e-03,5.104017e-03,5.293277e-03,5.575166e-03,5.643786e-03,5.975133e-03,6.013538e-03,6.285957e-03,6.415962e-03,6.575324e-03,6.780558e-03,6.842715e-03,7.087993e-03,7.106663e-03,7.311352e-03,7.394657e-03,7.513268e-03,7.645753e-03,7.694436e-03,7.855732e-03,7.861785e-03,7.998181e-03,8.045062e-03,8.122894e-03,8.198155e-03,8.231023e-03,8.323739e-03,8.402222e-03,8.424523e-03,8.467636e-03,8.503139e-03,8.521050e-03,8.561999e-03,8.563500e-03,8.595996e-03,8.603439e-03,8.619464e-03,8.629573e-03,8.634768e-03,8.642337e-03,8.642721e-03,8.644066e-03,8.643483e-03,8.639485e-03,8.634563e-03,8.629595e-03,8.616951e-03,8.614963e-03,8.596107e-03,8.591871e-03,8.573500e-03,8.560406e-03,8.547570e-03,8.523503e-03,8.518701e-03,8.487244e-03,8.481992e-03,8.453513e-03,8.436600e-03,8.417796e-03,8.387966e-03,8.380350e-03,8.341411e-03,8.336648e-03,8.301187e-03,8.283131e-03,8.259869e-03,8.227841e-03,8.217627e-03,8.174616e-03,8.171146e-03,8.130974e-03,8.113370e-03,8.086828e-03,8.054793e-03,8.042289e-03,7.997460e-03,7.995662e-03,7.952434e-03,7.936192e-03,7.907292e-03,7.876568e-03,7.862109e-03,7.816952e-03,7.771883e-03,7.757488e-03,7.726954e-03,7.698297e-03,7.682216e-03,7.639487e-03,7.637712e-03,7.593481e-03,7.581151e-03,7.549559e-03,7.523367e-03,7.505977e-03,7.466206e-03,7.462763e-03,7.419942e-03,7.409726e-03,7.377537e-03,7.353979e-03,7.335567e-03,7.299008e-03,7.294050e-03,7.253001e-03,7.244848e-03,7.212432e-03,7.191531e-03,7.172356e-03,7.139080e-03,7.132783e-03,7.093719e-03,7.087517e-03,7.055173e-03,7.036857e-03,7.017150e-03,6.987112e-03,6.979655e-03,6.942692e-03,6.938292e-03,6.906262e-03,6.890402e-03,6.870367e-03,6.843446e-03,6.835009e-03,6.800188e-03,6.797425e-03,6.765903e-03,6.752338e-03,6.732152e-03,6.708182e-03,6.698935e-03,6.666249e-03,6.664952e-03,6.634091e-03,6.622643e-03,6.602458e-03,6.581246e-03,6.571347e-03,6.540754e-03,6.501157e-03,6.462445e-03,6.424607e-03,6.387631e-03,6.351504e-03,6.316214e-03,6.281748e-03,6.248092e-03,6.215232e-03,6.183155e-03,6.151845e-03,6.121289e-03,6.091471e-03,6.062379e-03,6.033996e-03,6.006309e-03,5.979303e-03,5.952963e-03,5.927276e-03,5.902227e-03,5.877801e-03,5.853986e-03,5.830766e-03,5.808130e-03
0.000000e+00,1.993702e-09,4.560028e-09,1.568069e-08,3.570082e-08,5.210681e-08,1.183069e-07,1.218689e-07,2.354928e-07,2.766329e-07,4.038357e-07,5.358183e-07,6.382423e-07,9.217550e-07,9.497350e-07,1.346574e-06,1.454974e-06,1.831879e-06,2.141902e-06,2.404327e-06,2.977637e-06,3.060720e-06,3.797541e-06,3.954246e-06,4.611232e-06,5.063488e-06,5.498005e-06,6.296295e-06,6.453632e-06,7.473327e-06,7.642073e-06,8.551728e-06,9.088501e-06,9.682945e-06,1.062171e-05,1.086065e-05,1.207822e-05,1.222669e-05,1.332884e-05,1.388782e-05,1.460567e-05,1.558942e-05,1.590195e-05,1.721115e-05,1.731625e-05,1.852695e-05,1.905378e-05,1.984345e-05,2.078868e-05,2.115519e-05,2.245716e-05,2.250897e-05,2.374485e-05,2.420414e-05,2.501425e-05,2.586516e-05,2.626180e-05,2.748446e-05,2.867961e-05,2.905588e-05,2.984506e-05,3.057452e-05,3.097901e-05,3.203663e-05,3.208003e-05,3.314698e-05,3.343950e-05,3.417905e-05,3.478129e-05,3.517566e-05,3.606093e-05,3.613648e-05,3.706136e-05,3.727798e-05,3.795034e-05,3.843254e-05,3.880360e-05,3.952516e-05,3.962145e-05,4.040432e-05,4.055673e-05,4.115271e-05,4.152844e-05,4.186721e-05,4.244169e-05,4.254849e-05,4.319723e-05,4.329806e-05,4.381418e-05,4.409925e-05,4.440011e-05,4.484706e-05,4.495583e-05,4.548215e-05,4.554337e-05,4.597989e-05,4.619005e-05,4.644988e-05,4.678904e-05,4.689298e-05,4.730999e-05,4.734225e-05,4.770176e-05,4.785159e-05,4.806911e-05,4.831894e-05,4.841285e-05,4.873379e-05,4.874616e-05,4.903270e-05,4.913507e-05,4.931037e-05,4.948745e-05,4.956757e-05,4.980503e-05,5.002348e-05,5.008949e-05,5.022364e-05,5.034247e-05,5.040621e-05,5.056555e-05,5.057186e-05,5.072126e-05,5.076027e-05,5.085505e-05,5.092810e-05,5.097386e-05,5.107046e-05,5.107830e-05,5.116895e-05,5.118873e-05,5.124641e-05,5.128422e-05,5.131122e-05,5.135822e-05,5.136392e-05,5.140505e-05,5.141193e-05,5.143511e-05,5.144654e-05,5.145460e-05,5.146315e-05,5.146399e-05,5.146375e-05,5.146284e-05,5.145431e-05,5.144665e-05,5.143613e-05,5.141556e-05,5.140961e-05,5.137516e-05,5.137051e-05,5.133316e-05,5.131240e-05,5.128401e-05,5.124208e-05,5.122805e-05,5.116564e-05,5.116038e-05,5.109713e-05,5.106809e-05,5.102283e-05,5.096593e-05,5.094306e-05,5.085813e-05,5.085463e-05,5.076833e-05,5.073487e-05,5.067394e-05,5.060727e-05,5.057523e-05,5.047246e-05,5.033101e-05,5.018348e-05,5.003040e-05,4.987225e-05,4.970951e-05,4.954263e-05,4.937202e-05,4.919810e-05,4.902123e-05,4.884178e-05,4.866008e-05,4.847646e-05,4.829120e-05,4.810460e-05,4.791692e-05,4.772842e-05,4.753932e-05,4.734986e-05,4.716023e-05,4.697063e-05,4.678124e-05,4.659224e-05,4.640379e-05,4.621602e-05
0.000000e+00,4.091203e-07,9.320816e-07,3.180847e-06,7.198607e-06,1.047756e-05,2.367192e-05,2.438165e-05,4.707566e-05,5.532912e-05,8.098958e-05,1.078189e-04,1.287450e-04,1.868185e-04,1.925403e-04,2.729463e-04,2.945766e-04,3.684091e-04,4.274712e-04,4.763068e-04,5.795321e-04,5.941212e-04,7.197876e-04,7.457084e-04,8.515979e-04,9.220632e-04,9.880487e-04,1.105232e-03,1.127747e-03,1.269367e-03,1.292120e-03,1.411654e-03,1.479839e-03,1.553428e-03,1.665744e-03,1.693603e-03,1.831209e-03,1.847507e-03,1.965396e-03,2.023165e-03,2.095446e-03,2.191152e-03,2.220772e-03,2.340912e-03,2.350288e-03,2.455521e-03,2.499760e-03,2.564366e-03,2.639084e-03,2.667309e-03,2.764298e-03,2.768053e-03,2.855346e-03,2.886682e-03,2.940529e-03,2.995162e-03,3.019966e-03,3.093817e-03,3.162270e-03,3.183069e-03,3.225535e-03,3.263397e-03,3.283820e-03,3.335303e-03,3.337357e-03,3.386378e-03,3.399326e-03,3.431116e-03,3.455999e-03,3.471802e-03,3.505852e-03,3.508665e-03,3.541926e-03,3.549397e-03,3.571798e-03,3.587123e-03,3.598485e-03,3.619492e-03,3.622184e-03,3.643084e-03,3.646944e-03,3.661364e-03,3.669892e-03,3.677195e-03,3.688719e-03,3.690739e-03,3.702146e-03,3.703782e-03,3.711561e-03,3.715412e-03,3.719118e-03,3.723914e-03,3.724947e-03,3.729168e-03,3.729572e-03,3.731893e-03,3.732646e-03,3.733229e-03,3.733378e-03,3.733277e-03,3.732129e-03,3.731988e-03,3.729874e-03,3.728681e-03,3.726594e-03,3.723642e-03,3.722367e-03,3.717265e-03,3.717044e-03,3.711356e-03,3.709043e-03,3.704704e-03,3.699786e-03,3.697368e-03,3.689404e-03,3.680864e-03,3.678018e-03,3.671799e-03,3.665741e-03,3.662252e-03,3.652674e-03,3.652267e-03,3.641884e-03,3.638911e-03,3.631141e-03,3.624537e-03,3.620073e-03,3.609632e-03,3.608713e-03,3.597090e-03,3.594265e-03,3.585235e-03,3.578504e-03,3.573173e-03,3.562409e-03,3.560931e-03,3.548530e-03,3.546033e-03,3.535993e-03,3.529428e-03,3.523341e-03,3.512638e-03,3.510593e-03,3.497765e-03,3.495707e-03,3.484876e-03,3.478671e-03,3.471939e-03,3.461566e-03,3.458971e-03,3.445983e-03,3.444424e-03,3.432989e-03,3.427272e-03,3.420000e-03,3.410138e-03,3.407027e-03,3.394079e-03,3.393045e-03,3.381167e-03,3.376014e-03,3.368299e-03,3.359065e-03,3.355482e-03,3.342725e-03,3.342216e-03,3.330034e-03,3.325482e-03,3.317415e-03,3.308878e-03,3.304874e-03,3.292416e-03,3.276108e-03,3.259965e-03,3.243994e-03,3.228205e-03,3.212604e-03,3.197198e-03,3.181991e-03,3.166989e-03,3.152195e-03,3.137612e-03,3.123244e-03,3.109093e-03,3.095159e-03,3.081445e-03,3.067951e-03,3.054677e-03,3.041624e-03,3.028791e-03,3.016178e-03,3.003784e-03,2.991608e-03,2.979649e-03,2.967904e-03,2.956374e-03
0.000000e+00,3.990137e-07,9.124804e-07,3.140150e-06,7.167707e-06,1.048703e-05,2.406412e-05,2.480309e-05,4.881999e-05,5.772162e-05,8.587778e-05,1.159680e-04,1.398006e-04,2.070476e-04,2.137333e-04,3.082949e-04,3.338722e-04,4.215387e-04,4.921004e-04,5.507756e-04,6.759153e-04,6.937329e-04,8.486604e-04,8.809525e-04,1.014118e-03,1.103880e-03,1.188794e-03,1.341704e-03,1.371400e-03,1.560633e-03,1.591437e-03,1.755167e-03,1.850034e-03,1.953670e-03,2.114445e-03,2.154827e-03,2.357373e-03,2.381714e-03,2.560105e-03,2.649075e-03,2.761906e-03,2.914023e-03,2.961761e-03,3.158764e-03,3.174376e-03,3.352122e-03,3.428289e-03,3.541155e-03,3.674254e-03,3.725288e-03,3.904051e-03,3.911084e-03,4.077070e-03,4.137893e-03,4.244059e-03,4.354058e-03,4.404810e-03,4.559184e-03,4.707090e-03,4.753046e-03,4.848490e-03,4.935575e-03,4.983395e-03,5.106836e-03,5.111851e-03,5.233930e-03,5.266983e-03,5.349734e-03,5.416253e-03,5.459381e-03,5.554935e-03,5.563007e-03,5.660759e-03,5.683363e-03,5.752795e-03,5.801900e-03,5.839280e-03,5.910930e-03,5.920385e-03,5.996280e-03,6.010850e-03,6.067142e-03,6.102059e-03,6.133145e-03,6.184961e-03,6.194465e-03,6.251274e-03,6.259957e-03,6.303745e-03,6.327439e-03,6.352046e-03,6.387796e-03,6.396343e-03,6.436799e-03,6.441403e-03,6.473574e-03,6.488628e-03,6.506822e-03,6.529826e-03,6.536696e-03,6.563343e-03,6.565340e-03,6.586907e-03,6.595501e-03,6.607527e-03,6.620627e-03,6.625338e-03,6.640472e-03,6.641023e-03,6.653054e-03,6.656983e-03,6.663208e-03,6.668787e-03,6.671053e-03,6.676703e-03,6.680269e-03,6.680988e-03,6.681858e-03,6.681884e-03,6.681572e-03,6.679626e-03,6.679511e-03,6.675771e-03,6.674435e-03,6.670443e-03,6.666522e-03,6.663617e-03,6.656086e-03,6.655377e-03,6.645806e-03,6.643319e-03,6.634981e-03,6.628401e-03,6.622979e-03,6.611501e-03,6.609873e-03,6.595730e-03,6.592784e-03,6.580620e-03,6.572401e-03,6.564604e-03,6.550497e-03,6.547746e-03,6.530103e-03,6.527211e-03,6.511731e-03,6.502670e-03,6.492685e-03,6.476996e-03,6.473015e-03,6.452771e-03,6.450306e-03,6.432000e-03,6.422705e-03,6.410747e-03,6.394298e-03,6.389053e-03,6.366961e-03,6.365178e-03,6.344509e-03,6.335436e-03,6.321734e-03,6.305156e-03,6.298672e-03,6.275355e-03,6.274418e-03,6.251816e-03,6.243294e-03,6.228086e-03,6.211854e-03,6.204192e-03,6.180163e-03,6.148282e-03,6.116265e-03,6.084166e-03,6.052032e-03,6.019910e-03,5.987841e-03,5.955864e-03,5.924013e-03,5.892323e-03,5.860824e-03,5.829542e-03,5.798505e-03,5.767734e-03,5.737251e-03,5.707075e-03,5.677223e-03,5.647711e-03,5.618553e-03,5.589762e-03,5.561347e-03,5.533319e-03,5.505686e-03,5.478455e-03,5.451632e-03
0.000000e+00,6.059395e-09,1.381453e-08,4.719066e-08,1.068086e-07,1.553993e-07,3.500620e-07,3.604894e-07,6.914415e-07,8.106332e-07,1.177556e-06,1.556198e-06,1.848926e-06,2.656187e-06,2.735746e-06,3.865809e-06,4.175738e-06,5.259528e-06,6.158128e-06,6.922599e-06,8.596959e-06,8.839278e-06,1.097195e-05,1.142001e-05,1.326964e-05,1.451202e-05,1.567983e-05,1.775728e-05,1.815633e-05,2.066163e-05,2.106307e-05,2.316602e-05,2.436070e-05,2.564595e-05,2.759945e-05,2.808252e-05,3.046048e-05,3.074128e-05,3.276758e-05,3.375768e-05,3.499413e-05,3.662775e-05,3.713263e-05,3.917756e-05,3.933698e-05,4.112512e-05,4.187634e-05,4.297307e-05,4.424130e-05,4.472040e-05,4.636719e-05,4.643098e-05,4.791445e-05,4.844742e-05,4.936396e-05,5.029497e-05,5.071807e-05,5.197959e-05,5.315169e-05,5.350843e-05,5.423779e-05,5.488942e-05,5.524148e-05,5.613088e-05,5.616642e-05,5.701633e-05,5.724137e-05,5.779494e-05,5.822942e-05,5.850594e-05,5.910343e-05,5.915292e-05,5.973940e-05,5.987153e-05,6.026877e-05,6.054151e-05,6.074434e-05,6.112083e-05,6.116925e-05,6.154654e-05,6.161654e-05,6.187912e-05,6.203531e-05,6.216974e-05,6.238338e-05,6.242105e-05,6.263555e-05,6.266661e-05,6.281561e-05,6.289047e-05,6.296349e-05,6.306006e-05,6.308132e-05,6.317113e-05,6.318012e-05,6.323483e-05,6.325505e-05,6.327421e-05,6.328894e-05,6.329099e-05,6.328677e-05,6.328557e-05,6.326307e-05,6.324846e-05,6.322132e-05,6.318084e-05,6.316286e-05,6.308896e-05,6.308570e-05,6.300081e-05,6.296581e-05,6.289953e-05,6.282371e-05,6.278619e-05,6.266176e-05,6.252719e-05,6.248213e-05,6.238334e-05,6.228679e-05,6.223104e-05,6.207760e-05,6.207106e-05,6.190412e-05,6.185622e-05,6.173090e-05,6.162421e-05,6.155203e-05,6.138299e-05,6.136810e-05,6.117969e-05,6.113386e-05,6.098730e-05,6.087801e-05,6.079142e-05,6.061653e-05,6.059251e-05,6.039100e-05,6.035042e-05,6.018728e-05,6.008060e-05,5.998172e-05,5.980789e-05,5.977468e-05,5.956647e-05,5.953307e-05,5.935739e-05,5.925681e-05,5.914773e-05,5.897975e-05,5.893774e-05,5.872766e-05,5.870246e-05,5.851773e-05,5.842546e-05,5.830814e-05,5.814921e-05,5.809910e-05,5.789077e-05,5.787414e-05,5.768332e-05,5.760063e-05,5.747691e-05,5.732902e-05,5.727168e-05,5.706774e-05,5.705961e-05,5.686523e-05,5.679269e-05,5.666425e-05,5.652850e-05,5.646489e-05,5.626725e-05,5.600914e-05,5.575433e-05,5.550297e-05,5.525518e-05,5.501108e-05,5.477076e-05,5.453430e-05,5.430175e-05,5.407318e-05,5.384861e-05,5.362807e-05,5.341160e-05,5.319918e-05,5.299084e-05,5.278656e-05,5.258633e-05,5.239013e-05,5.219794e-05,5.200974e-05,5.182549e-05,5.164515e-05,5.146870e-05,5.129607e-05,5.112723e-05
0.000000e+00,2.013163e-07,4.596473e-07,1.575905e-06,3.582386e-06,5.227581e-06,1.189577e-05,1.225625e-05,2.385863e-05,2.811010e-05,4.141864e-05,5.545934e-05,6.648655e-05,9.737031e-05,1.004323e-04,1.437541e-04,1.554913e-04,1.957862e-04,2.282598e-04,2.552618e-04,3.127652e-04,3.209378e-04,3.917878e-04,4.065015e-04,4.669598e-04,5.075050e-04,5.457006e-04,6.140835e-04,6.273041e-04,7.110885e-04,7.246518e-04,7.963907e-04,8.376858e-04,8.825705e-04,9.517368e-04,9.690206e-04,1.055173e-03,1.065467e-03,1.140513e-03,1.177684e-03,1.224578e-03,1.287362e-03,1.306961e-03,1.387317e-03,1.393649e-03,1.465356e-03,1.495868e-03,1.540843e-03,1.593510e-03,1.613597e-03,1.683476e-03,1.686210e-03,1.750385e-03,1.773732e-03,1.814264e-03,1.855956e-03,1.875086e-03,1.932848e-03,1.987571e-03,2.004446e-03,2.039294e-03,2.070847e-03,2.088072e-03,2.132188e-03,2.133970e-03,2.177062e-03,2.188637e-03,2.217432e-03,2.240382e-03,2.255165e-03,2.287629e-03,2.290353e-03,2.323088e-03,2.330590e-03,2.353466e-03,2.369482e-03,2.381579e-03,2.404521e-03,2.407523e-03,2.431390e-03,2.435922e-03,2.453271e-03,2.463895e-03,2.473258e-03,2.488646e-03,2.491437e-03,2.507893e-03,2.510372e-03,2.522710e-03,2.529264e-03,2.535969e-03,2.545506e-03,2.547746e-03,2.558118e-03,2.559271e-03,2.567156e-03,2.570728e-03,2.574930e-03,2.580035e-03,2.581509e-03,2.586955e-03,2.587343e-03,2.591331e-03,2.592795e-03,2.594697e-03,2.596527e-03,2.597110e-03,2.598623e-03,2.598666e-03,2.599291e-03,2.599334e-03,2.599162e-03,2.598644e-03,2.598284e-03,2.596704e-03,2.594464e-03,2.593615e-03,2.591607e-03,2.589473e-03,2.588173e-03,2.584368e-03,2.584199e-03,2.579721e-03,2.578382e-03,2.574775e-03,2.571596e-03,2.569392e-03,2.564082e-03,2.563605e-03,2.557443e-03,2.555911e-03,2.550933e-03,2.547147e-03,2.544104e-03,2.537850e-03,2.536981e-03,2.529587e-03,2.528078e-03,2.521947e-03,2.517884e-03,2.514081e-03,2.507316e-03,2.506012e-03,2.497757e-03,2.496420e-03,2.489336e-03,2.485240e-03,2.480767e-03,2.473816e-03,2.472066e-03,2.463248e-03,2.462183e-03,2.454330e-03,2.450378e-03,2.445325e-03,2.438431e-03,2.436246e-03,2.427105e-03,2.426372e-03,2.417916e-03,2.414228e-03,2.408688e-03,2.402026e-03,2.399432e-03,2.390158e-03,2.389787e-03,2.380875e-03,2.377533e-03,2.371593e-03,2.365285e-03,2.362318e-03,2.353059e-03,2.340874e-03,2.328743e-03,2.316682e-03,2.304702e-03,2.292814e-03,2.281030e-03,2.269359e-03,2.257808e-03,2.246386e-03,2.235100e-03,2.223954e-03,2.212955e-03,2.202107e-03,2.191414e-03,2.180879e-03,2.170505e-03,2.160295e-03,2.150251e-03,2.140373e-03,2.130663e-03,2.121122e-03,2.111750e-03,2.102548e-03,2.093514e-03
0.000000e+00,3.382695e-08,7.674513e-08,2.606660e-07,5.911702e-07,8.643059e-07,2.001007e-06,2.063916e-06,4.167068e-06,4.973000e-06,7.595909e-06,1.048393e-05,1.280189e-05,1.932206e-05,1.996122e-05,2.870510e-05,3.096482e-05,3.836593e-05,4.395898e-05,4.838562e-05,5.722757e-05,5.842665e-05,6.830943e-05,7.025778e-05,7.793926e-05,8.282755e-05,8.726073e-05,9.482423e-05,9.623552e-05,1.048312e-04,1.061693e-04,1.130181e-04,1.167945e-04,1.207690e-04,1.266395e-04,1.280599e-04,1.348716e-04,1.356562e-04,1.411915e-04,1.438145e-04,1.470129e-04,1.511034e-04,1.523357e-04,1.571661e-04,1.575316e-04,1.615157e-04,1.631244e-04,1.654009e-04,1.679218e-04,1.688418e-04,1.718615e-04,1.719739e-04,1.744852e-04,1.753378e-04,1.767392e-04,1.780743e-04,1.786502e-04,1.802450e-04,1.815500e-04,1.819105e-04,1.825904e-04,1.831286e-04,1.833904e-04,1.839535e-04,1.839729e-04,1.843591e-04,1.844349e-04,1.845690e-04,1.846180e-04,1.846209e-04,1.845435e-04,1.845315e-04,1.843163e-04,1.842475e-04,1.839892e-04,1.837619e-04,1.835629e-04,1.831147e-04,1.830488e-04,1.824572e-04,1.823305e-04,1.817976e-04,1.814305e-04,1.810782e-04,1.804332e-04,1.803065e-04,1.794894e-04,1.793549e-04,1.786328e-04,1.782092e-04,1.777422e-04,1.770084e-04,1.768223e-04,1.758776e-04,1.757628e-04,1.749120e-04,1.744813e-04,1.739288e-04,1.731718e-04,1.729312e-04,1.719221e-04,1.718410e-04,1.709039e-04,1.704946e-04,1.698789e-04,1.691378e-04,1.688490e-04,1.678162e-04,1.677748e-04,1.667819e-04,1.664095e-04,1.657477e-04,1.650452e-04,1.647149e-04,1.636846e-04,1.626579e-04,1.623303e-04,1.616358e-04,1.609844e-04,1.606190e-04,1.596487e-04,1.596084e-04,1.586046e-04,1.583249e-04,1.576083e-04,1.570143e-04,1.566199e-04,1.557181e-04,1.556400e-04,1.546690e-04,1.544373e-04,1.537073e-04,1.531729e-04,1.527552e-04,1.519255e-04,1.518130e-04,1.508810e-04,1.506958e-04,1.499593e-04,1.494842e-04,1.490483e-04,1.482913e-04,1.481480e-04,1.472586e-04,1.471174e-04,1.463803e-04,1.459626e-04,1.455131e-04,1.448273e-04,1.446570e-04,1.438122e-04,1.437116e-04,1.429788e-04,1.426156e-04,1.421566e-04,1.415393e-04,1.413458e-04,1.405463e-04,1.404828e-04,1.397581e-04,1.394460e-04,1.389812e-04,1.384289e-04,1.382156e-04,1.374613e-04,1.374313e-04,1.367180e-04,1.364532e-04,1.359859e-04,1.354944e-04,1.352649e-04,1.345548e-04,1.336342e-04,1.327323e-04,1.318490e-04,1.309841e-04,1.301373e-04,1.293084e-04,1.284971e-04,1.277031e-04,1.269263e-04,1.261663e-04,1.254229e-04,1.246957e-04,1.239846e-04,1.232892e-04,1.226092e-04,1.219444e-04,1.212945e-04,1.206591e-04,1.200381e-04,1.194311e-04,1.188379e-04,1.182581e-04,1.176916e-04,1.171380e-04
0.000000e+00,4.536046e-08,1.034804e-07,3.542230e-07,8.042732e-07,1.173011e-06,2.666770e-06,2.747511e-06,5.346244e-06,6.298347e-06,9.275941e-06,1.240689e-05,1.485293e-05,2.161600e-05,2.227865e-05,3.150884e-05,3.396920e-05,4.232181e-05,4.897728e-05,5.447769e-05,6.612873e-05,6.777997e-05,8.206666e-05,8.502912e-05,9.719126e-05,1.053398e-04,1.130111e-04,1.267321e-04,1.293827e-04,1.461620e-04,1.488750e-04,1.632067e-04,1.714416e-04,1.803789e-04,1.941209e-04,1.975488e-04,2.145971e-04,2.166295e-04,2.314165e-04,2.387200e-04,2.479136e-04,2.601862e-04,2.640086e-04,2.796356e-04,2.808639e-04,2.947418e-04,3.006290e-04,3.092866e-04,3.193943e-04,3.232405e-04,3.365833e-04,3.371041e-04,3.493033e-04,3.537290e-04,3.613962e-04,3.692619e-04,3.728637e-04,3.837123e-04,3.939525e-04,3.971030e-04,4.035980e-04,4.094665e-04,4.126651e-04,4.208418e-04,4.211715e-04,4.291367e-04,4.312726e-04,4.365806e-04,4.408054e-04,4.435241e-04,4.494880e-04,4.499879e-04,4.559930e-04,4.573682e-04,4.615599e-04,4.644936e-04,4.667090e-04,4.709103e-04,4.714601e-04,4.758326e-04,4.766633e-04,4.798453e-04,4.817958e-04,4.835164e-04,4.863488e-04,4.868633e-04,4.899028e-04,4.903617e-04,4.926512e-04,4.938716e-04,4.951239e-04,4.969136e-04,4.973357e-04,4.993009e-04,4.995208e-04,5.010329e-04,5.017244e-04,5.025446e-04,5.035538e-04,5.038484e-04,5.049560e-04,5.050365e-04,5.058786e-04,5.061982e-04,5.066267e-04,5.070631e-04,5.072106e-04,5.076398e-04,5.076539e-04,5.079234e-04,5.079916e-04,5.080702e-04,5.080961e-04,5.080884e-04,5.079858e-04,5.077699e-04,5.076780e-04,5.074476e-04,5.071887e-04,5.070258e-04,5.065330e-04,5.065107e-04,5.059084e-04,5.057249e-04,5.052245e-04,5.047774e-04,5.044646e-04,5.037027e-04,5.036337e-04,5.027367e-04,5.025121e-04,5.017782e-04,5.012162e-04,5.007626e-04,4.998249e-04,4.996940e-04,4.985763e-04,4.983472e-04,4.974132e-04,4.967916e-04,4.962083e-04,4.951662e-04,4.949648e-04,4.936860e-04,4.934783e-04,4.923747e-04,4.917346e-04,4.910338e-04,4.899416e-04,4.896660e-04,4.882738e-04,4.881052e-04,4.868595e-04,4.862309e-04,4.854255e-04,4.843237e-04,4.839737e-04,4.825064e-04,4.823883e-04,4.810252e-04,4.804293e-04,4.795321e-04,4.784506e-04,4.780287e-04,4.765166e-04,4.764559e-04,4.749973e-04,4.744488e-04,4.734722e-04,4.724325e-04,4.719427e-04,4.704100e-04,4.683839e-04,4.663569e-04,4.643312e-04,4.623091e-04,4.602925e-04,4.582832e-04,4.562829e-04,4.542931e-04,4.523152e-04,4.503506e-04,4.484002e-04,4.464654e-04,4.445468e-04,4.426456e-04,4.407623e-04,4.388978e-04,4.370526e-04,4.352273e-04,4.334224e-04,4.316384e-04,4.298755e-04,4.281342e-04,4.264147e-04,4.247173e-04
0.000000e+00,4.451215e-09,1.016785e-08,3.488288e-08,7.929600e-08,1.156744e-07,2.626441e-07,2.705658e-07,5.242542e-07,6.166210e-07,9.039549e-07,1.204609e-06,1.439347e-06,2.092732e-06,2.157328e-06,3.071481e-06,3.319933e-06,4.178145e-06,4.877355e-06,5.464754e-06,6.735394e-06,6.918238e-06,8.527440e-06,8.867090e-06,1.028251e-05,1.124961e-05,1.217382e-05,1.386044e-05,1.419126e-05,1.632382e-05,1.667492e-05,1.855948e-05,1.966544e-05,2.088530e-05,2.280171e-05,2.328762e-05,2.575226e-05,2.605152e-05,2.826481e-05,2.938180e-05,3.081094e-05,3.275983e-05,3.337665e-05,3.594850e-05,3.615413e-05,3.851380e-05,3.953542e-05,4.106079e-05,4.287720e-05,4.357870e-05,4.605789e-05,4.615613e-05,4.848979e-05,4.935223e-05,5.086697e-05,5.244893e-05,5.318312e-05,5.543302e-05,5.761242e-05,5.829438e-05,5.971804e-05,6.102572e-05,6.174735e-05,6.362199e-05,6.369852e-05,6.557034e-05,6.608014e-05,6.736224e-05,6.839900e-05,6.907422e-05,7.057904e-05,7.070673e-05,7.226059e-05,7.262194e-05,7.373695e-05,7.453038e-05,7.513724e-05,7.630788e-05,7.646311e-05,7.771643e-05,7.795857e-05,7.889931e-05,7.948736e-05,8.001412e-05,8.089958e-05,8.106307e-05,8.204822e-05,8.220008e-05,8.297182e-05,8.339393e-05,8.383608e-05,8.448622e-05,8.464317e-05,8.539527e-05,8.548193e-05,8.609452e-05,8.638599e-05,8.674303e-05,8.720324e-05,8.734288e-05,8.789608e-05,8.793839e-05,8.840462e-05,8.859596e-05,8.887041e-05,8.918035e-05,8.929531e-05,8.968113e-05,8.969578e-05,9.002962e-05,9.014627e-05,9.034247e-05,9.053567e-05,9.062130e-05,9.086768e-05,9.108314e-05,9.114580e-05,9.126914e-05,9.137336e-05,9.142707e-05,9.155353e-05,9.155829e-05,9.166409e-05,9.168933e-05,9.174572e-05,9.178359e-05,9.180437e-05,9.183903e-05,9.184120e-05,9.185730e-05,9.185820e-05,9.185374e-05,9.184353e-05,9.183151e-05,9.179729e-05,9.179160e-05,9.173493e-05,9.172166e-05,9.166239e-05,9.161868e-05,9.157483e-05,9.149027e-05,9.147306e-05,9.135788e-05,9.133825e-05,9.123002e-05,9.116435e-05,9.109020e-05,9.097019e-05,9.093910e-05,9.077737e-05,9.075728e-05,9.060565e-05,9.052707e-05,9.042451e-05,9.028092e-05,9.023455e-05,9.003630e-05,9.002010e-05,8.983028e-05,8.974581e-05,8.961698e-05,8.945918e-05,8.939690e-05,8.917046e-05,8.916128e-05,8.893812e-05,8.885311e-05,8.870028e-05,8.853561e-05,8.845734e-05,8.820967e-05,8.787611e-05,8.753572e-05,8.718924e-05,8.683733e-05,8.648067e-05,8.611984e-05,8.575542e-05,8.538794e-05,8.501790e-05,8.464577e-05,8.427198e-05,8.389694e-05,8.352103e-05,8.314461e-05,8.276801e-05,8.239155e-05,8.201550e-05,8.164015e-05,8.126573e-05,8.089249e-05,8.052064e-05,8.015037e-05,7.978189e-05,7.941535e-05
0.000000e+00,1.071693e-07,2.445216e-07,8.366045e-07,1.896080e-06,2.760602e-06,6.229092e-06,6.415051e-06,1.232279e-05,1.445261e-05,2.101445e-05,2.779194e-05,3.303338e-05,4.747234e-05,4.889228e-05,6.893353e-05,7.437284e-05,9.313983e-05,1.083787e-04,1.211208e-04,1.484273e-04,1.523235e-04,1.862127e-04,1.932703e-04,2.223158e-04,2.418217e-04,2.602066e-04,2.931226e-04,2.994842e-04,3.397639e-04,3.462767e-04,3.806759e-04,4.004343e-04,4.218692e-04,4.548059e-04,4.630171e-04,5.038217e-04,5.086823e-04,5.440183e-04,5.614517e-04,5.833771e-04,6.126086e-04,6.217038e-04,6.588390e-04,6.617543e-04,6.946558e-04,7.085909e-04,7.290580e-04,7.529116e-04,7.619760e-04,7.933642e-04,7.945875e-04,8.231976e-04,8.335551e-04,8.514686e-04,8.698034e-04,8.781840e-04,9.033624e-04,9.270320e-04,9.342933e-04,9.492285e-04,9.626801e-04,9.699932e-04,9.886225e-04,9.893716e-04,1.007412e-03,1.012231e-03,1.024166e-03,1.033622e-03,1.039684e-03,1.052914e-03,1.054018e-03,1.067221e-03,1.070227e-03,1.079344e-03,1.085681e-03,1.090438e-03,1.099389e-03,1.100553e-03,1.109736e-03,1.111465e-03,1.118036e-03,1.122017e-03,1.125496e-03,1.131147e-03,1.132162e-03,1.138075e-03,1.138954e-03,1.143276e-03,1.145531e-03,1.147804e-03,1.150967e-03,1.151696e-03,1.154988e-03,1.155344e-03,1.157714e-03,1.158742e-03,1.159906e-03,1.161234e-03,1.161596e-03,1.162813e-03,1.162891e-03,1.163585e-03,1.163776e-03,1.163941e-03,1.163952e-03,1.163904e-03,1.163500e-03,1.163476e-03,1.162751e-03,1.162402e-03,1.161681e-03,1.160779e-03,1.160309e-03,1.158655e-03,1.156740e-03,1.156074e-03,1.154579e-03,1.153076e-03,1.152191e-03,1.149699e-03,1.149591e-03,1.146795e-03,1.145979e-03,1.143817e-03,1.141949e-03,1.140671e-03,1.137640e-03,1.137371e-03,1.133927e-03,1.133080e-03,1.130352e-03,1.128297e-03,1.126657e-03,1.123314e-03,1.122852e-03,1.118947e-03,1.118155e-03,1.114951e-03,1.112840e-03,1.110873e-03,1.107391e-03,1.106722e-03,1.102505e-03,1.101825e-03,1.098230e-03,1.096159e-03,1.093902e-03,1.090408e-03,1.089530e-03,1.085119e-03,1.084588e-03,1.080676e-03,1.078711e-03,1.076204e-03,1.072791e-03,1.071710e-03,1.067199e-03,1.066837e-03,1.062675e-03,1.060862e-03,1.058141e-03,1.054874e-03,1.053603e-03,1.049065e-03,1.048883e-03,1.044528e-03,1.042896e-03,1.039997e-03,1.036921e-03,1.035476e-03,1.030965e-03,1.025035e-03,1.019135e-03,1.013270e-03,1.007447e-03,1.001668e-03,9.959382e-04,9.902605e-04,9.846380e-04,9.790735e-04,9.735696e-04,9.681283e-04,9.627516e-04,9.574412e-04,9.521985e-04,9.470246e-04,9.419208e-04,9.368877e-04,9.319260e-04,9.270364e-04,9.222193e-04,9.174748e-04,9.128031e-04,9.082042e-04,9.036782e-04
0.000000e+00,7.649530e-09,1.747831e-08,6.006938e-08,1.370535e-07,2.005535e-07,4.611349e-07,4.753610e-07,9.401849e-07,1.113628e-06,1.665848e-06,2.260959e-06,2.734913e-06,4.078036e-06,4.211686e-06,6.097364e-06,6.605144e-06,8.337089e-06,9.722115e-06,1.086848e-05,1.330010e-05,1.364508e-05,1.663471e-05,1.725598e-05,1.981296e-05,2.153308e-05,2.315852e-05,2.608292e-05,2.665064e-05,3.026803e-05,3.085697e-05,3.398857e-05,3.580440e-05,3.778948e-05,4.087255e-05,4.164766e-05,4.554013e-05,4.600846e-05,4.944454e-05,5.116072e-05,5.333957e-05,5.628121e-05,5.720530e-05,6.102332e-05,6.132619e-05,6.477718e-05,6.625747e-05,6.845250e-05,7.104303e-05,7.203682e-05,7.551960e-05,7.565667e-05,7.889214e-05,8.007788e-05,8.214752e-05,8.429147e-05,8.528039e-05,8.828688e-05,9.116449e-05,9.205786e-05,9.391182e-05,9.560138e-05,9.652819e-05,9.891708e-05,9.901402e-05,1.013705e-04,1.020073e-04,1.035992e-04,1.048761e-04,1.057025e-04,1.075290e-04,1.076829e-04,1.095435e-04,1.099726e-04,1.112874e-04,1.122143e-04,1.129181e-04,1.142622e-04,1.144390e-04,1.158539e-04,1.161245e-04,1.171665e-04,1.178098e-04,1.183804e-04,1.193266e-04,1.194994e-04,1.205272e-04,1.206835e-04,1.214675e-04,1.218888e-04,1.223239e-04,1.229509e-04,1.230998e-04,1.237989e-04,1.238777e-04,1.244244e-04,1.246771e-04,1.249796e-04,1.253566e-04,1.254679e-04,1.258922e-04,1.259235e-04,1.262556e-04,1.263846e-04,1.265610e-04,1.267466e-04,1.268113e-04,1.270091e-04,1.270160e-04,1.271571e-04,1.271987e-04,1.272579e-04,1.273006e-04,1.273138e-04,1.273272e-04,1.273004e-04,1.272837e-04,1.272356e-04,1.271751e-04,1.271348e-04,1.270060e-04,1.270000e-04,1.268332e-04,1.267810e-04,1.266362e-04,1.265042e-04,1.264108e-04,1.261797e-04,1.261586e-04,1.258813e-04,1.258112e-04,1.255804e-04,1.254022e-04,1.252574e-04,1.249561e-04,1.249138e-04,1.245509e-04,1.244761e-04,1.241699e-04,1.239651e-04,1.237721e-04,1.234259e-04,1.233588e-04,1.229310e-04,1.228613e-04,1.224898e-04,1.222735e-04,1.220362e-04,1.216651e-04,1.215712e-04,1.210958e-04,1.210381e-04,1.206108e-04,1.203945e-04,1.201170e-04,1.197364e-04,1.196153e-04,1.191065e-04,1.190655e-04,1.185912e-04,1.183834e-04,1.180702e-04,1.176918e-04,1.175440e-04,1.170134e-04,1.169921e-04,1.164789e-04,1.162857e-04,1.159411e-04,1.155738e-04,1.154005e-04,1.148576e-04,1.141382e-04,1.134168e-04,1.126941e-04,1.119711e-04,1.112486e-04,1.105273e-04,1.098081e-04,1.090914e-04,1.083779e-04,1.076682e-04,1.069627e-04,1.062618e-04,1.055661e-04,1.048759e-04,1.041915e-04,1.035132e-04,1.028414e-04,1.021762e-04,1.015180e-04,1.008668e-04,1.002229e-04,9.958640e-05,9.895747e-05,9.833622e-05
0.000000e+00,4.217589e-06,9.585888e-06,3.254032e-05,7.324880e-05,1.062727e-04,2.378895e-04,2.449219e-04,4.678264e-04,5.480950e-04,7.954645e-04,1.050991e-03,1.248226e-03,1.786033e-03,1.838264e-03,2.559407e-03,2.749923e-03,3.392398e-03,3.900238e-03,4.317567e-03,5.195201e-03,5.318924e-03,6.382886e-03,6.602064e-03,7.496682e-03,8.091325e-03,8.647564e-03,9.633532e-03,9.822636e-03,1.100900e-02,1.119902e-02,1.219408e-02,1.275891e-02,1.336591e-02,1.428644e-02,1.451354e-02,1.562720e-02,1.575814e-02,1.669849e-02,1.715459e-02,1.772047e-02,1.846077e-02,1.868766e-02,1.959600e-02,1.966603e-02,2.044276e-02,2.076384e-02,2.122639e-02,2.175120e-02,2.194640e-02,2.260319e-02,2.262816e-02,2.319786e-02,2.339705e-02,2.373215e-02,2.406212e-02,2.420832e-02,2.462894e-02,2.499683e-02,2.510390e-02,2.531497e-02,2.549388e-02,2.558642e-02,2.580598e-02,2.581430e-02,2.600168e-02,2.604730e-02,2.615152e-02,2.622458e-02,2.626663e-02,2.634417e-02,2.634970e-02,2.640336e-02,2.641214e-02,2.643009e-02,2.643417e-02,2.643224e-02,2.641563e-02,2.641212e-02,2.637212e-02,2.636192e-02,2.631425e-02,2.627768e-02,2.624026e-02,2.616690e-02,2.615185e-02,2.605053e-02,2.603322e-02,2.593772e-02,2.587988e-02,2.581473e-02,2.570983e-02,2.568278e-02,2.554295e-02,2.552569e-02,2.539625e-02,2.532977e-02,2.524362e-02,2.512416e-02,2.508589e-02,2.492385e-02,2.491072e-02,2.475820e-02,2.469107e-02,2.458958e-02,2.446668e-02,2.441859e-02,2.424576e-02,2.423881e-02,2.407155e-02,2.400859e-02,2.389642e-02,2.377701e-02,2.372077e-02,2.354494e-02,2.336927e-02,2.331313e-02,2.319404e-02,2.308224e-02,2.301951e-02,2.285285e-02,2.284592e-02,2.267349e-02,2.262543e-02,2.250238e-02,2.240043e-02,2.233278e-02,2.217819e-02,2.216482e-02,2.199864e-02,2.195903e-02,2.183435e-02,2.174321e-02,2.167204e-02,2.153093e-02,2.151181e-02,2.135373e-02,2.132237e-02,2.119785e-02,2.111768e-02,2.104423e-02,2.091697e-02,2.089292e-02,2.074394e-02,2.072032e-02,2.059732e-02,2.052779e-02,2.045309e-02,2.033943e-02,2.031125e-02,2.017182e-02,2.015525e-02,2.003480e-02,1.997527e-02,1.990018e-02,1.979948e-02,1.976797e-02,1.963815e-02,1.962787e-02,1.951071e-02,1.946039e-02,1.938563e-02,1.929702e-02,1.926289e-02,1.914248e-02,1.913771e-02,1.902437e-02,1.898241e-02,1.890854e-02,1.883106e-02,1.879496e-02,1.868359e-02,1.853995e-02,1.840006e-02,1.826385e-02,1.813124e-02,1.800216e-02,1.787653e-02,1.775428e-02,1.763532e-02,1.751958e-02,1.740698e-02,1.729744e-02,1.719088e-02,1.708723e-02,1.698641e-02,1.688835e-02,1.679296e-02,1.670019e-02,1.660995e-02,1.652218e-02,1.643681e-02,1.635377e-02,1.627299e-02,1.619441e-02,1.611797e-02
0.000000e+00,5.565250e-09,1.271034e-08,4.362645e-08,9.935970e-08,1.452062e-07,3.323139e-07,3.424843e-07,6.723938e-07,7.942677e-07,1.177187e-06,1.579715e-06,1.892139e-06,2.742348e-06,2.824635e-06,3.958599e-06,4.258522e-06,5.274990e-06,6.086198e-06,6.759010e-06,8.193910e-06,8.398462e-06,1.018137e-05,1.055405e-05,1.209466e-05,1.313630e-05,1.412367e-05,1.590564e-05,1.625218e-05,1.846283e-05,1.882296e-05,2.073755e-05,2.184681e-05,2.305809e-05,2.493544e-05,2.540652e-05,2.776569e-05,2.804874e-05,3.011960e-05,3.114983e-05,3.245361e-05,3.420604e-05,3.475463e-05,3.701116e-05,3.718946e-05,3.921343e-05,4.007727e-05,4.135330e-05,4.285159e-05,4.342414e-05,4.542070e-05,4.549896e-05,4.733905e-05,4.800993e-05,4.917637e-05,5.037849e-05,5.093083e-05,5.260149e-05,5.418813e-05,5.467817e-05,5.569121e-05,5.660970e-05,5.711156e-05,5.839842e-05,5.845043e-05,5.970951e-05,6.004800e-05,6.089068e-05,6.156287e-05,6.199607e-05,6.294806e-05,6.302796e-05,6.398872e-05,6.420900e-05,6.488082e-05,6.535132e-05,6.570673e-05,6.638078e-05,6.646897e-05,6.717008e-05,6.730319e-05,6.781255e-05,6.812428e-05,6.839885e-05,6.884972e-05,6.893141e-05,6.941262e-05,6.948500e-05,6.984480e-05,7.003550e-05,7.023022e-05,7.050637e-05,7.057109e-05,7.086954e-05,7.090261e-05,7.112766e-05,7.122898e-05,7.134745e-05,7.149005e-05,7.153084e-05,7.167971e-05,7.169018e-05,7.179585e-05,7.183353e-05,7.188099e-05,7.192405e-05,7.193681e-05,7.196491e-05,7.196548e-05,7.196682e-05,7.196138e-05,7.194401e-05,7.191511e-05,7.189791e-05,7.182987e-05,7.174118e-05,7.170865e-05,7.163309e-05,7.155429e-05,7.150680e-05,7.136947e-05,7.136342e-05,7.120406e-05,7.115671e-05,7.102974e-05,7.091838e-05,7.084146e-05,7.065671e-05,7.064015e-05,7.042673e-05,7.037380e-05,7.020205e-05,7.007161e-05,6.996692e-05,6.975199e-05,6.972213e-05,6.946841e-05,6.941666e-05,6.920648e-05,6.906725e-05,6.893699e-05,6.870526e-05,6.866060e-05,6.837789e-05,6.833212e-05,6.808946e-05,6.794914e-05,6.779584e-05,6.755756e-05,6.749755e-05,6.719508e-05,6.715853e-05,6.688890e-05,6.675312e-05,6.657945e-05,6.634233e-05,6.626713e-05,6.595236e-05,6.592708e-05,6.563549e-05,6.550824e-05,6.531689e-05,6.508660e-05,6.499688e-05,6.467577e-05,6.466291e-05,6.435387e-05,6.423785e-05,6.403145e-05,6.381205e-05,6.370878e-05,6.338609e-05,6.296052e-05,6.253584e-05,6.211249e-05,6.169089e-05,6.127143e-05,6.085446e-05,6.044029e-05,6.002921e-05,5.962149e-05,5.921736e-05,5.881703e-05,5.842069e-05,5.802852e-05,5.764067e-05,5.725726e-05,5.687841e-05,5.650423e-05,5.613480e-05,5.577020e-05,5.541048e-05,5.505570e-05,5.470588e-05,5.436107e-05,5.402128e-05
0.000000e+00,2.140489e-08,4.905045e-08,1.698160e-07,3.908336e-07,5.752309e-07,1.347647e-06,1.390450e-06,2.818126e-06,3.363236e-06,5.134144e-06,7.092066e-06,8.682219e-06,1.331743e-05,1.378824e-05,2.058454e-05,2.245504e-05,2.891865e-05,3.414367e-05,3.848358e-05,4.768477e-05,4.898676e-05,6.020897e-05,6.252512e-05,7.199399e-05,7.830485e-05,8.422509e-05,9.477416e-05,9.680740e-05,1.096577e-04,1.117335e-04,1.226994e-04,1.290061e-04,1.358603e-04,1.464290e-04,1.490724e-04,1.622722e-04,1.638525e-04,1.754011e-04,1.811414e-04,1.884060e-04,1.981775e-04,2.012396e-04,2.138607e-04,2.148601e-04,2.262338e-04,2.311068e-04,2.383291e-04,2.468518e-04,2.501221e-04,2.615931e-04,2.620450e-04,2.727266e-04,2.766497e-04,2.835112e-04,2.906411e-04,2.939387e-04,3.040039e-04,3.137040e-04,3.167309e-04,3.230386e-04,3.288213e-04,3.320087e-04,3.402795e-04,3.406169e-04,3.488672e-04,3.511138e-04,3.567645e-04,3.613357e-04,3.643144e-04,3.709591e-04,3.715234e-04,3.783984e-04,3.799995e-04,3.849466e-04,3.884737e-04,3.911757e-04,3.963995e-04,3.970935e-04,4.027081e-04,4.037953e-04,4.080274e-04,4.106796e-04,4.130598e-04,4.170711e-04,4.178132e-04,4.222960e-04,4.229886e-04,4.265160e-04,4.284507e-04,4.304815e-04,4.334760e-04,4.342004e-04,4.376806e-04,4.380825e-04,4.409297e-04,4.422881e-04,4.439555e-04,4.461103e-04,4.467654e-04,4.493668e-04,4.495662e-04,4.517670e-04,4.526723e-04,4.539730e-04,4.554450e-04,4.559917e-04,4.578299e-04,4.578998e-04,4.594943e-04,4.600522e-04,4.609913e-04,4.619168e-04,4.623271e-04,4.635080e-04,4.645400e-04,4.648397e-04,4.654288e-04,4.659251e-04,4.661802e-04,4.667773e-04,4.667996e-04,4.672926e-04,4.674086e-04,4.676642e-04,4.678310e-04,4.679196e-04,4.680561e-04,4.680636e-04,4.681012e-04,4.680949e-04,4.680369e-04,4.679580e-04,4.678752e-04,4.676558e-04,4.676205e-04,4.672770e-04,4.671980e-04,4.668489e-04,4.665941e-04,4.663400e-04,4.658531e-04,4.657543e-04,4.650955e-04,4.649836e-04,4.643672e-04,4.639939e-04,4.635728e-04,4.628920e-04,4.627157e-04,4.617992e-04,4.616854e-04,4.608264e-04,4.603814e-04,4.598004e-04,4.589869e-04,4.587241e-04,4.576003e-04,4.575084e-04,4.564317e-04,4.559524e-04,4.552211e-04,4.543248e-04,4.539709e-04,4.526835e-04,4.526313e-04,4.513614e-04,4.508773e-04,4.500068e-04,4.490682e-04,4.486219e-04,4.472088e-04,4.453037e-04,4.433576e-04,4.413745e-04,4.393586e-04,4.373136e-04,4.352431e-04,4.331506e-04,4.310392e-04,4.289122e-04,4.267722e-04,4.246222e-04,4.224646e-04,4.203018e-04,4.181362e-04,4.159699e-04,4.138050e-04,4.116432e-04,4.094864e-04,4.073363e-04,4.051944e-04,4.030621e-04,4.009409e-04,3.988319e-04,3.967363e-04
0.000000e+00,3.473850e-08,7.926821e-08,2.715493e-07,6.172718e-07,9.010891e-07,2.055996e-06,2.118658e-06,4.148047e-06,4.897189e-06,7.254697e-06,9.746507e-06,1.169362e-05,1.704930e-05,1.757141e-05,2.481237e-05,2.673814e-05,3.328611e-05,3.853025e-05,4.289027e-05,5.222036e-05,5.355406e-05,6.522193e-05,6.767135e-05,7.784042e-05,8.475853e-05,9.135071e-05,1.033392e-04,1.056849e-04,1.207650e-04,1.232412e-04,1.365030e-04,1.442631e-04,1.528029e-04,1.661785e-04,1.695620e-04,1.866732e-04,1.887451e-04,2.040279e-04,2.117131e-04,2.215178e-04,2.348352e-04,2.390369e-04,2.564840e-04,2.578737e-04,2.737638e-04,2.806091e-04,2.907890e-04,3.028447e-04,3.074804e-04,3.237673e-04,3.244095e-04,3.395887e-04,3.451601e-04,3.548925e-04,3.649813e-04,3.696359e-04,3.837845e-04,3.973121e-04,4.015067e-04,4.102010e-04,4.181089e-04,4.224390e-04,4.335688e-04,4.340194e-04,4.449423e-04,4.478833e-04,4.552117e-04,4.610631e-04,4.648362e-04,4.731315e-04,4.738279e-04,4.822016e-04,4.841211e-04,4.899743e-04,4.940715e-04,4.971649e-04,5.030273e-04,5.037938e-04,5.098822e-04,5.110370e-04,5.154522e-04,5.181512e-04,5.205263e-04,5.244217e-04,5.251269e-04,5.292767e-04,5.299003e-04,5.329979e-04,5.346383e-04,5.363125e-04,5.386859e-04,5.392420e-04,5.418075e-04,5.420919e-04,5.440293e-04,5.449031e-04,5.459270e-04,5.471641e-04,5.475195e-04,5.488250e-04,5.489175e-04,5.498610e-04,5.502037e-04,5.506442e-04,5.510607e-04,5.511907e-04,5.515156e-04,5.515242e-04,5.516333e-04,5.516277e-04,5.515577e-04,5.514025e-04,5.513017e-04,5.508779e-04,5.502978e-04,5.500810e-04,5.495726e-04,5.490373e-04,5.487129e-04,5.477702e-04,5.477285e-04,5.466289e-04,5.463015e-04,5.454228e-04,5.446515e-04,5.441186e-04,5.428388e-04,5.427241e-04,5.412469e-04,5.408808e-04,5.396938e-04,5.387934e-04,5.380715e-04,5.365914e-04,5.363860e-04,5.346433e-04,5.342883e-04,5.328487e-04,5.318968e-04,5.310075e-04,5.294283e-04,5.291244e-04,5.272039e-04,5.268935e-04,5.252503e-04,5.243020e-04,5.232676e-04,5.216630e-04,5.212595e-04,5.192295e-04,5.189846e-04,5.171808e-04,5.162743e-04,5.151166e-04,5.135391e-04,5.130396e-04,5.109527e-04,5.107853e-04,5.088581e-04,5.080187e-04,5.067584e-04,5.052446e-04,5.046556e-04,5.025518e-04,5.024677e-04,5.004489e-04,4.996924e-04,4.983487e-04,4.969228e-04,4.962527e-04,4.941625e-04,4.914147e-04,4.886824e-04,4.859683e-04,4.832748e-04,4.806040e-04,4.779579e-04,4.753382e-04,4.727465e-04,4.701840e-04,4.676520e-04,4.651515e-04,4.626834e-04,4.602485e-04,4.578474e-04,4.554806e-04,4.531487e-04,4.508519e-04,4.485905e-04,4.463648e-04,4.441747e-04,4.420205e-04,4.399020e-04,4.378193e-04,4.357721e-04
0.000000e+00,4.777791e-06,1.090055e-05,3.731714e-05,8.471667e-05,1.235261e-04,2.803986e-04,2.888599e-04,5.601107e-04,6.589688e-04,9.666269e-04,1.288640e-03,1.540203e-03,2.242823e-03,2.312608e-03,3.309359e-03,3.583473e-03,4.539603e-03,5.325675e-03,5.987487e-03,7.411524e-03,7.614699e-03,9.374179e-03,9.738008e-03,1.122283e-02,1.220758e-02,1.312614e-02,1.474747e-02,1.505744e-02,1.699575e-02,1.730535e-02,1.892405e-02,1.984184e-02,2.082820e-02,2.232610e-02,2.269635e-02,2.451860e-02,2.473378e-02,2.628682e-02,2.704599e-02,2.799451e-02,2.924873e-02,2.963664e-02,3.120955e-02,3.133231e-02,3.271072e-02,3.329074e-02,3.413871e-02,3.512121e-02,3.549295e-02,3.677344e-02,3.682314e-02,3.798097e-02,3.839804e-02,3.911674e-02,3.984888e-02,4.018235e-02,4.117970e-02,4.211092e-02,4.239530e-02,4.297825e-02,4.350091e-02,4.378406e-02,4.450200e-02,4.453076e-02,4.522081e-02,4.540421e-02,4.585666e-02,4.621317e-02,4.644074e-02,4.693441e-02,4.697542e-02,4.746306e-02,4.757335e-02,4.790593e-02,4.813520e-02,4.830624e-02,4.862502e-02,4.866614e-02,4.898770e-02,4.904759e-02,4.927292e-02,4.940750e-02,4.952370e-02,4.970911e-02,4.974190e-02,4.992928e-02,4.995651e-02,5.008752e-02,5.015361e-02,5.021826e-02,5.030408e-02,5.032303e-02,5.040332e-02,5.041137e-02,5.046053e-02,5.047874e-02,5.049601e-02,5.050924e-02,5.051105e-02,5.050687e-02,5.050574e-02,5.048463e-02,5.047093e-02,5.044544e-02,5.040732e-02,5.039036e-02,5.032038e-02,5.031729e-02,5.023648e-02,5.020303e-02,5.013954e-02,5.006662e-02,5.003043e-02,4.990997e-02,4.977894e-02,4.973490e-02,4.963807e-02,4.954308e-02,4.948807e-02,4.933608e-02,4.932959e-02,4.916326e-02,4.911536e-02,4.898968e-02,4.888229e-02,4.880942e-02,4.863813e-02,4.862300e-02,4.843095e-02,4.838407e-02,4.823372e-02,4.812119e-02,4.803179e-02,4.785053e-02,4.782557e-02,4.761547e-02,4.757302e-02,4.740188e-02,4.728956e-02,4.718517e-02,4.700095e-02,4.696566e-02,4.674368e-02,4.670796e-02,4.651955e-02,4.641128e-02,4.629354e-02,4.611157e-02,4.606593e-02,4.583697e-02,4.580942e-02,4.560691e-02,4.550539e-02,4.537597e-02,4.520000e-02,4.514436e-02,4.491229e-02,4.489371e-02,4.467994e-02,4.458696e-02,4.444749e-02,4.428016e-02,4.421510e-02,4.398294e-02,4.397366e-02,4.375115e-02,4.366782e-02,4.351986e-02,4.336293e-02,4.328920e-02,4.305929e-02,4.275714e-02,4.245674e-02,4.215828e-02,4.186198e-02,4.156799e-02,4.127649e-02,4.098762e-02,4.070149e-02,4.041824e-02,4.013795e-02,3.986072e-02,3.958663e-02,3.931574e-02,3.904811e-02,3.878379e-02,3.852283e-02,3.826525e-02,3.801108e-02,3.776035e-02,3.751306e-02,3.726922e-02,3.702885e-02,3.679193e-02,3.655846e-02
0.000000e+00,3.907776e-08,8.909857e-08,3.044078e-07,6.890558e-07,1.002576e-06,2.258537e-06,2.325807e-06,4.460099e-06,5.228269e-06,7.590757e-06,1.002422e-05,1.190172e-05,1.705842e-05,1.756476e-05,2.471434e-05,2.666000e-05,3.340659e-05,3.892872e-05,4.357351e-05,5.357719e-05,5.500630e-05,6.739798e-05,6.996217e-05,8.042189e-05,8.734635e-05,9.379017e-05,1.051151e-04,1.072719e-04,1.206873e-04,1.228179e-04,1.338969e-04,1.401313e-04,1.467913e-04,1.568218e-04,1.592851e-04,1.713128e-04,1.727223e-04,1.828254e-04,1.877184e-04,1.937884e-04,2.017385e-04,2.041794e-04,2.139863e-04,2.147455e-04,2.232056e-04,2.267293e-04,2.318406e-04,2.377008e-04,2.399001e-04,2.473974e-04,2.476858e-04,2.543487e-04,2.567212e-04,2.607730e-04,2.648507e-04,2.666905e-04,2.721226e-04,2.770915e-04,2.785873e-04,2.816192e-04,2.842957e-04,2.857280e-04,2.892984e-04,2.894396e-04,2.927754e-04,2.936449e-04,2.957561e-04,2.973826e-04,2.984020e-04,3.005571e-04,3.007324e-04,3.027659e-04,3.032117e-04,3.045203e-04,3.053874e-04,3.060128e-04,3.071225e-04,3.072597e-04,3.082764e-04,3.084534e-04,3.090777e-04,3.094139e-04,3.096776e-04,3.100357e-04,3.100895e-04,3.103259e-04,3.103483e-04,3.103989e-04,3.103792e-04,3.103197e-04,3.101539e-04,3.100990e-04,3.097470e-04,3.096964e-04,3.092732e-04,3.090284e-04,3.086866e-04,3.081706e-04,3.079957e-04,3.072087e-04,3.071418e-04,3.063330e-04,3.059595e-04,3.053757e-04,3.046398e-04,3.043436e-04,3.032430e-04,3.031977e-04,3.020799e-04,3.016469e-04,3.008597e-04,3.000001e-04,2.995878e-04,2.982691e-04,2.969082e-04,2.964646e-04,2.955095e-04,2.945964e-04,2.940770e-04,2.926736e-04,2.926146e-04,2.911258e-04,2.907046e-04,2.896139e-04,2.886971e-04,2.880822e-04,2.866579e-04,2.865334e-04,2.849705e-04,2.845935e-04,2.833958e-04,2.825098e-04,2.818118e-04,2.804120e-04,2.802208e-04,2.786247e-04,2.783051e-04,2.770256e-04,2.761934e-04,2.754251e-04,2.740810e-04,2.738251e-04,2.722269e-04,2.719715e-04,2.706321e-04,2.698681e-04,2.690419e-04,2.677740e-04,2.674577e-04,2.658804e-04,2.656917e-04,2.643113e-04,2.636236e-04,2.627511e-04,2.615720e-04,2.612009e-04,2.596614e-04,2.595387e-04,2.581333e-04,2.575254e-04,2.566174e-04,2.555337e-04,2.551142e-04,2.536243e-04,2.535649e-04,2.521481e-04,2.516202e-04,2.506863e-04,2.497006e-04,2.492391e-04,2.478069e-04,2.459399e-04,2.441003e-04,2.422886e-04,2.405051e-04,2.387503e-04,2.370243e-04,2.353275e-04,2.336598e-04,2.320213e-04,2.304120e-04,2.288319e-04,2.272808e-04,2.257586e-04,2.242652e-04,2.228003e-04,2.213636e-04,2.199549e-04,2.185738e-04,2.172202e-04,2.158936e-04,2.145936e-04,2.133200e-04,2.120723e-04,2.108501e-04
0.000000e+00,1.141593e-08,2.605329e-08,8.922098e-08,2.025312e-07,2.952543e-07,6.696492e-07,6.898301e-07,1.336676e-06,1.572574e-06,2.308190e-06,3.081578e-06,3.688752e-06,5.399211e-06,5.570207e-06,8.029755e-06,8.710417e-06,1.109297e-05,1.305842e-05,1.471740e-05,1.830514e-05,1.881966e-05,2.331263e-05,2.425136e-05,2.812272e-05,3.072914e-05,3.319061e-05,3.761069e-05,3.846713e-05,4.390911e-05,4.479249e-05,4.947675e-05,5.218267e-05,5.513216e-05,5.969505e-05,6.083875e-05,6.656121e-05,6.724735e-05,7.226572e-05,7.476171e-05,7.792032e-05,8.216604e-05,8.349527e-05,8.896339e-05,8.939548e-05,9.430034e-05,9.639351e-05,9.948478e-05,1.031128e-04,1.044984e-04,1.093261e-04,1.095151e-04,1.139554e-04,1.155715e-04,1.183769e-04,1.212612e-04,1.225836e-04,1.265712e-04,1.303371e-04,1.314953e-04,1.338810e-04,1.360331e-04,1.372040e-04,1.401888e-04,1.403088e-04,1.431991e-04,1.439707e-04,1.458799e-04,1.473901e-04,1.483567e-04,1.504607e-04,1.506359e-04,1.527244e-04,1.531980e-04,1.546292e-04,1.556184e-04,1.563578e-04,1.577393e-04,1.579179e-04,1.593171e-04,1.595783e-04,1.605631e-04,1.611531e-04,1.616636e-04,1.624811e-04,1.626262e-04,1.634582e-04,1.635797e-04,1.641668e-04,1.644653e-04,1.647592e-04,1.651540e-04,1.652422e-04,1.656223e-04,1.656613e-04,1.659059e-04,1.660017e-04,1.660992e-04,1.661893e-04,1.662080e-04,1.662379e-04,1.662370e-04,1.661943e-04,1.661574e-04,1.660824e-04,1.659622e-04,1.659069e-04,1.656727e-04,1.656621e-04,1.653840e-04,1.652675e-04,1.650451e-04,1.647880e-04,1.646599e-04,1.642323e-04,1.637658e-04,1.636088e-04,1.632637e-04,1.629252e-04,1.627293e-04,1.621885e-04,1.621655e-04,1.615752e-04,1.614055e-04,1.609610e-04,1.605821e-04,1.603255e-04,1.597240e-04,1.596710e-04,1.589997e-04,1.588363e-04,1.583137e-04,1.579239e-04,1.576150e-04,1.569910e-04,1.569054e-04,1.561865e-04,1.560418e-04,1.554601e-04,1.550798e-04,1.547275e-04,1.541085e-04,1.539903e-04,1.532496e-04,1.531309e-04,1.525067e-04,1.521497e-04,1.517627e-04,1.511674e-04,1.510187e-04,1.502756e-04,1.501865e-04,1.495343e-04,1.492089e-04,1.487956e-04,1.482364e-04,1.480603e-04,1.473292e-04,1.472709e-04,1.466028e-04,1.463137e-04,1.458817e-04,1.453661e-04,1.451665e-04,1.444577e-04,1.444295e-04,1.437557e-04,1.435047e-04,1.430609e-04,1.425928e-04,1.423737e-04,1.416944e-04,1.408104e-04,1.399413e-04,1.390876e-04,1.382496e-04,1.374278e-04,1.366224e-04,1.358336e-04,1.350616e-04,1.343064e-04,1.335682e-04,1.328468e-04,1.321422e-04,1.314545e-04,1.307835e-04,1.301289e-04,1.294908e-04,1.288689e-04,1.282631e-04,1.276730e-04,1.270985e-04,1.265393e-04,1.259952e-04,1.254658e-04,1.249511e-04
0.000000e+00,2.991789e-09,6.675542e-09,2.181051e-08,4.740402e-08,6.745189e-08,1.434463e-07,1.473733e-07,2.669364e-07,3.081137e-07,4.303959e-07,5.510920e-07,6.414311e-07,8.802895e-07,9.031480e-07,1.217394e-06,1.300612e-06,1.583231e-06,1.808724e-06,1.994859e-06,2.385660e-06,2.440392e-06,2.903333e-06,2.996467e-06,3.366588e-06,3.602796e-06,3.816223e-06,4.176445e-06,4.242919e-06,4.641482e-06,4.702459e-06,5.009643e-06,5.175385e-06,5.346959e-06,5.594986e-06,5.654033e-06,5.932062e-06,5.963544e-06,6.182577e-06,6.284525e-06,6.407294e-06,6.561945e-06,6.608036e-06,6.786667e-06,6.800058e-06,6.945053e-06,7.003151e-06,7.085026e-06,7.175399e-06,7.208351e-06,7.316705e-06,7.320751e-06,7.411659e-06,7.442844e-06,7.494661e-06,7.544960e-06,7.567041e-06,7.629997e-06,7.684608e-06,7.700480e-06,7.731832e-06,7.758577e-06,7.772521e-06,7.806129e-06,7.807422e-06,7.837194e-06,7.844691e-06,7.862410e-06,7.875566e-06,7.883575e-06,7.899846e-06,7.901126e-06,7.915446e-06,7.918440e-06,7.926870e-06,7.932113e-06,7.935690e-06,7.941502e-06,7.942162e-06,7.946512e-06,7.947146e-06,7.948939e-06,7.949500e-06,7.949618e-06,7.948954e-06,7.948707e-06,7.946344e-06,7.945840e-06,7.942656e-06,7.940447e-06,7.937753e-06,7.933025e-06,7.931738e-06,7.924703e-06,7.923794e-06,7.916732e-06,7.912949e-06,7.907902e-06,7.900660e-06,7.898283e-06,7.887940e-06,7.887083e-06,7.876933e-06,7.872356e-06,7.865316e-06,7.856604e-06,7.853142e-06,7.840457e-06,7.839939e-06,7.827305e-06,7.822465e-06,7.813729e-06,7.804274e-06,7.799766e-06,7.785452e-06,7.770821e-06,7.766077e-06,7.755904e-06,7.746221e-06,7.740731e-06,7.725949e-06,7.725329e-06,7.709724e-06,7.705322e-06,7.693941e-06,7.684395e-06,7.678002e-06,7.663219e-06,7.661929e-06,7.645741e-06,7.641841e-06,7.629458e-06,7.620305e-06,7.613098e-06,7.598649e-06,7.596676e-06,7.580209e-06,7.576911e-06,7.563711e-06,7.555124e-06,7.547196e-06,7.533319e-06,7.530677e-06,7.514166e-06,7.511525e-06,7.497674e-06,7.489768e-06,7.481213e-06,7.468072e-06,7.464791e-06,7.448419e-06,7.446458e-06,7.432105e-06,7.424948e-06,7.415858e-06,7.403559e-06,7.399685e-06,7.383592e-06,7.382309e-06,7.367588e-06,7.361212e-06,7.351678e-06,7.340284e-06,7.335867e-06,7.320162e-06,7.319536e-06,7.304566e-06,7.298980e-06,7.289086e-06,7.278627e-06,7.273725e-06,7.258487e-06,7.238567e-06,7.218875e-06,7.199419e-06,7.180203e-06,7.161233e-06,7.142515e-06,7.124050e-06,7.105844e-06,7.087899e-06,7.070216e-06,7.052799e-06,7.035648e-06,7.018764e-06,7.002148e-06,6.985800e-06,6.969720e-06,6.953908e-06,6.938363e-06,6.923084e-06,6.908070e-06,6.893319e-06,6.878831e-06,6.864602e-06,6.850633e-06
0.000000e+00,4.598397e-09,1.024752e-08,3.344973e-08,7.284014e-08,1.039072e-07,2.238027e-07,2.300982e-07,4.268531e-07,4.969254e-07,7.117250e-07,9.323412e-07,1.101610e-06,1.555906e-06,1.599286e-06,2.181044e-06,2.328897e-06,2.808768e-06,3.168273e-06,3.451560e-06,4.015538e-06,4.091922e-06,4.721520e-06,4.845754e-06,5.336285e-06,5.649200e-06,5.933546e-06,6.419897e-06,6.510807e-06,7.065432e-06,7.151890e-06,7.594737e-06,7.839065e-06,8.096232e-06,8.475986e-06,8.567833e-06,9.008026e-06,9.058691e-06,9.415945e-06,9.585128e-06,9.791380e-06,1.005521e-05,1.013473e-05,1.044692e-05,1.047058e-05,1.072929e-05,1.083425e-05,1.098350e-05,1.115014e-05,1.121143e-05,1.141503e-05,1.142270e-05,1.159635e-05,1.165655e-05,1.175735e-05,1.185620e-05,1.189994e-05,1.202591e-05,1.213695e-05,1.216958e-05,1.223459e-05,1.229070e-05,1.232022e-05,1.239228e-05,1.239509e-05,1.246031e-05,1.247699e-05,1.251689e-05,1.254706e-05,1.256570e-05,1.260440e-05,1.260751e-05,1.264300e-05,1.265064e-05,1.267277e-05,1.268715e-05,1.269737e-05,1.271510e-05,1.271725e-05,1.273282e-05,1.273545e-05,1.274444e-05,1.274903e-05,1.275243e-05,1.275656e-05,1.275709e-05,1.275865e-05,1.275863e-05,1.275737e-05,1.275580e-05,1.275344e-05,1.274853e-05,1.274706e-05,1.273840e-05,1.273721e-05,1.272761e-05,1.272223e-05,1.271484e-05,1.270389e-05,1.270022e-05,1.268387e-05,1.268249e-05,1.266591e-05,1.265829e-05,1.264644e-05,1.263154e-05,1.262556e-05,1.260336e-05,1.260245e-05,1.257993e-05,1.257121e-05,1.255535e-05,1.253802e-05,1.252970e-05,1.250304e-05,1.247544e-05,1.246642e-05,1.244697e-05,1.242832e-05,1.241769e-05,1.238887e-05,1.238765e-05,1.235691e-05,1.234818e-05,1.232551e-05,1.230638e-05,1.229350e-05,1.226357e-05,1.226094e-05,1.222786e-05,1.221985e-05,1.219430e-05,1.217532e-05,1.216031e-05,1.213006e-05,1.212591e-05,1.209115e-05,1.208415e-05,1.205605e-05,1.203768e-05,1.202065e-05,1.199071e-05,1.198498e-05,1.194907e-05,1.194330e-05,1.191294e-05,1.189553e-05,1.187662e-05,1.184744e-05,1.184013e-05,1.180350e-05,1.179909e-05,1.176674e-05,1.175054e-05,1.172989e-05,1.170183e-05,1.169296e-05,1.165596e-05,1.165300e-05,1.161892e-05,1.160410e-05,1.158185e-05,1.155516e-05,1.154478e-05,1.150771e-05,1.150622e-05,1.147066e-05,1.145732e-05,1.143364e-05,1.140849e-05,1.139667e-05,1.135976e-05,1.131114e-05,1.126268e-05,1.121439e-05,1.116630e-05,1.111843e-05,1.107079e-05,1.102341e-05,1.097630e-05,1.092948e-05,1.088296e-05,1.083675e-05,1.079087e-05,1.074533e-05,1.070014e-05,1.065530e-05,1.061083e-05,1.056673e-05,1.052302e-05,1.047969e-05,1.043676e-05,1.039423e-05,1.035210e-05,1.031037e-05,1.026906e-05
0.000000e+00,1.915050e-07,4.199149e-07,1.328571e-06,2.820832e-06,3.974151e-06,8.332916e-06,8.559428e-06,1.558717e-05,1.807346e-05,2.562137e-05,3.316350e-05,3.873445e-05,5.263512e-05,5.388786e-05,6.975325e-05,7.357666e-05,8.564303e-05,9.447599e-05,1.013789e-04,1.150867e-04,1.169455e-04,1.323211e-04,1.353682e-04,1.474386e-04,1.551635e-04,1.621919e-04,1.742123e-04,1.764566e-04,1.901096e-04,1.922298e-04,2.030442e-04,2.089727e-04,2.151790e-04,2.242736e-04,2.264598e-04,2.368608e-04,2.380495e-04,2.463809e-04,2.502952e-04,2.550402e-04,2.610672e-04,2.628747e-04,2.699324e-04,2.704651e-04,2.762685e-04,2.786139e-04,2.819417e-04,2.856497e-04,2.870120e-04,2.915375e-04,2.917080e-04,2.955740e-04,2.969175e-04,2.991731e-04,3.013949e-04,3.023820e-04,3.052434e-04,3.077955e-04,3.085525e-04,3.100721e-04,3.113983e-04,3.121027e-04,3.138449e-04,3.139134e-04,3.155270e-04,3.159462e-04,3.169631e-04,3.177470e-04,3.182392e-04,3.192846e-04,3.193701e-04,3.203690e-04,3.205904e-04,3.212475e-04,3.216907e-04,3.220157e-04,3.226075e-04,3.226824e-04,3.232556e-04,3.233596e-04,3.237423e-04,3.239634e-04,3.241490e-04,3.244328e-04,3.244811e-04,3.247440e-04,3.247799e-04,3.249421e-04,3.250156e-04,3.250799e-04,3.251493e-04,3.251612e-04,3.251896e-04,3.251896e-04,3.251683e-04,3.251441e-04,3.251006e-04,3.250198e-04,3.249892e-04,3.248368e-04,3.248229e-04,3.246460e-04,3.245594e-04,3.244189e-04,3.242343e-04,3.241579e-04,3.238650e-04,3.238526e-04,3.235421e-04,3.234188e-04,3.231910e-04,3.229370e-04,3.228135e-04,3.224112e-04,3.219856e-04,3.218447e-04,3.215381e-04,3.212410e-04,3.210703e-04,3.206032e-04,3.205833e-04,3.200785e-04,3.199341e-04,3.195569e-04,3.192364e-04,3.190197e-04,3.185127e-04,3.184680e-04,3.179028e-04,3.177653e-04,3.173250e-04,3.169963e-04,3.167356e-04,3.162079e-04,3.161354e-04,3.155252e-04,3.154020e-04,3.149058e-04,3.145804e-04,3.142780e-04,3.137447e-04,3.136425e-04,3.129999e-04,3.128965e-04,3.123509e-04,3.120373e-04,3.116962e-04,3.111686e-04,3.110362e-04,3.103716e-04,3.102916e-04,3.097029e-04,3.094075e-04,3.090305e-04,3.085174e-04,3.083551e-04,3.076769e-04,3.076226e-04,3.069965e-04,3.067238e-04,3.063143e-04,3.058222e-04,3.056307e-04,3.049460e-04,3.049186e-04,3.042606e-04,3.040138e-04,3.035748e-04,3.031085e-04,3.028891e-04,3.022036e-04,3.012996e-04,3.003973e-04,2.994971e-04,2.985998e-04,2.977057e-04,2.968154e-04,2.959293e-04,2.950478e-04,2.941713e-04,2.933002e-04,2.924348e-04,2.915754e-04,2.907223e-04,2.898758e-04,2.890361e-04,2.882034e-04,2.873779e-04,2.865598e-04,2.857493e-04,2.849466e-04,2.841517e-04,2.833648e-04,2.825860e-04,2.818154e-04
0.000000e+00,4.677113e-09,1.063679e-08,3.615350e-08,8.147243e-08,1.182701e-07,2.650433e-07,2.728870e-07,5.214067e-07,6.108176e-07,8.861101e-07,1.170515e-06,1.390666e-06,1.998434e-06,2.058312e-06,2.905190e-06,3.135428e-06,3.929815e-06,4.573462e-06,5.109675e-06,6.250119e-06,6.411726e-06,7.804573e-06,8.091694e-06,9.262730e-06,1.003985e-05,1.076576e-05,1.205035e-05,1.229648e-05,1.383965e-05,1.408677e-05,1.538137e-05,1.611708e-05,1.690884e-05,1.811268e-05,1.841040e-05,1.987559e-05,2.004852e-05,2.129530e-05,2.190352e-05,2.266183e-05,2.366092e-05,2.396893e-05,2.521175e-05,2.530829e-05,2.638684e-05,2.683736e-05,2.749195e-05,2.824363e-05,2.852596e-05,2.948872e-05,2.952576e-05,3.038096e-05,3.068514e-05,3.120403e-05,3.172517e-05,3.195985e-05,3.265077e-05,3.327949e-05,3.346800e-05,3.384888e-05,3.418357e-05,3.436200e-05,3.480455e-05,3.482197e-05,3.523191e-05,3.533815e-05,3.559493e-05,3.579149e-05,3.591407e-05,3.617148e-05,3.619230e-05,3.643249e-05,3.648477e-05,3.663735e-05,3.673761e-05,3.680947e-05,3.693579e-05,3.695128e-05,3.706508e-05,3.708467e-05,3.715303e-05,3.718923e-05,3.721717e-05,3.725403e-05,3.725939e-05,3.728146e-05,3.728323e-05,3.728502e-05,3.728061e-05,3.727160e-05,3.724960e-05,3.724263e-05,3.719943e-05,3.719335e-05,3.714322e-05,3.711466e-05,3.707513e-05,3.701610e-05,3.699623e-05,3.690747e-05,3.689997e-05,3.680976e-05,3.676836e-05,3.670394e-05,3.662315e-05,3.659076e-05,3.647095e-05,3.646603e-05,3.634517e-05,3.629854e-05,3.621401e-05,3.612205e-05,3.607805e-05,3.593780e-05,3.579374e-05,3.574691e-05,3.564632e-05,3.555040e-05,3.549595e-05,3.534916e-05,3.534300e-05,3.518783e-05,3.514403e-05,3.503075e-05,3.493572e-05,3.487207e-05,3.472491e-05,3.471207e-05,3.455099e-05,3.451219e-05,3.438907e-05,3.429810e-05,3.422652e-05,3.408313e-05,3.406355e-05,3.390035e-05,3.386769e-05,3.373707e-05,3.365219e-05,3.357388e-05,3.343697e-05,3.341092e-05,3.324832e-05,3.322234e-05,3.308620e-05,3.300859e-05,3.292468e-05,3.279597e-05,3.276386e-05,3.260384e-05,3.258469e-05,3.244469e-05,3.237496e-05,3.228649e-05,3.216695e-05,3.212933e-05,3.197326e-05,3.196082e-05,3.181834e-05,3.175671e-05,3.166463e-05,3.155473e-05,3.151217e-05,3.136101e-05,3.135500e-05,3.121120e-05,3.115760e-05,3.106276e-05,3.096262e-05,3.091572e-05,3.077012e-05,3.058017e-05,3.039280e-05,3.020807e-05,3.002601e-05,2.984663e-05,2.966997e-05,2.949602e-05,2.932481e-05,2.915633e-05,2.899058e-05,2.882756e-05,2.866726e-05,2.850966e-05,2.835476e-05,2.820254e-05,2.805296e-05,2.790603e-05,2.776170e-05,2.761996e-05,2.748077e-05,2.734411e-05,2.720996e-05,2.707827e-05,2.694903e-05
0.000000e+00,2.029623e-09,4.641152e-09,1.594850e-08,3.627279e-08,5.289975e-08,1.197473e-07,1.233333e-07,2.371718e-07,2.781342e-07,4.039840e-07,5.333846e-07,6.330775e-07,9.064302e-07,9.332459e-07,1.311751e-06,1.414795e-06,1.772805e-06,2.067442e-06,2.317155e-06,2.863904e-06,2.943277e-06,3.648599e-06,3.798898e-06,4.429952e-06,4.865082e-06,5.283578e-06,6.053257e-06,6.205048e-06,7.189251e-06,7.352170e-06,8.230437e-06,8.748618e-06,9.322321e-06,1.022785e-05,1.045821e-05,1.163118e-05,1.177409e-05,1.283419e-05,1.337123e-05,1.406026e-05,1.500330e-05,1.530258e-05,1.655465e-05,1.665505e-05,1.781032e-05,1.831231e-05,1.906391e-05,1.996227e-05,2.031022e-05,2.154455e-05,2.159361e-05,2.276272e-05,2.319659e-05,2.396108e-05,2.476302e-05,2.513648e-05,2.628620e-05,2.740801e-05,2.776077e-05,2.850004e-05,2.918262e-05,2.956083e-05,3.054872e-05,3.058922e-05,3.158437e-05,3.185696e-05,3.254567e-05,3.310605e-05,3.347277e-05,3.429535e-05,3.436550e-05,3.522387e-05,3.542478e-05,3.604804e-05,3.649474e-05,3.683830e-05,3.750597e-05,3.759502e-05,3.831869e-05,3.845950e-05,3.900985e-05,3.935661e-05,3.966912e-05,4.019873e-05,4.029714e-05,4.089463e-05,4.098744e-05,4.146230e-05,4.172441e-05,4.200090e-05,4.241136e-05,4.251120e-05,4.299396e-05,4.305008e-05,4.344998e-05,4.364236e-05,4.388004e-05,4.418999e-05,4.428491e-05,4.466537e-05,4.469477e-05,4.502219e-05,4.515846e-05,4.535613e-05,4.558282e-05,4.566794e-05,4.595837e-05,4.596955e-05,4.622814e-05,4.632034e-05,4.647797e-05,4.663682e-05,4.670856e-05,4.692059e-05,4.711474e-05,4.717320e-05,4.729166e-05,4.739614e-05,4.745199e-05,4.759087e-05,4.759635e-05,4.772536e-05,4.775881e-05,4.783960e-05,4.790130e-05,4.793965e-05,4.801965e-05,4.802608e-05,4.809942e-05,4.811514e-05,4.816022e-05,4.818897e-05,4.820897e-05,4.824231e-05,4.824619e-05,4.827235e-05,4.827630e-05,4.828793e-05,4.829200e-05,4.829338e-05,4.829045e-05,4.828914e-05,4.827564e-05,4.827265e-05,4.825329e-05,4.823954e-05,4.822250e-05,4.819205e-05,4.818365e-05,4.813712e-05,4.813103e-05,4.808326e-05,4.805734e-05,4.802243e-05,4.797175e-05,4.795498e-05,4.788121e-05,4.787505e-05,4.780145e-05,4.776794e-05,4.771601e-05,4.765114e-05,4.762518e-05,4.752924e-05,4.752530e-05,4.742846e-05,4.739105e-05,4.732311e-05,4.724900e-05,4.721345e-05,4.709971e-05,4.694375e-05,4.678162e-05,4.661382e-05,4.644082e-05,4.626307e-05,4.608099e-05,4.589498e-05,4.570542e-05,4.551268e-05,4.531710e-05,4.511901e-05,4.491870e-05,4.471648e-05,4.451260e-05,4.430735e-05,4.410095e-05,4.389364e-05,4.368565e-05,4.347716e-05,4.326838e-05,4.305948e-05,4.285064e-05,4.264202e-05,4.243377e-05
0.000000e+00,3.803703e-09,8.689045e-09,2.983615e-08,6.797131e-08,9.934355e-08,2.273320e-07,2.342857e-07,4.597069e-07,5.429745e-07,8.052373e-07,1.083313e-06,1.301675e-06,1.908129e-06,1.967665e-06,2.797674e-06,3.019015e-06,3.770536e-06,4.369457e-06,4.864524e-06,5.913537e-06,6.062253e-06,7.349517e-06,7.616573e-06,8.713459e-06,9.448847e-06,1.014152e-05,1.138137e-05,1.162103e-05,1.313919e-05,1.338484e-05,1.468338e-05,1.543021e-05,1.624134e-05,1.748984e-05,1.780153e-05,1.935329e-05,1.953847e-05,2.088706e-05,2.155401e-05,2.239444e-05,2.351796e-05,2.386828e-05,2.530259e-05,2.541548e-05,2.669255e-05,2.723524e-05,2.803436e-05,2.896895e-05,2.932507e-05,3.056269e-05,3.061107e-05,3.174600e-05,3.215857e-05,3.287439e-05,3.361026e-05,3.394777e-05,3.496649e-05,3.593124e-05,3.622872e-05,3.684299e-05,3.739925e-05,3.770295e-05,3.848103e-05,3.851247e-05,3.927304e-05,3.947745e-05,3.998626e-05,4.039213e-05,4.065375e-05,4.122889e-05,4.127718e-05,4.185825e-05,4.199160e-05,4.239865e-05,4.268414e-05,4.290006e-05,4.331034e-05,4.336411e-05,4.379245e-05,4.387397e-05,4.418665e-05,4.437866e-05,4.454827e-05,4.482795e-05,4.487881e-05,4.517973e-05,4.522522e-05,4.545244e-05,4.557372e-05,4.569830e-05,4.587655e-05,4.591864e-05,4.611472e-05,4.613667e-05,4.628775e-05,4.635689e-05,4.643891e-05,4.653987e-05,4.656934e-05,4.668010e-05,4.668814e-05,4.677223e-05,4.680409e-05,4.684673e-05,4.688999e-05,4.690455e-05,4.694659e-05,4.694796e-05,4.697374e-05,4.698002e-05,4.698681e-05,4.698808e-05,4.698662e-05,4.697391e-05,4.694942e-05,4.693921e-05,4.691383e-05,4.688554e-05,4.686782e-05,4.681441e-05,4.681200e-05,4.674699e-05,4.672721e-05,4.667335e-05,4.662525e-05,4.659163e-05,4.650976e-05,4.650235e-05,4.640601e-05,4.638190e-05,4.630309e-05,4.624274e-05,4.619402e-05,4.609329e-05,4.607923e-05,4.595914e-05,4.593452e-05,4.583413e-05,4.576730e-05,4.570456e-05,4.559247e-05,4.557079e-05,4.543315e-05,4.541079e-05,4.529195e-05,4.522300e-05,4.514749e-05,4.502976e-05,4.500005e-05,4.484991e-05,4.483172e-05,4.469731e-05,4.462946e-05,4.454251e-05,4.442352e-05,4.438572e-05,4.422717e-05,4.421442e-05,4.406707e-05,4.400263e-05,4.390560e-05,4.378860e-05,4.374295e-05,4.357929e-05,4.357273e-05,4.341480e-05,4.335540e-05,4.324962e-05,4.313698e-05,4.308390e-05,4.291778e-05,4.269811e-05,4.247826e-05,4.225847e-05,4.203900e-05,4.182005e-05,4.160184e-05,4.138455e-05,4.116835e-05,4.095340e-05,4.073984e-05,4.052781e-05,4.031742e-05,4.010878e-05,3.990199e-05,3.969713e-05,3.949429e-05,3.929354e-05,3.909494e-05,3.889854e-05,3.870440e-05,3.851256e-05,3.832305e-05,3.813590e-05,3.795115e-05
